【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年12月15日(2010.12.15)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高精度試験体（１）の基準構造体の角度依存アライメントを検査または校正する方法で、
試験体（１）を支持する調整可能または固定する支持部（３）と、
調整可能な測定部（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）と、
該測定部および支持部（３）は、支持部軸（４）および支持部軸（４）に直角に交わる測定部軸（７）に互いに回転可能で、測定部（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）および支持部（３）の間で、支持部軸（４）に対する支持部の回転角度および測定部軸（７）に対する測定部の回転角度が測定可能で、
光学ユニット（８，８ａ，８ｂ，８ｃ）と、
該光学ユニットは、測定部（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）に設けられ、試験体（１）と相互作用する少なくとも１つの試験体ビーム（１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ）を受け取る光学検出器（９）を備え、該試験体ビームは、測定部軸（７）が垂直に通過そして支持部軸（４）が面内に横たわる面内を通り、測定部（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）の一部分で交わり、検出器（９）に少なくとも１つの点（１２）を生成し、
コントロール／制御ユニット（１３）と、
該コントロール／制御ユニットは、試験体（１）の基準構造体に対して、少なくとも
光学ユニット（８，８ａ，８ｂ，８ｃ）のモータ動力の調整を、支持部の回転軸および測定部の回転軸のモータ動力の調整で、検出器（９）の少なくとも１つの点（１２）の位置の関数で調整する、ことを備えた装置を用いて、
試験体（１）を支持部（３）に取りつける、
光学ユニット（８，８ａ，８ｂ，８ｃ）および／または試験体（１）の基準構造体の初期アライメントをする、
該初期アライメントで、試験体ビーム（１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ）が、検出器（９）の少なくとも一部に当たり、検出器上に少なくとも一つの点（１２）を生成し、
前記コントロール／制御ユニット（１３）で、検出器（９）上の少なくとも一つの点（
１２）の位置を計算する、
コントロール／制御ユニット（１３）で、少なくとも一つの点（１２）が、検出器（９）の所定の基準位置に到るように、検出器（９）上の少なくとも一つの点（１２）の位置の関数として、基準構造体に対して光学ユニット（８，８ａ，８ｂ，８ｃ）の微細アライメントを行ない、
少なくとも支持部の回転角度および／または測定部の回転角度を測定する、ことからな
る工程を備え、
放射線（３０，３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ）を試験体（１）の基準構造体で生成、または放射線パラメータを、反射、停止、フィルターまたは整形で変え、生成またはパラメータの変化したビーム（３０，３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ）を、試験体ビーム（１０，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ）とする、ことを特徴とする方法。
【請求項２】
光学照準ユニット（１８）を備えた試験体（１）、特にセオドライト、水準または測地
スキャナで、
該光学照準ユニット（１８）が、
垂直軸（２０）および任意に傾斜軸（２１）に調整可能で、
視軸を測定し、
光学的に検出可能なマーク、例えば、レチクル（１４）または光の出口を備え、
垂直軸の回転角度および任意には傾斜軸の回転角度が測定可能で、
試験体の下部（１９）を支持部（３）に固定し、垂直軸（２０）を支持部軸（４）に合わせ、状況に応じて傾斜軸（２１）を測定部軸（７）に合わせ、
光学照準ユニット（１８）の初期アライメントを、光学ユニット（８、８ａ、８ｂ、８ｃ）の初期アライメント前または途中で行ない、
垂直軸の回転角度および／または任意に傾斜軸の回転角度が、測定可能である、ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
試験体（１）が、レーザテレメータを備え、該レーザテレメータが、基準構造体を形成するレーザ測定ビーム放射体を備え、試験体ビームを形成するレーザ測定ビームを生成し、
レーザテレメータで、レーザ測定ビームの放射の工程を更に含む、ことを特徴とする請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
