(57)【要約】  感光性樹脂組成物は、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素、を含有する。また、上記感光性樹脂組成物を用いた感光性転写材料、回路配線の製造方法、又は、タッチパネルの製造方法。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、
光酸発生剤、及び、
共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素、を含有する
感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記潜在性色素における前記極大吸収波長が、５５０ｎｍ以上である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記潜在性色素が、前記光酸発生剤から発生する酸により発色する潜在性色素である請求項１又は請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記光酸発生剤から生じる酸が、リン酸及びスルホン酸よりなる群から選ばれた少なくとも１種の酸である請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記光酸発生剤から発生する酸が、下記式Ｓ１又は式Ｓ２で表されるスルホン酸である請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【化１】
2019021622.tif 000031
式Ｓ１及び式Ｓ２中、ＲＳは、アルキル基を表し、ＬＳは、炭素数２以上のアルキレン基を表し、ｎｓは０又は１を表し、ただし、ＲＳがハロゲン原子を有するアルキル基である場合はｎが１であり、ＸＳはそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、アルコキシ基又はアリーロキシ基を表し、ｍｓは、０〜５の整数を表す。
【請求項６】
前記光酸発生剤から発生する酸のｐＫａが、−４．０以上である請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記光酸発生剤から発生する酸のｐＫａが、４．０以下である請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
塩基性化合物を更に含有する請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
溶剤を更に含有する請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記潜在性色素が、下記式Ｉで表される化合物である請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【化２】
2019021622.tif 000032
式Ｉ中、Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃはそれぞれ独立に、芳香族基を表し、ＸＣはＣ、Ｓ又はＳ＝Ｏを表し、Ｒ１Ｃ〜Ｒ４Ｃはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又は一価の有機基を表す。
【請求項１１】
前記式ＩにおけるＸＣが、Ｃである請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
前記カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位が、下記式ＩＩで表される構成単位である請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【化３】
2019021622.tif 000033
式ＩＩ中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、少なくともＲ１及びＲ２のいずれか一方が、アルキル基又はアリール基であり、Ｒ３はアルキル基又はアリール基を表し、Ｒ１又はＲ２と、Ｒ３とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表し、Ｘは単結合又はアリーレン基を表す。
【請求項１３】
仮支持体と、
感光性樹脂層とを有し、
前記感光性樹脂層が、請求項１〜請求項１２のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を含む
感光性転写材料。
【請求項１４】
基板に対し、請求項１３に記載の感光性転写材料の前記感光性樹脂層を前記基板に接触させて貼り合わせる工程と、
前記貼り合わせる工程後の前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、
前記露光する工程後の感光性樹脂層を現像してパターンを形成する工程と、
前記パターンが配置されていない領域における基板をエッチング処理する工程と、をこの順に含む
回路配線の製造方法。
【請求項１５】
基板に対し、請求項１３に記載の感光性転写材料の前記感光性樹脂層を前記基板に接触させて貼り合わせる工程と、
前記貼り合わせる工程後の前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、
前記露光する工程後の感光性樹脂層を現像してパターンを形成する工程と、
前記パターンが配置されていない領域における基板をエッチング処理する工程と、をこの順に含む
タッチパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、感光性樹脂組成物、感光性転写材料、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電容量型入力装置などのタッチパネルを備えた表示装置（有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置及び液晶表示装置など）では、視認部のセンサーに相当する電極パターン、周辺配線部分及び取り出し配線部分の配線などの導電性層パターンがタッチパネル内部に設けられている。
一般的にパターン化した層の形成には、必要とするパターン形状を得るための工程数が少ないといったことから、感光性転写材料を用いて任意の基板上に設けた感光性樹脂組成物の層に対して、所望のパターンを有するマスクを介して露光した後に現像する方法が広く使用されている。【０００３】
また、従来の感光性樹脂組成物としては、特開２００８−６４９０８号公報、特開２００４−５４１０６号公報、特開２００９−３０００号公報、又は、特開２００２−３４１５４４号公報に記載されたものが知られている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の一実施形態が解決しようとする課題は、感度に優れ、露光部及び未露光部の視認性に優れる感光性樹脂組成物を提供することである。
また、本発明の他の一実施形態が解決しようとする課題は、上記感光性樹脂組成物を用いた感光性転写材料、回路配線の製造方法、又は、タッチパネルの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための手段には、以下の態様が含まれる。
＜１＞  カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素、を含有する感光性樹脂組成物。
＜２＞  上記潜在性色素における上記極大吸収波長が、５５０ｎｍ以上である上記＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜３＞  上記潜在性色素が、上記光酸発生剤から発生する酸により発色する潜在性色素である上記＜１＞又は＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞  上記光酸発生剤から生じる酸が、リン酸及びスルホン酸よりなる群から選ばれた少なくとも１種の酸である上記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞  上記光酸発生剤から発生する酸が、下記式Ｓ１又は式Ｓ２で表されるスルホン酸である上記＜４＞に記載の感光性樹脂組成物。【０００６】
【化１】
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【０００７】
式Ｓ１及び式Ｓ２中、ＲＳは、アルキル基を表し、ＬＳは、炭素数２以上のアルキレン基を表し、ｎｓは０又は１を表し、ただし、ＲＳがハロゲン原子を有するアルキル基である場合はｎが１であり、ＸＳはそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、アルコキシ基又はアリーロキシ基を表し、ｍｓは、０〜５の整数を表す。【０００８】
＜６＞  上記光酸発生剤から発生する酸のｐＫａが、−４．０以上である上記＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞  上記光酸発生剤から発生する酸のｐＫａが、４．０以下である上記＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜８＞  塩基性化合物を更に含有する上記＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜９＞  溶剤を更に含有する上記＜１＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
＜１０＞  上記潜在性色素が、下記式Ｉで表される化合物である上記＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。【０００９】
【化２】
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【００１０】
式Ｉ中、Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃはそれぞれ独立に、芳香族基を表し、ＸＣはＣ、Ｓ又はＳ＝Ｏを表し、Ｒ１Ｃ〜Ｒ４Ｃはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又は一価の有機基を表す。【００１１】
＜１１＞  上記式ＩにおけるＸＣが、Ｃである上記＜１０＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜１２＞  上記カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位が、下記式ＩＩで表される構成単位である上記＜１＞〜＜１１＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。【００１２】
【化３】
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【００１３】
式ＩＩ中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、少なくともＲ１及びＲ２のいずれか一方が、アルキル基又はアリール基であり、Ｒ３はアルキル基又はアリール基を表し、Ｒ１又はＲ２と、Ｒ３とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表し、Ｘは単結合又はアリーレン基を表す。【００１４】
