【事件の表示】
　特許第６１２８８３７号発明「接着剤組成物の製造方法、接着剤組成物及び接着フィルム」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第６１２８８３７号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１〜６〕及び〔７〜１１〕について訂正することを認める。 
　特許第６１２８８３７号の請求項１〜８及び１１に係る特許を維持する。
　特許第６１２８８３７号の請求項９及び１０に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第６１２８８３７号の請求項１〜１１に係る特許についての出願は、平成２４年１２月２６日（優先権主張　平成２４年２月２１日）に特許出願され、平成２９年４月２１日に特許権の設定登録がされ、同年５月１７日にその特許公報が発行され、平成２９年１１月１７日に、その請求項１〜１１に係る発明の特許に対し、袖岡恭子（以下「特許異議申立人Ａ」という。）により、特許異議の申立てがされ、請求項１〜４、７〜１１に対し、駒井佳子（以下「特許異議申立人Ｂ」という。）により、特許異議の申立てがされたものである。
　特許異議の申立て後の手続の経緯は次のとおりである。
　平成３０年　１月２６日付け　取消理由通知
　　　　同年　３月３０日　　　意見書・訂正請求書（特許権者）
　　　　同年　４月１１日付け　通知書
　　　　同年　５月１６日　　　意見書（特許異議申立人Ａ）
　　　　同年　５月１６日　　　意見書（特許異議申立人Ｂ）
　
第２　訂正の適否
１　訂正の内容
　平成３０年３月３０日付けの訂正請求による訂正（以下「本件訂正」という。）の「請求の趣旨」は「特許第６１２８８３７号の明細書、特許請求の範囲を本訂正請求書に添付した訂正明細書、訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１〜１１について訂正することを求める。」というものであり、その内容は、以下の訂正事項１〜１２のとおりである（なお、訂正に関連する箇所に下線を付す。）。
　
（１）訂正事項１
　訂正前の請求項１において
「接着剤組成物に含まれる、金属成分を含む膠着防止剤を除去する精製工程を包含し、
　上記精製工程において、上記接着剤組成物を含む溶液を濾過することを特徴とするウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法。」とあるのを、
　訂正後の請求項１において
「
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液から、上記（ｉｉ）
　上記精製工程
は
樹脂
により樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させる
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（２）訂正事項２
　訂正前の請求項２において
「上記精製工程において、上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤に由来する金属成分の含有量を、上記接着剤組成物の全固体重量に対して２ｐｐｍ以下にすることを特徴とする請求項１に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法。」とあるのを、
　訂正後の請求項２において
「上記精製工程において、上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止
剤の
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（３）訂正事項３
　訂正前の請求項３において
「上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する樹脂を含む樹脂溶液中において当該樹脂を再沈殿させた後、当該樹脂溶液から取り出した樹脂を上記接着剤組成物に含有させることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法。」とあるのを、
　訂正後の請求項３において
「上記精製工程の前に、上記
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（４）訂正事項４
　訂正前の請求項４において
「上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する樹脂を溶液中において洗浄した後、当該樹脂を含む溶液から取り出した樹脂を上記接着剤組成物に含有させることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法。
」とあるのを、
　訂正後の請求項４において
「上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（５）訂正事項５
　訂正前の請求項５において
「上記精製工程の前に、風力選別により上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤を集塵することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法。」とあるのを、
　訂正後の請求項５において
「上記精製工程の前に、風力選別により上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤を集塵することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（６）訂正事項６
　訂正前の請求項６において
「上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する樹脂を溶液中に浸漬させた状態で、超音波洗浄した後、当該樹脂を含む溶液から取り出した樹脂を上記接着剤組成物に含有させることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法。」とあるのを、
　訂正後の請求項６において
「上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（７）訂正事項７
　訂正前の請求項７において
「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み、該膠着防止剤に由来する金属成分の含有量が、全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下であることを特徴とするウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物。」とあるのを、
　訂正後の請求項７において
「
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含むウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物であって、
　
上記
剤の
上記接着剤組成物の
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（８）訂正事項８
　訂正前の請求項８において
「上記ウエハは、上記支持体と接着した後に電極形成工程に供されることを特徴とする請求項７に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物。」とあるのを、
　訂正後の請求項８において
「上記ウエハは、上記支持体と接着した後に電極形成工程に供されることを特徴とする請求項７に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（９）訂正事項９
　訂正前の請求項９を削除する。
　
（１０）訂正事項１０
　訂正前の請求項１０を削除する。
　
（１１）訂正事項１１
　訂正前の請求項１１において
「フィルム上に、請求項７〜１０のいずれか１項に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物からなる接着層が形成されていることを特徴とする接着フィルム。」とあるのを、
　訂正後の請求項１１において
「フィルム上に、請求項７
または８
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
（１２）訂正事項１２
　訂正前の明細書の段落０１１４において
「接着剤組成物を濾過してメタル含有量を測定する以外は、」とあるのを
　訂正後の明細書の段落０１１４において
「接着剤組成物を濾過
しないで
　
２　訂正の適否 
（１）訂正事項１について
ア　訂正の目的
　訂正事項１は、訂正前の請求項１の「金属成分を含む膠着防止剤」について、「金属成分」を「塩鉱物」に特定し、「膠着防止剤」が「塩鉱物により構成される」ものであることを特定し、同「精製工程」における「濾過」について、「塩鉱物の量を低減させる」ものであることに特定し、同「接着剤組成物」の用途について、「ウエハと当該ウエハの支持体とを接着した後に」、さらに、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるとともに、同「精製工程」において「濾過」される「溶液」について、「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液」であることを特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項１は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
（ア）訂正後の請求項１の「
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液から、上記（ｉｉ）
　本件特許明細書の段落００３８に「本発明に係る接着剤組成物は、炭化水素樹脂又はエラストマーを溶解する溶剤を含んでいる…溶剤としては、例えば、非極性の炭化水素系溶剤…を用いることができる」と記載され、同段落００１５に「当該樹脂としては炭化水素樹脂およびエラストマーから選択される少なくとも１種を含む」と記載され、同段落００６０に「膠着防止剤の例として、例えば、タルク…等の塩鉱物」と記載されていることから、
　上記「精製工程」は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものと認める。
　
（イ）訂正後の請求項１の「上記精製工程
は
樹脂
により樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させる
　本件特許明細書の段落００６１に「接着剤組成物中に含まれる膠着防止剤の量が低減している」と記載され、上記「濾過」の作用についての特定は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものと認められる。
　
（ウ）訂正後の請求項１の「ウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　本件特許明細書の段落００７７に「ウエハと支持体とを接着した状態で接着剤層に直接溶剤を供給することによって、容易に接着剤層が溶解して当該接着剤層が除去され、ウエハと支持体とを分離することができる」と記載され、同段落０１１８に、接着剤層の溶解による除去が、有機溶媒の一種である「ｐ−メンタン」を用いて行われることが記載されているから、上記「接着剤組成物」の用途の特定は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　
（エ）したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（２）訂正事項２
ア　訂正の目的
　請求項２は請求項１を引用するものであるところ、訂正事項２は、訂正前の請求項２の「膠着防止剤に由来する金属成分の含有量」について、上記訂正事項１によって、請求項１において、「金属成分」が「塩鉱物」に特定され、「膠着防止剤」が「塩鉱物により構成される」ものであることが特定されたことにともない、「膠着防止剤の含有量」と特定するものであり、また、同「接着剤組成物」の用途について、訂正事項１と同様に、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項２は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
（ア）上記アで述べたように、訂正事項２は訂正事項１にともなうものであるから、訂正事項１と同様に、訂正事項２の訂正事項は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものと認められる。
　
（ウ）したがって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（３）訂正事項３
ア　訂正の目的
　請求項３は請求項１又は２を引用するものであるところ、訂正事項３は、訂正前の請求項１の「精製工程」において「濾過」される「溶液」について、「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液」であることを特定する訂正事項１にともない、接着剤組成物を形成する「樹脂」について、「炭化水素樹脂またはエラストマー」と特定し、さらに、同「接着剤組成物」の用途について、訂正事項１と同様に、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項３は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　上記アで述べたように、訂正事項３は訂正事項１及び２にともなうものであるから、訂正事項３は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（４）訂正事項４
ア　訂正の目的
　請求項４は請求項１又は２を引用するものであるところ、訂正事項４は、訂正事項３と同様に、接着剤組成物を形成する「樹脂」について、「炭化水素樹脂またはエラストマー」と特定し、さらに、同「接着剤組成物」の用途について、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項４は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項４は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項３と同様に、訂正事項４は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（５）訂正事項５
ア　訂正の目的
　請求項５は、請求項１又は２を引用するものであるところ、訂正事項５は、訂正事項１と同様に、「接着剤組成物」の用途について、「ウエハと当該ウエハの支持体とを接着した後に」、さらに、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項５は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項５は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項３と同様に、訂正事項５は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（６）訂正事項６
ア　訂正の目的
　請求項６は、請求項１又は２を引用するものであるところ、訂正事項６は、訂正事項３と同様に、「接着剤組成物を形成する樹脂」について、「炭化水素樹脂またはエラストマー」と特定し、さらに、同「接着剤組成物」の用途について、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項６は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項３と同様に、訂正事項６は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（７）訂正事項７について
ア　訂正の目的
