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　特願２００３−３６１８７３「光偏向器及び光学装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　５月１９日出願公開、特開２００５−１２８１４７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、平成１５年１０月２２日の出願であって、平成２１年１１月１９日付けで拒絶理由が通知され、平成２２年１月２５日に手続補正がなされたが、同年２月１９日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年５月３１日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同時に手続補正がなされたものである（以下、この平成２２年５月３１日にされた手続補正を「本件補正」という。）。
　
II．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
　本件補正は、本願特許請求の範囲の請求項１について、本件補正前の
「【請求項１】
　圧電ユニモルフ振動板と、前記圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有した支持体と、前記圧電ユニモルフ振動板に接続された弾性体と、前記弾性体に接続され、該弾性体を介して前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により前記空洞部内で回転振動する反射板とを有し、前記圧電ユニモルフ振動板、支持体、弾性体及び反射板とが一体形成された光偏向器であって、前記圧電ユニモルフ振動板は前記反射板の回転軸を挟んで対称に配置した一対あるいは二対の振動板から構成されると共に、前記圧電ユニモルフ振動板を構成する圧電素子は前記支持体上に直接成膜された圧電膜から成り、前記弾性体は前記反射板の重心位置を挟んで両側に接続された一対の弾性支持部から成り、各々の前記振動板において互いに１８０°位相が異なる二つの交流電圧が印加されることによって夫々の前記圧電素子が駆動され、該圧電素子の駆動が前記一対の弾性支持部を回転軸とする所定変位角の回転運動に変換されることによって前記反射板を回転振動させ該反射板に入射する入射光を偏向させるようにしたことを特徴とする光偏向器。」を
「【請求項１】
　圧電ユニモルフ振動板と、前記圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有した支持体と、前記圧電ユニモルフ振動板に接続された弾性体と、前記弾性体に接続され、該弾性体を介して前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により前記空洞部内で回転振動する反射板とを有し、前記圧電ユニモルフ振動板、支持体、弾性体及び反射板とが一体形成された光偏向器であって、前記圧電ユニモルフ振動板は前記反射板の回転軸を挟んで対称に配置した二対の振動板から構成されると共に、前記圧電ユニモルフ振動板を構成する圧電素子は前記支持体上に直接成膜された圧電膜から成り、前記弾性体は前記反射板の重心位置を挟んだ両側で前記反射板と前記支持体とを回転軸を同一として接続する一対の弾性支持部と、それぞれ一端が前記支持体で保持された前記二対の振動板それぞれの他端と前記反射板とを連結し且つ前記弾性支持部に対して対称に配置された先端駆動部とから成り、各先端駆動部の幅は前記弾性支持部の幅よりも大きくねじれにくいように設定され、前記各々の振動板において互いに１８０°位相が異なる二つの交流電圧が印加されることによって夫々の前記圧電素子が駆動され、該圧電素子の駆動が前記一対の弾性支持部を回転軸とする所定変位角の回転運動に変換されることによって前記反射板を回転振動させ該反射板に入射する入射光を偏向させるようにしたことを特徴とする光偏向器。」と補正するものである。
　
