(57)【要約】  本開示は、少なくとも第１層、第１接着層、およびパターン状の構造体をこの順で有し、上記第１接着層が、接着力調整処理を受けて接着力が変化する積層体を提供する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１層、第１接着層、およびパターン状の構造体をこの順で有し、
前記第１接着層が、接着力調整処理を受けて接着力が変化する積層体。
【請求項２】
前記第１接着層が、前記接着力調整処理として加熱処理または冷却処理を受けて接着力が低下する感温性接着層である、請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記第１接着層が、前記接着力調整処理としてエネルギー線照射処理を受けて接着力が低下するエネルギー線応答性接着層である、請求項１に記載の積層体。
【請求項４】
前記第１接着層が、前記接着力調整処理として電場印加処理または無電場処理を受けて接着力が低下する電気応答性接着層である、請求項１に記載の積層体。
【請求項５】
前記構造体が接着性を有する、請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項６】
前記構造体の前記第１接着層側とは反対側には、前記第１接着層とは異なる組成の第２接着層を有する、請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項７】
前記第１接着層が、前記構造体と同じパターン状である、請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項８】
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、請求項６に記載の積層体。
【請求項９】
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、請求項７に記載の積層体。
【請求項１０】
請求項６に記載の積層体を用いた、多層体の一方の面に開口を有する凹部を備える凹部付き多層体の製造方法であって、
前記第２層の一方の面に、前記積層体の前記構造体を直接または前記第２接着層を介して間接的に接触させる接触工程と、
前記接着力調整処理により前記第１接着層の接着力を低下させる接着力調整工程と、
少なくとも前記第１層を剥離して、前記構造体を少なくとも含むパターン部を前記第２層にパターン状に転写する転写工程と、
前記第２層の前記パターン部を有する側の面に、１以上の他の層を積層する積層工程と、
前記パターン部および前記１以上の他の層を、前記パターン部および前記パターン部と平面視上重なる位置にある前記他の層を含む第１の領域と、それ以外の第２の領域とに区画する区画工程と、
前記第１の領域を剥離除去して、前記凹部を形成する凹部形成工程と
を有する、凹部付き多層体の製造方法。
【請求項１１】
前記凹部付き多層体が、凹部付き多層配線板である請求項１０に記載の凹部付き多層体の製造方法。
【請求項１２】
請求項６に記載の積層体を用いた、前記構造体を第２層に転写する構造体の転写方法であって、
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と前記第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、構造体の転写方法。
【請求項１３】
請求項６に記載の積層体を用いた、前記構造体を第２層に転写する構造体の転写方法であって、
前記第１接着層が、前記構造体と同じパターン状であり、
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と前記第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、構造体の転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、パターン状の構造体を容易に転写可能な積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
部材上に配置されるパターン状の構造体は、配置対象となる面上に直接形成することが困難な場合や、一度に複数の箇所に配置したい場合等において、転写法により対象面上に転写配置される。パターン状の構造体としては、例えば、配線基板等における配線パターン、医療分野等において生体組織や臓器等に用いられる細胞パターン、配線パターンの形成過程や３次元構造の電子部品の製造過程等で、部分的に保護が必要な箇所に配置する保護部材等が挙げられる。【０００３】
被転写体にパターン状の構造体を転写する方法としては、例えば、パターン状の構造体が配置されたキャリアフィルムを用い、キャリアフィルム上の構造体と被転写体の一方の面を接着後、キャリアフィルムを剥離する方法が用いられる。なお、特許文献１には、回路基板等の製造において回路等を保護する目的で保護層を転写配置する際に、保護層へのシワの発生を防止することが可能なキャリアフィルム付き保護フィルムが開示されている。保護層は、回路上に転写されることから構造体に相当するが、パターン状ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５６４７５９３号公報
【特許文献２】特開平８−３７３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
構造体が配置されたキャリアフィルムは、転写前は構造体とキャリアフィルムとがある程度の強度で接着されている必要がある。しかし、構造体とキャリアフィルムとの間の接着力が高すぎると、被転写体に構造体を一括転写することが困難となる、構造体の機械的強度等によっては転写の際に破損等が生じやすくなる等の問題がある。さらに、構造体の種類によっては、構造体上に残存したキャリアフィルムの接着剤成分が、構造体の機能や物性に悪影響を及ぼすという問題がある。【０００６】
本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、パターン状の構造体を被転写体に容易に転写可能な積層体、およびそれを用いた凹部付き多層体の製造方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示は、少なくとも第１層、第１接着層、およびパターン状の構造体をこの順で有し、上記第１接着層が、接着力調整処理を受けて接着力が変化する積層体を提供する。【０００８】
また、本開示は、上述の積層体を用いた、多層体の一方の面に開口を有する凹部を備える凹部付き多層体の製造方法であって、第２層の一方の面に、上記積層体の上記構造体を直接または第２接着層を介して間接的に接触させる接触工程と、上記接着力調整処理により上記第１接着層の接着力を低下させる接着力調整工程と、少なくとも上記第１層を剥離して、上記構造体を少なくとも含むパターン部を上記第２層にパターン状に転写する転写工程と、上記第２層の上記パターン部を有する側の面に、１以上の他の層を積層する積層工程と、上記パターン部および上記１以上の他の層を、上記パターン部および上記パターン部と平面視上重なる位置にある上記他の層を含む第１の領域と、それ以外の第２の領域とに区画する区画工程と、上記第１の領域を剥離除去して、上記凹部を形成する凹部形成工程とを有する、凹部付き多層体の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本開示の積層体は、第１接着層が接着力調整処理を受けて接着力が変化することで、被転写体にパターン状の構造体を容易に一括転写することができ、上記構造体の破損や上記構造体側への糊残りの発生を抑制することができるという効果を奏する。また、本開示の凹部付き多層体の製造方法によれば、上記積層体を用いることで、多層体表面に凹部を容易に形成することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本開示の積層体の一例を示す概略平面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】本開示の積層体を用いた構造体の転写方法の一例を説明する工程図である。
【図４】本開示の積層体の他の例を示す概略断面図である。
【図５】本開示の積層体の他の例を示す概略断面図である。
【図６】本開示の積層体を用いた構造体の転写方法の他の例を説明する工程図である。
【図７】本開示の積層体を用いた構造体の転写方法の他の例を説明する工程図である。
【図８】本開示の積層体の製造方法の一例を示す工程図である。
【図９】本開示の凹部付き多層体の製造方法の一例を示す工程図である。
【図１０】区画工程における区画線の位置を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書において、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に（又は下に）」あるとする場合、特段の限定がない限り、これは他の構成の直上（又は直下）にある場合のみでなく、他の構成の上方（又は下方）にある場合を含み、すなわち、他の構成の上方（又は下方）において間に別の構成要素が含まれている場合も含む。
【００１２】
本開示は、積層体および凹部付き多層体の製造方法を実施形態に含む。以下、本開示の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。但し、本開示は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実施の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本開示の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方又は下方という語句を用いて説明する場合があるが、上下方向が逆転してもよい。
【００１３】
Ｉ．積層体
本開示の積層体は、少なくとも第１層、第１接着層、およびパターン状の構造体をこの順で有し、上記第１接着層が、接着力調整処理を受けて接着力が変化する。
【００１４】
図１は本開示の積層体の一例を示す概略平面図であり、図２は図１のＸ−Ｘ線断面図である。本開示の積層体１０は、少なくとも第１層１、第１接着層２、およびパターン状の構造体３をこの順で有し、第１接着層２が、接着力調整処理を受けて接着力が変化する。なお、図２において、接着力調整処理前の第１接着層２と第１層１との間の接着力をＮ１、接着力調整処理後の第１接着層２と第１層１との間の接着力をＮ１’接着力調整処理前の第１接着層２と構造体３との間の接着力をＮ２、接着力調整処理後の第１接着層２と構造体３との間の接着力をＮ２’とする。
【００１５】
図３（ａ）〜（ｃ）は、本開示の積層体を用いた構造体の転写方法の一例を説明する工程図である。本開示の積層体を用いて構造体を被転写体（第２層）に転写する方法としては、まず、第２層１１の一方の面に、本開示の積層体１０の構造体３を直接または第２接着層を介して間接的に接触させる（図３（ａ）、接触工程）。次に、接着力調整処理Ｔにより第１接着層２の接着力を低下させる（図３（ｂ）、接着力調整工程）。その後、少なくとも第１層１を剥離する（図３（ｃ）、転写工程）。図３（ｃ）では、第１層１および第１接着層２を剥離している。これにより、第２層１１に、構造体３を少なくとも含むパターン部２０を第２層１１にパターン状に一括転写する。なお、図３において、構造体と第２層との間の接着力をＮ４、とする。その他、図３において説明しない符号については図２と同様である。
【００１６】
被転写体へパターン状の構造体を転写する方法としては、例えば、パターン状の構造体が配置されたキャリアフィルムを用いる方法がある。構造体が配置されたキャリアフィルムは、転写前は構造体とキャリアフィルムとがある程度の強度で接着されている必要がある。しかし、構造体とキャリアフィルムとの間の接着力が高すぎると、被転写体に構造体を一括転写することが困難である、構造体の機械的強度等によっては転写の際に破損等が生じる等の課題がある。さらに、構造体の種類によっては、構造体上に残存したキャリアフィルムの接着剤成分が、構造体の機能や物性に悪影響を及ぼすという課題がある。
【００１７】
このような課題に対し、本発明者等は、パターン状の構造体の転写用積層体として、接着力調整処理により接着力が低下する接着力可変型の接着層上に、パターン状の構造体を配置した本開示の積層体を開発し、上記課題を解決するに至った。すなわち、本開示の積層体によれば、接着力調整処理により接着力が低下する第１接着層上にパターン状の構造体を配置することで、接着力調整処理前は、第１接着層が高い接着力を持って構造体を保持することができ、一方、接着力調整処理後は、第１接着層の構造体に対する接着力が低下するため、構造体が容易に剥離可能となる。これにより、本開示の積層体は、構造体を被転写体に一括転写することが可能である。また、本開示の積層体における第１接着層は、接着力調整処理の程度により接着力を十分に低下させることができるため、本開示の積層体は、構造体の機械的強度や種類等に因らず、高転写性を実現することができ、転写の際の構造体の破損や構造体側への糊残りの発生を抑制することが可能である。
【００１８】
ここで、「パターン状」とは、構造体が配置される層の被着面において、構造体が設けられている部分と、構造体が設けられていない部分とを有する状態をいう。また、本開示の積層体により被転写体に転写される、少なくとも構造体を含む転写体のことを「パターン部」と称する場合がある。パターン部は、被着体にパターン状に転写することができる。被転写体に転写する、または転写されるとは、被転写体の一方の面上に転写する、または転写されることをいう。さらに本開示の積層体により構造体を含むパターン部が転写される被転写体のことを「第２層」と称して説明する場合がある。以下、本開示の積層体について、構成ごとに説明する。
