(57)【要約】【課題】組み立てに多数の締結部品を要し、かつ、締結部品にアクセスできるスペースが狭い流体制御装置のような装置における締結部品の締付作業に適しかつ締付トルクの検出が自動化されたトルクセンサ付きの工具を提供する。【解決手段】ビット（２０）に作用する締結部品を締め付ける締付トルクを検出可能なトルクセンサ（３０）を備える工具（１）であって、トルクセンサ（３０）は、検出される締付トルクが設定閾値Ｔｈを越えると締付トルクの測定を開始し、検出される締付トルクが設定閾値Ｔｈよりも下がり、かつ、設定時間Ｔ１を経過すると測定を終了し、測定開始から測定終了までの間の測定データに基づいて形成されかつ測定時刻を含むトルク関連データを出力する。トルク関連データは、測定データの中のピーク値を含む。
2019111846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビットに作用する締結部品を締め付ける締付トルクを検出可能なトルクセンサを備える工具であって、  前記トルクセンサは、検出される締付トルクが設定閾値を越えると締付トルクの測定データの記録を開始し、検出される締付トルクが前記設定閾値よりも下がり、かつ、設定時間を経過すると測定を終了し、測定開始から測定終了までの間の測定時刻を含む測定データに基づくトルク関連データを出力する、工具。
【請求項２】
前記トルク関連データは、前記測定データの中のピーク値を含む、請求項１に記載の工具。
【請求項３】
前記トルク関連データは、データを測定した際の温度情報を含む、請求項１または２に記載の工具。
【請求項４】
前記工具は、画像処理用に少なくとも第１のマーカおよび第２のマーカを備える、請求項１〜３のいずれかに記載の工具。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の工具を用いて、製品に含まれる複数の締結部品の各々を締め付ける締付作業を管理する作業管理装置であって、  前記トルク関連データを受信すると、一の締結部品の締付作業中に複数の視点から撮像された前記工具の複数の画像の中から、前記トルク関連データに含まれる測定時刻に対応する複数の画像を抽出して処理し、前記一の締結部品に係合する前記ビットの係合位置を検出する、作業管理装置。
【請求項６】
前記工具の複数の画像は、少なくとも前記第１および第２のマーカを含む、請求項５に記載の作業管理装置。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれかに記載の工具を用いて、製品に含まれる複数の締結部品の各々を締め付ける締付作業を管理する作業管理方法であって、  前記トルク関連データを受信すると、一の締結部品の締付作業中に複数の視点から撮像された前記工具の複数の画像の中から、前記トルク関連データに含まれる測定時刻に対応する複数の画像を抽出して処理し、前記一の締結部品に係合する前記ビットの係合位置を検出する、作業管理方法。
【請求項８】
製品に含まれる複数の締結部品の各々を締め付ける締付作業を管理する作業管理システムであって、  ビットに作用する締結部品を締め付ける締付トルクを検出可能なトルクセンサを備え、画像処理用の第１および第２のマーカを備える工具を有し、  前記トルクセンサは、検出される締付トルクが設定閾値を越えると締付トルクの測定データの記録を開始し、検出される締付トルクが前記設定閾値よりも下がり、かつ、設定時間を経過すると測定を終了し、測定開始から測定終了までの間の測定データに基づいて形成されたトルク関連データを出力し、  前記製品に対して所定の位置に配置され、締め付け作業中の前記工具の画像を少なくとも前記第１および第２のマーカが含まれるように、かつ、互いに異なる視点から撮像する第１および第２の撮像装置と、  前記第１および第２の撮像装置の撮像する画像を記憶する記憶装置と、  前記トルク関連データを受信すると、一の締結部品の締付作業中に複数の視点から撮像された前記記憶装置に記憶された前記工具の複数の画像の中から、前記トルク関連データに含まれる測定時刻に対応する複数の画像を抽出して処理し、前記一の締結部品に係合する前記ビットの係合位置を検出する処理装置と、を有する作業管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ボルトなどの締結部品を多数含む装置における締結部品の締付作業に用いるトルクセンサ付きの工具およびこの工具を用いた締付作業を管理する作業管理装置、作業管理方法、および、作業管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】  半導体製造プロセス等の各種製造プロセスにおいては、正確に計量したプロセスガスをプロセスチャンバに供給するために、開閉バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラ等の各種の流体機器を集積化した流体制御装置（例えば、特許文献１参照）が用いられている。  