(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置であって、
前記開口部を囲んで前記微小空間内に配置され、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、
前記第二の微小空間の内部に気体を供給すると共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能なガスパージ装置と、
前記ドアを前記開口部を閉鎖する位置と閉鎖しない位置との間で移動させるドア駆動機構と、を有し、
前記カバー部材は、前記微小空間を区切る状態で、前記ドア駆動機構が前記ドアを前記開口部より離間させ前記閉鎖しない位置へ移動させた際に、前記ドアの少なくとも一部が前記微小空間に向かって貫通可能な第二の開口部を有することを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
前記ドア駆動機構は前記ドアと共に前記カバー部材を支持し、前記ドアと一緒に前記カバー部材を前記サイドプレートと平行な方向に駆動可能であることを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
【請求項３】
前記カバー部材は前記開口部と対向して配置される室画定プレートと、前記開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、
前記開口部の上辺よりも上側において前記サイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、前記第二の微小空間を形成し、
前記第二の開口部は前記室画定プレートに配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート装置。
【請求項４】
前記ガスパージ装置は前記サイドプレートに対して固定されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項５】
微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置における前記密閉容器の蓋開閉方法であって、
前記微小空間内において前記開口部を囲んで配置可能なカバー部材により前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と
前記ドアにより前記蓋を保持し、前記ドアを前記開口部から離間させることにより前記開口を開放する工程と、
前記ドアと共に前記カバー部材を移動させて前記開口部を開放する工程と、を有し、
前記ドアを前記開口部から離間させる際に前記ドアの少なくとも一部が前記微小空間に向かって前記カバー部材に設けられた貫通孔を貫通することを特徴とする密閉容器の蓋開閉方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置へのウエハの受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁の一部となる部材であるサイドプレートと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置台と、から構成される。載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと一緒に蓋をドアに向かって近接或いはドアより離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【０００４】
半導体の製造工程において、ポッド内に収容されているウエハには、例えば金属配線等が形成されたものが存在する。この様な金属配線は表面が酸化されることによって素子完成時に所望の特性が得られなくなる恐れがあり、このためにポッド内部における酸素濃度を低レベルに保つ必要がある。この様な要求に対応する技術として、特許文献１では、微小空間内であって開口部に隣接する空間にエンクロージャを配し、該エンクロージャ内の酸素濃度を低下させることにより、ポッド内部への酸素の侵入を抑制しようとする技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０３８０７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に開示される方法では、ポッド内の酸素濃度を現状要求されるレベルまで低減することが可能である。ここで、実際のウエハ処理工程では、この酸素濃度を低減するために要する時間の短縮、及びこれに要する窒素等の不活性ガスの量も低減も求められている。