【事件の表示】
　特願２００５−３４１７６４号「板材の洗浄設備およびその水切り装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　６月　８日出願公開、特開２００６−１４８１４４号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１４年１１月２５日に出願した特願２００２−３４０７６４号（以下「原出願」という。）の一部を平成１７年１１月２８日に新たな特許出願としたものであって、平成２０年１２月４日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成２１年１月８日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、平成２１年２月９日付けで手続補正がなされ、さらに、平成２２年１０月８日に拒絶理由通知が当審においてなされて、平成２２年１２月７日付けで手続補正がなされたものである。
　
第２．本願発明について
１．本願発明
　本願の特許請求の範囲の請求項１〜４に係る発明は、平成２２年１２月７日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜４に記載される事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明は、（以下「本願発明」という。）次のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　立てられた状態の板材の下端を支持して水平方向に搬送する搬送装置と、
　上記板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
　立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ、板材の上方から下方に対応するように延設された、膜状気流を板材の両面の対応する部位に向けて噴射する水切り部とを備えており、
　この水切り部が、その長手方向に沿って気体噴出用のスリットが形成された給気管から構成されており、この給気管は、上部が板材の搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されるとともに、その長手方向中心軸の回りに回転可能に構成されており、
　板材の搬送方向に見た上記両水切り部の上流側に、立てられた状態の板材の両面側それぞれに上下方向に沿って水洗部が配設されており、
　この水洗部は、その長手方向中心軸の回りに回転可能な給水管を有し、該給水管は、上部が板材の搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されるとともに、上下方向に配列されて板材の両面から水を噴射する複数個の水噴射ノズルを有しており、
　板材の搬送方向に見た上記流体ガイドの中間部に上記給水管および給気管を平行に配設して、水洗部で板材の上下方向全面に供給した水分を水切り部で上流の下方に向けて吹き飛ばして板材全表面から水分を除去して乾燥状態にするように構成されている、板材の水切り装置。」
　
２．引用刊行物とその記載事項
　刊行物１：特開２０００−４４２８７号公報
　刊行物２：特開昭５６−１５２２３９号公報
　刊行物３：特開平１０−２１１４７３号公報
　刊行物４：実願昭５３−１２９６３７号（実開昭５５−４６５５８号）のマイクロフィルム
　
（１）刊行物１
　当審における拒絶理由通知において引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物１には、「洗滌板ガラスの水切り装置」に関して以下の記載がある。
　
ア．「【００１０】この発明の実施の形態では、図１から図３に示すように、１は板ガラスＡの搬送装置である。
【００１１】上記の搬送装置１は、図示の場合立てかけた姿勢の板ガラスＡの下位の辺縁を受架するドライブ機能付のローラコンベヤ２と、立てかけた姿勢で搬送する板ガラスＡの安定した姿勢を維持するように板ガラスＡの板面を支承する上下複数段のフリー回転の回転子３とで構成されている。
【００１２】なお、ドライブ機能付のローラコンベヤは、各ローラの軸にスプロケットを設けて、この各スプロケットにモーターにより走行する無端状のチエーンを係合する（図示省略）方式などで行なえばよい。
【００１３】また、搬送装置１により搬送する板ガラスＡの板面には、洗滌ノズル４から洗滌水を吹き付けて（噴射して）板ガラスＡの板面を洗滌し、洗滌ノズル４の下流側に配置してある乾燥ノズル５からの高圧エアーを吹き付けて（噴射して）板ガラスＡの洗滌板面を乾燥させる。
