(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライド部が、転動体を介して、所定の方向に移動可能に支持されたガイド装置であって、
前記所定の方向に沿って第１溝部が形成されたスライド部本体と、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットと、を備えたスライド部と、
前記第１溝部に対向し、前記所定の方向に沿って第２溝部が形成されたレール部と、
前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動し、転動した後に前記転動体循環路を通過し、前記転動体循環路を通過した後、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動する転動体と、
を有し、
前記転動体収納ユニットは、筐体と、前記スライド部の移動方向と直交する方向に移動可能に前記筐体に嵌め込まれたシール部材と、を有し、
前記転動体循環路の内周面には、潤滑剤を含んだ潤滑剤含有部材が配置されており、
前記筐体には、前記潤滑剤含有部材を配置するための潤滑剤含有部材配置部と、潤滑剤含有部材に潤滑剤を注入するための第１注入孔と、が形成され、
前記第１注入孔は、前記筐体の外面から前記潤滑剤含有部材配置部の内面までを貫通する直線状の孔から構成されていることを特徴とするガイド装置。
【請求項２】
前記シール部材の端部は、前記レール部の第２溝部に接触することを特徴とする請求項１に記載のガイド装置。
【請求項３】
前記スライド部の前記第１溝部、前記レール部の前記第２溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ２つずつ形成され、
前記転動体は、前記第１溝部と前記第２溝部とに、前記所定の方向と直交する方向に挟まれることを特徴とする請求項１又は２に記載のガイド装置。
【請求項４】
前記潤滑剤含有部材は、貫通孔が形成された円筒形状に形成され、
前記転動体は、前記貫通孔を通過することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のガイド装置。
【請求項５】
前記転動体が移動する前記転動体循環路は、直線部と円弧部とから構成される略長円形状に形成され、
前記潤滑剤含有部材は、前記潤滑剤含有部材の前記貫通孔の貫通方向における長さが、前記転動体循環路の前記直線部の長さよりも小さく形成されていることを特徴とする請求項４に記載のガイド装置。
【請求項６】
前記転動体収納ユニットは、前記シール部材を覆い、前記筐体に取り付けられる蓋体を有し、
前記蓋体には、前記転動体を円滑に転動させるためのグリスを注入するための第２注入孔が形成され、
前記筐体の前記蓋体が取り付けられる端面には、前記スライド部の前記移動方向に沿って、グリス通路が形成され、
前記第２注入孔は、前記グリス通路を介して、前記転動体循環路に通じていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のガイド装置。
【請求項７】
前記筐体及び前記蓋体のいずれか一方には、ボス部が形成され、
他方には、前記ボス部の形状に対応するように孔が形成され、
前記ボス部は、前記孔に嵌め込まれていることを特徴とする請求項６に記載のガイド装置。
【請求項８】
前記シール部材は、前記移動方向に突出する突出部が形成されるとともに、前記突出部が形成された面の反対側の面は平面として構成された棒状の部材であり、
前記筐体には、前記突出部が嵌め込まれる窪みが形成されている溝状のシール部材配置部が形成され、
前記シール部材は、前記シール部材配置部に配置されることにより、前記直交する方向に移動可能に前記筐体に嵌め込まれるとともに、前記シール部材の端部が前記筐体から露出することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のガイド装置。
【請求項９】
前記請求項１乃至８のいずれか一項に記載のガイド装置を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガイド装置及びアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータ等に用いられるガイド装置は、アクチュエータのロッドやテーブル等を案内する部材である。ガイド装置は、例えば、スライド部と、レール部と、スライド部とレール部との間に配置された転動体とを有する。そして、この転動体が、スライド部とレール部との間を転動することにより、スライド部が、レール部上を円滑に移動する。
【０００３】
このようなガイド装置においては、転動体とスライド部との間の摩擦係数が出来るだけ小さい方が望ましい。これに対して、下記特許文献１には、転動体等に潤滑剤を供給する潤滑剤供給ユニットを備えたガイド装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−４１３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のガイド装置の潤滑剤供給ユニットは、潤滑剤含有部材、この潤滑剤含有部材をレール部の溝に付勢する付勢部材、これらを収納する筐体等を有している。このため、構造が複雑であり、組み立て作業が煩雑であった。また、組み立て作業を自動化することも困難であった。
【０００６】
本発明は、上述の事情の下になされたもので、構造が簡素で、組み立ての作業性を向上させることができるガイド装置及びアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るガイド装置は、
スライド部が、転動体を介して、所定の方向に移動可能に支持されたガイド装置であって、
前記所定の方向に沿って第１溝部が形成されたスライド部本体と、前記転動体が通過する転動体循環路が内部に形成された転動体収納ユニットと、を備えたスライド部と、
前記第１溝部に対向し、前記所定の方向に沿って第２溝部が形成されたレール部と、
前記第１溝部及び前記第２溝部に挟まれることにより前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動し、転動した後に前記転動体循環路を通過し、前記転動体循環路を通過した後、再び、前記第１溝部と前記第２溝部との間を転動する転動体と、
を有し、
前記転動体収納ユニットは、筐体と、前記スライド部の移動方向と直交する方向に移動可能に前記筐体に嵌め込まれたシール部材と、を有し、
前記転動体循環路の内周面には、潤滑剤を含んだ潤滑剤含有部材が配置されており、
前記筐体には、前記潤滑剤含有部材を配置するための潤滑剤含有部材配置部と、潤滑剤含有部材に潤滑剤を注入するための第１注入孔と、が形成され、
