【誤訳訂正書】
【提出日】平成23年10月28日(2011.10.28)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
耐熱性ポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）前躯体組成物であり、
（ａ）少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
（ｂ）少なくとも１つの可塑剤であって、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマー、飽和グリコールモノエーテル、エチルシクロヘキシルアセテート、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、ｎ−ブチルシンナメート、エチル−３，３’−ジエトキシプロピオネート、コハク酸ジメチル、コハク酸ジイソプロピル、マレイン酸ジメチル、マロン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アセトアミドマロン酸ジエチル、アリルマロン酸ジエチル、およびシクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸ジメチルからなる群から選択される可塑剤、および
（ｃ）少なくとも１つの溶媒を含有し、組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、前記ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には
（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物も前記組成物中に存在する
という条件付きの、耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２】
前記少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩ、ＩＩＩ＊、ＩＶおよびＩＶ＊を有するジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体ポリマーからなる群から選択された少なくとも１つのジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体ポリマーを含み、
【化１】
2009505157.tif 000001
式中、Ａｒ１は四価の芳香族基、四価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ２は二価の芳香族基、二価の複素環基、二価の脂環基、ケイ素を含む場合がある二価の脂肪族基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ３は二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ４はＡｒ１（ＯＨ）２および構造Ｉ、ＩＩＩ、およびＩＩＩ＊のＡｒ２からなる群から選択され、Ａｒ４はＡｒ１（ＯＤ）ｋ１（ＯＨ）ｋ２および構造ＩＩ、ＩＶおよびＩＶ＊のＡｒ２からなる群から選択され、ｘは１０から１０００までの整数であり；ｙは０から９００までの整数かつ（ｘ＋ｙ）＜１０００であり；Ｄは以下の部分のうちのいずれか１つであり、
【化２】
2009505157.tif 000002
式中、ＲはＨ、ハロゲン、Ｃ１−Ｃ４アルキル基、Ｃ１−Ｃ４アルコキシ基、シクロペンチル、およびシクロヘキシルからなる群から選択され；ｋ１は０．５までの任意の正の数であり、ｋ２は（ｋ１＋ｋ２）＝２であることを条件として１．５から２までの任意の数であり、Ｇはポリマー末端のＮＨに直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基、またはスルホニル基を有する、置換されているかあるいは置換されていない一価の有機基であり、Ｇ＊はポリマー末端のＮに直接結合した少なくとも１つのカルボニル基またはスルホニル基を有する、置換されているかあるいは置換されていない二価の有機基であり；前記ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが構造ＩまたはＩＩＩまたはＩＩＩ＊またはそれらの混合物のみからなる場合、前記組成物は更に
（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物を含む
という条件付きの、請求項１に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項３】
前記可塑剤が、少なくとも２つのＯＨ基を有するとともに沸点が前記感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点より高い、少なくとも１つのポリヒドロキシ化合物である、請求項２に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項４】
前記可塑剤が、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーからなる群から選択される、請求項３に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項５】
前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーからなる群から選択される、請求項４に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項６】
前記可塑剤が、沸点が前記感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項２に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項７】
前記可塑剤が、トリプロピレングリコールの飽和モノエーテル、テトラプロピレングリコールの飽和モノエーテル、トリエチレングリコールの飽和モノエーテル、テトラエチレングリコールの飽和モノエーテル、およびペンタエチレングリコールの飽和モノエーテルからなる群から選択される、請求項６に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項８】
前記可塑剤が、トリ（プロピレングリコール）メチルエーテル、トリ（プロピレングリコール）プロピルエーテル、およびトリ（プロピレングリコール）ブチルエーテルからなる群から選択される、請求項７に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項９】
前記可塑剤が、沸点が前記感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項２に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１０】
前記可塑剤が、少なくとも２つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項９に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１１】
前記組成物が更に少なくとも１つの接着促進剤を含有する、請求項２に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１２】
前記接着促進剤が構造ＸＩＶの化合物を含み、
【化３】
2009505157.tif 000003
式中、各Ｒ１４はＣ１−Ｃ４のアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルキル基からなる群から独立に選択され、各Ｒ１５はＣ１−Ｃ４のアルキル基、Ｃ１−Ｃ４のアルコキシ基、Ｃ５−Ｃ７のシクロアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルコキシ基からなる群から独立に選択され、ｄは０から３の整数であり、ｑは１から６の整数であり、Ｒ１６は次の部分のうちのいずれか１つであり、
