【事件の表示】
　特願２００２−３０８１５６「塗布液供給装置及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　５月２０日出願公開、特開２００４−１４１７４４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１４年１０月２３日に出願されたものであって、平成２０年６月１８日付けの拒絶理由通知に対して同年８月２１日付けで意見書及び手続補正書が提出されたが、平成２１年２月１９日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年３月２４日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付けの手続補正書によって明細書を補正する手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされ、その後、当審における同年１１月２５日付けの書面による審尋に対して平成２２年１月２９日付けで回答書が提出されたものである。
　
２．本件補正の目的及び本願発明
　本件補正は、特許請求の範囲に関しては、その請求項１における誤記を訂正するものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第３号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。
　したがって、当審における審理の対象は、平成２０年８月２１付けの手続補正書及び平成２１年３月２４日付けの手続補正書により補正された明細書及び願書に最初に添付された図面であり、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２１年３月２４日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のものである。
　「スリット状開口部を備えた塗布ヘッドを用いて、スリット状開口部から一定量の所定塗布液を基板上に吐出しつつ、塗布ヘッド側もしくは基板側を一定速度で相対移動することで均一な薄膜を形成するスリットコート式塗布装置に用いるレジスト液の塗布液供給装置を用いた塗布液供給方法であって、
　ダイヤフラムポンプと、
　塗布バルブを有し、ダイヤフラムポンプから塗布ヘッドに至る配管と、
　ダイヤフラムポンプの作動油圧を感知する圧力センサと、
　圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値にするようにダイヤフラムポンプを制御する手段を具備する塗布液供給装置を用いて、
　この塗布バルブが閉じられたままの状態で、この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させる前に、プリディスペンス（予備吐出）またはダミー塗布を行い、
　さらに、この塗布バルブが閉じられたままの状態で、この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させた後、前記塗布バルブ
を
て
　
３．原査定の拒絶の理由に引用された引用文献
３−１．特開２０００−３４３０２６号公報（以下、「引用文献１」という。）
（１）引用文献１に記載された事項
　引用文献１には、次の事項が図面とともに記載されている。
　（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、液晶表示装置やカラーフィルタ等の高精細パターンの製造工程において、基板上にレジスト、着色層などの種々の薄膜を塗布するための塗布装置に属する。」（段落【０００１】）
　（イ）「【０００３】上記着色用感材の塗布装置としてダイコートヘッドやカーテンコートヘッド等に見られるように液吐出スリットから加圧された液を押し出して基板上にコーティングする方式が知られている。この方式の従来の塗布液供給装置を図２により説明する。
【０００４】図２（Ａ）において、基板１の下面には塗布ヘッド２が設置され、基板１と塗布装置２は図示矢印Ｘ方向に相対移動される。塗布ヘッド２には、塗布液タンク３、ポンプＰ、フィルタＦを介して塗布液が供給される。ポンプＰは、チューブポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等の精密吐出ポンプであり、電磁弁Ｖ１が開き、Ｖ２が閉じることにより液を吸入し、電磁弁Ｖ１が閉じ、Ｖ２が開くことにより液を吐き出すように制御され、基板１上に厚さ数μｍの薄膜が塗布される。」（段落【０００３】及び【０００４】）
