【事件の表示】
　特願２００１−　７３５１０「マイクロ波を利用したプラズマ発生装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　９月２７日出願公開、特開２００２−２８０１９６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１３年３月１５日に出願された特願２００１−７３５１０号であって、平成２１年９月２８日付けで拒絶査定がなされ、本件は、これを不服として平成２２年１月２５日に請求された拒絶査定不服審判事件であって、その審判請求と同時に手続補正がなされている。
　その後当審における平成２２年１２月１５日付け審尋に対し、回答書が平成２３年２月１７日付けで提出され、さらに、当審において平成２３年４月２０日付けで拒絶理由を通知したところ、同年６月２４日付けで手続補正書ならびに意見書が提出された。
　
第２　本願発明
　上記平成２３年６月２４日付け手続補正書による手続補正は適法な補正であるから、本願の請求項に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年６月２４日付け手続補正によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
「導波管によってプラズマ発生室にマイクロ波エネルギーを供給してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、
　 先端に短絡板を有する複数の導波管を所定間隔で平行配設すると共に、各々の各導波管には管軸方向に沿って複数の結合孔を設け、かつ、各結合孔から放射されるマイクロ波エネルギーを均一化させるべく導波管の先端方向に向かって順次位置する結合孔の結合係数を順次大きく形成し、
　さらに、プラズマ発生室には複数の誘電体窓を設け、これら各々の誘電体窓は前記導波管の各々の結合孔に対応させて形成し、
　前記短絡板により反射された反射波と進行波の電力が加わって前記結合孔と前記誘電体窓を通り、前記結合係数に応じたマイクロ波エネルギーが前記プラズマ発生室に放射される構成としたことを特徴とするマイクロ波を利用したプラズマ発生装置。」
　
第３　刊行物
　当審で通知した上記平成２３年４月２０日付け拒絶理由は、本願発明は本願出願前に日本国内において頒布された刊行物１に記載された発明、及び、刊行物２ないし５記載されている本願出願前周知の事項に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が、容易に発明をすることができたものであるから、本願は特許法第２９条第２項の規定により拒絶すべきものであり特許を受けることができないというものであって、前記刊行物１ないし５の記載事項、及び、刊行物１に記載された発明は以下のとおりである。
１　刊行物１
　刊行物１は、特開平１−２２２０６０号公報であって、刊行物１には、図面とともに以下の事項が記載されている。
（１ａ）「２．特許請求の範囲 
（１）　真空チャンバー内に基体を配置し、前記真空チャンバーに、マイクロ波伝搬用導波管の一部に規則正しいピッチで開口した複数個のスロットを有するマイクロ波スロットアレイを、前記複数個のスロットが真空チャンバー内の基体に向くように設置し、前記スロットからマイクロ波を真空チャンバー内に導入し、このマイクロ波のエネルギーによって真空チャンバー内に導入された原料ガスを励起し、プラズマ状態を経て基体上に薄膜を形成する方法において、前記マイクロ波伝搬用導波管に設けた複数個のスロットの傾角を、マイクロ波伝搬用導波管の送端側から終端側に向かって順次小さくなるように設定したことを特徴とする薄膜形成方法。」（第１頁左下欄第４〜１８行）
（１ｂ）「　ここで、スロット８の傾角φとは、第２図に示すように、マイクロ波の伝搬方向に対して直交する方向とスロットとがなす角度をいう。
〔作用〕
　一般にマイクロ波伝搬用導波管の広い面上にスロット８を設けた場合には傾角９０°では放射電力は＝０で、一方傾角０°の場合には放射電力は最大となることが知られている。 
　第３図に示すようにスロット８がすべてマイクロ波の伝送方向に直角する方向に向く場合、即ち、傾角が０°になるようにスロットを配置した場合には、送端側でのマイクロ波放射電力が強く終端側で弱くなるような分布を生じる。このため３０〜４０cmの均一な長さに成膜することはきわめて難しい。