上記のような流体制御装置の組立工程においては、膨大な数の六角穴付きボルトなどの締結部品の締付作業が必要であり、かつ、高い組立品質が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2007-003013号公報
【特許文献２】特開2013-188858号公報
【特許文献３】特開2015-229210号公報
【特許文献４】特開2013-852号公報
【特許文献５】特開2008-181344号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  特許文献２は、トルクレンチに設けた加速度センサ、ジャイロセンサ、地磁気センサ等のセンサからの信号を利用して、締付を行った締結部品の位置を自動的に検出し締付位置を管理する技術を開示している。  特許文献３は、工具により行われる作業箇所を撮像装置で撮像し、この撮像画像データと工具に付加されたトルクセンサ等のセンサからのデータに基づいて作業が正常に行われているかを判断する技術を開示している。  特許文献４は、ワークの上方に撮像装置を設置し、ワークに対して締付工具で締付作業を実施している際に締付工具に付与されたあらかじめ登録された識別マークの有無を撮像データから検出することで、締付作業が実施されたことを検出する技術を開示している。  特許文献５は、道具を用いて行う複数の作業を含む製品の製造工程において、製品のどの位置で作業が行われたかを特定する技術を開示している。具体的には、一つの前記作業が完了したときに出力される完了信号の受信を契機として複数の画像を撮像し、これらの画像から作業完了位置を表す作業完了座標を検出し、作業を行うべき位置である作業位置を表す作業座標を取得し、作業完了座標と作業座標とに基づいて、複数の作業それぞれについての作業位置のうちのいずれに作業完了位置が対応するのかを特定する。【０００５】  上記した流体制御装置は、小型化、集積化が進んでおり、ボルト等の締付部材も短小化しているうえに、流体機器の間のスペースが狭小化している。このため、ボルト等の締付部材の締付作業は、グリップに備わるビット保持部に細長いビットを装着した工具を用いて行われる。例えば、流体機器間の狭小スペースを通じてのみアクセスできるような箇所における締結部品の締付作業は、当該狭小スペースに工具のビット部分のみを差し込み、ビットの姿勢を適宜調整しながら締結部品にビット先端部をかみ合わせ、流体機器から離れた位置にあるグリップを操作してビットを回転させる。  しかしながら、このような工具に特許文献２に開示された締付位置の検出機能を持たせるには、各種のセンサやＣＰＵ等を内蔵するケースを装着する必要がある。グリップとビットからなる工具に各種のセンサやＣＰＵ等を内蔵するケースを装着するのは困難であり、仮にケースを工具に装着したとしても、ケースが邪魔となって工具の操作性が著しく低下してしまう。加えて、多数のセンサを装着すると、工具の製造コストが高くなる。  特許文献３，４の技術では、流体機器の間の狭小スペースに差し込んだビットの先端部や締付位置を確実に撮像するのは困難であり、撮像中に操作者の手や工具のグリップが撮像領域に入ってしまい、作業箇所や締付位置が隠れてしまう。  特許文献５では、作業位置の特定は可能であるが、ねじを締め付けた実際のトルクデータは得られない。さらに、ねじ締めなどの締付作業において作業者は何度か締め直しをすることがあるため、適切な完了信号を発生させることは容易ではない。更に、１つのねじを締め付ける時間は数秒と短いこと、１つのねじとその隣のねじとの間隔が小さいことから、画像からのみ作業完了を特定することは容易ではない。【０００６】  本発明の一の目的は、組み立てに多数の締結部品を要し、かつ、締結部品にアクセスできるスペースが狭い流体制御装置のような装置における締結部品の締付作業に適しかつ締付トルクの検出が自動化されたトルクセンサ付きの工具を提供することにある。  