(57)【要約】  矩形状の誘電体フィルム１と、金属膜２とが、交互に複数積層された本体部３と、外部電極４と、を具備し、外部電極４は、本体部３の第１方向の両端に位置する一対の本体端部３ａ、３ｂにそれぞれ設けられているフィルムコンデンサ。矩形状の誘電体フィルム１は、第１方向の両端に位置する第１端部１ｃおよび第２端部１ｄと、第１方向とは異なる第２方向の両端に位置する第３端部１ｅと、を有する。金属膜２は、第１金属膜２ｃと、第１金属膜２ｃと第３端部１ｅとの間に配置された１つ以上の第２金属膜２ｄとを含む。第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとが離間しているとともに、第１金属膜２ｃの少なくとも一部が本体端部３ａまたは３ｂで外部電極４に接続している。【選択図】  図３Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の誘電体フィルムと、金属膜とが、交互に複数積層された本体部と、外部電極と、を具備し、
該外部電極は、前記本体部の第１方向の両端に位置する一対の本体端部にそれぞれ設けられ、
前記矩形状の誘電体フィルムは、前記第１方向の両端に位置する第１端部および第２端部と、前記第１方向とは異なる第２方向の両端に位置する第３端部と、を有し、
前記金属膜は、第１金属膜と、該第１金属膜と前記第３端部との間に配置された１つ以上の第２金属膜とを含み、
前記第１金属膜と前記第２金属膜とが離間しているとともに、前記第１金属膜の少なくとも一部が前記本体端部で前記外部電極に接続している、フィルムコンデンサ。
【請求項２】
前記第１金属膜と、前記第２金属膜との間に、第１の溝を有する、請求項１に記載のフィルムコンデンサ。
【請求項３】
前記第１の溝が、前記第１方向に延びている、請求項２に記載のフィルムコンデンサ。
【請求項４】
前記第２金属膜の前記第２方向の端面の少なくとも一部が、前記第３端部に位置している、請求項１〜３のいずれかに記載のフィルムコンデンサ。
【請求項５】
前記第２金属膜の少なくとも１つが、前記外部電極に電気的に接続されていない、請求項１〜４のいずれかに記載のフィルムコンデンサ。
【請求項６】
前記本体端部で前記外部電極と電気的に接続される前記第１金属膜が、前記第１端部および前記第２端部の少なくともいずれかに位置し、前記第３端部に向かって延びている延出部を有する、請求項１〜５のいずれかに記載のフィルムコンデンサ。
【請求項７】
前記延出部は、該延出部の位置する前記第１端部または前記第２端部からの距離が４．０ｍｍ以下の部位に納まっている、請求項６に記載のフィルムコンデンサ。
【請求項８】
前記延出部の前記第１方向の長さをｔ２としたとき、該ｔ２が０．０５ｍｍ以上である、請求項６または７に記載のフィルムコンデンサ。
【請求項９】
前記第２金属膜が、互いに離間した複数の分割部位を有する、請求項１〜８のいずれかに記載のフィルムコンデンサ。
【請求項１０】
複数のフィルムコンデンサと、該複数のフィルムコンデンサを接続するバスバーと、を備え、
前記フィルムコンデンサが、請求項１〜９のいずれかに記載のフィルムコンデンサを含む、連結型コンデンサ。
【請求項１１】
スイッチング素子により構成されたブリッジ回路と、該ブリッジ回路に接続された容量部とを備え、
前記容量部が、請求項１〜９のいずれかに記載のフィルムコンデンサを含む、インバータ。
【請求項１２】
電源と、該電源に接続されたインバータと、該インバータに接続されたモータと、該モータにより駆動する車輪と、を備え、
前記インバータが、請求項１１に記載のインバータである、電動車輌。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、フィルムコンデンサ、連結型コンデンサと、これを用いたインバータおよび電動車輌に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フィルムコンデンサは、例えば、ポリプロピレン樹脂をフィルム化した誘電体フィルムと、当該誘電体フィルムの表面に蒸着によって形成された金属膜を有している。金属膜は電極として用いられる。このような構成により、フィルムコンデンサでは、誘電体フィルムの絶縁欠陥部で短絡が生じた場合にも、短絡のエネルギーで欠陥部周辺の金属膜が蒸発、飛散して、絶縁欠陥部が絶縁化され、フィルムコンデンサの絶縁破壊を防止できる（自己回復性）という利点を有している（例えば、特許文献１を参照）。【０００３】
このように、フィルムコンデンサは電気回路が短絡した際の発火や感電を防止することができる。この点が注目され、近年、フィルムコンデンサの用途は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）照明等の電源回路への適用を始め、ハイブリッド自動車のモータ駆動や太陽光発電のインバータシステム等に拡大しつつある。【０００４】
フィルムコンデンサの構造は、捲回型と積層型に分類される。積層型のフィルムコンデンサでは捲回型のフィルムコンデンサに見られる誘電体フィルムのシワの発生や、シワに起因する絶縁性の低下が起こりにくい。一方、積層型のフィルムコンデンサは、誘電体フィルムと金属膜とを複数積層した積層体を切断して得る場合が多いため、蒸着金属部分を切断することによる切断面の絶縁劣化を低減することを目的として、切断箇所の金属膜を除去する方法が開示されている（特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１２９４７５号公報
【特許文献２】特開２００７−９６１５８号公報
【発明の概要】
【０００６】
