(57)【要約】  流量調整機構と開閉弁機構とを設けるのに、加工が容易で、しかも、夫々の操作が精度良く行えるようにする。  一対のガラス板１Ａ、１Ｂ間にスペーサー２を配設して間隙部Ｖを形成したガラスパネルＰにおいて、溶融した周辺封止用金属材料３を一対のガラス板１Ａ、１Ｂの周縁部Ｖ１に充填して間隙部Ｖを気密に封止する。周辺封止用金属材料３の溶解槽３６と、溶解槽３６の下端部に円錐状の弁座３０に対して隙間を調整操作自在な弁体３１を設けてある周辺封止用金属材料３の流量調整機構３２と、流量調整機構３２によって調整された溶融金属の流れを停止操作自在な開閉弁機構４３とを備える。溶解槽３６、流量調整機構３２及び開閉弁機構４３は、周辺封止用金属材料３の主成分に対してその主成分とは異なる異質物が周辺封止用金属材料３に混入可能なように、夫々別々に操作自在に形成され且つ上下に連通する直線流路３４上に上から順に並べられてある。
2019093326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のガラス板間にスペーサーを配設して間隙部を形成したガラスパネルにおいて、溶融した周辺封止用金属材料を前記一対のガラス板の周縁部に充填して前記間隙部を気密に封止するための溶融金属供給装置であって、
前記周辺封止用金属材料の溶解槽と、
前記溶解槽の下端部に円錐状の弁座に対して隙間を調整操作自在な弁体を設けてある周辺封止用金属材料の流量調整機構と、
前記流量調整機構によって調整された溶融金属の流れを停止操作自在な開閉弁機構とを備え、
前記溶解槽、前記流量調整機構及び前記開閉弁機構は、前記周辺封止用金属材料の主成分に対してその主成分とは異なる異質物が前記周辺封止用金属材料に混入可能なように、夫々別々に操作自在に形成され且つ上下に連通する直線流路上に上から順に並べられてある溶融金属供給装置。
【請求項２】
前記開閉弁機構は、開閉弁座に対して開弁状態と閉弁状態とに択一的に切換え操作自在な開閉弁体を設けてある請求項１に記載の溶融金属供給装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の溶融金属供給装置を使って前記周縁部を封止するガラスパネルの製法。
【請求項４】
請求項３のガラスパネルの製法で製造されたガラスパネル。
【請求項５】
一対のガラス板間にスペーサーを配設して形成される間隙部と、
前記一対のガラス板の周縁部に充填され、前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料とを有するガラスパネルであって、
前記周辺封止用金属材料は、その主成分に対して前記主成分とは異なる異質物が混入されているものであるガラスパネル。
【請求項６】
前記周辺封止用金属材料の主成分は、Ｓｎが７２〜９９．９％に対し、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分を含有し、鉛の含有量が重量％で０．１％未満である請求項４または５に記載のガラスパネル。
【請求項７】
前記異質物は、前記主成分の酸化物、前記主成分と不純物との化合物、及び、装置を形成する金属と前記主成分との合金、の中から選択された少なくとも１種である請求項４〜６のいずれか１項に記載のガラスパネル。
【請求項８】
前記異質物は、最大表面積で１０ｍｍ2以下の大きさである請求項７に記載のガラスパネル。
【請求項９】
前記異質物の熱伝導率は、２０Ｗ／ｍＫ以下である請求項７又は８に記載のガラスパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のガラス板間にスペーサーを配設して間隙部を形成したガラスパネルにおいて、溶融した周辺封止用金属材料を前記一対のガラス板の周辺部に充填して前記間隙部を気密に封止するための溶融金属供給装置、これを用いたガラスパネルの製法及びガラスパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の溶融金属供給装置は、周辺封止用金属材料の溶解槽と、前記溶解槽の下端部に、円錐状の弁座に対して隙間を調整操作自在な弁体を設けてある溶融金属の流量調整機構と、前記流量調整機構によって調整された溶融金属の流れを停止操作自在な開閉弁機構とを備え、それらの操作軸が同一方向から操作できるように、弁体の筒状弁棒に開閉弁体機構の弁棒を同一軸心に内嵌させてあった（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３０６３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した従来の装置では、特に前記流量調整機構において細かな流量の調整を行うためには、円錐状の弁座と円錐状の弁体の夫々のテーパー角を小さくしたほうが上下移動量に対する流路面積増減が小さくなるために、流量制御性が向上する。
