(57)【要約】  容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部６とを備える基板収納容器は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞された状態から、容器本体開口部から蓋体が開かれるときに、奥側基板支持部６及び蓋体側基板支持部によって支持されている状態の基板Ｗを、奥側基板支持部６と蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部８３と、を備える。
2019030863.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞された状態から、前記容器本体開口部から前記蓋体が開かれるときに、前記奥側基板支持部及び前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を、前記奥側基板支持部と前記蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部と、を備える基板収納容器。
【請求項２】
前記取り払い部は、前記奥側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記奥側基板支持部から取り払い、
前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記奥側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さい、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記取り払い部は、前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記蓋体側基板支持部から取り払い、
前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記蓋体側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さい、請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記取り払い部は、弾性変形する弾性部材を備え、前記弾性部材の弾性力により前記基板の取り払いを行う、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。【０００３】
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能である（例えば、特許文献１参照）。【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１１６４９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板収納容器においては、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されて、基板が基板収納空間に収容されているとき（基板の保管時）には、基板は、前述のように、奥側基板支持部とフロントリテーナとが協働することにより挟まれるようにして、基板収納容器に対して支持され固定される。これにより、基板の破損や回転が抑制される。【０００７】
しかし、奥側基板支持部やフロントリテーナの静摩擦係数が低い場合には、強い力で挟むようにして基板を固定しても、基板収納容器の輸送中の振動等により、クリーンな基板に対して、パーティクル等の発生による汚れを付着させ易い。一方、奥側基板支持部やフロントリテーナの静摩擦係数が高い場合には、基板をしっかりと支持することが可能であるため、汚れの付着は少ない。しかし、このように奥側基板支持部やフロントリテーナの静摩擦係数が高い場合には、基板の取り出し時に基板が奥側基板支持部やフロントリテーナに対して摺動し移動する際に、基板が奥側基板支持部やフロントリテーナに対して滑らかに摺動せず、全ての基板を、容器本体から取り出すための所定の装置によって支持可能な所定の位置にまで移動させることは困難である。その結果として、移動させられた基板の位置が一定でないため、基板収納容器から基板を、所定の装置を用いて取り出すことが困難である。【０００８】
本発明は、基板を基板収納容器から取り出す際に、基板が奥側基板支持部やフロントリテーナに対して滑らかに摺動して所定の位置にまで移動して、基板収納容器からの基板の取り出しを可能とする基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞された状態から、前記容器本体開口部から前記蓋体が開かれるときに、前記奥側基板支持部及び前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を、前記奥側基板支持部と前記蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部と、を備える基板収納容器に関する。【００１０】
また、前記取り払い部は、前記奥側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記奥側基板支持部から取り払い、前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記奥側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さいことが好ましい。【００１１】
また、前記取り払い部は、前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記蓋体側基板支持部から取り払い、前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記蓋体側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さいことが好ましい。【００１２】
また、前記取り払い部は、弾性変形する弾性部材を備え、前記弾性部材の弾性力により前記基板の取り払いを行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板を基板収納容器から取り出す際に、基板が奥側基板支持部やフロントリテーナに対して滑らかに摺動して所定の位置にまで移動して、基板収納容器からの基板の取り出しを可能とする基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２において、取り払い部８３が基板Ｗに当接しておらず離れた状態を示す拡大断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２において、取り払い部８３が基板Ｗに当接し始めたときの状態を示す拡大断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されたときの容器本体２における取り払い部８３の状態を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、リア押え部８０及び取り払い部８３に対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び取り払い部７５を示す斜視図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３の取り払い部７５を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び取り払い部７５を示す拡大斜視図である。
