【事件の表示】
　特願２００４−１９４０２３「露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　１月１９日出願公開、特開２００６−　１７８９５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１６年６月３０日の出願であって、平成２０年９月８日付けで通知された拒絶の理由に対して、同年１１月１３日付けで手続補正書及び意見書が提出され、これに対して、同年１２月５日付けで最後の拒絶理由の通知がなされ、平成２１年２月６日付けで手続補正書が提出されたが、同年４月８日付けで、上記同年２月６日付けの手続補正が却下されるとともに、上記平成２０年１２月５日付けで通知した拒絶理由（平成２０年１１月１３日付けの手続補正は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない旨）により拒絶査定がなされたものであり、これに対して、平成２１年７月１４日付けで審判請求がなされたものである。
　
　
２．平成２０年１１月１３日付けの手続補正
　平成２０年１１月１３日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１，３は次のように補正された。
　
（補正前）
　「【請求項１】
　光源から露光光を被露光体に対して照射する露光光学系と、該露光光学系に対向して配置され前記被露光体を載置して一定速度で搬送する搬送手段とを備え、前記露光光学系の光路上に介装するマスクの開口部の像を前記被露光体上に転写する露光装置であって、
　前記搬送手段の移動方向にて前記露光光学系による露光位置の手前側を撮像位置とし、
前記被露光体に予め形成された基準パターンを撮像する撮像手段と、
　前記撮像手段で撮像された前記基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記露光光学系の露光光の照射タイミングを制御し、前記被露光体の所定位置に前記マスクの開口部の像を転写させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。」
　「【請求項３】
　所定の開口部を有するマスクを介して光源から露光光を被露光体に対して照射し、搬送される被露光体上に前記マスクの開口部の像を転写する露光装置であって、
　前記被露光体を一定速度で搬送する搬送手段と、
　該搬送手段の上方に配設されて、前記光源から前記被露光体に至る光路上に介装された前記マスクの開口部を前記被露光体上に結像する結像レンズ及び該結像レンズと前記マスクとの間の光路上に傾けて配置されたビームスプリッターを有する露光光学系と、
　前記ビームスプリッターの前記結像レンズ側反射面における反射光を受光可能に配設され、前記被露光体に予め形成された基準パターンを前記結像レンズを介して撮像する撮像手段と、
　前記撮像手段で撮像された前記基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記露光光学系の露光光の照射タイミングを制御し、前記被露光体の所定位置に前記マスクの開口部の像を転写させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。」
　
（補正後）
　「【請求項１】
　光源から露光光を被露光体に対して照射する露光光学系と、該露光光学系に対向して配置され前記被露光体を載置して一定速度で搬送する搬送手段とを備え、前記露光光学系の
光路上に介装するマスクの開口部の像を前記被露光体上に露光する露光装置であって、
　前記搬送手段の移動方向にて前記露光光学系による露光位置の手前側を撮像位置とし、前記被露光体に予め形成された基準パターンの
うち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン
　前記撮像手段で撮像された
画像を処理することによって、
を備えたことを特徴とする露光装置。」
　「【請求項３】
　所定の開口部を有するマスクを介して光源から露光光を被露光体に対して照射し、搬送される被露光体上に前記マスクの開口部の像を露光する露光装置であって、
　前記被露光体を一定速度で搬送する搬送手段と、
　該搬送手段の上方に配設されて、前記光源から前記被露光体に至る光路上に介装された前記マスクの開口部を前記被露光体上に結像する結像レンズ及び該結像レンズと前記マスクとの間の光路上に傾けて配置されたビームスプリッターを有する露光光学系と、
　前記ビームスプリッターの前記結像レンズ側反射面における反射光を受光可能に配設され、前記被露光体に予め形成された基準パターン
のうち露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン
　前記撮像手段で撮像された
画像を処理することによって、
前記撮像手段によって撮像する位置と一致した
を備えたことを特徴とする露光装置。」
　
　
３．原査定の理由
　これに対して、原査定の理由（平成２０年１２月５日付けで通知した拒絶理由）は、以下のとおりである。
　
　『平成２０年１１月１３日付けでした手続補正は、下記の点で願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　本願の請求項１，３や対応する各段落は、露光位置において「マスクの開口部の像内に位置する基準パターンを撮像する」と補正されているが、本願の当初明細書、特に【００２５】、図２，１０などを参照しても、基準パターンがマスクの開口部の像内に位置することも記載されておらず、またそのことが自明とも認められない。
