(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
調整対象空気の温度・湿度を調整する温湿度調整装置において、
冷媒を圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機で圧縮されて送り出される冷媒が、調整対象空気を冷却する冷却器に導入されるように冷凍サイクルを構成する冷却回路と、
調整対象空気を加熱する加熱器と、
調整対象空気に水分を付与するために、水を噴霧するノズルと、
水を前記ノズルへ供給する水量調整バルブと、
前記水量調整バルブの開度に基づいて、前記圧縮機の回転数制御を実行する制御部とを具備することを特徴とする温湿度調整装置。
【請求項２】
前記制御部は、
前記水量調整バルブの開度が、当該装置の仕様としての最大加湿量に対して、予め設定された所定の範囲内となるように、前記圧縮機の回転数を制御することを特徴とする請求項１記載の温湿度調整装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記水量調整バルブの開度が、予め設定された所定の範囲内にあるか否かを判断し、
所定の範囲よりも小さい場合には、前記圧縮機の回転数を増加させる制御を実行し、
所定の範囲よりも大きい場合には、前記圧縮機の回転数を減少させる制御を実行し、
所定の範囲内である場合には、前記圧縮機の回転数をそのまま維持することを特徴とする請求項２記載の温湿度調整装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記水量調整バルブの開度が、予め設定された最大加湿量に対して、７％〜１５％の範囲内となるように、前記圧縮機の回転数を制御することを特徴とする請求項２又は請求項３記載の温湿度調整装置。
【請求項５】
前記加熱器は、前記圧縮機で圧縮されて送り出される冷媒のうち分配器によって前記冷却回路との間で分配した分配分を導入して冷媒から調整対象空気に放熱し、
前記加熱器によって放熱して凝縮した冷媒を、前記冷却回路の冷却器の上流側で前記冷却回路の冷媒と合流させるように冷凍サイクルが構成された加熱回路が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項４のうちのいずれか１項記載の温湿度調整装置。
【請求項６】
前記加熱器は、前記圧縮機で圧縮されて送り出される冷媒のうち分配器によって前記冷却回路との間で分配した分配分を導入して冷媒から調整対象空気に放熱し、
前記加熱器によって放熱して凝縮した冷媒を、蒸発器によって温度上昇させた後に前記圧縮機の上流側で前記冷却回路の冷媒と合流させるように冷凍サイクルが構成された加熱回路が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項４のうちのいずれか１項記載の温湿度調整装置。
【請求項７】
前記加熱器は、電気ヒータであることを特徴とする請求項１〜請求項４のうちのいずれか１項記載の温湿度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は温湿度調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、半導体装置の製造工程等の精密加工分野では、その殆どが温度及び湿度が制御されたクリーンルーム内に設置されている。
しかし、近年、精密加工分野でも、従来よりも更に加工精度の高い精密加工等が要求される工程が出現しつつある。
かかる精度の高い精密加工等が要求される工程では、通常、クリーンルームの温度変化よりも更に小さな温湿度変化の環境であることが要求される。このため、精度の高い精密加工等が要求される工程は、精密な温湿度管理がなされている空間ユニット内に設けられる。
【０００３】
このような空間ユニットの温度及び湿度調整に用いられる温湿度調整装置としては、図４に示すような構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