【００１９】
Ａ．第１接着層
本開示の積層体における第１接着層は、接着力調整処理を受けて接着力が変化する層である。第１接着層は、接着力調整処理前は、接着性および／または粘着性を有する。
【００２０】
１．第１接着層の態様
第１接着層は、接着力調整処理を受けて接着力が変化する。ここで、「接着力調整処理を受けて接着力が変化する」とは、接着力調整処理を受けて接着力が接着力調整処理を受ける前よりも上昇しても良く、接着力調整処理を受けて接着力が接着力調整処理を受ける前よりも低下しても良い。中でも、本開示においては、接着力調整処理を受けて接着力が低下することが好ましく、接着力調整処理を受けて接着力が消失することがより好ましい。
【００２１】
第１接着層は、接着力調整処理の種類に応じた組成を有する。接着力調整処理としては、第1接着層の接着力を低下させることが可能な処理が好ましく、例えば、加熱処理または冷却処理の熱処理、エネルギー線照射処理、電場印加処理または無電場処理の電場処理、等が挙げられる。
【００２２】
すなわち、第１接着層は、加熱処理または冷却処理を受けて接着力が低下する感温性接着層である第１態様、エネルギー線照射処理を受けて接着力が低下するエネルギー線応答性接着層である第２態様、電場印加処理または無電場処理を受けて接着力が低下する電気応答性接着層である第３態様に大別することができる。以下、第１接着層について、態様ごとに説明する。
【００２３】
（１）第１態様
本態様の第１接着層は、接着力調整処理として加熱処理または冷却処理を受けて接着力が低下する感温性接着層である。感温性接着層は、温度変化に対応して接着性と非接着性とを繰り返す接着層であり、本開示の積層体においては、加熱処理により接着力が低下する加熱剥離型であってもよく、冷却処理により接着力が低下する冷却剥離型であってもよい。
【００２４】
（ａ）加熱剥離型の感温性接着層
加熱剥離型の感温性接着層は、所定のスイッチング温度以上で加熱することで、接着力が低下して剥離が可能となる。スイッチング温度は、加熱剥離型の感温性接着層の組成やその融点等に応じて適宜設定が可能であり、例えば３０℃以上２００℃以下の範囲内とすることができ、中でも４０℃以上９０℃以下の範囲内であることが好ましい。スイッチング温度を上述した範囲内に設定することで、常温での作業性を確保することが出来るからである。
【００２５】
なお、本開示の積層体が熱を伴う工程において用いられる場合、スイッチング温度は、熱を伴う工程の温度よりも高いことが好ましい。熱を伴う工程とは、例えば、後述する凹部付き多層体の製造におけるソルダーレジスト等の焼成工程（例えば１２０℃程度）、リフロー工程（例えば２６０℃程度）等が挙げられる。
【００２６】
加熱剥離型の感温性接着層の組成としては、所望の物性を示すことが出来れば特に限定されないが、例えば、接着剤と発泡剤または膨張剤とを少なくとも含む組成（組成Ａ）、接着剤と側鎖結晶性ポリマーとを少なくとも含む組成（組成Ｂ）等が挙げられる。組成Ａは、加熱処理を受けて発泡剤が発泡し、または膨張剤が膨張することで、物理的に接触面積が減少することで接着力の低下を図ることができ、容易に剥離可能となる。また、組成Ｂは、加熱処理により側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で加熱すると、相変化により側鎖結晶性ポリマーの物性が変化して流動し、感温性接着層の粘着力を十分に低下させることができ、容易に剥離可能となる。
【００２７】
（ｉ）組成Ａ
加熱剥離型の感温性接着層の組成Ａは、接着剤と発泡剤または膨張剤とを少なくとも含む。
【００２８】
接着剤は、粘着性を有するポリマーを含む。上記接着剤としては、例えば、天然ゴム接着剤；合成ゴム接着剤；スチレン／ブタジエンラテックスベース接着剤；ブロック共重合体型の熱可塑性ゴム；ブチルゴム；ポリイソブチレン；アクリル接着剤；ビニルエーテル共重合体等が挙げられる。具体的には、特開２００８−１３５９０号公報、特許第３８５３２４７号公報等に開示される接着剤が挙げられる。
【００２９】
発泡剤または膨張剤としては、加熱処理を受けて発泡剤が発泡し、または膨張剤が膨張する材料を用いることが出来る。発泡剤は、化学発泡剤であってもよく、物理発泡剤であってもよい。発泡剤または膨張剤としては、具体的には、特開２００８−１３５９０号公報に開示される発泡剤、特許第３８５３２４７号公報に開示される熱膨張性微小球等を用いることが出来る。発泡剤または膨張剤が発泡ないし膨脹する温度、加熱剥離型の感温性接着層中の発泡剤または膨張剤の含有量は、適宜設定可能であり、具体的には、特開２００８−１３５９０号公報、特許第３８５３２４７号公報等に開示される発泡ないし膨脹する温度、含有量と同様とすることが出来る。
【００３０】
上記組成Ａは、側鎖結晶性ポリマーをさらに含むことができる。側鎖結晶性ポリマーは、融点以上の温度で加熱すると流動して、感温性接着層の粘着力を十分に低下させることができるため、感温性接着層中の発泡剤の含有量を少なくすることができ、感温性接着層の薄厚化が可能となる。側鎖結晶性ポリマーについては、「（ｉｉ）組成Ｂ」にて説明するため、ここでの説明は省略する。上記組成Ａにおける側鎖結晶性ポリマーの含有量は特に限定されず、適宜設定することができる。
【００３１】
（ｉｉ）組成Ｂ
加熱剥離型の感温性接着層の組成Ｂは、接着剤と側鎖結晶性ポリマーとを少なくとも含む。接着剤については組成Ａと同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００３２】
側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すポリマーであり、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こすことが可能なポリマーである。側鎖結晶性ポリマーとしては、例えば、直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートと、アルキル基を有するアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルと、極性モノマーとで構成される重合体等が挙げられる。具体的には、特開２００８−１３５９０号公報に開示される側鎖結晶性ポリマーが挙げられる。上記組成Ｂにおける側鎖結晶性ポリマーの含有量は特に限定されず、加熱剥離型の感温性接着層を設定温度以上の温度ではほぼ非粘着性に、またそれより下の温度では粘着性にする特性を示すのに十分な量を適宜設定することができる。例えば、特開２００８−１３５９０号公報に開示される含有量とすることができる。
【００３３】
（ｉｉｉ）その他
なお、上述した組成Ａを含む加熱剥離型の感温性接着層としては、例えば特許第３８５３２４７号公報に開示される加熱剥離型粘着シートの熱膨張性層が挙げられる。また、上述した組成Ｂを含む加熱剥離型の感温性接着層としては、例えば特開２００８−１３５９０号公報に開示される粘着シートの粘着剤層が挙げられる。
【００３４】
（ｂ）冷却剥離型の感温性接着層
冷却剥離型の感温性接着層は、所定のスイッチング温度以下で冷却することで、接着力が低下し剥離が可能となる。スイッチング温度は、冷却剥離型の感温性接着層の組成やその融点等に応じて適宜設定が可能であり、例えば１０℃以上であることが好ましい。また、スイッチング温度は７０℃以下とすることができ、中でも２０℃以下であることが好ましい。スイッチング温度を上述した範囲内に設定することで、冷却剥離型の感温性接着層は、常温での貼り付けおよび冷却環境下で剥離が容易に可能となるからである。
【００３５】
冷却剥離型の感温性接着層の組成としては、所望の物性を示すことが出来れば特に限定されないが、例えば、１６以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエステルを構成成分する側鎖結晶化可能ポリマーを含む組成が挙げられる。
【００３６】
１６以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステル（総じて（メタ）アクリレートともいう）としては、例えば、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ドコシル（メタ）アクリレート等の炭素数１６〜２２の直鎖アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００３７】
側鎖結晶化可能ポリマーとしては、特に限定されないが、例えば、アルキル基の炭素数が１〜６のアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステル４０重量％〜６０重量％の範囲内と、カルボキシ基含有エチレン性不飽和単量体２重量％〜１０重量％の範囲内と、アルキル基の炭素数が１６〜２２のアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステル２０重量％〜６０重量％の範囲内と、を含有するモノマー重合体を用いることもできる。
【００３８】
側鎖結晶化可能ポリマーは、融点（第１次溶融転移ともいう。）が０℃以上７０℃以下の範囲内、中でも約１５℃以上５５℃以下の範囲内であることが好ましい。また、側鎖結晶化可能ポリマーは、約３５℃より低い、好ましくは約２５℃より低い比較的狭い温度範囲において溶融が起こることが好ましい。側鎖結晶化可能ポリマーの量は特に限定されず、冷却剥離型の感温性接着層を設定温度以下の温度ではほぼ非粘着性に、またそれより上の温度では粘着性にする特性を示すのに十分な量を適宜設定することができる。
【００３９】
なお、上述した組成を含む冷却剥離型の感温性接着層として、例えば特開２０００−３５１９５１号公報に開示される粘接着層を用いることが出来る。
【００４０】
（２）第２態様
本態様の第１接着層は、接着力調整処理としてエネルギー線照射処理を受けて接着力が低下するエネルギー線応答性接着層である。エネルギー線応答性接着層は、エネルギー線の照射により接着層が硬化および収縮することで、接着力の低下および被着面でのせん断力の発生等により剥離可能となる。
【００４１】
エネルギー線照射処理に用いられるエネルギー線としては、第１接着層の反応を生じさせることが可能なものであればよく、エネルギー線応答性接着層の組成に応じて適宜選択することが出来る。エネルギー線としては例えば、遠紫外線、紫外線、近紫外線、赤外線等の光線、Ｘ線、電子線、γ線等の電磁波、プロトン線、中性子線等の、各種の電離放射線が挙げられる。中でも、紫外線、電子線が好ましい。
【００４２】
エネルギー線応答性接着層の組成は、エネルギー線照射処理により硬化可能であれば特に限定されない。エネルギー線応答性接着層の組成としては、例えば、アクリル系ポリマーとエネルギー線重合性のオリゴマーまたはモノマーと重合開始剤と架橋剤とを含有する組成が挙げられる。なお、本開示において「アクリル」には「メタクリル」も含むことができる。
【００４３】
アクリル系ポリマーとしては、例えば、主モノマーであるアクリル酸エステルおよび上記アクリル酸エステルと共重合可能な官能基含有アクリル系モノマーの共重合体であるアクリル酸エステル共重合体が挙げられる。官能基含有アクリル系モノマーの官能基としては、例えば水酸基、カルボキシル基、エポキシ基等、イソシアネート基、アミノ基等が挙げられる。アクリル系ポリマーを構成するアクリル酸エステルおよび官能基含有モノマーについては、例えば特開２０１２−３１３１６号公報、特開２００４−１５８８１２号公報等に開示のアクリル酸エステルおよびモノマーを用いることができる。また、上記アクリル系ポリマーは、例えば、上記公報に開示される質量平均分子量（Ｍｗ）とすることができる。
【００４４】
エネルギー線重合性のオリゴマーまたはモノマーとしては、エネルギー線の照射により重合し得るものであれば特に限定されず、例えば、光ラジカル重合性、光カチオン重合性、光アニオン重合性等のオリゴマーまたはモノマーが挙げられる。具体的には、特開２０１２−３１３１６号公報、特開２００４−１５８８１２号公報等に開示のエネルギー線重合性オリゴマーまたはモノマーを用いることができる。エネルギー線重合性のオリゴマーまたはモノマーは、例えば、上記の公報で開示される質量平均分子量（Ｍｗ）および含有量とすることができる。
【００４５】
重合開始剤としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ７５４（ＢＡＳＦジャパン社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ２９５９（ＢＡＳＦジャパン社製）、特開２００４−１５８８１２号公報等に開示される光重合開始剤等が挙げられる。また、架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤等を用いることができ、具体的には、特開２０１２−３１３１６号公報に開示の架橋剤を用いることができる。
【００４６】
エネルギー線応答性接着層は、ガス発生剤をさらに含むことが出来る。エネルギー線照射によりガス発生剤がガスを発生し、接着層と被着体との間の界面にガスが移行することで、剥離がさらに容易となるからである。ガス発生剤としては、特に限定はされないが、例えばアゾ化合物、アジド化合物を用いることができる。具体的には、特開２００４−１５８８１２号公報に開示されるアゾ化合物、アジド化合物が挙げられる。ガス発生剤の含有量については、所望の機能を発揮することが可能であれば特に限定されないが、例えば特開２００４−１５８８１２号公報に開示される量とすることが出来る。
