(57)【要約】本発明は、フォトスペーサーの高さのばらつきを抑制した、塑性変形しにくい、すなわち高弾性復元率のフォトスペーサーを両立して形成することができる、透明感光性樹脂組成物と、これを用いたフォトスペーサー、液晶表示装置、フォトスペーサーの製造方法、液晶表示装置の製造方法および透明感光性樹脂組成物のレンズスキャン露光への使用を提供することを目的とする。本発明は、少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤および重合性モノマーを含有する透明感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂がＡ）下記一般式（１）で表される構造単位と、Ｂ）下記一般式（２）で表される構造単位と、Ｃ）下記一般式（３）で表される構造単位を有し、前記アルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量が４００ｇ／ｍｏｌ以下である透明感光性樹脂組成物。【化１】2019059169.tif 000020（上記一般式（１）中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を示す。）【化２】2019059169.tif 000021（上記一般式（２）中、Ｒ２およびＲ３はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示す。Ｘは−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）Ｏ（ＣＨ２）ｍＯ（Ｃ＝Ｏ）−または−（ＣＨ２）ｎＯ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ２ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−を示す。ただし、ｍおよびｎはそれぞれ独立に１〜４の整数を示す。）【化３】2019059169.tif 000022（上記一般式（３）中、Ｙは置換基を有していてもよい炭素数６〜１１のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数７〜１０のアラルキル基または置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示す。）
2019059169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤および重合性モノマーを含有する透明感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂が
Ａ）下記一般式（１）で表される構造単位と、
Ｂ）下記一般式（２）で表される構造単位と、
Ｃ）下記一般式（３）で表される構造単位を有し、
前記アルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量が４００ｇ／ｍｏｌ以下である透明感光性樹脂組成物。
【化１】
2019059169.tif 000014
（上記一般式（１）中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を示す。）
【化２】
2019059169.tif 000015
（上記一般式（２）中、Ｒ２およびＲ３はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示す。Ｘは−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）Ｏ（ＣＨ２）ｍＯ（Ｃ＝Ｏ）−または−（ＣＨ２）ｎＯ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ２ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−を示す。ただし、ｍおよびｎはそれぞれ独立に１〜４の整数を示す。）
【化３】
2019059169.tif 000016
（上記一般式（３）中、Ｙは置換基を有していてもよい炭素数６〜１１のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数７〜１０のアラルキル基または置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示す。）
【請求項２】
前記一般式（３）中、Ｙが置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基である請求項１記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記一般式（３）中、Ｙがシクロヘキシル基である請求項１または２記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記一般式（１）中、Ｒ１がメチル基である請求項１〜３のいずれか一項記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記アルカリ可溶性樹脂の構造単位の総和を１００ｍｏｌ％としたときの一般式（３）で表される構造単位量が１０〜２３ｍｏｌ％である請求項１〜４のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が１０，０００〜１００，０００である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記アルカリ可溶性樹脂の酸価が６０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇである、請求項１〜６のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記重合性モノマー１００質量部に対して、前記アルカリ可溶性樹脂を３４〜６６質量部含有する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項９】
硬化後膜厚３μｍになるように塗布し、２５℃、４５Ｐａの条件で２００秒間減圧乾燥した後、１０５℃のオーブンで１０分間加熱乾燥した後の２３℃における粘度が１×１０３〜１×１０８Ｐａ・ｓとなる、請求項１〜８のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
上底面の直径が６μｍ、下底面の直径が９μｍ、高さが３μｍの円錐台状フォトスペーサーを形成し、５０ｍＮの荷重をかけたときの弾性復元率が７０％以上となる、請求項１〜９のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
レンズスキャン露光用である請求項１〜１０のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物の硬化物を用いたフォトスペーサー。
【請求項１３】
請求項１２記載のフォトスペーサーを用いた液晶表示装置。
【請求項１４】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の透明感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥してプリベイク膜を得て、プリベイク膜をレンズスキャン露光および現像することによりフォトスペーサーを形成する、フォトスペーサーの製造方法。
【請求項１５】
前記プリベイク膜の２３℃における粘度が１×１０３〜１×１０８Ｐａ・ｓである、請求項１４に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項１６】
カラーフィルター基板と、駆動素子側基板とを対向させて、両者の間に液晶化合物を封入する、液晶表示装置の製造方法であって、カラーフィルター基板および／または駆動素子側基板上に請求項１４または１５記載の製造方法によりフォトスペーサーを製造する工程を有する、液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤および重合性モノマーを含有する透明感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂が
Ａ）下記一般式（１）で表される構造単位と、
Ｂ）下記一般式（２）で表される構造単位と、
Ｃ）下記一般式（３）で表される構造単位を有し、
前記アルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量が４００ｇ／ｍｏｌ以下である透明感光性樹脂組成物のレンズスキャン露光への使用。
【化４】
2019059169.tif 000017
（上記一般式（１）中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を示す。）
【化５】
2019059169.tif 000018
（上記一般式（２）中、Ｒ２およびＲ３はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示す。Ｘは−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）Ｏ（ＣＨ２）ｍＯ（Ｃ＝Ｏ）−または−（ＣＨ２）ｎＯ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ２ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−を示す。ただし、ｍおよびｎはそれぞれ独立に１〜４の整数を示す。）
【化６】
2019059169.tif 000019
（上記一般式（３）中、Ｙは置換基を有していてもよい炭素数６〜１１のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数７〜１０のアラルキル基または置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示す。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明感光性樹脂組成物、フォトスペーサー、液晶表示装置、フォトスペーサーの製造方法、液晶表示装置の製造方法および透明感光性樹脂組成物のレンズスキャン露光への使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、軽量、薄型、低消費電力等の特性を活かし、ノートパソコン、携帯情報端末、スマートフォン、デジタルカメラおよびデスクトップモニタ等の様々な用途で使用されている。【０００３】
液晶表示装置は、カラーフィルター基板とＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板との間に、所定の配向により画像表示を可能とする液晶層を備えており、これらの基板の間隔（セルギャップ）を均一に保つことは、画質を左右する重要な要素の一つである。【０００４】
