【事件の表示】
　特願２００８−１２６８３２号「真空開閉弁」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年４月９日出願公開、特開２００９−７４６８１号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、平成２０年５月１４日（優先権主張平成１９年８月２９日）の出願であって、平成２０年１２月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年２月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２０年６月９日付け、平成２０年８月２５日付け、及び平成２０年１１月１３日付けの手続補正により補正された明細書、特許請求の範囲及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、次のとおりのものと認める。
「真空容器と真空ポンプとの間に接続し、弁座に対し弁体の開度を変化させて前記真空容器内の真空圧力を制御する真空開閉弁であって、ピストンの外周面とシリンダの内周面との所定の隙間を、ピストンの動作と共に追従するベロフラムで密閉し、流体によりピストンを駆動させて開閉する真空開閉弁において、
（ａ）前記ベロフラムは、
（ａ−１）前記ベロフラムの面に沿った方向に可撓性のあるトリコット織りを有する基布をインサート成形したゴム成形部材からなり、
（ａ−２）中心断面の断面形状において、前記ピストンのストローク方向に沿う軸線とのなす角度が異なる傾斜面を２つ備えるとともに、径方向の周縁に前記シリンダに固定する固定部を有しており、
（ａ−３）前記ベロフラムの前記ピストンと接触する内周面が、前記傾斜面のうち、角度の小さな傾斜面であって、所定の第１傾斜角度で形成され、
（ａ−４）前記傾斜面同士を繋ぐ変曲部は、前記ベロフラムにおける前記軸線方向中央の位置より、前記固定部側に位置すること、
（ｂ）前記ピストンの外周面が、前記第１傾斜角度と等しい第２傾斜角度で形成されていること、
（ｃ）前記ベロフラムが、前記弁体と前記ピストンとを接続するロッドの外周と嵌合することにより、前記ベロフラムを位置決めする嵌合孔を備えること、
を特徴とする真空開閉弁。」
　
３．引用例の記載事項 
（１）特開２００２−１３２３５４
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００２−１３２３５４（以下、「引用例１」という。）には、「真空圧力制御装置」に関して、図面とともに次の事項が記載されている。
　ア．「【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程で使用される真空容器内の真空圧力を所定値に正確かつ迅速に保持するための真空圧力制御装置に関し、さらに詳細には、大気圧に近い低真空圧力を所定値に正確かつ迅速に保持するための真空圧力制御装置に関するものである。」（段落【０００１】）
　イ．「・・・真空圧力制御装置が利用される真空圧力制御システムの一実施の形態の全体構成を図５に示す。真空容器である真空チャンバ１１の内部に、ウエハ１５が段状に配置される。真空チャンバ１１には、入口１３と出口１４が形成され、入口１３には、プロセスガスの供給源及び真空チャンバ１１内をパージするための窒素ガスの供給源が接続している。出口１４には、弁開度比例弁である真空比例開閉弁１８の入口ポートが接続されている。真空比例開閉弁１８の出口ポートは、真空ポンプ１９に接続している。また、出口１４には、遮断弁１６を介して圧力センサ１７が接続されている。本実施の形態では、圧力センサ１７として、キャパシタンス・マノメータを使用している。」（段落【００１２】）
