【事件の表示】
　特願２００３−２９８２５５「基板検査装置および基板観察装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　３月１７日出願公開、特開２００５−　６９７９６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　出願の経緯
　本願は，平成１５年８月２２日を出願日とする特許出願で，平成２２年４月２６日付けで補正の却下の決定とともに拒絶査定がなされ，これに対し同年８月９日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに，同日付で手続補正（以下，「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２　本件補正について
本件補正によって，特許請求の範囲の請求項１〜２（以下，「本願発明１」〜「本願発明２」という。）は，以下のとおり補正された。下線は，補正部分を示す。
「【請求項１】
　ＣＣＤ撮像素子またはＣＭＯＳ撮像素子をもつカメラと，該カメラの光軸と垂直に配置された，基板を把持するステージと，前記カメラが基板面内の任意の一部分を撮像可能となるように，カメラとステージとを相対移動させる駆動手段およびその制御手段と，該ステージ後方から基板を照明する照明手段と，カメラのシャッターを制御する制御手段と，カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に配置され，基板に塗布された複数の着色膜のすべてについ
て光
【請求項２】
　ＣＣＤ撮像素子またはＣＭＯＳ撮像素子をもつカメラと，該カメラの光軸と垂直に配置された，基板を把持するステージと，前記カメラが基板面内の任意の一部分を撮像可能となるように，カメラとステージとを相対移動させる駆動手段およびその制御手段と，該ステージ後方から基板を照明する照明手段と，カメラのシャッターを制御する制御手段と，カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に配置され，基板に塗布された複数の着色膜のすべてについ
て光
　
　本件補正は，補正前の請求項３の「すべてについて，」の読点を省くとともに新たな請求項１とし，同じく補正前の請求項６の「すべてについて，」の読点を省くとともに新たな請求項２とした上で，残りの請求項２〜５を削除したものであるから，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前（以下，「平成１８年改正前」という。）の特許法第１７条の２第４項第１号の請求項の削除を目的とするものに該当する。
　
第３　引用刊行物およびその記載事項
　原査定の理由にも引用された，本願出願日前に頒布された刊行物である，特開平１０−１４２１０１号公報（以下，「引用刊行物１」という。）には，以下の事項が記載されている。
（１−ア）
「【特許請求の範囲】
【請求項１】  基板上に形成された着色膜に透過光をあて，当該基板を透過してきた光の強度を検出して着色膜の部分的な膜厚の変化を測定する際に，検査光源と被検査体との間に検査しようとする着色膜の補色の一部分を透過するような補色フィルターを使用することを特徴とする着色膜の検査方法。」
　
（１−イ）
「【０００５】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決する本発明の要旨の第１は，基板上に形成された着色膜に透過光をあて，当該基板を透過してきた光の強度を検出して着色膜の部分的な膜厚の変化を測定する際に，検査光源と被検査体との間に検査しようとする着色膜の補色の一部分を透過するような補色フィルターを使用することを特徴とする着色膜の検査方法，にある。また，本発明の要旨の第２は，基板上に形成された着色膜に透過光をあて，当該基板を透過してきた光の強度を検出して着色膜の部分的な膜厚の変化を測定する際に，被検査体と光検出器との間に検査しようとする着色膜の補色の一部分を透過するような補色フィルターを使用することを特徴とする着色膜の検査方法，にある。このような検査方法とすることにより，所定以上の光強度変化を生じた着色膜の領域を高い精度で検出することができる。
