【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４３６８１４３号発明「信号処理装置及び信号処理方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第４３６８１４３号の請求項１ないし５に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯 
　本件特許４３６８１４３号（以下「本件特許」という。）は、富士通セミコンダクター株式会社（以下「被請求人」という。）の特許であって、平成１５年５月３０日に特願２００３−１５４５２０号として特許出願され、平成２１年９月４日に特許権の設定の登録がなされたものである。
　そして、平成２２年１０月２７日に株式会社山武（以下「請求人」という。）から、本件特許の請求項１ないし５に係る発明についての特許の無効審判の請求がなされた。 
　その後の手続の経緯は以下のとおりである。 
　 
　平成２３年　１月１１日：被請求人　答弁書提出 
　　　〃　　　１月１１日：被請求人　訂正請求書提出 
　　　〃　　　２月２８日：請求人　弁駁書提出 
　　　〃　　　６月１３日：請求人及び被請求人　口頭審理陳述要領書提出
　　　〃　　　６月２７日：口頭審理 
　 
第２．請求人の主張 
　請求人は、平成２３年１月１１日付け訂正請求書（以下「本件訂正請求書」という。）による訂正（以下「本件訂正」という。）による訂正後の本件特許の請求項１ないし５に係る発明は、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、あるいは同法第２９条第２項の規程により、特許を受けることができないものであり、同法第１２３条第１項第２号の規程により無効とされるべきものであると主張し、証拠方法として、下記甲第１号ないし４号証（以下、甲第１号証、甲第２号証等を、「甲１」、「甲２」等という。）を提出している。 
　
・甲１及び訳文：
　（１）甲１の１及び抄訳：“ＤＡＴＡ　Ａｎａｌｙｓｉｓ，　ａ　ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ　ａｎｄ　ｐｒａｃｔｉｃａｌ　ａｐｐｒｏａｃｈ”ｐ．１−ｐ．４４、Ｔｉｅｎ−Ｗｅｎ　Ｗａｎｇ，Ｓｔｅｐｈａｎｅ　Ｈｕｂａｃ，Ｍａｒｔｉｎ　Ｓｃｈｅｌｌｅｎｂｅｒｇｅｒ，Ａｒｇｏｎ　Ｃｈｅｎ，　Ｊｏｈｎ　Ｐａｃｅ
　（２）甲１の２：甲１の１の表紙左下部を拡大したもの
・甲２及び訳文：甲１号証の配布証明
・甲３及び訳文：ＡＥＣ／ＡＰＣ会議を開催した社団法人シリコンサクソニー副会長による宣誓書
・甲４及び訳文：甲２の作成者によるさらなる宣誓書
　
　そして、本件訂正による訂正後の本件特許の請求項１ないし５に係る発明が、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、あるいは同法第２９条第２項の規程により特許を受けることができない理由として、以下の点が挙げられている。 
　
　本件訂正による訂正後の本件特許の請求項１ないし５に係る発明は、その出願前に、４ｔｈ　Ｅｕｒｏｐｅａｎ　ＡＥＣ／ＡＰＣ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議）の“Ｔｕｔｏｒｉａｌ　Ｐｒｏｇｒａｍ”（チュートリアルプログラム）において頒布された甲１に記載され、かつ、甲１に基づき発表された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号および同条同項第１号に該当し、特許を受けることができないものであり、また、少なくとも甲１に記載され、甲１に基づき発表された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第３．被請求人の主張 
　被請求人は、本件訂正による訂正後の本件特許の請求項１ないし５に係る発明は、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当するものでなく、また、当業者が容易に発明をすることができたものでもなく、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものではないから、無効理由は存在しないと主張している。　
　なお、本件訂正が適法になされたものであることについては、両当事者間に争いはない。
　
第４．当審の判断 
１．本件訂正についての決定
（結論）
　本件特許に係る明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正することを認める。
　
（理由）
（１）本件訂正の内容 
　本件訂正の内容は以下のとおりである。
　
本件特許明細書の特許請求の範囲の
　「【請求項１】　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　各前記製造ステップにおける前記信号データのうち、前記製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の前記製造ステップへの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。
　　【請求項２】　前記フィルタリング部は、所定時間または所定サンプル数分の前記信号データに対し、フィルタリングすることを特徴とする請求項１記載の信号処理装置。
　　【請求項３】　前記フィルタリングした複数の前記センサの前記信号データに対し、多変量解析を行う多変量解析部を有することを特徴とする請求項１記載の信号処理装置。
　　【請求項４】　要約化した前記信号データに製造工程に関する情報を含むデータ管理情報を付加し、半導体製造工程における各種システムに引き渡すことを特徴とする請求項１記載の信号処理装置。
　　【請求項５】　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理方法において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得し、
　各前記製造ステップにおける前記信号データのうち、前記製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の前記製造ステップへの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をフィルタリングし、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する、
　ことを特徴とする信号処理方法。」を、 
　
　「【請求項１】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。
　【請求項２】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有し、
　前記フィルタリング部は、前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、前記信号データをカットしてフィルタリングすることを特徴とする信号処理装置。
　【請求項３】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした複数の前記センサの前記信号データに対し、多変量解析を行う多変量解析部と、
　前記多変量解析した前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。
　【請求項４】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有し、
　要約化した前記信号データに、品種情報を含む製造工程に関する情報を含むデータ管理情報を付加し、半導体製造工程における各種システムに引き渡すことを特徴とする信号処理装置。
　【請求項５】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理方法において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得し、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングし、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する、
　ことを特徴とする信号処理方法。」と訂正するとともに、発明の詳細な説明を訂正すること。
　
（２）訂正内容の整理
 （２−１）訂正事項１ 
　請求項１及び５において、「フィルタリング」動作を限定する事項として、「製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位で」との記載を追加すること。
　
（２−２）訂正事項２
　請求項２において、訂正前の「前記フィルタリング部は、所定時間または所定サンプル数分の前記信号データに対し、フィルタリングする」を、訂正後の「前記フィルタリング部は、前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、・・・フィルタリングする」と訂正すること。また、訂正前の請求項２が請求項１の従属項であるところ、請求項１に対する訂正事項１を含めないよう、請求項２を独立項形式に書き換えること。
　
（２−３）訂正事項３
　請求項３において、従属元である訂正前の請求項１の「フィルタリングした前記信号データを要約化する」を、「多変量解析した前記信号データを要約化する」と訂正すること。また、請求項３が請求項１の従属項であるところ、請求項１に対する訂正事項１を含めないよう、請求項３を独立項形式に書き換えること。
　
（２−４）訂正事項４
　請求項４において、「製造工程に関する情報」を限定する事項として、「品種情報を含む」との記載を追加すること。また、訂正前の請求項４が請求項１の従属項であるところ、請求項１に対する訂正事項１を含めないよう、請求項４を独立項形式に書き換えること。
　
（２−５）訂正事項５
　請求項１及び５、並びに独立項形式に書き換えた請求項２ないし４において、訂正前の「各前記製造ステップにおける前記信号データのうち、前記製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の前記製造ステップへの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を」を、訂正後の「前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を」と訂正すること。
　
（２−６）訂正事項６
　請求項１及び独立項形式に書き換えた請求項２ないし４において、訂正前の「フィルタリングするフィルタリング部」を、訂正後の「カットしてフィルタリングするフィルタリング部」と訂正すること。さらに、独立項形式に書き換えた請求項２において、訂正前の「フィルタリングする」を、訂正後の「前記信号データをカットしてフィルタリングする」と訂正すること。同様に、請求項５において、訂正前の「フィルタリングし」を、訂正後の「カットしてフィルタリングし」と訂正すること。
　
（２−７）訂正事項７
　明細書段落００１１において、「製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングする」と訂正すること。
