(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離装置であって、
少なくともシート体の一つの辺を掬い上げるための引っ掛け爪部材と、
この引っ掛け爪部材をシート体の外側から前記一つの辺に向かって前進させてシート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げさせるとともに、この一つの辺側から外側へ引っ掛け爪部材を後退させる爪部材駆動機構と、
シート体を吸着する吸着ヘッドを有する吸着機構と、
一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動、および吸着ヘッドの上下動を許容するスライド上下動機構とを備え、
スライド上下動機構は、水平状に配設されるガイドレールと、このガイドレールの長手方向に沿って自由に往復動するスライド体とを備え、このスライド体が往復動することによって、前記吸着機構の吸着ヘッドが一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間を自由に往復動し、
引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺（端部）を掬い上げるとともに、吸着ヘッドにてシート体を吸着した状態で、吸着ヘッドを上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
引っ掛け爪部材を、シート体の一つの辺に沿って所定ピッチで複数個配設したことを特徴とする請求項１に記載の剥離装置。
【請求項３】
引っ掛け爪部材を、相対向する一対の各辺側にそれぞれ配設したことを特徴とする請求項１に記載の剥離装置。
【請求項４】
引っ掛け爪部材を、相対向する一対の各辺側にそれぞれ所定ピッチで複数個配設したことを特徴とする請求項１に記載の剥離装置。
【請求項５】
引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げた状態で、掬い上げ部位に流体を吹き付けるブロー機構を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載
の剥離装置。
【請求項６】
基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離方法であって、
引っ掛け爪部材をシート体の外側からこのシート体の一つの辺に向かって前進させてこの一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させつつ、この上昇に伴って生じるシート体からの反力で、吸着ヘッドを、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動させながらシート体を基板から剥離していくことを特徴とする剥離方法。
【請求項７】
シート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げた状態で、この掬い上げ部の流体を吹き付けることを特徴とする請求項６に記載の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、剥離装置および剥離方法に関し、特に、基板に貼付されたシート体を基板から剥離するための剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に貼付されたシート体を基板から剥離する方法として、シート体の端部を引っ掛ける爪部材を使用して剥離するものが提案されている（特許文献１）。この特許文献１に記載のものは、押圧ブロックをシート体に押し付け、これによって、シート体の端部を基板から浮かせ、この浮いた端部を爪部材にて引っ掛け、この状態で、押圧ブロックと爪部材をシート体に沿って水平方向に移動させて、剥離するものである。
【０００３】
また、図６に示すような剥離装置を提案できる。この剥離装置は、吸着ヘッド１を有する上下動基板２を備え、この上下動基板２に引っ掛け爪３を付設している。また、この引っ掛け爪３は可撓性を有するもので、鉛直方向に延びる基部３ａと、この基部３ａから斜め方向に傾斜する傾斜部３ｂとを備える。
【０００４】
次にこのような装置にて、基板５上に貼付されたシート体６を剥離する方法を説明する。まず、図６（ａ）に示すように、シート体６が貼付された基板５の上方に上下動基板２を位置させる。この状態から上下動基板２を下降させる。この下降によって、吸着ヘッド１をシート体６上に載置した状態として、吸着ヘッド１にてシート体６を吸着した状態とする。また、下降によって、引っ掛け爪３を傾斜部３ｂが基板５に接触し、この接触状態からさらに上下動基板２が下降することによって、引っ掛け爪３を傾斜部３ｂが撓みながら、シート体６の端部６ａを図６（ｂ）に示すように、掬い上げることなる。
