(57)【要約】  光変調器（１０）は、複数のマッハツェンダ光変調部（１３ａ，１３ｂ）を備える。複数のマッハツェンダ光変調部（１３ａ，１３ｂ）は、各々、一対の第１信号配線（１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）と、一対の第１接地配線（１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）と、一対の第１信号電極パッド（３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）と、一対の第１接地電極パッド（３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）とを含む。一対の第１接地電極パッドは、一対の第１信号電極パッドに対して、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の中心線から離れるように、第１の間隔（Ｐ１）未満だけずれている。
2019239683.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマッハツェンダ光変調部を備え、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、各々、第１の方向に延在する一対のアーム導波路と、一対の第１信号配線と、一対の第１信号電極パッドと、一対の第２信号電極パッドと、一対の第１接地配線と、一対の第１接地電極パッドと、一対の第２接地電極パッドとを含み、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列されており、
前記一対の第１信号配線は、それぞれ、一対の第１信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の他端にそれぞれ接続されている一対の第３信号配線部分とを含み、
前記一対の第１信号配線部分は、前記一対のアーム導波路上に設けられており、かつ、前記第１の方向に延在しており、
前記一対の第２信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記第２の方向における中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記一端から延在しており、
前記一対の第３信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記他端から延在しており、
前記一対の第１信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第２信号配線部分に接続されており、
前記一対の第２信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第３信号配線部分に接続されており、
前記一対の第１接地配線は、前記第１の方向に延在しており、前記第２の方向における前記一対の第１信号配線の両側に設けられており、かつ、前記一対の第１信号配線に対向しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第２信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に延在する第１直線上に配置されており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第１の方向にずれており、かつ、前記第１の方向において前記一対の第１信号電極パッドから離間しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から離れるように、第１の間隔未満だけ前記第２の方向にずれており、
前記第１の間隔は、前記一対の第１信号電極パッドの中心間の前記第２の方向における間隔である、光変調器。
【請求項２】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に、前記第１の間隔で配列されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドの総数の半分超の前記第１接地電極パッドは、前記第２の方向に延在しかつ前記第１直線とは異なる第２直線上に、第２の間隔で配列されており、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔よりも小さい、請求項１に記載の光変調器。
【請求項３】
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第２の方向に前記第１の間隔の半分だけずれている、請求項１または請求項２に記載の光変調器。
【請求項４】
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第１信号配線に対向している、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項５】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッド及び前記第１接地電極パッドは、各々、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有している、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項６】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される第１の光導波路と、
前記第１の光導波路内に設けられるレーザとをさらに備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項７】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される出力光導波路と、
前記アーム導波路または前記出力光導波路の少なくとも一つに設けられる位相調整器とをさらに備える、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の前記光変調器と、
配線基板と、
複数のバンプとを備え、
前記配線基板は、複数の第３信号電極パッドと、複数の第３接地電極パッドと、複数の第２信号配線と、一つ以上の第２接地配線と、複数の第４信号電極パッドと、複数の第４接地電極パッドとを含み、
前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドに対向しており、
前記複数の第３接地電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドに対向しており、
前記複数の第２信号配線の一端は、前記複数の第３信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数の第２信号配線の他端は、前記複数の第４信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の一端は、前記複数の第３接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の他端は、前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数のバンプは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドと前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続しており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線と前記一つ以上の第２接地配線との少なくとも一つに対向している、光送信モジュール。
【請求項９】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号配線の一部及び前記第１信号電極パッドは、前記一つ以上の第２接地配線の一部に対向している、請求項８に記載の光送信モジュール。
【請求項１０】
前記複数の第２信号配線の一部及び前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線の一部に対向している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１１】
前記一つ以上の第２接地配線は、複数の第２接地配線であり、
前記複数の第３信号電極パッド、前記複数の第３接地電極パッド、前記複数の第２信号配線、前記複数の第２接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線は、前記第１の方向に延在しており、
前記複数の第２接地配線は、それぞれ、前記複数の第２信号配線に対向している、請求項８から請求項１０のいずれか一項に記載の光送信モジュール。
【請求項１２】
前記配線基板は、複数の第３接地配線と、複数のビア電極とをさらに含み、
前記一つ以上の第２接地配線は、一つの第２接地配線であり、
前記第２接地配線、前記複数の第３信号電極パッド及び前記複数の第３接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線、前記複数の第３接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の前記下面とは反対側の前記配線基板の上面に設けられており、
前記複数の第３接地配線は、前記複数の第２信号配線に沿って延在しており、かつ、前記第２信号配線に対向しており、
前記複数のビア電極は、前記複数の第２信号配線と前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、前記第２接地配線と前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記第２接地配線と前記複数の第３接地配線とを互いに接続している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１３】
前記配線基板は、前記第２接地配線上に設けられている絶縁コーティングをさらに含む、請求項１２に記載の光送信モジュール。
【請求項１４】
前記配線基板に電気的に接続されるドライバＩＣをさらに備え、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の端辺に沿って配列されており、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドの配列は、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続される前記ドライバＩＣの複数の電極パッドの配列と同じである、請求項１２または請求項１３に記載の光送信モジュール。
【請求項１５】
前記複数の第４接地電極パッドの数は、前記複数の第３接地電極パッドの数よりも多く、
前記複数の第４接地電極パッドの少なくとも二つは、前記複数の第３接地配線の一つに接続されている、請求項１４に記載の光送信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光変調器及び光送信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、通信需要の飛躍的な増加に伴う光通信の高速化に対応するため、光信号の偏波多重及び多値位相変調を行うことで、大容量の光信号を伝送可能な光送信モジュールが求められている。この大容量の光信号を伝送可能とするため、複数のマッハツェンダ光変調部が集積された光変調器を備えた光送信モジュールが検討されている。【０００３】
特開２０１４−１１２２１９号公報（特許文献１）は、光集積素子を備える光モジュールを開示している。光モジュールは、複数並列に配置されたマッハツェンダ光変調部と、マッハツェンダ光変調部に入力される電気信号が伝搬する信号線路とを含む。この光集積素子では、信号線路に電気的に接続されるワイヤボンディング用の電極パッドが、光集積素子の短辺に沿って一列に配置されている。光集積素子の短辺は、光導波路及び信号線路が延在する方向に対して垂直な方向に延在している。【０００４】
特開２０１４−８９３１０号公報（特許文献２）は、光変調器を備える光送信機を開示している。光変調器は、複数並列に配置されたマッハツェンダ光変調部と、マッハツェンダ光変調部に入力される電気信号が伝搬する信号線路とを含む。この光変調器では、信号線路は、マッハツェンダ光変調部の光導波路が延在する方向に延在する第１部分と、光導波路が延在する方向に垂直な方向に延在する第２部分とを含む。信号線路の第２部分は、光導波路が延在する方向に延在する光変調器の長辺において、フレキシブル回路基板に電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１１２２１９号公報
【特許文献２】特開２０１４−８９３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された光集積素子では、ワイヤボンディング用の電極パッドが光集積素子の短辺に沿って一列に配置されている。そのため、光集積素子の短辺方向では、マッハツェンダ光変調部のサイズよりも、ワイヤボンディング用の電極パッドのサイズが大きくなり、光集積素子の小型化を妨げる問題があった。特に、光集積素子に高周波電気信号を入出力するために、ボンディングワイヤのインダクタンスを小さくする必要がある。ボンディングワイヤのインダクタンスを小さくするために、径の太いボンディングワイヤを用いる必要がある。そのため、ワイヤボンディング用の電極パッドも大きくなり、さらに、マッハツェンダ光変調器の小型化が妨げられていた。【０００７】
これに対し、特許文献２に開示された光変調器では、光変調器の長辺に沿ってフレキシブル回路基板に電気的に接続されるため、電極パッドの幅がマッハツェンダ光変調器の小型化に悪影響を与える可能性は小さい。しかしながら、各信号線路は直角に折れ曲がっている。内側の信号線路の経路長と外側の信号線路の経路長との間の差が大きくなる。内側の信号線路と外側の信号線路との間で入出力電気信号のスキューの差が大きくなる。電気信号の反射減衰量が増加する。そのため、電気信号の周波数の応答特性が悪くなるという問題があった。【０００８】
本発明は、これらの問題点を解決すべくなされたものであって、その目的は、入出力電気信号の周波数の応答特性が改善され、かつ、小型化され得る光変調器及び光送信モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の光変調器は、複数のマッハツェンダ光変調部を備える。複数のマッハツェンダ光変調部は、各々、一対の第１信号配線と、一対の第１信号電極パッドと、一対の第１接地配線と、一対の第１接地電極パッドとを含む。一対の第１信号配線は、それぞれ、一対の第１信号配線部分と、一対の第１信号配線部分の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分とを含む。一対の第２信号配線部分は、一対の第１信号配線部分から第１の方向に離れるにつれて、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の第２の方向における中心線から第２の方向に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分の一端から延在している。一対の第１信号電極パッドは、それぞれ、一対の第２信号配線部分に接続されている。一対の第１接地電極パッドは、一対の第１信号電極パッドに近位し、かつ、一対の第１接地配線に接続されている。一対の第１接地電極パッドは、一対の第１信号電極パッドに対して、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の中心線から離れるように、第１の間隔未満だけずれている。第１の間隔は、一対の第１信号電極パッドの中心間の間隔である。【００１０】
本発明の光送信モジュールは、上記変調器を備える。
【発明の効果】
【００１１】
このように、複数のマッハツェンダ光変調部の各々では、一対の第１接地電極パッドは、一対の第１信号電極パッドに対して、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の中心線から離れるように、第１の間隔未満だけずれている。そのため、光変調器及び光送信モジュールは小型化され得る。また、一対の第２信号配線部分は、一対の第１信号配線部分から第１の方向に離れるにつれて、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の第２の方向における中心線から第２の方向に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分の一端から延在している。そのため、第１信号配線における電気信号の反射減衰量が減少する。そのため、光変調器における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１の光送信モジュールの概略平面図である。
【図２】実施の形態１の光送信モジュールの、図１に示される断面線ＩＩ−ＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図３】実施の形態１の光変調器の概略拡大平面図である。
【図４】実施の形態１の光変調器の信号配線及び信号配線に対応する電極パッドの概略拡大平面図である。
【図５】実施の形態１の光送信モジュール内の配線基板の概略拡大底面図である。
【図６】実施の形態２の光送信モジュールの概略平面図である。
【図７】実施の形態２の光送信モジュールの、図６に示される断面線ＶＩＩ−ＶＩＩにおける概略部分拡大断面図である。
【図８】実施の形態２の光変調器の概略拡大平面図である。
【図９】実施の形態２の光送信モジュール内の配線基板の概略拡大平面図である。
【図１０】実施の形態２の光送信モジュール内の配線基板の概略拡大底面図である。
【図１１】実施の形態３の光変調器の概略拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。なお、図は模式的なものであり、機能又は構造を概念的に説明するものである。また、以下に示す実施の形態により本発明が限定されるものではない。特記する場合を除いて、光送信モジュールの基本構成は全ての実施の形態において共通である。また、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１４】
実施の形態１．
図１及び図２を参照して、実施の形態１の光送信モジュール１００を説明する。光送信モジュール１００は、光変調器１０と、ＣＷ（Continuous  Wave）レーザ２０と、ドライバＩＣ３０と、配線基板４０と、終端基板５０とを主に備える。
【００１５】
光変調器１０は、図２に示すように、チップキャリア６２上に配置される。チップキャリア６２は、パッケージ６０の底板上に設けられている。光変調器１０の上面には、信号配線１７，１８及び接地配線１９が設けられている。信号配線１７，１８は、バンプ８０を介して、信号配線４４，４５と信号配線７２とに電気的に接続される。信号配線４４，４５は、配線基板４０の下面に設けられている。信号配線７２は、終端基板５０の下面に設けられている。光変調器１０の詳細な説明は後述する。
【００１６】
ＣＷレーザ２０は、図１に示すように、パッケージ６０内に設けられている。ＣＷレーザ２０は、例えば、半導体レーザである。ＣＷレーザ２０は、光送信モジュール１００の平面視において、図１の左方向及び右方向にＣＷ光を出力することができる。レンズ９０は、ＣＷレーザ２０から左方向に出力されたＣＷ光を集光することができる。レンズ９１は、ＣＷレーザ２０から右方向に出力されたＣＷ光を集光することができる。
【００１７】
レンズ９０は、ＣＷ光を、光変調器１０の入射口１１（図３を参照）に入射させる。レンズ９１は、ＣＷ光を、光ファイバ１１０に入射させる。ＣＷ光は、光ファイバ１１０を通して、光送信モジュール１００の外部へ出力される。
【００１８】
ドライバＩＣ３０は、図１及び図２に示すように、配線基板６６上に配置される。配線基板６６は、例えば、セラミック基板からなるフィールドスルー６４上に設けられている。フィールドスルー６４は、パッケージ６０の底板上に設けられている。フィールドスルー６４は、パッケージ６０の側壁を貫通して、パッケージ６０の内側からパッケージ６０の外側まで延在している。フィールドスルー６４は、パッケージ６０より外側で、フレキシブル基板６８に接続されている。配線基板６６の上面には、配線７３，７４が設けられている。配線７３，７４は、ドライバＩＣ３０に電気的に接続される。ドライバＩＣ３０は、配線７４とフィールドスルー６４に設けられる配線（図示せず）を介して、フレキシブル基板６８に設けられる配線（図示せず）に電気的に接続される。こうして、フレキシブル基板６８からドライバＩＣ３０へ制御信号が入力される。
【００１９】
配線基板４０は、図２に示すように、バンプ８０を介して、光変調器１０と配線基板６６との上方に設けられている。バンプ８０は、導電性を有しており、例えば、はんだボールである。信号配線４４，４５及び接地配線４６は、配線基板４０の下面に設けられている。信号配線４４，４５は、バンプ８０を介して、配線基板６６の配線７３と光変調器１０の信号配線１７，１８との間を電気的に接続している。配線基板４０の上面には、接地配線７５が設けられている。接地配線７５は、配線基板４０を貫通するビア電極（図示せず）を介して、配線基板４０の下面に設けられている接地配線４６に電気的に接続される。配線基板４０の詳細な説明は後述する。
【００２０】
終端基板５０は、図２に示すように、光変調器１０の上に設けられる。終端基板５０の下面に信号配線７２及び接地配線７６が設けられる。信号配線７２は、バンプ８０を介して、光変調器１０の上面に設けられる信号配線１７，１８に電気的に接続される。接地配線７６は、バンプ８０を介して、光変調器１０の上面に設けられる接地配線７７に電気的に接続される。終端基板５０の上面に、信号配線７８が設けられる。終端基板５０を貫通するビア電極８２により、信号配線７２と信号配線７８とが電気的に接続される。信号配線７８上に、終端抵抗８４が設けられる。終端抵抗８４は、信号配線７８に電気的に接続される。終端抵抗８４は、光変調器１０に入力された制御信号である差動信号を終端させることができる。
【００２１】
光送信モジュール１００は、図１に示すように、レンズ９２，９３と、波長板９４と、ミラー９５と、偏光ビームスプリッタ９６と、レンズ９７と、光ファイバ１１１とをさらに備える。レンズ９２，９３は、光変調器１０から出力された光信号を平行光に整形する。波長板９４は、レンズ９２により整形された光信号の偏波を９０度回転させる。ミラー９５は、レンズ９３により整形された光信号を反射させる。偏光ビームスプリッタ９６は、波長板９４から出力された光信号とミラー９５で反射された光信号を合波する。レンズ９７は、偏光ビームスプリッタ９６で合波された光信号を集光する。レンズ９７により集光された光信号は、光ファイバ１１１を通して、光送信モジュール１００の外部へ出力される。こうして、光送信モジュール１００は構成される。
