【事件の表示】
　特願２０００−５９５８４２「小滴堆積装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　８月　３日国際公開、ＷＯ００／４４５６５、平成１４年１０月２２日国内公表、特表２００２−５３５１８１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は、２０００年１月２４日（パリ条約による優先権主張外国庁受理１９９９年２月１日、英国）を国際出願日とする出願であって、平成１３年７月１８日に翻訳文が提出され、平成２１年３月１７日に手続補正がなされ、同年６月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１１月２日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされたものである。
　
第２　平成２１年１１月２日付け手続補正についての補正却下の決定
　
〔補正却下の決定の結論〕
　平成２１年１１月２日付け手続補正を却下する。
　
〔理由〕
１　本件補正の内容
（１）平成２１年１１月２日付け手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲についてするものであって、本件補正前に、
「　【請求項１】　液滴射出ノズルと、
　該ノズルと連結し、液滴射出用液を供給する圧力チャンバと、
　前記ノズルから液滴を射出するために、電気信号を印加すると変形可能であるアクセプター注入圧電材料からなるチャンバ壁とからなる小滴堆積装置において、
　前記アクセプター注入圧電材料のｔａｎδが、印加される前記電気信号の電圧において０．０５以下であることを特徴とする小滴堆積装置。
　　【請求項２】　前記材料のメリット指数が１５〜３０であり、好ましくは約２５のメリット指数をもつことを特徴とする請求項１記載の小滴堆積装置。
　ここで、前記メリット指数は、ｄ１５／（Ｓ５５・εＯ）１／２で定義され、ｄ１５は、剪断歪／電界圧電定数、Ｓ５５は、電気剪断コンプライアンス、εＯは、自由空間の誘電率である。
　　【請求項３】　前記ノズルが、チャンバの両端の間のさらに別のチャンバ壁に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の小滴堆積装置。
　　【請求項４】　前記圧電材料は、電気信号を印加されることにより剪断モードで変形して前記チャンバ内に音響圧力波を発生し、それによって前記液滴を射出することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の小滴堆積装置。
　　【請求項５】　前記壁内に形成された圧電材料が並んで伸びる２つの部分を有し、前記電気信号を印加されると、該２つの部分の断面が山形に変形するような極性を有することを特徴とする請求項４に記載の小滴堆積装置。
　　【請求項６】　前記圧電材料がＰＺＴであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の小滴堆積装置。」とあったものを、
　
「　【請求項１】　
複数の平行に配置した
それぞれの前記圧力チャンバの複数のチャンバ壁とを含み
　
各圧力チャンバは、二つの対向するチャンバ壁と、前記圧力チャンバにより液滴射出用液が供給される液滴射出ノズルとを有し
　
前記チャンバ壁が、
　前記アクセプター注入圧電材料のｔａｎδが、印加される前記電気信号の電圧において０．０５以下であ
り
　
前記材料のメリット指数が１５〜３０である
　
ここで、前記メリット指数は、ｄ
１５
／（Ｓ
５５
・ε
Ｏ
）
１／２
で定義され、ｄ
１５
は、剪断歪／電界圧電定数、Ｓ
５５
は、電気剪断コンプライアンス、ε
Ｏ
は、自由空間の誘電率である
　　【請求項２】　前記ノズルが、チャンバの両端の間のさらに別のチャンバ壁に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の小滴堆積装置。
　　【請求項３】　前記圧電材料は、電気信号を印加されることにより剪断モードで変形して前記チャンバ内に音響圧力波を発生し、それによって前記液滴を射出することを特徴とする請求項１又は２に記載の小滴堆積装置。
　　【請求項４】　前記壁内に形成された圧電材料が並んで伸びる２つの部分を有し、前記電気信号を印加されると、該２つの部分の断面が山形に変形するような極性を有することを特徴とする請求項３に記載の小滴堆積装置。
　　【請求項５】　前記圧電材料がＰＺＴであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の小滴堆積装置。」と補正するものである（下線は審決で付した。以下同じ。）。
　
（２）上記（１）の本件補正後の請求項１に係る補正は、次のア及びイからなる。
　ア　本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「アクセプター注入圧電材料」（すなわち「前記材料」）について、剪断歪／電界圧電定数をｄ１５、電気剪断コンプライアンスをＳ５５は、自由空間の誘電率をεＯとし、ｄ１５／（Ｓ５５・εＯ）１／２で定義される指数をメリット指数とすると、そのメリット指数が「１５〜３０である」と限定する。
　イ　本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「液滴射出ノズルと、該ノズルと連結し、液滴射出用液を供給する圧力チャンバと、前記ノズルから液滴を射出するために、電気信号を印加すると変形可能であるアクセプター注入圧電材料からなるチャンバ壁とからなる小滴堆積装置」を「『複数の平行に配置した圧力チャンバと、それぞれの前記圧力チャンバの複数のチャンバ壁とを含み、各圧力チャンバは、二つの対向するチャンバ壁と、前記圧力チャンバにより液滴射出用液が供給される液滴射出ノズルとを有し、前記チャンバ壁が、前記ノズルから液滴を射出するために、電気信号を印加すると変形可能であるアクセプター注入圧電材料を含』む『小滴堆積装置』」として、圧力チャンバが「複数」であり「平行に配置」してあること、それぞれの圧力チャンバは複数のチャンバ壁を含むこと、及び各圧力チャンバは二つの対向するチャンバ壁を有することを限定する。
　
２　本件補正の目的
　上記１（２）の本件補正後の請求項１に係る本件補正は、本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであるから、平成１４年法律第２４号改正附則第２条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３　本願の発明の詳細な説明
　本願の発明の詳細な説明の記載は次のとおりである。
「　　【０００１】
【発明の属する技術分野】
　本発明は小滴堆積装置に関するものである。
　詳しくは、本発明はチャンバから液（例えばインク）の小滴を射出させるため、電気信号によって音響圧力波が生ずるプリンターその他の小滴堆積装置に関するものである。この装置は単一の上記チャンバを持ち得るが、より典型的にはそれぞれがノズルを有する上記チャンバのアレイを有するプリントヘッドを持ち、該プリントヘッドはデータを運ぶ電気信号を受け該信号はオンデマンドでチャンバから小滴を射出するのに必要な電力を与える。各チャンバは圧電素子によって区切られ、圧電素子は電気信号によって偏位することにより、音響圧力波を生じて小滴を射出する。これらのさらに代表的な構造は、ＥＰ第０２７７７０３号明細書、ＵＳ第４８８７１００号明細書およびＷＯ９１／１７０５１号パンフレットに開示されている。
