【事件の表示】
　特願２００１−１５５０９５「照明光学装置，該照明光学装置を備えた露光装置，およびマイクロデバイスの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１２月　６日出願公開、特開２００２−３５３１０５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１３年５月２４日の出願であって、平成２１年４月１６日付で拒絶査定がなされ、これに対して同年７月１７日付で拒絶査定の不服の審判が請求されたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項請求項１〜１０に係る発明は、平成２１年３月２７日付手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１０により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりである。
　
「光源からの光に基づいて被照射面を均一に照明するオプティカルインテグレータと，
　前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され，前記光源からの光の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換する光変換手段と，
を含み，
　前記光変換手段は，アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子と，前側焦点位置が前記多数の微小な反射面に位置するリレー光学系と，を含むことを特徴とする照明光学装置。」
　
３．引用例の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に日本国内または外国において頒布された刊行物である特開平８−３１３８４２号公報には、以下の記載がある。（以下、「引用例１」という。下線は当審にて付与。）
（１ａ）「【請求項１】
所定の物体面をほぼ均一に照明する照明光学系において、
　ほぼ平行な照明光束を供給するための光源手段と、
　互いに独立に向きを変化させることのできる多数の微小反射面を有し、該多数の微小反射面の各々により前記光源手段からの照明光束を反射して偏向するための光偏向手段と、
　前記光偏向手段で反射された照明光束に基づいて複数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、
　前記多光源像形成手段からの光束を集光して前記物体面上を重畳的に照明するコンデンサ光学系と、
　を備えていることを特徴とする照明光学系
　
（１ｂ）「【０００２】
【従来の技術】高集積半導体素子等を製造するための露光装置に使用される照明光学系では、被照明物体面上における優れた照度均一性が要求される。このため、従来のこの種の照明光学系では、オプティカルインテグレータのような多光源像形成手段を介して被照射面を重畳的に照明する構成が採用されている。
【０００３】図５は、従来の露光装置の構成を概略的に示す図である。図示の装置は、たとえば照明光を供給するための光源５１を備えている。光源５１から射出された照明光束は、楕円鏡５２を介して一旦集光された後、ミラー５４に入射する。ミラー５４によって図中右側に反射された照明光は、コリメートレンズ５５によって平行光束に変換された後、
オプティカルインテグレータとしてのフライアイレンズ５７に入射する
　
（１ｃ）「【００１５】
【作用】本発明では、
互いに独立に向きを変化させることのできる多数の微小反射面を有する光偏向手段を備え、この多数の微小反射面の各々により光源手段からの照明光を反射して偏向する。このような光偏向手段として、例えばＤＭＤ（Digital Micromirror Deviceまたは Deformable Micromirror Device）を使用することができる
【００１６】ＤＭＤは、近年新たに提案されているマイクロディバイスである。たとえばソリッド　ステイト　テクノロジ（Solid State Technology）の１９９４年７月号の第６３頁乃至第６８頁、エス　アイ　ディー（SID)１９９３年ダイジェスト版の第１０１２頁乃至第１０１５頁、エス　ピー　アイ　イー　クリティカル　レヴューズ　シリーズ（SPIE Critical Reviews Series）第１１５０巻の第８６頁乃至第１０２頁等に開示されているように、
ＤＭＤは碁盤の目状に配列された多数のマイクロミラー（微小反射ミラー）からなる
【００１７】このように、ＤＭＤは微小なマイクロミラーを集積化したものであり、
各マイクロミラー毎に設けられた電極とマイクロミラーとの間の静電引力によってマイクロミラーの角度（すなわち向き）が変化する
【００１８】本発明において、
