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【手続補正書】
【提出日】平成23年1月12日(2011.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体プロセスチャンバーの低温クリーニングのための方法であって、
a) 半導体プロセスチャンバーであって、前記チャンバー内の少なくとも1つの表面上に少なくとも1つの不所望の物質を含む半導体プロセスチャンバーを提供すること、
b) フッ素源と酸素源とを含む第1のガス混合物を前処理し、活性なフッ素種を含む前処理された第1のガス混合物を生成すること、
c) 前記前処理された第1のガス混合物をガス貯蔵システムに導入すること、
d) 前記チャンバーの温度を第1の温度まで下げること、
e) 前記前処理されたガス混合物を、前記ガス貯蔵システムから前記半導体プロセスチャンバーに導入すること、および
f) 少なくとも1つの不所望の物質を、前記チャンバー中にプラズマを発生させることなく、または前記チャンバーの温度を前記第1の温度を超えて上昇させることなく、前記前処理されたガス混合物と前記不所望の物質との間、反応生成物を生成する化学反応により前記チャンバーの前記表面から取り除くこと
を含む方法。
【請求項２】
前記第1のガス混合物が、
a) およそ99体積%未満のフッ素源と、
b) およそ99体積%未満の酸素源と、
c) イナートガスとしての残部と
を含む請求項１の方法。
【請求項３】
前記第1のガス混合物が、
a) およそ50体積%ないしおよそ80体積%のフッ素源と、
b) およそ20体積%ないしおよそ50体積%の酸素源と
を含む請求項２の方法。
【請求項４】
前記フッ素源が、
a) 三フッ化窒素、
b) フッ化ニトロシル、
c) フッ化ニトリル、
d) 硝酸フッ素、
e) 六フッ化硫黄、
f) フッ素、および
g) その混合物
からなる群より選択された少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項５】
前記酸素源が、
a) 一酸化窒素、
b) 亜酸化窒素、
c) 二酸化窒素、
d) 酸素、
e) オゾン、
f) 水、
g) フッ化ニトロシル、
h) 三フッ化窒素酸化物、
i) 二酸化ケイ素、および
j) その混合物
からなる群より選択された少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項６】
前記第1のガス混合物の前処理が、
a) 前記第1のガス混合物を反応器に導入すること、
b) 前記第1のガス混合物を前記反応器中で反応させ、前記フッ素源からフッ素を解離させて前記ガス混合物中で活性なフッ素種を発生させること、
c) 前記第1のガス混合物をおよそ室温まで冷却すること、および
d) 前記第1のガス混合物を貯蔵のためにガス貯蔵システムに導入すること
を含む請求項１の方法。
【請求項７】
前記反応器が、前記半導体プロセスチャンバーと流体連通されていない請求項６の方法。
【請求項８】
前記第1のガス混合物をおよそ300℃ないしおよそ1000℃の温度まで加熱するか、または前記第1のガス混合物をプラズマに暴露することのいずれかによって反応させることをさらに含む請求項６の方法。
【請求項９】
前記第1のガス混合物をおよそ400℃ないしおよそ700℃の温度まで加熱することをさらに含む請求項８の方法。
【請求項１０】
前記チャンバーの位置から実質的に離れた位置で前記第1のガス混合物を前処理することをさらに含む請求項１の方法。
【請求項１１】
前記前処理された第1のガス混合物を前記チャンバーに流す少なくともおよそ1日前に、前記第1のガス混合物を前処理することをさらに含む請求項１の方法。
【請求項１２】
前記前処理された第1のガス混合物を前記チャンバーに流す前の少なくともおよそ12時間の間、前記前処理された第1のガス混合物を前記ガス貯蔵デバイス中に貯蔵することをさらに含む請求項１の方法。
【請求項１３】
前記前処理された第1のガス混合物を流すことが、前記前処理されたガス混合物をおよそ1ないし10標準リットル/分の流量で流すことを含む請求項１の方法。
【請求項１４】
前記不所望の物質が、
a) SiO2、
b) SiN、
c) SiON、
d) ポリシリコン、
e) 非晶質シリコン、
f) 微結晶シリコン、および
g) その混合物
からなる群より選択された少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項１５】
前記第1の温度が50℃ないし500℃である請求項１４の方法。
【請求項１６】
前記第1の温度が50℃ないし300℃である請求項１５の方法。
【請求項１７】
前記第1の温度が50℃ないし500℃である請求項１の方法。
【請求項１８】
前記不所望の物質が、リンケイ酸塩ガラス(PSG)またはホウリンケイ酸塩ガラス(BPSG)である請求項１の方法。
【請求項１９】
前記不所望の物質が、
a) Ta、
b) TaN、
c) TaO、
d) TaON、および
e) その混合物
からなる群より選択された少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項２０】
前記不所望の物質が、
a) Ti、
b) TiN、
c) TiO、
d) TiON、および
e) その混合物
からなる群より選択される少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項２１】
前記不所望の物質が、
a) HfO2、
b) HfN、
c) HfON、
d) HfSiOx、
e) HfSiN、
f) HfSiON、および
g) その混合物
からなる群より選択される少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項２２】
前記不所望の物質が、
a) W、
b) WOx、
c) WNｘ、
d) WON、
e) WSiO、
f) WSiN、
g) WSiON、および
h) その混合物
からなる群より選択される少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【請求項２３】
前記不所望の物質が、
a) ZrO2、
b) ZrN、
c) ZrON、
d) ZrSiOx、
e) ZrSiN、
f) ZrSiOn、および
g) その混合物
からなる群より選択される少なくとも1つの要素を含む請求項１の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
チャンバー100中の温度が概ね第1の温度まで下げられた後、前処理された第1のガス混合物106が、ガス貯蔵デバイス107からチャンバー100に導入される。前処理された第1のガス混合物102の流量は、およそ1ないしおよそ10標準リットル/分(slpm)であり得る。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月1日(2011.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メモリセルであって、