　そのため、この発明では第２図に示すようにスロット８の傾角をマイクロ波の送端側から終端側に向って徐々に小さくすることにより放射電力を調整することができ、広い長さにわたって均一な放射電力を得ることができる。
　従って、この均一分布なマイクロ波を真空チャンバー１に導入し原料ガスを励起、分解することにより大面積あるいは三次元基体、例えば円筒状基体２の上に均一、高速に薄膜を形成することができる。」（第２頁右上欄第１４行〜同左下欄第１８行）
（１ｃ）「〔実施例〕
　第１図はこの発明の一具体例を示している。
　真空チャンバー１内には、円筒状基体２が水平に回転自在に配置され、この真空チャンバー１の上面はマイクロ波が有効に導入できるように石英ガラス３によって構成され、この石英ガラス３の上面にマイクロ波スロットアレイ４が配置されている。
　このマイクロ波スロットアレイ４は、マイクロ波伝搬用導波管の一部に規則正しいピッチで複数個のスロット８を開口して形成されている。第１図の実施例では、マイクロ波伝搬用導波管としては、断面矩形のものを使用し、スロット８はこの導波管の底面の広い面に、投入するマイクロ波の波長λに対し、長さがλ／２で、ピッチがλ／２になるように配置されている。このスロット８の傾角は、第２図に示すように、マイクロ波の終端側に向かって徐々に小さくなるように、即ち、φ１＞φ２＞φ３＞φ４のように設定されている。」 
（１ｄ）第１図には装置の概略図が、第２，３図には、上記（１ｂ）、（１ｃ）の記載に即して、マイクロ波スロットアレイの配置図がそれぞれ図示されていて、いずれの図からも、マイクロ波伝搬用導波管のマイクロ波伝搬終端側の端部が閉じられていることを見て取ることができる。（第１図ないし第３図）
　
　これらの記載事項からして、刊行物１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
「マイクロ波伝搬用導波管に開口して形成されているスロットから真空チャンバー内にマイクロ波放射電力を導入し、このマイクロ波のエネルギーによって真空チャンバー内に導入された原料ガスを励起して前記原料ガスをプラズマ状態とする装置において、
 　前記マイクロ波伝搬用導波管は、マイクロ波の伝搬終端側の端部が閉じられた導波管であって、規則正しいピッチで、マイクロ波伝搬方向に対して所定の傾角をもって開口した複数個のスロットを有するマイクロ波スロットアレイを、前記複数個のスロットからマイクロ波を真空チャンバー内に有効に導入できるよう、上面が石英ガラスによって構成された真空チャンバーに向くように設置したものであり、
　前記真空チャンバー内への放射電力を調整して広い長さにわたって均一な放射電力を得るため、前記マイクロ波スロットアレイに設けられた前記複数個のスロットの傾角を、マイクロ波伝搬用導波管の送端側から終端側に向かって順次小さくなるように設定した、装置。」
　
２　刊行物２
　刊行物２は、特開平１０−２２０９８号公報であって、図面とともに以下の事項が記載されている。
（２ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばマイクロ波をスロットから気密容器に導入して媒質ガスを励起してプラズマを発生し、このプラズマにより生成された活性種により被加工物を加工するプロセス用のプラズマ装置に関する。」
（２ｂ）「【００３４】
【発明の実施の形態】（１）以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１８と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。図１はプロセスプラズマ装置の構成図である。
【００３５】マイクロ波導波管９は、図２に示すように気密容器１のプラズマチャンバ３に対して３本設けられている。これらマイクロ波導波管９（９ａ、９ｂ、９ｃ）は、それぞれ矩形に形成され、その端部には各マイクロ波発振器２０ａ、２０ｂ、２０ｃが接続されている。
…（中略）…
【００３７】各マイクロ波導波管９ａ、９ｂ、９ｃにおけるマイクロ波導入窓１０の上面９ｆ、すなわち、マイクロ波導波管９ａ、９ｂ、９ｃ内に進行するマイクロ波の電界方向に垂直なＨ面には、それぞれ図３に示すように２つのスロット２１、２２が互いに平行に形成されている。」
