【事件の表示】
　特願２０００−５５８５６１「光起電モジユールとその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　１月１３日国際公開、ＷＯ００／０２２５７、平成１４年　７月　９日国内公表、特表２００２−５２０８２０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１１年６月３０日（パリ条約による優先権主張１９９８年７月３日、欧州特許庁）を国際出願日とする特許出願であって、平成２０年１０月２９日付けで拒絶理由通知がなされ、平成２１年１月１５日に手続補正がなされたが、同年１２月２８日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成２２年４月２８日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正がなされたものであり、本願の請求項に係る発明は、本願特許請求の範囲の請求項１ないし１２に記載された事項によって特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「コア層として太陽電池システム２と、該後者の両側に付けられたカプセル化材料３，３′とを含んでなり、少くとも１つのカプセル化材料３′がシール層４′とバリア層６を含む、積層体の形の光起電モジユール１を製造する方法であって、バリア層６がプラスチック材料フイルム又はプラスチックフイルム複合材料から形成され、その上に無機酸化物層７が電子放射を用いる真空下での蒸着により太陽電池システム２に対し配向した側面に生成され、無機酸化物層７がアルミニウム又はシリコン元素から３０〜２００ｎｍの厚さで形成されることを特徴とする方法。」
　なお、本願発明は、平成２２年４月２８日に補正される前の特許請求の範囲の請求項３に係る発明であると認められる。
　
２．引用例 
　原査定の拒絶理由に引用された特公平４−７６２３１公報（以下「引用例」という。）には、図とともに次の記載がある。（なお、下線は当審で付したものである。） 
 　 
「以下、本発明を図面を用いて説明する。
　すなわち、
第２図は本発明の裏面保護シート１０の実施例を示す断面図で、上から、充填剤シート３、ガラス状防湿皮膜１、耐熱フイルム２、耐候フイルム４である
　ここで、
耐熱フイルム２は、ガラス状防湿皮膜１の蒸着時の支持体となるもの
上記樹脂フイルム又はセロフアンが使用できる
  この耐熱フイルム２が十分な耐候性を有する場合には、第２図における耐候フイルム４はなくてもかまわない。しかしながら耐候性と耐熱性の双方を兼ね備えたフイルムは比較的高価であるから、低コスト、あるいはガラス状防湿皮膜１の蒸着適性、機械的強度、電気絶縁性、低吸湿性等の点から耐熱フイルム２を選択し、
この外側に耐候性に優れた耐候フイルム４を積層することが好ましい
　
電気絶縁性ガラス状防湿皮膜１は蒸着適性、連続皮膜形成性、防湿性及びコストの点で酸化ケイ素を主成分とする無機質皮膜が好適である。通常酸化ケイ素の場合組成的にはSiO
2
であるが、蒸着皮膜ではSiOに近い組成である
蒸着皮膜の厚さとしては
500〜800Åの時が好ましい
　この裏面保護シートの最内面はガラス状防湿皮膜１となるが、現在通常使用されているポリビニルブチラール、EVAなどの充填剤はシリコンウエハ等の表面の酸化インジウムあるいは酸化スズ等の金属酸化物導電膜あるいはシリコンそのものや、上部透明材料であるガラス板との熱接着性のあるものであり、容易に接着し、複合化できるものである。
　しかしながら、熱圧によるモジユール複合工程の前において、高度の防湿性を維持するため、クラツクの生じやすいガラス状防湿皮膜１面は予め保護されている必要があり、この点から、
第２図に示すように防湿皮膜１の内面に更に充填剤シート３を予め積層しておく
　
「
本発明の裏面保護シート１０を用いて太陽電池モジユールを作成する場合、予め配線接続した太陽電池素子６を上部保護用充填剤シート７を敷いた上部透明材料（ガラス板等５）の上に置き、その上から下部保護用充填剤シート７をかぶせて、又はかぶせずに直接、本発明の裏面保護シート１０を、防湿皮膜１側又はこの上に積層された充填剤シート３側を内面にしてかぶせ、減圧下で全体を熱プレスして裏面保護シートを融着一体化させ、端部をアルミニウム等の枠体８で封入固定する。
　
　上記記載によれば、引用例には、
「耐候フイルム４が外側に積層され、ガラス状防湿皮膜１の蒸着時の支持体となる樹脂フイルムからなる耐熱フイルム２上に、酸化ケイ素を主成分とする無機質皮膜でなるガラス状防湿皮膜１を500〜800Åの厚さの蒸着皮膜として形成し、さらに、防湿皮膜１の内面に充填剤シート３を積層して裏面保護シート１０とし、予め配線接続した太陽電池素子６を上部保護用充填剤シート７を敷いた上部透明材料５の上に置き、その上から下部保護用充填剤シート７をかぶせ、前記裏面保護シート１０を、防湿皮膜１の上に積層された充填剤シート３側を内面にしてかぶせ、減圧下で全体を熱プレスして裏面保護シートを融着一体化させ、端部をアルミニウム等の枠体８で封入固定する太陽電池モジユールの作成方法。」（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
３．対比
　本願発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「太陽電池素子６」、「上部保護用充填剤シート７を敷いた上部透明材料５」、「『下部保護用充填剤シート７』と『裏面保護シート１０』」及び「太陽電池モジユール」が本願発明の「太陽電池システム２」、「カプセル化材料３」、「カプセル化材料３′」及び「光起電モジユール１」にそれぞれ相当する。
　そして、引用発明の「充填剤シート３」及び「下部保護用充填剤シート７」は、本願発明の「シール層４′」に相当する。
