(57)【要約】  ラッチ機構は、係合用ラッチ３２と、係合用ラッチ３２が進退する方向へ進退することにより、係合用ラッチ３２を係合凹部に対して進退させ、係合凹部内において係合用ラッチ３２を容器本体の他端部へ接近／離間させる係合用ラッチ昇降カム３５と、回転カム３１と、を有し、係合用ラッチ昇降カム３５は、係合用ラッチ３２が係合凹部に接近する方向へ移動することにより、係合用ラッチ３２を係合凹部に係合させ、その後係合用ラッチ３２を容器本体の他端部へ接近させる係合用ラッチ連結部３５７を有する基板収納容器である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
前記開口周縁部は、互いに対向する位置関係を有して前記蓋体に対向して形成された少なくとも一対の係合凹部を有し、
前記蓋体は、
蓋体本体と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記少なくとも一対の係合凹部にそれぞれ係合して前記蓋体本体を前記容器本体に対して固定する係合位置と、前記係合凹部に対する係合が解除され前記容器本体に対する前記蓋体本体の固定が解除される係合解除位置と、の間で前記蓋体本体に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ機構と、を備え、
前記ラッチ機構は、
前記係合凹部に対して進退することにより係合／離脱し、前記係合凹部内において前記容器本体の一端部に対する他端部へ接近／離間する係合用ラッチと、
前記係合用ラッチが進退する方向へ進退することにより、前記係合用ラッチを前記係合凹部に対して進退させ、前記係合凹部内において前記係合用ラッチを前記容器本体の他端部へ接近／離間させる係合用ラッチ昇降カムと、
回転させられることにより、前記係合用ラッチ昇降カムを前記係合用ラッチが進退する方向へ進退させる回転カムと、を有し、
前記係合用ラッチ昇降カムは、前記係合用ラッチが前記係合凹部に接近する方向へ移動することにより、前記係合用ラッチを前記係合凹部に係合させ、その後前記係合用ラッチを前記容器本体の他端部へ接近させる係合用ラッチ連結部を有する基板収納容器。
【請求項２】
前記係合用ラッチの先端部には、前記係合凹部に係合して係止される係止用ローラが設けられている請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記蓋体は、蓋体外面及び蓋体内面を有する略長方形状の板状を有し、
前記係合凹部の底部は、前記蓋体外面又は前記蓋体内面に平行な断面ではＶ字形状を有し、
前記係合用ラッチの先端部の部分であって前記係合用ラッチが前記係合位置にあるときに前記係合凹部の底部を形成する前記開口周縁部の係合凹部形成部の部分に当接する部分は、前記係合凹部の底部に一致するＶ字形状端面を有する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記係合用ラッチの先端部は、静止摩擦係数が小さい材料により構成されている請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記係合用ラッチの先端部は、シボ加工が施されていることにより静止摩擦係数が小さい請求項４に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１〜特許文献３参照）。【０００３】
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４７１６６７１号公報
【特許文献２】特許第４７３９０３３号公報
【特許文献３】米国特許第９５１４９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の蓋体においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体の左右両端部近傍に設けられており、蓋体の上辺から上方向へ突出可能な２つの上側ラッチ部と、蓋体の下辺から下方向へ突出可能な２つの下側ラッチ部と、を備えている。上側ラッチ及び下側ラッチは、容器本体に形成されたラッチ係合凹部に係合することにより、蓋体は、容器本体の開口周縁部に固定される。【０００７】
蓋体の外面には操作部が設けられている。操作部は、ラッチ回転部材を有している。ラッチ回転部材が回転させられることにより、ラッチ回転部材に設けられたカム部に当接するラッチアームが、ラッチ回転部材に対して進退させられて、ラッチアームの先端部分である上側ラッチ及び下側ラッチが、蓋体の上辺、下辺から突出した状態とされたり、また、上辺、下辺から突出していない状態とされたりする。【０００８】
しかし、従来の基板収納容器においては、ラッチ回転部材が回転している間、常にラッチ回転部材のカム部がラッチアームに対して摺動する。更に、ラッチアームは、カム部によって、ラッチ回転部材に対して進退させられるのみならず、蓋体が容器本体の内方へ押込まれるいわゆる昇降動作（押込動作）も行われる。このため、ラッチ回転部材を回転させるための所定の回転力が必要とされ、より少ない回転力でラッチ回転部材を回転させることが好ましい。【０００９】