（２ｃ）「【００４２】次に上記の如く構成された装置の作用について説明する。プロセスガス供給装置７からプラズマチャンバ３内にＣＦ4 、Ｏ2 、Ｃｌ2 等のアッシングやエッチングに用いられるプロセスガスが供給される。
【００４３】これと共に３つのマイクロ波発振器２０ａ、２０ｂ、２０ｃからそれぞれ先に述べた通りの周波数２．４５ＧＨｚのマイクロ波が発振されると、これらマイクロ波は、矩形導波管のＴＥ10モードで各マイクロ波導波管９ａ、９ｂ、９ｃをそれぞれ伝送し、互いに平行な２つのスロット２１、２２から放射され、マイクロ波導入窓１０を透過し、プラズマチャンバ３内に導入される。
【００４４】このようにマイクロ波がプラズマチャンバ３内に導入されると、プロセスガスは励起され、プラズマ１１が発生する。ここで、このプラズマ化する部分でのマイクロ波吸収率は高い。」
　
３　刊行物３
　刊行物３は、特開２０００−１２２８８号公報であって、図面とともに以下の事項が記載されている。
（３ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ処理装置に係わり、特に、真空容器内に導入されたプロセスガスにマイクロ波を照射してプラズマを発生させるようにしたプラズマ処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造用シリコンウエハや液晶ディスプレー用ガラス基板といった被処理物を減圧雰囲気下において処理するための装置として、マイクロ波プラズマを利用して被処理物の処理を行うマイクロ波プラズマ処理装置がある。
【０００３】図４及び図５は従来のマイクロ波プラズマ処理装置の一例を示したものであり、この装置は、角形基板である液晶ディスプレー用ガラス基板を処理するためのものである。図４及び図５に示したようにこの従来のプラズマ処理装置は、処理室１を内部に形成する真空容器１１を備えており、真空容器２の内部には被処理物Ｓを載置するための載置台３が設けられている。
【０００４】真空容器２の天壁には長方形の開口部４が互いに平行に一組形成されており、これらの開口部４は誘電体で形成された長方形の板状部材よりなる一組のマイクロ波透過窓部材５によってそれぞれ気密に封止されている。
【０００５】これらのマイクロ波透過窓部材５には一組のマイクロ波導波管６がそれぞれ添設されており、マイクロ波透過窓部材５は、マイクロ波導波管６内のマイクロ波の進行方向に沿って延設されている。
【０００６】２本のマイクロ波導波管６には、それぞれ、真空容器２の側のＥ面に２本のスリット７が形成されており、これらのスリット７はマイクロ波導波管６内のマイクロ波の進行方向に沿って延設されている。」
 （３ｂ）「【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、半導体製造用シリコンウエハや液晶ディスプレー用ガラス基板といった被処理物が技術の進歩によって大型化しているために、このような被処理物の大型化に伴ってプラズマ処理装置においては大面積且つ均一なプラズマを生成する必要が生じている。
【００１２】このような要求に対応するためには、マイクロ波導波管の長さ、つまりスリットの長さを長くすることで直線状には大型化を図ることが可能である。一方、プラズマの面積を広くするためには、スリットの本数を増やすこと、つまり複数のマイクロ波導波管を互いに平行に並設することによって対処することができる。」
　
４　刊行物４
　刊行物４は、特開平１０−２５５９９８号公報であって、図面とともに以下の事項が記載されている。
（４ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造などにおけるエッチングやアッシングに用いられるマイクロ波プラズマ処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマイクロ波励起プラズマ処理装置としては、図８（ａ），（ｂ）に示す構造のものが知られている。マイクロ波励起プラズマ処理装置１には、反応容器２が設けられている。反応容器２は上端部分に天板３が取り付けられ、さらに上方に矩形状の導波管４が取り付けられてマイクロ波導入部分を形成している。天板３にはマイクロ波を下方に導入するマイクロ波導入口としてのスリット状のスロットアンテナ５が形成されている。このスロットアンテナ５は、マイクロ波の入射側の方がこの導波管４の端部壁４ａ側、すなわちマイクロ波の反射側よりも幅広に形成されており、入射側から反射側に向かいスロットアンテナ５の中途部で若干幅狭に形成されている。
