【手続補正書】
【提出日】平成23年10月17日(2011.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンウェーハの表面上の汚染物を除去するために洗浄材料を分注する洗浄ヘッドであって、
前記洗浄ヘッドを前記表面に近接して保持するためのアームと、
前記パターンウェーハの前記表面に対向する複数のチャネルを有する前記洗浄ヘッドと、を備え、
前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ流動し、前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、前記分注された洗浄材料は、前記ウェーハに対して、前記複数のチャネルのそれぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、前記パターンウェーハの前記表面上の前記汚染物の除去を促進する、洗浄ヘッド。
【請求項２】
前記複数のチャネルは、互いに平行であり、前記複数のチャネルは、前記洗浄ヘッドの長さに対して約０°ないし約１８０°の角度を成す、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項３】
前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含む、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項４】
前記洗浄材料は、単相、二相、または三相から成る、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項５】
前記洗浄材料は、発泡体、乳液、またはゲルである、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項６】
前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記パターンウェーハは、洗浄中、前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで配される、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項７】
前記複数のチャネルは、互いに平行ではない、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項８】
前記複数のチャネルは、螺旋状パターンを形成する、請求項１記載の洗浄ヘッド。
【請求項９】
パターンウェーハの表面上の汚染物を除去するために洗浄材料を分注する洗浄ヘッドを有する洗浄システムであって、
前記パターンウェーハを前記洗浄ヘッドへ向けて移動させる輸送機構と、
前記パターンウェーハを前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで保持し、保持した前記パターンウェーハが前記洗浄ヘッドへの移動のために前記輸送機構に配置されるウェーハホルダと、
複数のチャネルを有する前記洗浄ヘッドと、を備え、
前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ流動し、前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、前記洗浄ヘッドは、アームにより前記パターンウェーハの前記表面に近接して保持され、前記分注された洗浄材料は、前記ウェーハに対して、前記複数のチャネルのそれぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、前記パターンウェーハの前記表面上の前記汚染物の除去を促進する、洗浄システム。
【請求項１０】
異なるチャネル設計を有する複数の洗浄ヘッドが存在し、前記洗浄ヘッドは、前記パターンウェーハにおいて最善の汚染除去効率を達成するように、前記複数の洗浄ヘッドから選択される、請求項９記載の洗浄システム。
【請求項１１】
前記複数のチャネルは、互いに平行であり、前記複数のチャネルは、前記洗浄ヘッドの長さに対して約０°ないし約１８０°の角度を成す、請求項９記載の洗浄システム。
【請求項１２】
前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含む、請求項９記載の洗浄システム。
【請求項１３】
前記洗浄システムに二個以上の洗浄ヘッドが存在し、各洗浄ヘッドは、前記複数のチャネルについて独自の構成を有する、請求項９記載の洗浄システム。
【請求項１４】
前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記パターンウェーハは、洗浄中、前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで配される、請求項９記載の洗浄システム。
【請求項１５】
前記支配的なパターンは、互いに平行な複数の線である、請求項１４記載の洗浄システム。
【請求項１６】
パターンウェーハの表面上の汚染物を除去する洗浄材料を分注するために洗浄ヘッドを使用する方法であって、
前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで、前記パターンウェーハをウェーハホルダに配置するステップと、
前記パターンウェーハを前記ウェーハホルダと共に前記洗浄ヘッドの下に配置するステップと、
前記パターンウェーハを洗浄するために前記洗浄ヘッドから前記洗浄材料を分注するステップと、を備え、
前記洗浄ヘッドは、複数のチャネルを有し、前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ流動し、前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、前記分注された洗浄材料は、前記ウェーハに対して、前記複数のチャネルの前記それぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、前記パターンウェーハの前記表面上の汚染物の除去を促進する方法。
【請求項１７】
さらに、前記パターンウェーハを前記ウェーハホルダと共に前記洗浄ヘッドへ向けて移動させる、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含み、前記垂直な成分は、汚染除去効率を向上させる、請求項１６記載の方法。
【請求項１９】
前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記パターンウェーハは、洗浄中、前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで配され、前記特定の向きは、汚染除去効率を向上させる、請求項１６記載の方法。
【請求項２０】
前記支配的なパターンは、ポリシリコン線または金属相互接続部により形成される、請求項１９記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
図６Ｃは、本発明の別の実施形態による、洗浄材料を分注するためのチャネル６０１’および６０１”を備えた洗浄ヘッド６００’の上面図である。洗浄ヘッド６００’の下では、基板６１０は、洗浄ヘッド６００の長さに垂直な方向６２０へ移動する。この実施形態において、チャネル６０１’および６０１”の長さは、洗浄ヘッド６００’の幅６７０の線から角度αを成している。チャネル６０１’および６０１”は、洗浄材料をＢ端部に向けて分注するＡ端部を有する。Ａ端部からＢ端部への洗浄材料の流動により、下方の基板には、図６Ｃに示したように、チャネル６０１’および６０１”内のＡ端部からＢ端部へ向かう方向に剪断力ＦCUおよびＦCLが導入される。剪断力ＦCUおよびＦCLに加え、基板６１０の表面は、基板６１０と洗浄ヘッド６００’との間の相対運動により、別の剪断力ＦW2を受ける。剪断力ＦW2は、基板６１０の移動方向６２０とは反対の方向になる。図６Ｃは、基板６１０の上半分６１０Uの表面が二種類の剪断力ＦCUおよびＦW2を受け、基板６１０の下半分６１０Lが二種類の剪断力ＦCLおよびＦW2を受けることを示している。チャネル６０１’および６０１”の設計は、汚染物を基板６１０の外縁部へ移動させる利点を潜在的に有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
上述したように、異なる製品（または素子）用のウェーハは、異なる特徴部パターンを有する。異なる種類のウェーハを効果的に洗浄するためには、様々な洗浄ヘッドを様々なウェーハパターンに対して選択する。図７は、洗浄材料を分注するチャネルの設計が異なる、多数の洗浄ヘッド７０１、７０２、および７０３を備えたウェーハ洗浄チャンバ７００を示す。洗浄ヘッド７０１、７０２、および７０３は、それぞれアーム７５１、７５２、および７５３により所定位置に保持される。ウェーハ７１０が洗浄のためにチャンバ７００内に配置される時、基板７１０上の特徴部のパターンは、既に分かっている。ウェーハ７１０は、下の表面７７０に沿って、方向７２０で洗浄ヘッド７０１、７０２、および７０３へ向けて移動される。一実施形態において、表面７７０は、コンベヤベルト７６０上にある。製造処理前に実施される調査に基づいて、洗浄ヘッド７１０は、基板表面から汚染部を除去すると共に、ウェーハ表面の特徴部に損傷を与えない上で最も適切なチャネルを有する。一実施形態において、ウェーハ７１０は、ウェーハ上の支配的なパターンが洗浄ヘッドに対して事前に設定された角度を成して整列するように、特定の向きで表面７７０に沿って移動するように位置決めされる。向きの支援には、ウェーハ上の配向構造を使用することができる。加えて、基板ホルダを使用して、処理全体を通して向きが維持された状態を確保してもよい。