【事件の表示】
　特願２００６−３４８５２３「検査方法、検査装置及びプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　７月１０日出願公開、特開２００８−１５７８１８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は、平成１８年１２月２５日の出願であって、平成２０年１２月１５日付けで明細書及び特許請求の範囲についての手続補正（以下、「補正１」という。）がなされ、平成２１年４月１４日付け（送達日：同年同月２１日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年７月７日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、その請求と同時に明細書及び特許請求の範囲についての手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。 
　その後、当審より平成２２年７月２１日付けで審尋を行ったところ、請求人より同年９月２２日付けで回答書が提出された。 
　　 
第２　本件補正についての補正却下の決定 
［補正却下の決定の結論］ 
　　本件補正を却下する。 
［理由］ 
１　本件補正の内容 
　本件補正は、以下の（１）に示される本件補正前の特許請求の範囲の請求項４を、以下の（２）に示される本件補正後の特許請求の範囲の請求項４に補正することを含むものである。 
（１）本件補正前の特許請求の範囲の請求項４ 
　「【請求項４】 
被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置であって、 
　被検査体に接触した２本一組のプローブ対間に電圧を印加しフリッティング現象を生じさせてプローブと被検査体の間の電気的な導通を図るフリッティング回路と、 
　前記プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記プローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在なスイッチング回路と、を有することを特徴とする、検査装置。」 
　　 
（２）本件補正後の特許請求の範囲の請求項４ 
　「【請求項４】 
被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置であって、 
　被検査体に接触した２本一組のプローブ対間に電圧を印加しフリッティング現象を生じさせてプローブと被検査体の間の電気的な導通を図るフリッティング回路と、 
　前記プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在なスイッチング回路と、を有することを特徴とする、検査装置。」 
　　 
　なお、アンダーラインは、補正箇所を示すために請求人が付したものである。 
　 
２　本件補正についての当審の判断 
　本件補正は、請求項４に記載した発明を特定するために必要な事項である「スイッチング回路」について、「前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて」との限定を付加するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 
　そこで、本件補正後の上記請求項４に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて以下検討する。 
　 
（１）引用例記載の事項・引用発明  
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００４−９３４５１号公報（以下、「引用例」という。）には、「プローブ方法及びプローブ装置」（発明の名称）について、図面とともに以下の事項が記載されている。 
　 
　（ａ）「【請求項７】 
被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置において、上記被検査体の検査用電極を還元処理する手段と、上記検査用電極とプローブを接触させる手段と、フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させる手段とを備えたことを特徴とするプローブ装置。 
【請求項８】 
上記フリッティング手段は、上記各検査用電極それぞれ対応して設けられた一対のプローブと、これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段と、上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段と、この切換手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする請求項７に記載のプローブ装置。」 
　 
　（ｂ）「【０００１】 
【発明の属する技術分野】 
本発明は、プローブ方法及びプローブ装置に関し、更に詳しくは被検査体の検査用電極との電気的接触性を高めることができるプローブ方法及びプローブ装置に関する。」 
　 
　（ｃ）「【００１１】 
