【事件の表示】
　特願２００３−４０６１１２「ガラス基板用の搬送設備」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　６月２３日出願公開、特開２００５−１６７０８３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件出願は、平成１５年１２月４日の特許出願であって、同２１年３月２５日付の拒絶理由通知に対し、その指定期間内の同２１年５月２８日に意見書と共に明細書と特許請求の範囲について手続補正がなされたが、同２１年６月２９日付で拒絶をすべき旨の査定がなされたものであり、同２１年９月１７日に本件審判の請求がされると共に明細書と特許請求の範囲について再度手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　
２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
2.1　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をすると共にそれに関連して発明の詳細な説明の一部について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前
「ガラス基板に対する処理装置の複数を経由する状態で前記ガラス基板を搬送する搬送装置が設けられているガラス基板用の搬送設備であって、
　前記搬送装置と前記処理装置との間で前記ガラス基板を移載する移載装置と、前記搬送装置と前記処理装置との間において前記ガラス基板を保管可能な保管棚とが設けられ、
　前記移載装置が、前記搬送装置と前記保管棚との間および前記処理装置と前記保管棚との間で前記ガラス基板を移載可能に構成され、
　前記移載装置と前記保管棚とが、前記複数の処理装置の夫々に対応して複数配設され、
　前記移載装置が、上下移動可能な基台に前記ガラス基板を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ前記基台に対して出退移動可能な載置部を備えて構成され、
　前記基台が、前記保管棚の枠体にて支持され、
　前記保管棚は、前面部が開口された箱状に形成され且つ除塵フィルタを通して保管されている前記ガラス基板に向けて清浄空気を送風する清浄空気送風手段を備えて構成され、
　前記清浄空気送風手段は、清浄空気の送風方向が、前記保管棚に保管される前記ガラス基板に送風させたのち、前記移載装置の前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に送風させる送風方向となるように前記保管棚の後端部に配設されているガラス基板用の搬送設備。」
（２）補正後
「ガラス基板に対する処理装置の複数を経由する状態で前記ガラス基板を搬送する搬送装置が設けられているガラス基板用の搬送設備であって、
　前記搬送装置と前記処理装置との間で前記ガラス基板を移載する移載装置と、前記搬送装置と前記処理装置との間において前記ガラス基板を保管可能な保管棚とが設けられ、
　前記移載装置が、前記搬送装置と前記保管棚との間および前記処理装置と前記保管棚との間で前記ガラス基板を移載可能に構成され、
　前記移載装置と前記保管棚とが、前記複数の処理装置の夫々に対応して複数配設され、
　前記移載装置が、上下移動可能な基台に前記ガラス基板を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ前記基台に対して出退移動可能な載置部を
基台に対して引退させた状態で上下軸芯周りに旋回可能に
　前記基台が、前記保管棚
を形成する
片持ち状に
　前記保管棚は、前面部が開口された箱状に形成され且つ除塵フィルタを通して保管されている前記ガラス基板に向けて清浄空気を送風する清浄空気送風手段を備えて構成され、
　前記清浄空気送風手段は、清浄空気の送風方向が、前記保管棚に保管される前記ガラス基板に送風させたのち、前記移載装置の前記載置部に載置支持される前記ガラス基板に送風させる送風方向となるように前記保管棚の後端部に配設されているガラス基板用の搬送設備。」
　
2.2　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、実質上、移載装置の載置部について「基台に対して引退させた状態で上下軸芯周りに旋回可能に」という事項を、また、保管棚の枠体にて支持される移載装置の基台について「片持ち状に」という事項を、それぞれ付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
　
2.3補正発明
