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　特願２００４−　　２５５４「照明光学装置、露光装置および露光方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　９月２４日出願公開、特開２００４−２６６２５９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
１．手続の経緯
　
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成１６年１月８日（優先日：平成１５年２月１０日）の出願であって、平成２１年１０月１６日付けで拒絶理由が通知され、同年１１月１９日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がなされたが、平成２２年３月４日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年５月１２日に拒絶査定不服審判の請求がされたものである。
　
　
　
２．本願発明
　
　本願の請求項１乃至２６に係る発明は、平成２１年１１月１９日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１乃至２６に記載された事項により特定されるとおりのものであり、その請求項３に係る発明（以下「本願発明１」という。）及び請求項１１に係る発明（以下「本願発明２」という。）は、それぞれ、次のとおりのものである。
　
（本願発明１）
「【請求項３】
光源からの光束に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
　前記被照射面における照度分布ムラの傾斜成分を補正するために、前記被照射面と光学的に共役な共役面またはその近傍に配置されて傾斜成分を含む空間的な透過率分布を持つ補正面を有する補正フィルターと、
　複数の光学素子と、
　該複数の光学素子を複数の空間に仕切るための光透過性の窓部材とを備え、
　前記窓部材のうちの少なくとも１つに前記補正面が形成されていることを特徴とする照明光学装置。」
　
（本願発明２）
「【請求項１１】
光源からの光束に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
　前記被照射面における照度分布ムラのうちの４次以上の成分を補正するために、前記被照射面と光学的に共役な共役面またはその近傍に配置されて４次以上の成分を含む空間的な透過率分布を持つ補正面を有する補正フィルターと、
　前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置されたオプティカルインテグレータとを含み、
　前記補正フィルターは、前記オプティカルインテグレータに起因する前記被照射面での照度分布ムラの少なくとも一部を補正することを特徴とする照明光学装置。」
　
　
　
３．引用発明
　
３−１．刊行物の記載事項
　
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００２−１１０５２９号公報（以下「引用例１」という。）、及び、特開平１１−３５４４２９号公報（以下「引用例２」という。）には、それぞれ、以下の技術事項が記載されている。（後述の「３−２．引用発明の認定」において直接引用した記載に下線を付した。）
　
３−１−１．引用例１
　
記載事項ａ．【０００２】
「【０００２】
【従来の技術】投影光学系を大型化することなく、露光フィールド（ウエハ上の各ショット領域）を大きくして、露光工程のスループットを高めるために、投影光学系に対してマスクとしてのレチクルと感光性基板としてのウエハとを同期走査するステップ・アンド・スキャン方式等の走査露光型の投影露光装置（以下、「走査型露光装置」と言う。）が開発されている。この種の走査型露光装置においては、ウエハ上の各点の積算露光量は、走査方向に対しては積分効果によって平均化されるが、走査方向に直交する非走査方向に対しては、例えばスリット状の照明領域内の非走査方向への照度むらの影響がそのまま現れてしまう。また、投影露光装置が有する照明光学系は、そのレンズ成分の収差や製造誤差等に起因して照度むらを生じることがある。」
　
記載事項ｂ．【００２０】
「【００２０】
光源ＬＳから供給された露光用照明光は照明ユニット１Ａを介した後、リレー光学系
２を透過して
レチクル３を均一に照明する
