【手続補正書】
【提出日】平成23年8月10日(2011.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査システムでウエハを走査することによって生成された画像データを記憶するように構成されるシステムであって、
検査システムの検出器に接続される一組のプロセッサノードであって、該プロセッサノードのそれぞれは、ウエハの走査中に検出器によって生成された画像データの一部分を受信するように構成される一組のプロセッサノードと、
前記プロセッサノードのそれぞれに別々に接続される記憶媒体のアレイであって、前記プロセッサノードはさらに、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データの全てまたは前記画像データの選択された部分が前記記憶媒体の前記アレイに記憶されるように、前記プロセッサノードによって受信された前記画像データの全てまたは前記画像データの選択された部分が前記記憶媒体の前記アレイに送られるようにさらに構成される、記憶媒体のアレイとを含むシステム。
【請求項２】
前記記憶媒体の前記アレイのそれぞれは、個々のディスクドライブの冗長アレイを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記記憶媒体の前記アレイのそれぞれはコンピュータメモリを含む、請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
前記一組のプロセッサノードはプロセッサノードのカラムとしてさらに構成され、そして前記システムは前記プロセッサノードの前記カラムに接続されるプロセッサノードの１つ以上の追加カラムをさらに含む、請求項１ないし３のいずれかに記載のシステム。
【請求項５】
前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データは未加工の画像データを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記画像データを使って欠陥検出が行われる前に、前記記憶媒体の前記アレイに前記画像データが記憶される、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記一組のプロセッサノードは、前記画像データが前記一組のプロセッサノードによって受信される時に、前記画像データが前記記憶媒体の前記アレイに記憶されるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記一組のプロセッサノードと前記記憶媒体の前記アレイは、前記検査システムをシミュレートするように構成されるスタンドアロンのサブシステムとしてさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記一組のプロセッサノードと前記記憶媒体の前記アレイは完全な検査システムのプロキシとして使用することのできる、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記一組のプロセッサノードと前記記憶媒体の前記アレイは、前記検査システムのユーザインタフェースを模倣するスタンドアロンのサブシステムとして機能するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記一組のプロセッサノードは、前記検査システムによって、または前記検査システムを使って行うことのできる１つ以上の機能をシミュレートするために、オフラインモードで１つ以上の機能を行うようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記一組のプロセッサノードと前記記憶媒体の前記アレイは仮想検査システムとしてさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記一組のプロセッサノードは、画像データのストリームが前記検出器によって生成され、そして前記一組のプロセッサノードによって受信される時に、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを前記画像データの前記ストリームと組み合わせるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記一組のプロセッサノードと前記記憶媒体の前記アレイは前記検査システムに埋め込まれる、請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶される、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データを全て使って、前記ウエハ全体の画像を生成するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って、ユーザがナビゲーションのために物理的ウエハを使わずに前記ウエハ全体の画像によってナビゲートできるようにするようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
前記一組のプロセッサノードは、前記検査システムの複数の撮像モードで取得された前記ウエハの画像をアーカイブするようにさらに構成され、該アーカイブされた画像は検査レシピのモード選択に使うことのできる、請求項１に記載のシステム。
【請求項１８】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って検査レシピを調整するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１９】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶される、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データの全てまたは前記画像データの選択された部分を使って、前記ウエハの検査のための１つ以上の欠陥検出パラメータを選択するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハの追加走査を行うことによって生成される追加の画像データを必要とせずに、前記記憶媒体の前記アレイに記憶される、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データを使って、前記ウエハの検査のための１つ以上の欠陥検出パラメータを選択するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２１】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って前記ウエハ上の２つ以上の異なる領域タイプを識別し、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って前記２つ以上の異なる領域タイプの１つ以上の欠陥検出パラメータを別々に特定することによって、前記ウエハの検査のために１つ以上の欠陥検出パラメータを選択するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２２】
前記検査システムは明視野小画素検査システとして構成され、そして前記一組のプロセッサノードは、前記検査システムによって生成されたウエハの画像をアーカイブするようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データのオフライン画像解析を行って、前記検査システムよりも低い処理量と高い解像度を持つ別の検査システムの検査サンプルプランを識別するように構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２４】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データの全てまたは前記画像データの前記選択された部分が記憶されて初めて、前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２５】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データの全てまたは前記画像データの前記選択された部分が記憶されて初めて、前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、欠陥検出は欠陥検出アルゴリズムを前記画像データに適用することによって行われ、前記欠陥検出アルゴリズムは、該欠陥検出アルゴリズムが前記画像データに適用されることのできる速度に関係なく選択される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２６】
