(57)【要約】  装着ヘッドは、負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズルおよび第二吸着ノズルと、部品装着機の移動台に着脱可能に取り付けられ、第一吸着ノズルおよび第二吸着ノズルを保持するヘッド本体と、ヘッド本体が移動台に取り付けられた状態において移動台に設けられた第一供給通路と連通し、第一供給通路を介して供給される負圧エアを第一吸着ノズルに流通させる第一エア通路と、ヘッド本体が移動台に取り付けられた状態において移動台に設けられた第二供給通路と連通し、第二供給通路を介して供給される負圧エアを第二吸着ノズルに流通させる第二エア通路と、を備える。
2019187144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズルおよび第二吸着ノズルと、
部品装着機の移動台に着脱可能に取り付けられ、前記第一吸着ノズルおよび前記第二吸着ノズルを保持するヘッド本体と、
前記ヘッド本体が前記移動台に取り付けられた状態において前記移動台に設けられた第一供給通路と連通し、前記第一供給通路を介して供給される負圧エアを前記第一吸着ノズルに流通させる第一エア通路と、
前記ヘッド本体が前記移動台に取り付けられた状態において前記移動台に設けられた第二供給通路と連通し、前記第二供給通路を介して供給される負圧エアを前記第二吸着ノズルに流通させる第二エア通路と、
を備える装着ヘッド。
【請求項２】
前記第一エア通路および前記第二エア通路は、前記第一供給通路および前記第二供給通路を介して異なるエア供給源に連結されることにより互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する、請求項１に記載の装着ヘッド。
【請求項３】
前記第一供給通路および前記第二供給通路は、前記ヘッド本体の外部において連通するとともに、同一のエア供給源に連結され、
前記第一エア通路および前記第二エア通路は、前記第一エア通路、前記第二エア通路、前記第一供給通路、および第二供給通路を併せた全体の容積が所定値以上に確保されることにより互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する、請求項１に記載の装着ヘッド。
【請求項４】
負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズルおよび第二吸着ノズルと、
前記第一吸着ノズルおよび前記第二吸着ノズルを保持するヘッド本体と、
供給される負圧エアを前記第一吸着ノズルに流通させる第一エア通路と、
供給される負圧エアを前記第二吸着ノズルに流通させる第二エア通路と、
前記第一エア通路と前記第二エア通路とが互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する状態と同一の供給系統を構成する状態とを切り換えるバルブ装置と、
を備える装着ヘッド。
【請求項５】
前記ヘッド本体は、部品装着機の移動台に着脱可能に取り付けられ、
前記第一エア通路は、前記ヘッド本体が前記移動台に取り付けられた状態において前記移動台に設けられた第一供給通路と連通し、前記第一供給通路を介して供給される負圧エアを前記第一吸着ノズルに流通させ、
前記第二エア通路は、前記ヘッド本体が前記移動台に取り付けられた状態において前記移動台に設けられた第二供給通路と連通し、前記第二供給通路を介して供給される負圧エアを前記第二吸着ノズルに流通させ、
前記バルブ装置は、前記第一エア通路および前記第二エア通路を連通させることにより同一の供給系統が構成される状態とし、前記第一エア通路および前記第二エア通路を遮断することにより異なる供給系統が構成される状態とする、請求項４に記載の装着ヘッド。
【請求項６】
前記バルブ装置は、前記第一吸着ノズルまたは前記第二吸着ノズルに供給された負圧エアのリークが検出された場合に、切り換えを行う、請求項４または５に記載の装着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装着ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