　
（３）訂正事項についての検討 
（３−１）訂正事項１について
（３−１−１）目的の適否及び実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないか否かについて
　訂正事項１は、訂正前の請求項１及び５において、「フィルタリング」動作を限定する事項として、「製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位で」との記載を追加するものであるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであり、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合する。
　
（３−１−２）本件特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであるか否かについて
　訂正事項１により訂正された事項は、本件特許に係る明細書（以下、本件特許に係る明細書、図面を、各々「特許明細書」、「特許図面」といい、これらをまとめて「特許明細書等」という。）の
「【００４５】
　まず、
入力された各種センサの信号データに対し、製造ステップ単位で図２〜図５で示したようなフィルタリング処理を行う。
　フィルタリング処理の際、ＦＤＣコントローラ２００のユーザに、表示装置２０５ａの画面に表示させて所望のフィルタリング範囲を設定可能なようにしてもよい。
【００４６】
　図８は、フィルタリング設定画面の例である。
　図のように、
フィルタリング設定画面７００では、ある製造プロセスにおける製造ステップをＳｔｅｐ　Ｓｅｔｔｉｎｇ欄７０１で設定する。
Ｓｔａｒｔ＿ｔ欄７０４でステップ切り替わり直後のサンプル数（または時間範囲）、Ｍａｉｎ＿ｔ欄７０５で抽出するサンプル数（または時間範囲）、Ｅｎｄ＿ｔ欄７０６で次ステップの切り替わり直前のサンプル数（または時間範囲）を指定する。
　したがって、訂正事項１は、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであり、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（３−２）訂正事項２について
  訂正事項２は、請求項２において、「フィルタリング」動作を、「前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出する」動作に限定するものである。すなわち、訂正前においては「所定時間または所定サンプル数分の前記信号データに対し、フィルタリングする」との記載であり、「所定時間」及び「所定サンプル数」の両方を含んでおり、また「所定時間又は所定サンプル数」をカットするのか抽出するのかも特定されていないのに対し、訂正後においては、「所定サンプル数分」を「抽出する」との技術内容に限定するものである。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。また、訂正事項２が実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであるから、訂正事項２は、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合する。
　そして、当該訂正事項２の「前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、・・・フィルタリングする」については、特許明細書の段落【００１７】の「・・・、フィルタリング部１２は、
取得した各製造ステップにおける信号データのうち、
フィルタリングする。
　製造ステップの切り替わり（Ｓｔｅｐ１からＳｔｅｐ２への切り替わり）直後のサンプル数Ｎ個分をカットしたフィルタリングの例である。この場合、
抽出するサンプル数を、Ｍ個分などと設定する
　したがって、訂正事項２は、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであり、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（３−３）訂正事項３について
  訂正事項３は、請求項３において、「要約化」動作の対象を「多変量解析した前記信号データ」に限定するものである。すなわち、訂正前においては、「フィルタリングした前記信号データを要約化する」との記載であり、要約化の対象としては、フィルタリングした直後の信号データ、及び、フィルタリングし更に多変量解析した後の信号データ、の両方を含むのに対し、訂正後においては、「要約化」動作の対象を「多変量解析した前記信号データ」に限定するものである。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。また、訂正事項３が実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであるから、訂正事項３は、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合する。
　そして、当該訂正事項３の「多変量解析した前記信号データを要約化する」については、特許明細書の段落【００２４】の「また、フィルタリングした各センサ３０−１、３０−２、…、３０−ｍの信号データを、多変量解析部１４に入力して多変量解析を行うようにしてもよい。多変量解析を行うことにより、半導体製造装置２０の異常をより総合的に検出することができる。
多変量解析処理した結果は、サマリー化部１３に入力されて、製造ステップ単位で同様にサマリー化される。
　したがって、訂正事項３は、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであり、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（３−４）訂正事項４について
  訂正事項４は、請求項４において、「製造工程に関する情報」を「品種情報を含む」情報に限定するものであるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書き第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。また、訂正事項４が実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであるから、訂正事項４は、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合する。
　そして、当該訂正事項４の「品種情報を含む」については、特許明細書の段落【００５３】の「また、
サマリー化したデータをＦＤＣサーバ２１０のデータベースにキー情報とともに登録し、引き渡す際にもこのキー情報を付加する。
キー情報とは、品種
　したがって、訂正事項４は、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであり、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（３−５）訂正事項５について
  訂正事項５は、請求項１及び５、並びに独立項形式に書き換えた請求項２ないし４において、「製造ステップ」についての記載をより明確にするものである。すなわち、訂正前においては、「各前記製造ステップにおける前記信号データのうち、前記製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の前記製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を」となっており、「前記製造ステップ」との記載により本来は１つの製造ステップに着目して前後関係を説明すべきところ、「各前記製造ステップ」や「次の前記製造ステップ」等の記載のために「前記製造ステップ」が複数の製造ステップ全てを意味することとなり、製造ステップ間の前後関係の把握を若干困難にしているのに対し、当該訂正により、製造ステップ間の前後関係がより明確になっているから、訂正事項５は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き第３号に掲げる明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。また、訂正事項５が実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないこと、及び特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであることは明らかであるから、訂正事項５は、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定及び特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（３−６）訂正事項６について
  訂正事項６は、請求項１及び５、並びに独立項形式に書き換えた請求項２ないし４において、「フィルタリング」動作の技術内容をより明確にするものである。すなわち、訂正前の各請求項では単に「フィルタリングする」や「フィルタリングし」と記載されているのみであり、各フィルタリング動作が、その動作の対象を残すものであるのか、或いはその動作の対象をカットするものであるのかが、明示的には特定されていないのに対し、当該訂正により、当該「フィルタリング」動作により、その動作の対象をカットすることがより明確になっているから、訂正事項６は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き第３号に掲げる明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。また、訂正事項６が実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないことは明らかであるから、訂正事項６は、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定に適合する。
　そして、当該訂正事項６の「カット」することについては、特許明細書の段落【００１８】の「図２は、フィルタリングの第１の例である。
　製造ステップの切り替わり（Ｓｔｅｐ１からＳｔｅｐ２への切り替わり）直後のサンプル数Ｎ個分と、次の製造ステップ（Ｓｔｅｐ３）への切り替わり直前のサンプル数Ｍ個分をカットしたフィルタリングの例である。・・・」、段落【００１９】の「図３は、フィルタリングの第２の例である。
　製造ステップの切り替わり（Ｓｔｅｐ１からＳｔｅｐ２への切り替わり）直後のサンプル数Ｎ個分をカットしたフィルタリングの例である。・・・」、段落【００２０】の「図４は、フィルタリングの第３の例である。
　製造ステップの切り替わり（Ｓｔｅｐ１からＳｔｅｐ２への切り替わり）直後のＮ秒間と、次の製造ステップ（Ｓｔｅｐ３）への切り替わり直前のＭ秒間のデータをカットしたフィルタリングの例である。・・・」、段落【００２１】の「図５は、フィルタリングの第４の例である。
