(57)【要約】  種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査するにあたり、当該各非破壊検査手段の検出結果において特定される検査対象上の位置同士を簡単かつ正確に合わせる。複数の非破壊検査手段のうち一の非破壊検査手段による検出結果（図１Ａ）中の検査対象上にマーキング位置を決定して装置に記憶させるとともに、同マーキング位置に相当する検査対象（１）上にその他の非破壊検査手段により検出可能なマーク（ｍ１，ｍ２，ｍ３）を固定的に形成し（図１Ｂ）、その後、その他の非破壊検査手段によりマークを含めて検査対象を検出し、マーク、すなわち、マーキング位置を基準にして複数の非破壊検査手段による検出結果同士を対照する。
2019059012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査するにあたり、前記複数の非破壊検査手段のうち一の非破壊検査手段による検出結果中の検査対象上にマーキング位置を決定して装置に記憶させるとともに、同マーキング位置に相当する検査対象上にその他の非破壊検査手段により検出可能なマークを固定的に形成した後、前記その他の非破壊検査手段により前記マークを含めて検査対象を検出し、前記マーク、すなわち、マーキング位置を基準にして、前記複数の非破壊検査手段による検出結果同士を対照する非破壊検査方法。
【請求項２】
前記一の非破壊検査手段による検出結果に基づき前記マーキング箇所を基準にして特異箇所を特定した後、前記その他の非破壊検査手段により当該特異箇所を集中的に検出する請求項１に記載の非破壊検査方法。
【請求項３】
前記マークに位置基準以外の情報を割り当て、同情報を記録保持する前記マークを検査対象上に固定的に形成した後、同情報を前記その他の非破壊検査手段の検出結果から読み取る請求項１又は請求項２に記載の非破壊検査方法。
【請求項４】
前記種類の異なる複数の非破壊検査手段には、Ｘ線撮影手段、磁場分布測定手段、サーモグラフィー撮影手段及び硬度測定手段のうちいずれか２以上が含まれる請求項１から請求項３のうちいずれか一に記載の非破壊検査方法。
【請求項５】
前記種類の異なる複数の非破壊検査手段には、前記Ｘ線撮影手段としてＸ線タルボ撮影装置が含まれる請求項４に記載の非破壊検査方法。
【請求項６】
前記その他の非破壊検査手段には、前記磁場分布測定手段が含まれ、前記マークを構成する素材には、磁性体が含まれている請求項１から請求項５のうちいずれか一に記載の非破壊検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、非破壊検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて、検査対象の検査を行いたい、例えばリチリウムイオンバッテリー（以下「ＬＩＢ」）をＸ線撮影装置（Ｘ線タルボ撮影装置など）と磁場分布測定装置で検査するような場合がある。Ｘ線撮影により、ＬＩＢ内部の構造的な不具合や異物の有無、場所を知ることができる。また磁場分布測定により、ＬＩＢ内部の電流分布を可視化することができ、リーク電流の大きさやリーク位置を知ることができる。  実際に検査する上では、それぞれの結果単独ではなく、両方の検出結果を組み合わせて多角的に判断する必要がある。例えば、Ｘ線撮影により異物が見つかったとしても、それがリークに繋がっていなければ、問題ない場合も考えられる。あるいはリークがあった場合、その部分のＸ線撮影により何が原因なのかを把握することができるなど、両方の検出結果を組み合わせて多角的に判断することができる場合がある。【０００３】  種類の異なる複数の非破壊検査手段による検出結果に基づき多角的に判断する場合に、それぞれの検出結果が単独にあったとしても、試料の表裏、検出時の向きなど検出時の検査対象の置き方や、装置毎の座標のズレ（ＸＹスケール、直交度など）などがあり、そのままでは比較できない。単にマジックで印をつけるなどでは、検出結果には印は撮像・反映されない場合があり、一方の検出結果と他方の検出結果を位置関係も含めて比較・検討しようとすると、装置毎に同じ位置関係になるように事前に座標を校正しておく、検査対象にマークを形成し、それぞれの検査時に別途カメラでマークを撮像し、座標・位置関係を校正する、などが必要となる。その場合、校正作業が必要であり、カメラ等を追加することで装置が大掛かりになる、などの課題がある。  また、ＬＩＢのようにラミネート包装されている場合、包装の外部に印をつけても内部の電極等との位置関係がずれてしまうという問題もある。【０００４】  特許文献１に記載の発明にあっては、一方の検査装置において検査に先立って被検査物である半導体基板の素子形成領域の外形ラインの互いに直交する２辺やオリエンテーション・フラットなど外形的特徴に基づき検査対象の位置を特定し、他方の検査装置において検査に先立って図示しない位置合わせマークに基づき検査対象の位置を特定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２９１５０２５号公報
