(57)【要約】  搬送システム（２）の制御方法は、複数の搬送台車（６）のうちの特定の搬送台車（６）が、特定の移載位置情報を管理装置（１８）に送信するステップと、管理装置（１８）が、特定の搬送台車（６）から受信した特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を対応情報から抽出し、抽出した特定の通信デバイス宛先情報を特定の搬送台車（６）に送信するステップと、特定の搬送台車（６）が、管理装置（１８）から受信した特定の通信デバイス宛先情報を利用して、第１の通信デバイス（１４）及び第２の通信デバイス（１６）のうちの第１の半導体製造装置（１０）に接続されている第１の通信デバイス（１４）に対して、第１の半導体製造装置（１０）と特定の搬送台車（６）との間でＦＯＵＰ（４）を移載するための通信を実行するステップと、を含む。
2019138802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々との間で前記被搬送物が移載される複数の移載装置と、前記複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスと、前記複数の通信デバイスを管理する管理装置と、を備える搬送システムの制御方法であって、
前記複数の搬送台車の各々は、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を記憶する第１の記憶部を有し、
前記管理装置は、前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する第２の記憶部を有し、
前記制御方法は、
（ａ）前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信するステップと、
（ｂ）前記管理装置が、前記特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出し、抽出した前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信するステップと、
（ｃ）前記特定の搬送台車が、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報を利用して、前記複数の通信デバイスのうちの前記特定の移載装置に接続されている特定の通信デバイスに対して、前記特定の移載装置と前記特定の搬送台車との間で前記被搬送物を移載するための通信を実行するステップと、を含む
搬送システムの制御方法。
【請求項２】
前記搬送システムは、さらに、前記複数の搬送台車の各々の走行を制御する制御装置を備え、
前記制御方法は、さらに、
（ｄ）前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記管理装置の宛先を示す管理装置宛先情報を受信するステップを含み、
前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記管理装置宛先情報を利用して、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信する
請求項１に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項３】
前記搬送システムは、第１の管理装置及び第２の管理装置を含む複数の前記管理装置を備え、
前記（ｄ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記複数の管理装置のそれぞれの宛先を示す複数の前記管理装置宛先情報を受信し、
前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記複数の管理装置宛先情報の中から前記第１の管理装置の宛先を示す第１の管理装置宛先情報を選択し、前記第１の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第１の管理装置に送信する
請求項２に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項４】
前記制御方法は、さらに、
（ｅ）前記特定の搬送台車が、前記（ａ）において前記第１の管理装置と通信できない場合に、前記制御装置から受信した前記複数の管理装置宛先情報の中から前記第２の管理装置の宛先を示す第２の管理装置宛先情報を選択し、前記第２の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第２の管理装置に送信する
請求項３に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項５】
前記搬送システムは、第１の管理装置及び第２の管理装置を含む複数の前記管理装置を備え、
前記（ｄ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記第１の管理装置の宛先を示す第１の管理装置宛先情報を受信し、
前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記第１の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第１の管理装置に送信し、
前記制御方法は、さらに、
（ｆ）前記特定の搬送台車が、前記（ａ）において前記第１の管理装置と通信できない場合に、前記制御装置から、前記第２の管理装置の宛先を示す第２の管理装置宛先情報を受信するステップと、
（ｇ）前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記第２の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第２の管理装置に送信するステップと、を含む
請求項２に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項６】
前記制御方法は、さらに、
（ｈ）前記制御装置が、前記複数の搬送台車のうちの第１の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記第１の搬送台車から前記特定の移載装置に第１の被搬送物を移載するように指示するための第１の走行指示信号を送信するステップと、
（ｉ）前記管理装置が、前記特定の移載装置の上方に第２の被搬送物が存在するか否かを示す被搬送物情報を取得するステップと、
（ｊ）前記第１の搬送台車が、前記第１の走行指示信号を受信した後に、現在位置から前記特定の移載装置の位置まで走行する第１の経路を示す第１の走行計画を決定するステップと、
（ｋ）前記第１の搬送台車が、前記第１の走行計画に基づいて前記特定の移載装置の位置に第１の時刻に到着したと仮定した場合に、前記特定の移載装置の上方に前記第２の被搬送物が前記第１の時刻に存在するか否かを前記管理装置に問い合わせるステップと、
（ｌ）前記第１の搬送台車が、前記特定の移載装置の上方に前記第２の被搬送物が存在しないという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第１の走行計画を採用し、前記特定の移載装置の上方に前記第２の被搬送物が存在するという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第１の走行計画とは異なる第２の走行計画を決定し、且つ、決定した前記第２の走行計画を採用するステップと、を含み、
前記第２の走行計画は、前記特定の移載装置から前記複数の搬送台車のうちの第２の搬送台車への前記第２の被搬送物の移載が完了し、且つ、前記第２の被搬送物が前記特定の移載装置の上方から離れた後に、前記第１の搬送台車が前記特定の移載装置の位置に到着する、前記第１の経路よりも長い第２の経路を示す
請求項２〜５のいずれか１項に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項７】
前記制御方法は、さらに、
（ｍ）前記制御装置が、前記複数の搬送台車のうちの第３の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記特定の移載装置から前記第３の搬送台車に第３の被搬送物を移載するように指示するための第３の走行指示信号を送信するステップと、
（ｎ）前記管理装置が、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が存在するか否かを示す被搬送物情報を取得するステップと、
（ｏ）前記第３の搬送台車が、前記第３の走行指示信号を受信した後に、現在位置から前記特定の移載装置の位置まで走行する第３の経路を示す第３の走行計画を決定するステップと、
（ｐ）前記第３の搬送台車が、前記第３の走行計画に基づいて前記特定の移載装置の位置に第２の時刻に到着したと仮定した場合に、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が前記第２の時刻に存在するか否かを前記管理装置に問い合わせるステップと、
（ｑ）前記第３の搬送台車が、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が存在するという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第３の走行計画を採用し、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が存在しないという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第３の走行計画とは異なる第４の走行計画を決定し、且つ、決定した前記第４の走行計画を採用するステップと、を含み、
前記第４の走行計画は、前記特定の移載装置への前記第３の被搬送物の載置が完了した後に、前記第３の搬送台車が前記特定の移載装置の位置に到着する、前記第３の経路よりも長い第４の経路を示す
請求項２〜６のいずれか１項に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項８】
前記制御方法は、さらに、
（ｒ）前記制御装置が、前記特定の移載装置に前記第２の被搬送物が載置されている状態で、前記第２の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記特定の移載装置から前記第２の搬送台車に前記第２の被搬送物を移載するように指示するための第２の走行指示信号を送信するステップを含む
請求項７に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項９】
前記搬送システムは、さらに、無線アクセスポイントを備え、
前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信し、
前記（ｂ）では、前記管理装置が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信し、
前記（ｃ）では、前記特定の搬送台車が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行する
請求項１〜８のいずれか１項に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項１０】
前記制御方法は、さらに、
（ｓ）前記（ｃ）において、前記特定の搬送台車が前記無線アクセスポイントを介して前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行しようとした際に、前記特定の通信デバイスからの応答が無い場合には、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスが通信不能な状態であると判定し、当該判定結果を前記無線アクセスポイントを介して前記管理装置に通知するステップを含む
請求項９に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項１１】
前記制御方法は、さらに、
（ｔ）前記管理装置が、前記複数の通信デバイスの各々にハートビート信号を送信するステップと、
（ｕ）前記管理装置が、前記複数の通信デバイスのうちいずれかの通信デバイスから前記ハートビート信号に対する応答があった場合には、当該通信デバイスが通信可能な状態であると判定し、前記複数の通信デバイスのうちいずれかの通信デバイスから前記ハートビート信号に対する応答が無い場合には、当該通信デバイスが通信不能な状態であると判定するステップと、を含む
請求項１〜８のいずれか１項に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項１２】
前記対応情報は、さらに、前記移載位置情報及び前記通信デバイス宛先情報に対応付けられた、前記通信デバイスの通信属性を示す通信属性情報を含み、
前記（ｂ）では、前記管理装置が、前記特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する前記特定の通信デバイス宛先情報及び特定の通信属性情報を前記対応情報から抽出し、抽出した前記特定の通信デバイス宛先情報及び前記特定の通信属性情報を前記特定の搬送台車に送信し、
前記（ｃ）では、前記特定の搬送台車が、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報及び前記特定の通信属性情報を利用して、前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行する
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の搬送システムの制御方法。
【請求項１３】
