(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成し、当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シート側から押圧して前記原反を被着体に貼付する押圧手段と、
前記被着体に貼付された原反を貫通する所定形状の切込みを形成することで、当該切込みの内側であって前記接着体及び剥離シートに、接着シート及び内側不要シートを形成すると共に、当該切込みの外側であって前記接着体及び剥離シートに、不要接着シート及び外側不要シートを形成する切断手段と、
前記内側不要シートと前記外側不要シートとを繋ぐ繋ぎシートを貼付する繋ぎシート貼付手段と、
前記被着体と繋ぎシートとを相対移動させることで、前記被着体上に接着シートを残して前記不要接着シート、内側不要シート及び外側不要シートからなる剥離対象物を剥離する移動手段とを備え、
前記剥離対象物を折り曲げる折り曲げ手段を更に含み、当該折り曲げ手段による剥離対象物の折り曲げと同時または折り曲げ前に、前記不要接着シートを加熱して当該不要接着シートを軟化させた状態で前記折り曲げ手段を通過させる加熱手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成し、当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記原反を繰り出す工程と、
前記剥離シート側から押圧して前記原反を被着体に貼付する工程と、
前記被着体に貼付された原反を貫通する切込みを形成することで、当該切込みの内側であって前記接着体及び剥離シートに、接着シート及び内側不要シートを形成するとともに、当該切込みの外側であって前記接着体及び剥離シートに、不要接着シート及び外側不要シートを形成する工程と、
前記内側不要シートと前記外側不要シートとを繋ぐ繋ぎシートを貼付する工程と、
前記被着体と繋ぎシートとを相対移動させることで、当該被着体に接着シートを残して前記不要接着シート、内側不要シート及び外側不要シートからなる剥離対象物を剥離する工程とを備え、
前記剥離対象物を折り曲げる折り曲げ工程を更に含み、当該折り曲げ工程における剥離対象物の折り曲げと同時または折り曲げ前に、前記不要接着シートを加熱して当該不要接着シートを軟化させた状態で前記折り曲げ工程を実施する工程を有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成するシート製造装置及びシート製造方法、並びに、前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置及びシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、上記種のシート貼付装置は例えば特許文献１で知られている。このものでは、剥離シートの一方の面に、予め所定形状に切断された接着シートが所定間隔で仮着された原反を繰り出す繰出しローラと、繰出しローラから繰り出された原反を折り曲げて剥離シートから接着シートを剥離する剥離板と、剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、剥離シートを巻き取る巻取りローラとを備えている。
【０００３】
また、幅が被着体の外縁からはみ出す大きさであって一方の面に接着剤層を有する帯状シートの他方の面に剥離シートが仮着されたものを原反とし、繰出しローラから当該原反を繰り出し、帯状シートに所定形状の切込みを形成し、当該帯状シートを切込み内側の接着シートと切込み外側の不要接着シートとに分断し、その後、この原反を折り曲げて剥離シートと接着シートとを互いに剥離しながら被着体に接着シートを貼付し、当該不要接着シートを剥離シートと共に巻き取るものも知られている（例えば、特許文献２参照）。ここで、接着シートと剥離シートとを互いに剥離する場合、上記特許文献１を適用して剥離板により原反を折り曲げることで接着シートを剥離することが考えられる。
【０００４】
然しながら、帯状シートが、特に感熱性接着シートのように脆弱なものである場合に、剥離板で折り曲げると、粉塵が発生して周辺環境を汚染することがある。つまり、剥離板で不要接着シートが折り曲げられると、当該不要接着シートが微細にひび割れ、この微細な不要接着シート片が粉塵となる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１５８０３７号公報
