【手続補正書】
【提出日】平成23年8月10日(2011.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料の表面の特性を特徴づけるために、当該表面の接触電位差を決定する方法であって、
材料の表面を提供するステップと、
センサプローブ先端を有する接触電位差センサを提供するステップと、
前記材料の前記表面および接触電位差センサを互いに対して相対的に前記表面に沿って走査するステップと、
前記センサプローブ先端が、前記材料の前記表面に沿って連続的に走査する際に、前記センサプローブ先端と前記材料の前記表面の間の接触電位差の変化を表す複数のセンサデータを発生させるステップと、
相対的な接触電位差値を提供するために、前記複数のセンサデータを処理するステップと、
前記表面に沿って走査される表面の絶対的な接触電位差の少なくとも１つの測定を行うために、振動式接触電位差センサを使用するステップと、
前記相対的な接触電位値に加えられるオフセットを算出して、前記センサプローブ先端と前記表面に沿って走査される表面の全ての点の間の前記接触電位差を表す特徴的なデータを発生させ、それにより、前記材料の前記表面の特性を特徴づけるために、前記絶対的な接触電位差データを使用するステップと、を含む方法。
【請求項２】
前記複数のセンサデータを処理するステップが、積分データを生成するために、前記複数のセンサデータを積分するステップを含む、請求項１に記載される方法。
【請求項３】
前記複数のセンサデータを処理するステップが、前記表面に沿って走査された複数のセンサデータを前記相対的な接触電位差値に変換するために、前記積分データにスケーリング因子を乗算するステップを含む、請求項２に記載される方法。
【請求項４】
前記表面に沿った走査動作を、前記ウエハを回転させることによって発生させる、請求項１に記載される方法。
【請求項５】
前記複数のセンサデータが、同心の円形トラックデータとして提供される、請求項１に記載される方法。
【請求項６】
振動式接触電位差測定を行うステップが、複数の異なるトラックに関するデータを累積するステップを含む、請求項１に記載される方法。
【請求項７】
走査中に、前記プローブ先端の移動方向に垂直な表面接触電位差における変動を決定するために、前記特徴的なデータを分析するステップをさらに含む、請求項１に記載される方法。
【請求項８】
前記材料の前記表面に複数の異なる処理を施すステップと、前記異なる処理のそれぞれに関連付けられる相関データを累積して、前記材料に関する予め定義された表面品質を生成できるようにするために、前記材料の前記表面を特徴づけるステップとをさらに含む、請求項１に記載される方法。
【請求項９】
前記相関データはさらに、複数のタイプの前記予め定義された表面品質を有する前記材料の生産を予めプログラムするために使用される、請求項８に記載される方法。
【請求項１０】
前記異なる処理が、清浄プロセス、化学処理プロセスおよび物理処理プロセスの群から選択される、請求項８に記載される方法。
【請求項１１】
前記清浄プロセスが、脱イオン洗浄を適用することによって、および、プラズマ処理ステップを適応することによって、清浄するステップの群から選択される、請求項１０に記載される方法。
【請求項１２】
材料の表面の特性を特徴づけるために、当該表面の接触電位差を決定する方法であって、
材料の表面を提供するステップと、
センサプローブ先端を有する接触電位差センサを提供するステップと、
前記表面および接触電位差センサを互いに対して相対的に連続的に走査するステップと、
前記センサプローブ先端が、前記材料の前記表面に沿って連続的に走査する際に、前記センサプローブ先端と前記材料の前記表面の間の接触電位差の変化を表す、前記表面に沿った走査による複数のセンサデータの第１のセットを発生させるステップと、
前記材料の前記表面全体にわたる接触電位差の変化を表す前記材料の選択された点における前記表面に沿った走査によるセンサデータの第２のセットを発生させるステップであって、前記センサデータの第１のセットの前記表面に沿って走査する方向に垂直に前記接触電位差センサを移動させることによって、前記センサデータの第２のセットを発生させるステップと、
相対的な接触電位差値を決定するために、前記センサデータの第１および第２のセットを処理するステップと、
振動式接触電位差センサを使用して、表面に沿って走査された表面の絶対的な接触電位差の少なくとも１つの測定を行うために、振動式接触電位差センサを使用するステップと、
積分され、スケーリングされた非振動式相対的な接触電位差データ値に加えられるオフセットを算出するために、前記絶対的な接触電位差データを使用し、前記センサプローブ先端と前記表面に沿って走査された表面の全ての点の間の前記接触電位差を表す特徴的なデータを発生させ、それにより、前記材料の前記表面の特性を特徴づける、ステップと、を含む方法。