本発明は、蓋体の操作部のラッチ回転部材を、より少ない回転力で回転させることが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記開口周縁部は、互いに対向する位置関係を有して前記蓋体に対向して形成された少なくとも一対の係合凹部を有し、前記蓋体は、蓋体本体と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記少なくとも一対の係合凹部にそれぞれ係合して前記蓋体本体を前記容器本体に対して固定する係合位置と、前記係合凹部に対する係合が解除され前記容器本体に対する前記蓋体本体の固定が解除される係合解除位置と、の間で前記蓋体本体に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ機構と、を備え、前記ラッチ機構は、前記係合凹部に対して進退することにより係合／離脱し、前記係合凹部内において前記容器本体の一端部に対する他端部へ接近／離間する係合用ラッチと、前記係合用ラッチが進退する方向へ進退することにより、前記係合用ラッチを前記係合凹部に対して進退させ、前記係合凹部内において前記係合用ラッチを前記容器本体の他端部へ接近／離間させる係合用ラッチ昇降カムと、回転させられることにより、前記係合用ラッチ昇降カムを前記係合用ラッチが進退する方向へ進退させる回転カムと、を有し、前記係合用ラッチ昇降カムは、前記係合用ラッチが前記係合凹部に接近する方向へ移動することにより、前記係合用ラッチを前記係合凹部に係合させ、その後前記係合用ラッチを前記容器本体の他端部へ接近させる係合用ラッチ連結部を有する基板収納容器に関する。【００１１】
また、前記係合用ラッチの先端部には、前記係合凹部に係合して係止される係止用ローラが設けられていることが好ましい。【００１２】
また、前記蓋体は、蓋体外面及び蓋体内面を有する略長方形状の板状を有し、前記係合凹部の底部は、前記蓋体外面又は前記蓋体内面に平行な断面ではＶ字形状を有し、前記係合用ラッチの先端部の部分であって前記係合用ラッチが前記係合位置にあるときに前記係合凹部の底部を形成する前記開口周縁部の係合凹部形成部の部分に当接する部分は、前記係合凹部の底部に一致するＶ字形状端面を有することが好ましい。また、前記係合用ラッチの先端部は、静止摩擦係数が小さい材料により構成されていることが好ましい。また、前記係合用ラッチの先端部は、シボ加工が施されていることにより静止摩擦係数が小さいことが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、蓋体の操作部のラッチ回転部材を、より少ない回転力で回転させることが可能な基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチ回転部材３１、ラッチアーム３２、及び、ラッチ昇降カム部材３５を示す斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が係合解除位置となるような位置にラッチ回転部材３１が回転させられた様子を示す拡大正面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が係合解除位置にある様子を示す拡大断面図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が挿入位置となるような位置にラッチ回転部材３１が回転させられた様子を示す拡大正面図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が挿入位置へ移動した様子を示す拡大断面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が押込位置となるような位置にラッチ回転部材３１が回転させられた様子を示す拡大正面図である。
【図１１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が押込位置へ移動した様子を示す拡大断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３から突出している様子を示す正面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３から突出している様子を示す拡大斜視図である。
【図１４】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器におけるラッチアーム３２Ｂを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
【００１６】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
【００１７】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
【００１８】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図１２参照）を備えている。
【００１９】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２０】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
【００２１】
奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２２】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
【００２３】
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
【００２４】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００２５】
以下、各部について、詳細に説明する。