【特許文献２】特開２００７−３１７８８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、不要接着シートを折り曲げて当該不要接着シートを除去する場合に、粉塵の発生を効果的に抑制することができるシート製造装置及びシート製造方法、並びに、シート貼付装置及びシート貼付方法を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成する本発明のシート製造装置は、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記接着体に所定形状の切込みを形成することで、当該切込みの内側に接着シートを形成すると共に、当該切込みの外側に不要接着シートを形成する切断手段と、前記接着シートと不要接着シートとを相対移動させることで、前記剥離シート上に接着シートを残して前記不要接着シートからなる剥離対象物を剥離する移動手段とを備え、前記剥離対象物を折り曲げる折り曲げ手段を更に含み、当該折り曲げ手段による剥離対象物の折り曲げと同時または折り曲げ前に、前記不要接着シートを加熱可能な加熱手段を有することを特徴とする。
【０００８】
また、上記課題を解決するために、一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成する本発明のシート製造方法は、前記原反を繰り出す工程と、前記接着体に所定形状の切込みを形成することで、当該切込みの内側に接着シートを形成すると共に、当該切込みの外側に不要接着シートを形成する工程と、  前記接着シートと不要接着シートとを相対移動させることで、前記剥離シート上に接着シートを残して前記不要接着シートからなる剥離対象物を剥離する工程とを備え、前記剥離対象物を折り曲げる折り曲げ工程を更に含み、当該折り曲げ工程における剥離対象物の折り曲げと同時または折り曲げ前に、前記不要接着シートを加熱する工程を有することを特徴とする。
【０００９】
更に、上記課題を解決するために、一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成し、当該接着シートを被着体に貼付する本発明のシート貼付装置は、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シート側から押圧して前記原反を被着体に貼付する押圧手段と、前記被着体に貼付された原反を貫通する所定形状の切込みを形成することで、当該切込みの内側であって前記接着体及び剥離シートに、接着シート及び内側不要シートを形成すると共に、当該切込みの外側であって前記接着体及び剥離シートに、不要接着シート及び外側不要シートを形成する切断手段と、前記内側不要シートと前記外側不要シートとを繋ぐ繋ぎシートを貼付する繋ぎシート貼付手段と、前記被着体と繋ぎシートとを相対移動させることで、前記被着体上に接着シートを残して前記不要接着シート、内側不要シート及び外側不要シートからなる剥離対象物を剥離する移動手段とを備え、前記剥離対象物を折り曲げる折り曲げ手段を更に含み、当該折り曲げ手段による剥離対象物の折り曲げと同時または折り曲げ前に、前記不要接着シートを加熱して当該不要接着シートを軟化させた状態で前記折り曲げ手段を通過させる加熱手段を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明において、前記加熱手段は、前記剥離対象物の剥離の進行に伴って変動する不要接着シートの幅に対応して、当該不要接着シートに対する加熱領域を変更可能な加熱領域変更手段を備える構成を採用することができ、また、前記接着シートが加熱されることを防止する加熱防止手段を更に備える構成を採用することができる。
【００１１】
更に、上記課題を解決するために、一方向に延出可能な剥離シートと当該剥離シートの一方の面に積層された接着体を有する少なくとも２層構造の原反から接着シートを形成し、当該接着シートを被着体に貼付する本発明のシート貼付方法は、前記原反を繰り出す工程と、前記剥離シート側から押圧して前記原反を被着体に貼付する工程と、前記被着体に貼付された原反を貫通する切込みを形成することで、当該切込みの内側であって前記接着体及び剥離シートに、接着シート及び内側不要シートを形成するとともに、当該切込みの外側であって前記接着体及び剥離シートに、不要接着シート及び外側不要シートを形成する工程と、前記内側不要シートと前記外側不要シートとを繋ぐ繋ぎシートを貼付する工程と、前記被着体と繋ぎシートとを相対移動させることで、当該被着体に接着シートを残して前記不要接着シート、内側不要シート及び外側不要シートからなる剥離対象物を剥離する工程とを備え、前記剥離対象物を折り曲げる折り曲げ工程を更に含み、当該折り曲げ工程における剥離対象物の折り曲げと同時または折り曲げ前に、前記不要接着シートを加熱して当該不要接着シートを軟化させた状態で前記折り曲げ工程を実施する工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、折り曲げ手段による原反の折り曲げと同時または折り曲げ前に、接着シートと分断された不要接着シートが所定温度に加熱される。