【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年11月18日(2010.11.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウイーンフィルタエレメント（１１０）と、
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の集束特性を補償するための４極子（３１０）と、
球面収差補正のための少なくとも１つの多極子（４１０）と有し、
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）及び前記４極子（３１０）は組み合わされて、非点収差の画像を生成し、
前記少なくとも１つの多極子（４１０）は、実質的に、前記非点収差の画像の緯線方向若しくは経線方向の焦点に作用する収差補正装置（１００）。
【請求項２】
前記多極子（４１０）は４ｍ極（ｍ≧２）のエレメントである請求項１の収差補正装置。
【請求項３】
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）及び前記４極子（３１０）は、ウイーンフィルタエレメント（１１０）の中央部分の第１の平面内に、荷電粒子ビームの１個の非点収差のクロスオーバと、前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の中央部分の前記クロスオーバに関して、対称に位置する、第２の平面内の前記荷電粒子ビームの２ｎ個（ｎ≧１）の非点収差のクロスオーバとを生成することを特徴とする前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの多極子（４１０）は、前記第１の平面に垂直で、前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の中央部分で前記非点収差のクロスオーバを通って伸びる平面内において実質的に作用する請求項３の収差補正装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの多極子（４１１、４１２）は、前記第２の平面に垂直であり、前記２ｎ個の非点収差のクロスオーバのうちの選択された１つを通って伸びる平面内において実質的に作用する請求項３の収差補正装置。
【請求項６】
前記第１若しくは第２の平面に垂直であり、前記２ｎ個の非点収差のクロスオーバのうちの選択された１つ、若しくは、前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の中央部分の前記非点収差のクロスオーバを通って伸びる平面内において、作用する１個から２ｎ個の追加の多極子（４１１、４１２）を更に含む請求項４又は５の収差補正装置。
【請求項７】
前記第１の平面及び前記第２の平面は相互に実質的に垂直である請求項３〜６のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項８】
第１の平面はｘ−ｚ平面である請求項３〜７のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項９】
前記第２の平面はｙ−ｚ平面である請求項３〜８のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１０】
前記多極子の少なくとも１つは磁気多極子（９１２、９１３）を含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１１】
前記多極子の少なくとも１つは静電多極子（９３２、９３３、９３４、９４５）を含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１２】
前記多極子の内の少なくとも１つは組み合わされた静電及び磁気の多極子（９０２、９０３）を含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１３】
前記多極子は８極である前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１４】
前記多極子は前記４極子（３１０）に一体となっている前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１５】
前記収差補正装置（１００）は光軸に沿って整列された複数の多極子（４１０，４１１、４１２）を含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１６】
