(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された層間絶縁膜と、
前記半導体基板を前記表面側から見た平面視において、前記層間絶縁膜に互いに間隔を空けてストライプ状に埋め込まれたダマシン構造を有する複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて配置されたストライプ状の配線間絶縁膜とを含む表面電極と、
前記半導体基板の前記表面と裏面との間を貫通し、前記表面電極の各配線に電気的に接続された貫通電極と、
前記貫通電極と前記半導体基板との間に設けられたビア絶縁膜とを含み、
前記表面電極は、平面視において、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置する配線を含む張出部とを含み、
前記ゲート絶縁膜と前記層間絶縁膜との間には、平面視において前記張出部の前記配線と同一パターンの電極層が配置されており、
前記表面電極における前記貫通電極との接続面において、前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一に形成されている、半導体装置。
【請求項２】
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された層間絶縁膜と、
前記半導体基板を前記表面側から見た平面視において、前記層間絶縁膜に互いに間隔を空けてストライプ状に埋め込まれたダマシン構造を有する複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて配置されたストライプ状の配線間絶縁膜とを含む表面電極と、
前記半導体基板の前記表面と裏面との間を貫通し、前記表面電極の各配線に電気的に接続された貫通電極と、
前記貫通電極と前記半導体基板との間に設けられたビア絶縁膜とを含み、
前記表面電極は、平面視において、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置する配線間絶縁膜を含む張出部とを含み、
前記半導体基板の前記表面には、平面視において前記張出部の前記配線間絶縁膜と同一パターンの絶縁層が埋め込まれており、
前記表面電極における前記貫通電極との接続面において、前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一に形成されている、半導体装置。
【請求項３】
前記配線は、Ｃｕ配線を含む、請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記表面電極は、複数の前記層間絶縁膜を介して積層された多層電極を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体装置は、前記貫通電極との間に前記表面電極が置かれるように前記貫通電極の直上位置に配置された、外部接続用の表面バンプを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記半導体装置は、前記貫通電極の前記裏面側の端部に配置された、外部接続用の裏面バンプを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記貫通電極は、円柱状に形成されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記半導体基板の前記表面は、複数の半導体素子が形成された素子形成面を含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項９】
裏面に複数の外部端子を有するインタポーザと、
前記インタポーザの表面に、前記表面が上方に向く姿勢で積層された請求項１〜８のいずれか一項に記載の半導体装置と、
複数の裏面バンプを有し、当該裏面バンプが前記貫通電極に電気的に接続されるように前記半導体装置の前記表面に積層された第２半導体装置と、
前記半導体装置および前記第２半導体装置を封止する樹脂パッケージとを含む、電子部品。
【請求項１０】
半導体基板の表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に、前記半導体基板の前記表面側から見た平面視において、複数の電極層を互いに間隔を空けてストライプ状に形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に、前記電極層を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、
ダマシン法により前記電極層と同一パターンの電極材料を前記層間絶縁膜に選択的に埋め込むことにより、前記電極層と同一パターンの複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて形成され、前記電極層と反対パターンの配線間絶縁膜とを含む表面電極を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面からエッチングして前記半導体基板および前記電極層を除去することにより、平面視において前記表面電極の幅よりも小さな幅を有する貫通孔を前記表面電極に対応する位置に形成し、同時に、当該貫通孔内に前記配線間絶縁膜と同一パターンの突出部が形成された前記層間絶縁膜を露出させる工程と、
前記突出部の一部がエッチング残渣として残るように、前記貫通孔を介して前記表面電極の前記配線が露出するまで前記層間絶縁膜をエッチングする工程と、
前記層間絶縁膜のエッチング工程の後、前記表面電極の前記配線を被覆するように前記貫通孔の底面および側面にビア絶縁膜を形成する工程と、
前記表面電極の前記配線が露出し、かつ、前記表面電極における前記貫通孔の前記底面を形成する部分の前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一になるように、前記貫通孔の前記底面の前記ビア絶縁膜をエッチングする工程と、
前記貫通孔の前記ビア絶縁膜の内側に電極材料をめっき成長させることにより、前記表面電極に電気的に接続されるように貫通電極を形成する工程とを含み、
前記貫通電極を形成する工程において、平面視で、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置し、かつ、前記ゲート絶縁膜上に形成された前記電極層と同一パターンの配線を含む張出部とを含む前記表面電極が形成される、半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記電極層を形成する工程は、前記半導体基板の前記表面に形成された半導体素子のゲート電極と同一の工程で実行される、請求項１０に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記半導体基板がシリコン基板であり、
前記電極層を形成する工程が、ポリシリコン層を形成する工程を含む、請求項１０または１１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
半導体基板の表面に、前記半導体基板の前記表面側から見た平面視において、複数の絶縁層を互いに間隔を空けてストライプ状に埋め込む工程と、
前記半導体基板の前記表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に層間絶縁膜を形成する工程と、
ダマシン法により前記絶縁層と反対パターンの電極材料を前記層間絶縁膜に選択的に埋め込むことにより、前記絶縁層と反対パターンの複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて形成され、前記絶縁層と同一パターンの配線間絶縁膜とを含む表面電極を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面からエッチングして前記半導体基板を除去することにより、平面視において前記表面電極の幅よりも小さな幅を有する貫通孔を前記表面電極に対応する位置に形成し、同時に、当該貫通孔内に前記配線間絶縁膜と同一パターンの前記絶縁層を露出させる工程と、