図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチ回転部材３１、ラッチアーム３２、及び、ラッチ昇降カム部材３５を示す斜視図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が係合解除位置となるような位置にラッチ回転部材３１が回転させられた様子を示す拡大正面図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が係合解除位置にある様子を示す拡大断面図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が挿入位置となるような位置にラッチ回転部材３１が回転させられた様子を示す拡大正面図である。図９は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が挿入位置へ移動した様子を示す拡大断面図である。図１０は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が押込位置となるような位置にラッチ回転部材３１が回転させられた様子を示す拡大正面図である。図１１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のラッチ構造のラッチアーム３２が押込位置へ移動した様子を示す拡大断面図である。
【００２６】
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００２７】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００２８】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００２９】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３０】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３１】
下壁２４には、図３に示すように、ボトムプレート２４４が固定されている。ボトムプレート２４４は、下壁２４の外面を構成する下面の略全面に対向して配置される略長方形状の板状を有しており、下壁２４に固定されている。
【００３２】
図３に示すように、下壁２４の四隅には、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。
【００３３】
給気孔２４２としての貫通孔には、付加部品としての給気用フィルタ部９０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９１が配置されている。即ち、給気用フィルタ部９０及び排気用フィルタ部９１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。給気用フィルタ部９０は、気体噴出ノズル部８の内部空間に連通しており、気体噴出ノズル部８の内部空間を通して、給気用フィルタ部９０に供給されたパージガスは、基板収納空間２７へ供給されるように構成されている。
【００３４】
基板支持板状部５は、図２等に示すように、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内において容器本体２に設けられている。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１を有している。
【００３５】
板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。
【００３６】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００３７】
このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００３８】
図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成されている。
【００３９】
奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００４０】
図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３は、図８等に示すように、蓋体本体３０を有している。
【００４１】
蓋体本体３０は、図１、図７等に示すように、略長方形状の板状を有する内側板状部３０１と、略長方形状の板状を有する外側板状部３０２と、周壁部３０３とを有している。内側板状部３０１の後方向Ｄ１２の側の面は、蓋体内面を構成し、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体内面と共に基板収納空間２７を形成する。内側板状部３０１の周縁部には、当該周縁部を一周するように当該周縁部に沿って、内側板状部３０１の蓋体内面に対して直交する方向である前方向Ｄ１１へ延びる周壁部３０３が設けられている。内側板状部３０１と周壁部３０３とは、例えば、ポリカーボネートにより一体成形されて接続されている。内側板状部３０１、周壁部３０３は、ポリカーボネートにより構成されることに限定されない。
【００４２】
図１等に示すように、前方向Ｄ１１における周壁部３０３の延出端部には、外側板状部３０２が配置されている。外側板状部３０２は、外側板状部３０２の周縁が周壁部３０３に取囲まれた状態で、内側板状部３０１に固定されている。この構成により、内側板状部３０１と、周壁部３０３と、外側板状部３０２とにより箱状の構造が構成され、内側板状部３０１と、周壁部３０３と、外側板状部３０２とにより囲まれる蓋体内部空間３０４（図７参照）が形成されている。また、外側板状部３０２の前方向Ｄ１１の側の面は、蓋体外面を構成する。従って蓋体３は、全体として蓋体外面及び蓋体内面を有する、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状の板状（薄い直方体形状）を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。