　ここで、本件補正前の請求項１（以下「補正前請求項」という。）は、「前記圧電ユニモルフ振動板に接続された弾性体と、前記弾性体に接続され、該弾性体を介して前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により前記空洞部内で回転振動する反射板とを有し」及び「前記弾性体は前記反射板の重心位置を挟んで両側に接続された一対の弾性支持部から成り」との発明特定事項を有するものであるから、補正前請求項における「弾性体」は、「反射板の重心位置を挟んで両側に接続された一対の弾性支持部」であり、また、「圧電ユニモルフ振動板に接続され」るものであって、補正前請求項に係る発明は、「前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により」「該弾性体を介して」「反射板」を「回転振動」させるものであると認められる。
　一方、本件補正後の請求項１（以下「補正後請求項」という。）は、「前記弾性体は前記反射板の重心位置を挟んだ両側で前記反射板と前記支持体とを回転軸を同一として接続する一対の弾性支持部と、それぞれ一端が前記支持体で保持された前記二対の振動板それぞれの他端と前記反射板とを連結し且つ前記弾性支持部に対して対称に配置された先端駆動部とから成り」との発明特定事項を有するものであるから、補正後請求項における「弾性体」は、「反射板」と「支持体」を接続する「弾性支持部」、及び、「振動板」と「反射板」を「連結し」「且つ前記弾性支持部に対して対称に配置された先端駆動部」であると認められる。　
　してみれば、補正前請求項の「弾性体」は、反射板の重心位置を挟んだ両側と振動板の間に位置してこれらを接続する弾性支持部であるのに対し、補正後請求項の「弾性体」は、反射板の重心位置を挟んだ両側と支持体を接続する弾性支持部及び振動板と反射板を連結し前記弾性支持部に対して対称に配置される先端駆動部であるから、本件補正後の弾性体に係る事項が本件補正前の弾性体に係る事項を限定するものでないことは明らかである。
　本願明細書及び図面でいえば、補正前請求項の「弾性体」は、本願明細書に記載される実施例２の弾性支持部２ａ、２ｂとして、本願図面図４に示される態様のものであるのに対し、補正後請求項の「弾性体」は、本願明細書に記載される実施例１の弾性支持部２ａ、２ｂ及び先端駆動部４ａないし４ｄとして、本願図面図１に示される態様のものであり、補正後請求項の「弾性体」が補正前請求項の「弾性体」を限定したものでないことは明らかである。
　
　以上のことから、本件補正は、請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものではない。
　さらにいえば、本件補正は、請求項に記載した発明を特定するために必要な事項である弾性体の構成を変更するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものとはいえない。
　また、本件補正は、請求項の削除、誤記の訂正、不明瞭な記載の釈明のいずれを目的とするものでもない。
　
　したがって、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項に規定する要件に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。　
　
III．本願発明について
１．本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、平成２２年１月２５日に補正された特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項によって特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記II．［理由］に本件補正前の請求項１として記載したとおりのものである。
　
２．引用例
　これに対して、原査定の拒絶理由に引用され、本願出願前の平成１５年２月２６日に頒布された特開２００３−５７５８６公報（以下「引用例１」という。）には、図とともに次の記載がある。
