【事件の表示】
　特許第５９９８５３５号発明「ターボ分子ポンプ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５９９８５３５号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された特許請求の範囲のとおり，訂正後の請求項１，［２，５］，３，４，６について訂正することを認める。
　特許第５９９８５３５号の請求項２ないし６に係る特許を維持する。
　特許第５９９８５３５号の請求項１に係る特許についての申立てを却下する。
【理　由】
第１．手続の経緯
　特許第５９９８５３５号の請求項１〜６に係る特許についての出願は，平成２４年３月１２日の出願であって，平成２８年９月９日にその特許権の設定登録がされた。これらの請求項１〜６に係る特許について，特許異議申立人　プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハーにより特許異議の申立てがあり，平成２９年８月２日付けで取消理由が通知され，その指定期間内である同年９月２９日付けで特許権者により意見書の提出及び訂正の請求があったものである。
第２．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
 　平成２９年９月２９日付けの訂正請求（以下，「本件訂正請求」という。）による訂正の内容は以下の訂正事項１〜６のとおりである（下線は，訂正箇所を示し，当審で付与した。）。
（１）訂正事項１
 　特許請求の範囲の請求項１を削除する。
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２に「請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて，前記ロータと前記緩衝部材とは，前記ロータの下面と前記緩衝部材の上面との間のギャップ，または前記下部円筒部の外周面と前記緩衝部材の内側側面との間のギャップが，気体分子の前記ロータ軸側への回り込みを抑制する機能を有するように設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」とあるものを，独立形式に改め，
「
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロータに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記ロ−タと前記緩衝部材とは，前記ロ−タの下面と前記緩衝部材の上面との間のギャップ，または前記下部円筒部の外周面と前記緩衝部材の内側側面との間のギャップが，気体分子の前記ロータ軸側への回り込みを抑制する機能を有するように設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」
に訂正する。
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３に，「請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて，前記緩衝部材は前記下部円筒部の外周面に近接する内周面を有する円筒部を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」とあるうち，請求項１を引用するものについて，独立形式に改め，
「
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロ−タに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記緩衝部材は前記下部円筒部の外周面に近接する内周面を有する円筒部を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」
に訂正する。
（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項４に，「請求項１乃至３のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて，前記緩衝部材は，前記ロータ軸の軸方向と平行な前記緩衝部材の円筒部の中間部に，または，前記緩衝部材と前記ベースとの境界部に，他の部分より強度が小さい部分を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」とあるうち，請求項１を引用するものについて，独立形式に改め，
「
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロータに取り付けられたロータ軸と，前記ロ−タ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロ−タ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロ−タ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロ−タに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記緩衝部材は，前記ロータ軸の軸方向と平行な前記緩衝部材の円筒部の中間部に，または，前記緩衝部材と前記ベースとの境界部に，他の部分より強度が小さい部分を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」
に訂正する。
（５）訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項５に，「請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて，前記緩衝部材は，前記ベースに締結される締結部を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」とあるうち，請求項１を引用するものを削除し，引用先を請求項２のみに改め，「請求項
２
に訂正する。
（６）訂正事項６
　特許請求の範囲の請求項６に，「請求項１乃至５のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて，前記緩衝部材は，前記ロータよりも強度が大きい材料により形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」とあるうち，請求項１を引用するものについて，独立形式に改め，
「
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記口−タに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
前記緩衝部材は，前記ロ−タよりも強度が大きい材料により形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」
に訂正する。
２．訂正要件についての判断
（１）訂正事項１
ア．訂正の目的について
