【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年12月9日(2010.12.9)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パージガス源、
水源、
パージガスに水分を加えるように構成された加湿器を備えるパージガス混合物発生器であって、前記加湿器はパージガス流を含む第１の領域と水を含む第２の領域とを備え、前記第１と第２の領域は液体の侵入に実質的に抵抗性のあるガス透過性膜によって分離されており、前記膜は中空繊維を形成し、第１および第２の領域の一方は前記繊維内にあり、前記第１および第２の領域の他方は前記繊維の外側にあり、前記パージガス発生器は前記加湿器の前記第１の領域を介して前記パージガス流の流量を制御するための質量流量制御器と前記加湿器の前記第２の領域を介して水の流れを制御するための圧力調節器とをさらに備えることにより水分が前記パージガスに加えられて加湿されたパージガス混合物を作るように前記パージガスに水分を加えるように構成されている前記パージガス発生器、および
前記パージガス混合物発生器に接続されて前記加湿されたパージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給するパージガス混合物出口
を備えるパージガス混合物供給システム。
【請求項２】
膜が熱可塑性ポリマーからなる請求項１に記載の供給システム。
【請求項３】
膜が過フッ化ポリマーからなる請求項１に記載の供給システム。
【請求項４】
過フッ化ポリマーがポリテトラフルオロエチレンである請求項３に記載の供給システム。
【請求項５】
加湿器が、
（ａ）第１の端部と第２の端部を有する複数のガス透過性中空繊維膜からなる束を含み、前記膜が外部表面および内部表面を有し、前記内部表面が第１および第２の領域の一方を含み、
（ｂ）前記束の各端部が液体封止シールで融着（ｐｏｔｔｉｎｇ）されて、前記繊維端部が流体の流れに開放された、周囲の筐体を有する端部構造を形成し、
（ｃ）前記筐体は内壁および外壁を有し、前記内壁が前記内壁と前記中空繊維膜の間の第１の領域および第２の領域の他方を画定し、
（ｄ）前記筐体はパージガス源に接続されたパージガス入口とパージガス混合物出口とを有し、
（ｅ）前記筐体は水源に接続された水入口と水出口とを有し、パージガス入口は束の第１の端部に接続されパージガス混合物出口が束の第２の端部に接続される、または、水入口は束の第１の端部に接続され水出口が束の第２の端部に接続され、
前記パージガス混合物は少なくとも１種のパージガスと水分を含む請求項１に記載の供給システム。
【請求項６】
パージガス源、
水源、および
パージガスに水分を加えるように構成された加湿器を備えるパージガス混合物発生器とを備え、前記加湿器は、
（ａ）、第１の端部と第２の端部を有する複数の過フッ化ガス透過性熱可塑性中空繊維膜からなる束を含み、前記膜が外部表面および内部表面を有し、前記内部表面が管孔を含み、
（ｂ）前記束の各端部が液体封止過フッ化熱可塑性シールで融着されて、前記繊維端部が流体の流れに開放された、周囲の過フッ化熱可塑性筐体を有する一体化された端部構造を形成し、
（ｃ）前記筐体は内壁および外壁を有し、前記内壁が内壁と中空繊維膜の間の流体の流れの容積を画定し、
（ｄ）前記筐体はパージガス源に接続されたパージガス入口とパージガス混合物出口とを有し、
（ｅ）前記筐体は水源に接続された水入口と水出口とを有し、パージガス入口は束の第１の端部に接続されパージガス混合物出口が束の第２の端部に接続される、または、水入口は束の第１の端部に接続され水出口が束の第２の端部に接続され、
前記パージガス混合物が少なくとも１種のパージガスと水分を含み、
前記パージガス発生器は前記加湿器を介して前記パージガス流の流量を制御するための質量流量制御器と前記加湿器を介して水の流れを制御するための圧力調節器とをさらに備えることにより水分が前記パージガスに加えられて加湿されたパージガス混合物を作るように前記パージガスに水分を加えるように構成されており、
パージガス混合物出口が前記パージガス混合物発生器に接続されて前記加湿されたパージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給する、パージガス供給システム。
【請求項７】
水のための加熱装置をさらに備える請求項６に記載の供給システム。
【請求項８】
パージガス源が精製装置を備える請求項６に記載の供給システム。
【請求項９】
精製装置が再生可能である請求項８に記載の供給システム。
【請求項１０】
パージガス源が２個の精製装置を備え、前記複数の精製装置が並列に接続される請求項９に記載の供給システム。
【請求項１１】
中空繊維膜が、
（ａ）多孔質皮覆内部表面、および多孔質外部表面と中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、
（ｂ）非多孔質皮覆内部表面、および多孔質外部表面と中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、
（ｃ）多孔質皮覆外部表面、および多孔質内部表面と中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、
