【手続補正書】
【提出日】平成22年8月17日(2010.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、
プラズマを点火するためにプラズマチャンバーに電力を送達するように構成される出力ポートと、
該出力ポートと並列なシャントスイッチであって、該シャントスイッチは、該出力ポートが電力を該プラズマチャンバーに送達している間開放されている、シャントスイッチと、
該プラズマ内のアークのインジケーターを受信するように構成されるプロセッサーと
を備え、該プロセッサーは、電流を該アークから分流することによって、該アークを消失させるために、該アークのインジケーターに応答して、第一の期間の間、該シャントスイッチを閉鎖するように構成され、次いで、該プロセッサーは、該プラズマを再開するために、プラズマ電圧を上昇させる回復期間を開始するために該シャントスイッチを開放し、該プロセッサーは、さらに、過電圧条件の確率を低減するために、該リカバリ期間の間に起こる電圧の上昇を制限するために、該アークが該プラズマ内で消失した後と、該プラズマ内にアークがないときに、第二の期間の間、該シャントスイッチを閉鎖し、電圧の上昇を制限するために該シャントスイッチが閉鎖される該第二の期間は、該アークを消失させるために該シャントスイッチが閉鎖される該第一の期間よりも短い、装置。
【請求項２】
前記シャントスイッチを閉鎖することは、パルスパラメーター値に基づき、該パルスパラメーター値は、パルス幅、パルス期間、パルスの数、またはオフ時間のうちの少なくとも一つを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記シャントスイッチを閉鎖することは、パルスパラメーター値に基づき、前記プロセッサーは、プラズマシステムパルスパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算するように構成され、該プラズマシステムパルスパラメーター値は、電力供給ユニットの出力インダクタンス、該電力供給ユニットの出力キャパシタンス、該電力供給ユニットの出力電流、または該電力供給ユニットの出力電圧のうちの少なくとも一つを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記パルスに関連したパルスパラメーター値を格納するように構成されるメモリーをさらに備えている、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記出力ポート、前記シャントスイッチおよび前記プロセッサーは、電力供給ユニットに含まれる、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
装置であって、
プラズマチャンバー内のアークから電流を分流するように構成されるシャントスイッチであって、該シャントスイッチは、パルスパラメーター値に従って開閉するように構成され、該アークが消失した後と、アークがプラズマ内に存在しないときの該シャントスイッチの開閉は、該プラズマを再開するために該プラズマの電圧が上昇するリカバリ期間の間の過電圧条件の確率を低減する、シャントスイッチと、
プラズマシステムパラメーター値を受信するように構成されるプロセッサーであって、該シャントスイッチおよび該プロセッサーは、電力供給ユニットに関連付けられ、該プラズマシステムパラメーター値は、該電力供給ユニットに関連し、該プロセッサーは、該プラズマシステムパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算するように構成される、プロセッサーと
を備え、該シャントスイッチは第一のシャントスイッチであり、該電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、該プロセッサーは、第二の電力供給ユニットに関連付けられた第二のシャントスイッチの開閉をトリガーし、該第二のシャントスイッチは、該第一のシャントスイッチと直列であるかまたは実質的に並列であるかのうちの少なくとも一つである、装置。
【請求項７】
前記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、前記プラズマシステムパラメーター値は、該第一の電力供給ユニットに関連し、前記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットを検出するように構成され、該プロセッサーは、該第二の電力供給ユニットに関連したプラズマシステムパラメーター値に基づいて前記パルスパラメーター値を計算するように構成される、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記プラズマシステムパラメーター値は、パルス幅であり、該プラズマシステムパラメーター値は、電力供給ユニットの電力レベルである、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、前記プロセッサーは、第二のシャントスイッチに対するパルスパラメーター値を計算するように構成され、該第二のシャントスイッチは、該第一のシャントスイッチと並列である、請求項６に記載の装置。
【請求項１０】
前記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、前記プロセッサーは、第二のシャントスイッチのパルスをトリガーするように構成され、該第二のシャントスイッチは、該第一のシャントスイッチと並列であり、該第一のシャントスイッチの該パルスの少なくとも一部分と、該第二のシャントスイッチの該パルスの少なくとも一部分とは、位相がずれている、請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
前記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、前記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットに関連したプラズマシステムパラメーター値を受信するように構成される、請求項６に記載の装置。
【請求項１２】
前記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、前記パルスパラメーター値は、第一のパルスパラメーター値であり、前記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットに第二のパルスパラメーター値を送信するように構成される、請求項６に記載の装置。