【００２２】
図３及び図４を参照して、本実施の形態の光変調器１０を詳細に説明する。以下では、光変調器１０のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄが延在する方向、つまり、光送信モジュール１００の平面視において左右方向を、第１の方向（ｘ方向）または水平方向と定義する。光変調器１０のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄが延在する方向に垂直な方向、つまり、光送信モジュール１００の平面視において上下方向を、第２の方向（ｙ方向）または垂直方向と定義する。
【００２３】
光変調器１０は、例えば、ＩｎＰなどの半導体材料で形成されている。光変調器１０は、入射口１１と、入力光導波路１２と、複数の光変調部１３ａ〜１３ｄと、出力光導波路１４ａ，１４ｂと、出射口５ａ，５ｂとを備える。ＣＷレーザ２０から出射されたレーザ光は、レンズ９０を通って、入射口１１に入射される。入射口１１から入射されたＣＷ光は、光信号として入力光導波路１２を伝搬する。入力光導波路１２を伝搬した光信号は、複数の光変調部１３ａ〜１３ｄに入力される。複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、光信号を変調する。複数の光変調部１３ａ〜１３ｄにより変調された光信号は、出力光導波路１４ａ，１４ｂを伝搬する。出力光導波路１４ａ，１４ｂを伝搬した光信号は、出射口５ａ，５ｂから出力される。
【００２４】
入射口１１は、光変調器１０の第１短辺１０ｐに設けられている。光変調器１０の第１短辺１０ｐは、第２の方向（ｙ方向）に延在している。ＣＷレーザ２０から出射されたＣＷ光は、入射口１１から入力光導波路１２に入射する。
【００２５】
入力光導波路１２は、入射口１１から水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。入力光導波路１２は、入射口１１が設けられている第１短辺１０ｐとは反対側の第２短辺１０ｑ付近で、１８０°曲がっている。入力光導波路１２は、４本の光導波路に分岐する。分岐された４本の光導波路は、それぞれ、光変調部１３ａ〜１３ｄに接続される。具体的には、入力光導波路１２は、第１の１×２分岐導波路と、第２の１×２分岐導波路と、第３の１×２分岐導波路とを含む。本明細書において、１×２分岐導波路は、一つの入力部と二つの出力部とを有する分岐導波路を意味する。第１の１×２分岐導波路の二つの出力部は、それぞれ、光変調部１３ａと光変調部１３ｂとに接続される。第２の１×２分岐導波路の二つの出力部は、それぞれ、光変調部１３ｃと光変調部１３ｄとに接続される。第３の１×２分岐導波路の二つの出力部は、それぞれ、第１の１×２分岐導波路の一つの入力部と、第２の１×２分岐導波路の一つの入力部とに接続される。入射口１１から入射された光は、第３の１×２分岐導波路の一つの入力部に入射される。こうして、入射口１１から入射されたＣＷ光は、光信号として、光変調部１３ａ〜１３ｄを伝搬する。
【００２６】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、各々、マッハツェンダ光変調器である。複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に配列されている。具体的には、複数の光変調部１３ａ，１３ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に配列されている。複数の光変調部１３ｃ，１３ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に配列されている。複数の光変調部１３ｃ，１３ｄは、複数の光変調部１３ａ，１３ｂに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）にずれている。水平方向（第１の方向、ｘ方向）において、複数の光変調部１３ｃ，１３ｄの一部は、複数の光変調部１３ａ，１３ｂに重なっている。
【００２７】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、各々、一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄと、一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄとを含む。一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に互いに対向している。一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄの一端は、それぞれ、分岐した入力光導波路１２に接続される。一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄの他端は、出力光導波路１４ａ，１４ｂに接続される。
【００２８】
一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄにそれぞれ電気的に接続される。一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄ上に配置されている。一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に互いに対向している。
【００２９】
一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さは、対応する一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄの水平方向の長さよりも短い。一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄに対応する一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）長さは、互いに等しい。例えば、アーム導波路１５ａに対応する信号配線１７ａの水平方向の長さは、アーム導波路１６ａに対応する信号配線１８ａの水平方向の長さに等しい。また、光変調部１３ａ〜１３ｄ間で、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向の長さを等しくすることもできる。
【００３０】
図４に示されるように、一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、それぞれ、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６と、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７と、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６の他端にそれぞれ接続されている一対の第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８とを含む。
【００３１】
一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６は、一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄ上に設けられており、かつ、第１の方向（ｘ方向）に延在している。一対の第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７は、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６から第１の方向（ｘ方向）に離れるにつれて、複数の光変調部１３ａ〜１３ｄの各々の第２の方向（ｙ方向）における中心線から第２の方向（ｙ方向）に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６の一端から延在している。言い換えると、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６に対する第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７の端部の第１傾き角度θ1は、９０°より大きく、かつ、１８０°以下である。第１傾き角度θ1は、１３５°以上であってもよく、１４０°以上であってもよく、１５０°以上であってもよい。第１傾き角度θ1は、１８０°未満であってもよく、１７５°以下であってもよく、１７０°以下であってもよい。
【００３２】
第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７の端部は、第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７のうち、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６の一端に接続される部分である。第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７の端部が直線の形状を有している場合、第１傾き角度θ1は、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６と、対応する第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７の端部との間の角度として定義される。第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７の端部が曲線の形状を有している場合、第１傾き角度θ1は、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６と、対応する第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７の端部の接線との間の角度として定義される。第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７は、９０度以下の角度で折れ曲がる部分を有していない。
【００３３】
一対の第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８は、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６から第１の方向（ｘ方向）に離れるにつれて、複数の光変調部１３ａ〜１３ｄの各々の第２の方向（ｙ方向）における中心線から第２の方向（ｙ方向）に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６の他端から延在している。言い換えると、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６に対する第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８の端部の第２傾き角度θ2は、９０°より大きく、かつ、１８０°より小さい。第２傾き角度θ2は、１３５°以上であってもよく、１４０°以上であってもよく、１５０°以上であってもよい。第２傾き角度θ2は、１８０°未満であってもよく、１７５°以下であってもよく、１７０°以下であってもよい。
【００３４】
第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８の端部は、第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８のうち、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６の他端に接続される部分である。第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８の端部が直線の形状を有している場合、第２傾き角度θ2は、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６と、対応する第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８の端部との間の角度として定義される。第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８の端部が曲線の形状を有している場合、第２傾き角度θ2は、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６と、対応する第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８の端部の接線との間の角度として定義される。第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８は、９０度以下の角度で折れ曲がる部分を有していない。
【００３５】
出力光導波路１４ａ，１４ｂは、４本の分岐した光導波路を有している。４本の分岐した光導波路は、アーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄに接続される。光変調部１３ａ〜１３ｄから出力された光信号を合波するために、出力光導波路１４ａは、第１の２×１合波導波路を含み、出力光導波路１４ｂは、第２の２×１合波導波路を含む。本明細書において、２×１合波導波路は、二つの入力部と一つの出力部とを有する合波導波路を意味する。第１の２×１合波導波路の二つの入力部は、それぞれ、光変調部１３ａと光変調部１３ｂとに接続される。第２の２×１合波導波路の二つの入力部は、それぞれ、光変調部１３ｃと光変調部１３ｄとに接続される。第１の２×１合波導波路の一つの出力部は、出射口５ａに接続されている。第２の２×１合波導波路の一つの出力部は、出射口５ｂに接続されている。
【００３６】
出射口５ａ，５ｂは、入射口１１が設けられている光変調器１０の第１短辺１０ｐに設けられている。光変調部１３ａ，１３ｂから出力された光信号は、出力光導波路１４ａで合波される。光変調部１３ｃ，１３ｄから出力された光信号は、出力光導波路１４ｂで合波される。出力光導波路１４ａで合波された光信号が、出力光導波路１４ａに接続される出射口５ａから出力される。出力光導波路１４ｂで合波された光信号が、出力光導波路１４ｂに接続される出射口５ｂから出力される。
【００３７】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、各々、一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの一端に、一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄを含む。一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、それぞれ、一対の第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７に接続されている。一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、配線基板４０に電気的に接続される。電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、対応する信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄのアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄに隣接する位置に設けられる。電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、光変調器１０の短辺（第１短辺１０ｐ、第２短辺１０ｑ）から離れている。電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、光変調器１０の長辺から離間している。
【００３８】
電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ１，Ｌ５上に等間隔に配置される。具体的には、光変調部１３ａ，１３ｂの電極パッド３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ１上に等間隔に配置される。光変調部１３ｃ，１３ｄの電極パッド３２ｃ，３２ｄ，３３ｃ，３３ｄは、電極パッド３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂが配置される直線Ｌ１とは異なる直線Ｌ６上に等間隔に配置される。直線Ｌ５は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。直線Ｌ５は、直線Ｌ１に対して、水平方向（第１の方向、ｙ方向）にずれている。
【００３９】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、各々、一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの他端に、一対の電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄを含む。一対の電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、それぞれ、一対の第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８に接続されている。一対の電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、終端基板５０に電気的に接続される。電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄも、対応する信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄのアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄに隣接する位置に設けられる。電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、光変調器１０の短辺（第１短辺１０ｐ、第２短辺１０ｑ）から離れている。電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、光変調器１０の長辺から離間している。
【００４０】
電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ２，Ｌ６上に等間隔に配置される。具体的には、光変調部１３ａ,１３ｂの電極パッド３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ２上に等間隔に配置される。光変調部１３ｃ，１３ｄの電極パッド３４ｃ，３４ｄ，３５ｃ，３５ｄは、電極パッド３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂが配置される直線Ｌ２とは異なる直線Ｌ６上に等間隔に配置される。直線Ｌ６は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。直線Ｌ６は、直線Ｌ２に対して、水平方向（第１の方向、ｙ方向）にずれている。
【００４１】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、各々、一対の接地配線１９ａ〜１９ｅを含む。一対の接地配線１９ａ〜１９ｅは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。一対の接地配線１９ａ〜１９ｅは、第２の方向（ｙ方向）における一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの両側に設けられており、かつ、一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対向している。つまり、一対の接地配線１９ａ〜１９ｅの間に、一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄが位置している。接地配線１９ｂ〜１９ｄは、互いに隣り合う２つの光変調部１３ａ〜１３ｄによって共有されてもよい。具体的には、接地配線１９ｂは、互いに隣り合う２つの光変調部１３ａ、１３ｂによって共有されてもよい。接地配線１９ｃは、互いに隣り合う２つの光変調部１３ｃ、１３ｃによって共有されてもよい。接地配線１９ｄは、互いに隣り合う２つの光変調部１３ｃ、１３ｄによって共有されてもよい。
【００４２】
接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｄ，１９ｅは、矩形形状を有している。信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対向する接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｄ，１９ｅの部分の水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さは、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さよりも短い。接地配線１９ｃは、クランク形状を有している。信号配線１８ｂ，１７ｃに対向する接地配線１９ｃの部分の水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さは、信号配線１８ｂ，１７ｃの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さよりも短い。
【００４３】
信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの両側に接地配線１９ａ〜１９ｅを設けることにより、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄと接地配線１９ａ〜１９ｅとで差動コプレーナ線路が形成される。そのため、特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。