【０００５】
この状態で、上下動基板２を上昇させることによって、この図６（ｃ）に示すように、シート体６を基板５から剥離することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−９１４４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載のものでは、押圧ブロックにてシート体を上方から押圧するものであって、基板として弾性体を対象とし、基板が鉄板等の剛体のものを対称としていない。また、押圧ブロックの押圧によって、シート体の端部を浮かす必要があり、安定した動作を得にくいものとなっている。さらに、押圧ブロックを上下動させるとともに、この押圧ブロックを水平方向に沿って移動させる必要がある。このため、装置全体として大型化するとともに複雑化して高コスト化していた。
【０００８】
また、図６に示す剥離装置では、シート体の端部の引っ掛けを引っ掛け爪の撓みによって行うものであり、この引っ掛け動作が不安定である。また端部を剥がした状態で、吸着ヘッドで吸着しているシート体を、上下動基板を上昇させて一気に剥がすようにするもとになり、この際、シート体が破れたり、ちぎれたりして、剥離作業が安定しない。
【０００９】
そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、シート体が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる剥離装置および剥離方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の剥離装置は、基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離装置であって、
少なくともシート体の一つの辺を掬い上げるための引っ掛け爪部材と、この引っ掛け爪部材をシート体の外側から前記一つの辺に向かって前進させてシート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げさせるとともに、この一つの辺側から外側へ引っ掛け爪部材を後退させる爪部材駆動機構と、シート体を吸着する吸着ヘッドを有する吸着機構と、一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動、および吸着ヘッドの上下動を許容するスライド上下動機構とを備え、スライド上下動機構は、水平状に配設されるガイドレールと、このガイドレールの長手方向に沿って自由に往復動するスライド体とを備え、このスライド体が往復動することによって、前記吸着機構の吸着ヘッドが一つの辺側とこの辺と相対向する対向辺側との間を自由に往復動し、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺（端部）を掬い上げるとともに、吸着ヘッドにてシート体を吸着した状態で、吸着ヘッドを上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくものである。
【００１１】
本発明の剥離装置によれば、引っ掛け爪部材をシート体の外側から一つの辺に向かって前進させれば、シート体の一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げることができる。また、吸着ヘッドにてシート体を吸着できる。さらに、一つの辺側と対向辺側との間の吸着ヘッドの往復動が可能であるので、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺（端部）を掬い上げるとともに、吸着ヘッドにてシート体を吸着した状態で、吸着ヘッドを上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体を剥離していくことができる。このため、シート体を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。
【００１２】
引っ掛け爪部材を、シート体の一つの辺に沿って所定ピッチで複数個配設したものであっても、相対向する一対の各辺側にそれぞれ配設したものであっても、相対向する一対の各辺側にそれぞれ所定ピッチで複数個配設したものであってもよい。
【００１３】
