(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源となる放電灯と、前記放電灯が純正品であるかどうかを検出する白熱灯と、前記放電灯及び前記白熱灯が装着されたリフレクター容器とで構成された１乃至複数の光源装置と、
前記光源装置を被照射物に向けて装着するフレームと、
前記白熱灯に電流を供給する定電流電源と、
前記定電流電源からの前記電流をオン・オフするスイッチと、
前記放電灯の点灯中に前記スイッチをオン・オフして前記白熱灯を所定の時間点灯する制御部と、
点灯中の前記白熱灯の両端電圧を測定する測定部と、
前記測定部にて測定された前記両端電圧と放電灯の正否を判定する前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲とを比較する比較部と、
前記比較部からの信号を受け、前記両端電圧が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲内の場合は、検査対象放電灯が純正品であると判定し、前記両端電圧が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲外の場合は、検査対象放電灯が非純正品であると判定する判定部と、
判定結果を表示する表示部とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
光源となる前記放電灯と、前記放電灯が純正品であるかどうかを検出する前記白熱灯と、前記放電灯及び前記白熱灯が装着された前記リフレクター容器とで構成された１乃至複数の前記光源装置と、
前記光源装置を被照射物に向けて装着する前記フレームと、
前記白熱灯に電流を供給する前記定電流電源と、
前記定電流電源からの前記電流をオン・オフする前記スイッチと、
前記放電灯の点灯中に前記スイッチをオン・オフして前記白熱灯を所定の時間点灯する前記制御部と、
点灯中の前記白熱灯の両端電圧を２回、各々所定の時間に測定する測定部と、
前記測定部にて該白熱灯の１回目測定時の電圧と２回目測定時の電圧との差と、放電灯の正否を判定する所定の上限値及び下限値の電圧範囲とを比較する比較部と、
前記比較部からの信号を受け、前記両端電圧の差が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲内の場合は、検査対象放電灯が純正品であると判定し、前記両端電圧の差が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲外の場合は、検査対象放電灯が非純正品であると判定する判定部と、
判定結果を表示する前記表示部とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項３】
光源となる前記放電灯と、前記放電灯が純正品であるかどうかを検出する前記白熱灯と、
前記放電灯及び前記白熱灯が装着された前記リフレクター容器とで構成された複数の前記光源装置が装備された請求項１及び２に記載の露光装置において、
前記制御部は、前記放電灯の点灯中に前記白熱灯を順次オン・オフして前記放電灯の正否を順次検査することを特徴とする前記放電灯の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板等の露光に用いる露光装置において、光源となる放電灯が純正品であるか否かを検出するための白熱灯を備えた光源装置及びその光源装置を用いた露光装置とその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器に部品を実装するために樹脂やガラスエポキシ材の基板上に銅等の金属で配線パターンを形成したプリント配線基板が用いられている。これらのプリント配線基板上への配線パターンの形成にはフォトエッチング技術が用いられている。これは、配線となる金属層が全面に形成された基板上全面に、感光性の薬剤であるフォトレジストを塗布し、これに配線パターンと同一のフォトマスクを通して露光装置からの照射光を照射する。フォトレジストには、照射光によりフォトレジストの溶解性が低下するネガ型フォトレジストと、逆に照射光によりフォトレジストの溶解性が増大するポジ型フォトレジストがある。照射光により溶解性が相対的に増大したフォトレジスト部分を化学処理して取り除き、露出した金属層をエッチングにより除去するとフォトレジストが残った部分の下にある金属層だけが残り、フォトレジストを除去することで配線パターンが基板上に形成される。ポジ型、ネガ型いずれのフォトレジストに照射光を照射する場合でも、照射面全面に亘って均一な露光量を確保するために、均一な照度で一定の時間、安定した照射光の照射が必要である。
【０００３】
