【事件の表示】
　平成１１年特許願第５００４０３号「リークテストのための方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１２月　３日国際公開、ＷＯ９８／５４５６０、平成１４年　１月　８日国内公表、特表２００２−５００７６４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は、平成１０年３月１０日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　平成９年５月２６日、欧州特許庁（ＥＰ））を国際出願日とする特許出願（平成１１年特許願５００４０３号）であって、平成２１年１１月１７日付けで拒絶査定（発送日：同年１２月１日）されたところ、拒絶査定不服審判が平成２２年３月２９日に請求されたものである。
　　　　　　
第２　本件出願に係る発明
　本件出願の請求項１〜４０に係る発明は、平成２１年１月３０日付け手続補正書で補正された特許請求の範囲の請求項１〜４０に記載されたとおりのものであって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものと認める。
　　　　　　　　 
「１．少なくとも１つの閉塞収容容器のリークテストを行うための方法であって、
　前記容器が、少なくとも１つの液体成分を収容している場合に、
　真空引きポンプを使用して前記容器の周囲空間を真空引きにすることによって、前記容器の壁の内のテストされるべき少なくとも一部の内外にわたって圧力差を適用し；
　前記周囲空間の前記圧力値を、前記少なくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで下げ；
　前記周囲空間の圧力値を、リーク信号として観測し；
　前記真空引きポンプによる前記真空引きを継続しつつ、リーク判定信号として圧力値の観測を行うことを特徴とする方法。」
　
第３　引用刊行物の記載
（３Ａ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願の優先権主張の日前に頒布された特開平４−２７９８５０号公報(以下、「引用刊行物Ａ」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。（下線は、当審で付与したものである。以下、同様である。）　
（３Ａ−１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液体容器のピンホール検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、成形充填方式による、ポリプロピレンやポリエチレンの小型容器を使用した医薬品（液体）が製造されるようになって来ている。
【０００３】しかし、
ポリプロピレンやポリエチレンを用いた液体容器
　　
（３Ａ−２）「【０００８】そこで、図４に示す如き、ピンホール検出装置１が採用されるようになってきている。
【０００９】該
ピンホール検出
【００１０】尚、図中７は液体容器、８は該液体容器７を載置する載置台であり、該載置台８の上面には前記真空ケース３の下端を気密に圧着するためのシール材８’が備えてある。
【００１１】上記図４のピンホール検出装置１では、シリンダ２によって真空ケース３を上方へ移動させて、
載置台８上に被検体である液体容器７を載せ
その後真空ケース３を下降させて、液体容器７を真空ケース３によって密閉包囲し、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行うようにしている
【００１２】即ち、液体容器７に
ピンホールがある場合には、液体容器７から液体や気化したガスが真空ケース３内に流出する
【００１３】このとき、圧力計６の液相部から流出する液体、及び気相部から流出する気化ガスが流出する際に真空ケース３内の圧力が上昇することからピンホールを検出するようにしているので、液体容器７の液相部、気相部に関係なくピンホールを検出することができる。」
　
（３Ａ−３）「【００１４】
【発明が解決しようとする課題】・・・
・・・
【００１７】本発明は斯かる実情に鑑みてなしたもので、簡単な構成及び操作で
精密度の高い検査を行う
　
（３Ａ−４）「【００２１】図１、２は本発明の一実施例を示したもので、図中１０は支持台であり、該支持台１０上には、回転盤１１が配置されており、該回転盤１１は駆動装置１２によって間欠回転可能となっている（図示の場合は４分の１回転する）。
【００２２】前記回転盤１１には、
液体容器１３を載置する回転テーブル１４が
円上に等間隔で複数（図示の場合は４個）配設されている
【００２３】前記支持台１０上の回転盤１１の側方でしかも回転盤１１の間欠駆動して停止する位置に対向する位置には、液体容器１３の表面の赤外線をとらえる赤外線イメージセンサ１６が支持柱１７によって支持されている。
【００２４】図中１８は、回転盤１１、赤外線イメージセンサ１６を囲繞して密閉する真空ケースであり、該真空ケース１８は支持体１９によって支持されるシリンダなどの昇降装置２０によって上下動可能となっている。
又、真空ケース１８は真空吸引管４を介して真空ポンプ５と接続している。
【００２５】尚、図中２１は液体容器１３を運搬する運搬ラインを示している。
