【事件の表示】
　特願２００３−３１０９２９「イオン注入装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　３月２４日出願公開、特開２００５−　７９０３５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は、平成１５年９月３日の出願であって、平成２０年１１月５日付けで拒絶理由が通知され、平成２１年１月７日付けで手続補正がなされたものの、同年３月２７日付けで拒絶査定がなされた。
　本件は、前記拒絶査定を不服として平成２１年６月２５日に請求された拒絶査定不服審判事件である。
　
２　本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２１年１月７日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された技術的事項により特定される次のとおりのものと認められる。
「イオン源と、前記イオン源からのイオンを所望のエネルギーに加速するイオン加速装置とを備えたイオン注入装置において、
　前記イオン源として、ＥＣＲイオン源を用い、
　かつ、前記イオン加速装置として、ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器を用いるようにしたことを特徴とするイオン注入装置。」
　
３　本願出願前に頒布された刊行物
（１）引用例１
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である「服部俊幸、外９名、“超高エネルギー重イオン注入用線形加速器の研究（全体設計）”Proceeding of the 28th linear Accelerator Meeting in Japan (July 30-August 1, 2003) p247-248」（以下「引用例１」という。）には以下の技術的事項の記載がある。
（１ａ）「概要
　３次元半導体製造用の核子あたり1MeV近くまでB、Pを加速する超高エネルギー重イオン注入機システムを計画し概念設計を行った。永久磁石型ECR重イオン源からのイオンを加速入射後、2台のAPF-IH型線形加速器で加速し、エネルギーの可変性を持たせている。」（第１頁左欄第１〜７行）
（１ｂ）「１．はじめに
　……
　超高エネルギー領域の重イオン注入に対して、現在一般に実用化されている高エネルギー重イオン注入機である、静電加速器や単空洞重連加速器 [1]は対応することが困難である。そこで、永久磁石型ECR多価重イオン源を既存の中エネルギーイオン注入機へ搭載し、これを入射機として2台のAPF-IH型線形加速器でB、P、Asを核子当たり1MeV近くまで、エネルギー可変性を有しながら加速するシステムの概念設計をおこなった。」（第１頁左欄第１２〜２５行）
（１ｃ）「２．全体設計
　考案した超高エネルギー重イオン注入機システムは、永久磁石型ECRイオン源と2台の線形加速器により構成され，加速粒子はB2+、P6+、As8+イオンを予定している。線形加速器は格段に電力効率の良いIH型とし、低エネルギー入射が必要なために、これに適したAlternating Phase Focus（APF）収束構造[2-11]を採用した。運転周波数は入射のセル長と小型化を考慮して65MHzとしている。
　第1線形加速器の加速エネルギーは、BやPについては1MeV近く、Asは10MeVとした。入射エネルギーは、既存の中エネルギーイオン注入機の加速エネルギーである200kVを考慮して20keV/uとした。」（第１頁左欄第２６〜３８行）
（１ｄ）「３．多価重イオン生成イオン源
　半導体用のB、P、Asなどの多価イオンを発生するために小型永久磁石型ECRイオン源を現在開発中である。常伝導型ECRイオン源ではミラーコイル電力として100kW前後を必要とし、その冷却用の冷却水がまた必要となる。超伝導コイルでは電力や電源は小さくなるが、イオン源自体が大型化する。このため、ミラーコイル磁石を永久磁石化することで、省電力と小型化を狙った。」（第１頁右欄第８〜１６行）
（１ｅ）「４．第１ 線形加速器
　第1線形加速器の設計にあたっては，これまでに服部研究室が開発して2001年に陽子加速に成功したAPF-IH型線形加速器（入射エネルギー11keV/u、出射エネルギー90keV/u、運転高周波数65MHz）を参考にした。第1線形加速器の入射エネルギーは20keV/uで， 出射エネルギーは10MeV のAs が得られる140keV/uとした。加速空洞の内径は70cm、長さは70cm、共振周波数は65MHzを予定している。この第1線形加速器のパラメメータを表-1に示す。」（第１頁右欄第２５〜３４行）
（１ｆ）「５．第２ 線形加速器
　第1線形加速器における加速後，イオンは収束用四重極磁石を通過して第2線形加速器に入射する。このとき第1と第2線形加速器の加速電圧と加速位相を制御することにより，第2線形加速器の入射エネルギーから出射最大エネルギーまでのエネルギーを変えることが可能である。
　したがってイオン種別によって，第2線形加速器の運転方法が異なる。Asの場合は，すでに第1線形加速器によって10MeVまで加速されているので，そのまま素通りして、イオン注入ラインに輸送される。BやPにおいては0.91MeV/uの加速がおこなわれ，Bが10MeV、Pが28MeVの最大加速エネルギーが得られる。
　第2線形加速器の空洞内径は100cm、長さは180cm、共振周波数は65MHzを予定している。その設計パラメータを表-2に示す。」（第２頁左欄第５〜２０行）
　
　これらの記載内容からして、引用例１には以下の発明が記載されているといえる。
「永久磁石型ＥＣＲイオン源と２台の線形加速器により構成される重イオン注入機システムにおいて、
永久磁石型ＥＣＲイオン源は、ミラーコイル磁石を永久磁石化することによって省電力と小型化を狙った小型永久磁石型ＥＣＲイオン源であって、