　製造ステップの切り替わり（Ｓｔｅｐ１からＳｔｅｐ２への切り替わり）直後のＮ秒間のデータをカットしたフィルタリングの例である。・・・」及び特許図面の図２ないし５に記載されているものと認められる。
　したがって、訂正事項６は、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであり、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（３−７）訂正事項７について
  訂正事項７は、請求項１の訂正に合わせて、【課題を解決する手段】の記載を請求項１に対応するよう訂正するものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第３号に掲げる明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。また、訂正事項７が実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないこと、及び特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであることは明らかであるから、訂正事項７は、特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第４項の規定及び特許法第１２６条第３項の規定に適合する。
　
（４）本件訂正についてのむすび
　以上検討したとおり、本件訂正における訂正事項は、すべて特許法第１３４条の２第１項ただし書各号に掲げる事項を目的とするものに該当し、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものであり、かつ、事実上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書並びに特許法第１３４条の２第５項で準用する特許法第１２６条第３項及び第４項の規定に適合する。
　
　よって、本件訂正を認める。
　 
２．無効理由についての判断 
（１）検討の前提 
　上記１．で検討したとおり、本件訂正は認められたので、無効理由（本件訂正による訂正後の本件特許の請求項１ないし５に係る発明が、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、あるいは同法第２９条第２項の規程により、特許を受けることができないものであり、同法第１２３条第１項第２号の規程により無効とされるべきものである。）について検討する。
　なお、本件訂正による訂正後の本件特許の請求項１ないし５に係る発明を、各々以下「本件訂正発明１」、「本件訂正発明２」・・・「本件訂正発明５」という。
　
（２）証拠の成立性について
（２−１）検討の前提
　請求人が提出した甲１ないし４は、以下のとおりである。
　なお、甲各号証の内容を参照する場合には、必要に応じて、原文と訳文を併記、あるいは訳文のみを記載する。
　
（２−１−１）甲１について
　甲１の１は、全４４ページからなり、表紙に“Ｔｕｔｏｒｉａｌ　Ｐａｒｔ　１”（チュートリアル・パート１）、第２ページに“ＤＡＴＡ　Ａｎａｌｙｓｉｓ，　ａ　ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ　ａｎｄ　ｐｒａｃｔｉｃａｌ　ａｐｐｒｏａｃｈ”（データ分析、論理的かつ実践的アプローチ）と記載されるとともに、各ページの左下部（甲１の２は、当該部分を拡大したものである。）には、“４ｔｈ　Ｅｕｒｏｐｅａｎ　ＡＥＣ／ＡＰＣ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ”（第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議）と記載されたものである。
　
（２−１−２）甲２について
　甲２には、以下の記述がなされている。
「２０１０年９月３０日
エルランゲン
関係各位
　
私、マルティン・シェレンベルガー（工学修士）は、以下の通り述べる。
　
１．私は、ドイツ国エルランゲン９１０５８，ショットキー通り１０に所在する「フラウンフォーファー・集積システム・デバイス技術研究所」にて、装置及び高度プロセス制御部門のグループマネージャーを務めている。私は、添付のチュートリアルプレゼンテーションの文書（印刷物）である「チュートリアル・パート１−データ分析一理論的かつ実践的アプローチ」の公知性の詳細について照会を受けている。印刷物の第２ページに示されているように、私はチュートリアルの執筆者の一人である。
　
２．チュートリアル・パート１は、２００３年３月２６日から２８日にかけてフランス、グルノーブルにて開催された、第４回欧州・高度装置制御／高度プロセス制御（ＡＥＣ／ＡＰＣ）会議において、２００３年３月２６日に同僚であるエスアイ・オートメーションのジョン・ペース氏によって発表された。チュートリアルは、約７０名の聴講者に対して提供された。
　
３．チュートリアルの提供時、全４４ページの印刷物が各聴講者に配布された。聴講者は、チュートリアルの内容及び印刷物を通じて得られる情報について、守秘義務を負うこととはされていなかった。
　
４．配布された印刷物に加えて、第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議の聴講者は、コンパクトディスク（ＣＤ）の形態でプレゼンテーションの電子コピーを受け取っている。このＣＤを通じて得られる情報についても、本件チュートリアルの聴講者が守秘義務を負うものとはされていなかった。
　
［直筆署名］　　　　　　　　　　　　
マルティン・シェレンベルガー（工学修士）
　
同封物：
「チュートリアル・パート１」のプレゼンテーションの印刷物（４４ページ）」
　
（２−１−３）甲３について
　甲３には、以下の記述がなされている。
「関係各位
　
私、ギッタ・ハウポルドは、以下の通り述べる。
　
１．私は、ドイツ国ドレスデン０１０９９、マンフレッド・フォン・アルデンヌリング２０に所在する社団法人シリコンサクソニーのマネージングディレクター（ＣＥＯ）兼副会長の役職を２０００年１２月から努めている。私は、２００３年３月２６日から２８日にかけてフランス、グルノーブルにて開催された、第４回欧州・高度装置制御／高度プロセス制御（ＡＥＣ／ＡＰＣ）会議の参加者に配布された資料に関する情報を提供するように求められた。
　
２．社団法人（登録された団体）シリコンサクソニーは、欧州における半導体、エレクトロニクスおよびマイクロシステム産業の支部団体である。社団法人シリコンサクソニーは、ここ数年間、上記２００３年のグルノーブルにおける第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議を含むＡＥＣ／ＡＰＣ会議を開催している。
　
３．第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議の開催時、チュートリアル「チュートリアル・パート１−データ分析−理論的かつ実践的アプローチ」は、２００３年３月２６日に発表された。私は、ここに、チュートリアルが行われた際、４４ページのプレゼンテーション全体の印刷物が各参加者に配布されたことを確認する。この配布物のコピーを本宣誓書に添付する。さらに、第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議のチュートリアル参加者は、コンパクトディスク（ＣＤ）の形態でプレゼンテーションの電子コピーを受け取っている。
　
２０１１年２月２２日
ドレスデン
　
　［直筆署名］　　　　　　　　　
ギッタ・ハウポルド
社団法人シリコンサクソニー　副会長
　
同封物：
プレゼンテーション「チュートリアル・パート１」（全４４ページ）の配布物
２００４年からの（チュートリアルを含む）すべてのプレゼンテーションを網羅した２００５年のＣＤ」
　
（２−１−４）甲４について
　甲４には、以下の記述がなされている。
「２０１１年２月１５日
エルランゲン
　
関係各位
　
私、マルティン・シェレンベルガー（工学修士）は、以下の通り述べる。
　
１．私は、特にエスアイ・オートメーションのジョン・ペース氏と私を含んだ共著物であるチュートリアルプレゼンテーション「チュートリアル・パート１−データ分析−理論的かつ実践的アプローチ」に関する２０１０年９月３０日付の最初の供述書に署名した本人である。
　
２．私は、ここに、２００３年３月２６日から２８日にかけてフランス、グルノーブルにて開催された、第４回欧州・高度装置制御／高度プロセス制御（ＡＥＣ／ＡＰＣ）会議に私自身が出席したことを確認する。私は、２００３年３月２６日に、特にジョン・ペース氏によって行われた上記チュートリアルプレゼンテーションにも出席した。
　
　［直筆署名］　　　　　　　　　　　
マルティン・シェレンベルガー（工学修士）」
　
（２−２）被請求人の主張
　被請求人は、平成２３年１月１１日付け答弁書において、甲１の実質的証拠能力に関して、「甲第１号証がグルノーブルで２００３年３月２６−２８日に開催された会議用に用意されたスライドであることについては認めるが、それ以上の事実については、更なる証拠により立証されない限り、現時点では認めることができない。」と主張し、その理由として、以下のように主張している。
　「請求人は、「甲第１号証の１（以下、「甲１」と略称することがある。）は、第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議のチュートリアル・プログラムにおいて、本件特許の出願日（平成１５年５月３０日）前である平成１５年３月２６日に頒布され、その内容が発表された刊行物である。なお、甲第１号証の２は、甲第１号証の１の表紙左下部を拡大したものであるが、枠内に図柄と共に記載された「AEC/APC 2003 26-28 march GRENOBLE」という記載から、グルノーブルで２００３年３月２６−２８日に開催された会議での配布物であることが明らかである。」と主張している。
　しかしながら、「AEC/APC 2003 26-28 march GRENOBLE」という記載からは、グルノーブルで２００３年３月２６−２８日に開催された会議用に用意されたスライドであることが分かるのみであり、実際に２００３年３月２６−２８日に発表されたという事実を示すものではなく、また発表されたとしても全スライドの内容が説明されたという事実を示すものもなく、更には、発表の場或いは当該会議の開催中にそのコピーが配布されたという事実を示すものでもない。
　請求人は更に、「また、第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議が開催され、そのチュートリアル・プログラムにおいて、甲第１号証が文書として、及び、電子的にも頒布され、また、甲第１号証に基づく発表が行われ、甲第１号証の受領者、聴取者が秘密保持義務を負っていなかった事実は、甲第１号証の共著者の証明書（甲第２号証）によっても明らかである。」と主張している。
　しかしながら、当該証明書（甲第２号証）には、共著者が会議での当該発表の場に同席したとは記載されてなく、共著者が如何にして発表の場における種々の詳細を知り得たのかが不明である。単に発表者或いは他の同僚から伝え聞いたことに過ぎないのか、或いは共著者自身が直接に見聞きしたことであるのか、明確でない。
