【事件の表示】
　特願２００３−１６１４３２「メタルマスクの製造方法、メタルマスク及びメタルマスク印刷版」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１２月２４日出願公開、特開２００４−３５８８５４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本願は、平成１５年６月６日の出願であって、平成２１年８月１９日付け拒絶理由通知に対して、同年１１月１３日に手続補正がなされたが、平成２２年２月１日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月２日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされたものである。  
　その後、当審において、平成２３年３月１日付けで拒絶の理由（最初）を通知したところ、同年５月２０日に手続補正がなされたものである。 
　 
第２　本願発明 
　本願の請求項１に係る発明は、平成２３年５月２０日になされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりものであり、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。 
　 　 
「【請求項１】
電鋳法により作られるスクリーン印刷用のメタルマスクの製造方法において、
リソグラフ法により開口部のパターン形成を行う際に、３８０ｎｍ以下の波長域にも発光する光源を用い、
３８０ｎｍ以下
                        　
第３　引用文献に記載の事項  
　当審の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開平１０−１５１８７２号公報（以下「引用文献１」という。）には、図とともに以下の事項が記載されている。    　
　 　　  
１　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，
孔版印刷技術を用いて被印刷物表面上に粘性ペーストによるパターンを形成する際に用いる粒子入ペースト用印刷マスク
      　
２　「【０００５】通常の印刷の方式を大きく分類すると，凸版，平板，凹版などに代表される転写型と，
謄写版，孔版，シルクスクリーンなどに代表される謄写型に分けることができる
謄写型印刷マスク
　　
３　「【００１８】アディティブマスクの製法は，
電鋳法とも呼ばれる製法で
【００１９】図６において，
めっき時の電極となるサブストレート８の表面に感光性樹脂のドライフィルム９をラミネートし
【００２０】次に図７のように
パターンニングしたフォトマスク１１をドライフィルム９上に密着させ，露光用光源１２によって露光後，一定のエージング時間を置いた後現像すると，図８のように硬化，不溶化したドライフィルムによる印刷パターン孔形状の雌型１３がサブストレート８上に残る
【００２１】
この雌型１３のついたサブストレート８を図９のように電解ニッケルめっき液中に入れ陰極側にして通電すると，ニッケルがサブストレート８表面に析出し，ドライフィルムの雌型１３の周辺に次第に析出ニッケル層１４が成長し厚くなっていく
【００２２】
析出ニッケル層１４が所定の厚さになったところでめっき液より引き上げ，中和処理後サブストレート８より析出ニッケル層１４を剥離し，ドライフィルムの雌型１３を除去すると，図１０のような印刷パターン孔を得ることができる
【００２３】この印刷パターン孔内壁の形状はドライフィルムの雌型１３の形状を反映して比較的平坦となり，エッチングマスクと比較すると印刷品質が良いため，微細な印刷にも適している。
【００２４】ただ，時に，ドライフィルムを貼り合わせた感光性接着剤１０の部分に該当する内壁面に，表面粗さが粗い帯状の部分や，図１０に示すような段差１５が発生することがある。
【００２５】また，感光性接着剤１０はやや光の透過率が低いため，露光の際，ドライフィルム９のサブストレート側底部まで十分に感光させようとして
露光時間を延ばしたり，強い光で露光すると，マスキングされていて本来影となる所までハレーションによる光の廻り込み
【００２６】この凹凸１６は，感光性接着剤１０を境にして光源側の内壁に発生し，「
オーバー露光現象
     　
４　「【００５３】図２６はアディティブマスクで発生する
テーパ過剰の不具合形状である
散乱する光源３５を使用するとテーパの付いた印刷パターン孔の断面形状
【００５４】印刷マスクの印刷パターン孔内壁が垂直であれば，印刷性は，被印刷物に対してのペーストのタッキング力と，版離れに従ってペーストを被印刷物表面から剥離させようとするマスク内壁，ペースト間のずり応力によって決定される。
【００５５】ところが，
