(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１開口部および第２開口部が設けられている弁筐体と、
前記弁筐体内を分割することにより前記弁筐体内に前記第１開口部に連通する第１バルブ室と前記第２開口部に連通する第２バルブ室とを構成し、孔部が設けられている膜状のダイヤフラムと、を備え、
前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が、前記第１バルブ室において前記弁筐体に当接して、前記孔部が被覆され、
前記弁筐体は、前記第２バルブ室に面する壁部を有し、
前記壁部は、少なくとも前記孔部に対向し、
前記壁部の少なくとも一部には、前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が前記第２バルブ室側へ変形して前記壁部に当接したときに前記第１バルブ室と前記第２バルブ室とをつなぐ流路を形成する流路形成部が設けられている、バルブ。
【請求項２】
前記ダイヤフラムは、前記第１バルブ室の圧力と前記第２バルブ室の圧力との差により、前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が前記弁筐体に対し当接または離間するよう前記弁筺体に固定されている、請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記流路形成部は溝であり、
前記溝は、前記ダイヤフラムの前記孔部に対向する前記壁部の領域から、前記ダイヤフラムの前記孔部以外の部分に対向する前記壁部の領域まで延伸して設けられている、請求項１又は２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記流路形成部は突起であり、
前記突起は、前記ダイヤフラムの前記孔部に対向する前記壁部の領域から、前記ダイヤフラムの前記孔部以外の部分に対向する前記壁部の領域まで延伸して設けられている、請求項１又は２に記載のバルブ。
【請求項５】
前記流路形成部の幅は、前記孔部の直径より短い、請求項１から４のいずれか１項に記載のバルブ。
【請求項６】
前記弁筐体には、前記第１バルブ室において前記ダイヤフラム側へ突出する突出部が設けられており、
前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲は、前記突出部に当接している、請求項１から５のいずれか１項に記載のバルブ。
【請求項７】
前記第１バルブ室、前記第２バルブ室および前記突出部のそれぞれは、前記ダイヤフラムに垂直な方向から平面視して円柱状であることを特徴とする請求項６に記載のバルブ。
【請求項８】
第１接着シートと、第２接着シートとをさらに備え、
前記弁筺体は、前記第１開口部が設けられている第１弁筺体と、前記第２開口部が設けられている第２弁筺体とを有し、
前記第１弁筺体と前記ダイヤフラムとは、前記第１接着シートにより接着され、前記ダイヤフラムと前記第２弁筺体とは、前記第２接着シートにより接着され、
前記第１接着シートには、前記第１バルブ室に面する領域に第１貫通孔が設けられ、前記第２接着シートには、前記第２バルブ室に面する領域に第２貫通孔が設けられ、
前記第１貫通孔の外周は、前記突出部の外周より大きく前記第１バルブ室の外周より小さく、
前記第２貫通孔の外周は、前記突出部の外周より大きく前記第２バルブ室の外周より小さい、請求項６または７に記載のバルブ。
【請求項９】
吐出孔が設けられているポンプと、
請求項１から８のいずれか１項に記載のバルブと、を備え、
前記バルブの前記第１開口部は、前記ポンプの前記吐出孔に接続され、
前記バルブの前記第２開口部は、流体を貯蔵する流体貯蔵部に接続される、流体制御装置。
【請求項１０】
吐出孔が設けられているポンプと、
バルブと、
流体を貯蔵する流体貯蔵部と、
を備える流体制御装置であって、
前記バルブは、第１開口部および第２開口部が設けられている弁筐体と、前記弁筐体内を分割することにより前記弁筐体内に前記第１開口部に連通する第１バルブ室と前記第２開口部に連通する第２バルブ室とを構成し、孔部が設けられている膜状のダイヤフラムと、を備え、
前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が、前記第１バルブ室において前記弁筐体に当接して、前記孔部が被覆され、
前記弁筐体は、前記第２バルブ室に面する壁部を有し、
前記壁部は、少なくとも前記孔部に対向し、
前記壁部の少なくとも一部には、前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が前記第２バルブ室側へ変形して前記壁部に当接したときに前記第１バルブ室と前記第２バルブ室とをつなぐ流路を形成する流路形成部が設けられ、
前記バルブの前記第１開口部は、前記ポンプの前記吐出孔に接続され、
前記バルブの前記第２開口部は、前記流体貯蔵部に接続される、流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体の逆流を防ぐバルブ、及び当該バルブを備える流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１においてバルブを備えるダイヤフラムポンプが開示されている。【０００３】
図１４は、特許文献１に係るダイヤフラムポンプ９０の分解斜視図である。図１５は、図１４に示すダイヤフラムポンプ９０の要部の断面図である。【０００４】
ダイヤフラムポンプ９０は、排気路９０１及び吸気路９０２が設けられた筐体９００と、筐体９００との間でポンプ室を設けるためのダイヤフラム９１０とから構成されている。筐体９００は、上部筐体９３０と、下部筐体９４０と、ダイヤフラム（フィルム）９２０と、から構成されている。【０００５】
下部筐体９４０には、空気が筐体９００外部からポンプ室へ吸気される吸気路用溝部９４２と、ポンプ室から筐体９００外部へ空気が排出される排気路用溝部９４１と、略円筒状の凹部９４５と、略円筒状の凹部９４６と、凹部９４６の中央に位置する円筒状の台座９４７と、突出部９４４と、突出部９４３と、が設けられている。【０００６】