放射線（３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ）が、光学ユニット（８、８ａ、８ｂ、８ｃ）に設けた放射体（３１ａ、３１ｂ、３１ｃ）で放射および整形され、
放射線（３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ）が、試験体（１）の基準構造体で反射され、試験体ビーム（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）を生成し、
試験体ビーム（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）を光学ユニット（８ａ，８ｂ，８ｃ）の一部に設けた検出器（９）に焦点を合わせ、基準構造体に対して光学ユニットの正確なアライメントの場合には、検出器（９）上に少なくとも一つの点（１２）を生成する、ことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項５】
基準構造体が、照準ユニット（１８）のレンズ（３９）からなることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
基準構造体が、照準ユニット（１８）のビームスプリッタキューブからなることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項７】
基準構造体が、照準ユニット（１８）の画像記録面、特にＣＣＤチップからなることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項８】
基準構造体が、少なくとも微細アライメントの時に、積極的に又は受動的に照らす光学的に測定可能なマークからなり、
放射線（３０、３５ｃ）をそのマークで生成、または放射線パラメータが変わる、ことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項９】
マークが、レチクル（１４）の形式で、該レチクルが、少なくとも微細アライメントの時に、自発照明または光学照準ユニット（１８）に設けた放射体で照らされ、
試験体ビーム（１０、１０ｃ）を、照準ユニット（１８）の対物レンズ（１６）で、直接または間接的に検出器（９）上の少なくとも一部に焦点を合わせ、
検出器（９）上に少なくとも一つの点（１２）を生成する、ことを特徴とする請求項８記
載の方法。
【請求項１０】
マークが、レチクル（１４）の形式で、該レチクルが、少なくとも微細アライメントの時に、照準ユニット（１８）の対物レンズ（１６）側に設けた放射体（３１ｂ）で照らされ、
レチクル（１４）を、照準ユニット（１８）の対物レンズ（１６）で、直接または間接的に検出器（９）上の少なくとも一部に焦点を合わせ、
検出器（９）上に少なくとも一つの点（１２）を生成する、ことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１１】
マークが、レチクル（１４）の形式で、該レチクルが、少なくとも微細アライメントの時に、照準ユニット（１８）のアイピース（２３）側に設けた付加的な放射体、特に付加的な光学ユニット（１５）で照らされ、
レチクル（１４）を、照準ユニット（１８）の対物レンズ（１６）で、直接または間接的に検出器（９）上の少なくとも一部に焦点を合わせ、
検出器（９）上に少なくとも一つの点（１２）を生成する、ことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１２】
放射線が、アイピース（２３）側または照準ユニット（１８）の対物レンズ（１６）側に設けた付加光学ユニット（１５）で、アイピース（２３）の方向に放射され、三次元構造のパターンの形状を備え、
放射線が、照準ユニット（１８）を通り、照準ユニット（１８）内の少なくとも一つの基準構造体で、放射線パラメータが変化して試験体ビーム（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）を形成し、
試験体ビーム（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ）が、対物レンズ（１６）または照準ユニット（１８）のアイピース（２３）から出て、光学ユニット（８ａ、８ｂ、８ｃ）の一部の検出器（９）に焦点を合わせ、検出器（９）に複数の点（１２）を生成し、
光学系の誤差、特に収差および歪が、検出器（９）で検出された多数の点の計算を、コントロール／制御ユニット（１３）で測定可能である、ことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項１３】
照準ユニット（１８）の少なくとも一部の構造体（４０）を、検出器（９）上に焦点を合わせることを特徴とする請求項２〜１２の何れか１項記載の方法。
