【誤訳訂正書】
【提出日】平成23年5月24日(2011.5.24)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  広いスペクトル領域の反射屈折光学システムであって、
前記光学システムの光路に沿って配された反射屈折対物レンズ部と、
再結像された瞳を形成するように構成され、前記光路に沿って配された再結像レンズ部と、
ズームまたは倍率を変えるように構成され、前記光路に沿って配されたズームレンズ部と、を備え、
前記再結像レンズ部は、前記反射屈折対物レンズ部と前記ズームレンズ部の両方の近傍であって、前記反射屈折対物レンズ部と前記ズームレンズ部との間に配されており、
前記再結像された瞳は、前記再結像レンズ部と前記ズームレンズ部との間に位置する、光学システム。
【請求項２】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記再結像された瞳は、前記反射屈折対物レンズ部から離れた位置でアクセスすることが可能である、光学システム。
【請求項３】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記再結像された瞳は、前記再結像レンズ部および前記ズームレンズ部から離れた位置でアクセスすることが可能である、光学システム。
【請求項４】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記再結像レンズ部は、
前記光学システム内の光を中間焦点に収束させるように構成された少なくとも１枚のレンズを含む中間焦点レンズ群と、
前記中間焦点に収束された前記光を再平行化するように構成された少なくとも１枚のレンズを含む再平行化レンズ群と、
前記再結像された瞳を形成するように構成された少なくとも１枚のレンズを含む再集束レンズ群と、を備える、光学システム。
【請求項５】  請求項１に記載の光学システムであって、さらに、
前記再結像された瞳を操作して、照明瞳と集光瞳とを形成するように構成されたビームスプリッタを備える光学システム。
【請求項６】  請求項５に記載の光学システムであって、
環状暗視野照明モードで動作するように構成された光学システム。
【請求項７】  請求項５に記載の光学システムであって、
全天照明モードで動作するように構成された光学システム。
【請求項８】  請求項５に記載の光学システムであって、
レーザ暗視野照明モードで動作するように構成された光学システム。
【請求項９】  請求項５に記載の光学システムであって、
明視野照明モードで動作するように構成された光学システム。
【請求項１０】  請求項５に記載の光学システムであって、さらに、
前記照明瞳を通過する放射の量を制御するように構成された照明瞳用障害物と、
前記集光瞳を通過する放射の量を制御するように構成された集光瞳用障害物と、を備える光学システム。
【請求項１１】  請求項１０に記載の光学システムであって、
前記照明瞳用障害物は、前記放射の少なくとも一部が前記照明瞳の中心を通過しないように制限するように構成される、光学システム。
【請求項１２】  請求項１０に記載の光学システムであって、
前記照明瞳用障害物は、前記放射の全部が前記照明瞳の中心を通過しないように制限するように構成される、光学システム。
【請求項１３】  請求項１０に記載の光学システムであって、
前記集光瞳用障害物は、前記集光瞳の外縁を通過しないように前記放射を制限するように構成される、光学システム。 
【請求項１４】  請求項１に記載の光学システムであって、さらに、
紫外線の波長範囲に渡って前記ズームレンズ部から像を受け取ることができる検出器アレイと、
紫外線波長域の放射を前記光学システムの中に向ける広帯域ＵＶ放射源と、を備える光学システム。
【請求項１５】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記反射屈折対物レンズ部は、融解石英およびフッ化カルシウムである、光学システム。
【請求項１６】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記再結像レンズ部は、融解石英およびフッ化カルシウムである、光学システム。 
【請求項１７】  請求項４に記載の光学システムであって、
前記再結像レンズ部は、以下の寸法値によって特徴づけられる屈折表面および反射表面を有する光学システム。
【表１】
2003527636.tif 000001
【表２】
2003527636.tif 000002
