【事件の表示】
　特願２０００−５２６７８８「容量式の真空測定セル」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　７月　８日国際公開、ＷＯ９９／３４１８４、平成１４年　１月　８日国内公表、特表２００２−５００３５１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、１９９８年１２月４日（パリ条約による優先権主張外国庁受理１９９７年１２月２３日、スイス）を国際出願日とする出願であって、平成２０年１２月２４日付け（発送日平成２１年１月６日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成２１年４月３日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成２１年４月３０日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．手続き補正についての補正却下の決定
　［補正却下の決定の結論］
　平成２１年４月３０日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　［理由］
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の
　
「　【請求項１】
　容量式の真空測定セルであって、
　ａ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできた第１のケーシング本体（１）と、
　ｂ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記第１のケーシング本体に近接して配置されたダイヤフラム（２）とを備え、前記ダイヤフラムは実質的に平坦でありかつ周縁を有し、前記ダイヤフラムの周縁は、前記第１のケーシング本体と前記ダイヤフラムとの間に対照真空室（２５）が作られるように第１の縁領域で密封して前記第１のケーシング本体に接合され、前記ダイヤフラムは第１および第２の対向する表面を有し、前記ダイヤフラムの第１の表面は前記第１のケーシング本体に面し、前記第１のケーシング本体は前記ダイヤフラムに面する表面を有し、前記ダイヤフラムの直径は５から８０ｍｍの範囲内であり、前記ダイヤフラムは１０μｍから２５０μｍの範囲内の厚さを有し、前記ダイヤフラムは平均粒度が２０μｍ以下の材料からなり、前記ダイヤフラムの断面には厚さ全体にわたって少なくとも２つの粒子が存在しており、さらに
　ｃ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記ダイヤフラム（２）と反対に位置する第２のケーシング本体（４）を備え、前記第２のケーシング本体（４）は、第２の縁領域で密封して前記ダイヤフラムの周縁に接合され、前記第２のケーシング本体は、前記ダイヤフラムと共に測定真空室（２６）を形成し、前記第２のケーシング本体は、測定されるべき媒体に真空測定セルを接続するための開口（５）を含み、
　ｄ．前記第１のケーシング本体、前記第２のケーシング本体および前記ダイヤフラムは、前記ダイヤフラムの周縁に沿って、対称にかつ密封するように接続され、さらに
　ｅ．測定キャパシタンスを構成するように前記ダイヤフラム（２）の第１の表面を被覆しかつ前記第１のケーシング本体（１）の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料（７）を備え、前記ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料は、第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料から２μｍから５０μｍの距離をおいて配置される、容量式の真空測定セル。
　
　　【請求項２】
　測定キャパシタンスを構成する、ダイヤフラムを被覆する電気的に伝導性のある材料およびケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料は、互いから１２から３５μｍの距離をおいて配置される、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項３】
　前記第１のケーシング本体（１）および前記第２のケーシング本体（４）は、溶接、拡散性接合、はんだ接合、および／またはろう付けにより、前記ダイヤフラム（２）の周縁に、対称にかつ密封するように接続されている、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項４】
　ダイヤフラムは１０μｍから１２０μｍの範囲内の厚さを有している、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項５】
　ダイヤフラムの材料の平均の粒度は１０μｍ以下である、請求項４に記載の測定セル。
　
　　【請求項６】
　ダイヤフラムの断面には、厚さ全体にわたって少なくとも５つの粒子が存在している、請求項４に記載の測定セル。
　
　　【請求項７】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、電極間隔の３０％以下である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項８】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、電極間隔の１５％以下である、請求項７に記載の測定セル。
