(57)【要約】【課題】小型化、集積化された流体制御装置に適した手動バルブ装置を提供する。駆動機構（５０）を内蔵する筒状のケーシング（７０）と、駆動機構（５０）を作動させるための操作部材（１１０）と、当該操作部材（１１０）に作用する力を当該駆動機構の駆動力に変換するカム部（８０）とを有する手動バルブ装置であって、ケーシング（７０）の上端側に設けられ、操作部材（１１０）の少なくとも一部を覆う保護カバー（１００）を有し、操作部材（１１０）は、駆動機構（５０）の作動に必要な力を操作部材（１１０）に作用させるための補助工具（６００）を取り外し可能に装着させる装着部（１１０ａ）を有し、保護カバー（１００）は、操作部材（１１０）の装着部（１１０ａ）への補助工具（６００）のアクセスを可能に形成されている。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する底面及び上面を画定するとともに流体流路を画定するブロック状のバルブボディと、前記バルブボディの前記流体流路を開閉可能に設けられた弁体と、前記弁体を開閉方向に駆動する駆動機構と、前記バルブボディに接続されて当該バルブボディの前記上面から上方に向けて延在し前記駆動機構を内蔵する筒状のケーシングと、前記駆動機構を作動させるための操作部材と、当該操作部材に作用する力を当該駆動機構の駆動力に変換するカム部とを有する手動バルブ装置であって、  前記ケーシングの上端側に設けられ、前記操作部材の少なくとも一部を覆う保護カバーを有し、  前記操作部材は、前記駆動機構の作動に必要な力を当該操作部材に作用させるための補助工具を取り外し可能に装着させる装着部を有し、  前記保護カバーは、前記操作部材の装着部への前記補助工具のアクセスを可能に形成されている、ことを特徴とする手動バルブ装置。
【請求項２】
前記操作部材および前記保護カバーは、上面視において、前記ケーシングの外形内に収まるように形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の手動バルブ装置。
【請求項３】
前記装着部は、凹状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の手動バルブ装置。
【請求項４】
前記操作部材は、前記ケーシングの中心軸線を中心に回転可能に保持され、  前記保護カバーは、前記操作部材の外周を覆い、  前記装着部は、前記操作部材の上端面に形成されている、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の手動バルブ装置。
【請求項５】
前記駆動機構は、前記弁体を開閉する方向に移動可能に保持された可動ロッドと、  前記カム部に形成されたカム面上を移動可能で、かつ、前記可動ロッドに回転可能に保持されたローラ部材と、を有し、  前記カム面は、前記ローラ部材が係止して前記操作部材を開放位置と閉鎖位置とに保持する係止部を有する、ことを特徴とする請求項４に記載の手動バルブ装置。
【請求項６】
前記操作部材は、前記流路が閉鎖されると前記操作部材の上端部の全体が前記保護部材の内部に収容された状態に維持され、前記流路が閉鎖状態から開放されると、当該操作部材の一部が前記保護部材から突出した状態に維持される、ことを特徴とする請求項４又は５に記載の手動バルブ装置。
【請求項７】
対向する底面及び上面を画定するとともに流体流路を画定するブロック状のバルブボディと、前記バルブボディの前記流体流路を開閉可能に設けられた弁体と、前記弁体を開閉方向に駆動する駆動機構と、前記バルブボディに接続されて当該バルブボディの前記上面から上方に向けて延在する筒状のケーシングと、前記駆動機構を作動させるための操作部材と、当該操作部材に作用する傾動力を当該駆動機構の駆動力に変換するカム部とを有する手動バルブ装置であって、  前記ケーシングの上端側に設けられ、前記操作部材の少なくとも一部を覆う保護カバーを有し、  前記操作部材は、前記駆動機構の作動に必要な傾動力を当該操作部材に作用させるための補助レバーを取り外し可能に装着させる装着部を有し、  前記保護カバーは、前記操作部材の装着部への前記補助レバーのアクセスを可能にするように形成されている、ことを特徴とする手動バルブ装置。
