(57)【要約】  緩やかな凹凸からなる欠陥に対応する部分の検出が容易な欠陥検査用画像を、所要時間を抑制しつつ生成することを図る。該目的を達成するために、欠陥検査用画像の生成装置は、照明光を対象物に照射する照明光源と、照明光の強度変化の位相を複数回シフトさせる位相制御部と、撮像装置と、位相の複数回のシフトのそれぞれに対して、対象物上に形成される明暗パターンを撮像装置に撮像させて輝度画像を生成させる撮像制御部と、当該複数の輝度画像に基づいて、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる少なくとも２つの位相画像を生成する位相画像生成部と、少なくとも２つの位相画像に対応する少なくとも２つのエッジ画像を生成するエッジ画像生成部と、当該少なくとも２つのエッジ画像の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した欠陥検査用画像を生成する検査用画像生成部とを備える。
2018198828.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の表面に沿う方向における強度が周期的に変化する照明光を、その強度変化の位相をシフトさせて対象物に照射する照明光源と、
前記照明光源が照射する前記照明光の強度変化の位相を複数回シフトさせる位相制御部と、
前記照明光が前記対象物上に形成する明暗パターンを撮像して輝度画像を生成可能な撮像装置と、
前記位相の前記複数回のシフトのそれぞれに対して、前記対象物上に形成される前記明暗パターンを前記撮像装置に撮像させて輝度画像を生成させる撮像制御部と、
前記位相の前記複数回のシフトに応じて前記撮像装置が生成した複数の輝度画像に基づいて、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる少なくとも２つの位相画像を生成する位相画像生成部と、
前記少なくとも２つの位相画像のそれぞれにエッジ抽出処理を行って前記少なくとも２つの位相画像に対応する少なくとも２つのエッジ画像を生成するエッジ画像生成部と、
前記少なくとも２つのエッジ画像の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した欠陥検査用画像を生成する検査用画像生成部と、
を備える、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記位相画像生成部は、
前記複数の輝度画像に対応する位相の各シフト量として、実際の各シフト量に所定のシフト量を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて、前記複数の輝度画像に位相シフト法を適用することによって前記少なくとも２つの位相画像のうち少なくも一方の位相画像を生成する、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項３】
請求項１に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記位相画像生成部は、
前記複数の輝度画像に位相シフト法を適用して求めた各位相値に所定の位相値を加算し、加算後の各位相値を前記所定の角度範囲にラップすることによって、前記少なくとも２つの位相画像のうち少なくも一方の位相画像を生成する、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記検査用画像生成部は、
前記少なくとも２つのエッジ画像の互いに同じ位置の各画素の各画素値に所定の選択規則を適用して当該各画素値のうち位相飛びに対応した画素値以外の画素値を選択することにより前記欠陥検査用画像を生成する、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項５】
請求項４に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記選択規則は、
前記少なくとも２つのエッジ画像の互いに同じ位置の各画素の各画素値を比較して、当該各画素値のうち値の最も高い画素値を選択する規則である、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記エッジ抽出処理は、前記少なくとも２つの位相画像のそれぞれに対して微分フィルタを適用する処理である、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項７】
請求項６に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記微分フィルタは、前記照明光の周期的な強度変化の方向に対応する方向に前記輝度画像を微分処理するフィルタである、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれか１つの請求項に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記位相制御部は、
３６０°を前記複数回のシフト回数で除した位相角ごとに、前記照明光源が照射する前記照明光の強度変化の位相をシフトさせる、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記照明光源は、
前記照明光の前記強度変化の周期、前記強度変化のパターン、前記強度変化の位相のシフト量、および当該位相のシフト回数の少なくとも１つを変更することができる、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９の何れか１つの請求項に記載の欠陥検査用画像の生成装置であって、
前記照明光源は、画像表示素子、若しくはプロジェクタである、欠陥検査用画像の生成装置。
【請求項１１】
対象物の表面に沿う方向における強度が周期的に変化する照明光を、その強度変化の位相を複数回シフトさせながら対象物に照射する照明工程と、
前記位相の複数回のシフトのそれぞれについて前記照明光が前記対象物上に形成する明暗パターンを撮像することによって、複数の輝度画像を生成する撮像工程と、
前記複数の輝度画像に基づいて、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる少なくとも２つの位相画像を生成する位相画像生成工程と、
前記少なくとも２つの位相画像のそれぞれにエッジ抽出処理を行って前記少なくとも２つの位相画像に対応する少なくとも２つのエッジ画像を生成するエッジ画像生成工程と、
前記少なくとも２つのエッジ画像の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した欠陥検査用画像を生成する検査用画像生成工程と、
