(57)【要約】  本発明は、コアと、前記コアの周囲に配された、前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを有するポリマー光導波路であって、前記ポリマー光導波路は、前記ポリマー光導波路の光の伝搬方向に沿って、前記クラッドの少なくとも一部が存在しない前記コアの結合部と、前記結合部のコアに接触するように設けた塗布型の除去膜Ａとを有するポリマー光導波路に関する。
2019035466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアと、前記コアの周囲に配された、前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを有するポリマー光導波路であって、
前記ポリマー光導波路は、前記ポリマー光導波路の光の伝搬方向に沿って、前記クラッドの少なくとも一部が存在しない前記コアの結合部と、
前記結合部のコアに接触するように設けた塗布型の除去膜Ａと
を有するポリマー光導波路。
【請求項２】
フェルール結合部を有し、前記フェルール結合部に塗布型の除去膜Ｂを有する、請求項１に記載のポリマー光導波路。
【請求項３】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは膜厚が１μｍ〜５００μｍである、請求項１または２に記載のポリマー光導波路。
【請求項４】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、膜厚が１００μｍであるときの３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過率が３０％以上である、請求項３に記載のポリマー光導波路。
【請求項５】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂと前記ポリマー光導波路との剥離力は０．１Ｎ／２５ｍｍ〜２．５Ｎ／２５ｍｍである、請求項１〜４のいずれか一項に記載のポリマー光導波路。
【請求項６】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂはピールタブを有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のポリマー光導波路。
【請求項７】
前記ピールタブの硬度は、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂの硬度より高い、請求項６に記載のポリマー光導波路。
【請求項８】
前記ピールタブと前記ポリマー光導波路との間に保護部を有する、請求項６または７に記載のポリマー光導波路。
【請求項９】
前記保護部と前記ポリマー光導波路との剥離力は、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂと前記ポリマー光導波路との剥離力より低い、請求項８に記載のポリマー光導波路。
【請求項１０】
前記保護部は、ＵＶ照射により前記ポリマー光導波路との接着強度が低下する材料で形成される、請求項９に記載のポリマー光導波路。
【請求項１１】
前記除去膜Ａおよび前記除去膜Ｂを包含する除去膜Ｃを有しており、該除去膜Ｃにおいて、前記除去膜Ａおよび前記除去膜Ｂの間に割断溝を有する、請求項２〜１０のいずれか一項に記載のポリマー光導波路。
【請求項１２】
前記ポリマー光導波路と前記除去膜Ｃとの間に、保護部およびピールタブがこの順に配された部位が存在し、前記割断溝は、前記除去膜Ｃおよび前記ピールタブを貫通し、前記保護部に達している、請求項１１に記載のポリマー光導波路。
【請求項１３】
本発明のポリマー光導波路において、前記保護部の割断溝の深さは、前記保護部の厚さの１０〜５０％である、請求項１２に記載のポリマー光導波路。
【請求項１４】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、シリコーン化合物を含有しない樹脂組成物からなる、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のポリマー光導波路。
【請求項１５】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、開環重合する化合物および／またはその重合物を含む樹脂組成物からなる、請求項１４に記載のポリマー光導波路。
【請求項１６】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、環状アセタールおよび／またはその重合物を含む樹脂組成物からなる、請求項１５に記載のポリマー光導波路。
【請求項１７】
前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、１，３−ジオキソランおよび／またはその重合物を含む樹脂組成物からなる、請求項１６に記載のポリマー光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリマー光導波路に関する。より具体的には、シリコン光導波路とのアディアバティック結合に用いるポリマー光導波路に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン光導波路とポリマー光導波路とを、低損失かつ低コストで接続する、シリコンフォトニクスインターフェースが提案されている（非特許文献１および２、特許文献１参照）。【０００３】
図１６は、このようなシリコンフォトニクスインターフェースの一構成例を示した斜視図であり、図１７はその側面図である。
図１６に示すシリコンフォトニクスインターフェース１００では、シリコン光導波路２００と、ポリマー光導波路３００の一端側とがアディアバティック結合されている。
ポリマー光導波路３００の他端側は、ポリマー光導波路３００を光ファイバ等と接続するため、フェルール４００に収容されている。【０００４】
図１６に示すポリマー光導波路３００には、光導波路をなすコア３１０が複数設けられている。図１７に示すポリマー光導波路３００のうち、シリコン光導波路２００との結合部位（アディアバティック結合部位）には、コア３１０が露出したコア露出部が設けられている。【０００５】
図１８は、図１６および１７のシリコンフォトニクスインターフェース１００のアディアバティック結合部位における横断面図である。
アディアバティック結合部位では、シリコン光導波路２００のコア２１０と、ポリマー光導波路３００のコア３１０と、が対向して配置されている。シリコン光導波路２００のうち、コア２１０以外の部位がクラッド２２０である。一方、ポリマー光導波路３００のうち、コア３１０以外の部位がクラッド３２０である。
アディアバティック結合部位では、ポリマー光導波路３００において、シリコン光導波路２００のコア２１０と対向する部位にクラッドが設けられておらず、コア３１０が露出している。【０００６】
シリコン光導波路２００のコア２１０と、ポリマー光導波路３００のコア３１０と、が適切な位置関係になるように配置させるため、シリコン光導波路２００には位置決め用凹部２３０、ポリマー光導波路３００には位置決め用凸部３３０がそれぞれ設けられている。【０００７】
一方、ポリマー光導波路３００のうち、フェルール４００に収容された部位には、フェルール４００内における位置決めのための構造が設けられている。
図１９は、フェルール４００の一構成例を示した図である。
図１９に示すフェルール４００は、下部材４１０と、上部材４２０とで構成されている。下部材４１０は、ポリマー光導波路３００を収容し固定するための凹部４３０が設けられている。この凹部４３０の底面には、ポリマー光導波路３００の位置決めのための突条４４０が設けられている。
また、下部材４１０には、他のフェルール(図示せず）と接続する際にピンなどの固定部材を挿通するための開口部４５０が形成されている。【０００８】
