【手続補正書】
【提出日】平成23年9月12日(2011.9.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロリソグラフィのための投影対物系であって、
物体平面と像平面の間に配置された光学要素を含む少なくとも１つの光学アセンブリ（１１）、
を含み、
前記光学アセンブリ（１１）は、前記像平面の近くに配置された少なくとも１つの光学末端要素（１７）を含み、
第１の液浸液（１３ａ）が、前記光学末端要素（１７）の像向き面（１７ａ）上に配置され、第２の液浸液（１３ｂ）が、隣接する光学要素の平面と該光学末端要素（１７）の物体向き面（１７ｂ）との間に配置され、
前記物体向き面（１７ｂ）は、前記末端要素（１７）内への結像光の入射のための第１の面部分（１８）を含み、前記像向き面（１７ａ）は、該末端要素（１７）からの該結像光の出射のための第２の面部分（２２）を含み、
前記光学末端要素（１７）は、該末端要素（１７）を通る干渉反射及び／又は散乱放射線の通過を阻止してコントラストの損失を防止するための手段を含み、
前記干渉反射及び／又は散乱放射線の通過を阻止するための手段は、該末端要素（１７）を通る散乱放射線の通過を阻止する少なくとも１つの開口部を画定する遮蔽体を含む、
ことを特徴とする投影対物系。
【請求項２】
前記光学末端要素（１７）は、複屈折材料を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロリソグラフィのための投影対物系。
【請求項３】
マイクロリソグラフィのための投影対物系であって、
物体平面と像平面の間に配置された光学要素を含む少なくとも１つの光学アセンブリ（１１）、
を含み、
前記光学アセンブリ（１１）は、前記像平面の近くに配置された少なくとも１つの光学末端要素（１７）を含み、
第１の液浸液（１３ａ）が、前記光学末端要素（１７）の像向き面（１７ａ）上に配置され、第２の液浸液（１３ｂ）が、隣接する光学要素の平面と該光学末端要素（１７）の物体向き面（１７ｂ）との間に配置され、
前記物体向き面（１７ｂ）は、前記末端要素（１７）内への結像光の入射のための第１の面部分（１８）を含み、前記像向き面（１７ａ）は、該末端要素（１７）からの該結像光の出射のための第２の面部分（２２）を含み、
前記光学末端要素（１７）は、複屈折材料を含む、
ことを特徴とする投影対物系。
【請求項４】
前記複屈折材料の光軸が、前記光学アセンブリ（１１）の複屈折効果が最小になるように整列することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の投影対物系。
【請求項５】
前記第１の液浸液（１３ａ）及び／又は前記第２の液浸液（１３ｂ）の温度及び／又は圧力を検出及び／又は制御するための手段を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロリソグラフィのための投影対物系。
【請求項６】
マイクロリソグラフィのための投影対物系であって、
物体平面と像平面の間に配置された光学要素を含む少なくとも１つの光学アセンブリ（１１）、
を含み、
前記光学アセンブリ（１１）は、前記像平面の近くに配置された少なくとも１つの光学末端要素（１７）を含み、
第１の液浸液（１３ａ）が、前記光学末端要素（１７）の像向き面（１７ａ）上に配置され、第２の液浸液（１３ｂ）が、隣接する光学要素の平面と該光学末端要素（１７）の物体向き面（１７ｂ）との間に配置され、
前記物体向き面（１７ｂ）は、前記末端要素（１７）内への結像光の入射のための第１の面部分（１８）を含み、前記像向き面（１７ａ）は、該末端要素（１７）からの該結像光の出射のための第２の面部分（２２）を含み、
投影対物系が、前記第１の液浸液（１３ａ）及び／又は前記第２の液浸液（１３ｂ）の温度及び／又は圧力を検出及び／又は制御するための手段を含み、
前記干渉反射及び／又は散乱放射線の通過を阻止するための手段は、該末端要素（１７）を通る散乱放射線の通過を阻止する少なくとも１つの開口部を画定する遮蔽体を含む、
ことを特徴とする投影対物系。
【請求項７】
前記第１の液浸液（１３ａ）内及び／又は前記第２の液浸液（１３ｂ）内の前記圧力及び／又は前記温度を測定するための少なくとも１つの測定デバイスを含むことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の投影対物系。
【請求項８】
前記第１の液浸液（１３ａ）及び／又は前記第２の液浸液（１３ｂ）の前記温度及び／又は前記圧力を変更するための手段を含むことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項９】
前記結像光の入射のための前記末端要素（１７）の前記第１の面部分（１８）、並びに該結像光の出射のための該末端要素（１７）の前記第２の面部分（２２）は、ビーム経路において瞳の近くに配置されないことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１０】
前記末端要素（１７）は、少なくとも１つの平面プレート（１９）を含むことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１１】
前記末端要素（１７）は、前記像平面の最も近くに配置された前記光学アセンブリ（１１）の、特に、投影対物系全体の光学要素であることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１２】