第１の導体と、
ステアリング素子と、
カーボンナノチューブ構造と、
第２の導体と、を備え、
前記ステアリング素子と前記カーボンナノチューブ構造とは前記第１の導体と前記第２の導体との間に電気的に直列に配置され、
前記メモリセル全体は基板より上に形成され、
前記ステアリング素子は垂直指向ＰＩＮ接合ダイオードを含むメモリセル。
【請求項２】
請求項１記載のメモリセルにおいて、
前記カーボンナノチューブ構造は、第１および第２の金属または金属性素子の間にそれらと永久的に接触して配置されるメモリセル。
【請求項３】
請求項２記載のメモリセルにおいて、
前記第１または第２の金属または金属性素子は、窒化チタン、窒化タンタル、またはタングステンを含むメモリセル。
【請求項４】
請求項１記載のメモリセルにおいて、
前記第２の導体と前記ダイオードとの間に配置されたシリサイド層をさらに備えるメモリセル。
【請求項５】
請求項１記載のメモリセルにおいて、
前記ダイオードは底部の強くドープされたｎ型領域と、中間の真性あるいは軽くドープされた領域と、頂部の強くドープされたｐ型領域とを含むメモリセル。
【請求項６】
請求項５記載のメモリセルにおいて、
前記中間の真性あるいは軽くドープされた領域は、シリコン−ゲルマニウムの層を含むメモリセル。
【請求項７】
請求項１記載のメモリセルにおいて、
前記メモリセルのデータ状態は、前記カーボンナノチューブ構造の抵抗率状態に記憶されるメモリセル。
【請求項８】
モノリシックな３次元メモリアレイであって、
（ａ）基板より上にモノリシック的に形成された第１のメモリレベルであって、
ｉ）複数の第１の実質的に平行で、実質的に同一平面上の底部導体と、
ｉｉ）ステアリング素子がそれぞれ第１のレベルの垂直指向ＰＩＮダイオードである複数のステアリング素子と、
ｉｉｉ）複数の第１のレベルのカーボンナノチューブ構造素子と、
ｉｖ）複数の第１の実質的に平行で、実質的に同一平面上の頂部導体と、
ｖ）前記第１の底部導体のうちの１つと第１の頂部導体のうちの１つとの間に電気的に直列に配置された、前記ステアリング素子のうちの１つと前記第１のレベルのカーボンナノチューブ構造素子のうちの１つとをそれぞれ含む複数の第１のレベルのメモリセルと、を含む、第１のメモリレベルと、
（ｂ）前記第１のメモリレベルより上にモノリシック的に形成された第２のメモリレベルと、
を備えるモノリシックな３次元メモリアレイ。
【請求項９】
請求項８記載のモノリシックな３次元メモリアレイにおいて、
各第１のレベルのメモリセルは、前記第１の頂部導体のうちの１つと前記第１のレベルのＰＩＮダイオードのうちの１つとの間に配置されたシリサイド層をさらに含むモノリシックな３次元メモリアレイ。
【請求項１０】
請求項８記載のモノリシックな３次元メモリアレイにおいて、
前記第１のレベルのＰＩＮダイオードの各々は、底部の強くドープされたｎ型領域と、中間の真性あるいは軽くドープされた領域と、頂部の強くドープされたｐ型領域とを含むモノリシックな３次元メモリアレイ。
【請求項１１】
請求項１０記載のモノリシックな３次元メモリアレイにおいて、
前記第２のメモリレベルは複数の第２のレベルのメモリセルを含み、各第２のレベルのメモリセルは第２のレベルの垂直指向ＰＩＮダイオードを含み、各第２のレベルの垂直指向ＰＩＮダイオードは底部の強くドープされたｐ型領域と、中間の真性あるいは軽くドープされた領域と、頂部の強くドープされたｎ型領域とを含むモノリシックな３次元メモリアレイ。
【請求項１２】
請求項１１記載のモノリシックな３次元メモリアレイにおいて、
前記第２のメモリレベルは第２の複数の底部導体と第２の複数の頂部導体とをさらに含み、前記第２のレベルのＰＩＮダイオードの各々は前記第２の底部導体のうちの１つと前記第２の頂部導体のうちの１つとの間に配置され、前記第２のメモリレベルの前記底部導体と前記第１のメモリレベルの前記頂部導体とは共有されるモノリシックな３次元メモリアレイ。
【請求項１３】
カーボンナノチューブメモリセルをプログラムする方法であって、前記メモリセルは第１の導体と、ステアリング素子と、カーボンナノチューブ構造と、第２の導体とを備え、前記ステアリング素子と前記カーボンナノチューブ構造とは前記第１の導体と前記第２の導体との間に電気的に直列に配置され、前記ステアリング素子は垂直指向ＰＩＮダイオードを含み、前記カーボンナノチューブメモリセル全体が基板より上に形成され、前記カーボンナノチューブ構造は第１の抵抗率を有する方法において、
前記第１の導体と前記第２の導体との間に第１の電気的セットパルスを印加するステッを含み、前記第１の電気的セットパルスを印加した後、前記カーボンナノチューブ構造は前記第１の抵抗率より小さい第２の抵抗率を有する方法。
【請求項１４】
請求項１３記載の方法において、
前記第１の電気的セットパルスを印加するステップの後に、前記ステアリング素子と前記カーボンナノチューブ構造とを横断する第１の電気的リセットパルスを印加するステップをさらに含み、前記第１の電気的リセットパルスを印加した後、前記カーボンナノチューブ構造は前記第２の抵抗率より大きい第３の抵抗率を有する方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法において、
前記カーボンナノチューブメモリセルのデータ状態は、前記カーボンナノチューブ構造の前記第１、第２、または第３の抵抗率状態に記憶される方法。
【請求項１６】
請求項１４記載の方法において、
前記第１の電気的セットパルスを印加するステップの後で、前記第１の電気的リセットパルスを印加するステップの前に、前記第１の導体と前記第２の導体との間に読み出し電圧を印加し、これにより前記メモリセルの第１のデータ状態を感知するステップをさらに含む方法。
【請求項１７】
請求項１６記載の方法において、
前記第１の電気的リセットパルスを印加するステップの後に、前記第１の導体と前記第２の導体との間に読み出し電圧を印加し、これにより前記メモリセルの第２のデータ状態を感知するステップをさらに含み、前記第１のデータ状態と前記第２のデータ状態とは同じでない方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月16日(2011.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