上部筐体９３０には、排気路９０１と、吸気路９０２と、凹部９４５に対向する凹部９３５と、凹部９４６に対向する凹部９３６と、凹部９３５の中央に位置する円筒状の台座９３７と、突出部９４４に接合する突出部９３４と、突出部９４３に接合する突出部９３３と、が設けられている。上部筐体９３０の上面の内、排気路９０１及び吸気路９０２より外側に位置する外周縁部には、ダイヤフラム９１０が接着剤により接合される。【０００７】
ダイヤフラム９２０には、台座９４７に面する孔部９２１Ａと、台座９３７に面する孔部９２１Ｂと、が設けられている。【０００８】
上部筐体９３０と下部筐体９４０とは、接着剤を用いることにより、ダイヤフラム９２０を介して接合される。そのため、上部筐体９３０と下部筐体９４０との間には、ダイヤフラム９２０が挟み込まれる。【０００９】
図１５に示すように、凹部９３６，９４６と、台座９４７と、ダイヤフラム９２０の孔部９２１Ａ及び孔部９２１Ａの周囲とによって、吸気バルブが構成される。吸気バルブは、吸気路用溝部９４２側からダイヤフラム９１０側への流体の流れを許可し、ダイヤフラム９１０側から吸気路用溝部９４２側への流体の流れを遮断する。【００１０】
また、凹部９３５，９４５と、台座９３７と、ダイヤフラム９２０の孔部９２１Ｂ及び孔部９２１Ｂの周囲とによって、排気バルブが構成される。排気バルブは、ダイヤフラム９１０側から排気路用溝部９４１側への流体の流れを許可し、排気路用溝部９４１側からダイヤフラム９１０側への流体の流れを遮断する。【００１１】
以上のような構造をしたダイヤフラムポンプ９０は、ダイヤフラム９１０を屈曲させることにより、駆動を行う。【００１２】
ダイヤフラムポンプ９０が駆動するとダイヤフラム９２０の孔部９２１Ａの周囲は台座９４７から離間し、ダイヤフラム９２０の孔部９２１Ｂの周囲は台座９３７から離間する。これにより、前述の排気バルブ及び吸気バルブがそれぞれ開放し、空気が吸気路用溝部９４２から流入して排気路用溝部９４１から排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００２−１０６４６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、前述のダイヤフラムポンプ９０においては、駆動時に、ダイヤフラム９２０よりダイヤフラム９１０側の圧力が急激に高まることがある。この場合、排気バルブにおいて、ダイヤフラム９２０の孔部９２１Ｂの周囲が台座９３７から大きく離間して下部筐体９４０の凹部９４５に当接する。即ち、下部筐体９４０によって孔部９２１Ｂが塞がれ、排気バルブが遮断される。【００１５】
従って、前述のダイヤフラムポンプ９０では、ダイヤフラム９２０よりダイヤフラム９１０側の圧力が極めて高まった場合、排気バルブのダイヤフラム９２０が大きく変形し、流体の輸送が停止してしまうという問題がある。【００１６】
本発明の目的は、ダイヤフラムの一方主面側から他方主面側への流体の流れを遮断するバルブにおいて、ダイヤフラムの他方主面側の圧力が極めて高まった場合でも、流体の輸送が停止してしまうことを抑制できるバルブ、及び当該バルブを備える流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のバルブは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。【００１８】
（１）第１開口部および第２開口部が設けられている弁筐体と、
前記弁筐体内を分割することにより前記弁筐体内に前記第１開口部に連通する第１バルブ室と前記第２開口部に連通する第２バルブ室とを構成し、孔部が設けられているダイヤフラムと、を備え、
前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が、前記第１バルブ室において前記弁筐体に当接して、前記孔部が被覆され、
前記第２バルブ室において前記ダイヤフラムに対向する前記弁筐体の壁部の少なくとも一部には、前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が前記壁部に当接したときに前記第１バルブ室と前記第２バルブ室とをつなぐ流路を形成する流路形成部が設けられている。【００１９】
この構成において、第１開口部は、例えばポンプに接続される。第２開口部は、例えば、血圧測定用のカフ等の流体貯蔵部に接続される。【００２０】
ここで、この構成においても、ダイヤフラムの他方主面に面する第１バルブ室の圧力がダイヤフラムの一方主面に面する第２バルブ室の圧力より極めて高まり、ダイヤフラムが大きく変形して、ダイヤフラムの孔部の周囲が弁筐体の一部から大きく離間する場合がある。【００２１】
この構成では、ダイヤフラムに対向する弁筐体の壁部の少なくとも一部に流路形成部が設けられている。そのため、ダイヤフラムにおける孔部の周囲が弁筐体の壁部に当接しても、第１開口部と第２開口部とが第１バルブ室と孔部と流路形成部と第２バルブ室とを介して連通する。【００２２】
そのため、弁筐体の壁部によってダイヤフラムの孔部が塞がらず、流体は第１バルブ室から孔部を通過して第２バルブ室に流入する。即ち、流体の流路が確保される。【００２３】
従って、この構成によれば、ダイヤフラムの一方主面側から他方主面側への流体の流れを遮断するバルブにおいて、ダイヤフラムの他方主面側の圧力が極めて高まった場合でも、流体の輸送が停止してしまうことを抑制できる。また、この構成によれば、ダイヤフラムと弁筐体の前記壁部との距離を狭くしても流体の流路が確保されるため、バルブの低背化を行うことができる。【００２４】
（２）前記ダイヤフラムは、前記第１バルブ室の圧力と前記第２バルブ室の圧力との差により、前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲が前記弁筐体に対し当接または離間するよう前記弁筺体に固定されていることが好ましい。【００２５】
（３）前記流路形成部は溝であり、
前記溝は、前記ダイヤフラムの前記孔部に対向する前記壁部の領域から、前記ダイヤフラムの前記孔部以外の部分に対向する前記壁部の領域まで延伸して設けられていることが好ましい。【００２６】
この構成では、第１バルブ室の圧力が第２バルブ室の圧力より極めて高まり、ダイヤフラムが大きく変形して、ダイヤフラムが弁筐体の領域に広範囲で当接したとしても、ダイヤフラムの孔部が溝を介して第２バルブ室に連通する。【００２７】