【００４４】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄは、各々、一対の接地配線１９ａ〜１９ｅの一端に、一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅを含む。一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅは、一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄに近位し、かつ、一対の接地配線１９ａ〜１９ｅに接続されている。一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅは、配線基板４０に電気的に接続される。電極パッド３６ａ〜３６ｅは、対応する信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄのアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄに隣接する位置に設けられる。電極パッド３６ａ〜３６ｅは、光変調器１０の短辺（第１短辺１０ｐ、第２短辺１０ｑ）から離れている。電極パッド３６ａ〜３６ｅは、光変調器１０の長辺から離間している。
【００４５】
一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅは、対応する一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対向している。電極パッド３６ａ〜３６ｅは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ３，Ｌ７上に等間隔に配置される。具体的には、電極パッド３６ａ，３６ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ３上に等間隔に配置される。電極パッド３６ｃ〜３６ｅは、電極パッド３６ａ，３６ｂが配置される直線Ｌ３とは異なる直線Ｌ７上に等間隔に配置される。直線Ｌ７は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。直線Ｌ７は、直線Ｌ３に対して、水平方向（第１の方向、ｙ方向）にずれている。
【００４６】
光変調器１０は、接地配線１９ａ〜１９ｅの他端に、一対の電極パッド３７ａ〜３７ｅを含む。一対の電極パッド３７ａ〜３７ｅは、一対の電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに近位し、かつ、一対の接地配線１９ａ〜１９ｅに接続されている。一対の電極パッド３７ａ〜３７ｅは、終端基板５０に電気的に接続される。電極パッド３７ａ〜３７ｅも、対応する信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄのアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄに隣接する位置に設けられる。一対の電極パッド３７ａ〜３７ｅは、対応する一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対向している。電極パッド３７ａ〜３７ｅは、光変調器１０の短辺（第１短辺１０ｐ、第２短辺１０ｑ）から離れている。電極パッド３７ａ〜３７ｅは、光変調器１０の長辺から離間している。
【００４７】
電極パッド３７ａ〜３７ｅは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ４，Ｌ８上に等間隔に配置される。具体的には、電極パッド３７ａ〜３７ｃは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ４上に等間隔に配置される。電極パッド３７ｄ，３７ｅは、電極パッド３７ａ〜３７ｃが配置される直線Ｌ４とは異なる直線Ｌ８上に等間隔に配置される。直線Ｌ８は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。直線Ｌ８は、直線Ｌ４に対して、水平方向（第１の方向、ｙ方向）にずれている。
【００４８】
本明細書では、パッドピッチは、互いに隣り合う電極パッドの中心間の距離を意味する。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）における電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅの第２の間隔であるパッドピッチＰ２は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）における電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄの第１の間隔であるパッドピッチＰ１よりも大きい。電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅのパッドピッチＰ２は、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄのパッドピッチＰ１の３倍未満である。
【００４９】
複数の光変調部１３ａ〜１３ｄの各々では、一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）と垂直方向（第２の方向、ｙ方向）とにずれた位置に配置される。水平方向（第１の方向、ｘ方向）において、一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄから離間している。
【００５０】
垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、光変調部１３ａ〜１３ｄの各々の中心線から離れるように、第１の間隔未満だけ第２の方向（ｙ方向）にずれている。第１の間隔は、一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄの中心間の第２の方向における間隔（例えば、パッドピッチＰ１）である。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄの一部に重なってもよい。こうして、一対の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、対応する一対の電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅ間に位置し得る。
【００５１】
特定的には、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄのパッドピッチＰ１だけずれ、かつ、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）にパッドピッチＰ１の半分だけずれた位置に配置される。つまり、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄが配置される直線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ５，Ｌ６とは異なる直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ７，Ｌ８上に配置される。
【００５２】
図５を参照して、光送信モジュール１００内の配線基板４０を詳細に説明する。配線基板４０は、電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄと、電極パッド４３ａ〜４３ｅと、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄと、接地配線４６ａ〜４６ｅと、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄと、電極パッド４９ａ〜４９ｅとを含む。電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄと、電極パッド４３ａ〜４３ｅと、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄと、接地配線４６ａ〜４６ｅと、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄと、電極パッド４９ａ〜４９ｅは、配線基板４０の下面に設けられる。
【００５３】
電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄは、対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの一端に設けられている。電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄは、光変調器１０の電極パッド３２ａ〜３２ｄ、３３ａ〜３３ｄに対向している。電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄは、バンプ８０によって、光変調器１０の電極パッド３２ａ〜３２ｄ、３３ａ〜３３ｄに接続される。電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄは、対応する接地配線４４ａ〜４４ｅに対向している。電極パッド４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ１１上に等間隔に配置される。電極パッド４１ｃ，４１ｄ，４２ｃ，４２ｄは、電極パッド４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂが配置される直線Ｌ１１とは異なる直線Ｌ１５上に等間隔に配置される。直線Ｌ１５は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。
【００５４】
電極パッド４３ａ〜４３ｅは、接地配線４６ａ〜４６ｅの一端に設けられている。電極パッド４３ａ〜４３ｅは、光変調器１０の電極パッド３６ａ〜３６ｅに対向している。電極パッド４３ａ〜４３ｅは、バンプ８０によって、光変調器１０の電極パッド３６ａ〜３６ｅに接続される。電極パッド４３ａ，４３ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ１３上に等間隔に配置される。電極パッド４３ｃ〜４３ｅは、電極パッド４３ａ，４３ｂが配置される直線Ｌ１３とは異なる直線Ｌ１７上に等間隔に配置される。直線Ｌ１７は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。
【００５５】
電極パッド４３ａ〜４３ｅは、対応する電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）と垂直方向（第２の方向、ｙ方向）とにずれた位置に配置される。水平方向（第１の方向、ｘ方向）において、電極パッド４３ａ〜４３ｅは、対応する電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄから離間している。
【００５６】
垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、電極パッド４３ａ〜４３ｅは、電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄに対して、対応する一対の信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄから離れる方向にずれている。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）における電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄに対する電極パッド４３ａ〜４３ｅのずれは、電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄのパッドピッチＰ３未満である。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、電極パッド４３ａ〜４３ｅは、対応する電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄの一部に重なってもよい。こうして、電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、対応する電極パッド４３ａ〜４３ｅ間に位置し得る。
【００５７】
特定的には、電極パッド４３ａ〜４３ｅは、対応する電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄのパッドピッチＰ３だけずれ、かつ、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄのパッドピッチＰ３の半分だけずれた位置に配置される。つまり、電極パッド４３ａ〜４３ｅは、電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄが配置される直線Ｌ１１，Ｌ１５とは異なる直線Ｌ１３，Ｌ１７上に配置される。
【００５８】
信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄは、それぞれ、電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄから水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄは、互いに平行に対向している。具体的には、一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄの信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄは、互いに平行に対向している。一対のアーム導波路１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄの信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さは、互いに等しい。
【００５９】
接地配線４６ａ〜４６ｅは、それぞれ、電極パッド４３ａ〜４３ｅから水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。接地配線４６ａ〜４６ｅは、隣接する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄに平行に対向している。具体的には、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄに対向する接地配線４６ａ〜４６ｅの部分は、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄに平行に対向している。接地配線４６ａ〜４６ｅは、対応する一対の信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの両側に設けられている。
【００６０】
信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの両側に接地配線４６ａ〜４６ｅを設けることにより、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄと接地配線４６ａ〜４６ｅとで差動コプレーナ線路が形成される。そのため、特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線に入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。
【００６１】
また、光変調器１０の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄは、配線基板４０の接地配線４６ａ〜４６ｅ及び電極パッド４３ａ〜４３ｅに対向する。そのため、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄと接地配線４６ａ〜４６ｅ及び電極パッド４３ａ〜４３ｅとの間に、差動コプレーナ線路が形成される。特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。
【００６２】
一例として、光変調部１３ａの信号配線１７ａ，１８ａと配線基板４０の接地配線４６ａ、４６ｂ及び電極パッド４３ａ、４３ｂとによって形成される差動コプレーナ線路について説明する。配線基板４０が光変調器１０の上方に配置されている。そのため、電極パッド３２ａ，３３ａ及び電極パッド３２ａ，３３ａ付近の信号配線１７ａ，１８ａは、斜め上方で配線基板４０の接地配線４６ａ，４６ｂ及び電極パッド４３ａ，４３ｂに対向する。信号配線１７ａ，１８ａ及び電極パッド３２ａ，３３ａと接地配線４６ａ，４６ｂ及び電極パッド４３ａ，４３ｂとの間に、差動コプレーナ線路が形成される。配線基板４０と光変調部１３ｂ〜１３ｄとによって形成される差動コプレーナ線路についても同様である。これに対し、配線基板４０が光変調器１０の上方に配置されていなければ、電極パッド３２ａ，３３ａ及び電極パッド３２ａ，３３ａ付近の信号配線１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂは、差動コプレーナ線路を形成することができない。
【００６３】
また、配線基板４０の信号配線４５ｂ及び電極パッド４２ｂと光変調器１０の接地配線１９ｃ及び電極パッド３６ｃとによって形成される差動コプレーナ線路について説明する。配線基板４０は、光変調器１０の上方に配置されている。そのため、電極パッド４２ｂ及び電極パッド４２ｂ付近の信号配線４５ｂは、斜め下方で光変調器１０の接地配線１９ｃ及び電極パッド３６ｃに対向する。信号配線４５ｂ及び電極パッド４２ｂと接地配線１９ｃ及び電極パッド３６ｃとの間に、差動コプレーナ線路が形成される。これに対し、光変調器１０が配線基板４０の下方に配置されていなければ、電極パッド４２ｂ及び電極パッド４２ｂ付近の信号配線４５ｂは、差動コプレーナ線路を形成することができない。
【００６４】
こうして、配線基板４０の信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄ、バンプ８０及び光変調器１０の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄにわたって、連続的に差動コプレーナ線路が形成される。
【００６５】
電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄは、対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの他端に電気的に接続される。電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄは、対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの他端に設けられている。電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄは、バンプ８０によって、配線基板６６に電気的に接続される。電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ１２，Ｌ１６上に等間隔に配置される。具体的には、電極パッド４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する直線Ｌ１２上に等間隔に配置される。電極パッド４７ｃ，４７ｄ，４８ｃ，４８ｄは、電極パッド４７ａ，４７ｂ，４８ａ，４８ｂが配置される直線Ｌ１２とは異なる直線Ｌ１６上に等間隔に配置される。直線Ｌ１３は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。
【００６６】
電極パッド４９ａ〜４９ｅは、対応する接地配線４６ａ〜４６ｅの他端に電気的に接続される。電極パッド４９ａ〜４９ｅは、対応する接地配線４６ａ〜４６ｅの他端に設けられている。電極パッド４９ａ〜４９ｅは、バンプ８０によって、配線基板６６に電気的に接続される。電極パッド４９ａ〜４９ｅは、直線Ｌ１２，Ｌ１６とは異なる直線Ｌ１４上に等間隔に配置される。直線Ｌ１４は、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在している。
【００６７】
電極パッド４９ａ〜４９ｅのパッドピッチＰ５は、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄのパッドピッチＰ４よりも大きい。電極パッド４９ａ〜４９ｅのパッドピッチＰ５は、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄのパッドピッチＰ４の３倍未満である。
【００６８】
電極パッド４９ａ〜４９ｅは、対応する電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）と垂直方向（第２の方向、ｙ方向）とにずれた位置に配置される。水平方向（第１の方向、ｘ方向）において、電極パッド４９ａ〜４９ｅは、対応する電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄから離間されている。
【００６９】
垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、電極パッド４９ａ〜４９ｅは、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄに対して、対応する一対の信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄから離れる方向にずれている。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）における電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄに対する電極パッド４９ａ〜４９ｅのずれは、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄのパッドピッチＰ４未満である。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、電極パッド４９ａ〜４９ｅは、対応する電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄの一部に重なってもよい。こうして、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、対応する電極パッド４９ａ〜４９ｅ間に位置し得る。
【００７０】