突出部材３８は、片持梁ばねの態様で、自由端３８の反対に位置する端部においてバンド部３４と固定される。片持梁として動作するのは有利である。なぜなら、ハーネススリーブ２８に相対する軸方向にその長さに沿って位置決め装置を移動可能にするために、突出部材の端部３８ａを、位置決め装置３２の中心軸３５に沿って概して弾力的に反らせることができるからである。ハーネススリーブ２８は、もしスリーブ２８の周方向に延在する環状の波状突起部３０を有しているなら、図１および図２に示されているように、突出部材３８と係合して用いられるときに特に有利である。波状突起部３０は、位置決め装置３２の確実な位置決めを保証しかつハーネススリーブ２８に沿って軸方向の力がバンド部３４に加えられると位置決め装置３２を簡単に移動させることができる突出部材３８に、自然な係合および固定の機能を与えるために、周方向に延在する環状の尾根部３０ａと周方向に延在する環状の溝部または谷部３０ｂとが交互に形成される。十分な大きさでバンド部３４に加えられるそのような力によって、突出部材３８は、図１に示されるように、片持梁の態様で組立品の間のバンド部３４から離れて軸方向に反ることができ、また、突出部材３８は、位置決め装置３２のための新たな位置を確立するために、端部３８ａが、尾根部３０ａ上に載り、隣接する波状突起部３０の間であって谷部３０ｂ内を弾力的にすばやく動く（snap）ことを可能にする。当然ながら、図１および図２に示される実施の形態において、もしも装置３２が、組立てられた位置から、センサ１４から離れた分解された位置に向かって移動させているなら、突出部材３８は、バンド部３４に向かって内側に軸方向に反る。また、波状突起部３０が存在せず、突出部材端部３８ａとそれらを係合する細長い物品との間の摩擦に依存することも実行可能である。さらに、保護シールドが存在しなくても、突出部材３８が配線用ハーネスと直接係合可能であれば、細長い物品はハーネススリーブ２８を必要としない。いずれの実施形態においても、位置決め装置３２を動かすために加えられる力は、突出部材３８とそれらを係合するいずれかの細長い構成品との間に生じる抵抗を克服する程度に十分でなければならない。突出部材３８によって加えられる反りの抵抗は、それらの長さ、全体のサイズ、個数、ならびに、タイプおよび／または工場において形成される材料の厚みに適合するように変えることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図９は、位置決め装置のさらに他の実施形態６８を示す。この実施の形態は、図５に示された実施形態と同様であり、装置６８は、複数の弾力性のある柔軟な完全な長さの突出部材７２が取付けられた円錐形のようにテーパー状のバンド部７０を含んでいる。しかし、装置６８は、図７および図８に関連して上記したものと同様の様式で完全な長さの突出部材７２の間に部分的な楔形状の空間７４を設けるために、完全な長さの突出部材７２の間に延在する長さが短く縮められた部分突出部材７３を有している。したがって、図７および図８に関連して既に論述が行なわれているので、さらなる論述を必要としないと確信する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月14日(2011.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
全面的又は部分的にコンピュータにより実行され１個又は複数個のコンピュータアクセシブルメモリ上の諸ディジタルオブジェクトに関する情報を提示する方法であって、
あるカテゴリを定める情報を受け取るステップと、
そのカテゴリを構成するインスタンスのうち少なくとも２個を特定する情報を受け取るステップと、
そのカテゴリ内の小区分を定める情報を受け取るステップと、
それぞれそのカテゴリのインスタンスのうち１個に係り且つ小区分のうち１個に係るディジタルオブジェクトからなる複数個のグループを認識するステップと、
そのカテゴリを構成するインスタンスに係る第１軸及び小区分に係る第２軸を有するヒストグラムをインスタンス別に表示させるステップと、
を有し、各ヒストグラムが、ディジタルオブジェクトのグループのうちそのヒストグラムに係るインスタンスに対応する諸グループを示す複数個の表現を含み、且つその表現がそれぞれいずれかのグループ及びいずれかの小区分に対応付けられている方法。
【請求項２】
全面的又は部分的にコンピュータにより実行され１個又は複数個のコンピュータアクセシブルメモリ上の諸ディジタルオブジェクトに関する情報を提示する方法であって、
ある期間を定める情報を受け取るステップと、
その期間を構成するインスタンスのうち少なくとも２個を特定する情報を受け取るステップと、
その期間の小区分を定める情報を受け取るステップと、
それぞれその期間のインスタンスのうち１個に係り且つ小区分のうち１個に係るディジタルオブジェクトからなる複数個のグループを認識するステップと、
その期間を構成するインスタンスに係る第１軸及び小区分に係る第２軸期間を有するヒストグラムをインスタンス別に表示させるステップと、
を有し、各ヒストグラムが、ディジタルオブジェクトのグループのうちそのヒストグラムに係るインスタンスに対応する諸グループを示す複数個の表現を含み、且つその表現がそれぞれいずれかのグループ及びいずれかの小区分に対応付けられている方法。
【請求項３】
請求項２記載の方法であって、各小区分が出来事にまつわる小区分である方法。
【請求項４】
請求項２記載の方法であって、各小区分が、ディジタルオブジェクトのコンテンツから認識可能な主題にまつわる小区分である方法。
【請求項５】
全面的又は部分的にコンピュータにより実行され１個又は複数個のコンピュータアクセシブルメモリ上の諸ディジタルオブジェクトに関する情報を提示する方法であって、
互いに異なる期間インスタンスに係る複数個のヒストグラムを、対応する期間インスタンス内を区画する複数個の小区分それぞれに係るディジタルオブジェクトの個数を示す表現により、列をなし表示させるステップと、
その表示を実行しながら、いずれかのヒストグラムのいずれか１個又は複数個の小区分を選択するユーザ入力を受け付けるステップと、
そのユーザ入力で選択された小区分並びに諸ヒストグラム中でその小区分に対応する別の１個又は複数個の小区分が画像的に強調されるよう、ヒストグラム表示を修正するステップと、
強調された小区分に係る諸ディジタルオブジェクトに基づき出力を提供するステップと、
を有する方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月1日(2011.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータ実装システムであって、
ディスプレイ・ユニットを含み前記ディスプレイ・ユニットにおいて広告を提示するように構成されたプレゼンテーション・コンポーネントと、
前記プレゼンテーション・コンポーネントの位置を評価し前記プレゼンテーション・コンポーネントが配置されている施設（premises）のタイプに基づいて前記広告のコンテンツを決定するように構成された位置コンポーネントと、
前記施設での活動に基づいて集積された現在の買い物行動を用いて前記広告のコンテンツを決定し、購入のためのアイテムを少なくとも１つ記憶するように構成されたバスケット・データ・コンポーネントと、
リクエストに基づいて前記広告に関するクーポンを発券するように構成されたクーポン発券コンポーネントと、
前記クーポン発券コンポーネントから発券されたクーポンを記憶し、前記バスケット・データ・コンポーネントに記憶された前記少なくとも１つのアイテムに対する広告に関するクーポンの償還と関連する少なくとも１つの規則を適用するように構成されたオンライン記憶コンポーネントと、
を備えていることを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項２】