前記収差補正装置（１００）は更に光軸に沿って整列され、前記多極子（４１０）若しくは前記複数の多極子（４１０、４１１、４１２）の上流及び下流に設けられた、組み合わされたウイーンフィルタ／４極子（１１０／３１０）を更に含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項１７】
光軸に沿って整列された組み合わされたウイーンフィルタ／４極子（１１０／３１０）は前記多極子（４１０、４１１、４１２）の間に挿入されている請求項１５又は１６記載の収差補正装置。
【請求項１８】
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の上流に位置する第１の荷電粒子選択エレメント（５１０）を更に含む前出の請求項のいずれか１項の収差補正装置。
【請求項１９】
前記第１の荷電粒子選択エレメント（５１０）は荷電粒子角度依存選択エレメントである請求項１８の収差補正装置。
【請求項２０】
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の下流に位置する第２の荷電粒子選択エレメント（５１１）を更に含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項２１】
前記第２の荷電粒子選択エレメント（５１１）は速度及び角度依存選択エレメントである請求項２０の収差補正装置。
【請求項２２】
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の中央の所でクロスオーバを生成するための第１のレンズ（６１０）を更に含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項２３】
前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）の下流の第２のレンズ（７１０）を更に含む前出の請求項のいずれか１項記載の収差補正装置。
【請求項２４】
前記第１のレンズ（６１０）は増幅レンズであり前記第２のレンズ（７１０）は減衰レンズである請求項２３記載の収差補正装置。
【請求項２５】
前記第１及び第２のレンズ（６１０、７１０）はイマージョンレンズであり、
前記第１のレンズ（６１０）は前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）を入る前に、荷電粒子を減速するようになっており、
前記第２のレンズ（７１０）は前記ウイーンフィルタエレメント（１１０）を出た後に、荷電粒子を加速する請求項２３又は２４の収差補正装置。
【請求項２６】
荷電粒子のビームのソース（６）と、
請求項１〜２５のいずれか１項記載の収差補正装置（１００）と、
検査されるべき試料（４）の表面上に前記荷電粒子のビームを集束するための対物レンズ（８、７１０）とを含む荷電粒子ビーム装置。
【請求項２７】
実質的に荷電粒子の非点収差のビームを生成し、
ウイーンフィルタエレメント及び８極子を制御して、それらの組み合わせの作用により前記ビームの非点収差の画像を生成せしめ、
少なくとも１つの多極子を制御して、前記少なくとも１つの多極子エレメントに関連するクロスオーバの平面に垂直な平面内の球面収差が修正されるステップを含む請求項２６の荷電粒子装置を操作するための方法。
【請求項２８】
複数の多極子が前記多極子の内の対応する１つに関連する対応クロスオーバの平面に垂直な各平面内における球面収差を補正するよう制御される請求項２７の方法。
【請求項２９】
前記第２の荷電粒子選択エレメントを伴った荷電粒子を選択するステップを更に含む請求項２７又は２８の方法。
【請求項３０】
１つのクロスオーバがウイーンフィルタエレメントのほぼ中央の所で生成されるように、前記第１のレンズにより電子ビームを集束するステップを更に含む請求項２７〜２９のいずれか１項記載の方法。
【請求項３１】
前記ウイーンフィルタエレメントの下流にある第２のレンズにより荷電粒子ビームを形成する請求項２７〜３０のいずれか１項記載の方法。
【請求項３２】
前記第２のレンズと前記対物レンズとの間のクロスオーバが形成される請求項３１の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