本開示のフィルムコンデンサは、矩形状の誘電体フィルムと、金属膜とが、交互に複数積層された本体部と、外部電極と、を具備している。外部電極は、前記本体部の第１方向の両端に位置する一対の本体端部にそれぞれ設けられている。前記矩形状の誘電体フィルムは、前記第１方向の両端に位置する第１端部および第２端部と、前記第１方向とは異なる第２方向の両端に位置する第３端部と、を有する。前記金属膜は、第１金属膜と、該第１金属膜と前記第３端部との間に配置された第２金属膜とを含み、前記第１金属膜と前記第２金属膜とが離間しているとともに、前記第１金属膜の少なくとも一部が前記本体端部で前記外部電極に接続している。
【０００７】
本開示の連結型コンデンサは、複数のフィルムコンデンサと、該複数のフィルムコンデンサを接続するバスバーと、を備え、前記フィルムコンデンサが、上記のフィルムコンデンサを含む。
【０００８】
本開示のインバータは、スイッチング素子により構成されるブリッジ回路と、該ブリッジ回路に接続された容量部とを備え、前記容量部が上記のフィルムコンデンサを含む。
【０００９】
本開示の電動車輌は、電源と、該電源に接続されたインバータと、該インバータに接続されたモータと、該モータにより駆動する車輪と、を備える電動車両であって、前記インバータが上記のインバータである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１Ａ】積層型のフィルムコンデンサを模式的に示す斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ａの平面図である。
【図２Ａ】図１Ａのｉｉ−ｉｉ線断面図の例の一つである。
【図２Ｂ】図１Ａのｉｉ−ｉｉ線断面図の別の例である。
【図３Ａ】図２Ａの第１実施形態の金属化フィルムの平面図である。
【図３Ｂ】図２Ｂの第１実施形態の第１金属化フィルム５ａの平面図である。
【図３Ｃ】図２Ｂの第１実施形態の第２金属化フィルム５ａの平面図である。
【図４】図３Ａのｉｖ−ｉｖ線断面図である。
【図５Ａ】図２Ａの第２実施形態の金属化フィルムの平面図である。
【図５Ｂ】図５Ａの破線部を拡大した平面図である。
【図５Ｃ】図２Ｂの第２実施形態の金属化フィルム５ａを示す平面図である。
【図６Ａ】第２金属膜の変更例のひとつを示す平面図である。
【図６Ｂ】図６Ａのｖｉ−ｖｉ線断面図である。
【図７Ａ】第２金属膜の変更例のひとつを示す平面図である。
【図７Ｂ】第２金属膜の変更例のひとつを示す平面図である。
【図７Ｃ】第２金属膜の変更例のひとつを示す平面図である。
【図８】連結型コンデンサの構成を模式的に示す斜視図である。
【図９】インバータの一実施形態の構成を説明するための概略構成図である。
【図１０】電動車輌の一実施形態を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
フィルムコンデンサＡは、図１Ａおよび図１Ｂに示すように、フィルムコンデンサ本体部３と、フィルムコンデンサ本体部３の対向する端面にメタリコンにより設けられた一対の外部電極４ａ、４ｂとにより構成される。以下、フィルムコンデンサ本体部３を単に本体部３という場合もある。本体部３は、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、矩形状の誘電体フィルム１と金属膜２とが交互に複数積層されている。
【００１２】
図２Ａに示す本体部３では、誘電体フィルム１ａの片面に金属膜２ａを備えた金属化フィルム５ａと、誘電体フィルム１ｂの片面に金属膜２ｂを備えた金属化フィルム５ｂとが交互に積層されている。金属膜２ａは本体部３の一方の本体端部３ａで外部電極４ａに電気的に接続されている。金属膜２ｂは、本体部３の他方の本体端部３ｂで外部電極４ｂに電気的に接続されている。本体部３は、本体端部３ａ、３ｂのほか、外部電極４が設けられていない本体端面３ｃを有している。
【００１３】
図１Ａでは、誘電体フィルム１ａ、１ｂおよび金属膜２ａ、２ｂの面において、外部電極が配置された方向を第１方向ｘとし、第２方向ｙは第１方向ｘに直行する方向として示している。ｚ方向は、誘電体フィルム１ａ、１ｂおよび金属膜２ａ、２ｂの厚さ方向、言い換えれば積層方向である。
【００１４】
金属化フィルム５ａは、誘電体フィルム１ａの一方の面上に金属膜２ａを形成したものである。金属化フィルム５ｂは、誘電体フィルム１ｂの一方の面上に金属膜２ｂを形成したものである。これらの金属化フィルム５ａ、５ｂは、図２Ａに示すように、幅方向すなわち第１方向ｘに少しずれた状態で積層されている。すなわち、本体部３は本体端部３ａ、３ｂに金属化フィルム５ａと５ｂとが重ならないずらし部Ｓを有している。ずらし部Ｓがずれている幅を、ずらし量ｓとする。
【００１５】
このように、フィルムコンデンサＡは、誘電体フィルム１ａおよび金属膜２ａにより構成される金属化フィルム５ａと、誘電体フィルム１ｂおよび金属膜２ｂにより構成される金属化フィルム５ｂとが、図２Ａに示すように積層されている。本体部３は、金属化フィルム５ａと金属化フィルム５ｂとが積層されたさらに外側に、カバーフィルムを有していてもよい。
【００１６】
金属膜２ａ、２ｂは、本体部３の第１方向ｘの両端に位置する互いに異なる本体端部３ａ、３ｂで、外部電極４ａ、４ｂにそれぞれ電気的に接続されている。
【００１７】
金属化フィルム５ａ、５ｂに共通する特徴について説明するため、以下では、たとえば図３Ａに示すように、ａ、ｂの符号を省略する場合がある。また、断面図においては、説明を容易にするためにフィルムの厚さ方向ｚを拡大して示している。
【００１８】
誘電体フィルム１ａは、第１方向ｘの一方に位置する第１端部１ｃと他方に位置する第２端部１ｄと、第２方向ｙの両端に位置する第３端部１ｅと、を有している。第２端部１ｄ近傍には、金属膜２が形成されず誘電体フィルム１が露出したいわゆる絶縁マージン部６（６ａ、６ｂ）が設けられている。絶縁マージン部６は、単にマージン部６という場合もある。
【００１９】