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射ミラー部を有する振動体の少なくとも一部を振動させることにより、反射ミラー部に入射した光の反射方向を変化させて光を走査する光走査装置、このような光走査装置に用いられる振動体及びこのような光走査装置を備えた画像形成装置に関するものである。」
　
「【００２４】次に、図２から図４を参照して、上記のような画像形成装置１００に用いられる光走査装置１の構成について説明する。図２は、本発明の第１実施形態に係る光走査装置１を示す分解斜視図であり、図３は、本発明に係る光走査装置１の振動体６の要部を示す斜視図であり、図４は、本発明の第１実施形態に係る光走査装置１の構造を示す分解斜視図である。
【００２５】図２に示すように、光走査装置１のベース台２上には一定の間隔を置いて平行に左右一対の支持部３，４が一体的に形成されており、この一対の支持部３，４の間の上面には、凹部２ａ及び凹部２ｂが形成されている。凹部２ａは、支持部３，４に隣接するように形成されている。この凹部２ａには、後述する振動体５の第２の捻りバネ部１０を振動させるための電極１１，１２が配置されている。凹部２ａは比較的浅く形成されているが、これは捻りバネ部１０と電極１１，１２をより近く位置させて捻りバネ部１０を効率よく振動させるためである。また、凹部２ｂは、凹部２ａの間の中央部に比較的深い溝状に形成されている。これは反射ミラー部８の振動を妨げないようにするためである。このようにして構成されたベース台２上に振動体５が配置されている。
【００２６】振動体５は、反射ミラー部８と、反射ミラー部に連結される捻りバネ部９，１０と、捻りバネ部９，１０が連結される固定枠部７とからなる。
【００２７】反射ミラー部８は、振動されることにより入射した光の反射方向を変化させるものである。反射ミラー部８は方形状に形成され、固定枠部７のほぼ中央部に配置されている。図３に示すように、反射ミラー部８の表面には光反射膜８ａが形成されており、反射効率を高めるようにしている。なお、反射ミラー部８の共振周波数は、動作振動周波数にほぼ一致するように設定するのが好ましい。
【００２８】捻りバネ部９，１０は、固定枠部７のほぼ中央部に配置された反射ミラー部８を捻れ変位可能に支持するものである。捻りバネ部９，１０は、反射ミラー部８の両側面の重心位置に連結され、振動により捻れ変位が発生する第１の捻りバネ部９と、その第１の捻りバネ部９に連結され、且つ、振動体５の固定枠部７に対して第１の捻りバネ部９の幅よりも広い間隔で連結されると共に、振動により捻れ変位が発生する第２の捻りバネ部１０と、からなる。第１の捻りバネ部９は反射ミラー部８を直接支持し、第２の捻りバネ部１０は第１の捻りバネ部９を支持することにより反射ミラー部８を間接的に支持するものである。
【００２９】第２の捻りバネ部１０は、平面視Ｌ字状、又は逆Ｌ字状に形成されており、その一端部が第１の捻りバネ部９に対して略垂直状に連結され、且つ、その他端部が固定枠部７に対して略垂直状に連結されている。本実施形態では、１つの第１の捻りバネ部９に対して２つの第２の捻りバネ部１０が一体的に連結されている。そして、第１の捻りバネ部９は、反射ミラー部８の重心を通る直線上に配置され、第２の捻りバネ部１０は、その直線を中心として対称となるように配置されている。
【００３０】このように捻りバネ部９，１０を構成したことにより、反射ミラー部８が振動して捻れ変位した場合でも、捻りバネ部９，１０と固定枠部７との連結点に発生する応力を分散させることができる。従って、捻りバネ部を徒に太くしたり長くしたりしなくても、反射ミラー部の共振周波数を確保しながら十分な振れ角を得ることができると共に、装置全体をコンパクト化できて、捻り振動以外の固有振動の発生を防止することができる。
【００３１】固定枠部７は、反射ミラー部８に連結された捻りバネ部９，１０を支持すると共に、振動体５をベース台２に固着させるものである。具体的には、固定枠部７の左外側端部はベース台２の一方の支持部３に固着され、右外側端部はベース台２の他方の支持部４に固着されている。そして、振動体５をベース台２の上面に固着した状態において、電極１１，１２が第２の捻りバネ部１０の下方であって、捻りバネ部１０に対向する位置に配置されている。従って、振動ミラー部８を支持する捻りバネ部９の根元部分、すなわち第２の捻りバネ部１０を振動させることにより、振動ミラー部８を低い電圧で効率よく十分な振れ角で振動させることができる。