また、本発明の請求項７に記載のプローブ装置は、被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置において、上記被検査体の検査用電極を還元処理する手段と、上記検査用電極とプローブを接触させる手段と、フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させる手段とを備えたことを特徴とするものである。 
【００１２】 
また、本発明の請求項８に記載のプローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記フリッティング手段は、上記各検査用電極それぞれ対応して設けられた一対のプローブと、これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段と、上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段と、この切換手段を制御する制御手段とを有することを特徴とするものであ 
る。」 
　 
　（ｄ）「【００１６】 
　・・・フリッティング現象とは金属（本発明では電極パッド）の表面に形成された酸化膜に印加される電位傾度が１０５〜１０６Ｖ／ｃｍ程度になると酸化膜の厚さや金属の組成の不均一性により電流が流れて絶縁被膜が破壊される現象をいう。」 
　 
　（ｅ）「【００３９】 
【発明の効果】 
本発明の請求項１〜請求項１１に記載の発明によれば、プローブピンと検査用電極とを接触させるだけで両者間の電気的に確実に導通させることができ、信頼性の高い検査を確実に行なうことができるプローブ方法及びプローブ装置を提供することができる。」 
　 
　 
　上記記載（ａ）ないし（ｅ）より、引用例には次の発明が記載されているものと認められる。 
　「被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置において、 
　上記被検査体の検査用電極を還元処理する手段と、 
　上記検査用電極とプローブを接触させる手段と、 
　フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させるフリッティング手段であって、上記各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブと、これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段と、上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段と、この切換手段を制御する制御手段とを有するフリッティング手段とを備えたことを特徴とするプローブ装置。」（以下、「引用発明」という。） 
　 
（２）対比 
　本願補正発明と引用発明とを対比する。  
　（ア）引用発明の「プローブ装置」、「被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置」は、それぞれ、 
　本願補正発明の「検査装置」、「被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置」に相当する。 
　（イ）引用発明が「上記検査用電極とプローブを接触させる手段」を備えるのに対し、本件補正後の特許請求の範囲の請求項４には上記手段を備えるとの直接の記載はない。 
　しかしながら、以下にその理由を示すように、本願補正発明も上記手段を備えるものである。 
　まず、引用発明の「上記検査用電極とプローブを接触させる手段」について、この「上記検査用電極」とは、その直前の「上記被検査体の検査用電極」を指しているから、引用発明の上記手段は、「上記被検査体の検査用電極とプローブを接触させる手段」である。 
　一方、本願補正発明の「検査装置」は、「被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置」であるから、被検査体にプローブを接触させる手段を備えることは明らかである。 
　そして、被検査体にプローブを接触させて電気的特性の検査を行う場合には被検査体の検査用電極にプローブを接触させることが通常であるから、本願補正発明が備える上記被検査体にプローブを接触させる手段は、被検査体の検査用電極にプローブを接触させる手段であるということができる。 
　また、本願明細書の発明の詳細な説明の記載からも、本願補正発明がこのような被検査体の検査用電極にプローブを接触させる手段を備えることが認められる。 
　すなわち、本願明細書の発明の詳細な説明には、上記被検査体の検査用電極にプローブを接触させる手段について、次のような記載がある。 
　（ｉ）「【００１６】 
検査装置１は、例えばプローブカード２と、被検査体としてのウェハＷを吸着保持するチャック３と、チャック３を移動させる移動機構４と、テスタ５などを備えている。」 
　（ｉｉ）「【００１８】 
チャック３は、水平な上面を有する略円盤状に形成されている。チャック３の上面には、図示しない吸引口が設けられており、その吸引口からの吸引によりウェハＷをチャック３上に吸着保持できる。 
【００１９】 