前記層間絶縁膜における前記絶縁層の直下の部分がエッチング残渣として残るように、貫通孔を介して前記表面電極の前記配線が露出するまで前記層間絶縁膜をエッチングする工程と、
前記層間絶縁膜のエッチング工程の後、前記配線を被覆するように前記貫通孔の底面および側面にビア絶縁膜を形成する工程と、
前記表面電極の前記配線が露出し、かつ、前記表面電極における前記貫通孔の前記底面を形成する部分の前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一になるように、前記貫通孔の前記底面の前記ビア絶縁膜をエッチングする工程と、
前記貫通孔の前記ビア絶縁膜の内側に電極材料をめっき成長させることにより、前記表面電極に電気的に接続されるように貫通電極を形成する工程とを含み、
前記貫通電極を形成する工程において、平面視で、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置し、かつ、前記半導体基板の表面に埋め込まれた前記絶縁層と同一パターンの配線間絶縁膜を含む張出部とを含む前記表面電極が形成される、半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
前記絶縁層を形成する工程は、前記半導体基板を前記表面からエッチングすることにより、複数のシャロートレンチを互いに間隔を空けてストライプ状に形成する工程と、前記シャロートレンチに絶縁材料を充填することにより、前記絶縁層を前記半導体基板の前記表面に対して前記裏面側へ埋め込むように形成する工程とを含む、請求項１３に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貫通電極を有する半導体装置およびその製造方法、ならびに当該半導体装置を備える電子部品（パッケージ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、貫通電極を有する半導体装置を複数積層して、小型、大容量、高機能の電子部品を形成する技術が開発されている。
貫通電極を有する半導体装置は、たとえば、特許文献１および２に開示されている。
特許文献１および２の半導体装置は、Ｓｉ基板と、Ｓｉ基板に設けられた貫通電極と、Ｓｉ基板の表面に形成された電極パッドと、電極パッド上に形成された再配置配線層とを含む。
【０００３】
係る半導体装置は、たとえば、以下の方法により製造される。まず、Ｓｉ基板の表面に絶縁膜を介して電極パッドを形成し、再配置配線層を形成する。次に、第１のエッチングガス（ＳＦ６）を用いて、Ｓｉ基板の裏面からＳｉ基板の途中までドライエッチングする。その後、第２のエッチングガス（Ｃ４Ｆ８）を用いてＳｉ基板の残りの部分をドライエッチングすることにより、電極パッドに達する貫通孔を形成する。そして、貫通孔の側面に絶縁膜を形成し、絶縁膜の内側に貫通電極を形成する。以上の工程を経て、貫通電極を有する半導体装置が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−８６７７３号公報
【特許文献２】特開２０１１−８６８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、貫通電極におけるボイドの発生を防止することができ、従来に比べて信頼性の高い半導体装置およびその製造方法を提供することである。
本発明の他の目的は、半導体装置の貫通電極におけるボイドの発生を防止することができ、従来に比べて信頼性の高い電子部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された層間絶縁膜と、前記半導体基板を前記表面側から見た平面視において、前記層間絶縁膜に互いに間隔を空けてストライプ状に埋め込まれたダマシン構造を有する複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて配置されたストライプ状の配線間絶縁膜とを含む表面電極と、前記半導体基板の前記表面と裏面との間を貫通し、前記表面電極の各配線に電気的に接続された貫通電極と、前記貫通電極と前記半導体基板との間に設けられたビア絶縁膜とを含み、前記表面電極は、平面視において、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置する配線を含む張出部とを含み、前記ゲート絶縁膜と前記層間絶縁膜との間には、平面視において前記張出部の前記配線と同一パターンの電極層が配置されており、前記表面電極における前記貫通電極との接続面において、前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一に形成されている（請求項１）。
【０００７】
この半導体装置は、たとえば、半導体基板の表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜上に、前記半導体基板の前記表面側から見た平面視において、複数の電極層を互いに間隔を空けてストライプ状に形成する工程と、前記ゲート絶縁膜上に、前記電極層を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、ダマシン法により前記電極層と同一パターンの電極材料を前記層間絶縁膜に選択的に埋め込むことにより、前記電極層と同一パターンの複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて形成され、前記電極層と反対パターンの配線間絶縁膜とを含む表面電極を形成する工程と、前記半導体基板の裏面からエッチングして前記半導体基板および前記電極層を除去することにより、平面視において前記表面電極の幅よりも小さな幅を有する貫通孔を前記表面電極に対応する位置に形成し、同時に、当該貫通孔内に前記配線間絶縁膜と同一パターンの突出部が形成された前記層間絶縁膜を露出させる工程と、前記突出部の一部がエッチング残渣として残るように、前記貫通孔を介して前記表面電極の前記配線が露出するまで前記層間絶縁膜をエッチングする工程と、前記層間絶縁膜のエッチング工程の後、前記表面電極の前記配線を被覆するように前記貫通孔の底面および側面にビア絶縁膜を形成する工程と、前記表面電極の前記配線が露出し、かつ、前記表面電極における前記貫通孔の前記底面を形成する部分の前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一になるように、前記貫通孔の前記底面の前記ビア絶縁膜をエッチングする工程と、前記貫通孔の前記ビア絶縁膜の内側に電極材料をめっき成長させることにより、前記表面電極に電気的に接続されるように貫通電極を形成する工程とを含み、前記貫通電極を形成する工程において、平面視で、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置し、かつ、前記ゲート絶縁膜上に形成された前記電極層と同一パターンの配線を含む張出部とを含む前記表面電極が形成される、半導体装置の製造方法（請求項１０）により製造することができる。
【０００８】
また、本発明の半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成された層間絶縁膜と、前記半導体基板を前記表面側から見た平面視において、前記層間絶縁膜に互いに間隔を空けてストライプ状に埋め込まれたダマシン構造を有する複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて配置されたストライプ状の配線間絶縁膜とを含む表面電極と、前記半導体基板の前記表面と裏面との間を貫通し、前記表面電極の各配線に電気的に接続された貫通電極と、前記貫通電極と前記半導体基板との間に設けられたビア絶縁膜とを含み、前記表面電極は、平面視において、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置する配線間絶縁膜を含む張出部とを含み、前記半導体基板の前記表面には、平面視において前記張出部の前記配線間絶縁膜と同一パターンの絶縁層が埋め込まれており、前記表面電極における前記貫通電極との接続面において、前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一に形成されている（請求項２）。