そのため、この構成でも、ダイヤフラムの孔部が塞がらず、流体は第１バルブ室から孔部を通過して第２バルブ室に流入する。即ち、流体の流路が確保される。従って、この構成によれば、流体の輸送が停止してしまうことをより抑制できる。【００２８】
（４）前記流路形成部は突起であり、
前記突起は、前記ダイヤフラムの前記孔部に対向する前記壁部の領域から、前記ダイヤフラムの前記孔部以外の部分に対向する前記壁部の領域まで延伸して設けられていることが好ましい。【００２９】
この構成では、第１バルブ室の圧力が第２バルブ室の圧力より極めて高まり、ダイヤフラムが大きく変形して、ダイヤフラムが弁筐体の領域に広範囲で当接したとしても、ダイヤフラムの孔部が直接第２バルブ室に連通する。【００３０】
そのため、この構成でも、ダイヤフラムの孔部が塞がらず、流体は第１バルブ室から孔部を通過して第２バルブ室に流入する。即ち、流体の流路が確保される。従って、この構成によれば、流体の輸送が停止してしまうことをより抑制できる。【００３１】
（５）前記流路形成部の幅は、前記ダイヤフラムの前記孔部の直径より短いことが好ましい。【００３２】
流路形成部の幅がダイヤフラムの孔部の直径より長い場合、ダイヤフラムの孔部の周囲が流路形成部に当接して当該孔部が塞がるおそれがある。【００３３】
この構成では、流路形成部の幅がダイヤフラムの孔部の直径より短いため、ダイヤフラムの孔部の周囲が流路形成部に当接して当該孔部が塞がることを防止できる。従って、この構成によれば、流体の輸送が停止してしまうことをより抑制できる。【００３４】
（６）前記弁筐体には、前記第１バルブ室において前記ダイヤフラム側へ突出する突出部が設けられており、
前記ダイヤフラムにおける前記孔部の周囲は、前記突出部に当接していることが好ましい。【００３５】
この構成では、例えば第１バルブ室の圧力が第２バルブ室の圧力よりも高い場合、ダイヤフラムは、孔部の周囲が突出部から離間して第１開口部と第２開口部とを連通させる。また、例えば第１バルブ室の圧力が第２バルブ室の圧力よりも低い場合、ダイヤフラムは、孔部の周囲が突出部に当接して第１開口部と第２開口部との連通を遮断する。【００３６】
（７）前記第１バルブ室、前記第２バルブ室および前記突出部のそれぞれは、前記ダイヤフラムに垂直な方向から平面視して円柱状であることが好ましい。【００３７】
この構成では、第１バルブ室と第２バルブ室との各外形が円形状であるため、ダイヤフラム（特に孔部付近の周囲）に張力が均等にかかる。このため、ダイヤフラムの孔部が突出部に対して傾いた状態で当接されたり、ダイヤフラムの孔部が突出部に対して水平方向にずれたりすることが抑制される。したがって、この構成によれば、弁の開閉をより確実に行うことができる。【００３８】
また、本発明の流体制御装置は、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。【００３９】
（８）第１接着シートと、第２接着シートとをさらに備え、
前記弁筺体は、前記第１開口部が設けられている第１弁筺体と、前記第２開口部が設けられている第２弁筺体とを有し、
前記第１弁筺体と前記ダイヤフラムとは、前記第１接着シートにより接着され、前記ダイヤフラムと前記第２弁筺体とは、前記第２接着シートにより接着され、
前記第１接着シートには、前記第１バルブ室に面する領域に第１貫通孔が設けられ、前記第２接着シートには、前記第２バルブ室に面する領域に第２貫通孔が設けられ、
前記第１貫通孔の外周は、前記突出部の外周より大きく前記第１バルブ室の外周より小さく、
前記第２貫通孔の外周は、前記突出部の外周より大きく前記第２バルブ室の外周より小さいことが好ましい。【００４０】
この構成では、第１接着シートの一部が第１バルブ室内に位置し、第２接着シートの一部が第２バルブ室内に位置する。そのため、第１接着シート及び第２接着シートは、第１、第２弁筺体およびダイヤフラムの接着と、各バルブ室内に存在する異物の捕捉とを行うことができる。【００４１】
したがって、この構成によれば、例えばバルブ内に異物が混入したとしても、異物による誤動作を抑制することができる。【００４２】
（９）吐出孔が設けられているポンプと、
上記（１）〜（８）のいずれかに記載のバルブと、を備え、
前記バルブの前記第１開口部は、前記ポンプの前記吐出孔に接続され、
前記バルブの前記第２開口部は、流体を貯蔵する流体貯蔵部に接続されることが好ましい。【００４３】
この構成により、上記（１）〜（８）のいずれかのバルブを用いることで、当該バルブを備える流体制御装置にも同様の効果を奏する。【００４４】
なお、この構成において、前記ポンプは、例えば、周辺部が実質的に拘束されていなくて、中心部から周辺部にかけて屈曲振動するアクチュエータと、前記アクチュエータに近接対向して配置される平面部とを有し、前記平面部のうち前記アクチュエータと対向するアクチュエータ対向領域に、１つまたは複数の通気孔が設けられたものである。この構成によれば、小型・低背でありながら高い圧力と大きな流量が得られるポンプを使用するので、さらに小型・低背な流体制御装置を提供できる。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、ダイヤフラムの一方主面側から他方主面側への流体の流れを遮断するバルブにおいて、ダイヤフラムの他方主面側の圧力が極めて高まった場合でも、流体の輸送が停止してしまうことを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体制御装置１００の要部の断面図である。
【図２】図１に示す圧電ポンプ１０の分解斜視図である。
【図３】図１に示す圧電ポンプ１０の要部の断面図である。
【図４】図１に示すバルブ１０１の分解斜視図である。
【図５】図１に示すバルブ１０１の分解斜視図である。
【図６】図５に示す上弁筐体１９１の要部の拡大正面図である。
【図７】図１に示す圧電ポンプ１０の駆動時における流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【図８】図１に示す圧電ポンプ１０の駆動時であって、圧電ポンプ１０の吐出圧力が急激に高まった時における、流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【図９】図１に示す圧電ポンプ１０が駆動を停止した直後における、流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る流体制御装置２００の要部の断面図である。