（ｄ）非多孔質皮覆外部表面、および多孔質内部表面と中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜からなる群から選択される請求項６に記載の供給システム。
【請求項１２】
中空繊維膜の外径が３５０ミクロン〜１４５０ミクロンである請求項１１に記載の供給システム。
【請求項１３】
中空繊維膜が、多孔質皮覆内部表面、多孔質外部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、または、多孔質皮覆外部表面、多孔質内部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜であり、前記多孔質皮覆表面の孔が直径０．００１ミクロン〜０．００５ミクロンである請求項１１に記載の供給システム。
【請求項１４】
束の第１の端部および第２の端部が、液体封止過フッ化熱可塑性シールで融着され、周囲の過フッ化熱可塑性筐体と第１の端部および第２の端部の両方を備える単一の一体化された端部構造を形成し、前記端部の繊維が個別に流体の流れに開放されている請求項６に記載の供給システム。
【請求項１５】
少なくとも毎分３０標準リットルのパージガス流量および少なくとも９０℃の温度で運転可能である請求項６に記載の供給システム。
【請求項１６】
パージガス混合物発生器が、１００℃以下の温度で揮発する化合物を実質的に除去するのに十分な温度で十分な時間加熱される請求項６に記載の供給システム。
【請求項１７】
パージガスを加湿するのに十分な時間パージガスを加湿器に通すことであって、加湿器はパージガス流を含む第１の領域と水を含む第２の領域とを備え、第１の領域および第２の領域は実質的に液体の侵入に抵抗性のあるガス透過性膜によって分離されており、前記膜は中空繊維を形成し、第１の領域および第２の領域の一方は繊維内にあり、第１の領域および第２の領域の他方は繊維の外側にある、前記パージガスを加湿器に通すこと、
水分を前記パージガスに加えて加湿されたパージガス混合物を作るように、前記加湿器の第１の領域を介して質量流量制御器で前記パージガス流の流量を制御し、前記加湿器の第２の領域を介して圧力調節器で水の流れを制御すること、および
前記加湿されたパージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給すること
を含むパージガスの加湿方法。
【請求項１８】
膜が熱可塑性ポリマーからなる請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
膜が過フッ化ポリマーからなる請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
過フッ化ポリマーがポリテトラフルオロエチレンである請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
加湿器が、
（ａ）第１の端部と第２の端部を有する複数のガス透過性中空繊維膜からなる束を含み、前記膜が外部表面および内部表面を有し、前記内部表面が第１および第２の領域の一方を含み、
（ｂ）前記束の各端部が液体封止シールで融着されて、前記繊維端部が流体の流れに開放された、周囲の筐体を有する端部構造を形成し、
（ｃ）前記筐体は内壁および外壁を有し、前記内壁が前記内壁と前記中空繊維膜の間の第１の領域および第２の領域の他方を画定し、
（ｄ）前記筐体はパージガス源に接続されたパージガス入口とパージガス混合物出口とを有し、
（ｅ）前記筐体は水源に接続された水入口と水出口とを有し、パージガス入口は束の第１の端部に接続されパージガス混合物出口が束の第２の端部に接続される、または、水入口は束の第１の端部に接続され水出口が束の第２の端部に接続される、請求項１７に記載の方法。
【請求項２２】
パージガスを加湿するのに十分な時間パージガスを加湿器に通すことを含み、前記加湿器が、
（ａ）第１の端部と第２の端部を有する複数の過フッ化ガス透過性熱可塑性中空繊維膜からなる束を含み、前記膜が外部表面および内部表面を有し、前記内部表面が管孔を含み、
（ｂ）前記束の各端部が液体封止過フッ化熱可塑性シールで融着されて、前記繊維端部が流体の流れに開放された、周囲の過フッ化熱可塑性筐体を有する一体化された端部構造を形成し、
（ｃ）前記筐体は内壁および外壁を有し、前記内壁が内壁と中空繊維膜の間の流体の流れの容積を画定し、
（ｄ）前記筐体はパージガス源に接続されたパージガス入口とパージガス混合物出口とを有し、
（ｅ）前記筐体は水源に接続された水入口と水出口とを有し、パージガス入口は束の第１の端部に接続されパージガス出口が束の第２の端部に接続される、または、水入口は束の第１の端部に接続され水出口が束の第２の端部に接続され、
それによって加湿されたパージガスを得、
水分を前記パージガスに加えるように、前記加湿器を介して質量流量制御器で前記パージガス流の流量を制御し、前記加湿器を介して圧力調節器で水の流れを制御し、
加湿されたパージガスを前記パージガス出口を介してリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給する、パージガスの加湿方法。
【請求項２３】
水が加湿器の中でまたは流入する前に加熱される請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