図４に示す温湿度調整装置では、圧縮機１００によって圧縮された冷媒が２つの二方弁１０１、１０２によって加熱流路と冷却流路に分配される。ここで加熱流路と冷却流路に分配するのは三方弁であってもよい。
加熱流路側には、対象空気の温度を上昇させるための加熱器１０３（冷媒の凝縮器）が設けられている。
【０００４】
一方、冷却流路へ流れた冷媒は、凝縮器１０４に導入され、外部から導入される水などに放熱し、冷却される。冷却した冷媒は、その後膨張弁１０６を通過して断熱膨張して冷却器１０８（冷媒の蒸発器）に導入される。
冷却器１０８では、温度調整対象の空気から吸熱することで調整対象空気を冷却する。冷却された調整対象空気は、継いで加熱器１０３に導入され、所定温度に加熱される。
【０００５】
加熱流路側で温度調整対象の空気を加熱し、放熱して降温した冷媒は、膨張弁１０９及び蒸発器１１０を通過して圧縮機１００に戻される。
また、冷却流路側で温度調整対象の空気を冷却除湿し、昇温した冷媒は、加熱流路側の冷媒と合流して圧縮機１００に戻される。
このように、調整対象の空気をまず冷却器によって冷却、除湿し、その後加熱することにより、所望の温度・露点に調整された空気を得ることができる。
【０００６】
なお、特許文献２には、温湿度調整装置において、調整対象空気に水分を供給するために水を噴霧する二流体ノズルを設けた構成が開示されている（図示せず）。特許文献２では、二流体ノズルを加熱器の入口側若しくは出口側に設けることが好ましく、冷却器の入口側には設けないことが開示されている。
このように二流体ノズルにより水を噴霧するのは、冷却器による除湿のバラツキを調整するためである。すなわち、温湿度の調整終了後の湿度が不足していることが検出されると、調整対象空気に二流体ノズルから水を噴霧し、湿度を調整できる。
【０００７】
また、特許文献１及び特許文献２に開示された装置における圧縮機の制御は、次のように行われる。
加熱流路へ分配される冷媒の分配率が高くなった場合（例えば、加熱流路側への冷媒の分配率が９５％以上となった場合）においては、調整対象空気に対して加熱量不足の状態となる傾向にあるため、圧縮機１００の回転数を上げて冷媒の循環量を増加させる。
そして、加熱流路へ分配される冷媒の分配率が所定量よりも低くなった場合（例えば、加熱流路側への冷媒の分配率が８５％未満の場合）においては、圧縮機１００の回転数を下げて冷媒の循環量を減少させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−２３０１８４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１２７８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した従来の温湿度調整装置においては、湿度の調整に基づいて圧縮機の回転数を制御するということはなく、あくまで冷媒の分配率の状況により圧縮機の回転数を制御していた。
しかし、仕様上比較的露点が高い設定であっても、圧縮機の回転数は一定（露点に基づいた回転数制御をしていない）であり、必要以上に冷却・除湿しているため、噴霧する水の消費量が多くなるとともに、圧縮機の動力にも無駄が多いという課題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、噴霧する水の消費量を削減できるとともに、圧縮機の無駄な動力を抑えることで省エネルギーの実現ができる温湿度調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明にかかる温湿度調整装置によれば、調整対象空気の温度・湿度を調整する温湿度調整装置において、冷媒を圧縮する圧縮機と、前記圧縮機で圧縮されて送り出される冷媒が、調整対象空気を冷却する冷却器に導入されるように冷凍サイクルを構成する冷却回路と、調整対象空気を加熱する加熱器と、調整対象空気に水分を付与するために、水を噴霧するノズルと、水を前記ノズルへ供給する水量調整バルブと、前記水量調整バルブの開度に基づいて、前記圧縮機の回転数制御を実行する制御部とを具備することを特徴としている。
