(57)【要約】  シリコン塊の整形加工用ハンマー（１）は、シリコン塊を破砕し、シリコン塊を整形加工するためのハンマーであって、樹脂からなる柄（１０）と、柄（１０）に固定されたハンマーヘッド（２０）とを備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン塊を破砕し、前記シリコン塊を整形加工するためのハンマーであって、
樹脂からなる柄と、
前記柄に固定されたハンマーヘッドとを備えることを特徴とするシリコン塊の整形加工用ハンマー。
【請求項２】
前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１０以上Ｒ１３０以下であることを特徴とする請求項１に記載のハンマー。
【請求項３】
前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１５以上Ｒ１２９以下であることを特徴とする請求項１に記載のハンマー。
【請求項４】
前記樹脂は、無機フィラー非含有の樹脂であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項５】
前記柄は、単一の樹脂層からなることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項６】
前記柄は、前記ハンマーヘッドの中心に固定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項７】
前記ハンマーヘッドの打撃面の角部は、Ｒ加工されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項８】
前記柄には、角柱形状の凸部及び凹部のうちいずれか一方が形成されており、
前記ハンマーヘッドには、前記凸部及び前記凹部のうち、前記柄に形成されていない方が形成されており、
前記凸部と前記凹部とが嵌合することにより、前記柄が前記ハンマーヘッドに固定されることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項９】
前記ハンマーヘッドの重量に対する前記柄の重量の比率は、０．１５以上１．００以下であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項１０】
前記ハンマーヘッドの打撃面の直径は、１ｃｍ以上３ｃｍ以下であることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項１１】
前記柄の弾性率は、２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のハンマー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はハンマーに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン塊を整形加工するハンマーが従来技術として知られている。このようなハンマーとして、例えば、特許文献１に開示されている低汚染衝撃工具が挙げられる。この低汚染衝撃工具は、ハンドル部とヘッド部とを形成するコア（芯材）からなり、そのヘッド部はタングステン・カーバイド合金打撃要素と接触して固定されている。そのコアは合成樹脂に封入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】日本国公開特許公報「特開平６−２１８６７７号公報（１９９４年８月９日公開）」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されている低汚染衝撃工具は、コアが合成樹脂で被膜された構造であるため、コアと合成樹脂との間にシリコン塊の欠片が入り込む場合がある。したがって、コアと合成樹脂との間にシリコン塊の欠片が入り込むことにより、コア及び合成樹脂が削られる。特に、シーメンス法により製造された多結晶シリコンロッドを粗割りすることにより得られたシリコン塊は、その表面に複雑な凹凸形状を有している。このため、シリコン塊を整形加工する場合には、鋭角的な凸部を有する欠片が発生しやすく、この欠片はコアと合成樹脂との間に入り込み、コア及び合成樹脂が削られる原因になりやすい。よって、前記低汚染衝撃工具では、コア及び合成樹脂が削られることにより生じた不純物が、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞があるという問題がある。【０００５】
本発明の一態様は、柄にシリコン塊の欠片が入り込むことがなく、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に不純物が入り込むことを防ぐことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーは、シリコン塊を破砕し、前記シリコン塊を整形加工するためのハンマーであって、樹脂からなる柄と、前記柄に固定されたハンマーヘッドとを備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様によれば、柄にシリコン塊の欠片が入り込むことがなく、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に不純物が入り込むことを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の実施形態１に係るハンマーの構成を示す図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態１に係るハンマーが備える柄の構成を示す図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態１に係るハンマーが備えるハンマーヘッドのヘッド部の構成を示す図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態２に係るハンマーの構成を示す図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態２に係るハンマーが備える柄の構成を示す図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態２に係るハンマーが備えるハンマーヘッドのヘッド部の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
〔実施形態１〕
（多結晶シリコンの製造方法）
本発明の一態様に係るハンマーは、多結晶シリコンの製造方法にて用いられる。多結晶シリコンの製造方法は特に限定されないが、例えば、クロロシラン化合物と水素とを反応器中で反応させて多結晶シリコンを析出させるシリコン析出工程を含む製造方法が挙げられる。シリコンを析出させる方法としてシーメンス法が知られている。シーメンス法では、鐘型（ベルジャー型）反応器内でトリクロロシランと水素とを反応させる。そして、反応器内部に立設した多結晶シリコン析出用芯棒の表面に多結晶シリコンを析出させ、成長した多結晶シリコンロッドを得る。
