(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写ローラと、被印刷基板を保持する保持機構とを備え、前記保持機構が保持している前記被印刷基板上で前記転写ローラを転動させることによって、前記転写ローラに形成されている印刷パターンを前記被印刷基板に印刷する印刷装置において、
前記被印刷基板上で前記転写ローラを転動させる際に、前記被印刷基板上に印刷されたパターンの位置情報に基づいて、前記転写ローラに前記被印刷基板が押し込まれる押し込み量と、前記保持機構の移動方向を回転軸とする回転方向の傾きと、前記転写ローラの軸方向を回転軸とする回転方向の傾きとを調整することによって、前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンを、前記転写ローラが転動する方向に沿って伸縮させる調整機構を有する、印刷装置。
【請求項２】
前記転写ローラに前記被印刷基板が押し込まれる押し込み量は、前記転写ローラ上に形成されたパターンの位置情報に基づいて調整することを特徴とする、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記転写ローラを、前記転写ローラの回転軸に沿って伸縮させることによって、前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンを、前記回転軸に沿って伸縮させる伸縮機構を有する、請求項１又は請求項２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記伸縮機構は、前記転写ローラの回転軸に固定された第１の母材と、前記第１の母材との間隔が可変できるように、前記転写ローラの回転軸に沿って移動可能に設けられた第２の母材とを有する、請求項３に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記第１の母材及び前記第２の母材の外周には、樹脂シートが設けられており、
前記樹脂シートの伸縮量は、０．０２％±０．０１％である、請求項４に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記保持機構に保持されている前記被印刷基板と前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンとの相対位置を合わせる位置合わせ機構を有する、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の印刷装置。
【請求項７】
前記位置合わせ機構は、
光を発光する光源と、
前記光源から発光された光を透過及び反射することによって２つに分岐し、分岐された２つの光の各々を前記転写ローラ及び前記被印刷基板の各々に導くとともに、前記転写ローラからの光及び前記被印刷基板からの光を合成するハーフミラーと、
前記ハーフミラーにより合成された光を受光することによって、前記転写ローラの画像及び前記被印刷基板の画像を撮像する撮像素子と
を有する、請求項６に記載の印刷装置。
【請求項８】
保持機構が保持している被印刷基板上で転写ローラを転動させることによって、前記転写ローラに形成されている印刷パターンを前記被印刷基板に印刷する印刷方法において、
前記被印刷基板上で前記転写ローラを転動させる際に、前記被印刷基板上に既に印刷されたパターンの位置情報に基づいて、前記転写ローラに前記被印刷基板が押し込まれる押し込み量と、前記保持機構の移動方向を回転軸とする回転方向の傾きと、前記転写ローラの軸方向を回転軸とする回転方向の傾きとを調整することによって、前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンを、前記転写ローラが転動する方向に沿って伸縮させる調整工程を有する、印刷方法。
【請求項９】
前記転写ローラに前記被印刷基板が押し込まれる押し込み量は、前記転写ローラ上に形成されたパターンの位置情報に基づいて調整することを特徴とする、請求項８に記載の印刷方法。
【請求項１０】
伸縮機構により、前記転写ローラを、前記転写ローラの回転軸に沿って伸縮させることによって、前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンを、前記回転軸に沿って伸縮させる伸縮工程を有する、請求項８又は請求項９に記載の印刷方法。
【請求項１１】
前記伸縮機構は、前記転写ローラの回転軸に固定された第１の母材と、前記第１の母材との間隔が可変できるように、前記転写ローラの回転軸に沿って移動可能に設けられた第２の母材とを有する、請求項１０に記載の印刷方法。
【請求項１２】
前記第１の母材及び前記第２の母材の外周には、樹脂シートが設けられており、
前記樹脂シートの伸縮量は、０．０２％±０．０１％である、請求項１１に記載の印刷方法。
【請求項１３】
位置合わせ機構により、前記保持機構に保持されている前記被印刷基板と前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンとの相対位置を合わせる位置合わせ工程を有する、請求項８ないし請求項１２のいずれかに記載の印刷方法。
【請求項１４】
前記位置合わせ工程は、
光源により光を発光する工程と、
前記光源から発光された光をハーフミラーにより透過及び反射することによって２つに分岐し、分岐された２つの光の各々を前記転写ローラ及び前記被印刷基板の各々に導くとともに、前記転写ローラからの光及び前記被印刷基板からの光を前記ハーフミラーにより合成する工程と、
前記ハーフミラーにより合成された光を撮像素子により受光することによって、前記転写ローラの画像及び前記被印刷基板の画像を撮像する工程と
を有する、請求項１３に記載の印刷方法。
【請求項１５】
