【手続補正書】
【提出日】平成23年5月31日(2011.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
内部空洞と外側駆動表面とを有する駆動レールであって、前記内部空洞は、密封され、前記外側駆動表面は、前記駆動レールの長手方向に沿って伸びる、駆動レールと、
前記内部空洞内において、前記外側駆動表面のちょうど反対側の前記内部空洞の表面に隣接して配置された第１の磁気部材と、
前記内部空洞内に、前記第１の磁気部材と関連づけられて配置された駆動メカニズムであって、前記駆動メカニズムは、前記駆動レールの前記長手方向に沿って移動されるときに前記第１の磁気部材が前記外側駆動表面のちょうど反対側にあり続けるように、前記第１の磁気部材を前記内部空洞内において前記駆動レールの前記長手方向に沿って移動させるように構成される、駆動メカニズムと、を備え、
前記第１の磁気部材は、前記第１の磁気部材の移動が前記外側駆動表面に沿ったウエハキャリアの対応する移動を生じさせるように、前記外側駆動表面に隣接して配置された前記ウエハキャリアに前記外側駆動表面を通じて磁気的に結合するように構成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記ウエハキャリアは、前記ウエハキャリアの縁に固定された封入ケース内に密封された第２の磁気部材を含み、前記第２の磁気部材は、前記封入ケースの外側トラック表面を通じて、かつ前記駆動レールの前記外側駆動表面を通じて、前記第１の磁気部材に磁気的に結合するように構成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記封入ケースの前記外側トラック表面の形状は、前記封入ケースが前記駆動レールの前記長手方向に沿って移動されるときに前記駆動レールに対する前記封入ケースの垂直移動が最小限に抑えられるように、前記駆動レールの前記外側駆動表面の形状に実質的に一致するように構成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記外側駆動表面は、第１の上方傾斜部分と第１の下方傾斜部分とを有するように構成され、前記封入ケースの前記外側トラック表面は、第２の上方傾斜部分と第２の下方傾斜部分とを有するように構成され、前記第２の上方傾斜部分は、前記第１の上方傾斜部分に一致するように構成され、前記第２の下方傾斜部分は、前記第１の下方傾斜部分に一致するように構成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記外側駆動表面は、前記第１の上方傾斜部分と前記第１の下方傾斜部分との間に伸びる第１の実質的に垂直な部分を有するように構成され、前記封入ケースの前記外側トラック表面は、前記第２の上方傾斜部分と前記第２の下方傾斜部分との間に伸びる第２の実質的に垂直な部分を有するように構成され、前記第２の実質的に垂直な部分は、前記第１の上方傾斜部分と前記第２の上方傾斜部分とが接触しているとともに前記第１の下方傾斜部分と前記第２の下方傾斜部分とが接触しているときに、前記第１の実質的に垂直な部分から隔てられるように構成されている、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項６】
請求項２に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記駆動レールは、ポリエチレンテレフタレートで形成され、前記封入ケースは、超高分子量ポリエチレンで形成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項７】
請求項２に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記第１の磁気部材および前記第２の磁気部材は、約５重量ポンドから約２０重量ポンドに及ぶ範囲内の磁気結合強度をその間に提供するように、ともにＮｄＦｅＢで形成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項８】
請求項２に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、さらに、
前記ウエハキャリアが前記駆動レールからガイドレールにかけて実質的に水平な方向に広がるように、前記駆動レールに対して実質的に平行でかつ高さが同じであるように配置されたガイドレールであって、前記ガイドレールの長手方向に沿って定められたガイドトラックを含むガイドレールと、
前記封入ケースを固定された前記ウエハキャリアの前記縁とは反対側の前記ウエハキャリアの縁に固定されたガイドサポートであって、前記ガイドレールに対する前記ガイドサポートの垂直移動が最小限の状態で前記ガイドレールの前記長手方向に沿って前記ガイドサポートが自由に移動可能であるように、前記ガイドトラックに接するように構成されたガイドサポートと、を備える半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項９】
