【事件の表示】
　特願２００１−３８７２１８「細長ボアを有するＣＭＯＳ／ＭＥＭＳ集積インクジェット印刷ヘッド及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　９月１１日出願公開、特開２００２−２５４６５２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１３年１２月２０日（パリ条約による優先権主張２００１年２月２２日、米国）の外国語書面出願であって、平成１４年２月２０日に外国語書面の日本語による翻訳文が提出され、平成１６年１０月７日、平成２０年３月１８日及び同年１０月２２日付けで手続補正がなされ、平成２１年１月２２日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年４月２７日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年５月２７日付けで手続補正がなされたものである。
　なお、請求人は、当審における平成２２年４月２日付け審尋に対して、同年６月２４日付けで回答書を提出している。
　
第２　平成２１年５月２７日付け手続補正についての補正却下の決定
　
〔補正却下の決定の結論〕
　平成２１年５月２７日付け手続補正を却下する。
　
〔理由〕
１　補正の内容
（１）平成２１年５月２７日付け手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲についてするもので、本件補正前の請求項１に、
「印刷ヘッドの作動を制御するために形成された集積回路を含むシリコン基板であって、該基板に沿って形成されたインクチャネルを有するシリコン基板と；
　シリコン基板を覆う絶縁体層若しくは層群であって、絶縁体層若しくは層群はその表面にそれぞれ形成された細長のインクジェットボアの一群を有し、前記表面は平坦に形成されているところの絶縁体層若しくは層群と；
　印刷のために選択されなかったインクドロプレットを収集するため
の
　各ボアは均一な径でありかつその絶縁体層若しくは層群の表面から延びると共にシリコン基板と絶縁体層若しくは層群との間の界面で終端しており、
　各ボアは互いに近接して配置すると共に、絶縁体層若しくは層群の表面近傍にヒーター要素を有し、
　前記インクチャネルのそれぞれはボアの一つに関連すると共に連通し、これによって、各インクチャネルは各ボアそれぞれに関連する一のリブ壁構造対の間に画定され、前記シリコン基板に形成されたインクチャネルは互いに離隔しており、リブ壁構造はシリコン基板の全厚さ分延伸しておりかつ印刷ヘッドのページ幅方向を横切る方向に向いており、各対のリブ壁構造は各インクチャネルの２つの壁を形成するように各ボアの径より大きな距離だけ離隔している、ページ幅方向に延伸する連続ページ幅インクジェット印刷ヘッド。」とあったものを、
　
「印刷ヘッドの作動を制御するために形成された集積回路を含むシリコン基板であって、該基板に沿って形成されたインクチャネルを有するシリコン基板と；
　シリコン基板を覆う絶縁体層若しくは層群であって、絶縁体層若しくは層群はその表面にそれぞれ
、印刷ヘッドのページ幅方向においてジグザグ状に配置して
　印刷のために選択されなかったインクドロプレットを収集するため
の
　各ボアは均一な径でありかつその絶縁体層若しくは層群の表面から延びると共にシリコン基板と絶縁体層若しくは層群との間の界面で終端しており、
　各ボアは互いに近接して配置すると共に、絶縁体層若しくは層群の表面近傍にヒーター要素を有し、
　前記インクチャネルのそれぞれはボアの一つに関連すると共に連通し、これによって、各インクチャネルは各ボアそれぞれに関連する一のリブ壁構造対の間に画定され、前記シリコン基板に形成されたインクチャネルは互いに離隔しており、リブ壁構造はシリコン基板の全厚さ分延伸しておりかつ印刷ヘッドのページ幅方向を横切る方向に向いており、各対のリブ壁構造は各インクチャネルの２つの壁を形成するように各ボアの径より大きな距離だけ離隔している、ページ幅方向に延伸する連続ページ幅インクジェット印刷ヘッド。」に補正する内容を含むものである。
（審決注：本件補正前後の請求項１に記載された「印刷のために選択されなかったインクドロプレットを収集するためのど空き」は「印刷のために選択されなかったインクドロプレットを収集するため
の
　
（２）上記（１）の本件補正後の請求項１に係る補正は、本件補正前の請求項１に係る発明を特定するために必要な事項である「細長のインクジェットボアの一群」の「絶縁体層若しくは層群の表面への形成」について、「印刷ヘッドのページ幅方向においてジグザグ状に配置して」形成することを限定するものである。
　
２　補正の目的
　本件補正後の請求項１に係る本件補正は、上記１（２）のとおり、本件補正前の請求項１に係る発明を特定するために必要な事項を限定するものであるから、平成１４年法律第２４号改正附則第２条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３　刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された「本願の優先日前に頒布された刊行物である欧州特許出願公開第１０６０８９０号明細書（以下「引用例」という。）」には、図とともに次の事項が記載されている。
　
（１）「FIELD OF THE INVENTION
　
[0001] This invention relates generally to the field of ink jet print heads in which there is drop ejection apparatus wherein a heater acts on a fluid or fluid meniscus (air-ink interface) of ink to be ejected.
　
BACKGROUND OF THE INVENTION
　
[0002] Ink jet printing has become recognized as a prominent contender in the digitally controlled, electronic printing arena because, e.g., of its non-impact low-noise characteristics, its use of plain paper, and its avoidance of toner transfers and fixing. Ink jet printing mechanisms can be categorized as either continuous ink jet or drop on demand ink jet.
[0003] Great Britain Patent No. 2,007,162, which issued to Endo et al. in 1979, discloses an electrothermal drop on demand ink jet printer which applies a power pulse to an electrothermal heater which is in thermal contact with water based ink in a nozzle. A small quantity of ink rapidly evaporates, forming a bubble which cause drops of ink to be ejected from small apertures along the edge of the heater substrate. This technology is known as BubblejetTM (trademark of Canon K.K. of Japan). U.S. Patent No. 4,490,728, which issued to Vaught et al. in 1982, discloses an electrothermal drop ejection system which also operates by bubble formation to eject drops in a direction normal to the plane of the heater substrate. Rapid bubble formation provides the momentum for drop ejection.
[0004] Commonly assigned U.S. Patent No. 5,880,759 which issued to Kia Silverbrook on March 9, 1999, discloses a drop on demand liquid printing system wherein drop ejection is effected by selective actuation of a heater acting on the meniscus (the ink-air interface) of ink to be ejected. For this class of printer, the heater element may take the form of a ring or a part of a ring at the top surface of the print head. The top surface through which the orifices open generally defines an orifice plane. The placement accuracy of ejected drops is influenced by the line of contact between the meniscus of the ink to be ejected and the top surface of the print head. If the contact line between the ink and the orifice surface is not symmetrically disposed about the orifice, the drops will not necessarily be ejected in a desired direction perpendicular to the orifice plane.
[0005] Continuous ink jet printing dates back to at least 1929. See U.S. Patent No. 1,941,001 to Hansell. Conventional continuous ink jet utilizes electrostatic charging tunnels that are placed close to the point where the drops are formed in a stream. In this manner individual drops may be charged. The charged drops may be deflected downstream by the presence of deflector plates that have a large potential difference between them. A gutter (sometimes referred to as a catcher) may be used to intercept the charged drops, while the uncharged drops are free to strike the recording medium. U.S. Patent No. 3,878,519, which issued to Eaton in 1974, discloses a method and apparatus for synchronizing droplet formation in a liquid stream using electrostatic deflection by a charging tunnel and deflection plates.
[0006] In another class of continuous ink jet printers, an ink jet printer includes a delivery channel for pressurized ink to establish a continuous flow of ink in a stream flowing from a nozzle bore in a direction of propagation related to the orifice plane. A heater having a selectively-actuated section associated with only a portion of the nozzle bore perimeter causes the stream to break up into a plurality of droplets at a position spaced from the heater. Actuation of the heater section produces an asymmetric application of heat to the stream to control the direction of the stream between a print direction and a non-print direction. The placement accuracy of ejected drops is influenced by the line of contact between the meniscus of the ink to be ejected and the surface of the orifice from which the drops are ejected.
