(57)【要約】  質量分析装置（１）は、質量分析部（２）を備える。質量分析部（２）は、水平方向に延びるように設置される。そのため、質量分析部（２）の構成が多くなる場合には、質量分析装置（１）の装置全体が水平方向に拡がり、質量分析装置（１）の装置全体が上下方向に大型化することを抑制できる。また、質量分析装置（１）は、試料（Ｓ）を保持する試料保持部（７）を備える。試料保持部（７）は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。試料保持部（７）が第１測定位置に配置された状態においては、試料保持部（７）の保持プレート（７２）が上下方向に沿っており、試料（Ｓ）は上下方向に延びている。試料導入管（４）は、その端部が試料（Ｓ）と対向するように直線状に形成されており、Ｌ字状に形成される場合に比べて、その長さが短くなっている。そのため、質量分析部（２）に対して試料由来のイオンを効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。
2019187048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置であって、  試料を保持する試料保持部と、  前記試料保持部を回転動作させる回転機構と、  水平方向に延びるように設置され、前記回転機構により前記試料保持部が第１測定位置に位置決めされた状態で、励起光により励起される試料中の成分が導入される質量分析部と、  前記回転機構により前記試料保持部が第２測定位置に位置決めされた状態で、前記質量分析部が延びる方向に対して交差する方向から、試料を観察する試料観察部とを備えることを特徴とする質量分析装置。
【請求項２】
前記試料保持部を水平方向に沿ってスライドさせるスライド機構をさらに備え、  前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項３】
前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態では、前記試料保持部により保持された試料が水平方向に延びることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項４】
前記試料保持部を第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めするためのストッパをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項５】
前記試料保持部が前記第１測定位置に位置決めされた状態における試料に対する励起光の照射位置と、前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態における前記試料観察部による試料の観察位置との位置合わせを行うための位置合わせ機構をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の質量分析装置。
【請求項６】
励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置に用いられる試料搬送装置であって、  試料を保持する試料保持部と、  前記試料保持部を回転動作させることにより、励起光により励起される試料中の成分を質量分析部に導入させる第１測定位置、及び、試料観察部により試料を観察する第２測定位置のそれぞれに前記試料保持部を位置決めする回転機構とを備えることを特徴とする試料搬送装置。
【請求項７】
前記試料保持部をスライドさせるスライド機構をさらに備え、  前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされることを特徴とする請求項６に記載の試料搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置、及び、当該質量分析装置に用いられる試料搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来より、試料の観察を行うための試料観察部と、試料の質量分析を行うための質量分析部とを備えた質量分析装置が利用されている。この種の質量分析装置では、試料観察部において、試料の詳細な表面像が観察されるとともに、質量分析部において、試料がイオン化され、試料由来のイオンが質量電荷比に応じて分離・検出されて、マススペクトルが作成される（例えば、下記特許文献１参照）。  このような質量分析装置では、試料観察部及び質量分析部を、互いの動作の妨げとならないように、適切な位置に配置する必要がある。【０００３】  特許文献１では、試料を観察するための構成（試料観察部）と、試料を質量分析するための構成（質量分析部）とが水平方向に分離している質量分析装置が開示されている。この質量分析装置では、試料が載置されたステージが、観察位置と、当該観察位置に対して水平方向に間隔を隔てて位置する分析位置との間を水平移動する。試料を観察するためのカメラは、観察位置の上方に配置され、試料を質量分析するための検出器などの部材は、分析位置の上方に配置される。