本発明はこのような状況に鑑みて為されたものであり、酸素濃度低減操作の所要時間短縮及び使用不活性ガス量の削減を可能とするロードポート装置の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートとサイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を開口部と対向させるとともに、開口に取付けられる蓋をドアが保持して密閉容器を開閉するロードポート装置であって、開口部を囲んで微小空間内に配置され、開口部に隣接する微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、第二の微小空間の内部に気体を供給すると共に開口部と開口とを介して密閉容器の内部に気体を供給可能なガスパージ装置と、ドアを開口部を閉鎖する位置と閉鎖しない位置との間で移動させるドア駆動機構と、を有し、カバー部材は、微小空間を区切る状態で、ドア駆動機構がドアを開口部より離間させて閉鎖しない位置へ移動させた際に、ドアの少なくとも一部が微小空間に向かって貫通可能な第二の開口部を有することを特徴とする。
【０００８】
なお、前述したロードポート装置にあっては、ドア駆動機構はドアと共にカバー部材を支持し、ドアと一緒にカバー部材をサイドプレートと平行な方向に駆動可能であることが好ましい。また、カバー部材は開口部と対向して配置される室画定プレートと、開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、開口部の上辺よりも上側においてサイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、第二の微小空間を形成し、第二の開口部は室画定プレートに配置されることが好ましい。更に、ガスパージ装置はサイドプレートに対して固定されていることが好ましい。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器の蓋開閉方法は、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートとサイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を開口部と対向させるとともに、開口に取付けられる蓋をドアが保持して密閉容器を開閉するロードポート装置における密閉容器の蓋開閉方法であって、微小空間内において開口部を囲んで配置可能なカバー部材により開口部に隣接する微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と、ドアにより蓋を保持し、ドアを前記開口部から離間させることにより開口を開放する工程と、ドアと共にカバー部材を移動させて開口部を開放する工程と、を有し、ドアを開口部から離間させる際にドアの少なくとも一部が微小空間に向かってカバー部材に設けられた貫通孔を貫通することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ポッド内部の残留酸素濃度を100ppm未満のレベルまで低減するに際して、これに要する時間の短縮と使用する不活性ガス量の削減を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１（ａ）】本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図１（ｂ）】本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図１（ｃ）】本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２】図１（ａ）〜１（ｃ）に示した構成における構成を微小空間１０３側から見た図である。
【図３（ａ）】本発明の更なる実施形態を図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて示す図である。
【図３（ｂ）】本発明の更なる実施形態を図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて示す図である。
【図３（ｃ）】本発明の更なる実施形態を図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態におけるロードポート１００装置に関し、ポッド１を載置台上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図２は、該ロードポート装置１００に関して、図１（ａ）に示した状態にある構成をドア背面側から見た場合の概略構成を示している。また、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す状態からドアがポッド１の蓋３を保持してポッド開口を開けた状態を、図１（ｃ）は更に蓋３を保持したドアが降下してボッド開口及び開口部を開放した状態を示している。
