(57)【要約】  光電変換装置（１１６）は、半導体基板（１１２）に設けられた光電変換素子（１１３）と、光電変換素子（１１３）上に設けられた光学フィルタ（１０３）と、を有し、光学フィルタ（１０３）は、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂層（１０２）と、光電変換素子を保護する層（１０１）と、を含み、光学フィルタ（１０３）の樹脂層（１０２）のダイナミック硬度は、１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下である。
2019026848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に設けられた光電変換素子と、
前記光電変換素子上に設けられた光学フィルタと、を有し、
前記光学フィルタは、
熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂層と、
前記光電変換素子を保護する層と、を含み、
前記光学フィルタの前記樹脂層のダイナミック硬度は、１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下である、光電変換装置。
【請求項２】
前記樹脂層は、さらに無機酸化物を含有する、請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項３】
前記光電変換素子を保護する層は、前記光電変換素子の上に設けられる、請求項２に記載の光電変換装置。
【請求項４】
前記無機酸化物は、セシウム含有酸化タングステンである、請求項３に記載の光電変換装置。
【請求項５】
前記樹脂層の厚みは、０．１μｍ以上３．０μｍ以下である、請求項４に記載の光電変換装置。
【請求項６】
前記光電変換素子を保護する層は、ガラス基材を有し、
前記樹脂層は、前記ガラス基材の少なくとも一方の面に設けられる、請求項５に記載の光電変換装置。
【請求項７】
前記樹脂層は、重合性基を有する樹脂組成物である、請求項６に記載の光電変換装置。
【請求項８】
半導体基板に設けられた光電変換素子と、
前記光電変換素子上に設けられた光学フィルタと、を有し、
前記光学フィルタは、
ダイナミック硬度が１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下であり、
以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たし、
熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂基材を有する、光電変換装置。
（Ａ）波長４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの範囲における平均透過率が、７５％以上。
（Ｂ）波長７００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲における平均透過率が、２０％以下。
【請求項９】
前記樹脂基材は、さらに無機酸化物を含有する、請求項８に記載の光電変換装置。
【請求項１０】
前記無機酸化物は、セシウム含有酸化タングステンである、請求項９に記載の光電変換装置。
【請求項１１】
前記光学フィルタは、２６０℃の状態で６０秒保持した後に、室温まで冷却する操作を行うリフロー試験前後において、波長７００ｎｍ乃至１１００ｎｍの平均透過率の変化率が５％以下である、請求項１０に記載の光電変換装置。
【請求項１２】
半導体基板に設けられた光電変換素子と、
前記光電変換素子上に設けられた光学フィルタと、を有し、
前記光学フィルタは、
ダイナミック硬度が１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下であり、
以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たし、
熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂基材を有する、光電変換装置。
（Ａ）波長４００ｎｍ〜７３０ｎｍの範囲における平均透過率が、２％以下。
（Ｂ）波長８００ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲における平均透過率が、８０％以上。
【請求項１３】
前記色素は、緑色色素及び黒色色素を含有する、請求項１２に記載の光電変換装置。
【請求項１４】
前記緑色色素が、スクアリリウム系色素、フタロシアニン系色素、及びシアニン系色素から選ばれる少なくとも１種である、請求項１３に記載の光電変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学フィルタ、及び光学フィルタを有する光電変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、カメラ機能付き携帯端末などに搭載される固体撮像装置には、カラー画像の固体撮像素子であるＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサが使用されている。これらの固体撮像素子には、その受光部において人間の目では感知できない近赤外線に感度を有するシリコンフォトダイオードが使用されている。このような固体撮像素子では、人間の目で見て自然な色合いにさせる視感度補正を行うことが必要であり、特定の波長領域の光線を選択的に透過もしくはカットする光学フィルタ（例えば、近赤外線カットフィルタ、近赤外線透過フィルタ）を用いることが多い。【０００３】
また、携帯端末には、照度センサや環境光センサが搭載されており、このような照度センサや環境光センサも、固体撮像装置と同様に、光を取得するものである。照度センサや環境光センサは、取得した光を元に、携帯端末の画像の明るさなどを制御することができる。このように、固体撮像装置、照度センサ、及び環境センサは、光を電気信号に変換する機能を有しており、光電変換装置と呼ばれている。【０００４】
光電変換装置に用いられる光学フィルタとしては、従来から、各種方法で製造されたものが使用されている。例えば、特許文献１には、基材として透明樹脂を用い、透明樹脂中に近赤外線吸収色素を含有させた近赤外線カットフィルタ、特許文献２には、近赤外線透過フィルタが開示されている。【０００５】
また、特許文献３には、光学フィルタとして、ガラス基材と赤外線カットフィルタ基板とを接着剤によって接合して製造する方法や、カバーガラス上に成膜処理をすることで、赤外線カットフィルタ層を形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２００１１３号公報
【特許文献２】特開２０１２−１３７７２８号公報
【特許文献３】特開２００６−３２８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年では、モバイル機器等においてもカメラ画像に要求される画質レベルが非常に高くなってきている。例えば、固体撮像装置に用いられる近赤外線カットフィルタにおいても、高い可視光透過率および近赤外波長域における高い光線カット特性が必要となってきている。また、近赤外線透過フィルタにおいても、高い近赤外波長域透過率および可視光波長域における高い光線カット特性が必要となってきている。【０００８】