【特許文献２】特開２０１７−１０４２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  特許文献１に記載の発明にあっては、半導体基板に対し、種類の異なる複数の非破壊検査手段による検出結果のそれぞれにおいて特定される検査対象上の位置同士を合わせることができる。  しかしながら、ＬＩＢのようにラミネート包装されている検査対象は、外形的特徴が安定しておらず、先の検査から後の検査の間に外形が変化してしまうおそれがある。また、特許文献１に記載の発明にあっては、いずれの検査も検査に先立ってカメラで画像を撮影するなどして光学的な探索を行っており、検査前に位置特定のための工程を要するとともに、上述したようにカメラ等を追加することで装置が大掛かりになるという課題がある。【０００７】  本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査するにあたり、当該各非破壊検査手段の検出結果において特定される検査対象上の位置同士を簡単かつ正確に合わせることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  以上の課題を解決するための請求項１記載の発明は、種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査するにあたり、前記複数の非破壊検査手段のうち一の非破壊検査手段による検出結果中の検査対象上にマーキング位置を決定して装置に記憶させるとともに、同マーキング位置に相当する検査対象上にその他の非破壊検査手段により検出可能なマークを固定的に形成した後、前記その他の非破壊検査手段により前記マークを含めて検査対象を検出し、前記マーク、すなわち、マーキング位置を基準にして、前記複数の非破壊検査手段による検出結果同士を対照する非破壊検査方法である。【０００９】  請求項２記載の発明は、前記一の非破壊検査手段による検出結果に基づき前記マーキング箇所を基準にして特異箇所を特定した後、前記その他の非破壊検査手段により当該特異箇所を集中的に検出する請求項１に記載の非破壊検査方法である。【００１０】  請求項３記載の発明は、前記マークに位置基準以外の情報を割り当て、同情報を記録保持する前記マークを検査対象上に固定的に形成した後、同情報を前記その他の非破壊検査手段の検出結果から読み取る請求項１又は請求項２に記載の非破壊検査方法である。【００１１】  請求項４記載の発明は、前記種類の異なる複数の非破壊検査手段には、Ｘ線撮影手段、磁場分布測定手段、サーモグラフィー撮影手段及び硬度測定手段のうちいずれか２以上が含まれる請求項１から請求項３のうちいずれか一に記載の非破壊検査方法である。【００１２】  請求項５記載の発明は、前記種類の異なる複数の非破壊検査手段には、前記Ｘ線撮影手段としてＸ線タルボ撮影装置が含まれる請求項４に記載の非破壊検査方法である。【００１３】  請求項６記載の発明は、前記その他の非破壊検査手段には、前記磁場分布測定手段が含まれ、前記マークを構成する素材には、磁性体が含まれている請求項１から請求項５のうちいずれか一に記載の非破壊検査方法である。
【発明の効果】
【００１４】  本発明によれば、種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査するにあたり、当該各非破壊検査手段の検出結果において特定される検査対象上の位置同士を簡単かつ正確に合わせることができる。これにより、種類の異なる複数の非破壊検査手段による検出結果に基づく多角的な判断が行える。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る非破壊検査方法の検査Ａ段階における検査対象（又はその検出結果）の模式図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態に係る非破壊検査方法のマーク形成段階における検査対象（又はその検出欠果）の模式図である。