従来は、セルギャップを均一に保つために、所定の粒子径を有するガラスやアルミナ等のスペーサー粒子が使用されていた。これらスペーサー粒子は基板上にランダムに散布されるため、膜厚ばらつきによる表示ムラなどの課題があった。【０００５】
かかる課題に対して、支持体フィルムと膜厚が１〜１０μｍである感光性樹脂層とからなる液晶ディスプレー用の樹脂スペーサーの形成に用いられる樹脂スペーサー形成用感光性フィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、特許文献１に記載された樹脂スペーサーを用いても、カラーフィルターとＴＦＴアレイ基板との組み立て（セル圧着）時に塑性変形するため、スペーサーの高さばらつきにより、なお表示ムラが生じやすい課題があった。【０００６】
スペーサーの塑性変形を抑制する技術として、これまでに、基板上の非表示部領域に複数の柱状スペーサーを設けてなり、当該柱状スペーサーは室温において２．０ＧＰａの圧縮荷重に対して弾性変形率が６０％以上であることを特徴とする、液晶パネル用基板（例えば、特許文献２参照）や、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、及び重合性モノマーを主成分とするスペーサー用感光性樹脂組成物であって、これら感光性樹脂組成物全体のアクリル当量が２００以下であることを特徴とするスペーサー用感光性樹脂組成物（例えば、特許文献３参照）などが提案されている。【０００７】
一方で、面取り数を増やして歩留まりを向上させるために、マザーガラス基板の大型化が進んでおり、小さなマスクを使用して広い露光領域を有する基板を露光する技術として、基板搬送手段によって一定速度で一定方向に搬送されている状態の基板に対して、露光部で連続光源からの露光光を露光光学系の光路上に設けたマスクの開口部を通して照射し、前記基板上に前記開口部の像を転写するスキャン露光方法が提案されている（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−１７４４６４号公報
【特許文献２】特開２００３−２４１１９９号公報
【特許文献３】特開２００５−２９２２６９号公報
【特許文献４】特開２００６−２９２９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２、３に記載の柱状スペーサーの弾性変形率を高くする手段としては、感光性樹脂組成物に官能基数の多いモノマーを多量に含有する方法が挙げられるが、モノマーを多量に含有する感光性樹脂組成物の塗布膜は、乾燥後であっても流動性が高く、生産工程において膜厚ムラが生じやすいことから、フォトスペーサーの高さにばらつきが生じやすい課題があった。【００１０】
一方、特許文献４のスキャン露光方法において、特に複数のレンズを二列に並べるレンズスキャン方式の露光においては、通常部よりも露光量が低くなるレンズとレンズとの継目の部分において、２回の露光で通常部と同一露光量になるように設計されており、広範囲の焼付けが可能となっている。【００１１】
しかしながら、特許文献２、３に記載されるようなモノマーを多量に含有する感光性樹脂組成物をレンズスキャン方式により露光すると、レンズとレンズとの継目の部分で形成されるフォトスペーサーの高さのばらつきが大きくなる課題があった。フォトスペーサーの高さのばらつきは液晶表示装置の表示ムラの原因となるため、フォトスペーサーを均一な高さに形成することが求められている。【００１２】
また、従来の露光方式であるプロキシミティ方式の露光の場合、フォトスペーサー間の距離が１５μｍ程度以下になると、回折光の影響により、フォトスペーサー同士が連結しやすい傾向にある。かかる連結を回避するために、一つの版をずらして多重露光するマルチパターニングが提案されている。しかしながら、マルチパターニングにおいても、最初の露光後のプリベイク膜の流動により、次の露光部分の膜厚が薄くなり、フォトスペーサーの高さのばらつきが大きくなる課題があった。【００１３】
そこで本発明は、フォトスペーサーの高さのばらつきを抑制した、塑性変形しにくい、すなわち高弾性復元率のフォトスペーサーを両立して形成することができる、透明感光性樹脂組成物と、これを用いたフォトスペーサー、液晶表示装置、フォトスペーサーの製造方法、液晶表示装置の製造方法および透明感光性樹脂組成物のレンズスキャン露光への使用を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明は主として以下の構成を有する。
少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤および重合性モノマーを含有する透明感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂が
Ａ）下記一般式（１）で表される構造単位と、
Ｂ）下記一般式（２）で表される構造単位と、
Ｃ）下記一般式（３）で表される構造単位を有し、
前記アルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量が４００ｇ／ｍｏｌ以下である透明感光性樹脂組成物。【００１５】
【化１】
2019059169.tif 000003
【００１６】
上記一般式（１）中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を示す。【００１７】
【化２】
2019059169.tif 000004
【００１８】
上記一般式（２）中、Ｒ２およびＲ３はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示す。Ｘは−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）Ｏ（ＣＨ２）ｍＯ（Ｃ＝Ｏ）−または−（ＣＨ２）ｎＯ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ２ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−を示す。ただし、ｍおよびｎはそれぞれ独立に１〜４の整数を示す。【００１９】
【化３】
2019059169.tif 000005
【００２０】
上記一般式（３）中、Ｙは置換基を有していてもよい炭素数６〜１１のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数７〜１０のアラルキル基または置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示す。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の透明感光性樹脂組成物によれば、フォトスペーサーの高さのばらつきが大きくなりやすいレンズスキャン方式やプロキシミティ方式で露光した場合においても、高さのばらつきを抑制した、高弾性復元率のフォトスペーサーを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】フォトスペーサーの弾性特性を表すヒステリシス曲線の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の透明感光性樹脂組成物（以下、「感光性樹脂組成物」と記載する場合がある）は、少なくともアルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤および重合性モノマーを含有する。光重合開始剤および重合性モノマーを含有することにより、露光部を光硬化し、アルカリ現像液に対して不溶化させることができ、アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、アルカリ現像液を用いて未露光部を除去することができることから、露光および現像により所望のパターンを形成することができる。
【００２４】
本発明における「透明」とは、感光性樹脂組成物を光硬化させて厚さ３μｍの硬化膜としたときの、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率が８０％以上であることを言う。本発明の感光性樹脂組成物は、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率を高くするために、顔料や染料などの着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
【００２５】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂とは、後述する一般式（１）で表される構造単位を有する樹脂を言う。カルボキシル基を有することにより、アルカリ現像液に対する溶解性を高めることができる。
【００２６】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、Ａ）下記一般式（１）で表される構造単位と、Ｂ）下記一般式（２）で表される構造単位と、Ｃ）下記一般式（３）で表される構造単位を有する。下記一般式（１）で表される構造単位を有することにより、アルカリ現像液に対する樹脂の溶解性を向上させることができる。下記一般式（２）で表される構造単位を有することにより、アルカリ可溶性樹脂の側鎖にエチレン性不飽和基を導入して、露光および現像における感度とフォトスペーサーの弾性復元率を向上させることができる。下記一般式（３）で表される構造単位を有することにより、フォトスペーサーの高さのばらつきを抑制することができる。
【００２７】
【化４】
2019059169.tif 000006
【００２８】
上記一般式（１）中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を示す。Ｒ１はメチル基が好ましく、プリベイク膜の粘度を高め、高さのばらつきをより抑制することができる。
【００２９】
【化５】
2019059169.tif 000007
【００３０】
上記一般式（２）中、Ｒ２およびＲ３はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示す。Ｘは−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＮＨ（Ｃ＝Ｏ）Ｏ（ＣＨ２）ｍＯ（Ｃ＝Ｏ）−または−（ＣＨ２）ｎＯ（Ｃ＝Ｏ）ＮＨＣＨ２ＣＨ２Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−を示す。ただし、ｍおよびｎはそれぞれ独立に１〜４の整数を示す。
【００３１】
【化６】
2019059169.tif 000008
【００３２】
上記一般式（３）中、Ｙは置換基を有していてもよい炭素数６〜１１のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数７〜１０のアラルキル基または置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示す。Ｙは置換基を有していてもよい炭素数３〜１０のシクロアルキル基が好ましく、シクロヘキシル基がより好ましく、プリベイク膜の粘度をより高め、高さのばらつきをより抑制することができる。