　　　【０００２】
　　【従来の技術とその課題】
　小滴射出に要する電気信号の電圧が最小化されるのが上記装置における慣例であり、より低い電圧によって駆動回路が簡単になり、コストが低減する。さらに、プリントヘッドと駆動回路の双方でＶ２に比例する発生熱も最小化される。過剰な発熱は、インクの流体特性に影響して、特に異なるチャンバ間で顕著な温度変化がある場合、印刷を不正確にするので、避けるべきである。そのような温度変化は、１つのチャンバが他のチャンバよりも頻繁に作動するとき、たとえば前者が印刷像の濃い部分を印刷し、後者がより薄い部分を印刷するとき生じる。このため軟らかな（ドナー注入）ジルコン酸チタン酸鉛（ｌｅａｄ  ｚｉｒｃｏｎａｔｅ  ｔｉｔａｎａｔｅ：ＰＺＴ）がしばしば好ましい圧電材料である。軟らかなＰＺＴは、高い圧電活性を有する。すなわち、ある与えられた電圧が比較的大きな材料の物理変形を生じ、それは特にチャンバからの小滴を射出するのに有効である。
　　　【０００３】
　さらに駆動電圧を下げることは、出願人のＥＰ−Ａ２７７７０３号に「エンド・シューター」プリントヘッドに関し記載したように、「山形」形状に圧電材料を配列することによって得られる。あるいは、出願人のＷＯ９１／１７０５１に記載したように「サイド・シューター」状にプリントヘッドを配列してもよい。これらの配列はいずれも、モノリシックな圧電素子を採用する「エンド・シューター」に関する小滴射出機能に対し、駆動電圧を半減する。したがって、この両方を採用すると、駆動電圧を１／４に減らせる。「エンド・シューター」とは、ノズルが長いチャンバの端にあり、圧電材料がチャンバの両側に沿って置かれている配置をいう。サイド・シューターでは、ノズルは代わりに、圧電材料によって区切られていないチャンバの長手側の一つに置かれている。「山形」配置では、チャンバの長手に伸びる対向極部をもつ圧電材料によってチャンバが区切られているので、電気信号の印加により山形配置への同一方向の材料の双方の部分が断面から見て変形する。
　　　【０００４】
　上記手段は低駆動電圧および低熱効果を与えると考えられるが、重大な難点がある。すなわち、モノリシックなエンド・シューターに比べると、それらはいずれも駆動回路からみてチャンバ壁の静電容量を約２倍にする。その結果、山形サイド・シューターはモノリシックなエンド・シューターに比べて４倍の静電容量をもつ。高い静電容量には２つの難点がある。まず、既述したように熱影響が増し、次に素子の時定数（ＲＣ）を増す。駆動電気信号の波形は方形波に近ければ近いほど好ましいので、音響圧力波の鋭度（シャープネス）が最大化される。時定数が大きいとステップ変化に応じる回路の立ち上がり時間が長くなり、高周波で効果的な方形波を生じることができにくくなる。したがって駆動信号の周波数は制限され、プリンタの作動スピードが落ちる。このことは可変密度（「グレイスケール」）プリンタにおいて特に重要で、各小滴が高周波で生じる制御可能な数がより小さいな準小滴を形成する。
　　　【０００５】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明の好ましい実施態様はこの問題を対象にしている。
　本発明は、液小滴射出ノズル、該ノズルがそれとつながってそこから小滴射出のための液を供給される圧力チャンバからなり、該チャンバの壁がノズルから小滴を射出するための電気信号を印加されると変形可能なアクセプタ注入圧電材料からなる小滴堆積装置を提供する。
　　　【０００６】
　好ましくは、該材料は印加電圧において０．０５以下のヒステリシス損失（ｔａｎδ）をもつ。
ヒステリシス損失ｔａｎδは次式で示される：
　　ｔａｎ　δ　＝　ε／ε'
　εは誘電率（ε）の虚部、ε'は実部である。
　好ましくは、
該材料は以下に定表するメリット指数（ｆｉｇｕｒｅ　ｏｆ　ｍｅｒｉｔ）が１５〜３０の間、特に約２５が好ましい
　　　
「メリット指数」：ｄ
１５
／（Ｓ
５５
・ε
Ｏ
）
１／２
　ここで　
ｄ
１５
：　剪断歪／電界圧電定数
　　　　　
Ｓ
５５
：　電気剪断コンプライアンス
　　　　　
ε
Ｏ
　：　自由空間の誘電率
　　　【０００７】
　一連のＰＺＴの実験の結果、
一般に高いメリット指数は高い誘電損失正接（tan δ）
に関係する
　既述したように、本発明は特に、剪断モードで圧電材料が変形する「サイド・シューター」および「山形」配置の一方、あるいは好ましくは双方をもつ装置に対して適切である。
　
本発明で用いる好ましい圧電材料はモーガン・マトロック社製のＰＣ４Ｄのようなアクセプタ注入ＰＺＴである
　　　【０００８】
　以下、例示の便宜上、図面を用いて本発明を説明する。
　図１において、滴下オンデマンドインクジェットプリンタが多数の並列インクチャンバ、すなわちチャンネル２を有して構成されたプリントヘッド１０を有し、チャンネルのうちの９つのみが図示され、長手軸が平面内にある。チャンネル２はプリントヘッドの全頂面を覆って伸びているカバー（図示せず）によって囲まれている。
　チャンネル２はインク４を含み、ノズル６が形成されているノズルプレート５内の対応する端に終わっているエンド・シューター配置を有する。インク小滴７がオンデマンドでチャンネル２から射出され、それとプリントヘッド１０の間にある印刷面９の印刷ライン８上に堆積する。そこにはチャンネル軸の面に直交する相対運動がある。
　　　【０００９】
　プリントヘッド１０は平面状のベース部２０を有し、ベース部内にチャンネル２がやわらかなＰＺＴ圧電材料をカットなどして形成され、ノズルプレート５から後方に並列に伸びる。チャンネル２は長方形断面をもつ長くて狭い形状で、長手に伸びる対向する側壁１１を有する。側壁１１はチャンネル長手に伸びる電極（図示せず）を設けられているので、側壁は実質的に全長さにわたってチャンネル軸に対し横方向に剪断モードで偏位でき、チャンネル内のインクの圧力変化を生じてノズルから小滴を射出させる。チャンネル２はノズルから離れた端で、横方向チャンネル（図示せず）とつながり、横方向チャンネルはパイプ１４によってインク容器（図示せず）とつながっている。側壁１１を動かすための電気接続（図示せず）がベース部２０上のＬＳＩチップ１６になされている。
　図１のように側壁はモノリシックで、ベース部２０から片持ち梁で支持され、単片の圧電材料からカットされている。
　　　【００１０】
　図２は図１のプリントヘッドの変形を示し、側壁１１は電界の印加によって山形に偏位するように対向極部を有する。図２で、底壁２５と頂壁２７の間に挟まれた剪断モード・アクチュエータ１５、１７、１９、２１および２３の形状でアレイが側壁１１と一体化し、矢印３３・３５のようにそれぞれ上部壁２９と下部壁３１がチャンネル軸を含む面に直交して対向している。電極３７、３９、４１、４３および４５はそれぞれ各チャンネル２の内壁を覆う。こうして、電圧が特定のチャンネルの電極、たとえばアクチュエータ１９と２１の間のチャンネル２の電極４１に印加されるとき、電極３９と４３はグラウンド電位に保たれ、電界がアクチュエータ１９と２１に印加される。上部壁２９および下部壁３１の対向極によって、チャンネル２内に剪断モードで偏位して、破線４７・４９のように山形を形成する。こうして、アクチュエータ１９と２１の間のチャンネル２内に衝撃がインク４に対して印加され、チャンネルの長手に沿って動く音響圧力波を生じる。