【図１２】図１１のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。
【図１３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３において、取り払い部７５が基板Ｗに当接しておらず離れている状態を示す拡大断面図である。
【図１４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３において、取り払い部７５が基板Ｗに当接し始めたときの状態を示す拡大断面図である。
【図１５】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されたときの、蓋体３における取り払い部７５の状態を示す拡大断面図である。
【図１６Ａ】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、奥側端縁支持部６０Ａに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【図１６Ｂ】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、取り払い部８３Ａに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【図１７Ａ】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、取り払い部８３Ｂに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【図１７Ｂ】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、奥側端縁支持部６０Ｂに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【図１８】本発明の第４実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、奥側端縁支持部６０に及び取り払い部８３Ｃに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。
【００１６】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
【００１７】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
【００１８】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５（図２等参照）と、奥側基板支持部６とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図７等参照）を備えている。
【００１９】
容器本体２は、図１等に示すように、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、図２に示すように、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２０】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が設けられている。
【００２１】
奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７（図７等参照）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２２】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
【００２３】
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
【００２４】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００２５】
以下、各部について、詳細に説明する。図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００２６】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００２７】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００２８】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００２９】
図１に示すように、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３０】
基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図２等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と支持壁５２とを有している。板部５１は、支持壁５２によって支持されている。
【００３１】
板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
【００３２】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００３３】
支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、板部５１の長手方向において所定の長さを有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。
【００３４】
即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
【００３５】
このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００３６】
図２等に示すように、奥側基板支持部６は、リア押え部８０を有している。リア押え部８０は、奥壁２２に設けられたリブ状部２２１（図３等参照）に形成されて設けられている。リブ状部２２１は、奥壁２２の内面において、基板収納空間２７の内方へ突出している。リア押え部８０は、基板収納空間２７の内方へ突出しているリブ状部２２１の内面に形成されており、図６に示すように、上下方向Ｄ２において所定の間隔で凹部８２が形成された凹部形成部８１を有している。凹部８２には、基板Ｗの縁部が係合可能である。
図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、リア押え部８０及び取り払い部８３に対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【００３７】
図３等に示すように、リブ状部２２１の内面（容器本体２の内側の面）の側面には、一対の弾性部被係合凹部２２２が形成されている。弾性部被係合凹部２２２は、前方向Ｄ１１に向うにつれて、深くなる（左右方向Ｄ３における幅が広くなる）ように形成されており、弾性部被係合凹部２２２の前端部は、リブ状部２２１の前端部から後方向Ｄ１２へ向った所定の位置で行き止まりになっている。
図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２において、取り払い部８３が基板Ｗに当接しておらず離れた状態を示す拡大断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２において、取り払い部８３が基板Ｗに当接し始めたときの状態を示す拡大断面図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されたときの容器本体２における取り払い部８３の状態を示す拡大断面図である。
