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　特願２００４−１２６３０４号「クリーニング部材およびクリーニング方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　２月１０日出願公開、特開２００５−３４８３４号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１６年４月２２日（優先権主張平成１５年６月２６日）の出願であって、平成２２年１月２７日付けで拒絶査定がされ、この査定に対し、同年４月３０日に本件審判が請求されるとともに、その審判の請求と同時に手続補正がなされ、これに対して、当審において平成２３年５月１２日付けで拒絶理由を通知したところ、同年６月２７日付けで手続補正がなされると共に意見書が提出されたものである。
　
第２　本願発明について
１．本願発明
　本件出願の請求項１〜３に係る発明は、平成２２年４月３０日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定されるものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「【請求項１】
　基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニング機能付き搬送部材であって、搬送部材の少なくとも片面に活性エネルギー源により硬化した樹脂層または耐熱性を有する高分子樹脂からなる、１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2であるクリーニング層を有することを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。」
　
２．引用刊行物とその記載事項
（１）当審における平成２３年５月１２日付けで通知した拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開２００１−１９８０７５号公報（以下「刊行物１」という。）には、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシートに関して、次の技術的事項が記載されている。 
　（ア）「【請求項２】支持体の片面に、引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が０．９８〜４９００Ｎ／mm2の粘着剤層がクリーニング層として設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート。
【請求項３】クリーニング層としての粘着剤層が、活性エネルギーにより硬化されてなる請求項１又は２記載のクリーニングシート。
・・・
【請求項６】搬送部材に、請求項２〜５いずれか記載のクリーニングシートが、通常の粘着剤層により設けられたクリーニング機能付き搬送部材。」
　（イ）「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。  さらに、基板に基板形状より大きいクリーニングシートを貼り付けた後、基板形状に沿ってクリーニングシートを切断する場合には、発生した切削屑が基板に付着するなどの恐れもある。本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に基板を確実に搬送できると共に、装置内に付着している異物を簡便かつさらに確実に除去できるクリーニングシートを提供することを目的としている。」
　（ウ）「【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、粘着性の物質を固着したシートあるいはこのシートを固着した基板を搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去するにあたり、そのクリーニング層としての粘着剤層の引張弾性率を特定範囲内にすることにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に除去できることを見出し、本発明を完成するに至つた。」
　（エ）「【０００６】
【発明の実施の形態】本発明のクリーニングシートは、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、該クリーニング層は、その引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が０．９８〜４９００Ｎ／mm2、好ましくは９．８〜３０００Ｎ／mm2の粘着剤層からなる。  本発明においては、クリーニング層の引張弾性率をかかる特定範囲内に設計することにより、搬送トラブルを発生することなく、異物を除去することができる。  この引張弾性率が４９００Ｎ／mm2を超えると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下し、０．９８Ｎ／mm2未満の場合、搬送時に装置内の被クリーニング部に接着して搬送トラブルとなる恐れがある。」
　（オ）「【０００７】かかる粘着剤層は、その引張弾性率が前述の範囲内である限り、その材質等は特に限定されないが、紫外線や熱などの活性エネルギー源により架橋反応や硬化が促進されて、その引張弾性率を大きくできるものが好ましい。  さらに、かかる架橋や硬化により分子構造が三次元網状化してその粘着力が低下したものが好ましく、例えばシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）／１０ｍｍ以下、好ましくは０．０１０〜０．１０Ｎ（１〜１０ｇ）／１０ｍｍ程度である。  この粘着力が、０．２０Ｎ（２０ｇ）／ｍｍを超えると、搬送時に装置内の被クリーニング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。
【０００８】かかる粘着剤層の具体例としては、例えば感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物を含有させてなるものが好ましい。・・・」
　（カ）「【００１５】・・・
実施例
アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ポリエチレングリコ―ルジメタクリレ―ト５０部、ウレタンアクリレ―ト５０部、ベンジルジメチルケタール３部、及びジフエニルメタンジイソシアネ―ト３部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着剤溶液とした。一方、上記粘着剤からベンジルジメチルケタールを除いた以外は、上記と同様にして得た粘着剤溶液を、幅２５０ｍｍ、厚み２５μｍのポリエステル製支持フィルムの片面に、乾燥後の厚みが１０μｍになるように塗布して通常の粘着剤層を設け、その表面に厚さ３８μｍのポリエステル系剥離フィルムを貼った。  支持フィルムのもう一方の側に、前記の紫外線硬化型粘着剤溶液を乾燥後の厚みが４０μｍになるように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設け、その表面に同様の剥離フィルムを貼った。このシートに中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射して、本発明のクリーニングシートを得た。  このクリーニングシートのクリーニング層の粘着剤層の紫外線硬化後の引張弾性率は４９Ｎ／mm2であった。ここで引張弾性率は、試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて測定した。また、クリーニング層側の粘着剤層をシリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じてシリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、０．０７８Ｎ（８ｇ）／１０ｍｍであった。また、他面側の通常の粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力を上記と同様に測定した結果、０．２５Ｎ／１０ｍｍであった。
・・・
【００１９】比較例
実施例において、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量５ｍＪ／ｃｍ2照射した以外は、実施例と同様にクリーニングシートを作製し、同様にクリーニング層の引張弾性率を測定したところ、０．６７Ｎ／mm2であった。  またクリーニング層の粘着剤層の対シリコンウエハ粘着力を測定したところ、０．３３Ｎ（３４）ｇ／１０ｍｍであった。このクリーニングシートから実施例と同じ方法で作製した搬送用クリーニングウエハを、２２０００個の異物が付着しているウエハステージを持つ基板処理装置内を搬送したところ、ウエハステージに固着し、搬送できなくなった。」
　（キ）記載事項（ア）の「クリーニング機能付き搬送部材」は、記載事項（ウ）の「このシートを固着した基板を搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する」であるので、基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニング機能付き搬送部材といえる。
　（ク）記載事項（ア）の「活性エネルギーにより硬化されてなる請求項１又は２記載のクリーニングシート」は、記載事項（ア）の「支持体の片面に、引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が０．９８〜４９００Ｎ／mm2の粘着剤層がクリーニング層として設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなる」ものであって、そのリーニング層が記載事項（オ）の「例えば感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物を含有させてなるもの」であるので、搬送部材の少なくとも片面に活性エネルギー源により硬化した樹脂層からなる、引張弾性率が０．９８〜４９００Ｎ／mm2であるクリーニング層を有するものといえ、さらに、記載事項（エ）で「好ましくは９．８〜３０００Ｎ／mm2」とされたものに着目すると、搬送部材の少なくとも片面に活性エネルギー源により硬化した樹脂層からなる、引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2であるクリーニング層を有するものといえる。
　
　すると、記載事項（エ）で「好ましくは９．８〜３０００Ｎ／mm2」とされたものに着目して、上記の事項を総合すると刊行物１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が開示されているものということができる。
「基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニング機能付き搬送部材であって、搬送部材の少なくとも片面に活性エネルギー源により硬化した樹脂層からなる、引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2であるクリーニング層を有するクリーニング機能付き搬送部材。」
　
３．本願発明と引用発明との対比 
（１）両発明の対応関係
　(a)引用発明の「活性エネルギー源により硬化した樹脂層からなる」クリーニング層と、本願発明の「活性エネルギー源により硬化した樹脂層または耐熱性を有する高分子樹脂からなる」クリーニング層とは、活性エネルギー源により硬化した樹脂層からなるクリーニング層で一致する。
　(b)引用発明の「引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2であるクリーニング層」と、本願発明の「１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2であるクリーニング層」とは、前者の引張弾性率が、引張応力σ／ひずみεで求めれる量であって、ひずみ時の引張り応力に係る物理量であるので、両者は、ひずみ時の引張り応力に係る物理量を特定範囲内としたクリーニング層である点で共通する。
　
（２）両発明の一致点
「基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニング機能付き搬送部材であって、搬送部材の少なくとも片面に活性エネルギー源により硬化した樹脂層からなる、ひずみ時の引張り応力に係る物理量を特定範囲内としたクリーニング層を有するクリーニング機能付き搬送部材。」
　
（３）両発明の相違点
　本願発明はクリーニング層が「１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2である」のに対して、引用発明は「引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2」である点。
　
４．容易想到性の検討