　ウ．「・・・また、ピストン４１の下面には、ベロフラム５１の内周端部が固定されている。ベロフラム５１の外周端部は、単動空気圧シリンダ４３の室壁に固定されている。ベロフラム５１は、極めて薄く設計され、構造的には、強力なポリエステル、テトロン布等の上にゴムを被覆したものである。ベロフラム５１とは、長いストロークと深い折り返し部を持ち、作動中にその有効受圧面積が一定不変に保たれる円筒形のダイヤフラムである。本実施の形態では、パイロットシリンダ３２のピストン４１両側の隔離にベロフラム５１を使用しているので、ピストン４１のスティックスリップの発生がなく、ピストン４１を高い応答性と正確な位置精度で移動させることが可能である。
　ピストン４１の中央には、ピストンロッド３７が固設され、ピストン４１の移動に応じて上下に摺動する。ピストンロッド３７の下端には、ポペット弁体３３が付設されている。・・・」（段落【００１４】及び【００１５】）
　エ．「弁座３６は、弁本体４５の下部中央に形成された中空円筒の内面として形成されている。また、弁座３６の上部のの段差部には、水平弁座部３６ａが形成されている。そして、ステンレス弁体３４のテーパ面３４ａが弁座３６の中心線に沿って移動することにより、テーパ面３４ａと弁座３６とで構成される隙間の面積が変化し、真空比例開閉弁１８の弁開度が変化される。また、ポペット弁体３３が弁座３６の水平弁座部３６ａに当接されたときは、Ｏリング３５が押圧されることにより、流体の漏れが完全に遮断される。・・・」（段落【００１６】）
　オ．「次に、上記構成を有する真空圧力制御制御装置の作用を説明する。始めに、急速給排気動作について説明する。全開にするときは、第１電磁弁６０をＯＦＦ状態にし、第２電磁弁６１をＯＮ状態とする。これにより、第２電磁弁６１の第１入力ポート６１１が出力ポート６１３と接続し、第１電磁弁６０の第２入力ポート６０２が出力ポート６０３と接続し、真空比例開閉弁１８に駆動エアが供給される。ポペット弁体３３のステンレス弁体３４は、弁座３６から遠く離間しており、真空ポンプ１９が真空チャンバ１１内の気体を大量に吸引し、急速に排気することができる。
　次に、全閉状態について説明する。第１電磁弁６０をＯＦＦ状態にし、第２電磁弁６１もＯＦＦ状態とする。これにより、第２電磁弁６１の第２入力ポート６１２が出力ポート６１３と接続し、第１電磁弁６０の第２入力ポート６０２が出力ポート６０３と接続し、真空比例開閉弁１８が排気配管に接続される。そして、真空比例開閉弁１８に駆動エアが供給されず、パイロット弁内部の空気が排気され、ピストン４１は、復帰バネ４２により下向きに付勢され図１に示すように、ポペット弁体３３は弁座３６の上面に当接される。このとき、Ｏリング３５が、ポペット弁体３３と弁座３６の水平弁座部３６ａに押圧されて変形するため、流体の漏れがなく真空比例開閉弁１８は完全に遮断される。一方、停電等が発生した場合にも、第１電磁弁６０及び第２電磁弁６１は、復帰バネにより出力ポート６０３と第２入力ポート６０２が連通し、かつ出力ポート６１３と第２入力ポート６１２が連通し、同様に、真空比例開閉弁１８は、復帰バネ４２により遮断される。これにより、緊急時の遮断機能が実現されている。
　次に、低真空領域、中真空領域、及び高真空領域におけるポペット弁体３３の位置制御動作について説明する。ステンレス弁体３４がテーパ面３４ａを有しているので、ポペット弁体３３の停止する位置により、弁座３６とテーパ面３４ａが形成する隙間の断面積が僅かづつ変化する。そのため、ポペット弁体３３の停止位置を制御することにより、弁の開度を微小量変化させる制御を行うことができる。中真空領域では、テーパ面３４ａが弁座３６に対抗する位置に停止するよう制御し、高真空領域では、テーパ面３４ａが弁座３６から少し離れた位置に停止するように制御している。そして、低真空領域及びより大気圧に近い低々真空領域では、完全遮断している状態のＯリング３５の弾性変形量を、パイロット弁に加えている空気圧を徐々に低減させることにより減少させることにより、Ｏリング３５からの漏れを発生させ、その微小の漏れ量により低真空圧力を実現している」（段落【００１９】〜【００２１】）
