【事件の表示】
　特願２００１−１５４４９０「プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１２月　６日出願公開、特開２００２−３５３０００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１３年５月２３日に出願された特願２００１−１５４４９０号であって、平成２０年８月１５日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月２０日付けで手続補正がなされたものの、同年１２月５日付けで拒絶査定がなされた。
　本件は、前記拒絶査定を不服として平成２１年１月８日に請求された拒絶査定不服審判事件であって、同日付けで手続補正がなされ、さらに同年２月９日付けで手続補正がなされている。その後、当審において平成２２年３月８日付けで審尋が行われ、同年５月１０日付けで回答書が提出されている。
　
第２　平成２１年２月９日付け手続補正についての補正の却下の決定
〔補正の却下の決定の結論〕
　平成２１年２月９日付け手続補正を却下する。
〔理由〕
１　補正の内容と目的
　平成２１年２月９日付け手続補正の目的を検討するに先立ち、平成２１年１月８日付け手続補正（以下「補正１」という。）の適法性について検討するに、補正１のうち特許請求の範囲に係る補正は、補正前（平成２０年１０月２０日付けで補正。以下同じ。）の請求項１ないし１０を削除し、補正前の請求項１１について、引用する請求項毎に展開してそれぞれを補正後の請求項１ないし１０とするとともに、補正前の請求項１２のうち請求項１ないし１０を引用する発明を削除して前述の展開された補正後の請求項１ないし１０を引用して補正後の請求項１１としたものであると認められるから、補正１は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２（以下単に「特許法第１７条の２」という。）第４項第１号に掲げる請求項の削除を目的とする適法な補正である。
　次に、平成２１年２月９日付け手続補正（以下「本件補正」という。）の目的を検討するに、本件補正は適法になされた上記補正１によって補正された明細書をさらに補正するものであって、その特許請求の範囲に係る補正は、上記補正１によって補正された請求項１について、その発明特定事項である「搬送手段」が「ローラー」であるという限定を付して減縮するものであるから、本件補正のうち請求項１についてする補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とする補正である。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本件補正発明」という。）が特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか、すなわち、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下に検討する。
　
２　本件補正発明
　本件補正発明は本件補正後の明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　互いに平行に対向配置される一対の電極間に放電ガスを導入すると共に上記一対の電極間に電圧を印加することにより大気圧近傍の圧力下でグロー状の放電を発生させ、上記一対の電極間に被処理物を導入することにより被処理物にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、上記一対の電極の断面をいずれも略角状に形成すると共に各電極の角部に曲率を設け、上記一対の電極の間に誘電体を設け、上記一対の電極にて構成される電極対を、隣合う電極対の間に隙間を設けて複数個並べて配設すると共に、被処理物の搬送手段としてローラーを備えて成ることを特徴とするプラズマ処理装置。」
　
３　独立して特許を受けることができない理由
（１）本願出願前に頒布された刊行物とその記載事項、ならびに引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開２００１−１０２１９８号公報（以下「引用例」という。）には、図面とともに以下の技術的事項の記載がある。
