(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機から送信される基準位置情報と、前記クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から送信される前記粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機と、
前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報に基づき、前記クリーンルームの基準位置に対する前記粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部と、
前記相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部と、
を備える、粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項２】
前記相対位置情報保存部に保存されている相対位置の情報を時刻認証する時刻認証部を更に備える、請求項１に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項３】
前記クリーンルームの基準位置情報を保存する基準位置情報保存部を更に備える、請求項１に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項４】
前記基準位置情報保存部に保存されている前記クリーンルームの基準位置情報を時刻認証する時刻認証部を更に備える、請求項３に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項５】
前記粒子測定装置の位置情報を保存する粒子測定装置位置情報保存部を更に備える、請求項１に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項６】
前記粒子測定装置位置情報保存部に保存されている前記粒子測定装置の位置情報を時刻認証する時刻認証部を更に備える、請求項５に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項７】
前記相対位置計測部が前記相対位置を所定の間隔で測定する、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項８】
前記クリーンルームが移動式クリーンルームである、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の粒子測定装置の位置記録システム。
【請求項９】
クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機から基準位置情報を送信することと、
前記クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から前記粒子測定装置の位置情報を送信することと、
位置情報受信機で前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報を受信することと、
前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報に基づき、前記クリーンルームの基準位置に対する前記粒子測定装置の相対位置を計測することと、
前記相対位置の情報を相対位置情報保存部に保存することと、
を含む、粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１０】
前記相対位置情報保存部に保存されている相対位置の情報を時刻認証することを更に含む、請求項９に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１１】
前記クリーンルームの基準位置情報を基準位置情報保存部に保存することを更に含む、請求項９に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１２】
前記基準位置情報保存部に保存されている前記クリーンルームの基準位置情報を時刻認証することを更に含む、請求項１１に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１３】
前記粒子測定装置の位置情報を粒子測定装置位置情報保存部に保存することを更に含む、請求項９に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１４】
前記粒子測定装置位置情報保存部に保存されている前記粒子測定装置の位置情報を時刻認証することを更に含む、請求項１３に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１５】
前記相対位置を所定の間隔で測定する、請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【請求項１６】
前記クリーンルームが移動式クリーンルームである、請求項９乃至１５のいずれか１項に記載の粒子測定装置の位置記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は環境評価技術に関し、特に粒子測定装置の配置記録システム及び粒子測定装置の配置記録方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子測定装置を用いて、飛散している汚染物質等の粒子が検出され、記録される（例えば、非特許文献１参照。）。粒子測定装置は、例えば、クリーンルーム内の空気を吸引するための吸引口と、粒子を検出した後の空気をクリーンルームに戻すための排気口と、を有する。ここで、吸引口又は排気口がクリーンルームの壁に著しく近い場合には、粒子測定装置の粒子検出能力が低下する場合がある。そのため、クリーンルームにおける粒子測定装置の配置は、粒子測定装置の粒子検出能力を担保可能な場所に決定され、その後は移動されないことが好ましい。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】長谷川倫男他，「気中微生物リアルタイム検出技術とその応用」，株式会社山武，azbil Technical Review 2009年12月号，p.2-7，2009年
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、クリーンルーム内において、粒子測定装置が必ずしも粒子検出能力を担保可能な場所に配置されるとは限られない。また、当初は、粒子測定装置が粒子検出能力を担保可能な場所に配置されたものの、その後、例えば生産ラインの変更による設備の入れ替え等の使用者の都合により、粒子測定装置が当初の配置から移動されることもある。このような場合において、粒子測定装置の粒子検出能力が低下し、結果としてクリーンルームの清浄度が高いと誤った判断がされる場合があることを本発明者は見出した。
【０００５】
また、クリーンルームには例えば移動式クリーンルームがあり、移動式クリーンルームは任意の場所に搬送可能である。そのため、移動式クリーンルームと、移動式クリーンルームに設置された粒子測定装置と、が、セットで中古品として販売されることがある。この際、中古品として販売されるクリーンルーム内の粒子測定装置の配置が適切でない場合、粒子測定装置が検出する粒子が少ないことから、クリーンルームの清浄度が高いと買い手に誤って判断される場合がある。しかし、買い手が中古品を購入後、粒子測定装置を適切な場所に配置しなおすと、粒子測定装置による検出粒子が増加し、買い手が期待していた程度のクリーンルームの清浄度が実際には得られない場合がある。そのため、中古品の販売者と、購入者と、の間で、クリーンルームの清浄度の保証に関して、争いが生じる場合がある。
