【事件の表示】
　特願２０００−２６２７４９号「クライオポンプの再生方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　３月　８日出願公開、特開２００２−　７０７３７号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯
　
　本願は、平成１２年８月３１日の出願であって、平成２２年３月１７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２２年６月２１日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに同日付けで明細書を補正する手続補正がなされたものである。
　
【２】平成２２年６月２１日付けの手続補正についての補正却下の決定
　
　〔補正却下の決定の結論〕
　
　平成２２年６月２１日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
　
１．本件補正後の本願発明
　
　本件補正により、特許請求の範囲は、
　
「【請求項１】　クライオポンプの２段式の機械式冷凍機にシールドとクライオパネルとを取付け、該クライオパネルに活性炭の層を設け、冷却された該層に吸着したＨ２その他のガス分子を再蒸発させてこれを粗引きポンプにより該クライオポンプ外へ排除するクライオポンプの排気能力の再生方法に於いて、該シールドとクライオパネルを夫々個別に加熱するヒーターを設け、
該シールドに取り付けられたヒーターの出力はクライオパネルに取り付けられたヒーターの出力よりも大きくし、
【請求項２】　上記ヒーター
のうち、該シールドに設けられたヒーターの出力を１００〜２００Ｗとし、クライオパネルに取り付けられたヒーターの出力を５０〜１００Ｗとし、上記２つのヒーター
Ｋ
　
　上記補正は、請求項１についてみると、本件補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項であるシールドとクライオパネルを夫々個別に加熱するヒーターについて、「該シールドに取り付けられたヒーターの出力はクライオパネルに取り付けられたヒーターの出力よりも大きくし」と限定するものであって、これは、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
２．引用刊行物記載の発明 
（１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された特開昭６２−４５９８５号公報（以下「引用例１」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。 
ア）「（産業上の利用分野）
　本発明はクライオパネル等の被冷却部分に加熱ヒータを備えたクライオポンプに関するものである。」 （第１頁左下欄第１１−１４行）
　
イ）「その目的は、気体のパネルからの脱離を行う際、被冷却部分の温度を極めて短時間のうちに低温状態から室温に戻すことができ、さらにクライオパネルの室温以上の加熱によりクライオパネルに吸着されている水分等の成分を短時間で脱離することが可能なクライオポンプを提供することにある。」（第２頁左上欄第１８行−同頁右上欄第４行）
　
ウ）「第１図には本発明の一実施例の構成が示され、ポンプ容器１の下端部には冷凍機２が設けられており、ポンプ容器１内にはこの冷凍機２によって８０゜Ｋに冷却される銅製の第１段熱負荷フランジ４と、同様に１０゜Ｋに冷却される銅製の第２段熱負荷フランジ５が配置されている。この第１段熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フランジ５はいずれも板状のステージ部４ａおよび同５ａと筒状のヒータ取付部４ｂおよび同５ｂとから構成されており、第１段熱負荷フランジ４のステージ部４ａには椀状の熱輻射シールド部材６が上向きに固定されており、この熱輻射シールド部材６の上端部にはルーバ７が設けられている。
　これら熱輻射シールド部材６およびルーバ７は冷凍機２によって８０゜Ｋに冷却されるとともに、ポンプ容器１等から伝達される輻射熱を遮蔽する役割を果している。
　一方、前記第２段熱負荷フランジ５のステージ部５ａには前記熱輻射シールド部材６の内側位置に２種のクライオパネル、すなわちクライオコンデンセーションパネル８とクライオソープションパネル９が固定されている。これらクライオコンデンセーションバネル８とクライオソープションパネル９はともに椀状に形成され、クライオソープションパネル９がクライオコンデンセーションパネル８の内側になるようにしてともに下向きに取り付けられている。