このように、複数個の引っ掛け爪部材を備えたものでは、一の引っ掛け爪部材による掬い上げを失敗しても他の引っ掛け爪部材でシート体の端部を掬い上げることができる。このため、剥離作業の精度を上げることができる。
【００１４】
引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げた状態で、掬い上げ部位に流体を吹き付けるブロー機構を備えたものとできる。
【００１５】
本発明の剥離方法は、基板上に貼付されたシート体を基板から剥す剥離方法であって、  引っ掛け爪部材をシート体の外側からこのシート体の一つの辺に向かって前進させてこの一つの辺を引っ掛け爪部材にて掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させつつ、この上昇に伴って生じるシート体からの反力で、吸着ヘッドを、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動させながらシート体を基板から剥離していくものである。
【００１６】
本発明の剥離方法によれば、引っ掛け爪部材にてシート体の一つの辺を掬い上げ、この状態で、シート体を吸着している吸着ヘッドを上昇させれば、吸着ヘッドの上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体を剥離することができる。このため、シート体を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、シート体に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。このため、剥離途中で、シート体が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる。しかも、基板が剛体であっても剥離することができる。
【００１８】
さらに、シート体を吸着している吸着ヘッドを、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、しかも、シート体全体を一度に剥離するものではないので、吸着ヘッドはあまり大きな吸着力を必要としない。このため、装置として簡略化、コンパクト化、および低コスト化を図ることができる。
【００１９】
複数個の引っ掛け爪部材を備えたものでは、剥離作業の精度を上げることができ、作業性の向上を図ることができる。掬い上げ部位に流体を吹き付けるものでは、引っ掛け爪部材による救い上げによるシート体の一つの辺（端部）の基板からの引き離しを安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の剥離方法の工程図である。
【図２】本発明の剥離装置の簡略平面図である。
【図３】前記図２の剥離装置の正面図である。
【図４】前記図２の引っ掛け爪部材の配置図である。
【図５】前記図２の吸着ヘッドの配置図である。
【図６】引っ掛け爪部材を有する剥離装置を用いた離方法の工程図である。
【００２１】
以下本発明の実施の形態を図１〜図３に基づいて説明する。
【００２２】
図２〜図５は本発明の剥離装置を示す。この装置は、図１に示すように、基板１０上に貼付されたシート体１１を、鉄板等の剛体からなる基板１０から剥すものである。この装置は、引っ掛け爪部材１２と、引っ掛け爪部材１２を矢印Ａ、Ｂのように、前進および後退させる爪部材駆動機構１３（図２及び図３参照）と、シート体１１を吸着する吸着ヘッド１４を有する吸着機構１５と、吸着機構１５の吸着ヘッド１４を上下動および水平方向にスライドを許容するスライド上下動機構１６とを備える。
【００２３】
スライド上下動機構１６は、水平状に配設される基盤２０と、この基盤２０を水平状態を維持しつつ上下させる図示省略の駆動機構とを備える。この場合の駆動機構として、例えばラム型のシリンダ機構と、シリンダ機構による基盤２０の上下動をガイドするガイド機構とからなる。
【００２４】
また、基盤２０の上面には、図２に示すような一対のガイドレール２１、２１が長手方向に沿って配設されている。そして、各ガイドレール２１には、ガイドレールの長手方向に沿って自由に往復動するスライド体２２が付設されている。スライド体２２には保持板部材２３が付設され、この保持板部材２３にそれぞれ一対の吸着ヘッド１４が付設される。吸着ヘッド１４は、図３に示すように、下部に吸着パット１４ａを有し、その本体部１４ｂに保持板部材２３に保持される支持ロッド２５が連設されている。そして、この支持ロッド２５に図外の真空機構が接続されている。このため、真空機構が駆動することによって、吸着ヘッド１４内部が真空引きされ、吸着パット１４ａにワーク、つまりシート体１１を吸着することができる。真空機構としては、真空ポンプや真空エジェクタ等が使用される。このように、吸着ヘッド１４と図示省略の真空機構等で吸着機構１５を構成することができる。