【００４３】
蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面、即ち、蓋体本体３０を構成する内側板状部３０１の周縁には、蓋体３の外周縁部を一周するように、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、蓋体本体３０の周壁部３０３を一周するように配置されている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコーンゴム製等である。
【００４４】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、容器本体２のシール面２８１（図１参照）と蓋体本体３０の内面とにより挟まれて弾性変形する。即ち、蓋体３と容器本体２との間にシール部材４が介在することにより、蓋体本体３０と開口周縁部２８とが互いに当接せずに離間した状態で、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００４５】
図７等に示すように、蓋体本体３０の蓋体内部空間３０４には、ラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１、係合用ラッチとしてのラッチアーム３２、及び、回転カムとしてのラッチ回転部材３１とラッチアーム３２とを連結する係合用ラッチ昇降カムとしてのラッチ昇降カム部材３５を有するラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体内部空間３０４において左方向Ｄ３１寄りの位置と右方向Ｄ３２寄りの位置に配置されている。ラッチアーム３２は、上下方向Ｄ２において対をなして計２対配置されている。図５に示すように、一対のラッチアーム３２の基端部３２１（図７参照）は、ラッチ昇降カム部材３５の先端部３５２にそれぞれ係合している。ラッチ昇降カム部材３５の基部３５１は、ラッチ駆動部としてのラッチ回転部材３１にそれぞれ係合している。ラッチ昇降カム部材３５及びラッチアーム３２は、ラッチ回転部材３１に係合するラッチ昇降カム部材３５の基端部から上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２にそれぞれ延びている。
【００４６】
より具体的にはラッチ回転部材３１は、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により一体成形されている。従って、ラッチ回転部材３１は、後述のようにラッチアーム３２が係合解除位置と挿入位置と押込位置との間で移動する際に、ラッチ昇降カム部材３５及びラッチアーム３２から作用する反力等によっては、ほとんど弾性変形しない剛体により構成されている。ラッチ回転部材３１は、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により構成されることに限定されない。ラッチ回転部材３１は、円形状部３１１を有しており、円形状部３１１の中心を回転軸心として回転可能に蓋体本体３０の内側板状部３０１（図８等参照）に支持されている。ラッチ回転部材３１は、このように回転可能ではあるが、上下方向Ｄ２や左右方向Ｄ３へ移動不能に内側板状部３０１に支持されている。円形状部３１１の周縁近傍の位置には、点対称の位置関係で、略周縁に沿って円形状部３１１の中心角で略９０°の弧状を有する一対の長穴３１２が形成されている。
【００４７】
図５等に示すように、長穴３１２においては、円形状部３１１の中心から長穴３１２までの直線距離は、長穴３１２の場所によって異なる。例えば、図６に示す円形状部３１１の中心から長穴３１２の時計回り方向における端部までの直線距離は、最大の値を採る。また、円形状部３１１の中心から長穴３１２の反時計回り方向における端部までの直線距離は、最小の値を採る。
【００４８】
ラッチ回転部材３１の中央部には、一直線状に突出した直線状凸部３１３が形成されている。直線状凸部３１３は、周囲において円形状部３１１から突出する壁部を有しており、壁部により取囲まれる空間には、蓋体３を開閉するための装置（図示せず）のアームの先端に設けられた一直線状の凸部が係合可能である。この一直線状の凸部（図示せず）が直線状凸部３１３の空間に係合している状態でアーム（図示せず）が回転することにより、ラッチ回転部材３１を回転させることができる。ラッチ回転部材３１が回転することによって、円形状部３１１の中心から長穴３１２までの直線距離の違いにより、後述のように、ラッチ回転部材３１は、ラッチアーム３２を、係合位置と係合解除位置との間で移動させることができる。
【００４９】
また、ラッチ回転部材３１の周縁部には、弾性突出部３１４が設けられている。弾性突出部３１４は、ラッチ回転部材３１の周縁部に形成された切欠きを部分的に覆うように形成された、ラッチ回転部材３１の周方向に延びる部材により構成されており、その部材の一部が、ラッチ回転部材３１の半径方向外方へ突出している。弾性突出部３１４は、円柱状の凸部３５５が図６に示す長穴３１２の時計回り方向もしくは反時計回り方向の端部に位置するときに、外側板状部３０２に形成された係合部（図示せず）に係合可能であり、この係合により、ラッチ回転部材３１は、一時的に回転されにくい状態とされる。ラッチアーム３２が後述の押込位置にあるとき、又は、係合解除位置であって円柱状の凸部３５５が長穴３１２の反時計回り方向の端部に位置にあるとき以外のときには、弾性突出部３１４は、特に外側板状部３０２の一部には係合しておらず、ラッチ回転部材３１は、容易に回転可能な状態にある。
【００５０】