しかし、より小型の流量調整機構において前記テーパー角をより小さくすればするほど弁体の筒状弁棒に開閉弁体機構の弁棒を同一軸心に内嵌する構造に加工するのが、より困難になる。また、強度確保のために大きくすると装置が大きくなり、シールに必要な部材などとの干渉が生じてしまうという欠点があるばかりか、溶融した周辺封止用金属材料(ハンダ)の詰りが生じやすく、流量制御性が落ちるという問題がある。
しかも、弁体の筒状弁棒及び開閉弁機構の弁棒を夫々精度よく操作ができなくなる虞が生じる。【０００５】
従って、本発明の目的は、流量調整機構と開閉弁機構とを設けるのに、加工が容易で、しかも、夫々の操作が精度良く行えるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の特徴構成は、一対のガラス板間にスペーサーを配設して間隙部を形成したガラスパネルにおいて、溶融した周辺封止用金属材料を前記一対のガラス板の周縁部に充填して前記間隙部を気密に封止するための溶融金属供給装置であって、前記周辺封止用金属材料の溶解槽と、前記溶解槽の下端部に円錐状の弁座に対して隙間を調整操作自在な弁体を設けてある周辺封止用金属材料の流量調整機構と、前記流量調整機構によって調整された溶融金属の流れを停止操作自在な開閉弁機構とを備え、前記溶解槽、前記流量調整機構及び前記開閉弁機構は、前記周辺封止用金属材料の主成分に対してその主成分とは異なる異質物が前記周辺封止用金属材料に混入可能なように、夫々別々に操作自在に形成され且つ上下に連通する直線流路上に上から順に並べられてあるところにある。【０００７】
本発明の第１の特徴構成によれば、円錐状の弁座に対して隙間を調整操作自在な弁体を設けてある前記流量調整機構と、溶融金属の流れを停止操作自在な前記開閉弁機構とを、直線流路上に上から順に並べる。これにより、流量調整機構と開閉弁機構とが直線流路の夫々別々の位置に配置されるので、従来のように、弁体の筒状弁棒に開閉弁体機構の弁棒を同一軸心に内嵌する構造に形成する必要なく、加工が簡単になる。
その上、例えば図１１に示すように、流量調整機構３２’と開閉弁機構４３’とを、夫々別々の位置に設けるのに、周辺封止用金属材料の溶解槽としての坩堝部９の下端部から排出口の間の曲折流路部５０’に設けた場合には、溶融金属中に酸化物などの固形異物が混入した場合に、その曲折流路部５０’に固形異物を堆積しやすく、そのために、溶融金属の流れが阻害されて供給操作に障害が発生す危険性がある。これに対し、本発明は、流量調整機構と開閉弁機構とを、夫々別々に操作自在に形成して上下に連通する直線流路上に上から順に並べることにより、溶融金属の流れが滞留するところなく流れる。
従って、例え溶融金属中に酸化物などの固形異物が混入したとしても、その固形異物が堆積して目詰まりして溶融金属の流れを阻害するような障害の発生を防止できながら、流量調整機構及び開閉弁機構を夫々精度よく操作ができるように形成できる。【０００８】
本発明の第２の特徴構成は、前記開閉弁機構は、開閉弁座に対して開弁状態と閉弁状態とに択一的に切換え操作自在な開閉弁体を設けたところにある。【０００９】
本発明の第２の特徴構成によれば、前記開閉弁機構は、溶融金属の流れを停止操作自在にするのに、開閉弁座に対して開弁状態と閉弁状態とに択一的に切換え操作自在な開閉弁体を設けた単純な構造により、異物による目詰まりを少なく溶融金属を良好に供給操作できるようになる。【００１０】
本発明の第３の特徴構成は、前記溶融金属供給装置を使って前記周縁部を封止するガラスパネルの製法である。【００１１】
本発明の第４の特徴構成は前記ガラスパネルの製法で製造されたガラスパネルである。【００１２】
本発明の第５のガラスパネルの特徴構成は、一対のガラス板間にスペーサーを配設して形成される間隙部と、前記一対のガラス板の周縁部に充填され、前記間隙部を気密に封止する周辺封止用金属材料とを有するガラスパネルであって、前記周辺封止用金属材料は、その主成分に対して前記主成分とは異なる異質物が混入されているものである。【００１３】