を備える、欠陥検査用画像の生成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の形状に関する欠陥を検査する欠陥検査技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物上の欠陥（キズ、凹凸等）を検出する技術として、複数の明暗パターンを対象物に照射する装置が知られている。【０００３】
このような装置として、特許文献１には、互いに位相のみが異なる明暗パターンを有する複数の光を対象物に照射し、対象物からの複数の反射光を受光して複数の画像を得て、当該複数の画像における同一位置の各画素について各画素の光量データに基づく評価値を求め、画素の位置が互いに異なる評価値同士を比較することによって、微小凹凸や内部の泡・異物等の対象物の微小欠点を検査する検査装置が示されている。当該装置は、評価値として、当該各画素の各光量データの最大値と最小値とのうち少なくとも一方、当該最大値と当該最小値の差、若しくは和、当該各光量データの微分値の最大値と最小値とのうち少なくとも一方、又は、当該最大値と当該最小値の差、若しくは和を用いることによって、対象物の微小欠点を、ほこりなどの他の欠点や誤検出要因と区別することを図っている。【０００４】
また、特許文献２には、プロジェクタから対象物の表面上に光学的パターンを投影し、プロジェクタを対象物に対して相対的に移動することによって互いに位相が異なる複数の画像を取得し、当該複数の画像から、位相接続された位相画像を得て対象物の検査を行う装置が示されている。当該装置は、位相接続手法の信頼性を向上させることによって検査精度を向上させることを図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１８９３２号公報
【特許文献２】特表２０１０−５３７１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の装置には、キズの欠陥を検出可能であるが、緩やかな凹凸からなる欠陥を、装置が採用する評価値に基づいて検出することが困難であるといった問題がある。【０００７】
また、特許文献２の技術には、位相接続という複雑な演算処理が必要となるため、検査の所要時間が増大するといった問題があるとともに、対象物の形状によっては位相接続に失敗するといった問題もある。【０００８】
本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、対象物の表面の緩やかな凹凸からなる欠陥に対応する部分の検出が容易な欠陥検査用画像を、所要時間を抑制しつつ生成できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、第１の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、対象物の表面に沿う方向における強度が周期的に変化する照明光を、その強度変化の位相をシフトさせて対象物に照射する照明光源と、前記照明光源が照射する前記照明光の強度変化の位相を複数回シフトさせる位相制御部と、前記照明光が前記対象物上に形成する明暗パターンを撮像して輝度画像を生成可能な撮像装置と、前記位相の前記複数回のシフトのそれぞれに対して、前記対象物上に形成される前記明暗パターンを前記撮像装置に撮像させて輝度画像を生成させる撮像制御部と、前記位相の前記複数回のシフトに応じて前記撮像装置が生成した複数の輝度画像に基づいて、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる少なくとも２つの位相画像を生成する位相画像生成部と、前記少なくとも２つの位相画像のそれぞれにエッジ抽出処理を行って前記少なくとも２つの位相画像に対応する少なくとも２つのエッジ画像を生成するエッジ画像生成部と、前記少なくとも２つのエッジ画像の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した欠陥検査用画像を生成する検査用画像生成部と、を備える。【００１０】
第２の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記位相画像生成部は、前記複数の輝度画像に対応する位相の各シフト量として、実際の各シフト量に所定のシフト量を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて、前記複数の輝度画像に位相シフト法を適用することによって、前記少なくとも２つの位相画像のうち少なくも一方の位相画像を生成する。【００１１】
第３の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記位相画像生成部は、前記複数の輝度画像に位相シフト法を適用して求めた各位相値に所定の位相値を加算し、加算後の各位相値を前記所定の角度範囲にラップすることによって、前記少なくとも２つの位相画像のうち少なくも一方の位相画像を生成する。【００１２】
第４の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１から第３の何れか１つの態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記検査用画像生成部は、前記少なくとも２つのエッジ画像の互いに同じ位置の各画素の各画素値に所定の選択規則を適用して当該各画素値のうち位相飛びに対応した画素値以外の画素値を選択することにより前記欠陥検査用画像を生成する。【００１３】
第５の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第４の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記選択規則は、前記少なくとも２つのエッジ画像の互いに同じ位置の各画素の各画素値を比較して、当該各画素値のうち値の最も高い画素値を選択する規則である。【００１４】
第６の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１から第５の何れか１つの態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記エッジ抽出処理は、前記少なくとも２つの位相画像のそれぞれに対して微分フィルタを適用する処理である。【００１５】
第７の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第６の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記微分フィルタは、前記照明光の周期的な強度変化の方向に対応する方向に前記輝度画像を微分処理するフィルタである。【００１６】