本発明の他の目的は、上記のトルクセンサ付き工具を用いた締付作業において、締結部品の全てについて位置や締付トルク等の情報を正確に管理可能な作業管理装置、作業管理方法および作業管理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  本発明に係る工具は、ビットに作用する締結部品を締め付ける締付トルクを検出可能なトルクセンサを備える工具であって、  前記トルクセンサは、検出される締付トルクが設定閾値を越えると締付トルクの測定データの記録を開始し、検出される締付トルクが前記設定閾値よりも下がり、かつ、設定時間を経過すると測定を終了し、測定開始から測定終了までの間の測定データに基づいて形成されかつ測定時刻を含むトルク関連データを出力する。【０００８】  好適には、前記トルク関連データは、前記測定データの中のピーク値を含む、構成を採用でき、前記トルク関連データは、データを測定した日時情報およびデータを測定した際の温度情報を含む、構成を採用でき、また工具は、画像処理用に少なくとも第１および第２のマーカを備える、構成を採用できる。【０００９】  本発明に係る作業管理装置は、上記構成の工具を用いて、製品に含まれる複数の締結部品の各々を締め付ける締付作業を管理する作業管理装置であって、  前記トルク関連データを受信すると、一の締結部品の締付作業中に複数の視点から撮像された前記工具の複数の画像の中から、前記トルク関連データに含まれる測定時刻に対応する複数の画像を抽出して処理し、前記一の締結部品に係合する前記ビットの係合位置を検出する。【００１０】  本発明の作業管理方法は、上記構成の工具を用いて、製品に含まれる複数の締結部品の各々を締め付ける締付作業を管理する作業管理方法であって、  前記トルク関連データを受信すると、一の締結部品の締付作業中に複数の視点から撮像された前記工具の複数の画像の中から、前記トルク関連データに含まれる測定時刻に対応する複数の画像を抽出して処理し、前記一の締結部品に係合する前記ビットの係合位置を検出する。【００１１】  本発明の作業管理システムは、製品に含まれる複数の締結部品の各々を締め付ける締付作業を管理する作業管理システムであって、  ビットに作用する締結部品を締め付ける締付トルクを検出可能なトルクセンサを備え、画像処理用の第１および第２のマーカを備える工具を有し、  前記トルクセンサは、検出される締付トルクが設定閾値を越えると締付トルクの測定データの記録を開始し、検出される締付トルクが前記設定閾値よりも下がり、かつ、設定時間を経過すると測定を終了し、測定開始から測定終了までの間の測定データに基づいて形成されたトルク関連データを出力し、  前記製品に対して所定の位置に配置され、締め付け作業中の前記工具の画像を少なくとも前記第１および第２のマーカが含まれるように、かつ、互いに異なる視点から撮像する第１および第２の撮像装置と、  前記第１および第２の撮像装置の撮像する画像を記憶する記憶装置と、  前記トルク関連データを受信すると、一の締結部品の締付作業中に複数の視点から撮像された前記記憶装置に記憶された前記工具の複数の画像の中から、前記トルク関連データに含まれる測定時刻に対応する複数の画像を抽出して処理し、前記一の締結部品に係合する前記ビットの係合位置を検出する処理装置と、を有する。
【発明の効果】
【００１２】  本発明によれば、締結部品にアクセスできるスペースが狭い流体制御装置のような装置における締結部品の締付作業に適しかつ締付トルクの検出が自動化されたトルクセンサ付きの工具が得られる。  本発明によれば、流体制御装置のような装置における締結部品の全てについて位置や締付トルク等の情報を正確に管理可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る作業管理システムの外観斜視図。
【図２】流体制御装置の一例を示す外観斜視図。
【図３】図２の流体制御装置の側面図。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に係る工具の外観斜視図。
【図４Ｂ】グリップ部の外観斜視図。
【図４Ｃ】ビットの外観斜視図。
【図４Ｄ】工具のトルクセンサ部分の縦断面図。
【図５Ａ】トルクセンサの回路図。
【図５Ｂ】トルクセンサのアナログ回路部分の機能ブロック図。
【図６】複数回の締付作業を実施した際のトルクセンサの処理の一例を示すタイミングチャート。
【図７】1回の締め付け作業におけるトルクセンサにおける各種信号の一例を示すタイミングチャート。