　訂正事項７は、訂正前の請求項７の「金属成分を含む膠着防止剤」について、「金属成分」を「塩鉱物」に特定し、「膠着防止剤」が「塩鉱物により構成される」ものであることを特定し、同「膠着防止剤に由来する金属成分の含有量」を「膠着防止剤の含有量」と特定し、該含有量を規定する固体重量の基準を「接着剤組成物」と特定し、同「接着剤組成物」に含まれる組成について、「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む」点を特定し、同「接着剤組成物」の用途について、「ウエハと当該ウエハの支持体とを接着した後に」、さらに、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項７は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項７は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　本件特許明細書の段落００３８に「本発明に係る接着剤組成物は、炭化水素樹脂又はエラストマーを溶解する溶剤を含んでいる…溶剤としては、例えば、非極性の炭化水素系溶剤、極性及び無極性の石油系溶剤等を用いることができる」と記載され、同段落００１５に「当該樹脂としては炭化水素樹脂およびエラストマーから選択される少なくとも１種を含む」と記載され、同段落００６０に「膠着防止剤の例として、例えば、タルク…等の塩鉱物」と記載され、同段落００６２に「膠着防止剤に由来する金属成分の含有量が、接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下である」と記載され、同段落００７７に「ウエハと支持体とを接着した状態で接着剤層に直接溶剤を供給することによって、容易に接着剤層が溶解して当該接着剤層が除去され、ウエハと支持体とを分離することができる」と記載されていることから、訂正事項７は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（８）訂正事項８
ア　訂正の目的
　請求項８は、請求項７を引用するものであるところ、訂正事項８は、訂正前の請求項８の「接着剤組成物」の用途について、訂正事項７と同様に、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項８は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項８は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項７と同様に、訂正事項８は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（９）訂正事項９
ア　訂正の目的
　訂正事項９は、訂正前の請求項９を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　したがって、訂正事項９は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更
　訂正事項９は、訂正前の請求項９を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項９は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項９は、訂正前の請求項９を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項９は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（１０）訂正事項１０
ア　訂正の目的
　訂正事項１０は、訂正前の請求項１０を削除するものであるから、特許法第１２０条の５第２項第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　したがって、訂正事項１０は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる事項を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更
　訂正事項１０は、訂正前の請求項１０を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項１０は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項１０は、訂正前の請求項１０を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項１０は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（１１）訂正事項１１
ア　訂正の目的
　訂正前の請求項１１は、請求項７〜１０のいずれか１項を引用するものであるところ、訂正事項９、１０に係る訂正にともない、多数項を引用している請求項１１において、引用先の請求項９、１０を削除し、引用請求項数を減少し、さらに、訂正前の請求項１１の「接着剤組成物」の用途について、訂正事項７と同様に、「接着剤組成物を形成する樹脂」について、「炭化水素樹脂またはエラストマー」と特定し、さらに、同「接着剤組成物」の用途について、「ウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤によって除去するため」のものである点を特定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　上記アで述べたように、訂正事項１１は「特許請求の範囲の減縮」のみを目的とするものであるから、訂正事項１１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項１１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項８と同様に、訂正事項１１は、願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項１１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（１２）訂正事項１２
ア　訂正の目的
　訂正事項１２は、本件特許明細書の段落０１１４の記載について、本件特許の出願当時の技術常識に照らして意味不明の「接着剤組成物を濾過してメタル含有量を測定する」との記載部分を、技術常識に適合する「接着剤組成物を濾過
しないで
　したがって、訂正事項１２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に掲げる事項を目的とするものに該当する。
　
イ　特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　訂正事項１２は、本件特許明細書中の記載を本件特許の出願当時の技術常識に適合する記載に改めるためのものであって、訂正前の明細書に記載された「接着剤組成物を濾過してメタル含有量を測定する」の内容が技術常識に照らして「接着剤組成物を濾過しないでメタル含有量を測定する」を本来意図していることが明らかであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
　したがって、訂正事項１２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合する。
　
ウ　新規事項の有無（特許明細書等に記載した事項の範囲内のものか否か）
　訂正事項１２は、本件特許明細書中の記載を本件特許の出願当時の技術常識に適合する記載に改めるためのものであって、訂正前の明細書に記載された「接着剤組成物を濾過してメタル含有量を測定する」の内容が技術常識に照らして「接着剤組成物を濾過しないでメタル含有量を測定する」を本来意図していることが明らかであるから、新たな技術的事項を導入するものではない。 
　したがって、訂正事項１２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
（１３）一群の請求項について
　訂正事項１〜６に係る訂正前の請求項１〜６について、その請求項２〜６はそれぞれ請求項１を直接又は間接に引用しているものであるから、訂正前の請求項１〜６に対応する訂正後の請求項１〜６は特許法第１２０条の５第４項に規定される一群の請求項である。
　したがって、訂正事項１〜６による本件訂正は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項に対してなされたものである。
　
　訂正事項７〜１１に係る訂正前の請求項７〜１１について、その請求項８〜１１はそれぞれ請求項７を直接又は間接に引用しているものであるから、訂正前の請求項７〜１１に対応する訂正後の請求項７〜８及び１１は特許法第１２０条の５第４項に規定される一群の請求項である。
　したがって、訂正事項７〜１１による本件訂正は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項に対してなされたものである。 
 　 
　訂正事項１２による明細書の訂正に係る請求項は、訂正前の請求項１〜１１であるから、訂正事項１２と関係する一群の請求項が請求の対象とされている。
　したがって、訂正事項１２による本件訂正は、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第４項に適合するものである。
　
（４）訂正の適否のまとめ
　以上総括するに、訂正事項１〜１２による本件訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号又は第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第４項、及び、同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合するので、訂正後の請求項〔１〜６〕、〔７〜１１〕について訂正を認める。
　
第３　本件発明
　本件訂正により訂正された請求項１〜１１に係る発明（以下「本１発明」〜「本１１発明」ともいう。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された次の事項により特定されるとおりのものである（訂正箇所に下線を付す。）。 
　
「【請求項１】
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液から、上記（ｉｉ）
　上記精製工程
は
樹脂
により樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させる
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項２】上記精製工程において、上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止
剤の
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項３】上記精製工程の前に、上記
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項４】上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項５】上記精製工程の前に、風力選別により上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤を集塵することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項６】上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項７】
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含むウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物であって、
　
上記
剤の
上記接着剤組成物の
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項８】上記ウエハは、上記支持体と接着した後に電極形成工程に供されることを特徴とする請求項７に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
【請求項１１】フィルム上に、請求項７
または８
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　
第４　取消理由の概要
１　当審が通知した取消理由の概要
　訂正前の請求項１〜１１に係る発明の特許に対して平成３０年１月２６日付けで当審が特許権者に通知した取消理由の概要は、次のとおりである。
〔理由１〕本件特許の請求項１〜１１に係る発明は、発明の詳細な説明の記載が下記の（１）〜（５）の点で不備のため、特許法第３６条第４項第１号に適合するものではない。
　
〔理由２〕本件特許の請求項１〜１１に係る発明は、特許請求の範囲の記載が下記の（１）〜（４）の点で不備のため、特許法第３６条第６項第２号に適合するものではない。
　
（１）請求項１の「金属成分を含む膠着防止剤を除去する」という事項の意味するところが明確ではなく、その実施をすることができない。
　
（２）請求項７の「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み」の「のみ」という事項の意味するところが明確ではなく、その実施をすることができない。
　
（３）請求項１の「除去」と請求項７の「を含み」という事項の意味するところが明確ではなく、その実施をすることができない。
　
（４）請求項２及び７の「膠着防止剤に由来する金属成分」の意味ないし内容が明確ではなく、その実施をすることができない。
　
（５）本件特許明細書の「実施例１〜１０」において「膠着防止剤に由来する金属成分」がどのようなものか明らかではなく、その実施をすることができない。
　
　よって、本件特許の請求項１〜１１に係る発明に係る特許は、同法第３６条第４項第１号及び第６項第２号の規定を満たさない特許出願に対してなされたものであり、同法第１１３条第１項第４号の規定により取り消されるべきものである。
　
〔理由３〕本件特許の請求項７及び９に係る発明は、本件出願日前に日本国内又は外国において頒布された以下の刊行物に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
　
　刊行物１：特開平１１−２９３２２４号公報（特許異議申立人Ｂの甲第６号証）
　
　よって、本件特許の請求項７及び９に係る発明に係る特許は、同法第２９条の規定に違反してなされたものであり、同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである。
　
〔理由４〕本件特許の請求項１〜４及び７〜１１係る発明は、本件出願日前に日本国内又は外国において頒布された以下の刊行物に記載された発明に基いて、本件出願日前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　甲第１号証：特開２００６−３２８１０４号公報
　甲第２号証：特開２００４−３０３９９９号公報
　甲第３号証：増補　プラスチックおよびゴム用添加剤実用便覧
　甲第４号証：「特集　熱可塑性エラストマー／粘着剤」〔日本ゴム協会誌第６１巻第２号（１９８８）〕
　甲第５号証：特開２００５−２１３２００号公報
　甲第６号証：特開平１１−２９３２２４号公報
　甲第７号証：特表平１１−５０８９２４号公報
　甲第８号証：特開２００２−３７１１３６号公報
　甲第９号証：特開２００２−３３８９３３号公報
甲第１０号証：国際公開第２０１１／１２５６１６号
　
　よって、本件特許の請求項１〜４及び７〜１１に係る発明に係る特許は、同法第２９条の規定に違反してなされたものであり、同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである。
　
２　特許異議申立人Ａが申し立てた取消理由の概要
　特許異議申立人Ａが申し立てた取消理由の概要は、取消理由１（特許法第３６条第４項第１号）及び取消理由２（特許法第３６条第６項第２号）により、訂正前の本件特許の請求項１〜１１に係る特許を取り消す旨の決定がなされるべきものであると主張し、その不備として以下の（１）〜（５）を指摘しているものである。
　
（１）本１発明は、接着剤組成物を含む溶液を濾過することにより金属成分を含む膠着防止剤を除去するのか、或いは、接着剤組成物を含む溶液を濾過することにより膠着防止剤に含まれる金属成分を除去するのか、発明が明瞭とは言い難い（特許異議申立書の第１５頁第２７行〜第１６頁第２行）。
　
（２）本件特許明細書の実施例からは、膠着防止剤を含む組成物が明示されていないので、当業者は本１〜６発明の実施ができないものである（特許異議申立書の第１６頁第１５〜１７行）。