装着ヘッドは、回路基板に部品を装着する部品装着機を構成し、部品装着機による装着処理に用いられる。装着ヘッドは、負圧エアにより部品を吸着する吸着ノズルを複数保持する。特許文献１には、１２個の吸着ノズルを着脱可能に保持する装着ヘッドが開示されている。この装着ヘッドは、ヘッド本体の内部においてエア通路を分岐させて、装着ヘッドの外部に設けられたエア供給源から供給された負圧エアを１２個の吸着ノズルに分配するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２６１３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような装着ヘッドを用いた装着処理において、例えば複数の吸着ノズルの一つが部品の吸着をミスした場合に、負圧エアのリークが発生する。負圧エアのリークが他の吸着ノズルにおける吸着力に影響すると、部品を吸着した状態で移動した際に吸着ノズルに対する部品の位置ずれが発生し、装着処理の精度低下の要因となり得る。【０００５】
本明細書は、負圧エアのリークが発生した場合に他の吸着ノズルにおける吸着力への影響を低減し、装着処理の精度維持を図ることができる装着ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書は、負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズルおよび第二吸着ノズルと、部品装着機の移動台に着脱可能に取り付けられ、前記第一吸着ノズルおよび前記第二吸着ノズルを保持するヘッド本体と、前記ヘッド本体が前記移動台に取り付けられた状態において前記移動台に設けられた第一供給通路と連通し、前記第一供給通路を介して供給される負圧エアを前記第一吸着ノズルに流通させる第一エア通路と、前記ヘッド本体が前記移動台に取り付けられた状態において前記移動台に設けられた第二供給通路と連通し、前記第二供給通路を介して供給される負圧エアを前記第二吸着ノズルに流通させる第二エア通路と、を備える第一の装着ヘッドを開示する。【０００７】
本明細書は、負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズルおよび第二吸着ノズルと、前記第一吸着ノズルおよび前記第二吸着ノズルを保持するヘッド本体と、供給される負圧エアを前記第一吸着ノズルに流通させる第一エア通路と、供給される負圧エアを前記第二吸着ノズルに流通させる第二エア通路と、前記第一エア通路と前記第二エア通路とが互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する状態と同一の供給系統を構成する状態とを切り換えるバルブ装置と、を備える第二の装着ヘッドを開示する。
【発明の効果】
【０００８】
第一の装着ヘッドの構成によると、第一吸着ノズルへの負圧エアを流通させる第一エア通路、および第二吸着ノズルへの負圧エアを流通させる第二エア通路は、ヘッド本体の内部において互いに独立している。つまり、第一エア通路および第二エア通路は、ヘッド本体の内部において連通しておらず、移動台とヘッド本体との境界部において別々に連結される。これにより、第一エア通路および第二エア通路は、ヘッド本体の内部において互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する。よって、一の吸着ノズルにおいて負圧エアのリークが発生した場合に、他の吸着ノズルにおける吸着力への影響を低減できる。結果として、装着処理の精度維持を図ることができる。【０００９】
第二の装着ヘッドの構成によると、第一吸着ノズルへの負圧エアを流通させる第一エア通路、および第二吸着ノズルへの負圧エアを流通させる第二エア通路は、バルブ装置によって異なる負圧エアの供給系統を構成する状態と、同一の供給系統を構成する状態とを切り換えられる。よって、一の吸着ノズルにおいて負圧エアのリークが発生した場合に、異なる供給系統が構成されることにより、他の吸着ノズルにおける吸着力への影響を低減できる。結果として、装着処理の精度維持を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態における装着ヘッドを備える部品装着機の構成を示す平面図である。