【０００３】上記天板３の下方には、この天板３に対向して誘電体窓６がＯリング７等の密封部材を介して上記反応容器２を気密に閉塞するように取り付けられている。…（以下略）」
（４ｂ）「【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のマイクロ波励起プラズマ処理装置１では、天板３と導波管４によって形成される空間部分の圧力はほぼ大気圧と同等となっており、また反応容器２内部は真空吸引されて低圧となっている。そのため誘電体窓６の上方から下方に向かい、この圧力差によって生じる力が天板３に形成されたスロットアンテナ５を介して誘電体窓６に加わることとなる。この圧力差により加わる応力を支持するための必要な強度を得るには、上記誘電体窓６を厚くして強度を向上させる必要がある。
【０００８】しかしながら誘電体窓６を厚くすると、処理室１０内に導入されるマイクロ波の損失が誘電体窓６透過時に大きくなってしまうという問題を生じている。また、これに加えて処理室１０内部でのプラズマの発生は熱を生じるものであり、この熱が上記誘電体窓６の下面側に伝達されて誘電体窓６の温度上昇を生じる。そのため誘電体窓６には、上面側から下面側に向かう圧力差によって生じる応力に加えて、下面側からプラズマの発生熱が伝達され、このために一層誘電体窓６が破壊されやすくなっている。
【０００９】本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、圧力により加わる力および熱の伝達による誘電体窓の破損がなく、効率良くマイクロ波を伝達させることが可能なマイクロ波励起プラズマ処理装置を提供しようとするものである。」 
（４ｃ）「【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、内部の上方にプラズマ生成室、このプラズマ生成室の下方に形成され、被処理体が配置される処理室を有する反応容器と、上記反応容器の上部壁に形成されたスリット状のマイクロ波導入口と、上記プラズマ生成室内に処理ガスを供給するガス供給管と、上記反応容器に接続され上記マイクロ波導入口から上記プラズマ生成室へマイクロ波を導入する導波管と、上記マイクロ波導入口に対応する大きさに形成されてこのマイクロ波導入口を気密に閉塞して上記マイクロ波を透過する誘電体窓と、を具備したことを特徴とするマイクロ波励起プラズマ処理装置である。
【００１１】請求項２記載の発明は、上記誘電体窓は、上記マイクロ波導入口を反応容器の上部壁の上方側から覆うように設けられたことを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置である。
【００１２】請求項３記載の発明は、上記誘電体窓は、上記マイクロ波導入口を反応容器の上部壁の下方側から真空封止するように設けられたことを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置である。
【００１３】請求項４記載の発明は、上記マイクロ波導入口は上面側が下面側よりも幅広な段差形状に形成されており、この段差形状に係止されるように誘電体窓が設けられたことを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置である。
【００１４】請求項５記載の発明は、上記マイクロ波導入口は上面側の開口が下面側の開口よりも広いテーパ部に形成されており、このテーパ部に上記誘電体窓が気密に設けられていることを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置である。」 
（４ｄ）「【００５３】
 【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発明によると、上記誘電体窓は上記マイクロ波導入口に対応する大きさに形成されてこのマイクロ波導入口を気密に閉塞するように設けられているため、この誘電体窓の面積を小面積化することが可能である。また、誘電体窓が小面積化されたため、圧力差によって下方へ加わる力も小さくなり、よって誘電体窓の厚さを薄くしても圧力差によって生じる応力に耐えることができる。