　
（３）本２発明は、「接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤に由来する金属成分」の文言が不明であり、接着剤組成物に含まれる金属成分が、膠着防止剤に由来するものか、そうでないのかを当業者はどう判別するのか不明である（特許異議申立書の第１６頁第２６行〜第１７頁第２行）。
　
（４）本７発明の構成要件「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み」とする「のみ」の表現が何を意味するのかが不明であり、そのような市販品を入手するにはどのようにすべきかは全く不明であるから、当業者が本件特許発明を実施することができない（特許異議申立書の第１８頁第１８行〜第１９頁第６行）。
　
（５）炭化水素樹脂には、通常、重合触媒残渣に由来する金属が含まれており、様々な金属供給源由来の金属が含まれていると考えられる接着剤組成物中の含有金属について、「膠着防止剤に由来する金属成分の含有量」をどのように測定するかを明らかにする記載が見当たらないので、本２及び７発明などを当業者が実施することは不可能である（特許異議申立書の第１９頁第２５行〜第２０頁第２５行）。
　
３　特許異議申立人Ｂが申し立てた取消理由の概要
　特許異議申立人Ｂは、取消理由１（特許法第２９条第２項）により、訂正前の本件特許の請求項１〜４及び７〜１１に係る特許を取り消す旨の決定がなされるべきものであると主張し、証拠として上記『１〔理由４〕』に示した甲第１号証〜甲第１０号証を提示している。
　
第５　当審の判断 
１　取消理由通知に記載した理由１（実施可能要件）及び理由２（明確性要件）について
　上記第４　１（１）〜（５）の点について、本件訂正により、本件特許の特許請求の範囲の記載から、同（１）の訂正前の「金属成分を含む膠着防止剤」という事項、同（２）の訂正前の「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み」という事項、同（３）の訂正前の「除去」と「を含み」に対応する事項、並びに同（４）及び（５）の訂正前の「膠着防止剤に由来する金属成分」という事項についての記載はなくなり、取消理由通知に記載した理由１及び２はいずれも解消した。
　
　また、同（１）の点について、訂正前の請求項１の「金属成分を含む膠着防止剤を除去する精製工程」という事項は、訂正後の請求項１の「上記（ｉｉ）膠着防止剤を除去する精製工程」という事項に訂正されたので、その「除去」の対象となる成分が「（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤」のみを意味することが明確になった。
　
　また、同（２）の点について、訂正前の請求項７の「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み」という事項は、訂正後の請求項７の「（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤」のみを「含む」という事項に訂正されたので、その膠着防止剤の範囲に、本件特許明細書の段落００６０の記載にあるステアリン酸鉛などの鉱物に由来しない金属塩を含まず、タルクやハイドロタルクなどの鉱物に由来する金属塩のみを含むことを意味することが明確になった。
　
　また、同（３）の点について、訂正前の請求項１の「金属成分を含む膠着防止剤を除去する」という事項と、訂正前の請求項７の「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み」という事項は、訂正後の請求項１の「上記塩鉱物の量を低減させる」という事項と、訂正後の請求項７の「上記膠着防止剤の含有量が、…１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下である」という事項に訂正されたので、塩鉱物により構成される膠着防止剤の含有量が一定レベルの濃度にまで低減されることを意味するものとして明確になった。
　
　また、同（４）の点について、訂正前の請求項２及び７の「膠着防止剤に由来する金属成分の含有量」という事項は、訂正後の請求項２及び７の「上記接着剤組成物の全固体重量」に対する「上記膠着防止剤の含有量」という事項に訂正されたので、その「含有量」の意味するところが明確になった。
　
　また、同（５）の点について、本件特許明細書の段落０１０８には「得られた接着剤組成物中の膠着防止剤に由来する金属成分の含有量（メタル含有量）」を「ＩＣＰ−ＭＳ（アジレントテクノロジー株式会社製、製品名：７５００ｃｓ）」により測定できると記載されており、同段落００６０の記載にあるように、タルク（Ｍｇ３Ｓｉ４Ｏ１０（ＯＨ）２）などの塩鉱物に含まれる金属成分の割合は当業者の技術常識として知られている。そして、膠着防止剤を添加する前の樹脂材料に含まれる不純物としての金属成分の量も同段落０１０８の測定装置により測定できることは明らかであり、樹脂材料に配合する膠着防止剤の種類と量を仕様書に指定して原料の調達をできることは当業者に明らかであり、精製工程により塩鉱物の量を低減させた後の接着剤組成物中に含まれる金属成分の含有量を測定する方法も同段落０１０８に記載されているから、本件特許明細書の実施例１〜１０で使用された樹脂材料の内容が不明であったとしても、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載に接した当業者であれば、過度の試行錯誤を要することなく、本１〜８及び１１発明を実施できるといえる。
　
　以上のとおりであるから、訂正後の請求項１〜８及び１１の記載は、特許を受けようとする発明が明確であって、特許法第３６条第６項第２号に適合するものではないとはいえない。
　また、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は、当業者が本１発明〜本８発明及び本１１発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものであって、特許法第３６条第４項第１号に適合するものではないとはいえない。
　そして、取消理由通知に記載した理由１及び２によっては、本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許が、特許法第３６条第４項第１号又は第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるとはいえないから、同法第１１３条第４号の規定により取り消されるべきものであるとすることはできない。
　
２　取消理由通知において採用しなかった実施可能要件及び明確性要件に関する特許異議申立理由について
（１）上記第４　２（１）の「本１発明は、接着剤組成物を含む溶液を濾過することにより金属成分を含む膠着防止剤を除去するのか、或いは、接着剤組成物を含む溶液を濾過することにより膠着防止剤に含まれる金属成分を除去するのか、発明が明瞭とは言い難い」という点について、
　本件訂正により、訂正前の「金属成分を含む膠着防止剤」という事項についての記載はなくなり、訂正後の本１発明は、濾過により「塩鉱物により構成される膠着防止剤」を除去することが明らかになったので、当該（１）の点について理由があるとはいえない。
　
（２）上記第４　２（２）の「本件特許明細書の実施例からは、膠着防止剤を含む組成物が明示されていないので、当業者は本１〜６発明の実施ができない」という点について、
　本１〜６発明の実施に必要な膠着防止剤を含む組成物は、本件特許明細書の段落００６０に説明された「タルク」などの「塩鉱物」を「膠着防止剤」として樹脂材料に配合すれば得られるものであり、そのために必要な塩鉱物や樹枝材料の各々は周知慣用のものであって、樹脂材料のメーカーに普通に発注して得られることが明らかであるから、実施例で使用されている市販品の仕様が不明であったとしても、そのことにより本１〜６発明の実施ができないということはできない。このため、当該（２）の点について理由があるとはいえない。
　
（３）上記第４　２（３）の「本２発明は、「接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤に由来する金属成分」の文言が不明であり、接着剤組成物に含まれる金属成分が、膠着防止剤に由来するものか、そうでないのかを当業者はどう判別するのか不明である」という点について、
　本件訂正により、訂正前の「膠着防止剤に由来する金属成分」という事項についての記載はなくなり、訂正後の本２発明は、塩鉱物により構成される膠着防止剤の含有量を２ｐｐｍ以下にすることが明らかになったので、当該（３）の点について理由があるとはいえない。
　
（４）上記第４　２（４）の「本７発明の構成要件「膠着防止剤として、金属成分を含む膠着防止剤のみを含み」とする「のみ」の表現が何を意味するのかが不明であり、そのような市販品を入手するにはどのようにすべきかは全く不明であるから、当業者が本件特許発明を実施することができない」という点について、
　本件訂正により、訂正前の「のみ」に対応する事項についての記載はなくなり、訂正後の本７発明は、膠着防止剤として「塩鉱物により構成される膠着防止剤」を含むものであることが明らかになったので、当該（４）の点について理由があるとはいえない。
　
（５）上記第４　２（５）の「炭化水素樹脂には、通常、重合触媒残渣に由来する金属が含まれており、様々な金属供給源由来の金属が含まれていると考えられる接着剤組成物中の含有金属について、「膠着防止剤に由来する金属成分の含有量」をどのように測定するかを明らかにする記載が見当たらないので、本２及び７発明などを当業者が実施することは不可能である」という点について、
　本件訂正により、訂正前の「膠着防止剤に由来する金属成分」という事項についての記載はなくなり、訂正後の本２及び７発明は、塩鉱物により構成される膠着防止剤の含有量を２ｐｐｍ以下にすることが明らかになったので、当該（５）の点について理由があるとはいえない。
　
（６）したがって、上記第４　２（１）〜（５）の理由によっては、本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許が、特許法第３６条第４項第１号又は第６項第２項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるとはいえないから、同法第１１３条第４号の規定により取り消されるべきものであるとすることはできない。
　
３　取消理由通知に記載した理由１及び２に関する意見書の特許異議申立人Ａ及びＢの主張について
（１）特許異議申立人Ａの平成３０年５月１６日付けの意見書の第２頁の「訂正後の請求項１は、「上記樹脂溶液を濾過することにより樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させること」を構成要件とし、特許権者は、濾過によって膠着防止剤が減少することを明確に記載していると述べておられるが、濾過の対象となる樹脂溶液中の塩鉱物の量が不明であり定まっていないものであるから、濾過によって膠着防止剤が減少さえすれば発明の目的や解決課題が十分に達成できるとは到底考え難いものである。」との主張について、課題解決の達成の可否は、理由１（実施可能要件）及び理由２（明確性要件）の取消理由と関係のないことはさておき、濾過の対象となる塩鉱物の当初の量が不明であっても、その量が少しでも低減されれば、本件特許明細書の段落０００８の「残渣が生じると、基板の電気特性や歩留まりの低下」という問題が少なくなることは明らかなので、当該主張を斟酌しても本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許が、特許法第３６条第４項第１号又は第６項第２項に規定する要件を満たしていないとすることはできない。
　
（２）特許異議申立人Ａの同意見書の第３頁の「本件訂正後の請求項１では、「…上記（ｉｉ）膠着防止剤を除去する精製工程を包含し、…」と記載があるが、膠着防止剤を除去することは膠着防止剤が完全に取り除かれるものと解することができるところ、その後の表現には、「上記樹脂溶液を濾過することにより樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させること」と記載しており、塩鉱物（膠着防止剤）を除去することと低減することとは矛盾があるようにも考えられる。従って、本件訂正後の請求項１に係る発明は、依然として、不明瞭である。」との主張について、訂正後の請求項１の「除去」は「完全に除去」として特定されておらず、膠着防止剤の「一部を除去」するものを意味するものと自然には解されるので、当該主張を斟酌しても本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許が、特許法第３６条第４項第１号又は第６項第２項に規定する要件を満たしていないとすることはできない。
　
（３）特許異議申立人Ａの同意見書の第３〜６頁の「本件特許明細書には、実施例で使用している（濾過前の）接着剤組成物の市販品の入手の際のカタログ・製品情報等から、当該接着剤組成物に含まれる膠着防止剤の種類を把握することができず、…したがって、本件特許明細書の実施例からは、膠着防止剤を含む組成物が明示されておらず、また出願時の技術常識を鑑みても当業者は本件訂正後の請求項１および７に係る発明を実施することができないものである。」との主張、並びに特許異議申立人Ｂの平成３０年５月１６日付けの意見書の第７〜８頁の「樹脂材料のメーカがそのノウハウ等のため、カタログ等には材料の成分を詳細に記載することはなく、…このため、本件特許発明を実施することは困難である。」との主張について、本１発明〜本８発明及び本１１発明の実施に必要な樹脂材料は、周知慣用の「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマー」に、本件特許明細書の段落００６０に説明された「タルク」などの「塩鉱物」を「膠着防止剤」として配合すれば、普通に得られるものであり、その入手は市販品に限られるものではなく、樹脂材料のメーカーに普通に発注すれば得られることが明らかであるから、当該主張を斟酌しても本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許が、特許法第３６条第４項第１号又は第６項第２項に規定する要件を満たしていないとすることはできない。
　
４　取消理由通知に記載した理由３（訂正前の本７及び９発明の新規性）について
（１）甲第６号証（刊行物１）の記載事項
　甲第６号証には、次の記載がある。
摘記６ａ：請求項１
「【請求項１】シリコンウエハーを加工処理する際に一時的に仮着しておくために使用するアルカリ水溶液可溶性接着剤であって、ロジンまたはその誘導体またはロジンの二塩基酸の変性物の単独またはその混合物からなり、そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下であることを特徴とするシリコンウエハー用仮着接着剤。」
　
摘記６ｂ：段落０００１
「【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハー用仮着接着剤に関し、精密切断、穴開け、研磨加工や、ウエハと定盤との間の仮着といったような種々の加工の際の仮着に有用な接着剤に関するものである。」
　
（２）甲第６号証に記載された発明
　摘記６ａの「接着剤であって、…そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下であることを特徴とするシリコンウエハー用仮着接着剤。」との記載、及び
　摘記６ｂの「本発明は…ウエハと定盤との間の仮着…に有用な接着剤に関するものである。」との記載、及び
　摘記６ｃの「実施例１」に関する記載からみて、甲第６号証には、
『ウエハと定盤との間の仮着に有用な接着剤であって、そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下であるシリコンウエハー用仮着接着剤。』についての発明（以下「甲６発明」という。）が記載されているといえる。
　
（３）対比
　本７発明と甲６発明とを対比する。
　甲６発明の「ウエハと定盤との間の仮着に有用な接着剤」と本７発明の「ウエハと当該ウエハの支持体とを接着した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去するための接着剤組成物」は、両者とも「ウエハと当該ウエハの支持体とを仮着するための接着剤組成物」という点において共通する。