【００１３】
本実施形態の説明に際し、被収容物のウエハを収容するポッド（密閉容器）について先に述べる。図１（ａ）〜１（ｃ）等に示されるポッド１は、ポッド本体２と蓋３とから構成される。ポッド本体２は内部にウエハ等を収容する収容空間２ｂを有し、且つ側面に当該収容空間２ｂに連通する開口２ａを有している。当該開口２ａは蓋３により閉鎖される。収容空間２ｂ内には不図示のウエハ（図中二点鎖線により記載）を水平に支持する複数の棚（不図示）が側壁等から突き出しており、当該棚により複数のウエハが均等な間隔を明けて該収容空間２ｂ内にて水平に保持される。なお、本実施例において、ポッド本体２の駆動方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸に直交して該Ｘ軸と共にウエハの延在面を規定する方向（紙面に垂直な方向）をＹ軸方向とし、これら軸からなるＸＹ平面に垂直な方向をＺ軸として便宜上規定する。本実施例では鉛直方向がＺ軸方向に対応し、本明細書における上方及び下方は鉛直方向における上方及び下方に対応する。しかし、本発明におけるＺ軸の延在方向はこの鉛直方向に限定されず、必要に応じて鉛直方向から傾けて設定することも可能である。
【００１４】
次に、本実施形態におけるロードポート装置の構成について、以下に述べる。ロードポート装置１００は、サイドプレート１０５によって外部空間１０４と分離される微小空間１０３を構成し、該サイドプレート１０５に隣接して配置されるポッドの載置台１０７を有する。サイドプレート１０５は、微小空間１０３と外部空間１０４とを連通させる第一の開口部１１１を有する。サイドプレート１０５等によって構築される微小空間１０３の上部には不図示のファンが配置され、ロードポート装置１００が取付けられる半導体処理装置の筐体の外部空間１０４に存在する気体を微小空間１０３内部に導入し、微小空間１０３内部に上方から下方に向かう気体の流である所謂ダウンフローを生成する。なお、当該ファンに対しては、外部空間１０４の清浄度に応じて、当該空間から導入される気体より塵埃等の汚染物質を除去するフィルタが付随している。微小空間１０３の下部にはダウンフローが流出可能となるような構造が配置されており、該微小空間１０３内部で発生する粉塵等は当該ダウンフローに運ばれて微小空間１０３の下部から外部空間１０４に排出される。
【００１５】
第一の開口部１１１を略閉鎖するドア１２１は、ドアシステム１２０の一部を構成する。ドアシステム１２０は、ドア１２１、ドアアーム１２５及びドア駆動機構１２３を有する。ドア１２１は、蓋３を保持可能であると共に、ポッド本体２に対する蓋３の固定及び分離の操作が可能となっている。ドア駆動機構１２３は、Ｘ軸駆動機構部１２３ａと、Ｚ軸駆動機構部１２３ｂとを有する。Ｘ軸駆動機構部１２３ａはドアアーム１２５の一端と連結されてドアアーム１２５を介してドア１２１を支持し、ドアアーム１２５をＸ軸方向に平行移動させることでドア１２１のポッド１に対する接近及び離間を促す。Ｚ軸駆動機構部１２３ｂは、ドア１２１及びドアアーム１２５をＺ軸に沿って昇降させ、第一の開口部１１１の開閉を行う。また、Ｚ軸駆動機構部１２３ｂは、ドア１２１等と共に後述するカバー部材の昇降も行う。
【００１６】
ポッド１を載置する載置台１０７は、載置されたポッド１を固定可能であると共に該ポッド１を前述した第一の開口部１１１（より正確にはこれを閉鎖するドア１２１）に対して接近及び離間させることが可能である。載置台１０７は、不図示のテーブル駆動機構によりポッド１がドア１２１と所定の間隔になるまで或いはドア１２１と当接するまでポッド１の接近動作を行い、ポッド１の駆動が停止した状態でドア１２１は蓋３を保持する。前述したように、ドア１２１はこの状態でポッド本体２からの蓋３の分離を行い、更にドア駆動機構１２３により第一の開口部１１１に対して下方に移動することによってポッド１の開口部２ａを微小空間１０３に対して開放させる。
【００１７】
本実施形態に係るロードポート装置１００は、上述した構成に加え、パージ装置２００、及びカバー部材２５０を有する。本実施形態において、ガスパージ装置２００は以上に述べたロードポート装置１００に対し固定されて用いられる。ガスパージ装置２００は、カーテンノズル２１０及び一対のパージノズル２２０を有する。カーテンノズル２１０は、第一の開口部１１１の上辺より上方であって、この上辺に沿う姿勢で微小空間１０３側にサイドプレート１０５より突き出す（Ｘ軸方向に突き出す）ように配置される。該カーテンノズル２１０は、第一の開口部１１１の上辺より突き出す庇（上部壁部材）を形成し、該庇よりＺ軸下方に沿って窒素等の不活性ガスを連続的に供給し、微小空間１０３内の第一の開口部１１１に隣接する空間へ該不活性ガスによるカーテンを生成する。また、この庇形状により、微小空間１０３の天井部より供給されるダウンフローが第一の開口部１１１に隣接する空間へ流入することを抑制している。なお、本実施形態において、カーテンノズル２１０は直方体形状を有し、フィルタ部材より構成される底面の全域には多数のガス噴出し口が設けられている。