【図１１】図１０に示す上弁筐体２９１の要部の拡大正面図である。
【図１２】図１０に示す圧電ポンプ１０の駆動時であって、圧電ポンプ１０の吐出の圧力が急激に高まった時における、流体制御装置２００の空気の流れを示す説明図である。
【図１３】本発明の第１実施形態の変形例に係る流体制御装置３００の要部の断面図である。
【図１４】特許文献１に係るダイヤフラムポンプ９０の分解斜視図である。
【図１５】図１４に示すダイヤフラムポンプ９０の要部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
《第１実施形態》
以下、本発明の第１実施形態に係る流体制御装置１００について説明する。
【００４８】
図１は、本発明の第１実施形態に係る流体制御装置１００の要部の断面図である。
【００４９】
流体制御装置１００は、圧電ポンプ１０とバルブ１０１とを備える。圧電ポンプ１０の上面がバルブ１０１の底面に接合されることにより、バルブ１０１が圧電ポンプ１０に接続される。
【００５０】
バルブ１０１には、カフ１０９の腕帯ゴム管１０９Ａに連通させるカフ接続口１０６Ａが設けられている。カフ１０９の腕帯ゴム管１０９Ａがバルブ１０１のカフ接続口１０６Ａに装着されることにより、流体制御装置１００がカフ１０９に接続される。
【００５１】
なお、カフ１０９が本発明の「流体貯蔵部」に相当する。
【００５２】
ここで、圧電ポンプ１０とバルブ１０１との構造について詳述する。まず、図２、図３を用いて圧電ポンプ１０の構造について詳述する。
【００５３】
図２は、図１に示す圧電ポンプ１０の分解斜視図であり、図３は、同圧電ポンプ１０の要部の断面図である。圧電ポンプ１０は、基板９１、可撓板５１、スペーサ５３Ａ、補強板４３、振動板ユニット６０、圧電素子４２、スペーサ５３Ｂ、電極導通用板７０、スペーサ５３Ｃ及び蓋板５４を備え、それらを順に積層した構造を有している。
【００５４】
円板状の振動板４１の上面には圧電素子４２が接着固定され、振動板４１の下面には補強板４３が貼着されて、振動板４１と圧電素子４２と補強板４３とによって円板状の圧電アクチュエータ４０が構成される。圧電素子４２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる。
【００５５】
ここで、振動板４１を圧電素子４２および補強板４３よりも線膨張係数の大きな金属板としておき、加熱硬化により接着させることにより、圧電アクチュエータ４０全体が反ることなく、圧電素子４２に適切な圧縮応力を残留させることができ、圧電素子４２の割れを防止できる。
【００５６】
例えば、振動板４１をリン青銅（Ｃ５２１０）やステンレススチールＳＵＳ３０１など線膨張係数の大きな材料とし、補強板４３を４２ニッケルまたは３６ニッケルまたはステンレススチールＳＵＳ４３０などとするのがよい。
【００５７】
なお、振動板４１、圧電素子４２、補強板４３については、上から圧電素子４２、補強板４３、振動板４１の順に配置してもよい。この場合も圧電素子４２に適切な圧縮応力が残留するように、補強板４３、振動板４１の材質を逆にすることで線膨張係数が調整されている。
【００５８】
振動板４１の周囲には枠板６１が設けられていて、振動板４１は枠板６１に対して連結部６２を介して連結されている。連結部６２は例えば細いリング状に設けられており、小さなバネ定数の弾性をもたせて弾性構造としている。
【００５９】
したがって振動板４１は二つの連結部６２で枠板６１に対して２点で柔軟に支持されている。そのため、振動板４１の屈曲振動を殆ど妨げない。すなわち、圧電アクチュエータ４０の周辺部が（勿論中心部も）実質的に拘束されていない状態となっている。
【００６０】
なお、スペーサ５３Ａは可撓板５１と一定の隙間をあけて圧電アクチュエータ４０を保持するために設けられる。枠板６１には電気的に接続するための外部端子６３が設けられている。
【００６１】
振動板４１、枠板６１、連結部６２及び外部端子６３は金属板の打ち抜き加工により成形されていて、これらによって振動板ユニット６０が構成されている。
【００６２】
枠板６１の上面には、樹脂製のスペーサ５３Ｂが接着固定されている。スペーサ５３Ｂの厚みは圧電素子４２と同じか少し厚く、枠板６１は、ポンプ筺体８０の一部を構成するとともに、次に述べる電極導通用板７０と振動板ユニット６０とを電気的に絶縁する。
【００６３】
スペーサ５３Ｂの上には、金属製の電極導通用板７０が接着固定されている。電極導通用板７０は、ほぼ円形に開口した枠部位７１と、この開口内に突出する内部端子７３と、外部へ突出する外部端子７２とで構成されている。
【００６４】
内部端子７３の先端は圧電素子４２の表面にはんだ付けされる。はんだ付け位置を圧電アクチュエータ４０の屈曲振動の節に相当する位置とすることにより内部端子７３の振動は抑制できる。
【００６５】
電極導通用板７０の上には、樹脂製のスペーサ５３Ｃが接着固定される。スペーサ５３Ｃはここでは圧電素子４２と同程度の厚さを有する。スペーサ５３Ｃは、圧電アクチュエータ４０が振動したときに、内部端子７３のはんだ部分が、蓋板５４に接触しないようにするためのスペーサである。また、圧電素子４２表面が蓋板５４に過度に接近して、空気抵抗により振動振幅の低下するのを防止する。そのため、スペーサ５３Ｃの厚さは、前述の通り、圧電素子４２と同程度の厚さであればよい。
【００６６】
蓋板５４には吐出孔５５、５６が設けられている。蓋板５４は、スペーサ５３Ｃの上部に被せられ、圧電アクチュエータ４０の周囲を覆う。
【００６７】
一方、可撓板５１の中心には吸引孔５２が設けられている。この可撓板５１と振動板ユニット６０との間に、補強板４３の厚みへ数１０μｍ程度加えたスペーサ５３Ａが挿入されている。このように、スペーサ５３Ａが存在しても、振動板４１は枠板６１に拘束されているわけではないので、負荷変動に応じて間隙は自動的に変化する。
【００６８】
但し、振動板４１は連結部６２（バネ端子）の拘束の影響を多少は受けるので、このようにスペーサ５３Ａを挿入することで、低負荷時には積極的に隙間を確保して流量を増大することができる。また、スペーサ５３Ａを挿入した場合でも、高負荷時には連結部６２（バネ端子）がたわんで、圧電アクチュエータ４０と可撓板５１との対向領域の隙間が自動的に減少し、高い圧力で動作することが可能である。
【００６９】
