【事件の表示】
　平成　９年特許願第３１７１４１号「超高スループット・ウェハ真空処理システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　６月　９日出願公開、特開平１０−１５４７３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成９年１１月１８日（パリ条約による優先権主張１９９６年１１月１８日、アメリカ合衆国）の出願であって、平成１９年６月２１日付けで拒絶の理由が通知され、同年１０月２６日に手続補正がなされ、平成２０年７月２３日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年１０月２７日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、同年１１月２６日に明細書についての手続補正（以下「本件補正」という。）がなされ、平成２２年２月１日付けで審尋がされ、指定期間内に応答がなかったものである。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１、４、７、９、１１、１３について補正をするものであって、請求項１について、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前
「（ａ）ロードロック室と、
（ｂ）搬送室と、
（ｃ）前記搬送室に接続された互いに隔離された複数の処理
領域
（ｄ）前記搬送室内に配置された第１ウェハ・ハンドリング部材、を含むウェハ処理装置。」
　
（２）補正後
「（ａ）ロードロック室と、
（ｂ）搬送室と、
（ｃ）前記搬送室に接続された互いに隔離された複数の処理
空間
（ｄ）前記搬送室内に配置された第１ウェハ・ハンドリング部材、を含むウェハ処理装置。」
　
２．補正の適否　　　
　本件補正は、請求項１について、「処理領域」を「処理空間」とするものである。
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定で引用された本件優先日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平７−３２１１７８号公報（以下「刊行物」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．段落０００１
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハに対してスパッタリング処理等の処理を行う処理室を複数有するマルチチャンバ装置の技術に関する。
　
イ．段落００１６〜００２１
「【００１６】図１は本発明の一実施例であるマルチチャンバ装置を示す平面図であり、搬送室１０の回りには、第１処理室１１、第２処理室１２および第３処理室１３の３つの処理室とロードロック室１４とが配置されている。さらに、それぞれの処理室１１〜１３およびロードロック室１４と搬送室１０との間には、ゲートバルブ１５〜１８が設けられ、相互間が開閉自在となっている。
【００１７】・・・。
【００１８】搬送室１０内には、ロードロック室１４内の予備加熱ステージ２２ａ，２２ｂからのウエハを搬送室１０内に搬入した後に、順次、３つの処理室１１〜１３に搬送するために、搬送装置３０が配置されている。
【００１９】・・・。
【００２０】この搬送装置３０は、公転軸３１を中心に旋回台３２を回転させることにより搬送用ハンド３７ａ，３７ｂを３つの処理室１１〜１３およびロードロック室１４のそれぞれに対向させることができる。また、２つの搬送軸３３の少なくともいずれか一方を駆動することにより、搬送用ハンド３７ａ，３７ｂは、駆動アーム３４およひ搬送アーム３５を介して前進後退移動することになる。
【００２１】それぞれの処理室１１〜１３内には、それぞれ２つの処理ステージ４１ａ〜４３ｂが配置されており、それぞれの処理ステージには図示省略した処理電極が設けられている。そして、それぞれの処理室１１〜１３内には、２つの処理ステージ相互間に仕切板４４〜４６が設置され、それぞれの処理室１１〜１３内において同時に２枚のウエハを処理した場合におけるクロスコンタミネーションの防止がなされている。」
　
　これら事項を、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物には以下の発明（以下、「刊行物発明」という。）が記載されていると認める。
　
「（ａ）ロードロック室１４と、
（ｂ）搬送室１０と、
（ｃ）前記搬送室１０の回りに配置された、クロスコンタミネーションを防止するための仕切板４４〜４６で区分された２つの処理ステージ４１ａ〜４３ｂを各々に形成する３つの処理室１１〜１３と、
（ｄ）前記搬送室１０内に配置された搬送装置３０、を含むウエハ処理装置。」
　
（３）対比
　補正発明と刊行物発明とを対比する。
　刊行物発明の「回りに配置された」は補正発明の「接続された」に相当し、同様に、「２つの処理ステージ」は「複数の処理空間」に、「３つの」は「１つ以上の」に、「搬送装置３０」は「第１ウェハ・ハンドリング部材」に、相当する。
　刊行物発明の「クロスコンタミネーションを防止するための仕切板４４〜４６で区分された」と、補正発明の「互いに隔離された」とは、「互いに区分された」である限りにおいて一致する。
　
　したがって、補正発明と刊行物発明とは、次の点で一致している。
「（ａ）ロードロック室と、
（ｂ）搬送室と、
（ｃ）前記搬送室に接続された互いに区分された複数の処理空間を各々に形成する１つ以上の処理室と、
（ｄ）前記搬送室内に配置された第１ウェハ・ハンドリング部材、を含むウェハ処理装置。」
　
　そして、補正発明と刊行物発明とは、以下の点で相違している。
「互いに区分された」が、補正発明では「互いに隔離された」であるが、刊行物発明では「クロスコンタミネーションを防止するための仕切板４４〜４６で区分された」である点。
　
（４）相違点の検討
　相違点について検討する。
　刊行物発明においても、「クロスコンタミネーションを防止するための仕切板４４〜４６で区分」されているところ、クロスコンタミネーション防止をより効果的に実現するためには、両空間を完全に区分することが望ましいことは明らかである。
　よって、刊行物発明における「仕切板による区分」を、両空間を完全に区分するものとすること、すなわち「互いに隔離された」ものとすることは、設計的事項にすぎない。
　
　請求人は、審判請求理由の４．で、「本願請求項１に係るウェハ処理装置によれば、各処理空間内のウェハをそれぞれ異なる条件で処理することが可能である」旨、主張する。
　しかし、この点は、「互いに隔離された」ものとすることにより、当然予想される効果にすぎないから、請求人の主張は採用できない。　
　
　以上のことから、補正発明は、刊行物発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１ないし１４に係る発明は、平成１９年１０月２６日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められる。
　請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２．１．（１）のとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比・検討
　本願発明は、補正発明において限定された「処理空間」を「処理領域」とするものである。
　そうすると、本願発明も、上記第２．２．（４）と同様の理由により、刊行物１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。