【０００６】ここで，本発明で補色の一部と呼んでいる色フィルター（以下「補色フィルター」という。）は，赤色膜を検査するときには赤色の補色であるシアンもしくはシアンを構成するスペクトル波長の一部である緑色，青色を言い，青色膜を検査するときには黄色もしくは緑色，赤色を言い，緑色膜を検査するときにはマゼンタ色もしくは青色，赤色をさすが，厳密な色純度を持つことは必要でなく，当該スペクトル波長領域を超えない広い範囲の色が使用できる。上記のような本発明では，例えば赤色の着色膜の検査の場合，普通の蛍光灯等で検査すると６００から７００ｎｍの光は着色膜の濃度もしくは膜厚を変えても光検出器の測定値はほとんど変化せず，通常部に対する異常部の４００から７００ｎｍのトータルの透過光強度は微少な変化率しか得られない。それに対して，補色フィルターを使い４００ｎｍから６００ｎｍのみを検出すると，通常時の透過光量に対して異常時の透過光量の変化が際立って強調され，微少な変化が検出できることとなる。」
　
（１−ウ）
「【０００７】
【発明の実施の形態】以下，図１を参照して本発明の最良の実施形態について説明することとする。図１は，本発明の着色膜の検査方法に使用するカラーフィルターの検査装置の一例を説明するための概略構成図である。図１に示される検査装置１は，着色膜が形成された被検査体１０を搬送するための搬送部２，この搬送部２上を搬送される被検査体１０に光を当てる光源３，被検査体と光源の間に設置し光源の光の選択波長部分を透過する補色フィルター４，被検査体を透過してきた光を検出する光検出器５，この光検出器からの画像信号を電気的に処理して着色膜の異常部分を検出する検査処理部６，および検査処理部６で処理された画像を表示するための画像表示部７とを備えている。なお，被検査体１０は，基板１０ｂ上に着色膜１０ａが形成されており通常は液晶用のカラーフィルター等が対象となる。
【０００８】搬送部２は被検査体１０を一定の速度で搬送するためのものであり，光検出器５がラインセンサーの場合には図示例のようなコロ搬送装置２ａのほかにステージ搬送などとすることができ，光検出器５がエリアセンサーの場合には検査時に一瞬停止するようなステージ搬送系とすることができ，これらの搬送方式は被検査体１０の製造ラインおよび検査ライン等を考慮して適宜選択することができる。また，被検査体１０に搬送速度ムラの影響が及ぶことを防止するために，搬送部２にエンコーダを取り付け，光検出器の入力と同期を取るようにしてもよい。このような搬送部２による被検査体１０の搬送速度は，例えば０．５から１０．０ｍ／分程度の範囲で設定することができる。
【０００９】光源３は被検査体の下方もしくは上方から被検査体に検査光を照射するものであり，例えば高周波蛍光灯，ハロゲンランプのライン照明等を使用することができる。ただし，現像前の着色膜の測定のためには紫外線をカットしていることが好ましい。また，補色フィルター４は被検査体の補色の一部を透過するものであり，セロファン紙，樹脂製カラーフィルター，色ガラス等を使用することができる。光検出器５は被検査体１０を透過してきた光を検出するものであり，例えばＣＣＤラインセンサー，ＣＣＤエリアセンサー等を使用することができる。」
　
（１−エ）
「【００１０】図２は，本発明の着色膜の検査方法を使用するカラーフィルターの検査装置の他の一例を説明するための概略構成図である。図２に図示される検査装置１は，着色膜が塗布された被検査体１０を搬送するための搬送部２，この搬送部２上を搬送される被検査体１０に光を当てる光源３，被検査体１０と光検出器５の間に設置し光源の光の選択波長部分を透過する補色フィルター４，被検査体を透過してきた光を検出する光検出器５，この光検出器からの画像信号を電気的に処理して着色膜の異常部分を検出する検査処理部６，および検査処理部６で処理された画像を表示するための画像表示部７とを備えている。
【００１１】搬送部２は被検査体１０を一定の速度で搬送するためのものであり，光検出器５がラインセンサーの場合には図示例のようなコロ搬送装置２ａのほかにステージ搬送などとすることができ，光検出器５がエリアセンサーの場合には検査時に，一瞬停止するようなステージ搬送系とすることができ，被検査体１０の製造ラインおよび検査ライン等を考慮して適宜選択することができる。また，被検査体１０に搬送速度ムラの影響が及ぶことを防止するために，搬送部２にエンコーダをを取り付け，光検出器の入力と同期を取るようにしてもよい。このような搬送部２による被検査体１０の搬送速度は，例えば０．５から１０．０ｍ／分程度の範囲で設定することができる。