　これらのクライオパネル８および同９は冷凍機２の駆動によって１０゜Ｋに冷却され、クライオコンデンセーションパネル８上にはＮ２，Ａｒ，ＣＨ４，０２などの気体の凝縮が、クライオソープションパネル９の吸着材９ａ上にはＨｅ，Ｈ２，Ｎｅの気体の吸着がそれぞれ行われるようになっている。」（第２頁左下欄第８行−同頁右下欄第２０行）
　
エ）「ところで、本実施例において特徴的なことは、第１段熱負荷フランジ４のヒータ取付部４ｂおよび第２段熱負荷フランジ５のヒータ取付部５ｂにそれぞれ対応する加熱ヒータ１０および同１１が取り付けられていることである。
　この加熱ヒータ１０および同１１の引出線１２は真空外部、すなわちポンプ容器１の下端外面に気密固定された電流導入端子１３に接続されており、加熱ヒータ１０および同１１に供給する電流値を外部から制御できるようになっている。
　また、第２段熱負荷フランジ５には温度センサ１４が配設されており、該第２段熱負荷フランジ５の温度、すなわちクライオパネル８および同９の温度が検出されている。
上記のように構成されている本実施例において、不用成分のパネル脱離を行うには、冷凍機２を停止し加熱ヒータ１０および１１への通電が行われる。この通電によって加熱ヒータ１０および１１が発熱し、この熱エネルギは第１段熱負荷フランジ４を介して熱輻射シールド部材６に伝達される。一方、加熱ヒータ１１による熱エネルギは第２段熱負荷フランジ５を介してクライオパネル８および同９に伝達される。この結果、冷凍機２によって冷却されていた被冷却部分（第１段熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フランジ５、熱輻射シールド部材６、クライオパネル８および同９等）が加熱され、被冷却部分は短時間のうちに室温（常温）に戻される。
　このように、被冷却部分が室温まで戻されることによりクライオコンデンセーションパネル８に凝縮されている気体およびクライオソープションパネル９に吸着されている気体のパネルからの脱離が行われるが、このパネルからの脱離をより効率よく（短時間で）行う場合はクライオパネル８および同９を室温以上に上昇させる。
　このクライオパネル８および同９の室温以上の温度上昇によってクライオソープションパネル９の吸着材９ａ等にたとえ水分が吸着されていても、この水分は短時間のうちにパネル面から脱離することとなる。そして、この脱離した気体は吸引手段によって外に排出されるのである。
　なお、クライオパネル８および同９の温度を上昇させる場合、該クライオパネル８および同９が必要以上に加熱されるのを防止するため、前記温度センサ１４からの検出信号によりクライオパネル８および同９の温度制御を行うように構成することも可能である。」（第３頁左上欄第７行−同頁左下欄第１３行）
　
　これらの記載事項及び図面からみて、引用例１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。 
「クライオポンプの２段式の冷凍機２に熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９とを取付け、該クライオパネル（クライオソープションパネル）９に吸着材９ａを設け、冷却された該吸着材に吸着したＨｅ，Ｈ２，Ｎｅの気体分子を脱離させてこれを吸引手段により該クライオポンプ外へ排出するクライオポンプのパネルから気体の離脱を行う方法において、該熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９を夫々個別に加熱する加熱ヒータ１０、１１を設け、各ヒーターへの電流を制御しながら該吸引手段で脱離した気体を排出するクライオポンプのパネルから気体の離脱を行う方法。」 
　 
（２）同じく原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された特開平８−６１２３２号公報（以下、「引用例２」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。 
カ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプのクライオパネル面を再生するクライオポンプの再生方法及び再生装置に関し、特に再生を的確に短時間で実行できるクライオポンプの再生方法及び再生装置に関するものである。」
　