図２０は、図１９に示すフェルール４００およびポリマー光導波路３００の横断面図である。下部材４１０の凹部４３０の底面には、ポリマー光導波路３００の位置決めのための突条４４０ａおよび４４０ｂが設けられている。
一方、ポリマー光導波路３００の底面には、下部材４１０との位置決めのための突条３４０および３５０が設けられている。
図２０に示すように、突条４４０ａと、突条３４０とが当接し、突条４４０ｂと、突条３５０とが当接することにより、フェルール内４００において、ポリマー光導波路３００が適切な位置関係になるように位置決めされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許第８，７２４，９３７号明細書
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】Ｊｉｅ  Ｓｈｕ，  Ｃｉｙｕａｎ  Ｑｉｕ，Ｘｕｅｚｈｉ  Ｚｈａｎｇ，ａｎｄ  Ｑｉａｎｆａｎ  Ｘｕ，“Ｅｆｆｉｃｉｅｎｔ  ｃｏｕｐｌｅｒ  ｂｅｔｗｅｅｎ  ｃｈｉｐ−ｌｅｖｅｌ  ａｎｄ  ｂｏａｒｄ−ｌｅｖｅｌ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓ”，  ＯＰＴＩＣＳ  ＬＥＴＴＥＲＳ，  Ｖｏｌ．３６，  Ｎｏ．１８，ｐｐ３６１４−３６１６（２０１１）
【非特許文献２】Ｔｙｍｏｎ  Ｂａｒｗｉｃｓ，ａｎｄ  Ｙｏｉｃｈｉ  Ｔａｉｒａ，“Ｌｏｗ−Ｃｏｓｔ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｉｎｇ  ｏｆ  Ｆｉｂｅｒｓ  ｔｏ  Ｎａｎｏｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓ：  Ｄｅｓｉｇｎ  ｆｏｒ  Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ  Ｔｏｌｅｒａｎｅｓ”，  ＩＥＥＥ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｊｏｕｒｎａｌ，  Ｖｏｌ．６，  Ｎｏ．４，Ａｕｇｕｓｔ、６６０８１８（２０１４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図１６に示すシリコンフォトニクスインターフェース１００において、各構成要素、すなわち、シリコン光導波路２００、ポリマー光導波路３００、およびフェルール４００自体がそれら単体では良好な状態であっても、それらを組み合わせてシリコンフォトニクスインターフェースとした際に接続不良が生じる場合があることが明らかになった。具体的には、シリコン光導波路２００と、ポリマー光導波路３００とのアディアバティック結合部位で位置ズレが生じたり、アディアバティック結合部位で伝達損失が生じるといった接続不良が生じる場合がある。
本願発明者らは、鋭意検討した結果、ポリマー光導波路に何らかの原因で付着した異物が、上記の接続不良が生じる原因であることを見出した。具体的には、ポリマー光導波路３００のコア露出部３３０に付着した異物により、シリコン光導波路２００とのアディアバティック結合部位で位置ズレが生じたり、伝達損失が生じるといった接続不良が生じる。
本願発明は、上記の問題点を解決するため、他の要素との接続不良を解消できるポリマー光導波路の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記した目的を達成するため、本願発明は、コアと、前記コアの周囲に配された、前記コアよりも屈折率が低いクラッドとを有するポリマー光導波路であって、
前記ポリマー光導波路は、前記ポリマー光導波路の光の伝搬方向に沿って、前記クラッドの少なくとも一部が存在しないコアの結合部と、前記結合部のコアに接触するように設けた塗布型の除去膜Ａとを有するポリマー光導波路を提供する。【００１３】
本発明のポリマー光導波路は、フェルール結合部を有し、前記フェルール結合部に塗布型の除去膜Ｂを有することが好ましい。【００１４】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは膜厚が１μｍ〜５００μｍであることが好ましい。【００１５】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、膜厚が１００μｍであるときの３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過率が３０％以上であることが好ましい。【００１６】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂと前記ポリマー光導波路との剥離力は０．１Ｎ／２５ｍｍ〜２．５Ｎ／２５ｍｍであることが好ましい。【００１７】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂはピールタブを有することが好ましい。【００１８】
本発明のポリマー光導波路において、前記ピールタブの硬度は、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂの硬度より高いことが好ましい。【００１９】
本発明のポリマー光導波路において、前記ピールタブと前記ポリマー光導波路との間に保護部を有することが好ましい。【００２０】
本発明のポリマー光導波路において、前記保護部と前記ポリマー光導波路との剥離力は、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂと前記ポリマー光導波路との剥離力より低いことが好ましい。【００２１】
本発明のポリマー光導波路において、前記保護部は、ＵＶ照射により前記ポリマー光導波路との接着強度が低下する材料で形成されることが好ましい。【００２２】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび前記除去膜Ｂを包含する除去膜Ｃを有しており、該除去膜Ｃにおいて、前記除去膜Ａおよび前記除去膜Ｂの間に割断溝を有することが好ましい。【００２３】
本発明のポリマー光導波路において、前記ポリマー光導波路と、前記除去膜Ｃと、の間に、保護部、およびピールタブがこの順に配された部位が存在し、前記割断溝は、前記除去膜Ｃおよび前記ピールタブを貫通し、前記保護部に達していることが好ましい。【００２４】
本発明のポリマー光導波路において、前記保護部の割断溝の深さは、前記保護部の厚さの１０〜５０％であることが好ましい。【００２５】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、シリコーン化合物を含有しない樹脂組成物からなることが好ましい。【００２６】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、開環重合する化合物および／またはその重合物を含む樹脂組成物からなることが好ましい。【００２７】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、環状アセタールおよび／またはその重合物を含む樹脂組成物からなることが好ましい。【００２８】
本発明のポリマー光導波路において、前記除去膜Ａおよび／または前記除去膜Ｂは、１，３−ジオキソランおよび／またはその重合物を含む樹脂組成物からなることが好ましい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のポリマー光導波路によれば、他の要素との接続部位に異物が付着するのを防止できる。そのため、異物の付着による他の要素との接続不良を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１は、本発明のポリマー光導波路の一構成例を示した斜視図である。
【図２】図２は、図１のポリマー光導波路の側面図である。
【図３】図３は、図１のポリマー光導波路の使用形態を示した斜視図である。
【図４】図４は、図１のポリマー光導波路の使用形態を示した斜視図である。