２台の線形加速器である第１線形加速器および第２線形加速器は、低エネルギー入射に適したAlternating Phase Focus（ＡＰＦ）収束構造を採用した電力効率の良いＩＨ型の、ＡＰＦ-ＩＨ型線形加速器であって、
イオンは、第１線形加速器における加速後、収束用四重極磁石を通過して第２線形加速器に入射するようにした重イオン注入機システム。」（以下「引用発明」という。）
　
４　対比
　本願発明と上記引用発明を対比する。
　引用発明の「永久磁石型ＥＣＲイオン源」、「線形加速器」ならびに「重イオン注入機システム」が、それぞれ、本願発明の「ＥＣＲイオン源」、「イオンを所望のエネルギーに加速するイオン加速装置」ならびに「イオン注入装置」に相当することは明らかである。
　また、引用発明の「Alternating Phase Focus（ＡＰＦ）収束構造を採用した電力効率の良いＩＨ型の、ＡＰＦ-ＩＨ型線形加速器」が、本願発明の「ＡＰＦ収束」「機能を備えたＩＨ型線形加速器」に相当することも明らかである。
　
　したがって、本願発明と引用発明は、
「イオン源と、前記イオン源からのイオンを所望のエネルギーに加速するイオン加速装置とを備えたイオン注入装置において、
　前記イオン源として、ＥＣＲイオン源を用い、
　かつ、前記イオン加速装置として、ＡＰＦ収束機能を備えたＩＨ型線形加速器を用いるようにしたイオン注入装置。」である点で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点〉
　ＩＨ型線形加速器が、
本願発明は、「ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えた」ＩＨ型線形加速器であるのに対し、引用発明のＩＨ型線形加速器それ自体は、ＡＰＦ収束機能を具備するものの、補助的に四重極収束機能を備えたものではなく、ＡＰＦ収束機能を備えた第１及び第２線形加速器とは別体の収束用四重極磁石が設けられている点。
　
　なお、本願発明の発明特定事項である「補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器」について、ＩＨ型線形加速器の何処にどのようにして補助的に四重極収束機能を具備せしめるのか、本願の発明の詳細な説明や図面を参酌しても、その具体的態様が明らかではないが、前記発明特定事項については請求人の主張を勘案し、「ＡＰＦ収束機能を備えたＩＨ型線形加速器それ自体が補助的に四重極収束機能を備えている」と解した。
　
５　相違点についての検討・判断
　引用発明は、イオンが「第１線形加速器における加速後、収束用四重極磁石を通過して第２線形加速器に入射するようにした重イオン注入機システム」であるから、イオンが線形加速器に入射してから出射されるまでの経路上において、「収束用四重極磁石」を用いて収束が行われるものである。そして、引用発明の第１線形加速器および第２線形加速器は、いずれも「Alternating Phase Focus（ＡＰＦ）収束構造を採用した」「ＡＰＦ-ＩＨ型線形加速器」であることからして、上記「収束用四重極磁石」は、ＡＰＦ-ＩＨ型線形加速器の収束機能にさらに追加的に収束機能を果たす収束装置であり、補助的な四重極収束機能を備えるものであるといえる。
　ここで、引用発明の「ＩＨ型線形加速器」と同様に複数のドリフトチューブを用いてイオンを加速する加速器において、ドリフトチューブ内に磁場発生装置を設けてイオンの収束を行うことは、例えば特開平５−２９０９９７号公報（【０００１】〜【０００２】、【００１７】及び【図２】参照）、特開平０５−１２９０９９号公報（【０００１】〜【０００２】、【０００８】、【図１】、【図２】参照）、特開昭５８−０５１５００公報（第１頁右下欄第７行〜第２頁右下欄第１６行、第４図参照）に記載されているように当業者に周知の技術的事項である。
　してみると、引用発明において補助的な四重極収束機能を果たす「収束用四重極磁石」をドリフトチューブ内に設けるよう構成し、ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器とすること、すなわち相違点に係る構成を得ることは、上記周知の技術的事項に基いて当業者が容易になし得る事項である。
　
　ここで、請求人は、本願発明が具備する「イオン加速装置として、ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器を用いる」という発明特定事項について、審判請求書（平成２１年８月４日付け手続補正書によって補正された審判請求書。）において概ね以下の主張を行っているが、その主張は以下の（２）に述べるとおり採用することはできない。
（１）請求人の主張
〈主張１〉本願発明の特許性について
「補助的に四重極収束機能をＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器自体が備えていなければ、イオンの高電流化は実現不能」であり、「本願は、四重極収束機能単独、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器単独では達成し得ないイオンの高電流化が実現でき、各引例から想到し得ない顕著な作用効果を有している。」「また、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器自体に補助的な四重極収束機能を与えるにしても、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器の基本原理に対する深い理解、また、上記した予備的な理解が必要であり、単に、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器に四重極収束機能を取り付けることによって達成し得るものではない。」「従って、本願も、補助的に四重極収束機能をＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器自体が備えることにより、これら双方の組み合わせの相乗効果により、四重極収束機能単独、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器単独で達成し得ないイオンの高電流化を実現するものであり、四重極収束機能単独、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器単独を用いた引例によっては本願の特許性を否定し得るものではない。」
