【事件の表示】
　特願２００７−　５９２７５「センサ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　９月２５日出願公開、特開２００８−２２４２５４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１９年３月８日の出願であって、手続の経緯の概要は以下のとおりである。
　
　平成１９年　３月　８日　出願
　
　平成２１年　２月１２日　拒絶理由通知（発送日：同年２月１７日）
　
　平成２１年　４月２０日　手続補正（以下、「補正１」という。）
　
　平成２１年　５月１５日　拒絶理由通知（最後）（発送日：同年５月２６日）　
　
　平成２１年　７月２７日　手続補正（以下、「補正２」という。）
　
　平成２１年　８月１３日　補正の却下の決定、拒絶査定（送達日：同年８月１８日）
　
　平成２１年１１月１８日　拒絶査定不服審判の請求
　
第２　補正の却下の決定の当否
　平成２１年５月１５日付けの拒絶理由通知は、特許法第１７条の２第１項第３号に規定する最後に受けた拒絶理由通知（以下、「最後の拒絶理由通知」という。）である。
　これに対して、当該最後の拒絶理由通知に係る特許法第５０条の規定により指定された期間内に、平成２１年７月２７日付けの手続補正（補正２）により特許請求の範囲及び明細書の補正がなされたが、当該補正２について、平成２１年８月１３日付けで補正の却下の決定（以下、「補正の却下の決定」という。）がなされるとともに、同日付けで拒絶査定がなされた。
　請求人は、平成２１年１１月１８日付けの拒絶査定不服審判の請求において、拒絶査定不服審判を請求するとともに、補正の却下の決定に対して不服を申し立てている。
　そこで、まず、補正の却下の決定の当否について検討する。
　
１　補正の却下の決定の理由の概要
　補正の却下の決定の理由の概要は、次のとおりである。
　
　平成２１年７月２７日付けの手続補正によって、請求項１には、第１の凹部、第２の凹部および第３の凹部が記載されることとなったものの、第１凹部、第２凹部の深さと枠部の幅の関係は特定されることはなく、結果として、第１凹部、第２凹部の深さは依然として、いくらでも構わないものとなっている。
　しかし、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲には、その深さを、枠部の幅の３．３％以上とすることしか記載されていなかったのであって、また、第１の凹部または第２の凹部の深さを、いくらでも構わないとする広い思想が、記載されていたわけでもなく、またそのようなことが、願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書および図面から自明であったということもできない。
・・・・・
　してみれば、平成２１年７月２７日付けでした手続補正（補正２）は、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないというほかなく、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　
２　補正２の内容
　補正２は、特許請求の範囲の請求項１について、次のとおりに補正することを含むものである。
　
　「【請求項１】
　錘部と、
　前記錘部を囲って形成された枠部と、
　前記枠部上に第１絶縁膜を介して設けられた支持部と、
　前記錘部上に第２絶縁膜を介して設けられた質量部と、
　前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、
　前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、
前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁膜の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部と、
　前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面に形成された第３凹部と、
　を有することを特徴とするセンサ装置。」
　
３　当審の判断
　補正２は、最後の拒絶理由通知に係る特許法第５０条の規定により指定された期間内にするものであるから、特許法第１７条の２第３項の規定により、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、「当初明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてしなければならない。
　そこで、補正２が、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものであるか否か検討する。
　
（１）当初明細書等の記載
　当初明細書等には、センサ装置に関して、次の記載ａないしｆが図面とともに記載されている。
　
　ａ　「【特許請求の範囲】
【請求項１】
  錘部と、前記錘部を囲うように配置された枠部と、
  前記枠部上に第１絶縁層を介して設けられた支持部と、
  前記錘部上に第２絶縁層を介して設けられた質量部と、
  前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、
  前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、
  前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁層の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部と、を有し、
  前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上である、
  ことを特徴とするセンサ装置。
【請求項２】
  前記前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の５．０％以下であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
  前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、又は前記第２絶縁層の前記枠部側の側面に、前記梁部に対応するような位置に第３凹部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項４】
  前記枠部上面の前記錘部側の端部、及び前記錘部上面の端部に、前記枠部上面、及び前記錘部上面と４０°〜６０°の面取り部を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項５】
  第１基板上に、絶縁層、及び第２基板を設ける工程と、
  前記第１基板の底面に溝を設け、枠部、及び錘部を形成する工程と、
  前記枠部、及び錘部の間に前記絶縁層を露出させると同時に、前記錘部の底面を削る工程と
  前記絶縁層の露出部をウエットエッチングにより除去する工程と、
  前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁層の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部と、を形成し、前記第１凹部の深さ、及び前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上５．０％以下となるように、ウエットエッチングする工程と、
  を有することを特徴とするセンサ装置の製造方法。」
　
　ｂ　「【０００１】
  本発明は、センサ装置、及びセンサ装置の製造方法に関するものであり、詳細には、枠と梁、及び錘と梁との間に絶縁層を設けたセンサ装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
  ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）は、機械的要素と電気的要素とを組み合わせた機能部品である。そのＭＥＭＳの一例として、ピエゾ抵抗型加速度センサがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