　訂正事項１は，請求項１を削除するというものであるから，当該訂正事項１は，特許法第１２０条の５第２項第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　上記ア．の理由から明らかなように，訂正事項１は，請求項１を削除するというものであるから，願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり，特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ．実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　上記ア．に記載したとおり，訂正事項１は，請求項１を削除するというものであるから，実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更するものには該当せず，特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（２）訂正事項２
ア．訂正の目的について
　訂正事項２は，訂正前の請求項２が請求項１を引用する記載であるところ，請求項間の引用関係を解消して，独立形式請求項へ改めるための訂正であって，特許法第１２０条の５第２項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内であること及び実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項２は，何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。
（ウ）訂正事項３
ア．訂正の目的について
　訂正事項３は，訂正前の請求項３が請求項１又は２の記載を引用する記載であるところ，請求項２を引用しないものとした上で，請求項１を引用するものについて請求項間の引用関係を解消して，独立形式請求項へ改めるための訂正であって，「多数項を引用している引用請求項数の減少」に該当するから特許法第１２０条の５第２項第１項に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするとともに，特許法第１２０条の５第２項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内であること及び実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項３は，実質的に多数項を引用している請求項の引用請求項数を減少するものであるから，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。
（４）訂正事項４
ア．訂正の目的について
　訂正事項４は，訂正前の請求項４が請求項１乃至３のいずれか１項の記載を引用する記載であるところ，請求項２または３を引用しないものとした上で，請求項１を引用するものについて請求項間の引用関係を解消して，独立形式請求項へ改めるための訂正であって，「多数項を引用している引用請求項数の減少」に該当するから特許法第１２０条の５第２項第１項に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするとともに，特許法第１２０条の５第２項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内であること及び実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項４は，実質的に多数項を引用している請求項の引用請求項数を減少するものであるから，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。
（５）訂正事項５
ア．訂正の目的について
　訂正事項５は，訂正前の請求項５が請求項１または２を引用する記載であるところ，請求項１を引用しないものとし，請求項２のみを引用する形式へ改めるための訂正であって，「多数項を引用している引用請求項数の減少」に該当するから特許法第１２０条の５第２項第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内であること及び実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項５は，実質的に多数項を引用している請求項の引用請求項数を減少するものであるから，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。
（６）訂正事項６
ア．訂正の目的について
　訂正事項６は，訂正前の請求項６が請求項１乃至５のいずれか１項の記載を引用する記載であるところ，請求項２乃至５を引用しないものとした上で，請求項１を引用するものについて請求項間の引用関係を解消して，独立形式請求項へ改めるための訂正であって，「多数項を引用している引用請求項数の減少」に該当するから特許法第１２０条の５第２項第１項に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするとともに，特許法第１２０条の５第２項第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。
イ．願書に添付した明細書，特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内であること及び実質上特許請求の範囲を拡張し，又は変更する訂正ではないこと
　訂正事項６は，実質的に多数項を引用している請求項の引用請求項数を減少するものであるから，特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。
（７）一群の請求項についての説明
　訂正事項１〜６に係る訂正前の請求項１〜６について，請求項２〜６は請求項１を引用しているものであって，訂正事項１によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。したがって，訂正前の請求項１〜６に対応する訂正後の請求項１〜６は，特許法１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。
３．むすび
　以上のとおりであるから，本件訂正請求による訂正は，特許法第１２０条の５第２項第１号及び第４号に掲げる事項を目的とするものであり，かつ，同条第４項，及び，同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項の規定に適合するので，訂正後の請求項１，〔２，５〕，３，４，６について訂正を認める。
 第３．特許異議の申立てについて
１．本件特許発明
　本件訂正請求により訂正された訂正請求項１ないし６に係る発明（以下，「本件特許発明１」ないし「本件特許発明６」という。）は，その特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
　　　　　　　　（削除）　　　　　　　　　」 
「【請求項２】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロータに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記ロ−タと前記緩衝部材とは，前記ロ−タの下面と前記緩衝部材の上面との間のギャップ，または前記下部円筒部の外周面と前記緩衝部材の内側側面との間のギャップが，気体分子の前記ロータ軸側への回り込みを抑制する機能を有するように設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」