【図８】処理装置における処理の一例を示すフローチャート。
【図９】画像処理によりビット先端位置を検出する方法の説明図。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る作業管理システムの外観斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】  以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書および図面においては、機能が実質的に同様の構成要素には、同じ符号を使用することにより重複した説明を省略する。  図１は、本発明の一実施形態に係る作業管理システムを示しており、このシステムは、工具としてのドライバ１と、処理装置としてのパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと言う）３００と、撮像装置としてのカメラ４００Ａ，４００Ｂとを有する。図１において、製品であるガスボックス５００の内部は省略しているが、図２および図３に示す流体制御装置２００が底面５００ｂに設置される。すなわち、流体制御装置２００がガスボックス５００内に収容された状態で組み立て作業が実施される。なお、図１における矢印Ａ１は水平面内における横方向、矢印Ａ２は水平面内における縦方向を示している。
【００１５】  図２，３に示す流体制御装置２００は、半導体製造装置等の反応器へ各種のガスを供給するために使用され、ベース板金ＢＳ上には、それぞれ長手方向に沿って配置された自動バルブやマスフローコントローラからなる各種流体機器２１０，２２０，２３０，２４０，２８０，２５０で構成される流体制御アセンブリが複数（図では３列）に並列されている。  ベース板金ＢＳ上に設けられた複数の継手ブロック２６０，２７０は各種流体機器間を接続する流路を備えている。流体機器のボディと継手ブロック２６０，２７０とは、締付部品としての六角穴付きボルトＢＴで連結される。  ドライバ１は、六角穴付きボルトＢＴの締付作業に使用される。各種流体機器が集積化されていると、六角穴付きボルトＢＴを締め付ける際に、流体機器とドライバ１のビットが干渉しないように、六角穴付きボルトＢＴに対してドライバ１を傾斜させながら締め付ける場合がある。このような作業を多数の六角穴付きボルトＢＴについて正確な締付トルクで実施するのは容易ではない。
【００１６】  図１に戻って、カメラ４００Ａは、視点が横方向Ａ１を向いており、後述するように、工具１に設けられたマーカが撮像できる位置に配置されている。カメラ４００Ｂは、視点が縦方向Ａ２を向いており、後述するように、工具１に設けられたマーカが撮像できる位置に配置されている。カメラ４００Ａ，４００Ｂは、所定のフレームレートで撮像可能であり、撮像された画像データは無線信号としてＰＣ３００に送信され、記憶される。カメラ４００Ａ，４００Ｂは、ガスボックス５００の外部に設置されているため、ドライバ１の六角穴付きボルトＢＴの締付作業中に、ドライバ１のビットの先端位置および六角穴付きボルトＢＴがカメラ４００Ａ，４００Ｂの視野に入らない場合もあり得る。
【００１７】  図４Ａ〜図４Ｄにドライバ１の構造を示す。  ドライバ１は、グリップ１０、ビット２０、トルクセンサ３０を有する。ドライバ１は六角穴付きのボルト（締結部品）の締結に用いられ、最大締付トルクが１０Ｎ・ｍ以下の範囲で用いられるが、これに限定されるわけではない。  締結部品は、六角穴付きボルト、六角ボルト、十字穴付きネジなどが用いられるが、これらに限られない。  グリップ１０は、図４Ｂに示すように、樹脂等の材料からなる円柱状の部材であり、外周面に滑り止め用の複数条の溝が形成された本体部１１と、先端部に形成された円筒状のビット保持部１２、本体部１１とビット保持部１２との間に形成され、トルクセンサ３０を着脱自在に装着するセンサ装着部１３とを有する。ビット保持部１２には、断面が正六角形状のブラインドホールからなる保持穴１２ａが形成され、これにビット２０が挿入保持される。補助バー１９は、グリップ１０に直交するように設けられている。グリップ１０に補助バー１９を設けることで、より大きな締緩トルクを手動で生み出すことができる。