[0007] For drop ejection apparatus in which a heater acts on the ink-air interface of ink to be ejected, the need to contact the heater electrically has made it difficult to provide a heater having sufficient symmetry to ensure that drops will be ejected in a direction perpendicular to the orifice plane. An electrical heater surrounds a central bore on a substrate. Electrical leads contact the heater so that the heater can be selectively operated.
[0008] In conventional ink jet technology such as thermal ink jet, the ink meniscus remains in the nozzle bore until ejected. However, in ink jet print heads wherein the ink meniscus extends above the nozzle bore and actually spreads along the surface of the print head, it has been conventional thought that there had to be a sharp physical edge, such as a surface height step, upon which the ink meniscus could pin so as to keep the meniscus from expanding outwardly along the upper surface of the print head. Much inventive effort has been devoted to the manufacture of structures to pin the ink meniscus. Unfortunately, the configuration that provided a hard edge was difficult to manufacture and hard to clean.
　
DISCLOSURE OF THE INVENTION
　
[0009] According to a feature of the present invention, it has unexpectantly been found that a sharp physical edge upon which the ink meniscus could pin is not needed to keep the meniscus from expanding outwardly along the upper surface of ink jet print heads wherein the ink meniscus extends above the nozzle bore.
[0010] Accordingly, the present invention provides a heater having an upper surface which is coplanar with the surrounding dielectric material so that the entire device is flat in all regions along the ink-to-solid contact line of the meniscus. The principals of operation of the device in this case are quite different than prior art devices which rely on meniscus pinning at the edges of patterned material layers, since there are no distinguishing surface features to pin the meniscus.
[0011] It is a feature of the present invention to provide apparatus for controlling ink in an ink jet printer including a print head of the type wherein ink forms a meniscus above a nozzle bore and spreads along an upper surface of the print head. The print head includes a substrate having an upper surface; an ink delivery channel below the substrate; and a nozzle bore through the substrate and opening below the substrate into the ink delivery channel to establish an ink flow path. A source of pressurized ink communicates with the ink delivery channel such that ink tends to form a meniscus on the upper surface of the heater. A resistive heater lies about at least a portion of the nozzle bore, the heater having an upper surface which is coplanar with a surrounding portion of the upper surface of the substrate, whereby the print head is flat in regions along an ink-to-solid contact line of the meniscus.」（第２頁左欄第３行〜第３頁左欄第２２行）
　
（日本語訳）
「発明の分野
　
[0001]　この発明は、概して、吐出されるインクの液体又は液体メニスカス（空気−インク界面）にヒーターが作用するところの、液滴を吐出する装置を含むインクジェットプリントヘッドの分野に関する。
　
発明の背景
　
[0002]　インクジェット印刷は、例えば、そのノンインパクト性、低ノイズ性、その無地紙の使用およびそのトナー移送と定着の回避といった理由から、デジタル制御の電子印刷分野で突出した競争相手として認知されるようになってきた。インクジェット印刷のメカニズムは、連続インクジェット又はドロップオンデマンドインクジェットに分類することができる。
[0003]　１９７９年に発行されたＥｎｄｏ等の英国特許第２，００７，１６２号明細書には、ノズル中の水性インクと熱接触している電熱ヒーターに電力パルスを印加する電熱式ドロップオンデマンド型のインクジェットプリンターが開示されている。少量のインクが急速に蒸発して泡を形成し、それがヒーター基体の端部に沿った小さな開口部から滴状インクを噴射させる。この技術は、バブルジェット（日本のキャノンＫ．Ｋ．の商標）として知られている。１９８２年に発行されたＶａｕｇｈｔ等の米国特許第４，４９０，７２８号明細書には、また泡の形成によって、ヒーター基板の平面に対して法線方向に液滴を吐出するように作用する電熱式ドロップ吐出機構が開示されている。急速な泡の形成により液滴吐出のための推進力が生成される。
[0004]　１９９９年３月１９日にＫｉａ　Ｓｉｌｖｅｒｂｒｏｏｋとの共同名義で発行された米国特許第５，８８０，７５９号明細書には、吐出されるインクのメニスカス（空気−インク界面）に作用するヒーターの選択的な活性化により、液滴が吐出されるドロップオンデマンド液体印刷機構が開示されている。この種類のプリンターでは、ヒーター要素がプリントヘッドの上部表面において環形状又は環の一部からなる形状を取ることができる。通常オリフィスが貫通して開口される前記上部表面は、“オリフィス平面”を規定する。吐出された液滴の位置の正確性は、吐出されるインクのメニスカスとプリントヘッドの上部表面とが接触するラインに影響される。もし、インクとオリフィス表面との接触ラインがオリフィスに対して対称的に形成されなければ、液滴はオリフィス平面に垂直な望ましい方向に必ずしも吐出されない。
[0005]　連続インクジェット印刷については少なくとも１９２９年まで遡ることができる。Ｈａｎｓｅｌｌの米国特許第１，９４１，００１号明細書を参照。従来の連続インクジェットは、液流内で液滴が形成される点の近傍に配置された複数の静電荷用トンネルを利用している。この方法により個々の液滴に対して荷電することができる。各プレート間に大きな電位差が設けられた複数の偏向プレートの存在により、帯電した各液滴を下流側で偏向させることができる。帯電した液滴を遮るために（時折“キャッチャー”と称される。）溝部を用いることができ、一方で、帯電していない液滴は記録媒体に自由に突き当たることになる。１９７４年に発行されたＥａｔｏｎの米国特許第３，８７８，５１９号明細書には、荷電用トンネルおよび複数の偏向プレートによる静電偏向を用いた液流の液滴形成を同期させるための方法および装置が開示されている。
[0006]　別の種類の連続インクジェットプリンターにおいては、インクジェットプリンターは加圧されたインクのための供給チャネルを含み、それによりノズル孔からオリフィス平面に関して射出する方向に流出するインクの連続した流れを作り出す。ノズル孔周囲の一部分のみと結びついた選択的に作動されるセクションを有するヒーターが、該ヒーターから間隔を置いた位置において前記流れを複数のドロップレットに分割する。前記ヒーターセクションの作動により、プリント方向と非プリント方向との間で前記流れの方向を制御するために、前記流れに対して非対称な熱の印加が行われる。吐出された液滴の位置の正確性は、
吐出されるインクのメニスカスと液滴が吐出されるオリフィスの表面とが接触するライン
[0007]　ヒーターが吐出されるインクのインク−空気界面に作用して、液滴を吐出する装置にとって、ヒーターに電気的に接続することが必要なので、オリフィス平面に対して垂直な方向に液滴を吐出することを保証するために、充分な対称性を持ったヒーターを提供することは困難である。電気的なヒーターは、基板上の中央の孔を包囲する。電気的なリード線はヒーターが選択的に動作されるようにヒーターに接続される。
[0008]　サーマルインクジェットのような従来のインクジェット技術においては、インクメニスカスは吐出されるまでノズル孔の中に留まる。しかし、インクメニスカスがノズル孔上に広がり、実際にプリントヘッド表面に沿って広がるインクジェットプリントヘットにおいては、
インクメニスカスがプリントヘッドの上面に沿って外側に広がらないように該インクメニスカスをその上に“位置決め”できる、表面の段差のような、鋭い物理的なエッジがなければならない
　
発明の開示
　
[0009]　本発明の特徴により、
予想外なことにインクメニスカスを位置決めする鋭い物理的なエッジは、インクメニスカスがノズル孔の上部に広がるインクジェットプリントヘッドにおいて、該インクジェットプリントヘッドの上部表面に沿って外側に拡張するのを防ぐためには、必要でないことがわかった
[0010]　そこで、本発明では、装置全体が、
メニスカスのインク−固体コンタクトライン
[0011]　本発明の特徴は、インクがノズル孔上にメニスカスを形成し、該インクがプリントヘッド上面に沿って広がるタイプのプリントヘッドを含むインクジェットプリンターにおけるインクをコントロールする装置を提供することにある。前記プリントヘッドは上面を有する基板と、前記基板の下に設けられたインク供給チャネルと、インク流路を形成するために前記インク供給チャネルに連通するように前記基板を貫通して前記基板の下に開口したノズル孔を有する。加圧されたインク源はヒーター上面にインクがメニスカスを形成するように、前記インク供給チャネルと連通する。抵抗ヒーターは少なくとも前記ノズル孔の一部に関して配置されており、前記基板上面のヒーターを囲む部分と同一平面となるように、ヒーター上面が形成され、プリントヘッドがメニスカスのインク−固体コンタクトラインに沿う領域において平坦となるようにされている。」
　
（２）「[0013] Referring to FIG. 1, a continuous ink jet printer system includes an image source 10 such as a scanner or computer which provides raster image data, outline image data in the form of a page description language, or other forms of digital image data. This image data is converted to half-toned bitmap image data by an image processing unit 12 which also stores the image data in memory. A plurality of heater control circuits 14 read data from the image memory and apply time-varying electrical pulses to a set of nozzle heaters 50 that are part of a print head 16. These pulses are applied at an appropriate time, and to the appropriate nozzle, so that drops formed from a continuous ink jet stream will form spots on a recording medium 18 in the appropriate position designated by the data in the image memory.