【図２】図１における装着ヘッドを示す側面図である。
【図３】装着ヘッドに構成されるエア供給回路の第一態様を示す回路図である。
【図４】装着ヘッドに構成されるエア供給回路の第二態様を示す回路図である。
【図５Ａ】装着ヘッドに構成されるエア供給回路の第三態様において１つの供給系統が構成された状態を示す回路図である。
【図５Ｂ】装着ヘッドに構成されるエア供給回路の第三態様において２つの供給系統が構成された状態を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１．部品装着機１０の構成
部品装着機１０は、図１に示すように、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、および基板カメラ１５を備える。基板搬送装置１１は、ベルトコンベアなどにより構成される。基板搬送装置１１は、基板９０を搬送方向へと順次搬送するとともに、基板９０を機内の所定位置に位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による部品の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。
【００１２】
部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、Ｘ軸方向に並んでセットされたフィーダ１２１を備える。フィーダ１２１は、多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、フィーダ１２１の先端側に位置する供給位置において部品を採取可能に供給する。
【００１３】
部品移載装置１３は、部品供給装置１２により供給された部品を、基板搬送装置１１により機内に搬入された基板９０上の所定の装着位置まで移載する。部品移載装置１３のヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動させる。移動台１３２には、図示しないクランプ部材により装着ヘッド２０が交換可能に固定される。
【００１４】
装着ヘッド２０には、１または複数の保持部材が着脱可能に設けられる。上記の保持部材としては、例えば負圧エアを供給されて部品を吸着する吸着ノズルや、部品をクランプするチャックなどが採用され得る。本実施形態において、装着ヘッド２０は、図２に示すように、２つの吸着ノズル２１，２２をＺ軸方向に移動可能に、且つＺ軸に平行なθ軸周りに回転可能に支持する。装着ヘッド２０の詳細構成については後述する。
【００１５】
部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、ＣＭＯＳなどの撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、制御信号に基づいて撮像を行い、当該撮像により取得した画像データを送出する。部品カメラ１４は、光軸がＺ軸方向の上向きとなるように部品装着機１０の基台に固定されている。部品カメラ１４は、２つの吸着ノズル２１，２２に保持された部品を下方から撮像可能に構成される。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像可能に構成されている。
【００１６】
部品装着機１０は、基板９０に部品を装着する装着処理を実行する。上記の装着処理には、部品供給装置１２により供給された部品を採取して基板９０における所定位置に部品を装着するピックアンドプレースサイクル（以下、「ＰＰサイクル」と称する）を複数回に亘って繰り返す処理が含まれる。部品装着機１０は、装着処理において、各種センサから出力される情報や画像処理の結果、予め記憶された制御プログラムなどに基づき、部品移載装置１３の動作を制御する。これにより、装着ヘッド２０に支持された２つの吸着ノズル２１，２２の位置および角度が制御される。
【００１７】
２．装着ヘッド２０の詳細構成