【００１８】  ビット２０は、図４Ｃに示すように、上記のグリップ１０のビット保持部１２に挿入保持される断面が正六角形状の基端部２２と、基端部２２とは反対側の先端部２１と、基端部２２と先端部２１との間で延びる軸部２３とを有する。先端部２１および軸部２３の六角形状の断面は同一寸法に形成されている。先端部２１および軸部２３の断面積は、基端部２２よりも小さくなっている。先端部２１が六角穴付きボルトの六角穴に係合する。軸部２３の基端部２２寄りの一部は、トルクセンサ３０により検出される被検出部２４となっている。  ビット２０は、具体的には、炭素鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、クロムバナジウム鋼等の合金鋼で形成されている。  被検出部２４には、磁歪材料が形成されており、検出感度を高めるために、例えば、Ni(40%)-Fe(60%)のメッキが施されている。  ビット２０の寸法は、例えば、基端部２２の断面に内接する円の直径が１０ｍｍ以下で、軸部２３の断面に内接する円の直径が４ｍｍ程度であり、全長は２００ｍｍ程度であるが、これに限定されるわけではなく、作業性、操作性を考慮して適宜選択される。  ビット２０は、軸部２３と被検出部２４が一体に形成されていても良く、分割できるようになっていても良い。
【００１９】  トルクセンサ３０は、図４Ｄに示すように、ケース部３１、装着部３２、検出部３３、回路収容部３５を有する。  検出部３３は、その中心部に貫通孔３３ａが形成され、この貫通孔３３ａ内をビット２０が貫通する。検出部３３の内部には、貫通孔３３ａの一部を画定するように円筒状のコイル保持部３３ｂが形成され、外周面に励磁・検出用のコイル３６が設けられている。検出部３３を貫通すするビット２０の被検出部２４はコイル３６によって外周が包囲される。  ケース部３１、装着部３２、検出部３３は樹脂材料により一体的に形成され、ケース部３１の内部には空洞３９が形成されている。空洞３９は、装着部３２を通じてグリップ１０のビット保持部１２を収容可能となっている。  円筒状に形成された装着部３２は、グリップ１０のセンサ装着部１３が内周に嵌合し、図示しないねじ部材により、センサ装着部１３に固定される。  回路収容部３５は、後述するように、マイクロコンピュータ、メモリ、バッテリー、外部入出力回路、通信回路、トルク検出用の各種回路等から構成されるハードウエアを収容し、メモリにストアーされた所要のソフトウエアにより動作する。
【００２０】  ドライバ１は、グリップ１０にビット２０を装着した状態で後からトルクセンサ３０を取付け可能となっている。このため、グリップ１０およびビット２０が従来から使用されていた汎用的な工具であるとすると、トルクセンサ３０を後付けすることで、工具の作業性、操作性を損なうことなくビット２０に作用するトルク検出が可能となる。  なお、本実施形態では、トルクセンサ３０を後付け可能な場合を例示するが、グリップ１０に予めトルクセンサ３０を取付け、その後に、グリップ１０にビット２０を装着する構成も採用可能である。
【００２１】  図５Ａは、トルクセンサ３０の回路図である。  図５Ａにおいて、５０は励磁コイル，５１は検出コイル、５２はトルクに比例した電圧を出力するアナログ回路、５３はＤＣ・ＤＣコンバータ、５４は比較器、５５は基準電圧設定回路である。６０はマイクロコンピュータ（以下、マイコン）、６１はアナログ−ディジタルコンバータ（以下、ＡＤＣ）、６２は温度センサ、６３はリアルタイムクロック、６４はシリアルバス、６５は通信モジュール、６６はリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、６７はデータ入力端子、６８はメモリカード、６９はリセットＩＣ、７０はＤＣ・ＤＣコンバータ、７１はキャリブレーションスイッチ、７２は電源スイッチ、７３はバッテリー、７４は充電制御回路、７５は充電コネクタである。
【００２２】  ここで、図５Ａの励磁コイル５０，検出コイル５１およびアナログ回路５２のアナログ回路部分の機能ブロック図を図５Ｂに示す。  トルクセンサ３０は、発振回路１１０、バッファーアンプ１２０、位相調整回路１３０、Ｖ−Ｉコンバータ１４０、インバータ１６０、同期検波回路１７０、および、反転増幅器１８０を有する。（励磁側）  発振回路１１０は、励磁コイル５０を励磁する基準周波数信号（例えば、１００ｋＨｚ）を生成する。  発振回路１１０から励磁側回路には正弦波として信号が出力されるが、発振回路１１０を安定動作させるため、バッファーアンプ１２０を経由して位相調整回路１３０に出力される。  位相調整回路１３０は、波形の位相を調整し、Ｖ−Ｉコンバータ１４０に出力する。  Ｖ−Ｉコンバータ１４０は、入力電圧を電流に変換し、励磁コイル５０に出力する。