金属膜２ａと金属膜２ｂとの間に電位差があると、金属膜２ａと金属膜２ｂとが誘電体フィルム１を挟んで重なりあう有効領域７に静電容量が発生する。
【００２０】
＜直列接続型＞
図２Ｂに示す本体部３では、誘電体フィルム１ａの第１面１ａｃに金属膜２ａ１および金属膜２ａ２を備えた金属化フィルム５ａと、誘電体フィルム１ｂの第２面１ｂｃに金属膜２ｂを備えた金属化フィルム５ｂとが交互に積層されている。金属膜２ａ１は本体部３の第１端部３ａで外部電極４ａに電気的に接続されている。金属膜２ａ２は、本体部３の第２端部３ｂで外部電極４ｂに電気的に接続されている。金属膜２ｂは、外部電極４ａおよび外部電極４ｂのいずれとも電気的に接続されていない。このような構造を有するフィルムコンデンサＡは、直列接続型のフィルムコンデンサと呼ばれる。
【００２１】
図２Ｂは、直列接続型のフィルムコンデンサＡの場合の図１のｉｉ−ｉｉ線断面図である。図２Ｂでは、誘電体フィルム１ａ、誘電体フィルム１ｂ、金属膜２ａ１、金属膜２ａ２および金属膜２ｂの幅方向が第１方向ｘ、長さ方向が第２方向ｙ、厚さ方向が第３方向ｚである。
【００２２】
誘電体フィルム１ａは、第１方向ｘの一方に位置する第１端部１ａｃと他方に位置する第２端部１ａｄと、第２方向ｙの両端に位置する第３端部１ａｅと、を有している。誘電体フィルム１ｂは、第１方向ｘの一方に位置する第１端部１ｂｃと他方に位置する第２端部１ｂｄと、第２方向ｙの両端に位置する第３端部１ｂｅと、を有している。
【００２３】
金属化フィルム５ａとは、誘電体フィルム１ａの一方の面上に金属膜２ａ１および金属膜２ａ２を形成したものである。金属化フィルム５ａは、第１方向ｘの中央部に、金属膜が形成されていない、すなわち誘電体フィルム１ａが露出した部分が第２方向ｙに連続して存在する、いわゆる絶縁マージン部６ａを有している。
【００２４】
金属化フィルム５ｂとは、誘電体フィルム１ｂの一方の面上に金属膜２ｂを形成したものである。金属化フィルム５ｂは、第１端部１ｂｃおよび第２端部１ｂｄの近傍に、金属膜が形成されていない、すなわち誘電体フィルム１ｂが露出した部分が第２方向ｙに連続して存在する、いわゆる絶縁マージン部６ｂを有している。誘電体フィルム１ｂの幅は、誘電体フィルム１ａよりも少し小さい。
【００２５】
これらの金属化フィルム５ａ、５ｂは、図２Ｂに示すように、金属化フィルム５ａが第１方向ｘの両側に少し突出した状態で積層されている。誘電体フィルム１ｂの幅は、誘電体フィルム１ａよりも少し小さいため、本体部３は本体端部３ａ、３ｂに金属化フィルム５ａと５ｂとが重ならないずらし部Ｓを有している。
【００２６】
金属膜２ａ１と金属膜２ｂとの間に電位差があると、金属膜２ａ１と金属膜２ｂとが、誘電体フィルム１ａまたは１ｂを挟んで重なり合う有効領域７ａに、静電容量が発生する。金属膜２ａ２と金属膜２ｂとの間に電位差があると、金属膜２ａ２と金属膜２ｂとが、誘電体フィルム１ａまたは１ｂを挟んで重なり合う有効領域７ｂに、静電容量が発生する。有効領域７ａを有する第１容量部Ｃ１と、有効領域７ｂを有する第２容量部Ｃ２は直列接続されている。
【００２７】
以下、特に記載のない限り、図２Ａおよび図２ＢのいずれのフィルムコンデンサＡにも適用できる特徴について説明する。
【００２８】
誘電体フィルム１の厚さは、例えば５μｍ以下としてもよい。０．５〜４μｍの厚さの誘電体フィルム１を用いてもよい。
【００２９】
金属膜２（２ａ、２ｂ）は、外部電極４（４ａ、４ｂ）との接続部の近傍にヘビーエッジ構造を有していてもよい。ヘビーエッジ構造とは、外部電極４との接続部の近傍における金属膜２の抵抗が、金属膜２ａ、２ｂが重なり合う有効領域７の抵抗よりも低い構造である。抵抗の高い外部電極４との接続部の近傍の金属膜２を、ヘビーエッジ部という場合もある。換言すれば、ヘビーエッジ構造とは、ヘビーエッジ部の金属膜２の厚さが、有効領域７の金属膜２の厚さよりも厚い構造を指す。なお、短絡のエネルギーで蒸発、飛散が可能な自己回復性を有する金属膜２に対し、それよりも厚さが厚い金属膜２を、有効領域７に位置するか否かにかかわらず総じてヘビーエッジ部という場合もある。
【００３０】
金属膜２の厚さは、有効領域７において、例えば２０ｎｍ以下、特には５〜１５ｎｍの範囲としてもよい。金属膜２をこのような厚さとすることで、面積抵抗（シート抵抗）が１８〜５０Ω／□となり、自己回復性を発揮できる。第１の金属膜２ｃの厚さと第２の金属膜２ｄの厚さとは、同じでもよい。金属膜２ａおよび金属膜２ｂのいずれか一方の全体を２０ｎｍ以下の厚さとし、もう一方の全体をヘビーエッジ部としてもよい。また、外部電極４との接続部近傍（ヘビーエッジ部）における金属膜２の厚さは、有効領域７の２〜４倍、すなわち１０〜８０ｎｍの範囲としてもよい。
【００３１】
＜第１実施形態＞
第１実施形態は、本開示の実施形態のうちの一つである。第１実施形態では、金属膜２が、図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃに示すように、第１金属膜２ｃ（２ａ１ｃ、２ａ２ｃおよび２ｂｃ）および第２金属膜２ｄ（２ａ１ｄ、２ａ２ｄおよび２ｂｄ）により構成される。第１金属膜２ｃは、第３端部１ｅとは離間している。第２金属膜２ｄは、第１金属膜２ｃと第３端部１ｅとの間に配置されている。
【００３２】
第２金属膜２ｄは、第１金属膜２ｃに隣接して第１方向ｘに短冊状に延びており、第１金属膜２ｃとは、離間している。第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとの間には第１方向ｘに延びる第１の溝８が存在する。図４に示すように、第１の溝８の底部には金属膜が無く、第１の溝８により第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとは離間している。なお、第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとは離間していればよく、第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとを離間させるのは、第１方向ｘに延びる第１の溝８でなくてもよい。