移動機構４は、例えばチャック３を昇降するシリンダなどの昇降駆動部２０と、昇降駆動部２０を水平方向の直交する２方向（Ｘ方向とＹ方向）に移動させるＸ−Ｙステージ２１を備えている。これにより、チャック３に保持されたウェハＷを三次元移動させ、ウェハＷの表面の電極とプローブ１０を接触させることができる。」 
　 
　上記（ｉ）、（ｉｉ）の記載によると、検査装置１は、 チャック３及び移動機構４を備え、移動機構４によりチャック３に保持されたウェハＷを三次元移動させ、ウェハＷの表面の電極とプローブ１０を接触させるものである。 
　したがって、本願明細書の発明の詳細な説明には、被検査体であるウェハＷの電極にプローブ１０を接触させる手段である、チャック３及び移動機構４を備えるものが記載されている。 
　よって、本願補正発明は、被検査体の検査用電極にプローブを接触させる手段を備えるものと認められる。 
　以上のことから、引用発明も本願補正発明も、ともに、被検査体の検査用電極とプローブを接触させる手段を備える点で一致する。 
　（ウ）引用発明が「上記各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ」を備えるのに対し、本件補正後の特許請求の範囲の請求項４には上記プローブを備えるとの直接の記載はない。 
　しかしながら、以下にその理由を示すように、本願補正発明も上記プローブを備えるものである。 
　まず、引用発明の「上記各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ」について、該一対のプローブは「フリッティング手段」が有しており、該「フリッティング手段」は「プローブ装置」が備えているから、上記「上記各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ」は「プローブ装置」が備えている。 
　一方、本願補正発明の「検査装置」は、「被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置であって、被検査体に接触した２本一組のプローブ対間に電圧を印加しフリッティング現象を生じさせてプローブと被検査体の間の電気的な導通を図るフリッティング回路」を有するから、被検査体に接触する２本一組のプローブ対を備えるものである。 
　そして、被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置においては、プローブを被検査体の検査用電極に対応して設けることが通常であるから、本願補正発明の上記被検査体に接触する２本一組のプローブ対は、被検査体の検査用電極に対応して設けられた２本一組のプローブ対であるということができる。 
　また、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面の記載からも、本願補正発明の「検査装置」が被検査体の検査用電極に対応して設けられた２本一組のプローブ対を備えることが認められる。 
　すなわち、本願明細書の発明の詳細な説明及び図面には、プローブに関して、次のような記載がある。 
　（ｉ）「【００１６】 
検査装置１は、例えばプローブカード２と、被検査体としてのウェハＷを吸着保持するチャック３と、チャック３を移動させる移動機構４と、テスタ５などを備えている。」 
　（ｉｉ）「【００１７】 
プローブカード２は、例えば複数のプローブ１０を下面に支持したコンタクタ１１と、そのコンタクタ１１の上面側に取り付けられたプリント配線基板１２を備えている。」 
　（ｉｉｉ）「【００２０】 
例えばプローブカード２は、図２に示すように２本一組のプローブ１０ａ、１０ｂに対し電気的特性の検査のための電気信号を送受信する検査回路４０と・・・などを備えている。」 
　（ｉｖ）「【００２５】 
先ず、図１に示すようにウェハＷがチャック３上に吸着保持される。そして、移動機構４により、チャック３上のウェハＷが上昇され、図２に示すようにウェハＷ上の各電極Ｐに、プローブ対１０ａ、１０ｂが接触される。」 
　（ｖ）図面の図１には、多数のプローブ１０がウェハＷに対向して設けられていること、図２には、２本一組のプローブ１０ａ、１０ｂがウェハＷの電極Ｐに接触していることが示されている。 
　 
　上記（ｉ）ないし（ｖ）の記載から、検査装置１は多数のプローブ１０を備えたプローブカード２を備え、ウェハＷ上の各電極Ｐに、２本一組のプローブ対１０ａ、１０ｂが接触するように構成されていることが読み取れる。 
　したがって、本願明細書の発明の詳細な説明には、検査装置１が被検査体であるウェハＷの電極Ｐに対応して設けられた２本一組のプローブ対１０ａ、１０ｂを備えることが記載されている。 
　よって、本願補正発明の「検査装置」は、被検査体の検査用電極に対応して設けられた２本一組のプローブ対を備えるものと認められる。 
　以上のことから、引用発明も本願補正発明も、ともに、「検査装置」が被検査体の検査用電極に対応して設けられた２本一組のプローブ対を備える点で一致する。 
　（エ）引用発明の「フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させるフリッティング手段」が有する「これら一対のプローブ間に電圧を印加する手段」と本願補正発明の「被検査体に接触した２本一組のプローブ対間に電圧を印加しフリッティング現象を生じさせてプローブと被検査体の間の電気的な導通を図るフリッティング回路」とを対比する。 