キ）「【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１は本発明の再生方法を実施するクライオポンプの再生装置の構成を示す図である。クライオポンプ１のポンプケーシング２には入口弁３を介して真空チャンバー４が接続され、ポンプケーシング２内には冷凍機６の第１段目６−１と第２段目６−２が配置されている。笠状に形成された金属板を水平方向に重ねた構造の第１段のクライオパネル７が入口弁３の近傍で第１段目６−１に接続されて配置され、その下方に同じく笠状に形成された金属板を垂直方向に重ねた構造の第２段のクライオパネル８が第２段目６−２に接続されて配置されている。
【００１７】また、冷凍機６には圧縮機ユニット１０、エキスパンダモータ（同期電動機からなる）９が接続され、該エキスパンダモータ９を回転することにより、エキスパンダが上下し、それと同期して圧縮機ユニット１０からの高圧ヘリウムガスは冷凍機６の第１段目６−１と第２段目６−２に送られ、減圧されて低圧ヘリウムガスは圧縮機ユニット１０へ戻される。これにより第１段目６−１と第２段目６−２が冷却され、同時に第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の面も冷却される。この時の温度は冷凍機６の第１段目６−１が６０〜１００Ｋ、第２段目６−２が１２〜２０Ｋ程度である。
【００１８】上記の状態で入口弁３を開放すると真空チャンバー４のガスがポンプケーシング２内に流入し、瞬時に例えば水分（Ｈ2Ｏ）は第１段のクライオパネル７に付着（凝縮）し、アルゴンガス（Ａｒ）は第２段のクライオパネル８の上部表面に凝縮し、水素ガスは第２段のクライオパネル８の裏面に設けた活性炭層に吸着する。これにより真空チャンバー４内の各種のガスは除去される。
【００１９】１１はターボ分子ポンプであり、１２は粗引真空ポンプである。該ターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２は直列に接続され、並列に接続されたリリーフ弁１３及び再生弁１４を介して、ポンプケーシング２に接続されている。Ｐはポンプケーシング２内の圧力を検出する圧力センサー、Ｔ１は第１段のクライオパネル７の温度を検出する温度センサー、Ｔ２は第２段のクライオパネル８の温度を検出する温度センサー、１５、１６、１７はヒータである。
【００２０】１８は制御部であり、上記温度センサーＴ１、Ｔ２の出力及び圧力センサーＰの出力は該制御部１８に入力され、該制御部１８からターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２の駆動用電力を供給し、ヒータ１５、１６に加熱用電力を供給し、更にヒータ１７にパージ用の窒素ガス（Ｎ2）を加熱する加熱用電力を供給するようになっている。」
　
ク）「【００２１】上記構成のクライオポンプの再生装置において、再生時には先ず入口弁３を閉じ、冷凍機６を止め、ヒータ１５、ヒータ１６及びヒータ１７に加熱用電力を供給し、弁１９を開き、ヒータ１７で加熱したパージ用の窒素ガス（Ｎ2）をポンプケーシング２内に供給する。この加熱により、第１段及び第２段のクライオパネル７，８に凝縮・吸着していたガスが蒸発し、ポンプケーシング２が大気圧を超えた時リリーフ弁１３が開き、ポンプケーシング２内を略大気圧以上に維持する。これにより第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の面に付着した物質はガス化して系外に排出される。
【００２２】ここで上記凝縮・吸着した物質を完全にガス化して系外に排出する必要があり、そのため凝縮・吸着した対象物質に応じて第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の加熱温度を設定して、温度センサーＴ１、Ｔ２の出力が該設定温度になるように制御部１８から供給する加熱用電力を制御すると共に、付着した物質量を完全にガス化するのに必要な時間（加熱時間）を設定する。
【００２３】第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の面からガスの放出がなくなり再生が終了したら、第１段のクライオパネル７及び第２第のクライオパネル８の温度を上記設定温度に維持したまま再生弁１４を開き、ターボ分子ポンプ１１及び粗引真空ポンプ１２を運転し、ポンプケーシング２の内圧を１／１０3Ｐａ以下に減圧する。これは第２段のクライオパネル８の裏面に設けた活性炭層をクリーンにするためと、ポンプケーシング２の内の漏れをチェックするために行う。粗引真空ポンプ１２による真空引きのみだといくら時間をかけても１／１０Ｐａ台までしか真空にできないので、ポンプケーシング２の内部にガスが残って活性炭層に吸着されてしまう。」
　 
ケ）「【００２５】以上の構成の説明は、第１段のクライオパネル７をも加熱して、水分も除去する全再生について述べたが、第２段のクライオパネル８のみを加熱する部分再生の場合は、冷凍機６の運転を止める必要がないし（本実施例では止めていない）、ヒータ１６及び１７はＯＦＦの状態である。