　また甲第２号証には、発表において全スライド（全頁）の内容が説明されたのか否かに関して何ら記載がない。発表用資料の全体が本件特許発明の無効の証拠となり得るようなものであれば、全頁の内容が説明されたのか否かはそれ程重要な問題ではないが、甲第１号証のうちで本件特許発明の無効の証拠として用いられている頁は数頁にすぎず、これらの頁の内容が実際に発表の場において説明されたのか否かは、本件特許発明の新規性・進歩性の判断において明らかにしておくべき重要な事項である。
　また発表の場において発表用資料の全４４頁のプリントアウトが出席者に配布されたと甲第２号証に記載されているが、仮に共著者が発表の場に同席していたとしても、これは単に共著者の記憶に基づくものであるとしか見受けられない。会議における発表の事実自体を明確に記憶していることは自然であるとしても、７年以上も前に開催された会議において、発表用資料のプリントアウトが発表の場で配布されたか否かについて明確な記憶があることは当然のこととしては受入れ難い。この点に関して更なる立証を求める。
　またチュートリアル出席者が発表用資料の電子コピーをＣＤで受け取ったと甲第２号証に記載されているが、発表の場で受け取ったのか後日受け取ったのかが不明である。またこれについても、単に共著者の記憶に基づくものであるとしか見受けられない。この点に関して更なる立証を求める。」
　
（２−３）請求人の主張
　これに対して、請求人は、平成２３年２月２８日付け弁駁書において、甲３及び甲４を提出するとともに、以下のように主張している。
　
「被請求人は、甲１が、本件特許出願前の、２００３年３月２６−２８日に開催された第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議の資料であることは認めつつも、全頁の説明があったか、及び、資料の配付時期については不明である旨主張している。
　しかしながら、甲１のようなパワーポイント資料は、会議において全頁配布されることが通常であり、また、実際に甲１は、会議時に配布されている。この点、甲２において、甲１を含むチュートリアルの共著者であるマルティン・シェレンバルガー氏が陳述しているところであり、また、開催事務局においても確認している（甲３）。更に、甲１の資料が全頁収納されたＣＤが配布されたことも確認されている（甲１及び甲３）。なお、チュートリアルの発表者の１人であるマルティン・シェレンバルガー氏は、実際に、甲１の発表時にも出席していたものである（甲４）。」
　
（２−４）当審の判断
（２−４−１）被請求人の主張の整理
（主張１）
　甲１の１の「AEC/APC 2003 26-28 march GRENOBLE」という記載は、甲１の１の印刷物が、実際に２００３年３月２６−２８日に発表されたという事実を示すものではない。
　
（主張２）
　甲１の１の「AEC/APC 2003 26-28 march GRENOBLE」という記載は、甲１の１の印刷物が発表されたとしても全スライドの内容が説明されたという事実を示すものでない。
　
（主張３）
　甲１の１の「AEC/APC 2003 26-28 march GRENOBLE」という記載は、甲１の１の印刷物が、発表の場或いは当該会議の開催中にそのコピーが配布されたという事実を示すものでもない。
　
（主張４）
　甲２には、共著者が会議での当該発表の場に同席したとは記載されてなく、共著者が如何にして発表の場における種々の詳細を知り得たのかが不明である。単に発表者或いは他の同僚から伝え聞いたことに過ぎないのか、或いは共著者自身が直接に見聞きしたことであるのか、明確でない。
　
（主張５）甲２には、発表において、甲１の１の全スライド（全ページ）の内容が説明されたのか否かに関して何ら記載がない。
　
（主張６）甲２には、発表の場において発表用資料の全４４ページのプリントアウトが出席者に配布されたと記載されているが、仮に共著者が発表の場に同席していたとしても、これは単に共著者の記憶に基づくものであるとしか見受けられない。会議における発表の事実自体を明確に記憶していることは自然であるとしても、７年以上も前に開催された会議において、発表用資料のプリントアウトが発表の場で配布されたか否かについて明確な記憶があることは当然のこととしては受入れ難い。
　
（主張７）甲２には、チュートリアル出席者が発表用資料の電子コピーをＣＤで受け取ったと記載されているが、発表の場で受け取ったのか後日受け取ったのかが不明である。またこれについても、単に共著者の記憶に基づくものであるとしか見受けられない。
　
（２−４−２）検討
（主張４について）
　甲１を含むチュートリアルの共著者であるマルティン・シェレンバルガー氏による甲４の「２．私は、ここに、２００３年３月２６日から２８日にかけてフランス、グルノーブルにて開催された、第４回欧州・高度装置制御／高度プロセス制御（ＡＥＣ／ＡＰＣ）会議に私自身が出席したことを確認する。私は、２００３年３月２６日に、特にジョン・ペース氏によって行われた上記チュートリアルプレゼンテーションにも出席した。」という記載から、同氏が、上記会議の上記チュートリアルプレゼンテーションに出席したことは明らかである。
　よって、被請求人の上記主張４は、採用できない。
　
（主張１について）
　第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議に出席した上記マルティン・シェレンバルガー氏による甲２の「２．チュートリアル・パート１は、２００３年３月２６日から２８日にかけてフランス、グルノーブルにて開催された、第４回欧州・高度装置制御／高度プロセス制御（ＡＥＣ／ＡＰＣ）会議において、２００３年３月２６日に同僚であるエスアイ・オートメーションのジョン・ペース氏によって発表された。」という記載から、甲１の１の印刷物が、グルノーブルで２００３年３月２６−２８日に開催された「第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議のチュートリアル・プログラム」において発表されたことは明らかである。
　そして、このことは、第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議を開催した社団法人シリコンサクソニー副会長による甲３の「３．第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議の開催時、チュートリアル「チュートリアル・パート１−データ分析−理論的かつ実践的アプローチ」は、２００３年３月２６日に発表された。私は、ここに、チュートリアルが行われた際、４４ページのプレゼンテーション全体の印刷物が各参加者に配布されたことを確認する。」という記載によっても裏付けられている。
　よって、被請求人の上記主張１は、採用できない。
　
（主張３及び６について）
　第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議に出席した上記マルティン・シェレンバルガー氏による甲２の「３．チュートリアルの提供時、全４４ページの印刷物が各聴講者に配布された。」という記載から、甲１の１の印刷物が、第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議の場或いは当該会議の開催中に配布されたことは明らかである。
　そして、このことは、前記社団法人シリコンサクソニー副会長による甲３：「３．・・・私は、ここに、チュートリアルが行われた際、４４ページのプレゼンテーション全体の印刷物が各参加者に配布されたことを確認する。」という記載によっても裏付けられている。
　よって、被請求人の上記主張３及び６は、採用できない。
　
（主張２及び５について）　
　このような会議において配布される甲１の１のような印刷物については、通常、全部の内容が説明されるものである。
　よって、被請求人の上記主張２及び５は、採用できない。
　
（主張７について）
　第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議に出席した上記マルティン・シェレンバルガー氏による甲２の「４．配布された印刷物に加えて、第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議の聴講者は、コンパクトディスク（ＣＤ）の形態でプレゼンテーションの電子コピーを受け取っている。」という記載から、チュートリアル出席者が、ＣＤの形態で甲１の１の電子コピーを受け取ったことは明らかである。
　そして、このことは、前記社団法人シリコンサクソニー副会長による甲３の「３．・・・第４回ＡＥＣ／ＡＰＣ会議のチュートリアル参加者は、ゴンパクトディスク（ＣＤ）の形態でプレゼンテーションの電子コピーを受け取っている。」という記載によっても裏付けられている。
　よって、被請求人の上記主張７は、採用できない。
　
（３−４−３）結論
　以上検討したとおり、被請求人の上記主張はいずれも採用できず、甲１の１は、第４回欧州ＡＥＣ／ＡＰＣ会議のチュートリアル・プログラムにおいて、本件特許の出願日（平成１５年５月３０日）前である平成１５年３月２６日に頒布され、その内容が発表された刊行物であると認められる。
　
（４）本件訂正発明１と甲１の１に記載された発明との対比・判断
（４−１）本件訂正発明１
　本件訂正発明１は、本件訂正により訂正された明細書及び図面（以下これらをまとめて「本件訂正明細書」という。）の記載からみて、本件訂正明細書の特許請求の範囲請求項１に記載されている事項により特定される以下のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。」
　
（４−２）甲１の１に記載された事項及び発明
（４−２−１）甲１の１の第７ページ右上部には、「ＦＤＣ−Ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ」すなわち「ＦＤＣ−背景」（以下においては、日本語訳のみを記載する。）と記載され、１行目には「ＦＤＣ−障害検出、分類は使用される」と記載されている。また、同８ページ右上部には「ＦＤＣの利点」と記載されている。よって、甲１の１にはＦＤＣに関する記載がなされている。
　また、同１２ページにおいて、「半導体製造装置」の直下には、「外部センサ」（複数形）と記載されたボックスが示され、上記「半導体製造装置」と直線で結ばれて上記「半導体製造装置」と接続されていることが示されている。
　この「外部センサ」は、同１１ページ下から４行目にも記載されている。上記したように、甲１の１は「ＦＤＣ」に関するものであり、「ＦＤＣ」は、半導体製造装置の装置状態を示す信号を収集するものであるから、甲１の１に記載された「外部センサ」（複数形）は、「半導体製造装置」の装置状態を検出する「複数のセンサ」に該当する。
　また、甲１の１の第１２ページ下段中央左には「センサからのデータ」と記載されている。上記したとおり「ＦＤＣ」においては半導体製造装置の装置状態を示す信号を取得し、プロセス障害の検出などを処理するのであるから、「外部センサ」によって得られるデータは、半導体製造装置の装置状態を示す信号に他ならない。そして、当該「センサからのデータ」は、同１２ページ中段中央右に記載されているように「統合され同期がとられた信頼できるデータ収集」がなされ、「ＦＤＣ」において処理される。
