(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に部品を実装する部品実装装置において、
前記部品を保持して、前記基板へ実装する部品実装部と、
前記部品実装部を前記基板に対して相対的に移動させる移動部と、
前記部品実装装置の残留振動が支配的である第１の動作と前記部品実装部の残留振動が
支配的である第２の動作との間で前記部品実装部の加減速時間を変える制御部と、を有し
、さらに、前記制御部は、前記第１の動作にあっては前記加減速時間を前記部品実装装置
の固有振動周期に一致させ、前記第２の動作にあっては前記加減速時間を前記部品実装部
の固有振動周期に一致させることを特徴とする部品実装装置であって、
前記部品実装部の第１の方向における振動を得るための第１のシステムと、
前記部品実装部の第２の方向における振動を得るための第２のシステムと、を有し、
前記制御部は、前記第１のシステム及び前記第２のシステムの少なくとも１つが得た結果を用いて、前記加減速時間を変え、
前記第１のシステムは、前記部品実装部の前記第１の方向の位置の時刻歴応答より、前記部品実装部の前記第１の方向における振動を得るシステムであり、
前記第２のシステムは、前記部品実装部の前記第２の方向の位置の時刻歴応答より、前記部品実装部の前記第２の方向における振動を得るシステムである、部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に部品を実装する部品実装装置（チップマウンタ）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置（以下、チップマウンタ）は、電子部品（以下、チップ）を保持したノズルを降下させる機構（以下、マウント機構）と、それを支持する移動体と、移動体の駆動ステージとなるビームと、ビームの駆動ステージとなる架台で構成される。チップマウンタは、マウント機構を駆動ステージで基板上の所定位置まで移動させ、駆動ステージの稼働完了後、マウント機構の動作によりノズルが降下し、架台上に戴置される基板にチップを装着する装置である。このようなチップマウンタには、チップ装着サイクルの高速化と装着位置の高精度化が求められる。
【０００３】
特許文献１、及び２では、アクチュエータの指令信号をフーリエ変換して、対象とする固有振動数に対応する成分を極力零とするように、Ｓ字駆動制御などの移動平均処理を含むノッチフィルタ処理を施して指令信号を生成する技術や、何らかの振動オブザーバ等を使用し残留振動を小さくする技術を開示する。
【０００４】
また、特許文献３では、アクチュエータの制御器の指令信号の加速指令と減速指令の応答の時間幅を、それぞれ対象とする固有振動数の逆数とする方法や、固有振動数の逆数の２５％以下とする方法が開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−８９２８９１号公報
【特許文献２】特開２００２−３１８６０９号公報
【特許文献３】特開２００９−１８１３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明を限定する意図ではないが、特許文献１−３について説明する。
【０００７】
特許文献１や２で開示されている技術では、対象とする固有振動数に対応する成分をＳ字駆動制御などの移動平均処理を含むノッチフィルタ処理している。これらの制御は、固有振動数に起因する残留振動は小さくなるものの、指令信号の出力時間に対して動作遅れが生じて、次動作のズレや遅れの原因となり、チップ装着サイクルの高速化を妨げる要因となりうる。また、新たに振動オブザーバ等を移動体およびビームに追加して使用し、振動抑制制御を行う場合、装置の小型化や省スペース化を困難にし、コスト増にもつながる。
【０００８】
特許文献２や３では、加速指令と減速指令の応答の出力時間を装置構造の固有振動数の逆数とする方法や、固有振動数の逆数の２５％以下にする方法で残留振動を小さくする技術を公開している。しかし、チップマウンタなどの駆動ステージを有する装置の残留振動は、マウント機構と装置全体の固有振動のように２種類の固有振動に起因し、通常、特許文献２や３のように残留振動の主要因となる固有振動が１種類であることはない。チップマウンタでは、マウント機構に発生する残留振動はマウント機構と装置全体のそれぞれの固有振動に起因する残留振動が一定の割合で重ね合わさった状態のものとなる。また、駆動ステージの動作距離に応じて、マウント機構の固有振動に起因する残留振動が主要因になる場合と、装置全体の固有振動に起因する残留振動が主要因になる場合がある。よって、特許文献２や３のように動作距離によらず同じ固有振動に起因する残留振動のみを対策しても、残留振動を小さくする効果に差が生じて、結果として、動作距離によっては装着位置のずれが小さくならない場合がある。