【００２６】第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の再生時の加熱温度は各対象物質に対して概略下記のようになる。
水蒸気（Ｈ2Ｏ）    ３００Ｋ程度（第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８を加熱）（全再生）、
アルゴン（Ａｒ）    １１０〜１６０Ｋ（第２段のクライオパネル８のみを加熱）（部分再生）、
水素（Ｈ2）         ３０〜８０Ｋ（第２段のクライオパネル８を加熱）（部分再生）、
窒素（Ｎ2）         １００〜１４０Ｋ（第２段のクライオパネル８のみを加熱）（部分再生）。」
　
（３）同じく原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された特開平３−１１７６８９号公報（以下、「引用例３」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。 
サ）「（産業上の利用分野）
　本発明は、クライオポンプに関し、更に詳細には再生機構を備えたクライオポンプに関する。」（第１頁左下欄第１９行−同頁右下欄第１行）
　
シ）「（発明が解決しようとする課題）
　クライオポンプにおいては、その再生時、低温側コールドヘッドに固設されている吸着パネルが最も温度が上昇しにくい。そのため、上記した従来の方法においては、高温側コールドヘッドと低温側コールドヘッド（吸着パネル）との間に再生時に温度差が生じ、ケーシングの温度上昇に伴い再蒸発するガスが低温側コールドヘッドに固設された吸着パネルに再吸着される。その際、再蒸発された揮発性の低いガスが一担吸着パネルの吸着材に吸着されてしまうと、該ガスを吸着材の細孔より取り除くことは困難であり、その結果当該クライオポンプの許容排気容量の低下が著しく早められるという問題があった。」（第１頁右下欄第１５行−第２頁左上欄第８行）
　
ス）「図は、本発明を採用したギフオード・マクマフオンサイクル型クライオポンプ１０を示し、該クライオポンプ１０は一端を閉塞され他端開口を排気すべき図示しないチャンバーに取付けられたケーシング１１内に配される段付状の膨張シリンダ１２を備え、該膨張シリンダ１２内には図示しない段付状の膨張ピストンが電動モータ１３により変換手段を介して往復運動可能に嵌挿されている。膨張シリンダ１２の大径端部及び小径端部と図示しない膨張ピストンの大径部の一端及び小径部の一端との間には、夫々図示しない第１膨張空間、第２膨張空間が形成されており、各膨張空間は図示しない熱交換器等を介して連通されている。また、図示しない段付ピストンの大径部の他端下面には図示しない第１膨張空間と図示しない熱交換器等を介して連通されると共に、図示しない導入弁及び排出弁を介して図示しない圧縮機の吸入口及び吐出口に連通可能な図示しない圧縮空間が形成されている。尚、図示しない導入弁及び排出弁は、図示しない膨張ピストンの往復動中に所定のタイミングで開閉されるものである。
　ケーシング１１内において、膨張シリンダ１２の大径端部には極低温（３０Ｋ〜８０Ｋ）を発生する第１段（高温側）コールドへツド１４が形成されており、該第１段コールドヘッド１４にはその冷熱が熱伝導により伝えられると共にその一端間口にバッフル１９が設けられたシールドパネル１５が固設されている。該シールドパネル１５内には膨張シリンダ１２の小径端部に形成されて第１段コールドヘッド１４よりも低い極低温（１０Ｋ〜２０Ｋ）を発生する第２段（低温側）コールドヘッド１６が配置されており、該第２段コールドヘッド１６にはその冷熱が熱伝導により伝えられるクライオパネル１７が固設されていると共に該クライオパネル１７内にてその外周に活性炭（吸着材）が接着された銅板製のアドソープションパネル１８が固設されている。尚、シールドパネル１５はより第２コールドヘツド１６に対する外部よりの熱輻射を遮断するためのものである。また、図中、２３は図示しない再生用の粗引きポンプに連通される粗引きポートである。
　アドソープションパネル１８と共に第２コールドヘツド１６の共締めされたクライオパネル１７の底面には、昇温用ヒータ２０が設けられている。昇温用ヒータ２０は、ケーシング１１外の温度制御装置２１に接続されており、温度制御装置２１は第２コールドヘツド１６に設けられ第２コールドヘツド１６（アドソープションパネル１８及びクライオパネル１７）の温度を測定するためのＰｔ−Ｃｏ測温温度計２２からの信号に応じて、昇温用ヒータ２０への通電を制御し、第２コールドヘツド１６（アドソープションパネル１８及びクライオパネル１７）の温度が所定値以上にならないように制御する。」（第２頁左下欄第３行−第３頁左上欄第１６行）