請求項８に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記ガイドトラックは、抵抗力、ならびに前記第１の磁気部材と前記ウエハキャリアとの間の磁気結合が、前記駆動レールと前記ガイドレールとの間において広がる方向に前記ウエハキャリアに力を印加するように、前記駆動レールから離れる方向に前記ガイドサポートに前記抵抗力を提供するように構成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記ガイドレールは、ポリエチレンテレフタレートで形成され、前記ガイドサポートは、超高分子量ポリエチレンで形成される、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の半導体ウエハキャリア駆動装置であって、
前記駆動メカニズムは、所定の速度の推移にしたがって、前記第１の磁気部材を前記駆動レールの前記長手方向に沿って移動させるように構成され、前記所定の速度の推移は、前記駆動レールの前記長手方向に沿った各場所における前記第１の磁気部材の速度を指定する、半導体ウエハキャリア駆動装置。
【請求項１２】
半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、
内部空洞と外側駆動表面とを有する駆動レールであって、前記内部空洞は、密封され、前記外側駆動表面は、前記駆動レールの長手方向に沿って伸びる、駆動レールと、
前記内部空洞内において、前記外側駆動表面のちょうど反対側の前記内部空洞の表面に隣接して配置された第１の磁気部材であって、前記内部空洞内において前記駆動レールの前記長手方向に沿って制御されて移動されるように構成された第１の磁気部材と、
半導体ウエハを実質的に水平な向きに保持するように構成されたウエハキャリアと、
封入ケース内に配置された第２の磁気部材であって、前記封入ケースは、前記ウエハキャリアに固定されている、第２の磁気部材と、を備え、
前記第１の磁気部材の移動が、前記封入ケースおよび前記封入ケースに固定された前記ウエハキャリアの対応する移動を生じさせるように、前記第１の磁気部材および前記第２の磁気部材は、前記封入ケースが前記外側駆動表面に隣接して配置されたときに、前記封入ケースおよび前記外側駆動表面を通じて互いに磁気的に結合しあうように構成される、半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１３】
請求項１２に記載の半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、さらに、
前記駆動レールの前記内部空洞内に配置され、前記第１の磁気部材の移動制御を実現する駆動メカニズムを備える、半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載の半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、
前記駆動メカニズムは、モータによって駆動されるように機械的に結合されたネジとして構成され、前記ネジのネジ山は、前記ネジの回転が、前記第１の磁気部材が固定されたカラーを前記内部空洞内において前記駆動レールの前記長手方向に沿って移動させるように、前記カラーのネジ山に係合するように構成される、半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１５】
請求項１４に記載の半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、さらに、
前記モータを制御するように構成されたコンピュータシステムと、
前記コンピュータシステム上で動作するように構成されたグラフィカル・ユーザ・インターフェース（ＧＵＩ）であって、前記ＧＵＩは、前記モータによって前記ネジおよび前記カラーを通じて前記第１の磁気部材に印加される速度の推移の手動による指定を可能にするように構成され、前記速度の推移は、前記駆動レールの前記長手方向に沿った各場所における前記第１の磁気部材の速度を指定する、ＧＵＩと、を備える半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１６】
請求項１２に記載の半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、さらに、
前記ウエハキャリアが前記駆動レールからガイドレールにかけて実質的に水平な方向に広がるように、前記駆動レールに対して実質的に平行でかつ高さが同じであるように配置されたガイドレールであって、前記駆動レールの前記長さに実質的に等しい長さを有するガイドレールと、