一方、プリント配線基板において、製造工程の効率化のためにプリント配線基板を大型化し、基板完成後に分割して小型化し、所望の電子機器に使用することが行われている。 
プリント配線基板の大型化に伴い、露光装置メーカーは光源である放電灯を高照度に大型化するか、または複数の低照度の小型の放電灯を用いた多灯の光源として均一な露光量を確保しようとしている。例えば、８ｋＷの高圧放電灯の光源を１灯使用する代わりに２ｋＷの高圧放電灯の光源を４灯使用するなどである。低照度の放電灯は高照度の放電灯に比して、製造難易度や製造コストにおいて優位であり、多灯の光源を有する露光装置が多数販売されている。
【０００４】
しかしながら、光源の多灯化に伴って、均一な露光量の確保の必要性から複数の放電灯同士の均質性がより重要となってきている。そのため、露光装置の性能を安定させ、信頼性の高いプリント配線基板を製造するには、同一メーカーによって、同一材料、同一工法で製作された純正品の放電灯だけを使用することが必要となり、放電灯が純正品かどうか識別する装置及び検査方法が必要となっている。
【０００５】
露光装置に限らず光学装置において、使用されている放電灯や光源を識別する方法はいくつか知られている（例えば、特許文献１から３参照。）。例えば、特許文献１に記載のランプ異常検出装置では、ハロゲンランプなどフィラメントを使用した白熱電球に所定の電圧を供給し、フィラメントが半切れ状態時の電流値と、フィラメントが正常時の電流値とを比較して異常のあるランプを検出するとしている。しかしながら、これでは、ランプの寿命は検出できても、ランプが純正品か否かを識別することは困難である。
【０００６】
また、例えば特許文献２では、白熱灯あるいは蛍光灯といった光源と並列に抵抗及びコンデンサーが接続された回路を接続し、この光源の両端に所定の電圧を供給した時の時定数（抵抗値と容量値の積）を測定して光源が白熱灯か蛍光灯かを検出するとしている。しかしながら、これでは、時定数の大きな違い（白熱灯と蛍光灯では時定数は大きく異なる。）は検出できても、同じ白熱灯間での純正品か否かを識別することは困難である。また、例えば特許文献３では、同一白熱電球のバルブ内に封入された複数のフィラメントに紫外線を放射しつつ、それらフィラメント間の放電開始電圧を測定し、不良品を検出するとしている。しかしながら、これでは不良品は検出できても、ランプが純正品か否かを識別することは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特公平７−５２６７７号公報
【特許文献２】特表２０１０−５２７５０４号公報
【特許文献３】特開昭６２−４３０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
純正品の光源を他のメーカーによって製造された類似品の光源と識別するためには特許文献１及び３のように、光源が不良か否か、あるいは特許文献２のように異種の光源であるか否かを識別するよりも、さらに精度の高い識別装置が必要である。また、複数の光源の検査時間が露光装置の起動時間を大きく超えないことと、露光装置全体のコストを大きく増やさないことという課題も同時に解決する必要がある。
【０００９】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、プリント配線基板等の露光に用いる露光装置において、光源となる放電灯が純正品であるか否かを高精度、短時間かつ低コストで識別するための白熱灯を備えた光源装置及びその光源装置を用いた露光装置とその検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明における請求項１に記載の発明は、例えば図１に示すように、第１の露光装置１００を次のように構成した。すなわち、第１の露光装置１００は、
複数の前記光源装置４と、前記光源装置４を被照射物に向けて装着するフレーム５と、前記白熱灯２に電流を供給する定電流電源８と、前記定電流電源８からの前記電流をオン・オフするスイッチ１０と、前記放電灯１の点灯中に前記スイッチ１０をオン・オフして前記白熱灯２を所定の時間点灯する制御部９と、点灯中の前記白熱灯２の両端電圧を測定する測定部１１と、前記測定部１１にて測定された前記両端電圧と放電灯１の正否を判定する前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲とを比較する比較部１２と、