【００１０】
前記多結晶シリコンの製造方法は、シリコン析出工程によって得られた多結晶シリコンロッドを破砕する工程を含む。前記多結晶シリコンロッドを破砕する工程では、シリコンロッドを破砕装置または大型ハンマーにより粗割りし、粗割りすることによって得られたシリコン塊をハンマーで小割り及び整形加工し、ナゲットまたはチップ状のシリコン片を得る。本発明の一態様に係るハンマーは、前記多結晶シリコンロッドを破砕する工程において、シリコンロッドを粗割りすることによって得られたシリコン塊を小割り及び整形加工する際に使用される。また、前記多結晶シリコンの製造方法は、破砕された多結晶シリコンを分級する工程、及び多結晶シリコンを洗浄する工程を含んでいてもよい。
【００１１】
（ハンマー１の構成）
図１の（ａ）〜（ｅ）は、本発明の実施形態１に係るハンマー１の構成を示す図である。具体的には、図１の（ａ）は、ハンマー１の正面図であり、図１の（ｂ）は、ハンマー１の断面図であり、図１の（ｃ）は、ハンマー１の左側面図である。図１の（ｄ）は、ハンマー１の平面図であり、図１の（ｅ）は、ハンマー１の底面図である。ハンマー１の背面図は、図１の（ａ）に示すハンマー１の正面図と同一に表れるため省略する。ハンマー１の右側面図は、図１の（ｃ）に示すハンマー１の左側面図と同一に表れるため省略する。
【００１２】
図２の（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態１に係るハンマー１が備える柄１０の構成を示す図である。具体的には、図２の（ａ）は、柄１０の正面図であり、図２の（ｂ）は、柄１０の平面図である。また、図３の（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態１に係るハンマー１が備えるハンマーヘッド２０のヘッド部２１０の構成を示す図である。具体的には、図３の（ａ）は、ヘッド部２１０の正面図であり、図３の（ｂ）は、ヘッド部２１０の左側面図であり、図３の（ｃ）は、ヘッド部２１０の平面図である。
【００１３】
図１の（ａ）〜（ｅ）に示すように、ハンマー１は、シリコン塊の整形加工用ハンマーであり、柄１０と、柄１０に固定されたハンマーヘッド２０とを備える。ハンマー１は、シリコン塊を破砕し、シリコン塊を整形加工するために用いられるものである。具体的には、ハンマー１を用いることにより、シリコン塊のサイズを調整したり、シリコン塊をはつることができる。このシリコン塊としては、例えば、多結晶シリコン（ポリシリコン）塊を挙げることができ、特に、シーメンス法により製造された多結晶シリコンロッドを粗割りすることにより得られたシリコン塊を挙げることができる。ここで、ハンマー１において、ハンマーヘッド２０の側を上方、柄１０の側を下方と称する。
【００１４】
（柄１０の構成）
図１の（ａ）〜（ｃ）及び図２の（ａ）に示すように、柄１０は、上から、上部１１０、傾斜部１１１、中心部１１２、傾斜部１１３、底部１１４、及び傾斜部１１５から構成される。上部１１０、中心部１１２、及び底部１１４は、円筒の形状を有しており、上部１１０の断面の径と底部１１４の断面の径とが同一である。中心部１１２の断面の径は、上部１１０の断面の径より小さい。ここで、断面の径とは、柄１０の長手方向と垂直な断面の径である。
【００１５】
上部１１０と中心部１１２との間に形成される傾斜部１１１は、上部１１０に向かうにつれて、傾斜部１１１の断面の径が大きくなるような形状を有する。中心部１１２と底部１１４との間に形成される傾斜部１１３は、底部１１４に向かうにつれて、傾斜部１１３の断面の径が大きくなるような形状を有する。底部１１４の傾斜部１１３側とは反対側に形成される傾斜部１１５は、底部１１４に向かうにつれて、傾斜部１１５の断面の径が大きくなるような形状を有する。
【００１６】
図２の（ａ）及び（ｂ）に示すように、柄１０の上面１１９には、角柱形状の凸部１２０が形成されている。ここでは、凸部１２０は、直方体から、側方にある角部を切り取ったような形状を有する。凸部１２０には、穴１１８が形成されており、穴１１８には、雌ネジが形成された、金属製でコイル状のヘリサート１１７が装着されている。穴１１８は上部１１０に形成されている。
【００１７】
柄１０の重量は、好ましくは６０ｇ以上１７０ｇ以下であり、さらに好ましくは７０ｇ以上１５０ｇ以下である。これにより、ハンマー１の操作性及び安全性を向上させることができ、シリコン塊の精密な整形加工を容易に行うことができる。
【００１８】
また、柄１０は、樹脂からなる。「樹脂からなる」とは、必ずしも樹脂のみからなることを示しているのではなく、樹脂に加え、樹脂に付帯的に設けられる構成要素を含んだものからなってもよいことを示している。
【００１９】
樹脂に付帯的に設けられる構成要素とは、例えば、樹脂を硬化させるための材料、または柄１０に形成された穴１１８に装着されたヘリサート１１７等である。つまり、「樹脂からなる」とは、柄１０を構成する主要の材料が樹脂であることを示している。「樹脂からなる」構成には、例えば、金属または木材からなる芯材の周囲を樹脂で覆う構成は含まれない。
【００２０】
柄１０の弾性率は、２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であることが好ましい。より好ましくは、柄１０の弾性率は、２５００ＭＰａ以上４５００ＭＰａ以下である。ここで、柄１０の弾性率は、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に準拠して測定された値である。
【００２１】
柄１０の弾性率が５０００ＭＰａ以下であることにより、柄１０に過度なたわみが生じることを防止しつつ、ハンマー１の打撃時に柄１０がしなることによってシリコン塊の整形加工の作業性をより向上させることができる。また、ハンマー１でシリコン塊を破砕するとき、柄１０に伝わる衝撃を十分に低減させることができ、ハンマー１の使用者に伝わる衝撃を低減することができる。また、ハンマー１でシリコン塊を破砕するときに、柄１０に衝撃が伝わっても柄１０が折れにくくなる。
【００２２】
柄１０の弾性率が２０００ＭＰａ以上であることにより、柄１０の強度を十分に確保することができ、柄１０が変形することを低減することができる。また、柄１０の弾性率が２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であるため、シリコン塊の表面の凸部に、ハンマーヘッド２０の打撃面２１１の中心から少しずれた箇所が当たったとしても、柄１０がしなることにより追従補正することができる。追従補正とは、シリコン塊の表面の凸部に打撃面２１１の中心が追従することである。よって、ハンマー１の破砕効果の低下を抑え、シリコン塊の整形加工の作業性を向上させることができる。