【図５】図５は、本発明のポリマー光導波路の別の一構成例を示した平面図である。
【図６】図６は、図５のポリマー光導波路の側面図である。
【図７】図７は、本発明のポリマー光導波路のさらに別の一構成例を示した平面図である。
【図８】図８は、図７のポリマー光導波路の側面図である。
【図９】図９は、本発明のポリマー光導波路のさらに別の一構成例を示した平面図である。
【図１０】図１０は、図９のポリマー光導波路の側面図である。
【図１１】図１１は、図１０のポリマー光導波路の使用形態を示した側面図である。
【図１２】図１２は、図１０のポリマー光導波路の使用形態を示した側面図である。
【図１３】図１３は、本発明のポリマー光導波路のさらに別の一構成例を示した斜視図である。
【図１４】図１４は、図１３のポリマー光導波路の使用形態を示した側面図である。
【図１５】図１５は、図１３のポリマー光導波路の使用形態を示した側面図である。
【図１６】図１６は、シリコンフォトニクスインターフェースの一構成例を示した斜視図である。
【図１７】図１７は、図１６のシリコンフォトニクスインターフェースの側面図である。
【図１８】図１８は、図１６および１７に示すシリコンフォトニクスインターフェースにおいて、シリコン光導波路２００と、ポリマー光導波路３００と、のアディアバティック結合部位を示した断面図である。
【図１９】図１９は、図１６および１７に示すシリコンフォトニクスインターフェースにおけるフェルール４００の一構成例を示した斜視図である。
【図２０】図２０は、図１６および１７に示すシリコンフォトニクスインターフェースにおいて、ポリマー光導波路３００と、フェルール４００との接続部位を示した断面図である。
【図２１】図２１は、例１について、除去膜の膜厚と、波長３８０〜７８０ｎｍ可視光透過率との関係を示したグラフである。
【図２２】図２２は、例９について、除去膜の膜厚と、波長３８０〜７８０ｎｍ可視光透過率との関係を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明を説明する。
図１は、本発明のポリマー光導波路の一構成例を示した斜視図であり、図２はその側面図である。
図１および２に示すポリマー光導波路１０ａは、ポリマー光導波路本体２０を有する。ポリマー光導波路本体２０は、コア（図示せず）と、該コアの周囲に配され、該コアよりも屈折率が低いクラッド（図示せず）とを有する。ポリマー光導波路本体２０は、その一端側にコアの結合部（以下、コア結合部と記載する）２１を有する。コア結合部２１は、該ポリマー光導波路本体２０の光の伝播方向に沿って、クラッドの少なくとも一部が存在せず、該ポリマー光導波路本体２０のコアとシリコン光導波路のコアとのアディアバティック結合に使用される。ポリマー光導波路本体２０のうち、コア結合部２１は除去膜Ａ３０を有する。すなわち、図１および２に示すポリマー光導波路１０ａは、ポリマー光導波路本体２０のうち、コア結合部２１のコアに接触するように設けた除去膜Ａ３０を有する。
【００３２】
図１および２に示すポリマー光導波路１０ａは、除去膜Ａ３０を有することにより、コア結合部２１に異物が付着するのを防止できる。除去膜Ａ３０を、後述する樹脂組成物から形成されるものとすれば、コア結合部２１に対する密着性が高いため、コア結合部２１に強固に付着した異物が存在する場合でも、除去膜Ａ３０を剥離することにより、コア結合部２１に強固に付着した異物を除去できる。
【００３３】
図３および４は、図１のポリマー光導波路１０ａの使用形態を示した斜視図である。図３および４に示すように、図１のポリマー光導波路１０ａの使用時に、コア結合部２１から除去膜Ａ３０を剥離する。除去膜Ａ３０をポリマー光導波路本体２０から剥離する方法としては、除去膜Ａ３０の端部をピンセットなどで保持して引っ張り除去膜Ａ３０をポリマー光導波路本体２０から剥がす方法、除去膜Ａ３０の表面に粘着テープを張り付けて該粘着テープを引っ張ることで除去膜Ａ３０をポリマー光導波路本体２０から剥がす方法、等がある。
コア結合部２１のコアとシリコン光導波路のコアとをアディアバティック結合する前工程で除去膜Ａ３０を剥離することによりコア結合部２１のコアは異物を除去した状態でシリコン光導波路のコアとアディアバティック結合できる。これにより、コア結合部２１に付着した異物による位置ズレや伝達損失といった、アディアバティック結合部位での接続不良が解消される。
なお、光ファイバなどと接続する際には、光ファイバと接続するポリマー光導波路の端面を研磨するのが通常行われるが、この研磨時に発生する研磨くずがコア結合部２１に付着することを防止できる。
【００３４】
除去膜Ａ３０の膜厚は特に限定されないが、１μｍ〜５００μｍが好ましい。除去膜Ａ３０の膜厚が１μｍ未満の場合、該除去膜Ａ３０が樹脂組成物から硬化させて得られるものの場合、コア結合部２１の表面に付着した異物を十分に除去できないおそれがある。また、除去膜Ａ３０にピンホールが生じて、コア結合部２１への異物の付着を防止できないおそれがある。また、ポリマー光導波路１０ａを切断する、または端面研磨するときに除去膜Ａ３０が部分的に剥離するおそれもある。研磨除去膜Ａ３０の膜厚が１μｍ未満の場合、剥離時に除去膜Ａ３０が破損し、傷・異物の原因となるおそれがある。また、除去膜Ａ３０の剥離時に作業性に劣る。また、除去膜Ａ３０の膜厚は５μｍ以上がより好ましく、１０μｍ以上がさらに好ましく、１５μｍ以上がさらに好ましく、２０μｍ以上が特に好ましい。
一方、除去膜Ａ３０の膜厚が５００μｍ超の場合、ポリマー光導波路１０ａを個片化する際のダイシング工程時に除去膜Ａ３０が剥離するおそれがある。また、ポリマー光導波路１０ａが変形するおそれがある。除去膜Ａ３０の膜厚は４００μｍ以下がより好ましく、３００μｍがさらに好ましく、２５０μｍ以下がさらに好ましく、２００μｍ以下がさらに好ましく、１５０μｍ以下が特に好ましい。
【００３５】
除去膜Ａ３０は、膜厚が１００μｍであるときの３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過率が３０％以上が好ましい。該透過率が３０％未満であると、除去膜Ａ３０の上からコア結合部２１に存在するコアが見え難くなり、ポリマー光導波路１０ａを個片化する際のダイシングや端面研磨といった加工作業や、シリコン光導波路のコアとアディアバティック結合する際のアライメントといった実装作業が困難となるおそれがある。
【００３６】
除去膜Ａ３０は、ポリマー光導波路本体２０との剥離力が０．１Ｎ／２５ｍｍ〜２．５Ｎ／２５ｍｍが好ましい。該剥離力が０．１Ｎ／２５ｍｍ未満の場合、ポリマー光導波路を個片化する際のダイシング時に除去膜Ａ３０が剥離し、除去膜Ａ３０とポリマー光導波路本体２０との間にダイシングくず等の異物が侵入して結合部２１に付着するおそれがある。
一方、該剥離力が２．５Ｎ／２５ｍｍ超の場合、除去膜Ａ３０の剥離時にポリマー光導波路本体２０が破損するおそれがある。剥離力は０．１Ｎ／２５ｍｍ〜２．３Ｎ／２５ｍｍがより好ましく、０．１Ｎ／２５ｍｍ〜２．０Ｎ／２５ｍｍがさらに好ましく、０．２Ｎ／２５ｍｍ〜１．５Ｎ／２５ｍｍがさらに好ましく、０．４Ｎ／２５ｍｍ〜１．５Ｎ／２５ｍｍが特に好ましい。
【００３７】
除去膜Ａ３０は、塗布型の除去膜である。本願明細書において、塗布型の除去膜とは、ポリマー光導波路本体２０の表面に、樹脂組成物を塗布した後、乾燥や硬化することで膜を形成するものである。塗布型の除去膜によれば、樹脂組成物がポリマー光導波路本体２０の表面凹凸形状に追随した状態で除去膜Ａ３０を形成できる。塗布型の除去膜は、ポリマー光導波路本体２０の表面凹凸形状に追随して密着できるため、ポリマー光導波路本体２０と除去膜Ａ３０との間に異物が侵入する空間が形成されない等の理由により、ポリマー光導波路本体２０の表面への異物の付着が防止できる。除去膜Ａ３０のポリマー光導波路本体２０に対する密着性が高いため、コア結合部２１に強固に付着した異物が存在する場合でも、該除去膜Ａ３０を剥離することにより、コア結合部２１に強固に付着した異物を除去できる。
