(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形チューブ状のポンプ吸引作業ユニット（４９）と；
シリンダ状のポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）と；
制御部（２００）と；
駆動装置（１００）と；
を備える、真空グレージングを製造するための真空ポンプ吸引装置であって、
前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）及び前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）が、同じ中心軸（Ｚ）を共有し、前記作業ユニット（４９）が外側にあり且つ前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）が内側にあるシリンダを形成し、且つ前記中心軸（Ｚ）に沿って相対的に動くことが可能であり、
ポンプ吸引チャネル（２２）が、チューブ壁の内面に接続される前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）のチューブ壁内に形成され、加熱ユニット（５４）が、前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）の内部の上部に設けられ、
前記駆動装置（１００）を通じて、前記制御部（２００）が、前記中心軸（Ｚ）に沿って相対的に動かすために前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）及び前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）を時間的に連続して制御し、事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行するために前記ポンプ吸引チャネル（２２）を制御し、且つポンプ吸出孔シール作業を実行するためにシールシート（５３）を加熱するように前記加熱ユニット（５４）を制御することを特徴とする真空ポンプ吸引装置。
【請求項２】
前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）の上部に設けられた弾性を有する耐熱シールリング（４８）と、
前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）の前記チューブ壁内に形成された冷却システム（２１，５８，５９）と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ吸引装置。
【請求項３】
前記駆動装置が、
前記中心軸（Ｚ）に沿って相対的に動かすために前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）及び前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）を駆動するための上昇駆動装置（１０１）と；
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業または前記真空ポンプ吸引作業を実行するために前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）の前記ポンプ吸引チャネルを制御するための事前プレス／真空ポンプ吸引駆動装置（１０２）と；
前記シールシートを加熱するために前記加熱ユニット（５４）を制御するための加熱駆動装置（１０３）と；
前記冷却システム（２１，５８，５９）内で循環的に流すために冷却液体を推進するための冷却駆動装置（１０４）と；
を備えることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ吸引装置。
【請求項４】
前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）が、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）及び真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）を含み、
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）及び前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）が、前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）と同じ中心軸（Ｚ）を有し、且つ前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）が外側にあり且つ前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）が内側にある円形チューブを形成し、
前記事前ポンプ吸引／事前プレス及び前記真空ポンプ吸引作業をそれぞれ実行するためのポンプ吸引チャネル（２２１，２２２）が、前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）及び前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）のそれぞれのチューブ壁内に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ吸引装置。
【請求項５】
前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）の上部に設けられた弾性を有する耐熱シールリング（４８）と、
前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）の前記チューブ壁内に形成された冷却システム（２１，５８，５９）と、
をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ吸引装置。
【請求項６】
前記駆動装置（１００）が、
前記中心軸（Ｚ）に沿って相対的に動かすために前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）、前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）及び前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）を駆動するための上昇駆動装置（１０１）と；
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び前記真空ポンプ吸引作業それぞれを実行するために、前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）の前記ポンプ吸引チャネル（２２１）と前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）の前記ポンプ吸引チャネル（２２２）とを制御するための事前プレス／真空ポンプ吸引駆動装置（１０２）と；