【００２３】
なお、柄１０のロックウェル硬度は、Ｒ９０以上Ｒ１３０以下であることが好ましい。より好ましくは、柄１０のロックウェル硬度は、Ｒ１１０以上Ｒ１３０以下である。さらに好ましくは、柄１０のロックウェル硬度は、Ｒ１１５以上Ｒ１２９以下である。ここで、柄１０のロックウェル硬度は、ＡＳＴＭ  Ｄ７８５に準拠して測定された値である。
【００２４】
柄１０のロックウェル硬度がＲ９０以上、特にはＲ１１０以上であることにより、柄１０の表面が一定の固さを呈するものになる。これにより、シリコン塊の破砕時に、柄１０とシリコン塊の鋭角的な凸部とが接触しても、柄１０の表面に裂断が生じにくくなり、柄１０の表面が削れにくくなる。柄１０のロックウェル硬度がＲ１３０以下であることにより、柄１０が耐衝撃性等を備えたものになる。これにより、シリコン塊の破砕時に、柄１０に衝撃が伝わっても、柄１０が割れにくくなり、かつ、柄１０が折れにくくなる。
【００２５】
また、柄１０を構成する樹脂は、非晶性樹脂であることが好ましい。柄１０を構成する樹脂が非晶性樹脂であることにより、樹脂の弾性率は適度な値となる。このため、柄１０は適度な剛性を有することになり、ハンマー１の打撃時に柄１０がしなることによってシリコン塊の整形加工の作業性をより向上させることができる。
【００２６】
前記非晶性樹脂としては、例えば、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、及びポリアミドイミド等を挙げることができ、この中でもポリエーテルイミドが特に好ましい。
【００２７】
さらに、柄１０を構成する樹脂は、無機フィラー非含有の樹脂であることがより好ましい。これにより、無機フィラーが含有されている樹脂と比べて、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片の金属濃度を低くすることができる。これは、柄１０を構成する樹脂が無機フィラー非含有の樹脂であることにより、無機フィラーによる金属がシリコン片の表面に付着することがないためである。
【００２８】
機械的強度の向上のために無機フィラーとして樹脂に配合される無機化合物は、無機顔料または無機造核剤等の他の微量配合成分として樹脂に配合されるものもある。したがって、本発明の一態様において、無機フィラー非含有とは、こうした無機フィラーとして配合される無機化合物が全く含有されていない態様だけでなく、前記他の目的で微量配合成分等として配合された状態は許容される。具体的には、含有される無機化合物が１０００ｐｐｍ以下、より好ましくは８００ｐｐｍ以下であれば、無機フィラー非含有の範疇として許容される。
【００２９】
無機フィラー非含有の樹脂としては、例えば、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、及びポリアミドイミド等を挙げることができ、この中でもポリエーテルイミドが特に好ましい。これらの樹脂においては、樹脂に無機フィラーが含有されていなくても、前述した柄１０のロックウェル硬度を十分に実現することができる。無機フィラーとしては、例えば、酸化チタン、タルク、マイカ、シリカ、及びガラスフィラー等が挙げられる。
【００３０】
一方、ＳＣＭ４４０（クロムモリブデン鋼）等の金属からなる柄を有するハンマーでは、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片の金属濃度が高くなる。また、無機フィラーとして酸化チタンが添加されたポリプロピレン、並びに無機フィラーとしてガラス繊維またはカーボン繊維等が添加されたＦＲＰ（Fiber Reinforced Plastic：繊維強化プラスチック）のような樹脂からなる柄を有するハンマーの場合であっても、無機フィラーによる金属がシリコン片の表面に付着してシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片の金属濃度が高くなってしまう。
【００３１】
（シリコン塊の整形加工用ハンマーの評価）
シリコン塊の整形加工用の様々な種類のハンマーを、「表面金属汚染」、「方向制御性」、「衝撃緩和効果」、及び「欠けの有無」の４つの項目で評価した。「表面金属汚染」については、柄を構成する材料が互いに異なるハンマーを用いて１３ｔ（トン）のシリコン塊を破砕することにより評価を行った。５ｍｍ以上６０ｍｍ以下のサイズのシリコン片９０ｇをフッ硝酸混合溶液５０ｍｌに１５分間浸漬させ、そのシリコン片の表面の酸化層をフッ硝酸混合溶液で分解除去し、抽出液を得た。
【００３２】
その抽出液中において、サンプルとしてのシリコン片の表面の各種金属元素を誘導結合プラズマ質量分析（ＩＣＰ−ＭＳ）で分析し、誘導結合プラズマ質量分析での測定値を９０ｇで除することにより、シリコンの重量あたりの含有量（ｐｐｂｗ）を定量した。なお、ハンマーの使用中においてハンマーの柄に微細なひび割れが生じることがある。このため、「表面金属汚染」について評価される各ハンマーとの比較の対象として、柄の表面に芯材まで到達する長さ１０ｍｍの傷が５箇所付けられたハンマーを用いて「表面金属汚染」の評価を行った。
【００３３】
シリコン片の表面について各種金属元素の含有量を定量した結果を以下の表１に示す。各種金属元素は、Ｆｅ（鉄）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃａ（カルシウム）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｏ（コバルト）、及びＷ（タングステン）である。また、表１には、ハンマーの柄の弾性率及びロックウェル硬度も示す。
【００３４】
【表１】
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表１において、ポリプロピレンの樹脂からなるハンマーの柄は、酸化チタンを含有するものである。ＦＲＰ（不飽和ポリエステル）は、ガラス繊維を用いたものであり、Ａｌ及びＣａ（ガラス繊維に微量含まれる不純物金属元素）を含有している。なお、表１において、ハンマーの柄を構成する材料が金属である場合のロックウェル硬度を省略している。これは、一般的に樹脂の硬度が金属の硬度と異なり、温度及び湿度の影響を受け易く、樹脂が歪等の回復を示す粘弾性特性及びクリープ特性を有することから、樹脂の硬度と金属の硬度とを比較することが困難であるためである。
【００３５】
表１に示すように、ハンマーの柄を構成する材料がポリエーテルイミドである場合の各種金属元素の含有量の合計は、７．７６（ｐｐｂｗ）であった。ハンマーの柄を構成する材料がポリアミドイミドである場合の各種金属元素の含有量の合計は、８．３８（ｐｐｂｗ）であった。
【００３６】