塗布型の除去膜に用いる樹脂組成物は、シリコーン化合物を含有しないことが好ましい。シリコーン化合物を含有する樹脂組成物を除去膜Ａ３０に使用すると、コア結合部２１にシリコーン化合物が残留し、アディアバティック結合部位において伝搬損失が増加したり、接続不良が生じるおそれがある。
【００３８】
該樹脂組成物は、硬化時の体積収縮率が少ない化合物を含有することが好ましい。硬化時の体積収縮率が大きいと、除去膜Ａ３０の形成時にポリマー光導波路本体２０に反りが生じたり、除去膜Ａ３０にしわが生じるおそれがある。硬化時の体積収縮率が少ない化合物を含有する樹脂組成物であれば、このような問題が生じるおそれがない。硬化時の体積収縮率が少ない化合物の具体例としては、開環重合する化合物および／またはその重合物が挙げられる。開環重合する化合物としては、たとえば、環状アセタールが挙げられる。そのため、樹脂組成物は、環状アセタールおよび／またはその重合物を含むことが好ましい。
中でも、該樹脂組成物が、１，３−ジオキソランおよび／またはその重合物を含むことが、樹脂組成物の塗布後、常温で硬化して除去膜Ａ３０を形成でき、硬化時の体積収縮率が非常に小さいうえ、形成される除去膜Ａ３０が伸縮性を有するため、硬化収縮により多少の応力が発生しても、除去膜Ａ３０の粘弾性により該応力を緩和できる。１，３−ジオキソランおよび／またはその重合物を含む樹脂組成物としては市販品を用いてもよい。
【００３９】
図５は、本発明のポリマー光導波路の別の一構成例を示した平面図であり、図６はその側面図である。図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂは、ポリマー光導波路本体２０を有し、該ポリマー光導波路本体２０の一端側にコア結合部２１を有する点、ポリマー光導波路本体２０のうち、コア結合部２１のコアに接触するように設けた除去膜Ａ３１を有する点、ならびにそれによる作用効果は、図１および２に示すポリマー光導波路１０ａと同様である。
図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂは、ポリマー光導波路本体２０の他端側にフェルール結合部２２を有している。フェルール結合部２２には、図２０に示すポリマー光導波路３００における突条３４０および３５０のようなフェルール内における位置決めのための構造が設けられている。図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂは、該フェルール結合部２２に除去膜Ｂ３２を有している。
【００４０】
図１６に示したシリコンフォトニクスインターフェースにおいて、ポリマー光導波路３００と、フェルール４００との結合部位に何らかの原因で異物が付着すると、フェルール４００内に設けられた位置決め用の構造（突条４４０）との位置ズレが生じるといった接続不良が生じる。
【００４１】
図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂは、除去膜Ｂ３２を有することにより、フェルール結合部２２に異物が付着するのを防止できる。除去膜Ｂ３２を、上述した樹脂組成物を樹脂導波路本体２０上に塗布し硬化させて形成することが、微小な凹凸を有するフェルール結合部２２への表面追従性が良好であるため好ましい。このようにして形成される塗布型の除去膜Ｂ３２は、フェルール結合部２２に対する密着性が高いため、該フェルール結合部２２に強固に付着した異物が存在する場合でも、除去膜Ｂ３２を剥離することにより、該フェルール結合部２２に強固に付着した異物を除去できる。
【００４２】
図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂの使用時においては、フェルール結合部２２から除去膜Ｂ３２を剥離することにより、フェルール結合部２２に異物が存在しない状態でフェルールと結合できる。除去膜Ｂ３２をポリマー光導波路本体２０から剥離する方法としては、除去膜Ｂ３２の端部をピンセットなどで保持して引っ張り除去膜Ｂ３２をポリマー光導波路本体２０から剥がす方法、除去膜Ｂ３２の表面に粘着テープを張り付けて該粘着テープを引っ張ることで除去膜Ｂ３２をポリマー光導波路本体２０から剥がす方法、等がある。
これにより、フェルール内における位置ズレ、例えば、フェルール内におけるポリマー光導波路がななめに固定されることが防止できる。その結果、フェルールを介して光ファイバなどと接続する際に、端面同士の芯合わせがずれることを抑制できる。
【００４３】
除去膜Ｂ３２の膜厚、透過率、剥離力、および、構成材料については、上記除去膜Ａ３０について記載したのと同様である。なお、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂにおいて、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を同一の材料を用いて形成すれば、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を同時に形成することができ、作業性が向上するため好ましい。
【００４４】
図７は、本発明のポリマー光導波路のさらに別の一構成例を示した平面図であり、図８はその側面図である。図７および８に示すポリマー光導波路１０ｃは、ポリマー光導波路本体２０を有し、その一端側にコア結合部２１を有する点、ポリマー光導波路本体２０のうち、コア結合部２１のコアに接触するように設けた除去膜Ａ３１を有する点、他端側にフェルール結合部２２を有し、該フェルール結合部２２に除去膜Ｂ３２を有する点、およびそれらによる作用効果は、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂと同様である。
図７および８に示すポリマー光導波路１０ｃは、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２がピールタブ４０および４１を有している。ピールタブ４０は、ピールタブ（本体）４０ａとピールタブ（シート部）４０ｂで構成される。ピールタブ４１は、ピールタブ（本体）４１ａとピールタブ（シート部）４１ｂで構成される。これらのピールタブ４０および４１は、ポリマー光導波路本体２０の端部にピールタブ（シート部）４０ｂおよび４１ｂを配し、樹脂組成物をポッティングして、ピールタブ（本体）４０ａおよび４１ａを形成する。
【００４５】
図７および８に示すポリマー光導波路１０ｃでは、ピールタブ（本体）４０ａおよび４１ａが除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離の起点となる。ピールタブ（本体）４０ａおよび４１ａを保持して除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を剥離することにより、ポリマー光導波路本体２０に損傷を与えることなく、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を容易に剥離できる。
このため、ピールタブ（本体）４０ａおよび４１ａの硬度は、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の硬度よりも高いことが好ましい。
【００４６】
なお、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離性の観点からは、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２と、ポリマー光導波路本体２０と、が曲げ強度が異なることが好ましい。具体的には、以下に示す関係のいずれかを満たすことが好ましい。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の曲げ強度  ＞  ポリマー光導波路本体２０の曲げ強度
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の曲げ強度  ＜  ポリマー光導波路本体２０の曲げ強度