本発明の第６の特徴構成は、前記周辺封止用金属材料の主成分は、Ｓｎが７２〜９９．９％に対し、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分を含有し、鉛の含有量が重量％で０．１％未満である。【００１４】
本発明の第６の特徴構成によれば、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ及びＴｉの内のいずれかの成分と、ガラス板表面の酸素とが結合して接合強度を向上させることが出来る。【００１５】
本発明の第７の特徴構成は、前記異質物は、前記主成分の酸化物、前記主成分と不純物との化合物、及び、装置を形成する金属と前記主成分との合金、の中から選択された少なくとも１種である。【００１６】
本発明の第７の特徴構成によれば、異質物が特に主成分の酸化物である場合には、断熱性が優れた周辺封止金属材料を有するガラスパネルになる。【００１７】
本発明の第８の特徴構成は、前記異質物は、最大表面積で１０ｍｍ2以下の大きさである。【００１８】
本発明の第８の特徴構成によれば、異質物の表面積が１０ｍｍ2よりも大きすぎると、その異質物とガラス板とが接する箇所での封止力の低下が懸念されるが、１０ｍｍ2以下になると、封止力も担保出来る。【００１９】
本発明の第９の特徴構成は、前記異質物の熱伝導率は、２０Ｗ／ｍＫ以下である。【００２０】
本発明の第９の特徴構成によれば、異質物自体の断熱性能向上が期待でき、ガラスパネル全体の断熱性能が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】ガラスパネルの一部切欠き斜視図である。
【図２】ガラスパネルの吸引孔周辺縦断面図である。
【図３】ガラスパネルの製造方法を示すフローチャートである。
【図４】溶融金属供給装置の縦断面図である。
【図５】導入板の作用説明図である。
【図６】吸引孔封止前の吸引孔周辺部拡大図である。
【図７】別実施形態の溶融金属供給装置の縦断面図である。
【図８】別実施形態の溶融金属供給装置の縦断面図である。
【図９】別実施形態の溶融金属供給装置の縦断面図である。
【図１０】別実施形態の溶融金属供給装置の縦断面図である。
【図１１】比較例の溶融金属供給装置の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、ガラスパネルＰは、対向する一対のガラス板１Ａ，１Ｂと、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に、マトリックス状に一定のスペーサーピッチＰｄで複数の柱状のスペーサー２を介在させることにより形成される間隙部Ｖと、間隙部Ｖの周縁部Ｖ１をシールする周辺封止用金属材料３と、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの内の一方のガラス板１Ａを貫通する吸引孔４とを有する。吸引孔４は、その吸引孔４の周りにまで至って覆う吸引孔封止用金属材料１５で封止されてある。
【００２３】
ガラスパネルＰにおいて、２枚のガラス板１Ａ，１Ｂは透明なフロートガラスであり、間隙部Ｖが１．３３Ｐａ（１．０×１０-2Ｔｏｒｒ）以下に減圧されている。これは、間隙部Ｖは、その内部の空気が吸引孔４を介して排出されることによって減圧され、間隙部Ｖの減圧状態を維持するために周辺封止用金属材料３及び吸引孔封止用金属材料１５によって封止されている。
【００２４】
スペーサー２は円柱状であり、その直径が０．３〜１．０ｍｍ程度、高さが３０μｍ〜１．０ｍｍ程度である。このスペーサー２は、ガラス板１Ａ，１Ｂに作用する大気圧に起因する圧縮応力を負荷されても坐屈しない材料、例えば、圧縮強度が４．９×１０8Ｐａ（５×１０3ｋｇｆ／ｃｍ2）以上の材料、好ましくは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）等により形成されている。
【００２５】
図３は、図１のガラスパネルＰの製造方法を示すフローチャートである。
