【事件の表示】
　特願２００４−５４１５１５「斜めのビュー角度をもつ検査システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　４月１５日国際公開，ＷＯ２００４／０３１７５３，平成１８年　１月１２日国内公表，特表２００６−５０１４６９〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成１５年９月８日（ パリ条約による優先権主張　平成１４年９月３０日，米国）を国際出願日とする出願であって，平成２０年８月７日付けで拒絶理由通知書が出され，同年１１月１２日付けで手続補正（以下，「本件補正１」という。）がなされ，平成２１年２月１０日付けで最後の拒絶理由通知書が出され，同年５月１８日付けで手続補正（以下，「本件補正２」という。）がなされたが，同年８月１１日付けで本件補正２についての補正却下の決定がなされるとともに，同日付けで拒絶査定がなされ，これに対して，同年１２月１７日付けで拒絶査定不服審判が請求され，同日付けで手続補正（以下，「本件補正３」という。）がなされたものである。
　そして，当審より平成２２年７月１５日付けで審尋がなされ，回答書が同年１０月２０日付けで提出されたものである。
　
第２　本件補正３についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　本件補正３を却下する。
[理由]
１　補正後の本願発明
　本件補正により，特許請求の範囲の請求項１は，本件補正前の
　「表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成する装置であって，その光学系が，
　上記ビュー角度に向けられた光学軸に沿って上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレーと，
　コマ収差を補償する手段を有し，上記初期傾斜像の傾斜を補正するように上記無限焦点光学リレーと光学的に結合されて，実質的に無歪の中間像を形成する傾斜補正ユニットと，
　上記無歪の中間像を像検出器に収束するように上記傾斜補正ユニットと光学的に結合された拡大モジュールと，
を備えた装置。」
から，本件補正後の
　「表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成する装置であって，
　上記ビュー角度に向けられた光学軸
を有し
傾斜像がそのビュー角度と実質的に等しい傾斜角を有する
　コマ収差を補償する手段
及びプリズムを含み，前記プリズムが入口面及び出口面を有し，前記入口面は前記傾斜角に実質的に向けられ，
前記出口面と実質的に平行に
上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された
　上記無歪の中間像を像検出器に収束するように上記傾斜補正ユニットと光学的に結合された拡大モジュールと，
を備えた装置。」
と補正された。
　
２　補正の目的について
（１）補正事項１
　無限焦点光学リレーについて，補正前の「上記ビュー角度に向けられた光学軸に沿って上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー」を「上記ビュー角度に向けられた光学軸
を有し
傾斜像がそのビュー角度と実質的に等しい傾斜角を有する
　
（２）補正事項２
　傾斜補正ユニットについて，補正前の「上記初期傾斜像の傾斜を補正するように上記無限焦点光学リレーと光学的に結合されて，実質的に無歪の中間像を形成する傾斜補正ユニット」を「
プリズムを含み，前記プリズムが入口面及び出口面を有し，前記入口面は前記傾斜角に実質的に向けられ，
前記出口面と実質的に平行に
上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された
前記出口面と実質的に平行に
　
３　独立特許要件について
　本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下，「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律改正前の特許法１７条の２第５項において準用する同法１２６条５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（１）引用刊行物記載の事項
　原査定の拒絶の理由で引用され本願優先権主張日前に頒布された刊行物である特開平１０−３３５２４０号公報（以下，「刊行物１」という。）には，図面と共に次の事項が記載されている。なお，下線は当審にて付記したものである。以下，同様である。　
ア　摘記事項
（刊１−１）「【要約】
【課題】  全体として横の色収差と
ディストーションを含む収差を残さない
【解決手段】  所定の基準面に対する被検面位置を検出する表面位置検出装置であって，前記基準面に対してシャインプルーフの条件を充足する第１の面からの光束を集光して，前記被検面に第１の面の像を結ぶ第１の光学系を備え，前記第１の光学系は正の屈折力を有する第１のレンズ群と，正の屈折力を有する第２のレンズ群とを有し，前記第１のレンズ群と第２のレンズ群は各々独立に横の色収差とディストーションを含む収差を補正されている表面位置検出装置。第１の光学系により第１の面の像が被検面に結像され，第１のレンズ群と第２のレンズ群は各々独立に横の色収差とディストーションを含む収差を補正されているので，これらレンズ群が偏心しても収差が発生しない。」
