【事件の表示】
　特許第５９５９１８０号発明「照明光学装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５９５９１８０号の明細書、特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書、特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−１１〕について訂正することを認める。
　特許第５９５９１８０号の請求項１ないし２、４ないし５、７ないし１１に係る特許を維持する。
　特許第５９５９１８０号の請求項３及び６に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第５９５９１８０号の請求項１〜１１に係る特許（以下、「本件特許」という。）についての出願は、平成２３年１１月１６日（優先権主張　平成２２年１１月１６日）に特許出願され、平成２８年７月１日に特許権の設定登録がされ、同年８月２日に特許掲載公報が発行され、その後、その特許について、平成２９年２年２日に特許異議申立人カール　ツァイス　ミクロスコピー　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツングにより特許異議の申立てがなされ、同年６月２３日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年８月２８日に意見書の提出及び訂正請求がなされ、同年１１月１７日に特許異議申立人から意見書が提出されたものである。 
２．訂正の適否についての判断  
（１）訂正の内容  
　平成２９年８月２８日になされた訂正請求による訂正（以下、当該訂正請求を「本件訂正請求」といい、本件訂正請求による訂正を「本件訂正」という。）は、本件特許の特許請求の範囲及び明細書についての、請求項１〜１１からなる一群の請求項に係る訂正であって、訂正事項１ないし１１からなり、その内容は次のアないしサのとおりである（下線は、合議体において、本件訂正前後の対応箇所を表すものとして付与した。）。
ア　訂正事項１  
　特許請求の範囲の請求項１に「該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、」とあるのを、「該波面変調素子
を透過し
イ　訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２に「該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、」とあるのを、「該波面変調素子
を透過し
ウ　訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３を削除する。
エ　訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項４に「前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置。」とあるのを、「前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、
前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
オ　訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項５に「前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置。」とあるのを、「前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、
前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
カ　訂正事項６
　特許請求の範囲の請求項６を削除する。
キ　訂正事項７
　特許請求の範囲の請求項７に「請求項１から請求項６のいずれかに記載の照明光学装置。」とあるのを、「請求項１
、請求項２、請求項４および請求項５
ク　訂正事項８
　特許請求の範囲の請求項８に「請求項１から請求項７のいずれかに記載の照明光学装置。」とあるのを、「請求項１
、請求項２、請求項４、請求項５および
ケ　訂正事項９
　特許請求の範囲の請求項９に「請求項１から請求項７のいずれかに記載の照明光学装置。」とあるのを、「請求項１
、請求項２、請求項４、請求項５および
コ　訂正事項１０
　特許請求の範囲の請求項１０に「請求項１から請求項７のいずれかに記載の照明光学装置。」とあるのを、「請求項１
、請求項２、請求項４、請求項５および
サ　訂正事項１１
　本件特許明細書の段落【０００５】を「上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
　本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置を提供する。
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記逆フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置を提供する。
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、該対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置を提供する。
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置を提供する。
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記逆フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置を提供する。
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記フーリエ変換光学系において、該対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置を提供する。」と記載されているのを、「上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
　本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子
を透過し
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と該波面変調素子
を透過し
。
　
ま
前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記逆フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、
前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
。
（２）訂正の目的の適否、一群の請求項、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
ア　訂正事項１について 
（ア）　上記訂正事項１に係る訂正は、訂正前の請求項１の「フーリエ変換光学系」が「集光しフーリエ変換を施す」「該波面変調素子から射出された照明光」について、「該波面変調素子を透過した」ものに限定するものであるから、上記訂正事項１に係る訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。訂正後の請求項１の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても同様である。 
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項１に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。また、上記訂正事項１に係る訂正は、訂正後の請求項１の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）　上記訂正事項１に関し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３２】には、「波面変調素子４は、例えば、液晶素子からなり、レーザ光の光束を透過させる際に、・・・これにより、波面変調素子４を透過するレーザ光の波面は、液晶素子に発生させたホログラムの位相パターンに従って変調させられるようになっている。」と記載され、段落【００３３】には、「フーリエ変換光学系５は、波面変調素子４により波面が変調されたレーザ光を集光してその焦点面において、レーザ光の光束にフーリエ変換を施すようになっている。」と記載されていることから、「フーリエ変換光学系」が、「該波面変調素子を透過した」「照明光を集光しフーリエ変換を施す」ことは、本件特許明細書に記載されているものと認められる。
　よって、上記訂正事項１は、新規事項の追加に該当しない。
イ　訂正事項２について 
（ア）　上記訂正事項２に係る訂正は、訂正前の請求項２の「フーリエ変換光学系」が「集光しフーリエ変換を施す」「該波面変調素子から射出された照明光」について、「該波面変調素子を透過した」ものに限定するものであるから、上記訂正事項２に係る訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。訂正後の請求項２の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても同様である。 
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項２に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。また、上記訂正事項２に係る訂正は、訂正後の請求項２の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）　上記訂正事項２に関し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３２】には、「波面変調素子４は、例えば、液晶素子からなり、レーザ光の光束を透過させる際に、・・・これにより、波面変調素子４を透過するレーザ光の波面は、液晶素子に発生させたホログラムの位相パターンに従って変調させられるようになっている。」と記載され、段落【００３３】には、「フーリエ変換光学系５は、波面変調素子４により波面が変調されたレーザ光を集光してその焦点面において、レーザ光の光束にフーリエ変換を施すようになっている。」と記載されていることから、「フーリエ変換光学系」が、「該波面変調素子を透過した」「照明光を集光しフーリエ変換を施す」ことは、本件特許明細書に記載されているものと認められる。
　よって、上記訂正事項２は、新規事項の追加に該当しない。
ウ　訂正事項３について
（ア）　上記訂正事項３に係る訂正は、請求項３を削除するものである。
　したがって、上記訂正事項３は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、新規事項の追加に該当しない。
エ　訂正事項４について
（ア）　上記訂正事項４に係る訂正は、「波面変調素子」が、集光補正機構として、対物光学系による集光位置を調節するにあたり、「フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与する」ものであることに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。訂正後の請求項４の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても同様である。 
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項４に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。また、上記訂正事項４に係る訂正は、訂正後の請求項４の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）　上記訂正事項４に関し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１０】には、「前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節することで、対物光学系の瞳位置と波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、フーリエ変換光学系または逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更した結果、発生する対物光学系の焦点位置のズレ分だけフーリエ変換光学系の焦点位置を戻す方向に移動させるような波面を波面変調素子によって照明光の光束に追加して付与することにより、」と記載されており、「波面変調素子」が、集光補正機構として、対物光学系による集光位置を調節するにあたり、「フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与する」ことは、本件特許明細書に記載されているものと認められる。
　よって、上記訂正事項４は、新規事項の追加に該当しない。
オ　訂正事項５について
（ア）　上記訂正事項４に係る訂正は、波面変調素子が、集光補正機構として、対物光学系による集光位置を調節するにあたり、「逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向にフーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与する」ものであることに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。訂正後の請求項５の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても同様である。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項５に係る訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。また、上記訂正事項５に係る訂正は、訂正後の請求項５の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）　上記訂正事項５に関し、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１０】には、「前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節することで、対物光学系の瞳位置と波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、フーリエ変換光学系または逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更した結果、発生する対物光学系の焦点位置のズレ分だけフーリエ変換光学系の焦点位置を戻す方向に移動させるような波面を波面変調素子によって照明光の光束に追加して付与することにより、」と記載されており、波面変調素子が、集光補正機構として、対物光学系による集光位置を調節するにあたり、「逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向にフーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与する」ことは、本件特許明細書に記載されているものと認められる。
　よって、上記訂正事項５は、新規事項の追加に該当しない。
カ　訂正事項６について
（ア）　上記訂正事項６に係る訂正は、請求項６を削除するものである。
　したがって、上記訂正事項６は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、新規事項の追加に該当しない。
キ　訂正事項７について
（ア）　上記訂正事項７に係る訂正は、上記訂正事項３及び６に係る訂正により、請求項３及び６が削除されたことに伴って、請求項７において、引用する請求項を「請求項１から請求項６」から、「請求項１、請求項２、請求項４および請求項５」とするものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。訂正後の請求項７の記載を引用する訂正後の請求項７〜１１についても同様である。 
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項７は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、新規事項の追加に該当しない。
ク　訂正事項８について
（ア）　上記訂正事項８に係る訂正は、上記訂正事項３及び６に係る訂正により、請求項３及び６が削除されたことに伴って、請求項８において、引用する請求項を「請求項１から請求項７」から、「請求項１、請求項２、請求項４、請求項５および請求項７」とするものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項８は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、新規事項の追加に該当しない。
ケ　訂正事項９について
（ア）　上記訂正事項９に係る訂正は、上記訂正事項３及び６に係る訂正により、請求項３及び６が削除されたことに伴って、請求項９において、引用する請求項を「請求項１から請求項７」から、「請求項１、請求項２、請求項４、請求項５および請求項７」とするものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項９は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、新規事項の追加に該当しない。
コ　訂正事項１０について
（ア）　上記訂正事項１０に係る訂正は、上記訂正事項３及び６に係る訂正により、請求項３及び６が削除されたことに伴って、請求項１０において、引用する請求項を「請求項１から請求項７」から、「請求項１、請求項２、請求項４、請求項５および請求項７」とするものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。訂正後の請求項１０の記載を引用する訂正後の請求項１１についても同様である。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項１０は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、新規事項の追加に該当しない。
サ　訂正事項１１について
（ア）　上記訂正事項１１に係る訂正は、上記訂正事項１ないし６に係る請求項１ないし６の訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と、発明の詳細な説明の【課題を解決するための手段】【０００５】の記載との整合を図るためのものであって、上記訂正事項１１に係る訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
（イ）　上記（ア）から明らかなように、上記訂正事項１１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（ウ）　上記訂正事項１１に係る訂正は、本件特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１０】、【００３２】及び【００３３】に記載されていた事項に基づくものであるから、上記訂正事項１１は、新規事項の追加に該当しない。
シ　訂正における一群の請求項の存否
　訂正前の請求項１〜１１について、請求項７〜１１は、それぞれ直接的又は間接的に請求項１〜６の記載を引用しているものであって、訂正事項１〜６によって記載が訂正される請求項１〜６に連動して訂正されるものであるから、訂正前の請求項１〜１１に対応する訂正後の請求項１〜１１は、一群の請求項に該当するものである。
　したがって、本件訂正請求は、一群の請求項である、請求項１〜１１ごとにされたものである。
（３）　むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項第１号、第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合するので、訂正後の請求項〔１−１１〕について訂正することを認める。
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　本件訂正後の請求項１、２、４、５、７〜１１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１、２、４、５、７〜１１に記載されたとおりの、次のものである（以下、本件特許の請求項１、２、４、５、７〜１１に係る発明を、それぞれ「本件特許発明１」等という。）。