前記一組のプロセッサノードは、２つ以上の欠陥検出アルゴリズムを前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データに適用することによってウエハ上の欠陥を検出し、前記２つ以上の欠陥検出アルゴリズムは、該２つ以上の欠陥検出アルゴリズの少なくとも１つのパラメータが異なるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム
【請求項２７】
前記一組のプロセッサノードは、複数のパスの前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを処理することによって前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２８】
前記一組のプロセッサノードは、複数のパスの前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを処理することによって前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、前記複数のパスの１つは、前記ウエハ上の１つ以上の関心領域に対応する前記画像データの１つ以上の部分の識別を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項２９】
前記一組のプロセッサノードは、複数のパスの前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを処理することによって前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、前記複数のパスの１つは、前記画像データに１つ以上のアルゴリズムを適用して前記欠陥を抽出し、誤った欠陥の検出を抑制するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３０】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された画像データの複数のストリームを使って前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３１】
前記一組のプロセッサノードは、画像データの複数のストリームを使って前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、該複数のストリームの１つは前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを含み、前記複数のストリームのもう１つは、前記ウエハの追加走査の際に、前記検出器によって生成された画像データを含み、前記走査と前記追加走査は前記検査システムの１つ以上の異なるパラメータを使って行われる、請求項１に記載のシステム。
【請求項３２】
前記一組のプロセッサノードは、データの複数のストリームを使って前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、該複数のストリームは前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データ、前記ウエハの統計データ、前記ウエハのデザインデータを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３３】
前記一組のプロセッサノードは、データの複数のストリームを使って前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、前記複数のストリームの１つは前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを含み、前記複数のストリームのもう１つは、前記検査システムによって取得されていないデータを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３４】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハ検査中に検出された欠陥のビンニングと、前記ウエハ検査の感度領域を決めるために、前記記憶媒体の前記アレイに記憶されたダイのコンテキストマップを使ってウエハ検査を行うようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３５】
前記一組のプロセッサノードは、オフラインで生成されたデザインレイアウトからダイのコンテキストマップを生成し、そして結果として生じたダイのコンテキストマップを前記記憶媒体の前記アレイに記憶するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３６】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイにあらかじめ記憶されたウエハを処理するために画像処理アルゴリズムを使ってダイのコンテキストマップを生成し、そして該ダイのコンテキストマップを前記記憶媒体のアレイに記憶するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３７】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハ上のダイに対応する前記画像データの一部分を標準的基準ダイと比較し、そして前記ウエハ上の前記ダイに対応する前記画像データの異なる部分を前記ウエハ上の異なるダイに対応する前記画像データの対応部分と比較することによって、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って、前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３８】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハ上のダイに対応する前記画像データの一部分を前記ウエハ上の異なるダイに対応する前記画像データの別の部分と比較することによって、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成され、前記画像データの前記部分と前記画像データの別の部分は前記画像データの単一ストリームに含まれる、請求項１に記載のシステム。
【請求項３９】
前記一組のプロセッサノードは、１つ以上のウエハ上の２つ以上のダイの画像データを使って標準的基準ダイを生成し、該標準的基準ダイを前記記憶媒体の前記アレイに記憶するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４０】
前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハ上のダイに対応する画像データを標準的基準ダイと比較することによってウエハ検査を行うようにさらに構成され、前記ウエハ上の前記ダイに対応する前記画像データと前記標準的基準ダイは前記記憶媒体の前記アレイに記憶される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４１】