装着ヘッド２０は、図２に示すように、負圧エアにより部品を吸着する２つの吸着ノズル２１，２２（以下、「第一吸着ノズル２１」および「第二吸着ノズル２２」と称する）を備える。第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２は、ヘッド本体２３に着脱可能に保持される。ヘッド本体２３は、移動台１３２に着脱可能にクランプされる。
【００１８】
ヘッド本体２３には、第一エア通路３１および第二エア通路３２が形成される。第一エア通路３１は、ヘッド本体２３が移動台１３２に取り付けられた状態において移動台１３２に設けられた第一供給通路５１と連通する。より詳細には、第一エア通路３１は、ヘッド本体２３が移動台１３２に対してクランプされると、第一接続部５５において第一供給通路５１に接続される。これにより、第一エア通路３１は、第一供給通路５１を介して供給される負圧エアを第一吸着ノズル２１に流通させる。
【００１９】
第二エア通路３２は、ヘッド本体２３が移動台１３２に取り付けられた状態において移動台１３２に設けられた第二供給通路５２と連通する。より詳細には、第二エア通路３２は、ヘッド本体２３が移動台１３２に対してクランプされると、第二接続部５６において第二供給通路５２に接続される。これにより、第二エア通路３２は、第二供給通路５２を介して供給される負圧エアを第二吸着ノズル２２に流通させる。
【００２０】
第一エア通路３１および第二エア通路３２は、ヘッド本体２３の内部において連通しておらず独立した状態とされる。換言すると、第一エア通路３１および第二エア通路３２は、互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する。複数の供給系統を構成するには、エア供給源を複数にする態様（図２および図３を参照）に限られず、種々の態様を採用し得る。負圧エアの供給系統の詳細については後述する。
【００２１】
また、部品装着機１０は、１または複数のエア供給源を備える。図２には、部品装着機１０が２つのエア供給源（以下、「第一エア供給源８１」および「第二エア供給源８２」と称する）を備える態様を例示する。第一エア供給源８１および第二エア供給源８２は、同一または異なる供給系統において負圧エアを供給する。第一エア供給源８１および第二エア供給源８２は、例えば部品装着機１０の機内または機外に設けられたエアポンプなどにより構成される。
【００２２】
ここで、第一エア通路３１には、図３に示すように、第一負圧バルブ４１が設けられる。第一負圧バルブ４１は、負圧エアの流通状態と遮断状態とを切り換える。第一負圧バルブ４１は、本実施形態において、３ポート２位置のソレノイドバルブである。第一負圧バルブ４１は、ソレノイドが給電により励磁されると開状態となり、第一エア通路３１に負圧エアを流通させる。第一エア通路３１が負圧エアを流通すると、第一吸着ノズル２１は、負圧エアが供給されて部品を保持可能な状態となる。
【００２３】
また、第一負圧バルブ４１の３ポートの一つは、大気に常時連通している。第一負圧バルブ４１は、ソレノイドへの給電が遮断されると弾性部材の弾性力により閉状態となり、第一エア通路３１を大気に開放する。第一エア通路３１が大気に開放されると、第一吸着ノズル２１は、大気圧となり部品を開放する状態となる。
【００２４】
同様に、第二エア通路３２には、第二負圧バルブ４２が設けられる。第二負圧バルブ４２は、第一負圧バルブ４１と実質的に同様の構成であるため詳細な説明を省略する。装着ヘッド２０は、部品装着機１０の制御装置から入力する指令に応じて、第一負圧バルブ４１、および第二負圧バルブ４２の動作を制御する。
【００２５】
３．負圧エアの供給系統の構成
上記のような構成からなる装着ヘッド２０を備える部品装着機１０は、装着処理のＰＰサイクルにおいて、第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２に部品を順次吸着させた後に、基板９０の所定の装着位置に部品を順次装着する。このようなＰＰサイクルでは、機械的な要因や装着環境の変動などに起因して、吸着ノズルが部品を正常に吸着できない吸着ミスが発生し得る。
【００２６】
