【手続補正書】
【提出日】平成23年4月6日(2011.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
基板搬送装置であって、
少なくとも１つの駆動軸を有する駆動部と、
前記少なくとも１つの駆動軸に動作可能に連結される少なくとも２つのスカラ（ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ  ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ  ａｓｓｅｍｂｌｙ  ｒｏｂｏｔ  ａｒｍ：ｓｃａｒａ）アームと、を備え、前記少なくとも１つの駆動軸は、前記少なくとも２つのスカラアームの伸長および収縮を生じさせる、前記少なくとも２つのスカラアームのための共通駆動軸であり、前記少なくとも２つのスカラアームは、前記少なくとも２つのスカラアームに連結される前記少なくとも１つの駆動軸の前記共通駆動軸によって、前記共通駆動軸の回転が、前記少なくとも２つのスカラアームのうちの別の１つの運動に実質的に関係な
く、前記少なくとも２つのスカラアームのそれぞれの伸長および収縮を生じさせるように、互いに連結される、
基板搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記少なくとも２つのスカラアームのそれぞれは、互いに移動可能に接続される少なくとも２つのリンクを含み、前記リンクのうちの少なくとも１つが、基板をその上に保持するためのエンドエフェクタを有する、請求項１に記載の装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
前記連結システムは、前記少なくとも２つのスカラアームのそれぞれに連結され、前記駆動軸が回転する時に、前記スカラアームのそれぞれへの移動を与える、実質的にリジッドなリンクを有する、請求項４に記載の装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【図１】従来の基板搬送装置を示す図である。
【図１Ａ】従来の基板搬送装置を示す図である。
【図１Ｂ】従来の基板搬送装置を示す図である。
【図１Ｃ】従来の基板搬送装置を示す図である。
【図１Ｄ】従来の基板搬送装置を示す図である。
【図２Ａ】例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる処理装置を示す図である。
【図２Ｂ】例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる処理装置を示す図である。
【図３Ａ】搬送装置が１つの位置で示されている、例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる基板搬送装置の概略図である。
【図３Ｂ】搬送装置が１つの位置で示されている、例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる基板搬送装置の概略図である。
【図３Ｃ】搬送装置が１の位置で示されている、例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる基板搬送装置の概略図である。
【図４Ａ】異なる位置で示されている、図３Ａ〜３Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図４Ｂ】異なる位置で示されている、図３Ａ〜３Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図４Ｃ】異なる位置で示されている、図３Ａ〜３Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図５】例示的な一実施形態による基板搬送装置の運動のグラフ図である。
【図６Ａ】搬送装置が１つの位置で示されている、例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる基板搬送装置の概略図である。
【図６Ｂ】搬送装置が１つの位置で示されている、例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる基板搬送装置の概略図である。
【図６Ｃ】搬送装置が１つの位置で示されている、例示的な一実施形態の特徴を組み込んでいる基板搬送装置の概略図である。
【図７Ａ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の代表的な部分の概略図である。
【図７Ｂ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の代表的な部分の概略図である。
【図７Ｃ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の代表的な部分の概略図である。
【図７Ｄ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の代表的な部分の概略図である。
【図７Ｅ】異なる位置を示している、搬送装置の別の代表的な部分の概略図である。
【図７Ｆ】異なる位置を示している、搬送装置の別の代表的な部分の概略図である。
【図８Ａ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図８Ｂ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図８Ｃ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図８Ｄ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図８Ｅ】異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図９】例示的な一実施形態による基板搬送装置の運動のグラフ図である。