この構成を採用することによって、水の供給量に基づいて圧縮機の回転数を制御できるので、水分供給量を削減することができ、且つ圧縮機の無駄な動力を抑制して省エネルギーの実現に寄与する。
【００１２】
また、前記制御部は、前記水量調整バルブの開度が、予め設定された最大加湿量に対して、予め設定された所定の範囲内となるように、前記圧縮機の回転数を制御することを特徴としてもよい。
【００１３】
また、前記制御部は、前記水量調整バルブの開度が、予め設定された所定の範囲内にあるか否かを判断し、所定の範囲よりも小さい場合には、圧縮機の回転数を増加させる制御を実行し、所定の範囲よりも大きい場合には、圧縮機の回転数を減少させる制御を実行し、所定の範囲内である場合には、圧縮機の回転数をそのまま維持することを特徴としてもよい。
【００１４】
さらに、前記所定の範囲は、前記水量調整バルブの開度が、予め設定された最大加湿量に対して、７％〜１５％の範囲内となるように、前記圧縮機の回転数を制御することを特徴としてもよい。
【００１５】
また、前記加熱器は、前記圧縮機で圧縮されて送り出される冷媒のうち分配器によって前記冷却回路との間で分配した分配分を導入して冷媒から調整対象空気に放熱し、前記加熱器によって放熱して凝縮した冷媒を、前記冷却回路の冷却器の上流側で冷却回路の冷媒と合流させるように冷凍サイクルが構成された加熱回路が設けられていることを特徴としてもよい。
【００１６】
また、前記加熱器は、前記圧縮機で圧縮されて送り出される冷媒のうち分配器によって前記冷却回路との間で分配した分配分を導入して冷媒から調整対象空気に放熱し、前記加熱器によって放熱して凝縮した冷媒を、蒸発器によって温度上昇させた後に前記圧縮機の上流側で冷却回路の冷媒と合流させるように冷凍サイクルが構成された加熱回路が設けられていることを特徴としてもよい。
【００１７】
また、前記加熱器は、電気ヒータであることを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の温湿度調整装置では、噴霧する水の消費量を削減でき、また圧縮機の無駄な動力を抑えることができるので、省エネルギーの実現に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る温湿度調整装置の実施形態を説明する概略図である。
【図２】温湿度調整装置における圧縮機の回転数制御方法を説明するフローチャートである。
【図３】本発明に係る温湿度調整装置の他の実施形態を説明する概略図である。
【図４】従来の温湿度調整装置の構成を説明する概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１の実施形態）
本発明に係る温湿度調整装置の一例を説明する概略図を図１に示す。
図１に示す温湿度調整装置３０は、調整対象となる空気の温度及び湿度を調整し、局所的に調整空気が必要な空間ユニット９に送風ダクト８を介して温湿度を調整した後の調整空気を送風する。
【００２１】
温湿度調整装置３０には、調整対象空気を流通させる流通路３１を有しており、流通路３１内には、調整対象空気を温度調整する冷却器１６、加熱器１４、加湿用に水を噴霧する二流体ノズル４４、流通路３１内で空気を流すためのファン３３とが設けられている。
調整対象空気は、冷却器１６及び加熱器１４を通過することによって所定の温度に調整され、また二流体ノズル４４から水が噴霧され気化することによって、所定の湿度に調整される。
【００２２】
また、ファン３３と送風ダクト８との間にはフィルタ３６（本実施形態ではＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air filter）フィルタ）を設け、除塵された空気流を送風先の外部装置９に送ることができる。フィルタ３６はＨＥＰＡフィルタではなく、ＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air filter）を用いてもよい。