前記封入ケースが前記駆動レールの前記外側駆動表面に接触しているときに前記ガイドレールに係合するように前記ウエハキャリアに固定されたガイドサポートであって、前記ガイドレールに対する前記ガイドサポートの垂直移動が最小限の状態で前記ガイドレールの前記長手方向に沿って自由に移動可能であるように構成されたガイドサポートと、を備える、半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１７】
請求項１６に記載の半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、さらに、
前記ウエハキャリアによって運ばれるウエハに接するように配置されたウエハ処理ヘッドであって、前記ウエハ処理ヘッドの垂直位置が前記駆動レールの垂直位置および前記ガイドレールの垂直位置の両方に連動するように前記駆動レールおよび前記ガイドレールの両方に搭載されるウエハ処理ヘッドを備える半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１８】
請求項１７に記載の半導体ウエハの直線移動のためのシステムであって、
前記システムは、前記駆動レールおよび前記ガイドレールが、投入モジュールから処理モジュールを通って送出モジュールに到る前記ウエハキャリアの直線移動を提供するように配置されるように、ウエハ湿式処理室内に配置され、前記処理モジュールを通る前記ウエハキャリアの直線移動は、前記ウエハキャリア上に保持されているときのウエハを、前記ウエハ処理ヘッドから供給される処理溶液のメニスカスに曝させる、半導体ウエハの直線移動のためのシステム。
【請求項１９】
半導体ウエハキャリアを駆動するための方法であって、
第１の磁気部材が密封駆動レールの駆動側面に接近して配置されるように、前記第１の磁気部材を前記密封駆動レールの内部空洞内において配置することであって、前記駆動側面の外側は、駆動表面を形成する、ことと、
第２の磁気部材を、ウエハキャリアに固定された封入ケース内において前記駆動レールの前記駆動表面に隣接して配置することであって、それによって、前記第２の磁気部材は、前記第１の磁気部材との磁気結合を確立する、ことと、
前記第１の磁気部材と前記第２の磁気部材との間の磁気結合が、前記封入ケースを前記密封駆動レールの前記駆動表面に沿って移動させ、それによって、前記ウエハキャリアを前記駆動レールに連動する直線経路に沿って移動させるように、前記第１の磁気部材を前記駆動レール内において前記駆動側面に沿って直線方向に移動させることと、を備える半導体ウエハキャリアを駆動するための方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の半導体ウエハキャリアを駆動するための方法であって、
前記封入ケースは、前記封入ケースが前記駆動表面に沿って移動されるときに前記封入ケースの垂直移動が最小限に抑えられるように、前記駆動表面に接するように構成される、半導体ウエハキャリアを駆動するための方法。
【請求項２１】
請求項１９に記載の半導体ウエハキャリアを駆動するための方法であって、
前記第１の磁気部材は、所定の速度の推移にしたがって、自動的に直線方向に移動され、前記所定の速度の推移は、前記駆動レールの長手方向に沿った各場所における前記第１の磁気部材の速度を指定する、半導体ウエハキャリアを駆動するための方法。
【請求項２２】
請求項１９に記載の半導体ウエハキャリアを駆動するための方法であって、さらに、
前記駆動レールとガイドレールとの間に前記ウエハキャリアが実質的に水平な方向に広がるように、前記ガイドレールを前記駆動レールに対して平行でかつ高さが同じであるように位置決めすることであって、前記ガイドレールは、ガイドトラックを含む、ことと、
前記駆動レールに連動する前記直線経路に沿って前記ウエハキャリアが移動されるのに伴って、前記ウエハキャリアに固定されたガイドサポートが前記ガイドトラックに沿って自由に移動するように、そして前記ガイドレールに対する前記ガイドサポートの垂直移動が最小限に抑えられるように、前記ガイドサポートを前記ガイドトラックに係合させることと、を備える半導体ウエハキャリアを駆動するための方法。
【請求項２３】
請求項２２に記載の半導体ウエハキャリアを駆動するための方法であって、
前記ガイドサポートと前記ガイドレールとの間の抵抗は、前記第１の磁気部材と前記第２の磁気部材との間の磁気結合と相まって、前記駆動レールと前記ガイドレールとの間において広がる方向に前記ウエハキャリアに力を印加する、半導体ウエハキャリアを駆動するための方法。
【請求項２４】
請求項２２に記載の半導体ウエハキャリアを駆動するための方法であって、さらに、
処理ヘッドが前記駆動レールと前記ガイドレールとの間に広がるように、かつ前記処理ヘッドの垂直位置が前記駆動レールの垂直位置および前記ガイドレールの垂直位置に連動するように、前記処理ヘッドを前記駆動レールおよび前記ガイドレールの両方に搭載することであって、それによって、前記駆動レールに連動する前記直線経路に沿った前記ウエハキャリアの移動は、前記ウエハキャリア内にあるときに、ウエハが、前記処理ヘッドから供給される処理溶液のメニスカスに曝されるようにする、ことを備える半導体ウエハキャリアを駆動するための方法。