　　　【００１１】
　図３はサイド・シューター・プリントヘッドを貫く長手断面を示す。ノズル６がチャンネルの頂壁を形成するがカバー２７内に設けられ、その側部が一例としてアクチュエータ２１で示されている剪断モード・アクチュエータの形でＰＺＴの側壁によって区切られている。各アクチュエータは電極（４１、４３）によって長手面に電界を印加されると山形に偏位する対向極部２９、３１を有する。端末３４によって電極がＬＳＩチップ１６につなげられる。横方向チャンネル１３により、チャンネル２が各端でインク容器につなげられる。ノズル６の位置を除いて、プリントヘッドは２−２矢視断面において図２の構成と同様である。
　　　【００１２】
　また、後述する圧電材料の発明的選択を除いて、さらに本発明によるサイド・シュター・プリントヘッドの代わりに単方向に極をもつモノリシック・アクチュエータを使えるけれど、山形の剪断モード・アクチュエータを除いて、ＷＯ９１／１７０５１の図１（ｄ）にも似ている。
　　　【００１３】
　
ＰＺＴ材料は「やわらかい」ドナー注入型（ｄｏｎｏｒ−ｄｏｐｅｄ）、および「かたい」アクセプター注入型（ａｃｃｅｐｔｏｒ−ｄｏｐｅｄ）の２つの基本型がある
ドナー注入により
高い圧電活性によりやわらかなＰＺＴが圧電プリントヘッドの材料として選択されてきている
　　　【００１４】
　逆に、
アクセプター注入ＰＺＴは
圧電活性を低くするので、現在まで圧電プリントヘッドとして使われてきていない
　多数のＰＺＴ材料の機能を解析した結果、ある環境下ではかたい材料がやわらかい材料よりも適切であるという驚くべきことがわかった。
　　　【００１５】
　４つのＰＺＴ材料、すなわち
モトローラのＨＤ３２０２、住友のＨ５Ｅ、モトローラのＨＤ３１９５およびモーガン・マトロックのＰＣ４Ｄ
剪断モード活性
メリット指数ｄ
１５
／（Ｓ
５５
・ε
Ｏ
）
１／２
によって特徴付けられ
単位電圧・単位体積当たりの変換された電気機械エネルギーに等しい
圧電活性の点で、
ＨＤ３２０３＞Ｈ５Ｅ＞ＨＤ３１９５
ＰＣ４Ｄの順になり、
メリット指数
４８．２、３７．４、３１．５
２５．７である
　　　【００１６】
　１２８ライン・プリントヘッドの４つのウエハが４つのＰＺＴから作られ、次のような代表的な作動条件の下、静電容量とヒステリシス損失が測定された。
　　駆動電圧：１０〜５０Ｖ
　　駆動周波数：２０、５０、１００、２００ｋＨｚ
　　駆動波形タイプ：実質的には方形波（ピーク電圧はサイクルの７５％）
　　プリントヘッド温度：１８、４０、５０℃（測定は短バーストで示され
　　　、プリントヘッド温度は顕著に上昇しないと仮定された）
　Ｄ．Ａ．ホール、Ｐ．Ｊ．スチーブンソン、Ｔ．Ｒ．マリンズ「かたい圧電セラミクスにおける誘電非線形性」（Ｂｒｉｔ．Ｃｅｒ．Ｐｒｅｓ．第５７号、第１９７〜２１１頁）に記載された方法によって、ヒステリシス損失（ｔａｎδ）を測定した。
　これらの測定により、静電容量およびｔａｎδは周波数に対して変わらないことがわかった。しかし、駆動電圧に対しては両方とも明らかに増加する。
　　　【００１７】
　図４に、２００ｋＨｚ（「方形」波形：ピーク電圧７５％）での駆動電圧に対するｔａｎδの変化の４つのＰＺＴの比較を示す。また図４に、各材料に対するメーカーから引用した低電界カタログ・データも示す。図４からわかるように、３つの「よりやわらかい」ＰＺＴは駆動電圧に対しｔａｎδが顕著に増すという類似した特性を有する。また、引用カタログの低電界ｔａｎδとプリントヘッド作動に要する駆動電圧（約２５Ｖ）に対するそれとの間に大きな差があることがわかる。対照的に、「最もかたい」ＰＺＴ、すなわちＰＣ４Ｄは、さらに低いｔａｎδを示し、駆動電圧に対して変化が少ない。
　　　【００１８】
　また図４に、ＨＤ３２０３に対する駆動電圧２５Ｖの等価プリントヘッドに対するヒステリシス損失を示し、より低い活性のＰＺＴがより高い駆動電圧を要する。同等のプリントヘッド作動条件に対し、ＨＤ３２０３、Ｈ５ＥおよびＨＤ３１９５は類似の損失を有するが、ＰＣ４Ｄに対する良くされたヒステリシス損失は相当低く、０．０５を超えず、他の材料に対する値と比べて２〜５倍である。
　　　【００１９】
　各ＰＺＴの相対メリット指数を使って、等価駆動電圧Ｖが、たとえば
　　　　　ＶＨ５Ｅ　＝ＶＨＤ３２０３ＭＨＤ３２０３／ＭＨ５Ｅから算出した。
　ある特定の周波数および駆動電圧において、さまざまな波形に対する測定をした。図５に、２００ｋＨｚおよび３０Ｖにおける三角波（ピーク電圧で０％）と方形波（ピーク電圧で理想的には１００％だが、実際にはそれ未満）との間での遷移効果を示す。たとえば、三角波からサイクルの８７．５％に対するピーク電圧をもつ波形に変化するとき、ＨＤ３２０３に対するｔａｎδは８５％増すように、波形タイプがｔａｎδに対して顕著な効果を有する。このことは、プリントヘッドが方形波によって駆動されるとき、ＰＺＴからの熱発生増加に一致する。
　　　【００２０】
　この駆動電圧に対するｔａｎδの結果は、異なる設計のプリントヘッドにおいて発生する熱を計算するのに使われた。４つのタイプのＰＺＴに対し、プリントヘッド内に発生する熱とＰＺＴ内の比率を計算した。これは３つの構造のプリントヘッド、すなわち従来のモノリシックな片持ち梁エンド・シューター、山形エンド・シューターおよび山形サイド・シューターに対して行った。後者２つに対する駆動電圧はそれぞれモノリシック片持ち梁の場合の０．５倍および０．２５倍と仮定した。一方、静電容量はそれぞれ２倍および４倍と仮定した。さまざまな作動条件に対し、表計算モデルがこれらの構造を計算するために用いられた。その計算は次の仮定に基づいて行われた。
（１）充放電エッジ当たりの駆動回路内発生熱＝２×　1/2ＣＶ２　　（各静電容量Ｃの２つの壁が各射出滴に対して作動する）
（２）チャンネル当たりのＰＺＴ内拡散熱の割合＝πＣＶ２ｔａｎδ／２
（３）駆動回路立上り時間（１０〜９０％）＝６．６ＲＣ
　　（並列につながれ、インピーダンスＲから充電され放電する静電容量Ｃ
　　　の壁に対して）
（４）インク等に対する最大温度上昇＝発生熱／比熱容量×滴体積
　　（ＰＺＴ内発生熱はすべて射出滴によって除かれると仮定）
　　　【００２１】
　代表的なグレイスケール作動条件に対し、次のパラメータ群を仮定した。
　　駆動電圧（Ｖ）＝２５Ｖ（モノリシックＨＤ３２０３に対して。他の材
　　　料に対しては比例する）
　　壁静電容量（Ｃ）＝２００ｐＦ
　　グライスケール・レベル（Ｌ）＝８レベル
　　活性化シーケンス：三重サイクル（３つの介挿群内でチャンネルを活性　　　化）
　　波形タイプ：ＤＲＲ（ＷＯ９５／２５０１１の図４ｃのようなＤｒａｗ
　　　，Ｒｅｌｅａｓｅ，Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅ）
　　ライン周波数（Ｆ）＝６．１９ｋＨｚ（小滴周波数＝１３０ｋＨｚ）
　　フル密度滴下体積＝５５ｐｌ
　　　【００２２】
　全発生熱を駆動チップ（たとえば６４ライン）毎に算出し、各構造に対する基本ケース（ＨＤ３２０３、モノリシック片持ち梁）に対する比を計算した。その結果を図６、７に示す。図６は算出立上り時間に沿った駆動回路内全発生熱を示し、図７はインクの温度上昇に沿ったＰＺＴ単体間発生熱を示す。