　
　　【請求項９】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、１０μｍ以下である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１０】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、５μｍ以下である、請求項９に記載の測定セル。
　
　　【請求項１１】
　ダイヤフラム（２）のＡｌ２Ｏ３の純度が少なくとも９４％である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１２】
　ダイヤフラム（２）のＡｌ２Ｏ３の純度が少なくとも９９％である、請求項１１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１３】
　電気的に伝導性のある層（７）との接触は、第１のケーシング本体（１）にある引込線（６）を介して密封しながら外部に通じている、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１４】
　第１のケーシング（１）の表面または内部にゲッター（１０）を備えた容積部（１３）が設けられており、このとき容積部（１３）と対照真空室（２５）との間には連絡部（１４）が設けられているとともに、容積部（１３）はキャップ（８）で密閉される、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１５】
　ゲッターは蒸発しないタイプのものである、請求項１４に記載の測定セル。
　
　　【請求項１６】
　ゲッター（１０）は容積部（１３）の中でばね（１１）によってキャップ（８）に押圧される、請求項１４に記載の測定セル。
　
　　【請求項１７】
　ゲッター（１３）とキャップ（８）との間に接触材料（１２）が設けられている、請求項１４に記載の測定セル。
　
　　【請求項１８】
　ゲッター（１３）とキャップ（８）との間にはんだおよび／またはろう付け材料が設けられている、請求項１７に記載の測定セル。
　
　　【請求項１９】
　対照真空室（２５）の内部の圧力は測定されるべき最低の圧力よりも低く、好ましくは少なくとも１オーダー低い、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項２０】
　対照真空室（２５）の内部の圧力は測定されるべき最低の圧力よりも少なくとも１オーダー低い、請求項１９に記載の測定セル。
　
　　【請求項２１】
　ダイヤフラムの直径は５から４０ｍｍの範囲内である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項２２】
　各ケーシング（１，４）の表面の少なくとも一方が、遮蔽部を形成するために電気的に伝導性のある被覆を有している、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項２３】
　前記測定セルは、１％よりも良好な解像度で１０００ｍｂａｒより小さい圧力を測定することができる、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項２４】
　前記測定セルは、１ｍｂａｒより小さい圧力を測定することができる、請求項２３に記載の測定セル。
　
　　【請求項２５】
　前記測定セルは、０．３％よりも良好な解像度でそのような圧力を測定することができる、請求項２３または２４に記載の測定セル。」
　
を、
　
「　【請求項１】
　容量式の真空測定セルであって、
　ａ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできた第１のケーシング本体（１）と、
　ｂ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記第１のケーシング本体に近接して配置されたダイヤフラム（２）とを備え、前記ダイヤフラムは実質的に平坦でありかつ周縁を有し、前記ダイヤフラムの周縁は、前記第１のケーシング本体と前記ダイヤフラムとの間に対照真空室（２５）が作られるように第１の縁領域で密封して前記第１のケーシング本体に接合され、前記ダイヤフラムは第１および第２の対向する表面を有し、前記ダイヤフラムの第１の表面は前記第１のケーシング本体に面し、前記第１のケーシング本体は前記ダイヤフラムに面する表面を有し、前記ダイヤフラムの直径は５から８０ｍｍの範囲内であり、前記ダイヤフラムは１０μｍから２５０μｍの範囲内の厚さを有し、前記ダイヤフラムは平均粒度が２０μｍ以下の材料からなり、前記ダイヤフラムの断面には厚さ全体にわたって少なくとも２つの粒子が存在しており、さらに
　ｃ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記ダイヤフラム（２）と反対に位置する第２のケーシング本体（４）を備え、前記第２のケーシング本体（４）は、第２の縁領域で密封して前記ダイヤフラムの周縁に接合され、前記第２のケーシング本体は、前記ダイヤフラムと共に測定真空室（２６）を形成し、前記第２のケーシング本体は、測定されるべき媒体に真空測定セルを接続するための開口（５）を含み、
　ｄ．前記第１のケーシング本体、前記第２のケーシング本体および前記ダイヤフラムは、前記ダイヤフラムの周縁に沿って、ダイヤフラムを中心に左右対称にかつ密封するように接続され、さらに