【請求項１】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子を透過した照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置。
【請求項２】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子を透過した照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記逆フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置。
【請求項４】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置。
【請求項５】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記逆フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置。
【請求項７】
　前記波面変調素子に対して光学的に共役な位置に配置され、前記光源から射出された照明光の偏向方向を変化させる光束偏向手段を備える請求項１、請求項２、請求項４および請求項５のいずれかに記載の照明光学装置。
【請求項８】
　前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、焦点距離の異なる複数組のレンズ群を備え、
　前記可変機構が、前記レンズ群を切り替える請求項１、請求項２、請求項４、請求項５および請求項７のいずれかに記載の照明光学装置。
【請求項９】
　前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、焦点距離を変更可能な液体レンズを含み、
　前記可変機構が、焦点距離を変化させるように前記液体レンズを駆動する請求項１、請求項２、請求項４、請求項５および請求項７のいずれかに記載の照明光学装置。
【請求項１０】
　前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、ズーム光学系により構成されている請求項１、請求項２、請求項４、請求項５および請求項７のいずれかに記載の照明光学装置。
【請求項１１】
　前記ズーム光学系が、相互の間隔を調節可能な正のレンズ群および負のレンズ群を備える請求項１０に記載の照明光学装置。
（２）　取消理由の概要
　請求項１〜１１に係る特許に対して、平成２９年６月２３日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。
　本件訂正前の特許の請求項４、６、７、１０及び１１に係る発明（以下、「訂正前発明１等」という。）は、本件特許の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の甲第１号証に記載された発明である。また、訂正前発明１〜１１は、本件特許の優先日前に日本国内または外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の甲第１ないし１４号証に記載された発明に基いて、本件特許の出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものである。 
　したがって、本件特許は、特許法第２９条第１項ないし第２項の規定に違反してされたものである。 
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
（引用例等一覧） 
甲第１号証：特開２００４−１０２２２５号公報 
甲第２号証：特開２００５−４９３６３号公報 
甲第３号証：特表２００７−５３１０２５号公報 
甲第４号証：特表２００２−５０９２８７号公報 
甲第５号証：英国特許出願公開第２１８４５６２号明細書 
甲第６号証：Eugene Hecht, Optik, 4., uberarbeitete Auflage, Oldenbourg Verleg Munchen Wien,Munchen, Oldenbourg Wissenschaftverlag GmbH, 2005, ８４４ページ−８４５ページ（ただし、ウムラウトは省略して記載した。） 
甲第７号証：Encyclopedia of Applied Physics, edited by George L. Trigg, Vol.11/12, Weinheim, WILEY-VCH Verlag GmbH  Co. KGaA, 2004, ４７４ページ 
甲第８号証：特開２００２−１３１６４９号公報 
甲第９号証：特表２００４−５２７２５５号公報 
甲第１０号証：特表２００１−５０９２７８号公報 
甲第１１号証：Volodymyr Nikolenko 外５名, SLM microscopy: scanless two-photon imaging and photostimulation with spatial light modulators, Frontiers in Neural Circuits, December 2008, Volume 2, Article 5, p.1-14 
甲第１２号証：Handbook of Biological Confocal Microscopy, Third Edition, edited by James B. Pawley, New York, Springer Science+Business Media LLC, 2006, p.207-220, Ernst H.K. Stelzer, Chapter 9: The Intermediate Optical System of Laser-Scanning Confocal Microscopes 
甲第１３号証：American Laboratory, A Zoom Fluorescence Research Microscope for Macro- to Microfluorescence Imaging, November 25, 2005, p.1/3-3/3, http://www.americanlaboratory.com/913-Technical- Articles/19162-A-Zoom-Fluorescence-Research-Microscope-for-Macro-to-Micro-fluorescence-imaging/, 印刷日 2017.1.23 
甲第１４号証：Peter Drent, Properties and Selection of Objective Lenses for Light Microscopy Applications, Microscopy and Analysis, November 2005, p.5-7 
（以下、甲第１ないし１４号証を、それぞれ「甲１」ないし「甲１４」という。） 
１　訂正前発明１について
　訂正前発明１は、甲１に記載された発明及び甲２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　あるいは、訂正前発明１は、甲１に記載された発明、及び、顕微鏡において、補正リングを備えた対物レンズを用いて収差等の補正を行うという周知技術（甲２、甲１３及び甲１４等参照。）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
２　訂正前発明２について
　訂正前発明２は、甲１に記載された発明、甲２に記載された発明、甲９に記載された発明、甲１０に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
  
３　訂正前発明３について 
　訂正前発明３は、訂正前発明１と同一であるから、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
４　訂正前発明４について 
　訂正前発明４は、甲１に記載された発明である。 
　あるいは、訂正前発明４は、甲１に記載された発明及び周知技術（例えば、甲６ないし１０等参照。）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
  
５　訂正前発明５について 
　訂正前発明５は、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
６　訂正前発明６について 
　訂正前発明６は、訂正前発明４と同一であるから、訂正前発明６は、甲１に記載された発明である。 
　あるいは、訂正前発明６は、甲１に記載された発明及び周知技術（例えば、甲６ないし１０等参照。）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
７　訂正前発明７について 
　訂正前発明７は、甲１に記載された発明である。あるいは、訂正前発明７は、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
  
８　訂正前発明８について 
　訂正前発明８は、甲１に記載された発明及び光学顕微鏡の分野において周知技術（甲３、甲４参照。）であるレボルバーや甲３に記載された鏡筒回転装置に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
９　訂正前発明９について 
　訂正前発明９は、甲１に記載された発明及び、甲５に記載された液体レンズに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
１０　訂正前発明１０について 
　訂正前発明１０は、甲１に記載された発明である。あるいは、訂正前発明１０は、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
１１　訂正前発明１１について 
　訂正前発明１１は、甲１に記載された発明である。あるいは、訂正前発明１１は、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
（３）　甲号証の記載
ア　甲１には、以下の事項が記載されている（下線は、当合議体が付したものである。以下、同じ。）。
（ア）　「【請求項１】
顕微鏡光路内に適応光学装置を有するほか、
少なくとも１つが適応光学素子として形成されていて、双方ともその反射鏡面が顕微鏡光路の光軸に垂直に配置されている２つの反射素子と、
スプリッタ層が、顕微鏡光路の２本の直交アームの、または１本の折りたたまれた顕微鏡光路の２本の直交する部分の交点に存在する、偏光性ビームスプリッタであって、適応素子の第１が一方のアームに、他がもう一方のアームに属しており、各アームにおいてビームスプリッタと反射性適応素子との間にλ／４板が存在するビームスプリッタと、
検出光の方向に向けられた、評価装置および調整装置を通じて適応素子と結合している検出装置と、
を含む顕微鏡。
【請求項２】
・・・（略）・・・
【請求項６】
適応素子が、それぞれ顕微鏡光路のひとみ平面内に位置しており、ビームスプリッタと顕微鏡対物レンズ間の光路内に、適応素子の平面を顕微鏡配置のひとみ平面内へ結像するための光学系が存在していることを特徴とする先行請求項の１つに記載の顕微鏡。
【請求項７】
ひとみ平面が、走査装置の反射面と同一であって、走査移動に基づき横方向に試料全体にわたり導かれる回折抑制スポットが試料内に作り出されるように、走査光学系、顕微鏡対物レンズならびに鏡胴レンズが位置設定されていることを特徴とする請求項６に記載の顕微鏡。
【請求項８】
適応素子ミラーに区分調整可能な鏡面、薄膜ミラーまたは反射させる空間光変調器が配備されていることを特徴とする先行請求項の１つに記載の顕微鏡。
【請求項９】
適応素子の少なくとも１つに
、この適応素子の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させるのに用いられるズーム光学系
【請求項１０】
適応光学装置を有するほか、
照明光路のひとみ平面内に配置された適応凹面鏡であって、それに対応してスプリッタ面内に透過領域および反射領域を有する光学的ビームスプリッタが中間像平面内に組み込まれていて、照明光がまずスプリッタ面に、次にその反射領域から凹面鏡へ向けられ、凹面鏡から透過領域にフォーカシングされ、およびこれを通って試料に到達する適応凹面鏡、および／または、
検出光路のひとみ平面内に配置された適応凹面鏡であって、それに対応してスプリッタ面内に透過領域および反射領域を有する光学的ビームスプリッタが中間像平面内に組み込まれていて、検出光がまずスプリッタ面に、次にその反射領域から凹面鏡へ向けられ、凹面鏡から透過領域にフォーカシングされ、およびこれを通って検出装置に到達する適応凹面鏡、ならびに、
照明光路内の適応素子と、および／または検出光路内の適応素子と結びつけられている評価装置および調整装置であって、検出装置の出力信号が、照明光もしくは検出光の波面を適応制御するために利用される評価装置および調整装置、
を含む顕微鏡。
【請求項１１】
・・・（略）・・・
【請求項１２】
点走査する装置が、試料を走査するために配備されていて、スプリッタ面の透過領域が、円形または楕円系の孔として形成されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の顕微鏡。
【請求項１３】
・・・（略）・・・
【請求項１６】
適応素子が、光軸方向での移動装置と結合しており、移動装置も同様に評価装置および調整装置と結合していて、その場合適応素子の移動によるだけでなく、凹面鏡面の焦点距離変更によっても照明光の光線幅に影響が現われることを特徴とする請求項１１から１５の１つに記載の顕微鏡。」
（イ）　「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、
照明光路および／または検出光路を光学的構成グループの特性および／または試料の特性に可変的に適合させるための適応光学装置を有する顕微鏡
【０００２】
【従来の技術】
適応光学系を顕微鏡に利用することは、現状の技術ではすでにそれ自体知られており、たとえばＰＣＴ／ＷＯ９９／０６６５６に記述されている。もっとも、そこで開示された照明光路内および／または検出光路内での適応光学系の場合、少なくとも１つのビームスプリッタを使用して構造上の配列をする必要があり、それによって光学的損失が現われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
原理的に示されている現状の技術の添付図６中では、適応素子をミラーにより光路内へ損失なく結合させる手段も、たしかに同様に知られているが、しかし光路が反射鏡面に斜めに当たるため、かなりの収差が追加発生する。その上現状の技術では、適応光学素子と波面センサが連携する必要があり、それによって一般には別の損失が発生する。
【０００４】
波面センサとしては、この関連において、たとえばシャック・ハルトマン・センサまたは干渉計のような、たとえばＰＣＴ／ＧＢ９９／０３１９４に述べられているような古典的なセンサが利用される。しかしこの種のセンサは、共焦点レーザ走査型顕微鏡で意図されているような、試料の３次元走査にはあまり適していない。これは共焦点検出とは異なり、焦点外れの光が比較的多く入射センサの方へ向かうという事実に起因している。
【０００５】
この現状の技術から出発して、本発明の基礎となる課題は、上記種類の顕微鏡を、適応光学系の照明光路内および／または検出光路内への、損失のない、収差のない結合が保証されるように改良することである。本発明のもう１つの課題は、適応光学系の適正な制御を、特別な波面センサを使用せずに実現することである。」
（ウ）　「【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明による場合、適応光学装置としては以下のものがある：
双方ともそれらの反射鏡面が、顕微鏡光路の光軸に垂直に向けられている２つの反射性適応素子と、そのスプリッタ層が顕微鏡光路の２つの直交するアームの交点に存在する１つの偏光性ビームスプリッタ。
但し、第１の適応素子が一方のアームに、他の適応素子がもう一方のアームに属していて、各アーム内にはビームスプリッタと適応素子との間に１枚のλ／４板が存在するものとする。ならびに検出光に向けて配置された、評価装置および調整装置を通じて適応素子と結びつけられている１つの検出装置。
この場合検出装置としては、レーザ走査型顕微鏡内に元々存在している検出装置を利用するのが好ましい。
【０００７】
この配置を用いて、検出器信号を評価もしくは加工するごとに、３次元での試料読み取り時に、迅速な深さ走査を顕微鏡対物レンズまたは試料を動かすことなく達成すること、試料に起因する収差を均衡化すること、ならびに誤って利用されまたは不完全に補正された光学部品、それも特に顕微鏡対物レンズに起因する収差を補正することが可能である。
【０００８】
本発明の１つの構成において、偏光性ビームスプリッタが使用され、各アームの中でビームスプリッタと適応素子との間に１枚のλ／４板が存在する。この配置において、照明光源から来る光は、一方のアームの中で、その偏光状態に依存してスプリッタ層および１枚のλ／４板を通って第１の適応素子に向かい、その反射鏡面からスプリッタへ戻し反射され、そこから顕微鏡対物レンズの方向に伝播する。第１の適応素子の方向に拡散する光に関して、直交偏光を有する光は、その終端には第２の適応素子が存在する他方のアームの方向に導かれる。光は、この素子において反射し、１枚のλ／４板を通過した後スプリッタ層へ戻され、これを通って顕微鏡対物レンズに到達する。
【０００９】
試料から放射され、顕微鏡対物レンズを通過した検出光は、その偏光状態に依存して一方のアームまたは他方のアームを通り抜け、適合した反射性適応素子からスプリッタ層へ戻り反射し、そこから検出装置へと伝播する。
【００１０】
検出装置は、１つの第２偏光性ビームスプリッタ、ならびに２つの光電子変換器を有する。その偏光状態に依存して、検出光はこのビームスプリッタのスプリッタ層を通って一方の光電子変換器へ移動するか、またはスプリッタ層から他方の光電子変換器へ方向転換する。変換器からの信号は、適応素子を持つビームスプリッタ配置の一定アームを通じて検出器側に送られる光に明確に組み入れることができる。
この配置の本質的な長所は、適応光学系を損失なく、収差なく顕微鏡の照明光路内および／または検出光路内へ結合させることが可能な点である。その上、以下により詳しく説明する通り、適応光学系の調整においてさまざまな有利なモードが判明する。本発明に基づく配置は、点走査レーザ走査型顕微鏡においてだけでなく、線走査レーザ走査型顕微鏡においても利用できる。
【００１１】
適応素子と組み合わされるビームスプリッタと検出装置との間に、共焦点レーザ走査型顕微鏡に適合した構成、検出光をピンホールへフォーカシングするためのピンホール光学系、ならびに検出光を平行化するための光学系が配備されている。」
（エ）　「【００１５】
適応素子は、好ましくは、顕微鏡光路のひとみ平面内に設置する
有利なのは、
ひとみ平面が走査装置の反射面と同一であること、および試料全体にわたる横方向の走査移動に従って導かれる回折抑制スポットが試料内に作り出されるよう、走査光学系、顕微鏡対物レンズならびに円筒レンズ間で互いの位置づけがなされていることである
適応反射素子としては、たとえば区分調整可能な鏡面を有するミラー、薄膜ミラーまたは反射式空間光変調器が使用の対象となる。
本発明に基づく特に好ましい配置構成は、
各適応素子の口径を顕微鏡対物レンズの口径に適合させるのに利用できるズーム光学系が適応素子に組み込まれている
【００１６】
また、以下のものを含む別な構成も可能である：
スプリッタ面内に透過領域および反射領域を有する光学的ビームスプリッタが、中間像平面内において組み込まれている照明光路のひとみ平面内に配置された適応凹面鏡であって、但し、照明光が、まずスプリッタ面へ、次にその反射領域から凹面鏡へ向けられ、凹面鏡から透過領域へ焦点合わせされ、そこを通って試料に到達する適応凹面鏡、および／または、
スプリッタ面内に透過領域および反射領域を有する光学的ビームスプリッタが、中間像平面内に組み込まれている検出光路のひとみ平面内に配置された適応凹面鏡であって、但し、検出光が、まずスプリッタ面へ、次にその反射領域から凹面鏡へ向けられ、凹面鏡から透過領域へ焦点合わせされ、そこを通って検出装置に到達する適応凹面鏡、ならびに、
入力側で顕微鏡の検出装置と、出力側で１つのまたは両方の凹面鏡の形を変化させるための、および／または各凹面鏡とそれに対応するビームスプリッタ間の距離を変更するための調整装置と結合している評価装置。
【００１７】
この配置によって、迅速に焦点合わせするため、または光学的構成グループや検査対象試料に起因する像誤差を補正するため、適応凹面鏡を照明光路内で利用することができる。この場合、スプリッタ面の透過領域は、共焦点絞りもしくは空間フィルタとしての作用はせず、少なくとも５エアリより大きい直径を有している。