【００２５】
ところで、保持板部材２３は、スライド体２２に載置固着される矩形平板状の本体部２３ａと、本体部２３ａの一方の短辺側において基盤２０の幅方向に延びる一対の支持片部２３ｂ、２３ｃとを有する。そして、吸着ヘッド１４を支持する支持ロッド２５が取り付けられている。
【００２６】
この場合、基盤２０の幅方向に沿って対向する保持板部材２３の支持片部２３ｃ、２３ｃは、図５に示すように連結体２６にて連結されている。このため、図２に示すように、２２Ａ１と２２Ｂ１とで示すスライド体は、一体に各ガイドレール２１、２１に沿って往復動し、２２Ａ２と２２Ｂ２とで示すスライド体は、一体に各ガイドレール２１、２１に沿って往復動する。このため、支持片部２３ｂ、２３ｃに支持されている吸着ヘッド１４は、各ガイドレール２１、２１に沿って往復動することになる。この場合、基盤２０には、図２に示すように、吸着ヘッド１４の往復動を許容する切り抜き部２８Ａ１、２８Ａ２、２８Ｂ１、２８Ｂ２、２８Ｃ１、２８Ｃが設けられている。
【００２７】
引っ掛け爪部材１２は、基盤２０の長手方向両端部側に、基盤２０の幅方向に沿って複数個が所定ピッチで配設されている。ここでの所定ピッチは、図２に示すように、引っ掛け爪部材１２Ａ１（１２Ａ２）と引っ掛け爪部材１２Ｂ１（１２Ｂ２）との間隔ピッチをＰ１とし、１２Ｂ１（１２Ｂ２）と引っ掛け爪部材１２Ｃ１（１２Ｃ２）との間隔ピッチをＰ２とし、１２Ｃ１（１２Ｃ２）と引っ掛け爪部材１２Ｄ１（１２Ｄ２）との間隔ピッチをＰ３としたときに、Ｐ２＜Ｐ１＜Ｐ３となっている。なお、各ピッチＰ１，Ｐ２，Ｐ３の変更は可能であって、等ピッチであってもよい。
【００２８】
爪部材駆動機構１３は、図２と図３とに示すように、基盤２０の長手方向両端部側の幅方向中央部に設けられるシリンダ機構３０にて構成できる。このシリンダ機構３０は、基盤２０に固定されるシリンダ本体３１と、ガイドレール２１、２１と平行方向に配設されるロッド３２と、ロッド３２に付設される移動ブロック３３と、移動ブロック３３に付設される支持体３４とを備える。この支持体３４は、移動ブロック３３に固定される基板部３４ａと、基板部３４ａから垂下されて、図４に示すように基盤２０の幅方向に延びる支持部３４ｂとからなる。
【００２９】
支持体３４の支持部３４ｂには、爪部材１２を保持する保持片３５が取り付けられている。保持片３５は、鉛直方向壁３５ａと、水平方向壁３５ｂからなり、この水平方向壁３５ｂに引っ掛け爪部材１２が固着具（ボルト部材）３６を介して固着される。引っ掛け爪部材１２は、水平方向壁３５ｂに下方から重ね合わされて固着される基部３７と、この基部３７から斜め下方に延びる傾斜片部３８とからなる。また、傾斜片部３８はその先端には、先細テーパ部３８ａが形成される。なお、傾斜片部３８の傾斜角度θとしては、この実施形態では約４５度程度としたが、勿論これに限るものではない。すなわり、後述するように、シート体１１の短辺１１ａ（１１ｂ）を掬い上げることができればよい。また、先細テーパ部３８ａのテーパ角度αとしても任意に設定でき、図例では１１０度程度としているが、勿論限るものではなく、このような先細テーパ部３８ａがなくてもよい。
【００３０】
ところで、基盤２０の長手方向両端部には、図２に示すように、幅方向に延びる貫通孔４０が設けられ、この貫通孔４０に保持片３５が挿通され、これによって、爪部材１２が基盤２０の裏面側に配置される。
【００３１】
このため、爪部材駆動機構１３によって、保持片３５は矢印Ａ，Ｂ方向(図１参照)に往復動し、爪部材１２をシート体１１の外側から辺（短辺）に向かって前進させてシート体１１の辺（短辺）を引っ掛け爪部材１２にて掬い上げさせることができ、また、この辺（短辺）側から外側へ引っ掛け爪部材１２を後退させることができる。
【００３２】
なお、保持片３５の水平方向壁３５ｂには、鉛直方向に延びる長孔４１が設けられ、この長孔４１を介して、ボルト部材４２が支持体３４の支持部３４ｂに螺着される。これによって、保持片３５を支持体３４に取り付けることができる。この際、ボルト部材４２が水平方向壁３５ｂの長孔４１に挿通されるものであるので、基盤２０に対する保持片３５の上下方向高さ位置調整が可能となって、爪部材１２の基盤２０に対する上下方向高さ位置を調整できる。
【００３３】
引っ掛け爪部材１２としては、材質や肉厚としては、後述するように、シート体１１を掬い上げることができ、しかも、強度的にも安定する範囲で種々変更できる。この場合、多少可撓性を有するものが好ましい。また、先細テーパ部３８ａの肉厚としても均一であっても、先端に行くにしたがって薄肉としてもよい。