（検出側）  検出コイル５１は、逆磁歪効果により発生した誘起電圧を同期検波回路１７０に出力する。  発振回路１１０から検出側へは、参照信号として矩形波が出力される。この矩形波の周波数は、励磁側へ出力される正弦波と同じである。出力された矩形波は２つに分岐され、一方はそのまま同期検波回路１７０へ出力され、他方はインバータ１６０で位相を反転され同期検波回路１７０へ出力される。  同期検波回路１７０は、参照信号を参照して、検出コイル５１からの誘起電圧を同期検波し、反転増幅器１８０へ出力する。  反転増幅器１８０は、同期検波回路１７０からの出力を平均化し、オフセット調整、ゲイン調整を行い、アナログのトルク信号ＳＧとしてＡＤＣ６１に出力する。同期検波回路１７０及び反転増幅器１８０が、上述したアナログ回路５２を構成する。
【００２３】  上記したようにトルクセンサ３０では、ビット２０の被検出部に作用するトルク変化を、ビット２０を形成する磁歪材料の透磁率の変化として励磁コイル５０および検出コイル５１で検出する。  ビット２０で、締結部品を締付けているトルクを測定するには、ビットに作用するトルクを検出すれば良い。  ビットに作用するトルクを検出するには、逆磁歪効果を利用するが、印加トルクによる軸（被検出部)表面の透磁率変化を、軸（被検出部）を取りまくソレノイドコイルのインピーダンス変化に換算し、ブリッジ回路の非平衡電圧として検出する必要がある。  軸（被検出部）の表面に作用する応力（歪み）と、軸（被検出部）の直径との関係は以下の式で表わされる。
【００２４】σ＝１６Ｔ／（πＤ３）
【００２５】  ここで、σは軸（被検出部）表面の応力（歪み）、Ｔは軸（被検出部）に作用するトルク、Ｄは軸（被検出部）の直径である。  すなわち、軸（被検出部）の径の異なるビットに同じトルクが印加された場合、軸（被検出部）の径が小さなビットの方が、軸（被検出部）表面の応力（歪み）は著しく大きくなる。  軸（被検出部）表面の応力（歪み）は、軸（被検出部）表面の透磁率を変化させる。  透磁率の変化は、外部からの力に応じ、原子サイズで構成されている微小磁石の向きが変化することで起こるが、微小磁石の向きが揃い切ってしまうとそれ以上は変化しない（飽和状態）。  ビット（軸）に印加されたトルクを精密に検出するには、印加されるトルクの範囲で、透磁率の変化がリニアであることが望ましい。
【００２６】  マイコン６０は、シリアルバス６４を介して、ＡＤＣ６１、温度センサ６２、リアルタイムクロック６３、通信モジュール６５との間で各種のデジタルデータを授受する。  通信モジュール６５は、ＰＣとの間で、データを送受信する。  ＲＯＭ６６は、マイコン６０が読み出し可能に、補正値データやキャリブレーションデータを格納している。  データ入力端子６７は、プログラムやクロック信号をマイコン６０に入力するために設けられている。
【００２７】  比較器５４の一方の入力端子には、アナログのトルク信号が入力され、他方の入力端子には、基準電圧設定回路５５から基準電圧（閾値）が入力され、トルク信号が基準電圧を超えると、後述するように、測定トリガー信号をマイコン６０のＰ１端子に出力する。
【００２８】  次に、図６および図７を参照して、トルクセンサ３０の回路の作用について説明する。なお、図６は、複数のボルトＢＴを順に締め付けた際のトルクセンサ３０の動作を示すタイミングチャートであり、図７は、図６の最初のトルク測定におけるトルクセンサ３０の動作をより詳細に示すタイミングチャートである。  上記したＡＤＣ６１は、例えば、１２ビットで構成され、１ｍｖを1ビットとすると、０〜４．０９６Ｖの範囲で出力できる。本実施形態では、設定閾値Ｔｈは、例えば、基準電圧設定回路５５により２．０Ｖに初期設定されている。  図５Ａに示した電源スイッチ７２を図６の（１）に示すようにオン（導通状態）にすると、リセットＩＣ６９からマイコン６０にリセット信号が図６の（２）に示すように入力される。  工具１を用いて流体制御装置２００の六角穴付きボルトＢＴの一つを締め付けていきトルク信号（アナログ入力）の電圧が設定閾値Ｔｈを超えると（図７の（１））、比較器５４から測定トリガー信号が発生し、マイコン６０のＰ１端子に入力される。  マイコン６０では、Ｐ１端子に測定トリガー信号が入力されると、測定記録期間信号（図７の（４））がオンする。測定記録期間信号がオンされると、マイコン６０はトルク信号のＡＤＣ６１のデジタル出力（図７の（３））の記録（サンプリング）を開始する。  