　ｅ．測定キャパシタンスを構成するように前記ダイヤフラム（２）の第１の表面を被覆しかつ前記第１のケーシング本体（１）の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料（７）を備え、前記ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料は、第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料から２μｍから５０μｍの距離をおいて配置される、容量式の真空測定セル。
　
　　【請求項２】
　測定キャパシタンスを構成する、ダイヤフラムを被覆する電気的に伝導性のある材料およびケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料は、互いから１２から３５μｍの距離をおいて配置される、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項３】
　前記第１のケーシング本体（１）および前記第２のケーシング本体（４）は、溶接、拡散性接合、はんだ接合、および／またはろう付けにより、前記ダイヤフラム（２）の周縁に、ダイヤフラムを中心に左右対称にかつ密封するように接続されている、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項４】
　ダイヤフラムは１０μｍから１２０μｍの範囲内の厚さを有している、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項５】
　ダイヤフラムの材料の平均の粒度は１０μｍ以下である、請求項４に記載の測定セル。
　
　　【請求項６】
　ダイヤフラムの断面には、厚さ全体にわたって少なくとも５つの粒子が存在している、請求項４に記載の測定セル。
　
　　【請求項７】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、電極間隔の３０％以下である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項８】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、電極間隔の１５％以下である、請求項７に記載の測定セル。
　
　　【請求項９】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、１０μｍ以下である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１０】
　ダイヤフラム（２）の面の起伏が、５μｍ以下である、請求項９に記載の測定セル。
　
　　【請求項１１】
　ダイヤフラム（２）のＡｌ２Ｏ３の純度が少なくとも９４％である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１２】
　ダイヤフラム（２）のＡｌ２Ｏ３の純度が少なくとも９９％である、請求項１１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１３】
　電気的に伝導性のある層（７）は、第１のケーシング本体（１）にある引込線（６）を介して密封しながら外部の評価電子装置と接触している、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１４】
　第１のケーシング（１）の表面または内部にゲッター（１０）を備えた容積部（１３）が設けられており、このとき容積部（１３）と対照真空室（２５）との間には連絡部（１４）が設けられているとともに、容積部（１３）はキャップ（８）で密閉される、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項１５】
　ゲッターは蒸発しないタイプのものである、請求項１４に記載の測定セル。
　
　　【請求項１６】
　ゲッター（１０）は容積部（１３）の中でばね（１１）によってキャップ（８）に押圧される、請求項１４に記載の測定セル。
　
　　【請求項１７】
　ゲッター（１３）とキャップ（８）との間に接触材料（１２）が設けられている、請求項１４に記載の測定セル。
　
　　【請求項１８】
　ゲッター（１３）とキャップ（８）との間にはんだおよび／またはろう付け材料が設けられている、請求項１７に記載の測定セル。
　
　　【請求項１９】
　ダイヤフラムの直径は５から４０ｍｍの範囲内である、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項２０】
　各ケーシング（１，４）の表面の少なくとも一方が、遮蔽部を形成するために電気的に伝導性のある被覆を有している、請求項１に記載の測定セル。
　
　　【請求項２１】
　前記測定セルは、１ｍｂａｒより小さい圧力を測定することができる、請求項１に記載の測定セル。」
　
と補正することを含むものである。
　
　上記補正は、補正前の請求項１における「対称に」を「ダイヤフラムを中心に左右対称に」と限定するものであるから、
　平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本件補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかどうか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項により、なお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。