【００１８】
・・・（略）・・・
【００１９】
さらに、有利な態様として、それぞれ対応のスプリッタ面の透過領域を通って入る照明光および／または検出光には、入射するビーム成分が当たり、当該光のビーム強度を評価するのに用いられる検出器を後置することができる。
本発明に基づく配置内に配備されているすべての適応凹面鏡について言えるが、それらを光軸の方向に移動させるために１つの装置と結合させることができる。尚、この移動装置も同様に評価装置および調整装置と結合している。その場合、適応凹面鏡の移動だけでなく、鏡面の幾何構造を然るべき制御により変更することから生ずる焦点距離の変化も焦点合わせに影響を及ぼす。このようにして、なかでも凹面鏡の口径を、使用顕微鏡対物レンズのひとみへ適合させることが可能になる。
【００２０】
特に最後に挙げた態様の長所は、ほとんど損失なく、収差なく適応素子を顕微鏡光路内へ結合させることのほか、屈折素子を避けることによって理想的な色補正が達成される点にある。
適応凹面鏡としては、すでに上に挙げた反射適応素子が使用対象となる。そのほか、焦点距離を短くするため適応凹面鏡に屈折素子を付けることもできる。加えて、特に蛍光検出の場合では、照明光を抑制するため、波長フィルタを検出光路の方向へ向けさせる装置が配備できる。
さらに、適応凹面鏡の場所にそれぞれ１つずつひとみを作るのに用いるリレー光学系も光路内へ組み入れることができる。」
（オ）　「【００２１】
【発明の実施の形態】
以下では本発明を実施例に基づき説明する。
図１には、本発明に基づく配置が、共焦点レーザ走査型顕微鏡の光路を基に示され
照明光源１から出る照明光２は試料３に向いて
走査光学系４、円筒レンズ５および顕微鏡対物レンズ６によって、回折抑制スポットが生成され、画像取得のため、走査装置７により試料３全体にわたり横方向に動かされる
【００２２】
試料３から放出された光は、逆方向に顕微鏡対物レンズ６、円筒レンズ５、走査光学系４を通過し、検出光路９と照明光路２との分岐に用いられるビームスプリッタ８を通って、検出装置１０に向けられ
検出光路９内にはビームスプリッタ８の後ろにピンホール光学系１１、ピンホール１２およびコリメーション光学系１３が配置され
その上、特に蛍光検出において、照明光２が検出装置１０に到達するのを妨ぐ波長フィルタ１４が配備されている。
【００２３】
本発明に従えば、
顕微鏡光路の一方のアーム１６の光軸に垂直に反射鏡面が向いている第１の適応ミラー１５が設置され
顕微鏡光路のもう一方のアーム１８の光軸に垂直に向けられている反射鏡面を有する別の適応ミラー１７がある
【００２４】
両アーム１６および１８が互いになす角の交点には、そのスプリッタ層が両アーム１６，１８内の光線方向に対して４５°傾いた状態の偏光性ビームスプリッタ１９が配置され
さらに、
ビームスプリッタ１９と適応ミラー１５との間には、１枚のλ／４板２０ならびに１つのズーム光学系２１が、そしてビームスプリッタ１９と適応ミラー１７との間には、１枚のλ／４板２２および１つのズーム光学系２３が存在する
【００２５】
以上のほか、
適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるレンズ２４も配備され
この課題は、構成の適合化と同時にズーム光学系２１もしくは２３に担わせることもでき、その場合レンズ２４は不要である
【００２６】
試料３を走査する際、照明光２は、ビームスプリッタ８で偏向した後、その偏光状態に依存してビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通って適応ミラー１５へ、またはスプリッタ層により偏向して、適応ミラー１７へ達することも、あるいは両適応ミラー１５，１７に達する
その場合、
光は、それぞれ当たった適応ミラー１５または１７から、再びビームスプリッタ１９へ戻り反射する。それにより、それぞれビームスプリッタ１９の方向へ戻る照明光は、λ／４板２０もしくは２２を再度通過後、それぞれ入射光に垂直に偏光され
その結果、照明光はビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通じて再び顕微鏡光路内へ組み入れられ、試料３に向けられる
この結合は、適応ミラー１５，１７、偏光性ビームスプリッタ１９のみならずλ／４板２０，２２も含む、本発明に基づく適応装置により損失なく行われる。
【００２７】
試料３から放出される光は、ビームスプリッタ１９もしくは適応ミラー１５，１７を通って逆の順序で光路を通過す
その後、検出光はその偏光状態に依存して、ビームスプリッタ１９のスプリッタ層から適応ミラー１５へ偏向するか、またはビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通って適応ミラー１７に、または両適応ミラー１５，１７に到る
検出光は適応ミラー１５，１７でそれぞれ反射し、λ／４板２０もしくは２２を再度通過した後、向かってくる検出光に垂直に偏光す
これは、適応ミラー１５を経由して検出装置１０に到達する光が、適応ミラー１７から来る光に垂直に偏光していることを意味する
【００２８】
このことを前提として、検出装置１０内には偏光性ビームスプリッタ２６ならびに２つの光電子変換器２７．１，２７．２が配備され
それにより、適応ミラー１５からの検出光は、光電子変換器２７．１により、また適応ミラー１７からの検出光は光電子変換器２７．２により検出することが可能である
【００２９】
さらに本発明に従えば、
光電子変換器２７．１の出力信号は、
評価装置および調整装置を通じて、適応ミラー１５と結合しており、また光電子変換器２７．２の出力側も同様に、
評価装置および調整装置を通じて、適応ミラー１７と結合している
このほか、ズーム装置２１および２３もまたそれぞれ対応の評価装置および調整装置と結合している
【００３０】
本発明に基づく配置によれば、迅速に焦点合わせするために、または光学的構成グループまたは検査すべき試料に起因する像誤差を補正するためには、適応光学系の利用が比較的少ない機器技術コストのもと高い効率で可能である。当該方法はずっと後段でより詳しく説明する。」
（カ）　「【００３１】
以下では図２に基づく別の実施例を説明する。
照明光源２８から出た照明光２９は、ここでも走査光学系３０、円筒レンズ３１および顕微鏡対物レンズ３２を通って試料３３へ向けられる。回折抑制スポットが横方向に試料３３全体にわたって走査装置３４によって導かれ、それにより試料３３の像情報が取得される。
試料３３から放出された光は、逆方向に顕微鏡対物レンズ３２および円筒レンズ３１を通過し、ビームスプリッタ３５により照明光路から分離され、別の検出光路３６としてピンホール光学系３７を通じて検出器３８に向けられる。
【００３２】
本発明に従えば、照明光２９の光路内で、照明光源２８と走査装置３４との間に１枚の適応ミラー３９および１枚の従来型非適応ミラー４０が配備され、それらの反射鏡面が照明光路の２つあるアーム４１，４２にそれぞれ垂直に向けられている。このとき両アーム４１，４２は直角をなし、それらの交点には偏光性ビームスプリッタ４３のスプリッタ面が存在する。スプリッタ面は両アーム４１，４２内の光線方向に対してそれぞれ４５°傾斜している。
ビームスプリッタ４３とミラー４０との間の光路内にはさらにλ／４板４４が、適応ミラー３９とビームスプリッタ４３との間の光路内にはλ／４板４５ならびにズーム光学系４６が組み入れられている。
【００３３】
この顕微鏡装置を操作する際には、前記実施例に準じて、照明光２９は、その偏光状態に依存してビームスプリッタ４３のスプリッタ面を通ってλ／４板４５、およびズーム光学系４６を通じて適応ミラー３９へ到り、そこから同じ道を辿ってビームスプリッタ４３のスプリッタ面へ戻り反射する。スプリッタ面からは、試料３３の方へ転向する。それは照明光２９がλ／４板４５の再通過後、入射する照明光２９に対して垂直に偏光しているためである。
【００３４】
逸脱偏光の場合、照明光２９は、まずビームスプリッタ４３のスプリッタ層からミラー４０の方向へ偏向し、そこでスプリッタ層へ戻り反射し、λ／４板４４を２回通過する。照明光はλ／４板４４の２回通過後、入射する照明光２６に対して垂直な偏光方向を持ち、その結果今度はスプリッタ層を通って試料３３に到達する。試料３３から放出された光は既述の経路を辿って検出器３８に達するが、当検出器は図示されていない評価装置および調整装置を通じて適応ミラー３９と、および／またはズーム装置４６と結合している。
像取得におけるこの配置の利用方法については、以下により詳しく説明する。ズーム光学系４６用の評価装置内で発生する調整信号は、顕微鏡対物レンズへ最適適合させるために光の広がりを利用することができる。」
（キ）　「【００３５】
図３ａは本発明に基づく配置の別な実施例についての模式図である。
この場合照明光源４８から発する照明光４９は、光学的ビームスプリッタのスプリッタ面５０に当たる。
図３ｂから、スプリッタ面５０は、円形開口として形成された透過領域５１を有していて、これが反射領域５２によって囲まれているのが分かる。透過領域５１は、これに代え楕円形の開口として形成することもできる。図３ａがさらに示すように、スプリッタ面５０は、衝突する照明光４９に対し４５°傾斜している。それによって、反射領域５２に衝突する照明光４９のビーム成分４９．１は、顕微鏡配置のひとみ内に存在する適応凹面鏡５３の方向へ転向することが可能になる。
【００３６】
適応凹面鏡５３は、ビーム成分４９．１を、配置の中間像平面内にり照明光路内の共焦点絞りとして作用する透過領域５１へ、戻り方向にて焦点合わせする。この場合、さまざまな直径の透過領域を有するスプリッタ面を使用することによって、顕微鏡配置の光学的分解能に影響を与えたり、調整したりすることができる。透過領域５１が、楕円形であれば、スプリッタ面５０が４５°傾斜していることから、凹面鏡５３から来る光線は見かけ上円形形態を取る。
【００３７】
透過領域５１へフォーカシングされたビーム成分４９．１は、透過領域５１を通って進み、続いてレンズ５４によって平行化される。走査光学系５５、円筒レンズ５６および顕微鏡対物レンズ５７により、試料５８の中に、、試料５８の撮像に用いられる回折抑制されたスポットが生成される。その目的のため走査装置５９によりスポットを横方向に試料５８全体にわたり移動させる。
試料５８から発し、像情報を運ぶ検出光は、戻り経路を辿って顕微鏡対物レンズ５７、円筒レンズ５６、走査光学系５５および走査装置５９を通り、検出光路６１を照明光路から分離するダイクロイック・ビームスプリッタ６０に到達し、別のビームスプリッタのスプリッタ面６２に達する。スプリッタ面６２は、その幾何構造および検出光路６１への位置設定に関し、スプリッタ面５０と同様に形成されている。
【００３８】
従って、スプリッタ面６２も同様に反射領域５２（図３ｂ参照）を有するから、検出光の主要ビーム成分６１．１が適応凹面鏡６３へ偏向する。凹面鏡６３はビーム成分６１．１を透過領域５１へ戻し反射させ、焦点合わせしてこれを通過させる。その後検出光は検出器６４に達する。検出器６４により検出光の強度が測定され、測定値は、適応凹面鏡５３および６３の鏡面の幾何構造を変更させるための調整装置と結合している評価装置（図示してない）へ送られる。
ミラーの幾何構造を調整することで、最適の収差補正が得られるように、もしくは求める通りに焦点ぼけが調整されるように、一方の凹面鏡において、または両方の凹面鏡５３，６３において、反射した波面に対し影響を与えるものとする。
【００３９】
・・・（略）・・・
【００４０】
さらに、検出光路６１内、適応凹面鏡６３の場所に、ひとみ生成用のリレー光学系６７を組み入れれば有利になることも明らかである。これは、同時にズーム光学系として形成することができ、ビーム幅の可変的調整を可能にする。その場合、スプリッタ面６２は顕微鏡配置の中間像平面内にあり、検出光路６１内の共焦点絞りとして作用する。
スプリッタ面６２上へ落ちる光線の直径またはスプリッタ面６２の透過領域５１の直径を変更するが、もしくはさまざまな直径の透過領域５１を有するスプリッタ面を相互交換すれば、このように顕微鏡配置の光学的分解能に影響を与えることができ、もしくは調整することができる。」
（ク）　「【００４２】
以下では
本発明に基づく配置の作業法を、共焦点レーザ走査型顕微鏡のさまざまな操作法ごとに記述する
図１の実施例だけを用いることとする
反射顕微鏡法
この操作法では、試料３から散乱または反射した光が像生成のために使用される。
試料３が複屈折しないか、あるいは偏光に顕著に依存する反射能を持たない場合、
照明光の偏光は、強度の等しい光が適応ミラー１５および１７に当たるように配位されている
【００４３】
その場合、
共焦点配置内の検出器において、収差のない結像の場合より弱い光強度が記録されるのは、焦点ぼけ、試料、または光学素子に起因する収差が原因である
適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して、その場合の受信信号への影響を測定すれば、測定結果を基に、ミラーの幾何構造を確認し調整することができ、それにより最適の受信信号が得られると共に光学システムの収差が補正される
」
（ケ）　「【図面の簡単な説明】
【図１】２つの適応ミラーを含む、本発明に基づく適応光学装置を有する共焦点レーザ走査型顕微鏡の光路
【図２】１つの適応ミラーおよび１つの非適応ミラーを含む、本発明に基づく適応光学装置を有する共焦点レーザ走査型顕微鏡の変形光路態様
【図３】１つの反射領域および１つの透過領域を持つビームスプリッタを有する本発明に基づく配置の、また別な実施例の模式図
・・・（略）・・・
【図６】現状の技術の原理図
【符合の説明】
１　　照明光源
２　　照明光
３　　試料
４　　走査光学系
５　　鏡胴レンズ
６　　顕微鏡対物レンズ
７　　走査装置
８　　ビームスプリッタ
９　　検出光路
１０　　検出装置
１１　　ピンホール光学系
１２　　ピンホール
１３　　コリメーション光学系
１４　　波長フィルタ
１５　　適応ミラー
１６，１８　直交アーム
１７　　適応ミラー
１９　　ビームスプリッタ
２０，２２　　λ／４板
２１　　ズーム光学系
２３　　ズーム光学系
２４　　レンズ
２５　　ひとみ平面
２６　　ビームスプリッタ
２７．１，２７．２　変換器
２８　　照明光源
２９　　照明光
３０　　走査光学系
３１　　鏡胴レンズ
３２　　顕微鏡対物レンズ
３３　　試料
３４　　走査装置
３５　　ビームスプリッタ
３６　　検出光路
３７　　ピンホール光学系
３８　　検出器
３９　　適応ミラー
４０　　非適応のミラー
４１，４２　アーム
４３　　ビームスプリッタ
４４，４５　λ／４板
４６　　ズーム光学系
４８　　照明光源
４９　　照明光
４９．１　ビーム成分
５０　　スプリッタ面
５１　　透過領域
５２　　反射領域
５３　　凹面鏡
５４　　レンズ
５５　　走査光学系
５６　　円筒レンズ
５７　　顕微鏡対物レンズ
５８　　試料
５９　　走査装置
６０　　ビームスプリッタ
６１　　検出光路
６１．１　ビーム成分
６２　　スプリッタ面
６３　　凹面鏡
６４，６５　検出器
６６　　波長フィルタ
６７　　リレー光学系」
（コ）　　「【図１】
」
（サ）　「【図２】
」
（シ）　「【図３】
」
（ス）　引用例１の図１（上記（コ）参照）に示された２つの適応ミラーを含む、本発明に基づく適応光学装置を有する共焦点レーザ走査型顕微鏡の光路によれば、引用例１の段落【００２１】〜【００３０】に記載された実施例の共焦点レーザ走査型顕微鏡において、照明光源１からの照明光２は、ビームスプリッタ８、ビームスプリッタ１９、λ／４板２０，２２、ズーム光学系２１，２３、適応ミラー１５，１７、ズーム光学系２１，２３、λ／４板２０，２２、ビームスプリッタ１９、レンズ２４、走査装置７、走査光学系４、円筒レンズ５、顕微鏡対物レンズ６を順に経由していることが把握できる。
　また、図１より、照明光２は、レンズ２４により集光され、走査光学系４により再度集光された後、円筒レンズ５により平行光とされた後、顕微鏡対物レンズ６に入射して試料３上に集光されていることが把握できる。
（セ）　引用例１の請求項９、あるいは、段落【００１５】の記載によれば、引用例１の段落【００２１】〜【００３０】に記載された実施例の共焦点レーザ走査型顕微鏡における「ズーム光学系２１」及び「ズーム光学系２３」の機能は、「各適応素子の口径を顕微鏡対物レンズの口径に適合させる」ことにあることが把握できる。また、該「各適応素子」は、引用例１に実施例においては、「第１の適応ミラー１５」及び「別の適応ミラー１７」に対応する。
　また、段落【００２５】の記載によれば、「レンズ２４」が不要となる時に、「ズーム光学系２１もしくは２３」が「構成の適合化と同時に」「担う」ことになる「この課題」とは、「レンズ２４」が担っていた、「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる」という課題であることは明らかである。
（ソ）　引用例１の図１（上記（コ）参照）によれば、「レンズ２４」により、「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させ」た際の「ひとみ平面２５」が、「回折抑制スポット」を「試料３全体にわたり横方向に動か」す「走査装置７」の位置にあることが把握できる（引用例１の請求項６，７の記載、あるいは段落【００１５】の記載からも明らかな事項である。）。
　
（タ）　上記（ア）ないし（ソ）より、引用例１の段落【００２１】〜【００３０】、段落【００４２】〜【００４３】及び図１から、以下の共焦点レーザ走査型顕微鏡が把握できる（以下、「引用発明」という。）。
　「共焦点レーザ走査型顕微鏡であって、
　照明光源１から出る照明光２は試料３に向き、走査光学系４、円筒レンズ５および顕微鏡対物レンズ６によって、回折抑制スポットが生成され、画像取得のため、走査装置７により試料３全体にわたり横方向に動かされ、試料３から放出された光は、逆方向に顕微鏡対物レンズ６、円筒レンズ５、走査光学系４を通過し、検出光路９と照明光路２との分岐に用いられるビームスプリッタ８を通って、検出装置１０に向けられ、検出光路９内にはビームスプリッタ８の後ろにピンホール光学系１１、ピンホール１２およびコリメーション光学系１３が配置されるものであり、
  照明光源１からの照明光２は、ビームスプリッタ８、ビームスプリッタ１９、λ／４板２０，２２、ズーム光学系２１，２３、適応ミラー１５，１７、ズーム光学系２１，２３、λ／４板２０，２２、ビームスプリッタ１９、レンズ２４、走査装置７、走査光学系４、円筒レンズ５、顕微鏡対物レンズ６を順に経由するものであり、
　照明光２は、レンズ２４により集光され、走査光学系４により再度集光された後、円筒レンズ４により平行光とされた後、顕微鏡対物レンズ６に入射して、試料３上に集光され、
　顕微鏡光路の一方のアーム１６の光軸に垂直に反射鏡面が向いている第１の適応ミラー１５が設置され、顕微鏡光路のもう一方のアーム１８の光軸に垂直に向けられている反射鏡面を有する別の適応ミラー１７があり、
　両アーム１６および１８が互いになす角の交点には、そのスプリッタ層が両アーム１６，１８内の光線方向に対して４５°傾いた状態の偏光性ビームスプリッタ１９が配置され、
　ビームスプリッタ１９と適応ミラー１５との間には、１枚のλ／４板２０ならびに１つのズーム光学系２１が、そしてビームスプリッタ１９と適応ミラー１７との間には、１枚のλ／４板２２および１つのズーム光学系２３が存在し、
　ズーム光学系２１，２３は、第１の適応ミラー１５，別の適応ミラー１７の口径を顕微鏡対物レンズ６の口径へ適合させるものであり、
　適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるレンズ２４も配備され、ひとみ平面２５は、走査装置７の位置にあり、適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題は、構成の適合化と同時にズーム光学系２１もしくは２３に担わせることもでき、その場合レンズ２４は不要であり、
　試料３を走査する際、照明光２は、ビームスプリッタ８で偏向した後、その偏光状態に依存してビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通って適応ミラー１５へ、またはスプリッタ層により偏向して、適応ミラー１７へ達することも、あるいは両適応ミラー１５，１７に達することもあり、光は、それぞれ当たった適応ミラー１５または１７から、再びビームスプリッタ１９へ戻り反射し、それにより、それぞれビームスプリッタ１９の方向へ戻る照明光は、λ／４板２０もしくは２２を再度通過後、それぞれ入射光に垂直に偏光され、その結果、照明光はビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通じて再び顕微鏡光路内へ組み入れられ、試料３に向けられ、
