【事件の表示】
　特願２００３−　５５７４９「真空装置および真空ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　９月２４日出願公開、特開２００４−２６３６３５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
【１】手続の経緯
　
　本願は、平成１５年３月３日の出願であって、平成２１年１１月１６日（起案日）付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成２２年２月１２日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同日付けで明細書に対する手続補正がなされたものである。
　その後、当審において、平成２２年８月１８日（起案日）付けで審尋がなされ、平成２２年１０月２２日に審尋に対する回答書が提出されたものである。
　
【２】補正の却下の決定
　
［結論］
　平成２２年２月１２日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
　
１．本件補正の内容
　
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の請求項１を引用する請求項２に対し、以下のような補正を含むものである。なお、下線は、審判請求人が付した補正箇所である。
　
（１）本件補正前の請求項１及び２（平成２１年８月２８日付け手続補正）
　「【請求項１】　ガス導入口とガス排出口を備えた真空容器と、前記真空容器に接続され、該真空容器内部を減圧すると共に減圧状態を保つための機械構造の複数段の真空ポンプとを有する真空装置において、
　前記真空ポンプのうちの最後段の真空ポンプの吐出口に接続され、該最後段の真空ポンプの減圧動作を補助し、該吐出口からの逆拡散を抑制するための非機械構造の補助ポンプを有し、
　前記補助ポンプは、その駆動ガスとして不活性ガスを、前記真空装置の稼動時は常時、０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａの圧力で導入することを特徴とする真空装置。
　【請求項２】　前記補助ポンプは、前記最後段のポンプの前記吐出口に付加的に取り付けられたエジェクタポンプである請求項１に記載の真空装置。」
　
（２）本件補正後の請求項１及び２（平成２２年２月１２日付け手続補正）
　「【請求項１】　ガス導入口とガス排出口を備えた真空容器と、前記真空容器に接続され、該真空容器内部を減圧すると共に減圧状態を保つための機械構造の複数段の真空ポンプとを有する真空装置において、
　前記真空ポンプのうちの最後段の真空ポンプの吐出口に接続され、該最後段の真空ポンプの減圧動作を補助し、該吐出口からの逆拡散を抑制するための非機械構造の補助ポンプを有し、
　
前記最後段の真空ポンプは、吸入圧力１０Ｔｏｒｒ未満で稼動し、
　【請求項２】　前記補助ポンプは、前記最後段のポンプの前記吐出口に付加的に取り付けられたエジェクタポンプである請求項１に記載の真空装置。」
　
２．補正の適否
　
　上記補正は、請求項１を引用する請求項２（以下、単に「請求項２」という。）に記載した発明を特定するために必要な事項について、本願の願書に最初に添付した明細書の段落【００４９】、【００６３】、及び図５の記載に基づき、本件補正前の真空装置について「前記最後段の真空ポンプは、吸入圧力１０Ｔｏｒｒ未満で稼動し」との限定を付加するものである。
　すなわち、上記補正は、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものとして認めることができ、かつ、補正前の各請求項に記載した発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題を変更することのない範囲内において行われたものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するものである。
　したがって、上記補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定された特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するものであり、かつ、特許法第１７条の２第３項に規定された新規事項追加禁止に違反するものではない。
　以上のとおり、上記補正は特許請求の範囲の減縮を目的とする補正を含むものであるから、本件補正後の請求項２に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