【００３３】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、例えば、前記一般式（１）で表される構造単位を構成する共重合成分、前記一般式（２）で表される構造単位を構成する共重合成分および前記一般式（３）で表される構造単位を構成する共重合成分を共重合することにより得ることができる。さらに他の共重合成分を共重合してもよい。
【００３４】
前記一般式（１）で表される構造単位と前記一般式（３）で表される構造単位を有するアクリル重合体のカルボキシル基に対して、グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物を付加反応させることにより、前記一般式（２）で表される構造単位を導入することができる。同様にして、前記一般式（１）で表される構造単位と前記一般式（３）で表される構造単位を有するアクリル重合体のグリシジル基、水酸基、イソシアネート基に対して、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物、水酸基を有するエチレン性不飽和化合物をそれぞれ付加反応させることによっても、前記一般式（２）で表される構造単位を導入することができる。
【００３５】
前記一般式（１）で表される構造単位を構成する共重合成分としては、例えば、（メタ）アクリル酸などが挙げられる。これらを２種以上用いてもよい。これらの中でも、メタクリル酸が好ましく、プリベイク膜の粘度をより高め、高さのばらつきをより抑制することができる。
【００３６】
前記一般式（２）で表される構造単位を構成する共重合成分としては、例えば、（メタ）アクリル酸；グリシジル（メタ）アクリレート、２−イソシアナトエチルメタクリレートや２−ヒドロキシエチル（メタ）クリレートなどが挙げられる。これらを２種以上用いてもよい。これらの中でも、（メタ）アクリル酸にグリシジル（メタ）アクリレートを付加することが好ましい。
【００３７】
前記一般式（３）で表される構造単位を構成する共重合成分としては、例えば、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどが挙げられる。これらを２種以上用いてもよい。これらの中でもＮ−シクロヘキシルマレイミドが好ましく、プリベイク膜の粘度をより高め、高さのばらつきをより抑制することができる。
【００３８】
他の共重合成分としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ペンチル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸アルキルエステル；アミノエチルアクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル、フタル酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）等の多価カルボン酸モノエステル；スチレン、ｐ−メチルスチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル；（メタ）アクリロニトリル、α−クロル（メタ）アクリロニトリル等のシアン化ビニル化合物；１，３−ブタジエン、イソプレン等の脂肪族共役ジエン；ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートなどのトリシクロデカン骨格またはジシクロペンタジエン骨格を有するエチレン性不飽和化合物；クロトン酸、ビニル酢酸などのモノカルボン酸またはその酸無水物；イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などのジカルボン酸またはその酸無水物などが挙げられる。
【００３９】
アルカリ可溶性樹脂の構造単位の総和を１００ｍｏｌ％としたとき、前記一般式（３）で表される構造単位量は、１０〜２３ｍｏｌ％が好ましい。前記一般式（３）で表される構造単位量が１０ｍｏｌ％以上であると、乾燥粘度をより高めることができ、１５ｍｏｌ％以上であるとプリベイク膜の粘度をより高めることができ好ましい。一方、前記一般式（３）で表される構造単位量が２３ｍｏｌ％以下であると、エチレン性不飽和結合当量と酸価を、後述する好ましい範囲に容易に調整することができる。
【００４０】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量は、４００ｇ／ｍｏｌ以下である。エチレン性不飽和基当量が４００ｇ／ｍｏｌを超えると、フォトスペーサーの架橋密度が低下し、弾性復元率が低下する。アルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量は、３６０ｇ／ｍｏｌ以下が好ましく、３００ｇ／ｍｏｌ以下がより好ましい。
【００４１】
ここで、エチレン性不飽和基当量とは、エチレン性不飽和基１モルに対するグラム数のことをいい、その値が小さい方が、含まれるエチレン性不飽和基の量が多くなる。例えば、エチレン性不飽和基を有するＢ）前記一般式（２）で表される構造単位の含有比率が高いほど、エチレン性不飽和基当量は小さくなる。アルカリ可溶性樹脂のエチレン性不飽和基当量は、エチレン性不飽和基を有する化合物の共重合比により所望の範囲に調整することができる。なお、エチレン性不飽和基当量は、ＪＩＳ  Ｋ  ００７０：１９９２の試験方法第６．０項に記載の方法によりヨウ素価を測定することによって算出することができる。
【００４２】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（「Ｍｗ」）は、１０，０００〜１００，０００が好ましい。Ｍｗを１０，０００以上とすることにより、プリベイク膜の粘度を高め、高さのばらつきをより抑制することができる。Ｍｗは２０，０００以上がより好ましい。一方、Ｍｗを１００，０００以下とすることにより、パターン表面の凹凸を抑制し、パターンの表面形状を向上させることができる。Ｍｗは８０，０００以下がより好ましい。ここで、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のＭｗは、標準ポリスチレンによる換算値であり、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーを用いて測定することができる。
【００４３】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の酸価は、６０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。酸価を６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることにより、高さばらつきをより低減することができる。酸価は６５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。一方、酸価を１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることにより、パターン表面の凹凸を抑制し、パターンの表面形状を向上させることができる。酸価は９５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。アルカリ可溶性樹脂の酸価は、カルボキシル基を有する化合物の共重合比により所望の範囲に調整することができる。ここで、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の酸価は、ＪＩＳ  Ｋ  ００７０：１９９２の試験方法第３．１項の中和滴定法により求めることができる。なお、固形分濃度３０質量％程度のアルカリ可溶性樹脂溶液を用いて測定する場合には、アルカリ可溶性樹脂溶液５ｇをアルミ製カップ（φ４５ｍｍ）に入れ、１３０℃で１時間加熱して溶剤を除去することにより、酸価の測定に必要な量のアルカリ可溶性樹脂固形分を得ることができる。
【００４４】
アルカリ可溶性樹脂が（メタ）アクリル酸にグリシジル（メタ）アクリレートを付加して得られるものである場合、アルカリ可溶性樹脂とともに、未反応のグリシジル（メタ）アクリレートが残存する場合がある。グリシジル（メタ）アクリレートの残存量は、上記で求めた方法での固形分あたり０．００１〜０．５００質量％が好ましい。グリシジル（メタ）アクリレートの残存量を０．００１質量％以上とすることにより、グリシジル（メタ）アクリレートの除去のための加熱時間が長くならずに済み、加熱によるアルカリ可溶性樹脂のゲル化を抑制することができる。一方、グリシジル（メタ）アクリレートの残存量を０．５００質量％以下とすることにより、現像時の欠落を抑制することができる。０．２％以下がより好ましく、０．０３％以下がさらにより好ましい。ここで、アルカリ可溶性樹脂のグリシジル（メタ）アクリレートの残存量は、アルカリ可溶性樹脂溶液からガスクロマトグラフィーを用いて測定したグリシジル（メタ）アクリレート量とアルカリ樹脂溶液の固形分濃度とから求めることができる。
【００４５】
本発明の感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量は、後述する重合性モノマー１００質量部に対して２５〜８２質量部が好ましい。アルカリ可溶性樹脂の含有量を２５質量部以上とすることにより、高さばらつきをより抑制することができる。アルカリ可溶性樹脂の含有量は、３４質量部以上がより好ましい。一方、アルカリ可溶性樹脂の含有量を８２質量部以下とすることにより、弾性復元率をより向上させることができる。アルカリ可溶性樹脂の含有量は、６６質量部以下がより好ましく、６２質量部以下がより好ましく、５５質量部以下がさらに好ましく、４０質量部以下がさらに好ましい。
【００４６】
本発明における光重合開始剤とは、光（紫外線または電子線を含む）により分解および／または反応し、ラジカルを発生させる化合物を言う。本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含有することにより、感度を向上させることができる。光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル系化合物、アルキルフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、イミダゾール系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾオキサゾール系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物、チタノセン系化合物などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。
【００４７】