（１ａ）「【請求項１】　少なくとも一対の電極をチャンバー内に互いに上下に対向して配設すると共に対をなす電極の少なくとも一方の表面に絶縁材を設け、電極間にプラズマ生成用ガスを供給すると共に、対をなす電極間に電界を負荷して大気圧下でグロー放電を発生させることによって、このグロー放電でプラズマ生成用ガスからプラズマを生成させ、搬送手段で対をなす電極間に導入して搬送される被処理物の表面をこのプラズマで処理するようにしたプラズマ処理装置において、被処理物を搬送する搬送手段を上下に対向して配設される電極のうち下側に配置される電極で形成して成ることを特徴とするプラズマ処理装置。」
（１ｂ）「【００２５】電極２，３は、高周波の交流電界が印加され高圧電極となる一方の電極２と、接地電極となる他方の電極３とから対をなすものとして使用されるものであり、各電極２，３の形状は特に制限されるものではなく、平板状に形成して平面同士を対向させて配置する他に、断面角形や、断面円管状に形成したりすることができる。図１の実施の形態では、図２に示すように、一方の電極２をステンレス鋼などの金属で角管パイプ状に形成し、他方の電極２をステンレス鋼などの金属で円管パイプ状に形成するようにしてある。ここで、電極２を角管パイプで形成するにあたって、その角部は４Ｒ程度のアールを付け、角部に電界が集中しないようにするのがよい。
【００２６】そして一方の電極２と他方の電極３の少なくとも一方の外周に絶縁材４が設けてある。電極２，３を絶縁材４を介して対向配置させることによって、大気圧下でも電極２，３間に交流電界を印加することで、アーク放電が生じることなく、グロー放電させることができるのである。図２の実施の形態では電極２，３の両方に絶縁材４を設けるようにしてある。絶縁材料４としては特に制限されるものではなく、テトラフルオロエチレン（テフロン）やポリイミドなどの耐熱性の高い合成樹脂や、セラミック、ガラスなどを用いることができる。
【００２７】なかでも、電極２，３の外面にガラス質を融着して被覆層７を設け、この被覆層７で絶縁材４を形成するようにするのが好ましい。…（以下略）」
（１ｃ）「【００５０】図８はプラズマ処理装置の実施の形態の一例を示すものである。このプラズマ処理装置のチャンバー１は上記と同様に箱形に形成されるものであって、チャンバー１の一方の側壁３１には略水平に長いスリット状の入口８が形成してあると共にチャンバー１の他方の側壁３２には略水平に長いスリット状の出口９が入口８と対向するように形成してある。また、チャンバー１の一方の側壁３１の外側と他方の側壁３２の外側にはそれぞれ緩和室１４が一体に形成してある。一方の側壁３１の外側の緩和室１４は入口８を囲う導入側緩和室１４ａとして形成されるものであって、チャンバー１の一方の側壁３１と対向する導入側緩和室１４ａの側壁３３には、略水平に長いスリット状の緩和室導入口３４が入口８と対向させて形成してある。他方の側壁３２の外側の緩和室１４は出口９を囲う導出側緩和室１４ｂとして形成されるものであって、チャンバー１の他方の側壁３２と対向する導出側緩和室１４ｂの側壁３５には、略水平に長いスリット状の緩和室導出口３６が出口９と対向させて形成してある。
【００５１】チャンバー１の内部には図１と同様の電極２，３が設けてあると共に、図１と同様にローラ１５として形成される電極３で搬送手段６が構成されるようにしてあり、さらにチャンバー１の外部には図１と同様の駆動装置１６が設けてある。また、導入側緩和室１４ａや導出側緩和室１４ｂ内には駆動装置１６で回転駆動されるローラ２８が設けてある。そしてこのプラズマ処理装置にあっても、既述と同様にしてチャンバー１内で被処理物５をプラズマ処理することができる。
【００５２】次に、図８のプラズマ処理装置で被処理物５をプラズマ処理する際の、被処理物５の搬送について説明する。図９は被処理物５の搬送の手順を示すものであり、駆動装置１６を作動させることによりローラ１５として形成される電極３を時計回りに回転駆動させると共に、図９（ａ）に示すように、緩和室導入口３４及び入口８からチャンバー１内に被処理物５を導入する。チャンバー１内に導入された被処理物５はローラ２８及び電極３の上に載せられ、ローラ２８及び電極３の回転駆動により電極２の下方へ搬送される。そして、図９（ｂ）に示すように、チャンバー１内に導入された被処理物５は電極３で搬送されながら電極２の下方を通過して連続的にプラズマ処理される。この後、図９（ｃ）に示すように、出口９及び緩和室導出口３６からプラズマ処理された被処理物５をローラ２８及び電極３の回転駆動により導出する。このようにして被処理物５をプラズマ処理装置に供給していくことによって、複数枚の被処理物５に連続的にプラズマ処理を施すことができる。この操作を繰り返すことによって、複数枚の被処理物５を連続的に搬送しながらプラズマ処理することができるものである。」