【請求項１３】
前記表面に沿った走査によるセンサデータを処理するステップが、積分データを生成するために、前記表面に沿った走査による複数のセンサデータを積分するステップを含む、請求項１２に記載される方法。
【請求項１４】
前記表面に沿った走査による複数のセンサデータを処理するステップが、前記表面に沿って走査されたセンサデータを前記相対的な接触電位差値に変換するために、前記積分データにスケーリング因子を乗算するステップを含む、請求項１２に記載される方法。
【請求項１５】
材料の表面の接触電位差を決定して、表面の特性を特徴づける方法であって、
表面を有する材料を提供するステップと、
センサプローブ先端（１０２）を有する接触電位差センサを提供するステップであって、前記接触電位差センサが接触電位差値を提供する、ステップと、を備える方法が、
前記材料（１０５）の表面上および接触電位差センサ（１０１）を互いに対して平行に走査するステップと、
前記センサプローブ先端（１０２）が、前記材料（１０５）の前記表面上を平行に走査する際に、前記センサプローブ先端（１０２）と前記材料（１０５）の前記表面の間の接触電位差の変化を表す複数のセンサデータを発生させるステップと、
前記複数のセンサデータを積分して、相対的な接触電位差値を提供するステップと、
振動式接触電位差センサ（１０１）を使用して、前記センサ（１０１）の走査方向に垂直な少なくとも一つのラインに沿っての表面の複数の振動式の絶対的な接触電位差測定値を作り出すステップと、
絶対的な接触電位差データを使用して、相対的接触電位値に加えられるオフセットを計算して、前記センサプローブ先端（１０２）と前記走査された表面の全ての点の間の前記接触電位差を表す特徴的なデータを発生させ、それにより、前記材料（１０５）の前記表面の特性を特徴づけるステップと、を含む方法。
【請求項１６】
前記複数のセンサデータを処理するステップが、前記複数のセンサデータを前記相対的な接触電位差値に変換するために、前記積分データにスケーリング因子を乗算するステップを含む、請求項１５に記載される方法。
【請求項１７】
前記走査動作を、前記材料（１０５）を回転させることにより発生させる、請求項１５に記載される方法。
【請求項１８】
複数のセンサデータが、同心の円形トラックのデータ、らせん状トラックのデータ及び線形走査トラックのデータの一つとして、提供される、請求項１５に記載される方法。
【請求項１９】
前記振動式接触電位差測定値を作り出すステップが、異なるトラック上のデータを累積することを含む請求項１５記載の方法。
【請求項２０】
連続走査中に、前記プローブ先端（１０２）の移動方向に垂直な表面接触電位差における変動を決定するために、前記特徴的なデータを分析するステップをさらに含む、請求項１５に記載される方法。
【請求項２１】
前記材料（１０５）の前記表面に複数の異なる処理を施すステップと、前記異なる処理のそれぞれに関連付けられる相関データを累積して、前記材料（１０５）に関する予め定義された表面品質を生成できるようにするために、前記材料（１０５）の前記表面を特徴づけるステップとをさらに含む、請求項１５に記載される方法。
【請求項２２】
前記相関データはさらに、前記予め定義された表面品質を有する、複数のタイプの前記材料（１０５）の生産を予めプログラムするために使用される、請求項２１に記載される方法。
【請求項２３】
前記算出されたオフセットが、前記材料（１０５）の前記表面上の帯電及び前記表面上の帯電の半径変化を決めるために分析される請求項１５記載の方法。
【請求項２４】
材料の表面の特性を特徴づけるために、前記材料の表面の接触電位差を決定するシステムが、
センサプローブ先端を有する接触電位差センサ、
前記センサプローブ先端が前記材料の前記表面を表面に沿って走査する時に、前記センサプローブ先端と前記材料の前記表面との間の接触電位差における変化を表す複数のセンサデータを発生するために、前記材料の前記表面と接触電位差センサとを互いに相対的に、前記表面に沿って連続的に走査するための走査装置、
前記複数のセンサデータを処理して相対的な接触電位差を提供するためのコンポーネント、及び
表面に沿って走査される前記表面の絶対的な接触電位差の少なくとも一つの測定を行って、絶対的な接触電位差データを提供して、オフセットを計算し、このオフセットが、前記相対的な接触電位差に加算されて、前記センサプローブ先端と前記表面に沿って走査される表面上の全ての点の間の接触電位差を表す特性データを発生し、これによって、前記材料の前記表面の特性を特徴づける、振動式接触電位差センサを備えるシステム。