上記のような吸着ミスが発生すると、吸着ノズルから負圧エアがリークして、吸着ノズルからエア供給源までのエア通路の空気圧が上昇する。このとき、装着ヘッドが複数の吸着ノズルを備える構成では、一つの吸着ノズルで発生した負圧エアのリークが他の吸着ノズルの吸着力の低下を招来するおそれがある。吸着ノズルにおける吸着力の低下は、吸着ノズルに対する部品の位置ずれなどの要因となり得る。
【００２７】
そこで、本実施形態の装着ヘッド２０は、第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２の一方に負圧エアのリークが発生した場合に、他方の吸着力が十分に確保されるように負圧エアの供給系統を複数構成する。以下では、装着ヘッド２０に構成されるエア供給回路の各態様について説明する。装着ヘッド２０のエア供給回路には、１または複数の供給系統が含まれる。
【００２８】
３−１．エア供給回路の第一態様
第一態様における第一エア通路３１および第二エア通路３２は、図３に示すように、異なるエア供給源（第一エア供給源８１および第二エア供給源８２）にそれぞれ連結されることにより互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する。第一エア通路３１は、装着ヘッド２０が移動台１３２に取り付けられた際に、移動台１３２に設けられた第一供給通路５１に第一接続部５５において接続される。同様に、第二エア通路３２は、装着ヘッド２０が移動台１３２に取り付けられた際に、移動台１３２に設けられた第二供給通路５２に第二接続部５６において接続される。
【００２９】
第一態様において、第一供給系統Ｃｓ１は、第一吸着ノズル２１、第一エア通路３１、第一負圧バルブ４１、第一供給通路５１、および第一エア供給源８１により構成される。第二供給系統Ｃｓ２は、第二吸着ノズル２２、第二エア通路３２、第二負圧バルブ４２、第二供給通路５２、および第二エア供給源８２により構成される。上記のように第一供給系統Ｃｓ１および第二供給系統Ｃｓ２は、完全に独立した状態にあり、一方で負圧エアのリークが発生しても他方に影響しない構成となっている。
【００３０】
３−２．エア供給回路の第二態様
第二態様における第一エア通路３１および第二エア通路３２は、図４に示すように、同一の第一エア供給源８１にそれぞれ連結される。また、第一エア通路３１は、装着ヘッド２０が移動台１３２に取り付けられた際に、移動台１３２に設けられた第一供給通路５１に第一接続部５５において接続される。同様に、第二エア通路３２は、装着ヘッド２０が移動台１３２に取り付けられた際に、移動台１３２に設けられた第二供給通路５２に第二接続部５６において接続される。
【００３１】
第一供給通路５１および第二供給通路５２は、ヘッド本体２３の外部であって、例えば移動台１３２の内部において連通する。また、第一供給通路５１および第二供給通路５２は、同一の第一エア供給源８１に連結される。これにより、第一エア通路３１および第二エア通路３２には、第一供給通路５１および第二供給通路５２を介して、第一エア供給源８１により負圧エアが供給される。
【００３２】
ここで、第二態様の第一エア通路３１および第二エア通路３２は、第一エア通路３１、第二エア通路３２、第一供給通路５１、および第二供給通路５２を併せた全体の容積が所定値以上に確保されることにより互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する。ここで、上記の全体の容積を所定値以上に確保するには、例えば第一エア通路３１の断面積を所定長さに亘って大きく形成する必要がある。これは、第二エア通路３２、第一供給通路５１、および第二供給通路５２についても同様である。
【００３３】
第二態様では、第二供給通路５２に蓄圧室Ｓｎが設けられる。これにより、互いに連通する第一エア通路３１、第二エア通路３２、第一供給通路５１、および第二供給通路５２を併せた全体の容積を所定値以上に確保している。このように、全体の容積が所定値以上に確保されると、蓄圧室Ｓｎの作用によって一方における負圧エアの流通状態の変動が他方における負圧エアの流通状態に与える影響が十分に小さくなる。結果として、蓄圧室Ｓｎが共用される複数の供給系統が構成される。
【００３４】