　図７から、プリントヘッド材料内発生熱はＰＣ４Ｄに対して最小だが、駆動電圧は高いことがわかる。図６から、駆動チップ内発生熱も考慮に入れると、プリントヘッド間全発生熱はＨＤ３２０３に対して最小だが、ＰＣ４Ｄプリントヘッドは次善の材料Ｈ５Ｅを使ったものよりも目立って悪くはないことがわかる。ＰＣ４Ｄに要する駆動電圧は高いが、立上り時間は同一プリントヘッド構造においてＨＤ３２０３に対するものに対して均一に１／２未満である。山形エンドシューター内発生熱はモノリシック・エンドシューター内発生熱よりも２ファクター以上少なく、山形サイド・シューター内発生熱は一般に約２ファクター少ない。しかし、山形エンド・シューターおよび山形サイド・シューターの立上り時間はモノリシック・エンドシューターのそれよりも約２ファクター大きい。
　　　【００２３】
　これらの結果は一見、ＨＤ３２０３が最適材料であり続けることを示しているようであるが、実はＰＣ４Ｄを直観に反して選ぶと利点の得られる場合がある。
　こうして、速い立上り時間が必要で、高い駆動電圧と熱発生に耐えられるなら、モノリシック・エンドシューターにおけるＰＣ４Ｄが疑いなく最もよい（ＨＤ３２０３の立上り時間３５６ｎｓに対して、１４５ｎｓ）。
　　　【００２４】
　ＨＤ３２０３と比べて立上り時間の改善が必要なら、かつ、熱発生の低減が必要なら、山形エンドシューターにおけるＰＣ４Ｄの使用が示唆される。立上り時間は３５６ｎｓから２５１ｎｓに短縮され、発生熱は４０％低減する。同様の結果がＰＣ４Ｄをモノリシック・サイドシューターに用いれば期待できる。
　非常に低い熱発生（基本ラインの場合のわずか約３０％）および低駆動電圧（２５Ｖに対し１２Ｖ）とともに、手頃な立上り時間（モノリシック・エンドシューターの３５６ｎｓに対して４５６ｎｓ）に対し、ＰＣ４Ｄは山形サイドシューター構造に使うべきである。そのようなプリントヘッドにおいて、インクの温度上昇は、ＨＤ３２０３を使うモノリシック・エンドシューターにおける２１℃に比べて、約０．５℃と無視し得る。こうして、山形サイドシューター構造のＰＣ４Ｄプリントヘッドは、熱的に誘起された小滴速度の変化があったとしても、ほとんどないので、高精細グレイスケール・プリンターに対して非常に好適である。
　　　【００２５】
　
本発明をＰＣ４Ｄの文脈で説明してきたが、他のアクセプター注入圧電材料も同一の特性と長所を示し得る
　本明細書および図面に開示した各特徴は、他の特徴と独立に本発明において結合し得る。
　本明細書における「本発明の目的」という記述は、本発明の好ましい実施態様に関係があるが、必ずしも、特許請求の範囲に記載したすべての実施態様に関している訳ではない。
　本明細書に付けた要約の全文を、明細書の一部としてここにくり返し載せておく。
　従来の「やわらかい」ドナー注入材料の代わりに、「かたい」アクセプター注入ＰＺＴを圧電プリントヘッドに用いる。このプリントヘッドは、好ましくは山形サイドシューター構造を有し、高精細グレイスケール印刷に対して有利である。」
　
４　刊行物の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された「本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平７−１３２５９１号公報（以下「引用例」という。）」には、次の事項が図とともに記載されている。
（１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリンタ等に利用されるインクを噴射する印字ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、
インクジェットプリンタ等に利用されるオンデマンド方式の印字ヘッドとして電気−熱変換素子である発熱素子を利用した、いわゆるバブルジェット方式印字ヘッドや、電気−機械変換素子である圧電素子を利用したピエゾ方式印字ヘッドが実用化されている
圧電素子を利用した印字ヘッドは、発熱素子を利用した印字ヘッドに比べて、熱の発生を伴わないことから被噴射物としての液体の制限が少なく、また印字ヘッドの耐久性に優れる等の利点を有している。反面、半導体製造技術を適応できる発熱素子を利用した印字ヘッドに比べて、その集積度・小型化の面で劣っていると言う問題があった
圧電材料の変形モードの内、せん断モード（厚み滑りモード）を圧力の発生に利用することで、従来の圧電素子を利用した印字ヘッドに比べて、高集積化及び小型化を達成した印字ヘッド
提案
【０００３】図８に示すように、
インクジェットプリンタヘッド
圧電セラミックスプレート２とカバープレート３とノズルプレート３１と基板４１とから構成され
【０００４】
圧電セラミックスプレート２は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料によって形成され
チャンネル溝部１７，Ｒ形状溝部１９，浅溝部１６からなる溝８が形成され
【０００５】ダイヤモンドカッターブレード３０の切削方向３０Ａによりチャンネル溝部１７が形成される。続いて切削方向が３０Ａから３０Ｂに変化されて切削加工の深さが変化される。このとき、ダイヤモンドカッターブレード３０の径の曲率を有する曲面であるＲ形状溝部１９が形成される。そして、切削方向が３０Ｂから３０Ｃに変化されて浅溝部１６が形成される。
【０００６】図８に示すように、このように切削加工された圧電セラミックスプレート２には、
複数の溝８
その溝８の側面となる側壁１１は
【０００７】また、
チャンネル溝部１７とＲ形状溝部１９の側面及び浅溝部１６の内面には、金属電極１３，１８，９が蒸着法により形成され
【０００８】次に、図８に示すカバープレート３は、セラミックス材料または樹脂材料等から形成されている。そして、カバープレート３には、研削または切削加工等によって、インク導入口２１及びマニホールド２２が形成されている。そして、
圧電セラミックスプレート２の溝８加工側の面とカバープレート３
接着
溝８の上面が覆われて、横方向に互いに間隔を有する複数のインク室１２（図１２）が構成さ
【０００９】圧電セラミックスプレート２及びカバープレート３の端面に、各インク室１２の位置に対応した位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着されている。このノズルプレート３１は、ポリアルキレン（例えばエチレン）テレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチックによって形成されている。
【００１０】そして、圧電セラミックスプレート２の溝８の加工側に対して反対側の面には、基板４１が、エポキシ系接着剤等によって接着されている。その基板４１には各インク室１２の位置に対応した位置に導電層のパターン４２が形成されている。その導電層のパターン４２と浅溝部１６の底面の金属電極９とは、周知のワイヤボンディング等によって導線４３で接続されている。
【００１１】次に、制御部のブロック図を示す図１１によって、制御部の構成を説明する。基板４１に形成された導電層のパターン４２は各々個々にＬＳＩチップ５１に接続されている。また、クロックライン５２、データライン５３、電圧ライン５４及びアースライン５５もＬＳＩチップ５１に接続されている。ＬＳＩチップ５１は、クロックライン５２から供給される連続したクロックパルスに基づいて、データライン５３上に現れるデータに応じて、どのノズル３２からインク液滴の噴射を行うべきかを判断する。そして、ＬＳＩチップ５１は、駆動するインク室１２の金属電極１３に電気的に接続された導電層のパターン４２に、電圧ライン５４の電圧Ｖを印加し、駆動するインク室１２以外の金属電極１３に接続された導電層のパターン４２にはアースライン５５の電圧０Ｖを印加する。
