(57)【要約】  装着ヘッドは、正圧エア供給源から供給される正圧エアが流通する正圧エア通路と、負圧エア供給源から供給される負圧エアが流通する負圧エア通路と、大気に開放される大気圧エア通路と、吸着ノズルとの間で連通して、吸着ノズルに供給されるエアが流通可能な共通エア通路と、共通エア通路に対して、正圧エア通路、負圧エア通路、および大気圧エア通路の何れか一つを選択的に連通させるバルブ装置と、を備える。
2019026160.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧エアを供給されて部品を吸着する吸着ノズルを取り付けられ、前記吸着ノズルにより吸着された前記部品を回路基板に装着する装着処理に用いられる装着ヘッドであって、
正圧エア供給源から供給される正圧エアが流通する正圧エア通路と、
負圧エア供給源から供給される負圧エアが流通する負圧エア通路と、
大気に開放される大気圧エア通路と、
前記吸着ノズルとの間で連通して、前記吸着ノズルに供給されるエアが流通可能な共通エア通路と、
前記共通エア通路に対して、前記正圧エア通路、前記負圧エア通路、および前記大気圧エア通路の何れか一つを選択的に連通させるバルブ装置と、
を備える、装着ヘッド。
【請求項２】
前記バルブ装置は、
前記正圧エア通路、前記負圧エア通路、および前記大気圧エア通路が形成されたバルブボディと、
前記バルブボディに対して摺動可能に設けられ、異なる３つの停止位置に位置決めされるスプールと、を備え、
前記バルブ装置は、前記スプールの前記停止位置に応じて前記共通エア通路に対して、前記正圧エア通路、前記負圧エア通路、および前記大気圧エア通路の何れか一つを選択的に連通させる、請求項１に記載の装着ヘッド。
【請求項３】
前記バルブボディは、前記スプールを摺動可能に支持するスプール穴を有し、
前記スプール穴の一端部は、前記大気圧エア通路の少なくとも一部を構成し、
前記バルブ装置は、前記スプールが３つの前記停止位置のうち前記スプール穴の一端部から最も離れた前記停止位置に位置決めされた場合に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させる、請求項２に記載の装着ヘッド。
【請求項４】
前記バルブ装置は、前記バルブボディに対して前記スプールを一方向に移動させて３つの前記停止位置に順次位置決めした場合に、前記共通エア通路に対して、前記負圧エア通路、前記正圧エア通路、および前記大気圧エア通路の順で連通させる、請求項２または３に記載の装着ヘッド。
【請求項５】
請求項１−４の何れか一項に記載の前記装着ヘッドと、
前記装着処理において前記バルブ装置の動作を制御する制御装置と、
を備える部品装着機であって、
前記制御装置は、前記装着処理において、前記吸着ノズルに吸着された前記部品が前記回路基板に接触してから前記吸着ノズルを前記部品から離間させるまでの第一期間に、前記共通エア通路に前記正圧エア通路を連通させた後に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする、部品装着機。
【請求項６】
前記制御装置は、前記第一期間において、前記共通エア通路に前記正圧エア通路を連通させて前記共通エア通路が正圧に達した後に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする、請求項５に記載の部品装着機。
【請求項７】
前記制御装置は、前記第一期間において、前記共通エア通路に前記正圧エア通路を連通させて前記共通エア通路が正圧の所定値に達した状態を一定期間維持した後に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする、請求項５に記載の部品装着機。
【請求項８】
請求項１−４の何れか一項に記載の前記装着ヘッドと、
前記装着処理において前記バルブ装置の動作を制御する制御装置と、
を備える部品装着機であって、
前記制御装置は、前記装着処理において、前記吸着ノズルに吸着された前記部品が前記回路基板に接触してから前記吸着ノズルが前記部品から離間するまでの第一期間に、前記共通エア通路に前記正圧エア通路を連通させ、さらに前記吸着ノズルを前記部品から離間させてから水平方向に移動させるまでの第二期間に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする、部品装着機。
【請求項９】
請求項１−４の何れか一項に記載の前記装着ヘッドと、
前記装着処理において前記バルブ装置の動作を制御する制御装置と、
を備える部品装着機であって、
前記制御装置は、前記装着処理において、前記吸着ノズルに吸着された前記部品が前記回路基板に接触してから前記吸着ノズルを前記部品から離間させるまでの第一期間に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする、部品装着機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装着ヘッドおよび部品装着機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
装着ヘッドは、回路基板に部品を装着する部品装着機を構成し、部品装着機による装着処理に用いられる。装着ヘッドは、負圧エアを供給された部品を吸着する吸着ノズルを取り付けられる。特許文献１には、装着処理において、吸着ノズルに保持された部品が回路基板に接触した後に、吸着ノズル内を正圧または大気圧として吸着ノズルから部品を開放する部品装着機が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３１１８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
装着ヘッドには、装着処理の精度向上のために多様な動作に対応可能となることの要請がある。例えば、装着処理の対象に極小部品が含まれる場合に、部品の開放に用いられる正圧エアにより装着済みの極小部品が位置ずれを生じないようにする必要がある。一方で、例えば対象の部品の種別や装着環境によっては、吸着ノズルから部品を確実に開放するために正圧エアを吸着ノズルに供給して真空破壊することを要する場合がある。【０００５】