しかしながら、従来の近赤外線カットフィルタや、近赤外線透過フィルタなどの光学フィルタでは、採用されている色素の耐熱性能が十分ではない。光電変換装置の製造の際に高温が加わると、近赤外線カットフィルタの近赤外線吸収色素が分解してしまうことで、近赤外線カットフィルタの長期信頼性が問題となる場合があった。近赤外線透過フィルタにおいても同様な色素の耐熱性の問題が顕在化している。【０００９】
上記問題に鑑み、本発明は、耐熱性に優れた光学フィルタを提供することを目的の一つとする。または、耐熱性に優れた光学フィルタを有する光電変換装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一実施形態に係る光電変換装置は、半導体基板に設けられた光電変換素子と、光電変換素子上に設けられた光学フィルタと、を有し、光学フィルタは、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂層と、光電変換素子を保護する層と、を含み、光学フィルタの樹脂層のダイナミック硬度は、１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下である。【００１１】
本発明の一実施形態に係る光電変換装置は、半導体基板に設けられた光電変換素子と、光電変換素子上に設けられた光学フィルタと、を有し、光学フィルタは、ダイナミック硬度が１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下であり、以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たし、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂基材を有する、光電変換装置。
（Ａ）波長４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの範囲における平均透過率が、７５％以上。
（Ｂ）波長７００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲における平均透過率が、２０％以下。【００１２】
本発明の一実施形態に係る光電変換装置は、半導体基板に設けられた光電変換素子と、光電変換素子上に設けられた光学フィルタと、を有し、光学フィルタは、ダイナミック硬度が１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下であり、以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たし、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する樹脂基材を有する、光電変換装置。
（Ａ）波長４００ｎｍ〜７３０ｎｍの範囲における平均透過率が、２％以下。
（Ｂ）波長８００ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲における平均透過率が、８０％以上。【００１３】
なお、本発明において電子機器には、映像・音声を含む各種情報をデジタル処理又はアナルグ処理をする機能を有する機器であって、電子工学に属する技術を応用した電気製品が含まれるものとする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一実施形態によれば、耐熱性に優れた光学フィルタを提供することができる。または、耐熱性に優れた光学フィルタを有する光電変換装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る光電変換装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの構成を示す図である。
【図３Ａ】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの製造方法を示す図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの製造方法を示す図である。
【図３Ｃ】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの製造方法を示す図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの構成を示す図である。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの構成を示す図である。
【図４Ｃ】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの構成を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る光学変換装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚み、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付し又は類似の符号（数字の後にＡ、Ｂなどを付しただけの符号）を付し、詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１７】
本明細書中において「上」とは、支持基板の主面（光電変換素子を配置する面）を基準とした相対的な位置を指し、支持基板の主面から離れる方向が「上」である。本願図面では、紙面に向かって上方が「上」となっている。また、「上」には、物体の上に接する場合（つまり「ｏｎ」の場合）と、物体の上方に位置する場合（つまり「ｏｖｅｒ」の場合）とが含まれる。逆に、「下」とは、支持基板の主面を基準とした相対的な位置を指し、支持基板の主面に近づく方向が「下」である。本願図面では、紙面に向かって下方が「下」となっている。
【００１８】
（第１実施形態）
本実施形態では、本発明の一実施形態に係る光学フィルタ及び光学フィルタを有する光電変換装置について、図１乃至図５を参照して説明する。本実施形態では、光学変換装置の一例として、固体撮像装置について説明する。
【００１９】
ここで、固体撮像装置とは、ＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサ等といった固体撮像素子を備えたイメージセンサである。固体撮像装置は、具体的には、デジタルスチルカメラ、スマートフォン用カメラ、携帯電話用カメラ、ウェアラブルデバイス用カメラ、デジタルビデオカメラ等に用いることができる。
【００２０】
〈光電変換装置の構成１〉
図１に、本実施形態に係る光電変換装置１１６の断面図を示す。光電変換装置１１６は、光電変換素子１１３が設けられた半導体基板１１２と、光電変換素子１１３上に設けられた光学フィルタ１０３と、光学ローパスフィルタ１１５と、を有する。