【００１４】なお、洗滌ノズル４は、図示の場合板ガラスＡを横切る一本の至端閉鎖パイプを用い、パイプの始端にホースを介し洗滌水を圧送する。
【００１５】すると、パイプのスリットから洗滌水が噴射する。
【００１６】乾燥ノズル５は、図示の場合板ガラスＡを横切る一本の至端閉鎖のパイプを用い、パイプの始端に高圧エアーをホースを介し供給する。
【００１７】すると、パイプのスリットからエアーが噴射する。」
　
イ．「【００２２】上記のように構成すると、搬送装置１による搬送途中の板ガラスＡの板面にノズル４から洗滌水を吹き付けて板ガラスＡの板面を洗滌する。
【００２３】次いで搬送途中の板ガラスＡの洗滌ずみ板面にノズル５から高圧エアーを吹き付けて付着水分を飛散させながら板面を乾燥する。」
　
ウ．図１，２には、板ガラスＡが水平方向に搬送され、立てられた状態の板ガラスＡにその両面からそれぞれ、板ガラスＡの板面の上方から下方に対応するように延設された乾燥ノズル５であって、その上部が板ガラスＡの搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されること、同じく、立てられた状態の板ガラスＡにその両面からそれぞれ、板ガラスＡの板面の上方から下方に対応するように延設された洗滌ノズル４であって、その上部が板ガラスＡの搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されること、板ガラスＡの搬送方向にみた搬送装置１の端部において、乾燥ノズル５に対して洗滌ノズル４が上流側であって、かつ平行に配設されること、さらに、乾燥ノズル５及び洗滌ノズル４が、パイプの長手方向に沿ったスリットから構成されることが示されている。
　
　以上のア．〜ウ．の記載を総合すると、刊行物１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
「立てかけた姿勢の板ガラスＡの下位の辺縁を受架して水平方向に搬送するドライブ機能付のローラコンベヤ２と、
　立てかけた姿勢で搬送する板ガラスＡの安定した姿勢を維持するように板ガラスＡの板面を支承する上下複数段のフリー回転の回転子３とで構成される搬送装置１とを備え、　　立てかけた姿勢の板ガラスＡの板面のそれぞれ上方から下方に対応するように延設された、高圧エアーを板ガラスＡの両面に噴射する乾燥ノズル５が設けられたパイプとを備え、この乾燥ノズル５が設けられたパイプが、高圧エアーを噴出するその長手方向に沿ってスリットが形成される板ガラスＡを横切るパイプから構成されており、
　この乾燥ノズル５が設けられたパイプは、上部が板ガラスＡの搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されており、
　板ガラスＡの搬送方向に見た乾燥ノズル５が設けられたパイプの上流側に、立てかけた姿勢の板ガラスＡの板面のそれぞれ上方から下方に対応するように延設された、洗滌ノズル４が設けられたパイプとを備え、　
　この洗滌ノズル４が設けられたパイプは、上部が板ガラスＡの搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されるとともに、板ガラスＡの両面から水を噴射するパイプの長手方向に沿ったスリットからなる洗滌ノズル４を有しており、　
　板ガラスＡの搬送方向にみた搬送装置１の端部に、乾燥ノズル５が設けられたパイプおよび洗滌ノズル４が設けられたパイプを平行に配設して、板ガラスＡの洗滌済み板面にノズル５から高圧エアーを吹き付けて付着水分を飛散させながら板面を乾燥させるようにした洗滌板ガラスの水切り装置。」
　
（２）刊行物２
　当審における拒絶理由通知において引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物２には、「洗浄乾燥装置及び諸装置に使用するカートリッジ」に関して以下の記載がある。
　
エ．「２．特許請求の範囲
１）半導体製造用フォツトマスク，レチクル，ウエハー等のプレートを搬送させながら洗浄乾燥を行なう装置において、前記プレートを搬送するコンベアーベルト上に搬送方向と直交する如くＶ形状の溝部を形成すると共に、該コンベアーベルトの溝部に直立させたプレートの上部両端に一対のガイド部材を平行に配設し、更に該ガイド部材のプレートと向き合う側に互いに対向する如く噴出孔を形成したことを特徴とする洗浄乾燥装置。」（特許請求の範囲　請求項１）
　