【００４７】
なお、エネルギー線応答性接着層としては、例えば特開２０１２−３１３１６号公報、特開２００４−１５８８１２号公報等に開示される粘接着層を用いることができる。
【００４８】
（３）第３態様
本態様の第１接着層は、接着力調整処理として電場印加処理または無電場処理を受けて接着力が低下する電気応答性接着層である。電気応答性接着層とは、電場の印加の有無に対応して接着性と非接着性とを繰り返す接着層である。本開示の積層体においては、電気応答性接着層は、無電場において接着力を発現し、電場印加により接着力が低下する電気剥離性接着層であってもよく、電場印加により接着力を発現し、無電場において接着力が低下する電気接着性接着層であってもよい。中でも、電場印加により接着力が低下する電気剥離性接着層であることが好ましい。転写作業やプロセスを通常環境下で実施可能となるからである。
【００４９】
本態様の第１接着層が電気剥離性接着層であれば、接着力調整処理とは、無電場下の第１接着層に電場印加する電場印加処理をいう。すなわち、本態様の第１接着層が電気剥離性接着層である場合、本開示の積層体を無電場下に置くことで、第１接着層は接着性を有することができる。一方、構造体を含むパターン部を第２層に転写する際に、電場印加処理として第２層に本開示の積層体を配置した状態で電場下におくことで、電場印加を受けた第１接着層の接着力が低下して、少なくとも第１層が剥離可能となる。
【００５０】
このような電気剥離性接着層の組成としては、例えば、アクリル接着剤またはポリエステル接着剤と電解液とを含む組成が挙げられる。アクリル接着剤を構成するアクリルポリマーは、特に限定されないが、接着性の観点から、例えば１万〜５００万の範囲の重量平均分子量を有するアクリルポリマーを用いることが出来る。重量平均分子量の算出方法、ならびに、このようなアクリルポリマーを構成するアクリルモノマーおよび重合開始剤の具体例については、特開２０１０−０３７３５４号公報に開示される算出方法および材料と同様とすることが出来る。
【００５１】
電解液は、所望のイオン導電率を示すことが可能であれば特に限定されず、例えば、電解質としての第四級アンモニウム塩又はアルカリ金属塩と、有機溶剤とを含む混合物が挙げられる。電解液のイオン導電率およびその測定方法、ならびに、電解液の具体的な組成については、特開２０１０−３７３５４号公報に開示されるイオン導電率および測定方法、ならびに電解液の組成と同様とすることができる。
【００５２】
一方、本態様の第１接着層が電気接着性接着層であれば、接着力調整処理とは、第１接着層の電場印加を停止して無電場とする無電場処理をいう。すなわち、本態様の第１接着層が電気接着性接着層である場合、第１接着層に電場を印加することで、第１接着層は所望の接着力を有することができる。一方、構造体を含むパターン部を第２層に転写する際に、無電場処理として第１接着層への電場印加を停止することで、第１接着層の接着力が低下して、第１接着層と隣接する層との所望の界面で剥離可能となる。
【００５３】
このような電気接着性接着層の組成としては、例えば、樹脂架橋体に電気レオロジー粒子（ＥＲ粒子）を分散した電気レオロジーゲル（ＥＲゲル）が挙げられる。なお、電気接着性接着層としては、例えば特開２０１３−０４９８２０号公報に開示されるような電気粘着シート、具体的には、２層積層した多孔シートに、粘弾性を有するシリコンゲル、ウレタンゴム、またはブタジエンゴムを組み合わせたシートを用いることもできる。
【００５４】
第１接着層に電場印加する方法は、公知の方法を用いることが出来る。例えば、導電性の第１層および構造体に端子を接続して端子間に電圧を印加する方法、導電性の第１層および第１接着層に端子を接触させて端子間に電圧を印加する方法等が挙げられる。導電性の第１層としては、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔等を用いることができる。また、印加条件は特に限定されず、例えば電場５Ｖ〜５０Ｖの範囲内、印加時間１０秒〜１２０秒の範囲内で設定することが出来る。
【００５５】
（４）その他
各態様の第１接着層は、必要に応じて、その他の任意の添加剤を含んでいてもよい。任意の添加剤としては、例えば、着色剤、顔料などの粉体、界面活性剤、可塑剤、粘着付与剤、低分子量ポリマー、表面潤滑剤、レベリング剤、酸化防止剤、腐食防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、シランカップリンング剤、無機または有機の充填剤、金属粉、粒子状、箔状物等が挙げられる。
【００５６】
２．その他
第１接着層は、接着力調整処理前後で所望の接着力を示すことが好ましい。接着力調整処理前の第１接着層の接着力は、接着層の組成、厚さにも因るが、例えば、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上１０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内、好ましくは０．５Ｎ／２５ｍｍ以上５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内、より好ましくは１Ｎ／２５ｍｍ以上３Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内である。また、接着力調整処理後の第１接着層の接着力は、接着力調整処理前よりも低ければよく、中でも、第１接着層が第１層または構造体に対し、易剥離性または非接着性を示すことが可能であることが好ましい。接着力調整処理後の第１接着層の接着力としては、例えば、５Ｎ／２５ｍｍ以下、好ましくは０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上２Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内、より好ましくは０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができる。なお、非接着性とは、接着力を実質的に有さない物性をいい、また、易剥離性とは、タックを有し、第１層および構造体と接着可能であり、かつ第１層または構造体から容易に剥離可能である物性をいう。
【００５７】
接着力調整処理前後の第１接着層の接着力は、ＪＩＳ Ｚ０２３７−２００９に準拠して測定することが出来る。測定は、第１接着層（幅２５ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）を厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムで裏打ちした試験片を準備し、この試験片の第１接着層をＳＵＳ３０４ＢＡ板に貼り合せ、２ｋｇのローラーで２往復圧着させ、温度２０℃〜２８℃、湿度３０％ＲＨ〜６０％ＲＨの条件下で１時間〜２４時間放置後、引張試験機（例えばエー・アンド・デイ（株）製、テンシロン万能試験機ＲＴＦ−１１５０Ｈ）を用いて、ＪＩＳ Ｚ０２３７−２００９に準拠した条件（剥離角：１８０°方向、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離距離：５０ｍｍ）で剥がして行う。接着力調整処理後の第１接着力の接着力を測定する場合は、上述の方法で準備した試験片の第１接着層をＳＵＳ３０４ＢＡ板に貼り合せて、２ｋｇのローラーで２往復圧着して上述した条件で放置後、接着力調整処理を行い、処理後の試験片に対して引張試験機を用いて上述したＪＩＳ Ｚ０２３７−２００９に準拠した条件で剥がして測定する。
【００５８】
第１接着層の厚みは、接着力調整処理前後で第１層または構造体との間で所望の接着力を示すことが可能な厚みであれば特に限定されず、適宜設定することができ、例えば１μｍ以上５００μｍ以下の範囲内、好ましくは、５μｍ以上３００μｍ以下の範囲内とすることができる。第１接着層は、フィルム状であってもよく、シート状であってもよい。
【００５９】
第１接着層は、図２で示すように第１層１の一方の面の全面に配置されていてもよく、図４で示すように構造体３と同じパターン状に配置されていてもよい。第１接着層が構造体と同じパターン状である場合、接着力調整処理後の第１層と第１接着層との間で剥離が生じることで、構造体および上記構造体上の第１層を有するパターン部を第２層の一方の面に転写可能となる。
【００６０】
第１接着層は、本開示の積層体の使用環境に応じて、その態様を選択することが出来る。例えば、加熱工程等の熱がかかる工程で使用する場合は、加熱剥離型の感温性接着層以外が好ましく、中でも操作が簡便であることから、電気応答性接着層がより好ましい。また、紫外線照射を行う工程で使用する場合は、エネルギー線応答性接着層以外が好ましく、中でも感温性接着層が好ましい。
【００６１】
Ｂ．第１層
本開示の積層体における第１層は、上記第１接着層および構造体を支持する層である。第１層は、本開示の積層体を第２層と接触させ、第１接着層に対して接着力調整処理を行った後、剥離除去される層であり、本開示の積層体の用途に応じて、剥離層や基材となる層である。
【００６２】
第１層は、接着力調整処理前の第１接着層と接着可能であり、第１接着層が所望の接着力を示すことが可能なものを用いることができる。第１層としては、例えば、樹脂層、金属箔等の金属層、樹脂層の一方または両方の面に金属膜を有する蒸着フィルム、離型紙等の紙、これらの材料の複合材等が挙げられる。
【００６３】
樹脂層としては、特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート等のアクリル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のオレフィン、ポリイミド、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース等の樹脂からなる層が挙げられる。
【００６４】
また、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられる。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属（例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等）との合金からなる箔を用いてもよい。
【００６５】
中でも、第１層は樹脂層が好ましい。後述するように、接着力調整処理後の剥離位置を第１接着層と構造体との間に設定する場合は、第１層は樹脂層が好ましい。第１接着層と接着力調整処理後の第１層との間の接着力を高めることができるからである。この場合の第１層としては、具体的には、ＰＥＴ等のポリエステル、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレン等で構成される樹脂層が好ましい。
【００６６】
第１層は、第１接着層と接する側の面に表面処理が施されていてもよい。接着力調整処理前後の第１接着層、中でも接着力調整処理後の第１接着層との間の接着力を高めることができ、接着力調整処理後の第１接着層と第１層との間で剥離しにくくすることができるからである。第１層の第１接着層側の面を表面処理する方法は、第1層を構成する材料の種類に応じて適宜選択することができ、例えば、酸化法、凹凸化法等の公知の方法が挙げられる。
【００６７】
第１層の厚みは、特に制限されないが、第１接着層および構造体を少なくとも支持することが可能な程度の強度が得られる厚みであることが好ましく、例えば５μｍ以上１０００μｍ以下の範囲内とすることができる。第１層は、フィルム状であってもよく、シート状であってもよい。中でも剥離の観点からフィルム状であることが好ましい。
【００６８】
第１層は、光透過性を有していてもよく、有していなくてもよい。第１接着層がエネルギー線応答性接着層である場合は、第１層はエネルギー線透過性を有することが好ましい。第１層側からエネルギー線を照射して、第１接着層の接着力を容易に低下させることができるからである。第１層のエネルギー線透過性は、照射するエネルギー線の種類、第１層を構成する材料のエネルギー線に対する感度に応じて適宜設定することができる。例えば、エネルギー線が光線であれば、第１層の４００ｎｍ以下の光線透過率が６０％以上であることが好ましい。なお、光線透過率は、市販の分光光度計（例えば、島津製作所社製のＭＰＣ２２００）を用いて測定することができる。
【００６９】
また、第１接着層が加熱剥離型の感温性接着層である場合は、第１層は耐熱性を有することが好ましい。加熱処理により第１接着層の接着力を低下させる際に、第１層の熱劣化を防ぐことができ、容易に剥離可能となるからである。第１層は、加熱剥離型の感温性接着層の加熱処理温度に耐え得る耐熱性を有することが好ましく、具体的には第１層の融点が、加熱処理温度よりも高いことが好ましい。
【００７０】
Ｃ．構造体
本開示の積層体における構造体は、上記第１接着層の上記第１層側とは反対側に配置される部材である。第２層の一方の面に直接または他の層を介してパターン状に転写されることで、用途に応じた機能を有する。本開示の積層体においては、１以上の構造体が、第１接着層の第１層とは反対側に、パターン状に配置されている。
【００７１】
構造体は、本開示の積層体の用途に応じた形状を有することができ、例えば、シートやフィルム等の層状、球（ボール）状、立方体、直方体等の立体状等の形状とすることができる。層状の構造体は、単一層であってもよく積層構造を有していてもよい。構造体の大きさや厚みは、構造体の機能や形態、本開示の積層体の用途に応じて適宜設定することができる。
