【手続補正書】
【提出日】平成23年9月5日(2011.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス入口を含む装置であって、
前記ガス入口は、供給源ガスと流体連絡しているガス入口および気化器のパージガス入口と流体連絡しているパージガス出口を有する１つまたは複数の再生可能な精製器と流体連絡しており、前記精製器が精製器へのガス入口から汚染物質を除去してパージガスを形成し、
前記気化器がハウジングと１つまたは複数の微小孔性ホローファイバ膜を含み、前記ハウジングが微小孔性ホローファイバの第１の側と流体連絡しているパージガス入口およびパージガス混合物出口を含み、前記ハウジングが前記微小孔性ホローファイバの第２の側と流体連絡している気化可能液体入口および気化可能液体出口を含み、リソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる汚染物質を除去するように前記微小孔性ホローファイバ膜が処理され、前記微小孔性ホローファイバが気化可能液体による液体浸入に抵抗性であり、
気化器、パージガス混合物出口、またはこれらの組合せの温度を１つまたは複数の設定点範囲以内に維持する温度調節システムと、
微小孔性ホローファイバ内で気化可能液体中のパージガスの泡の形成を阻止するように気化可能液体およびパージガスの圧力を維持する圧力調節システムとを含む、装置。
【請求項２】
さらに、温度調節システムがさらに温度制御器、ヒーター、冷却装置、またはこれらの組合せを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
圧力調節システムが圧力制御器および背圧制御器を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
圧力調節システムが気化可能液体の圧力をパージガスの圧力よりも約５ｐｓｉ以上高く維持する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
温度調節システムがパージガス混合物出口の温度を蒸気の凝縮点よりも上に維持する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
温度調節システムがパージガス混合物の温度をパージガスの流量に関係なく維持する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
パージガス混合物出口と流体連絡しているパージガス出口をさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
液体トラップをさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
１つまたは複数の気化器を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
パージガス混合物が、リソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる汚染物質を１ｐｐｂ未満有する、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
２０ｓｌｐｍを超える流量を伴うパージガス混合物を含む組成物であって、前記パージガスがリソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる汚染物質を１ｐｐｂ未満含み、前記パージガス混合物がパージガスを飽和させる蒸気の約２０％よりも多くを含み、前記蒸気がリソグラフィ処理に使用される化学物質の活性を維持または促進する、組成物。
【請求項１２】
気化器、気化器へのパージガス入口、またはこれらの組合せの温度を温度調節システムで１つまたは複数の設定点範囲以内に制御する工程と、
気化器内の１つまたは複数の微小孔性ホローファイバによって分離された気化可能液体とパージガスの圧力を、微小孔性ホローファイバ内で気化可能液体中のパージガスの泡の形成を低減させるように圧力調節システムで制御する工程と、
気化器内でパージガスを気化可能液体と接触させる工程とを含む方法であって、前記気化器がハウジングおよび１つまたは複数の微小孔性ホローファイバ膜を含み、前記ハウジングが１つまたは複数の微小孔性ホローファイバの第１の側と流体連絡しているパージガス入口およびパージガス混合物出口を含み、前記ハウジングが前記微小孔性ホローファイバの第２の側と流体連絡している気化可能液体入口および気化可能液体出口を含み、リソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる気化可能汚染物質を除去するように前記微小孔性ホローファイバ膜が処理され、前記微小孔性ホローファイバが気化可能液体による液体浸入に抵抗性である、方法。
【請求項１３】
圧力調節システムが気化可能液体の圧力をパージガスの圧力よりも約５ｐｓｉ以上高く維持する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