【００１２】次に、図１２，図１３によって、インクジェットプリンタヘッド１の動作を説明する。
【００１３】ＬＳＩチップ５１が、所要のデータに従って、インクジェットプリンタヘッド１のインク室１２ｂからインクの噴出を行なうと判断する。すると、そのインク室１２ｂに対応する導電層パターン４２、金属電極９及び金属電極１８を介して
金属電極１３ｅと１３ｆとに正の駆動電圧Ｖが印加され、
側壁１１ｂには矢印１４ｂの方向の駆動電界が発生し、
側壁１１ｂ及び１１ｃは、
インク室１２ｂの内部方向に急速に変形する。この変形によってインク室１２ｂの容積が減少してインク圧力が急速に増大し、圧力波が発生して、インク室１２ｂに連通するノズル３２（図８）からインク滴が噴射され
【００１４】また
、駆動電圧Ｖの印加が停止されると、側壁１１ｂ及び１１ｃが変形前の位置（図１２参照）に戻るためインク室１２ｂ内のインク圧力が低下する。すると、インク導入口２１（図８）からマニホールド２２（図８）を通してインク流路１２ｂ内にインクが供給され
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したインクジェットプリンタヘッド１では、
【００１６】ここで、
電気的には側壁１１を構成する圧電材料は一種のコンデンサーとして作用することとなる。このため、実質的に圧力発生に寄与しないＲ形状溝部１９及び浅溝部１６までもが圧電材料にて構成されているので、前記コンデンサーとしての静電容量が大きくなって電気的入力エネルギーに対する圧力発生に消費されるエネルギーの効率が悪いという問題点
【００１７】本発明は、
上述した問題点を解決するためになされたものであり、エネルギー効率のよい印字ヘッドを提供することを目的とする
　
（２）「【００１８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するために本発明の請求項１では、一端に傾斜状部が形成され、インクが充填されるインク室と、少なくとも一部が圧電部であり、前記インク室の一部を構成する側壁と、前記側壁の前記圧電部に電界を発生するための電極とを有し、前記電極からの電界の発生により前記側壁を変形させて前記インク室からインクを噴射する印字ヘッドにおいて、前記傾斜状部における前記側壁部の一部が、削除されていることを特徴とする。
【００１９】請求項２では、前記側壁の前記削除部は、複数の前記インク室にインクを供給するためのマニホールドを兼ねることを特徴とする。
【００２０】
【作用】上記の構成を有する本発明の印字ヘッドでは、前記傾斜状部における前記側壁部の一部が、削除されていることによって、前記傾斜状部の前記側壁での静電容量が小さくなる。」
　
（３）「【００２１】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説明する。なお都合上、従来例と同一部位、及び均等部位には同一符号をつけてるとともに、その詳細な説明は省略する。
【００２２】図１に示すように、本実施例のインクジェットプリンタヘッド２０は、アクチュエータ２４とカバープレート３とノズルプレート３１と基板４１（図８参照）とから構成されている。
【００２３】ここで、アクチュエータ２４の製造方法を説明する。
【００２４】まず、図８の従来例とほぼ同様に、矢印６１（図１）方向に分極された圧電セラミックス材料基板３３は、ダイヤモンドカッターブレード３０によって、複数の溝８が形成される。この溝８は、チャンネル溝部１７，Ｒ形状溝部１９，浅溝部１６から構成される。
【００２５】ダイヤモンドカッターブレード３０の切削方向３０Ａによりチャンネル溝部１７が圧電セラミックス材料基板３３に形成される。続いて切削方向が３０Ａから３０Ｂに変化されて切削加工の深さが変化される。この時、ダイヤモンドカッターブレード３０の径の曲率を有する曲面であるＲ形状溝部１９が形成される。そして、切削方向が３０Ｂから３０Ｃに変化されて浅溝部１６が形成される。
【００２６】このようして、複数の溝８が形成される。チャンネル溝部１７及び浅溝部１６の寸法は用いるダイヤモンドカッターブレード３０の厚み及び設定切込み量で決定され、溝８のピッチ及び本数は溝８加工時の加工テーブルの送りピッチ及び溝加工回数を制御することで決定され、Ｒ形状溝部１９の曲面の曲率は、ダイヤモンドカッターブレード３０の径で決定される。
【００２７】また、図１及び図２に示すように、チャンネル溝部１７とＲ形状溝部１９の側面及び浅溝部１６の内面に金属電極１３，１８，９が従来と同様に蒸着法により形成される。
【００２８】次に、図１及び図３に示すように、Ｒ形状溝部１９における側壁１１に、溝８に対して直交方向へのダイヤモンドカッターブレードによる切削、レーザー加工、超音波加工等により、深さがチャンネル溝部１７の側面の半分よりも浅い側壁削除部３４が形成されて、アクチュエータ２４が製造される。
【００２９】次に、図１に示すように、アクチュエータ２４の溝８加工側の面とカバープレート３のマニホールド２２加工側の面とがエポキシ系等の接着剤によって接着される。従って、インクジェットプリンタヘッド２０には、溝８の上面が覆われて、横方向に互いに間隔を有する複数のインク室１２（図４）が構成される。この時、図３に示すように、外側の両側壁１１にも、側壁削除部３４が形成されているので、外側の両側壁１１の側壁削除部３４を図示しない部材によって塞ぐ。尚、外側の両側壁１１に側壁削除部３４を形成しないようにすることもできる。
【００３０】圧電セラミックスプレート２及びカバープレート３の端面に、各インク室１２の位置に対応した位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着される。そして、圧電セラミックスプレート２の溝８の加工側に対して反対側の面には、基板４１（図８参照）が、エポキシ系接着剤等によって接着されている。その基板４１には各インク室１２の位置に対応した位置に導電層のパターン４２（図８参照）が形成されている。その導電層のパターン４２と浅溝部１６の底面の金属電極９とは、周知のワイヤボンディング等によって導線４３（図８参照）で接続されている。」
　
（４）「【００３１】次に、図１，図４及び図５によって、インクジェットプリンタヘッド２０の動作を説明する。
【００３２】所要のデータに従って、インクジェットプリンタヘッド２０のインク室１２ａからインクの噴出を行なうとすると、そのインク室１２ａに対応する導電層パターン４２（図８）、金属電極９及び金属電極１８を介して金属電極１３ｂと１３ｃとに正の駆動電圧Ｖが印加され、金属電極１３ａと１３ｄとが接地される。すると、側壁１１の内、圧電材料で形成されたチャンネル溝部１７の側面である部分だけに駆動電界が発生する。図５に示すように、側壁１１ａには矢印１４ａの方向の駆動電界が発生し、側壁１１ｂには矢印１４ｂの方向の駆動電界が発生する。すると、駆動電界方向１４ａ及び１４ｂは分極方向６１とが直交しているため、側壁１１ａ及び１１ｂは、圧電厚みすべり効果により、この場合、インク室１２ａの外側方向に急速に変形する。この変形によってインク室１２ａの容積が増大して、負圧が発生し、図示しないインク供給源からインク導入口２１、マニホールド２２及びインク室１２ａのＲ形状溝部１９を通してインク室１２ａのチャンネル溝部１７に供給される。