第８の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１から第６のいずれか１つの態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記位相制御部は、３６０°を前記複数回のシフト回数で除した位相角ごとに、前記照明光源が照射する前記照明光の強度変化の位相をシフトさせる。【００１７】
第９の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１から第８の何れか１つの態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記照明光源は、前記照明光の前記強度変化の周期、前記強度変化のパターン、前記強度変化の位相のシフト量、および当該位相のシフト回数の少なくとも１つを変更することができる。【００１８】
第１０の態様に係る欠陥検査用画像の生成装置は、第１から第９の何れか１つの態様に係る欠陥検査用画像の生成装置であって、前記照明光源は、画像表示素子、若しくはプロジェクタである。【００１９】
第１１の態様に係る欠陥検査用画像の生成方法は、対象物の表面に沿う方向における強度が周期的に変化する照明光を、その強度変化の位相を複数回シフトさせながら対象物に照射する照明工程と、前記位相の複数回のシフトのそれぞれについて前記照明光が前記対象物上に形成する明暗パターンを撮像することによって、複数の輝度画像を生成する撮像工程と、前記複数の輝度画像に基づいて、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる少なくとも２つの位相画像を生成する位相画像生成工程と、前記少なくとも２つの位相画像のそれぞれにエッジ抽出処理を行って前記少なくとも２つの位相画像に対応する少なくとも２つのエッジ画像を生成するエッジ画像生成工程と、前記少なくとも２つのエッジ画像の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した欠陥検査用画像を生成する検査用画像生成工程と、を備える。
【発明の効果】
【００２０】
第１および第１１の何れの態様に係る発明によっても、少なくとも２つのエッジ画像において、位相飛びに対応したエッジ領域は、大きな段差を有して異なる位置に存在し、対象物の表面の緩やかな凹凸からなる欠陥に対応したエッジ領域は、小さな段差を有して同じ位置に存在する。欠陥検査用画像は、当該少なくとも２つのエッジ画像の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出して生成されているので、欠陥検査用画像は、位相飛びに対応しており、段差の大きなエッジ領域と、緩やかな凹凸からなる欠陥に対応しており、段差の小さなエッジ領域とのうち緩やかな凹凸からなる欠陥に対応したエッジ領域を含み、位相飛びに対応したエッジ領域を含まない。このため、欠陥検査用画像においては、小さな段差のエッジ領域であっても、周囲の領域との区別が容易になっている。従って、欠陥検査用画像において、緩やかな凹凸からなる欠陥に対応したエッジ領域の検出が容易となっている。また、エッジ画像生成部は位相接続を行わないので、欠陥検査用画像の生成に要する所要時間が抑制される。【００２１】
第２の態様に係る発明によれば、少なくとも２つの位相画像のうち当該少なくも一方の位相画像を容易に生成できる。【００２２】
第３の態様に係る発明によれば、少なくとも２つの位相画像のうち当該少なくも一方の位相画像を容易に生成できるとともに、当該少なくとも２つの位相画像間の位相差の設定に関する自由度を向上できる。【００２３】
第４の態様に係る発明によれば、少なくとも２つのエッジ画像から位相飛びに対応した画素値を除去して位相飛び以外の箇所に対応した画素値を選択することが容易となる。【００２４】
第５の態様に係る発明によれば、簡単な処理によって、少なくとも２つのエッジ画像から位相飛びに対応したエッジ領域を除去して位相飛び以外の箇所に対応した画素値を選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態に係る画像生成装置の概略構成を示す模式図である。
【図２】照明光の強度変化の位相シフトに対応する輝度画像の一部をグラフ形式で例示する図である。
【図３】図２の複数の輝度画像から得られた位相画像の一部をグラフ形式で示す図である。
【図４】図３の位相画像から得られたエッジ画像の一部をグラフ形式で示す図である。
【図５】図４のエッジ画像から得られた欠陥検査用画像の一部をグラフ形式で示す図である。
【図６】実施形態に係る画像生成装置の動作を例示するフローチャートである。
【図７】実施形態に係る画像生成装置の動作を例示するフローチャートである。
【図８】実施形態に係る画像生成装置の動作を例示するフローチャートである。
【図９】実施形態に係る画像生成装置の動作を例示するフローチャートである。
【図１０】実施形態に係る画像生成装置の動作を例示するフローチャートである。
【図１１】輝度画像の一例を示す図である。
【図１２】輝度画像の一例を示す図である。
【図１３】輝度画像の一例を示す図である。
【図１４】輝度画像の一例を示す図である。
【図１５】図１１〜図１４の輝度画像から得られた位相画像を例示する図である。
【図１６】図１１〜図１４の輝度画像から得られた位相画像を例示する図である。
【図１７】図１５の位相画像から得られたエッジ画像を示す図である。
【図１８】図１６の位相画像から得られたエッジ画像を示す図である。
【図１９】図１７、図１８のエッジ画像から得られた欠陥検査用画像を示す図である。
【図２０】図１９の欠陥検査用画像に二値化処理を施した画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
＜実施形態について＞
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、各図では、同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付され、下記説明では重複説明が省略される。
【００２７】
＜１．画像生成装置１００＞
図１は、実施形態に係る画像生成装置１００の概略構成を示す模式図である。
【００２８】
