【事件の表示】
　特願２００４−　１０７３０「マルチビーム露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　７月２８日出願公開、特開２００５−２０３６９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本願は、平成１６年１月１９日の出願であって、平成２２年１月２６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年４月３０日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに同日付けで手続補正がなされたものである。その後、平成２３年３月１６日付けで、審判請求人に前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋を行ったが、回答書は提出されなかった。
 　 
　
第２　平成２２年４月３０日付けの手続補正の補正の却下の決定 
［補正の却下の決定の結論］ 
　　平成２２年４月３０日付けの手続補正を却下する。 
　
［理由］ 
１．補正後の請求項に記載された発明 
　平成２２年４月３０日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本願の特許請求の範囲の請求項１は、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように補正された。
　「光源から出射された光ビームを、空間変調素子により露光形成する画像に対応して変調して生成した露光ビームを、感光材料の露光面上に照射して露光処理するマルチビーム露光装置において、
　前記露光面上に配置され、前記空間光変調素子における光量データの測定対象外となる迷光を遮断し、前記空間光変調素子における光量データの測定対象となる画素に対応した前記露光ビームを通過させるようにすると共に、走査方向が長手方向とされたスリット状の開口が形成された開口板と、
　画素を順次点灯するのに合わせて、前記開口板を前記開口が走査露光する際の走査方向と交差する方向に遂次移動させる送り操作機構と、
　前記開口を通過した露光ビームの光量を測定する受光素子と、
を有することを特徴とするマルチビーム露光装置。」
　
　そこで、本件補正後の上記請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下に検討する。
 　 
２．引用刊行物 
（１）原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された刊行物である、特開２００３−３３７４２６号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。 
（１ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光装置に関し、例えば、３５０ｎｍ〜４２０ｎｍの紫外波長領域に感度を有する感光材料を、高出力のマルチビームを用いて走査露光する露光装置に関する。」
（１ｂ）「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようにレーザ光を射出する光源とレーザ光を変調するＤＭＤとを複数個配置することで、高精細なパターンを短時間で形成することができるが、その際、配置した各ＤＭＤからの露光ＯＮの状態のレーザ光の光量を検出して、レーザ光を均一に調整することが必要である。例えば、ＣＣＤ（Charged Coupled Device) 、ＰＤ（フォトダイオード）、ＰＤアレイまたはフォトマルチプライヤ等の光量検出器を用いてＤＭＤ各々からのレーザ光の光量を検出する。
【０００５】しかし、この場合、上述した様に、複数のＤＭＤを配置するのでこれに対応して多数の光量検出器を設け、しかも、この光量検出器各々からの検出信号を信号処理する処理回路を設けなければならず、回路構成が煩雑になるといった問題がある。また、多数の光量検出器を設けると、光量検出器の機器間で特性にばらつきがあるため、正確な光量の分布を検出することができないといった問題もある。
【０００６】一方、１つの光量検出器を走査移動させながら、複数のＤＭＤからのレーザ光の光量を検出する方法も考えられる。しかし、複数のＤＭＤを配置するので、ＤＭＤの配置数が増えるにつれ、上記走査移動を精度良く行うことは困難になる。」