請求項１記載のコンピュータ実装システムにおいて、前記クーポン発券コンポーネントは前記クーポンを有体的形態と電子的形態との一方で選択的に発券するように構成されたことを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項３】
請求項１記載のコンピュータ実装システムにおいて、コンテキスト情報を分析して前記広告の選択を容易にするように構成されたコンテキスト設定コンポーネントを更に備えていることを特徴とするコンピュータ実行システム。
【請求項４】
請求項３記載のコンピュータ実装システムにおいて、前記コンテキスト情報は行動情報を含むことを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項５】
請求項１記載のコンピュータ実装システムにおいて、広告の選択を容易にするように構成された機械学習コンポーネントを更に備えていることを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項６】
請求項１記載のコンピュータ実装システムにおいて、広告の記憶のための広告データ・ストアを更に備えていることを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項７】
請求項６記載のコンピュータ実装システムにおいて、前記データ・ストアから広告を選択するように構成された広告コンポーネントを更に備えていることを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項８】
請求項１記載のコンピュータ実装システムにおいて、前記少なくとも１つの規則は同一の業務処理（トランザクション）に対する複数のクーポンの使用に関係することを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項９】
請求項１記載のコンピュータ実装システムにおいて、前記クーポンの値は数式に対応するクーポンにおけるフィールドを経由して動的に更新可能であることを特徴とするコンピュータ実装システム。
【請求項１０】
コンピュータ実装方法であって、
ディスプレイ・ユニットの位置を判断するステップと、
前記位置が特定の施設の中にあるという判断に基づいて、前記ディスプレイ・ユニットにおいて提供する広告を選択するステップと、
前記特定の施設における買い物行動に少なくとも部分的に基づいて前記広告のコンテンツを判断するステップと、
前記ディスプレイ・ユニットにおいて前記広告を表示するステップと、
前記特定の施設から購入されるアイテムを電子バスケットに記憶するステップと、
前記広告に関するクーポンを発券するリクエストを受け取るステップと、
前記電子バスケットに記憶されたアイテムに対する発券済のクーポンを償還する際に、同一の業務処理に対する複数化の使用に関する規則を適用するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１１】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法であって、購入のコンテキストの分析に基づいて前記広告を表示するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１２】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法において、前記リクエストに基づいて前記クーポンを有体的形態又は電子的形態で発券するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１３】
請求項１１記載のコンピュータ実装方法において、ショッピング・カートに搭載されたディスプレイ・ユニットにおいて前記広告を表示するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１４】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法であって、電子的なクーポンをスマート移動体デバイスに転送するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１５】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法であって、前記広告を動的に更新するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１６】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法であって、前記クーポンの非使用をマーケティング判断基準として使用するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１７】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法であって、前記クーポンを紙製クーポンの形態で配分するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１８】
請求項１０記載のコンピュータ実装方法であって、支払いデータ及びクーポン・データを、単一のリクエストとして処理エンティティに提出するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項１９】
請求項１１記載のコンピュータ実装方法であって、前記クーポンの値を変更するステップを更に含むことを特徴とするコンピュータ実装方法。
【請求項２０】
コンピュータ可読記憶媒体であって、計算機によって実行され、前記計算機に、
ディスプレイ・ユニットが配置されている施設のタイプを評価するステップと、
前記評価に基づいて前記ディスプレイ・ユニットのための広告コンテンツを選択するステップと、
前記広告コンテンツに関するクーポンのリクエストを受け取るステップと、
前記クーポンの値を動的に更新する数式を定義するフィールドを前記クーポンに含めるステップと、
前記広告コンテンツに関するクーポンを発券するステップと、
を実行させる命令を記憶していることを特徴とするコンピュータ可読記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月16日(2011.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
属性に関連付けられた要素の組でのナビゲーション方法であって、前記属性には分類基準に従って異なった値が作用し、前記要素のそれぞれは識別子を有する方法において、
開始要素及び終了要素とそれぞれ見なされる２つの要素を前記要素の組において選択するステップと、
選択された前記２つの要素に共通する属性を決定するステップと、
前記開始要素及び前記終了要素に共通する前記決定された属性と同数の要素リストを作成し、それにより、リストの全要素が前記決定された共通属性において取られる同じ属性を有するようにするステップと、
前記作成されたリストに属する要素をグラフィックでつなぎ合わせる該作成されたリストのそれぞれを表すグラフィック経路を表示し、それにより、該経路のそれぞれの端が前記開始要素及び前記終了要素であるようにするステップと、
