【事件の表示】
　平成１１年特許願第５２９４２６号「投影光源」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　７月　１日国際公開、ＷＯ９９／３２９３８、平成１４年　６月　４日国内公表、特表２００２−５１６６５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１０年１２月２３日（パリ条約による優先権主張　１９９７年１２月２３日　米国）を国際出願日とする特願平１１−５２９４２６号であって、平成２１年４月１７日付けで手続補正がなされ、同年７月７日付けで拒絶理由（最後）が通知され、同年９月１４日付けで意見書が提出されるとともに、同日付で手続補正がなされ、平成２２年１月５日付けで、平成２１年９月１４日付けの手続補正に対する補正の却下の決定がなされ、同日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年４月１２日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同日付けで手続補正がなされたものである。
　その後、平成２３年３月２４日付けで当審から審尋をし、同年５月２６日付けで回答書が提出された。
　
第２　平成２２年４月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定について
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２２年４月１２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正について
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、平成２１年４月１７日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載の、
　
「リソグラフィに使用される光学装置において、
　矩形状の光束を形成する光学系と、
　前記矩形状の光束を弓状の光束に変形する写像器とを有することを特徴とする光学装置。」が　
　
「光源からの光を用いてレチクルを照明する光学装置において、
　前記光源からの光を用いて矩形状の光束を形成する光学系と、
　前記光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系、及び該屈折光学系からの前記第一の弓状の光束を反射し、第二の弓状の光束を射出するミラー光学系を含む写像器とを有し、
　前記写像器からの第二の弓状の光束により前記レチクルを照明することを特徴とする光学装置。」と補正された。
　
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の請求項１に係る発明における「矩形状の光束を弓状の光束に変形する写像器」について「前記光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系、及び該屈折光学系からの前記第一の弓状の光束を反射し、第二の弓状の光束を射出するミラー光学系を含む写像器」と限定して特定する補正事項を含むものである。
　
２　新規事項追加の違反についての検討
　本件補正によって特定された「前記光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系」が、国際出願日における特許請求の範囲、明細書の発明の詳細な説明及び図面（以下「当初明細書等」という。）のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項(新規事項）を導入しないものであるかについて検討する。
　
（１）「屈折光学系」が「矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する」という事項については、当初明細書等のどこにも直接的には記載されていない。
　
（２）上記の写像器における屈折光学系が矩形状の光束を変形することについては、当初明細書等の第４２ページ第２行〜第４３ページ第１行において、
「手短に言えば、動作状態において、中継器と再写像器は、ほぼ矩形の光帯をほぼ弓状の光帯へ変形する。中継器と再写像器のレンズは、ほぼ矩形の光帯を、曲率半径がほぼ弓状の光帯と同じである湾曲した画像を有する光帯へ歪ませる。次に、再写像器の放物面鏡は、湾曲した画像を有する光帯を、ほぼ平坦な画像領域を有するほぼ弓状の光帯へ反射する。
  詳細に言えば、レンズ２４１〜２４５は、レンズ２３１〜２４０と共に、ほぼテレセントリック性の矩形の光帯１１１を、湾曲した画像２５０（即ち、湾曲した画像領域を有する光帯）へ歪ませる、非常に湾曲した領域を有する。言い換えると、レンズは、光帯の画像領域へ曲率を与える。湾曲した画像領域は、再写像器により出力された光の所望の円弧の半径と同じである曲率半径を有する。
  好適な実施態様において、弓状の光帯６は、１７５．０mmの半径を有する。後述するように、再映像器１０６は、再写像器１０５の出力を２倍に拡大する。従って、再映像器１０６の出力において１７５．０mmの半径を有する弓状の光帯６を得るために、再写像器１０５は、８７．５mmの半径を有する弓状の光帯１１３を生成しなければならない。従って、湾曲した画像２５０は、８７．５mmの曲率半径を有する。
  湾曲した画像２５０は、放物面鏡２４６に突き当たる。放物面の曲率と放物面鏡の向きは、湾曲した画像２５０を、ほぼ平坦な画像領域を有する弓状の光帯１１３へ変形する。図１７に示されているように、弓状の光帯１１３は、中継器と再写像器の光軸に対しかなり傾斜して進行する。」
と記載され（なお、第３６ページ第２１行〜第３７ページ第５行にも同様の記載がなされているが、ほぼ同じ内容なので摘記を省略する。）、また、図１７（ＦＩＧ１７）として次の図が記載されているのみである。