【００１８】
一対のパージノズル２２０は、各々第一の開口部１１１の両側辺の周辺において該側辺に平行に延在するように、サイドベース１０５の微小空間１０３側に配置される。これら一対のパージノズル２２０はカーテンノズル２１０より形成されるガスカーテンの内部に位置するように配置される。パージノズル２２０の各々にはパージガス供給用の開口スリット（不図示）が設けられて、第一の開口部１１１を介して微小空間１０３から外部空間１０４の方向に不活性ガスを噴出すことを可能としている。ポッド１が載置台１０７上に配置され、ドア１２１によってポッド１の開口２ａが開放された状態において、これらパージノズル２２０はポッド収容空間２ｂに向けて不活性ガスの供給を行い、ポッド１内部の雰囲気をガス置換する。
【００１９】
カバー部材２５０は、一対の側面プレート２６０及び室画定プレート２７０より構成される。カバー部材２５０を構成するこれらプレートは、一体としてドア駆動機構１２３におけるＺ軸駆動機構部１２３ｂにより支持され、ドア１２１と一緒に昇降動作が為される。一対の側面プレート２６０各々は、サイドプレート１０５より微小空間１０３側に所定長さ突き出し且つＺ軸方向に延在する平板状の部材からなる。この所定長さは、カバー部材２５０の上昇位置において、微小空間１０３側端部がカーテンノズル２１０のサイドプレート１０５側端部から微小空間１０３側端部までの距離と一致する長さとされている。また、側面プレート２６０各々は、第一の開口部１１１の中心を基準としてパージノズル２２０よりも外側に配置される。即ち、カバー部材２５０の上昇位置において、上部壁部材たるカーテンノズル２１０と側面プレート２６０とは接続して、第一の開口部１１１を囲み且つサイドプレート１０５から所定長さ突き出した、下方が開口するコの字形状部分を形成する。
【００２０】
室画定プレート２７０は、側面プレート２６０のサイドプレート１０５とは逆側の自由端である辺（微小空間１０３側の端部）に対し、該側面プレート２６０を介してサイドプレート１０５と対向するように固定される。即ち、側面プレート２６０及びカーテンノズル２１０からなるコの字状の囲みの側面に該室拡画定プレート２７０が配されることにより、第一の開口部１１１の正面に、微小空間１０３の一部を区切った第二の微小空間２０３が形成されることとなる。以上の構成により、ドア１２１がポッド１の蓋３を保持してポッド開口２ａを開放した際には、第一の開口部１１１を介して第二の微小空間２０３とポッド１の内部とが連通することとなる。該二の微小空間２０３内には、カーテンノズル２１０及びパージノズル２２０より窒素等不活性ガスが供給され、この空間内での酸素濃度の効果的な低減が行われる。
【００２１】
本発明において、該室画定プレート２７０は、ドア１２１が第一の開口部１１１から離間する際にドア背面部１２１ａの少なくとも一部が微小空間１０３に向かって貫通する第二の開口部２７１を有する。ドア１２１は、ポッド１の蓋３を保持する機構等を内部に有する関係上、Ｘ軸方向においてある程度の厚みを有することが避けられない。第二の開口部２７１は、当該ドア１２１において最も厚みを有する部分が貫通可能となるように配置される。これにより、当該第二の開口部２７１が無い場合と比較して、室画定プレート２７０をサイドプレート１０５により近づけて配置しても、ドア１２１による蓋３のポッド本体２からの取り外しに際して、該ドア１２１のＸ軸方向における十分な動作範囲を確保することが可能となる。また、ドア１２１が第一の開口部１１１から離間する際に、ドア１２１の一部、本実施形態ではドア背面部１２１ａが該第二の開口部２７１に嵌り込むことにより、該第二の開口部２７１が略閉鎖されるようにその開口形状及び大きさを設定している。従って、第二の開口部２７１へのドア背面部１２１ａの嵌り込みにより、第二の微小空間２０３を不活性ガス充満の観点から略密閉空間とすることが可能となる。
【００２２】
以上に述べた、本発明では、微小空間１０３側において第一の開口部１１１及びこれに隣接する空間を囲うように配置されて微小空間１０３より区切られた第二の微小空間２０３を画定する、室画定プレート２７０及び側面プレート２６０からなるカバー部材に対して、ドア１２１の少なくとも一部であるＸ軸方向の突出部を貫通可能な第二の開口部２７１を配することとしている。これにより、第一の開口部１１１に対向する位置に配置される室画定プレート２７０をサイドプレート１０５へ従来よりも大幅に近づけることが可能となる。従って、ポッド１の内部空間２ｂのパージ操作を行う際に不活性ガスを供給するための経路及びバッファ空間として作用する第二の微小空間２０３の容積小さくすることが出来、不活性ガスにより第二の微小空間２０３や収容空間２ｂを雰囲気置換するパージ操作に要する時間、及び該パージ操作に用いる不活性ガス量の低減を為すことが可能となる。