３．本願補正発明について
　
３−１．本願補正発明
　
　本願補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記「【２】１．（２）」に示した本件補正後の特許請求の範囲の請求項２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
　
３−２．引用刊行物とその記載事項
　
　刊行物１：特開平９−１２５２２７号公報
　
［刊行物１］
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物１（特開平９−１２５２２７号公報）には、「真空排気装置及び真空処理装置」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。なお、数字の上付き及び下付きの添字は半角数字で表記した。
　
（ア）「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空排気装置及び真空処理装置に関する。」
　
（イ）「【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述のドライポンプ１７では、気体を圧縮して排気を行っているが、最も大気圧側の第４ポンプ段１７ｄにて大気圧から１００Ｔｏｒｒ程度まで減圧する際に、気体の圧縮に要する仕事量は極めて大きい。従って大きな仕事量を得るために大型のモータが必要となる他、気体の圧縮に伴い発生する熱量も大きくなるため冷却装置が必要となる。・・・」
　
（ウ）「【０００９】本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、例えば粗引き用に用いる真空ポンプの小型化を図ることにあり、また他の目的は前記真空ポンプを真空処理室の近傍に設置することができる真空処理装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ガスの移送空間を形成するためのポンプ段を排気方向に複数接続し、前段の移送空間内にガスを吸い込むときには当該移送空間と後段の移送空間とは隔離され、最前段の移送空間から最後段の移送空間に順次ガスを受け渡すことにより最後段のポンプ段から最前段のポンプ段に向けて順次圧力を低くする真空ポンプよりなる真空排気装置において、最後段のポンプ段の排気路中に排気方向と同じ方向に吸引用ガスを噴射させるガス噴射手段を設けたことを特徴とする。」
　
（エ）「【００１３】請求項４の発明は、処理ガスを導入して真空雰囲気下で被処理体に対して真空処理を行うための真空処理室と、前記真空処理室に排気路を介して接続された高真空排気用の第１の真空ポンプと、この第１の真空ポンプの後段に接続された第２の真空ポンプとを備え、前記第２の真空ポンプは、ガスの移送空間を形成するためのポンプ段を排気方向に複数接続し、前段の移送空間内にガスを吸い込むときには当該移送空間と後段の移送空間とは隔離され、最前段の移送空間から最後段の移送空間に順次ガスを受け渡すことにより最後段のポンプ段から最前段のポンプ段に向けて順次圧力を低くする真空ポンプであって、最後段のポンプ段の排気路中に排気方向と同じ方向に吸引用ガスを噴射させるガス噴射手段が設けられたことを特徴とする。」
　
（オ）「【００１６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態に係る真空処理装置の全体構成を示す略平面図であり、図２はその斜視図である。図中２は気密構造の搬送室であり、この搬送室２の中には、例えば関節アームよりなるウエハの搬送手段２１と、アライメントステージ２２やバッファステージ２３が設けられると共に、搬送室２の周囲には、２５枚のウエハＷを収納するための容器であるウエハカセットＣが載置される２個のカセット室２４、２５、及び３個の真空チャンバよりなる真空処理室３Ａ〜３Ｃが図示しないゲートバルブを介して気密に接続され、こうしてクラスタツールと呼ばれる真空処理装置が構成されている。２個のカセット室２４、２５は例えば一方が搬入用、他方が搬出用として使用され、例えば上部あるいは正面に図示しないドアが設けられていて、外部との間でカセットＣが搬入出されるように構成されている。