【請求項１８】  反射屈折対物レンズ部と、再結像レンズ部と、ズームレンズ部とを有し、試料の像を得るための、広スペクトル領域反射屈折光学システムを使用する方法であって、
前記再結像レンズ部は、前記反射屈折対物レンズ部と前記ズームレンズ部の両方の近傍であって、前記反射屈折対物レンズ部と前記ズームレンズ部との間に配されており、
前記再結像レンズ部により再結像された瞳は、前記再結像レンズ部と前記ズームレンズ部との間に位置し、
前記方法は、
前記再結像レンズ部と前記ズームレンズ部との間にビームスプリッタを用意する工程であって、
前記ビームスプリッタは、集光瞳と照明瞳とを形成し、
前記集光瞳は、前記再結像レンズ部と前記ズームレンズ部との間に配されており、
前記再結像レンズ部と前記ズームレンズ部と前記集光瞳とは、光路に沿って配されており、
前記照明瞳は、前記光路の外側に配されるように、
ビームスプリッタを用意する工程と、
放射源からの放射を、前記光学システムの一部である前記照明瞳および前記集光瞳を通過するように、方向付ける工程を備える方法。
【請求項１９】  請求項１８に記載の方法であって、
前記照明瞳および前記集光瞳は、環状暗視野照明モードで機能するように構成される、方法。
【請求項２０】  請求項１８に記載の方法であって、
前記照明瞳および前記集光瞳は、全天照明モードで機能するように構成される、方法。
【請求項２１】  請求項１８に記載の方法であって、
前記照明瞳および前記集光瞳は、レーザ暗視野照明モードで機能するように構成される、方法。
【請求項２２】  請求項１８に記載の方法であって、
前記照明瞳および前記集光瞳は、明視野照明モードで機能するように構成される、方法。
【請求項２３】  請求項１８に記載の方法であって、さらに、
前記照明瞳の近傍に照明瞳用障害物を配置することによって、前記放射の少なくとも一部を、前記照明瞳の中心を通過しないように制限する工程を備える、方法。
【請求項２４】  請求項１８に記載の方法であって、さらに、
前記照明瞳の近くに照明瞳用障害物を配置することによって、前記放射の少なくとも一部を、前記照明瞳の外側部分を通過しないように制限する工程を備える、方法。
【請求項２５】  請求項１８に記載の方法であって、さらに、
前記集光瞳の近くに集光瞳用障害物を配置することによって、前記集光瞳の外縁を通過しないように前記放射を制御することを備える方法。
【請求項２６】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記ズームレンズ部は１枚のズームレンズを含む、光学システム。
【請求項２７】  請求項１に記載の光学システムであって、
前記ズームレンズ部は少なくとも１枚のチューブレンズを含む、光学システム。
【請求項２８】  請求項１８に記載の方法であって、
前記方向付け工程は、紫外線波長域の放射を方向付け、前記放射源は、広帯域の紫外線放射源である、方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００４】
反射屈折結像システムは、非常に優れた品質の像を提供することができるが、一定数のテストモードでしか動作できないという制約がある。これは、系の瞳が、その結像システムの反射屈折レンズ部の中に位置しているためである。照明光の光路を集束光の光路から分離することができるように、ビームスプリッタを挿入するための充分な空間を系の瞳のまわりに設け、系の瞳にアクセスが可能であれば、その結像システムを、さらに追加の光学検査モードで動作させることが可能になる。結像システムは、これらの光路を進む光の量および／またはパターンを選択的に制御することによってこれらの追加の検査モードで動作するように構成される。これらのモードは、結像システムを、より高い検出感度で動作させることを可能にする。しかしながら、現行の系の瞳は、反射屈折レンズ部の中に位置しているので、アクセスすることが難しく、これが系の構成を困難にしている。この内部の瞳を別の結像モードで使用しようとすると、照明アパチャと集光アパチャとが分離されることになる。この結果、これらのアパチャの倍率および位置に差が生じる。これは、アパチャとアパチャとのあいだで光を経済的な手法で位置決めするどのような試みも、その結果として光損失を生じることを意味する。なぜなら、アパチャのサイズは、光学信号間の干渉（クロストーク）を最小限に抑えるように設定しなければならないからである。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】削除
【訂正の内容】