【００３８】
また、リブ状部２２１を覆うように、取り払い部８３が設けられている。取り払い部８３は、図３〜図５に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な断面では略コの字形状の取り払い部本体８３１を有している。略コの字形状を有する取り払い部本体８３１の左右の側部には、略コの字の内側に延び弾性変形する弾性部材としての板バネ部８３２が一対設けられている。一対の板バネ部８３２は、取り払い部本体８３１の左右の側部の前後方向Ｄ１における中程の部分から、互いに近づくように斜め前方向Ｄ１１へ向けて延びている。一対の板バネ部８３２は、それぞれ弾性部被係合凹部２２２に係合しており、弾性部被係合凹部２２２において、前後方向Ｄ１にリブ状部２２１に対して摺動する。前述のように、弾性部被係合凹部２２２は、前方向Ｄ１１に向うにつれて、深くなるように形成されているため、板バネ部８３２が弾性部被係合凹部２２２に、より深く入り込もうとする弾性力により、取り払い部本体８３１は、前方向Ｄ１１へ移動するように付勢されている。
【００３９】
また、取り払い部８３は、図６に示すように、上下方向Ｄ２に平行な断面では、リブ状部２２１の前側に位置しており、下側当接面８４１及び下側傾斜面８４２を有する支持部下側部８４と、上側傾斜面８５１を有する支持部上部８５と、を有している。
【００４０】
具体的には、下側当接面８４１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接し、基板Ｗを支持する。
下側傾斜面８４２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６における左側）から離間するように、下側当接面８４１の端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されており、基板Ｗの裏面の端部が摺動する。前述の凹部形成部８１は、下側当接面８４１と上側傾斜面８５１との傾斜面同士を接続する接続部を構成する。即ち、下側当接面８４１と上側傾斜面８５１との間には、凹部形成部８１の凹部８２が基板収納空間２７と連通する開口（図６における支持部下側部８４と支持部上部８５との間の部分）が形成されており、この開口を通して、基板Ｗの縁部は、基板収納空間２７の側から凹部８２に係合する。
上側傾斜面８５１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６における左側）に接近するように、凹部形成部８１から傾斜して延びる傾斜面により構成されている。
【００４１】
下側傾斜面８４２、凹部８２、及び上側傾斜面８５１は、下側当接面８４１よりも上側に配置され、図６に示すように、基板Ｗの端部が係合可能な基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成し、凹部８２はＶ字状溝の頂点の部分を構成する。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときに、基板Ｗが下側傾斜面８４２に対して摺動してせり上がり、基板ＷがＶ字状溝の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの表面の端縁と裏面の端縁とが凹部形成部８１にそれぞれ当接し、凹部形成部８１は、基板Ｗの縁部を凹部８２において支持する。
【００４２】
基板Ｗに対して下側当接面８４１、下側傾斜面８４２、上側傾斜面８５１を摺動させた場合のいずれの最大静摩擦係数も、基板Ｗに対して凹部形成部８１を摺動させた場合の最大静摩擦係数よりも相対的に低い値となるように、下側傾斜面８４２、下側当接面８４１、凹部形成部８１、及び、上側傾斜面８５１は、適宜粗面加工等の表面処理が施されている。具体的には、基板Ｗに対して下側当接面８４１、下側傾斜面８４２、上側傾斜面８５１を摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．２５以下である。最大静摩擦係数の値を０．２５以下としたのは、０．２５を超える場合には、下側当接面８４１、下側傾斜面８４２、上側傾斜面８５１に対して基板Ｗが十分に摺動しないためである。また、基板Ｗに対して凹部形成部８１を摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．３以上である。最大静摩擦係数の値を０．３以上としたのは、０．３未満の場合には、基板収納容器１の輸送中の振動等により、クリーンな基板Ｗに対して、パーティクル等の発生による汚れを付着させ易いからである。
【００４３】
次に、蓋体３及びフロントリテーナ７について詳細に説明する。
図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び取り払い部８３を示す斜視図である。図９は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す斜視図である。図１０は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３の取り払い部７５を示す斜視図である。図１１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び取り払い部７５を示す拡大斜視図である。図１２は、図１１のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。
【００４４】
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００４５】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００４６】
蓋体３は、蓋体３の外形をなす蓋体本体３０を有しており、蓋体本体３０には、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体本体３０の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体本体３０の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体本体３０の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体本体３０の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体本体３０の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００４７】
蓋体本体３０の外面側には操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体本体３０の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体本体３０の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。
上側ラッチ部３２Ａが蓋体本体３０の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体本体３０の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００４８】