【００１７】前記真空処理室３Ａの下方側には、例えば図２に示すように高真空排気用の第１の真空ポンプ例えばターボ分子ポンプ４Ａが介装された排気管４１が接続され、ターボ分子ポンプ４Ａにはバイパス４２が並列に接続されている。Ｖ１〜Ｖ３はバルブである。またターボ分子ポンプ４Ａは図示しないが、ケーシング内にてロータを回転させることにより吸気口から排気口まで一気に真空排気を行う構造を有するポンプである。他の真空処理室３Ｂ、３Ｃにも夫々ターボ分子ポンプ４Ｂ、４Ｃが介装された排気管４１が接続されており、１つのターボ分子ポンプ４Ａの排気側近傍には、共通の粗引き用の第２の真空ポンプ例えばドライポンプ５が接続されている。真空処理室３Ｂ、３Ｃの真空排気系も真空処理室３Ａの真空排気系と同一構成である。
【００１８】前記ドライポンプ５は、図３（ａ）に示すように、メカニカルポンプ部Ｐ１とエジェクタポンプ部Ｐ２とから構成されている。このうちメカニカルポンプ部Ｐ１は例えば断面が長円型のケーシング５０の内部に、例えば第１ポンプ段５ａ及び第２ポンプ段５ｂの２つのポンプ段が形成されている。また第１ポンプ段５ａの図中上部には前記排気管４１が接続されると共に、第１ポンプ段５ａと第２ポンプ段５ｂとは第１移送管５１により接続されており、第２ポンプ段５ｂには第１移送管５２の吸気口が接続されている。ただし第１ポンプ段５ａにおいて、排気管４１の排気口と第１移送管５１の吸気口とは、互いに対向して配置され、また第２ポンプ段５ｂにおいて、第１移送管５１の排気口と第２移送管５２の吸気口とは互いに対向して配置されている。」
　
（カ）「【００２０】エジェクタポンプ部Ｐ２はガス噴射手段をなすものであり、メカニカルポンプ部Ｐ１の排気側に接続されている。エジェクタポンプＰ２の内部には吸引ガスを通流させる吸引ガス管７１が設けられており、この吸引ガス管７１の途中には前記第２移送管５２の排気口が開口している。また吸引ガス管７１の上流側には吸引ガス例えばＮ2 ガスの供給源であるＮ2 ガス源７２が設けられている。図中Ｖ４、Ｖ５はバルブを示しており、この第２の真空ポンプ５では、排気管４１、第１ポンプ段６１、第１移送管５１、第２ポンプ段６２、第２移送管５２、吸引ガス管７１により排気路が形成されている。第２の移送管５２の径は例えば２５ｍｍ、吸引ガス管７１の第２の移送管５２の排気口の上流側の径は例えば４０ｍｍ、排気口の下流側の径は例えば１５ｍｍである。
【００２１】次に上述の実施の形態の作用について述べる。先ずバルブＶ３を開き、バルブＶ１、Ｖ２を閉じておいて、ドライポンプ５により真空処理室３Ａ〜３Ｃ内を所定の真空度例えば１Ｔｏｒｒまで真空排気する。ドライポンプ５ではバルブＶ４、Ｖ５を開き、Ｎ2 ガス源７２より吸引ガス管７１にＮ2 ガスを例えば５ｋｇ／ｃｍ2 、２０リットル／分の流量で噴射させながら、モータＭによりロータ（６１ａ、６１ｂ）、（６２ａ、６２ｂ）を回転させて真空排気が行なわれる。」
　
（キ）「【００２３】続いてガスは図５にて直線の矢印で示すように、第１移送管５１を介して第２ポンプ段５ｂへ受け渡され、このポンプ段５ｂにおいても上述と同様に排気動作が行なわれる。即ちこのメカニカルポンプＰ１では第１ポンプ段５ａにおいて排気管４１からガスを吸気する際には、ガスはケーシング５０とロータ６１ａとの間に閉じ込められるため、このガスが存在する第１ポンプ段５ａで形成される移送空間は、第１移送管５１や第２ポンプ段５ｂにて形成される移送空間とは隔離されており、ガスが第１ポンプ段５ａから第２ポンプ段５ｂへ受け渡されることによって第２ポンプ段５ｂ、第１ポンプ段５ａの順番で圧力が低くなる。
【００２４】次いで第２ポンプ段５ｂのガスは第２移送管５２を介してエジェクタポンプ部Ｐ２へ移送されるが、エジェクタポンプ部Ｐ２では、図５に破線の矢印で示すようにＮ2 ガスが吸引ガス管７１内を５ｋｇ／ｍ2 、２０リットル／分の流量で排気側へ向けて通流しているので、このＮ2 ガスの流れにより、第２移送管５２の排気口は例えば５０〜１００Ｔｏｒｒ程度まで減圧され、第２移送管５２内のガスは吸引される。そして吸引されたガスは、Ｎ2 ガスと共に吸引ガス管７１内を流れ、ドライポンプ５の外部へ排気される。
【００２５】このようなドライポンプ５では、エジェクタポンプ部Ｐ２、第２ポンプ段５ｂ、第１ポンプ段５ａの順に、順次圧力が低くなり、例えばエジェクタポンプ部Ｐ２では大気圧から例えば５０Ｔｏｒｒまで排気され、第２ポンプ段では例えば１０Ｔｏｒｒ、第１ポンプ段では例えば１Ｔｏｒｒ程度まで夫々排気される。　このようにドライポンプ５にて例えば１Ｔｏｒｒ程度まで真空排気した後、バルブＶ３を閉じ、バルブＶ１、Ｖ２を開いてターボ分子ポンプ４Ａ〜４Ｃにより更に高い真空度例えば０．２Ｔｏｒｒまで真空処理室３Ａ〜３Ｃ内を真空排気し、また搬送室２内を図示しない真空排気系により所定の真空度まで真空排気する。」
　