マイコン６０では、読み込んだデジタル出力を検出し、これを記憶する（図７の（５））。  アナログ入力が設定閾値Ｔｈを下まわると、測定トリガー信号がオフとなり（図７の（２））、トルク信号のＡＤＣ６１のデジタル出力の記録が停止される。アナログ入力が設定閾値Ｔｈを下まわり、かつ、あらかじめ設定した設定時間Ｔ１（例えば、０．５秒）を経過すると、測定記録期間信号がオフとなる（図７の（４））。これにより、一のボルトＢＴの締付トルクの測定が終了する。  図７の例では、デジタル出力のピーク値の値が、２９９３、３０５１、２９８９と３つ検出されている。そして、マイコン６０では、３つのピーク値の最大値（３０５１）を検出する（図７の（６））。本実施形態では、このピーク値の最大値をトルクセンサ３０の締付完了トルクとする。  次いで、後述するように、このトルクの最大値を含むトルク関連情報を形成し、この最大値を含むトルク関連情報をメモリカード６８に格納するとともに、通信モジュール６５を通じてＰＣ３００に送信する。
【００２９】  図６に戻って、各締付作業毎にトルク信号の最大値を検出し（図６の（３），（４））、各トルク信号の測定時の温度を検出し（図６の（５））、（図６の（７））に示すように、トルク関連データを形成する。具体的には、トルク関連データは、測定時刻（測定日時）、トルク信号の最大値（ピーク値）を実際のトルク値に換算した値、および、測定時の温度を含む。トルク関連データは、パワーオン時には、トルク値のデータはゼロとなっており、1回目は３．０５１Ｎ・ｍ、2回目は３．０１５Ｎ・ｍ、3回目は３．０１１Ｎ・ｍとなっている。
【００３０】  次に、ＰＣ３００における処理の一例について図８を参照して説明する。  ＰＣ３００では、トルクセンサ３０からトルク関連データを受信したかを常時監視しており（ステップＳ１）、受信した場合には、当該トルク関連データからトルクを測定した測定時刻（日時）を読み出す（ステップＳ２）。  ＰＣ３００は、カメラ４００Ａ，４００Ｂからの画像を記録するフレームバッファを備えており、締付作業の画像は作業の進行に伴ってＰＣ３００に記憶されていく。ＰＣ３００に記憶された画像データを遡り、ステップＳ２で読み出した時刻に対応するカメラ４００Ａ，４００Ｂがそれぞれ撮像した画像データを抽出する。すなわち、これら２つの画像は、ボルトＢＴの締付完了時の工具の画像である。これらの画像データを処理し、図９に示すように、工具１に設けたマーカＭＫＡとマーカＭＫＢの画像の重心位置ＣＧＡ，ＣＧＢを検出し、重心位置ＣＧＡ，ＣＧＢを結ぶ直線上にビット２０の先端座標２０Ｐが存在する。これにより、ビット２０の先端座標が検出される（ステップＳ５）。なお、本実施形態では、マーカＭＫＡとマーカＭＫＢは、周囲の環境からの外乱を受けにくい緑色とした。  次いで、検出したビット２０の先端座標、温度データ、締付完了トルク値等のデータを関係づけて記憶装置に記録する。これにより、流体制御装置２００におけるすべてのボルトＢＴの締付作業の有無、締付トルク等の作業情報を常に正確にトレースすることが可能となる。
【００３１】  本実施形態では、上記したように、ビットの先端座標を取得するための画像データを常時撮像しつつ、これとは独立にトルクセンサ３０から取得されるトルク関連データを取得する。そして、取得したトルク関連データとこれと時間的に適合する画像データから得られるビット２０の先端座標データとを関連付けることで、正確な作業情報を獲得できる。  例えば、工具による締め付け作業が完了したのちに完了信号を発生させ、この完了信号を契機として工具の撮像を開始し、撮像した画像データを処理して工具等の位置座標を算出したのでは、作業が完了した時点と工具等の位置座標を算出した時点との間にずれが生じ、算出した位置座標が作業が完了した時点の工具等の位置座標とは限らない。  本発明では、算出されるビット２０の先端座標データと取得されるトルク関連データとの間に時間的な乖離がないため、より正確な作業データが得られる。
【００３２】  図１０に本発明の他の実施形態に係る作業管理システムを示す。  図１０に示すシステムは、ＰＣ３００とカメラ４００Ａ，４００Ｂとが通信ケーブルＣＡ，ＣＢで接続されている。このように、無線の代わりに有線でも工具１の画像を取得することができる。
【００３３】カメラ４００Ａ，４００Ｂの設置位置は、上記実施形態のように２台の場合、カメラ４００Ａの視点方向とカメラ４００Ｂの視点方向が、直交することが望ましい。撮像範囲は、作業者が作業開始してから、流体制御装置２００の全ての六角穴付きのボルト（締結部品）の締付けを完了するまでの間、工具１に設けたマーカＭＫＡとマーカＭＫＢが撮像されていれば良い。作業者の全身やガスボックス５００、流体制御装置２００が撮像される必要はない。