＜１３＞  仮支持体と、感光性樹脂層とを有し、上記感光性樹脂層が、上記＜１＞〜＜１２＞のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を含む感光性転写材料。
＜１４＞  基板に対し、上記＜１３＞に記載の感光性転写材料の上記感光性樹脂層を上記基板に接触させて貼り合わせる工程と、上記貼り合わせる工程後の上記感光性転写材料の上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記露光する工程後の感光性樹脂層を現像してパターンを形成する工程と、上記パターンが配置されていない領域における基板をエッチング処理する工程と、をこの順に含む回路配線の製造方法。
＜１５＞  基板に対し、上記＜１３＞に記載の感光性転写材料の上記感光性樹脂層を上記基板に接触させて貼り合わせる工程と、上記貼り合わせる工程後の上記感光性転写材料の上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記露光する工程後の感光性樹脂層を現像してパターンを形成する工程と、上記パターンが配置されていない領域における基板をエッチング処理する工程と、をこの順に含むタッチパネルの製造方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一実施形態によれば、感度に優れ、露光部及び未露光部の視認性に優れる感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明の他の一実施形態によれば、上記感光性樹脂組成物を用いた感光性転写材料、回路配線の製造方法、又は、タッチパネルの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本開示に係る感光性転写材料の層構成の一例を示す概略図である。
【図２】本開示に係る感光性転写材料を用いたタッチパネル用回路配線の製造方法の一例を示す概略図である。
【図３】パターンＡを示す概略図である。
【図４】パターンＢを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本開示の内容について説明する。なお、添付の図面を参照しながら説明するが、符号は省略する場合がある。
また、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、本明細書において、「（メタ）アクリル」はアクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、「（メタ）アクリレート」はアクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表す。
更に、本明細書において組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する該当する複数の物質の合計量を意味する。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
本開示において、「質量％」と「重量％」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本開示において、２以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
また、本開示における重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、特に断りのない限り、ＴＳＫｇｅｌ  ＧＭＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ  Ｇ４０００ＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ  Ｇ２０００ＨｘＬ（何れも東ソー（株）製の商品名）のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析装置により、溶媒ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
【００１８】
（感光性樹脂組成物）
本開示に係る感光性樹脂組成物は、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素、を含有する。
【００１９】
ドライフィルムレジストのレジスト層に用いられる感光性樹脂組成物には、露光部分の確認の観点から、露光部分の視認性が求められる。
一般的な発色剤としては、ＣＶＬ（クリスタルバイオレットラクトン）等の酸発色型のロイコ色素が知られているが、上記ＣＶＬは、分子内に３つジメチルアミノ基があり、塩基性が高い。そのため、発色は可能であるものの、光酸発生剤を使用するポジ型のレジストにおいては、酸分解性基の分解に必要な酸を中和してしまうため、パターニングがしにくかったり、又は感度が低くなるという問題があることを本発明者らは見出した。
また、ロイコ色素の塩基性を下げ感度を向上させるためには、ロイコ色素からのアミノ基の排除が考えられるが、それにより発色体の極大吸収波長が短波側にシフトし、露光部分の視認性が十分でないという問題があることを本発明者らは見出した。
【００２０】
これらの問題に対して、本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、上記構成の感光性樹脂組成物とすることにより、感度に優れ、露光部及び未露光部の視認性に優れる感光性樹脂組成物が得られることを見出した。
詳細な上記効果の発現機構は不明であるが、潜在性色素が共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であるものを用いることにより、感度が十分得られるとともに、上記潜在性色素における発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上であることにより、露光部及び未露光部の視認性も優れ、また、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体を含有することにより、感度及び視認性を両立できると本発明者らは推定している。
【００２１】
以下、本開示に係る感光性樹脂組成物について、詳細に説明する。
【００２２】
＜共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素＞
本開示に係る感光性樹脂組成物は、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素（以下、「特定潜在性色素」ともいう。）を含有する。
特定潜在性色素は、露光により発色する化合物であっても、露光により消色する化合物であってもよいが、感度及び視認性の観点から、露光により発色する化合物であることが好ましく、光酸発生剤から発生する酸により発色する潜在性色素であることがより好ましい。
【００２３】
特定潜在性色素は、共役酸のｐＫａ（「ｐＫａＨ」ともいう。）が４．５未満であるか、又は、共役酸を形成しない化合物である。
本発明における化合物の共役酸のｐＫａとは、化合物にＨ＋が結合して得られる化学種（共役酸）のｐＫａ（酸解離定数の負の常用対数）である。
また、特定潜在性色素が共役酸を形成しない化合物であるとは、特定潜在性色素にＨ＋が結合して得られる化学種（共役酸）よりもＨ＋が解離しているほうが安定な化合物であることをいう。
本開示における化合物等のｐＫａ（ｐＫａＨ）は、Advanced Chemistry Development社製ACD/Labs software Ver 8.0 for Microsoft windowsのACD/pka DB ver 8.07を使用して計算するものとする。
また、特定潜在性色素のｐＫａＨが、−３０以上であることが好ましく、−１０以上であることがより好ましい。
【００２４】
特定潜在性色素は、発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上であり、視認性の観点から、５５０ｎｍ以上であることが好ましく、５５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下であることがより好ましく、５５０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下であることが更に好ましい。
また、特定潜在性色素は、極大吸収波長を１つのみ有していてもよく、２つ以上有していてもよい。特定潜在性色素が極大吸収波長を２つ以上有する場合は、２つ以上の極大吸収波長のうち、吸光度の最も高い極大吸収波長が５００ｎｍ以上であればよい。
本開示における極大吸収波長の測定方法は、大気の雰囲気下で、２５℃にて分光光度計：ＵＶ３１００（（株）島津製作所製）を用いて、４００ｎｍ〜７８０ｎｍの範囲で透過スペクトルを測定し、光の強度が極小となる波長（極大吸収波長）を測定するものとする。
【００２５】
露光により発色する特定潜在性色素としては、例えば、ロイコ化合物が挙げられる。
また、露光により消色する特定潜在性色素としては、例えば、トリフェニルメタン系色素、ジフェニルメタン系色素、オキザジン系色素、キサンテン系色素、イミノナフトキノン系色素、アゾメチン系色素、アントラキノン系色素等が挙げられる。
中でも、特定潜在性色素としては、感度及び視認性の観点から、ロイコ化合物が好ましい。
ロイコ化合物としては、トリフェニルメタン系、スピロピラン系、フルオラン系、ジフェニルメタン系、ローダミンラクタム系、インドリルフタリド系、ロイコオーラミン系等のロイコ化合物が挙げられる。
また、ロイコ化合物としては、感度及び視認性の観点から、ラクトン環、スルチン環又はスルトン環が開環するものが好ましく、ラクトン環が開環して発色するロイコ化合物であることがより好ましい。
【００２６】
また、特定潜在性色素は、感度及び視認性の観点から、下記式Ｉで表される化合物であることが好ましい。
【００２７】
【化４】
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【００２８】
式Ｉ中、Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃはそれぞれ独立に、芳香族基を表し、ＸＣはＣ、Ｓ又はＳ＝Ｏを表し、Ｒ１Ｃ〜Ｒ４Ｃはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又は一価の有機基を表す。
【００２９】
Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃにおける芳香族基は、アリール基であっても、ヘテロアリール基であってもよく、また、単環の芳香族基であっても、２環以上が縮合した縮合環であってもよい。
また、Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃは、結合して環を形成してもよく、感度及び視認性の観点から、Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃが結合してキサンテン環を形成していることが好ましい。
Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃにおける芳香族基は、置換基を有していてもよい。