【００３２】上記のような構成の振動体５の作製は、例えばシリコンウエハ上にパターン形成し、これをエッチングすることにより一体形成する。そして、反射ミラー部８となるべき箇所の表面にＡｌ，Ａｕ等の材料より反射膜８ａを形成すれば完成する。このように作製することによって複数のものを同時に作製できる。」
　
「【００３４】駆動手段Ｄは、ベース台２の上面に形成された凹部２ａに分割配置された左右一対の固定電極１１，１２を有し、この各固定電極１１，１２は、上記のように第２の捻りバネ部１０に対向するように配置されている。この各固定電極の相手側の電極は第２の捻りバネ部１０，１０にて形成され、第２の捻りバネ部１０，１０と各固定電極１１，１２との間には切換えスイッチＳＷにて選択的に電圧を印加できるように構成されている。そして、駆動手段Ｄは、切換えスイッチＳＷを順次切換え制御することによって一対の固定電極１１，１２に交互に電圧を印加するように構成されている。
【００３５】このような構成において、一方（図２における奥側）の固定電極１１に電圧が印加されたときには、一方（同奥側）の第２の捻りバネ部１０が静電力によって吸引されて下方に移動する。すると、第２の捻りバネ部１０の下方移動が一方（同奥側）の捩じりバネ部９を介して反射ミラー部８に伝達され、これが回転トルクとなって反射ミラー部８が略重心を通る軸を中心として回転する。
【００３６】又、他方（図２における手前側）の固定電極１２に電圧が印加されたときには、前記一方（同奥側）の吸引されていた第２の捻りバネ部１０の吸引力が解除されてその第２の捻りバネ部１０が上方に戻ると共に、他方（同手前側）の第２の捻りバネ部１０が静電力によって吸引されて下方に移動する。すると、その第２の捻りバネ部１０の下方移動が他方（同手前側）の捩じりバネ部１０を介して反射ミラー部８に伝達され、これが回転トルクとなって反射ミラー部８が略重心を通る軸を中心として回転する。
【００３７】そして、駆動手段Ｄによって一対の固定電極１１，１２に交互に電圧が印加されると、上記反射ミラー部８の回転が繰り返され、これによって反射ミラー部８が振動するものである。」
　
「【００４０】次に、本発明の第２実施形態に係る光走査装置１Ｂについて、図５を参照して説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る光走査装置１Ｂを示す分解斜視図である。なお、第２実施形態に係る光走査装置１Ｂにおいては、前記第１実施形態と比較して駆動手段Ｄの構成のみが相違し、他の構成は同一であるため、駆動手段Ｄの構成のみを説明し、その他の構成は図面に同一符号を付してその説明を省略する。
【００４１】第２実施形態においては、駆動手段Ｄとして、一対の第２の捻りバネ部１０，１０の上下面にＰＺＴ等からなる圧電体３０，３０がそれぞれ配置されている。この上下一対の圧電体３０，３０によって圧電バイモルフが構成されている。そして、一対の圧電バイモルフには互いに逆位相の電圧を周期的に印加するように構成されている。この圧電バイモルフを構成する一対の圧電体３０，３０間に電圧が印加されると、圧電材料が分極して第２の捻りバネ部１０が撓むため、捩じりバネ部９を介して第１実施形態と同様な回転トルクを反射ミラー部８に作用させることができる。
【００４２】尚、圧電体３０は第２の捻りバネ部１０の上下面の少なくとも一方だけ配置してもよく、この場合には圧電ユニモルフとして作用し、圧電バイモルフの場合に比べて発生力は低下するものの、同様な動作で行うことが可能である。」
　
　以上の記載によれば、引用例１には、第２実施形態に係る光走査装置１Ｂとして、
「凹部２ａ及び凹部２ｂが形成され、一定の間隔を置いて平行に左右一対の支持部３，４が一体的に形成されたベース台２の上面に振動体５が配置されており、
　凹部２ｂは、反射ミラー部８の振動を妨げないように比較的深い溝状に形成されており、
　振動体５は、反射ミラー部８と、反射ミラー部に連結される捻りバネ部９，１０と、捻りバネ部９，１０が連結される固定枠部７とからなり、