　カ．図１には、ピストン４１の下面にベロフラム５１の内周端部が固定され、ピストン４１の中心にピストンロッド３７が設けられている点が図示されている。この図１からみて、ピストンロッド３７がベロフラム５１を貫通して延びていること、及び、ベロフラム５１の内周端部をピストン４１の下面と板状部材とで挟持して、ベロフラム５１をピストン４１に取り付けていることが看取できる。
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合し、本願発明の記載ぶりに倣って整理すると、引用例１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
「真空チャンバ１１と真空ポンプ１９との間に接続し、弁座３６に対しポペット弁体３３の開度を変化させて前記真空チャンバ１１内の真空圧力を制御する真空比例開閉弁１８であって、ピストン４１の外周面と単動空気圧シリンダ４３の内周面との所定の隙間を、ピストン４１の動作と共に追従するベロフラム５１で密閉し、駆動エアによりピストン４１を駆動させて開閉する真空比例開閉弁１８において、
（ａ）前記ベロフラム５１は、
（ａ−１’）強力なポリエステル、テトロン布等の上にゴムを被覆したものである真空比例開閉弁１８。」 
　
（２）実願昭６１−９４０５０号（実開昭６３−１９０２号）のマイクロフィルム
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である実願昭６１−９４０５０号（実開昭６３−１９０２号）のマイクロフィルム（以下、「引用例２」という。）には、「ベローフラムリテーナ」に関して、図面とともに次の事項が記載されている。
　キ．「このベローフラム１３の内周面とベローフラムリテーナ１１の外周面との間に間隙が生じるので、第４図に示すような状態にすると、前記ベローフラム１３の内周面とベローフラムリテーナ１１の外周面との間の間隙によって、第５図に示すように、ベローフラム１３の周壁部１４に多数の歪み（しわ）１５が発生してしまい、さらに、この状態で圧力が印加されると前記歪み（しわ）１５に部分的に力が集中して作用してしまうので、この作用力によってベローフラム１３が破損してしまうという問題点を有していた。」（明細書３ページ１行〜１２行）
　ク．「また、前記ベローフラムリテーナ１を使用したアクチュエータ５は、第２図に示すように、ベローフラム３の開口周縁部が折り返されたのちにケーシング６に固定されるとともに、ベローフラム３の一端がベローフラムリテーナ１の一端と板状部材７とで挟持されてロッド８に連結されていて、孔９に負圧が印加されると、実線の状態にあるベローフラム３がベローフラムリテーナ１と共にばね１０の付勢力に抗して上方に移動して鎖線で示す状態となり、さらに、孔９に負圧が印加されなくなるとばね１０の付勢力により、ベローフラム３がベローフラムリテーナ１と共に実線で示す状態に復帰することによって、ロッド８を上下動させるようになっている。
　すなわち、この考案によるベローフラムリテーナにおいては、前述の如く、ベローフラムリテーナ１の周壁部２がベローフラム３の周壁部４と同様のテーパ状に形成されていて、ベローフラム３の周壁部４との密着性が良いので、ベローフラム３の開口先端縁部を折り返えした使用時にあっては、ベローフラム３の内周面とベローフラムリテーナ１の外周面との間隙が少ないのでベローフラム３の周壁部４に歪み（しわ）が発生することが少なく、したがって、第２図に示すように、開口先端縁部が折り返えされてベローフラム３が上下に移動される状態となった時に、折り返し時に発生する歪み（しわ）部に力が集中して作用することが少ないので、ベローフラム３の耐久性を大幅に向上することができることとなる。」（明細書５ページ９行〜６ページ１９行）