【請求項１４】
試験体の熱挙動を測定するために、試験体（１）の少なくとも一方から熱放射体で熱する、ことを特徴とする請求項１〜１３の何れか１項記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
装置は、測定部を備え、台座に対し測定部軸で回転可能で、その測定部軸は、支持部軸に直交する。支持部軸での支持部の回転角度は、高精度の測定が可能で、動的または静的な指標角度エンコーダで測定する。測定部の基本的な形は、測定部が、試験体を、測定部軸に対してミラーまたは軸対称で、例えばコレット状の構造体で、少なくとも両側から取り囲む、または、測定部が、試験体を回転対称の構造体で取り囲む。測定部は、試験体とは関係なく、少なくとも所定の角度範囲で回転可能である。測定部の少なくとも部分的に対称な構造体としての取り囲みは、利点がある。測定部の重心が、測定部軸上または近くにあるので、付加する重量補償が不要となる。測定部の駆動体の負荷が緩和され、曲げ又はねじれ負荷が減少し、小さな許容誤差で、測定精度が著しく増加する。この測定部の設計は、複数の測定部品を、測定部の測定面内に配置することが出きる利点がある。試験体に対して反対側に設置が出来る。これは幾つかの新規な測定方法を可能とし、測定精度を向上させる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
この方法では、試験体を先ず支持部に置く。次に、光学ユニットおよび／または試験体の基準構造体の初期のアライメントを行なう。試験体ビームは、検出器の少なくとも１部に当たり、そこに少なくとも一つの点を形成する。コントロール／制御ユニットによる、この少なくとも一つの点の位置の評価の次に、基準構造体に対する光学ユニットの微細なアライメントを、検出器上の点の位置の関数で行なう。これで少なくとも一つの点が、所定の基準位置に到達する。そして、少なくとも支持部の回転角度および／または測定部の回転角度を決める。試験体ビームは、試験体の基準構造体で生成した放射線、または、放射線パラメータに対して基準構造体で変化した放射線、で形成される。放射線パラメータは、反射、散乱、屈折、停止、フィルターまたは整形からなる。放射線の発生は、放射体で行なわれる。これは、熱または発光放射体、または化学的または放射性の放射体である。検出器に当たる試験体ビームは、試験体の基準構造体から直接または間接的に到達し、付属の部品、例えば付属の鏡からは発生しない。基準構造体は、非常に精密に光学ユニットに対して位置合わせが出来る。逆も同様である。基準構造体に対する付属の部品の質の悪いアライメントによる誤差を避けているからである。更に、基準構造体の選択が可能である。例えば、照明された又は自己照明のマークである。このマークは、単にレンズ系内に光学的検出可能に設けた部品に機械的に結合できる。これらは、レンズ系内でのレンズ、レチクル、ビームスプリッタキューブ、または画像記録表面である。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
この方法は、特に光学照準ユニット、特に望遠鏡、好ましくは、セオドライト、水準または測地スキャナを備えた試験体の検査または校正に適している。光学照準ユニットは、垂直軸および任意に傾斜軸に対して調整可能である。垂直軸および任意である傾斜軸に対する回転角度を測定する。光学照準ユニットが、視軸を決め、光学的に検出可能なマーク、例えば、レチクルまたは光の出口を備えている。試験体の下部は、支持部に配置し、支持部軸は、垂直軸に対して同一線となり、任意に、測定部軸を傾斜軸に同一線上とする。上記の光学ユニットの初期アライメント前後および途中で、試験体の照準ユニットの初期アライメントを行なう。垂直軸に対する回転角度、および任意に、傾斜軸に対する試験体の回転角度の測定により、試験体の検査または校正を、それぞれ、支持部の回転角度および装置の測定部の回転角度の比較で行う。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
光学的に検出可能なマーク、つまり基準構造体を、試験体上または試験体内に設けても
良い。例えば、試験体の照準ユニットの光学系の中のレチクルで、放射線は、放射線パラメータで変化する。これは、特にレチクルを、試験体の光学照準ユニットの対物レンズまたはアイピース側から、放射体で照らすことで達成できる。光学フィルタを用いても良い。これらは、装置の微細アライメントの際に行なう。この照明が、放射線を形成する。レチクルを照準ユニットの対物レンズで検出器に焦点を合わせる。これにより、少なくとも一つの点が、検出器上に生成される。放射体は、光学ユニット内に位置するか又は離れて付加した光学ユニット内に設けても良い。付加するユニットは、測定部軸に対して光学ユニットの反対に位置する。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