前記開始要素をグラフィックで強調して該強調された開始要素から始まり、前記グラフィック経路の１つを選択する選択信号を受信し、選択された当該グラフィック経路にある各表示要素の識別子に対するグラフィック・マーカーの移動をトリガするナビゲーションコマンドを受信することを含む、前記グラフィック経路の１つにおけるナビゲーションステップと
を有することを特徴とするナビゲーション方法。
【請求項２】
前記作成されたリストの要素は、前記分類基準の中から選択される分類基準に従って、それらの要素が属するグラフィック経路で順序付けられる、ことを特徴とする請求項１記載のナビゲーション方法。
【請求項３】
前記作成されたリストの要素は、前記開始要素及び前記終了要素が前記順序付けられたリストの起点及び終点にそれぞれ置かれるように、１又はそれ以上の分類基準に従って選択される、ことを特徴とする請求項２記載のナビゲーション方法。
【請求項４】
前記開始要素及び前記終了要素を選択するステップは、ユーザプロフィールを考慮する、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載のナビゲーション方法。
【請求項５】
前記ナビゲーションコマンドのうちの１つの受信は、現在の要素の識別子を強調するグラフィック・マーカーがディスプレイの同じ領域にとどまるように、前記グラフィック経路の移動をトリガする、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項記載のナビゲーション方法。
【請求項６】
前記作成されたリストのうちの１つでのナビゲーションの後の最後の要素への到達は、新たな終了要素を選択するステップをトリガし、前の終了要素は開始要素になる、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項記載のナビゲーション方法。
【請求項７】
前記グラフィック経路を表示するステップは、表示手段において前記要素を該要素の夫々に関連する属性の値に依存する位置に置くことを含み、その場合に、前記グラフィック経路は、同じリストの要素を連結するようにグラフィックで表される、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか一項記載のナビゲーション方法。
【請求項８】
データベースにある要素の組から取り出される要素の識別子を与えるメニューの表示信号を生成する表示信号生成手段と、該表示信号生成手段による表示画面でのカーソルの移動の制御を可能にするコマンドを受信するコマンド受信手段とを有する電子装置であって、
開始要素及び終了要素とそれぞれ見なされる２つの要素を選択する要素選択手段を有し、
前記表示信号生成手段は、前記開始要素及び前記終了要素に共通する属性が存在するのと同数の要素リストを表示し、
リストの全要素は、前記共通する属性で取られる同じ属性を有し、
前記要素リストは、前記開始要素及び前記終了要素をグラフィックで連結する端部を有するグラフィック経路によって表示され、
前記コマンド受信手段は、経路の選択と、前記開始要素からの選択された当該経路内のナビゲーションとを可能にする、
ことを特徴とする電子装置。
【請求項９】
前記表示信号生成手段は、前記リストのそれぞれの要素を、該要素を分類基準に従って順序付けることによって、前記表示されるグラフィック経路のそれぞれに置く、ことを特徴とする請求項８記載の電子装置。
【請求項１０】
前記表示信号生成手段は、前記開始要素及び前記終了要素が前記順序付けられたリストの起点及び終点にそれぞれ置かれるように、１又はそれ以上の分類基準に従って前記リストのそれぞれの要素を置く、ことを特徴とする請求項９記載の電子装置。
【請求項１１】
前記要素選択手段は、ユーザプロフィールを考慮する、請求項８乃至１０のうちいずれか一項記載の電子装置。
【請求項１２】
前記コマンド受信手段は、現在の要素の識別子を強調するグラフィック・マーカーがディスプレイの同じ領域にとどまるように、前記表示されるグラフィック経路の移動をトリガする、請求項８乃至１１のうちいずれか一項記載の電子装置。
【請求項１３】
前記リストのうちの１つでのナビゲーションの後の最後の要素への到達により、前記要素選択手段は始動して新たな終了要素を決定し、前の終了要素は開始要素になる、ことを特徴とする請求項８乃至１２のうちいずれか一項記載の電子装置。
【請求項１４】
前記表示信号生成手段は、前記要素を該要素の夫々に関連する属性の値に依存する位置に置き、その場合に、前記グラフィック経路は、同じリストの要素を連結するようにグラフィックで表される、ことを特徴とする請求項８乃至１３のうちいずれか一項記載の電子装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月9日(2011.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯型電子リーダ装置によって少なくとも部分的に実現される方法であって、実行可能な命令による、前記携帯型電子リーダ装置の制御下において、
クエリ語を含む検索クエリを受信するステップと、
前記検索クエリ内のコマンド行を認識するステップと、
前記クエリ語に対して検索する１つ以上の利用可能なコンテンツソースを、前記受信した検索クエリ内の前記コマンド行の少なくとも一部に基づいて決定するステップであって、前記利用可能なコンテンツソースは、少なくとも１つのローカルのコンテンツソースと少なくとも１つのリモートのコンテンツソースとを含む、ステップと、
前記１つ以上の決定されたコンテンツソースを検索するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記検索するステップは、前記検索クエリを少なくとも１つのリモートのコンテンツソースにワイヤレス送信し、検索結果を前記少なくとも１つのリモートのコンテンツソースからワイヤレス受信する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記検索するステップの前に前記検索クエリをステミングするステップをさらに含む、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記ステミングするステップは、複数形、単数形、及びドメイン名を含んだ前記クエリ語の変形を含むように前記クエリを拡張するステップを含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも１つのローカルのコンテンツソースは、前記携帯型電子リーダ装置の内部メモリ、前記携帯型電子リーダ装置によってアクセス可能な着脱式メモリ、またはリモートのデータストア上で利用可能なコンテンツのリスト、のうちの１つ以上を備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記少なくとも１つのリモートのコンテンツソースは、広域ネットワーク、マーチャントストア、リモートの検索エンティティ、前記携帯型電子リーダ装置のユーザのリモートのデータストア、のうちの１つ以上を備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記リモートのデータストアで利用可能な電子アイテムを表示する要求を受信するステップと、