オ．「搬送中のプレート１１上部両端に配設されたガイド部材１４…は中空円筒状をなし、互いに対向する側に流体噴出孔３５を横一列に配設し、又反対側に流体供給管３６を取付け、流体供給管３６より導かれた流体が噴出孔３５よりプレート１１へ向け噴出されるよう構成される。尚、ガイド部材１４ａ，１４ｂには純水が、又ガイド部材１４ｃ，１４ｄには清浄空気が供給されている。前記ガイド部材１４…の下方には搬送面がプレート１１下端面延長線と一致する如く配設されたベルトコンベアー１３…は、第４図に示す如く、ベルト３７上面に搬送方向と直交する如く矩形状の段付部３８を形成すると共に該段付部３８の略中央、即ちプレート搬送経路Ａ−Ａ上にＶ形溝３９を形成する。」（公報第３頁左上欄第１５行〜右上欄第９行）
　
カ．「かかる構成による作用を説明すると、カートリツジ１２に収容されているプレート１１を押出し機構１８によりコンベアーベルト３７のＶ溝部３９に順次押し出す。この際プレート１１は、第５図に示されるように、上部両側に配設されたガイド部材１４ａ，１４ｂより噴出された水流によつて直立が維持され、従つて該プレートは底面縁部のみがベルト３７に接触するのみで洗浄面をガイド部材１４ａ，１４ｂに接触させる事なく搬送が行なわれる。」（公報第３頁左下欄第２〜１１行）
　
　以上のエ．〜カ．の記載及び、図面の記載を総合すると、刊行物２には次の発明（以下「刊行物２記載の発明」という。）が記載されている。
　
「コンベアーベルト３７の溝部に直立させた搬送中のプレート１１の上部両端に一対のガイド部材１４ａ，１４ｂを平行に配設し、一対のガイド部材１４ａ，１４ｂより噴出された水流によって直立が維持され、プレート１１は底面縁部のみがコンベアベルト３７に接触するのみで洗浄面を一対のガイド部材１４ａ，１４ｂに接触させる事なく搬送が行われる洗浄乾燥装置。」
　
（３）刊行物３
　当審における拒絶理由通知において引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物３には、「エアナイフ、エアナイフの支持装置およびエアナイフを用いた処理装置」に関して以下の記載がある。
　
キ．「【特許請求の範囲】
【請求項１】 基板表面に圧縮空気を噴射してこの基板に付着した処理液を除去するエアナイフにおいて、パッキンを介して接合された一対の板状体からなるナイフ本体と、
上記一対の板状体の接合面間に形成された圧縮空気が供給される導入路およびこの導入路を上記ナイフ本体の先端面に開口連通させたノズル孔と、
上記一対の板状体を所定の締め付け力で結合することで上記ノズル孔の間隔を設定する結合手段と、を具備したことを特徴とするエアナイフ。」
　
ク．「【００３９】上記支持機構２７は、筐体１０ａの下面に取付固定されるガイド体２７ａを有している。このガイド体２７ａは、図３乃至図５に示すように、側壁２８および上板２８ａ、下板２８ｂより構成されている。この側壁２８は、水平断面が搬送ローラ１３側が開放したコ字状に形成されており、この上端に上板２８ａ、下端に下板２８ｂがそれぞれボルトにより固定されている。
【００４０】上記コ字状に形成された側壁２８の内壁には、上下方向に沿うガイド溝２９が設けられ、このガイド溝２９には第１、第２のブロック３０ａ，３０ｂが上下動自在に設けられている。これらブロック３０ａ，３０ｂの側面には図５に示すように支持孔３１が形成されており、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂの両端に設けられた支持軸３２が、この支持孔３１で回動自在に支持されている。そのため、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂの圧縮空気の噴射角度を調整できるようになっている。」
　
ケ．「【００４５】以上のような構成を有するエアナイフを用いた処理装置１０の作用について、以下に説明する。圧縮空気による基板１１へ付着した処理液の除去を行う前に、エアナイフ１８ａ，１８ｂの傾斜角度および上記基板１１に対する間隔を調整する。この調整では、上下調整つまみ３５ａを回転させると、上記ブロック３０ａが螺合回転により上下動し、このため上記エアナイフ１８ａが上下動されるようになっている。同様に、上記上下調整つまみ３５ｂを回転させると、エアナイフ１８ｂも上下動されるようになっている。
【００４６】そしてこの上下方向の調整と前後して、上記角度調整つまみ４２ａ，４２ｂを回転させ、上記エアナイフ１８ａ，１８ｂの傾斜角度を調整する。この後に、上記搬送ローラ１３により搬送される基板１１に対して圧縮空気を噴射して、上記基板１１に付着した処理液の除去を行う。」
　
　以上のキ．〜ケ．の記載及び、図面の記載を総合すると、刊行物３には次の発明（以下「刊行物３記載の発明」という。）が記載されている。
　
「基板表面に圧縮空気を噴射してこの基板に付着した処理液を除去するエアナイフにおいて、エアナイフ１８ａ，１８ｂの両端に設けられた支持軸３２が、この支持孔３１で回動自在に支持されており、エアナイフ１８ａ，１８ｂの圧縮空気の噴射角度を調整できるようになっているエアナイフ。」