【００２３】
なお、本発明では、これらカバー部材２５０とドア１２１とが一緒に昇降の動作を行っている。従って、ポッド１の蓋３を保持したドア１２１が降下した状態にある時、カバー部材２５０も降下していることとなる。当該構成とすることにより、図中不図示のロボットが動作すべき状態にある時に、カバー部材２５０がロボットの動作に影響を及ぼさないように降下している。例えば、ウエハサイズが大きくなり、これを搬送するロボット自体が大型化するに連れて、動作領域近傍に部材が存在した場合、大型化に伴う動作領域の拡大によりこれらと該ロボットとの接触の危険性が高まる可能性が有る。本形態の如く、このような部材であるカバー部材２５０を動作範囲近傍から遠ざけることにより、ここで述べたロボット-部材間の接触の可能性は大きく低減される。
【００２４】
本形態ではドア駆動機構１２３におけるＺ軸駆動機構部１２３ｂによって、ドア１２１と共にカバー部材２５０も昇降させることとしている。これらを別個に昇降させる方式の場合には、各々の駆動機構が必要となる。通常駆動機構は動作部における発塵を勘案しておく必要があるが、当該構成の場合には発塵源が複数存在すると共にこれらが個別に移動し、発塵の影響が拡大する恐れがある。通常は微小空間１０３に生成されるダウンフローをこの発塵源の存在位置に導くことにより、塵等の外部空間への排出を促している。ただ、複数の駆動機構を有する場合には、状況により個々の駆動機構が上下の配置を入れ替えたりする場合も考えられる。このような動作はダウンフロー中における乱流の生成、塵等の巻上げによる塵等の拡散を発生させる恐れがある。本発明ではこの駆動機構を単一とすることにより、ドア１２１及びカバー部材２５０の駆動に伴う発塵或いは塵等の拡散を抑制している。
【００２５】
次に、実際にポッド１より蓋３を取り外し、ポッド１内部のウエハの挿脱を可能とする状態までの操作について、図１（ａ）〜１（ｃ）を用いて説明する。まず、載置台１０７上に載置されたポッド１が、不図示のテーブル駆動機構によって第一の開口部１１１に向かって運ばれ、蓋３がドア１２１と当接した後に停止される。この状態が図１（ａ）に対応する。ドア１２１は蓋３を保持し、Ｘ軸駆動機構部１２３ａにより駆動されてドア１２１が第一の開口部１１１より離れ、ポッド本体２より蓋３を取り外して開口２ａを開放する。その際に、ドア背面部１２１ａは第二の開口部２７１を貫通して微小空間１０３側に突出し、蓋３が他の構造物と接触することなく降下可能な最小限の距離だけサイドプレート１０５から離間した位置にてＸ軸方向の平行移動である離間動作が停止される。離間動作停止の状態が図１（ｂ）に対応する。
【００２６】
この状態よりドア駆動機構１２３がドア１２１及びカバー部材２５０を一緒に降下させ、ポッド開口２ａ-第一の開口部１１１-微小空間１０３を連通させる。この状態が図１（ｃ）に対応する。この状態ではカバー部材２５０が第一の開口部１１１に隣接する領域から退避するため、ウエハ搬送のための不図示のロボットの動作範囲を阻害しなくなる。ウエハに対する各種処理終了後は以上述べた操作とは逆の操作を行ってポッド本体２に対する蓋３の取り付けが行われる。なお、その際には図１（ｃ）或いは１（ｂ）の段階よりガスパージ装置２００からの不活性ガスの供給が開始され、ポッド１内部の雰囲気をガス置換する所謂ガスパージ操作が実行される。ポッド１の収容空間２ｂ内の酸素濃度が十分に低下すると考えられる時間パージ操作を行った後に、ドア１２１がＸ軸方向に平行移動して図１（ａ）の状態に戻り、蓋３により開口２ａが閉鎖される。
【００２７】
上述した実施形態では、カバー部材２５０がドア１２１と共に移動する構成について述べた。しかし、本発明は当該態様に限定されない。例えばカバー部材２５０が固定されており、ドア１２１のみがＸ軸方向及びＺ軸方向に駆動する形態としても良い。以下では、カバー部材２５０がサイドプレート１０５に対して固定された他の実施形態について述べる。図３（ａ）〜３（ｃ）は、図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて、本実施形態に係るロードポート装置１００図示したものである。なお、本実施形態においても、ポッド１から蓋３を取り外す動作において、ドア１２１はＸ軸方向の後退動作を行うこととしている。しかし、Ｘ軸駆動機構部１２３ａを特定の水平軸中心にドアアーム１２５を回動させる機構と置き換え、ドア１２１が回動する構成とすることも可能であることに留意されたい。また、図３（ａ）〜３（ｃ）において示される各構成について、前述した実施形態で詳述した構成と同じ構成に関しては同一の参照番号を用いて示すこととし、ここでの説明は省略する。