本明細書は、吸着ノズル内を正圧、負圧、および大気圧に切り換え可能として、種々の装着処理に対応し、特に正圧エアによる極小部品の位置ずれを防止可能な装着ヘッドおよび部品装着機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書で開示する装着ヘッドは、負圧エアを供給されて部品を吸着する吸着ノズルを取り付けられ、前記吸着ノズルにより吸着された前記部品を回路基板に装着する装着処理に用いられる装着ヘッドであって、正圧エア供給源から供給される正圧エアが流通する正圧エア通路と、負圧エア供給源から供給される負圧エアが流通する負圧エア通路と、大気に開放される大気圧エア通路と、前記吸着ノズルとの間で連通して、前記吸着ノズルに供給されるエアが流通可能な共通エア通路と、前記共通エア通路に対して、前記正圧エア通路、前記負圧エア通路、および前記大気圧エア通路の何れか一つを選択的に連通させるバルブ装置と、を備える。【０００７】
本明細書で開示する第一の部品装着機は、上記の装着ヘッドと、前記装着処理において前記バルブ装置の動作を制御する制御装置と、を備える部品装着機であって、前記制御装置は、前記装着処理において、前記吸着ノズルに吸着された前記部品が前記回路基板に接触してから前記吸着ノズルを前記部品から離間させるまでの第一期間に、前記共通エア通路に前記正圧エア通路を連通させた後に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする。【０００８】
本明細書で開示する第二の部品装着機は、上記の装着ヘッドと、前記装着処理において前記バルブ装置の動作を制御する制御装置と、を備える部品装着機であって、前記制御装置は、前記装着処理において、前記吸着ノズルに吸着された前記部品が前記回路基板に接触してから前記吸着ノズルが前記部品から離間するまでの第一期間に、前記共通エア通路に前記正圧エア通路を連通させ、さらに前記吸着ノズルを前記部品から離間させてから水平方向に移動させるまでの第二期間に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする。【０００９】
本明細書で開示する第三の部品装着機は、上記の装着ヘッドと、前記装着処理において前記バルブ装置の動作を制御する制御装置と、を備える部品装着機であって、前記制御装置は、前記装着処理において、前記吸着ノズルに吸着された前記部品が前記回路基板に接触してから前記吸着ノズルを前記部品から離間させるまでの第一期間に、前記共通エア通路に前記大気圧エア通路を連通させて前記共通エア通路を大気圧にする。
【発明の効果】
【００１０】
このような装着ヘッドの構成によると、バルブ装置により共通エア通路に対して、正圧エア通路、負圧エア通路、および大気圧エア通路の何れか一つが選択的に連通される。これにより、装着処理の対象の部品の種別や装着環境に応じて吸着ノズル内の空気圧を選択的に切り換えることができる。よって、上記のような装着ヘッドを装着処理に用いることにより、正圧エアによる極小部品の位置ずれを防止したり、吸着ノズルから部品を確実に開放したりすることが可能となる。【００１１】
このような第一の部品装着機の構成によると、吸着ノズルに保持された部品が回路基板に接触した後に正圧エアが供給されるので、速やかに共通エア通路の残圧を開放することができる。また、その後に共通エア通路を大気圧とすることによって、吸着ノズルが部品から離間した際に、吸着ノズルからエアが噴出等することを確実に防止できる。結果として、エアの噴出による極小部品の位置ずれを防止することができる。【００１２】
このような第二の部品装着機の構成によると、第一期間においては共通エア通路に正圧エアが供給された状態となるので、吸着ノズルから部品が確実に開放される。これにより、吸着ノズルの先端に部品が付着して、回路基板に部品が適正に装着されない装着不良となることを防止できる。さらに、その後の第二機関においては共通エア通路が大気圧とされるので、吸着ノズルからエアが噴出することを確実に防止できる。結果として、吸着ノズルが水平方向に移動した場合に、既に装着済みの極小部品の位置ずれを防止することができる。【００１３】
このような第三の部品装着機の構成によると、吸着ノズルに保持された部品が回路基板に接触した後に、共通エア通路を大気圧とすることによって共通エア通路の残圧を開放することができる。さらに、共通エア通路が大気圧とすることにより、吸着ノズルが部品から離間した際に、吸着ノズルからエアが噴出等することを確実に防止できる。結果として、エアの噴出による極小部品の位置ずれを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態における装着ヘッドを用いて装着処理を実行する部品装着機の構成を示す平面図である。
【図２】図１における装着ヘッドを示す側面図である。
【図３】装着ヘッドに構成されるエア供給回路を示す回路図である。
【図４Ａ】装着ヘッドにおけるバルブ装置のスプールが第一停止位置に位置決めされて吸着ノズルに負圧エアが供給された状態を示す断面図である。
【図４Ｂ】装着ヘッドにおけるバルブ装置のスプールが第二停止位置に位置決めされて吸着ノズルに正圧エアが供給された状態を示す断面図である。
【図４Ｃ】装着ヘッドにおけるバルブ装置のスプールが第三停止位置に位置決めされて吸着ノズルが大気に開放された状態を示す断面図である。
【図５】吸着ノズルを保持するツール軸のＺ軸位置と、吸着ノズル内の空気圧との関係を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
１．実施形態
１−１．部品装着機の構成
部品装着機１は、図１に示すように、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、基板カメラ１５、および制御装置１６を備える。基板搬送装置１１は、ベルトコンベアなどにより構成され、回路基板（以下、単に「基板」と称する）９０を搬送方向へと順次搬送する。基板搬送装置１１は、部品装着機１の機内に基板９０を搬入するとともに、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１による部品の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１の機外に搬出する。
【００１６】
部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、Ｘ軸方向に並んでセットされたフィーダ１２１を有する。フィーダ１２１は、多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、フィーダ１２１の先端側に位置する供給位置において部品を採取可能に供給する。また、部品供給装置１２は、リード部品などの比較的大型の電子部品を、トレイ（図示しない）上に並べた状態で供給してもよい。
【００１７】