これにより、不要接着シートは、軟化した状態で折り曲げ手段によって折り曲げられるので、微細にひび割れるようなことがなくなり、当該ひび割れに起因した粉塵の発生を効果的に抑制し、周辺環境を汚染する等の不具合を防止することができる。また、加熱領域変更手段や加熱防止手段を備えていれば、接着シートが必要以上に加熱されることが確実に防止され、接着シートの接着不良が生じるといった不具合は生じない。更に、振動印加手段を備えて当該折り曲げ手段に振動を加えながら剥離対象物を剥離すれば、剥離不良の発生を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態のシート貼付装置の側面図。
【図２】折り曲げ手段での内側不要シートの剥離を説明する斜視図。
【図３】剥離板の内部構造を説明する断面図。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、被着体への接着シートの貼付手順を説明する側面図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、不要接着シートの幅の変化に対応した送風領域の変化を説明する断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、一方向に延出可能な剥離シートＲＬと当該剥離シートＲＬの一方の面に積層された接着体ＡＭを有する少なくとも２層構造の原反ＲＳから接着シートＡＳを形成し、当該接着シートＡＳを半導体ウエハ等の略円形の被着体ＡＨに貼付するシート貼付装置ＳＭを例とした実施形態について説明する。なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、上、下、左、右、といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。また、本実施形態の場合、接着体ＡＭは、単層の感熱接着性の接着シートとする。
【００１５】
図１〜図３を参照して、シート貼付装置ＳＭは、原反ＲＳを繰り出す繰出手段１と、剥離シートＲＬ側から押圧して原反ＲＳを被着体ＡＨに貼付する押圧手段２と、被着体ＡＨに貼付された原反ＲＳを貫通する所定形状の切込みを形成することで、当該切込みの内側であって接着体ＡＭ及び剥離シートＲＬに、接着シートＡＳ及び内側不要シートＲＬｉを形成すると共に、当該切込みの外側であって接着体ＡＭ及び剥離シートＲＬに、不要接着シートＵＳ及び外側不要シートＲＬｏを形成する切断手段３と、内側不要シートＲＬｉと外側不要シートＲＬｏとを繋ぐ繋ぎシートＣＳを貼付する繋ぎシート貼付手段４と、被着体ＡＨと繋ぎシートＣＳとを相対移動させることで、当該被着体ＡＨ上に接着シートＡＳを残して不要接着シートＵＳ、内側不要シートＲＬｉ及び外側不要シートＲＬｏからなる剥離対象物ＲＭを剥離する移動手段５と、剥離対象物ＲＭを折り曲げる折り曲げ手段６と、折り曲げ手段６による剥離対象物ＲＭの折り曲げと同時に不要接着シートＵＳを加熱可能な加熱手段７と、接着シートＡＳが加熱されることを防止する加熱防止手段８とを備える。
【００１６】
繰出手段１は、原反ＲＳを繰出可能に保持する繰出ローラ１１と、繰出ローラ１１から繰り出された原反ＲＳを、案内するガイドローラ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと、ガイドローラ１２ｃの直上に位置し、駆動機器としての回転モータＤＭ１により回転駆動される駆動ローラ１３と、駆動ローラ１３との間に剥離対象物ＲＭを挟み込むニップローラ１４と、回転モータＤＭ２により回転駆動され剥離対象物ＲＭを巻き取る巻取軸１５とを備えている。
【００１７】
押圧手段２は、駆動機器としての直動モータＬＭ１のスライダ２１に回転可能に支持され、左右方向に移動可能な押圧ローラ２２を備えている。
【００１８】
切断手段３は、切断刃３１と、この切断刃３１を支持するアーム３２と、このアーム３２を回動させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、回動モータＤＭ３をスライダ３３で支持し、切断刃３１を上下方向に移動可能とする駆動機器としての直動モータＬＭ２を備える。