【００３３】
このように、第１実施形態では、金属膜２が第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとにより構成される。第１実施形態では、本体端面３ｃ近傍の誘電体フィルム１ａと１ｂとの間に第２金属膜２ｄが存在する。そのため、本体端面３ｃ近傍で、誘電体フィルム１ａと１ｂとが密着しにくくなる。その結果、絶縁欠陥部で短絡が生じて金属膜２が蒸発、飛散してガスが発生しても、そのガスが本体端面３ｃ近傍から効果的に抜けることができる。このように、第１実施形態では、金属膜２の蒸発、飛散により発生するガスの抜け性が向上し、フィルムコンデンサＡの自己回復性を高めることができる。
【００３４】
第２金属膜２ｄの第２方向ｙの端部は、誘電体フィルム１の第３端部１ｅに位置していてもよい。第２金属膜２ｄの第２方向ｙの端部が第３端部１ｅに位置している、すなわち本体端面３ｃに面していることにより、本体端面３ｃ近傍で誘電体フィルム１ａと１ｂとがより密着しにくくなる。その結果、ガスの抜け性がさらに向上し、フィルムコンデンサＡの自己回復性をより高めることができる。
【００３５】
誘電体フィルム１同士が直接接する場合の密着力に対し、誘電体フィルム１と金属膜２との密着力は比較的小さいため、ガスは誘電体フィルム１と金属膜２との間を通って比較的抜けやすくなる。この場合、第２金属膜２ｄの第２方向ｙの端部は、その少なくとも一部が、第３端部１ｅに位置していればよい。第２金属膜２ｄの第２方向ｙの端部の少なくとも一部が第３端部１ｅに位置する、すなわち本体端面３ｃに位置することで、本体端面３ｃを通じてガスが抜ける経路が確保され、ガスの抜け性が向上する。
【００３６】
第１実施形態では、第２金属膜２ｄは本体端部３ａまたは３ｂで外部電極に接続されていてもよい。
【００３７】
第１実施形態では、図３Ａ〜図３Ｃ、および図４に示すように、第２方向ｙにおける第３端部１ｅと、有効領域を形成する第１部位２ｃとの距離をＷ１としたとき、Ｗ１が３〜１０ｍｍ、特には２〜５ｍｍの範囲であってもよい。Ｗ１を３〜１０ｍｍ、特には２〜５ｍｍの範囲とすることで、静電容量を確保するとともに、自己回復機能に優れたフィルムコンデンサＡとすることができる。上記のＷ１の範囲は以下で説明する他の実施形態にも、適用できる。
【００３８】
＜第２実施形態＞
第１金属膜２ｃは、図５Ａ、図５Ｂに示すように、誘電体フィルム１の第１端部１ｃまたは第２端部１ｄのいずれかに位置し、第３端部１ｅに向かって延びている延出部２ｅを有していてもよい。図５Ｂは図５Ａの破線部を拡大した平面図である。第１金属膜２ｃが、第１端部１ｃの近傍に延出部２ｅを有すると、第１金属膜２ｃと外部電極４との接続部の面積が大きくなり、接続部の抵抗を小さくできる。図５Ｃに示すように、延出部２ｅは第２端部１ｄの近傍に位置していてもよい。
【００３９】
たとえば、図２Ａに示すフィルムコンデンサＡでは、誘電体フィルム１ａの第１端部１ａｃの近傍とは、金属化フィルム５ａと金属化フィルム５ｂとが積層された状態で、誘電体フィルム１ａが誘電体フィルム１ｂのマージン部６ｂと重なる部分を指す。すなわち、第１端部１ａｃ近傍の第３端部１ｅに延出部２ｅを有するのは、第１端部１ａｃが位置する本体端部３ａで外部電極４ａに電気的に接続される金属膜２ａｃのみである。また、誘電体フィルム１ｂの第１端部１ｂｃの近傍とは、金属化フィルム５ａと金属化フィルム５ｂとが積層された状態で、誘電体フィルム１ｂが誘電体フィルム１ａのマージン部６ａと重なる部分を指す。すなわち、第１端部１ｂｃ近傍の第３端部１ｅに延出部２ｅを有するのは、第１端部１ｂｃが位置する本体端部３ｂで外部電極４ｂに電気的に接続される金属膜２ｂｃのみである。なお、図５Ａは図２Ａの金属化フィルム５ａ、５ｂに共通な特徴を説明するため、ａ、ｂの符号を省略している。
【００４０】
第１端部１ａｃ、１ｂｃの近傍は、さらに金属化フィルム５ａと金属化フィルム５ｂとが重ならないずらし部Ｓを含んでもよい。
【００４１】
図２Ｂに示す直列接続型のフィルムコンデンサＡの場合、誘電体フィルム１ａの第１端部１ａｃの近傍および第２端部１ａｄの近傍とは、本開示では、金属化フィルム５ａと金属化フィルム５ｂとが積層された状態で、誘電体フィルム１ａが誘電体フィルム１ｂのマージン部６ｂと重なる部分をいう。すなわち、図５Ｃに示すように、第１端部１ａｃ近傍の第３端部１ｅでは、第１端部１ａｃが位置する本体端部３ａで外部電極４ａに電気的に接続される金属膜２ａ１ｃが延出部２ｅを有し、第２端部１ａｄ近傍の第３端部１ｅでは、第２端部１ａｄが位置する本体端部３ｂで外部電極４ｂに電気的に接続される金属膜２ａ２ｃが延出部２ｅを有する。金属膜２ｂｃは外部電極４ａ、４ｂのいずれにも接続されず、延出部２ｅを有さない。
【００４２】
第１端部１ａｃ近傍、第２端部１ａｄ近傍は、さらに金属化フィルム５ａと金属化フィルム５ｂとが重ならないずらし部Ｓを含んでもよい。
【００４３】
以下、図２Ａおよび図２Ｂに共通する特徴について説明する。第１金属膜２ｃが延出部２ｅを有する場合、第２金属膜２ｄは、図４に示すように設けられる。すなわち、第１の溝８が、マージン部６から第１方向ｘに延びるとともに、第１端部１ｃまたは第２端部１ｄの近傍で第３端部１ｅに向かって第３端部１ｅまで延びている。第１の溝８により、第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとは離間している。
【００４４】