部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１および移動台１３２を備える。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動可能に構成されている。移動台１３２には、図示しないクランプ部材により装着ヘッド２０が交換可能に固定される。装着ヘッド２０は、部品供給装置１２により供給される部品を、吸着ノズル５０などのツールにより採取して基板９０の所定の装着位置に装着する。装着ヘッド２０の詳細構成については後述する。
【００１８】
部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、外部入力される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、撮像により取得した画像データを送出する。
【００１９】
部品カメラ１４は、光軸がＺ軸方向の上向きとなるように部品装着機１の基台に固定されている。部品カメラ１４は、吸着ノズル５０に保持された部品を下方から撮像可能に構成されている。基板カメラ１５は、光軸がＺ軸方向の下向きとなるように部品移載装置１３の移動台１３２に設けられる。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像可能に構成されている。
【００２０】
制御装置１６は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。制御装置１６は、基板９０に部品を装着する装着処理において、部品装着機１に複数設けられた各種センサから出力される情報、画像処理などによる認識処理の結果を入力する。そして、制御装置１６は、制御プログラムや予め設定されている規定の装着条件などに基づいて、部品移載装置１３へと制御信号を送出する。これにより、装着ヘッド２０に保持された吸着ノズル５０の位置および回転角度が制御される。
【００２１】
具体的には、制御装置１６は、部品供給装置１２により供給された部品を、負圧エアを供給された吸着ノズル５０により吸着して、部品カメラ１４により撮像する。制御装置１６は、部品カメラ１４の撮像により取得した画像データに基づいて、吸着ノズル５０に対する部品の姿勢を認識する。このとき、制御装置１６は、例えば基板９０に対する位置決めの基準位置となる部品の部位や、部品の外観で特徴的な部位を画像処理により認識することによって、部品の姿勢を認識する。
【００２２】
そして、制御装置１６は、基板９０における所定位置の上方へと装着ヘッド２０を移動させる。このとき、制御装置１６は、画像処理により認識された部品の姿勢に基づいて吸着ノズル５０の位置および角度を補正する。そして、制御装置１６は、吸着ノズル５０を下降させて基板９０に部品を装着する。基板９０に装着された部品は、例えば基板９０の上面に予め塗布されている接合材（例えば、クリームはんだ）の粘性などによるタック力で保持される。制御装置１６は、上記のようなピックアンドプレースサイクルを繰り返すことにより、基板９０に部品を装着する装着処理を実行する。装着処理における吸着ノズル５０の動作および供給されるエアの制御の詳細については後述する。
【００２３】
１−２．装着ヘッド２０の詳細構成
装着ヘッド２０は、図２に示すように、移動台１３２にクランプされるヘッド本体２１を有する。ヘッド本体２１には、Ｒ軸モータ２２によって所定の角度ごとに回転角度を割り出し可能に、ロータリヘッド２３が設けられている。ロータリヘッド２３は、Ｒ軸と同心の円周上において周方向に等間隔に複数（例えば、１２本）のツール軸２４を、Ｚ軸およびＲ軸に平行なθ軸方向（図２の上下方向）に摺動可能に且つθ軸周りに回転可能に保持する（図４Ａを参照）。なお、ロータリヘッド２３は、後述するバルブ装置４０のバルブボディを構成する。
【００２４】
ツール軸２４は、図略のスプリングの弾性力によりロータリヘッド２３に対して上方に付勢されている。これにより、ツール軸２４は、外力を付与されていない通常状態では、上昇端に位置している。ツール軸２４の下端部には、正圧エアまたは負圧エアを供給されて部品を採取するツールが着脱可能に取り付けられる。上記のツールには、負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズル５０の他に、正圧エアまたは負圧エアにより動作するチャック（図示しない）が含まれる。また、ツール軸２４は、吸着ノズル５０を取り付けられると、図４Ａに示すように、軸内スプリング２４１の弾性力により吸着ノズル５０を下方に付勢する。
【００２５】
複数の吸着ノズル５０のそれぞれは、ノズル内エア通路５１に負圧エアを供給されて部品を吸着する。複数の吸着ノズル５０は、Ｒ軸モータ２２の駆動に伴ってロータリヘッド２３が回転することにより、Ｒ軸周りの所定の角度位置（例えば、ツール軸２４の昇降位置）に順次割り出される。装着ヘッド２０は、図２に示すように、ヘッド本体２１に固定されたθ軸モータ２５を有する。θ軸モータ２５の出力軸には、複数のギヤを介して回転力を伝達可能に全てのツール軸２４が連結されている。ツール軸２４および吸着ノズル５０は、θ軸モータ２５の動作によりθ軸周りに一体的に回転（自転）し、回転角度や回転速度を制御される。
【００２６】
また、ヘッド本体２１には、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に作動部材２６が設けられている。作動部材２６は、Ｚ軸モータ２７の駆動により動作するボールねじ機構２８によりＺ軸方向に昇降する。作動部材２６は、複数のツール軸２４のうち上記の昇降位置に割り出されたツール軸２４の上端部に接触するレバー２９を有する。レバー２９は、作動部材２６のＺ軸方向下方への移動に伴って下降する。レバー２９は、接触するツール軸２４のスプリングの弾性力に抗してツール軸２４をＺ軸方向下方へと押圧し、ツール軸２４を下降させる。ツール軸２４および吸着ノズル５０は、Ｚ軸モータ２７の駆動によりＺ軸方向に一体的に昇降し、Ｚ方向位置や移動速度を制御される。
【００２７】
１−３．エア供給回路３０の構成
装着ヘッド２０は、図３に示すように、エア供給回路３０を備える。エア供給回路３０は、吸着ノズル５０に正圧エアまたは負圧エアを供給可能とし、且つ吸着ノズル５０内を大気に開放可能とする。エア供給回路３０は、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、複数の大気圧エア通路３３、複数の共通エア通路３４、正圧バルブ３５、レギュレータバルブ３６、および複数のバルブ装置４０を備える。
【００２８】