　
セ）「再生する場合には、まず図示しないチャンバーとケーシング１１内との連通を遮断してから電動モータ１３を停止させてクライオポンプを停止させる。次に温度制御装置２１により、昇温用ヒータ２０を作動させると共に図示しない粗引きポンプを起動させて、第２コールドヘツド１６（アドソープションパネル１８及びクライオパネル１７）をケーシング１１内の他部分よりも速く所定温度に到達させる。」（第３頁右上欄第２０行−同頁左下欄第８行）
　
（４）同じく原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された特開平２−２５２９８２号公報（以下、「引用例４」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。 
タ）「［産業上の利用分野〕
　本発明は真空装置の真空排気に使用されるクライオポンプの再生法に関するものである。」（第１頁右下欄第８−１０行）
　
チ）「第３図を参照して以下にクライオポンプの原理を説明する。高真空クライオポンプ（２１）では、圧縮機（２２）で圧縮されたヘリウムを冷凍機（２３）内で循環させ、１段目のクライオパネル（２４）を１００Ｋ以下、例えば５０Ｋに、又、２段目のクライオパネル（２５）を１０Ｋ〜２０Ｋに冷却する。さらに２段目のクライオパネル（２５）の一部に活性炭などの吸着体（２６）を接着する。クライオポンプ（２１）と真空室（２７）との間にはバッフル（２８）を設ける。」（第１頁右下欄第１４行−第２頁左上欄第２行）
　
ツ）「クライオポンプ（１）の冷凍機の高温側冷却部である１段側は１段ステージ（１５）、シールド（１０）、バッフル（１１）から成り、低温側冷却部である２段側は２段ステージ（１２）、クライオパネル（１３）、活性炭（１４）から成る。各段側の構成部品はそれぞれ各ステージと熱的に接続しており、クライオポンプの作動時には１段側は８０Ｋ、２段側は１５Ｋに冷却される。２段ステージ（１２）には、２段側を昇温させる為のヒータ（１６）が取り付けてあり、コード（１７）でコンセント（１８）に接続される。又、２段ステージ（１２）には、幅広い温度域を測定可能な金−鉄／クロメル熱電対（１９ａ）を取り付け、外部の温度計（１９ｂ）で読みとる。粗引ポンプ（８ａ）（８ｂ）が粗引バルブ（９ａ）（９ｂ）を介してクライオポンプ（１）のマニホールド（２）に接続される。」（第２頁右下欄第１１行−第３頁左上欄第６行）
　
テ）「クライオポンプ（１）を再生する時には主バルブ（５）、粗引バルブ（９ａ）（９ｂ）を閉じた状態で冷凍機（３）を止めてクライオポンプの運転を停止した後に、ヒータ（１６）に通電して２段側のみを加熱した。クライオパネル（１３）等に凝縮していたアルゴン、窒素、酸素などの物質がガス化してクライオポンプ（１）内の圧力が上昇するので、圧力計（７ａ）が０．３Ｔｏｒｒを示した時点で粗引バルブ（９ａ）を開き、粗引ポンプ（８ａ）で粗引きした。」（第３頁右上欄第５−１３行）
　
３．対比 
　
　そこで、本願補正発明と引用発明とを対比すると、その機能又は構成からみて、後者の「熱輻射シールド部材６」は前者の「シールド」に相当し、以下同様に、「クライオパネル８，９」は「クライオパネル」に、「Ｈｅ，Ｈ２，Ｎｅの気体分子」は「Ｈ２その他のガス分子」に、「脱離」は「再蒸発」に、「排出」は「排除」に、「クライオポンプのパネルから気体の離脱を行う方法」は「クライオポンプの再生方法」に、「該熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９を夫々個別に加熱する加熱ヒータ１０、１１」は「該シールドとクライオパネルを夫々個別に加熱するヒーター」に、「電流を制御」することは「通電」を「制御」することに、「脱離した気体」は「再蒸発ガス分子」に相当する。
また、後者の「冷凍機２」と前者の「機械式冷凍機」とは、冷凍機である限りにおいて一致し、後者の「吸着材９ａ」と前者の「活性炭の層」は、吸着剤である限りにおいて一致し、後者の「吸引手段」と前者の「粗引きポンプ」は、ガスを吸引する機器である限りにおいて一致するから、本願補正発明の用語を用いて表現すると、両者は、 
「クライオポンプの２段式の冷凍機にシールドとクライオパネルとを取付け、該クライオパネルに吸着剤を設け、冷却された吸着剤に吸着したＨ２その他のガス分子を再蒸発させてこれをガスを吸引する機器により該クライオポンプ外へ排除するクライオポンプの排気能力の再生方法に於いて、該シールドとクライオパネルを夫々個別に加熱するヒーターを設け、各ヒーターへの通電を制御しながら該ガスを吸引する機器で再蒸発ガス分子を排除するクライオポンプの再生方法。」である点で一致し、次の点で相違する。 
