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　特願２００２−２４４５０４「荷電粒子線装置用試料ホールダ」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月１８日出願公開、特開２００４−　８７２１４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ　手続の経緯
　本願は、平成１４年８月２６日に出願された特願２００２−２４４５０４号であって、平成２０年６月９日付けで拒絶査定がなされた。本件審判は、前記査定を不服として平成２０年７月１７日に請求された拒絶査定不服審判事件であって、同年８月８日付けで手続補正がなされている。その後、当審において平成２２年６月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年８月１１日付けで手続補正がなされるとともに、意見書が提出されている。
　
II　本願発明
　平成２２年８月１１日付け手続補正は、いわゆる新規事項を含まない適法な補正であると認められるから、本願の各請求項に係る発明は、平成２２年８月１１日付け手続補正によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項によって特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は次のとおりである。
「　イオンビームの光軸に対して垂直となるように試料ホールダをその側部から挿入できる試料室を備え、当該試料ホールダに保持された試料にイオンビームを照射し、当該試料を加工するイオンビーム装置と、
　電子線の光軸に対して垂直となるように試料ホールダをその側部から挿入できる試料室を備え、当該試料ホールダに保持された試料に電子線を照射し、試料の透過像を観察する透過電子顕微鏡と、
　の双方に使用可能な共用試料ホールダにおいて、
　当該試料ホールダの先端部と連結されたホールダ軸と、当該ホールダ軸をその軸中心の周りに３６０°回転させる機構と、イオンビーム加工により摘出された微小試料片を保持できる試料台と、を備え、
　当該試料台は、前記ホールダ軸に対して垂直である回転軸を中心に３６０°回転可能に、且つ、当該試料台に保持された微小試料片が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付けられており、
　前記ホールダ軸自体の回転により、前記試料ホールダの先端部および前記試料台は、前記ホールダ軸の軸中心の周りに３６０°回転可能であり、
　前記イオンビーム装置の試料室に当該試料ホールダを挿入した際、前記試料台に保持された前記微小試料片がイオンビーム光軸上に配置され、当該イオンビーム光軸上で前記微小試料片の角度を変えることが可能となり、
　当該試料台に保持された前記微小試料片を、前記イオンビームの光軸を中心に回転させ、任意の方向からイオンビームにより加工でき、更に、
　当該試料台に保持された前記微小試料片を、前記イオンビームの光軸に対して垂直な軸を中心に回転させ、任意の方向からイオンビームにより加工でき、
　並びに、前記透過電子顕微鏡の試料室に当該試料ホールダを挿入した際、前記試料台に保持された前記微小試料片が電子線光軸上に配置され、当該電子線光軸上で当該微小試料片の角度を変えることが可能となり、
　前記試料台に保持された前記微小試料片を、当該微小試料片の周囲３６０°の方向から透過像を観察できることを特徴とする共用試料ホールダ。」
　
III　引用例
　当審で通知した前記平成２２年６月１４日付け拒絶理由のうち、「拒絶理由１」は、本願発明は特開平９−３０６４０３号公報（以下「引用例」という。）に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が、容易に発明をすることができたものと認められ、本願は特許法第２９条第２項の規定により拒絶すべきものであり特許を受けることができないというものであるから、はじめに、上記引用例の記載事項ならびに引用例に記載された発明について検討する。
（１）引用例の記載事項　
　上記引用例には、図面とともに以下の事項が記載されている。
（１ａ）「【特許請求の範囲】
【請求項１】試料を加工するための加工鏡筒、前記試料を保持し加工位置決めのためのホールダを真空外から挿入する方式の試料ステージを備えた装置において、前記ホールダの試料部が加工方向を軸として回転可能で、回転円周方向に配置された加工補助装置を用いて試料を処理することを特徴とする試料処理装置。
