【事件の表示】
　特願２００１−５８６５２８「可撓性真空チャック」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１１月２９日国際公開、ＷＯ０１／９０８２０、平成１５年１１月１８日国内公表、特表２００３−５３４６５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本件出願は、平成１３年５月２２日（優先権主張２０００年５月２３日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成１９年１１月１日付けで拒絶の理由が通知され、同２０年１月２８日に手続補正がなされ、同年８月１５日付けで拒絶の理由が通知され、同２１年２月１８日に手続補正がなされ、同年３月１０日付けで拒絶をすべき旨の査定がされた。
　これに対し、同年６月１０日に本件審判の請求がなされ、同年７月１０日に手続補正がなされ、同２２年６月７日付けで審尋がされ、同年９月３日に回答書が提出され、同年１０月２２日の電話応対を踏まえ同年１０月２５日付けで拒絶理由が通知され、同２３年１月２５日に意見書の提出とともに手続補正がなされたものである。 
 　 
２．本願発明
　本願の請求項３に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２３年１月２５日に補正された特許請求の範囲の請求項３に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認められる。
　
「リソグラフィプロセスの間、基板を支持するための可撓性チャック（２００）であって、
　複数の個々の電極を含む電極層（１１６）と、
　前記電極層（１１６）上に配置された圧電層（２１０）と、
　前記圧電層（２１０）上に配置された基板支持層（２１２）と、
を有し、
　前記電極層（１１６）は、電気信号を前記圧電層（２１０）に提供し、それによって該圧電層（２１０）は、電気信号に応答して変形し、
　前記基板支持層（２１２）と前記圧電層（２１０）との間に接地平面層（２１１）が連続的に配置されている、
　可撓性チャック（２００）。」
　
　ここで、請求項３に従属する請求項４は、「前記基板支持層（２１２）は突起部（１０６）を備え、前記突起部（１０６）の各々は前記電極層（１１６）内のそれぞれの電極に対応する、請求項３記載の可撓性チャック（２００）。」というものであり、「基板支持層（２１２）は突起部（１０６）を備え」なる限定をしている。
　また、平成２３年１月２５日付け意見書においては、３．（１）（イ）の「請求項１に係る発明」で「突起部」による作用効果を主張する一方で、（ロ）の「請求項３に係る発明」では「突起部」への言及はない。
　よって、本願発明の「基板支持層（２１２）」は、「突起部」を有しないものを含むものである。
　
　また、「接地平面層（２１１）」は、上記意見書３．（１）（ロ）に記載されているように「共通電極」として機能するものである。
　
３．刊行物記載の発明
　これに対し、本願優先日前に頒布された刊行物であって、平成１９年１１月１日付け、平成２０年８月１５日付け、平成２２年１０月２５日付けで通知された拒絶理由のいずれにおいても引用された特開平４−３３６９２８号公報（以下「刊行物」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．段落０００１〜０００２
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電圧を印加することで変位する圧電素子を組み込んだ圧電ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工装置や半導体処理装置等に適用する圧電素子を用いたステージ或いはチャックとして・・・。」
　
イ．段落０００７〜００１４
「【０００７】チャック１は本発明の圧電ステージ２の上面に静電吸着用の電極３を埋設した絶縁層４を一体的に形成している。Ｗは電極３に通電することで吸着される半導体ウエハ等の被処理物である。
【０００８】圧電ステージ２は図３に示すように未焼成のセラミックグリーンシート５…を積層した後焼成することで得る。・・・、セラミックグリーンシート５の材料はＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛），ＰＴ（チタン酸鉛）或いはＰＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ランタン鉛）等の圧電セラミックス材料とする。
【０００９】また、各セラミックグリーンシート５の表面には銀ペースト或いは銀とパラジウムの混合ペースト等の導電ペーストからなる電極部６がプリントされている。電極部６のパターンは複数の帯状電極６ａ…を等間隔且つ平行に配列している。
【００１０】更に、セラミックグリーンシート５…を積層する場合には、上層となるセラミックグリーンシートにプリントした帯状電極６ａと下層となるセラミックグリーンシートにプリントした帯状電極６ａとが厚み方向から見て直交するように、つまり格子状となるようにセラミックグリーンシート５…を交互に積層する。
【００１１】また帯状電極６ａはセラミックグリーンシート５の端部までプリントされ、焼成後に当該端部に給電線７を接続することで各帯状電極６ａに電圧を印加するようにしている。このようにすることで圧電ステージ２は内部に多数の圧電素子を設けたのと同等の作用をなす。
【００１２】以下にその作用を図４に基づいて説明する。尚、図４（ａ）は模式的な平面図、図４（ｂ）及び（ｃ）は模式的な側面図であり、図中６ａ−１は上層のセラミックグリーンシートに形成された帯状電極、６ａ−２，６ａ−３，６ａ−４は下層のセラミックグリーンシートに形成した帯状電極とする。
