【手続補正書】
【提出日】平成23年4月20日(2011.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】並列接続された加熱ゾーンを有する高温蒸発器セル
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前提部分の特徴を備える蒸発器セルであって、特に蒸発物を気相に変換する（蒸発、昇華）噴散蒸発器セルと、この蒸発器セルを用いた蒸発物の蒸発方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄層の蒸着のための材料の蒸発は、例えば技術物理や半導体技術において、広く用いられている方法である。極めて高温（例えば１８００℃を超える、特に２０００℃を超える場合）でのみ気相に変換される高温溶融材料を用いる場合、特別な要求、特に温度安定性に関しては蒸発の際に蒸発速度を設定しなければならないという要求がある。さらに、例えばＣＭＯＳ技術に対する薄膜部品の製造においては、絶縁膜の、制御可能で再現可能な、非反応性の蒸着であって、蒸発物が絶縁膜の所望の化学量論的組成を有している蒸着に関心がある。
【０００３】
これに関しては、ドイツ国特許出願公開第ＤＥ１０２００５０２５９３５Ａ１号明細書（特許文献１）が、蒸発物を受けるための坩堝と、坩堝の抵抗加熱及び電子ビーム加熱のために配置された加熱部材とを備える蒸発器セルを開示している。加熱部材は、坩堝に沿って軸方向に延びている加熱部材を有する、坩堝を四方で取り囲んでいるヒータコイルを備える。ヒータコイルは、坩堝を取り囲んでいるシールド上の電気的絶縁体に固定される。加熱抵抗器に動作電流を印加する際の不要な磁界を回避するために、加熱部材は、ペアで、反対方向に配置されて直列に接続される。抵抗加熱と電子ビーム加熱の制御のために、温度センサに接続された制御回路が配置される。
【０００４】
このドイツ国特許出願公開第ＤＥ１０２００５０２５９３５Ａ１号明細書に係る蒸発器セルでは、抵抗加熱から電子ビーム加熱までの無段階の変換が可能であり、これにより、蒸発物の温度を広い温度範囲で設定できる。例えば、材料の精製は低温領域で行われ、また、材料の気相への変換は高温領域において行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ドイツ国特許出願公開第ＤＥ１０２００５０２５９３５Ａ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の蒸発器セルにおいては以下のような問題が生じることがある。すなわち、ヒータコイルを固定するための電気的絶縁体が、高温での動作によって損傷することが起こり得る。絶縁体が破壊されると、短絡が生じる可能性があり、蒸発器セル全体の破壊に繋がることもある。さらに、ヒータコイルの長さに沿って電気抵抗の変化が生じることもある。このような変化は、坩堝における蒸発物の不均一な加熱を生じ得る。このような問題は、特に高温、例えば２２００℃〜２５００℃の範囲で生じる。さらに、仮に均一なエネルギー供給がなされたとしても、坩堝が底部から坩堝開口部に向かってはそれほど強くは加熱されない傾向にあるため、不均一な加熱に繋がることもある。
【０００７】
また、従来の蒸発器セルの他の欠点としては、抵抗加熱及び電子ビーム加熱が互いに影響することのない無故障な動作を改善するために、２つの制御回路を配備することで生じる。この結果、構造の複雑化やコストの増大という問題が生じることがある。最後に、既存の蒸発器セルを長期的に動作させることによって、制御に用いられる温度センサが高い動作温度の作用の下で故障することがあることを示している。センサが故障した際には、コストのかかる蒸発器セルの分解作業が必要となることもある。
【０００８】
本発明の目的は、このような従来の蒸発器セルの問題点を解消し、例えば１９００℃を超える高温でも信頼に足る長期的な動作を可能とし、特に高温溶融材料を気相に変換する蒸発器セルの改良、具体的には噴散セルを改良することにある。また本発明の他の目的は、従来の手法の欠点を克服した、特に高温溶融材料の蒸発方法を改良することにある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００９】
これらの目的は、独立請求項の特徴を有する蒸発器セル及び蒸発方法により達成される。本発明の有用な態様及び応用例は、従属請求項から明らかとなる。
【００１０】
装置に関しては、本発明は、概略的には、坩堝と、坩堝の抵抗加熱及び／又は電子ビーム加熱のための複数の加熱ゾーンを備える加熱抵抗器と、を有する蒸発器セルを提供する技術教授に基づく。直列接続された加熱部材を有するヒータコイルの従来の使用とは対照的に、本発明に係る蒸発器セルの加熱ゾーンは坩堝の外側面で並列電気接続されている。加熱ゾーンは、抵抗加熱及び電子ビーム加熱のために電源の接続部と並列に電気的に接続されるよう適合している。坩堝は、坩堝底部と坩堝開口部との間の接続線に対応する軸方向を有する。並列接続は、坩堝の軸方向に延びている。加熱電圧が加熱ゾーンへ印加されると、加熱電流はすべての加熱ゾーンにわたって並列に同じ方向に流れる。
【００１１】
加熱ゾーンの並列接続には多くの利点がある。まず、接続部のそれぞれにおいて、例えば坩堝底部あるいは坩堝開口部において、加熱ゾーンを電源装置に接続するのに必要とされるのは１つの接点だけである。加熱装置の坩堝の外側面への固定が簡単化される。具体的には、加熱装置を、特に高温の領域につまり坩堝開口部の付近に電気的絶縁体を必要とすることなく、固定できる。さらに、加熱ゾーンの材料の電気抵抗の起こりうる変化は、並列接続によって均等になる。これにより、坩堝加熱の均一性が高まる。最後に、発明者らは、従来のヒータコイルを用いることでなくだけでなく、加熱ゾーンの並列接続によっても、加熱ゾーンにおける電流方向と反対の電流方向を蒸発器セルにおけるゾーンに供給することにより、不要な磁界を回避できることを見出した。これは、例えば遮蔽装置（後述）あるいは追加の導電体の部分を用いて達成できる。
【００１２】
方法に関しては、本発明は、概略的には、蒸発器セルの坩堝内の蒸発物を、第１温度範囲でのつぼの抵抗加熱及び第２温度範囲での坩堝の電子ビーム加熱を構成している、坩堝の外部に配置された並列接続の加熱ゾーンの群を用いた間接加熱にさらすという技術教授に基づく。
【００１３】
好ましくは、蒸発される蒸発物は、高温溶融材料を備える。高温溶融材料は、１５００℃を超える融点特に２０００℃を超える融点によって特徴づけられる。
【００１４】
本発明の特有の利点は、従来の蒸発器セルと比較して蒸発器セルが単純化された構造を有すると共に、蒸発器セルの優れた特性、特に温度調節に関する特性を損なうことなく、信頼できる長期的な動作を可能にすることにある。
【００１５】
本発明に係る蒸発器セルは、好ましくは噴散セルである。それは、例えば、半導体技術における、正確で再現可能な多層の高温溶融材料の蒸着に特に適している。蒸発器セルでは、温度は、２０００℃を超える例えば２３００℃を超える、特に３０００℃まで例えば２９００℃までにも達する。本発明の他の利点は、本発明に係る蒸発器セルの単一加熱装置を用いて、室温（あるいはそれより低い温度）から上述の高温までにわたる温度範囲において温度を設定できることが挙げられる。