　したがって、甲１の１には、「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣ」が記載されている。
　
（４−２−２）甲１の１の第１１ページ右上端には、「データ収集」と記載され、同１１ページ中段には、「収集するパラメータを選択する」と記載され、その選択肢の一つ（３つ目）に「外部センサ」が記載され、同１２ページ中段中央右には、「・・・データ収集」と記載されている。すなわち、甲１の１には、「半導体製造装置」からの信号データを収集して取得する手段すなわちセンサ情報取得部が記載されている。
　また、甲１の１の第１１ページ下から３行目及び同１８ページ第２項目にはそれぞれ「サンプリング・レート」と記載されている。「サンプリング・レート」は、データ収集の時間間隔を規定するから、甲１の１には、信号データを所定の時間間隔で取得することが記載されている。
　さらに、同１１ページ最終行には、「ステップ番号」と記載され、同１８ページ第５項目には、「データ収集トリガ」として「レシピ・ステップ」が記載されている。そして、ここでいう「ステップ」は、「半導体製造装置」における「製造ステップ」に他ならない。
　したがって、甲１の１には、「半導体製造装置における各製造ステップの信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部」が記載されている。
　
（４−２−３）甲１の１の、右上部に「データ収集」の記載のある第１１ページの下から２行目に、「データ収集をトリガする開始イベントおよび停止イベントを定義する（レシピ名、ステップ番号・・・）」の記載があり、甲１の１には、センサによるデータ収集（取得）が製造ステップの変更すなわち切り替わりに応じてトリガされることが記載されていると解される。
　次に、甲１の１の第２３ページ右上のグラフ中には、「時間的データ」と記載され、同グラフから右下の「インジケータ」と記載されたグラフに至る矢印上に、「ステップ１：時間的フィルタ」と記載されている。また、同２３ページ左部の下から５行目ないし下から３行目には「時間的情報を減らすための時間的フィルタ」と記載されており、同２４ページ第１文には「時間的フィルタ」の説明として「このフィルタは時間的情報の減少を可能にする。・・・」と記載されている。すなわち、「時間的データ」は、「ステップ１：時間的フィルタ」に入力され、当該時間的フィルタにおいて時間的情報を減らす処理すなわちフィルタリングされることが記載されているのであるから、甲１の１には、「信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が記載されており、さらに、同２４ページ第２文には、「当該データ収集に応じて、当該時間的フィルタはウィンドウ処理や切り捨て処理であってもよい」と記載され、同２６及び２７ページの第２文には、「このフィルタは、時間的データのどの部分をシステムが処理フィルタに対してアクティブとするかを、ユーザが指定することを可能にする。」と記載されている。
　そして、同２６及び２７ページに記載のグラフ中には、時間経過に応じて変化するデータの曲線が記載されている。そして、当該データ曲線は、２本の点線で時間的に区分けされた３つの区分「安定化」、「アクティブ・プロセス」及び「アクティブ・プロセスの終了」からなっており、さらに同２７ページには、破線で描かれた２つの四角形のそれぞれの網掛け部分、すなわち「安定化」及び「アクティブ・プロセスの終了」と記載された区分についてデータがフィルタリングされる様子が記載されている。
　したがって、甲１の１には、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が記載されているものと認められる。
　
（４−２−４）甲１の１の第２３ページ右側には、上部の「時間的データ」と記載された図から、下部の「インジケータ」と記載された図に向けて矢印が引かれ、その間に「ステップ１：時間的フィルタ」に続けて「ステップ２：要約化フィルタ」が記載され、フィルタリングされた時間的データを更に、要約化フィルタに通すことが記載されている。なお、同３０ページには、「要約化」として、「このフィルタは単変量データと呼ばれる１つのまたは幾つかのインジケータに時間的データを要約化することを可能にする」と記載されており、同３１ページには、「要約化式の例」が、及び３４ページには、「要約化」により得たグラフの例が記載されている。
　ここで、上記「要約化式の例」の例として、同３０ページ第２文には、「変数の時間的挙動に応じて、この要約化は平均値、範囲、標準偏差等であってよく、・・・」と記載されており、また、同３１ページには、「最大」と表わされた「データの最大値」（第１項目）、「最小」と表わされた「データの最小値」（第２項目）、「時間的平均」と表わされた「１時間的母集団の平均値」（第５項目）、及び「時間的標準偏差」と表わされた「１時間的母集団の偏差を表わす」（最終項目）等が記載されている。
　したがって、甲１の１には、「フィルタリングした信号データを要約化する要約化部」が記載されている。
　
（４−２−５）以上をまとめると、甲１の１には、以下の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣにおいて、
前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
を有するＦＤＣ。」
　
（４−３）対比
（４−３−１）「ＦＤＣ」においては半導体製造装置の装置状態を示す信号を取得し、プロセス障害の検出などの処理するのであるから、甲１発明の「ＦＤＣ」は、本件訂正発明１の「信号処理装置」に相当する。
　
（４−３−２）甲１発明の「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」と、本件訂正発明１の「前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングするフィルタリング部」は、「信号データ」を「フィルタリングする」「フィルタリング部」という点で共通する。
　
（４−３−３）そうすると、本件訂正発明１と甲１発明とは、
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点１）
　「前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が、本件訂正発明１では、「各製造ステップにおける」「信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングする」のに対して、甲１発明では、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」点。
　
（４−４）当審の判断
（４−４−１）甲１の１の第１１ページにおける「データ収集をトリガする開始イベント及び停止イベントを定義する（レシピ名、ステップ番号．．．）」という記載は、データ収集をトリガする開始／終了イベントを、製造ステップ番号を用いて定義できることを教示したものであると解される。
　また、一般に、１つの製造ステップを実行する場合、ステップの開始直後と終了直前に処理条件が不安定になることは、当業者にとっては、技術常識とも云えるものであり、甲１の１の第２６ページのグラフに示されるデータ曲線は、そのことを示したものであって、複数の製造ステップのうちの１つの製造ステップにおいて収集されたデータの曲線であると認められる。
　
（４−４−２）したがって、甲１発明の「時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした」「ある製造プロセス」は、本件訂正発明１の「各製造ステップ」に相当し、甲１発明の「安定化」及び「アクティブ・プロセスの終了」における「信号データ」は、各々本件訂正発明１の「製造ステップの切り替わり直後の前記信号データ」及び「次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データ」に相当する。
　
（４−４−３）そして、甲１の１の第２６及び２７ページの第２文には、「このフィルタは、時間的データのどの部分をシステムが処理フィルタに対してアクティブとするかを、ユーザが指定することを可能にする。」と記載されていることを勘案すると、同２７ページのグラフには、同２６ページにグラフに示されたデータ曲線に対して、破線で描かれた２つの四角形のそれぞれの網掛け部分、すなわち「安定化」及び「アクティブ・プロセスの終了」と記載された区分についてのデータがフィルタリングされる様子が記載されているものと認められる。
　
（４−４−４）そうすると、甲１発明の「安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」ことは、本件訂正発明１の「製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、」「製造ステップ単位でカットしてフィルタリングする」ことに相当する。
　
（４−４−５）そして、甲１発明の「安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」動作を実現するにあたっては、当然に、本件訂正発明１の「各製造ステップ」に相当する甲１発明の「ある製造プロセス」のうちのいずれをフィルタリングの対象とするかを指定する必要があるから、甲１発明においても、本件訂正発明１のように「製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い」、「フィルタリングする」という構成を備えていることが明らかである。
　
　したがって、相違点１は、実質的なものでない。
　
（４−４−６）なお、これに関連して被請求人は、口頭審理において、平成２３年６月１３日に提出された口頭審理陳述要領書の（２−１）（イ）に記載されたとおり、以下のように陳述している。
「甲第１号証の第２６頁及び第２７頁に示される曲線は、最初の部分がStabilization、中央の部分がActive Process、そして最後の部分がEnd of active processと記載されている。Stabilizationは、半導体製造装置の状態を安定した状態に持っていき、スムーズにActive processに移行するための、装置側の能動的な行為又はその行為の結果を示す用語である。このStabilizationという能動的な準備行為は、Active processという能動的な処理行為とはその目的・機能が異なるものであり、必然的にその処理内容（装置に対する命令、設定、パラメータのセット）も異なる。つまり、StabilizationとActive processとは、処理内容が異なる別個のステップである。
　参考資料１乃至参考資料３は、半導体製造工程におけるStabilizationが１つのステップを示す用語であることを示す文献の例である。・・・参考資料１のFIG.2Bには、基板を処理する際に実行される複数のステップとしてSTABILIZATION 252、IGNITION 254、MAIN ETCH 256が示されている（コラム４の第４行〜第４３行参照）。また参考資料２のFIG.2Bには、デポジションプロセスが、STABILIZATION STEP 250、DEPOSITION STEP 260、TERMINATION STEP 270、PUMPING-OFF STEP 280の４つのステップからなることが示されている（コラム１１の第６３行〜コラム１２の第１２行参照）。また参考資料３のFIG.2には熱処理方法がload、stabilization、film-formation、purge、unloadの各ステップからなることが示されている（段落００５６、００５７、００６４、００６５参照）。これら何れの参考資料においても、Stabilizationステップは、ガスを導入して所望の圧力（や温度）に安定させるステップであり、レシピを構成する複数のステップの１つに相当する。