オキシムエステル系化合物としては、例えば、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、“オプトマー”（商標登録）Ｎ−１９１９、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、いずれも（株）ＡＤＥＫＡ製）、“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”（商標登録）ＯＸＥ０１、ＯＸＥ０２、ＯＸＥ０３（以上、いずれもＢＡＳＦジャパン（株）製）などが挙げられる。
【００４８】
アルキルフェノン系化合物としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”（商標登録）９０７（ＢＡＳＦジャパン（株）製）などが挙げられる。
【００４９】
ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００５０】
チオキサントン系化合物としては、例えば、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２,４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソピルチオキサントン、１−クロロ−４−プロピルチオキサントン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが挙げられる。
【００５１】
イミダゾール系化合物としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体などが挙げられる。
【００５２】
ベンゾチアゾール系化合物としては、例えば、２−メルカプトベンゾチアゾールなどが挙げられる。
【００５３】
ベンゾオキサゾール系化合物としては、例えば、２−メルカプトベンゾオキサゾールなどが挙げられる。
【００５４】
アシルフォスフィンオキサイド系化合物としては、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。
【００５５】
チタノセン系化合物としては、例えば、ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウムなどが挙げられる。
【００５６】
これらの中でも、感度をより向上させる観点から、オキシムエステル系化合物、アルキルフェノン系化合物が好ましい。オキシムエステル系化合物の中でも“アデカアークルズ”（商標登録）Ｎ−１９１９がより好ましく、アルキルフェノン系化合物の中でも“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”（商標登録）９０７がより好ましい。
【００５７】
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤の含有量は、アルカリ可溶性樹脂および重合性モノマーの合計含有量１００質量部に対して２〜３０質量部が好ましく、５〜２５質量部がさらに好ましい。
【００５８】
本発明における重合性モノマーとは、少なくとも一つのエチレン性不飽和結合を有するモノマーを言う。重合性モノマーとしては、例えば、単官能または多官能のモノマーやオリゴマーなどが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。なお架橋密度が高まり弾性復元率が向上することから、多官能モノマーが好ましい。
【００５９】
多官能の重合性モノマーとしては、例えば、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリアクリルホルマール、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、９，９−ビス［４−（３−アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル］フルオレン、９，９−ビス［３−メチル−４−（３−アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル］フルオレン、９，９−ビス［３−クロロ−４−（３−アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル］フルオレン、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートと無水コハク酸との反応物などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。
【００６０】
これらの中でも、プリベイク膜の粘度、露光感度および加工性を所望の範囲に調整しやすくする観点から、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの組み合わせや、これらと無水コハク酸との反応物が好ましい。
【００６１】
本発明の感光性樹脂組成物は、フィラー、増感助剤、紫外線吸収剤、密着改良剤、界面活性剤、重合禁止剤、前述のアルカリ可溶性以外の高分子化合物、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤や溶剤を含有してもよい。
【００６２】
本発明の感光性樹脂組成物は、フィラーを含有することにより、プリベイク膜の乾燥後の粘度をより高めて、高さばらつきをより抑制することができる。フィラーとしては、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、硫酸バリウム等の無機酸化物粒子；金属粒子；アクリル、スチレン、シリコーン、フッ素含有ポリマー等の樹脂粒子などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。これらの中でも、粒子径と分散性の観点から、シリカ粒子が好ましい。フィラーの比表面積換算の平均粒子径は、４〜１２０ｎｍが好ましい。フィラーの平均粒子径が４ｎｍ以上であると、高さばらつきをより抑制ことができる。一方、粒子径が１２０ｎｍ以下であると、パターン表面の凹凸を抑制し、パターンの表面形状を向上させることができる。
【００６３】
本発明の感光性樹脂組成物は、増感助剤を含有することにより、感度を向上させることができる。増感助剤としては、例えば、芳香族または脂肪族の第３級アミン等が挙げられる。
【００６４】
本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有することにより、透明性が高く、微細でテーパーの短いフォトスペーサーを容易に形成することができる。紫外線吸収剤としては、透明性および非着色性の観点から、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物などの有機化合物系紫外線吸収剤が好ましい。これらを２種以上含有してもよい。これらの中でも、ベンゾトリアゾール系化合物が好ましい。
【００６５】
ベンゾトリアゾール系化合物としては、例えば、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−ｐ−クレゾール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４−６−ビス（１−メチル−１−フェニルエチル）フェノール、２−［５クロロ（２Ｈ）−ベンゾトリアゾール−２−イル］−４−メチル−６−（ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、２，４ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−６−（５−クロロベンゾトリアゾール−２−イル）フェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）フェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４，６−ｔｅｒｔ−ペンチルフェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール、２（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−６−ドデシル−４−メチルフェノール、２［２−ヒドロキシ−３−（３，４，５，６テトラヒドロフタルイミド−メチル）−５−メチルフェニル］ベンゾトリアゾールなどが挙げられる。
【００６６】
ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、オクタベンゾン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００６７】
トリアジン系化合物としては、例えば、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５トリアジン−２−イル）−５−［（ヘキシル）オキシ］−フェノールが挙げられる。
【００６８】
本発明の感光性樹脂組成物における紫外線吸収剤の含有量は、固形分中０．３〜１０質量％が好ましい。紫外線吸収剤の含有量を０．３質量％以上とすることにより、テーパー部をより短くすることができる。紫外線吸収剤の含有量は、２質量%以上がより好ましい。一方、紫外線吸収剤の含有量を１０質量％以下とすることにより、感度を高く維持することができる。紫外線吸収剤の含有量は、８質量%以下がより好ましい。なお、固形分とは、感光性樹脂組成物に含まれる溶媒を除く成分をいう。
【００６９】
密着改良剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のシランカップリング剤などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。
【００７０】
本発明の感光性樹脂組成物における密着改良剤の含有量は、固形分中０．１〜２０質量％が好ましい。密着改良剤の含有量を０．１質量％以上とすることにより、現像密着性を向上させることができる。密着改良剤の含有量は、０．５質量％以上がより好ましい。一方、密着改良剤の含有量を２０質量％以下とすることにより、アルカリ可溶性樹脂や重合性モノマーの凝集を抑制することができる。密着改良剤の含有量は、１０質量%以下がより好ましい。
【００７１】