　
（１）引用例記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前である平成４年１月２４日に頒布された特開平４−２０８３０号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、
　
（１−１）
「まず、第４図について説明する。すなわち、第４図において、３はその平面状電極取付面３ａに円形の第１電極４と円環状の第２電極５とが同心状に設けられた厚さの厚い円板状アルミナ製基板、６は電極取付面３ａに対向する面６ａに電極４，５に共通して対向する大きさの第３電極７が設けられかつ電極４及び５と電極７とがそれぞれ空隙８を介して対向するようにして周縁が基板３に低融点ガラス１２で接合された薄肉円板状のアルミナ製ダイヤフラム、９は導圧パイプ１０によって導かれてきた圧力Ｐ２を、さらに、電極３とガラス接合部１２とダイヤフラム６とでとり囲まれた空所１１に導入するように基板３に設けた導圧孔で、１３、１４はいずれも電極３に気密に貫設されて各一端がそれぞれ電極４，５に接続されたいずれも電極ピンである。」（２頁左上欄２〜１７行）
　
（１−２）
「また、圧力Ｐ１、Ｐ２の一方を基準圧力とすることによって他方の圧力を信号１７ａにより測定しうることが明らかである。」（２頁右上欄４〜６行）
　
（１−３）
「第１図は本発明の一実施例の構成を示す第４図に対応した縦断面図である。そうして、第１図の第４図と異なる所は、第４図のダイヤフラム６に対応したダイヤフラム１８が、・・・アルミナ製ダイヤフラム中央部１８ａと、・・・アルミナ製周縁部１８ｂと、・・・段差Ｔ１と・・・で構成されている、・・・２０は図示の各部からなる静電容量式圧力／差圧検出器である。」（３頁右下欄１行〜４頁左上欄６行）
　
（１−４）
「第２図は本発明の第１図とは異なる実施例２２の構成を示す縦断面図で、本図の第１図と異なる所は、第１図におけるダイヤフラム１８に対応したダイヤフラム２１の基板３の面が平面状となっていて、前述のダイヤフラム１８におけるような段差Ｔ１が設けられていないことである。」（４頁右上欄６〜１１行）
　
（１−５）
「第３図は本発明の第１図及び第２図に示した実施例とは異なる実施例としての静電容量式圧力／差圧検出器２３の構成を示す縦断面図で、本図の第２図と異なる所は、ダイヤフラム２１の外周とほぼ同じ直径を有するアルミナ製厚肉円板状のストッパ２４が、空隙２５を介してダイヤフラム２１の上面に対向するようにして、該ストッパ２４の周辺で低融点ガラス２６によりダイヤフラム２１に接合、固定されていることで、この場合、図示したように、ストッパ２４にはこのストッパ２４とガラス接合部２６とダイヤフラム２１とでとり囲まれた空所２７に圧力Ｐ１を導入するための貫通孔２４ａが設けられている。
  検出器２３は上述のように構成されているので、この検出器２３が第２図に示した検出器２２と同様な圧力または差圧を検出するうえでの利点ならびに電極７を形成するうえでの利点を有していることは明らかであるが、さらに、この場合、ダイヤフラム２１が上方に著しく変位するような過大な差圧が該ダイヤフラム２１に加えられてもストッパ２４によってダイヤフラム２１の変位が抑制されるので、このような抑制の行われない上述の検出器２２に比べて機械的信頼度の高い検出器であるということができる。」（４頁左下欄４行〜右下欄９行）
　
が記載されている。
　
　したがって、これらの記載によると、引用例１には、次のとおりの発明
　
【引用例１に記載された発明】
「　静電容量式圧力検出器２３（容量式の真空測定セルに対応。）であって、
　ａ．アルミナ製基板３（Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできた第１のケーシング本体（１）に相当。）と、
　ｂ．アルミナ（Ａｌ２Ｏ３セラミック材料に相当。）ででき、かつ前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）に近接して配置されたダイヤフラム２１（ダイヤフラム（２）に相当。）とを備え、前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）は段差Ｔ１を有しかつ周縁部１８ｂ（周縁に相当。）を有し、前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）は、前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）と前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）との間に空隙８（対照真空室（２５）に対応。）が作られるように第１の縁領域で低融点ガラス１２によって密封して前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）に接合され、前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）は第１および第２の対向する表面を有し、前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の第１の表面は前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）に面し、前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）は前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）に面する表面を有し、