【００２６】又、前記赤外線イメージセンサ１６は、図３に示す如く信号線２２を介してピンホール２３の有無を判別する判断装置２４接続している。２５は表示部を示している。
【００２７】上記実施例により、液体容器１３のピンホール２３を検出するには以下のようにして行う。
【００２８】真空ケース１８を昇降装置２０によって上昇させ、運搬ライン２１によって運搬されてくる液体容器１３を回転テーブル１４上に移載する。このとき、運搬ライン２１から回転テーブル１４へ液体容器１３を移載する手段は、作業員の手作業であっても、ロボットなどによる機械的手段であってもよい。
【００２９】前記回転テーブル１４上に液体容器１３を載置した後、
真空ケース１８を下降させて密閉状態とし
【００３０】その後、回転盤１１を１／４回転させ他の液体容器１３を赤外線イメージセンサ１６の前面に移動させ、前記と同様にして検出を行い、この操作を繰返して４個の液体容器１３の検出を終了する。
【００３１】このように液体容器１３が赤外線イメージセンサ１６の前で一回転することにより、赤外線イメージセンサ１６は液体容器１３の全周面の表面温度を、液体容器１３表面からの赤外線によってとらえ、検出した信号を判断装置２４へと送る。
【００３２】該判断装置２４において、赤外線イメージセンサ１６から送られてきた信号は信号処理され、液体容器１３の表面温度が測定されて温度分布が表示部２５に表示される。
【００３３】即ち、
液体容器１３の気相部、液相部に関係なくピンホール２３が存在すると、真空吸引によってピンホール２３から気化ガスや液体が洩れる
　
　上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−１）〜（３Ａ−４）、特に（３Ａ−１）、（３Ａ−２）の記載を参照すると、上記引用刊行物Ａには、
「載置台８上に被検体であるポリプロピレンやポリエチレンを用いた液体容器７を載せ、
　その後真空ケース３を下降させて、液体容器７を真空ケース３によって密閉包囲し、液体容器７のピンホールを検出する方法において、
　真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行う方法。」
　　　　
（３Ｂ）原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願の優先権主張の日前に頒布された特開平９−６１２８５号公報(以下、「引用刊行物Ｂ」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（３Ｂ−１）「【請求項１】　密閉容器中に、開気孔を含む基材の表面に通気性のない稠密な層を被覆した部材を収納した後、前記密閉容器内を真空引きし、真空引きした際の密閉容器内の到達圧力及び／又は所定圧力に到達するまでの時間により、被覆層の欠陥の有無を判定することを特徴とする稠密な被覆を施した部材の検査方法。」
　
（３Ｂ−２）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、開気孔を含む基材の表面に通気性のない稠密な層を被覆した部材、特に高純度を要求される半導体製造用の治具に好適に用いられる稠密な被覆を施した部材の検査方法及びその検査方法に適用する検査装置に関するものである。
・・・
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の浸透液による手法にあっては、ウエハーを支持する複雑な形状部分では加工端面の微小亀裂の発生を十分な感度で検出することができず、また
微小なピンホールの検出
　　
（３Ｂ−３）「【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、黒鉛基材に稠密な SiC層を被覆したエピタキシャル成長用サセプターを例として説明する。しかし、本発明はこの例に限定されるものではない。第１の本発明方法は、図１に示す第１の本発明装置を用いて次のように実施する。すなわち、密閉容器１中に、黒鉛基材２ａの表面に通気性のない稠密な薄い SiC層２ｂを被覆したサセプター２を収納した後、この
密閉容器１内を減圧ポンプ３で減圧引きし、減圧引きした際の密閉容器１内の到達圧力及び／又は所定圧力に到達するまでの時間を圧力計４や圧力記録計を用いて測定し、この測定結果より SiC層２ｂの欠陥の有無を以下のように判定する
【００１４】
先ず、サセプター２の表面の SiC層２ｂに欠陥がなく、通気性がない場合には、所定時間減圧した際の到達圧力は、密閉容器１内にサセプター２を入れない状態で所定時間減圧した際の到達圧力（ブランクでの到達圧力）と同じか若干低くなる
【００１５】逆に、サセプター２の表面の SiC層２ｂがない黒鉛基材２ａだけの場合には、所定時間減圧した際の到達圧力は、ブランクでの到達圧力とほぼ同じか若干高くなる。これは、黒鉛基材２ａ内部の開気孔に内在する気体が気孔を通じて抜ける際にやや抵抗があるためである。但し、この場合には、サセプター２の全表面から気孔内の気体を抜くことができるので、ブランクでの到達圧力と比較してその変化は非常に小さい。
【００１６】しかしながら、
サセプター２の表面の SiC層２ｂのごく一部に微細なピンホールやクラック等の欠陥がある場合には、黒鉛基材２ａの開気孔内の気体がこのピンホールやクラックを通って抜けることになるので、気体が抜ける際の抵抗が非常に大きくなる。従って、サセプター２内の気体を全て抜くことができないので、所定時間減圧した際の到達圧力は、ブランクでの到達圧力よりも高くなる
