(57)【要約】  ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図る複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、第１ＩＤＴ電極では、一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指（６）が、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指（６）の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２）を含む。第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指（６）に関し、第１方向（Ｄ１）に沿った中央部（６０）の中心線（６Ｘ）と太幅部（６２）の第２ＩＤＴ電極側の外縁（６２１）との第２方向（Ｄ２）における最大距離である第１距離（Ｌ１）が、中央部（６０）の中心線（６Ｘ）と太幅部（６２）の第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁（６２２）との第２方向（Ｄ２）における最大距離である第２距離（Ｌ２）よりも短い。
2019123811.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指を含む一群の電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、
前記第１ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、前記第２ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、の一方が前記第１端子に接続され、他方が前記第２端子に接続されており、
前記第１ＩＤＴ電極では、前記第１ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指が、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記第１ＩＤＴ電極では、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に関し、
前記第１方向に沿った前記中央部の中心線と前記太幅部の前記第２ＩＤＴ電極側の外縁との前記第２方向における最大距離である第１距離が、前記中央部の中心線と前記太幅部の前記第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁との前記第２方向における最大距離である第２距離よりも短い、
弾性波装置。
【請求項２】
前記第１ＩＤＴ電極では、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に関し、
前記第１距離が、前記中央部の中心線と前記中央部の前記第２ＩＤＴ電極側の外縁との前記第２方向における距離と同じである、
請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
第１端子と、
前記第１端子の電位よりも低い電位になる第２端子と、
圧電体部と、
前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている、複数のＩＤＴ電極と、を備え、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、
第１バスバーと、
第１方向において前記第１バスバーに対向している第２バスバーと、
前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている複数の第１電極指と、
前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている複数の第２電極指と、を有し、
前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでおり、
前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、
開口部と、
前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指を含む一群の電極指側に位置している内側バスバー部と、
前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している外側バスバー部と、
前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している連結部と、を含み、
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含み、
前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、
前記第１ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、前記第２ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、の一方が前記第１端子に接続され、他方が前記第２端子に接続されており、
前記第１ＩＤＴ電極では、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に前記太幅部を有せず、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも１つに前記太幅部を有する、
弾性波装置。
【請求項４】
前記複数のＩＤＴ電極が前記第２方向において並んでおり、
前記第２方向において並んでいる前記複数のＩＤＴ電極のうち両側のＩＤＴ電極それぞれの、隣りのＩＤＴ電極とは反対側で前記圧電体部上に１つずつ設けられており、前記複数のＩＤＴ電極により励振された弾性波を反射する２つの反射器を更に備える、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部が、前記太幅部を含む、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記圧電体部と前記複数のＩＤＴ電極のうち１つのＩＤＴ電極とを含む積層体は、前記積層体の厚さ方向からの平面視で、前記第１方向にいて互いに異なる複数の領域を有し、
前記複数の領域は、
前記第１方向において中央に位置しており、前記複数の第１電極指の中央部と前記複数の第２電極指の中央部とを含む中央領域と、
前記第１バスバーの前記外側バスバー部及び前記第２バスバーの前記外側バスバー部をそれぞれ含む２つの外側バスバー領域と、
前記第１バスバーの前記内側バスバー部及び前記第２バスバーの前記内側バスバー部をそれぞれ含む２つの内側バスバー領域と、
前記第１バスバーの開口部及び前記第２バスバーの開口部をそれぞれ含む２つの連結領域と、
前記複数の第１電極指と前記第２バスバーとの間のギャップ及び前記複数の第２電極指と前記第１バスバーとの間のギャップそれぞれを含む２つのギャップ領域と、
前記複数の第１電極指の少なくとも１つの電極指の太幅部及び前記複数の第２電極指の少なくとも１つの電極指の太幅部それぞれを含む２つの太幅領域と、を含み、
前記２つの外側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
前記２つの内側バスバー領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなり、
前記２つの連結領域では、前記２つの外側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
前記２つのギャップ領域では、前記２つの内側バスバー領域及び前記中央領域よりも弾性波の音速が速くなり、
前記２つの太幅領域では、前記中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に弾性波装置に関し、より詳細には、ＩＤＴ電極を備える弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置として、圧電基板（圧電体部）と、圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、を備え、ＩＤＴ電極の電極指の一部に太幅部が設けられている弾性波装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された弾性波装置の一例では、圧電基板上には、ＩＤＴ電極の弾性表面波伝搬方向両側に、反射器が形成されている。ＩＤＴ電極及び反射器は、金属材料により形成されている。特許文献１に記載された弾性波装置の特徴は、ＩＤＴ電極においてピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑圧する構造が備えられていることにある。【０００３】
特許文献１に記載された弾性波装置では、ＩＤＴ電極は、第１のバスバーと、第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、第１のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が第２のバスバーに向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、第２のバスバーに基端が接続されており、先端が第１のバスバーに向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、を有する。上記の弾性波装置では、第１の電極指及び第２の電極指の双方に太幅部が設けられている。【０００４】
第１のバスバーは、第１のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。第１のバスバーは、複数の開口部よりも第１の電極指側に位置しており、かつ第１のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、複数の開口部が設けられている中央バスバー部と、内側バスバー部と中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部と、を有する。【０００５】
第２のバスバーは、第２のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有する。第２のバスバーは、複数の開口部よりも第２の電極指側に位置しており、かつ第２のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、複数の開口部が設けられている中央バスバー部と、内側バスバー部と中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部と、を有する。【０００６】
また、特許文献１には、１ポート型共振子を構成する電極形状に限らず、帯域フィルタ等の様々な弾性波装置に特許文献１に記載の発明を適用することができることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１４／１９２７５６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ＩＤＴ電極の電極指の一部に太幅部が設けられた弾性波装置では、例えば、第１のバスバー及び第２のバスバーの長さ方向で、隣り合う共振子のＩＤＴ電極の電位の異なる電極指同士が隣接するので、隣接する電極指間で静電気放電（ＥＳＤ：Electrostatic Discharge）が起こりサージ破壊されてしまうことがあった。【０００９】
本発明の目的は、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能な弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指を含む一群の電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、前記第２ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、の一方が前記第１端子に接続され、他方が前記第２端子に接続されている。前記第１ＩＤＴ電極では、前記第１ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指が、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記第１ＩＤＴ電極では、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に関し、前記第１方向に沿った前記中央部の中心線と前記太幅部の前記第２ＩＤＴ電極側の外縁との前記第２方向における最大距離である第１距離が、前記中央部の中心線と前記太幅部の前記第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁との前記第２方向における最大距離である第２距離よりも短い。【００１１】