　引用発明の上記「これら一対のプローブ間に電圧を印加する手段」における「これら一対のプローブ」とは、「各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ」であるから、上記手段は、「各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ間に電圧を印加する手段」である。 
　そして、この「電圧」の「印加」により、「フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させる」のであるから、上記手段は、「各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ間に電圧を印加してフリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させる電圧印加手段」であるということができる。 
　ここで、一般に電圧を印加する手段が回路により構成されることも併せて勘案すると、引用発明の上記「これら一対のプローブ間に電圧を印加する手段」は、「各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブ間に電圧を印加してフリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させる電圧印加回路」であるといえる。 
　したがって、引用発明の「フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させるフリッティング手段」が有する「これら一対のプローブ間に電圧を印加する手段」は、本願補正発明の「被検査体に接触した２本一組のプローブ対間に電圧を印加しフリッティング現象を生じさせてプローブと被検査体の間の電気的な導通を図るフリッティング回路」に相当する。 
　（オ）引用発明の「フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させるフリッティング手段」が有する「上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段」と、 
　本願補正発明の「前記プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在なスイッチング回路」とを対比する。 
　引用発明の「上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段」における「上記電圧」とは、「これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段」の電圧であるから、「電圧の方向を切り換える」とは、この「これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段」により一対のプローブに印加される電圧の極性を切り換える、すなわち、「一対のプローブ」と「これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段」を電気的に接続し、「これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段」の陽極の端子と陰極の端子との間で一対のプローブの接続先を切り替えて、当該一対のプローブに印加される電圧の極性を切り換えることを意味する。 
　したがって、引用発明の「フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させるフリッティング手段」が有する「上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段」と、 
　本願補正発明の「前記プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在なスイッチング回路」とは、 
　ともに、プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替える切換手段である点で共通する。 
　（カ）引用発明が「切換手段を制御する制御手段」を備えるのに対し、本件補正後の特許請求の範囲の請求項４には上記制御手段を備えるとの直接の記載はない。 
　そこで、この点について検討すると、本件補正後の特許請求の範囲の請求項４の記載からみて、本願補正発明は、「前記プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在なスイッチング回路」を制御する制御手段を備えるものを排除してはおらず、本願補正発明には当該制御手段を備えるものも含まれる。 
　また、この点は本願明細書の発明の詳細な説明の記載からも裏付けられることである。 
　すなわち、上記「スイッチング回路」の切り替えについて、本願明細書の発明の詳細な説明を参酌すると、次のような記載がある。 
　（ｉ）「【００１６】 
検査装置１は、例えばプローブカード２と、被検査体としてのウェハＷを吸着保持するチャック３と、チャック３を移動させる移動機構４と、テスタ５などを備えている。」 