内壁にテーパが付く
【００５６】図２７に示すのは
散乱光源３５での露光の概念図であるが，フォトマスク１１の透明パターン部分から入射する光は，ドライフィルム９に対して，光源３５の光が全く届かない部分３６，一部の光が届く部分３７，全ての光が届く部分３８と，露光条件の違いを発生させる
【００５７】また，特に一部の光が届く部分３７においては，光が全く届かない部分３６に近い側の光量は少なく，全ての光が届く部分３８に近い側では多く露光されるため露光条件は連続的に変化している。
【００５８】このような散乱光源下で露光されたドライフィルム９は，露光感度が高いものであれば図２８のように光が届く部分３７の範囲を含んで硬化，不溶化した形状となり，露光感度が低いものであれば図２９のように一部光が届く部分３７の範囲を含まない形状となる。
【００５９】このようなテーパ過剰形状への対応として，並行光での露光を行なうため，光路途中にハニカム構造の遮蔽板を置いて斜めの光だけをハニカム内壁面で遮蔽したり，光源の紫外線ランプを放物面鏡の焦点に設置し，その並行反射光を利用するなどの改善によって，現在では
テーパ過剰形状は少なくなってきた
【００６０】図３０は，アディティブマスクに特有な，印刷パターン孔内壁に
段差１５が発生する不具合形状である
【００６１】前述したアディティブマスクの製法において，図６のようにドライフィルム９を感光性接着剤１０で複数枚ラミネートしてマスクの厚さに対応することが多いが，この感光性接着剤１０が周囲のドライフィルムの感光感度や現像時の溶解性において差があると，図１０や図３０のような段差１５が発生する。この形状もペーストの抜け性を阻害する不具合形状である。
【００６２】これに対しては，従来より厚いドライフィルムが提供され始めており，感光性接着剤１０の使用を回避することが容易になりつつある。
【００６３】図３１もアディティブマスクに特有な，「
オーバー露光現象」，「アタック現象」，「くわれ」５７’などといわれる形状
【００６４】ラミネートしたドライフィルムを露光する場合は，図３１を上下反転した形で図７のように露光するが，製作する
マスクの厚さが厚い場合，感光性接着剤１０の部分で光の透過率が悪いため，ドライフィルム底面まで十分露光されない恐れがある
【００６５】その対応として長時間露光や大光量露光が行なわれるが，これが過剰な場合，フォトマスクで遮光されている影の部分までドライフィルム内の
ハレーションによって露光されてしまい，内壁面の凹凸１６になる
　
５　「【０１０６】アディテイブ製法によって本発明にかかる印刷マスクのパターン孔形状を形成する方法において，図７及び５７は露光，図８及び５８は現像，図９及び５９はめっきの工程の概略構成である。
【０１０７】図７及び５７に示す露光のプロセスにおいて，
電解めっき用電極基材となるサブストレート８上に，感光ドライフィルム９を必要厚にラミネート
高圧水銀灯等の平行紫外光源１２によって露光をおこなう
【０１０８】このとき，印刷マスクのパターン孔側壁に本発明にかかる溝を形成するため，フォトマスク１１の意匠として，当該溝形状を形成するための凹凸パターン６４を使用する。
【０１０９】さらに図８及び５８の現像プロセスにおいて，感光樹脂現像液６５で所定の現像をおこなって潜像を顕像化すると，サブストレート８上に本発明にかかる印刷パターン孔のめっき雌型６６が得られる。
【０１１０】図９及び５９のめっきのプロセスにおいて，上記のめっき雌型６６付きサブストレート８を電解めっき用電源６７のマイナス側につなぎ，一方のプラス側には電鋳用ニッケルアノード６８をつないで，両者を電解めっき液４５中に沈めて一定時間通電・めっき浴を行ない必要な厚さのめっきを付けると，アディテイブ製法によって本発明にかかる印刷パターンの溝形状を持つ
印刷用メタルマスク用の金属版
【０１１１】このあと，
サブストレートから当該金属版を剥離させ，めっき用雌型６６を溶解除去した後，ポリエステルやナイロン製のテンション付与用紗膜を介して印刷枠に接合することにより，印刷マスクとして完成する
   　　                　
６　上記記載から、引用文献１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。　
       　
「孔版印刷技術を用いて被印刷物表面上に粘性ペーストによるパターンを形成する際に用いるメタルマスクの製造方法において、
　電鋳法とも呼ばれる製法であって、めっき時の電極となるサブストレートの表面に感光性樹脂のドライフィルムをラミネートし、パターニングしたフォトマスクをドライフィルムの上に密着させ、
高圧水銀灯
　次に、サブストレートを電解ニッケルめっき液中に入れ陰極側にして通電して、雌型の周辺に析出ニッケル層を成長させ、析出ニッケル層が所定の厚さになったところでめっき液より引き上げ，中和処理後サブストレートより析出ニッケル層を剥離し、ドライフィルムの雌型を除去する、メタルマスクの製造方法。」 　
