【手続補正書】
【提出日】平成23年4月18日(2011.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計装置において、
干渉計光源（１１；１１１；３５１）を有する干渉計（１０；１００；１００′；１０００）であって、干渉計光源（１１；１１１；３５１）から放出された光線が測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）に分割可能であり、測定体が測定アーム（Ｍ）内に配置され、干渉計（１０；１００；１００′；１０００）が測定体の位置の関数である干渉計信号（Ｓ１１−Ｓ１４）を提供する、干渉計（１０；１００；１００′；１０００）と、
測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれか内の空気の屈折率の変動を測定するための測定手段と
からなり、
測定手段が分光計ユニット（５０；１５０；２５０；２５０′；４５０）を含み、該分光計ユニット（５０；１５０；２５０；２５０′；４５０）が、
分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）であって、該分光計光源から放出された光線束が干渉計光源（１１；１１１；３５１）の光線束に重ね合わされ、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）が、少なくとも１つの特定の空気成分（ε）の吸収線の範囲内に存在する波長（λＳ）を有する光線を放出する、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）と、
測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれか内における分光計光源波長（λＳ）に関する空気成分（ε）の吸収を表わす分光計信号（ＳＳ１、ＳＳ２）を発生するための少なくとも１つの分光計検出ユニット（５２；５００）と
を備えていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項２】
請求項１記載の干渉計装置において、測定手段がさらに、測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれかの範囲内の空気の公称屈折率ｎ（Ｔ０，ｐ０，ＲＨ０）を決定する屈折率決定手段（６４）を含むことを特徴とする干渉計装置。
【請求項３】
請求項１記載の干渉計装置において、該装置は第１のプロセッサ・ユニット（６３）を備え、該第１のプロセッサ・ユニットは、分光計ユニット（５０；１５０；２５０；２５０′；４５０）の分光計信号（ＳＳ１、ＳＳ２）が入力され、これら分光計信号（ＳＳ１、ＳＳ２）から、測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれか内の空気の屈折率の変動を決定し、且つ前記第１のプロセッサ・ユニット（６３）の対応する出力信号（ｎＭ、ｎＲ）を後続処理のために提供するように、プロセッサ・ユニット（ＰＳ）が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の干渉計装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の干渉計装置において、第１のプロセッサ・ユニット（６３）はさらに、屈折率決定手段（６４）の出力信号（ＲＨ０、Ｔ０、ｐ０）が入力され、入力される信号（ＳＳ１、ＳＳ２、ＲＨ０、Ｔ０、ｐ０）から、測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれかの範囲内の平均的な屈折率（ｎＭ、ｎＲ）を決定し、且つ前記第１のプロセッサ・ユニット（６３）の対応する出力信号（ｎＭ、ｎＲ）を後続処理のために提供するように、第１のプロセッサ・ユニット（６３）が形成されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項５】
請求項３又は４記載の干渉計装置において、該装置は補正ユニット（６６）と第２のプロセッサ・ユニットとを備え、補正ユニットは、測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれか内の屈折率に関する第１のプロセッサ・ユニット（６３）の出力信号（ｎＭ、ｎＲ）と、存在する干渉計信号（Ｓ１１−Ｓ１４）から第２のプロセッサ・ユニット（６５）により決定される光学路程差（ＯＰＤ）に関する第２のプロセッサ・ユニット（６５）の信号とが入力され、測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれか内の屈折率に関する第１のプロセッサ・ユニット（６３）の出力信号（ｎＭ、ｎＲ）から有効屈折率（ｎｅｆｆ）を決定し且つこれを光学路程差（ＯＰＤ）と結合させて処理し、及び出力側に測定アーム（Ｍ）内の測定体の位置に関する補正された位置信号（ＧＰＤ）を提供するように形成されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項６】
請求項３又は４記載の干渉計装置において、前記第１のプロセッサ・ユニット（６３）は、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）の波長（λＳ）を、その吸収特性が決定される少なくとも１つの空気成分（ε）の少なくとも１つの吸収線の範囲内に同調させるように形成されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項７】
請求項３又は４記載の干渉計装置において、第１のプロセッサ・ユニット（６３）は、ファブリー・ペロ干渉計の波長（λＳ）を、その吸収特性が決定される少なくとも１つの空気成分（ε）の少なくとも１つの吸収線の範囲内に同調させるように形成され、ファブリー・ペロ干渉計は分光計検出ユニット（５２；５００）の側に配置されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項８】
請求項６又は７記載の干渉計装置において、第１のプロセッサ・ユニット（６３）は、その吸収特性が決定される空気成分（ε）の吸収最大に対して固定間隔にあるように、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）の同調範囲の中央波長を制御するか、又はファブリー・ペロ干渉計を同調させるように形成されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項９】
請求項１〜８いずれかに記載の干渉計装置において、干渉計（１０；１００；１００′；１０００）及び分光計ユニット（５０；１５０；２５０；２５０；４５０）が共通の光源を有することを特徴とする干渉計装置。
【請求項１０】
請求項１記載の干渉計装置において、分光計ユニット（５０；１５０；２５０；２５０′；４５０）の光路内に、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）の光線束を、干渉計（１０；１００、１００′；１０００）の測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれかに沿って複数回転向させる光学要素が配置されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項１１】
請求項１記載の干渉計装置において、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）の波長（λＳ）が、次の空気成分（ε）、Ｎ２、Ｏ２、ＣＯ２、Ｈ２Ｏの少なくともいずれかの少なくとも１つの吸収線の範囲内にあることを特徴とする干渉計装置。
【請求項１２】
請求項１記載の干渉計装置において、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）のスペクトル幅が吸収線のスペクトル幅より小さいか又はほぼ等しいことを特徴とする干渉計装置。
【請求項１３】
請求項３又は４記載の干渉計装置において、第１のプロセッサ・ユニット（６３）は、屈折率の計算のために、入力される分光計信号（ＳＳ１、ＳＳ２）を用いて、吸収線の中心内の吸収からと、吸収線の外側範囲内の吸収からとの吸収差の値を演算するよう構成されていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項１４】
請求項１記載の干渉計装置において、干渉計（１０；１００；１００′；１０００）は、少なくとも１つの測定体の種々の測定点に対する複数の位置信号を発生させるための複数の干渉計検出要素（２５、２６、２８、２９；１２５、１２６、１２８、１２９；２５００、２６００、２８００、２９００）を備えた干渉計検出ユニット（２０、１２０、２０００）を有し、分光計検出ユニット（５２、５００）は、付属の測定アーム及び基準アーム（Ｍ、Ｒ）の少なくともいずれか内の空気成分（ε）の吸収を測定するための複数の分光計検出要素（５４、５５；１５４；２５４、２５４′；４５４、４５５、５４０、５５０）を備えていることを特徴とする干渉計装置。
【請求項１５】
請求項１記載の干渉計装置において、分光計光源（５１；１５１；２５１；３５１；４５１）が、ＤＦＢレーザとして、又は外部空洞レーザとして形成されていることを特徴とする干渉計装置。