　また、引用発明の「樹脂フィルムからなる耐熱フイルム２」は、本願発明の「（プラスチック材料フイルムから形成される）バリア層６」に相当するところであり、引用発明の「耐候フイルム４」と「耐熱フイルム２」を併せたものは、本願発明の「（プラスチックフイルム複合材料から形成される）バリア層６」といえる。
　また、引用発明の「防湿皮膜１」は、「酸化ケイ素を主成分とする無機質皮膜でなる」から、本願発明の「無機酸化物層７」に相当するところであり、また、「蒸着皮膜」として形成されるから、本願発明と同様に「蒸着により」生成されたものといえ、さらに、この防湿皮膜１の側を内面にして太陽電池素子６にかぶせるから、本願発明と同様に「太陽電池システム２に対し配向した側面に生成され」るものといえる。
　また、引用発明の「防湿皮膜１」は、「酸化ケイ素を主成分とする」とされているが、酸化ケイ素以外の成分については記載がなく、実質的には、シリコン元素の酸化物であると認められるところであり、また、その厚さは500〜800Å、すなわち、５０〜８０ｎｍであるから、本願発明と同様に「無機酸化物層７がアルミニウム又はシリコン元素から３０〜２００ｎｍの厚さで形成される」ものといえる。
　
　以上のことから、両者は、
「コア層として太陽電池システム２と、該後者の両側に付けられたカプセル化材料３，３′とを含んでなり、少くとも１つのカプセル化材料３′がシール層４′とバリア層６を含む、積層体の形の光起電モジユール１を製造する方法であって、バリア層６がプラスチック材料フイルム又はプラスチックフイルム複合材料から形成され、その上に無機酸化物層７が蒸着により太陽電池システム２に対し配向した側面に生成され、無機酸化物層７がアルミニウム又はシリコン元素から３０〜２００ｎｍの厚さで形成される方法。」の点で一致する。
　
　一方、次の点で相違する。
　本願発明においては、無機酸化物層７が「電子放射を用いる真空下での」蒸着により生成されるのに対し、引用発明においては、防湿皮膜１が電子放射を用いる真空下での蒸着により生成されるのか不明な点。
   　
４．相違点についての検討
　上記相違点について検討するに、引用発明も蒸着により無機酸化物層を生成するものであるところ、特開平５−１７８３７６号公報の段落【００１５】には、平成２０年１０月２９日付け拒絶理由通知において指摘されているように「この基材１に、ガスバリヤー性、特に酸素バリヤー性と水蒸気バリヤー性を積層包装材料に付与するための酸化ケイ素層２を常法により形成する（図１（ｂ））。例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、プラズマ蒸着法或いはＣＶＤ法等により、好ましくはコストメリットの大きい真空蒸着法により形成することができる。」と、酸化ケイ素層を真空蒸着法により形成することが記載されている。
　この文献には、真空蒸着法に電子放射を用いる旨の記載はないが、原査定において指摘されているように、特開平７−２０２２３６号公報の段落【００１０】には、「また、形成する方法としては、特に制限はなく、真空蒸着、・・・などを用いることができる。さらに真空蒸着の加熱方法としては、・・・電子線加熱などの従来公知の加熱方法を用いることができる。」と、真空蒸着に電子線加熱、すなわち、電子放射を用いることが記載されている。
　
　また、特開平３−１５５２６号公報にも、平成２０年１０月２９日付け拒絶理由通知において指摘されているように、第１頁左下欄１５行〜第２頁左上欄２行に、
「（従来の技術）
　近年透明ガスバリアフイルムが包装分野、ＩＴＯ分野に盛んに使用されるようになってきた。透明ガスバリアフイルムはその耐熱性や、高度ガスバリア性の要求のためにプラスチックフイルム上に、金属酸化物層を形成したもの（例えば、ＳｉＯ２．Ａｌ２Ｏ３）がその用途に適している。
　金属酸化物層の形成方法としては真空を利用したドライプロセスが主に使われる。ドライプロセスの代表としてはスパッタ法と蒸着法がある。
　スパッタ法はその膜形成速度が蒸着法に比較して遅いために、包装材料などの低コストを要求される物には適していない。
　蒸着法では、材料を直接加熱する誘導加熱、抵抗加熱法があるが酸化物は一般に蒸気圧が低く適しない。そこで、酸化物の元になる金属を加熱して蒸発させ気相中で酸素を導入して酸化物を形成する反応性蒸着が行われる。（特公昭６３−８６８６０号公報）しかし、この方法では蒸発する金属の速度と導入する酸素の量の調節が難しく、金属酸化物膜の特性を一定に保つことは困難である。
　そこで最近、電子ビームを利用した蒸着が盛んに行われるようになってきた。電子ビーム蒸着法では大きなエネルギーを小さな範囲に集中できるため、蒸気圧が比鮫的低い物質でも容易に蒸着できるようになり、金属酸化物を直接に蒸着できるようになった。」と、電子線ビーム蒸着法、すなわち、電子放射を用いる真空下での蒸着法により金属酸化物層を形成することが記載されているところである。
　
　以上のことから、無機酸化物層を形成するにあたり、電子放射を用いる真空下での蒸着により行うことは周知の技術事項であると認められ、引用発明における酸化ケイ素を主成分とする無機質皮膜でなるガラス状防湿皮膜１を蒸着皮膜として形成するにあたり、上記周知技術を採用して、上記相違点に係る本願発明の発明特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　また、無機酸化物層を電子放射を用いる真空下での蒸着で行うことについて、本願明細書には、段落【００１９】に「酸化アルミニウム（純度９９．９％）又は一酸化けい素（純度９９．９％）の理論量（stoichiometric quantities）が、例えば、コーテイング材料として使用され、そして真空下で電子ビームを使用して蒸発される。」と記載されているのみであり、電子放射を用いる真空下での蒸着を採用したことの効果が格別のものであるとも認められない。　
　
５．むすび
　したがって、本願発明は、引用発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。