前記要求に応答して前記電子アイテムをダウンロードするステップと、
をさらに含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記携帯型電子リーダ装置のディスプレイ上に、前記ユーザが前記検索クエリを入力できるユーザインタフェースを提示するステップをさらに含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記検索するステップは、前記検索クエリを、前記携帯型電子リーダ装置のメモリ内に格納された検索可能なインデックスと比較するステップを含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記検索するステップは、
前記検索クエリをリモートの検索エンティティにワイヤレス送信するステップと、
検索結果を含む電子アイテムをワイヤレス受信するステップであって、前記検索結果は人間の入力に基づいて生成される、ステップと、
前記電子アイテムを前記携帯型電子リーダ装置のメモリに格納するステップと、
をさらに含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記検索クエリは、ユーザが回答を希望する質問を含み、
受信される前記電子アイテムは、前記検索クエリに示された前記質問に対する１つ以上の回答を含んだブックレットを含む、
請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記電子アイテム内の言葉のアイテムインデックスを生成して、前記携帯型電子リーダ装置上でテキスト検索可能にするステップをさらに含む、請求項１０又は１１に記載の方法。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の方法を実現するコンピュータが実行可能な命令を格納する、コンピュータ読取可能な記憶媒体。
【請求項１４】
プロセッサと、
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の方法を行わせるための前記プロセッサ上で実行可能な命令を格納したメモリと、
を備えた、携帯型電子リーダ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月4日(2011.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ブック・リーダ装置により少なくとも部分的に実現される方法であって、
デジタル著作物の特定部分に関連する注釈を前記電子ブック・リーダ装置のメモリにて受信するステップと、
前記デジタル著作物の前記特定部分に対応する不変位置参照識別子を前記電子ブック・リーダ装置の前記メモリにて前記注釈に付加するステップと、
前記注釈を前記デジタル著作物に関連付けて前記電子ブック・リーダ装置の前記メモリに保存するステップと、
前記デジタル著作物の前記特定部分にグラフィカル・アイコン、文字、又はシンボルを表示させるステップと、
ユーザによる前記グラフィカル・アイコン、文字、又はシンボルの選択に少なくとも部分的に応じて、前記デジタル著作物の前記特定部分に関連する前記注釈を表示させるステップと
を備え、
前記注釈は前記注釈を閲覧するためのアクセスを承諾するために許可証明を要求することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記電子ブック・リーダ装置のディスプレイ上で前記注釈を閲覧するためのアクセスを承諾する有効な許可証明を受信するステップと、
前記有効な許可証明の前記受信に少なくても部分的に応じて及びユーザによる前記グラフィカル・アイコン、文字、又はシンボルの選択に少なくとも部分的に応じて、前記注釈を表示させるステップと
を備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記注釈を遠隔データ・ストアに保存するステップを更に含むを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記電子ブック・リーダ装置に保存されているコンテンツと遠隔データ・ストアとを同期化させることを更に含むことを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。
【請求項５】
前記同期化は定期的に実行される、及び／又は前記電子ブック・リーダ装置に保存されているコンテンツの変更に応じて実行されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記注釈を別の電子ブック・リーダ装置に送信するステップを更に含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載の方法。
【請求項７】
前記デジタル著作物が複数の部分に分割され、該デジタル著作物の各部分は各々に割り当てられた不変位置参照識別子を有しており、それにより、前記デジタル著作物が表示される表示状況に関わらず、各不変位置参照識別子が前記デジタル著作物の対応する部分に一意に割り当てられることを特徴とする請求項１から６のいずれか一つに記載の方法。
【請求項８】
前記不変位置参照識別子が前記デジタル著作物とは別個の索引ファイルに格納され、又は前記デジタル著作物のデータ・ファイルに組み込まれることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記デジタル著作物の前記注釈が、図形形式、テキスト形式、音声形式、及びマルチメディア形式のうち一つ以上の形式で受信されることを特徴とする請求項１から８のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１０】
前記注釈が前記デジタル著作物の表示と同時に閲覧可能であるように該注釈が提供されることを特徴とする請求項１から９のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１１】
前記許可証明が前記受信した注釈に対して特定的であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１２】
前記許可証明を、該証明書の有効性に関する指示を生成する検証システムに送るステップを更に含むことを特徴とする請求項１から１１のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１３】
前記デジタル著作物に利用可能な注釈の索引を提示するステップを更に含むことを特徴とする請求項１から１２のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一つに記載の方法を実現するコンピュータ実行可能プログラムを含むことを特徴とする一つ以上のコンピュータ読み取り可能記録媒体。
【請求項１５】
プロセッサと、