・相違点１ 
　本願補正発明の冷凍機は、「機械式冷凍機」であるのに対して、引用発明の冷凍機は、どのような方式によるものか、不明である点。
　
・相違点２
　本願補正発明のクライオパネルは、「活性炭の層」を設けているのに対して、引用発明のクライオポンプは、クライオパネル上に「吸着材」を備えるが、該吸着材が何であるのか不明である点。
　
・相違点３
　本願補正発明は、再蒸発させたガス分子を「粗引きポンプ」で排除するのに対して、引用発明は、脱離した気体を「吸引手段」で排出することは明らかであるが、該吸引手段がどのようなものであるのか不明である点。
　
・相違点４
　本願補正発明のヒーターは、「該シールドに取り付けられたヒーターの出力はクライオパネルに取り付けられたヒーターの出力よりも大きくし、該シールドおよびクライオパネルの温度がほぼ同温度になるように各ヒーターへの通電を調温器により制御」するのに対して、引用発明の加熱ヒータ１０および１１は、供給する電流を制御することは記載されているもののどのような制御を行うのか、また、加熱ヒータ１０と加熱ヒータ１１の出力の関係がどのようであるのか、不明である点。
　 
４．当審の判断 
　
（１）上記相違点１の検討 
　クライオポンプの冷凍機として、機械式のものは、引用例２の上記キ）に摘記した第００１７段落、引用例３の上記ス）及び引用例４の上記チ）に記載されているように、周知である。そして、引用発明の冷凍機として、上記周知の機械式冷凍機を採用することは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
（２）上記相違点２の検討 
　クライオポンプのクライオパネルに活性炭の層を設けることは、引用例２の上記キ）に摘記した第００１８段落、引用例３の上記ス）及び引用例４の上記チ）に記載されているように、周知である。そして、引用発明の吸着材として、上記周知の活性炭の層を採用することは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
（３）上記相違点３の検討
　クライオポンプの再生時の再蒸発したガスの排除に粗引きポンプを使用することは、引用例３の上記セ）及び引用例４の上記テ）に記載されているように、周知である。そして、引用発明の吸引手段として、上記周知の粗引きポンプを採用することは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
（４）上記相違点４の検討
　まず、「該シールドに取り付けられたヒーターの出力はクライオパネルに取り付けられたヒーターの出力よりも大きく」について、実施例（第００１２段落）や補正の根拠として挙げられている本願の出願当初の明細書第００１０段落の記載を参酌すると、クライオポンプとして、出力が異なるヒーターが設けられていることが前提のようにも解せるので、その点について、事前に検討する。
　複数の被加熱物に対してそれぞれヒータを設ける各種装置において、複数のヒータを、同じ（出力の）ヒータとするか、加熱対象物の必要温度変化、熱容量等に応じて異なる出力のものとするかは、各ヒータを選択する際にヒータの性能（許容出力、目的温度に到達するまでの必要時間）、価格、装置全体としての大きさ、組立・メンテナンスの容易性等考慮してその設計時に適宜選択している事項であり、異なる出力のものを選択した際、加熱対象物の熱容量と必要な温度変化の積がより大きな被加熱物側に、より出力の大きいヒータを配置することは、通常行う設計的事項である。そして、引用例１において、熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９とでは、クライオパネル８，９は、熱輻射シールド部材６に囲まれていることから、一般には熱輻射シールド部材の方が体積が大きくなり、したがって、熱容量が大きくなる傾向があること、また、凝縮・吸着する物質として、比熱が大きい水蒸気（氷）がより多く付着するのが、熱輻射シールド部材であること等を考慮すると、引用発明において、熱輻射シールド部材側の加熱ヒータ１０をより出力の大きなヒータとすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　