【事件の表示】
　特願２００２−１２１４０２「薄膜バルク波音響共振器アレイの製造方法及び送受切換器」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　１月２４日出願公開、特開２００３−　２２０７４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯 
　本願は、平成１４年４月２３日（パリ条約による優先権主張２００１年４月２３日、米国）を出願日とする出願であって、平成２０年３月１３日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年６月１６日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年７月１６日付けで手続補正書が提出されたものである。
　
　　　　　
２．本願発明 
　本願の請求項１に係る発明は、平成２０年７月１６日付け手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下「本願発明」という）。
　　　　  
「第１の薄膜バルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）フィルタを動作させる第１の目標周波数応答と第１の目標実効結合係数とを選択するステップと、
　第２のＦＢＡＲフィルタを動作させる第２の目標周波数応答と第２の目標実効結合係数とを選択するステップであって、前記第１の目標実効結合係数が前記第２の目標実効結合係数に対し劣化されているものである、ステップと、
　前記第１及び第２の目標周波数応答と前記第１及び第２の目標実効結合係数とが得られるように前記第１及び第２のＦＢＡＲフィルタを形成するため、圧電層及び電極層の膜厚とを決定するステップであって、窒化アルミニウムが前記圧電層を形成してモリブデンが前記電極層を形成し、前記第１のＦＢＡＲフィルタの少なくとも１つの電極層膜厚が前記第２のＦＢＡＲフィルタに選択された電極層膜厚の１．２倍〜２．８倍の範囲となるよう選択し、これにより前記劣化されている第１の目標実効結合係数を得る、ステップと、
　前記膜厚と材料に基づき、前記第１及び第２のＦＢＡＲフィルタを形成するステップと　を含んでなる音響共振器アレイの製造方法。」
　　　　
　　　　 　　　
３．引用例 
（１）引用例１について
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２００１−２４４７６号公報（以下、「引用例１」という）には、下記の事項が記載されている。
　　　
（ア）「【００２６】圧電層５２と電極５８，６０とを備えて構成される圧電共振器スタック６２は、その周縁で吊られており、その主表面が両方とも空気、他の周囲ガス又は真空と接している場合、圧電共振器スタックはＱの高い音波共振器を形成する。端子６６，６８を介して電極５８，６０に加えられる交流信号は、圧電共振器スタックにおける音速をスタックの重み付き厚さの２倍で割った値に等しい周波数を備えている。すなわち、ｆr＝ｃ／２ｔ0（ここで、ｆrは共振周波数であり、ｃはスタック内における音速であり、ｔ0はスタックの重み付き厚さである）の場合、その信号によって、圧電共振器スタックが共振する。圧電共振器スタックの共振周波数は、スタックを構成する材料内における音速がそれぞれに異なるため、物理的厚さではなく、重み付き厚さによって決まる。
【００２７】約１９００ＭＨｚで共振が生じるＦＢＡＲ５０の例の場合、基板５６は単結晶シリコンのウェーハであり、圧電層５２は厚さが約２μｍの窒化アルミニウム（ＡＩＮ）の層であり、電極５８，６０は厚さが約０．１μｍのモリブデンの層である。この薄膜において、電極は圧電共振器スタック６２の質量のかなりの部分を構成するので、モリブデンは電極に関して望ましい材料である。したがって、電極材料の音響特性は圧電共振器スタックのＱにかなりの影響を与える。金及びアルミニウム等の一般的な電極材料に比べて、モリブデンは優れた音響特性を備えており、材質がモリブデンの電極によってＦＢＡＲ５０は他の材料の電極よりも高いＱを有することが可能になる。」
　　