まず、フロートガラスから成る所定の厚さの２枚のガラス素板（不図示）を所定の寸法、例えば、１２００ｍｍ×９００ｍｍに夫々切断し、同一形状且つ同一サイズであるガラス板１Ａ，１Ｂを準備し（ステップＳ３１）、ガラス板１Ａに、その四隅のうちいずれか１つの近傍において吸引孔４をドリル等によって穿設する（ステップＳ３２）（穿設ステップ）。
【００２６】
次に、クリーンルームやケミカルクリーンルーム等の空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内において、純水ブラシ洗浄、液体洗浄法、光洗浄の少なくとも１つの方法を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄する（ステップＳ３３）（洗浄ステップ）。この液体洗浄法では、純粋、脱イオン水などが用いられる。また、洗浄液は、例えば、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有する。また、該洗浄液には、研磨材が含有されていてもよい。研磨材としては、例えば酸化セリウムを主成分とする微粒子が用いられる。
【００２７】
そして、吸引孔４が穿設されていない洗浄されたガラス板１Ｂに、複数のスペーサー２をマトリックス状に一定のスペーサーピッチＰｄで配置し、洗浄されたガラス板１Ａを重ね合わせることで、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのペアリングを行う（ステップＳ３４）。
【００２８】
さらに、ペアリングされた一対のガラス板１Ａ，１Ｂをほぼ水平に保ち、溶解温度が２５０℃以下である周辺封止用金属材料３を用いて、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を封止する（ステップＳ３５）（周辺封止）。
【００２９】
図４は、図３のステップＳ３５における周辺封止を説明するのに用いられる図である。
図４において、前記周縁部への溶融金属供給装置としての金属導入装置５は、定盤６を有し、一対のガラス板１Ａ，１Ｂを保持すると共に、一対のガラス板１Ａ，１Ｂに周辺封止用金属材料３（ハンダ）を供給する供給塔７を保持する。定盤６には、上記一対のガラス板１Ａ，１Ｂに沿って２本のレール部材１２が配され、上記供給塔７はレール部材１２上を走行する移動機構１３の上に載置されている。
【００３０】
供給塔７は、液相又は固相のハンダを貯留する横断面長方形の坩堝部９と、坩堝部９の側壁部に内蔵されると共に坩堝部９内に貯留されたハンダを加熱する電熱ヒーター１０と、坩堝部９の底部に連通すると共に一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１の外側に向かって開口する断面長尺状の導入路１１と、導入路１１の中位に水平に配された導入板８とを備える。導入板８は、導入路１１から延伸して一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１に嵌入しており、これにより、ハンダは、その表面張力と相俟って間隙部Ｖに侵入する。加えて、坩堝部９内で液位ΔＨにあるハンダの重力が導入板８の部位においてハンダに印加され、これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１へのハンダの侵入を促進する。
【００３１】
また、図５に示すように、導入板８は、その移動方向で上下に複数回波打つ状態の屈曲部８Ａが間隔を空けて２箇所に形成された形状の物でも良い（蛇腹形状）。
つまり、屈曲部８Ａを有する導入板８の移動によって、バネ作用を有する屈曲部８Ａが、ガラス板の表面を軽く擦りつけるようになり、ハンダのガラス面への付着性をより向上させて、間隙部Ｖの気密性が確実化される効果を発揮できるようになる。
【００３２】
また、導入板８は、バネ作用を有する弓状の形状や、屈曲部を有さない平板状であっても良い。ただし、上述の理由により、屈曲部８Ａを有する導入板８の方が有利である。
【００３３】
一方、移動機構１３は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１に沿ってレール部材１２上を一定速度で移動するので、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの開先部分１４から導入板８を間隙部Ｖに挿入すると、周辺封止用金属材料３が導入板８を介して一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１全体に亘って侵入する。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に形成された間隙部Ｖの周縁部Ｖ１は、周辺封止用金属材料３によって気密に封止される。
