【事件の表示】
　特願２００２−５７４６２２「半導体ウエハ撮像システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　９月２６日国際公開、ＷＯ０２／７５６８９、平成１６年　９月　２日国内公表、特表２００４−５２７１１６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、２００２年２月１４日（優先権主張２００１年３月１５日）を国際出願日とする出願であって、平成２０年３月１７日付け拒絶理由通知に応答して同年７月２２日付けで手続補正がなされ、平成２０年８月１３日付け拒絶理由通知に応答して平成２１年２月１９日付けで手続補正がなされたが、平成２１年３月１３日付けで平成２１年２月１９日付け手続補正が却下された上で、平成２１年３月１３日付け（送達日：同年３月２４日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年６月２２日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年７月１７日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成２１年７月１７日付けの手続補正についての補正却下の決定
　
［補正却下の決定の結論］
　平成２１年７月１７日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
（１）補正前の本願発明
　補正前の特許請求の範囲の請求項１は、以下のとおりである。
　「【請求項１】
　少なくともカセット内に収納されているウエハの積み重ねの端の箇所を撮像して、ウエハの積み重なりの画像を表示する出力信号を出力するように動作するカメラと、
　カメラがカセット内のウエハの積み重ねの端の位置を撮像することができるようにウエハのカセットに角度的に関連するようにカメラを取りつける装置と、
　カメラからの出力信号にもとづいて、カセット内の各ウエハの位置と配列を表示するデータを出力し、または、それぞれのウエハの前記端の位置の３点の個所を参考に用いて計算して得られる前記積み重ねの各ウエハに対するそれぞれの中心位置のデータを出力するように構成したイメージプロセッサーと
　を具備するカセット内に間隔を開けて収納される既知の寸法の半導体ウエハの位置を決定するシステム。」
　
（２）補正後の本願発明
  本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、次のように補正された。
　「【請求項１】
　少なくともカセット内に収納されているウエハの積み重ねの端の箇所を撮像して、
カメラに対して静止した関係をもつようにした前記
積み重ねの単一
表わす
単一の前記
　
前記
前記
前記
、前記カメラを前記
前記
づけるように
　
前記
前記ウエハの積み重ねの端の位置の前記単一の画像の
前記
前記
それぞれの
表わす
かつ、前記ウエハの積み重ねの前記単一の画像から識別された
前記
前記
　を具備する
前記
前記
　
（３）補正の目的
　本件補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項であるカメラについて、「単一」であり、「カメラに対して静止した関係をもつようにした前記ウエハの積み重ねの単一の画像を表わす出力信号を出力する」ものであることを限定し、また、イメージプロセッサから出力するデータが、「ウエハのそれぞれの位置と配列とを表わすデータ」かつ「ウエハに対するそれぞれの中心位置のデータ」であり、各ウエハに対するそれぞれの中心位置のデータを出力するための、ウエハの前記端の位置の３点の箇所が、「ウエハの積み重ねの前記単一の画像から識別された」ものであることを限定したものであるので、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例とされる同法による改正前の特許法（以下、「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか。）について以下に検討する。
　