【００２３】
本実施形態の温湿度調整装置３０は、冷媒を圧縮する圧縮機１８と、圧縮機１８から送り出される冷媒を分配する分配器２０と、分配器２０により分配された冷媒が供給され凝縮される凝縮器２６と、膨張弁２５と、調整対象空気を冷却する冷却器（冷媒の蒸発器）１６とを有する冷却回路２４を備えている。
【００２４】
分配器２０で分配されて、冷却回路２４を循環する冷媒は、まず凝縮器２６に導入され、凝縮器２６において外気と熱交換されて冷却される。凝縮器２６で冷却された後、冷媒は膨張弁２５経て冷却器１６に導入される。
冷却器１６では、冷媒は調整対象空気と熱交換して加熱され、その後圧縮機１８に戻る。
【００２５】
また、温湿度調整装置３０は、冷却回路２４と共通して用いられる圧縮機１８と、圧縮機１８から送り出される冷媒を分配する分配器２０と、分配器２０により分配された冷媒が供給される加熱器（冷媒の凝縮器）１４と、膨張弁３４と、蒸発器３２とを有する加熱回路２２を備えている。
加熱回路２２に分配された冷媒は、まず加熱器１４に導入され、調整対象空気と熱交換して冷却される。加熱器１４を出た冷媒は、膨張弁３４を通過し、蒸発器３２に導入される。
【００２６】
蒸発器３２では、膨張弁３４を通過して断熱膨張した冷媒が蒸発熱を奪って加熱される。蒸発器３２を吐出した冷媒は、冷却回路２４の冷却器１６の下流の配管と合流し、圧縮機１８に戻される。
【００２７】
加湿用の二流体ノズル４４は、冷却器１６と加熱器１４との間に配置されており、除湿後の調整対象空気に加湿して所定の湿度となるように調整している。さらに詳しく説明すると、冷却器１６によって調整対象空気は仕様範囲の中で最低の露点となるように除湿される。そして二流体ノズル４４から噴霧される微粒化された水が、気化することによって調整対象空気が加湿される。加湿された調整対象空気は、加熱器１４に導入され所定温度に調整される。
すなわち、冷却器１６における冷却制御により露点を調整し、湿度の精度調整が行われた後、二流体ノズル４４から噴霧される微粒化された水が気化することで所定の湿度へ到達するように制御される。
【００２８】
二流体ノズル４４には、水供給配管３９が接続されている。水供給配管３９は、温湿度調整装置３０の外部から水を取り入れるような構成となっている。水供給配管３９の中途部には、外部から供給された水を貯留する貯留タンク４１と、水供給配管３９を開閉する水量調整バルブ４２と、貯留タンク４１から水を送り出すポンプ３５とが設けられている。本実施形態では、水量調整バルブ４２が特許請求の範囲でいう、供給手段に該当する。
また、二流体ノズル４４には、供給された水を噴霧させるための圧縮空気を供給するための空気供給配管４３が接続されている。空気供給配管４３は、温湿度調整装置３０の外部から圧縮空気を取り入れるような構成となっている。空気供給配管４３の中途部には、空気供給配管４３を開閉する圧縮空気供給バルブ４６が設けられている。
【００２９】
また、本実施形態における、加熱回路２２の蒸発器３２と、冷却回路２４の凝縮器２６は、熱交換用の空気が共通に用いられるように配置されている。ここでは、冷却回路２４の凝縮器２６が熱交換用の空気の上流側に配置され、加熱回路２２の蒸発器３２が凝縮器２６を通過した空気流の下流側に配置されている。
凝縮器２６と蒸発器３２とを順に空気が流通するように、ファン４９が設けられる。
【００３０】
また、本実施形態における分配器２０としては、加熱回路２２側の二方弁２０ａ、及び冷却回路２４側の二方弁２０ｂの２つの二方弁を用いている例を示したが、分配器２０としては１つの三方弁を用いても良い。
加熱回路２２および冷却回路２４を流通する冷媒としては、例えばプロパン、イソブタンやシクロペンタン等の炭化水素、フロン類、アンモニア、炭酸ガスがあげられる。
【００３１】
送風ダクト８の出口側には、調整後の空気の温度及び湿度を検出する温湿度センサ３９が設けられている。