　　         　
第４　対比・判断  
１　対比　
　本願発明と引用発明とを対比する。  
（１）引用発明の「電鋳法」は本願発明の「電鋳法」に相当し、同様に、
「孔版印刷技術を用いて被印刷物表面上に粘性ペーストによるパターンを形成する際に用いるメタルマスクの製造方法」は「スクリーン印刷用のメタルマスクの製造方法」に、
「高圧水銀灯」は「光源」に、
「露光」は「露光」に、それぞれ相当する。
    　
（２）引用発明の「高圧水銀灯」は、本願明細書の【００１８】に「これらの光源の中で、汎用の露光機に搭載されている
高圧又は超高圧水銀灯
　　
（３）引用発明は「サブストレートの表面に感光性樹脂のドライフィルムをラミネートし、パターニングしたフォトマスクをドライフィルムの上に密着させ、高圧水銀灯によって露光後、一定のエージング時間を置いた後現像することで」、「サブストレート上に硬化・不溶化した印刷パターン孔形状の雌型を残」すものであるから、本願発明と「リソグラフ法により開口部のパターン形成を行う際に、光源を用いて露光する」という点で共通する。
　
（４）してみると、本願発明と引用発明とは、以下の点で一致する。 　  
　＜一致点＞  
「電鋳法により作られるスクリーン印刷用のメタルマスクの製造方法において、
　リソグラフ法により開口部のパターン形成を行う際に、３８０ｎｍ以下の波長域にも発光する光源を用いて露光する、メタルマスクの製造方法。」
　　　  
（５）一方で、本願発明と引用発明とは、以下の点で相違する。  
　＜相違点＞ 
　「露光」に関し 
　本願発明が「３８０ｎｍ以下の紫外線を８０％以上１００％以下カットする紫外線カットフィルムをフィルターとして使用して」露光すると特定されるのに対して、引用発明では上記特定を有していない点。
　　　　　　　  
２　判断  
　上記＜相違点＞について検討する。 
　ア　引用文献１には、引用発明の「印刷パターン孔形状」について、ハレーションによって内壁面が凹凸になる等の不具合を生じることが指摘されている（上記摘記「第３　４」を参照。）ところ、波長の短い紫外線に対する反射率の高い基板の上にレジストパターンを形成する際に、ハレーションや定在波効果等によりレジスト側面に波面状のパターン等が形成されるという問題を生じることは本願出願前に周知の事実である（例えば、特開２００１−１５５０６号公報の【０００３】ないし【０００５】、特開平１１−１６０８６３号公報【０００３】ないし【０００８】、特開平８−１７７４３号公報の【０００２】ないし【０００４】を参照。以下「周知事実」という。）。 
　　
　イ　また、感光性樹脂を露光する際に、感光性樹脂の種類等を勘案して、露光光の波長が最適な波長となるように、フィルター等を利用して波長を選択することは、本願出願前に周知である（例えば、特開２０００−８１７０８号公報の【００１５】、特開平１０−１７１１０６号公報の【００８７】、特開平５−２９９８４５号公報の【００１６】ないし【００２１】、図３及び図４、特開平５−２３２７０３号公報の【００３１】、特開平４−３０７５４９号公報の【００３７】ないし【００４３】及び図６、特開平２−２６０４１２号公報の第２頁左上欄第１５行ないし同頁右上欄第３行及び第４図、特開昭６１−１５６７３６号公報の第２頁右上欄第４ないし８行、第２頁右下欄第１２行ないし第３頁左上欄第５行及び第３図を参照。以下「周知技術」という。） 
　
　上記各公報には、以下の事項が開示されている。
（ア）特開２０００−８１７０８号公報（【００１５】）
「【００１５】また、光源から露光面までの光路中に
ｉ線カットフィルター
カットフィルターのｉ線透過率は３０％以下
　
　上記「ｉ線カットフィルター」は、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
  　
（イ）特開平１０−１７１１０６号公報（【００８７】）
「【００８７】この際使用される活性光源は、たとえば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線、レーザー光などが挙げられるが、これらの中で紫外線が好ましく、その光源としてはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は塗布厚みによって異なるが、１〜１００ｍＷ／ｃｍ2 の出力の超高圧水銀灯を用いて０．５〜３０分間露光を行なう。この場合、波長フィルターを用いて露光光の波長領域を狭くすることによって、光の散乱を抑制し、パターン形成性を向上することができる。この場合、
ｉ線（３６５ｎｍ）の光をカットするフィルター、ｉ線およびｈ線（４０５ｎｍ）の光をカットするフィルター