本発明の一態様に係る弾性波装置は、第１端子と、第２端子と、圧電体部と、複数のＩＤＴ電極と、を備える。前記第２端子は、前記第１端子の電位よりも低い電位になる。前記複数のＩＤＴ電極は、前記圧電体部上に設けられており、前記第１端子及び前記第２端子と電気的に接続されている。前記複数のＩＤＴ電極の各々は、第１バスバーと、第２バスバーと、複数の第１電極指と、複数の第２電極指と、を有する。前記第２バスバーは、第１方向において前記第１バスバーに対向している。前記複数の第１電極指は、前記第１バスバーに接続され前記第１方向において前記第１バスバーから前記第２バスバー側に延びている。前記複数の第２電極指は、前記第２バスバーに接続され前記第１方向において前記第２バスバーから前記第１バスバー側に延びている。前記複数の第１電極指と前記複数の第２電極指とが、前記第１方向に直交する第２方向において、互いに離隔して並んでいる。前記第１バスバー及び前記第２バスバーの各々は、開口部と、内側バスバー部と、外側バスバー部と、連結部と、を含む。前記内側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部よりも前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指を含む一群の電極指側に位置している。前記外側バスバー部は、前記第１方向において前記開口部から見て前記内側バスバー部とは反対側に位置している。前記連結部は、前記第１方向において前記内側バスバー部と前記外側バスバー部とを連結している。前記複数の第１電極指及び前記複数の第２電極指それぞれの少なくとも１つの電極指が、前記少なくとも１つの電極指の前記第１方向の中央部よりも前記第２方向の幅が大きな太幅部を含む。前記複数のＩＤＴ電極のうち前記第２方向において隣り合う２つのＩＤＴ電極の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、前記第１ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、前記第２ＩＤＴ電極の前記一群の電極指のうち前記第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、の一方が前記第１端子に接続され、他方が前記第２端子に接続されている。前記第１ＩＤＴ電極では、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に前記太幅部を有せず、前記第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも１つに前記太幅部を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の弾性波装置は、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の実施形態１に係る弾性波装置の平面図である。
【図２】図２は、同上の弾性波装置の一部の平面図である。
【図３】図３は、同上の弾性波装置に関し、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、同上の弾性波装置の要部拡大図である。
【図５】図５は、同上の弾性波装置において弾性波伝搬方向（第２方向）に伝搬する弾性波の音速の第１方向における速度分布の模式的な説明図である。
【図６】図６は、同上の弾性波装置の電荷分布の説明図である。
【図７】図７は、本発明の実施形態１の変形例１に係る弾性波装置の一部の平面図である。
【図８】図８は、同上の弾性波装置の要部拡大図である。
【図９】図９は、本発明の実施形態１の変形例２に係る弾性波装置の要部拡大図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態１の変形例３に係る弾性波装置の要部拡大図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施形態２に係る弾性波装置の一部の平面図である。
【図１２】図１２は、同上の弾性波装置の要部拡大図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施形態２の変形例１に係る弾性波装置の要部拡大図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施形態２の変形例２に係る弾性波装置の要部拡大図である。
【図１５】図１５は、本発明の実施形態２の変形例３に係る弾性波装置の断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の実施形態２の変形例４に係る弾性波装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、実施形態１、２に係る弾性波装置について、図面を参照して説明する。
【００１５】
以下の実施形態１、２等において参照する図１〜１６は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【００１６】
（実施形態１）
（１．１）弾性波装置の全体構成
以下、実施形態１に係る弾性波装置１について、図面を参照して説明する。
【００１７】
実施形態１に係る弾性波装置１は、図１〜５に示すように、第１端子（例えば、信号端子）１１と、第２端子（例えば、グラウンド端子）１２と、圧電体部２４と、複数（３つ）のＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極３と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。したがって、第１端子１１は、第２端子１２の電位よりも高い電位になる。第１端子１１及び第２端子１２は、圧電体部２４上に設けられている。ここにおいて、「圧電体部２４上に設けられている」とは、圧電体部２４上に直接的に設けられている場合と、圧電体部２４上に間接的に設けられている場合と、を含む。弾性波装置１は、第２端子１２を複数（３つ）備えているが、少なくとも１つ備えていればよい。圧電体部２４は、圧電材料により形成されている。ＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられている。ここにおいて、「圧電体部２４上に設けられている」とは、圧電体部２４上に直接的に設けられている場合と、圧電体部２４上に間接的に設けられている場合と、を含む。実施形態１に係る弾性波装置１は、縦結合共振子型フィルタである。弾性波装置１は、２つの反射器８を更に備えている。
【００１８】
また、実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子（例えば、信号端子）１１と、第２端子（例えば、グラウンド端子）１２と、を備えている。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位となる。また、実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と第１端子１１とを電気的に接続している第１配線層１３と、ＩＤＴ電極３と第２端子１２とを電気的に接続している第２配線層１４と、を更に備える。図１では、説明の便宜上、第１端子１１及びＩＤＴ電極３において第１端子１１に電気的に接続されている部分（高電位側部分）に「Ｈ」の記号を表記し、第２端子１２及びＩＤＴ電極３において第２端子１２に電気的に接続されている部分（低電位側部分）に「Ｅ」の記号を表記してある。高電位側部分と低電位側部分とは電位が異なる。高電位側部分は、低電位側部分よりも高電位となる部分である。「Ｈ」、「Ｅ」の表記は、符号ではないし、実際にあるわけでもない。弾性波装置１は、第１端子１１を２つ備え、第２端子１２を２つ備えている。２つの第１端子１１を区別する場合、一方を第１端子１１Ａと称し、他方を第１端子１１Ｂと称する。また、２つの第２端子１２を区別する場合、一方を第２端子１２Ａと称し、他方を第２端子１２Ｂと称する。図１及び２では、各ＩＤＴ電極３及び各反射器８にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、各ＩＤＴ電極３及び各反射器８と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。また、図１では、第１端子１１、第２端子１２、第１配線層１３及び第２配線層１４にドットのハッチングを付してあるが、これらのハッチングは、断面を表すものではなく、第１端子１１、第２端子１２、第１配線層１３及び第２配線層１４と圧電体部２４との関係を分かりやすくするために付してあるにすぎない。
【００１９】
実施形態１に係る弾性波装置１では、圧電体部２４が圧電膜であり、複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４を有する積層型基板２上に設けられている。積層型基板２は、少なくとも一部に圧電性を有する圧電性基板である。
【００２０】
（１．２）弾性波装置の各構成要素
次に、弾性波装置１の各構成要素について、図面を参照して説明する。
【００２１】
（１．２．１）積層型基板
積層型基板２は、図３に示すように、高音速支持基板２１と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速支持基板２１では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速支持基板２１上に形成されている。ここにおいて、「高音速支持基板２１上に設けられている」とは、高音速支持基板２１上に直接的に設けられている場合と、高音速支持基板２１上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部２４は、高音速支持基板２１上に間接的に設けられている。この場合、弾性波装置１では、高音速支持基板２１と圧電体部２４との間に低音速膜２３が設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置１では、圧電体部２４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ電極３内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置１では、低音速膜２３が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。
【００２２】
圧電体部２４は、例えば、リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）、リチウムニオベイト（ＬｉＮｂＯ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、又は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。
【００２３】
高音速支持基板２１は、低音速膜２３と圧電体部２４とを含む積層体を支持している。高音速支持基板２１は、その厚さ方向において互いに反対側にある第１主面２１１及び第２主面２１２を有する。第１主面２１１及び第２主面２１２は、互いに背向する。高音速支持基板２１の平面視形状（高音速支持基板２１を厚さ方向から見たときの外周形状）は、長方形状であるが、長方形状に限らず、例えば正方形状であってもよい。高音速支持基板２１の厚さは、例えば、１２０μｍである。高音速支持基板２１の材料は、シリコンである。高音速支持基板２１は、シリコンに限らず、例えば、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、又は、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料のいずれかにより形成されていてもよい。
【００２４】
低音速膜２３は、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素又は炭素又はホウ素を加えた化合物、又は、上記各材料を主成分とする材料のいずれかからなる。
【００２５】