【００２８】
本実施形態では、ドア駆動機構１２３はドア１２１のみを支持し、カバー部材２５０はサイドプレート１０５に対して固定されている。従って、ドア１２１の昇降に対して、該カバー部材２５０が影響を及ぼさないように、室画定プレート２７０の形状が改変されている。第二の開口部２７１が貫通孔の態様ではなく、ドア背面部１２１ａがＺ軸下方に移動可能となるようにＺ軸下方が開口した切り込み形状とされている。これにより、ドア１２１が第一の開口部１１１より離間してドア背面部１２１ａが第二の開口部２７１に貫通した後に、ドア１２１がＺ軸方向に沿って降下する際にもドア背面部１２１ａは第二の開口部２７１と接触することが無くなる。
【００２９】
実際の動作ではまず、載置台１０７上に載置されたポッド１が、不図示のテーブル駆動機構によって第一の開口部１１１に向かって運ばれ、蓋３がドア１２１と当接した後に停止される。この状態が図３（ａ）に対応する。ドア１２１は蓋３を保持し、Ｘ軸駆動機構部１２３ａにより駆動されてドア１２１が第一の開口部１１１より離れ、ポッド本体２より蓋３を取り外して開口２ａを開放する。その際に、ドア背面部１２１ａは第二の開口部２７１を貫通して微小空間１０３側に突出し、蓋３が他の構造物と接触することなく降下可能な最小限の距離だけサイドプレート１０５から離間した位置にてＸ軸方向の平行移動である離間動作が停止される。離間動作停止の状態が図３（ｂ）に対応する。この状態よりドア駆動機構１２３がドア１２１及びカバー部材２５０を降下させ、ポッド開口２ａ-第一の開口部１１１-微小空間１０３を連通させる。この状態が図３（ｃ）に対応する。その際にサイドプレート１０５に固定されているカバー部材２５０は当初の位置より動作しない。本構成の場合、第二の微小空間２０３の密閉度について前述した実施形態に劣る反面、駆動部分が減ることから当該駆動部分に起因した発塵が抑制されるという効果が得られる。
【００３０】
なお、上述した実施形態において、カーテンノズル２１０を第二の微小空間２０３の上部壁を構成する部材として用いている。しかし、これらを壁の機能を有する構成と、第二の微小空間２０３内部に配置されて第一の開口部１１１に隣接する空間へガスカーテンを生成する機能を有するノズルとに分離することとしても良い。また、ドア１２１の駆動方向等は便宜上Ｘ、Ｙ、及びＺ軸により定義しているが、本発明における駆動方向等は当該形態に限定されない。例えば、これら軸に対して所定角度傾けて各々を配置することも可能である。更に、上述した実施形態では半導体処理装置を対象としてポッド及びこれに収容されるウエハを例示しているが、これらを収容容器及び被収容物として種々の物品に対して拡張することも可能である。以上述べたように、本発明によれば、ポッド内部の不活性ガスパージに際してガス供給経路及びバッファ室として利用する第二の微小空間２０３の容積を従来よりも小さくすることが可能となる。よって、ポッド内部の残留酸素濃度を１００ppm未満のレベルまで低減する際に、パージ操作に要する時間の短縮と使用する不活性ガス量の削減とを両立することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置むけのみに限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置やガスパージ装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００３２】
１：ポッド、  ２：ポッド本体、  ２ａ：開口、  ２ｂ：収容空間、  ３：蓋、  １００：ロードポート装置、  １０３：微小空間、  １０４：外部空間、  １０５：サイドプレート、  １０７：載置台、  １１１：第一の開口部、  １２０：ドアシステム、  １２１：ドア、  １２１ａ：ドア背面部、  １２３：ドア駆動機構、  １２３ａ：Ｘ軸駆動機構部、  １２３ｂ：Ｚ軸駆動機構部、  １２５：ドアアーム、  ２００：ガスパージ装置、  ２０３：第二の微小空間、  ２１０：カーテンノズル、  ２２０：パージノズル、  ２５０：カバー部材、  ２６０：側面プレート、  ２７０：室画定プレート、  ２７１：第二の開口部
【図１（ａ）】
0005998640.tif 000002
【図１（ｂ）】
0005998640.tif 000003
【図１（ｃ）】
0005998640.tif 000004
【図２】
0005998640.tif 000005
【図３（ａ）】
0005998640.tif 000006
【図３（ｂ）】
0005998640.tif 000007
【図３（ｃ）】
0005998640.tif 000008