上記置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ジアルキルアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ジアリールアミノ基等が挙げられ、ジアルキルアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ジアリールアミノ基であることが好ましい。上記ジアルキルアミノ基及びアルキルアリールアミノ基におけるアルキル基はそれぞれ独立に、炭素数が２〜２０のアルキル基であることが好ましく、炭素数が２〜１０のアルキル基であることがより好ましい。また、上記ジアルキルアミノ基における２つのアルキル基のうち、少なくとも１つが炭素数３〜２０のアルキル基であることが好ましく、炭素数が３〜１０のアルキル基であることがより好ましい。
これらの置換基は、更に置換基により置換されていてもよい。
Ａｒ１Ｃ及びＡｒ２Ｃの総炭素数はそれぞれ独立に、感度及び視認性の観点から、４〜５０であることが好ましく、６〜４０であることがより好ましく、１０〜３０であることが更に好ましい。
【００３０】
ＸＣは、感度及び視認性の観点から、Ｃ又はＳ＝Ｏであることが好ましく、Ｃであることがより好ましい。
Ｒ１Ｃ〜Ｒ４Ｃにおける一価の有機基は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ジアルキルアミノ基、アルキルアリールアミノ基、又は、ジアリールアミノ基であることが好ましい。
また、Ｒ１Ｃ〜Ｒ４Ｃの炭素数はそれぞれ独立に、０〜２０であることが好ましく、０〜１０であることがより好ましい。
Ｒ１Ｃ〜Ｒ４Ｃはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、又は、アリーロキシ基であることが好ましく、水素原子、フッ素原子、塩素原子、アルキル基、又は、アリール基であることがより好ましく、水素原子であることが特に好ましい。
【００３１】
特定潜在性色素の好ましい具体例として、化合物Ｃ−１〜Ｃ−９を以下に記載するが、本開示における特定潜在性色素はこれらに限定されないことは言うまでもない。
【００３２】
【化５】
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【００３３】
【化６】
2019021622.tif 000008
【００３４】
【化７】
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【００３５】
【化８】
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【００３６】
【化９】
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【００３７】
特定潜在性色素は、１種単独で使用しても、２種以上を使用してもよい。
本開示に係る感光性樹脂組成物における特定潜在性色素の含有量は、感度及び視認性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、０．０１質量％〜１０質量％であることが好ましく、０．１質量％〜８質量％であることがより好ましく、０．５質量％〜５質量％であることが更に好ましく、１．０質量％〜３．０質量％であることが特に好ましい。
なお、本発明において、感光性樹脂組成物における「固形分」とは、溶剤の揮発性成分を除いた成分を意味する。
【００３８】
＜カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体＞
本開示に係る感光性樹脂組成物は、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位（「構成単位Ａ」ともいう。）を含有する重合体（「特定重合体」ともいう。）を含有する。
また、本開示に係る感光性樹脂組成物は、構成単位Ａを有する重合体に加え、他の重合体を含んでいてもよい。本開示においては、構成単位Ａを有する重合体及び他の重合体をあわせて、「重合体成分」ともいう。
上記特定重合体は、露光により生じる触媒量の酸性物質の作用により、特定重合体中の酸分解性で保護されたカルボン酸基を有する構成単位Ａが脱保護反応を受けカルボン酸基となる。この酸基により、硬化反応が可能となる。
以下に構成単位Ａの好ましい態様について説明する。
【００３９】
上記感光性樹脂組成物は、更に、酸分解性で保護された酸基を有する構成単位を有する重合体以外の重合体を含んでいてもよい。
また、上記重合体成分に含まれる全ての重合体がそれぞれ、後述するカルボン酸基を有する構成単位を少なくとも有する重合体であることが好ましい。
また、上記感光性樹脂組成物は、更に、これら以外の重合体を含んでいてもよい。本開示における上記重合体成分は、特に述べない限り、必要に応じて添加される他の重合体を含めたものを意味するものとする。なお、後述する可塑剤、ヘテロ環状化合物及び界面活性剤に該当する化合物は、高分子化合物であっても、上記重合体成分に含まないものとする。
【００４０】
特定重合体は、付加重合型の樹脂であることが好ましく、（メタ）アクリル酸又はそのエステルに由来する構成単位を有する重合体であることがより好ましい。なお、（メタ）アクリル酸又はそのエステルに由来する構成単位以外の構成単位、例えば、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位等を有していてもよい。
【００４１】
上記感光性樹脂組成物は、パターン形状の形成性、現像液への溶解性及び転写性の観点から、重合体成分として、上記構成単位Ａとして下記式ＩＩで表される構成単位Ａ１を有する重合体を含むことが好ましく、重合体成分として、上記構成単位Ａとして下記式ＩＩで表される構成単位Ａ１を有し、かつガラス転移温度が９０℃以下である特定重合体を含むことが好ましく、重合体成分として、上記構成単位Ａとして下記式ＩＩで表される構成単位Ａ１、及び、後述するカルボン酸基を有する構成単位Ｂを有し、かつガラス転移温度が９０℃以下である特定重合体を含むことが更に好ましい。
上記感光性樹脂組成物に含まれる特定重合体は、１種のみであっても、２種以上であってもよい。
【００４２】
＜＜構成単位Ａ＞＞
上記重合体成分は、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位Ａを少なくとも有する重合体を含む。上記重合体成分が構成単位Ａを有する重合体を含むことにより、極めて高感度な化学増幅ポジ型の感光性樹脂層とすることができる。
本開示における「カルボン酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸分解性基として公知のものを使用でき、特に限定されない。酸分解性基としては、酸により比較的分解し易い基（例えば、後述する式ＩＩで表される基で保護されたエステル基、テトラヒドロピラニルエステル基、又は、テトラヒドロフラニルエステル基等のアセタール系官能基）や酸により比較的分解し難い基（例えば、ｔｅｒｔ−ブチルエステル基等の第三級アルキル基、ｔｅｒｔ−ブチルカーボネート基等の第三級アルキルカーボネート基）を用いることができる。
これらの中でも、上記酸分解性基としては、アセタールの形で保護された構造を有する基であることが好ましい。
【００４３】
上記カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位Ａは、感度及び解像度の観点から、下記式ＩＩで表される構成単位Ａ１であることが好ましい。
【００４４】
【化１０】
2019021622.tif 000012
【００４５】
式ＩＩ中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、少なくともＲ１及びＲ２のいずれか一方が、アルキル基又はアリール基であり、Ｒ３はアルキル基又はアリール基を表し、Ｒ１又はＲ２と、Ｒ３とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表し、Ｘは単結合又はアリーレン基を表す。
【００４６】
式ＩＩ中、Ｒ１又はＲ２がアルキル基の場合、炭素数は１〜１０のアルキル基が好ましい。Ｒ１又はＲ２がアリール基の場合、フェニル基が好ましい。Ｒ１及びＲ２は、それぞれ、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基が好ましい。
式ＩＩ中、Ｒ３は、アルキル基又はアリール基を表し、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましく、炭素数１〜６のアルキル基がより好ましい。
また、Ｒ１〜Ｒ３におけるアルキル基及びアリール基は、置換基を有していてもよい。
式ＩＩ中、Ｒ１又はＲ２と、Ｒ３とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ１又はＲ２と、Ｒ３とが連結して環状エーテルを形成することが好ましい。環状エーテルの環員数は特に制限はないが、５又は６であることが好ましく、５であることがより好ましい。
式ＩＩ中、Ｘは単結合又はアリーレン基を表し、単結合が好ましい。アリーレン基は、置換基を有していてもよい。
特定重合体が式ＩＩで表される構成単位Ａ１を含むことで、パターン形成時の感度に優れ、また、解像度より優れる。
【００４７】
式ＩＩ中、Ｒ４は水素原子又はメチル基を表し、特定重合体のＴｇをより低くし得るという観点から、水素原子であることが好ましい。
より具体的には、特定重合体に含まれる構成単位Ａ１の全量に対し、式ＩＩにおけるＲ４が水素原子である構成単位は２０質量％以上であることが好ましい。
なお、構成単位Ａ１中の、式ＩＩにおけるＲ４が水素原子である構成単位の含有量（含有割合：質量比）は、１３Ｃ−核磁気共鳴スペクトル（ＮＭＲ）測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認することができる。
【００４８】
式ＩＩで表される構成単位Ａ１の中でも、下記式Ａ２で表される構成単位が、パターン形成時の感度を更に高める観点からより好ましい。
【００４９】
【化１１】
2019021622.tif 000013
【００５０】
式Ａ２中、Ｒ３４は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ３５〜Ｒ４１はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。
式Ａ２中、Ｒ３４は水素原子が好ましい。
式Ａ２中、Ｒ３５〜Ｒ４１は、水素原子が好ましい。
【００５１】
式ＩＩで表される、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位Ａ１の好ましい具体例としては、下記の構成単位が例示できる。なお、Ｒ３４は水素原子又はメチル基を表す。
【００５２】
【化１２】
2019021622.tif 000014
【００５３】
特定重合体に含まれる構成単位Ａは、１種であっても、２種以上であってもよい。
特定重合体における構成単位Ａの含有量は、特定重合体の全質量に対して、２０質量％以上であることが好ましく、２０質量％〜９０質量％であることがより好ましく、３０質量％〜７０質量％であることが更に好ましい。
特定重合体における構成単位Ａの含有量（含有割合：質量比）は、１３Ｃ−ＮＭＲ測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認することができる。
また、全ての重合体成分を構成単位（モノマー単位）に分解したうえで、構成単位Ａの割合は、重合体成分の全質量に対して、５質量％〜８０質量％であることが好ましく、１０質量％〜８０質量％であることがより好ましく、１０質量％〜４０質量％であることが更に好ましく、１０質量％〜３０質量％であることが特に好ましい。