　
記載事項ｃ．【００２９】乃至【００３３】
「【００２９】次に、図２に基づいて上記投影露光装置の光学系についてさらに詳しく説明する。光源ＬＳからの光束はビームエキスパンダー１１２によって所望の形状（例えば正方形形状）に形成され、ミラー１１４で光路を９０度曲げられた後、第１インテグレータ（第１オプティカルインテグレータ）としての回折光学素子１１６に入射する。第１インテグレータは所望の発散角特性とインテグレート効果を備えた複数の集積型の回折素子１１６又は屈折素子１００が配置されたターレット板１１８を備えている。第１インテグレータとしての回折光学素子１１６からの光束はリレー光学系１２０を介して
第２インテグレータ（第２オプティカルインテグレータ）としてのフライアイレンズ１２４
【００３０】第２インテグレータ１２４の射出面には前記照明エリアに対応した開口絞り１２６が配置されている。この開口絞り１２６の位置が２次光源群となる。ここで、可変開口絞り手段としてのターレット板１２８は、開口絞り１２６を始めとして開口部の形状や大きさが互いに異なる多数の開口絞りが設けられており、駆動系ＭＴ２を介してターレット板１２８を回転させて、所望の大きさ及び形状を有する開口部を持つ開口絞りを光路内に設定する。これにより、第２インテグレータとしてのフライアイレンズ１２４の射出側（照明光学系の瞳位置）に形成される２次光源群（光強度分布）の大きさ並びに形状を正確に規定することができる。なお、第１インテグレータでの光学部材（回折光学素子１１６やフライアイレンズ１００）の切換に応じて、可変開口絞り手段１２８は適切な大きさ及び形状を有する開口部を持つ開口絞りを光路に設定するように動作する。さらに、後で述べるがリレー光学系１２０をズーム光学系で構成すれば、リレー光学系１２０の変倍に応じて、可変開口絞り手段１２８は適切な大きさ及び形状を有する開口部を持つ開口絞りを光路に設定するように動作しても良い。
【００３１】この２次光源群からの光束が
コンデンサー光学系２２８を介して視野絞り１３０を重畳的に照射する
視野絞り１３０近傍には照度むらを補正するためのフィルターとして遮光板Ａ１が配置されている
【００３２】また、視野絞り１３０付近の適切な位置には、走査露光後の積算露光量分布を最適化するために、図１９に示すようなスリット状の開口部を有する固定型補助絞りＳＢが配置されている。なお、図１９の斜線で示す領域は、遮光領域を示している。なお、図１に示す如く、
照明光学系１は
リレー光学系２とを有する
視野絞り１３０の位置とレチクル３の位置は共役な関係となる
【００３３】以上の照明光学系１によってレチクル３が照明され、レチクル３上に描画された回路パターンが投影光学系８を介してレジストを塗布したウエハ９に投影される。この配置にてレチクル３とウエハ９とを同期して走査することによってレチクル３上に描かれた全てのパターンがウエハ９上に露光される。本実施形態では、第１インテグレータ１１６はターレット１１８内に複数種類配置されており、モータＭＴ１を駆動することによって各種切り替え可能である。」
　
記載事項ｄ．【００３８】
「【００３８】また、第１インテグレータ１１６は、フライアイレンズ、エッチングによって製作されたマイクロレンズアレイ、所望の発散角特性とインテグレート効果を備えた集積型の回折素子または屈折素子（これらもエッチングによって製作される）等で構成できる。さらに、
第２インテグレータ１２４は
エッチングによって製作されたマイクロレンズアレイ
　
記載事項ｅ．【００３９】乃至【００４４】
「【００３９】次に、照度むらが有る場合の光量分布形状について図３（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明する。ウエハ９上の照度むらの光量分布は、その照度分布Ｅ（Ｘ）を非走査方向の位置Ｘの関数として、次式のように表すことができる。なお、位置Ｘの原点は、投影光学系８の光軸ＡＸを通りＹ軸に平行な直線とする。
【００４０】
Ｅ（Ｘ）＝ａ・（Ｘ−ｂ）2＋ｃ・Ｘ＋ｄ…（３）
【００４１】（３）式において、２次係数ａは位置Ｘに関して凸（ａ＞０）、又は凹（ａく０）の照度むらを、シフト係数ｂは照度むらの対称軸の光軸ＡＸからのＸ方向へのシフト量を、１次係数ｃはいわゆる１次傾斜むらを、係数ｄは位置Ｘに依存しない一定の照度（オフセット）をそれぞれ表している。これらの係数ａ〜ｄの値は、例えば後述するような実測データより最小自乗法によって求められる。そして、求められた値が非走査方向の照度むら（即ち、非走査方向の積算露光量分布）の状態として記億される。