なお、図２に示した例では、連結部６２を二箇所に設けたが、三箇所以上に設けてもよい。連結部６２は圧電アクチュエータ４０の振動を妨げるものではないが、振動に多少の影響を与えるため、例えば三箇所で連結（保持）することにより、より自然な保持が可能となり、圧電素子４２の割れを防止することもできる。
【００７０】
可撓板５１の下部には、中心に円柱形の開口部９２が設けられた基板９１が設けられている。可撓板５１の一部は基板９１の開口部９２で露出する。この円形の露出部は、圧電アクチュエータ４０の振動に伴う圧力変動により、圧電アクチュエータ４０と実質的に同一周波数で振動することができる。
【００７１】
この可撓板５１と基板９１との構成により、可撓板５１の圧電アクチュエータ対向領域の中心又は中心付近は屈曲振動可能な可動部であり、周辺部は実質的に拘束された固定部となる。この円形の可動部の固有振動数は、圧電アクチュエータ４０の駆動周波数と同一か、やや低い周波数になるように設計している。
【００７２】
従って、外部端子６３，７２に駆動電圧が印加されると、圧電アクチュエータ４０が同心円状に屈曲振動し、圧電アクチュエータ４０の振動に呼応して、吸引孔５２を中心とした可撓板５１の露出部も大きな振幅で振動する。
【００７３】
可撓板５１の振動位相が圧電アクチュエータ４０の振動位相よりも遅れた（例えば９０°遅れの）振動となれば、可撓板５１と圧電アクチュエータ４０との間の隙間空間の厚さ変動が実質的に増加する。そのことによってポンプの能力をより向上させることができる。
【００７４】
次に、図１、図４〜図６を用いてバルブ１０１の構造について詳述する。
【００７５】
図４、図５は、図１に示すバルブ１０１の分解斜視図である。図４は当該バルブ１０１をカフ１０９を接続する上面側から見た分解斜視図であり、図５は当該バルブ１０１を圧電ポンプ１０を接合する底面側から見た分解斜視図である。図６は、図５に示す上弁筐体１９１の要部の拡大正面図である。
【００７６】
なお、本発明の「第１開口部」が第１通気孔１１１に相当する。また、本発明の「第２開口部」が第２通気孔１１２に相当する。また、本発明の「第１バルブ室」が第１下バルブ室１３１に相当する。また、本発明の「第２バルブ室」が第１上バルブ室１３３に相当する。
【００７７】
バルブ１０１は、図１、図４、図５に示すように、下弁筐体１９２と、長方形状の薄膜からなる第１接着シート１５１と、長方形状の薄膜からなるダイヤフラム１２０と、長方形状の薄膜からなる第２接着シート１５２と、上弁筐体１９１とをこの順に積層した構造を有している。ここで、上弁筐体１９１及び下弁筐体１９２が弁筐体１３０を構成する。
【００７８】
下弁筐体１９２とダイヤフラム１２０とは第１接着シート１５１により接着されており、ダイヤフラム１２０と上弁筐体１９１とは第２接着シート１５２により接着されている。
【００７９】
下弁筐体１９２の底面には、図１に示すように、圧電ポンプ１０の上面が接着されている。下弁筐体１９２には、図１、図４、図５に示すように、圧電ポンプ１０の吐出孔５６に連通する第４通気孔１１０と、圧電ポンプ１０の吐出孔５５に連通する第１通気孔１１１と、ダイヤフラム１２０側へ突出した円柱状の突出部１３８と、が設けられている。
【００８０】
上弁筐体１９１には、図１、図４、図５に示すように、カフ１０９に連通する第２通気孔１１２と、流体制御装置１００外部に連通する第３通気孔１１３と、第３通気孔１１３の周囲からダイヤフラム１２０側へ突出した弁座１３９と、が設けられている。弁座１３９は中央部に第３通気孔１１３を有する円筒形状である。
【００８１】
ダイヤフラム１２０には、図１、図４、図５に示すように、突出部１３８に対向する領域の中心部に円形の孔部１２１が設けられている。孔部１２１の直径は、ダイヤフラム１２０に当接する突出部１３８の面の直径よりも小さく設けられている。
【００８２】
ダイヤフラム１２０は、上弁筐体１９１及び下弁筐体１９２に両面から挟持され、弁座１３９に接触するとともに孔部１２１の周囲が突出部１３８に接触するよう上弁筐体１９１及び下弁筐体１９２に接着されている。
【００８３】
これにより、ダイヤフラム１２０は、弁筐体１３０内を分割する。そして、第１通気孔１１１に連通するリング状の第１下バルブ室１３１と、第４通気孔１１０に連通する円柱状の第２下バルブ室１３２と、連通路１３５を介して第２通気孔１１２に連通する円柱状の第１上バルブ室１３３と、連通路１３５を介して第１上バルブ室１３３に連通するリング状の第２上バルブ室１３４とを構成する。各々のバルブ室の形状は、ダイヤフラム１２０に垂直な方向から平面視した場合の形状である。
【００８４】
第１下バルブ室１３１と、第２下バルブ室１３２と、第１上バルブ室１３３と、第２上バルブ室１３４とのそれぞれの直径は例えば７．０ｍｍである。ダイヤフラム１２０に当接する突出部１３８の面の直径は例えば１．５ｍｍである。
【００８５】
第１接着シート１５１には、第１下バルブ室１３１及び第２下バルブ室１３２に面する領域に第１貫通孔１５５Ａ〜１５５Ｃが設けられている。第１貫通孔１５５Ａは、例えば第１下バルブ室１３１と中心軸を略同じとする円形状である。第１貫通孔１５５Ｂは、例えば第２下バルブ室１３２と中心軸を略同じとする円形状である。第１貫通孔１５５Ａ、１５５Ｂのそれぞれの直径は例えば６．６ｍｍである。
【００８６】
そのため、第１貫通孔１５５Ａの直径は、突出部１３８の直径よりも大きく、第１下バルブ室１３１の直径よりも小さい。すなわち、第１貫通孔１５５Ａの外周は、突出部１３８の外周よりも大きく、第１下バルブ室１３１の外周よりも小さい。
【００８７】
同様に、第１貫通孔１５５Ｂの直径は、第２下バルブ室１３２の直径よりも小さい。すなわち、第１貫通孔１５５Ｂの外周は、第２下バルブ室１３２の外周よりも小さい。
【００８８】
次に、第２接着シート１５２には、第１上バルブ室１３３、連通路１３５及び第２上バルブ室１３４に面する領域に第２貫通孔１５６Ａ〜１５６Ｃが設けられている。第２貫通孔１５６Ａは、例えば第１上バルブ室１３３と中心軸を略同じとする円形状である。第２貫通孔１５６Ｂは、例えば第２上バルブ室１３４と中心軸を略同じとする円形状である。第２貫通孔１５６Ａ、１５６Ｂのそれぞれの直径は例えば６．６ｍｍである。
【００８９】
そのため、第２貫通孔１５６Ａの直径は、第１上バルブ室１３３の直径よりも小さい。すなわち、第２貫通孔１５６Ａの外周は、第１上バルブ室１３３の外周よりも小さい。