　（ア）本願発明においてクリーニング層を「１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2」としているのは、(A)「粘着性物質と装置接触部が強く接着しすぎて剥がれなくなり、基板を確実に搬送できないことがあり、その結果、装置内の異物を確実にクリーニング除去できないことがあった。」「本発明は、このような事情に照らし、各種の基板処理装置内に確実に搬送して装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニング部材と、これを使用した基板処理装置のクリーニング方法を提供する」（本願明細書【０００４】〜【０００５】）ことを目的として、(B)「樹脂層は、架橋反応を含む硬化反応により分子構造が三次元網状化してそのひずみ時引張り応力が大きくなることから、上記反応を適度に制御することで、ひずみ時引張り応力を前記範囲内に容易に設定できる。」「ひずみ時引張り応力を前記範囲内に設定すると、その接着力は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし接着力で０．２Ｎ（２０ｇ）／１０mm幅以下、好適には０．０１〜０．１Ｎ／１０mm幅程度となる。」（本願明細書【００１２】〜【００１３】）という作用を生ぜしめ、(C)「クリーニング層の１０％ひずみ時引張り応力を０．３〜３，０００Ｎ／mm2の範囲に設定したことにより、基板処理装置内の被洗浄部位に強く接着するなどのトラブルを生じることなく搬送して、上記装置内の異物を簡便かつ確実に除去できる・・・」（本願明細書【０００９】）ようにするためのものである。
　対して、引用発明においてクリーニング層を「引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2」としているのは、(a)「粘着性物質と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。・・・このような事情に照らし、基板処理装置内に基板を確実に搬送できると共に、装置内に付着している異物を簡便かつさらに確実に除去できるクリーニングシートを提供する」（記載事項（イ））ことを目的として、(b)「例えばシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）／１０ｍｍ以下、好ましくは０．０１０〜０．１０Ｎ（１〜１０ｇ）／１０ｍｍ程度である。」（記載事項（オ））という作用を生ぜしめ、(c)「クリーニング層の引張弾性率をかかる特定範囲内に設計することにより、搬送トラブルを発生することなく、異物を除去することができる。」（記載事項（エ））ようにするためのものである。
　（イ）また、本願明細書においては、(D)本願発明の「１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2」とするための硬化処理として、「中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm2照射」（本願明細書【００４０】）を実施例として示すとともに、「積算光量５ｍＪ／cm2照射」（本願明細書【００４３】）と「積算光量２，０００ｍＪ／cm2 照射」（本願明細書【００４４】）が比較例として示されている。
　対して、刊行物１においては、(d)引用発明の「引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2」、とするための硬化処理として、「中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射」（記載事項（カ））を実施例として示すとともに、「積算光量５ｍＪ／ｃｍ2照射」（記載事項（カ））が比較例として示されている。
　（ウ）そうすると、本願発明のクリーニング層が「１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2である」ことと、引用発明のクリーニング層が「引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2」であることとは、物理量の特定、及びその数値範囲が相違する一方、樹脂層を硬化して接着力（刊行物１では「粘着力」）を制限する機能を生ぜしめるために、特定した物理量である点で共通し、更に、そのような特定をする目的、接着力（刊行物１では「粘着力」）としての物理量、及び、そのような物理量とする処理方法の紫外線の積算光量においても、おおむね共通するものである。
　（エ）そこでまず、本願発明の「１０％ひずみ時引張り応力」と、引用発明「引張弾性率」との相違、すなわち物理量の特定の相違について検討する。
　両者は、前記「３．（１）(b)」に記載した様に、ひずみ時の引張り応力を特定した物理量である点で共通するものであるので、ひずみ時の引張り応力を特定するために使用する限りにおいて、両者の一方に替えて他方を選択することは、当業者が適宜選択し得たことである。
　一方、本願明細書を見ても、本願発明において当該物理量は、上記（ウ）の樹脂層を硬化して接着力（刊行物１では「粘着力」）を制限する機能を生ぜしめるために特定範囲内とするものであって、ひずみ時の引張り応力を特定する物理量を、特に「１０％ひずみ時」の「引張り応力」として特定したことによる顕著な効果等、格別な技術的意義を認識することは出来ない。
　そうすると、引用発明のひずみ時の引張り応力を特定する物理量である「引張弾性率」に替えて、同じく、引張り応力を特定する性質のものであることが明らかな「１０％ひずみ時引張り応力」を用いて、数値範囲を特定することは、当業者が容易になし得たことである。
　（オ）次に、本願発明の「１０％ひずみ時引張り応力が０．３〜３，０００Ｎ／mm2」と、引用発明「引張弾性率が９．８〜３０００Ｎ／mm2」との相違、すなわち物理量の値の相違について検討する。
　上記（エ）の引用発明の引張り応力を特定した物理量として、「引張弾性率」にかえて、「１０％ひずみ時引張り応力」を用いることに伴い、「特定範囲内に設計することにより、搬送トラブルを発生することなく、異物を除去することができる。」（記載事項（エ））効果を奏するための値となる、「１０％ひずみ時引張り応力」を実験等により所望の作用効果を生ずる様に特定することは、当業者が容易になし得ることである。
　（カ）さらに、本願発明の「０．３〜３，０００Ｎ／mm2」は、その最小値と最大値の比が、１万倍におよぶ広い範囲の値であるとともに、本願明細書を見ても本願発明の「０．３・・Ｎ／mm2」や「３，０００Ｎ／mm2」なる値に、特別な臨界的意義の存在を認識することが出来ないものでもある。
　（キ）そうすると、引用発明のひずみ時の引張り応力を特定する物理量である「引張弾性率」に替えて、「１０％ひずみ時引張り応力」を用いるとともに、その値を実験等により所望の作用効果を生ずる様に特定して、相違点イに係る構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　（ク）そして、本願発明の作用効果は、引用発明から当業者であれば予測できた範囲のものである。
　したがって、本願発明は、引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明については、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そうすると、このような特許を受けることができない発明を包含する本願は、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。