【００４２】具体的に、以下、図３に示した照度分布Ｅ（Ｘ）のうち、係数ａが正の値の場合（図３（ａ））を「２次凸型照度むら」、係数ａが負の値の場合（図３（ｂ））を「２次凹型照度むら」、係数ａがゼロで、係数ｃが正又は負の場合を「１次傾斜照度むら」とそれぞれいう。なお、本例では照度分布Ｅ（Ｘ）を位置Ｘの２次関数で近似しているが、後述するようにＥ（Ｘ）を位置Ｘの３次以上の関数で近似してもよく、更には指数関数等で近似してもよい。
【００４３】図４（ａ）は、光軸と直交する面内（ｘｙ面内）における遮光板Ａ１の形状を示す図である。ここで、図２に示す実施の形態では被照射面（レチクル３、ウエハ９等）での照度分布又は光強度分布の不均一性を補正する調整部材（光制限部材）としての遮光板Ａ１がＸＺ平面内に配置されている。しかしながら、理解を容易とするために、以下の説明として、例えば、図４、図５、図１９及び図２０では、図２の遮光板Ａ１がＸＹ平面に配置されているものとして説明する。この場合、図２の遮光板Ａ１は、図２の反射鏡１３４を取り除き、レンズ系２Ｂ上方に向かってレンズ系２Ａ、遮光板Ａ１が順に配置されているものとする。
【００４４】遮光板Ａ１は、２次凹型照度むらを補正するためのパターン形状（斜線部分）を有している。上述したように、走査方向（Ｙ方向）に関しては、スキャンスリット幅の照度分布を走査方向（Ｙ方向）に積分した積算露光量とほぼ等しくなる。この積算露光量はＹ方向に関しては概略均一化された光量となる。これに対して、非走査方向（Ｘ方向）に関しては、例えば、上述したような２次凹型照度むらを生ずる。」
　
記載事項ｆ．【００５１】
「【００５１】以上のように、瞳強度分布の不均一性（σ光束内の光量不均一性）やテレセントリシティずれが発生すると、投影露光されるパターンの線幅にバラツキを生ずる原因となる。この問題を軽減するには、遮光板Ａ１のデフォーカス量Ｄを一定値以下とすることが望ましい。なぜならＤが小さいと、σ光束Ｃが小さくなる。そしてσ光束Ｃが小さくなると、σ光束Ｃが遮光板Ａ１と交差して遮光される際の遮光部分のＸ方向に関する傾きが小さくなる。すなわち、σ光束内の強度分布のＸ方向に関する非対称性が相対的に低減する。結果として、走査露光後の積分された瞳強度分布の不均一性とテレセントリシティずれが低減する。」
　
記載事項ｇ．【００７５】
「【００７５】また、第１インテグレータ２１６ａとしては、フライアイレンズ、エッチングによって製作されたマイクロレンズアレイ、所望の発散角特性とインテグレート効果を備えた集積型の回折素子または屈折素子（これもエッチングによって製作される）等を用いることができる。さらに、第２インテグレータ２２０ａとしては、フライアイレンズ、エッチングによって製作されたマイクロレンズアレイを用いることができる。第３インテグレータ２２４としては、フライアイレンズ、エッチングによって製作されたマイクロレンズアレイを用いることができる。」
　
記載事項ｈ．【００９７】乃至【００９９】
「【００９７】図１２は４枚の遮光板の配置を示す図である。視野絞り１３０（レチクル共役面）から光源側に距離Ｄだけデフォーカスした第１の位置を通り、照明光学系の光軸ＡＸを横切る第１面ＰＬ１に沿って対向的に一対の遮光板Ａ１とＡ３とが設けられている。また、視野絞り１３０（レチクル共役面）からレチクル側に距離Ｄだけデフォーカスした第２の位置を通り、照明光学系の光軸ＡＸを横切る第２面ＰＬ２に沿って対向的に一対の遮光板Ｂ１とＢ３とが設けられている。例えば、遮光板Ａ３は遮光板Ａ１と同一の遮光パターンを有し、相互に対向的に設けられている。また、遮光板Ｂ３も、遮光板Ｂ１と同様の遮光パターンを有し、相互に対向的に設けられている。
【００９８】これらの一対の遮光板は、視野絞り１３０（レチクル共役面）から等距離Ｄに配置されている。また、上記第５実施形態と同様に、視野絞り１３０（レチクル共役面）から光源側に設けられている遮光板Ａ１及びＡ３までの距離Ｄ１と、視野絞り１３０（レチクル共役面）からレチクル側に設けられている遮光板Ｂ１，Ｂ３までの距離Ｄ２との差の絶対値ΔＤ（＝｜Ｄ１−Ｄ２｜）を条件式（１）及び（２）に含まれるＤの代わりに代入した条件式が満たされるように、Ｄ１及びＤ２を定めてもよい。
【００９９】さらに、図１２（ｂ）に示すように、上記遮光板Ａ１，Ｂ１と、
直線状の遮光パターンを有する遮光板Ａ４，Ｂ４
１次の傾斜照度むらを補正する
　
記載事項ｉ．【０１１６】乃至【０１２１】