前記一組のプロセッサノードは、前記ダイに対応する前記画像データが前記検出器から受信される時に、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された標準的基準ダイを前記ウエハのダイに対応する前記画像データと比較することによってウエハ検査を行うようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４２】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使ってウエハプロパティシグネチャ解析を行うようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４３】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶される、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データの全てを使ってウエハ全体の画像を生成するようにさらに構成され、前記一組のプロセッサノードは前記画像の局所画像処理と前記画像の非局所画像処理を行うようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４４】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データの処理を行い、該処理の結果を使って、前記ウエハの追加画像データを前記ウエハの走査によって取得するか、あるいは前記記憶媒体の前記アレイから取得するかを決めるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４５】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データと前記ウエハのデータの少なくとも１つの追加ソースを使って、前記ウエハの画像を生成するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４６】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記ウエハの前記画像データを別のウエハの画像データと比較するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４７】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記ウエハの前記画像データを別のウエハの画像データと比較するようにさらに構成され、前記ウエハと前記他のウエハは、プロセスの少なくとも１つのウエハレベルパラメータの様々な値を使って処理される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４８】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶される、前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データを全て使って前記ウエハ全体の画像を生成するようにさらに構成され、前記一組のプロセッサノードは、前記ウエハ全体の前記画像を使って、そして前記検査システムによって生成される追加画像データを必要とせずに、レビューシステムによって生成された前記ウエハの前記画像と出力が前記ウエハの検査のための１つ以上の欠陥検出パラメータの選択に使用されるように、前記ウエハ上の欠陥がレビューされる前記レビューシステムに前記画像を送るようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４９】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データと電気的試験の結果を使って、前記ウエハの１つ以上の特性が、該電気的試験の該結果に原因として関係しているかどうかを決めるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５０】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データと電気的試験の結果を使って前記ウエハの検査のために１つ以上の欠陥検出パラメータを選択するようにさらに構成され、前記検査は前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データを使って行われる、請求項１に記載のシステム。
【請求項５１】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データと電気的試験の結果を使って、前記ウエハ上の欠陥が前記電気的試験の前記結果を生じさせた可能性を決めるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５２】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データ、電気的試験の結果、デザインデータ、ネットリストデータを使って、前記ウエハ上の欠陥が前記電気的試験の前記結果を生じさせた可能性を決めるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５３】
前記一組のプロセッサノードは、電気的試験の結果を、該電気的試験の結果の前記ウエハ上の物理的場所へのマッピングと合わせて使用して、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データで行われる検査プロセスの１つ以上のパラメータを変更するようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５４】
前記一組のプロセッサノードは、前記記憶媒体の前記アレイに記憶された前記画像データと電気的試験の結果を使って、前記ウエハ上の欠陥が前記電気的試験の前記結果を生じさせた可能性を決めるようにさらに構成され、前記一組のプロセッサノードは、該可能性に基づいて、前記ウエハ上で行われる物理的解析の１つ以上のパラメータを決めるようにさらに構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５５】
前記画像データは、前記ウエハの走査中に前記検査システムの２つ以上の光学的配置を使って生成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５６】
前記記憶媒体の前記アレイのそれぞれは磁気記憶システムを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項５７】
前記プロセッサノードのそれぞれは画像コンピュータを含み、そして該画像コンピュータはアドバンスド・スイッチング・インターコネクト・ファブリックを使って相互に接続される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５８】
前記一組のプロセッサノードはプロセッサノードのカラムとしてさらに構成され、前記システムは、前記プロセッサノードの前記カラムに接続されるプロセッサノードの追加カラムをさらに含み、該追加カラムのプロセッサノードは、前記検出器によって生成された前記画像データの取得、前記検出器によって生成された前記画像データの前処理、前記検出器によって生成された前記画像データの画像バファリングを行うように構成され、そして前記追加カラムの前記プロセッサノードは、前記アドバンスド・スイッチング・インターコネクト・ファブリックにプラグインされる、請求項５７に記載のシステム。
【請求項５９】
前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データは全て、２テラバイト以上の画像データを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６０】
前記ウエハはパターン化されたウエハを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６１】
ウエハ上の欠陥を検出するように構成される検査システムであって、
ウエハの走査によって該ウエハの画像データを生成するように構成される検査サブシステムと、
前記検査サブシステムに接続される一組のプロセッサノードであって、該プロセッサノードのそれぞれは前記ウエハの走査中に前記検査サブシステムによって生成された前記画像データの一部分を受信するように構成され、前記プロセッサノードのそれぞれは、前記プロセッサノードのそれぞれによって受信された前記画像データの前記部分を使って前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される、一組のプロセッサノードと、
前記プロセッサノードのそれぞれに別々に接続される記憶媒体のアレイであって、前記プロセッサノードは、前記ウエハの走査中に前記検査サブシステムによって生成された前記画像データの全てまたは前記画像データの選択された部分が前記記憶媒体の前記アレイに記憶されるように、前記プロセッサノードによって受信された前記画像データの全てまたは画像データの選択された部分を前記記憶媒体の前記アレイに送るようにさらに構成される記憶媒体のアレイとを含む、検査システム。
【請求項６２】
検査システムによってウエハを走査することによって生成される画像データを記憶する方法であって、
ウエハの走査中に検査システムの検出器によって生成される画像データの異なる部分を別々に受信するステップと、
前記ウエハの走査中に前記検出器によって生成された前記画像データの全てまたは前記画像データの選択された部分が前記記憶媒体の異なるアレイに記憶されるように、前記異なる部分または前記異なる部分の選択された部分を記憶媒体の異なるアレイに別々に送るステップとを含む、方法。