【００１７】
　以上のように、到達圧力の高低により SiC層２ｂの欠陥の有無を判別することができる。以上の説明は所定の時間減圧引きを行った際の到達圧力で欠陥の有無を判別する方法を示したが、同様に所定圧力まで減圧引きする際に要する時間を比較することでも、 SiC層２ｂの欠陥の有無を判別することができる。これは、サセプター２表面の SiC層２ｂのごく一部に微細なピンホールやクラック等の欠陥がある場合には、気体が抜ける際の抵抗が非常に大きくなるので、所定圧力まで減圧引きする際に要する時間が、欠陥のないサセプター２の場合よりも長くなるためである。」
　
（３Ｂ−４）「【００４０】これらのサセプターをシリコンウエハーを回収した後に、エピタキシャル成長用装置の容器内に付着したSiを除去するために、高温HCl 雰囲気でのエッチング処理を行い、本発明の実施例による欠陥検査を行った。　表１に示す実施例１では、
減圧法により、所定時間の減圧を行う方法で欠陥検査を行った。減圧時間は２０分とし、到達圧力を計測した
・・・
【００４４】表３に示す実施例３では、
減圧保持法により、欠陥検査を行った
減圧を２０分行った後、バルブを閉めて密閉容器内を密閉し、２０分保持した後の炉内圧力の戻りを計測した
　
（３Ｂ−５）段落【００４１】の表１には、減圧法により、密閉容器を２０分間減圧したときの
到達圧力が、ウエハー異常の状態に応じて、０．０１〜０．０３Torrの間で変化する
開気孔を含む基材の表面に通気性のない稠密な層を被覆した部材を密閉容器内に入れて、減圧したときの到達圧力、保持後の圧力、圧の戻りの圧力値が示されている
　
第４　対比・判断
（４−１ａ）本願発明と引用発明との対比
（i）引用発明の「被検体であるポリプロピレンやポリエチレンを用いた液体容器７」は、真空ケース３によって密閉包囲され、液体容器７のピンホールを検出される容器であるから、本願発明の「閉塞収容容器」に相当する。
　そして、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）の段落【００１２】に、「即ち、液体容器７にピンホールがある場合には、液体容器７から液体や気化したガスが真空ケース３内に流出するので、真空ケース３内の真空圧が徐々に上昇し、圧力の上昇が圧力計６によって検出されることにより、ピンホールがあることが判別される。」と記載されていることから、引用発明の「液体容器７のピンホールを検出する方法」は、液体容器７から液体や気化したガスが真空ケース３内に流出することを検出する方法、すなわち、液体容器７からの液体や気化したガスのリークを検出する方法であることは明らかである。
　よって、引用発明の「液体容器７のピンホールを検出する方法」と本願発明の「少なくとも１つの閉塞収容容器のリークテストを行うための方法」とは「閉塞収容容器のリークテストを行うための方法」である点で共通する。
　
（ii）引用発明の「被検体であるポリプロピレンやポリエチレンを用いた液体容器７」は、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−１）にあるように、液体容器７の中には医薬用の液体が充填されていることは明らかであり、さらに、医薬用の液体は少なくとも１つ以上の液体成分で形成されていることは自明な事項であることから、引用発明の「液体容器７のピンホールを検出する方法」は、本願発明の「方法」と同様に「前記容器が、少なくとも１つの液体成分を収容している場合に」リークテストを行っていることは明らかである。
　
（iii）引用発明の「ピンホールの有無の判別を行う方法」は、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行う方法であり、このピンホールの有無の判別を行う方法における圧力の変化は、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−２）の段落【００１３】に、「液体容器７にピンホールがある場合には、液体容器７から液体や気化したガスが真空ケース３内に流出するので、真空ケース３内の真空圧が徐々に上昇し、圧力の上昇が圧力計６によって検出されることにより、ピンホールがあることが判別される」と記載されているように、真空ケース３と液体容器７内の圧力差に応じて液体容器７内の液体や気化したガスが真空ケース内３に流出することによる基づく圧力変化である明らかであり、さらに、液体容器７内の液体や気化したガスが真空ケース内３に流出するピンホールは１つに限らないことも明らかである。
　そうすると、引用発明の「ピンホールの有無の判別を行う方法」は、本願発明の「方法」と同様に「真空引きポンプを使用して前記容器の周囲空間を真空引きすることによって、前記容器の壁のうちのテストされるべき少なくとも一部の内外にわたって圧力差を適用」するものである。
　
（iv）引用発明の「ピンホールの有無の判別を行う方法」は、「真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とし」ていることから、引用発明の「真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）と」することと、本願発明の「前記周囲空間の前記圧力を、前記少なくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧以下にまで下げ」ることとは、「前記周囲空間の前記圧力を、下げ」る点で共通する。
