(57)【要約】  本発明は、例えば、同じ対象物に対して、同じ条件で容易に設置することが可能なマーカユニットを提供する。  本発明のマーカユニットは、上基板と、下基板とを含み、前記下基板の上に、前記上基板が積層された積層体であり、前記下基板は、その上面に、前記積層体の上面側に露出した下基板被検出部を有し、その下面に、位置決定部を有し、前記被検出部は、前記積層体の上面側から検出可能であり、前記位置決定部は、マーカユニットが設置される被設置体における前記マーカユニットが設置される被設置部に対して、位置を決定する形状であることを特徴とする。
2018193806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上基板と、下基板とを含み、
前記下基板の上に、前記上基板が積層された積層体であり、
前記下基板は、
その上面に、前記積層体の上面側に露出した下基板被検出部を有し、その下面に、位置決定部を有し、
前記被検出部は、
前記積層体の上面側から検出可能であり、
前記位置決定部は、
マーカユニットが設置される被設置体における前記マーカユニットが設置される被設置部に対して、位置を決定する形状であることを特徴とするマーカユニット。
【請求項２】
前記下基板被検出部は、マーカ、および前記マーカの検出における基準となる検出基準部の少なくとも一方を含む、請求項１記載のマーカユニット。
【請求項３】
さらに、
前記上基板は、前記積層体の上面側から検出可能な上基板被検出部を有し、
前記上基板被検出部は、マーカである、請求項１または２記載のマーカユニット。
【請求項４】
前記位置決定部は、前記被設置部の形状に対して、対応する形状である、請求項１から３のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【請求項５】
前記被設置体の被設置部が凸部の場合、前記下基板の位置決定部は、凹部であり、
前記被設置体の被設置部が凹部の場合、前記下基板の位置決定部は、凸部である、請求項１から４のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【請求項６】
前記下基板の位置決定部が、２箇所以上である、請求項１から５のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【請求項７】
前記下基板の位置決定部が、１箇所である、請求項１から５のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【請求項８】
前記下基板は、
その下面において、前記下基板被検出部と対応する箇所に、前記位置決定部を有する、請求項１から７のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【請求項９】
前記上基板は、
貫通孔を有し、
前記下基板は、
その上面において、前記上基板の貫通孔と対応する箇所が、前記検出基準部となり、
その下面において、前記検出基準部と対応する箇所に、前記位置決定部を有する、請求項１から８のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【請求項１０】
前記下基板は、
その上面において、前記上基板の貫通孔と対応する箇所に、凸部を有し、前記凸部の上面が、前記検出基準部である、請求項９記載のマーカユニット。
【請求項１１】
前記下基板被検出部が、マーカを含み、
前記下基板は、
その下面において、前記マーカと対応する箇所に、前記位置決定部を有する、請求項１から１０のいずれか一項に記載のマーカユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マーカユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
拡張現実感（Augmented  Reality、以下、「ＡＲ」ともいう）およびロボティクス等の分野において、物体の位置および姿勢等を認識するために、いわゆる視認マーカが使用されている。前記マーカとしては、例えば、ＡＲマーカが一般的である。また、前記マーカの他の例としては、例えば、黒の縞模様の上に、レンチキュラレンズが配置されたマーカが報告されている（特許文献１）。前記マーカは、一般的に、見る角度に応じて変位する可変モアレパターン（ＶＭＰ）マーカと呼ばれ、また、ＲＡＳ（Rotation  Angle  Scale；回転角度）マーカとも呼ばれる。カメラ等の検出機器によって、前記マーカに現れる像を検出すると、前記マーカに対する前記カメラの視認角度に依存して、前記像は、濃淡パターンが変化する。このため、前記マーカの濃淡パターンを検出することによって、前記マーカの回転角度を判断することができる。【０００３】
前記視認マーカは、通常、基板上に配置されており、前記基板には、前記カメラが検出すべき領域の目印となる複数の検出基準部が設けられ、全体で、マーカユニットとして使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１４５５５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記マーカユニットは、ロボット等の被対象物に対して設置される際、両面テープによる貼り合せが一般的である。そして、前記マーカユニットは、例えば、汚れ、故障等が発生した場合には、取り換えが必要であり、また、測定後に取り外しが必要な場合がある。そうすると、同じ被対象物に対して、次の測定時に、新たなマーカユニットの設置が必要となる。【０００６】
そして、現状、前記マーカユニットは、前記被対象物に対して目視で位置決めがされている。しかし、前記マーカユニットにおける前記マーカおよび前記検出基準部は、位置や角度によって見え方が異なる。このため、測定の度に、前記被対象物にマーカユニットを設置し且つ取り外すことが必要な場合、同じ種類のマーカユニットへの取り換えが必要な場合等、マーカユニットの設置精度が重要となる。すなわち、マーカユニットが同一物であっても、同じ種類のマーカユニットの取り換えであっても、前記被対象物への設置が、その度に異なると、同条件の測定であっても、前記マーカユニットから得られる結果が異なる可能性がある。そうすると、設置する度に、前回設置したマーカユニットの測定結果と、その次に設置したマーカユニットの測定結果とを対応できるように、キャリブレーション等が必要となり、手間がかかる。【０００７】
そこで、本発明は、例えば、同じ対象物に対して、同様の設置条件で容易に設置することが可能なマーカユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明のマーカユニットは、
上基板と、下基板とを含み、
前記下基板の上に、前記上基板が積層された積層体であり、
前記下基板は、
その上面に、前記積層体の上面側に露出した下基板被検出部を有し、その下面に、位置決定部を有し、
前記被検出部は、
前記積層体の上面側から検出可能であり、
前記位置決定部は、
マーカユニットが設置される被設置体における前記マーカユニットが設置される被設置部に対して、位置を決定する形状であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のマーカユニットは、前述のような位置決定部を有するため、ロボット等の被設置体に対して、同様の設置条件で容易に設置することが可能である。このため、例えば、前記被設置体にマーカユニットを設置する度、前記マーカユニットにおける検出基準部やマーカ等の測定についてキャリブレーション等を行うことも省略することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１（Ａ）において、上図は、実施形態１のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１（Ｂ）において、上図は、実施形態１のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図２】図２（Ａ）において、上図は、実施形態２のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図２（Ｂ）において、上図は、実施形態２のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図３】図３（Ａ）において、上図は、実施形態３のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図３（Ｂ）において、上図は、実施形態３のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図４】図４（Ａ）において、上図は、実施形態４のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図４（Ｂ）において、上図は、実施形態４のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図５】図５（Ａ）において、上図は、実施形態５のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図５（Ｂ）において、上図は、実施形態５のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図６】図６（Ａ）において、上図は、実施形態６のマーカユニットの一例を示す側面図であり、中図は、前記マーカユニットの断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図６（Ｂ）において、上の２図および中図は、実施形態６のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図７】図７において、上図は、実施形態７のマーカユニットの一例を示す側面図であり、中図は、前記マーカユニットの断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図８】図８において、上図は、実施形態８のマーカユニットの一例を示す側面図であり、中図は、前記マーカユニットの断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図９】図９において、上の２図および中図は、実施形態９のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図１０】図１０において、上図は、実施形態１０のマーカユニットの一例を示す側面図であり、中図は、前記マーカユニットの断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図１１】図１１（Ａ）において、上図は、実施形態１１のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１１（Ｂ）において、上の２図は、実施形態１１のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図１２】図１２において、上図は、実施形態１２のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図１３】図１３は、各実施形態のマーカユニットの基本構成の一例であり、図１３（Ａ）は、前記マーカユニットの上方向から見た平面図であり、図１３（Ｂ）は、前記マーカユニットの断面図であり、図１３（Ｃ）は、前記マーカユニットの上基板の平面図である。
【図１４】図１４（Ａ）において、上図は、変形例のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１４（Ｂ）において、上図は、変形例のマーカユニットの一例を示す断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図１５】図１５（Ａ）は、変形例のマーカユニットの上方向から見た平面図であり、図１５（Ｂ）は、前記マーカユニットの断面図であり、図１５（Ｃ）は、前記マーカユニットの上基板の平面図である。