　試料３から放出される光は、ビームスプリッタ１９もしくは適応ミラー１５，１７を通って逆の順序で光路を通過し、その後、検出光はその偏光状態に依存して、ビームスプリッタ１９のスプリッタ層から適応ミラー１５へ偏向するか、またはビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通って適応ミラー１７に、または両適応ミラー１５，１７に到り、検出光は適応ミラー１５，１７でそれぞれ反射し、λ／４板２０もしくは２２を再度通過した後、向かってくる検出光に垂直に偏光し、これは、適応ミラー１５を経由して検出装置１０に到達する光が、適応ミラー１７から来る光に垂直に偏光していることを意味し、
　このことを前提として、検出装置１０内には偏光性ビームスプリッタ２６ならびに２つの光電子変換器２７．１，２７．２が配備され、それにより、適応ミラー１５からの検出光は、光電子変換器２７．１により、また適応ミラー１７からの検出光は光電子変換器２７．２により検出することが可能であり、
　光電子変換器２７．１の出力信号は、評価装置および調整装置を通じて、適応ミラー１５と結合しており、また光電子変換器２７．２の出力側も同様に、評価装置および調整装置を通じて、適応ミラー１７と結合し、
　このほか、ズーム装置２１および２３もまたそれぞれ対応の評価装置および調整装置と結合しており、
　顕微鏡の配置の作業法は、反射顕微鏡法の操作法では、試料３から散乱または反射した光が像生成のために使用され、
　試料３が複屈折しないか、あるいは偏光に顕著に依存する反射能を持たない場合、照明光の偏光は、強度の等しい光が適応ミラー１５および１７に当たるように配位され、
　共焦点配置内の検出器において、収差のない結像の場合より弱い光強度が記録されるのは、焦点ぼけ、試料、または光学素子に起因する収差が原因であり、適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して、その場合の受信信号への影響を測定すれば、測定結果を基に、ミラーの幾何構造を確認し調整することができ、それにより最適の受信信号が得られると共に光学システムの収差が補正される、
共焦点レーザ走査型顕微鏡。」
イ　甲２
　甲２には、次の事項が記載されている。
（ア）　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、赤外光を利用して試料の内部を観察する顕微鏡に関する。」
（イ）　「【００５８】
変形例
図６は、図１に示される対物レンズ１２２に代えて適用可能な別の対物レンズを示している。図６に示されるように、対物レンズ１４０は、回転可能な補正リング１４２を有している。補正リング１４２は、図示しない機械的機構を介して、内部の光学要素と連結されている。その機械的機構は、補正リング１４２の回転に応じて、その光学要素を光軸に沿って移動させる。補正リング１４２を必要な量だけ回転させることにより、試料１８０に含まれるシリコンによって引き起こされる収差を適宜補正することが可能である。これにより、収差の無いより好適な画像を得ることが可能となる。」
（ウ）　「【図６】
　
」
ウ　甲１３
　甲１３には、次の事項が記載されている。
（ア）　「Fluorescence observations ranging from low-magnification viewing of whole organisms like Zebrafish to high-magnification imaging of gene expression at the cellular level are possible (Figure 4). With features such as a two objective nosepiece, 2x objective lens, and 2x magnification changing lens, the microscope can zoom from 4x to 250x (a zoom factor of 31 times) with high image quality, regardless of the specimen medium. Moreover, the 2x objective has a correction collar that adjusts for up to 5 mm of aqueous medium above the specimen. The instrument also has working distance (WD) that are much greater than compound microscopes (for instance,  65 mm WD for the 1x/0.25-NA objective) and its field of view ranges up to 55 mm, making it easy to observe, track, or work on large or fast-moving specimens. 」
（２頁下から４行〜３頁４行）
（参考訳）
「蛍光観察は、ゼブラフィッシュのような生物全体の低倍率観察から、細胞レベルでの遺伝子発現の高倍率イメージングまで、可能である（図４）。２つの対物ノーズピース、２倍対物レンズ、２倍の拡大率変更レンズの構成により、顕微鏡は、試料媒体にかかわらず、４倍から２５０倍（ズーム倍率３１倍）まで高画質でズームできる。さらに、２倍対物レンズは、補正環を備え、試料上の５ｍｍまでの水性媒体を調整する。装置は、複合顕微鏡（例えば、１倍／０．２５のＮＡの対物レンズに対して６５ｍｍのＷＤ）に対してずっと大きな動作距離（ＷＤ）も備え、その観察視野の範囲は５５ｍｍに達し、大きな、高速に動く試料上の観察、追跡、作業を容易にする。」
エ　甲１４
　甲１４には、次の事項が記載されている。
（ア）　「Correction collars
There are several types of correction rings that allow the performance of the microscope objective lens to be offset against certain parameters, such as cover glass thickness, immersion medium refractive index, temperature correction, or correction depth penetration into tissues (refractive index). By correcting for these parameters, optimum performance can be readily achieved.」
（６頁中欄下から７行〜右欄３行）
（参考訳）
「補正カラー
　いくつかのタイプの補正リングがあり、これは、カバーガラスの厚さ、浸漬媒質の屈折率、温度補正、又は、組織への補正浸透深さ（屈折率）などの特定のパラメータに対して顕微鏡対物レンズの性能をオフセットさせる。これらのパラメータを補正することにより、最適な性能を容易に達成することができる。」 
オ　甲９
（ア）　「【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
・・・（略）・・・
【０００２】
本発明は、概して、光トラップすなわち光ピンセットを制御する方法及び装置に関する。より詳細には、本発明は、可視光を用いて形成された光ピンセットに関する。この光ピンセットは、生体の生物学的材料などの種々の光感知材料を操作するために、調査又は操作される材料に対してかなりの損傷又は有害な影響を与えずに使用することができる。」
（イ）　「【００１８】
光ピンセットのシステム１０は、光トラッピング効果を実行するために必要な力を加えることができる光ビーム１２（レーザ光又は他の輝度が極めて高い光源など）を使用することによって利用される。この光トラッピング効果は、粒子を操作するために必要とされる。従来の形状の光ピンセット１０の目的は、収束光学素子（対物レンズ２０など）の後部開口部２４の中心に１つ以上の成形した光ビームを投影することである。図１に示すように、光ビーム１２の幅は「Ｗ」であり、光軸２２に対する入射角はφである。光ビーム１２は対物レンズ２０の後部開口部２４に入射し、前部開口部２６から出射して、結像体積（imaging volume）３２の焦点面３０内の焦点２８にほぼ収束する。ここで、焦点２８は光トラップ３３に一致する。一般に、どのような収束形光学システムも、光ピンセットのシステム１０に対するベースを形成することができる。
【００１９】
光ビーム１２がコリメートされたレーザ光であり、その軸が光軸２２に一致する場合、この光ビーム１２は対物レンズ２０の後部開口部２４に入射し、結像体積３２内の焦点である対物レンズの焦点面３０の中心点Ｃに送られる。光ビーム１２の軸が光軸２２に対して角度φだけ移動される場合、ビームの軸３１及び光軸２２は後部開口部２４の中心点Ｂで一致する。この変位により、対物レンズ２０の角倍率に依存する量だけ視野に沿って光トラップの移動が可能にされる。２つの変数、すなわち、角度変位φ及び光ビーム１２の変化する収束度を用いて、結像体積３２内の選択された位置に光トラップを形成することができる。複数の光ビーム１２を異なる角度φ及び異なるコリメーションの程度で後部開口部２４に加えることにより、複数の光トラップ３３を様々な位置に配置することができる。」
（ウ）　「【００２１】
いくつかの従来の特徴を含む図２の別のシステムでは、光ピンセットシステム１０は、対物レンズ２０の視野にわたって光トラップ３３を移動することができる。望遠鏡３４はレンズＬ１及びＬ２から構成され、図１の従来技術のシステムの中で中心点Ｂと光学的に結合する点Ａを確立する。図２のシステムでは、点Ａを通過する光ビーム１２は点Ｂも通過するため、光ピンセットシステム１０を実現するための基本的な要求事項に適合している。コリメーションの程度は、望遠鏡３４の移行特性（transfer property）を最適にするように、レンズＬ１及びＬ２を図２に示すように配置することによって保持される。さらに、望遠鏡３４の倍率は、対物レンズ２０の後部開口部２４の面において光ビーム１２及びその幅ｗの角変位を最適にするように選択することができる。前述したように、一般に、いくつかの光ビーム１２を用いていくつかの関連する光トラップを形成することができる。そのような複数のビーム１２は、複数の独立した入射ビーム又は従来の反射及び／又は屈折光学素子によって操作された１つのビームから作り出すことができる。
【００２２】
図３に示した全体的な光学操作システムの１つの好ましい実施形態では、任意の光トラップのアレイを形成することができる。回折光学素子４０は、大体において、対物レンズ２０の後部開口部２４と共役の面４２内に配置される。明確にするために、回折された出力ビーム４４は１つしか示してないが、複数のそのようなビーム４４を回折光学素子４０によって作ることができることを理解されたい。回折光学素子４０に入射する光ビーム１２は、この回折光学素子４０の特性に応じたパターンの出力ビーム４４に分割される。それぞれの出力ビームは、点Ａから放射する。このため、出力ビーム４４も、前述した下流の光学素子の結果として点Ｂを通過する。」
（エ）　「【００２７】
光ピンセットシステム１０では、静的な又は時間依存性の回折光学素子４０のいずれも使用することができる。動的なすなわち時間依存性の素子については、時間的に変化する光トラップのアレイ５０を作り出すことができ、これらのアレイをそのような特徴を利用するシステムの一部とすることができる。さらに、これらの動的な光学素子４０を使用して、粒子及びマトリックス媒体を互いに相対的に活発に移動させることができる。例えば、回折光学素子４０を、コンピュータ生成のホログラフィックパターンにより転写された変化を受ける液晶のフェイズアレイとすることができる。
【００２８】
図５に示された別の実施形態では、システムは光ピンセットのトラップ５０を連続的に移動できるように構成することができる。ジンバルに搭載したミラー６０は、その回転中心を点Ａに置いて配置される。光ビーム１２はその軸が点Ａを通過するようにミラー６０の表面に入射し、後部開口部２４に投影される。ミラー６０が傾斜することにより、ミラー６０に対する光ビーム１２の入射角が変化され、この特徴を使用して結果として光トラップ５０を移動することができる。第２の望遠鏡６２がレンズＬ３及びＬ４から形成されて、点Ａと共役の点Ａ’を作る。点Ａ’に置かれた回折光学素子４０が次に、回折されたビーム６４のパターンを作り出す。それぞれの回折されたビームは点Ａを通り、光ピンセットアレイのシステム１０内にピンセットトラップ５０の１つを形成する。」
（オ）　「【図１】
」
（カ）　「【図２】
」
（キ）　「【図３】
」
（ク）　「【図４】
」
（ケ）　「【図５】
」
カ　甲１０
（ア）　「【特許請求の範囲】
　１．　顕微鏡、例えば共焦点走査顕微鏡のビーム路における光学装置であって、光源（２）と対象物（３）との間の照明ビーム路（１）にも、検知器（５）と対象物（３）との間の検知ビーム路（４）にも、それぞれ１つのホール絞り−照明ホール絞り（６）ないし検知ホール絞り（７）−が配置されている形式の光学装置において、
　少なくともホール絞り（６，７）の１つと対象物（３）との間に、光学的に有効なホール絞り直径を変化させるための可変光学系（８）が設けられている、ことを特徴とする光学装置。
　２．　・・・（略）・・・
　７．　可変光学系（８）はビームスプリッタ（９）と対象物（３）との間に配置されている、請求項６記載の装置。
　８．　・・・（略）・・・
　１０．　可変光学系（８）は、有利には電動式のズーム光学系である、請求項１から９までのいずれか１項記載の装置。
　１１．　・・・（略）・・・
　１２．　ズーム光学系の場合、固定焦点面において倍率を変化させるための手段、または倍率が固定の場合において焦点面を変化させるための手段が設けられている、請求項１０または１１記載の装置。」
（イ）　「【発明の詳細な説明】
　　　　　　　顕微鏡のビーム路における光学装置
　本発明は、顕微鏡、例えば共焦点走査顕微鏡のビーム路における光学装置に関し、即ち光源と対物レンズとの間の照明ビーム路にも、検知器と対物レンズとの間の検知ビーム路にもそれそれ１つのホール絞り−照明ホール絞りないし検知ホール絞り−が配置されている光学装置に関する。」
（４頁１−６行）
（ウ）　「図は、共焦点走査顕微鏡のビーム路における光学装置を示す。ここでは光源２と対象物３との間の照明ビーム路１にも、検知器５と対象物３との間の検知ビーム路４にもそれそれ１つのホール絞り、すなわち照明ホール絞り６ないし検知ホール絞り７が配置されている。
　本発明では、ホール絞り６，７と対象物３との間に、光学的に作用するホール絞り直径を変化させるための可変光学系８が設けられている。この可変光学系８はここで具体的に選択された構成に相応して、光源２に対しても検知器５に対しても有効に作用する、すなわち、ビームスプリッタ９と対象物３との間に配置されている。具体的には可変光学系８にはスキャナ１０（ここでは簡単化のために走査および偏向ミラーとして示されている）と対物レンズ構造体１１が後置されている。
　可変光学系８は電動式ズーム光学系であり、これはビデオカメラに使用されている。ここでは固定の焦点面で倍率が可変であり、または倍率が固定の場合は焦点面が可変である。」（７頁下から７行−８頁７行）
（エ）　「【図１】
　
」
ケ　甲８
　甲８には、次の事項が記載されている。
（ア） 　「【特許請求の範囲】
【請求項１】
・・・（略）・・・
【請求項４】　光ビームを発生するための好ましくはレーザである光源（１）と、前記光ビームを偏向するための少なくとも１つのマイクロミラー（１６）とを有する光学装置であって、適応レンズ（２２）がミラーの欠陥またはミラー面の変形を補正するために設けられることを特徴とする光学装置。
【請求項５】　前記適応レンズ（２２）が、位相面の欠陥を補正するための能動光学素子を有することを特徴とする請求項４に記載の光学装置。
【請求項６】　前記適応レンズ（２２）が、好ましくは静電アクチュエータによって変形することができるミラーを有し、前記適応レンズ（２２）が、照射光ビームおよび／または検出光ビームの個別の部分に意図的に位相遅れを生じることができる素子を有することを特徴とする請求項５に記載の光学装置。
【請求項７】　光学素子が、偏向面と共役で、かつビーム経路に存在するフーリエ面に配置されることを特徴とする請求項５に記載の光学装置。」
（イ）　「【００１６】図３は、概略図的に、本発明による走査型顕微鏡の第２の典型的具体例を示している。ここで、再び、前述の図１および図２にすでに述べられ、そこで記載された構成要素に対応する構成要素は、同一の参照符号によって示される。図３に示される典型的具体例では、適応レンズ２２が、ピエゾミラーの形態で設けられる。ピエゾミラーは、ＰＣまたはコンピュータ２０によって制御される。これに必要な制御信号は、現在の横領域分布を検出するための装置１９を形成するハルトマン・シャック（Hartmann-Shack）センサを補助として確認される。収差を補正するために、ＰＣ２０がそれぞれのゼルニケ（Zernike ）の多項式を計算する。」
（ウ）　「【００４４】特に、適応レンズは、照射光ビームおよび／または検出光ビームの個別の部分に意図的に位相遅れを生じることができる素子を備えているとよい。このような素子は、単純にＬＣＤ（液体結晶表示）走査素子であってもよい。
【００４５】素子は、特に効果的に、偏向面と共役で、かつビーム経路に存在するフーリエ面に配置してよい。
【００４６】素子は、光ビームの均一または最適横領域分布に関して、能動的に制御可能および／または調整可能であってよい。そのため、現在の横領域分布を検出するための装置が設けられるとよい。適切な制御信号を発生することができる処理論理回路は、装置と相互に作用できよう。」
（エ）　「【図３】
」
（３）　取消理由通知に記載した取消理由についての判断 
ア　本件特許発明４について
（ア）　本件特許発明４と引用発明とを対比する。
ａ　波面変調素子
　引用発明においては、「照明光源１から出る照明光２」は、「ビームスプリッタ８で偏向した後、その偏光状態に依存して」、「ビームスプリッタ１９のスプリッタ層を通って」「適応ミラー１５へ」、または「スプリッタ層により偏向して、」「適応ミラー１７」へ達する、あるいは「両適応ミラー１５，１７」に達する。
　また、引用発明においては、「第１の適応ミラー１５」及び「別の適応ミラー１７」は、「適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して、」「ミラーの幾何構造を確認し調整することができ、それにより最適の受信信号が得られると共に光学システムの収差が補正される」ものである。
　引用発明の「照明光源１」及び「照明光２」は、本件特許発明４の「光源」及び「照明光」に相当する。
　引用発明の「第１の適応ミラー１５」及び「別の適応ミラー１７」は、「適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して」、「光学システムの収差」を「補正」するというその動作・機能からみて、「照明光源１から出る照明光２」の波面を変調しているということができる（引用例１の段落【００３８】の記載からも確認できる事項である。）。
　そうすると、引用発明の「第１の適応ミラー１５」及び「別の適応ミラー１７」は、本件特許発明４の「波面変調素子」に相当し、引用発明は、「第１の適応ミラー１５」及び「別の適応ミラー１７」を具備する点において、本件特許発明４の「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子」を具備するということができる。
ｂ　フーリエ変換光学系、逆フーリエ変換光学系及び対物光学系
（ａ）　引用発明は、「ビームスプリッタ１９と適応ミラー１５との間に」、「ズーム光学系２１」が、「ビームスプリッタ１９と適応ミラー１７との間に」、「ズーム光学系２３」が存在し、「ズーム光学系２１，２３は、第１の適応ミラー１５，別の適応ミラー１７の口径を顕微鏡対物レンズ６の口径へ適合させるものであり」、「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるレンズ２４も配備され、ひとみ平面２５は、走査装置７の位置にあり、適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題は、構成の適合化と同時にズーム光学系２１もしくは２３に担わせることもでき、その場合レンズ２４は不要であ」るものである。
（ｂ）　引用発明においては、「照明光２は、レンズ２４により集光され、走査光学系４により再度集光された後、円筒レンズ５により平行光とされた後、顕微鏡対物レンズ６に入射して、試料３上に集光され」る。
（ｃ）　上記（ａ）と（ｂ）より、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」は、「適応ミラー１５および１７の口径を顕微鏡対物レンズ６の口径へ適合させる」とともに、「適応ミラー１５および１７の平面を、走査装置７の位置にある顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる」ものであり、かつ、「照明光２」を「集光」するものである。