【請求項２】前記試料部の回転は角度設定制御および連続回転制御が可能である請求項１の試料処理装置。
【請求項３】前記加工鏡筒は集束イオンビームである請求項１の試料処理装置。
【請求項４】前記加工補助装置は走査型電子顕微鏡，光学顕微鏡，イオンミリング装置，ガス供給手段，レーザビーム源の内一つまたは二つ以上の組み合わせである請求項１の試料処理装置。
【請求項５】前記試料ホールダの前記試料部は加工方向と、ホールダ軸，加工軸の両方に直角方向に開口がある構造でＦＩＢとＳＥＭに共用可能である請求項１の試料処理装置。」
（１ｂ）「【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について説明する。図１は本発明の基本構成を示す。試料室８の上部に加工鏡筒１，外周に走査型電子顕微鏡（以下ＳＥＭ）４，イオンミリング装置５，ガス供給装置６，レーザビーム源７が配置されている。加工鏡筒は集束イオンビーム装置（以下ＦＩＢ）であり、Ｇａ液体金属イオン源と静電レンズ系を備えている。ＦＩＢでは３０ｋｅＶのエネルギで数１０ｎｍの集束イオンビームが得られる。また鏡筒はビーム走査手段を有しており、走査型イオン顕微鏡としても作用する。試料９はホールダ２の先端に取り付けられ、試料ステージ３の中心から挿入されて加工鏡筒の光学軸上に設置される。試料ホールダ２の先端部の構造について図２を用いて説明する。図２（ａ）はホールダ全体、（ｂ）はホールダ先端部を加工鏡筒側から見た拡大図、（ｃ）は（ｂ）の側断面図を示す。試料９は回転台１０の上に例えば両面テープで固定されている。回転台１０は回転伝達手段１１、ここではスチール線によって回転可能な構造になっている。この回転伝達手段は回転駆動部１３のモータと回転センサによって回転角が制御される。」
（１ｃ）「【０００８】次に処理工程について説明する。一例としてＳｉデバイスを透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察するための試料処理について説明する。本装置に導入前の試料の大きさは約縦２０００μ，横５０μ，高さ５００μ程度である。この試料の縦横面のＳＥＭ側の１部をＦＩＢによって加工する。この場合ＳＥＭ機能によって加工した残りの断面を観察する事によって何処まで加工するかサブミクロンの精度で決めることができる。この場合、Ｓｉデバイスの構造や欠陥部のＳＥＭ像で判断するが、その解像度が良い方が精度が上がることになる。解像度を上げるため本実施例では、試料ステージにサイドエントリ型を用いている。このステージを用いることにより、ＳＥＭを試料に１０mm以内に近づけることができる。このためＳＥＭの解像度は数ｎｍまで向上することができた。次に試料を回転させて加工した面の反対側を加工する。従来の構造では、試料とＳＥＭの距離を１０mm以内で、反対面を観察することは困難であった。特にＳＥＭを直角に配置した場合はこのように裏面を観察するためには試料挿入方向を１８０度変えるか、試料を付け替えて再度観察加工するしか方法はなかった。反対面もＳＥＭで観察しながら加工ができるため、ＴＥＭで観察可能な壁厚すなわち１００ｎｍ程度にする前に異常形状やゴミなどが観察されたら、そこで再度停止し、ＳＥＭ像を記憶する。その後どちら側から更に壁を薄くするか判断し目的の厚さに仕上げる。従来の方法では反対側に存在する不良部は観察できないため削り去ってしまう可能性が大きい。
【０００９】次に、ＦＩＢで加工した面は１０ｎｍ程度の厚さで元の組織が破壊されてしまう（アモルファス化）ことが判っている。このため１００ｎｍ程度の厚みの情報の中で２０ｎｍ程度、すなわち２０％近くの非理想情報を含んで観察することになる。この不都合な現象を低減するために、より低いエネルギのアルゴンビームを照射する手段が知られている。この場合、処理面とアルゴンビームの相対位置が重要になる。本実施例ではイオンミリング装置５は装置設計上斜め上方向に配置してある。この構造で、前記加工面と対向させるためには、ホールダ中心軸（Ａ軸）と加工方向軸（Ｂ軸）の両方を調節する。ＳＥＭ観察時と同様にＢ軸が回転することによって反対面もアルゴン照射できるようになった。特に本実施例のように仰角がある場合、ステージは反時計方向に傾斜する必要があり、サイドエントリステージでなければ対応できない。また、アルゴン照射の場合角度を変えた方がきれいに処理できる場合があり、この場合はＡ軸を連続回転させながら処理することができる。」