図７に示すように、蓋体３を構成する蓋体本体３０の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４の内側の蓋体本体３０の部分には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。
【００４９】
フロントリテーナ７は、図８等に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な脚部７２により支持されている。脚部７２は、２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３からそれぞれ互いに離間するように左右方向Ｄ３へ延び、それぞれ前方向Ｄ１１へ折れ曲がる。そして図９に示すように、脚部７２の端部には、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている縦枠体７１が脚部７２に一体成形されて設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、脚部７２の弾性力により、基板Ｗの縁部の端縁を、基板収納空間２７の中心（図８における紙面の手前側）へ付勢した状態で挟持して支持する。
【００５０】
具体的には、フロントリテーナ基板受け部７３は、図１２に示すように、下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２とを有している。
【００５１】
下側傾斜面７３１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面（下面）の端縁に当接する。上側傾斜面７３２は、基板Ｗの表面（上面）の端縁に当接する。具体的には、下側傾斜面７３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心（図１２における左側）から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面７３２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成する。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁、表面の端縁がそれぞれ当接する。
【００５２】
また、フロントリテーナ７には、取り払い部７５が設けられている。取り払い部７５は、図１０等に示すように、板ばね状部７５１と、取り払い部縦枠体７５３とを有している。板ばね状部７５１は、図８に示すように、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されており、前後方向Ｄ１において、脚部７２に対して所定の距離で隔てられて、図１１等に示すように、脚部７２に重なる位置関係を有している。このように対をなすようにして２つずつ配置された板ばね状部７５１は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。左右方向Ｄ３において対向する端部には、三角形状の三角切欠き７５４が形成されており、これにより、当該端部はそれぞれ大きく弾性変形可能である。板ばね状部７５１は、図８に示すように、それぞれ互いに離間するように左右方向Ｄ３へ延び、それぞれ前方向Ｄ１１へ折れ曲がる。そして板ばね状部７５１の端部には、図１０に示すように、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている取り払い部縦枠体７５３が板ばね状部７５１に一体成形されて設けられている。取り払い部縦枠体７５３は、縦枠体７１と共に、凹部３４を形成している蓋体本体３０の部分に固定されており、これにより、フロントリテーナ７は、蓋体本体３０に固定されている。
【００５３】
基板Ｗに対して、取り払い部７５を構成する板ばね状部７５１を摺動させた場合の最大静摩擦係数は、基板Ｗに対して、フロントリテーナ基板受け部７３の下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２を摺動させた場合のいずれの最大静摩擦係数よりも相対的に低い値となるように、板ばね状部７５１、下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２は、適宜粗面加工等の表面処理が施されている。具体的には、基板Ｗに対して板ばね状部７５１を摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．２５以下である。最大静摩擦係数の値を０．２５以下としたのは、０．２５を超える場合には、板ばね状部７５１に対して基板Ｗが十分に摺動しないためである。また、基板Ｗに対して下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２を摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．３以上である。最大静摩擦係数の値を０．３以上としたのは、０．３未満の場合には、基板収納容器１の輸送中の振動等により、クリーンな基板Ｗに対して、パーティクル等の発生による汚れを付着させ易いからである。
【００５４】
次に、上述した基板収納容器１において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞した後に、蓋体３を取り外している際の動作について説明する。図１３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３において、取り払い部７５が基板Ｗに当接しておらず離れている状態を示す拡大断面図である。図１４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３において、取り払い部７５が基板Ｗに当接し始めたときの状態を示す拡大断面図である。図１５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されたときの、蓋体３における取り払い部７５の状態を示す拡大断面図である。
【００５５】
先ず、基板Ｗが基板収納空間２７に収納されているときには、基板Ｗは、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とが協働することにより挟まれるようにして支持されている。このため、基板Ｗの縁部は、下側当接面８４１と上側傾斜面８５１との間に形成された開口を通して凹部形成部８１の凹部８２に係合すると共に、リア押え部８０における、当該開口を形成している左右方向Ｄ３における取り払い部８３の図示しない縁部に当接している。
また、基板Ｗにより取り払い部８３は、フロントリテーナ７の脚部７２の弾性力により、後方向Ｄ１２に押され、リブ状部２２１に押し付けられている。板バネ部８３２の弾性力よりも、フロントリテーナ７の脚部７２の弾性力の方が強いため、このように取り払い部８３は、図５に示すように、リブ状部２２１に押し付けられる。
【００５６】
また、フロントリテーナ７においては、図１５に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３が基板Ｗの縁部に当接して、基板Ｗを後方向へ付勢した状態で支持すると共に、板ばね状部７５１が基板Ｗの縁部に当接して、基板Ｗを後方向へ付勢している。
【００５７】
