【手続補正書】
【提出日】平成23年9月5日(2011.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インライン系として構成され、従って、構成要素（Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ１０）を全て１つの同じ連続する光軸（１９）に関連付けることができ、かつ少なくとも１つの物体平面（６；６ａ，６ｂ）の少なくとも１つの物体視野（４，５：４ａ，５ａ）を少なくとも１つの像平面（１１；１１，１１ａ）の少なくとも１つの像視野（９，１０；９，１０ａ）内に結像する結像光学系（８）であって、
互いに空間的に分離した少なくとも２つの物体視野であって、同様に互いに空間的に分離した２つの像視野（９，１０；９ａ，１０ａ）が関連付けられた少なくとも２つの物体視野（４，５；４ａ，５ａ）、及び
前記少なくとも２つの物体視野と前記少なくとも２つの像視野との間の結像光路が、結像光学系の少なくとも１つの瞳平面を共通に用いること、
を特徴とする結像光学系（８）。
【請求項２】
その各々が、
厳密に１つの物体視野（４，５；４ａ，５ａ）から進行する結像光線（２５）が誘導される視野タイプ（２０，２１；２０，２１，４３，４４；３５，３６）、及び
全ての物体視野（４，５；４ａ，５ａ）から進行する結像光線（２５）が誘導される開口タイプ（２２；４１；４５）、
の２つの群からのタイプに関連付けることができる少なくとも３つの構成要素群（２０，２１，２２；２０，２１，４１，４３，４４；４５，２０，２１，２２；３５，３６）から成る構成、
を特徴とする請求項１に記載の結像光学系。
【請求項３】
前記構成要素群（２０，２１，２２；２０，２１，４１，４３，４４；４５，２０，２１，２２；３５，３６）のうちの少なくとも１つは、ミラー（Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ１０）のみを含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の結像光学系。
【請求項４】
前記少なくとも１つの視野構成要素群（２０，２１；２０，２１，４３，４４；３５，３６）は、前記少なくとも１つの開口構成要素群（２２；４１）よりも低い開口数を有することを特徴とする請求項２又は請求項３のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項５】
厳密に２つの物体視野（４，５；４ａ、５ａ）、厳密に２つの像視野（９，１０）、及び少なくとも３つの構成要素群（２０，２１，２２；２０，２１，４１，４３，４４；４５，２０，２１，２２；３５，３６）と、
２つの視野構成要素群（２０，２１）の各々が、前記２つの物体視野（４，５；４ａ、５ａ）の一方と結像光学系（８）の瞳平面（２３）との間に配置されること、及び
開口構成要素群（２２）が、前記瞳平面（２３）と前記２つの像視野（９，１０）との間に配置されること、
を特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項６】
２つの視野構成要素群（２０，２１）の各々が、前記２つの物体視野（４，５）の一方と結像光学系（８）の瞳平面（３７）との間に配置され、
２つの更に別の視野構成要素群（４３，４４）が、この瞳平面（３７）と結像光学系（８）の更に別の瞳平面（３９）との間に配置され、
開口構成要素群（２３）が、前記更に別の瞳平面（３９）と前記２つの像視野（９，１０）との間に配置される、
ことを特徴とする請求項５に記載の結像光学系。
【請求項７】
前記結像光学系（８）は、第２の物体視野（５；５ａ）とそれに関連付けられた第２の像視野（１０；１０ａ）との間の光路における結像光線（２５）の波長とは異なる、第１の物体視野（４；４ａ）とそれに関連付けられた第１の像視野（９）との間の光路における結像光線（２５）の波長に対して構成されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項８】
前記２つの物体視野（４ａ，５ａ）は、互いに距離を置いた物体平面（６ａ，６ｂ）に配置されることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項９】
２次元光学感知手段（３０）が、前記２つの物体視野の一方（５）に配置され、かつこの物体視野（５）に関連付けられた前記像視野（１０）と該物体視野（５）の間の結像光線（１６）を感知することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１０】
前記光学感知手段（３０）が配置されていない前記物体視野（４）と前記像視野（９）の間の前記結像光路における結像光学系（８）の構成要素群（２０）の結像特性を補正するための補正手段（３３）と、