正圧エア通路３１は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３に形成され、正圧エア供給源８１から供給される正圧エアが流通するエア通路である。上記の正圧エア供給源８１は、例えば装着ヘッド２０の外部に設けられたブロワーやコンプレッサー等により構成される。本実施形態において、正圧エア通路３１は、正圧バルブ３５およびレギュレータバルブ３６を介して正圧エア供給源８１に接続される。正圧バルブ３５は、正圧エア通路３１と正圧エア供給源８１の連通状態と遮断状態とを切り換える。
【００２９】
正圧バルブ３５は、本実施形態において、２位置のソレノイドバルブである。正圧バルブ３５は、ソレノイドが給電により励磁されると開状態となる。これにより、正圧バルブ３５は、正圧エア通路３１と正圧エア供給源８１を連通状態とし、正圧エア通路３１に正圧エアが流通可能な状態とする。一方で、正圧バルブ３５は、ソレノイドが給電されない場合に閉状態となる。これにより、正圧バルブ３５は、正圧エア通路３１と正圧エア供給源８１を遮断状態とし、正圧エア通路３１に正圧エアが流通しない状態とする。
【００３０】
レギュレータバルブ３６は、正圧バルブ３５と正圧エア供給源８１との間に配置される。レギュレータバルブ３６は、正圧エア供給源８１により供給される空気圧を調整する。本実施形態において、レギュレータバルブ３６は、正圧エア供給源８１により供給される正圧エアの空気圧を一定程度低減させた規定圧力に減圧し、安定した正圧エアの供給を可能としている。
【００３１】
負圧エア通路３２は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３に形成され、負圧エア供給源８２から供給される負圧エアが流通するエア通路である。上記の負圧エア供給源８２は、例えば装着ヘッド２０の内部に設けられた負圧ポンプ等により構成される。本実施形態において、負圧エア通路３２は、負圧エア供給源８２に常時接続するように構成される。よって、負圧エア通路３２は、負圧エア供給源８２が駆動している間は負圧エアが流通可能な状態にある。
【００３２】
複数の大気圧エア通路３３のそれぞれは、バルブボディとしてのロータリヘッド２３に形成され、大気に開放されるエア通路である。大気圧エア通路３３は、装着ヘッド２０が配置された部品装着機１の機内の気圧と等しく維持される。これにより、大気圧エア通路３３が吸着ノズル５０のノズル内エア通路５１と連通した場合に、ノズル内エア通路５１が負圧であれば給気されて大気圧となり、一方でノズル内エア通路５１が正圧であれば排気されて大気圧となる。大気圧エア通路３３の詳細構成については後述する。
【００３３】
複数の共通エア通路３４のそれぞれは、対応する吸着ノズル５０との間で連通して、吸着ノズル５０に供給されるエアが流通可能なエア通路である。本実施形態において、共通エア通路３４は、本管３４１、第一枝管３４２、および第二枝管３４３を有する。共通エア通路３４の本管３４１は、ツール軸２４に形成され、吸着ノズル５０のノズル内エア通路５１と連通する。第一枝管３４２および第二枝管３４３は、ロータリヘッド２３に形成され、本管３４１からそれぞれ分岐する。
【００３４】
第一枝管３４２は、バルブ装置４０の切り換えによって正圧エア通路３１または負圧エア通路３２と連通し得る。第二枝管３４３は、バルブ装置４０の切り換えによって大気圧エア通路３３と連通し得る。共通エア通路３４は、ロータリヘッド２３に設けられたツール軸２４の数量だけ形成される。また、共通エア通路３４は、本実施形態において、吸着ノズル５０がツール軸２４に取り付けられると、吸着ノズル５０にエアを供給可能に常時連通する。
【００３５】
バルブ装置４０は、共通エア通路３４に対して、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、および大気圧エア通路３３の何れか一つを選択的に連通させる。バルブ装置４０は、上記の機能を有するものであれば、１または複数のバルブにより構成することが可能である。また、バルブ装置４０を構成するバルブとしては、種々の流体バルブを採用し得る。
【００３６】
本実施形態において、バルブ装置４０は、図４Ａに示すように、バルブボディとしてのロータリヘッド２３と、スプール４１と、ステッピングモータ４２と、作動軸４３とを備えて構成される３位置のメカバルブである。ロータリヘッド２３は、上記のように、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、大気圧エア通路３３、共通エア通路３４の第一枝管３４２および第二枝管３４３が形成されている。以下では、「ロータリヘッド２３」を「バルブボディ２３」とも称する。
【００３７】
スプール４１は、バルブボディ２３に形成されたスプール穴２３１に対して摺動可能に設けられ、異なる３つの停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に位置決めされる。スプール４１は、共通エア通路３４の第一枝管３４２または第二枝管３４３に、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、および大気圧エア通路３３の何れか一つを連通した状態を切り換える部材である。スプール４１には、バルブボディ２３の上面より突出した上端に係合部４１１が形成されている。
【００３８】
ステッピングモータ４２は、ヘッド本体２１に固定されている。作動軸４３は、ステッピングモータ４２の駆動により所定量だけ昇降される。スプール４１の係合部４１１は、作動軸４３の作動爪４３１に対して、Ｒ軸周りに離脱可能に且つＺ軸方向に係合可能に構成されている。これにより、バルブボディ２３のＲ軸周りの回転角度の割り出しによって、作動軸４３の作動爪４３１に複数のバルブ装置４０のスプール４１の係合部４１１が順次係合される。
【００３９】
上記のような構成により、スプール４１は、ステッピングモータ４２の駆動により昇降する作動軸４３に外力を付与されて、バルブボディ２３のスプール穴２３１に対する上下方向の停止位置（Ｐ１−Ｐ３）を制御される。なお、スプール４１は、ある程度の摩擦力をもってスプール穴２３１に支持されている。これにより、スプール４１は、自重による上下方向への摺動を規制されている。そのため、スプール４１は、上記の摩擦力を上回る外力が付与されない限り、位置決めされた停止位置（Ｐ１−Ｐ３）に保持される。
【００４０】