前記第１注入孔は、前記筐体の外面から前記潤滑剤含有部材配置部の内面までを貫通する直線状の孔から構成されていることを特徴とする。
前記シール部材の端部は、前記レール部の第２溝部に接触していてもよい。
【０００８】
前記ガイド装置は、
前記スライド部の前記第１溝部、前記レール部の前記第２溝部、及び前記転動体循環路は、それぞれ２つずつ形成され、
前記転動体は、前記第１溝部と前記第２溝部とに、前記所定の方向と直交する方向に挟まれてもよい。
【０００９】
前記潤滑剤含有部材は、貫通孔が形成された円筒形状に形成され、
前記転動体は、前記貫通孔を通過することとしてもよい。
【００１０】
前記転動体が移動する前記転動体循環路は、直線部と円弧部とから構成される略長円形状に形成され、
前記潤滑剤含有部材は、前記潤滑剤含有部材の前記貫通孔の貫通方向における長さが、前記転動体循環路の前記直線部の長さよりも小さく形成されていてもよい。
【００１３】
前記転動体収納ユニットは、前記シール部材を覆い、前記筐体に取り付けられる蓋体を有し、
前記蓋体には、前記転動体を円滑に転動させるためのグリスを注入するための第２注入孔が形成され、
前記筐体の前記蓋体が取り付けられる端面には、前記スライド部の前記移動方向に沿って、グリス通路が形成され、
前記第２注入孔は、前記グリス通路を介して、前記転動体循環路に通じていてもよい。
【００１４】
前記筐体及び前記蓋体のいずれか一方には、ボス部が形成され、
他方には、前記ボス部の形状に対応するように孔が形成され、
前記ボス部は、前記孔に嵌め込まれていてもよい。
前記シール部材は、前記移動方向に突出する突出部が形成されるとともに、前記突出部が形成された面の反対側の面は平面として構成された棒状の部材であり、
前記筐体には、前記突出部が嵌め込まれる窪みが形成されている溝状のシール部材配置部が形成され、
前記シール部材は、前記シール部材配置部に配置されることにより、前記直交する方向に移動可能に前記筐体に嵌め込まれるとともに、前記シール部材の端部が前記筐体から露出していてもよい。
【００１５】
本発明の第２の観点に係るアクチュエータは、
上記に記載のガイド装置を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、シール部材が筐体に嵌め込まれている。また、潤滑剤を含有した素材からなる潤滑剤供給部材が、転動体循環路に配置されている。これにより、構造が簡素で、組み立ての作業性を向上させることができる。また、ガイド装置の組み立てを自動化にすることも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２】（Ａ）は、カバーを取り外したときのアクチュエータの斜視図であり、（Ｂ）は、カバーを取り外したときのアクチュエータのＹＺ断面図である。
【図３】アクチュエータの分解断面図である。
【図４】（Ａ）は、ガイド装置の斜視図であり、（Ｂ）は、ガイド装置のＸＺ断面図である。
【図５】（Ａ）は、スライド部の斜視図であり、（Ｂ）は、スライド部の分解斜視図である。
【図６】（Ａ）は、スライド部本体の斜視図（その１）であり、（Ｂ）は、スライド部本体の斜視図（その２）であり、（Ｃ）は、スライド部本体のＸＺ断面図であり、（Ｄ）は、スライド部本体のＹＺ断面図である。
【図７】（Ａ）は、スライド部本体のＸＺ断面における部分拡大図（その１）であり、（Ｂ）スライド部本体のＸＺ断面における部分拡大図（その２）である。
【図８】（Ａ）は、リターンの斜視図であり、（Ｂ）は、リターンの分解斜視図である。
【図９】（Ａ）は、筐体の平面図であり、（Ｂ）は、筐体のＹＺ断面図である。
【図１０】（Ａ）は、筐体の拡大斜視図であり、（Ｂ）は、筐体の断面斜視図である。
【図１１】（Ａ）は、パイプの斜視図であり、（Ｂ）は、筐体のパイプ配置部に配置されたパイプのＸＹ断面図である。
【図１２】（Ａ）は、シール部材の斜視図であり、（Ｂ）は、シール部材のＸＹ断面図である。
【図１３】（Ａ）は、蓋体の斜視図であり、（Ｂ）は、蓋体のＸＺ断面図であり、（Ｃ）は、蓋体のＹＺ断面図である。
【図１４】オイルの注入を説明するためのＹＺ断面図である。
【図１５】（Ａ）は、スライド部の組み立てを説明するためのＸＺ断面図であり、（Ｂ）は、スライド部の組み立てを説明するための斜視図である。
【図１６】ボールの軌道を説明するためのＸＹ断面図である。
【図１７】（Ａ）は、レール部の斜視図であり、（Ｂ）は、レール部のＸＺ断面図である。
【図１８】（Ａ）は、レール部のＸＺ断面における部分拡大図（その１）であり、（Ｂ）レール部のＸＺ断面における部分拡大図（その２）である。
【図１９】（Ａ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その１）であり、（Ｂ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その２）であり、（Ｃ）は、ガイド装置の組み立てを説明するためのＸＺ断面図（その３）である。
【図２０】（Ａ）は、ガイド装置のＸＹ断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の部分拡大図である。
【図２１】ロッドのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。
【図２２】（Ａ）は、ボールねじのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、ボールねじ軸の先端部の斜視図であり、（Ｃ）は、ボールねじ軸の先端部のＹＺ断面図である。
【図２３】（Ａ）は、弾性部材の斜視図であり、（Ｂ）は、弾性部材のＸＺ断面図である。
【図２４】ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するための斜視図である。
【図２５】（Ａ）は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、ボールねじのガイド装置への取り付けを説明するためのＸＺ断面図である。
【図２６】（Ａ）は、ボールねじのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、モータユニットのベアリングハウジングへの取り付けを説明するためのＹＺ断面図である。
【図２７】（Ｉ）、（ＩＩ）、及び（ＩＩＩ）は、アクチュエータの動作を説明するためのＹＺ断面図である。
【図２８】（Ｉ）及び（ＩＩ）は、リターンのボールの動作を説明するためのＸＹ断面図である。
【図２９】（Ｉ）及び（ＩＩ）は、リターンのシール部材の動作を説明するためのＸＹ断面図である。
【図３０】（Ａ）は、グリスの注入を説明するためのＹＺ断面図であり、（Ｂ）は、グリスの注入を説明するためのＸＹ断面図である。