「【請求項３】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロ−タに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記緩衝部材は前記下部円筒部の外周面に近接する内周面を有する円筒部を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」
「【請求項４】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロータに取り付けられたロータ軸と，前記ロ−タ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロ−タ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロ−タ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロ−タに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記緩衝部材は，前記ロータ軸の軸方向と平行な前記緩衝部材の円筒部の中間部に，または，前記緩衝部材と前記ベースとの境界部に，他の部分より強度が小さい部分を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」
「【請求項５】
　請求項
２
「【請求項６】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記口−タに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され，
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，または前記ベースと一体的に設け，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
　前記緩衝部材は，前記ロ−タよりも強度が大きい材料により形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」
２．取消理由の概要
　訂正前の請求項１，５に係る特許に対して平成２９年８月２日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は，次のとおりである。
ア．訂正前の請求項１に係る発明は，出願前に日本国内又は外国において公然知られた発明又は公然実施をされた発明であるから，特許法第２９条第１項の規定により特許を受けることができない。
イ．訂正前の請求項１，５に係る発明は，出願前に日本国内又は外国において公然知られた発明又は公然実施をされた発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．甲号証の記載
ア．甲第３号証〜甲第１３号証（公然知られた発明（又は，公然実施された発明）として特許異議申立人が示した証拠）
（１）甲第３号証（甲第３−１号証）：ターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）の図面
（２）甲第４号証（甲第４−１号証）：ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ２４００ＭＣ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）の部品表
（３）甲第５号証 （甲第５−１号証）：ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ２４００ＭＣ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１４）の部品表
（４）甲第６号証（甲第６−１号証）：冷却ステータＶＶ３（品番ＰＭ　０９３　７２７Ｂ）の図面
（５）甲第７号証：ターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）の納品書・請求書
（６）甲第８号証：ターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１４）の納品書・請求書
（７）甲第９号証：宣誓供述書
（８）甲第１０号証：ターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１４）の納品書
（９）甲第１１号証：ターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１４）の請求書
（１０）甲第１２号証：ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ２４００ＭＣ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１４）の返送書
（１１）甲第１３号証：Ｐｉｎｋ社によるターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）の受領確認書
イ．甲第１号証，甲第２号証
（１２）甲第１号証：ドイツ連邦共和国特許出願公開第３０３２９６７号明細書
（１３）甲第２号証：特開２００３−１５５９９６号公報
　以上の証拠方法を参照すると，ターボ分子ポンプＨｉＭａｇ２４００とターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ２４００ＭＣという商品名が混在するが，品番が同じであれば同一製品であるものと整理した。
　甲第３号証（甲第３−１号証）及び甲第４号証（甲第４−１号証）によると，ターボ分子ポンプ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）は，以下の構成を有している。
（ａ）当該ターボ分子ポンプ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）は，上下方向に複数段設けられたロータ翼を有するローター５を有し，ローター５に取り付けられたローター軸を有する。Ｓ−Ｄ−リング１０５，１１０，１１５，１２０，１２５，１３０によって保持されたステーター翼７５，８０，８５，９０，９５，１００は，ローター翼間に配置されている。これら，ローター５，ローター軸，ステーター翼はハウジング１５内に収納されている。
（ｂ）ターボ分子ポンプ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）は，ハウジング１５のローター５の上部側に設けられたインレット，ハウジングに固定された下部部品１０のアウトレット（このアウトレットは，符号１９０を付されたフランジ等を有している）を有する。
　ターボ分子ポンプ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）がインレットからアウトレットへと気体分子を移送するのは明らかである。
（ｃ）複数のローター翼の最下段のローター翼からは下方側に突出部が形成されている。当該突出部は略円筒形に形成されている。
（ｄ）冷却ステータＶＶ３（符号７０，品番ＰＭ　０９３　７２７　Ｂ）が上記突出部の外周側に対向して設けられている。