（ク）「【００３１】次に本発明の他の実施の形態について説明する。図６はドライポンプのエジェクタポンプ部において吸引ガス管を複数本例えば２本並列に設けたものである。２本の吸引ガス管７１、７３の上流側には夫々バルブＶ４、Ｖ６を介して図示しないＮ2 ガス源が設けられており、これら吸引ガス管７１、７３に夫々５ｋｇ／ｃｍ2 、２０リットル／分のガスが噴射されるようになっている。また吸引ガス管７１、７３の下流側は例えば１本に合流してバルブＶ５を介して大気に接続されている。さらにこれら吸引ガス管７１、７３には途中で２本に分岐する第２の移送管５３の排気口が夫々接続されている。メカニカルポンプ部の構成は上述のドライポンプと同一である。」
　
　そうすると、上記記載事項（ア）〜（ク）及び図面の記載からみて、上記刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　「処理ガスを導入して真空雰囲気下で被処理体に対して真空処理を行うための真空処理室（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）と、前記真空処理室（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）に排気路を介してポンプ段を排気方向に複数接続した真空処理装置において、真空処理室（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）の下流側には高真空排気用の第１の真空ポンプ（４Ａ、４Ｂ、４Ｃ）が接続され、上記第１の真空ポンプ（４Ａ、４Ｂ、４Ｃ）近傍には第１ポンプ段５ａ及び第２ポンプ段５ｂからなるメカニカルポンプ部Ｐ１が接続され、上記メカニカルポンプ部Ｐ１の排気側にはエジェクタポンプ部Ｐ２が接続され、
　上記エジェクタポンプ部Ｐ２では大気圧から５０Ｔｏｒｒまで排気され、
　上記エジェクタポンプ部Ｐ２は、Ｎ2 ガスを５ｋｇ／ｃｍ2 、２０リットル／分の流量で噴射させて排気される、真空処理装置。」
　
３−３．発明の対比
　
　本願補正発明と刊行物１発明を対比する。
　刊行物１発明の「処理ガスを導入して真空雰囲気下で被処理体に対して真空処理を行うための真空処理室（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）」は、その機能からみてガス導入口とガス排出口を備えていることは明らかであるから、本願補正発明の「ガス導入口とガス排出口を備えた真空容器」に相当し、刊行物１発明の「真空処理装置」は本願補正発明の「真空装置」に相当するものであるから、刊行物１発明の「前記真空処理室（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）に排気路を介してポンプ段を排気方向に複数接続した真空処理装置」は、その機能からみて、本願補正発明の「前記真空容器に接続され、該真空容器内部を減圧すると共に減圧状態を保つための機械構造の複数段の真空ポンプとを有する真空装置」に相当する。
　刊行物１発明の「エジェクタポンプ部Ｐ２」は、真空ポンプの減圧動作を補助し吐出口からの逆拡散を抑制するための非機械構造の補助ポンプといえるものであるから、本願補正発明の「非機械構造の補助ポンプ」又は「エジェクタポンプ」に相当するものである。
　そうすると、刊行物１発明の「真空処理室（３Ａ、３Ｂ、３Ｃ）の下流側には高真空排気用の第１の真空ポンプ（４Ａ、４Ｂ、４Ｃ）が接続され、上記第１の真空ポンプ（４Ａ、４Ｂ、４Ｃ）近傍には第１ポンプ段５ａ及び第２ポンプ段５ｂからなるメカニカルポンプ部Ｐ１が接続され、上記メカニカルポンプ部Ｐ１の排気側にはエジェクタポンプ部Ｐ２が接続され」は、その機能からみて、本願補正発明の「前記真空ポンプのうちの最後段の真空ポンプの吐出口に接続され、該最後段の真空ポンプの減圧動作を補助し、該吐出口からの逆拡散を抑制するための非機械構造の補助ポンプを有し」に相当する。
　
　したがって、本願補正発明の用語にならってまとめると、両者は、
「ガス導入口とガス排出口を備えた真空容器と、前記真空容器に接続され、該真空容器内部を減圧すると共に減圧状態を保つための機械構造の複数段の真空ポンプとを有する真空装置において、
　前記真空ポンプのうちの最後段の真空ポンプの吐出口に接続され、該最後段の真空ポンプの減圧動作を補助し、該吐出口からの逆拡散を抑制するための非機械構造の補助ポンプを有する、真空装置。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
［相違点１］
　本願補正発明は、「前記最後段の真空ポンプは、吸入圧力１０Ｔｏｒｒ未満で稼動」するものであるのに対し、刊行物１発明は、「上記エジェクタポンプ部Ｐ２では大気圧から５０Ｔｏｒｒまで排気され」るものである点。
　
［相違点２］