【図３１】（Ａ）は、リターンのボールの動作を説明するための比較例に係るボール潤滑路の断面図であり、（Ｂ）は、リターンのボールの動作を説明するための本実施形態に係るボール潤滑路の断面図である。
【図３２】（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係るガイド装置の斜視図であり、（Ｂ）は、本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の第１実施形態に係るガイド装置３０及びアクチュエータ１０について図１〜図３１を用いて説明する。なお、図中のＸＹ平面は水平な面であり、図中のＺ軸の方向は鉛直方向である。
【００１９】
アクチュエータ１０は、図１に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するロッド１１を有するリニアアクチュエータである。このアクチュエータ１０は、ロッド１１と、モータユニット２０と、フロントハウジング８０と、ベアリングハウジング９０と、カバー１８とを有している。
【００２０】
カバー１８は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。カバー１８には、Ｚ軸方向に貫通する貫通孔１８ａが形成されており、図２（Ａ）に示すように、ボルト１９によって、フロントハウジング８０及びベアリングハウジング９０に固定されている。
【００２１】
アクチュエータ１０は、図２（Ｂ）に示すように、ロッド１１等に加えて、ロッド１１をＹ軸方向に案内するガイド装置３０と、モータユニット２０の回転運動を直線運動に変換するボールねじ７０とを有している。
【００２２】
ロッド１１は、図３に示すように、内部に孔１１ａが形成された円筒状の部材で、例えば、ステンレス鋼からなる。ロッド１１の−Ｙ側の端部には、外周に雄ねじが形成された先端金具１２がねじ込まれることによって固定されている。また、ロッド１１の＋Ｙ側の端部の外周には、雄ねじ部１１ｂが形成されている。
【００２３】
モータユニット２０は、モータ２１と、モータ２１を収納するモータハウジング２２と、アクチュエータケーブル２４とを有する。
【００２４】
モータ２１は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸２３、ロータ、ステータ、エンコーダ、減速器等を有している。モータ２１には、アクチュエータケーブル２４を介して電源からの電力が供給される。モータ２１に電力が供給されることによって、モータ２１のロータが回転する。このロータの回転運動は、例えば、減速器によって所定の減速比で減速され、出力軸２３に出力される。また出力軸２３の先端は、カップリング（継ぎ手）として構成されている。
【００２５】
モータハウジング２２は、略直方体のケースであり、モータハウジング２２の−Ｙ側の面には、開口２２ａが形成されている。モータ２１の出力軸２３は、この開口２２ａから外部に露出している。また、開口２２ａの上側（＋Ｚ側）には、Ｚ方向に貫通するねじ孔２２ｂが形成されている。このねじ孔２２ｂには、ボルト２５が挿入される。
【００２６】
ガイド装置３０は、ロッド１１がスライド部３１に固定されることにより、ロッド１１を＋Ｙ方向及び−Ｙ方向の双方向に案内する。このガイド装置３０は、図４に示すように、スライド部３１と、レール部６０と、スライド部３１とレール部６０との間に配置されたボール５０（転動体）とを有する。このボール５０は、金属からなり、スライド部３１とレール部６０との間に複数配置されている。
【００２７】
スライド部３１は、図５に示すように、ボール５０を介して、レール部６０にＹ軸方向に移動可能に支持されている。なお、スライド部３１は、複数のボール５０のみでレール部６０に支持されている。スライド部３１は、スライド部本体３２と、スライド部本体３２の−Ｚ側の面にボルト４９で固定されたリターン４０とを有する。
【００２８】
スライド部本体３２は、図６に示すように、Ｙ方向に貫通する貫通孔３２ａが形成された略直方体の部材で、例えば、鉄等の金属からなる。貫通孔３２ａの−Ｙ側の開口近傍の内周面には、雌ねじ部３２ｂが形成されている。また、スライド部本体３２の下端には、−Ｚ方向に突出する一対の凸部３３，３４が形成されている。この凸部３３，３４は、Ｙ方向に沿って形成されており、＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には、ボール５０が転動するための溝部３３ａ，３４ａがそれぞれ形成されている。溝部３３ａ，３４ａの内面は、略湾曲面として構成されている。具体的には、図７（Ａ）に示すように、溝部３３ａ，３４ａの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部３３ａ，３４ａの内面は、図７（Ｂ）に示すように、その曲率半径Ｒ１が、ボール５０の半径Ｒ２と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。
【００２９】
また、貫通孔３２ａには、図６に示すように、リング３６が嵌め込まれている。このリング３６は、雌ねじ部３２ｂの＋Ｙ側に固定されている。また、スライド部本体３２の下面（−Ｚ側の面）には、ねじ孔３２ｃ及び一対のボス孔３２ｄが形成され、スライド部本体３２の＋Ｘ側の側面には、孔３２ｅが形成されている。
【００３０】
リターン４０は、図８に示すように、ボール５０が配置される一対のボール循環路が形成された部材である。このリターン４０は、筐体４１と、この筐体４１の上面に取り付けられる蓋体４２と、ボール５０を円滑に移動させるためのオイルを含んだパイプ５１と、シール部材５２と、を有し、リターン４０の＋Ｘ側の面及び−Ｘ側の面には凹部４５，４６が形成されている。
【００３１】
筐体４１は、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成されている。筐体４１には、図９に示すように、一対のボール循環路４３，４４が形成されている。このボール循環路４３，４４は、ボール５０が移動するための通路で、ストレート通路部４３ａ，４４ａとカーブ通路部４３ｂ，４４ｂとから構成されている。ボール循環路４３，４４は、その断面形状がボール５０の直径と同等の直径の円形になるように形成されている。また、ストレート通路部４３ａ，４４ａには、パイプ５１を配置するためのパイプ配置部５３がそれぞれ形成されている。このパイプ配置部５３は、その断面がＵ字形状になるように形成されている。
【００３２】
また、筐体４１の上面（＋Ｚ側の面）には、＋Ｚ方向に突出した円筒形状の一対のボス部４７が形成されている。このボス部４７は、その径が、スライド部本体３２のボス孔３２ｄの径と同等になるように形成されている。
【００３３】