低音速膜２３が酸化ケイ素の場合、温度特性を改善することができる。リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）の弾性定数は負の温度特性を有し、酸化ケイ素は正の温度特性を有する。したがって、弾性波装置１では、周波数温度特性（ＴＣＦ：Temperature Coefficient of Frequency）の絶対値を小さくすることができる。加えて、酸化ケイ素の固有音響インピーダンスはリチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ3）の固有音響インピーダンスより小さい。したがって、弾性波装置１では、電気機械結合係数の増大すなわち比帯域の拡大と、周波数温度特性の改善との双方を図ることができる。
【００２６】
弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さは、ＩＤＴ電極３の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、３．５λ以下であることが望ましい。なぜならば、Ｑ値が高くなるためである。また、弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さを２．５λ以下とすることで、周波数温度特性が良くなる。さらに、弾性波装置１では、圧電体部２４の厚さを１．５λ以下とすることで、音速の調整が容易になる。圧電体部２４の厚さは、例えば、６００ｎｍである。
【００２７】
低音速膜２３の厚さは、ＩＤＴ電極３の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとすると、２．０λ以下であることが望ましい。弾性波装置１では、低音速膜２３の厚さを２．０λ以下とすることにより、膜応力を低減することができ、その結果、製造時に高音速支持基板２１の元になるウェハの反りを低減することが可能となり、良品率の向上及び特性の安定化が可能となる。低音速膜２３の厚さは、例えば、６００ｎｍである。
【００２８】
（１．２．２）反射器
２つの反射器８は、圧電体部２４上に設けられている。より詳細には、２つの反射器８は、圧電体部２４の一の主面２４１上に設けられている。ここで、２つの反射器８は、第２方向Ｄ２において３つのＩＤＴ電極３のうち両側のＩＤＴ電極３それぞれにおける真ん中のＩＤＴ電極３とは反対側に、１つずつ配置されている。以下では、説明の便宜上、３つのＩＤＴ電極３を区別する場合に、複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方をＩＤＴ電極３Ａ、他方をＩＤＴ電極３Ｂと称することもある。図１及び２の例では、３つのＩＤＴ電極３のうち真ん中のＩＤＴ電極３をＩＤＴ電極３Ａと称し、両端のＩＤＴ電極３をＩＤＴ電極３Ｂと称する。
【００２９】
２つの反射器８の各々は、弾性波を反射する。２つの反射器８の各々は、グレーティング反射器である。２つの反射器８の各々は、複数の電極指９を有し、複数の電極指９の第１方向Ｄ１の一端同士、他端同士を短絡してある。図１及び２では、２つの反射器８の各々について、図面を見やすくするために電極指９の数を減らして描いてある。
【００３０】
（１．２．３）ＩＤＴ電極
ＩＤＴ電極３は、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）又はこれらの金属のいずれかを主体とする合金などの適宜の金属材料により形成することができる。また、ＩＤＴ電極３は、これらの金属又は合金からなる複数の金属膜を積層した構造を有していてもよい。ＩＤＴ電極３の厚さは、例えば、１５０ｎｍである。
【００３１】
実施形態１に係る弾性波装置１では、３つのＩＤＴ電極３は、第２方向Ｄ２において並んでいる。３つのＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。
【００３２】
ＩＤＴ電極３では、第１バスバー４と第２バスバー５とは、圧電体部２４の厚さ方向（図３の上下方向）に直交する第１方向Ｄ１において対向し合っている。つまり、第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。
【００３３】
第１バスバー４及び第２バスバー５は、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２を長手方向とする長尺状である。図１及び２では、第１バスバー４及び第２バスバー５が長尺状に見えないが、これは、図面を見やすくするために第１電極指６及び第２電極指７それぞれの数を減らして描いてあるためである。第２方向Ｄ２は、弾性波の伝搬方向に沿った方向である。第２方向Ｄ２は、圧電体部２４の厚さ方向にも直交する。
【００３４】
複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。ここにおいて、複数の第１電極指６は、第１バスバー４から第１バスバー４の長手方向に直交する方向に沿って延びている。つまり、複数の第１電極指６は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に沿って延びている。ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と第２バスバー５とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第１電極指６と第２バスバー５との間にギャップ３１が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３１の長さは、例えば、０．５λ以下である。
【００３５】
複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。ここにおいて、複数の第２電極指７は、第２バスバー５から第２バスバー５の長手方向に直交する方向に沿って延びている。つまり、複数の第２電極指７は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に沿って延びている。ＩＤＴ電極３では、複数の第２電極指７と第１バスバー４とは離れており、第１方向Ｄ１において対向する第２電極指７と第１バスバー４との間にギャップ３２が形成されている。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１におけるギャップ３２の長さは、例えば、０．５λ以下である。
【００３６】
ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、１本ずつ交互に互いに離隔して並んでいる。したがって、第２方向Ｄ２において隣り合う第１電極指６と第２電極指７とは離れている。
【００３７】
第１バスバー４は、開口部４０と、内側バスバー部４２と、外側バスバー部４１と、連結部４３と、含む。内側バスバー部４２は、第１方向Ｄ１において開口部４０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７を含む一群の電極指側に位置している。外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において開口部４０から見て内側バスバー部４２とは反対側に位置している。つまり、外側バスバー部４１は、第１方向Ｄ１において複数の第１電極指６が存在する側とは反対側に位置している。連結部４３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２と外側バスバー部４１とを連結している。連結部４３は、第２方向Ｄ２において開口部４０の両側に位置している。図１及び２の例では、連結部４３は、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０と同じ幅を有し、かつ第１電極指６の延長線上に位置している。ただし、連結部４３の寸法及び連結部４３の配置はこれに限定されるものではない。
【００３８】
また、開口部４０の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における内側バスバー部４２の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における連結部４３の長さは、例えば、２．０λである。
【００３９】
複数の開口部４０は、例えば、第２方向Ｄ２において略等間隔で並んでいる。図１及び２の例では、第２方向Ｄ２における開口部４０の開口幅は、例えば、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の中央部６０間の距離と同じである。また、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの開口部４０間の距離は、例えば、第２方向Ｄ２における第１電極指６の中央部６０の幅と同じである。
【００４０】
第２バスバー５は、開口部５０と、内側バスバー部５２と、外側バスバー部５１と、連結部５３と、含む。内側バスバー部５２は、第１方向Ｄ１において開口部５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７を含む一群の電極指側に位置している。外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において開口部５０から見て内側バスバー部５２とは反対側に位置している。つまり、外側バスバー部５１は、第１方向Ｄ１において複数の第２電極指７が存在する側とは反対側に位置している。連結部５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部５２と外側バスバー部５１とを連結している。連結部５３は、第２方向Ｄ２において開口部５０の両側に位置している。図１の例では、連結部５３は、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０と同じ幅を有し、かつ第２電極指７の延長線上に位置している。ただし、連結部５３の寸法及び連結部５３の配置はこれに限定されるものではない。
【００４１】
また、開口部５０の開口形状は、矩形状であるが、これに限らない。上述の弾性波の波長をλとしたときに、第１方向Ｄ１における内側バスバー部５２の幅は、例えば、０．５λ以下である。また、第１方向Ｄ１における連結部５３の長さは、例えば、２．０λである。
【００４２】
第２バスバー５は開口部５０を複数含んでいるが、図１及び２では図面を見やすくするために第２電極指７の数を減らして描いてあるため、図１及び２では、開口部５０が１つだけ図示されている。複数の開口部５０は、例えば、第２方向Ｄ２において略等間隔で並んでいる。図１及び２の例では、第２方向Ｄ２における開口部５０の開口幅は、例えば、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２電極指７の中央部７０間の距離と同じである。また、上述のように図１及び２では、開口部５０が１つしか図示されていないが、第２方向Ｄ２において隣り合う２つの開口部５０間の距離は、例えば、第２方向Ｄ２における第２電極指７の中央部７０の幅と同じである。
【００４３】
図１及び２の例では、複数の第１電極指６は、互いの長さが同じである。複数の第１電極指６の各々の先端部６１は、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２を含む。また、複数の第１電極指６の各々は、太幅部６２とは別に太幅部６４（図２参照）を含む。太幅部６４は、第１電極指６の先端部６１とは反対側の基端部６３（図２参照）と中央部６０との間に形成されており、第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きい。太幅部６４は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４から離れている。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において太幅部６２と太幅部６４との間の部分が、中央部６０を構成している。複数の第１電極指６の各々では、第１方向Ｄ１において、中央部６０は、各太幅部６２、６４よりも長い。
【００４４】
また、図１及び２の例では、複数の第１電極指６は、互いの中央部６０の幅が同じである。また、複数の第１電極指６の各々は、先端部６１の太幅部６２の幅と基端部６３側の太幅部６４の幅とが同じである。太幅部６２及び６４の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
【００４５】