なお、前者の場合は、ポリマー光導波路本体２０を屈曲させることにより、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を剥離できるため、ピールタブ４０および４１がなくても容易に剥がすことできる。
【００４７】
図９は、本発明のポリマー光導波路のさらに別の一構成例を示した平面図であり、図１０はその側面図である。図９および１０に示すポリマー光導波路１０ｄは、ポリマー光導波路本体２０を有し、その一端側にコア結合部２１を有する点、他端側にフェルール結合部２２を有する点は、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂと同様である。図９および１０に示すポリマー光導波路１０ｄは、コア結合部２１およびフェルール結合部２２を含むポリマー光導波路本体２０の上面全体に除去膜Ｃ３３を有している。除去膜Ｃ３３は、コア結合部２１の除去膜Ａと、フェルール結合部２２の除去膜Ｂを包含し、これらを独立して剥離するため、割断溝６０を有している。割断溝６０の下方には、ピールタブ４２および４３を有し、さらに下方には保護部（保護膜）５０を有することが好ましい。すなわち、割断溝６０を有する部位では、ポリマー光導波路本体２０上に、保護部５０、ピールタブ４２および４３、および、除去膜Ｃ３３をこの順に有することが好ましい。割断溝６０は、ポリマー光導波路本体２０上に、ピールタブ４２および４３、および除去膜Ｃ３３を形成した後、ダイシングなどの方法により形成することが好ましい。ピールタブ４２および４３と、ポリマー光導波路本体２０との間に保護部５０を有することにより、ダイシングの際にポリマー光導波路本体２０に損傷が生じることを防止できる。
【００４８】
また、ピールタブ４２および４３と、ポリマー光導波路本体２０との間に保護部５０を有することにより、除去膜Ｃ３３の剥離時にポリマー光導波路本体２０に損傷が生じることも防止できる。図１１および１２は、図１０のポリマー光導波路１０ｄの使用形態を示した側面図である。具体的には、図１０に示すポリマー光導波路１０ｄから除去膜Ｃ３３を剥離する手順を示した図である。図１１に示すように、ポリマー光導波路本体２０および除去膜Ｃ３３を含めたポリマー光導波路１０ｄ全体を屈曲させて、割断溝６０により、除去膜Ｃ３３を左右に分離させる。次に、図１２に示すように、把持手段１０００により、ピールタブ４３を把持して除去膜Ｃ３３を剥離する。この手順の際に、保護部５０を有することにより、把持手段１０００の接触により、ポリマー光導波路本体２０に損傷が生じることも防止できる。
なお、上記の作用を奏するため、ピールタブ４２および４３と、除去膜Ｃ３３との密着力は、ピールタブ４２および４３と、保護部５０との密着力よりも高いことが好ましい。
【００４９】
図１１および１２では、図中右側の除去膜Ｃ３３をポリマー光導波路本体２０から剥離する手順を示しているが、図中左側の除去膜Ｃ３３をポリマー光導波路本体２０から剥離する段階では、除去膜Ｃ３３とともに保護部５０も樹脂導波路本体２０から剥離する必要がある。このため、保護部５０とポリマー光導波路本体２０との剥離力は、除去膜Ｃ３３と樹脂導波路本体２０との剥離力よりも低いことが好ましい。
但し、図１１および１２に示すように、図中右側の除去膜Ｃ３３をポリマー光導波路本体２０から剥離する段階では、保護部５０とポリマー光導波路本体２０との剥離力が、除去膜Ｃ３３と樹脂導波路本体２０との剥離力よりも低いことは必ずしも必要ではない。
保護部５０を、ＵＶ照射によりポリマー光導波路本体２０との接着強度が低下する材料で形成すれば、図中左側の除去膜Ｃ３３をポリマー光導波路本体２０から剥離する段階で、ＵＶ照射することで、ポリマー光導波路本体２０との接着強度を低下させることができるため好ましい。
なお、保護部５０の構成材料は光硬化性樹脂であることがポリマー光導波路本体２０への損傷防止の観点から好ましい。同様の理由から、保護部５０の構成材料が熱硬化性樹脂の場合、硬化温度が１００℃以下であることが好ましい。
【００５０】
図１０に示すポリマー光導波路１０ｄにおいて、保護部５０およびピールタブ４２および４３は、ポリマー光導波路本体２０上の所定の位置にマスキングテープ等の樹脂テープを貼付することで形成してもよい。この場合、保護部５０をなす樹脂テープを貼付した後、その上にピールタブ４２および４３をなす樹脂テープを貼付する。この状態で、ポリマー光導波路本体２０上に樹脂組成物を塗布し、該樹脂組成物を硬化させて除去膜Ｃ３３を形成した後、除去膜Ｃ３３の所定の位置にダイシング等の方法により割断溝６０を形成する。
【００５１】
図１３は、本発明のポリマー光導波路のさらに別の一構成例を示した斜視図である。図１３に示すポリマー光導波路１０ｅは、ポリマー光導波路本体２０の上面全体に除去膜Ｃ３４が形成されている点、除去膜Ｃ３４に割断溝６１が形成されている点、割断溝６１を有する部位では、ポリマー光導波路本体２０上に、保護部５１、ピールタブ４４、および除去膜Ｃ３４をこの順に有する点は図１０に示すポリマー光導波路１０ｄと同様である。但し、図１３に示すポリマー光導波路１０ｅは割断溝６１の形状が図１０に示すポリマー光導波路１０ｄとは異なりＵ字状である。また、図１３に示すポリマー光導波路１０ｅでは、割断溝６１が、除去膜Ｃ３４、およびピールタブ４４を貫通して、保護部５１に達している。上述した手順にしたがって、ダイシング等の方法により割断溝６１を形成する場合、図示した態様のように、割断溝６１が保護部５１に達していることが、除去膜Ｃ３４を剥離する際に異物の発生を抑制できるため好ましい。但し、割断溝６１が保護部５１を貫通すると、ダイシング時にポリマー光導波路本体２０に損傷を生じるため好ましくない。このため、保護部５１における割断溝６１の深さは、保護部５１の厚さの１０〜５０％が好ましい。
【００５２】
図１４および１５は、図１３のポリマー光導波路１０ｅの使用形態を示した側面図である。具体的には、図１３に示すポリマー光導波路１０ｅから除去膜Ｃ３４を剥離する手順を示した図である。図１４では、把持手段１０００により、ピールタブ４４を把持して図中中央の除去膜Ｃ３４を剥離している。ピールタブ４４の下方に保護部５１が存在することにより、把持手段１０００により、ポリマー光導波路本体２０に損傷が生じることが防止される。
ポリマー光導波路本体２０が屈曲性を有する場合、図１５に示すように、ピールタブ４４を指２０００で把持しながら、ポリマー光導波路１０ｅ全体を屈曲させることにより、除去膜Ｃ３４を剥離してもよい。
【００５３】
以下、本発明のポリマー光導波路について、さらに記載する。
【００５４】
本発明のポリマー光導波路において、ポリマー光導波路本体におけるコアおよびクラッドの構成材料は、コアの屈折率よりもクラッドの屈折率が低くなるような屈折率の差が生じる材料であれば特に限定されない。例えば、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）のようなメタクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、オキセタン系樹脂、フェノキシ樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、ノルボルネン系樹脂、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、フェノール系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリ（イミド・イソインドロキナゾリンジオンイミド）樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエステルイミド樹脂等）のようなポリイミド系樹脂、ポリベンゾオキサゾール系樹脂、ポリシラン、ポリシラザンゾイミダゾール系樹脂、のような各種の樹脂材料や、有機無機ハイブリット材料を用いることができる。