【００３３】そして、所定時間後、駆動電圧Ｖの印加が停止されると、側壁１１ａ及び１１ｂが変形前の位置（図４参照）に戻るためインク室１２ａのチャンネル溝部１７のインクの圧力が急速に増大し、圧力波が発生して、インク室１２ａに連通するノズル３２からインク滴が噴射される。」
　
（５）「【００３４】ここで、上記の様なインクジェットプリンタヘッド２０の駆動を考えると、インク滴噴射の為には、チャンネル溝部１７の側面となる圧電材料で形成された側壁１１部分への入力信号に伴って、ドライバーから所定の電圧を印加する必要がある。電気的には側壁１１を構成する圧電材料は一種のコンデンサーとして作用することとなる。ここで、
コンデンサーとしての静電容量（Ｃ）は圧電材料の側壁１１の幅寸法（ｔ）、側面に形成された金属電極１３の電極面積（ｓ）及び圧電材料のもつ比誘電率（ε
１１
Ｔ
）で決まり、Ｃ＝ε
１１
Ｔ
・
・ｓ／ｔとなる（ここで
：真空の比誘電率）となる
側壁１１の内、Ｒ形状溝部１９に対応する部分の側壁１１が部分的に削除
前記電極面積ｓが小さくなって前記静電容量Ｃが従来より小さく
【００３５】そして、こう言った形態の
印字ヘッドの様に容量性負荷の駆動を行う場合
ドライバーからの入力パワー
ＣＶ
２
（Ｖ：電圧）に比例する
入力パワーは少なくて済む
【００３６】そこで従来の形態のインクジェットプリンタヘッド１と本実施例の形態のインクジェットプリンタヘッド２０との特性比較を行った。但し、インクジェットプリンタヘッド１の側壁１１の分極方向を矢印６１方向とする。
【００３７】本実施例では
比誘電率（ε
１１
Ｔ
）２０００の圧電セラミックス材料を用いてインクジェットプリンタヘッド
溝８の形状は、深さ０．５ｍｍ、幅０．１ｍｍ、ピッチ０．２ｍｍとし、
チャンネル溝部１７、Ｒ形状溝部１９、浅溝部１６を各々９、５、５ｍｍとし、
金属電極１３は側壁１１の上端から０．２５ｍｍの深さまで形成し
【００３８】各々のインクジェットプリンタヘッド１，２０の液滴噴射特性の比較実験として、
噴射液体として市販のインクを用い、駆動電圧５０Ｖの矩形波を用いた液滴噴射
【００３９】本発明の一形態であるインクジェットプリンタヘッド２０と、従来形態のインクジェットプリンタヘッド１とを比べると、同じ駆動電圧の場合、噴射速度及びインク滴体積はほぼ同等の数値を示す。これは、インク滴噴射の為の圧力発生は、図１、８で示すチャンネル溝部１７のみで行われ、Ｒ形状溝部１９及び浅溝部１６は寄与していないためである。従って、Ｒ形状溝部１９の側壁１１が削除されていても液滴噴射特性に影響はない。
【００４０】ここで、
前記寸法で作製した従来の形態のインクジェットプリンタヘッド１の側壁１１の静電容量をＬＣＲメータを用いて、測定電圧０．５Ｖ、測定周波数１ｋＨｚの条件で測定した結果０．７３７ｎＦとなった
本発明の一形態であるインクジェットプリンタヘッド２０の側壁１１の静電容量は０．４１２ｎＦであった
約４４％の入力エネルギーを低減することができる
　
（６）「【００４１】尚、本実施例では、カバープレート３にマニホールド２２が設けられていたが、図６に示すようにカバープレート３にマニホールドを設けずに、側壁削除部３４を通して、各インク室１２にインクを供給しても良い。
【００４２】また、本実施例では、側壁削除部３４を一つの溝としたが、図７に示すように複数の溝にて側壁削除部３５を構成してもよい。」
　
（７）「【００４３】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本発明の印字ヘッドによれば、前記インク室の内、前記傾斜状部における前記側壁部の一部分が、削除されているので、前記傾斜状部の前記側壁では、静電容量が小さい。このため、印字ヘッド全体での静電容量が従来より低くなり、従来よりエネルギー効率が優れている。」
　
（８）上記（１）ないし（７）から、引用例には、次の発明が記載されているものと認められる。
「インクジェットプリンタ等に利用されるオンデマンド方式の印字ヘッドとして電気−熱変換素子である発熱素子を利用した、いわゆるバブルジェット方式印字ヘッドや、電気−機械変換素子である圧電素子を利用したピエゾ方式印字ヘッドが実用化されているが、圧電素子を利用した印字ヘッドは、発熱素子を利用した印字ヘッドに比べて、熱の発生を伴わないことから被噴射物としての液体の制限が少なく、また印字ヘッドの耐久性に優れる等の利点を有している反面、半導体製造技術を適応できる発熱素子を利用した印字ヘッドに比べて、その集積度・小型化の面で劣っていると言う問題があったところ、圧電セラミックスプレートとカバープレートとノズルプレートと基板とから構成し、前記圧電セラミックスプレートを、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料によって形成するとともに、チャンネル溝部、Ｒ形状溝部及び浅溝部からなる溝を複数形成し、同時に該溝の側面となる側壁を形成し、該圧電セラミックスプレートの溝加工側の面と前記カバープレートのマニホールド加工側の面とを接着して、前記溝の上面を覆って、横方向に互いに間隔を有する複数のインク室を構成し、前記チャンネル溝部とＲ形状溝部の側面及び浅溝部の内面に金属電極を蒸着法により形成し、該金属電極に駆動電圧を印加して、前記側壁に駆動電界を発生させ、前記側壁をインク室の内部方向に急速に変形させ、この変形によってインク室の容積を減少させてインク圧力を急速に増大させ、圧力波を発生させて、該インク室に連通するノズルからインク滴を噴射させるとともに、駆動電圧の印加を停止し、前記側壁を変形前の位置に戻し、前記インク室内のインク圧力を低下させ、インク導入口からマニホールドを通してインク流路内にインクを供給するインクジェットプリンタヘッドは、圧電材料の変形モードの内、せん断モード（厚み滑りモード）を圧力の発生に利用することで、従来の圧電素子を利用した印字ヘッドに比べて、高集積化及び小型化を達成したものであるが、
　このようなインクジェットプリンタヘッドは、電気的には前記側壁を構成する圧電材料は一種のコンデンサーとして作用することとなり、そのコンデンサーとしての静電容量（Ｃ）は圧電材料の前記側壁の幅寸法（ｔ）、側面に形成された前記金属電極の電極面積（ｓ）及び圧電材料のもつ比誘電率（ε１１Ｔ）で決まり、Ｃ＝ε１１Ｔ・εＯ・ｓ／ｔ（ここでεＯ：真空の比誘電率）となるため、
　実質的に圧力発生に寄与しない前記Ｒ形状溝部及び前記浅溝部までもが圧電材料にて構成され、前記コンデンサーとしての静電容量が大きくなって電気的入力エネルギーに対する圧力発生に消費されるエネルギーの効率が悪いので、この問題点を解決しエネルギー効率のよいものとすることを目的として、
　前記側壁の内の前記Ｒ形状溝部に対応する部分の側壁を部分的に削除し、前記電極面積（ｓ）を小さくして前記静電容量（Ｃ）を従来より小さくすることにより、容量性負荷である前記インクジェットプリンタヘッドの駆動を行うＣＶ２（Ｖ：電圧）に比例する入力パワーを少なくて済むようにしたインクジェットプリンタヘッドであって、
　前記圧電セラミックスプレートには、比誘電率（ε１１Ｔ）が２０００の圧電セラミックス材料を用いており、
　前記溝の形状は、深さ０．５ｍｍ、幅０．１ｍｍ、ピッチ０．２ｍｍとし、そのチャンネル溝部、Ｒ形状溝部および浅溝部の長さを各々９ｍｍ、５ｍｍおよび５ｍｍとし、
　前記金属電極は前記側壁の上端から０．２５ｍｍの深さまで形成し、