【００７２】
構造体の材料としては、本開示の実施態様の積層体の用途、構造体の機能や物性に応じて選択することができ、例えば、樹脂、金属、細胞等が挙げられる。
【００７３】
構造体自体は、接着性を有していてもよく、有していなくてもよい。構造体が接着性を有する場合、本開示の積層体は、構造体を含むパターン部を、別途接着層等を介さずに第２層に直接転写することができる。ここで、構造体が接着性を有するとは、構造体が常温でタック性(粘着性)を有することの他、加圧や加熱によりタック性を発現することも含まれる。
【００７４】
構造体が接着性を有する場合の接着力としては、被転写体である第２層と十分に接着可能であれば特に限定されず、例えば、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内、好ましくは０．５Ｎ／２５ｍｍ以上１Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができる。構造体の接着力は、ＪＩＳ Ｚ０２３７−２００９に準拠して測定することが出来る。測定方法の詳細は、「Ａ．第１接着層」の項で説明した接着力の測定方法と同様である。
【００７５】
一方、構造体が接着性を有しない場合、構造体の第１接着層側とは反対側に後述する第２接着層を有することで、本開示の積層体は、構造体および第２接着層を含むパターン部を第２層に転写することができる。すなわち、構造体は第２接着層を介して間接的に第２層に転写可能となる。
【００７６】
構造体は、上述した接着性の他に、構造体の種類、本開示の積層体の用途等に応じて、所望の機能や物性を有することができる。構造体に要求される物性としては、例えば、耐熱性、耐薬品性等が挙げられる。
【００７７】
以下、本開示における構造体について、本開示の実施態様の積層体の用途例に分けて、さらに詳細に説明する。
【００７８】
（用途例１）
用途例１は、本開示の積層体を転写用キャリアシートとして用いる例であり、例えば凹部付き多層体の製造に用いることができる。具体的には、多層体を構成する部材の１つを第２層として、本開示の積層体を用いて構造体を含むパターン部を上記第２層に転写し、さらに上記構造体の上に多層体の構成部材を配置することで、多層体の製造においてパターン状の構造体を所望の位置に配置することができる。そして、構造体の配置位置に合わせて多層体を区画後、構造体と平面視上重なる区画領域を剥離除去することで、多層体に凹部を形成することが出来る。用途例１については、後述する「Ｂ．凹部付き多層体の製造方法」の項で詳細に説明するため、ここでの説明は省略する。
【００７９】
用途例１において、構造体は、多層体を構成する部材とすることができる。例えば、用途例１において凹部付き多層配線板の製造に用いる場合であれば、上記構造体としては、上記積層体を用いる工程に応じた部材を用いることができ、具体的には、保護層、配線パターン、ソルダーボール等が挙げられる。中でも上記構造体としては、保護層を好適に用いることが出来る。
【００８０】
用途例１において、構造体の材料は、積層体を用いる工程に応じた物性を示す材料を適宜選択することができる。例えば、上記構造体が保護層であれば、構造体の材料としては樹脂が挙げられる。また、上記構造体が配線パターンであれば、構造体の材料としては一般に配線に用いられる金属、導電性材料等が挙げられる。
【００８１】
用途例１において、構造体は、用途に応じて所望の物性を有していても良い。この場合、構造体の材料は、物性に応じて適宜選択することが出来る。例えば、構造体は接着性を有していてもよい。接着性を有する構造体の材料としては、例えば、ポリウレタン、ブチルゴム、ポリスチレン系エラストマー等の粘着性ゴム等が挙げられる。これらの材料は１種または２種以上を用いることができる。
【００８２】
また、用途例１において、構造体は耐熱性を有していてもよい。熱による構造体の寸法変化の発生を抑制することができるからである。中でも、上記構造体が保護層であり用途例１において凹部付き多層配線板の製造に用いる場合、加熱する工程が含まれること、高い寸法精度の凹部を形成する必要があることから、上記構造体には高耐熱性が要求される。耐熱性を有する構造体の材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は１種または２種以上を用いることができる。中でもポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂は、後述する耐薬品性等も有する点で好ましい。
【００８３】
更に、用途例１において、構造体は、耐熱性に加え、耐久性、耐薬品性等を有していてもよい。用途例１において凹部付き多層配線板の製造に用いる場合、例えば薬液処理等を行う場合に、構造体および第２層の薬液による劣化を抑制することができるからである。また、区画領域を剥離除去する際に糊残りの発生を抑制することが出来るからである。
【００８４】
用途例１において、パターン状の構造体は、１以上の構造体がパターン状に配置されて成る。構造体の単位当たりの平面視形状は、用途例１において凹部付き多層配線板の製造に用いる場合、凹部付き多層体における凹部の単位当たりの平面視形状に相当することができる。また、構造体の配置パターンは、多層体に形成される凹部の配置パターンと同様とすることができる。
【００８５】
（用途例２）
用途例２は、本開示の積層体を細胞パターン転写用積層体として用いる例である。すなわち、生体組織、培養基板等を第２層として、本開示の積層体を用いて構造体を含むパターン部を第２層に転写することで、細胞パターンを生体組織へ移植することが出来る。
【００８６】
用途例２において、構造体としては、例えば細胞シートが挙げられる。細胞シートは培養細胞が集合して層状化したシートである。細胞シートを構成する細胞としては、例えば、血球系細胞やリンパ系細胞などの浮遊細胞、接着性細胞等が挙げられる。具体的には、特開２００７−０１４７５３号に開示される細胞が挙げられる。
【００８７】
用途例２において、パターン状の構造体は、１以上の構造体がパターン状に配置されて成り、構造体の単位当たりの平面視形状が、細胞パターン転写用積層体における細胞シートの単位当たりの平面視形状に相当することができる。また、構造体の配置パターンは、細胞パターン転写用積層体における細胞シートの配置パターンと同様とすることができる。
【００８８】
Ｄ．第２接着層
本開示の積層体は、上記構造体の上記第１接着層側とは反対側には、上記第１接着層とは異なる組成の第２接着層を有することができる。構造体が接着性を有さない場合に、構造体の第１接着層側とは反対側の面に第２接着層を有することで、第２接着層を介して構造体を第２層に転写することができるからである。このとき、第２層に転写されるパターン部は、第２層側から、第２接着層および構造体を少なくともこの順で有する。
図５は、本開示の積層体の他の例を示す概略断面図であり、構造体３の第１接着層２側とは反対側に第２接着層４を有する。なお、図５において、構造体３と第２接着層４との間の接着力をＮ３、とする。その他、図５において説明しない符号については図１〜図３と同様である。
【００８９】
第２接着層は、接着性および／または粘着性を有する。第２接着層は、構造体の第１接着層側とは反対側の面上に配置されるため、通常、構造体と同じ形状を有するパターン状である。
【００９０】
第２接着層は、第１接着層とは異なる組成を有する。第１接着層とは異なる組成とは、第１接着層に対する接着力調整処理を受けたときに、接着力が低下しにくい組成をいう。具体的には、接着力調整処理後の第２接着層の接着力が、接着力調整処理後の第１接着層よりも高い組成をいう。中でも第２接着層は、各種接着力調整処理により接着力が低下しない組成であることが好ましい。
【００９１】
第２接着層の組成は、所望の接着力を示すことが可能であれば特に限定されず、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂等、一般に接着剤や粘着剤に用いられる樹脂を主成分とする組成が挙げられる。上記樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ゴム、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、１種類含まれていてもよく、２種類以上含まれていてもよい。中でもアクリル樹脂は、透明性、耐久性、耐熱性、コストに優れている点で好ましい。アクリル樹脂は特に限定されず、従来公知のアクリル系モノマー又はメタクリル系モノマーの重合体を用いることが出来る。具体的には、特開２００９−２２６６２１号公報に開示される接着層に用いられるモノマーの重合体が挙げられる。第２接着層は、必要に応じて「Ａ．第１接着層」の項で説明した添加剤を含んでいてもよい。
【００９２】
第２接着層は、本開示の積層体の用途に応じた物性を有することが好ましい。例えば、本開示の積層体を後述する凹部付き多層体の製造方法に用いる場合であれば、第２接着層は、耐熱性や耐薬品性を有することが好ましい。
【００９３】
第２接着層は、構造体および被転写体となる第２層の各々に対して、所望の接着性を有することが好ましい。接着力調整処理後に本開示の積層体から構造体を剥離する際に、構造体と第２接着層との間で剥離が生じる場合があり、また、第２接着層を介して構造体を第２層に転写することが困難となる場合があるからである。第２接着層の接着力は、例えば０．１Ｎ／２５ｍｍ以上５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内、好ましくは０．５Ｎ／２５ｍｍ以上１Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができる。第２接着層の接着力は、ＪＩＳ Ｚ０２３７−２００９に準拠して測定することが出来る。測定方法の詳細は、「Ａ．第１接着層」の項で説明した接着力の測定方法と同様である。
【００９４】
第２接着層の厚みは、特に限定されず、構造体および第２層に対して所望の接着力を示すことが可能となるように適宜設計することができ、例えば１μｍ〜５００μｍの範囲内、好ましくは５μｍ〜５０μｍの範囲内とすることができる。
【００９５】
Ｅ．任意の構成
本開示の積層体が接着性を有する場合であれば、構造体の第１層側とは反対側に剥離層を有することができる。また、本開示の積層体が第２接着層を有する場合であれば、第２接着層上に剥離層を有することができる。剥離層は、構造体と同じパターン状であってもよく、第１層の構造体の配置面の全域を平面視上覆う形状であってもよい。剥離層は従来公知のものを用いることができる。
【００９６】
Ｆ．その他
本開示の積層体は、少なくとも構造体を含む１以上のパターン部を、第２層に一括転写することができる。パターン部は、第２層上においてパターン状に配置される。
【００９７】
１．第２層
第２層は、本開示の積層体から構造体を含むパターン部を転写するときの被転写体となる部材であり、任意の構成である剥離層は除かれる。第２層は、本開示の積層体の用途に応じて適宜選択することができる。例えば、本開示の積層体を、後述する凹部付き多層体の製造に用いる場合であれば、第２層は、多層体を構成する部材の１つとすることができる。具体的には、多層体が多層配線板であれば、第２層としては、配線層等の金属層、絶縁層や樹脂基板等の樹脂層等が挙げられる。また、本開示の積層体を細胞パターン転写用積層体として用いる場合であれば、第２層としては、培養基板、生体組織等が挙げられる。
【００９８】
第２層は、第１層と同じ材質であっても良く異なる材質であってもよい。ただし、構造体の一方の面が第１接着層と接し、他方の面が第２層と接する場合、第２層の材質は、接着力調整処理前後で構造体と第２層との間の接着力が第１接着層と構造体との間の接着力と異になるように選択されることが好ましい。
【００９９】
２．層間接着力の関係
本開示の積層体は、接着力調整処理前の第１接着層と第１層との間の接着力Ｎ１、および接着力調整処理後の第１接着層と第１層との間の接着力Ｎ１’は、Ｎ１＞Ｎ１’の関係を有していてもよく、Ｎ１＜Ｎ１’の関係を有していてもよい。また、接着力調整処理前の第１接着層と構造体との間の接着力Ｎ２、および接着力調整処理後の第１接着層と構造体との間の接着力Ｎ２’は、Ｎ２＞Ｎ２’の関係を有していてもよく、Ｎ２＜Ｎ２’の関係を有していてもよい。
【０１００】
接着力調整処理前において、接着力Ｎ１および接着力Ｎ２の大小関係は特に限定されないが、例えばＮ１＞Ｎ２の関係を有することができる。
【０１０１】
一方、接着力調整処理後において、接着力Ｎ１’および接着力Ｎ２’は、Ｎ１’＞Ｎ２’の関係を有していてもよく、Ｎ１’＜Ｎ２’の関係を有していてもよく、構造体を含むパターン部を第２層に転写する際の剥離位置に応じて適宜設定することができる。すなわち、Ｎ１’＞Ｎ２’であれば、パターン部を第２層に転写するときに、第１接着層と構造体との界面で剥離し易くすることができ、一方、Ｎ１’＜Ｎ２’であれば、パターン部を第２層に転写するときに、第１接着層と第１層との界面で剥離し易くすることができる。
【０１０２】
接着力処理前後の第１接着層と第１層との間の接着力Ｎ１、Ｎ１’は、第１層の材質や種類を問わず、所望の大きさを示すことが好ましい。接着力Ｎ１としては、例えば、０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上とすることができ、中でも０．１Ｎ／２５ｍｍ以上０．５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができる。接着力Ｎ１の上限は特に限定されないが、５Ｎ／２５ｍｍ以下とすることができる。一方、接着力Ｎ１’としては、例えば５Ｎ／２５ｍｍ以下とすることができ、中でも０．１Ｎ／２５ｍｍ以上１Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができる。