この半導体装置は、半導体基板の表面に、前記半導体基板の前記表面側から見た平面視において、複数の絶縁層を互いに間隔を空けてストライプ状に埋め込む工程と、前記半導体基板の前記表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜上に層間絶縁膜を形成する工程と、ダマシン法により前記絶縁層と反対パターンの電極材料を前記層間絶縁膜に選択的に埋め込むことにより、前記絶縁層と反対パターンの複数の配線と、互いに隣り合う前記配線間に前記層間絶縁膜の一部を用いて形成され、前記絶縁層と同一パターンの配線間絶縁膜とを含む表面電極を形成する工程と、前記半導体基板の裏面からエッチングして前記半導体基板を除去することにより、平面視において前記表面電極の幅よりも小さな幅を有する貫通孔を前記表面電極に対応する位置に形成し、同時に、当該貫通孔内に前記配線間絶縁膜と同一パターンの前記絶縁層を露出させる工程と、前記層間絶縁膜における前記絶縁層の直下の部分がエッチング残渣として残るように、貫通孔を介して前記表面電極の前記配線が露出するまで前記層間絶縁膜をエッチングする工程と、前記層間絶縁膜のエッチング工程の後、前記配線を被覆するように前記貫通孔の底面および側面にビア絶縁膜を形成する工程と、前記表面電極の前記配線が露出し、かつ、前記表面電極における前記貫通孔の前記底面を形成する部分の前記配線と前記配線間絶縁膜とが面一になるように、前記貫通孔の前記底面の前記ビア絶縁膜をエッチングする工程と、前記貫通孔の前記ビア絶縁膜の内側に電極材料をめっき成長させることにより、前記表面電極に電気的に接続されるように貫通電極を形成する工程とを含み、前記貫通電極を形成する工程において、平面視で、前記貫通電極に対向し、前記貫通電極の幅方向内側で前記貫通電極に電気的に接続された前記複数の配線を含む対向部と、前記対向部の幅方向外側に張り出して前記貫通電極の幅方向外側に位置し、かつ、前記半導体基板の表面に埋め込まれた前記絶縁層と同一パターンの配線間絶縁膜を含む張出部とを含む前記表面電極が形成される、半導体装置の製造方法（請求項１３）により製造することができる。
【０００９】
本発明の方法によれば、表面電極の配線間絶縁膜と反対パターンの電極層、もしくは表面電極の配線間絶縁膜と同一パターンの絶縁層を予め形成する。これにより、半導体基板を裏面から表面電極へ向かってエッチングして貫通孔を形成したときに、配線間絶縁膜上に、層間絶縁膜の突出部の一部、もしくは層間絶縁膜における絶縁層の直下の部分をエッチング残渣として残すことができる。
【００１０】
そのため、ビア絶縁膜を形成したときに、エッチング残渣の直上位置（配線間絶縁膜の直上位置）においては、ビア絶縁膜が、当該エッチング残渣の高さ分、配線間絶縁膜と同一パターンで嵩上げされる。すなわち、ビア絶縁膜において、エッチング残渣がある部分とない部分との間に段差が生じる。
ビア絶縁膜のエッチング工程においては、上記嵩上げされた部分が嵩上げされていない部分に対して配線間絶縁膜と同一パターンのエッチングマージンとなるので、表面電極の配線が露出するまでビア絶縁膜をエッチングしても、当該エッチングによる配線間絶縁膜のエッチング量をなくすか、少なくすることができる。
【００１１】
その結果、表面電極の配線間における段差の発生を抑え、表面電極における貫通孔の底面を形成する部分の配線および配線間絶縁膜が面一になるように形成することができる。よって、電極材料をめっき成長させる際、貫通孔の内面にシード膜を良好な被膜性で形成することができるので、ボイド（空孔）の発生を防止することができる。
これにより、本発明の半導体装置では、貫通電極におけるボイドの発生を防止することができ、従来に比べて信頼性の高い半導体装置を実現することができる。
【００１３】
また、前記電極層を形成する工程は、前記半導体基板の前記表面に形成された半導体素子のゲート電極と同一の工程で実行されることが好ましく（請求項１１）、前記半導体基板がシリコン基板である場合、ポリシリコン層を形成する工程を含むことが好ましい（請求項１２）。
この方法により、工程数を増加させずに、効率よく電極層を形成することができる。
【００１４】
また、前記絶縁層を形成する工程は、前記半導体基板を前記表面からエッチングすることにより、複数のシャロートレンチを互いに間隔を空けてストライプ状に形成する工程と、前記シャロートレンチに絶縁材料を充填することにより、前記絶縁層を前記半導体基板の前記表面に対して前記裏面側へ埋め込むように形成する工程とを含むことが好ましい（請求項１４）。
この方法によれば、たとえば、ＳＴＩ（Shallow Trench Isolation：シャロートレンチアイソレーション）工程により半導体基板に複数の素子分離領域を形成する場合に、当該ＳＴＩ工程と同一工程で絶縁層を形成することができるので、効率よく絶縁層を形成することができる。
【００１６】
また、前記配線は、Ｃｕ配線を含んでいてもよい（請求項３）。また、前記表面電極は、複数の前記層間絶縁膜を介して積層された多層電極を含んでいてもよい（請求項４）。
また、本発明の半導体装置は、前記貫通電極との間に前記表面電極が置かれるように前記貫通電極の直上位置に配置された、外部接続用の表面バンプを含んでいてもよいし（請求項５）、前記貫通電極の前記裏面側の端部に配置された、外部接続用の裏面バンプを含んでいてもよい（請求項６）。
【００１７】
また、前記貫通電極は、円柱状に形成されていてもよい（請求項７）。
また、前記半導体基板の前記表面は、複数の半導体素子が形成された素子形成面を含んでいてもよい（請求項８）。
また、本発明の電子部品は、裏面に複数の外部端子を有するインタポーザと、前記インタポーザの表面に、前記表面が上方に向く姿勢で積層された請求項１〜８のいずれか一項に記載の半導体装置と、複数の裏面バンプを有し、当該裏面バンプが前記貫通電極に電気的に接続されるように前記半導体装置の前記表面に積層された第２半導体装置と、前記半導体装置および前記第２半導体装置を封止する樹脂パッケージとを含む（請求項９）。
【００１８】
この構成によれば、本発明の半導体装置が搭載されているので、従来に比べて信頼性の高い電子部品を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品の模式的な断面図である。
【図２】図２は、図１の電子部品のシステム構成を模式的に示すブロック図である。
【図３】図３は、図１のＳｉインタポーザおよび演算チップにおける貫通電極のレイアウト図である。
【図４】図４は、図１の演算チップの構造（第１実施形態）を説明するための模式的な断面図であって、貫通電極が設けられた部分を拡大して示している。
【図５】図５は、図４の下側絶縁膜の形状の例を示す図であって、図４の破線Ｖで囲まれた部分を拡大して示している。
【図６】図６は、図４の表面パッド（下側パッド）のレイアウト図である。
【図７Ａ】図７Ａは、図４の演算チップの製造工程の一部を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、図７Ａの次の工程を示す図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、図７Ｂの次の工程を示す図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、図７Ｃの次の工程を示す図である。
【図７Ｅ】図７Ｅは、図７Ｄの次の工程を示す図である。
【図７Ｆ】図７Ｆは、図７Ｅの次の工程を示す図である。
【図７Ｇ】図７Ｇは、図７Ｆの次の工程を示す図である。
【図７Ｈ】図７Ｈは、図７Ｇの次の工程を示す図である。
【図７Ｉ】図７Ｉは、図７Ｈの次の工程を示す図である。