【図１６】図１６（Ａ）において、右下図は、実施形態１３のマーカユニットの一例を示す平面図であり、右上図は、前記マーカユニットの矢印Ａ方向の側面図であり、左下図は、前記マーカユニットの矢印Ｂ方向の側面図であり、図１６（Ｂ）において、右下図は、実施形態１３のマーカユニットの一例を示す平面図であり、右上図は、前記マーカユニットの矢印Ａ方向の側面図であり、左下図は、前記マーカユニットの矢印Ｂ方向の側面図である。
【図１７】図１７（Ａ）において、上図は、実施形態１４のマーカユニットの一例を示す側面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１７（Ｂ）において、上図は、実施形態１４のマーカユニットの側面図であり、中図は、前記マーカユニットの断面図であり、下図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図１８】図１８（Ａ）において、左図は、実施形態１５のマーカユニットの一例を示す側面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１８（Ｂ）において、左図は、実施形態１５のマーカユニットの一例を示す側面図であり、右図は、下方向から見た平面図であり、図１８（Ｃ）において、左図は、実施形態１５のマーカユニットの一例を示す側面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１８（Ｄ）において、左図は、実施形態１５のマーカユニットの一例を示す断面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向からみた平面図であり、中図は、前記マーカユニットの側面図である。
【図１９】図１９（Ａ）において、左図は、実施形態１６のマーカユニットの一例を示す側面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図１９（Ｂ）において、左図は、実施形態１６のマーカユニットの一例を示す側面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【図２０】図２０において、左図は、実施形態１７のマーカユニットの一例を示す側面図であり、中図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、右上図は、前記マーカユニットの断面図である。
【図２１】図２１（Ａ）において、左図は、実施形態１８のマーカユニットの一例を示す断面図であり、中図は、前記マーカユニットの側面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向からみた平面図であり、図２１（Ｂ）において、左図は、実施形態１８のマーカユニットの一例を示す断面図であり、中図は、前記マーカユニットの側面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向からみた平面図であり、図２１（Ｃ）において、左図は、実施形態１８のマーカユニットの一例を示す断面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向からみた平面図であり、図２１（Ｄ）において、左図は、実施形態１８のマーカユニットの一例を示す断面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向からみた平面図である。
【図２２】図２２（Ａ）は、実施形態１９のマーカユニットの一例を示す図であり、左図は、前記マーカユニットの上方向から見た平面図であり、中上図および中下図は、前記マーカユニットの断面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図であり、図２２（Ｂ）は、実施形態１９のマーカユニットの一例を示す図であり、左図は、前記マーカユニットの上方向から見た平面図であり、中上図および中下図は、前記マーカユニットの断面図であり、右図は、前記マーカユニットの下方向から見た平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明のマーカユニットにおいて、例えば、前記下基板被検出部は、マーカ、および前記マーカの検出における基準となる検出基準部の少なくとも一方を含む。
【００１２】
本発明のマーカユニットにおいて、例えば、さらに、前記上基板は、前記積層体の上面側から検出可能な上基板被検出部を有し、前記上基板被検出部は、マーカである。
【００１３】
本発明のマーカユニットにおいて、例えば、前記位置決定部は、前記被設置部の形状に対して、対応する形状である。
【００１４】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記被設置体の被設置部が凸部の場合、前記下基板の位置決定部は、凹部であり、前記被設置体の被設置部が凹部の場合、前記下基板の位置決定部は、凸部である。
【００１５】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記被設置体の被設置部が凸状の曲面を有する場合、前記下基板の位置決定部は、複数の凸部である。
【００１６】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記下基板の位置決定部が、２箇所以上である。
【００１７】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記下基板の位置決定部が、１箇所である。
【００１８】
本発明のマーカユニットにおいて、例えば、前記下基板は、その下面において、前記下基板被検出部と対応する箇所に、前記位置決定部を有する。
【００１９】
本発明のマーカユニットにおいて、例えば、前記上基板は、貫通孔を有し、前記下基板は、その上面において、前記上基板の貫通孔と対応する箇所が、前記検出基準部となり、その下面において、前記検出基準部と対応する箇所に、前記位置決定部を有する。
【００２０】
本発明のマーカユニットにおいて、例えば、前記下基板は、その上面において、前記上基板の貫通孔と対応する箇所に、凸部を有し、前記凸部の上面が、前記検出基準部である。
【００２１】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記下基板被検出部が、マーカを含み、前記下基板は、その下面において、前記マーカと対応する箇所に、前記位置決定部を有する。
【００２２】
本発明のマーカユニットは、便宜上、視認側を「上方向」といい、その反対側を「下方向」という。このため、本発明のマーカユニットにおいて、例えば、「上基板」とは、視認側の基板であり、「下基板」とは、上基板に対して下方向に位置する基板である。
【００２３】
本発明のマーカユニットが設置される被設置体は、特に制限されず、例えば、ロボット、建設機器、衣料品、およびそれらに付されたマウント等があげられる。本発明のマーカユニットにおける前記位置決定部の形状は、前記被設置体における被設置部に対してマーカユニットの設置位置が決定される形状であればよく、例えば、前記被設置体における被設置部の形状に応じて適宜決定できる。前記被設置体における被設置部とは、前記マーカユニットが設置される部位である。
【００２４】
また、前記マーカユニットの位置決定部と、前記被設置体の被設置部とは、例えば、それぞれが嵌り合う形状でもよい。前記位置決定部と前記被設置部とによって、前記被設置体に前記マーカユニットを固定できる場合、例えば、前記位置決定部を固定部ともいい、前記被設置部を被固定部ともいう。
【００２５】
本発明のマーカユニットの位置決定部は、例えば、前記被設置体の被設置部に対応して設計することができる。具体例として、例えば、前記被設置体の被設置部が凸部の場合、前記下基板の位置決定部は、凹部であり、前者の凸部と後者の凹部とが、一対一の関係で対応することが好ましい。また、例えば、前記被設置体の被設置部が凹部の場合、前記下基板の位置決定部は、凸部であり、前者の凹部と後者の凸部とが、一対一の関係で対応することが好ましい。このように、本発明のマーカユニットは、例えば、前記位置決定部として、前記被設置体の被設置部の形状に対応する形状を有することで、両者をはめ込むことで容易に設置ができる。
【００２６】
また、本発明のマーカユニットは、例えば、前記被設置部が凸状の曲面を有する場合でも、例えば、容易に安定して設置することが可能である。従来、前記被設置体の前記被設置部が平面ではなく曲面の場合、例えば、前記マーカユニットが板状であると、設置において安定性の問題があった。また、曲面に対して前記板状のマーカユニットを無理に設置すると、前記マーカユニットが反り等によって変形し、結果的に、前記マーカユニットにおけるマーカの機能が低下したり、発現しないおそれがあった。これに対して、本発明のマーカユニットによれば、例えば、前記位置決定部を凸状とし、その凸状の先端を前記曲面と接触させることで、前記曲面を有する前記被設置部に対しても、容易に安定して設置することが可能である。
【００２７】
本発明のマーカユニットは、前述のような条件となるように前記位置決定部を設けることが特徴であり、その他の構成等は、何ら限定されず、具体的には、前記マーカユニットにおいて、例えば、前記被検出部、前記被検出部に含まれるマーカの種類、各種基板の種類および積層形態等も限定されない。
【００２８】
つぎに、本発明の実施形態について、図を用いて説明する。本発明は、下記の実施形態によって何ら限定および制限されない。各図において、同一箇所には同一符号を付している。なお、図においては、説明の便宜上、各部の構造は、適宜、簡略化して示す場合があり、各部の寸法比等は、図の条件には制限されない。なお、以下、前記下基板と上基板とを含む積層体において、下基板側を下方向、上基板側を上方向という。
【００２９】
まず、以下の実施形態におけるマーカユニットの基本構成の一例を、図１３に示す。図１３（Ａ）は、上面側から見たマーカユニット１の平面図であり、図１３（Ｂ）は、マーカユニット１のXII−XII方向から見た断面図であり、図１３（Ｃ）は、マーカユニット１の上基板１０の平面図である。マーカユニット１は、下基板１２、介在基板１１、および上基板１０を有し、下基板１２の上に、介在基板１１を介して、上基板１０が配置された積層体である。
【００３０】
マーカユニット１は、前記積層体の上面側から検出可能な被検出部として、検出基準部１２２と、検出基準部１２２の間に、ＶＭＰ（可変モアレパターン）等のマーカ２０とを有する。検出基準部１２２とマーカ２０は、下基板１２によって形成される前記下基板被検出部である。前記下基板被検出部は、マーカユニット１の下基板１２の上表面側の領域であり、下基板１２の上面において、マーカユニット１の上面側に露出している。マーカユニット１において、上基板１０および介在基板１１は、検出基準部１２２およびマーカ２０に対応する箇所に、貫通孔１０１、１０２を有する。そして、下基板１２の上に、介在基板１１および上基板１０を積層すると、上基板１０の貫通孔１０１、１０２に対応する領域において、下基板１２の上表面が露出し、前述した検出基準部１２２およびマーカ２０となる。下基板１２は、例えば、検出基準部１２２となる箇所に、上方向に突出する円形の凸部を有し、マーカユニット１において、前記凸部の上面が、検出基準部１２２となる。また、下基板１２は、例えば、マーカ２０となる箇所に、山型の連続凸部を有し、マーカユニット１において、前記連続凸部が、マーカ２０となる。
【００３１】
以下の実施形態においては、このマーカユニット１の基本構造を前提として、さらに、前記下基板における位置決定部について説明する。図１３においては、後述する図１（Ａ）と同様に、下基板１２における位置決定部として、下方向に突出する位置決定部１２１を示すが、本発明のマーカユニットは、これには限定されない。
【００３２】