ここで、バルブボディ２３におけるスプール穴２３１の一端部は、大気圧エア通路３３の少なくとも一部を構成する。具体的には、スプール穴２３１は、図４Ａに示すように、バルブボディ２３を上下方向に貫通するように形成され、下方の一端部が大気に開放されている。つまり、スプール穴２３１の下方の一端部は、大気圧エア通路３３を構成し、スプール４１の停止位置（本実施形態において第三停止位置Ｐ３）によっては、共通エア通路３４の第二枝管３４３と連通する構成となっている。
【００４１】
上記のような構成からなるバルブ装置４０は、スプール４１の３つの停止位置（Ｐ１−Ｐ３）に応じて共通エア通路３４に対して、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、および大気圧エア通路３３の何れか一つを選択的に連通させる。具体的には、バルブ装置４０は、図４Ａに示すように、スプール４１を第一停止位置Ｐ１に位置決めすると、共通エア通路３４の第一枝管３４２に負圧エア通路３２を連通させる。これにより、吸着ノズル５０のノズル内エア通路５１に負圧エアが供給されて、吸着ノズル５０が部品を吸着可能な状態とされる。
【００４２】
また、バルブ装置４０は、図４Ｂに示すように、スプール４１を第二停止位置Ｐ２に位置決めすると、共通エア通路３４の第一枝管３４２に正圧エア通路３１を連通させる。これにより、吸着ノズル５０のノズル内エア通路５１に正圧エアが供給されて、真空破壊により吸着ノズル５０が部品を開放する状態とされる。さらに、バルブ装置４０は、図４Ｃに示すように、スプール４１を第三停止位置Ｐ３に位置決めすると、共通エア通路３４の第二枝管３４３に大気圧エア通路３３を連通させる。これにより、吸着ノズル５０のノズル内エア通路５１が大気に開放される。
【００４３】
上記のように、本実施形態におけるバルブ装置４０は、バルブボディ２３に対してスプール４１を一方向（下方から上方に向かう方向）に移動させて３つの停止位置（Ｐ１−Ｐ３）に順次位置決めした場合に、共通エア通路３４に対して、負圧エア通路３２、正圧エア通路３１、および大気圧エア通路３３の順で連通させる。また、バルブ装置４０は、（図４Ｃに示すように、スプール４１が３つの停止位置（Ｐ１−Ｐ３）のうちスプール穴２３１の一端部から最も離れた第三停止位置Ｐ３に位置決めされた場合に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させる。
【００４４】
ここで、従来の汎用的な装着ヘッドにおけるバルブ装置には、例えば吸着ノズルに正圧エアを供給または遮断する第一バルブと、吸着ノズルに負圧エアを供給または遮断する第二バルブとを備えるものがある。このような構成において、吸着ノズルが吸着した部品を基板に押し付けた状態（即ち、吸着ノズルの先端が部品により閉塞された状態）を維持して吸着ノズル内を負圧から大気圧に移行させて真空破壊をすることがある。
【００４５】
そのためには、例えば第二バルブをＯＦＦにするとともに第一バルブをＯＮにして所定量だけ正圧エアを供給した後に、第一バルブおよび第二のバルブを共にＯＦＦとしてエアの流通を遮断する制御が考えられる。しかしながら、このような制御をしても第一バルブの動作精度や応答性の関係から吸着ノズル内に残圧が生じる。また、エア通路にシール性が確保されていることから、吸着ノズル内の残圧が低減して大気圧と等しくなるまでにある程度の時間を要するものと考えられる。
【００４６】
これに対して、本実施形態の装着ヘッド２０は、バルブ装置４０の動作により共通エア通路３４に大気圧エア通路３３が連通されると、吸着ノズル５０のノズル内エア通路５１が大気に開放される。これにより、吸着ノズル５０は、その先端からエアを吸引も噴出もしない状態となる。即ち、装着ヘッド２０は、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通することにより、ノズル内エア通路５１の残圧を速やかに低減できる。このように、装着ヘッド２０は、バルブ装置４０の動作により吸着ノズル５０内の空気圧を適宜切り換えることにより、装着処理における細やかな制御を可能としている。
【００４７】
１−４．装着ヘッド２０を用いた装着処理
１−４−１．装着処理における装着ヘッド２０の動作
部品装着機１により実行される装着処理における装着ヘッド２０の動作について、図５を参照して説明する。ここで、部品装着機１の制御装置１６は、装着処理において、部品を保持した吸着ノズル５０を基板９０の所定位置の上方へと移動させた後に、吸着ノズル５０の下降を開始する（図５のＴ１）。これにより、吸着ノズル５０は、ツール軸２４と一体的に下降する。
【００４８】
吸着ノズル５０がある程度下降すると、部品が基板９０に接触する（図５のＴ２）。ここで、「部品が基板に接触」とは、部品の下面が基板９０の上面の高さに達して両者が接触し得る状態であり、例えば基板９０の上面にクリームはんだなどの接合材が塗布されている場合には当該接合材が部品と基板９０との間に介在している状態を含む。制御装置１６は、部品が基板９０に接触した後に、ツール軸２４の軸内スプリング２４１の弾性力に抗してさらにツール軸２４を所定高さまで下降させて停止させる（図５のＴ３）。
【００４９】
図５のＴ２−Ｔ３の期間において、吸着ノズル５０は、下降せず、軸内スプリング２４１の圧縮量に応じた付勢力をもって、部品を基板９０側へと押し付ける。制御装置１６は、この状態をある程度維持した後に、ツール軸２４の上昇を開始する（図５のＴ４）。ツール軸２４がある程度上昇すると、吸着ノズル５０がツール軸２４に対する下端位置に達して部品から離間する（図５のＴ５）。その後に、吸着ノズル５０は、ツール軸２４と一体的に上昇し、ロータリヘッド２３の上昇端に達する（図５のＴ６）。
【００５０】
制御装置１６は、図５のＴ５以降に、他の吸着ノズル５０により保持されている部品を基板９０の所定位置に装着すべく装着ヘッド２０を移動させる。これに伴い、上記のように部品の装着を終了した吸着ノズル５０は、ロータリヘッド２３のＲ軸周りの回転および装着ヘッド２０の移動により、水平方向（ＸＹ方向）へと移動される。本実施形態において、装着を終了した吸着ノズル５０は、ロータリヘッド２３の上昇端に達した後に水平移動を開始するものとする（図５のＴ７）。
【００５１】
ここで、装着処理の対象となる部品には、基板に接触する面積が小さい極小部品が含まれる。さらに、基板製品や極小部品の仕様によっては、基板に塗布される接合材のタック力が小さいことがある。このような極小部品が基板に装着する場合に、極小部品を基板に押し付けた状態で吸着ノズル内に残圧が生じていると、極小部品から吸着ノズルが離間する際にエアが噴出して極小部品が位置ずれを生じるおそれがある。
【００５２】