温湿度センサ３９が検出した温度データ及び湿度データは、制御部５０に入力される。
制御部５０は、ＣＰＵ及びメモリを備えており、予めメモリに記憶されているプログラムに基づいてＣＰＵが所定動作を実行し、温湿度調整を制御する。
制御部５０は、温湿度センサ３９から入力された温度データ、及び湿度データに基づいて、分配器２０及び圧縮機１８を制御して、加熱回路２２側に流れる冷媒の量と、冷却回路２４側に流れる冷媒の量を調整する。
【００３２】
なお、本実施形態の温湿度調整装置３０における基本的な露点調整は、調整対象空気の温度調整とあわせて行っている。すなわち、調整前の調整対象空気は、まず冷却器１６に導入されて冷却されるが、この際に調整対象空気は仕様範囲の中で最低の露点となるように冷却除湿される。
【００３３】
その後、調整対象空気は、二流体ノズル４４から水が噴霧され、噴霧された水が気化することで、加湿される。このとき、温湿度センサ３９からの湿度データを受けた制御部５０は、調整対象空気が予め設定された所定湿度に到達するように、二流体ノズル４４から噴霧される水量の調整を行う。
具体的には、湿度データの示す実測湿度が所定湿度に到達するように、水量調整バルブ４２と圧縮空気供給バルブ４６を開け二流体ノズル４４から水を噴霧する。水量調整バルブ４２は、開度が調整されることで二流体ノズル４４からの噴霧水量を調整することができる。したがって、測定した湿度データが所定の湿度に達していないときには、湿度を上昇させるように、水量調整バルブ４２の開度を調整する。
そして、水が噴霧された調整対象空気は加熱器１４に導入され、加熱器１４で所定温度に加湿調整されるとともに、噴霧された水が全て気化する。
【００３４】
次に、図２に基づいて、湿度調整の際の圧縮機の回転数制御について説明する。
図２では、湿度調整の際の圧縮機の回転数制御についてのフローチャートを示している。
まず、ステップＳ１において、制御部５０は湿度精度について判断している。湿度精度の判断とは、ユーザが欲している所定の湿度（予め制御部５０に設定して記憶されている）に対して、ユーザへ供給する調整対象空気の現在の実測湿度がどの程度到達しているかを判断するということである。現在の実測湿度は、制御部５０に入力される温湿度センサ３９の湿度データに基づいて判断される。
【００３５】
ステップＳ１において、湿度制御精度が＋２％以上ということが判断されると、ステップＳ３に移行し、制御部５０は圧縮機１８の回転数を上昇させるように制御する。回転数を上昇させてその回転数を維持する時間は予め設定しておき、制御部５０は、設定された時間が経過した後（ステップＳ５）、再度ステップＳ１に戻る。本実施形態では、回転数を維持する設定時間として３分間を想定している。
【００３６】
ステップＳ１において、湿度制御精度が＋２％未満ということが判断されると、ステップＳ２に移行する。ステップＳ２では、制御部５０は、二流体ノズル４４へ水を供給する水量調整バルブ４２の現在の開度をチェックし、この開度に基づいて続くステップで圧縮機１８の回転数を制御する実行する。
ステップＳ２において、制御部５０が、水量調整バルブ４２の開度が最大供給時の開度の７％未満であると判断した場合、ステップＳ３へ移行する。ステップＳ３では、制御部５０は圧縮機１８の回転数を上昇させるように制御する。回転数を上昇させてその回転数を維持する時間は予め設定しておき、制御部５０は、設定された時間が経過した後（ステップＳ５）、再度ステップＳ１に戻る。本実施形態では、回転数を維持する設定時間として３分間を想定している。
【００３７】
このように、水量調整バルブ４２の開度が小さい場合（水の供給量が少ない場合）は、ユーザの欲している所定の湿度に対して調整対象空気の湿度が十分に上昇しており、冷却器１６による除湿量も小さい状態である。このように冷却器１６による除湿量が小さい状態では、再度多くの除湿が必要になったときに、冷却器１６による除湿能力を上げるまでにある程度の時間がかかるため、湿度精度に対する応答性が悪くなってしまい、精密な湿度調整が難しい。
【００３８】