前記シールシート（５３）を加熱するために前記加熱ユニット（５４）を制御するための加熱駆動装置（１０３）と；
前記冷却システム（２１，５８，５９）内で循環的に流すために冷却液体を推進するための冷却駆動装置（１０４）と；
を備えることを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプ吸引装置。
【請求項７】
請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ吸引装置を使用して真空グレージングを製造することにおいて、事前ポンプ吸引／事前プレス作業、真空ポンプ吸引作業及びポンプ吸出孔シール作業を実行する方法であって、
前記方法は、
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業または前記真空ポンプ吸引作業を実行するときに、
前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）が、処理される前記真空グレージングの下面（４）上に位置付けられ且つポンプ吸出孔（４１）の中心と整列されるように、前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）を前記中心軸（Ｚ）に沿って動かし、それにより、前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）と前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）との相対運動によって形成されるキャビティ（Ｒ）を、前記ポンプ吸出孔（４１）を介して前記処理される真空グレージングのキャビティ層（２）に接続させ、且つ前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）の前記ポンプ吸引チャネル（２２）を前記キャビティ（Ｒ）に接続させるステップと；
前記ポンプ吸引作業ユニット（４９）の前記ポンプ吸引チャネル（２２）を通じて、前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業または前記真空ポンプ吸引作業を実行するステップと；
前記ポンプ吸出孔シール作業を実行するときに、
シールシート（５３）とともにシールはんだ（５１）が前記ポンプ吸出孔（４１）上に設置されるように、前記ポンプ吸出孔シールユニット（５７）を前記中心軸（Ｚ）に沿って動かすステップと；
前記シールはんだ（５１）を融解させるために前記シールシート（５３）を加熱するように前記加熱ユニット（５４）を制御し、それにより、前記ポンプ吸出孔（４１）をシールするステップと；
を含むことを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項４から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ吸引装置を使用して真空グレージングを製造することにおいて、事前ポンプ吸引／事前プレス作業、真空ポンプ吸引作業及びポンプ吸出孔シール作業を実行する方法であって、
前記方法は、
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業を実行するときに、
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）が、処理される前記真空グレージングの下面（４）上に位置付けられ且つポンプ吸出孔（４１）の中心と整列されるように、前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）を前記中心軸（Ｚ）に沿って動かし、それにより、前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）と前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）との相対運動によって形成されるキャビティを、前記ポンプ吸出孔（４１）を介して前記処理される真空グレージングのキャビティ層（２）に接続させ、且つ前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）の前記ポンプ吸引チャネル（２２１）を前記キャビティに接続させるステップと；
前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット（４９１）の前記ポンプ吸引チャネル（２２１）を通じて前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業を実行するステップと；
前記真空ポンプ吸引作業を実行するときに、
前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）が、前記処理される真空グレージングの前記下面（４）上に位置付けられ且つ前記ポンプ吸出孔（４１）の中心と整列されるように、前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）を前記中心軸（Ｚ）に沿って動かし、それにより、前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）と前記ポンプ吸出孔シール作業ユニット（５７）との相対運動によって形成されるキャビティを、前記ポンプ吸出孔（４１）を介して前記処理される真空グレージングの前記キャビティ層（２）に接続させ、且つ前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）の前記ポンプ吸引チャネル（２２２）を前記キャビティに接続させるステップと；
前記真空ポンプ吸引作業ユニット（４９２）の前記ポンプ吸引チャネル（２２２）を通じて前記真空ポンプ吸引作業を実行するステップと；
前記ポンプ吸出孔シール作業を実行するときに、
シールシート（５３）とともにシールはんだ（５１）が前記ポンプ吸出孔（４１）上に設置されるように、前記ポンプ吸出孔シールユニット（５７）を前記中心軸（Ｚ）に沿って動かすステップと；
前記シールはんだ（５１）を融解させるために前記シールシート（５３）を加熱するように前記加熱ユニット（５４）を制御し、それにより、前記ポンプ吸出孔（４１）をシールするステップと；
を含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
真空グレージング製造システムであって、前記システムが、請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ吸引装置を使用して、請求項７に記載の方法により真空グレージングを製造することにおける前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業、前記真空ポンプ吸引作業及び前記ポンプ吸出孔シール作業を実行することを特徴とするシステム。