請求項１から１４のいずれか一つに記載の方法を実現するプログラムを格納するメモリと
を備えることを特徴とする電子ブック・リーダ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月22日(2011.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーバおよび電子リーダデバイス間の直接無線接続を確立するステップと、
前記接続を確立するや否や、前記電子リーダデバイスの識別情報を前記サーバへ自動的に無線で送信するステップと、
前記サーバから入手可能な電子的コンテンツのリストを、前記サーバから直接無線で転送するステップと、
選択された電子的コンテンツを、前記サーバから前記電子リーダデバイスへ直接無線で転送するステップと、
前記選択された電子的コンテンツを、前記電子リーダデバイスのメモリ内に保存するステップと
を含む、電子的コンテンツをサーバから電子リーダデバイスへ直接転送するための方法。
【請求項２】
電子リーダデバイスを用いて前記選択された電子的コンテンツについての指示を前記サーバに提供するステップと、選択された電子的コンテンツの購入を前記サーバによって自動的に認識するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
サーバおよび電子リーダデバイス間の無線接続を確立するステップと、
前記接続を確立するや否や、前記電子リーダデバイスの識別情報を前記サーバを用いて自動的に無線で受信するステップと、
前記サーバ上で購入可能な電子的コンテンツを、前記サーバからクライアント電子デバイスに無線で送信するステップと、
電子リーダデバイスから選択された電子的コンテンツについての指示を無線で受信するステップと、
前記識別情報を用いて、前記選択された電子的コンテンツを自動的に無線で購入するステップと、
前記購入された電子的コンテンツを、前記電子リーダデバイスのメモリ内に保存するために、および前記電子リーダデバイスによって表示するために前記サーバから無線で送信するステップと
を含む、電子的コンテンツをサーバから電子リーダデバイスへ配信するための方法。
【請求項４】
サーバおよび電子リーダデバイス間の直接無線接続を確立するステップと、
前記接続を確立するや否や、前記電子リーダデバイスの識別情報を前記サーバへ自動的に無線で送信するステップと、
前記サーバから購入可能であり、かつ前記電子リーダデバイスのユーザによって以前購入された代表的な電子的コンテンツのリストを、前記サーバから無線で受信するステップと、
前記リストから電子的コンテンツを選択するステップと、
電子リーダデバイスを用いて前記選択された電子的コンテンツについての指示を前記サーバに無線で提供し、前記識別情報を、対応する電子的コンテンツの購入より前に、前記ユーザの身元を照合するために前記サーバによって用いるステップと、
前記電子的コンテンツの選択に対応する電子的コンテンツを、前記サーバから受信するステップと
を含む、電子的コンテンツをサーバから電子リーダデバイスを用いて取得するための方法。
【請求項５】
前記電子的コンテンツが、電子書籍、電子雑誌、電子新聞、および電子写真から成る電子的コンテンツの群から選択される、先行する請求項の何れか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記選択された電子的コンテンツが、サーバ上の前記電子リーダデバイスのユーザの口座から引き落とすことによって自動的に購入され、前記口座が、前記識別情報を用いて自動的に決定される、先行する請求項の何れか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記サーバおよび前記電子リーダデバイス間の接続を確立するより前に、前記サーバのデータベース内に電子リーダデバイスのユーザについての識別情報を保存するステップをさらに含む、先行する請求項の何れか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記電子リーダデバイスの表示部上の前記電子的コンテンツを自動的に表示するステップをさらに含む、先行する請求項の何れか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記電子的コンテンツが予約申し込みサービスに従って前もって購入される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項１０】
前記表示部上のさらなる電子的コンテンツを選択するステップと、
選択の電子デバイスを用いて前記サーバへ前記さらなる電子的コンテンツについての指示を提供するステップと、
２番目の電子的コンテンツの選択に対応する電子的コンテンツを、前記サーバから受信するステップと、
クライエントドライブ内にあるメモリに前記受信したさらなる電子的コンテンツを保存するステップと、
前記さらなる保存された電子的コンテンツに対応する表示を、前記表示部を用いて自動的に表示するステップと
をさらに含む、請求項４に記載の方法。
【請求項１１】
前記サーバから購入可能な電子的コンテンツに対応するアイコンまたは記号を、前記サーバから前記電子リーダデバイスへ転送するステップをさらに含む、請求項１から３の何れか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記電子リーダデバイス上のサーバから購入可能な電子的コンテンツに対応するアイコンまたは記号を表示するステップをさらに含む、請求項１または２または４の何れか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記サーバから購入可能な電子的コンテンツが、前記アイコンまたは記号を選択することによって購入のために選択可能である、請求項１１または１２に記載の方法。
【請求項１４】
先行の請求項の何れか一項に記載の方法を実施するためのコンピュータが実行可能な命令を含む、１つもしくは複数のコンピュータ可読の媒体。
【請求項１５】
プロセッサと、
先行の請求項の何れか一項に記載の方法を実施するための、前記プロセッサ上で実行可能な命令を保存するメモリと
を含む、電子リーダデバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月17日(2011.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