（イ）「【００３１】ＰＣＳ装置、セルラ電話又は他の送信／受信装置に用いられる場合、図２に示す回路と同様の回路構成において、送受切換器１００のアンテナ・ポート１２８はアンテナ（図示せず）に接続され、送信ポート１２４は送信機（図示せず）の出力に接続され、受信ポート１２６は受信機（図示せず）の入力に接続される。帯域フィルタ１３０及び１３２の通過帯域は、それぞれ、送信機によって生じる送信信号の周波数範囲及び受信機を同調させることが可能な受信信号の周波数範囲を中心にする。図示の例の場合、送信及び受信帯域フィルタ１３０及び１３２は、送信ＦＢＡＲアレイ１０２を含む送信帯域フィルタ１３０の高周波阻止帯域が、受信ＦＢＡＲアレイ１０４を含む受信帯域フィルタ１３２の通過帯域と重なり、受信帯域フィルタ１３２の低域周波数阻止帯域が、送信帯域フィルタ１３０の通過帯域に重なるように構成されている。」　
　　
（ウ）「【００３５】それぞれ、送信帯域フィルタ１３０及び受信帯域フィルタ１３２の所望のフィルタ特性が得られるようにＦＢＡＲアレイ１０２及び１０４の設計を行うため、発明者は、カリフォルニア州・ウェストレイク・ビレッジのＨＰ  ＥＥｓｏｆＣｏｒｐ．によって販売されているマイクロウェーブ・デザイン・システム（ＭＤＳ）(Microwave Design System(MDS),release 7.0(1996))と呼ばれる市販のマイクロ波設計シミュレータを利用した。各ＦＢＡＲアレイの個々のＦＢＡＲは、図１（ｂ）に示す修正されたバターワース−バン・ダイク回路(Butterworth-VanDyke circuit)を用いてモデル化された。この設計シミュレータは、面積を最適化し、ＦＢＡＲアレイ１０２，１０４のそれぞれにおけるＦＢＡＲの必要とされる共振周波数を計算するために利用された。発明者は、物理的シミュレータを用いて各ＦＢＡＲの圧電共振器スタック（図１（ａ）に符号６２で示す）をモデル化し、圧電共振器スタックを構成する層の物理的特性を明らかにし、必要とされる共振周波数を実現する、各ＦＢＡＲを構成する圧電共振スタック層の厚さを計算した。」
　
（エ）上記（イ）には、送信ＦＢＡＲアレイ１０２で構成された送信帯域フィルタ１３０は、送信帯域フィルタ１３０の高周波阻止帯域が受信帯域フィルタ１３２の通過帯域と重なり、受信ＦＢＡＲアレイ１０４で構成された受信帯域フィルタ１３２は、受信帯域フィルタ１３２の低域周波数阻止帯域が送信帯域フィルタ１３０の通過帯域に重なるように選択されている点が記載され、上記（ウ）には、送信帯域フィルタ１３０及び受信帯域フィルタ１３２の所望のフィルタ特性が得られるように、マイクロ波設計シミュレータにより必要とされる共振周波数を実現する各ＦＢＡＲを構成する圧電共振スタック層の厚さを計算して決定する点が記載され、上記（ア）には、圧電層が所定の厚さの窒化アルミニウムの層とし、電極が所定の厚さのモリブデンの層としてＦＢＡＲが形成される点が記載されている。
　
（オ）図２には、送信帯域フィルタ１３０が直列ＦＢＡＲ（１０１，１０３，１０５）と分路ＦＢＡＲ（１０７，１０９）から構成されたフィルタであり、受信帯域フィルタ１３２が直列ＦＢＡＲ（１１１，１１３，１１５）と分路ＦＢＡＲ（１２１，１２３，１２５，１２７）から構成されたフィルタである点が記載されている。
　
　よって、上記（ア）乃至（オ）及び関連図面から、引用例１には実質的に、
「直列ＦＢＡＲと分路ＦＢＡＲで構成された送信帯域フィルタのフィルタ特性が選択され、
　直列ＦＢＡＲと分路ＦＢＡＲで構成された受信帯域フィルタのフィルタ特性が選択され、
　選択された前記送信帯域フィルタのフィルタ特性及び受信帯域フィルタのフィルタ特性が得られるように前記送信帯域フィルタを構成する各ＦＢＡＲ及び受信帯域フィルタを構成する各ＦＢＡＲの圧電共振スタック層の厚さを決定し、
　圧電層を窒化アルミニウムとし、電極層をモリブデンとし、決定した前記圧電共振スタック層の厚さに基づき、前記送信帯域フィルタ及び受信帯域フィルタを形成する製造方法。」
の発明（以下、「引用発明」という）が記載されている。
　　　　
（２）引用例２について
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−２１４２８５号公報（以下、「引用例２」という）には、下記の事項が記載されている。
　