　また、甲６発明の「そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下である」と本７発明の「膠着防止剤の含有量が、上記接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下」は、両者とも「金属含有成分の含有量が、上記接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下」という点において共通する。
　
　してみると、本７発明と甲６発明は、『ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物であって、金属含有成分の含有量が、上記接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下であるウエハと当該ウエハの支持体とを仮着するための接着剤組成物。』という点において一致し、次の〔相違点α〕の点において相違する。
　
〔相違点α〕接着剤組成物が、本７発明においては「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤」を含むものとして特定されているのに対して、甲６発明は、本７発明の「（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤」を含まない点。
　
（４）判断
　上記〔相違点α〕について、甲第６号証には、本件特許明細書の段落００６０に例示される「タルク（Ｍｇ３Ｓｉ４Ｏ１０（ＯＨ）２）」などの「塩鉱物」を「膠着防止剤（滑剤）」として含むことについて、示唆を含めて記載がなく、上記〔相違点α〕が微差であるともいえない。
　そして、本７発明と甲６発明との対比において、上記〔相違点α〕の相違点が実質的な相違点として存在する以上、本７発明が甲第６号証に記載された発明であるとは認められない。
　したがって、取消理由通知に記載した理由３によっては、本７発明に係る特許が、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであるとはいえないから、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものであるとすることはできない。
　なお、本９発明は訂正により削除されているので、本９発明について、取消理由通知に記載した理由３は成り立たない。
　
５　取消理由通知に記載した理由４（訂正前の本１〜４及び７〜１１発明についての進歩性）について
（１）引用した刊行物の記載事項
ア　甲第１号証の記載事項
　甲第１号証には、次の記載がある。
摘記１ａ：請求項１
「【請求項１】溶融温度が５０〜３００℃であり、溶融温度幅が３０℃以下であり、かつ、溶融温度における溶融粘度が０．１Ｐａ・ｓ以下である接着機能成分と、溶剤と、必要に応じて添加剤とを含む溶液型の接着剤組成物であって、該接着機能成分の含有量が５〜３０ｗｔ％であり、かつ、該組成物の２５℃における溶液粘度が５〜１００ｍＰａ・ｓの範囲にあることを特徴とする接着剤組成物。」
　
摘記１ｂ：段落００５１
「【００５１】なお、以下の実施例で用いた接着機能成分は、予めテトラヒドロフラン溶液とし、２０重量部のイオン交換樹脂を加えて１０時間攪拌混合することによって脱イオン化処理を行い、Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属含有量が１ｐｐｍであることを確認して用いた。」
　
イ　甲第６号証（刊行物１）の記載事項
　甲第６号証には、上記第５　４（１）に示したとおりの記載がある。
　
（２）刊行物に記載された発明
ア　甲第１号証に記載された発明
　摘記１ａの「溶融温度が５０〜３００℃であり、溶融温度幅が３０℃以下であり、かつ、溶融温度における溶融粘度が０．１Ｐａ・ｓ以下である接着機能成分と、溶剤と、必要に応じて添加剤とを含む溶液型の接着剤組成物であって、該接着機能成分の含有量が５〜３０ｗｔ％であり、かつ、該組成物の２５℃における溶液粘度が５〜１００ｍＰａ・ｓの範囲にあることを特徴とする接着剤組成物。」との記載、及び
　摘記１ｂの「なお、以下の実施例で用いた接着機能成分は、予めテトラヒドロフラン溶液とし、２０重量部のイオン交換樹脂を加えて１０時間攪拌混合することによって脱イオン化処理を行い、Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属含有量が１ｐｐｍであることを確認して用いた。」との記載からみて、甲第１号証には、
『予めテトラヒドロフラン溶液とし、２０重量部のイオン交換樹脂を加えて１０時間攪拌混合することによって脱イオン化処理を行い、Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属含有量が１ｐｐｍであることを確認して用いた接着機能成分と、溶剤と、必要に応じて添加剤とを含む溶液型の接着剤組成物の製造方法。』についての発明（以下「甲１発明」という。）が記載されているといえる。
　
イ　甲第６号証に記載された発明
　甲第６号証には、上記第５　４（２）に示したとおりの「甲６発明」が記載されているといえる。
　また、甲第６号証には、上記第５　４（２）に示したのと同様な理由により、製造方法の発明として、以下の発明（以下「甲６方法発明」という。）が記載されているといえる。
『ウエハと定盤との間の仮着に有用な接着剤の製造方法であって、そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下であるシリコンウエハー用仮着接着剤の製造方法。』
　
（３）甲第１号証を主引用例とした場合の検討（本１〜４発明）
ア　対比
　本１発明と甲１発明とを対比する。
　甲１発明の「接着機能成分と、溶剤と、必要に応じて添加剤とを含む溶液型の接着剤組成物」と本１発明の「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液」は、本件特許明細書の段落００１５の「本発明に係る接着剤組成物は、接着性を付与するための樹脂を含んでいる。当該樹脂としては炭化水素樹脂およびエラストマーから選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。」との記載からみて、本１発明の「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマー」は「接着性を付与」するための「接着機能成分」に相当することから、両者とも「（ｉ）接着機能成分と、（ｉｉ）金属含有成分と、（ｉｉｉ）溶剤とを含む溶液」という点において共通する。
　また、甲１発明の「予めテトラヒドロフラン溶液とし、２０重量部のイオン交換樹脂を加えて１０時間攪拌混合することによって脱イオン化処理を行い、Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属含有量が１ｐｐｍであることを確認して用い」ることと本１発明の「上記（ｉｉ）膠着防止剤を除去する精製工程を包含し、上記精製工程は、上記樹脂溶液を濾過することにより樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させること」とは、両者とも「上記（ｉｉ）金属含有成分を除去する精製工程を包含し、上記精製工程は、上記溶液を処理することにより溶液中の上記金属の量を低減させる」点において共通する。
　そして、甲１発明の「接着剤組成物の製造方法」は、本１発明の「接着剤組成物の製造方法」に相当する。
　
　してみると、本１発明と甲１発明は、『（ｉ）接着機能成分と、（ｉｉ）金属含有成分と、（ｉｉｉ）溶剤と、を含む溶液から、上記（ｉｉ）金属含有成分を除去する精製工程を包含し、上記精製工程は、上記溶液を処理することにより溶液中の上記金属の量を低減させる、接着剤組成物の製造方法。』という点において一致し、次の〔相違点β〕〜〔相違点ε〕の点において相違する。
　
〔相違点β〕（ｉ）の接着機能成分が、本１発明においては「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマー」であるのに対して、甲１発明においては、接着機能成分の具体的な種類が特定されていない点（なお、甲第１号証の請求項３には「分子内にステロイド骨格およびまたは水酸基を含有する化合物またはその誘導体」が例示されている。）。
　
〔相違点γ〕（ｉｉ）の金属含有成分が、本１発明においては「（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤」であるのに対して、甲１発明においては「Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属」である点。
　
〔相違点δ〕（ｉｉｉ）の溶剤が、本１発明においては「（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤」であるのに対して、甲１発明においては、溶剤の具体的な種類が特定されていない点（なお、甲第１号証の請求項７には「イソプロピルアルコール」などが例示されている。）。
　
〔相違点ε〕精製工程が、本１発明においては「上記樹脂溶液を濾過することにより樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させる」ものであるのに対して、甲１発明においては「予めテトラヒドロフラン溶液とし、２０重量部のイオン交換樹脂を加えて１０時間攪拌混合することによって脱イオン化処理を行」って「Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属含有量」を低減させるものである点。
　
イ　判断
　上記〔相違点γ〕について、甲第１号証には、本件特許明細書の段落００６０に例示される「タルク（Ｍｇ３Ｓｉ４Ｏ１０（ＯＨ）２）」などの「塩鉱物」を「膠着防止剤（滑剤）」として含む樹脂溶液について、示唆を含めて記載がない。
　また、本１発明は、本件特許明細書の段落０００８の「膠着防止剤が含まれる接着剤をウエハとウエハの支持体との接着に使用した場合、…ウエハ上に残渣が生じ…基板の電気特性や歩留まりの低下に繋がる」との記載にある問題を解決課題としているところ、甲１発明は「膠着防止剤が含まれる接着剤」に関するものではないので、膠着防止剤が含まれる接着剤における問題を解決するための手段を採用すべき動機付けがない。
　そして、甲第１号証〜甲第１０号証のうちの公知刊行物の全ての記載を精査しても、甲１発明の接着剤組成物に含まれる金属含有成分の種類を、「タルク」などの「塩鉱物」に置き換えることを示唆する記載は見当たらない。
　したがって、甲１発明の「Ｎａ，Ｋ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｌの各金属」として、塩鉱物を採用する動機付けは見出せず、上記〔相違点γ〕については、当業者が容易に想到し得ることとは認められない。
　そして、上記〔相違点γ〕について、当業者が容易に想到し得ない以上、上記〔相違点β〕、〔相違点δ〕及び〔相違点ε〕について検討するまでもなく、本１発明が、甲第１号証〜甲第１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
ウ　本２発明〜本４発明について
　本２発明〜本４発明は、本１発明を更に限定したものであるところ、本１発明が甲第１〜１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて容易に発明をすることができたとはいえないことは上述のとおりであるから、本２発明〜本４発明が、甲第１〜１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができた発明であるとはいえない。
　
（４）甲第６号証を主引用例とした場合の検討（本１、２、７〜１１発明）
ア　本７〜１１発明について
（ア）対比
　本７発明と甲６発明とを対比すると、両者は、上記第５　４（３）に示した〔相違点α〕の点において相違する。
　
（イ）判断
　上記〔相違点α〕について、甲第６号証には、本件特許明細書の段落００６０に例示される「タルク（Ｍｇ３Ｓｉ４Ｏ１０（ＯＨ）２）」などの「塩鉱物」を「膠着防止剤（滑剤）」として含むことについて、示唆を含めて記載がない。
　そして、本７発明は、本件特許明細書の段落０００８の「膠着防止剤が含まれる接着剤をウエハとウエハの支持体との接着に使用した場合、…ウエハ上に残渣が生じ…基板の電気特性や歩留まりの低下に繋がる」との記載にある問題を解決課題としているところ、甲６発明は「膠着防止剤が含まれる接着剤」に関するものではないので、膠着防止剤が含まれる接着剤における問題を解決するための手段を採用すべき動機付けがない。
　そして、甲第１号証〜甲第１０号証のうちの公知刊行物の全ての記載を精査しても、甲６発明の「シリコンウエハー用仮着接着剤」に「タルク」などの「塩鉱物により構成される膠着防止剤」を含ませるという構成を示唆する記載は見当たらないので、本７発明が、甲第１号証〜甲第１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
（ウ）本８〜１１発明について
　本８及び１１発明は、本７発明を更に限定したものであるところ、本７発明が甲第１〜１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて容易に発明をすることができたとはいえないことは上述のとおりであるから、本８及び１１発明が、甲第１〜１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができた発明であるとはいえない。
　なお、本９及び１０発明は訂正により削除されているので、本９及び１０発明について、取消理由通知に記載した理由４は成り立たない。
　
イ　本１及び２発明について
（ア）対比
　本１発明と甲６方法発明とを対比する。
　甲６方法発明の「ウエハと定盤との間の仮着に有用な接着剤の製造方法」は、本１発明の「ウエハと当該ウエハの支持体とを接着した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を…除去するための接着剤組成物の製造方法」に相当する。
　甲６発明の「そのナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、塩素イオン、硫酸イオンのそれぞれの含有量が１０ｐｐｂ以下、アルミニウム金属イオンの含有量が２０ｐｐｂ以下であり、かつ、金属イオン総含有量が５０ｐｐｂ以下である」と、本１発明の「（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液から、上記（ｉｉ）膠着防止剤を除去する精製工程を包含し、上記精製工程は、上記樹脂溶液を濾過することにより樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させることを特徴とする」とは、両者とも「（ｉｉ）金属含有成分を含む溶液から、上記（ｉｉ）金属含有成分を除去する精製工程を包含し、上記精製工程は、上記溶液を処理することにより溶液中の上記金属含有成分の量を低減させる」という点において共通する。
　
　してみると、本１発明と甲６方法発明は、『（ｉｉ）金属含有成分を含む溶液から、上記（ｉｉ）金属含有成分を除去する精製工程を包含し、上記精製工程は、上記溶液を処理することにより溶液中の上記金属含有成分の量を低減させる、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を除去するための接着剤組成物の製造方法。』という点において一致し、次の〔相違点ζ〕〜〔相違点θ〕において相違する。
　
〔相違点ζ〕金属含有成分が、本１発明においては「塩鉱物により構成される膠着防止剤」であるのに対して、甲６方法発明においては、ナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン、及びアルミニウム金属イオンであって、塩鉱物により構成される膠着防止剤として規定されていない点。
　
〔相違点η〕溶液の処理が、本１発明においては「濾過」に特定されているのに対して、甲６方法発明においては「濾過」に特定されていない点。
　
〔相違点θ〕仮着後の接着剤層の除去が、本１発明においては「有機溶剤により除去」されるものとして特定されているのに対して、甲６方法発明においては「有機溶剤により除去」されるものとして特定されていない点。
　
（イ）判断
　上記〔相違点ζ〕について、甲第６号証には、本件特許明細書の段落００６０に例示される「タルク（Ｍｇ３Ｓｉ４Ｏ１０（ＯＨ）２）」などの「塩鉱物」を「膠着防止剤（滑剤）」として含むことについて、示唆を含めて記載がない。