なお、本発明のマーカユニットの基本構造は、図１３の例には限定されず、例えば、前記介在基板を有しても有さなくてもよく、前記下基板被検出部として、マーカ２０のみを有してもよいし、検出基準部１２２のみを有してもよく、マーカ２０および検出基準部１２２の形状等も、これらの例には限定されない。また、本発明のマーカユニットは、例えば、さらに、上基板被検出部としてマーカを有してもよい。なお、以下の実施形態の図において、マーカ２０は省略する。
【００３３】
［実施形態１］
図１に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット１（１Ａおよび１Ｂ）は、下基板１２が、上面において、検出基準部１２２を有し、また、下面において、検出基準部１２２と対応する箇所に、位置決定部１２１を有する形態である。図１（Ａ）のマーカユニット１Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部１２１Ａを有する形態であり、図１（Ｂ）のマーカユニット１Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部１２１Ｂを有する形態である。
【００３４】
まず、図１（Ａ）のマーカユニット１Ａについて説明する。図１（Ａ）において、上図は、マーカユニット１Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット１Ａを下基板１２側から見た平面図である。図１（Ａ）に示すように、マーカユニット１Ａは、下基板１２、介在基板１１、および上基板１０を有し、下基板１２の上に、介在基板１１を介して、上基板１０が配置されている。マーカユニット１Ａは、上面側から検出可能な検出基準部１２２とマーカ(図１３参照)とを有し、検出基準部１２２の間に、前記マーカを有する（図１３参照）。マーカユニット１Ａにおける下基板１２は、その上面において、上方向に突出する円柱状の凸部（以下、上面側凸部ともいう）を有し、前記上面側凸部の上面が検出基準部１２２であり、介在基板１１および上基板１０は、それぞれ、検出基準部１２２と対応する箇所に貫通孔を有し、下基板１２の上面側凸部は、介在基板１１および上基板１０のそれぞれの貫通孔に挿入されており、その上面である検出基準部１２２が、上方向において露出している。そして、下基板１２は、その下面において、前記上面の検出基準部１２２に対応する箇所に、下方向に突出する円柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部１２１Ａである。前記上面側の凸部と前記下面側の凸部を有する下基板１２は、例えば、一体成形体である。マーカユニット１Ａは、各角の領域に、それぞれ検出基準部１２２（４箇所）を有し、これらと対応する箇所において、下基板１２の下面は、４箇所に位置決定部１２１Ａを有する。
【００３５】
マーカユニット１Ａは、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。この際、マーカユニット１Ａの位置決定部１２１Ａの形状および大きさは、特に制限されず、例えば、前記被設置体の前記被設置部の形状および大きさに応じて、設定できる。この際、マーカユニット１Ａを前記被設置体に固定できることから、例えば、嵌り合うように設定してもよい。マーカユニット１Ａの位置決定部１２１Ａを、前記被設置体の凹状の被設置部に挿入して、両者を嵌め合うことによって、マーカユニット１Ａを前記被設置体に設置できる。位置決定部１２Ａと前記被設置部との嵌め合いは、特に制限されず、例えば、嵌入等があげられる。
【００３６】
マーカユニット１Ａは、４箇所に位置決定部１２１Ａを有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。本発明において、前記位置決定部の数は、特に制限されず、例えば、このような効果の点から、２箇所以上が好ましい。
【００３７】
つぎに、図１（Ｂ）のマーカユニット１Ｂについて説明する。図１（Ｂ）において、上図は、マーカユニット１ＢのＩ−Ｉ方向から見た断面図であり、下図は、マーカユニット１Ｂを下基板１２側から見た平面図である。図１（Ｂ）に示すように、マーカユニット１Ｂは、下基板１２が、その下面において、前記上面の検出基準部１２２に対応する箇所に、内部が円柱状の凹部を有し、前記凹部が、位置決定部１２１Ｂである以外は、前記図１（Ａ）のマーカユニット１Ａと同じである。マーカユニット１Ｂは、各角領域に、それぞれ検出基準部１２２（４箇所）を有し、これらの対応する箇所において、下基板１２の下面は、４箇所に位置決定部１２１Ｂを有する。
【００３８】
マーカユニット１Ｂは、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。この際、マーカユニット１Ｂの位置決定部１２１Ｂの形状および大きさは、例えば、前記被設置体の前記被設置部の形状および大きさに応じて、設定でき、嵌り合うように設定してもよい。前記被設置体の凸状の被設置部を、マーカユニット１Ｂの位置決定部１２１Ｂに挿入して、両者を嵌め合うことによって、マーカユニット１Ｂを前記被設置体に設置できる。
【００３９】
マーカユニット１Ｂは、４箇所に位置決定部１２１Ｂを有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。本発明において、前記位置決定部の数は、特に制限されず、例えば、このような効果の点から、２箇所以上が好ましい。
【００４０】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。また、本実施形態のマーカユニットは、前記下基板の上面と下面とにおいて、前記下基板被検出部である検出基準部と前記位置決定部とを、対応する箇所に有していることから、さらに、前記下基板被検出部を、より一層正確に配置することが可能になる。
【００４１】
［実施形態２］
図２に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット２（２Ａ、２Ｂ）は、下基板１２が、マーカの端部と対応する箇所に、位置決定部２２１を有する形態である。図２（Ａ）のマーカユニット２Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部２２１Ａを有する形態であり、図２（Ｂ）のマーカユニット２Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部２２１Ｂを有する形態である。
【００４２】
まず、図２（Ａ）のマーカユニット２Ａについて説明する。図２（Ａ）において、上図は、マーカユニット２Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット２Ａを下基板１２側から見た平面図である。図２（Ａ）に示すように、マーカユニット２Ａは、下基板１２が、その下面において、前記上面のマーカの端部に対応する箇所に、円柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部２２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット２Ａは、前記下基板被検出部として、各角の領域に、それぞれ検出基準部１２２（４箇所）を有し、検出基準部１２２の間に、並行して２つのマーカを有する（図１３参照）。そして、これらのマーカの端部に対応する箇所において、下基板１２の下面は、４箇所に位置決定部２２１Ａを有する。マーカユニット２Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００４３】
マーカユニット２Ａは、４箇所に位置決定部２２１Ａを有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。
【００４４】
つぎに、図２（Ｂ）のマーカユニット２Ｂについて説明する。図２（Ｂ）において、上図は、マーカユニット２ＢのII−II方向から見た断面図であり、下図は、マーカユニット２Ｂを下基板１２側から見た平面図である。図２（Ｂ）に示すように、マーカユニット２Ｂは、下基板１２が、その下面において、前記上面のマーカの端部に対応する箇所に、内部が円柱状の凹部を有し、前記凹部が、位置決定部２２１Ｂである以外は、前記図２（Ａ）のマーカユニット２Ａと同じである。マーカユニット２Ｂは、前記下基板被検出部として、各角の領域に、それぞれ検出基準部１２２（４箇所）を有し、検出基準部１２２の間に、並行して２つのマーカを有する。そして、これらのマーカの端部に対応する箇所において、下基板１２の下面は、４箇所に位置決定部２２１Ｂを有する。マーカユニット２Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００４５】
マーカユニット２Ｂは、４箇所に位置決定部２２１Ｂを有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。
【００４６】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。また、本実施形態のマーカユニットは、前記下基板の上面と下面とにおいて、前記下基板被検出部であるマーカと前記位置決定部とを、対応する箇所に有していることから、さらに、前記下基板被検出部を、より一層正確に配置することが可能になる。
【００４７】
［実施形態３］
図３に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット３（３Ａ、３Ｂ）は、下基板１２が、その下面の中央に、位置決定部３２１を有する形態である。図３（Ａ）のマーカユニット３Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部３２１Ａを有する形態であり、図３（Ｂ）のマーカユニット３Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部３２１Ｂを有する形態である。
【００４８】
まず、図３（Ａ）のマーカユニット３Ａについて説明する。図３（Ａ）において、上図は、マーカユニット３Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット３Ａを下基板１２側から見た平面図である。図３（Ａ）に示すように、マーカユニット３Ａは、下基板１２が、その下面の中央に、円柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部３２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット３Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００４９】
つぎに、図３（Ｂ）のマーカユニット３Ｂについて説明する。図３（Ｂ）において、上図は、マーカユニット３ＢのIII−III方向から見た断面図であり、下図は、マーカユニット３Ｂを下基板１２側から見た平面図である。図３（Ｂ）に示すように、マーカユニット３Ａは、下基板１２が、その下面の中央に、内部が円柱状の凹部を有し、前記凹部が、位置決定部３２１Ｂである以外は、前記図３（Ａ）のマーカユニット３Ａと同じである。マーカユニット３Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００５０】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００５１】
［実施形態４］
図４に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット４（４Ａ、４Ｂ）は、下基板１２が、その下面の中央に、位置決定部４２１を有する形態である。図４（Ａ）のマーカユニット４Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部４２１Ａを有する形態であり、図４（Ｂ）のマーカユニット４Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部４２１Ｂを有する形態である。
【００５２】