コンピュータに請求項８から請求項１４のいずれかに記載の印刷方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置、印刷方法及びその印刷方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等のデバイスのパターンをガラス基板やフィルム基板等上に形成する一手法として、印刷方法による手法が提案されている。このようなデバイスのパターンとしては、例えば液晶ディスプレイの画素の微細化に伴って高い寸法精度が要求されるようになってきており、高い寸法精度を有するパターンが印刷できる印刷方法として、反転印刷法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この反転印刷法による印刷方法として、ローラ転写胴を用いるものがある。ローラ転写胴を用いる場合、例えば、シリコーン樹脂を表面とするローラ転写胴面にインクを塗布して塗布面を形成する塗布工程と、塗布工程を経たローラ転写胴を、所定の形状に凸部が形成された凸版であるマスター板上で転動させ、マスター板の凸部に対応する塗布面のインクを転写除去する除去工程と、塗布面に残っているインクを被印刷基板であるワーク板に転写する転写工程とを有するものがある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００４】
このようなローラ転写胴を用いた反転印刷法では、ガラス基板やフィルム基板等よりなるマスター板とローラ転写胴とを相対移動させ、マスター板上でローラ転写胴を転動させることによって、マスター板のパターンをローラ転写胴に転写する。次いで、ガラス基板やフィルム基板等よりなるワーク板とローラ転写胴とを相対移動させ、ワーク板上でローラ転写胴を転動させることによって、ローラ転写胴に転写されているパターンをワーク板に転写する。そのため、フォトリソグラフィ法により形成されるパターン並みの寸法精度を容易に得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−２７９３４９号公報
【特許文献２】特許第３６８９５３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記したような反転印刷法には、以下のような問題がある。
【０００７】
ローラ転写胴を用いた反転印刷法は、従前の印刷方法に比べれば、フォトリソグラフィ法並みの寸法精度を容易に得ることができる。しかし、ローラ転写胴に塗布されたインクから不要部分を転写除去するマスター板に形成されているパターンの寸法精度に比べると、ローラ転写胴に形成されたパターンが転写されることによりワーク板に印刷されるパターンの寸法精度が低下するという問題がある。
【０００８】
マスター板又はワーク板上でローラ転写胴が転動する際に、例えば印刷装置の各部の寸法公差、がたつき等により、マスター板又はワーク板とローラ転写胴との接触状態が変動するおそれがある。その結果、ワーク板に印刷されるパターンの寸法精度が低下し、印刷されるパターンがデバイスの設計寸法からずれるおそれがある。
【０００９】
また、上記した課題は、ローラ転写胴、マスター板及びワーク板を用いて反転印刷法により印刷する場合に限られず、ローラ転写胴を含めた転写ローラに形成された印刷パターンを被印刷基板に印刷する場合にも共通する課題である。
【００１０】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、被印刷基板上で転写ローラを転動させることによって被印刷基板にパターンを印刷する際に、被印刷基板と転写ローラとの接触状態が変動して印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる印刷装置及び印刷方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の一実施例によれば、転写ローラと、被印刷基板を保持する保持機構とを備え、前記保持機構が保持している前記被印刷基板上で前記転写ローラを転動させることによって、前記転写ローラに形成されている印刷パターンを前記被印刷基板に印刷する印刷装置において、前記被印刷基板上で前記転写ローラを転動させる際に、前記被印刷基板上に印刷されたパターンの位置情報に基づいて、前記転写ローラに前記被印刷基板が押し込まれる押し込み量と、前記保持機構の移動方向を回転軸とする回転方向の傾きと、前記転写ローラの軸方向を回転軸とする回転方向の傾きとを調整することによって、前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンを、前記転写ローラが転動する方向に沿って伸縮させる調整機構を有する、印刷装置が提供される。
【００１３】
また、本発明の他の一実施例によれば、保持機構が保持している被印刷基板上で転写ローラを転動させることによって、前記転写ローラに形成されている印刷パターンを前記被印刷基板に印刷する印刷方法において、前記被印刷基板上で前記転写ローラを転動させる際に、前記被印刷基板上に既に印刷されたパターンの位置情報に基づいて、前記転写ローラに前記被印刷基板が押し込まれる押し込み量と、前記保持機構の移動方向を回転軸とする回転方向の傾きと、前記転写ローラの軸方向を回転軸とする回転方向の傾きとを調整することによって、前記転写ローラに形成されている前記印刷パターンを、前記転写ローラが転動する方向に沿って伸縮させる調整工程を有する、印刷方法が提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、被印刷基板上で転写ローラを転動させることによって被印刷基板にパターンを印刷する際に、被印刷基板と転写ローラとの接触状態が変動して印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係る印刷装置の概略の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の実施の形態に係る印刷装置の動作を説明するための概略断面図である。
【図３】マーク検出器の概略構造を示す断面図及びＣＣＤ検出器により得られた画像情報の例を示す図である。
【図４】基板変形歪計測器により計測された変形歪マップの一例を示す図である。
【図５】ローラ転写胴とマスター板又はワーク板との接触状態を拡大して示す図である。
【図６】押し込み量ｈと縮小率ｄ／Ｄとの関係を示すグラフである。
【図７】第１の実施の形態に係る印刷方法における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】ワーク板に印刷されたパターン（実線）を設計寸法通りのパターン（破線）とともに示した図である。
【図９】第１の実施の形態の第１の変形例に係る印刷方法における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【図１０】第１の実施の形態の第２の変形例に係る印刷方法における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【図１１】印刷装置調整用のマスター板の概略構成を示す平面図である。