（１ｄ）「【００１０】このようにして処理した試料は試料ステージ３から引き抜き、直ちにＴＥＭの試料ステージに挿入し観察できる構造になっている。このようにホールダが共用できるのは加工面の方向にＴＥＭの電子ビームが通過できるようにその両端が開放されているためである。従って、回転軸は試料９の下部のみの構造になっている。このような構造になっているとＴＥＭ観察の後更に加工したい部分がある場合も容易に本処理装置に戻して加工できる。このようにして非常に正確に異常部などをＴＥＭ観察することができるようになった。」
（１ｅ）上記（１ｂ）の記載に即して、【図１】には、ホールダ２が試料室８の側方から挿入され、上部に加工鏡筒１，外周に走査型電子顕微鏡４，イオンミリング装置５，ガス供給装置６，レーザビーム源７が配置されている装置が図示され、【図２】には、試料９が、回転伝達手段１１によって加工方向と同軸に回転可能である、ホールダ先端部に設けられた回転台１０上に配されるとともに、ホールダ軸中心上に配され、ホルダー軸を中心にして回転可能であることが図示されている。また、【図２】の図示内容からして、加工方向とホールダ軸とは直交していることが見てとれる。
　
（２）引用発明　
　これらの記載事項ならびに図示内容からして、引用例には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
「試料室の上部に配置された集束イオンビーム装置からなる加工鏡筒の光学軸上に、試料室側方の試料ステージから挿入されるホールダの先端に取り付けられた試料を設置して試料を加工する装置であって、前記試料室の外周に走査型電子顕微鏡、イオンミリング装置等の加工補助装置が配置された試料処理装置に用いられる、試料を保持して加工位置決めを行うホールダにおいて、
当該ホールダは、試料をホールダ軸中心上に配し、ホールダ軸を中心にして回転可能とするとともに、先端部に試料が配される試料台を備え、
当該試料台は、試料を、回転伝達手段によって加工方向と同軸に回転可能に保持し、
前記試料処理装置の試料室に当該ホールダを挿入して、前記試料台に保持された試料を透過型電子顕微鏡で観察するために集束イオンビーム加工して前記試料を処理する際、試料の縦横面の前記走査型電子顕微鏡側の１部を集束イオンビームによって加工し、次に試料を回転させて加工した面の反対側を前記走査型電子顕微鏡で観察しながら加工でき、また、集束イオンビームで加工した面の不都合な現象を低減する目的で処理面に低エネルギーのアルゴンビームを照射する際、処理面にアルゴンビームを対向させるために、ホールダ中心軸と加工方向軸の両方を調節して処理を行うことができ、
処理した試料を試料ステージから引き抜き、直ちに透過型電子顕微鏡の試料ステージに挿入して観察できる構造になっているホールダ。」
　
IV　本願発明と引用発明の対比、検討・判断
（１）本願発明と引用発明の対比
　当業者の技術常識ならびに当業者に周知の事項を勘案して本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明が具備する構成と、本願発明の発明特定事項とは、以下の相当関係にある。
（ａ）引用発明の「試料室の上部に配置された集束イオンビーム装置からなる加工鏡筒の光学軸上に、試料室側方の試料ステージから挿入されるホールダの先端に取り付けられた試料を設置して試料を加工する装置であって」、「試料処理装置に用いられる、試料を保持して加工位置決めを行うホールダ」は、本願発明の「イオンビームの光軸に対して垂直となるように試料ホールダをその側部から挿入できる試料室を備え、当該試料ホールダに保持された試料にイオンビームを照射し、当該試料を加工するイオンビーム装置」「に使用可能な」「試料ホールダ」に相当する。
（ｂ）引用発明の「処理した試料を試料ステージから引き抜き、直ちに透過型電子顕微鏡の試料ステージに挿入して観察できる構造になっているホールダ」であることは、本願発明の「当該試料ホールダに保持された試料に電子線を照射し、試料の透過像を観察する透過電子顕微鏡」「に使用可能な」「試料ホールダ」であることに相当する。
　以上の相当関係からして、引用発明の「ホールダ」が、本願発明の「イオンビーム装置と」、「透過電子顕微鏡」「の双方に使用可能な共用試料ホールダ」に相当することは明らかである。