（１ｃ）「【０００７】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点を解消するために、ＤＭＤ等の光変調素子を用いて走査露光を行う際、露光ビームの光量が均一となるように光量を検出する光量検出器の設けられた露光装置において、光量検出の精度を一定に維持したまま、光量検出器の数を減らし、従って、光量検出器からの検出信号を処理する処理回路の回路構成も簡略化することのできる露光装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、紫外波長領域を含むレーザ光を一方向に延在して射出するレーザ光生成手段と、所望の画像データに基づきレーザ光を空間変調するとともに、前記レーザ光の波長領域に感度を有する感光材料に、この空間変調された一方向に延在するレーザ光を露光ビームとして照射する露光手段とを有する露光装置であって、前記露光ビームの延在方向に応じて一方向に延在する光入射面および、この光入射面の形状が変形して前記光入射面の延在方向の幅に比べて幅の狭くなった光出射面を備え、前記光入射面から入射した光を前記光出射面に伝播する導光性シート部材と、前記光出射面から射出した光の光量を検出する光量検出器とを有し、前記露光手段から射出した露光ビームを前記導光性シート部材の前記光入射面に入射させ、前記光出射面から射出した露光ビームの光量を前記光量検出器を用いて検出することを特徴とする露光装置を提供する。
【０００９】ここで、前記導光性シート部材の光入射面の前面に露光ビームの強度を減じるフィルタを設けるのが好ましい。また、前記露光手段は、例えば、複数の可動マイクロミラーを配列し、可動マイクロミラーの反射面を傾斜させることによって、前記レーザ光を変調する空間変調素子を備える。あるいは、前記露光手段は、静電気力を用いて反射面を駆動することによって、前記レーザ光を変調する空間変調素子を備える。」
（１ｄ）「【００１２】露光装置１０は、基台１２と、この基台１２上に設けられた図中ｘ方向に移動し、プリント基板（ＰＣＢ）、カラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）のガラス基板等の基板の表面に感光材料を形成したものを載置固定して移動する移動ステージ１４と、紫外波長領域を含むレーザ光を一方向に延在してマルチビームとして射出する光源ユニット１６と、このマルチビームを、所望の画像データに基づきマルチビームの位置に応じて空間調し、マルチビームの波長領域に感度を有する感光材料に、この変調されたマルチビームを露光ビームとして照射する露光ヘッドユニット１８と、移動ステージ１４の移動に伴って露光ヘッドユニット１８に供給する変調信号を画像データから生成する制御ユニット２０とを主に有して構成される。そして、露光ヘッドユニット１８に対して移動ステージ１４に載置された、表面に感光材料の形成された基板（図示されない）を移動しながら、感光材料を走査露光する装置である。ここで、光源ユニット１６は本発明におけるビーム生成手段に、露光ヘッドユニット１８は本発明における露光手段にそれぞれ対応する。
【００１３】移動ステージ１４の上方には、基板の表面に形成された感光材料を露光ビームを用いて露光する露光ヘッドユニット１８が、また、一対の位置検出センサ２４が、門型フレーム２２の両側に取り付けられている。位置検出センサ２４は、移動ステージ１４の通過を検知するセンサで、検出信号を制御ユニット２０に供給する。移動ステージ１４は、図示されないリニアモータによって、例えば、１０００ｍｍの移動量を４０ｍｍ／秒といった比較的低速の一定速度で移動する部分である。」
（１ｅ）「【００２８】図４（Ａ）は、１つの露光ヘッド５６の構成の一例を示している。露光ヘッド５６は、パッケージ５８内に、バンドル状光ファイバ３２を伝搬したレーザ光を射出してマルチビーム形成するとともにこのマルチビームを反射し、空間変調素子であるＤＭＤ６２の入射光とする反射ミラー６０と、入射したマルチビームを制御ユニット２０から供給された変調信号に応じてマイクロミラーを傾斜させて、変調したマルチビームを生成するＤＭＤ６２と、変調されたマルチビームを集束させるレンズ系６４，６６と、この集束位置に配置した、マルチビームのそれぞれに対応したマイクロレンズアレイ６８と、マイクロレンズアレイ６８を通過したマルチビームを絞るアパーチャアレイ７０と、このアパーチャアレイ７０を感光材料上で集束させる光学系７２，７４とを有し、露光ヘッド５６の射出口７６から射出したレーザ光は露光ビームとして射出口７６直下に位置する感光材料を露光する。