被搬送物を搬送するための搬送システムであって、
前記被搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、
前記複数の搬送台車の各々との間で前記被搬送物が移載される複数の移載装置と、
前記複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスと、
前記複数の通信デバイスを管理する管理装置と、を備え、
前記複数の搬送台車の各々は、
前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を記憶する第１の記憶部と、
前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信する第１の通信部と、を有し、
前記管理装置は、
前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する第２の記憶部と、
前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出する制御部と、
抽出された前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信する第２の通信部と、を有し、
前記特定の搬送台車の前記第１の通信部は、さらに、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報を利用して、前記複数の通信デバイスのうちの前記特定の移載装置に接続されている特定の通信デバイスに対して、前記特定の移載装置と前記特定の搬送台車との間で前記被搬送物を移載するための通信を実行する
搬送システム。
【請求項１４】
搬送台車との間で被搬送物が移載される複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスを管理する管理装置であって、
前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する記憶部と、
前記搬送台車から、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を受信する通信部と、
受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出する制御部と、を備え、
前記通信部は、抽出された前記特定の通信デバイス宛先情報を前記搬送台車に送信する
管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムの制御方法、搬送システム及び管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、半導体ウエハが格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搬送するための天井走行式の複数の搬送台車と、半導体ウエハを処理するための複数の半導体製造装置とを備える半導体製造システムが開示されている。【０００３】
複数の半導体製造装置の各々には、１組の通信デバイス及び無線アクセスポイントが配置されている。また、複数の半導体製造装置の各々には、ＦＯＵＰを載置するための載置ポートが配置されている。通信デバイスは、パラレルケーブルを介して載置ポートに接続されているとともに、ＬＡＮ（Local Area Network）ケーブルを介して無線アクセスポイントに接続されている。【０００４】
複数の搬送台車の各々は、無線アクセスポイントを介して通信デバイスと無線通信することができる。搬送台車は、特定の半導体製造装置に接近した際に、当該特定の半導体製造装置の載置ポートとの間でＦＯＵＰを移載するための処理を開始するためのメッセージ信号を、当該載置ポートに接続された通信デバイスに送信する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−８２５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した半導体製造システムでは、搬送台車は、通信デバイスにメッセージ信号を送信する際に、通信デバイスのアドレスを送信先として指定する必要がある。しかしながら、例えば半導体製造装置が追加、撤去又は変更等された場合には、通信デバイスのアドレスが変更されてしまうことがあり、複数の搬送台車の各々における通信デバイスのアドレスの管理が煩雑になるという課題が生じる。【０００７】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、通信デバイス宛先情報を一元的に管理することができる搬送システムの制御方法、搬送システム及び管理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る搬送システムの制御方法は、被搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々との間で前記被搬送物が移載される複数の移載装置と、前記複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスと、前記複数の通信デバイスを管理する管理装置と、を備える搬送システムの制御方法であって、前記複数の搬送台車の各々は、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を記憶する第１の記憶部を有し、前記管理装置は、前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する第２の記憶部を有し、前記制御方法は、（ａ）前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車が、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信するステップと、（ｂ）前記管理装置が、前記特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出し、抽出した前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信するステップと、（ｃ）前記特定の搬送台車が、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報を利用して、前記複数の通信デバイスのうちの前記特定の移載装置に接続されている特定の通信デバイスに対して、前記特定の移載装置と前記特定の搬送台車との間で前記被搬送物を移載するための通信を実行するステップと、を含む。【０００９】
本態様によれば、管理装置は、移載位置情報と通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶しているので、管理装置において通信デバイス宛先情報を一元的に管理することができる。その結果、例えば移載装置が追加、撤去又は変更等されることにより、通信デバイスの通信デバイス宛先情報が変更された場合であっても、管理装置に記憶された対応情報を少ない作業量で容易に更新することができる。【００１０】
例えば、前記搬送システムは、さらに、前記複数の搬送台車の各々の走行を制御する制御装置を備え、前記制御方法は、さらに、（ｄ）前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記管理装置の宛先を示す管理装置宛先情報を受信するステップを含み、前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記管理装置宛先情報を利用して、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信するように構成してもよい。【００１１】
本態様によれば、特定の搬送台車において管理装置宛先情報を予め記憶しておく必要がないため、第１の記憶部の記憶容量を節約することができる。【００１２】
例えば、前記搬送システムは、第１の管理装置及び第２の管理装置を含む複数の前記管理装置を備え、前記（ｄ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記複数の管理装置のそれぞれの宛先を示す複数の前記管理装置宛先情報を受信し、前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記複数の管理装置宛先情報の中から前記第１の管理装置の宛先を示す第１の管理装置宛先情報を選択し、前記第１の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第１の管理装置に送信するように構成してもよい。【００１３】
本態様によれば、搬送システムは複数の管理装置を備えているので、冗長化を図ることができる。【００１４】
例えば、前記制御方法は、さらに、（ｅ）前記特定の搬送台車が、前記（ａ）において前記第１の管理装置と通信できない場合に、前記制御装置から受信した前記複数の管理装置宛先情報の中から前記第２の管理装置の宛先を示す第２の管理装置宛先情報を選択し、前記第２の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第２の管理装置に送信するように構成してもよい。【００１５】
本態様によれば、特定の搬送台車は、第１の管理装置との間で通信できない場合であっても、第２の管理装置宛先情報を利用して特定の移載位置情報を第２の管理装置に送信することができる。【００１６】
例えば、前記搬送システムは、第１の管理装置及び第２の管理装置を含む複数の前記管理装置を備え、前記（ｄ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から、前記第１の管理装置の宛先を示す第１の管理装置宛先情報を受信し、前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記第１の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第１の管理装置に送信し、前記制御方法は、さらに、（ｆ）前記特定の搬送台車が、前記（ａ）において前記第１の管理装置と通信できない場合に、前記制御装置から、前記第２の管理装置の宛先を示す第２の管理装置宛先情報を受信するステップと、（ｇ）前記特定の搬送台車が、前記制御装置から受信した前記第２の管理装置宛先情報を利用して前記特定の移載位置情報を前記第２の管理装置に送信するステップと、を含むように構成してもよい。【００１７】
本態様によれば、搬送システムは複数の管理装置を備えているので、冗長化を図ることができる。また、特定の搬送台車は、第１の管理装置との間で通信できない場合であっても、第２の管理装置宛先情報を利用して特定の移載位置情報を第２の管理装置に送信することができる。さらに、特定の搬送台車が、上記（ａ）において第１の管理装置との間で通信できた場合であっても、第１の管理装置が特定の搬送台車から受信した特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を第１の管理装置が備える対応情報から抽出する際に、例えば通信処理の集中等により抽出処理に比較的長い時間を要することがある。このような場合には、第１の管理装置は、その旨を示す応答信号を特定の搬送台車に送信する。特定の搬送台車は、第１の管理装置から当該応答信号を受信した場合に、制御装置から受信した複数の管理装置宛先情報の中から第２の管理装置宛先情報を利用して、特定の移載位置情報を第２の管理装置に送信してもよい。【００１８】
例えば、前記制御方法は、さらに、（ｈ）前記制御装置が、前記複数の搬送台車のうちの第１の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記第１の搬送台車から前記特定の移載装置に第１の被搬送物を移載するように指示するための第１の走行指示信号を送信するステップと、（ｉ）前記管理装置が、前記特定の移載装置の上方に第２の被搬送物が存在するか否かを示す被搬送物情報を取得するステップと、（ｊ）前記第１の搬送台車が、前記第１の走行指示信号を受信した後に、現在位置から前記特定の移載装置の位置まで走行する第１の経路を示す第１の走行計画を決定するステップと、（ｋ）前記第１の搬送台車が、前記第１の走行計画に基づいて前記特定の移載装置の位置に第１の時刻に到着したと仮定した場合に、前記特定の移載装置の上方に前記第２の被搬送物が前記第１の時刻に存在するか否かを前記管理装置に問い合わせるステップと、（ｌ）前記第１の搬送台車が、前記特定の移載装置の上方に前記第２の被搬送物が存在しないという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第１の走行計画を採用し、前記特定の移載装置の上方に前記第２の被搬送物が存在するという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第１の走行計画とは異なる第２の走行計画を決定し、且つ、決定した前記第２の走行計画を採用するステップと、を含み、前記第２の走行計画は、前記特定の移載装置から前記複数の搬送台車のうちの第２の搬送台車への前記第２の被搬送物の移載が完了し、且つ、前記第２の被搬送物が前記特定の移載装置の上方から離れた後に、前記第１の搬送台車が前記特定の移載装置の位置に到着する、前記第１の経路よりも長い第２の経路を示すように構成してもよい。【００１９】
本態様によれば、第１の搬送台車は、特定の移載装置の上方に第２の被搬送物が存在するか否かに応じて、第１の走行計画及び第２の走行計画のいずれかを採用するので、第１及び第２の被搬送物の搬送効率を高めることができる。【００２０】