　補正発明は、平成２１年５月２８日付の手続補正及び本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、2.1（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「ガラス基板用の搬送設備」であると認める。
　
2.4　刊行物記載の発明（事項）
　これに対して、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物であって、原査定の拒絶の理由に引用された特開２００２−３３４９１７号公報（以下「引用刊行物」という。）の記載内容は以下のとおりである。
　
ア．引用刊行物記載の事項
　引用刊行物には以下の記載が認められる。
ａ．（明細書段落【０００１】）
「【０００１】［発明の属する技術分野］スーパークリーンルーム内で微細加工が要求される半導体製造工程において塵汚染を防止してウエハーを枚葉で製造装置間を連続搬送及び移載するシステム」
ｂ．（明細書段落【０００４】〜【０００５】）
「【０００４】［課題を解決するための手段］本発明は半導体製造装置間のウエハーの搬送をカセット方式から枚葉方式に変えることによって、投資額の削減と製造処理時間を短縮するものであり、それを図面で説明する。本システムは製造装置群を結ぶループ状コンベヤ（１５）と、各製造装置に設けられた移載ロボット（７）及び２つのバッファステーション（８，９）更にウエハーＩＤ読み取り装置（１６）から構成される。コンベヤ（１５）はパレット（１０）を駆動ローラー（１４）または駆動ベルトにより搬送するが、移載部ではリフター（１１）またはストッパーとアンチバックによってパレットを停止させる。パレットにはウエハーを端面で支持するための支持材（３）を取り付けたフィンガー（２）がコンベヤ本体（１５）から外に出る構造になっていると共に、ファン（１２）により内部を負圧にして塵が外部に出ない構造にしている。移載ロボット（７）はロボットアーム（５）に取り付けられた支持材（４）でウエハー端面を受ける構造になっていると共に、ウエハーＩＤ読み取り装置（１６）が取り付けられている。このＩＤ読取装置はロボットの外部に置くことも可能である。ロボットがコンベヤや製造装置と移載する際のタイミングが合わない場合に備え、２つのバッファーステーション（８，９）を設ける。
【０００５】［発明の実施の形態］以下本発明実施の形態について説明する。
（１）コンベヤ上のウエハーをコンベヤから製造装置（１８から２５）に移す場合にはパレット（１０）上のフィンガー（２）の保持材（３）に載せられたウエハー（１）が装置前さしかかった時に、リフター（１１）が上昇しパレットは停止する。
（２）既に製造装置前で待機していた移載ロボット（７）のロボットアーム（５）はパレット（１０）の停止と同時にアームを上昇させることによってウエハーをアーム上の保持材（３）（当審注：アーム上の「保持材（３）」は、「保持材（４）」の誤記である。）で受け、回転動作により製造装置上に移動して下降動作を行うことによってウエハーの移載を完了するが、その動作の途中でロボットに取り付けられたＩＤ読取装置（１６）でウエハーに刻まれたＩＤを読取る。この場合ＩＤ読み取り装置はロボットの外部に設置することも可能である。
（３）またフィンガー（２）からウエハーが移載されると同時にリフターは下降してコンベヤ、両端の駆動ローラー（１４）の駆動によってパレットは次のステーションへ移動する。
（４）製造装置がウエハーを受け取れない状態の時には、移載ロボットはイン用バッファーステーション（８）にウエハーを仮置する。装置が受け取れる状態になれば移載ロボット（７）はバッファステーション（８）から製造装置内ステーション（１７）にウエハーを移す。
（５）製造装置でウエハーの処理が終われば、移載ロボット（７）は装置からコンベヤフィンガー上にウエハーを移載する。この移載動作中にＩＤ読み取り装置はウエハーのＩＤを読取る。移載はウエハーの積み込み時と同様にパレットを停止させる。コンベヤとの移載タイミングが合わない場合には移載ロボットはウエハーを一旦アウト用バッファーステーション（９）に仮置きし、空のパレットが来た時にバッファーステーション（９）からパレットのフィンガー上にウエハーを移載する。」
　
イ．引用刊行物記載の発明
　引用刊行物記載の事項を補正発明に照らして整理すると引用刊行物には以下の発明が記載されていると認める。
「ウエハーに対する複数の製造装置（１８から２５）を経由する状態で前記ウエハーを搬送するループ状コンベヤ（１５）が設けられているウエハーを連続搬送及び移載するシステムであって、
　前記ループ状コンベヤ（１５）と前記製造装置（１８から２５）との間で前記ウエハーを移載する移載ロボット（７）と、前記ループ状コンベヤ（１５）と前記製造装置（１８から２５）との間において前記ウエハーを保管可能なバッファステーション（８，９）とが設けられ、