　冷却ステータ７０はステータ部材であるから，固定された部材に連結されていることは明らかであり，冷却ステータ７０の周囲には下部部品１０のみしかないから，冷却ステータ７０は下部部品１０に連結されていること，及び，冷却ステータ７０は下部部品１０に連結されるから，何らかの連結部を有していることが理解できる。
　ここで，甲第６号証（甲第６−１号証）を参照すると，当該冷却ステータ７０は，その内側に，傾斜して設けられた周回する表面を有する。そして，この表面は，組み込まれた状態で最下段のローター翼から下方側に突出した突出部と向き合っている。図面ＰＭ　０９３　７２７　Ｂにおいて断面図Ａ−Ａの領域に見て取ることができるように，当該部分は，７０度の角度を有する。そして，冷却ステータ７０は，ローター翼の突出部の外周側の空間に設けられている。
　そして，ローター翼が破壊された際には，ローター翼の破片が当該冷却ステータ７０に衝突することは明らかである。
（ｅ）ローター翼が破壊された際，当該冷却ステータ７０に衝突しない破片は，ステーター翼→Ｓ−Ｄ−リング→ハウジングの第１経路で衝撃を伝える。他方，当該冷却ステータ７０に衝突する破片の衝撃は，冷却ステーター７０→下部部品１０→ハウジング１５の経路（第２経路）で伝達される。
　両経路において衝撃が伝達されるタイミングがずれることは明らかである。
（ｇ）甲第３号証（甲第３−１号証）の領域Ｒ２４の部分を参照すると，類似のポンプとして，ＰＭ　Ｐ０３　７１４，ＰＭ　Ｐ０３　７１７という記載がある。
（ｉ）甲第３号証（甲第３−１号証）抄訳の＃４の部分を参照すると，「日付０４−０６−１５」と記載されている。
（ｊ）したがって，甲第３号証（甲第３−１号証）及び甲第４号証（甲第４−１号証）に記載のターボ分子ポンプ（品番ＰＭ　Ｐ０３　７１１）は，以下の構成を有しているといえる。
「ａ．上下方向に複数段に設けられたローター翼を有するローター５と，ローターに取り付けられたローター軸と，ローター翼間に配置され，Ｒ−Ｄ−リングによって保持されたステーター翼とが，ハウジング１５内に収納され，
ｂ．ハウジング１５のローター５側の上部側に設けられたインレットから，ハウジング１５に固定された下部部品材１０のアウトレットに気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
ｃ .複数のローター翼の最下段のローター翼から下方側に突出された略円筒形の突出部をローター５に設け，
ｄ．略円筒形の突出部の外周側の空間において，ローター翼が破壊された際にローター翼の破片が衝突する冷却ステータ７０を下部部品１０に連結し，
ｅ．冷却ステータ７０に衝突しない破片の衝撃がハウジング１５に伝達されるタイミングと，冷却ステータ７０に衝突する破片の衝撃がハウジング１５に伝達されるタイミングとをずらすように構成し，
ｆ．冷却ステータ７０は，下部部品１０に連結される連結部を有するターボ分子ポンプ。」
４．当審の判断
（１）取消理由通知に記載した取消理由について
ア．特許法第２９条第１項第１号，第２号，及び，特許法第２９条第２項について
（ア）本件特許発明１について
　本件特許発明１は訂正により削除された。
（イ）本件特許発明５について
　本件特許発明５と甲第３号証（甲第３−１号証）及び甲第４号証（甲第４−１号証）に記載のターボ分子ポンプを対比すると，ターボ分子ポンプの「ローター翼」は本件特許発明５の「ロータ翼」に相当し，以下同様に，「ローター」は「ロータ」に，「ローター軸」は「ロータ軸」に，「Ｒ−Ｄ−リング」は「スペーサ」に，「ステーター翼」は「ステータ翼」に，「ハウジング１５」は「ケーシング部材」に，「インレット」は「吸気口」に，「アウトレット」は「排気口」に，「下部部品１０」は「ベース」に，「略円筒形の突出部」は「下部円筒部」に，「冷却ステータ７０」は「緩衝部材」にそれぞれ相当する。
　そうすると，両者は，
「上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと，前記ロータに取り付けられたロータ軸と，前記ロータ翼間に配置され，スペーサによって保持されたステータ翼とが，ケーシング部材内に収納され，
　前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から，前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて，
　前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け，前記下部円筒部の外周側の空間において，前記ロータ翼が破壊された際にロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成した，ターボ分子ポンプ。」
の点で一致し，以下の点で相違する。
＜相違点１＞
　本件特許発明５では，「前記ロ−タと前記緩衝部材とは，前記ロ−タの下面と前記緩衝部材の上面との間のギャップ，または前記下部円筒部の外周面と前記緩衝部材の内側側面との間のギャップが，気体分子の前記ロータ軸側への回り込みを抑制する機能を有するように設けられている」のに対して，甲第３号証（甲第３−１号証）及び甲第４号証（甲第４−１号証）に記載のターボ分子ポンプではそのような特定はなされていない点。
＜相違点２＞
  本件特許発明５は，「前記緩衝部材は，前記ベースに締結される締結部を有する」のに対して，甲第３号証（甲第３−１号証）及び甲第４号証（甲第４−１号証）に記載のターボ分子ポンプは，「前記緩衝部材は，前記ベースに連結される連結部を有する」ものの，それ以上の特定はなされていない点。
　そして，上記相違点１における本件特許発明５の構成は，特許異議申立人が公然知られた（又は，公然実施された）発明として主張する証拠（甲第３号証〜甲第１３号証）のいずれにも記載されていない。
　そうすると，引用発明において上記相違点２における本件特許発明５の構成を採用することが，仮に当業者が適宜なし得る程度の設計的事項であるとしても，本件特許発明５は，公然知られた発明（又は，公然実施された発明）ではなく，出願当時の技術常識を考慮してもそれらの証拠からみて自明な事項でもないから，それらの証拠から当業者が容易に想到し得たものではない。
（２）取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について
ア．特許法第２９条第１項第３号，及び，特許法第２９条第２項について
（ア）本件特許発明２〜６について
　甲第１号証（ドイツ連邦共和国特許出願公開第３０３２９６７号明細書）及び甲第２号証（特開２００３−１５５９９６号公報）のいずれにも，本件特許発明２〜６の「前記ロータ翼が破壊された際にロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成した」こと（以下，「構成１」という。）は，開示されていない。
　本件特許発明２〜６は，緩衝部材をベースに連結して，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃がベースを介して前記ケーシング部材に伝達されることにより，前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすものであるが，甲第１号証の「部分２２」（本件特許発明２〜６の「緩衝部材」に相当。）は，斜線が付されたケーシング部材と一体になっているため，「前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと，前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成」するという技術思想を開示するものではない。