次に、上記検討した構成を含め、方法（装置はどうであれ出力が異なる）として考えても、引用例１において、熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９とでは、クライオパネル８，９は、熱輻射シールド部材６に囲まれていることから、一般には熱輻射シールド部材の方が熱容量が大きくなる傾向があること、凝縮・吸着する物質として、比熱が大きい水蒸気（氷）がより多く付着するのが、熱輻射シールド部材であること、及び引用例１には、上記エ）に摘記したように、熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９がともに室温へ短時間で戻されることが記載されているから、同じ出力では温度上昇が遅くなることが見込まれる方である熱輻射シールド部材側の加熱ヒータ１０の出力を大きくすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　そして、加熱ヒータにより加熱する際、ヒータ出力を被加熱物の温度により制御すること（以下、「温度制御」という。）は、周知の技術であり、引用例１においても温度制御することは、摘記した上記エ）に「なお、クライオパネル８および同９の温度を上昇させる場合、…クライオパネル８および同９の温度制御を行うように構成することも可能である。」と記載されており、加えて引用例１には、上記エ）に摘記したように、加熱ヒータ１０および１１により、被冷却部分（第１段熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フランジ、熱輻射シールド部材６、クライオパネル８および同９等）が加熱され、被冷却部分は短時間のうちに室温（常温）に戻されること、つまり、熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９がともに室温という同一温度へ短時間で戻されることが記載されているから、引用発明に上記周知の温度制御を行う技術を適用して、加熱ヒータ１０が加熱する熱輻射シールド部材および加熱ヒータ１１が加熱するクライオパネルの設定温度を同じ室温程度とすることも容易になし得たものである。なお、引用例２にも、上記ク）に摘記した第００２２段落に、凝縮・吸着した対象物質に応じて第１段のクライオパネル７及び第２段のクライオパネル８の加熱温度を設定して、温度センサーＴ１、Ｔ２の出力が該設定温度になるように制御部１８から供給する加熱用電力を制御することが記載され、上記ケ）に摘記した第００２６段落に、凝縮・吸着した水蒸気を対象とするた全再生の場合、第１段のクライオパネル７および第２段のクライオパネル８の加熱温度を、ともに３００Ｋとすることが記載されているから、上記事項を当業者が容易に想到し得たことは明らかである。
　
　なお、この相違点に関して、審判請求人は、請求の理由の「３．本願発明が特許されるべき理由」において、「本願明細書に記載の従来技術や引用文献４記載のように単にポンプケース内を一律に加熱するような方法では、シールド側とクライオパネル側とで生じる温度勾配（温度差）が生じて、粗引き時にシールド側かクライオパネル側かに気体が再凝縮してしまうという問題を本願請求項１に係る発明では解消することができるものですので、引用文献４記載の発明に基づいて本願請求項１に係る発明を当業者が容易になし得るものではありません。」と主張していることからすると、請求項１の「シールド及びクライオパネルの温度がほぼ同温度になるように各ヒーターへの通電を調温器により制御する」との記載により、シールド及びクライオパネルが最終的に到達する温度だけではなく、最終的に到達する温度に至るまでの加熱途中の温度をも同温度になるようにすることを特定しているのかもしれないが、最終的に到達する温度に至るまでの加熱途中の温度をほぼ同温度とすることについて、願書に最初に添付した明細書及び図面には明記がなく、出願当初の明細書第００１０段落及び実施例の第００１２段落等を参照してもそのように示唆されていると解することはできないものである。しかし、仮に、加熱途中の温度をもほぼ同じ温度にすることを特定しているとしても、引用例１には、上述したように、熱輻射シールド部材６とクライオパネル８，９がともに室温へ短時間で戻されることが記載されているから、同じ出力では温度上昇が遅くなることが見込まれる方である熱輻射シールド部材側の加熱ヒータの出力を大きくして加熱してほぼ同時に室温にすると、つまり、結果的に加熱過程においても次第に温度差が小さくなるようにしているものであるし、引用例３の上記シ）に摘記した第１頁右下欄第１５行−第２頁左上欄第８行に、再生時、高温側コールドヘッドと低温側コールドヘッド（吸着パネル）との間に温度差が生じると再蒸発したガスが低温側コールドヘッドに固設された吸着パネルに再吸着される不都合があることが記載されているから、加熱途中においても、温度差が生じないようにすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