　反射ミラー部８は、振動されることにより入射した光の反射方向を変化させるものであり、方形状に形成され、固定枠部７のほぼ中央部に配置されており、
　捻りバネ部９，１０は、固定枠部７のほぼ中央部に配置された反射ミラー部８を捻れ変位可能に支持するものであり、反射ミラー部８の両側面の重心位置に連結され、振動により捻れ変位が発生する第１の捻りバネ部９と、その第１の捻りバネ部９に連結され、且つ、振動体５の固定枠部７に対して第１の捻りバネ部９の幅よりも広い間隔で連結されると共に、振動により捻れ変位が発生する第２の捻りバネ部１０と、からなり、
　第１の捻りバネ部９は反射ミラー部８を直接支持し、第２の捻りバネ部１０は第１の捻りバネ部９を支持することにより反射ミラー部８を間接的に支持するものであり、
　第２の捻りバネ部１０は、平面視Ｌ字状、又は逆Ｌ字状に形成されており、その一端部が第１の捻りバネ部９に対して略垂直状に連結され、且つ、その他端部が固定枠部７に対して略垂直状に連結されており、１つの第１の捻りバネ部９に対して２つの第２の捻りバネ部１０が一体的に連結されており、第１の捻りバネ部９は、反射ミラー部８の重心を通る直線上に配置され、第２の捻りバネ部１０は、その直線を中心として対称となるように配置されており、
　固定枠部７は、反射ミラー部８に連結された捻りバネ部９，１０を支持すると共に、振動体５をベース台２に固着させるものであり、固定枠部７の左外側端部はベース台２の一方の支持部３に固着され、右外側端部はベース台２の他方の支持部４に固着されており、
　上記のような構成の振動体５は、シリコンウエハ上にパターン形成し、これをエッチングすることにより一体形成されるものであり、
　一対の第２の捻りバネ部１０，１０の上下面の一方にだけＰＺＴ等からなる圧電体３０が配置され、これによって圧電ユニモルフが構成され、この圧電ユニモルフを構成する圧電体３０間に電圧が印加されると、圧電材料が分極して第２の捻りバネ部１０が撓むため、捩じりバネ部９を介して、回転トルクを反射ミラー部８に作用させることができ、この回転トルクによって反射ミラー部８は略重心を通る軸を中心として回転し、この回転が繰り返され、これによって反射ミラー部８が振動し、反射ミラー部に入射した光の反射方向を変化させて光を走査する光走査装置１Ｂ。」（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
３．対比
　本願発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「第２の捻りバネ部１０」は、「上下面の一方にだけＰＺＴ等からなる圧電体３０が配置され、これによって圧電ユニモルフが構成され」るから、本願発明の「圧電ユニモルフ振動板」に相当する。
　引用発明において、「固定枠部７は、反射ミラー部８に連結された捻りバネ部９，１０を支持すると共に、振動体５をベース台２に固着させるものであり、固定枠部７の左外側端部はベース台２の一方の支持部３に固着され、右外側端部はベース台２の他方の支持部４に固着されており」、また、固定部７には、第２の捻りバネ部１０の他端部が連結されている。
　したがって、引用発明の「（振動体５が固定枠部７で固着された）ベース台２」は、第２の捻りバネ部１０の一端部を支持するものといえ、さらに、この「ベース台２」には「凹部２ｂ」が形成されているから、引用発明の「ベース台２」は、本願発明の「前記圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有した支持体」に相当する。
　引用発明の「第１の捻りバネ部９」は、「第２の捻りバネ部１０」に連結されているから、本願発明の「前記圧電ユニモルフ振動板に接続された弾性体」に相当する。
　引用発明において、「第１の捻りバネ部９は反射ミラー部８を直接支持し、第２の捻りバネ部１０は第１の捻りバネ部９を支持することにより反射ミラー部８を間接的に支持するものであり」、「第２の捻りバネ部１０が撓むため、捩じりバネ部９を介して、回転トルクを反射ミラー部８に作用させることができ、この回転トルクによって反射ミラー部８は略重心を通る軸を中心として回転し、この回転が繰り返され、これによって反射ミラー部８が振動する」とともに、「凹部２ｂは、反射ミラー部８の振動を妨げないように比較的深い溝状に形成されて」いるから、引用発明の「反射ミラー部８」は、本願発明の「前記弾性体に接続され、該弾性体を介して前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により前記空洞部内で回転振動する反射板」に相当する。
