【手続補正書】
【提出日】平成23年1月6日(2011.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスシート上に半導体材料をコーティングするためのシステムであって、
真空チャンバを画成する細長いハウジングと、
前記真空チャンバ内へ入るための入口ロードロックステーションおよび前記真空チャンバから出るための出口ロードロックステーションと、
垂直に懸架されるようにガラスシートの上端を単独で支持してガラスシートを搬送するコンベヤと
を備え、
前記ハウジングが、ガラスシートを加熱するための加熱ステーションおよび堆積用の半導体材料を供給するための少なくとも１つの堆積ステーションを含み、
前記コンベヤが、まず前記入口ロードロックステーション内を通って前記真空チャンバ内に入った後、前記ガラスシートを加熱するための前記加熱ステーションを通り、その後、前記ガラスシート上に半導体材料を堆積するための前記堆積ステーションを通り、最後に、コーティングされた前記ガラスシートを送り出すための前記出口ロードロックステーションを通って前記真空チャンバから出て、当該システムを通して垂直に懸架された前記ガラスシートを搬送する、ガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項２】
前記コンベヤが、垂直に懸架された前記ガラスシートの上端を支持するためのシャトルと駆動機構を有する駆動装置とをさらに含み、
前記駆動装置は、前記入口ロードロックステーション内を通って前記真空チャンバ内に入った後、前記ガラスシートを加熱するための前記加熱ステーションを通り、その後、前記ガラスシート上に半導体材料を堆積するための前記堆積ステーションを通り、最後に、コーティングされた前記ガラスシートを送り出すための前記出口ロードロックステーションを通って前記真空チャンバから出て、当該システムを通して前記シャトルおよび前記シャトルから懸架された垂直の前記ガラスシートを搬送するための当該システムに沿って設置される、請求項１に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項３】
各シャトルの形状が、搬送中に垂直に懸架された前記ガラスシートの上端を支持するトングを支持するための垂下支持部分を含む細長い形状であり、コンベヤ駆動装置の駆動機構の各々が、細長い形状を有し、当該システム内へ、当該システムを通って、および当該システムから垂直に懸架された前記ガラスシートを搬送するために、前記シャトルを回転駆動するように前記シャトルの細長い形状に沿って間隔を置いて設けられた回転駆動部材を含む、請求項２に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項４】
前記回転駆動部材が磁気性のものであり、前記ガラスシートの搬送用に前記シャトルを回転駆動する、請求項３に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項５】
前記シャトルが、前記磁気回転駆動部材が上方から前記シャトルを支持および回転駆動する上側支持および駆動表面を有する、請求項４に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項６】
前記シャトルが、向かい合う側面を有し、前記駆動機構が、前記シャトルの前記向かい合う側面の下方の向かい合う側面で、前記駆動機構の長さに沿って間隔を置いて設けられたフェイルセーフローラを有する、請求項５に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項７】
前記加熱ステーションが、前記ガラスシート上に半導体材料を堆積する前に、前記ガラスシートを放射加熱するように、前記搬送された垂直のガラスシートの両側に間隔を置いて設けられた放射ヒータを含む、請求項１に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項８】
前記放射ヒータが、放射加熱スラブを含み、前記放射加熱スラブが、互いに対して間隔を置いて平行になるように垂直方向に延出し、前記加熱スラブ間に、垂直に懸架された前記ガラスシートが加熱のために搬送される、請求項７に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項９】
前記コーティングされたガラスシートを放射冷却する放射熱吸収体をさらに含む、請求項１に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項１０】
前記放射熱吸収体が、放射冷却スラブを備え、前記放射冷却スラブが、互いに対して間隔を置いて平行になるように垂直方向に延出し、前記放射冷却スラブ間に、垂直に懸架された前記ガラスシートが冷却のために搬送中に位置付けられる、請求項９に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項１１】