【００３４】  上記実施形態では、トルク信号のピーク値の最大値を工具１からＰＣ３００に送信したが、本発明はこれに限定されるわけではない。例えば、ピーク値の最大値以外に、最初のピーク値または最後のピーク値を締付完了トルクとすることもでき、ピーク値の平均値を採用することも可能である。  また、上記実施形態では、締付けトルクの測定データを工具１に記録しＰＣ３００に送信しているが、工具１では記録せずに、測定データの送信のみ行い、ＰＣ３００において記録、ピーク値の検出を行うことも可能である。
【００３５】  上記実施形態では、撮像した画像データをフレームバッファに記憶し、このフレームバッファから必要な画像データを抽出し、画像処理により座標データを算出したが、本発明はこれに限定されるわけではない。覚三された画像データを逐次画像処理して座標データ等を算出し、これを時系列に記憶しておき、この時系列データとトルク関連データとを関連付けることも可能である。
【符号の説明】
【００３６】１        ：ドライバ（工具）１０      ：グリップ１１      ：本体部１２      ：ビット保持部１２ａ    ：保持穴１３      ：センサ装着部１９      ：補助バー２０      ：ビット２０Ｐ    ：先端座標２１      ：先端部２２      ：基端部２３      ：軸部２４      ：被検出部３０      ：トルクセンサ３１      ：ケース部３２      ：装着部３３      ：検出部３３ａ    ：貫通孔３３ｂ    ：コイル保持部３５      ：回路収容部３６      ：コイル３９      ：空洞５０      ：励磁コイル５１      ：検出コイル５２      ：アナログ回路５３，７０：ＤＣ・ＤＣコンバータ５４      ：比較器５５      ：基準電圧設定回路６０      ：マイクロコンピュータ（マイコン）６１      ：アナログ−ディジタルコンバータ（ＡＤＣ）６２      ：温度センサ６３      ：リアルタイムクロック６４      ：シリアルバス６５      ：通信モジュール６６      ：ＲＯＭ６７      ：データ入力端子６８      ：メモリカード６９      ：リセットＩＣ７１      ：キャリブレーションスイッチ７２      ：電源スイッチ７３      ：バッテリー７４      ：充電制御回路７５      ：充電コネクタ１１０    ：発振回路１２０    ：バッファーアンプ１３０    ：位相調整回路１４０    ：Ｖ−Ｉコンバータ１６０    ：インバータ１７０    ：同期検波回路１８０    ：反転増幅器２００    ：流体制御装置２１０，２２０，２３０，２４０，２５０，２８０：流体機器２６０，２７０：継手ブロック３００    ：ＰＣ（処理装置）４００Ａ，４００Ｂ：カメラ（撮像装置）５００    ：ガスボックス５００ｂ  ：底面ＢＳ      ：ベース板金ＢＴ      ：六角穴付きボルトＣＡ，ＣＢ：通信ケーブルＣＧＡ，ＣＧＢ  ：重心位置ＭＫＡ，ＭＫＢ  ：マーカＳＧ      ：トルク信号Ｔ１      ：設定時間Ｔｈ      ：設定閾値
【図１】
2019111846.tif 000003
【図２】
2019111846.tif 000004
【図３】
2019111846.tif 000005
【図４Ａ】
2019111846.tif 000006
【図４Ｂ】
2019111846.tif 000007
【図４Ｃ】
2019111846.tif 000008
【図４Ｄ】
2019111846.tif 000009
【図５Ａ】
2019111846.tif 000010
【図５Ｂ】
2019111846.tif 000011
【図６】
2019111846.tif 000012
【図７】
2019111846.tif 000013
【図８】
2019111846.tif 000014
【図９】
2019111846.tif 000015
【図１０】
2019111846.tif 000016
【国際調査報告】
2019111846.tif 000017
2019111846.tif 000018
2019111846.tif 000019
2019111846.tif 000020