[0014] Recording medium 18 is moved relative to print head 16 by a recording medium transport system 20, which is electronically controlled by a recording medium transport control system 22, and which in turn is controlled by a micro-controller 24. The recording medium transport system shown in FIG. 1 is a schematic only, and many different mechanical configurations are possible. For example, a transfer roller could be used as recording medium transport system 20 to facilitate transfer of the ink drops to recording medium 18. Such transfer roller technology is well known in the art. In the case of page width print heads, it is most convenient to move recording medium 18 past a stationary print head. However, in the case of scanning print systems, it is usually most convenient to move the print head along one axis (the sub-scanning direction) and the recording medium along an orthogonal axis (the main scanning direction) in a relative raster motion.
[0015] Ink is contained in an ink reservoir 28 under pressure. In the non-printing state, continuous ink jet drop streams are unable to reach recording medium 18 due to an ink gutter 17 that blocks the stream and which may allow a portion of the ink to be recycled by an ink recycling unit 19. The ink recycling unit reconditions the ink and feeds it back to reservoir 28. Such ink recycling units are well known in the art. The ink pressure suitable for optimal operation will depend on a number of factors, including geometry and thermal properties of the nozzles and thermal properties of the ink. A constant ink pressure can be achieved by applying pressure to ink reservoir 28 under the control of ink pressure regulator 26.
[0016] The ink is distributed to the back surface of print head 16 by an ink channel device 30. The ink preferably flows through slots and/or holes etched through a silicon substrate of print head 16 to its front surface, where a plurality of nozzles and heaters are situated. With print head 16 fabricated from silicon, it is possible to integrate heater control circuits 14 with the print head.」（第３頁左欄第５５行〜同頁右欄第５０行）
　
（日本語訳）
「[0013]　図１には、ラスター画像データ、ページ記述言語形式のアウトライン画像データまたは他のデジタル画像データ形式を提供するスキャナー、コンピュータ等のイメージソース１０を備えた連続インクジェット式プリントシステムが示されている。この画像データは、画像処理ユニット１２により二階調ビットマップイメージへと変換され、該画像処理ユニットはさらに画像データをメモリ内に貯蔵する。
画像メモリからデータが複数のヒーター制御回路１４へと読み込まれるとともに、該ヒーター制御回路により、時間変化させられた電気パルスが、プリントヘッド１６の一部分を構成する一組のノズル用ヒーター５０へと送られ
これらのパルスは、適切な時間、適切なノズルに対して印加されて、連続インクジェット流から形成された複数のインク滴が、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体１８上の適切な位置に複数のスポットを形成する
[0014]　記録媒体１８は、記録媒体輸送システム２０によりプリントヘッド１６に対して相対的に移動させられる。記録媒体輸送システム２０は記録媒体輸送制御システム２２により電気的に制御され、さらにこの記録媒体輸送制御システム２２はマイクロコントローラ２４により制御される。図１に示された記録媒体輸送システムは、概略的にのみ示されており、多くの機械的構成に関する変形が可能である。例えば、記録媒体１８へインク液滴を容易に輸送するために、記録媒体輸送システム２０として輸送用ローラを使用することができる。このような輸送用ローラに関する技術は当業者に周知のものである。
ページ幅を有するプリントヘッド
[0015]　インクリザーバ２８内には加圧下でインクが充填されている。
プリント中でない場合には、連続インクジェット液滴流をブロックするとともにインクリサイクルユニット１９によりインクの一部分をリサイクルするインク排除溝１７
連続インクジェット液滴流は記録媒体１８に到達することができない
[0016]　
インクは、インクチャンネル装置３０によりプリントヘッド１６の背面へと分配され
シリコン基板を貫通するようエッチング形成された複数のスロットおよび／または孔部を通過して、複数のノズルおよびヒーターが配置されたプリントヘッドの前面へと流れ
一体的に複数のヒーター制御回路１４を形成する
　
（３）「[0017] FIG. 2A is a cross-sectional view of one nozzle tip of an array of such tips that form continuous ink jet print head 16 of FIG. 1. An ink delivery channel 40, along with a plurality of nozzle bores 46 are etched in a substrate 42, which is silicon in this example. Delivery channel 40 and nozzle bores 46 may be formed by anisotropic wet etching of silicon, using a p+ etch stop layer to form the nozzle bores. Ink 70 in delivery channel 40 is pressurized above atmospheric pressure, and forms a stream 60. At a distance above nozzle bore 46, stream 60 breaks into a plurality of drops 66 due to a periodic heat pulse supplied by a heater 50.
[0018] Referring to FIG. 2B, the heater has two sections, each covering approximately one-half of the nozzle perimeter. Power connections 59a and 59b and ground connections 61a and 61b from the drive circuitry to heater annulus 50 are also shown. Stream 60 (FIG. 2A) may be deflected by an asymmetric application of heat by supplying electrical current to one, but not both, of the heater sections. With stream 60 being deflected, drops 66 may be blocked from reaching recording medium 18 by a cut-off device such as an ink gutter 17. In an alternate printing scheme, ink gutter 17 may be placed to block undeflected drops 67 so that deflected drops 66 will be allowed to reach recording medium 18.
[0019] The heater was made of polysilicon doped at a level of about thirty ohms/square, although other resistive heater material could be used. Heater 50 is separated from substrate 42 by thermal and electrical insulating layers 56 to minimize heat loss to the substrate. The nozzle bore may be etched allowing the nozzle exit orifice to be defined by insulating layers 56. The layers in contact with the ink can be passivated with a thin film layer for protection. The print head surface can be coated with a hydrophobizing layer 68 to prevent accidental spread of the ink across the front of the print head.
[0020] FIG. 3 is an enlarged view of the nozzle area. A meniscus 51 is formed where the liquid stream makes contact with the heater edges. When an electrical pulse is supplied to one of the sections of heater 50 (the left-hand side in FIG. 3), the contact line that is initially on the outside edge of the heater (illustrated by the dotted line) is moved inwards toward the inside edge of the heater (illustrated by the solid line). The other side of the stream (the right-hand side in FIG. 3) stays pinned to the non-activated heater. The effect of the inward moving contact line is to deflect the stream in a direction away from the active heater section (left to right in FIG. 3 or in the +x direction). At some time after the electrical pulse ends the contact line returns toward the outside edge of the heater.