　さらに
　ｃ．アルミナ（Ａｌ２Ｏ３セラミック材料に相当。）ででき、かつ前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラム（２）に相当。）と反対に位置するストッパ２４（第２のケーシング本体（４）に相当。）を備え、前記ストッパ２４（第２のケーシング本体（４）に相当。）は、第２の縁領域で低融点ガラス２６によって密封して前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に接合され、前記ストッパ２４（第２のケーシング本体に相当。）は、前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）と共に空所２７（測定真空室（２６）に対応。）を形成し、前記ストッパ２４（第２のケーシング本体に相当。）は、測定されるべき媒体に圧力検出器２３（真空測定セルに対応。）を接続するための貫通孔２４ａ（開口（５）に相当。）を含み、
　ｄ．前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）、前記ストッパ２４（第２のケーシング本体に相当。）および前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）は、前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に沿って、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を中心に低融点ガラス１２及び低融点ガラス２６によって密封するように接続され、さらに
　ｅ．測定キャパシタンスを構成するように前記ダイヤフラム２１（ダイヤフラム（２）に相当。）の第１の表面を被覆しかつ前記アルミナ製基板３（第１のケーシング本体（１）に相当。）の表面を被覆する第３電極７及び第１，第２電極４，５（電気的に伝導性のある材料（７）に相当。）を備え、前記ダイヤフラム２１の第１の表面を被覆する第３電極７（ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料に相当。）は、アルミナ製基板３を被覆する第１，第２電極４，５（第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料に相当。）から距離をおいて配置される、静電容量式圧力検出器２３（容量式の真空測定セルに対応。）。」（以下、これを「引用例１に記載された発明」という。）
　
が記載されていると認める。
　
（２）対比・判断
　本件補正発明１と引用例１に記載された発明とを対比する。
　
　引用例１に記載された発明における「静電容量式圧力検出器２３」、本件補正発明１における「容量式の真空測定セル」は、共に、「容量式の圧力測定セル」に相当する。
　
　引用例１に記載された発明における「アルミナ製基板３」、「アルミナ」、「ダイヤフラム２１」、「周縁部１８ｂ」は、それぞれ、
　本件補正発明１における「Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできた第１のケーシング本体（１）」、「Ａｌ２Ｏ３セラミック材料」、「ダイヤフラム（２）」、「周縁」に相当する。
　
　引用例１に記載された発明における「空隙８」、本件補正発明１における「対照真空室（２５）」は、共に、「対照圧力室」に相当する。
　
　引用例１に記載された発明における「ストッパ２４」は、
　本件補正発明１における「第２のケーシング本体（４）」に相当する。
　
　引用例１に記載された発明における「空所２７」、本件補正発明１における「測定真空室（２６）」は、共に、「測定圧力室」に相当する。
　
　引用例１に記載された発明における「圧力検出器２３」、本件補正発明１における「真空測定セル」は、共に、「圧力測定セル」に相当する。
　
　引用例１に記載された発明における「貫通孔２４ａ」、「第３電極７及び第１，第２電極４，５」、「ダイヤフラム２１の第１の表面を被覆する第３電極７」、「アルミナ製基板３を被覆する第１，第２電極４，５」は、それぞれ、
　本件補正発明１における「開口（５）」、「電気的に伝導性のある材料（７）」、「ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料」、「第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料」に相当する。
　
　したがって、両者は、
【一致点】
「容量式の圧力測定セルであって、
　ａ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできた第１のケーシング本体（１）と、
　ｂ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記第１のケーシング本体に近接して配置されたダイヤフラム（２）とを備え、前記ダイヤフラムは、周縁を有し、前記ダイヤフラムの周縁は、前記第１のケーシング本体と前記ダイヤフラムとの間に対照圧力室が作られるように第１の縁領域で密封して前記第１のケーシング本体に接合され、前記ダイヤフラムは第１および第２の対向する表面を有し、前記ダイヤフラムの第１の表面は前記第１のケーシング本体に面し、前記第１のケーシング本体は前記ダイヤフラムに面する表面を有し、