また、ハンマーの柄を構成する材料がクロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４４０）である場合の各種金属元素の含有量の合計は、１６．９５（ｐｐｂｗ）であり、ハンマーの柄を構成する材料がポリプロプレンである場合の各種金属元素の含有量の合計は、１２．９１（ｐｐｂｗ）であった。ハンマーの柄を構成する材料がＦＲＰである場合の各種金属元素の含有量の合計は、１４．７５（ｐｐｂｗ）であった。
【００３７】
ハンマーの柄を構成する材料がポリウレタンで被覆したステンレス鋼である場合の各種金属元素の含有量の合計は、１４．５４（ｐｐｂｗ）であった。ハンマーの柄を構成する材料がポリウレタンで被覆したステンレス鋼（傷つけ品）である場合の各種金属元素の含有量の合計は、１８．４１（ｐｐｂｗ）であった。
【００３８】
このように、ハンマーの柄を構成する材料がポリエーテルイミドまたはポリアミドイミドである場合の各種金属元素の含有量は、ハンマーの柄を構成する材料が他の材料である場合の各種金属元素の含有量と比べてかなり少なくなった。よって、ポリエーテルイミド及びポリアミドイミドのような無機フィラー非含有の樹脂から構成される柄１０を備える本発明の一態様に係るハンマー１を用いることにより、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片の金属濃度を低減することができる。
【００３９】
さらに、ハンマーの柄を構成する材料がポリエーテルイミドである場合のハンマーの柄のロックウェル硬度はＲ１２７であり、ハンマーの柄を構成する材料がポリアミドイミドである場合のハンマーの柄のロックウェル硬度はＲ１２７であった。また、ハンマーの柄を構成する材料がポリプロプレンである場合のハンマーの柄のロックウェル硬度はＲ９０であり、ハンマーの柄を構成する材料がＦＲＰである場合のハンマーの柄のロックウェル硬度はＲ１２２であった。よって、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリプロプレン、及びＦＲＰの樹脂においては、前述した柄１０のロックウェル硬度を十分に実現することができる。
【００４０】
「方向制御性」については、ハンマーヘッドの重量に対する柄の重量の比率が互いに異なるハンマーを用いて、片面に感圧紙が貼り付けられた超硬金属板（５ｃｍ×５ｃｍ×１ｃｍ）に対して打撃を１０回行った。具体的には、超硬金属板が手の上に置かれた状態で、感圧紙の中心を狙って感圧紙との距離が２０ｃｍである位置からハンマーを振り降ろして打撃を１０回行った。超硬金属板から感圧紙を剥がし、感圧紙が発色した打点位置を解析した。その打点位置と感圧紙の中心との距離を算出し、各ハンマーについて１０回の打撃での当該距離の合計値を比較した。打撃を行った結果を以下の表２に示す。
【００４１】
【表２】
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表２に示すように、ハンマーヘッドの重量に対する柄の重量の比率が０．４である場合、打点位置と感圧紙の中心との距離は２１ｍｍであった。ハンマーヘッドの重量に対する柄の重量の比率が０．１である場合、打点位置と感圧紙の中心との距離は５１ｍｍであった。ハンマーヘッドの重量に対する柄の重量の比率が１．２である場合、打点位置と感圧紙の中心との距離は６０ｍｍであった。
【００４２】
このように、ハンマーヘッドの重量に対する柄の重量の比率が０．４である場合、ハンマーヘッドの重量に対する柄の重量の比率が０．１及び１．２である場合と比べて、打点位置と感圧紙の中心との距離を小さくすることができた。よって、ハンマーの操作性及び安全性を向上させるためには、後述する通り、ハンマーヘッド２０の重量に対する柄１０の重量の比率は、０．１５以上１．００以下であることが好ましく、０．２以上０．７以下であることがさらに好ましい。
【００４３】
「衝撃緩和効果」については、柄を構成する材料が互いに異なるハンマーを用いて１３ｔのシリコン塊を破砕することにより評価を行った。具体的には、１０名のハンマーの使用者によるアンケート調査を実施した。ハンマーを使用したときの衝撃の大きさに応じて１点〜５点の間でハンマーの使用者に採点してもらった。
【００４４】
この場合、ハンマーを使用したときの衝撃が小さくなるにつれて点が大きくなるように、ハンマーの使用者に採点してもらった。５点では「衝撃が少ない」とし、１点では「衝撃が大きい」とした。各ハンマーについて作業経験が３ヶ月以上である作業者（ハンマーの使用者）による採点結果の平均値を比較した。
【００４５】
ハンマーの柄の弾性率、ハンマーの使用者による採点結果の平均値、及びハンマーの柄の外観を表３に示す。ハンマーの柄の外観は、ハンマーを使用する前のハンマーの柄の外観と、ハンマーを使用した後のハンマーの柄の外観とを比較した場合において、ハンマーを使用した後のハンマーの柄の外観を示すものである。
【００４６】
【表３】
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表３に示すように、ハンマーの柄を構成する材料がポリエーテルイミドである場合、ハンマーの柄の弾性率は３３００ＭＰａであり、ハンマーの使用者による採点結果の平均値は４．２点であり、ハンマーの柄の外観は「変化なし」であった。ハンマーの柄を構成する材料がポリプロピレンである場合、ハンマーの柄の弾性率は１５００ＭＰａであり、ハンマーの使用者による採点結果の平均値は４．８点であり、ハンマーの柄の外観は「若干の曲がりがある程度」であった。
【００４７】
ハンマーの柄を構成する材料がクロムモリブデン鋼である場合、ハンマーの柄の弾性率は８１００ＭＰａであり、ハンマーの使用者による採点結果の平均値は１．８点であり、ハンマーの柄の外観は「変化なし」であった。ハンマーの柄を構成する材料がポリベンゾイミダゾールである場合、ハンマーの柄の弾性率は６５００ＭＰａであり、ハンマーの使用者による採点結果の平均値は３．０点であり、ハンマーの柄の外観は「クラックあり」であった。
【００４８】
このように、ハンマーの柄を構成する材料がポリエーテルイミドまたはポリプロピレンである場合、他の場合と比べて、ハンマーの使用者による採点結果の平均値が高く、ハンマーの柄の外観が良好であった。よって、ポリエーテルイミドまたはポリプロピレンのような樹脂から構成される柄１０を備える本発明の一態様に係るハンマー１を用いることにより、ハンマー１の使用者に伝わる衝撃を低減することができる。また、ハンマー１でシリコン塊を破砕するときに、柄１０に衝撃が伝わっても柄の外観を良好に維持することができる。さらに、これらの樹脂においては、前述した柄１０の弾性率を十分に実現することができる。
【００４９】
「欠けの有無」については、ハンマーヘッドの打撃面に係る角部の曲率半径が互いに異なるハンマーを用いて１３ｔのシリコン塊を破砕することにより評価を行った。各ハンマーについてハンマーヘッドの欠けの有無及び微粉発生量を比較した。また、各ハンマーについて、ハンマーヘッドの打撃面の直径を１５ｍｍに固定して、打撃面の角部の曲率半径を変えて、ハンマーヘッドの欠けの有無を検証した。ハンマーヘッドの欠けの有無を検証した結果を表４に示す。