特定的には、電極パッド４９ａ〜４９ｅは、対応する電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄのパッドピッチＰ４だけずれ、かつ、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄのパッドピッチＰ４の半分だけずれた位置に配置される。つまり、電極パッド４９ａ〜４９ｅは、電極パッド４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄが配置される直線Ｌ１２，Ｌ１６とは異なる直線Ｌ１４上に配置される。
【００７１】
図１及び図３を参照して、光変調器１０及び光送信モジュール１００の動作を説明する。
【００７２】
図１に示すように、ＣＷレーザ２０からＣＷ光が出力される。ＣＷ光は、レンズ９０で集光されて、光変調器１０の入射口１１に入射される。入射口１１に入射されたＣＷ光は、図３に示すように、光信号として入力光導波路１２を伝搬して、光変調部１３ａ〜１３ｄに入力される。また、図１に示すように、ＣＷレーザ２０の反対側の端面からもＣＷ光が出力される。ＣＷ光は、レンズ９１で集光されて、光ファイバ１１０に入射される。このＣＷ光は、光位相信号の検出用ローカル光として、光送信モジュール１００の外部へ出力される。
【００７３】
図１及び図３に示すように、フレキシブル基板６８から入力された４つの差動信号が、ドライバＩＣ３０で増幅及び再整形される。これら差動信号は、配線基板６６及び配線基板４０を介して、光変調部１３ａ，１３ｂの電極パッド３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂに入力される。同様に、別の４つの差動信号が光変調部１３ｃ，１３ｄの電極パッド３２ｃ，３２ｄ，３３ｃ，３３ｄに入力される。
【００７４】
光変調部１３ａ〜１３ｄに入力された光信号は、差動信号に基づき、位相変調信号である光信号を生成する。具体的には、光変調部１３ａ，１３ｃは、Ｉ相（同相）成分が重畳された位相変調信号である光信号を生成する。光変調部１３ｂ，１３ｄは、Ｑ相（直交位相）成分が重畳された位相変調信号である光信号を生成する。
【００７５】
光変調部１３ａ〜１３ｄに入力された差動信号は、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ、電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄ、信号配線７２、ビア電極８２及び信号配線７８を伝搬して、終端抵抗８４で終端される。
【００７６】
光変調部１３ａで生成されたＩ相成分が重畳された位相変調信号である光信号と、光変調部１３ｂで生成されたＱ相成分が重畳された位相変調信号である光信号とは、出力光導波路１４ａで合波されて、四位相偏移変調（ＱＰＳＫ）又は直交位相振幅変調（ＱＡＭ）などの多値変調信号である光信号が生成される。多値変調信号である光信号は、出射口５ａから光変調器１０の外へ出力される。光変調部１３ｃで生成されたＩ相成分が重畳された位相変調信号である光信号と、光変調部１３ｄで生成されたＱ相成分が重畳された位相変調信号である光信号とは、出力光導波路１４ｂで合波されて、四位相偏移変調又は直交位相振幅変調などの多値変調信号である光信号が生成される。多値変調信号である光信号は、出射口５ｂから光変調器１０の外へ出力される。
【００７７】
図１に示すように、出射口５ａから出力された多値変調信号である光信号は、レンズ９２で平行光に整形される。波長板９４は、光信号の偏波を９０度回転させる。それから、光信号は、偏光ビームスプリッタ９６に入射される。出射口５ｂから出力された多値変調信号である光信号は、レンズ９３で平行光に整形され、ミラー９５で反射されて、偏光ビームスプリッタ９６に入射される。偏光ビームスプリッタ９６に入射された２つの多値変調信号である２つの光信号は、偏光ビームスプリッタ９６によって合波されて、偏波多重信号である光信号となる。この光信号は、レンズ９７で集光されて、光ファイバ１１１に入射される。この光信号は、光送信モジュール１００の外部へ出力される。
【００７８】
本実施の形態の光変調器１０及び光送信モジュール１００の作用を説明する。
本実施の形態の光変調器１０及び光送信モジュール１００では、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）と垂直方向（第２の方向、ｙ方向）とにずれた位置に配置される。水平方向（第１の方向、ｘ方向）において、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄから離間されている。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）において、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、対応する一対の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄから離れる方向にずれている。垂直方向（第２の方向、ｙ方向）における電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対する電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅのずれは、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄのパッドピッチＰ１未満である。
【００７９】
そのため、光変調器１０の第１短辺１０ｐ及び第２短辺１０ｑの長さは減少され得る。光変調器１０を小型化することができる。光変調器１０を備える光送信モジュール１００を小型化することができる。
【００８０】
特定的には、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄのパッドピッチＰ１だけずれ、かつ、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄのパッドピッチＰ１の半分だけずれた位置に配置される。電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄが配置される直線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ５，Ｌ６とは異なる直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ７，Ｌ８上に配置される。
【００８１】
例えば、本実施の形態の光変調器１０の一実施例では、図３に示されるように、電極パッドサイズが８０μｍであり、パッドピッチが１００μｍである。この実施例の光変調器は、図３に示されるように、８個の信号配線用の電極パッドと、５個の接地配線用の電極パッドとを含む。この実施例の光変調器では、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、対応する電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄに対して、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄのパッドピッチＰ１だけずれ、かつ、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）にパッドピッチＰ１の半分だけずれた位置に配置される。この実施例の光変調器の短辺（第１短辺１０ｐ、第２短辺１０ｑ）の長さは、１００μｍ×｛（４−１）＋０．５×２＋８０μｍ×１／２｝×２＝８８０μｍとなる。この実施例の光変調器では、後述する比較例の光変調器の短辺の長さ（１２８０μｍ）の６８．８％の長さで電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄ，３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅを配列することができる。
【００８２】
これに対し、比較例の光変調器では、光変調器の短辺に信号配線用のボンディングパッド（電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄ）及び接地配線用のボンディングパッド（電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７）が同一直線上に一列に配列されている。そのため、比較例の光変調器は、パッドサイズ、バッド間隔及びパッドの数に依存した短辺の長さを有している。例えば、比較例の光変調器では、実施例の光変調器と同じく、パッドサイズが８０μｍであり、パッドピッチが１００μｍである。この比較例の光変調器は、実施例の光変調器と同じく、８個の信号配線用の電極パッドと、５個の接地配線用の電極パッドとを含む。この比較例の光変調器の短辺の長さは、少なくとも１００μｍ×（１３−１）＋８０μｍ×１／２×２＝１２８０μｍである。
【００８３】
本実施の形態の光送信モジュール１００では、対応する信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄを挟み、かつ、対応する信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄに対向するように、接地配線１９ａ〜１９ｅが設けられている。接地配線１９ａ〜１９ｅ及び信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄを挟み、かつ、対応する信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄに対向するように、配線基板４０の接地配線４６ａ〜４６ｅが設けられている。接地配線４６ａ〜４６ｅ及び信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。
【００８４】
さらに、配線基板４０が光変調器１０の上方に配置されているため、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、配線基板４０の接地配線４６ａ〜４６ｅに対向する。電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ付近の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、斜め上方で配線基板４０の接地配線４６ａ〜４６ｄ及びその電極パッド４３ａ〜４３ｅに対向する。信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄと接地配線４６ａ〜４６ｅ及び電極パッド４３ａ〜４３ｅとの間に、差動コプレーナ線路が形成される。さらに、電極パッド４２ｂ及び電極パッド４２ｂ付近の信号配線４５ｂは、斜め下方で光変調器１０の接地配線１９ｃ及び電極パッド３６ｃに対向する。信号配線４５ｂ及び電極パッド４２ｂと接地配線１９ｃ及び電極パッド３６ｃとの間に、差動コプレーナ線路が形成される。
【００８５】
こうして、配線基板４０の信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄ、バンプ８０及び光変調器１０の信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄにわたって、連続的に差動コプレーナ線路が形成される。そのため、特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ，４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄに入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【００８６】
光送信モジュール１００では、配線設計の制約が緩い配線基板４０を用いて、光変調器１０とドライバＩＣ３０とが互いに電気的に接続されている。そのため、配線基板４０を用いることにより、電気線路のインピーダンスを容易に調整することができる。光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。これに対し、配線基板４０に代えて、ワイヤボンディングを用いて、光変調器の電極パッドから配線を引き出す比較例では、インダクタンスを小さくするため、ボンディングワイヤの長さを短くする必要がある。そのため、この比較例では、信号配線及び電極パッドなどの配線設計に制約があり、インピータンスの調整が困難である。
【００８７】
光変調器１０では、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ間におけるスキューの差は、主に、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さに依存する。信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さを調整することによって、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ間で、光変調器１０に入力される差動信号のスキューの差を減少させることができる。そのため、光変調器１０における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。特定的には、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さを互いに等しくすることにより、差動信号間のスキューの差をなくすことができる。
【００８８】
光送信モジュール１００では、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄは、水平方向（第１の方向、ｘ方向）に延在している。信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄ間におけるスキューの差は、主に、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さに依存する。信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの水平方向の長さ（第１の方向、ｘ方向）を調整することによって、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄ間で、差動信号のスキューの差を減少させることができる。そのため、光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。特定的には、信号配線４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄの水平方向（第１の方向、ｘ方向）の長さを互いに等しくすることにより、差動信号間のスキューの差をなくすことができる。
【００８９】
以上より、本実施の形態の光変調器１０及び光送信モジュール１００では、入力電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。光変調器１０及び光送信モジュール１００を小型化することができる。
【００９０】
以下、本実施の形態の光変調器１０及び光送信モジュール１００の複数の変形例を説明する。
【００９１】
本実施の形態では、光変調器１０の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄが、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅよりも、光変調器１０の第２短辺１０ｑの近くに設けられている。これに対し、本実施の形態の第１変形例では、電極パッド３６ａ〜３６ｅが、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄよりも、光変調器１０の第２短辺１０ｑの近くに設けられてもよく、かつ、電極パッド３７ａ〜３７ｅが、電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄよりも、光変調器１０の第１短辺１０ｐの近くに設けられてもよい。この第１変形例では、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄは、接地配線１９ａ〜１９ｅに隣接する位置となる。配線基板４０の電極パッド４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄ，４３ａ〜４３ｅも、光変調器１０の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３６ａ〜３６ｅの配置に対応させて設けられる。
【００９２】
本実施の形態では、光変調器１０に含まれる光変調部１３ａ〜１３ｄの数は４つであるが、第２変形例では、光変調器に含まれる光変調部の数は４つに限定されない。
【００９３】
本実施の形態では、光変調器１０の入射口１１及び出射口５ａ，５ｂは、光変調器１０の第１短辺１０ｐに設けられているが、第３変形例では、入射口１１及び出射口５ａ，５ｂが配置される位置は、第１短辺１０ｐに限定されない。
【００９４】
本実施の形態では、複数の多値変調信号である２つの光信号から生成される偏波多重信号である光信号を送信しているが、第４変形例では、四位相偏移変調又は直交位相振幅変調などの多値変調信号である光信号を送信してもよい。
【００９５】
本実施の形態の光変調器１０及び光送信モジュール１００の効果を説明する。
本実施の形態の光変調器１０は、複数のマッハツェンダ光変調部（例えば、光変調部１３ａ，１３ｂ）を備える。複数のマッハツェンダ光変調部は、各々、第１の方向（水平方向、ｘ方向）に延在する一対のアーム導波路（例えば、アーム導波路１５ａ，１６ａ，１５ｂ，１６ｂ）と、一対の第１信号配線（例えば、信号配線１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）と、一対の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）と、一対の第２信号電極パッド（例えば、電極パッド３４ａ，３５ａ，３４ｂ，３５ｂ）と、一対の第１接地配線（例えば、１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）と、一対の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）と、一対の第２接地電極パッド（例えば、電極パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃ）とを含む。複数のマッハツェンダ光変調部は、第１の方向に垂直な第２の方向（垂直方向、ｙ方向）に配列されている。
【００９６】
一対の第１信号配線（例えば、信号配線１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）は、それぞれ、一対の第１信号配線部分（例えば、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６）と、一対の第１信号配線部分の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分（例えば、第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７）と、一対の第１信号配線部分の他端にそれぞれ接続されている一対の第３信号配線部分（例えば、第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８）とを含む。一対の第１信号配線部分は、一対のアーム導波路上に設けられており、かつ、第１の方向に延在している。一対の第２信号配線部分は、一対の第１信号配線部分から第１の方向（ｘ方向）に離れるにつれて、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の第２の方向における中心線から第２の方向（ｙ方向）に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分の一端から延在している。一対の第３信号配線部分は、一対の第１信号配線部分から第１の方向（ｘ方向）に離れるにつれて、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の第２の方向（ｙ方向）における中心線から第２の方向（ｙ方向）に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分の他端から延在している。一対の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）は、それぞれ、一対の第２信号配線部分（例えば、第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７）に接続されている。一対の第２信号電極パッド（例えば、電極パッド３７ａ，３７ｂ）は、それぞれ、一対の第３信号配線部分（例えば、第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８）に接続されている。
【００９７】
一対の第１接地配線（例えば、接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）は、第１の方向に延在しており、第２の方向における一対の第１信号配線の両側に設けられており、かつ、一対の第１信号配線に対向している。一対の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）は、一対の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）に近位し、かつ、一対の第１接地配線に接続されている。一対の第２接地電極パッド（例えば、電極パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃ）は、一対の第２信号電極パッド（例えば、電極パッド３４ａ，３５ａ，３４ｂ，３５ｂ）に近位し、かつ、一対の第１接地配線に接続されている。複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッドは、第２の方向に延在する第１直線（例えば、直線Ｌ１）上に配置されている。一対の第１接地電極パッドは、一対の第１信号電極パッドに対して、第１の方向にずれており、かつ、第１の方向において一対の第１信号電極パッドから離間している。一対の第１接地電極パッドは、一対の第１信号電極パッドに対して、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の中心線から離れるように、第１の間隔（パッドピッチＰ１）未満だけ第２の方向にずれている。第１の間隔は、一対の第１信号電極パッドの中心間の第２の方向における間隔である。
【００９８】