【００５４】
＜＜構成単位Ｂ＞＞
上記特定重合体は、カルボン酸基を有する構成単位Ｂを含むことが好ましい。
構成単位Ｂは、保護基、例えば、酸分解性基で保護されていないカルボン酸基、すなわち、保護基を有さないカルボン酸基を含む構成単位である。特定重合体が構成単位Ｂを含むことで、パターン形成時の感度が良好となり、パターン露光後の現像工程においてアルカリ性の現像液に溶けやすくなり、現像時間の短縮化を図ることができる。
【００５５】
特定重合体へのカルボン酸基を有する構成単位の導入は、カルボン酸基を有するモノマーを共重合させることで行うことができる。
構成単位Ｂである、カルボン酸基を含む構成単位は、スチレンに由来する構成単位若しくはビニル化合物に由来する構成単位に対してカルボン酸基が置換した構成単位、又は、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位であることがより好ましい。
【００５６】
特定重合体に含まれる構成単位Ｂは、１種のみであっても、２種以上であってもよい。
特定重合体は、特定重合体の全質量に対し、カルボン酸基を有する構成単位（構成単位Ｂ）を０．１質量％〜２０質量％含むことが好ましく、０．５質量％〜１５質量％含むことがより好ましく、１質量％〜１０質量％含むことが更に好ましい。上記範囲であると、パターン形成性がより良好となる。
特定重合体における構成単位Ｂの含有量（含有割合：質量比）は、１３Ｃ−ＮＭＲ測定から常法により算出されるピーク強度の強度比により確認することができる。
【００５７】
＜＜その他の構成単位＞＞
特定重合体は、既述の構成単位Ａ及び構成単位Ｂ以外の、他の構成単位（以下、構成単位Ｃと称することがある。）を、本開示に係る感光性転写材料の効果を損なわない範囲で含んでいてもよい。
構成単位Ｃを形成するモノマーとしては、特に制限はなく、例えば、スチレン類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステル、不飽和ジカルボン酸ジエステル、ビシクロ不飽和化合物、マレイミド化合物、不飽和芳香族化合物、共役ジエン系化合物、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和ジカルボン酸無水物、脂肪族環式骨格を有する基、その他の不飽和化合物を挙げることができる。
構成単位Ｃを用いて、種類及び含有量の少なくともいずれかを調整することで、特定重合体の諸特性を調整することができる。特に、構成単位Ｃを適切に使用することで、特定重合体のＴｇを９０℃以下に容易に調整することができる。
特定重合体は、構成単位Ｃを１種のみ含んでもよく、２種以上含んでいてもよい。
【００５８】
構成単位Ｃは、具体的には、スチレン、ｔｅｒｔ−ブトキシスチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、メトキシスチレン、エトキシスチレン、クロロスチレン、ビニル安息香酸メチル、ビニル安息香酸エチル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、アクリロニトリル、又は、エチレングリコールモノアセトアセテートモノ（メタ）アクリレートなどを重合して形成される構成単位を挙げることができる。その他、特開２００４−２６４６２３号公報の段落００２１〜段落００２４に記載の化合物を挙げることができる。
【００５９】
また、構成単位Ｃとしては、芳香環を有する構成単位、又は、脂肪族環式骨格を有する構成単位が、得られる転写材料の電気特性を向上させる観点で好ましい。これら構成単位を形成するモノマーとして、具体的には、スチレン、ｔｅｒｔ−ブトキシスチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレン、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、及び、ベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。中でも、構成単位Ｃとしては、シクロヘキシル（メタ）アクリレート由来の構成単位が好ましく挙げられる。
【００６０】
また、構成単位Ｃを形成するモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが、密着性の観点で好ましい。中でも、炭素数４〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが密着性の観点でより好ましい。具体的には、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、及び、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルが挙げられる。
【００６１】
構成単位Ｃの含有量は、特定重合体の全質量に対し、７０質量％以下が好ましく、６０質量％以下がより好ましく、５０質量％以下が更に好ましい。下限値としては、０質量％でもよいが、１質量％以上であることが好ましく、５質量％以上であることがより好ましい。上記範囲であると、解像度及び感光性樹脂組成物により形成される感光性樹脂層の密着性がより向上する。
【００６２】
特定重合体が、構成単位Ｃとして、上記構成単位Ｂにおける酸基のエステルを有する構成単位を含むことも、現像液に対する溶解性、及び、後述する感光性樹脂層の物理物性を最適化する観点から好ましい。
中でも、特定重合体は、構成単位Ｂとして、カルボン酸基を有する構成単位を含み、更に、カルボン酸エステル基を含む構成単位Ｃを共重合成分として含むことが好ましく、例えば、（メタ）アクリル酸由来の構成単位Ｂと、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル又は（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル由来の構成単位（ｃ）とを含む重合体がより好ましい。
以下、本開示における特定重合体の好ましい例を挙げるが、本開示は以下の例示に限定されない。なお、下記例示化合物における構成単位の比率、重量平均分子量は、好ましい物性を得るために適宜選択される。
【００６３】
【化１３】
2019021622.tif 000015
【００６４】
＜＜重合体のガラス転移温度：Ｔｇ＞＞
本開示における特定重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）は、９０℃以下であることが好ましい。Ｔｇが９０℃以下であることで、感光性樹脂組成物により形成される感光性樹脂層は高い密着性を有し、転写性により優れる。
上記Ｔｇは、６０℃以下であることがより好ましく、４０℃以下であることが更に好ましい。
また、上記Ｔｇの下限値には特に制限はないが、−２０℃以上が好ましく、−１０℃以上がより好ましい。特定重合体のＴｇが−２０℃以上であることで、良好なパターン形成性が維持され、また、例えば、カバーフィルムを用いる場合、カバーフィルムを剥離する際の剥離性低下が抑制される。
更に、本開示における上記重合体成分全体のガラス転移温度（Ｔｇ）は、転写性の観点から、９０℃以下であることが好ましく、６０℃以下であることがより好ましく、４０℃以下であることが更に好ましい。
【００６５】
重合体のガラス転移温度は、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）を用いて測定することができる。
具体的な測定方法は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２１（１９８７年）又はＪＩＳ  Ｋ  ６２４０（２０１１年）に記載の方法に順じて行なった。本明細書におけるガラス転移温度は、補外ガラス転移開始温度（以下、Ｔｉｇと称することがある）を用いている。
ガラス転移温度の測定方法をより具体的に説明する。
ガラス転移温度を求める場合、予想される重合体のＴｇより約５０℃低い温度にて装置が安定するまで保持した後、加熱速度：２０℃／分で、ガラス転移が終了した温度よりも約３０℃高い温度まで加熱し，ＤＴＡ曲線又はＤＳＣ曲線を描かせる。
補外ガラス転移開始温度（Ｔｉｇ）、すなわち、本明細書におけるガラス転移温度Ｔｇは、ＤＴＡ曲線又はＤＳＣ曲線における低温側のベースラインを高温側に延長した直線と、ガラス転移の階段状変化部分の曲線の勾配が最大になる点で引いた接線との交点の温度として求める。
【００６６】
重合体のＴｇを、既述の好ましい範囲に調整する方法としては、例えば、目的とする重合体の各構成単位の単独重合体のＴｇと各構成単位の質量比より、ＦＯＸ式を指針にして、目的とする特定重合体のＴｇを制御することが可能である。
ＦＯＸ式について
重合体に含まれる第１の構成単位の単独重合体のＴｇをＴｇ１、第１の構成単位の共重合体における質量分率をＷ１とし、第２の構成単位の単独重合体のＴｇをＴｇ２とし、第２の構成単位の共重合体における質量分率をＷ２としたときに、第１の構成単位と第２の構成単位とを含む共重合体のＴｇ０（Ｋ）は、以下の式にしたがって推定することが可能である。
ＦＯＸ式：１／Ｔｇ０＝（Ｗ１／Ｔｇ１）＋（Ｗ２／Ｔｇ２）
既述のＦＯＸ式を用いて、共重合体に含まれる各構成単位の種類と質量分率を調整して、所望のＴｇを有する共重合体を得ることができる。
また、重合体の重量平均分子量を調整することにより、重合体のＴｇを調整することも可能である。
【００６７】
＜＜重合体の分子量：Ｍｗ＞＞
特定重合体の分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、６０，０００以下であることが好ましい。特定重合体の重量平均分子量が６０，０００以下であることで、後述する感光性転写材料における感光性樹脂層の溶融粘度を低く抑え、基板と貼り合わせる際において低温（例えば１３０℃以下）での貼り合わせを実現することができる。
また、特定重合体の重量平均分子量は、２，０００〜６０，０００であることが好ましく、３，０００〜５０，０００であることがより好ましく、１０，０００〜３０，０００であることが更に好ましい。
なお、重合体の重量平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）によって測定することができ、測定装置としては、様々な市販の装置を用いることができ、装置の内容、及び、測定技術は同当業者に公知である。
ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）による重量平均分子量の測定は、測定装置として、ＨＬＣ（登録商標）−８２２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）を用い、カラムとして、ＴＳＫｇｅｌ（登録商標）Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｍ（４．６ｍｍＩＤ×１５ｃｍ、東ソー（株）製）、Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００（４．６ｍｍＩＤ×１５ｃｍ、東ソー（株）製）、Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ３０００（４．６ｍｍＩＤ×１５ｃｍ、東ソー（株）製）、Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００（４．６ｍｍＩＤ×１５ｃｍ、東ソー（株）製）をそれぞれ１本、直列に連結したものを用い、溶離液として、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）を用いることができる。