まず、図４（Ａ）のマーカユニット４Ａについて説明する。図４（Ａ）において、上図は、マーカユニット４Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット４Ａを下基板１２側から見た平面図である。図４（Ａ）に示すように、マーカユニット４Ａは、下基板１２が、その下面の中央に、円周の一部が欠損した柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部４２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット４Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００５３】
位置決定部４２１Ａは、例えば、円周の一部が欠損した柱状の凸部であるため、前記被設置体の被設置部に挿入した際、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じること等を十分に防止できる。また、例えば、位置決定部４２１Ａの形状から、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット４Ａの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００５４】
つぎに、図４（Ｂ）のマーカユニット４Ｂについて説明する。図４（Ｂ）において、上図は、マーカユニット４ＢのIV−IV方向から見た断面図であり、下図は、マーカユニット４Ｂを下基板１２側から見た平面図である。図４（Ｂ）に示すように、マーカユニット４Ｂは、下基板１２が、その下面の中央に、円周の一部が欠損した柱状の内部である凹部を有し、前記凹部が、位置決定部４２１Ｂである以外は、前記図４（Ａ）のマーカユニット４Ａと同じである。マーカユニット４Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００５５】
位置決定部４２１Ｂは、例えば、円周の一部が欠損した柱状の凹部であるため、前記被設置体の被設置部を挿入した際、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じること等を十分に防止できる。また、例えば、位置決定部４２１Ｂの形状から、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット４Ｂの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００５６】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００５７】
［実施形態５］
図５に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット５（５Ａ、５Ｂ）は、下基板１２が、その下面の中央に、位置決定部５２１を有する形態である。図５（Ａ）のマーカユニット５Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部５２１Ａを有する形態であり、図５（Ｂ）のマーカユニット５Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部５２１Ｂを有する形態である。
【００５８】
まず、図５（Ａ）のマーカユニット５Ａについて説明する。図５（Ａ）において、上図は、マーカユニット５Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット５Ａを下基板１２側から見た平面図である。図５（Ａ）に示すように、マーカユニット５Ａは、下基板１２が、その下面の中央に、角柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部５２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット５Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００５９】
つぎに、図５（Ｂ）のマーカユニット５Ｂについて説明する。図５（Ｂ）において、上図は、マーカユニット５ＢのＶ−Ｖ方向から見た断面図であり、下図は、マーカユニット５Ｂを下基板１２側から見た平面図である。図５（Ｂ）に示すように、マーカユニット５Ｂは、下基板１２が、その下面の中央に、内部が角柱状の凹部を有し、前記凹部が、位置決定部５２１Ｂである以外は、前記図５（Ａ）のマーカユニット５Ａと同じである。マーカユニット５Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００６０】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００６１】
［実施形態６］
図６に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット６（６Ａ、６Ｂ）は、下基板１２が、その下面の対角線上の角部の領域に、位置決定部６２１を有する形態である。図６（Ａ）のマーカユニット６Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部６２１Ａ、６２１Ａ’を有し、図６（Ｂ）のマーカユニット６Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部６２１Ｂ、６２１Ｂ’を有する形態である。
【００６２】
まず、図６（Ａ）のマーカユニット６Ａについて説明する。図６（Ａ）において、上図は、マーカユニット６Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット６Ａを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、前記平面図のVI−VI方向からみた断面図である。図６（Ａ）に示すように、マーカユニット６Ａは、下基板１２が、その下面の対角線上の角部の領域に、２つの円柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部６２１Ａ、６２１Ａ’である以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット６Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００６３】
マーカユニット６Ａは、２箇所に位置決定部６２１Ａ、６２１Ａ’を有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。
【００６４】
つぎに、図６（Ｂ）のマーカユニット６Ｂについて説明する。図６（Ｂ）において、上図および真ん中の図は、マーカユニット６Ｂの断面図であり、下図は、マーカユニット６Ｂを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、マーカユニット６Ｂの断面図である。前記断面図のうち、上図は、VIa−VIa方向から見た断面図であり、真ん中の図は、VIb−VIb方向から見た断面図であり、右上図は、VIc−VIc方向から見た断面図である。図６（Ｂ）に示すように、マーカユニット６Ｂは、下基板１２が、その下面の対角線上に、内部が円柱状の２つの凹部を有し、前記凹部が、位置決定部６２１Ｂ、６２１Ｂ’である以外は、前記図６（Ａ）のマーカユニット６Ａと同じである。マーカユニット６Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００６５】
マーカユニット６Ｂは、２箇所に位置決定部６２１Ｂ、６２１Ｂ’を有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。
【００６６】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００６７】
［実施形態７］
図７に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット７Ａは、下基板１２が、凸状且つテーパ状の位置決定部７２１Ａを有する形態である。
【００６８】
図７において、上図は、マーカユニット７Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット７Ａを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、前記平面図のVII−VII方向からみた断面図である。図７に示すように、マーカユニット７Ａは、下基板１２が、平面形状が三角形であり厚み方向がテーパ状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部７２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット７Ａは、例えば、位置決定部７２１Ａの凸部の角を、前記被設置体の対応する箇所に突き当てる（または角を揃える）ことによって、位置決定することができる。
【００６９】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００７０】
［実施形態８］
図８に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット８Ａは、下基板１２が、凸状且つテーパ状の位置決定部８２１Ａを有する形態である。
【００７１】
図８において、上図は、マーカユニット８Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット８Ａを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、前記平面図のVIII−VIII方向からみた断面図である。図８に示すように、マーカユニット８Ａは、下基板１２が、平面形状が三角形であり厚み方向がテーパ状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部８２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット８Ａは、例えば、位置決定部８２１Ａの凸部の角を、前記被設置体の対応する箇所に突き当てる（または角を揃える）ことによって、位置決定することができる。
【００７２】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００７３】
［実施形態９］
図９に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット９Ｂは、下基板１２が、その下面の対角線上の角部の領域に、凹状の位置決定部９２１Ｂ、９２１Ｂ’を有する形態である。
【００７４】
図９のマーカユニット９Ｂについて説明する。図９において、上図および真ん中の図は、マーカユニット９Ｂの断面図であり、下図は、マーカユニット９Ｂを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、マーカユニット９Ｂの断面図である。前記断面図のうち、上図は、IXa−IXa方向から見た断面図であり、真ん中の図は、IXb−IXb方向から見た断面図であり、右上図は、IXc−IXc方向から見た断面図である。図９に示すように、マーカユニット９Ｂは、下基板１２が、その下面の対角線上に、内部が略真円の円柱状の凹部と内部が楕円の円柱状の凹部とを有し、前記凹部が、位置決定部９２１Ｂ、９２１Ｂ’である以外は、前記図６（Ｂ）のマーカユニット６Ｂと同じである。マーカユニット９Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００７５】
位置決定部９２１Ｂと９２１Ｂ’は、それぞれ異なる形状であるため、前記被設置体の被設置部に挿入した際、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じること等を十分に防止できる。また、例えば、位置決定部９２１Ｂ、９２１Ｂ’の形状により、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット９Ｂの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００７６】