　（ウ）「【０００６】本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、吐出量のバラツキ、変動および気泡の発生を抑え、均一な薄膜を形成することができる塗布液供給装置を提供することを目的とする。」（段落【０００６】）
　（エ）「【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の塗布液供給装置の１実施形態を示す構成図である。
【０００９】ポンプＰの吸込側は、バルブＶ１を介して塗布液供給タンク５に接続され、塗布液供給タンク５はフィルタＦを介して貯留タンク６、７に接続されている。また、ポンプＰの吐出側は、バルブＶ２を介して塗布ヘッド９に接続され、塗布ヘッド９はバルブＶ３を介して廃液タンク１０に接続されている。」（段落【０００８】及び【０００９】）
　
（２）上記（１）及び図面からわかること
　上記（１）の特に（イ）及び図面から、引用文献１に記載された「塗布液供給装置」は、「スリットコート式塗布装置」であることがわかる。
　
（３）引用文献１記載の発明
　上記（１）及び（２）並びに図面を総合すると、引用文献１には、次の発明（以下、「引用文献１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　「液吐出スリットを備えた塗布ヘッド９を用いて、液吐出スリットから一定量の所定塗布液を基板１上に吐出しつつ、塗布ヘッド９側もしくは基板１側を一定速度で相対移動することで均一な薄膜を形成するスリットコート式塗布装置に用いるレジストの塗布液供給装置を用いた塗布液供給方法であって、
　ダイヤフラムポンプ等のポンプＰと、
　バルブＶ２を有し、ダイヤフラムポンプ等のポンプＰから塗布ヘッド９に至る配管を具備する塗布液供給装置を用いて、
　前記バルブＶ２を開けて塗布を行う塗布液供給方法。」
　
３−２．特開昭６１−１５７６３号公報（以下、「引用文献２」という。）
（１）引用文献２に記載された事項
　引用文献２には、次の事項が図面とともに記載されている。
　（カ）「定容積型ポンプを用いてオン・オフ式塗布ガンに粘性流体を圧送供給する方法において、粘性流体が塗布ガンから吐出されていないオフ状態時には、前記定容積型ポンプと塗布ガンを結ぶホース内の粘性流体の温度と圧力とを検知し、予め設定した温度−供給圧力特性データから前記検知温度において目的の設定流量を得るための供給圧力を算出し、該算出した供給圧力と前記検知圧力とを比較して検知圧力が供給圧力に一致するように前記定容積型ポンプの吐出圧力を制御すると共に、粘性流体が塗布ガンから吐出されているオン状態時には、目的の設定流量を与える一定速度で前記定容積型ポンプを定速運転することを特徴とする粘性流体の流量制御方法。」（特許請求の範囲の請求項１）
　（キ）「従来の技術
　従来、高粘度流体例えば接着用シーリング材料（以下「シーラ」という）を自動車ボデーのパネル合せ目に塗布する場合には、自動塗布ガンを備えたロボツト等の塗布装置を用い、自動塗布ガンのノズル先端をパネル合せ目に沿つて移動させながらシーリングを必要とする範囲に対応して塗布ガンをオン・オフすることにより塗布していた。」（第２ページ左上欄第１０行ないし同ページ右上欄第２行）
　（ク）「定容積型ポンプを用いて定速運転することにより一定流量を確保する装置も考案されているが、ホースの蓄圧作用のために塗布ガンのＯＮ時のシーラ吐出量が規定流量に達するまでの時間が長く、また温度によつて規定流量に達するまでの時間が変化（±２０％程度）するため、塗布ガンを高速（４００〜５００mm/sec）で移動させて高能率のシーリング作業を行なう場合には、塗布開始時にシーラの塗布幅が安定しない（塗布距離４００〜５００mm以上）という問題を残している。」（第２ページ右上欄末行ないし同ページ左下欄第１０行）
　（ケ）「実施例及びその作用
　第１図は本発明方法を実施するための本発明装置の１実施例を示し、粘性流体たるタンク内のシーラ１は配管２を経て定容積型ポンプ３に吸引され、ホース４を介して塗布ガン５に圧送供給される。一方、定容積型ポンプ３はサーボモータ６により駆動され、サーボモータ６には速度検出器７が接続されており、該サーボモータ６と速度検出器７はそれぞれ配線８，９により制御ユニツト１０に接続されている。又、ホース４にはホース内のシーラ温度を検出する温度センサ１１とシーラ圧力を検出する圧力センサ１２とが取付けられており、それぞれ配線１３，１４を通じて検知信号を前記制御ユニツト１０へ送るよう構成されている。また、塗布ガン５は制御ユニツト１０から配線１６を通じて送られるＯＮ，ＯＦＦ制御信号により電磁弁１７を作動させ、エア源１５からエアホース１８を介してエアパイロツト信号を塗布ガン５へ送り、塗布ガン５をＯＮ−ＯＦＦするよう構成されている。」（第３ページ左上欄第１１行ないし同ページ右上欄１４行）