【００３４】
図６に示すように、開先部分１４とは、ガラスパネルＰの角部に設けてあり、導入板８を間隙部Ｖに挿入する際に、容易に実施できるよう、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間隙部Ｖ側の角部を面取りしてある箇所である。
【００３５】
前記金属導入装置５を、より詳細に説明する。図４に示すように、金属導入装置５は、溶解槽として周辺封止用金属材料３を溶解して貯留する坩堝部９と、坩堝部９の下端部に円錐状の弁座３０に対して隙間を上下に移動自在にして調整操作自在な円錐状の弁体３１を設けてある溶融金属の流量調整機構３２と、流量調整機構３２によって調整された溶融金属の流れを停止操作自在な開閉弁機構４３とを備える。坩堝部９（溶解槽３６）、流量調整機構３２及び開閉弁機構４３は、夫々別々に操作自在に形成して上下に連通する直線流路３４上に上から順に並べられている。そして、同図に示すように、流量調整機構３２の駆動の中心部分（中心軸）Ａ１と、開閉弁機構４３の駆動の中心部分（中心軸）Ａ２とは、直線流路３４に対し夫々別々の位置に配置されてある。また、直線流路３４の下手側には、周辺封止用金属材料３を両ガラス板１Ａ、１Ｂ間に吐出する吐出口３５を設けてある。
【００３６】
前記吐出口３５には、周辺封止用金属材料３を両ガラス板１Ａ、１Ｂ間に導入する導入板８が設けられている。
【００３７】
前記坩堝部９には、周辺封止用金属材料３を溶解して貯留する貯留部３６と、貯留部３６内の周辺封止用金属材料３を溶融状態に維持するための電熱ヒーター１０とを設けてある。
【００３８】
前記開閉弁機構４３は、直線流路３４に対して突出して溶融金属の流れを停止する閉弁状態と、直線流路３４から引退してその流れを許容する開弁状態とに択一的に切換え操作自在に構成してある。
そして、前記流量調整機構３２は、弁体３１を上下に押し引き操作自在に構成してある。前記開閉弁機構４３は、横から出退自在な開閉弁体３７を横方向の押し引き操作により開閉操作自在に構成してある。
【００３９】
続くステップＳ３６において、吸引孔４の近傍において排気カップで吸引孔４を覆うようにガラス板１Ａの大気側の主面に取付け、この排気カップに接続された不図示のロータリーポンプやターボ分子ポンプによる吸引により、間隙部Ｖの圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するべく間隙部Ｖの気体分子を外部へ排出する真空引きを行う（ステップＳ３６）。
【００４０】
ただし、本ステップで用いるポンプは上述のロータリーポンプやターボ分子ポンプに限られず、排気カップに接続でき、吸引可能なものであればよい。
【００４１】
次いで、吸引孔４を覆い被さるように吸引孔封止用金属材料１５を滴下させて、吸引孔４の近傍のガラス表面と吸引孔封止用金属材料１５を接着させて封止する（ステップＳ３７）。
これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に形成された間隙部Ｖが密閉される。
【００４２】
尚、上述した各工程のうち、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの主面を洗浄して（ステップＳ３３）から吸引孔４の近傍のガラス表面と吸引孔封止用金属材料１５を接着させて封止する（ステップＳ３７）までの各工程は、夫々、空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内で実施される。
【００４３】
本実施の形態では、液体洗浄法を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄するが、これに限るものではなく、純水ブラシ洗浄法、超音波洗浄法、アルカリ水洗浄法、加熱洗浄法、真空（凍結）洗浄法、ＵＶ洗浄法、オゾン洗浄法、及びプラズマ洗浄法の少なくとも１つを用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄してもよい。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの主面から分解又は飛散し得る気体分子の発生を抑制することができ、もってガラスパネルＰの初期性能を長時間に亘って発揮することができる。