【０００６】
このような争いにおいて、販売者と購入者の双方が、粒子測定装置の配置の重要性を認識していないことを本発明者は見出した。そこで、本発明は、粒子測定装置が所定の位置に配置されているか否かを監視可能な、粒子測定装置の位置記録システム及び粒子測定装置の位置記録方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様によれば、（ａ）クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機から送信される基準位置情報と、クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から送信される粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機と、（ｂ）基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部と、（ｃ）相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部と、を備える、粒子測定装置の位置記録システムが提供される。
【０００８】
また、本発明の態様によれば、（ａ）クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機から基準位置情報を送信することと、（ｂ）クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から粒子測定装置の位置情報を送信することと、（ｃ）位置情報受信機で基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報を受信することと、（ｄ）基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測することと、（ｅ）相対位置の情報を相対位置情報保存部に保存することと、を含む、粒子測定装置の位置記録方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、粒子測定装置が所定の位置に配置されているか監視可能な、粒子測定装置の位置記録システム及び粒子測定装置の位置記録方法を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムの模式図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るクリーンルームの第１の模式図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係る粒子測定装置の模式図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るクリーンルームの第２の模式図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムの模式図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１２】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムは、図１に示すように、クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機１から送信される基準位置情報と、クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機２から送信される粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機３と、基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部３０１と、相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部４０１と、を備える。
【００１３】
図２に示す移動式クリーンルーム１０は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備える。ただし、実施の形態に係るクリーンルームは、これに限定されない。例えば、コンテナ型のクリーンルーム、プレハブ型のクリーンルーム、及び移動式手術室等も、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。また、移動式ではないクリーンルームも、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。
【００１４】
クリーンルーム１０内部には、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）及びＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）等の超高性能エアフィルタを通して、清浄な空気が送り込まれる。さらにクリーンルーム１０内部には、空気等の気体に含まれる微粒子や微生物を除去し、気体を清浄化する清浄化装置が配置されていてもよい。
【００１５】
図３に示すように、クリーンルーム１０に配置された粒子測定装置２０は、クリーンルーム１０内の気体を内部に吸引するための吸引口２１と、検査後の気体をクリーンルーム１０に戻すための排気口２２と、を有する。例えば、粒子測定装置２０は、内部において、吸引された気体にレーザ光を照射する。レーザ光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。レーザ光が可視光である場合、レーザ光の波長は、例えば４００乃至４１０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。レーザ光が紫外光である場合、レーザ光の波長は、例えば３１０乃至３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３４０ｎｍである。
【００１６】
空気中に細菌を含む微生物等の微粒子が含まれる場合、レーザ光を照射された細菌が、蛍光を発する。細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。粒子測定装置２０は、レーザ光を照射された微生物が発した蛍光を検出し、蛍光強度を計測する。粒子測定装置２０は、蛍光強度の大きさに基づき、空気中に含まれている微生物の濃度を測定する。
【００１７】
なお、粒子測定装置２０が測定対象とする粒子は微生物に限られない。例えば、粒子測定装置２０が測定対象とする粒子は、無害又は有害な化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダストも含む。また、粒子測定装置２０の粒子の測定原理も、上記に限定されない。さらに、粒子測定装置２０の測定結果も粒子の濃度に限定されず、粒子数、及び粒径分布等を測定してもよい。
【００１８】
図４に示すように、第１の位置計測装置１１、第１の位置情報送信機１、及び第１のアンテナ１２がクリーンルーム１０の基準位置に固定されている。基準位置は、クリーンルーム１０における所定の位置である。例えば、クリーンルーム１０における基準位置が一度決定された後は、クリーンルーム１０における基準位置は変更されない。ただし、クリーンルーム１０が地球上で移動されたときは、クリーンルーム１０の移動に伴って、クリーンルーム１０の基準位置も地球上で移動する。第１の位置計測装置１１は、例えば汎地球測位システム（ＧＰＳ）を用いて、地球上におけるクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を計測する。第１の位置情報送信機１は、第１のアンテナ１２を用いて、第１の位置計測装置１１が計測したクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を含む基準位置情報を無線送信する。