【００５４】また、薄くなった誘電体窓によってマイクロ波の透過損失を少なくすることも可能となっている。さらに、上記誘電体窓は、上記マイクロ波導入口に対応する大きさに形成されているため、比較的小さい部分だけにしか熱が加わらず、また上面側は導波管に連通しているため、この熱が加わったとしても導波管側に発散してこの誘電体窓の温度が上昇しない。」
 　
５　刊行物５
　刊行物５は、特開平７−２７２８９７号公報であって、図面とともに以下の事項が記載されている。
（５ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波プラズマ装置に関し、より詳細にはマイクロ波を導入することにより発生させたプラズマを利用し、例えば半導体素子基板等にエッチング処理、アッシング処理、薄膜形成処理等を施すための装置として用いられるマイクロ波プラズマ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のマイクロ波プラズマ装置を摸式的に示した断面図であり、図中１１はアルミニウム等の金属を用いて略中空直方体形状に形成された反応器を示している。…（中略）…反応器１１上部にはマイクロ波導入板３０が配設されており、マイクロ波導入板３０はマイクロ波の透過性に優れ、かつ誘電損失が小さいセラミックス材料を用いて形成されている。…（中略）…
【０００３】一方、反応器１１上方におけるマイクロ波導入板３０と対向する箇所には誘電損失が小さいフッ素樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン等を用いて形成された誘電体線路１８が配設され、…（中略）…誘電体線路１８には導波管２１を介してマイクロ波発振器２２が連結されており、マイクロ波発振器２２から発振されたマイクロ波が誘電体線路１８に導入されるようになっている。」
（５ｂ）「【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したマイクロ波プラズマ装置においては、プラズマ処理を施す際、マイクロ波導入板３０の中央部３０ａ近傍の温度は１８０℃程度まで上昇する一方、マイクロ波導入板３０の周辺端部３０ｂ近傍においては反応器１１上部壁を通して放熱され易いため、その温度は上昇し難い。この結果、マイクロ波導入板３０内の温度分布が不均一になり、熱応力が発生する。また、マイクロ波導入板３０の周辺端部３０ｂは反応器１１上部壁により拘束されており、マイクロ波導入板３０には反応器１１上部壁から機械的応力が作用する。これら熱応力と機械的応力との複雑な相互作用により、マイクロ波導入板３０における強度が比較的弱い稜線部３２近傍や繰り返し曲げ応力が掛かる部分に破損が生じ易いという課題があった。」
（５ｃ）「【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために本発明に係るマイクロ波プラズマ装置は、マイクロ波発振器と、マイクロ波を伝播する誘電体線路と、該誘電体線路に対向配置されたマイクロ波導入板を有する反応器とを備えたマイクロ波プラズマ装置において、前記マイクロ波導入板が複数個の孔を有する金属板と前記複数個の孔に挿入・接着された複数個の誘電体とから構成されていることを特徴としている。
【０００８】
【作用】上記構成のマイクロ波プラズマ装置によれば、マイクロ波導入板が複数個の孔を有する金属板と前記複数個の孔に挿入・接着された複数個の誘電体とから構成されているので、反応器内を気密状態に保持し得るとともに、前記複数個の誘電体を通して前記反応器内に電界を均一に形成し得ることとなる。また、前記マイクロ波導入板の主要部が前記金属板により構成されているため、熱応力や機械的応力に対する耐性を全体的に高め得るとともに、弾力性を有する前記接着剤により前記誘電体と前記金属板との熱膨張差を吸収し得ることとなる。したがって前記反応器内にプラズマを均一に発生させ得るとともに、前記マイクロ波導入板の破損を防止し得ることとなる。」
　
第４　本願発明と引用発明の対比
１　当業者の技術常識からして、引用発明の「マイクロ波伝搬用導波管に開口して形成されているスロットから真空チャンバー内にマイクロ波放射電力を導入し、このマイクロ波のエネルギーによって真空チャンバー内に導入された原料ガスを励起して前記原料ガスをプラズマ状態とする装置」が、本願発明の「導波管によってプラズマ発生室にマイクロ波エネルギーを供給してプラズマを発生させるプラズマ発生装置」に相当することは明らかである。