　前記移載ロボット（７）が、前記ループ状コンベヤ（１５）と前記バッファステーション（８，９）との間および前記製造装置（１８から２５）と前記バッファステーション（８，９）との間で前記ウエハーを移載可能に構成され、
　前記移載ロボット（７）と前記バッファステーション（８，９）とが、前記複数の製造装置（１８から２５）の夫々に対応して複数配設され、
　前記移載ロボット（７）が、ウエハーを載置して上昇・下降動作及び回転動作を行うロボットアーム（５）を備えて構成されているウエハーを連続搬送及び移載するシステム。」
　
2.5　対比
　補正発明と引用刊行物記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用刊行物記載の発明の「ウエハー」は、基板であるという限りで、補正発明の「ガラス基板」と共通している。そして、引用刊行物記載の発明は「ウエハーを連続搬送及び移載するシステム」として表現されているが、基板用の搬送設備として表現できるものである。
　また、引用刊行物記載の発明の「製造装置（１８から２５）」及び「ループ状コンベヤ（１５）」は、それぞれ補正発明の「処理装置」及び「搬送装置」に相当することが明らかである。
　また、引用刊行物記載の発明の「バッファステーション（８，９）」は、基板を保管可能な保管棚であるという限りで、補正発明の「保管棚」と共通している。
　さらに、引用刊行物記載の発明の「移載ロボット（７）」は、搬送装置と処理装置との間で基板を移載する移載装置であって、搬送装置と保管棚との間および処理装置と保管棚との間で前記基板を移載可能に構成されているという限りで、補正発明の「搬送装置」と共通しており、また、引用刊行物記載の発明の「ロボットアーム（５）」は、基板を載置して上昇・下降動作及び回転動作を行う載置部であるという限りで、補正発明の「載置部」と共通している。
　したがって、補正発明と引用刊行物記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
［一致点］
「基板に対する処理装置の複数を経由する状態で前記基板を搬送する搬送装置が設けられている基板用の搬送設備であって、
　前記搬送装置と前記処理装置との間で前記基板を移載する移載装置と、前記搬送装置と前記処理装置との間において前記基板を保管可能な保管棚とが設けられ、
　前記移載装置が、前記搬送装置と前記保管棚との間および前記処理装置と前記保管棚との間で前記基板を移載可能に構成され、
　前記移載装置と前記保管棚とが、前記複数の処理装置の夫々に対応して複数配設され、
　前記移載装置が、基板を載置して上昇・下降動作及び回転動作を行う載置部を備えて構成されている基板用の搬送設備。」である点。
　そして、補正発明と引用刊行物記載の発明とは、以下の４点で相違している。
［相違点１］
　搬送される基板が、補正発明ではガラス基板であるのに対して、引用刊行物記載の発明ではウエハーである点。
［相違点２］
　移載装置が、補正発明では上下移動可能な基台にガラス基板を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ前記基台に対して出退移動可能な載置部を基台に対して引退させた状態で上下軸芯周りに旋回可能に備えて構成されているのに対して、引用刊行物記載の発明では移載装置の載置部は上昇・下降動作及び回転動作を行うものの、前者のような特定がない点。
［相違点３］
　基台が、補正発明では保管棚を形成する枠体にて片持ち状に支持されているのに対し、引用刊行物記載の発明ではそのような特定がない点。
［相違点４］
　保管棚は、補正発明では前面部が開口された箱状に形成され且つ除塵フィルタを通して保管されているガラス基板に向けて清浄空気を送風する清浄空気送風手段を備えて構成され、前記清浄空気送風手段は、清浄空気の送風方向が、前記保管棚に保管される前記ガラス基板に送風させたのち、移載装置の載置部に載置支持される前記ガラス基板に送風させる送風方向となるように前記保管棚の後端部に配設されているのに対して、引用刊行物記載の発明では、そのような特定がない点。
　
2.6　相違点の検討
　上記各相違点について、以下に検討する。
　
ア．相違点１について
　ガラス基板用の搬送設備は、特に例示するまでもなく従来周知であり、引用刊行物記載の発明のウエハー用の搬送設備をガラス基板用の搬送設備に転用することに格別の困難性はない。
　
イ．相違点２について