更に、このウイーンフィルタエレメントと４極子との組み合わされた効果は、非点収差のクロスオーバを生成せしめることである。すなわち、ウイーンフィルタエレメントの中央平面（ＸＹ平面）におけるクロスオーバは、例えばＸＺ平面内においてのみ起こり、一方、そのビームはこの点においてＹＺ平面においてクロスオーバが乃至かしながら、ウイーンフィルタエレメント及び４極子は、またＹＺ平面内において更なる非点収差のクロスオーバを生成するために調整されうる。更に、本収差補正装置は上述のクロスオーバのうちの１つの平面（ＸＹ平面）内において動作する多極子を含む。この多極子の動作は、ビームが理想的には単一の点に集中されるので、クロスオーバの平面、例えばウイーンフィルタエレメントの中央部分でのクロスオーバのＸＹ平面において効果をもたらさ乃至かしながら、荷電粒子ビームはウイーンフィルタエレメント及び４極子により生成された非点収差の画像に起因してその方向において有限の幅を有するものであるので、球面収差は直交方向において修正されうる。このようにシステムの色のみでなく球面の収差がコンパクトで簡単な設計による単一のデバイスに修正されうる。特に、本発明の実施例による収差補正装置はごく少数の能動的に制御されるエレメントを必要とするのみであり、装置の制御が比較的簡単に保たれ、誤りの源が低減されうるという効果がある。また、本装置は短い波長を用いているので、従来の装置に比べ、荷電ビームの相互作用に、より敏感ではない。更に、球面収差補正及び色収差補正は関連する光学システムの条件に従い、別個に又は組み合わされて適用されうる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
更に、本発明の他の特徴によれば、ウイーンフィルタエレメント及び４極子は、非点収差のクロスオーバがウイーンフィルタエレメントの中央部分に生成されるのみではなく、追加の２ｎ個の非点収差のクロスオーバが生成されるモードにおいても動作されうる。好ましくは、この追加の２ｎ個のクロスオーバはウイーンフィルタエレメントの中央に関し左右対称に位置する。特に、ウイーンフィルタエレメントの中央部分でのクロスオーバは、２ｎ個の追加のクロスオーバの平面（ＹＺ平面）に基本的に直交する平面（ＸＺ平面）に生じる。このように、球面収差補正は２ｎ＋１個の非点収差のクロスオーバのいかなるものにおいても達成されうる。特に、Ｘ方向における球面収差補正はＹＺ平面のクロスオーバにおいて成しえ、Ｙ方向における球面収差補正はＸＺ平面のクロスオーバにおいて成し得る。本発明の特に好ましい実施例においては、球面収差補正のための多極子はいずれの非点収差のクロスオーバの部分にも位置し得、本装置の最適な補正能力が提供される。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
図１ａに示された実施例においては、多極子４１０が軸に対し左右対称の８極子として形成されている。それは左右対称の軸に沿って光学軸（Ｚ軸）に揃っている。多極子４１０はウイーンフィルタエレメント１１０、４極子３１０及び光軸（Ｚ軸）に揃い、それらの中心は光軸に沿ってほぼ同心となる。しかしながら、８極子４１０のための異なる位置が参照番号４１０′及び４１０′′に示されるように光軸に沿って選ばれうる。後で説明されるように、多極子４１０、４１０′、４１０′′の位置は、その作用の平面、すなわち、多極子フィールドが有効である平面が、荷電粒子ビームの非点収差のクロスオーバと、ほぼ一致するように選択される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４０】
レンズの非点収差により、軸上に無い点からの光線の束は単一の点に集束されない。むしろ矢状軸方向の平面に位置する光線は矢状軸方向の集点（又はサジタルクロスオーバ）に集束され、経線方向の平面に位置する光線は経線焦点（若しくはメリディオナルクロスオーバ）に集束される。緯線上及び経線上の焦点間の距離は非点収差の差違とよばれる。従って、ビームは経線クロスオーバでのサジタル平面におけるかなりの幅を有し、サジタルクロスオーバにおいて経線平面でのかなりの幅を有する。この応用例においてそのようなクロスオーバは非点収差のクロスオーバとよばれる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
図１に戻ると、本発明による収差補正装置の更なる実施例が図１ｂに示されている。同図において、また、ウイーンフィルタ／４極子１１０／３１０及び多極子４１０が設けられている。更なる多極子４１１、４１２も収差補正装置に含まれている。多極子４１１及び４１２は、ウイーンフィルタエレメント１１０の中央に関し、光軸に沿って左右対称に設けられており、多極子４１０に関しても左右対称に設けられている。多極子４１０、４１１、４１２の位置が調整されて、それらの作用平面、すなわち各多極フィールドが有効である平面は、荷電粒子ビームのそれぞれの非点収差のクロスオーバと一致する。好ましくは、多極子４１０、４１１、４１２は、多極子４１１及び４１２が緯線方向のクロスオーバの１つの平面内で作用する場合、多極子４１０が経線のクロスオーバの１つの平面において作用し、多極子４１１及び４１２が経線方向のクロスオーバの１つの平面内で作用する場合、多極子４１０が緯線のクロスオーバの１つの平面において作用するよう調整される。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