例えば、前記制御方法は、さらに、（ｍ）前記制御装置が、前記複数の搬送台車のうちの第３の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記特定の移載装置から前記第３の搬送台車に第３の被搬送物を移載するように指示するための第３の走行指示信号を送信するステップと、（ｎ）前記管理装置が、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が存在するか否かを示す被搬送物情報を取得するステップと、（ｏ）前記第３の搬送台車が、前記第３の走行指示信号を受信した後に、現在位置から前記特定の移載装置の位置まで走行する第３の経路を示す第３の走行計画を決定するステップと、（ｐ）前記第３の搬送台車が、前記第３の走行計画に基づいて前記特定の移載装置の位置に第２の時刻に到着したと仮定した場合に、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が前記第２の時刻に存在するか否かを前記管理装置に問い合わせるステップと、（ｑ）前記第３の搬送台車が、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が存在するという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第３の走行計画を採用し、前記特定の移載装置の上方に前記第３の被搬送物が存在しないという前記問い合わせの結果を前記管理装置から受信した場合には、前記第３の走行計画とは異なる第４の走行計画を決定し、且つ、決定した前記第４の走行計画を採用するステップと、を含み、前記第４の走行計画は、前記特定の移載装置への前記第３の被搬送物の載置が完了した後に、前記第３の搬送台車が前記特定の移載装置の位置に到着する、前記第３の経路よりも長い第４の経路を示すように構成してもよい。【００２１】
本態様によれば、第３の搬送台車は、特定の移載装置の上方に第３の被搬送物が存在するか否かに応じて、第３の走行計画及び第４の走行計画のいずれかを採用するので、第３の被搬送物の搬送効率を高めることができる。【００２２】
例えば、前記制御方法は、さらに、（ｒ）前記制御装置が、前記特定の移載装置に前記第２の被搬送物が載置されている状態で、前記第２の搬送台車に対して、前記特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、前記特定の移載装置から前記第２の搬送台車に前記第２の被搬送物を移載するように指示するための第２の走行指示信号を送信するステップを含むように構成してもよい。【００２３】
本態様によれば、第２の搬送台車に対して、特定の移載装置の位置まで走行し、且つ、特定の移載装置から第２の搬送台車に第２の被搬送物を移載するように指示することができる。【００２４】
例えば、前記搬送システムは、さらに、無線アクセスポイントを備え、前記（ａ）では、前記特定の搬送台車が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信し、前記（ｂ）では、前記管理装置が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信し、前記（ｃ）では、前記特定の搬送台車が、前記無線アクセスポイントを介して、前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行するように構成してもよい。【００２５】
本態様によれば、特定の搬送台車は、無線アクセスポイントを利用した無線通信を行うので、例えば送信側デバイスと受信側デバイスとで光軸を一致させて通信する光通信を用いる場合のように、光軸が一致するまで通信の開始を待つ必要が無く、走行中であっても管理装置及び特定の通信デバイスの各々と通信することができる。その結果、特定の搬送台車は、特定の通信デバイスとの間の通信を完了するまでの時間を短縮することができる。【００２６】
例えば、前記制御方法は、さらに、（ｓ）前記（ｃ）において、前記特定の搬送台車が前記無線アクセスポイントを介して前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行しようとした際に、前記特定の通信デバイスからの応答が無い場合には、前記特定の搬送台車が、前記特定の通信デバイスが通信不能な状態であると判定し、当該判定結果を前記無線アクセスポイントを介して前記管理装置に通知するステップを含むように構成してもよい。【００２７】
本態様によれば、管理装置は、複数の通信デバイスの各々が通信可能な状態であるか否かを容易に把握することができる。【００２８】
例えば、前記制御方法は、さらに、（ｔ）前記管理装置が、前記複数の通信デバイスの各々にハートビート信号を送信するステップと、（ｕ）前記管理装置が、前記複数の通信デバイスのうちいずれかの通信デバイスから前記ハートビート信号に対する応答があった場合には、当該通信デバイスが通信可能な状態であると判定し、前記複数の通信デバイスのうちいずれかの通信デバイスから前記ハートビート信号に対する応答が無い場合には、当該通信デバイスが通信不能な状態であると判定するステップと、を含むように構成してもよい。【００２９】
本態様によれば、管理装置は、複数の通信デバイスの各々が通信可能な状態であるか否かを容易に把握することができる。【００３０】
例えば、前記対応情報は、さらに、前記移載位置情報及び前記通信デバイス宛先情報に対応付けられた、前記通信デバイスの通信属性を示す通信属性情報を含み、前記（ｂ）では、前記管理装置が、前記特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する前記特定の通信デバイス宛先情報及び特定の通信属性情報を前記対応情報から抽出し、抽出した前記特定の通信デバイス宛先情報及び前記特定の通信属性情報を前記特定の搬送台車に送信し、前記（ｃ）では、前記特定の搬送台車が、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報及び前記特定の通信属性情報を利用して、前記特定の通信デバイスに対して前記通信を実行するように構成してもよい。【００３１】
本態様によれば、特定の搬送台車は、特定の通信デバイスとの間で、特定の通信デバイスの通信属性情報に応じた通信を実行することができる。【００３２】
また、本発明の一態様に係る搬送システムは、被搬送物を搬送するための搬送システムであって、前記被搬送物を搬送するための複数の搬送台車と、前記複数の搬送台車の各々との間で前記被搬送物が移載される複数の移載装置と、前記複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスと、前記複数の通信デバイスを管理する管理装置と、を備え、前記複数の搬送台車の各々は、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を記憶する第１の記憶部と、前記特定の移載位置情報を前記管理装置に送信する第１の通信部と、を有し、前記管理装置は、前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する第２の記憶部と、前記複数の搬送台車のうちの特定の搬送台車から受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出する制御部と、抽出された前記特定の通信デバイス宛先情報を前記特定の搬送台車に送信する第２の通信部と、を有し、前記特定の搬送台車の前記第１の通信部は、さらに、前記管理装置から受信した前記特定の通信デバイス宛先情報を利用して、前記複数の通信デバイスのうちの前記特定の移載装置に接続されている特定の通信デバイスに対して、前記特定の移載装置と前記特定の搬送台車との間で前記被搬送物を移載するための通信を実行する。【００３３】
本態様によれば、管理装置は、移載位置情報と通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶しているので、管理装置において通信デバイス宛先情報を一元的に管理することができる。その結果、例えば移載装置が追加、撤去又は変更等されることにより、通信デバイスの通信デバイス宛先情報が変更された場合であっても、管理装置に記憶された対応情報を少ない作業量で容易に更新することができる。【００３４】
また、本発明の一態様に係る管理装置は、搬送台車との間で被搬送物が移載される複数の移載装置にそれぞれ接続された複数の通信デバイスを管理する管理装置であって、前記複数の移載装置の各々における前記被搬送物の移載位置を示す移載位置情報と、当該移載装置に接続されている前記通信デバイスの宛先を示す通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶する記憶部と、前記搬送台車から、前記複数の移載装置のうちの特定の移載装置における前記被搬送物の移載位置を示す特定の移載位置情報を受信する通信部と、受信した前記特定の移載位置情報に対応する特定の通信デバイス宛先情報を前記対応情報から抽出する制御部と、を備え、前記通信部は、抽出された前記特定の通信デバイス宛先情報を前記搬送台車に送信する。【００３５】
本態様によれば、管理装置は、移載位置情報と通信デバイス宛先情報との対応関係を示す対応情報を記憶しているので、管理装置において通信デバイス宛先情報を一元的に管理することができる。その結果、例えば移載装置が追加、撤去又は変更等されることにより、通信デバイスの通信デバイス宛先情報が変更された場合であっても、管理装置に記憶された対応情報を少ない作業量で容易に更新することができる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の一態様に係る搬送システムの制御方法等によれば、通信デバイス宛先情報を一元的に管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は、実施の形態１に係る搬送システムの概要を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態１に係る搬送システムの機能構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、実施の形態１に係る管理テーブルの一例を示す図である。
【図４】図４は、実施の形態１に係る搬送システムの動作を示すシーケンス図である。
【図５】図５は、実施の形態２に係る搬送システムの機能構成を示すブロック図である。
【図６】図６は、実施の形態２に係る搬送システムの動作を示すシーケンス図である。
【図７】図７は、実施の形態３に係る搬送システムの機能構成を示すブロック図である。
【図８】図８は、実施の形態３に係る搬送システムの動作を示すシーケンス図である。
【図９】図９は、実施の形態３に係る搬送システムの動作を示すシーケンス図である。
【図１０】図１０は、実施の形態４に係る搬送システムの機能構成を示すブロック図である。
【図１１】図１１は、実施の形態４に係る管理装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００３９】
（実施の形態１）
［１−１．搬送システムの概要］
まず、図１を参照しながら、実施の形態１に係る搬送システム２の概要について説明する。図１は、実施の形態１に係る搬送システム２の概要を示す図である。
【００４０】
図１に示すように、搬送システム２は、例えば半導体製造工場において、ウエハが格納されたＦＯＵＰ４（被搬送物の一例）を搬送するためのシステムである。搬送システム２は、複数の搬送台車６と、制御装置８と、第１の半導体製造装置１０（移載装置の一例）と、第２の半導体製造装置１２（移載装置の一例）と、第１の通信デバイス１４と、第２の通信デバイス１６と、管理装置１８と、無線アクセスポイント２０とを備えている。
【００４１】
複数の搬送台車６の各々は、例えば半導体製造工場の天井に設置されたレール２２に沿って無人走行することによりＦＯＵＰ４を搬送するための天井走行式の搬送台車であり、いわゆるＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）である。搬送台車６は、電力供給装置（図示せず）から供給される電力を、レール２２に沿って敷設された給電経路２４を介して電磁誘導現象により非接触で受けることができる。これにより、搬送台車６は、給電経路２４からの電力の供給を受けながら、レール２２に沿って走行することができる。
【００４２】
搬送台車６の内部には、ＦＯＵＰ４を把持するための把持部２６が昇降可能に搭載されている。例えば搬送台車６と第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａ（後述する）との間でＦＯＵＰ４を移載する際には、把持部２６は、搬送台車６から載置ポート３２ａの近傍まで降下する。また、ＦＯＵＰ４の移載が完了した際には、把持部２６は、載置ポート３２ａの近傍から搬送台車６まで上昇して、搬送台車６の内部に格納される。なお、半導体製造工場には複数（例えば３０００台）の搬送台車６が配置されているが、説明の都合上、図１等では１つの搬送台車６のみを図示している。
【００４３】
制御装置８は、複数の搬送台車６の各々の走行を制御するためのコンピュータであり、いわゆるＯＨＶＣ（Overhead Hoist Vehicle Controller）である。制御装置８は、レール２２に沿って敷設されたフィーダー線２８を介して、複数の搬送台車６の各々と通信することができる。
【００４４】
第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２の各々は、ＦＯＵＰ４に格納されたウエハを処理又は仮置き等するためのステーションであり、レール２２の直下に設置されている。
【００４５】