また、図１及び２の例では、複数の第２電極指７は、互いの長さが同じである。複数の第２電極指７の各々の先端部７１は、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部７２を含む。また、複数の第２電極指７の各々は、太幅部７２とは別に太幅部７４（図２参照）を含む。太幅部７４は、第２電極指７の先端部７１とは反対側の基端部７３（図２参照）と中央部７０との間に形成されており、第２電極指７の第１方向Ｄ１の中央部７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きい。太幅部７４は、第１方向Ｄ１において第２バスバー５から離れている。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において太幅部７２と太幅部７４との間の部分が、中央部７０を構成している。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１において、中央部７０は、各太幅部７２、７４よりも長い。
【００４６】
また、図１及び２の例では、複数の第２電極指７は、互いの中央部７０の幅が同じである。また、複数の第２電極指７の各々は、先端部７１の太幅部７２の幅と基端部７３側の太幅部７４の幅とが同じである。太幅部７２及び７４の形状は、矩形状であるが、これに限らず、例えば、六角形状、円形状等であってもよい。
【００４７】
ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の先端部６１の太幅部６２と第２電極指７の基端部７３側の太幅部７４とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。また、ＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６の基端部６３側の太幅部６４と第２電極指７の先端部７１の太幅部７２とが、第２方向Ｄ２において、１つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。ＩＤＴ電極３の電極指周期は、隣り合う第１電極指６の中央部６０と第２電極指７の中央部７０との互いに対応する辺間の距離の２倍の値である。ＩＤＴ電極３の電極指周期は、複数の第１電極指６のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第１電極指６の中心線６Ｘ（図４参照）間の距離により規定されても同じ値となる。また、ＩＤＴ電極３の電極指周期は、複数の第２電極指７のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つの第２電極指７の中心線７Ｘ（図４参照）間の距離により規定されても同じ値となる。
【００４８】
実施形態１に係る弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３において、ピストンモードを形成することにより横モードリップルを抑圧する構造を有する。この点については、図５を参照して説明する。
【００４９】
弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３の数だけ共振子を備えている。３つの共振子の各々は、ＩＤＴ電極３を含んでいる。弾性波装置１は、圧電体部２４の一部とＩＤＴ電極３との積層体を含む共振子に関して、図５の左側に示すように、積層体の厚さ方向からの平面視（つまり、弾性波装置１の厚さ方向からの平面視）で、第１方向Ｄ１における１１個の領域Ａ１〜Ａ１１を含んでいる。１１個の領域Ａ１〜Ａ１１は、圧電体部２４及びＩＤＴ電極３それぞれにおいて互いに異なる部分を含んでいる。図５の右側には、１１個の領域Ａ１〜Ａ１１を伝搬する弾性波の速度（音速）を模式的に示してある。
【００５０】
弾性波装置１の共振子では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１において中央に位置する領域Ａ６が、中央領域を構成している。中央領域は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とを含む。中央領域は、複数の第１電極指６の中央部６０と複数の第２電極指７の中央部７０とが第２方向Ｄ２において重なる領域である。中央領域では、電極指幅（第１電極指６の中央部６０及び第２電極指の中央部７０それぞれの幅）を上記の電極指周期の２分の１の値で除した値（デューティ比）は、例えば、０．５である。
【００５１】
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれに位置する領域Ａ１、Ａ１１が、外側バスバー領域を構成している。領域Ａ１は、第１バスバー４の外側バスバー部４１を含む。領域Ａ１１は、第２バスバー５の外側バスバー部５１を含む。外側バスバー領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
【００５２】
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて２番目に位置する領域Ａ２、Ａ１０が、連結領域を構成している。領域Ａ２は、第１バスバー４の複数の連結部４３と複数の開口部４０とを含む。領域Ａ１０は、第２バスバー５の複数の連結部５３と複数の開口部５０とを含む。連結領域では、外側バスバー領域及び中央領域よりも弾性波の音速が速くなる。
【００５３】
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて３番目に位置する領域Ａ３、Ａ９が、内側バスバー領域を構成している。領域Ａ３は、第１バスバー４の内側バスバー部４２を含む。領域Ａ９は、第２バスバー５の内側バスバー部５２を含む。内側バスバー領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
【００５４】
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて４番目に位置する領域Ａ４、Ａ８が、ギャップ領域を構成している。領域Ａ４は、複数の第１電極指６の基端部６３と複数のギャップ３２とを含む。領域Ａ８は、複数の第２電極指７の基端部７３と複数のギャップ３１とを含む。ギャップ領域では、内側バスバー領域及び中央領域よりも弾性波の音速が速くなる。
【００５５】
弾性波装置１では、上述の１１個の領域Ａ１〜Ａ１１のうち第１方向Ｄ１の両端それぞれから数えて５番目に位置する領域Ａ５、Ａ７が、太幅領域を構成している。領域Ａ５は、複数の第１電極指６の太幅部６４と複数の第２電極指７の太幅部７２とを含む。領域Ａ７は、複数の第１電極指６の太幅部６２と複数の第２電極指７の太幅部７４とを含む。太幅領域では、中央領域よりも弾性波の音速が遅くなる。
【００５６】
弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３が上記のように構成されているため、中央領域（領域Ａ６）の外側に低音速の領域（領域Ａ５、Ａ３及び領域Ａ７、Ａ９）が設けられ、低音速領域の外側に高音速の領域Ａ２及び領域Ａ１０が存在している。したがって、弾性波装置１では、ピストンモードを形成することが可能となり、横モードリップルを効果的に抑圧することができる。
【００５７】
（１．３）ＩＤＴ電極及び反射器それぞれの電位
図４は、図１及び２の真ん中のＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、図１及び２の左側のＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６と、を含む拡大図である。図１、２及び４において「Ｈ」の記号が表記されている高電位側部分と、「Ｅ」の記号が表記されている低電位側部分とは、電位が異なる。例えば、図４において、ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６とは、電位が異なる。また、図４において、ＩＤＴ電極３Ａの左側の端に位置する第１電極指６と、この第１電極指６に近接する、ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５とは、電位が異なる。また、図４において、ＩＤＴ電極３Ｂの右側の端に位置する第１電極指６と、この第１電極指６に近接する、ＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５とは、電位が異なる。また、ＩＤＴ電極３Ａの第２バスバー５とＩＤＴ電極３Ｂの第２バスバー５とは、電位が異なる。
【００５８】
図６は、実施形態１に係る弾性波装置１の表面（３つのＩＤＴ電極３の表面及び圧電体部２４の一の主面２４１を含む）の電荷分布を示す。図６に示す電荷分布の前提条件はＩＤＴ電極３Ａに係る領域、及び、ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていること、ＩＤＴ電極３Ａに係る領域とＩＤＴ電極３Ｂに係る領域が互いに異なる電気端子（第１端子１１Ａ、第１端子１１Ｂ）と接続されていること、反射器８が電気的に短絡している（短絡グレーティングである）こと、及び、反射器８に係る領域で表面弾性波の励振現象が生じていないこと（反射器８は電気的に短絡しているため、圧電効果を引き起こす駆動電圧は零となる）、である。ここにおいて、図６に示す電荷分布が生じる原理は以下の通りである。表面弾性波の励振が生じている領域と励振が生じていない領域の境界領域にて、エッジ効果（Edge effect；縁端効果ともいう）が生じる。エッジ効果は、互いに表面弾性波の励振のようすが異なる２領域の境界領域においても、生じる。エッジ効果により、同境界領域の電荷量は、同境界領域の周辺領域の電荷量に比べて、局所的に大きくなる。エッジ効果は、原理上、互いに表面弾性波の励振のようすが異なっていれば、該当する種々の境界領域で、生じうる。しかし、実施形態１に係る弾性波装置１（縦結合共振子型フィルタ）の場合、図６に示すように、ＩＤＴ電極３Ａに係る領域とＩＤＴ電極３Ｂに係る領域との境界領域、及び、ＩＤＴ電極３Ｂに係る領域と反射器８に係る領域との境界領域で、局所的な電荷量の集中が発生する場合が多い。したがって、実施形態１に係る弾性波装置１では、図６に示すような電荷分布が生じる。
【００５９】
図６から分かるように、弾性波装置１では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指が並んでいる第２方向Ｄ２において、ＩＤＴ電極３の両端の電荷量がＩＤＴ電極３の中央の電荷量よりも多くなる。このため、弾性波装置１では、例えば、隣り合うＩＤＴ電極３間での電気力線の密度が大きくなりやすい。
【００６０】
（１．４）ＩＤＴ電極の詳細
複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、第１ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ａ又は３Ｂ）では、第２ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ｂ又は３Ａ）に最も近い第１電極指６に関して、例えば、図４に示すように、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短い。第１距離Ｌ１は、第１方向Ｄ１に沿った中央部６０の中心線６Ｘと太幅部６２の第２ＩＤＴ電極側の外縁６２１との第２方向Ｄ２における最大距離である。第２距離Ｌ２は、中心線６Ｘと太幅部６２の第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁６２２との第２方向Ｄ２における最大距離である。第１電極指６の中央部６０の第２方向Ｄ２における幅をＷ０とすると、第１距離Ｌ１及び第２距離Ｌ２は、いずれもＷ０／２よりも長い。実施形態１に係る弾性波装置１では、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のペアにおいて、ＩＤＴ電極３Ａを第１ＩＤＴ電極とすると、ＩＤＴ電極３Ｂが第２ＩＤＴ電極となり、ＩＤＴ電極３Ｂを第１ＩＤＴ電極とすると、ＩＤＴ電極３Ａが第２ＩＤＴ電極となる。第１ＩＤＴ電極において第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６の太幅部６２が、第１方向Ｄ１において中央部６０と重なる部分６２０から、第２方向Ｄ２において互いに反対向きに突出している２つの突部６２１０、６２２０を含んでいる（図４参照）。突部６２１０は、第２方向Ｄ２において中央部６０よりも第２ＩＤＴ電極側に突出している。突部６２２０は、第２方向Ｄ２において中央部６０よりも第２ＩＤＴ電極側とは反対の第２電極指７側に突出している。
【００６１】
第１ＩＤＴ電極では、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６に関し、中心線６Ｘと太幅部６４の第２ＩＤＴ電極側の外縁との第２方向Ｄ２における最大距離である第３距離が、太幅部６４の第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁との第２方向Ｄ２における最大距離である第４距離よりも短い。第３距離は、第１距離Ｌ１と同じである。第４距離は、第２距離Ｌ２と同じである。第１ＩＤＴ電極では、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６は、中心線６Ｘを基準として非対称な形状である。太幅部６４の形状は、太幅部６２の形状と同じである。