形作られた電子ビームは収差補正装置１００に入力される。投影のために、システムの中央がＸＺ平面の非点収差のクロスオーバの所にほぼ位置するように装置１００は位置付けられる。公称エネルギーＥｎから偏差するエネルギーを有する電子は、ウイーンフィルタによりもたらされる分散により影響を受け、偏向される。光学システム１００の下に、第２の選択手段５１１がある。この選択手段の絞りは、公称エネルギーを有する電子若しくは許容されたエネルギー偏差を有する電子が電子選択手段を通過し、阻止されないように形成される。Ｅｎの公称エネルギーから偏差するエネルギーを有する電子の部分は電子選択手段により阻止される。電子エネルギー依存選択手段５１１の絞りを通過する電子はレンズ７１０により投影される。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
図からわかるように、８極子４１０はウイーンフィルタ１１０の中央部分の所の非点収差のクロスオーバの所に位置し、それはクロスオーバを介して伸びるＸＹ平面におけるビームに影響を与える。電子ビームはＸ方向においてほぼ０の幅を有しているので、８極子４１０により生成される８極子のフィールドはＹ方向におけるビームのみに作用する。このようにＹ方向における球面収差は８極子４１０により補正される。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
さて、光学システム１００を介するビームのパスはＹＺ平面において記述されている。ＹＺ平面において、電子ビームはＹ方向における４極子の集束作用により投影される。しかしながら、ＹＺ平面内には、電子ビームを投影する複数の定義された励起レベルが存在し、実質的に集束効果はない。そのような定義された励起レベルにおいて、電子ビームはＹＺ平面において２ｎ個（ｎ≧１）の非点収差のクロスオーバを有する。これらのクロスオーバはウイーンフィルタ１１０の中央平面に関し左右対称に位置する。このように、システム１００に入力するビームはシステムの出口の所で映像化される。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
ＸＺ平面内及びＹＺ平面内の非点収差のクロスオーバは緯線方向若しくは経線方向のクロスオーバであることが理解されるべきである。特に、ＸＺ平面内のクロスオーバが緯線方向若しくは経線方向のクロスオーバであるかいなかは純粋に便宜の問題である。しかしながら、ＸＺ平面内のクロスオーバが経線方向のクロスオーバであると定義されると、ＹＺ方向のクロスオーバは緯線方向のクロスオーバ及びそのまた逆である。このように、クロスオーバは、そのうちの１つを経線方向若しくは緯線方向に決め、残りのクロスオーバが決定されることによって分類されうる。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
次に、本件出願の方法の特徴が説明される。まず、荷電粒子が生成されなければならない。この荷電粒子は送出され、公称エネルギーＥｎまで加速される。これにより、電子ビームはデルタＥのエネルギー幅を有する。電子は光学鏡筒を通過し、これにより電子ビームエネルギー幅低減システムの一部である４極子がレンズにより照明され、非点収差した、すなわち、丸い電子ビームがウイーンフィルタ／４極子に入力する。ウイーンフィルタ／４極子内で電子は偏向される。偏向角は電子α（Ｅ）エネルギーの関数である。エネルギー依存偏向はＸ方向においてなされる。電子はＸＺ平面内で集束されず、ＹＺ方向においてもほとんど集束され乃至かしながら、非点収差した電子ビームの非点収差の投影図はウイーンフィルタ及び４極子の組み合わされた作用により作られる。この球面収差は電子ビームの非点収差のクロスオーバに位置する多極子によって補正される。最後に、それらのエネルギーによって偏向された電子は電子エネルギー依存選択コンポーネンツにより選択される。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６１】
本発明の更なる実施例が図５ａに関して説明される。図５ａはＸＺ平面内の収差補正装置の側面図を図示する。収差補正装置１００は、例えばそれが図４ａから図４ｃに図示されるように、収差補正装置１００は単一の多極子４１０により形成される。多極子４１０は収差補正装置１００の全長にわたりＺ方向に沿って伸びる。この収差補正装置１００はＸＺ平面内の非点収差のクロスオーバ、すなわち、ウイーンフィルタ／４極子の真ん中の所に位置するクロスオーバが収差補正装置の中央平面（破線）にほぼ位置するように置かれる。動作の間、多極子４１０はウイーンフィルタのフィールド、４極子のフィールド、及び８極子のフィールドを生成する。このように、収差補正装置１００は非点収差のクロスオーバの平面内においてほぼ作用し、球面収差を補正する。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６２】