次に、蓋体３の操作部３３（図１等参照）が操作されて、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂへの上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの係合が解除されると、図４に示すように、リア押え部８０においては、板バネ部８３２の弾性力により、取り払い部８３は、リブ状部２２１に対して前方向Ｄ１１へ移動し、リブ状部２２１との間に隙間Ｇが発生する。これに伴い、基板Ｗは、取り払い部８３によって前方向Ｄ１１へ取り払われ、リブ状部２２１の凹部８２への基板Ｗの縁部の係合が解除される。これにより、基板Ｗの縁部は、図６に示すように、下側傾斜面８４２に対して摺動して滑り落ち、基板Ｗの下面が下側当接面８４１に当接し、このように当接する一定の位置（所定の装置により基板Ｗが取り扱われる所定の位置）に、基板Ｗは配置される。そして、図３に示すように、基板Ｗは図示しない所定の装置により支持されて、基板収納空間２７から取り出される。
【００５８】
また、フロントリテーナ７においては、図１４に示すように、脚部７２の弾性力により基板Ｗが後方向Ｄ１２へ押され、また、これとは別に、板ばね状部７５１の弾性力によって基板Ｗが後方向Ｄ１２へ押される。そして板ばね状部７５１の弾性力によって、基板Ｗがフロントリテーナ基板受け部７３から取り払われて、一定の位置（所定の装置により基板Ｗが取り扱われる所定の位置）に、基板Ｗは配置される。そして、図１３に示すように、基板Ｗは図示しない所定の装置により支持されて、基板収納空間２７から取り出される。
【００５９】
上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞された状態から、容器本体開口部２１から蓋体３が開かれるときに、奥側基板支持部６及びフロントリテーナ７によって支持されている状態の基板Ｗを、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とからそれぞれ取り払う取り払い部７５、８３と、を備える。
【００６０】
上記構成により、蓋体３によって容器本体開口部２１を開放する際に、基板Ｗを奥側基板支持部６及びフロントリテーナ７に対して押し付ける物理的な圧力が弱くなったときに、基板Ｗを取り払い部７５、８３によって取り払うことで、基板Ｗを、所定の装置によって支持して容器本体から取り出し可能な所定の位置に、移動させることが可能となる。この結果、基板Ｗを容器本体２から所定の装置を用いて、確実に取り出すことが可能となる。
【００６１】
そして、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞したり開放したりする際に基板Ｗに当接する取り払い部８３の部分は、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分よりも最大静摩擦係数が小さい。
【００６２】
また、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞したり開放したりする際に、基板Ｗに当接する取り払い部７５の部分は、基板Ｗに当接するフロントリテーナ７の部分よりも最大静摩擦係数が小さい。
【００６３】
上記構成により、基板Ｗに当接する取り払い部８３の部分は、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分よりも最大静摩擦係数が小さいため、また、基板Ｗに当接する取り払い部７５の部分は、基板Ｗに当接するフロントリテーナ７の部分よりも最大静摩擦係数が小さいため、基板Ｗは、取り払い部７５、８３の部分に対して滑らかに摺動することが可能である。この結果、基板Ｗを所定の位置に確実に移動させることが可能となる。
【００６４】
一方、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分、基板Ｗに当接するフロントリテーナ７は、基板Ｗに当接する取り払い部８３、７５の部分よりも最大静摩擦係数が大きいため、パーティクルの発生等による汚れを抑えることが可能であり、基板収納空間２７をクリーンな状態とすることが可能となり、基板Ｗをクリーンな状態で保管が可能となる。即ち、クリーンな状態での基板Ｗの保管と、容器本体２からの基板Ｗの取り出し時の基板Ｗの所定の位置への移動と、の両立を図ることが可能となる。
【００６５】
また、取り払い部７５は、弾性変形する弾性部材としての板ばね状部７５１を備え、板ばね状部７５１の弾性力により基板Ｗの取り払いを行う。また、取り払い部８３は、弾性変形する弾性部材としての板バネ部８３２を備え、板バネ部８３２の弾性力により基板Ｗの取り払いを行う。この構成により、取り払い部７５、８３による基板Ｗの取り払いを、より確実に行うことが可能となる。
【００６６】
次に、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１６Ａは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、奥側端縁支持部６０Ａに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。図１６Ｂは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、取り払い部８３Ａに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【００６７】
第２実施形態では、奥側基板支持部６Ａが基板支持板状部５（図２等参照）と一体成形されて設けられている点、及び、取り払い部８３及び基板Ｗの縁部を支持するリブ状部２２１を有する構成に代えて、取り払い部８３Ａを有する点で、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００６８】
基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６Ａ（図１６Ａ参照）が基板支持板状部５（図２等参照）と一体成形されて設けられている。奥側基板支持部６Ａは、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７（図７等参照）と対をなすように壁部２０（図２等参照）に設けられている。奥側基板支持部６Ａは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。即ち、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６Ａは、フロントリテーナ７と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
【００６９】
図１６Ａに示すように、奥側基板支持部６Ａは、奥側端縁支持部６０Ａを有している。奥側端縁支持部６０Ａは、基板支持板状部５（図２等参照）の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されている。
【００７０】
奥側端縁支持部６０Ａは、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０Ａは、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。
【００７１】
奥側端縁支持部６０Ａは、下側側面６１１Ａと上側側面６１２Ａと、を有しており、これらの間には、基板係合溝６４Ａが形成されている。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときには、基板Ｗが下側側面６１１Ａに対して摺動してせり上がり、基板Ｗが基板係合溝６４Ａの位置に至ったときに、基板Ｗの縁部は、基板係合溝６４Ａにおいて奥側端縁支持部６０Ａに支持される。
【００７２】
取り払い部８３Ａは、図１６Ｂに示すように、下側当接面８４１Ａと、下側傾斜面８４２Ａと、上側傾斜面８５１Ａと、を有している。
【００７３】