　したがって，本件特許発明２〜６は，甲第１号証に記載された発明ではなく，また，上記構成１は，出願当時の技術常識を考慮しても甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明からみて自明な事項でもないから，本件特許発明２〜６は，甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえない。
 第４．結び
 　以上のとおりであるから，取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した異議申立ての理由によっては，本件請求項２ないし６に係る特許を取り消すことはできない。
　また，他に本件請求項２ないし６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　そして，請求項１に係る特許は，訂正により削除されたため，本件特許の請求項１に対して，特許異議申立人　プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハーがした特許異議申立てについては，対象となる請求項が存在しない。
　よって，結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２９年１０月２０日（２０１７．１０．２０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　（削除）
　【請求項２】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと、前記ロータに取り付けられたロータ軸と、前記ロータ翼間に配置され、スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され、
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から、前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて、
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け、前記下部円筒部の外周側の空間において、前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し、または前記ベースと一体的に設け、前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと、前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し、
　前記ロータと前記緩衝部材とは、前記ロータの下面と前記緩衝部材の上面との間のギャップ、または前記下部円筒部の外周面と前記緩衝部材の内側側面との間のギャップが、気体分子の前記ロータ軸側への回り込みを抑制する機能を有するように設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
　【請求項３】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと、前記ロータに取り付けられたロータ軸と、前記ロータ翼間に配置され、スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され、
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から、前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて、
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け、前記下部円筒部の外周側の空間において、前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し、または前記ベースと一体的に設け、前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと、前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し、
　前記緩衝部材は前記下部円筒部の外周面に近接する内周面を有する円筒部を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。
　【請求項４】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと、前記ロータに取り付けられたロータ軸と、前記ロータ翼間に配置され、スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され、
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から、前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて、
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け、前記下部円筒部の外周側の空間において、前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し、または前記ベースと一体的に設け、前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと、前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し、
　前記緩衝部材は、前記ロータ軸の軸方向と平行な前記緩衝部材の円筒部の中間部に、または、前記緩衝部材と前記ベースとの境界部に、他の部分より強度が小さい部分を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。
　【請求項５】
　請求項
２
　【請求項６】
　
上下方向に複数段に設けられたロータ翼を有するロータと、前記ロータに取り付けられたロータ軸と、前記ロータ翼間に配置され、スペーサによって保持されたステータ翼とがケーシング部材内に収納され、
　
前記ケーシング部材の前記ロータ側の上部側に設けられた吸気口から、前記ケーシング部材に固定されたベースの排気口に気体分子を移送するターボ分子ポンプにおいて、
　
前記複数のロータ翼の最下段のロータ翼から下方側に突出された下部円筒部を前記ロータに設け、前記下部円筒部の外周側の空間において、前記ロータ翼が破壊された際に前記ロータ翼の破片が衝突する緩衝部材を前記ベースに連結し、または前記ベースと一体的に設け、前記緩衝部材に衝突しない破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングと、前記緩衝部材に衝突する破片の衝撃が前記ケーシング部材に伝達されるタイミングとをずらすように構成し、
　前記緩衝部材は、前記ロータよりも強度が大きい材料により形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。