【００２１】
半導体基板１１２に、マトリクス状に配置された光電変換素子１１３と、光電変換素子１１３は、これらの光電変換素子に蓄積された電荷を搬送する電荷結合素子（ＣＣＤ）と、を有する。各光電変換素子上には、ＲＢＧのカラーフィルタと、マイクロレンズアレイ１１９と、が積層されている。なお、ＣＣＤイメージセンサに代えて、ＣＭＯＳイメージセンサを使用することもできる。
【００２２】
また、半導体基板１１２の上面の縁には複数の端子が設けられている。複数の端子は、半導体基板１１２の上面に形成された配線を介して、複数の光電変換素子１１３と接続されている。また、複数の端子は、ワイヤ１１４によって、支持基板１１１と接続されている。
【００２３】
光電変換素子１１３上には、本実施形態に係る光学フィルタ１０３が設けられており、光学フィルタ１０３上には、光学ローパスフィルタ１１５が設けられている。光学フィルタ１０３の構造については、後に詳述する。
【００２４】
また、カメラモジュール１１０は、光電変換装置１１６と、レンズ１１７と、パッケージ１１８と、を有する。光学フィルタ１０３及び光学ローパスフィルタ１１５は、パッケージ１１８に保持されている。パッケージ１１８は、アルミナ等のセラミックス材料や金属材料、あるいは、プラスチック材料で形成されている。また、パッケージ１１８は、光電変換装置１１６が収納された領域と、レンズ１１７を保持する鏡筒部とを有し、支持基板１１１に固定されている。
【００２５】
また、光電変換装置１１６に、薄型化された光学フィルタ１０３を使用することにより、光電変換装置１１６及びカメラモジュール１１０の低背化を図ることができる。また、光学フィルタ１０３及び光学ローパスフィルタ１１５を設けることにより、光電変換装置１１６の撮像画質を向上させることができる。
【００２６】
光学フィルタ１０３が設けられたパッケージ１１８を、支持基板１１１に設ける際などに、光学フィルタ１０３に高温が加わる場合がある。本実施形態に係る光学フィルタ１０３は、耐熱性を有しているため、リフロー工程において光学フィルタ１０３が劣化することを抑制することができる。
【００２７】
また、本実施形態に係る光学フィルタ１０３は、薄型化が図られている。光学フィルタ１０３を、カメラモジュールなどのレンズユニットに用いた場合には、レンズユニットの低背化、軽量化を実現することができる。
【００２８】
〈光学フィルタ１０３の構造〉
図２に、本実施形態に係る光学フィルタ１０３の構成について示す。本実施形態に係る光学フィルタ１０３は、基材１０１及び樹脂層１０２を有する。光学フィルタ１０３が近赤外線カットフィルタである場合、樹脂層１０２に赤外線を吸収する色素などが含まれる。また、光学フィルタ１０３が、近赤外線透過フィルタである場合は、樹脂層１０２に可視領域の光線を吸収する色素が含まれる。
【００２９】
図２に示す基材１０１として、透光性を有する基材を使用する。また、基材１０１は、光電変換素子を保護する機能を有する。図１に示すように、基材１０１は、パッケージ１１８に各種接着剤で接着され、パッケージ１１８の内部に収納された光電変換素子１１３を保護すると共に可視光線等の透光窓として機能するものである。基材１０１としては、無色透明のガラス基板を用いるのが好ましい。
【００３０】
このような無色透明のガラス基板としては、例えば、特開２００４−２２１５４１号公報、特開２００６−１４９４５８号公報等に記載のカバーガラスを使用することができる。なお、保護層は、ガラス基板に限定されず、透明な有機樹脂が用いられてもよい。有機樹脂としては、透明な樹脂を使用することができる。
【００３１】
基材１０１として、例えば、ガラス基板や樹脂基板を使用することができる。基材１０１の厚みは、０．０１ｍｍ以上２ｍｍ以下、好ましくは０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下である。ガラス基板の厚みが上記範囲にあると、光学フィルタ１０３を軽量化、小型化することができる。なお、基材１０１の厚みが上記よりも厚い場合には、光電変換装置及びカメラモジュールを低背化できない。また、基材１０１の厚みが上記範囲よりも薄い場合には、光学フィルタ１０３の反りが大きくなる。また、基材１０１が脆くなるために割れてしまう、又は欠けてしまうおそれがある。
【００３２】
また、基材１０１上には、樹脂層１０２が設けられている。また、樹脂層１０２は、基材１０１の少なくとも一面に設けられている。当該樹脂層１０２は、基材１０１よりもダイナミック硬度が高いことが好ましい。また、樹脂層１０２のダイナミック硬度は、１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下であることが好ましい。樹脂層１０２のダイナミック硬度が、上記範囲にあることで、樹脂層１０２の強度を確保することができる。樹脂層１０２のダイナミック硬度が、上記範囲よりも低い場合は、樹脂層１０２が割れてしまう、又は欠けてしまうおそれがある。また、上記範囲よりも硬い場合は、樹脂層が剥がれやすくなる。なお、樹脂層１０２のダイナミック硬度は、例えば、微小硬度計にて測定することができる。
【００３３】
ここで、ダイナミック硬度は、一定の荷重速度で徐々に荷重を加えながら、稜間角１１５°の三角錘ダイヤモンド圧子を膜面に押し込んだときの荷重を押し込み深さの２乗で除すことで算出されるダイナミック硬度（ＤＨ）で表され、下記の数式（１）で定義される。
ＤＨ＝αＰ／Ｄ２  …（１）
Ｐ：荷重（ｇｆ）、Ｄ：押し込み深さ（μｍ）
α：圧子の形による定数（三角錘の場合、α＝３７．８４）
【００３４】
上述した樹脂層１０２のダイナミック硬度は、島津ダイナミック超微小硬度計（型式ＤＵＨ−２０１ｓ、（株）島津製作所製）を使用し、測定モード：ＭＯＤＥ５、押し込み深さ１μｍ、押し込み速度０．０１４ｍＮ／ｓの条件で測定し、前述の計算式に従って換算することで得られる。
【００３５】
本発明に係る光学フィルタ１０３では、ガラス基材上に色素を含有する樹脂層１０２を含み、樹脂層１０２のダイナミック硬度は、１０ｍＮ／μｍ２〜１５０ｍＮ／μｍ２である。ダイナミック硬度が１０ｍＮ／μｍ２より小さいと、樹脂層にひび割れが生じたり、樹脂層の一部が欠けてしまう恐れがある。一方、ダイナミック硬度が１５０ｍＮ／μｍ２より大きいと膜がガラス基材から剥がれやすくなる。
【００３６】
光学フィルタ１０３を、近赤外線カットフィルタとして使用する場合には、光学フィルタ１０３の透過率は、下記（Ａ）及び（Ｂ）を満たすことが好ましい。（Ａ）波長４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの範囲における透過率の平均値が、７５％以上とすることが好ましい。（Ｂ）波長７００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲における透過率の平均値が、２０％以下とすることが好ましい。この波長域において平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線カットフィルタ（光学フィルタ１０３）を光電変換装置用途として使用した場合、近赤外線を十分にカットすることができ、優れた色再現性を達成できるため好ましい。
