【誤訳訂正書】
【提出日】平成23年3月7日(2011.3.7)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小空洞の壁面に接触するカプラと、
光を前記カプラに導く入射光ファイバと、
前記カプラからの光を出力する出射光ファイバと、
前記出射光ファイバからの光に対応して電子信号を生成するデータ収集／処理部と、
前記データ収集／処理部が生成した電子信号の変化に応じて、開始信号および停止信号を出力するコントローラと、
前記開始信号に基づいて動作を開始し、前記停止信号に基づいて動作を停止する長さ測定器と、
前記長さ測定器の検出値から前記微小空洞の寸法を算出するコンピュータと
を備える、微小空洞測定装置。
【請求項２】
前記入射光ファイバは、１／４円弧の形状を有し、
前記出射光ファイバは、直線の形状を有し、
前記入射光ファイバの一端および前記出射光ファイバの一端は、前記カプラに固定され、前記入射光ファイバの他端および前記出射光ファイバの他端は、互いに同一の平面上にある、請求項１に記載の微小空洞測定装置。
【請求項３】
前記長さ測定装置は、複数の異なる測定範囲に対応してマクロおよびミクロを組み合わせた容量センサである、請求項１または２に記載の微小空洞測定装置。
【請求項４】
前記長さ測定装置は、複数の異なる測定範囲に対応してマクロおよびミクロを組み合わせたインダクタンスセンサである、請求項１または２に記載の微小空洞測定装置。
【請求項５】
レーザ、ビーム用視準器／拡大器、光ファイバ接続レンズ、および固定ブロックを有するレーザ接続部
をさらに備え、
前記レーザ、前記視準器／拡大器、および前記光ファイバ接続レンズは、前記入射光ファイバの一端と同軸であり、
前記入射光ファイバの他端は、前記固定ブロック上に固定され、
前記データ収集／処理部は、レンズおよびＣＣＤカメラを有し、
前記レンズおよび前記ＣＣＤカメラは、前記出射光ファイバの一端と同軸であり、
前記コントローラは、前記ＣＣＤカメラから前記電気信号を受け取ると、前記電気信号の変化に応じて、前記開始信号および前記停止信号を前記長さ測定器へ送り、
前記長さ測定装置は、リフレクタ、λ／４波長スライス、偏光ビームスプリッタ、および二重周波数レーザ干渉計を有し、
前記リフレクタ、前記λ／４波長スライス、前記偏光ビームスプリッタ、および前記二重周波数レーザ干渉計は、互いに同軸であり、
前記二重周波数干渉計は、前記コントローラから前記開始信号を受け取ると前記カプラの位置をｐ１として記録し、前記コントローラから前記停止信号を受け取ると前記カプラの位置をｐ２として記録する、請求項１から４のいずれか一項に記載の微小空洞測定装置。
【請求項６】
前記レーザの光源はＬＥＤである、請求項５に記載の微小空洞測定装置。
【請求項７】
前記データ収集／処理部は、ＰＳＤセンサを有する、請求項１から４のいずれか一項に記載の微小空洞測定装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の微小空洞測定装置を利用した微小空洞測定方法であって、
前記カプラを前記微小空洞に挿入し、測定方向における前記微小空洞の一方の側面に移動させる工程１と、
前記カプラを前記微小空洞の一方の側面に接触しているかどうか確認し、前記カプラが前記微小空洞の一方の側面に接触していない場合、前記工程１から再度開始させる工程２と、
前記カプラが前記微小空洞の一方の側面に接触している場合、前記コントローラが、前記長さ測定装置に対して、前記のカプラ位置をｐ１として記録させるべく信号を送る工程３と、
前記測定方向と逆方向に前記カプラを移動させる工程４と、
前記カプラが、前記逆方向の前記微小空洞の他方の側面に接触しているかどうか確認し、前記カプラが前記微小空洞の他方の側面に接触していない場合、前記工程４から再度開始させる工程５と、
前記カプラが前記微小空洞の他方の側面に接触している場合、前記コントローラが、前記長さ測定装置に対して、前記カプラの位置をｐ２として記録させるべく信号を送る工程６と、
前記微小空洞の寸法を、ｄ０を前記カプラの直径として、式Ｌ＝｜ｐ１−ｐ２｜＋ｄ０を用いて計算する工程７と
を備える、微小空洞測定方法。
【請求項９】
前記微小空洞の寸法の前記測定および前記計算を繰り返して、最大値Δｍａｘ＝｜ｐ１−ｐ２｜を前記微小空洞の直径として取得する工程８
をさらに備える、請求項８に記載の微小空洞測定方法。
【請求項１０】
前記最大値Δｍａｘを、
（１）前記カプラを前記微小空洞の断面に挿入し、前記コントローラが、前記長さ測定装置に対して前記開始信号を送り、前記長さ測定装置の動作を開始させ、前記カプラが前記微小空洞の一方の側面に接触している場合に前記カプラの位置をｐ１として記録させる工程と、
（２）前記コントローラが、前記カプラを前記測定方向において前記微小空洞の反対側の側面に移動させ、前記長さ測定装置に対して前記停止信号を送り、前記長さ測定装置の動作を停止させ、前記カプラが前記反対側の側面に接触している場合に前記カプラの位置をｐ２１として記録させる工程と、
（３）式Δ１＝｜ｐ１−ｐ２１｜を計算する工程と、
（４）前記カプラの挿入方向および前記測定方向に対して垂直な方向において、前記カプラに対して前記微小空洞を移動し、前記カプラを前記微小空洞に接触するように移動し、前記コントローラは、前記長さ測定装置に対して前記停止信号を送り、前記長さ測定装置の動作を停止させ、前記カプラの位置をｐ２２として記録させる工程と、
（５）式Δ２＝｜ｐ１−ｐ２２｜を計算する工程と、
（６）前記測定および前記計算を繰り返す工程と
により取得する、請求項９に記載の微小空洞測定方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
図１から図４Ｃに示すように、測定装置は、レーザ（１）、ビーム用視準器／拡大器（２）、光ファイバ接続レンズ（３）、固定ブロック（４）、入射光ファイバ（５）、カプラ（６）、作業台（７）、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）、二重周波数レーザ干渉計（１１）、コンピュータ（１２）、出射光ファイバ（１３）およびＣＣＤカメラ（１４）から構成される。レーザ接続部は、レーザ（１）、ビーム用視準器／拡大器（２）、光ファイバ接続レンズ（３）および固定ブロック（４）から構成される。レーザ接続部において、レーザ（１）、ビーム用視準器／拡大器（２）、光ファイバ接続レンズ（３）および入射光ファイバ（５）の一端は同軸である。ダブル光ファイバ接続部は、直交アークの形状を持つ入射光ファイバ（５）、カプラ（６）および直線状の形状を持つ出射光ファイバ（１３）から構成され、入射光ファイバの一端および出射光ファイバの一端がカプラ（６）上で固定されている。