【手続補正書】
【提出日】平成23年3月25日(2011.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザシステム用の可動電極アセンブリであって、
第１の電極（６０）と、
前記第１の電極（６０）と対向して配置される第２の電極（６２、８０）であって、前記第１の電極（６０）から電極間間隔（６４）によって離間された、前記第２の電極（６２、８０）と、
前記第２の電極（６２、８０）又は前記第１の電極（６０）の少なくとも一方と接続された電極間間隔機構であって、前記電極間間隔（６４）を調節するよう構成された前記電極間間隔機構と、
を含むことを特徴とする、前記可動電極アセンブリ。
【請求項２】
前記電極間間隔機構が、
第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）を有する第１の細長部材（８４）であって、該第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）は該第１の細長部材（８４）に沿って長さ方向に傾斜している、前記第１の細長部材（８４）と、
第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）を有する第２の細長部材（８２）であって、該第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）は該第２の細長部材（８２）に沿って長さ方向に傾斜しており、該第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）は前記第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）に対して実質的に相補的であり、該第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）は前記第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）に長さ方向に摺動可能に接触するように配列されている、前記第２の細長部材（８２）と、
前記第１の細長部材（８４）及び前記第２の細長部材（８２）の少なくとも一方と結合されたアクチュエータ（７２）であって、前記第１の細長部材（８４）を前記第２の細長部材（８２）に対して長さ方向に移動させるよう構成された、前記アクチュエータ（７２）と、
を含むことを特徴とする、請求項１に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項３】
前記電極間間隔機構が更に、前記第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）と前記第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）との間の予め選択した接触圧を維持するための応力機構（１００ａ、ｂ）を含むことを特徴とする、請求項２に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項４】
前記アクチュエータ（７２）は、圧電アクチュエータ、電歪アクチュエータ、磁歪アクチュエータ、ステッパモータ、サーボモータ、音声コイルアクチュエータ、リニアモータ、及びこれらの組合せから成るアクチュエータの群から選択されることを特徴とする、請求項２に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項５】
前記アクチュエータ（７２）と結合され、制御信号を発生し得るコントローラ（７０）であって、前記アクチュエータ（７２）が該制御信号に応答して、前記第２の電極（６２、８０）を前記第１の電極（６０）に対して移動させることを含んで前記電極間間隔を調節する前記コントローラ（７０）を更に含むことを特徴とする、請求項２に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項６】
前記第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）は、第１の複数の傾斜した平行な面（９２ａ−ｃ）を含み、前記第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）は、第２の複数の傾斜した平行な面（８８ａ−ｃ）を含み、該第２の複数の傾斜した平行な面（８８ａ−ｃ）は前記第１の複数の傾斜した平行な面（９２ａ−ｃ）に対して実質的に相補的であって摺動可能に接触することを特徴とする、請求項２に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項７】
前記第１の電極（６０）、前記第２の電極（６２、８０）及び前記電極間間隔機構は、放電チャンバ（２２ａ、ｂ）の内部に含まれ、前記アクチュエータ（７２）は、該放電チャンバ（２２ａ、ｂ）の外部にあることを特徴とする、請求項２に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項８】
前記放電チャンバ（２２ａ、ｂ）に取り付けられた電極支持棒（８６）を更に含み、前記第２の電極（６２、８０）は該電極支持棒（８６）に対して可動であり、前記電極間間隔機構は、前記第２の電極（６２、８０）から該支持棒までの熱伝導経路を提供することを特徴とする、請求項７に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項９】
前記アクチュエータ（７２）が、リンケージ（１０６）によって前記電極間間隔機構と結合され、該リンケージ（１０６）は、前記放電チャンバ（２２ａ、ｂ）の壁にある開口を通過することを特徴とする、請求項７に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１０】