ステップＳ２において、制御部５０が、水量調整バルブ４２の開度が最大供給時の開度の１５％以上であると判断した場合、ステップＳ４へ移行する。ステップＳ４では、制御部５０は圧縮機１８に制御信号を出力して回転数を減少させるように制御する。回転数を減少させてその回転数を維持する時間は予め設定しておき、制御部５０は、設定された時間が経過した後（ステップＳ６）、再度ステップＳ１に戻る。本実施形態では、回転数を維持する設定時間として３分間を想定している。
【００３９】
このように、水量調整バルブ４２の開度が大きい場合（水の供給量が多い場合）は、予めユーザが設定した目標湿度の水分量に対し、除湿量が多すぎる場合である。
この場合、調整対象空気が、その後十分に加湿され、冷却器１６の除湿能力を下げていれば水量調整バルブ４２の開度を大きくしなくても十分な加湿ができる。そこで、噴霧する水の量を削減しつつ、ユーザが要求する湿度精度を維持するためには、圧縮機１８の回転数を減少させて、調整対象空気に対する除湿量を少なくすることで、ユーザの要求する湿度を精密に調整することができるとともに、噴霧する水の消費量を少なくすることができる。
【００４０】
ステップＳ２において、制御部５０が、水量調整バルブ４２の開度が最大供給時の開度の７％〜１５％であると判断した場合、制御部５０は圧縮機１８の回転数をそのまま維持するようにし、ステップＳ１に戻る。
【００４１】
かかる場合には、制御部５０は、圧縮機１８の回転数の変動に基づく温度ブレに対して分配器２０、冷却回路２４中の膨張弁２５及び加熱回路２２中の膨張弁３４を適宜制御し、回転数の変動に基づく温度ブレを吸収できるようにする。
【００４２】
つまり、制御部５０は、水量調整バルブ４２の開度に基づいて、圧縮機１８の回転数を増加させる、または減少させる場合には、現在の冷媒の分配量に基づいて調整対象空気の温度が上昇するか下降するかが判断できる。そこで、予め調整対象空気の温度が上昇すると予想した場合には、温度が下降する方向に分配器２０、冷却回路２４中の膨張弁２５及び加熱回路２２中の膨張弁３４の制御をフィードフォワード制御で実行し、予め調整対象空気の温度が下降すると予想した場合には、温度が上昇する方向に分配器２０、冷却回路２４中の膨張弁２５及び加熱回路２２中の膨張弁３４の制御をフィードフォワード制御で実行する。
【００４３】
本実施形態では、水量調整バルブ４２の開度の所定範囲としては最大供給時の開度の７％〜１５％としたが、この範囲に限定するものではなく、水量調整バルブ４２の種類及び二流体ノズル４４の種類等に基づいて、様々な値とすることができる。
【００４４】
図３に、温湿度調整装置の他の実施形態について図示する。なお、上述した実施形態と同一の形態については同一の符号を付し、説明を省略する場合もある。
本実施形態では、加熱回路２２の蒸発器３２及び冷却回路２４の凝縮器２６として、水冷式のものを採用している点が上記の実施形態とは異なる。
図３の温湿度調整装置の冷却回路２４の凝縮器２６は、例えば二重管式の水冷凝縮器であって、装置外部から冷却水を供給する冷却水配管４７が接続されている。凝縮器２６を通過して、凝縮器２６内の高温の冷媒と熱交換して高温となった冷却水は、加熱回路２２の蒸発器３２に供給される。
【００４５】
図３の加熱回路２２の蒸発器３２は、プレート式の熱交換器であって、高温の流体と低温の流体が複数層のプレートの間を互い違いに流通することで熱交換する構成となっている。
凝縮器２６から吐出され、高温となっている冷却水は、蒸発器３２内に供給され、加熱器１４を通過して冷却された冷媒と熱交換する。このため、冷却水は、低温となって冷却水配管４７の出口から装置外部に吐出される。
【００４６】
上述してきた各実施形態では、加熱回路２２の加熱終了後の冷媒を冷却回路２４へ合流させずに、冷却器１６とは別の蒸発器を設けて凝縮させた後に圧縮機１８に戻す回路について説明してきた（いわゆるヒートポンプバランス回路）。このような回路によれば、加熱回路２２と冷却回路２４において無駄のない熱移動を実行できる。