試験体の光学照準ユニット外の放射体を無くすことも可能である。これは、レチクルが自己照明の場合で、レチクルが放射線を生成し、またはレチクルが、光学照準ユニットに設けた放射体で照明される場合である。検出器へのレチクルの焦点合わせは、対物レンズまたはアイピースで行なう。発光放射体の自己照明は、従来技術に記載されている。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
図３は、本発明に係わる方法を実行する装置の実施形態を示す。装置は、フレーム２４に座る花こう岩の台座２を備えている。台座２は、複数の部分要素からなり、全体としてＬ字形をしている。水平測定ユニット２５は、支持部３を備えて、台座２の上に位置する。支持部３は、垂直方向を指す支持部軸４に対してモータで高精度の回転が可能である。装置全体は、フレーム２４の調整で傾斜させて支持部軸４を正確に垂直方向に向けることが出来る。傾斜は、傾斜計（図示せず）で観察する。支持部３の回転可能な取付けは、支持部軸受ユニット２７でなされている。その軸受ユニットは、空気軸受の形式である。支持部３と台座２間での支持部軸４に対する回転角度を、第１の角度エンコーダ（図示せず）で高精度で測定する。セオドライトのような試験体１は、望遠鏡のような光学照準ユニット１８を備えている。光学照準ユニットは、垂直軸２０に対して電気モータで回転可能で、および傾斜軸２１に対して電気モータで傾斜可能である。試験体１は、試験体の下部１９で、支持部３にコネクタ２６で固定されている。試験体１の垂直軸２０は、支持部軸４と一致する。測定ヨークのような測定部５は、Ｕ字形をして開始位置で舌の様に支持部軸４を取り囲んでいる。測定部５は、台座２に回転可能に配置している。測定部５は、空気軸受のような測定部軸受ユニット６で、軸方向および径方向で支持されている。測定部５は、測定部軸７で、台座２に対してモータで高精度で回転可能である。測定部５と台座２の間の測定部軸７に対する測定部の回転角度は、第２の角度エンコーダ（図示せず）で高精度で測定する。測定部軸７および傾斜軸２１は、共通の面内に位置する。支持部軸４と垂直軸２０は、その面を垂直に通る。貫通する点は、測定部軸７と試験体１の傾斜軸２１との交差する点となる。支持部３に対する試験体１のアライメントにより、測定部軸７と傾斜軸２１は、図３に示す様に重なる。これにより、照準ユニット１８と測定部５を共通軸で旋回可能となる。測定部軸受ユニット６は、高精度の空気軸受で、測定部軸７での測定部５の容易で安定した旋回を可能にする。非常に小さい許容誤差を維持している。測定部軸受ユニット６は、測定面１１の片側にある台座２に設けている。測定部軸７は、その測定面を垂直に通過し、支持部軸４は、その面内に位置する。測定部軸受ユニット６の厳密な調整が可能である。これは、測定面１１の片側に位置する軸受ユニットが変形を受けないためである。図３は、測定面１１の一部を示す。この測定部５の設計は、測定部軸７に対して軸対称で、測定部の重心を測定部軸７の後ろにしている。これにより、曲げおよび捩じれ負荷を避け、測定部５の駆動体に無理がかからず、許容誤差を低くし、非常に高い測定精度が得られる。光学検出器（図３に図示せず、以下参照）を備えた光学ユニット８を測定部５に設けている。試験体１から来る試験体ビーム（図３に図示せず、以下参照）を、この検出器で受ける。試験体ビームは、測定面１１に位置し、測定部軸７は、垂直にその面を通過し、支持部４は、その面内に位置する。試験体ビームは、照準ユニット１８に設けた照明されたレチクルで生成している。この場合、レチクルが基準構造体となり、その角度アライメントを検査する。照明されたレチクルを、照準ユニット１８の対物レンズで、光学ユニット８の検出器に焦点を合わせ、多数の点を生成する。検出器での画像の位置は、次の箇所での僅かな回転で変わる。支持部軸４での支持部３の回転、垂直軸２０での試験体１の回転、測定部軸７の測定部５の回転、傾斜軸２１での照準ユニット１８の回転である。試験装置および試験体１の各軸に対するモータ動力での調整、検出器の画像の位置で制御する次の微細なアライメント、そして測定した角度値の比較で、高い精度の角度検査を実行できる。コントロール／制御ユニット１３が、光学ユニット８の検出器の評価および光学ユニット８のモータ動力のアライメントを、検出器の画像位置の関数として行なう。このアライメントは、支持部３のモータ動力アライメントおよび測定部５で、試験体１の基準構造体に対して行なう。コントロール／制御ユニット１３は、電気モータで試験体１の照準ユニット１８のアライメント、そして試験装置と試験体１の測定した角度の値の計算を行なう。試験体１との情報伝達は、支持部３に設けたスリップリングシステム（図示せず）又はブルーツース（Bluetooth）での無線リンクで行なう。