【手続補正書】
【提出日】平成23年1月12日(2011.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）基板と、
（ｂ）前記基板に配置された少なくとも２つの連続した薄膜層であって、該薄膜層は互いに異なる屈折率を有する、前記少なくとも２つの薄膜層と、
（ｃ）  前記２つの薄膜層のうち少なくとも１つの屈折率は前記基板の屈折率よりも大きいものであり、
（ｄ）  前記少なくとも２つの薄膜層に亘って配置されたワイヤグリッド層であって、該ワイヤグリッド層は光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、前記ワイヤグリッド層と、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項２】
前記薄膜層の一つは、非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項３】
前記ワイヤグリッド層に亘って配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備え、少なくとも１つの他の薄膜層は非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項４】
光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）所定の屈折率を有する基板と、
（ｂ）前記基板に配置された少なくとも１つの薄膜層であって、該薄膜層は前記基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する、前記少なくとも１つの薄膜層と、
（ｃ）  前記少なくとも１つの薄膜層に亘って配置されたワイヤグリッド層であって、該
ワイヤグリッド層は光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、前記ワイヤグリッド層と、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項５】
前記少なくとも１つの薄膜層は、非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項４に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項６】
前記ワイヤグリッド層に亘って配置された少なくとも１つの他の薄膜層を更に備え、該少なくとも１つの他の薄膜層は非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項４に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項７】
光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）基板と、
（ｂ）  前記基板に亘って配置されたワイヤグリッド層であって、該ワイヤグリッド層は光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、前記ワイヤグリッド層と、
（ｃ）  前記ワイヤグリッド層に亘って配置された誘電層であって、該誘電層は非金属要素のアレイを備える、前記誘電層と、
（ｄ）  前記ワイヤグリッド層と前記誘電層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層と、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項８】
前記基板と前記ワイヤグリッド層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備え、前記少なくとも１つの薄膜層は、互いに異なる屈折率を有する複数の薄膜層を備える、請求項７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項９】
前記基板と、該基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する前記ワイヤグリッド層と、の間に配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備える、請求項７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１０】
前記基板と、非金属要素のアレイを有する前記ワイヤグリッド層との間に誘電グリッドを更に備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１１】
光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）基板と、
（ｂ）前記基板に亘って配置され、該基板を連続的に横断して延在する薄膜層のスタックと、
（ｃ）構造及び材料が均一である、前記薄膜層の少なくとも１つと、
（ｄ）光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のワイヤグリッドアレイを備える、前記薄膜層の少なくとも１つと、
（ｅ）非金属要素の誘電アレイを備える、前記薄膜層の少なくとも１つと、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１２】
前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１３】
前記基板と前記ワイヤグリッド層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備え、前記少なくとも１つの薄膜層は、互いに異なる屈折率を有する複数の薄膜層を備える、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１４】
前記基板と前記ワイヤグリッド層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層は、該基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１５】
前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１６】
光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）  基板と、
（ｂ）  前記基板に亘って配置され、光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、ワイヤグリッドアレイと、
（ｃ）  前記ワイヤグリッドアレイの上方又は下方に配置され且つ異なる屈折率を有する異なる材料から形成された、非金属要素の少なくとも２つの異なる誘電アレイであって、前記屈折率の少なくとも１つは、前記基板の屈折率よりも大きい、前記誘電アレイと、
を備え、
（ｄ）  前記誘電アレイの非金属要素と前記ワイヤグリッドアレイの金属要素とは、互いに略平行に方向付けられ、実質的に等しい周期を有する、ワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１７】
前記デバイスは、紫外光を偏光させるための紫外光偏光子であり、
前記細長い金属要素のワイヤグリッドアレイは、１５０ｎｍよりも小さい周期を有する、請求項１６に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１８】
前記誘電アレイの材料は、テルル化カドミウム、ゲルマニウム、テルル化鉛、酸化シリコン、テルル、二酸化チタニウム、シリコン、硫化カドミウム、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、又は、前記した材料の組み合わせから作られる、請求項１７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項１９】
前記デバイスは、可視光を偏光させるための可視光偏光子であり、
前記細長い金属要素のワイヤグリッドアレイは、２００ｎｍよりも小さい周期を有する、請求項１６に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項２０】
前記誘電アレイの材料は、テルル化カドミウム、ゲルマニウム、テルル化鉛、酸化シリコン、テルル、二酸化チタニウム、シリコン、又は、前記した材料の組み合わせから作られる、請求項１９に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項２１】
前記デバイスは、赤外光を偏光させるための赤外光偏光子であり、
前記細長い金属要素のワイヤグリッドアレイは、５，０００ｎｍよりも小さい周期を有する、請求項１６に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項２２】
前記誘電アレイの材料は、フッ化マグネシウム、酸化アルミニウム、テルル化カドミウム、ゲルマニウム、又は、前記した材料の組み合わせから作られる、請求項２１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
【請求項２３】
光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）  基板と、
（ｂ）  前記基板に亘って配置され、光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備え、該金属要素の間にギャップを形成する、ワイヤグリッド層と、
（ｃ）  前記ワイヤグリッド層に亘って配置され、互いに境界付けられた複数の誘電グリッド層であって、該誘電グリッド層の少なくとも１つは、誘電材料要素のアレイを備えている、前記複数の誘電グリッド層と、
を備え、
（ｄ）  前記誘電材料要素のアレイと前記金属要素のアレイとは、互いに略平行に方向付けられ、実質的に等しい周期を有する、ワイヤグリッド偏光子デバイス。