【００１６】
本発明に係る蒸発器セルの応用分野は拡張される。例えばコーティング設備において複数の他の蒸発器セルと共に長期的な動作に用いることができる。その場合、蒸発器セルを互いに影響することなく制御することができ、維持費を低くできる。
【００１７】
以下本明細書においては、処理される材料を、蒸発器セルによって行なわれる実際の働きに拘わらず、また蒸発あるいは昇華としての相転移のタイプに拘わらず、「蒸発物」という。これに対応して、気相への移行を、実際の場合に溶融したものからの蒸発であるか固体からの昇華であるかにかかわらず、以下では「蒸発」という。
【００１８】
本発明に係る、抵抗加熱及び電子ビーム加熱の組み合わせに対する並列接続された加熱ゾーンは、坩堝のいくつかの側部で延びており、これにより、温度設定の精度及び再現性を好適に改善することができる。坩堝は、一般的に、坩堝の内部空間を囲む坩堝底部及び側壁を備える。好ましい例では、坩堝を、円筒形状、例えば円形又は楕円基部を有する円筒形状、あるいは円錐形状とすることができる。坩堝のいくつかの側部での加熱ゾーンの分散は、加熱ゾーン（すなわち加熱抵抗器セグメント）が側壁の外側面に分散して配置されることを意味する。特に、大量の蒸発物の蒸発に対しては、坩堝が細長い形状を有することが好ましい。坩堝底部の特徴的なサイズ（例えば直径）は、長さ（例えば側壁の高さ）未満である。発明では、加熱ゾーンは坩堝の外側面で長手方向の長さに沿って（軸方向に）延びている。
【００１９】
本発明の第１の態様では、加熱ゾーンは、坩堝に沿って軸方向に伸びており、相互に独立している加熱部材を備える。加熱部材は、軸方向に距離を空けて配置される加熱抵抗器のターミナル間に並列に接続される。互いに離間して配置された加熱部材の使用は、蒸発器セルの動作の際に、例えば光学手段を用いて監視する目的又は温度測定のために、坩堝の観察が可能になるという利点が得られる。さらに加熱部材は、比較的高い抵抗値の加熱抵抗器を配設することも可能にする。最後に、それぞれの加熱部材は、好ましくは軸方向に坩堝に沿って一定の断面で形成され、単位長さ当たりの抵抗が一定である。したがって、坩堝の軸方向に一定の加熱力を生成することが可能である。
【００２０】
本発明の第１の態様の好ましい変形では、加熱装置は、加熱部材（すなわち加熱導電体）と並列に接続される上部リング状導電体を有する。上部リング状導電体は、概して、上端部においてつまり坩堝開口部を有する端部において坩堝を取り囲む導電体を備える。すべての加熱部材は、第１（上部）端部によって上部リング状導電体に接続される。
【００２１】
坩堝開口部における上部リング状導電体の配置は、上部リング状導電体が坩堝開口部を方位角上に、ある径方向距離で取り囲んでいることを意味する。あるいは、上部リング状導電体を、坩堝開口部の前に、ある軸方向距離で配置することもできる。ただし、上部リング状導電体への蒸発物の蒸着を回避するために、後者は、好ましくは坩堝の蒸発特性の外側で配置される。他の代替例では、上部リング状導電体は、蒸発の方向の反対の、坩堝開口部の後ろに、ある距離で、坩堝の側壁を取り囲むことができる。これは、特に、坩堝開口部への蒸発物の蒸着の可能性がほとんどない場合、可能である。リング状導電体の形状には、特別な要求は課されない。例えば、坩堝の横断面形状と同じ形状（例えば、円形、楕円）を有することができ、又は直線状のあるいは湾曲した導電体線分を有する別の形状（例えば、多角形）を有することもできる。
【００２２】
第１電位が上部リング状導電体に印加されるようにされている。上部リング状導電体は、好ましくは電源装置の陰極に、特に抵抗加熱のための電源の陰極、及び電子ビーム加熱のための高電圧源の陰極に接続される。
【００２３】
本発明の第１の態様の他の好ましい変形では、加熱装置は、加熱部材と並列に接続される下部リング状導電体を有する。加熱部材の第２（下部）端部は、下部リング状導電体に接続される。下部リング状導電体は、第２電位が印加されるよう配置される。下部リング状導電体は、概して、下端部においてつまり坩堝底部を有する端部において坩堝を取り囲む導電体を備える。下部リング状導電体は、好ましくは坩堝底部と同じ軸方向位置にある。あるいは、坩堝底部の下方に、ある軸方向の距離で、配置することができ、その場合、坩堝の保持装置を取り囲んでいる。この場合、坩堝底部全体の信頼性の高い加熱に改善できる。他の代替例では、坩堝底部の加熱の要求が低減されるのであれば、下部リング状導電体を坩堝底部から蒸発の方向に、つまり蒸発開口部に向かって、ずらして配置できる。
【００２４】
本発明では、上部リング状導電体あるいは下部リング状導電体が、加熱部材の上端部あるいは下端部の共通の電位を提供するよう構成できる。この場合、加熱部材の他方の端部、つまり、加熱部材の下端部あるいは上端部は、共通の導電体にではなく電力高電圧源の一方の極への別々の導電体を介して接続される。蒸発器セルの実際の設計によっては、上部及び下部リング状導電体の一方のみを提供することが有利なこともある。
【００２５】
しかしながら、上部リング状導電体及び下部リング状導電体が配置される本発明の第１の態様の変形は、加熱部材が上部リング状導電体と下部リング状導電体との間に延びていることが特に好ましい。好適には、加熱部材の特に安定な配置は、このように達成される。加熱部材に対する共通の電位の提供及び加熱部材の装着によって、上部及び下部リング状導電体は、機械的で電気的であるという二重の機能を奏する。
【００２６】
本発明の第２の態様では、加熱ゾーンは坩堝の周方向に互いに当接させることができる。加熱ゾーンは、坩堝を部分的にあるいはすべての径方向に取り囲む平坦な抵抗材料に接続される。加熱ゾーンは、好ましくは、坩堝を径方向に四方から取り囲む抵抗スリーブ（加熱箔）を形成する。抵抗スリーブは、例えば、円筒状あるいは円錐状とできる。
【００２７】
円錐形状の抵抗スリーブでは、好適には坩堝の前又は後ろ部分を優先的に加熱できる。スリーブを通る電流が一定で、スリーブ材料の厚さも一定（例えば１０μｍ）であれば、スリーブは最も小さい断面で最も大きな程度に加熱される。スリーブのこの特性は重要な利点である。この温度変化を一定の断面の個々のフィラメントでは達成することができないからである。
【００２８】
本発明の第２の態様において、加熱ゾーンは、坩堝を取り囲む、単一の二次元的な加熱導電体を形成する。本発明の第２の態様は、間隔を空けて配置された個々の加熱部材（上に示した第１の態様）と比較して、平坦な抵抗材料が安定性を増加させているという特別な利点を有する。安定性の増加は、坩堝の加熱において特に電子ビーム加熱において均一性の改善をもたらす。
【００２９】
本発明の第２の態様の好ましい変形では、平坦な抵抗材料、特に抵抗スリーブが、坩堝の軸方向に一定の厚さを有する。この変形は、特に円錐状の抵抗スリーブを用いる場合、利点がある。円錐状の抵抗スリーブは、坩堝開口部から坩堝底部へ減少する断面の寸法を有する。抵抗材料の厚さが軸方向及び方位角方向において一定であるので、抵抗スリーブの全体断面は坩堝開口部から坩堝底部へ向かって減少する。したがって、電気抵抗は、坩堝開口部から坩堝底部に向かって増加している（抵抗勾配）。これにより、加熱力の勾配を、坩堝開口部から坩堝底部へ向かう坩堝の軸方向に形成できる。