また、筐体４１には、Ｚ方向に貫通する貫通孔４１ａが４つ形成されている。この貫通孔４１ａには、ボルト４９が挿入される。また、筐体４１の上面（＋Ｚ側の面）には、複数の窪み４１ｂが形成されている。この窪み４１ｂの形状は任意であり、筐体４１の射出成形時の引けの発生を抑制するために、窪み４１ｂは形成される。また、筐体４１の＋Ｙ側の端部及び−Ｙ側の端部には、シール部材５２を配置するためのシール部材配置部５４がそれぞれ形成されている。
【００３４】
また、図１０（Ａ）に示すように、筐体４１の上面（＋Ｚ側の面）には、グリスを注入したときにグリスが流れるグリス通路４１ｃがＹ軸方向に沿って形成されている。また、図１０（Ｂ）に示すように、筐体４１には、オイル注入孔５６が形成されている。
【００３５】
パイプ５１は、図１１（Ａ）に示すように、例えば、ポリマー樹脂を熱硬化させることによりで円筒状に形成した部材であり、筐体４１に形成されたパイプ配置部５３に嵌め込まれる。このパイプ５１は、ボール５０がボール循環路３３，３４を移動するときに生じる摩擦を軽減するためのオイルを含有している。これにより、図１１（Ｂ）に示すように、ボール５０がパイプ５１の孔５１ａを通過すると、ボール５０にオイルが付着する。また、パイプ５１は、そのＹ軸方向における長さＨ１が、ボール循環路４３，４４のストレート通路部４３ａ，４４ａのＹ軸方向における長さＨ２よりも小さくなるように形成されている。
【００３６】
シール部材５２は、図１２に示すように、＋Ｘ側の端部及び−Ｘ側の端部それぞれにリップ部５２ａが形成され、このリップ部５２ａにより、レール部６０の溝に付着した付着物等がボール循環路４３，４４に進入することを防ぐ部材である。このシール部材５２は、例えば、ニトリルゴムからなり、筐体４１のシール部材配置部５４に配置される。また、シール部材５２には、突出部５２ｂが形成されており、筐体４１のシール部材配置部５４に配置されると、シール部材５２の突出部５２ｂが、シール部材配置部５４に形成された窪み５４ａに嵌め込まれる。なお、嵌め込まれたシール部材５２は、シール部材配置部５４に対して、Ｘ軸方向に移動可能に配置される。また、突出部５２ｂが形成された面の反対側の面は、ＸＺ平面に対して水平な平面として構成されている。
【００３７】
蓋体４２は、筐体４１と同様に、例えば、ポリアセタール樹脂を射出成形することによって形成されている。この蓋体４２には、図１３に示すように、Ｚ方向に貫通する一対のボス孔４２ａが形成されている。ボス孔４２ａには、筐体４１のボス部４７が挿入される。また、蓋体４２には、Ｚ方向に貫通する貫通孔４２ｂが４つ形成されている。貫通孔４２ｂには、筐体４１の貫通孔４１ａとともに、ボルト４９が挿入される。また、蓋体４２には、グリスを注入するためのグリス注入孔４８が形成されている。グリス注入孔４８は、筐体４１に形成されたグリス通路４１ｃを介して、ボール循環路４３，４４に通じている。また、蓋体４２の下面（−Ｚ側の面）には、パイプ５１を配置するためのパイプ配置部５５が形成されている。
【００３８】
リターン４０を組み立てる場合は、先ず、オイルが含有されていないパイプ５１が、筐体４１のパイプ配置部５３に配置される。次に、シール部材５２が、筐体４１のシール部材配置部５４に配置される。そして、筐体４１のボス部４７を、蓋体４２のボス孔４２ａに嵌め込むことにより、蓋体４２は、筐体４１に取り付けられる。
【００３９】
次に、パイプ５１にオイルを含有させる。詳しくは、図１４に示すように、リターン４０の下側（−Ｚ側）から、オイル注入孔５６を介して、パイプ配置部５３にオイルを注入する。これにより、パイプ配置部５３に配置されているパイプが、オイルを含有させる。以上により、リターン４０の組み立てが完了する。
【００４０】
次に、スライド部３１の組み立て方法について、図１５を参照して説明する。
【００４１】
先ず、図１５（Ａ）に示すように、スライド部本体３２の凸部３３，３４が、リターン４０の凹部４５，４６に嵌め込まれる。このとき、リターン４０の筐体４１のボス部４７も、スライド部本体３２のボス孔３２ｄに嵌め込まれる。ボス部４７がボス孔３２ｄに嵌め込まれることにより、図１５（Ｂ）を参照するとわかるように、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃと、リターン４０の蓋体４２の貫通孔４２ｂと、リターン４０の筐体４１の貫通孔４１ａとが同軸上に配置される。
【００４２】
次に、図１５（Ｂ）に示すように、ボルト４９が、貫通孔４１ａと貫通孔４２ｂとを介して、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃにねじ込まれる。ボルト４９がねじ込まれることにより、リターン４０は、スライド部本体３２に固定される。
【００４３】
リターン４０がスライド部本体３２に固定されることにより、図１６に示すように、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４３と、スライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａとが、ボール５０の軌道Ｔ１に沿って配置される。同様に、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４４と、スライド部本体３２の凸部３４に形成された溝部３４ａとが、ボール５０の軌道Ｔ２に沿って配置される。これら軌道Ｔ１，Ｔ２は、ストレート部分とカーブ部分とを有する長円形状に形成される。これにより、スライド部３１の組み立てが、完了する。
【００４４】
ボール５０は、リターン４０の筐体４１に形成されたボール循環路４３，４４や、スライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａ、凸部３４に形成された溝部３４ａ等に配置される。これにより、ボール５０は、図１６に示す軌道Ｔ１，Ｔ２に沿って配置される。
【００４５】
レール部６０は、図１７に示すように、Ｙ軸方向を長手方向とする板状のベース６１と、このベース６１の＋Ｘ側及び−Ｘ側に形成された側壁６２，６３とを有する。レール部６０は、例えば、アルミニウムを押出成形することによって形成される。ベース６１には、Ｚ方向に貫通する複数の貫通孔６１ａが形成されている。また、側壁６２の−Ｘ側の面及び側壁６３の＋Ｘ側の面には、凹部６２ａ，６３ａがそれぞれ形成されている。この凹部６２ａ，６３ａには、Ｙ軸方向を長手方向とする略直方体に形成された鋼製部材６４，６５が取り付けられている。鋼製部材６４の−Ｘ側の面及び鋼製部材６５の＋Ｘ側の面には、溝部６４ａ，６５ａがそれぞれ形成されている。溝部６４ａ，６５ａの内面は、湾曲面として構成されている。具体的には、図１８（Ａ）に示すように、溝部６４ａ，６５ａの内面は、二つの円弧部からなるゴシックアーチ形状に形成されている。しかしながら、これに限らず、溝部６４ａ，６５ａの内面は、図１８（Ｂ）に示すように、その曲率半径Ｒ３が、ボール５０の半径Ｒ２と同等となる湾曲面に形成されていてもよい。また、この溝部６４ａと６５ａとの間の距離は、リターン４０のシール部材５２のＸ軸方向における長さと同等である。