【図７Ｊ】図７Ｊは、図７Ｉの次の工程を示す図である。
【図７Ｋ】図７Ｋは、図７Ｊの次の工程を示す図である。
【図７Ｌ】図７Ｌは、図７Ｋの次の工程を示す図である。
【図７Ｍ】図７Ｍは、図７Ｌの次の工程を示す図である。
【図７Ｎ】図７Ｎは、図７Ｍの次の工程を示す図である。
【図７Ｏ】図７Ｏは、図７Ｎの次の工程を示す図である。
【図７Ｐ】図７Ｐは、図７Ｏの次の工程を示す図である。
【図７Ｑ】図７Ｑは、図７Ｐの次の工程を示す図である。
【図８】図８は、図１の演算チップの構造（第２実施形態）を説明するための模式的な断面図であって、貫通電極が設けられた部分を拡大して示している。
【図９Ａ】図９Ａは、図８の演算チップの製造工程の一部を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、図９Ａの次の工程を示す図である。
【図９Ｃ】図９Ｃは、図９Ｂの次の工程を示す図である。
【図９Ｄ】図９Ｄは、図９Ｃの次の工程を示す図である。
【図９Ｅ】図９Ｅは、図９Ｄの次の工程を示す図である。
【図９Ｆ】図９Ｆは、図９Ｅの次の工程を示す図である。
【図９Ｇ】図９Ｇは、図９Ｆの次の工程を示す図である。
【図９Ｈ】図９Ｈは、図９Ｇの次の工程を示す図である。
【図９Ｉ】図９Ｉは、図９Ｈの次の工程を示す図である。
【図９Ｊ】図９Ｊは、図９Ｉの次の工程を示す図である。
【図９Ｋ】図９Ｋは、図９Ｊの次の工程を示す図である。
【図９Ｌ】図９Ｌは、図９Ｋの次の工程を示す図である。
【図９Ｍ】図９Ｍは、図９Ｌの次の工程を示す図である。
【図９Ｎ】図９Ｎは、図９Ｍの次の工程を示す図である。
【図９Ｏ】図９Ｏは、図９Ｎの次の工程を示す図である。
【図９Ｐ】図９Ｐは、図９Ｏの次の工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品１の模式的な断面図である。図２は、図１の電子部品１のシステム構成を模式的に示すブロック図である。
電子部品１は、樹脂インタポーザ２と、樹脂インタポーザ２の表面３から順に積層された演算チップ４、Ｓｉインタポーザ５およびメモリチップ６と、樹脂パッケージ７とを含み、内部に電源系配線８および信号系配線９が組み込まれている。なお、演算チップ４、Ｓｉインタポーザ５およびメモリチップ６は、樹脂インタポーザ２の表面３に積層された複数の半導体装置の一例であり、これに限るものではない。
【００２１】
樹脂インタポーザ２は、樹脂製（たとえば、エポキシ樹脂）基板からなり、その表面３に演算チップ４等が積層され、その裏面１０に複数の外部端子１１が形成されている。樹脂インタポーザ２のサイズは、１４ｍｍ角であり、たとえば、１０ｍｍ角〜１５ｍｍ角であってもよい。厚さは、０．７ｍｍであり、たとえば、０．６ｍｍ〜０．７ｍｍであってもよい。
【００２２】
外部端子１１は、実装基板（プリント配線板）上のランド（電極）との電気接続用の端子である。外部端子１１は、たとえば、半田などの金属材料を用いてボール状に形成されており、たとえば、互いに間隔を空けて行列状に配置されている。各外部端子１１は、樹脂インタポーザ２の表面３と裏面１０との間を貫通する導電性のビア（図示せず）を介して、演算チップ４の裏面バンプ１９（後述）に電気的に接続されている。
【００２３】
演算チップ４、Ｓｉインタポーザ５およびメモリチップ６は、この実施形態では、互いに同じ大きさで形成されており、互いに側面が揃うように整って積層されている。これらのチップのサイズは、１０ｍｍ角であり、たとえば、６ｍｍ角〜１０ｍｍ角であってもよい。樹脂インタポーザ２よりも小さく、チップの厚さは、０．０５ｍｍであり、たとえば、０．０４ｍｍ〜０．０６ｍｍであってもよい。
【００２４】
これら複数の半導体チップ４〜６のうち、最上層の第２半導体装置としてのメモリチップ６と樹脂インタポーザ２との間にある半導体装置としての演算チップ４には、図２に示すように、論理（Logic）・制御回路１２が組み込まれている。論理・制御回路１２には、電子部品１の電源系配線８および信号系配線９が接続されている。また、演算チップ４には、その表面１３に当該論理・制御回路１２を構成するトランジスタ（たとえばＣＭＯＳトランジスタ）、ダイオード、抵抗、キャパシタなどの複数の半導体素子が形成されている。つまり、演算チップ４では、メモリチップ６に対向する表面１３が素子形成面であり、この素子形成面１３が上方に向く姿勢で演算チップ４が樹脂インタポーザ２に積層されている。
【００２５】
また、演算チップ４および半導体装置としてのＳｉインタポーザ５には、それぞれ表面１３，１５と裏面１４，１６との間を貫通する複数の貫通電極１７，１８が形成されており、各貫通電極１７，１８の裏面１４，１６側の端部に１つずつ裏面バンプ１９，２０が設けられている。裏面バンプ１９，２０は、たとえば、半田などの金属材料を用いてボール状に形成されている。また、演算チップ４の裏面バンプ１９は、表面１３上の半導体素子に電気的に接続されている。
【００２６】
一方、最上層のメモリチップ６には、メモリセルアレイ２１（この実施形態では、ＳＲＡＭ：Static Random Access Memoryのセルアレイ）および制御回路２２が組み込まれており、これらの回路２１，２２には、電子部品１の電源系配線８および信号系配線９が接続されている。具体的には、制御回路２２は電源系配線８によりメモリセルアレイ２１に接続されており、メモリセルアレイ２１は信号系配線９により演算チップ４の論理・制御回路１２に接続されている。また、メモリチップ６には、その裏面２３に当該メモリセルアレイ２１および制御回路２２を構成するトランジスタ、ダイオード、抵抗、キャパシタなどの複数の半導体素子が形成されている。つまり、メモリチップ６では、演算チップ４に対向する裏面２３が素子形成面であり、この素子形成面２３が下方に向く姿勢でメモリチップ６が樹脂インタポーザ２に積層されている。また、メモリチップ６には、その裏面２３に複数の裏面バンプ２４が設けられている。裏面バンプ２４は、たとえば、半田などの金属材料を用いてボール状に形成されている。この裏面バンプ２４は、裏面２３上の半導体素子に電気的に接続されている。
【００２７】
そして、メモリチップ６の裏面バンプ２４は、Ｓｉインタポーザ５の貫通電極１８および裏面バンプ２０により中継されて、ピッチの異なる演算チップ４の貫通電極１７および裏面バンプ１９に電気的に接続されている。これにより、積層配置された複数の半導体チップが互いに電気的に接続され、樹脂インタポーザ２の外部端子１１に電気的に接続されることとなる。
【００２８】
なお、この実施形態では、演算チップ４とメモリチップ６との端子ピッチが互いに異なるので、これらの間に電気的な中継を担うＳｉインタポーザ５を配置しているが、当該端子ピッチが全く同じである場合には、Ｓｉインタポーザ５は省略されていてもよい。
樹脂パッケージ７（たとえば、エポキシ樹脂）は、樹脂インタポーザ２の裏面１０を露出させるように、樹脂インタポーザ２の表面３側のみを封止しており、演算チップ４、Ｓｉインタポーザ５およびメモリチップ６が露出しないようにこれらのチップの全体を覆っている。また、樹脂パッケージ７は、その側面が樹脂インタポーザ２の側面と面一に揃うように形成されている。
【００２９】
図３は、図１のＳｉインタポーザ５および演算チップ４における貫通電極１７，１８のレイアウト図である。
図１で示したように、この実施形態では、積層配置された複数の半導体チップ４〜６のうち、演算チップ４およびＳｉインタポーザ５それぞれに貫通電極１７，１８が設けられている。
【００３０】
演算チップ４では、たとえば、複数列（この実施形態では、２列）に整列した貫通電極１７が、演算チップ４の中央部２５を取り囲む周縁部２６に沿って環状に設けられている。なお、演算チップ４の貫通電極１７は、たとえば、それぞれが不規則にランダムに配置され、全体として演算チップ４の周縁部２６に沿った環状に設けられていてもよい。
これにより、演算チップ４は、貫通電極１７を利用して、メモリチップ６に電力および電気信号を送ることができる。つまり、演算チップ４の貫通電極１７が電子部品１の電源系配線８および信号系配線９を形成し、当該配線８，９により電力および信号が送られる。