実施形態に係る画像生成装置（「欠陥検査用画像の生成装置」）１００の構成について、図１を参照しながら説明する。画像生成装置１００は、対象物９の表面に照射された照明光４１が対象物９の表面に形成する明暗パターンの反射光４２を撮像して得られた複数の輝度画像に基づいて、対象物９の表面に存在する凹凸等の欠陥を検出可能な検査用画像（「欠陥検査用画像」）を生成する。凹凸等の欠陥とは、凹部を含む欠陥、凸部を含む欠陥、又は凹部と凸部の双方を含む欠陥である。
【００２９】
画像生成装置１００は、制御処理装置１３０と、照明光源３１と、撮像装置３２とを備える。
【００３０】
照明光源３１は、照明光４１を対象物９に照射する。対象物９の表面に沿う方向における照明光４１の強度は、周期的に変化している。照明光源３１は、照明光４１の強度変化の位相をシフトさせて照明光４１を対象物９に照射する。照明光源３１は、照明光４１の強度変化の周期、強度変化のパターン、強度変化の位相のシフト量、および当該位相のシフト回数の少なくとも１つを変更することができる。
【００３１】
照明光源３１としては、例えば、液晶ディスプレイなどの画像表示素子、若しくはプロジェクタなどが採用される。２方向から可干渉性の光を照射して、それらの干渉によって、照明光４１を生成するものが照明光源３１として採用されてもよい。また、対象物９と光源との間に縞状のマスクを挿入し、マスクを所定の方向に移動させるものが照明光源３１として採用されてもよい。
【００３２】
撮像装置３２は、例えば、一般的なカメラであり、照明光４１が対象物９上に形成する明暗パターンの反射光４２を撮像して輝度画像５０を生成する。
【００３３】
制御処理装置１３０は、画像生成装置１００が行う各種動作や処理を統括制御する。具体的には、制御処理装置１３０は、照明光源３１の点灯、消灯を行うとともに、照明光４１の強度変化の位相を変更する制御を行う。また、制御処理装置１３０は、照明光４１の強度変化の位相の各シフト量に応じた各輝度画像５０を撮像装置３２が撮像するように、輝度画像５０の撮像タイミングを制御する。
【００３４】
制御処理装置１３０のハードウエアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御処理装置１３０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ１１、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ２２、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ２３、およびＣＰＵ１１が実行するプログラムＰＧや各種データなどを記憶しておく磁気ディスク２４をバスライン２９に電気的に接続して構成されている。バスライン２９には、液晶パネルなどのディスプレイ１４１およびキーボードなどの入力部１４２も電気的に接続されている。
【００３５】
制御処理装置１３０において、プログラムＰＧに記述された手順に従って主制御部としてのＣＰＵ１１が演算処理を行うことにより、各種の機能部が実現される。具体的には、ＣＰＵ１１は、例えば、位相制御部１２、撮像制御部１３、位相画像生成部１４、エッジ画像生成部１５、および検査用画像生成部１６などの各機能部としても動作する。制御処理装置１３０において実現される一部あるいは全部の機能部は、専用の論理回路などでハードウエア的に実現されてもよい。当該各機能部は、それぞれが行った演算結果等を、ＲＡＭ２３若しくは磁気ディスク２４に一時的、若しくは恒久的に記憶するとともに、ＲＡＭ２３若しくは磁気ディスク２４に記憶された各種の演算結果等を適宜参照する。各機能部１２〜１６の処理動作によって、制御処理装置１３０は、照明光４１における複数回の位相シフトに対応した複数の輝度画像から検査用画像８０を生成する。
【００３６】
なお、画像生成装置１００が制御処理装置１３０を備え、照明光源３１と撮像装置３２とを備えていなくてもよい。この場合、制御処理装置１３０は、記憶媒体等を介して、予め撮像された複数の輝度画像を取得し、当該複数の輝度画像に基づいて検査用画像８０を生成する。
【００３７】
撮像制御部１３は、照明光４１の強度変化の位相の複数回のシフトのそれぞれに対して、対象物９上に形成される明暗パターンの反射光４２を撮像装置３２に撮像させて輝度画像５０を生成させる。これにより、撮像装置３２は、位相の複数回のシフトに対応した複数の輝度画像５０を生成する。
【００３８】
位相画像生成部１４は、照明光４１の強度変化の位相の複数回のシフトに応じて撮像装置３２が生成した複数の輝度画像５０に基づいて、少なくとも２つの位相画像６０を生成する。少なくとも２つの位相画像６０は、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なっている。
【００３９】
エッジ画像生成部１５は、少なくとも２つの位相画像６０のそれぞれにエッジ抽出処理を行って少なくとも２つのエッジ画像７０を生成する。少なくとも２つのエッジ画像７０は、少なくとも２つの位相画像６０に対応している。
【００４０】
検査用画像生成部１６は、少なくとも２つのエッジ画像７０に基づいて、検査用画像８０を生成する。検査用画像８０は、少なくとも２つのエッジ画像７０の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した画像である。
【００４１】
＜２．画像生成装置１００の動作＞
図６〜図１０は、制御処理装置１３０の制御に従って、画像生成装置１００が行う動作の一例を示すフローチャートである。以下、他の図面も適宜参照しつつ、図６〜図１０に基づいて画像生成装置１００の動作を説明する。
【００４２】
＜２−１．画像生成装置１００の全体動作について＞
図６は、画像生成装置１００の全体動作の一例を示すフローチャートである。
【００４３】
図６のステップＳ１０では、画像生成装置１００は、複数の輝度画像５０を撮像する。具体的には、照明光源３１は、照明光４１の強度変化の位相を複数回シフトさせながら対象物９に向けて照明光４１を照射する。撮像装置３２は、複数回の位相のシフトのそれぞれに対応した各照明光４１によって対象物９の表面に形成される各明暗パターンの各反射光４２を撮像することで複数の輝度画像５０を生成する。照明光４１は、対象物９の表面に沿う方向における強度が周期的に変化する光である。
【００４４】
ステップＳ２０Ａ（２０Ｂ）では、画像生成装置１００は、ステップＳ１０で撮像された複数の輝度画像５０に基づいて、少なくとも２つの位相画像６０を生成する。
【００４５】
ステップＳ３０では、画像生成装置１００は、ステップＳ２０Ａ（２０Ｂ）で生成された少なくとも２つの位相画像６０に基づいて、当該各位相画像６０にそれぞれ対応した少なくとも２つのエッジ画像７０を生成する。
【００４６】