【図１Ｃ】本発明の一実施形態に係る非破壊検査方法のその他の検査段階における検査対象（又はその検出結果）の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】  以下に本発明の一実施形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
【００１７】  種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査する。種類の異なる複数の非破壊検査手段には、Ｘ線撮影手段、磁場分布測定手段、サーモグラフィー撮影手段及び硬度測定手段のうちいずれか２以上が含まれる。本実施形態では、主にＸ線撮影手段を備えるＸ線撮影装置と、磁場分布測定手段を備える磁場分布測定装置とを用いる場合を例とする。Ｘ線撮影装置と磁場分布測定装置とが別装置であり、これらにより検査するために、検査対象は両装置間を移動するため、各装置の原点座標に対して検査対象の置き方は一定しない状況である。
【００１８】  順序としては、検査Ａ、マーキンング、その他の検査Ｂ、Ｃ・・・の順で行う。  まず、検査Ａを行う（図１Ａ）。例えば図１Ａに示すように検査Ａにおいて検査対象１（例えば上述のＬＩＢ）に特異箇所ｅ１，ｅ２，ｅ３が検出されたとする。特異箇所とは、異常箇所、異常箇所と疑われる箇所、要追検査箇所などである。  次に、検査Ａにおける検出結果（図１Ａ）中にマーキング位置を決定して装置に記憶させるとともに、同マーキング位置に相当する検査対象１上に検査Ｂ、Ｃ・・・において検出可能なマークｍ１，ｍ２，ｍ３を固定的に形成する（図１Ｂ)。  例えば、検査ＡとしてＸ線撮影装置により検出を行い、検査Ｂとして磁場分布測定装置により検出を行う。この場合、マークを構成する素材としては、磁性体が含まれているものを適用する。例えばマークの印刷において磁性体を含んだインクを適用する。  Ｘ線撮影装置としてＸ線タルボ撮影装置（特許文献２参照）を適用することができる。Ｘ線タルボ撮影装置によると、通常のＸ線検査より高コントラストである。  なお、磁場分布測定装置に搭載される磁気センサとしては、ＭＲセンサ、ＭＩセンサ、ＴＭＲセンサ（トンネル型磁気抵抗センサ）などが適用される。より高感度なＴＭＲセンサ（トンネル型磁気抵抗センサ）を適用することが好ましい。
【００１９】  各検査を行う装置が別装置であり、それぞれに印刷装置（例えばインクジェットプリンタ）を付随又は連繋させる。印刷装置は、検査における検出結果中の検査対象上に決定した座標にマークを固定的に形成するために用いられる。
【００２０】  次に検査Ｂによりマークｍ１，ｍ２，ｍ３を含めた検査対象１の検出結果が例えば図１Ｃに示すように検出される。図１Ｃに示すように検査対象１に特異箇所ｆ１，ｆ２が検出されたとする。
【００２１】  次に、検査Ａ・Ｂの検出結果をマークｍ１，ｍ２，ｍ３の位置を使って重ね合せて、正しい位置関係で比較、検討する。すなわち、検査Ａでは記憶したマークｍ１，ｍ２，ｍ３のマーキング位置を基準にし、検査Ｂでは検出したマークｍ１，ｍ２，ｍ３を基準にして、同じ位置の検査Ａと検査Ｂの検出結果同士を対照する。例えばマークｍ１，ｍ２，ｍ３を基準に平面座標軸ＸＹを定め、当該座標軸ＸＹ上の座標を（ｘ１，ｙ１）としたとき、検査Ａの検出結果上における座標（ｘ１，ｙ１）の検出値と、検査Ｂの検出結果上における座標（ｘ１，ｙ１）の検出値とを対照し、比較、検討することで異常判定を行う。例えば、図１Ａ，Ｃにおいて特異箇所ｅ１と特異箇所ｆ２が同じ座標を有しているため、異常箇所と判定する。
【００２２】  検査Ａ・Ｂの検出結果をもとに、さらに検査Ｃ(例えば断面ＴＥＭ)で詳しく故障解析しても良い。その時マークｍ１，ｍ２，ｍ３を基準に解析すべき個所を選定することができる。  また、検査Ｂにおける検出結果に基づき、新たなマークｇ１をつけて、その後の検査Ｃ以降で利用してもよい。すなわち、検査Ｃ以降でマークｍ１，ｍ２，ｍ３及びマークｇ１を基準に解析すべき個所を選定することができる。  以後検査Ｄ以降も同様に実施でき、検査が増えるごとにマークを増やすことができるが、位置決めのためのマークｍ１，ｍ２，ｍ３は、検査Ａの検出結果が出た後に決定し、検査Ｂの検出前に検査対象１上に形成する。  以上により、種類の異なる複数の検査間で検査対象上の同一箇所を正確に把握、比較することができ、不良の原因解析や出荷検査を効率的に行うことができる。