パージガス源が精製装置を備える請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】
精製装置が再生可能である請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
パージガス源が第１および第２精製装置を備え、前記複数の精製装置が並列に接続される請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
パージガスが第１または第２精製装置のいずれかで精製され、他の精製装置が再生される請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
中空繊維膜が、
（ａ）多孔質皮覆内部表面、多孔質外部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、
（ｂ）非多孔質皮覆内部表面、多孔質外部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、
（ｃ）多孔質皮覆外部表面、多孔質内部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、
（ｄ）非多孔質皮覆外部表面、多孔質内部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜からなる群から選択される請求項２２に記載の方法。
【請求項２９】
中空繊維膜の外径が３５０ミクロン〜１４５０ミクロンである請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
中空繊維膜が、多孔質皮覆内部表面、多孔質外部表面、および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜、または、多孔質皮覆外部表面、多孔質内部表面および中間の多孔質支持構造を有する中空繊維膜であり、前記多孔質皮覆表面の孔が直径０．００１ミクロン〜０．００５ミクロンである請求項２８に記載の方法。
【請求項３１】
束の第１の端部および第２の端部が、液体封止過フッ化熱可塑性シールで融着され、周囲の過フッ化熱可塑性筐体を有する第１の端部および第２の端部の両方を備える単一の一体化された端部構造を形成し、前記端部の繊維が個別に流体の流れに開放されている請求項２２に記載の方法。
【請求項３２】
水の温度が少なくとも３０℃である請求項２２に記載の方法。
【請求項３３】
水の温度が少なくとも５０℃である請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
パージガスの流量が少なくとも毎分２０標準リットルである請求項２２に記載の方法。
【請求項３５】
パージガスの流量が少なくとも毎分６０標準リットルである請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
加湿されたパージガスの相対湿度が少なくとも２０％である請求項２２に記載の方法。
【請求項３７】
加湿されたパージガスの相対湿度が少なくとも５０％である請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
加湿されたパージガスが水分で実質的に飽和されている請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
加湿器に流入するパージガスが、１０億分の１部（ｐｐｂ）以下の汚染物を含み、加湿器を流出する加湿されたパージガスが１ｐｐｂ以下の汚染物を含む請求項２２に記載の方法。
【請求項４０】
加湿器に流入するパージガスが、１兆分の１００部（ｐｐｔ）以下の汚染物を含み、加湿器を流出する加湿されたパージガスが１００ｐｐｔ以下の汚染物を含む請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
加湿器に流入するパージガスが、１ｐｐｔ以下の汚染物を含み、加湿器を流出する加湿されたパージガスが１ｐｐｔ以下の汚染物を含む請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
放射線の投影ビームを提供するように構成された照明器と、
所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように構成されたパターン形成装置を支持するように構成された支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムと、
リソグラフ投影装置の少なくとも一部にパージガスを提供するように構成された少なくとも１個のパージガス供給システムとを備え、前記少なくとも１個のパージガス供給システムは、
パージガス流を含む第１の領域と水を含む第２の領域を備え、第１および第２の領域が液体の侵入に対して実質的に抵抗性のあるガス透過性膜によって分離されており、少なくとも１種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生するように構成され、パージガスに水分を加えるように構成された加湿器を備えるパージガス混合物発生器と、
パージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給するように構成されたパージガス混合物発生器に接続されたパージガス混合物出口とを備える、リソグラフ投影装置。