　（ｉｉ）「【００２０】 
例えばプローブカード２は、図２に示すように・・・・・フリッティング回路４１からプローブ対１０ａ、１０ｂに印加される電圧の極性を切り替える第２のスイッチング回路４３などを備えている。」 
　（ｉｉｉ）「【００２３】 
テスタ５には、例えば検査回路４０、フリッティング回路４１、第１のスイッチング回路４２及び第２のスイッチング回路４３などの動作を制御する制御部５０が設けられている。制御部５０は、例えばＣＰＵやメモリなどを備えたコンピュータにより構成され、例えばメモリに記憶されたプログラムを実行することによって、検査装置１における検査プロセスを実現できる。」 
　（ｉｖ）「【００２６】 
　・・・・・第２のスイッチング回路４３により、例えばプローブ１０ａにフリッティング回路４１の陰極の端子Ｄ１が接続され、プローブ１０ｂにフリッティング回路４１の陽極の端子Ｄ２が接続される。」 
　（ｖ）「【００２８】 
１回目のフリッティング工程Ｓ１が終了すると、次に第２のスイッチング回路４３により、プローブ１０ａにフリッティング回路４１の陽極の端子Ｄ２が接続され、プローブ１０ｂにフリッティング回路４１の陰極の端子Ｄ１が接続されて、プローブ対１０ａ、１０ｂに印加される電圧の極性が変更される（図３の工程Ｓ２）。」 
　 
　上記（ｉ）ないし（ｖ）の記載によると、検査装置１は、フリッティング回路４１からプローブ対１０ａ、１０ｂに印加される電圧の極性を切り替える第２のスイッチング回路４３の切り替え動作を制御する制御部５０を備えるものである。 
　したがって、本願明細書の発明の詳細な説明には、上記「スイッチング回路」を制御する制御手段を備えるものが記載されている。 
　よって、本願補正発明には、上記「スイッチング回路」を制御する制御手段を備えるものも含まれる。 
　以上のことから、引用発明も本願補正発明も、ともに、切換手段を制御する制御手段を備える点で共通する。 
　 
　 
　したがって、本願補正発明と引用発明とは、次の一致点で一致し、相違点１、２で相違する。 
　 
［一致点］ 
　「被検査体にプローブを接触させて、被検査体の電気的特性の検査を行う検査装置であって、 
　上記被検査体の検査用電極とプローブを接触させる手段と、 
　被検査体の検査用電極に対応して設けられた２本一組のプローブ対と、 
　被検査体に接触した２本一組のプローブ対間に電圧を印加しフリッティング現象を生じさせてプローブと被検査体の間の電気的な導通を図るフリッティング回路と、 
　前記プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替える切換手段と、 
　この切換手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする、検査装置。」 
　 
［相違点１］ 
　引用発明が「被検査体の検査用電極を還元処理する手段」を備えるのに対し、本願補正発明はそのような手段を備えてはいない点。 
［相違点２］ 
　プローブ対とフリッティング回路を電気的に接続し、前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて、当該プローブ対に印加される電圧の極性を切り替える切換手段が、 
　本願補正発明ではプローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在なスイッチング回路であるのに対し、 
　引用発明ではそのような具体的な特定がない点。 
　 
（３）判断 
　上記相違点１、２について検討する。 
［相違点１］について 
　引用例には、被検査体の検査用電極の還元処理について、次のような記載がある。 
　（ｉ）「【００２８】 
　・・・・・加熱後のフォーミングガスは断熱容器１５Ａの出口からメインチャック１３上のウエハＷに向けて流れ、容器１５Ｆ内に充満して容器１５Ｆ内に還元雰囲気を形成する。このフォーミングガスが既にメインチャック１３の温度調整機構を介して例えば２００℃以上の温度まで加熱されたウエハＷ上の電極パッドと接触すると、フォーミングガス中の活性化水素ガスが電極パッドの酸化膜を還元し、電極パッドの金属が表出する。そして、還元処理後のフォーミングガスは容器１５Ｆからプローバ室１１内へ流出し、プローバ室１１から排気管１５Ｅを経由してプローバ室１１外へ排気される。この動作中、プローバ室１１内の空気の排気が十分でなく、酸素濃度が所定の設定値よりも高いと、警報を発しその旨報知する。」 
　（ｉｉ）「【００３３】 
実施例１ 
本実施例では、図６に示すフリッティング特性測定装置２００を用いて銅膜ウエハ試料Ｓ２のフリッティングコンタクト特性の評価を行った。」 
　（ｉｉｉ）「【００３５】 
また、銅膜ウエハ試料Ｓ２としては、銅金属をスパッタ蒸着後、大気保管したものと、それを下記条件で水素還元処理し、真空中で１０分間冷却した後、大気中に取り出したものを用いた。 
　（ｉｖ）「【００３６】 
図７及び図８は水素還元後の大気暴露時間とフリッティング後の接触抵抗（平均値）との関係を示す。図７はプローブのコンタクト力を１ｍＮとした場合であり、図８はプローブのコンタクト力を５ｍＮとした場合である。図７及び図８に示す全ての条件において、大気保管した試料をそのまま用いた（水素還元前の）場合（破線）に比べ、水素還元したものは接触抵抗が低くなっており・・・・・ 