【図１２】第２の実施の形態に係る印刷装置の伸縮機構の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明を実施するための形態について図面と共に説明する。
（第１の実施の形態）
始めに、本発明の第１の実施の形態に係る印刷装置について説明する。本実施の形態に係る印刷装置は、保持機構が保持している被印刷基板すなわちワーク板上でローラ転写胴を転動させることによって、ローラ転写胴に形成されている印刷パターンをワーク板に印刷するものである。また、ローラ転写胴は、本発明における転写ローラに相当する。
【００１７】
図１は、本実施の形態に係る印刷装置１の概略の構成を示す斜視図である。
【００１８】
印刷装置１は１本のローラ転写胴３を備えている。印刷装置１の本体９には、連結されたテーブル４、５が移動可能に設置されている。テーブル４上にはマスター板（板状体の版）１０が載置される。また、テーブル５上にはワーク板（板状体のフィルム）１１が載置される。
【００１９】
マスター板１０は、平板状でワーク板１１に印刷されるパターンの反転パターンが形成された凸版とされている。マスター板１０は、テーブル４上に固定された状態で保持されている。マスター板１０は、全体にインキが塗布されたローラ転写胴３上から、反転パターンに対応したインキを転写させて除去するものである。
【００２０】
ワーク板１１は、ガラス基板やフィルム基板よりなる平板状の被印刷物であり、ローラ転写胴３から印刷パターンに対応したインキが転写される。ワーク板１１は、テーブル５上に固定された状態で保持されている。なお、テーブル５は、本発明における保持機構に相当する。
【００２１】
ローラ転写胴３は、図２を用いて後述するように、外周に例えばシリコーンよりなる撥水性ブランケット１６が巻回されたブランケット胴とされていてもよい。また、ローラ転写胴３は、図５を用いて後述するように、金属製の母材３１、例えばポリウレタンよりなる弾性材３２、インクが塗布される例えばシリコーン樹脂よりなる樹脂シート３３により構成されていてもよい。このとき、樹脂シート３３が撥水性ブランケット１６に相当する。
【００２２】
ローラ転写胴３はその回転軸ＲＣがブラケット１３に固定された軸受で支持されている。ローラ転写胴３の両側にはブラケット１３との間にピニオン１２が取り付けられ、後述するクラッチ７で回転軸ＲＣと連動、非連動で動くようになっている。本体９には、ピニオン１２と噛合可能なラック２が設けられている。ブラケット１３全体は上下機構１４により上下動する。これにより、ラック２とピニオン１２が噛合、離間、分離の三状態を選択することができる。
【００２３】
図１に示すように、本実施の形態では、ラック２、ピニオン１２をローラ転写胴３の両側に設置してもよい。これにより、ラック２、ピニオン１２のがたつきを減らすことができ、マスター板１０又はワーク板１１とローラ転写胴３とを位置合わせする際の位置合わせ精度を向上させることができる。ローラ転写胴３の一端には、ブラケット１３に固定された回転駆動用の駆動部６が連結されており、ローラ転写胴３の他端には、クラッチ７が取り付けられている。このクラッチ７をつなげるとローラ転写胴３とピニオン１２が連動して回転し、クラッチ７を切るとローラ転写胴３だけが回転するようになっている。また、ブラケット１３には、ローラ転写胴３の表面にインクを塗布するためのインクコーター８も固定されている。
【００２４】
本体９上にはラック２と平行した直線軸受のリニアガイド１５が固定され、リニアガイド１５の上を連結されたテーブル４、５が移動自在に固定されている。またピニオン１２の下にも直線すべり軸受けが設置されテーブルの剛性が低下しないようにしている。
【００２５】
テーブル４、５には、各々載置されたマスター板１０とワーク板１１をＸ、Ｙ、Ｚ方向、及び各Ｘ、Ｙ、Ｚ軸周りの回転Θ、Υ、Ψ方向に移動可能な６軸駆動機構４ａ、５ａが組み込まれている。この６軸駆動機構４ａ、５ａにより、ロール転写胴３に対するマスター板１０とワーク板１１とのＺ方向の間隔、Ｘ方向のずれ、Θ方向の傾きの調整、マスター板１０とワーク板１１とのＹ方向の距離を調整することができる。
【００２６】
なお、６軸駆動機構４ａ、５ａは、本発明における調整機構に相当する。
【００２７】
図２は、本実施の形態に係る印刷装置１の動作を説明するための概略断面図である。
【００２８】
先ず連結したテーブル４、５を原点（図１のテーブル位置の状態）に戻し、そこでマスター板１０、ワーク板１１の各々を、テーブル４、５の各々の所定の位置に置き固定する。固定は、例えば真空チャックや機械式固定法等により行うことができる。
【００２９】
次に、テーブル４、５に組み込まれた６軸駆動機構４ａ、５ａを動作させ、ロール転写胴３に対するマスター板１０とワーク板１１とのＺ方向の間隔、Ｘ方向のずれ、Θ方向の傾き、マスター板１０とワーク板１１とのＹ方向の距離などを調整する。そして、ローラ転写胴３の回転と同期してテーブル４、５をＸ方向に移動させ、テーブル４、５上をローラ転写胴３が転動する際に、テーブル４、５上のマスター板１０、ワーク板１１と、ローラ転写胴３との間でインクの転写（印刷）が行えるようにする。
【００３０】
上下機構１４を動作させることによってブラケット１３を上昇させ、ピニオン１２とラック２の歯が噛合わないように完全に分離する。そして、クラッチ７を切った状態で駆動部６によりローラ転写胴３を回転させ、ローラ転写胴３を原点位置に戻す。次いで、図２（ａ）に示すように所定の位置でインクコーター８をローラ転写胴３に近づけ、インクコーター８の先端とローラ転写胴３の表面との間隔を設定値にする。この状態で、ローラ転写胴３を回転させ、メニスカス法によりローラ転写胴３の表面の必要な領域に一定膜厚のインク膜１７を形成する。インク膜１７を形成した後は、インクコーター８を所定の位置まで戻す。ロータ転写胴３をさらに回転させ所定の位置でクラッチ７を接続し、上下機構１４を動作させてブラケット１３を下降させ、ラック２とピニオン１２を噛合わせる。そして、駆動部６を動作させることによって、ローラ転写胴３をテーブル４と連動させて動かす。ラック２とピニオン１２が噛合し、ローラ転写胴３の半径とピニオン１２との半径は一致させてあるので、ローラ転写胴３の外周速度はテーブル４の移動速度と一致する。このため、テーブル４上のマスター板１０は、回転軸ＲＣに沿って直線状に接触する領域において、凸部１０ｂにより、ローラ転写胴３に塗られたインク膜１７から接触したインクをはぎ取りながら、転動する。この結果、ローラ転写胴３の撥水性ブランケット１６の表面には、図２（ｂ）に示すように、マスター板１０に形成されているパターンとは反転したパターンが残り、印刷パターンが形成される。