また、測定条件としては、試料濃度を０．２質量％、流速を０．３５ｍｌ／ｍｉｎ、サンプル注入量を１０μｌ、及び測定温度を４０℃とし、示差屈折率（ＲＩ）検出器を用いて行うことができる。
検量線は、東ソー（株）製の「標準試料ＴＳＫ  ｓｔａｎｄａｒｄ，ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ」：「Ｆ−４０」、「Ｆ−２０」、「Ｆ−４」、「Ｆ−１」、「Ａ−５０００」、「Ａ−２５００」及び「Ａ−１０００」の７サンプルのいずれかを用いて作製できる。
【００６８】
特定重合体の数平均分子量と重量平均分子量との比（分散度）は、１．０〜５．０が好ましく、１．０５〜３．５がより好ましい。
【００６９】
＜＜特定重合体の製造方法＞＞
特定重合体の製造方法（合成法）は特に限定されないが、一例を挙げると、式ＩＩで表される構成単位Ａ１を形成するための重合性単量体、カルボン酸基を有する構成単位Ｂを形成するための重合性単量体、更に必要に応じて、その他の構成単位Ｃを形成するための重合性単量体を含む溶剤中、重合開始剤を用いて重合することにより合成することができる。また、いわゆる高分子反応で合成することもできる。
【００７０】
本開示に係る感光性樹脂組成物は、感度及び解像性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、特定重合体を５０質量％〜９９．９質量％の割合で含むことが好ましく、７０質量％〜９８質量％の割合で含むことがより好ましい。
また、本開示に係る感光性樹脂組成物は、感度及び解像性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、上記重合体成分を５０質量％〜９９．９質量％の割合で含むことが好ましく、７０質量％〜９８質量％の割合で含むことがより好ましい。
【００７１】
＜＜他の重合体＞＞
上記感光性樹脂組成物は、重合体成分として、特定重合体に加え、本開示に係る感光性樹脂組成物の効果を損なわない範囲において、構成単位Ａを含まない重合体（「他の重合体」と称する場合がある。）を更に含んでいてもよい。上記感光性樹脂組成物が他の重合体を含む場合、他の重合体の配合量は、全重合体成分中、５０質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましく、２０質量％以下であることが更に好ましい。
【００７２】
上記感光性樹脂組成物は、特定重合体に加え、他の重合体を１種類のみ含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。
他の重合体として、例えばポリヒドロキシスチレンを用いることができ、市販されている、ＳＭＡ  １０００Ｐ、ＳＭＡ  ２０００Ｐ、ＳＭＡ  ３０００Ｐ、ＳＭＡ  １４４０Ｆ、ＳＭＡ  １７３５２Ｐ、ＳＭＡ  ２６２５Ｐ、及び、ＳＭＡ  ３８４０Ｆ（以上、サートマー社製）、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３０００、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３５１０、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３９００、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３９１０、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３９２０、及び、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３０８０（以上、東亞合成（株）製）、並びに、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ６９０、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ６７８、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ６７、及び、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ５８６（以上、ＢＡＳＦ社製）等を用いることもできる。
【００７３】
＜光酸発生剤＞
本開示に係る感光性樹脂組成物は、光酸発生剤を含有する。
本開示で使用される光酸発生剤としては、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、及び、荷電粒子線等の放射線を照射することにより酸を発生することができる化合物である。
本開示で使用される光酸発生剤としては、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００ｎｍ〜４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造は制限されない。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。
本開示で使用される光酸発生剤から発生する酸のｐＫａは、感度及び視認性の観点から、４．０以下であることが好ましく、３．０以下であることがより好ましく、２．０以下であることが更に好ましく、−１．０以下であることが特に好ましい。光酸発生剤から発生する酸のｐＫａの下限値は特に定めないが、例えば、−１０．０以上であることが好ましく、感度及び視認性の観点から、−４．０以上であることがより好ましく、−３．５以上が更に好ましく、−３．０以上が特に好ましい。
【００７４】
また、上記光酸発生剤から発生する酸が、感度及び視認性の観点から、リン酸及びスルホン酸よりなる群から選ばれた少なくとも１種の酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましく、下記式Ｓ１又は式Ｓ２で表されるスルホン酸であることが更に好ましい。
【００７５】
【化１４】
2019021622.tif 000016
【００７６】
式Ｓ１及び式Ｓ２中、ＲＳは、アルキル基を表し、ＬＳは、炭素数２以上のアルキレン基を表し、ｎｓは０又は１を表し、ただし、ＲＳがハロゲン原子を有するアルキル基である場合はｎが１であり、ＸＳはそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、アルコキシ基又はアリーロキシ基を表し、ｍｓは、０〜５の整数を表す。
【００７７】
ＲＳにおけるアルキル基は、置換基を有していてもよい。
上記置換基としては、ハロゲン原子、アリール基、アルコキシ基、及び、アリーロキシ基等が挙げられる。
ＲＳにおけるアルキル基の炭素数は、１〜２０であることが好ましく、２〜１６であることがより好ましい。
ＬＳは、炭素数２〜２０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数２〜８のアルキレン基であることがより好ましく、エチレン基であることが特に好ましい。
ＸＳはそれぞれ独立に、アルキル基であることが好ましく、炭素数１〜２０のアルキル基であることがより好ましく、炭素数１〜８のアルキル基であることが更に好ましく、メチル基であることが特に好ましい。
ｍｓは、０〜３の整数であることが好ましく、０又は１であることがより好ましく、１であることが特に好ましい。
【００７８】
光酸発生剤としては、イオン性光酸発生剤と、非イオン性光酸発生剤とを挙げることができる。
また、光酸発生剤としては、感度及び解像度の観点から、後述するオニウム塩化合物、及び、後述するオキシムスルホネート化合物よりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物を含むことが好ましく、オキシムスルホネート化合物を含むことがより好ましい。
【００７９】
非イオン性光酸発生剤の例として、トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及び、オキシムスルホネート化合物などを挙げることができる。これらの中でも、感度、解像度、及び、密着性の観点から、光酸発生剤がオキシムスルホネート化合物であることが好ましい。これら光酸発生剤は、１種単独又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、及び、ジアゾメタン誘導体の具体例としては、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落００８３〜段落００８８に記載の化合物が例示できる。
【００８０】
オキシムスルホネート化合物、すなわち、オキシムスルホネート構造を有する化合物としては、下記式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を有する化合物が好ましい。
【００８１】
【化１５】
2019021622.tif 000017
【００８２】
式（Ｂ１）中、Ｒ２１は、アルキル基又はアリール基を表し、＊は他の原子又は他の基との結合部位を表す。
【００８３】
式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を有する化合物は、いずれの基も置換されてもよく、Ｒ２１におけるアルキル基は、直鎖状であっても、分岐構造を有していても、環構造を有していてもよい。許容される置換基は以下に説明する。
Ｒ２１のアルキル基としては、炭素数１〜１０の、直鎖状又は分岐状アルキル基が好ましい。Ｒ２１のアルキル基は、炭素数６〜１１のアリール基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、シクロアルキル基（７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）、又は、ハロゲン原子で置換されてもよい。
Ｒ２１のアリール基としては、炭素数６〜１８のアリール基が好ましく、フェニル基又はナフチル基がより好ましい。Ｒ２１のアリール基は、炭素数１〜４のアルキル基、アルコキシ基及びハロゲン原子よりなる群から選ばれた１つ以上の基で置換されてもよい。
【００８４】
また、式（Ｂ１）で表されるオキシムスルホネート構造を有する化合物としては、特開２０１４−８５６４３号公報の段落００７８〜０１１１に記載のオキシムスルホネート化合物、又は、特開２０１５−１５１３４７号公報の段落００８０〜００８１に記載の化合物が挙げられる。
【００８５】
イオン性光酸発生剤の例として、ジアリールヨードニウム塩類及びトリアリールスルホニウム塩類等のオニウム塩化合物、第四級アンモニウム塩類等を挙げることができる。これらのうち、オニウム塩化合物が好ましく、トリアリールスルホニウム塩類及びジアリールヨードニウム塩類が特に好ましい。
【００８６】
イオン性光酸発生剤としては特開２０１４−８５６４３号公報の段落０１１４〜０１３３に記載のイオン性光酸発生剤も好ましく用いることができる。
【００８７】
光酸発生剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
上記感光性樹脂組成物における光酸発生剤の含有量は、感度、解像度の観点から、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．１質量％〜１０質量％であることが好ましく、０．５質量％〜５質量％であることがより好ましい。