ステップＳ４０では、画像生成装置１００は、当該少なくとも２つのエッジ画像７０に基づいて検査用画像８０を生成する。検査用画像８０は、少なくとも２つのエッジ画像７０の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した画像である。
【００４７】
輝度画像５０では、画像生成装置１００は、ディスプレイ１４１に検査用画像８０を表示する。検査者は、表示された検査用画像８０を見て、対象物９における微小な凹凸等の欠陥８を検出できる。
【００４８】
以下に、ステップＳ１０、Ｓ２０Ａ（Ｓ２０Ｂ）、Ｓ３０、およびＳ４０について、さらに詳しく説明する。
【００４９】
＜２−２．輝度画像の撮像動作について＞
図７は、図６のステップＳ１０における複数の輝度画像の撮像動作の一例を示すフローチャートである。
【００５０】
撮像装置３２の光学系の光軸に対して照明光４１の進行方向が斜めとなるように、照明光源３１の姿勢が設定される。
【００５１】
位相制御部１２は、３６０°を複数回のシフト回数で除した位相角ごとに、照明光源３１が照射する照明光４１の強度変化の位相をシフトさせる。
【００５２】
画像生成装置１００は、位相の複数回のシフトのそれぞれについて照明光４１が対象物９上に形成する明暗パターンを撮像することによって、複数の輝度画像５０を生成する。
【００５３】
照明光４１の強度分布には、強弱が交互に周期的に付されており、照明光４１の照射方向を横切る方向において、照明光４１の強度の強弱が交互に周期的に変化している。
【００５４】
図７のステップＳ１１０では、照明光源３１が、照明光４１の照射、すなわち対象物９上への明暗パターンの投影を行う。照明光４１は、対象物９の表面に沿う所定の方向における強度が周期的に変化する光である。照明光４１は、当該方向において正弦波状に強度が変化する光であることが好ましい。しかし、照明光源３１が、例えば、矩形波状に強度が変化する照明光４１を照射する場合でも、当該照明光４１が、照明光源３１から対象物９に到達する過程で拡がること等によって、通常、対象物９の近傍部分では、照明光４１は、略正弦波状に強度が変化する。従って、照明光源３１が、矩形波状に強度が変化する照明光４１を照射してもよい。
【００５５】
ステップＳ１２０では、撮像制御部１３の制御下で、撮像装置３２は、照明光４１が対象物９の表面で反射された反射光４２、すなわち投影された明暗パターンの反射光４２を撮像する。
【００５６】
ステップＳ１３０では、位相制御部１２の制御下で、照明光源３１は、照明光４１の強度変化の位相（照明光４１における明暗パターンの位相）を、所定のシフト量だけ変化させる。より具体的には、位相制御部１２は、例えば、照明光源３１としての液晶ディスプレイなどの画像表示素子が表示する周期的な明暗パターンの位相を所定量シフトさせること、若しくは、照明光源３１としてのプロジェクタが投影する周期的な明暗パターンの位相を所定量シフトさせること等によって、照明光４１の強度変化の位相を、所定のシフト量だけ変化させる。
【００５７】
ステップＳ１４０では、位相制御部１２は、当該所定回数の位相シフトが完了したか否かを判定する。当該判定の結果、完了していなければ、画像生成装置１００は、再度ステップＳ１１０〜Ｓ１３０の動作を行い、位相制御部１２が、再度ステップＳ１４０の判定を行う。
【００５８】
ステップＳ１４０の判定の結果、所定回数の位相シフトが完了していれば、撮像制御部１３は、輝度画像の撮像に関する各動作を終了させる。
【００５９】
図１１〜図１４は、輝度画像の一例として、輝度画像５０ａ〜５０ｄを示す図である。輝度画像５０ａ〜５０ｄでは、位相制御部１２は、３６０°／４、すなわち９０°ずつ輝度画像５０ａ〜５０ｄに対応する照明光４１の明暗パターンの位相をずらしている。照明光４１として、縞パターン状の光が用いられている。輝度画像５０ａ、５０ｂ間、輝度画像５０ｂ、５０ｃ間、輝度画像５０ｃ、５０ｄ間、および輝度画像５０ｄ、５０ａ間のそれぞれにおいて、位相が９０°ずれている。対象物９として、ステンレス鋼板の２箇所に凹んだ欠陥が設けられたものが採用されている。輝度画像５０ａ〜５０ｄにおいて、明暗パターンの縞が平行な部分は、対象物９の平坦部分に対応しており、明暗パターンの縞が湾曲している２箇所は、それぞれ凹んだ欠陥に対応している。輝度画像５０ａ〜５０ｄにおいて、右側の欠陥は、左側の欠陥よりも大きい。輝度画像５０ａ〜５０ｄのうち対象物９の平坦部分に対応する各部分において、明暗パターンが含む縞は、ｙ軸（不図示）の方向に沿って延在しており、ｙ軸に直交するｘ軸（不図示）の方向に沿って、明暗が交互に周期的に現れている。
【００６０】
図２は、照明光４１の強度変化の複数回の位相シフトに対応する複数の輝度画像の一部を、グラフ形式によって、それぞれ輝度画像Ｉ０〜Ｉ３として例示する図である。各画像Ｉ０〜Ｉ３は、照明光４１の強度が周期的に変化する方向（例えば、輝度画像５０のｘ軸方向）に沿って輝度画像５０を横切る同一の１ライン上の各画素（画素番号０〜２５０の各画素）の画素値（輝度）を示している。図２の例では、当該各画素のｘ座標は、０〜２５０である。輝度画像Ｉ０は、初期位相に対応している。輝度画像Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３は、当該初期位相に対して９０°、１８０°、２７０°ずれた（シフトした）位相に対応した輝度画像である。輝度画像Ｉ０〜Ｉ３は、１つの凹んだ欠陥８に対応する像を、ｘ座標が１３５である画素の近傍に含んでいる。欠陥８に当たる照明光４１の位相は、欠陥８の周囲の平坦な部分に当たる照明光４１の位相に対してずれるため、輝度画像Ｉ０〜Ｉ３の欠陥８に対応する部分は、周囲の部分に対して凸または凹の形状となっている。
【００６１】
＜２−３．位相画像の生成動作について＞
図８（図９）は、図６のステップＳ２０Ａ（Ｓ２０Ｂ）における少なくとも２つの位相画像の生成動作の一例を示すフローチャートである。
【００６２】
図８のステップＳ２１０では、位相画像生成部１４は、複数の輝度画像の位相の実際の各シフト量を用いて位相シフト法により位相画像を生成する。具体的には、位相画像生成部１４は、例えば、式（１）の演算を実行して位相画像の各画素の位相θ１を算出することで位相画像を生成する。
【００６３】
一方向に沿って余弦波（正弦波）状に輝度が変化する輝度画像において、着目画素の初期位相（位相シフトが無い位相）がθ１である場合に、式（１）は、当該余弦波の位相を、初期位相θ１に対して０°（位相シフト無し）、９０°、１８０°、２７０°シフトさせたときの４つの輝度画像の当該着目画素における各輝度値Ｉ０〜Ｉ３に基づいて、当該着目画素の位相（初期位相）θ１を与える。
【００６４】
【数１】
2018198828.tif 000003
【００６５】