【００５０】
【表４】
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表４に示すように、ハンマーヘッドの打撃面に係る角部の曲率半径が１ｍｍである場合、ハンマーヘッドについては「欠けなし」であり、２ｍｍ未満の大きさの微粉の発生量は１ｗｔ％であった。ハンマーヘッドの打撃面に係る角部の曲率半径なし、つまり、ハンマーヘッドの打撃面に係る角部がＲ加工されていないものである場合、ハンマーヘッドについては「エッジ部に欠けあり」であり、２ｍｍ未満の大きさの微粉の発生量は１ｗｔ％であった。ハンマーヘッドの打撃面に係る角部の曲率半径が６ｍｍである場合、ハンマーヘッドについては「欠けなし」であり、２ｍｍ未満の大きさの微粉の発生量は５ｗｔ％であった。
【００５１】
このように、ハンマーヘッドの打撃面に係る角部の曲率半径が１ｍｍである場合、他の場合と比べて、ハンマーヘッドについては「欠けなし」であり、かつ、２ｍｍ未満の大きさの微粉の発生量を低減することができる。よって、ハンマーヘッドに欠けが生じず、かつ、微粉の発生を低減するためには、後述する通り、ハンマーヘッド２０の打撃面２１１の角部の曲率半径は、１ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００５２】
なお、柄１０は、樹脂のみからなっていてもよい。「樹脂のみからなる」とは、樹脂に付帯的に設けられる構成要素を含まないものからなることを示している。この場合、柄１０とハンマーヘッド２０との接続箇所において、通常、金属製のネジと樹脂からなる柄１０とが直接接触する。ハンマーの使用時には、この接続箇所には強い衝撃がかかるため、柄１０が樹脂のみからなる構成では、樹脂のネジ溝に破損が生じる虞がある。このため、柄１０にヘリサート１１７を設ける態様の方がより好ましい。
【００５３】
柄１０は、単一の樹脂層からなる。つまり、柄１０は、例えば、金属または木材からなる芯材と樹脂の層とから構成される２層構造ではなく、互いに異なるまたは互いに同一の２つの樹脂の層から構成される２層構造でもなく、１つの樹脂からなる。
【００５４】
仮に、ハンマーの柄が、複数の樹脂層からなる場合、ハンマーでシリコン塊を破砕するとき、層と層とがこすれることにより不純物が生じ、シリコン塊の欠片が層と層との間に入り込むことにより各々の層が削られる等により不純物が生じる。よって、これらの不純物がシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞が生じる。
【００５５】
一方、柄１０のように、柄が単一の樹脂層からなる場合、このような不純物が生じることがない。よって、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に不純物が入り込むことを防ぐことができる。
【００５６】
（ハンマーヘッド２０の構成）
図１の（ａ）〜（ｄ）に示すように、ハンマーヘッド２０は、ヘッド部２１０と、押圧ネジ２２０とを備える。図３の（ａ）〜（ｃ）に示すように、ヘッド部２１０は、円筒の形状を有しており、ヘッド部２１０の上面２１５には凹部２１２が形成されており、ヘッド部２１０の下面２１６には凹部２１３が形成されている。凹部２１２の中心から凹部２１３の中心に亘って穴２１４が形成されている。ヘッド部２１０は、左右両端に打撃面２１１を形成している。なお、ヘッド部２１０は、例えば、超硬合金からなっていることが好ましい。
【００５７】
図３の（ｂ）に示すように、打撃面２１１は、円の形状を有しており、打撃面２１１の直径Ｒ１は、１ｃｍ以上３ｃｍ以下であることが好ましい。これにより、シリコン塊の小割り及び整形加工を行うのに適した小型のハンマー１において、ハンマー１の操作性を向上させることができるという効果を顕著に発揮させることができる。
【００５８】
また、図３の（ａ）及び（ｃ）に示すように、打撃面２１１の角部は、Ｒ加工されていることが好ましい。これにより、ハンマー１の打撃時に、衝撃によりハンマーヘッド２０の打撃面２１１の角部が欠けることを防ぐことができるため、打撃面２１１の角部の欠片がシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込むことを防ぐことができる。
【００５９】
なお、打撃面２１１の角部の曲率半径は、１ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、ハンマーヘッド２０の打撃面２１１の角部が欠けることを高度に防止することができる。
【００６０】
図１の（ａ）〜（ｄ）に示すように、押圧ネジ２２０は、当接部２２１と、ネジ部２２２と、突出部２２３とを備える。押圧ネジ２２０は、ヘッド部２１０を貫通して、柄１０に固定される。
【００６１】
ネジ部２２２は、当接部２２１に固定され、突出部２２３はネジ部２２２と共に一体となっている。ネジ部２２２は、ヘッド部２１０に形成された穴２１４を通過し、柄１０に形成された穴１１８に装着されたヘリサート１１７に螺合される。突出部２２３は、柄１０に形成された穴１１８に嵌合される。これにより、当接部２２１は、ヘッド部２１０に形成された凹部２１２の底面に当接する。よって、押圧ネジ２２０は、ヘッド部２１０を柄１０に向かって押圧する。このようにして、ハンマーヘッド２０は、柄１０に固定される。なお、凹部２１２の底面は平面である。
【００６２】
ヘッド部２１０に凹部２１２が形成されていることにより、当接部２２１が凹部２１２の底面に当接されるため、柄１０にハンマーヘッド２０を強固に固定することができる。なお、当接部２２１は、例えばポリアミドから成っていることが好ましく、ネジ部２２２及び突出部２２３は、例えばＳＵＳ（Steel Use Stainless）からなっていることが好ましい。
【００６３】
また、図１の（ａ）〜（ｃ）に示すように、ハンマーヘッド２０に形成された凹部２１３と柄１０に形成された角柱形状の凸部１２０とが嵌合することにより、柄１０がハンマーヘッド２０に固定される。ハンマーヘッド２０の凹部２１３に嵌合される柄１０の凸部１２０が角柱形状であるため、ハンマーヘッド２０が柄１０に対して回転することを防ぐことができ、ハンマー１の操作性及び安全性を向上させることができる。
【００６４】
ハンマーヘッド２０の重量は、好ましくは、１７０ｇ以上４００ｇ以下であり、さらに好ましくは２１５ｇ以上３４０ｇ以下である。これにより、ハンマー１の操作性及び安全性を向上させることができ、シリコン塊の精密な整形加工を容易に行うことができる。また、ハンマーヘッド２０の重量に対する柄１０の重量の比率は、好ましくは０．１５以上１．００以下であり、さらに好ましくは０．２以上０．７以下である。これにより、ハンマー１の操作性及び安全性を向上させることができる。なお、ハンマーヘッド２０の重量とは、ヘッド部２１０の重量と押圧ネジ２２０の重量との合計である。