　
２　また、刊行物１に記載されている「一般にマイクロ波伝搬用導波管の広い面上にスロット８を設けた場合には傾角９０°では放射電力は＝０で、一方傾角０°の場合には放射電力は最大となることが知られている。」（上記（１ｂ）参照）という事項からして、引用発明の「スロット」が、マイクロ波伝搬用導波管内を伝搬するマイクロ波と電磁気的に結合することによりマイクロ波エネルギーを放射する孔を意味し、前記結合の度合いは、マイクロ波伝搬方向に対する「傾角」によって変化し、前記「傾角」が０°に近づくほど結合が強くなるといえることは、当業者の技術常識に照らして明らかである。そうすると、引用発明の「マイクロ波伝搬用導波管は」、「規則正しいピッチで、マイクロ波伝搬方向に対して所定の傾角をもって開口した複数個のスロットを有するマイクロ波スロットアレイを、前記複数個のスロットからマイクロ波を真空チャンバー内に有効に導入できるよう、上面が石英ガラスによって構成された真空チャンバーに向くように設置したものであり、前記真空チャンバー内への放射電力を調整して広い長さにわたって均一な放射電力を得るため、前記マイクロ波スロットアレイに設けられた前記複数個のスロットの傾角を、マイクロ波伝搬用導波管の送端側から終端側に向かって順次小さくなるように設定」するという事項が、本願発明の「導波管には管軸方向に沿って複数の結合孔を設け、かつ、各結合孔から放射されるマイクロ波エネルギーを均一化させるべく導波管の先端方向に向かって順次位置する結合孔の結合係数を順次大きく形成」するという事項、及び、「プラズマ発生室には」「誘電体窓を設け」という事項に相当することは明らかであるといえる。
　
３　そして、引用発明の「マイクロ波伝搬用導波管は、マイクロ波の伝搬終端側の端部が閉じられた導波管」であるという事項と、本願発明の「先端に短絡板を有する」「導波管」という事項とを対比すると、本願発明の「短絡板」が端部を閉塞するものであることは明らかであるから、両者は、「先端に閉塞部材を有する導波管」である点で共通する。
　
４　以上から、両者は、
「導波管によってプラズマ発生室にマイクロ波エネルギーを供給してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、
　先端に閉塞部材を有する導波管を配設すると共に、導波管には管軸方向に沿って複数の結合孔を設け、かつ、各結合孔から放射されるマイクロ波エネルギーを均一化させるべく導波管の先端方向に向かって順次位置する結合孔の結合係数を順次大きく形成し、
　さらに、プラズマ発生室には誘電体窓を設けた、マイクロ波を利用したプラズマ発生装置。」の点で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点１〉
　本願発明は、導波管が、「先端に短絡板を有する」ものであって、「複数の導波管を所定間隔で平行配設」したものであるのに対し、引用発明の導波管は、端部が閉じられているものの、その端部が短絡板であることの特定がなく、また、導波管が複数設けられていない点。
〈相違点２〉
　本願発明は、プラズマ発生室に設けられている誘電体窓を、「複数の誘電体窓」とし、「これら各々の誘電体窓は前記導波管の各々の結合孔に対応させて形成し」ているのに対し、引用発明はそのような構成を具備していない点。
〈相違点３〉
　本願発明は、プラズマ発生室へのマイクロ波エネルギーの放射が、「前記短絡板により反射された反射波と進行波の電力が加わって前記結合孔と前記誘電体窓を通り、前記結合係数に応じ」てなされているのに対し、引用発明は、そのようなマイクロ波エネルギーの放射について特定されていない点。
　
　なお、請求人は、平成２３年６月２４日付け意見書において、刊行物１に記載されたマイクロ波スロットアレイは、マイクロ波の自由空間波長の１／２であるλ／２間隔で設けられていて、当該λは導波管路を伝搬するマイクロ波の管内波長であるλgと相違し、刊行物１に記載された発明によっては、真空チャンバー内に均一な放射電力を得ることができないから、刊行物１は引用発明として不適切である旨主張している。しかしながら、マイクロ波は、導波管内では自由空間λよりも長い管内波長（λg）となって伝搬することは当業者に周知の事項であって、刊行物１に接した当業者であれば、刊行物１に記載されているλは、実質的にλgを意味していると理解することは明らかであるから、刊行物１が、引用発明として不適切であるとする請求人の主張は当を得ないものである。