このように、複数のマッハツェンダ光変調部（例えば、光変調部１３ａ，１３ｂ）の各々では、一対の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）は、一対の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）に対して、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の中心線から離れるように、第１の間隔未満だけ第２の方向にずれている。そのため、光変調器１０の短辺（第１短辺１０ｐ、第２短辺１０ｑ）を短くすることができる。光変調器１０は小型化され得る。
【００９９】
また、一対の第２信号配線部分（例えば、第２信号配線部分１６２，１６７，１７２，１７７）は、一対の第１信号配線部分（例えば、第１信号配線部分１６１，１６６，１７１，１７６）から第１の方向（ｘ方向）に離れるにつれて、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の第２の方向（ｙ方向）における中心線から第２の方向（ｙ方向）に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分の一端から延在している。一対の第３信号配線部分（例えば、第３信号配線部分１６３，１６８，１７３，１７８）は、一対の第１信号配線部分から第１の方向（ｘ方向）に離れるにつれて、複数のマッハツェンダ光変調部の各々の第２の方向（ｙ方向）における中心線から第２の方向（ｙ方向）に徐々に離れるように、一対の第１信号配線部分の他端から延在している。そのため、第１信号配線（例えば、信号配線１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）における電気信号の反射減衰量が減少する。そのため、光変調器１０における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１００】
本実施の形態の光変調器１０では、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッドは、第２の方向に、第１の間隔で配列されている。複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）の総数の半分超の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ）は、第２の方向に延在しかつ第１直線（例えば、直線Ｌ１）とは異なる第２直線（例えば、直線Ｌ３）上に、第２の間隔で配列されている。第１の間隔は、第２の間隔よりも小さい。そのため、光変調器１０は小型化され得る。
【０１０１】
本実施の形態の光変調器１０では、一対の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）は、一対の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）に対して、第２の方向に第１の間隔の半分だけずれている。そのため、光変調器１０は小型化され得る。
【０１０２】
本実施の形態の光変調器１０では、一対の第２接地電極パッド（例えば、電極パッド３７ａ，３７ｂ，３７ｃ）は、一対の第１信号配線（例えば、信号配線１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）に対向している。そのため、光変調器１０は小型化され得る。また、一対の第１信号配線と一対の第２接地電極パッドとは差動コプレーナ線路を形成する。そのため、光変調器１０における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１０３】
本実施の形態の光送信モジュール１００は、光変調器１０と、配線基板４０と、複数のバンプ８０とを備える。配線基板４０は、複数の第３信号電極パッド（例えば、電極パッド４１ａ，４２ａ，４１ｂ，４２ｂ）と、複数の第３接地電極パッド（例えば、電極パッド４３ａ，４３ｂ，４３ｃ）と、複数の第２信号配線（例えば、信号配線４４ａ，４５ａ，４４ｂ，４５ｂ）と、一つ以上の第２接地配線（例えば、接地配線４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）と、複数の第４信号電極パッド（例えば、電極パッド４７ａ，４８ａ，４７ｂ，４８ｂ）と、複数の第４接地電極パッド（例えば、電極パッド４９ａ，４９ｂ，４９ｃ）とを含む。複数の第３信号電極パッドは、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）に対向している。複数の第３接地電極パッドは、複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）に対向している。複数の第２信号配線の一端は、複数の第３信号電極パッドに電気的に接続されている。複数の第２信号配線の他端は、複数の第４信号電極パッドに電気的に接続されている。一つ以上の第２接地配線の一つ以上の一端は、複数の第３接地電極パッドに電気的に接続されている。一つ以上の第２接地配線の一つ以上の他端は、複数の第４接地電極パッドに電気的に接続されている。
【０１０４】
複数のバンプ８０は、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）と複数の第３信号電極パッド（例えば、電極パッド４１ａ，４２ａ，４１ｂ，４２ｂ）とを互いに接続し、かつ、複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地電極パッド（例えば、電極パッド３６ａ，３６ｂ，３６ｃ）と複数の第３接地電極パッド（例えば、電極パッド４３ａ，４３ｂ，４３ｃ）とを互いに接続している。複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッドと複数の第３信号電極パッドとは、複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地配線（例えば、接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）と一つ以上の第２接地配線（例えば、接地配線４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）との少なくとも一つに対向している。
【０１０５】
光変調器１０が小型化され得るため、光送信モジュール１００もまた小型化され得る。光変調器１０における電気信号の周波数の応答特性が改善されるため、光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性もまた改善される。さらに、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッドと複数の第３信号電極パッドとは、複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地配線（例えば、接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）または一つ以上の第２接地配線（例えば、接地配線４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）とともに、差動コプレーナ線路を形成する。そのため、光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１０６】
本実施の形態の光送信モジュール１００では、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号配線（例えば、信号配線１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）の一部及び第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）は、一つ以上の第２接地配線（例えば、接地配線４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）の一部に対向している。そのため、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号配線（例えば、信号配線１７ａ，１８ａ，１７ｂ，１８ｂ）の一部及び第１信号電極パッド（例えば、電極パッド３２ａ，３３ａ，３２ｂ，３３ｂ）は、一つ以上の第２接地配線（例えば、接地配線４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）の一部とともに、差動コプレーナ線路を形成する。光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１０７】
本実施の形態の光送信モジュール１００では、複数の第２信号配線（例えば、信号配線４４ａ，４５ａ，４４ｂ，４５ｂ）の一部及び複数の第３信号電極パッド（例えば、電極パッド４１ａ，４２ａ，４１ｂ，４２ｂ）は、複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地配線（例えば、接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）の一部に対向している。そのため、複数の第２信号配線（例えば、信号配線４４ａ，４５ａ，４４ｂ，４５ｂ）の一部及び複数の第３信号電極パッド（例えば、電極パッド４１ａ，４２ａ，４１ｂ，４２ｂ）は、複数のマッハツェンダ光変調部の第１接地配線（例えば、接地配線１９ａ，１９ｂ，１９ｃ）の一部とともに、差動コプレーナ線路を形成する。光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１０８】
本実施の形態の光送信モジュール１００では、一つ以上の第２接地配線は、複数の第２接地配線（例えば、接地配線４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）である。複数の第３信号電極パッド（例えば、電極パッド４１ａ，４２ａ，４１ｂ，４２ｂ）、複数の第３接地電極パッド（例えば、電極パッド４３ａ，４３ｂ，４３ｃ）、複数の第２信号配線（例えば、信号配線４４ａ，４５ａ，４４ｂ，４５ｂ）、複数の第２接地配線、複数の第４信号電極パッド（例えば、電極パッド４７ａ，４８ａ，４７ｂ，４８ｂ）及び複数の第４接地電極パッド（例えば、電極パッド４９ａ，４９ｂ，４９ｃ）は、光変調器１０に面する配線基板４０の下面に設けられている。複数の第２信号配線（例えば、信号配線４４ａ，４５ａ，４４ｂ，４５ｂ）は、第１の方向に延在している。複数の第２接地配線は、それぞれ、複数の第２信号配線に対向している。そのため、光送信モジュール１００における電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１０９】
実施の形態２．
図６から図１０を参照して、実施の形態２の光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００を説明する。なお、本実施の形態における部材の参照番号は、実施の形態１における対応する部材の番号に１００が追加されている。
【０１１０】
本実施の形態の光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００は、実施の形態１の光変調器１０及び光送信モジュール１００と、主に以下の点で異なっている。光送信モジュール２００では、ドライバＩＣ３０ａが、ワイヤボンディングによって、配線基板４０ａと配線基板６６とに電気的に接続されている。本実施の形態における配線基板４０ａは、実施の形態１における配線基板４０と、構成において異なっている。光送信モジュール２００は、配線基板９８をさらに備えている。光変調器１０ａは、ＣＷレーザ２０ａ及び位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄを内蔵している。
【０１１１】
図６及び図７に示すように、光送信モジュール２００は、ドライバＩＣ３０ａと、配線基板４０ａと、光変調器１０ａと、配線基板９８とを主に備える。
【０１１２】
ドライバＩＣ３０ａと配線基板６６とは、フィールドスルー６４上に搭載されている。ドライバＩＣ３０ａは、ワイヤボンディングによって、配線基板６６に電気的に接続されている。具体的には、ドライバＩＣ３０ａは、ワイヤボンディングによって、配線基板６６の上面に設けられる配線７４ａに電気的に接続されている。配線７４ａは、フレキシブル基板６８に設けられる配線（図示せず）に電気的に接続されている。フレキシブル基板６８からドライバＩＣ３０ａへ制御信号が入力される。
【０１１３】
ドライバＩＣ３０ａは、ワイヤボンディングによって、配線基板４０ａに電気的に接続されている。具体的には、ドライバＩＣ３０ａは、ワイヤボンディングによって、配線基板４０ａの上面に設けられる信号配線１４４，１４５に電気的に接続されている。配線基板９８は、ワイヤボンディングで、光変調器１０ａ、ＣＷレーザ２０ａ及び位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄに電気的に接続されている。
【０１１４】
図８を参照して、光変調器１０ａを詳細に説明する。
光変調器１０ａは、ＣＷレーザ２０ａと、位相調整器２１０ａ〜２１０ｈと、位相調整器２１２ａ〜２１２ｄと、電極パッド２２０とをさらに含む。
【０１１５】
ＣＷレーザ２０ａは、光変調器１０ａに集積されている。ＣＷレーザ２０ａは、光導波路１１２内に設けられている。ＣＷレーザ２０ａは、例えば、半導体レーザである。光導波路１１２は、出力光導波路１１２ａと入力光導波路１１２ｂとを含む。ＣＷレーザ２０ａは、図８の左方向及び右方向にＣＷ光を出力することができる。右方向に出射されたＣＷ光は、出力光導波路１１２ａを伝搬し出射口１１ａから出射される。左方向に出射されたＣＷ光は、光信号として入力光導波路１１２ｂを伝搬して、アーム導波路１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｄに入力される。
【０１１６】
位相調整器２１０ａ〜２１０ｈは、それぞれ、アーム導波路１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｄに設けられる。位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄは、光変調部１３ａ〜１３ｄに対応する出力光導波路１４ａ，１４ｂの４箇所に設けられる。位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄは、位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄに印加される制御信号に応じて、各光導波路を通過する光信号の位相を変化させることができる。位相調整器２１０ａ〜２１０ｈは、アーム導波路１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｄの間に生じる位相差を調整することができる。位相調整器２１２ａ〜２１２ｄは、光変調部１３ａ〜１３ｄの間に生じる位相差を調整することができる。
【０１１７】
電極パッド２２０は、複数の電極パッドを有している。電極パッド２２０は、光変調器１０ａの長辺方向に延在する出力光導波路１１２ａに沿って配列される。電極パッド２２０は、信号配線２２１によって、ＣＷレーザ２０ａ及び位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄと電気的に接続されている。電極パッド２２０には、ＣＷレーザ２０ａ及び位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄの制御を行う制御信号が入力される。電極パッド２２０に入力された制御信号は、信号配線２２１を経由して、ＣＷレーザ２０ａ及び位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄに入力される。図８では、位相調整器２１０ｂ〜２１０ｈ，２１２ｃ，２１２ｄと電極パッド２２０との間の信号配線２２１の図示が省略されている。
【０１１８】
図９及び図１０を参照して、配線基板４０ａを詳細に説明する。
図９に示すように、配線基板４０ａは、信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄと、接地配線１４６ａ〜１４６ｅとを含む。信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄと、接地配線１４６ａ〜１４６ｅとは、配線基板４０ａの上面に設けられている。配線基板４０ａの上面は、光変調器１０ｂに面する配線基板４０ａの下面とは反対側である。
【０１１９】
信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄは、対応する一対のアーム導波路１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｄに電気的に接続される信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄが互いに対向するように設けられている。信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄは、配線基板４０ａの中央に近い信号配線ほど、より大きく曲がくねるように形成されている。そのため、信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄは、互いに等しい配線長を有している。こうして、信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄの間で、ドライバＩＣ３０ａから入力された制御信号のスキューの差を等しくすることができる。
【０１２０】
接地配線１４６ａ〜１４６ｅは、信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄに沿って延在している。接地配線１４６ａ〜１４６ｅは、対応する信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄに対向している。接地配線１４６ａ〜１４６ｅは、それぞれ、対応する信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄの両側に配置されている。そのため、信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄと接地配線１４６ａ〜１４６ｅとによって、差動コプレーナ線路が形成される。特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線に入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。また、電極パッド１４９ａ〜１４９ｈを電極パッド１４３ａ〜１４３ｅに対応させるため、一部の電極パッド１４９ｂ〜１４９ｇは、接地配線１４６ｂ〜１４６ｄを共有して、ビア電極８９ｂ〜８９ｄに電気的に接続されている。
【０１２１】
図９に示すように、配線基板４０ａは、電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈを含む。電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、配線基板４０ａの上面に設けられている。電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、ワイヤボンディングで、ドライバＩＣ３０ａに電気的に接続されている。信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄの一端に、それぞれ、電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄが接続されている。接地配線１４６ａ〜１４６ｅの一端に、それぞれ、電極パッド１４９ａ〜１４９ｈが接続されている。
【０１２２】
図１０に示すように、配線基板４０ａは、電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅと、接地配線８８と、絶縁コーティング８５とをさらに含む。電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅと、接地配線８８と、絶縁コーティング８５とは、光変調器１０ａに面する配線基板４０ａの下面に設けられている。電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅは、光変調器１０ａの電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３６ａ〜３６ｅに対向している。
【０１２３】
図１０に示すように、接地配線８８は、電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅが設けられる領域を除く、配線基板４０ａの下面の大部分に設けられている。接地配線８８は、電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄに対向している。接地配線８８は、電極パッド１４３ａ〜１４３ｅに接続されている。
【０１２４】
絶縁コーティング８５は、接地配線８８上に設けられている。接地配線８８の大部分は、絶縁コーティング８５で覆われている。絶縁コーティング８５は、接地配線８８上の電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅが設けられる領域を除いた領域に設けられる。
【０１２５】
配線基板４０ａは、ビア電極８６ａ〜８６ｄ，８７ａ〜８７ｄと、ビア電極８９ａ〜８９ｅと、ビア電極１８０とをさらに含む。ビア電極８６ａ〜８６ｄ，８７ａ〜８７ｄと、ビア電極８９ａ〜８９ｅと、ビア電極１８０とは、配線基板４０ａを貫通している。ビア電極８６ａ〜８６ｄ，８７ａ〜８７ｄは、信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄと電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄとを互いに接続している。ビア電極８９ａ〜８９ｅは、接地配線８８と電極パッド１４３ａ〜１４３ｅとを互いに接続している。ビア電極１８０は、接地配線８８と電極パッド１４６ａ〜１４６ｅとを互いに接続している。
【０１２６】