【００９０】
同様に、第２貫通孔１５６Ｂの直径は、第２上バルブ室１３４の直径よりも小さい。すなわち、第２貫通孔１５６Ｂの外周は、第２上バルブ室１３４の外周よりも小さい。
【００９１】
以上より、バルブ１０１では、第１下バルブ室１３１及び第２下バルブ室１３２内に第１接着シート１５１の一部が位置する。同様に、第１上バルブ室１３３及び第２上バルブ室１３４内に第２接着シート１５２の一部が位置する。
【００９２】
また、図６に示すように、上弁筐体１９１は、第１上バルブ室１３３においてダイヤフラム１２０に対向する壁部１９０を有している。壁部１９０は、ダイヤフラム１２０の孔部１２１以外の部分に対向する領域１９１Ａと、ダイヤフラム１２０の孔部１２１に対向する領域１９１Ｂと、を有している。
【００９３】
第１上バルブ室１３３においてダイヤフラム１２０に対向する上弁筐体１９１の壁部１９０内には、溝１４０が設けられている。この溝１４０は、ダイヤフラム１２０が壁部１９０に当接したときに第１下バルブ室１３１と第１上バルブ室１３３とを孔部１２１を介して連通させる溝である。なお、溝１４０が本発明の「流路形成部」に相当する。
【００９４】
溝１４０の幅Ｘは、図６に示すように、第１上バルブ室１３３においてダイヤフラム１２０の孔部１２１に対向する上弁筐体１９１の領域１９１Ｂの直径Ｒより短い。また、溝１４０は、図１、図５、図６に示すように、上弁筐体１９１の領域１９１Ｂから第２通気孔１１２までの範囲を含むよう設けられている。溝１４０は、上弁筐体１９１の領域１９１Ｂから領域１９１Ａまで延伸して設けられている。
【００９５】
突出部１３８は、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲を与圧するよう下弁筐体１９２に設けられている。
【００９６】
以上より、バルブ１０１は、図１に示すように、逆止弁１０２と、排気弁１０３とを有している。
【００９７】
まず、逆止弁１０２は、第１通気孔１１１を備える下弁筐体１９２の一部と、第２通気孔１１２を備える上弁筐体１９１の一部と、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲と、その周囲と当接して孔部１２１を被覆する突出部１３８と、によって構成されている。逆止弁１０２は、第１下バルブ室１３１側から第１上バルブ室１３３側への流体の流れを許可し、第１上バルブ室１３３側から第１下バルブ室１３１側への流体の流れを遮断する。
【００９８】
逆止弁１０２は、第１下バルブ室１３１と第１上バルブ室１３３との圧力差によってダイヤフラム１２０が突出部１３８に対して当接または離間する。
【００９９】
次に、排気弁１０３は、第４通気孔１１０を備える下弁筐体１９２の一部と、第２通気孔１１２及び第３通気孔１１３を備える上弁筐体１９１の一部と、ダイヤフラム１２０の一部と、第３通気孔１１３の周囲からダイヤフラム１２０側へ突出してダイヤフラム１２０に当接して被覆される弁座１３９と、によって構成されている。
【０１００】
排気弁１０３は、第２下バルブ室１３２と第２上バルブ室１３４との圧力差によってダイヤフラム１２０が弁座１３９に対して当接または離間する。
【０１０１】
ここで、血圧測定時における流体制御装置１００の動作について説明する。
【０１０２】
図７は、図１に示す圧電ポンプ１０が駆動時における流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【０１０３】
流体制御装置１００は、血圧の測定を開始するとき、まず圧電ポンプ１０を駆動させる。圧電ポンプ１０が駆動すると、まず空気が開口部９２及び吸引孔５２から圧電ポンプ１０内のポンプ室４５に流入する。次に、空気が吐出孔５５、５６から吐出され、バルブ１０１の第２下バルブ室１３２及び第１下バルブ室１３１の両方に流入する。
【０１０４】
これにより、排気弁１０３では、第２下バルブ室１３２の圧力が第２上バルブ室１３４の圧力より高くなる。このため、図８に示すように、ダイヤフラム１２０が第３通気孔１１３をシールして第２通気孔１１２と第３通気孔１１３との通気を遮断する。
【０１０５】
また、逆止弁１０２では、第１下バルブ室１３１の圧力が第１上バルブ室１３３の圧力より高くなる。このため、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲が突出部１３８から離間し、第１通気孔１１１と第２通気孔１１２とが孔部１２１を介して連通する。
【０１０６】
この結果、空気が圧電ポンプ１０からバルブ１０１の第１通気孔１１１と、孔部１２１と、第２通気孔１１２と、を経由してカフ１０９へ送出され（図７参照）、カフ１０９内の圧力（空気圧）が高まる。
【０１０７】
なお、ダイヤフラム１２０は、ダイヤフラム１２０の孔部１２１の周囲が突出部１３８に接触するよう弁筐体１３０に固定されている。そして、この突出部１３８は、ダイヤフラム１２０における孔部１２１の周囲を与圧している。
【０１０８】
これにより、バルブ１０１の第１通気孔１１１を経由して孔部１２１から流出する空気は、圧電ポンプ１０の吐出圧力より若干低い圧力となって、孔部１２１から第１上バルブ室１３３及び第２上バルブ室１３４に流入する。一方、第２下バルブ室１３２には圧電ポンプ１０の吐出圧力が加わる。
【０１０９】
この結果、バルブ１０１では、第２下バルブ室１３２の圧力が第２上バルブ室１３４の圧力より若干勝り、ダイヤフラム１２０が第３通気孔１１３をシールして孔部１２１を開放した状態が維持される。
【０１１０】
図８は、図７に示す圧電ポンプ１０の駆動時であって、圧電ポンプ１０の吐出圧力が急激に高まった時における、流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【０１１１】
ここで、第１下バルブ室１３１の圧力が急激に高まると、図８に示すように、ダイヤフラム１２０が大きく変形して、ダイヤフラム１２０の孔部１２１の周囲が突出部１３８から大きく離間する場合がある。
【０１１２】
この場合、この構成では、ダイヤフラム１２０が上弁筐体１９１の領域１９１Ａ（図６参照）に当接するが、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が溝１４０を介して第１上バルブ室１３３に連通する。
【０１１３】