【請求項１０】
真空グレージング製造システムであって、前記システムが、請求項４から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ吸引装置を使用して、請求項８に記載の方法により真空グレージングを製造することにおける前記事前ポンプ吸引／事前プレス作業、前記真空ポンプ吸引作業及び前記ポンプ吸出孔シール作業を実行することを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空グレージング製造システム、特に、真空グレージングの連続的な自動生産ラインで使用される真空ポンプ吸引システム、このポンプ吸引システムを使用する真空グレージング製造システム及び関連する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示されるように、真空グレージングの基本構造の例が図示されている。具体的に、高さｈを有する間隙が、上部ガラスシート５と下部ガラスシート４との間に、これらの間に配置されたピラー３により形成されている。ガラスはんだ１を用いることによって上部ガラスシート５及び下部ガラスシート４の縁部をシールすると、ガラスはんだ１、上部ガラスシート５及び下部ガラスシート４が、協働してキャビティ層２（すなわち達成される真空層）を形成する。ポンプ吸出孔４１を介してキャビティ層２の内部から空気をポンプ吸出すると、真空層が形成される。その後、シールシート５３が、（例えば、シールはんだ５１を焼結または溶着することによりシールシート５３及び下部ガラスシート４を一体に結合することを通じて）ポンプ吸出孔４１をシールするために使用される。好ましいが非制限的な例として、低放射(Low-E)フィルム８が、上部ガラスシート５及び下部ガラスシート４の少なくとも一方（例えば下部ガラスシート４）の内面上に取り付けられ、密閉ゲッター４０がポンプ吸出孔４１内に設置されている。
【０００３】
上述した構造的特性に加え、真空グレージングの物理的な真空特性を達成することは、縁部のシールの完全性、完全な真空ポンプ吸引及び信頼性のある吸出孔のシールに主に依存する。結果として、複数の技術が、真空グレージングを製造するための製造システム／生産ラインにおいて開発されて使用されてきた。例えば、
特許文献１：連続的な真空グレージングの縁部のシール炉
特許文献２：真空グレージングを製造するための方法及び装置
特許文献３：連続的な溶着シール及び真空ポンプ吸引するグレージング処理設備
特許文献４：真空グレージングの連続的な生産方法及び設備
特許文献５：真空グレージングの連続的な生産設備
特許文献６：真空グレージング、その製造方法及びシステム
【０００４】
上述されたすべての文献の開示は、その全体を参照することによって本明細書に組み込まれ、真空グレージング製造システムにおいて連続的／非連続的な真空炉を使用することによる真空グレージングのポンプ吸引及びシールの本出願よりも前の既存の背景技術として機能する。
【０００５】
上述した文献は、いくつかの有利な技術を開示しているが、現実の実施では、解決されるべきさまざまな技術的課題がいまだにある。例えば、連続的な真空炉が真空環境内において迅速且つ一様な加熱及び冷却を達成することは困難である。製造システムにおけるそれぞれの部分の装置が互いに関連するので、ある部分の故障は、生産ライン全体の不具合につながり、そのメンテナンスは、複雑である。結果として、製造システムは、全体として比較的不十分な調整及び低い安定性を有し、それにより、製品のコストを増大させる。さらに、製造システムは、ポンプ吸引及びシール設備と真空グレージングのポンプ吸出孔の構造との双方を設計段階中に考慮しなければならず、それにより、比較的複雑なプロセスをもたらし、実際の“連続的な”生産さえも達成させることができない。
【０００６】
具体的に、上記の特許文献４、５及び６は、事前ポンプ吸引、縁部のシール、真空ポンプ吸引及びポンプ吸出孔シールのプロセスが、真空特性に関する処理段階から異なる処理段階で実行される例として挙げられている。これら異なる処理段階で異なる環境温度が必要とされるので、１つの処理段階から他の処理段階への推移中に加熱または冷却プロセスを実行するために相当な長い時間待たなければならない。さらに、異なる処理段階で使用されるポンプ吸引装置、真空ポンプ吸引装置及び孔シール装置は、交互に稼働され、技術的に困難であり且つ時間のかかる対応するプロセスが、対応する装置をポンプ吸出孔とそれぞれ整列させるために必要とされる。従って、上述した背景技術ではいわゆる“連続的な”処理に関して、要求は、時間及び／または空間に問わず達成されることが困難である。
【０００７】
より具体的に、既存の技術（例えば、本発明の背景として機能する特許文献７の明細書の図４及び対応する段落［００３５］を参照）によれば、処理炉のチャンバは、真空グレージングの縁部のシール処理段階中に加熱される必要があり、チャンバ内にグレージングの全体積が収容される。しかしながら、事前ポンプ吸引、真空ポンプ吸引及び孔のシールは、ポンプ吸出孔及びその隣り合う範囲のみに関連し、従って、処理されるグレージングの全体積に実行される全体的な加熱／冷却作業及びグレージングの全体積を収容する処理炉のチャンバ全体に実行される真空ポンプ吸引作業は、時間及びエネルギー源の浪費である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】中国特許出願公開第１０１２３４８４７号明細書
【特許文献２】中国特許出願公開第１２８６６７０号明細書
【特許文献３】中国登録実用新案第２０１０７１３４１号明細書
【特許文献４】中国特許出願公開第１０１３４８３２６号明細書
【特許文献５】中国特許出願公開第１０２０３０４６４号明細書
【特許文献６】韓国特許出願公開第１０−２０１２−０００９７８８号明細書
【特許文献７】中国特許出願公開第１０２０３０４５４号明細書
【特許文献８】中国登録実用新案第２０１４７３４５５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、既存の技術における上記の欠点を克服することを目的とし、真空グレージングの連続的な自動生産ラインにおいて使用される真空ポンプ吸引装置、これを使用する真空製造システム及び関連する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