（４）刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である特開２００１−１５５８０号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。　
　（ア）「・・・従来のウェハカセット監視装置としては、ウェハカセットに関する各種の情報毎に適当な検出機器を使用していた。・・・ステッピングモータにより光センサをウェハカセット内の各スロットに対応する位置に移動させた後、光センサによりウェハがスロットに収納されているかどうかを検出していた。・・・しかしながら、ステッピングモータのような機械的動作を伴うものを含む検出機器では、オペレータはそれに注意しながら作業する必要があるため、作業性が低下する。また、機械的動作を伴う検出機器では多少なりとも発塵の可能性があり、半導体製造を行うクリーンルーム内に設置されることを考慮すると、そのような機器は使用しないのが望ましい。・・・本発明の目的は、作業性を向上させ且つ発塵を防止することができるウェハカセット監視装置を提供することである。」（段落【０００３】−【０００５】）
　
　（イ）「また、撮像手段は、カセット載置部にウェハカセットが置かれた場合における当該ウェハカセットのウェハ出入部と向き合う部位に設置され、検知手段は、撮像手段で撮像した情報を画像処理してウェハカセット内に収容されたウェハの状態を検知するものであってもよい。これにより、ウェハカセット内の任意のスロットにウェハが正常な状態で収容されているかどうかを確実に把握できる。また、カセット載置部にウェハカセットが置かれているかどうかも検知できるため、上記と同様にコスト削減が図れる。」（段落【０００９】） 
　
　（ウ）「・・・ＣＣＤカメラ２１Ｂは、カセット載置部６ａにウェハカセット４が正規の向き（ウェハ出入部８がウェハ搬送ロボット７側となる向き）で置かれた場合における当該ウェハカセット４のウェハ出入部８と向き合う部位に設置されており、ウェハカセット４内の各スロット１０に収容されたウェハＷを撮像できるようになっている。・・・ＣＣＤカメラ２１Ｂは、ロードステ−ション５におけるウェハ搬送ロボット７側の側壁に固定された取付フレーム２２Ｂに首振りブラケット２３Ｂを介して角度調整可能に取り付けられている。このようにＣＣＤカメラ２１Ｂの設置角度を調整できるようにしたのは、ウェハカセット４内の全体を確実に撮像できるようにするためである。・・・」（段落【００１７】−【００１８】） 
　
　（エ）「・・・カメラ切換器２５で選択されたＣＣＤカメラ２１Ａ，２１Ｂの撮像情報を取り込み、画像処理を行い、ウェハカセット４に関する各種の情報を検知し、この検知結果をモニタ装置２８や外部装置（プロセス装置や搬送ロボット制御装置等）に出力する。ここで、ウェハカセット４に関する情報としては、カセットステージ６のカセット載置部６ａにウェハカセット４が置かれているかどうかの情報、ウェハカセット４の上面部に付されたバーコード情報、ウェハカセット４内のスロット１０に収容されたウェハＷの状態の情報等が挙げられる。なお、ウェハＷの状態とは、スロット１０毎のウェハＷの有無、クロススロットと呼ばれるウェハＷのセットミスの有無などをいう。」（段落【００２１】）
　
　（オ）「・・・コントローラ２６による制御処理手順を図５のフローチャートにより明らかにしつつ、ウェハカセット監視装置の動作を説明する。」（段落【００２４】）
　
　（カ）「【００２７】その後、ＣＣＤカメラ２１Ｂを作動させ、このＣＣＤカメラ２１Ｂで撮像した情報をカメラ切換器２５を介して取り込み（ステップ１０７）、ＣＣＤカメラ２１Ｂの撮像情報についての特徴抽出を行う（ステップ１０８）。続いて、特徴抽出した画像データから、ウェハカセット４内の各スロット１０に収容されたウェハＷの状態を検知する（ステップ１０９）。そして、そのウェハ状態情報を上記と同様に最適なデータに加工して外部に出力すると共に、ウェハ状態情報をモニタ装置２８に出力して画面表示させる（ステップ１１０）。