【０１０３】
また、接着力処理前後の第１接着層と構造体との間の接着力Ｎ２、Ｎ２’は、構造体の材質の材質や種類を問わず、所望の大きさを示すことが好ましい。接着力Ｎ２としては、例えば０．５Ｎ／２５ｍｍ以上１０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができ、中でも１Ｎ／２５ｍｍ以上５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内でとすることができる。また、接着力Ｎ２’としては、例えば０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上２Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができ、中でも０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上０．５Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内とすることができる。
【０１０４】
各接着力は、接着層をそれぞれＰＥＴ基材に転写し、ＰＥＴ／接着層の構成とし、被着体毎に測定する。測定方法および測定条件は「Ａ．第１接着層  ２．その他」の項で説明した接着力の測定方法および測定条件と同様とすることが出来る。
【０１０５】
本開示の積層体において、構造体が接着性を有する場合、図３（ａ）〜（ｂ）で示すように、本仕様の積層体は、構造体の第１接着層側とは反対側の面で第２層と接する。なお、構造体と第２層との間の接着力をＮ４とする。構造体が接着性を有する場合、接着力調整処理前において、接着力Ｎ１、接着力Ｎ２、および接着力Ｎ４の大小関係は特に限定されないが、例えばＮ１＞Ｎ２＞Ｎ４の関係を有することができる。
【０１０６】
一方、接着力調整処理後において、接着力Ｎ１’、接着力Ｎ２’、および接着力Ｎ４の大小関係としては、接着力Ｎ４が最も大きいことが好ましく、例えば、Ｎ４＞Ｎ１’＞Ｎ２’の関係を有していてもよく、Ｎ４＞Ｎ２’＞Ｎ１’の関係を有していてもよい。接着力Ｎ１、接着力Ｎ２、および接着力Ｎ４の間で上記の関係を有することで、第１接着層と構造体との界面、または、第１接着層と第１層との界面で、優先的に剥離が生じやすくなるため、第２層に構造体を容易に転写可能となり、第２層に構造体を十分な接着力をもって固定することができるからである。
【０１０７】
また、本開示の積層体が、上記構造体の上記第１接着層側とは反対側に上記第２接着層を有する場合、本開示の積層体は、上記第２接着層の構造体側とは反対側の面で第２層と接する。本開示の積層体は、上記第２接着層の上記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、接着力調整処理前後で、上記第１接着層と上記構造体との間および上記第２接着層と上記第２層との間で所望の接着力の関係を有する第１仕様と、上記第１層と上記第１接着層との間および上記第２接着層と上記第２層との間で所望の接着力の関係を有する第２仕様と、に大別することができる。以下、各仕様について説明する。
【０１０８】
（ａ）第１仕様
本仕様の積層体は、上記第２接着層の上記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、上記接着力調整処理前の上記第１接着層と上記構造体との間の接着力Ｎ２が、上記第２接着層と上記第２層との間の接着力Ｎ５以上であり、上記接着力調整処理後の上記第１接着層と上記構造体との間の接着力Ｎ２’が、上記第２接着層と上記第２層との間の接着力Ｎ５よりも低い。
【０１０９】
図６（ａ）〜（ｃ）は、本開示の積層体の第１仕様を用いて、構造体を第２層へ転写する工程の他の例を説明する模式図であり、構造体３および第２接着層４を含むパターン部２０を第２層１１に転写する例を示している。図６において、第２接着層４と第２層１１との間の接着力をＮ５とする。その他、図６において説明しない符号については図１〜図５と同様である。
【０１１０】
本仕様によれば、接着力調整処理前後で、第１接着層と構造体との間、および第２接着層と第２層との間、でそれぞれ所定の接着力の関係を有することで、図６（ｃ）で示すように、接着力調整処理により第１接着層と構造体との間で剥離が起こり、構造体を少なくとも含むパターン部を、第２層に一括転写することができる。第２層に転写されたパターン部は、第２層側から第２接着層および構造体を有することができ、第２層上においてパターン状に配置される。なお、本仕様においては、第１接着層は第１層側に残るため、第１接着層は、第１層の一方の面の全域を覆っていてもよく、構造体と同じパターン状であってもよい。
【０１１１】
本仕様は、接着力調整処理前において、接着力Ｎ２および接着力Ｎ５がＮ２≧Ｎ５の関係を有することが好ましい。また、接着力調整処理前において、接着力Ｎ１、接着力Ｎ２、および接着力Ｎ３の大小関係は特に限定されないが、例えば、Ｎ１＞Ｎ2＞Ｎ３の関係を有することができる。接着力Ｎ１、接着力Ｎ２、接着力Ｎ３、および接着力Ｎ５の間で上記の関係を有することで、再度の貼り直しおよび位置調整を容易に行うことができる。一方、本仕様は、接着力調整処理後において、接着力Ｎ２’および接着力Ｎ５がＮ２’＜Ｎ５の関係を有することが好ましく、接着力Ｎ１’、接着力Ｎ２’、接着力Ｎ３、および接着力Ｎ５の中で、接着力Ｎ２’が最も小さいことがより好ましい。また、接着力Ｎ１’と接着力Ｎ３または接着力Ｎ５との間の接着力の関係は特に限定されないが、例えば、Ｎ３≧Ｎ１’の関係、Ｎ５＞Ｎ１’の関係を有することができる。接着力調整処理前後で、それぞれ上記の関係を有することで、接着力調整処理前であれば位置の再調整が可能となり、接着力調整処理後であれば第1基材および第1接着層を同時に剥離することが可能となる。
【０１１２】
接着力Ｎ３、接着力Ｎ５の具体的な値は、特に限定されず、構造体の材質や種類に応じてそれぞれ所望の大きさを有することができる。
【０１１３】
本仕様においては、第２層および構造体の材質や種類を問わず、接着力Ｎ２’と接着力Ｎ５との差Δ（Ｎ５−Ｎ２’）が、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上５．０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内であることが好ましく、中でも０．５Ｎ／２５ｍｍ以上、２．０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。Δ（Ｎ５−Ｎ２’）が上述した範囲内にあることで、転写の際に、第１接着層と構造体との界面で、剥離を生じさせやすくすることができるからである。Δ（Ｎ５−Ｎ２’）は、第１接着層、第２接着層をそれぞれＰＥＴ基材に転写し、ＰＥＴ／接着層の構成とし、被着体毎に測定して、その差を算出する。測定方法および測定条件は「Ａ．第１接着層  ２．その他」の項で説明した接着力の測定方法および測定条件と同様とすることが出来る。
【０１１４】
本仕様は、本開示の積層体の用途に因らず適用可能であるが、中でも、細胞パターン転写用積層体として用いる場合の仕様として好適である。細胞パターン上に第１接着層が残存すると、細胞の機能が阻害される場合があるからである。
【０１１５】
（ｂ）第２仕様
本仕様の上記積層体は、上記第２接着層の上記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、上記接着力調整処理前の上記第１接着層と上記第１層との間の接着力Ｎ１が、上記第２接着層と上記第２層との間の接着力Ｎ５以上であり、上記接着力調整処理後の上記第１接着層と上記第１層との間の接着力Ｎ１’が、上記第２接着層と上記第２層との間の接着力Ｎ５よりも低いことが好ましい。
【０１１６】
図７（ａ）〜（ｃ）は、本開示の積層体の第２仕様を用いて、構造体を第２層へ転写する工程の他の例を説明する模式図であり、接着力調整処理後の第１接着層２、構造体３、および第２接着層４を含むパターン部２０を第２層１１に転写する例を示している。なお、図７において説明しない符号については図１〜図６と同様である。
【０１１７】
本仕様によれば、接着力調整処理前後で、上記第１層と上記第１接着層との間および上記第２接着層と上記第２層との間で上記の接着力の関係を有することで、接着力調整処理により第１層と第１接着層との間で剥離が起こり、構造体を少なくとも含むパターン部を、第２層に一括転写することができる。上記第２層に転写されたパターン部は、上記第２層側から第２接着層、構造体、および第１接着層をこの順で有し、上記第２層上において、上記パターン部はパターン状に配置される。本仕様においては、第１接着層は構造体側に残るため、上記第１接着層は、構造体と同じパターン状であることが好ましい。
【０１１８】
本仕様は、接着力調整処理前において、接着力Ｎ１および接着力Ｎ５がＮ１≧Ｎ５の関係を有することが好ましい。また、接着力調整処理前において、接着力Ｎ１、接着力Ｎ２、および接着力Ｎ３の大小関係は特に限定されないが、例えばＮ１＞Ｎ２＞Ｎ３とすることができる。一方、本仕様は、接着力調整処理後において、接着力Ｎ１’および接着力Ｎ５がＮ１’＜Ｎ５の関係を有することが好ましく、接着力Ｎ１’、接着力Ｎ２’、接着力Ｎ３、および接着力Ｎ５の中で接着力Ｎ１’が最も小さいことがより好ましい。接着力調整処理前後で、それぞれ上記の関係を有することで、第1層のみを除去できるからである。
【０１１９】
本仕様における接着力Ｎ３、接着力Ｎ５は、第１仕様と同様である。
【０１２０】
本仕様においては、第１層および第２層の材質や種類を問わず、接着力Ｎ１’と接着力Ｎ５との差Δ（Ｎ５−Ｎ１’）が、０．1Ｎ／２５ｍｍ以上５．０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内であることが好ましく、中でも０．５Ｎ／２５ｍｍ以上２．０Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。Δ（Ｎ５−Ｎ１’）が上述した範囲内にあることで、転写の際に、第１接着層と構造体との界面で、剥離を生じさせやすくすることができるからである。Δ（Ｎ５−Ｎ１’）の算出方法はΔ（Ｎ５−Ｎ２’）の算出方法と同様とすることができる。
【０１２１】
本仕様は、本開示の積層体の用途に因らず適用可能であるが、中でも、凹部付き多層体の製造に用いる場合の仕様として好適である。本開示の積層体を用いて第２層に構造体を転写後、構造体上に他の層を積層させる際に、第１接着層に残存する接着力により他の層を仮固定することができるからである。
【０１２２】
（ｃ）その他
本仕様の積層体が第２接着層上に剥離層を有する場合は、接着力調整処理前の接着力Ｎ１、接着力Ｎ２、接着力Ｎ３は、第２接着層と剥離層との間の接着力Ｎ６よりも高いことが好ましい。
【０１２３】
Ｆ．製造方法
本開示の積層体の製造方法としては、特に限定されず、用途に応じて適宜選択することができる。例えば、下記の方法を用いることができる。
【０１２４】
（１）第１例
本開示の積層体の製造方法の第１例としては、第１層および第１接着層を有する第１部材と、剥離層上に配置されたパターン状の構造体を含む第２部材とを貼り合わせて、第１接着層上に構造体を配置する方法が挙げられる。
【０１２５】
具体的には、まず、第１層上に第１接着層を形成し、第１部材を得る。また、剥離層上の全面に構造体形成用層を配置して、第２部材を得る。構造体形成用層は、パターニングされて構造体となるものであり、構造体形成用層の材料は構造体と同様である。次に、剥離層上で構造体形成用層を所望の形状にパターニングして、パターン状の構造体を形成する。第２部材の剥離層側とは反対側の面と第１部材の第１接着層とを貼り合わせることで、パターン状の構造体が第１接着層上に配置された本開示の積層体を得ることができる。構造体形成用層が接着性を有さない場合は、第２部材は、剥離層上に第２接着層と構造体形成用層とをこの順で配置する構造とし、剥離層上で構造体形成用層および第２接着層を所望の形状にパターニング後、第１部材の第１接着層とを貼り合わせる。
【０１２６】
第１接着層の形成方法としては、第１層の一方の面に、上記「Ａ．第１接着層」の項で説明した組成を含む接着剤組成物を塗布し、溶剤を除去することで形成することができる。具体的な塗布方法としては、特に限定されず、例えば、特開２０１５−１０８１５６号公報に開示される方法を用いることができる。また、第１接着層として上記「Ａ．第１接着層」の項で説明した組成を含む市販のテープを用い、第１層上に貼付して形成してもよい。第２接着層も、第１接着層と同様の方法により剥離層上に形成することができる。
【０１２７】
構造体形成用層の形成方法としては、特に限定されず、構造体の種類に応じて適宜選択することができる。例えば、剥離層上または第２接着層上に構造体の材料を塗布する方法等が挙げられる。構造体形成用層のパターニングの方法としては、構造体の種類に応じて適宜選択することができ、例えば、打ち抜き、ハーフカット等、公知の方法を用いることができる。構造体形成用層の構造体となる領域以外の領域は剥離除去する。
【０１２８】
上述した製造方法の例では、剥離層上の全面に配置された構造体形成用層をパターニングして構造体を形成したが、剥離層上に直接、構造体をパターン状に形成してもよい。剥離層上に構造体を形成する方法としては、構造体の種類に応じて適宜選択することができ、例えば、印刷法等が挙げられる。