具体的に、上記の目的を達成するために、本発明の一側面によれば、本発明は、ポンプ吸引作業の機能及びポンプ吸出孔シール機能双方を統合した真空ポンプ吸引装置であって、円形チューブ状のポンプ吸引作業ユニットと；シリンダ状のポンプ吸出孔シール作業ユニットと；制御部と；駆動装置と；を含む、真空ポンプ吸引装置を提供する。本装置では、ポンプ吸引作業ユニット及びポンプ吸出孔シール作業ユニットは、同じ中心軸を有し、且つポンプ吸引作業ユニットが外側にあり且つポンプ吸出孔シール作業ユニットが内側にあるシリンダを形成し、中心軸に沿ってユニットの双方が相対的に動くことができる。ポンプ吸引チャネルが、チューブ壁の内面に接続されるポンプ吸引作業ユニットのチューブ壁内に形成され、加熱ユニットが、ポンプ吸出孔シール作業ユニットの内部の上部に配置されている。駆動装置を通じて、制御部が、中心軸に沿って相対的に動かすためにポンプ吸引作業ユニット及びポンプ吸出孔シール作業ユニットを時間的に連続して制御し、事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行するためにポンプ吸引チャネルを制御し、且つポンプ吸出孔シール作業を実行するためにシールシートを加熱するように加熱ユニットを制御する。
【００１１】
本発明の上述した実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行するときに、ポンプ吸引作業ユニットが、処理される真空グレージングの下面上に位置付けられ且つポンプ吸出孔の中心と整列されるように中心軸に沿って動かされ、それにより、ポンプ吸引作業ユニットとポンプ吸出孔シール作業ユニットとの相対運動によって形成されるキャビティを、ポンプ吸出孔を介して処理される真空グレージングのキャビティ層に接続させ、且つポンプ吸引作業ユニットのポンプ吸引チャネルをキャビティに接続させる。ポンプ吸引作業ユニットのポンプ吸引チャネルを通じて、事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業が実行される。さらに、真空ポンプ吸引作業を完了した後にポンプ吸出孔シール作業を実行するときに、シールシートとともにシールはんだがポンプ吸出孔上に設置されるように、中心軸に沿ってポンプ吸出孔シール作業ユニットが動かされる。加熱ユニットが、シールはんだを融解させるためにシールシートを加熱するように制御され、それにより、ポンプ吸出孔をシールする。
【００１２】
本発明の別の実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、ポンプ吸引作業ユニットと処理される真空グレージングとの間のソフトな接触を達成するため且つ気密効果を増大させるために、弾性を有する耐熱シールリングが、ポンプ吸引作業ユニットの上端に設けられてもよい。さらに、ポンプ吸引作業ユニットの稼働温度を下げるため且つシールリングが急速に劣化することを防止するために、冷却システムが、ポンプ吸引作業ユニットのチューブ壁内に形成されてもよい。
【００１３】
本発明の別の実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、駆動装置が、中心軸に沿って相対的に動かすためにポンプ吸引作業ユニット及びポンプ吸出孔シール作業ユニットを駆動するための上昇駆動装置と；事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行するためにポンプ吸引作業ユニットのポンプ吸引チャネルを制御するための事前プレス／真空ポンプ吸引駆動装置と；シールシートを加熱するために加熱ユニットを制御するための加熱駆動装置と；冷却システム内で循環的に流すために冷却液体（例えば、水）を推進するための冷却駆動装置と；を備えてもよい。
【００１４】
本発明の別の実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、ポンプ吸引作業ユニットは、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット及び真空ポンプ吸引作業ユニットを含んでもよい。事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット及び真空ポンプ吸引作業ユニットは、ポンプ吸出孔シール作業ユニットと同じ中心軸を有し、且つ事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニットが外側にあり且つ真空ポンプ吸引作業ユニットが内側にあるシリンダを形成してもよく、ポンプ吸引チャネルは、事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業を実行するために、ユニット双方のそれぞれのチューブ壁内に形成されてもよい。
【００１５】
本発明の上記の実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、事前ポンプ吸引／事前プレス作業を実行するときに、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニットが、処理される真空グレージングの下面上に位置付けられ且つポンプ吸出孔の中心と整列されるように中心軸に沿って動かされ、それにより、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニットとポンプ吸出孔シール作業ユニットとの相対運動によって形成されるキャビティを、ポンプ吸出孔を介して処理される真空グレージングのキャビティ層に接続させ、且つ事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニットのポンプ吸引チャネルをキャビティに接続させる。事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニットのポンプ吸引チャネルを通じて事前ポンプ吸引／事前プレス作業が実行される。真空ポンプ吸引作業を実行するときに、真空ポンプ吸引作業ユニットが、処理される真空グレージングの下面上に位置付けられ且つポンプ吸出孔の中心と整列されるように中心軸に沿って動かされ、それにより、真空ポンプ吸引作業ユニットとポンプ吸出孔シール作業ユニットとの相対運動によって形成されるキャビティを、ポンプ吸出孔を介して処理される真空グレージングのキャビティ層に接続させ、且つ真空ポンプ吸引作業ユニットのポンプ吸引チャネルをキャビティに接続させる。真空ポンプ吸引作業ユニットのポンプ吸引チャネルを通じて真空ポンプ吸引作業が実行される。さらに、真空ポンプ吸引作業を完了した後にポンプ吸出孔シール作業を実行するときに、シールシートとともにシールはんだがポンプ吸出孔上に設置されるように、ポンプ吸出孔シールユニットが中心軸に沿って動かされる。シールはんだを融解させるためにシールシートを加熱するように加熱ユニットが制御され、それにより、ポンプ吸出孔をシールする。
【００１６】
本発明の別の実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、弾性を有する耐熱シールリングがポンプ吸引作業ユニットの上端に設けられてもよい。その結果、シールリングは、真空ポンプ吸引作業を実行するときにのみ、処理される真空グレージングと接触し、それにより、シールリングの耐用年数を増大させる。さらに、真空ポンプ吸引作業ユニットの稼働温度を下げるため且つシールリングが急速に劣化することを防止するために、冷却システムが、真空ポンプ吸引作業ユニットのチューブ壁内に形成されてもよい。
【００１７】