  図１０は、従来のピエゾ抵抗型加速度センサの略断面図である。ピエゾ抵抗型加速度センサ１０００の錘部５０１に加速度による力が加わると、支持部５０５、及び質量部５０
６と接続されている梁部５０７が撓み、梁部５０７に組み込まれたピエゾ抵抗素子５０８の抵抗値が変化する。この抵抗値変化による電流あるいは電圧の変化を、ピエゾ抵抗に接続した電気配線（不図示）から、支持部５０５の上面に形成されたメタルパッド５０９を経由し、外部へ取り出す。この変化を検出することにより加速度の検出を可能としたものである。
  また、枠部５０２上には、酸化膜からなる絶縁層５０３を介して支持部５０５が設けられており、錘部５０１上には、酸化膜からなる絶縁層５０４を介して質量部５０６が設けられている。
【特許文献１】特開２００５−４９１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
  しかしながら、上記構成を有するピエゾ抵抗型加速度センサを製造する際、梁部５０７を形成するために梁部５０７の下部をエッチングする工程を有するものの、梁部５０７の端部に加わる応力集中を緩和するために支持部５０５、質量部５０６の底面端部をエッチングする思想はなく、最終的に製造されたものについて、偶発的に支持部５０５、及び質量部５０６の底面端部がわずかにエッチングされている。このわずかにエッチングされた部分である、支持部５０５の側面と絶縁層５０３の側面との間隔５１０が非常に狭く、梁部５０７を絶縁層５０３の上面端部の辺、及び絶縁層５０４の上面端部の辺で支えているのと同様であり、急激な衝撃が加わる場合、支持部５０５と梁部５０７との境界部や、質量部５０６と梁部５０７との境界部に応力が集中し、衝撃により梁部５０７が破損すやすい問題があった。（当審注：「破損しやすい」の誤記と認められる。）
【０００５】
  この問題を回避するため、従来は梁部の幅、板厚等を調整して耐衝撃性の向上を図っていた。
  しかし、加速度センサの縮小化に伴った枠幅の縮小、それに伴う梁幅の縮小、若しくは感度向上を目的とした梁厚の薄膜化を行うことで、耐衝撃性が劣化することになり、小型化と耐衝撃性を両立させることが困難であった。
【０００６】
  本発明は、前記問題点に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
  即ち、本発明の目的は、良好な耐衝撃性を有し、小型化が可能なセンサ装置、及びその製造方法を提供することにある。」
　
　ｃ　「【課題を解決するための手段】
【０００７】
  本発明者は鋭意検討した結果、下記のセンサ装置、及びその製造方法を用いることにより、上記問題を解決できることを見出し、上記目的を達成するに至った。
【０００８】
  即ち、請求項１に記載のセンサ装置は、錘部と、前記錘部を囲うように配置された枠部と、前記枠部上に第１絶縁層を介して設けられた支持部と、前記錘部上に第２絶縁層を介して設けられた質量部と、前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁層の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部と、を有し、前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上である、ことを特徴とする。
・・・・・
  請求項１、及び請求項２に記載のセンサ装置によると、第１凹部の深さ、及び第２凹部の深さが前記の範囲にあると、梁部は、支持部の枠部上面と対向する面、及び前記質量部の前記錘部上面と対向する面で支える構造を有し、応力を面で受けることになるため、耐衝撃性を向上させることができる。また、第１空間部、及び第２空間部を設けることにより、梁部に加わる応力が緩和されるため、梁部の幅や厚さを縮小しても、耐衝撃性を向上させることができる。
【０００９】
  請求項３に記載のセンサ装置は、前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、又は前記第２絶縁層の前記枠部側の側面に、前記梁部に対応するような位置に第３凹部を有することを特徴とする。
  請求項３に記載のセンサ装置によると、請求項１に記載の発明における効果に加え、前述した応力緩和作用を有する面の面積を、局所的に広くすることができるため、さらなる応力緩和作用を奏し、耐衝撃性を向上させることができる。また、応力を緩和する効果を奏しない箇所の絶縁層をエッチングしていないため、絶縁層と枠部、及び絶縁層と支持部、の接触面積が大きいことから、センサ装置自体の強度も確保することができる。」
　
　ｄ　「【発明の効果】
【００１２】
  本発明によれば、良好な耐衝撃性を有し、小型化が可能なセンサ装置、及びその製造方法を提供することができる。」
　
　ｅ　「【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
  以下、図面を参照して、この発明の実施の形態につき説明する。なお、図面には、この
発明が理解できる程度に各構成成分の形状、大きさ及び配置関係が概略的に示されている
にすぎず、これによりこの発明が特に限定されるものではない。以下の説明において、特定の材料、条件及び数値条件等を用いることがあるが、これは好適例の一つにすぎず、従って、何らこれらに限定されない。
・・・・・
　【００１５】
＜センサ装置＞
〔第１形態の構造〕
  図１（Ａ）は、本発明のセンサ装置における錘部に加重が加わる前後のセンサ構造１００（第１形態）の部分断面図であり、図１（Ｂ）は、本発明のセンサ装置におけるセンサ構造１００の支持部付近部分上面図である。
  本発明におけるセンサ構造１００は、枠部１０、錘部１２、第１絶縁層１４、第２絶縁層１８、支持部２４、質量部２６、梁部１６、第１凹部３０、第２凹部３２により構成されている。
  具体的には、図１（Ａ）左図に示すように、錘部１２と、錘部１２を囲うように配置された枠部１０と、枠部１０上に第１絶縁層１４を介して設けられた支持部２４と、錘部１２上に第２絶縁層１８を介して設けられた質量部２６と、支持部２４と質量部２６とを接続している梁部１６と、支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６、枠部１０の支持部２４の底面と対向する面３８、及び第１絶縁層１４の錘部１２側の側面２０、により区画された第１凹部３０と、質量部２６の錘部１２の上面と対向する面４０、錘部１２の質量部２６の底面と対向する面４２、及び第２絶縁層１８の枠部１０側の側面２２、により区画された第２凹部３２と、により構成される。
  本発明におけるセンサ構造１００の錘部１２に荷重が加わり、図１（Ａ）右図のように梁部１６が撓み、梁部１６と支持部２４との境界付近４８、及び梁部１６と質量部２６との境界付近５０、に応力が集中する。
【００１６】
  また、本発明におけるセンサ構造１００は、図１（Ｂ）に示すように、支持部２４、及び梁部１６との境界付近４８に応力が集中するが、第１絶縁層１４の錘部１２側の側面２０が、支持部２４の内周面５８より外周面６０側に位置しているため、支持部２４の内周面５８と第１絶縁層１４の錘部１２側の側面２０とで区画された、支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６により、応力が緩和され、耐衝撃性に優れた構造を有する
【００１７】
  本発明におけるセンサ構造１００の第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以下であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下であることが特に好ましい。具体的には、枠部１０の幅５４が２９７μｍである場合、第１凹部３０の深さ３４は、１０μｍ以上であり、１０μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましく、１１．８μｍ以上１５μｍ以下であることが特に好ましい。第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、応力集中を緩和する作用を有する支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６、及び質量部２６の錘部１２の上面と対向する面４０の面積が小さく、十分に応力を緩和することができず、耐衝撃性が劣化する。また、第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の５．０％以上であると、耐衝撃性は維持するものの、センサ装置の温度特性（特に低温度側）が劣化し、また、第１絶縁層１４の強度が劣化する。