【化４】
2009505157.tif 000004
式中、各Ｒ１７とＲ１８はＣ１−Ｃ４のアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルキル基からなる群から独立に選択され、Ｒ１９はＣ１−Ｃ４のアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルキル基からなる群から独立に選択される、請求項１１に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１３】
式中、Ｒ１６が
【化５】
2009505157.tif 000005
からなる群から選択される、請求項１２に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１４】
前記接着促進剤が
【化６】
2009505157.tif 000006
からなる群から選択される、請求項１１に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１５】
前記少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造ＶＩ、ＶＩＩ、およびＶＩＩ＊を有するポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーからなる群から選択される少なくとも１つの化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体ポリマーを含み、
【化７】
2009505157.tif 000007
式中、Ａｒ１は四価の芳香族基、四価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ２は二価の芳香族基、二価の複素環基、二価の脂環基、およびケイ素を含む場合がある二価の脂肪族基からなる群から選択され；Ａｒ３は二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ４はＡｒ１（ＯＢ）ｋ３（ＯＨ）ｋ４およびＡｒ２からなる群から選択され；ｘは１０から１０００までの整数であり、ｙは０から９００までの整数かつ（ｘ＋ｙ）＜１０００であり；Ｂは酸感受性基のＲ１および酸感受性基のＲ２を含むＥ−Ｏ−Ｒ２部分からなる群から選択され；Ｅは酸に不安定でなく−Ｅ−ＯＨ部分をアルカリ可溶化部分にする二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基からなる群から選択され、ｋ３は０．１から２までの任意の数であり、ｋ４は（ｋ３＋ｋ４）＝２を条件とする０〜１．９の任意の数であり；Ｇはポリマー末端のＮＨに直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基、またはスルホニル基からなる群から選択された基を有する、置換されたまたは置換されていない一価の有機基であり、Ｇ＊はポリマー末端のＮに直接結合した少なくとも１つのカルボニル基またはスルホニル基を有する置換された、または置換されていない一価の有機基であり、前記組成物が更に照射によって酸を放出する少なくとも１つの光活性化合物（ＰＡＧ）を含む、請求項１に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１６】
式中、前記Ａｒ１基に結合しているＯ原子と組み合わさったＲ１がアセタール基、ケタール基、エーテル基、シリルエーテル基、およびそれらの混合からなる群から選択された基を形成する、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１７】
式中、Ｒ１が
【化８】
2009505157.tif 000008
からなる群から選択される、請求項１６に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１８】
式中、前記Ａｒ１基に結合しているＯ原子と組み合わさったＲ１がアセタール基を形成する、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項１９】
式中、Ｒ１が
【化９】
2009505157.tif 000009
からなる群から選択される、請求項１７に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２０】
式中、Ｅ−Ｏ−Ｒ２が
【化１０】
2009505157.tif 000010
からなる群から選択される、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２１】
式中、Ｅ−Ｏ−Ｒ２が
【化１１】
2009505157.tif 000011
からなる群から選択される、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２２】
前記可塑剤が、少なくとも２つのＯＨ基を有するとともに、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つのポリヒドロキシ化合物である、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２３】
前記可塑剤が、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーからなる群から選択される、請求項２２に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２４】
前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２５】
前記可塑剤が、トリプロピレングリコールのモノエーテル、テトラプロピレングリコールのモノエーテル、トリエチレングリコールのモノエーテル、テトラエチレングリコールのモノエーテル、およびペンタエチレングリコールのモノエーテルからなる群から選択される、請求項２４に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２６】
前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強された感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２７】
前記可塑剤が、少なくとも２つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項２６に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２８】
前記少なくとも１つの光活性化合物が、オキシムスルホン酸、トリアジン、ジアゾキノンスルホン酸、および、スルホン酸のスルホニウム塩またはヨードニウム塩からなる群から選択される、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項２９】
前記の少なくとも１つの光活性化合物が
【化１２】
2009505157.tif 000012
（式中、Ｒ６とＲ７は、それぞれ独立に直鎖状、分岐状、または環状の１〜２０個の炭素原子を含むアルキル基またはアリール基であり、Ｘ−はＲ２１ＳＯ３−であり、Ｒ２１は置換された、または置換されていない直鎖状、分岐状、または環状のＣ１−Ｃ２５アルキル、または合計６〜２５個の炭素を有する単一または多核のアリール基であり；Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０およびＲ１１は、独立に直鎖状、分岐状、または環状アルキル基であり、Ｒ１２は直鎖状または分岐状のＣ１−Ｃ８アルキル基、Ｃ５−Ｃ８シクロアルキル基、カンフォロイル基、またはトルイル基である）
