【手続補正書】
【提出日】平成23年1月26日(2011.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を保持するように構成された収縮可能ライナと、
前記ライナの内側面に沿って配設された、少なくとも１つの流体流路を画成するフィルムを備える、少なくとも１つの閉塞防止要素と
を備える、加圧式配給パッケージ。
【請求項２】
浸漬チューブを有さない、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項３】
前記ライナよりも実質的に剛なる材料から形成され、前記ライナが中に配設されるオーバーパックコンテナをさらに備える、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項４】
圧縮ガス供給源から圧縮ガスを受け、前記オーバーパックコンテナと前記ライナとの間のスペースに圧縮ガスを供給するように構成された、ガス入口ポートを備える、請求項３に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項５】
前記ライナは、開口画成据付部を備え、前記オーバーパックコンテナは、開口を画成し、前記据付部は、開口に位置合わせされた状態で前記オーバーパックコンテナに結合されるように構成される、請求項３に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項６】
前記少なくとも１つの閉塞防止要素は、前記ライナ内に懸吊され、前記ライナ内に少なくとも１つの流体流路を形成するように構成された、少なくとも１つのチャネル画成要素であって、前記ライナ内に任意に存在する浸漬チューブまたは配給プローブとは異なるチャネル画成要素をさらに備える、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項７】
前記少なくとも１つのチャネル画成要素は、複数のフランジを備え、前記複数のフランジは、前記ライナの下方部分から前記ライナの上方部分に複数の流体流路を形成するように構成される、請求項６に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項８】
前記ライナは、開口所有据付部を備え、前記少なくとも１つの閉塞防止要素は、前記少なくとも１つの閉塞防止要素は、（ａ）前記ライナ内に配設された穿孔フランジ、および（ｂ）前記開口所有取付部を貫通して延在するサポート要素により前記ライナ内に懸吊されたチャネル画成要素の少なくとも一方をさらに備え、いずれのチャネル画成要素も、前記ライナ内に任意に存在する浸漬チューブまたは配給プローブとも異なる、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項９】
前記ライナは、開口所有据付部を備え、前記少なくとも１つのチャネル画成要素は、前記開口所有据付部を貫通して延在する、または前記開口所有据付部を介して挿入される、請求項６に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの閉塞防止要素は、
（ａ）前記ライナ内に配設された複数の穿孔フランジおよび複数のチャネル画成フランジのいずれか、
（ｂ）前記ライナに結合され、前記ライナの中間部分に沿って配置された、半径方向補強要素、
（ｃ）前記ライナの側壁部内に配設され、前記側壁部に結合された、中空内部サポートであって、前記ライナの下方部分中に配設された第１の穴を有し、前記ライナの上方部分中に配設された第２の穴を有する、中空内部サポート、
（ｄ）前記ライナに結合された少なくとも１つの第１の磁性材料または磁性的相互作用材料であって、前記ライナを囲むオーバーパックコンテナに結合された対応する少なくとも１つの第２の磁性材料または磁性的相互作用材料と相互作用するように構成された、少なくとも１つの第１の磁性材料または磁性的相互作用材料、および
（ｅ）前記ライナの第１のパネルであって、この第１のパネルに外縁部で接合された前記ライナの第２のパネルとは異なる収縮特性を有する、第１のパネル
の特徴のうち少なくとも１つをさらに備える、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの流体流路は、エンボス加工によって形成される、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項１２】
フォトレジスト、エッチャント、化学気相蒸着用試薬、溶剤、ウェーハまたはツールの洗浄用調合物、および化学機械研磨用組成物からなる群から選択される液体または液体含有組成物を含む、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項１３】
医用品、医薬品、建築材料、建設材料、食料品、飲料製品、化石燃料、石油、および農薬からなる群から選択される液体材料または液体含有材料を含む、請求項１に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項１４】
流体使用プロセスツールと供給関係において連結される、請求項１から１３のいずれか一項に記載の加圧式配給パッケージ。
【請求項１５】
請求項１から１３のいずれか一項に記載の前記加圧式配給パッケージから液体を受けるように連結されたマイクロ電子デバイス加工ツールを備える、マイクロ電子デバイス製造設備。
【請求項１６】
収縮可能ライナがオーバーパックコンテナ内に配設される際に、流体の加圧式配給のために構成された前記収縮可能ライナの閉塞遮断を防止するための方法であって、
前記ライナに対して少なくとも１つの閉塞防止要素を追加するステップであって、前記少なくとも１つの閉塞防止要素が、前記ライナの内側面に沿って配設された、少なくとも１つの流体流路を画成するフィルムを備える、ステップと、
オーバーパックコンテナ内に前記ライナを挿入するステップであって、前記オーバーパックコンテナは、前記ライナよりも実質的に剛なる材料を備える、ステップと
を含む、方法。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの閉塞防止要素は、前記ライナ内に懸吊され、前記ライナ内に少なくとも１つの流体流路を形成するように構成された、少なくとも１つのチャネル画成要素であって、前記ライナ内に任意に存在する浸漬チューブまたは配給プローブとは異なる少なくとも１つのチャネル画成要素をさらに備える、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの閉塞防止要素は、
（ａ）前記ライナ内に配設された少なくとも１つの穿孔フランジ、
（ｂ）前記ライナに結合され、前記ライナの中間部分に沿って配置された、半径方向補強要素、
（ｃ）前記ライナの側壁部内に配設され、前記側壁部に動作可能に結合された、中空内部サポートであって、前記ライナの下方部分中に配設された第１の穴を有し、前記ライナの上方部分中に配設された第２の穴を有する、中空内部サポート、
（ｄ）前記ライナに結合された少なくとも１つの第１の磁性材料または磁性的相互作用材料であって、前記ライナを囲むオーバーパックコンテナに結合された対応する少なくとも１つの第２の磁性材料または磁性的相互作用材料と相互作用するように構成された、少なくとも１つの第１の磁性材料または磁性的相互作用材料、および
（ｅ）前記ライナの第１のパネルであって、この第１のパネルに外縁部で接合された前記ライナの第２のパネルとは異なる収縮特性を有する、第１のパネル、
の（ａ）〜（ｅ）の要素のうち少なくとも１つをさらに備える、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記ライナから流体を配給するために前記ライナと前記オーバーパックコンテナとの間のスペースを加圧するステップと、前記流体配給の際にライナの閉塞遮断を防ぐために前記閉塞防止要素を使用するステップとをさらに含む、請求項１６から１８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２０】
前記流体は、フォトレジスト、エッチャント、化学気相蒸着用試薬、溶剤、ウェーハまたはツールの洗浄用調合物、および化学機械研磨用組成物からなる群から選択され、前記配給は、マイクロ電子デバイス加工ツールに前記流体を供給することを含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記流体は、医用品、医薬品、建築材料、建設材料、食料品、飲料製品、化石燃料、石油、および農薬からなる群から選択される液体材料または液体含有材料を含む、請求項１９に記載の方法。