【００３７】
または、光学フィルタ１０３を、近赤外線透過フィルタとして使用する場合には、光学フィルタ１０３の透過率は、以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たすことが好ましい。（Ａ）波長４００ｎｍ〜７３０ｎｍの範囲における平均透過率が、２％以下、（Ｂ）波長８００ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲における平均透過率が、８０％以上。これらの波長域において平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線透過フィルタ（光学フィルタ１０３）を光電変換装置用途として使用した場合、可視光線を十分にカットすることができ、優れた赤外線センシングを達成できるため好ましい。
【００３８】
また、樹脂層１０２は、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有する。赤外線カットフィルタの場合、赤外線吸収有機色素として、例えば、セシウム酸化タングステン、金属ホウ化物、酸化チタン、酸化ジルコニウム、スズドープ酸化インジウム、アンチモンドープ酸化スズ、アゾ化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アンスラキノン化合物、シアニン化合物、ジイモニウム化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、アントラキノン化合物、ナフトキノン化合物、ジチオール化合物及びポリメチン化合物のうちの１種の化合物を使用することができる。このような化合物の具体例としては、ＷＯ２０１１／１１８１７１号公報、特開２０１３−１９５４８０号公報記載の化合物を用いることができる。
【００３９】
これらのうち、セシウム酸化タングステンが赤外線吸収能と熱分解温度が高い点から好ましい。また、ジイモニウム化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物等の有機色素化合物との併用することができる。
【００４０】
このような色素の含有量は、樹脂層を形成する樹脂組成物の全固形分質量に対して、２０質量％〜８５質量％であることが好ましく、３０質量％〜８０質量％であることがより好ましく、４０質量％〜７５質量％であることがさらに好ましい。
【００４１】
また、赤外線透過フィルタの場合、このような色素として、黒染料を挙げることができ、例えば、アゾ系、アントラキノン系、ペリノン系、ペリレン系、メチン系、キノリン系、アジン系等の染料を例示できる。
【００４２】
アゾ系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー２１、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー６１、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー８１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド２、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド８、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１９、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド２３、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド２４、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド２７、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド８３、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド８４、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１２１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１３２、Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット２１、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック３、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック４、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック２１、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック２３、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック２７、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック２８、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック３１、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ７、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ９、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ３７、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ４５等が挙げられる。
【００４３】
