【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年12月13日(2010.12.13)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを保持するチャックと、少なくとも該ウエハの内側領域及び外側領域における温度を知らせる複数の温度センサとを備え、該チャックが前記内側領域を加熱するための第１のヒータと前記外側領域を加熱するための第２のヒータとを備え、該第１のヒータ及び第２のヒータは温度制御システムにより制御され、該複数の温度センサが該温度制御システムに作動的に結合されて、該チャックの温度を選択可能な設定温度に維持するようになったエッチング処理装置内でウエハをエッチングする方法であって、該チャックは該ウエハの所望の温度よりも１０℃から５０℃だけ低い一定の温度に冷却されるベースプレートの上に取り付けられ、前記方法は、
第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程、
ウエハをチャック上に配置する工程、
前記チャックの内側領域を、前記第１の内側設定温度まで加熱し、前記チャックの外側領域を、前記第１の外側設定温度まで加熱する工程、及び、
前記ウエハをある時間処理している間に、前記チャックの温度を前記第１の内側設定温度から前記第２の内側設定温度に、また前記第１の外側設定温度から前記第２の外側設定温度に移行させる工程であって、前記ベースプレートを一定の温度に維持し、かつ前記第１のヒータ及び第２のヒータで加熱しながら行われる、前記移行させる工程
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度が、それぞれ前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度より高い請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度が、それぞれ前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度より低い請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記チャックが複数の熱ゾーンを含む請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記移行させる工程が、
前記ウエハの前記内側領域を前記第２の内側設定温度に加熱する工程、及び、
前記ウエハの前記外側領域を前記第２の外側設定温度に加熱する工程
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記移行させる工程が、
前記ウエハの前記内側領域を前記第２の内側設定温度に冷却する工程、及び、
前記ウエハの前記外側領域を前記第２の外側設定温度に冷却する工程
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、ウエハのプロファイルを制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチのテーパを制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、ウエハの上部及び底部トレンチの丸み付けを制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチの反りを制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチのストリエーションを制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチのファセット形成を制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハの微小寸法を制御する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
ウエハを保持するチャックと、少なくとも該ウエハの内側領域及び外側領域における温度を知らせる複数の温度センサとを備え、該チャックが前記内側領域を加熱するための第１のヒータと前記外側領域を加熱するための第２のヒータとを備え、該第１のヒータ及び第２のヒータは温度制御システムにより制御され、該複数の温度センサが該温度制御システムに作動的に結合されて該チャックの温度を選択可能な設定温度に維持するようになったエッチング処理装置内でウエハをエッチングする方法であって、該チャックは該ウエハの所望の温度よりも１０℃から５０℃だけ低い一定の温度に冷却されるベースプレートの上に取り付けられ、前記方法は、
第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度を選択する工程、
第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度を選択する工程、
ウエハをチャック上に配置する工程、
前記ウエハの内側領域を、前記第１の内側設定温度まで加熱し、前記ウエハの外側領域を、前記第１の外側設定温度まで加熱する工程、
前記ウエハを第１の時間前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度で処理する工程、
前記ウエハの温度を前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度に変化させる工程であって、前記ベースプレートを一定の温度に維持し、かつ前記第１のヒータ及び第２のヒータで加熱しながら行われる、前記変化させる工程、及び、
前記ウエハを第２の時間前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度で処理する工程
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
前記処理する工程の間に、前記ウエハを冷却する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記処理する工程の間に、前記ウエハを加熱する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度が、それぞれ前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度より低い請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度が、それぞれ前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度より高い請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記チャックが複数の熱ゾーンを含む請求項１４に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、ウエハのプロファイルを制御する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項２１】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチを制御する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項２２】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチの反りを制御する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項２３】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチのストリエーションを制御する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項２４】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハにおけるトレンチのファセット形成を制御する工程をさらに含む請求項１４に記載の方法。
【請求項２５】
前記第１の内側設定温度及び第１の外側設定温度と、前記第２の内側設定温度及び第２の外側設定温度とを選択する工程により、前記ウエハの微小寸法を制御する工程をさらに含む請求項１６に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
一実施形態によると、ベース３０２は金属材料を含み、好ましくはアルミニウムベースの冷却板であって、冷却／加熱流体ループのような通常の熱交換システムを通して比較的一定の温度に維持される。別の実施形態によれば、ベース３０２はまた、硝酸アルミニウムのような非金属材料をも含んでいてもよい。しかしながら、ベース３０２は、ヒータ３０８のない標準的な作動におけるより、大きな程度まで冷却されなければならない。例えば、ベース３０２の温度は、加工物３１０の所望の温度よりも１０℃から５０℃だけ低くすることができる。ベース３０２はまた、プラズマ加熱のための熱シンクを形成する。外側冷媒冷却装置（図示せず）を用いて、ベースプレートの温度を維持することができる。外側冷媒冷却装置によって除去される熱量及び冷媒の温度は、それぞれ２０００Ｗ及び−２０℃より低いものに制限することができる。ベース３０２はさらに、幾つかの穴又はキャビティ（図示せず）を有し、これらを通して、ヒータの電力線３１２その他の供給線が配設される。このような供給線は、ヒータ、センサ、高圧静電クランピングのための電力線を含むことができる。当業者であれば、供給線が前述のものに限定されないことを理解するであろう。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
一実施形態によれば、熱絶縁体３０４は、支持体３０６とベース３０２との間で重要な熱インピーダンス遮断器として機能する。熱絶縁体３０４は、ポリマー、プラスチック、又はセラミックで作られた厚いＲＴＶ接着剤層からなることができる。しかしながら、熱絶縁体３０４の熱インピーダンス遮断器をあまり過剰なものにしてはならない。あまり過剰な場合には、ウエハ３１０が、不十分に冷却されることになってしまうからである。例えば、熱絶縁体は、約０．０５Ｗ／ｍＫから約０．２０Ｗ／ｍＫまでの範囲の熱伝導率を有することが好ましい。この場合の熱絶縁体３０４は、耐熱性要素としても、及び支持体３０６とベース３０２との間の接着剤としても機能する。さらに、熱絶縁体３０４は、プラズマとベース３０４との間に十分なＲＦ結合が維持されるようでなければならない。また、熱絶縁体３０４は、層の上下に配置された異なる材料及び温度に起因する著しい熱的・機械的剪断に耐えなければならない。熱絶縁体３０４の厚さは、２ｍｍより小さいものであることが好ましい。熱絶縁体３０４はさらに、ヒータの電力線３１２及その他の供給線のハウジング部分のためのベース３０２のキャビティにつながる幾つかのキャビティ又はバイア（図示せず）を組み込む。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
一実施形態によれば、支持体３０６は、セラミック材料を含む。セラミックは、例えば、アルミナのような非導電性材料とすることができる。支持体３０６の形状は、好ましくは、プラズマエッチングシステムによく用いられる通常のディスクからなることができる。加工物３０６は、通常の静電チャックであってもよいし、或いはウエハ３１０を下方に保持する、機械的クランプを有するセラミックであってもよい。一実施形態によれば、支持体３０６の厚さは、約２ｍｍである。しかしながら、当業者であれば、他の厚さもまた好適であることを理解するであろう。別の実施形態によれば、支持体３０６の構成は、「ベースに結合された薄いディスク」形式のものである。この形式でない場合には、横方向の伝導が非常に高くなり、ヒータ入力が横方向に拡がって、効果的でないゾーン分離をもたらすことになる。支持体は、熱が局所的に放散されるようにしなければならない。