【００８８】
＜塩基性化合物＞
本開示に係る感光性樹脂組成物は、塩基性化合物を更に含有することが好ましい。
塩基性化合物としては、化学増幅レジストで用いられる塩基性化合物の中から任意に選択して使用することができる。例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、及び、カルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの具体例としては、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落０２０４〜段落０２０７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００８９】
具体的には、脂肪族アミンとしては、例えば、トリメチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジシクロヘキシルアミン、及び、ジシクロヘキシルメチルアミンなどが挙げられる。
芳香族アミンとしては、例えば、アニリン、ベンジルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、及び、ジフェニルアミンなどが挙げられる。
複素環式アミンとしては、例えば、ピリジン、２−メチルピリジン、４−メチルピリジン、２−エチルピリジン、４−エチルピリジン、２−フェニルピリジン、４−フェニルピリジン、Ｎ−メチル−４−フェニルピリジン、４−ジメチルアミノピリジン、イミダゾール、ベンズイミダゾール、４−メチルイミダゾール、２−フェニルベンズイミダゾール、２，４，５−トリフェニルイミダゾール、ニコチン、ニコチン酸、ニコチン酸アミド、キノリン、８−オキシキノリン、ピラジン、ピラゾール、ピリダジン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、４−メチルモルホリン、シクロヘキシルモルホリノエチルチオウレア（ＣＭＴＵ）、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノネン、及び、１，８−ジアザビシクロ［５．３．０］−７−ウンデセンなどが挙げられる。
第四級アンモニウムヒドロキシドとしては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムヒドロキシド、及び、テトラ−ｎ−ヘキシルアンモニウムヒドロキシドなどが挙げられる。
カルボン酸の第四級アンモニウム塩としては、例えば、テトラメチルアンモニウムアセテート、テトラメチルアンモニウムベンゾエート、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムアセテート、及び、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムベンゾエートなどが挙げられる。
【００９０】
上記塩基性化合物は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。
塩基性化合物の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０．００１質量％〜５質量％であることが好ましく、０．００５質量％〜３質量％であることがより好ましい。
【００９１】
＜溶剤＞
本開示に係る感光性樹脂組成物は、溶剤を更に含有することが好ましい。
また、上記感光性樹脂組成物は、後述する感光性樹脂層を容易に形成するため、一旦溶剤を含有させて感光性樹脂組成物の粘度を調節し、溶剤を含む感光性樹脂組成物を塗布及び乾燥して、感光性樹脂層を好適に形成することができる。
本開示に使用される溶剤としては、公知の溶剤を用いることができる。溶剤としては、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、エステル類、ケトン類、アミド類、及び、ラクトン類等が例示できる。また、溶剤の具体例としては特開２０１１−２２１４９４号公報の段落０１７４〜段落０１７８に記載の溶剤も挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００９２】
また、既述の溶剤に、更に必要に応じて、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナール、ベンジルアルコール、アニソール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、炭酸エチレン、又は、炭酸プロピレン等の溶剤を添加することもできる。
溶剤は、１種のみ用いてもよく、２種以上を使用してもよい。
本開示に用いることができる溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種を併用することがより好ましい。溶剤を２種以上使用する場合には、例えば、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類とジアルキルエーテル類との併用、ジアセテート類とジエチレングリコールジアルキルエーテル類との併用、又は、エステル類とブチレングリコールアルキルエーテルアセテート類との併用が好ましい。
【００９３】
また、溶剤としては、沸点１３０℃以上１６０℃未満の溶剤、沸点１６０℃以上の溶剤、又は、これらの混合物であることが好ましい。
沸点１３０℃以上１６０℃未満の溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４６℃）、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート（沸点１５８℃）、プロピレングリコールメチル−ｎ−ブチルエーテル（沸点１５５℃）、及び、プロピレングリコールメチル−ｎ−プロピルエーテル（沸点１３１℃）が例示できる。
沸点１６０℃以上の溶剤としては、３−エトキシプロピオン酸エチル（沸点１７０℃）、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル（沸点１７６℃）、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート（沸点１６０℃）、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（沸点２１３℃）、３−メトキシブチルエーテルアセテート（沸点１７１℃）、ジエチレングリコールジエチエルエーテル（沸点１８９℃）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（沸点１６２℃）、プロピレングリコールジアセテート（沸点１９０℃）、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（沸点２２０℃）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（沸点１７５℃）、及び、１，３−ブチレングリコールジアセテート（沸点２３２℃）が例示できる。
【００９４】
感光性樹脂組成物を塗布する際における溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物中の全固形分１００質量部あたり、５０質量部〜１，９００質量部であることが好ましく、１００質量部〜９００質量部であることがより好ましい。
また、後述する上記感光性樹脂層における溶剤の含有量は、感光性樹脂層の全質量に対し、２質量％以下であることが好ましく、１質量％以下であることがより好ましく、０．５質量％以下であることが更に好ましい。
【００９５】
＜その他の添加剤＞
本開示に係る感光性樹脂組成物は、特定潜在性色素、特定重合体及び光酸発生剤等の上記各成分に加え、必要に応じて公知の添加剤を含むことができる。
【００９６】
−可塑剤−
本開示に係る感光性樹脂組成物は、可塑性を改良する目的で、可塑剤を含有してもよい。
上記可塑剤は、特定重合体よりも重量平均分子量が小さいことが好ましい。
可塑剤の重量平均分子量は、可塑性付与の観点から５００以上１０，０００未満が好ましく、７００以上５，０００未満がより好ましく、８００以上４，０００未満が更に好ましい。
可塑剤は、特定重合体と相溶して可塑性を発現する化合物であれば特に限定されないが、可塑性付与の観点から、可塑剤は、分子中にアルキレンオキシ基を有することが好ましい。可塑剤に含まれるアルキレンオキシ基は下記構造を有することが好ましい。
【００９７】
【化１６】
2019021622.tif 000018
【００９８】
上記式中、Ｒは炭素数２〜８のアルキル基であり、ｎは１〜５０の整数を表し、＊は他の原子との結合部位を表す。
【００９９】
なお、例えば、上記構造のアルキレンオキシ基を有する化合物（「化合物Ｘ」とする。）であっても、化合物Ｘ、特定潜在性色素、特定重合体及び光酸発生剤を混合して得た化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物が、化合物Ｘを含まずに形成した化学増幅ポジ型感光性樹脂組成物に比べて可塑性が向上しない場合は、本開示における可塑剤には該当しない。例えば、任意に添加される界面活性剤は、一般に感光性樹脂組成物に可塑性をもたらす量で使用されることはないため、本明細書における可塑剤には該当しない。
【０１００】
上記可塑剤としては、例えば、下記構造を有する化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【０１０１】
【化１７】
2019021622.tif 000019
【０１０２】
可塑剤の含有量は、感光性樹脂組成物により形成される感光性樹脂層の密着性の観点から、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対して、１質量％〜５０質量％であることが好ましく、２質量％〜２０質量％であることがより好ましい。
上記感光性樹脂組成物は、可塑剤を１種のみを含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。
【０１０３】
−増感剤−
本開示に係る感光性樹脂組成物は、増感剤を更に含むことができる。
増感剤は、活性光線を吸収して電子励起状態となる。電子励起状態となった増感剤は、光酸発生剤と接触して、電子移動、エネルギー移動、及び、発熱などの作用が生じる。これにより光酸発生剤は化学変化を起こして分解し、酸を生成する。
増感剤を含有させることで、露光感度を向上させることができる。
【０１０４】
増感剤としては、アントラセン誘導体、アクリドン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、ベーススチリル誘導体、及び、ジスチリルベンゼン誘導体よりなる群からえらばれた化合物が好ましく、アントラセン誘導体がより好ましい。
アントラセン誘導体としては、アントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジクロロアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９−ヒドロキシメチルアントラセン、９−ブロモアントラセン、９−クロロアントラセン、９，１０−ジブロモアントラセン、２−エチルアントラセン、又は、９，１０−ジメトキシアントラセンが好ましい。
【０１０５】