からなる群から選択される、請求項１５に記載の耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物。
【請求項３０】
基材上の凹凸構造を形成するための方法であり、
（１）耐熱性ポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）前躯体組成物を基材にコーティングする工程であって、耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、
（ａ）少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
（ｂ）少なくとも１つの可塑剤であって、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマー、飽和グリコールモノエーテル、エチルシクロヘキシルアセテート、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、ｎ−ブチルシンナメート、エチル−３，３’−ジエトキシプロピオネート、コハク酸ジメチル、コハク酸ジイソプロピル、マレイン酸ジメチル、マロン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アセトアミドマロン酸ジエチル、アリルマロン酸ジエチル、およびシクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸ジメチルからなる群から選択される可塑剤、および
（ｃ）少なくとも１つの溶媒を含有し、組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、前記ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には
（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物も前記組成物中に存在する
という条件付きの、耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物を基材にコーティングする工程、
（２）コーティングされた基材の前焼成の工程、
（３）前焼成された、コーティングされた基材の化学線曝露の工程、
（４）任意で、コーティングされて露光された基材の露光後焼成の工程、
（５）現像された、コーティングされた基材上の硬化していない凹凸像を形成するための、コーティングされて露光された基材の水性現像液による現像の工程、および
（６）凹凸像を硬化させるための、現像された、コーティングされた基材の高温での焼成の工程を備え、
工程（１）でポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール前躯体が化学的に増強されたポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール前躯体であった場合に露光後焼成の工程（４）が行われる、基材上の凹凸構造を形成するための方法。
【請求項３１】
前記少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩ、ＩＩＩ＊、ＩＶおよびＩＶ＊を有するジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体ポリマーからなる群から選択された少なくとも１つのジアゾキノン含有ポジ型ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体ポリマーを含み、
【化１３】
2009505157.tif 000013
式中、Ａｒ１は四価の芳香族基、四価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ２は二価の芳香族基、二価の複素環基、二価の脂環基、ケイ素を含む場合がある二価の脂肪族基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ３は二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ４はＡｒ１（ＯＨ）２および構造Ｉ、ＩＩＩ、およびＩＩＩ＊のＡｒ２からなる群から選択され、Ａｒ４はＡｒ１（ＯＤ）ｋ１（ＯＨ）ｋ２および構造ＩＩ、ＩＶおよびＩＶ＊のＡｒ２からなる群から選択され、ｘは１０から１０００までの整数であり；ｙは０から９００までの整数かつ（ｘ＋ｙ）＜１０００であり；Ｄは以下の部分のうちのいずれか１つであり、
【化１４】
2009505157.tif 000014
式中、ＲはＨ、ハロゲン、Ｃ１−Ｃ４アルキル基、Ｃ１−Ｃ４アルコキシ基、シクロペンチル、およびシクロヘキシルからなる群から選択され；ｋ１は０．５までの任意の正の数であり、ｋ２は（ｋ１＋ｋ２）＝２であることを条件として１．５から２までの任意の数であり、Ｇはポリマー末端のＮＨに直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基、またはスルホニル基を有する、置換されているかあるいは置換されていない一価の有機基であり、Ｇ＊はポリマー末端のＮに直接結合した少なくとも１つのカルボニル基またはスルホニル基を有する、置換されているか、あるいは置換されていない二価の有機基であり；前記ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが構造ＩまたはＩＩＩまたはＩＩＩ＊またはそれらの混合物のみからなる場合、前記組成物は更に
（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物を含む
という条件付きの、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記可塑剤が、少なくとも２つのＯＨ基を有するとともに沸点が前記ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点より高い少なくとも１つのポリヒドロキシ化合物である、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
前記可塑剤が、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーからなる群から選択される、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記可塑剤が、トリプロピレングリコール、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーからなる群から選択される、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記可塑剤が、沸点が前記ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項３１に記載の方法。
【請求項３６】
前記可塑剤が、トリプロピレングリコールの飽和モノエーテル、テトラプロピレングリコールの飽和モノエーテル、トリエチレングリコールの飽和モノエーテル、テトラエチレングリコールの飽和モノエーテル、およびペンタエチレングリコールの飽和モノエーテルからなる群から選択される、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記可塑剤が、トリ（プロピレングリコール）メチルエーテル、トリ（プロピレングリコール）プロピルエーテル、およびトリ（プロピレングリコール）ブチルエーテルからなる群から選択される、請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
前記可塑剤が、沸点が前記ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項３１に記載の方法。
【請求項３９】
前記可塑剤が、少なくとも２つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記組成物が更に少なくとも１つの接着促進剤を含有する、請求項３１に記載の方法。