電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、ドライバＩＣ３０ａから出力された制御信号が入力される。そのため、電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、ドライバＩＣ３０ａの出力端子と同じ数及び同じ配列で配線基板４０ａの上面に設けられている。電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、垂直方向（第２の方向、ｙ方向）に延在する配線基板４０ａの端辺に沿って、一列に配列されている。電極パッド１４９ａ〜１４９ｈは、ドライバＩＣ３０ａの出力端子に合わせて設けられている。そのため、電極パッド１４９ａ〜１４９ｈの数は、配線基板４０ａの下面に設けられる電極パッド１４３ａ〜１４３ｅの数よりも多い。
【０１２７】
電極パッド１４９ａ〜１４９ｈの数は電極パッド１４３ａ〜１４３ｅの数よりも多いため、電極パッド１４９ａ〜１４９ｈの少なくとも二つは、接地配線１４６ａ〜１４６ｅの一つに接続されている。具体的には、電極パッド１４９ｂ，１４９ｃは、接地配線１４６ｂに接続されている。電極パッド１４９ｄ，１４９ｅは、接地配線１４６ｃに接続されている。電極パッド１４９ｆ，１４９ｇは、接地配線１４６ｄに接続されている。
【０１２８】
配線基板４０ａの接地配線８８のうち光変調器１０ａに対向する部分は、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄに対向する。そのため、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄと接地配線８８との間に、差動コプレーナ線路が形成される。特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線に入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。つまり、配線基板４０ａの信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ、バンプ８０、光変調器１０ａの信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄにわたって、連続的に差動コプレーナ線路が形成される。
【０１２９】
図６及び図８を参照して、光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００の動作を説明する。
【０１３０】
図８に示すように、ＣＷレーザ２０ａは、左方向及び右方向に、ＣＷ光を出力する。ＣＷレーザ２０ａから右方向に出射されたＣＷ光は、出力光導波路１１２ａを伝搬し、出射口１１ａから出力される。ＣＷ光は、レンズ９１ａで集光されて、光ファイバ１１０に入射される。このＣＷ光は、光位相信号の検出用ローカル光として、光送信モジュール２００の外部へ出力される。ＣＷレーザ２０ａから左方向に出射されたＣＷ光は、光信号として入力光導波路１１２ｂを伝搬して、光信号として各光変調部１３ａ〜１３ｄに入力される。
【０１３１】
図６及び図８に示すように、フレキシブル基板６８から入力された４つの差動信号が、ドライバＩＣ３０ａで増幅及び再整形される。これら差動信号は、配線基板４０ａを介して、光変調部１３ａ，１３ｂの電極パッド３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂに入力される。同様に、別の４つの差動信号が光変調部１３ｃ，１３ｄの電極パッド３２ｃ，３２ｄ，３３ｃ，３３ｄに入力される。
【０１３２】
光変調部１３ａ〜１３ｄに入力された光信号は、差動信号に基づき、位相変調信号である光信号を生成する。具体的には、光変調部１３ａ，１３ｃは、Ｉ相成分が重畳された位相変調信号である光信号を生成する。光変調部１３ｂ，１３ｄは、Ｑ相成分が重畳された位相変調信号である光信号を生成する。
【０１３３】
位相調整器２１０ａ〜２１０ｈは、位相調整器２１０ａ〜２１０ｈに印加される制御信号に応じて、各光導波路を通過する光信号の位相を変化させて、アーム導波路１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｂの間に生じる位相差を調整する。位相調整器２１２ａ〜２１２ｄは、位相調整器２１２ａ〜２１２ｄに印加される制御信号に応じて、各光導波路を通過する光信号の位相を変化させて、光変調部１３ａ〜１３ｄの間に生じる位相差を調整する。
【０１３４】
光変調部１３ａ〜１３ｄに入力された差動信号は、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ、電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄ、信号配線７２、ビア電極８２及び信号配線７８を伝搬して、終端抵抗８４で終端される。
【０１３５】
光変調部１３ａで生成されたＩ相成分が重畳された位相変調信号である光信号と、光変調部１３ｂで生成されたＱ相成分が重畳された位相変調信号である光信号とは、出力光導波路１４ａで合波されて、四位相偏移変調又は直交位相振幅変調などの多値変調信号である光信号が生成される。多値変調信号である光信号は、出射口５ａから光変調器１０ａの外へ出力される。光変調部１３ｃで生成されたＩ相成分が重畳された位相変調信号である光信号と、光変調部１３ｄで生成されたＱ相成分が重畳された位相変調信号である光信号とは、出力光導波路１４ｂで合波されて、四位相偏移変調又は直交位相振幅変調などの多値変調信号である光信号が生成される。多値変調信号である光信号は、出射口５ｂから光変調器１０ａの外部へ出力される。
【０１３６】
図６に示すように、出射口５ａから出力された多値変調信号である光信号は、レンズ９２で平行光に整形される。波長板９４は、光信号の偏波を９０度回転させる。それから、光信号は、偏光ビームスプリッタ９６に入射される。出射口５ｂから出力された多値変調信号である光信号は、レンズ９３で平行光に整形され、ミラー９５で反射されて、偏光ビームスプリッタ９６に入射される。偏光ビームスプリッタ９６に入射された２つの多値変調信号である２つの光信号は、偏光ビームスプリッタ９６によって合波されて、偏波多重信号である光信号となる。この光信号は、レンズ９７で集光されて、光ファイバ１１１に入射される。この光信号は、光送信モジュール２００の外部へ出力される。
【０１３７】
本実施の形態の光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００は、実施の形態１の光変調器１０及び光送信モジュール１００の作用と同様の以下の作用を奏する。
【０１３８】
本実施の形態では、配線基板４０ａの接地配線８８の光変調器１０ａに対向する部分は、信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄに対向する。信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄと接地配線８８との間に、差動コプレーナ線路が形成される。こうして、配線基板４０ａの信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ、バンプ８０及び光変調器１０ａの信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄにわたって、連続的に差動コプレーナ線路が形成される。そのため、特性インピーダンスの高周波差動信号が信号配線に入力されたときのインピーダンスマッチングによる損失を抑制することができる。光送信モジュール２００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１３９】
本実施の形態の光送信モジュール２００内の配線基板４０ａでは、電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、ドライバＩＣ３０ａの出力端子と同じ数及び同じ配列で設けられている。電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、配線基板４０ａの上面の端辺に一列に配列されている。そのため、ドライバＩＣ３０ａを配線基板４０ａのより近くに配置することができる。ボンディングワイヤの長さを短くすることができる。本実施の形態の光送信モジュール２００では、ワイヤボンディングによる高周波応答の悪化を低減することができる。
【０１４０】
配線基板４０ａの電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈは、ドライバＩＣ３０ａの出力端子と同じ数及び同じ配列で設けられている。配線基板４０ａの電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅは、光変調器１０ａの電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３６ａ〜３６ｅと同じ数及び同じ配列で設けられている。電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅは、電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈと、数及び配列において異なっている。配線基板４０は、電気信号入力側の電極パッド（電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈ）の数及び配列を、電気信号出力側の電極パッド（電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅ）の数及び配列に変換している。
【０１４１】
そのため、ドライバＩＣ３０ａ及び光変調器１０ａの設計を変更することなく、配線基板４０ａの設計を変更する（例えば、電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ，１４３ａ〜１４３ｅ及び電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ，１４９ａ〜１４９ｈの数及び配列を変更する）だけで、ドライバＩＣ３０ａと光変調器１０ａの組合せを変えることができる。光送信モジュール２００の設計自由度を高めることができる。
【０１４２】
光変調器１０ａは、ＣＷレーザ２０ａを内蔵している。光変調器１０ａとＣＷレーザ２０ａとの間の光軸調整が不要になり、光変調器１０ａとＣＷレーザ２０ａとの取り扱いが容易になる。また、光変調器１０ａとＣＷレーザ２０ａとを、別々に、光送信モジュール２００内に配置する必要はない。光送信モジュール２００を小型化することができる。
【０１４３】
光変調器１０ａは、位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄを含んでいる。位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄは、アーム導波路１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｂの間又は光変調部１３ａ〜１３ｄの間に生じる位相差を調整することができる。そのため、光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００における入出力電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１４４】
光送信モジュール２００では、配線基板４０ａの下面の大部分に接地配線８８が設けられている。そのため、位相調整器２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄの信号配線２２１と配線基板４０ａの信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄとの間の差動信号の干渉を防ぐことができる。光送信モジュール２００における入出力電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１４５】
光送信モジュール２００では、配線基板４０ａの下面に、絶縁コーティング８５が設けられている。そのため、接地配線８８と光変調器１０ａの信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ，２２１との間の誤接触による、接地配線８８と信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ，２２１との間の電気的短絡を防ぐことができる。高い信頼性を有する光送信モジュール２００を提供することができる。
【０１４６】
本実施の形態の光送信モジュール２００は、実施の形態１の光送信モジュール１００に比べ、さらに、信号配線間で入出力信号のスキューの差を減少させて、光送信モジュール２００における入出力電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。本実施の形態の光送信モジュール２００は、実施の形態１の光送信モジュール１００に比べ、さらに、小型化することができる。
【０１４７】
本実施の形態の光送信モジュール２００では、配線基板４０ａの下面に絶縁コーティング８５を設けたが、終端基板５０の下面にも絶縁コーティングを設けてもよい。
【０１４８】
本実施の形態の光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００は、実施の形態１の光変調器１０及び光送信モジュール１００の効果に加えて、以下の効果を奏する。
【０１４９】
本実施の形態の光変調器１０ａは、複数のマッハツェンダ光変調部（例えば、光変調部１３ａ，１３ｂ）のアーム導波路（例えば、アーム導波路１１５ａ，１１６ａ，１１５ｂ，１１６ｂ）に接続される第１の光導波路（光導波路１１２）と、第１の光導波路（光導波路１１２）に設けられるレーザ（例えば、ＣＷレーザ２０ａ）とをさらに備える。そのため、光変調器１０ａとＣＷレーザ２０ａとの間の光軸調整が不要になり、光変調器１０ａとＣＷレーザ２０ａとの取り扱いが容易になる。また、光送信モジュール２００を小型化することができる。
【０１５０】
本実施の形態の光変調器１０ａは、複数のマッハツェンダ光変調部（例えば、光変調部１３ａ，１３ｂ）のアーム導波路（例えば、アーム導波路１１５ａ，１１６ａ，１１５ｂ，１１６ｂ）に接続される出力光導波路（例えば、出力光導波路１４ａ）と、アーム導波路（例えば、アーム導波路１１５ａ，１１６ａ，１１５ｂ，１１６ｂ）または出力光導波路の少なくとも一つに設けられる位相調整器（例えば、位相調整器２１０ａ，２１０ｂ，２１０ｃ，２１０ｄ，２１２ａ，２１２ｂ）とをさらに備える。そのため、光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００における入出力電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１５１】
本実施の形態の光送信モジュール２００では、配線基板４０ａは、複数の第３接地配線（接地配線１４６ａ〜１４６ｅ）と、複数のビア電極８２，８６ａ〜８６ｄ，８７ａ〜８７ｄ，８９ａ〜８９ｅ，１８０とをさらに含む。一つ以上の第２接地配線（接地配線８８）は、一つの第２接地配線（接地配線８８）である。第２接地配線（接地配線８８）、複数の第３信号電極パッド（電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ）及び複数の第３接地電極パッド（電極パッド１４３ａ〜１４３ｅ）は、光変調器１０ａに面する配線基板４０ａの下面に設けられている。複数の第２信号配線（信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ）、複数の第３接地配線（接地配線１４６ａ〜１４６ｅ）、複数の第４信号電極パッド（電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ）及び複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）は、配線基板４０ａの下面とは反対側の配線基板４０ａの上面に設けられている。
【０１５２】
複数の第３接地配線（接地配線１４６ａ〜１４６ｅ）は、複数の第２信号配線（信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ）に沿って延在しており、かつ、第２信号配線（信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ）に対向している。複数のビア電極８２，８６ａ〜８６ｄ，８７ａ〜８７ｄ，８９ａ〜８９ｅ，１８０は、複数の第２信号配線（信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ）と複数の第３信号電極パッド（電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ）とを互いに接続し、第２接地配線（接地配線８８）と複数の第３接地電極パッド（電極パッド１４３ａ〜１４３ｅ）とを互いに接続し、かつ、第２接地配線（接地配線８８）と複数の第３接地配線（接地配線１４６ａ〜１４６ｅ）とを互いに接続している。
【０１５３】
このように、第２接地配線（接地配線８８）、複数の第３信号電極パッド（電極パッド１４１ａ〜１４１ｄ，１４２ａ〜１４２ｄ）及び複数の第３接地電極パッド（電極パッド１４３ａ〜１４３ｅ）は、配線基板４０ａの下面に設けられているのに対し、複数の第２信号配線（信号配線１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ）、複数の第３接地配線（接地配線１４６ａ〜１４６ｅ）、複数の第４信号電極パッド（電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ）及び複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）は、配線基板４０ａの上面に設けられている。そのため、配線基板４０ａは、光変調器１０ａとドライバＩＣ３０ａとに容易に電気的に接続され得る。また、電気信号が、ボンディングワイヤからではなく、配線基板４０ａから光変調器１０ａに供給される。そのため、光送信モジュール２００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１５４】
信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ及び電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄと第２接地配線（接地配線８８）との間に、差動コプレーナ線路を形成することができる。光変調器１０ａ及び光送信モジュール２００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１５５】
本実施の形態の光送信モジュール２００では、配線基板４０ａは、第２接地配線（接地配線８８）上に設けられている絶縁コーティング８５をさらに含む。そのため、接地配線８８と光変調器１０ａの信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄとの間の誤接触による、接地配線８８と信号配線１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ，との間の電気的短絡を防ぐことができる。高い信頼性を有する光送信モジュール２００を提供することができる。
【０１５６】
本実施の形態の光送信モジュール２００は、配線基板４０ａに電気的に接続されるドライバＩＣ３０ａをさらに備える。複数の第４信号電極パッド（電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ）及び複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）は、配線基板４０ａの端辺に沿って配列されている。複数の第４信号電極パッド（電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ）及び複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）の配列は、複数の第４信号電極パッド（電極パッド１４７ａ〜１４７ｄ，１４８ａ〜１４８ｄ）及び複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）に電気的に接続されるドライバＩＣの複数の電極パッドの配列と同じである。
【０１５７】
そのため、配線基板４０ａは、ドライバＩＣ３０ａに容易に電気的に接続され得る。また、光変調器１０ａとドライバＩＣ３０ａとの間のボンディングワイヤの長さを短くすることができる。光送信モジュール２００における電気信号の周波数の応答特性を改善することができる。
【０１５８】
本実施の形態の光送信モジュール２００では、複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）の数は、複数の第３接地電極パッド（電極パッド１４３ａ〜１４３ｅ）の数よりも多い。複数の第４接地電極パッド（電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）の少なくとも二つは、複数の第３接地配線（接地配線１４６ａ〜１４６ｅ）の一つに接続されている。
【０１５９】
このように、配線基板４０ａは、電気信号の入力側の端子（例えば、電極パッド１４９ａ〜１４９ｈ）の数を、電気信号出力側の端子（例えば、１４３ａ〜１４３ｅ）の数に変換している。そのため、ドライバＩＣ３０ａ及び光変調器１０ａの設計を変更しなくても、配線基板４０ａを用いて、ドライバＩＣ３０ａと光変調器１０ａとが互いに電気的に接続され得る。光送信モジュール２００の設計自由度を高めることができる。
【０１６０】
実施の形態３．
図１１を参照して、実施の形態３の光変調器１０ｂを説明する。本実施の形態の光変調器１０ｂは、実施の形態１の光変調器１０と同様の構成を備えるが、以下の点で主に異なる。光変調器１０ｂは、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ及び電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅの形状において、光変調器１０と異なっている。光変調器１０ｂは、電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ｃの配置及び接地配線１９ａ〜１９ｅの形状において、光変調器１０と異なっている。
【０１６１】