（１ｄ）「【００５５】尚、上記の各実施の形態では、搬送手段６を形成する電極３を回転駆動されるローラ１５として形成するようにしたが、このようなローラ１５による搬送方式のみに限定されるものではなく、例えば電極３に一定方向に微振動を与えて、この振動で電極３の上の被処理物５を搬送するようにしてもよい。」
（１ｅ）「【００５６】
【実施例】以下本発明を実施例によって具体的に説明する。
【００５７】（実施例１）本実施例で使用するプラズマ処理装置の概略を図１に示す。チャンバー１は長さ５２０ｍｍ×幅３５２ｍｍ×高さ２００ｍｍのアクリル樹脂板製のものを用い、接合部分の総てをＯリング等のパッキンで気密性を保った。またチャンバー１の一方の側面を入口８、他方の側面を出口９として形成し、空圧式の開閉機構を有する入口扉１０と出口扉１１を取り付けた。
【００５８】高圧側の電極２は幅３２ｍｍ×高さ１６ｍｍ×長さ４００ｍｍのＳＵＳ３０４の角パイプで形成し、表面に厚み０．５ｍｍの琺瑯で被覆層７を形成した。また接地側の電極３は直径１４ｍｍ×長さ４００ｍｍのＳＵＳ３０４の円パイプで形成し、表面に厚み０．５ｍｍの琺瑯で被覆層７を形成した。被覆層７の形成は、シリカとアルミナの粉末を溶剤に分散して調製したガラス質材料をスプレーガンで電極２，３の表面に塗布し、これを約８５０℃で１０分間溶融して焼き付け、融着させることによって行なった。また各電極２，３内の流路２３にポンプによって純水を循環させて冷却した。」
（１ｆ）【図８】に図示されているプラズマ処理装置の図面からして、電極２，３のそれぞれの隣合う電極同士は互いに隙間を設けて複数個並べて配設されていることが見てとれる。
　
　これらの記載および図面の図示内容からして、引用例には以下の発明が記載されているといえる。
「チャンバー内に、互いに上下に対向して配設された対をなす電極２，３間にプラズマ生成用ガスを供給するとともに、前記対をなす電極２，３間に電界を負荷して大気圧下でグロー放電を発生させることによりプラズマ生成用ガスからプラズマを生成させ、搬送手段で前記対をなす電極２，３間に導入して搬送される被処理物の表面をこのプラズマで処理するようにしたプラズマ処理装置において、
　前記対をなす電極２，３のうち、上部に配された電極２を断面角形で角部に電界が集中しないように４Ｒ程度のアールを付けた角管パイプで形成し、前記電極２の下方に配された電極３を円管パイプ状に形成し、前記電極２，３のそれぞれの隣合う電極同士を互いに隙間を設けて複数個並べて配設するとともに、前記電極２，３の外表面にテトラフルオロエチレン（テフロン）やポリイミドなどの耐熱性の高い合成樹脂、セラミック、ガラスなどからなる絶縁材を設け、
　被処理物を前記電極３の回転駆動と共働して搬送するためのローラ２８を、前記チャンバーの被処理物の搬送方向前後にチャンバーと一体に形成された緩和室に備えているプラズマ処理装置であって、
　前記対をなす電極２，３の形状を平板状に形成して平面同士を対向させて配置する他、断面角形に形成することもでき、さらに、電極３に一定方向に微振動を与えることにより電極３の上の被処理物を搬送するようにしてもよいプラズマ処理装置。」（以下「引用発明」という。）
　
（２）本件補正発明と引用発明の対比
　本件補正発明と上記引用発明を対比する。
（２ａ）引用発明の「チャンバー内に、互いに上下に対向して配設された対をなす電極２，３間にプラズマ生成用ガスを供給するとともに、前記対をなす電極２，３間に電界を負荷して大気圧下でグロー放電を発生させることによりプラズマ生成用ガスからプラズマを生成させ、搬送手段で前記対をなす電極２，３間に導入して搬送される被処理物の表面をこのプラズマで処理するようにしたプラズマ処理装置」が、本件補正発明の「互いに平行に対向配置される一対の電極間に放電ガスを導入すると共に上記一対の電極間に電圧を印加することにより大気圧近傍の圧力下でグロー状の放電を発生させ、上記一対の電極間に被処理物を導入することにより被処理物にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置」に相当することは明らかである。