第１の半導体製造装置１０は、ＦＯＵＰ４を搬入及び搬出するための複数（例えば３つ）の搬入出口３０ａ，３０ｂ，３０ｃと、ＦＯＵＰ４を載置するための複数（例えば３つ）の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃとを有している。複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃはそれぞれ、対応する複数の搬入出口３０ａ，３０ｂ，３０ｃの近傍に配置されている。複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃはそれぞれ、搬送台車６の把持部２６との間でＦＯＵＰ４を移載し、且つ、複数の搬入出口３０ａ，３０ｂ，３０ｃを通して第１の半導体製造装置１０との間でＦＯＵＰ４の受け渡しを行うためのロードポートである。なお、本実施の形態では、第１の半導体製造装置１０が３つの載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃを有する場合について説明したが、これに限定されず、１つ、２つ又は４つ以上の載置ポートを有していてもよい。
【００４６】
第２の半導体製造装置１２は、ＦＯＵＰ４を搬入及び搬出するための複数（例えば３つ）の搬入出口３４ａ，３４ｂ，３４ｃと、ＦＯＵＰ４を載置するための複数（例えば３つ）の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃとを有している。複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃはそれぞれ、対応する複数の搬入出口３４ａ，３４ｂ，３４ｃの近傍に配置されている。複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃはそれぞれ、搬送台車６の把持部２６との間でＦＯＵＰ４を移載し、且つ、複数の搬入出口３４ａ，３４ｂ，３４ｃを通して第２の半導体製造装置１２との間でＦＯＵＰ４の受け渡しを行うためのロードポートである。なお、本実施の形態では、第２の半導体製造装置１２が３つの載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃを有する場合について説明したが、これに限定されず、１つ、２つ又は４つ以上の載置ポートを有していてもよい。
【００４７】
なお、半導体製造工場には複数（例えば１００００台）の半導体製造装置が設置されているが、説明の都合上、図１等では２つの半導体製造装置（第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２）のみを図示している。
【００４８】
第１の通信デバイス１４は、第１の半導体製造装置１０の複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃの各々と搬送台車６との間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第１の通信デバイス１４は複数のパラレルポートを備え、複数のパラレルポートの各々が、パラレルケーブル３８を介して、第１の半導体製造装置１０の複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃの各々と接続されている。これにより、第１の通信デバイス１４は、第１の半導体製造装置１０の複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃの各々と通信することができる。また、第１の通信デバイス１４は、ＬＡＮケーブル４０を介して、無線アクセスポイント２０と接続されている。これにより、第１の通信デバイス１４は、無線アクセスポイント２０を介して、複数の搬送台車６の各々とイーサネット（登録商標）通信することができる。なお、第１の通信デバイス１４と複数の搬送台車６の各々との間の通信には、例えばＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）のＥ８４通信シーケンスが適用される。
【００４９】
第２の通信デバイス１６は、第２の半導体製造装置１２の複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃの各々と搬送台車６との間の通信を仲介するためのデバイスサーバである。第２の通信デバイス１６は複数のパラレルポートを備え、複数のパラレルポートの各々が、パラレルケーブル４２を介して、第２の半導体製造装置１２の複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃの各々と接続されている。これにより、第２の通信デバイス１６は、第２の半導体製造装置１２の複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃの各々と通信することができる。また、第２の通信デバイス１６は、ＬＡＮケーブル（図示せず）を介して、無線アクセスポイント２０と接続されている。これにより、第２の通信デバイス１６は、無線アクセスポイント２０を介して、複数の搬送台車６の各々とイーサネット（登録商標）通信することができる。なお、第２の通信デバイス１６と複数の搬送台車６の各々との間の通信には、例えばＳＥＭＩのＥ８４通信シーケンスが適用される。
【００５０】
なお、半導体製造工場には、半導体製造装置と同数（例えば１００００台）の通信デバイスが設置されているが、説明の都合上、図１等では２つの通信デバイス（第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６）のみを図示している。
【００５１】
管理装置１８は、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６を含む複数の通信デバイスを管理するためのデバイスサーバマネージャである。管理装置１８は、ＬＡＮケーブル４６を介して第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々と接続されている。これにより、管理装置１８は、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々と通信することができる。
【００５２】
無線アクセスポイント２０は、無線ＬＡＮにおけるアクセスポイントである。無線アクセスポイント２０は、ａ）複数の搬送台車６の各々と第１の通信デバイス１４との間の通信、ｂ）複数の搬送台車６の各々と第２の通信デバイス１６との間の通信、及び、ｃ）複数の搬送台車６の各々と管理装置１８との間の通信をそれぞれ仲介する。
【００５３】
［１−２．搬送システムの機能構成］
次に、図２及び図３を参照しながら、実施の形態１に係る搬送システム２の機能構成について説明する。図２は、実施の形態１に係る搬送システム２の機能構成を示すブロック図である。図３は、実施の形態１に係る管理テーブルの一例を示す図である。
【００５４】
図２に示すように、複数の搬送台車６及び無線アクセスポイント２０の各々は、例えばＩＥＥＥ８０２．１１シリーズに準拠した無線ネットワーク４８に接続されている。無線ネットワーク４８は、例えば２．４ＧＨｚ帯又は５ＧＨｚ帯のＷｉＦｉ（登録商標）で構築されている。また、第１の通信デバイス１４、第２の通信デバイス１６及び管理装置１８の各々は、例えばケーブルを用いた有線ＬＡＮで構築された有線ネットワークに接続されている。
【００５５】
複数の搬送台車６の各々は、通信部５０（第１の通信部の一例）と、記憶部５２（第１の記憶部の一例）と、制御部５４とを有している。
【００５６】
通信部５０は、制御装置８、第１の通信デバイス１４、第２の通信デバイス１６及び管理装置１８の各々との間で無線通信する。
【００５７】
記憶部５２は、各種のデータを記憶するためのメモリである。具体的には、記憶部５２は、ａ）制御装置８から受信した走行指示信号（後述する）に含まれる走行指示データ、ｂ）制御装置８から受信した管理装置１８のＩＰ（Internet Protocol）アドレス（管理装置宛先情報の一例）、ｃ）管理装置１８から受信した第１の通信デバイス１４のＩＰアドレス（通信デバイス宛先情報の一例）、及び、ｄ）管理装置１８から受信した第２の通信デバイス１６のＩＰアドレス（通信デバイス宛先情報の一例）を一時的に記憶する。なお、記憶部５２は、上記の各データを予め固定的に記憶しておいてもよい。また、第１の通信デバイス１４のＩＰアドレス及び第２の通信デバイス１６のＩＰアドレスに代えて、ＭＡＣ（Media Access Control）アドレス等が利用されてもよい。通信デバイス宛先情報は、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々を一意に特定可能な情報であればよい。
【００５８】
制御部５４は、通信部５０及び記憶部５２を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部５４は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。制御部５４により実行される具体的な処理については、後で詳述する。
【００５９】
制御装置８は、通信部５６と、記憶部５８と、制御部６０とを有している。
【００６０】
通信部５６は、複数の搬送台車６の各々との間で無線通信する。
【００６１】
記憶部５８は、各種のデータを記憶するためのメモリである。具体的には、記憶部５８は、ａ）第１の半導体製造装置１０のステーション番号、ｂ）第１の半導体製造装置１０の複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃの各ロードポート番号、ｃ）第２の半導体製造装置１２のステーション番号、ｄ）第２の半導体製造装置１２の複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃの各ロードポート番号、及び、ｅ）管理装置１８のＩＰアドレスを記憶する。
【００６２】
ステーション番号は、第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２を識別するための情報である。すなわち、ステーション番号は、ＦＯＵＰ４の移載位置を示す移載位置情報の一例である。例えば、第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２にはそれぞれ、ステーション番号として「ＳＴ１」及び「ＳＴ２」が割り当てられている。
【００６３】
また、ロードポート番号は、第１の半導体製造装置１０において複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃを識別し、且つ、第２の半導体製造装置１２において複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃを識別するための情報である。すなわち、ロードポート番号は、ＦＯＵＰ４の移載位置を示す移載位置情報の一例である。例えば、第１の半導体製造装置１０の複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃにはそれぞれ、ロードポート番号として「ＬＰ１」、「ＬＰ２」及び「ＬＰ３」が割り当てられている。同様に、第２の半導体製造装置１２の複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃにはそれぞれ、ロードポート番号として「ＬＰ１」、「ＬＰ２」及び「ＬＰ３」が割り当てられている。なお、第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２の各々が１つの載置ポートのみを有する場合には、ロードポート番号を省略してもよい。
【００６４】
制御部６０は、通信部５６及び記憶部５８を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部６０は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。制御部６０により実行される具体的な処理については、後で詳述する。
【００６５】
第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａは、通信部６２と、制御部６４とを有している。なお、図示しないが、第１の半導体製造装置１０の他の載置ポート３２ｂ，３２ｃも同様に、通信部と、制御部とを有している。
【００６６】
通信部６２は、第１の通信デバイス１４との間で有線通信する。
【００６７】
制御部６４は、通信部６２を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部６４は、搬送台車６との間でＦＯＵＰ４を移載するためのインターロック処理を実行する。インターロック処理とは、ある工程が完了しないと次の工程に移行しないような、複数の工程からなるインターロックシーケンスである。なお、制御部６４は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
【００６８】
第２の半導体製造装置１２の載置ポート３６ａは、通信部６６と、制御部６８とを有している。なお、図示しないが、第２の半導体製造装置１２の他の載置ポート３６ｂ，３６ｃも同様に、通信部と、制御部とを有している。
【００６９】
通信部６６は、第２の通信デバイス１６との間で有線通信する。
【００７０】
制御部６８は、通信部６６を制御することにより、各種の処理を実行する。具体的には、制御部６８は、搬送台車６との間でＦＯＵＰ４を移載するためのインターロック処理を実行する。なお、制御部６８は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
【００７１】
第１の通信デバイス１４は、通信部７０と、制御部７２とを有している。
【００７２】