　
（v）引用発明では、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行っていることから、引用発明の「ピンホールの有無の判別を行う方法」と、本願発明の「方法」とは、「前記周囲空間の圧力値を、観測し」ている点で共通する。
　　
　そうすると、本願発明と引用発明とは、
「閉塞収容容器のリークテストを行うための方法であって、
　前記容器が、少なくとも１つの液体成分を収容している場合に、
　真空引きポンプを使用して前記容器の周囲空間を真空引きにすることによって、前記容器の壁の内のテストされるべき少なくとも一部の内外にわたって圧力差を適用し；
　前記周囲空間の圧力値を、観測し；
　前記周囲空間の前記圧力値を下げる方法。」
　である点で一致し、次の相違点（あ）〜相違点（え）で相違する。
　　
・相違点（あ）
　リークテストを行うための閉塞収容容器が、本願発明では「少なくとも１つの閉塞収容容器」であるのに対して、引用発明では、液体容器７の数が明確でない点。
　
・相違点（い）　
　周囲空間の圧力値を下げる際、本願発明では「少なくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げるのに対して、引用発明では、真空状態（所定真空圧力）に下げる点。
　　　
・相違点（う）
　周囲空間の圧力値を、観測する際に、本願発明では、周囲空間の圧力値を、「リーク信号として」観測しているのに対して、引用発明では、圧力計６の圧力を読み取っている点。
　
・相違点（え）
　本願発明では、閉塞収容容器のリークテストを行う際に、「真空引きポンプによる前記真空引きを継続しつつ、リーク判定信号として圧力値の観測を行う」のに対して、引用発明では、真空ケース３内の圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行う際に、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別している点。
　　　
（４−１ｂ）当審の判断
　上記相違点（あ）〜相違点（え）について判断する
・相違点（あ）について、
（あ−１）引用発明では、液体容器７のピンホールの有無の判別を行う際の、液体容器７の数が明確でないが、液体容器７のピンホールを検出する際には、必ず、液体容器７が１つ必要であることは明らかである。
　他方、本願発明は、閉塞収容容器が「少なくとも１つの閉塞収容容器」であるから、本願発明において、閉塞収容容器が１つの場合を含むものである。
　そうすると、引用発明の液体容器７と本願発明の閉塞収容容器の数が１である場合には、引用発明と本願発明とに実質的な差異がないことになる。
（あ−２）また、液体容器７を、４個設けることが、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−４）の段落【００２２】に記載されており、さらに、例えば、特開平３−１６７４３４号公報に、「この実施例の場合には、このような注射液アンプルｌが５個仮接続されたアンプルセットＳを１個の『密封容器』として検査対象としている。」と記載されていることから、気密性を検査するため際に、液体容器を複数個用意して、気密性を検査することは周知である。
　そうすると、上記（あ−１）で検討したように、引用発明では、液体容器７が複数あるかどうか不明であるが、必ず１つの液体容器を用いてピンホールの検査をしており、さらに、液体容器の気密性を検査する際に、複数の液体容器を用意して検査することは、上記のごとく周知であることから、引用発明において、１つの液体容器だけでなく、複数の液体容器のピンホールを検査することにより、本願発明のごとく、リークテストを行うための閉塞収容容器が、「少なくとも１つの閉塞収容容器」であるようにすることは、当業者が容易になし得るものである。
　　
・相違点（い）について
（い−１）上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−３）の段落【００３３】には「液体容器１３の気相部、液相部に関係なくピンホール２３が存在すると、真空吸引によってピンホール２３から気化ガスや液体が洩れるが、この小さいピンホール２３を液体が洩れる際に、気化熱あるいはジュール・トムソン効果によってピンホール２３の付近の表面温度のみが周囲より低下する」と記載されており、この気化熱は、例えば、特開平３−１６７４３４号公報の４頁左上欄の１２〜１４行に「漏れ出た液体は真空雰囲気により急激に気化し、その際に急激な気化に応じて多量に気化潜熱を奪う」と記載されているように、液体容器から漏れ出た液体からの気化したものであり、さらに、液体容器の気相部のピンホールからの気化ガスには、液体容器の液相部の液体から気化したものを含むことは明らかである。