マーカユニット９Ｂの２つの位置決定部は、前述のように、一方が略真円であり、他方が楕円である。このため、前記被設置体の２箇所の被設置部がそれぞれ真円の場合、例えば、まず、一方の真円の前記被設置部を、マーカユニット９Ｂの楕円の位置決定部９２１Ｂ’に前記被設置部を挿入し、つぎに、他方の真円の前記被設置部を、マーカユニット９Ｂの真円の位置決定部９２１Ｂを挿入することで、より容易な設置が可能となる。
【００７７】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００７８】
［実施形態１０］
図１０に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット１３Ａは、下基板１２が、その下面の対角線上の角部の領域に、凸状の位置決定部１３２１Ａ、１３２１Ａ’を有する形態である。
【００７９】
図１０のマーカユニット１３Ａについて説明する。図１０において、上図は、マーカユニット１３Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット１３Ａを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、前記平面図のＸ−Ｘ方向からみた断面図である。図１０に示すように、マーカユニット１３Ａは、下基板１２が、その下面の対角線上に、円柱状の凸部と角柱状の凸部とを有し、前記２つの凸部が、位置決定部１３２１Ａ、１３２１Ａ’である以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット１３Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００８０】
位置決定部１３２１Ａと１３２１Ａ’は、それぞれ異なる形状であるため、前記被設置体の被設置部に挿入した際、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じること等を十分に防止できる。また、例えば、位置決定部１３２１Ａ、１３２１Ａ’の形状により、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット１３Ａの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００８１】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００８２】
［実施形態１１］
図１１に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット１４（１４Ａ、１４Ｂ）は、下基板１２が、隣り合う辺に沿って配置された２つのマーカ（図１３におけるマーカ２０）と対応する箇所に、位置決定部１４２１を有する形態である。図１１（Ａ）のマーカユニット１４Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部１４２１Ａ、１４２１Ａ’を有する形態であり、図１１（Ｂ）のマーカユニット１４Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部１４２１Ｂ、１４２１Ｂ’を有する形態である。
【００８３】
まず、図１１（Ａ）のマーカユニット１４Ａについて説明する。図１１（Ａ）において、上図は、マーカユニット１４Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット１４Ａを下基板１２側から見た平面図である。図１１（Ａ）に示すように、マーカユニット１４Ａは、下基板１２が、隣り合う辺に沿って配置された２つのマーカ（図１３参照）と対応する箇所に、それぞれ角柱状の凸部を有し、前記２つの凸部が、位置決定部１４２１Ａ、１４２１Ａ’である以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット１４Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００８４】
マーカユニット１４Ａは、２箇所に位置決定部１４２１Ａ、１４２１Ａ’を有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。また、例えば、位置決定部１４２１Ａと１４２１Ａ’との組み合わせ形状から、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット１４Ａの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００８５】
つぎに、図１１（Ｂ）のマーカユニット１４Ｂについて説明する。図１１（Ｂ）において、上図および真ん中の図は、マーカユニット１４Ｂの断面図であり、下図は、マーカユニット１４Ｂを下基板１２側から見た平面図である。前記断面図のうち、上図は、XIa−XIa方向から見た断面図であり、真ん中の図は、XIb−XIb方向から見た断面図である。図１１（Ｂ）に示すように、マーカユニット１４Ｂは、下基板１２が、隣り合う辺に沿って配置された２つのマーカ（図１３参照）と対応する箇所に、それぞれ、内部が角柱状の凹部を有し、前記凹部が、位置決定部１４２１Ｂ、１４２１Ｂ’である以外は、前記図１１（Ａ）のマーカユニット１４Ａと同じである。マーカユニット１４Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００８６】
マーカユニット１４Ｂは、２箇所に位置決定部１４２１Ｂ、１４２１Ｂ’を有するため、前記被設置体に設置した後、例えば、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じることを十分に防止できる。また、例えば、位置決定部１４２１Ｂと１４２１Ｂ’との組み合わせ形状から、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット１４Ｂの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００８７】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。また、本実施形態のマーカユニットは、前記下基板の上面と下面とにおいて、前記下基板被検出部であるマーカと前記位置決定部とを、対応する箇所に有していることから、さらに、前記下基板被検出部を、より一層正確に配置することが可能になる。
【００８８】
［実施形態１２］
図１２に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット１５Ａは、下基板１２が、凸状且つ交差状の位置決定部１５２１Ａを有する形態である。
【００８９】
図１２において、上図は、マーカユニット１５Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット１５Ａを下基板１２側から見た平面図である。図１２に示すように、マーカユニット１５Ａは、下基板１２が、交差状（Ｘ状）の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部１５２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット１５Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、凹状の被設置部を有する被設置体に設置することができる。
【００９０】
位置決定部１５２１Ａは、Ｘ状の凸部であるため、前記被設置体の被設置部に挿入した際、回転しにくい。このため、前記被設置体への設置後に、例えば、位置ずれが生じること等を十分に防止できる。
【００９１】
図１２において、Ｘ状の位置決定部１５２１Ａは、４つの線状凸部が中央でリンクしており、各線状凸部の長さは略同じであり、各線により形成される角度も同等である。位置決定部１５２１Ａは、これには制限されず、例えば、各線の長さが異なったり、各線により形成される角度が異なってもよい。このような形態であれば、例えば、位置決定部１５２１Ａの形状から、前記被設置体の被設置部に対するマーカユニット１５Ａの向きが、必然的に決まるため、より容易に目的の箇所への正しい方向での設置が可能となる。
【００９２】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【００９３】
[実施形態１３]
図１６に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット１８（１８Ａ、１８Ｂ）は、それぞれ下基板１２が、３つの位置決定部１８２１（１８２１Ａ、１８２１Ｂ）を有する形態である。
【００９４】
まず、図１６（Ａ）のマーカユニット１８Ａについて説明する。図１６（Ａ）において、右下図は、マーカユニット１８Ａを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、マーカユニット１８Ａを、前記平面図の矢印Ａ方向から見た側面図であり、左下図は、マーカユニット１８Ａを、前記平面図の矢印Ｂ方向から見た側面図である。図１６（Ａ）に示すように、マーカユニット１８Ａは、下基板１２が、その下面の３箇所に、円柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部１８２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。位置決定部１８２１Ａは、それぞれ、下基板１２とは反対側の先端部が、曲面である。
【００９５】
マーカユニット１８Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、前記凸状の３つの位置決定部１８２１Ａにそれぞれ対応する凹状の３つの被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット１８Ａは、例えば、各位置決定部１８２１Ａを、各凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【００９６】
また、マーカユニット１８Ａによれば、例えば、表面が湾曲した被設置体に対しても、容易に設置が可能である。この場合、マーカユニット１８Ａは、例えば、前記凸状の３つの位置決定部１８２１Ａの各先端部を、前記被設置体の湾曲した曲面（被設置部）に接触させることで、マーカユニット１８Ａを前記被設置体に設置できる。具体的には、マーカユニット１８Ａは、位置決定部１８２１Ａで囲まれる空間全体が、前記被設置体の曲面に対する凹部となり、位置決定部１８２１Ａの前記空間に、前記被設置体の曲面の一部が挿入され、且つ、位置決定部１８２１Ａの先端部で、前記被設置体に設置される。
【００９７】
本実施形態のマーカユニット１８Ａにおいて、位置決定部１８２１は、例えば、前記被設置体の曲面に対応する箇所に設けられている。このため、例えば、マーカユニット１８を構成する積層体が平面形状であっても、複数の凸部（位置決定部１８２１）によって、前記被設置体における前記曲面を含む前記被設置部に、マーカユニット１８を設置できる。
【００９８】
つぎに、図１６（Ｂ）のマーカユニット１８Ｂについて説明する。図１６（Ｂ）において、右下図は、マーカユニット１８Ｂを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、マーカユニット１８Ｂを、前記平面図の矢印Ａ方向から見た側面図であり、左下図は、マーカユニット１８Ｂを、前記平面図の矢印Ｂ方向から見た側面図である。マーカユニット１８Ｂは、前記凸部が、下方向を頂点とする円錐状であり、前記凸部が、位置決定部１８２１Ｂである以外は、図１６（Ａ）のマーカユニット１８Ａと同様である。