【００１３】図４（ｂ）に示すように帯状電極６ａ−１に５００Ｖ、帯状電極６ａ−２と帯状電極６ａ−４に２００Ｖを印加し、帯状電極６ａ−３には電圧を印加しない。すると、電圧を印加された部分の圧電素子が電圧に比例して上下方向に延びて、図の想像線で示すように中央部が突出した形状に変形する。
【００１４】また帯状電極６ａ−１に５００Ｖ、帯状電極６ａ−３に２００Ｖ、帯状電極６ａ−４に５００Ｖ、帯状電極６ａ−１には電圧を印加しないようにすると、図４（ｃ）に示すように左側部分が突出した形状に変形する。」
　
　上記記載を、技術常識を踏まえ、図面を参照しつつ、本願発明に照らして整理すると、上記刊行物１には、次の発明（以下「刊行物発明」という。）が記載されていると認められる。 
　
「レーザ加工装置や半導体処理装置等に適用される半導体ウエハ等を支持するためのチャック１であって、
　表面に複数の帯状電極６ａが形成され、圧電セラミックス材料からなるセラミックグリーンシート５を、厚み方向から見て直交するように交互に積層して圧電ステージ２が構成され、
　帯状電極６ａ−２，６ａ−３，６ａ−４を含む下層となるセラミックグリーンシート５と、
　前記下層となるセラミックグリーンシート５上に配置された上層となるセラミックグリーンシート５と、
　前記上層となるセラミックグリーンシート５上に配置された静電吸着用の電極３を埋設した絶縁層４と、
を有し、
　前記帯状電極６ａ−２，６ａ−３，６ａ−４は、電圧を印加し、それによって上層のセラミックグリーンシート５の圧電セラミックス材料は、電圧に比例して変形し、
　前記絶縁層４と前記上層のセラミックグリーンシート５の圧電セラミックス材料との間に帯状電極６ａ−１が配置されている、
チャック１。」
　
４．対比・判断 
　本願発明と刊行物発明とを対比する。
　刊行物発明における「半導体ウエハ等」は本願発明における「基板」に相当し、同様に、「チャック１」は「可撓性チャック（２００）」に、「帯状電極６ａ−２，６ａ−３，６ａ−４」は「複数の個々の電極」に、「下層となるセラミックグリーンシート５」は「電極層（１１６）」に、「静電吸着用の電極３を埋設した絶縁層４」は「基板支持層（２１２）」に、「電圧を印加し」は「電気信号を前記圧電層（２１０）に提供し」に、「電圧に比例して」は「電気信号に応答して」に、相当する。
　刊行物発明における「上層となるセラミックグリーンシート５」は、「圧電セラミックス材料」からなり、その表面に「帯状電極６ａ−１」が形成されている。よって、刊行物発明における「圧電セラミックス材料」は本願発明における「圧電層（２１２）」に相当し、「帯状電極６ａ−１」は「共通電極層」である限りにおいて本願発明における「接地平面層（２１１）」に相当する。
　
　そうすると、本願発明と刊行物発明とは、以下の点で一致する。 
「基板を支持するための可撓性チャックであって、
　複数の個々の電極を含む電極層と、
　前記電極層上に配置された圧電層と、
　前記圧電層上に配置された基板支持層と、
を有し、
　前記電極層は、電気信号を前記圧電層に提供し、それによって該圧電層は、電気信号に応答して変形し、
　前記基板支持層と前記圧電層との間に共通電極層が配置されている、
　可撓性チャック。」 
 　 
　そして、以下の点で相違する。
　相違点１：基板の支持について、本願発明は「リソグラフィプロセスの間」であるが、刊行物発明は「レーザ加工装置や半導体処理装置等に適用される」ものである点。
　相違点２：共通電極層について、本願発明は「接地平面層（２１１）が連続的に配置」されるが、刊行物発明は「帯状電極６ａ−１」である点。
　相違点３：刊行物発明は「セラミックグリーンシート５を、厚み方向から見て直交するように交互に積層して圧電ステージ２」としているが、本願発明はそのような特定がない点。
　
　相違点１について、検討する。
　「リソグラフィプロセス」は「半導体処理」の一部であるから、「リソグラフィプロセスの間」と特定することは、単なる用途限定にすぎない。
　
　相違点２について、検討する。
　刊行物発明の「帯状電極６ａ−１」は、「平面層が連続的に配置」されるものであると言えるから、共通電極の形状は、実質的相違点ではない。
　また、「共通電極層」である「平面層」を「接地」するか否かは、適宜選択しうる事項である。
　仮に、形状が相違点であるとして、一応検討する。
　基板をいかなる形状、範囲で変形させるかは、処理によって異なり、変形形状については、面状、線状、点状、種々の形態がある。
　刊行物発明は、「帯状電極６ａ−１」であるから、線状の変形に対応しうる。
　よって、広範囲で面状に変形させる必要がある場合に、「共通電極層」を広範囲に面状に配置、すなわち「平面層（２１１）が連続的に配置」とすることは、必要に応じてなしうる設計的事項にすぎない。
　
　相違点３について、検討する。
　本願発明は、刊行物発明のような「交互に積層」するものを排除するものではなく、この点は、実質的相違点ではない。
　仮に、相違点であるとしても、刊行物の図４に見られるごとく、刊行物発明の「セラミックグリーンシート５」は、上下２層のみであっても、変形を実現しうることは明らかであるから、構造の簡素化の観点から、「電極層」、「圧電層」の２層とすることに困難性は認められない。
　
　また、これら相違点を総合しても、格別な技術的意義が生じるとは認められない。
　
５．むすび 
　本願発明は、刊行物発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本願は拒絶されるべきものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。