通信部７０は、無線アクセスポイント２０を介して、複数の搬送台車６の各々との間で無線通信する。また、通信部７０は、管理装置１８との間で有線通信し、且つ、第１の半導体製造装置１０の複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃの各々との間で有線通信する。
【００７３】
制御部７２は、通信部７０を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部７２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。制御部７２により実行される具体的な処理については、後で詳述する。
【００７４】
第２の通信デバイス１６は、通信部７４と、制御部７６とを有している。
【００７５】
通信部７４は、無線アクセスポイント２０を介して、複数の搬送台車６の各々との間で無線通信する。また、通信部７４は、管理装置１８との間で有線通信し、且つ、第２の半導体製造装置１２の複数の載置ポート３６ａ，３６ｂ，３６ｃの各々との間で有線通信する。
【００７６】
制御部７６は、通信部７４を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部７６は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。
【００７７】
管理装置１８は、通信部７８（第２の通信部の一例）と、記憶部８０（第２の記憶部の一例）と、制御部８２とを有している。
【００７８】
通信部７８は、無線アクセスポイント２０を介して、複数の搬送台車６の各々との間で無線通信する。また、通信部７８は、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々との間で有線通信する。なお、通信部７８は、無線アクセスポイント２０を介して、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々との間で無線通信してもよい。
【００７９】
記憶部８０は、管理テーブル（対応情報の一例）を記憶するためのメモリである。図３に示すように、管理テーブルは、第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２の各ステーション番号と、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各ＩＰアドレスとの対応関係を示すデータテーブルである。
【００８０】
図３に示す例では、管理テーブルの１行目には、第１の半導体製造装置１０のステーション番号「ＳＴ１」と、第１の半導体製造装置１０に接続された第１の通信デバイス１４のＩＰアドレス「ｘｘ．ｘｘ．ｘｘ．ｘｘ」とが対応付けられて格納されている。また、管理テーブルの２行目には、第２の半導体製造装置１２のステーション番号「ＳＴ２」と、第２の半導体製造装置１２に接続された第２の通信デバイス１６のＩＰアドレス「ｙｙ．ｙｙ．ｙｙ．ｙｙ」とが対応付けられて格納されている。
【００８１】
制御部８２は、通信部７８及び記憶部８０を制御することにより、各種の処理を実行する。なお、制御部８２は、例えばプロセッサがハードディスク又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現される。制御部８２により実行される具体的な処理については、後で詳述する。
【００８２】
［１−３．搬送システムの動作］
次に、図４を参照しながら、実施の形態１に係る搬送システム２の動作について説明する。図４は、実施の形態１に係る搬送システム２の動作を示すシーケンス図である。
【００８３】
以下、搬送システム２の動作の一例として、搬送台車６が第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でＦＯＵＰ４を移載する場合の動作について説明する。
【００８４】
図４に示すように、制御装置８の通信部５６は、制御部６０により生成された走行指示信号を搬送台車６に送信する（Ｓ１０１）。走行指示信号は、複数の搬送台車６のうち特定の搬送台車６に対して所定の目的地まで走行するように指示するためのコマンドである。目的地が例えば第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａである場合、走行指示信号は、搬送台車６の目的地を示す走行指示データとして、第１の半導体製造装置１０のステーション番号「ＳＴ１」と、載置ポート３２ａのロードポート番号「ＬＰ１」とを含む。なお、制御部６０は、記憶部５８からステーション番号「ＳＴ１」及びロードポート番号「ＬＰ１」を読み出すことにより、走行指示信号を生成する。
【００８５】
搬送台車６の通信部５０は、制御装置８から送信された走行指示信号を受信する（Ｓ１０２）。走行指示信号に含まれる走行指示データ（例えば、ステーション番号「ＳＴ１」及びロードポート番号「ＬＰ１」）は、記憶部５２に記憶される。これにより、制御部５４は、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａを目的地として搬送台車６を走行させる。
【００８６】
制御装置８の通信部５６は、制御部６０により生成された問い合わせ信号を搬送台車６に定期的に送信する（Ｓ１０３）。問い合わせ信号は、搬送台車６に対して現在の走行位置を問い合わせるためのコマンドである。
【００８７】
搬送台車６の通信部５０は、制御装置８から送信された問い合わせ信号を受信する（Ｓ１０４）。これにより、搬送台車６の通信部５０は、制御部５４により生成されたレスポンス信号を制御装置８に送信する（Ｓ１０５）。レスポンス信号は、搬送台車６の現在の走行位置を示す信号である。
【００８８】
制御装置８の通信部５６は、搬送台車６から送信されたレスポンス信号を受信する（Ｓ１０６）。制御装置８の制御部６０は、受信したレスポンス信号に基づいて、搬送台車６の現在の走行位置を判断する。搬送台車６が目的地から所定距離以内まで接近している場合、制御装置８の制御部６０は、記憶部５８から管理装置１８のＩＰアドレスを読み出し、通信部５６は、読み出された管理装置１８のＩＰアドレスを搬送台車６に送信する（Ｓ１０７）。一方、搬送台車６が目的地から所定距離よりも離れている場合、制御装置８の制御部６０は、ステップＳ１０３に戻り、問い合わせ信号を搬送台車６に送信する。
【００８９】
搬送台車６の通信部５０は、制御装置８から送信された管理装置１８のＩＰアドレスを受信する（Ｓ１０８）。管理装置１８のＩＰアドレスは、記憶部５２に記憶される。搬送台車６の通信部５０は、受信した管理装置１８のＩＰアドレスを送信先（宛先）として、制御部５４により生成されたリクエスト信号を管理装置１８に送信する（Ｓ１０９）。リクエスト信号は、管理装置１８に対して、搬送台車６の目的地に対応する通信デバイスのＩＰアドレスを送信するように要求するためのコマンドである。リクエスト信号は、例えば、ａ）ステーション番号「ＳＴ１」、ｂ）ロードポート番号「ＬＰ１」、及び、ｃ）Ｅ８４通信シーケンス番号等を含む。
【００９０】
管理装置１８の通信部７８は、搬送台車６から送信されたリクエスト信号を受信する（Ｓ１１０）。管理装置１８の制御部８２は、受信したリクエスト信号に基づいて、搬送台車６の目的地を示すステーション番号「ＳＴ１」に対応する第１の通信デバイス１４のＩＰアドレス「ｘｘ．ｘｘ．ｘｘ．ｘｘ」を、記憶部８０に記憶されている管理テーブルから抽出する（Ｓ１１１）。通信部７８は、抽出された第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを搬送台車６に送信する（Ｓ１１２）。
【００９１】
搬送台車６の通信部５０は、管理装置１８から送信された第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを受信する（Ｓ１１３）。第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスは、記憶部５２に記憶される。搬送台車６の通信部５０は、受信した第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを送信先として、制御部５４により生成されたメッセージ信号を第１の通信デバイス１４に送信する（Ｓ１１４）。メッセージ信号は、第１の通信デバイス１４に対して、例えば搬送台車６と第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でＦＯＵＰ４を移載するためのインターロック処理を開始することを要求するためのコマンドである。メッセージ信号は、例えば、ａ）ステーション番号「ＳＴ１」、ｂ）ロードポート番号「ＬＰ１」、ｃ）Ｅ８４通信シーケンス番号、ｄ）インターロック処理を実行するための荷降ろし／荷掴み要求データ、及び、ｅ）搬送台車６を識別するための搬送台車ＩＤ（Identification）等を含む。
【００９２】
第１の通信デバイス１４の通信部７０は、搬送台車６から送信されたメッセージ信号を受信する（Ｓ１１５）。第１の通信デバイス１４の制御部７２は、受信したメッセージ信号に基づいて、搬送台車６との間でインターロック処理のための通信を実行する（Ｓ１１６）。これにより、搬送台車６と載置ポート３２ａとの間で、ＦＯＵＰ４を移載するためのインターロック処理が実行される。
【００９３】
なお、第１の通信デバイス１４は、インターロック処理に含まれる全ての工程についての通信を搬送台車６との間で実行する必要はなく、インターロック処理の一部の工程についての通信を搬送台車６との間で実行し、インターロック処理の残りの工程についての通信を第１の半導体製造装置１０との間で実行してもよい。
【００９４】
［１−４．効果］
次に、本実施の形態に係る搬送システム２により得られる効果について、比較例に係る搬送システムと対比しながら説明する。
【００９５】
比較例に係る搬送システムでは、本実施の形態で説明した管理装置１８を備えていない。複数の搬送台車の各々は、複数の半導体製造装置の各々を識別するための識別情報と、当該半導体製造装置に接続された通信デバイスのＩＰアドレスとが対応付けられたデータテーブルを予め記憶している。複数の搬送台車の各々は、このデータテーブルから読み出した通信デバイスのＩＰアドレスを送信先として、メッセージ信号を通信デバイスに送信する。
【００９６】
例えば半導体製造装置が追加、撤去又は変更等された場合には、通信デバイスのＩＰアドレスが変更されてしまうことがある。１つの搬送システムには、例えば１００００台の半導体製造装置と３０００台の搬送台車とが設置されているため、各データテーブルには、１００００個のＩＰアドレスが記憶されることになる。そのため、３０００台の搬送台車の全てについて、各データテーブルを更新する作業を行うのは容易ではなく、データテーブルの管理を容易に行うことができない。また、各データテーブルを更新する作業を行う際には、全ての搬送台車の走行を停止させなければならず、半導体製造ラインに支障を来すおそれが生じる。
【００９７】
一方、本実施の形態に係る搬送システム２では、管理装置１８は、複数の半導体製造装置の各ステーション番号と、複数の通信デバイスの各ＩＰアドレスとの対応関係を示す管理テーブルを記憶している。これにより、複数の通信デバイスの各ＩＰアドレスを、管理装置１８により一元的に管理することができる。その結果、例えば半導体製造装置が追加、撤去又は変更等されることにより、通信デバイスのＩＰアドレスが変更された場合であっても、管理装置１８が記憶している管理テーブルを更新する作業のみを行えばよく、管理テーブルの管理を容易に行うことができる。また、管理テーブルを更新する作業を行う際に、搬送台車の走行を停止させる必要がないため、半導体製造ラインに支障を来すことがない。
【００９８】
また、制御装置８と管理装置１８とを一つの制御装置として構成する搬送システムが想定される。しかし、当該搬送システムでは、制御装置内の管理テーブルの更新の際に、制御装置の動作が制限されることにより、半導体製造ラインに支障を来すおそれが生じる。一方、本実施の形態に係る搬送システム２では、制御装置８と管理装置１８とが別体であるため、管理テーブルの更新の際に半導体製造ラインに支障を来すことがない。
【００９９】
［１−５．変形例］
本実施の形態の管理テーブルでは、第１の半導体製造装置１０及び第２の半導体製造装置１２の各ステーション番号と、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各ＩＰアドレスとが対応付けられていたが、これに加えて、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各通信属性を示す通信属性情報が対応付けられてもよい。通信属性情報は、例えば、ａ）通信方法（無線通信か有線通信かの区別）、ｂ）無線通信のチャンネル情報、及び、ｃ）無線通信のＳＳＩＤ（Service Set Identifier）等を含む。
【０１００】
この場合、上述したステップＳ１１２において、管理装置１８の通信部７８は、第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスと、第１の通信デバイス１４の通信属性情報とを搬送台車６に送信する。これにより、上述したステップＳ１１４において、搬送台車６の通信部５０は、受信した第１の通信デバイス１４の通信属性情報に基づいて、メッセージ信号を第１の通信デバイス１４に送信する。
【０１０１】
（実施の形態２）
［２−１．搬送システムの機能構成］
次に、図５を参照しながら、実施の形態２に係る搬送システム２Ａの機能構成について説明する。図５は、実施の形態２に係る搬送システム２Ａの機能構成を示すブロック図である。なお、以下の各実施の形態において、上記実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【０１０２】