【００３１】
次に、上下機構１４によりブラケット１３を上昇させ、ラック２とピニオン１２との噛合を解除し、ローラ転写胴３を所定の位置まで回転させ、その後再び上下機構１４によりブラケット１３を下降させ、ラック２とピニオン１２とを噛合させる。そして、駆動部６を動作させることによって、ローラ転写胴３をテーブル５と連動させて動かし、図２（ｃ）に示すように、撥水性ブランケット１６上のインクをワーク板１１上に転写する。
【００３２】
このような動作を繰り返すことによって、ワーク板１１上にパターンを重ね印刷し、所望の構造体を作製することができる。ワーク板１１へのパターンの重ね印刷の際には、先に印刷されたパターンに対して位置合わせが行われる。マスター板１０に位置合わせマークを形成しておき、他のパターンと同じように、位置合わせマークもローラ転写胴３に転写される。ローラ転写胴３に転写された位置合わせマークは、さらにワーク板１１に転写される。ワーク板１１に転写されている位置合わせマークと、ローラ転写胴３に転写されている位置合わせマークが一致するように制御すれば、正確にパターンの重ね印刷をすることができる。
【００３３】
図３（ａ）は、マーク検出器２２の概略構造を示す断面図である。図３（ｂ）は、ＣＣＤ検出器により得られた画像情報の例を示す図である。
【００３４】
なお、マーク検出器２２及び６軸駆動機構４ａ、５ａは、本発明における位置合わせ機構に相当する。
【００３５】
ローラ転写胴３とテーブル５とが接触する近傍には、テーブル５に載置されたワーク板１１上の位置合わせマークと、ローラ転写胴３の表面上の位置合わせマークとを同時に観察できるマーク検出器２２が設置されている。このマーク検出器２２は、ストロボ光源２２ａと、ハーフミラー２２ｂと、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）検出器２２ｃとを備えている。そして、マーク検出器２２は、ローラ転写胴３とテーブル５が連動して動いている際にそれぞれの位置合わせマークの画像を撮像することによって各々の画像を観察することができる。
【００３６】
ストロボ光源２２ａは、移動中の物体を観察するためのものであり、光を発光するものである。ストロボ光源２２ａにより発光された光は、レンズ２２ｄにより平行光としてハーフミラー２２ｂに入射する。ハーフミラー２２ｂに入射した光は２方向に分岐され、一方の光はハーフミラー２２ｂにより反射されて９０°曲げられてローラ転写胴３に導かれ、他方の光はハーフミラー２２ｂを透過して直進し、テーブル５上のワーク板１１に導かれる。また、ローラ転写胴３からの反射光はハーフミラー２２ｂを透過して直進し、ワーク板１１からの反射光はハーフミラー２２ｂにより反射され９０°曲げられ、２つの光は合成される。そして、合成された光は、ＣＣＤ検出器２２ｃに導かれる。
【００３７】
ＣＣＤ検出器２２ｃは、ハーフミラー２２ｂにより合成された光を受光することによって、ローラ転写胴３に形成されているパターン中の位置合わせマークの画像と、ワーク板１１に形成されている位置合わせマークの画像とを撮像する。具体的には、ＣＣＤ検出器２２ｃが検出した検出信号に基づいて、イメージプロセッサ２７により画像を合成する。そして、ＣＣＤ検出器２２ｃにより撮像した画像に基づいて、図示しない制御部により、６軸駆動機構５ａの動作を制御し、ワーク板１１とローラ転写胴３との相対位置を位置合わせする。また、ＣＣＤ検出器２２ｃは、ストロボ光源２２ａが発光した時にのみ、ローラ転写胴３に形成されているパターン中の位置合わせマークＡＭ１の画像と、ワーク板１１に形成されている位置合わせマークＡＭ２の画像とを撮像するようにしてもよい。
【００３８】
予め、ラック２、ピニオン１２等にがたつき等がなく、ワーク板１１がテーブル５上に正確に位置合わせされている場合に、両者の位置合わせマークＡＭ１、ＡＭ２がＣＣＤ検出器２２ｃで撮像された画像中でぴったり重なるように調整しておく。すると、位置合わせが正確でないときは、クラッチ７とラック２、ピニオン１２で発生するすべりやがたつき又は各部の寸法公差等により、位置合わせマークＡＭ１が、図３（ｂ）に示すように、位置合わせマークＡＭ２の位置からＸ、Ｙ方向の各々にΔＸ、ΔＹずれる。
【００３９】
例えば、テーブル５に保持されているワーク板１１に、ローラ転写胴３の表面に塗布されているインクを転写する場合を考える。すると、前述したずれ量がテーブル駆動回路２８にフィードバックされ、ワーク板１１とローラ転写胴３とが接触する前に、６軸駆動機構５ａにより、位置合わせマークＡＭ１、ＡＭ２が重なるように、ワーク板１１とローラ転写胴３とが位置合わせされる。この結果、ローラ転写胴３をテーブル５に保持されているワーク板１１上で転動させる際の、ローラ転写胴３の表面の回転距離とワーク板１１の移動距離とを等しくすることができる。そして、ワーク板１１とローラ転写胴３とが正確に位置合わせされた状態で、ローラ転写胴３の表面からインクをワーク板１１に転写して印刷することができる。
【００４０】
図４は、基板変形歪計測器２３により計測された変形歪マップの一例を示す図である。なお、図４において、矢印の方向は、縦横破線が交差する各交差点に位置する位置合わせマークＡＭ２のずれの方向を示しており、矢印の長さは、各交差点に位置する位置合わせマークＡＭ２のずれの大きさ（ずれ量）を示している。
【００４１】
テーブル４、５の間には基板変形歪計測器２３が設置されており、テーブル４上に載置されたマスター板１０の変形量、又は、テーブル５上に載置されたワーク板１１の変形量が、テーブル４、５の移動中に計測できるようになっている。
【００４２】
基板変形歪計測器２３には、光学レンズ群とＴＤＩ（Time Delay Integration）センサが組み込まれ、基板変形歪計測器２３の両側におかれた照明２４で照らされたマスター板１０の表面又はワーク板１１の表面の画像を取得する。ＴＤＩセンサを使うことによって、マスター板１０又はワーク板１１が移動中であってもＳ／Ｎ比の高い画像を取得することができる。基板変形歪計測器２３により取得された画像のデータは、歪イメージ処理回路２５に送られ、図４（ａ）に一例を示すように、マスター板１０又はワーク板１１の変形歪マップが求められる。
【００４３】