【００３７】 
水素還元処理を行わない場合には、低電圧（Ｖ＝０．５Ｖ）、低荷重（Ｆ＝１ｍＮ）では、接触抵抗は５Ω以上になるが、水素還元した場合には、暴露直後の２０〜３０分は、低電圧・低荷重であっても１Ω前後の低抵抗接触が可能である。即ち、図７の（ｃ）からも判るように、フリッティング電圧を高く（Ｖ＝１０Ｖ）すれば、低荷重（Ｆ＝１ｍＮ）であっても１Ω以下の低抵抗接触が得られ、更に、被測定試料の前処理として水素還元処理を行えば、低電圧（Ｖ＝０．５Ｖ）で低抵抗接触を行えることが実験的に示された。つまり、フリッティングと水素還元前処理を組み合わせれば、機械的にも電気的にもプロービングを低ダメージで行なうことができ、プローブ検査にとって極めて有効であることが判った。」 
　 
　以上の記載によれば、被検査体である銅膜ウエハ試料Ｓ２に対して、予め水素還元処理を行ってからフリッティング処理を行った場合と、水素還元処理を行わずにフリッティング処理のみを行った場合とでは、フリッティング処理後の接触抵抗は前者の方が低抵抗となること、したがって、予め水素還元処理を行ってからフリッティング処理を行うことにより良好なプローブ検査が行えること、その反面、水素還元処理においては酸素濃度の監視等の防爆対策が必要となることがわかる。 
　一方、被検査体の電極に対して水素還元処理を行わずにフリッティング処理のみを行ってプローブ検査を行うようにすることは、そもそも、本願明細書の【従来の技術】の欄にも記載されているように従来よりよく知られた周知技術である。 
（本願明細書の「【０００３】検査前に、２本一組の一対のプローブ（プローブ対）を電極に低圧力で接触させ、プローブ対の間に電圧を印加することにより、フリッティング現象を起こし電極表面に絶縁破壊を生じさせ、プローブと電極との間に電気的に良好な導通を図ること（以下「フリッティング」という。）が提案されている（特許文献１、２参照）。なお、フリッティング現象とは、酸化膜が形成された金属表面に高い電位傾度を印加することにより、酸化膜が絶縁破壊され、金属表面に電流が流れる現象をいう。 
【０００４】 
【特許文献１】特開２００２−１３９５４２号公報 
【特許文献２】特開２００４−１９１２０８号公報」 
との記載参照。以下、「周知技術１という。） 
　そうすると、被検査体の電極に対して水素還元処理を行わずにフリッティング処理のみを行ってプローブ検査を行うとの周知技術１に通暁した当業者が、上記引用例の、防爆対策を必要とする水素還元処理を予め行ってからフリッティング処理を行えばより低抵抗な接触抵抗が得られ良好なプローブ検査が行えるとの記載に接すれば、格別良好な電気的接触が要求されるプローブ検査の場合にはフリッティング処理に水素還元処理を組み合わせることが好ましいものの、その反面、水素還元処理には防爆対策が必要であるから、さほど良好な電気的接触が要求されないプローブ検査の場合には、周知技術１のように水素還元処理を行わずにフリッティング処理のみで済ますようにすることが安全面、コスト面の観点から好ましいということは、容易に理解できることである。 
　してみると、引用発明において、被検査体の検査用電極を水素還元処理する手段を設けないようにすることは、上記引用例の記載事項、周知技術１の知見のもとに、当業者が、要求される電気的接触の良好性、安全性、コスト等の種々の条件を考慮した上で適宜選択し得ることである。 
　したがって、引用発明において、上記相違点２に係る本願補正発明のごとく被検査体の検査用電極を還元処理する手段を設けないようにすることは、引用発明、上記引用例の記載事項、周知技術１に基づいて当業者が容易になし得ることである。 
　 
［相違点２］について 
　電気的な接続先を切り替える切換手段として、電気的な接続先を切り替え自在なスイッチング回路を用いることは、例を挙げるまでもなく周知の技術である。（以下、「周知技術２」という。） 
　したがって、引用発明に上記周知技術２を適用して、プローブ対の接続先を切り替える切換手段として、電気的な接続先を切り替え自在なスイッチング回路を用いて、プローブ対に印加される電圧の極性を切り替え自在とすることは当業者が適宜なし得る事項である。 
　よって、引用発明において、上記相違点２に係る本願補正発明のごとく構成することは、引用発明、周知技術２に基づいて当業者が容易になし得ることである。 
　 
　そして、本願補正発明が奏する効果、すなわち、本願明細書に記載の「本発明によれば、プローブ対に印加される電圧の極性を交互に変更するので、プローブ対の陽極側と陰極側との電気的な導通性の偏りが解消され、プローブ対の両極において高い導通性が得られる。この結果、プローブ対と被検査体との間の高い導通性を安定的に得ることができる。」（段落【０００８】）との効果については、引用発明が「各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブと、これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段と、上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段と、この切換手段を制御する制御手段とを有するフリッティング手段とを備え」るものであり、本願補正発明と同じく「プローブ対に印加される電圧の極性を交互に変更する」ものである以上、引用発明においても必然的に奏される効果であるということができる。 