図２Ａの場合、金属膜２ａはマージン部６ａにより外部電極４ｂと電気的に絶縁され、金属膜２ｂはマージン部６ｂにより外部電極４ａと電気的に絶縁されている。また、図２Ｂの場合、金属膜２ａ１はマージン部６ａにより外部電極４ｂと電気的に絶縁され、金属膜２ａ２はマージン部６ａにより外部電極４ａと電気的に絶縁されている。金属膜２ｂはマージン部６ｂにより外部電極４ａ、４ｂの両方と電気的に絶縁されている。そのため、第２実施形態では図２Ａ、図２Ｂいずれも場合も、第２金属膜２ｄは外部電極４に接続されない。したがって、本体部３の本体端面３ｃにおいて、切断により異なる層に位置する第２金属膜２ｄ同士が接触しても、フィルムコンデンサＡ自体の絶縁劣化は低減される。
【００４５】
図５Ａ、図５Ｂに示すように、マージン部６の幅をｔ１とし、延出部２ｅの第２端部１ｄに最も近い部位と第１端部１ｃとの距離をｔ２とし、第１の溝８の第３端部１ｅにおける幅をｔ３とする。言い換えれば、延出部２ｅは第１端部１ｃからの距離がｔ２以下の部位に納まっている。マージン部６の幅ｔ１は、たとえば１．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下としてもよい。ずらし部Ｓのずらし量ｓは、たとえば０．２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下としてもよい。ｔ３は、たとえば０．１５ｍｍ以上としてもよい。ｔ２は、たとえばｔ２とｔ３との和が、ｔ１とｓとの和以下、すなわち（ｔ２＋ｔ３）≦（ｔ１＋ｓ）となるようにしてもよい。（ｔ２＋ｔ３）≦（ｔ１＋ｓ）とすることで、フィルムコンデンサＡ自体の絶縁劣化をより低減することができる。
【００４６】
ｔ２は、具体的にはたとえば４．０ｍｍ以下としてもよく、さらに２．０ｍｍ以下、特に１．８ｍｍ以下としてもよい。また、ｔ２はたとえば０．０５ｍｍ以上であってもよい。一般的な幅ｔ１を有するマージン部６および一般的なずらし幅ｓを有するフィルムコンデンサＡで、ｔ２をこのような範囲とすると、フィルムコンデンサＡ自体の絶縁劣化をより低減することができる。なお、上述の関係は、本体端部３ａに位置するｔ１、ｔ２、ｔ３およびｓの関係を示しており、また、本体端部３ｂに位置するｔ１、ｔ２、ｔ３およびｓの関係を示している。
【００４７】
以下、第２金属膜２ｄの変更例について説明する。これらの変更例は、第１実施形態、第２実施形態のどちらにも適用できる。
【００４８】
第２金属膜２ｄは、互いに離間した複数の分割部位２ｄｉを有していてもよい。図６Ａ、図７Ａ〜図７Ｃは、いずれも図３Ａ〜図３Ｃの破線部を拡大した平面図に相当する。図６Ａに示すように、第２の溝９は、第１方向ｘに延び、第２金属膜２ｄを複数の分割部位２ｄｉに分割していてもよい。図６Ｂは図６Ａのｖｉ−ｖｉ線断面図である。また、図７Ａに示すように、第２金属膜２ｄは、第２方向ｙに延びた第３の溝１０により互いに離間した複数の分割部位２ｄｉにより構成されていてもよい。第３の溝１０は、第１の溝８とつながっていてもよい。第２の溝９、第３の溝１０は、複数の分割部位２ｄｉを互いに離間させる空隙である。第２の溝９と第３の溝１０は、それぞれ単独で配置されてもよいし、図７Ａに示すように両方が同時に配置されてもよい。
【００４９】
このように、第１の溝８に加え第２の溝９および／または第３の溝１０が存在すると、第２の溝９および／または第３の溝１０を通じてガスが外部に抜けることができ、ガスの抜け性がさらに向上する。
【００５０】
第１実施形態において、第３の溝１０は第２金属膜２ｄの分割部位２ｄｉのうち少なくとも一部を外部電極４と切り離す役割を有していてもよい。この場合、いずれも外部電極４に接続されず、異なる層に位置する分割部位２ｄｉ同士が、本体部３の本体端面３ｃで接触しても、フィルムコンデンサＡ自体の絶縁劣化は低減される。
【００５１】
第１方向ｘに延びた第２の溝９、第２方向ｙに延びた第３の溝１０に替えて、図７Ｂに示すように、第１方向ｘ、第２方向ｙに対して角度を有する第４の溝１１により、第２金属膜２ｄが複数の分割部位２ｄｉに分割されていてもよい。第４の溝１１は、互いに異なる少なくとも２つの方向に延びる２種類の溝からなり、当該２種類の溝は互いに交差していてもよい。このとき、第１の溝８は、第１の方向ｘに直線的に延びたものであってもよいが、図７Ｂに示すように、第４の溝１１と同様に互いに異なる２つの方向に延びる溝がつながって第１の溝８を構成してもよい。この場合、第１の溝８が配置された領域が第１の方向ｘに延びていてもよい。図７Ｂでは、第１の溝８は、第４の溝１１の最も第１金属膜２ｃ側に位置する部位であるといってもよい。このとき、Ｗ１は、第２方向ｙにおける第３端部１ｅと、有効領域７を形成する第１部位２ｃとの距離の最小値とする。
【００５２】
図６Ａ、図６Ｂ、図７Ａおよび図７Ｂに示すＷ２は、第１の溝８の幅である。図６Ａ、図６Ｂおよび図７Ａに示すＰ１は、複数の第２の溝９の間隔（ピッチ）であり、図７Ａに示すＰ２は、複数の第３の溝１０の間隔（ピッチ）であり、図７Ｂに示すＰ３は、第４の溝１１の間隔（ピッチ）である。
【００５３】
第１の溝８の幅Ｗ２は、０．０１〜０．３０ｍｍの範囲であってもよい。Ｗ２は特に０．１０〜０．３０ｍｍであってもよい。第１の溝８の幅Ｗ２を０．０１〜０．３０ｍｍ、特に０．１０〜０．３０ｍｍとすることで、第１金属膜２ｃと第２金属膜２ｄとの間の放電を抑制できるとともに、ガスの抜け性を確保できる。
【００５４】
なお、第２の溝９、第３の溝１０および第４の溝１１の幅は、特に限定しないが、例えば第１の溝８の幅Ｗ２と同様な０．０１〜０．３０ｍｍ、特に０．１０〜０．３０ｍｍの範囲とすればよい。
【００５５】
第２の溝９の間隔Ｐ１、第３の溝１０の間隔Ｐ２は、すべて同じでもよいし、それぞれ異なっていてもよい。第４の溝１１の間隔Ｐ３は、すべて同じでもよいし、異なる方向に延びる第４の溝１１同士でそれぞれ異なっていてもよい。また、第４の溝１１の間隔Ｐ３がすべて異なっていてもよい。