【００４６】
レール部６０には、図１９に示すように、複数のボール５０を介して、スライド部３１が取り付けられる。レール部６０にスライド部３１が取り付けられると、レール部６０の鋼製部材６４の溝部６４ａと、スライド部３１のスライド部本体３２の凸部３３に形成された溝部３３ａとにボール５０が挟まれる。同様に、レール部６０の鋼製部材６５の溝部６５ａと、スライド部３１のスライド部本体３２の凸部３４に形成された溝部３４ａとにボール５０が挟まれる。溝部６４ａと溝部３３ａとの間にボール５０が挟まれるとともに、溝部６５ａと溝部３４ａとの間にボール５０が挟まれることにより、スライド部３１は、ボール５０のみでレール部６０に支持される。また、レール部６０に対して、Ｙ軸方向に移動可能になる。
【００４７】
また、レール部６０にスライド部３１が取り付けられると、図２０に示すように、リターン４０のシール部材５２の両端のリップ部５２ａが、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝６４ａ，６５ａに接触する。
【００４８】
ガイド装置３０は、レール部６０にスライド部３１が取り付けられることによって完成する。そして、スライド部３１のスライド部本体３２の貫通孔３２ａには、図２１に示すように、ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入される。ロッド１１の＋Ｙ側の端部が挿入されると、貫通孔３２ａに形成された雌ねじ部３２ｂに、ロッド１１の＋Ｙ側の端部に形成された雄ねじ部１１ｂが螺合する。これにより、ロッド１１は、ガイド装置３０のスライド部３１に固定される。
【００４９】
ボールねじ７０は、図２２に示すように、ボールねじ軸７１と、ボールねじナット７２と、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部に取り付けられた弾性部材１１０とを有する。
【００５０】
ボールねじ軸７１は、外周面が螺旋状のボールねじ面として構成されたボールねじ軸本体７１ａと、ボールねじ軸本体７１ａの＋Ｙ側の端部及び−Ｙ側の端部それぞれに形成された小径部７１ｂ，７１ｃとから構成される。小径部７１ｂ，７１ｃは、その径がボールねじ軸本体７１ａの径よりも小さくなるように形成されている。また、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃには、弾性部材１１０が嵌め込まれて、抜け止め部材１１２によって、抜け止めされている。これにより、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１に回転可能に取り付けられる。
【００５１】
ボールねじナット７２は、ボールねじ軸７１のボールねじ軸本体７１ａの外周に配置されている。ボールねじナット７２の内周面にはボールねじ部が形成されている。このボールねじナット７２が、ボールねじ軸７１に剛性の球体を介して嵌め込まれる。これにより、ボールねじ軸７１の回転運動が、ボールねじナット７２の直線運動に変換される。
【００５２】
また、ボールねじ軸７１の小径部７１ｂは、カップリング（継ぎ手）として構成されている。この小径部７１ｂが、カップリングとして構成されたモータユニット２０の出力軸２３に、出力軸２３の回転とともに回転するように接続される。これにより、出力軸２３の回転運動がボールねじ軸７１に伝達される。
【００５３】
弾性部材１１０は、例えば、樹脂からなり、図２３に示すように、中央に貫通孔１１０ａが形成されたリング形状に形成されている。また、この弾性部材１１０は、その外径が、ロッド１１の孔１１ａの内径とほぼ同等となるように形成されている。具体的には、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃを、ロッド１１の孔１１ａに挿入した場合に、弾性部材１１０の外周が、孔１１ａの内周面に接触するように形成されている。
【００５４】
この弾性部材１１０が取り付けられることにより、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部は、この弾性部材１１０によって、ロッド１１の孔１１ａの内周面に支持される。これにより、ボールねじ軸７１の先端部の振れの発生を抑制することができる。すなわち、弾性部材１１０は、ボールねじ軸７１の小径部７１ｃの振れを抑える振れ止め部材として構成されている。
【００５５】
また、弾性部材１１０には、Ｙ軸を中心とした円周上に沿って等間隔に形成された複数の溝１１１が形成されている。本実施形態のおいては、溝１１１は、８つ形成されている。この溝１１１が形成されることにより、ロッド１１の孔１１ａと、弾性部材１１０の−Ｙ側の面とによって規定された空間の、ロッド１１の移動に伴って生じる内圧の変化を防ぐことができる。
【００５６】
ボールねじ７０は、図２４に示すように、ガイド装置３０に固定される。具体的には、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、スライド部本体３２の貫通孔３２ａに＋Ｙ側から挿入され、これにより、ボールねじナット７２が、貫通孔３２ａ内に配置される。そして、スライド部本体３２の孔３２ｅに挿入された一対のボルト７４をねじ込むことによって、ボールねじ７０は、ガイド装置３０に固定される。
【００５７】
また、ボールねじ７０が、ガイド装置３０に固定されると、図２５に示すように、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の小径部７１ｃは、ロッド１１の孔１１ａ内まで移動する。このとき、弾性部材１１０の外周が、ロッド１１の孔１１ａの内周面に接触する。これにより、ボールねじ軸７１の−Ｙ側の端部が、この弾性部材１１０によって支持される。
【００５８】
フロントハウジング８０は、図３に示すように、ガイド装置３０の−Ｙ側に、ボルト８１によって固定されている。フロントハウジング８０は、例えば、ダイカストにより形成されている。また、フロントハウジング８０には、ロッド１１を通すための貫通孔８０ａが形成されており、この貫通孔８０ａの内周面には、オイルレスベアリング８２が配置されている。オイルレスベアリング８２は、ロッド１１をＹ軸方向に移動可能に支持する。また、フロントハウジング８０は、＋Ｙ方向に突出する突出部８３が形成されており、この突出部８３の上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔は、カバー１８を固定するために用いられる。突出部８３のねじ孔には、カバー１８に形成された貫通孔１８ａを介して、ボルト１９が挿入される。