【請求項１３】
プラズマを点火して維持するために、電力供給ユニットからプラズマチャンバーに電力を送達することと、
該プラズマにおいてマイクロアークを検出することと、
該アークを消失させるために、該電力供給ユニット内のシャントスイッチを第一の期間の間の第一の時刻に閉鎖することによって、実質的に該アークの開始時に該アークに関連した電流を該プラズマから分流することであって、該シャントスイッチは、該第一の期間の最後の第二の時刻に開放され、電圧が上昇する条件は、該シャントスイッチが開放されるときに該プラズマを再開するためにトリガーされる、ことと、
該シャントスイッチが該第二の時刻に開放された後で、該プラズマにアークが存在しないとき、過電圧条件まで電圧が上昇する確率を低減するために、第二の期間の間、該シャントスイッチを閉鎖し、その後該シャントスイッチを再び開放することであって、該第二の期間は該第一の期間よりも短い、ことと該電圧が上昇する条件の電圧を制限するために、該シャントスイッチが該第二の時刻に開放された後で該シャントスイッチをパルス化することと
を包含する、方法。
【請求項１４】
前記第二の期間は、パルスパラメーター値によって決定され、該パルスパラメーター値は、パルス幅、パルス期間、パルスの数、またはオフ時間のうちの少なくとも一つを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第二の期間は、パルスパラメーター値によって決定され、前記方法は、プラズマシステムパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算することをさらに包含する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、前記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、前記方法は、第二の電力供給ユニットからプラズマシステムパラメーター値を受信することであって、該プラズマシステムパラメーター値は、該第一のシャントスイッチに対するパルスパラメーター値と、該第二のシャントスイッチに対するパルスパラメーター値とのうちの少なくとも一つを計算するために用いられる、ことをさらに包含する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、前記閉鎖することは、第二のシャントスイッチを閉鎖することの少なくとも一部分と位相をずらして閉鎖することを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記第二の時刻に前記シャントスイッチを閉鎖することは、パルスパラメーター値に基づき、前記プロセッサーは、プラズマシステムパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算するように構成され、該プラズマシステムパラメーター値は、該電力供給ユニットの出力インダクタンス、該電力供給ユニットの出力キャパシタンス、該電力供給ユニットの出力電流、または該電力供給ユニットの出力電圧のうちの少なくとも一つを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
前記アークが消失したか否かを第三の時刻に検出することと、
該アークが消失していないときに第四の時刻に前記シャントスイッチを閉鎖することであって、該第三の時刻は、前記第二の時刻の後である、ことと
をさらに包含する、請求項１３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
先に述べたように、上記の実施形態および実装は、説明目的のみのためにある。本発明の多数の他の実施形態、実装、および詳細は、当分野における当業者によって、以下の説明および特許請求の範囲から容易に認識される。
例えば、本発明は、以下の項目を提供する。
（項目１）
装置であって、
プラズマを点火するためにプラズマチャンバーに電力を送達するように構成される出力ポートと、
該出力ポートと並列なシャントスイッチと、
該プラズマ内のアークのインジケーターを受信するように構成されるプロセッサーであって、該プロセッサーは、電流を該アークから分流するためにある期間の間、該シャントスイッチを閉鎖するように構成され、該プロセッサーは、該アークに関連した電圧が上昇する条件の電圧を制限するために該シャントスイッチのパルスをトリガーするようにさらに構成される、プロセッサーと
を備えている、装置。
（項目２）
上記電圧が上昇する条件は、上記アークに関連したアーク回復期間の間に生じる、項目１に記載の装置。
（項目３）
上記電圧が上昇する条件は、上記シャントスイッチが上記期間の間、閉鎖された後で開放されるときにトリガーされ、該シャントスイッチは、該アークの開始時に実質的に閉鎖される、項目１に記載の装置。
（項目４）
上記シャントスイッチの上記パルスは、パルスパラメーター値に基づき、該パルスパラメーター値は、パルス幅、パルス期間、パルスの数、またはオフ時間のうちの少なくとも一つを含む、項目１に記載の装置。
（項目５）
上記シャントスイッチの上記パルスは、パルスパラメーター値に基づき、上記プロセッサーは、プラズマシステムパルスパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算するように構成され、該プラズマシステムパルスパラメーター値は、電力供給ユニットの出力インダクタンス、該電力供給ユニットの出力キャパシタンス、該電力供給ユニットの出力電流、または該電力供給ユニットの出力電圧のうちの少なくとも一つを含む、項目１に記載の装置。
（項目６）
上記パルスに関連したパルスパラメーター値を格納するように構成されるメモリーをさらに備えている、項目１に記載の装置。
（項目７）
上記出力ポート、上記シャントスイッチおよび上記プロセッサーは、電力供給ユニットに含まれる、項目１に記載の装置。
（項目８）
上記電圧が上昇する条件は、マイクロアークタイマーの期限が来た後で上記シャントスイッチが開放されるときにトリガーされる、項目１に記載の装置。
（項目９）
装置であって、
プラズマチャンバー内のアークから電流を分流するように構成されるシャントスイッチであって、該シャントスイッチは、パルスパラメーター値に従ってパルス化するように構成され、該シャントスイッチのパルスは、該アークに関連した電圧が上昇する条件の電圧を制限する、シャントスイッチと、