【請求項４１】
前記接着促進剤が構造ＸＩＶの化合物を含み
【化１５】
2009505157.tif 000015
式中、各Ｒ１４はＣ１−Ｃ４のアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルキル基からなる群から独立に選択され、各Ｒ１５はＣ１−Ｃ４のアルキル基、Ｃ１−Ｃ４のアルコキシ基、Ｃ５−Ｃ７のシクロアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルコキシ基からなる群から独立に選択され、ｄは０から３の整数であり、ｑは１から６の整数であり、Ｒ１６は次の部分のうちのいずれか１つであり、
【化１６】
2009505157.tif 000016
式中、各Ｒ１７とＲ１８はＣ１−Ｃ４のアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルキル基からなる群から独立に選択され、Ｒ１９はＣ１−Ｃ４のアルキル基、およびＣ５−Ｃ７のシクロアルキル基からなる群から独立に選択される、請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
式中、Ｒ１６が
【化１７】
2009505157.tif 000017
からなる群から選択される、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
前記接着促進剤が
【化１８】
2009505157.tif 000018
からなる群から選択される、請求項４０記載の方法。
【請求項４４】
前記少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが、構造ＶＩ、ＶＩＩ、およびＶＩＩ＊を有するポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーからなる群から選択される少なくとも１つのＰＢＯ前躯体ポリマーを含み、
【化１９】
2009505157.tif 000019
式中、Ａｒ１は四価の芳香族基、四価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ２は二価の芳香族基、二価の複素環基、二価の脂環基、およびケイ素を含む場合がある二価の脂肪族基からなる群から選択され；Ａｒ３は二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基、およびそれらの混合からなる群から選択され；Ａｒ４はＡｒ１（ＯＢ）ｋ３（ＯＨ）ｋ４およびＡｒ２からなる群から選択され；ｘは１０から１０００までの整数であり、ｙは０から９００の整数かつ（ｘ＋ｙ）＜１０００であり；Ｂは酸感受性基のＲ１および酸感受性基のＲ２を含むＥ−Ｏ−Ｒ２部分からなる群から選択され；Ｅは酸に不安定でなく−Ｅ−ＯＨ部分をアルカリ可溶化部分にする二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基からなる群から選択され、ｋ３は０．１から２までの任意の数であり、ｋ４は（ｋ３＋ｋ４）＝２を条件とする０〜１．９の任意の数であり；Ｇはポリマー末端のＮＨに直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基、またはスルホニル基からなる群から選択された基を有する、置換されたまたは置換されていない一価の有機基であり、Ｇ＊はポリマー末端のＮに直接結合した少なくとも１つのカルボニル基またはスルホニル基を有する、置換された、または置換されていない二価の有機基であり、前記組成物が更に照射によって酸を放出する少なくとも１つの光活性化合物（ＰＡＧ）を含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項４５】
式中、前記Ａｒ１基と結合したＯ原子と組み合わさったＲ１がアセタール基、ケタール基、エーテル基、シリルエーテル基、およびそれらの混合からなる群から選択された基を形成する、請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
式中、Ｒ１が
【化２０】
2009505157.tif 000020
からなる群から選択される、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
式中、前記Ａｒ１基と結合したＯ原子と組み合わさったＲ１がアセタール基を形成する、請求項４４に記載の方法。
【請求項４８】
式中、Ｒ１が
【化２１】
2009505157.tif 000021
からなる群から選択される、請求項４７に記載の方法。
【請求項４９】
式中、Ｅ−Ｏ−Ｒ２が
【化２２】
2009505157.tif 000022
からなる群から選択される、請求項４４に記載の方法。
【請求項５０】
式中、Ｅ−Ｏ−Ｒ２が
【化２３】
2009505157.tif 000023
からなる群から選択される、請求項４４に記載の方法。
【請求項５１】
前記可塑剤が、少なくとも２つのＯＨ基を有するとともに、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つのポリヒドロキシ化合物である、請求項４４に記載の方法。
【請求項５２】
前記可塑剤が、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーからなる群から選択される、請求項５１に記載の方法。
【請求項５３】
前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つの飽和グリコールモノエーテルである、請求項４４に記載の方法。
【請求項５４】
前記可塑剤が、トリプロピレングリコールのモノエーテル、テトラプロピレングリコールのモノエーテル、トリエチレングリコールのモノエーテル、テトラエチレングリコールのモノエーテル、およびペンタエチレングリコールのモノエーテルからなる群から選択される、請求項５３に記載の方法。
【請求項５５】
前記可塑剤が、沸点が前記の化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点よりも高い少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項４４に記載の方法。
【請求項５６】
前記可塑剤が、少なくとも２つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する少なくとも１つのカルボン酸エステルである、請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
前記少なくとも１つの光活性化合物が、オキシムスルホン酸、トリアジン、ジアゾキノンスルホン酸、および、スルホン酸のスルホニウム塩またはヨードニウム塩からなる群から選択される、請求項４４に記載の方法。
【請求項５８】
前記少なくとも１つの光活性化合物が
【化２４】
2009505157.tif 000024
（式中、Ｒ６とＲ７は、それぞれ独立に直鎖状、分岐状、または環状の１〜２０個の炭素原子を含むアルキル基またはアリール基であり、Ｘ−はＲ２１ＳＯ３−であり、Ｒ２１は置換された、または置換されていない直鎖状、分岐状、または環状のＣ１−Ｃ２５アルキル、または合計６〜２５個の炭素を有する単一または多核のアリール基であり；Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０およびＲ１１は、独立に直鎖状、分岐状、または環状アルキル基であり、Ｒ１２は直鎖状または分岐状のＣ１−Ｃ８アルキル基、Ｃ５−Ｃ８シクロアルキル基、カンフォロイル基、またはトルイル基である）
からなる群から選択される、請求項４４に記載の方法。
【請求項５９】
請求項３０、３１、および４４のいずれか一項に記載の方法に従って製造された凹凸構造。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