２対のラッチアーム３２は、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに対する係合が解除され容器本体２に対する蓋体本体３０の固定が解除される係合解除位置と、係合位置との間で、蓋体本体３０に対して移動可能である。係合位置は、挿入位置と押込位置とにより構成されている。係合位置においては、２対のラッチアーム３２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、上下方向Ｄ２において対をなしている２対のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂにそれぞれ挿入された挿入位置と、挿入位置にある状態からラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂにおいて先端嵌合部３２４が前方向Ｄ１１へ移動して、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している開口周縁部２８の部分を前方向Ｄ１１へ押すことにより相対的に蓋体３を容器本体２の方向である後方向Ｄ１２へ押込む押込位置と、の間で蓋体本体３０に対して移動可能である。
【００５１】
具体的には、一対のラッチアーム３２は、ラッチ回転部材３１の回転軸心を通り左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面に関して対称形状を有している。このため、一方のラッチアーム３２についてのみ説明し、特に必要が無い場合には、他方のラッチアーム３２については、説明を省略する。
【００５２】
ラッチアーム３２は、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により一体成形されており、図７に示すように、正面視で略長方形状を有している。ラッチアーム３２は、図５等に示すように、連結軸３２５と、支点部３２３と、先端嵌合部３２４と、を有している。ラッチアーム３２は、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により構成されることに限定されない。
【００５３】
ラッチアーム３２が後述の係合解除位置にあるときには、ラッチアーム３２の基部は、内側板状部３０１から前方向Ｄ１１へ突出する基部支持部３０６（図７等参照）によって支持されている。ラッチアーム３２が後述の挿入位置から押込位置へ移動しているときには、図１１等に示すように、後述のようにラッチアーム３２の基部が基部支持部３０６に支持されなくなるため、ラッチアーム３２の基部は、長穴３５７を貫通する連結軸３２５がラッチ昇降カム部材３５に支持されることにより支持される。
【００５４】
連結軸３２５は、後述するラッチ昇降カム部材３５の長穴３５７に嵌合して、ラッチ昇降カム部材３５とラッチアーム３２とを互いに連結するための部材である。連結軸３２５は、丸棒状に形成され、ラッチアーム３２の基端部において左右方向Ｄ３へ向けて設けられている。
【００５５】
支点部３２３は、ラッチアーム３２の先端部を支持して回動中心になる部分である。支点部３２３は、てこの原理での支点となる部分である。支点部３２３は、ラッチアーム３２の先端近傍において、後方向Ｄ１２へ突出している。支点部３２３の突出端部は、先端側カム３０５の平坦面３０５Ａ（図７等参照）に摺接して、ラッチアーム３２の先端嵌合部３２４を上下動させるための部分である。支点部３２３が先端側カム３０５の平坦面３０５Ａに摺接した状態で、ラッチアーム３２が繰り出された後に、連結軸３２５が設けられたラッチアーム３２の基部が後述のように後方向Ｄ１２へ押されることによって、ラッチアーム３２の先端嵌合部３２４は、前方向Ｄ１１へ押される。一方、ラッチアーム３２の基部が前方向Ｄ１１へ押されることによって、ラッチアーム３２の先端部は、後方向Ｄ１２へ戻される。
【００５６】
ラッチ部材としての先端嵌合部３２４は、蓋体内部空間３０４の貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂから外部に延出して、開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに直接に嵌合する。先端嵌合部３２４は、てこの原理の作用点に構成する。先端嵌合部３２４は、開口周縁部２８のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに嵌合した状態で十分な力を発揮できるように、支点部３２３から僅かな距離を隔てて設けられている。
【００５７】
ラッチアーム３２の先端部３２２の端縁を構成する先端嵌合部３２４は、図５等に示すように、左右方向Ｄ３に延びる直線状を有している。ラッチアーム３２は、長手方向（上下方向Ｄ２）において、図１０に示すように、円柱状の凸部３５５が時計回り方向における長穴３１２の端部に位置しているとき、即ち、ラッチアーム３２が挿入位置及び押込位置にあるときには、一対のラッチアーム３２の先端部３２２が、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに挿入されて、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂの底部２４０Ａ等を形成する係合凹部形成部の部分（以下「底部形成部２３２Ａ」という）に当接しない程度の長さを有している。ラッチアーム３２が挿入位置にあるときには、図１１に示すように、ラッチアーム３２の先端部３２２は、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している容器本体２の開口周縁部２８の部分には当接しない。
【００５８】