　
第５　検討・判断
　上記各相違点について検討する。
１　相違点１及び３について
　相違点１と３に係る技術的事項は互いに関連しているから、併せて検討する。
　端部が閉塞された導波管内を進行するマイクロ波は、導波管端部の閉塞状態（閉塞部材の性状、マイクロ波の波長と導波管長さとの関係等）によって吸収、反射等が生じること、マイクロ波が導波管端部で反射する場合には、導波管内を進行するマイクロ波と合成されて共振や減衰が生じることは当業者の技術常識に属する事項である。そして、導波管内を伝搬するマイクロ波電力を、導波管に設けたスロット（開口）によってチャンバ内に導くプラズマ処理装置において、導波管端部を反射端として進行波と反射波の定在波を生じさせ、マイクロ波電力を有効利用することは、例えば、特開２０００−３４８８９８号公報（特に段落【００２６】及び【図１】参照）、特開平１１−６７４９２号公報（特に段落【００５７】〜【００６０】及び【図９】参照）、特開平１１−１２１１９６号公報（特に段落【００２７】、【００２８】、【００３６】〜【００３９】、【図３】及び【図５】参照）に記載されているように当業者に周知の事項である。
　そうすると、導波管に導入されたマイクロ波を有効利用するため、反射波と進行波によって定在波が生じるよう、引用発明の導波管端部の閉塞部材を「短絡板」として反射波の電力を進行波の電力に加え、その加算された反射波と進行波のマイクロ波エネルギーを、結合孔を介してプラズマ発生室に放射せしめること、すなわち、「前記短絡板により反射された反射波と進行波の電力が加わって前記結合孔と前記誘電体窓を通り、前記結合係数に応じたマイクロ波エネルギーが前記プラズマ発生室に放射される構成」とすることは、当業者が容易になし得る事項といえる。そして、そのようにすることにより、当業者が予期し得ない格別の作用効果が奏されるものでもない。
　また、引用発明と同様なマイクロ波を用いたプラズマ処理装置において、マイクロ波導波管をチャンバーに対して複数本設けること、あるいは、被処理物の大型化に対処するため、複数のマイクロ波導波管を互いに平行に並設することは、刊行物２，３に記載されている（上記第３の２、３参照）ように本願出願前周知の事項である。
　したがって、相違点１、３に格別の進歩性を見いだすことはできない。
　
　なお、上記特開２０００−３４８８９８号公報の【図１】、特開平１１−１２１１９６号公報の【図５】には、導波管端部にタブ様部材が設けられ、端部部材を摺動可能として定在波を生じせしめる構成について記載されており、刊行物１の導波管端部に図示されている突起部材が、マイクロ波を吸収するためのダミーロードであるという請求人の主張も、当を得ないものである。
　
２　相違点２について
　スロット（開口）を設けた導波管をプラズマ発生室と別体とし、当該プラズマ発生室の上壁の、前記導波管のスロット（開口）に対応する位置に開口（窓部）を設けることは、上記した特開平１１−６７４９２号公報の【図９】、あるいは、特開平９−１７１９００号公報にも図示されているように、本願出願前周知の構造であるし、引用発明と同様なマイクロ波を用いたプラズマ処理装置において、チャンバーに設けられる誘電体窓を、複数のマイクロ波導入孔に対応せしめた復数の小面積の誘電体窓とすることにより、誘電体窓による誘電損失を小さくしたり、機械的、熱的応力負荷を小さくすることは、刊行物４、５に記載されている（上記第３の４、５参照）ように本願出願前周知の事項にすぎない。
　そうすると、誘電体窓の厚さを薄くしたり様々な応力負荷を軽減するため、引用発明の石英ガラスからなる誘電体窓を、「導波管の各々の結合孔に対応させ」た「複数の誘電体窓」とすることは、当業者が格別の困難なくなし得る事項にすぎず、また、そのようにすることにより、当業者が予期し得ない格別の作用効果が奏されるものでもない。
　
３　小括
　したがって、本願発明は、刊行物１に記載された発明、及び、刊行物２ないし５に記載された周知の事項に基いて当業者が容易に発明することができたものである。
　
第６　むすび
　以上のとおり、本願の請求項に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　よって、結論のとおり審決する。