前記光学感知手段（３０）及び前記補正手段（３３）と信号接続（３１，３４）状態にある制御手段（３２）と、
を特徴とする請求項９に記載の結像光学系。
【請求項１１】
厳密に２つの物体視野（４，５）、厳密に２つの像視野（９，１０；９，１０ａ）、及び１つの開口構成要素群（４１）が該２つの物体視野（４，５）と瞳平面（４２）の間に配置された少なくとも３つの構成要素群（２０，２１，４１，４３，４４）と、
少なくとも２つの視野構成要素群（４３，４４）の各々が、前記瞳平面（４２）と前記２つの像視野（９，１０；９，１０ａ）の一方との間に配置されること、
を特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１２】
前記２つの視野構成要素群（４３，４４）は、前記第２の像視野（１０ａ）が前記第１の像視野（９）の前記像平面（１１）から距離を置いて配置されるように構成されることを特徴とする請求項１１に記載の結像光学系。
【請求項１３】
前記２つの視野構成要素群（４３，４４）は、前記第２の像視野（１０ａ）の前記像視野平面（１１ａ）が前記第１の像視野（９）の前記像視野平面（１１）に対して平行にかつそれから距離を置いて配置されるように構成されることを特徴とする請求項１２に記載の結像光学系。
【請求項１４】
厳密に２つの物体視野（４，５）、厳密に２つの像視野（９，１０；９，１０ａ）、及び厳密に５つの構成要素群（２０，２１，４１，４３，４４）と、
２つの視野構成要素群（２０，２１）の各々が、前記２つの物体視野（４，５）の一方と結像光学系（８）の瞳平面（２３）との間に配置されること、
開口構成要素群が、この瞳平面（２３）と結像光学系（８）の更に別の瞳平面（４２）との間に配置されること、及び
２つの更に別の視野構成要素群（４３，４４）の各々が、前記更に別の瞳平面（４２）と前記２つの像視野（９，１０；９，１０ａ）の一方との間に配置されること、
を特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１５】
厳密に２つの物体視野（４，５）、厳密に２つの像視野（９，１０）、及び厳密に４つの構成要素群（４５，２０，２１，２２）と、
開口構成要素群（４５）が、前記２つの物体視野（４，５）と結像光学系（８）の第１の瞳平面（４６）との間に配置されること、
２つの視野構成要素群（２０，２１）の各々が、この瞳平面（４６）と結像光学系（８）の更に別の瞳平面（２３）との間に配置されること、及び
更に別の開口構成要素群（２２）が、前記更に別の瞳平面（２３）と前記２つの像視野（９，１０）との間に配置されること、
を特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１６】
視野ミラー群（２０，２１；２０，２１，３５，３６；２０，２１，４３，４４）のミラー（Ｍ１ａ／ｂ、Ｍ２ａ／ｂ、Ｍ３ａ／ｂ、Ｍ４ａ／ｂ、Ｍ５ａ／ｂ、Ｍ６ａ／ｂ）の反射面が、各々の場合に共通軸（１９）に関して回転対称である面の表面部分の対として構成されることを特徴とする請求項３から請求項１５のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの開口構成要素群（２２；４１；２２；４５）は、掩蔽瞳系として、すなわち、内部瞳遮光を有するミラー群として構成されることを特徴とする請求項３から請求項１６のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１８】
前記視野（４，５，９，１０；４ａ、５ａ；９，１０ａ）の少なくとも１つは、リング視野として構成されることを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の結像光学系。
【請求項１９】
マイクロリソグラフィのための投影露光装置（１）であって、
請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の結像光学系（８）を含み、
照明及び結像光（３）のための光源（２）を含み、かつ
前記照明光（３）を前記結像光学系（８）の物体視野（４，５）の少なくとも１つに誘導するための照明光学系（７）を含む、
ことを特徴とする装置（１）。
【請求項２０】
前記光源（２）は、ＥＵＶ光源として構成されることを特徴とする請求項１９に記載の投影露光装置。
【請求項２１】
請求項１９又は請求項２０のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を用いて微細構造構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１２）及びウェーハ（１３）を準備する段階と、