【００２９】ＤＭＤ６２は、周知のように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）上に、マイクロミラーが支柱により支持されて配置されたものであり、多数の（数１０万個から数１００万個）のマイクロミラーであるピクセルをアレイ状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、表層部に支柱に支えられたマイクロミラーが設けられており、マイクロミラーの表面にはアルミニウムが蒸着されて反射面を形成している。また、マイクロミラーの直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセルが配置されており、全体はモノリシック（一体型）に構成されている。
【００３０】ＤＭＤ６２のＳＲＡＭセルにデジタルの変調信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラーが、対角線を中心としてＤＭＤが配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾斜する。例えば、マイクロミラーが露光ＯＮの状態である場合、マイクロミラーは＋α度に傾いた状態となり、マイクロミラーが露光ＯＦＦの状態である場合、マイクロミラーが−α度に傾いた状態となる。従って、画像データに応じて、ＤＭＤ６２の各ピクセルにおけるマイクロミラーの傾きを制御することによって、ＤＭＤ６２に入射されたマルチビームはそれぞれのマイクロミラーの傾き方向へ反射される。そして、露光ＯＮの状態にあるマイクロミラーでは、マイクロミラーが、図４（Ａ）に示す光路を通って射出口７６から露光ビームとして射出される。一方、露光ＯＦＦの状態にあるマイクロミラーでは、図４（Ａ）に示すｙ方向に反射され、露光ビームとして用いられない。露光ＯＦＦの状態のマイクロミラーでｙ方向に反射したレーザ光は、ｙ方向に配置された図示されない光吸収体によって吸収される。
【００３１】このようにして露光ヘッド５６の射出口７６から射出した露光ビームを用いて感光材料を露光するが、図４（Ｂ）には、露光ヘッド５６におけるＤＭＤ６２のマイクロミラーをすべて露光ＯＮの状態としたときの露光ビームによる露光スポットのパターンの一例が示されている。図４（Ｂ）に示すように、スポット径を例えば１５μｍとし、露光ビームのスポットが互いに離間したパターン７８を形成することができる。このような露光ビームを用い、ｘ方向に移動する移動ステージ１４に対して、規則的に２次元に並ぶマイクロミラーの配列方向を、僅かに傾斜させることによって、図５に示すように、露光ビームのスポットの配列方向を傾斜させることができ、走査露光の際のｘ方向と直交する幅方向の露光ビームによる露光間隔を密にすることができる。この露光間隔としては、例えば、５μｍとすることができ、極めて高精細な露光パターンを形成することができる。なお、図５では、露光ビームのスポットのパターンが６個×４個のパターンを一例として示している。」
（１ｆ）「【００３５】また、露光装置１０は、基板１２を挟んだ反対側の、露光ヘッドユニット１８の射出口７６の対向する位置に、光量検出ユニット８０が基台１２に固定して設けられる。露光ヘッドユニット１８複数の露光ヘッド５６をｘ方向と直交する幅方向に並列して設け、この幅方向に延在するマルチビームを露光ビームとして射出するので、この露光ビームの延在方向に対応して光量検出ユニット８０が幅方向に延在して設けられる。光量検出ユニット８０は、図６に示すように、露光ヘッドユニット１８の射出口７６の対向する方向に面して露光ビームの延在方向に対応して延在するビーム入射面８２、およびビーム入射面８２の形状が変形し、ビーム入射面８２の延在方向の幅に比べて幅の狭くなったビーム出射面８４を有する導光性シート部材８６と、ビーム出射面８４に対向するように設けられた光学系８８と、光学系８８の集束位置に受光面を備える光量検出器９０と、光量検出器９０から出力される検出信号を増幅するアンプ９２と、ビーム入射面８２の前面に、紫外波長領域を含む高強度の露光ビームの光強度を減じるために設けられたＮＤフィルタ８９とを有する。そして、アンプ９２で増幅された検出信号は制御ユニット２０に送られるように構成される。
【００３６】ここで、光量検出器９０は、ＣＣＤ、ＰＤ（フォトダイオード）、ＰＤアレイまたはフォトマルチプライヤ等、受光面で受光した光の光量を検出する公知の光検出センサが用いられる。２次元光検出センサであるＣＣＤを用いた場合、撮像した撮像信号から画素毎の画像情報を得ることによって光量分布を検出することができる。ＰＤまたはフォトマルチプライヤを用いた場合、受光した露光ビームの光量を検出することができる。この場合、ＤＭＤ６２による変調をＤＭＤ６２のマイクロミラー１つ１つ、あるいは、隣接するマイクロミラーの複数の領域を一塊として順番に露光ＯＮの状態とすることで、露光ビームの光量分布を検出することができる。ＰＤアレイを用いた場合、ＣＣＤを用いた場合と同様に露光ビームの光量分布を検出することができる。」