【請求項８】
前記装着部は、凹状に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の手動バルブ装置。
【請求項９】
前記駆動機構は、前記弁体を開閉する方向に移動可能に保持された可動ロッドを有し、  前記操作部材は、所定軸線を中心に傾動可能に前記可動ロッドに連結され、  前記カム部は、前記操作部材に形成されたカム面と、当該カム面と係合し前記操作部材に作用する傾動力を受ける受け面とを有する、ことを特徴とする請求項７又は８に記載の手動バルブ装置。
【請求項１０】
前記受け面を有する受け部材は、前記可動ロッドが貫通する貫通孔を有し、前記保護カバー内で前記ケーシングに保持されている、ことを特徴とする請求項９に記載の手動バルブ装置。
【請求項１１】
前記受け部材は、前記操作部材の一部が係合し、開放状態または閉鎖状態に当該操作部材を維持するための係止部をさらに有する、ことを特徴とする請求項１０に記載の手動バルブ装置。
【請求項１２】
複数の流体機器を有する流体制御装置であって、  前記流体機器に請求項１乃至１１のいずれかに記載の手動バルブ装置が含まれる、ことを特徴とする流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、手動バルブ装置およびこのバルブ装置を含む流体機器が集積化された流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  例えば、半導体製造装置等のチャンバへ各種のプロセスガスを供給するために使用される流体制御装置としては、下記の引用文献１等に開示されたものが知られている。  上記のような流体制御装置の分野においては、プロセスガスの供給制御により高い応答性が求められており、このためには流体制御装置をできるだけ小型化、集積化することが進められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２０６７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  ところで、上記のような流体制御装置では、通常は使用されないが、緊急時や装置の全停止を実施する際に使用される手動バルブを含む。このような手動バルブは、手動操作用のハンドルやレバーを備えているため、これらの部品は、他の自動バルブ装置等の流体機器の小型化に合わせて、小型化すると手動操作が困難になるため、小型化が難しいという問題があった。  また、手動バルブが意図せず操作されるのを防ぐためには、手動操作用のハンドルやレバーに保護枠、キャップ、カバー等を設け、開閉状態を示すインジケータも設ける必要があり、さらに小型化が困難となる。【０００５】  本発明の一の目的は、小型化、集積化された流体制御装置に適した手動バルブ装置を提供することにある。  本発明の他の目的は、上記の手動バルブ装置を含む小型化、集積化された流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  上記目的を達成するための本第１発明の手動バルブ装置は、対向する底面及び上面を画定するとともに流体流路を画定するブロック状のバルブボディと、前記バルブボディの流路を開閉可能に設けられた弁体と、前記弁体を開閉方向に駆動する駆動機構と、前記バルブボディに接続されて当該バルブボディの上面から上方に向けて延在し前記駆動機構を内蔵する筒状のケーシングと、前記駆動機構を作動させるための操作部材と、当該操作部材に作用する力を当該駆動機構の駆動力に変換するカム部とを有する手動バルブ装置であって、  前記ケーシングの上端側に設けられ、前記操作部材の少なくとも一部を覆う保護カバーを有し、  前記操作部材は、前記駆動機構の作動に必要な力を当該操作部材に作用させるための補助工具を取り外し可能に装着させる装着部を有し、  前記保護カバーは、前記操作部材の装着部への前記工具のアクセスおよび操作を可能にするように形成されている、ことを特徴とする。