【００３４】
ところで、この剥離装置には、引っ掛け爪部材１２にてシート体１１の端部（一つの辺）を掬い上げた状態で、掬い上げ部位６０に流体を吹き付けるブロー機構５０を備えている。ブロー機構５０は、流体（例えば、エア）を吹き出すノズル５１と、このノズル５１の基部を支持する支持体５２とを備え、図示省略の流体源（エア源）からエア（流体）が供給され、ノズル５１からエア（流体）を吹き出すことができる。なお、支持体５２が、ボルト部材５３を介して保持片３５に固着されている。
【００３５】
爪部材駆動機構による爪部材１２の往復動、スライド上下動機構による基盤２０の上下動、及び吸着機構の吸着動作等は、図示省略の制御手段および記憶手段等にて行うことができる。制御手段は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を中心としてＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等がバスを介して相互に接続されたマイクロコンピューターである。記憶手段としての記憶装置は、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable）ドライブ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable and Programmable Read Only Memory）等からなる。なお、ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラムやデータが格納されている。
【００３６】
次に、前記のように構成した剥離装置を用いた剥離方法を図１を用いて説明する。シート体１１の両短辺１１ａ、１１ｂよりもわずか外側に、基盤２０の長手方向両端部側の引っ掛け爪部材１２をそれぞれ位置させる。この際、図１（ａ）に示すように、引っ掛け爪部材１２の先端の先細テーパ部３８ａを基板１０に接触乃至近接させた状態とする。
【００３７】
吸着ヘッド１４は、基盤２０の長手方向両端部側にそれぞれ一対ずつ配設され、その初期状態において、シート体１１の一方の短辺１１ａ側の吸着ヘッド１４（１４Ａ）が、この短辺１１ａよりも内側に位置し、シート体１１の他方の短辺１１ｂ側の吸着ヘッド１４（１４Ｂ）が、この短辺１１ｂよりも内側に位置する。そして、図１（ａ）に示すように、引っ掛け爪部材１２の先端の先細テーパ部３８ａを基板１０に接触乃至近接させた状態では、各吸着ヘッド１４の吸着パット１４ａをシート体１１の上面に接触させて、このシート体１１を吸着した状態とする。
【００３８】
次に、図１（ｂ）に示すように、各引っ掛け爪部材１２を矢印Ａ方向に移動させる。これにより、引っ掛け爪部材１２の傾斜片部３８にて、シート体１１の短辺１１ａ、１１ｂ側を掬い上げる。これによって、シート体１１の短辺１１ａ、１１ｂ側に掬上部位６０が形成される。この際、ブロー機構５０にて、流体（エア）をこの掬上部位６０に対して吹き付ける。具体的には、掬上部位６０と基板１０との間に流体（エア）を矢印Ｅのように吹き付けることになる。
【００３９】
その後、基盤２０を上昇させることによって、各吸着ヘッド１４を上昇させる。この際、シート体１１の一方の短辺１１ａ側の吸着ヘッド１４（１４Ａ）が、他方の短辺１１ｂ側のスライドが可能であり、シート体１１の他方の短辺１１ｂ側の吸着ヘッド１４（１４Ｂ）が、一方の短辺１１ａ側へのスライドが可能である。このため、この上昇にともなって、吸着ヘッド１４はシート体１１からの反力で、一方の短辺１１ａ側の吸着ヘッド１４（１４Ａ）が、矢印Ｆのように他方の短辺１１ｂ側へスライドし、他方の短辺１１ｂ側の吸着ヘッド１４（１４Ｂ）が、矢印Ｆのように、一方の短辺１１ａ側へスライドしていくことになる。これによって、シート体１１を剥離していくことができ、最終的に、このシート体１１を基板１０から剥離することができる。なお、このような剥離作業が終了すれば、引っ掛け爪部材１２及び吸着ヘッド１４を初期状態に戻すことになる。この初期状態としては、図１（ａ）の状態から吸着ヘッド１４にてシート体１１を吸着させることなくスライド上下動機構を上昇させて、引っ掛け爪部材１２及び吸着ヘッド１４を基板１０及びシート体１１から離間させた状態であって、引っ掛け爪部材１２がシート体１１の外側に配設される状態である。
【００４０】