　本願補正発明は、「前記補助ポンプは、その駆動ガスとして不活性ガスを、前記真空装置の稼動時は常時、０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａの圧力で導入する」のに対し、刊行物１発明は、「上記エジェクタポンプ部Ｐ２は、Ｎ2 ガスを５ｋｇ／ｃｍ2 、２０リットル／分の流量で噴射させて排気される」ものである点。
　
［相違点３］
　本願補正発明は、「前記補助ポンプは、前記最後段のポンプの前記吐出口に付加的に取り付けられたエジェクタポンプ」であるのに対し、刊行物１発明は、上記エジェクタポンプ部Ｐ２が上記メカニカルポンプ部Ｐ１の排気側に接続されているものの、付加的といえるものか明らかではない点。
　
３−４．当審の判断
　
（１）相違点１について
　刊行物１発明は、粗引き用に用いる真空ポンプの小型化を図ることを目的とするものであるが、「最も大気圧側の第４ポンプ段１７ｄにて大気圧から１００Ｔｏｒｒ程度まで減圧する際に、気体の圧縮に要する仕事量は極めて大きい。従って大きな仕事量を得るために大型のモータが必要となる他、気体の圧縮に伴い発生する熱量も大きくなるため冷却装置が必要となる。」（上記記載事項（イ））との記載に照らせば、真空ポンプの消費エネルギが大きいことも念頭に置いて課題を解決したものと解される。そして、近年においては上記消費エネルギを削減することは普遍的な課題であるから、上記消費エネルギの観点からエネルギの削減を図る程度のことは当業者が必要に応じて試みる動機がある。
　そうすると、刊行物１発明は、「上記エジェクタポンプ部Ｐ２では大気圧から５０Ｔｏｒｒまで排気され」るものであるから、最後段の真空ポンプは吸入圧力５０Ｔｏｒｒ程度未満で稼動するものだとしても、上記エジェクタポンプ部Ｐ２に接続されている上記メカニカルポンプ部Ｐ１をどの程度の圧力で稼働させるかは、複数段の真空ポンプの段数や必要とされる真空度などに加えて、上記消費エネルギなどの観点から適宜設定できる設計事項にすぎない。
　したがって、刊行物１発明に適宜設計変更を加えて上記相違点１に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
（２）相違点２について
　刊行物１発明は、「上記エジェクタポンプ部Ｐ２は、Ｎ2 ガスを５ｋｇ／ｃｍ2 、２０リットル／分の流量で噴射させて排気される」ものであり、５ｋｇ／ｃｍ2 は圧力であることの明示はないが、技術常識に照らせば上記５ｋｇ／ｃｍ2 は約０．４９ＭＰａに相当する圧力であることは明らかであるから、上記エジェクタポンプ部Ｐ２は、「その駆動ガスとして不活性ガス」を「０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａ」の範囲である約０．４９ＭＰａの「圧力で導入する」ものであり、当該圧力の導入を「真空装置の稼動時は常時」とすることは、単に上記エジェクタポンプ部Ｐ２の使い方をいうものであって当業者が適宜決定できる事項にすぎない。また、仮に、刊行物１発明の上記５ｋｇ／ｃｍ2 が圧力ではないとしても、上記エジェクタポンプ部Ｐ２を稼働させる適当な圧力を設定することは、利用に際して当業者が到達させたい真空度に応じて適宜決定できる事項にすぎず、特に「０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａ」の範囲の上限値と下限値に臨界的意義があるわけでもない。
　したがって、刊行物１発明に適宜設計変更を加えて上記相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
（３）相違点３について
　刊行物１発明において、上記エジェクタポンプ部Ｐ２をどのように取り付けるかは単なる設計事項であって、付加的に取り付けることによってその機能に相違ができるわけではない。
　したがって、刊行物１発明に適宜設計変更を加えて上記相違点３に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
（４）効果について
　また、本願補正発明が奏する「真空ポンプの消費電力を抑制することができる」といった効果は、刊行物１に記載された発明から当業者が予測できるものである。
　
（５）まとめ
　したがって、本願補正発明は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（６）審判請求人の主張について