[0021] In conventional ink jet technology such as thermal ink jet, the ink meniscus remains in the nozzle bore until ejected. However, in ink jet print heads wherein the ink meniscus extends above the nozzle bore and actually spreads along the surface of the print head, it has been conventional thought that there had to be a sharp physical edge upon which the ink meniscus could pin so as to keep the meniscus from expanding outwardly along the upper surface of the print head. Unfortunately, the configuration that provided a sharp physical edge was difficult to manufacture and hard to clean.」（第３頁右欄第５１行〜第４頁左欄第５６行）
　
（日本語訳）
「[0017]　図２Ａは、図１の
連続インクジェット用プリントヘッド１６
ノズルチップ配列体のうちの一のノズルチップ
[0018]　図２Ｂには、ノズル周縁部の約１／２をそれぞれ包囲する二つの区画部を有するヒーターが示されている。また、駆動回路から環形ヒーター５０へ向かって、電源側接続部５９ａ，５９ｂおよび接地側接続部６１ａ，６１ｂが示されている。ヒーターの区画部の両方ではなく一方に電流を供給することにより熱の非対称性を生じさせることで、インク流６０（図２Ａ）を偏向させることができる。インク流６０が偏向されると、
インク排除溝１７等のカットオフ装置
偏向されていないインク滴６７をブロックするべく
[0019]　ヒーターは、他の抵抗によるヒーター材料を用いることもできるが、約３０オーム／スクエアにドーピングされたポリシリコンで形成された。
ヒーター５０は、基板４２への熱損失を最小限にするために、複数の熱的・電気的絶縁層５６により基板４２から分離されている。ノズル孔部は、各絶縁層５６によりノズル出口オリフィスが規定されるようにエッチング形成
インクと接触する各層は、防護用の薄膜層で被覆
[0020]　図３は、ノズル領域の拡大図である。
液体の流れがヒーターのエッジとのコンタクトを形成する部分
電気的なパルスがヒーター５０
に供給されたときに、初期状態ではヒーターの外側のエッジ上
にあったコンタクトライン
ヒーターの内側のエッジに向かって内側に動かされ
位置決め
[0021]　サーマルインクジェットのような従来のインクジェット技術においては、インクメニスカスは吐出されるまでノズル孔の中に留まる。しかし、
インクメニスカスがノズル孔上に広がり、
プリントヘッド表面に沿って広がる
インクメニスカスがプリントヘッドの上面に沿って外側に広がらないように該インクメニスカスをその上に“位置決め”できる、表面の段差のような、鋭い物理的なエッジがなければならない
従来の考え
鋭い物理的なエッジを提供する構造は製作することが難しく、清掃することも困難であった。
　
（４）「[0022] According to a feature of the present invention, it has unexpectantly been found that a sharp physical edge upon which the ink meniscus could pin is not needed to keep the meniscus from expanding outwardly along the upper surface of ink jet print heads wherein the ink meniscus extends above the nozzle bore and that a planar surface is advantageous in fabrication and operation of such devices. Accordingly, the present invention provides a heater having an upper surface which is coplanar with the surrounding dielectric material so that the entire device is flat in all regions along the ink-to-solid contact line of the meniscus. The operation principals of the device in this case are quite different than prior art devices which rely on meniscus pinning at the edges of patterned material layers, since there are no distinguishing surface features to pin the meniscus.
[0023] As shown in FIGS. 4A and 4B, an electrical resistance heater 50 surrounds a central bore 102 on a substrate 104. Electrical leads 106 and 108 contact or are formed integral with the heater so that the heater can be selectively operated. As best seen in FIG. 4B, heater 50 is inlaid into substrate 104 so as to provide an entirely flat device. In FIG. 4B, the inner edge of the heater is aligned to (extends radially to) the surface of bore 102.
[0024] In an alternative embodiment of the present invention illustrated in FIG. 5, a passivation layer 110 is shown which extends into bore 102, across the surface of heater 50, and over the exposed portions of substrate 104. The passivation layer serves to protect the surfaces and additionally renders all areas of the surface chemically identical.
[0025] In yet another embodiment of the present invention illustrated in FIG. 6, the radially inner edge of heater 50 is radially offset from the inner surface of bore 102 so the heater is separated from the bore region. No passivation is required inside the bore in this case, and bore etching after deposit of any passivation layer is possible.
[0026] Heater 50 may be inlaid into substrate 104 by a fabrication process comprising the steps of sequentially etching a trench in the surface of substrate 104 in the form of the heater and the heater leads; depositing the heater material into the etched trench; and the removing, for example by a planarization process such as polishing, the deposited heater material which is higher than the non-etched portions of the substrate. Thereby, the inlaid heater is formed having a surface profile which is flat over the entire region in which the ink might contact any solid surface.
[0027] FIGS. 7A-7H illustrate several possible embodiments of print head configurations according to the present invention. In FIG. 7A, an inlaid heater 50 abuts an inlaid electrical lead trace 112 to provide an entirely flat device also having preferred spatial relationships between the edges of the heater, the trace, and bore 102. The inner edge of the heater is aligned to the edge of the bore.
[0028] In FIG. 7A, the inner edge of heater 50 is also aligned to the inner edge of inlaid trace 112, while in FIG. 7B, the inner edge of heater 50 is offset from the inner edge of trace 112 so the trace is separated from the bore region.