アントラキノン系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド５２、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１１１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１５０、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１５１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１９１、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー３５、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー３６、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー６３、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー７８、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー８３、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー８７、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー９４、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー９７、Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン３、Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン２０、Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン２８、Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット１３、Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット１４、Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット３６等が挙げられる。
【００４４】
ペリノン系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ６０、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ７８、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ９０、Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１３５、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１６２、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ１７９等が挙げられる。
【００４５】
ペリレン系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン５、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．バットレッド１５、Ｃ．Ｉ．バットオレンジ７等が挙げられる。
【００４６】
メチン系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ８０、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー９３等が挙げられる。
【００４７】
キノリン系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー３３、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー９８、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１５７等が挙げられる。
【００４８】
アジン系染料の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック５、Ｃ．Ｉ．ソルベントブラック７等が挙げられる。
【００４９】
上記黒色染料色素の中でも、吸収係数が大きく溶解性の高いアゾ系染料の使用が好ましい。また環境保全性の点からは分子中にハロゲン元素を含有しないものが好ましい。
【００５０】
このような色素の含有量は、本発明の樹脂を形成する組成物の全固形分質量に対して、２０質量％〜８５質量％であることが好ましく、３０質量％〜８０質量％であることがより好ましく、４０質量％〜７５質量％であることがさらに好ましい。
【００５１】
本発明に係る光学フィルタにおいては、さらに黒色色素に加えて、緑色色素も加えることができる。このような緑色色素としては、例えば、スクアリリウム系色素、フタロシアニン系色素、シアニン系色素が挙げられる。これらの色素の中から、用途等に応じて１種以上を適宜選択して使用できる。緑色色素は、後述するように、透明樹脂中に分子が凝集して存在する顔料でもよいが、透明樹脂中に分子が溶解して存在する緑色染料が、散乱光発生の懸念が少ないことから好ましい。これらのうち特に、スクアリリウム系色素、フタロシアニン系色素が好ましい。
【００５２】
スクアリリウム系色素は、透明樹脂中に分散して得られる樹脂膜を使用して測定される波長４００ｎｍ〜１０００ｎｍの光の吸収スペクトルにおいて、波長６００ｎｍ〜８００ｎｍ内に吸収極大波長を有するものが好ましい。また、その吸収極大波長が発現する吸収ピークの赤外光側の傾きが急峻であることが好ましい。
【００５３】
フタロシアニン系色素は、透明樹脂中に分散して得られる樹脂膜を使用して測定される波長４００ｎｍ〜１０００ｎｍの光の吸収スペクトルにおいて、波長７００ｎｍ〜９００ｎｍ内に吸収極大波長を有するものが好ましい。また、その吸収極大波長が発現する吸収ピークの赤外光側の傾きが急峻であることが好ましい。
【００５４】
緑色色素は、透明樹脂中に分子が溶解して存在する染料でもよく、透明樹脂中に分子が凝集して存在する顔料でもよい。緑色色素として顔料を用いる場合、分散剤も使用できる。分散剤としては、カチオン系、アニオン系、ノニオン系等の分散剤を使用できる。
【００５５】
色素を含有する樹脂層１０２は、上記色素と透明樹脂を混合した樹脂組成物によって形成される。透明樹脂は、ガラス転移温度（Ｔｇ）が、０℃〜３８０℃であることが好ましい。Ｔｇの下限は、４０℃以上がより好ましく、６０℃以上がより一層好ましく、７０℃以上がさらに好ましく、１００℃以上が特に好ましい。また、Ｔｇの上限は、３７０℃以下がより好ましく、３６０℃以下がより一層好ましい。透明樹脂のＴｇが０℃〜３８０℃の範囲であれば、本光学フィルタの製造プロセスや使用中において、熱による劣化や変形を抑制できる。
【００５６】
透明樹脂の具体例としては、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、エン・チオール樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリパラフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルフォスフィンオキシド樹脂等が挙げられる。これらの中でも、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、または環状オレフィン樹脂が好ましい。ポリエステル樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂等が好ましい。透明樹脂は複数の異なる樹脂を組み合わせたポリマーアロイであってもよい。透明樹脂は、予め高分子量化されている樹脂でも、低分子量体を塗布し、熱または紫外線等のエネルギー線により重合（高分子量化）し硬化させる樹脂でもよい。