（２ｂ）引用発明の「テトラフルオロエチレン（テフロン）やポリイミドなどの耐熱性の高い合成樹脂や、セラミック、ガラスなどからなる絶縁材」が、誘電体であることは明らかであるから、引用発明の「前記対をなす電極２，３のうち、上部に配された電極２を断面角形で角部に電界が集中しないように４Ｒ程度のアールを付けた角管パイプで形成し、前記電極２の下方に配された電極３を円管パイプ状に形成し、前記電極２，３のそれぞれの隣合う電極同士を互いに隙間を設けて複数個並べて配設するとともに、前記電極２，３の外表面にテトラフルオロエチレン（テフロン）やポリイミドなどの耐熱性の高い合成樹脂や、セラミック、ガラスなどからなる絶縁材を設け」という事項と、本件補正発明の「上記一対の電極の断面をいずれも略角状に形成すると共に各電極の角部に曲率を設け、上記一対の電極の間に誘電体を設け、上記一対の電極にて構成される電極対を、隣合う電極対の間に隙間を設けて複数個並べて配設する」という事項を対比すると、両者は、「一対の電極のうちの上部に配された電極の断面を略角状に形成すると共に当該電極の角部に曲率を設け、上記一対の電極の間に誘電体を設け、上記一対の電極にて構成される電極対を、隣合う電極対の間に隙間を設けて複数個並べて配設する」点で一致している。
（２ｃ）そして、引用発明の「ローラ２８」は、「被処理物を前記電極３の回転駆動と共働して搬送する」ために備えられているものであることからして、本件補正発明と引用発明は、「被処理物の搬送手段としてローラーを備えて成る」点で一致している。
　なお、本件補正発明は「搬送手段としてローラーを備」える位置を特定していないが、本願の明細書ならびに図面には、チャンバーは緩和室を含むものであって（本願の明細書の段落【００２１】参照）、搬送手段であるローラー１７は、チャンバー内に複数個設けられ（本願の明細書の段落【００３９】参照）、その一部は緩和室に設けられていることが明らかである（本願の図面の【図１】（ｂ）参照）ことからして、本件補正発明と引用発明は、少なくとも緩和室に「搬送手段としてローラーを備」える点においても一致しているといえる。
　
　以上の対比から、本件補正発明と引用発明とは、
「互いに平行に対向配置される一対の電極間に放電ガスを導入すると共に上記一対の電極間に電圧を印加することにより大気圧近傍の圧力下でグロー状の放電を発生させ、上記一対の電極間に被処理物を導入することにより被処理物にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
上記一対の電極のうちの上部に配された電極の断面を略角状に形成すると共に当該電極の角部に曲率を設け、上記一対の電極の間に誘電体を設け、上記一対の電極にて構成される電極対を、隣合う電極対の間に隙間を設けて複数個並べて配設すると共に、被処理物の搬送手段としてローラーを備えて成るプラズマ処理装置。」の点で一致し、次の点で相違する。
〈相違点〉
　本件補正発明は「一対の電極の断面をいずれも略角状に形成すると共に各電極の角部に曲率を設け」ているのに対し、引用発明は、一対の電極２，３のうち上部に配された電極２は断面が略角状に形成されて電極の角部に曲率が設けているものの、前記電極２の下方に配された電極３は円管パイプ状に形成されている点。
　
（３）検討・判断
　上記相違点について検討するに、引用発明は、電極２，３のうち上部に配された電極２のみならず、その下方に配された電極３についても、「形状を平板状に形成」する他「断面角形に形成することもでき」るものであって、前記電極３による被処理物の搬送機能は、「電極３に一定方向に微振動を与える」ことによっても達成されるものであるから、前記電極３を「略角状に形成する」ことにより電極３による被処理物の搬送機能は損なわれるものではない。そして、前記電極３を「略角状に形成」した場合には、引用発明の上部に配された電極２と同様に、電極３の断面角部にも電界が集中しないようにすべきことも明らかである。
　してみると、引用発明は、「一対の電極の断面をいずれも略角状に形成すると共に各電極の角部に曲率を設け」ることも示唆しているということができる。
　
　なお、この点について請求人は「引用文献１に記載の発明にあっては、被処理物５を搬送する搬送手段６を上下に対向して配設される電極２，３のうち下側に配置される電極３で形成して成るものであり、搬送手段６となる電極３の形状は、通常、回転駆動されるローラ１５によって形成せざるを得ないから、引用文献１に接した当業者が電極３の形状をローラ１５以外の形状に変更することは通常あり得ず、「一対の電極の断面をいずれも略角状に形成する」という構成に想到するのは困難である。もっとも、引用文献１には、「例えば電極３に一定方向に微振動を与えて、この振動で電極３の上の被処理物５を搬送するようにしてもよい。」と記載され、電極３の形状はローラ１５の形状には限定していないようにみえるが、被処理物５として引用文献１が対象とする液晶用ガラス基板等を用いる場合には、振動による搬送では被処理物５を破損するおそれがあるとともに、引用文献１に記載された振動による搬送は、ローラ１５による搬送の代替手段として記載されているから、当業者が「一対の電極の断面をいずれも略角状に形成」した上、「被処理物の搬送手段としてローラーを備える」という構成に想到するのは極めて困難である。」旨（平成２１年１月８日付けの審判請求書についての平成２１年２月９日付け手続補正書第３頁第２０〜３５行）、主張している。
