【手続補正書】
【提出日】平成22年12月21日(2010.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定容積内において測定センサ（３）を移動させるための可動ユニット（７）を備える測定機であって、
前記可動ユニット（７）は、駆動手段（１３）の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材（８、１２、４２、５６）を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材（８、１２、４２、５６）の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ（２２）と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ（２２）により生成されたレーザ光（２６）を受領するように設計された標的（２８）と、が設けられたレーザセンサ（１６）と、
前記標的（２８）上におけるレーザ光（２６）の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット（７）の動的変形の結果として生じる前記測定機（１）の測定誤差を補正するための手段（１４）と、
を備えることを特徴とする測定機。
【請求項２】
請求項１記載の測定機であって、
前記標的（２８）は、ＰＳＤであることを特徴とする測定機。
【請求項３】
請求項１又は２記載の測定機であって、
前記可動部材は、ビーム状要素（１０、１２、５６）を含み、
前記エミッタ（２２）及び前記標的（２８）は、前記ビーム状要素（１０）の両端に設置されることを特徴とする測定機。
【請求項４】
請求項１又は２記載の測定機であって、
前記可動部材（８）は、第一の端部及び第二の端部を有する少なくとも一つの要素と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素とを含み、
前記第一及び第二の要素は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ（２２）は、前記第二の要素の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素の第二の端部（９）に対して固定された剛体支持部（２０）に固定され、
前記標的（２８）は、前記第二の要素の前記第二の端部に固定されることを特徴とする測定機。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の測定機であって、
前記レーザセンサ（１６）は、前記可動部材（８ｃ、５６）の内部に収容され、前記レーザ光（２６）は、前記可動部材の空洞（２４）を通って延びることを特徴とする測定機。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の測定機であって、
前記可動部材（８）は、ベッド（５）上を移動可能であると共に、二本の直立部（８ａ、８ｂ）及びクロス部材（８ｃ）が設けられたブリッジ構造を有するキャリッジであり、
前記キャリッジの第一の直立部（８ａ）は、前記ベッド（５）上で摺動可能なモータ駆動スライド（９）を含むことを特徴とする測定機。
【請求項７】
請求項４に従属する請求項６に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記第一の直立部（８ａ）により構成され、
前記第二の要素は、前記クロス部材（８ｃ）により構成され、
前記剛体支持部は、前記第一の直立部（８ａ）内部に延びると共に、底端部（２０ａ）が前記第一の直立部（８ａ）の前記スライド（９）に固定され、上端部が前記クロス部材（８ｃ）の第一の端部においてその内部に延びるバー（２０）により構成され、
前記エミッタ（２２）は、前記バー（２０）の前記上端部に固定され、前記標的（２８）は、前記クロス部材の内部（２４）において、その反対の一端部に設置されることを特徴とする測定機。
【請求項８】
請求項４に従属する請求項６に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記クロス部材（８ｃ）であり、
前記第二の要素は、前記第二の直立部（８ｂ）であり、
前記剛体支持部は、クロス部材（８ｃ）の長手方向の空洞（２４）内部に延びると共に、一端部が前記第一の直立部（８ａ）に固定されたバー（３１）により構成され、
前記エミッタ（２２）は、前記バー（３１）の反対端部に固定され、前記標的（２８）は、前記第二の直立部（８ｂ）の最下部に収容されることを特徴とする測定機。
【請求項９】
駆動手段（１３）の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材（８、１２、４２、５６）を含み、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるための可動ユニット（７）が設けられた測定機（１）における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット（７）の可動部材（８、１２、４２、５６）の第一の部分に固定されたエミッタ（２２）によってレーザ光（２６）を生成するステップと、
前記可動部材（８、１２、４２、５６）の第二の部分に固定された標的（２８）上における前記レーザ光（２６）の入射点の変位であって、前記可動ユニット（７）の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機（１）の測定誤差を補正するステップと、
を備える方法。
【請求項１０】
請求項９記載の方法であって、
前記レーザ光の入射点の変位を検出するステップは、前記標的を形成するＰＳＤ（２８）を介して実行されることを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項９又は１０記載の方法であって、
前記測定誤差を補正するステップは、入力量（ｕ）の測定値と、前記レーザビームの入射点の変位を含む出力量（ｙ）のサブセットの測定値とに応じて、前記測定誤差の推定量を提供する推定量フィルタ（Ｍ）を用いて得られることを特徴とする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】測定機及びその動的変形による測定誤差の補正方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
初期キャリブレーションステップ（図５のブロック１００）において、測定機１の動的挙動を記述する入出力モデルＭが定義される（このステップはモデル同定ステップとも定義される）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
特に、入出力モデルＭ（図６）は、多変量であり、入力（ｕ）において、軸線Ｘ及びＹに沿ったそれぞれの移動を制御する二個のモータの供給電流を受領し（軸線Ｚに沿ったスライドの移動によるダイナミクスが無視できる誤差につながることは事前に検証済み）、測定機の軸線から得た測定センサ３の位置ｙａ、ｘａと、二次元位置変換器１５を用いて測定した軸線Ｘ及びＹに沿った測定機１の弾性により持ち込まれた位置誤差ｅｙ、ｅｘと、レーザセンサ１６により測定した測定機の変形ｍｙ、ｍｚと、を含む複数の量を出力（ｙ）する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
同定に使用される作業サイクルの一般的な例を、図７に示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
キャリッジ５０は、ガイド５２に沿って移動可能なモータ駆動スライド５４と、ガイド５３に沿って移動可能な支持スライド５５と、スライド５４、５５に端部がそれぞれ固定された、ガイド５２、５３に対して横向きのビーム５６とにより構成される。ビーム５６は、垂直方向（Ｚ）において移動可能なコラムを支持するように設計された別のキャリッジ（図示せず）の方向Ｘにおける摺動のためにガイド（図示せず）を画成する。