【００３１】
一方、Ｓｉインタポーザ５では、たとえば、単列の貫通電極１８が、Ｓｉインタポーザ５の中央部２７を取り囲む周縁部２８に沿って環状に設けられているとともに（以下、これらの貫通電極１８を周縁部２８の貫通電極１８ということがある。）、当該周縁部２８に取り囲まれた中央部２７に、複数の貫通電極１８を１つの群として、複数の群が行列状に配置されている（以下、これらの貫通電極１８を中央部２７の貫通電極１８ということがある。）。
【００３２】
周縁部２８の各貫通電極１８は、この実施形態では、それぞれ演算チップ４の各貫通電極１７と同一直線上に配置されるように、演算チップ４の各貫通電極１７の直上に配置されている。
中央部２７の貫通電極１８の各群では、行列状に配置された複数の貫通電極１８を１つのブロックとして、複数のブロックが設けられている。具体的には、この実施形態では、８つの群が２行４列（２×４）の行列状に配置されており、各群では、４行６４列（４×６４）の貫通電極１８を１ブロックとして２ブロック、つまり１つの群当たり合計５１２個の貫通電極１８が設けられている。この群が８群あるので、Ｓｉインタポーザ５全体では、４０９６個（５１２個×８群）の貫通電極１８が設けられている。
【００３３】
これにより、Ｓｉインタポーザ５は、たとえば、中央部２７の貫通電極１８を利用して、演算チップ４（たとえば、論理・制御回路１２）とメモリチップ６（たとえば、メモリセルアレイ２１）との間に中央部２７の貫通電極１８の数のビット数（この実施形態では、４０９６ビット）の電気信号を中継することができる。つまり、Ｓｉインタポーザ５の中央部２７の貫通電極１８が電子部品１の信号系配線９を形成し、当該配線９により電気信号が双方向に送受信される。なお、貫通電極１８の配置や数は、本発明の一例に過ぎず、それぞれの電子部品１の設計に合わせて適宜変更することができる。たとえば、１ブロック２５６個の貫通電極１８は、８行３２列（８×３２）の行列状に配置されていてもよい。
【００３４】
また、Ｓｉインタポーザ５は、たとえば、周縁部２８の貫通電極１８を利用して、演算チップ４からメモリチップ６（たとえば、制御回路２２）へと送られる電力および電気信号を中継することができる。つまり、Ｓｉインタポーザ５の周縁部２８の貫通電極１８が電子部品１の電源系配線８および信号系配線９を形成し、当該配線８，９により電力および電気信号が送られる。
【００３５】
図４は、図１の演算チップ４の構造（第１実施形態）を説明するための模式的な断面図であって、貫通電極１７が設けられた部分を拡大して示している。図５は、図４の下側絶縁膜４３の形状の例を示す図であって、図４の破線Ｖで囲まれた部分を拡大して示している。図６は、図４の表面パッド３７（下側パッド４０）のレイアウト図である。
演算チップ４は、演算チップ４の本体をなす半導体基板としてのＳｉ基板２９と、ゲート絶縁膜３０と、層間絶縁膜３１（第１〜第５層間絶縁膜３２〜３６）と、表面電極としての表面パッド３７と、貫通電極１７と、ビア絶縁膜３８と、表面バンプ３９と、裏面バンプ１９とを含む。
【００３６】
Ｓｉ基板２９は、たとえば、厚さ３０μｍ〜５０μｍの基板であり、その表面１３（素子形成面）に、ゲート絶縁膜３０および複数（この実施形態では、５層）の層間絶縁膜３１がこの順に積層されている。ゲート絶縁膜３０は、当該表面１３に形成されたトランジスタ（図示せず）が有するゲート絶縁膜と一体な膜であり、当該トランジスタとの間で共有されている。
【００３７】
表面パッド３７は、四角形状に形成されており、この実施形態では、複数の層間絶縁膜に埋め込まれた多層パッド構造を有している。
具体的には、表面パッド３７は、縦横の長さＬ１×Ｌ２が２５．７μｍ×２５．７μｍのサイズ（デザインルールが９０ｎｍの場合）の正方形状に形成されており、第３層間絶縁膜３４の上下に配置された第２層間絶縁膜３３および第４層間絶縁膜３５それぞれに表面パッド３７が埋め込まれた２層パッド構造を有している。この表面パッド３７は、第２層間絶縁膜３３に埋め込まれた下側パッド４０と、第４層間絶縁膜３５に埋め込まれた上側パッド４１とを含む。なお、表面パッド３７は、長方形状や円形状であってもよい。
【００３８】
下側パッド４０は、第２層間絶縁膜３３にストライプパターンで選択的に埋め込まれたダマシン構造を有する、銅（Ｃｕ）からなる下側配線４２と、互いに隣り合う下側配線４２間に第２層間絶縁膜３３の一部を用いて配置されたストライプ状の下側絶縁膜４３（配線間絶縁膜）とを含む。
これにより、下側パッド４０では、下側配線４２と下側絶縁膜４３が、交互にストライプ状に配列されている。下側配線４２の幅Ｗ１は１μｍ程度、下側絶縁膜４３の幅Ｗ２は０．３μｍ程度、下側パッド４０の厚さＴ１は０．３μｍ程度である。幅Ｗ１および幅Ｗ２については、ダマシン法により下側配線４２を第１層間絶縁膜３２に埋め込む際、下側配線４２にディッシングが生じない範囲であれば、特に制限されるものではない。
【００３９】
また、下側パッド４０において下側絶縁膜４３の形状は、図５（ａ）に示すように、貫通電極１７との接続面において下側配線４２と面一に揃っていてもよいし、図５（ｂ）に示すように、下側配線４２に対して貫通電極１７側に盛り上がっていてもよい。また、図５（ｃ）に示すように、下側配線４２に対して貫通電極１７の反対側に凹んでいてもよい。
【００４０】
また、図６に示すように、下側パッド４０は、Ｓｉ基板２９上において、ストライプ方向が規則的に同じ方向に揃っていてもよいし（図６の紙面右側の列）、縦ストライプの下側パッド４０および横ストライプの下側パッド４０が交互に配置されるなど、ストライプ方向が不規則であってもよい（図６の紙面左側の列）。
上側パッド４１も、下側パッド４０と同様に、第４層間絶縁膜３５にストライプパターンで選択的に埋め込まれたダマシン構造を有する、銅（Ｃｕ）からなる上側配線４４と、互いに隣り合う上側配線４４間に第４層間絶縁膜３５の一部を用いて配置されたストライプ状の上側絶縁膜４５（配線間絶縁膜）とを含んでいるが、上側絶縁膜４５のピッチＰ１（互いに隣り合う上側絶縁膜４５間の距離）が下側絶縁膜４３のピッチＰ２と異なっている。
【００４１】
この実施形態では、上側絶縁膜４５のピッチＰ１が下側絶縁膜４３のピッチＰ２よりも広くされていて、上側絶縁膜４５が下側配線４２の直上に、下側配線４２と同じ幅Ｗ４（＝Ｗ１）で下側配線４２の１列置きに配置されている。これにより、上側配線４４の幅Ｗ３は下側配線４２の幅Ｗ１よりも広く、たとえば、１．８μｍ程度となっている。また、上側パッド４１の厚さＴ２は０．３μｍ程度（＝Ｔ１）である。また、幅Ｗ３および幅Ｗ４については、ダマシン法により上側配線４４を第４層間絶縁膜３５に埋め込む際、上側配線４４にディッシングが生じない範囲であれば、特に制限されるものではない。
【００４２】
なお、図５（ａ）〜図５（ｃ）に示した下側絶縁膜４３の形状は上側絶縁膜４５の形状に適用することができ、図６に示した下側パッド４０のレイアウトは上側パッド４１のレイアウトに適用することができる。
そして、互いに上下に重なり合う下側パッド４０の下側配線４２と上側パッド４１の上側配線４４との間は、第３層間絶縁膜３４を貫通する複数の導電性（たとえば、タングステン（Ｗ））のビア４６を介して電気的に接続されている。
【００４３】
なお、表面パッド３７の層構造は、２層構造に限らず、たとえば、３層構造、４層構造、５層構造、それ以上の層構造であってもよい。また、表面パッド３７の配線材料は、ダマシン構造を形成することができる材料であれば、Ｃｕ以外の金属材料であってもよい。
貫通電極１７は、銅（Ｃｕ）からなり、Ｓｉ基板２９の裏面１４から当該裏面１４に対して垂直にＳｉ基板２９、ゲート絶縁膜３０および第１層間絶縁膜３２を貫通して表面パッド３７（下側パッド４０）に達する円柱状に形成されている。これにより、貫通電極１７および表面パッド３７は、Ｓｉ基板２９の厚さ方向に同一直線上に並んでいる。なお、貫通電極１７および表面パッド３７は、必ずしも同一直線上に並んでいる必要はなく、たとえば、表面パッド３７は、貫通電極１７のＳｉ基板２９の表面１３側端部から再配線等を引き回すことにより、平面視において貫通電極１７から離れた位置に配置されていてもよい。
