【手続補正書】
【提出日】平成23年5月16日(2011.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持チューブを貫通して伸びる一対の孔を有する支持チューブと、
異なる金属から形成される一対のワイヤであって、前記ワイヤの各々は、前記支持チューブの前記孔の異なる１つの中に配置される、一対のワイヤと、
第１の端部および第２の端部を有するキャップであって、前記キャップは、前記第１の端部と前記第２の端部との間にウェブを備え、前記キャップはさらに前記ウェブを貫通して形成される一対のアパーチャを有するキャップであって、前記アパーチャの各々は前記一対のワイヤの１つを収容し、前記キャップは前記支持チューブに固定して取り付けられ、前記アパーチャは、前記ワイヤの熱伸縮の間、前記ワイヤが前記一対のアパーチャを通して自由にスライドできる大きさであり、前記一対のワイヤを前記アパーチャの間で離間状態に維持し、前記一対のワイヤの一部が前記キャップの前記第２の端部から伸びる、キャップと、
を備える、熱電温度計。
【請求項２】
前記キャップを貫通して形成される前記一対のアパーチャが離間しており、これにより前記一対のワイヤを離間状態に維持する、請求項１に記載の熱電温度計。
【請求項３】
前記一対のワイヤが、前記キャップに形成された前記アパーチャを出る場合に露出され、前記一対のワイヤが前記キャップに形成された前記一対のアパーチャを出る場合に、保護チューブが、前記露出された一対のワイヤの一部を包む、請求項１に記載の熱電温度計。
【請求項４】
前記キャップは、
前記支持チューブの端部を収容するための前記キャップの前記第１の端部から伸びる第１の孔と、
前記キャップの前記第２の端部から伸びる第２の孔と、
を備え、前記第１のワイヤおよび前記第２のワイヤは、前記第１の孔および前記第２の孔を貫通して伸びる、請求項１に記載の熱電温度計。
【請求項５】
第１の端部、第２の端部、及び長手方向軸を有する支持チューブであって、前記支持チューブは、前記第１の端部と前記第２の端部との間に伸びる一対の孔を備える支持チューブと、
前記支持チューブの少なくとも一部の周囲に配置される覆いと、
前記孔の一方の中に配置される第１のワイヤと、
前記孔の他方の中に配置される第２のワイヤであって、前記第２のワイヤは前記第１のワイヤと異なる金属で形成される第２のワイヤと、
前記第１のワイヤの端部と前記第２のワイヤの端部との間に形成される接続部であって、前記接続部は前記支持チューブの前記第１の端部に隣接して配置される接続部と、
第１の端部および第２の端部を有するキャップであって、前記キャップは、前記支持チューブの前記第２の端部に動作可能に取り付けられ、前記キャップは、前記支持チューブの前記第２の端部を収容するための前記キャップの前記第１の端部から伸びる第１の孔と、前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤが伸びる第２の孔であって、前記第２の孔は前記キャップの前記第２の端部から伸びる、第２の孔とを有し、前記キャップはさらに、前記第１の孔と前記第２の孔との間に形成されるウェブを備え、前記ウェブは、前記第１のワイヤを収容するための第１のアパーチャと、前記第２のワイヤを収容するための第２のアパーチャとを備え、前記アパーチャは、前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤが、前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤの熱伸縮に応じて前記アパーチャを通して自由にスライドできる大きさであり、前記第１のワイヤおよび前記第２のワイヤの一部は前記キャップの前記第２の端部から伸びる、キャップと、
を備える熱電温度計。
【請求項６】
前記キャップから伸びる前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤの一部から形成されるループをさらに備える、請求項５に記載の熱電温度計。
【請求項７】
前記ループの一部の周りにバンドを適用して、前記ループの所定の曲率半径を維持する、請求項６に記載の熱電温度計。
【請求項８】
前記ループは約５ｍｍの曲率半径を有する、請求項６に記載の熱電温度計。
【請求項９】
前記ループは約１２ｍｍの曲率半径を有する、請求項６に記載の熱電温度計。
【請求項１０】
前記ループは約２ｍｍ〜約２５ｍｍの曲率半径を有する、請求項６に記載の熱電温度計。
【請求項１１】
前記ループは約２ｍｍ〜１２ｍｍの間の曲率半径を有する、請求項６に記載の熱電温度計。