（１ｇ）「【００４９】光量検出器９０がＰＤまたはフォトマルチプライヤで構成されている場合、ＤＭＤ６２のマイクロミラーを１つずつ、あるいは、隣接するマイクロミラーの分割領域毎に順番に露光ＯＮの状態とし、露光ビームが射出される。そして、受光面で受光した露光ビームの受光信号が生成され、制御ユニット２０に供給される。制御ユニット２０では、受光信号から、受光面で受光した光量を、受光した順番に求めることができ、露光ヘッドユニット１８から射出したときの露光ビームの光量の分布を求めることができる。・・・」
　
　これらの記載事項及び図面を含む引用文献１全体の記載並びに当業者の技術常識を総合すれば、引用文献１には、以下の発明が記載されている。
　「レーザ光生成手段と、所望の画像データに基づきレーザ光をＤＭＤを用いた空間変調素子により空間変調するとともに、感光材料に、レーザ光を露光ビームとして照射する露光手段とを有するマルチビーム露光装置であって、前記露光ビームの延在方向に応じて一方向に延在する光入射面および、この光入射面の形状が変形して前記光入射面の延在方向の幅に比べて幅の狭くなった光出射面を備え、前記光入射面から入射した光を前記光出射面に伝播する導光性シート部材と、前記光出射面から射出した光の光量を検出する光量検出器とを有し、ＤＭＤのマイクロミラーを１つずつ、あるいは、隣接するマイクロミラーの分割領域毎に順番に露光ＯＮの状態として前記露光手段から射出した露光ビームを前記導光性シート部材の前記光入射面に入射させ、前記光出射面から射出した露光ビームの光量を前記光量検出器を用いて検出するマルチビーム露光装置。」（以下「引用発明」という。）
　
２．同じく、特開平１０−１８５６８４号公報（以下「引用文献２」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
（２ａ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＰＬＺＴ光シャッタアレイやＬＥＤアレイ等を用いて感光体上に画像（潜像）を書き込むための固体走査型光書込み装置及びその光量測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】従来、銀塩感材を用いた印画紙や銀塩フィルムや電子写真用感光体に画像（潜像）を形成するのに、ＰＬＺＴ等の光シャッタチップで１画素ずつ光をオン／オフ制御したり、ＬＥＤチップをオン／オフ制御する光書込み装置が種々提供されている。そして、この種の固体走査型光書込み装置では、むらのない画像を得るために各光チップの光量を測定し、測定値に基づいて光量補正を行う必要がある。」
（２ｂ）「【００１５】光ファイバアレイ２６は、多数本の光ファイバからなり、一端２６ａは束ねて前記拡散筒２４にＲＧＢフィルタ２５を介して対向している。他端２６ｂは矢印Ｘで示す主走査方向に並べられ、光をライン状に出射する。スリット板２７のスリット端面２７ａ，２７ａは鏡面に仕上げられ、光ファイバアレイ２６から出射する光を効率よく光シャッタモジュール３０に導く。さらに、スリット板２７にＰＬＺＴシャッタチップを一定の温度に維持するためのヒータ（図示せず）が設けられており、モジュール３０に設けた温度検出素子（図示せず）の検出結果に基づいて温度制御が行われる。
【００１６】光シャッタモジュール３０は、セラミック基板のスリット状開口あるいはガラス基板上にＰＬＺＴからなるシャッタチップを設け、それと並べてドライバＩＣを設けたものである。各シャッタチップはドライバＩＣによって所定の画素に対応するもののみが駆動される。また、モジュール３０の前後には偏光子３３及び検光子３４が設けられている。ＰＬＺＴは、よく知られているように、カー定数の大きい電気光学効果を有する透光性を有するセラミックであり、偏光子３３で直線偏光された光は、シャッタチップへの電圧印加で発生する電界のオン／オフによって偏光面の回転が生じ、検光子３４から出射される光がオン／オフされる。
【００１７】検光子３４から出射された光は、結像レンズアレイ３５及び防塵ガラス３６を透過して印画紙上に結像し、潜像を形成する。印画紙は主走査方向Ｘと直交する
方向（副走査方向）に一定の速度で搬送される。
【００１８】（光量測定装置と測定方法）図２は前記光書込みヘッド２０の各光シャッタチップの光量を測定する測定装置７０を示す。