【００１２】光源３は被検査体の下方もしくは上方から被検査体に検査光を照射するものであり，例えば高周波蛍光灯，ハロゲンランプのライン照明等を使用することができる。また，補色フィルター４は被検査体の補色の一部を透過するものであり，セロファン紙，樹脂製カラーフィルター，色ガラス等を使用することができ，光検出器５に取り付けることもできる。光検出器５は被検査体１０を透過してきた光を検出するものであり，例えばＣＣＤラインセンサー，ＣＣＤエリアセンサー等撮像カメラに使用するものを使用することができる。」
　
（１−オ）
「【００１３】図３は，従来の着色膜の検査方法での赤色カラーフィルターの分光透過率曲線である。図３において，は赤色の着色膜において異常のない通常部の透過率曲線，は透過率が低くなってしまった異常部の透過率曲線，は透過率が高くなってしまった異常部の透過率曲線である。赤色の着色膜の検査の場合，普通の白色蛍光灯等で検査すると，６００から７００ｎｍの波長域の光は着色層の濃度，もしくは膜厚を変えてもほとんど変化せず，通常部に対する異常部の４００から７００ｎｍのトータルの透過光強度は１：１．０５程度の微少な変化率しか得られない。それに対して，図４のようなシアンの補色フィルターを使い４００ｎｍから６００ｎｍのみを検出すると，通常時の透過光量に対して異常時の透過光量の変化が１：２程度に強調され，微少な変化が検出できることとなる。この場合，使用する補色フィルターはシアンだけではなく，その一部である，図５に図示する４００〜５００ｎｍの青色，５００〜６００ｎｍの緑色または４５０ｎｍ〜５５０ｎｍ等で同様の効果を得ることができる。要するに，シアン色のスペクトル波長のいずれかの部分を使用していれば良いということになる。
【００１４】同様に青色のフィルターを検査するときには補色である黄色のフィルター，その一部である赤色，緑色のフィルターを使用して同様の効果を得ることができる，緑色のフィルターを検査するときには補色であるマゼンタ色のフィルター，その一部である赤色，青色のフィルターを使用して同様の効果をえることができる。また，フィルターには，ＣＣＤの分光感度に対する感度を調整するためのライトバランスフィルターやＩＲカットフィルター，ＵＶカットフィルターを複合して使用することができる。本発明によって強調されて検出された画像信号から不良部分を抽出するには，検査処理部にてさらに電気的に微分処理，コンボリューション，統計処理をおこなうこと等によって強調して，２値化，３値化等の処理によって抽出することができる。上述のように，本発明の着色膜の検査方法は検査光として着色膜の補色光またはその一部波長領域を有する光を使用することによって着色膜の微少な濃度異常を高い感度で検出することができる。」
　
　そうすると，これら（１−ア）〜（１−オ）の記載と，図１〜図５を総合すると，引用刊行物１には，次の発明が記載されていると認められる。
「ＣＣＤラインセンサー，ＣＣＤエリアセンサー等撮像カメラと，被検査体１０を搬送する搬送部と，被検査体の下方から被検査体に検査光を照射する光源３と，補色フィルタ４と，画像信号を電気的に処理して着色膜の異常部分を検出する検査処理部６，とを備えたカラーフィルターの検査装置。」（以下，「引用発明」という。）
　
　また，同じく原査定の理由にも引用された，本願出願日前に頒布された刊行物である，特開平５−９９７８７号公報（以下，「引用刊行物２」という。）には，以下の事項が記載されている。
（２−ア）
「【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルターの検査方法は，絵素電極がマトリクス状又はストライプ状に配設された第１の透明基板と，対向電極が形成された第２の透明基板とが，該絵素電極及び対向電極を内面側にし，かつ両基板間に液晶層を介在して対向配設され，第１，第２の透明基板の一方にカラーフィルターが設けられて構成されるカラー液晶表示装置の該カラーフィルターの検査方法において，特定波長域の光を透過する検査用色フィルターと光源との間に，該カラーフィルターが形成された第１又は第２の透明基板を配置する工程と，該光源から発した光をカラーフィルターに照射して，カラーフィルターの欠陥部を透過した光と，正常部を透過した光とを該検査用色フィルターに通し，これにより両光のコントラストを大きくして検査する工程とを含んでおり，そのことによって上記目的が達成される。
【０００８】