【００２３】  マークｍ１，ｍ２，ｍ３に位置基準以外の情報を記録してもよい。例えばマークｍ１，ｍ２，ｍ３を１次元や２次元のバーコードで形成し、個体識別番号を記録する。検査Ａまでにマークｍ１，ｍ２，ｍ３にその情報を割り当て、検査Ａを行う装置やこれに付随又は連繋する印刷装置で同情報を共有し、同印刷装置は同情報を記録保持するマークｍ１，ｍ２，ｍ３を検査対象１上に固定的に形成する。その後、検査Ｂ以降の各検査装置は、その検出結果に含まれるマーク（コード記録媒体）から上記情報を読み取る。これは、マークを検査Ｂ以降のいずれの非破壊検査手段でも検出可能な共通のマークとしていることで可能となる。以上により、検出結果中の検査対象上に個体識別番号が一体に存在するから、同一個体の各検出結果の照合が容易かつ確実になる。
【００２４】  非破壊検査手段はＸ線撮影手段や磁場分布測定手段以外でも、非破壊的に面内分布を計測し、結果として検出画像が得られるものであれば良い。例えばサーモグラフィーで熱分布を計測するサーモグラフィー撮影手段や、触針で各座標ごとの固さを検査する硬度測定手段、などが考えられる。サーモグラフィーであれば、放射率が検査対象の表面と異なるインク材料でマークを形成すればよいし、触針であれば硬さが検査対象と異なるインク材料でマークを形成すればよい。またインクとしてこれらを組み合わせてもよい。例えば、磁性材料、放射率が検査対象表面と異なる材料、硬さが検査対象と異なる材料のいずれか複数、あるいは全てを含むインクで、マークを形成しても良い。
【００２５】  先行の検査Ａで特異個所を検出して、後の検査Ｂでは、検査Ａで見つかった特異個所を細かく集中的に検査する方法で実施してもよい。すなわち、複数の非破壊検査手段のうち一の非破壊検査手段による検出結果に基づき特異箇所を特定した後、他の非破壊検査手段により当該特異箇所を集中的に検出する方法である。「特異箇所を集中的に検出する」とは、特異箇所のみを検出対象とするか、特異箇所を残余の領域より高い検出分解能で検出することをいう。  例えば検査ＡでＸ線撮影装置により検査対象の全面を検出した結果から特定した特異箇所ｅ１，ｅ２，ｅ３を、検査Ｂで磁場分布測定装置により細かく測定する方法が考えられる。Ｘ線撮影は全面を一度に撮影でき短時間で検出できるのに対して、磁場分布測定は測定ヘッドを走査しながら測定する方式など、検査対象の面積が広いと時間を要する場合がある。このような場合に、Ｘ線撮影で見つかった特異箇所だけを磁場分布測定装置で細かく検出する方法であれば検査時間を短縮することができる。
【００２６】  以上説明したように、本実施形態の非破壊検査方法によれば、種類の異なる複数の非破壊検査手段を用いて検査対象を検査するにあたり、当該各非破壊検査手段の検出結果において特定される検査対象上の位置同士を簡単かつ正確に合わせることができる。これにより、種類の異なる複数の非破壊検査手段による検出結果に基づく多角的な判断が行える。  以上の実施形態にかかわらず、マーキング前の先行の検査Ａ以後のその他の検査は一つでもよい。また、その他の検査が２以上ある場合、すなわち、その他の非破壊検査手段が２以上あるとき、これらが同時に行われても本発明の実施上特に問題はない。  以上の実施形態では、マークｍ１，ｍ２，ｍ３及びマークｇ１を、各検査で発見した特異箇所を指す図形（円、照準記号(aiming symbol)等）とし、図形から特異箇所を決定するルール（円内が特異箇所など）を各検査で共有したが、検査Ａでの特異箇所の有無、位置に拘わらず位置決めに必要なマークｍ１，ｍ２，ｍ３を検査対象１の縁部などの予め決められた位置にするなどして、マークｍ１，ｍ２，ｍ３を基準にした特異箇所の座標情報を各検査で共有してもよい。検査Ａで特異箇所が発見できなかった場合のマークｍ１，ｍ２，ｍ３のマーキング位置は任意であるが、このように予め決められた位置（縁部など）にしてもよい。検査Ａで特異箇所が発見できなかった場合に限りマークｍ１，ｍ２，ｍ３のマーキング位置を予め決められた位置（縁部など）にしてもよいし、すべての場合にマークｍ１，ｍ２，ｍ３のマーキング位置を予め決められた位置（縁部など）にしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２７】  本発明は、リチリウムイオンバッテリー等の非破壊検査方法に利用することができる。
【符号の説明】
【００２８】１ 検査対象ｅ１，ｅ２，ｅ３ 特異箇所ｆ１，ｆ２ 特異箇所ｍ１，ｍ２，ｍ３ マーク
【図１Ａ】
2019059012.tif 000003
【図１Ｂ】
2019059012.tif 000004
【図１Ｃ】
2019059012.tif 000005
【国際調査報告】
2019059012.tif 000006
2019059012.tif 000007
2019059012.tif 000008
2019059012.tif 000009