　さらに
　ｃ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記ダイヤフラム（２）と反対に位置する第２のケーシング本体（４）を備え、前記第２のケーシング本体（４）は、第２の縁領域で密封して前記ダイヤフラムの周縁に接合され、前記第２のケーシング本体は、前記ダイヤフラムと共に測定圧力室を形成し、前記第２のケーシング本体は、測定されるべき媒体に圧力測定セルを接続するための開口（５）を含み、
　ｄ．前記第１のケーシング本体、前記第２のケーシング本体および前記ダイヤフラムは、前記ダイヤフラムの周縁に沿って、ダイヤフラムを中心に密封するように接続され、さらに
　ｅ．測定キャパシタンスを構成するように前記ダイヤフラム（２）の第１の表面を被覆しかつ前記第１のケーシング本体（１）の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料（７）を備え、前記ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料は、第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料から距離をおいて配置される、容量式の圧力測定セル。」
で一致し、
　
【相違点１】
「本件補正発明１では、ダイヤフラムが、実質的に平坦であり、ダイヤフラムの直径は、５から８０ｍｍの範囲内であり、対照圧力室が、真空であり、
　ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料が、第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料から２μｍから５０μｍの距離をおいて配置されるのに対して、
　引用例１に記載された発明では、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）が、段差Ｔ１を有し、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の直径は、不明であり、空隙８（対照圧力室に相当。）が、必ずしも真空とは限らず、
　ダイヤフラム２１の第１の表面を被覆する第３電極７（ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料に相当。）が、アルミナ製基板３を被覆する第１，第２電極４，５（第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料に相当。）からどのくらい距離をおいて配置されるか不明である点」
　
【相違点２】
「本件補正発明１では、Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできたダイヤフラムが、１０μｍから２５０μｍの範囲内の厚さを有し、平均粒度が２０μｍ以下の材料からなり、ダイヤフラムの断面には厚さ全体にわたって少なくとも２つの粒子が存在しているのに対して、
　引用例１に記載された発明では、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３セラミック材料に相当。）でできたダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の厚さ、平均粒度、厚さ方向に存在する粒子の数は、不明であり、
　本件補正発明１では、測定圧力室に、真空圧が導かれ、圧力測定セルを、真空測定セルとしているに対して、
　引用例１に記載された発明では、空所２７（測定圧力室に相当。）に、真空圧が導かれるとは限らず、圧力検出器２３（圧力測定セルに相当。）を、真空検出器２３（真空測定セルに相当。）とはしていない点」
　
で相違し、
　
【相違点３】
「本件補正発明１では、第１のケーシング本体、第２のケーシング本体およびダイヤフラムが、ダイヤフラムの周縁に沿って、ダイヤフラムを中心に左右対称にかつ密封するように接続されているのに対して、
　引用例１に記載された発明では、アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）、ストッパ２４（第２のケーシング本体に相当。）およびダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）が、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に沿って、低融点ガラス１２及び低融点ガラス２６によって密封するように接続されているものの、
　ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）が、段差Ｔ１を有しているために、三者が、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に沿って、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を中心に左右対称になっていない点」
　
で一応相違する。
　
　そこで、上記【相違点１】について検討する。
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前である昭和５８年９月２４日に頒布された特開昭５８−１６０８３２号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに、
　
（２−１）