　引用発明において、「反射ミラー部８と、反射ミラー部に連結される捻りバネ部９，１０と、捻りバネ部９，１０が連結される固定枠部７と」からなる「振動体５」は、「シリコンウエハ上にパターン形成し、これをエッチングすることにより一体形成されるもの」であり、また、引用発明の「光走査装置１Ｂ」は「光偏向器」といえるから、引用発明と本願発明は、「前記圧電ユニモルフ振動板、弾性体及び反射板とが一体形成された光偏向器」である点で一致する。
　引用発明において、「第２の捻りバネ部１０は、平面視Ｌ字状、又は逆Ｌ字状に形成されており、その一端部が第１の捻りバネ部９に対して略垂直状に連結され、且つ、その他端部が固定枠部７に対して略垂直状に連結されており、１つの第１の捻りバネ部９に対して２つの第２の捻りバネ部１０が一体的に連結されており、第１の捻りバネ部９は、反射ミラー部８の重心を通る直線上に配置され、第２の捻りバネ部１０は、その直線を中心として対称となるように配置されて」いるから、引用発明は、本願発明の「前記圧電ユニモルフ振動板は前記反射板の回転軸を挟んで対称に配置した一対あるいは二対の振動板から構成される」との事項を備える。
　引用発明において、「捻りバネ部９，１０は、…、反射ミラー部８の両側面の重心位置に連結され」、「第１の捻りバネ部９は、反射ミラー部８の重心を通る直線上に配置され」ているから、引用発明は、本願発明の「前記弾性体は前記反射板の重心位置を挟んで両側に接続された一対の弾性支持部から成り」との事項を備える。
　引用発明は、「一対の第２の捻りバネ部１０，１０の上下面の一方にだけＰＺＴ等からなる圧電体３０が配置され、これによって圧電ユニモルフが構成され」るものであり、引用発明の「圧電体３０」が本願発明の「圧電素子」に相当するところであるから、引用発明と本願発明は、ともに「前記圧電ユニモルフ振動板は構成要素として圧電素子を有する」ものであるといえる。
　引用発明は、「圧電ユニモルフを構成する圧電体３０間に電圧が印加されると、圧電材料が分極して第２の捻りバネ部１０が撓むため、捩じりバネ部９を介して、回転トルクを反射ミラー部８に作用させることができ、この回転トルクによって反射ミラー部８は略重心を通る軸を中心として回転し、この回転が繰り返され、これによって反射ミラー部８が振動し、反射ミラー部に入射した光の反射方向を変化させて光を走査する」ものであるから、「反射ミラー部８の重心を通る直線」を「中心として対称となるように配置されて」いる「第２の捻りバネ部１０」のそれぞれの圧電体に印加される電圧は、その位相が互いに１８０°異なるものであることは当業者に明らかな事項であって、引用発明は、本願発明と同様に「各々の前記振動板において互いに１８０°位相が異なる二つの交流電圧が印加されることによって夫々の前記圧電素子が駆動され、該圧電素子の駆動が前記一対の弾性支持部を回転軸とする所定変位角の回転運動に変換されることによって前記反射板を回転振動させ該反射板に入射する入射光を偏向させるようにした」ものといえる。
　
　以上のことから、両者は、
「圧電ユニモルフ振動板と、前記圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有した支持体と、前記圧電ユニモルフ振動板に接続された弾性体と、前記弾性体に接続され、該弾性体を介して前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により前記空洞部内で回転振動する反射板とを有し、前記圧電ユニモルフ振動板、弾性体及び反射板とが一体形成された光偏向器であって、前記圧電ユニモルフ振動板は前記反射板の回転軸を挟んで対称に配置した一対あるいは二対の振動板から構成されると共に、前記弾性体は前記反射板の重心位置を挟んで両側に接続された一対の弾性支持部から成り、前記圧電ユニモルフ振動板は構成要素として圧電素子を有するものであり、各々の前記振動板において互いに１８０°位相が異なる二つの交流電圧が印加されることによって夫々の前記圧電素子が駆動され、該圧電素子の駆動が前記一対の弾性支持部を回転軸とする所定変位角の回転運動に変換されることによって前記反射板を回転振動させ該反射板に入射する入射光を偏向させるようにした光偏向器。」の点で一致し、次の点で相違する。