　従って、甲第１号証の第２６頁及び第２７頁に示される曲線において、Stabilization、Active Process、End of active processと記載される各部分が、それぞれ処理内容の異なる個別のステップに対応することは、当該技術分野の当業者にとっては明白なことである。それにもかかわらず請求人は、これらのStabilization、Active Process、End of active processを纏めた全体が、１つの製造ステップにおいて収集されたデータの曲線であると主張している。そのような主張は、処理内容の異なる複数のステップからなる参考資料１のFIG.2Bの曲線全体が１つのステップであると主張したり、処理内容の異なる複数のステップからなる参考資料３のFIG.2の曲線全体が１つのステップであると主張したりするのと同じことであり、妥当ではない。」
「半導体製造装置によるプロセス技術においては、エッチングや、デポジション、膜形成等の処理プロセスステップの前ステップにおいて、圧力や温度等を安定化させる安定化ステップ（stabilization step）が実行されるのが通常であり、処理プロセスステップの開始時には既に処理条件が許容可能な程度に安定状態になっている、というのが当該技術分野の常識（特に本件特許の出願時における常識）である。
　この常識に基づけば、甲第１号証の第２６頁及び第２７頁に示される曲線は、複数の製造ステップから成ると考えるのが妥当であり、複数の製造ステップのうちの１つの製造ステップにおいて収集されたデータの曲線であると解釈すべきではない。」
　
（４−４−７）しかしながら、甲１の１の第２８及び２９ページの第２文には、「このフィルタは時間的ウィンドウ処理フィルタと同じであるが、ウィンドウの開始および終了基準は、プロセス情報（ステップ、またはＤＣプランの任意の変数）に基づく」と記載され、同２９ページの図には、「ステップ１」（「安定化」）及び「ステップ３」（「アクティブ・プロセスの終了」）についてデータがフィルタリングされる様子が記載されている。また、甲１の１の第２６及び２７ページの第２文には、「このフィルタは、時間的データのどの部分をシステムが処理フィルタに対してアクティブとするかを、ユーザが指定することを可能にする。」と記載され、「アクティブ・プロセス」の開始時間前（「安定化」）及び「アクティブ・プロセス」の終了時間後（「アクティブ・プロセスの終了」）についてのデータがフィルタリングされる様子が記載されている。したがって、これらの記載を総合すると、甲１の１の第２６ページに記載された「安定化」、「アクティブ・プロセス」、「アクティブ・プロセスの終了」の区分分けは、１つの半導体製造段階（ステップ）において、フィルタリングの開始・終了時間を指定した結果、「安定化」の区間、「アクティブ・プロセス」の区間、「アクティブ・プロセスの終了」の区間に分けらていることを示したものと解するのが自然であり、「安定化」、「アクティブ・プロセス」、「アクティブ・プロセスの終了」が、「ステップ１」ないし「ステップ３」という３つの別個のステップであるという意味ではないことは明らかである。
　したがって、相違点１は実質的なものではなく、請求人の主張は採用できない。
　また、仮に、同２６及び２７ページの「安定化」、「アクティブ・プロセス」、「アクティブ・プロセスの終了」が、別個のステップであったとしても、１つの製造ステップを実行する場合におけるステップの開始直後と終了直前に処理条件が不安定になる区間を、別個の「ステップ」と称するかどうかは、単なる呼称の相違にすぎないから、相違点１が実質的なものではないという結論に変わりはない。
　
　よって、被請求人の主張は採用できない。
　
（４−５）小括
　以上の通り、上記相違点１は、実質的なものでないから、本件訂正発明１は、甲１の１に記載された発明であり、甲１の１により公然知られた発明である。
　したがって、本件訂正発明１は、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、特許を受けることができないものである。
　
（５）本件訂正発明２と甲１の１に記載された発明との対比・判断
（５−１）本件訂正発明２
　本件訂正発明２は、本件訂正明細書の記載からみて、本件訂正明細書の特許請求の範囲請求項２に記載されている事項により特定される以下のとおりのものである。
　
「【請求項２】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有し、
　前記フィルタリング部は、前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、前記信号データをカットしてフィルタリングすることを特徴とする信号処理装置。」
　
（５−２）甲１の１に記載された事項及び発明
（５−２−１）上記（４−２−１）に記載したように、甲１の１には、「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣ」が記載されている。
　
（５−２−２）上記（４−２−２）に記載したように、甲１の１には、「半導体製造装置における各製造ステップの信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部」が記載されている。
　
（５−２−３）上記（４−２−３）に記載したように、甲１の１には、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が記載されている。
　
（５−２−４）上記（４−２−４）に記載したように、甲１の１には、「フィルタリングした信号データを要約化する要約化部」が記載されている。
　
（５−２−５）甲１の１の第２５ページ第１文には、「フィルタ」の１つとして、「時間的ウィンドウ処理」が記載されている。また、同２５ページ第２文には、「時間的フィルタはユーザからのパラメータ（開始時間、停止時間、パーセント、・・・）を必要とする」との記載があり、ユーザによる所定時間の設定が記載されている。
　そして、甲１の１の第１１ページ下から３行目及び同１８ページ第２項目にそれぞれ「サンプリング・レート」と記載されており、「サンプリング・レート」が、単位時間あたりに取得するサンプル数を表わすことは、当業者の技術常識である。また、甲１の１の第２７ページには、破線で描かれた２つの四角形のそれぞれの網掛け部分、すなわち「安定化」及び「アクティブ・プロセスの終了」と記載された一定の区分（時間）についてデータがフィルタリングされる様子が記載されている。そうすると、フィルータリングされない区分については、「サンプリング・レート」に応じた所定サンプル数分のデータが取得すなわち抽出されていることは明らかである。
　したがって、甲１の１には、「フィルタリング部は、信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、前記信号データをカットしてフィルタリングする」ことが記載されているものと認められる。
　
（５−２−６）以上をまとめると、甲１の１には、以下の発明（以下「甲２発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣにおいて、
前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
を有し、
前記フィルタリング部は、前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、前記信号データをカットしてフィルタリングする、
ＦＤＣ。」
　
（５−３）対比
（５−３−１）「ＦＤＣ」においては半導体製造装置の装置状態を示す信号を取得し、プロセス障害の検出などの処理するのであるから、甲２発明の「ＦＤＣ」は、本件訂正発明２の「信号処理装置」に相当する。
　
（５−３−２）甲２発明の「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」と、本件訂正発明２の「前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部」は、「信号データ」を「フィルタリングする」「フィルタリング部」という点で共通する。
　
（５−３−３）そうすると、本件訂正発明２と甲２発明とは、
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有し、
　前記フィルタリング部は、前記信号データのうち所定サンプル数分の前記信号データを抽出するよう、前記信号データをカットしてフィルタリングすることを特徴とする信号処理装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点２）
　「前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が、本件訂正発明２では、「各製造ステップにおける」「信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングする」のに対して、甲２発明では、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」点。
　
（５−４）当審の判断
（５−４−１）甲１の１の第１１ページにおける「データ収集をトリガする開始イベント及び停止イベントを定義する（レシピ名、ステップ番号．．．）」という記載は、データ収集をトリガする開始／終了イベントを、製造ステップ番号を用いて定義できることを教示したものであると解される。
　また、一般に、１つの製造ステップを実行する場合、ステップの開始直後と終了直前に処理条件が不安定になることは、当業者にとっては、技術常識とも云えるものであり、甲１の１の第２６ページのグラフに示されるデータ曲線は、そのことを示したものであって、複数の製造ステップのうちの１つの製造ステップにおいて収集されたデータの曲線であると認められる。
　
（５−４−２）したがって、甲２発明の「時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした」「ある製造プロセス」は、本件訂正発明２の「各製造ステップ」に相当し、甲２発明の「安定化」及び「アクティブ・プロセスの終了」における「信号データ」は、各々本件訂正発明２の「製造ステップの切り替わり直後の前記信号データ」及び「次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データ」に相当する。
　