温度調節システムがパージガス混合物出口の温度を蒸気の凝縮点よりも上に維持する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
温度調節システムがパージガス混合物の温度をパージガスの流量に関係なく維持する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
パージガスを気化器のパージガス混合物出口から出るパージガス混合物と混合する作用をさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記パージガス混合物を液体トラップに通して液体を除去する作用をさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
気化器に気化可能液体を供給する作用をさらに含み、気化可能液体が再循環ループで流れる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
パージガス混合物が不純物を１ｐｐｂ未満有する、請求項１２に記載の方法。
【請求項２０】
気化可能液体がリソグラフィ処理で利用される蒸気を含むパージガス混合物を発生させる、請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
ガス入口を含む装置であって、
前記ガス入口は、供給源ガスと流体連絡しているガス入口および気化器のパージガス入口と流体連絡しているパージガス出口を有する１つまたは複数の再生可能な精製器と流体連絡しており、前記精製器が精製器へのガス入口から汚染物質を除去してパージガスを形成し、
前記気化器がハウジングと１つまたは複数の微小孔性ホローファイバ膜を含み、前記ハウジングが微小孔性ホローファイバの第１の側と流体連絡しているパージガス入口およびパージガス混合物出口を含み、前記ハウジングが前記微小孔性ホローファイバの第２の側と流体連絡している気化可能液体入口および気化可能液体出口を含み、リソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる汚染物質を除去するように前記微小孔性ホローファイバ膜が処理され、前記微小孔性ホローファイバが気化可能液体による液体浸入に抵抗性であり、
気化器、パージガス混合物出口、またはこれらの組合せの温度を１つまたは複数の設定点範囲以内に維持する温度調節システムと、
パージガス中の蒸気の濃度を変更または維持する蒸気濃度調節システムとを含む、装置。
【請求項２２】
温度調節システムが熱交換器、温度制御された環境、またはこれらの組合せをさらに含む、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
温度調節システムがパージガス混合物出口の温度を蒸気の凝縮点よりも上に維持する、請求項２１に記載の装置。
【請求項２４】
温度調節システムがパージガス混合物の温度をパージガスの流量に関係なく維持する、請求項２１に記載の装置。
【請求項２５】
蒸気濃度調節システムが蒸気センサを含む、請求項２１に記載の装置。
【請求項２６】
蒸気濃度調節システムが、蒸気センサの出力を受け取り、かつマスフローコントローラを通るパージガス流量を変えて蒸気の濃度を変更または維持する制御器を含む、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
蒸気センサが水分センサである、請求項２５に記載の装置。
【請求項２８】
パージガス混合物が、リソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる汚染物質を１ｐｐｂ未満有する、請求項２１に記載の装置。
【請求項２９】
気化器、気化器へのパージガス入口、またはこれらの組合せの温度を温度調節システムで１つまたは複数の設定点範囲以内に制御する工程と、
気化器内でパージガスを気化可能液体と接触させる工程と、
蒸気濃度調節システムを使用してパージガス中の蒸気の濃度を変更または維持する工程とを含む方法であって、前記気化器がハウジングおよび１つまたは複数の微小孔性ホローファイバ膜を含み、前記ハウジングが１つまたは複数の微小孔性ホローファイバの第１の側と流体連絡しているパージガス入口およびパージガス混合物出口を含み、前記ハウジングが前記微小孔性ホローファイバの第２の側と流体連絡している気化可能液体入口および気化可能液体出口を含み、リソグラフィ用投影システム内の光学部品の光学特性を劣化させる気化可能汚染物質を除去するように前記微小孔性ホローファイバ膜が処理され、前記微小孔性ホローファイバが気化可能液体による液体浸入に抵抗性である、方法。
【請求項３０】
温度調節システムがパージガス混合物出口の温度を蒸気の凝縮点よりも上に維持する、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
温度調節システムがパージガス混合物の温度をパージガスの流量に関係なく維持する、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