これらの材料のうち、フッ素系樹脂は、吸水率又は吸湿率が低く、高温高湿に対する耐性に優れ、化学的な安定性が高いため、コアやクラッドの材料として好適である。フッ素系樹脂を用いたポリマー光導波路は、外的環境の変化、特に湿度の変化による屈折率の変動が小さくて特性が安定しており、また、光通信波長帯域における透明性が高い。
【００５５】
本発明のポリマー光導波路本体の製造方法は特に限定されず、各種方法を用いることができる。具体的には、複製（スタンパ）法、直接露光法、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）とフォトリソグラフィプロセスを組み合わせる方法、射出成形をもとにした方法、フォトブリーチング法、直接描画法、自己形成法等を用いることができる。
【００５６】
本発明のポリマー光導波路本体の製造方法の一例を以下に示す。
まず、スピンコート法により、基板の上にクラッド構成材料の前駆体を含有する塗布液を塗布する。続いて、クラッド構成材料の前駆体を硬化させてコアよりも下方のクラッド（以下、本明細書において、「アンダークラッド」とも言う。）を形成する。
次に、スピンコート法により、アンダークラッドの上にコア構成材料の前駆体を含有する塗布液を塗布する。続いて、フォトリソグラフィプロセスにより、コア構成材料の前駆体プレポリマをパターニングし、アンダークラッドの上にコアを形成する。コアを形成した後、必要に応じてポストベークを行ってもよい。
次に、スピンコート法により、アンダークラッド及びコアの上にクラッド構成材料の前駆体を含有する塗布液を塗布する。続いて、クラッド構成材料の前駆体を硬化させてコアよりも上方のクラッド（以下、本明細書において、「オーバークラッド」とも言う。）を形成することにより、ポリマー光導波路本体が形成される。なお、オーバークラッドを形成する際、フォトリソグラフィプロセスにより、ポリマー光導波路本体の光の伝播方向に沿って、オーバークラッドの少なくとも一部が存在しないコア結合部を形成できる。コア結合部はポリマー光導波路本体のコアとシリコン光導波路のコアとのアディアバティック結合に使用される。
【実施例】
【００５７】
以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。例１〜例８は実施例、例９〜例１１は比較例である。例１〜例８は塗布型の除去膜であり、例１０〜例１１はフィルム型の除去膜である。【００５８】
（例１）
本実施例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に、開環重合する化合物（１，３−ジオキソラン）を含む溶液をディスペンサで塗布し、その後、常温で硬化させて除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成してポリマー光導波路１０ｂを得た。【００５９】
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を以下の手順で測定した。
ポリマー光導波路から剥がした除去膜の膜厚をマイクロメータ（型式：ＭＤＣ―ＭＸ、メーカ：株式会社ミツトヨ社製）を用いて測定した。除去膜の３箇所において膜厚を測定し、その平均値を求め、除去膜の膜厚とした。除去膜の膜厚は２００μｍであった。【００６０】
また、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２について、膜厚が１００μｍであるときの波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過率を以下の手順で測定した。
波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過率の測定は、光源としてＬＡＸ−Ｃ１００（朝日分光株式会社製）を用い、分光ユニットとしてＨＳＵ―１００ｓ（朝日分光)を用いた光透過率測定器を使用して実施した。
可視光透過率は、波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過スペクトルを測定して、ＪＩＳ規格ＪＩＳ  Ｒ３１０６（１９９８）にしたがって算出した。
波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光透過率の算出は、下記式に示すように波長３８０〜７８０ｎｍにおける透過率スペクトルに対して、昼光スペクトルと比視感度の波長分布から得られる重価係数を乗じ、加重平均することで求めた。【００６１】
【数１】
2019035466.tif 000003
【００６２】
式中、τvは波長３８０〜７８０ｎｍにおける可視光透過率、ＤλはＣＩＥ昼光Ｄ６５の分光分布、ＶλはＣＩＥ明順応標準比視感度、τ（λ）は波長λの透過率、ΣＤλ×Ｖλは重価係数の総和、ΣＤλ×Ｖλ×τ（λ）は重価係数に透過率をかけた値の総和である。
膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率は、図２１に示すように、各膜厚の可視光透過率をプロットし、膜厚と可視光透過率の近似直線を求め、膜厚が１００μｍであるときの可視光透過率を算出することにより得た。膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率は５２．９％であった。【００６３】
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２のポリマー光導波路に対する剥離力をオートグラフ（型式：ＡＧ−X  ｐｌｕｓ、メーカ：島津製作所製）を用いて測定した。測定はＪＩＳ  Ｚ０２３７（２００９）に記載のある９０°剥離試験に則って実施した。測定条件は剥離速度を２．５ｍｍ／ｍｉｎとし、剥離力はＮ／２５ｍｍで算出した。剥離力は１．１Ｎ／２５ｍｍであった。【００６４】
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を以下の手順で評価した。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２が付いたポリマー光導波路１０ｂをダイシングで切断して、ポリマー光導波路１０ｂに対する除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を評価した。
ダイシングにはダイシング装置（型式：ＤＡＤ３２１、メーカ：株式会社ディスコ製）を使用した。切断条件は５ｍｍ／ｓｅｃで実施した。
評価基準は以下に示す通り。
Ａ：除去膜が付いたポリマー光導波路をダイシングで切断した時に、ポリマー光導波路から剥がれず、除去膜の位置ズレも生じない。
Ｂ：除去膜が付いたポリマー光導波路をダイシングで切断した時に、除去膜の位置ズレが生じる部分がある。
Ｃ：除去膜が付いたポリマー光導波路をダイシングで切断した時に、除去膜がポリマー光導波路の表面から剥がれて除去された部分がある。
例１の除去膜の密着性の評価結果はＡであった。【００６５】
ポリマー光導波路１０ｂについて、以下の評価を実施した。
（コア結合部２１の異物量）
コア結合部２１の異物量を以下の手順で評価した。
除去膜Ａ３１の密着性評価で切断したポリマー光導波路１０ｂのコア結合部２１に密着している除去膜Ａ３１を、観察直前に除去し、コア結合部２１の表面を光学顕微鏡で観察し、付着している異物の数を評価した。
光学顕微鏡（型式：ＳＴＭ６、メーカ：オリンパス株式会社）を用い、コア結合部２１のコアの表面を対物５倍レンズで観察し、コアの表面に付着する直径が１μｍ以上の異物の数をカウントし、以下の評価基準で評価した。
＜評価基準＞コア結合部２１（結合部とはコアの表面のみ）に付着する直径が１μｍ以上の異物の数
Ａ：１０個以下。
Ｂ：１０個超、５０個以下。
Ｃ：５０個超、１００個以下。
Ｄ：１００個超。
評価結果はＡであった。【００６６】
（フェルール結合部２２の異物量）
フェルール結合部２２の異物量を以下の手順で評価した。