【００１９】
繋ぎシート貼付手段４は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤ１を有する繋ぎシートＣＳを繰出可能に支持する繰出ローラ４１と、直動モータＬＭ１のスライダ４２に回転可能に支持され、左右方向に移動可能とする押圧ローラ４３とを備えている。なお、繰出ローラ４１は図示しないフレームによってスライダ４２に支持されている。
【００２０】
移動手段５は、被着体ＡＨを吸着保持可能に設けられ、駆動機器としての直動モータＬＭ３のスライダ５１に支持されて左右方向に移動可能なテーブル５２を備えている。テーブル５２は、駆動機器としての直動モータＬＭ４によって上部テーブル５３を上下方向に移動可能に設けられている。なお、上部テーブル５３には、図示しないコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段が設けられている。
【００２１】
折り曲げ手段６は、剥離板６１と、剥離板６１をスライダ６２で支持し、当該剥離板６１を左斜め下方向に移動可能とする駆動機器としての直動モータＬＭ５と、剥離板６１を一定の周期で振動させる振動印加手段であり駆動機器としての超音波振動機６３とを備えている。剥離板６１は、原反ＲＳの幅より広い幅を有する側面視略三角形状とされ、その内部に空間ＳＰが形成されて左下方の頂部に、剥離板６１の幅方向にのびる開口部６４が開設されている。また接着シートＡＳから内側不要シートＲＬｉを剥離する際に、超音波振動機６３によって剥離板６１を振動させて剥離を促進するようになっている。
【００２２】
加熱手段７は、図示しないコイルヒータや赤外線ヒータ等の加熱手段によって所定温度（例えば５０℃〜１２０℃）に加熱された気体を送風可能なポンプやタービン等の温風送風手段７１と、温風送風手段７１から送風された気体を剥離板６１の空間ＳＰ内に導く配管７２と、剥離対象物ＲＭの剥離の進行に伴って変動する不要接着シートＵＳの幅に対応して、当該不要接着シートＵＳに対する加熱領域を変更可能な加熱領域変更手段７３とを備えている。加熱領域変更手段７３は、空間ＳＰの内部を３分割にすることで、開口部６４の図３中上下に温風用開口部６４ａ、６４ｂを形成する仕切り板７４、７５と、両仕切り板７４、７５を支持するナット部材７６、７７と、これらナット部材７６、７７が螺合され、剥離板６１の側面で夫々支承される送りねじ７８と、送りねじ７８を回動させる駆動機器としての回動モータＤＭ４とを備えている。送りねじ７８は軸心方向中央で逆ねじとなっている。
【００２３】
加熱防止手段８は、図示しないフロンやペルチェ等を利用した冷却手段によって所定温度（例えば０℃〜２０℃）に冷却された気体を送風可能なポンプやタービン等の冷風送風手段８１と、冷風送風手段８１から送風された気体を剥離板６１の空間ＳＰ内に導く配管８２とを備えている。なお、加熱防止手段８から送風される気体は、強制的に冷却されることのない気体でもよい。本実施形態の場合、加熱領域変更手段７３は、剥離対象物ＲＭの剥離の進行に伴って変動する接着シートＡＳの幅に対応して、当該接着シートＡＳに対する加熱防止領域を変更可能な加熱防止領域変更手段としての機能を果たし、開口部６４の図３中上下方向中央に加熱防止用開口部６４ｃを形成する。これにより、回動モータＤＭ４を一方向に回転すると、両仕切り板７４、７５が互いに近接する方向に移動し、回動モータＤＭ４を他方向に回転すると、両仕切り板７４、７５が互いに離間する方向に移動する。これにより、温風用開口部６４ａ、６４ｂと加熱防止用開口部６４ｃとの通路幅を変更して開口部６４から吹き出す温風または冷風の領域を変化させることができる。温風用の気体及び加熱防止用の気体は、大気でもよいし、混合ガスやアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガス等であって良いよい。
【００２４】
次に、上記実施形態のシート貼付装置ＳＭを用いたシート貼付方法を説明する。
先ず、図１中実線で示すように、原反ＲＳが繰出ローラ１１から巻取軸１５に繰り出された状態で、直動モータＬＭ４が駆動されて上部テーブル５３が下方に下がり、図示しない搬送手段によって被着体ＡＨが上部テーブル５３の上面に載置されて保持される。次いで、直動モータＬＭ４が駆動され、上部テーブル５３が上方に移動される。このとき原反ＲＳと被着体ＡＨとは接触することのない間隔に保たれる。なお、被着体ＡＨは、上部テーブル５３の上面であって、切断刃３１の回転中心にその中心が位置するように載置される。