歪イメージ処理回路２５では、その変形歪マップから線形歪成分（以下「線形歪モード」ともいう。）の抽出が行われ、抽出された線形歪モードに基づいて、後述する押し込み量ｈの補正量がローラ制御回路２６に送られる。ローラ制御回路２６では、送られた補正量に基づいて押し込み量ｈが調整される。これにより、撥水性ブランケット１６上のパターンを、Ｘ方向、すなわちローラ転写胴３が転動する方向に沿って自在に伸縮させることができるため、印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止できる。
【００４４】
図４（ｂ）に示すように、例えばワーク板１１に大きな線形歪が存在すると、従来では、下地となる印刷パターンの上に重ねて印刷するパターンが徐々にずれるおそれがある。一方、本実施の形態では、ワーク板１１に存在する線形歪を補正できるため、下地となる印刷パターンとのずれ量を少なくした状態でパターンを重ねて印刷することができる。
【００４５】
なお、本実施の形態に係る印刷装置１では、基板変形歪計測器２３を印刷装置１中に組み込んでいるが、基板変形歪計測器を印刷装置１と別に設け、その基板変形歪計測器によりマスター板１０の変形量又はワーク板１１の変形量を計測し、計測情報を印刷装置１に入力するようにしてもよい。
【００４６】
本体９のローラ転写胴３を挟んでテーブル４、５と反対側には、洗浄ユニット２９が設置されている。洗浄ユニット２９の中までリニアガイド１５が引き込まれており、ローラ転写胴３とテーブル５上のワーク板１１との間でインクの転写が行われている間に、洗浄ユニット２９に入り込んだテーブル４上のマスター板１０が洗浄される。マスター板１０の凸部の表面にはインクが付着しているため、このインクを例えば粘着ローラにより除去することができる。粘着ローラにより不要インクを取り除いた後、表面の有機洗浄、イオナイズドエアーブロー、ＵＶ（Ultra Violet）光照射による表面エネルギーの調整等が行われる。ローラ転写胴３からワーク板１１へのインクの転写が行われている最中に洗浄処理が行われるため、時間の増加を伴うことなく次の印刷の準備が完了できることになる。
【００４７】
図５は、ローラ転写胴３とマスター板１０又はワーク板１１との接触状態を拡大して示す図である。図６は、押し込み量ｈと縮小率ｄ／Ｄとの関係を示すグラフである。
【００４８】
なお、図２ではマスター板１０の凹凸が誇張して示されているが、凹凸の高さは数ミクロンであるため、図５ではマスター板１０の凹凸を示していない。
【００４９】
図５に示すように、ローラ転写胴３の母材は、例えば金属よりなる母材３１である。そして、母材３１の外周には、例えばポリウレタンよりなる弾性材３２が設けられており、更に弾性材３２の外周面には、例えばシリコーンよりなる樹脂シート３３が設けられている。
【００５０】
テーブル４、５がマスター板１０又はワーク板１１を保持するＺ方向の位置は、マスター板１０又はワーク板１１をローラ転写胴３に接触させる際に、マスター板１０又はワーク板１１がローラ転写胴３に押し込まれるように、調整される。マスター板１０又はワーク板１１がローラ転写胴３に全く押し込まれないような状態（押し込み量が０のとき）では、テーブル面の平坦性やテーブルの移動時の位置精度、ローラ転写胴３の表面の平坦性などにより、インクを全面に転写できないおそれがあるからである。
【００５１】
本実施の形態では、マスター板１０又はワーク板１１がローラ転写胴３に押し込まれる押し込み量ｈが正の値になるように、テーブル４、５がマスター板１０又はワーク板１１を保持するＺ方向の位置を６軸駆動機構４ａ、５ａにより調整した状態で、印刷を行う。押し込み量ｈが正の値になるときは、ローラ転写胴３を構成する材料のうち最も柔らかい弾性材３２が潰れる。これにより、インクを転写する際に押し込み量ｈが変動した場合でも、インクを確実に転写することができる。
【００５２】
なお、テーブル４、５が保持するマスター板１０又はワーク板１１のローラ転写胴３に対する相対位置が調整できればよく、ローラ転写胴３のＺ方向の位置を調整するようにしてもよい。
【００５３】
ここで、ローラ転写胴３の半径をＲとし、ローラ転写胴３を押し込み量ｈで潰し、ワーク板１１とローラ転写胴３とを面接触状態にする場合を考える。そして、図５に示すように、ローラ転写胴３がワーク板１１と面接触状態になっている部分の、ワーク板１１の進行方向（Ｘ方向）すなわちローラ転写胴３が転動する方向に沿った長さを２ｄとする。また、面接触状態になっている部分が面接触状態になっていないときの円弧の長さを２Ｄとし、２Ｄの長さに対応する中心角を２θとする。θが微小であるときは、Ｄ＝Ｒ×θと表される。すると、ローラ転写胴３がθだけ回転したときに、長さＲ×θの円弧、すなわち長さＤの円弧上に塗布されたインクのパターンは、ワーク板１１の進行方向（Ｘ方向）に沿って、長さｄに縮小されて転写されることになる。
【００５４】
図６に示すように、縮小率ｄ／Ｄは、Ｒとｈの関数であり、半径Ｒが大きいほど、又は、押し込み量ｈが小さいほど、縮小率ｄ／Ｄは小さくなる。半径Ｒは一定であるため、押し込み量ｈを調整することによって、ワーク板１１の進行方向（Ｘ方向）に沿った縮小率ｄ／Ｄを自在に調整することができる。よって、ローラ転写胴３にワーク板１１が押し込まれる押し込み量ｈを６軸駆動機構５ａにより調整することにより、ワーク板１１とローラ転写胴３との接触状態が変動して印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる。
【００５５】
また、マスター板１０によりインクを除去する際には、ローラ転写胴３がθだけ回転したときに、長さＲ×θ（長さＤ）の円弧上のパターンが、マスター板１０の進行方向（Ｘ方向）に沿って長さｄに縮小された状態で、ローラ転写胴３からインクを除去することになる。しかし、マスター板１０との接触が終了すると、すなわちインクの除去が完了すると、弾性体３２の変形は回復して元通りの径になるため、縮小パターンは拡大されマスター板１０上のパターン寸法と同じになる。このため、マスター板１０によりインクを除去する際には、パターン寸法のずれはほとんど発生しない。
【００５６】