（ｃ）引用発明の「当該ホールダは、試料をホールダ軸中心上に配し、ホールダ軸を中心にして回転可能とするとともに、先端部に試料が配される試料台を備え」ることは、本願発明の「試料ホールダの先端部と連結されたホールダ軸と、当該ホールダ軸を軸中心の周りに」「回転させる機構と」、「試料」「を保持できる試料台と、を備え」、「当該試料台に保持された」「試料」「が前記ホールダ軸の軸中心上となる」ことに相当し、引用発明の「当該ホールダは」、「先端部に試料が配される試料台を備え」るものであって、「試料台は、試料を、回転伝達手段によって加工方向と同軸に回転可能に保持」するものであることは、本願発明の「試料台は、前記ホールダ軸に対して垂直である回転軸を中心に」「回転可能に」、「前記試料ホールダの先端部に取り付けられて」いることに相当する。
　そして、引用発明において、ホールダのホールダ軸を中心とした回転にともなって試料台も回転することは明らかであるから、引用発明の「当該ホールダは、試料をホールダ軸を中心にして回転可能とするとともに、先端部に試料が配される試料台を備え、当該試料台は、試料を、回転伝達手段によって加工方向と同軸に回転可能に保持」するという事項と、本願発明の「当該試料ホールダの先端部と連結されたホールダ軸と、当該ホールダ軸をその軸中心の周りに３６０°回転させる機構と、イオンビーム加工により摘出された微小試料片を保持できる試料台と、を備え、当該試料台は、前記ホールダ軸に対して垂直である回転軸を中心に３６０°回転可能に、且つ、当該試料台に保持された微小試料片が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付けられており、前記ホールダ軸自体の回転により、前記試料ホールダの先端部および前記試料台は、前記ホールダ軸の軸中心の周りに３６０°回転可能であり」という事項は、「当該試料ホールダの先端部と連結されたホールダ軸と、当該ホールダ軸をその軸中心の周りに」「回転させる機構と」、「試料」「を保持できる試料台と、を備え」、「当該試料台は、前記ホールダ軸に対して垂直である回転軸を中心に」「回転可能に、且つ、当該試料台に保持された」「試料」「が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付けられており、前記ホールダ軸自体の回転により、前記試料ホールダの先端部および前記試料台は、前記ホールダ軸の軸中心の周りに」「回転可能」である点で一致する。
（ｄ）引用発明の「試料処理装置の試料室に当該ホールダを挿入して、前記試料台に保持された試料を透過型電子顕微鏡で観察するために集束イオンビーム加工して前記試料を処理する際、試料の縦横面の前記走査型電子顕微鏡側の１部を集束イオンビームによって加工し、次に試料を回転させて加工した面の反対側を前記走査型電子顕微鏡で観察しながら加工でき」ることは、本願発明の「イオンビーム装置の試料室に当該試料ホールダを挿入した際、前記試料台に保持された前記」「試料」「がイオンビーム光軸上に配置され、当該イオンビーム光軸上で前記」「試料」「の角度を変えることが可能となり、当該試料台に保持された前記」「試料」「を、前記イオンビームの光軸を中心に回転させ、任意の方向からイオンビームにより加工でき」ることに相当する。
（ｅ）引用発明の「処理面に低エネルギーのアルゴンビームを照射する際、処理面にアルゴンビームを対向させるために、ホールダ中心軸と加工方向軸の両方を調節して処理を行う」ことは、本願発明の「試料台に保持された前記」「試料」「を、前記イオンビームの光軸に対して垂直な軸を中心に回転させ」、「加工でき」ることに相当する。
　
　そうすると、本願発明と引用発明とは、
「イオンビームの光軸に対して垂直となるように試料ホールダをその側部から挿入できる試料室を備え、当該試料ホールダに保持された試料にイオンビームを照射し、当該試料を加工するイオンビーム装置と、
　当該試料ホールダに保持された試料に電子線を照射し、試料の透過像を観察する透過電子顕微鏡と、
　の双方に使用可能な共用試料ホールダにおいて、
　当該試料ホールダの先端部と連結されたホールダ軸と、当該ホールダ軸をその軸中心の周りに回転させる機構と、試料を保持できる試料台と、を備え、
　当該試料台は、前記ホールダ軸に対して垂直である回転軸を中心に回転可能に、且つ、当該試料台に保持された試料が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付けられており、
　前記ホールダ軸自体の回転により、前記試料ホールダの先端部および前記試料台は、前記ホールダ軸の軸中心の周りに回転可能であり、