【００４４】
本実施の形態では、周辺封止用金属材料３として、溶解温度が２５０℃以下であるハンダ、例えば９１．２Ｓｎ−８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するハンダにＴｉを加えたハンダを用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を封止する。しかし、周辺封止用金属材料３（ハンダ）は、これに限るものではなく、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｇａ、及びＡｇから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む金属材料であって溶解温度が２５０℃以下となる封着材を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１を封止してもよい。
【００４５】
また、上記周辺封止用金属材料３は、Ｔｉに代わって、又は、Ｔｉに加えて、Ａｌ、Ｃｒ、及びＳｉから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含んでいてもよい。これにより、周辺封止用金属材料３と一対のガラス板１Ａ，１Ｂのガラス成分との接着性を向上させることができる。
【００４６】
本実施の形態では、吸引孔封止用金属材料１５として、溶解温度が２５０℃以下であるハンダ、例えば９１．２Ｓｎ−８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するハンダにＴｉを加えたハンダを用いて吸引孔４を封止する。しかし、吸引孔封止用金属材料１５（ハンダ）は、これに限るものではなく、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｇａ、及びＡｇから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む金属材料であって溶解温度が２５０℃以下となる封着材を用いて吸引孔４を封止してもよい。
尚、Ｓｎを選択した場合、９０％以上あればよく、また、Ｃｕを添加したＳｎの場合、Ｃｕの量は、０．１％以下にする必要がある。
【００４７】
また、上記吸引孔封止用金属材料１５は、Ｔｉに代わって、又は、Ｔｉに加えて、Ａｌ、Ｃｒ、及びＳｉから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含んでいてもよい。
さらに、吸引孔封止用金属材料１５は、周辺封止用金属材料３と異なる成分のハンダを用いても良い。
尚、吸引孔封止用金属材料１５または周辺封止用金属材料３にＴｉ（チタン）を含有させることにより、ガラスの密着性が向上する。
【００４８】
本実施の形態では、間隙部Ｖの圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するが、これに限るものではなく、ほぼ真空になるまで間隙部Ｖの圧力を減圧してもよい。これにより、ガラスパネルＰの断熱性能を更に高めることができる。
【００４９】
本実施の形態では、一対のガラス板厚みＴｇの下限は、０．３ｍｍ以上である。また、好ましくは、０．５ｍｍ以上である。さらに好ましくは、１ｍｍ以上である。一対のガラス板厚みＴｇが薄ければガラス自体の蓄熱量が小さくなるので、周辺封止の際に、単位時間あたりの空気中への放熱量が上昇し、周辺封止用金属材料３が冷却されやすい。従って、溶融した周辺封止用金属材料３の固化を促進させることが可能となる。ただし、ガラス板は薄くなるとガラス板の剛性が低下するため、同じ大きさの外力によるガラス板の変形量が大きくなる。従って、ガラスパネルＰにおいて、吸引孔４の間隙部側表面付近に発生する引張応力が大きくなる。
【００５０】