本実施の形態では、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ及び電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、正六角形もしくは正八角形のような、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有している。本実施の形態の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ及び電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、実施の形態１の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ及び電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅよりも、角張っていない。そのため、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ及び電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅは、より高い密度で設けられ得る。光変調器１０ｂが小型化され得る。
【０１６２】
電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ，３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅ間の距離が大きくなるため、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｂ，３５ａ〜３５ｂ，３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅ間に、接地配線１９ａ〜１９ｅを容易に設けることができる。例えば、電極パッド３２ｃ，３３ｂ間の距離が大きくなるため、電極パッド３２ｃ，３３ｂ間に接地配線１９ｃを容易に設けることができる。図１１の領域Ａに示されるように、電極パッド３４ｃ，３５ｂ間の距離が大きくなるため、電極パッド３４ｃ，３５ｂ間に接地配線１９ｃを容易に設けることができる。光変調器１０ｂでは、接地配線１９ａ〜１９ｅの設計の自由度を高めることができる。
【０１６３】
本実施の形態では、電極パッド３６ａ〜３６ｅは、電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄよりも、光変調器１０の第２短辺１０ｑの近くに設けられている。電極パッド３７ｃは、電極パッド３５ｃよりも光変調器１０の第２短辺１０ｑに近い位置に設けられている。電極パッド３６ａ〜３６ｅ，３７ｃの配置に応じて、接地配線１９ａ〜１９ｅの形状が変更されている。
【０１６４】
本実施の形態では、複数の電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄの一部は、接地配線１９ａ〜１９ｅの一部に対向している。具体的には、接地配線１９ａは、電極パッド３２ａに対向している。接地配線１９ｂは、電極パッド３２ｂ，３３ａに対向している。接地配線１９ｃは、電極パッド３２ｃ，３３ｂに対向している。接地配線１９ｄは、電極パッド３２ｄ，３３ｃに対向している。接地配線１９ｅは、電極パッド３３ｄに対向している。そのため、光変調器１０ｂにおける電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１６５】
本実施の形態では、複数の電極パッド３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄの一部は、接地配線１９ａ〜１９ｅの一部に対向している。具体的には、接地配線１９ｃは、電極パッド３４ｃ，３５ｂに対向している。そのため、光変調器１０ｂにおける電気信号の周波数の応答特性が改善される。
【０１６６】
実施の形態３の光送信モジュールは、実施の形態１の光送信モジュール１００と同様の構成を備えるが、光変調器１０に代えて、光変調器１０ｂを備えている点で主に相違する。本実施の形態の光送信モジュールでは、配線基板の電極パッドは、正六角形もしくは正八角形のような、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有してもよい。そのため、配線基板が小型化され得る。本実施の形態の光送信モジュールは、実施の形態１の光送信モジュール１００の効果に加えて、光送信モジュールがさらに小型化され得るという効果を奏する。
【０１６７】
本実施の形態の光変調器１０ｂは、実施の形態１の光変調器１０の効果に加えて、以下の効果を奏する。
【０１６８】
本実施の形態の光変調器１０ｂでは、複数のマッハツェンダ光変調部の第１信号電極パッド（電極パッド３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ）及び第１接地電極パッド（電極パッド３６ａ〜３６ｅ）は、各々、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有している。そのため、第１信号電極パッド及び第１接地電極パッドは、より高い密度で設けられ得る。光変調器１０ｂが小型化され得る。
【０１６９】
今回開示された実施の形態１−３及びそれらの変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。矛盾のない限り、今回開示された実施の形態１−３及びそれらの変形例の少なくとも２つを組み合わせてもよい。例えば、実施の形態２の電極パッドは、実施の形態３のように、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有してもよい。本発明の範囲は、上記した説明ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【符号の説明】
【０１７０】
５ａ，５ｂ，１１ａ  出射口、１０，１０ａ，１０ｂ  光変調器、１０ｐ  第１短辺、１０ｑ  第２短辺、１１  入射口、１２，１１２ｂ  入力光導波路、１２ａ，１４ａ，１４ｂ，１１２ａ  出力光導波路、１３ａ〜１３ｄ  光変調部、１５ａ〜１５ｄ，１６ａ〜１６ｄ，１１５ａ〜１１５ｄ，１１６ａ〜１１６ｄ  アーム導波路、１７ａ〜１７ｄ，１８ａ〜１８ｄ，４４ａ〜４４ｄ，４５ａ〜４５ｄ，７２，７８，１４４ａ〜１４４ｄ，１４５ａ〜１４５ｄ，２２１  信号配線、１９ａ〜１９ｅ，４６ａ〜４６ｅ，７５，７６，７７，８８，１４６ａ〜１４６ｅ  接地配線、２０，２０ａ  ＣＷレーザ、３２ａ〜３２ｄ，３３ａ〜３３ｄ，３４ａ〜３４ｄ，３５ａ〜３５ｄ，３６ａ〜３６ｅ，３７ａ〜３７ｅ，４１ａ〜４１ｄ，４２ａ〜４２ｄ，４３ａ〜４３ｅ，４７ａ〜４７ｄ，４８ａ〜４８ｄ，４９ａ〜４９ｅ  電極パッド、４０，４０ａ  配線基板、５０  終端基板、６０  パッケージ、６２  チップキャリア、６４  フィールドスルー、６６  配線基板、６８  フレキシブル基板、７３，７４，７４ａ  配線、８０  バンプ、８２，８６ａ〜８６ｄ，８７ａ〜８７ｄ，８９ａ〜８９ｅ，１８０  ビア電極、８４  終端抵抗、８５  絶縁コーティング、９０，９１，９１ａ，９２，９３，９７  レンズ、９４  波長板、９５  ミラー、９６  偏光ビームスプリッタ、９８  配線基板、１００，２００  光送信モジュール、１１０，１１１  光ファイバ、１１２  光導波路、１６１，１６６，１７１，１７６，１８１，１８６，１９１，１９６  第１信号配線部分、１６２，１６７，１７２，１７７，１８２，１８７，１９２，１９７  第２信号配線部分、１６３，１６８，１７３，１７８，１８３，１８８，１９３，１９８  第３信号配線部分、２１０ａ〜２１０ｈ，２１２ａ〜２１２ｄ  位相調整器。
【図１】
2019239683.tif 000003
【図２】
2019239683.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2019239683.tif 000008
【図７】
2019239683.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【手続補正書】
【提出日】令和1年9月20日(2019.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマッハツェンダ光変調部を備え、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、各々、第１の方向に延在する一対のアーム導波路と、一対の第１信号配線と、一対の第１信号電極パッドと、一対の第２信号電極パッドと、一対の第１接地配線と、一対の第１接地電極パッドと、一対の第２接地電極パッドとを含み、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列されており、
前記一対の第１信号配線は、それぞれ、一対の第１信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の他端にそれぞれ接続されている一対の第３信号配線部分とを含み、
前記一対の第１信号配線部分は、前記一対のアーム導波路上に設けられており、かつ、前記第１の方向に延在しており、
前記一対の第２信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記第２の方向における中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記一端から延在しており、
前記一対の第３信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記他端から延在しており、
前記一対の第１信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第２信号配線部分に接続されており、
前記一対の第２信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第３信号配線部分に接続されており、
前記一対の第１接地配線は、前記第１の方向に延在しており、前記第２の方向における前記一対の第１信号配線の両側に設けられており、かつ、前記一対の第１信号配線に対向しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第２信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に延在する第１直線上に配置されており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第１の方向にずれており、かつ、前記第１の方向において前記一対の第１信号電極パッドから離間しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から離れるように、第１の間隔未満だけ前記第２の方向にずれており、
前記第１の間隔は、前記一対の第１信号電極パッドの中心間の前記第２の方向における間隔であり、
前記一対の第１信号電極パッドの前記第２の方向のパッド幅は、前記一対の第１信号配線部分の前記第２の方向の配線幅、および前記一対の第２信号配線部分の前記第２の方向の配線幅より大きく、
前記一対の第２信号電極パッドの前記第２の方向のパッド幅は、前記一対の第１信号配線部分の前記第２の方向の配線幅、および前記一対の第３信号配線部分の前記第２の方向の配線幅より大きい、光変調器。
【請求項２】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に、前記第１の間隔で配列されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドの総数の半分超の前記第１接地電極パッドは、前記第２の方向に延在しかつ前記第１直線とは異なる第２直線上に、第２の間隔で配列されており、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔よりも小さい、請求項１に記載の光変調器。
【請求項３】
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第２の方向に前記第１の間隔の半分だけずれている、請求項１または請求項２に記載の光変調器。
【請求項４】
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第１信号配線に対向している、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項５】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッド及び前記第１接地電極パッドは、各々、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有している、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項６】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される第１の光導波路と、
前記第１の光導波路内に設けられるレーザとをさらに備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項７】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される出力光導波路と、
前記アーム導波路または前記出力光導波路の少なくとも一つに設けられる位相調整器とをさらに備える、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の前記光変調器と、
配線基板と、
複数のバンプとを備え、
前記配線基板は、複数の第３信号電極パッドと、複数の第３接地電極パッドと、複数の第２信号配線と、一つ以上の第２接地配線と、複数の第４信号電極パッドと、複数の第４接地電極パッドとを含み、
前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドに対向しており、
前記複数の第３接地電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドに対向しており、
前記複数の第２信号配線の一端は、前記複数の第３信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数の第２信号配線の他端は、前記複数の第４信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の一端は、前記複数の第３接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の他端は、前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数のバンプは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドと前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続しており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線と前記一つ以上の第２接地配線との少なくとも一つに対向している、光送信モジュール。
【請求項９】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号配線の一部及び前記第１信号電極パッドは、前記一つ以上の第２接地配線の一部に対向している、請求項８に記載の光送信モジュール。
【請求項１０】
前記複数の第２信号配線の一部及び前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線の一部に対向している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１１】
前記一つ以上の第２接地配線は、複数の第２接地配線であり、
前記複数の第３信号電極パッド、前記複数の第３接地電極パッド、前記複数の第２信号配線、前記複数の第２接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線は、前記第１の方向に延在しており、
前記複数の第２接地配線は、それぞれ、前記複数の第２信号配線に対向している、請求項８から請求項１０のいずれか一項に記載の光送信モジュール。
【請求項１２】
前記配線基板は、複数の第３接地配線と、複数のビア電極とをさらに含み、
前記一つ以上の第２接地配線は、一つの第２接地配線であり、
前記第２接地配線、前記複数の第３信号電極パッド及び前記複数の第３接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線、前記複数の第３接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の前記下面とは反対側の前記配線基板の上面に設けられており、
前記複数の第３接地配線は、前記複数の第２信号配線に沿って延在しており、かつ、前記第２信号配線に対向しており、
前記複数のビア電極は、前記複数の第２信号配線と前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、前記第２接地配線と前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記第２接地配線と前記複数の第３接地配線とを互いに接続している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１３】
前記配線基板は、前記第２接地配線上に設けられている絶縁コーティングをさらに含む、請求項１２に記載の光送信モジュール。
【請求項１４】
前記配線基板に電気的に接続されるドライバＩＣをさらに備え、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の端辺に沿って配列されており、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドの配列は、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続される前記ドライバＩＣの複数の電極パッドの配列と同じである、請求項１２または請求項１３に記載の光送信モジュール。
【請求項１５】
前記複数の第４接地電極パッドの数は、前記複数の第３接地電極パッドの数よりも多く、
前記複数の第４接地電極パッドの少なくとも二つは、前記複数の第３接地配線の一つに接続されている、請求項１４に記載の光送信モジュール。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月13日(2020.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマッハツェンダ光変調部を備え、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、各々、第１の方向に延在する一対のアーム導波路と、一対の第１信号配線と、一対の第１信号電極パッドと、一対の第２信号電極パッドと、一対の第１接地配線と、一対の第１接地電極パッドと、一対の第２接地電極パッドとを含み、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列されており、
前記一対の第１信号配線は、それぞれ、一対の第１信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の他端にそれぞれ接続されている一対の第３信号配線部分とを含み、
前記一対の第１信号配線部分は、前記一対のアーム導波路上に設けられており、かつ、前記第１の方向に延在しており、
前記一対の第２信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記第２の方向における中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記一端から延在しており、
前記一対の第３信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記他端から延在しており、
前記一対の第１信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第２信号配線部分に接続されており、
前記一対の第２信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第３信号配線部分に接続されており、
前記一対の第１接地配線は、前記第１の方向に延在しており、前記第２の方向における前記一対の第１信号配線の両側に設けられており、かつ、前記一対の第１信号配線に対向しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第２信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に延在する第１直線上に配置されており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第１の方向にずれており、かつ、前記第１の方向において前記一対の第１信号電極パッドから離間しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から離れるように、第１の間隔未満だけ前記第２の方向にずれており、
前記第１の間隔は、前記一対の第１信号電極パッドの中心間の前記第２の方向における間隔であり、
前記一対の第１信号電極パッドの前記第２の方向のパッド自体の幅であるパッド幅は、前記一対の第１信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅、および前記一対の第２信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅より大きく、
前記一対の第２信号電極パッドの前記第２の方向のパッド自体の幅であるパッド幅は、前記一対の第１信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅、および前記一対の第３信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅より大きく、
前記第２の方向において、前記一対の第１接地電極パッドの中心間の間隔は、前記第１の間隔よりも広く、かつ前記第２の方向において、前記一対の第１接地電極パッドの中心よりも前記一対の第１信号配線部分に近い前記一対の第１接地電極パッドの辺である内辺同士の間隔は、前記第２の方向において、前記一対の第１信号電極パッドの中心よりも前記一対の第１信号配線部分から遠い前記一対の第１信号電極パッドの辺である外辺同士の間隔よりも狭い、光変調器。
【請求項２】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に、前記第１の間隔で配列されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドの総数の半分超の前記第１接地電極パッドは、前記第２の方向に延在しかつ前記第１直線とは異なる第２直線上に、第２の間隔で配列されており、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔よりも小さい、請求項１に記載の光変調器。