図５ｂは図１ｂ及び図３に示されたものと類似する本発明の収差補正装置の改善された実施例を図示する。そこにおいて、３つの多極子４１０、４１１、４１２が相互に上に重ねられて置かれる。多極子４１０、４１１、４１２は非点収差のクロスオーバが対応する多極子の対応中央平面の所にほぼ位置するように配置される。例えば、ＸＺ平面内の非点収差のクロスオーバは多極子４１０の中央平面の所に位置し、更なる非点収差のクロスオーバはそれぞれ、多極子４１１及び４１２の中央平面の所に置かれる。動作の間、多極子４１０、４１１、４１２は、ほぼ各非点収差のクロスオーバの平面において作用し、Ｘ及びＹ方向における球面収差を補正する。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６３】
本発明の収差補正装置の更なる実施例が図５ｃを参照に示されている。同図において、多極子４１０は２つの組み合わされたウイーンフィルタ／４極子１１０／３１０の間に挟まれている。Ｚ軸方向に沿った多極子４１０の有限の長さに起因して、多極子により生成されるフィールドは中央のクロスオーバの上及び下の空間にも影響を及ぼす。特に、多極子４１０は中央のクロスオーバの上及び下の非点収差のクロスオーバ上に作用もする。この関係において、８極子のフィールドはＸ及びＹ方向に同じ半径方向に依存性を基本的に有し、それは両方向において球面収差を補正しうる。従って、その作用がＺ方向には延伸しない多極子によれば、図３において示されたものと同様の効果が得られることが可能である。しかしながら、そのような実施例は最良の結果をもたらすものではなく幾つかの応用例において十分なだけである。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６４】
本発明による収差補正装置の更なる実施例が図５ｄを参照して説明される。この実施例は図５ｂに示されたものと類似するものである。しかしながら、組み合わされたウイーンフィルタ／４極子１１０／３１０が、多極子の間に、組み合わされたウイーンフィルタ／４極子のフィールドをもたらすために、多極子４１０、４１１、４１２の間に挿入されている。また、この実施例において、多極子４１０、４１１、４１２は非点収差のクロスオーバが対応する多極子のそれぞれの中央平面の所にほぼ位置するように配置される。図示されていない更なる実施例においては、図５ｃに示される実施例に類似して、追加のウイーンフィルタ／４極子１１０／３１０が多極子４１１の上流及び多極子４１２の下流に設けられる。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７７】
本発明の上述した特徴及び他のより詳細な特徴のいくらかが以下の説明において記述され、部分的には図面を参照して説明される。
【図１ａ】〜
【図２ｂ】本発明による収差補正装置の異なる実施例を示す図である。
【図３】本発明の実施例の、それぞれＸＺ平面及びＹＺ平面における概略側面図である。
【図４ａ】〜
【図４ｃ】ウイーンフィルタエレメント、４極子、８極子のＺ軸の方向における概略図である。
【図５ａ】〜
【図５ｄ】本発明による異なる実施例のＸＺ平面における概略側面図である。
【図６ａ】〜
【図６ｂ】本発明による荷電粒子ビームエネルギー削減システムを伴った荷電粒子ビーム鏡筒の例示的な実施例の概略側面図である。
【図７ａ】〜
【図７ｂ】本発明による荷電粒子ビームエネルギー低減システムを伴った荷電粒子ビーム鏡筒の例示的な実施例の概略側面図である。
【図７ｃ】荷電粒子ビームエネルギー幅低減システムを伴った荷電粒子ビーム鏡筒の更に例示的な実施例の概略側面図である。
【図８ａ】〜
【図９ｂ】ウイーンフィルタ及び励起状態の概略側面図である。
【図１０ａ】ウイーンフィルタのＸＺ平面内の概略側面図及びウイーンフィルタに入る電子ビームの例示的なビームパスを示す図である。
【図１０ｂ】ウイーンフィルタのＸＺ平面における概略側面図及びウイーンフィルタに入る電子ビームの他の例示的なビームパスを示す図である。
【図１０ｃ】ウイーンフィルタエレメント及び４極子のＹＺ平面における概略側面図及びシステムに入る電子ビームの２つの例示的なビームパスを図す図である。
【図１０ｄ】図１０ｃに対応するＹＺ平面内での概略側面図である。
【図１１】光学システムにおいて非点収差が存在する状況の概略図である。