また、ロータリヘッド２３に設けられたバルブが吸着用の負圧エアと、真空破壊用の正圧エアとを切り換えるバルブである場合には、同一のピックアンドプレースサイクルにおいて装着を終了した吸着ノズルからは正圧エアが噴出した状態が維持される。そうすると、部品を吸着ノズルに連動して水平移動する吸着ノズルから噴出された正圧エアが基板に既に装着された極小部品に影響するおそれがある。
【００５３】
装着ヘッド２０には、装着処理の精度向上のために多様な動作（吸着ノズル５０に正圧エアや負圧エアを供給するなどの動作）に対応しつつ、極小部品のような部品には正圧エアの影響が及ばないように細やかな制御を可能とすることが求められる。そこで、本実施形態において、装着ヘッド２０は、上記のような構成からなるバルブ装置４０を備え、以下のような複数の制御態様に示す装着処理の実行を可能としている。
【００５４】
１−４−２．装着処理の第一制御態様
部品装着機１の制御装置１６は、装着処理において、吸着ノズル５０に吸着された部品が基板９０に接触してから吸着ノズル５０を部品から離間させるまでの第一期間Ｒ１（Ｔ２−Ｔ５）に、共通エア通路３４に正圧エア通路３１を連通させた後に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させて共通エア通路３４を大気圧にするようにバルブ装置４０の動作を制御する。
【００５５】
より具体的には、制御装置１６は、第一期間Ｒ１（Ｔ２−Ｔ５）において、先ず共通エア通路３４に正圧エア通路３１を連通させる。本実施形態において、制御装置１６は、部品が基板９０に接触した後でありツール軸２４が所定高さまで下降する前（図５のＴ２１）に、バルブ装置４０のスプール４１を第一停止位置Ｐ１から第二停止位置Ｐ２へと移動させる。これにより、吸着ノズル５０は、部品を基板９０側に押し付けた状態を維持しつつ、共通エア通路３４を介してノズル内エア通路５１にエアが供給される。そのため、ノズル内エア通路５１は、図５の太実線で示す空気圧線Ｌ１のように、負圧Ｖｎから大気圧Ｖａを越えて正圧Ｖｐ１に達する（図５のＴ３１）。
【００５６】
制御装置１６は、共通エア通路３４が正圧Ｖｐ１に達した後に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させる。つまり、制御装置１６は、バルブ装置４０のスプール４１を第二停止位置Ｐ２から第三停止位置Ｐ３へと移動させる（図５のＴ３１）。これにより、吸着ノズル５０は、部品を基板９０側に押し付けた状態を維持しつつ、共通エア通路３４を介してノズル内エア通路５１を大気に開放される。そのため、ノズル内エア通路５１は、正圧Ｖｐ１から大気圧Ｖａと減圧される。
【００５７】
ここで、吸着ノズル５０と部品は、負圧エアの作用以外にも吸着ノズル５０の先端に付着した異物や両者間を引き合うように作用する静電気などによって離間しづらい状態となることがある。これに対して、上記のような制御態様によると、吸着ノズル５０に保持された部品が基板９０に接触した後に、共通エア通路３４が正圧Ｖｐ１に達するまで正圧エアが供給されるので、部品と吸着ノズル５０が離間しやすい状態とすることができる。
【００５８】
さらに、その後に共通エア通路３４を大気圧Ｖａとすることによって、共通エア通路３４の残圧を確実に開放することができる。これにより、その後にツール軸２４と吸着ノズル５０が一体的に上昇して吸着ノズル５０が部品（特に、極小部品）から離間する際に、吸着ノズル５０内は既に大気圧Ｖａとなっているので、吸着ノズル５０からエアが噴出することを確実に防止できる。結果として、エアの噴出による極小部品の位置ずれを防止することができる。
【００５９】
また、本実施形態におけるバルブ装置４０では、スプール穴２３１の一端部に大気圧エア通路３３が形成されている。これにより、共通エア通路３４が大気圧エア通路３３に連通された状態において、吸着ノズル５０から大気に開放されるまでのエア通路の長さを短くすることができる。これにより、共通エア通路３４を大気圧エア通路３３に連通した際に、速やかに共通エア通路３４の残圧を開放して吸着ノズル５０内を大気圧Ｖａとすることができる。
【００６０】
１−４−３．装着処理の第二制御態様
部品装着機１の制御装置１６は、第一期間Ｒ１（Ｔ２−Ｔ５）において、第一制御態様と同様に、先ず共通エア通路３４に正圧エア通路３１を連通させる。これにより、ノズル内エア通路５１は、図５の太破線で示す空気圧線Ｌ２のように、負圧Ｖｎから大気圧Ｖａを越えて正圧の所定値（以下、「正圧Ｖｐ２」と称する）に達する（図５のＴ３２）。なお、図５は、空気圧線Ｌ２を視認しやすくするため、第一制御態様の空気圧線Ｌ１と重複する部分をずらして示している。本実施形態において、正圧Ｖｐ２は、エア供給回路３０においてレギュレータバルブ３６により減圧された規定圧力に相当する。
【００６１】
次に、制御装置１６は、共通エア通路３４が正圧Ｖｐ２に達した状態を一定期間Ｒｃ（Ｔ３２−Ｔ３３）維持する。続いて、制御装置１６は、その後に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させて共通エア通路３４を大気圧Ｖａにする。上記のような制御態様によると、吸着ノズル５０に保持された部品が基板９０に接触した後に、共通エア通路３４が所定の正圧Ｖｐ２に達した状態を一定期間Ｒｃ維持されるので、部品と吸着ノズル５０がより離間しやすい状態とすることができる。
【００６２】
さらに、その後に共通エア通路３４を大気圧Ｖａとすることによって、共通エア通路３４およびノズル内エア通路５１の残圧を速やかに開放することができる。これにより、吸着ノズル５０が部品（特に、極小部品）から離間する際に、吸着ノズル５０からエアが噴出することを防止して、極小部品の位置ずれを防止することができる。
【００６３】
１−４−４．装着処理の第三制御態様
上記の第一、第二制御態様は、吸着ノズル５０が部品から離間する際のエアの噴出等を防止することから、装着する部品が極小部品である場合に特に有用である。これに対して、極小部品が既に基板９０に装着されており、且つ装着対象の極小部品以外の部品については吸着ノズル５０と離間する際に正圧エアを加えて確実に吸着ノズル５０から開放させることが要求されることがある。
【００６４】
そこで、第三制御態様では、部品装着機１の制御装置１６は、装着処理において、先ず吸着ノズル５０に吸着された部品が基板９０に接触してから吸着ノズル５０が部品から離間するまでの第一期間Ｒ１（Ｔ２−Ｔ５）に、共通エア通路３４に正圧エア通路３１を連通させる。本実施形態において、制御装置１６は、ツール軸２４が所定高さまで下降させて停止された後（図５のＴ３１）に、バルブ装置４０のスプール４１を第一停止位置Ｐ１から第二停止位置Ｐ２へと移動させる。