　図２，１０などを参酌するに、実施例における基準パターンはブラックマトリクスであり、ブラックマトリクスの遮光部はマスク開口部の外側にもあり、基準に用いるピクセル角部も露光位置においてマスクの開口部の境界にあり、マスクの開口部の像内に位置するとはいえないと認められる。』
　
　
４．請求人の主張
　請求人は、審判請求書で請求の理由を具体的に主張していないものの、本件補正と同時に提出された意見書では、次のように説明している。
　
　『〔３〕補正の根拠の説明
　同時に提出した手続補正書における特許請求の範囲の請求項１及び請求項３において今回補正した「前記被露光体に予め形成された基準パターンのうち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターンを（前記結像レンズを介して）撮像する撮像手段」の記載は、当初明細書の段落００２５における「・・・上記開口部１０ａは、図２に示すようにブラックマトリクス１１の横方向に一列状態に並んだ例えば５つのピクセル１２に対応して形成されている。」の記載、並びに当初図面の図２、図１０の記載に基くものである。なお、当初明細書には、今回補正した請求項１及び請求項３の「基準パターンのうち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン」という記載と同一の文言はないが、上記段落００２５の記載及び図２、図１０の記載は、被露光体に予め形成された基準パターンの一部が露光位置におけるマスクの開口部の像内に位置していることを表現しているものである。これらの記載から、上記「基準パターンのうち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン」という記載が導き出されるものである。』
　
　
５．当審の判断
　請求項１は、本件補正により、撮像される対象である「基準パターン」が、「前記被露光体に予め形成された基準パターンのうち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン」という特定のものに限定されている。
　ここで、撮像される「基準パターン」とは、請求項１に記載されるとおり、「前記撮像手段で撮像された画像を処理することによって、前記基準パターンに予め設定された基準位置を検出し、該基準位置を基準にして前記露光光学系の露光光の照射タイミングを制御し、前記被露光体の所定位置に前記マスクの開口部の像を露光させる」ことに用いられており、露光光学系の露光光の照射タイミングの基準となる「被露光体上の基準位置」をその「基準パターン」のなかに含むものである。つまり、「基準パターン」あるいは「基準位置」は、その撮像に対応した露光位置において、露光光学系の露光光の照射タイミングの基準となっている。
　
　そこで、本件補正後の請求項１における「前記被露光体に予め形成された基準パターンの
うち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン
　まず、そのような表現の記載は、本願の当初明細書にはない。
　ただ、意見書でいうように、当初明細書の【００２５】には、「上記マスク１０は、露光領域にてカラーフィルタ基板６の移動方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に一列分の開口部１０ａを形成したものであり、第１の実施形態においては、上記開口部１０ａは、図２に示すようにブラックマトリクス１１の横方向に一列状態に並んだ例えば五つのピクセル１２に対応して形成されている。」という記載はある。
　しかし、上記「五つのピクセル１２」のうち、どのピクセルが、実際に基準位置を検出するための「基準パターン」として使用されるものであるかは、示されていない。
　また、図２をみると、「基準パターンとしてのブラックマトリクス１１のピクセル１２」（当初明細書【００２６】）は、上記「五つのピクセル１２」以外にも、右端の「マスクの開口部の像内」とはいえない位置（いわば、マスク枠の位置）に、別のピクセルが部分的に記載されて（１ピクセルの半分がみられる）おり、当該別のピクセルも、撮像手段３（ラインＣＣＤ）により撮像されているから、当該別のピクセルが、実際に基準位置を検出するための「基準パターン」として用いられる可能性を否定することができない。
　
　さらに、図１０をみると、その状態は、被露光領域の中心位置と撮像手段３の撮像中心（又はマスク１０の開口部１０ａの中心位置）とにズレがあるものであり、「Ｋ｛ＥＬＣ−（ＥＬ１＋ＥＬ５）／２｝分だけＹ軸方向にて矢印Ｂで示す方向にステージ４ａを移動」（【００４２】）させ、被露光領域の中心位置と撮像手段３の撮像中心を一致させることになるが、その際に、ピクセル１２１の左上隅部の「第１の基準位置」や、「ピクセル１２５の右上隅部の「第２の基準位置」が、果たして「マスクの開口部の像内」に位置するものとなるかどうかは、必ずしも明確でなく、それら基準位置が、露光位置においてマスクの開口部の境界にある可能性を否定できない。
　
　したがって、本件補正により変更された、「前記被露光体に予め形成された基準パターンの
うち前記露光位置における前記マスクの開口部の像内に位置する基準パターン
　
　また、請求項３における同様の変更点も、同様に判断される。
　
　よって、本件補正は、当初明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものである。
　
　
６．むすび
　以上のとおり、平成２０年１１月１３日付けの手続補正は、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものではないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていないので、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。