　また、本１発明は、本件特許明細書の段落０００８の「膠着防止剤が含まれる接着剤をウエハとウエハの支持体との接着に使用した場合、…ウエハ上に残渣が生じ…基板の電気特性や歩留まりの低下に繋がる」との記載にある問題を解決課題としているところ、甲６方法発明は「膠着防止剤が含まれる接着剤の製造方法」に関するものではないので、膠着防止剤が含まれる接着剤の製造方法における問題を解決するための手段を採用すべき動機付けがない。
　そして、甲第１号証〜甲第１０号証のうちの公知刊行物の全ての記載を精査しても、甲６方法発明の「シリコンウエハー用仮着接着剤の製造方法」において使用される溶液に「タルク」などの「塩鉱物により構成される膠着防止剤」を含ませるという構成を示唆する記載は見当たらない。
　したがって、甲６発明の「ナトリウム金属イオン、カルシウム金属イオン、マグネシウム金属イオン、亜鉛金属イオン、鉄金属イオン、銅金属イオン、ニッケル金属イオン、錫金属イオン、鉛金属イオン、クロム金属イオン、カリウム金属イオン」及び「アルミニウム金属イオン」として、塩鉱物を採用する動機付けは見出せず、上記〔相違点γ〕については、当業者が容易に想到し得ることとは認められない。
　そして、上記〔相違点ζ〕について、当業者が容易に想到し得ない以上、上記〔相違点η〕及び〔相違点θ〕について検討するまでもなく、本１発明が、甲第１号証〜甲第１０号証に記載された発明に記載された発明又は技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
（ウ）本２発明について
　本２発明は、本１発明を更に限定したものであるところ、本１発明が甲第１〜１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて容易に発明をすることができたとはいえないことは上述のとおりであるから、本２発明が、甲第１〜１０号証に記載された発明又は技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができた発明であるとはいえない。
　
（６）取消理由通知に記載した理由４（進歩性）についてのまとめ
　以上検討したように、取消理由通知に記載した理由４によっては、本１〜４、７〜８及び１１発明に係る特許が、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるとはいえないから、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものであるとすることはできない。
　なお、本９及び１０発明は訂正により削除されているので、本９及び１０発明について、取消理由通知に記載した理由４は成り立たない。
　
６　取消理由通知において採用しなかった進歩性に関する特許異議申立理由について
　上記第４　３の特許異議申立人Ｂが主張する取消理由１（進歩性）は、甲第１〜１０号証に基づき、訂正前の本１〜４及び７〜１１発明の進歩性がないという趣旨のものであるところ、その甲第１〜１０号証は、取消理由通知に記載した理由４（進歩性）において引用した刊行物に同じである。
　したがって、上記第４　３の理由によっては、本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許が、特許法第２９条の規定に違反してなされたものであるとはいえないから、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものであるとすることはできない。
　また、本９及び１０発明は訂正により削除されているので、本９及び１０発明についての理由は成り立たない。
　
７　取消理由通知に記載した理由３及び４に関する意見書の特許異議申立人Ｂの主張について
（１）理由３（新規性）に関する特許異議申立人Ｂの主張について
　特許異議申立人Ｂは、平成３０年５月１６日付けの意見書の第４頁第２４行〜第５頁第５行で「ウエハの仮止めにおいてウエハの良好な電気統制が実現されることとする本件特許発明の目的・解決課題は、ウエハの仮止め接着剤を使用する当業者において周知な課題であり、…シリコンウエハー用仮止接着剤組成物において金属イオンの含有量が極めて低くすることにより半導体デバイスに影響を与えることを極力低減しようとすることと全く異ならない技術事項ないし技術課題である。従って、本件訂正後の請求項７に係る発明は、第１刊行物（甲第６号証）に記載された発明の内容と実質的に同一であり、また上記刊行物から容易に発明し得たものである。」と主張しているが、本７発明と甲６発明との対比において、上記〔相違点α〕の相違点が存在する以上、本７発明が甲第６号証に記載された発明の内容と実質的に同一であるとは認められず、また、上記〔相違点α〕について、当業者が容易に発明し得たといえる事情も見当たらないので、特許異議申立人Ｂの上記主張は採用できない。
　
（２）理由４（進歩性）に関する特許異議申立人Ｂの主張について
　特許異議申立人Ｂは、平成３０年５月１６日付けの意見書の第３頁第４〜１０行で「刊行物１には、塩鉱物により構成される膠着防止剤を含む接着剤組成物が記載されておらず、樹脂溶液を濾過することにより樹脂溶液中の塩鉱物の量を低減させることが記載されていないが、この点は、異議申立書で述べたように、甲第８，９号証に記載されているように、熱可塑性エラストマーをベース樹脂とするペレット状粘着剤組成物では、樹脂成分に対してタルクやステアリン酸亜鉛等の滑剤（自着防止剤）を添加することは周知事項であり、また、粘着剤組成物に含まれる金属イオンをろ過等により除去することは容易になし得る事項である。」と主張している。
　しかしながら、甲第８号証（特開２００２−３７１１３６号公報）の段落００５５〜００５６には、ブロッキング防止剤として「タルク」を用いた比較例３のものの方が、ブロッキング防止剤として「ポリプロピレン微粒子」を用いた実施例１〜２のものに比して、耐ブロッキング性などの面で劣ることが記載されており、甲第９号証（特開２００２−３３８９３３号公報）の段落００１４には「従来、…粘着剤ペレットの表面に
タルク等
特に設ける必要がなく
　このため、甲１発明の接着剤組成物に「タルク」などの「塩鉱物」を含ませるという構成を示唆する記載が、甲第８号証又は甲第９号証になされているとは認められず、特許異議申立人Ｂの上記主張は採用できない。
　
８　本件特許の請求項９及び１０について
　本件特許の請求項９及び１０は訂正により削除されているので、請求項９及び１０に係る特許についての申立てを却下する。
　
第６　むすび
　以上のとおり、取消理由通知に記載した取消理由によっては、本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に、本１発明〜本８発明及び本１１発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　訂正前の請求項９及び１０は削除されているので、請求項９及び１０に係る特許についての特許異議の申立てを却下する。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成３０年６月２９日（２０１８．６．２９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
接着剤組成物の製造方法、接着剤組成物及び接着フィルム
　【技術分野】
　【０００１】
　本発明は、接着剤組成物の製造方法、接着剤組成物及び接着フィルムに関する。
　【背景技術】
　【０００２】
　携帯電話、デジタルＡＶ機器およびＩＣカード等の高機能化に伴い、搭載される半導体シリコンチップ（以下、チップ）を小型化および薄型化することによって、パッケージ内にシリコンを高集積化する要求が高まっている。例えば、ＣＳＰ（ｃｈｉｐ　ｓｉｚｅ　ｐａｃｋａｇｅ）またはＭＣＰ（ｍｕｌｔｉ−ｃｈｉｐ　ｐａｃｋａｇｅ）に代表されるような複数のチップをワンパッケージ化する集積回路において、薄型化が求められている。パッケージ内のチップの高集積化を実現するためには、チップの厚さを２５〜１５０μｍの範囲にまで薄くする必要がある。
　【０００３】
　しかしながら、チップのベースになる半導体ウエハ（以下、ウエハ）は、研削することにより肉薄になるため、その強度は弱くなり、ウエハにクラックまたは反りが生じ易くなる。また、薄板化することによって強度が弱くなったウエハを自動搬送することは困難であるため、人手によって搬送しなければならず、その取り扱いが煩雑であった。
　【０００４】
　そのため、研削するウエハにサポートプレートと呼ばれる、ガラス、硬質プラスチック等からなるプレートを貼り合わせることによって、ウエハの強度を保持し、クラックの発生およびウエハの反りを防止するウエハハンドリングシステムが開発されている。ウエハハンドリングシステムによりウエハの強度を維持することができるため、薄板化した半導体ウエハの搬送を自動化することができる。
　【０００５】
　ウエハハンドリングシステムにおいて、ウエハとサポートプレートとは粘着テープ、熱可塑性樹脂、接着剤等を用いて貼り合わせられる。そして、サポートプレートが貼り付けられたウエハを薄板化した後、ウエハをダイシングする前にサポートプレートを基板から剥離する。このウエハとサポートプレートとの貼り合わせに接着剤を用いた場合、接着剤を溶解してウエハをサポートプレートから剥離する。
　【０００６】
　ここで、近年、上記接着剤として、炭化水素系の接着剤が開発されている（特許文献１，２）。
　【先行技術文献】
　【特許文献】
　【０００７】
　【特許文献１】特表２００９−５２９０６５（２００９年８月１３日公開）
　【特許文献２】特表２０１０−５０６４０６（２０１０年２月２５日公開）
　【発明の概要】
　【発明が解決しようとする課題】
　【０００８】
　しかしながら、従来技術に係る炭化水素系の接着剤に使用される材料は、ペレット状のものが多く、ペレット状に成型する工程において使用される膠着防止剤（滑剤）が接着剤中に含まれてしまう。このような膠着防止剤が含まれる接着剤をウエハとウエハの支持体との接着に使用した場合、使用後に溶剤で溶解させて洗浄しても、洗浄後のウエハ上に残渣が生じてしまう。ウエハ上にこのような残渣が生じると、基板の電気特性や歩留まりの低下に繋がる。
　【０００９】
　本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ウエハと当該ウエハの支持体との接着に使用した後、溶剤で溶解して洗浄したときの、ウエハ上における残渣の発生を防止した接着剤組成物の製造方法、および、当該接着剤組成物を提供することを主たる目的とする。
　【課題を解決するための手段】
　【００１０】
　上記の課題を解決するために、本発明に係る、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法は、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤を除去する精製工程を包含することを特徴としている。
　【００１１】
　本発明に係る、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物は、膠着防止剤に由来する金属成分の含有量が、全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下であることを特徴としている。
　【００１２】
　本発明に係る、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着フィルムは、フィルム上に、本発明に係るウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物からなる接着層が形成されていることを特徴としている。
　【発明の効果】
　【００１３】
　本発明に係る、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法は、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤を除去する精製工程を包含している。それゆえ、ウエハとウエハの支持体との接着に使用した後、溶剤で溶解して洗浄したときの、ウエハ上における残渣の発生を防止した接着剤組成物を製造することができる。また、ウエハと当該ウエハの支持体との接着に使用した後、溶剤で溶解して洗浄したときの、ウエハ上における残渣の発生を防止した接着剤組成物を提供することができる。
　【発明を実施するための形態】
　【００１４】
　〔接着剤組成物〕
　本発明に係る接着剤組成物は、膠着防止剤が除去された接着剤組成物であり、膠着防止剤に由来する金属成分の含有量が、接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下である。本発明に係る接着剤組成物は、炭化水素樹脂又はエラストマーを含んでいてもよい。
　【００１５】
　本発明に係る接着剤組成物は、接着性を付与するための樹脂を含んでいる。当該樹脂としては炭化水素樹脂およびエラストマーから選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。
　【００１６】
　（炭化水素樹脂）
炭化水素樹脂は、炭化水素骨格を有し、単量体成分を重合してなる樹脂である。炭化水素樹脂としては、例えば、シクロオレフィンポリマー（以下、「樹脂Ａ」ともいう）、ならびにテルペン系樹脂、ロジン系樹脂および石油系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂（以下、「樹脂Ｂ」ともいう）が挙げられる。
　【００１７】
　シクロオレフィンポリマーは、単量体成分であるシクロオレフィンモノマーを重合してなる樹脂である。シクロオレフィンモノマーとしては、例えば、ノルボルネン、ノルボルナジエン等の二環体、ジシクロペンタジエン、ヒドロキシジシクロペンタジエン等の三環体、テトラシクロドデセン等の四環体、シクロペンタジエン三量体等の五環体、テトラシクロペンタジエン等の七環体、またはこれら多環体のアルキル（メチル、エチル、プロピル、ブチル等）置換体、アルケニル（ビニル等）置換体、アルキリデン（エチリデン等）置換体、アリール（フェニル、トリル、ナフチル等）置換体等が挙げられる。樹脂（Ａ）としては、これらシクロオレフィンモノマーのうち１種のみを重合させてなるものであってもよいし、２種以上を共重合させてなるものであってもよい。
　【００１８】
　また、樹脂（Ａ）に含まれる単量体成分はシクロオレフィンモノマーに限定されるものではなく、当該シクロオレフィンモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有していてもよい。他のモノマーとしては、例えば、直鎖状または分岐鎖状のアルケンモノマーが挙げられ、そのようなアルケンモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、イソブテン、および１−ヘキセン等のα−オレフィンが挙げられる。なお、アルケンモノマーは１種のみを用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
　【００１９】
　樹脂（Ａ）の分子量は特に限定されないが、例えば、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算値として測定した重量平均分子量（Ｍｗ）が５０，０００〜２００，０００であり、より好ましくは５０，０００〜１５０，０００である。樹脂（Ａ）の重量平均分子量が上記範囲内であれば、成膜後にクラックが発生し難く、且つ特定の溶剤への溶解性を得ることができる。
　【００２０】
　また、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分は、その５モル％以上がシクロオレフィンモノマーであることが高耐熱性（低い熱分解性・熱重量減少性）の点から好ましく、１０モル％以上がシクロオレフィンモノマーであることがより好ましく、２０モル％以上がさらに好ましい。上限は特に限定されないが、８０モル％以下であることが溶解性および溶液での経時安定性の点から好ましく、７０モル％以下であることがさらに好ましい。他のモノマーとして、直鎖状または分岐鎖状のアルケンモノマーを含有する場合、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分全体に対して１０〜９０モル％であることが溶解性および柔軟性の点から好ましく、２０〜８５モル％がさらに好ましく、３０〜８０モル％が特に好ましい。
　【００２１】
　単量体成分の重合方法および重合条件は、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を用いて行えばよい。
　【００２２】