【００５７】
透明樹脂として、市販品を用いてもよい。市販品としては、アクリル樹脂として、オグソール（登録商標）ＥＡ−Ｆ５００３（大阪ガスケミカル（株）製、商品名）、ポリメチルメタクリレート、ポリイソブチルメタクリレート、ＢＲ５０（三菱レイヨン（株）製、商品名）等が挙げられる。また、ポリエステル樹脂として、ＯＫＰＨ４ＨＴ、ＯＫＰＨ４、Ｂ−ＯＫＰ２、ＯＫＰ−８５０（以上、いずれも大阪ガスケミカル（株）製、商品名）、バイロン（登録商標）１０３（東洋紡（株）製、商品名）、ポリカーボネート樹脂として、ＬｅＸａｎ（登録商標）ＭＬ９１０３（ｓａｂｉｃ社製、商品名）、ＥＰ５０００（三菱ガス化学（株）社製、商品名）、ＳＰ３８１０（帝人化成（株）製、商品名）、ＳＰ１５１６（帝人化成（株）製、商品名）、ＴＳ２０２０（帝人化成（株）製、商品名）、ｘｙｌｅｘ（登録商標）７５０７（ｓａｂｉｃ社製、商品名）等が挙げられる。
【００５８】
さらに、環状オレフィン樹脂として、ＡＲＴＯＮ（登録商標）（ＪＳＲ（株）製、商品名、Ｔｇ：１６５℃）、ＺＥＯＮＥＸ（登録商標）（日本ゼオン（株）製、商品名、Ｔｇ：１３８℃）等が挙げられる。
【００５９】
また、樹脂層１０２として、基材１０１の一方の面に、樹脂組成物を塗布して形成する場合には、樹脂組成物としては、上記透明樹脂以外に、硬化膜を形成するための重合性基を有する化合物、重合開始剤を含むことができうる。このような、重合性基を有する化合物、重合開始剤としては、公知のものを使用することができ、例えば、特開２０１３−１９５４８０号公報、ＷＯ２０１６／０９８８１０等に記載の化合物を使用することができる。
【００６０】
樹脂組成物には、任意成分としては、例えば、色調補正色素、レベリング剤、帯電防止剤、熱安定剤、光安定剤、酸化防止剤、分散剤、難燃剤、滑剤、可塑剤、透明ナノ粒子等が挙げられる。
【００６１】
透明樹脂の原料成分、必要に応じて配合される各成分を、安定に分散できる分散媒または溶解できる溶媒を用いることができる。このような溶媒としは、以下の溶媒が挙げられる。イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ等のアルコール類、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン類、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等のアミド類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチレンエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のエーテル類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族、またはｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン等の脂肪族炭化水素類、テトラフルオロプロピルアルコール、ペンタフルオロプロピルアルコール等のフッ素系溶剤、水等が挙げられる。これらの溶媒は１種を単独で、または２種以上を混合して使用できる。
【００６２】
上記樹脂組成物を基材上に塗工した後、乾燥させることにより、樹脂層が形成される。乾燥には、熱乾燥、熱風乾燥等の公知の方法を使用できる。塗工液が透明樹脂の原料成分を含有する場合には、さらに硬化処理を行う。反応が熱硬化の場合は乾燥と硬化を同時に実施できるが、光硬化の場合は、乾燥と別に硬化工程を設けることができる。
【００６３】
また、このような樹脂層１０２の厚みは、０．１μｍ以上３μｍ以下、好ましくは０．５μｍ以上２μｍ以下とする。樹脂層１０２の厚みが上記範囲にあることで、光学フィルタ１０３を軽量化、小型化することができ、光電変換装置１１６の低背化を達成することができる。なお、樹脂層１０２の厚みが、上記範囲よりも厚い場合は、光電変換装置及びカメラモジュールを低背化できない。また、樹脂層１０２の厚みが上記範囲よりも薄い場合には、光学フィルタの反りが大きくなる問題がある。また、樹脂層１０２の赤外線の吸収性能が低下する。
【００６４】
また、基材１０１の少なくとも一方の面に、誘電体多層膜を設けてもよい。誘電体多層膜は、基材１０１に接して設けられていてもよいし、基材１０１上に樹脂層１０２を介して設けられていてもよい。誘電体多層膜を、基材１０１の少なくとも一方の面に設ける場合は、製造コストや製造容易性に優れる。また、誘電体多層膜を基材１０１の両面に設ける場合は、高い強度を有し、反りやねじれが生じにくい光学フィルタ１０３を得ることができる。光学フィルタ１０３を光電変換装置などに適用する場合、光学フィルタ１０３の反りやねじれが小さい方が好ましいことから、誘電体多層膜を基材１０１の両面に設けることが好ましい。
【００６５】
また、光学フィルタ１０３を近赤外線カットフィルタとして使用する場合には、光学フィルタ１０３は、以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たすことが好ましい。（Ａ）波長４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの範囲における透過率の平均値が、７５％以上とすることが好ましく、（Ｂ）波長７００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲における透過率の平均値が、２０％以下とすることが好ましい。これらの波長域において平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線カットフィルタ（光学フィルタ１０３）を光電変換装置用途として使用した場合、近赤外線を十分にカットすることができ、優れた色再現性を達成できるため好ましい。
【００６６】
また、樹脂層１０２は、熱分解開始温度が１５０℃以上の赤外線吸収有機色素を含有している。また、当該色素は、ガラス転移温度が高い透明樹脂中に含有されている。これにより、光学フィルタ１０３の耐熱性を向上させることができる。
【００６７】
光学フィルタ１０３を近赤外線透過フィルタとして使用する場合には、光学フィルタ１０３は、以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たすことが好ましい。（Ａ）波長４００ｎｍ〜７３０ｎｍの範囲における平均透過率が、２％以下とすることが好ましく、（Ｂ）波長８００ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲における平均透過率が、８０％以上とすることが好ましい。これらの波長域において平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線透過フィルタ（光学フィルタ１０３）を光電変換装置用途として使用した場合、可視光線を十分にカットすることができ、優れた赤外線センシングを達成できるため好ましい。
【００６８】