前記比較部１２からの信号を受け、前記両端電圧が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲内の場合は、検査対象放電灯が純正品であると判定し、前記両端電圧が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲外の場合は、検査対象放電灯が非純正品であると判定する判定部１３と、判定結果を表示する表示部１４とを備えることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、例えば図１に示すように、第２の露光装置１０１を次のように構成した。すなわち、第２の露光装置１０１は、
複数の前記光源装置４と、前記光源装置４を被照射物に向けて装着する前記フレーム５と、前記白熱灯２に電流を供給する前記定電流電源８と、前記定電流電源８からの前記電流をオン・オフする前記スイッチ１０と、前記放電灯１の点灯中に前記スイッチ１０をオン・オフして前記白熱灯２を所定の時間点灯する前記制御部９と、点灯中の前記白熱灯２の両端電圧を２回、各々所定の時間に測定する測定部１５と、前記測定部１５にて該白熱灯２の前記１回目測定時の電圧と前記２回目測定時の電圧との差と、放電灯の正否を判定する所定の上限値及び下限値の電圧範囲とを比較する比較部１６と、前記比較部１６からの信号を受け、前記両端電圧の差が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲内の場合は、検査対象放電灯が純正品であると判定し、前記両端電圧の差が前記所定の上限値及び下限値の電圧範囲外の場合は、検査対象放電灯が非純正品であると判定する判定部１７と、判定結果を表示する前記表示部１４とを備えることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、前記放電灯１の検査方法に関し、
複数の前記光源装置４が装備された請求項１に記載の露光装置１００及び請求項２に記載の露光装置１０１において、前記制御部９は、前記放電灯１の点灯中に前記白熱灯２を順次オン・オフして前記放電灯１の正否を順次検査することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、同一のリフレクター容器に収納された放電灯と白熱灯において、放電灯は光源として、白熱灯は放電灯が純正であるかどうかを識別するための固有の電圧を発生する抵抗装置のように利用される。白熱灯をリフレクター容器に組み込む前に、白熱灯単体に定電流を供給し、所定時間経過後の白熱灯の両端の電圧を測定する。同じ条件で複数個の白熱灯の両端の電圧を測定し、電圧分布範囲を確定する。その後、同一のリフレクター容器に収納された放電灯と白熱灯において、上記と同じ条件で測定した白熱灯の両端の電圧と上記の電圧分布範囲とを比較し、測定した電圧がその電圧分布範囲内であれば、測定した白熱灯と同一のリフレクター容器内の放電灯は純正品であると識別することができる。上記の光源装置及び露光装置においては、上記の比較判定を全ての放電灯について順次行っていき、短時間、低コストかつ高精度で放電灯が純正品か否かを識別することができる。また、上記の発明では、白熱灯の両端の電圧を１回測定すれば純正品か否かの識別が可能である。
【００１５】
本発明の光源装置で使用するのは通常の白熱灯であり、そのフィラメントの材質はタングステン等でフィラメントが発する熱によってフィラメントの抵抗値は固有の温度変化を示す。そのため、白熱灯に定電流を供給直後で、まだフィラメントの温度が低い時はその抵抗値は非常に小さく（数オーム程度）、このときの白熱灯の両端の電圧を測定し、次にフィラメントの温度が十分に上昇した時（摂氏６００度以上）には、その抵抗値は数倍に増加しており、このときの電圧を測定して、両者の電圧の差を測定するとフィラメントに固有の電圧差となる。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、上記のフィラメントに固有の温度による電圧差を利用することにより、さらに高精度で純正品を識別することが可能である。白熱灯をリフレクター容器に組み込む前に、白熱灯単体に定電流を供給し、まず白熱灯への定電流供給開始直後でフィラメントの温度が低い時の白熱灯の両端の電圧を測定し、次に所定時間経過後でフィラメントの温度が十分に上昇した時の両端の電圧を測定して、両者の電圧差を測定する。同じ条件で複数個の白熱灯の両端の電圧を測定し、電圧差分布範囲を確定する。その後、同一のリフレクター容器に収納された放電灯と白熱灯において、上記と同じ条件で測定した白熱灯の電圧差と上記の電圧差分布範囲と比較し、測定した電圧差がその電圧差分布範囲内であれば、白熱灯と同一のリフレクター容器内の放電灯は純正品であると識別することができる。上記の光源装置及び露光装置においては、上記の比較判定を全ての放電灯について順次行っていき、短時間、低コストかつより高精度で放電灯が純正品か否かを識別することができる。
【００１７】