　（コ）「上記実施例の作用につき、第３図のフローチヤートを参照して説明する。
　まず、装置の電源が投入されて運転が開始されると、制御ユニツト１０は塗布ガン５がＯＮか、ＯＦＦかを判断する（ステツプ（１））。
　塗布ガン５がＯＮされていない場合、継電器１０９への出力をＯＦＦとし（ステツプ（２））、次に温度センサ１２からホース内のシーラ温度Ｔ。を読み込み（ステツプ（３））、ＲＡＭ１０１に記憶された第４図に示す温度−供給圧力特性データと前記温度センサの検出温度Ｔ０とを基に、該検出温度Ｔ０において目的の設定流量Ｑ１を与える供給圧力Ｐ０が読み出されれる（ステツプ（４）（５））。そして、この供給圧力Ｐ０と圧力センサ１２により検出されたホース４内の流体圧力Ｐ１（ステツプ（６））とを基に、サーボモータ６の駆動信号Ｖ０をＶ０＝　Ｋ（Ｐ０−Ｐ１）の算出式（式中のＫは比例定数）から求め（ステツプ（７））、駆動信号Ｖ０をＤ／Ａ変換器１０６、サーボアンプ１０７を介してサーボモータ６に送る（ステツプ（８））。これにより、サーボモータ６は供給圧力Ｐ０を与える駆動力に制御され、定容積型ポンプ３は当該圧力Ｐ０を発生ずる回転数で運転される。従つて、塗布ガン５のＯＦＦ状態時には、ホース４内の流体圧力は流体温度が変化しても目的とする該温度において設定流量Ｑ１を与える圧力に自動的に設定される。この結果、塗布ガン５をＯＮした直後から塗布ガン５のノズルより所定の設定流量Ｑ１で粘性流体を吐出することができ、従来のように設定流量Ｑ１に達するまでの時間遅れを完全に解消することができる。」（第３ページ右下欄第６行ないし第４ページ右上欄第４行）（なお、丸数字は、括弧付き数字で代用した。）
　（サ）「発明の効果
　本発明方法は上述の如き構成、作用になるものであるから、粘性流体の粘度が温度により変化しても常に一定の流量を得ることができ、しかも塗布ガンの吐出開始直後から安定した一定流量とすることができるので、この種流量制御における精度を格段に向上しうるという著効を奏するものである。
　また、本発明装置によるときは、塗布ガンの吐出開始直後から定流量を得ることができるので、自動シーリングの流体供給装置等に用いれば安定したシーリング品質を確保できるという著効を奏する。」（第４ページ左下欄第２行ないし第１４行）
　
（２）上記（１）及び図面からわかること
　上記（１）（ケ）の「塗布ガン５は制御ユニツト１０から配線１６を通じて送られるＯＮ，ＯＦＦ制御信号により電磁弁１７を作動させ、エア源１５からエアホース１８を介してエアパイロツト信号を塗布ガン５へ送り、塗布ガン５をＯＮ−ＯＦＦするよう構成されている。」及び第１図から、「電磁弁１７」によって作動して「接着用シーリング材」の吐出をＯＮ−ＯＦＦする弁（以下、「ＯＮ−ＯＦＦ弁」という。）を「塗布ガン５」は有していることがわかる。
　
（３）引用文献２記載の発明
　上記（１）及び（２）並びに図面を総合すると、引用文献２には、次の発明（以下、「引用文献２記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　「ノズル先端及びＯＮ−ＯＦＦ弁を備えた塗布ガン５を用いて、ノズル先端から定流量の接着用シーリング材を自動車ボデーのパネル合せ目に吐出しつつ、塗布ガン５を移動することで安定した塗布幅のシーリングを形成する塗布装置に用いる接着用シーリング材の粘性流体供給装置を用いた粘性流体供給方法であって、
　定容積型ポンプ３と、
　定容積型ポンプ３から塗布ガン５に至るホース４と、
　ホース４内の流体圧力Ｐ１を検出する圧力センサ１２と、
　圧力センサ１２が検出するホース４内の流体圧力Ｐ１を基に塗布ガン５に供給する供給圧力Ｐ０が得られるように定容積型ポンプ３を制御する制御ユニット１２を具備する粘性流体供給装置を用いて、
　前記ＯＮ−ＯＦＦ弁が閉じられたままの状態で、この圧力センサ１２が検出するホース４内の流体圧力Ｐ１を、塗布ガン５に供給する供給圧力Ｐ０が得られるように保持させた後、前記ＯＮ−ＯＦＦ弁を開けて塗布を行う粘性流体供給方法。」
　
４．対比
　本願発明と引用文献１記載の発明を対比すると、引用文献１記載の発明における「液吐出スリット」は、その構造及び機能等からみて、本願発明における「スリット状開口部」に相当し、以下、同様に「塗布ヘッド９」は「塗布ヘッド」に、「基板１」は「基板」に、「レジスト」は「レジスト液」に、「ダイヤフラムポンプ等のポンプＰ」は「ダイヤフラムポンプ」に、「バルブＶ２」は「塗布バルブ」に、それぞれ相当する。