具体的には、下側当接面８４１Ａは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの裏面（下面）の端縁に当接し、基板Ｗを支持する。
下側傾斜面８４２Ａは、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図１６Ｂにおける左側）から離間するように、下側当接面８４１Ａの端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されており、基板Ｗの裏面の端部が摺動する。上側傾斜面８５１Ａは、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図１６Ｂにおける左側）に接近するように、下側傾斜面８４２Ａの上端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されている。
【００７４】
下側傾斜面８４２Ａ及び上側傾斜面８５１Ａは、下側当接面８４１Ａよりも上側に配置され、基板Ｗの端部が係合可能な基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成する。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときに、基板Ｗは、下側傾斜面８４２Ａに対して摺動してせり上がり、基板ＷがＶ字状溝の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの縁部はＶ字状溝において支持される。
【００７５】
基板Ｗに対して下側当接面８４１Ａ、下側傾斜面８４２Ａ、上側傾斜面８５１Ａを摺動させた場合のいずれの最大静摩擦係数も、基板Ｗに対して奥側端縁支持部６０Ａを摺動させた場合の最大静摩擦係数よりも相対的に低い値となるように、下側傾斜面８４２Ａ、下側当接面８４１Ａ、奥側端縁支持部６０Ａ、及び、上側傾斜面８５１Ａは、適宜粗面加工等の表面処理が施されている。取り払い部８３Ａは、第１実施形態と同様に、図示しない板バネ部によって前方向Ｄ１１へ付勢されている。具体的には、基板Ｗに対して下側当接面８４１Ａ、下側傾斜面８４２Ａ、上側傾斜面８５１Ａを摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．２５以下である。最大静摩擦係数の値を０．２５以下としたのは、０．２５を超える場合には、下側当接面８４１Ａ、下側傾斜面８４２Ａ、上側傾斜面８５１Ａに対して基板Ｗが十分に摺動しないためである。また、基板Ｗに対して奥側端縁支持部６０Ａを摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．３以上である。最大静摩擦係数の値を０．３以上としたのは、０．３未満の場合には、基板収納容器１の輸送中の振動等により、クリーンな基板Ｗに対して、パーティクル等の発生による汚れを付着させ易いからである。
【００７６】
次に、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞した後に、蓋体３を取り外している際の動作について説明する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞しており、基板Ｗが基板収納空間２７に収納されているときには、基板Ｗは、奥側基板支持部６Ａとフロントリテーナ７とが協働することにより挟まれるようにして支持されていることは、第１実施形態と同様である。従って、基板Ｗの縁部は、図１６Ａに示すように、奥側端縁支持部６０Ａの基板係合溝６４Ａに係合し、これにより基板Ｗの縁部は、奥側端縁支持部６０Ａによって支持されている。また、このとき、図１６Ｂに示すように、取り払い部８３Ａにおいては、下側傾斜面８４２Ａが基板Ｗの下面の縁部に当接し、上側傾斜面８５１Ａが基板Ｗの上面の縁部に当接している。
【００７７】
次に、蓋体３の操作部３３が操作されて、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂへの上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの係合が解除されると、図示しない板バネ部の弾性力により、取り払い部８３Ａは、容器本体２に対して前方向Ｄ１１へ移動し、これに伴い、基板Ｗは、取り払い部８３Ａによって前方向Ｄ１１へ取り払われ、奥側端縁支持部６０Ａの基板係合溝６４Ａへの係合が解除される。これにより、基板Ｗの縁部は、図１６Ｂに示すように、下側傾斜面８４２Ａに対して摺動して滑り落ち、基板Ｗの下面が下側当接面８４１Ａに当接し、このように当接する所定の位置に、基板Ｗは配置される。そして、基板Ｗは、所定の装置によって支持されて基板収納空間２７から取り出される。
【００７８】
次に、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１７Ａは、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、取り払い部８３Ｂに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。図１７Ｂは、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、奥側端縁支持部６０Ｂに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【００７９】
第３実施形態では、第２実施形態と同様の構成の取り払い部８３Ａが、基板支持板状部５の後部に設けられている点、及び、第２実施形態と同様の構成の奥側基板支持部６Ａが、リブ状部２２１に設けられている点で、第２実施形態とは異なる。第２実施形態における取り払い部８３Ａの各構成に相当する、第３実施形態における取り払い部８３Ｂの各構成については、第２実施形態における符号のＡをＢに代えて図示して説明を省略する。同様に、第２実施形態における奥側基板支持部６Ａの各構成に相当する、第３実施形態における奥側基板支持部６Ｂの各構成については、第２実施形態における符号のＡをＢに代えて図示して説明を省略する。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
【００８０】
基板Ｗに対して下側当接面８４１Ｂ、下側傾斜面８４２Ｂ、上側傾斜面８５１Ｂを摺動させた場合のいずれの最大静摩擦係数も、基板Ｗに対して奥側端縁支持部６０Ｂを摺動させた場合の最大静摩擦係数よりも相対的に低い値となるように、下側傾斜面８４２Ｂ、下側当接面８４１Ｂ、奥側端縁支持部６０Ｂ、及び、上側傾斜面８５１Ｂは、適宜粗面加工等の表面処理が施されている。具体的には、基板Ｗに対して下側当接面８４１Ｂ、下側傾斜面８４２Ｂ、上側傾斜面８５１Ｂを摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．２５以下である。最大静摩擦係数の値を０．２５以下としたのは、０．２５を超える場合には、下側当接面８４１Ｂ、下側傾斜面８４２Ｂ、上側傾斜面８５１Ｂに対して基板Ｗが十分に摺動しないためである。また、基板Ｗに対して奥側端縁支持部６０Ｂを摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．３以上である。最大静摩擦係数の値を０．３以上としたのは、０．３未満の場合には、基板収納容器１の輸送中の振動等により、クリーンな基板Ｗに対して、パーティクル等の発生による汚れを付着させ易いからである。
【００８１】