除去膜Ｂ３２の密着性評価で切断したポリマー光導波路１０ｂのフェルール結合部２２に密着している除去膜Ｂ３２を、観察直前に除去し、フェルール結合部２２の表面を光学顕微鏡で観察し、付着している異物の数を評価した。
光学顕微鏡（型式：ＳＴＭ６、メーカ：オリンパス株式会社）を用い、フェルール結合部２２のコアの表面を対物５倍レンズで観察し、コアの表面に付着する直径が３μｍ以上の異物の数をカウントし、以下の評価基準で評価した。
＜評価基準＞フェルール結合部２２の付着する直径が３μｍ以上の異物の数
Ａ：１０個以下。
Ｂ：１０個超、５０個以下。
Ｃ：５０個超、１００個以下。
Ｄ：１００個超。
評価結果はＡであった。【００６７】
（例２）
本実施例では、図７および８に示すポリマー光導波路１０ｃを作製した。具体的には、例１と同様の手順でポリマー光導波路１０ｂを作製した後、以下に示す手順で除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の端部にピールタブ４０および４１を形成して、ポリマー光導波路１０ｃを得た。
除去膜Ａ３１とピールタブ（シート部）４０ｂの端面を接触させた状態で（または、ピールタブ（シート部）４０ｂの端面を光導波路２１の下部に接触した状態で）、開環重合する化合物を含む溶液を除去膜Ａ３１とピールタブ（シート部）４０ｂが接着するように滴下して、硬化させてピールタブ（本体）４０ａを形成することでピールタブ４０を形成した。同様にしてピールタブ４１も形成した。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ２００μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ１．１Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。【００６８】
（例３）
本実施例では、図９および１０に示すポリマー光導波路１０ｄを作製した。具体的には、光導波路本体２０の所定の位置に幅２ｍｍにマスキングテープを２枚重ねで貼付した後、開環重合する化合物を含む溶液をマスキングテープの上も含む表面に塗布し、その後、常温で硬化させて除去膜Ｃ３３を形成した。その後、ダイシングによりマスキングテープの下層の途中まで割断溝６０を形成してポリマー光導波路１０ｃを得た。
除去膜Ｃ３３の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ２００μｍであった。
除去膜Ｃ３３の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ｃ３３の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ１．１Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ｃ３３の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。【００６９】
（例４）
本実施例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、開環重合する化合物を含む溶液のディスペンサで塗布時の塗布量を例１とは変えて実施することで膜厚１５０μｍの除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成した。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ１．０Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。【００７０】
（例５）
本実施例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、開環重合する化合物を含む溶液を、ポリマー光導波路本体２０の結合部２１およびフェルール結合部２２に、回転数１００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、６０℃で１２０秒間乾燥させて除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成してポリマー光導波路１０ｂを得た。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ１００μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ０．９Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。【００７１】
（例６）
本実施例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、開環重合する化合物を含む溶液を、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に、回転数３００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、６０℃で１２０秒間乾燥させて除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成してポリマー光導波路１０ｂを得た。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ３０μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ０．６Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。【００７２】
（例７）
本実施例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、開環重合する化合物を含む溶液をＰＧＭＥＡで２：１の割合で希釈した溶液を、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に、回転数１００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、６０℃で１２０秒間乾燥させて除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成してポリマー光導波路１０ｂを得た。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ２０μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ０．４Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。【００７３】
（例８）
本実施例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、開環重合する化合物を含む溶液をＰＧＭＥＡで２：１の割合で希釈した溶液を、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に、回転数５００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、室温で１５分間以上乾燥させて除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成してポリマー光導波路１０ｂを得た。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ１μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ５２．９％であった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順での測定を試みたが、薄膜過ぎて剥離力を測定できなかった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。【００７４】