プラズマシステムパラメーター値を受信するように構成されるプロセッサーであって、該シャントスイッチおよび該プロセッサーは、電力供給ユニットに関連し、該プラズマシステムパラメーター値は、該電力供給ユニットに関連し、該プロセッサーは、該プラズマシステムパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算するようにさらに構成される、プロセッサーと
を備えている、装置。
（項目１０）
上記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、上記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、上記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットに関連した第二のシャントスイッチのパルスをトリガーするように構成され、該第二のシャントスイッチは、該第一のシャントスイッチと直列であるかまたは実質的に並列であるうちの少なくとも一つである、項目９に記載の装置。
（項目１１）
上記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、上記プラズマシステムパラメーター値は、該第一の電力供給ユニットに関連し、上記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットを検出するように構成され、該プロセッサーは、該第二の電力供給ユニットに関連したプラズマシステムパラメーター値に基づいて上記パルスパラメーター値を計算するように構成される、項目９に記載の装置。
（項目１２）
上記プラズマシステムパラメーター値は、パルス幅であり、該プラズマシステムパラメーター値は、電力供給ユニットの電力レベルである、項目９に記載の装置。
（項目１３）
上記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、上記プロセッサーは、第二のシャントスイッチに対するパルスパラメーター値を計算するように構成され、該第二のシャントスイッチは、該第一のシャントスイッチと並列である、項目９に記載の装置。
（項目１４）
上記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、上記プロセッサーは、第二のシャントスイッチのパルスをトリガーするように構成され、該第二のシャントスイッチは、該第一のシャントスイッチと並列であり、該第一のシャントスイッチの該パルスの少なくとも一部分と、該第二のシャントスイッチの該パルスの少なくとも一部分とは、位相が異なる、項目９に記載の装置。
（項目１５）
上記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、上記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットに関連したプラズマシステムパラメーター値を受信するように構成される、項目９に記載の装置。
（項目１６）
上記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、上記パルスパラメーター値は、第一のパルスパラメーター値であり、上記プロセッサーは、第二の電力供給ユニットに第二のパルスパラメーター値を送信するように構成される、項目９に記載の装置。
（項目１７）
プラズマを点火して維持するために、電力供給ユニットからプラズマチャンバーに電力を送達することと、
該プラズマにおいてアークを検出することと、
該電力供給ユニット内のシャントスイッチをある期間の間の第一の時刻に閉鎖することによって、実質的に該アークの開始時に該アークに関連した電流を該プラズマから分流することであって、該シャントスイッチは、該期間の最後の第二の時刻に開放され、電圧が上昇する条件は、該シャントスイッチが開放されるときにトリガーされる、ことと、
該電圧が上昇する条件の電圧を制限するために、該シャントスイッチが該第二の時刻に開放された後で該シャントスイッチをパルス化することと
を包含する、方法。
（項目１８）
上記アークは、マイクロアークである、項目１７に記載の方法。
（項目１９）
上記パルス化することは、パルスパラメーター値に従ってパルス化することを含み、該パルスパラメーター値は、パルス幅、パルス期間、パルスの数、またはオフ時間のうちの少なくとも一つを含む、項目１７に記載の方法。
（項目２０）
上記パルス化することは、パルスパラメーター値に従ってパルス化することを含み、上記方法は、プラズマシステムパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算することをさらに包含する、項目１７に記載の方法。
（項目２１）
上記電力供給ユニットは、第一の電力供給ユニットであり、上記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、上記方法は、第二の電力供給ユニットからプラズマシステムパラメーター値を受信することであって、該プラズマシステムパラメーター値は、該第一のシャントスイッチに対するパルスパラメーター値と、該第二のシャントスイッチに対するパルスパラメーター値とのうちの少なくとも一つを計算するために用いられる、ことをさらに包含する、項目１７に記載の方法。
（項目２２）
上記シャントスイッチは、第一のシャントスイッチであり、上記パルス化することは、第二のシャントスイッチのパルスの少なくとも一部分と位相をずらしてパルス化することを含む、項目１７に記載の方法。
（項目２３）
上記シャントスイッチの上記パルスは、パルスパラメーター値に基づき、上記プロセッサーは、プラズマシステムパラメーター値に基づいて該パルスパラメーター値を計算するように構成され、該プラズマシステムパラメーター値は、該電力供給ユニットの出力インダクタンス、該電力供給ユニットの出力キャパシタンス、該電力供給ユニットの出力電流、または該電力供給ユニットの出力電圧のうちの少なくとも一つを含む、項目１７に記載の方法。
（項目２４）
上記アークが消失されたか否かを第三の時刻に検出することであって、上記第二の時刻は、パルス化することの中の少なくとも一つのパルスの後である、ことと、
該アークが消失されていないときに第四の時刻に上記シャントスイッチを閉鎖することであって、該第三の時刻は、該第二の時刻の後である、ことと
をさらに包含する、項目１７に記載の方法。