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合し、本願発明の記載ぶりに倣って整理すると、引用例２には、次のような技術事項を含む発明が記載されている。
　「（ｂ’）ベローフラムリテーナ１の周壁部２をベローフラム３の周壁部４と同様のテーパ状に形成すること」
　
（３）特開昭５６−４９４６２号公報
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開昭５６−４９４６２号公報（以下、「引用例３」という。）には、「ローリングダイヤフラム」に関して、図面とともに次の事項が記載されている。
　ケ．「このローリングダイヤフラム１は第４図に示すように深いキヤツプ部２とそれの開口縁３に一体に形成されたフランジ部４とを有する山高帽子形をなすもので、機器に装着する場合には、第５図に示すようにキヤツプ部２の頂壁５を機器のピストン６の頂面７に密着させて固定し、キヤツプ部２の周壁８をピストン外周面９と、それと一定間隔をとつて配設された機器のシリンダ１０の内周面１１との間において断面Ｕ字形に折曲げてローリング部１２を形成し、フランジ部４をシリンダ１０の開口縁１３に密着させて固定するものである。そしてシリンダ１０内の圧力変化にピストン６が応答して左右方向に移動すると、ローリング部１２がピストン外周面９から剥れるように同方向に転動、つまりローリングして移動し、ピストン６の左右方向へのストロークを大きくとれる点に特長を有するものである。」（２ページ左上欄５行〜右上欄４行）
　コ．「この場合シリンダ１０内に圧力変化が発生しないか、またはその変化が少ない状態、即ち、ピストン非応動時において、第５図のようにローリング部１２が、その両端に連なる周壁部分をそれぞれピストン外周面９およびシリンダ内周面１１に密着させて形成させていれば、シリンダ１０内に圧力変化が発生した場合ローリング部１２がスムーズにローリングするが、これは理想であつて、従来のローリングダイヤフラムにおいては上記のような形態をとることはできない。
　即ち、従来のローリングダイヤフラムは、その周壁８をその全長にわたつて第４図点線示のように頂壁５から開口縁３に向けて直径を急峻に増加させるか、または実線示のように周壁８の頂壁５からローリング部１２の折曲げ開始端ａを越えた一定位置ｂまでの範囲の直径を、上記例よりも緩やかに増加させ、一定位置ｂから開口縁３までの直径を急峻に増加させた構成である。したがつてピストン非応動時に、前者においては直径の変化が大きいため第６図に示すようにローリング部１２に放射方向のしわ１４が複数発生し、そのしわ１４の部分に亀裂を生じて寿命を短縮するという不具合があり、また後者においては上記しわの発生は認められないが、・・・」（２ページ右上欄５行〜左下欄１１行）
　サ．「第３図は本発明ローリングダイヤフラム１ａを内燃機関の負圧作動式点火時期制御装置に適用した場合を示す。１８はシリンダとしての中空円筒形のハウジングで、その内部にカツプ形のピストン１９が収容されている。連結杆２０がハウジング１８の突出部２１にスリーブ２２を介して摺動可能に支持され、そのハウジング内への突出端にピストン１９の頂面が連結され、また外部への突出端に図示しない配電器が連結されている。ローリングダイヤフラム１ａは、その頂壁５ａをピストン頂面に押え板２３によつて密着固定し、また周壁８ａによつてローリング部１２ａを形成し、更にフランジ部４ａをハウジング合せ部に密着固定してハウジング内に装着され、その内部を負圧室２４と大気室２５とに分割している。」（３ページ右上欄８行〜左下欄５行）
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合し、本願発明の記載ぶりに倣って整理すると、引用例３には、次のような技術事項を含む発明が記載されている。
　「周壁８の頂壁５からローリング部１２の折曲げ開始端ａを越えた一定位置ｂまでの範囲の直径を緩やかに増加させ、一定位置ｂから開口縁３までの直径を急峻に増加させた構成」