【００３０】
本発明の他の有用な特徴としては、抵抗スリーブが、坩堝開口部を取り囲んでいる上端部において、及び／又は坩堝底部を取り囲んでいる底端部において、径方向外側に湾曲、すなわち折曲されているストリップを有しており、そのストリップは、抵抗スリーブをそれに対応してそれぞれの場合において上部及び／又は下部リング状導電体に固定するよう、また抵抗スリーブの長さの温度変化を補償するように配置される。
【００３１】
一般的に、輻射熱放射のために、坩堝の熱損失は、坩堝底部においてよりも坩堝開口部において大きい。このため一定の加熱力では、実際の用途によっては、特に蒸発した生成物によっては望ましくない温度勾配が生じることがある。よって加熱力の勾配の形成を、温度勾配を補償するため、又は所定の方法で温度勾配を調整するために好適に利用できる。
【００３２】
前述の抵抗勾配は、電子ビーム加熱においては特に有用である。坩堝開口部付近の抵抗スリーブの上端部が負電位である場合、注入された電子は、坩堝までの真空部の一方で、抵抗スリーブを通る電流経路の他方で電気抵抗を受ける。抵抗勾配を用いて、２つの抵抗値の比を、坩堝の軸方向において変化させることができる。坩堝開口部付近では、坩堝底部付近よりも電子ビーム加熱が強力である。このため、温度勾配を、坩堝の最上部における輻射熱損失を補償するよう調整できる。
【００３３】
本発明の第２の態様に係る特に好ましい変形例では、加熱ゾーンが金属箔を形成する。金属箔は、坩堝の軸方向に間隔を空けて配置されている加熱抵抗器のターミナル間で、その外側面で延長されている。金属箔は、好ましくは５μｍ〜５０μｍの範囲、特に１５μｍ〜５０μｍの範囲、又は好ましくは５μｍ〜３０μｍの範囲、例えば５μｍ〜８μｍの範囲の厚さを有する。
【００３４】
本発明の第２の態様の他の変形例では、本発明の第１の態様に関連して上述した上部リング状導電体及び／又は下部リング状導電体を、抵抗スリーブ上に配置できる。上部リング状導電体及び／又は下部リング状導電体を、抵抗スリーブの端部にその外側面あるいはその側面端に固定、例えば溶接できる。
【００３５】
本発明では、別々の加熱部材を備える加熱ゾーンと、平坦な抵抗材料に接続されると共に坩堝を部分的に取り囲んでいる加熱ゾーンを、組み合わせることができる。この場合、坩堝上に加熱力の特定の分布を提供することが有用である場合もある。
【００３６】
加熱ゾーンの並列接続が坩堝の上のそれらの支持を容易にするので、本発明の他の変形では、加熱抵抗器を電気的絶縁体を介して坩堝にしっかりと接続することができる。複数の絶縁部材あるいは好ましくは単一の絶縁リングを備える電気的絶縁体は、坩堝の外側面上の温度が坩堝の他の領域よりも低い下方領域に好ましくは配置される。
【００３７】
下部リング状導電体が配置される場合（上に示した第１の態様）、これは、好ましくは坩堝に特に坩堝底部にしっかりと接続される電気的絶縁体に配置される。電気的絶縁体と下部リング状導電体との組み合わせは、加熱部材の信頼できる装着を構成する。平坦な抵抗材料が配置される場合（上に示した第２の態様）、その底端部は電気的絶縁体に固定される。
【００３８】
好適には、坩堝の保持装置、すなわち坩堝の軸基準方向に対して坩堝底部の下に固定される場合、電気的絶縁体の熱的負荷をさらに軽減することができる。下部リング状導電体あるいは平坦な抵抗材料の底端部は、この場合、電気的絶縁体にリングホルダを介して接続される。リングホルダは、坩堝底部の加熱抵抗器と保持装置上の電気的絶縁体の位置との間の距離の空隙を埋める。
【００３９】
リングホルダは、加熱抵抗器の機械的担持体を構成することができる。この場合、リングホルダは電気的絶縁材料よりなる。あるいは、リングホルダは、第２電位を加熱抵抗器に印加するための導電体を構成することができる。この場合リングホルダは電気的伝導材料よりなる。リングホルダの全体材料断面は、好ましくは加熱部材の直径あるいは抵抗スリーブの厚さとは異なる。その異なる程度は、抵抗加熱の際には電気抵抗が低くそのため実用上加熱がなく、電子ビーム加熱の際には実用上電子放出がない程度である。リングホルダは、例えば、金属箔あるいは金属シートのリング、設置ピン、又は打ち抜きあるいは圧延部品を備えることができる、
【００４０】
保持装置上に電気的絶縁体を配置することは、保持装置を間接加熱から遮断するだけではなく、積極的に直接冷却でき、これにより、電気的絶縁体の望ましくない熱的負荷が排除されるという利点を有する。
【００４１】
本発明の他の有用な変形では、蒸発器セルは、坩堝を径方向に取り囲んでいる遮蔽壁を備えた遮蔽装置を有する。遮蔽壁は、好適には複数の機能を奏することができる。第一に、蒸発器セルの周辺の熱的遮蔽を提供することができ、このことは、特にコーティング設備においていくつかの隣接した蒸発器セルを独立に制御することに有用である。第二に、遮蔽壁は、加熱装置、特に加熱ゾーンの加熱装置の、さらに任意選択的にリング状導電体の一方の、機械的担持体を構成することができる。
【００４２】
本発明の特定の利点は、加熱ゾーンの一端、好ましくは上端、すなわち坩堝開口部近傍を、遮蔽壁に電気的に接続できるという点により得られる。従来の蒸発器セルとは対照的に、電気的絶縁体は、坩堝の上部領域に、特に坩堝開口部の近傍にあることが必須でない。加熱ゾーンの上端部（任意選択的に上部リング状導電体を有する）の電力源、すなわち高電圧源の一方の極への電気的接続は、遮蔽壁を介して構成できる。加熱ゾーン（任意選択的に上部リング状導電体あるいは平坦な抵抗材料の上端部）を、遮蔽壁に直接固定することができる。これにより、本発明に係る蒸発器セルの構造を極めて簡素化できる。
【００４３】
本発明の他の有用な変形では、坩堝から特に坩堝開口部から加熱ゾーンの上端部の径方向の距離が、坩堝から特に坩堝底部から加熱ゾーンの下端部の径方向の距離よりも、大きいように、加熱ゾーンを配置することができる。坩堝開口部から加熱ゾーンの上端部の径方向の距離は、１ｍｍ〜６ｍｍの範囲において好ましくは選択される。坩堝底部から加熱ゾーンの下端部の径方向の距離は、１ｍｍ〜４ｍｍの範囲において好ましくは選択される。
【００４４】
長手方向に直線で延びる加熱ゾーンでは、坩堝開口部から坩堝底部へ向かって距離の勾配がある。径方向距離が減少するために、加熱ゾーンから坩堝の側壁への真空部の抵抗は、減少する。したがって、好適には軸方向での温度勾配を補償あるいは調整するよう、及び／又は温度放出制御に影響を与えるよう、真空部を横断する抵抗値と加熱ゾーンを通る抵抗値との上述の比に、さらに影響を与えることができる。
【００４５】
あるいは、側壁から加熱抵抗器の径方向の距離を、坩堝底部においてよりも坩堝開口部において小さくすることができる。好適には、このように坩堝開口部付近の加熱力と比較して、坩堝底部付近の加熱力を増加できる。
【００４６】
本発明の他の有用な変形では、選択的にあるいは距離勾配に追加的に、加熱ゾーンのオーム抵抗が坩堝底部においてより坩堝開口部においてより低い抵抗勾配を与えることができる。抵抗勾配は、例えば上述した本発明の第２の態様において、加熱抵抗器の円錐形状あるいは加熱ゾーンの厚さ勾配によって得られる。
【００４７】