界面活性剤としては、例えば、ラウリル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノールアミン等の陰イオン界面活性剤；ステアリルアミンアセテート、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等の陽イオン界面活性剤；ラウリルジメチルアミンオキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチルイミダゾリウムベタイン等の両性界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレート等の非イオン界面活性剤；パーフルオロブチルスルホン酸塩、パーフルオロアルキル基含有カルボン酸塩、パーフルオロアルキル基含有トリメチルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル基含有リン酸エステル、若しくはパーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物等のフッ素系界面活性剤；ポリエーテル変性ポリメチルアルキルシロキサン、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、ポリエステル変性ポリジメチルシロキサン、ポリエステル変性メチルアルキルポリシロキサン、アラルキル変性ポリメチルアルキルシロキサン、ポリエーテル変性水酸基含有ポリジメチルシロキサン、ポリエステル変性水酸基含有ポリジメチルシロキサン等のシリコーン系界面活性剤などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。これらの中でも、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン“ＢＹＫ”（登録商標）３３３（ビックケミー社製）が好ましい。
【００７２】
本発明の感光性樹脂組成物における界面活性剤の含有量は、固形分中０．００１〜１０質量％が好ましい。界面活性剤の含有量を０．００１質量％以上とすることにより、感光性樹脂組成物の塗布性を向上させることができる。界面活性剤の含有量は、０．０１質量％以上がより好ましい。一方、界面活性材の含有量を１０質量％以下とすることにより、パターン表面の凹凸を抑制し、パターンの表面形状を向上させることができる。界面活性剤の含有量は、１質量%以下がより好ましい。
【００７３】
重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ビス（１，１，３，３−テトラメチルブチル）ヒドロキノン、２，５−ビス（１，１−ジメチルブチル）などのヒドロキノンヒドロキノン系重合禁止剤；カテコール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコールなどのカテコール系重合禁止剤などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。
【００７４】
本発明の感光性樹脂組成物における重合禁止剤の含有量は、固形分中０．０１〜０．５質量％が好ましい。重合禁止剤の含有量を０．０１質量％以上とすることにより、感光性樹脂組成物の経時保存安定性を向上することができる。一方、重合禁止剤の含有量を０．５質量％以下とすることにより、極性溶媒浸漬時の感度低下による膜表面の浸食やシミの発生を抑制することができる。
【００７５】
前記アルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物としては、例えば、一般式（１）〜（３）で表される構造単位を有しないアクリル樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリエーテル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリイミド前駆体などが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。
【００７６】
溶剤としては、エーテル系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、キシレン、エチルベンゼン、ソルベントナフサなどが挙げられる。これらを２種以上含有してもよい。
【００７７】
エーテル系溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールターシャリーブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルなどが挙げられる。これらの中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルが好ましい。
【００７８】
エステル系溶剤としては、例えば、ベンジルアセテート、エチルベンゾエート、γ−ブチロラクトン、メチルベンゾエート、マロン酸ジエチル、２−エチルヘキシルアセテート、２−ブトキシエチルアセテート、３−メトキシ−ブチルアセテート、３−メトキシ−３−メチル−ブチルアセテート、シュウ酸ジエチル、アセト酢酸エチル、３−メトキシ−ブチルアセテート、アセト酢酸メチル、エチル−３−エトキシプロピオネート、２−エチルブチルアセテート、イソペンチルプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、酢酸ペンチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールターシャリーブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソペンチルなどが挙げられる。これらの中でも、３−メトキシ−ブチルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネートなどが好ましい。
【００７９】
アルコール系溶剤としては、例えば、ブタノール、３−メチル−２−ブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノールが挙げられる。
【００８０】
ケトン系溶剤としては、例えば、シクロペンタノン、シクロヘキサノンが挙げられる。
【００８１】
本発明の感光性樹脂組成物は、硬化後膜厚３μｍになるように塗布し、２５℃、４５Ｐａの条件で２００秒間減圧乾燥した後、１０５℃のオーブンで１０分間加熱乾燥した後の２３℃における粘度が１×１０３〜１×１０８Ｐａ・ｓとなることが好ましい。かかる粘度を有することにより、後述するフォトスペーサーの製造方法に好適に用いることができる。ここで、乾燥した後の２３℃における粘度とは、乾燥した後の感光性樹脂組成物９０ｍｍ３以上を採取し、レオメーター（ＭＣＲ−３０２；アントンパール（株）製）とφ１５ｍｍのプレートを用いて、測定厚み：０．５ｍｍ、周波数：１Ｈｚ、歪み：０．５％の条件で、２０℃から１１０℃まで０．０８３℃／ｓｅｃの昇温速度で昇温しながら測定したときの２３℃における粘度を言う。
【００８２】
本発明の感光性樹脂組成物は、上底面の直径が６μｍ、下底面の直径が９μｍ、高さが３μｍの円錐台状フォトスペーサーを形成し、５０ｍＮの荷重をかけたときの弾性復元率が７０％以上となることが好ましい。弾性復元率が７０％以上であると、セル圧着時のスペーサーの高さのばらつきがより抑制され、フォトスペーサーの塑性変形による表示ムラをより低減することができる。弾性復元率は７３％以上がより好ましい。弾性復元率が１００％に近いほど、フォトスペーサーの変形によるセルギャップへの影響と、それによる表示ムラをより抑制することができる。上記形状は、フォトスペーサーの代表的な形状であり、上記荷重は、フォトスペーサーが製造または使用時に受ける荷重の一例である。かかる方法により、フォトスペーサーを形成するために用いた感光性樹脂組成物の塑性変形のしにくさを相対的に評価することができる。
【００８３】
図１に、フォトスペーサーの弾性特性を表すヒステリシス曲線の一例の概略図を示す。フォトスペーサーに荷重をかけると、図１に示すような、フォトスペーサーに加えた荷重と、フォトスペーサーの変形量Ｄとのヒステリシス曲線が得られる。ヒステリシス曲線からフォトスペーサーの総変形量Ｈａ［μｍ］、塑性変形量Ｈｂ［μｍ］および弾性変形量を求めることにより、フォトスペーサーの弾性復元率（（（Ｈａ−Ｈｂ）／Ｈａ）×１００）を算出することができる。ここで、ヒステリシス曲線は、硬度計フィッシャー（Ｆｉｓｃｈｅｒｓｃｏｐｅ  Ｈ１００；Ｈｅｌｍｕｔ  Ｆｉｓｃｈｅｒ  ＧｍｂＨ  ＆  Ｃｏ社製）とφ５０μｍの平型圧子を用いて、速度２．５ｍＮ／ｓｅｃで荷重５０ｍＮに到達するまで圧力を加えた後、速度２．５ｍＮ／ｓｅｃで開放することにより得られる。
【００８４】
フォトスペーサーを形成したときの弾性復元率を上記範囲にするためには、前述の本発明の感光性樹脂組成物を用いることが好ましく、特に、エチレン性不飽和基当量が前述の好ましい範囲にある感光性樹脂組成物がより好ましい。
【００８５】
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤および重合性モノマーと、必要に応じて界面活性剤、重合禁止剤、溶剤、紫外線吸収剤等その他の添加剤を任意の割合で混合することにより得ることができる。
【００８６】
本発明の感光性樹脂組成物は、高さばらつきを抑制することができることから、レンズスキャン方式の露光に好ましく用いることができ、レンズスキャン露光によるフォトスペーサーの形成に、より好ましく用いることができる。
【００８７】
フォトスペーサーの形状は、カラーフィルターの高精細化のため、円錐台形状が好ましく、上底の直径は１５μｍ以下が好ましい。また、下低の直径に対する上底の直径の比（上底／下低）は、０．３〜２．０が好ましい。
【００８８】
次に、本発明のフォトスペーサーの製造方法について、基板上に形成する場合を例に説明する。前述の本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥してプリベイク膜を得て、プリベイク膜をレンズスキャン露光および現像することによりフォトスペーサーを形成することが好ましい。さらに、現像後の塗布膜パターンを加熱処理して硬化させることが好ましい。
【００８９】
基板としては、ガラス、高分子フィルム等の透明基板が挙げられる。
【００９０】
感光性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、ディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーコーティング法などが挙げられる。
【００９１】
乾燥方法としては、減圧乾燥、オーブンやホットプレートを用いた加熱乾燥（プリベイク）などが挙げられる。減圧乾燥の場合、加熱温度は、乾燥溶媒の減圧チャンバー内壁への再凝縮を抑制する観点から、１００℃以下が好ましい。減圧乾燥圧力は、感光性樹脂組成物に含まれる溶剤の蒸気圧以下が好ましく、１〜１０００Ｐａが好ましい。減圧乾燥時間は、１０〜６００秒間が好ましい。プリベイクの場合、加熱温度は６０〜２００℃、加熱時間は１〜６０分間が一般的である。
【００９２】