【００１９】この測定装置７０は、光電変換センサ７２と工具顕微鏡７７を有する測定ユニット７１をガイド棒７６にスライド可能に取り付けたものである。ガイド棒７６は前記光シャッタモジュール３０による主走査方向（矢印Ｘ方向）と平行に設置され、測定ユニット７１はセンサ７２が前記光シャッタチップの直上に位置した状態で矢印Ｘ方向に定速で往復移動する。詳しくは、図１１に示すように、一方のガイド棒７６ａは外周面に雄ねじが形成され、この雄ねじに測定ユニット７１に設けた図示しないナットが螺着している。従って、測定ユニット７１はガイド棒７６ａの正逆回転に伴って往復移動する。
【００２０】センサ７２の入射側にはスリット板７３と光拡散板７４が設置されている。スリット板７３は１画素の幅寸法の２５〜４００％（好ましくは、５０〜２００％）の間口幅を有するスリット７３ａを有し、前記結像レンズアレイ３５のピント面Ｆ上に位置している。センサ７２はその分光感度特性が記録媒体の分光感度特性と略同等か広い範囲のものが使用されている。」
（２ｃ）「【００２２】以上の構成からなる光量測定装置７０と光書込みヘッド２０はシーケンサで制御され、測定ユニット７１の往復動及び光量測定のタイミング等が制御される。光書込みヘッド２０は予めプログラムされている駆動モード（駆動周波数、点灯デューティ、点滅データ）で駆動される。測定装置７０はこの駆動に同期して各光シャッタチップの光量の積分値を得るように構成されている。通常は、駆動周波数とセンサ７２の駆動速度との関係で、１チップ当り１０数回のサンプリング及びホールドを行うように設定される。センサ７２の出力はＡ／Ｄ変換され、制御部に転送し、必要な処理を行う。
【００２３】光書込みヘッド２０の駆動モードは実機の駆動条件に合わせて設定する。光書込みヘッド２０が４００ｄｐｉ（１インチ当りのドット数）の印字密度であり、１ｋＨｚ（６３．５ｍｍ／ｓ）で駆動するプリンタに搭載する場合を例に説明する。
【００２４】まず、光シャッタチップの奇数番目を繰り返して点灯させ、センサ７２を光シャッタチップの走査領域外の初期位置から往動させる。そして、１ライン区間（１ｍｍ／ｓ）のセンサ出力を積分し、その積分値をサンプリング／ホールドしてＡ／Ｄ変換を行い、制御部に取り込ませる。センサ７２を１ｍｍ／ｓの速度で移動させると、４００ｄｐｉ（６３．５μｍ）の場合、１チップ（１画素）当り６３．５回のサンプリング／ホールドを行うことになる。センサ７２を主走査長さよりも若干長く移動させた後、制御部へのデータの取り込みを停止させ、センサ７２を初期位置へ復動させる。次に、偶数番目の光シャッタチップを点灯させながら前記同様に光量を測定し、データの取り込みを行う。これにて、全ての光シャッタチップの光量測定が完了する。勿論、偶数番目の光シャッタチップの光量測定をセンサ７２の復動時に行ってもよく、この方が能率的である。
【００２５】光量補正を考慮した有効な測定方法としては、各光シャッタチップについて四つの異なる光量で測定値を得ることである。点灯デューティを、高、中、低とし、消灯（オフ）を加えた駆動モードで光書込みヘッド２０を動作させる。この場合、１光シャッタチップ当りのサンプリング／ホールドは約１６回で４段階の光量での測定値を１回の走査で得ることができる。勿論、４段階の光量を２〜４回の走査に分けて測定してもよい。また、４段階の光量測定であることに拘泥する必要はない。
【００２６】１光シャッタチップ当りのサンプリング／ホールド数はセンサ７２の移動速度を低下させるか、あるいは駆動周波数を高めれば増やすことができる。駆動周波数に起因する光量変化は皆無ではないが、実用上許容できるレベルに収まる。また、駆動周波数と光量変化の相関関係を予め明確に把握しておけば、補正係数を導入することで対応可能である。」
（２ｄ）「【００２８】次に、光量測定の原理を図３、図４を参照して説明する。まず、光シャッタチップの奇数番目に駆動信号Ａを印加する。駆動信号Ａは実機での駆動条件と同じか近い値の周波数及びデューティとされている。各光シャッタチップからは光出力Ｂが出射され、主走査方向Ｘに往動する前記センサ７２から同波形が出力される。この出力は積分され、オン期間終了時にサンプリング／ホールドしてＡ／Ｄ変換される。
【００２９】光量測定において、チップ幅と略同寸法のスリット７３ａを主走査方向Ｘに１チップ当たり複数回の点灯を行う速度で走査しているので、Ａ／Ｄ変換された出力は図４に示すようになる。センサ７２が光シャッタチップ３１と対面する位置で最大光量となり、チップ３１間で最小光量となる。従って、この出力光量のピーク検出を行うことでチップ位置を同定（アドレス）することができる。チップ３１間の最小光量は結像レンズのＭＴＦ、スリット幅等で変化する。最小光量位置の同定は、最大光量と同様にピーク検出を行うことで可能であるが、最大光量間の１／２時点の値を採用することもできる。