　ところで、例えば、本件出願の図１に示されているように、ある温度と圧力における材料の液相と気相の関係は蒸気圧曲線に従うこと、及び、例えば、特開平９−２０５６５号公報に、「【００２１】【作用】炉内圧力をその成形体の温度における有機バインダーの蒸気圧を超える圧力に保持する第１工程により、有機バインダーは成形体表面から緩やかに気化する・・・【００２２】次いで、・・・その温度における有機バインダーの蒸気圧以下にする第２工程により、成形体内部の有機バインダーは盛んに気化し始める。・・・」と記載されているように、圧力が、蒸気圧曲線より高い場合は、緩やかに気化し、蒸気圧曲線より低い場合は盛んに気化することは、それぞれ、技術常識である。そして、引用発明の「真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とする」ことは、例えば、特開平３−１６７４３４号公報の４頁左上欄１６〜１８行に、「真空処理の目的の１つがピンホールからの液体の漏出を促進することにある」と記載されているように、ピンホールからの気化ガスや液体の洩れ、すなわち液体容器７の液体からの気化を促進することを目的するものであるから、引用発明において、液体容器７の液体からの気化を促進するために、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧際の真空状態（所定真空圧力）を、緩やかに気化する液体容器７内の液体の蒸気圧以上ではなく、盛んに気化する液体容器７内の液体の蒸気圧値以下まで下げることにより、本願発明のごとく、周囲空間の圧力値を下げる際、「液体」の「蒸気圧値以下にまで」下げることは当業者が容易になし得るものである。
（ａ）そして、本願発明の「少なくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げる構成では、液体成分が１つの場合には、最も大きな蒸気圧値は、液体を構成する１つの液体成分の蒸気圧値となるから、上記のごとく、引用発明において、液体容器７の液体からの気化を促進するために、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧際の真空状態（所定真空圧力）を盛んに気化する液体容器７内の液体の蒸気圧値以下まで下げれば、本願発明と同様に「１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げることになるのは明らかである。
（ｂ）また、（４−１ａ）の（ii）で検討したように、引用発明の液体容器７の液体は、１つ以上の液体成分で形成されていることから、引用発明において、液体容器７の液体成分が複数の液体成分で形成されている場合、周囲空間の圧力値と各液体成分の気化とが、例えば、特開平９−２０５６５号公報に「【００１９】・・・脱脂率が３０％以上になったのちは、有機バインダーを構成する成分のうちのいずれかが沸点に達するため、有機バインダーの排出通路が充分に確保された成形体から、有機バインダーが次々に排出される。なお、最も蒸気圧の低い成分の蒸気圧よりも低い蒸気圧にすれば、混合物を構成する全ての成分が沸点に達するため、有機バインダーの気化がさらに活発化する。」と記載されているように、周囲空間の圧力値を複数の液体成分の蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にした場合には、大きな蒸気圧値の液体成分のみが盛んに気化することとになり、また、複数の液体成分の蒸気圧値のうちの最も小さな蒸気圧値以下にした場合には、全ての液体成分が盛んに気化することとなるのは明らかである。そして、周囲空間の圧力値をどの液体成分の蒸気圧値以下に設定するかは、気化をどの程度に盛んにするかに応じて、当業者が適宜選択する事項にすぎないことから、引用発明において、液体容器７の液体が複数の液体成分の場合に、空ケース３内を減圧際の真空状態（所定真空圧力）を、液体容器７の液体成分のうちの最も大きな蒸気圧値以下まで下げるようにして、本願発明のごとく、周囲空間の圧力値を下げる際、複数の「液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げることは、当業者が適宜選択し得る設計的事項にすぎないものである。
（い−２）また、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−２）の段落【０００５】、摘記事項（３Ｂ−３）の段落【００１３】、段落【００１７】、摘記事項（３Ｂ−４）の段落【００４２】、及び摘記事項（３Ｂ−５）の記載事項を参照すると、上記引用刊行物Ｂには、気体を含む基材を被覆膜で被覆した物体において、その被覆膜のピンホール検査を、該物体の周囲空間を減圧引きし、該周囲空間の到達圧力を測定することで行うに際して、減圧法により、所定時間の減圧を行う方法で欠陥検査を行うと、被覆膜の異常に応じて、到達圧力が０．０１〜０．０３Torrに変化することが記載され、また、例えば、平成２０年１０月２９日付け拒絶理由通知書で引用された特開昭５９−９５３５号公報の「気密室の微少穴からガスが吹き出されて生じる小さな気泡の有無をいずれも人間が目で見て良否を判定するので、見のがしが発生し試験の信頼性が悪くなるという欠点があつた。」（２頁右上欄４〜８行）、及び「半導体装置（１）をポート（２）に収容し、リークバルブ（３）を閉じた状態ポート（２）内の真空ポンプ（４）によつて排気する。このとき時間の経過と共に変化する真空度が真空計（５）によつて検出され、この検出された情報は信号に変換され・・・その信号は・・・記憶装置に入力されて、例えば第２図に（１１）で示す真空度特性が記憶される。