本発明においては、プリベイク膜の２３℃における粘度が１×１０３〜１×１０８Ｐａ・ｓであることが好ましい。２３℃における粘度が１×１０３Ｐａ・ｓ以上であるプリベイク膜に露光することにより、プリベイク膜の流動性を適度に抑え、プリベイク膜の搬送工程や、露光工程、加熱乾燥（ポストベイク）工程におけるムラの発生をより抑制することができる。２３℃における粘度が１×１０５Ｐａ・ｓ以上がより好ましい。一方、２３℃における粘度が１×１０８Ｐａ・ｓ以下であるプリベイク膜に露光することにより、現像性を向上させることができる。ここで、プリベイク膜の２３℃における粘度とは、プリベイク膜９０ｍｍ３以上を採取し、レオメーター（ＭＣＲ−３０２；アントンパール（株）製）とφ１５ｍｍのプレートを用いて、測定厚み：０．５ｍｍ、周波数：１Ｈｚ、歪み：０．５％の条件で、２０℃から１１０℃まで０．０８３℃／ｓｅｃの昇温速度で昇温しながら測定したときの２３℃における粘度を言う。なお、カラーフィルター基板上へのフォトスペーサーの製造工程において、プリベイク膜の温度は乾燥工程で１００℃程度まで加熱されるが、露光前の冷却により室温（約２３℃）程度となることが一般的である。このため、本発明においては、一般的な露光時のプリベイク膜温度として、２３℃における粘度に着目した。
【００９３】
得られたプリベイク膜に、マスクを介して露光することにより露光部分を硬化させ、アルカリ現像液により現像することにより未露光部分を除去し、パターン形成することが好ましい。
【００９４】
露光方式としては、例えば、プロキシミティ露光、レンズスキャン露光、ミラープロジェクション露光、ステッパー露光などが挙げられる。本発明においては、大型基板への高精細パターン加工に優れたレンズスキャン露光が好ましく用いられる。本発明の感光性樹脂組成物は高さのばらつきを抑制することができることから、高さのばらつきが生じやすいレンズスキャン露光に好適に用いることができる。レンズスキャン露光装置としては、例えば、ＦＸ−６５Ｓ（（株）ニコン製）が挙げられる。
【００９５】
現像工程としては、アルカリ現像液による現像が好ましい。アルカリ現像液としては、有機アルカリ現像液、無機アルカリ現像液などが挙げられる。無機アルカリ現像液としては、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムの水溶液などが好ましい。有機アルカリ現像液としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液、メタノールアミンなどのアミン系水溶液が好ましい。アルカリ現像液中におけるアルカリ性物質の含有量は、未露光部の現像溶解性の観点から、０．０２質量％以上が好ましい。一方、露光部のパターン加工性をより向上させる観点から、２．０質量％以下が好ましい。現像液は、現像の均一性を高めるために、界面活性剤を含有することが好ましい。現像液の温度により現像速度が変化するため、現像液温度は１８〜４０℃の範囲で適宜選択することが好ましい。
【００９６】
現像方法としては、例えば、ディップ現像、シャワー現像、パドル現像などが挙げられる。現像液の温度、流量およびシャワー噴射圧力、現像後の水洗温度、流量およびシャワー噴射圧力条件を適宜選択することが好ましい。基板上の残渣を除去するためには、現像液または水洗水を高圧で噴射することが好ましく、噴出圧力は０．０１ＭＰａ〜２０ＭＰａが好ましい。
【００９７】
現像後の塗布膜パターンの加熱処理装置としては、熱風オーブン、ホットプレートなどが挙げられる。加熱温度は１８０〜３００℃が好ましく、加熱時間は５〜９０分間が好ましい。
【００９８】
次に、本発明のフォトスペーサーを有するカラーフィルター基板と液晶表示装置について説明する。
【００９９】
カラーフィルター基板は、基板上に、前述の本発明のフォトスペーサーおよび画素を有する。必要に応じて、ブラックマトリックス、平坦化膜、透明電極、配向膜などを有してもよい。
【０１００】
カラーフィルター基板としては、フォトスペーサーを形成する基板として例示したものが挙げられる。
【０１０１】
画素としては、例えば、赤色画素、緑色画素、青色画素などが挙げられる。画素は、着色剤、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤、その他の添加剤などを含有してもよく、それらの１種以上を含む組成物の硬化物から形成されていてもよい。着色剤としては、例えば、有機顔料、無機顔料、染料が挙げられる。樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤、その他の添加剤としては、例えば、本発明の透明感光性樹脂組成物の成分として例示したものが挙げられる。
【０１０２】
画素の形状としては、例えば、矩形、ストライプ、正方形、多角形、波型などが挙げられる。開口部面積を大きくして透過率を向上させる観点から、画素幅は、１μｍ以上が好ましい。一方、より緻密な画像を表示する観点から、画素幅は、１００μｍ以下が好ましい。画素の膜厚は、１〜５μｍ程度が好ましい。
【０１０３】
隣接画素間には、ブラックマトリックス（以下、「ＢＭ」）を有することが好ましい。ＢＭは、画素間を遮光することにより、表示画像のコントラストを向上させる作用を有する。ＢＭは、互いに隣接する画素の一部を重ねることにより形成された色重ねＢＭであってもよいが、画素の段差を抑制して表示画像をより向上させ、高い遮光性を得るため、樹脂および遮光材を含有することが好ましい。樹脂としては、ポリイミド系樹脂またはアクリル系樹脂が好ましい。遮光剤としては、例えば、チタンブラック、窒化チタン、炭化チタン、カーボンブラックなどが挙げられる。さらに、密着改良剤、高分子分散剤、重合開始剤、酸発生剤、塩基発生剤、界面活性剤等を含有してもよい。
【０１０４】
ＢＭの膜厚は、遮光性と抵抗値を向上させる観点から、０．５μｍ以上が好ましく、０．８μｍ以上がより好ましい。一方、ＢＭの膜厚は、平坦性を向上させる観点から、２．５μｍ以下が好ましく、２．０μｍ以下がより好ましい。
【０１０５】
画素やＢＭを有するカラーフィルター基板が段差を有する場合、平坦化膜を有することが好ましい。平坦化膜は、画素やＢＭ上の全面に形成されていてもよいし、平坦化したい部分に選択的に形成されていてもよい。平坦化膜が画素やＢＭ上の全面に形成される場合、平坦化膜は熱硬化性樹脂組成物の硬化物からなることが好ましく、平坦化膜が選択的に形成される場合、平坦化膜は感光性樹脂組成物の硬化物からなることが好ましい。
【０１０６】
平坦化膜は、樹脂を含有することが好ましく、さらに、密着改良剤、高分子分散剤、重合開始剤、酸発生剤、塩基発生剤、界面活性剤等を含有してもよい。
【０１０７】
平坦化膜の膜厚は、平坦性と画素からの不純物の溶出を抑制する観点から、０．５μｍ以上が好ましく、１．０μｍ以上がより好ましい。一方、平坦化膜の膜厚は、透明性を向上させる観点から、３．０μｍ以下が好ましく、２．０μｍ以下がより好ましい。
【０１０８】
本発明のカラーフィルター基板は、基板上に、本発明のフォトスペーサーおよび画素、必要に応じてブラックマトリックスや平坦化膜などを形成することにより得ることができる。画素やブラックマトリックス、平坦化膜の形成方法としては、例えば、フォトリソグラフィー法、印刷法、電着法などが挙げられる。
【０１０９】
本発明の液晶表示装置は、前述のカラーフィルター基板と、カラーフィルターに対向して配置される駆動素子側基板と、カラーフィルター基板および該駆動素子側基板上にそれぞれ設けられた液晶配向膜と、これらの液晶配向膜間のセルギャップを均一に保つフォトスペーサーと、空間内に充填された液晶とを有することが好ましい。例えば、ブラックマトリックスを有するカラーフィルター基板を用いる場合、フォトスペーサーを、非表示領域すなわちブラックマトリックスの上方に有することが好ましい。なお、駆動素子側基板にフォトスペーサーを有してもよく、この場合も、駆動素子側基板上の非表示領域の上方にフォトスペーサーを有することが好ましい。液晶配向膜としては、ポリイミド等の樹脂膜が好ましい。
【０１１０】
次に、前述のカラーフィルター基板を用いた液晶表示装置の製造方法について説明する。カラーフィルター基板および／または駆動素子側基板上に前述の製造方法によりフォトスペーサーを製造する工程を有することが好ましい。具体的には、前述のカラーフィルター基板と駆動素子側基板とを対向させて、フォトスペーサーを介して貼り合わせ、シール部に設けられた注入口から液晶を注入してから注入口を封止し、最後にＩＣドライバー等を実装することが好ましい。液晶表示装置が液晶配向膜を有する場合、ポリイミド液を塗布・熱処理した後、ラビング処理や紫外線処理により表面処理することが好ましい。微細な粉塵や静電気の発生を抑制し、液晶分子を均一に高精細に配向させる観点から、紫外線処理により表面処理することが好ましい。
【実施例】
【０１１１】
以下に本発明をその実施例および比較例を挙げて詳細に説明するが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。【０１１２】
アルカリ可溶性樹脂の特性は、以下の方法により評価した。【０１１３】
（重量平均分子量）
製造例１〜１３により得られたアルカリ可溶性樹脂１〜１３について、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーを用いて、標準ポリスチレンによる換算値を求めた。【０１１４】
（エチレン性不飽和基当量）
製造例１〜１３により得られたアルカリ可溶性樹脂１〜１３について、ＪＩＳ  Ｋ  ００７０：１９９２の試験方法第６．０項に記載の方法により、ヨウ素価を測定し、エチレン性不飽和基当量を算出した。【０１１５】
（酸価）
製造例１〜１３により得られたアルカリ可溶性樹脂１〜１３の溶液５ｇをアルミ製カップ（φ４５ｍｍ）に入れ、１３０℃で１時間加熱して溶剤を除去した。得られたアルカリ可溶性樹脂について、ＪＩＳ  Ｋ  ００７０：１９９２の試験方法第３．１項の中和滴定法により、酸価を測定した。【０１１６】
（グリシジル（メタ）アクリレートの残存量）
製造例１〜１３により得られたアルカリ可溶性樹脂１〜１３の溶液について、ガスクロマトグラフィーとして（株）島津製作所製ＧＣＭＳ−ＧＰ２０１０を用い、カラムとしてＤＭ−５ＭＳを用い、Ｈｅをキャリアガスとして、カラム温度を８０℃で４分間保持した後、１６分間かけて３２０℃まで昇温し、３２０℃で５分間保持し、グリシジル（メタ）アクリレート量を測定した。【０１１７】
製造例１〜１３により得られたアルカリ可溶性樹脂１〜１３の溶液を１３０℃で１時間加熱し、加熱前後の質量から固形分濃度を算出し、グリシジル（メタ）アクリレート量と、アルカリ可溶性樹脂の溶液の固形分濃度から、グリシジル（メタ）アクリレートの残存量（残存ＧＭＡ量（質量％））を算出した。【０１１８】
製造例１（アルカリ可溶性樹脂１）