図３から分かる様に、本形態では、光学ユニット８を天頂近くに位置させるような測定部５の調節はできない。測定部５を天頂より上にするのも出来ない。これは、光学ユニット８の反対側に位置する測定部の部分が、水平測定ユニット２５に衝突するからである。このために、試験体１の照準ユニットの挿通または水平角度の調整が、反対側の角度領域の校正に必要となる。しかし、この制限は実際には不利な点にはならない。試験体１を水平測定ユニット２５の垂直軸に正確に合わせることは出来ないからである。天頂近くの測定は正しい結果を与えない事は上記従来のセオドライト試験装置に記載している。更にユーザは、天頂近くでの測定を直接行なうことが出来ない。照準ユニット１８のアイピースがこの領域に入れないからである。しかし、以下に記載する実施形態では、天頂近くの測定が可能となる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
図５は、図３の試験装置の第２の変形した実施形態を簡略して示す。測定部は、測定ロッカー５ｂで、ロッカーの重要な部分は、測定部軸７に対して軸対称である。装置は、図４と同様に、台座２、測定部軸受ユニット６、水平測定ユニット２５、操作ロボット２２を備えているが、試験体１が、更にアイピース２３を有する光学照準ユニット１８を備えている。光学ユニット８に加えて、付加的な光学ユニット１５を測定ロッカー５ｂに設けている。付加的な光学ユニットは、測定部軸７に対して光学ユニット８の反対にある。この付加的な光学ユニット１５は、付加的なエミッターとなり、アイピース２３側の照準ユニット１８内のレチクルを照らす放射線３０を生成する。レチクルは、停止により、放射線３０を放射線パラメータに関して変化し、光学ユニット８でピックアップされ、検出器に少なくとも一つの点を生成する。この変性した放射線は、試験体ビーム１０を形成し、対物レンズ１６を経て照準ユニット１８から出る。付加光学ユニット１５を付加ミラーで形成しても良い。この場合、放射線は、付加ユニット８から出射し、付加ミラーで反射し、レチクルで放射線パラメータが変わる。この変化は、付加ミラーでの反射前、反射後、又は反射前後で発生し、検出器に当たる。付加光学ユニット１５が、構造、例えばパターンを有する放射線３０を放射しても良い。特に、放射線３０の構造と受光した試験体ビーム１０の画像処理の比較で、照準ユニット１８の光学システムの誤差、特に筒内部のレンズの誤差、収差、ひずみ、焦点誤差が検出できる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
前述の実施形態では、測定部軸受ユニット６は、測定面１１の片側のみであるが、図７の実施形態は、測定部軸受を測定面１１内に配置している。水平測定ユニット２５は、前記同様で、台座２ｂに固定され、支持部軸受ユニット２７を備えている。軸受ユニット２７は、支持部軸４に支持部３を回転可能に取付けている。照準ユニット１８、アイピース２３および対物レンズ１６を備え、支持部３に位置している試験体１は、照明されたレチクル（図７に示さず）を有している。放射された放射線は、対物レンズ１６での整形後、試験体ビーム１０となる。試験体１および水平測定ユニット２５は、測定リング５ｄの環状測定部で囲まれている。測定リング５ｄは、基本的な形式では回転対称で、測定部軸７に回転可能である。空気軸受タイプの測定部軸受ユニット６ａでマルチパート台座２ｂの一部に取り付けている。測定リング５ｄの外周面及びオプションとしての内周面は、空気軸受の軸受面となる。光学ユニット８は、測定リング５ｄに取付けられ、光学検出（図示せず）器を備え、前述したように、試験体ビーム１０を受け取る。そしてレチクルが、光学ユニット８の検出器に焦点が合わされ、複数の点をそこに生成する。図５および図６同様に、測定リング５ｄに、付加光学ユニット１５、特に、付加放射線または付加鏡を設置することが出来る。測定部軸受ユニット６ａは、中央部に位置し、測定面１１にある。試験体１および水平測定ユニット２５より下に位置している。試験体１には両側からアクセス可能で、これは特に、試験体の取付け、および試験体の校正作業の時に利点がある。測定リング５ｄが回転対称形で、測定部軸受ユニット６ａが、測定リング５ｄの重心近くまたは垂直であるため、曲げ及びねじりモーメントが測定部に掛からず、非常に高い精度の測定が達成される。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