【請求項３】
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第２の方向に前記第１の間隔の半分だけずれている、請求項１または請求項２に記載の光変調器。
【請求項４】
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第１信号配線に対向している、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項５】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッド及び前記第１接地電極パッドは、各々、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有している、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項６】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される第１の光導波路と、
前記第１の光導波路内に設けられるレーザとをさらに備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項７】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される出力光導波路と、
前記アーム導波路または前記出力光導波路の少なくとも一つに設けられる位相調整器とをさらに備える、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の前記光変調器と、
配線基板と、
複数のバンプとを備え、
前記配線基板は、複数の第３信号電極パッドと、複数の第３接地電極パッドと、複数の第２信号配線と、一つ以上の第２接地配線と、複数の第４信号電極パッドと、複数の第４接地電極パッドとを含み、
前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドに対向しており、
前記複数の第３接地電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドに対向しており、
前記複数の第２信号配線の一端は、前記複数の第３信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数の第２信号配線の他端は、前記複数の第４信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の一端は、前記複数の第３接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の他端は、前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数のバンプは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドと前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続しており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線と前記一つ以上の第２接地配線との少なくとも一つに対向している、光送信モジュール。
【請求項９】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号配線の一部及び前記第１信号電極パッドは、前記一つ以上の第２接地配線の一部に対向している、請求項８に記載の光送信モジュール。
【請求項１０】
前記複数の第２信号配線の一部及び前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線の一部に対向している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１１】
前記一つ以上の第２接地配線は、複数の第２接地配線であり、
前記複数の第３信号電極パッド、前記複数の第３接地電極パッド、前記複数の第２信号配線、前記複数の第２接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線は、前記第１の方向に延在しており、
前記複数の第２接地配線は、それぞれ、前記複数の第２信号配線に対向している、請求項８から請求項１０のいずれか一項に記載の光送信モジュール。
【請求項１２】
前記配線基板は、複数の第３接地配線と、複数のビア電極とをさらに含み、
前記一つ以上の第２接地配線は、一つの第２接地配線であり、
前記第２接地配線、前記複数の第３信号電極パッド及び前記複数の第３接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線、前記複数の第３接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の前記下面とは反対側の前記配線基板の上面に設けられており、
前記複数の第３接地配線は、前記複数の第２信号配線に沿って延在しており、かつ、前記第２信号配線に対向しており、
前記複数のビア電極は、前記複数の第２信号配線と前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、前記第２接地配線と前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記第２接地配線と前記複数の第３接地配線とを互いに接続している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１３】
前記配線基板は、前記第２接地配線上に設けられている絶縁コーティングをさらに含む、請求項１２に記載の光送信モジュール。
【請求項１４】
前記配線基板に電気的に接続されるドライバＩＣをさらに備え、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の端辺に沿って配列されており、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドの配列は、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続される前記ドライバＩＣの複数の電極パッドの配列と同じである、請求項１２または請求項１３に記載の光送信モジュール。
【請求項１５】
前記複数の第４接地電極パッドの数は、前記複数の第３接地電極パッドの数よりも多く、
前記複数の第４接地電極パッドの少なくとも二つは、前記複数の第３接地配線の一つに接続されている、請求項１４に記載の光送信モジュール。
【請求項１６】
複数のマッハツェンダ光変調部を備える光変調器において、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、
第１の方向に延在する第１信号配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第１信号配線の一端部および他端部に接続される一対の第１信号電極パッドと、
前記第１の方向に延在し、前記第１信号配線に対して前記第１の方向に垂直な第２の方向に離隔して配列された第２信号配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第２信号配線の一端部および他端部に接続される一対の第２信号電極パッドと、
前記第２の方向において前記第２信号配線とで前記第１信号配線を挟む位置に配置され、前記第１の方向に延在する第１接地配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第１接地配線の一端部および他端部に接続される一対の第１接地電極パッドと、
前記第２の方向において前記第１信号配線とで前記第２信号配線を挟む位置に配置され、前記第１の方向に延在する第２接地配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第２接地配線の一端部および他端部に接続される一対の第２接地電極パッドとを備え、
前記第２の方向において、前記一対の第１信号電極パッドと前記一対の第２信号電極パッドの間隔は、前記一対の第１接地電極パッドと前記一対の第２接地電極パッドとの間隔よりも狭いことを特徴とする光変調器。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月14日(2020.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマッハツェンダ光変調部を備え、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、各々、第１の方向に延在する一対のアーム導波路と、一対の第１信号配線と、一対の第１信号電極パッドと、一対の第２信号電極パッドと、一対の第１接地配線と、一対の第１接地電極パッドと、一対の第２接地電極パッドとを含み、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列されており、
前記一対の第１信号配線は、それぞれ、一対の第１信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の一端にそれぞれ接続されている一対の第２信号配線部分と、前記一対の第１信号配線部分の他端にそれぞれ接続されている一対の第３信号配線部分とを含み、
前記一対の第１信号配線部分は、前記一対のアーム導波路上に設けられており、かつ、前記第１の方向に延在しており、
前記一対の第２信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記第２の方向における中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記一端から延在しており、
前記一対の第３信号配線部分は、前記一対の第１信号配線部分から前記第１の方向に離れるにつれて、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から前記第２の方向に徐々に離れるように、前記一対の第１信号配線部分の前記他端から延在しており、
前記一対の第１信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第２信号配線部分に接続されており、
前記一対の第２信号電極パッドは、それぞれ、前記一対の第３信号配線部分に接続されており、
前記一対の第１接地配線は、前記第１の方向に延在しており、前記第２の方向における前記一対の第１信号配線の両側に設けられており、かつ、前記一対の第１信号配線に対向しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第２信号電極パッドに近位し、かつ、前記一対の第１接地配線に接続されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に延在する第１直線上に配置されており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第１の方向にずれており、かつ、前記第１の方向において前記一対の第１信号電極パッドから離間しており、
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記複数のマッハツェンダ光変調部の各々の前記中心線から離れるように、第１の間隔未満だけ前記第２の方向にずれており、
前記第１の間隔は、前記一対の第１信号電極パッドの中心間の前記第２の方向における間隔であり、
前記一対の第１信号電極パッドの前記第２の方向のパッド自体の幅であるパッド幅は、前記一対の第１信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅、および前記一対の第２信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅より大きく、
前記一対の第２信号電極パッドの前記第２の方向のパッド自体の幅であるパッド幅は、前記一対の第１信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅、および前記一対の第３信号配線部分の前記第２の方向の配線部分自体の幅である配線幅より大きく、
前記第２の方向において、前記一対の第１接地電極パッドの中心間の間隔は、前記第１の間隔よりも広く、かつ前記第２の方向において、前記一対の第１接地電極パッドの中心よりも前記一対の第１信号配線部分に近い前記一対の第１接地電極パッドの辺である内辺同士の間隔は、前記第２の方向において、前記一対の第１信号電極パッドの中心よりも前記一対の第１信号配線部分から遠い前記一対の第１信号電極パッドの辺である外辺同士の間隔よりも狭い、光変調器。
【請求項２】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドは、前記第２の方向に、前記第１の間隔で配列されており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドの総数の半分超の前記第１接地電極パッドは、前記第２の方向に延在しかつ前記第１直線とは異なる第２直線上に、第２の間隔で配列されており、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔よりも小さい、請求項１に記載の光変調器。
【請求項３】
前記一対の第１接地電極パッドは、前記一対の第１信号電極パッドに対して、前記第２の方向に前記第１の間隔の半分だけずれている、請求項１または請求項２に記載の光変調器。
【請求項４】
前記一対の第２接地電極パッドは、前記一対の第１信号配線に対向している、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項５】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッド及び前記第１接地電極パッドは、各々、六つ以上の辺を有する多角形、または、円の形状を有している、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項６】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される第１の光導波路と、
前記第１の光導波路内に設けられるレーザとをさらに備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項７】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記アーム導波路に接続される出力光導波路と、
前記アーム導波路または前記出力光導波路の少なくとも一つに設けられる位相調整器とをさらに備える、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光変調器。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の前記光変調器と、
配線基板と、
複数のバンプとを備え、
前記配線基板は、複数の第３信号電極パッドと、複数の第３接地電極パッドと、複数の第２信号配線と、一つ以上の第２接地配線と、複数の第４信号電極パッドと、複数の第４接地電極パッドとを含み、
前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドに対向しており、
前記複数の第３接地電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドに対向しており、
前記複数の第２信号配線の一端は、前記複数の第３信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数の第２信号配線の他端は、前記複数の第４信号電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の一端は、前記複数の第３接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記一つ以上の第２接地配線の一つ以上の他端は、前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続されており、
前記複数のバンプは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地電極パッドと前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続しており、
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号電極パッドと前記複数の第３信号電極パッドとは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線と前記一つ以上の第２接地配線との少なくとも一つに対向している、光送信モジュール。
【請求項９】
前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１信号配線の一部及び前記第１信号電極パッドは、前記一つ以上の第２接地配線の一部に対向している、請求項８に記載の光送信モジュール。
【請求項１０】
前記複数の第２信号配線の一部及び前記複数の第３信号電極パッドは、前記複数のマッハツェンダ光変調部の前記第１接地配線の一部に対向している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１１】
前記一つ以上の第２接地配線は、複数の第２接地配線であり、
前記複数の第３信号電極パッド、前記複数の第３接地電極パッド、前記複数の第２信号配線、前記複数の第２接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線は、前記第１の方向に延在しており、
前記複数の第２接地配線は、それぞれ、前記複数の第２信号配線に対向している、請求項８から請求項１０のいずれか一項に記載の光送信モジュール。
【請求項１２】
前記配線基板は、複数の第３接地配線と、複数のビア電極とをさらに含み、
前記一つ以上の第２接地配線は、一つの第２接地配線であり、
前記第２接地配線、前記複数の第３信号電極パッド及び前記複数の第３接地電極パッドは、前記光変調器に面する前記配線基板の下面に設けられており、
前記複数の第２信号配線、前記複数の第３接地配線、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の前記下面とは反対側の前記配線基板の上面に設けられており、
前記複数の第３接地配線は、前記複数の第２信号配線に沿って延在しており、かつ、前記第２信号配線に対向しており、
前記複数のビア電極は、前記複数の第２信号配線と前記複数の第３信号電極パッドとを互いに接続し、前記第２接地配線と前記複数の第３接地電極パッドとを互いに接続し、かつ、前記第２接地配線と前記複数の第３接地配線とを互いに接続している、請求項８または請求項９に記載の光送信モジュール。
【請求項１３】
前記配線基板は、前記第２接地配線上に設けられている絶縁コーティングをさらに含む、請求項１２に記載の光送信モジュール。
【請求項１４】
前記配線基板に電気的に接続されるドライバＩＣをさらに備え、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドは、前記配線基板の端辺に沿って配列されており、
前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドの配列は、前記複数の第４信号電極パッド及び前記複数の第４接地電極パッドに電気的に接続される前記ドライバＩＣの複数の電極パッドの配列と同じである、請求項１２または請求項１３に記載の光送信モジュール。
【請求項１５】
前記複数の第４接地電極パッドの数は、前記複数の第３接地電極パッドの数よりも多く、
前記複数の第４接地電極パッドの少なくとも二つは、前記複数の第３接地配線の一つに接続されている、請求項１４に記載の光送信モジュール。
【請求項１６】
複数のマッハツェンダ光変調部を備える光変調器において、
前記複数のマッハツェンダ光変調部は、
第１の方向に延在する第１信号配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第１信号配線の一端部に接続される一端部第１信号電極パッドと前記第１信号配線の他端部に接続される他端部第１信号電極パッドと、
前記第１の方向に延在し、前記第１信号配線に対して前記第１の方向に垂直な第２の方向に離隔して配列された第２信号配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第２信号配線の一端部に接続される一端部第２信号電極パッドと前記第２信号配線の他端部に接続される他端部第２信号電極パッドと、
前記第２の方向において前記第２信号配線とで前記第１信号配線を挟む位置に配置され、前記第１の方向に延在する第１接地配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第１接地配線の一端部に接続される一端部第１接地電極パッドと前記第１接地配線の他端部に接続される他端部第１接地電極パッドと、
前記第２の方向において前記第１信号配線とで前記第２信号配線を挟む位置に配置され、前記第１の方向に延在する第２接地配線と、
前記第１の方向に離隔して配置してあり、前記第２接地配線の一端部に接続される一端部第２接地電極パッドと前記第２接地配線の他端部に接続される他端部第２接地電極パッドとを備え、
前記第２の方向において、前記一端部第１信号電極パッドの中心と前記一端部第２信号電極パッドの中心との間隔、および、前記他端部第１信号電極パッドの中心と前記他端部第２信号電極パッドの中心との間隔は、前記一端部第１接地電極パッドの中心と前記一端部第２接地電極パッドの中心との間隔、および、前記他端部第１接地電極パッドの中心と前記他端部第２接地電極パッドの中心との間隔よりも狭く、
前記第２の方向において、前記一端部第１接地電極パッドと前記一端部第２接地電極パッドとが対向するパッドの内辺同士の間隔、および、前記他端部第１接地電極パッドと前記他端部第２接地電極パッドとが対向するパッドの内辺同士の間隔は、前記第１接地配線に対向する前記一端部第１信号電極パッドの外辺と、前記第２接地配線に対向する前記一端部第２信号電極パッドの外辺との間隔、および、前記第１接地配線に対向する前記他端部第１信号電極パッドの外辺と、前記第２接地配線に対向する前記他端部第２信号電極パッドの外辺との間隔より狭いことを特徴とする光変調器。
【国際調査報告】
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