式（１）、後述する式（２）において、Ｉ０は、初期位相に対応した輝度画像５０の１つの着目画素の輝度（画素値）であり、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３は、初期位相に対して９０°、１８０°、２７０°ずれた位相に対応した輝度画像５０の当該画素の輝度である。
【００６６】
ステップＳ２２０では、位相画像生成部１４は、位相の各シフト量に所定のシフト量を加算した加算後の各シフト量を用いて位相シフト法により位相画像を生成する。具体的には、位相画像生成部１４は、例えば、式（２）の演算を実行することによって位相画像の各画素の位相θ２を算出することで位相画像を生成する。
【００６７】
一方向に沿って余弦波（正弦波）状に輝度が変化する輝度画像において、着目画素の初期位相（位相シフトが無い位相）がθ２である場合に、式（２）は、当該余弦波の位相を、初期位相θ２に対して９０°、１８０°、２７０°、０°（３６０°）シフトさせたときの４つの輝度画像の当該着目画素における各輝度値Ｉ０〜Ｉ３に基づいて、当該着目画素の位相（初期位相）θ２を与える。
【００６８】
ここで、式（２）におけるＩ０〜Ｉ３は、式（１）のＩ０〜Ｉ３と同じ輝度を用いる。つまり、実際の位相のシフト量が、０°、９０°、１８０°、２７０゜である４つの輝度画像の位相のシフト量が、実際とは異なる９０°、１８０°、２７０°、０°であるとして初期位相θ２が求められる。換言すれば、位相画像生成部１４は、式（２）を用いる場合、複数の輝度画像５０に対応する位相の各シフト量として、実際の各シフト量に９０°を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて、複数の輝度画像５０に位相シフト法を適用することによって、位相画像を生成する。当該位相画像においては、実際の初期位相θ１に対して９０°ずれた初期位相θ２が各画素について求められる。
【００６９】
式（２）では、実際のシフト量に加算されるシフト量は、９０°であるが、当該加算されるシフト量は９０°に限られず、例えば、１８０°など、９０°とは異なる角度が加算されてもよい。
【００７０】
また、対象物９の形状を正確に、再現するためには、式（１）で求められる実際の初期位相θ１を各画素に付いて求める必要が有る。しかし、画像生成装置１００は、欠陥８の有無を検出可能な検査用画像８０を生成すればよいので、実際の初期位相θ１を求めることは必ずしも必要ではない。例えば、位相画像生成部１４が、実際の各シフト量に９０°を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて位相シフト法により生成した位相画像と、実際の各シフト量に１８０°を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて位相シフト法により生成した位相画像との２つの位相画像を生成してもよい。また、位相画像生成部１４が生成する位相画像の個数は２つに限られず、位相画像生成部１４が、少なくとも２つの位相画像６０を生成してもよい。
【００７１】
すなわち、図６（図８）のステップＳ２０Ａ（ステップＳ２１０〜Ｓ２２０）の処理において、位相画像生成部１４は、複数の輝度画像５０に対応する位相の各シフト量として、実際の各シフト量に所定のシフト量を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて、複数の輝度画像５０に位相シフト法を適用することによって、少なくとも２つの位相画像６０のうち少なくも一方の位相画像６０を生成する。
【００７２】
また、式（１）、（２）において、−１８０°〜１８０°を返す４象限逆正接関数を用いることが好ましいが、−９０°〜９０°を返す逆正接関数を用いてもよい。すなわち、位相画像生成部１４は、少なくとも２つの位相画像を生成し、各位相画像は、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有する。
【００７３】
上記の式（１）、（２）は、シフト毎に３６０°／４、すなわち９０°ずつ位相が変更される４通り（４ステップ）の明暗パターンに対応した４個の輝度画像５０から位相画像を取得する式である。
【００７４】
位相画像生成部１４は、所定のｎ回（ｎは、４以外には、例えば、３、５、７、９とされ得る）のシフト回数で撮像された複数の輝度画像５０から少なくとも２つの位相画像６０を生成してもよい。
【００７５】
この場合、輝度画像の撮像動作において、位相制御部１２は、３６０°をｎで除した位相角ごとに、照明光源３１が照射する照明光４１の強度変化の位相をｎ通り（ｎステップ）にシフトさせる。
【００７６】
ｎが３である３ステップの場合、式（１）、（２）に相当する式は、式（３）、（４）により与えられる。
【００７７】
【数２】
2018198828.tif 000004
【００７８】
また、ｎステップ（ｎ＝３、４、５、７、９）に対応した式（１）に相当する式は、式（５）、（６）、（７）、（８）、（９）によって与えられる。
【００７９】
【数３】
2018198828.tif 000005
【００８０】
式（３）〜式（９）においても、Ｉｎ（ｎ＝０〜８）は、各シフト数の位相に対応した輝度画像５０上の同一位置の画素の画素値である。
【００８１】
図９のステップＳ２３０では、位相画像生成部１４は、例えば、複数の輝度画像５０の位相の実際の各シフト量を用いて式（１）を用いる位相シフト法により位相画像６０を生成する。
【００８２】
ステップＳ２４０では、位相画像生成部１４は、位相画像の各位相値に所定の位相値を加算する。ステップＳ２４０において、加算される所定の位相値は、９０°、１８０°など９０°の整数倍の位相値に限られない。例えば、１０°や、２０°などが加算されてもよい。
【００８３】
ステップＳ２５０では、位相画像生成部１４は、加算後の各位相値を所定の角度範囲にラッピングして他の位相画像６０を生成する。
【００８４】
これにより、位相画像生成部１４は、少なくとも２つの位相画像６０を生成する。すなわち、図６（図８）のステップＳ２０Ｂ（ステップＳ２３０〜Ｓ２５０）の処理において、位相画像生成部１４は、複数の輝度画像５０に位相シフト法を適用して求めた各位相値に所定の位相値を加算し、加算後の各位相値を所定の角度範囲にラップすることによって、少なくとも２つの位相画像６０のうち少なくも一方の位相画像６０を生成する。
【００８５】
なお、少なくとも２つの位相画像を生成する処理は、上記図６のステップＳ２０Ａ、Ｓ２０Ｂの処理に限られない。例えば、位相画像生成部１４は、図６のステップＳ２０Ｂの処理のうち図９のステップＳ２３０において、位相シフト法の一種であるフーリエ変換位相シフト法によって、１つの位相画像６０を生成し、その後、当該位相画像６０について、ステップＳ２４０、Ｓ２５０の処理を実行することによって、少なくとも２つの位相画像６０を生成してもよい。
