【事件の表示】
　特願２００４−５５４０４８「インクジェットプリントヘッド、プリンタシステム、および泡形成液体の液滴を射出する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　６月１０日国際公開、ＷＯ２００４／０４８１１０、平成１８年　３月　２日国内公表、特表２００６−５０７１４７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、２００３年１１月１７日（パリ条約による優先権主張２００２年１１月２３日、米国）を国際出願日とする出願であって、原審において平成２０年４月４日に拒絶の理由が通知され、それに対して同年６月１９日に手続補正がなされ、同年１２月４日付けで拒絶査定がなされ、それに対して平成２１年２月１９日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同日に手続補正がなされたものである。
　その後、平成２２年４月２日付けで審判請求人に前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋を行ったところ、同年６月９日に回答書が提出されたものである。
　　
第２．平成２１年２月１９日の手続補正についての補正却下の決定 
　　
〔補正却下の決定の結論〕 
　平成２１年２月１９日の手続補正を却下する。 
 　 
〔理由〕 
１．本件補正の内容 
　平成２１年２月１９日の手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲についての補正であって、そのうち特許請求の範囲の請求項１については、本件補正前（平成２０年６月１９日の手続補正後のもの）に、
「【請求項１】
　泡形成液体が収容される複数のチャンバと、
　前記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、
　前記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが前記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、
　各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、
　を備え、
　各ヒーター素子が前記泡形成液体と熱接触するように設けられ、
　各ヒーター素子が、前記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する前記ノズルを通して前記泡形成液体の液滴を射出させるため、前記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、
　各チャンバ内の圧力は、約１気圧である
　インクジェットプリントヘッド。」
とあったものを、
「【請求項１】
　泡形成液体が収容される複数のチャンバと、
　前記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、
　前記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが前記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、
　各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、
　を備え、
　各ヒーター素子が前記泡形成液体と熱接触するように設けられ、
　各ヒーター素子が、前記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する前記ノズルを通して前記泡形成液体の液滴を射出させるため、前記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、
　
前記気泡を形成している途中の期間における
過渡的な
　インクジェットプリントヘッド。」（下線は審決において付した。以下同じ。）と補正するものである。
　　
２．補正の適否についての検討 
　本件補正前後で請求項数はいずれも３６であり、記載ぶりからして補正前の請求項１〜３６が補正後の請求項１〜３６にそれぞれ対応することは明らかである。
　本件補正により、補正前の請求項１に記載の「各チャンバ内の圧力は、約１気圧である」が、「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」と補正された。
　ここで、出願当初の明細書、特許請求の範囲又は図面には、
「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」
点は、記載も示唆もされていない。
　この点に関し、請求人は平成２１年２月１９日の審判請求書の「（３）補正の内容」において、