【００６５】
これにより、吸着ノズル５０は、部品を基板９０側に押し付けた状態を維持しつつ、共通エア通路３４を介してノズル内エア通路５１にエアが供給される。そのため、ノズル内エア通路５１は、図５の一点鎖線で示す空気圧線Ｌ３のように、負圧Ｖｎから大気圧Ｖａを越えて正圧Ｖｐ２に達する（図５のＴ３４）。さらに、制御装置１６は、吸着ノズル５０を部品から離間させてから水平方向に移動させるまでの第二期間Ｒ２（Ｔ５−Ｔ７）に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させて共通エア通路３４を大気圧にする。なお、図５は、空気圧線Ｌ３を視認しやすくするため、第一制御態様の空気圧線Ｌ１と重複する部分をずらして示している。
【００６６】
本実施形態において、制御装置１６は、ツール軸２４と吸着ノズル５０が一体的に上昇し始めた後（図５のＴ５１）に、バルブ装置４０のスプール４１を第二停止位置Ｐ２から第三停止位置Ｐ３へと移動させる。これにより、吸着ノズル５０は、部品から離間する際にエアを噴出して部品を確実に開放し、その後に正圧エアの供給を遮断されるとともに共通エア通路３４を介してノズル内エア通路５１を大気に開放される。そのため、ノズル内エア通路５１は、正圧Ｖｐ２から大気圧Ｖａと減圧される。
【００６７】
このような構成によると、第一期間Ｒ１においては共通エア通路３４に正圧エアが供給された状態となるので、吸着ノズル５０から部品が確実に開放される。これにより、吸着ノズル５０の先端に部品が付着して、基板９０に部品が適正に装着されない装着不良となることを防止できる。さらに、その後の第二期間Ｒ２においては共通エア通路３４が大気圧Ｖａとされるので、吸着ノズル５０からエアが噴出することを確実に防止できる。結果として、吸着ノズル５０が水平方向に移動した場合に、既に装着済みの極小部品の位置ずれを防止することができる。
【００６８】
１−４−５．装着処理の制御態様について
部品装着機１の制御装置１６は、上記のような装着処理の制御態様を適宜実行する。また、制御装置１６は、装着対象の部品の種別や部品の装着位置などに応じて複数の制御態様を切り換えて実行してもよい。部品の種別ごとに実行する装着処理の制御態様が装着条件として予め設定されると、例えば部品が極小部品である場合に、極小部品から吸着ノズル５０が離間する際の影響を低減することが可能な第一制御態様や第二制御態様により装着処理が実行される。一方で、極小部品よりも大きな部品等の場合には、吸着ノズル５０と部品の開放を優先した第三制御態様や通常の制御態様により装着処理が実行される。
【００６９】
また、装着対象の部品が同一であっても、部品の装着位置によってはその周辺に極小部品が既に装着されていることがある。そこで、部品の装着位置ごとに装着処理の制御態様が装着条件として予め設定されると、例えば既に極小部品が装着されたエリア内の装着位置に装着対象の部品が装着される場合に、吸着ノズル５０が部品から離間した後に周辺の極小部品への影響を低減することが可能な第一制御態様や第二制御態様により装着処理が実行される。
【００７０】
一方で、極小部品より大きな部品のみが装着されるなど吸着ノズル５０から噴出されるエアの影響を受けにくいエリア内の装着位置に部品が装着される場合には、吸着ノズル５０と部品の開放を優先した第三制御態様や通常の制御態様により装着処理が実行される。さらに、装着位置が含まれるエリアと異なるエリアであって装着後の水平移動で吸着ノズル５０が通過するエリアに極小部品が含まれることがある。このような場合には、遅くともそのエリアを通過するまでにノズル内エア通路５１が大気に開放されるようにバルブ装置４０の動作が制御される。
【００７１】
また、制御装置１６は、部品の種別や装着位置に加えて、各種条件に応じて装着処理の制御態様を適宜切り換えるようにしてもよい。上記の各種条件には、例えば装着環境や部品の装着に用いられる接合材の種別などが含まれ得る。装着対象の部品が極小部品であっても接合材の種別によってはタック力が十分に大きいことがあり、このような場合には吸着ノズル５０と部品の開放を優先した第三制御態様や通常の制御態様が選択され得る。また、制御装置１６は、部品の種別や装着位置、各種条件を複合的に勘案して各種の制御態様を切り換えるようにしてもよい。
【００７２】
本実施形態において、装着処理の各種の制御態様におけるバルブ装置４０を動作させるタイミングは、上記のように例示して説明した。これに対して、第一制御態様および第二制御態様において、バルブ装置４０の動作により共通エア通路３４に負圧エアから正圧エアに切り換えて供給するタイミング、および正圧エアから大気圧エアに切り換えて開放するタイミングは、上記の第一期間Ｒ１（Ｔ２−Ｔ５）内であれば適宜設定することができる。
【００７３】
同様に、第三制御態様において、バルブ装置４０の動作により共通エア通路３４に負圧エアから正圧エアに切り換えて供給するタイミングは、上記の第一期間Ｒ１（Ｔ２−Ｔ５）内であれば適宜設定することができる。さらに、第三制御態様において、バルブ装置４０の動作により共通エア通路３４を正圧エアから大気圧エアに切り換えて開放するタイミングは、上記の第二期間Ｒ２（Ｔ５−Ｔ７）内であれば適宜設定することができる。
【００７４】
なお、上記のバルブ装置４０の動作のタイミングは、装着対象の部品の種別や部品の装着位置に応じて切り換えられるように、装着条件として予め適宜設定されてもよい。このとき、バルブ装置４０の各動作について、部品と基板９０の接触を検出したこと、共通エア通路３４やノズル内エア通路５１の空気圧が所定値に達したこと、吸着ノズル５０と部品の離間を検出したこと、吸着ノズル５０が所定の高さに達したことなどをトリガーとして、これらから設定された時間を経過した後にバルブ装置４０が所定の動作をするように設定され得る。
【００７５】
ここで、実施形態において例示した装着処理の第一制御態様では、制御装置１６は、吸着ノズル５０を下降させて部品が基板９０に接触した後に吸着ノズル５０に正圧エアを供給して、共通エア通路３４およびノズル内エア通路５１が所定値である正圧Ｖｐ１に達するように制御した。これに対して、制御装置１６は、部品の種別や装着位置、各種条件によっては、部品が基板９０に接触した後に吸着ノズル５０に正圧エアを供給した場合に、共通エア通路３４およびノズル内エア通路５１が大気圧Ｖａを越える前に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させてもよい。
【００７６】