　そうすると、本願発明と引用文献１記載の発明は、
　「スリット状開口部を備えた塗布ヘッドを用いて、スリット状開口部から一定量の所定塗布液を基板上に吐出しつつ、塗布ヘッド側もしくは基板側を一定速度で相対移動することで均一な薄膜を形成するスリットコート式塗布装置に用いるレジスト液の塗布液供給装置を用いた塗布液供給方法であって、
　ダイヤフラムポンプと、
　塗布バルブを有し、ダイヤフラムポンプから塗布ヘッドに至る配管を具備する塗布液供給装置を用いて、
　前記塗布バルブを開けて塗布を行う塗布液供給方法。」
　である点で一致し、次の（１）及び（２）の点で相違する。
　（１）本願発明においては、使用する「塗布液供給装置」が「ダイヤフラムポンプの作動油圧を感知する圧力センサと、圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値にするようにダイヤフラムポンプを制御する手段」を具備し、「この塗布バルブが閉じられたままの状態で、」「この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させた後、前記塗布バルブを開けて塗布を行う」のに対して、引用文献１記載の発明においては、使用する「塗布液供給装置」が「ダイヤフラムポンプ等のポンプＰ」の「作動油圧を感知する圧力センサ」に相当するものをそもそも備えていない点（以下、「相違点１」という。）。
　（２）本願発明においては、「プリディスペンス（予備吐出）またはダミー塗布」を行うのに対して、引用文献１記載の発明においては、「プリディスペンス（予備吐出）またはダミー塗布」を行うか否かが明らかでない点（以下、「相違点２」という。）。
　
５．相違点１及び２についての判断
（１）相違点１について
　本願発明と引用文献２記載の発明を対比すると、引用文献２記載の発明における「ホース４」及び「ＯＮ−ＯＦＦ弁」は、その構造及び機能からみて、本願発明における「配管」及び「塗布バルブ」に相当する。
　そして、引用文献２記載の発明における「ノズル先端」は「開口部」という限りにおいて本願発明における「スリット状開口部」に相当し、以下同様に、「塗布ガン５」は「塗布具」という限りにおいて「塗布ヘッド」に相当し、「接着用シーリング材」は「所定塗布流体」という限りにおいて「所定塗布液」に相当し、「自動車ボデーのパネル合せ目」は「被塗布物」という限りにおいて「基板」に相当し、「粘性流体供給装置」は「塗布流体塗布装置」という限りにおいて「スリットコート式塗布装置」に相当し、「接着用シーリング材の粘性流体供給装置」は「塗布流体供給装置」という限りにおいて「レジスト液の塗布液供給装置」に相当し、「粘性流体供給方法」は「塗布流体供給方法」という限りにおいて「塗布液供給方法」に相当し、「定容積型ポンプ３」は「ポンプ」という限りにおいて「ダイヤフラムポンプ」に相当し、「ホース４内の流体圧力Ｐ１を検出する圧力センサ１２と、圧力センサ１２が検出するホース４内の流体圧力Ｐ１を基に塗布ガン５に供給する供給圧力Ｐ０が得られるように定容積型ポンプ３を制御する制御ユニット１２」は「配管内の流体圧力を感知する圧力センサと、圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値にするようにポンプを制御する手段」という限りにおいて「ダイヤフラムポンプの作動油圧を感知する圧力センサと、圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値にするようにダイヤフラムポンプを制御する手段」に相当し、「塗布ガン５が有するＯＮ−ＯＦＦ弁が閉じられたままの状態で、この圧力センサ１２が検出するホース４内の流体圧力Ｐ１を、塗布ガン５に供給する供給圧力Ｐ０が得られるように保持させた後、前記ＯＮ−ＯＦＦ弁を開けて塗布を行う」は「バルブが閉じられたままの状態で、この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させた後、前記バルブを開けて塗布を行う」という限りにおいて「塗布バルブが閉じられたままの状態で、この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させた後、前記塗布バルブを開けて塗布を行う」に相当する。
　そうすると、引用文献２記載の発明から、