ＤＭＤの各マイクロミラーは、光源からの照明光を反射してフライアイレンズのような多光源像形成手段に導くＯＮ状態と、照明光を反射してフライアイレンズには入射させないＯＦＦ状態との間で、それぞれ個別に駆動制御される
ＤＭＤを構成するすべてのマイクロミラーをＯＮ状態にすることにより光源からの照明光を被照射面に導き、
光源からの照明光を
他の光学系に導くことができる
【００１９】また、
ＤＭＤを構成するマイクロミラーのうち特定の領域のマイクロミラーだけをＯＮ状態にすることにより、フライアイレンズに入射する平行光束の断面形状を
規定する
【００２０】さらに、
被照射面上の照度分布を検出し、その結果に基づいてＤＭＤの各マイクロミラーの向きを適宜制御することによって、被照射面上の照度分布をほぼ均一に随時補正することができる。
　
（１ｄ）「【００２３】フライアイレンズ５に入射した光束は、フライアイレンズ５を構成する複数のレンズエレメントにより二次元的に分割され、フライアイレンズ５の後側焦点位置に複数の光源像を形成する。このように、
フライアイレンズ５は、ＤＭＤ４からの光束に基づいて複数の光源像を形成する多光源形成手段を構成している
　
　
　上記の記載事項から、引用例１には以下の発明〔以下、「引用例発明」という。〕が記載されている。
「所定の物体面をほぼ均一に照明する照明光学系において、
　ほぼ平行な照明光束を供給するための光源手段と、
　互いに独立に向きを変化させることのできる多数の配列された微小反射面を有し、特定の領域の微小反射面だけをＯＮ状態にすることにより前記光源手段からの照明光束を反射して偏向し、平行光束の断面形状を規定する光偏向手段と、
　前記光偏向手段で反射された照明光束に基づいて複数の光源像を形成するためのオプティカルインテグレータとしてのフライアイレンズを構成する多光源像形成手段と、
　前記多光源像形成手段からの光束を集光して前記物体面上を重畳的に照明するコンデンサ光学系と、
　を備えている照明光学系。」
　
４．対比
　引用例発明の「光源」「多数の配列された微小反射面を有する光偏向手段」「照明光学系」は、本願発明の「光源」「微小な反射面を有する光学素子を含む光変換手段」「照明光学装置」に相当する。
　
　引用例発明の「オプティカルインテグレータとしてのフライアイレンズを構成する多光源像形成手段」は、「光偏向手段で反射された」「光源手段からの照明光束」によって「所定の物体面をほぼ均一に照明する」ものであるから、本願発明の「光源からの光に基づいて被照射面を均一に照明するオプティカルインテグレータ」に相当する。
　
　引用例発明の「光偏向手段」が「光源手段からの照明光束を反射」し、かつ、「多光源像形成手段」が受ける「照明光束」へ「偏向」する位置にあることは、本願発明の「光変換手段」が「光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され」ていることに相当する。
　
　本願明細書の詳細な説明【０００９】には、「本発明の第１発明は，光源からの光に基づいて被照射面を均一に照明するオプティカルインテグレータと，前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され，
前記光源からの光の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換する光変換手段
光変換手段は，アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子を含む
微小な各反射面を所定方向に，所定角度傾けて配置すれば，光束を反射面毎の微小単位に分割して，所定方向に，所定角度偏向させることができる。これより，
光束の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換でき
　引用例発明の「光偏向手段」が「互いに独立に向きを変化させることのできる多数の配列された微小反射面を有し、特定の領域の微小反射面だけをＯＮ状態にすることにより前記光源手段からの照明光束を反射して偏向し、平行光束の断面形状を規定する」ことは、本願発明の「アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子を含む光変換手段」が「光源からの光の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換する」ことに相当する。
　
　したがって、本願発明と引用例発明とは、
「光源からの光に基づいて被照射面を均一に照明するオプティカルインテグレータと，
　前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され，前記光源からの光の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換する光変換手段と，