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　上記の当初明細書の記載によれば、写像器における屈折光学系は、ほぼ矩形の光帯を、湾曲した画像２５０を有する光帯へ歪ませるものであり、上記屈折光学系が（ほぼ）矩形の光帯を「弓状の光帯（光束）に変形する」とは記載されていない。
　すなわち、ＦＩＧ１７（図１７）も参酌して、当初明細書の上記記載を読めば、写像器における屈折光学系（再写像器のレンズ）が矩形の光帯を変形して形成する「湾曲した画像２５０を有する光帯」は、ＦＩＧ１７（図１７）からも明らかなように、レンズの光軸に垂直な面上では矩形の光帯を光軸方向に歪ませて形成したもの（湾曲した画像領域を有するもの）であって、それが「（平坦な画像領域を有する）弓状の光帯」ではないことは明らかである。なお、上記の摘記箇所において「中継器と再写像器のレンズは、ほぼ矩形の光帯を、曲率半径がほぼ弓状の光帯と同じである湾曲した画像を有する光帯へ歪ませる。」の記載があるが、この記載についても、「湾曲した画像２５０を有する光帯」の「曲率半径」が、ほぼ弓状の光帯（放物面鏡から射出する弓状の光帯１１３）の曲率半径と同じである旨を述べているものであり、「湾曲した画像２５０を有する光帯」が「弓状の光帯」であるとする記載ではない。
　よって、「屈折光学系」が「弓状の光帯（光束）」を形成する（に変形する）ことは当初明細書等に記載されていないのであるから、本件補正によって特定された「（矩形状の光束を歪ませて）第一の弓状の光束に変形する屈折光学系」は、当初明細書等に記載した事項の範囲内の事項ではない。
　
　以上のとおりであるから、本件補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてした補正であるということはできない。
　よって、本件補正は、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下する。
　
３　補正の目的の規定の違反についての検討
  上記「２　新規事項追加の違反についての検討」において述べたように、本件補正によって特定された「前記光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系」は、当初明細書等に記載されていないものであることから、本件補正は新規事項を追加する補正であることは明らかであるが、それとともに、本件補正における上記補正事項は、補正前の請求項１に係る発明に新たな技術課題を生じさせるものであり、また、補正前の請求項１に係る発明を不明りょうにするものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「平成１８年改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第１ないし４号に掲げるいずれの事項をも目的とするものではない。
　よって、本件補正は、同法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定によって却下されるべきものである。
　
４　独立特許要件違反についての検討
（１）上記「２　新規事項追加の違反についての検討」及び「３　補正の目的の規定の違反についての検討」において述べたように、本件補正によって特定された「第一の弓状の光束」は「（平坦な画像領域を有する）弓状の光帯（光束）」であると解されるところ、「屈折光学系」が「弓状の光帯（光束）」を形成することは当初明細書等に記載されていないのであるから、本件補正は、新規事項を追加する補正であり、また、補正の目的の規定に違反する補正であることは明らかである。
　しかしながら、仮に、上記の「第一の弓状の光束」が「（平坦な画像領域を有する）弓状の光帯（光束）」に限られず、「（光軸方向に）湾曲した画像を有する光帯（光束）」と解することができるとし、本件補正は、特許請求の範囲について、いわゆる限定的に減縮することを目的とする補正、すなわち、平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とする補正であるといえるとした場合に、本件補正後の本願の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものか（平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反しないか）について検討する。
　なお、上記のように「第一の弓状の光束」が「（光軸方向に）湾曲した画像を有する光帯（光束）」であると解することができる場合、本願の発明の詳細な説明の記載から「弓状」は「湾曲」している以上の意味を有さず、「湾曲」の形態は「光軸方向」への「湾曲」であるから、上記のように「第一の弓状の光束」が「（光軸方向に）湾曲した画像を有する光帯（光束）」であると解することができるということは、「第一の弓状の光束」が「反射鏡（本願の実施例においては放物面鏡２４６）の反射面上で光軸方向に湾曲している」「光束」である以上のことを意味するものではない。
　
（２）本願補正発明
　本願補正発明は、平成２２年４月１２日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により特定されるものである。（上記「第２　平成２２年４月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定について」の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
（３）引用例
ア　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平６−２６７８９４号公報（以下「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。