そのため、溝１４０が設けられている逆止弁１０２では、たとえ第１下バルブ室１３１の圧力が急激に高まったとしても、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が塞がらず、空気は第１下バルブ室１３１から孔部１２１を通過して第１上バルブ室１３３に流入する。即ち、空気の流路が確保される。
【０１１４】
従って、この逆止弁１０２によれば、圧電ポンプ１０の吐出圧力が極めて高まった場合でも、空気の輸送が停止してしまうことを抑制できる。
【０１１５】
また、逆止弁１０２では、溝１４０の幅Ｘがダイヤフラム１２０の孔部１２１の直径Ｒより短い（図６参照）。そのため、この逆止弁１０２によれば、ダイヤフラム１２０の孔部１２１の周囲が溝１４０に当接して当該孔部１２１が塞がることを防止できる。従って、空気の輸送が停止してしまうことをより抑制できる。
【０１１６】
また、逆止弁１０２の上弁筐体１９１において、ダイヤフラム１２０の孔部１２１に対向する領域１９１Ｂから第２通気孔１１２までの範囲には溝１４０が設けられている（図６参照）。
【０１１７】
そのため、第１下バルブ室１３１の圧力が第１上バルブ室１３３の圧力より極めて高まり、ダイヤフラム１２０が上弁筐体１９１の領域に広範囲で当接したとしても、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が溝１４０を介して第１上バルブ室１３３に連通する。
【０１１８】
そのため、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が塞がらず、空気は第１下バルブ室１３１から孔部１２１を通過して第１上バルブ室１３３に流入する。即ち、空気の流路が確保される。従って、空気の輸送が停止してしまうことをより抑制できる。
【０１１９】
また、この構成によれば、ダイヤフラム１２０と上弁筐体１９１の壁部１９０との距離を狭くしても空気の流路が確保されるため、逆止弁１０２の低背化を行うことができる。
【０１２０】
また、このバルブ１０１では、図４、図５に示すように、各バルブ室１３１、１３２、１３３、１３４のそれぞれの外形が円形状であるため、ダイヤフラム１２０（特に孔部１２１付近の周囲）に張力が均等にかかる。
【０１２１】
このため、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が突出部１３８に対して傾いた状態で当接されたり、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が突出部１３８に対して水平方向にずれたりすることが抑制される。したがって、このバルブ１０１によれば、それぞれの弁の開閉をより確実に行うことができる。
【０１２２】
図９は、図１に示す圧電ポンプ１０が駆動を停止した直後における、流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【０１２３】
血圧の測定が終了すると、流体制御装置１００は、圧電ポンプ１０の駆動を停止する。ここで、圧電ポンプ１０の駆動が停止すると、ポンプ室４５と第１下バルブ室１３１と第２下バルブ室１３２の空気は、圧電ポンプ１０の中心通気孔５２および開口部９２から流体制御装置１００の外部へ速やかに排気される。また、第１上バルブ室１３３と第２上バルブ室１３４には、カフ１０９の圧力が第２通気孔１１２から加わる。
【０１２４】
この結果、逆止弁１０２では、第１下バルブ室１３１の圧力が第１上バルブ室１３３の圧力より低下する。ダイヤフラム１２０は、突出部１３８に当接して孔部１２１をシールする。
【０１２５】
また、排気弁１０３では、第２下バルブ室１３２の圧力が第２上バルブ室１３４の圧力より低下する。ダイヤフラム１２０は、弁座１３９から離間して第３通気孔１１３を開放する。
【０１２６】
即ち、バルブ１０１では、第２通気孔１１２と第３通気孔１１３とが連通路１３５及び第２上バルブ室１３４を介して連通する。これにより、カフ１０９の空気が第２通気孔１１２、連通路１３５及び第２上バルブ室１３４を経由して第３通気孔１１３から急速に排気される（図９参照）。
【０１２７】
従って、この実施形態のバルブ１０１によれば、カフ１０９に圧縮空気を充填した後、カフ１０９から空気を急速排気することができる。
【０１２８】
また、バルブ１０１では前述したように、第１下バルブ室１３１及び第２下バルブ室１３２内に第１接着シート１５１の一部が位置し、第１上バルブ室１３３及び第２上バルブ室１３４内に第２接着シート１５２の一部が位置する。
【０１２９】
そのため、第１接着シート１５１及び第２接着シート１５２は、筺体１３０及びダイヤフラム１２０の接着と、各バルブ室１３１、１３２、１３３、１３４内に存在する異物の捕捉とを行うことができる。
【０１３０】
したがって、バルブ１０１によれば、例えばバルブ１０１内に異物が混入したとしても、異物による誤動作を抑制することができる。特に排気弁１０３においては、異物による弁座１３９の第３通気孔１１３の閉塞を抑制することができる。
【０１３１】
また、この実施形態のバルブ１０１を備える流体制御装置１００にも同様の効果を奏する。
【０１３２】
《第２実施形態》
以下、本発明の第２実施形態に係る流体制御装置２００について説明する。
【０１３３】
図１０は、本発明の第２実施形態に係る流体制御装置２００の要部の断面図である。図１１は、図１０に示す上弁筐体２９１の要部の拡大正面図である。図１２は、図１０に示す流体制御装置２００の駆動中において圧電ポンプ１０の駆動時であって、圧電ポンプ１０の吐出圧力が急激に高まった時における、流体制御装置１００の空気の流れを示す説明図である。
【０１３４】
流体制御装置２００が流体制御装置１００と相違する点は、バルブ２０１の上弁筐体２９１が溝１４０の代わりに突起２４０を有する点である。なお、突起２４０が本発明の「流路形成部」に相当する。その他の構成については同じである。
【０１３５】
詳述すると、上弁筐体２９１は、第１上バルブ室１３３においてダイヤフラム１２０に対向する壁部２９０を有している。壁部２９０は、ダイヤフラム１２０の孔部１２１以外の部分に対向する領域２９１Ａと、ダイヤフラム１２０の孔部１２１に対向する領域２９１Ｂと、を有している。
【０１３６】