  また、本発明におけるセンサ構造１００の第２凹部３２の深さ３５が、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以下であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下であることが特に好ましい。具体的には、枠部１０の幅５４が２９７μｍである場合、第１凹部３０の深さ３４は、１０μｍ以上であり、１０μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましく、１１．８μｍ以上１５μｍ以下であることが特に好ましい。第２凹部３２の深さ３５が、枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、耐衝撃性が劣化し、枠部１０の幅５４の５．０％以上であると、センサ装置の温度特性（特に低温度側）が劣化し、第２絶縁層１８の強度が劣化する。
  これらの中でも、特に好ましい態様としては、第１凹部３０の深さ３４、及び第２凹部３２の深さ３５が枠部１０の幅５４の３．３％以上５．０％以下であり、第１凹部３０の深さ３４、及び第２凹部３２の深さ３５が同一であることが挙げられる。この場合、加重の加わり方によらず、左右対称に応力を緩和することができ、耐衝撃性にすぐれた構造を有することになる。
【００１８】
〔第２形態の構造〕
  本発明におけるセンサ装置のより好ましい態様（第２形態）としては、図２に示すように、第１絶縁層１４の錘部１２側の側面２０、又は第２絶縁層１８の枠部１０側の側面２２に、梁部１６に対応するような位置に第３凹部７０を有する。
  ここで、「梁部１６に対応するような位置」とは、梁部１６に応力が加わった際、最も応力が集中する箇所を表す。具体的には、梁部１６の側面８０、及び側面８２を支持部２４の外周面７４の方向に引き出した場合に、側面２０との接点７６、及び接点７８間を開口部とし、凹部の深さ８４を梁部１６の長手方向とするような凹部を有することを表す。
  接点７６、及び接点７８間の距離は、梁部１６に加わる応力を十分に緩和する観点から、梁部１６の幅８４以上であり、梁部１６の幅８８の２倍以下であることが好ましい。
  凹部の深さ８４については、支持部２４と梁部１６との境界面８６から凹部７０の底面までの深さが、前述した第１凹部３０の深さ３４と同様の範囲にあればとくに限定されることはない。
  図２に記載の凹部７０の形状は矩形であるが、とくにこれに限定されることはなく、例えば、三角形であってもよく、円弧であってもよい」
　
　ｆ　「【実施例】
【００３１】
  以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに制限されるものではない。
  本発明では、種々の用途のうち、加速度センサについて実施した。
  図６は、本発明におけるセンサ構造を有する加速度センサ４００の上面図である。図６に記載の加速度センサ４００は、中央に、錘部上部に位置する質量部２６、それを囲うように形成されている支持部２４、支持部２４と質量部２６とに接続されている梁部１６を有し、梁部１６の端部付近には、ピエゾ抵抗素子２０３を備え、加速度センサ４００の角部付近にはストッパー溝２０１が設けられている。
  図７は、図５中の２０２領域のＳＩＭ写真である。支持部２４と梁部１６との境界付近に応力集中箇所２０４が存在する。
【００３２】
（実施例１）
〔実施例１の加速度センサの製造〕
 ・・・・・
 〔実施例１の加速度センサ〕
  上記のようにして製造した加速度センサの部分断面図のＳＩＭ写真を図８に示す。枠部１０、絶縁層１４、及び支持部２４により、第１凹部３０が形成されている。実施例１で製造した加速度センサは、前述した第１形態のセンサ構造を有する。
【００３３】
・・・・・
−破損加重−
  従来のエアブラウン衝撃試験機を用いて衝撃加重を測定した。結果を表１に示す。
【００３４】
（実施例２）
  前述の製造工程のウエットエッチング時におけるレジストパターン１１０を矩形の凹部が形成されるような形状に変更した以外、実施例１と同様にして加速度センサを製造し、評価を行った。結果を表１に示す。なお、実施例２で製造した加速度センサは、前述した第２形態のセンサ構造を有する。
・・・・・
【００３６】
（比較例）
　従来技術と同様の製造方法、ずなわち実施例１の製造工程において、第１工程から第４
工程を行い、第５工程を行わない製造方法により、加速度センサを製造し、評価を行った
。結果を表１に示す。
　【００３７】
　　【表１】
　【００３８】
　上記のように、本発明の実施例は、比較例に対して、耐衝撃性に優れる結果が得られた。」
　　
（２）当初明細書等に記載した事項
　上記記載ａないしｆ及び図面の記載から、当初明細書等には、センサ装置に関して次の事項が記載されていると認められる。
　
　ア　まず、当初明細書等の特許請求の範囲の記載（記載ａ）についてみると、センサ装置に係る発明が記載されている請求項は請求項１ないし４である。
　
（ア）請求項１
　そこで、請求項１の記載をみると、センサ装置について、
　「錘部と、前記錘部を囲うように配置された枠部と、
  前記枠部上に第１絶縁層を介して設けられた支持部と、
  前記錘部上に第２絶縁層を介して設けられた質量部と、
  前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、
  前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、
  前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁層の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部と、を有し」
とあるように、まずセンサ装置の基本構造が記載され、
　この記載に続き、第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さについて、
「 前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であることを特徴とするセンサ装置。」と記載されている。
　したがって、請求項１に係る発明は、センサ装置に係る発明であり、当該発明を特定するために必要な事項として、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という事項（以下、「第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項」ともいう。）が記載されている。
　
（イ）請求項２及び４
　請求項２及び４は、いずれも、請求項１を引用して記載した請求項であるから、請求項２及び４に係る発明は、センサ装置に係る発明であり、請求項１に係る発明と同様に、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という事項によって発明が特定されている。
　
（ウ）請求項３
　請求項３には、「前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、又は前記第２絶縁層の前記枠部側の側面に、前記梁部に対応するような位置に第３凹部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセンサ装置。」と記載されている。