　前記イオンビーム装置の試料室に当該試料ホールダを挿入した際、前記試料台に保持された前記試料がイオンビーム光軸上に配置され、当該イオンビーム光軸上で前記試料の角度を変えることが可能となり、
　当該試料台に保持された前記試料を、前記イオンビームの光軸を中心に回転させ、任意の方向からイオンビームにより加工でき、更に、
　当該試料台に保持された前記試料を、前記イオンビームの光軸に対して垂直な軸を中心に回転させ、加工できる、
共用試料ホールダ。」の点で一致し、次の点で相違する。
〈相違点１〉
　試料ホールダに保持され、イオンビーム加工されて透過電子顕微鏡で透過像を観察される試料が、本願発明は「イオンビーム加工により摘出された微小試料片」であるのに対し、引用発明は試料について限定がなく、引用例の明細書には、「約縦２０００μ，横５０μ，高さ５００μ程度」と記載されている点。
〈相違点２〉
　試料ホールダが共用される透過電子顕微鏡が、本願発明は「電子線の光軸に対して垂直となるように試料ホールダをその側部から挿入できる試料室を備え」たものであり、「前記透過電子顕微鏡の試料室に当該試料ホールダを挿入した際、前記試料台に保持された前記微小試料片が電子線光軸上に配置され、当該電子線光軸上で当該微小試料片の角度を変えることが可能となり、前記試料台に保持された前記微小試料片を、当該微小試料片の周囲３６０°の方向から透過像を観察できる」のに対し、引用発明は透過型電子顕微鏡の構造が明らかでなく、透過像の観察態様も明らかでない点。
〈相違点３〉
　ホールダ軸を中心とした回転およびホールダ軸に対して垂直である回転が、本願発明は、「３６０°回転可能」であって、イオンビーム加工が、本願発明は「任意の方向から」できるのに対し、引用発明は、回転角度が明らかでなく、イオンビーム加工方向の任意性について明らかでない点。
〈相違点４〉
　試料をイオンビームの光軸に対して垂直な軸を中心に回転させる際の加工が、本願発明１では「イオンビーム」であるのに対し、引用発明は、広義のイオンビームに属するものの「アルゴンビーム」であって、試料をイオンビームの光軸を中心に回転させて加工する際に用いるイオンビームとは異なる点。
　
（２）各相違点の検討・判断
（ａ）相違点１について
　相違点１について、請求人は、平成２２年８月１１日付け意見書において、引用例に記載された試料は本願発明の「イオンビーム加工により摘出」されたミクロンオーダーの試料とは異なる大きな試料であって、引用例に記載された試料の固定方法によっては「イオンビーム加工により摘出された微小試料片」を固定することができないとともに、引用例の試料台に本願発明の「微小試料片」を固定したとしても、「試料台に保持された微小試料片が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付け」られないため、「イオンビーム光軸上で前記微小試料片の角度を変えること」、「試料台に保持された前記微小試料片を、前記イオンビームの光軸を中心に回転させ、任意の方向からイオンビームにより加工」すること、また同様に、「電子線光軸上で当該微小試料片の角度を変えること」、「試料台に保持された前記微小試料片を、当該微小試料片の周囲３６０°の方向から透過像を観察」することができない旨主張しているから、当該主張を含めて検討する。
　本願発明は、試料が「イオンビーム加工により摘出された微小試料片」であることを発明特定事項とするにすぎず、試料ホールダや試料台にどのような具体的構成を具備せしめることにより、微小試料片を固定して、「試料台に保持された微小試料片が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付け」ることができるようになるのか、何ら特定するものではない。また、本願発明の前記発明特定事項は、単に試料の摘出手法を特定しているにすぎず、試料の大きさを特定する事項ではないことは明らかである。
　ここで、観察対象としていかなる試料を選択し、試料台にいかにして固定して加工、観察を行うかは、観察すべき対象物ならびに観察の目的等に応じて当業者が適宜選択し得る事項ということができる上に、引用例に記載された試料と本願発明の微小試料片は、ＦＩＢ加工を行ってＴＥＭ観察に供される試料である点で一致している。さらに、引用発明は「処理面にアルゴンビームを対向させるために、ホールダ中心軸と加工方向軸の両方を調節」することからして、試料台に固定された試料がイオンビームの光軸上に配される必要があることも明らかである。