　移載装置を、上下移動可能な基台に物品を載置支持した状態で上下軸芯周りに旋回可能でかつ前記基台に対して出退移動可能な載置部を基台に対して引退させた状態で上下軸芯周りに旋回可能に備えて構成することは、例えば、特開２００２−２９６０５号公報の【図２】、特開２０００−１６５１９号公報の【図１】などに示されているように従来周知であり、この従来周知の事項を引用刊行物記載の発明に適用して補正発明のように構成することに格別の困難性はない。
　
ウ．相違点３について
　上記イ．で例示した各刊行物には、自動倉庫において、移載装置の基台を水平移動可能に載置する昇降レールを、多列・多段の収納棚が設けられたラックの両端面に隣接して設けられた一対の支柱ないしマストに、片持ち状に支持することも記載されており、同じく従来周知の事項であるということができる。
　そして、この従来周知の事項を引用刊行物記載の発明に適用して、その保管棚が単列であって移載装置の基台の水平移動を必要としない場合には、基台そのものを保管棚を形成する枠体に片持ち状に支持するように構成することに格別の困難性はない。
　
エ．相違点４について
　原査定の際に指摘しているように、水平に基板を収納する収納棚において、当該収納棚の後方側から前方側に送風することで、収納された基板を清浄に保管することは、特開平７−１３３００４号公報（段落【０００６】、【０００７】、【図１】参照）、特開２０００−１２６４４号公報（段落【００１２】、【図９】等参照）及び特開平１１−２３８７８７号公報（段落【００１９】〜【００２１】、【図１】等参照）に記載されているように、従来周知の技術である。
　そして、上記特開平７−１３３００４号公報及び特開２０００−１２６４４号公報に記載された発明において、収納棚の後方側から前方側に送風される風が、収納棚に保管される基板に送風されたのち、移載装置の載置部に載置支持される基板にも送風されることは、自明である。
　したがって、この従来周知の事項を引用刊行物記載の発明に適用して補正発明のように構成することに格別の困難性はない。
　
オ．補正発明の効果について
　補正発明によってもたらされる効果も、引用刊行物記載の発明及び上記従来周知の各事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
2.7　まとめ
　したがって、補正発明は、引用刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　なお、当審の審尋に対する平成２２年８月２７日付回答書で請求人は補正案を提示しているところ、かかる補正に法的根拠はないが、一応検討しておくと、この補正案によって補正される事項は、いずれも必要に応じて適宜なし得る設計的事項であるか、或いは、従来周知の事項に基づいて当業者が容易に想到し得る事項であって格別の進歩性をもたらすものではない．したがって、補正案のとおり補正されても、上記判断には影響しない。
　
３．本件出願の発明について
3.1　本件出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成２１年５月２８日付の手続補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１０に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記2.1（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「ガラス基板用の搬送設備」である。
　
3.2　刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記2.4に示したとおりである。
　
3.3　対比・検討
　本件発明は、上記２．で検討した補正発明から、実質上、移載装置の載置部について「基台に対して引退させた状態で上下軸芯周りに旋回可能に」という事項を、また、保管棚の枠体にて支持される移載装置の基台について「片持ち状に」という事項を、それぞれ削除したものである。
　そうすると、本件発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が上記2.7で示したとおり、引用刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
3.4　むすび
　以上のとおり、本件発明は引用刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２ないし請求項１０に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきである。
　よって、結論のとおり審決する。
　
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