なお、印刷装置１には、例えば図示しない演算処理部、記憶部及び表示部が備えられていてもよい。演算処理部は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を有するコンピュータである。記憶部は、演算処理部に、各種の処理を実行させるためのプログラムを記録した、例えばハードディスクにより構成されるコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。表示部は、例えばコンピュータの画面よりなる。演算処理部は、記憶部に記録されたプログラムを読み取り、そのプログラムに従って、印刷装置１を構成する各部に制御信号を送り、後述するような印刷方法を実行する。
【００５７】
次に、本実施の形態に係る印刷方法について説明する。
【００５８】
図７は、本実施の形態に係る印刷方法における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【００５９】
本実施の形態に係る印刷方法による印刷処理は、大別すると、２つの工程、マスター板作製工程と、印刷工程とよりなる。
【００６０】
マスター板作製工程では、デバイス設計データ及び印刷装置の仕様に合ったマスター板１０を作製する。
【００６１】
先ず、デバイス設計データを、例えば印刷装置１の内部又は印刷装置１とは別に設けられた記憶部から読み込む（ステップＳ１１）。
【００６２】
次いで、印刷装置の仕様、例えばローラ転写胴３の直径Ｒ及び弾性体３２の許容される押し込み量を、例えば前述した記憶部から読み込む（ステップＳ１２）。
【００６３】
そして、ローラ転写胴３の直径Ｒ及び弾性体３２の許容される押し込み量に基づいて、前述した縮小率ｄ／Ｄを決定する（ステップＳ１３）。例えば、ローラ転写胴３の直径を１２００ｍｍ（Ｒ＝６００ｍｍ）とし、弾性体３２の厚さを５ｍｍとする場合、許容される押し込み量ｈが、１．５±０．５ｍｍの範囲になるように調整することができる。押し込み量ｈが中心値１．５ｍｍであるときの縮小率ｄ／Ｄは、図６に示すグラフから０．２５％になる。
【００６４】
次いで、押し込み量ｈが１．５ｍｍの時にローラ転写胴３の回転方向の寸法がデバイス設計寸法と一致するように、予め０．２５％拡大させてマスター板のパターンデータを作製する（ステップＳ１４、データリサイズ処理）。
【００６５】
次いで、作製されたパターンデータを用い、例えばフォトリソグラフィ技術により石英板に凸部のパターンを形成する（ステップＳ１５）。これら一連の工程によって、マスター板１０を作製することができる。
【００６６】
印刷工程では、先ず、マスター板１０をテーブル４に設置し、ローラ転写胴３にマスター板１０が押し込まれる押し込み量ｈが１．５mmになるように、６軸駆動機構４ａによりテーブル４の姿勢を調整する。ワーク板１１をテーブル５に設置し、ローラ転写胴３にワーク板１１が押し込まれる押し込み量ｈが１．５mmになるように、６軸駆動機構５ａによりテーブル５の姿勢を調整する（ステップＳ１６、調整工程）。
【００６７】
次いで、図２を用いて前述したように、反転印刷法による印刷を行う。これが印刷工程になる。このとき、図３を用いて前述したように、マーク検出器２２及び６軸駆動機構４ａにより、テーブル４に保持されているマスター板１０と、ローラ転写胴３との相対位置を位置合わせする。また、マーク検出器２２及び６軸駆動機構５ａにより、テーブル５に保持されているワーク板１１と、ローラ転写胴３に形成されている印刷パターンとの相対位置を位置合わせする（位置合わせ工程）。
【００６８】
このように調整された印刷装置１では、押し込み量ｈが中心値１．５ｍｍのときに、デバイス設計寸法と同じパターンが印刷できる。また、押し込み量ｈを中心値から増加させるときに、印刷されるパターンをＸ方向に縮小して印刷することができ、押し込み量ｈを中心値から減少させるときに、印刷されるパターンをＸ方向に拡大して印刷することができる。すなわち、ワーク板１１に印刷されるパターンを、ローラ転写胴３が転動する方向に沿って伸縮させることができる。例えば押し込み量ｈの許容量を±０．５mmとするとき、印刷されるパターンを±０．０８３%伸縮させることができる。これにより、予めワーク板１１の伸縮量が分かっていれば、その伸縮量を補正して印刷ができるようになる。
【００６９】
図８は、ワーク板１１に印刷されたパターン（実線）を設計寸法通りのパターン（破線）とともに示した図である。図８（ａ）は、押し込み量ｈを１．５ｍｍよりも大きくした状態で印刷した場合を示す。図８（ｂ）は、押し込み量ｈを中心値１．５ｍｍとした状態で印刷した場合を示す。図８（ｃ）は、押し込み量ｈを１．５ｍｍよりも小さくした状態で印刷した場合を示す。図８（ｂ）では、印刷されたパターンは設計寸法通りであり、図８（ａ）では、印刷されたパターン（実線）は設計寸法（破線）よりも縮小されており、図８（ｃ）では、印刷されたパターン（実線）は設計寸法（破線）よりも拡大されている。このように、押し込み量ｈを調整することによって、印刷されるパターンを設計寸法に対し自在に伸縮することができる。
（第１の実施の形態の第１の変形例）
次いで、本発明の第１の実施の形態の第１の変形例に係る印刷方法について説明する。
【００７０】
第１の実施の形態では、ワーク板に印刷されるパターンの伸縮量が、ローラ転写胴が転動する方向に沿って、ワーク板の面内で一様である例について説明した。しかしながら、ローラ転写胴が転動する方向に沿った印刷パターンの設計寸法からのずれ量が、ワーク板の面内で一様でなく変動することもある。本変形例では、ローラ転写胴が転動する方向に沿ってワーク板の面内で印刷パターンの伸縮量に線形的な変化をもたせるように補正した上で印刷する印刷方法について説明する。
【００７１】
なお、本変形例では、第１の実施の形態に係る印刷装置１を用いることができるため、印刷装置１についての説明を省略する。
【００７２】
図９は、本変形例に係る印刷方法における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。
【００７３】
先ず、パターンが既に印刷されているワーク板１１について、パターンの寸法を寸法計測装置により計測する（ステップＳ２１）。計測した計測データから次に行う線形歪モードの抽出ができればよく、寸法の計測は印刷装置１に組み込まれた前述の基板変形歪計測器２３により行ってもよいし、印刷装置１と別に設けられた寸法計測装置により行ってもよい。
【００７４】
次いで、計測した計測データを解析し、線形歪モードを抽出する（ステップＳ２２）。すなわち、マスター板１０の表面又はワーク板１１の表面の画像を取得して変形歪マップを求め、その変形歪マップから、線形歪モードを抽出する。
【００７５】