[0029] In FIG. 7C, the heater is offset from the trace and is extended so that its bottom surface lies below the top surface of the inlaid trace but above the bottom surface of the inlaid trace. In FIG. 7D, the heater is offset from the trace and is extended so that its bottom surface lies below the bottom surface of the inlaid trace. FIGS. 7E-7H are identical to FIGS. 7A-7D except that a passivation layer 110 is shown which extends into the bore.
[0030] FIG. 8 is similar to FIG. 7G（審決注：「FIG. 9g」は「FIG. 7G」の明らかな誤記であるので訂正して摘記した。） except the edge of the bore is no longer aligned to the inner edge of the heater. In FIG. 8, the edge of the bore is spaced away from the inner edge of the heater by an distance s2.
[0031] In yet another embodiment of a fully planar device, FIGS. 9A-9C show an inlaid heater 50, a via 114 well known in the art of semiconductor fabrication, and an inlaid trace 112 that are combined together to provide an entirely flat device. As in the case of the structures shown in previous figures, the structures of FIGS. 9A-9C may also be provided with various spatial relationships between the edges of the heater, the trace, and the bore. In FIG. 9A, the inner edge of the heater is shown aligned to the bore edge but offset from the inner edge of the via. The edge of the inlaid trace is shown offset from the outer edge of the via so that inlaid trace electrically contacts the via along a vertical path. The same structure is shown in FIG. 9B expect that a passivation layer is shown which extends into the bore. FIG. 9C shows an inlaid heater whose inner edges are offset with respect to the edge of the bore.」（第４頁左欄第５７行〜第５頁左欄第３３行）
　
（日本語訳）
[0022]　本発明の特徴により、
予想外なことにインクメニスカスを位置決めする鋭い物理的なエッジは、インクメニスカスがインクジェットプリントヘッドの上部表面に沿って外側に広がるのを防ぎつつ、インクメニスカスをノズル孔の上部に延伸させるためには、必要でないことがわかった
平面状の表面がこのような装置を製造し、動作させる上で有利なことがわかった。
装置全体が、メニスカスのインク−固体コンタクトラインに沿う全領域において平坦となるように、
[0023]　図４Ａ及び４Ｂに示されているように、電気抵抗によるヒーター５０は基板１０４の中央孔部１０２を取り囲んでいる。電気的なリード１０６及び１０８は、ヒーターを選択的に作動させることができるように、ヒーターと接触しているか一体に形成されている。図４Ｂにおいて最もよく表されているように、ヒーター５０は完全に平坦な装置を提供するように、基板１０４に埋め込まれている。図４Ｂでは、ヒーターの内側のエッジは、孔部１０２の表面に沿って配されている（孔部１０２の表面まで半径方向に延長されている）。
[0024]　図５に示された本発明の別の実施形態では、パッシベーション層１１０が、孔１０２内、ヒーター５０の表面及び基板１０４の露出された部分にまで広がったものとして示されている。前記パッシベーション層は、表面を保護し、更に該表面の全ての領域の化学的性質を同一とするものである。
[0025]　図６に示された本発明の更に別の実施形態では、
ヒーター５０の径方向の内側のエッジは、孔１０２の内面から径方向にオフセットされ、
の場合には前記孔の内側にパッシベーション層は不要になり、パッシベーション層を積層後に孔をエッチングすることが可能となる
[0026]　ヒーター５０は基板１０４に次のステップからなる製造工程で埋め込むことができる。該製造工程は、基板１０４の表面にヒーター及びヒーターのリード線の形状に溝を連続的にエッチングするステップ、エッチングされた前記溝にヒーター材料を堆積させるステップ、堆積されたヒーター材料のエッチングされていない基板部分よりも高い部分を、例えば研磨などの平面か工程により、除去するステップを有する。それにより、埋め込まれたヒーターは、インクが固体表面に接触する可能性のある全ての領域に渡って平坦な表面プロファイルを有するように、形成される。
[0027]　図７Ａ−７Ｈは本発明に従ったいくつかの可能な実施形態を示す。図７Ａでは、ヒーター、配線及び孔１０２との間で好ましい空間的な位置関係を有する完全に平坦な装置を提供するように、埋め込まれたヒーター５０は埋め込まれた電気的なリード線１１２に隣接する。前記ヒーターの内側のエッジは、前記孔のエッジに沿うようになっている。
[0028]　図７Ａでは、ヒーター５０の内側エッジは埋め込まれた配線１１２の内側エッジにも沿うようになっている。一方、図７Ｂでは、ヒーター５０の内側エッジは配線１１２の内側エッジからオフセットされ、配線が孔領域から隔離されるようになっている。
[0029]　図７Ｃでは、前記ヒーターは前記配線からオフセットされ、その下面が埋め込まれた配線の上面よりも下であり、前記埋め込まれた配線の下面よりも上に位置するように拡張されている。図７Ｄでは、前記ヒーターは前記配線からオフセットされ、その下面が埋め込まれた配線の下面よりも下に位置するように拡張されている。図７Ｅ−７Ｈは、図７Ａ−７Ｄと、前記孔まで拡張されたパッシベーション層１１０が示されている以外は同一である。
[0030]　図８は、前記孔のエッジがもはや前記ヒーターの内側のエッジと一致していないこと以外は、図７Ｇと類似のものである。図８では、前記孔のエッジは前記ヒーターの内側のエッジと距離ｓ２だけ離間している。
[0031]　完全に平面の装置に関する更に別の実施形態では、図９Ａ−９Ｃが示すように、埋め込まれたヒーター５０と半導体製造の分野では周知のビア１１４と、埋め込まれた配線１１２とが相互に接続されて完全に平坦な装置を提供する。前出の図面で示された構造と同様に、図９Ａ−９Ｃの構造も、ヒーターのエッジ、配線及び孔の間が様々な空間的な位置関係をもって、提供される。図９Ａには、前記ヒーターの内側のエッジが前記孔のエッジに配置されているが、前記ビアの内側のエッジからはオフセットを有しているものが示されている。前記埋め込まれた配線のエッジは前記ビアの外側のエッジからオフセットを有することで、前記埋め込まれた配線が垂直方向に沿って前記ビアと電気的に接触していることが示されている。図９Ｂには、同じ構造が示され、前記孔の内側まで延びるようなパッシベーション層が示されている。図９Ｃには、前記孔のエッジに対して、その内側のエッジがオフセットを有するところの、埋め込まれたヒーターが示されている。」
　
（５）「Claims
　
1. A print head for an ink jet printer of the type wherein ink forms a meniscus above a nozzle bore and spreads along an upper surface of the print head; said print head comprising:
　
　a substrate (104) having an upper surface;
　an ink delivery channel (102) below the substrate;
　a nozzle bore through the substrate and opening below the substrate into the ink delivery channel to establish an ink flow path;
　a source of pressurized ink communicating with the ink delivery channel such that ink tends to form a meniscus on the upper surface of the heater; and
　a resistive heater (50) about at least a portion of the nozzle bore, characterized by said heater having an upper surface which is coplanar with a surrounding portion of the upper surface of the substrate, whereby the print head is flat in regions along an ink-to-solid contact line of the meniscus. 
　