抵抗勾配の他の代替例では、加熱抵抗器の抵抗値は、坩堝底部においてよりも坩堝開口部において大きくできる。これにより、必要に応じて坩堝開口部付近の加熱力よりも坩堝底部付近の加熱力を高く設定することも可能となる。
【００４８】
本発明の特に好ましい変形において、加熱ゾーン、特に上部リング状導電体と下部リング状導電体との間の加熱部材あるいは平坦な抵抗材料は、それ自身を支持するように延びている。この場合、下部リング状導電体あるいは平坦な抵抗材料の底端部を、直接、又は坩堝底部あるいは保持装置に配置される電気的絶縁体上の前記設置ピンを介して、固定できる。一方、上部リング状導電体あるいは平坦な抵抗材料の上端部を、遮蔽壁の内側面上の坩堝開口部近傍に固定できる。直円柱状坩堝と直線状の円筒状スリーブの形態の遮蔽壁を有する円筒状の設計において、前記距離勾配は、したがって、坩堝からの加熱部材の径方向距離が蒸発の方向に増加する状態で達成される。
【００４９】
本発明の他の有用な変形では、蒸発器セルは、蒸発器セルの動作温度を検出可能な少なくとも１つの温度測定装置を有する。これにより、特に、温度測定を異なる測定原理に対して簡単に設定できるという利点が得られる。好ましくは、温度測定装置は、熱電対、ボロメータ部材、及び／又は高温計部材を備える。熱電対は、直接的で、安価な温度測定という利点を有する。一方、高温計あるいはボロメーター部材を用いた光学的温度測定は、比較的に大きな測定距離での非接触測定に関して利点を有する。
【００５０】
しかしながら、熱電対は容易に較正することができ場所をとらないので、熱電対は温度測定に対して好ましい。熱電対、特にタングステンとレニウムをベースとする熱電対を、関心のある高温範囲において利用可能である（例えば、R.R.Asamotoらの「The Review of Scientific Instruments」，Ｖｏｌ．  ３８，１９６７年，１０４７ページ参照）。光学的温度測定については、好ましくは輻射検出器は蒸発器セルの外側に配置される。その放射検出器を用いて、任意選択的な遮蔽装置の検査ウィンドウあるいは開口部を通して、坩堝の外壁あるいは内壁から放射される温度に依存した熱的輻射を検出できる。
【００５１】
本発明の他の変形では、坩堝底部の下に、ある軸方向距離を空けて、熱電対を坩堝の軸基準方向にずらすことができる場合、いくつかの利点が得られる。まず、単純にずらすことにより、坩堝底部から熱電対の軸方向距離を調整することができ、したがって蒸発器セルの実際動作条件に適合させることができる。さらに、例えばメンテナンスや交換目的で、熱電対を、複雑な分解作業を経ることなく容易に蒸発器セルから取り外すことができる。このため、熱電対は好ましくは直線形状とする。これにより、熱電対を坩堝の保持装置及び任意選択的に蒸発器セルの他の部分を通る直線状のチャンネルを通して、坩堝底部の下の所望位置へ進めることができる。坩堝底部から最適な軸方向距離は、例えば一連の試験であるいは予備較正測定によって決定できる。
【００５２】
本発明の他の有用な特徴では、蒸発器セルの保持装置は、蒸発器セルの他の部品、特に担持体に対する、坩堝の熱的絶縁の位置決めに適合している。保持装置は、後者が電気的伝導材料から形成される場合、坩堝の外側面を大部分解放している機械的ホルダを表わす。この場合、好ましくは保持装置は坩堝底部に配置され、これにより、加熱装置からの伝熱に対しては、坩堝の側壁は大部分露出される。保持装置が電気的伝導材料よりなる場合、好適には、機械保持に加えて、保持装置は同時に坩堝のための高電圧接点として機能させることができる。坩堝が電気的非伝導材料よりなる場合、坩堝のほとんどの外側面を覆うように保持装置が形成される。この場合、好ましくは積極的な接続が、坩堝の外側面と保持装置の内側面との間で行われる。
【００５３】
保持装置が中空の輪郭を有する構成部品によって形成される場合、坩堝から周辺への熱伝導の低減、及び坩堝の非常な高い温度においてさえ安定な位置決めに対する利点がある。保持装置は、例えば坩堝の下側に嵌合される中空の円筒あるいは中空の円錐である。円筒状あるいは円錐状の保持装置は特に高い機械的安定性を有する。坩堝は、捻れと反りに対して保護されながら、しっかりとあらゆるところで保持される。
【００５４】
好適には、坩堝の高電圧接点を構成する中空の輪郭は、坩堝の動作温度を測定可能であり電界強度が低減された、坩堝のすぐ近傍の空間を生成する。したがって、温度測定装置は、保持装置の内の温度を測定するよう、好ましくは配置される。保持装置は、例えば熱電対を保持装置へと案内できる軸方向の開口部を有する。熱電対を保持装置の中空の輪郭内に位置決めすることは、特に電子ビーム加熱としての加熱装置の動作の際の高い電界強度に対する、熱電対の包括的な遮蔽を達成し、また望ましくない高電圧アーク放電が回避されるという特別な利点を有する。
【００５５】
好ましくは、保持装置を挿入可能な受容器が、担持体上に配置される。受容器は、例えば内部形状が保持装置の中空の輪郭の外部形状と一致する円筒状あるいは円錐状のトレイの態様である。好適には、挿入された保持装置は、担持体と堅固な機械式接触を構成し、これにより蒸発器セルの動作の際に坩堝が傾くことが回避される。
【００５６】
また本発明に係る蒸発器セルによれば、好適には坩堝における正確な温度設定も可能となる。このため、好ましくは加熱装置を設定する制御装置を配設する。この制御装置には、以下の制御回路を含めることができる。すなわち第１制御回路は、抵抗加熱のため、加熱抵抗器の加熱電流を設定するよう機能する。第２制御回路は、電子ビーム加熱のため、加熱抵抗器から坩堝への電子流を設定するよう機能する。
【００５７】
制御回路において、加熱抵抗器の加熱電流及び／又は電子流は、蒸発器セルの実際の作業に応じて選択された実際の値を用いて、概ね制御できる。例えば、測定された蒸着レートを、制御回路の実際の値として利用できる。この制御は、好ましくは坩堝の動作温度に基づいて行なわれる。このため温度測定装置を、制御回路の少なくとも一に接続する。
【００５８】
また、本発明の他の実施態様によれば、制御装置が蒸発器セルの温度を設定可能な単一の制御回路を有することで、更なる利点が得られる。特に、好ましくは単一の制御回路が、加熱装置の電圧調節に特化されている。この制御回路を用いて、並列接続された加熱部材の両端における電圧を、実際の値、例えば温度測定装置を用いて測定された温度に応じて設定する。好適には、加熱部材の並列接続の加熱電圧のみに基づいて、蒸発器セルが制御される。
【００５９】
発明者らは、十分に高い加熱電圧で、好ましくは２Ｖ〜８Ｖの範囲、例えば４Ｖで、加熱部材の並列接続の結果、抵抗加熱から電子ビーム加熱への移行は、電子ビーム加熱力が受動的にかつ安定性高く加熱電圧から続く状態で、自動的に生じることを見出した。従来の蒸発器セルの制御とは対照的に、高電圧源の制御は必要ではない。すなわち加熱部材の加熱電圧の制御によって、高電圧源が自動的に制御されることが見出された。驚くことに、１つの制御回路によって、抵抗加熱と電子ビーム加熱の同時動作を用いてさえ、制御特性を変動させない安定性が見られた。
【００６０】
電子ビーム加熱の好ましい制御特性は、坩堝までの真空部の抵抗が加熱ゾーンの温度上昇につれて安定して減少する温度放出制御によって特徴づけられる。真空部をわたる電子流は、加熱ゾーンの温度上昇につれて連続的に増加する。対照的に、電界放出制御では、電子流の急増が起こるであろう。温度放出制御は、真空部の所定長さで、電界放出が排除される（例えばＵ＜５００Ｖ）加速電圧と、温度放出が生じる（例えばＩ＝１Ａ〜３Ａ）十分に高い電子流の電子ビーム加熱とによって達成される。