前記レチクル（１２）上の第１の物体視野（４）に配置された構造を第１の像視野（９）の前記ウェーハ（１３）の感光層上に投影する段階と、
前記露光された感光層を前記第１の像視野（９）から第２の像視野（１０；１０ａ）まで変位させる段階と、
前記レチクル（１２）上の第２の物体視野（５）に配置された構造を前記第２の像視野（１０；１０ａ）の前記ウェーハ（１３）の以前に露光された感光層上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１３）上に微細構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項１９又は請求項２０のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を用いて微細構造構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１２）及びウェーハ（１３）を準備する段階と、
結像光学系（８）を用いて第１の像視野（９）の前記ウェーハ（１３）の感光層を調整光（１５）で露光する段階と、
前記調整された感光層を前記第１の像視野（９）から第２の像視野（１０；１０ａ）まで変位させる段階と、
投影露光装置（１）を用いて、前記レチクル（１２）上の第２の物体視野（５）に配置された構造を前記第２の像視野（１０；１０ａ）の前記ウェーハ（１３）の前記調整された感光層上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１３）上に微細構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２３】
請求項１９又は請求項２０のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を用いて微細構造構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１２）及びウェーハ（１３）を準備する段階と、
前記レチクル（１２）上の第１の物体視野（４）に配置された構造を第１の像視野（９）の前記ウェーハ（１３）の感光層上に投影する段階と、
前記露光された感光層を前記第１の像視野（９）から第２の像視野（１０；１０ａ）まで変位させる段階と、
結像光学系（８）を用いて、前記第２の像視野（１０；１０ａ）の前記ウェーハ（１３）の以前に露光された感光層を調整光（１６）で露光する段階と、
前記ウェーハ（１３）上に微細構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２４】
請求項１０に記載の結像光学系を有する請求項１９又は請求項２０のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を用いて微細構造構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１２）及びウェーハ（１３）を準備する段階と、
前記像視野のうちの第１の像視野（１０）内の前記ウェーハ（１３）のトポグラフィ又は位置をこの像視野（１０）に関連付けられた更に別の物体視野（５）に配置された光学感知手段（３０）を用いて測定する段階と、
前記光学感知手段（３０）から伝達されたトポグラフィデータ又は位置データを用いて制御手段（３２）における補正値を計算する段階と、
前記計算された補正値に基づいて補正手段（３３）を制御することにより、結像光学系（８）の結像特性を補正する段階と、
前記補正された結像光学系（８）を用いて、前記レチクル（１２）上の該結像光学系（８）の第１の物体視野（４）に配置された構造をそれに関連付けられた像視野（９）の前記ウェーハ（１３）の感光層上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２５】
請求項９に記載の結像光学系を有する請求項１９又は請求項２０のいずれか１項に記載の投影露光装置（１）を用いて微細構造構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１２）及びウェーハ（１３）を準備する段階と、
前記レチクル（１２）上の結像光学系（８）の第１の物体視野（４）に配置された構造をそれに関連付けられた像視野（９）内の前記ウェーハ（１３）の感光層上に、補正された結像光学系（８）を用いて投影する段階と、
前記ウェーハ（１３）の前記露光された感光層を第２の像視野（１０）まで変位させる段階と、
前記結像光学系（８）の前記第２の像視野（１０）内の前記ウェーハ（１３）の前記投影手順によって影響を受けたトポグラフィを該結像光学系（８）の該第２の像視野（１０）に関連付けられた物体視野（５）に配置された光学感知手段（３０）を用いて測定する段階と、
を含むことを特徴とする方法。