【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年12月15日(2010.12.15)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能に装着された複数の可動薄板（４，４’）を備えた少なくとも１つのシステム絞り（１）を有する光学結像装置、特に半導体リソグラフィ用の対物レンズであって、薄板（４，４’）が球状に湾曲しており、薄板（４）を回転させるために、各薄板（４）が、トーションバー回動可能連結手段（８）を用いて、回転するように回転軸受中心軸（６）に装着されていることを特徴とする光学結像装置。
【請求項２】
薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）が球（７）の湾曲の中心（Ｃ）に心合わせされていて、球（７）が、薄板（４，４’）が互いに連動して移動できる面を規定することを特徴とする、請求項１に記載の光学結像装置。
【請求項３】
薄板（４）が、湾曲の中心（Ｃ）が同一である２つの球面（７，７’）上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項１に記載の光学結像装置。
【請求項４】
２つの球面（７，７’）間には数ミリメータの間隔Ａがあり、好ましくはＡ＜１ｍｍであることを特徴とする、請求項３に記載の光学結像装置。
【請求項５】
薄板（４）が高い剛性を有することを特徴とする、請求項１に記載の光学結像装置。
【請求項６】
薄板（４）が駆動リング（１０）を使って移動可能であり、駆動リング（１０）がリーフスプリング回動可能連結手段（１１，１１’）を介して光軸（３）周りを回転可能に装着されることを特徴とする、請求項１に記載の光学結像装置。
【請求項７】
リーフスプリング回動可能連結手段（１１，１１’）が半径方向において堅く、回転方向において柔軟なリーフスプリング回動可能連結手段（１１，１１’）であることを特徴とする、請求項６に記載の光学結像装置。
【請求項８】
駆動リング（１０）が駆動要素（１２）を介して薄板（４）にそれぞれ接続されることを特徴とする、請求項６に記載の光学結像装置。
【請求項９】
駆動要素（１２）がリーフスプリング回動可能連結手段（１１’）を介して駆動リング（１０）に接続されることを特徴とする、請求項８に記載の光学結像装置。
【請求項１０】
駆動リング（１０）が駆動要素（１２）と一体であることを特徴とする、請求項６に記載の光学結像装置。
【請求項１１】
駆動リング（１０）が、交互に与える負荷下で高い安定性を有する材料により形成されることを特徴とする、請求項６，８，９，１０のいずれかに記載の光学結像装置。
【請求項１２】
薄板（４，４’）を移動させるための駆動装置（１０’）が、光学素子（２）およびシステム絞り（１）を包囲してガスを満したガス空間（Ｇ）の外側に配置されることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれかに記載の光学結像装置。
【請求項１３】
薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）を備えた回転軸受（５，５’）がそれぞれ絞り（１３）に固定されていて、薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）を湾曲部の中心（Ｃ）に心合わせできることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光学結像装置。
【請求項１４】
回転軸受中心軸（６，６’）を心合わせするために制御部材（１５）が設けられることを特徴とする、請求項１３に記載の光学結像装置。
【請求項１５】
薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）を備えた回転軸受（５，５’）がそれぞれトーションバー回動可能連結手段（１６）に固定されていて、薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）を湾曲部の中心（Ｃ）に心合わせできることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光学結像装置。
【請求項１６】
トーションバー回動可能連結手段（１６）が四点連結のクロススプリングとして設計されることを特徴とする、請求項１５に記載の光学結像装置。
【請求項１７】
薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）を心合わせする際の計測に、触覚または光学測定法を用いることを特徴とする、請求項１３又は１５に記載の光学結像装置。
【請求項１８】
トーションバー回動可能連結手段により移動可能に保持された複数の薄板（４，４’）を備えた、マイクロリソグラフ投影露光装置用の可変システム絞り。
【請求項１９】
前記薄板（４，４’）が、前記トーションバー回動可能連結手段により回転するように装着されていることを特徴とする、請求項１８に記載の可変システム絞り。
【請求項２０】