【００６１】
本発明に係る蒸発器セルの坩堝及び加熱抵抗器、好ましくは遮蔽装置の遮蔽壁も、全体がタンタルよりなる場合、特に利点があることが見出された。タンタル酸化物は比較的低い融点と比較的に高い蒸気圧を有するが、発明者らは、驚くほど、蒸発器セルの高温動作においてさえ、望ましくないタンタルが蒸発器セルを用いて生成されたフィルムに見つからないことを見出した。
【００６２】
本発明に係る少なくとも１つの蒸発器セルを有するコーティング設備は、本発明の独立した主題を構成する。一般的には平坦な坩堝が配置される従来の電子ビーム蒸発器とは対照的に、コーティング設備における蒸発器セルは、坩堝を垂直に対して傾斜してあるいは水平方向にさえ配置して構成できる。
【００６３】
本発明のさらなる詳細及び利点を、添付した以下の図面を参照しながら以下説明する。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１Ａ及び図１Ｂは、本発明に係る蒸発器セルの第１実施形態の概略図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、本発明に係る蒸発器セルの第２実施形態の概略図である。
【図３】図３Ａ及び図３Ｂは、本発明に係る蒸発器セルの第２実施形態のさらなる変形例の概略図である。
【図４】本発明に係る制御装置との蒸発器セルの組み合わせを示す模式図である。
【図５】本発明に係る蒸発器セルの種々の動作状態を示す曲線を示すグラフである。
【図６】図６Ａ〜６Ｃは、本発明に係る蒸発器セルの他の実施形態の細部である。
【発明を実施するための形態】
【００６５】
概略断面図としての図１Ａに示す本発明に係る蒸発器セル１００の第１実施形態は、坩堝１０と、加熱装置２０の加熱抵抗器２１と、温度測定装置３０と、保持装置４０と、遮蔽装置５０と、を備える。加熱抵抗器２１は、別々に延びる加熱部材２１．１によって形成される、並列接続された加熱ゾーンを備える。
【００６６】
坩堝底部１１と、包囲側壁１２と、出口１３を有する、蒸発物を受けるための坩堝１０は、坩堝底部１１から出口１３へと直径が増加する円錐状である。坩堝１０は、３０００°Ｃの温度まで寸法的に安定しており機械的に安定している単層あるいは多層材料よりなる。坩堝１０は、完全に金属シートからなり、あるいは非電気的伝導本体と金属コーティングとを有する複合物よりなることができる。蒸発器動作については、それぞれの場合で、坩堝１０の電気的伝導部分は、高電圧源２４に接続されている（図４を参照）。坩堝１０は、例えば、完全に、タンタル、あるいはタンタル−タングステン組み合わせあるいはタングステン−レニウム合金よりなる。タングステン−タンタル組み合わせは、例えば、タングステンで形成される坩堝底部１１と、タンタルあるいは内側タングステン円錐及び外側タンタル円錐を有する二層構造体で形成される側壁１２と、を有する構造体を備える。この最後に記載した変形は、タンタルの外側シートが内側タングステン円錐の機械的安定性を提供するという利点を有する。坩堝１０の寸法は、約１０ｃｍ3の内部容積に対して、例えば：坩堝底部の直径：１ｃｍ、坩堝１０の軸方向長さ：約１０ｃｍ〜１５ｃｍ、出口１３の直径：約１．５ｃｍである。
【００６７】
温度測定装置３０は、接点が坩堝底部１１の下に配置され測定変換器３２に接続されている熱電対３１を備える。上に引用したR.R.Asamotoらの研究において記載されているように、熱電対は例えばタングステン−レニウム熱電対である。測定変換器３２は、例えば「Eurotherm 2604」タイプである。
【００６８】
保持装置４０は、耐熱性材料例えばタンタルで形成され軸方向に延びているチャンネル４７を有する中空円筒４１を備える。熱電対３１はチャンネル４７を通ることができ、中空円筒４１の内部によって電気的に絶縁されている。熱電対３１はチャンネル４４内で移動可能であり、これにより、坩堝底部からの軸方向距離Ｘを調整できる。軸方向距離Ｘは、例えば２ｍｍ〜１５ｍｍの範囲に設定される。
【００６９】
中空円筒４１の底端部は、コーティング設備において、固定してあるいは調整可能に配置される担持体４２に接続される。担持体４２は、中空円筒４１の底端部が固定される環状の受容器４３を有する。保持装置４０は、坩堝１０を安定して保持すると共に坩堝１０の高電圧電気接点としても機能する。
【００７０】
保持装置４０は、坩堝１０とコーティング設備の他の部品との間の熱的絶縁を構成する。熱伝導を最小限にするために、中空円筒４１は、５００μｍ未満、好ましくは２００μｍ未満、例えば、５０μｍ〜２００μｍの範囲の厚さのシートメタルよりなる。
【００７１】
遮蔽装置５０は、側方に包囲する遮蔽壁５１と、遮蔽キャップ５２と、を備える。遮蔽壁５１は、熱障壁を外側に構成すると共に、加熱装置２０の上部リング状導電体２２．１に対する機械的ホルダを構成する。遮蔽壁５１、例えば５０μｍの厚さのＴａシートあるいは多層のＴａ箔よりなる。遮蔽キャップ５２は、蒸発器セル１００とコートされる基板との間の熱的絶縁として機能する。遮蔽キャップ５２は、加熱部材２１．１が基板に向かって配置されている、坩堝１０と遮蔽壁５１との間の空間的な範囲を遮蔽する。遮蔽キャップ５２の中心には、蒸気の流れが坩堝１０から基板へ通ることを可能にする開口部がある。開口部は、用途に応じて、坩堝１０内の温度分布の均一性を改善し、また必要な加熱力を最小限にするよう、できるだけ小さく選択されている（例えば１５ｍｍ）。
【００７２】
加熱抵抗器２１を構成する加熱装置２０の加熱部材２１．１は、上部リング状導電体２２．１と下部リング状導電体２２．２との間で延びている別々の加熱導電体である（図１Ｂにおける概略側面図を参照）。さらに、加熱電流源２３（図４参照）に接続される接続リード２２．３が、配置される。加熱部材２１．１は、それ自身を支持するよう、上部及び下部リング状導電体２２．１，２２．２の間で、延びている。加熱部材２１．１のそれぞれは、抵抗加熱のために通常用いられる材料例えばタングステンあるいはタンタルから製造される、例えば０．６３５ｍｍ直径の、直線状の抵抗線よりなる。加熱部材２１．１の数は、例えば４〜２０の範囲、特に好ましくは６〜１０の範囲において選択されている。加熱部材２１．１は、坩堝１０の周囲に均一な方位角分布で配置される。
【００７３】
本発明の変形例では、加熱部材を湾曲した抵抗線によって形成できる。この場合、すべての抵抗線は同じ曲率を有し、その結果、加熱部材を、上部及び下部リング状導電体２２．１，２２．２の間に、ある相互距離で、平行に接続できる。湾曲した加熱部材は、例えば上部及び下部リング状導電体２２．１，２２．２の間に延びる、波状、三角形あるいはスパイラル構造、又は弓状の構造体などの周期的構造を有する。
【００７４】
加熱部材２１．１は、側壁１２の外側面に、表面からある径方向距離を空けて配置される。径方向距離は、上部及び下部リング状導電体２２．１，２２．２の寸法と、それらの一方の遮蔽装置５０へのアタッチメント及び他方の坩堝１０へのアタッチメントの寸法と、によって決定される。