　噴射液体として市販のインクを用い、駆動電圧５０Ｖの矩形波を用いて液滴噴射するようにし、
　前記側壁の静電容量をＬＣＲメータを用いて、測定電圧０．５Ｖ、測定周波数１ｋＨｚの条件で測定した結果、前記側壁の内のＲ形状溝部に対応する部分の側壁を削除しないものにおいては０．７３７ｎＦであった側壁の静電容量を、当該部分の側壁を部分的に削除したことにより０．４１２ｎＦまで小さくし、約４４％の入力エネルギーを低減することができたインクジェットプリンタヘッド。」（以下「引用発明」という。）
　
５　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
（１）引用発明の「横方向に互いに間隔を有する複数のインク室」、「『上面を覆って、横方向に互いに間隔を有する複数のインク室を構成』する『複数形成』した『溝』の『側面となる側壁』」、「噴射液体として市販のインク」、「『インク滴を噴射させ』る『ノズル』」、「駆動電圧」、「印加」、「強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料」及び「インクジェットプリンタヘッド」は、それぞれ、本願補正発明の「複数の平行に配置した圧力チャンバ」、「圧力チャンバの複数のチャンバ壁」、「液滴射出用液」、「液滴射出ノズル」、「電気信号」、「印加」、「圧電材料」及び「小滴堆積装置」に相当する。
　
（２）引用発明において、「小滴堆積装置（インクジェットプリンタヘッド）」は、圧電セラミックスプレートとカバープレートとノズルプレートと基板とから構成し、前記圧電セラミックスプレートは、「圧電材料（強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料）」によって形成するとともに、チャンネル溝部、Ｒ形状溝部及び浅溝部からなる溝を複数形成し、同時に該溝の側面となる「チャンバ壁（側壁）」を形成し、該圧電セラミックスプレートの溝加工側の面と前記カバープレートのマニホールド加工側の面とを接着して、前記溝の上面を覆って、横方向に互いに間隔を有する複数の「圧力チャンバ（インク室）」を構成し、前記チャンネル溝部とＲ形状溝部の側面及び浅溝部の内面に金属電極を形成し、該金属電極に「電気信号（駆動電圧）」を「印加」して、前記「チャンバ壁」に駆動電界を発生させ、前記「チャンバ壁」を「圧力チャンバ」の内部方向に急速に変形させ、この変形によって「圧力チャンバ」の容積を減少させてインク圧力を急速に増大させ、圧力波を発生させて、該「圧力チャンバ」に連通する「液滴射出ノズル（ノズル）」から「液滴射出用液（インク滴）」を噴射させるとともに、「電気信号」の「印加」を停止し、前記「チャンバ壁」を変形前の位置に戻し、前記「圧力チャンバ」内のインク圧力を低下させ、インク導入口からマニホールドを通してインク流路内に「液滴射出用液」を供給するものであるから、引用発明の「小滴堆積装置」と本願補正発明の「小滴堆積装置」とは「複数の平行に配置した圧力チャンバと、それぞれの前記圧力チャンバの複数のチャンバ壁とを含」む点で一致し、引用発明の各「圧力チャンバ」と本願補正発明の各「圧力チャンバ」とは「二つの対向するチャンバ壁と、前記圧力チャンバにより液滴射出用液が供給される液滴射出ノズルとを有」している点で一致し、かつ、引用発明の「チャンバ壁」と本願補正発明の「チャンバ壁」とは「前記ノズルから液滴を射出するために、電気信号を印加すると変形可能である圧電材料を含む」点で一致する。
　
（３）上記（１）及び（２）によれば、本願補正発明と引用発明とは、
「複数の平行に配置した圧力チャンバと、それぞれの前記圧力チャンバの複数のチャンバ壁とを含み、
　各圧力チャンバは、二つの対向するチャンバ壁と、前記圧力チャンバにより液滴射出用液が供給される液滴射出ノズルとを有し、
　前記チャンバ壁が、前記ノズルから液滴を射出するために、電気信号を印加すると変形可能である圧電材料を含む小滴堆積装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　前記圧電材料が、本願補正発明では「アクセプター注入圧電材料」であるのに対して、引用発明ではそのような圧電材料であるかどうか不明である点。
　
相違点２：
　前記圧電材料のｔａｎδが、本願補正発明では「印加される前記電気信号の電圧において０．０５以下であ」るのに対して、引用発明では不明である点。
　
相違点３：
　剪断歪／電界圧電定数をｄ１５、電気剪断コンプライアンスをＳ５５、自由空間の誘電率をεＯとし、ｄ１５／（Ｓ５５・εＯ）１／２で定義される指数をメリット指数とすると、前記圧電材料のメリット指数が、本願補正発明では「１５〜３０である」のに対して、引用発明では不明である点。
　
６　判断
　上記相違点１ないし３について検討する。
（１）相違点１について
　ア　アクセプター注入圧電材料を用いたアクチュエータは本願の優先日前に周知である（以下「周知技術１」という。例．原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−２４８４２号公報（【０００１】及び【００３８】参照。）、同じく原査定の拒絶の理由に引用された特表平６−５０６１８４号公報（３頁４〜１１行及び４頁２〜５行参照。）、同じく原査定の拒絶の理由に引用された特開平１０−９３１５３号公報（【請求項１】、【請求項３】、【請求項１０】、【請求項１２】、【０００２】、【００３４】及び【００３５】参照。））。
　
　イ　引用発明において、「圧電材料」は、圧力チャンバが有するチャンバ壁に含まれ、ノズルから液滴を射出するために電気信号が印加されると変形するもの、すなわちアクチュエータとして用いられているから、引用発明のアクチュエーターである「チャンバ壁」に含まれる「圧電材料」に、アクチュエータに用いる材料として周知の「アクセプター注入圧電材料」を用いることは、当業者が周知技術１に基づいて容易になし得た程度のことである。
　
（２）相違点２について
　ア　アクチュエータに使用することができる圧電材料でｔａｎδ（誘電損失）が０．０５以下のものは本願の優先日前に周知である（以下「周知技術２」という。例．特開平１０−３３０１９５号公報（【０００１】及び【００２２】参照）、特開平１０−２５７７８５号公報（【０００１】及び【００１７】参照。）、特開平１０−１１７３９７号公報（【０００２】及び【００２２】参照。）、国際公開第９７／３５３４８号（１頁１４行〜２頁５行、１７頁２６行〜１８頁３行及び３３頁５行〜４６頁１０行参照。）、特開平８−１３３７３７号公報（【００１９】及び【００２０】参照。）、特開平６−３０５１３６号公報（【０００１】〜【００１３】、【００２９】〜【００４１】及び図１に記載されている左端の丸印（○）参照。）、特表平４−５０６７９１号公報（２頁左上欄３〜１０行、３頁左下欄１６行〜同頁右下欄７行及び４頁左上欄２行〜５頁左下欄４行参照。）、特開平１−３０８１７３号公報（２頁右上欄２〜３行及び２頁右上欄１７〜１９行参照。）、特開昭６４−４６０号公報（１頁左下欄１９行〜同頁右下欄１行及び４頁右上欄１３行〜５頁左上欄８行参照。）、特開昭６０−１４１６７４号公報（１頁右下欄１１〜１９行、３頁右下欄９行〜４頁右下欄３行及び４頁右下欄１４行〜５頁左上欄１８行参照。））。
　
　イ　圧電材料の静電容量が大きくなると、電極の抵抗値Ｒと静電容量Ｃとの積である時定数ＲＣで評価される時間遅れが生じ、その結果インク吐出力も低下することは当業者に自明の事項である（上記特開平６−３０５１３６号公報の【０００６】ないし【０００９】の記載参照。）。