図２は、イオン注入システム１００が備えるイオン源１０２の典型的な実施形態を示す図である。イオン源１０２は、高電流イオン注入機器で利用されることが多い、誘導加熱陰極（ＩＨＣ）イオン源であってよい。その他のさまざまな種類のイオン源もまた利用するとしてよい。イオン源１０２は、アークチャンバ（すなわちイオンソースチャンバ）２０６を画定しているアークチャンバ筐体２０２を有する。アークチャンバ筐体２０２はさらに、イオンビーム１０用の引出開口部２０４を含む。陰極２０８およびリペラ電極２１０（または対陰極）は、アークチャンバ２０６内に配置されるとしてよい。リペラ電極２１０は、電気的に絶縁されているとしてよい。陰極絶縁部２１２は、アークチャンバ筐体２０２から陰極２０８を電気的および熱的に絶縁するように、陰極２０８に対して相対的に配置されるとしてよい。陰極２０８はさらに、熱伝導を制御するための真空ギャップによって、絶縁部２１２から離間させられるとしてよい。フィラメント２１４は、陰極２０８を加熱するべく、アークチャンバ２０６の外側に陰極２０８に非常に近接させて、配置されるとしてよい。支持ロッド２１６は、陰極２０８およびフィラメント２１４を支持するとしてよい。陰極２０８は、フィラメント２１４から放出された電子を陰極２０８に向けて加速させるべく、フィラメント２１４に対して正のバイアスがかけられているとしてよい。また、アークチャンバ２０６内で陰極２０８に向かう方向（図２の矢印２２２を参照のこと）に磁場Ｂを発生させるべく、１以上のソースマグネット２２０が設けられるとしてよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン注入装置のイオン源の性能を向上させると共に前記イオン源を長寿命化する方法であって、
イオン源チャンバにドーパント種を含む所定量の第１のドーパントガスを導入する段階と、
前記イオン源チャンバに前記第１のドーパントガスを希釈して前記イオン源の性能を向上させると共に前記イオン源を長寿命化する所定量の第１の希釈ガスを導入する段階と
を備える方法。
【請求項２】
前記第１のドーパントガスは、ハロゲン含有ガスであって、前記第１の希釈ガスは、水素含有ガスまたは不活性ガスである請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１のドーパントガスは、水素含有ガスであって、前記第１の希釈ガスは、ハロゲン含有ガスまたは不活性ガスである請求項１に記載の方法。
【請求項４】
所定量の第２の希釈ガスを前記イオン源チャンバに放出する段階をさらに備える、請求項１から３の何れか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記第２の希釈ガスは、ハロゲン含有ガス、水素含有ガス、および、不活性ガスのうち少なくとも１つを含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第２の希釈ガスは、第２のドーパントガス、第３の希釈ガス、ハロゲンガス、水素ガス、および、不活性ガスのうち少なくとも１つを含む請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の希釈ガスは、ＣＯ種を含む請求項１から６の何れか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記ドーパント種は、前記ＣＯ種と同一である請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記ドーパント種は、前記ＣＯ種とは異なる
請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１のドーパントガスは、前記ドーパント種の水素化物を含み、前記第１の希釈ガスは同一の前記ドーパント種のハロゲン化物を含む請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１のドーパントガスは、前記ドーパント種のハロゲン化物を含み、前記第１の希釈ガスは、同一の前記ドーパント種の水素化物を含む請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
イオン注入装置のイオン源の性能を改善すると共にイオン源を長寿命化する装置であって、
ドーパントガス源からイオン源チャンバに所定量の第１のドーパントガスを放出するドーパントガスコントローラと、
第１の希釈ガス源から前記イオン源チャンバに所定量の第１の希釈ガスを放出する希釈ガスコントローラと
を備え、
前記第１のドーパントガスはドーパント種を含み、
前記第１の希釈ガスは前記第１のドーパントガスを希釈して、前記イオン源の性能を改善すると共に前記イオン源を長寿命化する装置。
【請求項１３】
前記第１のドーパントガスは、ハロゲン含有ガスであって、前記第１の希釈ガスは、水素含有ガスまたは不活性ガスである請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記第１のドーパントガスは、水素含有ガスであって、前記第１の希釈ガスは、ハロゲン含有ガスまたは不活性ガスである請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記希釈ガスコントローラはさらに、所定量の第２の希釈ガスを前記イオン源チャンバに放出する、請求項１２から１４の何れか１項に記載の装置。
【請求項１６】
前記第２の希釈ガスは、ハロゲン含有ガス、水素含有ガス、および、不活性ガスのうち少なくとも１つを含む請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記第２の希釈ガスは、第２のドーパントガス、第３の希釈ガス、ハロゲンガス、水素ガス、および、不活性ガスのうち少なくとも１つを含む請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記第１の希釈ガスは、ＣＯ種を含む請求項１２から１７の何れか１項に記載の装置。
【請求項１９】
前記ドーパント種は、前記ＣＯ種と同一である請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記ドーパント種は、前記ＣＯ種とは異なる請求項１８に記載の装置。
【請求項２１】
前記第１のドーパントガスは、前記ドーパント種の水素化物を含み、前記第１の希釈ガスは同一の前記ドーパント種のハロゲン化物を含む請求項１２に記載の装置。
【請求項２２】
前記第１のドーパントガスは、前記ドーパント種のハロゲン化物を含み、前記第１の希釈ガスは、同一の前記ドーパント種の水素化物を含む請求項１２に記載の装置。
【請求項２３】
イオン注入装置のイオン源の性能を改善すると共に前記イオン源を長寿命化するシステムであって、
ドーパントガスコントローラと、１以上の希釈ガスコントローラと、イオン源チャンバとを有するイオン源
を備え、
前記ドーパントガスコントローラは、ドーパントガス源から前記イオン源チャンバに所定量のドーパントガスを放出して、前記ドーパントガスはドーパント種を含み、
前記１以上の希釈ガスコントローラは、１以上の希釈ガス源から前記イオン源チャンバに所定量の１以上の希釈ガスを放出して、前記１以上の希釈ガスは１以上のＣＯ種を含み、
前記ドーパントガスおよび前記１以上の希釈ガスは、補完的なガス混合体を形成して、前記イオン源の性能を改善すると共に前記イオン源を長寿命化するシステム。
【請求項２４】
前記ドーパント種は、前記１以上のＣＯ種のうち少なくとも１つと同一である請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
前記１以上の希釈ガスは、ハロゲン含有ガスおよび水素含有ガスのうち少なくとも１つを含む請求項２３に記載のシステム。