【００５６】
第２の溝９、第３の溝１０および第４の溝１１の底部は、金属膜がない、すなわち誘電体フィルム１が露出していてもよいが、第１金属膜２ｃ、第２金属膜２ｄよりも厚さが薄い金属膜２により構成されていてもよい。すなわち、第２の溝９、第３の溝１０および第４の溝１１のｚ方向の深さは、第２金属膜２ｄのｚ方向の厚さより小さくてもよい。
【００５７】
第２金属膜２ｄは、上述のように第１の溝８、第２の溝９、第３の溝１０、第４の溝１１により分割された分割部位２ｄｉにより構成されていてもよいが、図７Ｃに示すように、飛び石状に配置された分割部位２ｄｉにより構成されていてもよい。分割部位２ｄｉを飛び石状に配置する場合、分割部位２ｄｉが占有する面積の比率は、たとえば２５〜５０％としてもよい。
【００５８】
また、図６Ａ、図６Ｂ、および図７Ａ〜図７Ｃでは分割部位２ｄｉを短冊状または矩形状としたが、これに限らず、三角形状、多角形状、円形状、楕円形状、さらに不定形状の分割部位２ｄｉであってもよい。
【００５９】
なお、フィルムコンデンサＡでは、金属膜２ａ、２ｂの両方が、上述のような構造を有していてもよい。
【００６０】
このようなフィルムコンデンサＡは、絶縁性が高く、部分的に絶縁破壊しても発生したガスのガス抜け性が良好で、自己回復機能に優れたフィルムコンデンサとなる。
【００６１】
誘電体フィルム１に用いる絶縁性の樹脂の材料としては、例えばポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、およびシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）などが挙げられる。特にシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）は、絶縁破壊電圧が高い。
【００６２】
また、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）は、フィルム化した時のフィルム同士の密着性が高く、ガスが蒸散しにくい傾向があるが、上述のような第２金属膜２ｄを設けることにより大きな自己回復性の向上効果が得られる。
【００６３】
誘電体フィルム１は、例えば絶縁性の樹脂を溶媒に溶解した樹脂溶液を、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製の基材の表面にシート状に成形し、乾燥して溶剤を揮発させることにより得られる。成形方法としては、ドクターブレード法、ダイコータ法およびナイフコータ法等、周知の成膜方法から適宜選択すればよい。成形に使用する溶剤としては、例えば、メタノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノプロピルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、キシレン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルアセトアミド、シクロヘキサン、又は、これらから選択された２種以上の混合物を含んだ有機溶剤を用いてもよい。また、溶融押し出し法で作製した樹脂のフィルムを延伸加工してもよい。
【００６４】
誘電体フィルム１は、上述の絶縁性の樹脂のみにより構成されていてもよいが、他の材料を含んでいてもよい。誘電体フィルム１に含まれる樹脂以外の構成要素としては、例えば上述の有機溶剤や無機フィラーが挙げられる。無機フィラーには、例えば、アルミナ、酸化チタン、二酸化珪素などの無機酸化物、窒化珪素など無機窒化物、ガラスなどを用いることができる。特に、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物など比誘電率の高い材料を無機フィラーとして用いた場合には、誘電体フィルム１全体の比誘電率が向上し、フィルムコンデンサを小型化することができる。また、無機フィラーと樹脂との相溶性を高める上で、無機フィラーにシランカップリング処理やチタネートカップリング処理等の表面処理を行ってもよい。
【００６５】
誘電体フィルム１にこのような無機フィラーを用いる場合、無機フィラーを５０質量％未満、樹脂を５０質量％以上含有する複合フィルムとすることで、樹脂の可撓性を維持したまま、無機フィラーによる比誘電率向上などの効果を得ることができる。また、無機フィラーのサイズ（平均粒径）は、４〜１０００ｎｍとしてもよい。
【００６６】
誘電体フィルム１の一方の面に、図２Ａに示す構造では第１方向ｘの端部の一方に、図２Ｂに示す構造では第１方向ｘの端部の両方または第１方向ｘの中央部にマスクをした後、アルミニウム（Ａｌ）などの金属成分を蒸着して金属膜２を形成し、金属化フィルム５とする。このとき、マスクした部分はマージン部６となる。
【００６７】
ヘビーエッジ構造を形成する場合は、上述の金属化フィルム５のヘビーエッジを形成する部分以外をマスクし、上述の蒸着した金属成分のマスクの無い部分の上にさらに、たとえば亜鉛（Ｚｎ）を蒸着して形成する。このとき、ヘビーエッジとして蒸着する膜の厚さは、上述の蒸着した金属成分の１〜３倍の厚さとする。
【００６８】
金属膜２には、必要に応じてパターンを形成する。金属膜２のパターン形成には、金属蒸着膜を飛ばすことが可能な、レーザーマーカー機またはレーザートリマー機を用いる。レーザーとしては、グリーンレーザー、ＹＡＧレーザーおよびＣＯ2レーザーのうちいずれかを用いればよい。
【００６９】
＜フィルムコンデンサの作製方法＞