　
（４）刊行物４
　当審における拒絶理由通知において引用され、原出願の出願前に頒布された刊行物４には、「管板洗浄装置」に関して以下の記載がある。
　
コ．「２．実用新案登録請求の範囲
１．箱形の洗浄槽内に管板を起立状態で支持する載置板を設けると共に、この載置板に受けられる管板の両側方に位置する水平方向の洗浄液吹付用噴霧管を上下に複数段設けて各噴霧管を水平軸芯の周りで揺動可能に構成し、最上段に位置する該噴霧管の上方に空気噴霧管を設けたことを特徴とする管板洗浄装置。」（実用新案登録請求の範囲）
　
サ．「ところで前記洗浄液吹付用の各噴霧管（５）の一端部には洗浄槽（１）内において該噴霧管（５）を水平軸芯の周りで回転可能にするためのジヨイント（１３）が介在され、又各噴霧管（５）の他端部は洗浄槽（１）の外側に設けた適宜の回転揺動手段（１４）に支持されている。」（明細書第３頁第２〜６行）
　
シ．「ポンプ（９）を駆動させることにより高圧に加圧された洗浄液が各噴霧管（５）の小孔（５ａ）…より噴出し管板（２）に対して吹き付けられる。」（明細書第３頁第１３〜１６行）
　
　以上のコ．〜シ．の記載及び、図面の記載を総合すると、刊行物４には次の発明（以下「刊行物４記載の発明」という。）が記載されている。
　
「管板の両側方に位置する洗浄液吹付用噴霧管（５）を水平軸芯の周りで回転可能とし、洗浄液が各噴霧管（５）の複数個設けられた小孔（５ａ）より噴出し管板（２）に対して吹き付けられる管板洗浄装置。」
　
３．発明の対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「立てかけた姿勢」は、本願発明の「立てられた状態」に相当し、以下同様に、「板ガラスＡ」は、「板材」に、「下位の辺縁」は、「下端」に、「受架して」は、「支持して」に、「ドライブ機能付きのローラコンベア２」は、「水平方向に搬送する搬送装置」に、「立てかけた姿勢の板ガラスＡの板面のそれぞれ上方から下方に対応するように延設された、高圧エアーを板ガラスＡの両面に噴射する乾燥ノズル５が設けられたパイプ」は、「立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ、板材の上方から下方に対応するように延設された、気流を板材の両面の対応する部位に向けて噴射する水切り部」に、「乾燥ノズル５が設けられたパイプ」は、「給気管」に、「立てかけた姿勢の板ガラスＡのそれぞれ上方から下方に対応するように延設された、洗滌水を板ガラスＡの両面に噴射する洗滌ノズル４が設けられたパイプ」は、「立てられた状態の板材の両面側それぞれに上下方向に沿って（配設された）水洗部」に、「洗滌ノズル４が設けられたパイプ」は「給水管」にそれぞれ相当する。
　また、引用発明の「洗滌ノズル４」と本願発明の「水噴射ノズル」は、「水噴射手段」であることで共通する。
　さらに、引用発明において、スリットから高圧エアが噴出する際には「膜状気流」となるものと認められ、引用発明において、「板ガラスＡの洗滌済み板面にノズル５から高圧エアーを吹き付けて付着水分を飛散させ」るにあたって、乾燥ノズル５が設けられたパイプは、板ガラスＡの板面の上方から下方に対応、かつ両面から高圧エアーを吹き付け、上部が板ガラスＡの搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されていることから、本願発明と同様に、板ガラスＡの全表面における付着水分は上流の下方に向けて吹き飛ばされるものであるといえる。
　
　したがって、両者の一致点及び相違点は以下のとおりである。
　
［一致点］
　立てられた状態の板材の下端を支持して水平方向に搬送する搬送装置と、
　立てられた状態の板材にその両面側からそれぞれ、板材の上方から下方に対応するように延設された、膜状気流を板材の両面の対応する部位に向けて噴射する水切り部とを備えており、
　この水切り部が、その長手方向に沿って気体噴出用のスリットが形成された給気管から構成されており、この給気管は、上部が板材の搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されるとともに、
　板材の搬送方向に見た上記両水切り部の上流側に、立てられた状態の板材の両面側それぞれに上下方向に沿って水洗部が配設されており、
　この水洗部は、給水管を有し、該給水管は、上部が板材の搬送方向に見た上流方向に傾斜して配置されるとともに、板材の両面から水を噴射する水噴射手段を有しており、
　上記給水管および給気管を平行に配設して、水洗部で板材の上下方向全面に供給した水分を水切り部で上流の下方に向けて吹き飛ばして板材全表面から水分を除去して乾燥状態にするように構成されている、板材の水切り装置。