次に、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞した後に、蓋体３を取り外している際の動作について説明する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞しており、基板Ｗが基板収納空間２７に収納されているときには、基板Ｗは、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とが協働することにより挟まれるようにして支持されていることは、第１実施形態、第２実施形態と同様である。
従って、基板Ｗの縁部は、図１７Ｂに示すように、奥側端縁支持部６０Ｂの基板係合溝６４Ｂに係合し、これにより基板Ｗの縁部は、奥側端縁支持部６０Ｂによって支持されている。また、このとき、基板支持板状部５の後部に設けられた取り払い部８３Ｂにおいては、下側傾斜面８４２Ｂが基板Ｗの下面の縁部に当接し、上側傾斜面８５１Ｂが基板Ｗの上面の縁部に当接している。
【００８２】
次に、蓋体３の操作部３３が操作されて、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂへの上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの係合が解除されると、図示しない板バネ部の弾性力により、取り払い部８３Ｂは、容器本体２に対して前方向Ｄ１１へ移動し、これに伴い、基板Ｗは、取り払い部８３Ｂによって前方向Ｄ１１へ取り払われ、奥側端縁支持部６０Ｂの基板係合溝６４Ｂへの係合が解除される。これにより、基板Ｗの縁部は、取り払い部８３Ｂにおいて、図１７Ａに示すように、下側傾斜面８４２Ｂに対して摺動して滑り落ち、基板Ｗの下面が下側当接面８４１Ｂに当接し、このように当接する所定の位置に、基板Ｗは配置される。そして、基板Ｗは、所定の装置によって支持されて基板収納空間２７から取り出される。
【００８３】
次に、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１８は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器において蓋体３により容器本体開口部２１が開閉されたときの、奥側端縁支持部６０に及び取り払い部８３Ｃに対する基板Ｗの位置関係を示す模式図である。
【００８４】
第４実施形態では、奥側基板支持部６Ｃが基板支持板状部５と一体成形されて設けられている点、第１実施形態と同様の構成の取り払い部８３Ｃが、基板支持板状部５の後部に設けられている点、及び、容器本体２に強い衝撃を受けたときにのみ基板Ｗに当接し、容器本体２に強い衝撃を受けていないときには、基板Ｗに接触しないリアリテーナを備えている点で、第１実施形態とは異なる。第１実施形態における取り払い部８３の各構成に相当する、第４実施形態における取り払い部８３Ｃの各構成については、第１実施形態における符号にＣに付して図示して説明を省略する。同様に、第１実施形態における奥側基板支持部６の各構成に相当する、第４実施形態における奥側基板支持部６Ｃの各構成については、第１実施形態における符号にＣに付して図示して説明を省略する。
【００８５】
基板支持板状部５の後部には、第１実施形態のリブ状部２２１と同様の形状、即ち、上下方向Ｄ２において所定の間隔で凹部８２Ｃが形成された凹部形成部８１Ｃを有する形状の奥側端縁支持部６０Ｃが設けられている。また、奥側端縁支持部６０Ｃの前側には、第１実施形態の取り払い部８３と同様の取り払い部８３Ｃが設けられている。
【００８６】
基板Ｗに対して下側当接面８４１Ｃ、下側傾斜面８４２Ｃ、上側傾斜面８５１Ｃを摺動させた場合のいずれの最大静摩擦係数も、基板Ｗに対して奥側端縁支持部６０Ｃを摺動させた場合の最大静摩擦係数よりも相対的に低い値となるように、下側傾斜面８４２Ｃ、下側当接面８４１Ｃ、奥側端縁支持部６０Ｃ、及び、上側傾斜面８５１Ｃは、適宜粗面加工等の表面処理が施されている。具体的には、基板Ｗに対して下側当接面８４１Ｃ、下側傾斜面８４２Ｃ、上側傾斜面８５１Ｃを摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．２５以下である。最大静摩擦係数の値を０．２５以下としたのは、０．２５を超える場合には、下側当接面８４１Ｃ、下側傾斜面８４２Ｃ、上側傾斜面８５１Ｃに対して基板Ｗが十分に摺動しないためである。また、基板Ｗに対して奥側端縁支持部６０Ｃを摺動させた場合の最大静摩擦係数は、０．３以上である。最大静摩擦係数の値を０．３以上としたのは、０．３未満の場合には、基板収納容器１の輸送中の振動等により、クリーンな基板Ｗに対して、パーティクル等の発生による汚れを付着させ易いからである。
【００８７】
リアリテーナ（図示せず）は、リブ状部２２１に設けられており、リブ状部２２１には、２５枚の基板Ｗの縁部を挿入可能なＶ字状溝が形成されている。Ｖ字状溝が形成しているリブ状部２２１の部分は、基板Ｗが基板収納空間２７へ収納され蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部に所定の距離で離間している。当該リブ状部２２１の部分は、容器本体２に強い衝撃を受けたときに基板Ｗに当接し、基板Ｗが所定の量以上に撓むことを抑える。
【００８８】
次に、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞した後に、蓋体３を取り外している際の動作について説明する。
蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞しており、基板Ｗが基板収納空間２７に収納されているときには、基板Ｗは、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とが協働することにより挟まれるようにして支持されていることは、第１実施形態〜第３実施形態と同様である。従って、基板Ｗの縁部は、図１８に示すように、凹部形成部８１Ｃの凹部８２Ｃに係合し、これにより基板Ｗの縁部は、奥側端縁支持部６０Ｃによって支持されている。また、このとき、基板支持板状部５の後部に設けられた取り払い部８３Ｃにおいては、下側傾斜面８４２Ｃが基板Ｗの下面の縁部に当接し、上側傾斜面８５１Ｃが基板Ｗの上面の縁部に当接している。
【００８９】
次に、蓋体３の操作部３３が操作されて、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂへの上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂの係合が解除されると、板バネ部８３２の弾性力により、取り払い部８３Ｃは、容器本体２に対して前方向Ｄ１１へ移動し、これに伴い、基板Ｗは、取り払い部８３Ｃによって前方向Ｄ１１へ取り払われ、凹部形成部８１Ｃの凹部８２Ｃへの係合が解除される。これにより、基板Ｗの縁部は、図１８に示すように、下側傾斜面８４２Ｃに対して摺動して滑り落ち、基板Ｗの下面が下側当接面８４１Ｃに当接し、このように当接する所定の位置に、基板Ｗは配置される。そして、基板Ｗは、所定の装置によって支持されて基板収納空間２７から取り出される。
【００９０】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
【００９１】
例えば、本実施形態における取り払い部８３、７５は、容器本体の側と、蓋体の側との両方に設けられていたが、この構成に限定されない。取り払い部は、奥側基板支持部と蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から基板Ｗを取り払える構成を有していればよい。従って、例えば、本実施形態では、基板収納容器１は、取り払い部８３と、取り払い部７５とを備えていたが、取り払い部８３を備え、取り払い部７５を備えていなくてもよい。