「審判請求人は、審判請求と同時に提出した手続補正書により、請求項１、１４および２７の記載を補正しました。これらの補正は何れも、各チャンバ内の圧力が約１気圧になる時期（段階）を明らかにするものであり、具体的には、請求項１、１４では「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」と補正し、請求項２７では「前記気泡を発生させている途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力を、約１気圧にする」と補正しました。 
 　上記のような請求項１、１４および２７への補正は、明細書の段落0101の記載および段落0107の記載を根拠とするものです。即ち、段落0101の第１〜２行目の記載「既存のサーマルインクジェットシステム又はバブルジェットシステムは、泡発生フェーズの間に最大で１００気圧までの圧力遷移が起こる。」に基づき、従来装置では泡発生の途中の期間における過渡的な圧力が最大で１００気圧になる点が自明であります。また、段落0107の第１〜３行目の記載「本発明におけるかなり薄いノズル板２が可能になる理由は、チャンバ７内に発生される圧力が、上記のように従来技術の装置における１００気圧ではなく、約１気圧に過ぎないからである。」に基づき、従来装置ではチャンバ７内の圧力が１００気圧になっていたところ、本発明ではチャンバ７内の圧力が約１気圧に過ぎない点が自明であります。 
 　以上より、段落0101、0107の記載に基づき、従来は泡発生の途中の期間におけるチャンバ内の過渡的な圧力が最大で１００気圧になっていたところ、本発明では、泡発生の途中の期間におけるチャンバ内の過渡的な圧力が約１気圧に過ぎない点が、当業者にとって自明である（当業者が導くことができる）と考えます。 
 　よって、請求項１、１４および２７の補正は、新規事項追加には該当しないと考えます。 
 　また、同補正は、補正前にすでに記載されていた「各チャンバ内の圧力は約１気圧である」という要件について、どの段階における圧力を指すのかを明確にするべく、上記の要件を限定的に減縮する補正であり、審判請求時の補正として適正な補正であると考えます。 
 　また、補正後の請求項１〜３６の発明は、後述するように、独立して特許を受けることができるものであり、その点でも、審判請求時の補正として適正な補正であると考えます。 」
と、また、平成２２年６月９日付け回答書の「２．前置報告書に対する意見」において
「前置報告書では、平成２１年２月１９日付け手続補正書による補正が特許法第１７条の２第３項の規定に違反するとする根拠として、（ａ）「当初明細書には気泡形成における過渡的な気圧が約１気圧である点は記載されていない点」、および（ｂ）「補正後の請求項１に係る発明では、気泡形成における最大圧力はいかなるものも取り得る点」が挙げられていると考えます。
 　審判請求人は、上記の根拠（ａ）、（ｂ）について、以下反論します。 
 ２−１．根拠（ａ）について 
 　当初明細書の段落0101、0107およびこれらの前後の記載を読めば、当業者であれば、以下の事項を把握できると考えます。即ち、従来は泡発生フェーズの間に最大で１００気圧までの圧力遷移が起こるため、十分な窒化物ノズル板の厚さ（例えば１０ミクロン）が必要であったところ、本発明では窒化物ノズル板の厚さを従来よりも薄くできるようにした。その理由は、従来の１００気圧のところを約１気圧に抑えたためである。 
 　即ち、当業者であれば、泡発生フェーズの間の圧力を低く抑えることで、窒化物ノズル板の厚さを従来よりも薄くできるようにした、という事項を把握できると考えます。仮に、従来の１００気圧と本発明の約１気圧とが異なるタイミングでの圧力であれば、当初明細書の段落0107で両者を対比すること自体に全く意味を持たないことは当業者も十分に理解するところであり、当初明細書の段落0107では従来の１００気圧と本発明の約１気圧とが同じ時期（同じタイミング）の圧力であると解するのが極めて自然であると考えます。 
 　したがって、当初明細書の段落0107の「チャンバ７内に発生される圧力が、上記のように従来技術の装置における１００気圧ではなく、約１気圧に過ぎない」との記載から、泡発生フェーズの間のチャンバ７内に発生される圧力が約１気圧であると解され、これにより、気泡形成における過渡的な気圧が約１気圧である点は、当初明細書に記載されている、又は、当初明細書の記載に基づき当業者にとって自明な範囲にあると考えます。 
 　よって、前置報告書における根拠（ａ）は、妥当性を欠くと考えます。 
 ２−２．根拠（ｂ）について 
 　本審判の審判請求書にて、審判請求人が述べたように、平成２１年２月１９日付け手続補正書による補正は、補正前にすでに記載されていた「各チャンバ内の圧力は約１気圧である」という要件について、どの段階における圧力を指すのかを明確にするべく、上記の要件を限定的に減縮する補正であります。これは、拒絶査定で引用された引用文献１（特開平０５−１３１６３６号公報）のメニスカスが吐出口に形成されている静止状態における圧力室内の圧力（約一気圧）との差異を明らかにするために行った補正です。 