（カ）「【００３０】伝送特性７６”は、低い方の阻止帯８４、低い方の阻止帯折点周波数８２、低い方の遷移スカート７９、および図７のそれと類似した帯域幅７８の低い方の遷移帯９３とを有し、遷移帯域幅７８はほぼ同一である。直列素子５０１’の有効結合係数Ｋ２を増大させると、高い方の通過帯折点周波数８８”および高い方の停止帯折点周波数８９”を高くし、阻止帯９０”を周波数の高い方に広げる効果がある。したがって、通過帯９１”の帯域幅７７”は広がり、遷移帯９５”の帯域幅８６”も広がることになる。」
　　
（キ）図１０には、共振器を直列−並列結合に配列したラダー型フィルタが記載されている。
　
（ク）「有効結合係数」を意味する技術用語である”effective coupling coefficient”は、一般に「実効結合係数」とも訳され得るものである。
　
（ケ）上記（カ）乃至（キ）及び図１０、図１１から、引用例２には、ラダー型フィルタ内の直列共振器の有効結合係数を増大させると高周波側のロールオフ特定がなだらかになることが記載されているので、逆に、高周波側のロールオフ特性を急峻にさせるためにはラダー型フィルタ内の直列共振器の有効結合係数を減少させることが示唆されているといえる。
　
　よって、上記（カ）乃至（ケ）及び関連図面から、引用例２には実質的に下記の事項が示唆されていると認められる。
「ラダー型フィルタ内の直列共振器の実効結合係数を減少させると高周波側のロールオフ特性が急峻になる。」
　　　
　
（３）引用例３について
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−１３０２００号公報（以下、「引用例３」という）には、下記の事項が記載されている。
　　　　
（コ）「【０１１１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１及び図２は、この発明の実施の形態１に係るバルク超音波共振器を示す図である。図１は、上面図、図２は、Ｄ−Ｄ断面図である。図中、１はシリコン（Si）やガリウム砒素（GaAs）等を主成分とする半導体基板であり、４は酸化シリコン（SiO2）や窒化シリコン（SiN ）、あるいは、酸化タンタル（Ta2O5 ）を主成分とする誘電体、５は白金（Pt）、あるいは、金（Au）等の下地導体、６は白金（Pt）、金（Au）、銅（Cu）、アルミニウム（Al）、チタン（Ti）、タングステン（W ）等の金属、あるいは、不純物濃度を高めた高導電性の半導体層、あるいは、ポリシコン等の高い導電性を示す材料を用いた上側電極、７はバイアホール、２７はチタン酸鉛（PbTiO3）を主成分とする圧電セラミクス薄膜又は圧電薄膜（以下、単にチタン酸鉛ともいう）である。以下、バルク超音波共振器は、弾性波を使って共振を生じる素子の部分を示し、バルク超音波フィルタは、上記バルク超音波共振器を複数組み合わせてフィルタとして動作する素子の部分を示し、薄膜圧電素子は上記バルク超音波共振器、上記バルク超音波フィルタ、及び、同じ半導体基板１上に存在するその他の回路素子を全て含めた素子を示すものとする。」
　　
（サ）「【００２３】上記共振周波数Ｆｒと上記反共振周波数Ｆａとを用いて、実効電気機械結合係数ｋ２ｅｆｆは、式５のように表される。
式５：
【００２４】
【数５】
     　　　　ｋ２ｅｆｆ＝（Ｆ２ａ−Ｆ２ｒ）／Ｆ２ｒ　　」
　　
（シ）「【０１３３】上記ジルコン酸チタン酸鉛（PZT ）３２の場合も、成膜時の処理温度が高く、酸素雰囲気中で成膜するため、上記下地導体５には化学的に安定な白金（Pt）や金（Au）が不可欠である。特に、白金（Pt）は、高温時の化学的安定性に優れている。一方、白金（Pt）や金（Au）は、密度が大きく、図４に計算例を示したように、上記下地導体５の厚みｄを大きくすると、反共振周波数Ｆａと共振周波数Ｆｒの周波数差が小さくなり、上記ジルコン酸チタン酸鉛（PZT ）３２の大きな電気機械結合係数ｋ２を生かすことができない。また、図５及び図６の計算例で示したように、上記ジルコン酸チタン酸鉛（PZT ）３２の厚みｈと弾性波の波数ｋの積ｋｈを大きくすると、不要なスプリアスが発生する原因にもなる。すなわち、上記ジルコン酸チタン酸鉛（PZT ）３２を用いて所要の特性を有するバルク超音波共振器３５を得るには、規格化膜厚（ｋｈ）を２以下とするか、規格化膜厚（ｄ／ｈ）を０．１以下とする必要がある。」
