【手続補正書】
【提出日】平成23年1月11日(2011.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン含有重合可能な成分と、シリコンのない重合可能な成分を含む複数の重合可能な成分と、
流体相状態と凝固相状態の間の、前記複数の重合可能な成分の位相状態の変化を容易にするための開始剤成分と、
を含み、
０〜２０秒の範囲内にある所定の時間的間隔の間、前記複数の重合可能な成分の所定の相対的蒸発速度は毎秒０．１％未満であることを特徴とする組成物。
【請求項２】
前記複数の重合可能な成分は、前記複数の重合可能な成分の全部を含むことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記複数の重合可能な成分のそれぞれは、所定の時間的間隔の間、所定範囲内の同一の相対的蒸発相度を有することを特徴する請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記複数の重合可能な成分は、１０〜２０秒の範囲内の時間的間隔の間は、所定の範囲内の蒸発速度を有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
前記組成物は、少なくとも８０ｐＬの容積を有する基板上に複数の小滴の形成することを容易にする粘度を有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記組成物はスピンオン技術を適用して、前記基板上の堆積を容易にするような粘度を有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項７】
前記シリコン含有重合可能な成分には、アクリロキシメチルビス（トリメチルシロキシ）メチルシランが含まれ、前記シリコンのない重合可能な成分にはアクリル酸イソボルニルが含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項８】
前記シリコン含有重合可能な成分には、アクリロキシメチルトリス（トリメチルシロキシ）シランが含まれ、前記シリコンのない重合可能な成分にはアクリル酸イソボルニルが含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項９】
前記シリコン含有重合可能な成分には、３−アクリロキシプロピルビス（トリメチルシロキシ）メチルシランが含まれ、前記シリコンのない重合可能な成分にはアクリル酸イソボルニルが含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１０】
前記シリコン含有重合可能な成分には３−アクリロキシプロピルトリス（トリメチルシロキシ）シランが含まれ、前記シリコンのない重合可能な成分にはアクリル酸イソボルニルが含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１１】
前記シリコンのない重合可能な成分には架橋剤成分が含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１２】
開始剤成分には、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オンが含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１３】
界面活性剤がさらに含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１４】
前記シリコンのない重合可能な成分には第１と第２のサブコンポーネントが含まれ、前記第１サブコンポーネントは架橋剤成分であって、組成物の約１０〜４０％の範囲で含まれ、前記第２サブコンポーネントは組成物の約２０〜６０％の範囲で含まれ、前記シリコン含有重合可能な成分は組成物の約２０〜６０％の範囲で含まれることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項１５】
シリコン含有アクリル酸塩成分と、第１と第２のシリコンのないアクリル酸塩成分が含まれる複数のアクリル酸塩成分と、
流体相状態と凝固相状態の間の、前記複数の重合可能な成分の位相状態の変化を容易にするための開始剤成分と、
を含み、
０〜２０秒の範囲内の所定の時間的間隔の間、前記複数のアクリル酸塩の所定の相対的蒸発速度は毎秒０．１％未満であることを特徴とする組成物。
【請求項１６】
前記組成物は、８０ｐＬほどの容積を有する基板上に複数の小滴を形成することを容易にする粘度を有することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項１７】
前記組成物はスピンオン技術を適用して、前記基板上の堆積を容易にする粘度を有することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項１８】
アクリロキシメチルビス（トリメチルシロキシ）メチルシランを含む前記シリコン含有アクリル酸塩成分は、前記組成物の３０〜５０％を構成し、アクリル酸イソボルニルを含む第１のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約２０〜６０％を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含む前記第２のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約１０〜４０％を構成することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項１９】
アクリロキシメチルビス（トリメチルシロキシ）シランを含んだ前記シリコン含有アクリル酸塩成分は前記組成物の３０〜５０％を構成し、アクリル酸イソボルニルを含んだ前記第１のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約２０〜６０％を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含んだ前記第２のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約１０〜４０％を構成することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項２０】
３−アクリロキシプロピルビス（トリメチルシロキシ）メチルシランを含んだ前記シリコン含有アクリル酸塩成分は前記組成物の３０〜５０％を構成し、アクリル酸イソボルニルを含んだ前記第１のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約２０〜６０％を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含んだ前記第２のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約１０〜４０％を構成することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項２１】
３−アクリロキシプロピルビス（トリメチルシロキシ）シランを含んだ前記シリコン含有アクリル酸塩成分は前記組成物の３０〜５０％を構成し、アクリル酸イソボルニルを含んだ前記第１のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約２０〜６０％を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含んだ前記第２のシリコンのないアクリル酸塩成分は組成物の約１０〜４０％を構成することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項２２】
前記シリコンのないアクリル酸塩成分は、架橋剤成分を含むことを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項２３】
開始剤成分には、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オンが含まれることを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項２４】
アクリル酸イソボルニル成分と、
ジアクリル酸エチレングリコールと、
光開始剤成分と、
アクリロキシメチルビス（トリメチルシロキシ）メチルシラン、アクリロキシメチルビス（トリメチルシロキシ）シラン、３−アクリロキシプロピルビス（トリメチルシロキシ）メチルシランから成るセットから選択されたシリコン含有アクリル酸塩成分と、
を含み、
０〜２０秒の範囲内にある所定の時間的間隔の間、重合可能な成分の所定の相対的蒸発速度は毎秒０．１％未満であることを特徴とする組成物。
【請求項２５】
前記アクリル酸イソボルニル成分と、前記シリコン含有アクリル酸塩成分と、前記ジアクリル酸エチレングリコールはそれぞれ、関連付けられた所定の相対的蒸発速度を有することを特徴とする請求項２４に記載の組成物。
【請求項２６】
前記シリコン含有アクリル酸塩成分は前記組成物の３０〜５０％を構成し、アクリル酸イソボルニル成分は組成物の約２０〜６０％を構成し、ジアクリル酸エチレングリコール成分は組成物の約１０〜４０％を構成することを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項２７】
界面活性剤がさらに含まれることを特徴とする請求項２６に記載の組成物。
【請求項２８】
前記界面活性剤は前記組成物の０．５％〜２％を構成し、フッ素化高分子界面活性剤を含むことを特徴とする請求項２７記載の組成物。
【請求項２９】
アクリル酸イソボルニル成分と、
ジアクリル酸エチレングリコールと、
光開始剤成分と、
３−アクリロキシプロピルビス（トリメチルシロキシ）メチルシランを含むシリコン含有アクリル酸塩成分と、
を含み、
０〜２０秒の範囲内にある所定の時間的間隔の間、重合可能な成分の所定の相対的蒸発速度は毎秒０．１％未満である、ことを特徴とする組成物。