　しかしながら、引用発明は前記（（２）参照）のとおり、電極３以外にも「電極３の回転駆動と共働して搬送するためのローラ２８を備えている」ものであるから、前述のとおり、電極３を「略角状に形成」したとしても、被処理物の搬送機能は、「電極３に一定方向に微振動を与え」て前記ローラ２８と共働せしめることによっても達成することができるし、引用例の段落【０００１】の「本発明は、被処理物の表面に存在する有機物等の異物のクリーニング、レジストの剥離、有機フィルムの密着性の改善、金属酸化物の還元、製膜、表面改質、液晶用ガラス基板の表面クリーニングなどをプラズマ処理で行なうためのプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法に関するものであり」という記載からして、引用発明が液晶用ガラス基板のみを対象とするものではないことも明らかであるから、請求人の前記主張を採用することはできない。
　
（４）小括
　したがって、上記相違点は引用発明が示唆している事項にすぎず、本件補正発明は引用発明に基いて当業者が容易に発明することができたものである。
　
４　本件補正についての結び
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正であるものの、本件補正発明は、引用例に記載された発明に基いて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たさないものであるから、本件補正は、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　平成２１年２月９日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲に記載された発明は、平成２１年１月８日付け手続補正書によって補正された、特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「【請求項１】　互いに平行に対向配置される一対の電極間に放電ガスを導入すると共に上記一対の電極間に電圧を印加することにより大気圧近傍の圧力下でグロー状の放電を発生させ、上記一対の電極間に被処理物を導入することにより被処理物にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、上記一対の電極の断面をいずれも略角状に形成すると共に各電極の角部に曲率を設け、上記一対の電極の間に誘電体を設け、上記一対の電極にて構成される電極対を、隣合う電極対の間に隙間を設けて複数個並べて配設すると共に、被処理物の搬送手段を備えて成ることを特徴とするプラズマ処理装置。」
　
２　刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物およびその記載事項、ならびに引用発明は、前記「第２〔理由〕３　独立して特許を受けることができない理由」の「（１）本願出願前に頒布された刊行物とその記載事項、ならびに引用発明」に記載したとおりである。
　
３　本願発明と引用発明との対比、検討・判断
　本願発明は、上記「第２〔理由〕２　本件補正発明」に記載した本件補正発明の搬送手段が「ローラー」であるという発明特定事項を削除したものに相当する。
　そうすると、上記「第２〔理由〕３　独立して特許を受けることができない理由」で検討したとおり、本件補正発明が、引用発明に記載された技術的事項に基いて容易に発明することができたものである以上、搬送手段が「ローラー」であるという発明特定事項を削除した本願発明も、同様の理由により、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　なお、請求人が平成２２年５月１０日付け回答書で提示した補正案を検討しても、当該補正案が発明特定事項としている「電極の長手方向の長さが１００〜２０００ｍｍ」、「電極の長手方向と平行な方向の寸法である厚み方向の寸法が１０〜２００ｍｍである支持体で各電極の長手方向の端部を支持」という事項は、引用例に記載された電極寸法（上記（１ｅ）参照）と格別相違しないから、上記補正案を採用する余地はない。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、本願出願前に頒布された刊行物である引用例に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。