　したがって、請求項３に係る発明は、センサ装置に係る発明であり、請求項１に係る発明と同様に、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という事項によって発明が特定され、それに加えて、「前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、又は前記第２絶縁層の前記枠部側の側面に、前記梁部に対応するような位置に第３凹部を有すること」という事項（以下、「第３凹部に関する特定事項」ともいう。）によって発明が特定されている。
　
　イ　次に、明細書の発明の詳細な説明及び図面の記載（記載ｂ〜ｆ）をみる。
　
（ア）【背景技術】、【発明が解決しようとする課題】の欄（記載ｂ）において、図１０に示す従来のセンサ装置は、支持部５０５の側面と絶縁層５０３の側面との間隔５１０が非常に狭く、急激な衝撃が加わる場合、支持部５０５と梁部５０７との境界部や、質量部５０６と梁部５０７との境界部に応力が集中し、衝撃により梁部５０７が破損しやすい問題があったこと、本発明は、当該問題点に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、良好な耐衝撃性を有し、小型化が可能なセンサ装置を提供することにあるということが記載されている。
　
（イ）続いて、【課題を解決する手段】の欄（記載ｃ）において、「本発明者は鋭意検討した結果、下記のセンサ装置、及びその製造方法を用いることにより、上記問題を解決できることを見出し、上記目的を達成するに至った。」とした上で、「請求項１に記載のセンサ装置は、・・・・前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上である、ことを特徴とする」とあるように、特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのセンサ装置が記載されるとともに、請求項１に記載のセンサ装置によると、「第１凹部の深さ、及び（当審注：「及び」は「又は」の誤記であると認められる。）第２凹部の深さが前記の範囲にあると、梁部は、支持部の枠部上面と対向する面、及び前記質量部の前記錘部上面と対向する面で支える構造を有し、応力を面で受けることになるため、耐衝撃性を向上させることができる」ということが記載されている。
　ここで、「前記の範囲」とは、上記「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項が示す範囲であることは明らかである。
　したがって、【課題を解決する手段】の欄には、課題を解決する手段として、特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのセンサ装置、すなわち、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を要件として備えるセンサ装置が記載され、当該特定事項が示す範囲を満たすことにより、耐衝撃性を向上させることができるということが記載されている。
　
（ウ）同じく、【課題を解決する手段】の欄（記載ｃ）において、「請求項３に記載のセンサ装置は、・・・・ことを特徴とする」とあるように、特許請求の範囲の請求項３に記載されたとおりのセンサ装置が記載されるとともに、当該請求項３に記載のセンサ装置によると、請求項１に記載の発明における効果に加え、前述した応力緩和作用を有する面の面積を、局所的に広くすることができるため、さらなる応力緩和作用を奏し、耐衝撃性を向上させることができるということが記載されている。
　したがって、【課題を解決する手段】の欄には、課題を解決する手段として、特許請求の範囲の請求項３に記載されたとおりのセンサ装置、すなわち、特許請求の範囲の請求項１に記載されたセンサ装置において、さらに第３凹部に関する特定事項を要件として備えるセンサ装置が記載されており、そのために、請求項１に記載の発明における効果に加え、さらなる応力緩和作用を奏し、耐衝撃性を向上させることができるということが記載されている。
　
（エ）そして、【発明の効果】の欄（記載ｄ）には、本発明によれば、良好な耐衝撃性を有し、小型化が可能なセンサ装置、及びその製造方法を提供することができるということが記載されている。
　
（オ）次に、【発明を実施するための最良の形態】の欄（記載ｅ）において、「この発明の実施の形態につき説明する」と前置きした上で、センサ装置の第１形態の構造として、「本発明におけるセンサ構造１００は、・・・・・及び第２絶縁層１８の枠部１０側の側面２２、により区画された第２凹部３２と、により構成される。」（段落【００１５】）とあるように、特許請求の範囲の請求項１に記載されたセンサ装置と同一の基本構造を有することが記載され、第１凹部３０の深さ、第２凹部３２の深さについても、「本発明におけるセンサ構造１００の第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり」（段落【００１７】）、「本発明におけるセンサ構造１００の第２凹部３２の深さ３５が、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり」（段落【００１７】）とあるように、第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項と同一の特定事項が記載されている。
　そして、「本発明におけるセンサ構造１００の第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以下であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下であることが特に好ましい。・・・・・第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、応力集中を緩和する作用を有する支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６、及び質量部２６の錘部１２の上面と対向する面４０の面積が小さく、十分に応力を緩和することができず、耐衝撃性が劣化する。」（段落【００１７】）、「本発明におけるセンサ構造１００の第２凹部３２の深さ３５が、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以下であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下であることが特に好ましい。・・・・・第２凹部３２の深さ３５が、枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、耐衝撃性が劣化し」（段落【００１７】）との記載からみて、第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さが、枠部の幅の３．３％以上であることという特定事項は、センサ装置において耐衝撃性を良好なものとするために必要不可欠な要件であり、当該要件を満たさないものは耐衝撃性が劣化するということが記載されているといえる。
　したがって、【発明を実施するための最良の形態】の欄には、特許請求の範囲の請求項１に記載されたセンサ装置に係る発明の実施の形態として第１形態が記載されており、当該第１形態は、第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項を要件として備えるものであり、当該要件はセンサ装置において耐衝撃性を良好なものとするために必要不可欠な要件であり、当該要件を満たさないものは耐衝撃性が劣化するということが記載されている。
　
（カ）同じく、【発明を実施するための最良の形態】の欄（記載ｅ）には、センサ装置の第２形態の構造として、「本発明におけるセンサ装置のより好ましい態様（第２形態）としては、図２に示すように、第１絶縁層１４の錘部１２側の側面２０、又は第２絶縁層１８の枠部１０側の側面２２に、梁部１６に対応するような位置に第３凹部７０を有する。」（段落【００１８】）とあるように、特許請求の範囲の請求項３に記載された第３凹部と同様の第３凹部を有するセンサ装置が記載されている。
　そして、上記「本発明におけるセンサ装置の
より