　
（ス）上記（コ）及び図２には、下地導体５の上に圧電薄膜２７を積層し、圧電薄膜２７の上に上側電極６が積層されたバルク超音波共振器が記載されているので、引用例３にはＦＢＡＲフィルタが記載されているといえる。
　　
　よって、上記（コ）乃至（ス）及び関連図面から、引用例３には実質的に下記の事項が示唆されている。
「ＦＢＡＲフィルタでは、下地導体の厚みを大きくすると、実効電気機械結合係数が小さくなること。」
　　　
　　　　　　　　　　  
４．対比 
（１）本願発明と引用発明との対応関係について
　本願明細書には、段落【００３３】に「図４の送信フィルタ６８の形成過程では、第１のＦＢＡＲはＴｘフィルタ６８である」、及び、段落【００３４】に「再び図４を参照するに、第２のＦＢＡＲフィルタはＲｘＦＢＡＲフィルタ７３であり」と記載され、図４にはＴｘフィルタ６８が直列ＦＢＡＲ（７０，７２，７４，７６）と並列ＦＢＡＲ（８２，８４）で構成されたフィルタであり、ＲｘＦＢＡＲフィルタ７３が直列ＦＢＡＲ（７５）と並列ＦＢＡＲ（７７）で構成されたフィルタである点が記載されていることから、引用発明の「直列ＦＢＡＲと分路ＦＢＡＲで構成された送信帯域フィルタ」、「直列ＦＢＡＲと分路ＦＢＡＲで構成された受信帯域フィルタ」は、本願発明の「第１の薄膜バルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）フィルタ」、「第２の薄膜バルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）フィルタ」に相当している。
　
　引用発明において選択されるフィルタ特性は、製造されたフィルタが達成すべき目標の周波数応答であるから、引用発明の「送信帯域フィルタのフィルタ特性」、「受信帯域フィルタのフィルタ特性」は、本願発明の「第１の目標周波数応答」、「第２の目標周波数応答」に相当する。
　
　引用例１の上記（ア）には、「圧電層５２と電極５８，６０とを備えて構成される圧電共振器スタック６２」と記載されているので、引用発明の「各ＦＢＡＲの圧電共振スタック層の厚さを決定」は、本願発明の「圧電層及び電極層の膜厚とを決定」に相当する。
　　
（２）本願発明と引用発明の一致点について
　上記の対応関係から、本願発明と引用発明は、
「第１の薄膜バルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）フィルタを動作させる第１の目標周波数応答を選択するステップと、
　第２のＦＢＡＲフィルタを動作させる第２の目標周波数応答を選択するステップと、
　前記第１及び第２の目標周波数応答が得られるように前記第１及び第２のＦＢＡＲフィルタを形成するため、圧電層及び電極層の膜厚とを決定するステップであって、窒化アルミニウムが前記圧電層を形成してモリブデンが前記電極層を形成するステップと、
　前記膜厚と材料に基づき、前記第１及び第２のＦＢＡＲフィルタを形成するステップとを含んでなる音響共振器アレイの製造方法。」
の点で一致している。
　　　　　
（３）本願発明と引用発明の相違点について
　本願発明は、「第１の薄膜バルク波音響共振器（ＦＢＡＲ）フィルタを動作させる第１の目標実効結合係数とを選択するステップ」、「第２のＦＢＡＲフィルタを動作させる第２の目標実効結合係数とを選択するステップであって、前記第１の目標実効結合係数が前記第２の目標実効結合係数に対し劣化されているものである、ステップ」、「前記第１及び第２の目標実効結合係数とが得られるように前記第１及び第２のＦＢＡＲフィルタを形成するため、圧電層及び電極層の膜厚とを決定するステップであって、前記第１のＦＢＡＲフィルタの少なくとも１つの電極層膜厚が前記第２のＦＢＡＲフィルタに選択された電極層膜厚の１．２倍〜２．８倍の範囲となるよう選択し、これにより前記劣化されている第１の目標実効結合係数を得る、ステップ」を含んでいるのに対し、引用発明はそのようなステップを含んでいない点。
　
　
５．当審の判断 
　本願明細書の段落【００１５】には、「【発明が解決しようとする課題】音響共振器アレイの動作時に非常に急峻なロールオフをもたらす製造方法ならびにその結果得られる送受切換器が必要とされている。」の記載から、本願発明の目的は急峻なロールオフ特性をもつ音響共振器アレイを製造することであると認められる。