【００２５】
上部テーブル５３が上方に移動されたことが検知されると、押圧ローラ２２が図１中実線で示す位置から右方に移動され、押圧ローラ２２が剥離シートＲＬ側から押圧して原反ＲＳを被着体ＡＨの上表面に貼付する。このとき接着体ＡＭが上部テーブル５３に設けられた加熱手段によって所定の温度に加熱されて接着する。そして、押圧ローラ２２が被着体ＡＨを超え図４（ａ）に示す位置に到達すると、切断手段３が図１中実線で示す待機位置から原反ＲＳを貫通する切断位置まで切断刃３１を下降し、この状態で回動モータＤＭ３が駆動されアーム３２を回動することで、原反ＲＳに被着体ＡＨの輪郭に沿う所定形状の切込みを形成する。この切断により、接着シートＡＳ、内側不要シートＲＬｉ、不要接着シートＵＳ及び外側不要シートＲＬｏが形成される。
【００２６】
上記のように切込みが形成された後、切断手段３が初期位置に戻ると、直動モータＬＭ１が駆動され、押圧ローラ４３が図１中実線で示す位置から右方に向かって移動され、図４（ａ）に示すように、押圧ローラ４３が、基材シートＢＳ側から押圧して繋ぎシートＣＳを内側不要シートＲＬｉと外側不要シートＲＬｏとを繋ぐように貼付する。そして、押圧ローラ４３が被着体ＡＨを超え図４（ａ）に示す位置に到達すると、図４（ｂ）に示すように、直動モータＬＭ５が駆動され、剥離板６１が左下方に移動され温風送風手段７１及び冷風送風手段８１が作動され、温風用開口部６４ａ、６４ｂから温風が噴出される。このとき、図４（ａ）に示すように、仕切り板７４、７５が配管８２の空間ＳＰ内の開口部（図３中中央）に位置することで、当該開口部を塞ぐので、加熱防止用開口部６４ｃは形成されない上、冷風送風手段８１から送風された気体が空間ＳＰ内に送風されることはない。
【００２７】
その後、直動モータＬＭ１及びＬＭ３が駆動され、各押圧ローラ２２、４３とテーブル５２とが同期して左方向に移動されると同時に、回動モータＤＭ１及びＤＭ２も同期して駆動され、剥離対象物ＲＭが巻き取られる。
【００２８】
そして、図４（ｂ）に示すように、切込みの左端が剥離板６１の左下端部に到達すると、剥離対象物ＲＭは、剥離板６１によって折り曲げられて上方へ導かれるとともに、接着シートＡＳは、被着体ＡＨの上面に貼付された状態で内側不要シートＲＬｉから剥離される。このとき、超音波振動機６２を作動させて剥離板６１を振動させることで、剥離を促進させることができる。
【００２９】
なお、接着シートＡＳが内側不要シートＲＬｉから剥離されるとき、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、不要接着シートＵＳの幅は変化する。このように不要接着シートＵＳの幅が変化するにも関わらず、開口部６４全域から温風を送風し続けると接着シートＡＳにも温風が吹き付けられ、当該接着シートＡＳが必要以上に加熱されて強固に接着されてしまう。これを防止するために、回動モータＤＭ４が駆動され、不要接着シートＵＳの幅に応じて仕切り板７４、７５が互いに離間する方向に一旦移動され、再度近接するように移動される。このとき、仕切り板７４、７５が互いに離間する方向に移動されて加熱防止用開口部６４ｃに通じる空間ＳＰが形成され、冷風送風手段８１から送風された気体が当該空間ＳＰ内に送風されて加熱防止用開口部６４ｃから接着シートＡＳの加熱を防止する気体が吹き付けられることになる。これにより、不要接着シートＵＳに対応する外側不要シートＲＬｏには温風が、内側不要シートＲＬｉには冷風が夫々吹き付けられる。その後、繋ぎシートＣＳ及び剥離対象物ＲＭが同時に巻取軸１５に巻き取られ、図１に示す状態に戻り、以降上記同様の動作が繰り返される。なお、内側不要シートＲＬｉに冷風を吹き付けることで、当該内側不要シートＲＬｉと接着シートＡＳとの接着力を弱め、それらの剥離を容易にさせる効果もある。
【００３０】
以上の実施形態によると、折り曲げ手段６の剥離板６１による原反ＲＳの折り曲げと同時に、接着シートＡＳから分断された不要接着シートＵＳが所定温度に加熱されるため、当該不要シートＵＳが軟化した状態で不要接着シートＵＳが折り曲げられることで、当該不要接着シートＵＳが微細にひび割れることを防止することができる。その結果、粉塵の発生が効果的に抑制され、周辺環境を汚染する等の不具合が生じない。また、接着シートＡＳからの内側不要シートＲＬｉの剥離の進行に伴って、不要接着シートＵＳの加熱領域と接着シートＡＳの冷却領域とを変更することで、接着シートＡＳが必要以上に加熱されることが確実に防止され、接着シートＡＳの接着不良が生じるといった不具合は生じない。更に、剥離板６１を微振動させつつ接着シートＡＳから剥離シートＲＬを剥離するため、剥離不良の発生を防止することができる。