【請求項４３】
放射線の投影ビームを提供するように構成された照明器と、
所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように構成されたパターン形成装置を支持するように構成された支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムと、
リソグラフ投影装置の少なくとも一部にパージガスを提供するように構成された少なくとも１個のパージガス供給システムとを備え、前記少なくとも１個のパージガス供給システムは、
（ａ）第１の端部と第２の端部を有する複数の過フッ化熱可塑性中空繊維膜からなる束を含み、前記膜が外部表面および内部表面を有し、前記内部表面が管孔を含み、
（ｂ）前記束の各端部が液体封止過フッ化熱可塑性シールで融着されて、前記繊維端部が流体の流れに開放された、周囲の過フッ化熱可塑性筐体を有する一体化された端部構造を形成し、
（ｃ）前記筐体は内壁および外壁を有し、前記内壁が内壁と中空繊維膜の間の流体の流れの容積を画定し、
（ｄ）前記筐体はパージガス源に接続されたパージガス入口とパージガス混合物出口とを有し、
（ｅ）前記筐体は水源に接続された水入口と水出口とを有し、パージガス入口は束の第１の端部に接続されパージガス混合物出口が束の第２の端部に接続される、または、水入口は束の第１の端部に接続され水出口が束の第２の端部に接続されたパージガスに水分を加えるように構成された加湿器を備え、
少なくとも１種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生するように構成されたパージガス混合物発生器と、
パージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給するように構成されたパージガス混合物発生器に接続されたパージガス混合物出口とを備える、リソグラフ投影装置。
【請求項４４】
放射線の投影ビームを提供するように構成された照明器と、
所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように構成されたパターン形成装置を支持するように構成された支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムとを備える、リソグラフ投影装置の少なくとも一部にパージガスを供給する方法であって、
加湿器でパージガスに水分を加えることによって少なくとも１種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生し、前記加湿器はパージガス流を含む第１の領域と水を含む第２の領域とを備え、第１および第２の領域が液体の侵入に対して実質的に抵抗性のあるガス透過性膜によって分離されており、および
パージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給することとを含む、前記方法。
【請求項４５】
放射線の投影ビームを提供するように構成された照明器と、
所望のパターンに従って投影ビームをパターン形成するように構成されたパターン形成装置を支持するように構成された支持構造と、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムとを備える、リソグラフ投影装置の少なくとも一部にパージガスを供給する方法であって、
加湿器でパージガスに水分を加えることによって少なくとも１種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生し、前記加湿器は、
（ａ）第１の端部と第２の端部を有する複数の過フッ化ガス透過性熱可塑性中空繊維膜からなる束を含み、前記膜が外部表面および内部表面を有し、前記内部表面が管孔を含み、
（ｂ）前記束の各端部が液体封止過フッ化熱可塑性シールで融着されて、前記繊維端部が流体の流れに開放された、周囲の過フッ化熱可塑性筐体を有する一体化された端部構造を形成し、
（ｃ）前記筐体は内壁および外壁を有し、前記内壁が内壁と中空繊維膜の間の流体の流れの容積を画定し、
（ｄ）前記筐体はパージガス源に接続されたパージガス入口とパージガス混合物出口とを有し、
（ｅ）前記筐体は水源に接続された水入口と水出口とを有し、パージガス入口は束の第１の端部に接続されパージガス混合物出口が束の第２の端部に接続される、または、水入口は束の第１の端部に接続され水出口が束の第２の端部に接続され、
パージガス混合物をリソグラフ投影装置の少なくとも一部に供給することとを含む、前記方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８２】
様々な水温、ＣＤＡ流量、およびＣＤＡ圧力を用い、Ｍｙｋｒｏｌｉｓ  ｐＨａｓｏｒ  ＩＩ膜接触器を用いて、清浄な乾燥空気（ＣＤＡ）を加湿した。全ての実験について、ｐＨａｓｏｒ  ＩＩを洗浄して揮発化合物を除去した。ＭＦＣを用いてｐＨａｓｏｒ  ＩＩの管孔側を通る空気の流量を維持した。ｐＨａｓｏｒ  ＩＩのシェル側には脱イオン水を用い、熱交換機を用いて加熱した。水流はｐＨａｓｏｒの出口側の調節器を用いて制御した。水温はｐＨａｓｏｒ  ＩＩの入口および出口側で測定し、パージガスの圧力、温度、相対湿度はｐＨａｓｏｒ  ＩＩの出口側で測定した。