　
４．対比 
　本願発明と引用発明とを対比すると、その意味、機能又は作用等からみて、後者の「真空チャンバ１１」は前者の「真空容器」に相当し、以下同様に、「真空ポンプ１９」は「真空ポンプ」に、「弁座３６」は「弁座」に、「ポペット弁体３３」は「弁体」に、「真空比例開閉弁１８」は「真空開閉弁」に、「ピストン４１」は「ピストン」に、「単動空気圧シリンダ４３」は「シリンダ」に、「ベロフラム５１」は「ベロフラム」に、「駆動エア」は「流体」に、それぞれ相当する。また、引用発明の「前記ベロフラム５１は、強力なポリエステル、テトロン布等の上にゴムを被覆したものである」と本願発明の「前記ベロフラム５１は、（ａ−１）前記ベロフラムの面に沿った方向に可撓性のあるトリコット織りを有する基布をインサート成形したゴム成形部材からなり」とは、「基布を被覆したゴム成形部材」である点で共通する。
　したがって、両者は、本願発明の用語を用いて表現すると、次の点で一致する。
[一致点]
「真空容器と真空ポンプとの間に接続し、弁座に対し弁体の開度を変化させて前記真空容器内の真空圧力を制御する真空開閉弁であって、ピストンの外周面とシリンダの内周面との所定の隙間を、ピストンの動作と共に追従するベロフラムで密閉し、流体によりピストンを駆動させて開閉する真空開閉弁において、
（ａ）前記ベロフラムは、
基布を被覆したゴム成形部材からなる真空開閉弁。」 
　
　そして、両者は、次の点で相違する。 
[相違点]
　相違点１：本願発明は、ベロフラムが「（ａ−１）前記ベロフラムの面に沿った方向に可撓性のあるトリコット織りを有する基布をインサート成形したゴム成形部材」からなるのに対して、引用発明は、ベロフラム５１が（ａ−１’）強力なポリエステル、テトロン布等の上にゴムを被覆したものである点。
　相違点２：本願発明は、「（ａ−２）中心断面の断面形状において、前記ピストンのストローク方向に沿う軸線とのなす角度が異なる傾斜面を２つ備えるとともに、径方向の周縁に前記シリンダに固定する固定部を有しており、
（ａ−３）前記ベロフラムの前記ピストンと接触する内周面が、前記傾斜面のうち、角度の小さな傾斜面であって、所定の第１傾斜角度で形成され、
（ａ−４）前記傾斜面同士を繋ぐ変曲部は、前記ベロフラムにおける前記軸線方向中央の位置より、前記固定部側に位置する」のに対して、引用発明は、そのような構成を備えているか明らかでない点。
　相違点３：本願発明は、「（ｂ）前記ピストンの外周面が、前記第１傾斜角度と等しい第２傾斜角度で形成されている」のに対して、引用発明は、そのような構成を備えているか明らかでな点。
　相違点４：本願発明は、「（ｃ）前記ベロフラムが、前記弁体と前記ピストンとを接続するロッドの外周と嵌合することにより、前記ベロフラムを位置決めする嵌合孔を備える」のに対して、引用発明は、そのような構成を備えているか明らかでない点。
　
５．判断
　次に上記相違点について検討する。
（１）相違点１について
　引用発明においては、ベロフラム５１は、強力なポリエステル、テトロン布等の上にゴムを被覆したものである。
　ところで、ベロフラムはダイヤフラムの一種であるが、一般にダイヤフラムを、樹脂繊維等により織られた基布をインサート成形したゴム成形部材から構成することは、例えば特開平９−２６０３０号公報（段落【０００２】の「基布入りダイヤフラムは、通常のゴムのみから構成されるダイヤフラムでは、強度的に充分でないときに、広く使用されている。基布入りダイヤフラムは、樹脂繊維等により織られた基布をゴム成形機に装着し、インサート成形により基布の周囲にゴムを成形することにより製造される。」との記載を参照）などに見られるように従来周知の技術である。そして、基布を備えたゴム成形部材からなるダイヤフラムにおいて、基布として可撓性のあるトリコット織りを有する基布を用いることも、例えば特開平１０−３１７２６２号公報（段落【０００２】参照）、特開平１０−１３２０７７号公報（段落【００２０】参照）、実願平４−６１３９号（実開平５−６６３６８号）のＣＤ−ＲＯＭ（段落【００２２】の「ポリエステル繊維をトリコット編みした基布を用いることによって、従来の平織りからなるポリエステル繊維基布に比較して、柔軟性が高く、調圧感度の阻害や破損の原因となるシワの発生を効果的に抑制することができ」との記載を参照）などに見られるように従来周知の技術にすぎない。
