【手続補正書】
【提出日】平成23年7月4日(2011.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）１つもしくは複数の置換もしくは非置換環状アルケン、及び
（ｂ）少なくとも１つの式（Ｉ）
【化１】
2011527685.tif 000001
（式中、Ｒ１〜Ｒ４はそれぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ８直鎖アルキル、Ｃ２〜Ｃ８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ８分岐アルキル、Ｃ３〜Ｃ８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ８直鎖アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ８分岐アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ８環状アルコキシ、又は置換もしくは非置換アリールであり、ここで、Ｒ１〜Ｒ４のうちの少なくとも１つはＨでなく、かつ、Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つがｔ−ブチルである場合、残りのＲ１〜Ｒ４のうちの少なくとも１つはＨでない）の化合物を含む酸化防止剤組成物
を含む組成物。
【請求項２】
Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つがメチル、エチル、メトキシ、又はエトキシである、請求項１記載の組成物。
【請求項３】
前記酸化防止剤組成物が４−メチル−１，２−ジヒドロキシベンゼン又は３−メトキシ−１，２−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項１記載の組成物。
【請求項４】
前記酸化防止剤組成物が１ｐｐｍ〜２００ｐｐｍの濃度で存在する、請求項１記載の組成物。
【請求項５】
前記環状アルケンが、一般式ＣｎＨ２ｎ−２ｘ−ｙＲｙ（式中、ｎは４〜１８の整数であり、ｘは整数かつ１≦ｘ≦ｎ／２であり、ｙは整数かつ０≦ｙ≦２ｎ−２ｘであり、各Ｒは独立してＣ１〜Ｃ１８直鎖アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルキル、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である）を有する、請求項１記載の組成物。
【請求項６】
前記環状アルケンが、一般式ＣｎＨ２ｎ−（２ｘ＋２）−ｙＲｙ（式中、ｎは５〜１８の整数であり、ｘは整数かつｘ≦ｎ／２であり、ｙは整数かつ０≦ｙ≦２ｎ−（２ｘ＋２）であり、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルキル、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である）を有する、請求項１記載の組成物。
【請求項７】
前記環状アルケンが、一般式ＣｎＨ２ｎ−（２ｘ＋４）−ｙＲｙ（式中、ｎは７〜１８の整数であり、ｘは整数かつｘ≦ｎ／２であり、ｙは整数かつ０≦ｙ≦２ｎ−（２ｘ＋４）であり、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルキル、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である）を有する、請求項１記載の組成物。
【請求項８】
前記環状アルケンが、ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、３−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−ビニル−２−ノルボルネン、及び５−エチリデン−２−ノルボルネンからなる群から選択される少なくとも１つの化合物である、請求項１記載の組成物。
【請求項９】
膜蒸着チャンバ中の基体を、少なくとも１つの環状アルケン組成物及び少なくとも１つのケイ素含有化合物で処理して、炭素をドープした酸化ケイ素膜を前記基体上に形成する工程を含む方法であって、
前記環状アルケン組成物が、
（ａ）１つもしくは複数の置換もしくは非置換環状アルケン、及び
（ｂ）少なくとも１つの式（Ｉ）
【化２】
2011527685.tif 000002
（式中、Ｒ１〜Ｒ４はそれぞれ独立して、Ｈ、Ｃ１〜Ｃ８直鎖アルキル、Ｃ２〜Ｃ８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ８分岐アルキル、Ｃ３〜Ｃ８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ８直鎖アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ８分岐アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ８環状アルコキシ、又は置換もしくは非置換アリールであり、ここで、Ｒ１〜Ｒ４のうちの少なくとも１つはＨでなく、かつ、Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つがｔ−ブチルである場合、残りのＲ１〜Ｒ４のうちの少なくとも１つはＨでない）の化合物を含む酸化防止剤組成物
を含む方法。
【請求項１０】