「【０１１６】上述したように、照度むらは上記（３）式で示す２次多項式で近似することができる。そして、遮光板の遮光パターンは、この２次多項式で表される形状を有している。しかし、照度むらの程度が大きい場合には、遮光パターンとして上記（３）式の近似では不足であり、より高次成分も必要となる。
【０１１７】すなわち、照度むらを補正しない場合のウエハ９上での２次照度むらの照度分布Ｅ（Ｘ）は、αを係数として次式で示される。
【０１１８】Ｅ（Ｘ）＝１＋αＸ2…（５）ここで、照度むらを補正するためのフィルタの透過特性をｔ（ｘ）とすると、
【０１１９】
  ｔ（Ｘ）×Ｅ（Ｘ）＝ｋ  （ただし、ｋは定数）…（６）
を満足すれば良い
【０１２０】
  これより、ｔ（Ｘ）＝ｋ／Ｅ（Ｘ）
                    ＝ｋ／（１＋αＸ2）
                    ＝ｋ（１−αＸ2＋α2Ｘ4−・・）…（７）
【０１２１】となる。ここで、照明むらが大きい場合とはαが大きい事を意味する。αが大きいほど式（７）の展開次数を高次まで含める必要がある。すなわち、照明ムラが２次関数形状であったとしても、照明むらが大きい場合には補正フィルタの透過特性、すなわち、遮光パタンの形状は２次以上の高次成分が必要となってくるのである。」
　
記載事項ｊ．【０１２３】
「【０１２３】また、以下に述べるように、そもそも照明むら自体が２次関数形状からずれる要因もいくつか存在する。この場合にはもとより、高次成分まで考えた遮光パターンによる補正が必要である。」
　
記載事項ｋ．【０１２５】
「【０１２５】さらに、反射防止膜などの経年変化、光学系を構成するレンズ成分等のトレランス、照明形態の変更（通常照明，輪帯照明，多極照明等）によっても照度むらは発生する。これらに起因する照度むらは２次多項式以外の成分を含んでいる。」
　
記載事項ｌ．【０１２８】
「【０１２８】また、２次成分よりも高い高次成分を含む照度むらやランダムな照度むらが生じた場合は、遮光パターンの形状が可変である遮光板で照度むらを補正することが望ましい。この場合は、図１５（ｂ）に示すように、不図示の移動機構により、短冊状の各遮光パターン素子を走査方向（Ｙ方向）に抜き差しする。これにより、上述した照度むら計測機構で検出した照度むらに対応させて、１次成分、２次成分に限られず、任意の形状を有する遮光パターンを形成することができる。」
　
記載事項ｍ．【０１３５】
「【０１３５】また本発明は光制限部材として図４（ａ），（ｂ）に示した遮光板に限定されない。露光むら補正の性能として図４（ａ），（ｂ）に示した
遮光板と同等の光学特性を有する
所望の透過特性を持たせた素子
　
記載事項ｎ．図１
　
「
」
　
記載事項ｏ．図２
　
「
」
　
記載事項ｐ．図４
　
「
」
　
記載事項ｑ．図１２
　
「
」
　
３−１−２．引用例２
　
記載事項ｒ．請求項１３
「【請求項１３】光源からの光を照明光学系により所定の照明光束として被照明物体を照明する照明装置において、
該照明光束の光路の少なくとも一部に密閉構造部を有し、該密閉構造部に脱ガス処理したシール材を設けたことを特徴とする照明装置。」
　
記載事項ｓ．【００５０】
「【００５０】５２は容器（密閉構造部）であり、水銀ランプ４１から照明光学系のうちのバンドパスフィルタ４５までを略密閉しており、投影露光装置が動作する際には不活性ガスである窒素ガスを満たすようになっている。（該容器は完全密閉が好ましいが、容器外の不純物が侵入しない構造であれば、所定の圧力で維持できる程度の略密閉構造や、清浄な冷却媒体を循環させる実質的に密閉された構造でも良い）。なお、バンドパスフィルタ４５は容器の窓として機能している。」
　
記載事項ｔ．図１
　
「
」
　
　
３−２．引用発明の認定
　
３−２−１．引用発明１の認定
　
　記載事項ｈ（【００９９】）及び記載事項ｑ（図１２）から、引用例１における「直線状の遮光パターンを有する遮光板Ａ４、Ｂ４」は、その遮光パターンが傾斜したものであることが認められる。
　記載事項ｈ（【００９７】乃至【００９９】）及び記載事項ｑ（図１２）から、引用例１における「遮光板Ａ４及びＢ４」は、視野絞り１３０からＤだけデフォーカスした位置に配置されていると認められる。
　記載事項ｆ（【００５１】）から、上記Ｄは一定値以下であることが理解できる。
　記載事項ｍ（【０１３５】）から、引用例１における「遮光板Ａ４及びＢ４」に代えて、遮光板Ａ４及びＢ４と同等の光学特性を有する所望の透過特性を持たせた素子を用いることができると認められる。