【００８６】
図１５は、図１１〜図１４の輝度画像５０ａ〜５０ｄから得られた位相画像６０ａを例示する図であり、図１６は、輝度画像５０ａ〜５０ｄから得られた他の位相画像６０ｂを例示する図である。例えば、位相画像６０ａ、６０ｂ（少なくとも２つの位相画像６０）は、複数の輝度画像５０（例えば、輝度画像５０ａ〜５０ｄ）に基づいて、所定の角度範囲（例えば、−１８０°〜１８０°）にラップされた各位相値を各画素値として有している。位相画像６０ａ、６０ｂ（少なくとも２つの位相画像６０）においては、位相飛び（位相画像６０ａ、６０ｂ中の各縦線）の位置が相互に異なっている。
【００８７】
図３は、図２の複数（ここでは、４つ）の輝度画像から得られた少なくとも２つ（ここでは、２つ）の位相画像の一部をグラフ形式で示す図である。図３において、θ１に対応する位相画像は、式（１）により生成されており、θ２に対応する位相画像は、式（２）により生成されている。図３に示されるように、何れの位相画像においても、ｘ座標が１３５である画素の近傍に、欠陥８に対応した凹み部が現れている。しかし２つの位相画像間において、位相飛びの位置は、互いにずれている。図３においては、各位相画像の位相飛びの位置のずれが、さらに判りやすくなっている。画像生成装置１００は、各位相画像間での位相飛びの位置のずれを利用して位相飛びに対応した画像を除去している。
【００８８】
＜２−４．エッジ画像の生成動作について＞
図６のステップＳ３０では、エッジ画像生成部１５が、少なくとも２つの位相画像６０のそれぞれにエッジ抽出処理を行って少なくとも２つの位相画像６０に対応する少なくとも２つのエッジ画像７０を生成する。
【００８９】
エッジ画像生成部１５が行うエッジ抽出処理は、例えば、少なくとも２つの位相画像６０のそれぞれに対して微分フィルタを適用する処理である。当該微分フィルタは、照明光４１の周期的な強度変化の方向に対応する方向に輝度画像５０を微分処理するフィルタである。
【００９０】
図４は、図３の各位相画像（位相θ１、θ２に対応した２つの位相画像）から得られた各エッジ画像（位相θ１、θ２の微分値の画像）の一部をグラフ形式で示す図である。
【００９１】
図１７は、位相画像６０ａから得られたエッジ画像７０ａを示す図であり、図１８は、位相画像６０ｂから得られたエッジ画像７０ｂを示す図である。
【００９２】
図４、および図１７の各エッジ画像の何れにおいても、位相飛びに対応したエッジと、欠陥に対応したエッジとが混在していることが判る。また、図４によれば、位相飛びに対応したエッジの段差が大きく、欠陥に対応したエッジの段差が小さいことが判り易い。
【００９３】
＜２−５．検査用画像の生成動作について＞
図１０は、図６のステップＳ４０における検査用画像８０の生成動作の一例を示すフローチャートである。
【００９４】
図１０のステップＳ４１０では、検査用画像生成部１６は、少なくとも２つの位相画像の同じ位置の各画素の画素値を特定する。
【００９５】
ステップＳ４２０では、検査用画像生成部１６は、各画素値に所定の選択規則を適用し、検査用画像８０の画素値を選択する。
【００９６】
選択規則としては、例えば、少なくとも２つのエッジ画像の互いに同じ位置の各画素の各画素値を比較して、当該各画素値のうち値の最も高い画素値を選択する規則が採用される。選択規則は、当該各画素値のうち値の最も高い画素値を選択する規則に限られない。例えば、検査用画像生成部１６は、少なくとも２つのエッジ画像の各画素値の絶対値の画像を生成し、当該少なくとも２つの絶対値の画像において、互いに同じ位置の各画素の各画素値を比較して、当該各画素値のうち値の最も低い画素値を選択することによって検査用画像８０を生成してもよい。また、例えば、エッジ画像生成部１５が位相画像に対して行う微分処理の方向によっては、図４の例とは逆に、各エッジ画像の位相飛びに対応したエッジの画素値が、周囲の部分の画素値よりも大きくなる場合がある。この場合には、検査用画像生成部１６は、各エッジ画像において、互いに同じ位置の各画素の各画素値を比較して、当該各画素値のうち値の最も低い画素値を選択することによって検査用画像８０を生成できる。
【００９７】
ステップＳ４３０では、検査用画像生成部１６は、検査用画像の全ての画素について画素値の選択が終了したか否かを判定する。
【００９８】
当該判定の結果、終了していなければ、ステップＳ４４０において、検査用画像生成部１６は、選択規則を適用する画素の画素位置を、他の位置に変更し、再び、ステップＳ４１０〜Ｓ４２０の処理を行い、再び、ステップＳ４３０の判定を行う。
【００９９】
ステップＳ４３０の判定の結果、検査用画像の全ての画素について画素値の選択が終了していれば、検査用画像生成部１６は、図６のステップＳ４０の処理を終了する。処理は、図６のステップＳ５０に移される。
【０１００】
上述のように、検査用画像生成部１６は、少なくとも２つのエッジ画像７０の互いに同じ位置の各画素の各画素値に所定の選択規則を適用して当該各画素値のうち位相飛びに対応した画素値以外の画素値を選択することにより検査用画像８０を生成する。
【０１０１】
検査用画像生成部１６は、欠陥部分の画素値と、その周囲の部分との画素値の差異に基づいて欠陥部分を検出し、周囲の色に対して欠陥部分の色を変更することや、欠陥部分を囲む枠を表示してもよい。これにより、欠陥部分の検出がさらに容易になる。
【０１０２】
また、検査用画像生成部１６は、検査用画像８０の画素値が所定の範囲に分布するように、各画素値のスケーリングを行ってもよい。エッジ画像７０における位相飛びに対応した大きな段差は、除去されているので、欠陥８に対応した画素値と正常部分との画素値との差が強調される。これにより、欠陥８の検出が容易となる。
【０１０３】
図５は、図４のエッジ画像から得られた欠陥検査用画像の一部をグラフ形式で示す図である。図５から、ｘ座標が１３５である画素の近傍の欠陥が視認しやすく抽出されていることが判る。
【０１０４】
図１９は、エッジ画像７０ａ、７０ｂから得られた検査用画像８０ａを示す図であり、図２０は、ＣＰＵ１１が検査用画像８０ａに二値化処理を施した検査用画像８０ｂを示す図である。
【０１０５】
検査用画像８０ａにおいては、２箇所の欠陥を視認しやすくなっている。二値化された検査用画像８０ｂにおいては、２箇所の欠陥がさらに視認しやすくなっている。
【０１０６】