2. A print head as defined in Claim 1 further comprising:
　
　a plurality of electrodes contacting the heater at spaced-apart positions below the upper surface of the substrate;
　a power source; and
　an actuator adapted to apply the power source across pairs of the electrodes so as to activate said heater.
　
・・・（中略）・・・
　
7. A print head as defined in Claim 2 wherein:
　
　the substrate comprises at least two dielectric layers; and
　the electrodes buried at the interface of the dielectric layers.」（第５頁左欄第３５行〜同頁右欄第４１行）
　
（日本語訳）
「請求の範囲
　
１．インクがノズル孔上にメニスカスを形成し、プリントヘッド上面に広がるタイプのインクジェットプリンタのためのプリントヘッドであって、前記プリントヘッドは以下の事項を含む：　
　
　上面を有する基板（１０４）；　
　前記基板の下に設けられたインク供給チャネル（１０２）；　
　インク流路を形成するために前記インク供給チャネルに連通するように前記基板を貫通して前記基板の下に開口したノズル孔；　
　ヒーター上面にインクがメニスカスを形成するように前記インク供給チャネルと連通した加圧インク源；及び　
　少なくとも前記ノズル孔の一部に関係する抵抗ヒーター（５０）であって、前記基板上面の該ヒーターを囲む部分と該ヒーターの上面が同一平面となるように形成され、それによって、メニスカスのインク−固体コンタクトラインに沿う領域においてプリントヘッドが平坦となることを特徴とするもの。　
　
２．更に以下の事項を含む請求項１記載のプリントヘッド：　
　
　前記基板正面から一定間隔を置いて下方に位置し、前記ヒーターに接続された複数の電極；　
　電源；及び　
　前記電極の組を通して前記電源を供給して前記ヒーターを活性化させるように適合されたアクチュエータ。　
　
・・・（中略）・・・
　
７．前記基板は少なくとも
２つの誘電体層
　前記電極は前記誘電体層の界面に埋め込まれている、　
　請求項２記載のプリントヘッド。」
　
（６）一のノズルチップの断面図であるＦＩＧ．２Ａと同様に、
シリコン基板の上面に複数の熱的・電気的絶縁層を設けた一のノズルチップ
　ア　一つのノズルチップが、
シリコン基板１０４と、基板１０４の上面に埋め込まれた配線１１２と、基板１０４の上に堆積された第１の熱的・電気的絶縁層と、第１の熱的・電気的絶縁層に形成されたビア１１４と、第１の熱的・電気的絶縁層の上に堆積された第２の熱的・電気的絶縁層と、第２の熱的・電気的絶縁層に埋め込まれたヒーター５０と、貫通孔と、パッシベーション層とから構成
　イ　
前記ビア１１４は、前記ヒーター５０と前記配線１１２とを接続し
　ウ　
前記貫通孔は、前記基板１０４、第１及び第２の熱的・電気的絶縁層を貫通し
　エ　
前記パッシベーション層は、前記ヒーター５０及び第２の熱的・電気的絶縁層それぞれの上面
を覆って
　オ　
前記貫通孔は、
断面円形
　カ　
前記ヒーター５０、前記ビア１１４及び前記配線１１２は、いずれも前記貫通孔の内面から径方向にオフセットされて
　キ　前記貫通孔は、前記パッシベーション層を介して前記第１及び第２の熱的・電気的絶縁層によりノズル出口オリフィスが規定されている（[0019]参照。）ことと、
前記貫通孔の内側のみ不要な前記パッシベーション層を形成しない場合には、前記貫通孔は、前記第１及び第２の熱的・電気的絶縁層と前記パッシベーション層とによりノズル出口オリフィスが規定され
　
（７）上記（１）ないし（６）からみて、引用例には、
　「インクチャンネル装置と、ノズルチップ配列体と、インク排除溝等のカットオフ装置とからなり、ページ幅を有する、連続インクジェット用プリントヘッドであって、
　前記ノズルチップ配列体は、シリコン基板と、該シリコン基板に配置された複数のノズルチップと、前記シリコン基板に一体的に形成された複数のヒーター制御回路とからなり、各々のノズルチップには、ノズル孔及びヒーターが形成されており、
　インクは、前記インクチャンネル装置により前記プリントヘッドの背面へと分配され、前記シリコン基板を貫通するようエッチング形成された複数のスロットおよび／または孔部を通過して、複数のノズル孔およびヒーターが配置された前記プリントヘッドの前面へと流れるようになっており、
　前記複数のヒーター制御回路には、画像メモリからデータが読み込まれるとともに、各ヒーター制御回路により、時間変化させられた電気パルスが、一組の前記ヒーターへと送られ、これらのパルスは、適切な時間、適切なノズルに対して印加されて、連続インクジェット流から形成された複数のインク滴が、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体上の適切な位置に複数のスポットを形成するようになっており、
　前記インク排除溝等のカットオフ装置は、プリント中でない場合に連続インクジェット液滴流をブロックして連続インクジェット液滴流が記録媒体に到達できないようにするとともに、インクリサイクルユニットによりインクの一部分をリサイクルするようにされており、
　前記ヒーターは、前記シリコン基板への熱損失を最小限にするために、熱的・電気的絶縁層により前記シリコン基板から分離されており、
　ノズル孔部は、前記熱的・電気的絶縁層によりノズル出口オリフィスが規定されるようにエッチング形成されており、
　インクと接触する各層は防護用の薄膜層すなわちパッシベーション層で被覆されている、
　インクメニスカスが前記ノズル孔上から前記プリントヘッド表面に沿って広がるタイプのプリントヘッドにおいて、
　従来は、インクメニスカスがプリントヘッドの上面に沿って外側に広がらないように該インクメニスカスをその上に“位置決め”できる、表面の段差のような、鋭い物理的なエッジがなければならないと考えられていたので、吐出されるインクのメニスカスと液滴が吐出されるオリフィスの表面とが接触するラインである、メニスカスのインク−固体コンタクトラインが、初期状態では前記ヒーターの外側のエッジ上に位置決めされ、電気的なパルスが前記ヒーターに供給されたときには前記ヒーターの内側のエッジに向かって内側に動かされるようにされていたから、前記ヒーターの鋭い物理的なエッジを提供する構造ゆえに、従来のプリントヘッドは製作することが難しく、清掃することも困難であったところ、
　そのような鋭い物理的なエッジは必要でなく、平面状の表面がこのような装置を製造し、動作させる上で有利なことがわかったため、前記ノズルチップの各々を、
　前記シリコン基板と、該シリコン基板の上面に埋め込まれた配線と、前記シリコン基板の上に堆積された第１の熱的・電気的絶縁層と、第１の熱的・電気的絶縁層に形成されたビアと、第１の熱的・電気的絶縁層の上に堆積された第２の熱的・電気的絶縁層と、第２の熱的・電気的絶縁層に埋め込まれた前記ヒーターと、前記スロットおよび／または孔部と、断面円形の前記ノズル出口オリフィスと、前記パッシベーション層とから構成し、
　前記ビアにより前記ヒーターと前記配線とを接続し、
　前記パッシベーション層を、前記ヒーター及び第２の熱的・電気的絶縁層それぞれの上面を覆ったものとし、
　前記ヒーター、前記ビア及び前記配線を、いずれも前記ノズル出口オリフィスの内面から径方向にオフセットされたものとし、この場合には前記ノズル出口オリフィスの内側にパッシベーション層は不要になるから、前記パッシベーション層を積層後に、第１の熱的・電気的絶縁層と、第２の熱的・電気的絶縁層と、前記パッシベーション層とをエッチングして前記ノズル出口オリフィスを規定するとともに、該ノズル出口オリフィスを前記スロットおよび／または孔部と連通して貫通孔となし、
　装置全体が、メニスカスのインク−固体コンタクトラインに沿う全領域において平坦となるようにした、プリントヘッド。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
４　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
（１）引用発明の「プリントヘッド」、「複数のヒーター制御回路」、「シリコン基板」、「シリコン基板を貫通するようエッチング形成された複数のスロットおよび／または孔部」、「『第１の熱的・電気的絶縁層』、『第２の熱的・電気的絶縁層』及び『パッシベーション層』」、「ノズル出口オリフィス」、「『プリント中でない場合に連続インクジェット液滴流をブロックして連続インクジェット液滴流が記録媒体に到達できない』ようにする『インク排除溝等のカットオフ装置』」、「ヒーター」及び「ページ幅を有する、連続インクジェット用プリントヘッド」は、それぞれ、本願補正発明の「印刷ヘッド」、「集積回路」、「シリコン基板」、「インクチャネル」、「シリコン基板を覆う絶縁体層群」、「インクジェットボア」、「印刷のために選択されなかったインクドロプレットを収集するためののど空き」、「ヒーター要素」及び「ページ幅方向に延伸する連続ページ幅インクジェット印刷ヘッド」に相当する。
　
（２）引用発明の「集積回路（複数のヒーター制御回路）」は、「シリコン基板に一体的に形成され」たものであって、「画像メモリからデータが読み込まれるとともに、各ヒーター制御回路により、時間変化させられた電気パルスが、一組の前記ヒーターへと送られ、これらのパルスは、適切な時間、適切なノズルに対して印加されて、連続インクジェット流から形成された複数のインク滴が、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体上の適切な位置に複数のスポットを形成する」ようになっているものであるから、引用発明の「集積回路」と本願補正発明の「集積回路」とは、「シリコン基板」に「含」まれる点及び「印刷ヘッドの作動を制御するために形成された」ものである点で一致する。
　