上記増感剤としては、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落０１３９〜段落０１４１に記載の化合物を挙げることができる。
【０１０６】
増感剤の含有量は、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対して、０質量％〜１０質量％であることが好ましく、０．１質量％〜１０質量％であることがより好ましい。
【０１０７】
−ヘテロ環状化合物−
本開示に係る感光性樹脂組成物は、ヘテロ環状化合物を含むことができる。
本開示におけるヘテロ環状化合物には、特に制限はない。例えば、以下に述べる分子内にエポキシ基又はオキセタニル基を有する化合物、アルコキシメチル基含有ヘテロ環状化合物、その他、各種環状エーテル、環状エステル（ラクトン）などの含酸素モノマー、環状アミン、オキサゾリンといった含窒素モノマー、更には珪素、硫黄、リンなどのｄ電子をもつヘテロ環モノマー等を添加することができる。
【０１０８】
感光性樹脂組成物中におけるヘテロ環状化合物の含有量は、ヘテロ環状化合物を添加する場合には、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対し、０．０１質量％〜５０質量％であることが好ましく、０．１質量％〜１０質量％であることがより好ましく、１質量％〜５質量％であることが更に好ましい。上記範囲であると、密着性及びエッチング耐性の観点で好ましい。ヘテロ環状化合物は１種のみを用いてもよく、２種以上を併用することもできる。
【０１０９】
分子内にエポキシ基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂等を挙げることができる。
【０１１０】
分子内にエポキシ基を有する化合物は市販品として入手できる。例えば、ＪＥＲ８２８、ＪＥＲ１００７、ＪＥＲ１５７Ｓ７０（三菱化学（株）製）、ＪＥＲ１５７Ｓ６５（（株）三菱ケミカルホールディングス製）など、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落０１８９に記載の市販品などが挙げられる。
その他の市販品として、ＡＤＥＫＡ  ＲＥＳＩＮ  ＥＰ−４０００Ｓ、同ＥＰ−４００３Ｓ、同ＥＰ−４０１０Ｓ、同ＥＰ−４０１１Ｓ（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＮＣ−２０００、ＮＣ−３０００、ＮＣ−７３００、ＸＤ−１０００、ＥＰＰＮ−５０１、ＥＰＰＮ−５０２（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、デナコールＥＸ−６１１、ＥＸ−６１２、ＥＸ−６１４、ＥＸ−６１４Ｂ、ＥＸ−６２２、ＥＸ−５１２、ＥＸ−５２１、ＥＸ−４１１、ＥＸ−４２１、ＥＸ−３１３、ＥＸ−３１４、ＥＸ−３２１、ＥＸ−２１１、ＥＸ−２１２、ＥＸ−８１０、ＥＸ−８１１、ＥＸ−８５０、ＥＸ−８５１、ＥＸ−８２１、ＥＸ−８３０、ＥＸ−８３２、ＥＸ−８４１、ＥＸ−９１１、ＥＸ−９４１、ＥＸ−９２０、ＥＸ−９３１、ＥＸ−２１２Ｌ、ＥＸ−２１４Ｌ、ＥＸ−２１６Ｌ、ＥＸ−３２１Ｌ、ＥＸ−８５０Ｌ、ＤＬＣ−２０１、ＤＬＣ−２０３、ＤＬＣ−２０４、ＤＬＣ−２０５、ＤＬＣ−２０６、ＤＬＣ−３０１、ＤＬＣ−４０２、ＥＸ−１１１，ＥＸ−１２１、ＥＸ−１４１、ＥＸ−１４５、ＥＸ−１４６、ＥＸ−１４７、ＥＸ−１７１、ＥＸ−１９２（以上ナガセケムテック製）、ＹＨ−３００、ＹＨ−３０１、ＹＨ−３０２、ＹＨ−３１５、ＹＨ−３２４、ＹＨ−３２５（以上、新日鐵住金化学（株）製）セロキサイド２０２１Ｐ、２０８１、２０００、３０００、ＥＨＰＥ３１５０、エポリードＧＴ４００、セルビナースＢ０１３４、Ｂ０１７７（（株）ダイセル製）などが挙げられる。
分子内にエポキシ基を有する化合物は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１１１】
分子内にエポキシ基を有する化合物の中でも、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及び脂肪族エポキシ樹脂がより好ましく挙げられ、脂肪族エポキシ樹脂が特に好ましく挙げられる。
【０１１２】
分子内にオキセタニル基を有する化合物の具体例としては、アロンオキセタンＯＸＴ−２０１、ＯＸＴ−２１１、ＯＸＴ−２１２、ＯＸＴ−２１３、ＯＸＴ−１２１、ＯＸＴ−２２１、ＯＸ−ＳＱ、ＰＮＯＸ（以上、東亞合成（株）製）を用いることができる。
【０１１３】
また、オキセタニル基を含む化合物は、単独で又はエポキシ基を含む化合物と混合して使用することが好ましい。
【０１１４】
本開示に係る感光性樹脂組成物においては、ヘテロ環状化合物がエポキシ基を有する化合物であることが、得られるパターンのエッチング耐性及び線幅安定性の観点から好ましい。
【０１１５】
−アルコキシシラン化合物−
本開示に係る感光性樹脂組成物は、アルコキシシラン化合物を含有してもよい。アルコキシシラン化合物としては、トリアルコキシシラン化合物が好ましく挙げられる。
アルコキシシラン化合物としては、例えば、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルアルキルジアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルアルキルジアルコキシシラン、γ−クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシランが挙げられる。これらのうち、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランやγ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシランがより好ましく、γ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランが更に好ましく、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランが特に好ましい。これらは１種単独又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
アルコキシシラン化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分に対し、０．１質量％〜３０質量％であることが好ましく、０．５質量％〜２０質量％であることがより好ましい。
【０１１６】
−界面活性剤−
本開示に係る感光性樹脂組成物は、膜厚均一性の観点から界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系（非イオン系）、又は、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン界面活性剤である。
ノニオン系界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレン高級アルキルエーテル類、ポリオキシエチレン高級アルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレングリコールの高級脂肪酸ジエステル類、シリコーン系、フッ素系界面活性剤を挙げることができる。また、以下商品名で、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（ＪＥＭＣＯ社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ（ＯＭＮＯＶＡ社製）、及び、ＳＨ−８４００（東レ・ダウコーニング（株）製）等の各シリーズを挙げることができる。
また、界面活性剤として、下記式Ｉ−１で表される構成単位Ａ及び構成単位Ｂを含み、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を溶剤とした場合のゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が１，０００以上１０，０００以下である共重合体を好ましい例として挙げることができる。
【０１１７】
【化１８】
2019021622.tif 000020
【０１１８】
式（Ｉ−１）中、Ｒ４０１及びＲ４０３はそれぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ４０２は炭素数１以上４以下の直鎖アルキレン基を表し、Ｒ４０４は水素原子又は炭素数１以上４以下のアルキル基を表し、Ｌは炭素数３以上６以下のアルキレン基を表し、ｐ及びｑは重合比を表す質量百分率であり、ｐは１０質量％以上８０質量％以下の数値を表し、ｑは２０質量％以上９０質量％以下の数値を表し、ｒは１以上１８以下の整数を表し、ｓは１以上１０以下の整数を表し、＊は他の構造との結合部位を表す。
【０１１９】
Ｌは、下記式（Ｉ−２）で表される分岐アルキレン基であることが好ましい。式（Ｉ−２）におけるＲ４０５は、炭素数１以上４以下のアルキル基を表し、相溶性と被塗布面に対する濡れ性の点で、炭素数１以上３以下のアルキル基が好ましく、炭素数２又は３のアルキル基がより好ましい。ｐとｑとの和（ｐ＋ｑ）は、ｐ＋ｑ＝１００、すなわち、１００質量％であることが好ましい。
【０１２０】
【化１９】
2019021622.tif 000021
【０１２１】
共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，５００以上５，０００以下がより好ましい。
【０１２２】
その他、特許第４５０２７８４号公報の段落００１７、特開２００９−２３７３６２号公報の段落００６０〜段落００７１に記載の界面活性剤も用いることができる。
【０１２３】
界面活性剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
界面活性剤の添加量は、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対して、１０質量％以下であることが好ましく、０．００１質量％〜１０質量％であることがより好ましく、０．０１質量％〜３質量％であることが更に好ましい。
【０１２４】
−その他の成分−
本開示に係る感光性樹脂組成物には、金属酸化物粒子、酸化防止剤、分散剤、酸増殖剤、現像促進剤、導電性繊維、着色剤、熱ラジカル重合開始剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、及び、有機又は無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を更に加えることができる。
その他の成分の好ましい態様については特開２０１４−８５６４３号公報の段落０１６５〜段落０１８４にそれぞれ記載があり、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２５】
（感光性転写材料）
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体と、感光性樹脂層とを有し、上記感光性樹脂層が、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素を含有し、仮支持体と、感光性樹脂層とを有し、上記感光性樹脂層が、本開示に係る感光性樹脂組成物を含むことが好ましい。
【０１２６】
図１は、本開示に係る感光性転写材料の層構成の一例を概略的に示している。図１に示す感光性転写材料１００は、仮支持体１０と、中間層１２と、感光性樹脂層１４と、カバーフィルム１６とがこの順に積層されている。