「従来のこの種、ダイヤフラムと基台支持部とを備え、これらの間に封着部を介して一定ギャップに保たれてなる静電容量型圧力センサは、絶対圧検知型の場合、基準圧力としてギャップの中を真空にするという方法を採る。しかし、一般にギャップは２０μｍ〜８０μｍと極めて小さな値に設計されるため、微少な真空漏れに対して長期の寿命を保障することが困難である。」（１頁左欄１９〜６行）
　
（２−２）
「通常絶対圧検知用静電容量型圧力センサの検知素子部の場合、電極間距離は２０〜５０μｍである。又ダイヤフラムの有効歪径、即ち封着部（３）で囲まれる円の径は２０〜２５ｍｍである。」（２頁右上欄７〜１０行）
　
（２−３）
「ところで本発明の具体実施例では、熱的、化学的、機械的に安全なアルミナからなるダイヤフラム（１）と基台支持部（２）を用いている。ダイヤフラム（１）周辺の封着部（３）は低融点ガラスを用い、電極（４）（５）はＡｕ系の薄膜電極である。」（２頁左下欄８〜１２行）
　
が記載されており、これらの記載によると、
　
【引用例２に記載された技術事項】
「静電容量型圧力センサにおいて、ダイヤフラムを、平坦な板状とし、直径を２０〜２５ｍｍとし、ギャップを、真空とし、電極間距離を、２０〜５０μｍとして、絶対圧を検知する。」（以下、これを「引用例２に記載された技術事項」という。）
　
が認められる。
　
　したがって、引用例１に記載された発明に引用例２に記載された技術事項を適用して、そのダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を、平坦な板状（実質的に平坦に相当。）とし、直径を２０〜２５ｍｍ（５〜８０ｍｍの範囲内に相当。）とし、その空隙８（対照圧力室に相当。）を、真空とし、そのダイヤフラム２１の第１の表面を被覆する第３電極７（ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料に相当。）が、アルミナ製基板３を被覆する第１，第２電極４，５（第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料に相当。）から２０〜５０μｍ（２μｍから５０μｍに相当。）の距離をおいて配置し、絶対圧を検知するようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　
　つぎに、上記【相違点２】について検討する。
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の優先権主張の日前である平成６年４月１９日に頒布された特開平６−１０９５７１号公報（以下、「引用例３」という。）には、図面とともに、
　
（３−１）
「【００１９】
【作用】アルミナ系焼結板をダイヤフラムのセラミック板としても用いるため、市販の抵抗材料を用いて、十分な接着強度にて安価に抵抗体を形成することができる。
　【００２０】本発明では、粒径２μｍ以下のアルミナ微粒子で焼結体を構成するため、柔軟で強度の高い緻密なアルミナ系焼結板が提供される。このため、アルミナ系焼結板の厚さを１００μｍ以下の薄板とすることができ、アルミナ系焼結板を用いて低圧力を高感度、高精度で測定可能な圧力センサを安価に構成することが可能となる。」
　
が記載されており、これらの記載によると、
　
【引用例３に記載された技術事項】
「アルミナでできたダイヤフラムを、１００μｍ以下の厚さを有し、アルミナ微粒子の粒径が２μｍ以下の材料として、柔軟で強度の高い緻密なダイヤフラム薄板を得、低圧力を高感度、高精度で測定可能とする。」（以下、これを「引用例２に記載された技術事項」という。）
　
が認められる。
　
　したがって、引用例１に記載された発明に引用例３に記載された技術事項を適用して、そのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３セラミック材料に相当。）でできたダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を、１００μｍ以下（１０μｍから２５０μｍの範囲内に相当。）の厚さを有し、アルミナ微粒子の粒径が２μｍ以下（平均粒度が２０μｍ以下に相当。）の材料からなり、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の断面には厚さ全体にわたって（１００／２）＝５０程度８少なくとも２つに相当。）の粒子が存在するようにして、柔軟で強度の高い緻密なダイヤフラム薄板を得、低圧力を高感度、高精度で測定可能とし、
　空所２７（測定圧力室に相当。）に、低圧力として真空圧を導き、圧力検出器２３（圧力測定セルに相当。）を、真空検出器２３（真空測定セルに相当。）とすることは、当業者が容易になし得ることである。
　
　最後に、上記【相違点３】について検討する。
ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）は、引用例２や引用例３に記載された技術事項の適用により、平坦な板状の薄板（実質的に平坦に相当。）に変化して、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に沿って、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を中心に左右対称になるし、