　「開口部及びバルブを備えた塗布具を用いて、開口部から定流量の所定塗布流体を被塗布物上に吐出する塗布流体塗布装置に用いる塗布流体供給装置を用いた塗布流体供給方法であって、
　ポンプと、
　ポンプから塗布具に至る配管と、
　配管内の流体圧力を感知する圧力センサと、
　圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値にするようにポンプを制御する手段を具備する塗布流体供給装置を用いて、
　前記バルブが閉じられたままの状態で、この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させた後、前記バルブを開けて塗布を行う塗布流体供給方法。」
　という技術思想（以下、「引用文献２記載の技術思想」という。）が導き出される。
　ところで、本願の明細書の段落【０００４】、【０００５】及び【００２２】からみて、本願発明は、「塗布を開始してから流量が所望の流量に到達するまでの立ち上がり時間が長いため、不安定領域が長くなってしまい、製品の有効エリアが狭くなってしまうという問題」の下、「塗布を開始してから流量が所望の流量に到達するまでの立ち上がり時間を極小化させ、製品の有効エリアを拡大することを課題」とし、「塗布を開始してから流量が所望の流量に到達するまでの立ち上がり時間が極小化」という効果をもたらすものである。
　他方、上記３−２．（１）（ク）、（コ）及び（サ）から、引用文献２には、「塗布開始時にシーラの塗布幅が安定しない」という問題の下、「塗布ガン５をＯＮした直後から塗布ガン５のノズルより所定の設定流量Ｑ１で粘性流体を吐出することができ、従来のように設定流量Ｑ１に達するまでの時間遅れを完全に解消することができる。」及び「塗布ガンの吐出開始直後から安定した一定流量とすることができる」という効果が得られることが記載されている。したがって、引用文献２記載の技術思想も、「塗布具をＯＮした直後から塗布具のノズルより所定の設定流量で粘性流体を吐出することができ、従来のように設定流量に達するまでの時間遅れを完全に解消することができる。」、「塗布具の吐出開始直後から安定した一定流量とすることができる」及び「塗布具の吐出開始直後から定流量を得ることができる」という効果をもたらすものであることがわかる。
　したがって、本願発明と引用文献２記載の技術思想は、解決すべき問題・課題及び得られる効果が実質的に共通しているといえる。
　さらに、本願発明における「ダイヤフラムポンプの作動油圧」と引用文献２記載の技術思想における「配管内の流体圧力」は、塗布を開始する際の基準の圧力として同等のものであり、感知又は検出する圧力としてどちらを選択するかは設計事項にすぎない。
　なお、「塗布バルブ」を、本願発明及び引用文献１記載の発明のように、「ポンプ」から「塗布ヘッド」に至る「配管」に有するようにするか、それとも、引用文献２記載の技術思想のように、「塗布具」に備えるようにするかは、設計上の微差にすぎない。
　してみれば、引用文献１記載の発明において、引用文献２記載の技術思想を適用することにより、相違点１に係る本願発明の発明特定事項を得る程度のことは、当業者が容易に想到できたことである。
（２）相違点２について
　本願発明や引用文献１記載の発明、引用文献２記載の技術思想のような塗布液供給装置を用いた塗布液供給方法において、塗布液を基板等に実際に塗布する前にプリディスペンス（予備吐出）を行うことは、周知の技術である（必要であれば、原査定の拒絶の理由に引用した特開平１０−３０３１０３号公報、平成２０年６月１８日付けの拒絶理由通知における先行技術文献調査結果の記録において先行技術文献として提示した特開昭６３−１１１９６６号公報及び平成２１年２月１９日付けの拒絶査定で例示した特開２００１−３１０１４７号公報を参照されたい。以下、「周知技術」という。）。
　してみれば、引用文献１記載の発明において、引用文献２記載の技術思想を適用する際に、周知技術を考慮して、「塗布バルブが閉じられたままの状態で、この圧力センサが感知する圧力の値を、所望の設定値に保持させる前に、プリディスペンス（予備吐出）を行」うようにすることは、当業者が容易に想到できたことである。
　
　また、本願発明を全体としてみても、その有する作用効果は、引用文献１記載の発明、引用文献２記載の技術思想及び周知技術が有する作用効果を加え合わせた以上のものとはいえない。
　
６．まとめ
　以上のように、本願発明は、引用文献１記載の発明、引用文献２記載の技術思想及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　よって、結論のとおり審決する。