【００３１】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、一方向に延出可能な剥離シートＲＬと当該剥離シートＲＬの一方の面に積層された接着体ＡＭを有する少なくとも２層構造の原反ＲＳから接着シートＡＳを形成するシート製造装置に適応することもできる。即ち、原反ＲＳを繰り出す繰出手段１と、接着体ＡＭに所定形状の切込みを形成することで、当該切込みの内側に接着シートＡＳを形成すると共に、当該切込みの外側に不要接着シートＵＳを形成する切断手段３と、接着シートＡＳと不要接着シートＵＳとを相互移動させることで、剥離シートＲＬ上に接着シートＡＳを残して不要接着シートＵＳからなる剥離対象物ＲＭを剥離する移動手段５と、剥離対象物ＲＭを折り曲げる折り曲げ手段６と、当該折り曲げ手段６による剥離対象物ＲＭの折り曲げと同時に不要接着シートＵＳを加熱可能な加熱手段７とでシート製造装置を構成することもできる。この場合、繰出手段１は、前記実施形態とは上下反転させた状態で原反ＲＳを繰り出すように構成すると共に、切断手段３は、剥離シートＲＬを分断しないように構成し、巻取軸１５で不要接着シートＵＳのみを巻き取るようにすればよい。
【００３２】
また、上記実施形態では、被着体ＡＨに接着体ＡＭを貼付した後、切断手段３で接着シートＡＳと不要接着シートＵＳとに分断したものを例に説明したが、接着シートＡＳと不要接着シートＵＳとに分断した後、折り曲げ手段６で原反ＲＳを折り曲げながら接着シートＡＳを被着体ＡＨに貼付し、剥離対象物ＲＭを巻取軸１５に巻き取るものにも本発明は適用できる。
【００３３】
また、加熱手段は、剥離板６１の頂部に、例えばサーマルヘッド等の加熱プレートを組み付けた構成としてもよい。
また、折り曲げ手段６とは別体で温風を吹き付ける加熱手段を設け、剥離対象物ＲＭの折り曲げ前に不要接着シートＵＳを加熱するようにしてもよい。
【００３４】
更に、加熱領域変更手段及び加熱防止手段は、空間ＳＰを複数に分割し、分割された空間ＳＰ毎に開閉弁を備えた加熱気体供給管及び冷却気体供給管を接続し、この開閉弁を開閉制御して、加熱領域や加熱防止領域を変更するようにしてもよい。
【００３５】
また、振動印加手段は、変心モータや公知のバイブレータ等で構成してもよい。
【００３６】
更に、切り込みの形状は、円形、多角形、楕円形、又はそれらが組み合わさった形状のもの等であってもよい。
また、折り曲げ手段６は、ローラ等で剥離シートＲＬを折り曲げる構成としてもよい。
【００３７】
更に、接着体ＡＭや接着シートＡＳは、接着剤層単層のものでもよいし、単数又は複数の層からなる基材シートに接着剤層が積層されたものでもよい。
また、接着体ＡＭは、感熱接着性の接着シートであってもよい。
【００３８】
また、被着体ＡＨとしては、半導体ウエハ、ガラス板、鋼板、陶器、木板、半導体基板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、更に、ウエハは、シリコーン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよく、被着体が適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートＡＳがラベルであってもよく、被着体ＡＨが半導体ウエハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。また、接着シートＡＳは、上記に限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。
【００３９】
更に、上記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００４０】
ＡＨ…被着体、ＡＭ…接着体、ＡＳ…接着シート、ＣＳ…繋ぎシート、ＲＬ…剥離シート、ＲＬｉ…内側不要シート、ＲＬｏ…外側不要シート、ＲＭ…剥離対象物、ＲＳ…原反、ＵＳ…不要接着シート、１…繰出手段、２…押圧手段、３…切断手段、４…繋ぎシート貼付手段、５…移動手段、６…折り曲げ手段、７…加熱手段、７３…加熱領域変更手段、８…加熱防止手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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