【００１９】
また、図３に示すように、第２の位置計測装置２３、第２の位置情報送信機２、及び第２のアンテナ２４が粒子測定装置２０に固定されている。第２の位置計測装置２３は、例えばＧＰＳを用いて、図４に示す地球上における粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を計測する。図３に示す第２の位置情報送信機２は、第２のアンテナ２４を用いて、第２の位置計測装置２３が計測した粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を含む粒子測定装置２０の位置情報を無線送信する。例えば、第２の位置計測装置２３及び第２の位置情報送信機２には、内蔵バッテリ２５から電源が供給される。
【００２０】
図１に示す位置情報受信機３は、クリーンルーム１０の基準位置情報と、粒子測定装置２０の位置情報と、を受信する。位置情報受信機３は、受信したクリーンルーム１０の基準位置情報と、粒子測定装置２０の位置情報と、を、相対位置計測部３０１を含む中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に伝送する。位置情報受信機３はＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、有線又は無線ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を介して接続されていてもよい。
【００２１】
相対位置計測部３０１は、例えば、クリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）と、粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）と、の差をとり、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表すベクトル（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0，Ｚ1−Ｚ0）を算出する。相対位置を表すベクトルは、クリーンルーム１０の地球上における位置に影響されない。相対位置計測部３０１は、算出したベクトルを、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報として、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に、相対位置情報保存部４０１に保存する。また、例えば、相対位置計測部は、相対位置を表す情報を所定の間隔で作成し、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に、相対位置情報保存部４０１に累積的に保存する。
【００２２】
ＣＰＵ３００は、例えば、基準位置情報保存部４０２と、粒子測定装置位置情報保存部４０３と、をさらに備える。基準位置情報保存部４０２は、位置情報受信機３が受信したクリーンルーム１０の基準位置情報を、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に累積的に保存する。また粒子測定装置位置情報保存部４０３は、位置情報受信機３が受信した粒子測定装置２０の位置情報を、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に累積的に保存する。
【００２３】
ＣＰＵ３００は指示部３０２をさらに含んでいる。また、ＣＰＵ３００には、指示情報送信機３３がさらに接続されている。指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、図２に示す第１の位置計測装置１１及び図３に示す第２の位置計測装置２３に、位置計測の開始、終了等を指示する指示情報を送信する。送信された指示情報は、図２に示す第１の指示情報受信機３１で受信され、第１の位置計測装置１１に伝達される。また、送信された指示情報は、図３に示す第２の指示情報受信機３２で受信され、第２の位置計測装置２３に伝達される。
【００２４】
次に、図５に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法について説明する。
（ａ）ステップＳ１０１で図１に示す指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、送受信テスト用に応答信号を返信するよう、第１の指示情報受信機３１及び第２の指示情報受信機３２に指示信号を送信する。ステップＳ１０２で、第１の指示情報受信機３１及び第２の指示情報受信機３２が指示信号を受信した場合は、第１の位置情報送信機１及び第２の位置情報送信機２が、位置情報受信機３に応答信号を送信する。位置情報受信機３が応答信号を受信した場合は、ステップＳ１０３に進む。位置情報受信機３が応答信号を受信しなかった場合は、ステップＳ１１２に進み、指示部３０２は、ＣＰＵ３００に接続されている表示装置等に、通信エラーが生じたことを表示させる。
【００２５】
（ｂ）ステップＳ１０３で、指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、図２に示すクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）の計測の開始を指示する指示情報を、第１の指示情報受信機３１に送信する。また、指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、図３に示す粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）の計測の開始を指示する指示情報を、第２の指示情報受信機３２に送信する。
【００２６】
（ｃ）ステップＳ１０４で、第１の位置計測装置１１は、クリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を計測する。その後、第１の位置情報送信機１は、第１の位置計測装置１１が計測したクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を含む基準位置情報を、図１に示す位置情報受信機３に送信する。また、第２の位置計測装置２３は、粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を計測する。その後、第２の位置情報送信機２は、第２の位置計測装置２３が計測した粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を含む粒子測定装置２０の位置情報を、図１に示す位置情報受信機３に送信する。
【００２７】
（ｄ）ステップＳ１０５で、位置情報受信機３が基準位置情報及び粒子測定装置２０の位置情報を受信した場合、指示部３０２は、第１の指示情報受信機３１及び第２の指示情報受信機３２に、位置の座標の計測の終了を指示する指示情報を送信する。ステップＳ１０６で、位置情報受信機３は、受信したクリーンルーム１０の基準位置情報を、情報を受信した時刻と共に、基準位置情報保存部４０２に保存する。また、位置情報受信機３は、受信した粒子測定装置２０の位置情報を、情報を受信した時刻と共に、粒子測定装置位置情報保存部４０３に保存する。
【００２８】