【請求項１２】
前記ループは、前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤが熱膨張する場合に増加し、前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤが熱収縮する場合に減少する曲率半径を有する、請求項６に記載の熱電温度計。
【請求項１３】
前記キャップは前記支持チューブに対して実質的に固定される、請求項５に記載の熱電温度計。
【請求項１４】
前記ウェブを貫通して形成された前記第１のアパーチャ及び前記第２のアパーチャは所定の直径を有し、前記直径は前記第１のアパーチャ及び前記第２のアパーチャを通過する前記第１のワイヤ及び前記第２のワイヤのそれぞれの直径より大きい、請求項５に記載の熱電温度計。
【請求項１５】
一対のワイヤを収容するための熱電温度計の支持チューブに接続可能なキャップであって、前記キャップは、
第１の端部及び第２の端部を有する胴部と、
前記第１の端部から前記胴部に伸びる第１の孔であって、前記支持チューブは前記第１の孔に収容可能である、第１の孔と、
前記第２の端部から前記胴部に伸びる第２の孔と、
前記第１の孔及び前記第２の孔を分離するウェブと、
前記ウェブを貫通して形成される第１のアパーチャであって、前記ワイヤの一方が前記第１のアパーチャに収容可能である、第１のアパーチャと、
前記ウェブを貫通して形成される第２のアパーチャであって、前記ワイヤの他方が前記第２のアパーチャに収容可能であり、前記第２のアパーチャが前記第１のアパーチャから離間して、前記ワイヤを離間状態に維持する、第２のアパーチャと、を備え、
前記アパーチャは、前記ワイヤの熱伸縮の結果として前記ワイヤが伸縮する場合、前記ワイヤが前記アパーチャを通して自由に移動できる大きさである、キャップ。
【請求項１６】
基板を処理するための化学蒸着リアクタのための温度制御システムであって、前記温度制御システムは、
前記基板に隣接して配置される複数の温度センサと、
前記複数の温度センサの各々から温度データを受信する制御装置と、
前記基板に放射エネルギーを与えるための前記基板に隣接して配置される少なくとも１つの加熱素子と、
前記複数の温度センサの少なくとも１つによって与えられる温度データに応じて、前記少なくとも１つの加熱素子を選択的に調整する前記制御装置と、を備え、
前記複数の温度センサの少なくとも１つは熱電温度計であり、前記熱電温度計は、
異なる金属から形成される一対のワイヤと、
支持チューブを貫通して形成される２つの孔を有する支持チューブであって、前記孔の一方は前記ワイヤの一方を収容し、前記孔の他方は前記ワイヤの他方を収容する、支持チューブと、
第１の端部および第２の端部を有するキャップであって、前記キャップは、前記第１の端部と前記第２の端部との間にウェブを備え、前記キャップはさらに前記ウェブを貫通して形成される一対のアパーチャを備え、前記キャップは前記支持チューブの端部に取り付けられ、前記キャップは前記支持チューブから伸びる前記ワイヤを収容し、前記アパーチャの各々は前記一対のワイヤの一方を収容し、前記キャップは前記ワイヤを離間状態に維持し、また前記キャップは、前記ワイヤを離間状態に維持している間、前記ワイヤが前記支持チューブに対して自由に熱伸縮することを可能にし、前記一対のワイヤの一部は前記キャップの前記第２の端部から伸びる、キャップと、を備える、温度制御システム。
【請求項１７】
支持チューブの中に形成される一対の孔を有する支持チューブであって、前記支持チューブは所定の熱膨張率を有する、支持チューブと、
異なる金属から形成される一対のワイヤであって、前記ワイヤは前記支持チューブ内に離間状態に配置され、前記一対のワイヤの各々は、前記支持チューブの前記熱膨張率と異なる熱膨張率を有し、それにより前記支持チューブ及び前記ワイヤが加熱又は冷却される場合、前記支持チューブに対して前記ワイヤが自由に熱伸縮する、一対のワイヤと、
第１の端部および第２の端部を有するキャップであって、前記キャップは、前記第１の端部と前記第２の端部との間にウェブを備え、前記キャップはさらに前記ウェブを貫通して形成される一対のアパーチャを備え、前記アパーチャの各々は前記一対のワイヤの一方を収容し、前記キャップは前記支持チューブに固定して取り付けられ、前記アパーチャは、前記ワイヤの熱伸縮の間、前記ワイヤが前記一対のアパーチャを通して自由にスライドできる大きさであり、前記一対のワイヤを前記アパーチャの間で離間状態に維持する、キャップと
を備える、熱電温度計。