【図１０Ａ】一実施形態による、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図１０Ｂ】一実施形態による図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図１１Ａ】一実施形態による図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図１１Ｂ−１１Ｅ】例示的な一実施形態よる、異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図１２Ａ】例示的な一実施形態よる、異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図１２Ｂ】例示的な一実施形態よる、異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【図１２Ｃ】例示的な一実施形態よる、異なる位置で示されている、図６Ａ〜６Ｃの基板搬送装置の一部分の概略図である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
再び図３Ａ〜３Ｃを参照すると、例示的な実施形態では、搬送部３００のアーム４９１Ｌ、４９１Ｒは、上アーム部材４９０Ｌ、４９０Ｒと、前アーム部材４６０Ｌ、４６０Ｒと、それぞれの回転ジョイント４９２、４９３、４９４、４９５を通じて互いに接続されるエンドエフェクタ４３０Ｌ、４３０Ｒと、を含む。代替の実施形態では、アームは、より多くの、またはより少ない関節を有してもよい。ここで、上アーム４９０Ｌ、４９０Ｒは、回転ジョイント４０２、４０１（例えば肩部ジョイント）の周囲を旋回する。上アーム４９０Ｌ、４９０Ｒの近位端は、上述のように、回転ジョイント４０４、４０６を通じ
て、連結システムのリンク４２２Ｌ、４２２Ｒに旋回可能に結合される。上アーム４９０Ｌ、４９０Ｒの遠位端は、例えば、回転ジョイント４９２、４９３において、前アーム４６０Ｌ、４６０Ｒのそれぞれの近位端に旋回可能に結合されてもよい。例示的な実施形態では、前アーム４６０Ｌ、４６０Ｒの遠位端は、回転ジョイント４９４、４９５において、エンドエフェクタ４３０Ｌ、４３０Ｒに旋回可能に結合されてもよい。エンドエフェクタ４３０Ｌ、４３０Ｒは、エンドエフェクタの前部からエンドエフェクタの後部まで延びる長手方向軸を有してもよい。エンドエフェクタの長手方向軸は、以下に述べるように、アームの伸長および収縮経路Ｐと整列させてもよい。代替の実施形態では、アームは、伸長／収縮の軸Ｐと相対的に、あらゆる所望の構成を有してもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
以下、図６Ａ〜８Ｅを参照すると、別の例示的実施形態による基板搬送部７００が示されている。この例示的実施形態では、以下に詳述するように、基板搬送部７００は、アーム６５０Ｌ、６５０Ｒが、駆動部の一部分の揺動運動を通じて作動され得るように動作する。基板搬送部７００は、駆動部と、連結システム８００と、アームアセンブリまたはリンケージ６５０Ｌ、６５０Ｒと、を含んでもよい。アームアセンブリ６５０Ｌ、６５０Ｒは、特に明記されておらず、また同じ特徴に同じ参照番号が付されていない限り、それぞれ、アームアセンブリ４９１Ｌおよび４９１Ｒと実質的に同様である。本実施例では、基板搬送部が、２つのアームアセンブリを有して示されているが、代替の実施形態では、基板搬送部は、任意の好適な数のアームアセンブリを伴う、あらゆる好適な構成を有してもよい。連結システム８００は、以下に詳述するが、１つまたは共通の駆動部の駆動モータが、２つ以上のスカラアームの伸長および収縮を、実質的に互いに独立して生じさせることを可能にする、機械的スイッチまたはロストモーションシステムとして本願明細書に引用されているものを含んでも、または画定してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
以下に述べるように、リンク７３０Ｌおよび７３０Ｒは、図１１Ａ−１１Ｅに示されているように、それぞれ、駆動要素１１６０および１１５０に対応してもよい。図７Ａ〜Ｂおよび７Ｅで最良に分かるように、リンク７３０Ｌ、７３０Ｒは、それぞれ、回転ジョイントＢおよびＡにおいてプラットフォーム７３１に旋回可能に連結されてもよい。本例示的実施形態では、リンク７３０Ｌ、７３０Ｒの長さは、回転ジョイントＡとＢとの間の距離に実質的に等しい。代替の実施形態では、リンクは、あらゆる好適な長さを有してもよい。リンク７３０Ｌ、７３０Ｒの他端は、それぞれ、静止（アームアセンブリのハブと相
対的に）回転ジョイントＣおよびＤに旋回可能に連結されてもよい。本例示的実施形態では、ジョイントＣとＤとの間の距離は、リンク７３０Ｌ、７３０Ｒの長さに実質的に等しい。代替の実施形態では、ジョイントＣとＤとの間の距離は、あらゆる好適な距離であってもよい。図７Ｂおよび７Ｅで分かるように、プラットフォームが、例えばそのように称され得る、中立位置にある時に、回転ジョイントＡおよびＣは、実質的に、互いに一致していてもよく、一方で、回転ジョイントＢおよびＤは、実質的に、互いに一致する（例えば、実質的に共通の回転軸を有する）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
以下、左アームの動作を、図１１Ａ〜Ｅに示されている駆動部に関して説明する。左アーム６５０Ｌを、中立位置または収縮位置から伸長させるために、プラットフォーム７３１は、図６Ｂ、１１Ｄ、および８Ｂ〜Ｃに示されているように、軸または点Ｄの周囲を反時計回り方向に回転する。反時計回り方向に回転している間、プラットフォーム７３１は、多数の場所で支持されてもよい。例えば、プラットフォーム７３１は、係合部材１１７０および駆動軸１１２０によって、要素１１６０、および例えば軸または図１１Ａに示されているもの等のあらゆる好適な連結支持体を通じて、点Ｄの周囲に直接的に支持されてもよい。プラットフォームは、点Ｈにおいてリンク７３３Ｌ、７３２Ｌを通じて、および点Ｉでリンク７３３Ｒ、７３２Ｒを通じて、間接的に支持されてもよい。プラットフォームはまた、部材１１８０、要素１１５０、および軸１１４０を介して、点Ａの周囲に支持されてもよい。代替の実施形態では、プラットフォーム７３１は、３つ以上または未満の点によって支持されてもよい。