 　そのため、同補正後の請求項１の「気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力」における「過渡的な圧力」とは、気泡を形成している途中の期間中の圧力という意味で記載したものであり、変化する途中の「ある１点での圧力」を意味するものではありません。仮に、同補正後の請求項１の「過渡的な圧力」が、変化する途中の「ある１点での圧力」と解釈し、「気泡形成における最大圧力はいかなるものも取り得る」と解釈すると、補正後の請求項１に係る発明が技術的意味を持たないことは当業者も十分に理解するところであります。換言すれば、当業者ならば、補正後の請求項１の「気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」という文の全体からみれば、「過渡的な圧力」が、変化する途中の「ある１点での圧力」とは解釈しないと考えます。 
 　上記２−１で述べたように、当初明細書の記載より当業者には、泡発生フェーズの間のチャンバ７内に発生される圧力が約１気圧と解されることから、補正後の請求項１の「気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」は、気泡を形成している途中の期間中は各チャンバ内の過渡的な圧力は約１気圧程度で推移すると解するのが極めて自然であり、「気泡形成における最大圧力はいかなるものも取り得る」と解するのは妥当性を欠くと考えます。 
 　即ち、前置報告書における根拠（ｂ）は、妥当性を欠くと考えます。」
と、それぞれ主張している。
　上記主張について検討する。
　本件出願の国際出願翻訳文提出書の段落【０１００】〜【０１０８】には、以下のとおり記載されている。
「【０１００】
　少なくとも本発明の実施形態において、本発明のこの特徴のさらなる効果は、既存の半導体製造プロセスとの互換性である。ＣＶＤによるノズル板２の堆積は、半導体製造のため普通に使用されるプロセスを使用して、ノズル板が通常のシリコンウェハー製造のスケールでプリントヘッドに組み込まれることを可能にする。
　【０１０１】
　既存のサーマルインクジェットシステム又はバブルジェットシステムは、泡発生フェーズの間に最大で１００気圧までの圧力遷移が起こる。このような装置においてノズル板２がＣＶＤによって塗布されたならば、このような圧力遷移に抵抗するためには、かなりの厚さのＣＶＤノズル板が要求される。当業者にとって当然であるように、堆積したノズル板の厚さは以下に説明するようなある種の問題を生じる。
　【０１０２】
　例えば、ノズルチャンバ７内で１００気圧の圧力に抵抗するために十分な窒化物の厚さは、例えば、１０ミクロンである。厚いノズル板２を有する本発明によらないユニットセル１を示す図４９を参照すると、このような厚さは、液滴射出に関係する問題を生じることが認められる。この場合、ノズル板２の厚さが原因となって、インク１１がノズル板を通して射出されるときに、ノズル３によって加えられる流体抗力は、装置の効率に著しい損失を生じさせる。
　【０１０３】
　このような厚いノズル板２の場合に存在する別の問題は、実際のエッチングプロセスに関係する。これは、図示されるように、ノズル３が、例えば、標準的なプラズマエッチングを使用して、基板部のウェハー８に対して垂直にエッチングされることを仮定している。これは、典型的に１０ミクロンを上回るレジスト６９が塗布されることを必要とする。その厚さのレジスト６９を露光するためには、レジストを露光するため使用されるステッパの焦点深度がかなり浅いので、所要の解像度のレベルを達成することが困難になる。当該深さのレジスト６９はｘ線を使用して露光することが可能であるが、これはかなりコストのかかるプロセスである。
　【０１０４】
　１０ミクロンの厚さの窒化物の層がシリコン基板ウェハー上に堆積したＤＶＣである場合にこのような厚いノズル板２に関して存在するさらなる問題は、厚い堆積層内の固有の応力の他に、ＣＶＤ層と基板との間には熱膨張の差があるので、リソグラフィックプロセスのさらなるステップが実行できなくなる程度までウェハーが曲げられることである。したがって、（本発明とは異なる）１０ミクロン程度の厚さのノズル板２の層は、可能ではあるが、不利である。
　【０１０５】
　図５０を参照すると、本発明の一実施形態によるＭｅｍｊｅｔサーマルインク射出装置において、ＣＶＤ窒化物ノズル板層２は僅かに２ミクロンの厚さである。したがって、ノズル３の中の流体抗力は格別大きくないので、損失の主要な原因ではない。
　【０１０６】
　さらに、このようなノズル板２においてノズル３をエッチングするために必要なエッチング時間及びレジスト厚と、基板ウェハー８上の応力は極端な数値にはならない。
　【０１０７】
　本発明におけるかなり薄いノズル板２が可能になる理由は、チャンバ７内に発生される圧力が、上記のように従来技術の装置における１００気圧ではなく、約１気圧に過ぎないからである。
　【０１０８】
　多数の要因が本システムにおいて液滴１６を射出するために必要な圧力遷移の著しい低下に寄与する。それらの要因には、
１．チャンバ７の小さいサイズ
２．ノズル３及びチャンバ７の正確な製造
３．低い液滴速度における液滴射出の安定性