　したがって、上記第２形態は、特許請求の範囲の請求項１に記載されたセンサ装置に係る発明の実施の形態である第１形態において、さらに、特許請求の範囲の請求項３に記載された第３凹部と同様の第３凹部を設けたものであるから、特許請求の範囲の請求項３に記載されたセンサ装置に係る発明の実施の形態である。
　よって、【発明を実施するための最良の形態】の欄には、特許請求の範囲の請求項３に記載されたセンサ装置に係る発明の実施の形態として第２形態が記載されており、当該第２形態は、第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項及び第３凹部に関する特定事項を要件として備えるものである。
　
（キ）【実施例】の欄（記載ｆ）には、「本発明では、種々の用途のうち、加速度センサについて実施した」、「実施例１で製造した加速度センサは、前述した第１形態のセンサ構造を有する。」とあるように、第１形態についての実施例１、すなわち、特許請求の範囲の請求項１に記載されたセンサ装置に係る発明の実施例である実施例１が記載されている。
　さらに、「実施例２で製造した加速度センサは、前述した第２形態のセンサ構造を有する。」とあるように、第２形態についての実施例２、すなわち、特許請求の範囲の請求項３に記載されたセンサ装置に係る発明の実施例である実施例２が記載されている。
　
　そして、表１（段落【００３６】）には、実施例１、２及び従来技術の製造方法により製造した比較例のそれぞれについて、耐衝撃性に対する評価を行った結果が示されている。
　当該表１には、各実施例及び比較例のそれぞれに対して、「枠部の幅に対する凹部の深さ（％）」、「破損加重」の２項目が示されており、このうち、「破損加重」は衝撃試験を行った結果を表す項目であるから、各実施例及び比較例のセンサ装置の構造を規定する項目は「枠部の幅に対する凹部の深さ（％）」のみである。
　つまり、各実施例及び比較例において、「枠部の幅に対する凹部の深さ（％）」というセンサ装置の構造を規定する項目と、「破損加重」という衝撃試験を行った結果である耐衝撃性の程度を表す項目とを挙げて、それぞれ数値を示して対比させているのであるから、「枠部の幅に対する凹部の深さ（％）」が「破損加重」すなわち耐衝撃性の程度を決定づける重要なパラメータであることを示しているものといえる。
　
　そこで、各項目に記載された具体的な数値をみると、
　「枠部の幅に対する凹部の深さ（％）」について、実施例１は３．３％、実施例２は５．０％、比較例は１．６％である。
　すなわち、実施例１、２は「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項を備えるのに対し、比較例は備えていない。
　一方、「破損加重」については、実施例１が８０００Ｇ、実施例２が９０００Ｇであるのに対し、比較例は５０００Ｇである。
　そして、この表１の結果について、「本発明の実施例は、比較例に対して、耐衝撃性に優れる結果が得られた。」（段落【００３８】）と記載されている。
　
　以上の記載からみて、実施例１、２のセンサ装置は、それぞれ、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を備えるものであり、そのことにより耐衝撃性に優れたものであるということが示されているといえる。
　一方、従来技術の製造方法により製造した比較例は、上記特定事項を備えておらず、その結果、実施例１、２に比較して耐衝撃性に劣るということが示されているといえる。
　
　ウ　以上のことからみて、
　当初明細書等には、特許請求の範囲、発明の詳細な説明及び図面の記載全体を通じて、本発明に係るセンサ装置は、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を備えるものが首尾一貫して記載されており、良好な耐衝撃性を有するセンサ装置を提供するという本発明の目的を達成するためには当該特定事項を備えることが必要不可欠であり、そのことにより、耐衝撃性を向上させることができるという本発明の効果を奏するということが記載されている。
　
　これに対して、当該特定事項を備えないセンサ装置は、耐衝撃性に劣るものであり、良好な耐衝撃性を有するセンサ装置を提供するという本発明の目的を達成し得ないものであり、耐衝撃性を向上させることができるという本発明の効果も奏し得ないものであるから、本発明に係るセンサ装置であるとはいえない。
　また、本願の出願時の技術常識に照らしてみても、当該特定事項を備えないセンサ装置が実質的に開示されていたといえるような記載は当初明細書等には見当たらない。
　したがって、当該特定事項を備えないセンサ装置は、本発明に係るセンサ装置として当初明細書等に記載されていたとはいえない。
　
　なお、当初明細書等には、本発明に係るセンサ装置として、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を備え、さらに、「前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、又は前記第２絶縁層の前記枠部側の側面に、前記梁部に対応するような位置に第３凹部を有すること」という特定事項を備えるものも記載されている。
　
（３）補正２について
　ア　補正２は、上記「２　補正２の内容」において示したように、特許請求の範囲の請求項１について、次のとおりに補正することを含むものである。
　
　「【請求項１】
　錘部と、
　前記錘部を囲って形成された枠部と、
　前記枠部上に第１絶縁膜を介して設けられた支持部と、
　前記錘部上に第２絶縁膜を介して設けられた質量部と、
　前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、
　前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、
前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁膜の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部と、
　前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面に形成された第３凹部と、
　を有することを特徴とするセンサ装置。」
　
　イ　そこで、補正２による補正後の請求項１が、当初明細書等に記載された請求項のうちいずれの請求項に対応するのか、についてまず検討する。
　補正２による補正後の請求項１は、発明を特定するために必要な事項として、「前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面に形成された第３凹部」という特定事項を含むものである。
　当該特定事項における「前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面」とは、「錘部と、前記錘部を囲って形成された枠部と、前記枠部上に第１絶縁膜を介して設けられた支持部と、前記錘部上に第２絶縁膜を介して設けられた質量部と、前記支持部と前記質量部とを接続している梁部」という請求項１に記載したセンサ装置の構造からみて、支持部と質量部とを接続している梁部の接続方向上に位置する第１絶縁膜の錘部側の側面を意味している。
　このような箇所に位置する第１絶縁膜の錘部側の側面に形成された第３凹部に相当するものは、当初明細書等の記載によると、請求項３に記載された第３凹部である。
　このことは、補正２と同日付けで提出された平成２１年７月２７日付け意見書の「（２）補正の概要」の欄における出願人の「なお、補正前の第２凹部（
実施形態では第３凹部に相当
　そして、当初明細書等に記載された請求項のうち、第３凹部に関する特定事項を備える請求項は請求項３のみである。
　したがって、補正２による補正後の請求項１は、当初明細書等の請求項３に対応するものである。
　
　ウ　そこで、補正２による補正後の請求項１と、当初明細書等の請求項３とを対比すると、補正２による補正後の請求項１は、発明を特定するために必要な事項として、当初明細書等の請求項３に記載されていた「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項を備えないものとなっている。
　