【００３０】次に、光シャッタチップの偶数番目に前記駆動信号Ａを印加し、センサ７２を復動させつつ前記同様に光量を測定する。測定結果を奇数番目の測定結果と重ねることで全てのチップ３１の出力光量特性が判明する。
【００３１】以上の光量測定において、チップ位置は出力光量から算出しているため、エンコーダ及びセンサ７２の初期位置の検出等は不要である。また、本実施形態では、オン時光量とオフ時光量とを同時に測定しており、駆動信号はオン期間とオフ期間を交互に測定するように構成されている。
【００３２】オフ時光量（漏れ光量）もオン時光量と同様に、オフ期間のセンサ出力を積分し、オフ期間終了時にサンプリング／ホールドしてＡ／Ｄ変換する。チップ位置の同定はオン時と同様にピーク検出でも何でも可能であるが、出力信号が微弱であることから、オン時のピークと同時期の光量をオフ時光量としている。オン時最小光量の決定に関しては、実験的に下式で補正するのが好ましい。
【００３３】特定チップ光量＝特定チップの最大光量＋（回り込み光量−漏れ光量）×補正係数
【００３４】補正係数は点灯パターン及びスリット７３ａの幅寸法に依存し、０．２〜１．０である。また、ライン／網点画の場合は、特定光チップのピーク値のみを用いて補正を行っても十分であり、１ドットの再現（特定のライン／網点画）の場合には、特定光チップのピーク値のみによる補正のほうが好ましい。前記測定方法は、奇数番目、偶数番目ごとに点灯させる例で説明したが、点灯パターンは種々のものが考えられる。」
　
３．対比 
　補正発明と引用発明とを比較すると、引用発明の「レーザ光生成手段」、「レーザ光」及び「光量を検出する光量検出器」は、それぞれ、補正発明の「光源」、「光ビーム」及び「光量を測定する受光素子」に相当する。
　また、引用発明の「ＤＭＤのマイクロミラーを１つずつ、あるいは、隣接するマイクロミラーの分割領域毎に順番に露光ＯＮの状態と」することは、補正発明の「画素を順次点灯する」ことに相当する。
　
　してみると両者は、 
　「光源から出射された光ビームを、空間変調素子により露光形成する画像に対応して変調して生成した露光ビームを、感光材料の露光面上に照射して露光処理するマルチビーム露光装置において、
　画素を順次点灯して露光ビームの光量を測定する受光素子を有するマルチビーム露光装置。」
の点で一致し、次の点で相違している。 
（相違点）
　補正発明は、「露光面上に配置され、前記空間光変調素子における光量データの測定対象外となる迷光を遮断し、前記空間光変調素子における光量データの測定対象となる画素に対応した前記露光ビームを通過させるようにすると共に、走査方向が長手方向とされたスリット状の開口が形成された開口板と、画素を順次点灯するのに合わせて、前記開口板を前記開口が走査露光する際の走査方向と交差する方向に遂次移動させる送り操作機構と」を有し、受光素子が「前記開口を通過した露光ビームの光量を測定する」のに対して、引用発明は、「露光ビームの延在方向に応じて一方向に延在する光入射面および、この光入射面の形状が変形して前記光入射面の延在方向の幅に比べて幅の狭くなった光出射面を備え、前記光入射面から入射した光を前記光出射面に伝播する導光性シート部材」を有し、受光素子が「ＤＭＤのマイクロミラーを１つずつ、あるいは、隣接するマイクロミラーの分割領域毎に順番に露光ＯＮの状態として前記露光手段から射出した露光ビームを前記導光性シート部材の前記光入射面に入射させ、前記光出射面から射出した露光ビームの光量を測定する」点。
　
４．判断 
　上記相違点について検討する。
　引用文献２には、「シャッタチップがライン状に配置された走査型光書込み装置の光量を測定する装置であって、センサの入射側に１画素の幅寸法の５０〜２００％の開口幅を有するスリットを有するスリット板を結像レンズアレイのピント面上に配置し、センサをシャッタチップの配列方向に移動させて光量を測定する装置。」が記載されている。ここで、当業者の技術常識を参酌すれば、上記スリットが、測定対象外のシャッタチップからの迷光を遮断し、測定対象となる画素に対応した光を通過させるためのものであることは明らかである。同様に、「スリット板を結像レンズアレイのピント面上に配置」するのは、光書込み装置の実際の書き込み面上（補正発明の「露光面上」に相当）にスリット板を配置することである。
　このことから、本願の出願時点において、「ライン状に配置された光素子の光量データの測定対象外となる迷光を遮断し、該光素子における光量データの測定対象となる画素に対応した光を通過させるようにするスリット状の開口が形成された開口板を実際の書き込み面上に配置し、前記開口板を遂次移動させる送り操作機構」を有し、「前記開口を通過した光の光量を測定すること」はすでに広く知られた発明（以下「公知発明」という。）であることがわかる。