図５に示すように、実施の形態２に係る搬送システム２Ａは、動作中であるアクティブ側の第１の管理装置１８ａと、待機中であるスタンバイ側の第２の管理装置１８ｂとを備えることにより冗長化されている点で、上記実施の形態１と異なっている。第１の管理装置１８ａは、通信部７８ａと、記憶部８０ａと、制御部８２ａとを有している。第２の管理装置１８ｂは、通信部７８ｂと、記憶部８０ｂと、制御部８２ｂとを有している。第１の管理装置１８ａ及び第２の管理装置１８ｂの各構成は、上記実施の形態１の管理装置１８の構成と同一である。
【０１０３】
制御装置８Ａの記憶部５８Ａは、上記実施の形態１で説明した管理装置１８のＩＰアドレスに代えて、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス（第１の管理装置宛先情報の一例）及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレス（第２の管理装置宛先情報の一例）を記憶する。
【０１０４】
複数の搬送台車６Ａの各々の記憶部５２Ａは、上記実施の形態１で説明した管理装置１８のＩＰアドレスに代えて、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを一時的に記憶する。
【０１０５】
［２−２．搬送システムの動作］
次に、図６を参照しながら、実施の形態２に係る搬送システム２Ａの動作について説明する。図６は、実施の形態２に係る搬送システム２Ａの動作を示すシーケンス図である。なお、図６において、上記実施の形態１の図４と同一の処理には同一のステップ番号を付して、その説明を省略する。
【０１０６】
以下、搬送システム２Ａの動作の一例として、搬送台車６Ａが第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でＦＯＵＰ４（図１参照）を移載する場合の動作について説明する。また、搬送台車６Ａと第１の管理装置１８ａとの間に通信障害が発生していることを前提として説明する。
【０１０７】
図６に示すように、まず、上記実施の形態１と同様に、ステップＳ１０１〜Ｓ１０６が実行される。その後、搬送台車６Ａが目的地に接近している場合、制御装置８Ａの制御部６０Ａは、記憶部５８Ａからアクティブ側の第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスを読み出す。制御部８Ａの通信部５６Ａは、読み出された第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスを搬送台車６Ａに送信する（Ｓ２０１）。
【０１０８】
搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、制御装置８Ａから送信された第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスを受信する（Ｓ２０２）。第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスは、記憶部５２Ａに記憶される。搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、受信した第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスを送信先として、制御部５４Ａにより生成されたリクエスト信号を第１の管理装置１８ａに送信する（Ｓ２０３）。このリクエスト信号は、第１の管理装置１８ａに対して、搬送台車６Ａの目的地に対応する通信デバイスのＩＰアドレスを送信するように要求するためのコマンドである。
【０１０９】
ここで、搬送台車６Ａと第１の管理装置１８ａとの間に通信障害が発生しているため、第１の管理装置１８ａの通信部７８ａは、搬送台車６Ａから送信されたリクエスト信号を受信することができず、リクエスト信号に対して応答しない（Ｓ２０４）。
【０１１０】
搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、リクエスト信号を送信してから所定時間経過しても第１の管理装置１８ａからの応答が得られない場合、制御部５４Ａにより生成されたレスポンス信号を制御装置８Ａに送信する（Ｓ２０５）。レスポンス信号は、第１の管理装置１８ａからの応答が得られなったことを示す信号である。
【０１１１】
制御装置８Ａの通信部５６Ａは、搬送台車６Ａから送信されたレスポンス信号を受信する（Ｓ２０６）。ここで、図６には図示しないが、制御装置８Ａの制御部６０Ａは、受信したレスポンス信号に基づいて、搬送台車６Ａが第１の管理装置１８ａからの応答を得ることができなかったと判断する。これにより、制御装置８Ａの制御部６０Ａは、記憶部５８Ａからスタンバイ側の第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを読み出し、通信部５６Ａは、読み出された第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを搬送台車６Ａに送信する（Ｓ２０７）。
【０１１２】
搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、制御装置８Ａから送信された第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを受信する（Ｓ２０８）。第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスは、記憶部５２Ａに記憶される。搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、受信した第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを送信先として、制御部５４Ａにより生成されたリクエスト信号を第２の管理装置１８ｂに送信する（Ｓ２０９）。このリクエスト信号は、第２の管理装置１８ｂに対して、搬送台車６Ａの目的地に対応する通信デバイスのＩＰアドレスを送信するように要求するためのコマンドである。
【０１１３】
第２の管理装置１８ｂの制御部８２ｂは、受信したリクエスト信号に基づいて、搬送台車６Ａの目的地を示すステーション番号「ＳＴ１」に対応する第１の通信デバイス１４のＩＰアドレス「ｘｘ．ｘｘ．ｘｘ．ｘｘ」を、記憶部８０ｂに記憶されている管理テーブルから抽出する（Ｓ２１０）。通信部７８ｂは、抽出された第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを搬送台車６Ａに送信する（Ｓ２１１）。
【０１１４】
搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、第２の管理装置１８ｂから送信された第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを受信する（Ｓ２１２）。第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスは、記憶部５２Ａに記憶される。以下、上記実施の形態１と同様に、ステップＳ１１４〜Ｓ１１６が実行される。
【０１１５】
なお、実施の形態２では、搬送台車６Ａが、２台の管理装置（第１の管理装置１８ａ及び第２の管理装置１８ｂ）のうちいずれか一方から、第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを受信するシーケンスで説明している。しかし、これに限定されず、例えば搬送台車６Ａは、第２の管理装置１８ｂからも第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを受信できない場合には、第３の管理装置等から第１の通信デバイス１４のＩＰアドレスを受信してもよい。すなわち、複数台の管理装置で搬送システム２Ａの冗長化が構成されている場合でも適用可能である。
【０１１６】
［２−３．効果］
本実施の形態では、アクティブ側の第１の管理装置１８ａとスタンバイ側の第２の管理装置１８ｂとが設けられているので、冗長化を図ることができる。このような構成であっても、第１の管理装置１８ａ及び第２の管理装置１８ｂの各々が管理テーブルを記憶することにより、複数の通信デバイスの各ＩＰアドレスを一元的に管理することができる。
【０１１７】
［２−４．変形例］
［２−４−１．変形例１］
本実施の形態では、上述したステップＳ２０１で、制御装置８Ａの通信部５６Ａは、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスのみを搬送台車６Ａに送信した。このような処理に代えて、変形例１では、通信部５６Ａは、ステップＳ２０１において、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを搬送台車６Ａに同時に送信してもよい。この時、通信部５６Ａは、第１の管理装置１８ａがアクティブ側、第２の管理装置１８ｂがスタンバイ側であることを示す情報も搬送台車６Ａに送信する。
【０１１８】
この場合、搬送台車６Ａの制御部５４Ａは、受信した第１の管理装置１８ａ及び第２の管理装置１８ｂの各ＩＰアドレスの中から、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスを選択する。搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、選択された第１の管理装置１８ａのＩＰアドレスを送信先として、リクエスト信号を第１の管理装置１８ａに送信する。
【０１１９】
ここで、搬送台車６Ａの制御部５４Ａは、第１の管理装置１８ａからの応答を得ることができなかった場合には、第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを選択する。搬送台車６Ａの通信部５０Ａは、選択された第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを送信先として、リクエスト信号を第２の管理装置１８ｂに送信する。
【０１２０】
すなわち、搬送台車６Ａの制御部５４Ａは、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスの両方を事前に制御装置８Ａから受信しているので、即座にスタンバイ側の第２の管理装置１８ｂを経由して第１の通信デバイス１４と通信できる。このように、変形例１では、通信経路の切り換え（冗長化）に要する時間を短縮することができる。
【０１２１】
［２−４−２．変形例２］
変形例２では、制御装置８Ａの通信部５６Ａは、ステップＳ２０１よりも前に（例えばステップＳ１０１において）、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを搬送台車６Ａに予め送信しておいてもよい。その結果、搬送台車６Ａは、リクエスト信号を第１の管理装置１８ａ及び第２の管理装置１８ｂに早期に送信することができ、インターロック処理のための通信を早期に実行することができる。
【０１２２】
［２−４−３．変形例３］
変形例３では、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスは、搬送台車６Ａの記憶部５２Ａに履歴として記憶されてもよい。この場合、図６の処理が繰り返し実行される状況において、ステップＳ２０１，Ｓ２０２，Ｓ２０７及びＳ２０８の各処理に代えて、搬送台車６Ａが、第１の管理装置１８ａのＩＰアドレス及び第２の管理装置１８ｂのＩＰアドレスを記憶部５２Ａから読み出してもよい。
【０１２３】
（実施の形態３）
［３−１．搬送システムの機能構成］
図７を参照しながら、実施の形態３に係る搬送システム２Ｂの機能構成について説明する。図７は、実施の形態３に係る搬送システム２Ｂの機能構成を示すブロック図である。
【０１２４】
図７に示すように、実施の形態３に係る搬送システム２Ｂでは、複数の搬送台車として、第１の搬送台車６Ｂａと、第２の搬送台車６Ｂｂとを含んでいる。第１の搬送台車６Ｂａは、上記実施の形態１で説明した搬送台車６（図２参照）の機能に加えて、次のような機能を有している。すなわち、第１の搬送台車６Ｂａの制御部５４Ｂは、例えば第１の搬送台車６Ｂａから第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａにＦＯＵＰ４（第１の被搬送物の一例であり、以下、「第１のＦＯＵＰ４」という）（図１参照）を移載（荷降ろし）する際に載置ポート３２ａの上方に他のＦＯＵＰ４（第２の被搬送物の一例であり、以下、「第２のＦＯＵＰ４」という）が存在するか否かを管理装置１８Ｂに問い合わせる。第１の搬送台車６Ｂａの制御部５４Ｂは、当該問い合わせの結果に応じて、後述する第１の走行計画及び第２の走行計画のいずれかを採用する。なお、第２の搬送台車６Ｂｂの制御部５４Ｂは、第１の搬送台車６Ｂａの制御部５４Ｂと同一の機能を有している。
【０１２５】
ここで、「載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在する」とは、第２のＦＯＵＰ４が載置ポート３２ａに載置されている状態、及び、第２のＦＯＵＰ４が載置ポート３２ａから第２の搬送台車６Ｂｂに移載（荷掴み）されている途中の状態を意味する。
【０１２６】
また、第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂは、例えば載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在するか否かを示す被搬送物情報を生成する。このために、第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂは、例えば第２の搬送台車６Ｂｂとの間におけるインターロック処理のための通信に基づいて、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在するか否かを判断する。なお、第２の通信デバイス１６Ｂの制御部７６Ｂは、第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂと同一の機能を有している。