次いで、抽出した線形歪モードに基づいて、６軸駆動機構４ａ、５ａの調整に必要なＺ位置（押し込み量ｈに相当）、Θ角度、Υ角度を設定する（ステップＳ２３）。そして、設定された値になるように、６軸駆動機構４ａ、５ａを調整する。
【００７６】
次いで、マスター板１０及びワーク板１１の各々をテーブル４、５の各々に載置固定し、図７に示すフローチャートのうち、印刷工程で示される印刷処理を行う（ステップＳ２４）。
【００７７】
Ｚ位置を調整することにより、例えばワーク板１１面内の平均的な縮小率を補正することができる。また、Υ角度を調整することにより、テーブル４、５の移動方向（Ｘ方向）に沿った縮小率の線形変化を補正することができる。更に、Θ角度を調整することにより、テーブル４、５の移動方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に沿った縮小率の線形変化を補正することができる。そして、これらを補正した上で、印刷パターンをワーク板１１に対して重ね印刷することができる。
【００７８】
図９に示すフローチャートでは、印刷工程の前にＺ位置、Θ角度、Υ角度を調整した状態で印刷を行うが、印刷工程においてＺ位置、Θ角度、Υ角度を変化させながら印刷を行ってもよい。これにより、Ｘ方向に沿って伸縮量が細かく変動する場合でも、印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる。
（第１の実施の形態の第２の変形例）
次いで、本発明の第１の実施の形態の第２の変形例に係る印刷方法について説明する。
【００７９】
本変形例に係る印刷方法では、印刷工程を実施する際に先立って印刷装置の各部の特性、特に、マスター板を載置するマスター板用のテーブル、ワーク板を載置するワーク板用のテーブルの幾何学的な精度を調整する。
【００８０】
なお、本変形例でも、第１の実施の形態に係る印刷装置１を用いることができるため、印刷装置１についての説明を省略する。
【００８１】
図１０は、本変形例に係る印刷方法における各工程の手順を説明するためのフローチャートである。図１１は、印刷装置調整用のマスター板１０ａの概略構成を示す平面図である。
【００８２】
先ず、図１１に示すように、位置合わせマークＡＭ３が多数形成された、印刷装置調整用のマスター板１０ａを用いてワーク板１１に寸法計測用のパターンを印刷する。すなわち、印刷装置１の機械調整を行った後（ステップＳ３１）、テーブル４に印刷装置調整用のマスター板１０ａを置き、テーブル５にワーク板１１を置く。そして、テーブル４上の印刷装置調整用のマスター板１０ａからローラ転写胴３に印刷装置調整用パターンを転写し、転写された印刷装置調整用パターンを、テーブル５上のワーク板１１に印刷する（ステップＳ３２）。
【００８３】
次いで、ワーク板１１に印刷されたパターンの寸法を、前述の基板変形歪計測器２３等の寸法計測装置により計測し、計測された計測データを解析し、線形歪モードを抽出する（ステップＳ３３）。すなわち、ワーク板１１の表面の画像を取得して変形歪マップを求め、その変形歪マップから、線形歪モードを抽出する。そして、抽出した線形歪モードに基づいて、６軸駆動機構５ａの調整に必要なＺ位置（押し込み量ｈに相当）、Θ角度、Υ角度を設定する（ステップＳ３４）。そして、設定された値になるように、６軸駆動機構５ａを調整する。すなわち、６軸駆動機構５ａに含まれる、Θ角度、Υ角度、及びＺ位置についての調整機構を動作させ、ローラ転写胴３に対するテーブル５の走行姿勢が常に一定、すなわち変化しなくなるように調整する。
【００８４】
次にこのような調整が行われたテーブル５に印刷装置調整用のマスター板１０ａを置き、テーブル４にワーク板１１を置く。そして、テーブル５上の印刷装置調整用のマスター板１０ａからローラ転写胴３に印刷装置調整用パターンを転写し、転写された印刷装置調整用パターンを、テーブル４上のワーク板１１に印刷する（ステップＳ３５）。
【００８５】
次いで、ワーク板１１に印刷されたパターンの寸法を、前述の基板変形歪計測器２３等の寸法計測装置により計測し、計測された計測データを解析し、線形歪モードを抽出する（ステップＳ３６）。すなわち、ワーク板１１の表面の画像を取得して変形歪マップを求め、その変形歪マップから、線形歪モードを抽出する。そして、抽出した線形歪モードに基づいて、６軸駆動機構４ａの調整に必要なＺ位置（押し込み量ｈに相当）、Θ角度、Υ角度を設定する（ステップＳ３７）。そして、設定された値になるように、６軸駆動機構４ａを調整する。すなわち、６軸駆動機構４ａに含まれる、Θ角度、Υ角度、及びＺ位置についての調整機構を動作させ、ローラ転写胴３に対するテーブル４の走行姿勢が常に一定、すなわち変化しなくなるように調整する。
【００８６】
より精度の高い印刷が求められる場合には、この作業を複数回繰り返してより高精度な姿勢精度を達成するようにする。
【００８７】
これにより、印刷装置１は、機械調整治具のみで調整されるよりも高精度印刷が可能になり、印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる（ステップＳ３８）。
（第１の実施の形態の第３の変形例）
次いで、本発明の第１の実施の形態の第３の変形例に係る印刷方法について説明する。
【００８８】
本変形例に係る印刷方法は、ローラ転写胴に巻きつけられた樹脂シートの寿命を延長するためのものである。
【００８９】
反転印刷法においては、ローラ転写胴３の決まった位置にワーク板１１に転写されるインクが残り、それが印圧がかかった状態でワーク板１１と接触し、インクの転写が行われる。従って同一パターンを繰り返し印刷する場合には、ローラ転写胴３の同一箇所が長期にわたってインクと接触していることになり、溶媒による樹脂シートの膨潤などが起こる。膨潤の有無によりローラ転写胴３の各領域における耐刷性が異なる。例えば、膨潤のある領域での寿命が短くなることがある。
【００９０】
このような問題を解決するために、印刷ごとに印刷パターンの位置が変わるようにローラ転写胴３とマスター板用のテーブル４の頭出しの位置（接触開始位置）を変えるようにしてもよい。印刷ごとにインクが残る場所が変わるため、樹脂シート３３全体における膨潤の程度が均一になる。この結果、同一箇所のみで膨潤が継続することがなくなり樹脂シート３３の寿命が延長することになる。また、樹脂シート３３全体が均一な耐刷性を持つことになる。
（第２の実施の形態）
次いで、第２の実施の形態に係る印刷装置について説明する。
【００９１】