【０００７】  好適には、前記操作部材および保護カバーは、上面視において、前記ケーシングの外形内に収まるように形成されている、構成を採用できる。さらに好適には、前記装着部は、凹状に形成されている、構成を採用できる。【０００８】  好適には、前記操作部材は、前記ケーシングの中心軸線を中心に回転可能に保持され、  前記保護カバーは、前記操作部材の外周を覆い、  前記装着部は、前記操作部材の上端面に形成されている、構成を採用できる。【０００９】  さらに好適には、前記駆動機構は、前記弁体を開閉する方向に移動可能に保持された可動ロッドと、  前記カム部に形成されたカム面上を移動可能で、かつ、前記可動ロッドに回転可能に保持されたローラ部材と、を有し、  前記カム面は、前記ローラ部材が係止して前記操作部材を開放位置と閉鎖位置とに保持する係止部を有する、構成を採用できる。【００１０】  好適には、前記操作部材は、前記流路が開放又は閉鎖されると前記操作部材の上端部の一部が前記保護部材から突出した状態に維持され、前記流路が開放又は閉鎖状態から閉鎖又は開放されると、当該操作部材の全体が前記保護部材の内部に収容された状態に維持される、構成を採用できる。【００１１】  また、上記目的を達成するための本第２発明の手動バルブ装置は、対向する底面及び上面を画定するとともに流体流路を画定するブロック状のバルブボディと、前記バルブボディの流路を開閉可能に設けられた弁体と、前記弁体を開閉方向に駆動する駆動機構と、前記バルブボディに接続されて当該バルブボディの上面から上方に向けて延在する筒状のケーシングと、前記駆動機構を作動させるための操作部材と、当該操作部材に作用する傾動力を当該駆動機構の駆動力に変換するカム部とを有する手動バルブ装置であって、  前記ケーシングの上端側に設けられ、前記操作部材の少なくとも一部を覆う保護カバーを有し、  前記操作部材は、前記駆動機構の作動に必要な傾動力を当該操作部材に作用させるための補助レバーを取り外し可能に装着させる装着部を有し、  前記保護カバーは、前記操作部材の装着部への前記補助レバーのアクセスを可能にするように形成されている、ことを特徴とする。【００１２】  好適には、前記装着部は、凹状に形成さ��ている、構成を採用できる。【００１３】  好適には、前記駆動機構は、前記弁体を開閉する方向に移動可能に保持された可動ロッドを有し、  前記操作部材は、所定軸線を中心に傾動可能に前記可動ロッドに連結され、  前記カム部は、前記操作部材に形成されたカム面と、当該カム面と係合し前記操作部材に作用する傾動力を受ける受け面とを有する、構成を採用できる。【００１４】  さらに好適には、前記受け面を有する受け部材は、前記可動ロッドが貫通する貫通孔を有し、前記保護カバー内で前記ケーシングに保持されている、構成を採用できる。また、前記受け面を有する受け部材は、前記可動ロッドが貫通する貫通孔を有し、前記保護カバー内で前記ケーシングに保持されている、構成を採用できる。【００１５】  本発明の流体制御装置は、複数の流体機器を有する流体制御装置であって、  前記流体機器に上記構成の手動バルブ装置が含まれる、ことを特徴とする。【００１６】  本発明によれば、小型化、集積化された流体制御装置に適した手動バルブ装置を得られるとともに、手動バルブ装置が意図せず操作されるのを確実に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る手動バルブ装置の断面図であって、バルブ閉鎖状態を示す図。
【図１Ｂ】図１Ａの手動バルブ装置の上面図。
【図２】図１Ａの手動バルブ装置の断面図であって、バルブ開放状態を示す図。
【図３Ａ】図１Ａの手動バルブ装置の要部外観斜視図であって、バルブ閉鎖状態を示す図。
【図３Ｂ】図３Ａの手動バルブ装置の内部構造を示す、一部に断面を含む斜視図。
【図４Ａ】図２の手動バルブ装置の要部外観斜視図であって、バルブ開放状態を示す図。
【図４Ｂ】図４Ａの手動バルブ装置の内部構造を示す、一部に断面を含む斜視図。
【図５】ケーシング部材の外観斜視図
【図６Ａ】操作部材の斜視図。
【図６Ｂ】操作部材の縦断面図。