７２ｇのメタクリル酸（ＭＡ）、４０ｇのＮ−シクロヘキシルマレイミド（ＣＨＭＩ）、３０ｇのメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）、３ｇの２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、０．５ｇのラウリルメルカプタンおよび２２０ｇのプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）を重合容器中に仕込み、窒素雰囲気下で９０℃にて２時間撹拌した後、液温を１００℃に上げ、さらに５時間加熱撹拌して反応させた。次に、重合容器内を空気置換し、得られた反応溶液に９７ｇのメタクリル酸グリシジル（ＧＭＡ）、１．２ｇのジメチルベンジルアミンおよび０．２ｇのｐ−メトキシフェノールを添加して、１１０℃で６時間撹拌した後、ＰＧＭＥを追加して固形分濃度２９．５質量％のアルカリ可溶性樹脂１の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂１のＭｗは４０，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は８５ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。なお、アルカリ可溶性樹脂１において、ＭＡが一般式（１）で表される構造単位を構成し、ＧＭＡが一般式（２）で表される構造単位を構成し、ＣＨＭＩが一般式（３）で表される構造単位を構成する。【０１１９】
製造例２（アルカリ可溶性樹脂２）
ＭＡの配合量を６９ｇ、ＣＨＭＩの配合量を２５ｇ、ＭＭＡの配合量を１８ｇ、ＧＭＡの配合量を９８ｇにそれぞれ変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２８．３質量％のアルカリ可溶性樹脂２の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂２のＭｗは４３，０００、エチレン性不飽和基当量は３００ｇ／ｍｏｌ、酸価は６３ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２０】
製造例３（アルカリ可溶性樹脂３）
ＭＡの配合量を３２ｇ、ＧＭＡの配合量を３１ｇにそれぞれ変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２８．５質量％のアルカリ可溶性樹脂３の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂３のＭｗは３９，０００、エチレン性不飽和基当量は６００ｇ／ｍｏｌ、酸価は８５ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２１】
製造例４（アルカリ可溶性樹脂４）
ラウリルメルカプタンの配合量を２．２ｇに変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度３１．８質量％のアルカリ可溶性樹脂４の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂４のＭｗは９，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は８５ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ率は０．０５質量％であった。【０１２２】
製造例５（アルカリ可溶性樹脂５）
ＭＡの配合量を６６ｇ、ＣＨＭＩの配合量を５０ｇ、ＧＭＡの配合量を９６ｇにそれぞれ変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度３１．０質量％のアルカリ可溶性樹脂５の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂５のＭｗは３８，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２３】
製造例６（アルカリ可溶性樹脂６）
ＭＡの配合量を５９ｇ、ＣＨＭＩの配合量を２８ｇ、ＭＭＡの配合量を１９ｇ、ＧＭＡの配合量を７０ｇにそれぞれ変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度３０．４質量％のアルカリ可溶性樹脂６の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂６のＭｗは３５，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２４】
製造例７（アルカリ可溶性樹脂７）
１３ｇのメタクリル酸（ＭＡ）、１５ｇのＮ−シクロヘキシルマレイミド（ＣＨＭＩ）、７２ｇのメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）、３ｇの２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、０．５ｇのラウリルメルカプタンおよび２２０ｇのプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）を重合容器中に仕込み、窒素雰囲気下で９０℃にて２時間撹拌した後、液温を１００℃に上げ、さらに５時間加熱撹拌して反応させた。０．２ｇのｐ−メトキシフェノールを添加して、室温まで冷却した後、ＰＧＭＥを追加して固形分濃度２９．１質量％のアルカリ可溶性樹脂７の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂７のＭｗは３７，０００、酸価は８５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。【０１２５】
製造例８（アルカリ可溶性樹脂８の製造）
ＭＡの配合量を７０ｇ、ＭＭＡの配合量を１２ｇ、ＧＭＡの配合量を９８ｇにそれぞれ変更し、ＣＨＭＩの代わりにスチレン（Ｓｔ）を１５ｇ用いたこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２９．２質量％のアルカリ可溶性樹脂８の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂８のＭｗは３５，０００、エチレン性不飽和基当量は２８５ｇ／ｍｏｌ、酸価は６７ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２６】
製造例９（アルカリ可溶性樹脂９）
ＣＨＭＩの代わりにＮ−ベンジルマレイミド（ＢｚＭＩ）を４０ｇ用いたこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２９．５質量％のアルカリ可溶性樹脂９の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂９のＭｗは４０，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は６４ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２７】
製造例１０（アルカリ可溶性樹脂１０の製造）
ＭＡの代わりにアクリル酸（ＡＡ）を６０ｇ用いたこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２９．５質量％のアルカリ可溶性樹脂１０の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂１０のＭｗは４０，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は６２ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１２８】
製造例１１（アルカリ可溶性樹脂１１）
１１０℃での撹拌時間を８時間に変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２９．５質量％のアルカリ可溶性樹脂１１の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂１のＭｗは４０，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は６４ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ率は０．０２質量％であった。【０１２９】
製造例１２（アルカリ可溶性樹脂１２）
１１０℃での撹拌時間を５時間に変更したこと以外は製造例１と同様にしてアルカリ可溶性樹脂１２の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂１２のＭｗは４０，０００、エチレン性不飽和基当量は３５０ｇ／ｍｏｌ、酸価は６４ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ率は０．３０質量％であった。【０１３０】
製造例１３（アルカリ可溶性樹脂１３）
ＭＡの配合量を５０ｇ、ＣＨＭＩの配合量を３０ｇ、ＭＭＡの配合量を０ｇ、ＧＭＡの配合量を６５ｇにそれぞれ変更したこと以外は製造例１と同様にして、固形分濃度２８．５質量％のアルカリ可溶性樹脂１３の溶液を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂１３のＭｗは３６，０００、エチレン性不飽和基当量は２７８ｇ／ｍｏｌ、酸価は９３ｍｇＫＯＨ／ｇ、残存ＧＭＡ量は０．０５質量％であった。【０１３１】
製造例１〜１３の組成と評価結果を表１〜２に示す。【０１３２】
【表１】
2019059169.tif 000009
【０１３３】
【表２】
2019059169.tif 000010
【０１３４】
（ブラックマトリックス付基板の作製）
無アルカリガラス基板（ＯＡ−１０；日本電気硝子（株）製；５０ｍｍ×７０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）の表面上に、ポリイミド樹脂およびカーボンブラックを含む組成物からなる１．０μｍ厚のブラックマトリクスを形成し、ブラックマトリックス付基板を作製した。【０１３５】
（平坦化膜付基板の作製）
前記方法により作製したブラックマトリックス付基板に対して、ＵＶ／オゾン装置（ＳＳＰ１６−１１０；セン特殊光源（株）製）を用いて、６０秒間露光することにより洗浄処理した後、スピンコート法により平坦化膜材（ＮＮ９０１；ＪＳＲ（株）製）を塗布および乾燥して、１．５μｍ厚の透明平坦化膜を形成した。これを９０℃で１０分間加熱乾燥（プリベイク）し、飽和露光量に達するまで紫外線を照射した。次に、０．１質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム（以下、「ＴＭＡＨ」）と、０．３質量％の“エマルゲン”（登録商標）Ａ−６０（以下、「Ａ−６０」；花王（株）製）とをそれぞれ含む２３℃の水溶液を用いてシャワー現像し、さらに水洗して未露光部の平坦化膜を洗い流した。その後、２３０℃で３０分間加熱乾燥（ポストベイク）して、平坦化膜付基板を作製した。【０１３６】
実施例および比較例における評価は以下の方法により行った。【０１３７】
（感光性樹脂組成物の透明性）