４．ノズル３の間の非常に低い流体クロストーク及び熱クロストーク
５．泡面積に対する最適ノズルサイズ
６．薄い（２ミクロンの）ノズル３の中の低い流体抗力
７．入口９を通るインク射出を原因とする低い圧力損失
８．自己冷却動作
が含まれる。」
　上記記載においては、その段落【０１０７】に、
「チャンバ７内に発生される圧力が、上記のように従来技術の装置における１００気圧ではなく、約１気圧に過ぎないからである。」
と確かに記載されているが、その「約１気圧」がいつの時点の圧力であるか、また、ある期間における圧力であるのかなどについては一切記載も示唆もされておらず、さらに、上記記載以外の明細書又は図面にも、
「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」
点については、記載も示唆もされておらず、また、明細書、特許請求の範囲又は図面の記載から、自明の事項であるとすることもできない。
　そうすると、請求項１についての補正は、当初明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものではない。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第３項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
 　 
３．独立特許要件について 
 　上記のように、本件補正は、適法になされていないことが明らかであるが、念のため、独立特許要件についても検討しておく。
　　
（１）特許法第３６条第４項第１号についての検討
　補正後の請求項１には、
「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」
と記載されている。
　ここで、本件出願の国際出願翻訳文提出書の段落【００１７】，【００１９】〜【００２８】において、気泡の形成に関して次のとおり記載されている。
「【００１７】
　プリントヘッドが使用されているとき、インク１１は貯蔵庫（図示せず）から入口通路９を介してチャンバ７へ入るので、チャンバは図１に示されたレベルまで充填される。次に、ヒーター素子１０が１マイクロ秒よりも多少短い時間に亘って加熱され、その加熱は熱パルスの形式である。ヒーター素子１０はチャンバ７内のインク１１と熱接触するので、素子が加熱されるとき、インク内に気泡１２を発生させることがわかる。したがって、インク１１は泡形成液体の構成要素である。図１は、熱パルス発生の約１ミリ秒後における、すなわち、ちょうど泡がヒーター素子１０上に凝集されたときの泡１２の形成を示す。熱はパルスの形で加えられるので、泡１２を発生させるために必要な全エネルギーは短時間のうちに供給されるべきであることがわかる。
……（中略）……
　【００１９】
　素子１０が上記のように加熱されるとき、泡１２は素子の全長に沿って作られ、この泡は、図１の断面図では、断面図に示された素子部分のそれぞれに１個ずつの４個の泡部分として示されている。
　【００２０】
　泡１２は、一旦発生させられると、チャンバ７内の圧力を増加させ、この圧力増加は次にノズル３を通してインク１１の液滴１６を射出させる。リム４は、液滴１６が射出されたときに液滴を方向付けるので、液滴の方向の誤りの危険を最小限に抑える。
　【００２１】
　入口通路９ごとに１台のノズル３と１台のチャンバ７しか存在しない理由は、チャンバ内で発生される圧力波が、素子１０の加熱時及び泡１２の形成時に、隣接するチャンバ及びそれらの対応するノズルに影響を与えないようにするためである。
　【００２２】
　ヒーター素子１０が固体材料に埋め込まれるのではなく吊されることの利点は後述される。
　【００２３】
　図２及び３は、後の連続した２段階のプリントヘッドの動作時のユニットセル１を示す。泡１２がさらに発生し、したがって、成長し、その結果として、インク１１がノズル３を通って前進していることがわかる。図３に示されるように、成長したときの泡１２の形状は、インク１１の慣性力学と表面張力の組み合わせによって決まる。帳面張力は泡１２の表面積を最小化する傾向があるので、ある程度の量の液体が気化されるときまで、泡は基本的に円板状である。
　【００２４】
　チャンバ７内の圧力増加は、インク１１をノズル３から押し出すだけでなく、一部のインクを入口通路９から押し戻す。しかし、入口通路９は長さが約２００〜３００ミクロンであり、直径が約１６ミクロンしかない。したがって、かなりの粘性抵抗がある。その結果、チャンバ７内の圧力増加の圧倒的な影響は、インクを射出された液滴としてノズル３を通して押し出すことであり、入口通路９を通して押し戻すことではない。
　【００２５】
　次に図４を参照すると、さらに別の連続した動作段階におけるプリントヘッドが示され、液滴が離脱する前の「ネッキングフェーズ」中の射出されているインク液滴１６が示されている。この段階では、泡１２は既にその最大サイズに到達し、図５にさらに詳細に示されているように、崩壊点１７へ向かって壊れ始めている。
　【００２６】