【００６５】
また、柄１０は半透明であるため、図１の（ａ）及び（ｃ）に示すように、柄１０の内部に入っている押圧ネジ２２０のネジ部２２２及び突出部２２３を外部から見ることができる。また、図２の（ａ）に示すように、柄１０の正面から見た場合、柄１０に形成された穴１１８、及び穴１１８に装着されたヘリサート１１７を外部から見ることができる。また、図１の（ｅ）に示すように、ハンマー１を下から見た場合、柄１０の底面１１６から凸部１２０、ネジ部２２２、及び突出部２２３を見ることができる。
【００６６】
さらに、図１の（ａ）〜（ｅ）に示すように、柄１０は、ハンマーヘッド２０の中心に固定されていることが好ましい。柄１０がハンマーヘッド２０の中心に固定されているため、ハンマーヘッド２０の重心を通り、かつ、ハンマー１の長手方向に沿った軸上に柄１０がある。このため、ハンマーヘッド２０を様々な方向に移動させやすくなる。よって、ハンマー１による細かい動作が可能となり、シリコン塊を様々な方向から整形加工しやすくなる。
【００６７】
また、ハンマーについて、仮に、柄の構造が、芯材が樹脂で被覆された構造である場合、この樹脂によって芯材の全面が被覆されていれば、芯材の表面は外部に露出しない。しかし、ハンマーを長期間使用することで樹脂の表面に破断が生じたとき、芯材の表面が露出することがある。この場合、芯材の表面が露出すれば、芯材から生じた不純物が、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞が生じる。
【００６８】
また、ハンマーでシリコン塊を破砕するとき、芯材と樹脂とがこすれることにより不純物が生じ、シリコン塊の欠片が芯材と樹脂との間に入り込むことにより芯材及び樹脂が削られる等により不純物が生じる。よって、これらの不純物がシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞が生じる。
【００６９】
一方、本発明の一態様のハンマー１のように、柄１０が樹脂からなる場合、柄１０の内部に芯材が存在しないため、このような不純物が生じることがない。よって、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に不純物が入り込むことを防ぐことができる。
【００７０】
また、シリコンロッドを粗割りすることにより得られたシリコン塊の表面は、複雑な凹凸形状を有している。柄１０が樹脂からなる場合、ハンマー１は軽量になり、ハンマー１の操作性を向上させることができる。したがって、シリコン塊の小割り及び整形加工では、シリコン塊の表面にハンマーヘッド２０の打撃面２１１を容易に合わせることができ、シリコン塊を円滑に加工することができる。
【００７１】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について、図４〜図６に基づいて以下に説明する。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【００７２】
図４の（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態２に係るハンマー２の構成を示す図である。具体的には、図４の（ａ）は、ハンマー２の正面図であり、図４の（ｂ）は、ハンマー２の断面図であり、図４の（ｃ）は、ハンマー２の左側面図である。図４の（ｄ）は、ハンマー２の平面図であり、図４の（ｅ）は、ハンマー２の底面図である。ハンマー２の背面図は、図４の（ａ）に示すハンマー２の正面図と同一に表れるため省略する。ハンマー２の右側面図は、図４の（ｃ）に示すハンマー２の左側面図と同一に表れるため省略する。ハンマー２の平面図は、図１の（ｄ）に示すハンマー１の平面図と同一に表れるため省略する。
【００７３】
図５の（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態２に係るハンマー２が備える柄１０ａの構成を示す図である。具体的には、図５の（ａ）は、柄１０ａの正面図であり、図５の（ｂ）は、柄１０ａの平面図である。また、図６の（ａ）及び（ｂ）は、本発明の実施形態２に係るハンマー２が備えるハンマーヘッド２０ａのヘッド部２１０ａの構成を示す図である。具体的には、図６の（ａ）は、ヘッド部２１０ａの正面図であり、図６の（ｂ）は、ヘッド部２１０ａの左側面図である。
【００７４】
図４の（ａ）〜（ｄ）に示すように、ハンマー２は、ハンマー１と比べて、柄１０が柄１０ａに変更されている点、及びハンマーヘッド２０がハンマーヘッド２０ａに変更されている点が異なる。図５の（ａ）及び（ｂ）に示すように、柄１０ａの上面１１９には、凹部１２１が形成されている。凹部１２１には、穴１１８が形成されている。
【００７５】
図６の（ａ）及び（ｂ）に示すように、ハンマーヘッド２０ａの下面２１６には、角柱形状の凸部２１７が形成されている。ここでは、凸部２１７は、直方体から、側方にある角部を切り取ったような形状を有する。凹部２１２の中心から凸部２１７の中心に亘って穴２１４が形成されている。
【００７６】
また、図４の（ａ）〜（ｃ）に示すように、ハンマーヘッド２０ａに形成された凸部２１７と柄１０ａに形成された凹部１２１とが嵌合することにより、柄１０ａがハンマーヘッド２０ａに固定される。これにより、柄１０ａの凹部１２１に嵌合されるハンマーヘッド２０ａの凸部２１７が角柱形状であるため、ハンマーヘッド２０ａが柄１０ａに対して回転することを防ぐことができる。これにより、ハンマー２の操作性及び安全性を向上させることができる。
【００７７】
さらに、柄１０ａは半透明であるため、図４の（ｄ）に示すように、ハンマー２を下から見た場合、柄１０ａの底面１１６から凸部２１７、ネジ部２２２、及び突出部２２３を見ることができる。
【００７８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００７９】
（まとめ）
本発明の一態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーは、シリコン塊を破砕し、前記シリコン塊を整形加工するためのハンマーであって、樹脂からなる柄と、前記柄に固定されたハンマーヘッドとを備える。
【００８０】
柄の構造が、芯材が樹脂で被覆された構造である場合、この樹脂によって芯材の全面が被覆されていれば、芯材の表面は外部に露出しない。しかし、ハンマーを長期間使用することで樹脂の表面に破断が生じたとき、芯材の表面が露出することがある。この場合、芯材の表面が露出すれば、芯材から生じた不純物が、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞が生じる。
【００８１】