一方入射光ファイバの他端および出射光ファイバの他端は同一平面内にある。カプラ（６）は、光エネルギー変成器ならびに測定時の照準点として利用され、カプラ（６）の微小空洞内での空間的な位置は光電子装置によって検出でき、信号はデータ収集／処理部によって処理される。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置において、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）は同軸で、リフレクタ（８）および測定対象物は作業台（７）に固定される。二重周波数干渉計（１１）はコンピュータ（１２）に接続される。二重周波数干渉計（１１）は、コントローラから開始信号を受け取ると、プローブの位置をｐ１として記録する。また、二重周波数干渉計（１１）は、コントローラから停止信号を受け取ると、プローブの位置をｐ２として記録する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
リフレクタ（８）とカプラ（６）の間には、測定方向において、相対的な動きは存在しない。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）を介して電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、カプラ（６）の空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、カプラ（６）が微小空洞の壁面と良好に接触すると、長さ測定装置の動作を制御するべくコントローラに開始信号を送る。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成され、長さ測定装置に基づき得られた測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
本発明は以下に示す方法１によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。このダブル光ファイバ接続システムの光源はレーザ（１５）である。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
本発明は以下に示す方法２によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。このダブル光ファイバ接続システムの光源はＬＥＤ（１６）である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
本発明は以下に示す方法３によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。このダブル光ファイバ接続システムの光伝導性装置はＣＣＤカメラ（１７）である。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
本発明は以下に示す方法４によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）を介して電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。このダブル光ファイバ接続システムの光伝導性装置はＣＭＯＳカメラ（１８）である。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
本発明は以下に示す方法５によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。このダブル光ファイバ接続システムの光伝導性装置はＰＳＤセンサ（１９）である。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
本発明は以下に示す方法６によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。長さ測定装置の線形格子は図４Ａに示す通りである。ここで、可動格子（２０）とプローブの間には相対的な動きは存在しない。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
本発明は以下に示す方法７によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。異なる範囲に対応してマクロとミクロの位置を組み合わせた容量センサを図４Ｂに示す。固定ブロック（２２）および極板（２３）が載置された容量センサの可動ブロック、および、固定ブロック（２５）および極板（２４）が載置された容量センサの不動ブロックは共に、広い範囲を測定するための測定ブロック（２６）の上に位置するように設けられている。ここで、可動ブロックおよび不動ブロックの間には相対的な動きが存在する。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
本発明は以下に示す方法８によって実現することができる。
測定装置の構成は図１に示す通りである。レーザ（１）から出てくる光ビームは、ビーム用視準器／拡大器（２）を通過し、光接続レンズ（３）で集束し、入射光ファイバ（５）を通ってカプラ（６）へと入り、出射光ファイバ（１３）を通って出てきた後、ＣＣＤカメラ（１４）によって電子信号へと変換される。この電子信号はコンピュータ（１２）に入力され、プローブの空間的位置を実現するべく処理される。照準器付き送信器は、プローブが微小空洞の壁面と良好に接触すると、コントローラに開始信号を送り、コントローラは長さ測定装置の動作を開始させる。長さ測定装置は、リフレクタ（８）、λ／４波長スライス（９）、偏光ビームスプリッタ（１０）および二重周波数干渉計（１１）から構成される。長さ測定装置の測定結果は直接コンピュータ（１２）に入力され、コンピュータ（１２）で処理される。コントローラは測定プロセスを全体にわたって自動的に制御するプログラムを有する。異なる範囲に対応してマクロとミクロの位置を組み合わせたインダクタンスセンサを図４Ｃに示す。インダクタンスセンサの設置取り付け対象物（２８）およびゲージヘッド（２７）は、固定物（２９）の上に載置される。固定物（２９）は、広い範囲の測定用の測定部（３０）に位置するように設けられる。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
長さ測定装置内に設けられた二重周波数干渉計の代わりに、線形格子、磁気グリッド、容量グリッド、異なる測定範囲に対応してマクロおよびミクロを組み合わせた容量センサ、異なる測定範囲に対応してマクロおよびミクロを組み合わせた誘導センサ、およびこれ以外の長さ測定装置を利用することができる。