（ｄ）　引用発明においては、「照明光源１からの照明光２」は、「ビームスプリッタ８、ビームスプリッタ１９、λ／４板２０，２２、ズーム光学系２１，２３、適応ミラー１５，１７、ズーム光学系２１，２３、λ／４板２０，２２、ビームスプリッタ１９、レンズ２４、走査装置７、走査光学系４、円筒レンズ５、顕微鏡対物レンズ６を順に経由するものであ」る。
　そうすると、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」に入射する光は、「適応ミラー１５，１７」に反射された「照明光２」である。
（ｅ）　上記（ｃ）と（ｄ）より、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」は、「適応ミラー１５，１７」に反射された「照明光２」を「集光」しているということができる。
　そうすると、上記ａより、引用発明は、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」を具備する点において、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」を具備するということができる。
（ｆ）　上記（ｂ）より、「レンズ２４により集光され」た「照明光２」は、「走査光学系４」を経て、「円筒レンズ５により平行光とされ」る。
　上記（ｅ）及びａより、「レンズ２４により集光され」た「照明光２」は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」から射出された「照明光」である。
　そうすると、引用発明は、「円筒レンズ５」を具備する点において、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」を具備するということができる。
（ｇ）　上記（ｂ）より、引用発明においては、「照明光２」は、「円筒レンズ５により平行光とされた後、顕微鏡対物レンズ６に入射して、試料３上に集光され」る。
　そうすると、引用発明の「顕微鏡対物レンズ６」は、「円筒レンズ５」から射出された「照明光２」を「試料３」に「集光させる」ものである。
　引用発明の「顕微鏡対物レンズ６」は、その機能からみて、本件特許発明４の「対物光学系」に相当する。
　引用発明の「試料３」は、本件特許発明４の「被写体」に相当する。
　そうすると、上記（ｆ）とａより、引用発明は、「顕微鏡対物レンズ６」を具備する点において、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」「から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系」を具備するということができる。
ｃ　可変機構及び集光補正機構等
（ａ）　引用発明の「ズーム光学系２１，２３」は、「適応ミラー１７の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させるもの」である。また、「ズーム装置２１および２３もまたそれぞれ対応の評価装置および調整装置と結合して」いる。
　そうすると、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」は、その倍率が調整されるように、焦点距離が変更されることは技術常識より明らかであるから、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」は、焦点距離が変更可能な可変機構を備えているということができる。
　上記ｂ（ｅ）より、引用発明は、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」が、焦点距離が変更可能な可変機構を備えている点において、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」において、「焦点距離を変更可能な可変機構を備え」という構成を具備するということができる。
（ｂ）　引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」においては、「照明光源１から出る照明光２は試料３に向き、走査光学系４、円筒レンズ５および顕微鏡対物レンズ６によって、回折抑制スポットが生成され、画像取得のため、走査装置７により試料３全体にわたり横方向に動かされ」、「照明光２は、レンズ２４により集光され、走査光学系４により再度集光された後、円筒レンズ５により平行光とされた後、顕微鏡対物レンズ６に入射して、試料３上に集光され」、「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるレンズ２４も配備され、ひとみ平面２５は、走査装置７の位置にあり」、「検出装置１０内には偏光性ビームスプリッタ２６ならびに２つの光電子変換器２７．１，２７．２が配備され、それにより、適応ミラー１５からの検出光は、光電子変換器２７．１により、また適応ミラー１７からの検出光は光電子変換器２７．２により検出することが可能であり」、「光電子変換器２７．１の出力信号は、評価装置および調整装置を通じて、適応ミラー１５と結合しており、また光電子変換器２７．２の出力側も同様に、評価装置および調整装置を通じて、適応ミラー１７と結合し」、「共焦点配置内の検出器において、収差のない結像の場合より弱い光強度が記録されるのは、焦点ぼけ、試料、または光学素子に起因する収差が原因であり、適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して、その場合の受信信号への影響を測定すれば、測定結果を基に、ミラーの幾何構造を確認し調整することができ、それにより最適の受信信号が得られると共に光学システムの収差が補正される」ものである。
　そうすると、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」は、「光電子変換器２７．１」，「光電子変換器２７．２」の「測定結果を基に」、「適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して」、「焦点ぼけ、試料、または光学素子に起因する」「光学システムの収差」を補正するものであるから、引用発明においては、「照明光２」が「顕微鏡対物レンズに入射して、試料上に集光され」る位置を調節する機構を備えているということができる。
　してみると、上記ｂ（ｇ）とａより、引用発明は、「顕微鏡対物レンズ」による「試料上に集光され」る位置を調節する機構を備えている点において、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え」という構成を具備するということができる。
（ｃ）　また、上記（ｂ）より、該「焦点ぼけ、試料、または光学素子に起因する」「光学システムの収差」の補正は、「適応ミラー１５および１７の鏡面の幾何構造を変更して」行うものであるから、上記ａより、引用発明は、「適応ミラー１５および１７」の「鏡面の幾何構造」を「変更して」、「照明光２」に波面を付与することにより、「光学システムの収差」の補正を行うものであるということができる。
　そうすると、上記（ｂ）とａより、引用発明は、「適応ミラー１５および１７」の「鏡面の幾何構造」を「変更して」、「照明光２」に波面を付与することにより、「光学システムの収差」の補正を行う点において、「前記波面変調素子」が、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構」として、「波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する」という構成を具備するということができる。
ｄ　照明光学系
　上記ａ〜ｃを踏まえると、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」は、本件特許発明４の「照明光学装置」に相当する。
（イ）　一致点・相違点
ａ　一致点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明４と引用発明とは、次の構成で一致する。
　　「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系と、
　該第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系と、
　該第２光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記第１光学系において、焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置。」
ｂ　相違点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明４と引用発明とは、次の点で相違する。
（相違点１−１）
　本件特許発明４は、
　「第１光学系」が、「フーリエ変換を施すフーリエ変換光学系」であるとともに、
　「第２光学系」が、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのに対して、
　引用発明は、
　「第１光学系」が、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」であり、「適応ミラー１５および１７の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させる」とともに、「適応ミラー１５および１７の平面を、走査装置７の位置にある顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる」ものであり、かつ、「照明光２」を「集光」するものであるものの、「フーリエ変換を施すフーリエ変換光学系」であるのかどうか明らかでなく、
　「第２光学系」が、「円筒レンズ５」であるものの、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのかどうか明らかでない点。
（相違点１−２）
　本件特許発明４は、
　「可変機構」が、「前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能であり、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　「前記波面変調素子」が、「前記集光補正機構として、前記第１光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記第１光学系の焦点位置を移動させるような」波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節するものであるのに対して、
　引用発明は、
　「可変機構」が、「前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能であるかどうか明らかでなく、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記第１光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えているかどうか明らかでなく、
　「適応ミラー１５，１７」（波面変調素子）が、「前記集光補正機構として、前記第１光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記第１光学系の焦点位置を移動させるような」波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節するものであるのかどうか明らかでない点。
（ウ）　相違点について
　事案に鑑み、（相違点１−１）と（相違点１−２）をまとめて検討する。
ａ　引用発明は、「共焦点レーザ走査型顕微鏡」であって、「照明光源１から出る照明光２は試料３に向き、走査光学系４、円筒レンズ５および顕微鏡対物レンズ６によって、回折抑制スポットが生成され、画像取得のため、走査装置７により試料３全体にわたり横方向に動かされ」るものであるところ、照明光学系の構成としては、走査装置７により走査・偏向された照明光２が、顕微鏡対物レンズ６の入射ひとみを通過するように、かつ、顕微鏡配置のひとみ平面２５の位置としている走査装置７の位置が、顕微鏡対物レンズ６の（後ろ側の）入射ひとみ平面の位置と共役関係となるように、走査光学系４及び円筒レンズ５が設定されていることは、共焦点レーザ走査型であるというその動作からみて、明らかなことである。
ｂ　そうすると、上記ａより、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」においては、適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは
「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」が配備され、顕微鏡配置のひとみ平面２５を、走査装置７の位置とする（すなわち、共役関係とする）だけでなく、走査光学系４及び円筒レンズ５により、顕微鏡配置のひとみ平面２５の位置である走査装置７の位置と顕微鏡対物レンズ６の（後ろ側の）入射ひとみ平面の位置とを共役関係として、適応ミラー１５および１７の平面、走査装置７の位置及び顕微鏡対物レンズ６の（後ろ側の）入射ひとみ平面の３者を共役関係とする光学的な配置を前提としていることが分かる。また、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」においては、照明光２は、レンズ２４により集光、発散され、走査光学系４により再度集光・発散された後、円筒レンズ５により平行光とされた後、顕微鏡対物レンズ６に入射して、試料上に集光されるような光学的な配置を前提として有するものである。
　そして、このような光学的な配置を前提としている引用発明において、「評価装置および調整装置を結合し」た「ズーム光学系２１，２３」により、「第１の適応ミラー１５，別の適応ミラー１７の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させる」ために、「ズーム光学系」の焦点距離が調整されても、「ズーム光学系」の前後の焦点（面）位置は変化せず、光学系顕微鏡対物レンズ６の焦点位置のズレは発生しない。
　そうすると、引用発明においては、第１光学系の焦点距離の変更により、光学系顕微鏡対物レンズ６（対物光学系）の焦点位置のズレは発生しないから、焦点位置のズレを戻す方向に焦点位置を調節する手段を採用することには動機付けがない。
　したがって、たとえ、焦点位置のズレを戻す方向に焦点位置を調節するような手段が、本件特許の優先日前に周知又は公知であったとしても、甲１に記載された発明において、上記の相違点に係る本件特許発明４の構成を採用することは、当業者が容易になし得たということはできない。
ｄ　してみると、本件特許発明４は、甲１に記載された発明であるとはいえない。
　また、本件特許発明４は、甲１に記載された発明及び甲６ないし１０に記載された周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
イ　本件特許発明５について
（ア）　本件特許発明５と、引用発明とを対比する。
ａ　波面変調素子
　上記ア（ア）ａにおける対比と同様な対比により、引用発明は、本件特許発明５の「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子」を具備するということができる。
ｂ　フーリエ変換光学系、逆フーリエ変換光学系及び対物光学系
（ａ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」を具備するということができる。
（ｂ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」を具備するということができる。
（ｃ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系」を具備するということができる。
ｃ　可変機構及び集光補正機構等
（ａ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」において、「焦点距離を変更可能な可変機構を備え」という構成を具備するということができる。
（ｂ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え」という構成を具備するということができる。
（ｃ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「前記波面変調素子」が、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構」として、「波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する」という構成を具備するということができる。
ｄ　照明光学系
　上記ａ〜ｃを踏まえると、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」は、本件特許発明５の「照明光学装置」に相当する。
（イ）　一致点・相違点
ａ　一致点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明５と引用発明とは、次の構成で一致する。
　　「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系と、
　該第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系と、
　該第２光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する照明光学装置。」
ｂ　相違点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明５と引用発明とは、次の点で相違する。
（相違点２−１）
　本件特許発明５は、
　「第１光学系」が、「フーリエ変換を施すフーリエ変換光学系」であるとともに、
　「第２光学系」が、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのに対して、
　引用発明は、
　「第１光学系」が、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」であり、「適応ミラー１５および１７の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させる」とともに、「適応ミラー１５および１７の平面を、走査装置７の位置にある顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる」ものであり、かつ、「照明光２」を「集光」するものであるものの、「フーリエ変換を施すフーリエ変換光学系」であるのかどうか明らかでなく、
　「第２光学系」が、「円筒レンズ５」であるものの、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのかどうか明らかでない点。
（相違点２−２）
　本件特許発明５は、
　「可変機構」が、「前記第２光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能であり、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記第２光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　「前記波面変調素子」が、「前記集光補正機構として、前記第２光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記第１光学系の焦点位置を移動させるような」波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節するものであるのに対して、
　引用発明は、
　「可変機構」が、前記第１光学系において、焦点距離を変更可能であるものであり、「前記第２光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能であるものではなく、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記第２光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えているかどうか明らかでなく、
　「適応ミラー１５，１７」（波面変調素子）が、「前記集光補正機構として、前記第２光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記第１光学系の焦点位置を移動させるような」波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節するものであるのかどうか明らかでない点。
（ウ）　相違点について
　事案に鑑み、（相違点２−１）と（相違点２−２）をまとめて検討する。