【００２８】このモニタ装置２８による画面表示の一例を図６に示す。図６（ａ）はウェハカセット４内のスロット１０に収容されたウェハＷのエッジのみを示したものであり、図６（ｂ）は、それに加えてウェハカセット４にほぼ対応する枠を図示したものであり、図６（ｃ）は、それに加えて、ウェハＷがスロット１０に正常に収容されているかどうかの判定結果、ウェハカセット４内に収容されているウェハＷの個数及びそのウェハＷの中心位置の座標値を示したものである。なお、これら画面表示の切り換えは、例えば入力装置２７により行う。
【００２９】ここで、ウェハＷがクロススロット（前述）の状態にある場合には、その情報が外部装置（例えば、ウェハ搬送制御装置）に送られると共にモニタ装置２８に表示されるため、直ちにウェハＷをセットし直すことによって、無駄にウェハＷを破損することを防止できる。また、ウェハカセット４内のウェハＷが搬送された際に、指定したウェハＷが運び出されたことも確認することが可能である。
【００３０】以上のような撮像情報の取り込み、特徴解析、データ加工、及びモニタ装置２８や外部装置への出力といった一連の動作は、短時間（例えば０．５秒以下）で行われ、これにより高効率な運用が可能となる。このような一連の動作は他の３つのウェハカセット４に対しても実行され、ウェハカセット４の監視処理が終了する。・・・ＣＣＤカメラ２１Ａ，２１Ｂ、カメラ切換器２５及びコントローラ２６を設け、これらの機器によりウェハカセット４の監視を行うようにしたので、機械的動作を伴うことなしにウェハカセット４に関する各種情報が得られるようになる。」（段落【００２７】−【００３１】）
　
　（キ）「・・・また、１つのウェハカセット４に対して２組のＣＣＤカメラを設けたが、ウェハカセット４の上面部にバーコードが付されていない場合には、ＣＣＤカメラは１組であってもよい。・・・さらに、本実施形態は、ウェハカセット４のバーコード情報やウェハカセット４内に収容されたウェハＷの状態を検知するものである・・・」（段落【００３２】）
　
　（ク）図３には、ＣＣＤカメラ２１Ｂの撮影方向が、ウェハカセット４に対してある傾斜角となるよう、設置されていることが図示されている。
　
　（ケ）図５には、ステップ１０３がＹの場合、ステップ１０１からステップ１０６を一度経た後、ステップ１０７からステップ１１０が順に一度ずつ行われる、フローチャートが記載されている。
　
　（コ）図６には、モニタ装置２８による画面表示の一例が図示されており、特に図６（ｃ）の画面表示においては、ウェハカセット４内のスロット１０に収容されたウェハＷのエッジ、ウェハカセット４にほぼ対応する枠、ウェハＷがスロット１０に正常に収容されているかどうかの判定結果、ウェハカセット内に収容されているウェハＷの個数及びウェハＷの中心位置の座標値を示すものが図示されている。
　
　上記記載事項（ア）及び（ウ）より、刊行物１の目的は、従来の機械的動作を伴うものを含む検出機器を用いてウェハがスロットに収納されているかどうかを検出するものではなく、機械的動作を伴うものを含む検出機器を使用せず、作業性の向上及び発塵を防止するウェハカセット監視装置を提供することであり、その手段として、カセット載置部６ａに置かれたウェハカセット４内の全体を、確実に撮像するように、ロードステ−ション５におけるウェハ搬送ロボット７側の側壁に固定された取付フレーム２２Ｂに首振りブラケット２３Ｂを介して角度調整可能に取り付けられたＣＣＤカメラ２１Ｂを採用しているのであるから、ＣＣＤカメラ２１Ｂは機械的動作を伴わず、その結果、ウェハカセット４内の全体を確実に撮像するように一旦、角度調整がなされたＣＣＤカメラ２１Ｂに対して、ウェハカセット４内の各スロット１０に収容されたウェハＷは、静止した関係をもつようにされていると認められる。またここで、ウェハＷは各スロット１０に収容されているのであるから、個々のウェハを一度ずつ撮像するのではなく、ウェハの積み重ねをＣＣＤカメラ２１Ｂにより撮像していることは明らかである。
　上記記載事項（カ）及び（コ）における、ＣＣＤカメラ２１Ｂで撮像した情報について特徴抽出された画像データから得られたウェハ状態情報を出力し、モニタ装置２８に、少なくともウェハカセット４内の各スロット１０に収容されたウェハＷのエッジが示されることから、ＣＣＤカメラ２１Ｂにより、ウェハＷのエッジを含む、ウェハＷの積み重ねの端の箇所（ウェハＷの積み重ねの端の位置）を撮像していることは明らかである。