【００４４】
貫通電極１７は、表面パッド３７の縦横の長さＬ１，Ｌ２よりも小さい径Ｒ１を有しており、図４の破線で示すように、Ｓｉ基板２９の表面１３側から見たときの平面視において表面パッド３７の外周よりも内側に収まっている。この実施形態では、たとえば、Ｒ１＝１０μｍ程度である。
これにより、各表面パッド４０，４１は、平面視で貫通電極１７に重なって対向する、貫通電極１７と同じ平面形状の対向部４７，４８と、対向部４７，４８から横方向（Ｓｉ基板２９の表面１３に沿う方向）に張り出し、対向部４７，４８を取り囲む張出部４９，５０とを含む。
【００４５】
そして、この実施形態では、ゲート絶縁膜３０と層間絶縁膜３１（第１層間絶縁膜３２）との間に、多層表面パッド３７のうち貫通電極１７に直接接続された下側パッド４０の張出部４９の下側配線４２と同一のストライプパターンの電極層５１が形成されている。
電極層５１は、この実施形態では、当該表面１３に形成されたトランジスタ（図示せず）が有するゲート電極（図示せず）と同一層に形成された層であり、Ｓｉ基板２９と同一材料であるポリシリコンからなる。なお、基板としてＳｉ基板２９以外のものを用いる場合には、電極層５１の材料も、当該採用された基板の材料と同じものに変更することが好ましい。
【００４６】
ビア絶縁膜３８は、酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなり、貫通電極１７とＳｉ基板２９との間およびＳｉ基板２９の裏面１４全域に設けられている。
この実施形態では、ビア絶縁膜３８は、貫通電極１７の側面（周面）を覆う本体部５２およびＳｉ基板２９の裏面１４を覆う裏面部５３を含む。ビア絶縁膜３８の本体部５２およびビア絶縁膜３８の裏面部５３は、互いに一体的に形成されている。
【００４７】
また、ビア絶縁膜３８は、本体部５２が裏面部５３に比べて薄く形成されている。たとえば、本体部５２の厚さが０．５μｍ程度であり、裏面部５３の厚さが１μｍ程度である。
表面バンプ３９は、第５層間絶縁膜３６上において、貫通電極１７との間に表面パッド３７が置かれるように、貫通電極１７の直上位置に１つずつ配置されている。各表面バンプ３９は、互いに上下に重なり合う上側パッド４１に対して、第４層間絶縁膜３５を貫通する導電性（たとえば、タングステン（Ｗ））のビア５４を介して電気的に接続されている。また、各表面バンプ３９は、演算チップ４上にＳｉインタポーザ５を積層した状態において、たとえば、Ｓｉインタポーザ５の裏面バンプ２０（図１参照）と接続される。
【００４８】
裏面バンプ１９は、前述のように、各貫通電極１７の裏面１４側の端部に１つずつ設けられている。
以上説明した演算チップ４の構成は、この実施形態では、貫通電極１８が形成された半導体基板（Ｓｉ基板）であるＳｉインタポーザ５にも採用されている。
図７Ａ〜図７Ｑは、図４の演算チップ４の製造工程の一部を工程順に示す図である。
【００４９】
図４の演算チップ４を製造するには、まず、公知の方法により、Ｓｉ基板２９の表面１３に対してイオン注入（たとえば、ｎ型イオン、ｐ型イオン）することにより、半導体素子を構成する不純物領域が形成される。
次に、図７Ａに示すように、熱酸化法によりゲート絶縁膜３０を形成する。
次に、図７Ｂに示すように、ＣＶＤ法により、ゲート絶縁膜３０上にポリシリコンを堆積させることにより、半導体素子（ＭＯＳＦＥＴ）のゲート電極と同時に電極層５１を形成する。ゲート電極と同一工程で電極層５１を形成することにより、工程数を増加させずに、効率よく電極層５１を形成することができる。
【００５０】
次に、図７Ｃに示すように、電極層５１上に、下側絶縁膜４３を形成すべき領域に開口を有するフォトレジスト５５（たとえば、ポリイミド等の有機レジスト）を形成する。
次に、図７Ｄに示すように、フォトレジスト５５を介して電極層５１にエッチングガスを供給して、電極層５１をドライエッチングする。これにより、電極層５１が、下側配線４２と同一パターン（下側絶縁膜４３と反対パターン）に形成される。その後、図７Ｅに示すように、フォトレジスト５５が除去される。
【００５１】
次に、図７Ｆに示すように、ダマシン法、フォトリソグラフィ、ＣＶＤ等の公知の半導体装置の製造技術により、ゲート絶縁膜３０上に、第１層間絶縁膜３２、第２層間絶縁膜３３、下側パッド４０、第３層間絶縁膜３４、ビア４６、第４層間絶縁膜３５、上側パッド４１、第５層間絶縁膜３６、ビア５４および表面バンプ３９を順に形成する。この際、下側パッド４０は、ダマシン法により、下側配線４２が電極層５１と同一パターンとなり、下側絶縁膜４３が電極層５１と反対パターンとなるように形成する。
【００５２】
次に、図７Ｇに示すように、Ｓｉ基板２９の表面１３側に、接着剤５６を介してガラス基板５７（支持体）を貼り付ける。
次に、図７Ｈに示すように、たとえば、グラインダなどを用いて、Ｓｉ基板２９を裏面１４側から研削して（バックグラインド）、Ｓｉ基板２９を薄化する。この実施形態では、７００μｍ以上のＳｉ基板２９が３０μｍ〜５０μｍになるまで研削する。
【００５３】
次に、図７Ｉに示すように、Ｓｉ基板２９の裏面１４に、貫通電極１７を形成すべき領域に開口を有するフォトレジスト５８（たとえば、ポリイミド等の有機レジスト）を形成する。
次に、図７Ｊに示すように、フォトレジスト５８を介してＳｉ基板２９にエッチングガスを供給して、Ｓｉ基板２９を裏面１４側からドライエッチングする。このエッチングは、Ｓｉ基板２９、ゲート絶縁膜３０および電極層５１の一部（フォトレジスト５８の開口直下に配置された部分）が除去されるまで続けられる。これにより、Ｓｉ基板２９に貫通孔５９が形成される。同時に、各貫通孔５９内には、エッチング残渣として、第１層間絶縁膜３２における下側絶縁膜４３の直上の部分が、貫通孔５９の開口端へ向かって下側絶縁膜４３と同一パターンで突出する突出部６０として残ることとなる。
【００５４】
次に、図７Ｋに示すように、貫通孔５９を形成したときのフォトレジスト５８を残した状態で、貫通孔５９の底面を形成する第１層間絶縁膜３２をエッチングする。このエッチングは、下側配線４２が露出するまで続けられる。この際、第１層間絶縁膜３２の突出部６０がそれ以外の部分に対して下側絶縁膜４３と同一パターンのエッチングマージンとなるので、下側配線４２が露出した時点で、突出部６０の一部がエッチング残渣として下側絶縁膜４３上に残る。
【００５５】
次に、図７Ｌに示すように、フォトレジスト５８を除去した後、ＣＶＤ法により、貫通孔５９内に露出している表面パッド３７（下側パッド４０）および突出部６０が覆われるように、貫通孔５９の内面およびＳｉ基板２９の裏面１４にビア絶縁膜３８を形成する。この際、エッチング残渣の突出部６０の直上位置（下側絶縁膜４３の直上位置）においては、ビア絶縁膜３８が、当該突出部６０の高さ分、下側絶縁膜４３と同一パターンで嵩上げされる。すなわち、ビア絶縁膜３８において、突出部６０がある部分とない部分との間に段差が生じる。
【００５６】
次に、図７Ｍに示すように、エッチバックにより、ビア絶縁膜３８における貫通孔５９の開口端に臨む部分、具体的には、表面パッド３７上の部分（底面部分）を選択的に除去する。これにより、貫通孔５９内に、下側配線４２と下側絶縁膜４３とがほぼ面一に揃った下側パッド４０が再度露出する。
次に、図７Ｎに示すように、ビア絶縁膜３８の表面にシード膜（たとえば、Ｔｉ／Ｃｕの積層膜）をスパッタした後、電解めっきにより、当該シード膜からＣｕをめっき成長させる。これにより、貫通孔５９におけるビア絶縁膜３８の内側にＣｕ（電極材料）が充填され、表面パッド３７に電気的に接続された貫通電極１７が形成される。
【００５７】
次に、図７Ｏに示すように、研磨面がビア絶縁膜３８の裏面部５３と面一に揃うまで、貫通電極１７の余分な部分（貫通孔５９外の部分）をＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法により研磨して除去する。