　
　上記「ｉ線（３６５ｎｍ）の光をカットするフィルター、ｉ線およびｈ線（４０５ｎｍ）の光をカットするフィルター」は、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
　　
（ウ）特開平５−２９９８４５号公報（【００１６】ないし【００２１】、図３及び図４）
「【００１６】
【作用】先に記したように
感光性ポリイミドへの露光はｇ線（波長436nm)を用いて行なわれている
ポリイミドへの紫外線の透過率はｉ線（365nm)およびｈ線（405nm)では少なく、すなわち光吸収が大きく、基板に接する部分まで充分に感光させることができず、現像に当たって顕著なアンダーカットを生じるからである
【００１７】そこで、露光には光吸収の少ないｇ線が使われている。然し、これとは別に現像に当たっての問題として膜減りがある。すなわち、感光性ポリイミドは露光により現像液に溶けにくゝなるが、バイヤホールなどのパターン形成にあたって、基板との接合部にアンダーカットを生じない光量で露光するのは勿論、更に膜の表面も膜減りを抑制するために充分に露光する必要がある。
【００１８】そのために、ｇ線を数10秒に亙って露光する必要があった。そこで、本発明は露光時間を短縮する方法として、露光目的により使用波長を調節するようにしたものである。
【００１９】すなわち、塗膜の膜厚が約30μm と厚い感光性ポリイミド層を基板との接合部まで露光させるためには光吸収の少ないｇ線を使用する必要があるが、感光性ポリイミド層の膜減りを減らすためには光吸収の多いｉ線やｈ線を使用すると甚だ有効である。
【００２０】図３はｇ線のみを使用した場合と、ｇ，ｈ，ｉ線を併用した場合の露光量と残膜率との関係を示している。こゝで、
従来、ｇ線を使用するためにはシャープカットフィルタを使用し超高圧水銀灯から生ずるｉ線とｈ線をカットしている
【００２１】そこで、本発明は当初ｇ線を使用してある程度まで露光した後、シャープカットフィルタを除き、ｉ線とｈ線とｇ線の総てのエネルギーで照射すれば、照射時間を節減することができ、また、エネルギーの有効利用が可能となる。」
        　
　上記「シャープカットフィルタ」は、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
　　
（エ）特開平５−２３２７０３号公報（【００３１】）
「【００３１】この画像記録材料にコダック社製ステップタブレットを密着させ、５００Ｗ高圧水銀灯の光から
東芝硝子（株）社製のＵＶカットフィルターＵＶ３９及び干渉フィルタ−ＫＬ４０を通して取り出した４００ｎｍ光
　
　上記「ＵＶカットフィルターＵＶ３９及び干渉フィルタ−ＫＬ４０」は、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
　
（オ）特開平４−３０７５４９号公報（【００３７】ないし【００４３】及び図６）
「【００３７】即ち、図２の
露光フィルタ１０は、図５中線２８で示すようにｉ線はカットし、ｇ線は透過する特性を有する
【００３８】従って、図１中、点Ｐで示す
露光フィルタ１０を通過した後の位置における光のスペクトルは、例えば図６中線２９で示す如くになり、層５には、専らｇ線が照射する
【００３９】次に、専らｇ線よりなる光線による層５の露光について説明する。
【００４０】図４中線２５で示すように、ｇ線は、層５内の３０μｍを越える深い層の部分まで良好に進入する。
【００４１】このため、深層部分５ｂの感光は、図７中線２９で示すように、進行する。線２１に対する遅れは、露光フィルタ１０が入ったことによる。一方、表面層５ａの部分についてみると、この表面層５ａの部分だけで吸収されるｉ線が照射されないため、感光の進行の程度は、線２０で示す従来に比べて大幅に遅れて緩慢となり、線３０で示す如くになり、線２９に接近する。
【００４２】所定の露光時間Ｔ２における表面層部分５ａと深層部分５ｂにおける感光の程度の差は、符号１５で示すように、従来に比べて相当小さくなる。
【００４３】従って、層５は厚さが３８μｍと相当に厚いものであるけれども、感光は厚さ方向全体に亘って略一様に行われる。」
　
　上記「露光フィルタ１０」は、図６に示されたスペクトルからして、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
     　
（カ）特開平２−２６０４１２号公報（第２頁左上欄第１５行ないし同頁右上欄第３行及び第４図）
「第４図から明らかなように、
フィルタ１７は露光波長である４３６ｍｍの波長以上の光を透過させ、それより短波長の光を不要な光として除去するものである
　　
　上記「フィルタ１７」は、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
　