本発明は、
（ａ）少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
（ｂ）少なくとも１つの可塑剤であって、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマー、飽和グリコールモノエーテル、エチルシクロヘキシルアセテート、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、ｎ−ブチルシンナメート、エチル−３，３’−ジエトキシプロピオネート、コハク酸ジメチル、コハク酸ジイソプロピル、マレイン酸ジメチル、マロン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アセトアミドマロン酸ジエチル、アリルマロン酸ジエチル、およびシクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸ジメチルからなる群から選択される可塑剤、
（ｃ）少なくとも１つの溶媒を含有し、前記組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物も組成物中に存在するという条件付の、耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物を対象とする。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
本発明は、
（ａ）少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、
（ｂ）少なくとも１つの可塑剤であって、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマー、飽和グリコールモノエーテル、エチルシクロヘキシルアセテート、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、ｎ−ブチルシンナメート、エチル−３，３’−ジエトキシプロピオネート、コハク酸ジメチル、コハク酸ジイソプロピル、マレイン酸ジメチル、マロン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アセトアミドマロン酸ジエチル、アリルマロン酸ジエチル、およびシクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸ジメチルからなる群から選択される可塑剤、
（ｃ）少なくとも１つの溶媒を含有し、前記組成物中に存在する前記可塑剤の量が、その後の基材の金属化において、撮像された物の急角度に起因するストレス障害を防ぐために、基材上のコーティングフィルムにおいて撮像されて硬化された物の側壁角を減少させるのに効果的な量であり、ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーがポリマー内に光反応性部分を含まないポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーのみから構成される場合には（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物を含むという条件付の、耐熱性ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物を対象とする。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
【化２】
2009505157.tif 000025
式中、ＲはＨ，ハロゲン、Ｃ１−Ｃ４アルキル基、Ｃ１−Ｃ４アルコキシ基、シクロペンチル、またはシクロヘキシルであり；ｋ１は約０．５までの任意の正の数である可能性があり、ｋ２は（ｋ１＋ｋ２）＝２であることを条件として約１．５から約２までの任意の正の数である可能性があり、Ｇはポリマー末端のＮＨに直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基、またはスルホニル基を有する、置換されるか、あるいは置換されない一価の有機基であり、Ｇ＊はポリマー末端のＮに直接結合した少なくとも１つのカルボニル基またはスルホニル基を有する、置換されるか、あるいは置換されない二価の有機基であり、
（ｂ）少なくとも１つの可塑剤化合物、
（ｃ）少なくとも１つの溶媒を含有し、構造Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩもしくはその混合のみから構成される場合には（ｄ）少なくとも１つの光反応性化合物が添加されるという条件付きの、ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物を対象とする。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
任意で、ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、界面活性剤、接着促進剤、平滑化剤、および溶解速度調節剤を含む可能性もある、その他の添加物を含むこともできる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、少なくとも１つの可塑剤を含む。可塑剤は、軟焼成後にフィルム中に残るように典型的な焼成温度である約７０℃から約１５０℃で溶媒よりも揮発性が低くなくてはならない。これは一般的に、可塑剤の官能基とジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の他の成分との相互作用が揮発性を十分に低下させないかぎりは、本発明の可塑剤は使用される溶媒よりも沸点が高いことを意味する。この沸点差は少なくとも約１０℃であることが好ましい。より好適な沸点差は、少なくとも約１５℃である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に関する本発明の一実施形態では、可塑剤は、少なくとも二つのＯＨ基を持つ少なくとも１つのポリヒドロキシ化合物であり、沸点がジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点より高い。少なくとも二つのＯＨ基を持つポリヒドロキシ化合物の例は、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、グリセロール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ソルビトール、シクロヘキサンジオール、４，８−ビス（ヒドロキシメチル）−トリシクロ（５．２．１．０／２，６）デカン、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールとの２−オキセパノンのコポリマーを含むが、これに限定されるものではない。少なくとも二つのＯＨ基を持つポリヒドロキシ化合物の好適な例は、ジエチレングリコール、トリプロピレングリコール、および２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールとの２−オキセパノンのコポリマーである。より好適な少なくとも２つのＯＨ基をもつポリヒドロキシ化合物は、トリプロピレングリコールおよび２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールと２−オキセパノンとのコポリマーである。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５４】