（ｅ）ステップＳ１０７で、相対位置計測部３０１は、基準位置情報保存部４０２からクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を読み出す。また、相対位置計測部３０１は、粒子測定装置位置情報保存部４０３から粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を読み出す。次に、相対位置計測部３０１は、クリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）と、粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）と、の差をとり、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表すベクトル（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0，Ｚ1−Ｚ0）を算出する。ステップＳ１０８で、相対位置計測部３０１は、算出したベクトルを、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報として、位置情報を受信した時刻と共に、相対位置情報保存部４０１に保存する。
【００２９】
以上説明した第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法を所定の間隔で繰り返し実施することにより、相対位置情報保存部４０１に、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表すベクトル（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0，Ｚ1−Ｚ0）を累積的に保存することが可能となる。これにより、粒子測定装置２０が、クリーンルーム１０内において、粒子検出能力を担保可能な場所に配置されているか否かを経時的に監視することが可能となる。また、粒子測定装置２０がクリーンルーム１０内で移動された場合は、その時刻を特定することも可能となる。さらにクリーンルーム１０が移動された場合でも、クリーンルーム１０内における粒子測定装置２０の相対位置を正確に記録することが可能となる。
【００３０】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムのＣＰＵ３００は、図６に示すように、時刻認証部３０３をさらに備える。時刻認証部３０３は、相対位置情報保存部４０１に保存されている、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報を時刻認証する。第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。以下、図７に示すフローチャートを用いて、第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法における時刻認証に関するステップについて説明する。
【００３１】
第１の実施の形態と同様にステップＳ１０１乃至ステップＳ１０８が実施された後、ステップＳ２０１で、図６に示す時刻認証部３０３は、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報のハッシュ値を計算する。ステップＳ２０２で、時刻認証部３０３は、計算したハッシュ値を時刻認証業務認定業者（ＴＳＡ：Ｔｉｍｅ  Ｓｔａｍｐ Ａｕｔｈｏｒｉｔｙ）５０１に送付する。ステップＳ２０３で、ＴＳＡ５０１は、受信したハッシュ値に、時刻配信業務認定事業者（ＴＡ：Ｔｉｍｅ  Ａｕｔｈｏｒｉｔｙ）から配信された正確な時刻情報を組合せ、トークンを生成する。さらに、ＴＳＡ５０１は、トークンに公開鍵暗号方式を利用して電子署名を付与し、トークンを暗号化する。ステップＳ２０４で、ＴＳＡ５０１は、暗号化したトークンを時刻認証部３０３に送信する。ステップＳ２０５で、時刻認証部３０３は、相対位置を表す情報と共に、トークンを相対位置情報保存部４０１に保存する。
【００３２】
ＴＳＡの公開鍵を入手し、相対位置情報保存部４０１に保存されているトークンを復号すると、トークンからハッシュ値を取り出すことができる。トークンから取り出したハッシュ値と、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報から計算されるハッシュ値と、が等しければ、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報は、トークン取得後、改ざんされていない。しかし、トークンから取り出したハッシュ値と、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報から計算されるハッシュ値と、が異なる場合、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報は、トークン取得後、改ざんされている。
【００３３】
したがって、第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムを用いれば、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報の改ざんを防止することが可能となる。なお、図７においては、電子署名方式による時刻認証方法を説明したが、アーカイビング方式等の時刻認証方法も、第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法に適用可能である。また、時刻認証部３０３は、基準位置情報保存部４０２に保存されているクリーンルーム１０の基準位置情報を時刻認証してもよい。さらに時刻認証部３０３は、粒子測定装置位置情報保存部４０３に保存されている粒子測定装置２０の位置情報を時刻認証してもよい。
【００３４】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、第１の実施の形態において、第１の位置情報送信機１は基準位置情報を無線送信し、第２の位置情報送信機２は粒子測定装置２０の位置情報を無線送信すると説明したが、第１の位置情報送信機１は基準位置情報を有線ネットワークに送信し、第２の位置情報送信機２は粒子測定装置２０の位置情報を有線ネットワークに送信してもよい。また、第２の位置計測装置２３及び第２の位置情報送信機２には、外部電源から電源が供給されてもよい。さらに、相対位置計測部３０１は、基準位置情報、粒子測定装置２０の位置情報、及びクリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報を統合し、統合した情報を相対位置情報保存部４０１に累積的に保存してもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
【符号の説明】
【００３５】
１      第１の位置情報送信機
２      第２の位置情報送信機
３      位置情報受信機
１０    クリーンルーム
１１    第１の位置計測装置
１２、２４      アンテナ
２０    粒子測定装置
２１    吸引口
２２    排気口
２３    第２の位置計測装置
２５    内蔵バッテリ
３１    第１の指示情報受信機
３２    第２の指示情報受信機
３３    指示情報送信機
３０１  相対位置計測部
３０２  指示部
３０３  時刻認証部
４０１  相対位置情報保存部
４０２  基準位置情報保存部
４０３  粒子測定装置位置情報保存部
【図１】
0005907787.tif 000002
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0005907787.tif 000008