【００５９】
ベアリングハウジング９０は、図３に示すように、ガイド装置３０の＋Ｙ側に、ボルト９１によって固定されている。ベアリングハウジング９０は、フロントハウジング８０と同様に、ダイカストにより形成されている。また、ベアリングハウジング９０は、ボールねじ軸７１を挿入するための貫通孔９０ａが形成されており、この貫通孔９０ａの内周面には、ベアリング９２が配置されている。ベアリング９２は、貫通孔９０ａの＋Ｙ側から嵌め込まれ、ベアリング押さえ９２ａによって固定されている。このベアリング９２によって、ボールねじ軸７１は回転可能に支持される。
【００６０】
また、ベアリングハウジング９０には、−Ｙ方向に突出する突出部９３が形成されており、この突出部９３の上面（＋Ｚ側の面）には、ねじ孔が形成されている。このねじ孔には、カバー１８に形成された貫通孔１８ａを介して、ボルト１９が挿入される。また、突出部９３の−Ｙ側の面には、＋Ｙ方向に移動してきたスライド部３１に接触し、スライド部３１からの衝撃を吸収する衝撃吸収部材９４が配置されている。衝撃吸収部材９４は、弾性の素材からなり、衝撃吸収部材９４の素材には、任意の樹脂が用いられる。また、ベアリングハウジング９０には、＋Ｙ方向に突出する突出部９５が形成されている。
【００６１】
ベアリングハウジング９０には、図２６（Ａ）に示すように、ボールねじ軸７１の小径部７１ｂが挿入される。これにより、ボールねじ７０は、ベアリングハウジング９０に回転可能に支持される。また、ベアリングハウジング９０の突出部９５は、モータユニット２０のモータハウジング２２の開口２２ａに嵌め込まれる。このとき、カップリングとして構成されたボールねじ軸７１の小径部７１ｂが、カップリングとして構成された出力軸２３に、出力軸２３の回転とともに回転するように接続される。これにより、モータ２１内で生じた回転運動が、ボールねじ軸７１に伝達される。そして、図２６（Ｂ）に示すように、モータハウジング２２に形成されたねじ孔２２ｂには、ボルト２５がねじ込まれる。これにより、ボルト２５の下端が、ベアリングハウジング９０の突出部９５の上面（＋Ｚ側の面）に押し付けられるため、モータユニット２０は、ベアリングハウジング９０に対して固定される。
【００６２】
上述のように構成されたアクチュエータ１０の動作について、図２７〜図２９を用いて説明する。
【００６３】
先ず、モータユニット２０のモータ２１に電源が供給されることによって、図２７（Ｉ）に示すように、モータ２１の出力軸２３が所定の方向に回転する。出力軸２３が所定の方向に回転すると、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１が、出力軸２３とともに回転する。
【００６４】
ボールねじ軸７１が回転すると、図２７（ＩＩ）に示すように、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、例えば、−Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、−Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに−Ｙ方向に移動をする。
【００６５】
このとき、図２８（Ｉ）に示すように、レール部６０の鋼製部材６４の溝部６４ａと、スライド部本体３２の凸部３３の溝部３３ａと間に配置されたボール５０は、溝部６４ａ及び溝部３３ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部６４ａと溝部３３ａとの間から、リターン４０に形成されたボール循環路４３に移動する。ボール循環路４３に移動したボール５０は、ボール循環路４３のカーブ通路部４３ｂ、ストレート通路部４３ａを通過し、再び、ボール循環路４３から、溝部６４ａと溝部３３ａとの間に移動する。そして、ボール５０は、溝部６４ａ及び溝部３３ａに転がり接触しながら転動する。
【００６６】
同様に、レール部６０の鋼製部材６５の溝部６５ａと、スライド部本体３２の凸部３４の溝部３４ａと間に配置されたボール５０は、溝部６５ａ及び溝部３４ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、＋Ｙ方向に移動していき、溝部６５ａと溝部３４ａとの間から、リターン４０に形成されたボール循環路４４に移動する。ボール循環路４４に移動したボール５０は、ボール循環路４３のカーブ通路部４３ｂ、ストレート通路部４３ａを通過し、再び、ボール循環路４４から、溝部６５ａと溝部３４ａとの間に移動する。そして、ボール５０は、溝部６５ａ及び溝部３４ａに転がり接触しながら転動する。
【００６７】
ボール５０が、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動することにより、スライド部３１は、レール部６０に案内されつつ、−Ｙ方向に移動する。
【００６８】
スライド部３１が−Ｙ方向に移動すると、図２９（Ｉ）に示すように、筐体４１の−Ｙ側の端部近傍に配置されたシール部材５２のリップ部５２ａが、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａに接触しながら、シール部材５２も−Ｙ方向に移動する。このとき、嵌め込まれたシール部材５２がＸ軸方向に移動可能に配置されているため、シール部材５２は、リップ部５２ａが溝部６４ａ，６５ａに接触するように、Ｘ軸方向における位置を調整しながら移動する。これにより、鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａの表面に付着したごみ、ほこりのボール循環路４３，４４への進入を防ぐ。
【００６９】
ガイド装置３０のスライド部３１が−Ｙ方向に移動をすると、図２７（ＩＩ）に示すように、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに−Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が−Ｙ方向に移動する。
【００７０】
以上により、ロッド１１及び先端金具１２の−Ｙ方向への移動が完了する。
【００７１】
次に、モータユニット２０の出力軸２３が所定の方向とは逆方向に回転すると、図２７（ＩＩＩ）に示すように、出力軸２３に接続されているボールねじ軸７１は、出力軸２３とともに回転する。
【００７２】
ボールねじ軸７１が回転すると、ボールねじ軸７１の回転運動に伴って、ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に直線運動をする。ボールねじナット７２が、＋Ｙ方向に移動すると、ボールねじナット７２に固定されているガイド装置３０のスライド部３１も、ボールねじナット７２とともに＋Ｙ方向に移動をする。