ラッチ昇降カム部材３５は、ラッチアーム３２が進退する方向へ進退することにより、ラッチアーム３２を係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに対して進退させ、係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ内においてラッチアーム３２を容器本体２の他端部としての奥壁２２の方向へ接近／離間させる。
【００５９】
具体的には、ラッチ昇降カム部材３５は、図５に示すように、前板部３５０１と、一対の側板部３５０２とが、主成分がＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）の樹脂により一体成形されて構成されている。前板部３５０１の中央部には、２行２列の配置で４つの矩形の貫通孔３５３が形成されている。基部３５１寄りの２つの貫通孔３５３と、先端部３５２寄りの２つの貫通孔３５３と、の間には、図７等に示すように、前板部３５０１の後側の面から後方向Ｄ１２へ突出する支持凸部３５６が設けられている。支持凸部３５６の突出端部は、内側板状部３０１に当接して摺動することにより、ラッチ昇降カム部材３５が移動する際にラッチ昇降カム部材３５の前板部３５０１等を支持する。前板部３５０１、一対の側板部３５０２は、主成分がＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）の樹脂により構成されることに限定されない。
【００６０】
前板部３５０１の先端部３５２は、図５に示すように、前方向Ｄ１１へ一段突出した位置にある前方突出板部３５２１を有している。前板部３５０１の基部３５１には、図５等に示すように、前方向Ｄ１１へ延びる円柱状の凸部３５５が設けられている。円柱状の凸部３５５は、ラッチ回転部材３１の一対の長穴３１２に１つずつ係合しており、長穴３１２内を長穴３１２に対して相対的に移動可能である。
【００６１】
円柱状の凸部３５５が、図６における長穴３１２の反時計回り方向における端部に位置しているときには、ラッチアーム３２は、係合解除位置にある。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の上辺、下辺を構成する周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂ（図１等参照）から上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へそれぞれ突出していない状態となる。図５に示すように、円柱状の凸部３５５が長穴３１２の時計回り方向における端部に位置しているときには、ラッチアーム３２は、押込位置にある。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂから上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へ突出している。
【００６２】
図５等に示すように、先端部３５２における側板部３０５２の部分には、長穴３５７が形成されている。長穴３５７は、ラッチ昇降カム部材３５において基部３５１から先端部３５２へ向かうにつれて（ラッチ回転部材３１から離間するにつれて）前方向Ｄ１１へ向かうように斜めに直線状に延びて形成されている。長穴３５７には、ラッチアーム３２の連結軸３２５が貫通しており、連結軸３２５は、長穴３５７において、長穴３５７の延びる方向へ移動可能である。長穴３５７が形成されているラッチ昇降カム部材３５の部分は、係合用ラッチ連結部を構成する。
【００６３】
蓋体３の蓋体内面を構成する内側板状部３０１の部分には、基板収納空間２７の外方（前方向Ｄ１１）へ窪んだ凹部３４１（図１２参照）が形成されている。凹部３４１には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。
【００６４】
フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部７３（図１２参照）を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００６５】
以上の構成の基板収納容器の蓋体３のラッチ駆動部は、以下のように動作する。
先ず、図６に示すように、円柱状の凸部３５５が長穴３１２の反時計回り方向における端部に位置しているときには、ラッチアーム３２は、係合解除位置にある。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の上辺を構成する周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂ（図１等参照）から上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へそれぞれ突出していない状態となっている。また、図７に示すように、ラッチアーム３２の基部は、内側板状部３０１から前方向Ｄ１１へ突出する基部支持部３０６によって支持されている。
【００６６】
次に、図８に示すように、円柱状の凸部３５５が長穴３１２の反時計回り方向における端部から時計回り方向における端部寄りの位置へ移動しているときには、ラッチアーム３２は、挿入位置にある。このとき、ラッチアーム３２の先端部３２２は、蓋体３の周壁部３０３に形成された貫通孔３０３Ａ、３０３Ｂから上方向Ｄ２１、下方向Ｄ２２へ突出する。また、図９に示すように、ラッチアーム３２の基部は、ラッチアーム３２が係合解除位置にあるときと同様に、基部支持部３０６によって支持されている。このため、ラッチアーム３２の先端嵌合部３２４は、未だ前方向Ｄ１１へ移動させられておらず、先端嵌合部３２４は、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している容器本体２の開口周縁部２８の部分には当接していない。