【０００９】
チップマウンタの用途として、対象とする部品や基板サイズによってチップの装着間隔が異なり、同じチップを一定の間隔で基板に装着する場合は少ないため、チップマウンタに用いられる駆動ステージの動作距離は、短い場合もあれば長い場合もある。よって、いかなる動作距離でも、マウント機構の残留振動を低減してチップ装着位置の高精度化を図る必要がある。従来技術では、この点に関する配慮がなされていなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明を限定する意図ではないが、本発明の特徴を説明する。
【００１１】
本発明は、装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モード，マウント機構の残留振動の影響が支配的な動作モード等少なくとも２つの動作モードそれぞれにおける残留振動の影響を実質的に抑制するものである。
【００１２】
本発明は、マウント機構の固有振動周期が装置全体の固有振動周期よりも小さく、駆動ステージのアクチュエータの動作時間の最小値がマウント機構の固有周期の２倍に等しくなるように設定する。
【００１３】
本発明は、動作時間がマウント機構の固有振動周期の２倍以上で装置全体の固有振動周期の２倍未満の条件では、動作距離が大きくなっても加減速動作時間をマウント機構の固有振動周期に一致させ、動作時間が装置全体の固有振動周期の２倍以上の条件では、動作距離が大きくなっても加減速動作時間を装置全体の固有振動周期に一致させる。
【００１４】
本発明は、加減速時間がマウント機構の固有振動周期から装置全体の固有振動周期に切り替わる領域を複数のステップ関数またはランプ関数を組合せた形状等、任意の波形の組み合わせにする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、従来よりも部品の実装精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１でのチップマウンタの概略構成の正面図。
【図２】実施例１でのチップマウンタの概略構成の上面図。
【図３】駆動ステージの指令と振動の時刻歴応答図。
【図４】駆動ステージの調整した指令と振動の時刻歴応答図。
【図５】実施例１の制御を説明する図。
【図６】実施例２の制御を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１および図２は、本実施例１のチップマウンタの概略構成図であり、図１は正面図、図２は上面図である。図１および図２に示すように、チップマウンタは、基板３１が配置される架台３２と、架台上に設けられビーム１６を支持しＹ軸方向に移動させるＹ軸用駆動ステージ移動手段３３と、ビーム１６上に設けられ移動体１７を支持しＸ軸方向に移動させるＸ軸用駆動ステージ移動手段１０を有する。
【００１９】
Ｙ軸用駆動ステージ移動手段３３は、架台上に基板を挟んで互いに平行に配置される１対のＹ軸用ガイドレール３４と、ガイドレールに沿って摺動しビームの両端を支持するビーム支持スライダ３５と、そのビーム支持スライダを駆動させるＹ軸用アクチュエータ３６を備える。
【００２０】
また、Ｘ軸用駆動ステージ移動手段１０は、１対のＹ軸用ガイドレール間を架橋する程度に長尺なビーム１６と、そのビーム１６上をビーム長手方向に沿って設けられた１対のＸ軸用ガイドレール１９と、ガイドレールに沿って摺動自在なスライダと、そのスライダに固定された移動体１７と、移動体を駆動させるＸ軸用アクチュエータ１８を備える。また、移動体１７にはチップを基板上に装着するノズルを格納するマウント機構３７が搭載される。
【００２１】
Ｘ軸用アクチュエータ１８、及びＹ軸用アクチュエータ３６にはそれぞれリニアモータが用いられる。そして、Ｘ軸用駆動ステージ移動手段１０、及びＹ軸用駆動ステージ移動手段３３はチップマウンタの有する制御部が出力する指令信号によって制御される。なお、この制御部は後述する様々な演算，処理を行うものである。
【００２２】
Ｘ軸用駆動ステージ移動手段１０には、ビーム１６の長手方向に沿って（別の表現としては静止側）リニアモータ固定子と後述する第１の光学系からの信号をカウントするための第１のスケール２１とが配置される。一方、ビームに対して相対的に移動する移動体１７（他の表現としては可動側）にはリニアモータ可動子と第１の光学系とが配置される。第１の光学系は、第１の発光素子と第１の受光素子とを有するものである。