ａ　上記ア（ウ）において既に検討した理由と同様な理由により、引用発明において、仮に、第１光学系に替え、第２光学系において焦点距離を変更可能な可変機構を備えた構成とすることが設計事項であるとしても、第２光学系の焦点距離の変更により、光学系顕微鏡対物レンズ６（対物光学系）の焦点位置のズレは発生しないのであるから、引用発明において、波面変調素子が、可変機構が備える集光補正機構として、「第２光学系の焦点距離の変更により発生する対物光学系の焦点位置のズレ」を戻す方向に第１光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって対物光学系による集光位置を調整する構成とすることには、動機付けがない。
ｂ　してみると、本件特許発明５は、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
ウ　本件特許発明１について
（ア）　本件特許発明１と、引用発明とを対比する。
ａ　波面変調素子
　上記ア（ア）ａにおける対比と同様な対比により、引用発明は、本件特許発明１の「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子」を具備するということができる。
ｂ　フーリエ変換光学系、逆フーリエ変換光学系及び対物光学系
（ａ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」は、「適応ミラー１５，１７」により反射された「照明光２」を「集光」しているということができる。
　そうすると、引用発明は、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」を具備する点において、「波面変調素子により反射された照明光を集光する第１光学系」を具備するということができる。
　また、引用発明と、本件特許発明１とは、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」を具備する点で共通する。
（ｂ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」を具備するということができる。
（ｃ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」「から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系」を具備するということができる。
ｃ　可変機構及び集光補正機構等
（ａ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」において、「焦点距離を変更可能な可変機構を備え」という構成を具備するということができる。
　また、引用発明と、本件特許発明１は、「焦点距離を変更可能な可変機構を備え」という構成を具備する点で共通する。
（ｂ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え」という構成を具備するということができる。
（ｃ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「前記波面変調素子」が、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構」として、「波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する」という構成を具備するということができる。
ｄ　照明光学装置
　上記ａ〜ｃを踏まえると、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」は、本件特許発明１の「照明光学装置」に相当する。
（イ）　一致点・相違点
ａ　一致点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明１と引用発明とは、次の構成で一致する。
　　「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系と、
　該第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系と、
　該第２光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えた照明光学装置。」
ｂ　相違点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明１と引用発明とは、次の点で相違する。
（相違点３−１）
　本件特許発明１は、
　「第１光学系」が、該波面変調素子「を透過した」照明光を集光し「フーリエ変換を施すフーリエ変換」であるとともに、
　「第２光学系」が、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのに対して、
　引用発明は、
　「第１光学系」が、該波面変調素子「により反射された」照明光を集光する、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」であり、「適応ミラー１５および１７の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させる」とともに、「適応ミラー１５および１７の平面を、走査装置７の位置にある顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる」ものであり、かつ、「照明光２」を「集光」するものであるものの、該波面変調素子「を透過した」照明光を集光し「フーリエ変換を施すフーリエ変換光学系でなく、
　「第２光学系」が、「円筒レンズ５」であるものの、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのかどうか明らかでない点。
（相違点３−２）
　本件特許発明１は、
　「可変機構」が、「前記第１光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能なものであり、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記第１光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えたものであり、
　「前記集光補正機構」が、「前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる」ものであるのに対して、
　引用発明は、
　「可変機構」が、「前記第１光学系において、」焦点距離を変更可能なものであり、「前記第１光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能なものであるかどうか明らかでなく、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えたものであるのかどうか明らかでなく、
　「前記集光補正機構」が、「適応ミラー１５，１７」（波面変調素子）が「波面を付与することによって」前記対物光学系による集光位置を調節するものであって、「前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる」ものでない点。
（ウ）　相違点
ａ　（相違点３−１）について検討する。
　引用発明は、引用例１の【従来の技術】及び【発明が解決しようとする課題】の記載（３．（３）ア（イ）の段落【０００２】〜【０００５】参照。）及び現状の技術を示す図６によれば、引用例１における「発明」は、適応光学系を利用した顕微鏡において、照明光路および／または検出光路内でビームスプリッタを使用する必要がある時に光学的損失が発生したり、該光学的損失がないように結合するために、ミラーからなる適応素子に対して斜め入射させた場合に収差が発生したりするため、このような光学的損失や斜め入射による収差のない結合を保証することを【発明が解決しようとする課題】とするものであり、反射型の適応光学系を利用した顕微鏡の照明光路において、反射型の適応素子に対して垂直に照明光を入射・反射させるとともに、偏光性ビームスプリッタとλ／４板を用いる構成とすることにより、ビームスプリッタを使用しながらも光学的損損失がなく、かつ斜め入射による収差がない結合を得ることをその技術的な特徴とするものである。
　そうしてみると、引用発明において、反射型の波面変調素子である適応ミラー１５，１７に換えて、透過型の波面変調素子の構成を採用して、「第１光学系」が、該波面変調素子を「透過した」照明光を集光する構成とすることは、引用発明の特徴である、反射型の波面変調素子を使用しない構成とし、また、反射型の波面変調素子に対して垂直に照明光を入射・反射させるととともに、偏光性ビームスプリッタとλ／４板を用いて、光学的損失及び収差がない結合が得られるようにした光路構成を大きく変えることになり、さらに、引用発明におけるビームスプリッタを使用しながらも光学的損損失がなく、かつ斜め入射による収差がない結合を得るという作用・効果を奏さないものとするものであるから、阻害要因があるということができる。
　してみると、引用発明において、上記（相違点３−１）に係る本件特許発明１の構成とすることは、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
ｂ　そうすると、上記（相違点３−２）について検討するまでもなく、本件特許発明１は、甲１に記載された発明及び甲２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとも、甲１に記載された発明、及び、顕微鏡において、補正リングを備えた対物レンズを用いて収差等の補正を行うという周知技術（甲２、甲１３及び甲１４等参照。）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
エ　本件特許発明２について
（ア）　本件特許発明２と、引用発明とを対比する。
ａ　波面変調素子
　上記ア（ア）ａにおける対比と同様な対比により、引用発明は、本件特許発明２の「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子」を具備するということができる。
ｂ　フーリエ変換光学系、逆フーリエ変換光学系及び対物光学系
（ａ）　上記ア（ア）ｂにおける対比と同様な対比により、引用発明の「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」は、「適応ミラー１５，１７」により反射された「照明光２」を「集光」しているということができる。
　そうすると、引用発明は、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズームレンズ光学系２１，２３」を具備する点において、「波面変調素子により反射された照明光を集光する第１光学系」を具備するということができる。
　また、引用発明と、本件特許発明２とは、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」を具備する点で共通する。
（ｂ）　上記ア（ア）ａにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」を具備するということができる。
（ｃ）　上記ア（ア）ａにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系」「から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系」を具備するということができる。
ｃ　可変機構及び集光補正機構等
（ａ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系」において、「焦点距離を変更可能な可変機構を備え」という構成を具備するということができる。
　また、引用発明と、本件特許発明２は、「焦点距離を変更可能な可変機構を備え」という構成を具備する点で共通する。
（ｂ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え」という構成を具備するということができる。
（ｃ）　上記ア（ア）ｃにおける対比と同様な対比により、引用発明は、「前記波面変調素子」が、「前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構」として、「波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する」という構成を具備するということができる。
ｄ　照明光学装置
　上記ａ〜ｃを踏まえると、引用発明の「共焦点レーザ走査型顕微鏡」は、本件特許発明２の「照明光学装置」に相当する。
（イ）　一致点・相違点
ａ　一致点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明２と引用発明とは、次の構成で一致する。
　　「光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光する第１光学系と、
　該第１光学系から射出された照明光を平行光束にする第２光学系と、
　該第２光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えた照明光学装置。」
ｂ　相違点
　前記（ア）の対比結果を踏まえると、本件特許発明２と引用発明とは、次の点で相違する。
（相違点４−１）
　本件特許発明２は、
　「第１光学系」が、該波面変調素子「を透過した」照明光を集光し「フーリエ変換を施すフーリエ変換」であるとともに、
　「第２光学系」が、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのに対して、
　引用発明は、
　「第１光学系」が、該波面変調素子「により反射された」照明光を集光する、「ズーム光学系２１，２３」及び「レンズ２４」、あるいは「適応ミラー１５および１７の平面を顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させるという課題」を担う「ズーム光学系２１，２３」であり、「適応ミラー１５および１７の口径を顕微鏡対物レンズの口径へ適合させる」とともに、「適応ミラー１５および１７の平面を、走査装置７の位置にある顕微鏡配置のひとみ平面２５内へ結像させる」ものであり、かつ、「照明光２」を「集光」するものであるものの、該波面変調素子「を透過した」照明光を集光し「フーリエ変換を施すフーリエ変換光学系」でなく、
　「第２光学系」が、「円筒レンズ５」であるものの、「該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施す逆フーリエ変換光学系」であるのかどうか明らかでない点。
（相違点４−２）
　本件特許発明２は、
　「可変機構」が、「前記第２光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能なものであり、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記第２光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えたものであり、
　「前記集光補正機構」が、「前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる」ものであるのに対して、
　引用発明は、
　「可変機構」が、前記第１光学系において、焦点距離を変更可能であるものであり、「前記第２光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ」焦点距離を変更可能なものではなく、
　「可変機構」が、「前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記第２光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、」前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えたものであるのかどうか明らかでなく、
　「前記集光補正機構」が、「適応ミラー１５，１７」（波面変調素子）」が「波面を付与することによって」前記対物光学系による集光位置を調節するものであって、「前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる」ものでない点。
（ウ）　相違点
ａ　（相違点４−１）について検討する。
　本件特許発明１についての上記ウ（ウ）ａにおける理由と同様な理由により、引用発明において、反射型の波面変調素子である適応ミラー１５，１７に換えて、透過型の波面変調素子の構成を採用して、「第１光学系」が、該波面変調素子を「透過した」照明光を集光する構成とすることには、阻害要因があるということができる。
　してみると、引用発明において、上記（相違点４−１）に係る本件特許発明２の構成とすることは、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
ｂ　そうすると、上記（相違点４−２）について検討するまでもなく、本件特許発明２は、甲１に記載された発明、甲２に記載された発明、甲９に記載された発明、甲１０に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
オ　本件特許発明７について
　本件特許発明７の照明光学装置は、本件特許発明１、２、４あるいは５のいずれかの発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を含むものである。
　してみると、本件特許発明１の理由（上記ウ（ウ））、本件特許発明２の理由（上記エ（ウ））、本件特許発明４の理由（上記ア（ウ））、本件特許発明５の理由（上記イ（ウ））のいずれかと同様な理由により、本件特許発明７は、甲１に記載された発明であるとはいえない。あるいは、本件特許発明７は、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
カ　本件特許発明８について
　本件特許発明８の照明光学装置は、本件特許発明１、２、４あるいは５のいずれかの発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を含むものである。
　してみると、本件特許発明１の理由（上記ウ（ウ））、本件特許発明２の理由（上記エ（ウ））、本件特許発明４の理由（上記ア（ウ））、本件特許発明５の理由（上記イ（ウ））のいずれかと同様な理由により、本件特許発明８は、甲１に記載された発明及び光学顕微鏡の分野において周知技術（甲３、甲４参照。）であるレボルバーや甲３に記載された鏡筒回転装置に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
キ　本件特許発明９について 
　本件特許発明９の照明光学装置は、本件特許発明１、２、４あるいは５のいずれかの発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を含むものである。
　してみると、本件特許発明１の理由（上記ウ（ウ））、本件特許発明２の理由（上記エ（ウ））、本件特許発明４の理由（上記ア（ウ））、本件特許発明５の理由（上記イ（ウ））のいずれかと同様な理由により、本件特許発明９は、甲１に記載された発明及び、甲５に記載された液体レンズに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
ク　本件特許発明１０について 
　本件特許発明９の照明光学装置は、本件特許発明１、２、４あるいは５のいずれかの発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を含むものである。
　してみると、本件特許発明１の理由（上記ウ（ウ））、本件特許発明２の理由（上記エ（ウ））、本件特許発明４の理由（上記ア（ウ））、本件特許発明５の理由（上記イ（ウ））のいずれかと同様な理由により、本件特許発明１０は、甲１に記載された発明であるとはいえない。あるいは、本件特許発明１０は、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
ケ　本件特許発明１１について 
　本件特許発明１１の照明光学装置は、本件特許発明１、２、４あるいは５のいずれかの発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を含むものである。
　してみると、本件特許発明１の理由（上記ウ（ウ））、本件特許発明２の理由（上記エ（ウ））、本件特許発明４の理由（上記ア（ウ））、本件特許発明５の理由（上記イ（ウ））のいずれかと同様な理由により、本件特許発明１１は、甲１に記載された発明であるとはいえない。あるいは、本件特許発明１１は、甲１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
コ　特許異議申立人の主張について