　
　そこで、引用発明の製造方法において、引用発明の送信帯域フィルタが急峻なロールオフ特性を備えるようにするために、上記相違点のステップを採用するかについて以下に検討する。
　　
　ＦＢＡＲのような共振器では、圧電層の厚さに比べて電極層などの他の層の厚さを大きくすることで実効結合係数を小さくなるという技術事項は、例えば、上記３．（３）に記載された引用例３の、
「ＦＢＡＲフィルタでは、下地導体の厚みを大きくすると、実効電気機械結合係数が小さくなること。」
の示唆、及び、特開平１０−１２６１６０号公報の、
「【００４５】また、他の共振器と比べて薄い圧電層と厚い膜とを有する共振器は、他の共振器より小さな実効結合係数（effective coupling coefficient）を有するとともに、周波数スペクトル上で他の共振器より互いに近い直列共振周波数および並列共振周波数を有する。」
の記載から周知技術にすぎないものと認められる。
　
　そして、引用例１の図７には、送信信号の高周波側の帯域と受信信号の低周波側の帯域が交差するフィルタの周波数特性が記載され、引用例１の段落【００１２】には送信帯域と受信帯域との分離のため十分に急峻なフィルタ特性を備える必要があることが記載されているので、引用例１には、直列ＦＢＡＲと分路ＦＢＡＲで構成された送信帯域フィルタが、送信帯域の高周波側において急峻なロールオフ特性を備える必要のあることが示唆されているといえる。
　また、ラダー型フィルタの通過帯域幅は電気機械結合係数に依存することは周知技術であり、送信帯域フィルタ及び受信帯域フィルタにおいて通過帯域幅を設定することは明らかであるから、引用発明では送信帯域フィルタ及び受信帯域フィルタの通過帯域幅を設定することで、送信帯域フィルタの電気機械結合係数及び受信帯域フィルタの電気機械結合係数をそれぞれ設定しているともいえる。
　
　してみると、引用発明の送信帯域フィルタが急峻なロールオフ特性を備えるようにするために、電極層などの他の層の厚さを大きくすることで実効結合係数を小さくなるという上記周知技術、及び、「ラダー型フィルタ内の直列共振器の実効結合係数を減少させると高周波側のロールオフ特性が急峻になる。」という引用例２に示唆された事項を適用することで、引用発明の送信帯域フィルタを構成する直列ＦＢＡＲの電極の厚みを大きく設定して実効結合係数を小さくすることは、当業者が容易に想到し得たものといえる。
　
　そして、その際、電極の厚みを受信帯域フィルタを構成する各ＦＢＡＲの電極の厚みに対してどの程度の大きさにするかは、当業者が適宜決定し得たことであり、その大きさの程度を「１．２倍〜２．８倍の範囲」とすることも格別のこととは認められない。
　なお、上記大きさの程度を「１．２倍〜２．８倍の範囲」とすることが、普通では想起し得ないような特殊な範囲であって、そのような範囲とすることにより、引用発明からは当業者が予測し得ないような異質または顕著な効果が得られるといった特段の事情が認められる場合には、上記大きさの程度を「１．２倍〜２．８倍の範囲」とした点に進歩性が認められる余地があるかもしれないが、本願明細書の記載を精査しても、上記大きさの程度を「１．２倍〜２．８倍の範囲」としたことにより当業者が予測し得ないような異質又は顕著な効果が得られるとも認められないから、上記特段の事情があるとはいえない。
　以上のことは、取りも直さず、引用発明において上記大きさの程度を「１．２倍〜２．８倍の範囲」とする点を採用することが、当業者にとって容易であったことを意味する。
　
　よって、引用発明の製造方法において、相違点のステップを採用することは、上記周知技術及び引用例２に示唆された事項を採用することで当業者が容易に想到し得たものである。
　　
（５）本願発明の作用効果について　　　
　本願発明の作用効果も、引用発明、上記周知技術及び引用例２に示唆された事項から当業者が予測できる範囲のものである。　　　　
　　
　　　
６．むすび 
　以上のとおり、本願発明は、当業者が引用発明、上記周知技術及び引用例２に示唆された事項に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。