（３）引用発明の「インクチャネル（複数のスロットおよび／または孔部）」は、シリコン基板を貫通するようエッチング形成され、インクチャンネル装置によりプリントヘッドの背面へと分配されたインクを通過させて、複数のノズルおよびヒーターが配置された前記プリントヘッドの前面へと流れるようにするものであるとともに、「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」と連通して貫通孔となるものであり、引用発明において、ページ幅を有するプリントヘッドの前面に配置された複数のノズル孔は、シリコン基板の前面にその長手方向に沿って配列するものであることが当業者に自明であるから、複数のスロットおよび／または孔部も同様にシリコン基板の長手方向に沿って配列することになる。したがって、引用発明の「インクチャネル」と本願補正発明の「インクチャネル」とは、「シリコン基板が有する」ものである点、「基板に沿って形成された」ものである点、「それぞれはボアの一つに関連すると共に連通」する点、「シリコン基板に形成された」ものである点、及び、「互いに離隔して」いる点で一致する。
　
（４）ア　引用発明の「インクチャネル」は「複数のスロットおよび／または孔部」であるところ、それが「複数のスロット」の場合は、この場合のスロット（ｓｌｏｔ）とは、断面が細長い略長方形状である孔を意味するものと解される（研究社、新英和大辞典、第５版３４刷、１９９８年、株式会社研究社、第１９９３頁、ｓｌｏｔ１の１ａの「細長い小さな穴、細孔（ｓｌｉｔ）」の記載、及び同じくｂの「（自動販売機・郵便受箱などの硬貨や手紙の）投入口（ｓｌｉｔ）」の記載参照。）から、該「インクチャネル（スロット）」のそれぞれをシリコン基板の長手方向に沿って配列する（上記（３）参照。）際には、その略長方形の断面の長辺が配列方向に向くように配列すると高密度に配列されないから、その短辺が複数の「インクチャネル（スロット）」の配列方向すなわちシリコン基板の長手方向であってページ幅を有するプリントヘッドのページ幅方向に向き、かつ、その長辺が前記配列方向と直交する方向すなわちシリコン基板の短手方向であってページ幅を有するプリントヘッドのページ幅方向に直交する方向に向くように各「インクチャネル（スロット）」の向きを決めて、複数の「インクチャネル（スロット）」を高密度に配列することが当業者に自明である。
　
　イ　そして、そのように配列した複数の「インクチャネル（スロット）」の隣接する「インクチャネル（スロット）」間には、シリコン基板を貫通するように「インクチャネル（スロット）」をエッチング形成することにより、エッチングされなくて残ったシリコン基板の隔壁が形成されることになるから、該隔壁が本願補正発明の「リブ壁構造」に相当し、引用発明の「リブ壁構造（隔壁）」と本願補正発明の「リブ壁構造」とは「シリコン基板の全厚さ分延伸して」いる点で一致する。
　
　ウ　そうすると、各「ボアの一つに関連すると共に連通するインクチャネル（スロット）」は、各「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」それぞれに連通し、一対の「リブ壁構造（隔壁）」間に位置することになるから、「各ボアそれぞれに関連する一のリブ壁構造対の間に画定され」ているといえる。したがって、引用発明の「各インクチャネル（スロット）」と本願補正発明の「各インクチャネル」とは「各ボアそれぞれに関連する一のリブ壁構造対の間に画定され」るものである点で一致する。
　
　エ　上記ウで、引用発明の「各対のリブ壁構造（隔壁）」は、各「インクチャネル（スロット）」の２つの壁を形成するように所定の距離だけ離隔しているといえるから、本願補正発明の「『各インクチャネルの２つの壁を形成するように各ボアの径より大きな距離だけ離隔』している『各対のリブ壁構造』」と、「各インクチャネルの２つの壁を形成するように所定の距離だけ離隔している」点で一致する。
　
　オ　また、引用発明において、一対の「インクチャネル（スロット）の略長方形の断面の長辺」は「インクチャネル（スロット）」を画定する一対の「リブ壁構造（隔壁）」の部分であることが明らかであり、かつ、複数の「インクチャネル（スロット）」を、「インクチャネル（スロット）の略長方形の断面の長辺」がページ幅を有するプリントヘッドのページ幅方向に直交する方向に向くように向きを決めて配列することが当業者に自明である（上記ア参照。）ことからして、引用発明の「リブ壁構造（隔壁）」は「インクチャネル（スロット）の略長方形の断面の長辺」と同様に「ページ幅を有するプリントヘッドのページ幅方向に直交する方向に向いている」といえる。したがって、引用発明の「リブ壁構造」と本願補正発明の「リブ壁構造」とは「印刷ヘッドのページ幅方向を横切る方向に向いて」いる点で一致するといえる。
　
（５）ア　本願明細書の段落【００４５】の「ノズルは、長さ約4μｍ〜10μｍ好適には約6μｍで、直径10μｍでほぼ均一の深いボアを有し、ストリームの偏向を生ずるように非対称の加熱を付与しない限り、軸方向指向性が高いジェットを生成する。」との記載からみて、本願発明の「細長のインクジェットボア」における「細長」とは、「オリフィス（開口部）」や「ボア（孔）」が「細長」であるというときの一般的な意味である「軸方向の長さが開口径や内径よりも長い形状」には限られておらず、本願発明の「細長のインクジェットボア」には、軸方向長さ（すなわち深さ）が、他の構成とあいまって軸方向指向性が高いジェットを生成し得るだけの長さであるインクジェットボアであれば含まれるものと解される。
　
　イ　一方、引用発明においては、各ヒーター制御回路により、時間変化させられた電気パルスが、一組のヒーターへと送られ、これらのパルスは、適切な時間、適切なノズルに対して印加されて、連続インクジェット流から形成された複数のインク滴が、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体上の適切な位置に複数のスポットを形成するようになっており、インク排除溝等のカットオフ装置は、プリント中でない場合に連続インクジェット液滴流をブロックして連続インクジェット液滴流が記録媒体に到達できないようにするとともに、インクリサイクルユニットによりインクの一部分をリサイクルするようにされているのであるから、引用発明の「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」も、軸方向長さが、他の構成とあいまって軸方向指向性が高いジェットを生成し得るだけの長さであるといえる。
　
　ウ　上記ア及びイからして、引用発明の「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」と本願補正発明の「インクジェットボア」とは「細長のインクジェットボア」である点で一致するといえる。
　
（６）ア　インクチャンネル装置と、ノズルチップ配列体と、インク排除溝等のカットオフ装置とからなり、ページ幅を有し、前記ノズルチップ配列体は、シリコン基板と、該シリコン基板に配置された複数のノズルチップと、前記シリコン基板に一体的に形成された複数のヒーター制御回路とからなり、各々のノズルチップには、ノズル孔及びヒーターが形成されている、引用発明の「印刷ヘッド（プリントヘッド）」は、前記ノズルチップの各々を、前記シリコン基板と、該シリコン基板の上面に埋め込まれた配線と、前記シリコン基板の上に堆積された第１の熱的・電気的絶縁層と、第１の熱的・電気的絶縁層に形成されたビアと、第１の熱的・電気的絶縁層の上に堆積された第２の熱的・電気的絶縁層と、第２の熱的・電気的絶縁層に埋め込まれた前記ヒーターと、前記スロットおよび／または孔部と、断面円形の前記ノズル出口オリフィスと、前記パッシベーション層とから構成し、前記パッシベーション層を、前記ヒーター及び第２の熱的・電気的絶縁層それぞれの上面を覆ったものとし、前記パッシベーション層を積層後に、第１の熱的・電気的絶縁層と、第２の熱的・電気的絶縁層と、前記パッシベーション層とをエッチングして前記ノズル出口オリフィスを規定するとともに、該ノズル出口オリフィスを前記スロットおよび／または孔部と連通して貫通孔となし、装置全体が、メニスカスのインク−固体コンタクトラインに沿う全領域において平坦となるようにしたものであるから、引用発明の「シリコン基板を覆う絶縁体層群（第１の熱的・電気的絶縁層、第２の熱的・電気的絶縁層及びパッシベーション層）」は、その表面にそれぞれ形成された細長のインクジェットボアの一群を有し、前記表面は平坦に形成されているものといえる。
　
　イ　また、引用発明において、ページ幅を有するプリントヘッドの前面に配置された複数のノズル孔は、シリコン基板の前面にその長手方向に沿って配列するものである（上記（３）参照。）。
　
　ウ　上記ア及びイからして、引用発明の「絶縁体層群」と本願補正発明の「絶縁体層若しくは層群」とは「シリコン基板を覆う絶縁体層群であって、絶縁体層群はその表面にそれぞれ、印刷ヘッドのページ幅方向に配置して形成された細長のインクジェットボアの一群を有し、前記表面は平坦に形成されているところの絶縁体層群」である点で一致するといえる。
　
（７）引用発明の「印刷ヘッド（プリントヘッド）」は、連続インクジェット流から形成された複数のインク滴が、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体上の適切な位置に複数のスポットを形成するようになっているものであり、「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」の径を様々な値にしなければならない事情もないから、一定の径のスポットを形成できるように一定の径の「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」を有するものであることが当業者に自明である。
　したがって、引用発明の各「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」と本願補正発明の各「インクジェットボア」とは「均一な径であ」る点で一致する。
　
（８）また、引用発明において、ページ幅を有するプリントヘッドの前面に配置された複数のノズル孔は、シリコン基板の前面にその長手方向に沿って配列するものである（上記（３）参照。）ところ、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体上の適切な位置に複数のスポットを形成することができる程度には高密度に配列すべきことが当業者に自明であるから、引用発明の各「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」と本願補正発明の各「インクジェットボア」とは「互いに近接して配置する」ものである点で一致する。
　