具体的には、第一供給系統Ｃｓ１は、第一吸着ノズル２１、第一エア通路３１、第一負圧バルブ４１、蓄圧室Ｓｎ、第一供給通路５１、および第一エア供給源８１により構成される。第二供給系統Ｃｓ２は、第二吸着ノズル２２、第二エア通路３２、第二負圧バルブ４２、蓄圧室Ｓｎ、第一供給通路５１、第二供給通路５２、および第一エア供給源８１により構成される。上記のように第一供給系統Ｃｓ１および第二供給系統Ｃｓ２は、互いに独立した状態にあり、一方で負圧エアのリークが発生しても他方に影響しない構成となっている。
【００３５】
なお、上記のように全体の容積が所定値以上に確保されることにより、第一エア通路３１および第二エア通路３２が異なる供給系統を構成する。そのため、蓄圧室Ｓｎは、第一負圧バルブ４１から第一エア供給源８１までの間、第二負圧バルブ４２から第一エア供給源８１までの間であれば適宜配置することができる。よって、例えばヘッド本体２３の内部における第一エア通路３１に蓄圧室Ｓｎが配置される構成としてもよい。
【００３６】
また、本実施形態のように、第一エア通路３１および第二エア通路３２がヘッド本体２３の内部において連通せず、それぞれが第一供給通路５１または第二供給通路５２に接続される構成は、従来のようにヘッド本体２３の内部で連通する構成と比較して全体の容積を確保しやすい。つまり、全体の容積が所定値以上に確保されている場合には、上記のように蓄圧室Ｓｎを省略しても複数の供給系統を構成することができる。
【００３７】
３−３．エア供給回路の第三態様
第三態様における装着ヘッド２０は、図５Ａに示すように、第一エア通路３１と第二エア通路３２とが互いに異なる負圧エアの供給系統を構成する状態と同一の供給系統を構成する状態とを切り換えるバルブ装置２４を備える。バルブ装置２４は、例えば２ポート２位置のソレノイドバルブである。
【００３８】
第三態様における装着ヘッド２０は、２つのエア供給源（第一エア供給源８１、第二エア供給源８２）と、第一連絡通路６１と、第二連絡通路６２と、第一検出センサ７１と、第二検出センサ７２とを備える。第一エア通路３１は、ヘッド本体２３に形成され、第一接続部５５において第一供給通路５１に接続される。第一エア通路３１は、第一供給通路５１を介して第一エア供給源８１に連結される。
【００３９】
第二エア通路３２は、ヘッド本体２３に形成され、第二接続部５６において第二供給通路５２に接続される。第二エア通路３２は、第二供給通路５２を介して第二エア供給源８２に連結される。第一連絡通路６１は、第一エア通路３１および前記第一供給通路５１を介してバルブ装置２４と第一エア供給源８１とを連結して負圧エアを流通させる。第二連絡通路６２は、第二エア通路３２および第二供給通路５２を介してバルブ装置２４と第二エア供給源８２とを連結して負圧エアを流通させる。
【００４０】
第一検出センサ７１は、第一エア通路３１に設けられる。第二検出センサ７２は、第二エア通路３２に設けられる。第一検出センサ７１および第二検出センサ７２は、それぞれ設けられたエア通路における負圧エアの流通状態の変動を検出する。第一検出センサ７１としては、第一エア通路３１の空気圧を負圧エアの流通状態として検出可能な圧力センサや、第一エア通路３１のエア流量を負圧エアの流通状態として検出可能な流通センサを採用し得る。第二検出センサ７２についても同様に、圧力センサや流通センサを採用し得る。装着ヘッド２０は、第一検出センサ７１および第二検出センサ７２による検出結果に基づいて、第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２において負圧エアのリークが発生しているか否かを判定する。
【００４１】
バルブ装置２４は、図５Ａに示すように、第一連絡通路６１および第二連絡通路６２を連通させることにより第一エア通路３１および第二エア通路３２が同一の供給系統ＣｓＵを構成する状態とする。供給系統ＣｓＵは、第一吸着ノズル２１、第二吸着ノズル２２、バルブ装置２４、第一エア通路３１、第二エア通路３２、第一負圧バルブ４１、第二負圧バルブ４２、第一供給通路５１、第二供給通路５２、第一連絡通路６１、第二連絡通路６２、第一エア供給源８１、および第二エア供給源８２により構成される。
【００４２】