　エ　しかしながら、上記「（２）」「ウ」において示したように、当初明細書等には、本発明に係るセンサ装置として、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を備えるものが、特許請求の範囲、発明の詳細な説明及び図面の記載全体を通じて首尾一貫して記載されていたのであり、当該特定事項を備えないセンサ装置は記載されてはいない。
　そうすると、補正２による補正後の請求項１には、当該特定事項を備えないセンサ装置、すなわち、当初明細書等には記載されていないセンサ装置が記載されているのであるから、補正２は、当初明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものであると言わざるを得ない。
　したがって、補正２は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではない。
　よって、補正２は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしておらず、同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　オ　そして、原審における補正の却下の決定の理由は、上記「１」において示したとおりであり、当審が「ア」ないし「エ」で説示した理由と同趣旨のものである。
　したがって、原審における補正の却下の決定は妥当である。
　
（４）請求人の主張について
　請求人は、平成２１年１１月１８日付け審判請求書において、原審における補正の却下の決定に対し、以下のような主張を行っている。
　
　（ｉ）原審において、当初明細書等には第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以上とすることしか記載されていなかったと認定した点について
　
　確かに当初明細書等の段落００１７に「第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であると」「十分に応力を緩和することができず、耐衝撃性が劣化する」との記載がある。 
 　しかしながら、これはあくまでも「第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以下である場合」には、同段落の好適例を指し示す記載である「第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以上であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下である場合」と比較して十分に応力を緩和することができない、という意味であって、当初明細書等の記載から直ちに、第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以下である場合には第１凹部を有していても一切耐衝撃性を向上させることができない、ということを記載したものではない。また、当初明細書等には、「第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以下である場合には第１凹部を有していても一切耐衝撃性を向上させることができない」との積極的な記載はしていない。 
　以上のことから、第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以上とすること「しか」記載されていなかったということはできない。
　
　（ｉｉ）原審において、当初明細書等には第１凹部の深さをいくらでも構わないとする広い思想が記載されていたわけではないと認定した点について
　
　第１凹部を有することで、センサ動作上、梁部が撓んだ際に梁部と支持部との境界付近に集中する応力を、第１凹部と支持部との接点だけでなく、支持部の、梁部の長手方向と垂直方向にも分散することができるという物理学上の特性から鑑みれば、本分野における出願当初の技術常識に照らして「第１凹部の深さをいくらでも構わないとする広い思想」が実質的に開示されていたものと解釈できることは明らかである。
　
　そこで、請求人の上記主張（ｉ）、（ｉｉ）について検討する。 
　
　主張（ｉ）について 　 
　段落【００１７】には、第１凹部３０の深さ３４に関して、次のように記載されている。
　
  「本発明におけるセンサ構造１００の第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以下であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下であることが特に好ましい。具体的には、枠部１０の幅５４が２９７μｍである場合、第１凹部３０の深さ３４は、１０μｍ以上であり、１０μｍ以上１５μｍ以下であることが好ましく、１１．８μｍ以上１５μｍ以下であることが特に好ましい。第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、応力集中を緩和する作用を有する支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６、及び質量部２６の錘部１２の上面と対向する面４０の面積が小さく、十分に応力を緩和することができず、耐衝撃性が劣化する。また、第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の５．０％以上であると、耐衝撃性は維持するものの、センサ装置の温度特性（特に低温度側）が劣化し、また、第１絶縁層１４の強度が劣化する。」
　
　上記記載をみると、「第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり」とした上で、「３．３％以上５．０％以下であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下であることが特に好ましい。」とし、ここで句点により文章を切った上で、「第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、応力集中を緩和する作用を有する支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６、及び質量部２６の錘部１２の上面と対向する面４０の面積が小さく、十分に応力を緩和することができず、耐衝撃性が劣化する。」と記載しているのであるから、このような記載の流れを踏まえれば、まず、第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であることが前提であって、その上で、３．３％以上５．０％以下、特に、４．０％以上５．０％以下であることが好ましく、逆に、上記前提に反する３．３％以下の場合には、耐衝撃性が劣化するということが記載されていると解することが上記記載の自然な解釈である。
　したがって、上記記載が、請求人の主張するごとく、『「第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以下である場合」には、好適例を指し示す記載である「第１凹部３０の深さ３４は、枠部１０の幅５４の３．３％以上であり、３．３％以上５．０％以上であることが好ましく、４．０％以上５．０％以下である場合」と比較して十分に応力を緩和することができない』という意味であると解することは、上記自然な解釈に反することであり、到底是認できることではない。
　
　また、上記記載において、「第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であると、応力集中を緩和する作用を有する支持部２４の枠部１０の上面と対向する面３６、及び質量部２６の錘部１２の上面と対向する面４０の面積が小さく、十分に応力を緩和することができず、耐衝撃性が劣化する。」と明記されているのであるから、第１凹部３０の深さ３４が枠部１０の幅５４の３．３％以下であるようなセンサ装置は、良好な耐衝撃性を有するセンサ装置を提供するという本発明の目的を達成し得ず、耐衝撃性を向上させることができるという本発明の効果も奏し得ないものである。