（９）引用発明の各「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」は、パッシベーション層を積層後に、「シリコン基板を覆う絶縁体層群（第１の熱的・電気的絶縁層、第２の熱的・電気的絶縁層及びパッシベーション層）」をエッチングして規定されるとともに、「インクチャネル（スロットおよび／または孔部）」と連通して貫通孔となされるものであるから、本願補正発明の「『その絶縁体層若しくは層群の表面から延びると共にシリコン基板と絶縁体層若しくは層群との間の界面で終端して』いる各『ボア』」と、「その絶縁体層群の表面から延びると共にシリコン基板と絶縁体層群との間の界面で終端している」点で一致するといえる。
　
（１０）引用発明の「ヒーター要素（ヒーター）」は、シリコン基板の上に堆積された第１の熱的・電気的絶縁層の、さらに上に堆積された第２の熱的・電気的絶縁層に埋め込まれ、第２の熱的・電気的絶縁層上面とともにその上面を防護用の薄膜層であるパッシベーション層で覆われたものであるから、本願補正発明の「絶縁体層若しくは層群の表面近傍」に有る「ヒーター要素」と、「絶縁体層群の表面近傍」に「有」る点で一致する。
　
（１１）上記（１）ないし（１０）からみて、本願補正発明と引用発明とは、
「印刷ヘッドの作動を制御するために形成された集積回路を含むシリコン基板であって、該基板に沿って形成されたインクチャネルを有するシリコン基板と；
　シリコン基板を覆う絶縁体層群であって、絶縁体層群はその表面にそれぞれ、印刷ヘッドのページ幅方向に配置して形成された細長のインクジェットボアの一群を有し、前記表面は平坦に形成されているところの絶縁体層群と；
　印刷のために選択されなかったインクドロプレットを収集するためののど空きとを備え、
　各ボアは均一な径でありかつその絶縁体層群の表面から延びると共にシリコン基板と絶縁体層群との間の界面で終端しており、
　各ボアは互いに近接して配置すると共に、絶縁体層群の表面近傍にヒーター要素を有し、
　前記インクチャネルのそれぞれはボアの一つに関連すると共に連通し、これによって、各インクチャネルは各ボアそれぞれに関連する一のリブ壁構造対の間に画定され、前記シリコン基板に形成されたインクチャネルは互いに離隔しており、リブ壁構造はシリコン基板の全厚さ分延伸しておりかつ印刷ヘッドのページ幅方向を横切る方向に向いており、各対のリブ壁構造は各インクチャネルの２つの壁を形成するように所定の距離だけ離隔している、ページ幅方向に延伸する連続ページ幅インクジェット印刷ヘッド。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　前記「それぞれ、印刷ヘッドのページ幅方向に配置して形成された細長のインクジェットボアの一群」が、本願補正発明では、「ジグザグ状に」配置して形成されたものであるのに対して、引用発明では、そのように配置されて形成されていない点。
　
相違点２：
　前記「所定の距離」が、本願補正発明では「各ボアの径より大きな距離」であるのに対して、引用発明では、「各ボアの径より大きな距離」なのかどうか不明である点。
　
５　判断
　上記相違点１及び２について検討する。
（１）相違点１について
　ア　引用発明の「印刷ヘッド」は、画像メモリ内のデータにより描かれた記録媒体上の適切な位置に複数のスポットを形成するものであり、「ページ幅方向に延伸する連続ページ幅」の、いわゆる「ライン型」のものであるところ、印刷ヘッドの長手方向にジグザグ状又は千鳥状に複数のノズルを配置したライン型の印刷ヘッドは本願の優先日前に周知であり（以下「周知技術１」という。例．特表平１０−５０１７６０号公報（第５９頁第４〜２３行、第７０頁第９〜１８行、Ｆｉｇ．７及びＦｉｇ．９（ｈ）参照。「固定のページ幅のモノリシックまたは多重チップ印刷ヘッド」が、「ライン型の印刷ヘッド」に相当する。）、特開平８−１７４８０５号公報（【０００１】、【００１８】及び図１（ｂ）参照。「吐出孔２」、「吐出孔アレー２１（２２）が２列で形成され、さらに２列目の吐出孔の列が１列目の吐出孔の列と半ピッチ分ずれた吐出孔の配列」及び「横方向に移動させないで、広い幅にわたって一度に印字することができるインクジェットヘッド（記録ヘッド）」が、それぞれ「ノズル」、「ジグザグ状又は千鳥状」及び「ライン型の印刷ヘッド」に相当する。）、特開平６−８７２１２号公報（【００１２】及び図４参照。「ノズル開口１ｂ、１ｂ・・・、１ｃ、１ｃ・・・」及び「インクジェット式ライン記録ヘッド１」が、それぞれ「ノズル」及び「ライン型の印刷ヘッド」に相当する。））、かつ、ノズルをジグザグ状又は千鳥状に配列することにより、直線状に配列するよりも記録されるドットの間隔を狭くでき、その結果として鮮明な印字ができることが当業者に自明である（上記特開平８−１７４８０５号公報の【００１８】参照。）、また、印刷ヘッドの長手方向にジグザグ状又は千鳥状に複数のノズルを有するユニットを配置したライン型の印刷ヘッドは本願の優先日前に周知であり（以下「周知技術２」という。例．特開２０００−３５１２１１号公報（【００２３】、【００２５】及び図１参照。「インクジェットヘッドユニット５」及び「ラインインクジェットヘッド１」が、それぞれ「複数のノズルを有するユニット」及び「ライン型の印刷ヘッド」に相当する。）、特開平５−２４１９２号公報（【００１６】、【００２２】、図２及び図５参照。「サブユニット４」及び「ページ幅ジグザグ配置アレー型印刷ヘッド」が、それぞれ「複数のノズルを有するユニット」及び「ライン型の印刷ヘッド」に相当する。）、特開平３−２８１２５０号公報（第３頁左下欄第１〜９行及び第１図参照。「ノズル板２」、「チドリ状」及び「ラインプリンタ用ヘッド」が、それぞれ「複数のノズルを有するユニット」、「ジグザグ状又は千鳥状」及び「ライン型の印刷ヘッド」に相当する。））、かつ、このようにユニットをジグザグ状又は千鳥状に配列することにより、各ユニットの境界においても一定間隔でノズルを配列することが容易となることが当業者に自明である（上記特開２０００−３５１２１１号公報の【０００２】〜【０００７】参照。）ことから、引用発明において、例えば、連続インクジェット流から形成する「インクドロプレット」を偏向させる向き及び前記「のど空き」の配置を交互に逆方向にするなどとともに、前記「それぞれ、印刷ヘッドのページ幅方向に配置して形成された細長のインクジェットボアの一群」をボア単位又は群単位でジグザグ状又は千鳥状に配置するようになして、記録媒体上に形成すべき複数のスポットを描くデータがより高密度のものになっても適切な位置にスポットを形成して、鮮明な印字を行うことができるようにしたり、複数のノズルを有する複数のユニットを利用する場合に各ユニットの境界においてもノズルを一定間隔で配列することが容易なページ幅方向に延伸する連続ページ幅インクジェット印刷ヘッドとしたりすることは、当業者が周知技術１又は周知技術２に基づいて適宜なし得た程度のことである。
　
　イ　上記アの「ボア単位又は群単位でジグザグ状又は千鳥状に配置する」ことは、本願補正発明の「ジグザグ状に配置する」ことに相当するから、引用発明において、上記相違点１に係る本願補正発明の構成とすることは、上記アからみて、当業者が周知技術１又は周知技術２に基づいて容易になし得たことである。
　
（２）相違点２について
　ア　引用発明において、インクは、インクチャンネル装置によりプリントヘッドの背面へと分配され、シリコン基板を貫通するようエッチング形成された複数のスロットおよび／または孔部を通過して、複数のノズル孔およびヒーターが配置された前記プリントヘッドの前面へと流れるようになっていおり、この「スロットおよび／または孔部」がスロットである場合の該スロットの幅（略長方形の断面形状の短辺の長さ）は前記「所定の距離」であり、該「所定の距離」は、プリントヘッドの背面から複数のノズル孔およびヒーターが配置された前記プリントヘッドの前面へとインクをスムーズに流すことができる程度の大きさでなければならないことが明らかであるところ、その大きさを実際にどの程度まで大きくするかは、求められる記録密度、「インクジェットボア（ノズル出口オリフィス）」や「インクチャネル（スロット）」の配置、「リブ壁構造」に求められる強度や厚みなどを考慮して、当業者が適宜決定すべき事項であるというべきである。
　
　イ　そうすると、本願補正発明において、前記「所定の距離」を「各ボアの径より大きな距離」とした点は、引用発明において、当業者が適宜なし得た設計上の事項である。
　
　ウ　よって、引用発明において、上記相違点２に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が容易になし得たことである。
　
（３）効果
　本願補正発明の奏する効果は、引用発明の奏する効果及び周知技術１又は周知技術２の奏する効果から当業者が予測し得たものである。
　
（４）まとめ
　以上のとおりであるから、本願補正発明は、当業者が引用例に記載された発明及び周知技術１又は周知技術２に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　したがって、本願補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
６　小括
　上記５で検討したとおり、本願補正発明は特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものである。
　したがって、本件補正は、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２０年１０月２２日付け手続補正によって補正された特許請求の範囲、明細書及び図面の記載からみて、上記「第２〔理由〕１（１）」で、上記「第２〔理由〕１（１）」で述べた誤記を訂正した本件補正前の請求項１として記載したとおりのものであると認める。
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、前記「第２〔理由〕３」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　上記「第２〔理由〕１（２）」で述べたとおり、本願補正発明は、本願発明を特定するために必要な事項について限定を付加したものに相当する。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、更に減縮したものに相当する本願補正発明が、前記「第２〔理由〕５」に記載したとおり、当業者が引用例に記載された発明及び周知技術１又は周知技術２に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が引用例に記載された発明及び周知技術１又は周知技術２に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、当業者が引用例に記載された発明及び周知技術１又は周知技術２に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。