【００６２】
隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方のＩＤＴ電極３では、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とを含む一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において他方のＩＤＴ電極３に最も近い第１電極指６は、第２バスバー５よりも、第２方向Ｄ２において内側に位置している。
【００６３】
また、第１ＩＤＴ電極では、複数の第１電極指６のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６以外の第１電極指６は、第１方向Ｄ１に沿った中央部６０の中心線６Ｘを基準として線対称な形状である。また、第２ＩＤＴ電極では、複数の第１電極指６のうち第１ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６以外の第１電極指６は、第１方向Ｄ１に沿った中央部６０の中心線６Ｘを基準として線対称な形状である。複数の第１電極指６のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６以外の第１電極指６では、第１方向Ｄ１に沿った中央部６０の中心線６Ｘと太幅部６２の一方の外縁との第２方向Ｄ２における距離、及び、中心線６Ｘと太幅部６２の他方の外縁との第２方向Ｄ２における距離が、第２距離Ｌ２と同じである。したがって、第１ＩＤＴ電極では、複数の第１電極指６のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６の太幅部６２の第２方向Ｄ２における幅（第１距離Ｌ１＋第２距離Ｌ２）は、他の第１電極指６の太幅部６２の第２方向Ｄ２における幅よりも狭い。
【００６４】
また、第１ＩＤＴ電極では、複数の第２電極指７の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中央部７０の中心線７Ｘ（図４参照）を基準として線対称な形状である。また、第２ＩＤＴ電極では、複数の第２電極指７の各々は、第１方向Ｄ１に沿った中央部７０の中心線７Ｘを基準として線対称な形状である。複数の第２電極指７の各々では、第１方向Ｄ１に沿った中央部７０の中心線７Ｘと太幅部７２の一方の外縁との第２方向Ｄ２における距離、及び、中心線７Ｘと太幅部７２の他方の外縁との第２方向Ｄ２における距離が、第２距離Ｌ２と同じである。
【００６５】
（１．５）効果
実施形態１に係る弾性波装置１は、第１端子１１と、第２端子１２と、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、互いに離隔して並んでいる。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７を含む一群の電極指側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指（第１電極指６）と、第２ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指（第１電極指６）と、の一方が第１端子１１に接続され、他方が第２端子１２に接続されている。第１ＩＤＴ電極では、一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６が、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６の第１方向Ｄ１の中央部６０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２を含む。第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６に関し、第１方向Ｄ１に沿った中央部６０の中心線６Ｘと太幅部６２の第２ＩＤＴ電極側の外縁６２１との第２方向Ｄ２における最大距離である第１距離Ｌ１が、中心線６Ｘと太幅部６２の第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁６２２との第２方向Ｄ２における最大距離である第２距離Ｌ２よりも短い。
【００６６】
これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、ＩＤＴ電極３が上記の構成を有しているので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。また、実施形態１に係る弾性波装置１は、第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６に関し、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短いので、隣り合うＩＤＴ電極３でのＥＳＤによりサージ破壊されるのを抑制することが可能となる。具体的には、実施形態１に係る弾性波装置１では、隣り合う共振子のＩＤＴ電極３の第１電極指６間でＥＳＤが起こってサージ破壊されてしまうのを抑制することが可能となる。よって、実施形態１に係る弾性波装置１では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【００６７】
実施形態１に係る弾性波装置１では、第１ＩＤＴ電極において第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６のみ太幅部６２の第２方向Ｄ２における幅を他の第１電極指６の太幅部６２の第２方向Ｄ２における幅よりも狭くすることによって、ＥＳＤ耐性の向上を図れる。これにより、実施形態１に係る弾性波装置１では、ピストンモードの阻害をより抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【００６８】
（１．６）実施形態１の変形例１
以下では、実施形態１の変形例１に係る弾性波装置１ａについて、図７及び８を参照して説明する。
【００６９】
変形例１に係る弾性波装置１ａでは、第１ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ａ又は３Ｂ）において、第２ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ｂ又は３Ａ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２、６４の形状が、実施形態１に係る弾性波装置１とは相違する。変形例１に係る弾性波装置１ａに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１〜６参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００７０】
実施形態１に係る弾性波装置１では、例えば、図４に示すように、第１ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ａ又は３Ｂ）において第２ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ｂ又は３Ａ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２が、第２方向Ｄ２において互いに反対向きに突出している２つの突部６２１０、６２２０を含んでいる。これに対して、変形例１に係る弾性波装置１ａでは、第１ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ａ又は３Ｂ）において第２ＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ｂ又は３Ａ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２が、２つの突部６２１０、６２２０（図４参照）のうち突部６２２０のみを含んでいる。
【００７１】
変形例１に係る弾性波装置１ａの第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６に関し、第１距離Ｌ１が、中央部６０の中心線６Ｘと中央部６０の第２ＩＤＴ電極側の外縁６０１との第２方向Ｄ２における距離Ｌ０１と同じである。
【００７２】
これにより、変形例１に係る弾性波装置１ａでは、実施形態１に係る弾性波装置１と比べて、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３同士で互いに隣接する２つの第１電極指６間の距離を長くできる。よって、変形例１に係る弾性波装置１ａでは、実施形態１に係る弾性波装置１と比べて、ピストンモードの阻害をより抑制でき、かつＥＳＤ耐性の更なる向上を図ることが可能となる。
【００７３】
（１．７）実施形態１の変形例２
以下では、実施形態１の変形例２に係る弾性波装置１ｂについて、図９を参照して説明する。
【００７４】
変形例２に係る弾性波装置１ｂでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち一方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ）のみで、他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２に関し、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短くなっている点で、実施形態１に係る弾性波装置１とは相違する。変形例２に係る弾性波装置１ｂに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１〜６参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００７５】
変形例２に係る弾性波装置１ｂでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ）では、一方のＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ａ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２と同じである。変形例２に係る弾性波装置１ｂでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のペアにおいて、ＩＤＴ電極３Ａを第１ＩＤＴ電極とし、ＩＤＴ電極３Ｂを第２ＩＤＴ電極とする。
【００７６】
変形例２に係る弾性波装置１ｂでは、ＩＤＴ電極３ＡにおいてＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短いので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図れる。また、変形例２に係る弾性波装置１ｂでは、第１ＩＤＴ電極３ＢにおいてＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２と同じなので、実施形態１に係る弾性波装置１と比べて、ピストンモードの阻害をより抑制できる。
【００７７】
（１．８）実施形態１の変形例３
以下では、実施形態１の変形例３に係る弾性波装置１ｂについて、図１０を参照して説明する。
【００７８】
変形例３に係る弾性波装置１ｃでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち一方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ）のみで、他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２に関し、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短くなっている点が、実施形態１に係る弾性波装置１とは相違する。変形例３に係る弾性波装置１ｃに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１〜６参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００７９】