また、樹脂層１０２は、熱分解開始温度が１５０℃以上の可視領域光線吸収色素を含有している。また、当該色素は、ガラス転移温度が高い透明樹脂中に含有されている。これにより、光学フィルタ１０３の耐熱性を向上させることができる。
【００６９】
本実施形態においては、光電変換装置の構成の一例として、固体撮像装置の構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明に係る光学フィルタは、固体撮像装置の他、照度センサや環境光センサ等にも使用することができる。後述する光電変換装置の構成２においても同様である。
【００７０】
〈光学フィルタの製造方法〉
次に、本実施形態に係る光学フィルタ１０３の製造方法について、図３Ａ乃至図３Ｃを参照して説明する。
【００７１】
図３Ａに示すように、まず、第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂを有する基材１０１を用意する。基材１０１として、透光性を有する基板を使用する。透光性を有する基材１０１として、例えば、ガラス基板や樹脂基板を使用する。基材１０１の厚みは、０．０１ｍｍ以上２ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００７２】
樹脂組成物１０４には、色素を含有することが好ましい。この色素は、熱分解開始温度が１５０℃以上であることが好ましい。ガラス転移温度が高い透明樹脂中に、このような色素を含有させることにより、後に形成される樹脂層１０２の耐熱性を向上させることができる。樹脂組成物１０４に含有させる色素は、近赤外線カットフィルタを製造する場合と、近赤外線透過フィルタを製造する場合とで、使用する色素が異なる。よって、上記光電変換装置の構成１において説明した色素を、目的に応じて含有させる。
【００７３】
また、赤外線カットフィルタを製造する場合には、樹脂組成物１０４には、赤外線を吸収する機能を有する無機酸化物を含有することが好ましい。無機酸化物としては、例えば、セシウム含有酸化タングステンを使用することができる。無機酸化物の粒径は、２００ｎｍ以上８００ｎｍ以下であり、好ましくは、４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下とする。また、無機酸化物の形状は球状が望ましいが、これに限定されない。
【００７４】
次に、加熱処理を行うことで、樹脂組成物１０４を硬化させる。ここで、加熱処理としては、１５０℃乃至３００℃で行うことが好ましい。これにより、基材１０１の第１面１０１ａ上に、樹脂層１０２を形成することができる。なお、樹脂層１０２を剥離して、別の基板に貼り合わせてもよい。また、樹脂層１０２を剥離して、樹脂基材として使用することもできる。
【００７５】
以上の工程により、本実施形態に係る光学フィルタ１０３を形成することができる。
【００７６】
上述のように形成された樹脂層１０２は、１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下のダイナミック硬度を有する。これにより、樹脂層１０２の強度を向上させることができる。基材１０１の第１面１０１ａに強度が高い樹脂層１０２を形成することにより、基材１０１の厚みが薄い場合であっても、光学フィルタ１０３が割れてしまうことや、欠けてしまうことを抑制することができる。また、樹脂層１０２が高い強度を有しているため、基材１０１を厚くしなくても、光学フィルタ１０３の強度を保つことができる。そのため、光学フィルタ１０３を薄型化することができる。
【００７７】
また、樹脂層１０２に、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有させることで、樹脂層１０２の耐熱性を向上させることができる。このような樹脂層１０２を有することで、本実施形態に係る光学フィルタ１０３は、２６０℃の状態で６０秒保持した後に室温まで冷却する操作を行うリフロー試験前後において、波長７００ｎｍ乃至１１００ｎｍの平均透過率の変化率が５％以下にすることができる。
【００７８】
光学フィルタ１０３が高い耐熱性を有することにより、光電変換装置１１６及びカメラモジュール１１０の製造工程において、リフロー工程を有するプロセスであっても、光学フィルタ１０３が熱によって劣化し、透過率が変動してしまうことを防止することができる。
【００７９】
本実施形態では、基材１０１上に、重合性基を有する樹脂組成物１０４を塗布して、加熱処理により硬化させることで、樹脂層１０２を形成する方法について説明した。このように、基材１０１上に、塗布法により樹脂層１０２を形成することで、蒸着法やＣＶＤ法で樹脂層を形成する場合と比較して、大型基板へ簡便な方法で塗布でき、低コストで製造できる利点がある。
【００８０】
なお、本実施形態では、基材１０１の第１面１０１ａに樹脂層１０２を形成する場合について示したが、図４Ａに示すように、基材１０１の第２面１０１ｂに樹脂層１０２を形成してもよい。また、図４Ｂに示すように、基材１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂの双方に樹脂層１０２形成してもよい。さらに、図４Ｃに示すように、基材１０１の第１面１０１ａ及び第２面１０１ｂだけでなく、側面にも樹脂層１０２を形成してもよい。塗布法により樹脂層１０２を形成することで、蒸着法やＣＶＤ法により、樹脂層１０２を形成する場合と比較して、基材１０１の側面に樹脂層１０２を容易に形成することができる。樹脂層１０２が、基材１０１の側面にも形成されることで、光学フィルタ１０３の側面から光が入射しても、赤外線をカットすることができる。
【００８１】
〈光電変換装置の構成２〉
次に、図１に示した光電変換装置１１６とは、一部異なる光電変換装置１２６について、図５を参照して説明する。
【００８２】
図５に示す光電変換装置１２６は、光電変換素子１１３が設けられた半導体基板１１２と、光電変換素子１１３上に設けられた光学フィルタ１２３と、光学ローパスフィルタ１１５と、を有する。
【００８３】
〈光学フィルタの構造〉
図５に示す光電変換装置１２６において、光学フィルタ１２３の構成が、図１に示す光学フィルタ１２３の構成と一部異なっている。
【００８４】
図５に示す光学フィルタ１２３として、透光性を有する樹脂基材を使用する。樹脂基材は、先の実施形態において、樹脂層１０２として説明した樹脂組成物を使用して形成されたものである。樹脂基材は、基板に樹脂層１０２を形成し、当該樹脂層１０２を基板から剥離することによって形成することができる。なお、樹脂基材含まれる色素については、光学フィルタ１２３を近赤外線カットフィルタに使用する場合と、赤外線透過フィルタに使用する場合とで、適宜変更することができる。
【００８５】
樹脂基材の厚みは、例えば、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１８０μｍ以下、さらに好ましくは１５０μｍ以下、特に好ましくは１２０μｍ以下であることが望ましく、下限は特に制限されないが、例えば、２０μｍであることが望ましい。樹脂基材の厚みが上記範囲にあると、光学フィルタ１２３を軽量化、小型化することができる。なお、樹脂基材の厚みが上記よりも厚い場合には、光電変換装置及びカメラモジュールを低背化できない。また、樹脂基材の厚みが上記範囲よりも薄い場合には、光学フィルタ１２３の反りが大きくなる。