　崩壊点１７へ向かう泡１２の崩壊は、崩壊点へ向かって、一部のインク１１をノズル３内部から（液滴の側面１８から）取り出し、一部を入口通路９から取り出す。このようにして取り出された大半のインク１１はノズル３から取り出され、液滴が離脱する前に液滴１６のベースに環状のネック１９を形成する。
　【００２７】
　液滴１６は、離脱するためには、表面張力に打ち勝つためのある程度の運動量を必要とする。インク１１が泡１２の崩壊によってノズル３から取り出されるとき、ネック１９の直径は減少するので、液滴を保持する総表面張力の量が減少し、その結果、液滴がノズルから射出されるときの液滴の運動量は液滴を離脱させることが十分に可能である。
　【００２８】
　液滴１６が離脱するとき、泡１２が崩壊点１７まで崩壊するので、矢印２０によって示されるようなキャビテーション力が生じる。なお、崩壊点１７の近傍には、キャビテーションが影響する可能性のある固体表面が存在しないことに注意する必要がある。」
　さらに図１〜図５を参酌して考慮するに、
「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」
とは、図１から図３にかけての期間において、各チャンバ内の圧力は、約１気圧であることを示していると解さざるを得ない。
　しかしながら、各チャンバ内のインク１１にも、約１気圧の大気圧が作用していることは自明であるから、各チャンバ内の過渡的な圧力が約１気圧であれば、そもそも気泡を形成することはできず、また、各チャンバ内の過渡的な圧力が約１気圧であれば、約１気圧の大気圧に逆らって液滴をノズルから射出することもできない。
　してみると、
「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」
場合に、そもそもどのようにして本件補正後の発明が、液滴をノズルから射出することができるのかについては全く不明と言わざるを得ず、また、当業者が本件補正後の発明を実施可能な程度に明細書又は図面に記載されているということもできない。
　すなわち、本件出願の明細書の発明の詳細な説明は、本件出願の発明を裏付けるものではないから、特許法第３６条第４項第１項の規定に違背する。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　　
（２）特許法第２９条第２項について
ア．引用刊行物 
 　本願優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平５−１３１６３６号公報（以下、「引用例」という。）には、次の記載がある。
（ａ）「【実施例】
　次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図１(A),(B)はそれぞれ本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法で製造される液体噴射記録ヘッドの一例の構成を示す模式上面図、図１(c)は図１(A)または図１(B)のA-A'線での断面図である。」（段落【００１０】）
（ｂ）「
この液体噴射記録ヘッドは、基板１、金属層３、構造体膜４の３層構造となっている。構造体膜４にはインクを吐出するための吐出口６があけられ、一方、基板１にはインクを供給するためのインク供給口５があけられている。インク供給口５の直上に吐出口６が位置するようにはなっておらず、これらインク供給口５と吐出口６とは、インク流路７によって連通している。このインク流路７は、金属層３内にその欠落部として設けられ、インク流路７の底壁が基板１、側壁が金属層３、上壁が構造体膜４であるようになっている。さらに、基板１の上面であって吐出口６の直下にあたる位置に、エネルギー発生素子２が設けられている。このエネルギー発生素子２は、吐出口６から吐出するためのエネルギーをインクに与えるものであって、例えば電気熱変換体、圧電素子などからなる。ちなみにエネルギー発生素子２として電気熱変換体を使用した場合、この素子が近傍のインクを加熱することにより熱エネルギーがインクに与えられてインクが発泡し、発泡に伴ってインクが吐出することになる。
（ｃ）「
図１(A)に示したものは１本のインク流路７当たり１個の吐出口５（審決注：「吐出口６」の誤記と認める。）が設けられているものであり、
いずれの場合であっても、１つの吐出口５（審決注：「吐出口６」の誤記と認める。）に対応して１個のエネルギー発生素子２が設けられている。
（ｄ）「さらに、
吐出口６およびこれに連通するインク流路７は、１個の液体噴射記録ヘッドにつき所望の個数設けることができ、
（ｅ）「次に、このインクジェット記録ヘッドの動作について説明する。
記録用の液体であるインクは、図示しない液体貯蔵室からインク供給口５を通ってインク流路７内に供給され、インク流路７の先端である吐出口６でメニスカスを形成することにより安定に保持される。ここでエネルギー発生素子２を図示しない駆動手段で駆動することにより、吐出エネルギーがインクに印加され、その吐出エネルギーの作用によってインクが吐出口６から吐出し、記録が行なわれる
（ｆ）「次に、実際に液体噴射記録ヘッドを製造した例について説明する。