【００６７】
次に、円柱状の凸部３５５が長穴３１２の時計回り方向における端部に近づいているときには、ラッチアーム３２は、押込位置に近づいている。このとき、ラッチアーム３２の基部は、図１１に示すように、基部支持部３０６の前面に対向しない位置に移動させられており、ラッチアーム３２の基部が基部支持部３０６に支持されなくなる。このとき、ラッチアーム３２の基部は、長穴３５７を貫通する連結軸３２５がラッチ昇降カム部材３５に支持されることにより支持されている。そして、更に、円柱状の凸部３５５が長穴３１２の時計回り方向における端部に近づいていくと、斜めに延びる長穴３５７に沿って、連結軸３２５が後方向Ｄ１２へ移動させられてゆく。そして、図１０に示すように、円柱状の凸部３５５が長穴３１２の時計回り方向における端部に位置したときには、図１１に示すように、基部支持部３０６から内側板状部３０１上に落ちた状態となる。即ち、ラッチアーム３２は、支点部３２３を中心として回動し、ラッチアーム３２の基部は、後方向Ｄ１２へ移動し、ラッチアーム３２の先端部３２２の先端嵌合部３２４は、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂの中において、前方向Ｄ１１へ移動して、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している容器本体２の開口周縁部２８の部分には当接して、この部分を蓋体３に対して相対的に前方向Ｄ１１へ押す。これにより、蓋体３は、相対的に容器本体２に対して後方向Ｄ１２へ押込まれて、容器本体開口部２１は、蓋体３によって閉塞される。
【００６８】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１のラッチ機構は、係合凹部としてのラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに対して進退することにより係合／離脱し、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ内において容器本体２の一端部に対する他端部へ接近／離間する係合用ラッチとしてのラッチアーム３２と、ラッチアーム３２が進退する方向へ進退することにより、ラッチアーム３２をラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに対して進退させ、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ内においてラッチアーム３２を容器本体２の他端部へ接近／離間させる係合用ラッチ昇降カムとしてのラッチ昇降カム部材３５と、回転させられることにより、ラッチ昇降カム部材３５をラッチアーム３２が進退する方向へ進退させる回転カムとしてのラッチ回転部材３１と、を有する。
ラッチ昇降カム部材３５は、ラッチアーム３２がラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに接近する方向へ移動することにより、ラッチアーム３２をラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに係合させ、その後ラッチアーム３２を容器本体２の他端部へ接近させる係合用ラッチ連結部としての長穴３５７を有する。
【００６９】
上記構成により、ラッチアーム３２、ラッチ昇降カム部材３５、ラッチ回転部材３１、及び蓋体本体３０が、互いに摺動する部分を少なくすることができる。また、ラッチアーム３２をラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂに係合させた後に、ラッチアーム３２を前方向Ｄ１１へ移動させて、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している容器本体２の開口周縁部２８の部分を蓋体３に対して相対的に前方向Ｄ１１へ押すため、この押す力としてラッチアーム３２が回動するときのてこの原理を利用することができる。これらのことから、蓋体３の操作部３３のラッチ回転部材３１を、より少ない回転力で回転させることが可能となる。
【００７０】
また、互いに摺動する部分を少なくすることができるため、パーティクルの発生を抑えることが可能となり、基板収納空間２７へのパーティクルの侵入を抑えることが可能となる。
【００７１】
次に、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１２は、基板収納容器において下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３から突出している様子を示す正面図である。図１３は、基板収納容器において下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３から突出している様子を示す拡大斜視図である。
【００７２】
第２実施形態では、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの構成が、第１実施形態における上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００７３】
上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの先端部には、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ（図１参照）に係合して係止される係止用ローラ３２７Ｂがそれぞれ設けられている。図１３に示すように、係止用ローラ３２７Ｂは、図示しない回転軸部と、回転軸部と一体回転する一対の端部大径部３２７１Ｂと、一対の端部大径部３２７１Ｂの間に位置する中央小径部３２７２Ｂとを有しており、これらは、一体成形されて構成されている。