また、弾性部材として取り払い部８３の板バネ部８３２が用いられ、また、取り払い部７５の板ばね状部７５１が用いられたが、これに限定されない。
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。即ち、側方基板支持部や、蓋体側基板支持部や、奥側基板支持部の構成は、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７、奥側基板支持部６の構成に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
【符号の説明】
【００９２】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
５  基板支持板状部（側方基板支持部）
６  奥側基板支持部
７  フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０  壁部
２１  容器本体開口部
２７  基板収納空間
２８  開口周縁部
７５  取り払い部
８３  取り払い部
７５１  板ばね状部
８３２  板バネ部
Ｗ  基板
【図１】
2019030863.tif 000003
【図２】
2019030863.tif 000004
【図３】
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【図４】
2019030863.tif 000006
【図５】
2019030863.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2019030863.tif 000015
【図１４】
2019030863.tif 000016
【図１５】
2019030863.tif 000017
【図１６Ａ】
2019030863.tif 000018
【図１６Ｂ】
2019030863.tif 000019
【図１７Ａ】
2019030863.tif 000020
【図１７Ｂ】
2019030863.tif 000021
【図１８】
2019030863.tif 000022
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月24日(2018.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞された状態から、前記容器本体開口部から前記蓋体が開かれるときに、前記奥側基板支持部及び前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を、前記奥側基板支持部と前記蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部と、を備え、
前記取り払い部は、前記奥側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記奥側基板支持部から取り払い、前記奥側基板支持部の部分であって前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞しているときに前記基板が当接する部分の周囲を覆うように構成され、
前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記奥側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さく構成され、
前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞しているときには、前記基板は、前記取り払い部に覆われていない前記奥側基板支持部の部分に当接し、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態から前記蓋体を開いている時に、前記基板は、前記基板が当接する前記取り払い部の部分に対して滑る基板収納容器。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
前記取り払い部は、前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記蓋体側基板支持部から取り払い、
前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記蓋体側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さい、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記取り払い部は、弾性変形する弾性部材を備え、前記弾性部材の弾性力により前記基板の取り払いを行う、請求項１又は請求項３に記載の基板収納容器。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月7日(2020.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、
前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞された状態から、前記容器本体開口部から前記蓋体が開かれるときに、前記奥側基板支持部及び前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を、前記奥側基板支持部と前記蓋体側基板支持部とのうちの少なくとも一方から取り払う取り払い部と、を備え、
前記取り払い部は、前記奥側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記奥側基板支持部から取り払い、前記奥側基板支持部の部分であって前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞しているときに前記基板が当接する部分の周囲を覆うように構成され、
前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記奥側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さく構成され、
前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞しているときには、前記基板は、前記取り払い部に覆われていない前記奥側基板支持部の部分に当接し、前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞している状態から前記蓋体を開いている時に、前記基板は、前記基板が当接する前記取り払い部の部分に対して滑る基板収納容器。
【請求項２】
前記取り払い部は、前記蓋体側基板支持部によって支持されている状態の前記基板を前記蓋体側基板支持部から取り払い、
前記蓋体によって前記容器本体開口部を閉塞したり開放したりする際に前記基板に当接する前記取り払い部の部分は、前記基板に当接する前記蓋体側基板支持部の部分よりも最大静摩擦係数が小さい、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記取り払い部は、弾性変形する弾性部材を備え、前記弾性部材の弾性力により前記基板の取り払いを行う、請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
【国際調査報告】
2019030863.tif 000023
2019030863.tif 000024
2019030863.tif 000025
2019030863.tif 000026