【作用】本発明にあっては，特定波長域の光を透過する検査用色フィルターに，検査対象であるカラーフィルターを透過した光を通す。このため，検査用色フィルターの特定波長域を所望域とすることにより，カラーフィルターの正常部を透過した赤，緑，青の各色を検査用色フィルターで大幅にカットできる。これに対して，カラーフィルターの欠損部を透過した光は全波長域を有するものであり，この光を検査用色フィルターに通してもカットされる割合を，上述の正常部を透過した光のカット割合よりも小さくできる。これにより，正常部を透過した光と欠損部を透過した光とのコントラストが向上する。」
　
（２−イ）
「【００１２】次に，検査用色フィルター３が透過光２に及ぼす影響について説明する。
【００１３】図２は，青色透過率曲線Ａ，緑色透過率曲線Ｂ，赤色透過率曲線Ｃ，欠損部を透過した欠損部透過率曲線Ｄ及び検査用色フィルター３の分光曲線Ｅにおける波長（ｎｍ）と透過率との関係を示す。この図において波長が５３５ｎｍのときには，緑色透過率曲線Ｂは正常部では最高透過率６８％を示し，欠損部透過率曲線Ｄにおいては全波長域で１００％の透過率を示す。よって，両曲線Ｂ，Ｄにおける最高透過率の比は，６８（正常部）：１００（欠損部）≒１：１．４７となる。この比が，従来の検査におけるコントラストである。
【００１４】ところで，本実施例では主波長５８０ｎｍの分光曲線Ｅを有する検査用色フィルター３を用いているので，緑色透過率曲線Ｂにおける正常部の透過率は，緑色透過率曲線Ｂと分光曲線Ｅとの積となり，波長が５８０ｎｍのときに３０％（緑色）×２７％（検査用色フィルター）＝８．１％となる。また，欠損部９の透過率は欠損部透過率曲線Ｄと分光曲線Ｅとの積となり，５８５ｎｍのときに１００％（欠損部）×２８％（検査用色フィルター）＝２８％となる。よって，検査用色フィルター３を設けた場合の比は，８．１（正常部）：２８（欠損部）≒１：３．４６となる。
【００１５】したがって，本実施例においては，従来検査に比較し，３．４６／１．４７＝２．３５倍に緑色に関してコントラストを向上できる。なお，説明は省略するが，他の赤色や青色についても検査用色フィルター３を設けることにより，同様にコントラストが向上する。」
　
（２−ウ）
「【００１９】なお，本発明に使用する検査用色フィルター３としては，形成方式の種別，形状に限定されず，染色方式，顔料方式，電着方式等により形成してもよく，またストライプ形状，デルタ形状となしてもよい。
【００２０】上記実施例においては欠損部の検出はオペレータにより行っているが，これに限定されず，機械的検査方式によってよい。
【００２１】また，上記実施例においては検査用色フィルター３として，赤緑青のカラー透過光４の３つの波長の平均透過率が最も低くなる５８０ｎｍ付近に主波長を有するものを用いたが，検査用色フィルター３の分光特性は検査対象であるカラーフィルターの透過率曲線に応じて任意に設定してもよい。」
　
第４　対比・判断
　本願発明１と引用発明とを対比すると，その機能・構造からみて，引用発明の「ＣＣＤラインセンサー，ＣＣＤエリアセンサー等撮像カメラ」及び「カラーフィルター」は，それぞれ，本願発明１の「ＣＣＤ撮像素子またはＣＭＯＳ撮像素子をもつカメラ」及び「基板」に相当する。
　上記摘記事項（１−エ）及び図３の記載からして，引用発明の「搬送部２」は，撮像カメラの光軸と垂直に配置された被検査体１０を載置するステージ部分を備え，検査に応じて駆動制御されるものであるといえ，そうすると，引用発明の「搬送部２」は，本願発明１の「該カメラの光軸と垂直に配置された，基板を把持するステージと，前記カメラが基板面内の任意の一部分を撮像可能となるように，カメラとステージとを相対移動させる駆動手段およびその制御手段」に相当する。
　さらに，引用発明の「被検査体の下方から被検査体に検査光を照射する光源３」は，本願発明１の「該ステージ後方から基板を照明する照明手段」に相当する。
　そして，引用発明の「補色フィルタ４」について，上記摘記事項（１−イ），（１−オ）かつ図３〜５の記載から，例えば赤色のフィルター（６２０−７５０ｎｍ付近の波長を透過する）を検査する際には，その補色であるシアンの補色フィルター（４００ｎｍ〜６００ｎｍ），青色のフィルタ（４００〜５００ｎｍ），緑色（５００〜６００ｎｍ）等が利用可能であることが記載されている。そうすると，引用発明の「補色フィルタ４」と，本願発明１の「基板に塗布された複数の着色膜のすべてについて光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター」とは，「基板に塗布された着色膜について光透過率の低い波長域を透過する光学フィルター」である点で共通する。