一対のガラス板厚みＴｇの上限は、１５ｍｍ以下である。好ましくは、１２ｍｍ以下である。さらに好ましくは、１０ｍｍ以下である。厚いガラス板を用いるとガラス板の剛性は増加するため、同じ大きさの外力によるガラス板の変形量が小さくなる。従って、ガラスパネルＰにおいて、吸引孔４の間隙部側表面付近に発生する引張応力が小さくなるため、長期耐久性が向上する。一方で、ガラス板厚みＴｇが厚くなると、吸引孔封止の際に、吸引孔封止用金属材料１５の吸引孔４への流入量が減少する。そのため、間隙部側の吸引孔封止用金属材料１５のはみ出しが小さくなり、吸引孔４の間隙部側表面付近に発生する引張応力を緩和させることが困難となる。
【００５１】
一対のガラス板１Ａ，１Ｂは、フロートガラスであるが、これに限るものではない。一対のガラス板１Ａ，１Ｂには、上記のような用途に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入ガラス板、強化ガラス、倍強化ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス板、セラミックガラス板、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。
さらに、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができる。
【００５２】
本実施の形態では、開先部分１４はガラス板１Ａ，１Ｂの間隙部Ｖ側の角部を平面状に面取りしているが、これに限られるものではなく、曲面状に面取りをする等、導入板８を容易に挿入可能とする形態であれば、適宜選択してガラス板１Ａ，１Ｂに設ける事ができる。
【００５３】
本実施の形態では、スペーサーピッチＰｄは、５〜１００ｍｍであり、好ましくは、５〜８０ｍｍ、さらに好ましくは、５〜６０ｍｍである。
【００５４】
また、スペーサー２はステンレス鋼により形成されているが、これに限るものではない。スペーサー２は、例えば、インコネル、鉄、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム、チタン等の金属、炭素鋼、クロム鋼、ニッケル鋼、ニッケルクロム鋼、マンガン鋼、クロムマンガン鋼、クロムモリブデン鋼、珪素鋼、真鍮、ハンダ、ジュラルミン等の合金、又は、セラミックやガラス等、高剛性を有するもので形成されてもよい。また、スペーサー２も、円柱状に限らず、角形状や球状等の各種形状であってもよい。
【００５５】
本実施の形態では、間隙部高Ｖｈは３０μｍ〜１ｍｍである。ただし、スペーサー２の高さと略同一である。
【００５６】
尚、間隙部Ｖには、間隙部Ｖ内の気体分子を吸着するべく蒸発型ゲッターを用いたり、加熱されて活性化することにより気体分子を吸着して除去する非蒸発型ゲッターを用いたりしてもよく、また、非蒸発型ゲッターと蒸発型ゲッターとを併用してもよい。また、間隙部Ｖにおいて、ゲッター材（吸着剤）及び吸着剤収容孔は２ヶ所以上でもよい。
【００５７】
本実施の形態では、周辺封止用金属材料３は、金属導入装置５を用いて形成されたが、これに限定されるものではない。周辺封止用金属材料３は、陽極接合法、超音波接合法、多段接合法、レーザー接合法及び圧着接合法のいずれか一つの接合方法を用いて形成されてもよい。これにより、周辺封止用金属材料３の一対のガラス板１Ａ，１Ｂへの付着性を向上させることができる。
【００５８】
また、ガラスパネルＰの平面に対する厚み方向視における周辺封止用金属材料３の幅Ｒｗは１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。幅Ｒｗが１ｍｍより小さいと、ガラスパネルＰの間隙部Ｖの封止を保持することが困難となる。また、１０ｍｍを超えると、周辺金属封止材料３を通じて発生する熱交換量が過大となる。さらに好ましくは、幅Ｒｗは１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。この場合、ガラスパネルＰの間隙部Ｖの封止を保持する事に加え、さらに熱交換量を低減させることができる。
【００５９】
本実施の形態では、封止後の吸引孔封止用金属材料１５がガラス板１Ａの大気側表面より突出している部分を突出部１６とする。突出部１６の突出部直径Ｄｗ（図１のガラス板１Ａと接触する接触部３３の幅と同じ）は２〜３０ｍｍである。さらに好ましくは、２〜１５ｍｍである。ただし、突出部直径Ｄｗはいずれの場合も後述の吸引孔径Ｓｗよりは大きい。
また、突出部１６の突出部厚みＤｇは０．１〜２０ｍｍである。好ましくは、０．１〜１０ｍｍである。
【００６０】