そして、試料が載置されたステージを観察位置に位置させることで、試料の上方側から観察行うことができ、また、試料が載置されたステージを分析位置に位置させることで、上方側に位置する検出器によって試料由来のイオンを検出できる。【０００４】  このような質量分析装置において、質量分析するための構成が多くなることがある。この場合には、質量分析装置が上下方向に大型化してしまい、構造的に不安定となり、また、使い勝手も悪くなるという不具合が生じる。そのため、このような場合には、質量分析のための構成が水平方向に沿って配置されることが好ましい。【０００５】  特許文献１には、質量分析のための各部材が内部に配置され、水平方向に延びる真空チャンバを備える質量分析装置が開示されている。この質量分析装置では、上記の装置と同様に、試料が載置されたステージが、観察位置と、当該観察位置に対して水平方向に間隔を隔てて位置する分析位置との間を水平移動するように構成されている。そして、試料が載置されたステージが分析位置に配置された状態で、試料がイオン化される。試料由来のイオンは、試料導入管を介して真空チャンバ内に導入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４７７５８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  しかしながら、この質量分析装置では、試料導入管がＬ字状に形成されており、試料の導入経路が長くなっている。そのため、真空チャンバ内へのイオンの導入の効率が悪くなり、質量分析の精度が低下してしまうという不具合が生じる。【０００８】  本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、装置が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる質量分析装置、及び、当該質量分析装置に用いられる試料搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】（１）本発明に係る質量分析装置は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する。前記質量分析装置は、試料保持部と、回転機構と、質量分析部と、試料観察部とを備える。前記試料保持部は、試料を保持する。前記回転機構は、前記試料保持部を回転動作させる。前記質量分析部は、水平方向に延びるように設置され、前記回転機構により前記試料保持部が第１測定位置に位置決めされた状態で、励起光により励起される試料中の成分が導入される。前記試料観察部は、前記回転機構により前記試料保持部が第２測定位置に位置決めされた状態で、前記質量分析部が延びる方向に対して交差する方向から、試料を観察する。【００１０】  このような構成によれば、質量分析装置において、質量分析部は、水平方向に延びるように設置される。  そのため、質量分析部の構成が多くなる場合には、装置が水平方向に拡がる。  その結果、装置が上下方向に大型化することを抑制できる。【００１１】  また、試料保持部は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。  そのため、試料中の成分を質量分析部に導入するための経路が短くなるように、第１測定位置を設定することができる。  その結果、質量分析部に対して試料中の成分を効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。  このように、本発明に係る質量分析装置によれば、装置が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる。【００１２】（２）また、前記質量分析装置は、スライド機構をさらに備えてもよい。前記スライド機構は、前記試料保持部を水平方向に沿ってスライドさせる。前記質量分析装置では、前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされてもよい。【００１３】  このような構成によれば、試料保持部は、スライド機構によるスライド移動、及び、回転機構による回転移動によって、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。  そのため、試料保持部が、回転移動のみによって第１測定位置と第２測定位置との間を移動する構成に比べて、第１測定位置と第２測定位置との間を移動する試料保持部の移動量を小さくできる。  その結果、装置内に生じるデッドスペースを小さくできる。【００１４】（３）また、前記質量分析装置では、前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態において、前記試料保持部により保持された試料が水平方向に延びていてもよい。【００１５】  このような構成によれば、ユーザは、水平方向に延びる試料保持部に対して試料を着脱することとなる。  そのため、試料保持部に対して試料を容易に着脱できる。【００１６】（４）また、前記質量分析装置は、ストッパをさらに備えてもよい。前記ストッパは、前記試料保持部を第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めする。