本発明の別の実施形態の真空ポンプ吸引装置によれば、駆動装置が、中心軸に沿って相対的に動かすために事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット、真空ポンプ吸引作業ユニット及びポンプ吸出孔シールユニットを駆動するための上昇駆動装置と；事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業それぞれを実行するために、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット及び真空ポンプ吸引作業ユニットのポンプ吸引チャネルを制御するための事前プレス／真空ポンプ吸引駆動装置と；シールシートを加熱するために加熱ユニットを制御するための加熱駆動装置と；冷却システム内で循環的に流すために冷却液体（例えば、水）を推進するための冷却駆動部と；を含んでもよい。
【００１８】
本発明の別の側面によれば、本発明による真空ポンプ吸引装置を使用して、本発明により提供される方法により真空グレージングを製造することにおける事前ポンプ吸引／事前プレス作業、真空ポンプ吸引作業及びポンプ吸出孔シール作業を実行する、真空グレージング製造システムが提供される。
【００１９】
真空グレージングの連続的な自動生産ラインにおいて本発明によって提供される真空ポンプ吸引装置を使用することは、事前ポンプ吸引／事前プレス作業、真空ポンプ吸引作業及びポンプ吸出孔シール作業が統合して完了されることを可能にし、このため、連続的且つ信頼性を有する作業ステップが実際に実現され、製造システムのそれぞれの部分を調整すること及び稼働させることが容易となり、それにより、真空グレージング製造システムの安定性を増大させる。本発明の真空ポンプ吸引装置、これを用いる真空グレージング製造システム及び関連する方法によれば、より高い精度の真空グレージングが製造されることができる一方で、エネルギー源及び時間の浪費が減少され、実際の連続的な生産が達成される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】真空グレージングの構造の概略図を示す。
【図２ａ】真空ポンプ吸引装置の基本的な構造的原理を反映した、本発明による真空ポンプ吸引装置の断面図を示す。
【図２ｂ】図２ａに示される真空ポンプ吸引装置の平面図である。
【図３】真空グレージング製造システム／生産ライン内での本発明による真空ポンプ吸引装置の作業位置を示す。
【図４】事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業を実行する温度−時間曲線を示す。
【図５】図２ａに示される真空ポンプ吸引装置によって事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行するときの作業状態の概略図を示す。
【図６】真空ポンプ吸引作業を完了した後に、図２ａに示される真空ポンプ吸引装置によってポンプ吸出孔シール作業を実行するときの作業状態の概略図を示す。
【図７ａ】図２ａに示されるポンプ吸引装置の改良された構造の概略図を示す。
【図７ｂ】図７ａに示される真空ポンプ吸引装置の平面図である。
【図８】真空ポンプ吸引装置の基本的な構造的原理を反映した、図７ｂに示される真空ポンプ吸引装置の断面図を示す。
【図９】図８に示される真空ポンプ吸引装置が真空グレージング製造システム／生産ラインに取り付けられたことを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下では、本発明の実施形態が、同様の参照符号が同様の要素を参照する添付の図面と併せて詳細に説明される。
【００２２】
図２ａは、本発明による真空ポンプ吸引装置の断面図を示し、真空ポンプ吸引装置は、本発明による真空ポンプ吸引装置の基本的な構造的原理を反映する。図２ｂは、図２ａに示される真空ポンプ吸引装置の平面図を示している。
【００２３】
図２ａ及び図２ｂを参照すると、本発明による真空ポンプ吸引装置は、機械的部分Ｖ、駆動装置１００及び制御部２００を含んでいる。本発明の真空ポンプの稼働は、生産ライン全体の制御システムから送信される命令によって制御され、従って、真空ポンプは、真空グレージング製造システム全体におけるそれぞれの処理炉及びコンベヤと協働して稼働されることができることが理解されるべきである。
【００２４】
図２ａ及び図２ｂに示されるように、機械的部分Ｖは、円形チューブ状のポンプ吸引作業ユニット４９及びシリンダ状のポンプ吸出孔シール作業ユニット５７を含んでいる。本実施形態では、ポンプ吸引作業ユニット４９及びポンプ吸出孔シール作業ユニット５７は、同じ中心軸Ｚを共有し、且つ協働してシリンダ（すなわち機械的部分Ｖ）を形成している。ポンプ吸引作業ユニット４９及びポンプ吸出孔シール作業ユニット５７の双方は、中心軸Ｚに沿って相対的に動き、それにより、それぞれ（例えば図１に示されるような）処理される真空グレージングのポンプ吸出孔４１に押し付けられ、ポンプ吸出孔４１の中心と整列し且つポンプ排出孔４１を完全にカバーする。
【００２５】
ポンプ吸引チャネル２２が、チューブ壁の内面に接続されるポンプ吸引作業ユニット４９のチューブ壁内に形成され、ポンプ吸引チャネル２２を通って、事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行する手順中に真空グレージングのキャビティ層２内の空気が抽出ポンプ（図示せず）によって大気にポンプ供給される。加熱ユニット５４（例えば抵抗加熱ワイヤ）が、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７の内部の上部に設けられている。電力が電力ライン５２を通じて供給されると、加熱ユニット５４は、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７、特にその上部の温度を迅速に上げさせる。
【００２６】
駆動装置１００は、制御部２００から命令を得て、得られた命令に従って稼働する。駆動装置１００は、以下の２つの機能を主に提供する：
ポンプ吸引作業ユニット４９及びポンプ吸出孔シール作業ユニット５７が中心軸Ｚに沿って相対的に動かされ、それにより、それぞれ処理される真空グレージングのポンプ吸出孔４１に押し付けられ、ポンプ吸出孔４１の中心と整列し且つポンプ吸出孔４１を完全にカバーするように、ポンプ吸引作業ユニット４９及びポンプ吸出孔シール作業ユニット５７を機械的に動かす：
ポンプ吸引チャネル２２を通じて事前ポンプ吸引／事前プレス作業または真空ポンプ吸引作業を実行する。
【００２７】
ポンプ吸引作業ユニット４９と処理される真空グレージングとの間のフレキシブルな接触を達成するため、且つ気密効果を増大させるために、弾性を有する耐熱シールリング、例えばシールリング４８がポンプ吸引作業ユニット４９の上端に設けられている。
【００２８】
図３は、真空グレージング製造システム／生産ライン内の本発明による真空ポンプ吸引装置の作業位置を示している。
【００２９】