【００９９】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【０１００】
[実施形態１４]
図１７に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット１９（１９Ａ、１９Ｂ）は、それぞれ下基板１２が、凸状の位置決定部１９２１（１９２１Ａ、１９２１Ｂ）を有する形態である。
【０１０１】
まず、図１７（Ａ）のマーカユニット１９Ａについて説明する。図１７（Ａ）において、上図は、マーカユニット１９Ａの側面図であり、下図は、マーカユニット１９Ａを下基板１２側から見た平面図である。図１７（Ａ）に示すように、マーカユニット１９Ａは、下基板１２が、その下面において、並行する一対の直線状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部１９２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。前記一対の直線状の凸部は、それぞれ、前記上面のマーカおよび検出基準部(図１３参照)に対応する箇所を通り、下方向を頂点とする山型の凸部である。
【０１０２】
マーカユニット１９Ａは、例えば、前記一対の直線状の山形凸部にそれぞれ対応する一対の谷型凹状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット１９Ａは、例えば、一対の位置決定部１９２１Ａを、それぞれ、前記各谷型凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１０３】
また、マーカユニット１９Ａによれば、例えば、表面が湾曲した被設置体に対しても、容易に安定な設置が可能である。前記被設置体としては、例えば、前記被設置部の形状が、半円筒状である形態があげられる。この場合、マーカユニット１９Ａは、例えば、前記一対の直線状の凸部（位置決定部１９２１Ａ）の各先端部を、前記被設置体の湾曲した曲面（被設置部）に接触させることで、マーカユニット１９Ａを前記被設置体に設置できる。具体的には、マーカユニット１９Ａは、一対の位置決定部１９２１Ａの間にある空間全体が、前記被設置体の曲面に対する凹部となり、位置決定部１９２１Ａの前記空間に、前記被設置体の曲面の一部が挿入され、且つ、位置決定部１９２１Ａの先端部で、前記被設置体に設置される。前記被設置部の半円筒状の軸方向と、位置決定部１９２１の直線方向とが並行であることが好ましい。
【０１０４】
つぎに、図１７（Ｂ）のマーカユニット１９Ｂについて説明する。図１７（Ｂ）において、上図は、マーカユニット１９Ｂの側面図であり、下図は、マーカユニット１９Ｂを下基板１２側から見た平面図であり、真ん中の図は、前記平面図のXV―XV方向から見た断面図である。図１７（Ｂ）に示すように、マーカユニット１９Ｂは、下基板１２が、その下面において、環状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部１９２１Ｂである以外は、前記実施形態１と同じである。前記環状の凸部は、下方向を頂点とする山型の凸部である。
【０１０５】
マーカユニット１９Ｂは、例えば、前記環状の山型凸部に対応する、環状の谷型凹状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット１９Ｂは、例えば、位置決定部１９２１Ｂ、前記環状の谷型凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１０６】
また、マーカユニット１９Ｂによれば、例えば、表面が湾曲した被設置体に対しても、容易に設置が可能である。前記被設置体としては、例えば、前記被設置部が、球状面を有する形態があげられる。この場合、マーカユニット１９Ｂは、例えば、前記山型凸状の位置決定部１９２１Ｂの山型先端部を、前記被設置体の湾曲した曲面（被設置部）に接触させることで、マーカユニット１９Ｂを前記被設置体に設置できる。具体的には、マーカユニット１９Ｂは、環状の位置決定部１９２１Ｂで囲まれる空間全体が、前記被設置体の曲面に対する凹部となり、位置決定部１９２１Ｂの前記空間に、前記被設置体の曲面の一部が挿入され、且つ、位置決定部１９２１Ｂの先端部で、前記被設置体に設置される。
【０１０７】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【０１０８】
[実施形態１５]
図１８に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット２１（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ）は、それぞれ下基板１２が、その下面に、凸状の位置決定部２１２１（２１２１Ａ、２１２１Ｂ、２１２１Ｃ、２１２１Ｄ）を有する形態である。
【０１０９】
まず、図１８（Ａ）のマーカユニット２１Ａについて説明する。図１８（Ａ）において、右図は、マーカユニット２１Ａを下基板１２側から見た平面図であり、左図は、マーカユニット２１Ａの側面図である。図１８（Ａ）に示すように、マーカユニット２１Ａは、下基板１２が、その下面の４箇所に、角柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部２１２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。位置決定部２１２１Ａは、下基板１２の４辺の中点に、それぞれ位置している。
【０１１０】
マーカユニット２１Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、前記凸状の４つの位置決定部２１２１Ａにそれぞれ対応する凹状の４つの被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット２１Ａは、例えば、各位置決定部２１２１Ａを、各凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１１１】
また、マーカユニット２１Ａによれば、例えば、表面が湾曲した被設置体に対しても、容易に設置が可能である。この場合、マーカユニット２１Ａは、例えば、前記凸状の位置決定部２１２１Ａを、前記被設置体の湾曲した曲面（被設置部）に接触させることで、マーカユニット２１Ａを前記被設置体に設置できる。具体的には、マーカユニット２１Ａは、４つの位置決定部２１２１Ａで囲まれる空間全体が、前記被設置体の曲面に対する凹部となり、位置決定部２１２１Ａの前記空間に、前記被設置体の曲面の一部が挿入され、且つ、位置決定部２１２１Ａの先端部で、前記被設置体に設置される。
【０１１２】
つぎに、図１８（Ｂ）のマーカユニット２１Ｂおよび図１８（Ｃ）のマーカユニット２１Ｃについて説明する。図１８（Ｂ）および（Ｃ）において、右図は、マーカユニット２１Ｂ、２１Ｃを下基板１２側から見た平面図であり、左図は、マーカユニット２１Ｂ、２１Ｃの側面図である。マーカユニット２１Ｂ、２１Ｃは、それぞれ、前記凸部の個数が、３つまたは２つである以外は、前記図１８（Ａ）のマーカユニット２１Ａと同様である。
【０１１３】
つぎに、図１８（Ｄ）のマーカユニット２１Ｄについて説明する。図１８（Ｄ）において、右図は、マーカユニット２１Ｄを下基板１２側から見た平面図であり、真ん中の図は、マーカユニット２１Ｄの側面図であり、左図は、XVI−XVI方向から見た断面図である。図１８（Ｄ）に示すように、マーカユニット２１Ｄは、下基板１２が、その下面に、十字状の凸部を有し、前記十字状の凸部が、位置決定部２１２１Ｄである以外は、前記実施形態１と同じである。
【０１１４】
マーカユニット２１Ｄは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、前記凸状の位置決定部２１２１Ｄに対応する十字状且つ凹状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット２１Ｄは、例えば、位置決定部２１２１２Ｄを、前記凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１１５】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【０１１６】
[実施形態１６]
図１９に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット２２（２２Ａ、２２Ｂ）は、それぞれ、それぞれ下基板１２が、凸状の位置決定部２２２１（２２２１Ａ、２２２１Ｂ）を有する形態である。
【０１１７】
まず、図１９（Ａ）のマーカユニット２２Ａについて説明する。図１９（Ａ）において、右図は、マーカユニット２２Ａを下基板１２側から見た平面図であり、左図は、マーカユニット２２Ａの側面図である。マーカユニット２２Ａは、位置決定部２２２１Ａとなる４つの凸部が、下基板１２の４辺において、少なくとも１つが中点以外に位置している以外は、前記実施形態１５のマーカユニット２１Ａと同様である。
【０１１８】
マーカユニット２２Ａにおいて、下基板１２の４辺において、４つの位置決定部２２２１Ａの位置は、特に制限されず、例えば、中点でもよいし、隣接するいずれかの角部に近い位置でもよいし、角部でもよい。ただし、４つの位置決定部２２２１Ａが全て中点に存在する態様は、図１８（Ａ）に示しており、本実施形態からは除く。
【０１１９】
つぎに、図１９（Ｂ）のマーカユニット２２Ｂについて説明する。図１９（Ｂ）において、右図は、マーカユニット２２Ｂを下基板１２側から見た平面図であり、左図は、マーカユニット２２Ｂの側面図である。マーカユニット２２Ｂは、位置決定部２２２１Ｂとなる凸部の個数が、３つである以外は、前記図１９（Ａ）のマーカユニット２２Ａと同様である。
【０１２０】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。また、本実施形態のマーカユニットは、前記下基板の上面と下面とにおいて、前記下基板被検出部であるマーカと前記位置決定部とを、対応する箇所に有していることから、さらに、前記下基板被検出部を、より一層正確に配置することが可能になる。
【０１２１】
[実施形態１７]
図２０に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット２３Ａは、下基板１２が、その下面に、位置決定部２３２１Ａを有する形態である。
【０１２２】
図２０において、真ん中の図は、マーカユニット２３Ａを下基板１２側から見た平面図であり、右上図は、マーカユニット２３ＡをXVII−XVII方向から見た断面図であり、左図は、マーカユニット２３Ａの側面図である。図２０に示すように、マーカユニット２３Ａは、下基板１２が、その下面の中央部に角柱状の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部２３２１Ａである以外は、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同じである。
【０１２３】
マーカユニット２３Ａは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、前記角柱状の位置決定部２３２１Ａに対応する凹状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット２３Ａは、例えば、位置決定部２３２１Ａを、前記凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１２４】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【０１２５】
[実施形態１８]