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に関する本発明のもう一つの実施形態では、可塑剤は、沸点がジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点より高い、少なくとも１つの飽和グリコールモノエーテルである。適切な飽和グリコールモノエーテルの例は、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、およびペンタエチレングリコールの飽和モノエーテルを含むが、これに限定されるものではない。好適な飽和グリコールモノエーテルはトリプロピレングリコール、トリエチレングリコール、およびテトラエチレングリコールの飽和モノエーテルである。より好適な飽和グリコールモノエーテルはトリ（プロピレングリコール）メチルエーテル、トリ（プロピレングリコール）プロピルエーテル、およびトリ（プロピレングリコール）ブチルエーテルである。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５５】
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に関する本発明のもう一つの実施形態では、可塑剤は、沸点がジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の溶媒の沸点より高い、少なくとも１つの飽和カルボン酸エステルである。例は、エチルシクロヘキシルアセテート、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、ｎ−ブチルシンナメート、エチル−３，３’−ジエトキシプロピオネート、コハク酸ジメチル、コハク酸ジイソプロピル、マレイン酸ジメチル、マロン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アセトアミドマロン酸ジエチル、アリルマロン酸ジエチル、およびシス−トランス異性体の混合物、シクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸ジメチルを含むが、これに限定されるものではない。好適なカルボン酸エステルは、少なくとも二つのカルボン酸基を含むカルボン酸に由来する。例はコハク酸ジメチル、コハク酸ジイソプロピル、マレイン酸ジメチル、マロン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アセトアミドマロン酸ジエチル、アリルマロン酸ジエチル、およびシス−トランス異性体の混合物、シクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸ジメチルを含むが、これに限定されるものではない。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５６】
本発明の好適な実施形態は、少なくとも２つのＯＨ基とグリコールエーテルを有するポリヒドロキシ化合物からなる群から選択された、少なくとも１つの可塑剤を含むジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物である。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５７】
本発明のより好適な実施形態は、少なくとも２つのＯＨ基を有するポリヒドロキシ化合物からなる群から選択された、少なくとも１つの可塑剤を含むジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物である。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５８】
このジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の適切な溶媒は極性有機溶媒である。極性有機溶媒の適切な例は、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、Ｎ−エチル−２−ピロリドン、ガンマ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、ジメチル−２−ピペリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、乳酸エチル、およびそれらの混合を含むが、これに限定されるものではない。好適な溶媒はガンマ−ブチロラクトン、Ｎ−エチル−２−ピロリドン、およびＮ−メチル−２−ピロリドンである。最も好適な溶媒はガンマ−ブチロラクトンである。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５９】
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の光活性化合物（ｄ）は、１つ以上の構造Ｄの化合物（上述）を有する約２つから約９つまでの芳香族ヒドロキシル基を含む化合物の縮合生成物である１つ以上のジアゾナフトキノン光活性化合物を含む。好適な構造Ｄは、５−ナフトキノンジアジドスルホニル化合物および／または４−ナフトキノンジアジドスルホニル化合物である。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６３】
本発明のポジ型ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、少なくとも１つの構造ＩまたはＩＩまたはＩＩＩまたはＩＩＩ＊またはＩＶまたはＩＶ＊のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーを総組成物の少なくとも約５重量％から約５０重量％まで含む。少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ＩまたはＩＩまたはＩＩＩまたはＩＩＩ＊またはＩＶまたはＩＶ＊のより好適な量は、約１０重量％から約４５重量％までである。少なくとも１つのポリベンゾオキサゾール前躯体ＩまたはＩＩまたはＩＩＩまたはＩＩＩ＊またはＩＶまたはＩＶ＊の最も好適な量は、約２０重量％から約４０重量％までである。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６４】
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に用いられるポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーは、構造Ｉで述べられたポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、構造ＩＩで述べられたポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、構造ＩＩＩで述べられたポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、構造ＩＩＩ＊で述べられたポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、構造ＩＶで述べられたポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、構造ＩＶ＊で述べられたポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマー、あるいはそれらの混合物を含んでもよい。構造Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩ、ＩＩＩ＊、ＩＶ、ＩＶ＊で述べられたポリマーは、任意の比で混合されてもよい。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６５】
本発明のジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に用いられる可塑剤の量は、組成物総重量の約０．１重量％から約２０重量％であり、好適には約１重量％から約１０重量％であり、より好適には約１．２５重量％から約７．５重量％であり、最も好適には約１．５重量％から約５重量％である。可塑剤は任意の適切な比で共に混合されてもよい。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６６】