図３を参照すると、本発明による真空グレージング製造システムでは、生産ライン全体は、１２の処理段階、すなわち図３の（２−１）から（２−１２）に大きく分けられている。明確にするために、事前ポンプ吸引／事前プレス作業（２−５）、真空ポンプ吸引作業（２−７）及びポンプ吸出孔シール作業（２−９）のみが、図に示される一方で、本発明に直接的に関連しないそれらの段階は示されない。
【００３０】
異なる目的を有する２つの“ポンプ吸引”作業が、これらの処理段階中に２つの段階で実行される必要がある。図３に示されるように、第１の“ポンプ吸引”作業は、事前プレス炉内で実行される事前ポンプ吸引／事前プレス作業（２−５）である。図１に示されるように、真空グレージングの周囲上のガラスはんだ１が、高温で融解された後に一定の温度（例えば４００℃）まで冷却されると、（図９で示されるような）真空ポンプ３４が事前ポンプ吸引／事前プレス作業を実行することを可能にされる。（１平方メートルあたり１０トンの圧力に等しい）約１気圧の圧力差が真空グレージングのキャビティ層２と外部との間に存在する場合、グレージングはんだ１が押しつぶされる。図１に示されるように、固められた後に、グレージングはんだ１は、真空グレージングのピラー３と同じ高さｈを有し、それにより、真空グレージングの縁部で破壊的な引張応力を生じさせることを防止し、これにより、製品の品質を保証し且つその耐用年数を延ばす。図３に示される事前ポンプ吸引炉内で事前ポンプ吸引／事前プレス作業（２−５）を実行する目的が、縁部のシールの完全性を達成することであることと、一定の温度及びポンプ吸引の継続が、事前ポンプ吸引／事前プレス作業（２−５）を実行するために必要とされることと、が分かる。図４に示される曲線のセクションＰ１は、上述した好ましい例では、事前ポンプ吸引／事前プレス作業の温度範囲が、約４００℃から４５０℃であり、ポンプ吸引の継続が約１５分であることを示している。しかしながら、当業者は、上述した温度／継続が、グレージングはんだ１のさまざまな種類及びポンプ吸引装置の出力に応じて異なっていてもよいが、最も重要なことには、示される事前ポンプ吸引／事前プレス作業が縁部のシールの完全性を保証するために使用されることを理解すべきである。
【００３１】
図３に示されるように、第２の“ポンプ吸引”作業は、真空炉内で実行される真空ポンプ吸引作業（２−７）であり、真空ポンプ３４は、この時点で再び可能とされる必要がある。図４に示される曲線のセクションＰ２は、上述した好ましい例では、真空ポンプ吸引作業の温度範囲が約２００℃から２５０℃であり、ポンプ吸引の継続は、約１０分であることを示している。
【００３２】
以下では、図３から図６を参照することによって、事前ポンプ吸引／事前プレス作業（２−５）、真空ポンプ吸引作業（２−７）及びポンプ吸出孔シール作業（２−９）の作業プロセスが詳細に説明され、これら作業は、図２ａに示されるように本発明の真空ポンプ吸引装置によって実施される。
【００３３】
事前ポンプ吸引／事前プレス作業（２−５）は、図３に示される事前プレス炉内で実行される。駆動装置１００は、中心軸Ｚに沿って処理される真空グレージングに向かってポンプ吸引作業ユニット４９を動かし、これにより、図５に示されるように下部ガラスシート４にポンプ吸引作業ユニット４９を押し付け、ポンプ吸出孔４１をカバーさせる。シールリング４８は、ポンプ吸引作業ユニット４９の上部に設けられる。シールリング４８は、下部ガラスシート４とポンプ吸引作業ユニット４９との間の弾性圧縮を保証するだけでなく、それらの間の気密接触も達成する。図５に示されるように、本発明によるポンプ吸引装置を支持する後端が機械的構造体全体内に気密性を有しているので、ポンプ吸出孔４１を介して真空グレージングのキャビティ層２及びポンプ吸引チャネル２２双方を接続する気密キャビティＲが形成される。その後、ポンプ吸引チャネル２２に接続する真空ポンプ３４が、ポンプ吸引することを可能とされ、気密キャビティＲ内の空気の大部分をポンプ吸出する。例えば、温度が４００℃から４５０℃まで変動する状態下では、ポンプ吸引の継続は、約１５分であり（すなわち図４に示されるセクションＰ１）、このため、約１気圧の圧力差が真空グレージングのキャビティ層２と外部との間で存在し、これにより、縁部をシールするために用いられるガラスはんだ１を平らにする。固められた後に、ガラスはんだ１は、真空グレージングのピラー３と同じ高さｈを有し、それにより、真空グレージングの縁部で破壊的な引張応力を生じさせることを防止し、これにより、製品の品質を保証し且つその耐用年数を延ばす。
【００３４】
続いて、本発明による真空ポンプ吸引装置及び処理される真空グレージングは、図３に示される真空炉内に達し、真空ポンプ吸引作業（２−７）を実行する。この時点で、真空ポンプ３４は、再び可能とされ、温度が約２００℃から２５０℃まで変動する場合、約１０分続く真空ポンプ吸引作業が実行され（すなわち、図４に示されるセクションＰ２）、真空グレージングのキャビティ層２内の高真空状態を達成する。
【００３５】
直感的及び明瞭とするために、実際に存在する密封ゲッター４０（図１、図６及び図９に示される）は、図５に示されない。密封ゲッター４０についての必要要件は、同出願人に属する特許文献８の詳細な説明を参照し、この文献の開示は、その全体を参照することによって本明細書に組み込まれる。
【００３６】
また、直感的及び明瞭とするために、シールシート５３（図６に示される）は、図５に示されない。しかしながら、当業者は、本出願により教示された後に、本発明に基づく真空ポンプ吸引装置が、処理される真空グレージングと固定された位置関係を常に維持し、それにより、連続的な生産を実際に実行することを理解するべきである。当業者は、上記の知識に基づいて、シールシート５３が、本発明による真空ポンプ吸引装置を処理される真空グレージングに固定する前に、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７上にすでに配置され、その後、ポンプ吸出孔シール作業（２−７）を実行するときに、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７が中心軸Ｚに沿って動くにしたがって、シールシート５３がポンプ吸出孔５１上に設置されることを理解するべきである。
【００３７】
図６は、真空ポンプ吸引作業が完了された後に、図２ａに示される真空ポンプ吸引装置によってポンプ吸出孔シール作業（２−９）を実行する作業状態の概略図を示している。シール作業（２−９）は、図３のシール炉内で実行される。制御部２００の駆動信号は、駆動装置１００がポンプ吸出孔シール作業ユニット５７を中心軸Ｚに沿って動かすことを可能にし、これにより、シールシートをシールはんだ５１とともにポンプ吸出孔４１上に設置し、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７をシールシート５３に弾性的に押し付ける。この後に、駆動装置１００は、電力ライン５２を通じて加熱ユニット５４へ電力を供給し、このため、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７の上部での温度は、迅速に上げられ、これにより、シールシート５３と真空グレージングの下部ガラスシート４との間のシールはんだ５１を融解する。その後、加熱は、融解されたシールはんだ５１が固められ且つポンプ吸出孔４１がシールシート５３でシールされるように、停止させられる。