　以上に関して、審判請求人は、審判請求の理由の「 ３．本願発明が特許されるべき理由 」において、
「引用文献４記載の発明には、上記ｉｉ）に記載される通り、短時間に室温に上昇させるだけのものに過ぎず、シールド（熱輻射シールド部材６）自体を加熱して、シールド（熱輻射シールド部材６）自体の温度を検知し、その上で、クライオパネル（クライオパネル８，９）と同温度となるように制御することが、単に周知技術を適用するだけではなし得るものではありません。」（審判請求書の「引用文献４」は、本審決の「引用例１」と同じ。）と、主張している。
　しかし、上述したとおり熱輻射シールド部材も、クライオパネルと同様、室温（常温）に戻されることが引用例１に記載されており、熱輻射シールド部材側の加熱ヒータでもクライオパネル側と同様に温度制御を行うことは当業者が容易に想到し得たことであるから、上記主張は採用できない。
　また、審尋に対する回答書において、
「しかしながら、単に引用文献２の活性炭の層を引用文献１記載の発明に適用したものを単に昇温させた場合、排気を行うとシールドやシールドに接続されているバッフルに凝縮したＨ２Ｏが気化して、一部はクライオパネルに設けられている活性炭に吸着されてクライオパネルの
温度を下げ
　しかし、どの現象を捉えて、「クライオパネルの
温度を下げ
発熱
　
５．むすび 
　以上のとおり、本願補正発明は、引用例１ないし引用例４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、本件補正は、他の補正事項について検討するまでもなく、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　
【３】本願発明について
　
１．本願発明の内容 
　
　平成２２年６月２１日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１及び２に係る発明（以下、「本願発明１」〜「本願発明２」という。）は、平成２１年１２月１４日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるものと認められ、そのうち、本願発明１は、次のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　クライオポンプの２段式の機械式冷凍機にシールドとクライオパネルとを取付け、該クライオパネルに活性炭の層を設け、冷却された該層に吸着したＨ２その他のガス分子を再蒸発させてこれを粗引きポンプにより該クライオポンプ外へ排除するクライオポンプの排気能力の再生方法に於いて、該シールドとクライオパネルを夫々個別に加熱するヒーターを設け、該シールドおよびクライオパネルの温度がほぼ同温度になるように各ヒーターへの通電を調温器により制御しながら該粗引きポンプで再蒸発ガス分子を排除することを特徴とするクライオポンプの再生方法。」
　
２．引用刊行物記載の発明 
　
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例１ないし４とその記載事項は、上記「【２】平成２２年６月２１日付けの手続補正についての補正却下の決定」に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　
　本願発明１は、実質的に、上記「【２】平成２２年６月２１日付けの手続補正についての補正却下の決定」で検討した本願補正発明を、シールドとクライオパネルを夫々個別に加熱するヒータについて、「該シールドに取り付けられたヒーターの出力はクライオパネルに取り付けられたヒーターの出力よりも大きくし」との限定を削除して拡張したものに相当する。
　
　そうすると、本願発明１の特定事項をすべて含み、さらに限定したものに相当する本願補正発明が、上記「【２】平成２２年６月２１日付けの手続補正についての補正却下の決定」に記載したとおり、引用例１ないし引用例４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、同様の理由により、引用例１ないし引用例４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　
　以上のとおり、本願発明１は、引用例１ないし引用例４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　
　そして、本願発明１が特許を受けることができないものである以上、本願発明２について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。