　樹脂（Ａ）として用いられ得る市販品としては、例えば、三井化学社製の「ＡＰＥＬ（商品名）」、ポリプラスチックス社製の「ＴＯＰＡＳ（商品名）」、日本ゼオン社製の「ＺＥＯＮＯＲ（商品名）」および「ＺＥＯＮＥＸ（商品名）」、ならびにＪＳＲ社製の「ＡＲＴＯＮ（商品名）」が挙げられる。
　【００２３】
　樹脂（Ｂ）は、上述したようにテルペン系樹脂、ロジン系樹脂および石油系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂である。テルペン系樹脂としては、例えば、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、変性テルペン樹脂、水添テルペン樹脂および水添テルペンフェノール樹脂等が挙げられる。ロジン系樹脂としては、例えば、ロジン、ロジンエステル、水添ロジン、水添ロジンエステル、重合ロジン、重合ロジンエステルおよび変性ロジン等が挙げられる。石油系樹脂としては、例えば、脂肪族または芳香族石油樹脂、水添石油樹脂、変性石油樹脂、脂環族石油樹脂およびマロン・インデン石油樹脂等が挙げられる。これらの中でも、特に、水添テルペン樹脂および水添テルペンフェノール樹脂が好ましい。
　【００２４】
　樹脂（Ｂ）の分子量は特に限定されないが、例えば、ＧＰＣによるポリスチレン換算値として測定した重量平均分子量（Ｍｗ）が３００〜１０，０００であり、より好ましくは５００〜５，０００である。樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が上記範囲内であれば、成膜後にクラックが発生し難く、且つ高い耐熱性（熱分解性・昇華性への耐性）が得られる。
　【００２５】
　なお、樹脂（Ａ）と樹脂（Ｂ）とを混合して使用してもよい。樹脂（Ａ）の含有量が炭化水素樹脂全体の４０重量部以上であることが好ましく、６０重量部以上であることがより好ましい。樹脂（Ａ）の含有量が炭化水素樹脂全体の４０重量部以上である場合には、柔軟性とともに高い耐熱性（低い熱分解性）が発揮できる。
　【００２６】
　（エラストマー）
　本発明に係る接着剤組成物は、エラストマーを含むことが好ましい。本発明に係る接着剤組成物に含まれるエラストマーは、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含むことが好ましい。具体的には、当該スチレン単位の含有量が１５重量％以上、５０重量％以下の範囲であり、重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲であればよい。
　【００２７】
　本明細書において「構成単位」とは重合体を構成する構造において、一分子の単量体に起因する構造をいう。本明細書において「スチレン単位」とは、スチレンを重合した際に重合体に含まれる当該スチレン由来の構成単位であり、当該「スチレン単位」は置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数１〜５のアルコキシアルキル基、アセトキシ基、カルボキシル基等が挙げられる。
　【００２８】
　スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲であり、エラストマーの重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲であれば、後述する炭化水素系の溶剤に容易に溶解するので、より容易且つ迅速に除去することができる。また、スチレン単位の含有量及び重量平均分子量が上記の範囲であることにより、ウエハがレジストリソグラフィー工程に供されるときに曝されるレジスト溶剤（例えばＰＧＭＥＡ、ＰＧＭＥ等）、酸（フッ化水素酸等）、アルカリ（ＴＭＡＨ等）に対して優れた耐性を発揮する。
　【００２９】
　スチレン単位の含有量は、より好ましくは１７重量％以上であり、また、より好ましくは４０重量％以下である。
　【００３０】
　重量平均分子量のより好ましい範囲は２０，０００以上であり、また、より好ましい範囲は１５０，０００以下である。
　【００３１】
　エラストマーとしては、スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲であり、エラストマーの重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲であれば、種々のエラストマーを用いることができる。例えば、ポリスチレン−ポリ（エチレン／プロピレン）ブロックコポリマー（ＳＥＰ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＩＳ）、スチレン−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー（ＳＢＳ）、スチレン−ブタジエン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＢＢＳ）、エチレン−プロピレンターポリマー（ＥＰＴ）、及び、これらの水添物、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＥＢＳ）、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマー（スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー）（ＳＥＰＳ）、スチレン−エチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマー（ＳＥＥＰＳ）、スチレンブロックが反応架橋型のスチレン−エチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロックコポリマー（ＳｅｐｔｏｎＶ９４６１（クラレ社製））、スチレンブロックが反応架橋型のスチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマー（反応性のポリスチレン系ハードブロックを有する、ＳｅｐｔｏｎＶ９８２７（クラレ社製））等であって、スチレン単位の含有量及び重量平均分子量が上述の範囲であるものを用いることができる。
　【００３２】
　また、エラストマーの中でも水添物がより好ましい。水添物であれば熱に対する安定性が向上し、分解や重合等の変質が起こりにくい。また、炭化水素系溶剤への溶解性及びレジスト溶剤への耐性の観点からもより好ましい。
　【００３３】
　また、エラストマーの中でも両端がスチレンのブロック重合体であるものがより好ましい。熱安定性の高いスチレンを両末端にブロックすることでより高い耐熱性を示すからである。
　【００３４】
　より具体的には、スチレン及び共役ジエンのブロックコポリマーの水添物であることがより好ましい。熱に対する安定性が向上し、分解や重合等の変質が起こりにくい。また、熱安定性の高いスチレンを両末端にブロックすることでより高い耐熱性を示す。さらに、炭化水素系溶剤への溶解性及びレジスト溶剤への耐性の観点からもより好ましい。
　【００３５】
　本発明に係る接着剤組成物に含まれるエラストマーとして用いられ得る市販品としては、例えば、クラレ社製「セプトン（商品名）」、クラレ社製「ハイブラー（商品名）」、旭化成社製「タフテック（商品名）」、ＪＳＲ社製「ダイナロン（商品名）」等が挙げられる。
　【００３６】
　本発明に係る接着剤組成物に含まれるエラストマーの含有量としては、例えば、接着剤組成物全量を１００重量部として、１０重量部以上、８０重量部以下が好ましく、２０重量部以上、６０重量部以下がより好ましい。
　【００３７】
　また、エラストマーは複数の種類を混合してもよい。つまり、本発明に係る接着剤組成物は、複数の種類のエラストマーを含んでもよい。複数の種類のエラストマーのうち少なくとも一つが、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含み当該スチレン単位の含有量が１４重量％以上、５０重量％以下の範囲であり、重量平均分子量が１０，０００以上、２００，０００以下の範囲であれば、本発明の範疇である。また、本発明に係る接着剤組成物において、複数の種類のエラストマーを含む場合、混合した結果、スチレン単位の含有量が上記の範囲となるように調製してもよい。例えば、スチレン単位の含有量が３０重量％であるクラレ社製のセプトン（商品名）のＳｅｐｔｏｎ８００７と、スチレン単位の含有量が１３重量％であるセプトン（商品名）のＳｅｐｔｏｎ２０６３とを重量比１対１で混合すると接着剤組成物に含まれるエラストマー全体に対するスチレン含有量は２１〜２２重量％となり、１４重量％以上となる。また、例えば、スチレン単位が１０重量％のものと６０重量％のものとを１対１で混合すると３５重量％となり、上記の範囲内となる。本発明はこのような形態でもよい。また、本発明に係る接着剤組成物に含まれる複数の種類のエラストマーは、全て上記の範囲でスチレン単位を含み、且つ、上記の範囲の重量平均分子量であることが最も好ましい。
　【００３８】
　（溶剤）
　本発明に係る接着剤組成物は、炭化水素樹脂又はエラストマーを溶解する溶剤を含んでいることが好ましい。このような溶剤としては、例えば、非極性の炭化水素系溶剤、極性及び無極性の石油系溶剤等を用いることができる。
　【００３９】
　好ましくは、溶剤は、縮合多環式炭化水素を含み得る。溶剤が縮合多環式炭化水素を含むことによって、接着剤組成物を液状形態で（特に低温にて）保存した際に生じ得る白濁化を避けることができ、製品安定性を向上させることができる。
　【００４０】
　炭化水素系溶剤としては、直鎖状、分岐状又は環状の炭化水素が挙げられる。例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、メチルオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等の直鎖状の炭化水素、炭素数３から１５の分岐状の炭化水素；ｐ−メンタン、ｏ−メンタン、ｍ−メンタン、ジフェニルメンタン、α−テルピネン、β−テルピネン、γ−テルピネン、１，４−テルピン、１，８−テルピン、ボルナン、ノルボルナン、ピナン、α−ピネン、β−ピネン、ツジャン、α−ツジョン、β−ツジョン、カラン、ロンギホレン等が挙げられる。
　【００４１】
　また、石油系溶剤としては、例えば、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、ナフタレン、デカヒドロナフタレン、テトラヒドロナフタレンなどが挙げられる。
　【００４２】
　また、縮合多環式炭化水素とは、２つ以上の単環がそれぞれの環の辺を互いに１つだけ供給してできる縮合環の炭化水素であり、２つの単環が縮合されてなる炭化水素を用いることが好ましい。
　【００４３】
　そのような炭化水素としては、５員環及び６員環の組み合わせ、又は２つの６員環の組み合わせが挙げられる。５員環及び６員環を組み合わせた炭化水素としては、例えば、インデン、ペンタレン、インダン、テトラヒドロインデン等が挙げられ、２つの６員環を組み合わせた炭化水素としては、例えば、ナフタレン、テトラヒドロナフタリン（テトラリン）及びデカヒドロナフタリン（デカリン）等が挙げられる。
　【００４４】
　また、溶剤が上記縮合多環式炭化水素を含む場合、溶剤に含まれる成分は上記縮合多環式炭化水素のみであってもよいし、例えば、飽和脂肪族炭化水素等の他の成分を含有していてもよい。この場合、縮合多環式炭化水素の含有量が炭化水素系溶剤全体の４０重量部以上であることが好ましく、６０重量部以上であることがより好ましい。縮合多環式炭化水素の含有量が炭化水素系溶剤全体の４０重量部以上である場合には、上記樹脂に対する高い溶解性が発揮できる。縮合多環式炭化水素と飽和脂肪族炭化水素との混合比が上記範囲内であれば、縮合多環式炭化水素の臭気を緩和させることができる。
　【００４５】
　上記飽和脂肪族炭化水素としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、メチルオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等の直鎖状の炭化水素、炭素数３から１５の分岐状の炭化水素、ｐ−メンタン、ｏ−メンタン、ｍ−メンタン、ジフェニルメンタン、１，４−テルピン、１，８−テルピン、ボルナン、ノルボルナン、ピナン、ツジャン、カラン、ロンギホレン等が挙げられる。
　【００４６】
　なお、本発明に係る接着剤組成物における溶剤の含有量としては、当該接着剤組成物を用いて成膜する接着層の厚さに応じて適宜調整すればよいが、例えば、接着剤組成物の全量を１００重量部としたとき、２０重量部以上、９０重量部以下の範囲であることが好ましい。溶剤の含有量が上記範囲内であれば、粘度調整が容易となる。
　【００４７】
　（熱重合禁止剤）
　本発明に係る接着剤組成物は、熱重合禁止剤を含有していてもよい。熱重合禁止剤は、熱によるラジカル重合反応を防止する機能を有する。具体的には、熱重合禁止剤はラジカルに対して高い反応性を示すため、モノマーよりも優先的に反応してモノマーの重合を禁止する。そのような熱重合禁止剤を含む接着剤組成物は、高温環境下（特に、２５０℃〜３５０℃）において重合反応が抑制される。
　【００４８】
　例えば半導体製造工程において、支持体が接着されたウエハを２５０℃で１時間加熱する高温プロセスを含む場合がある。このとき、高温により接着剤組成物の重合が起こると高温プロセス後にウエハからサポートプレート（支持板）を剥離する剥離液への溶解性が低下し、ウエハからサポートプレートを良好に剥離することができない。しかし、熱重合禁止剤を含有している本発明の接着剤組成物では熱による酸化及びそれに伴う重合反応が抑制されるため、高温プロセスを経たとしてもサポートプレートを容易に剥離することができ、残渣の発生を抑えることができる。
　【００４９】
　熱重合禁止剤としては、熱によるラジカル重合反応を防止するのに有効であれば特に限定されるものではないが、フェノールを有する熱重合禁止剤が好ましい。これにより、大気下での高温処理後にも良好な溶解性が確保できる。そのような熱重合禁止剤としては、ヒンダードフェノール系の酸化防止剤を用いることが可能であり、例えば、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキノン、メチレンブルー、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、モノベンジルエーテル、メチルヒドロキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、フェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス（２−メチルフェノール）、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス（２，６−ジメチルフェノール）、４，４’−［１−〔４−（１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル）フェニル〕エチリデン］ビスフェノール、４，４’，４”−エチリデントリス（２−メチルフェノール）、４，４’，４”−エチリデントリスフェノール、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、３，９−ビス［２−（３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−プロピオニルオキシ）−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ（５，５）ウンデカン、トリエチレングリコール−ビス−３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオネート、ｎ−オクチル−３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート、ペンタエリスリルテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］（商品名ＩＲＧＡＮＯＸ１０１０、チバ・ジャパン社製）、トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキシベンジル）イソシアヌレート、チオジエチレンビス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］が挙げられる。熱重合禁止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
　【００５０】