　
（刊１−２）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，表面位置検出装置に関し，特に
被検面をレンズ光学系を用いて斜めから観察する斜め入射の焦点位置計測装置
　
（刊１−３）「【００２２】この反射光の進行方向には，本発明の第２の光学系である受光側対物光学系５２，本発明の第２のスリットである受光側スリット部材である直角プリズム３３が，この順に配置されている。受光スリット部材３３の斜面３２は本発明の第２面を構成しており，ウエハ２２の面と受光側対物光学系５２についてシャインプルーフの条件を充足して配置されており，共役である。ここで
受光側対物光学系５２は
両側テレセントリック系を構成している
　
（刊１−４）「【００２４】先の
ウエハ２２の面上に結像されたスリットＳ１の像は，受光側対物光学系５２を介してプリズム３３の斜面（受光面）３２上に結像され，プリズム３３により，あおりの角度を低減され，プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出する。
・・・（略）
【００２７】図１に，検出領域の倍率色収差（横の色収差）の状態を示す。ここで，受光面３２側からウエハ２２をみると（図３参照），例えば露光領域２０ｍｍ□を検出する場合，入射角３６を８０゜としたとき，受光側のレンズ系３０，３１が等倍なら，アオリにより，検出領域は３．４７ｍｍ×２０ｍｍの長方形１になる（図１参照）。この長方形は，光軸と受光面３２との交点において，光束を光軸に直角に断面してみたときの形状である。このことは図２も同様である。なお，収差の量とスリット幅を比較するときは，あおり角度を考慮して両者を同じ面に換算して比べる。」
　
（刊１−５）「【００３９】図４を参照して，第２の実施の形態，さらには具体的な数値を含む第２の実施例を説明する。図３に示される実施の形態と異なる点は振動ミラー４１がなくなり，センサ４０に代えて
ＣＣＤ３５
像
ディストーションを補正する
【００４０】図５は，図４に示される受光部の拡大図である。
入射角θ１＝８０゜
　
（刊１−６）「【００４２】次に，シャインプルーフの定理から，β・ｔａｎθ３＝ｔａｎθ４  であるから，
結像レンズ３４
　
（刊１−７）　図４
　
（刊１−８）　図５
　
（刊１−９）　図３
　
イ　刊行物１記載の事項から理解されること
（ア）アオリについて
　摘記事項（刊１−４）に「【００２７】・・・ここで，受光面３２側からウエハ２２をみると（図３参照），例えば露光領域２０ｍｍ□を検出する場合，入射角３６を８０゜としたとき，受光側のレンズ系３０，３１が等倍なら，アオリにより，検出領域は３．４７ｍｍ×２０ｍｍの長方形１になる（図１参照）。この長方形は，光軸と受光面３２との交点において，光束を光軸に直角に断面してみたときの形状である。」と記載されており，「露光領域２０ｍｍ□」とは，「アオリにより，検出領域は３．４７ｍｍ×
２０ｍｍの長方形
　
（イ）レンズ光学系，受光側対物光学系及び両側テレセントリック系について
　摘記事項（刊１−２）に「被検面をレンズ光学系を用いて斜めから観察する斜め入射の焦点位置計測装置に用いて好適な表面位置検出装置に関するものである」と記載されており，ここでいうレンズ光学系は，摘記事項（刊１−３）の「【００２２】・・・ここで
受光側対物光学系５２は
両側テレセントリック系を構成している
　そうすると，刊行物１には「
被検面を両側テレセントリック系である受光側対物光学系５２を用いて斜めから観察する斜め入射の焦点位置計測装置
　
（ウ）刊行物１記載の発明
　以上のことから，刊行物１には次の発明（以下，「刊行物１発明」という。）が記載されいていると認められる。
「ウエハ２２の被検面を両側テレセントリック系である受光側対物光学系５２を用いて斜めから観察する斜め入射の焦点位置計測装置であって，被検面の観察領域をＣＣＤ３５に結像させる結像レンズ３４を有し，
　該被検面を斜めから観察する斜め入射の前記受光側対物光学系５２は，上記観察面を斜めから観察した像を形成し，
　ディストーションを補正し，ディストーションを含む収差を残さず，ウエハ２２の面上に結像されたスリットＳ１の像は，受光側対物光学系５２を介して入射角θ１＝８０°でプリズム３３の斜面（受光面）３２上に結像され，該プリズム３３により，アオリの角度を低減され，該プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出し，
　該プリズムから射出された像を結像レンズにより該ＣＣＤ３５に結像させる焦点位置計測装置。」
　
（２）対比
　補正発明と刊行物１発明を対比する。
ア　刊行物１記載のものは，「ウエハ２２の被検面を両側テレセントリック系である受光側対物光学系５２を用いて斜めから観察する」ものであって，刊行物１発明の「被検面」及び「被検面の観察領域」は，それぞれ補正発明の「表面」及び「表面のエリア」に相当する。