　引用例１の「照度むら」が、レチクル３における照度むらであることは明かである。
　
　これらの点及び記載事項ａ乃至ｑを総合的に勘案すると、引用例１には、
　
「コンデンサー光学系２２８と、
　レチクル３における１次の傾斜照度むらを補正するための傾斜した直線状の遮光パターンを有する遮光板Ａ４及びＢ４と同等の光学特性を有する所望の透過特性を持たせた素子と、
　視野絞り１３０と、
　リレー光学系２と、
　を有する照明光学系１において、
　光源ＬＳから供給された露光用照明光はコンデンサー光学系２２８を介して視野絞り１３０を重畳的に照射し、視野絞りを通過した光束はリレー光学系２を透過してレチクル３を均一に照明し、
　視野絞り１３０の位置とレチクル３の位置は共役な関係であり、
前記所望の透過特性を持たせた素子は視野絞り１３０からＤだけデフォーカスした位置に配置され、かつ、Ｄは一定値以下である、
照明光学系１」
　
（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　
　
３−２−２．引用発明２の認定
　
　記載事項ｉ（【０１１６】乃至【０１２０】）及び記載事項ｊ（【０１２３】）から、引用例１の遮光板の遮光パターンが、４次以上の成分を含むものとすることが出来ることが理解できる。該遮光板には、遮光板Ａ１も含まれると認められる。
　記載事項ｅ（【００４２】）、記載事項ｉ（【０１１６】乃至【０１２０】）及び記載事項ｋ（【０１２５】）から、引用例１における遮光板が、３次以上の高次成分の照度むらを補正するために用いることができることが理解できる。該遮光板には、遮光板Ａ１も含まれると認められる。
　記載事項ｅ（【００４４】）等から、引用例１の遮光板Ａ１の遮光パターンによりレチクル３における照度むらを補正しているのであるから、上記４次以上の成分を含む遮光板Ａ１の遮光パターンは、上記３次以上の高次成分の照度むらを補正するためのものであると認められる。
　引用例１の「照度むら」が、レチクル３における照度むらであることは明かである。
　記載事項ｃ（【００２９】）及び記載事項ｏ（図２）から、引用例１の「第２インテグレータとしてのフライアイレンズ」が、光源ＬＳとレチクル３との間の光路中に配置されていることが理解できる。
　記載事項ｄ（【００３８】）から、第２インテグレータ１２４は、フライアイレンズに代えて、エッチングによって製作されたマイクロレンズアレイで構成できることが認められる。
　記載事項ｍ（【０１３５】）から、引用例１における「遮光板Ａ１」に代えて、遮光板Ａ１と同等の光学特性を有する所望の透過特性を持たせた素子を用いることができると認められる。
　記載事項ａ（【０００２】）及び記載事項ｋ（【０１２５】）から、引用例１の「遮光板Ａ１」は、照明光学系を構成するレンズ成分に起因する照度むらを補正するものであることが認められる。
　
　これらの点及び記載事項ａ乃至記載事項ｑから、引用例１には、
　
「光源ＬＳから供給された露光用照明光は照明ユニット１Ａを介した後、レチクル３を均一に照明する照明光学系１において、
　レチクル３における３次以上の高次成分の照度むらを補正するために、４次以上の成分を含む遮光パターンを有する遮光板Ａ１と同等の光学特性を有する所望の透過特性を持たせた素子を有し、該所望の透過特性を持たせた素子は視野絞り近傍に配置され、視野絞り１３０の位置とレチクル３の位置は共役な関係であり、
　光源ＬＳとレチクル３との間の光路中に配置され、エッチングにより製作された第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイを有し、
　前記所望の透過特性を持たせた素子は、照明光学系を構成するレンズ成分に起因するレチクル３での照度むらを補正する、
　照明光学系１」
　
（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。
　
　
　
４．対比及び判断
　
４−１．本願発明１について
　
４−１−１．本願発明１と引用発明１の対比
　
　引用発明１の「光源ＬＳから供給された露光用照明光」は本願発明１の「光源からの光束」に相当する。以下同様に、「照明光学系１」は「照明光学装置」に、「１次の傾斜照度むら」は「照度分布ムラの傾斜成分」に、「傾斜した直線状の遮光パターンを有する遮光板Ａ４及びＢ４と同等の光学特性を有する所望の透過特性を持たせた素子」は「傾斜成分を含む空間的な透過率分布を持つ補正面を有する補正フィルター」に、「共役」は「光学的に共役」に、「リレー光学系２」と「コンデンサー光学系２２８」は「複数の光学素子」に、「レチクル３」は「被照射面」に、それぞれ相当する。