【図７】保護カバーの斜視図。
【図８】補助工具としてのトルクレンチの正面図。
【図９Ａ】本発明の一実施形態に係る手動バルブ装置の断面図。
【図９Ｂ】図９Ａの手動バルブ装置の上面図。
【図１０Ａ】図９Ａの手動バルブ装置の断面図であって、バルブ開放状態を示す図。
【図１０Ｂ】図１０Ａの手動バルブ装置の上面図。
【図１１Ａ】図９Ａの手動バルブ装置の要部外観斜視図であって、バルブ閉鎖状態を示す図。
【図１１Ｂ】図１１Ａの手動バルブ装置の内部構造を示す、一部に断面を含む斜視図。
【図１２Ａ】図１０Ａの手動バルブ装置の要部外観斜視図であって、バルブ開放状態を示す図。
【図１２Ｂ】図１２Ａの手動バルブ装置の内部構造を示す、一部に断面を含む斜視図。
【図１３】可動ロッドの外観斜視図
【図１４】ケーシング部材の外観斜視図。
【図１５】受け部材の外観斜視図。
【図１６Ａ】操作部材の外観斜視図。
【図１６Ｂ】操作部材の側面図。
【図１７】本発明の手動バルブが適用される流体制御装置の一例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】  以下、本第１発明及び第２発明の実施形態について図面を参照して説明する。  先ず、図１７を参照して、本発明が適用される流体制御装置の一例を説明する。  図１７に示す流体制御装置は、金属製のベースプレートＢＳ上には、幅方向Ｗ１，Ｗ２に沿って配列され長手方向Ｇ１，Ｇ２に延びる５本のレール部材５００が設けられている。なお、Ｗ１は正面側、Ｗ２は背面側，Ｇ１は上流側、Ｇ２は下流側の方向を示している。各レール部材５００には、複数の流路ブロック２００を介して各種流体機器２１０Ａ〜２１０Ｅが設置され、複数の流路ブロック２００によって、上流側から下流側に向かって流体が流通する図示しない流路がそれぞれ形成されている。  ここで、「流体機器」とは、流体の流れを制御する流体制御装置に使用される機器であって、流体流路を画定するボディを備え、このボディの表面で開口する少なくとも２つの流路口を有する機器である。具体的には、開閉弁（２方弁）２１０Ａ、レギュレータ２１０Ｂ、プレッシャーゲージ２１０Ｃ、開閉弁（３方弁）２１０Ｄ、マスフローコントローラ２１０Ｅ等が含まれるが、これらに限定されるわけではない。なお、導入管３１０は、上記した図示しない流路の上流側の流路口に接続されている。  流体機器を小型化、集積化していくと、図１７から分かるように、全体的に細長く形成され、幅方向Ｗ１，Ｗ２の隣り合う流体機器間にはほとんど隙間が存在しないのがわかる。  本発明の手動バルブ装置は、例えば、開閉弁２１０Ａの位置に適用されうる。
【００１９】＜実施形態１＞  次に、図１Ａ〜図７を参照して、本第１発明の一実施形態に係る手動バルブ装置について説明する。なお、図中において、矢印Ａ１，Ａ２は上下方向を示しており、Ａ１が上方向、Ａ２が下方向を示している。  手動バルブ装置１は、バルブボディ２０と、弁体としてのダイヤフラム４０と、駆動機構５０と、駆動機構５０を内蔵するケーシング７０と、保護カバー１００と、操作部材１１０とを有する。
【００２０】  バルブボディ２０は、対向する上面２０ａ及び底面２０ｂを画定しており、底面２０ｂに開口部２１ａ，２２ａを有するガス等の流路２１，２２を画定している。流路２１，２２は他の流路部材と図示しないシール部材を介して接続される。バルブボディ２０には、上面２０ａと底面２０ｂとを貫通する貫通孔２３，２４が形成されている。これらの貫通孔２３，２４は、上記した流路ブロック２００にバルブボディ２０を固定するための締結ボルト用の孔である。