【００１７】  このような構成によれば、試料保持部を第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに正確に配置させることができる。【００１８】（５）また、前記質量分析装置は、位置合わせ機構をさらに備えてもよい。前記位置合わせ機構は、前記試料���持部が前記第１測定位置に位置決めされた状態における試料に対する励起光の照射位置と、前記試料保持部が前記第２測定位置に位置決めされた状態における前記試料観察部による試料の観察位置との位置合わせを行う。【００１９】  このような構成によれば、位置合わせ機構により位置合わせを行うことで、照射位置及び観察位置がずれることを抑制できる。  その結果、試料に対して励起光を正確に照射できる。また、試料を正確に観察できる。【００２０】（６）本発明に係る試料搬送装置は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析する質量分析装置に用いられる。前記試料搬送装置は、試料保持部と、回転機構とを備える。前記試料保持部は、試料を保持する。前記回転機構は、前記試料保持部を回転動作させることにより、励起光により励起される試料中の成分を質量分析部に導入させる第１測定位置、及び、試料観察部により試料を観察する第２測定位置のそれぞれに前記試料保持部を位置決めする。【００２１】（７）また、前記試料搬送装置は、スライド機構をさらに備えてもよい。前記スライド機構は、前記試料保持部をスライドさせる。前記試料搬送装置では、前記回転機構及び前記スライド機構により、前記試料保持部が前記第１測定位置及び前記第２測定位置のそれぞれに位置決めされてもよい。
【発明の効果】
【００２２】  本発明によれば、質量分析部の構成が多くなる場合には、装置が水平方向に拡がる。そのため、装置が上下方向に大型化することを抑制できる。また、試料保持部は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。そのため、試料中の成分を質量分析部に導入するための経路が短くなるように、第１測定位置を設定することができる。その結果、質量分析部に対して試料中の成分を効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係る質量分析装置の構成例を示した概略図である。
【図２】試料保持部の移動動作を説明するための図であって、試料保持部が第２測定位置に位置する状態を示している。
【図３】試料保持部の移動動作を説明するための図であって、図２に示す状態から、試料保持部が回転移動した後の状態を示している。
【図４】試料保持部の移動動作を説明するための図であって、試料保持部が第１測定位置に位置する状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２４】１．質量分析装置の構成  図１は、本発明の一実施形態に係る質量分析装置１の構成例を示した概略図である。図１では、質量分析装置１を水平方向に見た状態を示している。  質量分析装置１は、励起光を照射することにより試料を励起させ、励起された試料中の成分を質量分析するためのものである。質量分析装置１は、質量分析部２と、試料搬送装置３０とを備えている。
【００２５】  質量分析部２は、水平方向に延びるように設置されている。質量分析部２は、真空チャンバ２１と、イオンガイド２２と、イオントラップ２３と、検出器２４とを備えている。なお、この例では、適宜、質量分析部２が延びる方向（図１において左右方向）をｘ方向とし、水平方向においてｘ方向と直交する方向（図１において紙面と直行する方向）をｙ方向とし、上下方向をｚ方向として説明する。
【００２６】  真空チャンバ２１は、長尺な中空状に形成されており、水平方向（ｘ方向）に延びている。  イオンガイド２２、イオントラップ２３及び検出器２４は、真空チャンバ２１内に配置されている。イオンガイド２２は、イオンの導入方向において上流部に配置されている。イオントラップ２３は、イオンの導入方向においてイオンガイド２２の下流側に配置されている。検出器２４は、イオンの導入方向において下流部に配置されている。  真空チャンバ２１には、排気管２５が接続されている。また、排気管２５には、真空ポンプ２６が介在している。  試料搬送装置３０は、筐体３と、試料導入管４と、光源５と、レール６と、試料保持部７と、試料観察部８と、照明部９と、位置調整部１０とを備えている。  筐体３は、真空チャンバ２１に隣接している。筐体３は、長尺な中空状に形成されており、水平方向（ｘ方向）に延びている。
【００２７】  試料導入管４は、直線状に形成される管状の部材であって、水平方向（ｘ方向）に延びている。試料導入管４は、筐体３と真空チャンバ２１とを接続している。具体的には、試料導入管４の一端部は、筐体３の内部空間に連通しており、試料導入管４の他端部は、真空チャンバ２１の内部空間に連通している。  光源５は、筐体３内において、試料導入管４の一端部の近傍（周囲）に設けられている。光源５は、励起光としてのレーザ光を照射するように構成されている。  レール６は、筐体３内において、水平方向（ｘ方向）に延びるように設けられている。