　引用発明も公知発明も、ともに、ライン状に配置された光素子の光量を測定するためのものであり、スリットを用いて迷光を遮断することは当業者の技術常識であるから、引用発明の受光素子が露光ビームを入射・測定するための機構として、公知発明を用いることに格別の困難性はない。その場合、スリットの形状を「走査方向が長手方向とされた」ものとすることは、その必要に応じて、当業者が適宜決定しうる事項である。
　また、引用発明は、補正発明と同様に、画素を順次点灯して露光ビームの光量を測定しているから、公知発明の「開口板を遂次移動させる送り操作機構を有し、前記開口を通過した光の光量を測定する」構成を引用発明に適用すれば、画素を順次点灯するのに合わせて、前記開口板を遂次移動させることになることは明らかである。
　したがって、引用発明に上記相違点に係る構成を採用することは、当業者が容易になし得る事項である。
　
　なお、請求人は審判請求書において「補正発明の「走査方向に並んだ画素群の露光ビームを測定するとともに、順次画素群を点灯するのに合わせて開口板を逐次移動させる」という事項は何れの文献にも記載されていないから、補正発明は進歩性を有している。」旨の主張をしている。
　しかしながら、「走査方向に並んだ画素群の露光ビームを測定する」という事項は、補正発明が有する事項ではない（上記「第２」の「１．」参照）から、請求人の上記主張は、補正発明に基づかない主張である。
　また、引用発明が「隣接するマイクロミラーの分割領域毎に順番に露光ＯＮの状態として前記露光手段から射出した露光ビームを前記導光性シート部材の前記光入射面に入射させ、前記光出射面から射出した露光ビームの光量を前記光量検出器を用いて検出する」という構成を有しており、上記のとおり、スリットの形状を「走査方向が長手方向とされた」ものとすることは、その必要に応じて、当業者が適宜決定しうる事項であるから、いずれにしても、請求人の上記主張には理由がない。
　
　そして、補正発明全体の効果も、引用発明及び公知発明から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
　したがって、補正発明は、引用発明及び公知発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
５．むすび 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項の規定において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
 　
第３　本願発明について 
　平成２２年４月３０日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、願書に最初に添付された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「光源から出射された光ビームを、空間変調素子により露光形成する画像に対応して変調して生成した露光ビームを、感光材料の露光面上に照射して露光処理するマルチビーム露光装置において、
　前記露光面上に配置され、前記空間光変調素子における光量データの測定対象外となる光が遮断されるようにすると共に、前記空間光変調素子における光量データの測定対象となる画素に対応した前記露光ビームを通過させる開口が設けられた開口板と、
　前記開口が走査露光する際の走査方向と交差する方向に移動されるように、前記開口板を移動操作する送り操作機構と、
　前記開口を通過した露光ビームの光量を測定する受光素子と、
　を有することを特徴とするマルチビーム露光装置。」（以下「本願発明」という。）
　
１．引用刊行物
　原査定に引用され、本願出願前に頒布された刊行物及びその記載内容は、前記「第２」「２．」に記載したとおりである。
　
２．対比
　本願発明は、前記「第２」で検討した補正発明の「走査方向が長手方向とされたスリット状の開口」を「開口」と拡張したものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに限定したものに相当する補正発明が、前記「第２」「４．」に記載したとおり、引用発明及び公知発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び公知発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び公知発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。