　
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は
被照明物体を均一に照明する照明光学装置
　
「【００６１】
【実施例】図３及び図４は本発明による照明光学系を露光装置に応用した例を示す図であり、この図を参照しながら本発明による第１実施例を説明する。図３において、（ａ）は第１実施例の装置を真上から見た時の様子を示す図であり、（ｂ）は（ａ）の装置を横から見た時の断面構成を示す図である。
【００６２】図３に示す如く、被照射面としてのレチクルＲの上方には
レチクルＲを均一な円弧照明する照明光学系
光源１からは露光のための平行光束が供給され、
オプティカルインテグレータ２に入射する。
【００６３】オプティカルインテグレータ２は、例えば複数のレンズ素子の集合体よりなり、各レンズ素子に入射する平行光束を射出側で集光する。この射出側の位置Ａ１には、レンズ素子の数に相当する点光源の集合体よりなる複数の光源像Ｉが形成され、ここには、実質的に面光源としての２次光源が形成される。この２次光源が形成される位置Ａ１もしくはその近傍には、円形状の開口部を有する開口絞りＳが設けられており、これにより、オプティカルインテグレータ２により形成される２次光源は円形状にされる。
【００６４】開口絞りＳにより円形状となった２次光源の各光源像からは各々光束が射出し、２次光源全体として見れば、図３（ａ）に示す如く、各射出角を持った平行光束が射出し、
光源再形成光学系としてのリレー光学系３に入射する。
【００６５】この
リレー光学系３は、正の屈折力を持つ第１集光光学系３０Ａと同じく正の屈折力を持つ第２集光光学系３０Ｂとで構成されており、
【００６６】ここで、第１集光光学系３０Ａは、第１集光光学系３０Ａの焦点距離をｆ１ 、２次光源からの入射光束（平行光束）の入射角（あるいは開口絞りＳにより規定される２次光源からの主光線の入射角）をθ１ 、入射角θ１ の入射光束（平行光束）が第１集光光学系３０Ａにより結像される像の光軸からの高さ（像高）をｙとするとき、ｙ＝ｆ１ sin θ１ の関係を満足し、一方、第２集光光学系３０Ｂは、第２集光光学系３０Ｂの焦点距離をｆ２ 、第１集光光学系３０Ａにより形成される像の光軸からの高さｙ（像高）から発する光束が第２集光光学系３０Ｂを射出するときの射出光束（あるいは射出する主光線）の射出角θ２ とするとき、ｙ＝ｆ２θ２ の関係を満足する。
【００６７】以上のリレー光学系３の構成により、位置Ａ１ の２次光源から各射出角を持って射出する
平行光束は第１集光光学系３０Ａにより集光されて位置Ｂ
１
 には長方形状の空間像Ｉが形成され、この長方形状の空間像Ｉからの光束は第２集光光学系３０Ｂにより集光されて平行光束に変換されてコンデンサー光学系としての特殊反射鏡４へ向かう。
【００６８】このとき、第２集光光学系３０Ｂ中の負レンズ３２Ｂ内部の位置Ａ２ には２次光源の実像が形成され、リレー光学系３の射出瞳位置Ａ２０（第２集光光学系３０Ｂの被照明面側の焦点位置）には、リレー光学系３の射出側を任意の角度から見ても常に円形状となる２次光源の虚像が形成される。従って、リレー光学系３を射出する射出角が零度（ψ＝０°）の時の平行光束の光束径Ｐ(0) とリレー光学系３を射出する射出角がψの時の平行光束の光束径Ｐ（ψ) とは等しくなり、リレー光学系３の射出瞳からは一定の径Ｐ０ を持つ平行光束が供給されるようにリレー光学系３を射出する。なお、第１集光光学系３０Ａにより形成される空間像Ｉの位置Ｂ１ は、第１集光光学系３０Ａの後側（被照明側）の焦点位置と一致すると共に、第２集光光学系３０Ｂの前側（光源側）の焦点位置と一致している。
【００６９】さて、各射出角を持ってリレー光学系３を射出した平行光束は、
被照明面としてのレチクルＲ上で特殊反射鏡４により円弧状に集光される。
　
「【図３】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
イ　引用例１に記載された発明の認定
　上記記載（図面を含む）から、引用例１には、
「光源１から供給される平行光束を用いてレチクルＲを均一な円弧照明する照明光学装置において、
　光源１から供給される平行光束は、オプティカルインテグレータ２を介して、正の屈折力を持つ第１集光光学系３０Ａと同じく正の屈折力を持つ第２集光光学系３０Ｂとで構成されるリレー光学系３に入射し、
　第１集光光学系３０Ａにより集光されて位置Ｂ１ に長方形状の空間像Ｉが形成され、この長方形状の空間像Ｉからの光束は第２集光光学系３０Ｂにより集光されて平行光束に変換されてコンデンサー光学系としての特殊反射鏡４へ向かい、
　特殊反射鏡４により被照明面としてのレチクルＲ上で円弧状に集光される照明光学装置。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
（４）対比・判断
ア　対比
　ここで、本願補正発明と引用発明を対比する。
　引用発明の「光源１から供給される平行光束を用いてレチクルＲを均一な円弧照明する照明光学装置」が、本願補正発明の「光源からの光を用いてレチクルを照明する光学装置」に相当する。
　
　引用発明の「光源１から供給される平行光束」を「集光」して「位置Ｂ１ に長方形状の空間像Ｉ」を形成する「第１集光光学系３０Ａ」が、本願補正発明の「前記光源からの光を用いて矩形状の光束を形成する光学系」に相当する。
　
　引用発明においては「長方形状の空間像Ｉからの光束は第２集光光学系３０Ｂにより集光されて平行光束に変換されてコンデンサー光学系としての特殊反射鏡４へ向かい、特殊反射鏡４により被照明面としてのレチクルＲ上で円弧状に集光される」のであり、引用例１の段落【００６９】の記載事項及び【図３】の（ａ）も参酌すると、「長方形状の空間像Ｉからの光束」は「特殊反射鏡４の反射面において」光軸上に湾曲していることはあきらかである。