本開示の積層型のフィルムコンデンサＡは、以下のようにして作製すればよい。一方の面に金属膜２（２ａ、２ｂ）を有する金属化フィルム５（５ａ、５ｂ）を所望の形状に切断した後、複数積層し、積層体を得る。このとき、図２Ａに示す構造では、金属化フィルム５ａと５ｂとを、マージン部６ａ、６ｂが第１方向ｘの異なる端部に位置するように、交互に積層する。また、金属化フィルム５ａと５ｂとは、図２Ａに示すように、少し第１方向ｘにずれた状態で重ねあわせる。図２Ｂに示す構造の場合は、第１方向ｘの中央にマージン６ａを有する金属化フィルム５ａと、それより第１方向ｘの幅が少し小さく、第１方向ｘの両端にマージン部６ｂを有する金属化フィルム５ｂとを図２Ｂのように交互に積層する。
【００７０】
得られた積層体を切断することで、個片の本体部３を得る。このとき、切断する箇所の近傍の表面にあらかじめレーザーを照射し、第１方向ｘに延びる第１の溝８を形成する。レーザーの照射方向はｚ方向、すなわち積層方向とする。
【００７１】
誘電体フィルム１は透明でレーザーを透過させるため、レーザーが照射された層の金属膜２が除去されることで、次の層の金属膜２にレーザーが照射される。したがって、積層体の表面にレーザーを照射することで、積層された金属化フィルム５のすべての同じ位置に、第１の溝８を形成することができる。
【００７２】
形成された第１の溝８に沿ってその近傍で積層体を切断することで、切断面を第３端部１ｅとする本体部３が得られる。積層体には、切断箇所を挟んで２つの第１の溝８を形成し、その２つの第１の溝８の間で積層体切断する。これにより、第１金属膜２ｃと、第１金属膜２ｃと第３端部１ｅとの間に配置された第２金属膜２ｄと、を有する本体部３が得られる。
【００７３】
得られた本体部３の第１方向ｘの両端面にメタリコン電極を形成して外部電極４とすることで、フィルムコンデンサＡが得られる。外部電極４の形成には、例えば、金属の溶射、スパッタ法、メッキ法などが好適である。
【００７４】
次いで、必要に応じ、外部電極４を形成した本体部３の表面を図示しない外装部材で覆ってもよい。
【００７５】
金属膜２の材料としては、例えばアルミニウム（Ａｌ）、亜鉛（Ｚｎ）などの金属や合金などが挙げられる。
【００７６】
また、メタリコン電極の材料としては、亜鉛、アルミニウム、銅およびハンダから選ばれる少なくとも１種の金属材料が挙げられる。
【００７７】
なお、第１の溝８は、誘電体フィルム１に金属成分を蒸着する際に、第１の溝８の位置にマスクをすることにより形成することもできる。第１の溝８の他、第２の溝９、第３の溝１０、第４の溝１１等を形成し、第２金属膜２ｄに複数の分割部位２ｄｉを形成する場合は、積層前の金属化フィルム５の金属膜２にレーザー照射する、または、積層体の表面にレーザー照射することで第１の溝８〜第４の溝１１を形成してもよい。
【００７８】
＜連結型コンデンサ＞
図８は、連結型コンデンサの実施形態の一つを模式的に示した斜視図である。図８では、構成を分かりやすくするために、ケースおよびモールド樹脂を省略している。連結型コンデンサＣでは、複数個のフィルムコンデンサが一対のバスバー２１、２３により並列接続されている。バスバー２１、２３は、外部接続用の端子部２１ａ、２３ａとフィルムコンデンサＡの外部電極４ａ、４ｂにそれぞれ接続される引出端子部２１ｂ、２３ｂを有している。
【００７９】
連結型コンデンサＣが上記したフィルムコンデンサＡを含むと、自己回復性に優れた連結型コンデンサＣを得ることができる。
【００８０】
連結型コンデンサＣは、フィルムコンデンサを複数個、たとえば４個並べた状態で、本体部３の両端にそれぞれ形成された外部電極４ａ、４ｂに、接合材を介してバスバー２１、２３を取り付けることによって得られる。
【００８１】
なお、フィルムコンデンサＡや連結型コンデンサＣは、ケースに収納したのちケース内の空隙に樹脂を充填し、樹脂モールド型（ケースモールド型）のコンデンサとすることもできる。
【００８２】
＜インバータ＞
図９は、インバータの実施形態のひとつを説明するための概略構成図である。図９には、直流から交流を作り出すインバータＤの例を示している。本実施形態のインバータＤは、図９に示すように、スイッチング素子（例えば、ＩＧＢＴ（Insulated gate Bipolar Transistor））とダイオードにより構成されるブリッジ回路３１と、電圧安定化のためにブリッジ回路３１の入力端子間に配置された容量部３３とを備えている。インバータＤは、容量部３３として上記のフィルムコンデンサＡを含む。
【００８３】
なお、このインバータＤは、直流電源の電圧を昇圧する昇圧回路３５に接続される。一方、ブリッジ回路３１は駆動源となるモータジェネレータ（モータＭ）に接続される。
【００８４】
＜電動車輌＞
図１０は、電動車輌の概略構成図である。図１０には、実施形態の一例として、ハイブリッド自動車（ＨＥＶ）を示している。
【００８５】
電動車輌Ｅは、駆動用のモータ４１、エンジン４３、トランスミッション４５、インバータ４７、電源（電池）４９、前輪５１ａおよび後輪５１ｂを備えている。
【００８６】
電動車輌Ｅは、駆動源としてモータ４１、エンジン４３、またはその両方の出力を備えている。駆動源の出力は、トランスミッション４５を介して左右一対の前輪５１ａに伝達される。電源４９は、インバータ４７に接続され、インバータ４７はモータ４１に接続されている。
【００８７】
また、図１０に示した電動車輌Ｅは、車輌ＥＣＵ５３、およびエンジンＥＣＵ５７を備えている。車輌ＥＣＵ５３は、電動車輌Ｅ全体の統括的な制御を行う。エンジンＥＣＵ５７は、エンジン４３の回転数を制御し電動車輌Ｅを駆動する。電動車輌Ｅは、さらに運転者に操作されるイグニッションキー５５、図示しないアクセルペダル、およびブレーキ等の運転装置を備えている。車輌ＥＣＵ５３には、運転者等による運転装置の操作に応じた駆動信号が入力される。車輌ＥＣＵ５３は、その駆動信号に基づいて、指示信号をエンジンＥＣＵ５７、電源４９、および負荷としてのインバータ４７に出力する。エンジンＥＣＵ５７は、指示信号に応答してエンジン４３の回転数を制御し、電動車輌Ｅを駆動する。