（ア）　特許異議申立人は、平成２９年１１月１７日提出の意見書において、参考資料１〜３を添付するとともに、訂正後の本件特許発明１，２について、波面変調器には反射型と透過型のものがあることは周知（例えば、参考資料１（特開平１１−１０１９４２号公報）等）であり、甲１に記載された発明において、反射型の適応素子を透過型の適応素子と入れ替えることは、当業者が容易になし得たことである旨主張している（同意見書２頁下から７行〜５頁１３行（特に、５頁６〜９行））。
　しかしながら、上記ウ（ウ）で述べたとおり、引用発明において、反射型の波面変調素子に換えて、透過型の波面変調素子を用いることには、阻害要因があることから、訂正後の本件特許発明１，２についての上記の異議申立人の主張を採用することはできない。
（イ）　また、特許異議申立人は、同意見書において、訂正後の本件特許発明４について、甲１の段落【００３８】、【００５６】の記載に基づき、「当業者は、適応凹面鏡又は適応ミラー（波面変調素子に相当）の移動によらずとも、適応凹面鏡又は適応ミラーの作用表面の調整による波面の付与によっても、集光位置の補正を行うことができることを当然に理解できます。・・・さらに、これらの記載及び甲１の全体の記載に基づけば、『焦点位置のズレを戻す方向に・・・移動させるような波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する』ことも、当業者は当然に理解することができます。」、「従って、訂正後の本件特許発明４は、依然として甲１に記載された発明であるか又は記載されたに等しい発明であり、新規性及び進歩性を有するものではありません。」旨主張する（同意見書７頁１４行〜８頁２行）とともに、参考資料２（Amanda J. Wright 他３名，”Dynamic closed-loop system for focus tracking using a spatial light modulator and a deformable membrane mirror, OPTICS EXPRESS, 9 January 2006, Vol.14, No.1, p.222-228（２２３頁下から５行目から３行目））及び参考資料３（特開平１１−２２４８５３号（請求項１、３、４、５、段落【０００４】〜【０００７】、【００１２】、図３））の記載に基づき、「従って、波面変調素子によって、『前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の集光位置を移動させるような波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する』ことは、当業者によれば自明であり、及び／又は参考資料２、３の記載に基づけば明らかです。」、「従って、甲１記載の発明において、訂正後の本件特許発明４のように『前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の集光位置を移動させるような波面を付与することによって前記対物光学系による集光位置を調節する』ことは、当業者によれば、甲１記載の発明に基づいて自明であるか、又は、甲１記載の発明に周知技術（参考資料２及び３参照）を組み合わせて容易に想起し得たものです。」、「よって、訂正後の特許発明４は、依然として、甲１に記載された発明であるか又は記載されたに等しい発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものです。また、訂正後の特許発明４は、依然として、甲１及び周知技術（例えば、甲６乃至甲１０、参考資料２、参考資料３）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものです。」旨主張している（８頁３行〜１０頁２０行）。
　また、特許異議申立人は、同意見書において、訂正後の本件特許発明５について、「訂正後の特許発明４と訂正後の特許発明５とは、・・・実質的な差異は、可変機構がフーリエ変換光学系に備えられているか（特許発明４）か、逆フーリエ変換光学系に備えられているか（特許発明５）、という点のみです。」、「そうしますと、異議申立書でも既に述べました通り、甲１において、ズーム光学系２１、２３は、適応ミラー１５、１７の口径を対物レンズの口径に適応させるために設けられていることが記載されており、この機能及び目的を果たすためには、ズーム光学系は、適応ミラーと対物レンズとの間であれば、どこにでも設けられうる可能性があることは、この分野の当業者であれば容易に理解できるので、可変機構を逆フーリエ変換光学系に備えることは、当業者が適宜選択しうる設計事項にすぎません。」、「よって、訂正後の特許発明は、訂正後の特許発明４と同様に、依然として、甲１に記載された発明であるか又は記載されたに等しい発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものです。また、訂正後の特許発明５は、依然として甲１に基づいて、又は、甲１及び周知技術（例えば、参考資料２、３棟）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものです。」旨主張している（同意見書１１頁９行〜１２頁５行）。
　しかしながら、訂正後の本件特許発明４について、上記ア（ウ）で述べたとおり、引用発明においては、第１光学系の焦点距離の変更により、光学系顕微鏡対物レンズ６（対物光学系）の焦点位置のズレは発生しないから、焦点位置のズレを戻す方向に焦点位置を調節する手段を採用することには動機付けがない。訂正後の本件特許発明５についても同様である。
　よって、訂正後の本件特許発明４，５についての上記の異議申立人の主張を採用することはできない。
４．　むすび
　以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては、本件特許１、２、４、５、７〜１１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許１、２、４、５、７〜１１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　また、請求項３及び６に係る特許は、訂正により、削除されたため、本件特許の請求項３及び６に対して、特許異議申立人がした特許異議の申立てについては、対象となる請求項が存在しない。 
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３０年２月５日（２０１８．２．５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
照明光学装置
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は照明光学装置に関するものである。
　【背景技術】
　【０００２】
　従来、顕微鏡による蛍光観察において、標本上の複数箇所に同時に光を照射し、その標本の反応を観察する照明光学装置が知られている。（例えば、特許文献１参照。）。
　この照明光学装置は、複数箇所に同時に光を照射するために、ホログラムを利用している。すなわち、予め設定された標本上の複数の注目位置にスポットが形成されるような照明パターンを元にホログラムの位相パターンを作成し、その位相パターンを付与した波面変調素子によって光の波面を変調することにより、標本上にホログラム像を投影するようになっている。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００３】
　【特許文献１】　特開２００６−７２２７９号公報
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００４】
　しかしながら、特許文献１の照明光学装置では、波面変調を行う波面変調素子を構成しているデバイスのピクセルピッチおよび光学系の制限によって、標本上に生成されるホログラム像により光を一度に照射できる範囲とスポットの大きさが制限されてしまうという不都合がある。
　本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、標本上に照射する光の範囲およびスポットサイズを変更することができる照明光学装置を提供することを目的としている。
　【課題を解決するための手段】
　【０００５】
　上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
　本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子
を透過し
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子
を透過し
。
　
ま
前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
　また、本発明は、光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記逆フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、
前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
。
　【０００６】
　本発明によれば、光源からの照明光の波面が波面変調素子によって変調されることにより、所望のパターンで被写体に照明光が照射されるような波面が付与される。その後、フーリエ変換光学系によって集光されてフーリエ変換が施され、逆フーリエ変換光学系により逆フーリエ変換されることにより略平行光に変換された後に対物光学系によって、所望のパターンで被写体に集光される。
　【０００７】
　この場合において、本発明によれば、可変機構を作動させてフーリエ変換光学系、逆フーリエ変換光学系または対物光学系の焦点距離を変更するので、波面変調を行う波面変調素子を構成しているデバイスのピクセルピッチが一定でも被写体に一度に照明光を照射することができる範囲およびスポットの大きさを変更することができる。そして、この場合に、対物光学系による照明光の焦点位置が変化しないので、同一位置に配される被写体において所望のパターンで照明光を照射することができる。
　【０００８】
　上記発明においては、前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系または前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備えていることで、波面変調素子で与えた波面の照明光を対物光学系の瞳位置に入射させ、照明光のケラレを防止しつつ、所望のパターンで照明光を照射することができる。
　【０００９】
　また、上記発明においては、前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させることで、対物光学系の瞳位置と波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、フーリエ変換光学系または逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更した結果、発生する対物光学系の焦点位置のズレを、集光補正機構によって対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させて簡易に補正することができる。
　【００１０】
　また、上記発明においては、前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、前記対物光学系による集光位置を調節することで、対物光学系の瞳位置と波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、フーリエ変換光学系または逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更した結果、発生する対物光学系の焦点位置のズレ分だけフーリエ変換光学系の焦点位置を戻す方向に移動させるような波面を波面変調素子によって照明光の光束に追加して付与することにより、光学的に共役な位置関係を崩すことなく、最もコンパクトに装置を構成することができる。
　【００１１】
　また、上記発明においては、前記波面変調素子に対して光学的に共役な位置に配置され、前記光源から射出された照明光の偏向方向を変化させる光束偏向手段を備えていてもよい。
　このようにすることで、光源からの照明光を光束偏向手段により任意の方向に偏向して、所望のパターンで被写体の所望の位置に照射することができる。
　【００１２】
　また、上記発明においては、前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、焦点距離の異なる複数組のレンズ群を備え、前記可変機構が、前記レンズ群を切り替えてもよい。
　このようにすることで、可変機構によって、焦点距離の異なる複数組のレンズ群を切り替えることにより、波面変調を行う波面変調素子を構成しているデバイスのピクセルピッチが一定でも被写体に一度に照明光を照射することができる範囲およびスポットの大きさを容易に変更することができる。
　【００１３】
　また、上記発明においては、前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、焦点距離を変更可能な液体レンズを含み、前記可変機構が、焦点距離を変化させるように前記液体レンズを駆動してもよい。
　このようにすることで、可変機構が液体レンズを駆動して、対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更し、被写体に一度に照明光を照射することができる範囲およびスポットの大きさを容易に変更することができる。
　【００１４】
　また、上記発明においては、前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、ズーム光学系により構成されていてもよい。
　このようにすることで、フーリエ変換光学系または逆フーリエ変換光学系を構成するズーム光学系により、対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更し、被写体に一度に照明光を照射することができる範囲およびスポットの大きさを容易に変更することができる。
　【００１５】
　また、上記発明においては、前記ズーム光学系が、相互の間隔を調節可能な正のレンズ群および負のレンズ群を備えていてもよい。
　このようにすることで、ズーム光学系を構成する正のレンズ群と負のレンズ群の間隔を広げたときに、前側焦点位置を後側焦点位置をレンズ端面に近接させることができ、装置をコンパクトに構成することができる。
　【００１６】
　また、本発明の参考例としての発明は、上記構成において、前記焦点位置に配置された視野絞りを有していてもよい。
　このようにすることで、視野絞りにより、周辺光を制限し、迷光の発生を防止することができる。
　【００１７】
　また、本発明の参考例においては、光源から発せられた照明光の偏向方向を変化させる光束偏向手段と、該光束偏向手段に対して光学的に共役な位置に配置され、照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して略平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系とを備え、前記フーリエ変換光学系が、その前記逆フーリエ変換光学系側の焦点位置を略一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構を備える照明光学装置を提供する。
　【００１８】
　本参考例によれば、光源からの照明光が光束偏向手段により任意の方向に偏向され、波面変調素子によって波面が変調されることにより、所望のパターンで被写体に照明光が照射されるような波面が付与される。その後、フーリエ変換光学系によって集光されてフーリエ変換が施され、逆フーリエ変換光学系により逆フーリエ変換されることにより略平行光に変換された後に対物光学系によって、所望のパターンで被写体に集光される。
　【００１９】
　この場合において、本参考例によれば、可変機構を作動させてフーリエ変換光学系の焦点距離を変更するので、波面変調を行う波面変調素子を構成しているデバイスのピクセルピッチが一定でも被写体に一度に照明光を照射することができる範囲およびスポットの大きさを変更することができる。そして、この場合に、フーリエ変換光学系の逆フーリエ変換光学系側の焦点位置が変化しないので、波面変調素子と対物光学系の瞳位置との光学的に共役な位置関係を維持して、波面変調素子で与えた波面の照明光を対物光学系の瞳位置に入射させ、被写体において所望のパターンで照明光を照射することができる。
　【００２０】
　また、本発明の参考例は、光源から発せられた照明光の偏向方向を変化させる光束偏向手段と、該光束偏向手段に対して光学的に共役な位置に配置され、照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して略平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系とを備え、前記逆フーリエ変換光学系が、その前記フーリエ変換光学系側の焦点位置を略一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構を備える照明光学装置を提供する。
　【００２１】
　本参考例によれば、光源からの照明光が光束偏向手段により任意の方向に偏向され、波面変調素子によって波面が変調されることにより、所望のパターンで被写体に照明光が照射されるような波面が付与される。その後、フーリエ変換光学系によって集光されてフーリエ変換が施され、逆フーリエ変換光学系により逆フーリエ変換されることにより略平行光に変換された後に対物光学系によって、所望のパターンで被写体に集光される。
　【００２２】
　この場合において、本参考例によれば、可変機構を作動させて逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更するので、波面変調を行う波面変調素子を構成しているデバイスのピクセルピッチが一定でも被写体に一度に照明光を照射することができる範囲およびスポットの大きさを変更することができる。そして、この場合に、逆フーリエ変換光学系のフーリエ変換光学系側の焦点位置が変化しないので、波面変調素子と対物光学系の瞳位置との光学的に共役な位置関係を維持して、波面変調素子で与えた波面の照明光を対物光学系の瞳位置に入射させ、被写体において所望のパターンで照明光を照射することができる。
　【００２３】
　また、本参考例は、光源から発せられた照明光の偏向方向を変化させる光束偏向手段と、該光束偏向手段に対して光学的に共役な位置に配置され、照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して略平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変化させるとともに、前記波面変調素子により前記フーリエ変換光学系によるレーザ光の焦点位置が前記逆フーリエ変換光学系の前記フーリエ変換光学系側の焦点位置に略一致するような波面を付与する可変機構とを備える照明光学装置を提供する。
　【００２４】
　本参考例によれば、可変機構を作動させて逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更し、波面変調素子によりフーリエ変換光学系の焦点位置を逆フーリエ変換光学系のフーリエ変換光学系側の焦点位置に略一致させるような位相パターンを付与するので、フーリエ変換光学系の焦点位置における像の大きさを変化させて、被写体に一度に照明光を照射することができる範囲の大きさを変更することができる。
　【００２５】
　また、逆フーリエ変換光学系から射出されるレーザ光の光束径を変化させて、標本に照射されるスポットの大きさを変更することができる。
　そして、この場合に、波面変調素子と対物光学系の瞳位置との光学的に共役な位置関係を維持して、波面変調素子で与えた波面の照明光を対物光学系の瞳位置に入射させ、被写体において所望のパターンで照明光を照射することができる。
　【００２６】
　また、上記参考例においては、前記光束偏向手段と前記波面変調素子との間に配置されたリレー光学系を備え、前記フーリエ変換光学系が、前記リレー光学系の一部を含んでいてもよい。
　このようにすることで、リレー光学系によって、光束径を増大させずに像をリレーすることができ、また、フーリエ変換光学系とリレー光学系とを部分的に共有することにより、構成を簡素化することができる。
　【発明の効果】
　【００２７】
　本発明によれば、標本上に照射する光の範囲およびスポットサイズを変更することができるという効果を奏する。
　【図面の簡単な説明】
　【００２８】
　【図１】　本発明の第１の実施形態に係る照明光学装置を示す全体構成図である。
　【図２】　図１の照明光学装置の動作を説明する拡大図であり、（ａ）フーリエ変換光学系の焦点距離を長くした場合、（ｂ）フーリエ変換光学系の焦点距離を短くした場合をそれぞれ示す図である。