前記処理のステップの前に、第１容器中の前記環状アルケン組成物、第２容器中の前記ケイ素含有化合物、前記膜蒸着チャンバを含む膜蒸着手段、前記第１容器及び第２容器を前記膜蒸着手段内の前記膜蒸着チャンバに連結するように構成されたコネクタ、ならびに前記環状アルケン組成物及びケイ素含有化合物を、前記コネクタを通して前記膜蒸着チャンバ中に送るためのキャリアガスの流れを提供する工程をさらに含む、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記酸化防止剤組成物が４−メチル−１，２−ジヒドロキシベンゼン又は３−メトキシ−１，２−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記酸化防止剤組成物が１ｐｐｍ〜２００ｐｐｍの濃度で存在する、請求項９記載の方法。
【請求項１３】
前記環状アルケンが一般式ＣｎＨ２ｎ−２ｘ−ｙＲｙ（式中、ｎは４〜１８の整数であり、ｘは整数かつ１≦ｘ≦ｎ／２であり、ｙは整数かつ０≦ｙ≦２ｎ−２ｘであり、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルキル、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である）を有する、請求項９記載の方法。
【請求項１４】
前記環状アルケンが一般式ＣｎＨ２ｎ−（２ｘ＋２）−ｙＲｙ（式中、ｎは５〜１８の整数であり、ｘは整数かつｘ≦ｎ／２であり、ｙは整数かつ０≦ｙ≦２ｎ−（２ｘ＋２）であり、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルキル、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である）を有する、請求項９記載の方法。
【請求項１５】
前記環状アルケンが一般式ＣｎＨ２ｎ−（２ｘ＋４）−ｙＲｙ（式中、ｎは７〜１８の整数であり、ｘは整数かつｘ≦ｎ／２であり、ｙは整数かつ０≦ｙ≦２ｎ−（２ｘ＋４）であり、各Ｒは独立して、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルキル、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ１８直鎖アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８分岐アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ１８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ１８環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である）を有する、請求項９記載の方法。
【請求項１６】
前記環状アルケンが、ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、３−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−ビニル−２−ノルボルネン、及び５−エチリデン−２−ノルボルネンからなる群から選択される少なくとも１つの化合物である、請求項９記載の方法。
【請求項１７】
（ａ）ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、３−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−ビニル−２−ノルボルネン、及び５−エチリデン−２−ノルボルネンからなる群から選択される環状アルケン、及び
（ｂ）４−メチル−１，２−ジヒドロキシベンゼン又は３−メトキシ−１，２−ジヒドロキシベンゼンを含む酸化防止剤組成物を含む組成物。
【請求項１８】
膜蒸着チャンバ中の基体を少なくとも１つの環状アルケン組成物及び少なくとも１つのケイ素含有化合物で処理して、炭素をドープした酸化ケイ素膜を前記基体上に形成することを含む方法であって、
前記環状アルケン組成物が、
（ａ）ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、３−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−ビニル−２−ノルボルネン、及び５−エチリデン−２−ノルボルネンからなる群から選択される環状アルケン、及び
（ｂ）４−メチル−１，２−ジヒドロキシベンゼン又は３−メトキシ−１，２−ジヒドロキシベンゼンを含む酸化防止剤組成物
を含む方法。
【請求項１９】
環状アルケンを安定化する方法であって、
少なくとも１つの式（Ｉ）
【化３】
2011527685.tif 000003
（式中、Ｒ１〜Ｒ４はそれぞれ独立してＨ、Ｃ１〜Ｃ８直鎖アルキル、Ｃ２〜Ｃ８不飽和アルキル、Ｃ３〜Ｃ８分岐アルキル、Ｃ３〜Ｃ８環状アルキル、Ｃ１〜Ｃ８直鎖アルコキシ、Ｃ２〜Ｃ８不飽和アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ８分岐アルコキシ、Ｃ３〜Ｃ８環状アルコキシ、又は置換もしくは非置換アリールであり、ここで、Ｒ１〜Ｒ４のうちの少なくとも１つはＨでなく、かつ、Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つがｔ−ブチルである場合、残りのＲ１〜Ｒ４のうちの少なくとも１つはＨでない）の化合物を前記環状アルケンに添加する工程を含む方法。
【請求項２０】
請求項９〜１６及び１８のいずれか一項に記載の方法により形成された物品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】環状アルケン誘導体を含む組成物、それを使用する方法、及びその方法により形成された物品