【００２１】  バルブシート３０は、バルブボディ２０の流路２１の周囲に設けられている。バルブシート３０は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ等の樹脂で弾性変形可能に形成されている。  ダイヤフラム４０は、弁体として機能し、バルブシート３０よりも大きな直径を有し、ステンレス、ＮｉＣｏ系合金などの金属やフッ素系樹脂で球殻状に弾性変形可能に形成されている。ダイヤフラム４０は、押えアダプタ４２を介してケーシング部材７１の下端面によりバルブボディ２０に向けて押し付けられることによりバルブシート３０に対して当接離隔可能にバルブボディ２０に支持されている。図１Ａにおいて、ダイヤフラム４０はダイヤフラム押え５１により押圧されて弾性変形し、バルブシート３０に押し付けられている状態にある。ダイヤフラム押え５１による押圧を開放すると、球殻状に復元する。ダイヤフラム４０がバルブシート３０に押し付けられている状態では、流路２１が閉鎖されている。図２に示すように、ダイヤフラム４０がバルブシート３０から離れると、流路２１は開放され、流路２２と連通する。
【００２２】  ケーシング７０は、円筒状に形成され互いに接続されたケーシング部材７１，７２からなり、ケーシング部材７１の下端部がバルブボディ２０の上側に螺合することにより、バルブボディ２０に固定されている。  駆動機構５０は、ダイヤフラム押え５１、可動ロッド５２およびコイルばね５４を有する。ダイヤフラム押え５１および可動ロッド５２はケーシング７０内を上下方向Ａ１，Ａ２に移動可能に保持されており、可動ロッド５２は、中途に形成された鍔部５２ｂがケーシング部材７１の上端面に当接することにより、下方向Ａ２への移動が規制される。  コイルばね５４は、可動ロッド５２の鍔部５２ｂとケーシング部材７２との間に介在し、復元力により、可動ロッド５２を下方向Ａ２へ向けて常時付勢している。手動バルブ装置１は、通常は流路２１がダイヤフラム４０により閉鎖されたノーマリクローズのバルブである。  図１Ａおよび図２に示すように、可動ロッド５２の上端部には、可動ロッド５２の中心軸線に対して直交する向きに貫通するピン孔５２ａが形成され、このピン孔５２ａにピン８１が挿入され、ピン８１の両端部にローラ部材８２が嵌め込まれている。
【００２３】  図５に示すように、ケーシング部材７２の上端には、カム面８０が形成されており、このカム面８０と上記したローラ部材８２が操作部材１１０に作用する力を駆動機構５０の駆動力に変換するカム部を構成する（図４Ｂ参照）。カム面８０には、ローラ部材８２が係止可能な第１係止部８０ａと、上下方向Ａ１，Ａ２において第１係止部８０ａよりも低い位置に形成された第２係止部８０ｂとを有する。第１係止部８０ａおよび第２係止部８０ｂは、それぞれ対称な２カ所に形成され、第１係止部８０ａと第２係止部８０ｂとは、ケーシング部材７２の中心軸線に関して互いに９０度離れた位置に形成されている。すなわち、手動バルブ装置１は、操作部材１１０を正逆方向に９０度回転させることで、流路２１を開閉するようになっている。
【００２４】  図６Ａおよび図６Ｂに示すように、操作部材１１０は、上端部が閉塞した円筒状部材であり、円筒部分の対称な位置に上記したローラ部材８２の一部が挿入される挿入孔１１０ｂが形成されている。上端側の中心部には、図８に示すような補助工具としてのトルクレンチ６００の先端部６００ａが着脱自在に嵌る装着凹部１１０ａが形成されている。  保護カバー１００は、図７に示すように、円筒状部材であり、ケーシング部材７２の上端部に接続されねじ部材で固定されている。保護カバー１００の上端側の開口１００ａは、操作部材１１０の上端側の円柱部分が挿入可能な直径に形成されている。
【００２５】  ここで、図１Ｂは手動バルブ装置１の上面視であり、図中Ｂ１，Ｂ２はバルブボディ２０の長手方向（流体の流通方向）であり、Ｃ１，Ｃ２が幅方向である。図１Ｂからわかるように、保護カバー１００および操作部材１１０は、ケーシング７０の外形内に収まっており、かつ、バルブボディ２０の上面２０ａの外形内に収まっている。このため、図１７に示したような、流体機器が小型化、集積化された流体制御装置に手動バルブ装置１を適用可能となる。
【００２６】  ピン８１の両端部に保持されたローラ部材８２は、図２に示すように、一部が操作部材１１０の挿入孔１１０ｂに挿入されることにより、操作部材１１０と可動ロッド５２との間の力の伝達が可能になる。また、操作部材１１０の外周には、保護カバー１００が設けられ、この保護カバー１００の内周面によりローラ部材８２のピン８１に対する軸線方向の移動を規制し、ローラ部材８２がピン８１から脱落しないようになっている。