前記放射熱吸収体が、前記出口ロードロックステーションから上流の真空チャンバに設置される、請求項１０に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項１２】
垂直に懸架されるように垂直のガラスシートの上端を単独で支持するとともに、前記第１のコンベヤによって搬送された垂直に懸架された前記ガラスシートとともに、当該システムを通って前記垂直に懸架されたガラスシートを搬送するために、前記第１のコンベヤに沿って設置された第２のコンベヤを含み、
前記第２のコンベヤは、垂直の前記ガラスシートが、まず、前記入口ロードロックステーション内を通って前記真空チャンバ内に入った後、前記ガラスシートを加熱するための前記加熱ステーションを通り、その後、前記ガラスシート上に半導体材料を堆積するための前記堆積ステーションを通り、最後に、コーティングされた前記ガラスシートを送り出すための前記出口ロードロックステーションを通って前記真空チャンバから搬送されるようになっている、請求項１に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項１３】
前記細長いハウジングが、前記真空チャンバを画成するために互いに対して接続された端部を有するモジュールを含み、
前記モジュールの各々が、部分的に円形の下側ハウジング部分と、前記下側ハウジング部分から上向きに延出し、上側アクセス開口を有する上側アクセス部分と、隣接するモジュールとの接続用に各モジュールの端部で前記下側ハウジング部分および前記上側アクセス部分の周りで延出する端部シールと、前記アクセス開口を選択的に閉じたり、メンテナンスまたは修理のために前記モジュール内へアクセスするための開口を与えたりする取り外し可能なカバーとを含む、請求項１に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項１４】
前記コンベヤを支持し、前記ハウジングの前記モジュールの前記上側アクセス部分によって支持されるフレームワークをさらに含む、請求項１３に記載のガラスシート半導体コーティングシステム。
【請求項１５】
前記細長いハウジングが、真空チャンバを画成するために互いに対して接続された端部を有するモジュールを含み、
前記モジュールの各々が、部分的に円形の下側ハウジング部分と、前記下側ハウジング部分から上向きに延出し、上側アクセス開口を有する上側アクセス部分と、隣接するモジュールとの接続用に前記モジュールの端部で前記下側ハウジング部分および前記上側アクセス部分の周りで延出する端部シールと、前記アクセス開口を選択的に閉じたり、メンテナンスまたは修理のために前記モジュール内へアクセスするための開口を与えたりする取り外し可能なカバーとを含み、
前記ハウジングが、堆積用の半導体材料を供給するための２つの堆積ステーションを含み、
前記コンベヤが、前記垂直に懸架されたガラスシートの上端を支持するためのシャトルと、前記ハウジングモジュールの前記アクセス部分によって支持されたフレームワークと、前記システムを通して前記シャトルおよび前記シャトルから懸架された前記垂直ガラスシートを搬送するための前記システムに沿って前記フレームワークによって支持された駆動機構を有する駆動装置とを含み、
前記シャトルの各々が、上側表面と、向かい合う側面と、搬送中に前記垂直に懸架されたガラスシートの上端を支持するトングを支持するための垂下支持部分とを含む細長い形状を有し、前記コンベヤ駆動装置の前記駆動機構の各々が、細長い形状を有し、前記システム内、システムを通って、およびシステムから前記垂直に懸架されたガラスシートを搬送するために、前記シャトルを支持および回転駆動するために、前記シャトルの細長い形状に沿って間隔を置いて設けられた回転駆動部材を含み、
放射熱吸収体が、放射冷却スラブを含み、前記放射冷却スラブが、互いに対して間隔を置いて平行になるように垂直方向に延出し、前記放射冷却スラブ間に、前記垂直に懸架されたガラスシートが冷却のために搬送中に位置付けられる、請求項１に記載のガラスシート上に半導体材料をコーティングするためのシステム。
【請求項１６】
ガラスシート上に半導体材料をコーティングするための方法であって、
前記ガラスシートの上端で前記ガラスシートを垂直配向で懸架されるように支持し、入口ロードロックステーションを通って真空チャンバ内に前記垂直に懸架されたガラスシートを搬送方向に沿って搬送するステップと、
前記真空チャンバにおいて、垂直方向に搬送された前記ガラスシートを加熱するステップと、
次に、加熱され垂直方向に搬送された前記ガラスシート上に半導体材料のコーティングを堆積するステップと、
その後、送り出すために前記真空チャンバから出口ロードロックステーションを通って垂直に懸架され半導体コーティングされた前記ガラスシートを搬送するステップと、
を備える方法。
【請求項１７】