　また，刊行物１発明は，「表面の観察領域をＣＣＤ３５に結像させる結像レンズ３４を有し」ているから，補正発明の「表面のエリアを像を形成する装置」に相当するものを刊行物１発明が具備することは明らかである。
　そして，刊行物１発明は，被検面を「斜めから観察する斜め入射」する「両側テレセントリック系の受光側対物光学系５２」を有し，「被検面の観察領域をＣＣＤ３５に結像させる」ものであるから，補正発明の「表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成」されるものとなることは，明白である。
　以上のことから，刊行物１発明の「被検面を両側テレセントリック系である受光側対物光学系５２を用いて斜めから観察する斜め入射の焦点位置計測装置であって，被検面の観察領域をＣＣＤ３５に結像させる結像レンズ３４を有」する装置は，補正発明の「表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成する装置」に相当する。
　
イ　刊行物１発明の「受光側対物光学系５２」は，上記観察面を斜めから観察した像を形成するものであるから，上記観察面から光を収集して傾斜像を形成しているものといえる。
　そうすると，刊行物１発明の「該被検面を斜めから観察する斜め入射の前記受光側対物光学系５２」は，補正発明の「上記ビュー角度に向けられた光学軸を有し上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応され」ているものに相当する。
　そして，刊行物１発明の「両側テレセントリック系」は，無限焦点光学系であり，ＣＣＤに像を結像するからリレーの一部を構成することは明白であり，また，「両側テレセントリック系」であるから，その像は，斜め入射の角度，すなわち，両側テレセントリック系の傾斜角と実質的に等しい「上記観察面を斜めから観察した像」となることは明白である。
　よって，刊行物１発明の「該被検面を斜めから観察する斜め入射の前記受光側対物光学系５２は，上記観察面を斜めから観察した像を形成」するものは，補正発明の「上記ビュー角度に向けられた光学軸を有し上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応され，前記初期傾斜像がそのビュー角度と実質的に等しい傾斜角を有する無限焦点光学リレー」に相当する。
　
ウ　収差について
　刊行物１発明は「ディストーションを補正し，ディストーションを含む収差を残さ」ないものであるが，コマ収差を補償する手段を有しているものではない。
　よって，刊行物１発明の「ディストーションを補正し，ディストーションを含む収差を残さ」ないものと，補正発明の「コマ収差を補償する手段」とは，「収差を補償する手段」という点で共通する。
　
エ　プリズムと無限焦点光学系との関係について
　刊行物１発明の「プリズム３３」は，「斜面（受光面）」及び射出する「直角を挟む１つの端面」を備えるものであり，それぞれ，補正発明のプリズムの「入口面」及び「出口面」に相当する。そして，刊行物１発明の「プリズム３３」の「斜面（受光面）」は，「入射角θ１＝８０°」でテレセントリック系である「受光側対物光学系５２」に向けられている。
　刊行物１発明の「ウエハ２２の面上に結像されたスリットＳ１の像は，受光側対物光学系５２を介して入射角θ１＝８０°でプリズム３３の斜面（受光面）３２上に結像され」るものは，補正発明の「前記プリズムが入口面及び出口面を有し，前記入口面は前記傾斜角に実質的に向けられ，上記無限焦点光学リレーと光学的に結合されて」いるものに相当するといえる。
　
オ　傾斜補正について
　刊行物１発明でいう，アオリとは，上記「第２　３（１）イ（ア）アオリについて」で言及したように，「【００２７】・・・受光面３２側からウエハ２２をみると（図３参照），例えば露光領域２０ｍｍ正方形を検出する場合，入射角３６を８０゜としたとき，受光側のレンズ系３０，３１が等倍なら，アオリにより，検出領域は３．４７ｍｍ×２０ｍｍの長方形１になる（図１参照）。この長方形は，光軸と受光面３２との交点において，光束を光軸に直角に断面してみたときの形状である。」と記載されており，アオリとは２０ｍｍ×２０ｍｍの正方形が，３．４７ｍｍ×２０ｍｍの長方形として観察され，正方形の一辺２０ｍｍは，長方形となっても変化することはない。刊行物１発明において「アオリ角度が低減」されるということは，３．４７ｍｍ×２０ｍｍの長方形が，より正方形に近づくように，歪が低減されて観察されることを意味する。
　そうすると，刊行物１発明においては，「ウエハ２２の面上に結像されたスリットＳ１の像は，受光側対物光学系５２を介してプリズム３３の斜面（受光面）３２上に結像され，該プリズム３３により，アオリの角度を低減され，該プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出」されるものであるから，完全にアオリ角度が修正され，正方形の像としてＣＣＤ３５に結像されるものではないが，アオリ角度が低減されているから，本願発明の「上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された傾斜補正ユニット」と共通する機能を具備するものである。そして，刊行物１発明の「該プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出」される像は，プリズム３３の前記端面と実質的に平行ではなく，実質的に無歪の中間像を生成でもないが，アオリ角度が低減される中間像であるということができる。