溶媒は、ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物を約４０重量％から約８０重量％含む。好適な溶媒の範囲は、約４５重量％から約７０重量％までである。より好適な溶媒の範囲は、約５０重量％から約６５重量％までである。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６７】
本発明のジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に用いられる光活性化合物の量は、組成物総重量の約０重量％から約２０重量％であり、好適には約２重量％から約１０重量％であり、最も好適には約３重量％から約５重量％である。光活性化合物は、任意の適切な比で共に混合されてもよい。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６８】
任意で、接着促進剤がジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に含まれてもよい。使用する場合には、接着促進剤の量は組成物総重量の約０．１重量％から約２重量％の範囲にわたる。好適な接着促進剤の量は約０．２重量％から約１．５重量％である。より好適な接着促進剤の量は約０．３重量％から約１重量％である。適切な接着促進剤はアミノシランおよびそれらの混合物または誘導体を含むが、これに限定されるものではない。本発明で使用される可能性がある適切な接着促進剤の例は、構造ＸＩＶで述べられるものでもよく、
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
本発明のジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、更に他の添加物を含んでもよい。適切な添加物は、例えば平滑化剤、溶解抑制剤などを含む。このような添加物は、ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物に組成物総重量の約０．０３重量％から約１０重量％で含まれてもよい。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７７】
【化２０】
2009505157.tif 000026
式中、Ａｒ１は四価の芳香族基、四価の複素環基、またはその混合であり；Ａｒ２は二価の芳香族基、二価の複素環基、二価の脂環基、またはケイ素を含む場合がある二価の脂肪族基であり；Ａｒ３は二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基、またはそれらの混合であり；Ａｒ４はＡｒ１（ＯＢ）ｋ３（ＯＨ）ｋ４またはＡｒ２である可能性があり；ｘは約１０から約１０００までの整数であり；ｙは０から約９００の整数で（ｘ＋ｙ）＜１０００であり；Ｂは酸感受性基のＲ１または酸感受性基のＲ２を含むＥ−Ｏ−Ｒ２部分であり；Ｅは酸に不安定でなく−Ｅ−ＯＨ部分をアルカリ可溶化部分にする任意の適した二価の芳香族基、二価の脂肪族基、二価の複素環基であり、ｋ３は０．１から２までの任意の数である可能性があり、ｋ４は（ｋ３＋ｋ４）＝２を条件とする０〜１．９の任意の数である可能性があり；Ｇはポリマー末端のＮＨに直接結合したカルボニル基、カルボニルオキシ基、またはスルホニル基を有する置換されたまたは置換されていない一価の有機基であり、Ｇ＊はポリマー末端のＮに直接結合した少なくとも１つのカルボニル基またはスルホニル基を有する置換された、または置換されていない一価の有機基であり；
（ｂ）少なくとも１つの可塑剤化合物；
（ｃ）照射によって酸を放出する少なくとも１つの光活性化合物（ＰＡＧ）；および
（ｄ）少なくとも１つの溶媒
を含有する、熱耐性ポジ型の化学的に増強された感光性ＰＢＯ前躯体組成物である。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９１】
化学的に増強された本発明のポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、少なくとも１つの可塑剤を更に含む。可塑剤は、軟焼成後のフィルムに残留するように、一般的な焼成温度である約１００℃から約１５０℃までで使用される溶媒よりも低い揮発性を有していなければならない。このことは一般的に、可塑剤の官能基と化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物の他の成分との相互作用が揮発性を十分に低下させないかぎりは、本発明の可塑剤は使用される溶媒よりも沸点が高いことを意味する。この沸点差は少なくとも約１０℃であることが好ましい。より好適な沸点差は、少なくとも約１５℃である。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１２】
本発明の別の実施形態は、凹凸パターンを形成するための方法に関する。方法は、
（ａ）適切な基材のコーティングの工程であり、
１．  構造Ｉ、またはＩＩ、またはＩＩＩ、またはＩＩＩ＊、またはＩＶ、またはＩＶ＊、またはそれらの混合、少なくとも１つの可塑剤、および少なくとも１つの溶媒を有する、１つ以上のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーを含むジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物で、ポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーが構造Ｉ、またはＩＩ、またはＩＩＩ、またはＩＩＩ＊、またはそれらの混合のみから成る場合には、少なくとも１つの光活性剤化合物が添加されることを条件とするか、あるいは、
２．  構造ＶＩ、またはＶＩＩ、またはＶＩＩ＊、またはそれらの混合、少なくとも１つの可塑剤、照射で酸を放出する少なくとも１つの光活性剤化合物（ＰＡＧ）、および少なくとも１つの溶媒を有する、１つ以上のポリベンゾオキサゾール前躯体ポリマーを含む化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物であり、
それによってコーティングされた基材を形成する工程；
（ｂ）コーティングされた基材の前焼成の工程；
（ｃ）前焼成してコーティングされた基材の化学線曝露の工程；
（ｄ）任意で、コーティングして露光された基材の露光後焼成の工程；
（ｅ）現像された、コーティングされた基材上の未硬化の凹凸像を形成するための、コーティングされ露光された基材の水性現像液による現像の工程；および
（ｆ）現像された、コーティングされた基材を高温で焼成し、凹凸像を硬化する工程、を含み、
化学的に増強されたポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物（組成物２）が工程（ａ）で用いられる場合は露光後の工程（ｄ）が必要であることを条件とする工程である。
【誤訳訂正２４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１７】
結果として得られるフィルムは高温で前焼成される。ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物でコーティングされたウエハーは、約７０℃から約１３０℃までの温度範囲の１つ以上の温度で焼成されてもよい。好適には、温度範囲は約８０℃から約１３０℃までであり、より好適には、温度範囲は約８０℃から約１２０℃までであり、最も好適には、コーティングは約９０℃から約１００℃で焼成される。
【誤訳訂正２５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２２】
露光され、ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物でコーティングされた基材に対する化学線照射後のこの追加加熱工程は任意である。用いる場合には、基材は１３０℃を越えて加熱してはならない。