【００２７】  図１Ａに示すような閉鎖状態では、ローラ部材８２は、カム面８０の低位側に位置する第２係止部８０ｂに位置付けられている。また、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、操作部材１１０の全体は、保護カバー１００内に収容された状態にある。  この状態から、図２に示す開放状態にするには、トルクレンチ６００を操作部材１１０の装着凹部１１０ａに装着し、操作部材１１０をケーシング７０の中心軸線を中心に回転させる。ローラ部材８２はカム面８０から上方向Ａ１側に移動するカム作用を受け、可動ロッド５２がコイルばね５４の付勢力に抗して上方向Ａ１に移動する。図４Ａおよび図４Ｂに示すように、操作部材１１０を９０度回転させたところで、ローラ部材８２は、高位側に位置する第１係止部８０ａに位置付けられて係止する。ローラ部材８２の動きに伴って、操作部材１１０は、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、上方向Ａ１に移動し、上端部の一部が保護カバー１００の上端面から突出した状態となる。  このように、操作部材１１０の保護カバー１００に対する位置から、手動バルブ装置１の開閉状態を判別できる。
【００２８】＜実施形態２＞  次に、図９Ａ〜図１６Ｂを参照して、本第２発明の一実施形態（実施形態２）に係る手動バルブ装置について説明する。なお、実施形態１の手動バルブと同様の構造については説明を省略する。
【００２９】  実施形態２に係る手動バルブは、図１３に示すように、可動ロッド５２の上端部には、可動ロッド５２の中心軸線に対して直交する向きに貫通するピン孔５２ａが形成されており、このピン孔５２ａには、図９Ａおよび図１０Ａに示したピン９０が挿入される。  また、図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、操作部材２１０は、図９Ａ、１０Ａに点線で示した丸棒状の補助レバー７００の先端が取り外し可能に装着される装着凹部２１０ａが形成され、上端側から下方に向けて平行に延びる対向壁部２１０ｂを有する。対向壁部２１０ｂのそれぞれの下端面側は傾斜および湾曲するカム面２１０ｆとなっており、また、対向壁部２１０ｂには壁面に垂直にピン孔２１０ｈが形成されている。２つのピン孔２１０ｈには上記したピン９０が挿入される。  操作部材２１０の２つの対向壁部２１０ｂの間に可動ロッド５２の上端部が挿入され、ピン孔５２ａおよびピン孔２１０ｈにピン９０が挿入されると、操作部材２１０はピン９０を中心に可動ロッド５２に対して傾動自在に保持される。なお、ピン９０は、円筒状に形成された保護カバー４００を、図１４に示すケーシング部材７３の上端部に挿入固定することで、保護カバー４００の内周面により移動が規制され、ピン孔５２ａおよびピン孔２１０ｈから脱落しないようになっている。  また、図１６Ｂに示すように、操作部材２１０のカム面２１０ｆの一端側には凸状に湾曲する係止凸部２１０ｇが形成されており、この係止凸部２１０ｇが後述する受け部材１８０の係止凹部１８０ｔに嵌ることにより、操作部材２１０の動きをロックできるようになっている。
【００３０】  受け部材１８０は、図１５に示すように、可動ロッド５２の上端部が挿入される貫通孔１８０ｈと、可動ロッド５２を挟むように形成された２つの突出部１８０ａと、２つの突出部１８０ａの両側に形成され操作部材２１０のカム面２１０ｆが係合する受け面１８０ｆとを有する。受け面１８０ｆには、操作部材２１０の一部が係止する係止凹部１８０ｔが形成されている。２つの突出部１８０ａの対向面は、可動ロッド５２が通過できるように湾曲する湾曲面１８０ｂとなっている。
【００３１】  保護カバー４００は、上記したように円筒状の部材であり、上端部に互いに対向する保護壁部２００ｂを備える。操作部材２１０は、その大部分は保護壁部２００ｂの間に挟まれるように配置されるようになっており、保護壁部２００ｂは、操作部材２１０に不意に物体等が衝突するのを防いでいる。  ここで、図９Ｂおよび図１０Ｂは、手動バルブ装置１Ｂの上面視であり、図中Ｂ１，Ｂ２はバルブボディ２０の長手方向（流体の流通方向）であり、Ｃ１，Ｃ２が幅方向である。図９Ｂおよび図１０Ｂからわかるように、保護カバー４００および操作部材２１０は、バルブボディ２０の上面２０ａの外形内に収まっている。このため、図９Ａ、図９Ｂに示したような、流体機器が小型化、集積化された流体制御装置に手動バルブ装置１Ｂを適用可能となる。