　審判請求人は、平成２２年２月１２日付け審判請求書において、「引用文献１に開示された技術は、電気式の真空ポンプの消費電力削減といったことを目的としておらず、真空ポンプの消費電力という因子自体にも全く着目していない。・・・このように消費電力削減を目的としておらず、真空ポンプの消費電力という因子自体にも全く注意が向いておらず、当然、消費電力試験も実施していない引用文献１に開示された技術に基づいたとしても、『最後段の真空ポンプの吐出口に接続されたエジェクタポンプが、その駆動ガスを０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａの圧力で導入することに加え、最後段の真空ポンプが、吸入圧力１０Ｔｏｒｒ未満で稼動する』ことを特徴とする本願発明に想到することは、当業者といえども決してあり得るものではない。」（審判請求書の「III．ｂ）引用文献１の説明ならびに本願発明と引用文献１との対比」の項参照）など、本願は特許されるべき旨主張している。
　しかしながら、消費電力を削減することは近年の普遍的課題であって、当業者が必要に応じて着目できる課題であり、真空装置の構成自体は実質的に刊行物１に開示されている以上、上記駆動ガスの圧力や吸入圧力を設定することは設計事項にすぎないことは上述のとおりである。
　また、審判請求人は、審尋に対する平成２２年１０月２２日付けの回答書において、同旨のことを主張しているが、上記の判断を左右する主張ではない。
　よって、審判請求人の主張は採用できない。
　
４．むすび
　
　以上のとおり、本願補正発明、すなわち本件補正後の請求項２に係る発明は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　よって、本願補正発明、すなわち本件補正後の請求項２に係る発明は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しない。
　したがって、本件補正は、他の補正事項を検討するまでもなく、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
【３】本願発明について
　
１．本願発明
　
　平成２２年２月１２日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜９に係る発明は、平成２１年８月２８日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１を引用する請求項２に係る発明（以下、「本願発明」という。）は以下のとおりのものである。
　
　「【請求項１】　ガス導入口とガス排出口を備えた真空容器と、前記真空容器に接続され、該真空容器内部を減圧すると共に減圧状態を保つための機械構造の複数段の真空ポンプとを有する真空装置において、
　前記真空ポンプのうちの最後段の真空ポンプの吐出口に接続され、該最後段の真空ポンプの減圧動作を補助し、該吐出口からの逆拡散を抑制するための非機械構造の補助ポンプを有し、
　前記補助ポンプは、その駆動ガスとして不活性ガスを、前記真空装置の稼動時は常時、０．１ＭＰａ〜０．５ＭＰａの圧力で導入することを特徴とする真空装置。
　【請求項２】　前記補助ポンプは、前記最後段のポンプの前記吐出口に付加的に取り付けられたエジェクタポンプである請求項１に記載の真空装置。」
　
２．引用刊行物とその記載事項
　
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物は次のとおりであり、その記載事項は、上記【２】３−２．のとおりである。
　
　刊行物１：特開平９−１２５２２７号公報
　
３．対比・判断
　
　本願発明は、上記【２】で検討した本願補正発明から、「真空装置」についての「前記最後段の真空ポンプは、吸入圧力１０Ｔｏｒｒ未満で稼動し」との限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、審判請求時の手続補正によってさらに構成を限定した本願補正発明が、上記「【２】３−３．発明の対比」、及び「【２】３−４．当審の判断」に示したとおり、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記限定を省いた本願発明も実質的に同様の理由により、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　
　以上のとおり、本願発明、すなわち、本願の請求項２に係る発明は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項２に係る発明が特許を受けることができないものである以上、本願の請求項１及び３〜９に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。