（５−４−３）そして、甲１の１の第２６及び２７ページの第２文には、「このフィルタは、時間的データのどの部分をシステムが処理フィルタに対してアクティブとするかを、ユーザが指定することを可能にする。」と記載されていることを勘案すると、同２７ページのグラフは、同２６ページにグラフに示されたデータ曲線に対して、破線で描かれた２つの四角形のそれぞれの網掛け部分、すなわち「安定化」及び「アクティブ・プロセスの終了」と記載された区分についてのデータがフィルタリングされる様子が記載されているものと認められる。
　
（５−４−４）そうすると、甲２発明の「安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」ことは、本件訂正発明２の「製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、」「製造ステップ単位でカットしてフィルタリングする」ことに相当する。
　
　したがって、相違点２は、実質的なものでない。
　
（５−４−５）なお、これに関連する被請求人の主張については、上記（４−４−６）及び（４−４−７）に記載したとおり、採用できない。
　
（５−５）小括
　以上の通り、上記相違点２は、実質的なものでないから、本件訂正発明２は、甲１の１に記載された発明であり、甲１の１により公然知られた発明である。
　したがって、本件訂正発明２は、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、特許を受けることができないものである。
　
（６）本件訂正発明３と甲１の１に記載された発明との対比・判断
（６−１）本件訂正発明３
　本件訂正発明３は、本件訂正明細書の記載からみて、本件訂正明細書の特許請求の範囲請求項３に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
　
「【請求項３】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした複数の前記センサの前記信号データに対し、多変量解析を行う多変量解析部と、
　前記多変量解析した前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。」
　
（６−２）甲１の１に記載された事項及び発明
（６−２−１）上記（４−２−１）に記載したように、甲１の１には、「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣ」が記載されている。
　
（６−２−２）上記（４−２−２）に記載したように、甲１の１には、「半導体製造装置における各製造ステップの信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部」が記載されている。
　
（６−２−３）上記（４−２−３）に記載したように、甲１の１には、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が記載されている。
　
（６−２−４）甲１の１の第３６ページ第３文には、「この章では以下の障害検出方法を提示する」との記載があり、当該結果検出方法の１つに「ホテリングＴ２」が挙げられている。そして、甲１の１の、右上部に「多変量解析」の記載のある第４２ページに、「ホテリングＴ２」に関する説明がなされている。すなわち、「ホテリングＴ２」は「多変量解析」の一つであり、当該「多変量解析」がＦＤＣの１つに挙げられているのであるから、「多変量解析」は、フィルタリングした複数のセンサの信号データに対し、適用される。
　したがって、甲１の１には、「フィルタリングした複数のセンサの信号データに対し、多変量解折を行う多変量解析部」が記載されている。
　
（６−２−５）上記（４−２−４）に記載したように、甲１の１には、「フィルタリングした信号データを要約化する要約化部」が記載されている。
　
（６−２−６）以上をまとめると、甲１の１には、以下の発明（以下「甲３発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣにおいて、
前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
前記フィルタリングした複数の前記センサの前記信号データに対し、多変量解折を行う多変量解析部と、
前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
を有するＦＤＣ。」
　
（６−３）対比
（６−３−１）「ＦＤＣ」においては半導体製造装置の装置状態を示す信号を取得し、プロセス障害の検出などの処理するのであるから、甲３発明の「ＦＤＣ」は、本件訂正発明３の「信号処理装置」に相当する。
　
（６−３−２）甲３発明の「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」と、本件訂正発明３の「前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部」は、「信号データ」を「フィルタリングする」「フィルタリング部」という点で共通する。
　
（６−３−３）甲３発明の「前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部」と、本件訂正発明３の「前記多変量解析した前記信号データを要約化する要約化部」は、「前記信号データを要約化する要約化部」という点で共通する。
　
（６−３−４）そうすると、本件訂正発明３と甲３発明とは、
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした複数の前記センサの前記信号データに対し、多変量解析を行う多変量解析部と、
　前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有することを特徴とする信号処理装置。」である点で一致し、次の２点で相違する。
　
（相違点３）
　「前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が、本件訂正発明３では、「各製造ステップにおける」「信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングする」のに対して、甲３発明では、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」点。
　
（相違点４）
  「前記信号データを要約化する要約化部」が、本件訂正発明３では、「多変量解析した」「信号データを要約化する」のに対して、甲３発明では、「フィルタリングした」「信号データを要約化する」点。
　
（６−４）当審の判断
（６−４−１）相違点３について
　相違点３は、相違点２と同じであるから、上記（５−４）で検討したとおり、実質的なものでない。
　
（６−４−２）相違点４について
　本件訂正発明３の「多変量解析した」「信号データを要約化する」点に関して、本件特許明細書には、段落００２４に、「また、フィルタリングした各センサ３０−１、３０−２、…、３０−ｍの信号データを、多変量解析部１４に入力して多変量解析を行うようにしてもよい。多変量解析を行うことにより、半導体製造装置２０の異常をより総合的に検出することができる。多変量解析処理した結果は、サマリー化部１３に入力されて、製造ステップ単位で同様にサマリー化される。」と記載されているのみで、多変量解析したデータをどのようにして要約化するのかについての具体的な記載はなく、その効果についても記載されていない。さらにいえば、「多変量解析」自体が、複数の変数に関連した多数のデータから変数間の関係性を抽出するという、一種の要約的機能をも有することを勘案すると、適用されるプロセス並びに多変量解析及び要約化の内容が具体的に限定されていれば別として、多変量解析の後に要約化するということの技術的意義自体も不明である。
　そして、「多変量解析」及び「要約化」は、共に周知の統計的手法であることを考えると、甲３発明において、本件訂正発明３のように、解析の対象となるデータについて、多変量解析を行ってから要約化を行うことは、当業者が必要に応じて適宜なし得る程度のことと認めるほかない。
　なお、被請求人は答弁書において、本件訂正発明３は、「要約化前に各時刻において多変量解析を行うため、要約化で埋もれてしまうようなプロセスの瞬間的な異常を見逃すことなく、精度良くプロセスの状態を判断できるという格別な効果」を奏すると主張しているが、上で述べたように、適用されるプロセスも多変量解析及び要約化の具体的内容も限定されていない本件訂正発明３においては、多変量解析の後に要約化することの技術的意義自体が不明であるから、本件訂正発明３が、被請求人が主張するような効果を奏するとは認められず、また、仮に、本件訂正発明３が何らかの効果を奏するものであったとしても、当該効果は、「多変量解析」及び「要約化」が奏する効果から当業者が予測できる程度のものである。
　
　よって、相違点４は、当業者が容易に想到し得た範囲に含まれるものにすぎない。
　
（６−５）小括
　以上の通り、本件訂正発明３と甲３発明との相違点は、いずれも、実質的なものでないか、当業者が容易に想到し得た範囲に含まれる程度のものにすぎず、本件訂正発明３は、甲１の１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（７）本件訂正発明４と甲１の１に記載された発明との対比・判断
（７−１）本件訂正発明４
　本件訂正発明４は、本件訂正明細書の記載からみて、本件訂正明細書の特許請求の範囲請求項４に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
　
「【請求項４】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有し、
　要約化した前記信号データに、品種情報を含む製造工程に関する情報を含むデータ管理情報を付加し、半導体製造工程における各種システムに引き渡すことを特徴とする信号処理装置。」
　
（７−２）甲１の１に記載された事項及び発明
（７−２−１）上記（４−２−１）に記載したように、甲１の１には、「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣ」が記載されている。
　
（７−２−２）上記（４−２−２）に記載したように、甲１の１には、「半導体製造装置における各製造ステップの信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部」が記載されている。
　
（７−２−３）上記（４−２−３）に記載したように、甲１の１には、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が記載されている。
　
（７−２−４）上記（４−２−４）に記載したように、甲１の１には、「フィルタリングした信号データを要約化する要約化部」が記載されている。
　
（７−２−５）甲１の１の第１２ページ上段中央左には、「ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）」との記載がある。