　また，引用発明の「画像信号を電気的に処理して着色膜の異常部分を検出する検査処理部６」は，本願発明１の「該画像を元に良否判定を行う判定手段」に相当する。
　そうすると，両者は，
（一致点）
「ＣＣＤ撮像素子またはＣＭＯＳ撮像素子をもつカメラと，該カメラの光軸と垂直に配置された，基板を把持するステージと，前記カメラが基板面内の任意の一部分を撮像可能となるように，カメラとステージとを相対移動させる駆動手段およびその制御手段と，該ステージ後方から基板を照明する照明手段と，カメラのシャッターを制御する制御手段と，カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に配置され，基板に塗布された着色膜について光透過率の低い波長域を透過する光学フィルターと，カメラから得られた画像をを元に良否判定を行う判定手段とを有することを特徴とする基板検査装置。」
である点で一致し，以下の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願発明１は「カメラから得られた画像を蓄積，保存する記録手段」を備えているのに対し，引用発明は当該構成を備えていない点。
　
（相違点２）
　測定対象である「基板に塗布された着色膜」について，本願発明１では「複数の着色膜」であるのに対し，引用発明においては単色である点。
　
（相違点３）
　「基板に塗布された着色膜について光透過率の低い波長域を透過する光学フィルター」について，本願発明１では「基板に塗布された複数の着色膜のすべてについて光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター」であるのに対し，引用発明では「基板に塗布された着色膜について光透過率の低い波長域を透過する光学フィルター」である点。
　
　（相違点１）について検討するに，画像処理装置において，カメラで得られた画像を蓄積，保存する記録手段を備えることは技術常識であり，設計事項である。
　次に（相違点２）及び（相違点３）について検討する。
　上記摘記事項（２−ア）〜（２−ウ）には，複数色を載置したカラーフィルターの欠損部を検査する装置として，赤緑青の三色を同時に検査するために，赤緑青のカラー透過光４の３つの波長の平均透過率が最も低くなる５８０ｎｍ付近に主波長を有するものを用いて，正常部と欠損部のコントラストを上げる装置が記載されている。
　そうすると，引用刊行物２には，基板検査装置において，基板に塗布された複数の着色膜のすべてについて光透過率の低い波長域を透過する光学フィルターを用いる事項が記載されているといえる。
　さらに，上記摘記事項（２−ウ）には，「検査用色フィルター３の分光特性は検査対象であるカラーフィルターの透過率曲線に応じて任意に設定してもよい」旨記載されているから，測定対象である着色膜の光透過率の低い波長域については適宜選択しうるものであるといえ，「光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター」を選択することは設計事項であるといえる。
　そうすると，引用発明に，引用刊行物２に記載された事項，及び上記設計事項を適用して，（相違点１）〜（相違点３）における本願発明１の構成とすることは，当業者にとって容易に想到し得る事項であるということができる。
　そして，本願明細書に記載された効果も，引用発明，引用刊行物２に記載された事項，及び上記設計事項から，当業者が予測し得る範囲のものであり，格別顕著なものといえない。
　
　したがって，本願発明１は，引用発明および引用刊行物２に記載された発明，及び上記設計事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるというべきである。
　
第５　まとめ
　以上のとおり，本願発明１は，特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができないから，その余の請求項の発明ついて言及するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。