　熱重合禁止剤の含有量は、炭化水素樹脂又はエラストマーの種類、並びに接着剤組成物の用途及び使用環境に応じて適宜決定すればよいが、例えば、炭化水素樹脂又はエラストマーの量を１００重量部としたとき、０．１重量部以上、１０重量部以下であることが好ましい。熱重合禁止剤の含有量が上記範囲内であれば、熱による重合を抑える効果が良好に発揮され、高温プロセス後において、接着剤組成物の剥離液に対する溶解性の低下をさらに抑えることができる。
　【００５１】
　また、本発明に係る接着剤組成物は、熱重合禁止剤を溶解し、炭化水素樹脂又はエラストマーを溶解するための溶剤とは異なる組成からなる添加溶剤を含有する構成であってもよい。添加溶剤としては、特に限定されないが、接着剤組成物に含まれる成分を溶解する有機溶剤を用いることができる。
　【００５２】
　有機溶剤としては、例えば、接着剤組成物の各成分を溶解し、均一な溶液にすることができればよく、任意の１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
　【００５３】
　有機溶剤の具体例としては、例えば、極性基として酸素原子、カルボニル基又はアセトキシ基等を有するテルペン溶剤が挙げられ、例えば、ゲラニオール、ネロール、リナロール、シトラール、シトロネロール、メントール、イソメントール、ネオメントール、α−テルピネオール、β−テルピネオール、γ−テルピネオール、テルピネン−１−オール、テルピネン−４−オール、ジヒドロターピニルアセテート、１，４−シネオール、１，８−シネオール、ボルネオール、カルボン、ヨノン、ツヨン、カンファーが挙げられる。また、γ−ブチロラクトン等のラクトン類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン（ＣＨ）、メチル−ｎ−ペンチルケトン、メチルイソペンチルケトン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール等の多価アルコール類；エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、又はジプロピレングリコールモノアセテート等のエステル結合を有する化合物、上記多価アルコール類又は上記エステル結合を有する化合物のモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル等のモノアルキルエーテル又はモノフェニルエーテル等のエーテル結合を有する化合物等の多価アルコール類の誘導体（これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）が好ましい）；ジオキサンのような環式エーテル類や、乳酸メチル、乳酸エチル（ＥＬ）、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類；アニソール、エチルベンジルエーテル、クレジルメチルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル等の芳香族系有機溶剤等を挙げることができる。
　【００５４】
　添加溶剤の含有量は、熱重合禁止剤の種類等に応じて適宜決定すればよいが、例えば、熱重合禁止剤を１重量部としたとき、１重量部以上、５０重量部以下であることが好ましく、１〜３０重量部がさらに好ましく、１〜１５重量部が最も好ましい。熱重合禁止剤の含有量が上記範囲内であれば、熱重合禁止剤を十分に溶解することができる。
　【００５５】
　（その他の成分）
　本発明に係る接着剤組成物には、本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある他の物質をさらに含んでいてもよい。例えば、接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤及び界面活性剤等、慣用されている各種添加剤をさらに用いることができる。
　【００５６】
　（接着剤組成物の調製方法）
　膠着防止剤の含有量を調整する前の、接着剤組成物の調製方法は特に限定されず、公知の方法を用いればよいが、例えば、炭化水素樹脂又はエラストマーを溶剤に溶解させ、既存の攪拌装置を用いて、各組成を攪拌することにより、接着剤組成物を得ることができる。
　【００５７】
　また、接着剤組成物に熱重合禁止剤を添加する場合には、熱重合禁止剤を、予め熱重合禁止剤を溶解させるための添加溶剤に溶解させたものを添加することが好ましい。
　【００５８】
　そして、このように調製した接着剤組成物を、後述する本発明に係る接着剤組成物の製造方法における精製工程に供して、本発明に係る接着剤組成物を得ることができる。なお、後述する本発明に係る接着剤組成物の製造方法以外の方法であっても、膠着防止剤を除去できる方法であれば、本発明に係る接着剤組成物を製造することができる。
　【００５９】
　（膠着防止剤）
　精製工程において、接着剤組成物から除去される膠着防止剤は、滑剤と称することもあり、接着剤組成物に用いる樹脂（炭化水素樹脂、エラストマー）をペレット状に成型するときに、当該樹脂に含有されるものである。その結果、当該樹脂を用いて接着剤組成物を調製すると、最終的に膠着防止剤が接着剤組成物に含有されることとなる。商業的に入手可能な樹脂はペレット状で供給されるものが多いため、多くの接着剤組成物に膠着防止剤が含まれている。
　【００６０】
　膠着防止剤の例として、例えば、タルク（Ｍｇ３Ｓｉ４Ｏ１０（ＯＨ）２）、ハイドロタルク（Ｍｇ６Ａｌ２（ＣＯ３）（ＯＨ）１６・４Ｈ２Ｏ、Ｍｇ６Ｆｅ２（ＣＯ３）（ＯＨ）１６・４Ｈ２Ｏ、Ｍｇ６Ｍｎ２（ＣＯ３）（ＯＨ）１６・４Ｈ２Ｏ）等の塩鉱物、ステアリン酸鉛、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸マグネシウム等のステアリン酸塩、流動パラフィン、パラフィンワックス等のパラフィン類、ステアリン酸、ステアリン酸アマイド、オレイン酸アマイド、メチレンビスステアリン酸アマイド、エチレンビスステアリン酸アマイド、エルカ酸アマイド等の脂肪酸アマイドが挙げられる。
　【００６１】
　本発明に係る接着剤組成物は、接着剤組成物中に含まれる膠着防止剤の量が低減している。接着剤組成物中に含まれる膠着防止剤の量は、膠着防止剤に由来する金属成分の含有量により表すことができる。膠着防止剤に由来する金属成分としては、例えば、ナトリウム、マグネシウム、アルミニウム、カリウム、カルシウム、クロム、マンガン、鉄、ニッケル、銅、鉛、亜鉛等が挙げられる。
　【００６２】
　本発明に係る接着剤組成物は、膠着防止剤に由来する金属成分の含有量が、接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下である。
　【００６３】
　接着剤組成物に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分の含有量が、接着剤組成物の全固体重量に対して２ｐｐｍ以下であれば、この接着剤組成物を用いてウエハと支持体とを接着し、溶解させて洗浄した後でも、ウエハ上に残渣が発生しないため好ましい。なお、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分の含有量の下限値は、「０」であることが望ましいものの、実質的には金属成分の検出限界値（一般的に１０ｐｐｂ）とすればよい。したがって、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分の含有量の下限値は、接着剤組成物の全固体重量に対して１０ｐｐｂである。
　【００６４】
　接着剤組成物中に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分の含有量は、例えば、ＩＣＰ−ＭＳ（誘電結合プラズマ質量分析法）による接着剤組成物中の金属成分の定量化により求めることができる。具体的には、接着剤組成物を含む溶液において、上記方法によりその金属含有量を測定した測定結果を接着剤組成物の全固体重量に対する値に換算し、接着剤組成物中における含有濃度として、接着剤組成物中の膠着防止剤に由来する金属成分の含有量を算出することができる。
　【００６５】
　なお、本発明に係る接着剤組成物は、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分のうち、最も多く含まれる金属成分の含有量が、接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下になっていればよい。
　【００６６】
　（接着剤組成物の用途）
　本発明に係る接着剤組成物は、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するために用いられる。
　【００６７】
　支持体は、例えば、ウエハを薄化する工程においてウエハを支持する役割を果たしており、本発明に係る接着剤組成物によってウエハに接着される。一実施形態において、支持体は、例えば、その膜厚が５００〜１０００μｍであるガラス又はシリコンで形成されている。
　【００６８】
　なお、一実施形態において、支持体には、当該支持体を厚さ方向に貫通する孔が設けられている。この孔を介して接着剤組成物を溶解する溶剤を、支持体とウエハとの間に流し込むことによって、支持体と基板とを容易に分離することができる。
　【００６９】
　また、他の実施形態において、支持体とウエハとの間には、接着層の他に反応層が介在していてもよい。反応層は、支持体を介して照射される光を吸収することによって変質するようになっており、反応層に光等を照射して反応層を変質させることによって、支持体とウエハとを容易に分離することができる。この場合、支持体は厚さ方向に貫通する孔が設けられていない支持体を用いることが好ましい。
　【００７０】
　反応層に照射する光としては、反応層が吸収可能な波長に応じて、例えば、ＹＡＧレーザ、リビーレーザ、ガラスレーザ、ＹＶＯ４レーザ、ＬＤレーザ、ファイバーレーザ等の固体レーザ、色素レーザ等の液体レーザ、ＣＯ２レーザ、エキシマレーザ、Ａｒレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザ等の気体レーザ、半導体レーザ、自由電子レーザ等のレーザ光、又は、非レーザ光を適宜用いればよい。反応層に吸収されるべき光の波長としては、これに限定されるものではないが、例えば、６００ｎｍ以下の波長の光であり得る。
　【００７１】
　反応層は、例えば光等によって分解される光吸収剤を含んでいてもよい。光吸収剤としては、例えば、グラファイト粉、鉄、アルミニウム、銅、ニッケル、コバルト、マンガン、クロム、亜鉛、テルル等の微粒子金属粉末、黒色酸化チタン等の金属酸化物粉末、カーボンブラック、又は芳香族ジアミノ系金属錯体、脂肪族ジアミン系金属錯体、芳香族ジチオール系金属錯体、メルカプトフェノール系金属錯体、スクアリリウム系化合物、シアニン系色素、メチン系色素、ナフトキノン系色素、アントラキノン系色素等の染料若しくは顔料を用いることができる。このような反応層は、例えば、バインダー樹脂と混合して、支持体上に塗布することによって形成することができる。また、光吸収基を有する樹脂を用いることもできる。
　【００７２】
　また、反応層として、プラズマＣＶＤ法により形成した無機膜又は有機膜を用いてもよい。無機膜としては、例えば、金属膜を用いることができる。また、有機膜としては、フルオロカーボン膜を用いることができる。このような反応膜は、例えば、支持体上にプラズマＣＶＤ法により形成することができる。
　【００７３】
　本発明に係る接着剤組成物は、支持体と接着した後に薄化工程に供されるウエハと支持体との接着に好適に用いられる。上述のように、この支持体はウエハを薄化する際に、ウエハの強度を保持する。本発明に係る接着剤組成物は、このようなウエハと支持体との接着に好適に用いられる。
　【００７４】
　また、本発明に係る接着剤組成物は、支持体と接着した後に電極形成工程に供されるウエハと、支持体との接着に好適に用いられる。
　【００７５】
　接着剤組成物に膠着防止剤が含まれていれば、膠着防止剤に由来する金属成分がウエハ上に残存してしまい、電極が形成されたウエハの電気特性に悪影響を及ぼす。一方、本発明に係る接着剤組成物は、膠着防止剤が除去されているので、ウエハと支持体とを接着し、溶解させて洗浄した後に、ウエハ上に残渣が生じない。それゆえ、本発明に係る接着剤組成物をウエハと支持体との接着に用いれば、電極などの電気素子が設けられたウエハの電気特性、特に接続特性が良好である。
　【００７６】
　本発明に係る接着剤組成物によれば、ウエハと当該ウエハの支持体との接着に使用した後、溶剤で溶解して洗浄したときの、ウエハ上における残渣の発生を防止することができる。
　【００７７】
　（接着剤組成物により形成された接着剤層の除去）
　本発明に係る接着剤組成物によって接着されたウエハと支持体とを、上記の反応層を変質すること等によって分離した後に、接着剤層を除去する場合、接着剤組成物を溶解する溶剤を用いれば容易に溶解して除去できる。また、上記の反応層等を用いずに、ウエハと支持体とを接着した状態で接着剤層に直接溶剤を供給することによって、容易に接着剤層が溶解して当該接着剤層が除去され、ウエハと支持体とを分離することができる。この場合、接着剤層への溶剤の供給効率を上げるため、支持体には貫通した孔が設けられていることがより好ましい。
　【００７８】
　〔接着剤組成物の製造方法〕
　本発明に係る、ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物の製造方法は、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤を除去する精製工程を包含している。また、本発明に係る接着剤組成物の製造方法は、上記精製工程において、上記接着剤組成物に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分の含有量を、上記接着剤組成物の全固体重量に対して２ｐｐｍ以下にすることが好ましい。なお、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤に由来する金属成分の含有量の下限値は、「０」であることが望ましいものの、実質的には金属成分の検出限界値（一般的に１０ｐｐｂ）にすればよい。
　【００７９】
　（精製工程）
　精製工程において、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤を除去する方法としては、具体的には、（１）接着剤組成物を濾過して膠着防止剤を除去する方法が挙げられる。
　【００８０】
　接着剤組成物を濾過して膠着防止剤を除去する方法においては、まず、接着剤組成物を、孔径０．０１〜１０μｍのフィルターを通過させて（好ましくは０．１〜１０μｍ）、膠着防止剤を溶液から除去する。フィルターの孔径は、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤の種類に応じて適宜選択することができる。すなわち、フィルターは、当該膠着防止剤を濾過することが可能な孔径であればよい。
　【００８１】
　フィルターの材質は、例えば、ポリプロピレン、ナイロン（ポリアミド）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等が挙げられる。孔径は０．０１〜１０μｍ、好ましく０．１〜１０μｍから適宜選択すればよい。
　【００８２】
　なお、上記精製工程（１）の前処理工程（２）として、接着剤組成物に使用する樹脂を溶剤に溶解させた樹脂溶液を、当該樹脂溶液に対して貧溶媒となる、例えば水、アルコール中に滴下して、樹脂を再沈殿（析出）させてもよい。このようなアルコールは、炭素数１〜４のアルコールであることが好ましく、例えば、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、２−ブタノール等が挙げられる。樹脂を溶解させる溶剤としては、上述したｐ−メンタン等のテルペン系溶剤、上述したシクロヘキサン、デカヒドロナフタリン等の石油系溶剤が挙げられる。そして沈殿した樹脂を、上記膠着防止剤が分散した溶液から取り出すことによって、樹脂から膠着防止剤を除去する。このように膠着防止剤が除去された樹脂を用いて接着剤組成物を調製する。そして、上記精製工程（１）により接着剤組成物をさらに精製することによって、膠着防止剤が除去された接着剤組成物を製造することができる。
　【００８３】
　溶液中に沈殿した樹脂は、濾過、上澄みの除去（デカンテーション）、遠心分離、樹脂の再沈殿等の方法によって、溶液から取り出すことができる。
　【００８４】