【００８６】
光学フィルタ１２３、つまり樹脂基材のダイナミック硬度は、１０ｍＮ／μｍ２以上１５０ｍＮ／μｍ２以下であることが好ましい。光学フィルタ１２３のダイナミック硬度が、上記範囲にあることで、光学フィルタ１２３の強度を確保することができる。光学フィルタ１２３のダイナミック硬度が、上記範囲よりも低い場合は、光学フィルタ１２３が割れてしまう、又は欠けてしまうおそれがある。また、上記範囲よりも硬い場合は、剥がれが生じるおそれがある。なお、光学フィルタ１２３のダイナミック硬度は、例えば、微小硬度計にて測定することができる。
【００８７】
光学フィルタ１０３を近赤外線カットフィルタとして使用する場合には、光学フィルタ１０３の透過率は、下記（Ａ）及び（Ｂ）を満たすことが好ましい。（Ａ）波長４３０ｎｍ〜５８０ｎｍの範囲における透過率の平均値が、７５％以上とすることが好ましく、（Ｂ）波長７００ｎｍ〜８００ｎｍの範囲における透過率の平均値が、２０％以下とすることが好ましい。この波長域において平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線カットフィルタ（光学フィルタ１２３）を光電変換装置用途として使用した場合、近赤外線を十分にカットすることができ、優れた色再現性を達成できるため好ましい。
【００８８】
また、光学フィルタ１２３は、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有している樹脂基材を有する。また、当該色素は、ガラス転移温度が高い透明樹脂中に含有されている。これにより、光学フィルタ１２３の耐熱性を向上させることができる。
【００８９】
光学フィルタ１０３を近赤外線透過フィルタとして使用する場合には、光学フィルタ１２３は、以下（Ａ）及び（Ｂ）を満たすことが好ましい。（Ａ）波長４００ｎｍ〜７３０ｎｍの範囲における平均透過率が、２％以下とすることが好ましく、（Ｂ）波長８００ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲における平均透過率が、８０％以上とすることが好ましい。これらの波長域において平均透過率がこの範囲にあると、近赤外線透過フィルタ（光学フィルタ１２３）を光電変換装置用途として使用した場合、可視光線を十分にカットすることができ、優れた赤外線センシングを達成できるため好ましい。
【００９０】
また、光学フィルタ１２３は、赤外線を吸収する機能を有する無機酸化物を含有することが好ましい。無機酸化物としては、例えば、セシウム含有酸化タングステンを使用することができる。
【００９１】
また、光学フィルタ１２３は、熱分解開始温度が１５０℃以上の色素を含有している樹脂基材を有する。また、当該色素は、ガラス転移温度が高い透明樹脂中に含有されている。これにより、光学フィルタ１２３の耐熱性を向上させることができる。色素としては、緑色色素及び黒色色素を含有することが好ましい。また、緑色色素として、スクアリリウム系色素、フタロシアニン系色素、及びシアニン系色素から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。
【００９２】
また、近赤外線カットフィルタ及び赤外線透過フィルタにおいて、上述した樹脂基材の少なくとも一方の面に、誘電体多層膜を設けてもよい。誘電体多層膜を、樹脂基材１２１の少なくとも一方の面に設ける場合は、製造コストが削減され、製造工程が容易になる。また、誘電体多層膜を樹脂基材の両面に設ける場合は、高い強度を有し、反りやねじれが生じにくい光学フィルタ１２３を得ることができる。光学フィルタ１２３を光電変換装置などに適用する場合、光学フィルタ１２３の反りやねじれが小さい方が好ましいことから、誘電体多層膜を樹脂基材の両面に設けることが好ましい。
【００９３】
また、本実施形態に係る光学フィルタ１２３は、２６０℃の状態で６０秒保持した後に室温まで冷却する操作を行うリフロー試験前後において、波長７００ｎｍ乃至１１００ｎｍの平均透過率の変化率が５％以下である。これにより、光電変換装置１２６及びカメラモジュール１２０の製造工程において、高温が加わったとしても、光学フィルタ１２３が熱によって劣化し、透過率が変動してしまうことを防止することができる。
【００９４】
また、カメラモジュール１２０は、光電変換装置１２６と、レンズ１１７と、パッケージ１１８と、を有する。光学フィルタ１２３及び光学ローパスフィルタ１１５は、パッケージ１１８に保持されている。また、パッケージ１１８は、光電変換装置１２６が収納された領域と、レンズ１１７を保持する鏡筒部とを有し、支持基板１１１に固定されている。
【００９５】
また、光電変換装置１２６に、薄型化された光学フィルタ１２３を使用することにより、光電変換装置１２６及びカメラモジュール１１０の低背化を図ることができる。また、光学フィルタ１２３及び光学ローパスフィルタ１１５を設けることにより、光電変換装置１２６の撮像画質を向上させることができる。
【００９６】
光学フィルタ１２３が設けられたパッケージ１１８を、支持基板１１１に設ける際などに、近赤外線カットフィルタに２６０℃程度の温度が加わる場合がある。本実施形態に係る光学フィルタ１２３は、耐熱性を有しているため、リフロー工程において光学フィルタ１２３が劣化することを抑制することができる。
【００９７】
また、本実施形態に係る光学フィルタ１２３は、薄型化が図られている。光学フィルタ１２３を、カメラモジュールなどのレンズユニットに用いた場合には、レンズユニットの低背化、軽量化を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
本発明の一実施形態に係る光学フィルタ及び光電変換装置は、デジタルスチルカメラ、携帯電話用カメラ、デジタルビデオカメラ、パーソナルコンピューター用カメラ、監視カメラ、自動車用カメラ、テレビ、カーナビゲーションシステム用車載装置、携帯情報端末、ビデオゲーム機、携帯ゲーム機、指紋認証システム用装置、デジタルミュージックプレーヤー等に好適に用いることができる。さらに、自動車や建物などのガラス等に装着される熱線カットフィルタなどとしても好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００９９】
１０１：基材、１０１ａ：第１面、１０１ｂ：第２面、１０２：樹脂層、１０３：光学フィルタ、１０４：樹脂組成物、１１１：支持基板、１１２：半導体基板、１１３：光電変換素子、１１４：ワイヤ、１１５：光学ローパスフィルタ、１１６：光電変換装置、１１７：レンズ、１１８：パッケージ、１２０：カメラモジュール、１２３：光学フィルタ、１２６：光電変換装置
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【国際調査報告】
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