変形例３に係る弾性波装置１ｃでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ）では、一方のＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ｂ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して、第２距離Ｌ２が第１距離Ｌ１よりも短い。変形例３に係る弾性波装置１ｃでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のペアにおいて、ＩＤＴ電極３Ｂを第１ＩＤＴ電極とし、ＩＤＴ電極３Ａを第２ＩＤＴ電極とする。
【００８０】
変形例３に係る弾性波装置１ｃでは、ＩＤＴ電極３ＢにおいてＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短いので、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図れる。
【００８１】
（１．９）実施形態１の他の変形例
複数のＩＤＴ電極３の各々におけるＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端に位置する電極指が第１電極指６で、他方の端に位置する電極指が第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち少なくとも一方のＩＤＴ電極３で、一群の電極指のうち第２方向Ｄにおいて他方のＩＤＴ電極３に最も近い電極指の太幅部に関し、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短くなっていればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
【００８２】
（実施形態２）
（２．１）弾性波装置の構成
以下、実施形態２に係る弾性波装置１ｄについて、図１１及び１２を参照して説明する。
【００８３】
実施形態２に係る弾性波装置１ｄは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち一方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ又はＩＤＴ電極３Ｂ）において、他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ又はＩＤＴ電極３Ａ）に最も近い第１電極指６の先端部６１の第２方向Ｄ２の幅Ｗ０１が、中央部６０の幅Ｗ０と同じである点で、実施形態１に係る弾性波装置１と相違する。実施形態２に係る弾性波装置１ｄに関し、実施形態１に係る弾性波装置１（図１〜６参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００８４】
実施形態２に係る弾性波装置１ｄでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち一方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ又はＩＤＴ電極３Ｂ）において、他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ又はＩＤＴ電極３Ａ）に最も近い第１電極指６は、先端部６１に、太幅部６２（図２参照）を有していない。これにより、この第１電極指６では、先端部６１の第２方向Ｄ２の幅Ｗ０１が、中央部６０の幅Ｗ０と同じとなっている。また、この第１電極指６は、太幅部６４（図２参照）を有していない。
【００８５】
（２．２）効果
実施形態２に係る弾性波装置１ｄは、第１端子１１（図１参照）と、第２端子１２（図１参照）と、圧電体部２４と、複数のＩＤＴ電極３と、を備える。第２端子１２は、第１端子１１の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極３は、圧電体部２４上に設けられており、第１端子１１及び第２端子１２と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極３の各々は、第１バスバー４と、第２バスバー５と、複数の第１電極指６と、複数の第２電極指７と、を有する。第２バスバー５は、第１方向Ｄ１において第１バスバー４に対向している。複数の第１電極指６は、第１バスバー４に接続され第１方向Ｄ１において第１バスバー４から第２バスバー５側に延びている。複数の第２電極指７は、第２バスバー５に接続され第１方向Ｄ１において第２バスバー５から第１バスバー４側に延びている。複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、互いに離隔して並んでいる。第１バスバー４及び第２バスバー５の各々は、開口部４０、５０と、内側バスバー部４２、５２と、外側バスバー部４１、５１と、連結部４３、５３と、を含む。内側バスバー部４２、５２は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０よりも複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７を含む一群の電極指側に位置している。外側バスバー部４１、５１は、第１方向Ｄ１において開口部４０、５０から見て内側バスバー部４２、５２とは反対側に位置している。連結部４３、５３は、第１方向Ｄ１において内側バスバー部４２、５２と外側バスバー部４１、５１とを連結している。複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの少なくとも１つの第１電極指６、第２電極指７が、第１方向Ｄ１の中央部６０、７０よりも第２方向Ｄ２の幅が大きな太幅部６２、７２を含む。複数のＩＤＴ電極３のうち第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指（第１電極指６）と、第２ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指（第１電極指６）と、の一方が第１端子１１に接続され、他方が第２端子１２に接続されている。第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６に太幅部６２を有せず、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６以外の第１電極指６の少なくとも１つに太幅部６２を有する。
【００８６】
これにより、実施形態２に係る弾性波装置１ｄでは、ＩＤＴ電極３が上記の構成を有しているので、ピストンモードの阻害を抑制することが可能となる。また、実施形態２に係る弾性波装置１ｄは、第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６に太幅部６２を有せず、第２ＩＤＴ電極に最も近い第１電極指６以外の第１電極指６の少なくとも１つに太幅部６２を有するので、隣り合うＩＤＴ電極３でのＥＳＤによりサージ破壊されるのを抑制することが可能となる。具体的には、実施形態２に係る弾性波装置１ｄでは、隣り合う共振子のＩＤＴ電極３の第１電極指６間でＥＳＤが起こってサージ破壊されてしまうのを抑制することが可能となる。よって、実施形態２に係る弾性波装置１ｄでは、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【００８７】
（２．３）実施形態２の変形例１
以下では、実施形態２の変形例１に係る弾性波装置１ｅについて、図１３を参照して説明する。
【００８８】
変形例１に係る弾性波装置１ｅは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち一方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ）のみで、他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ）に最も近い第１電極指６の先端部６１の第２方向Ｄ２の幅Ｗ０１が、中央部６０の幅Ｗ０と同じである点で、実施形態２に係る弾性波装置１ｄと相違する。変形例１に係る弾性波装置１ｅに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｄ（図１１及び１２参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００８９】
変形例１に係る弾性波装置１ｅでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ）では、一方のＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ｂ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して、第２距離Ｌ２が第１距離Ｌ１よりも短い。変形例１に係る弾性波装置１ｅでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のペアにおいて、ＩＤＴ電極３Ｂを第１ＩＤＴ電極とし、ＩＤＴ電極３Ａを第２ＩＤＴ電極とする。
【００９０】
変形例１に係る弾性波装置１ｅでは、ＩＤＴ電極３ＡにおいてＩＤＴ電極３Ｂに最も近い第１電極指６の先端部６１が太幅部６２を有しているので、実施形態２に係る弾性波装置１ｄと比べて、ＩＤＴ電極３Ａでのピストンモードの阻害をより抑制できる。
【００９１】
（２．４）実施形態２の変形例２
以下では、実施形態２の変形例２に係る弾性波装置１ｆについて、図１４を参照して説明する。
【００９２】
変形例２に係る弾性波装置１ｆでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち一方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ａ）のみで、他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ）に最も近い第１電極指６の先端部６１の第２方向Ｄ２の幅Ｗ０１が、中央部６０の幅Ｗ０と同じである点が、実施形態２に係る弾性波装置１ｄと相違する。変形例２に係る弾性波装置１ｆに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｄ（図１１及び１２参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００９３】
変形例２に係る弾性波装置１ｆでは、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち他方のＩＤＴ電極３（ＩＤＴ電極３Ｂ）では、一方のＩＤＴ電極（ＩＤＴ電極３Ａ）に最も近い第１電極指６の太幅部６２に関して、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短い。変形例２に係る弾性波装置１ｆでは、隣り合う２つのＩＤＴ電極３のペアにおいて、ＩＤＴ電極３Ａを第１ＩＤＴ電極とし、ＩＤＴ電極３Ｂを第２ＩＤＴ電極とする。
【００９４】
変形例２に係る弾性波装置１ｆでは、ＩＤＴ電極３ＢにおいてＩＤＴ電極３Ａに最も近い第１電極指６の先端部６１が太幅部６２を有しているので、実施形態２に係る弾性波装置１ｄと比べて、ＩＤＴ電極３Ｂでのピストンモードの阻害をより抑制できる。また、変形例２に係る弾性波装置１ｆでは、変形例１に係る弾性波装置１ｅと比べて、隣り合う２つのＩＤＴ電極３の隣接する第１電極指６間の最短距離を長くすることができるので、ＥＳＤ耐性の向上を図れる。
【００９５】
（２．５）実施形態２の変形例３
実施形態２の変形例３に係る弾性波装置１ｇでは、図１５に示すように、積層型基板２ｇが、高音速膜２２と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速膜２２は、支持基板２０上に設けられている。ここにおいて、「支持基板２０上に設けられている」とは、支持基板２０上に直接的に設けられている場合と、支持基板２０上に間接的に設けられている場合と、を含む。高音速膜２２では、圧電体部（圧電膜）２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速膜２２上に設けられている。ここにおいて、「高音速膜２２上に設けられている」とは、高音速膜２２上に直接的に設けられている場合と、高音速膜２２上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。変形例３に係る弾性波装置１ｇに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｄ（図１１及び１２参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００９６】