前記垂直に懸架されたガラスシートが、前記搬送方向に沿って設置された駆動機構の磁気回転駆動部材によって、前記真空チャンバを通って内外に搬送されるシャトルによって前記ガラスシートの上端で支持される、請求項１６に記載のガラスシート半導体コーティング方法。
【請求項１８】
前記ガラスシートが、搬送された前記垂直に懸架されたガラスシートの両側に間隔を置いて設けられた垂直放射加熱スラブを含む放射ヒータによって加熱される、請求項１６に記載のガラスシート半導体コーティング方法。
【請求項１９】
コーティングされた前記ガラスシートが、互いに対して間隔を置いて平行になるように垂直方向に延出する冷却スラブを含む放射熱吸収体によって冷却され、前記冷却スラブ間に、冷却するために搬送中に前記垂直に懸架され半導体コーティングされたガラスシートが位置付けられる、請求項１６に記載のガラスシート半導体コーティング方法。
【請求項２０】
前記垂直に懸架されたガラスシートが、前記搬送方向に沿って設置された駆動機構の回転駆動部材によって、前記真空チャンバを通って内外に搬送されたシャトルによって支持され、搬送された前記垂直に懸架されたガラスシートの両側に間隔を置いて設けられた垂直放射加熱スラブを含む放射ヒータによって加熱され、互いに対して間隔を置いて平行になるように垂直方向に延出する冷却スラブを含む放射熱吸収体によって冷却され、前記冷却スラブ間に、前記垂直に懸架されたガラスシートが冷却のために搬送中に位置付けられる、請求項１６に記載のガラスシート半導体コーティング方法。
【請求項２１】
ガラスシートが加熱され、かつ、前記ガラスシートを変形して前記ガラスシートの冷却後に残るトングマークを残すトングによって、前記ガラスシートの上端で懸架により前記ガラスシートが垂直方向に搬送されている間、気相堆積法によって前記ガラスシート上に堆積された半導体材料の少なくとも１つの層を有するガラスシートを備える、半導体コーティングされたガラスシート。
【請求項２２】
前記ガラスシートの一表面上の酸化スズ層と、前記酸化スズ層上にわたってコーティングされた第１の半導体層と、前記第１の半導体層上にわたってコーティングされた第２の半導体層とを含む、請求項２１に記載の半導体コーティングされたガラスシート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を実行する際、本発明によるガラスシート上に半導体材料をコーティングするためのシステムが、真空チャンバを画成する細長いハウジングを含む。このシステムの入口ロードロックステーションにより、真空チャンバ内への入口が得られ、このシステムの出口ロードロックステーションにより、真空チャンバからの出口が得られる。ハウジングは、ガラスシートを加熱するための加熱ステーションと、堆積用の半導体材料を供給するための少なくとも１つの堆積ステーションとを含む。システムのコンベヤは、垂直につるされるようにガラスシートの上端を単独で支持し、コンベアは、システムを通って垂直に懸架されたガラスシートを、まず、入口ロードロックステーション内を通って真空チャンバ内に入った後、ガラスシートを加熱するための加熱ステーションを通り、その後、ガラスシート上に半導体材料を堆積するための堆積ステーションを通り、最後に、コーティングされたガラスシートを送り出すための出口ロードロックステーションを通って真空チャンバから搬送される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
開示されたシステムはまた、垂直に懸架されるように垂直ガラスシートの上端を単独で支持し、第１のコンベヤによって搬送された垂直に懸架されたガラスシートとともに、システムを通ってこれらの垂直に懸架されたガラスシートを搬送するために、第１のコンベヤに沿って設置された第２のコンベヤを含み、これらの垂直に懸架されたガラスは、まず、入口ロードロックステーション内を通って真空チャンバ内に入った後、ガラスシートを加熱するための加熱ステーションを通り、その後、ガラスシート上に半導体材料を堆積するための堆積ステーションを通り、最後に、コーティングされたガラスシートを送り出すための出口ロードロックステーションを通って真空チャンバから搬送される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上述の目的を実行する際、本発明によるガラスシート上に半導体材料をコーティングするための方法は、ガラスシートの上端をガラスシートが垂直配向で垂直に懸架されるように単独で支持し、入口ロードロックを通って真空チャンバ内に垂直に懸架されたガラスシートを搬送することによって実行される。垂直方向に搬送されるガラスシートは、真空チャンバ内で加熱された後、垂直方向に搬送され加熱されたガラスシート上に、半導体材料が堆積される。その後、半導体でコーティングされたガラスシートは、送り出すための出口ロードロックを通って真空チャンバから搬送される。