　
　ウ　上記イの時定数ＲＣと誘電損失（ｔａｎδ）との間には比例関係が成り立つことは当業者に自明の事項である（上記特開平６−３０５１３６号公報の【００２９】の記載参照。）。
　
　エ　高周波で使用される圧電アクチュエータで問題になる発熱を押さえるためには誘電損失（ｔａｎδ）が小さい圧電材料が要求されることは当業者に自明の事項である（特開昭６２−２９８１９２号公報の１頁右下欄１１〜１８行の記載及び特開平１０−２１３０７３号公報の【０００４】の記載参照。）。
　
　オ　引用発明の「小滴堆積装置（インクジェットプリンタヘッド）」は、熱の発生を伴わないことから被噴射物としての液体の制限が少なく、また印字ヘッドの耐久性に優れる等の利点を有している圧電素子を利用した印字ヘッドにおける集積度・小型化の面で劣っていると言う問題を解決して高集積化及び小型化を達成したものであって、側壁を構成する圧電材料が電気的には一種のコンデンサーとして作用するので、前記コンデンサーとしての静電容量が大きくなると、電気的入力エネルギーに対する圧力発生に消費されるエネルギーの効率が悪くなるという更なる問題点を解決しエネルギー効率のよいものとすることを目的として、前記側壁の内の前記Ｒ形状溝部に対応する部分の側壁を部分的に削除したものであるが、前記圧電材料の静電容量が大きなものとならず、小さなものなるように、引用発明において、前記側壁の部分的削除に加え、前記圧電材料の印加される電気信号の電圧におけるｔａｎδを小さなものとすることは、上記アないしエに鑑みても、当業者が周知技術２に基づいて容易に想到することができた程度のことである。
　そして、前記圧電材料の印加される電気信号の電圧におけるｔａｎδの上限値を具体的にどういう値にするかは当業者が適宜決定すべき事項であるというべきところ、本願明細書の発明の詳細な記載（上記３参照。）からみて、本願補正発明におけるその上限値である「０．０５」という数値に設計事項を超える技術上の意義があるとは認められないから、前記圧電材料の印加される電気信号の電圧におけるｔａｎδの上限値を「０．０５」とした点は、当業者が適宜決定することができた設計上の事項である。
　
（３）相違点３について
　ア　上記３の【０００７】及び【００２５】の記載によると、上記３において「ＰＣ４Ｄ」について述べていることは、本願補正発明の「アクセプター注入圧電材料」についても同様にいえることである。
　
　イ　そして、上記３の【０００６】及び【０００７】の記載からすると、本願補正発明の「メリット指数」は本願補正発明の「ｔａｎδ」に関係する指数であり、上記３の【００１４】及び【００１５】の記載からみて、本願補正発明の「メリット指数」は「単位電圧・単位体積当たりの変換された電気機械エネルギー」に等しい「剪断モード圧電活性」を特徴付ける指数であり、かつ、上記３における「ＰＣ４Ｄ」の「メリット指数」は「２５．７」であり、上記３の【００１３】ないし【００１５】の記載からすると、「モトローラのＨＤ３２０２」、「住友のＨ５Ｅ」及び「モトローラのＨＤ３１９５」の「やわらかいドナー注入型ＰＺＴ」は、その「メリット指数」がそれぞれ４８．２、３７．４及び３１．５であり、「剪断モード圧電活性」が高いことから圧電プリントヘッドの材料として選択されてきたが、「アクセプター注入ＰＺＴ」は「剪断モード圧電活性」が低いので現在まで圧電プリントヘッドとして使われてきていなかったものである。
　
　ウ　そうすると、剪断歪／電界圧電定数をｄ１５、電気剪断コンプライアンスをＳ５５、自由空間の誘電率をεＯとし、ｄ１５／（Ｓ５５・εＯ）１／２で定義される指数を「メリット指数」としたとき、本願補正発明において、アクセプター注入圧電材料の「メリット指数」の範囲を「１５〜３０」としている点は、「剪断モード圧電活性」、すなわち「単位電圧・単位体積当たりの変換された電気機械エネルギー」が、「やわらかいドナー注入型ＰＺＴ」に比較して低いので、現在まで圧電プリントヘッドとして使われてきていなかったと発明者が認識している「ｔａｎδが０．０５以下であるアクセプター注入圧電材料」の「剪断モード圧電活性」の程度を、「メリット指数」という指数を導入して示したものと解されるから、本願補正発明を特定する意味においては「ｔａｎδが０．０５以下であるアクセプター注入圧電材料」であること以上のことを特定するものではないことになる。
　
（４）上記（１）ないし（３）のとおりであるから、引用発明において、上記相違点１ないし３に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が周知技術１、周知技術２及び当業者に自明の事項に基づいて容易になし得た程度のことである。
　
（５）効果について
　本願補正発明の奏する効果は、引用発明の奏する効果、周知技術１の奏する効果、周知技術２の奏する効果及び当業者に自明の事項から、当業者が予測できた程度のものである。
　
（６）まとめ
　以上のとおりであるから、本願補正発明は、当業者が引用例に記載された発明、周知技術１、周知技術２及び当業者に自明の事項に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　したがって、本願補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
７　小括
　以上のとおり、本願補正発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし６に係る発明は、平成２１年３月１７日付け手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項によって特定されるものであるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２１年３月１７日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記「第２〔理由〕１（１）」に本件補正前の請求項１として記載したとおりのものであると認める。
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、前記「第２〔理由〕４」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断　
　上記「第２〔理由〕２」で述べたとおり、本願補正発明は、本願発明を特定するために必要な事項について限定を付加したものに相当する。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含みさらに限定を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「第２〔理由〕６」に記載したとおり、当業者が引用例に記載された発明、周知技術１、周知技術２及び当業者に自明の事項に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が引用例に記載された発明、周知技術１、周知技術２及び当業者に自明の事項に基づいて容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　本願発明は、当業者が引用例に記載された発明、周知技術１、周知技術２及び当業者に自明の事項に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。