【００８８】
電動車輌Ｅのインバータ４７として、インバータＤ、すなわち上記のフィルムコンデンサＡまたは連結型コンデンサＣを容量部３３として適用したインバータＤを用いる。このような電動車輌Ｅでは、フィルムコンデンサＡが自己回復性に優れたものであるため、静電容量が長期間に渡り維持でき、インバータ４７等で発生するスイッチング・ノイズを長期間低減することができる。
【００８９】
なお、本実施形態のインバータＤは、上記のハイブリッド自動車（ＨＥＶ）のみならず、電気自動車（ＥＶ）や燃料電池車、あるいは電動自転車、発電機、太陽電池など種々の電力変換応用製品に適用できる。
【実施例】
【００９０】
環状シクロオレフィン系の樹脂であるＺＥＯＮＯＲ（登録商標）（日本ゼオン製）を用いて、平均厚さ３μｍの誘電体フィルムを作製した。ＺＥＯＮＯＲ（登録商標）（日本ゼオン製）をトルエンに溶解し、コータを用いてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製の基材上に塗布し、シート状に成形した。成形後、１３０℃で熱処理してトルエンを除去し、誘電体フィルムを得た。【００９１】
得られた誘電体フィルムを基材から剥離し、１３０ｍｍ幅にスリット加工した後、誘電体フィルムの一方の主面に金属膜として、メタルマスクを用いて９７ｍｍ幅のＡｌ金属膜を真空蒸着法により形成した。【００９２】
次いで、グリーン・レーザーマーカーを用いて金属膜にパターンを形成した。レーザー照射条件は、出力４Ｗ、周波数１４０ｋＨｚ、スキャン速度４ｍ／秒とした。【００９３】
１３０ｍｍ幅の金属化フィルムをさらにスリット加工し、１．５ｍｍの絶縁マージン部（誘電体フィルムが露出した金属膜非形成部）を有する５０ｍｍ幅の金属化フィルムとした。【００９４】
この金属化フィルムを、金属膜が誘電体フィルムを介して対向するように重ね合わせて積層体を作製した。なお、金属化フィルムの絶縁マージン部が、第１方向ｘの異なる側に交互に配置されるように積層した。また、金属化フィルムは、図２Ａに示すように、１層ごとに第１方向ｘに０．５ｍｍずれた状態で積層した。積層数は１００層とした。【００９５】
得られた積層体には、グリーン・レーザーマーカーを用いて所定の部位にレーザーを照射し、金属膜２に表１に示すような溝を形成した。この積層体を、レーザー照射により形成した第１の溝に沿って切断し、本体部を得た。【００９６】
得られた本体部の第１方向ｘの対向する端面に亜鉛と錫との合金を溶射し、外部電極であるメタリコン電極を形成してフィルムコンデンサとした。【００９７】
作製したフィルムコンデンサの静電容量、耐電圧、耐電圧試験前後の絶縁抵抗を測定した。静電容量は、ＬＣＲメータを用いてＡＣ１Ｖ、１ｋＨｚの条件で測定した。絶縁抵抗および耐電圧は、絶縁抵抗計を用いて測定した。耐電圧は、絶縁抵抗計を用いて、フィルムコンデンサに０Ｖから毎秒１０Ｖの昇圧速度で直流電圧を印加する昇圧試験を行い、リーク電流が０．０１Ａに達したときの電圧とした。【００９８】
【表１】
2018190437.tif 000003
【００９９】
試料Ｎｏ．１〜２０は、耐電圧試験前後の絶縁抵抗の低下が小さく、自己回復性に優れたものであった。一方、第２金属膜を形成しなかった試料、すなわち誘電体フィルムの第３端部近傍の金属膜を除去した試料Ｎｏ．２１、および第１の溝を形成しなかった試料Ｎｏ．２２は、耐電圧が低く、耐電圧試験後に絶縁抵抗が大きく低下し、自己回復性が充分に機能しなかった。なお、ｔ２が４．０ｍｍ以下の試料Ｎｏ．１５〜１７、１９、２０は、耐電圧試験後に絶縁抵抗の低下が小さかった。
【符号の説明】
【０１００】
Ａ：フィルムコンデンサ
Ｃ：連結型コンデンサ
Ｄ：インバータ
Ｅ：電動車輌
Ｓ：ずらし部
１、１ａ、１ｂ：誘電体フィルム
２、２ａ、２ａ１、２ａ２、２ｂ：金属膜
２ｃ、２ａ１ｃ、２ａ２ｃ：第１金属膜
２ｄ、２ａ１ｄ、２ａ２ｄ：第２金属膜
２ｅ、２ａ１ｅ、２ａ２ｅ：第１金属膜の延出部
３：本体部
３ａ、３ｂ：本体端部
３ｃ：本体端面
４、４ａ、４ｂ：外部電極
５、５ａ、５ｂ：金属化フィルム
６：絶縁マージン部
７：有効領域
８：第１の溝
９：第２の溝
１０：第３の溝
１１：第４の溝
２１、２３：バスバー
３１：ブリッジ回路
３３：容量部
３５：昇圧回路
４１：モータ
４３：エンジン
４５：トランスミッション
４７：インバータ
４９：電源
５１ａ：前輪
５１ｂ：後輪
５３：車輌ＥＣＵ
５５：イグニッションキー
５７：エンジンＥＣＵ
【図１Ａ】
2018190437.tif 000004
【図１Ｂ】
2018190437.tif 000005
【図２Ａ】
2018190437.tif 000006
【図２Ｂ】
2018190437.tif 000007
【図３Ａ】
2018190437.tif 000008
【図３Ｂ】
2018190437.tif 000009
【図３Ｃ】
2018190437.tif 000010
【図４】
2018190437.tif 000011
【図５Ａ】
2018190437.tif 000012
【図５Ｂ】
2018190437.tif 000013
【図５Ｃ】
2018190437.tif 000014
【図６Ａ】
2018190437.tif 000015
【図６Ｂ】
2018190437.tif 000016
【図７Ａ】
2018190437.tif 000017
【図７Ｂ】
2018190437.tif 000018
【図７Ｃ】
2018190437.tif 000019
【図８】
2018190437.tif 000020
【図９】
2018190437.tif 000021
【図１０】
2018190437.tif 000022
【国際調査報告】
2018190437.tif 000023
2018190437.tif 000024
2018190437.tif 000025