【００３２】  図９Ａおよび図１１Ｂに示すような閉鎖状態では、操作部材２１０のカム面２１０ｆは受け部材１８０の受け面１８０ｆから離隔した状態にある。この状態から、補助レバー７００を用いて、図１０Ａおよび図１２Ｂに示すように、操作部材２１０をコイルばね５４の付勢力に抗して傾動させると、カム面２１０ｆのカム作用により、操作部材２１０に連結された可動ロッド５２が上方向Ａ１に移動し、バルブが開放された状態となる。このとき、図１０Ａおよび図１２Ｂに示すように、操作部材２１０の係止凸部２１０ｇが受け部材１８０に形成された係止凹部１８０ｔに嵌ることで、操作部材２１０の姿勢が保持され、バルブが開放された状態が維持される。
【００３３】  本実施形態では、操作部材２１０の姿勢によってバルブの開閉状態を判別できるが、受け部材１８０の突出部１８０ａの表面に開閉を示すインジケータを記すことにより、バルブの開閉状態の視認性が向上する。
【００３４】  上記実施形態では、カム部のカム面を操作部材に形成し、受け面を受け部材に形成した場合を例示したが、カム面を受け部材側に形成し、受け面を操作部材側に形成することも可能である。
【００３５】  以上のように、本発明によれば、流体機器が小型化、集積化された流体制御装置に適用するのに好ましい手動バルブ装置が得られる。
【００３６】  上記本発明の実施形態１〜２では、ノーマリークローズタイプの手動バルブ装置を例示したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、ノーマリーオープンタイプの手動バルブ装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００３７】１，１Ｂ  ：手動バルブ装置２０      ：バルブボディ２０ａ    ：上面２０ｂ    ：底面２１      ：流路２１ａ    ：開口部２２      ：流路２２ａ    ：開口部２３，２４：貫通孔３０      ：バルブシート４０      ：ダイヤフラム４２      ：押えアダプタ５０      ：駆動機構５１      ：ダイヤフラム押え５２      ：可動ロッド５２ａ    ：ピン孔５２ｂ    ：鍔部５４      ：コイルばね７０      ：ケーシング７１，７２，７３：ケーシング部材８０      ：カム面８０ａ    ：第１係止部８０ｂ    ：第２係止部８１      ：ピン８２      ：ローラ部材９０      ：ピン１００    ：保護カバー１００ａ  ：開口１１０    ：操作部材１１０ａ  ：装着凹部１１０ｂ  ：挿入孔１８０    ：受け部材１８０ａ  ：突出部１８０ｂ  ：湾曲面１８０ｆ  ：受け面１８０ｈ  ：貫通孔１８０ｔ  ：係止凹部２００    ：流路ブロック２００ｂ  ：保護壁部２１０    ：操作部材２１０Ａ  ：開閉弁２１０Ｂ  ：レギュレータ２１０Ｃ  ：プレッシャーゲージ２１０Ｄ  ：流体機器２１０Ｅ  ：マスフローコントローラ２１０ａ  ：装着凹部２１０ｂ  ：対向壁部２１０ｆ  ：カム面２１０ｇ  ：係止凸部２１０ｈ  ：ピン孔３１０    ：導入管４００    ：保護カバー５００    ：レール部材６００    ：トルクレンチ６００ａ  ：先端部７００    ：補助レバーＡ１      ：上方向Ａ２      ：下方向ＢＳ      ：ベースプレートＧ１      ：長手方向Ｇ２      ：長手方向Ｗ１      ：幅方向Ｗ２      ：幅方向
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【国際調査報告】
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