ここで上記半導体装置（１１）と同じ体積の完全気密性物体・・・を同じ条件で排気して得た例えば第２図に（１２）で示す真空度特性を、入力装置（９）を用いて予め記憶装置（１８）に基準として記憶させておく。この記憶されて２つの真空度特性を読み出してＣＰＵ（７）で比較させ、例えば所定排気時間ｔ０における真空度に差があるかどうかによつて半導体装置（１）の気密性の良否判定を行ない、データ・記録結果等を出力装置（１０）に出力させる。」（２頁左下欄１８行〜右下欄１５行）の各記載及び第２図の記載を参照すると、上記特開昭５９−９５３５号公報には、気密検査対象の物体を気密室に収容して該物体にリークがあるかどうかを検査する際、気密室の真空度を、１Torrから所定時間ｔ０後の真空ポンプで吸引した真空度の差、すなわち到達圧力の差、つまり、第２図では、１Torrから０．０１Torrの間にある真空度の差Ｐ１とＰ０との差を測定することが記載されている。
　そうすると、真空ケース内を減圧して検査品のピンホールからの気体が発生するかどうかを検出して検査品の外部表面の気密性を検出する際に、検査品が入った真空容器内の空気を真空ポンプで所定時間吸引し、所定時間後の真空容器内の圧力が、例えば１Torr以下の所定の真空度まで下がるかどうかを観測することにより、検査品の気密性を判別することは、周知である。
　そして、上記（い−１）で検討したように、引用発明で液体容器７のピンホールからは、液体からの気化による気化ガスが発生することから、引用発明も上記周知例も、ともに、気密性のある検査品のピンホールから気体が発生するかどうかを検出していることから、引用発明において、ピンホールの有無の判別を行う際に、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して、周知例のごとく、１Torr以下の真空状態（所定真空圧力）とすることは当業者が容易になし得るものである。
　さらに、上記引用刊行物Ａの摘記事項（３Ａ−１）には、液体容器として医薬品（液体）に用いられることが記載されており、また、医薬品として用いられる液体容器に入っている液体に、例えば、特開平８−１０９１３７号公報に「【０００２】・・・従来、皮膚や目、耳、鼻に適用される外用製剤として、液状製剤・・・等の剤形がある。液状製剤には、酒精剤・・・等がある。・・・【０００３】酒精剤は、通例、揮発性医薬品をエタノール又はエタノールと水の混液で溶かした液状の製剤である。酒精剤を製するには、通例、医薬品をエタノール又はエタノールと水の混液に溶かす。・・・【００７４】本発明の剤形は、遮光性気密容器（例えば、アルミ蒸着フィルムを包装材とする袋）に保存することが望ましい。・・・」と記載されているように、水とエタノールの成分がある場合について検討すると、水の２０°Ｃでの蒸気圧値である２３hPa（２３hPa≒１７．２５Torr）であり、エタノールの２０°Ｃでの蒸気圧値は４４．０Torrであるから、引用発明において、ピンホールの有無の判別を行う際に、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して、１Torr以下の真空状態（所定真空圧力）にすれば、真空状態は、水、エタノールの２０°Ｃでの蒸気圧値以下となるものである。
　そして、上記相違点（い−１）（ｂ）で検討したように、周囲空間の圧力値をどの液体成分の蒸気圧値以下に設定するかは、気化をどの程度に盛んにするかに応じて、当業者が適宜選択する事項にすぎないことから、引用発明において、液体容器７の液体が複数の液体成分の場合に、空ケース３内を減圧際の真空状態（所定真空圧力）を、液体容器７の液体成分のうちの最も大きな蒸気圧値以下、例えば、エタノールの蒸気圧値以下まで下げるようにして、本願発明のごとく、周囲空間の圧力値を下げる際、「すくなくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げることは、当業者が適宜選択し得る設計的事項にすぎないものである。
（い−３）よって、上記（い−１）又は（い−２）で検討したように、引用発明において、本願発明のごとく、周囲空間の圧力値を下げる際、「少なくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げることは、当業者が容易になし得たものである。
　
・相違点（う）について
　真空ケース内の圧力値を観測する圧力計から測定信号が出力されることは、例えば、特開昭６０−１２７４３８号公報に「圧力計１０５の出力信号」（３頁右上欄１５〜１６行）と記載されているように、周知であることから、引用発明の圧力計６も周知例の圧力計もともに真空ケース内の圧力値を圧力計で測定していることから、引用発明の圧力計６の圧力値を読み取る際に、圧力計からの出力信号を用いて、本願発明のごとく、　周囲空間の圧力値を観測する際に、周囲空間の圧力値を、「リーク信号として」観測することは当業者が容易になし得るものである。
　
・相違点（え）について
　引用発明の圧力計６の圧力値を読み取る際に、圧力計からの出力信号を用いて、本願発明のごとく、　周囲空間の圧力値を観測する際に、周囲空間の圧力値を、「リーク信号として」観測することは、上記相違点（う）で検討したとおりである。
　ところで、本願出願の明細書の段落【００３３】〜【００３５】に「【００３３】テストキャビティ１内に導入された容器が、比較的剛直な壁１１を有したものであってかつ