その後、図７Ｐに示すように、各貫通電極１７に１つずつ裏面バンプ１９を形成し、図７Ｑに示すように、Ｓｉ基板２９をガラス基板５７から取り外すことにより、図４の演算チップ４が得られる。
【００５８】
以上、この実施形態の方法によれば、図７Ａ〜図７Ｅの工程を経て、多層表面パッド３７のうち貫通電極１７に直接接続された（貫通孔５９内に露出する）下側パッド４０の下側絶縁膜４３と反対パターンの電極層５１を予め形成する。
これにより、図７Ｊの工程において、Ｓｉ基板２９を裏面１４から表面パッド３７へ向かってエッチングして貫通孔５９を形成したときに、エッチング残渣として、第１層間絶縁膜３２における下側絶縁膜４３の直上の部分を、貫通孔５９の開口端へ向かって下側絶縁膜４３と同一パターンで突出する突出部６０として残すことができる。
【００５９】
そのため、図７Ｌの工程において、ビア絶縁膜３８を形成したときに、エッチング残渣の突出部６０の直上位置（下側絶縁膜４３の直上位置）においては、ビア絶縁膜３８が、当該突出部６０の高さ分、下側絶縁膜４３と同一パターンで嵩上げされる。すなわち、ビア絶縁膜３８において、突出部６０がある部分とない部分との間に段差が生じる。
そして、図７Ｍのビア絶縁膜３８のエッチング工程においては、ビア絶縁膜３８の嵩上げされた部分が嵩上げされていない部分に対して下側絶縁膜４３と同一パターンのエッチングマージンとなるので、下側配線４２が露出するまでビア絶縁膜３８をエッチングしても、当該エッチングによる下側絶縁膜４３のエッチング量をなくすか、少なくすることができる。
【００６０】
その結果、下側パッド４０の下側配線４２間における段差の発生を抑えることができる。よって、図７Ｎの工程においてＣｕをめっき成長させる際、貫通孔５９の内面にシード膜を良好な被膜性で形成することができるので、ボイド（空孔）の発生を防止することができる。
逆を言えば、ビア絶縁膜３８のエッチング時に、下側絶縁膜４３がビア絶縁膜３８と共にエッチング除去されて、下側配線４２間に段差が生じると、この段差部分にめっき成長のためのシード膜が良好に形成されないおそれがある。その結果、めっき成長後の貫通電極１７には、下側配線４２間の段差部分付近にボイドが発生することがある。
【００６１】
これに対し、図４の演算チップ４では、貫通電極１７におけるボイドの発生を防止することができるので、従来に比べて信頼性の高い半導体チップを実現することができる。
そして、図１の電子部品１によれば、上記したようなボイド（空孔）の発生を防止できる演算チップ４およびＳｉインタポーザ５が搭載されているので、従来に比べて信頼性の高い電子部品を実現することができる。
【００６２】
図８は、図１の演算チップ４の構造（第２実施形態）を説明するための模式的な断面図であって、貫通電極１７が設けられた部分を拡大して示している。なお、図８において、前述の図４に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
図８の演算チップ４では、電極層５１が形成されておらず、代わりに、下側パッド４０の張出部４９の下側絶縁膜４３と同一のストライプパターンでＳｉ基板２９の表面１３に対して裏面１４側に選択的に埋め込まれた絶縁層６１が形成されている。
【００６３】
図９Ａ〜図９Ｐは、図８の演算チップの製造工程の一部を工程順に示す図である。
図８の演算チップ４を製造するには、まず、図９Ａに示すように、７００μｍ以上の厚さを有するＳｉ基板２９を表面１３に、下側絶縁膜４３と同一パターン（下側配線４２と反対パターン）の開口を有するフォトレジスト６２を形成する。
次に、図９Ｂに示すように、フォトレジスト６２を介してＳｉ基板２９にエッチングガスを供給して、Ｓｉ基板２９を表面１３側からドライエッチングする。これにより、当該パターンのシャロートレンチ６３を形成する。
【００６４】
次に、図９Ｃに示すように、当該シャロートレンチ６３にＣＶＤ法によりＳｉＯ２（絶縁材料）を充填する。
次に、図９Ｄに示すように、シャロートレンチ６３外のＳｉＯ２をＣＭＰで除去することにより、Ｓｉ基板２９に埋め込まれた絶縁層６１が形成される。この図９Ａ〜図９Ｄで示した絶縁層６１を形成する工程は、たとえば、ＳＴＩ（Shallow Trench Isolation：シャロートレンチアイソレーション）工程によりＳｉ基板２９に複数の素子分離領域を形成する工程と同一工程で行うことができるので、効率よく絶縁層６１を形成することができる。その後、熱酸化によりゲート絶縁膜３０を形成する。
【００６５】
次に、図９Ｅに示すように、ダマシン法、フォトリソグラフィ、ＣＶＤ等の公知の半導体装置の製造技術により、ゲート絶縁膜３０上に、第１層間絶縁膜３２、第２層間絶縁膜３３、下側パッド４０、第３層間絶縁膜３４、ビア４６、第４層間絶縁膜３５、上側パッド４１、第５層間絶縁膜３６、ビア５４および表面バンプ３９を順に形成する。この際、下側パッド４０は、ダマシン法により、下側配線４２が絶縁層６１と反対パターンとなり、下側絶縁膜４３が絶縁層６１と同一パターンとなるように形成する。
【００６６】
次に、図９Ｆに示すように、Ｓｉ基板２９の表面１３側に、接着剤５６を介してガラス基板５７（支持体）を貼り付ける。
次に、図９Ｇに示すように、たとえば、グラインダなどを用いて、Ｓｉ基板２９を裏面１４側から研削して（バックグラインド）、Ｓｉ基板２９を薄化する。この実施形態では、７００μｍ以上のＳｉ基板２９が３０μｍ〜５０μｍになるまで研削する。
【００６７】
次に、図９Ｈに示すように、Ｓｉ基板２９の裏面１４に、貫通電極１７を形成すべき領域に開口を有するフォトレジスト５８（たとえば、ポリイミド等の有機レジスト）を形成する。
次に、図９Ｉに示すように、フォトレジスト５８を介してＳｉ基板２９にエッチングガスを供給して、Ｓｉ基板２９を裏面１４側からドライエッチングする。このエッチングは、Ｓｉ基板２９が除去され、絶縁層６１およびゲート絶縁膜３０が露出するまで続けられる。これにより、Ｓｉ基板２９に貫通孔５９が形成される。同時に、各貫通孔５９内には、絶縁層６１が、貫通孔５９の開口端へ向かって下側絶縁膜４３と同一パターンで突出する突出部として残ることとなる。
【００６８】
次に、図９Ｊに示すように、貫通孔５９を形成したときのフォトレジスト５８を残した状態で、貫通孔５９の底面を形成する絶縁層６１、ゲート絶縁膜３０および第１層間絶縁膜３２をエッチングする。このエッチングは、下側配線４２が露出するまで続けられる。この際、絶縁層６１が形成されている部分がそれ以外の部分に対して下側絶縁膜４３と同一パターンのエッチングマージンとなるので、下側配線４２が露出した時点で、第１層間絶縁膜３２における絶縁層６１の直下の部分が突出部６４（エッチング残渣）として下側絶縁膜４３上に残る。
【００６９】
次に、図９Ｋに示すように、フォトレジスト５８を除去した後、ＣＶＤ法により、貫通孔５９内に露出している表面パッド３７（下側パッド４０）および突出部６４（第１層間絶縁膜３２）が覆われるように、貫通孔５９の内面およびＳｉ基板２９の裏面１４にビア絶縁膜３８を形成する。この際、突出部６４の直上位置（下側絶縁膜４３の直上位置）においては、ビア絶縁膜３８が、当該突出部６０の高さ分、下側絶縁膜４３と同一パターンで嵩上げされる。すなわち、ビア絶縁膜３８において、突出部６４がある部分とない部分との間に段差が生じる。
【００７０】
次に、図９Ｌに示すように、エッチバックにより、ビア絶縁膜３８における貫通孔５９の開口端に臨む部分、具体的には、表面パッド３７上の部分（底面部分）を選択的に除去する。これにより、貫通孔５９内に、下側配線４２と下側絶縁膜４３とがほぼ面一に揃った下側パッド４０が再度露出する。
次に、図９Ｍに示すように、ビア絶縁膜３８の表面にシード膜（たとえば、Ｔｉ／Ｃｕの積層膜）をスパッタした後、電解めっきにより、当該シード膜からＣｕをめっき成長させる。これにより、貫通孔５９におけるビア絶縁膜３８の内側にＣｕ（電極材料）が充填され、表面パッド３７に電気的に接続された貫通電極１７が形成される。
【００７１】
次に、図９Ｎ示すように、研磨面がビア絶縁膜３８の裏面部５３と面一に揃うまで、貫通電極１７の余分な部分（貫通孔５９外の部分）をＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法により研磨して除去する。