　そうすると、試料として「イオンビーム加工により摘出された微小試料片」を選択するとともに、その摘出した試料を、試料の大きさに応じて、「試料台に保持された微小試料片が前記ホールダ軸の軸中心上となるように、前記試料ホールダの先端部に取り付け」て、「イオンビーム光軸上で前記微小試料片の角度を変え」、「試料台に保持された前記微小試料片を、前記イオンビームの光軸を中心に回転させ、任意の方向からイオンビームにより加工」し得るよう、また同様に、「電子線光軸上で当該微小試料片の角度を変えること」ができるようにして、「試料台に保持された前記微小試料片を、当該微小試料片の周囲３６０°の方向から透過像を観察」可能となるよう固定することは、引用発明に接した当業者であれば当然になし得る事項にすぎない。
　してみると、請求人の前記主張を勘案しても、相違点１に格別の進歩性を見いだすことはできない。
（ｂ）相違点２について
　透過電子顕微鏡において、試料を電子線の光軸に対して垂直となるように支持することは周知の事項であって、「電子線の光軸に対して垂直となるように試料ホールダをその側部から挿入できる試料室を備え」た透過電子顕微鏡に、イオンビーム加工装置と透過電子顕微鏡の双方に使用可能な試料ホールダを用いることは、例えば特開平１０−１１１２２３号公報（特に【００１１】、【００２３】、図１、図８参照）に記載されているように、周知の事項である。
　そして、イオンビーム装置に対する試料ホールダの挿入と同様に、透過電子顕微鏡に対して試料ホールダをその側部から挿入した場合、試料に対する電子ビームの相対的関係は、イオンビームと同様な関係となることは明らかであるから、「前記透過電子顕微鏡の試料室に当該試料ホールダを挿入した際、前記試料台に保持された前記」「試料」「が電子線光軸上に配置され、当該電子線光軸上で当該」「試料」「の角度を変えることが可能となり、前記試料台に保持された前記」「試料」「を、当該」「試料」「の周囲」「の方向から透過像を観察できる」ことは明らかである。
　したがって、相違点２に格別の進歩性を見いだすことはできない。
（ｃ）相違点３について
　ホールダ軸を中心にした回転を如何なる範囲で可能にするかは、試料を加工する際、また試料観察の際の利便性を考慮して当業者が適宜設定し得る事項であり、回転範囲を３６０°とすることに格別の困難性や有利な作用効果を見出すことはできない。また、引用発明は、「試料の縦横面の前記走査型電子顕微鏡側の１部を集束イオンビームによって加工し、次に試料を回転させて加工した面の反対側を前記走査型電子顕微鏡で観察しながら加工でき」ことからして、ホールダ軸に対して垂直である回転軸の回転は、少なくとも１８０°可能であることは明らかである上、引用例に記載されている、ホールダ軸に対して垂直な回転のための回転機構が、回転範囲を制限するものでないことは明らかであるから、その回転範囲を３６０°とすることは当業者が適宜設定し得る事項であって、その点にも何らの困難性も見いだせない。そして、引用発明のホールダは、ホールダ軸を中心とした回転と、ホールダ軸に対して垂直である回転が可能であり、また、それぞれの回転角度範囲は当業者が適宜設定し得る事項であることは上述のとおりであるので、イオンビーム加工を任意の方向からなし得ることは明らかである。
　したがって、相違点３は、引用発明において当業者が適宜設定し得る事項にすぎない。
（ｄ）相違点４について
　試料の加工を行う際、如何なる加工を行うかは、観察対象や観察目的に応じて当業者が適宜設定する事項であることは明らかであるので、引用発明において、所望の試料加工を行うため、試料をイオンビームの光軸に対して垂直な軸を中心に回転させる際の加工として、加工方向と同軸に回転させる際に用いている集束イオンビームによる加工を行うよう構成することは、当業者が目的に応じて適宜行う選択的事項にすぎない。
　したがって、相違点４は、引用発明において当業者が適宜行い得た事項にすぎない。
（ｅ）作用効果について
　また、引用発明に相違点１ないし４に係る構成を付加することにより、引用発明からは想定できない格別な作用効果を見出すこともできない。
　
　上記のとおりであるので、本願発明は、引用例に記載された発明および当業者に周知の事項に基いて当業者が容易に発明することができたものである。
　
V　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。