上記の発明では、白熱灯の両端の電圧を２回測定し、１回目と２回目の温度による電圧差を測定して比較するため、白熱灯の代わりに、白熱灯のフィラメントと同様な抵抗値を有する固定抵抗器等が接続された純正品ではない放電灯を備えた光学装置を比較判定した場合でも、固定抵抗器等の温度による電圧差が白熱灯とは大きく異なるため、その光学装置の放電灯は純正品ではないと識別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施例の露光装置を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施例の光源部を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施例の光源装置を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例１のスイッチのオン・オフと白熱灯の両端電圧測定のタイミングを示すタイミング図である。
【図５】本発明の実施例２のスイッチのオン・オフと白熱灯の両端電圧測定のタイミングを示すタイミング図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を図１から５によって説明する。なお、各符号において、各部位を上位概念で示す場合にはアルファベットの枝番をつけずアラビア数字のみで示し、各部位を区別する必要がある場合(すなわち下位概念で示す場合)にはアルファベット小文字の枝番をアラビア数字に付して区別する。また、図面の説明においては、同一要素に対しては同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２０】
図３は、本発明にかかる一実施例の光源装置４を示す断面図である。放電灯１は、水銀等の発光物質が封入された内部空間１ａを有する発光部１ｂ及び発光部１ｂの内部空間１ａを封止する一対の封止部１ｃを有する発光管１ｄと、発光部１ｂ内に互いに対向して配置された一対の電極１ｅと、給電に用いられる一対の給電ワーヤー１ｆを有する。白熱灯２は通常の白熱灯であり、フィラメント２ａにはタングステン等をコイル状に加工したものが用いられる。タングステンの抵抗値は常温では非常に小さいが、フィラメントの発熱（摂氏６００度以上）により、抵抗値が数倍に大きくなる。リフレクター容器３の材質としては、ガラスあるいはアルミニウム等が考えられ、内側には回転放物面を有する反射面３ａが形成される。リフレクター容器３は、椀状底部の外側にベース部３ｂが被せられ、その接合部は接着剤３ｅで固着される。またベース部３ｂの底部はカバー部３ｃで覆われ、その接合部は口金構造で固定される。ベース部３ｂ及びカバー部３ｃは、内部に白熱灯２を収容する収容空間３ｇを有する部材であり、絶縁性及び熱伝導性の高い材料で形成するのが好適である。
【００２１】
放電灯１はリフレクター容器３の椀状底部に形成された挿入孔３ｆに封止部１ｃの一方が挿入され、挿入孔３ｆとは接着剤等で固着されている。また、封止部１ｃの一方は、ベース部３ｂの挿入孔３ｄを貫通してカバー部３ｃの内部空間に到達するように配置される。白熱灯２は、ベース部３ｂとカバー部３ｃによって形成される収容空間３ｇに配置される。
光源装置４には、放電灯１の一対の給電ワイヤー１ｆと白熱灯２の一対の給電ワーヤー２ｂの合計４本の給電ワーヤーが接続されている。
【００２２】
図２は、本発明にかかる一実施例の光源部６の平面図である。フレーム５に光源装置４が縦方向に４列、横方向に６列ずつ、それぞれ装着され、光源部６を構成している。
【００２３】
図１は、本発明の実施例１及び２の露光装置を示す概略図であり、被照射物に照射光を照射する光源部６には、複数の光源装置４が装着され、各々の光源装置４には、放電灯１に電力を供給する点灯回路７及び白熱灯２に定電流を供給する定電流電源８が接続されている。定電流電源８と白熱灯２の間には、定電流をオン・オフするスイッチ１０が直列に接続され、このスイッチ１０は制御部９によりオン・オフされる。また、定電流電源８と白熱灯２の間には、直列に抵抗３０が接続され、白熱灯２が短絡故障した場合、定電流電源８を保護する。白熱灯２の両端は電圧が測定できるように測定部１１にも接続され、抵抗１１ａは測定部１１の内部抵抗を示しており、白熱灯のフィラメント２ａの抵抗値に比べて十分に大きな抵抗値（数メガオーム程度）であり、そのため測定部１１はフィラメント２ａで発生する電圧を正確に測定することができる。
【００２４】