本発明の剥離装置によれば、引っ掛け爪部材１２をシート体１１の外側から一つの辺に向かって前進させれば、シート体１１の一つの辺を引っ掛け爪部材１２にて掬い上げることができる。また、吸着ヘッド１４にてシート体１１を吸着できる。このため、引っ掛け爪部材１２にてシート体１１の一つの辺（端部）を掬い上げるとともに、吸着ヘッド１４にてシート体１１を吸着した状態で、吸着ヘッド１４を上昇させていけば、この上昇にともなって、吸着ヘッドをシート体１１からの反力で、前記一つの辺に相対向する対向辺に向かって移動していくことになる。これによって、シート体１１を剥離していくことができる。すなわち、シート体１１を吸着している吸着ヘッド、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、また、シート体１１に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができる。
【００４１】
このため、本発明では、シート体１１に対して大きな荷重を負荷することなく、安定して剥離することができるので、剥離途中で、シート体１１が破れたり、ちぎれたりすることなく、安定して剥離することができる。しかも、基板１１が剛体であっても剥離することができる。さらに、シート体１１を吸着している吸着ヘッド１４を、動力源を有する駆動機構を用いて移動させる必要がなく、しかも、シート体全体を一度に剥離するものではないので、吸着ヘッド１４はあまり大きな吸着力を必要としない。このため、装置として簡略化、コンパクト化、および低コスト化を図ることができる。
【００４２】
前記実施形態のように、複数個の引っ掛け爪部材１２を備えたものでは、一の引っ掛け爪部材１２による掬い上げを失敗しても他の引っ掛け爪部材１２でシート体１１の端部を掬い上げすることができる。このため、剥離作業の精度を上げることができ、作業性の向上を図ることができる。
【００４３】
掬い上げ部位６０に流体を吹き付けることができ、引っ掛け爪部材１２による救い上げによるシート体１１の一つの辺（端部）の基板１０からの引き離しを安定して行うことができる。
【００４４】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、シート体１１としては、可撓性を有するものであればよいので、紙製や樹脂製等であってもよく、また、シート体１１の大きさ、形状、肉厚としても本発明に係る剥離装置で剥離可能な範囲で任意に設定できる。このため、シート体１１の用途としても特定されるものではない。基板１０を前記実施形態では、鉄板等の剛体からなる構成していたが、剛体ではなく可撓性やクッション性のあるものから構成されていてもよい。
【００４５】
前記実施形態では、引っ掛け爪部材１２を、両短辺１１ａ，１１ｂ側に配設したが、いずれかの短辺１１ａ（１１ｂ）にのみ設けたものであってもよく、各辺１１ａ、１１ｂ側に配設される引っ掛け爪部材１２の数としても、シート体１１の大きさ、材質等に応じて任意に設定できる。
【００４６】
また、吸着ヘッド１４としては、前記実施形態では、両短辺１１ａ，１１ｂ側にそれぞれ一対ずつ配設されたものであったが、その配置数は任意であり、引っ掛け爪部材１２が配置される側に少なくとも１つあればよい。ブロー機構５０にて吹き出す流体としては、窒素ガス、酸素ガスなどの気体であっても、水等の液体であってもよい。すなわち、剥離するシート体１１の材質やシート体１１を基板１０に貼り付けるため接着剤や粘着剤等の種類によって種々の流体を用いることができる。
【００４７】
なお、前記実施形態において、シート体１１を剥離した後においては、吸着ヘッド１４が、基板１０の中央に寄った状態である。このため、次にシート体１１を剥離する場合、初期状態(図１（ａ）に示すように、吸着ヘッド１４，１４がシート体１１の両短辺１１ａ、１１ｂ側に位置する状態)に戻す必要がある。このため、作業者がこの状態に戻すようにしてもよいが、戻し機構を設けてもよい。戻し機構としては、シリンダ機構、ボールナット機構等の種々の往復動機構を採用できる。この場合、シリンダ機構等は、各保持板２３にそれぞれ１機づつ配置することがきる。また、往復動機構としては、シート体１１の剥離作業時には、吸着ヘッド１４の移動を妨げない位置および状態（例えば、押圧ロットがフリーの状態）とする必要がある。
【符号の説明】
【００４８】
１０   基板
１１   シート体
１１ａ 短辺
１１ｂ 短辺
１２   引っ掛け爪部材
１３   爪部材駆動機構
１４   吸着ヘッド
１４ａ 吸着パット
１５   吸着機構
１６   スライド上下動機構
５０   ブロー機構
６０   掬い上げ部位
【図１】
0005907711.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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