【０１２９】
（２）第２例
本開示の積層体の製造方法の第２例としては、第１層上に第１接着層を形成し、第１接着層上に直接、構造体をパターン状に形成する方法が挙げられる。第１接着層上に直接構造体を形成する方法としては、構造体の種類に応じて適宜選択することができ、例えば、印刷法等が挙げられる。
【０１３０】
（３）第３例
本開示の積層体の製造方法の第３例としては、図８に例示するように、第１層１、第１接着層２および構造体形成用層３Ａが少なくともこの順で積層された積層体５０を準備し（図８（ａ））、少なくとも構造体形成用層３Ａをパターニングして、パターン状の構造体３を形成する（図８（ｂ））方法が挙げられる。構造体形成用層のパターニング方法としては、製造方法の第１例で述べた方法と同様とすることができる。また、構造体形成用層をパターニングする際に、第１接着層も一緒にパターニングしてもよい。
【０１３１】
（４）第４例
本開示の積層体の製造方法の第４例としては、第１剥離層、第１接着層、構造体形成用層、および第２剥離層が少なくともこの順で積層された積層体を準備し、少なくとも第１剥離層、第１接着層、および構造体形成用層をパターニング後、第１剥離層を剥離して第１層を配置する方法が挙げられる。の方法によれば、第１層上に構造体および第１接着層を含むパターン部をパターン状に形成することができる。パターニング方法としては、製造方法の第１例で述べた方法と同様とすることができる。
【０１３２】
Ｇ．用途
本開示の積層体は、構造体が有する機能等に応じて、パターン状の構造体の転写を要する様々な用途に用いることができる。例えば、本開示の積層体は、転写用キャリアシートとすることが出来る。具体的には、本開示の積層体は、第１層が基材であり、構造体が保護層であり、基材および第１接着層を有するキャリアフィルムと、パターン状の保護層とを有する保護層転写用キャリアシートとすることができる。本開示の積層体を保護層転写用キャリアシートとすることで、パターン状の保護層を第２層の所望の位置に転写することができる。保護層転写用キャリアシートは、凹部付き多層体の製造において、凹部の形成に好適に用いることができる。中でも凹部付き多層体が凹部付き多層配線板である場合に、保護層を転写して他の層の表面を覆うことで、他の層を薬液等から保護することができる。本開示の積層体を用いた凹部付き多層体の製造方法については、後述する。また、保護層転写用キャリアシートは、第２層の所望の位置をパターン状の保護層でマスクするマスキング材として用いることもできる。
【０１３３】
また、本開示の積層体は、例えば、第１層が基材であり、構造体が細胞シートであり、基材および第１接着層を有する細胞支持層と、パターン状の細胞シートとを有する細胞パターン転写用積層体とすることができる。本開示の積層体を細胞パターン転写用積層体とすることで、形状やサイズを問わず、細胞パターンを直接、細胞培養基板や生体組織等の第２層に容易に転写することができる。また、第１接着層の種類を選択することで、細胞を破壊することなく転写することができる。
【０１３４】
ＩＩ．凹部付き多層体の製造方法
本開示の凹部付き多層体の製造方法は、上述の積層体を用いた、多層体の一方の面に開口を有する凹部を備える凹部付き多層体の製造方法であって、上記第２層の一方の面に、上記積層体の上記構造体を直接または上記第２接着層を介して間接的に接触させる接触工程と、上記接着力調整処理により上記第１接着層の接着力を低下させる接着力調整工程と、少なくとも上記第１層を剥離して、上記構造体を少なくとも含むパターン部を上記第２層にパターン状に転写する転写工程と、上記第２層の上記パターン部を有する側の面に、１以上の他の層を積層する積層工程と、上記パターン部および上記１以上の他の層を、上記パターン部および上記パターン部と平面視上重なる位置にある上記他の層を含む第１の領域と、それ以外の第２の領域とに区画する区画工程と、上記第１の領域を剥離除去して、上記凹部を形成する凹部形成工程とを有する。
【０１３５】
図９は、本開示の凹部付き多層体の製造方法の一例を示す工程図である。なお、接触工程、接着力調整工程および転写工程については、図３、図６、図７で説明したため、ここでの図示および説明は省略する。図３では、接触工程において、上記第２層の一方の面に上記積層体の上記構造体を直接的に接触させる場合を示しており、図６、図７では、接触工程において、上記第２層の一方の面に、上記積層体の上記構造体を、上記第２接着層を介して間接的に接触させる場合を示している。図３、図６、図７で図示したように、接触工程（図３（ａ）、図６（ａ）、図７（ａ））、接着力調整工程（図３（ｂ）、図６（ｂ）、図７（ｂ））、および転写工程（図３（ｃ）、図６（ｃ）、図７（ｃ））を実施後、上記第２層１１の上記パターン部２０を有する側の面に、１以上の他の層１２（１２Ａ〜１２Ｃ）を積層する（図９（ａ）、積層工程）。続いて、上記第２層１１において、上記パターン部２０および上記１以上の他の層１２Ａ〜１２Ｃを、上記パターン部２０および上記パターン部２０と平面視上重なる位置にある上記他の層１２Ａ〜１２Ｃを含む第１の領域５１と、それ以外の第２の領域５２とに区画する（図９（ｂ）、区画工程）。その後、上記第１の領域５１を剥離除去して、凹部Ｐを形成する（図９（ｃ）、凹部形成工程）。これにより凹部付き多層体３０が得られる。
【０１３６】
例えば、フレキシブルプリント配線板(ＦＰＣ)を含む部品実装多層配線板では、多層配線板の一方の表面に開口を有する凹部を設け、上記凹部内にチップ等の部品を載置する構造の採用が進められている（特許文献２参照）。上記の構造によれば、従来、多層配線板の表面に載置していた電子部品を凹部内に載置可能となるため、部品実装多層配線板全体の薄型化や小型化を図ることが可能となる。
【０１３７】
ここで、多層配線板等の多層体に凹部を形成する方法としては、エンドミル等による切削加工やレーザー加工等が一般的である。しかし、これらの方法では、凹部を設けたい箇所ごとに加工を必要とするため、凹部を容易に設けることができない、加工時に凹部の形成位置にずれが生じる、凹部の形成位置がずれることで他の層が損傷を受ける、等の問題がある。
【０１３８】
このような問題に対し、本発明者等は、多層配線板に凹部を形成する方法として、多層体を製造する際に上記多層体内に上記剥離のきっかけとなる構造体を配置し、上記構造体と平面視上重なる多層体の領域をハーフカット等により区画して剥離することで、多層体の所望の位置に容易に凹部を形成する方法を見出した。この方法によれば、上記区画領域の位置に凹部を容易に形成することが可能となり、加工時の位置ズレや他の層への損傷等を抑制することが可能であると推量される。
【０１３９】
しかし、上記の方法では、多層体内において凹部を設けたい位置に応じて上記構造体をそれぞれ配置しなければならず、配置作業が煩雑化するだけでなく、配置位置精度が低下する場合がある。また、上記構造体は、多層体内に配置され剥離のきっかけとなることから、薄厚であること、フレキシブル性を有すること、サイズが小さいこと等が要求される。中でも上記多層体が多層配線板の場合、上記構造体に対するこれらの要求が高まる。しかし、このような構造体を、凹部の形成位置に応じてパターン状となるように個々に配置しようとすると、取り扱い性に劣るため、配置作業がさらに煩雑化するという問題がある。
【０１４０】
また、上記多層体内に構造体を配置する他の方法として、被着体となる層（本開示の凹部付き多層体の製造方法における第２層）上で直接、上記構造体をパターニングにより形成する方法も想定される。しかし、工程数が増加する、パターニングの方法によっては他の層に悪影響を及ぼす等の問題がある。
【０１４１】
そこで、本発明者等は、「Ｉ．積層体」の項で説明した積層体を用いることで、より簡便な方法で上記多層体内に構造体をパターン状に配置することが可能であることを見出した。すなわち、第２層と上記積層体とを接触させた状態で上記接着力調整処理を行うと、上記積層体の第１接着層の接着力が低下して、構造体を含むパターン部が容易に剥離可能となる。このため、上記構造体の形状や厚み、サイズ等に因らず、上記第２層の所望の位置に上記パターン部をパターン状に一括転写することができ、転写精度を高くすることができる。そして、上記第２層の上記パターン部が転写された面上に他の層を積層することで、多層体の内部に上記パターン部がパターン状に配置され、上記第２層上において上記パターン部を有する第１の領域を区画することで、上記パターン部を起点として上記第１の領域を一括で剥離除去することができる。これにより、多層体の一方の面側に開口を有する凹部をパターン状に一括形成することができる。このとき、上記パターン部の位置にあわせて第１の領域の区画が可能であるため、凹部の形成位置精度を高めることができる。
以下、本開示の凹部付き多層体の製造方法の各工程について説明する。
【０１４２】
１．接触工程
本開示における接触工程は、上記第２層の一方の面に、上記積層体の上記構造体を直接または上記第２接着層を介して間接的に接触させる工程である。
【０１４３】
（１）積層体
本工程において用いられる積層体については、上述の「Ｉ．積層体」の項で詳細に説明したため、ここでの説明は省略する。
【０１４４】
（２）第２層
本工程において用いられる第２層は、目的とする凹部付き多層体に応じて適宜選択することができる、例えば、上述の「Ｉ．積層体」の項で例示した部材が挙げられる。上記第２層は、上記積層体側と反対側の面に、予め他の層を有していてもよい。他の層については後述する。
【０１４５】
（３）接触方法
本工程においては、上記第２層の一方の面に、上記積層体が有するパターン状の構造体を直接または上記第２接着層を介して間接的に接触させる。上記積層体の構造体が接着性を有する場合は、上記第２層の一方の面に、上記積層体の構造体を直接的に接触させることができる。また、上記積層体が構造体の上記第１接着層側と反対側に第２接着層を有する場合は、上記第２層の一方の面に、上記第２接着層を介して上記構造体を間接的に接触させることができる。上記第２層の一方の面に上記積層体の上記構造体を接触させる方法としては、特に限定されず、一般的な方法を用いることができる。例えば、枚葉方式、ロールツーロール方式等の各種方法が挙げられる。
【０１４６】
２．接着力調整工程
本開示における接着力調整工程は、上記接着力調整処理により上記第１接着層の接着力を低下させる工程である。
【０１４７】
上記接着力調整処理は、上記積層体における上記第１接着層の接着力を低下させるために行われる。上記接着力調整処理は、上述した「Ｉ．積層体」の項で説明した第１接着層の態様に応じて選択することができる。以下、接着力調整処理について第１接着層の態様ごとに説明する。
【０１４８】
（１）第１態様の第１接着層の場合
上記第１接着層が第１態様である、すなわち感温性接着層である場合、本工程では、接着力調整処理として加熱処理または冷却処理を行う。
【０１４９】
本態様の第１接着層が加熱剥離型の感温性接着層であれば、接着力調整処理として上記第１接着層を加熱する加熱処理を行うことで、上記第１接着層の接着力を低下させることができる。このときの加熱温度としては、上述した加熱剥離型の感温性接着層のスイッチング温度以上の温度とすることができる。加熱剥離型の感温性接着層の加熱方法としては、例えば、オーブン内で加熱する方法、ホットプレート上で加熱する方法、スポットヒータを使用して加熱する方法が挙げられる。加熱時間としては、加熱処理後の本態様の第１接着層の接着力が上述の「Ｉ．積層体」の項で説明した範囲内となるように、適宜設定することができる。上記加熱処理の条件は、特に限定されないが、例えば、６０℃で１０分間とすることができる。
【０１５０】
一方、本態様の第１接着層が冷却剥離型の感温性接着層であれば、上記接着力調整処理として上記第１接着層を冷却する冷却処理を行うことで、上記第１接着層の接着力を低下させることができる。このときの冷却温度としては、上述した冷却剥離型の感温性接着層のスイッチング温度以下の温度とすることができる。冷却剥離型の感温性接着層の冷却方法としては、例えば、冷蔵庫内に置いて冷却する方法、冷却プレート上で冷却する方法が挙げられる。冷却時間としては、冷却処理後の本態様の第１接着層の接着力が上述の「Ｉ．積層体」の項で説明した範囲内となるように、適宜設定することができる。上記冷却処理の条件は、特に限定されないが、例えば５℃で２０分間とすることができる。
【０１５１】
（２）第２態様の第１接着層の場合
上記第１接着層が第２態様である、すなわちエネルギー線応答性接着層である場合、本工程では、接着力調整処理としてエネルギー線照射処理を行う。本工程においては、上記エネルギー線照射処理として上記第１接着層にエネルギー線を照射することで、第１接着層の接着力を低下させることができる。
【０１５２】
上記エネルギー線については、上述の「Ｉ．積層体」の項で説明したため、ここでの説明は省略する。エネルギー線の光源は、所望の波長域の光を発することが可能であれば、特に限定されない。エネルギー線として紫外線を使用する場合には、例えば、１５０ｎｍ〜４５０ｎｍ波長域の光を発する高圧水銀ランプ、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカルランプ等が挙げられる。また、エネルギー線の積算光量は、エネルギー線照射後の本態様の第１接着層が上述の「Ｉ．積層体」の項で説明した範囲内となるように適宜設定することができる。
【０１５３】
上記エネルギー線は、上記接触工程後、上記積層体の第１層側から照射してもよく、第２層側から照射してもよい。中でも上記積層体の第１層側から照射することが好ましい。第２層の光透過性の有無を問わず、上記第１層に対してエネルギー線照射処理を行うことができるからである。