【００２３】
Ｙ軸用駆動ステージ移動手段３３の下部には、後述する第２の光学系からの信号をカウントするための第２のスケールが配置される。ビーム１６には、第２の光学系が配置される。第２の光学系は、第２の発光素子と第２の受光素子とを有するものである。
【００２４】
第１のスケール２１、及び第１の光学系によって移動体１７のＸ軸方向におけるマウント機構３７の位置を認識することができる。また、第２のスケール、及び第２の光学系によってのＹ軸方向におけるマウント機構３７の位置を認識することができる。つまり、第１のスケール、及び第１の光学系はＸ軸方向におけるマウント機構３７の位置を認識するための第１の位置認識システムであり、第２のスケール、及び第２の光学系はＹ軸方向におけるマウント機構３７の位置を認識するための第２の位置認識システムであると表現することができる。
【００２５】
この第１の位置認識システムは、時間的に連続してＸ軸方向におけるマウント機構３７の位置を認識している。よって、この位置の時刻歴応答からＸ軸方向における移動体１７の振動（これは装置全体の振動と表現することもできる）、及びマウント機構３７の振動を得ることができる。また、この第２の位置認識システムは、時間的に連続してＹ軸方向におけるマウント機構３７の位置を認識している。よって、この位置の時刻歴応答からＹ軸方向における移動体１７の振動、及びマウント機構３７の振動を得ることができる。つまり、本実施例における第１，第２の位置認識システムは、同時に振動認識システムであると表現することができる。そして本実施例では、この位置の時刻歴応答から後述するＴｎ(1)とＴｎ(2)を求める。
【００２６】
なお、本実施例では、この第１，第２の位置認識システムは、マウント機構３７動作範囲内Ｈhigh−Ｈlowの振動を得るように配置されることが望ましい。その理由は、より正確にマウント機構３７のノズル先端の残留振動を得ることができるからである。
【００２７】
上述した構成によって本実施例のチップマウンタでは、Ｘ軸用駆動ステージ移動手段１０、及びＹ軸用駆動ステージ移動手段３３により、マウント機構３７を架台上に配置される基板上のいずれのＸＹ軸平面上の位置にも移動させることができ、基板上の所定の位置にチップを装着することができることになる。なお、マウント機構３７は、前記基板の法線を含む方向に移動可能なものである。
【００２８】
さて、ここで前述したようにマウント機構３７は、Ｘ軸用駆動ステージ移動手段１０、及びＸ軸用駆動ステージ移動手段３３によって移動することになるが、この移動に伴う振動によりマウント機構３７にはある種の振動が発生する。
【００２９】
この振動について説明する。
【００３０】
図３に駆動ステージの稼働時の動作距離ｄを１mmとするときの、アクチュエータの速度指令応答ｖ、その１階微分に相当する加速度指令応答α、およびマウント機構３７に発生する強制振動ｘの時刻ｔにおける時刻歴応答の例を示す。
【００３１】
図３（ａ）は、時刻ｔとマウント機構３７の動作距離ｄとの関係を表す。図３（ａ）では、マウント機構３７は時刻ｓ１において距離ｄ１だけ移動し、その後は距離ｄ１の位置で停止していることを示している。
【００３２】
図３（ｂ）は、図３（ａ）の場合での時刻ｔと速度指令応答ｖとの関係を示している。図３（ｂ）では、マウント機構３７は、距離ｄ１へ到達するまでの時間Ｔの間に、加速動作を行う段階，定速動作を行う段階，減速動作を行う段階を経て、距離ｄ１へ到達することになる。
【００３３】
図３（ｃ）は、図３（ｂ）の場合での時刻ｔと加速度指令応答αとの関係を示している。図３（ｃ）では、加速動作を行う段階での加速度はａ１であり、定速段階を行う段階での加速度はゼロであり、減速段階での加速度−ａ１である。
【００３４】
図３（ｄ）は、図３（ｃ）の場合での時刻ｔと振動による変位Δｘとの関係を説明する図である。マウント機構３７には、時刻速度指令が出力されている間（時間Ｔの間）、慣性力加振によって強制振動が発生する。一方、駆動ステージの位置決め完了後、つまり、速度指令信号の出力終了直後は、マウント機構３７には固有振動に起因する残留振動が生じる。この残留振動は、マウント機構３７が基板へ部品を取り付ける際の取り付け精度に影響を与えるものである。よって、この残留振動の影響を少なくすることが好ましい。
【００３５】
次に、この残留振動の影響を小さくする方法について説明する。
【００３６】
今、マウント機構３７は、時間Ｔで距離ｄ２の位置で移動するものとする（図４（ａ））。
【００３７】
そして、マウント機構３７は、距離ｄ２へ到達するまでの時間Ｔの間に、加速動作を行う段階，定速動作を行う段階，減速動作を行う段階を経て、距離ｄ１へ到達するものとする（図４（ｂ））。