図８は、実施形態のビーム経路を示し、光学ユニットは、既知のオートコリメータの設計を有し、試験体の基準構造体が、平らな反射面で形成されている。オートコリメータを形成する光学ユニット８ａは、放射体３１ａ、レチクルの形式の光学ユニットマーク３２、ビームスプリッタキューブ３３、光学ユニット対物レンズ３４ａおよび光学検出器９を備えている。光学ユニット８ａは、平行ビーム３５ａを放射し、試験体１の反射平面３６で反射される。この反射表面が、基準構造体を形成する。この反射ビームは、放射線パラメータが変化し、試験体ビーム１０ａ形成し、同様にコリメートされている。平行放射ビーム３５ａが、反射平面３６に垂直に当たり、試験体ビーム１０ａは、光学ユニット対物レンズ３４ａでピックアップされて検出器９に焦点が合う。検出器には、光学ユニットマーク３２の画像が形成され、少なくとも１つの点１２またはそのファミリーが形成される。この画像および点１２の集合の位置が、試験体１の反射平面３６または基準構造体に対して、光学ユニット８ａの角度アライメントに依存している。この反射平面３６を、試験体１に直接、基準構造体として形成しても良い。１および図２参照）で形成しても良い。多面鏡の検討も可能である。例えば、ロゼット法（rosette method）に用いる反射鏡で、鏡の表面に対して行なう。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
更なる実施形態では、図１０に示すように、基準構造体を試験体の照準ユニット内のレチクルで形成する。光学ユニット８ｂは、放射体３１ｂ、ビームスプリッタキューブ３３、対物レンズ３４ｂ、および光学検出器９を備えている。光学ユニット８ｂは、透過ビーム３５ｃを放射する。このビームは、試験体１の照準ユニット１８の対物レンズ１６で、ピックアップされ、照準ユニット１８のレチクル１４に当たり、レチクル１４を照らす。レチクル１４は、照準ユニット１８の対物レンズ１６に焦点に位置する。レチクル１４の照明による反射は、その対物レンズ１６によるコリメーション後、試験体ビーム１０ｃを形成する。試験体ビーム１０ｃは、光学ユニット対物レンズ３４ｂで検出器９に焦点が合う。検出器９の上に、試験体１の照準ユニット１８のレチクル１４の画像が、生成され、一群の点を形成する。検出器でのレチクルの画像または一群の点の位置は、照準ユニット１８またはレチクル１４の角度アライメントに依存している。レチクル１４は、試験装置の光学ユニット８ｂに対して、試験体１の基準構造体である。光学ユニット８ｂ内の放射体３１ｂで対物レンズ１６を通してレチクル１４を照らさなくても良い。代わりに、照準ユニット１８のアイピース２３側（図５および図７参照）のレチクルを照らしても良い。例えば、付加放射体で、付加光学ユニット１５（図５および図６参照）を通す。自己照明のレチクルまたは照準内での照明で照らされるレチクルの場合、外部の放射体は、完全に不要となる。レチクル１４を照らす別の可能性がある。これは、不可視放射線を照らしても良い。レチクル１４の代わりに、照準ユニットのビースプリッタキューブの表面、画像記録面の表面、距離測定のレーザダイオードの表面も同様に、反射面として作用する。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
例えば、照準ユニット１８内のレチクルまたはアパチャのような構造または対象物を調査する場合は、図１１で示す方法で実行できる。光学ユニット８ｃは、放射体３１ｃ、ビームスプリッタキューブ３３、対物レンズ３４ｃおよび検出器９を備えている。透過ビーム３５ｄの放射線は、付属レンズ３７ｂで散乱され、試験体１の照準ユニット１８内の構造体４０を照らす。この照らされた構造体４０は、集光レンズ３８ｂ’、３８ｂ”、付属レンズ３７ｂおよび対物レンズ３４ｃで、ビーム１０ｄで検出器に焦点が合わされる。そして、構造体４０は、映像的に示されて検査される。この構造体は、例えば、画像記録面、ＣＣＤチップまたはテレメータのレーザダイオードで形成できる。他の照明方法も可能である。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
【図１】従来技術のセオドライト試験装置のコンパレータのコンセプトを示す。
【図２】従来技術のセオドライト試験装置のデバイスのセットアップを示す。
【図３】高精度試験体の基準構造体の角度依存アライメントの検査または校正を行なう装置の実施形態の図を示す。試験体は、測定部として、片側に設置した測定ロッカーを備えている。
【図４】測定部として片側に設置した測定ロッカーおよび操作ロボットを備えた装置の第１の変形実施形態の簡略した断面図を示す。
【図５】測定部として片側に設置した測定ロッカおよび操作ロボットを備えた装置の第２の変形実施形態の簡略した断面図を示す。
【図６】測定部として片側に設置した測定ホイールおよび操作ロボットを備えた装置の第３の変形実施形態の簡略した断面図を示す。
【図７】測定部として測定面の中央に設置した測定リングを備えた装置の第４の変形実施形態の簡略した断面図を示す。
【図８】試験体の基準構造体として平らな反射面によるビーム行路の模式図を示す。
【図９】試験体の基準構造体として凸レンズによるビーム行路の模式図を示す。
【図１０】試験体の基準構造体としてレチクルによるビーム行路の模式図を示す。
【図１１】光学照準ユニット内構造体の検出器への焦点合わせのビーム行路の模式図を示す。