比較部１２には予め所定の条件で測定された複数の純正品検出用の白熱灯の電圧分布範囲が登録されており、判定部１３は比較部１２の比較結果で放電灯が純正品か否かを判定し、表示部１４はその判定結果を表示する。図１において、参照番号がカッコ書きとなっている測定部１５、比較部１６、判定部１７及び露光装置１０１は、実施例２において、実施例１の測定部１１、比較部１２、判定部１３と各々同様の構成で用いられ、その場合には露光装置１０１であることを示している。比較部１６には予め所定の条件で測定された複数の純正品検出用の白熱灯を所定の時間間隔で２回測定した際の電圧差の分布範囲が登録されている。
【実施例１】
【００２５】
図１において、露光装置１００の電源スイッチが投入されると、点灯回路７は全ての放電灯１に電力を供給する。通常、放電灯１が完全に立ち上るには数分を要する。露光装置１００の電源スイッチ投入の直後に制御部９は、光源装置４内の第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０をオンとし、定電流電源８から定電流を供給する。第１のスイッチのオン時から所定時間後、例えば１０秒後に第１の白熱灯２の両端電圧を測定部１１が測定し、その結果を比較部１２に送り、比較部１２はその結果と比較部１２に予め登録された複数の純正品検出用の白熱灯の電圧分布範囲とを比較し、登録電圧範囲内か否かを判定部１３に送り、登録電圧範囲内であれば判定部は純正品と判定し、登録範囲外であれば非純正品と判定し、その判定結果を表示部１４に表示する。測定から表示までの検査は、自動で行われるためごく短時間で終了する。
【００２６】
第１の白熱灯２の電圧測定終了後、制御部９は、第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０をオフとし、第２の白熱灯２に接続された第２のスイッチ１０をオンとし、定電流電源８から定電流を供給する。以降は、第１の白熱灯２の場合と同様に純正品か否かを判定し、全ての白熱灯２の検査を終了するまで同様の検査を行う。
【００２７】
光源部６が２４灯の放電灯で構成されている場合は、１灯当り例えば１０秒かかり、この場合は２４０秒（４分）で検査を終了する。そのため、一般的な放電灯の立ち上り時間が数分程度であり、露光装置全体の起動時間が通常１０分程度であることを考慮すれば、十分に短い時間で検査を終了することができる。
【００２８】
このとき、白熱灯２の電圧が登録電圧範囲外であり、判定部１３が非純正品と判定した場合は、表示部１４が該当する放電灯の位置を特定する情報の表示及びその放電灯が非純正品である旨を表示して、制御部９が検査を一旦中断し、その後、オペレータ等による確認後、検査を再スタートできるようにすることが好ましい。また、別の対応として、非純正品の放電灯を検出した場合も検査を中断することなく全ての放電灯の検査を行い、検査結果を表示部１４で表示する場合と同様の情報を別途、記憶装置等に格納し、全ての放電灯の検査終了後、非純正品の放電灯の位置情報等を一括して表示できるようにすることがより好ましい。
【００２９】
図４には、スイッチ１０のオン・オフのタイミングと測定部１１での測定タイミングの関係を示している。図４では第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０がオンとなった時から所定の時間後に第１の白熱灯２の両端の電圧が測定され、測定直後に第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０がオフとなり、第２の白熱灯２に接続された第２のスイッチ１０がオンとなり、所定の時間後に第２の白熱灯２の両端の電圧が測定され、以降同様に全ての白熱灯２の両端電圧が測定されることを示している。上記の構成は、従来の多灯タイプの露光装置に、定電流電源８、スイッチ１０、制御部９、測定部１１、比較部１２、判定部１３、表示部１４を追加した構成であり、特に制御部９、比較部１２、判定部１３は１台のマイクロコンピュータ等でも実現可能であり、露光装置のコストを大きく増やすものではない。
【実施例２】
【００３０】
図１において、実施例１と異なる要素は、測定部１５（内部抵抗は抵抗１５ａ）、比較部１６、判定部１７であり、他の要素は同じである。実施例１と同じ要素は説明を省略する。露光装置１０１の電源スイッチ投入の直後に、光源装置４内の第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０をオンとし定電流電源８から定電流を供給する。その直後に第１の白熱灯２の両端電圧を測定部１５が１回目の測定をし、その結果を比較部１６に送る。次に１回目の測定から所定時間後、例えば１０秒後に第１の白熱灯２の両端電圧を測定部１５が２回目の測定をし、その結果を比較部１６に送り、比較部１６は２回の測定電圧の差の電圧と、比較部１６に予め登録された複数の純正品検出用の白熱灯の電圧差分布範囲とを比較し、登録した電圧差範囲内か否かを判定部１７に送り、登録範囲内であれば判定部１７は純正品と判定し、登録範囲外であれば非純正品と判定し、その判定結果を表示部１４に表示する。測定から表示までの検査は、自動で行われるためごく短時間で終了する。