支持基板２０としては、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、マグネシア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、ガラス等の誘電体、又はシリコン、窒化ガリウム等の半導体、及び樹脂基板等を用いることができる。
【００９７】
変形例３に係る弾性波装置１ｇでは、高音速膜２２は、弾性波が高音速膜２２より下の構造に漏れないように機能する。
【００９８】
変形例３に係る弾性波装置１ｇでは、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波のエネルギーは圧電体部２４及び低音速膜２３の全体に分布し、高音速膜２２の低音速膜２３側の一部にも分布し、支持基板２０には分布しないことになる。高音速膜２２により弾性波を閉じ込めるメカニズムは非漏洩なＳＨ波であるラブ波型の表面波の場合と同様のメカニズムであり、例えば、文献「弾性表面波デバイスシミュレーション技術入門」、橋本研也、リアライズ社、ｐ．２６−２８に記載されている。上記メカニズムは、音響多層膜によるブラッグ反射器を用いて弾性波を閉じ込めるメカニズムとは異なる。
【００９９】
高音速膜２２は、ダイヤモンドライクカーボン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、シリコン、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、又は、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料からなる。
【０１００】
高音速膜２２の厚さに関しては、弾性波を圧電体部２４及び低音速膜２３に閉じ込める機能を高音速膜２２が有するため、高音速膜２２の厚さは厚いほど望ましい。
【０１０１】
変形例３に係る弾性波装置１ｇでは、実施形態２に係る弾性波装置１ｄと同様、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【０１０２】
（２．６）実施形態２の変形例４
実施形態２の変形例４に係る弾性波装置１ｈは、図１６に示すように、圧電体部２４ｈが圧電基板により構成されており、実施形態２に係る弾性波装置１ｄにおける高音速支持基板２１及び低音速膜２３を備えていない。変形例４に係る弾性波装置１ｈに関し、実施形態２に係る弾性波装置１ｄ（図１１及び１２参照）と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０３】
弾性波装置１ｈでは、圧電体部２４ｈを構成する圧電基板は、１２８度Ｙ−Ｘのリチウムニオベイト（ＬｉＮｂＯ3）基板からなる。圧電基板は、例えば、５０°ＹカットＸ伝搬リチウムタンタレート（ＬｉＴａＯ３）圧電単結晶又は圧電セラミックス（Ｘ軸を中心軸としてＹ軸から５０°回転した軸を法線とする面で切断したリチウムタンタレート単結晶、又はセラミックスであって、Ｘ軸方向に弾性波が伝搬する単結晶又はセラミックス）からなる基板であってもよい。図１６で図示は省略しているが、弾性波装置１ｈは、複数（３つ）のＩＤＴ電極３、２つの反射器８、及び圧電体部２４ｈの一の主面２４１ｈのうち複数（３つ）のＩＤＴ電極３及び２つの反射器８に覆われていない領域を覆う酸化ケイ素膜を備えている。弾性波装置１ｈでは、酸化ケイ素膜の表面形状は、３つのＩＤＴ電極３及び２つの反射器８それぞれの形状に対応した凹凸が形成されている。
【０１０４】
変形例４に係る弾性波装置１ｈでは、実施形態２に係る弾性波装置１ｄと同様、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【０１０５】
（２．７）実施形態２の他の変形例
複数のＩＤＴ電極３の各々におけるＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の両方の端それぞれに位置する電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端に位置する電極指が第１電極指６で、他方の端に位置する電極指が第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち少なくとも一方のＩＤＴ電極３で、一群の電極指のうち第２方向Ｄにおいて他方のＩＤＴ電極３に最も近い電極指に太幅部を有せず、他方のＩＤＴ電極３に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも１つに太幅部を有していればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
【０１０６】
上記の実施形態１、２等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【０１０７】
例えば、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈでは、ＩＤＴ電極３が、圧電体部２４、２４ｈ上に直接的に設けられているが、これに限らず、ＩＤＴ電極３が、圧電体部２４、２４ｈ上に間接的に設けられていてもよい。例えば、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈでは、ＩＤＴ電極３が圧電体部２４、２４ｈ上に誘電体膜を介して設けられていてもよい。
【０１０８】
また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆは、積層型基板２の代わりに、積層型基板２ｇ（図１５参照）又は圧電体部２４ｈ（図１６参照）を備えていてもよい。また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆでは、積層型基板２が、低音速膜２３と高音速支持基板２１との間に介在する膜を含んでもよい。また、弾性波装置１ｇでは、積層型基板２ｇが、高音速膜２２と支持基板２０との間に介在する膜と、低音速膜２３と圧電体部２４との間に介在する膜と、の少なくとも一方を含んでもよい。また、弾性波装置１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆでは、積層型基板２が、圧電体部２４と高音速支持基板２１との間に、低音速膜２３の代わりに、音響インピーダンス層を備えていてもよい。音響インピーダンス層は、ＩＤＴ電極３で励振された弾性波が高音速支持基板２１に漏洩するのを抑制する機能を有する。音響インピーダンス層は、音響インピーダンスが相対的に高い少なくとも１つの高音響インピーダンス層と音響インピーダンスが相対的に低い少なくとも１つの低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において並んだ積層構造を有する。上記の積層構造では、高音響インピーダンス層が複数設けられてもよいし、低音響インピーダンス層が複数設けられてもよい。この場合、上記の積層構造は、複数の高音響インピーダンス層と複数の低音響インピーダンス層とが高音速支持基板２１の厚さ方向において一層ごとに交互に並んだ構造である。
【０１０９】
高音響インピーダンス層は、例えば、白金、タングステン、窒化アルミニウム、リチウムタンタレート、サファイア、リチウムニオベイト、窒化シリコン又は酸化亜鉛からなる。
【０１１０】
低音響インピーダンス層は、例えば、酸化ケイ素、アルミニウム又はチタンからなる。
【０１１１】
また、ＩＤＴ電極３の数は、複数であればよく、３つに限定されず、例えば、５つであってもよい。
【０１１２】
（まとめ）
以上説明した実施形態等から以下の態様が開示されている。
【０１１３】
第１の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｈ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｈ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、第２ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、の一方が第１端子（１１）に接続され、他方が第２端子（１２）に接続されている。第１ＩＤＴ電極では、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指が、第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部を含む。第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に関し、第１方向（Ｄ１）に沿った中央部の中心線と太幅部の第２ＩＤＴ電極側の外縁との第２方向（Ｄ２）における最大距離である第１距離（Ｌ１）が、中央部の中心線と太幅部の第２ＩＤＴ電極とは反対側の外縁との第２方向（Ｄ２）における最大距離である第２距離（Ｌ２）よりも短い。
【０１１４】
第１の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【０１１５】
第２の態様に係る弾性波装置（１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）では、第１の態様において、第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に関し、第１距離（Ｌ１）が、中央部の中心線と中央部の第２ＩＤＴ電極側の外縁との第２方向（Ｄ２）における距離（Ｌ０１）と同じである。
【０１１６】
第２の態様に係る弾性波装置（１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）では、ＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【０１１７】
第３の態様に係る弾性波装置（１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）は、第１端子（１１）と、第２端子（１２）と、圧電体部（２４；２４ｈ）と、複数のＩＤＴ電極（３）と、を備える。第２端子（１２）は、第１端子（１１）の電位よりも低い電位になる。複数のＩＤＴ電極（３）は、圧電体部（２４；２４ｈ）上に設けられており、第１端子（１１）及び第２端子（１２）と電気的に接続されている。複数のＩＤＴ電極（３）の各々は、第１バスバー（４）と、第２バスバー（５）と、複数の第１電極指（６）と、複数の第２電極指（７）と、を有する。第２バスバー（５）は、第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）に対向している。複数の第１電極指（６）は、第１バスバー（４）に接続され第１方向（Ｄ１）において第１バスバー（４）から第２バスバー（５）側に延びている。複数の第２電極指（７）は、第２バスバー（５）に接続され第１方向（Ｄ１）において第２バスバー（５）から第１バスバー（４）側に延びている。複数の第１電極指（６）と複数の第２電極指（７）とが、第１方向（Ｄ１）に直交する第２方向（Ｄ２）において、互いに離隔して並んでいる。第１バスバー（４）及び第２バスバー（５）の各々は、開口部（４０、５０）と、内側バスバー部（４２、５２）と、外側バスバー部（４１、５１）と、連結部（４３、５３）と、を含む。内側バスバー部（４２、５２）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）よりも複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）側に位置している。外側バスバー部（４１、５１）は、第１方向（Ｄ１）において開口部（４０、５０）から見て内側バスバー部（４２、５２）とは反対側に位置している。連結部（４３、５３）は、第１方向（Ｄ１）において内側バスバー部（４２、５２）と外側バスバー部（４１、５１）とを連結している。複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部（６１、７１）が、少なくとも１つの電極指の第１方向（Ｄ１）の中央部（６０、７０）よりも第２方向（Ｄ２）の幅が大きな太幅部（６２、７２）を含む。複数のＩＤＴ電極（３）のうち第２方向（Ｄ２）において隣り合う２つのＩＤＴ電極（３）の一方を第１ＩＤＴ電極、他方を第２ＩＤＴ電極としたとき、第１ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、第２ＩＤＴ電極の一群の電極指のうち第１ＩＤＴ電極に最も近い電極指と、の一方が第１端子（１１）に接続され、他方が第２端子（１２）に接続されている。第１ＩＤＴ電極では、第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指に太幅部を有せず、第２ＩＤＴ電極に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも１つに太幅部を有する。