　そうすると、引用発明に上記周知技術を適用して、ベロフラムを、ベロフラムの面に沿った方向に可撓性のあるトリコット織りを有する基布をインサート成形したゴム成形部材からなるベロフラムとし、上記相違点１に係る本願発明のように構成することは、当業者であれば容易に想到できたことである。
　
（２）相違点２について
　引用例３には、「従来のローリングダイヤフラムは、その周壁８をその全長にわたつて第４図点線示のように頂壁５から開口縁３に向けて直径を急峻に増加させるか、または実線示のように周壁８の頂壁５からローリング部１２の折曲げ開始端ａを越えた一定位置ｂまでの範囲の直径を、上記例よりも緩やかに増加させ、一定位置ｂから開口縁３までの直径を急峻に増加させた構成である。したがつてピストン非応動時に、前者においては直径の変化が大きいため第６図に示すようにローリング部１２に放射方向のしわ１４が複数発生し、そのしわ１４の部分に亀裂を生じて寿命を短縮するという不具合があり、また後者においては上記しわの発生は認められない」と記載されている（上記コ．参照）。この記載によれば、前者においては、ベロフラムの周壁部に縦方向のしわが発生し、このしわの部分に亀裂が生じるという課題があったが、その課題は、後者の構成、即ち、「周壁８の頂壁５からローリング部１２の折曲げ開始端ａを越えた一定位置ｂまでの範囲の直径を緩やかに増加させ、一定位置ｂから開口縁３までの直径を急峻に増加させた構成」を採用することにより解決することができることが記載されている。ここで、後者の構成は、本願発明の「（ａ−２）中心断面の断面形状において、ピストンのストローク方向に沿う軸線とのなす角度が異なる傾斜面を２つ備えるとともに、径方向の周縁にシリンダに固定する固定部を有しており、（ａ−３）ベロフラムのピストンと接触する内周面が、前記傾斜面のうち、角度の小さな傾斜面であって、所定の第１傾斜角度で形成され、（ａ−４）前記傾斜面同士を繋ぐ変曲部は、前記ベロフラムにおける前記軸線方向中央の位置より、前記固定部側に位置すること」という構成に相当するものである。
　そして、引用発明と引用例３に記載された発明は、どちらも「ピストンの外周面とシリンダの内周面との所定の隙間を、ピストンの動作と共に追従するベロフラムで密閉し、流体によりピストンを駆動させ」るものである点で、機能が共通し、かつその属する技術分野が共通するものである。
　そうすると、引用例１及び引用例３に接した当業者であれば、引用発明において、ベロフラムの周壁部に発生する縦方向のしわに起因する亀裂を防止するために、引用例３に記載された発明を適用し、相違点２に係る本願発明のように構成することは、格別の創意を要することなく容易に想到できたことである。
　
（３）相違点３について
　引用例２には、上記キ．に摘記したとおり、ベロフラムの内周面とピストンの外周面との間に間隙に起因してベロフラムの周壁部に縦方向のしわが発生し、そのしわによって破損が生じるという課題が記載されており、その課題の解決手段として、上記ク．に摘記したとおり、ベローフラムリテーナ１の周壁部２をベローフラム３の周壁部４と同様のテーパ状に形成するという構成を採用することが記載されている。そして、ベローフラムリテーナ１の周壁部２をベローフラム３の周壁部４と同様のテーパ状に形成するという構成は、本願発明の「（ｂ）ピストンの外周面が、前記第１傾斜角度と等しい第２傾斜角度で形成されていること」という構成に相当するものである。