【００３８】
ここで、例えば、マウント機構３７の固有振動を１質点と１自由度バネでモデル化する（以下、１自由度モデル）。この場合、固有振動数［Ｈｚ］は式（１）の理論式で表される。なお、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は固有振動周期Ｔｎ［sec］の逆数であり、ｋは１自由度モデルのバネ剛性、ｍは１自由度モデルの質量、ωｎ［rad／sec］は固有角振動数を表す。
【００３９】
駆動ステージの加速度指令応答を、加速度にマウント機構３７の質量を乗じて、１自由度モデルの加振条件と考えると、１自由度モデルの時間ｔに対する振動応答の理論解ｘ（ｔ）は式（２）から式（５）の重ね合わせによって求められる。なお、式中のαは加速度［ｍ／sec2］、ζは減衰比、Ｔａは加速時間［sec］、Ｔｃは定速時間［sec］を表す。このような１自由度モデルでは、これらの理論解を用いて計算すると、加減速時間Ｔａを固有振動周期Ｔｎに一致させると（図４（ｃ））、マウント機構３７の残留振動を最も小さくすることができる。つまり、加減速時間Ｔａを固有振動周期Ｔｎに一致させれば、マウント機構３７の残留振動の影響を小さくすることができる（図４（ｄ））。
【００４０】
【数１】
0005872827.tif 000002
【００４１】
【数２】
0005872827.tif 000003
【００４２】
【数３】
0005872827.tif 000004
【００４３】
【数４】
0005872827.tif 000005
【００４４】
【数５】
0005872827.tif 000006
【００４５】
【数６】
0005872827.tif 000007
【００４６】
【数７】
0005872827.tif 000008
【００４７】
次に、残留振動について、さらに詳細に説明する。
【００４８】
チップマウンタでは、駆動ステージを稼働させ、停止状態から加速動作を行う。その後、基板上の所定位置で停止するための減速動作を行う。加減速動作の間、マウント機構３７には自身の質量と加速度の積に相当する慣性力が作用する。加速動作と減速動作の慣性力の作用方向はお互いに逆方向になる。マウント機構３７には加減速動作にかかる時間を加振周期とする強制振動が発生する。マウント機構３７は駆動ステージをＸ軸方向に稼働させるとＸ軸方向に振動し、Ｙ軸方向に稼働させるとＹ軸方向に振動する。そして、駆動ステージの動作が終了しＸＹ軸の位置決めが完了した後には、マウント機構３７の固有振動に起因する残留振動が発生することになる。
【００４９】
また、駆動ステージの稼働により、マウント機構３７の残留振動だけでなく、装置全体が装置重心まわりに剛体回転するように振動する固有振動に起因する残留振動が発生する。マウント機構には、両者の固有振動を重ね合わせた状態の残留振動が発生する。両者の残留振動はＸＹ軸の位置決めにずれを生じさせる原因となるため、駆動ステージの制御にとって残留振動を低減することは重要な課題である。また、装置全体が振動することから、装置を備え付けた床が大きく振動するなど、環境振動騒音にもつながることから、残留振動を低減することは重要である。
【００５０】
つまり、残留振動は大きく２種類に分けられることになる。１つはマウント機構３７の振動による残留振動であり、もう１つは装置全体が振動することによる残留振動である。そして、この２つの残留振動は、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向それぞれに発生する。
【００５１】
より詳細に説明する。
【００５２】
マウント機構３７をＸ軸方向にさせる場合（これは、第１のモードと表現することもできる。）、その速度指令の加減速時間Ｔａを、マウント機構３７がＸ軸方向に振動する固有振動周期（以下、Ｔｎ(1X)）、または装置全体がＸ軸方向に振動する固有振動周期（以下、Ｔｎ(2X)）に一致させればマウント機構３７の残留振動は小さくすることができる。
【００５３】
また、Ｙ軸方向にマウント機構３７を稼働させる場合（これは、第２のモードと表現することもできる。）、その速度指令の加減速時間Ｔａをマウント機構３７がＹ軸方向に振動する固有振動周期（以下、Ｔｎ(1Y)）、または装置全体がＹ軸方向に振動する固有振動周期（以下、Ｔｎ(2Y)）に一致させればマウント機構３７の残留振動を小さくすることができる（なお、以下では、Ｘ軸とＹ軸を区別しない場合、固有振動周期はＴｎ(1)とＴｎ(2)と記すものとする。）。
【００５４】