【００７５】
上部リング状導電体２２．１は、加熱部材２１．１の径方向外側かつ遮蔽装置５０の径方向内側に延びるバー（例えば２１．３参照）を介して、絶縁体１４に、担持体４２あるいはコーティング設備３０の他のある固定部分に、固定される（図６も参照）。均一な方位角分布で配置されるいくつかのバー２１．３（例えば３つ）が配置される。バー２１．３は、例えば２ｍｍ〜３ｍｍの断面を有するタンタルよりなる。バー２１．３は、例えばタンタルによって形成される遮蔽壁５１の内側面と接触あるいは電気的に接触させることができる。
【００７６】
遮蔽装置５０は、担持体４２の電気的絶縁部分に、あるいはコーティング設備の他の固定部分（図示せず）に、固定される。遮蔽壁５１を、遮蔽装置５０に対するフレームあるいはフレームワークを形成するバー２１．３に載置できる。遮蔽装置５０は、さらに、例えば液体窒素あるいは水で冷却されるダブルジャケットを備える外側冷却板（図示せず）を有することができる。上部リング状導電体２２．１が側壁１２及び坩堝開口部１３から離れているので、坩堝１０は支持なしに立っており、保持装置４０上にのみ固定されている。上部リング状導電体２２．１は、例えば２ｍｍの直径のタンタルの湾曲したワイヤ（トーラス）あるいは１ｍｍの厚さのタンタルの環状シートよりなる。
【００７７】
下部リング状導電体２２．２は、坩堝底部１１で坩堝１０を取り囲んでいる環状の絶縁体１４に固定される。絶縁体１４は、側壁１２にあるいは遮蔽壁５１のオフセットされた下方領域に固定される。アタッチメントは、例えば窒化ホウ素から形成される。絶縁体１４は、下部リング状導電体２２．２に接続される接続リード２２．３を受ける貫通孔を有する。下部リング状導電体２２．２も、また、湾曲したワイヤ（トーラス）あるいは環状のシートの態様のタンタルよりなる。加熱部材２１．１は、溶接接合によって下部リング状導電体２２．２に固定される。絶縁体１４は、例えば窒化ホウ素、サファイアあるいは石英よりなる。
【００７８】
図２Ａの概略断面図に示す本発明に係る蒸発器セル１００の第２実施形態も、また、坩堝１０と、加熱装置２０の加熱抵抗器２１と、温度測定装置３０と、保持装置４０と、遮蔽装置５０と、を備える。これらの構成部品は、基本的に、図１Ａを参照して上に説明したように、構成される。第１実施形態との本質的な差は、加熱ゾーンの抵抗スリーブ２１．２への接続と関連する。
【００７９】
図２Ｂの概略的な側面図に示すように、加熱ゾーンは、直径が坩堝底部１１から坩堝開口部１３に向かって増加する円錐状の抵抗スリーブ２１．２を構成する。抵抗スリーブ２１．２は、例えば３０μｍ以下例えば２５μｍあるいは１０μｍの厚さのタンタル箔から形成される。抵抗スリーブ２１．２の底端部の直径は、例えば１ｃｍ〜２ｃｍの範囲で選択される。一方、抵抗スリーブ２１．２の上端部の直径は、２ｃｍ〜３ｃｍの間で選択されている。図２に示す変形において、抵抗スリーブ２１．２は、第１実施形態におけるようなバーに、バーの上端部あるいは任意選択的に上端部に配置されている上部リング状導電体（図２には図示せず）によって、固定される。抵抗スリーブ２１．２のアタッチメントの変形例を、図３を参照して説明する。抵抗スリーブ２１．２の底端部には、溶接されたリング２２．２が配置される。また抵抗スリーブ２１．２の底端部は、坩堝底部１１の下に、ある軸方向距離で、設置ピン１５及び保持装置４０上の環状絶縁体１４を介して固定される。
【００８０】
抵抗スリーブ２１．２を担持する設置ピン１５は、環状の絶縁体１４に固定される。例えば、電気的絶縁材料例えば窒化ホウ素（特に熱分解窒化ホウ素、ＰＢＮ）あるいは電気的伝導材料（例えばタンタルあるいはタングステン）よりなる２つ以上の設置ピン１５が配置される。設置ピン１５のうちの１つを、接続リード２２．３への円錐形のスリーブ２１．２の電気的接続として用いることができる。
【００８１】
図２Ａに示す設置ピン１５と絶縁体１４との組み合わせも、また、発明の第１実施形態における加熱抵抗器を保持するように配置できる（図１Ａ参照）。
【００８２】
図３は、有用に抵抗スリーブ２１．２の上端部の固定の安定性の改善を可能にする抵抗スリーブ２１．２のさらなる変形を示す。わかりやすくするため、坩堝及び蒸発器セルの他の部品を図３においては図示していない。抵抗スリーブ２１．２は、坩堝開口部１３近傍の上端部において、抵抗スリーブ２１．２の周方向に沿った可撓性ストリップ２１．４を構成するいくつかの切片を有する。ストリップ２１．４は、抵抗スリーブ２１．２の壁材料よりなる。例えば、１０〜２０の一様に分配された、例えば軸方向の長さ（切片の長さ）が１ｃｍのストリップ２１．４が、抵抗スリーブ２１．２の上端部に周方向に配置される。ストリップ２１．４は、例えば湾曲すなわち折曲して、径方向外側に向けられていると共に、上部リング状導電体に固定され、例えば上部リング状導電体２２．１に溶接される。
【００８３】
有用なことに、ストリップ２１．４を介して抵抗スリーブ２１．２の上端部を固定することにより、抵抗スリーブ２１．２の長さにおける熱変化の補償が改善される。熱いときの抵抗スリーブ２１．２の長さは冷えたときと比較して例えば２ミリメートルまで増加した場合、長さのこの変化をストリップ２１．４によって吸収ことができる。このように、抵抗スリーブ２１．２の例えばアップセットあるいはひずみ、また場合によってはリング状導電体から外れるような、望ましくなく熱的機械的過負荷が、確実に回避される。リング状導電体は、図２と比較して直径が大きい。
【００８４】
図３Ａでは、上端部において、抵抗スリーブ２１．２は、上部リング状導電体にあらゆるところで溶接されているのではなく、弓状のストリップ２１．４を介して結合されている。その結果、抵抗スリーブ２１．２は、軸方向長に広がることができ、機械的過負荷を受けることがない。セルのより冷えている外側部分に対する異なる熱膨張による抵抗スリーブの機械的破壊は、このようにして効果的に阻止できる。
【００８５】
図３Ｂでは、ストリップ２１．４は、弓状に形成されるのではなく、小さい曲率半径で折曲されており、径方向外側に坩堝中心線に対してほとんど垂直に指向されている。冷えた状態では、底部から見た角度は９０度以上であり、熱い状態では、９０度未満であり、好ましくはそれぞれが同じ量である。両方の状態を図３Ｂに示す。スリーブの上端部のほとんど垂直な径方向の突っ張りは、抵抗スリーブ２１．２の小さな熱膨張の実現を損なうことなく、抵抗スリーブ２１．２の上端部の安定した側方における案内をもたらす。有用なことに、これにより、セルの対称軸から抵抗スリーブ２１．２の側方のずれ、また中央における坩堝（図３には図示せず）との短絡を確実に防止する。
【００８６】
本発明の他の実施形態では、抵抗スリーブ２１．２は、下端部に、つまり坩堝底部の近傍に、図３Ａ及び図３Ｂを参照して上述したように、抵抗スリーブ２１．２の周方向に可撓性のあるストリップを構成する切片を有することができる。この場合、ストリップは下部リング状導電体２２．２に固定される（図２参照）。さらに、抵抗スリーブ２１．２（加熱箔）の２つの軸方向端部の湾曲すなわち折曲されたストリップを介して固定を行うことができる。
【００８７】