リークがない場合には、容積Ｖ内の圧力は、定性的には、図３における曲線（ａ）に従うこととなる。すなわち、圧力は、使用されている真空ポンプのタイプによって決まる到達可能な所定圧力値の近くにまで下がることとなる
図２に示すように例えば場所１３においてリークを有している場合には
圧力曲線は、（ｂ）に従うこととなる。すなわち、液体の蒸発が、真空ポンプ５の作用を打ち消して、容積Ｖ内の圧力上昇をもたらす
リークが、容器９のうちの、図２における場所１３’といったような、空気が拘束されている領域に位置している場合には
圧力曲線には到達せず、体積Ｖ内の圧力上昇が起こる
容器のリークを検出するために、例えば時間スパンτ後において、容積Ｖ内の絶対圧力を絶対値として計測することが可能である
　他方、引用発明では、液体容器７のピンホールの有無の判別を行う際に、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）にした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行っているが、検査品の外部表面の気密性を検出する際に、検査品が入った真空容器内の空気を真空ポンプで所定時間吸引し、所定時間後の真空容器内の圧力が、気密性のある場合の検査品の低い圧力値にまで下がるかどうかを観測することにより、検査品の気密性を判別することは、周知である。
　たとえば、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−３）には「【００１４】先ず、サセプター２の表面の SiC層２ｂに欠陥がなく、通気性がない場合には、所定時間減圧した際の到達圧力は、密閉容器１内にサセプター２を入れない状態で所定時間減圧した際の到達圧力（ブランクでの到達圧力）と同じか若干低くなる。・・・【００１６】しかしながら、サセプター２の表面の SiC層２ｂのごく一部に微細なピンホールやクラック等の欠陥がある場合には、黒鉛基材２ａの開気孔内の気体がこのピンホールやクラックを通って抜けることになるので、気体が抜ける際の抵抗が非常に大きくなる。従って、サセプター２内の気体を全て抜くことができないので、所定時間減圧した際の到達圧力は、ブランクでの到達圧力よりも高くなる。」と記載されている。
　また、平成２０年１０月２９日付け拒絶理由通知書で引用された特開昭５９−９５３５号公報に、「半導体装置（１）をポート（２）に収容し、リークバルブ（３）を閉じた状態ポート（２）内の真空ポンプ（４）によつて排気する。このとき時間の経過と共に変化する真空度が真空計（５）によつて検出され、この検出された情報は信号に変換され・・・その信号は・・・記憶装置に入力されて、例えば第２図に（１１）で示す真空度特性が記憶される。ここで上記半導体装置（１１）と同じ体積の完全気密性物体・・・を同じ条件で排気して得た例えば第２図に（１２）で示す真空度特性を、入力装置（９）を用いて予め記憶装置（１８）に基準として記憶させておく。この記憶されて２つの真空度特性を読み出してＣＰＵ（７）で比較させ、例えば所定排気時間ｔ０における真空度に差があるかどうかによつて半導体装置（１）の気密性の良否判定を行ない、データ・記録結果等を出力装置（１０）に出力させる。」（２頁左下欄１８行〜右下欄１５行）と記載されている。　そして、引用発明の液体容器７のピンホールを検出する方法は、液体容器７の外部表面の気密性を検出するものであることは明らかであり、さらに、上記引用刊行物Ｂの摘記事項（３Ｂ−５）に、「表３に示す実施例３では、減圧保持法により、欠陥検査を行った。試験装置は実施例１と同様のものを使用した。減圧を２０分行った後、バルブを閉めて密閉容器内を密閉し、２０分保持した後の炉内圧力の戻りを計測した。」と記載されていることから、上記引用刊行物Ｂには、検査品の外部表面の気密性を検出する際に、検査品が入った真空容器内の空気を真空ポンプで所定時間吸引し、所定時間後の真空容器内の圧力が、気密性のある場合の検査品の低い圧力値にまで下がるかどうかを観測することにより検査品の気密性を判別する方法のほかに、引用発明のごとく、真空ポンプで真空ケース内を減圧して真空状態とした後、バルブを閉めて、所定時間後の真空ケース内の圧力の戻り変化、すなわち、真空状態からの圧力変化を観測することにより検査品の気密性を判別する方法が記載されていることから、検査品の外部表面の気密性を検出する際に、引用発明のごとく、真空ポンプで真空ケース内を減圧して真空状態とした後、バルブを閉めて、所定時間後の真空ケース内の圧力の戻り変化、すなわち、真空状態からの圧力変化を観測することにより検査品の気密性を判別するか、あるいは、真空容器内の空気を真空ポンプで所定時間吸引し、所定時間後の真空容器内の圧力が、低い圧力値にまで下がるがどうかを観測することにより検査品の気密性を判断するかは、当業者が必要に応じて適宜採用する選択事項といえるものである。