【００２８】  試料保持部７は、試料Ｓを保持するように構成されている。試料保持部７は、レール６に対して相対移動可能（スライド移動可能）な状態で取り付けられている。また、試料保持部７は、レール６に沿う方向と直交する水平方向（ｙ方向）に延びる軸線回りに回転可能に構成されている。なお、試料保持部７の詳細な構成については、後述する。
【００２９】  試料観察部８は、筐体３内の上部に設けられている。試料観察部８は、光源５と間隔を隔てて配置されおり、かつ、レール６の中央部の上方に配置されている。試料観察部８は、例えば、ＣＣＤカメラである。試料観察部８は、試料保持部７が下方に位置する状態において、試料Ｓを撮像（観察）する。すなわち、試料観察部８は、上方から試料Ｓを観察する。  照明部９は、筐体３内において、試料観察部８の下方に設けられている。照明部９は、上方に向かって光を照射するように構成されている。
【００３０】  位置調整部１０は、筐体３内に配置されている。位置調整部１０は、レール６を保持している。位置調整部１０は、図示しないギヤやモータなどを備えており、レール６を３軸方向（ｘ方向、ｙ方向及びｚ方向）に移動させるように構成されている。
【００３１】  質量分析装置１では、試料保持部７が適宜変位される。図１において、試料保持部７を実線で示す位置が、第１測定位置であり、試料保持部７を点線で示す位置が第２測定位置である。
【００３２】  試料保持部７が第１測定位置に位置する状態においては、試料保持部７に保持された試料Ｓの表面は、試料導入管４の一端部に対向している（ｘ方向側を向いている）。試料保持部７が第２測定位置に位置する状態においては、試料保持部７に保持された試料Ｓは、試料観察部８の下方に間隔を隔てて位置しており、その表面は上方側（ｙ方向側）を向いている。  試料Ｓは、試料保持部７が第２測定位置に配置された状態で、試料保持部７に装着される。
【００３３】  質量分析装置１では、まず、位置調整部１０によって、位置合わせが行われる。具体的には、試料保持部７が第２測定位置に配置され、この状態で、試料保持部７の状態が試料観察部８によって撮像される。撮像された画像は、図示しない表示部に表示される。この状態で試料保持部７の位置にずれがある場合には、位置調整部１０によってレール６が３軸方向に移動され、そのずれが補正される。これにより、レール６に取り付けられている試料保持部７の位置が補正される。レール６、位置調整部１０、ギヤ及びモータなどが位置合わせ機構を構成している。
【００３４】  このように、分析動作に先立って、試料保持部７が第１測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料Ｓに対する励起光の照射位置、及び、試料保持部７が第２測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料観察部８による試料Ｓの観察位置にずれが生じる状態となっている場合には、位置調整部１０によって、そのずれが補正される。
【００３５】  このようにして位置合わせが行われた後、第２測定位置に位置する試料保持部７が保持する試料Ｓに対して、照明部９からの光が照射され、その透過光による試料像が試料観察部８によって撮像される。撮像された試料Ｓの画像は、図示しない表示部に表示される。  ユーザは、試料Ｓの画像を観察し、その画像に基づいて、図示しない操作部を操作することにより、試料Ｓの分析箇所を指定する。  その後、試料保持部７は、第１測定位置に移動される。  試料保持部７が第１測定位置に位置する状態では、上記したように、試料Ｓの表面が、試料導入管４の一端部に対向している。
【００３６】  この状態で、光源５から試料Ｓに対して励起光が照射される。具体的には、試料Ｓの表面のうち、ユーザによって指定された分析箇所に励起光が照射される。そして、試料Ｓが励起されてイオン化される。  また、質量分析部２では、真空ポンプ２６が動作されて、真空チャンバ２１内の気体が排気管２５を介してが排出される。
【００３７】  これにより、真空チャンバ２１内と筐体３内とで圧力差が生じ、この圧力差によって、試料Ｓ由来のイオンが試料導入管４を介して真空チャンバ２１内に導入される。
【００３８】  このイオンは、イオンガイド２２を経て、イオントラップ２３に導入される。イオントラップ２３では、特定の質量電荷比を持つイオンのみが選択的に通過する。イオントラップ２３を通過したイオンは検出器２４に到達して検出される。そして、質量分析装置１では、検出器２４から得られる検出信号に基づくデータにより、マススペクトルやマスクロマトグラムが作成される。
【００３９】２．試料保持部の構成及び移動動作  以下では、試料保持部７の構成及び移動動作の詳細について説明する。図２〜図４は、試料保持部７の移動動作を説明するための図であって、水平方向に見た状態を示している。具体的には、図２は、試料保持部７が第２測定位置に位置する状態を示している。図３は、図２に示す状態から、試料保持部７が回転移動した後の状態を示している。図４は、試料保持部７が第２測定位置に位置する状態を示している。  試料保持部７は、台座部１１及びモータを介してレール６に取り付けられている。  台座部１１は、レール６に沿ってスライド移動可能な部材である。台座部１１は、ベース台１１１、第１ストッパ１１２及び第２ストッパ１１３を備えている。