【０１１８】
第３の態様に係る弾性波装置（１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）では、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。
【０１１９】
第４の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｆ；１ｅ；１ｇ；１ｈ）では、第１〜第３の態様のいずれか一つにおいて、複数のＩＤＴ電極（３）が第２方向（Ｄ２）において並んでおり、２つの反射器（８）を更に備える。２つの反射器（８）は、第２方向（Ｄ２）において並んでいる複数のＩＤＴ電極（３）のうち両側のＩＤＴ電極（３）それぞれの、隣りのＩＤＴ電極（３）とは反対側で圧電体部（２４）上に１つずつ設けられている。２つの反射器（８）は、複数のＩＤＴ電極（３）により励振された弾性波を反射する。
【０１２０】
第４の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）は、縦結合共振子型フィルタを構成できる。
【０１２１】
第５の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）では、第１〜４の態様のいずれか一つにおいて、複数の第１電極指（６）及び複数の第２電極指（７）それぞれの少なくとも１つの電極指の先端部（６１、７１）が、太幅部（６２，７２）を含む。
【０１２２】
第６の態様に係る弾性波装置（１；１ａ；１ｂ；１ｃ；１ｄ；１ｅ；１ｆ；１ｇ；１ｈ）では、第１〜５の態様のいずれか一つにおいて、圧電体部（２４）と複数のＩＤＴ電極（３）のうち１つのＩＤＴ電極（３）とを含む積層体は、積層体の厚さ方向からの平面視で、第１方向（Ｄ１）にいて互いに異なる複数の領域（Ａ１〜Ａ１１）を有する。複数の領域（Ａ１〜Ａ１１）は、中央領域（領域Ａ６）と、２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）と、２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）と、２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）と、２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）と、２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）と、を含む。中央領域（領域Ａ６）は、第１方向（Ｄ１）において中央に位置しており、複数の第１電極指（６）の中央部（６０）と複数の第２電極指（７）の中央部（７０）とを含む。２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）は、第１バスバー（４）の外側バスバー部（４１）及び第２バスバー（５）の外側バスバー部（５１）をそれぞれ含む。２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）は、第１バスバー（４）の内側バスバー部（４２）及び第２バスバー（５）の内側バスバー部（５２）をそれぞれ含む。２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）は、第１バスバー（４）の開口部（４０）及び第２バスバー（５）の開口部（５０）をそれぞれ含む。２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）は、複数の第１電極指（６）と第２バスバー（５）との間のギャップ（３１）及び複数の第２電極指（７）と第１バスバー（４）との間のギャップ（３２）それぞれを含む。２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）は、複数の第１電極指（６）の少なくとも１つの電極指（第１電極指６）の太幅部（６２）及び複数の第２電極指（７）の少なくとも１つの電極指（第２電極指７）の太幅部（７２）それぞれを含む。２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。２つの連結領域（領域Ａ２、Ａ１０）では、２つの外側バスバー領域（領域Ａ１、Ａ１１）及び中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が速くなる。２つのギャップ領域（領域Ａ４、Ａ８）では、２つの内側バスバー領域（領域Ａ３、Ａ９）及び中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が速くなる。２つの太幅領域（Ａ７、Ａ５）では、中央領域（領域Ａ６）よりも弾性波の音速が遅くなる。
【符号の説明】
【０１２３】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈ  弾性波装置
２、２ｇ  積層型基板
２０  支持基板
２１  高音速支持基板
２１１  第１主面
２１２  第２主面
２２  高音速膜
２３  低音速膜
２４、２４ｈ  圧電体部
２４１、２４１ｈ  一の主面
３  ＩＤＴ電極
３Ａ  ＩＤＴ電極（第１ＩＤＴ電極又は第２ＩＤＴ電極）
３Ｂ  ＩＤＴ電極（第２ＩＤＴ電極又は第１ＩＤＴ電極）
４  第１バスバー
４０  開口部
４１  外側バスバー部
４２  内側バスバー部
５  第２バスバー
５０  開口部
５１  外側バスバー部
５２  内側バスバー部
６  第１電極指
６Ｘ  中心線
６０  中央部
６０１  外縁
６１  先端部
６２  太幅部
６２１  外縁
６２２  外縁
６２１０  突部
６２２０  突部
６３  基端部
６４  太幅部
７  第２電極指
７Ｘ  中心線
７０  中央部
７１  先端部
７２  太幅部
７３  基端部
７４  太幅部
８  反射器
９  電極指
Ｄ１  第１方向
Ｄ２  第２方向
Ｌ１  第１距離
Ｌ２  第２距離
Ｌ０１  距離
Ｗ０  幅
Ｗ０１  幅
Ａ１  領域（外側バスバー領域）
Ａ２  領域（連結領域）
Ａ３  領域（内側バスバー領域）
Ａ４  領域（ギャップ領域）
Ａ５  領域（太幅領域）
Ａ６  領域（中央領域）
Ａ７  領域（太幅領域）
Ａ８  領域（ギャップ領域）
Ａ９  領域（内側バスバー領域）
Ａ１０  領域（連結領域）
Ａ１１  領域（外側バスバー領域）
【図１】
2019123811.tif 000003
【図２】
2019123811.tif 000004
【図３】
2019123811.tif 000005
【図４】
2019123811.tif 000006
【図５】
2019123811.tif 000007
【図６】
2019123811.tif 000008
【図７】
2019123811.tif 000009
【図８】
2019123811.tif 000010
【図９】
2019123811.tif 000011
【図１０】
2019123811.tif 000012
【図１１】
2019123811.tif 000013
【図１２】
2019123811.tif 000014
【図１３】
2019123811.tif 000015
【図１４】
2019123811.tif 000016
【図１５】
2019123811.tif 000017
【図１６】
2019123811.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月25日(2020.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（１．２．１）積層型基板
積層型基板２は、図３に示すように、高音速支持基板２１と、低音速膜２３と、圧電体部２４と、を含む。高音速支持基板２１では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である。低音速膜２３は、高音速支持基板２１上に設けられている。ここにおいて、「高音速支持基板２１上に設けられている」とは、高音速支持基板２１上に直接的に設けられている場合と、高音速支持基板２１上に間接的に設けられている場合と、を含む。低音速膜２３では、圧電体部２４を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である。圧電体部２４は、低音速膜２３上に設けられている。ここにおいて、「低音速膜２３上に設けられている」とは、低音速膜２３上に直接的に設けられている場合と、低音速膜２３上に間接的に設けられている場合と、を含む。圧電体部２４は、高音速支持基板２１上に間接的に設けられている。この場合、弾性波装置１では、高音速支持基板２１と圧電体部２４との間に低音速膜２３が設けられていることにより、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。したがって、弾性波装置１では、圧電体部２４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ電極３内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、弾性波装置１では、低音速膜２３が設けられていない場合に比べて、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
（１．８）実施形態１の変形例３
以下では、実施形態１の変形例３に係る弾性波装置１ｃについて、図１０を参照して説明する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
（１．９）実施形態１の他の変形例
複数のＩＤＴ電極３の各々におけるＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端に位置する電極指が第１電極指６で、他方の端に位置する電極指が第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち少なくとも一方のＩＤＴ電極３で、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において他方のＩＤＴ電極３に最も近い電極指の太幅部に関し、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも短くなっていればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
（２．７）実施形態２の他の変形例
複数のＩＤＴ電極３の各々におけるＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれの数は特に限定されない。ここにおいて、ＩＤＴ電極３では、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の両方の端それぞれに位置する電極指は、第１電極指６である場合に限らない。例えば、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端に位置する電極指が第１電極指６で、他方の端に位置する電極指が第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２の一方の端及び他方の端それぞれに位置する電極指が、第２電極指７であってもよい。また、一群の電極指は、複数の第１電極指６と複数の第２電極指７とが、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２において、離隔して並んでいる構成であればよい。例えば、一変形例の弾性波装置において、第１電極指６と第２電極指７とが１本ずつ離隔して並んでいる領域と、第１電極指６又は第２電極指７が第２方向Ｄ２において２つ並んでいる領域と、とが混在してもよい。これらのいずれの変形例の弾性波装置でも、第２方向Ｄ２において隣り合う２つのＩＤＴ電極３のうち少なくとも一方のＩＤＴ電極３で、一群の電極指のうち第２方向Ｄ２において他方のＩＤＴ電極３に最も近い電極指に太幅部を有せず、他方のＩＤＴ電極３に最も近い電極指以外の電極指の少なくとも１つに太幅部を有していればよい。これにより、いずれの変形例の弾性波装置でも、ピストンモードの阻害を抑制しつつＥＳＤ耐性の向上を図ることが可能となる。また、ＩＤＴ電極３における複数の第１電極指６及び複数の第２電極指７それぞれにおいては、少なくとも１つの第１電極指６及び第２電極指７が太幅部６２、７２を有していればよい。
【国際調査報告】
2019123811.tif 000019
2019123811.tif 000020
2019123811.tif 000021
2019123811.tif 000022