図２１に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット２４（２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄ）は、下基板１２が、その下面に、位置決定部２４２１（２４２１Ａ、２４２１Ｂ、２４２１Ｃ、２４２１Ｄ）を有する形態である。図２１（Ａ）および（Ｂ）のマーカユニット２４Ａ、２４Ｂは、下基板１２が、凸状の位置決定部２４２１Ａ、２４２１Ｂを有する形態であり、図２１（Ｃ）および（Ｄ）のマーカユニット２４Ｃ、２４Ｄは、下基板１２が、凹状の位置決定部２４２１Ｃ、２４２１Ｄを有する形態である。
【０１２６】
まず、図２１（Ａ）のマーカユニット２４Ａについて説明する。図２１（Ａ）において、右図は、マーカユニット２４Ａを下基板１２側から見た平面図であり、真ん中の図は、マーカユニット２４Ａの側面図であり、左図は、マーカユニット２４ＡをXVIII−XVIII方向からみた断面図である。図２１（Ａ）に示すように、マーカユニット２４Ａは、下基板１２が縁部を囲む凸部を有し、前記凸部が、位置決定部２４２１Ａである以外は、前記実施形態１と同じである。マーカユニット２４において、凸状の位置決定部２４２１Ａは、下基板１２の縁部を囲み、４つの辺のそれぞれの中点が欠損している。
【０１２７】
マーカユニット２４Ａは、前記実施形態１Ａのマーカユニット１Ａと同様に、例えば、前記凸状の位置決定部２４２１Ａに対応する凹状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット２４Ａは、例えば、位置決定部２４２１Ａを、前記凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。また、マーカユニット２４Ａは、例えば、前記凸状の位置決定部２４２１Ａで囲まれる空間に対応する凸状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット２４Ａは、例えば、位置決定部２４２１Ａで囲まれた前記空間に、前記凸状の被設置部を挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１２８】
つぎに、図２１（Ｂ）のマーカユニット２４Ｂについて説明する。図２１（Ｂ）において、右図は、マーカユニット２４Ｂを下基板１２側から見た平面図であり、真ん中の図は、マーカユニット２４Ｂの側面図であり、左図は、マーカユニット２４ＢをXIX−XIX方向からみた断面図である。図２１（Ｂ）に示すように、マーカユニット２４Ｂは、下基板１２の４辺の中点に、三角柱状の一対の凸部を有し、前記凸部が、位置決定部２４２１Ｂである以外は、前記実施形態１と同じである。
【０１２９】
マーカユニット２４Ｂは、前記実施形態１のマーカユニット１Ａと同様に、例えば、前記凸状の位置決定部２４２１Ｂに対応する凹状の被設置部を有する被設置体に設置できる。この場合、マーカユニット２４Ｂは、例えば、位置決定部２４２１Ｂを、前記凹状の被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。
【０１３０】
つぎに、図２１（Ｃ）のマーカユニット２４Ｃについて説明する。図２１（Ｃ）において、右図は、マーカユニット２４Ｃの平面図であり、左図は、マーカユニット２４ＣのXX−XX方向から見た断面図である。図２１（Ｃ）に示すように、マーカユニット２４Ｃは、下基板１２が、４辺の中点に、凹部を有し、前記凹部が、位置決定部２４２１Ｃである以外は、前記図２１（Ａ）のマーカユニット２４Ａと同じである。マーカユニット２４Ｃは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置できる。
【０１３１】
つぎに、図２１（Ｄ）のマーカユニット２４Ｄについて説明する。図２１（Ｄ）において、右図は、マーカユニット２４Ｄの平面図であり、左図は、マーカユニット２４ＣのXXI−XXI方向から見た断面図である。図２１（Ｄ）に示すように、マーカユニット２４Ｄは、下基板１２が、４辺の中点に、三角柱状の一対の凹部を有し、前記凹部が、位置決定部２４２１Ｄである以外は、前記図２１（Ａ）のマーカユニット２４Ａと同じである。マーカユニット２４Ｄは、前記実施形態１のマーカユニット１Ｂと同様に、例えば、凸状の被設置部を有する被設置体に設置できる。
【０１３２】
本実施形態のマーカユニットにおいて、前記位置決定部は、外部からの検出対象である前記下基板被検出部と同じ下基板に設けられている。このように、両者が、同じ下基板に設けられていることから、例えば、前述のように位置のズレによって測定結果に影響が生じる前記下基板被検出部を、前記位置決定部によって、より正確に配置することができる。
【０１３３】
［実施形態１９］
図２２に、本実施形態のマーカユニットの一例を示す。本実施形態のマーカユニット２５（２５Ａ、２５Ｂ）は、下基板１２が、その中央に、凹状の位置決定部２５２１（２５２１Ａ、２５２１Ｂ）として貫通孔を有する形態である。
【０１３４】
まず、図２２（Ａ）のマーカユニット２５Ａについて説明する。図２２（Ａ）において、左図は、マーカユニット２５Ａの上方向から見た平面図であり、中上図は、前記左図をXXIIa-XXIIa方向から見た断面図であり、中下図は、前記左図をXXIIb-XXIIb方向から見た断面図であり、右図は、マーカユニット２５Ａの下方向から見た平面図である。
【０１３５】
マーカユニット２５Ａは、後述する変形例２と同様に、下基板１２の上に上基板１０が積層された二層構造である。マーカユニット２５Ａは、前述の図１３と同様に、下基板１２の上表面が露出した検出基準部１２２と、検出基準部１２２の間に配置されたマーカ４０を有する。本実施形態において、マーカ４０は、下基板１２および上基板１０とは別部材であり、上基板１０上に配置されている。
【０１３６】
マーカユニット２５Ａにおいて、下基板１２は、その中心に貫通孔を有し、さらに、上基板１０も、下基板１２の前記貫通孔と対応する箇所に、貫通孔１０３Ａを有する。つまり、マーカユニット２５Ａは、その中心に、上基板１０と下基板１２とを貫通する貫通孔を有し、前記貫通孔が位置決定部２５２１Ａを形成する。このように、位置決定部２５２１Ａが、検出基準部１２２と共に下基板１２に形成されることで、前記被設置体に対する位置決めが、より高精度に行える。
【０１３７】
マーカユニット２５Ａにおいて、位置決定部２５２１Ａである前記貫通孔の位置は、前述のように、下基板１２の中心である。下基板１２の中心とは、例えば、４つの検出基準部１２２について、対向する２対の検出基準部１２２をそれぞれ結んだ線が交差する位置である。位置決定部２５２１Ａの断面形状（前記貫通孔の形状）は、特に制限されず、例えば、図２２（Ａ）の左図および右図に示すように、円形であり、具体例として、真円、楕円等があげられる。
【０１３８】
マーカユニット２５Ａにおいて、下基板１２は、例えば、図２２（Ａ）の左図および中下図に示すように、前記貫通孔（位置決定部２５２１Ａ）の周囲に、上方向に突出する筒部１２３Ａを有してもよい。筒部１２３Ａの上面は、図２２（Ａ）の左図および中下図に示すように、上基板１０側において露出している。このように、下基板１２の筒部１２３Ａの上面が、露出することによって、被設置体に対する位置決めが、より容易になる。上基板１０側に露出する筒部１２３Ａの形状は、例えば、円環状である。下基板１２は、例えば、筒部１２３Ａおよび検出基準部１２２を含む一体成形体である。マーカユニット２５Ａの断面において、下基板１２における筒部１２３Ａの上面は、例えば、下基板１２における検出基準部１２２の上面と同じ高さ、または、それより低い高さであることが好ましい。
【０１３９】
マーカユニット２５Ａにおいて、上基板１０の表面は、例えば、その中央部に、二次元パターンコード等が記されたシール等を貼付する貼付領域１０４を有してもよい。具体的に、上基板１０の表面は、例えば、図２２（Ａ）の左図および中下図に示すように、その中央部が、その周囲よりも低くなった凹部を有し、この凹部の露出する底面が、貼付領域１０４となる。上基板１０における前記凹部の深さは、特に制限されず、例えば、前記シールを貼付するため、前記シールの厚みを考慮して設定される。上基板１０の貼り付け領域１０４において前記シールを貼付した場合、マーカユニット２５Ａの断面において、下基板１２における筒部１２３Ａの上面は、例えば、前記シールの上面と同じ高さ、または、それより低い高さであることが好ましい。
【０１４０】
マーカユニット２５Ａは、例えば、同様の目的で、上基板１０の表面が、検出基準部１２２間に、マーカ４０を貼付する凹部（貼付領域）を有してもよい。図２２（Ａ）の左図および中上図に示すように、検出基準部１２２間において、上基板１０は、その周囲よりも低くなった凹部を有し、この凹部に、マーカ４０が配置されている。なお、本発明において、マーカユニットにおけるマーカの形態は、何ら制限されず、マーカ４０は、例示である。
【０１４１】
マーカユニット２５Ａは、例えば、位置決定部２５２１Ａを、凸状被設置部に挿入することで、前記被設置体に設置できる。前記被設置体の凸状の被設置部としては、例えば、前記被設置体の回転軸等があげられる。また、マーカユニット２５Ａは、例えば、前記被設置体の被設置部に配置した後、位置決定部２５２１Ａに、上方向から棒を差し込むことによって、前記被設置体に固定することもできる。位置決定部２５２１Ａの断面形状と前記凸状の被設置部の断面形状とは、例えば、対応していることが好ましい。
【０１４２】
つぎに、図２２（Ｂ）のマーカユニット２５Ｂについて説明する。図２２（Ｂ）において、左図は、マーカユニット２５Ｂの上方向から見た平面図であり、中上図は、前記左図をXXIIIa-XXIIIa方向から見た断面図であり、中下図は、前記左図をXXIIIb-XXIIIb方向から見た断面図であり、右図は、マーカユニット２５Ｂの下方向から見た平面図である。
【０１４３】
マーカユニット２５Ｂは、位置決定部２５２１Ｂが、断面形状が多角形の貫通孔によって形成され、前記貫通孔の周囲が、上方向に突出する多角形環状の筒部１２３Ｂを有する以外は、マーカユニット２５Ａと同様である。前記多角形は、特に制限されず、図２２（Ｂ）に示すような四角形でもよいし、三角形、四角形以上の多角形でもよい。前記四角形は、特に制限されず、例えば、正方形、長方形、ひし形等があげられる。
【０１４４】
本発明のマーカユニットは、前記各実施形態には限定されない。本発明の変形例として、以下に、前述した下基板における位置決定部以外の構成について例示する。なお、本発明は、これらの例示には限定されない。
【０１４５】
［変形例１］
本発明のマーカユニットにおいて、前記下基板被検出部としては、前述のように、前記検出基準部および前記マーカがあげられる。前記検出基準部は、例えば、カメラ等の検出機器で前記マーカを検出する際、検出すべき領域の目印となる。本発明のマーカユニットにおいて、前記検出基準部の数および位置は、特に制限されない。前記各実施形態における各図は、前記検出基準部の数が、４つであり、前記検出基準部の位置が、四隅付近となる例である。
【０１４６】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記下基板被検出部の他に、さらに、前記上基板被検出部を有してもよい。前記下基板検出部は、前記下基板の上面によって形成された、前記積層体の上面側に露出した被検出部であるのに対して、前記上基板被検出部は、前記上基板によって形成された、前記積層体の上面側から検出可能な被検出部である。前記上基板被検出部は、例えば、マーカである。
【０１４７】
本発明のマーカユニットは、例えば、前記下基板被検出部として、前記検出基準部と前記マーカとを有し、さらに、前記上基板被検出部として、前記マーカを有しても良いし、前記下基板被検出部として、前記検出基準部と前記マーカのいずれかを有し、さらに、前記上基板被検出部として、前記マーカを有してもよい。
【０１４８】
前記下基板被検出部のマーカおよび前記上基板被検出部のマーカは、それぞれ、特に制限されず、例えば、前述のようなＶＭＰマーカ（ＲＡＳマーカ）、二次元パターンコード等があげられる。前記二次元パターンコードは、例えば、ＡＲマーカ、ＱＲマーカ等があげられる。前記ＡＲマーカは、例えば、ARToolKit、ARTag、CyberCode、ARToolKitPlus等があげられる。本発明のマーカユニットにおいて、前記マーカの位置は、特に制限されない。前記各実施形態における各図は、前記下基板被検出部として、前記検出基準部および前記マーカを有し、前記マーカが、ＶＭＰマーカであり、且つ、四隅に設けられた検出基準部と検出基準部との間に設置されている例である。