　そして、上記（１）で述べたように、本願補正発明の「第一の弓状の光束」は「反射鏡の反射面上で光軸方向に湾曲している」「光束」である以上のものではないから、引用発明の「長方形状の空間像Ｉからの光束」を「集光」して「平行光束に変換」し「コンデンサー光学系としての特殊反射鏡４へ向」かわせる「第２集光光学系３０Ｂ」が、本願補正発明の「光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系」に相当する。
　
　引用発明の「レチクルＲ上」での「円弧状」と、本願補正発明の（ミラー光学系から射出される光束の）「第二の弓状」とは、「平坦領域で湾曲形状」をしている点で共通するものであるから、引用発明の「（第２集光光学系３０Ｂから射出された）平行光束」を「被照明面としてのレチクルＲ上で円弧状に集光」する「特殊反射鏡４」と、本願補正発明の「屈折光学系からの前記第一の弓状の光束を反射し、第二の弓状の光束を射出するミラー光学系」とは、「屈折光学系からの前記第一の弓状の光束を反射し、平坦領域で湾曲形状をした光束を射出するミラー光学系」である点で一致する。
　
　引用発明の「第２集光光学系３０Ｂ」と「コンデンサー光学系としての特殊反射鏡４」を合わせた部分が、本願補正発明の「屈折光学系」と「ミラー光学系」を含む「写像器」に相当する。
　
　引用発明の「特殊反射鏡４により被照明面としてのレチクルＲ上で円弧状に集光される」ことと、本願補正発明の「前記写像器からの第二の弓状の光束により前記レチクルを照明する」こととは、「前記写像器からの平坦領域で湾曲形状をしている光束により前記レチクルを照明する」点で一致する。
　
イ　一致点
　よって、本願補正発明と引用発明は、
「光源からの光を用いてレチクルを照明する光学装置において、
　前記光源からの光を用いて矩形状の光束を形成する光学系と、
　前記光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系、及び該屈折光学系からの前記第一の弓状の光束を反射し、平坦領域で湾曲形状をしている光束を射出するミラー光学系を含む写像器とを有し、
　前記写像器からの平坦領域で湾曲形状をしている光束により前記レチクルを照明する光学装置。」の発明である点で一致し、次の点で相違する。
　
ウ　相違点
　ミラー光学系が射出しレチクルを照明する光束の形態が、平坦領域で湾曲形状をしている点において両者は共通するものの、その具体的形状について、本願補正発明が「弓状」であるのに対して、引用発明が「円弧状」である点で両者は相違する。
　
エ　当審の判断
（ア）上記相違点について検討する。
　光束の形態として「弓状」も「円弧状」も、良好な光学特性を有する輪帯域（形状）の一部の形状である点で共通しており、その形状を「弓状」とするか「円弧状」とするかの差異は、技術的観点上、格別の差異ということはできない。
　したがって、引用発明における「円弧状」の光束を「弓状」に換えて、上記相違点に係る本願補正発明の発明特定事項を得ることは当業者が容易に想到し得たことである。
　
（イ）本願補正発明の奏する作用効果
　そして、本願補正発明によってもたらされる効果は、引用発明から当業者が予測し得る程度のものである。
　
（ウ）まとめ
　以上のとおり、本願補正発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　したがって、本願補正発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるということができないから、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
 第３　本願発明について
１　本願発明
　平成２２年４月１２日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２１年４月１７日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。（上記「第２　平成２２年４月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定について」の「１　本件補正について」の記載参照。）
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載事項及び引用発明については、上記「第２　平成２２年４月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定について」の「４　独立特許要件違反についての検討」の「（３）引用例」に記載したとおりである。
　
３　対比・判断
　上記「第２　平成２２年４月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定について」の「１　本件補正について」に記載したように、本願発明の「矩形状の光束を弓状の光束に変形する写像器」について「前記光学系からの前記矩形状の光束を歪ませて第一の弓状の光束に変形する屈折光学系、及び該屈折光学系からの前記第一の弓状の光束を反射し、第二の弓状の光束を射出するミラー光学系を含む写像器」と限定して特定したものが本願補正発明である。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、本願発明をさらに限定して特定したものに相当する本願補正発明が、上記「第２　平成２２年４月１２日付けの手続補正についての補正の却下の決定について」の「４　独立特許要件違反についての検討」の「（４）対比・判断」において記載したとおり、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様に、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。