また、ハンマーでシリコン塊を破砕するとき、芯材と樹脂とがこすれることにより不純物が生じ、シリコン塊の欠片が芯材と樹脂との間に入り込むことにより芯材及び樹脂が削られる等により不純物が生じる。よって、これらの不純物がシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞が生じる。
【００８２】
一方、前記構成のように、柄が樹脂のみからなる場合、柄の内部に芯材が存在しないため、このような不純物が生じることがない。よって、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に不純物が入り込むことを防ぐことができる。
【００８３】
また、シリコンロッドを粗割りすることにより得られたシリコン塊の表面は、複雑な凹凸形状を有している。柄が樹脂からなる場合、ハンマーは軽量になり、ハンマーの操作性を向上させることができる。したがって、シリコン塊の小割り及び整形加工では、シリコン塊の表面にハンマーヘッドの打撃面を容易に合わせることができ、シリコン塊を円滑に加工することができる。
【００８４】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１０以上Ｒ１３０以下であることが好ましい。
【００８５】
前記構成によれば、柄のロックウェル硬度がＲ１１０以上であることにより、柄の表面が一定の固さを呈するものになる。これにより、シリコン塊の破砕時に、柄とシリコン塊の鋭角的な凸部とが接触しても、柄の表面に裂断が生じにくくなり、柄の表面が削れにくくなる。柄のロックウェル硬度がＲ１３０以下であることにより、柄が耐衝撃性等を備えたものになる。これにより、シリコン塊の破砕時に、柄に衝撃が伝わっても、柄が割れにくくなり、かつ、柄が折れにくくなる。
【００８６】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１５以上Ｒ１２９以下であることが好ましい。
【００８７】
前記構成によれば、ロックウェル硬度がＲ１１０以上Ｒ１３０以下である場合よりも、柄の表面が削れにくくなる、柄が耐衝撃性等を備えたものになる、柄が割れにくくなり、かつ、柄が折れにくくなるといった効果をさらに向上させることができる。
【００８８】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記樹脂は、無機フィラー非含有の樹脂であることが好ましい。
【００８９】
前記構成によれば、無機フィラーが含有されている樹脂と比べて、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片の金属濃度を低くすることができる。これは、柄を構成する樹脂が無機フィラー非含有の樹脂であることにより、無機フィラーによる金属がシリコン片の表面に付着することがないためである。
【００９０】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記柄は、単一の樹脂層からなることが好ましい。
【００９１】
柄が、複数の樹脂層からなる場合、ハンマーでシリコン塊を破砕するとき、層と層とがこすれることにより不純物が生じ、シリコン塊の欠片が層と層との間に入り込むことにより各々の層が削られる等により不純物が生じる。よって、これらの不純物がシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込む虞が生じる。
【００９２】
一方、前記構成のように、柄が単一の樹脂層からなる場合、このような不純物が生じることがない。よって、シリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に不純物が入り込むことを防ぐことができる。
【００９３】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記柄は、前記ハンマーヘッドの中心に固定されていることが好ましい。
【００９４】
前記構成によれば、柄がハンマーヘッドの中心に固定されているため、ハンマーヘッドの重心を通り、かつ、ハンマーの長手方向に沿った軸上に柄がある。このため、ハンマーヘッドを様々な方向に移動させやすくなる。よって、ハンマーによる細かい動作が可能となり、シリコン塊を様々な方向から整形加工しやすくなる。
【００９５】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記ハンマーヘッドの打撃面の角部は、Ｒ加工されていることが好ましい。
【００９６】
前記構成によれば、ハンマーの打撃時に、衝撃によりハンマーヘッドの打撃面の角部が欠けることを防ぐことができるため、その打撃面の角部の欠片がシリコン塊を整形加工して得られるシリコン片に入り込むことを防ぐことができる。
【００９７】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記柄には、角柱形状の凸部及び凹部のうちいずれか一方が形成されており、前記ハンマーヘッドには、前記凸部及び前記凹部のうち、前記柄に形成されていない方が形成されており、前記凸部と前記凹部とが嵌合することにより、前記柄が前記ハンマーヘッドに固定されることが好ましい。
【００９８】
前記構成によれば、ハンマーヘッドの凹部に嵌合される柄の凸部が角柱形状である、または柄の凹部に嵌合されるハンマーヘッドの凸部が角柱形状であるため、ハンマーヘッドが柄に対して回転することを防ぐことができる。これにより、ハンマーの操作性及び安全性を向上させることができる。
【００９９】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記ハンマーヘッドの重量に対する前記柄の重量の比率は、０．１５以上１．００以下であることが好ましい。
【０１００】
前記構成によれば、ハンマーの操作性及び安全性を向上させることができる。
【０１０１】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記ハンマーヘッドの打撃面の直径は、１ｃｍ以上３ｃｍ以下であることが好ましい。
【０１０２】
前記構成によれば、シリコン塊の小割り及び整形加工を行うのに適した小型のハンマーにおいて、ハンマーの操作性を向上させることができるという効果を顕著に発揮させることができる。
【０１０３】
本発明の別の態様に係るシリコン塊の整形加工用ハンマーにおいて、前記柄の弾性率は、２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であることが好ましい。
【０１０４】
前記構成によれば、柄の弾性率が５０００ＭＰａ以下であることにより、柄に過度なたわみが生じることを防止しつつ、ハンマーの打撃時に柄がしなることによってシリコン塊の整形加工の作業性をより向上させることができる。また、ハンマーでシリコン塊を破砕するとき、柄に伝わる衝撃を十分に低減させることができ、ハンマーの使用者に伝わる衝撃を低減することができる。また、ハンマーでシリコン塊を破砕するときに、柄に衝撃が伝わっても柄が折れにくくなる。