　また、同ページには、上記「ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）」が、「統合され同期がとられた信頼できるデータ収集」へ渡される様子が表わされている。さらに、同２３ページには、「データ収集後、当該時間的情報はインジケータにおいて統合されなければならない」と記載されるとともに、「当該前処理アルゴリズムはこれらインジケータを構築することを目的とする」と記載され、かつ、前処理のアルゴリズムとして「ステップ１：時間的フィルタ」及び「ステップ２：要約化フィルタ」が記載されている。そうすると、甲１の１には、「ＦＤＣ」において、「ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）」が要約化した信号データに付加されることが記載されている。
　また、同１２ページ右上には、「ＡＰＣ適用（アプリケーション）」との記載があり、「統合され同期がとられた信頼できるデータ収集」から当該「ＡＰＣ適用（アプリケーション）」へ向かう矢印が記載されている。ここにおいて、「ＡＰＣ適用（アプリケーション）」が、半導体製造工程における各種システムの１つに該当することは、当業者にとって明らかである。
　したがって、甲１の１には、「要約化した信号データに、ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）を付加し、ＡＰＣ適用（アプリケーション）に引き渡す」ことが記載されている。
　
（７−２−６）以上をまとめると、甲１の１には、以下の発明（以下「甲４発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理するＦＤＣにおいて、
前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、を有し、
前記要約化した前記信号データに、ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）を付加し、ＡＰＣ適用（アプリケーション）に引き渡す、
ＦＤＣ。」
　
（７−３）対比
（７−３−１）「ＦＤＣ」においては半導体製造装置の装置状態を示す信号を取得し、プロセス障害の検出などの処理するのであるから、甲４発明の「ＦＤＣ」は、本件訂正発明４の「信号処理装置」に相当する。
　
（７−３−２）甲４発明の「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングするフィルタリング部」と、本件訂正発明４の「前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングするフィルタリング部」は、「信号データ」を「フィルタリングする」「フィルタリング部」という点で共通する。
　
（７−３−３）甲４発明の「ＡＰＣ適用（アプリケーション）」は、半導体製造工程における各種システムの１つに該当することは明らかである。
　
（７−３−４）甲４発明の「ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）」が、製造工程に関する情報であることは明らかであるから、甲４発明の「ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）」と、本件訂正発明４の「品種情報を含む製造工程に関する情報を含むデータ管理情報」は、「製造工程に関する情報を含むデータ管理情報」という点で共通する。
　
（７−３−５）そうすると、本件訂正発明４と甲４発明とは、
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理装置において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得するセンサ情報取得部と、
　前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部と、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する要約化部と、
　を有し、
　要約化した前記信号データに、製造工程に関する情報を含むデータ管理情報を付加し、半導体製造工程における各種システムに引き渡すことを特徴とする信号処理装置。」である点で一致し、次の２点で相違する。
　
（相違点５）
　「前記信号データをフィルタリングするフィルタリング部」が、本件訂正発明４では、「各製造ステップにおける」「信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方をカットしてフィルタリングする」のに対して、甲４発明では、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングする」点。
　
（相違点６）
  「製造工程に関する情報を含むデータ管理情報」が、本件訂正発明４では、「品種情報を含む」のに対して、甲４発明では、「品種情報を含む」ことが特定されていない点。
　
（７−４）当審の判断
（７−４−１）相違点５について
　相違点５は、相違点２と同じであるから、上記（５−４）で検討したとおり、実質的なものでない。
　
（７−４−２）相違点６について
　製造プロセスにおいて使用される各種システムにどのような管理情報を引き渡すかということは、引き渡し対象となるシステムがどのような情報を必要としているかに応じて、決定されるべきものである。そして、一般に、半導体装置の製造においては、何を作るかということ、すなわち「品種情報」が、製造工程における最も重要かつ基本的な管理情報の１つであることは、論を待たないことである。
　そうすると、甲４発明において、ロジスティカル・データ（レシピＩＤ、ロットＩＤ、ウェーハＩＤ、・・・）に加えて、品種情報を付加し、ＡＰＣ適用（アプリケーション）に引き渡すことにより、本件訂正発明４のように、「要約化した前記信号データに、品種情報を含む製造工程に関する情報を含むデータ管理情報を付加し、半導体製造工程における各種システムに引き渡す」構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　よって、相違点６は、当業者が容易に想到し得た範囲に含まれるものにすぎない。
　
（７−５）小括
　以上の通り、本件訂正発明４と甲４発明との相違点は、いずれも、実質的なものでないか、当業者が容易に想到し得た範囲に含まれる程度のものにすぎず、本件訂正発明４は、甲１の１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（８）本件訂正発明５と甲１の１に記載された発明との対比・判断
（８−１）本件訂正発明５
　本件訂正発明５は、本件訂正明細書の記載からみて、本件訂正明細書の特許請求の範囲請求項５に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
　
「【請求項５】
　半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理方法において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得し、
　前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリングし、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する、
　ことを特徴とする信号処理方法。」
　
（８−２）甲１の１に記載された事項及び発明
  上記（４−２−１）ないし（４−２−４）の記載から、甲１の１には、以下の発明（以下「甲５発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する方法において、
前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得し、
ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリングし、
前記フィルタリングした前記信号データを要約化する、
方法。」
　
（８−３）対比
（８−３−１）甲５発明の「方法」は、各種信号を処理するものであることが明らかであるから、本件訂正発明５の「信号処理方法」に相当する。
　
（８−３−２）甲５発明の「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリング」することと、本件訂正発明５の「前記各製造ステップにおける前記信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリング」することは、「信号データ」を「フィルタリング」するという点で共通する。
　
（８−３−３）そうすると、本件訂正発明５と甲５発明とは、
「半導体製造装置の装置状態を検出する複数のセンサからの信号データを処理する信号処理方法において、
　前記半導体製造装置における各製造ステップの前記信号データを所定の時間間隔で取得し、
　前記信号データをフィルタリングし、
　前記フィルタリングした前記信号データを要約化する、
　信号処理方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点７）
　「前記信号データをフィルタリング」することが、本件訂正発明５では、「各製造ステップにおける」「信号データのうち、製造ステップの切り替わり直後の前記信号データと、次の製造ステップヘの切り替わり直前の前記信号データの少なくとも一方を、製造ステップ毎に指定された切り替わり直後又は直前のフィルタリングの指定に従い、製造ステップ単位でカットしてフィルタリング」するのに対して、甲５発明では、「ある製造プロセスを、時間的にみて、安定化、アクティブ・プロセス、アクティブ・プロセスの終了の３つの区分に区分けした場合に、該安定化及びアクティブ・プロセスの終了における信号データをフィルタリング」する点。
　
（８−４）当審の判断
　本件訂正発明５は、「装置」の発明である本件訂正発明１を、そのまま「方法」の形式に書き換えたものであり、相違点７は、上記相違点１と実質的にみて同じである。
　そうすると、相違点７は、上記（５−４）で検討したのと同様、実質的なものでない。
　
（８−５）小括
　以上の通り、上記相違点７は、実質的なものでないから、本件訂正発明５は、甲１の１に記載された発明であり、甲１の１により公然知られた発明である。
　したがって、本件訂正発明５は、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、特許を受けることができないものである。
　
（９）無効理由についてのまとめ 
　以上検討したとおり、本件訂正発明１、２及び５は、特許法第２９条第１項第３号及び同条同項第１号に該当し、特許を受けることができないものであり、本件訂正発明３及び４は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、いずれも同法第１２３条第１項第２号の規程により無効とされるべきものである。
　
第５．むすび 
　以上のとおりであるから、本件訂正により訂正された本件特許の請求項１ないし５に係る発明についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。 
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項において準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。 
　 
　よって、上記結論のとおり審決する。