［実施例１］
　構造体膜４が金属からなる液体噴射記録ヘッドを図２(A)〜(F)に示した手順によって作成した。」（段落【００２１】）
（ｇ）「まず、エネルギー発生素子２を予め形成してあるシリコン製の基板１の表面に、スピナーを用いてポジ型フォトレジスト（ヘキスト社製ＡＺ４９０３）を２０μｍの厚さに塗布した。そして、公知の工程によって露光、現像を行ない、基板１のインク流路７となるべき位置のみに前記フォトレジストからなる樹脂層８が残り、基板１上の他の部位にはこのフォトレジストが残らないようにして、インク流路７に対応するパターンである樹脂層８を形成した（図２(A)）。この樹脂層８が形成された基板１をＣＶＤ装置に装着し、このＣＶＤ装置に六フッ化タングステンガスを導入して、基板１の樹脂層８（パターン）で被覆されていない部分にのみタングステンを堆積させ、金属層３を形成した（図２(B)）。金属層３の厚さは、樹脂層８の厚さと同じになるようにした。ＣＶＤとしては、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤなど、いずれの方法を用いてもよい。」（段落【００２２】）
（ｈ）「続いて
金属層３および樹脂層８の上に、基板１側から厚さ５０ｎｍのタングステン層および厚さ２μｍのアルミニウム層からなる積層構造の構造体膜４をＣＶＤ法によって形成した
（ｉ）「次に、構造体膜４の上面にスピナーを用いてポジ型のフォトレジスト９（東京応化製ＯＦＰＲ８３）を１μｍの膜厚で塗布し、露光、現像を行なうことによって、吐出口６となるべき位置のフォトレジスト９を取り除き、他の部位のフォトレジスト９が残存するようにしてパターニングを行ない、そののちエッチングを行なうことによって吐出口６を形成した（図２(D)）。構造体膜４のエッチングは湿式で行ない、まず、リン酸、硝酸および酢酸の混酸溶液からなるエッチング液を用いて構造体膜４のうちのアルミニウム層をエッチングし、次いで、硝酸第２セリウムアンモニウムのアルカリ溶液からなるエッチング液を用いて構造体膜４のタングステン層をエッチングした。湿式のエッチングの代わりに、リアクティブイオンエッチングなどの乾式のエッチングを行なってもよい。吐出口６の形成に引続き、ダイヤモンドドリルを用いて基板１の裏面側からインク供給口５を開口した（図２(E)）。最後に、エタノール中で超音波洗浄を１０分間行なうことにより、樹脂層８を溶解除去してインク流路７を開通させた。このとき同時に構造体膜４の表面に残存しているフォトレジスト９も除去され、液体噴射記録ヘッドが完成したことになる（図２(F)）。……（後略）……」（段落【００２４】）
　　
　上記記載事項（ａ）〜（ｉ）及び図面の記載からみて、引用例には、以下の発明が記載されていると認められる。
「基板１、金属層３、構造体膜４の３層構造となっている液体噴射記録ヘッドであって、
構造体膜４にはインクを吐出するための吐出口６があけられ、一方、基板１にはインクを供給するためのインク供給口５があけられており、
インク供給口５の直上に吐出口６が位置するようにはなっておらず、これらインク供給口５と吐出口６とは、インク流路７によって連通していて、
このインク流路７は、金属層３内にその欠落部として設けられ、インク流路７の底壁が基板１、側壁が金属層３、上壁が構造体膜４であるようになっており、
基板１の上面であって吐出口６の直下にあたる位置に、エネルギー発生素子２が設けられていて、
このエネルギー発生素子２は、吐出口６から吐出するためのエネルギーをインクに与えるものであって、電気熱変換体からなり、
エネルギー発生素子２が近傍のインクを加熱することにより熱エネルギーがインクに与えられてインクが発泡し、発泡に伴ってインクが吐出することになるものであって、
１本のインク流路７当たり１個の吐出口６が設けられているものであり、
１つの吐出口６に対応して１個のエネルギー発生素子２が設けられていて、
吐出口６およびこれに連通するインク流路７は、所望の個数設けられており、
記録用の液体であるインクは、液体貯蔵室からインク供給口５を通ってインク流路７内に供給され、インク流路７の先端である吐出口６でメニスカスを形成することにより安定に保持され、ここでエネルギー発生素子２を駆動手段で駆動することにより、吐出エネルギーがインクに印加され、その吐出エネルギーの作用によってインクが吐出口６から吐出し、記録が行なわれる、
金属層３の上に、基板１側から厚さ５０ｎｍのタングステン層および厚さ２μｍのアルミニウム層からなる積層構造の構造体膜４をＣＶＤ法によって形成した、
液体噴射記録ヘッド。」（以下「引用発明」という。）
　　
イ．対比
　本願補正発明と引用発明とを比較すると、引用発明の「液体噴射記録ヘッド」は、本願補正発明の「インクジェットプリントヘッド」に相当し、以下同様に、「インク」は「泡形成液体」に、「インク流路７」は「チャンバ」に、「構造体膜４」は「構造体」に、「吐出口６」は「ノズル」に、「『電気熱変換体』からなる「エネルギー発生素子２」」は「ヒーター素子」に、それぞれ相当する。