図４は、加熱電流源２３及び高電圧源２４への加熱装置２０の接続を概略的に示す。わかりやすくするため、図４においては、上部及び下部リング状導電体２２．１，２２．２及び加熱部材２１．１を、坩堝１０の隣に図示するが、実際にはそれらは坩堝１０を取り囲んでいる。第２実施形態においては、加熱部材２１．１は抵抗スリーブ２１．２と置き換えられている。
【００８８】
加熱装置２０の動作電流の調整は、図４に概略的に示す制御装置６０によって行われる。坩堝１０の外側面の加熱部材２１．１は、加熱電流源２３に並列接続される。加熱電流源２３は、２０Ｖまでの出力直流電圧で１２０Ａまでの加熱電流の制御可能なＤＣ電力源である。加熱電流源２３の一方の接続（陽極）接点は、下部リング状導電体２２．２に接続される。一方、加熱電流源２３の他方（陰極）接続接点は、上部リング状導電体２２．１、遮蔽壁５１、高電圧源２４の陰極接続接点及び熱電対３１のターミナルと共に、接地電位に接続される。熱電対３１の接地は、任意選択的に提供される。あるいは、測定変換器３２及び制御器３３は、坩堝電位とすることができる。
【００８９】
高電圧源２４は、出力電流例えば１０Ａまで、出力電圧例えば５００ＶまでのＤＣ電力源である。コストの理由及び低電圧用の範囲における動作の単純化のために、好ましくは３００Ｖ以下の出力電圧の高電圧源２４が用いられる。高電圧源２４の陽極接続接点は、保持装置４０（図１あるいは図２を参照）を介して坩堝１０に接続される。坩堝１０は、加熱装置２０の電子ビーム動作における、電子が加熱部材２１．１によってそこへと加速されるアノードを表わす。本発明の変形例としての変形では、高電圧源は、低電圧（例えば約５０Ｖまで）あるいは高電圧（例えば約５０００Ｖまで）に適合させることができる。実際には、意図しない電気的アーク放電を回避し、かつ電子ビーム加熱の柔軟な制御特性（温度放出制御）を得るために、できるだけ高い電流と対応して、低電圧が好ましい。
【００９０】
熱電対３１の測定変換器３２は、制御器３３（例えばＰＩＤ制御器）に接続される。制御装置６０の設計に応じて、制御器３３は、加熱電流源２３へ及び任意選択的に高電圧源２４へ制御信号を提供する１つあるいは２つの出力を有する。
【００９１】
制御装置６０は、好ましくは単一の制御回路６１を備える。制御回路６１において、上部及び下部リング状導電体２２．１，２２．２に印加される加熱電流源２３の出力電圧は、坩堝１０の動作温度に応じて制御される。あるいは、従来の蒸発器セルのように、２つの制御回路６１，６２を配置できる（３３から２４への破線矢印を参照）。任意選択的に配置された制御回路６２において、加熱部材２１．１から坩堝１０への電子流も、また、坩堝１０の動作温度の関数として制御される。
【００９２】
温度設定のために、例えば、図５に示す特性曲線が実現される  第１動作フェーズにおいて、まず、加熱電圧が加熱部材２１．１に印加され、これにより、加熱電流が加熱部材２１．１を流れる。加熱力Ｐｔｈのみが、つまり坩堝１０の温度のみが、加熱電圧を介して制御される。制御装置３３によって、図５では、まず坩堝の温度が、加熱抵抗器２１から電子の放出が開始される温度に達するまで、温度加熱によって上昇する（破線のパワーＰｔｈ）。抵抗加熱の結果、十分な高温例えば１０００℃〜１５００℃の高温に達すると、その後の動作フェーズにおいて、電子ビーム加熱が開始される。加熱部材２１．１から坩堝１０への電子放出は、例えば３００Ｖの高電圧では既に開始されている。電子ビーム加熱（破線のパワーＰｅ）が、加熱に重ねられる。２つの成分が加えられて、パワーＰｔｏｔ（実線で描く）となる。温度をさらに上昇させるために、抵抗加熱のパワーＰｔｈは増加されず、代わりに電子ビーム加熱が用いられる。抵抗加熱は低減される。本発明では、２２００℃を超える坩堝温度において、加熱部材が坩堝によって加熱されるにつれ、抵抗加熱のスイッチを切ることもできる。加熱部材と坩堝との間の真空部における、電子流の増加、例えば２０００Ｖの電圧において１Ａへの増加によって、２７００℃の温度に達する。
【００９３】
抵抗加熱から電子ビーム加熱への変化時の温度調整の移行をできるだけ円滑にするために、高電圧源２４の高電圧は抵抗加熱の第１動作フェーズの際には既に坩堝１０に印加されている。
【００９４】
蒸発器セル１００の他の実施形態の詳細を、図６Ａ（斜視断面図）、図６Ｂ（拡大部分図）及び図６Ｃ（側面図）に示す。図１（又は図２）及び図６における実施形態の間の本質的な差は、坩堝１０の幾何学的形状から構成される。その他の点では、図６に示す詳細は、また、図１、図２あるいは図３に示す本発明の実施形態によって実現できる。
【００９５】
図６Ａ及び図６Ｂは、坩堝１０、加熱抵抗器２１、温度測定装置３０、保持装置４０及び遮蔽装置５０の詳細を示す。坩堝１０は、タングステンシートよりなる中空の直円柱である。遮蔽壁５１は、いくつかの層のタンタル箔よりなる。加熱抵抗器２１の加熱部材２１．１は、坩堝１０の全長にわたって延びている。好適には、電子ビーム加熱において、電子放出は加熱部材２１．１の長さ全体にわたって起こる。
【００９６】
図６Ａ及び図６Ｂは、例えば、直径が軸方向に坩堝開口部に向かって増加する加熱抵抗器２１の円錐形状を示している。あるいは、加熱抵抗器２１は、円筒状の坩堝１０から加熱部材２１．１に、ある一定の径方向の距離離れた筒形状とでき、あるいは軸方向に坩堝開口部へ向かって直径が減少する円錐形状とできる。
【００９７】
加熱部材２１．１の機械的装着及び上部リング状の導電体２２．１の機械的装着は、遮蔽壁５１の内側面に配置されるバー２１．３によってなされる。
【００９８】
保持装置４０の中空円筒４１は、下端部において、円錐形状のテーパ形状にされている。円錐状のテーパは、担持体４２の同様に円錐状である受容器４３に挿入される。中空円筒４１は、同様に円錐状であり、担持体４２の受容器４３へと引っ張りネジ４５によって引っ張ることができる内部部分４４を有するホルダ４３に固定される。引っ張りネジ４５は内部が中空であり、これにより、例えば熱電対３１を軸方向に中空円筒４１の内部空間へと通すチャンネル４７が形成される。担持体４２の上側には、いくつかの層のタンタルシート４６が、坩堝１０と担持体４２との間の熱的な絶縁を改善するために、配置される。
【００９９】
担持体４２は、基部７０に、加熱抵抗器の接続リード、坩堝の高圧ケーブル及び熱電対のリードが内部に配置される剛体管７１を介して接続される。管７１は、また、冷却水接続７２（図６Ｃを参照）を介して供給される冷却水によって接続リード及び保持装置４０を冷却するよう機能する。基部７０は、コーティング設備に装着可能な真空フランジ（例えばサイズＣＦ４０）を有する。
【０１００】
上記の詳細説明、図面及び特許請求の範囲に開示した本発明の各特徴は、種々の実施形態における発明の実施において、個々に、及び特徴同士の組み合わせの双方において、重要となる。
【符号の説明】
【０１０１】
１０…坩堝
１１…坩堝底部
１２…包囲側壁
１３…出口
１４…絶縁体
１５…設置ピン
２０…加熱装置
２１…加熱抵抗器
２１．１，２１．２…加熱ゾーン
２１．１…加熱部材
２１．２…抵抗スリーブ
２１．３…バー
２１．４…ストリップ
２２．１…上部リング状導電体
２２．２…下部リング状導電体
２２．３…接続リード
２３…加熱電流源
２４…高電圧源
３０…温度測定装置
３１…熱電対
３２…測定変換器
３３…制御器
４０…保持装置
４１…中空円筒