【００３１】
第１の白熱灯２の２回の電圧測定終了後、制御部９は、第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０をオフとし、第２の白熱灯２に接続された第２のスイッチ１０をオンとし、定電流電源８から定電流を供給する。以降は、第１の白熱灯２の場合と同様に純正品か否かを判定し、全ての白熱灯の検査を終了するまで同様の検査を行う。
【００３２】
図５には、スイッチ１０のオン・オフのタイミングと測定部１５での測定タイミングの関係を示している。図５では第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０がオンとなった直後に１回目の第１の白熱灯２の両端の電圧測定が行われ、さらに所定の時間後に２回目の第１の白熱灯２の両端の電圧測定が行われ、２回目の測定直後に第１の白熱灯２に接続された第１のスイッチ１０がオフとなり、第２の白熱灯２に接続された第２のスイッチ１０がオンとなり、その直後に１回目の第２の白熱灯２の両端の電圧測定が行われ、さらに所定の時間後に２回目の第２の白熱灯２の両端の電圧測定が行われ、２回目の測定直後に第２の白熱灯２に接続された第２のスイッチ１０がオフとなり、以降同様に全ての白熱灯２の両端電圧が２回ずつ測定されることを示している。
【００３３】
実施例２では、１回目及び２回目の電圧測定時間の設定は、スイッチ１０がオン状態である時間帯は、どの時間でも設定可能である。白熱灯の電圧差が登録した電圧差範囲外であり、判定部１７が非純正品と判定した場合は、実施例１の場合と同様の対応をとることが好ましい。また、実施例１において、制御部９、測定部１１、比較部１２、判定部１３、表示部１４をコントロールするコンピュータプログラムの変更でハードウェア構成を変更することなく、実施例２を実現することも可能である。
【００３４】
本発明の露光装置１００（１０１）では、光源装置４の台数が多く、それらの白熱灯２の検査時間が露光装置１００（１０１）の起動時間を大きく超えるような場合には、制御部９、定電流電源８、測定部１１（１５）、比較部１２（１６）、判定部１３（１７）、表示部１４を白熱灯２の検査に必要な台数分を増設し、これらを並列に稼働させ、白熱灯２の検査を並行して行うことにより、検査時間を増加させることなく光源装置４の台数増加に対応して検査をすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、プリント配線基板上に配線パターンを形成する露光工程用の露光装置だけでなく、放電灯を利用した液晶表示パネル用、半導体デバイス用など、全ての露光装置と部品の外観検査装置など複数のランプを有する光源装置において、純正品の放電灯が必要な装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１：放電灯、１ａ：内部空間、１ｂ：発光部、１ｃ：封止部、１ｄ：発光管、１ｅ：電極、１ｆ：給電ワーヤー、２：白熱灯、２ａ：フィラメント、２ｂ：給電ワイヤー、３：リフレクター容器、３ａ：反射面、３ｂ：ベース部、３ｃ：カバー部、３ｄ：挿入孔、３ｅ：接着剤、３ｆ：挿入孔、３ｇ：収容空間、４：本発明の光源装置、５：フレーム、６：光源部、７：点灯回路、８：定電流電源、９：制御部、１０：スイッチ、１１：測定部、１１ａ：抵抗（測定部の内部抵抗）、１２：比較部、１３：判定部、１４：表示部、１５：測定部、１５ａ：抵抗（測定部の内部抵抗）、１６：比較部、１７：判定部、３０：抵抗、１００：本発明の露光装置、１０１：本発明の露光装置。
【要約】
【課題】複数の放電灯を有する光源装置及び露光装置においては、均一で安定した露光量を確保するために同一メーカーによって、同一材料、同一工法で製作された純正品の放電灯を使用する必要があり、放電灯が純正品か否かを高精度、短時間かつ低コストに検査できる装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】光源となる放電灯１と、前記放電灯１が純正品であるかどうかを検出する白熱灯２と、前記放電灯１及び前記白熱灯２が装着されたリフレクター容器３とで構成され、前記放電灯１の点灯中に前記白熱灯２を点灯して、その両端の電圧が、純正品検出用の所定の電圧分布範囲内であるか否かを検出することにより、前記放電灯１が純正品であるか否かを判定することを特徴とする。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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