　 
　よって、本願補正発明は、引用発明、引用例の記載事項及び周知技術１、２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 
　 
（４）請求人の主張について 
　請求人は、請求の理由及び平成２２年９月２２日付け回答書において、概ね以下のような主張をしている。 
　（ｉ）引用例１のように単に電圧を印加する方向を切り換える切換手段を用いただけでは、本発明のようにフリッティング「時」にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えることはできない。 
　すなわち、引用例１の切換手段は、例えば当該引用文献１の明細書の段落［００２２］、図面［図２（ｂ）］、［図４］等において、リレー回路１４１Ｂとして記載されている。そして、リレー回路１４１Ｂを駆動することにより、プローブ１４４に接続するフリッティング回路１４１と高速信号確認用機器１４８とを適宜切り替えることが記載されている。すなわち、このリレー回路１４１Ｂによる切り替えは、フリッティング回路１４１を用いてフリッティングを行った後に、高速信号確認用機器１４８を用いて被処理体の検査を行うために、プローブ１４４の「接続先」を切り替えるものである。したがって、リレー回路１４１Ｂは、フリッティング時にプローブ１４４に印加される電圧の方向を切り替えるものではない。すなわち、リレー回路１４１Ｂは、フリッティング時に一対のプローブ１４４間の電圧の極性を切り替えることはできない。 
　（ｉｉ）本発明のようにフリッティング時にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えることによって、プローブ対の電気的導通性の偏りを解消できることは、例えば本願の出願当初の明細書の段落［００３３］〜［００３６］、図面［図６］、［図７］に記載したように、本発明者らが鋭意研究を重ねた結果、初めて得られた知見である。これに対して、引用文献１には、プローブ対の陽極側と陰極側との間に電気的な導通性の偏りがあることは全く記載されておらず、そのことについての示唆もない。したがって、この電気的導通性の偏りを解消することができる本発明は、引用文献１から容易に想到されるものではなく、斬新なものである。 
　（ｉｉｉ）引用文献１には、本発明のようにフリッティング「時」にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えることは記載されていない。すなわち、引用文献１には、電圧の極性を切り替える「時期」について記載されていない。 
　 
　そこで、請求人の上記主張（ｉ）ないし（ｉｉｉ）について検討する。 
主張（ｉ）について 
　請求人は、引用例１の切換手段、すなわち、引用発明の「フリッティング手段」が有する「電圧を印加する方向を切り換える切換手段」が、リレー回路１４１Ｂであるとの前提のもとに、当該リレー回路１４１Ｂは、フリッティング時に一対のプローブ１４４間の電圧の極性を切り替えることはできないと主張している。 
　しかしながら、引用例において、リレー回路１４１Ｂは、請求人も指摘するように、明細書の段落［００２２］、図面［図２（ｂ）］、［図４］等において、プローブ１４４に接続するフリッティング回路１４１と高速信号確認用機器１４８とを適宜切り替えるリレー回路として説明されているのであるから、引用発明の「フリッティング手段」が有する「電圧を印加する方向を切り換える切換手段」のことではない。 
　したがって、請求人の上記主張（ｉ）はその前提において誤っており、当を得ないものである。 
　そして、引用発明の「フリッティング手段」が有する「電圧を印加する方向を切り換える切換手段」については、引用例の発明の実施の形態の欄にはその具体的な構成が明示されてはいないものの、引用例の特許請求の範囲の請求項７、請求項８及び課題を解決するための手段の欄の段落【００１１】、【００１２】には、「上記フリッティング手段は、上記各検査用電極それぞれ対応して設けられた一対のプローブと、これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段と、上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段と、この切換手段を制御する制御手段とを有する」（上記「（１）引用例記載の事項・引用発明」の記載（ａ）、（ｃ）参照。）と明記されているのであるから、上記「切換手段」は、この記載のとおり、フリッティング手段において電圧を印加する方向を切り換える切換手段、すなわち、フリッティング手段が印加する電圧の極性を切り換える切換手段であると解釈するほかなく、これとは異なる別の切換手段であると解釈すべき余地はない。 