　そうすると、引用発明と、上記周知例とは、検査品の気密性を検査する際に、真空ポンプで検査容器内を真空吸引して、検査容器内の圧力値がどのように変化するかを検出する点で共通し、さらに、検査品の外部表面の気密性を検出する際に、検査品が入った真空容器内の空気を真空ポンプで所定時間吸引し、所定時間後の真空容器内の圧力が、気密性のある場合の検査品の低い圧力値にまで下がるがかうかを観測するか、または、真空ポンプで真空ケース内を減圧して真空状態とした後、バルブを閉めて、所定時間後の真空ケース内の真空状態からの圧力変化を観測することにより検査品の気密性を判別するかは当業者が適宜採用し得る選択事項であることから、引用発明において、液体容器７のピンホールの有無の判別を行う際に、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）にした後、バルブ９を閉じてこのときの圧力計６の圧力を読み取り、その後所要の時間の経過後に再び圧力計の変化を読み取り、圧力の変化から液体容器７のピンホールの有無の判別を行う代わり、周知例のごとく、検査品の外部表面の気密性を検出する際に、検査品が入った真空容器内の空気を真空ポンプで所定時間吸引し、所定時間後の真空容器内の圧力が、気密性のある場合の検査品の低い圧力値にまで下がるがどうかを観測する構成を採用し、液体容器７が入った真空ケース３内の空気を真空ポンプ５で所定時間吸引し、所定時間後の真空ケース３内の圧力が、液体容器７にピンホールがない場合の圧力値に下がっているかどうかを観測することにより、本願発明のごとく、「前記周囲空間の圧力値を、リーク判定信号として観測する場合において、前記真空引きポンプによる圧力引き下げを、実質的に、リーク判定信号として前記圧力値が観測されるまで行う」ことは、当業者が容易になし得るものである。
　　　
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明及び周知の技術的事項から予測される範囲内のものであり、格別のものではない。
　
　なお、請求人は、審判請求理由において、
（ａ）「引用文献１に記載された従来手法におきましては、液体成分が真空ケース内に流出して圧力を徐々に上昇させることが記載されておりますが、また、「気化したガス」という用語が使用されておりますが、これらの記載は、決して、圧力値を液体成分の蒸気圧値以下にまで下げることの証拠ではありません。なぜなら、例えば水のような液体成分は、常温常圧であっても蒸発するものであるからであります。つまり、例えば水のような液体成分は、必ずしも蒸気圧値以下にまで下げなくても、緩やかに蒸発するものであるからであります。」の旨、及び、
（ｂ）「引用文献１における漏洩物質が液体であること、および、引用文献２，３における漏洩物質が固体であることを勘案すれば、引用文献１の真空度と引用文献２，３の真空度とは、全く別異のものであります。 よって、引用文献１における真空度を推定するに際して、引用文献２，３の開示を参照することは、適切ではないものと考えられます。」の旨をそれぞれ主張しているが、
　（ａ）上記「相違点（い）について」の（い−１）で検討したように、引用発明の「真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して真空状態（所定真空圧力）とする」ことは、液体容器７の液体からの気化を促進することを目的するものであるから、引用発明において、液体容器７の液体からの気化を促進するために、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧際の真空状態（所定真空圧力）を、緩やかに気化する液体容器７内の液体の蒸気圧以上ではなく、盛んに気化する液体容器７内の液体の蒸気圧値以下まで下げることにより、本願発明のごとく、周囲空間の圧力を下げる際、「液体」「の蒸気圧値以下にまで」下げることは当業者が容易になし得るものであり、
　また、（ｂ）上記（い−２）で検討したように、
　引用発明も上記周知例も、ともに、気密性のある検査品のピンホールから気体が発生するかどうかを検出しているといえ、引用発明において、ピンホールの有無の判別を行う際に、真空ポンプ５によって真空吸引を行い真空ケース３内を減圧して、周知例のごとく、１Torr以下の真空状態（所定真空圧力）とすることは当業者が容易になし得るものであり、１Torr以下の真空状態（所定真空圧力）にすれば、真空状態は、例えば、水、エタノールの２０°Ｃでの蒸気圧値以下となるものであるから、液体容器に入っている液体成分として、エタノール又はエタノールと水含まれている場合には、本願発明のごとく、周囲空間の圧力を下げる際、「少なくとも１つの液体成分の蒸気圧値以下にまで」下げることになるのは明らかであり、さらに、周囲空間の圧力値をどの液体成分の蒸気圧値以下に設定するかは、気化をどの程度に盛んにするかに応じて、当業者が適宜選択する事項にすぎないことから、引用発明において、液体容器７の液体が複数の液体成分の場合に、空ケース３内を減圧際の真空状態（所定真空圧力）を、液体容器７の液体成分のうちの最も大きな蒸気圧値以下、例えば、エタノールの蒸気圧値以下まで下げるようにして、本願発明のごとく、周囲空間の圧力値を下げる際、「すくなくとも１つの液体成分の各蒸気圧値のうちの最も大きな蒸気圧値以下にまで」下げることは、当業者が適宜選択し得る設計的事項にすぎないものであって、請求人の主張は採用できないものである。
　　
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　
第５　むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶をすべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。