【００４０】  ベース台１１１は、レール６に対して相対移動可能（スライド移動可能）な状態で取り付けられている。ベース台１１１には、ギヤなどを介してモータ（図示せず）からの駆動力が付与されるように構成されている。ベース台１１１は、駆動力が付与されることにより、レール６に沿って水平方向（ｘ方向）にスライド移動する。レール６、台座部１１、ギヤ及びモータなどがスライド機構を構成している。  第１ストッパ１１２は、ベース台１１１の下端部から、レール６の延びる方向と直交する水平方向（ｙ方向）に突出している。
【００４１】  第２ストッパ１１３は、ベース台１１１の水平方向の一方側端部（ｘ方向において光源５から離れる側の端部）から、レール６の延びる方向と直交する水平方向（ｙ方向）に突出している。
【００４２】  ベース台１１１には、モータ軸１６を備えるモータが固定されている。なお、図２〜図４では、ベース台１１１に設けられるモータのモータ軸１６のみを示している。ベース台１１１に設けられるモータ（モータ軸１６を備えるモータ）が、回転機構を構成している。  試料保持部７は、基台部７１と、保持プレート７２とを備えている。
【００４３】  基台部７１は、モータ軸１６が回転することにより、ｙ方向に延びる軸線Ａを中心としてモータ軸１６とともに回転する。基台部７１は、中央部７１１と、第１係合部７１２と、第２係合部７１３とを備えている。
【００４４】  中央部７１１は、モータ軸１６に固定されている。試料保持部７が第２測定位置に位置する状態において（図２に示す状態において）、第１係合部７１２は、中央部７１１から水平方向（ｘ方向）において光源５に向かう側に向かって突出しており、第２係合部７１３は、中央部７１１から水平方向（ｘ方向）において光源５から離れる側に向かって突出している。
【００４５】  保持プレート７２は、中央部７１１に取り付けられている。試料保持部７が第２測定位置に位置する状態において（図２に示す状態において）、保持プレート７２は、水平方向に沿っている。保持プレート７２には、試料Ｓを装着させ、また、装着した試料Ｓを取り外すことが可能である（試料Ｓを着脱可能である）。
【００４６】  質量分析装置１では、まず、台座部１１に駆動力が付与されることにより、台座部１１がレール６の所定位置（試料観察部８の下方側に位置するレール６の部分）に配置される。そして、台座部１１に設けられたモータ（モータ軸１６を備えるモータ）が駆動され、モータ軸１６が一方側（図２において反時計回り）に回転される。これにより、試料保持部７がモータ軸１６とともに一方側（反時計回り）に回転し、第２係合部７１３が第２ストッパ１１３に係合する。このように、試料保持部７が、試料観察部８の下方側に位置し、かつ、試料保持部７の保持プレート７２が水平方向に沿う状態で位置決めされる。この状態（図２に示す状態）の試料保持部７の位置が第２測定位置である。
【００４７】  そして、試料保持部７が第２測定位置に配置された状態で、図２に示すように、試料保持部７に試料Ｓが装着される。このとき、試料Ｓは、水平方向に延びている。この状態において、上記したように、試料観察部８によって試料Ｓの撮像（観察）が行われる。
【００４８】  試料Ｓの撮像（観察）が完了すると、図３に示すように、試料保持部７が回転移動される。具体的には、台座部１１に設けられたモータ（モータ軸１６を備えるモータ）が駆動され、モータ軸１６が他方側（図２において時計回り）に回転される。これにより、試料保持部７がモータ軸１６とともに他方側（時計回り）に回転し、第１係合部７１２が第１ストッパ１１２に係合する。そして、試料保持部７が、試料観察部８の下方側に位置し、かつ、試料保持部７の保持プレート７２が上下方向に沿う状態で位置決めされる。
【００４９】  次いで、台座部１１に駆動力が付与されることにより、図４に示すように、台座部１１がレール６の先端部（試料導入管４と対向するレール６の端部）に配置される。この状態の試料保持部７の位置が第１測定位置である。すなわち、試料保持部７は、第１測定位置に位置する状態では、試料導入管４と対向し、かつ、試料保持部７の保持プレート７２が上下方向に沿う状態で位置決めされている。また、試料保持部７が第１測定位置に位置する状態では、試料Ｓは上下方向に延びており、試料導入管４に対向している。この状態において、上記したように、試料Ｓに対して励起光が照射されて、質量分析が行われる。
【００５０】３．作用効果（１）本実施形態によれば、図１に示すように、質量分析装置１において、質量分析部２は、水平方向に延びるように設置される。  そのため、質量分析部２の構成が多くなる場合には、質量分析装置１の装置全体が水平方向に拡がる。  その結果、質量分析装置１の装置全体が上下方向に大型化することを抑制できる。