【０１２７】
また、管理装置１８Ｂの制御部８２Ｂは、第１の通信デバイス１４Ｂから被搬送物情報を取得する。管理装置１８Ｂの通信部７８は、第１の搬送台車６Ｂａ（又は第２の搬送台車６Ｂｂ）からの上記した載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在するか否かの問い合わせに応じて、取得した被搬送物情報を示すレスポンス信号を第１の搬送台車６Ｂａ（又は第２の搬送台車６Ｂｂ）に送信する。
【０１２８】
［３−２．搬送システムの動作］
次に、図８及び図９を参照しながら、実施の形態３に係る搬送システム２Ｂの動作について説明する。図８及び図９は、実施の形態３に係る搬送システム２Ｂの動作を示すシーケンス図である。
【０１２９】
まず、図８を参照しながら、搬送システム２Ｂの動作の一例として、第１の搬送台車６Ｂａが管理装置１８Ｂに問い合わせした際に、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在しない場合の動作について説明する。
【０１３０】
図８に示すように、制御装置８の通信部５６は、制御部６０により生成された第１の走行指示信号及び第２の走行指示信号をそれぞれ第１の搬送台車６Ｂａ及び第２の搬送台車６Ｂｂに送信する（Ｓ３０１）。
【０１３１】
第１の走行指示信号は、第１の搬送台車６Ｂａに対して、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａの位置まで走行し、且つ、第１の搬送台車６Ｂａから載置ポート３２ａに第１のＦＯＵＰ４を荷降ろしするように指示するためのコマンドである。ここで、「載置ポート３２ａの位置」とは、載置ポート３２ａの真上におけるレール２２の位置を意味する。また、第２の走行指示信号は、第２の搬送台車６Ｂｂに対して、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａの位置まで走行し、且つ、載置ポート３２ａに載置されている第２のＦＯＵＰ４を荷掴みするように指示するためのコマンドである。
【０１３２】
第１の搬送台車６Ｂａは、制御装置８から送信された第１の走行指示信号を受信する（Ｓ３０２）。また、第２の搬送台車６Ｂｂは、制御装置８から送信された第２の走行指示信号を受信する（Ｓ３０３）。
【０１３３】
管理装置１８Ｂの通信部７８は、制御部８２Ｂにより生成されたリクエスト信号を第１の通信デバイス１４Ｂに送信する（Ｓ３０４）。リクエスト信号は、第１の通信デバイス１４Ｂに対して、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在するか否かを示す被搬送物情報を送信するように要求するためのコマンドである。なお、通信部７８は、一定の周期で（例えば２〜３秒毎に）リクエスト信号を第１の通信デバイス１４Ｂに繰り返し送信する。
【０１３４】
第１の通信デバイス１４Ｂの通信部７０は、管理装置１８Ｂから送信されたリクエスト信号を受信する（Ｓ３０５）。第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂは、受信されたリクエスト信号に基づいて、被搬送物情報を生成する。
【０１３５】
この時、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２のＦＯＵＰ４の荷掴みが既に実行されているため、第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂは、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在しないことを示す被搬送物情報を生成する。なお、説明の都合上、図８において、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２の走行指示信号に基づく処理の図示を省略してある。
【０１３６】
第１の通信デバイス１４Ｂの通信部７０は、被搬送物情報を管理装置１８Ｂに送信する（Ｓ３０６）。管理装置１８Ｂの通信部７０は、第１の通信デバイス１４Ｂから送信された被搬送物情報を受信する（Ｓ３０７）。なお、上述したステップＳ３０４〜Ｓ３０７は、一定の周期で繰り返し実行される。
【０１３７】
第１の搬送台車６Ｂａは、第１の走行指示信号を受信した後に、第１の走行指示信号に基づいて、第１の走行計画を決定する（Ｓ３０８）。第１の走行計画は、現在位置から第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａの位置まで走行する最短経路である第１の経路を示す走行計画である。
【０１３８】
第１の搬送台車６Ｂａの通信部５０は、第１の走行計画に基づいて載置ポート３２ａの位置に到着したと仮定した場合に、第１の搬送台車６Ｂａが載置ポート３２ａの位置に到着したタイミング（第１の時刻に相当）において載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在するか否かを問い合わせるための問い合わせ信号を管理装置１８Ｂに送信する（Ｓ３０９）。
【０１３９】
管理装置１８Ｂの通信部７８は、第１の搬送台車６Ｂａから送信された問い合わせ信号を受信する（Ｓ３１０）。これにより、管理装置１８Ｂの通信部７８は、制御部８２Ｂにより生成されたレスポンス信号を第１の搬送台車６Ｂａに送信する（Ｓ３１１）。レスポンス信号は、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在しないことを示す信号である。
【０１４０】
第１の搬送台車６Ｂａの通信部５０は、管理装置１８Ｂからのレスポンス信号を受信する（Ｓ３１２）。これにより、第１の搬送台車６Ｂａの制御部５４Ｂは、受信されたレスポンス信号に基づいて、載置ポート３２ａへの第１のＦＯＵＰ４の荷降ろしが可能であると判定し、第１の走行計画を採用する（Ｓ３１３）。その結果、第１の搬送台車６Ｂａは、第１の走行計画に基づいて、現在位置から第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａの位置まで第１の経路で走行する。
【０１４１】
その後、図８には図示しないが、上記実施の形態１と同様に、図４のステップＳ１０３以降の各ステップが実行される。
【０１４２】
次に、図９を参照しながら、搬送システム２Ｂの動作の一例として、第１の搬送台車６Ｂａが管理装置１８Ｂに問い合わせした際に、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在する場合の動作について説明する。
【０１４３】
図９に示すように、図８に示したのと同様に、ステップＳ３０１〜Ｓ３０５が実行される。ステップＳ３０５の後に、第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂは、受信されたリクエスト信号に基づいて、被搬送物情報を生成する。この時、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２のＦＯＵＰ４の荷掴みがまだ実行されていないため、第１の通信デバイス１４Ｂの制御部７２Ｂは、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在することを示す被搬送物情報を生成する。なお、説明の都合上、図９において、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２の走行指示信号に基づく処理の図示を省略してある。
【０１４４】
第１の通信デバイス１４Ｂの通信部７０は、被搬送物情報を管理装置１８Ｂに送信する（Ｓ３０６Ａ）。その後、図８のステップＳ３０７〜Ｓ３１０と同様に、ステップＳ３０７Ａ〜Ｓ３１０が実行される。ステップＳ３１０の後に、管理装置１８Ｂの通信部７８は、制御部８２Ｂにより生成されたレスポンス信号を第１の搬送台車６Ｂａに送信する（Ｓ３１１Ａ）。レスポンス信号は、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在することを示す信号である。
【０１４５】
第１の搬送台車６Ｂａの通信部５０は、管理装置１８Ｂからのレスポンス信号を受信する（Ｓ３１２Ａ）。これにより、第１の搬送台車６Ｂａの制御部５４Ｂは、受信されたレスポンス信号に基づいて、載置ポート３２ａへの第１のＦＯＵＰ４の荷降ろしが不可であると判定し、第２の走行計画を決定し（Ｓ３１４）、決定した第２の走行計画を採用する（Ｓ３１５）。第２の走行計画は、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２のＦＯＵＰ４の荷掴みが完了し、且つ、第２のＦＯＵＰ４が載置ポート３２ａの上方から離れた後に、第１の搬送台車６Ｂａが載置ポート３２ａの位置に到着する周回経路である、第１の経路よりも長い第２の経路を示す走行計画である。
【０１４６】
この時、管理装置１８Ｂは、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２のＦＯＵＰ４の荷掴みが開始する荷掴み開始時刻及び荷掴みに要する過去の時間データに基づいて、荷掴みが完了する荷掴み完了時刻を算出し、算出した荷掴み完了時刻を第１の搬送台車６Ｂａに送信してもよい。これにより、第１の搬送台車６Ｂａの制御部５４Ｂは、管理装置１８Ｂから送信された荷掴み完了時刻に基づいて、第２の走行計画を決定することができる。
【０１４７】
その結果、第１の搬送台車６Ｂａは、第２の走行計画に基づいて、第２の搬送台車６Ｂｂによる第２のＦＯＵＰ４の荷掴みが完了するまでの間は載置ポート３２ａの位置を迂回しながら走行し、荷掴みが完了した後に第１の搬送台車６Ｂａが載置ポート３２ａの位置に到着するように第２の経路で走行する。
【０１４８】
その後、図９には図示しないが、上記実施の形態１と同様に、図４のステップＳ１０３以降の各ステップが実行される。
【０１４９】
［３−３．効果］
本実施の形態では、第１の搬送台車６Ｂａは、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在しない場合に、比較的短い第１の経路を示す第１の走行計画を採用する（図８参照）。これにより、第１の搬送台車６Ｂａは、載置ポート３２ａの位置まで早期に走行して、早期に荷降ろしを開始することができる。
【０１５０】
一方、第１の搬送台車６Ｂａは、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在する場合に、第１の経路よりも長い第２の経路を示す第２の走行計画を採用する（図９参照）。これにより、第１の搬送台車６Ｂａが載置ポート３２ａまで不要な停止無く走行できるため、複数の搬送台車による渋滞の発生を軽減することができる。また、載置ポート３２ａに第２のＦＯＵＰ４が載置されているにもかかわらず、第１の搬送台車６Ｂａが載置ポート３２ａの位置まで走行して荷降ろしを開始することによりエラーが発生する等の不都合を回避することができる。
【０１５１】
以上のことから、第１及び第２のＦＯＵＰ４の搬送効率を高めることができる。
【０１５２】
［３−４．変形例１］
本実施の形態では、管理装置１８ＢがＬＡＮケーブル４６を介して第１の通信デバイス１４Ｂ及び第２の通信デバイス１６Ｂの各々と接続されている場合について説明したが、管理装置１８Ｂが無線通信のみに対応している場合には、例えば次のように構成してもよい。すなわち、第１の搬送台車６Ｂａは、インターロック処理の通信状況を、無線アクセスポイント２０を介して管理装置１８Ｂに送信する。これにより、管理装置１８Ｂは、例えば第１の通信デバイス１４Ｂに問い合わせを行うことなく、載置ポート３２ａの上方に第２のＦＯＵＰ４が存在するか否かを判定することができる。
【０１５３】
［３−５．変形例２］
本実施の形態では、制御装置８が、第１の走行指示信号及び第２の走行指示信号をそれぞれ第１の搬送台車６Ｂａ及び第２の搬送台車６Ｂｂに送信する場合について説明したが、例えば次のように構成してもよい。
【０１５４】
すなわち、制御装置８は、第３の走行指示信号を第３の搬送台車に送信してもよい。第３の走行指示信号は、第３の搬送台車に対して、載置ポート３２ａの位置まで走行し、且つ、載置ポート３２ａから第３の搬送台車に第３のＦＯＵＰを荷掴みするように指示するためのコマンドである。
【０１５５】
この場合、管理装置１８は、リクエスト信号を第１の通信デバイス１４Ｂに送信する。リクエスト信号は、第１の通信デバイス１４Ｂに対して、載置ポート３２ａの上方に第３のＦＯＵＰが存在するか否かを示す被搬送物情報を送信するように要求するためのコマンドである。
【０１５６】
第１の通信デバイス１４Ｂは、管理装置１８Ｂから送信されたリクエスト信号に基づいて、載置ポート３２ａの上方に第３のＦＯＵＰが存在するか否かを示す被搬送物情報を管理装置１８Ｂに送信する。管理装置１８Ｂは、第１の通信デバイス１４Ｂから送信された被搬送物情報を受信する。
【０１５７】
第３の搬送台車は、第３の走行指示信号を受信した後に、第３の走行指示信号に基づいて、第３の走行計画を決定する。第３の走行計画は、現在位置から載置ポート３２ａの位置まで走行する最短経路である第３の経路を示す走行計画である。
【０１５８】
第３の搬送台車は、第３の走行計画に基づいて載置ポート３２ａの位置に到着したと仮定した場合に、第３の搬送台車が載置ポート３２ａの位置に到着したタイミング（第２の時刻に相当）において載置ポート３２ａの上方に第３のＦＯＵＰが存在するか否かを問い合わせるための問い合わせ信号を管理装置１８Ｂに送信する。
【０１５９】