　また、上記記載事項（ウ）、（カ）、（キ）及び（ク）より、ウェハカセット４内の各スロット１０に収容されたウェハＷを撮像し、ウェハＷの積み重ねの撮像情報を出力するように動作するカメラは、単一のＣＣＤカメラ２１Ｂであることは明らかである。
　上記記載事項（コ）より、モニタ装置２８に、ウェハカセット４内のスロット１０に収容されたウェハＷのエッジとウェハカセット４にほぼ対応する枠が表示されることから、各ウェハのそれぞれの位置と配列とを表すウェハ状態情報が、モニタ装置２８に出力されていること、及びウェハＷがウェハカセット４内に間隔を空けて収納されるものであることは明らかであり、また、モニタ装置２８に、ウェハＷの中心位置の座標値が表示されることから、各ウェハに対するそれぞれの中心位置のウェハ状態情報が、モニタ装置２８に出力されていることは明らかである。
　また、ウェハの状態情報が、撮像情報にもとづいて求められることは、各ウェハの位置を決定していると認められる。
　これら記載事項及び図示内容を総合し、本願補正発明の記載ぶりに則って整理すると、刊行物１には、次の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されている。
　「少なくともウェハカセット４内に収納されているウェハＷの積み重ねの端の箇所を撮像して、ＣＣＤカメラ２１Ｂに対して静止した関係をもつようにした前記ウェハＷの積み重ねの画像を表わす撮像情報を出力するように動作する単一の前記ＣＣＤカメラ２１Ｂと、
　前記ＣＣＤカメラ２１Ｂが前記ウェハカセット４内の前記ウェハＷの積み重ねの端の位置を撮像することができるように、前記ＣＣＤカメラ２１Ｂを前記ウェハＷの前記ウェハカセット４に角度的に関連づけるように取り付ける取付フレーム２２Ｂ及び首振りブラケット２３Ｂと、
　前記ＣＣＤカメラ２１Ｂからの前記ウェハＷの積み重ねの端の位置の前記画像の撮像情報をカメラ切換器２５を介して取り込み、撮像情報についての特徴抽出を行い、特徴抽出した画像データから、ウェハＷの状態を検知することによって、前記ウェハカセット４内の各前記ウェハＷのそれぞれの位置と配列とを表すウェハ状態情報をモニタ装置２８に出力して画面表示させ、かつ、前記積み重ねの各前記ウェハＷに対するそれぞれの中心位置のウェハ状態情報をモニタ装置２８に出力して画面表示させるようにしたコントローラ２６と
　を具備する前記ウェハカセット４内に間隔を空けて収納される前記ウェハＷの位置を決定するウェハカセット監視装置。」
　　
（５）対比
　本願補正発明と刊行物１発明とを対比すると、機能又は構造等からみて、後者の「ウェハＷ」は前者の「ウエハ」に、後者の「ウェハカセット４」は前者の「カセット」に、後者の「ＣＣＤカメラ２１Ｂ」は前者の「カメラ」に、後者の「『取付フレーム２２Ｂ』及び『首振りブラケット２３Ｂ』」は前者の「取りつける装置」に、各々相当することは明らかである。 
　また、後者の「撮像情報」は、ＣＣＤカメラ２１Ｂからカメラ切換器２５を介してコントローラ２６に取り込まれる、すなわち、ＣＣＤカメラ２１Ｂからカメラ切換器２５を介してコントローラ２６に出力されるという限りにおいて、「出力信号」であることは明らかである。
　ここで、前者の「イメージプロセッサ」が後者の「コントローラ」の一種であることは明らかである。
　さらに、後者の「ウェハ状態情報」は、コントローラ２６からモニタ装置２８に出力して画面表示するための「データ」であり、後者の「ウェハカセット監視装置」が、ＣＣＤカメラ２１Ｂ、カメラ切換器２５、コントローラ２６、モニタ装置２８等の構成機器を含む「システム」であることは明らかである。
　
　そこで、本願補正発明の用語を用いて表現すると、両者は次の点で一致する。
 「少なくともカセット内に収納されているウエハの積み重ねの端の箇所を撮像して、カメラに対して静止した関係をもつようにした前記ウエハの積み重ねの画像を表わす出力信号を出力するように動作する単一の前記カメラと、
　前記カメラが前記カセット内の前記ウエハの積み重ねの端の位置を撮像することができるように、前記カメラを前記ウエハの前記カセットに角度的に関連づけるように取りつける装置と、