　また、発明の実施の形態の欄の記載を参酌してみても、この「電圧を印加する方向を切り換える切換手段」が、請求人の上記主張（ｉ）のように、フリッティング回路１４１と高速信号確認用機器１４８とを適宜切り替えるリレー回路１４１Ｂであると解釈すべき根拠となる記載は見いだせない。 
　したがって、請求項の上記主張（ｉ）を採用することはできない。 
　 
主張（ｉｉ）について 
　引用例には、確かに、請求人が主張するように、プローブ対の陽極側と陰極側との間に電気的な導通性の偏りがあるとの直接の記載はなく、本願補正発明のようにフリッティング時にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えることによって、プローブ対の電気的導通性の偏りを解消できるとの直接の記載もない。 
　しかしながら、上記「（３）判断」において説示したように、本願補正発明が奏する効果、すなわち、本願明細書に記載の「本発明によれば、プローブ対に印加される電圧の極性を交互に変更するので、プローブ対の陽極側と陰極側との電気的な導通性の偏りが解消され、プローブ対の両極において高い導通性が得られる。この結果、プローブ対と被検査体との間の高い導通性を安定的に得ることができる。」（段落【０００８】）との効果については、引用発明が「各検査用電極にそれぞれ対応して設けられた一対のプローブと、これらの一対のプローブ間に電圧を印加する手段と、上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段と、この切換手段を制御する制御手段とを有するフリッティング手段とを備え」るものであり、本願補正発明と同じく「プローブ対に印加される電圧の極性を交互に変更する」ものである以上、引用発明においても必然的に奏される効果であるということができる。 
　したがって、引用例に、プローブ対の陽極側と陰極側との間に電気的な導通性の偏りがあるとの直接の記載がなく、本願補正発明のようにフリッティング時にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えることによって、プローブ対の電気的導通性の偏りを解消できるとの直接の記載がないとしても、引用発明は、本願補正発明と同じく、フリッティング時にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えることによって、プローブ対の電気的導通性の偏りを解消できるとの効果を必然的に奏するものであるといえる。 
　よって、請求人の上記主張（ｉｉ）を採用することはできない。 
　 
上記主張（ｉｉｉ）について 
　引用発明の「上記電圧を印加する方向を切り換える切換手段」は「フリッティング現象を利用して上記検査用電極と上記プローブを電気的に導通させるフリッティング手段」が有するのであるから、フリッティング「時」にプローブ対間に印加される電圧の極性を切り替えるためのものであることは明らかである。 
　したがって、請求人の上記主張（ｉｉｉ）を採用することはできない。 
　 
（５）むすび 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　 
第３　本願発明 
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし６に係る発明は、補正１により補正された明細書及び特許請求の範囲の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、本願の請求項４に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記「第２」の「１」の「（１）」の本件補正前の特許請求の範囲の請求項４に記載されたとおりのものである。 
　 
第４　引用例の記載事項・引用発明 
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載事項及び引用発明は、上記「第２」の「２」の「（１）」に記載したとおりのものである。 
　 
第５　本願発明についての判断 
　本願発明は、上記「第３」で検討した、本願補正発明の発明を特定するために必要な事項である「スイッチング回路」についての上記「前記フリッティング回路内の陽極の端子と陰極の端子との間で前記プローブ対の接続先を切り替えて」との限定を省いたものである。 
　そうすると、本願発明の発明を特定するために必要な事項をすべて含み、さらに上記限定を付加したものに相当する本願補正発明が前記「第２」の「２」の「（３）」に記載したとおり、引用発明、引用例の記載事項及び周知技術１、２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明、引用例の記載事項及び周知技術１、２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 
　 
第６　むすび 
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。 
　そして、本願発明（請求項４に係る発明）が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項１ないし３、５、６に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。