装着ヘッド２０は、第一検出センサ７１および第二検出センサ７２の検出結果に基づいて負圧エアのリークが発生していると判定した場合に、バルブ装置２４を動作させる。これにより、バルブ装置２４は、図５Ｂに示すように、第一連絡通路６１および第二連絡通路６２を遮断することにより第一エア通路３１および第二エア通路３２が異なる供給系統を構成する状態となるように切り換えを行う。
【００４３】
具体的には、第一供給系統Ｃｓ１は、第一吸着ノズル２１、第一エア通路３１、第一負圧バルブ４１、第一供給通路５１、および第一エア供給源８１により構成される。第二供給系統Ｃｓ２は、第二吸着ノズル２２、第二エア通路３２、第二負圧バルブ４２、第二供給通路５２、および第二エア供給源８２により構成される。上記のように第一供給系統Ｃｓ１および第二供給系統Ｃｓ２は、完全に独立した状態にあり、一方で負圧エアのリークが発生しても他方に影響しない構成となっている。
【００４４】
なお、エア供給回路の第三態様において、同一の供給系統ＣｓＵが構成されている場合には、第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２には、第一エア供給源８１および第二エア供給源８２の両方から負圧エアを供給する。これに対して、装着ヘッド２０は、負圧エアのリークが発生していない状態（正常状態）においては、第一エア供給源８１または第二エア供給源８２を休止させてもよい。
【００４５】
具体的には、装着ヘッド２０は、正常状態において例えば第二エア供給源８２を休止し、第一エア供給源８１により第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２に負圧エアを供給する。このとき、バルブ装置２４と第二エア供給源８２との間、例えば第二供給通路５２には逆止弁（図示しない）が設けられ、第二エア供給源８２側への負圧エアの流通が防止される。
【００４６】
そして、装着ヘッド２０は、第一検出センサ７１および第二検出センサ７２の検出結果に基づいて負圧エアのリークが発生していると判定した場合に、第二エア供給源８２を動作させて負圧エアを供給可能な状態とする。その後に、装着ヘッド２０は、バルブ装置２４を動作させる。これにより、バルブ装置２４は、図５Ｂに示すように、第一連絡通路６１および第二連絡通路６２を遮断することにより第一エア通路３１および第二エア通路３２が異なる供給系統（第一供給系統Ｃｓ１、第二供給系統Ｃｓ２）を構成する状態とする。
【００４７】
なお、装着ヘッド２０は、図５Ａに示すように、正常状態においては、第一連絡通路６１および第二連絡通路６２を連通させることにより一つの供給系統ＣｓＵを構成する。これは、正常状態においては、第一エア供給源８１および第二エア供給源８２の動作により供給系統ＣｓＵにおける負圧エアの供給の安定化などを図り、また一方を休止することにより動作負荷の軽減を図っている。また、第三態様においては、第一エア供給源８１および第二エア供給源８２は、装着ヘッド２０の内部に配置される構成としてもよい。
【００４８】
４．実施形態の構成による効果
上記の装着ヘッド２０は、第一態様、第二態様、および第三態様において、負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２と、部品装着機１０の移動台１３２に着脱可能に取り付けられ、前記第一吸着ノズル２１および前記第二吸着ノズル２２を保持するヘッド本体２３と、前記ヘッド本体２３が前記移動台１３２に取り付けられた状態において前記移動台１３２に設けられた第一供給通路５１と連通し、前記第一供給通路５１を介して供給される負圧エアを前記第一吸着ノズル２１に流通させる第一エア通路３１と、前記ヘッド本体２３が前記移動台１３２に取り付けられた状態において前記移動台１３２に設けられた第二供給通路５２と連通し、前記第二供給通路５２を介して供給される負圧エアを前記第二吸着ノズル２２に流通させる第二エア通路３２と、を備える。
【００４９】