　前記カメラからの前記ウエハの積み重ねの端の位置の前記画像の出力信号にもとづいて、前記カセット内の各前記ウエハのそれぞれの位置と配列とを表わすデータを出力し、かつ、前記積み重ねの各前記ウエハに対するそれぞれの中心位置のデータを出力するように構成したコントローラと
　を具備する前記カセット内に間隔を空けて収納される前記ウエハの位置を決定するシステム。」 
　　
　そして、両者は次の点で相違する。
　相違点１；
　ウエハの積み重ねの画像を表す出力信号が、本願補正発明は、単一のものであるのに対し、刊行物１発明は、単一であるか否か不明である点。
　
　相違点２；
　本願補正発明は、各ウエハの中心位置のデータを、前記ウエハの積み重ねの前記単一の画像から識別されたそれぞれの前記ウエハの前記端の位置の３点の箇所を参考に用いて計算して得るのに対し、刊行物１発明は、各ウエハの中心位置のデータをどのように計算して得るか不明である点。
　
　相違点３；
　各ウエハのそれぞれの位置、配列及び中心位置のデータを、カメラからのウエハの積み重ねの端の位置の単一の画像の出力信号にもとづいて、本願補正発明は、イメージプロセッサーから出力するのに対し、刊行物１発明は、コントローラから出力するものの、画像処理専用の装置であるイメージプロセッサを用いてはいない点。
　
　相違点４；
　本願補正発明は、ウエハの寸法が既知であるのに対し、刊行物１発明は、ウエハの寸法が既知であるか否か不明である点。
　
（６）相違点の判断
　（相違点１について）
  刊行物１には、上記記載事項（カ）、（ケ）及び（コ）より、撮像情報の取り込み、特徴解析、データ加工、及びモニタ装置２８や外部装置への出力といった一連の動作は、順に行われ、ウェハＷの積み重ねの端の位置の撮像情報にもとづいて、モニタ装置２８に、ウェハカセット４内のスロット１０に収容されたウェハＷのエッジ、ウェハカセット４にほぼ対応する枠、ウェハＷがスロット１０に正常に収容されているかどうかの判定結果、ウェハカセット内に収容されているウェハＷの個数及びウェハＷの中心位置の座標値を示すのであるから、ある時点のウェハＷの積み重ねの端の位置の撮像情報、すなわち、ウェハＷの積み重ねの端の位置の単一の画像を表わす撮像情報にもとづいて、求められたウェハの状態情報が、ある時点の状態として、モニタ装置２８に表示されることが記載されていると認められる。
　また、仮に、ある時点の状態として、モニタ装置２８に表示される際に用いられる、ウェハＷの積み重ねの端の位置の撮像情報が複数あるとすると、モニタ装置２８に表示されるウェハＷのエッジや個数等の情報が、どの時点のウェハＷの積み重ねの端の位置の撮像情報にもとづくものであるのか特定できず、ある時点の状態としての表示ができないことを鑑みても、ウェハＷの積み重ねの端の位置の撮像情報は、単一であると認められる。
　よって、上記相違点１は実質的な相違点とは認められないか、もしくは実質的な相違点であったとしても、ある時点のカメラから単一の画像の出力信号を出力し、当該単一の画像の出力信号に基づいて、当該ある時点における、各ウエハの位置、配列、中心位置を算出する構成とすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　（相違点２について）
　一般に、撮像手段により撮像された円形の輪郭の画像から、輪郭上の３点を用いて、円の中心位置を計算する手法は、周知である。（特開平６−２４１７２３号公報（【特許請求の範囲】の記載参照。）、特開平７−１０３７１１号公報（段落【００５８】−【００６４】、図１０参照。）、特開平９−１７８４２７号公報（【特許請求の範囲】の記載参照。）、特開平１１−３５１８４７号公報（【特許請求の範囲】の記載参照。）参照。）
　刊行物１において、上記記載事項（カ）及び（コ）より、カメラ切換器２５を介して取り込み、特徴抽出した画像データには、少なくともウエハＷのエッジが含まれているから、刊行物１においても、輪郭の画像を得ていることは明らかであり、そのようなエッジ等の特徴抽出した画像データに基づき、上記周知の技術のように、輪郭状の３点の箇所の位置を用いて中心を計算して得ることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　（相違点３について）