無アルカリガラス基板（ＯＡ−１０；日本電気硝子（株）製；５０ｍｍ×７０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）の表面上に、ミカサ（株）製スピンコーター（１ＨＤ２型）を用いて、各実施例および比較例において作製した感光性樹脂組成物を塗布した。温度：２５℃、圧力：４５Ｐａの条件で２００秒間減圧乾燥した後、これを、１０５℃に設定したオーブン（ＰＥＲＦＥＣＴＯＶＥＮ  ＰＶ−２１０；タバイエスペック（株）製）内で１０分間加熱乾燥（プリベイク）し、プリベイク膜を作製した。プリベイク膜を形成した平坦化膜付基板を室温まで冷却し、ガラス製ＵＶフィルター（ＵＶ−３５；旭テクノガラス（株）製）を取り付けた紫外線露光機（ＰＥＭ−６Ｍ；ユニオン光学（株）製、コリメーションアングルθ：２°、ｉ線（３６５ｎｍ）照度：３０ｍＷ／ｃｍ２）を用いて、ネガフォトマスクを使用せずに、ｉ線：３６５ｎｍ、ｈ線：４０５ｎｍおよびｇ線：４３６ｎｍの各波長を含む紫外線を照射光として、２４ｍＪ／ｃｍ２の露光量（ｉ線換算）で露光した。【０１３８】
次に、０．３質量％のＴＭＡＨと、０．３質量％のＡ−６０とをそれぞれ含む２３℃の水溶液を現像液として、自動現像装置（ＡＤ−２０００；ミカサ（株）製）を用いてシャワー現像し、さらに水洗して風乾した。次に、２３０℃のオーブン内で３０分間加熱乾燥（ポストベイク）して、３．００μｍ厚のフォトスペーサーベタ膜つき基板を作製した。【０１３９】
フォトスペーサーベタ膜つき基板の中央部について、顕微分光測定器（ＬＣＦ−１００ＭＡ：大塚電子（株）製）を用いて、Ｃ光源で、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率を測定し、以下の基準により感光性樹脂組成物の透明性を評価した。Ａを合格とした。
Ａ：波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率が８０％以上。
Ｂ：波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率が８０％未満。【０１４０】
（プリベイク膜の粘度）
実施例１〜１３および比較例１〜３により得られたプリベイク膜の粘度特性を再現するサンプルとして、無アルカリガラス基板（ＯＡ−１０；日本電気硝子（株）製；５０ｍｍ×７０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）上に、各実施例および比較例の条件によりプリベイク膜を作製した。得られたプリベイク膜を、スパーテルを用いて９０ｍｍ３以上集め、レオメーター（ＭＣＲ−３０２；アントンパール（株）製）とφ１５ｍｍのプレートを用いて、測定厚み：０．５ｍｍ、周波数：１Ｈｚ、歪み：０．５％の条件で、２０℃から１１０℃まで０．０８３℃／ｓｅｃの昇温速度で昇温しながら、２３℃における粘度を測定した。【０１４１】
（フォトスペーサーの表面形状）
実施例１〜１３および比較例１〜３において形成した円錐台状パターンフォトスペーサーを、ＦＥ−ＳＥＭ（Ｓ−４８００；（株）日立ハイテクノロジーズ製）を用いて倍率７，０００倍に拡大して観察し、以下の基準によりフォトスペーサーの表面形状を評価した。Ａを合格とした。
Ｂ：凹凸が認められる。
Ａ：凹凸が認められない。【０１４２】
（フォトスペーサーの弾性復元率）
実施例１〜１３および比較例１〜３において形成した円錐台状パターンフォトスペーサーに、硬度計フィッシャー（Ｆｉｓｃｈｅｒｓｃｏｐｅ  Ｈ１００；Ｈｅｌｍｕｔ  Ｆｉｓｃｈｅｒ  ＧｍｂＨ  ＆  Ｃｏ社製）とφ５０μｍの平型圧子を用いて、速度２．５ｍＮ／ｓｅｃで荷重５０ｍＮに到達するまで圧力を加え５秒間保持した後、速度２．５ｍＮ／ｓｅｃで開放し０ｍNに到達してから５秒間保持したときのヒステリシス曲線を作成した。得られたヒステリシス曲線から、総変形量Ｈａ［μｍ］、塑性変形量Ｈｂ［μｍ］を求め、フォトスペーサーの弾性復元率（（Ｈａ−Ｈｂ／Ｈａ）×１００）を算出した。５箇所について測定した数平均値を算出し、下記基準により評価した。ＡＡとＡとＢを合格とした。
Ｃ：弾性復元率が７０％未満
Ｂ：弾性復元率が７０％以上７２％未満
Ａ：弾性復元率が７２％以上７３％未満
ＡＡ：弾性復元率が７３％以上。【０１４３】
（レンズスキャン露光でのフォトスペーサーの高さばらつき評価）
実施例１〜１３および比較例１〜３において、レンズスキャン露光により形成した円錐台状パターンフォトスペーサーのうち、レンズとレンズとの継目部分に該当する基板面内２０ｍｍ角の範囲において、基板面内で複数のレンズが二列に並ぶ方向と直行する方向に一定の間隔で２０個のフォトスペーサーを選択して、段差測定器を用いて高さのばらつき（最大高さ−最小高さ）を測定し、以下の基準によりフォトスペーサーの高さばらつきを評価した。ＡとＢを合格とした。
Ｃ：高さのばらつきが０．０４μｍ以上
Ｂ：高さのばらつきが０．０２μｍ以上０．０４μｍ未満
Ａ：高さのばらつきが０．０２μｍ未満。【０１４４】
（レンズスキャン露光でのフォトスペーサーの欠け評価）
実施例１〜１３および比較例１〜３において形成した円錐台状パターンフォトスペーサーのうち、１０，０００個を顕微鏡で拡大観察し、欠けの有無を判断した。欠けが認められた円錐台状パターンフォトスペーサー個数から、下記基準により評価した。ＡＡとＡとＢを合格とした。
Ｃ：フォトスペーサーの欠けが１１個以上
Ｂ：フォトスペーサーの欠けが６〜１０個
Ａ：フォトスペーサーの欠けが１〜５個
ＡＡ：フォトスペーサーの欠けが０個。【０１４５】
（プロキシミティ露光マルチパターニングでのフォトスペーサーの高さばらつき評価）
実施例１〜１３および比較例１〜３において、プロキシミティ露光マルチパターニングにより形成した円錐台状パターンフォトスペーサーのうち、最初の露光で形成したフォトスペーサーの高さと、続いての露光で形成したフォトスペーサーの高さとの差について、段差測定器を用いて高さのばらつき（最大高さ−最小高さ）を測定し、以下の基準によりフォトスペーサーの高さばらつきを評価した。ＡとＢを合格とした。
Ｃ：高さのばらつきが０．２０μｍ以上
Ｂ：高さのばらつきが０．１０μｍ以上０．２０μｍ未満
Ａ：高さのばらつきが０．１０μｍ未満。【０１４６】
（実施例１）
（感光性樹脂組成物１の調製）
製造例１により得られた固形分濃度２９．５質量％のアルカリ可溶性樹脂１の溶液：２１．１３質量部、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（“ＫＡＹＡＲＡＤ”（登録商標）ＤＰＨＡ；日本化薬；以下、「ＤＰＨＡ」）（エチレン性不飽和基当量１００）：１１．５８質量部、光重合開始剤“アデカアークルズ”（商標登録）Ｎ−１９１９；以下、「Ｎ１９１９」：０．３６質量部、“ＩＲＧＡＣＵＲＥ”（商標登録）９０７（ＢＡＳＦジャパン（株）製）；以下、「ＩＣ９０７」：０．８９質量部、２，４−ジエチルチオキサントン（“ＫＡＹＡＣＵＲＥ”（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製；以下、「ＤＥＴＸ」）：０．８９質量部、界面活性剤“ＢＹＫ”（登録商標）−３３３（ビックケミージャパン（株）製）：以下「ＢＹＫ−３３３」）０．０３質量部、重合禁止剤２，５−ビス（１，１，３，３−テトラメチルブチル）ヒドロキノン（和光純薬工業（株）製；以下、「ＤＯＨＱ」）：０．０２質量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）：６５．１０質量部を室温で撹拌し、感光性樹脂組成物１を得た。【０１４７】
前述の方法により得られた平坦化膜付基板に対して、ＵＶ／オゾン装置（ＳＳＰ１６−１１０；セン特殊光源（株）製）を用いて、６０秒間露光することにより洗浄処理した後、スピンコーター（１ＨＤ２型；ミカサ（株）製）を用いて、感光性樹脂組成物１を塗布した。温度：２５℃、圧力：４５Ｐａの条件で２００秒間減圧乾燥した後、１０５℃に設定したオーブン（ＰＥＲＦＥＣＴＯＶＥＮ  ＰＶ−２１０；タバイエスペック（株）製）内で１０分間加熱乾燥（プリベイク）した後、室温まで冷却し、プリベイク膜を形成した。【０１４８】
次に、プリベイク膜を形成した平坦化膜付基板を、レンズスキャン露光装置として、ＦＸ−６５Ｓ（（株）ニコン製）を用いて、直径７μｍの円形フォトマスクを介して、ｉ線：３６５ｎｍ、ｈ線：４０５ｎｍおよびｇ線：４３６ｎｍの各波長を含む紫外線を照射光として、３０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（ｉ線換算）で露光した。【０１４９】
次に、０．３質量％のＴＭＡＨと、０．３質量％のＡ−６０とをそれぞれ含む２３℃の水溶液を現像液として、自動現像装置（ＡＤ−２０００；ミカサ（株）製）を用いてシャワー現像し、さらに水洗して風乾した。最後に、２３０℃のオーブン内で３０分間加熱乾燥（ポストベイク）して、上底６μｍ、下底９μｍ、高さ３μｍのフォトスペーサーを作製した。【０１５０】
また、前述のプリベイク膜を形成した平坦化膜付基板を、ガラス製ＵＶフィルター（ＵＶ−３５；旭テクノガラス（株）製）を取り付けた紫外線露光機（ＰＥＭ−６Ｍ；ユニオン光学（株）製；コリメーションアングルθ＝２°、ｉ線（３６５ｎｍ）照度＝３０ｍＷ／ｃｍ２）を用いて、直径１０μｍの円形パターンがピッチ１５μｍで配置されたネガフォトマスクを介して、ｉ線：３６５ｎｍ、ｈ線：４０５ｎｍおよびｇ線：４３６ｎｍの各波長を含む紫外線を照射光として最初の露光を行った。続いて、ネガフォトマスクを半ピッチだけずらして続いての露光（プロキシミティ露光マルチパターニング）を行った。【０１５１】
次に、０．３質量％のＴＭＡＨと、０．３質量％のＡ−６０とをそれぞれ含む２３℃の水溶液を現像液として、自動現像装置（ＡＤ−２０００；ミカサ（株）製）を用いてシャワー現像し、さらに水洗して風乾した。最後に、２３０℃のオーブン内で３０分間加熱乾燥（ポストベイク）して、上底６μｍ、下底９μｍ、高さ３μｍのフォトスペーサーを作製した。【０１５２】
（実施例２〜１３、比較例１〜３）
感光性樹脂組成物の組成を表２に示すとおりに変更したこと以外は実施例１と同様に、感光性樹脂組成物、プリベイク膜およびフォトスペーサーを作製した。実施例１と同様に評価した結果を表３〜５に示す。【０１５３】
【表３】
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【０１５４】
【表４】
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【０１５５】
【表５】
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【０１５６】
なお、表３〜５における「Ｍ５２０」とは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物（Ｍ５２０；東亞合成（株）製；エチレン性不飽和当量１０４ｇ／ｍｏｌ）を表す。
【産業上の利用可能性】
【０１５７】
本発明の透明感光性樹脂組成物は、レンズスキャン露光により液晶表示装置のフォトスペーサーを形成するための材料として好適に用いられる。
【図１】
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【国際調査報告】
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