本実施の形態では、吸引孔径Ｓｗは、２〜１０ｍｍである。好ましくは２〜５ｍｍである。強化ガラスの場合は、吸引孔径Ｓｗは、ガラス厚より大きく１０ｍｍ以下が望ましい。これは、風冷強化の際に、吸引孔４を通じて風を通すためである。
【００６１】
また、吸引孔４の少なくとも下部の縁部は曲面状に形成されていてもよく、または面取りされていてもよい（縁部に微小面を設けていてもよい）。
【００６２】
尚、流量調整機構３２と開閉弁機構４３とを流れる流路には、周辺封止用金属材料３の主成分に混ざって異質物が混入することがある。その異質物とは、周辺封止用金属材料３の主成分の酸化物として、ＳｎＯ、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＴｉＯ、ＴｉＯ2などや、前記主成分と不純物との化合物（例えばＳｂ、Ｃｕ、Ｂｉ、Ｆｅ、Ａｌ、Ａｓ、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｕ、Ｃｄ、Ｐｂ、Ｉｎ）とＴｉの合金などや、主成分と装置を形成する金属との合金（例えば、ＳＵＳ成分（Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ）とＳｎ、Ｔｉの合金が考えられる。
前記異質物が、酸化物であれば、例えば、坩堝内の気泡で形成される異質物のサイズは、気泡サイズ次第と思われる。仮に、ミクロンオーダーの真球粒子形成を想定すると、異質物の半径が１μｍ〜０．１ｍｍの時、異質物の表面積は、約１０μｍ2〜０．２ｍｍ2となる。
スペーサー２の最大高さを１ｍｍとしているので、最大粒子径としては、０．１ｍｍ程度が限界かと思われる。また、粒子が数珠状の凝集体を形成しているとすれば、異質物は、粒子約５０個で、最大表面積が約１０ｍｍ2となることが考えられる。
【００６３】
〔別実施形態〕
以下に他の実施の形態を説明する。
なお、以下の他の実施形態において、上記実施形態と同様の部材には同一の符号を附してある。
〈１〉  前記開閉弁機構４３は、図７に示すように、溶融金属の前記直線流路３４上で流量調整機構３２の下手側に連設された開閉弁座２０と、上下方向に移動することで開閉弁座３０に対して遠近方向に移動する開閉弁体３７とを備え、開閉弁体３７を流量調整機構３２の下側から上下に移動操作する機構であっても良い。
〈２〉  前記開閉弁機構４３は、図８に示すように、前記直線流路３４中で回転操作自在なバタフライ弁３８であっても良い。また、開閉弁機構４３は、図１０に示すように、前記直線流路３４上に配設する回転操作自在なボール弁３９や、図９に示すように、ダイヤフラム弁４０であっても良い。
【００６４】
尚、上述のように、図面との対照を便利にするために符号を記したが、該記入により本発明は添付図面の構成に限定されるものではない。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、断熱性能の高いガラスパネルとして利用することができる。例えば、建築用・乗物用（自動車・鉄道車両・船舶等の窓ガラス）、または冷蔵庫や保温装置等の各種装置の扉や壁部等において、長期耐久性を要する断熱性ガラスパネルとして利用することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１Ａ，１Ｂ：ガラス板、２：スペーサー（ピラー）、３：周辺封止用金属材料（ハンダ）、４：吸引孔、４ｅ：エッジ、５：金属導入装置、６：定盤、６ａ：高部、６ｂ：低部、７：供給塔、８：導入板、８Ａ：屈曲部、９：坩堝部、１０：電熱ヒーター、１１：導入路、１２：レール部材、１３：移動機構、１４：開先部分、１５：吸引孔封止用金属材料（ハンダ）、１６：突出部、３０：弁座（開閉弁座）、３１：弁体、３２：流量調節機構、４３：開閉弁機構、３４：直線流路、３５：吐出口、３６：貯留部、３７：開閉弁体、３８：バタフライ弁、３９：ボール弁、４０：ダイヤフラム弁、Ａ１，Ａ２：駆動の中心部分（軸部分）、Ｖ：間隙部、Ｖ１：周縁部、Ｐ：ガラスパネル、Ｄｗ：突出部直径、Ｄｇ：突出部厚み、Ｔｇ：ガラス板厚み、Ｐｄ：スペーサーピッチ（間隔）、Ｒｗ：周辺封止金属幅、Ｓｗ：吸引孔径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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