　引用発明１の「視野絞り１３０の位置」は「レチクル３の位置」と共役な関係にあるので、引用発明１の「視野絞り１３０の位置」は、本願発明１の「被照射面と光学的に共役な共役面」に相当する。
　引用発明１の「所望の透過特性を持たせた素子」の配置位置が「視野絞り１３０からＤだけデフォーカスした位置に配置され、かつ、Ｄは一定値以下である」ことは、本願発明１の「補正フィルター」が「被照射面と光学的に共役な共役面またはその近傍に配置され」ることに相当する。
　
　したがって本願発明１と引用発明１とは、
　
「光源からの光束に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
前記被照射面における照度分布ムラの傾斜成分を補正するために、前記被照射面と光学的に共役な共役面またはその近傍に配置されて傾斜成分を含む空間的な透過率分布を持つ補正面を有する補正フィルターと、
　複数の光学素子と、
　を備えた照明光学装置」
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点）
　本願発明１では、「該複数の光学素子を複数の空間に仕切るための光透過性の窓部材とを備え、前記窓部材のうちの少なくとも１つに前記補正面が形成されている」のに対して、引用発明１では、そのような特定事項を有していない点。
　
４−１−２．本願発明１と引用発明１の相違点についての判断
　
　記載事項ｓ（【００５０】）及び記載事項ｔ（図１）から、引用例２の「容器の窓として機能している」「バンドパスフィルタ４５」は、複数の光学部材を複数の空間に仕切る窓部材であると言える。
　当業者の技術常識から、引用例２の「容器の窓として機能している」「バンドパスフィルタ４５」が光透過性であることは明かである。
　これらの点及び記載事項ｒ乃至ｔ並びに当業者の技術常識から、引用例２には、
「光源からの光に基づいて被照明物体を照明する照明装置において、
容器の窓として機能しているバンドパスフィルタを備え、該バンドパスフィルタは複数の光学素子を複数の空間に仕切るための光透過性の窓部材である、
照明装置」という発明が記載されていると認められる。
　
　引用発明１と引用例２に記載された発明とは、光源からの光により被照射面を照射する照明装置である点で技術分野が一致する。また、本願明細書の【００５６】にも記載されているように、照明系を複数の空間に仕切るための光透過性の窓部材を設けることは、照明装置において一般的に行われていることであり、必要に応じて該窓部材を採用することは、当業者であれば容易になし得るものであると認められる。
　よって、引用発明１において、引用例２に記載された発明における、“複数の光学素子を複数の空間に仕切るための光透過性の窓部材としてフィルターを用いる”点を採用し、引用発明１において、複数の光学素子を複数の空間に仕切るための光透過性の窓部材として補正フィルターを用いることにより、相違点に係る構成を得ることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
４−１−３．効果について
　
　本願発明１の効果は、当業者が予測し得る範囲内のものに過ぎず、格別なものとは言えない。
　
４−１−４．判断
　
　したがって、本願発明１は、引用発明１及び引用例２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４−２．本願発明２について
　
４−２−１．本願発明２と引用発明２の対比
　
　引用発明２の「光源ＬＳから供給された露光用照明光」は本願発明２の「光源からの光束」に相当する。以下同様に、「照明光学系１」は「照明光学装置」に、「照度むら」は「照度分布ムラ」に、「４次以上の成分を含む遮光パターンを有する遮光板Ａ１と同等の光学特性を有する所望の透過特性を持たせた素子」は「４次以上の成分を含む空間的な透過率分布を持つ補正面を有する補正フィルター」に、「共役」は「光学的に共役」に、「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」は「オプティカルインテグレータ」に、「レチクル３」は「被照射面」に、それぞれ相当する。
　引用発明２の「視野絞り１３０の位置」は「レチクル３の位置」と共役な関係にあるので、引用発明２の「視野絞り１３０の位置」は、本願発明２の「被照射面と光学的に共役な共役面」に相当する。