　【図３】　図１の照明光学装置の変形例であって、反射型の波面変調素子を使用した例を示す全体構成図である。
　【図４】　図１の照明光学装置の変形例であって、複数の切替レンズを切り替えるターレットを示す（ａ）縦断面図および（ｂ）正面図である。
　【図５】　図１の照明光学装置の変形例であって、リレー光学系のレンズとフーリエ変換光学系のレンズを部分的に共有させた例を示す全体構成図である。
　【図６】　図５の逆フーリエ変換光学系として採用した液体レンズの動作を説明する図であり、（ａ）焦点距離が長い場合、（ｂ）焦点位置を変化させずに焦点距離を短くした場合、（ｃ）焦点位置を変化させて焦点距離を短くした場合をそれぞれ示す図である。
　【図７】　本発明の第２の実施形態に係る照明光学装置を示す全体構成図である。
　【図８】　図７の照明光学装置におけるフーリエ変換光学系の動作を説明する（ａ）正のレンズ群と負のレンズ群との間隔が広がった状態、（ｂ）間隔が狭まった状態をそれぞれ示す図である。
　【図９】　図７の照明光学装置の第１の変形例を示す全体構成図である。
　【図１０】　図７の照明光学装置の第２の変形例を示す全体構成図である。
　【図１１】　図７の照明光学装置の第３の変形例におけるフーリエ変換光学系および逆フーリエ変換光学系を示す部分的な構成図である。
　【図１２】　図７の照明光学装置の第４の変形例におけるフーリエ変換光学系および逆フーリエ変換光学系を示す部分的な構成図である。
　【図１３】　図７の照明光学装置の第５の変形例におけるフーリエ変換光学系および逆フーリエ変換光学系を示す部分的な構成図である。
　【図１４】　図７の照明光学装置の第６の変形例におけるフーリエ変換光学系および逆フーリエ変換光学系を示す部分的な構成図である。
　【図１５】　図７の照明光学装置の第７の変形例におけるフーリエ変換光学系の動作を説明する（ａ）正のレンズ群と負のレンズ群との間隔が広がった状態、（ｂ）間隔が狭まった状態をそれぞれ示す図である。
　【図１６】　図７の照明光学装置の第８の変形例におけるフーリエ変換光学系の動作を説明する（ａ）正のレンズ群と負のレンズ群との間隔が広がった状態、（ｂ）間隔が狭まった状態をそれぞれ示す図である。
　【図１７】　図７の照明光学装置の第９の変形例におけるフーリエ変換光学系の動作を説明する（ａ）正のレンズ群と負のレンズ群との間隔が広がった状態、（ｂ）間隔が狭まった状態をそれぞれ示す図である。
　【発明を実施するための形態】
　【００２９】
　本発明の第１の実施形態に係る照明光学装置１について、図面を参照して以下に説明する。
　本実施形態に係る照明光学装置１は、図１に示されるように、光束偏向手段２と、リレー光学系３と、波面変調素子４と、フーリエ変換光学系５と、視野絞り６と、逆フーリエ変換光学系７と、対物光学系８とを備えている。また、図１には、ダイクロイックミラー９および撮像素子１０が設けられ、標本（被写体）Ａから戻る蛍光を撮影することができるようになっている。
　【００３０】
　光束偏向手段２は、対向して配置された２枚のガルバノミラー（図示略）を備えている。２枚のガルバノミラーは相互にねじれの位置関係に配置された軸線回りに揺動可能に設けられ、レーザ光源１１から入射されて来た略平行光束からなるレーザ光の光束の偏光方向を２次元的に変化させることができるようになっている。
　【００３１】
　リレー光学系３は、２以上の集光レンズ３ａ，３ｂからなり、平行光束からなるレーザ光を入射させて、その光束径を増大させて平行光束として射出させるようになっている。これにより、光束偏向手段２と波面変調素子４とを光学的に共役な位置関係としている。
　【００３２】
　波面変調素子４は、例えば、液晶素子からなり、レーザ光の光束を透過させる際に、その波面に所望の変調を施すことができるようになっている。レーザ光の波面に付与する変調は、例えば、予め標本Ａの画像を取得し、取得された画像においてレーザ光を照射すべき複数の注目部位を特定することにより照射パターンを生成し、その照射パターンを基に作成したホログラムの位相パターンを液晶素子で発生させることにより行われる。これにより、波面変調素子４を透過するレーザ光の波面は、液晶素子に発生させたホログラムの位相パターンに従って変調させられるようになっている。
　【００３３】
　フーリエ変換光学系５は、波面変調素子４により波面が変調されたレーザ光を集光してその焦点面において、レーザ光の光束にフーリエ変換を施すようになっている。
　本実施形態において、フーリエ変換光学系５は、複数のレンズ５ａ，５ｂとを組み合わせて構成され、その少なくとも１つを光軸方向に移動可能にして、焦点距離を連続的に変化させる可変機構５ｃが構成されている。
　【００３４】
　さらに、フーリエ変換光学系５は、可変機構５ｃの作動によるレンズ５ａ，５ｂの移動によって焦点距離を変化させた際に、図２に示されるように、その逆フーリエ変換光学系７側の焦点位置（前側焦点位置）を変化させることなく焦点距離を変化させるように構成されている。すなわち、フーリエ変換光学系５は、この可変機構５ｃによりズーム光学系として構成されている。
　【００３５】
　視野絞り６は、レーザ光の光束の周辺光を遮断して、迷光の発生を防止するようになっている。
　ダイクロイックミラー９は、レーザ光を透過して蛍光を反射する波長特性を有している。
　【００３６】
　逆フーリエ変換光学系７は、フーリエ変換光学系５により集光されたレーザ光に逆フーリエ変換を施して略平行光束にするようになっている。
　対物光学系８は、略平行光束とされたレーザ光を標本Ａに照射する一方、標本Ａにおいて発生した蛍光を集光するようになっている。
　【００３７】
　フーリエ変換光学系５の前側焦点位置と、逆フーリエ変換光学系７のフーリエ変換光学系５側の焦点位置（後側焦点位置）とは常に一致しているので、これらの光学系５，７によってリレー光学系が構成され、対物光学系８の瞳位置は、波面変調素子４と光学的に共役な位置関係に配されている。
　撮像素子１０は、対物光学系８により集光され、ダイクロイックミラー９において反射された蛍光を撮影するようになっている。
　【００３８】
　このように構成された本実施形態に係る照明光学装置１の作用について、以下に説明する。
　本実施形態に係る照明光学装置１を用いて、レーザ光を標本Ａに照射するには、予め設定された照射パターンに基づいて、光束偏向手段２による光束の偏向方向を調節し、波面変調素子４に所望の位相パターンを発生させ、かつ、フーリエ変換光学系５の可変機構５ｃの作動によりフーリエ変換光学系５の焦点距離を変化させる。
　【００３９】
　光束偏向手段２により光束の偏向方向を調節することによって、標本Ａ上におけるレーザ光の照射位置を調節することができる。
　波面変調素子４に位相パターンを発生させることにより、対物光学系８の焦点面に、設定された照射パターンでレーザ光を照射することができる。
　【００４０】
　また、本実施形態においては、図２（ａ）および図２（ｂ）に示されるように、フーリエ変換光学系５の可変機構５ｃを作動させることにより、フーリエ変換光学系５の焦点距離を変化させるので、フーリエ変換光学系５の前側焦点位置に構成される像の大きさを変化させることができる。さらに、可変機構５ｃによって、フーリエ変換光学系５の前側焦点位置と逆フーリエ変換光学系７の後側焦点位置とを一致させた状態に維持するので、逆フーリエ変換光学系７から射出されるレーザ光の光束径を変化させることができる。
　【００４１】
　すなわち、本実施形態に係る照明光学装置１によれば、対物光学系８の焦点面における像の大きさを変化させて、一度に照射可能なレーザ光の照射範囲を変化させることができるとともに、対物光学系８に入射させるレーザ光の光束径を変化させて、標本Ａに集光される最小スポットサイズを変化させることができるという利点がある。
　【００４２】
　なお、本実施形態においては、光束偏向手段２によって、光束の偏向方向を設定した後に波面変調素子４において波面を変調することとしたが、これに代えて、光束偏向手段２と波面変調素子４とを入れ替えてもよい。
　【００４３】
　また、波面変調素子４として、レーザ光を透過させる液晶型の波面変調素子４を例示して説明したが、これに代えて、図３に示されるように、反射型の波面変調素子４’を採用してもよい。この場合には、波面変調素子４’へのレーザ光の入射角度を波面変調素子４’の法線方向に近づけるために、図３に示されるような折り返しミラー１２を設けることが好ましい。図中符号１３は結像レンズである。
　【００４４】
　また、本実施形態においては、可変機構５ｃとして、フーリエ変換光学系５を構成するレンズ５ａ，５ｂの少なくとも１つを光軸方向に移動させるものを例示したが、これに代えて、図４に示されるように、焦点距離が異なり、かつ、同一の前側焦点位置にレーザ光を集光させることが可能な複数の切替レンズ１４ａ〜１４ｄをターレット１５に取り付けて、必要に応じてターレット１５を、その回転軸１５ａ回りに回転させることにより切り替えることにしてもよい。
　さらに、液体レンズ（図６参照。）１６を採用して焦点距離を変化させ、かつ液体レンズ１６を光軸方向に移動させてその前側焦点位置を一定位置に維持するようにしてもよい。
　【００４５】
　さらに、本実施形態においては、可変機構５ｃとして、フーリエ変換光学系５の前側焦点位置を維持しつつ焦点距離を変化させるものを例示したが、これに代えて、図３に示されるように、逆フーリエ変換光学系７の１以上のレンズ７ａ，７ｂを光軸方向に移動させて、後側焦点位置を維持しつつ焦点距離を変化させる可変機構７ｃを採用してもよい。
　また、その場合に、ズーム光学系に代えて、切替レンズまたは液体レンズのいずれを採用してもよい。
　【００４６】
　逆フーリエ変換光学系７の焦点距離を変化させる場合には、図３に示されるように、ダイクロイックミラー９を逆フーリエ変換光学系７と対物光学系８との間に配置するとともに、ダイクロイックミラー９と撮像素子１０との間に結像レンズ１３を設けることが好ましい。このようにすることで、逆フーリエ変換光学系７の焦点距離を変化させても、撮影の倍率を変化させることなく撮影を行うことができるという利点がある。
　【００４７】
　また、逆フーリエ変換光学系７の後側焦点位置を維持しつつ焦点距離を変化させる場合には、図５に示されるように、リレー光学系３を構成する一部のレンズ３ｂと、フーリエ変換光学系５を構成するレンズとを共用させてもよい。このようにすることで、レンズ数を減らして構成を簡易にすることができる。図５に示す例では、逆フーリエ変換光学系７として焦点距離を変更可能な液体レンズ１６を使用している。
　【００４８】
　また、図５に示す例では、逆フーリエ変換光学系７の焦点距離を変更可能としているので、図６に示されるように、焦点距離を変更すると、逆フーリエ変換光学系７の焦点位置が移動する。そこで、その移動分だけフーリエ変換光学系５の焦点位置を移動させるような波面を波面変調素子４’によってレーザ光束に追加して付与することにしている。このように、逆フーリエ変換光学系７と波面変調素子４’とにより可変機構１７を構成することで、可動部を少なくして装置を簡素化することができるという利点がある。
　【００４９】
　次に、本発明の第２の実施形態に係る照明光学装置２０について、図面を参照して以下に説明する。
　本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る照明光学装置１と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
　【００５０】
　本実施形態に係る照明光学装置２０は、図７に示されるように、光束偏向手段２を有しないとともに、フーリエ変換光学系２１として、正のレンズ群２１ａと負のレンズ群２１ｂとを、波面変調素子４’側から順に、光軸方向に配列したものを採用している。また本実施形態に係る照明光学装置２０は、可変機構２１ｃとして、正のレンズ群２１ａと負のレンズ群２１ｂの光軸方向の間隔および位置を調節可能にしたものを採用している。
　図中、符号２２は、観察光学系を示し、観察用光源２３、スキャナ２４、瞳投影レンズ２５、結像レンズ２６、ダイクロイックミラー２７、集光レンズ２８および光検出器２９を備えている。
　【００５１】
　このように構成された本実施形態に係る照明光学装置２０によれば、図８（ａ）に示される状態から、図８（ｂ）に示されるように、フーリエ変換光学系２１を構成する正のレンズ群２１ａと負のレンズ群２１ｂとを近接させると、末端のレンズ面から焦点位置までの距離が伸びる。すなわち、波面変調素子４’の像の倍率を大きくするために、図８（ａ）に示されるように、正のレンズ群２１ａと負のレンズ群２１ｂとの間隔を広げると、末端のレンズ面から焦点位置までの距離が縮むので、フーリエ変換光学系２１の占める寸法が相殺されて、装置全体のコンパクト化を図ることができる。
　【００５２】
　図８に示される例では、負のレンズ群２１ｂの末端のレンズ面側に結ばれる焦点位置Ｂを移動させないように負のレンズ群２１ｂおよび正のレンズ群２１ａを光軸方向に移動させているので、対物光学系８の前方における照明光の焦点位置は略一定の位置に維持される。
　このように、本実施形態に係る照明光学装置２０によれば、可変機構２１ｃによって、フーリエ変換光学系２１の前側焦点位置と逆フーリエ変換光学系７の後側焦点位置とを一致させた状態に維持するので、逆フーリエ変換光学系７から射出されるレーザ光の光束径を変化させることができる。
　【００５３】
　すなわち、本実施形態に係る照明光学装置２０によれば、装置のコンパクト化を図りつつ、対物光学系８の焦点面における像の大きさを変化させて、一度に照射可能なレーザ光の照射範囲を変化させることができるとともに、対物光学系８に入射させるレーザ光の光束径を変化させて、標本Ａに集光される最小スポットサイズを変化させることができるという利点がある。
　【００５４】
　なお、本実施形態においては、照明光学装置２０が光束偏向手段を有しない場合について説明したが、第１の実施形態のように、波面変調素子４よりも光源１１側に配置されていてもよいし、図９に示されるように、光束偏向手段２を、リレー光学系３０とともに逆フーリエ変換光学系７よりも標本Ａ側に配置することにしてもよい。
　【００５５】
　また、本実施形態においては、逆フーリエ変換光学系７として、固定されたレンズを採用したが、これに代えて、図１０に示されるように、フーリエ変換光学系２１に代えて逆フーリエ変換光学系３１を可変機構３１ｃを有するズーム光学系によって構成してもよいし、図１１〜図１４に示されるように、フーリエ変換光学系２１および逆フーリエ変換光学系３１の両方ともズーム光学系によって構成してもよい。このようにすることで、逆フーリエ変換光学系３１においても、対物光学系８の焦点面における像の大きさを変化させる効果を持たせることができる。
　【００５６】
　また、本構成を採用することにより、フーリエ変換光学系２１の逆フーリエ変換光学系３１側の焦点位置Ｂを略一定に維持することで、その焦点位置Ｂと波面変調素子４’との光学的に共役な位置関係が崩れることによる焦点位置におけるテレセントリック性のズレを逆フーリエ変換光学系３１によって補償することができる。
　また、フーリエ変換光学系２１および逆フーリエ変換光学系３１を構成している正のレンズ群２１ａ，３１ａと負のレンズ群２１ｂ，３１ｂとの位置関係は図１１〜図１４に示されるように、任意に選択することができる。
　【００５７】
　また、本実施形態においては、フーリエ変換光学系２１の逆フーリエ変換光学系７側の焦点位置を略一定に維持することとしたが、これに代えて、図１５に示されるように、フーリエ変換光学系２１を構成する正のレンズ群２１ａおよび負のレンズ群２１ｂの移動に伴い、焦点位置Ｂを移動させて、焦点位置Ｂと波面変調素子４’との光学的に共役な位置関係を維持することにしてもよい。
　そして、この場合には、対物光学系８の標本Ａ側に形成される焦点位置が光軸方向に移動することとなるので、対物光学系８に、該対物光学系８を構成する１以上のレンズ（図示略）を光軸方向に移動させる補正環３２を設け、該補正環３２を調節することによって、対物レンズ８の標本Ａ側の焦点位置を略一定に維持することにしてもよい。
　【００５８】
　また、この場合に、逆フーリエ変換光学系７としては、図１５に示されるように固定のレンズを採用してもよいし、図１６に示されるように、ズーム光学系３１を採用してもよい。
　また、図１７に示すように、フーリエ変換光学系２１の逆フーリエ変換光学系３１側の焦点位置Ｂを略一定に維持し、それによってズレてしまう光学的に共役な位置関係を、波面変調素子４’によって補償することにしてもよい。
　【００５９】
　すなわち、フーリエ変換光学系２１の後側焦点位置を波面変調素子４’上に維持したままで、フーリエ変換光学系２１を構成する正のレンズ群２１ａと負のレンズ群２１ｂとを移動させることにより、焦点距離の変化によって、逆フーリエ変換光学系７側の焦点位置が移動する。そこで、その移動分だけフーリエ変換光学系２１の焦点位置Ｂを戻す方向に移動させるような波面を波面変調素子４’によってレーザ光束に追加して付与することにより、光学的に共役な位置関係を崩すことなく、最もコンパクトに装置を構成することができる。
　【符号の説明】
　【００６０】
　１，２０　照明光学装置
　２　光束偏向手段
　４，４’　波面変調素子
　５，２１　フーリエ変換光学系
　５ｃ、７ｃ，２１ｃ，３１ｃ　可変機構
　６　視野絞り
　７，３１　逆フーリエ変換光学系
　８　対物光学系
　１１　レーザ光源（光源）
　１４ａ〜１４ｄ　切替レンズ（レンズ群）
　１５　ターレット（可変機構）
　１６　液体レンズ
　１７　可変機構
　２１ａ，３１ａ　正のレンズ群
　２１ｂ，３１ｂ　負のレンズ群
　３２　補正環（可変機構）
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子
を透過し
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置。
　【請求項２】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子
を透過し
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記逆フーリエ変換光学系および前記対物光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記集光補正機構が、前記対物光学系を構成するいずれかのレンズを光軸方向に移動させる照明光学装置。
　【請求項３】
（削除）
　【請求項４】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、
前記フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
　【請求項５】
　光源から発せられた照明光の波面を変調可能な波面変調素子と、
　該波面変調素子から射出された照明光を集光しフーリエ変換を施すフーリエ変換光学系と、
　該フーリエ変換光学系から射出された照明光に逆フーリエ変換を施して平行光束にする逆フーリエ変換光学系と、
　該逆フーリエ変換光学系から射出された照明光を被写体に集光させる対物光学系と、
　前記逆フーリエ変換光学系において、前記対物光学系による前記照明光の集光位置を一定位置に維持しつつ焦点距離を変更可能な可変機構とを備え、
　前記可変機構が、前記対物光学系の瞳位置と、前記波面変調素子との光学的な共役関係を維持しつつ、前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離を変更可能であるとともに、前記対物光学系による集光位置を調節する集光補正機構を備え、
　前記波面変調素子が、前記集光補正機構として、
前記逆フーリエ変換光学系の焦点距離の変更により発生する前記対物光学系の焦点位置のズレを戻す方向に前記フーリエ変換光学系の焦点位置を移動させるような波面を付与することによって
　【請求項６】
（削除）
　【請求項７】
　前記波面変調素子に対して光学的に共役な位置に配置され、前記光源から射出された照明光の偏向方向を変化させる光束偏向手段を備える請求項１
、請求項２，請求項４および請求項５
　【請求項８】
　前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、焦点距離の異なる複数組のレンズ群を備え、
　前記可変機構が、前記レンズ群を切り替える請求項１
、請求項２，請求項４、請求項５および
　【請求項９】
　前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、焦点距離を変更可能な液体レンズを含み、
　前記可変機構が、焦点距離を変化させるように前記液体レンズを駆動する請求項１
、請求項２，請求項４、請求項５および
　【請求項１０】
　前記フーリエ変換光学系および前記逆フーリエ変換光学系のうち前記可変機構を備える少なくとも一方が、ズーム光学系により構成されている請求項１
、請求項２，請求項４、請求項５および
　【請求項１１】
　前記ズーム光学系が、相互の間隔を調節可能な正のレンズ群および負のレンズ群を備える請求項１０に記載の照明光学装置。