　これらのことから，刊行物１発明の「該プリズム３３により，アオリの角度を低減され，該プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出」するものと，補正発明の「前記出口面と実質的に平行に実質的に無歪の中間像を生成し，上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された傾斜補正ユニット」とは，「歪の低減された中間像を生成し，上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された傾斜補正ユニット」という点で共通する。
　
カ　刊行物１発明の「ＣＣＤ３５」は，補正発明の「像検出器」に相当する。
　また，刊行物１発明の「プリズム３３」は，上記「第２　３（２）オ」に記すように，アオリ角度を低減させた中間像，すなわち，歪の低減された中間像を射出するものである。
　そして，刊行物１発明には，拡大モジュールは備えられていない。
　そうすると，刊行物１発明の「該プリズムから射出された像を結像レンズにより該ＣＣＤ３５に結像させる焦点位置計測装置」と，補正発明の「上記無歪の中間像を像検出器に収束するように上記傾斜補正ユニットと光学的に結合された拡大モジュールと，を備えた装置」とは「歪の低減された中間像を像検出器に収束するように上記傾斜補正ユニットを備えた装置」という点で共通する。
　
　以上のことを総合すると，両発明の間には，次の（一致点）及び（相違点１）〜（相違点３）がある。
（一致点）
「表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成する装置であって，
　上記ビュー角度に向けられた光学軸を有し上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応され，前記初期傾斜像がそのビュー角度と実質的に等しい傾斜角を有する無限焦点光学リレーと，
  収差を補償する手段及びプリズムを含み，前記プリズムが入口面及び出口面を有し，前記入口面は前記傾斜角に実質的に向けられ，上記無限焦点光学リレーと光学的に結合されて，歪みの低減された中間像を生成し，上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された傾斜補正ユニットと，
　上記歪みの低減された中間像を像検出器に収束するように上記傾斜補正ユニットを備えた装置。」
　
（相違点１）
　収差を補償する手段が，補正発明では「コマ収差を補償する手段」であるのに対して，刊行物１発明は，ディストーションの補償であり，コマ収差の補償ではない点
　
（相違点２）
　上記初期傾斜像の傾斜を補正するように適応された傾斜補正ユニットによる歪みを低減された中間像が，本願発明では，プリズムの「前記出口面と実質的に平行に実質的に無歪の中間像」であるのに対して，刊行物１発明では，プリズム３３の出口面を出た中間像は，アオリの低減された中間像となるものの，アオリ角が完全に補正された無歪の中間像ではなく，
　像検出器に収束する中間像が，補正発明では「無歪の中間像」であるのに対して，刊行物１発明はアオリの低減された中間像であり，アオリ角が完全に補正された無歪の中間像ではない点。
　
（相違点３）
　補正発明が「上記傾斜補正ユニットと光学的に結合された拡大モジュール」を具備するのに対して，刊行物１発明は，拡大モジュールを具備していない点。
　
（３）相違点についての検討・判断
ア　（相違点１）について
　コマ収差は，光学系において普通に起きる収差であり，これを補正する手段を設けることは，例えば，下記刊行物Ａに記載のように本願優先権主張日前から周知の技術的事項である。
　
刊行物Ａ：特開平９−１２７４０９号公報
（刊Ａ−１）「【請求項１】  第１面からの光を集光して第２面上に前記第１面の像を形成するための第１結像光学系と，前記第２面に形成された前記第１面の像からの光を集光して第３面上に前記第１面の像を再形成するための第２結像光学系とを備えた光学系において，
前記第２結像光学系内の光路中には，前記第２結像光学系で発生する
コマ収差をほぼ相殺するためのコマ収差を発生する補正光学系
前記補正光学系を偏心させることによって光学系全体のコマ収差を補正することを特徴とする収差補正光学系。
【請求項２】  前記補正光学系はほぼ等倍正立のアフォーカル系であり，前記第２結像光学系内の光路中においてほぼ
テレセントリックな空間に配置
　
イ　（相違点２）について
　刊行物１発明は「プリズム３３により，アオリの角度を低減され，プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出」するものであり、低減を目的とするものであるから，アオリ角度を完全に補正する程度のことは，当業者が容易に案出し得ることといえる。
　そして，アオリ角度を完全に補正すれば無歪の中間像となり，必然的に，刊行物１発明の「プリズム３３の直角を挟む１つの端面から射出」される像は，プリズムの射出面と実質的に平行となる。