　
［相違点１］
　板材を立った状態で支持するにあたって、本願発明においては、「板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイド」を設けたのに対して、引用発明においては、「板ガラスＡの板面を支承する上下複数段のフリー回転の回転子３」を設けている点。
　
［相違点２］
　給気管が、本願発明においては、「その長手方向中心軸の回りに回転可能に構成されている」のに対して、引用発明においては、そのような構成を備えるかどうか不明な点。
　
［相違点３］
　給水管が、本願発明においては、「その長手方向中心軸の回りに回転可能」であるのに対して、引用発明においては、そのような構成を備えるかどうか不明な点。
　
［相違点４］
　水噴射手段が、本願発明においては、「上下方向に配列されて板材の両面から水を噴射する複数個の水噴射ノズル」からなるものであるのに対して、引用発明においては、「板ガラスＡの両面から水を噴射するパイプの長手方向に沿ったスリット」からなるものである点。
　
［相違点５］
　本願発明においては、「板材の搬送方向に見た流体ガイドの
中間部
端部
　
４．当審の判断
　
［相違点１について］
　本願発明と、刊行物２記載の発明とを対比すると、刊行物２記載の発明における「プレート」は、本願発明における「板材」に相当し、以下同様に、「プレートの上部両端」は、「板材の側面」に、「一対のガイド部材１４ａ、１４ｂ」は、「流体ガイド」に、「噴出された水流によって直立が維持（されること）」は、「立った状態で非接触で支持（すること）」に相当するから、刊行物２記載の発明は、「板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイド」ということができる。
　よって、引用発明において、より洗浄効果を向上させるため、あるいは、被洗浄物である板材にキズが付くのを防止するため等の一般的な課題のもと、板ガラスＡの姿勢を維持するための手段を非接触なものとするため、刊行物２記載の発明における「板材の側面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイド」を採用し、上記相違点１に係る発明特定事項とすることは、当業者であれば容易になし得たことである。
　
［相違点２について］
　引用発明における、乾燥ノズル５が設けられたパイプ（給気管）を、「その長手方向中心軸の回りに回転可能に構成」する程度のことは、刊行物３記載の発明において、基板に付着した処理液を除去するエアナイフの圧縮空気の噴射角度を調整できるようになっていることに照らしてみれば、当業者であれば適宜採用し得ることである。
　
［相違点３について］
　引用発明における、洗滌ノズル４が設けられたパイプ（給水管）を、「その長手方向中心軸の回りに回転可能に構成」する程度のことは、刊行物４記載の発明において、洗浄液吹付用噴霧管を軸芯の周りで回転可能としたことに照らしてみれば、当業者であれば適宜採用し得ることである。
　
［相違点４について］
　水噴射手段として、刊行物４記載の発明には、「洗浄液が各噴霧管の複数個設けられた小孔（５ａ）より噴出」するものが示されており、「小孔（５ａ）」は本願発明の「水噴射ノズル」に相当する。よって、刊行物４記載の発明に倣って、引用発明の、「板ガラスＡの両面から水を噴射するパイプの長手方向に沿ったスリット」のスリットに代えて、「複数個設けられた水噴射ノズル」を採用し、パイプの長手方向に沿って配列することにより、上記相違点４に係る発明特定事項とすることは、当業者であれば容易になし得たものである。
　
［相違点５について］
　引用発明における、乾燥ノズル５が設けられたパイプおよび洗滌ノズル４が設けられたパイプを平行に配設するにあたって、その配設する位置を、他の装置との位置関係や配置等を勘案して水切り装置の板ガラスＡの搬送方向からみた場合の「中間部」とし、上記相違点５に係る発明特定事項とすることは、当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、本願発明によって得られる効果も、引用発明、刊行物２〜４記載の発明から当業者であれば予測できる程度のものであって、格別なものとはいえない。
　
　したがって、本願発明は、引用発明、刊行物２〜４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．結び
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、刊行物２〜４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。