以上のように構成された本実施形態に係る画像生成装置１００によれば、位相画像生成部１４は、位相の複数回のシフトに応じて撮像装置３２が生成した複数の輝度画像５０に基づいて少なくとも２つの位相画像６０を生成する。当該少なくとも２つの位相画像６０は、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる。エッジ画像生成部１５は、少なくとも２つの位相画像６０のそれぞれにエッジ抽出処理を行って少なくとも２つの位相画像６０に対応する少なくとも２つのエッジ画像７０を生成し、検査用画像生成部１６は、当該少なくとも２つのエッジ画像７０に基づいて、当該少なくとも２つのエッジ画像７０の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した検査用画像８０を生成する。
【０１０７】
また、以上のような本実施形態に係る検査用画像８０の生成方法によれば、位相画像生成工程は、位相の複数回のシフトに応じて生成された複数の輝度画像５０に基づいて少なくとも２つの位相画像６０を生成する。当該少なくとも２つの位相画像６０は、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる。エッジ画像生成工程は、少なくとも２つの位相画像６０のそれぞれにエッジ抽出処理を行って少なくとも２つの位相画像６０に対応する少なくとも２つのエッジ画像７０を生成し、検査用画像生成工程は、少なくとも２つのエッジ画像７０の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出した検査用画像８０を生成する。
【０１０８】
従って、本実施形態に係る画像生成装置および生成方法の何れによっても、当該少なくとも２つのエッジ画像７０において、位相飛びに対応したエッジ領域は、大きな段差を有して異なる位置に存在し、対象物９の表面の緩やかな凹凸からなる欠陥に対応したエッジ領域は、小さな段差を有して同じ位置に存在する。検査用画像８０は、当該少なくとも２つのエッジ画像７０の同じ位置に存在するエッジ領域を抽出して生成されているので、検査用画像８０は、位相飛びに対応しており、段差の大きなエッジ領域と、緩やかな凹凸からなる欠陥に対応しており、段差の小さなエッジ領域とのうち緩やかな凹凸からなる欠陥に対応したエッジ領域を含み、位相飛びに対応したエッジ領域を含まない。このため、検査用画像８０においては、小さな段差のエッジ領域であっても、周囲の領域との区別が容易になっている。従って、検査用画像８０において、緩やかな凹凸からなる欠陥に対応したエッジ領域の検出が容易となっている。また、エッジ画像生成部１５は位相接続を行わないので、検査用画像８０の生成に要する所要時間が抑制される。
【０１０９】
また、本実施形態に係る画像生成装置によれば、位相画像生成部１４は、複数の輝度画像５０に対応する位相の各シフト量として、実際の各シフト量に所定のシフト量を加算して得られる加算後の各シフト量を用いて、複数の輝度画像５０に位相シフト法を適用することによって、少なくとも２つの位相画像６０のうち少なくも一方の位相画像６０を生成する。従って、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる当該少なくとも２つの位相画像６０のうち当該少なくも一方の位相画像６０を容易に生成できる。
【０１１０】
また、本実施形態に係る画像生成装置によれば、位相画像生成部１４は、複数の輝度画像５０に位相シフト法を適用して求めた各位相値に所定の位相値を加算し、加算後の各位相値を所定の角度範囲にラップすることによって、少なくとも２つの位相画像６０のうち少なくも一方の位相画像６０を生成する。従って、所定の角度範囲にラップされた各位相値を各画素値として有するとともに、位相飛びの位置が相互に異なる当該少なくとも２つの位相画像６０のうち当該少なくも一方の位相画像６０を容易に生成できる。また、当該画像生成装置によれば、当該少なくとも２つの位相画像６０間の位相差の設定に関する自由度を向上できる。
【０１１１】
また、本実施形態に係る画像生成装置によれば、検査用画像生成部１６は、少なくとも２つのエッジ画像７０の互いに同じ位置の各画素の各画素値に所定の選択規則を適用して当該各画素値のうち位相飛びに対応した画素値以外の画素値を選択することにより検査用画像８０を生成する。従って、少なくとも２つのエッジ画像７０から位相飛びに対応した画素値を除去して、欠陥部分を含む位相飛び以外の箇所に対応した画素値を選択することが容易となる。
【０１１２】
また、本実施形態に係る画像生成装置によれば、選択規則は、少なくとも２つのエッジ画像７０の互いに同じ位置の各画素の各画素値を比較して、当該各画素値のうち値の最も高い画素値を選択する規則である。従って、簡単な処理によって、少なくとも２つのエッジ画像７０から位相飛びに対応したエッジ領域を除去して、欠陥部分を含む位相飛び以外の箇所に対応した画素値を選択することができる。
【０１１３】
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【０１１４】
１００  画像生成装置（欠陥検査用画像の生成装置）
１３０  制御処理装置
３１  照明光源
３２  撮像装置
４１  照明光
４２  反射光
５０，５０ａ〜５０ｄ  輝度画像
６０，６０ａ，６０ｂ  位相画像
７０，７０ａ，７０ｂ  エッジ画像
８０，８０ａ，８０ｂ  検査用画像（欠陥検査用画像）
８  欠陥
９  対象物
【図１】
2018198828.tif 000006
【図２】
2018198828.tif 000007
【図３】
2018198828.tif 000008
【図４】
2018198828.tif 000009
【図５】
2018198828.tif 000010
【図６】
2018198828.tif 000011
【図７】
2018198828.tif 000012
【図８】
2018198828.tif 000013
【図９】
2018198828.tif 000014
【図１０】
2018198828.tif 000015
【図１１】
2018198828.tif 000016
【図１２】
2018198828.tif 000017
【図１３】
2018198828.tif 000018
【図１４】
2018198828.tif 000019
【図１５】
2018198828.tif 000020
【図１６】
2018198828.tif 000021
【図１７】
2018198828.tif 000022
【図１８】
2018198828.tif 000023
【図１９】
2018198828.tif 000024
【図２０】
2018198828.tif 000025
【国際調査報告】
2018198828.tif 000026
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