【００３８】
添付の図面を参照して上述した説明では、図３に示される生産ラインにおける真空炉を介する事前加圧炉からシール炉へのプロセスにおいて、本発明による真空ポンプ吸引装置が、処理される真空グレージングとの固定された位置関係を常に維持し、従って、従来技術のように、処理ヘッド、例えば事前プレスヘッド、真空ポンプ吸引ヘッド及びシールヘッド上で繰り返し整列を実行する必要がなく、このことは、作業をシンプル且つ連続的にし、連続的な生産を実際に達成する。
【００３９】
図７ａは、図２ａに示される真空ポンプ吸引装置の改良された構造の概略図を示し、図７ｂは、図７ａに示される真空ポンプ吸引装置の平面図である。図８は、図７ｂに示される真空ポンプ吸引装置の断面図を示し、真空ポンプ吸引装置の基本的な構造的原理を反映している。
【００４０】
図２ａに示される真空ポンプ吸引装置と比較すると、図７ａ，図７ｂ及び図８に示される真空ポンプ吸引装置の主な差異は、図７ａのポンプ吸引作業ユニット４９が事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２を含んでいる点である。本実施形態では、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２は、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１が外側にあり且つ真空ポンプ吸引作業ユニット４９２が内側にある円形チューブを形成し、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７と同じ中心軸Ｚを共有し、事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業をそれぞれ実行するためのポンプ吸引チャネル２２１及び２２２が、それぞれ事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２の各チューブ壁内に形成されている。上記の場合には、気密効果を提供し且つ処理される真空グレージングの表面との弾性接触を達成するように構成された弾性を有する耐熱シールリング４８は、真空ポンプ吸引作業ユニット４９２の上端に設置されている。その結果、シールリング４８は、真空ポンプ吸引作業を実行するときにのみ処理される真空グレージングと接触し、それにより、シールリング４８の耐用年数を延ばす。
【００４１】
図２ａに示されるポンプ吸引作業ユニット４９を事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２に分ける利点は、図４に示される曲線グラフを参照して説明される。
【００４２】
図４に示されるように、事前ポンプ吸引／事前プレス作業（すなわち、図４のセクションＰ１）の温度は、比較的高く、本実施形態では、温度が４００℃から４５０℃まで変動する条件下において、ポンプ吸引は、約１５分続き、これにより、縁部をシールするためのガラスはんだ１を適切に（ペースト状に）融解させる。事前ポンプ吸引／事前プレス作業は、真空グレージングのキャビティ層２と外部との間に約１気圧の圧力差を発生させるように制御され、この圧力差は、適切に融解されたガラスはんだ１を平らにし、且つ固められた後のガラスはんだ１の高さを真空グレージングのピラー３の高さｈと同じにさせることができ、それにより、真空グレージングの縁部で破壊的な引張応力を生じさせることを防止し、これにより、製品の品質を保証し且つその耐用年数を延ばす。
【００４３】
事前ポンプ吸引／事前プレス作業と異なり、真空ポンプ吸引作業は、ポンプ吸出孔シール作業前の最後の作業である。真空ポンプ吸引作業を実行すると、環境温度は、事前ポンプ吸引／事前プレス作業を実行する温度よりも極めて低くなる。例えば、真空ポンプ吸引作業を実行すると、温度は、２００℃から２５０℃まで変動し、ポンプ吸引は、約１０分続く（すなわち、図４のセクションＰ２）。さらに、このときに縁部のシール作業が、処理される真空グレージングに対して完了され、且つ高い真空状態が、真空グレージングのキャビティ層内に達成される必要があるので、シールリング４８は、高い気密状態を達成するために用いられる必要がある。課題は、シールリング４８を良好なシール特性に維持する方法である。複数の耐熱シール用ゴム材料が何度も現れるが、４５０℃以上の高温の条件下で長い間、良好なシール特性を維持することができるシール用ゴム材料は、現在のところ存在していない。
【００４４】
上記の状況を考慮して、図７ａ、図７ｂ及び図８に示される本発明の実施形態によれば、図２ａのポンプ吸引作業ユニット４９は、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１と真空ポンプ吸引作業ユニット４９２とに分けられている。構造的には、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２は、ポンプ吸出孔シール作業ユニット５７と同じ中心軸Ｚを有し、且つ、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１が外側にあり且つ真空ポンプ吸引作業ユニット４９２が内側にある円形チューブを形成し、事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業をそれぞれ実行するためのポンプ吸引チャネル２２１及び２２２は、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２のそれぞれのチューブ壁内に形成されている。上記の場合には、気密効果を提供し且つ処理される真空グレージングの表面との弾性接触を達成するように構成された弾性を有する耐熱シールリング４８は、真空ポンプ吸引作業ユニット４９２の上端に設置されている。その結果、シールリング４８は、真空ポンプ吸引作業を実行するときのみ比較的低い温度を有する処理される真空グレージングと接触し、それにより、シールリング４８の耐用年数を延ばす。
【００４５】
図２ａに示される真空ポンプ吸引装置と比較すると、図７ａ，図７ｂ及び図８に示される真空ポンプ吸引装置の事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２は、異なる温度及びポンプ吸引の継続に関する異なる要件の下それぞれで異なる作業を実行する。これは、異なる作業ユニット４９１及び４９２を構成するために適切な材料を選択することを容易にし、且つ長い間、弾性を有する耐熱シールリング４８を高温（例えば４５０℃以上）の環境にさらすことを防止し、それにより、真空グレージング製造システム全体の信頼性を保証する。
【００４６】