　
ａ．本願発明においては、「圧電ユニモルフ振動板、支持体、弾性体及び反射板とが一体形成され」ているのに対し、引用発明においては、ベース台２の支持部３，４と、（反射ミラー部８と、反射ミラー部に連結される捻りバネ部９，１０と、捻りバネ部９，１０が連結される固定枠部７とからなる）振動板５は、固着されており、一体形成されていない点。
ｂ．本願発明は、「圧電ユニモルフ振動板を構成する圧電素子は前記支持体上に直接成膜された圧電膜から成」るのに対し、引用発明の「圧電体３０」がこのようなものか不明な点
　
４．相違点についての検討
　上記相違点について検討する。
　原査定の拒絶理由に引用された特開平１０−２５３９１２号公報（以下「引用例２」という。）には、光走査装置について、図とともに次の記載がある。
　
「【００２５】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）図１に、本発明の第１実施形態に係る２次元光走査装置の全体構成図を示し、図２に図１中のＡ−Ａ断面を示す。シリコン基板１には、裏面からのエッチングによって図２に示すように薄肉部２が形成されている。この薄肉部２には貫通溝３が形成されており、この貫通溝３の形成によって、薄肉部２は、ミラー部１２、第１スプリング部（第１の捩じれ振動部）１４、第１フレーム部１６（第１の保持部）、第２スプリング部１３（第２の捩じれ振動部）、第２フレーム部（第２の保持部）１５などの可動部を有する構造となる。これらは、図１９に示したミラー部１０２、第１スプリング部１１４、第１フレーム部１１６、第２スプリング部１１３、第２フレーム部１１５と同等の機能を有し同等の作用を行う。
【００２６】また、薄肉部２は片持ち梁構造となっており、その支持部上にＰＺＴ等の圧電体膜２１〜２４が形成されている。圧電体膜２１〜２４は、圧電ユニモルフ構造となっており、図１９に示した圧電バイモルフ１２１〜１２４と同等の機能を有し同等の作用を行うもので、薄肉部２を振動させる加振手段を構成している。」
　
「【００３１】…、スパッタ、ゾルーゲル法、ＣＶＤ等によりＰＺＴ等の圧電体膜２１〜２４（図では圧電体膜２３を示している）を形成する（図３（ｆ））。」
　
　上記相違点ａについて検討するに、引用例２には、光走査装置において、ミラー部等の可動部を、シリコン基板を裏面からエッチングして形成した薄肉部により構成することが記載されているから、引用発明における反射ミラー部８と反射ミラー部に連結される捻りバネ部９，１０を、シリコン基板を裏面からエッチングして形成した薄肉部により構成するようにして、上記相違点ａに係る本願発明の発明特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　このとき、シリコン基板のエッチングされずに残った部分が本願発明の「支持体」に相当し、エッチングされた部分が本願発明の「空洞部」に相当することは明らかである。
　
　上記相違点ｂについて検討するに、引用例２には、スパッタ、ゾルーゲル法、ＣＶＤ等によりＰＺＴ等の圧電体膜を形成することが記載されているから、その圧電体膜は、支持部上に直接成膜されているものと認められる。
　してみれば、引用発明において、ＰＺＴ等からなる圧電体３０を第２の捻りバネ部１０の面上に配置するにあたり、圧電体膜を直接成膜するようにして、上記相違点ｂに係る本願発明の発明特定事項とすることは、当業者が容易に成し得たものと認められる。
　
　また、本願発明が奏する効果についても、引用例１及び引用例２に記載された事項に基づいて当業者が予測可能なものであって、格別のものとはいえない。
　　
５．むすび
　したがって、本願発明は、引用例１及び引用例に２記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。