【００７３】
このとき、図２８（ＩＩ）に示すように、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａと、スライド部本体３２の凸部３３，３４の溝部３３ａ，３４ａと間に配置されたボール５０は、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動する。ボール５０は、−Ｙ方向に移動していき、やがて、リターン４０に形成されたボール循環路４３，４４に移動する。ボール循環路４３，４４に移動したボール５０は、ボール循環路４３，４４のカーブ通路部４３ｂ，４４ｂ、ストレート通路部４３ａ，４４ａを通過し、再び、溝部６４ａ，６５ａと溝部３３ａ，３４ａとの間に移動する。溝部６４ａ，６５ａと溝部３３ａ，３４ａとの間に移動したボール５０は、転がり接触しながら転動する。
【００７４】
ボール５０が、溝部６４ａ，６５ａ及び溝部３３ａ，３４ａに転がり接触しながら転動することにより、スライド部３１は、レール部６０に案内されつつ、＋Ｙ方向に移動する。
【００７５】
スライド部３１が＋Ｙ方向に移動すると、図２９（ＩＩ）に示すように、筐体４１の＋Ｙ側の端部近傍に配置されたシール部材５２のリップ部５２ａが、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａに接触しながら、シール部材５２も＋Ｙ方向に移動する。このとき、シール部材５２はリップ部５２ａが溝部６４ａ，６５ａに接触するように、Ｘ軸方向における位置を調整しながら移動する。そして、シール部材５２は、空気中に含まれるちり、ほこりのボール循環路４３，４４への進入を防ぐ。
【００７６】
ガイド装置３０のスライド部３１が＋Ｙ方向に移動をすると、図２７（ＩＩＩ）に示すように、スライド部３１に固定されているロッド１１も、スライド部３１とともに＋Ｙ方向に移動する。これにより、ロッド１１の先端に取り付けられた先端金具１２が＋Ｙ方向に移動する。
【００７７】
以上により、ロッド１１及び先端金具１２の＋Ｙ方向への移動が完了し、ロッド１１及び先端金具１２は、初期位置まで戻る。
【００７８】
次に、ガイド装置３０へのグリスの注入方法ついて、図３０を用いて説明する。
【００７９】
ガイド装置３０にグリスを注入する場合には、ガイド装置３０のユーザーは、図３０（Ａ）に示すように、先ず、リターン４０の蓋体４２に形成されたグリス注入孔４８に、＋Ｚ側からグリスを注入する。グリスの注入には、例えば、注射器等が用いられる。グリス注入孔４８からグリスが注入されると、グリス注入孔４８の−Ｚ側には、グリス通路４１ｃが形成されているため、グリス注入孔４８を通過したグリスは、グリス通路４１ｃに移動する。そして、グリスは、グリス通路４１をＹ軸方向に移動する。グリス通路４１をＹ軸方向に移動したグリスは、図３０（Ｂ）に示すように、ボール循環路４３，４４に流出する。これにより、ボール循環路４３，４４に配置されているボール５０にグリスが付着する。
【００８０】
以上、説明したように、本実施形態に係るガイド装置３０によれば、オイルが含有された素材からなるパイプ５１が、筐体４１のボール循環路４３，４４に配置されている。これにより、ガイド装置３０の構造を簡素にでき、組み立ての作業性を向上させることができる。
【００８１】
例えば、このようなパイプ５１を有さないガイド装置の場合、潤滑剤供給ユニットを別途用意しなければならず、この潤滑剤供給ユニットをスライド部に取り付ける作業も必要になる。また、潤滑剤供給ユニットは、パイプ５１に比べて、部品点数が多くなるおそれがあり、これに伴い、ガイド装置の構造も複雑になるおそれがある。
【００８２】
これに対し、本実施形態によれば、パイプ５１が、筐体４１のボール循環路４３，４４に配置されているため、ガイド装置３０の構造を簡素にでき、組み立ての作業性を向上させることができ、ひいては、ガイド装置３０の組み立てを自動化にすることも可能になる。
【００８３】
また、パイプ５１は、そのＹ軸方向における長さＨ１が、ボール循環路４３，４４のストレート通路部４３ａ，４４ａのＹ軸方向における長さＨ２よりも小さくなるように形成されている。これにより、ボール５０は、レール部６０の鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａと、スライド部本体３２の凸部３３，３４の溝部３３ａ，３４ａと間をより円滑に転動できる。
【００８４】
例えば、図３１（Ａ）に示すように、長さＨ１と長さＨ２とが同等の場合は、パイプ５１に入る直前のボール５０の進行方向の角度と、パイプ５１に入った直後のボール５０の進行方向の角度とに差がある。これにより、ボール５０がパイプ５１に入るときに、ボール５０が、パイプ５１の端部に接触しやすくなり、パイプ５１に対するボール５０の円滑な進入の妨げになるおそれがある。
【００８５】
これに対し、本実施形態に係るパイプ５１は、図３１（Ｂ）に示すように、長さＨ１が、ストレート通路部４３ａ，４４ａの長さＨ２よりも小さくなるように形成されているため、パイプ５１に入る直前のボール５０の進行方向の角度と、パイプ５１に入った直後のボール５０の進行方向の角度とが同等になる。これにより、ボール５０がパイプ５１に入るときに、ボール５０が、パイプ５１の端部に接触しにくくなり、このため、ボール５０はパイプ５１に円滑に進入することができる。
【００８６】
また、本実施形態に係るガイド装置３０においては、シール部材５２が、筐体４１のシール部材配置部５４にＸ軸方向に移動可能に嵌め込まれている。このため、シール部材５２は、リップ部５２ａが溝部６４ａ，６５ａに接触するように、Ｘ軸方向における位置を調整しながら移動する。これにより、鋼製部材６４，６５の溝部６４ａ，６５ａの表面に付着したごみ、ほこりのボール循環路４３，４４への進入を防ぐ。
【００８７】
また、シール部材５２は、筐体４１のシール部材配置部５４に嵌め込まれているため、シール部材５２を接着するための接着剤等を必要とせず、ガイド装置３０の組み立ての作業性を向上させることができる。また、製造コストを抑えることもできる。
【００８８】
また、シール部材５２には、シール部材配置部５４に形成された窪み５４ａに嵌め込まれる突出部５２ｂが形成されている。これにより、誤ってシール部材５２をＹ軸方向に反対に嵌め込むことがなくなる。このため、ガイド装置３０の組み立ての作業性を向上させることができ、また、製造コストを抑えることもできる。
【００８９】
また、リターン４０の筐体４１にはボス部４７が形成されているとともに、蓋体４２には貫通孔４２ａが形成されている。このボス孔３２ｄにボス部４７が嵌め込まれることにより、スライド部本体３２のねじ孔３２ｃ、リターン４０の蓋体４２の貫通孔４２ｂ、リターン４０の筐体４１の貫通孔４１ａの３つの孔が同軸上に配置される。このため、これらのねじ孔３２ｃ、貫通孔４２ｂ、貫通孔４１ａにボルト４９が挿入しやすくなり、ひいては、ガイド装置３０の組み立ての作業性を向上させることができる。また、ねじ孔３２ｃ、貫通孔４２ｂ、貫通孔４１ａを同軸に配置させるための位置決めピン等を別途形成する必要がなくなる。