さらに、真空ポンプ吸引作業ユニット４９２の稼働温度をさらに下げて、弾性を有する耐熱シールリング４８の信頼性及び耐用年数を増大させるために、図８に示されるように、冷却液体、例えば水を収容するためのキャビティ５９、冷却液体を送るための注入パイプ２１及び排出パイプ５８が、真空ポンプ吸引作業ユニット４９２のチューブ壁内に形成され、これにより、冷却システムを形成する。
【００４７】
冷却システム（２１，５８，５９）は、図２ａ及び図２ｂに示される実施形態のポンプ吸引作業ユニット４９内に設けられてもよいことを理解されるべきである。冷却システムを設ける方式は、図８に示されるものと類似し、すなわち、循環的な冷却液体を収容することができるキャビティがポンプ吸引作業ユニット４９の上部に設けられる。しかしながら、ポンプ吸引作業ユニット４９が実行するときの環境温度が４５０℃以上である場合、事前ポンプ吸引／事前プレス作業が考えられるべきである。弾性を有する耐熱シールリング４８の良好な動作性能を保証するために、一方では、より高い耐温度性を有する材料が弾性を有する耐熱シールリング４８を形成するために使用され、他方では、より高い効率を有する冷却システムが導入され、例えば液体窒素または液体アンモニアが冷却システム内の冷却液体として使用されてもよい。
【００４８】
図７ａを再び参照し、図２ａに示される真空ポンプ吸引装置と比較すると、図２ａに示されるポンプ吸引作業ユニット４９は、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２に分けられている。図７ａに示されるように、駆動装置１００は、中心軸Ｚに沿って相対的に動かすために事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１、真空ポンプ吸引作業ユニット４９２及びポンプ吸出孔シール作業ユニット５７を駆動するための上昇駆動装置１０１と；事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業それぞれを実行するために、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１のポンプ吸引チャネル２２１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２のポンプ吸引チャネル２２２を制御するための事前プレス／真空ポンプ吸引駆動装置１０２と；シールシート５３を加熱するために加熱ユニット５４を制御するための加熱駆動装置１０３と；冷却システム（２１，５８，５９）内で循環的に流すために冷却液体を推進するための冷却駆動装置１０４と；を含んでいる。
【００４９】
任意に、図７ａに示される真空ポンプ吸引装置は、図７ａに示される真空ポンプ吸引装置では事前ポンプ吸引／事前プレス作業及び真空ポンプ吸引作業が事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１及び真空ポンプ吸引作業ユニット４９２それぞれによって実行される点を除いて、図２ａに示されるものと略同じである。
【００５０】
図８は、真空ポンプ吸引装置の基本的な構造的原理を反映した、図７ｂに示される真空ポンプ吸引装置の断面図を示している。図８に示されるように、上述したユニットに加えて、参照符号４６は、事前プレス波形パイプを表し、参照符号５６は、ポンプ吸出孔シール波形パイプを表している。これら波形パイプは、事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット４９１と真空ポンプ吸引作業ユニット４９２と処理される真空グレージングの表面との間の弾性接触を達成及び／または向上させるために使用される。図８に示される真空ポンプ吸引装置は、本発明による真空ポンプ吸引装置を真空グレージング製造システムと接続させるための外側チューブ壁５５をさらに含んでいる。
【００５１】
図９は、図８に示される真空ポンプ吸引装置が真空グレージング製造システム／生産ライン内に取り付けられることを示す概略図である。
【００５２】
図９を参照すると、処理される真空グレージングが、図３に示される処理炉の１つ、例えば事前加圧炉、真空炉または縁部のシール炉に設置されているとみなされる。図９に示される参照符号によって表されるユニットは、以下の表１を参照することができる。図９に示されるように、放射バッフル３７が、本発明による真空ポンプ吸引装置の上端に取り付けられていることに特に注意すべきである。外部の温度が高すぎると、放射バッフル３７は、真空ポンプ吸引装置が高温の放射によって使用不能とされることを防止するため、且つ特にシールリング４８が急激に劣化することまたは損傷されることを防止するために閉じられ、それにより、その耐用年数を延ばす。
【００５３】
本発明による真空ポンプ吸引装置は、真空グレージングの連続的な自動生産ラインにおける事前ポンプ吸引／事前プレス作業、真空ポンプ吸引作業及びポンプ吸出孔シール作業が統合して完了されることを可能にする。これは、作業ステップを連続的且つ信頼性を有するようにさせるだけでなく、連動且つ稼働されることを容易にさせ、それにより、安定性を増大させる。本発明の技術的解決法によれば、より高い精度で真空グレージング製品が生産されることができる一方で、エネルギー源及び時間の消費が減少され、実際の連続的な生産が達成されることができる。
【００５４】
本発明のさまざまな実施形態が添付の図面を参照して説明されたが、これらの実施形態は、説明に役立つ例として使用されただけである。当業者は、さまざまな変更及び変形が本発明の精神から逸脱することなくなされてもよいことを理解すべきである。その結果、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって規定されるべきである。
【表１】
0005869154.tif 000002
【符号の説明】
【００５５】
２  キャビティ層、４  下面、２１，５８，５９  冷却システム、２２  ポンプ吸引チャネル、４８  耐熱シールリング、４９  ポンプ吸引作業ユニット、５３  シールシート、５４  加熱ユニット、５７  ポンプ吸出孔シール作業ユニット、１００  駆動装置、１０１  上昇駆動装置、１０２  事前プレス／真空ポンプ吸引駆動装置、１０３  加熱駆動装置、１０４  冷却駆動装置、２００  制御部、２２１，２２２  ポンプ吸引チャネル、４９１  事前ポンプ吸引／事前プレス作業ユニット、４９２  真空ポンプ吸引ユニット、Ｒ  キャビティ、Ｚ  中心軸
【図１】
0005869154.tif 000003
【図２ａ】
0005869154.tif 000004
【図２ｂ】
0005869154.tif 000005
【図３】
0005869154.tif 000006
【図４】
0005869154.tif 000007
【図５】
0005869154.tif 000008
【図６】
0005869154.tif 000009
【図７ａ】
0005869154.tif 000010
【図７ｂ】
0005869154.tif 000011
【図８】
0005869154.tif 000012
【図９】
0005869154.tif 000013