　したがって、たとえ、「第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以下である場合には第１凹部を有していても一切耐衝撃性を向上させることができない」との積極的な記載がなくとも、このように「第１凹部の深さが枠部の幅の３．３％以下である」センサ装置が本発明に係るセンサ装置から除外されていることは明らかである。
　
　よって、請求人の上記主張（ｉ）を採用することはできない。
　
　主張（ｉｉ）について
　当初明細書等に記載されたセンサ装置の構造に考察を重ねることにより、第１凹部を有することで、センサ動作上、梁部が撓んだ際に梁部と支持部との境界付近に集中する応力を、第１凹部と支持部との接点だけでなく、支持部の、梁部の長手方向と垂直方向にも分散することができるという物理学上の特性が認められることがあり得るとしても、そのような物理学上の特性自体が、そもそも当初明細書等には何ら記載されていないのであり、まして、当該物理学上の特性を根拠として、第１凹部の深さをいくらでも構わないとする広い思想までもが当初明細書等に実質的に記載されていたとすることはできない。
　
　むしろ、第１凹部の深さを枠部の幅の３．３％以上とすることは、当初明細書等の特許請求の範囲の請求項１ないし５において、すなわち、すべての請求項において、各請求項ごとに特許出願人が発明を特定するために必要と認める事項として明記していたのであり、しかも、発明の詳細な説明及び図面においても、首尾一貫して、そのような特定事項を要件として備えたセンサ装置が記載されていたのであるから、第１凹部の深さをいくらでも構わないとする広い思想が当初明細書等に実質的に記載されていたと認めることはできない。
　
　また、以下にその理由を示すように、当初明細書等において従来のセンサとして記載されていたものとの関連からみても、本発明に係るセンサにおいて、第１凹部の深さをいくらにしても構わないとする広い思想が当初明細書等に実質的に記載されていたとすることはできない。
　すなわち、当初明細書等の発明の詳細な説明の【発明が解決しようとする課題】の欄（段落【０００４】）には、図１０に示された従来のセンサについて次のように記載されている。
　
　「最終的に製造されたものについて、偶発的に支持部５０５、及び質量部５０６の底面端部がわずかにエッチングされている。このわずかにエッチングされた部分である、支持部５０５の側面と絶縁層５０３の側面との間隔５１０が非常に狭く、梁部５０７を絶縁層５０３の上面端部の辺、及び絶縁層５０４の上面端部の辺で支えているのと同様であり、急激な衝撃が加わる場合、支持部５０５と梁部５０７との境界部や、質量部５０６と梁部５０７との境界部に応力が集中し、衝撃により梁部５０７が破損すやすい問題があった。」
　
　上記記載における「このわずかにエッチングされた部分である、支持部５０５の側面と絶縁層５０３の側面との間隔５１０」とは、図１０の記載等からみて、本発明に係るセンサ装置の第１凹部の深さに相当するものであるから、上記記載は、従来のセンサにおいても、偶発的にわずかにエッチングされた部分ではあるものの、第１凹部に相当するものがあったということを示している。
　そして、この第１凹部の深さに相当する間隔５１０については、上記のように「間隔５１０が非常に狭く、梁部５０７を絶縁層５０３の上面端部の辺、及び絶縁層５０４の上面端部の辺で支えているのと同様であり、急激な衝撃が加わる場合、支持部５０５と梁部５０７との境界部や、質量部５０６と梁部５０７との境界部に応力が集中し、衝撃により梁部５０７が破損すやすい問題があった。」として、間隔５１０が非常に狭いことにより衝撃による破損が生じやすいという問題点が指摘されている。
　このような従来のセンサの問題点を踏まえた上で、【課題を解決する手段】の欄（段落【０００８】）において、「請求項１に記載のセンサ装置は、・・・・・前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上である、ことを特徴とする。」とし、「第１凹部の深さ、及び第２凹部の深さが前記の範囲にあると、梁部は、支持部の枠部上面と対向する面、及び前記質量部の前記錘部上面と対向する面で支える構造を有し、応力を面で受けることになるため、耐衝撃性を向上させることができる。」と記載されている。
　
　このような記載の流れからみて、第１凹部の深さについては、従来のセンサのように、偶発的にわずかにエッチングされて形成される程度では不十分であり、枠部の幅の３．３％以上であることが耐衝撃性を向上させるために必要であるということが記載されているものと認められる。
　したがって、本発明に係るセンサにおいて、第１凹部の深さをいくらにしても構わないとする広い思想が当初明細書等に実質的に記載されていたとすることはできない。
　
　以上のとおりであるから、請求人の主張（ｉｉ）を採用することはできない。
　
（５）小括
　以上のとおり、原審における補正の却下の決定は妥当である。
　
第３　拒絶査定時の明細書、特許請求の範囲又は図面
　上記「第２」のとおり、補正２を却下した原審の補正の却下の決定は維持すべきものであるから、最後の拒絶理由通知に係る特許法第５０条の規定により指定された期間内には、補正２と同日付けの意見書のみが提出されたことになり、拒絶査定時の明細書、特許請求の範囲又は図面は、平成２１年４月２０付けの手続補正（補正１）により補正された明細書、特許請求の範囲又は図面（以下、「本願明細書等」という。）となる。
　
第４　原査定の理由
　原査定の理由である最後の拒絶理由通知により通知された拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。
　
　平成２１年４月２０日付けでした手続補正は、下記の点で願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものでないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
・・・・・
　補正後の本願請求項１発明は、質量部側に第２凹部を有するか否かを問わず、さらに、凹部の深さはいくらでも構わないものとなった。
・・・・・
　そこで、本願の願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書及び図面をみると、
・・・・・
と記載されていた。
　そうすると、本願の願書に最初に添付した特許請求の範囲、明細書には、第３凹部（補正後の第２凹部）については、第１凹部、第２凹部を有し、その深さを、枠部の幅の３．３％以上とすることを前提として、さらに、第３の凹部としてさらに深い部分を設けたことによって、さらなる応力の緩和作用が発生するものとして記載されていたということができる。
　
　一方、補正後の本願請求項１は、質量部側に第２凹部を有さないものを明らかに含み、さらに、凹部の深さはいくらでも構わないものであるものの、第３凹部（補正後の第２凹部）について、第２凹部や凹部の深さとは無関係にそれを設ける思想が、もともと記載されていたということはできない。
　また、願書に最初に添付した特許請求の範囲には、第３凹部は出願当初より、第１凹部、第２凹部を有し、その深さを、枠部の幅の３．３％以上とする請求項１を引用する形式で記載されていたのであって、第３凹部（補正後の第２凹部）について、第２の凹部や凹部の深さとは無関係にそれを設ける広い思想が、もともと記載されていたということもできない。
　してみれば、上記手続補正は、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものということができない。
　
第５　補正１の内容
　補正１は、特許請求の範囲の請求項１について次のとおりに補正することを含むものである。
　
　「【請求項１】
　錘部と、
　前記錘部を囲って形成された枠部と、
　前記枠部上に第１絶縁膜を介して設けられた支持部と、
　前記錘部上に第２絶縁膜を介して設けられた質量部と、
　前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、
　前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、
　前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面に形成された第２凹部と、