　そして、引用発明と引用例２に記載された発明は、どちらも「ピストンの外周面とシリンダの内周面との所定の隙間を、ピストンの動作と共に追従するベロフラムで密閉し、流体によりピストンを駆動させ」るものである点で、機能が共通し、かつその属する技術分野が共通するものである。
　そうすると、引用例１及び引用例２に接した当業者であれば、ベロフラムの内周面とピストンの外周面との間に間隙に起因してベロフラムの周壁部に縦方向のしわが発生し、そのしわによって破損が生じるという課題を解決するために、引用発明に引用例２に記載された発明を適用し、上記相違点３に係る本願発明のように構成することは、格別の創意を要することなく容易に想到できたことである。
　
（４）相違点４について
　引用例１の図１を見ると、上記カ．にも記載したとおり、ピストン４１の下面にベロフラム５１の内周端部が固定され、ピストン４１の中心にピストンロッド３７が設けられ、ピストンロッド３７がダイヤフラム５１を貫通して延びていることが看取できることから、引用発明は、ベロフラム５１が嵌合孔を備えているものと推察でき、そして、その嵌合孔を、ポペット弁体３３とピストン４１とを接続するピストンロッド３７の外周に嵌合すれば、位置決めの精度はともかく、ベロフラム５１はピストンに対して一応位置決めすることができるものと推察される。
　ところで、ロッドを備えたピストンに対してベロフラムを固定する場合の固定手段として、ベロフラムに嵌合孔を設け、この嵌合孔をロッドの外周に嵌合して、ベロフラムをピストンに対して位置決めすることは、例えば実願昭４９−１８０９５号（実開昭５０−１０７８９５号）のマイクロフィルム（３ページ１１〜１５行、４ページ８〜１１行、第１図〜第３図参照）、実願昭５４−１０４７８６号（実開昭５６−２３７４９号）のマイクロフィルム（明細書２ページ５〜１６行、４ページ１３行〜５ページ４行、第１図、第２図及び第４図を参照）、特開２００１−３２３６０号公報（図１及び図２参照）などに見られるように、従来周知の技術手段にすぎない。
　そうすると、引用発明において、ベロフラムに上記周知手段を適用して、「（ｃ）ベロフラムが、弁体とピストンとを接続するロッドの外周と嵌合することにより、前記ベロフラムを位置決めする嵌合孔を備える」構成とし、上記相違点４に係る本願発明のように構成することは、当業者であれば容易に想到できたことである。
　
　そして、本願発明による効果も、引用発明、引用例２及び引用例３に記載された発明、並びに上記周知技術から当業者が予測し得た程度のものであって、格別なものとはいえない。
　
　したがって、本願発明は、引用発明、引用例２及び引用例３に記載された発明、並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　なお、審判請求人は、審判請求書の中で「本願請求項１に係る発明は、出願人が１０年もの間実験を重ねてベロフラムに縦方向のシワが発生する原因を究明し、その原因を解消するために、ベロフラムの素材やテーパの形状、ピストンのテーパの形状を一つ一つ検討して構成を限定しています。
　よって、ベロフラムに縦方向のシワが発生する原因が引用文献１（審決注：本審決の引用例１）、７〜９（審決注：本審決において周知例として例示した特開平１０−３１７２６２号公報、特開平１０−１３２０７７号公報、実願昭４９−１８０９５号（実開昭５０−１０７８９５号）のマイクロフィルム）に記載及び示唆されていない以上、当業者が引用文献１、７〜９に記載の発明と引用文献３（審決注：本審決の引用例２）及び４（審決注：本審決の引用例３）に記載の発明を寄せ集めて組み合わせること自体に技術的困難性があります。