（例９）
本例では、光導波路本体２０に剥離膜を形成せずに、コア結合部２１の異物量、およびフェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価した。
コア結合部２１のコアにはダイシングによる異物が多く付着しており、評価結果はＤであった。また、フェルール結合部２２にもダイシングによる異物が多く付着しており、評価結果はＤであった。【００７５】
（例１０）
本例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２として、粘着性有するフィルム型の保護用自己剥離テープ（品名：ＳＥＬＦＡ−ＭＰ、メーカ：積水化学製）を貼付した。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２のＰＥＴフィルムの膜厚は５５μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ１．８Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＣであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＤであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＤであった。
例１０のフィルム型の除去膜は、剥離力は高いが、硬度が高く曲げ難いフィルムであるため、ポリマー光導波路の表面凹凸形状に追随して密着できず、密着性の評価において除去膜が剥がれる、ポリマー光導波路表面の異物量も多くなる、結果であった。【００７６】
（例１１）
本例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２として、粘着性有するフィルム型のクリーニングテープ（品名：ＥＣ−７５０７、メーカ：スミロン社製）を貼付した。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚は４５μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ０．９Ｎ／２５ｍｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＣであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＤであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＤであった。
例１１のフィルム型の除去膜は、例１０の除去膜に比べ硬度が低く、例１０の除去膜より曲げやすいフィルムである。しかし、例１１の除去膜でも、ポリマー光導波路の表面凹凸形状に追随して密着できず、密着性の評価において除去膜が剥がれる、ポリマー光導波路表面の異物量も多くなる、結果であった。【００７７】
（例１２）
本例では、図５および６に示すポリマー光導波路１０ｂを作製した。具体的には、アクリル酸エステルを含んだUV硬化型の仮固定用接着剤（品名：ＴＥＭＰＬＯＣ  ＹＧ−１００、メーカ：デンカ社製）を、ポリマー光導波路本体２０のコア結合部２１およびフェルール結合部２２に回転数１０００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、超高圧水銀灯（品名：ＵＬ−７０００、メーカ：Ｑｕｉｎｔｅｌ社製）を用いて、照射条件３０００ｍＪ／ｃｍ2で１０分間ＵＶ照射して光硬化させて、除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２を形成してポリマー光導波路１０ｂを得た。  
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚を例１と同様の手順で測定したところ１００μｍであった。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の膜厚が１００μｍであるときの波長３８０〜７８０ｎｍの可視光透過率を例１と同様の手順で測定したところ８０．２％であった。
剥離前にさらに超高圧水銀灯（品名：ＵＬ−７０００、メーカ：Ｑｕｉｎｔｅｌ社製）を用いて、照射条件３０００ｍＪ／ｃｍ2で１０分間ＵＶ照射したあと、温度８０℃の温水に浸漬して剥離可能な状態になるよう処理を行った。
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の剥離力を例１と同様の手順で測定したところ０．９５Ｎ／２５ｍｍであった。  
除去膜Ａ３１および除去膜Ｂ３２の密着性を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＡであった。
コア結合部２１の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
フェルール結合部２２の異物量を例１と同様の手順で評価したところ評価結果はＢであった。
例１２の除去膜は例５の除去膜と比べて密着力は強いが、剥離させることが難しく、剥離後の樹脂導波路の形状がカーリングする結果になった。【００７８】
（挿入損失）
例１〜例８については、除去膜を剥離した後にポリマー光導波路の挿入損失を以下の手順で測定した。
挿入損失は、ＪＰＣＡ規格４．６．２．１カットバック方法（２００８）に記載されている方法で測定した。入射側光ファイバと光導波路のモードの組み合わせは、ＪＰＣＡ規格、表４．６．１−１に記載されている組み合わせナンバ６に相当する組み合わせの入射側にシングルモードファイバ、出射側にシングルモードファイバを使用した。挿入損失測定に使用したファイバは、入射側および出射側ともにシングルモードファイバ（コーニング社製、品番：ＳＭＦ１２８、ＮＡ０．１１、コア径１０μｍ）を使用した。光学測定系で用いた発光側の光源としては、ＬＤ光源（型式：ＡＱ４２１３、メーカ：安藤電気社製）を有するユニット（型式：ＡＱ２１４０、メーカ：安藤電気社製）を使用した。受光側には、パワーメーター（型式：Ｑ８２２１ユニット、メーカ：アドバンテスト社製）とセンサーユニット（型式：Ｑ８２２０８、メーカ：アドバンテスト社製）を使用した。
例１〜例８において、ポリマー光導波路１０ｂの挿入損失は２．０ｄＢ以下であることを確認した。【００７９】
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、様々な変更や修正を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２０１７年８月１６日出願の日本特許出願２０１７−１５７１２９に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【００８０】
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ：ポリマー光導波路
２０：ポリマー光導波路本体
２１：コア結合部
２２：フェルール結合部
３０，３１：除去膜Ａ
３２：除去膜Ｂ
３３，３４：除去膜Ｃ
４０，４１：ピールタブ
４０ａ，４１ａ：ピールタブ（本体）
４０ｂ，４１ｂ：ピールタブ（シート部）
４２，４３，４４：ピールタブ
５０，５１：保護部
６０，６１：割断溝
１００：シリコンフォトニクスインターフェース
２００：シリコン光導波路
２１０：コア
２２０：クラッド
２３０：凹部
３００：ポリマー光導波路
３１０：コア
３２０：クラッド
３３０：凸部
３４０，３５０：突条
４００：フェルール
４１０：下部材
４２０：上部材
４３０：凹部
４４０，４４０ａ，４４０ｂ：突条
４５０：開口部
１０００：把持手段
２０００：指
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【国際調査報告】
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