　取り込んだ画像の撮像情報について特徴抽出を行い、特徴抽出した画像データから、ウェハＷの状態を検知するための演算装置として、汎用のコントローラを用いるか、画像処理専用のイメージプロセッサを用いるかは、当業者が適宜なし得る設計的事項にすぎない。
　
　（相違点４について）
　一般に、直径等のウエハの寸法はＳＥＭＩ規格にて定められている。また、ウエハの処理や搬送を行うためにも、被処理対象のウエハの寸法がシステムにとって必須であることは、例を挙げるまでも無く周知である。
　よって、システムにとって必須のデータであるウエハ寸法を既知の寸法として用いることは、当業者が適宜なし得る設計的事項にすぎない。
　
　（効果について）
　本願補正発明による効果も、刊行物１発明及び周知の技術から、当業者が予測し得た程度のものであって、格別のものでもない。
　
　したがって、本願補正発明は、刊行物１発明及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（７)むすび
　以上のとおり、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を、「本願発明」という）は、平成２０年７月２２日に補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項より特定される、「２．（１）」に補正前の本願発明として記載したとおりのものである。
　
（２）刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物、及びその記載事項は、前記「２．（４）」に記載したとおりである。
　
（３）対比
　本願発明は、前記「２．（２）」に補正後の本願発明として記載した発明、すなわち本願補正発明から、カメラについて、「単一」であり、「カメラに対して静止した関係をもつようにした前記ウエハの積み重ねの単一の画像を表わす出力信号を出力する」ものであるとの限定事項、及びイメージプロセッサから出力するデータが、「ウエハのそれぞれの位置と配列とを表わすデータ」かつ「ウエハに対するそれぞれの中心位置のデータ」であり、各ウエハに対するそれぞれの中心位置のデータを出力するための、ウエハの前記端の位置の３点の箇所が、「ウエハの積み重ねの前記単一の画像から識別された」ものであるとの限定事項を省いたものか、上位概念としたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに、他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（６）」に記載したとおり、刊行物１発明及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様に、刊行物１発明及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。
　
　
　なお、平成２２年１２月１日付け回答書に記載の「再補正（案）」はあくまで補正案であって、特許を受けることができるか否かを判断する必要はないものである。
　しかしながら、仮に上記「再補正（案）」を検討するに、刊行物１には、「ウェハＷがクロススロット（前述）の状態にある場合には、その情報が外部装置（例えば、ウェハ搬送制御装置）に送られると共にモニタ装置２８に表示される」（段落【００２９】）と記載されるように、コントローラ２６から出力される情報に対応して外部装置（例えば、ウェハ搬送制御装置）が制御されることから、刊行物１には、ツールまたはロボットをコントロールするコントローラをさらに具備するものが記載されていることは明らかであり、また、カセット内で正常な位置に収納されていないウエハであっても、整列操作を行うことなしに、ウエハの中心点の位置情報を用いて、ウエハを把持するロボットやツール等の搬送装置を制御するものは周知である（特開平８−９７２６９号公報（段落【００２１】、【００５２】参照。）、特開平１１−１０６０４４号公報（段落【００１７】、【００２４】）参照）ことを踏まえると、たとえ上記「再補正（案）」どおりに補正がなされたとしても、上記「再補正（案）」は、刊行物１及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。