しかし、本発明の、二流体バルブからの水の噴霧量に基づいて、圧縮機の回転数を制御する構成は、上述してきた構成に限定するものではなく、例えば、加熱回路２２の加熱器１４において調整対象空気を加熱して凝縮した冷媒を、膨張弁等によって断熱膨張させた後に、冷却回路２４の冷却器１６の上流側で冷却回路２４の冷媒と合流させ、冷却回路２４の冷却器１６において吸熱させてから圧縮機１８に戻す構成であってもよい（いわゆる冷媒レヒート方式）。
さらに、本発明の、二流体バルブからの水の噴霧量に基づいて、圧縮機の回転数を制御する構成を、冷凍サイクル中の加熱器（本実施形態における加熱回路２２の加熱器１４）ではなく、電気ヒータで調整対象空気を加熱する構成（ヒータＰＩＤ制御方式）に採用してもよい。
【００４７】
また、上述した実施形態においては、水量調整バルブ４２の開度によって、圧縮機１８の回転数制御を実行することが、特許請求の範囲でいう供給手段による水の供給量に基づいて、圧縮機の回転数制御を実行することに該当する。
ただし、本発明の、水の供給量の調整としては、水量調整バルブ４２の開度に限られるものではなく、他の構成であってもよい。
【実施例】
【００４８】
以下に、本発明の実施例について、従来の方式と比較して説明する。
調整対象空気の設定温度は２３℃、設定湿度は６０％。空気風量は２０ｍ３／ｍｉｎであるとする。
まず従来の温湿度制御方式であるが、二流体バルブからの水の噴霧量に基づく圧縮機１８の回転数は制御しておらず、湿度制御は、温湿度センサ３９からの実測湿度データによる二流体バルブの噴霧量制御と、制御部５０における冷却器１６の除湿制御のみである。なお、調整対象空気の再熱は図１と同様にヒートポンプバランス制御を実行している。
この場合、圧縮機１８は一定速度で回転し、調整対象空気が仕様上最も低い露点（例として１０℃）となるように予め調整される。この条件での圧縮機の消費電力は、２．４ｋＷである。同様に二流体ノズルから水を噴霧させるために駆動するポンプの消費電力は、０．２ｋＷである。また流通路３１内で調整対象空気を流すためのファン３３の消費電力は、０．４ｋＷである。
したがって、従来の温湿度制御によれば、常用運転時の電力は３．０ｋＷとなる。
また、二流体ノズル４４から噴霧される水量は、３．５ｋｇ／ｈである。
【００４９】
一方、本発明の温湿度制御として図１に示した実施形態を例として説明する。この構成は、二流体ノズルからの水の噴霧量が最大容量の１０％となるように、圧縮機１８の回転制御を行うと、その消費電力は１．６ｋＷである。二流体ノズルから水を噴霧させるために駆動するポンプの消費電力は、０．２ｋＷである。また流通路３１内で調整対象空気を流すためのファン３３の消費電力は、０．４ｋｗである。
したがって、本発明の温湿度制御によれば、常用運転時の電力は２．２ｋｗとなる。
また、二流体ノズル４４から噴霧される水量は、０．６ｋｇ／ｈである。
このように、本発明の温湿度制御によれば、常用運転時の電力は従来の温湿度制御と比較すると最大で約２５％の消費電力の削減が可能となる。そして、加湿水量については最大で約８０％の節水が可能となる。
【符号の説明】
【００５０】
８  送風ダクト
９  空間ユニット
１４  加熱器
１６  冷却器
１８  圧縮機
２０  分配器
２０ａ  二方弁
２０ｂ  二方弁
２２  加熱回路
２４  冷却回路
２５  膨張弁
２６  凝縮器
３０  温湿度調整装置
３１  流通路
３２  蒸発器
３３  ファン
３４  膨張弁
３５  ポンプ
３６  フィルタ
３９  温湿度センサ
３９  水供給配管
４１  貯留タンク
４２  水量調整バルブ
４３  空気供給配管
４４  二流体ノズル
４６  圧縮空気供給バルブ
４７  冷却水配管
４９  ファン
５０  制御部
【図１】
0006047726.tif 000002
【図２】
0006047726.tif 000003
【図３】
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【図４】
0006047726.tif 000005