（キ）特開昭６１−１５６７３６号公報（第２頁右上欄第４ないし８行、第２頁右下欄第１２行ないし第３頁左上欄第５行及び第３図）
「照明系に複数のスペクトルを放射する光源を用いた半導体製造用の露光装置において、前記照明系の一部に前記光源から放射される発光スペクトルのうち
所定の波長の光束のみを選択するフィルター素子
「又第３図は透過帯域の異なる２つの
シャープカットフィルターＡ及びＢを組合わせて狭帯域透過フィルターと同様の効果を得たもの
  　
　上記「『シャープカットフィルターＡ及びＢを組合わせて』なるフィルター」は、図３に示された光特性からして、本願発明の「３８０ｎｍ以下の紫外線をカットする紫外線カットフィルム」に相当する。
　　
　ウ　してみれば、引用発明において、波長の短い紫外線によりハレーションや定在波効果等が生じないように、また、感光性樹脂の種類等に応じて最適な露光光となるようにフィルターを利用して波長を選択することは、当業者が引用文献１に記載の事項、上記周知事実及び周知技術に基づいて容易に着想し得たことである。 
 　             　 　
　エ　ところで、本願明細書には、露光する波長について、以下（ア）ないし（ウ）の事項が記載されている。
　
（ア）【００１８】
本発明の紫外線露光に用いられる光源として、ガスレーザー、固体レーザー、半導体レーザー等のレーザーや高圧又は超高圧水銀灯、又はメタルハライドランプが挙げられる。これらの光源の中で、汎用の露光機に搭載されている
高圧又は超高圧水銀灯、又はメタルハライドランプが好ましいが、２５０〜４５０ｎｍの波長域に種々の波長（主な波長は４３６ｎｍ、４０５ｎｍ、３６５ｎｍ）の紫外線を発光し、このまま用いると本発明において好ましくない３６５ｎｍの紫外線も照射される
【００１９】
前記したような２５０〜４５０ｎｍに種々の波長の紫外線を発光する光源を用いる場合は、
３８０ｎｍ以下の紫外線をカットするためにフィルターを使用するのが好ましい
該フィルターの具体例としては、ガラス、樹脂フィルムに無機薄膜を成膜してなる紫外線カットフィルターが挙げられ、種々の波長をカットできるフィルターが市場に供されている。本発明においては、作られるメタルマスクが比較的大きく、従って大きな面積のフィルターを必要とするが、例えば、
民生用に市場に供されている３８０ｎｍ以下の紫外線をカットするフィルムを好適に使用することができる
３８０ｎｍ以下の紫外線を完全にカットする必要はなく、２０％程度は透過してもよい
該フィルターの設置位置は、感光層とマスクとの間、マスクと光源の間のいずれでもよく、設置方法としては接着しても、密着して置いても、又、空間に設置することもできる。」
　　
（イ）実施例１では「３８０ｎｍ以下の紫外線の透過率は１０％以下、４０５ｎｍ（ｈ線）の透過率は約７５％、４１０ｎｍ以上の紫外線の透過率は８０％以上」の紫外線カットフィルムを、実施例２では「３８０ｎｍ以下の紫外線の透過率は１％以下、４００ｎｍ以上の紫外線透過率は約８０％以上」の紫外線カットフィルムを利用した例が示されている。
　
（ウ）比較例１では紫外線カットフィルムを利用しないで、比較例２では「３６５ｎｍ、及び３８０ｎｍの紫外線の透過率はそれぞれ７２％、７４％」のポリエステルフィルムを利用した例が示されている。
    　
（エ）本願明細書の【００１８】における上記「３６５ｎｍの紫外線」は、上記周知技術においても好ましくないとされている「ｉ線」に相当するものであり、また、実施例からして、カットする波長を「３８０ｎｍ以下」とした点に、臨界的な技術的意義は認められない。
　そして、好ましくない波長をカットする割合を理想的な１００％に近い「８０％以上１００％以下」とすることは、適宜なし得たことである（必要ならば、例えば、上記「周知技術」で例示した、特開２０００−８１７０８号公報の【００１５】、特開平４−３０７５４９号公報の図６、特開平２−２６０４１２号公報の第３図等を参照。）。
　　
　オ　以上のことから、引用発明において、「３８０ｎｍ以下の紫外線を８０％以上１００％以下カットする紫外線カットフィルム」を採用することは、当業者が引用文献１に記載の事項、上記周知事実及び周知技術に基づいて容易に着想し得たことである。
 　 　 
　カ　上記オのようにした引用発明は、上記＜相違点＞に係る本願発明の構成を備えることになる。
　　     　
　キ　また、本願発明の奏する効果も、当業者が引用発明 、引用文献１に記載の事項、上記周知事実及び周知技術から予測し得る範囲内のものである。　　  
　　　　　　　　　　 　  　　 
第５　むすび  
　以上のとおり、本願発明は、当業者が引用文献１に記載された発明、周知事実及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。  
　よって、結論のとおり審決する。