前記第２の電極（６２、８０）に結合される、導電性部材（１２０）、及び、前記第２の電極（６２、８０）に結合され、該第２の電極（６２、８０）を支持する電極支持棒（８６）を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１１】
前記導電性部材（１２０）が、１つ又はそれよりも多くの回旋部（１２８ａ−ｃ）を含むことを特徴とする、請求項１０に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１２】
前記導電性部材（１２０）が可撓性であることを特徴とする、請求項１０に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１３】
前記導電性部材（１２０）が、前記電極間間隔内に発生する電磁場から前記電極間間隔機構を保護する遮蔽体を形成することを特徴とする、請求項１０に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１４】
前記第１の電極（６０）及び前記第２の電極（６２、８０）は細長電極であり、前記第１の電極（６０）及び前記第２の電極（６２、８０）は長さ方向に配列されていることを特徴とする、請求項１に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１５】
前記電極間間隔機構が、
第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）を有する第１の細長部材（８４）であって、該第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）は該第１の細長部材（８４）を横切って傾斜している、前記第１の細長部材（８４）と、
第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）を有する第２の細長部材（８２）であって、該第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）は該第２の細長部材（８２）を横切って傾斜しており、該第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）は前記第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）に対して実質的に相補的であり、該第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）は前記第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）に長さ方向に摺動可能に接触するように配列されている、前記第２の細長部材（８２）と、
前記第１の細長部材（８４）及び前記第２の細長部材（８２）の少なくとも一方と結合されたアクチュエータ（７２）であって、前記第１の細長部材（８４）を前記第２の細長部材（８２）に対して横切るように移動させるよう構成された、前記アクチュエータ（７２）と、
を含むことを特徴とする、請求項１に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１６】
レーザシステムのハウジング内に一体化させるための可動電極アセンブリであって、
放電面を有する第１の電極（６０）と、
放電面（２０４）を有する第２の電極（６２、８０）であって、前記第１の電極（６０）の放電面と前記第２の電極（６２、８０）の放電面とが、初期電極間間隔（６４）を画定する間隔設定で相互に離間されている、前記第２の電極（６２、８０）と、
電極間間隔設定を前記初期電極間間隔（６４）に向けて可動に調節するための電極間間隔機構と、
を含むことを特徴とする、前記可動電極アセンブリ。
【請求項１７】
前記電極間間隔機構は、コントローラ（７０）と結合され、該コントローラ（７０）は、前記第１の電極（６０）及び前記第２の電極（６２、８０）の前記電極間間隔設定を走査し、前記電極間間隔機構に、前記第１の電極（６０）又は前記第２の電極（６２、８０）のいずれか一方、あるいはその両方を移動させて、前記第１の電極（６０）及び前記第２の電極（６２、８０）の放電面を、前記初期電極間間隔（６４）に向けて配置するよう構成されていることを特徴とする、請求項１６に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１８】
前記電極間間隔機構が、
第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）を有する第１の細長部材（８４）と、
第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）を有する第２の細長部材（８２）であって、前記第１の傾斜面（９２ａ−ｃ）と前記第２の傾斜面（８８ａ−ｃ）とは相互に摺動可能に接続されるよう画定され、前記第１の部材（８４）及び前記第２の部材（８２）は、前記第１の電極（６０）又は前記第２の電極（６２、８０）の一方と結合された、前記第２の細長部材（８２）と、
前記第１の部材（８４）又は前記第２の部材（８２）のいずれか一方と結合されて、前記第１の部材（８４）及び前記第２の部材（８２）の各々に相対的な摺動を付与するアクチュエータ（７２）であって、該相対的な摺動により、前記電極間間隔設定を前記初期電極間間隔（６４）に向けて可動に調節する、前記アクチュエータ（７２）と、
を含むことを特徴とする、請求項１７に記載の可動電極アセンブリ。
【請求項１９】
前記第１の電極（６０）及び前記第２の電極（６２、８０）は長さに沿って、実質的に平行な向きに延びることを特徴とする、請求項１６に記載の可動電極アセンブリ。