【０１０５】
柄の弾性率が２０００ＭＰａ以上であることにより、柄の強度を十分に確保することができ、柄が変形することを低減することができる。また、柄の弾性率が２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であるため、シリコン塊の表面の凸部に、ハンマーヘッドの打撃面の中心から少しずれた箇所が当たったとしても、柄がしなることにより追従補正することができる。よって、ハンマーの破砕効果の低下を抑え、シリコン塊の整形加工の作業性を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１０６】
１、２  ハンマー
１０、１０ａ  柄
２０、２０ａ  ハンマーヘッド
１１０  上部
１１１、１１３、１１５  傾斜部
１１２  中心部
１１４  底部
１１６  底面
１１７  ヘリサート
１１８、２１４  穴
１１９、２１５  上面
１２０、２１７  凸部
１２１、２１２、２１３  凹部
２１０、２１０ａ  ヘッド部
２１１  打撃面
２１６  下面
２２０  押圧ネジ
２２１  当接部
２２２  ネジ部
２２３  突出部
【図１】
2019167767.tif 000007
【図２】
2019167767.tif 000008
【図３】
2019167767.tif 000009
【図４】
2019167767.tif 000010
【図５】
2019167767.tif 000011
【図６】
2019167767.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】令和1年9月11日(2019.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン塊を破砕し、前記シリコン塊を整形加工するためのハンマーであって、
樹脂からなる柄と、
前記柄に固定されたハンマーヘッドとを備え、
前記樹脂は、無機フィラー非含有の樹脂であることを特徴とするシリコン塊の整形加工用ハンマー。
【請求項２】
前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１０以上Ｒ１３０以下であることを特徴とする請求項１に記載のハンマー。
【請求項３】
前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１５以上Ｒ１２９以下であることを特徴とする請求項１に記載のハンマー。
【請求項４】
（削除）
【請求項５】
前記柄は、単一の樹脂層からなることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項６】
前記柄は、前記ハンマーヘッドの中心に固定されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項７】
前記ハンマーヘッドの打撃面の角部は、Ｒ加工されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項８】
前記柄には、角柱形状の凸部及び凹部のうちいずれか一方が形成されており、
前記ハンマーヘッドには、前記凸部及び前記凹部のうち、前記柄に形成されていない方が形成されており、
前記凸部と前記凹部とが嵌合することにより、前記柄が前記ハンマーヘッドに固定されることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項９】
前記ハンマーヘッドの重量に対する前記柄の重量の比率は、０．１５以上１．００以下であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項１０】
前記ハンマーヘッドの打撃面の直径は、１ｃｍ以上３ｃｍ以下であることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項１１】
前記柄の弾性率は、２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のハンマー。
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月8日(2020.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン塊を破砕し、前記シリコン塊を整形加工するためのハンマーであって、
樹脂からなる柄と、
前記柄に固定されたハンマーヘッドとを備え、
前記樹脂は、無機フィラー非含有の樹脂であることを特徴とするシリコン塊の整形加工用ハンマー。
【請求項２】
前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１０以上Ｒ１３０以下であることを特徴とする請求項１に記載のハンマー。
【請求項３】
前記柄のロックウェル硬度は、Ｒ１１５以上Ｒ１２９以下であることを特徴とする請求項１に記載のハンマー。
【請求項４】
前記柄は、単一の樹脂層からなることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項５】
前記柄は、前記ハンマーヘッドの中心に固定されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項６】
前記ハンマーヘッドの打撃面の角部は、Ｒ加工されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項７】
前記柄には、角柱形状の凸部及び凹部のうちいずれか一方が形成されており、
前記ハンマーヘッドには、前記凸部及び前記凹部のうち、前記柄に形成されていない方が形成されており、
前記凸部と前記凹部とが嵌合することにより、前記柄が前記ハンマーヘッドに固定されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項８】
前記ハンマーヘッドの重量に対する前記柄の重量の比率は、０．１５以上１．００以下であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項９】
前記ハンマーヘッドの打撃面の直径は、１ｃｍ以上３ｃｍ以下であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のハンマー。
【請求項１０】
前記柄の弾性率は、２０００ＭＰａ以上５０００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のハンマー。
【国際調査報告】
2019167767.tif 000013
2019167767.tif 000014
2019167767.tif 000015