【００９０】
また、リターン４０の蓋体４２には、グリス注入孔４８が形成されているとともに、筐体４１には、グリス注入孔４８が形成されている。これにより、ガイド装置３０からリターン４０を取り外して、蓋体４２を開けなくとも、容易にグリスを注入することができる。
【００９１】
また、リターン４０の筐体４１の下面には、オイル注入孔５６が形成されている。これにより、オイルが含有されていないパイプ５１を用いて、ガイド装置３０を組み立てた後に、このオイル注入孔５６を介して、パイプ５１にオイルを含有させることができる。例えば、オイル注入孔５６が形成されていない場合には、すでにオイルが含有されているパイプ５１を用いて、ガイド装置３０を組み立てなければならないため、パイプ５１の取り扱いが難しく、組み立て作業が難しくなる。これに対して、本実施形態においては、ガイド装置３０の組み立て時には、オイルが含有されていないパイプ５１を用いることができるため、パイプ５１の取り扱いが容易になり、この結果、ガイド装置３０の組み立ての作業性を向上させることができる。
【００９２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。
【００９３】
例えば、本第１実施形態のアクチュエータは、ガイド装置３０のスライド部３１にロッド１１が固定されたロッド式のアクチュエータとして構成されている。しかしながら、これに限られない。図３２に示すように、Ｙ軸方向に往復運動するテーブル１３０を備えるアクチュエータ１０Ａとして構成してもよい。この場合、ガイド装置３０Ａのスライド部３１の＋Ｚ側の面には、テーブルを固定するための取付孔１３１を形成して、この取付孔１３１を介して、テーブル１３０を取り付けることができる。
【００９４】
また、本第１実施形態のアクチュエータは、図１〜図３１に示すように、ロッドタイプのアクチュエータとして、本第２実施形態のアクチュエータは、図３２に示すように、テーブルタイプのアクチュエータとして構成されているが、これに限らず、これ以外のアクチュエータにも適することが可能である。
【００９５】
また、本実施形態においては、パイプ５１は円筒形状に形成されているが、これに限らず、半円形状にしてもよいし、板状のものをボール循環路４３，４４の内周面に貼り付けてもよい。
【００９６】
また、ガイド装置３０のスライド部３１とリターン４０との間には、複数のボール５０が配置されているが、これに限らず、ころ（ローラ）を配置してもよい。
【００９７】
また、レール部６０の鋼製部材６４，６５には、溝部６４ａ，６５ｂが形成されているが、レール部６０の側壁６２，６３に直接溝部を形成してもよい。
【００９８】
また、本実施形態においては、オイルが含有されていないパイプ５１を用いて、ガイド装置３０を組み立てた後に、このオイル注入孔５６を介して、パイプ５１にオイルを含有させているが、すでにオイルが含有されたパイプ５１を用いて、ガイド装置３０を組み立ててもよい。
【００９９】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１００】
１０、１０Ａ  アクチュエータ
１１  ロッド（作業軸）
１１ａ  孔
１１ｂ  雄ねじ部
１２  先端金具
１８  カバー
１８ａ  貫通孔
１９  ボルト
２０  モータユニット
２１  モータ
２２  モータハウジング
２２ａ  開口
２２ｂ  ねじ孔
２３  出力軸（回転軸）
２４  アクチュエータケーブル
２５  ボルト
３０、３０Ａ  ガイド装置
３１  スライド部
３２  スライド部本体
３２ａ  貫通孔
３２ｂ  雌ねじ部
３２ｃ  ねじ孔
３２ｄ  ボス孔
３２ｅ  孔
３３、３４  凸部
３３ａ、３４ａ  溝部（第１溝部）
３６  リング
４０  リターン（転動体収納ユニット）
４１  筐体
４１ａ  貫通孔
４１ｂ  窪み
４１ｃ  グリス通路
４２  蓋体
４２ａ  ボス孔
４２ｂ  貫通孔
４３、４４  ボール循環路
４３ａ、４４ａ  ストレート通路部
４３ｂ、４４ｂ  カーブ通路部
４５、４６  凹部
４７  ボス部
４８  グリス注入孔（第２注入孔）
４９  ボルト
５０  ボール（転動体）
５１  パイプ（潤滑剤含有部材）
５２  シール部材
５２ａ  リップ部
５２ｂ  突出部
５２ｃ  平面
５３、５５  パイプ配置部
５４  シール部材配置部
５４ａ  窪み
５６  オイル注入孔（第１注入孔）
６０  レール部
６１  ベース
６１ａ  貫通孔
６２、６３  側壁
６２ａ、６３ａ  凹部
６４、６５  鋼製部材
６４ａ、６５ａ  溝部（第２溝部）
７０  ボールねじ
７１  ボールねじ軸
７１ａ  ボールねじ軸本体
７１ｂ、７１ｃ  小径部
７２  ボールねじナット
７４  ボルト
８０  フロントハウジング
８０ａ  貫通孔
８１  ボルト
８２  Ｏリング
８３  突出部
９０  ベアリングハウジング
９０ａ  貫通孔
９１  ボルト
９２  ベアリング
９２ａ  ベアリング押さえ
９３、９５  突出部
９４  衝撃吸収部材
１１０  弾性部材
１１０ａ  貫通孔
１１１  溝
１１２  抜け止め部材
１２０  作業台
１２０ａ  貫通孔
１２１  ボルト
１３０  テーブル
１３１  取付孔
Ｔ１、Ｔ２  軌道
Ｒ１、Ｒ３  曲率半径
Ｒ２  半径
【図１】
0005869790.tif 000002
【図２】
0005869790.tif 000003
【図３】
0005869790.tif 000004
【図４】
0005869790.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005869790.tif 000007
【図７】
0005869790.tif 000008
【図８】
0005869790.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0005869790.tif 000011
【図１１】
0005869790.tif 000012
【図１２】
0005869790.tif 000013
【図１３】
0005869790.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0005869790.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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