しかし、マウント機構３７の残留振動はＴｎ(1)とＴｎ(2)のそれぞれの周期の残留振動の重ね合わせとなっている。つまり、駆動ステージの動作距離によらず加減速時間Ｔａを一方の固有振動周期に合せてしまうと、駆動ステージの動作距離によってはもう一方の固有振動周期に起因する残留振動を小さくできず、場合によってはチップの装着ずれを小さくできないことも考えられる。
【００５５】
そこで、本実施例のチップマウンタでは、第１にマウント機構３７の質量が、装置全体の質量よりも小さいことに着目した。第２に、マウント機構３７の残留振動はＴｎ(1)とＴｎ(2)のそれぞれの周期の残留振動の重ね合わせと表現されるが、装置全体の残留振動の影響が支配的な場合と、マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な場合がある点に着目した。第３に、チップマウンタは比較的大きな距離を移動する粗動動作では装置全体の残留振動の影響が支配的であり、粗動動作よりも小さい距離を移動する微動動作ではマウント機構の残留振動の影響が支配的である点に着目した。
【００５６】
より具体的には、１自由度モデルに基づき式（１）を用いて質量比による固有振動周期の影響を計算すると、バネ剛性を同じだと仮定する場合にはＴｎ(1)はＴｎ(2)の１０分の１から４分の１となり、Ｔｎ(1)の方がＴｎ(2)よりも必ず小さくなることに着目した。本実施例では、このことを利用して、駆動ステージの動作距離に応じて対象とする固有振動周期を選択する。これは、他の表現としては、装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モードでは、加減速時間を装置全体の固有振動周期に実質的に一致させ、マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な動作モードでは、加減速時間をマウント機構３７の固有振動周期に実質的に一致させると表現することができる。
【００５７】
より具体的に図５を用いて説明する。
【００５８】
図５（ａ）は駆動ステージの動作距離ｄ［mm］と加減速時間Ｔａとの関係である。図５（ｂ）は速度指令応答の時間幅Ｔ［sec］と加減速時間Ｔａ［sec］との関係である。
【００５９】
本実施例では、例えば、Ｔの最小値ＴminをＴｎ(1)の２倍に設定する。そして、ＴがＴｎ(1)の２倍以上でＴｎ(2)の２倍未満の条件（マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な動作モード）では、速度指令の加減速時間ＴａをＴｎ(1)に一致させる。
【００６０】
そして、ＴがＴｎ(2)の２倍以上の条件（装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モード）では、速度指令の加減速時間ＴａをＴｎ(2)に一致させる。
【００６１】
これは、言い換えるなら、動作距離と加減速時間の関係において動作距離によらず加減速時間が一定の区間が２箇所あると表現してもよい。なお、駆動ステージのアクチュエータの速度ｖと加速度αは、加減速時間Ｔａから式（６）の最大速度ｖmaxと式（７）の最大加速度αmaxを超えないように設定されることが望ましい。つまり、速度ｖは最大速度ｖmax以下、加速度αは最大加速度αmax以下であることが望ましい。
【００６２】
【数８】
0005872827.tif 000009
【００６３】
【数９】
0005872827.tif 000010
【００６４】
また、本実施例では、駆動ステージが定速稼働をしている間は理論解で示したように強制振動が生じないため、定速稼働時間は必ずしもゼロでなくてもよい。
【００６５】
このようにすることで、装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モード，マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な動作モード等少なくとも２つの動作モードそれぞれにおける残留振動の影響を適切に抑制することができる。
【００６６】
なお、上記の加減速時間Ｔａをどのように設定するかは作業者が任意に設定でき、様々な入力装置，出力装置を使って操作することが可能である。
【００６７】
また、本実施例は図５（ａ）に示したように、動作距離に応じて加減速時間Ｔａを変えると表現することができるが、本実施例では、動作距離が比較的大きくなるのは例えば、マウント機構３７へ部品を供給するための部品供給装置上へマウント機構３７が移動する場合（部品供給動作）等が考えられる。また、動作距離が比較的小さくなるのは実際にマウント機構３７が基板へ部品を実装する場合（部品実装動作）等が考えられる。つまり、本実施例は、上述した側面とは異なる側面として、チップマウンタの動作の種類に応じて加減速時間を変えると表現することもできる。また、チップマウンタの動作の種類に応じて、制御すべき残留振動の種類を変えると表現することもできる。