複数の可動薄板を備え、該薄板（４，４’）が球状に湾曲すると共に回転するように装着され、該薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）が球（７）の湾曲部の中心（Ｃ）に心合わせされており、該球（７）が、該薄板（４，４’）が互いに対して移動できる面を規定することを特徴とする、可変システム絞り。
【請求項２１】
前記薄板（４，４’）が、湾曲の中心（Ｃ）が同一である２つの球面（７，７’）上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項２０に記載の可変システム絞り。
【請求項２２】
前記２つの球面（７，７’）間には数ミリメータの間隔Ａがあり、好ましくはＡ＜１ｍｍであることを特徴とする、請求項２１に記載の絞り。
【請求項２３】
光学素子を有する半導体リソグラフィにおける投影対物レンズであって、マイクロリソグラフ投影露光装置用の少なくとも１つの可変システム絞りが、１つの光学素子の凹状面内への導入のために備えられ、該絞りが湾曲面に沿っており、前記絞りが、トーションバー回動可能連結手段（８）を用いて、回転するように回転軸受中心軸（６，６’）に装着されていることを特徴とする投影対物レンズ。
【請求項２４】
前記絞りが、球状に湾曲した面に沿っていることを特徴とする、請求項２３に記載の投影対物レンズ。
【請求項２５】
前記絞りが、回転可能に装着された複数の薄板（４，４’）を備えていることを特徴とする、請求項２３あるいは２４に記載の投影対物レンズ。
【請求項２６】
前記薄板（４，４’）の回転軸受中心軸（６，６’）が前記球（７）の湾曲部の中心（Ｃ）に心合わせされており、該球（７）が、該薄板（４，４’）が互いに対して移動できる面を規定することを特徴とする、請求項２５に記載の投影対物レンズ。
【請求項２７】
前記薄板（４，４’）が、湾曲の中心（Ｃ）が同一である２つの球面（７，７’）上を部分的に重なって移動できるように配置されることを特徴とする、請求項２６に記載の投影対物レンズ。
【請求項２８】
前記薄板（４，４’）が、前記トーションバー回動可能連結手段により回転するように装着されていることを特徴とする、請求項２４に記載の投影対物レンズ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つのシステム絞りを備えた光学結像装置、特に半導体リソグラフィ用の対物レンズに関する。該システム絞りは、複数の可動薄板から構成されている。
光学結像装置において様々なタイプの絞りがシステム絞りとして使用されていることは広く知られている。絞りによる光束の画定は、光学的結像を行うのに非常に重要である。絞りは光束の直径を左右するあるいは変化させることができるため、光学結像装置の光学結像品質にかなり影響し、光学結像品質を改善することができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００７】
リソグラフィ対物レンズにおけるこのような絞りが、転がり軸受または滑り軸受を備えることは先に開示された解決法、例えばドイツ特許公開公報ＤＥ１９９５５９８４Ａ１からもわかる。例えば、薄板の回転軸受中心軸が滑るまたは転がるように取り付けられていたり、及び／または、薄板を移動させる駆動要素が滑るまたは転がるように取り付けられていたり、及び／または薄板の力駆動点に滑り軸受または転がり軸受けが存在したりする。リソグラフィ対物レンズ内部のこのような軸受それぞれが問題である。滑り摩擦または転がり摩擦はレンズを汚す粒子を生成し、その結果、結像品質をかなり落としてしまう。さらに、レンズ内部の潤滑もまた大いに問題となる。潤滑されない軸受であっても動作信頼性に関する危険性が高い。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
本発明によると請求項１の特徴により本目的が達成される。
本発明の光学結像装置のシステム絞りは、回転可能に装着される球状に湾曲した薄板を備える。薄板の回転軸受中心軸は好ましくは球の湾曲の中心に向けられており、球は球状湾曲部あるいは薄板の形状を規定する。これにより、開閉時にシステム絞りの光規定エッジを球面に沿って移動させることが可能になる。この結果、開口幅ごとに例えば投影対物レンズのような光学結像装置の光軸に沿っていろいろな位置で、球に対応する湾曲上を移動し、設置領域から球状キャップへの進入または挿入が可能なシステム絞りを形成することが可能になる。したがって、設置領域が狭い場合でも、本発明のシステム絞りをミラーの凹面、レンズ、あるいは２つのレンズの間の非常に狭い中間領域に導入することができる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
以下に、本発明の実施例をより詳細に、付属の図面を参照しながら説明する。
図１は、概略的かつ部分的に示された光学結像装置ＰＬ、例えば半導体リソグラフィ用の対物レンズにおいて、空間を節約して開口幅ごとに光軸３に沿っていろいろな位置で光路を画定するために、本発明のシステム絞り１（ここでは単に点線により表示されている）がどのように光学素子２の凹面に導入されることができるかを示している。光学結像装置ＰＬは半導体リソグラフィに使用される対物レンズとして設計されている。ＲBは、例えばシステム絞り１が完全に閉じている場合のシステム絞り１の半径を表す。ＲEは、システム絞り１の表面に対応する光学素子２の表面の半径である。