【０１５４】
（３）第３態様の第１接着層の場合
上記第１接着層が第３態様である、すなわち電気応答性接着層である場合、本工程では、接着力調整処理として電場印加処理または無電場処理を行う。
【０１５５】
本態様の第１接着層が電気剥離性接着層であれば、接着力調整処理として上記第１接着層に電場印加する電場印加処理を行うことで、上記第１接着層の接着力を低下させることができる。上記第１接着層への電場印加方法としては、特に限定されないが、上述の「Ｉ．積層体」の項で説明した方法を用いることが出来る。接着力調整処理の条件としては、例えば、電場印加処理による剥離の場合であれば、印加電場５Ｖ〜５０Ｖの範囲内で１０秒〜１２０秒の範囲内とすることが出来る。
電場の大きさを定義する印加電圧の大きさおよび印加時間は、電場印加後の第１接着層の接着力が所望の値となるように適宜設定することができる。印加電圧の上限や印加時間の上限は、剥離の観点からは特に規定されないが、電場印加装置や他の層への影響を考慮して設定することが好ましい。
【０１５６】
一方、本態様の第１接着層が電気接着性接着層であれば、接着力調整処理として、上記第１接着層への電場印加を停止する無電場処理を行うことで、上記第１接着層の接着力を低下させることができる。
【０１５７】
３．転写工程
本開示における転写工程は、少なくとも上記第１層を剥離して、上記構造体を少なくとも含むパターン部を上記第２層上にパターン状に転写する工程である。
【０１５８】
本工程では、上記接着力調整工程により上記第１接着層の接着力が低下するため、積層体において、第１層を構成に含む所望の積層界面で剥離が生じる。これにより、上記構造体を少なくとも含むパターン部を上記第２層上にパターン状に一括転写することができる。
【０１５９】
上記積層体から少なくとも上記第１層を剥離する方法としては、積層体の所望の界面で剥離することが可能な方法であれば特に限定されず、手動で剥離してもよく、機械で剥離してもよい。具体的な剥離方法としては、吸着により剥離する方法、粘着フィルムを付着して上記粘着フィルムの粘着力により剥離する方法等が挙げられる。
【０１６０】
本工程においては、積層体の仕様に応じて接着力調整処理による剥離界面を決定することができ、剥離位置に応じた層構成を有するパターン部を、第２層にパターン状に一括転写することができる。すなわち、上記積層体が上述の「Ｉ．積層体  Ｆ．その他  ２．層間接着力の関係について」の項で説明した第１仕様であれば、第１接着層と構造体との界面で剥離が生じ、第１層および第１接着層を剥離することができる。このとき、第２層上に転写されるパターン部は、第２層側から第２接着層および構造体をこの順に有する。
一方、上記積層体が上述の「Ｉ．積層体  Ｆ．その他  ２．層間接着力の関係について」の項で説明した第２仕様であれば、第１層と第１接着層との界面で剥離が生じ、第１層を剥離することができる。このとき、第２層上に転写されるパターン部は、第２層側から第２接着層、構造体、および第１接着層をこの順に有する。
【０１６１】
４．積層工程
本開示における積層工程は、上記第２層の上記パターン部を有する側の面に、１以上の他の層を積層する工程である。
【０１６２】
転写工程により、第２層の一方の面上には、構造体を少なくとも含むパターン部がパターン状に配置されるため、他の層は、第２層の上記パターン部を有する側の面に積層される。上記他の層としては、製造する凹部付き多層体の種類に応じて適宜選択することができる。例えば、本開示の凹部付き多層体の製造方法を用いて凹部付き多層配線板を製造する場合であれば、上記他の層としては、一般に多層配線板を構成する層が用いられる。具体的には、絶縁層、フレキシブル配線基板、リジッド配線基板等の配線基板等が挙げられる。
【０１６３】
上記第２層の上記パターン部を有する側の面において、上記他の層は１以上積層することができ、目的とする凹部付き多層体に応じて積層数を適宜調整することができる。上記他の層の積層方法は特に限定されず、例えば、塗布法、ラミネート法等を用いて積層することができる。上記他の層は、第２層の該面および上記パターン部の第２層側と反対側の面を覆う様に形成することができる。凹部付き多層配線板を製造する場合であれば、上記他の層の積層方法として、導通を取ることが可能な方法を用いることができ、例えば、導電性バンプを介して積層する等、一般的に配線基板を多層化する際の積層方法と同様とすることができる。また、積層の際には、カバーレイ、プリプレグ、層間接着層、絶縁層等を介して積層することができる。なお、上記第２層は、上記パターン部を有する側の面と反対側の面上にも、他の層を１以上積層してもよい。
【０１６４】
５．区画工程
本開示における区画工程は、上記パターン部および上記１以上の他の層を、上記パターン部および上記パターン部と平面視上重なる位置にある上記他の層を含む第１の領域と、それ以外の第２の領域とに区画する工程である。上記第２層の上記パターン部を有する側の面上に配置されている、上記パターン部および上記１以上の他の層は、平面視において上記第１の領域と上記第２の領域とに区画され、上記第２層上においてそれぞれの領域が分離して独立して存在する。
【０１６５】
（１）区画方法
上記第２層上の上記パターン部および上記１以上の他の層を区画する方法としては、上記第２層上において上記第１の領域を区画可能な方法であればよく、機械的方法であってもよく、化学的方法であってもよい。
【０１６６】
上記機械的方法としては、例えば、平面視における上記パターン部の外周に沿って、上記第２層上の上記パターン部および上記１以上の他の層を積層方向（厚み方向）に切断して、上記第１の領域を区画するハーフカットが挙げられる。具体的には、カッター刃を取り付けた上型を上下動させて切断する方法、シリンダータイプのロータリーカッターで切断する方法、レーザー加工手段により熱処理を施す方法、等を用いてハーフカットすることができる。
【０１６７】
上記化学的方法としては、例えば、平面視における上記パターン部の外周に沿って、上記第２層上の上記パターン部および上記１以上の他の層を積層方向（厚み方向）にエッチングして、上記第１の領域を区画するハーフエッチングが挙げられる。具体的には、上記第２層の上記パターン部を有する側の面上に配置されている、上記パターン部および上記１以上の他の層から成る積層体の表面に、上記パターン部の外周形状に応じたレジストパターンを形成し、ウェットエッチング法またはドライエッチング法によりハーフエッチングすることができる。エッチング後は上記レジストパターンを除去する。
【０１６８】
区画方法としては、中でも機械的方法を用いることが好ましい。高い位置精度をもって上記第１の領域と上記第２の領域とを区画することができるからである。
【０１６９】
上記第２層上の上記パターン部および上記１以上の他の層は、厚み（積層）方向に切断されて、第１の領域および第２の領域に区画分離される。上記積層体を第１の領域と第２の領域とに区画分離する切断線のことを、区画線と称する。
【０１７０】
上記区画工程において、第１の領域と第２の領域とを区画する区画線は、図１０（ａ）で示すように、上記パターン部の平面視上の外周上に形成されていてもよく、図１０（ｂ）で示すように、上記パターン部の平面視上の外周よりも外側に形成されていてもよく、図１０（ｃ）で示すように、上記パターン部の平面視上の外周よりも内側に形成されていてもよい。また、区画線の幅は特に限定されないが、例えば、図１０（ｄ）で示すように、上記パターン部の平面視上の外周の内側および外側を包含する幅で形成されていてもよい。
図１０（ａ）〜（ｄ）は区画線の位置を説明する説明図であり、左図は概略平面図であり、右図は左図のＸ−Ｘ線断面図である。また、図１０において線Ｌは区画線を示す。
【０１７１】
上記区画線は、区画方法に応じて平面視で連続していてもよく、断続していてもよい。また、上記区画線は平面視で直線状であってもよく非直線状であってもよい。
【０１７２】
上記区画線は、上記第２層の上記パターン部を有する側の面上において、上記パターン部および上記パターン部と平面視上重なる位置にある上記他の層を貫通していることが好ましい。後述する凹部形成工程において、上記第１の領域の剥離除去を容易に行うことができ、第２層の面上に上記第１の領域の一部を残りにくくすることができるからである。なお、上記区画線は、上記第２層の一部に形成されていても良い。
【０１７３】
上記第１の領域は、上記第２層の上記パターン部を有する側の面上において、上記パターン部および上記パターン部と平面視上重なる位置にある上記他の層を含む。上記第１の領域の平面視形状は、上記パターン部の平面視形状と同様とすることができる。また、上記第１の領域の平面視の大きさは、区画線の位置によって上記パターン部の平面視の大きさよりも大きくてもよく、小さくてもよく、同じであってもよい。
【０１７４】
６．凹部形成工程
本開示における凹部形成工程は、上記第１の領域を剥離除去して、上記凹部を形成する工程である。
【０１７５】
上記第１の領域は、上記構造体を起点に剥離可能となる。具体的には、上記構造体と第２層との接触界面にて剥離が生じる。上記第１の領域を剥離する方法は、特に限定されず、例えば、吸着により剥離する方法、粘着フィルムを付着して上記粘着フィルムの粘着力により剥離する方法等が挙げられる。
【０１７６】
上記第１の領域を剥離除去すると、多層体の一方の面に開口を有する凹部が形成される。凹部は多層体の一方の面において平面視でパターン状に形成される。上記凹部の平面視上の大きさは、上記第１の領域の平面視上の大きさに相当する。
【０１７７】
７．その他
本開示の凹部付き多層体の製造方法は、上述の工程の他に、任意の工程を含むことが出来る。例えば、本開示の凹部付き多層体の製造方法を用いて凹部付き多層配線板を製造する場合、表面処理工程、エッチング工程、メッキ工程等の工程を含むことができる。
【０１７８】
本開示の凹部付き多層体の製造方法は、積層工程の中で「Ｉ．積層体」の項で説明した積層体を用いた転写工程を更に行っても良い。上記他の層の積層層間に任意の構造体を転写配置することが出来るからである。
また、本開示の凹部付き多層体の製造方法は、第２層の両方の面に対してそれぞれ、接触工程、接着力調整工程、転写工程、積層工程、区画工程および凹部形成工程を行っても良い。第２層の両面に凹部を有する多層体を製造することが出来るからである。
【０１７９】
８．凹部付き多層体
本開示の凹部付き多層体の製造方法により得られる凹部付き多層体は、第２層および他の層の種類に応じて、例えば凹部付き多層配線板として用いることができる。本開示の凹部付き多層体の製造方法によれば、多層配線板の製造過程で容易且つ高い位置精度で凹部を形成することができるため、上記凹部内に部品を実装した部品実装多層配線板が得られる。
【０１８０】
ＩＩＩ．その他
本開示は、以下の技術的事項を含むものである。
（１）少なくとも第１層、第１接着層、およびパターン状の構造体をこの順で有し、前記第１接着層が、接着力調整処理を受けて接着力が変化する積層体。
（２）前記第１接着層が、前記接着力調整処理として加熱処理または冷却処理を受けて接着力が低下する感温性接着層である、（１）に記載の積層体。
（３）前記第１接着層が、前記接着力調整処理としてエネルギー線照射処理を受けて接着力が低下するエネルギー線応答性接着層である、（１）に記載の積層体。
（４）前記第１接着層が、前記接着力調整処理として電場印加処理または無電場処理を受けて接着力が低下する電気応答性接着層である、（１）に記載の積層体。
（５）前記構造体が接着性を有する、（１）から（４）までのいずれかに記載の積層体。
（６）前記構造体の前記第１接着層側とは反対側には、前記第１接着層とは異なる組成の第２接着層を有する、（１）から（４）までに記載の積層体。
（７）前記第１接着層が、前記構造体と同じパターン状である、（１）から（６）までのいずれかに記載の積層体。
（８）前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、（６）または（７）に記載の積層体。
（９）前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、（７）に記載の積層体。
【０１８１】
（１０）（６）、（８）および（９）のいずれかに記載の積層体を用いた、多層体の一方の面に開口を有する凹部を備える凹部付き多層体の製造方法であって、前記第２層の一方の面に、前記積層体の前記構造体を直接または前記第２接着層を介して間接的に接触させる接触工程と、前記接着力調整処理により前記第１接着層の接着力を低下させる接着力調整工程と、少なくとも前記第１層を剥離して、前記構造体を少なくとも含むパターン部を前記第２層にパターン状に転写する転写工程と、前記第２層の前記パターン部を有する側の面に、１以上の他の層を積層する積層工程と、前記パターン部および前記１以上の他の層を、前記パターン部および前記パターン部と平面視上重なる位置にある前記他の層を含む第１の領域と、それ以外の第２の領域とに区画する区画工程と、前記第１の領域を剥離除去して、前記凹部を形成する凹部形成工程とを有する、凹部付き多層体の製造方法。
（１１）前記凹部付き多層体が、凹部付き多層配線板である（１０）に記載の凹部付き多層体の製造方法。
（１２）（６）または（７）に記載の積層体を用いた、前記構造体を第２層に転写する構造体の転写方法であって、前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と前記第２層とを接触させたとき、前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、構造体の転写方法。