４２…担持体
４３…受容器
４４…チャンネル
４５…引っ張りネジ
４６…タンタルシート
４７…チャンネル
５０…遮蔽装置
５１…遮蔽壁
５２…遮蔽キャップ
６０…制御装置
６１…制御回路
６２…制御回路
７０…基部
７１…管
７２…冷却水接続
１００…蒸発器セル
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発物を蒸発させるための蒸発器セル(100)において、
蒸発物を収容するための坩堝(10)であって、
坩堝底部(11)と、該坩堝(10)の軸方向に延びている側壁(12)と、坩堝開口部(13)と、
を有する坩堝(10)と、
加熱抵抗器(21)を有する加熱装置(20)であって、
加熱抵抗器(21)が、坩堝(10)の外側面に配置されると共に坩堝(10)に沿って軸方向に延びる複数の加熱ゾーン(21.1,21.2)を備えた加熱装置(20)と、
を備える蒸発器セルであって、
加熱ゾーン(21.1,21.2)を、坩堝(10)の多面的な抵抗加熱及び／又は電子ビーム加熱に適合させるよう構成した蒸発器セルであって、
加熱電流がすべての加熱ゾーン(21.1,21.2)にわたって並列に同じ向きに加熱抵抗器(21)を流れるように、加熱ゾーン(21.1,21.2)が形成されていることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸発器セルであって、
加熱装置(20)は、坩堝(10)を坩堝開口部(13)において取り囲むと共に加熱部材(21.1)が並列に接続されている上部リング状導電体(22.1)を有しており、
加熱装置(20)は、坩堝(10)を坩堝底部(13)において取り囲むと共に加熱部材(21.1)が並列に接続されている下部リング状導電体(22.2)を有することを特徴とする蒸発器セル。
【請求項３】
請求項２に記載の蒸発器セルであって、
下部リング状導電体(22.2)が電気的絶縁体(14)に接続されていることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
加熱ゾーンが、抵抗スリーブ(21.2)を構成する平坦な抵抗材料として接続されていることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項５】
請求項４に記載の蒸発器セルであって、
抵抗スリーブ(21.2)は、坩堝(10)を坩堝開口部(13)において取り囲んでいる上端部に、及び／又は坩堝(10)を坩堝底部(11)を取り囲んでいる底端部において、径方向外側に湾曲している、抵抗スリーブ(21.2)を固定するよう配置されたストリップ(21.4)を有することを特徴とする蒸発器セル。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の蒸発器セルであって、
加熱ゾーン(21.2)は、坩堝(10)の軸方向に沿って一定の厚さを有し、及び／又は
加熱ゾーン(21.2)は金属箔を備えることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
加熱抵抗器(21)は、電気的絶縁体(14)を介して坩堝底部(11)あるいは坩堝(10)の保持装置(40)に接続されることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
坩堝(10)を径方向に取り囲む遮蔽壁(51)を有する遮蔽装置(50)が配置されており、
加熱抵抗器(21)は、坩堝開口部(13)において遮蔽壁(51)と電気的に接続されていることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
側壁(12)から加熱抵抗器(21)の径方向の距離は、坩堝底部(11)においてよりも坩堝開口部(13)において大きいか、又は
側壁(12)から加熱抵抗器(21)の径方向の距離は、坩堝底部(11)においてよりも坩堝開口部(13)において小さいことを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
加熱抵抗器(21)の抵抗値は、坩堝底部(11)においてよりも坩堝開口部(13)において小さいか、又は
加熱抵抗器(21)の抵抗値は、坩堝底部(11)においてよりも坩堝開口部(13)において大きいことを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
蒸発器セルの動作温度を測定可能であると共に、熱電対(31)、ボロメータ部材及び高温計部材の少なくとも１つを備える温度測定装置(30)が配置されることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
加熱装置(20)を調整する制御装置(60)が配置されていることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１３】
請求項１２に記載の蒸発器セルであって、
制御装置(60)は、抵抗加熱を設定するための第１制御回路(61)と、電子ビーム加熱を設定するための第２制御回路(62)と、を有しており、
制御装置(60)は、抵抗加熱を低温範囲に設定可能であると共に、電子ビーム加熱を高温範囲に設定可能な単一の制御回路(61)を有することを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１４】
請求項１３に記載の蒸発器セルであって、
制御回路(61)は加熱装置(20)の電圧調節に適合していることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一に記載の蒸発器セルであって、
坩堝(10)及び加熱抵抗器(21)はタンタルよりなることを特徴とする蒸発器セル。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか一に記載の蒸発器セルを用いた蒸発物の蒸発方法であって、
抵抗加熱によって低温範囲において坩堝(10)内の蒸発物を加熱する工程と、
電子ビーム加熱によって高温範囲において坩堝(10)内の蒸発物を加熱する工程と、
を含むことを特徴とする蒸発物の蒸発方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の蒸発物の蒸発方法であって、さらに、
制御装置(60)によって加熱装置(20)を設定する工程を含み、
抵抗加熱としての動作は制御装置(60)の第１制御回路(61)によって設定され、電子ビーム加熱としての動作は制御装置(60)の第２制御回路(62)で設定され、又は
抵抗加熱動作及び電子ビーム加熱動作は、制御装置(60)の単一の制御回路(61)で設定されてなることを特徴とする蒸発物の蒸発方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の蒸発物の蒸発方法であって、
加熱装置(20)の電圧調節は単一の制御回路(61)によって行われることを特徴とする蒸発物の蒸発方法。
【請求項１９】
請求項１６乃至１８のいずれか一に記載の蒸発物の蒸発方法であって、
蒸発物は、タンタルよりなる坩堝(10)から蒸発する希土類元素の酸化物を含んでなることを特徴とする蒸発物の蒸発方法。