　また、上記精製工程（１）の前処理工程（２）として、ペレット状の樹脂を洗浄して膠着防止剤を除去することもできる。まず、ペレット状の樹脂を、水、アルコール（好ましくは炭素数１〜４のアルコール）等の貧溶媒中において撹拌しながら洗浄し、ペレット状の樹脂の表面に付着している膠着防止剤を脱離させる。そして、ペレットが分散した溶液を、例えば孔径１０〜２００μｍのような、目の粗いメッシュフィルターにより濾過し、樹脂から脱離した膠着防止剤を除去する。このように膠着防止剤が除去された樹脂を用いて接着剤組成物を調製する。そして、上記精製工程（１）により接着剤組成物をさらに精製することによって、膠着防止剤が除去された接着剤組成物を製造することができる。
　【００８５】
　また、上述した水、アルコール等による洗浄と同様に、ペレット状の樹脂をフッ酸等の酸に浸漬して膠着防止剤を溶解除去する、酸による洗浄除去方法によって、膠着防止剤を溶解除去してもよい。
　【００８６】
　また、風力選別機（ジェットセパレータ）を使用して、比較的軽い膠着防止剤を風力により集塵させ、比較的重いペレットのみを回収することによって、樹脂から膠着防止剤を除去してもよい。
　【００８７】
　また、上記精製工程（１）の前処理工程（２）として、樹脂を溶液中に浸漬させた状態で、超音波洗浄することにより膠着防止剤を除去することもできる。樹脂を浸漬させる溶液としては、貧溶媒が挙げられる。貧溶媒としては、例えば、グリコールエーテル類である、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、炭素数１〜５の低級アルコールである、メタノール、エタノール、プロパノール等が挙げられる。これらの貧溶媒を用いることで、樹脂自体は実質的に溶解しないものの、樹脂を膨潤させることで、膠着防止剤を除去することが可能となる。さらに、樹脂を溶液に浸漬させる温度としては、２０度以上、５０度以下であることが好ましい。超音波洗浄する時間としては、５分以上、６０分以下であることが好ましい。このように膠着防止剤が除去された樹脂を用いて接着剤組成物を調製する。そして、上記精製工程（１）により接着剤組成物をさらに精製することによって、膠着防止剤が除去された接着剤組成物を製造することができる。
　【００８８】
　樹脂を溶液中に浸漬させた状態で超音波洗浄するときは、公知の超音波洗浄機を使用すればよい。
　【００８９】
　上述したような、接着剤組成物に含まれる膠着防止剤を除去する方法は、それぞれ単独で行ってもよいし、複数の方法を組み合わせて行ってもよい。すなわち、膠着防止剤を沈殿させて除去する方法により樹脂に含まれる膠着防止剤を除去した接着剤組成物を、さらに濾過して膠着防止剤を除去する方法に供してもよい。
　【００９０】
　上述した樹脂を再沈殿（析出）させた場合や、樹脂を洗浄した場合には、目の粗いメッシュフィルターにより濾過した後、ｐ−メンタン等のテルペン系溶剤、シクロヘキサン、デカヒドロナフタリン等の石油系溶剤に溶解させることによって、樹脂を回収してもよい。接着剤組成物を濾過して膠着防止剤を除去した場合には、濾過して得られた溶液を、接着剤組成物とする。
　【００９１】
　本発明に係る接着剤組成物の製造方法によれば、精製工程により接着剤組成物に含まれる膠着防止剤を除去するので、ウエハとウエハの支持体との接着に使用した後、溶剤で溶解して洗浄したときの、ウエハ上における残渣の発生を防止した接着剤組成物を製造することができる。また、ウエハと当該ウエハの支持体との接着に使用した後、溶剤で溶解して洗浄したときの、ウエハ上における残渣の発生を防止した接着剤組成物を提供することができる。
　【００９２】
　なお、本発明に係る接着剤組成物の製造方法によって、膠着防止剤が除去される対象となる接着剤組成物、及び本発明に係る接着剤組成物を用いてウエハと支持体とを接着する積層体の製造方法、当該積層体のウエハに電極を形成する電極形成方法、当該積層体のウエハから支持体を剥離する剥離方法、支持体を剥離したウエハを洗浄する洗浄方法も本発明の範疇である。
　【００９３】
　〔接着フィルム〕
　本発明に係る接着剤組成物は、用途に応じて様々な利用形態を採用することができる。例えば、液状のまま、半導体ウエハなどの被加工体の上に塗布して接着剤層を形成する方法を用いてもよいし、本発明に係る接着フィルム、すなわち、予め可撓性フィルムなどのフィルム上に上記何れかの接着剤組成物を含む接着剤層を形成した後、乾燥させておき、このフィルム（接着フィルム）を、被加工体に貼り付けて使用する方法（接着フィルム法）を用いてもよい。
　【００９４】
　このように、本発明に係る接着フィルムは、フィルム上に、上記何れかの接着剤組成物を含有する接着剤層を備える。
　【００９５】
　接着フィルムは、接着剤層にさらに保護フィルムを被覆して用いてもよい。この場合には、接着剤層上の保護フィルムを剥離し、被加工体の上に露出した接着剤層を重ねた後、接着剤層から上記フィルムを剥離することによって被加工体上に接着剤層を容易に設けることができる。
　【００９６】
　したがって、この接着フィルムを用いれば、被加工体の上に直接、接着剤組成物を塗布して接着剤層を形成する場合と比較して、膜厚均一性及び表面平滑性の良好な接着剤層を形成することができる。
　【００９７】
　接着フィルムの製造に使用する上記フィルムとしては、フィルム上に製膜された接着剤層を当該フィルムから剥離することができ、接着剤層を保護基板やウエハなどの被処理面上に転写できる離型フィルムであれば限定されるものではない。例えば、膜厚１５〜１２５μｍのポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、及びポリ塩化ビニルなどの合成樹脂フィルムからなる可撓性フィルムが挙げられる。上記フィルムには、必要に応じて、転写が容易となるように離型処理が施されていることが好ましい。
　【００９８】
　上記フィルム上に接着剤層を形成する方法としては、所望する接着剤層の膜厚や均一性に応じて適宜、公知の方法を用いて、フィルム上に接着剤層の乾燥膜厚が１０〜１０００μｍとなるように、本発明に係る接着剤組成物を塗布する方法が挙げられる。
　【００９９】
　また、保護フィルムを用いる場合、保護フィルムとしては、接着剤層から剥離することができる限り限定されるものではないが、例えばポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、及びポリエチレンフィルムが好ましい。また、各保護フィルムは、シリコンをコーティング又は焼き付けしてあることが好ましい。接着剤層からの剥離が容易となるからである。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、１５〜１２５μｍが好ましい。保護フィルムを備えた接着フィルムの柔軟性を確保できるからである。
　【０１００】
　接着フィルムの使用方法は、特に限定されるものではないが、例えば、保護フィルムを用いた場合には、これを剥離した上で、被加工体の上に露出した接着剤層を重ねて、フィルム上（接着剤層の形成された面の裏面）から加熱ローラを移動させることにより、接着剤層を被加工体の表面に熱圧着させる方法が挙げられる。このとき、接着フィルムから剥離した保護フィルムは、順次巻き取りローラなどのローラでロール状に巻き取れば、保存し再利用することが可能である。
　【実施例】
　【０１０１】
　〔接着剤組成物の調製〕
　実施例１〜１０及び比較例１〜４において使用した樹脂（炭化水素樹脂又はエラストマー）、重合禁止剤、主溶剤、添加溶剤を以下の表１及び２に示す。なお、表２中の「部」は全て重量部である。
　【０１０２】
　炭化水素樹脂としては、ポリプラスチックス社製の「ＴＯＰＡＳ（商品名）８００７Ｘ１０、Ｍｗ＝９５，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝１．９、ｍ：ｎ＝３５：６５（モル比）」（以下、ＣＯＣ　Ａと称する）、及び三井化学社製の「ＡＰＥＬ（商品名）８００８Ｔ　ＣＯＣ、Ｍｗ＝１００，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．１、ｍ：ｎ＝８０：２０（モル比）」（以下、ＣＯＣ　１と称する）を用いた。
　【０１０３】
　エラストマーとしては、クラレ社製のセプトン（商品名）のＨＧ２５２（ＳＥＥＰＳ−ＯＨ：ポリスチレン−ポリ（エチレン−エチレン／プロピレン）ブロック−ポリスチレン　末端水酸基変性）、ＨＧ２５３、及びＳｅｐｔｏｎ８００７（ＳＥＢＳ：ポリスチレン−ポリ（エチレン／ブチレン）ブロック−ポリスチレン）、並びに、旭化成社製のタフテック（商品名）のＨ１０５１（ＳＥＢＳ、水添スチレン系熱可塑性エラストマー）、及びＨ１０５３（ＳＥＢＳ、水添スチレン系熱可塑性エラストマー）を用いた。なお、本実施例における「水添」とは、スチレンとブタジエンのブロックコポリマーの二重結合を水素添加したポリマーである。
　【０１０４】
　使用したエラストマー中のスチレン含有量及びエラストマーの重量平均分子量を、以下の表１に示す。
　【０１０５】
　【表１】
　【０１０６】
　また、熱重合禁止剤としては、ＢＡＳＦ社製の「ＩＲＧＡＮＯＸ（商品名）１０１０」を用いた。また、主溶剤としては、下記化学式（Ｉ）に示すデカヒドロナフタリンを用いた。また、添加溶剤として、酢酸ブチルを用いた。
　【０１０７】
　【化１】
　【０１０８】
　実施例１の接着剤組成物の調製は次のとおり行った。まず、表２に示す樹脂１００重量部を主溶剤２５５重量部に溶解させた。次に熱重合禁止剤入りの酢酸ブチル溶液をエラストマー１００重量部に対して、熱重合禁止剤が１重量部、酢酸ブチルが４５重量部となるように加えた。このようにして得た接着剤組成物を、孔径１μｍのＰＴＦＥフィルター（ＰＡＬＬ社製）を用いて濾過した。得られた接着剤組成物中の膠着防止剤に由来する金属成分の含有量（メタル含有量）をＩＣＰ−ＭＳ（アジレントテクノロジー株式会社製、製品名：７５００ｃｓ）により測定した。
　【０１０９】
　また、接着剤組成物について、濁度を測定することにより、膠着防止剤除去効果を確認した。濁度はＳＨＩＭＡＤＺＵ　ＵＶ−３６００を用いて測定した。
　【０１１０】
　接着剤組成物中の金属成分の含有量は、ナトリウム、マグネシウム、アルミニウム、カリウム、カルシウム、クロム、マンガン、鉄、ニッケル、及び銅の１０元素のうち、接着剤組成物中に最も多く含まれている金属成分の含有量として表した。接着剤組成物中のメタル含有量を表２に示した。また、実施例２〜４及び６についても、同様の手法により接着剤組成物を得た。実施例５及び７については、膠着防止剤の除去を、接着剤樹脂成分を２３℃でメタノール中に浸漬した状態でスリーワンモータで攪拌・洗浄した後同様に濾過して行ったこと、実施例８については、膠着防止剤の除去を、接着剤樹脂成分のデカヒドロナフタリン溶解液（１０ｗ％濃度）を貧溶媒として、水／メタノール（重量比２／８）に滴下し接着剤樹脂成分を再沈殿させた後に同様に濾過して行ったこと以外は、実施例１と同様の手法により接着剤組成物を得た。また、実施例９については、膠着防止剤の除去を、風力選別機（ジェットセパレータ（ＡＣＯ社製、ジェットセパレータＣＦＳ））を用いて接着剤樹脂成分から膠着防止剤を集塵した後、同様に濾過して行った事以外は、実施例１と同様の手法により接着剤組成物を得た。
　【０１１１】
　実施例１０については接着剤樹脂成分をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに、３５℃で浸漬させた状態で超音波洗浄機中（アイワ医科工業製、型番：ＡＵ−７０Ｃ、発振出力：１００Ｗ、周波数：２８ｋＨｚ）で３０分間洗浄することで膠着防止剤を除去した後、同様に濾過して行った事以外は、実施例１と同様の手法により接着剤組成物を得た。
　【０１１２】
　実施例５、７〜１０の樹脂に対して上記所定の処理を施した後、処理後の樹脂を用いて接着剤組成物を調製した。ここで、実施例５、７、９、１０では、ペレットをそのまま処理した。実施例８では、ペレットを一度溶解させて、再沈殿処理をした。
　【０１１３】
　実施例１〜１０の各接着剤組成物中のメタル含有量は、いずれも、接着剤組成物の全固体重量に対して、１０ｐｐｂ以上、２ｐｐｍ以下であった。また、接着剤組成物の濁度についても、全て５％以下と良好であった。
　【０１１４】
　比較例１〜４については、接着剤組成物を濾過
しないで
　【０１１５】
　〔接着剤層の形成〕
　１２インチＳｉウエハに各接着剤組成物をスピン塗布して、１００℃、１６０℃、２００℃で各５分焼いて接着剤層を形成した（膜厚５０μｍ）。
　【０１１６】
　一方支持体には、後でレーザを照射して変質させることで支持体とウエハとを剥がすための反応層を設けた。反応層として、流量４００ｓｃｃｍ、圧力７００ｍＴｏｒｒ、高周波電力２５００Ｗ及び成膜温度２４０℃の条件下において、反応ガスとしてＣ４Ｆ８を使用したＣＶＤ法により、フルオロカーボン膜（１μｍ）をサポートプレート（１２インチガラス、厚さ７００μｍ）上に形成した。
　【０１１７】
　〔積層体の薄化処理〕
　ウエハと支持体との積層体を用いて、ウエハの薄化処理、フォトリソグラフィー処理等を行った。
　【０１１８】
　〔接着剤層の洗浄〕
　５３２ｎｍレーザを照射してウエハと支持体とを分離した。支持体を取り除いたウエハを、ｐ−メンタンによってスプレー洗浄し、接着剤層を除去した。接着剤層の除去後のウエハ表面を顕微鏡観察し、残渣の発生を確認した。結果を表２に示す。なお、表２において「○」と示した結果は、残渣が確認されなかったことを示し、「△」と示した結果は、小さな又は少量の残渣が確認されたことを示し、「×」と示した結果は、大きな又は多量の残渣が確認されたことを示す。
　【０１１９】
　【表２】
　【０１２０】
　表２に示すように、実施例では、洗浄後のウエハに残渣が生じなかったが、比較例では、洗浄後のウエハ表面に１〜１００μｍの結晶物の残渣が確認された。また、比較例では、接着剤組成物の濁度についても、全て５％を超えていた。
　【０１２１】
　本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施形態に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
　【産業上の利用可能性】
　【０１２２】
　本発明に係る製造方法、接着剤組成物及び接着フィルムは、例えば、微細化された半導体装置の製造工程において好適に利用することができる。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含む樹脂溶液から、上記（ｉｉ）
　上記精製工程
は
樹脂
により樹脂溶液中の上記塩鉱物の量を低減させる
、
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項２】
　上記精製工程において、上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止
剤の
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項３】
　上記精製工程の前に、上記
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項４】
　上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項５】
　上記精製工程の前に、風力選別により上記接着剤組成物に含まれる上記膠着防止剤を集塵することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項６】
　上記精製工程の前に、上記接着剤組成物を形成する
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
炭化水素樹脂またはエラストマー
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項７】
　
（ｉ）炭化水素樹脂またはエラストマーと、（ｉｉ）塩鉱物により構成される膠着防止剤と、（ｉｉｉ）炭化水素系溶剤と、を含むウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物であって、
　
上記
剤の
上記接着剤組成物の
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項８】
　上記ウエハは、上記支持体と接着した後に電極形成工程に供されることを特徴とする請求項７に記載のウエハと当該ウエハの支持体とを接着
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去
　【請求項９】
（削除）
　【請求項１０】
（削除）
　【請求項１１】
　フィルム上に、請求項７
または８
した後にウエハと支持体とを接着する接着剤層を溶解して除去する有機溶剤により除去