これにより、ノズル内エア通路５１は、先ず正圧エアを供給されて加圧されるとともに、その後に大気に開放されて大気圧Ｖａとなる。このような構成によると、吸着ノズル５０内の残圧を開放し、速やかに大気圧Ｖａとすることができる。よって、その後にツール軸２４と吸着ノズル５０が一体的に上昇して吸着ノズル５０が部品（特に、極小部品）から離間する際にエアが噴出されないので、極小部品の位置ずれを防止することができる。
【００７７】
２．実施形態の変形態様
２−１．バルブ装置４０の構成および制御態様について
実施形態におけるバルブ装置４０は、バルブボディ２３に対してスプール４１を一方向（下方から上方に向かう方向）に移動させて３つの停止位置（Ｐ１−Ｐ３）に順次位置決めした場合に、共通エア通路３４に対して、負圧エア通路３２、正圧エア通路３１、および大気圧エア通路３３の順で連通させる。これに対して、スプール４１を一方向に移動させた場合に、共通エア通路３４に連通させるエア通路の順は、種々の態様を採用し得る。
【００７８】
また、大気圧エア通路３３は、負圧エア通路３２や正圧エア通路３１と異なりエア供給源（８１，８２）と連通される必要がない。そのため、バルブ装置４０は、例えば４位置のメカバルブとし、４位置のうち２位置で共通エア通路３４が大気に開放されるように構成されてもよい。このような構成により、バルブ装置４０は、例えば共通エア通路３４に負圧エア通路３２を連通させた状態から、スプール４１の移動によって正圧エア通路３１の連通を介することなく共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通可能としてもよい。
【００７９】
上記のようなバルブ装置４０を用いた装着処理の制御態様として、部品装着機１の制御装置１６は、装着処理において、例えば吸着ノズル５０に吸着された部品が基板９０に接触してから吸着ノズル５０を部品から離間させるまでの第一期間Ｒ１に、共通エア通路３４に大気圧エア通路３３を連通させて共通エア通路３４を大気圧Ｖａにする。このとき、ノズル内エア通路５１は、図５の二点鎖線で示す空気圧線Ｌ４のように、負圧Ｖｎから大気圧Ｖａとなる。なお、図５は、空気圧線Ｌ４を視認しやすくするため、第一制御態様の空気圧線Ｌ１と重複する部分をずらして示している。
【００８０】
このような構成によると、吸着ノズル５０に保持された部品が基板９０に接触した後に、共通エア通路３４を大気圧Ｖａとすることによって共通エア通路３４およびノズル内エア通路５１の残圧を開放することができる。さらに、共通エア通路３４を大気圧Ｖａとすることにより、吸着ノズル５０が部品から離間した際に、吸着ノズル５０からエアが噴出等することを確実に防止できる。結果として、エアの噴出による極小部品の位置ずれを防止することができる。なお、上記のようなバルブ装置４０の構成においても実施形態にて例示した態様と同様に、装着対象の部品の種別や装着位置、各種条件に応じて制御態様を切り換えることが可能であり、またバルブ装置４０を動作させるタイミングや空気圧についても同様に適宜設定することが可能である。
【００８１】
２−２．バルブ装置４０のその他の構成について
また、実施形態において、バルブ装置４０は、３位置のメカバルブであり、単体で共通エア通路３４に３種類のエア通路（３１，３２，３３）を切り換え可能とした。このような構成によると、１つのスプール４１の停止位置（Ｐ１−Ｐ３）によってバルブ装置４０の動作を制御できる。また、バルブ装置４０全体として小型化を図ることができるので、３種類の空気圧を切り換え可能な装着ヘッド２０として装置の大型化を抑制できる。
【００８２】
これに対して、バルブ装置は、複数のバルブを組み合わせて構成されてもよい。具体的には、バルブ装置は、共通エア通路３４と正圧エア通路３１の連通状態（ＯＮ）と遮断状態（ＯＦＦ）とを切り換え可能な第一バルブ、および共通エア通路３４と負圧エア通路３２の連通状態（ＯＮ）と大気圧エア通路３３の連通状態（ＯＦＦ）を切り換える第二バルブを備える構成としてもよい。
【００８３】
上記のようなバルブ装置は、第一バルブをＯＦＦにするとともに第二バルブをＯＮにして、共通エア通路３４を介して吸着ノズル５０に負圧エアを供給する。また、バルブ装置は、第一バルブをＯＦＦに維持して第二バルブをＯＦＦにして、共通エア通路３４および吸着ノズル５０を大気に開放する。さらに、バルブ装置は、第二バルブをＯＦＦに維持して第一バルブをＯＮにして、共通エア通路３４を介して吸着ノズル５０に正圧エアを供給する。このとき、第二バルブを介して大気圧エア通路３３に正圧エアが流通するが、吸着ノズル５０には正圧エアが供給されるため真空破壊として十分に機能する。
【００８４】
また、実施形態において、バルブ装置４０は、装着ヘッド２０のロータリヘッド２３をバルブボディ２３として構成した。これに対して、バルブ装置４０は、バルブボディの一部または全部をロータリヘッド２３とは別に設けられてもよい。このような構成においても実施形態と同様の効果を奏する。但し、共通エア通路３４およびノズル内エア通路５１の残圧を速やかに開放する観点からは、これらのエア通路（３４，５１）の長さが短くして容積を小さくした方が有利であるため、実施形態において例示した態様が好適である。
【符号の説明】
【００８５】
１：部品装着機、  １６：制御装置、  ２０：装着ヘッド、  ２３：ロータリヘッド（バルブボディ）、  ２３１：スプール穴、  ３０：エア供給回路、  ３１：正圧エア通路、  ３２：負圧エア通路、  ３３：大気圧エア通路、  ３４：共通エア通路、  ３４１：本管、  ３４２：第一枝管、  ３４３：第二枝管、  ４０：バルブ装置、  ４１：スプール、  ５０：吸着ノズル、  ５１：ノズル内エア通路、  ８１：正圧エア供給源、  ８２：負圧エア供給源、  ９０：基板（回路基板）、  Ｐ１−Ｐ３：（スプールの）停止位置、  Ｒ１：第一期間、  Ｒｃ：一定期間、  Ｒ２：第二期間、  Ｖｎ：負圧、  Ｖａ：大気圧、  Ｖｐ１，Ｖｐ２：正圧、  Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４：空気圧線
【図１】
2019026160.tif 000003
【図２】
2019026160.tif 000004
【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
2019026160.tif 000009
【国際調査報告】
2019026160.tif 000010
2019026160.tif 000011
2019026160.tif 000012
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