上記のような構成によると、第一吸着ノズル２１への負圧エアを流通させる第一エア通路３１、および第二吸着ノズル２２への負圧エアを流通させる第二エア通路３２は、ヘッド本体２３の内部において互いに独立した状態とされる。つまり、第一エア通路３１および第二エア通路３２は、ヘッド本体２３の内部において連通しておらず、ヘッド本体２３と移動台１３２との境界部において別々に連結される。これにより、第一エア通路３１および第二エア通路３２は、少なくともヘッド本体２３の内部において互いに異なる負圧エアの供給系統（第一供給系統Ｃｓ１、第二供給系統Ｃｓ２）を構成する。よって、ヘッド本体の内部においてエア通路が分岐する従来の装着ヘッドに比べて、一方の吸着ノズルにおいて負圧エアのリークが発生した場合に、他方の吸着ノズルにおける吸着力への影響を低減できる。結果として、装着処理の精度維持を図ることができる。
【００５０】
上記の装着ヘッド２０は、第三態様において、負圧エアにより部品を吸着する第一吸着ノズル２１および第二吸着ノズル２２と、前記第一吸着ノズル２１および前記第二吸着ノズル２２を保持するヘッド本体２３と、供給される負圧エアを前記第一吸着ノズル２１に流通させる第一エア通路３１と、供給される負圧エアを前記第二吸着ノズル２２に流通させる第二エア通路３２と、前記第一エア通路３１と前記第二エア通路３２とが互いに異なる負圧エアの供給系統（第一供給系統Ｃｓ１、第二供給系統Ｃｓ２）を構成する状態と同一の供給系統ＣｓＵを構成する状態とを切り換えるバルブ装置２４と、を備える。
【００５１】
これに対して、上記のような構成によると、第一吸着ノズル２１への負圧エアを流通させる第一エア通路３１、および第二吸着ノズル２２への負圧エアを流通させる第二エア通路３２は、バルブ装置２４によって異なる負圧エアの供給系統（第一供給系統Ｃｓ１、第二供給系統Ｃｓ２）を構成する状態と、同一の供給系統ＣｓＵを構成する状態とを切り換えられる。よって、一方の吸着ノズルにおいて負圧エアのリークが発生した場合に、別々の第一供給系統Ｃｓ１、および第二供給系統Ｃｓ２が構成されることにより、他方の吸着ノズルにおける吸着力への影響を低減できる。結果として、装着処理の精度維持を図ることができる。
【００５２】
５．実施形態の変形態様
実施形態において、装着ヘッド２０は、２つの吸着ノズル（第一吸着ノズル２１、第二吸着ノズル２２）を備える構成とした。これに対して、装着ヘッド２０は、３以上の吸着ノズルを備える構成としてもよい。このような構成において、３以上の吸着ノズルに負圧を供給する複数のエア通路は、移動台１３２に設けられた同数の供給通路に１対１で接続される構成としてもよい。また、３以上のエア通路を２以上のグループとし、移動台１３２に設けられたグループと同数の供給通路にグループごとに接続される構成としてもよい。このとき、同一のグループでは複数のエア通路は、連通した状態とされる。
【００５３】
上記のような構成によると、３以上のエア通路ごとに、または複数のグループごとに負圧エアの供給系統が構成される。これにより、３以上の吸着ノズルにヘッド本体２３の内部で分岐したエア通路から負圧エアを供給する構成と比較して、一部の吸着ノズルにおいて発生した負圧エアのリークの影響を低減できる。
【００５４】
また、装着ヘッド２０が３以上の吸着ノズルを備える構成において、複数の供給通路は、例えばエア供給回路の第一態様および第三態様と同様に、吸着ノズルと同数のエア供給源に１対１で連結される構成としてもよい。さらに、装着ヘッド２０が３以上の吸着ノズルを備える構成において、例えばエア供給回路の第二態様と同様に、吸着ノズルの数やグループの数に基づいて蓄圧室Ｓｎの数および容積を適宜設定してもよい。このような構成においても実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００５５】
１０：部品装着機、  １３２：移動台、  ２０：装着ヘッド、  ２１：第一吸着ノズル、  ２２：第二吸着ノズル、  ２３：ヘッド本体、  ２４：バルブ装置、  ３１：第一エア通路、  ３２：第二エア通路、  ５１：第一供給通路、  ５２：第二供給通路、  ５５：第一接続部、  ５６：第二接続部、  ８１：第一エア供給源、  ８２：第二エア供給源、  Ｓｎ：蓄圧室、  Ｃｓ１：第一供給系統、  Ｃｓ２：第二供給系統、  ＣｓＵ：供給系統
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【国際調査報告】
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