その後、図９Ｏに示すように、各貫通電極１７に１つずつ裏面バンプ１９を形成し、図９Ｐに示すように、Ｓｉ基板２９をガラス基板５７から取り外すことにより、図８の演算チップ４が得られる。
【００７２】
以上、この実施形態の方法によれば、図９Ａ〜図９Ｄの工程を経て、多層表面パッド３７のうち貫通電極１７に直接接続された（貫通孔５９内に露出する）下側パッド４０の下側絶縁膜４３と同一パターンの絶縁層６１を予め形成する。
これにより、図９Ｉの工程において、Ｓｉ基板２９を裏面１４から表面パッド３７へ向かってエッチングして貫通孔５９を形成したときに、エッチング残渣として、絶縁層６１を、貫通孔５９の開口端へ向かって下側絶縁膜４３と同一パターンで突出するエッチング残渣として残すことができる。
【００７３】
そのため、図９Ｋの工程において、ビア絶縁膜３８を形成したときに、エッチング残渣の突出部６４の直上位置（下側絶縁膜４３の直上位置）においては、ビア絶縁膜３８が、当該突出部６４の高さ分、下側絶縁膜４３と同一パターンで嵩上げされる。すなわち、ビア絶縁膜３８において、突出部６４がある部分とない部分との間に段差が生じる。
そして、図９Ｌのビア絶縁膜３８のエッチング工程においては、ビア絶縁膜３８の嵩上げされた部分が嵩上げされていない部分に対して下側絶縁膜４３と同一パターンのエッチングマージンとなるので、下側配線４２が露出するまでビア絶縁膜３８をエッチングしても、当該エッチングによる下側絶縁膜４３のエッチング量をなくすか、少なくすることができる。
【００７４】
その結果、下側パッド４０の下側配線４２間における段差の発生を抑えることができる。よって、図９Ｍの工程においてＣｕをめっき成長させる際、貫通孔５９の内面にシード膜を良好な被膜性で形成することができるので、ボイド（空孔）の発生を防止することができる。
これにより、図８の演算チップ４では、貫通電極１７におけるボイドの発生を防止することができ、従来に比べて信頼性の高い半導体チップを実現することができる。
【００７５】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
たとえば、貫通電極１７は、楕円柱状、四角柱状、六角柱状、八角柱状であってもよい。
また、図７Ａ〜図７Ｅの工程において、電極層５１を形成する工程は、半導体素子（ＭＯＳＦＥＴ）のゲート電極を形成する工程と同一工程で行ったが、独立して行ってもよい。
【００７６】
また、図９Ａ〜図９Ｄの工程において、絶縁層６１を形成する工程は、Ｓｉ基板２９に素子分離領域を形成するＳＴＩ工程と同一工程で行ったが、独立して行ってもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００７７】
１    電子部品
２    樹脂インタポーザ
３    （樹脂インタポーザの）表面
４    演算チップ
５    Ｓｉインタポーザ
６    メモリチップ
７    樹脂パッケージ
８    電源系配線
９    信号系配線
１０  （樹脂インタポーザの）裏面
１１  外部端子
１２  論理・制御回路
１３  （演算チップの）表面
１４  （演算チップの）裏面
１５  （Ｓｉインタポーザの）表面
１６  （Ｓｉインタポーザの）裏面
１７  （演算チップの）貫通電極
１８  （Ｓｉインタポーザの）貫通電極
１９  （演算チップの）裏面バンプ
２０  （Ｓｉインタポーザの）裏面バンプ
２１  メモリセルアレイ
２２  制御回路
２３  （メモリチップの）裏面
２４  （メモリチップの）裏面バンプ
２５  （演算チップの）中央部
２６  （演算チップの）周縁部
２７  （Ｓｉインタポーザの）中央部
２８  （Ｓｉインタポーザの）周縁部
２９  Ｓｉ基板
３０  ゲート絶縁膜
３１  層間絶縁膜
３２  第１層間絶縁膜
３３  第２層間絶縁膜
３４  第３層間絶縁膜
３５  第４層間絶縁膜
３６  第５層間絶縁膜
３７  表面パッド
３８  ビア絶縁膜
３９  表面バンプ
４０  下側パッド
４１  上側パッド
４２  下側配線
４３  下側絶縁膜
４４  上側配線
４５  上側絶縁膜
４６  ビア
４７  （下側パッドの）対向部
４８  （上側パッドの）対向部
４９  （下側パッドの）張出部
５０  （上側パッドの）張出部
５１  電極層
５２  （ビア絶縁膜の）本体部
５３  （ビア絶縁膜の）裏面部
５４  ビア
５５  フォトレジスト
５６  接着剤
５７  ガラス基板
５８  フォトレジスト
５９  貫通孔
６０  突出部
６１  絶縁層
６２  フォトレジスト
６３  シャロートレンチ
６４  突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
0005998459.tif 000009
【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
0005998459.tif 000011
【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
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【図７Ｇ】
0005998459.tif 000014
【図７Ｈ】
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【図７Ｉ】
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【図７Ｊ】
0005998459.tif 000017
【図７Ｋ】
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【図７Ｌ】
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【図７Ｍ】
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【図７Ｎ】
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【図７Ｏ】
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【図７Ｐ】
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【図７Ｑ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図９Ｆ】
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【図９Ｇ】
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【図９Ｈ】
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【図９Ｉ】
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【図９Ｊ】
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【図９Ｋ】
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【図９Ｌ】
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【図９Ｍ】
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【図９Ｎ】
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【図９Ｏ】
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【図９Ｐ】
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