　
　したがって本願発明２と引用発明２とは、
　
「光源からの光束に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
　前記被照射面における照度分布ムラを補正するために、前記被照射面と光学的に共役な共役面またはその近傍に配置されて４次以上の成分を含む空間的な透過率分布を持つ補正面を有する補正フィルターと、
　前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置されたオプティカルインテグレータとを含む、
　照明光学装置。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願発明２は「照射面における照度分布ムラのうちの４次以上の成分を補正する」ものであるのに対し、引用発明２では「レチクル３における３次以上の高次成分の照度むらを補正する」ものである点。
　
（相違点２）
　補正される対象の被照射面での照度分布ムラの少なくとも一部が、本願発明２では「オプティカルインテグレータに起因する」ものであるのに対し、引用発明２では「照明光学系を構成するレンズ成分に起因する」ものである点。
　
４−２−２．本願発明２と引用発明２の相違点についての判断
　
４−２−２−１．相違点１について
　
　引用発明２における「３次以上の高次成分」には、３次の成分のみならず、４次以上の成分までもが含まれることは明かである。よって、引用発明２は、照射面における照度分布ムラのうちの４次以上の成分を補正しているものと言える。
　してみれば、この点は実質的な相違点とは言えない。
　
４−２−２−２．相違点２について
　
　当業者の技術常識から、エッチングにより製作されたマイクロレンズアレイは、それを通過した光に起因する被照射面における照度分布ムラを生じると言える（この点は、本願明細書【００９８】においても同様のことが述べられている）。そして、引用発明２の「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」は「エッチングにより製作された」ものであるから、引用発明２の「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」に起因する被照射面における照度分布ムラが発生しているものと認められる。
　また、当業者の技術常識から、被照射面における照射分布ムラは、光源と被照射面の間に存在する全ての光学部材に起因した照度分布ムラの積算値であることが理解できる。
　そして、引用発明２の「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」は「光源ＬＳ」と「レチクル３」との間の光路中に配置されている。
　さらに、引用発明２の「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」は「照明光学系を構成するレンズ成分」の一部を構成するものと認めら
れる。
　これらの点から、引用発明２では、「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」に起因する被照射面での照度分布ムラが発生していると言える。
　してみれば、引用発明２において、上記「第２インテグレータとしてのマイクロレンズアレイ」に起因する被照射面での照度分布ムラを補正する構成とすることは、当業者が容易に想到し得るものである。
　
４−２−３．効果について
　
　本願発明２の効果は、当業者が予測し得る範囲内のものに過ぎず、格別なものとは言えない。
　
４−２−４．判断
　
　したがって、本願発明２は、引用発明２及び当業者の技術常識に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
　
６．結び
　
　以上のとおり、本願発明１は引用発明１及び引用例２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、本願発明２は、引用発明２及び当業者の技術常識に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それぞれ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　したがって、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。