【００７４】
係止用ローラ３２７Ｂの端部大径部３２７１Ｂは、ラッチアーム３２が挿入位置とされてラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ（図１参照）に挿入された後に、ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを形成している容器本体２の開口周縁部２８の部分には当接する。この構成により、当該部分に当接した係止用ローラ３２７Ｂは、回転することができるため、当該部分と、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂとが摺動することを抑えることが可能となり、パーティクルの発生を抑えることが可能となる。
【００７５】
次に、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１４は、基板収納容器におけるラッチアーム３２Ｂを示す斜視図である。
【００７６】
第３実施形態では、ラッチアーム３２Ｂの先端嵌合部３２４Ｂの構成が、第１実施形態におけるラッチアーム３２の先端嵌合部３２４の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００７７】
ラッチアーム３２Ｂの長手方向のおける長さは、第１実施形態におけるラッチアーム３２の長手方向のおける長さよりも長く構成されている。ラッチアーム３２Ｂの先端嵌合部３２４Ｂは、Ｖ字形状の端面を有している。Ｖ字形状の端面は、ラッチ回転部材３１から離間する方向へ突出している。Ｖ字形状の端面は、先端突き当て部面３２４２Ｂと、一対のズレ防止面３２４１Ｂとを有している。先端突き当て部面３２４２Ｂは、左右方向Ｄ３におけるＶ字形状の端面の中央の部分の面により構成されている。一対のズレ防止面３２４１Ｂは、先端突き当て部面３２４２Ｂの略左右方向Ｄ３における両側に位置している。
【００７８】
これに対して図示しない基板収納容器の容器本体のラッチ係合凹部の底部は、ラッチアーム３２Ｂの先端嵌合部３２４Ｂに一致する形状を有している。ラッチアーム３２Ａ、ラッチアーム３２Ａが係合するラッチ係合凹部の底部も同様の構成を有している。
【００７９】
この構成により、ラッチ係合凹部の底部にラッチアーム３２Ｂの先端嵌合部３２４Ｂを係合させることが可能となり、これにより、蓋体外面又は蓋体内面に平行な方向（上下方向Ｄ２及び左右方向Ｄ３に平行な方向）において、ラッチ係合凹部２４１Ｂ等に対してラッチアーム３２Ｂ等を位置決めすることができ、同方向において、ラッチ係合凹部２４１Ｂ等に対してラッチアーム３２Ｂ等が位置ずれすることを抑えることができる。
【００８０】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
【００８１】
例えば、係合用ラッチの先端部としてのラッチアーム３２の先端嵌合部３２４を、静止摩擦係数が小さい材料により構成してもよい。また、係合用ラッチの先端部としてのラッチアーム３２の先端嵌合部３２４に、シボ加工を施してもよい。このような構成とすることにより、ラッチアームの先端嵌合部と、ラッチ係合凹部を形成している容器本体の開口周縁部の部分との間における摺動により、パーティクルが発生することを抑えることが可能となる。
【００８２】
また、ラッチアーム３２は、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により一体成形されていたが、主成分がＰＯＭ（ポリアセタール）の樹脂により構成されることに限定されない。例えば、ラッチアーム３２は、主成分がＰＥＥＫ樹脂により成形されてもよい。
【００８３】
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
【００８４】
また、奥側基板支持部は、本実施形態では基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成された奥側端縁支持部６０を有していたが、この構成に限定されない。例えば、奥側基板支持部は、容器本体と一体成形されて構成されておらず、別体として構成されてもよい。
【００８５】
また、本実施形態では、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２であったが、この構成に限定されない。例えば、下壁の前部の２箇所の貫通孔の少なくとも１つについても、容器本体の内部に気体を給気するための給気孔としてもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
２１  容器本体開口部
２７  基板収納空間
２８  開口周縁部
３０  蓋体本体
３１  ラッチ回転部材（回転カム、ラッチ機構）
３２  ラッチアーム（係合用ラッチ、ラッチ機構）
３５  ラッチ昇降カム部材（係合用ラッチ昇降カム、ラッチ機構）
２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂ  ラッチ係合凹部
３２７Ｂ  係止用ローラ
３５７  長穴（係合用ラッチ連結部）
Ｗ  基板
【図１】
2019239495.tif 000003
【図２】
2019239495.tif 000004
【図３】
2019239495.tif 000005
【図４】
2019239495.tif 000006
【図５】
2019239495.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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