【０１４９】
本発明のマーカユニットにおいて、前記マーカの形成方法は、特に制限されない。前記下基板被検出部であるマーカは、例えば、以下のようにして形成できる。すなわち、本発明のマーカユニットの所望の領域において、例えば、前記下基板の上面に、谷型と山形の凹凸を形成することによって、前記所望の領域を、前記マーカにすることができる。
【０１５０】
前記上基板被検出部であるマーカは、例えば、以下のようにして搭載できる。すなわち、本発明のマーカユニットの所望の領域において、例えば、前記上基板の上面側には、レンチキュラレンズ等のレンズ構造を形成し、前記上基板の下面側には、縞模様やドット模様等の模様を形成することによって、前記所望の領域を、前記マーカにすることができる。
【０１５１】
前記上基板被検出部のマーカとして、具体的に、ＶＭＰマーカを例にあげて説明する。
【０１５２】
前記マーカは、複数のレンズユニットを有するレンズ本体を含み、前記複数のレンズユニットは、平面方向において連続的に配置されている。前記複数のレンズユニットが配置されている方向を、配置方向または幅方向といい、平面方向において前記配置方向に対する垂直方向を、長さ方向という。
【０１５３】
前記レンズ本体における前記レンズユニットは、例えば、シリンドリカルレンズがあげられる。前記レンズ本体は、例えば、透光性部材である。前記透光性部材は、特に制限されず、例えば、樹脂およびガラス等があげられる。前記樹脂は、例えば、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）等のアクリル系樹脂、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、シクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）等があげられる。
【０１５４】
前記レンズ本体は、一方の表面側が、光を集める機能を有する集光部を有し、他方の表面側に、複数の模様形成部を有する。前記模様形成部は、例えば、前記レンズ本体の前記長さ方向に沿って伸びる線であり、前記レンズ本体の他方の表面側において、複数の線により、縞模様が形成されたり、複数のドットにより、ドット模様が形成されている。前記複数の模様形成部は、例えば、光学的に検出可能な像として、前記レンズ本体の上面側に投影され、光学的に検出できる。
【０１５５】
前記模様形成部は、光学的に検出できればよく、例えば、着色膜があげられる。前記着色膜の色は、特に制限されず、例えば、黒である。前記着色膜は、例えば、塗膜であり、塗料により形成できる。前記塗料は、特に制限されず、例えば、液体塗料でもよいし、粉体塗料でもよい。前記塗料は、例えば、塗布および／または固化することによって、前記塗膜を形成できる。前記塗布方法は、例えば、スプレー塗布、スクリーン印刷等があげられる。前記固化方法は、例えば、前記液体塗料の乾燥、前記塗料中の硬化成分（例えば、ラジカル重合性化合物等）の硬化、前記粉体塗料の焼き付け等があげられる。
【０１５６】
前記模様形成部により形成される模様は、何ら制限されない。前記模様が、例えば、前記縞模様の場合、縞模様を形成する色の濃さは、例えば、同じでもよいし、濃淡であってもよい。
【０１５７】
前記マーカを、例えば、白色の物体の上に置いた場合、前記マーカの前記レンズ本体の上面から入射した光のうち、前記模様形成部に到達した光は、前記模様形成部（例えば、黒色の着色膜）に吸収され、それ以外の光は、前記レンズ本体を透過して、前記物体の表面で反射する。このため、前記レンズ本体の上面には、白色の背景上に、前記模様形成部の像（例えば、黒色の線）が投影される。このため、前記マーカユニットにおいて、前記マーカを有する前記上基板が配置される前記介在基板は、反射板の役割を果たすことから、例えば、前記マーカの模様形成部が黒色で形成されている場合、前記マーカの下に位置する前記介在基板は、その上面が白色であることが好ましい。
【０１５８】
図１５に、本実施形態のマーカユニットとして、前記上基板被検出部のマーカを有する一例を示す。図１５（Ａ）は、マーカユニット１７の上面図であり、図１５（Ｂ）は、XIV―XIV方向から見た断面図であり、図１５（Ｃ）は、マーカユニット１７の上基板３０の上面図である。マーカユニット１７において、下基板１２は、上面側に、前記下基板被検出部である検出基準部１２２を有し、下面側に、位置決定部１７２１を有し、上基板３０は、前述したレンズ本体となる領域を有し、前記領域が、前記上基板被検出部のマーカ３１である。本実施形態のマーカユニットは、前記下基板被検出部のマーカに代えて、前記上基板被検出部のマーカを有する以外は、図１（Ａ）に示す前記実施形態１と同様である。また、前述の各実施形態のマーカユニットも、前記下基板被検出部のマーカに代えて、前記上基板被検出部のマーカを有する以外、同様であってもよい。
【０１５９】
［変形例２］
本発明のマーカユニットは、例えば、前記下基板の上に前記上基板が積層された積層体（例えば、二層構造）を含んでもよいし、前述のように、さらに、前記介在基板を有し、前記下基板の上に、前記介在基板を介して前記上基板が積層された積層体（例えば、三層構造）を含んでもよい。
【０１６０】
図１４に、本実施形態のマーカユニットとして、二層の積層構造の一例を示す。図１４（Ａ）のマーカユニット１６Ａは、下基板１２が、凸状の位置決定部１６２１Ａを有する形態であり、図１４（Ｂ）のマーカユニット１６Ｂは、下基板１２が、凹状の位置決定部１６２１Ｂを有する形態である。本実施形態のマーカユニットは、介在基板を有さない以外は、前記実施形態１と同様である。また、前述の各実施形態のマーカユニットも、前記介在基板を有さない以外、同様であってもよい。
【０１６１】
前記二層構造の積層体の場合、例えば、前記上基板は、貫通孔を有し、前記下基板の上面は、前記上基板の貫通孔に対応する領域、つまり、前記貫通孔によって露出する上面の領域が、前記下基板被検出部となる。前記三層構造の積層体の場合、例えば、さらに、前記介在基板も、前記上基板の貫通孔と対応する箇所に、貫通孔を有し、前記上基板の貫通孔と前記介在基板の貫通孔とによって露出する前記下基板の上面の領域が、前記下基板被検出部となる。
【０１６２】
前記下基板の上面は、例えば、平面でもよいし、上方向に突出する前記上面側凸部を有してもよい。この場合、前記下基板において、前記上面側凸部は、前記上基板の貫通孔および前記介在基板の貫通孔に対応する箇所に設けられ、前記積層体において、前記上面側凸部は、前記各貫通孔に挿入された構造となる。そして、前記下基板の上面側凸部の上面は、前記下基板被検出部である前記検出基準部となる。前記下基板の前記上面側凸部の上面は、例えば、前記上基板の上面とフラットな状態（段差がない状態）でもよいし、前記上基板の上面よりも高い（突出した）状態でもよいし、前記上基板の上面よりも低い状態でもよい。
【０１６３】
前記下基板が前記検出基準部となる前記上面側凸部を有する場合、前記下基板の上面側凸部と、前記上基板および前記介在基板の貫通孔とは、前者の形状と後者の形状とが、実質的に同じ形状であり、且つ、前者の平面の面積と、後者の貫通孔の孔面積とが、実質的に同じであることが好ましい。
【０１６４】
前記下基板の前記検出基準部の形状は、例えば、円形、角形等があげられる。前記円形は、例えば、真円、楕円等であり、真円が好ましい。前記角形は、例えば、三角形、四角形等の多角形であり、前記四角形は、例えば、正方形、長方形等である。前記上基板および前記介在基板の貫通孔の形状も、特に制限されず、例えば、円形、角形等があげられる。
【０１６５】
前記二層構造の場合、前記下基板と前記上基板の色の組合せは、特に制限されず、例えば、前記下基板被検出部および前記上基板被検出部（任意）を検出可能であればよい。前記下基板および前記上基板の色は、例えば、以下のような組合せがあげられる。前記下基板は、例えば、その上面が黒色であり、前記上基板は、例えば、透明または白色である。
【０１６６】
前記三層構造の場合、前記下基板と前記介在基板と前記上基板の色の組合せは、特に制限されず、例えば、前記下基板被検出部および前記上基板被検出部（任意）を検出可能であればよい。前記下基板および前記上基板の色は、例えば、前述と同様である。前記介在基板の色は、例えば、前記上基板、前記下基板および前記マーカ等に応じて適宜設定できる。前記介在基板の上面の色は、例えば、前記下基板被検出部および前記上基板被検出部の色とは異なる色である。また、前記介在基板の上面の色と、前記下基板被検出部の色および前記上基板被検出部の色とは、例えば、コントラスト差が生じやすい組合せであることが好ましい。このように、前記介在基板によりコントラスト差を生じさせることで、例えば、前記下基板被検出部および前記上基板被検出部の検出精度を、より向上できる。
【０１６７】
前記下基板、前記介在基板および前記上基板の色は、例えば、以下のような組合せがあげられる。前記下基板は、例えば、その上面の色が黒色であり、前記介在基板は、例えば、その上面が白色であり、前記上基板は、例えば、透明である。前記介在基板は、例えば、前記下基板被検出部および前記上基板被検出部に対する反射基板ということもできる。
【０１６８】
前記下基板、前記介在基板および前記上基板は、例えば、それぞれ、樹脂基板である。前記樹脂基板の成形樹脂としては、例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）、アクリル系樹脂（例えば、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ））、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、シクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）等があげられる。また、前記樹脂基板を着色する場合、例えば、前記樹脂に目的とする色の着色剤（例えば、マスターバッチ、ドライカラー等）を添加した所望の着色樹脂を、成形材料とすることができる。
【０１６９】
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は、上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【０１７０】
この出願は、２０１７年４月１９日に出願された日本出願特願２０１７−０８２４３５および２０１７年７月３１日に出願された日本出願特願２０１７−１４８３０５を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【産業上の利用可能性】
【０１７１】
以上のように、本発明のマーカユニットは、前述のように、前述のような位置決定部を有するため、ロボット等の被設置体に対して、同じ条件で容易に設置することが可能である。このため、例えば、前記被設置体に新たなマーカユニットを設置する度、前記マーカユニットにおける検出基準部やマーカ等の測定についてキャリブレーションを行うことも省略することが可能となる。
【符号の説明】
【０１７２】
１〜９、１３〜１９、２１〜２５      マーカユニット
１０、３０      上基板
１１      介在基板
１２      下基板
２０、３１、４０      マーカ
１２１、２２１、３２１、４２１、５２１、６２１、７２１、８２１、９２１、１３２１、１４２１、１５２１、１６２１、１７２１、１８２１、１９２１、２１２１，２２２１、２３２１、２４２１、２５２１      位置決定部
１２２      検出基準部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【国際調査報告】
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