を含み，
　前記光変換手段は，アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子を含むことを特徴とする照明光学装置。」
で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願発明の「光変換手段」は、「アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子」のほかに「焦点位置が多数の微小な反射面に位置するリレー光学系を含む」のに対して、引用例発明では、リレー光学系は記載されていない点。
　
５．判断
５−１．相違点１について
　リレー光学系は、ある像面からの光を公報に離れた別の結像面に導く本願出願前従来周知の光学技術（特開２０００−３２１５０１号公報、特開平７−３１１３４８号公報、特開昭６０−８０８１６号公報参照）である。したがって、引用例発明においてリレー光学系を採用することは、当業者が適宜なし得たことである。
　なお、リレー光学系は、その機能上、像面と物体面とが共役となるように配置されなければならないものであるから、リレー光学系を採用するに際して、リレー光学系を「前側焦点位置が多数の微小な反射面に位置する」ように配置することは、当然のことである。
　以上のことから、引用例発明において、相違点１に係る構成を有するものとすることは、当業者が適宜なし得た事項である。
　
５−２．請求人の主張について
　請求人は、平成２１年７月１７日付審判請求書にて引用例１について以下のように主張する。
　
『３．本願発明が特許されるべき理由 
 （ａ）本願発明の説明 
 　・・・
   より詳細に説明すれば、本願請求項１に係る発明は、上記（ハ）および（ニ）に示したように、アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子と、その前側焦点位置が多数の微小な反射面に位置決めされたリレー光学系とを組み合わせて用いる点に特徴がある。
これにより、本願請求項１に係る照明光学装置では、多数の微小な反射面を有する光学素子を経由することで生じる光の角度分布を、リレー光学系によって位置分布に変換することが可能となる
 　その結果、上述のように、オプティカルインテグレータ上に所望の光強度分布の光束を形成することが可能となり、また、絞りによって遮光することなく光束形状を変更可能であるため、高い光効率を得ることができる。』（審判請求書　３．（ａ）参照。）
　
『（ｃ）本願発明と引用発明との対比
しかしながら、引用文献１には、ＤＭＤ４とフライアイレンズ５との間に、その前側焦点位置が多数の微小な反射面に位置決めされたリレー光学系を設ける点については、記載も示唆もされていない。また、引用文献１には、上記（ａ）にて説明したような本願請求項１に係る発明の技術思想について、記載も示唆もされていない。
 　また、引用文献１［００２７］段落の 
 「本実施例では、ＤＭＤ４の各マイクロミラーは、制御手段１４により、光源１からの照明光を反射してフライアイレンズ５に導くＯＮ状態と、照明光を反射してフライアイレンズ５には入射させないＯＦＦ状態との間で、それぞれ個別に駆動制御される。」 
 という記載や、同文献［００２８］段落の 
 「また、制御手段１４により、ＤＭＤ４を構成するマイクロミラーのうち特定の領域のマイクロミラーだけをＯＮ状態にすることにより、フライアイレンズ５に入射する平行光束の断面形状をひいてはマスク７やウエハ１０上の照明領域を規定することができる。」 
 という記載からも明らかなように、
引用文献１では、ＤＭＤ４を構成する複数のマイクロミラーをＯＮ状態／ＯＦＦ状態で制御
ＯＮ状態のマイクロミラーからの光のみをフライアイレンズ５へ導き、ＯＦＦ状態のマイクロミラーからの光はフライアイレンズ５へ導かず遮光している。そのため、引用文献１では、光の一部を捨てていることとなる
 　よって、
光効率を高くするという本願請求項１に係る発明が奏する効果は、引用文献１では得ることができない
　
　しかしながら、本願発明は「光変換手段は，アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子と，前側焦点位置が前記多数の微小な反射面に位置するリレー光学系と，を含む」と規定されるのみであって、引用例発明のように微小反射面からの光の一部を捨ててしまっているものも含むのであるから、上記作用効果に係る主張は特許請求の範囲の記載に基づかないものであり、失当である。
　
（まとめ）
　上述したとおり、本願発明は、引用例発明および従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のことから、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。