　また、半導体製造ラインの停止回数を減らすために、真空開閉弁の耐久性を向上させることは、真空開閉弁の長年の課題です。本願出願日から少なくとも６年前には、６つの引用文献１、３、４、７、８、９に記載の発明が公知になっていたにもかかわらず、本願出願時において、当業者が本願請求項１に係る発明と同様の真空開閉弁を提案していないのは、６つの引用文献１、３、４、７、８、９に動機付けとなる記載がないからに他なりません。このことからも、６つの引用文献１、３、４、７、８、９に記載の発明を寄せ集めて、本願請求項１に係る発明の構成を導き出せないことは明らかです。
　更に、本願請求項１に係る発明は、６つの発明特定事項（ａ−１、ａ−２、ａ−３、ａ−４、ｂ、ｃ）を備えることにより、添付資料１，２に記載されているように、耐久性を従来品の１０倍〜２５倍にも延ばすことができる効果を奏し、この効果は、出願当時の技術水準から予測される範囲を超えるものです。
　このことは、審査官殿が、６つの引用文献１、３、４、７、８、９もの多数の文献を挙げて本願請求項１に係る発明の進歩性を否定されていることからも明らかです。 」（「（３）本願請求項１に係る発明と６つの引用文献１、３、４、７、８、９に記載の発明との対比 」の項参照）と主張する。
　しかしながら、本願発明は、引用発明、引用例２及び引用例３に記載された発明、並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであることは、上述のとおりである。また、「耐久性を従来品の１０倍〜２５倍にも延ばすことができる」という効果については、本願の明細書、特許請求の範囲及び図面のどこにも記載されておらず、その効果についての審判請求人の主張は、本願の明細書等の記載に基づかない主張である。また、その効果は、引用発明、引用例２及び引用例３に記載された発明、並びに周知技術を寄せ集めることによって生じる効果であって、それぞれのものが有する効果の総和以上の格別顕著な効果であるとは認められない。
　また、審判請求人は、「尚、ベロフラムに所望の変形を行わせるためには、ベロフラムをロッドに対して正確に位置決めする必要があります。
　そこで、出願人は、（ｃ）ロッドの外周面に嵌合してベロフラムを位置決めするための嵌合孔をベロフラムに設けました。
　位置決めをできることにより、段落[００４３]に記載されるような、
『これにより、ベロフラム５０の中央部５２とピストン４０の受圧面４３との相対的な位置ずれが生じないので、ベロフラム５０の第１，第２テーパ面５５Ａ，５５Ｂは、ピストン４０と動作に合わせて、第１，第２テーパ面５５Ａ，５５Ｂの周方向において均等に屈曲したり伸びたりすることができる。このため、ピストン４０の駆動を適切に行うことができ、ベロフラム５０でピストン４０の外周面４１と単動空気圧シリンダ３０のシリンダ内周面３１との隙間４５を適切な状態で密閉することができる。』とする特有かつ顕著な効果を有します。
　ベロフラムをロッドに対して正確に位置決めすることで、ピストンの駆動を適切に行うことができるため、（ｃ）以外の発明特定事項の効果を発揮させることができるのです。（ｃ）の発明特定事項がなければ、請求項１に係る発明の効果を発揮することができません。」（「（２）本願請求項１に係る発明の技術的特徴」の項参照）と主張する。
　しかしながら、上記（ｃ）の発明特定事項は、単にロッドの外周に嵌合する位置決めのための嵌合孔をベロフラムに設けたことを特定しているだけであって、ベロフラムが精度よくピストンに固定されることまで必ずしも意味するものではない。また、ベロフラムの組み付けの際に、ベロフラムの中心がピストン中心から大きくずれていてもよいはずはなく、ベロフラムができるだけ均等に屈曲したり伸びたりするように中心がずれないように組み付けることは、この種の装置においては、当業者が当然考慮することである。
　よって、審判請求人の主張は採用できない。
　
６．むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用例２及び引用例３に記載された発明、並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。