詳述すると、第１上バルブ室１３３においてダイヤフラム１２０に対向する上弁筐体２９１の壁部２９０内には、突起２４０が設けられている。この突起２４０は、ダイヤフラム１２０が上弁筐体２９１の壁部２９０に当接したときに第１下バルブ室１３１と第１上バルブ室１３３とを孔部１２１を介して連通させる突起である。
【０１３７】
この突起２４０の幅Ｘは、図１１に示すように、第１上バルブ室１３３においてダイヤフラム１２０の孔部１２１に対向する上弁筐体２９１の領域２９１Ｂの直径Ｒより短い。突起２４０は、上弁筐体２９１の領域２９１Ｂから領域２９１Ａまで延伸して設けられている。
【０１３８】
ここで、この実施形態のバルブ２０１においても、第１下バルブ室１３１の圧力が急激に高まると、図１２に示すように、ダイヤフラム１２０が大きく変形して、ダイヤフラム１２０の孔部１２１の周囲が突出部１３８から大きく離間する場合がある。
【０１３９】
この場合、このバルブ２０１では、ダイヤフラム１２０が突起２４０に当接するため、ダイヤフラム１２０と上弁筐体２９１の領域２９１Ａとの間に隙間ができ、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が第１上バルブ室１３３に連通する。
【０１４０】
そのため、突起２４０が設けられているバルブ２０１においても、たとえ第１下バルブ室１３１の圧力が急激に高まったとしても、ダイヤフラム１２０の孔部１２１が塞がらず、空気は第１下バルブ室１３１から孔部１２１を通過して第１上バルブ室１３３に流入する。即ち、空気の流路が確保される。
【０１４１】
従って、このバルブ２０１及び流体制御装置２００によれば、前記第１実施形態のバルブ１０１及び流体制御装置１００と同様の効果を奏する。
【０１４２】
《その他の実施形態》
なお、前述の各実施形態では流体として空気を用いているが、これに限るものではなく、当該流体が、空気以外の気体や液体であっても適用できる。
【０１４３】
また、前述の各実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータを設けたが、振動板の両面に圧電素子を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。
【０１４４】
また、前述の各実施形態のポンプは、圧電素子４２の伸縮によって屈曲振動するアクチュエータ４０を備えるが、これに限るものではない。例えば、電磁駆動で屈曲振動するアクチュエータを備えてもよい。
【０１４５】
また、前述の各実施形態において、圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成しているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。
【０１４６】
また、前述の各実施形態において、溝１４０又は突起２４０は図６、図１１に示すように棒状であるが、これに限るものではない。例えば、溝１４０又は突起２４０は十字状や多角形状、楕円形状などであっても構わない。
【０１４７】
また、前述の各実施形態において、溝１４０又は突起２４０は１つだけであるが、これに限るものではない。例えば、図６に示す上弁筐体１９１の領域１９１Ａ内に、溝１４０が複数設けられていてもよいし、図１１に示す上弁筐体２９１の領域２９１Ａ内に、突起２４０が複数設けられていてもよい。
【０１４８】
また、前述の各実施形態のバルブ１０１、２０１は（図１、図１０参照）、第１貫通孔１５５Ａの外周が第１下バルブ室１３１の外周よりも小さく、第１貫通孔１５５Ｂの外周が第２下バルブ室１３２の外周よりも小さい第１接着シート１５１を有しているが、これに限るものではない。例えば図１３に示すバルブ３０１のように、第１貫通孔１５５Ａの外周が第１下バルブ室１３１の外周と等しく、第１貫通孔１５５Ｂの外周が第２下バルブ室１３２の外周と等しい第１接着シート３５１を有していてもよい。
【０１４９】
同様に、前述の各実施形態のバルブ１０１、２０１は（図１、図１０参照）、第２貫通孔１５６Ａの外周が第１上バルブ室１３３の外周よりも小さく、第２貫通孔１５６Ｂの外周が第２上バルブ室１３４の外周よりも小さい第２接着シート１５２を有しているが、これに限るものではない。例えば図１３に示すバルブ３０１のように、第２貫通孔１５６Ａの外周が第１上バルブ室１３３の外周と等しく、第２貫通孔１５６Ｂの外周が第２上バルブ室１３４の外周と等しい第２接着シート３５２を有していてもよい。
【０１５０】
最後に、上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１５１】
１０…圧電ポンプ
４０…圧電アクチュエータ
４１…振動板
４２…圧電素子
４３…補強板
４５…ポンプ室
５１…可撓板
５２…中心通気孔
５３Ａ、５３Ｂ、５３Ｃ…スペーサ
５４…蓋板
５５、５６…吐出孔
６０…振動板ユニット
６１…枠板
６２…連結部
６３…外部端子
７０…電極導通用板
７１…枠部位
７２…外部端子
７３…内部端子
８０…ポンプ筺体
９０…ダイヤフラムポンプ
９１…基板
９２…開口部
１００…流体制御装置
１０１…バルブ
１０６Ａ…カフ接続口
１０９…カフ
１０９Ａ…腕帯ゴム管
１１０…第４通気孔
１１１…第１通気孔
１１２…第２通気孔
１１３…第３通気孔
１２０…ダイヤフラム
１２１…孔部
１３０…弁筐体
１３１…第１下バルブ室
１３２…第２下バルブ室
１３３…第１上バルブ室
１３４…第２上バルブ室
１３５…連通路
１３８…突出部
１３９…弁座
１４０…溝
１５１…第１接着シート
１５２…第２接着シート
１５５…第１貫通孔
１５６…第２貫通孔
１６０…逆止弁
１７０…排気弁
１９０…壁部
１９１…上弁筐体
１９２…下弁筐体
２００…流体制御装置
２０１…バルブ
２４０…突起
２９１…上弁筐体
３００…流体制御装置
３０１…バルブ
３５１…第１接着シート
３５２…第２接着シート
９００…筐体
９０１…排気路
９０２…吸気路
９１０、９２０…ダイヤフラム
９３０…上部筐体
９３３、９３４…突出部
９３５、９３６…凹部
９３７…台座
９４０…下部筐体
９４１…排気路用溝部
９４２…吸気路用溝部
９４３、９４４…突出部
９４５、９４６…凹部
９４７…台座
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図２】
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