  低融点ガラス１２と低融点ガラス２６、そして、アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）とストッパ２４（第２のケーシング本体に相当。）は、それぞれ、第３図に厚さが同じように描かれているから、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に沿って、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を中心に左右対称になっている。
　したがって、【相違点３】は、引用例２や引用例３に記載された技術事項の適用により、消滅し、
　アルミナ製基板３（第１のケーシング本体に相当。）、ストッパ２４（第２のケーシング本体に相当。）およびダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）は、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）の周縁部１８ｂ（周縁に相当。）に沿って、ダイヤフラム２１（ダイヤフラムに相当。）を中心に左右対称になる。
　
　そして、本件補正発明１の効果は、引用例１に記載された発明及び引用例２，３に記載された技術事項に基づいて当業者が予測可能な範囲のものである。
　
　したがって、本件補正発明１は、引用例１に記載された発明及び引用例２，３に記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例とされる同法による改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
 ３．本願発明について
　平成２１年４月３０日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成２０年１０月１０日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりである。
　
「　【請求項１】
　容量式の真空測定セルであって、
　ａ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料でできた第１のケーシング本体（１）と、
　ｂ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記第１のケーシング本体に近接して配置されたダイヤフラム（２）とを備え、前記ダイヤフラムは実質的に平坦でありかつ周縁を有し、前記ダイヤフラムの周縁は、前記第１のケーシング本体と前記ダイヤフラムとの間に対照真空室（２５）が作られるように第１の縁領域で密封して前記第１のケーシング本体に接合され、前記ダイヤフラムは第１および第２の対向する表面を有し、前記ダイヤフラムの第１の表面は前記第１のケーシング本体に面し、前記第１のケーシング本体は前記ダイヤフラムに面する表面を有し、前記ダイヤフラムの直径は５から８０ｍｍの範囲内であり、前記ダイヤフラムは１０μｍから２５０μｍの範囲内の厚さを有し、前記ダイヤフラムは平均粒度が２０μｍ以下の材料からなり、前記ダイヤフラムの断面には厚さ全体にわたって少なくとも２つの粒子が存在しており、さらに
　ｃ．Ａｌ２Ｏ３セラミック材料ででき、かつ前記ダイヤフラム（２）と反対に位置する第２のケーシング本体（４）を備え、前記第２のケーシング本体（４）は、第２の縁領域で密封して前記ダイヤフラムの周縁に接合され、前記第２のケーシング本体は、前記ダイヤフラムと共に測定真空室（２６）を形成し、前記第２のケーシング本体は、測定されるべき媒体に真空測定セルを接続するための開口（５）を含み、
　ｄ．前記第１のケーシング本体、前記第２のケーシング本体および前記ダイヤフラムは、前記ダイヤフラムの周縁に沿って、対称にかつ密封するように接続され、さらに
　ｅ．測定キャパシタンスを構成するように前記ダイヤフラム（２）の第１の表面を被覆しかつ前記第１のケーシング本体（１）の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料（７）を備え、前記ダイヤフラムの第１の表面を被覆する電気的に伝導性のある材料は、第１のケーシング本体を被覆する電気的に伝導性のある材料から２μｍから５０μｍの距離をおいて配置される、容量式の真空測定セル。」
　
（１）引用例記載の発明
　引用例に記載された発明は、前記「２．（１）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断
　本願発明１は、実質、前記「２．」で検討した本件補正発明１から、「ダイヤフラムを中心に左右」を削除したものである。
　そうすると、本願発明１の構成を全て含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本件補正発明１が、前記「２．（２）」に記載したとおり引用例１に記載された発明及び引用例２，３に記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、本件補正発明１についての判断で示したのと同様の理由により、引用例１に記載された発明及び引用例２，３に記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用例１に記載された発明及び引用例２，３に記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明１が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２〜２５に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。