管理装置１８Ｂは、第３の搬送台車から送信された問い合わせ信号に基づいて、レスポンス信号を第３の搬送台車に送信する。
【０１６０】
ここで、レスポンス信号が、載置ポート３２ａの上方に第３のＦＯＵＰが存在することを示す信号である場合には、第３の搬送台車は、当該レスポンス信号に基づいて、載置ポート３２ａから第３の搬送台車への第３のＦＯＵＰの荷掴みが可能であると判定し、第３の走行計画を採用する。その結果、第３の搬送台車は、第３の走行計画に基づいて、現在位置から載置ポート３２ａの位置まで第３の経路で走行する。
【０１６１】
一方、レスポンス信号が、載置ポート３２ａの上方に第３のＦＯＵＰが存在しないことを示す信号である場合には、第３の搬送台車は、当該レスポンス信号に基づいて、載置ポート３２ａから第３の搬送台車への第３のＦＯＵＰの荷掴みが不可であると判定し、第４の走行計画を決定し、決定した第４の走行計画を採用する。第４の走行計画は、載置ポート３２ａへの第３のＦＯＵＰの載置が完了した後に、第３の搬送台車が載置ポート３２ａの位置に到着する周回経路である、第３の経路よりも長い第４の経路を示す走行計画である。その結果、第３の搬送台車は、第４の走行計画に基づいて、載置ポート３２ａへの第３のＦＯＵＰの載置が完了するまでの間は載置ポート３２ａの位置を迂回しながら走行し、荷掴みが完了した後に第３の搬送台車が載置ポート３２ａの位置に到着するように第４の経路で走行する。
【０１６２】
（実施の形態４）
［４−１．搬送システムの機能構成］
図１０を参照しながら、実施の形態４に係る搬送システム２Ｃの機能構成について説明する。図１０は、実施の形態４に係る搬送システム２Ｃの機能構成を示すブロック図である。
【０１６３】
図１０に示すように、実施の形態４に係る搬送システム２Ｃでは、管理装置１８Ｃの構成が上記実施の形態１と異なっている。具体的には、管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃはハートビート信号を生成し、通信部７８は、生成されたハートビート信号を第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々に送信する。制御部８２Ｃは、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々からのハートビート信号に対する応答の有無に応じて、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々が通信可能な状態であるか否かを判定する。
【０１６４】
［４−２．管理装置の動作］
次に、図１１を参照しながら、実施の形態４に係る管理装置１８Ｃの動作について説明する。図１１は、実施の形態４に係る管理装置１８Ｃの動作を示すフローチャートである。
【０１６５】
図１１に示すように、まず、管理装置１８Ｃの通信部７８は、制御部８２Ｃにより生成されたハートビート信号を、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々に送信する（Ｓ４０１）。
【０１６６】
管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々からのハートビート信号に対する応答の有無を判定する（Ｓ４０２）。第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）からハートビート信号に対する応答があった場合には（Ｓ４０２でＹＥＳ）、管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）が通信可能な状態であると判定する（Ｓ４０３）。
【０１６７】
一方、第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）からハートビート信号に対する応答が無い場合には（Ｓ４０２でＮＯ）、管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）が通信不能な状態であると判定する（Ｓ４０４）。
【０１６８】
ステップＳ４０３又はＳ４０４の後に、管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、上記判定結果を記憶部８０に記憶させる（Ｓ４０５）。その後、管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、搬送台車６からの問い合わせ信号の有無を判定する（Ｓ４０６）。
【０１６９】
例えば、搬送台車６は、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でインターロック処理を行う前に、管理装置１８Ｃに対して、第１の通信デバイス１４が通信可能な状態であるか否かを問い合わせるための問い合わせ信号を送信する。管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、搬送台車６から問い合わせ信号が送信された場合には（Ｓ４０６でＹＥＳ）、記憶部８０に記憶された判定結果を示す判定結果信号を搬送台車６に送信する（Ｓ４０７）。なお、管理装置１８Ｃの制御部８２Ｃは、搬送台車６から問い合わせ信号が送信されない場合には（Ｓ４０６でＮＯ）、上述したステップＳ４０６に戻る。
【０１７０】
なお、搬送台車６は、例えば第１の通信デバイス１４が通信可能な状態であるという判定結果を受信した場合には、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でインターロック処理を開始する。一方、搬送台車６は、例えば第１の通信デバイス１４が通信不能な状態であるという判定結果を受信した場合には、その旨を制御装置８に通知する。この場合、搬送台車６は、制御装置８からの指示により、第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でのインターロック処理を保留し、第１の半導体製造装置１０を迂回するように走行する。
【０１７１】
その後、管理装置１８Ｃが処理を継続する場合には（Ｓ４０８でＹＥＳ）、上述したステップＳ４０１に戻る。一方、管理装置１８Ｃが処理を継続しない場合には（Ｓ４０８でＮＯ）、処理を終了する。
【０１７２】
［４−３．効果］
本実施の形態では、管理装置１８Ｃは、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々が通信可能な状態であるか否かを把握することができる。搬送台車６は、管理装置１８Ｃの判定結果に応じて、例えば第１の半導体製造装置１０の載置ポート３２ａとの間でインターロック処理を開始するか否かを的確に判定することができる。
【０１７３】
例えば、搬送台車６は、第１の通信デバイス１４と一時的に通信できない場合に、所定の経路を周回してから載置ポート３２ａに到着する走行経路を示す走行計画を採用してもよい。これにより、搬送台車６は、第１の通信デバイス１４との間の通信が回復した後に、載置ポート３２ａに到着することができる。これにより、搬送台車６が載置ポート３２ａに到着してから通信の回復を待たなくてよいため、複数の搬送台車６による渋滞の発生を軽減することができ、搬送効率を高めることができる。
【０１７４】
また、本実施の形態で説明した管理装置１８Ｃを備えていない比較例に係る搬送システムでは、例えば計８０００台の通信デバイスが設置されている場合、上位システムから８０００台全ての通信デバイスに対してハートビート信号を送信する必要がある。しかしながら、このような場合には、無線通信経路の上位から下位へのＬＡＮ帯域が圧迫されるため、搬送台車６の無線通信に支障が生じるおそれがある。
【０１７５】
これに対して、本実施の形態では、例えば、計８０００台の通信デバイスを８０個の管理装置１８Ｃで分担して管理することができる。この場合、管理装置１８Ｃは１台あたり、１００台の通信デバイスの各々に対してハートビート信号を送信する。これにより、無線通信経路のＬＡＮ帯域が圧迫されるのを抑制することができる。
【０１７６】
また、上位システムは、８０００台全ての通信デバイスの通信状態を確認する場合には、８０台の管理装置１８Ｃの各々から、対応する１００台分の通信デバイスの通信状況を一括して効率良く取得することができる。
【０１７７】
［４−４．変形例］
本実施の形態では、管理装置１８ＣがＬＡＮケーブル４６を介して第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々と接続されている場合について説明したが、管理装置１８Ｃが無線通信のみに対応している場合には、例えば次のように構成してもよい。すなわち、搬送台車６は、例えば無線アクセスポイント２０を介して第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）に対してインターロック処理の通信を実行しようとした際に、第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）からの応答が無い場合には、第１の通信デバイス１４（又は第２の通信デバイス１６）が通信不能な状態であると判定してもよい。
【０１７８】
この場合、搬送台車６は、当該判定結果を、無線アクセスポイント２０を介して管理装置１８Ｃに通知する。これにより、管理装置１８Ｃは、第１の通信デバイス１４及び第２の通信デバイス１６の各々が通信可能な状態であるか否かを把握することができる。
【０１７９】
（他の変形例等）
以上、本発明の搬送システムの制御方法、搬送システム及び管理装置について、実施の形態１〜４に基づいて説明したが、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではない。上記各実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、上記各実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。
【０１８０】
上記各実施の形態では、第１の半導体製造装置１０に対して第１の通信デバイス１４（１４Ｂ）を１台接続したが、これに限定されず、複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃ毎に第１の通信デバイス１４（１４Ｂ）を１台ずつ接続してもよい。この場合には、管理装置１８（１８ａ，１８ｂ，１８Ｂ，１８Ｃ）に記憶された管理テーブルは、例えば、第１の半導体製造装置１０のステーション番号と、複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃの各ロードポート番号と、複数の載置ポート３２ａ，３２ｂ，３２ｃにそれぞれ接続された複数の第１の通信デバイス１４（１４Ｂ）の各ＩＰアドレスとが対応付けられる。この場合では、ステーション番号及びロードポート番号の組み合わせが、ＦＯＵＰ４の移載位置を示す移載位置情報の一例である。
【０１８１】
上記各実施の形態では、搬送台車６（６Ａ，６Ｂａ，６Ｂｂ）は、無線アクセスポイント２０を介して、第１の通信デバイス１４（１４Ｂ）及び第２の通信デバイス１６（１６Ｂ）の各々と無線通信するようにしたが、これに限定されない。例えば、搬送台車６（６Ａ，６Ｂａ，６Ｂｂ）は、無線アクセスポイント２０を介さずに、第１の通信デバイス１４（１４Ｂ）及び第２の通信デバイス１６（１６Ｂ）の各々と直接的に無線通信してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１８２】
本発明の搬送システムは、例えば天井に設置されたレールに沿って走行する搬送台車によりＦＯＵＰを搬送するための半導体製造システム等に適用することができる。
【符号の説明】
【０１８３】
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ  搬送システム
４  ＦＯＵＰ（第１のＦＯＵＰ、第２のＦＯＵＰ）
６，６Ａ  搬送台車
６Ｂａ  第１の搬送台車
６Ｂｂ  第２の搬送台車
８，８Ａ  制御装置
１０  第１の半導体製造装置
１２  第２の半導体製造装置
１４，１４Ｂ  第１の通信デバイス
１６，１６Ｂ  第２の通信デバイス
１８，１８Ｂ，１８Ｃ  管理装置
１８ａ  第１の管理装置
１８ｂ  第２の管理装置
２０  無線アクセスポイント
２２  レール
２４  給電経路
２６  把持部
２８  フィーダー線
３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３４ａ，３４ｂ，３４ｃ  搬入出口
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３６ａ，３６ｂ，３６ｃ  載置ポート
３８，４２  パラレルケーブル
４０，４６  ＬＡＮケーブル
４８  無線ネットワーク
５０，５０Ａ，５６，５６Ａ，６２，６６，７０，７４，７８，７８ａ，７８ｂ  通信部
５２，５２Ａ，５８，５８Ａ，８０，８０ａ，８０ｂ  記憶部
５４，５４Ａ，５４Ｂ，６０，６０Ａ，６４，６８，７２，７２Ｂ，７６，７６Ｂ，８２，８２ａ，８２ｂ，８２Ｂ，８２Ｃ  制御部
【図１】
2019138802.tif 000003
【図２】
2019138802.tif 000004
【図３】
2019138802.tif 000005
【図４】
2019138802.tif 000006
【図５】
2019138802.tif 000007
【図６】
2019138802.tif 000008
【図７】
2019138802.tif 000009
【図８】
2019138802.tif 000010
【図９】
2019138802.tif 000011
【図１０】
2019138802.tif 000012
【図１１】
2019138802.tif 000013
【国際調査報告】
2019138802.tif 000014
2019138802.tif 000015