（１３）（６）に記載の積層体を用いた、前記構造体を第２層に転写する構造体の転写方法であって、前記第１接着層が、前記構造体と同じパターン状であり、前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と前記第２層とを接触させたとき、前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、構造体の転写方法。
【実施例】
【０１８２】
以下に実施例および比較例を示し、本開示をさらに詳細に説明する。【０１８３】
［実施例１］
１．積層体の準備
以下の方法により積層体を準備した。【０１８４】
（１）接着力可変型接着剤組成物の調製
アクリル系ポリマー（平均分子量６５万）およびエネルギー線重合化合物(平均分子量６５万)を含むアクリル系粘着剤（株式会社イーテック製、Ｅ−３０６）１００質量部に対して、エネルギー線重合性化合物としてウレタンアクリレート（日本合成化学工業株式会社製、商品名：ＵＶ−７６００Ｂ）を６０質量部、チオキサントン系重合開始剤として２、４−ジエチルチオキサントン（日本化薬株式会社製、商品名：ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ）を０．２質量部、イソシアネート系架橋剤（架橋剤、日本ポリウレタン工業株式社製 商品名：コロネートＬ、固形分：７５％）を１．６質量部それぞれ添加し、トルエンおよびメチルエチルケトンの混合溶媒で２５％に希釈して、接着力可変型接着剤組成物を調製した。【０１８５】
（２）接着シートＡの作製
第１層としてＰＥＴフィルム(東洋紡製 商品名：Ｅ５１００、厚さ５０μｍ)を用い、アプリケーターを用いて、接着力可変型接着剤組成物を加熱乾燥後の塗布厚さが１０μｍとなるように第１層に塗布し、乾燥して第１接着層を形成した。次に、第１接着層の露出面に、シリコーン離型処理面を有する軽剥離ＰＥＴセパレータ（東洋紡製 商品名：Ｅ７００６、厚さ３８μｍ）のシリコーン離型処理面をラミネートした後、４０℃で３日間の養生を実施して接着シートＡを得た。【０１８６】
（３）構造体シートＡの作成
ポリイミドフィルム、アクリル系粘着層、および剥離層をこの順に有する耐熱マスキングテープ（３Ｍ製 商品名：７４１４）を用い、ポリイミドフィルムおよびアクリル系粘着層を厚み方向にハーフカットして、ポリイミドフィルムおよびアクリル系粘着層をパターン状に区画した後、不要な部分を除去した。これにより、ポリイミドフィルムおよびアクリル系粘着層を有するパターン状の構造体が剥離層上に配置された構造体シートＡを得た。【０１８７】
（４）積層体Ａの作製
接着シートＡの軽剥離ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第１接着層の面と構造体シートＡのポリイミドフィルムとが接するようにして貼り合せ、ＰＥＴフィルム、第１接着層、パターン状の構造体（第１接着層側からポリイミドフィルム、アクリル系粘着層の順に有する）、および構造体シートＡの剥離層をこの順に有する積層体Ａを得た。【０１８８】
２．構造体の転写
第２層として圧延銅箔（福田金属製 商品名：ＲＣＦ−Ｔ５Ｂ−３５）を用い、積層体Ａの軽剥離ＰＥＴセパレータを剥離して、露出したアクリル系粘着層と第２層とを接触させ、積層体Ａの第１層側から５００ｍＪ／ｃｍ２（ｉ線）でＵＶ照射した。ＵＶ照射により、第１接着層とポリイミドフィルムとの界面から第１接着層および第１層を有する接着シートＡが剥離可能となり、ポリイミドフィルムおよびアクリル系粘着層を有するパターン状の構造体を第２層上に転写することができた。【０１８９】
［実施例２］
１．積層体の準備
以下の方法により積層体を準備した。【０１９０】
（１）第２接着層用接着剤組成物の調製
アクリル共重合体(綜研化学製 商品名：ＳＫダイン１８１１Ｌ)１００質量部とし、イソシアネート系硬化剤(綜研化学製 商品名：Ｌ−４５、固形分４５ｗｔ％)３質量部を配合して第２接着層用接着剤組成物を調製した。【０１９１】
（２）接着シートＢの作製
シリコーン離型処理面を有する重剥離型ＰＥＴセパレータ（東洋紡製 商品名：Ｅ７３０４、厚さ３８μｍ）のシリコーン離型処理面に、乾燥後の厚さが１０μｍとなるようにアプリケーターを用いて第２接着層用接着剤組成物を塗布後、乾燥して第２接着層を形成した。次に、第２接着層の露出面に、シリコーン離型処理面を有する軽剥離型ＰＥＴセパレータ（東洋紡製 商品名：Ｅ７００６、厚さ３８μｍ）のシリコーン離型処理面をラミネートした後、４０℃で３日間の養生を実施して第２接着層を有する接着シートＢを得た。【０１９２】
（３）構造体シートＢの作製
接着シートＢの軽剥離型ＰＥＴセパレータを剥離して、ポリイミドフィルム(東レ・デュポン製 商品名：カプトン２００ｈ)と貼り合わせ、ポリイミドフィルムおよび第２接着層を厚み方向にパターン状にハーフカット後、不要な部分を除去した。これにより、ポリイミドフィルムおよび第２接着層を有するパターン状の構造体が重剥離型ＰＥＴセパレータ上に配置された構造体シートＢを得た。【０１９３】
（４）積層体Ｂの作製
実施例１で作製した接着シートＡの軽剥離ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第１接着層の面と構造体シートＢのポリイミドフィルムとが接するようにして貼り合せて積層体Ｂとした。【０１９４】
２．構造体の転写
第２層として実施例１と同じ圧延銅箔を用い、積層体Ｂの重剥離型ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第２接着層と第２層とを接触させて、積層体Ｂの第１層側から５００ｍＪ／ｃｍ２（ｉ線）でＵＶ照射した。ＵＶ照射により、第１接着層とポリイミドフィルムとの界面から第１接着層および第１層を有する接着シートＡが剥離可能となり、ポリイミドフィルムおよび第２接着層を有するパターン状の構造体を第２層上に転写することができた。【０１９５】
［実施例３］
１．積層体の準備
以下の方法により積層体を準備した。【０１９６】
（１）接着シートＣの作成
シリコーン離型処理面を有する重剥離型ＰＥＴセパレータ(東洋紡製 商品名：７３０４、厚さ５０μｍ)を用い、アプリケーターを用いて、実施例１で調製した接着力可変型接着剤組成物を、加熱乾燥後の塗布厚さが１０μｍとなるように第１層のシリコーン離型処理面に塗布し、乾燥して第１接着層を形成した。次に、第１接着層の露出面に、シリコーン離型処理面を有する軽剥離型ＰＥＴセパレータ（東洋紡製 商品名：Ｅ７００６、厚さ３８μｍ）のシリコーン離型処理面をラミネートした後、４０℃で３日間の養生を実施して接着シートＣを得た。【０１９７】
（２）積層体Ｃの作製
接着シートＣの軽剥離型ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第１接着層とポリイミドフィルム(東レ・デュポン製 商品名：カプトン２００ｈ)の一方の面と貼り合わせ、さらに、実施例２で作製した接着シートＢの重剥離型ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第２接着層とポリイミドフィルムの他方の面とを貼り合せた。次に、接着シートＢ、ポリイミドフィルム、および第１接着層を厚み方向にパターン状にハーフカット後、不要な部分を除去した。これにより、接着シートＢの軽剥離型ＰＥＴセパレータ、第２接着層、ポリイミドフィルムおよび第１接着層をこの順に有するパターン状の構造体が、接着シートＡの重剥離型ＰＥＴセパレータ上に配置された構造体シートＣを得た。その後、第１接着層側の軽剥離型ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第１接着層に第１層としてＯＰＰ基材を配置して積層体Ｃを得た。【０１９８】
２．構造体の転写
第２層として実施例１と同じ圧延銅箔を用い、積層体Ｃの軽剥離型ＰＥＴセパレータを剥離して、露出した第２接着層と第２層とを接触させて、積層体Ｃの第１層側から５００ｍＪ／ｃｍ２（ｉ線）でＵＶ照射した。ＵＶ照射により、第１層と第１接着層との界面から第１層が剥離可能となり、第１接着層、ポリイミドフィルムおよび第２接着層を有するパターン状の構造体を第２層上に転写することができた。
【符号の説明】
【０１９９】
１  …  第１層
２  …  第１接着層
３  …  構造体
４  …  第２接着層
１０  …  積層体
１１  …  第２層
１２、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ  …  他の層
２０  …  パターン部
３０  …  凹部付き多層体
Ｐ  …  凹部
【図１】
2018230606.tif 000003
【図２】
2018230606.tif 000004
【図３】
2018230606.tif 000005
【図４】
2018230606.tif 000006
【図５】
2018230606.tif 000007
【図６】
2018230606.tif 000008
【図７】
2018230606.tif 000009
【図８】
2018230606.tif 000010
【図９】
2018230606.tif 000011
【図１０】
2018230606.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月18日(2019.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１層、第１接着層、およびパターン状の構造体をこの順で有し、
前記第１接着層が、接着力調整処理を受けて接着力が変化するものであり、
前記構造体が、樹脂または細胞を含むものである、積層体。
【請求項２】
前記第１接着層が、前記接着力調整処理として加熱処理または冷却処理を受けて接着力が低下する感温性接着層である、請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記第１接着層が、前記接着力調整処理としてエネルギー線照射処理を受けて接着力が低下するエネルギー線応答性接着層である、請求項１に記載の積層体。
【請求項４】
前記第１接着層が、前記接着力調整処理として電場印加処理または無電場処理を受けて接着力が低下する電気応答性接着層である、請求項１に記載の積層体。
【請求項５】
前記構造体が接着性を有する、請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項６】
前記構造体の前記第１接着層側とは反対側には、前記第１接着層とは異なる組成の第２接着層を有する、請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項７】
前記第１接着層が、前記構造体と同じパターン状である、請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項８】
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、請求項６に記載の積層体。
【請求項９】
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、請求項７に記載の積層体。
【請求項１０】
請求項６に記載の積層体を用いた、多層体の一方の面に開口を有する凹部を備える凹部付き多層体の製造方法であって、
前記第２層の一方の面に、前記積層体の前記構造体を直接または前記第２接着層を介して間接的に接触させる接触工程と、
前記接着力調整処理により前記第１接着層の接着力を低下させる接着力調整工程と、
少なくとも前記第１層を剥離して、前記構造体を少なくとも含むパターン部を前記第２層にパターン状に転写する転写工程と、
前記第２層の前記パターン部を有する側の面に、１以上の他の層を積層する積層工程と、
前記パターン部および前記１以上の他の層を、前記パターン部および前記パターン部と平面視上重なる位置にある前記他の層を含む第１の領域と、それ以外の第２の領域とに区画する区画工程と、
前記第１の領域を剥離除去して、前記凹部を形成する凹部形成工程と
を有する、凹部付き多層体の製造方法。
【請求項１１】
前記凹部付き多層体が、凹部付き多層配線板である請求項１０に記載の凹部付き多層体の製造方法。
【請求項１２】
請求項６に記載の積層体を用いた、前記構造体を第２層に転写する構造体の転写方法であって、
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と前記第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記構造体との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、構造体の転写方法。
【請求項１３】
請求項６に記載の積層体を用いた、前記構造体を第２層に転写する構造体の転写方法であって、
前記第１接着層が、前記構造体と同じパターン状であり、
前記第２接着層の前記構造体側とは反対側の面と前記第２層とを接触させたとき、
前記接着力調整処理前の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力以上であり、
前記接着力調整処理後の前記第１接着層と前記第１層との間の接着力が、前記第２接着層と前記第２層との間の接着力よりも低い、構造体の転写方法。
【国際調査報告】
2018230606.tif 000013
2018230606.tif 000014
2018230606.tif 000015
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