【００６８】
また、本実施例は、他の表現としては、マウント機構３７の固有振動数に応じて、加減速動作時間の時間幅を調整し、動作距離が変わった場合であってもマウント機構の残留振動を低減すると表現することもできる。
【００６９】
また、本実施例は、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向それぞれについて制御すべき残留振動の種類を変えるものである。
【００７０】
また、本実施例は、部品を実装する動作の前に第１，第２の位置認識システムによって、Ｔｎ(1)とＴｎ(2)を実測しても良い。
【００７１】
また、本実施例では、実際の部品実装動作中に第１，第２の位置認識システムの少なくとも１つが得た結果に応じて現在どの残留振動が支配的かを判断し、上述した加減速時間を決定するようにしても良い。
【実施例２】
【００７２】
次に実施例２について説明する。実施例２では、実施例１と異なる部分について主に説明する。
【００７３】
図５にて説明した通り、装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モード，マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な動作モード等少なくとも２つの動作モードそれぞれにおける残留振動の影響を適切に抑制することができる。ここで、アクチュエータの性能が加減速時間Ｔａに対して十分であれば、図６（ａ）のように理想的な加減速時間は理想的となる。しかし、実施例１を否定するわけでないが、アクチュエータの性能によっては、設定された加減速時間Ｔａに追従できない場合も考えられる。その場合は、図６（ｂ）のように、アクチュエータが追従できない区間が発生する。本実施例はこのように、アクチュエータが追従できない場合でも、残留振動の影響を抑制するものである。
【００７４】
より具体的に説明する。本実施例では、アクチュエータが追従できない区間については、図６（ｃ）に示すようにステップ関数、及びランプ関数の組み合わせとする。このようにすることで、アクチュエータが追従できない場合でも、装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モード，マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な動作モード等少なくとも２つの動作モードそれぞれにおける残留振動の影響を可能な限り抑制することができる。なお、アクチュエータが追従できない区間の波形をどのようにするかは、作業者が任意に設定でき、様々な入力装置，出力装置を使って操作することが可能である。
【００７５】
以上、実施例１，２を説明してきた。限定の意図ではないが、本実施例１，２の他の効果について説明する。
【００７６】
実施例１，２では、装置全体の振動も小さくできることから、装置を備え付けた床の振動低減など、環境振動騒音が改善される効果もある。
【００７７】
実施例１，２では、Ｓ字駆動制御や移動平均処理を含むノッチフィルタを用いないため、指令信号に対する動作遅れが生じることがない。
【００７８】
実施例１，２では、位置認識システムに振動認識システムの機能を兼用させるため、新たに位置認識しシステムを設ける必要が無くなり、指令信号応答の時間幅の調整だけで済むことから、コストを増加させずに装置の小型化や省スペース化が可能となる。
【００７９】
なお、本発明は、本実施例には限定されない、装置全体の残留振動の影響が支配的な動作モード，マウント機構３７の残留振動の影響が支配的な動作モード等少なくとも２つの動作モードそれぞれにおける残留振動の影響を実質的に抑制するものは本発明の思想の範囲内である。
【符号の説明】
【００８０】
１０  Ｘ軸用駆動ステージ移動手段
１６  ビーム
１７  移動体
１８  Ｘ軸用アクチュエータ
１９  Ｘ軸用ガイドレール
２０  スライダ
２１  第１のスケール
【図１】
0005872827.tif 000011
【図２】
0005872827.tif 000012
【図３】
0005872827.tif 000013
【図４】
0005872827.tif 000014
【図５】
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【図６】
0005872827.tif 000016