　引用発明の「構造体膜４」は、「基板１側から厚さ５０ｎｍのタングステン層および厚さ２μｍのアルミニウム層からなる積層構造」のものであるから、その厚さは５ミクロン未満であるということができる。
　引用発明においては、「１本のインク流路７当たり１個の吐出口６が設けられているものであり、１つの吐出口６に対応して１個のエネルギー発生素子２が設けられて、吐出口６およびこれに連通するインク流路７は、所望の個数設けられており」、「各吐出口６がインク流路７と一対一に対応する」ものであって、「エネルギー発生素子２は、吐出口６から吐出するためのエネルギーをインクに与えるものであって、電気熱変換体」からなるものであるから、引用発明は、「各吐出口６に対応し各インク流路内７に配置された少なくとも１台の電気熱変換体」を有するものということができる。
　以上から、本願補正発明と引用発明とは、
「泡形成液体が収容される複数のチャンバと、
　前記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、
　前記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが前記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、
　各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、
　を備え、
　各ヒーター素子が前記泡形成液体と熱接触するように設けられ、
　各ヒーター素子が、前記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する前記ノズルを通して前記泡形成液体の液滴を射出させるため、前記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、
　インクジェットプリントヘッド。」の点で一致し、以下の点で相違している。
　　
［相違点］本願補正発明において、「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」のに対し、引用発明において、インク流路における圧力の値は不明である点。
　　
ウ．判断
［相違点］について
　上記「第２．３．（１）」から、本願補正発明は、「各チャンバ内の圧力は、約１気圧である」ということに関して、気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力が約１気圧であるということはできず、また、その場合には液滴の吐出もできないこととなってしまう。
　してみると、本願発明のインクジェットプリントヘッドが機能するためには、静止状態において各チャンバ内の圧力は、約１気圧であると解さざるを得ないが、静止状態においては、引用発明に記載の液体噴射記録ヘッドのインク流路７内の圧力も、大気圧の作用により当然に約１気圧であると認められるから、このように解釈すれば、本願補正発明と引用発明の間には差異はないこととなってしまう。
　そこで、本願補正発明において、そもそも「約」の示す値が不明であるが、
「前記気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力は、約１気圧である」
との記載を、「１気圧」を基準に幅を有するものと認定して検討を行うに、インクジェットプリントヘッドにおいて、チャンバ内の圧力が高くなると高い機械的応力などによりインクジェットプリントヘッドに悪影響があることは、例えば特表２００２−５２７２７２号公報（特に、段落【０１９２】参照。）等に記載されているとおり、本願優先日前に広く一般に知られた技術課題であって、この圧力を「１気圧」に近づけて、高い機械的応力による悪影響を排除しようとすることは、当業者が必要に応じて適宜なし得る程度の事項にすぎず、上記相違点に係る本願補正発明の作用効果も、引用発明から当業者が予測できる範囲のものである。
　すなわち、本願補正発明は、引用例に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　　
第３．本願発明について 
１．本願発明
　平成２１年２月１９日提出の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成２０年６月１９日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるものであり、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりである。 
「【請求項１】
　泡形成液体が収容される複数のチャンバと、
　前記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、
　前記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが前記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、
　各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、