　を有することを特徴とするセンサ装置。」
　
第６　当審の判断
１　当初明細書等の記載
　当初明細書等には、上記「第２」「３」「（１）当初明細書等の記載」に示したとおりの記載ａないしｆが図面とともに記載されている。
　
２　当初明細書等に記載した事項
　上記記載ａないしｆ及び図面の記載から、当初明細書等には、センサ装置に関して、上記「第２」「３」「（２）当初明細書等に記載した事項」の「ア」、「イ」に示したとおりの事項が記載されるとともに、これら「ア」、「イ」を踏まえると、同「ウ」に示したとおりの事項が記載されていると認められる。
　以下に、上記「ウ」を再掲する。
　
　ウ　以上のことからみて、
　当初明細書等には、特許請求の範囲、発明の詳細な説明及び図面の記載全体を通じて、本発明に係るセンサ装置は、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を備えるものが首尾一貫して記載されており、良好な耐衝撃性を有するセンサ装置を提供するという本発明の目的を達成するためには当該特定事項を備えることが必要不可欠であり、そのことにより、耐衝撃性を向上させることができるという本発明の効果を奏するということが記載されている。
　
　これに対して、当該特定事項を備えないセンサ装置は、耐衝撃性に劣るものであり、良好な耐衝撃性を有するセンサ装置を提供するという本発明の目的を達成し得ないものであり、耐衝撃性を向上させることができるという本発明の効果も奏し得ないものであるから、本発明に係るセンサ装置であるとはいえない。
　また、本願の出願時の技術常識に照らしてみても、当該特定事項を備えないセンサ装置が実質的に開示されていたといえるような記載は当初明細書等には見当たらない。
　したがって、当該特定事項を備えないセンサ装置は、本発明に係るセンサ装置として当初明細書等に記載されていたとはいえない。
　
　なお、当初明細書等には、本発明に係るセンサ装置として、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という特定事項を備え、さらに、「前記第１絶縁層の前記錘部側の側面、又は前記第２絶縁層の前記枠部側の側面に、前記梁部に対応するような位置に第３凹部を有すること」という特定事項を備えるものも記載されている。
　
３　補正１について
（１）補正１は、上記「第５」において示したように、特許請求の範囲の請求項１について、次のとおりに補正することを含むものである。
　
　「【請求項１】
　錘部と、
　前記錘部を囲って形成された枠部と、
　前記枠部上に第１絶縁膜を介して設けられた支持部と、
　前記錘部上に第２絶縁膜を介して設けられた質量部と、
　前記支持部と前記質量部とを接続している梁部と、
　前記支持部の前記枠部上面と対向する面、前記枠部の前記支持部底面と対向する面、及び前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面、により区画された第１凹部と、
　前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面に形成された第２凹部と、
　を有することを特徴とするセンサ装置。」
　
（２）そこで、補正１による補正後の請求項１が、当初明細書等に記載された請求項のうちいずれの請求項に対応するのか、についてまず検討する。
　補正１による補正後の請求項１は、発明を特定するために必要な事項として、「前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面に形成された第２凹部」という特定事項を含むものである。
　当該特定事項における「前記梁部の前記支持部と前記質量部との接続方向上に位置する前記第１絶縁膜の前記錘部側の側面」とは、「錘部と、前記錘部を囲って形成された枠部と、前記枠部上に第１絶縁膜を介して設けられた支持部と、前記錘部上に第２絶縁膜を介して設けられた質量部と、前記支持部と前記質量部とを接続している梁部」というセンサ装置の構造からみて、支持部と質量部とを接続している梁部の接続方向上に位置する第１絶縁膜の錘部側の側面を意味している。
　このような箇所に位置する第１絶縁膜の錘部側の側面に形成された第２凹部に相当するものは、当初明細書等の記載によると、請求項３に記載された第３凹部である。
　このことは、補正１と同日付けで提出された平成２１年４月２０日付け意見書の「（２）補正の概要」の欄における出願人の「上記請求項１に係る発明の補正は、第２凹部が「梁部の支持部と質量部との接続方向に位置する第１絶縁膜の錘部側の側面に形成されたもの」であることを特定した補正であります。本補正は、本願段落００１８の記載、及び図２の開示から、枠部と支持部との間に介在した第１絶縁膜の錘部側の側面に、第１凹部が形成されていると共に
第２凹部（実施形態では第３凹部に相当します）
　そして、当初明細書等に記載された請求項のうち、第３凹部に関する特定事項を備える請求項は請求項３のみである。
　したがって、補正１による補正後の請求項１は、当初明細書等の請求項３に対応するものである。
　
（３）そこで、補正１による補正後の請求項１と、当初明細書等の請求項３とを対比すると、補正１による補正後の請求項１は、発明を特定するために必要な事項として、当初明細書等の請求項３に記載されていた「前記質量部の前記錘部上面と対向する面、前記錘部の前記質量部底面と対向する面、及び前記第２絶縁層の前記枠部側の側面、により区画された第２凹部」という特定事項（以下、「第２凹部に関する特定事項」という。）を備えておらず、さらに、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項も備えていない。
　
（４）この２つの特定事項を備えないセンサ装置が、当初明細書等に記載されていたか否かを検討する。
　まず、第２凹部に関する特定事項に関して、当初明細書等の記載をみると、当初明細書等には、特許請求の範囲、発明の詳細な説明及び図面の記載全体を通じて、本発明に係るセンサ装置として、第２凹部に関する特定事項を備えるものが首尾一貫して記載されており、当該特定事項を備えないセンサ装置が記載されていないことは明らかである。
　次に、第１凹部の深さ、又は第２凹部の深さに関する特定事項に関して、当初明細書等の記載をみると、上記「２」において「第２」「３」「（２）当初明細書等に記載した事項」の「ウ」を再掲して示したように、当初明細書等には、本発明に係るセンサ装置として、「前記第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さが、前記枠部の幅の３．３％以上であること」という第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さに関する特定事項を備えたものが、特許請求の範囲、発明の詳細な説明及び図面の記載全体を通じて首尾一貫して記載されていたのであり、当該特定事項を備えないセンサ装置は記載されてはいない。
　そうすると、補正１による補正後の請求項１には、第２凹部に関する特定事項を備えておらず、さらに、第１凹部の深さ、又は前記第２凹部の深さに関する特定事項も備えていないセンサ装置、すなわち、当初明細書等には記載されていないセンサ装置が記載されているのであるから、補正１は、当初明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものであると言わざるを得ない。
　したがって、補正１は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものではない。
　よって、補正１は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。
　
（５）一方、原査定の理由は、上記「第４」において示したとおりであり、当審が（１）ないし（４）で説示した理由と同趣旨のものである。
　したがって、原査定の理由は妥当である。
　
第７　むすび
　以上のとおり、本願は、補正１が特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていないから、拒絶すべきものである。また、原査定の理由も妥当である
　よって結論のとおり審決する。