〈主張２〉イオンの高電流化を可能とする原理について
「補助的に四重極収束機能を備えたＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器が加速できる重イオンビームの電流量は、補助的な四重極収束機能の横方向収束力及びＡＰＦの位相アクセプタンス収束力の２つのパラメータを座標軸とした場合、２次元的な特性曲面となる。
　この２次元的な特性曲面において、２つのパラメータの相互作用による相乗効果により電流量の極大点が発生し、この極大点は、補助的な四重極収束機能の収束力及びＡＰＦの収束力の双方が大きい方に変位しており、この傾向は、収束の難しくなるＬｉ＋以上の重イオンにおいて顕著になる。
　従って、重いイオンほど、補助的な四重極収束機能の収束力及びＡＰＦの収束力の２つのパラメータを同時並行に制御しながら、この極大点に調整する必要があり、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器自体が補助的に四重極収束機能を備えていることにより初めて実現できるものであり、四重極収束機能単独、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器単独で達成し得るものではない。
　即ち、補助的な四重極収束機能の収束力及びＡＰＦの収束力の２つのパラメータを同時並行に制御する必要があるため、補助的な四重極収束機能をＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器自体が備えていなければならない。」
（２）主張についての検討　
　本願発明は、単に「ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器を用いる」ことを発明特定事項としているにすぎず、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器に四重極収束機能を具備せしめる場所や態様に関する事項、また、補助的な四重極収束機能の収束力とＡＰＦの収束力の２つのパラメータを同時並行に制御することに関する事項を発明特定事項とするものではない上、本願の明細書の発明の詳細な説明や図面には、上記「４　対比」において述べたとおり、四重極収束機能をＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器の何処にどのようにして設けるかという具体的態様について何ら記載がないばかりか、前記制御の必要性や制御の具体的内容、補助的に四重極収束機能をＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器自体が備えることによって得られるイオンの高電流化という相乗効果について何ら示唆も記載もないのであるから、発明を公開する代償として当該発明についての独占権を獲得するという特許法の趣旨に照らせば、請求人の上記主張を採用する余地はなく、単に、ＡＰＦ−ＩＨ型線形加速器に四重極収束機能を具備せしめるよう構成することが当業者に容易想到であることは上述のとおりである。
　そして、ＩＨ型線形加速器に、「ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えた」構成を採用することのみによっては、請求人の主張するイオンの高電流化という作用効果を奏するとはいえないから、本願発明の奏する作用効果は、引用発明ならびに周知技術から当業者が想定できる範囲のものにすぎない
　したがって、上述のとおり、引用発明において補助的な四重極収束機能を果たす「収束用四重極磁石」をドリフトチューブ内に設けるよう構成し、ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器として相違点に係る構成を得ることは、周知の技術的事項に基いて当業者が容易になし得る事項である。
　
　なお、以上の相違点についての検討は、上記「４　対比」で述べたとおり、本願発明の発明特定事項である「補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器」について、「ＡＰＦ収束機能を備えたＩＨ型線形加速器それ自体が補助的に四重極収束機能を備えている」と解して行ったが、引用発明の「重イオン注入機システム」は、「イオンは、第１線形加速器における加速後、収束用四重極磁石を通過して第２線形加速器に入射する」ものであることからして、イオンは、一連のＡＰＦ-ＩＨ型線形加速器である第１線形加速器および第２線形加速器に入射して出射されるまでの間に収束用四重極磁石による収束を受けるといえるから、引用発明も「イオン加速装置として、ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器を用い」ているともいえる。
　そうすると、上記相違点は実質的な相違点ではなく、本願発明は引用発明と何ら相違せず、本願発明は引用発明と同一であるともいえる。
　
６　むすび
　上記のとおり、本願の請求項１に係る発明は、本願出願前に頒布された刊行物である引用例に記載された発明および周知の技術的事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるばかりでなく、引用例に記載された発明でもあるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないばかりでなく、同法第２９条第１項第３号の規定によっても特許を受けることができないものである。
　よって、結論のとおり審決する。