【００５１】  また、試料保持部７は、回転機構により回転動作されることで、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。  そのため、試料由来のイオンを質量分析部２に導入するための試料導入管４が短くなるように、第１測定位置を設定することができる。具体的には、試料保持部７が第１測定位置に配置された状態においては、試料保持部７の保持プレート７２が上下方向に沿っており、試料Ｓは上下方向に延びている。そして、試料導入管４は、その端部が試料Ｓと対向するように直線状に形成されており、Ｌ字状に形成される場合に比べて、その長さが短くなっている。  その結果、質量分析部２に対して試料由来のイオンを効率よく導入でき、分析精度を向上させることができる。  このように、本実施形態によれば、質量分析装置１の装置全体が上下方向に大型化することを抑制でき、かつ、分析精度を向上させることができる。
【００５２】（２）また、本実施形態によれば、試料保持部７は、スライド機構によるスライド移動、及び、回転機構による回転移動によって、第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに配置される。
【００５３】  そのため、試料保持部７が、回転移動のみによって第１測定位置と第２測定位置との間を移動する構成に比べて、第１測定位置と第２測定位置との間を移動する試料保持部７の移動量を小さくできる。  その結果、質量分析装置１内に生じるデッドスペースを小さくできる。
【００５４】（３）また、本実施形態によれば、図２に示すように、質量分析装置１において、試料保持部７が前記第２測定位置に位置決めされた状態では、試料保持部７により保持された試料Ｓが水平方向に延びている。
【００５５】  すなわち、ユーザは、水平方向に延びる試料保持部７に対して試料Ｓの着脱動作を行う。  そのため、試料保持部７に対して試料を容易に着脱できる。
【００５６】（４）また、本実施形態によれば、質量分析装置１は、第１ストッパ１１２及び第２ストッパ１１３を備えている。図４に示すように、第１ストッパ１１２は、試料保持部７を第１測定位置に位置決めする。また、図２に示すように、第２ストッパ１１３は、試料保持部７を第２位置に位置決めする。
【００５７】  そのため、試料保持部７を第１測定位置及び第２測定位置のそれぞれに正確に配置させることができる。
【００５８】（５）また、本実施形態によれば、分析動作に先立って、位置調整部１０（位置合わせ機構）によって、位置合わせが行われる。具体的には、試料保持部７が第１測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料Ｓに対する励起光の照射位置、及び、試料保持部７が第２測定位置に配置される状態（位置決めされる状態）における試料観察部８による試料Ｓの観察位置にずれが生じる状態となっている場合には、位置調整部１０によって、そのずれが補正される。
【００５９】  そのため、位置調整部１０（位置合わせ機構）により位置合わせを行うことで、照射位置及び観察位置がずれることを抑制できる。  その結果、試料Ｓに対して励起光を正確に照射できる。また、試料Ｓを正確に観察できる。
【００６０】４．変形例  以上の実施形態では、試料保持部７が第２測定位置に配置される状態において、試料観察部８は、試料Ｓを上方から観察するとして説明した。しかし、試料観察部８は、この構成に限らず、質量分析部２が延びる方向（ｘ方向）に対して交差する方向から試料Ｓを観察する構成であればよい。例えば、試料観察部８は、試料Ｓを水平方向に対して傾斜する方向から観察する構成であってもよい。
【００６１】  また、以上の実施形態では、試料保持部７は、ｙ方向に延びる軸線Ａ回りに回転移動するとして説明した。しかし、試料保持部７は、第１測定位置に配置された状態から、上下方向（ｚ方向）に延びる軸線まわりに回転する構成であってもよい。この場合、試料観察部８は、水平方向であって、質量分析部２（ｘ方向）に対して交差する方向から試料Ｓを観察する構成であることが好ましい。
【００６２】  また、以上の実施形態では、試料観察部８は、照明部９によって試料Ｓに向けて照射された光の透過光を観察するとして説明した。しかし、試料観察部８は、試料Ｓで反射する光を観察する構成であってもよい。
【００６３】  また、以上の実施形態では、第１測定位置と第２測定位置との間の試料保持部７の移動は、自動により行われるとして説明した。しかし、第１測定位置と第２測定位置との間の試料保持部７の移動は、手動により行われてもよい。
【００６４】  また、以上の実施形態では、位置合わせ機構による試料保持部７の位置合わせは、自動により行われるとして説明した。しかし、位置合わせ機構による試料保持部７の位置合わせは、手動により行われてもよい。
【符号の説明】
【００６５】      １        質量分析装置      ２        質量分析部      ６        レール      ７        試料保持部      ８        試料観察部      １０      位置調整部      １１      台座部      １６      モータ軸      ３０      試料搬送装置      １１２    第１ストッパ      １１３    第２ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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