　そうすると，刊行物１発明において，アオリ角度を完全に補正することにより，相違点２に記した補正発明の特定事項のごとく構成することは，当業者が容易になしえたことといえる。
　
ウ　（相違点３）について
　刊行物１には，拡大については記載されていないが，一般的に像を拡大することは，必要に応じて当業者が適宜なし得る単なる設計的事項にすぎない。
　そして，拡大に際して，倍率の異なる接眼レンズを入れ替えることができる一般的な顕微鏡の接眼レンズのように，拡大光学系をモジュールとすることは，本願優先権主張日前から周知である。
　刊行物１発明において，接眼レンズのような拡大モジュールを採用した場合は，接眼レンズが結像レンズでもあることから，像検出器であるＣＣＤの直前に置かれ，像がＣＣＤに収束されることとなり，必然的にプリズムと接眼レンズは光学的に結合されることとなる。
　よって，刊行物１発明において，必要に応じて像を拡大すべく，周知の接眼レンズのような拡大モジュールを採用することで，相違点３に記載の補正発明の特定事項のごとく構成することは，当業者が容易になし得たことといえる。
　
エ　補正発明の効果について
　補正発明により奏される効果は，刊行物１及び上記周知の技術的事項から当業者が予測し得るものであって，格別顕著な効果とはいえない。
　
オ　小括
　したがって，補正発明は，刊行物１に記載された発明及び上記周知の技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり，本件補正３は，平成１８年改正前の特許法１７条の２第５項で準用する同法１２６条５項の規定に違反するものであり，同法１５９条１項で準用する同法５３条１項の規定により却下されるべきものである。　
　
第３　本願発明について
　本件補正３は上記のとおり却下されたので，本願の請求項１〜１４に係る発明は，本件補正１により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１４に記載された事項により特定されるものと認められる。
　そして，その請求項１に係る発明は，以下の事項により特定されるものである。
「【請求項１】
　表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成する装置であって，その光学系が，
　上記ビュー角度に向けられた光学軸に沿って上記エリアから光学放射を収集することにより上記エリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレーと，
　コマ収差を補償する手段を有し，上記初期傾斜像の傾斜を補正するように上記無限焦点光学リレーと光学的に結合されて，実質的に無歪の中間像を形成する傾斜補正ユニットと，
　上記無歪の中間像を像検出器に収束するように上記傾斜補正ユニットと光学的に結合された拡大モジュールと，
を備えた装置。」
　
（１）引用刊行物記載の事項
　原査定の拒絶の理由で引用され本願優先権主張日前に頒布された刊行物１及びその記載事項は，上記「第２　３（１）引用刊行物記載の事項」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断
　本願発明は，上記「第２　３　独立特許用件について」で検討した補正発明において，不明りょうな記載の釈明を目的としてなされた上記「第２　２（１）補正事項１」に記載の補正事項１に係る特定事項を元に戻したものであり，また，特許請求の範囲の減縮を目的としてなされた上記「第２　２（２）補正事項２」に記載の補正事項２に係る限定を省いたものである。
　そうすると，本願発明の構成要件をすべて含み，さらに他の構成要件を付加したものに相当する補正発明が，上記「第２　３（２）対比」及び「第２　３（３）相違点についての検討・判断」に記載したとおり，刊行物１記載の発明及び上記周知の技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，刊行物１記載の発明及び上記周知の技術的事項に基づいて，本願発明も同様の理由により，当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
（３）回答書について
　なお，回答書に，プリズムの「前記入口面は６９．６９°で傾斜して前記傾斜角に実質的に向けられ」と限定する用意があると請求人は主張する。
　しかしながら，プリズムの材質の屈折率，ビュー角度，プリズム自体の角度等により無歪の中間像となる入口面の角度が導かれるものであって，入口面の角度を前記した値に特定する特段の技術的意義が見いだせない。
　よって，請求人の主張するように限定してもなお，特許性が見いだせない。
　
（４）むすび
　以上のとおり，本願発明は，刊行物１記載の発明及び上記周知の技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって，本願は，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく拒絶すべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。