【誤訳訂正２６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２１６】
（第１１実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例１３で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを３、ＰＡＣ  Ｂ（下記参照）を１５、トリプロピレングリコールを１０、ＧＢＬを１７３の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正２７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２１９】
（比較例６）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例１３で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを３、ＰＡＣ  Ｂ（実施例１１を参照）を１５、ＧＢＬを１７３の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正２８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２２２】
（比較例７）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例１３で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを３、ＰＡＣ  Ｂ（実施例１１を参照）を１５、トリ（エチレングリコール）メチルビニルエーテルを１０、ＧＢＬを１７３の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正２９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２２５】
（第１２実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例３で述べた方法によって調製したポリマーを１００、Ｎ−フェニル−ガンマ−アミノプロピルトリメトキシシランを２．５、ＰＡＣ  Ｆ（下記参照）を２２、トリプロピレングリコールモノメチルエーテルを８、ＧＢＬを１３５、ＰＧＭＥＡを２５、乳酸エチルを１５の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２２８】
（比較例８）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例３で述べた方法によって調製したポリマーを１００、Ｎ−フェニル−ガンマ−アミノプロピルトリメトキシシランを２．５、ＰＡＣ  Ｆを２２、ＧＢＬを１３５、ＰＧＭＥＡを２５、乳酸エチルを１５の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２３１】
（第１３実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例４で述べた方法によって調製したポリマーを１００、Ｎ−（３−トリエトキシシリルプロピル）マレイン酸モノアミドを２、ＰＡＣ  Ｊ（下記参照）を１２、コハク酸ジメチルを１２、ＧＢＬを１６５、乳酸エチルを１０の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２３４】
（比較例９）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例４で述べた方法によって調製したポリマーを１００、Ｎ−（３−トリエトキシシリルプロピル）マレイン酸モノアミドを２、ＰＡＣ  Ｊを１２、ＧＢＬを１６５、乳酸エチルを１０の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２３７】
（第１４実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例７で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを４、合成例８から得たビスフェノールＡＰ（ＰＡＣ  Ａ）を１６、テトラエチレングリコールを１２、ＮＭＰを１７０の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２４０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２４０】
（比較例１０）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例７で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを４、合成例８から得たビスフェノールＡＰ（ＰＡＣ  Ａ）を１６、ＮＭＰを１７０の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２４３】
（第１５実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例９で述べた方法によって調製したポリマーを１００、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを２．５、合成例８から得たビスフェノールＡＰ（ＰＡＣ  Ａ）を２４、マレイン酸ジブチルを８、ＮＭＰを８０、ＧＢＬを９５の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２４６】
（比較例１１）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例９で述べた方法によって調製したポリマーを１００、トリエトキシシリルプロピルエトキシカルバメートを２．５、合成例８から得たビスフェノールＡＰ（ＰＡＣ  Ａ）を２４、ＮＭＰを８０、ＧＢＬを９５の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２４９】
（第１６実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例１２で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを３、ＰＡＣ  Ｂを１６、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−１，３−プロパンジオールを有するポリマーである２−オキセパノンを９、ＧＢＬを１５０、ＰＧＭＥＡを２０、乳酸エチルを５の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２５２】
（比較例１２）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例１２で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ガンマ−メルカプトプロピルトリメトキシシランを３、ＰＡＣ  Ｂを１６、ＧＢＬを１５０、ＰＧＭＥＡを２０、乳酸エチルを５の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。
【誤訳訂正３９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２５５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２５５】
（第１７実施例）
ジアゾキノン含有ポジ型感光性ＰＢＯ前躯体組成物は、合成例１３で述べた方法によって調製したポリマーを１００、ＰＡＣ  Ｂを１５、トリプロピレングリコールを１０、ＧＢＬを１７３の割合で混合し、０．２μｍテフロンフィルターで濾過して調製した。