第１の実施の形態では、ワーク板の進行方向（Ｘ方向）に沿った印刷パターンのずれ量を補正する例について説明した。しかしながら、ワーク板の進行方向（Ｘ方向）に直交する方向、すなわちローラ転写胴の回転軸方向（Ｙ方向）に沿った印刷パターンのずれが発生することがある。本実施の形態では、伸縮機構により、ローラ転写胴の回転軸方向（Ｙ方向）に沿ってローラ転写胴の樹脂シートを伸縮させることによって、Ｙ方向に沿った印刷パターンのずれ量を補正した上で印刷する印刷装置について説明する。
【００９２】
なお、本実施の形態に係る印刷装置のうち、歪イメージ処理回路２５及び伸縮機構３４以外の部分は、第１の実施の形態に係る印刷装置１と同一であるため、歪イメージ処理回路２５及び伸縮機構３４以外の部分についての説明を省略する。
【００９３】
図１２は、本実施の形態に係る印刷装置の伸縮機構３４の分解斜視図である。図１２（ａ）は、弾性材３２及び樹脂シート３３の構成を示し、図１２（ｂ）は、母材３１の構成を示す。
【００９４】
伸縮機構３４は、ローラ転写胴３ａを備えている。
【００９５】
図１２（ｂ）に示すように、ローラ転写胴３ａの母材は、母材３１ａと母材３１ｂからなり、母材３１ａは回転軸ＲＣと固定されている。一方、母材３１ｂは例えばスプライン軸受により母材３１ａとの間隔が可変できるように、回転軸ＲＣに沿って移動可能になっている。母材３１ｂの内部には、例えばパルスモータよりなるモータ３７が組み込まれ、母材３１ａと噛合する三角ねじ３８と自在継手を介して連結されている。モータ３７を回転させることによって、母材３１ｂが母材３１ａに対して相対移動し、母材３１ａと母材３１ｂとの間隔が調整できる。
【００９６】
図１２（ａ）に示すように、母材３１ａ及び母材３１ｂの外周には、例えばポリウレタンよりなる弾性材３２が設けられており、更に弾性材３２の外周面には、例えばシリコーンよりなる樹脂シート３３が設けられている。
【００９７】
弾性材３２と樹脂シート３３とは、回転軸ＲＣに沿って一端が母材３１ａに固定され、他端が母材３１ｂに固定されている。そのため、母材３１ａと母材３１ｂとの間隔をモータ３７の駆動により調整することによって、樹脂シート３３が伸縮する。その伸縮量は±０．０１%以下である。実際には０．０２%伸ばしたところを中心として±０．０１%の伸縮ができるようにする。従って樹脂シート３３には最大０．０３%の伸びを加えることになる。
【００９８】
このように構成されたローラ転写胴３ａを印刷装置に組み込むことで、ＸＹ方向に沿った印刷パターンの設計寸法からのずれ量を補正した上でパターンを印刷する印刷方法が実現できる。
【００９９】
本実施の形態では、歪イメージ処理回路２５で、変形歪マップから線形歪成分（線形歪モード）の抽出が行われ、抽出された線形歪モードに基づいて、押し込み量ｈの補正量、及び、ローラ転写胴３ａの回転軸ＲＣに沿った伸縮量の補正量がローラ制御回路２６に送られる。ローラ制御回路２６では、送られた補正量に基づいて押し込み量ｈとローラ転写胴３ａの伸縮量が独立に調整される。これにより、撥水性ブランケット１６上のパターンを、Ｘ方向に沿って自在に伸縮させることができ、かつ、Ｙ方向に沿って伸縮させることができるため、印刷パターンがＸＹ両方向においてデバイスの設計寸法からずれることを防止できる。
【０１００】
本実施の形態に係る印刷方法は、図７に示すフローチャートを用いて説明した第１の実施の形態に係る印刷方法、又は、図９に示すフローチャートを用いて説明した第１の実施の形態の第１の変形例に係る印刷方法と同様にすることができる。以下、図９に示すフローチャートを用いて説明する。
【０１０１】
先ず、パターンが既に印刷されているワーク板１１について、パターンの寸法を計測する（ステップＳ２１）。寸法の計測は印刷装置に組み込まれた前述の基板変形歪計測器２３により行ってもよいし、印刷装置と別に設けられた寸法計測装置により行ってもよい。
【０１０２】
次いで、計測した計測データを解析し、線形歪モードを抽出する（ステップＳ２２）。そして、抽出した線形歪モードに基づいて、６軸駆動機構４ａ、５ａ及び伸縮機構３４の調整に必要なＹ方向の伸縮量、Ｚ位置（押し込み量ｈに相当）、Θ角度、Υ角度及びローラ転写胴３ａの回転軸ＲＣに沿った伸縮量を設定する（ステップＳ２３）。そして、設定された値になるように、６軸駆動機構４ａ、５ａ及び伸縮機構３４を調整し、図７に示すフローチャートのうち、印刷工程で示される印刷処理を行う（ステップＳ２４）。
【０１０３】
Ｙ方向の伸縮量を調整することにより、回転軸ＲＣに沿った縮小率の線形変化を補正することができる。そして、Ｚ位置を調整することにより、例えばワーク板１１面内の平均的な縮小率を補正することができる。また、Υ角度を調整することにより、テーブル４、５の移動方向（Ｘ方向）に沿った縮小率の線形変化を補正することができる。更に、Θ角度を調整することにより、テーブル４、５の移動方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に沿った縮小率の線形変化を補正することができる。そして、これらを補正した上で、印刷パターンをワーク板１１に対して重ね印刷することができる。
【０１０４】
図９に示すフローチャートでは、印刷工程の前にＹ方向の伸縮量、Ｚ位置、Θ角度、Υ角度を調整した状態で印刷を行うが、印刷工程においてＹ方向の伸縮量、Ｚ位置、Θ角度、Υ角度を変化させながら印刷を行ってもよい。これにより、Ｘ方向のみならずＹ方向にも沿って伸縮量が細かく変動する場合でも、印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる。
【０１０５】
また、第２の実施の形態でも、第１の実施の形態の第２の変形例、第１の実施の形態の第３の変形例と同様な印刷方法を行うことができる。これにより、印刷パターンがデバイスの設計寸法からずれることを更に防止し、高い寸法精度でパターンを印刷できる。
【０１０６】
以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０７】
１  印刷装置
３、３ａ  ローラ転写胴
４、５  テーブル
４ａ、５ａ  ６軸駆動機構
６  駆動部
１０  マスター板
１１  ワーク板
２２  マーク検出器
２２ａ  ストロボ光源
２２ｂ  ハーフミラー
２２ｃ  ＣＣＤ検出器
３４  伸縮機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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