　を備え、
　各ヒーター素子が前記泡形成液体と熱接触するように設けられ、
　各ヒーター素子が、前記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する前記ノズルを通して前記泡形成液体の液滴を射出させるため、前記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、
　各チャンバ内の圧力は、約１気圧である
　インクジェットプリントヘッド。」
　　
２．引用刊行物 
　本願優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載内容は、上記「第２．３．（２）ア」に記載したとおりである。
　　
３．対比
　本願発明と引用発明とを比較すると、引用発明の「液体噴射記録ヘッド」は、本願発明の「インクジェットプリントヘッド」に相当し、以下同様に、「インク」は「泡形成液体」に、「インク流路７」は「チャンバ」に、「構造体膜４」は「構造体」に、「吐出口６」は「ノズル」に、「『電気熱変換体』からなる「エネルギー発生素子２」」は「ヒーター素子」に、それぞれ相当する。
　引用発明の「構造体膜４」は、「基板１側から厚さ５０ｎｍのタングステン層および厚さ２μｍのアルミニウム層からなる積層構造」のものであるから、その厚さは５ミクロン未満であるということができる。
　引用発明においては、「１本のインク流路７当たり１個の吐出口６が設けられているものであり、１つの吐出口６に対応して１個のエネルギー発生素子２が設けられて、吐出口６およびこれに連通するインク流路７は、所望の個数設けられており」、「各吐出口６がインク流路７と一対一に対応する」ものであって、「エネルギー発生素子２は、吐出口６から吐出するためのエネルギーをインクに与えるものであって、電気熱変換体」からなるものであるから、引用発明は、「各吐出口６に対応し各インク流路内７に配置された少なくとも１台の電気熱変換体」を有するものということができる。
　以上から、本願発明と引用発明とは、
「泡形成液体が収容される複数のチャンバと、
　前記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、
　前記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが前記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、
　各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、
　を備え、
　各ヒーター素子が前記泡形成液体と熱接触するように設けられ、
　各ヒーター素子が、前記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する前記ノズルを通して前記泡形成液体の液滴を射出させるため、前記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、
　インクジェットプリントヘッド。」の点で一致し、以下の点で相違している。
　　
［相違点］本願発明において、「各チャンバ内の圧力は、約１気圧である」のに対し、引用発明において、インク流路における圧力の値は不明である点。
　　
４．判断
［相違点］について
　上記「第２．３．（１）」から、本願発明は、「各チャンバ内の圧力は、約１気圧である」ということに関して、気泡を形成している途中の期間における各チャンバ内の過渡的な圧力が約１気圧であるということはできず、また、その場合には液滴の吐出もできないこととなってしまう。
　してみると、本願発明のインクジェットプリントヘッドが機能するためには、静止状態において各チャンバ内の圧力は、約１気圧であると解さざるを得ないが、静止状態においては、引用発明に記載の液体噴射記録ヘッドのインク流路７内の圧力も、大気圧の作用により当然に約１気圧であると認められるから、このように解釈すれば、本願発明と引用発明の間には差異はないこととなってしまう。
　そこで、本願発明において、そもそも「約」の示す値が不明であるが、
「各チャンバ内の圧力は、約１気圧である」
との記載を、「１気圧」を基準に幅を有するものと認定して検討を行うに、インクジェットプリントヘッドにおいて、チャンバ内の圧力が高くなると高い機械的応力などによりインクジェットプリントヘッドに悪影響があることは、例えば特表２００２−５２７２７２号公報（特に、段落【０１９２】参照。）等に記載されているとおり、本願優先日前に広く一般に知られた技術課題であって、この圧力を「１気圧」に近づけて、高い機械的応力による悪影響を排除しようとすることは、当業者が必要に応じて適宜なし得る程度の事項にすぎず、上記相違点に係る本願発明の作用効果も、引用発明から当業者が予測できる範囲のものである。
　したがって、本願発明は、引用例に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　
　よって、結論のとおり審決する。