パージガスを気化器のパージガス混合物出口から出るパージガス混合物と混合する作用をさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３３】
蒸気濃度調節システムが蒸気センサの出力を受け取り、マスフローコントローラを通るパージガス流量を変更してパージガス中の蒸気の濃度を変更または維持する、請求項２９に記載の方法。
【請求項３４】
パージガス混合物が不純物を１ｐｐｂ未満有する、請求項２９に記載の方法。
【請求項３５】
気化可能液体がリソグラフィ処理で利用される蒸気を含むパージガス混合物を発生させる、請求項２９に記載の方法。
【請求項３６】
パージガスに気化可能液体を添加し、それによってパージガス混合物を生成するように構成された気化器を含むパージガス混合物発生器であって、前記気化器がパージガス流を含む第１の領域および気化可能液体を含む第２の領域を含み、第１および第２の領域が膜コンタクタによって分離され、気化器がパージガス混合物出口をさらに含む、前記パージガス混合物発生器と、
気化器、パージガス混合物出口、またはこれらの組合せの温度を１つまたは複数の設定点範囲以内に維持する温度調節システムと、
膜コンタクタ内で気化可能液体中のパージガスの泡の形成を阻止するように気化可能液体およびパージガスの圧力を維持する圧力調節システムとを含む装置。
【請求項３７】
パージガスに気化可能液体を添加し、それによってパージガス混合物を生成するように構成された気化器を含むパージガス混合物発生器であって、前記気化器がパージガス流を含む第１の領域および気化可能液体を含む第２の領域を含み、第１および第２の領域が膜コンタクタによって分離され、気化器がパージガス混合物出口をさらに含む、前記パージガス混合物発生器と、
気化器、パージガス混合物出口、またはこれらの組合せの温度を１つまたは複数の設定点範囲以内に維持する温度調節システムと、
パージガス中の蒸気の濃度を変更または維持する蒸気濃度調節システムとを含む装置。
【請求項３８】
膜コンタクタがＮａｆｉｏｎ（登録商標）膜を含む、請求項３６または３７に記載の装置。
【請求項３９】
膜コンタクタが燃料電池加湿器として使用することに適している物質を含む膜を備える、請求項３６または３７に記載の装置。
【請求項４０】
膜コンタクタがイオノマーを含む、請求項３９に記載の装置。
【請求項４１】
膜コンタクタがスルホン化テトラフルオロエチレンコポリマーを含む、請求項４０に記載の装置。
【請求項４２】
温度調節システムが熱交換器、温度制御された環境、またはこれらの組合せをさらに含む、請求項３７に記載の装置。
【請求項４３】
蒸気濃度調節システムが蒸気センサを含む、請求項３７に記載の装置。
【請求項４４】
蒸気濃度調節システムが、蒸気センサの出力を受け取り、かつマスフローコントローラを通るパージガス流量を変えて蒸気の濃度を変更または維持する制御器を含む、請求項４３に記載の装置。
【請求項４５】
蒸気センサが水分センサである、請求項４３に記載の装置。
【請求項４６】
気化器、気化器へのパージガス入口、またはこれらの組合せの温度を温度調節システムで１つまたは複数の設定点範囲以内に制御する工程と、
気化器の膜コンタクタによって分離された気化可能液体およびパージガスの圧力を、膜コンタクタ内で気化可能液体中のパージガスの泡の形成を低減させるように圧力調節システムで制御する工程と、
気化器内でパージガスを気化可能液体と接触させ、それによってパージガス混合物を生成する工程とを含む方法であって、前記気化器がパージガス流を含む第１の領域および気化可能液体を含む第２の領域を含み、第１および第２の領域が膜コンタクタによって分離され、気化器がパージガス混合物出口をさらに含む、方法。
【請求項４７】
気化器、気化器へのパージガス入口、またはこれらの組合せの温度を温度調節システムで１つまたは複数の設定点範囲以内に制御する工程と、
気化器内でパージガスを気化可能液体と接触させ、それによってパージガス混合物を生成する工程と、
蒸気濃度調節システムを使用してパージガス中の蒸気の濃度を変更または維持する工程とを含む方法であって、前記気化器がパージガス流を含む第１の領域および気化可能液体を含む第２の領域を含み、第１および第２の領域が膜コンタクタによって分離され、気化器がパージガス混合物出口をさらに含む、方法。
【請求項４８】
膜コンタクタがＮａｆｉｏｎ（登録商標）膜を含む、請求項４６または４７に記載の方法。
【請求項４９】
膜コンタクタが燃料電池加湿器として使用することに適している物質を含む膜を備える、請求項４６または４７に記載の方法。
【請求項５０】
膜コンタクタがイオノマーを含む、請求項４９に記載の方法。
【請求項５１】
膜コンタクタがスルホン化テトラフルオロエチレンコポリマーを含む、請求項４９に記載の方法。
【請求項５２】
蒸気濃度調節システムが、蒸気センサの出力を受け取り、かつマスフローコントローラを通るパージガス流量を変えてパージガス中の蒸気の濃度を変更または維持する、請求項４７に記載の方法。