前記光学末端要素（１７）は、前記平面プレート（１９）を支持体（２０）に装着するための少なくとも１つの支持体（２０）を含むことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１３】
前記結像光の前記入射のための前記第１の面部分（１８）及び／又は該結像光の前記出射のための前記第２の面部分（２２）は、それぞれ、前記末端要素（１７）のそれぞれの面上への投影対物系の該結像放射線のビーム束のフットプリントによって形成されることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１４】
前記平面プレート（１９）は、実質的に前記結像光の前記入射のための前記第１の面部分（１８）の大きさ及び／又は幾何学形状を含むことを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１５】
前記平面プレート（１９）は、実質的に矩形の物体向き面及び／又は矩形の像向き面を含むことを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１６】
前記光学末端要素（１７）は、少なくとも前記干渉反射又は前記散乱放射線に対して不透過性である遮蔽体を含むことを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１７】
前記担体（２０）は、干渉反射及び／又は散乱放射線を遮蔽するためのホルダとして構成され、
前記ホルダは、前記第２の面部分の大きさ及び／又は幾何学形状に実質的に対応する少なくとも１つの開口部を含む、
ことを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１８】
前記担体（２０）は、前記平面プレート（１９）の外縁を固定するホルダとして構成されることを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項１９】
前記平面プレート（１９）の前記像向き面は、コーティング（２４）を含み、これは、前記干渉反射及び／又は散乱放射線に対して不透過性であり、かつ干渉反射又は散乱放射線の出射に対して前記第２の面部分（２２）の外側である該像向き面の部分を実質的に遮蔽することを特徴とする請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２０】
前記平面プレート（１９）は、少なくとも１つのコーティング（２３）を含み、これは、干渉反射及び／又は散乱放射線に対して不透過性であり、かつ系の光軸に対して実質的に平行に構成された該平面プレート（１９）の外側面上に配置されることを特徴とする請求項１から請求項１９のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２１】
前記第１の面部分（１８）及び／又は前記第２の面部分（２２）は、投影対物系の光軸（１６）に対して離心して配置されることを特徴とする請求項１から請求項２０のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２２】
前記平面プレート（１９）は、投影対物系の光軸（１６）に対して離心して配置されることを特徴とする請求項１から請求項２１のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２３】
前記第１の液浸液（１３ａ）及び前記第２の液浸液（１３ｂ）は、異なる組成を含むことを特徴とする請求項１から請求項２２のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２４】
マイクロリソグラフィのための投影対物系であって、
物体平面と像平面の間に配置された光学要素を含む少なくとも１つの光学アセンブリ（１１）、
を含み、
前記光学アセンブリ（１１）は、前記像平面の近くに配置された少なくとも１つの光学末端要素（１７）を含み、
第１の液浸液（１３ａ）が、前記光学末端要素（１７）の像向き面（１７ａ）上に配置され、第２の液浸液（１３ｂ）が、隣接する光学要素の平面と該光学末端要素（１７）の物体向き面（１７ｂ）との間に配置され、
前記物体向き面（１７ｂ）は、前記末端要素（１７）内への結像光の入射のための第１の面部分（１８）を含み、前記像向き面（１７ａ）は、該末端要素（１７）からの該結像光の出射のための第２の面部分（２２）を含み、
前記第１の液浸液（１３ａ）及び前記第２の液浸液（１３ｂ）は、異なる組成を含み、前記干渉反射及び／又は散乱放射線の通過を阻止するための手段は、該末端要素（１７）を通る散乱放射線の通過を阻止する少なくとも１つの開口部を画定する遮蔽体を含む、
ことを特徴とする投影対物系。
【請求項２５】
前記第２の液浸液（１３ｂ）は、前記光学末端要素（１７）のところで最大で２ｍｍ、特に最大で１ｍｍ、好ましくは特に最大で０．５ｍｍの厚みを有する層として構成されることを特徴とする請求項１から請求項２４のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２６】
前記末端要素（１７）は、投影対物系のところに配置され、かつそれは、交換可能及び／又は取外し可能であることを特徴とする請求項１から請求項２５のいずれか１項に記載の投影対物系。
【請求項２７】
干渉反射及び／又は散乱放射線の前記通過を阻止するための前記手段は、遮蔽体を含むことを特徴とする請求項１から請求項２６のいずれか１項に記載の投影対物系。