感光性樹脂層１４は、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素を含有する。
以下、本開示に係る感光性転写材料の構成材料等について説明する。なお、本開示における上記構成について本明細書では以下のように称する場合がある。
酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位を有する重合体を「特定重合体」と称する場合がある。
上記感光性樹脂層は、ポジ型の感光性樹脂層であり、「ポジ型感光性樹脂層」と称する場合がある。
【０１２７】
＜仮支持体＞
本開示に係る感光性転写材料は、仮支持体を有する。
仮支持体は、感光性樹脂層を支持し、剥離可能な支持体である。
本開示に用いられる仮支持体は、感光性樹脂層をパターン露光する際に仮支持体を介して感光性樹脂層を露光し得る観点から光透過性を有することが好ましい。
光透過性を有するとは、パターン露光に使用する光の主波長の透過率が５０％以上であることを意味し、パターン露光に使用する光の主波長の透過率は、露光感度向上の観点から、６０％以上が好ましく、７０％以上がより好ましい。透過率の測定方法としては、大塚電子（株）製ＭＣＰＤ  Ｓｅｒｉｅｓを用いて測定する方法が挙げられる。
仮支持体としては、ガラス基板、樹脂フィルム、紙等が挙げられ、強度及び可撓性等の観点から、樹脂フィルムが特に好ましい。樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等が挙げられる。中でも、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
【０１２８】
仮支持体の厚みは、特に限定されず、５μｍ〜２００μｍの範囲が好ましく、取扱い易さ、汎用性などの点で、１０μｍ〜１５０μｍの範囲がより好ましい。
仮支持体の厚みは、支持体としての強度、回路配線形成用基板との貼り合わせに求められる可撓性、最初の露光工程で要求される光透過性などの観点から、材質に応じて選択すればよい。
【０１２９】
仮支持体の好ましい態様については、例えば、特開２０１４−８５６４３号公報の段落００１７〜段落００１８に記載があり、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３０】
＜感光性樹脂層＞
本開示に係る感光性転写材料は、感光性樹脂層を有し、上記感光性樹脂層が、カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素を含有する。
上記感光性樹脂層は、本開示に係る感光性樹脂組成物により形成された層であることが好ましい。
また、上記感光性樹脂層は、本開示に係る感光性樹脂組成物を含むことが好ましい。
また、本開示における感光性樹脂層は、ポジ型感光性樹脂層であり、化学増幅ポジ型感光性樹脂層であることが好ましい。
後述するオニウム塩やオキシムスルホネート化合物等の光酸発生剤は、活性放射線（活性光線）に感応して生成される酸が、上記特定重合体中の保護された酸基の脱保護に対して触媒として作用するので、１個の光量子の作用で生成した酸が、多数の脱保護反応に寄与し、量子収率は１を超え、例えば、１０の数乗のような大きい値となり、いわゆる化学増幅の結果として、高感度が得られる。
一方、活性放射線に感応する光酸発生剤としてキノンジアジド化合物を用いた場合、逐次型光化学反応によりカルボキシ基を生成するが、その量子収率は必ず１以下であり、化学増幅型には該当しない。
【０１３１】
上記感光性樹脂層におけるカルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素はそれぞれ、上記感光性樹脂組成物におけるカルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有する重合体、光酸発生剤、及び、共役酸のｐＫａが４．５未満又は共役酸を形成しない化合物であり、かつ発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長が５００ｎｍ以上である潜在性色素と同義であり、好ましい態様も同様である。
また、上記感光性樹脂層は、上記溶剤以外の上記感光性樹脂組成物における各成分を好ましく含有することができる。
更に、上記感光性樹脂層において、上記感光性樹脂層の全質量に対する各成分の好ましい含有量は、上記感光性樹脂組成物における、上記感光性樹脂組成物の全固形分に対する各成分の好ましい含有量と同様である。
【０１３２】
−感光性樹脂層の厚み−
上記感光性樹脂層の厚みは、０．５μｍ〜２０μｍが好ましい。感光性樹脂層の厚みが２０μｍ以下であると得られるパターンの解像度が良好であり、０．５μｍ以上であるとパターン直線性の観点から好ましい。
感光性樹脂層の厚みとしては、０．８μｍ〜１５μｍがより好ましく、１．０μｍ〜１０μｍが特に好ましい。
【０１３３】
−感光性樹脂層の形成方法−
各成分、及び、溶剤を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解して感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂組成物を調製することができる。例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、得られた溶液を所定の割合で混合して組成物を調製することもできる。以上の如くして調製した組成物は、孔径０．２μｍのフィルター等を用いてろ過した後に、使用に供することもできる。
【０１３４】
感光性樹脂組成物を仮支持体に塗布し、乾燥させることで、仮支持体上に感光性樹脂層を有する本開示に係る感光性転写材料を得ることができる。
塗布方法は特に限定されず、スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布、インクジェット塗布などの公知の方法で塗布することができる。
なお、仮支持体上に後述のその他の層を有する仮支持体とその他の層との積層体上に、感光性樹脂層を塗布することもできる。
【０１３５】
＜その他の層＞
本開示に係る感光性転写材料は、上記感光性樹脂層以外の層（以下、「その他の層」と称することがある）を有していてもよい。その他の層としては、コントラストエンハンスメント層、中間層、カバーフィルム、熱可塑性樹脂層等を挙げることができる。
【０１３６】
＜コントラストエンハンスメント層＞
本開示に係る感光性転写材料は、上記感光性樹脂層に加え、コントラストエンハンスメント層を有することができる。
コントラストエンハンスメント層（Ｃｏｎｔｒａｓｔ  Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ  Ｌａｙｅｒ；ＣＥＬ）は、露光前には露光波長に対する吸収が大きいが、露光されるに伴って次第に吸収が小さくなる、すなわち、光の透過率が高くなる材料（光消色性色素成分と称する）を含有する層である。光消色性色素成分としては、ジアゾニウム塩、スチルバゾリウム塩、アリールニトロソ塩類等が知られている。被膜形成成分としては、フェノール系樹脂等が用いられる。
その他、コントラストエンハンスメント層としては、特開平６−９７０６５号公報の段落０００４〜段落００５１、特開平６−３３２１６７号公報の段落００１２〜段落００５５、フォトポリマーハンドブック，フォトポリマー懇話会編，工業調査会（１９８９）、フォトポリマー・テクノロジー，山岡、永松編，（株）日刊工業新聞社（１９８８）に記載の材料を用いることができる。
【０１３７】
＜中間層＞
上記感光性樹脂層の上に、複数層を塗布する目的、及び、塗布後の保存の際における成分の混合を防止する目的で、中間層を設けることができる。
中間層としては、特開２００５−２５９１３８号公報の段落００８４〜００８７に記載の中間層を用いることができる。中間層としては、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましい。
中間層に用いられる材料としては、例えばポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルピロリドン系樹脂、セルロース系樹脂、アクリルアミド系樹脂、ポリエチレンオキサイド系樹脂、ゼラチン、ビニルエーテル系樹脂、ポリアミド樹脂、及びこれらの共重合体などの樹脂が挙げられる。中でも特に好ましいのはポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組合せである。
【０１３８】
＜熱可塑性樹脂層、カバーフィルム等＞
本開示に係る感光性転写材料は、例えば、仮支持体と、熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とをこの順で有することもできる。更に、感光性樹脂層を保護する目的でカバーフィルムを有していてもよい。
熱可塑性樹脂層の好ましい態様については特開２０１４−８５６４３号公報の段落０１８９〜段落０１９３、他の層の好ましい態様については特開２０１４−８５６４３号公報の段落０１９４〜段落０１９６にそれぞれ記載があり、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３９】
本開示に係る感光性転写材料が、熱可塑性樹脂層等のその他の層を有する場合、特開２００６−２５９１３８号公報の段落００９４〜段落００９８に記載の感光性転写材料の作製方法に準じて作製することができる。
例えば、熱可塑性樹脂層及び中間層を有する本開示に係る感光性転写材料を作製する場合には、仮支持体上に、熱可塑性の有機高分子と添加剤とを溶解した溶解液（熱可塑性樹脂層用塗布液）を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を設けた後、得られた熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤に樹脂及び添加剤を加えて調製した調製液（中間層用塗布液）を塗布し、乾燥させて中間層を積層する。形成した中間層上に、更に、中間層を溶解しない溶剤を用いて調製した本開示に係る感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を積層することによって、本開示に係る感光性転写材料を好適に作製することができる。
【０１４０】
（回路配線の製造方法）
本開示に係る感光性転写材料を用いた、回路配線の製造方法の第１の実施態様について説明する。
回路配線の製造方法の第１の実施態様は、
基板に対し、本実開示に係る感光性転写材料の上記感光性樹脂層を上記基板に接触させて貼り合わせる工程（貼り合わせ工程）と、
上記貼り合わせる工程後の上記感光性転写材料の上記感光性樹脂層をパターン露光する工程（露光工程）と、
上記露光する工程後の感光性樹脂層を現像してパターンを形成する工程（現像工程）と、
上記パターンが配置されていない領域における基板をエッチング処理する工程（エッチング工程）と、をこの順に含む。
回路配線の製造方法の第１の実施態様における基板は、ガラス、シリコン、フィルムなどの基材上に、所望の導電層などの層が設けられた基板であってもよい。
回路配線の製造方法の第１の実施態様によれば、基板表面に微細パターンを形成することができる。
【０１４１】
回路配線の製造方法の第２の実施形態は、
基材、及び、互いに構成材料が異なる第１導電層及び第２導電層を含む複数の導電層とを有し、上記基材の表面上に、上記基材の表面から遠い順に、最表面層である上記第１導電層及び上記第２導電層が積層されている基板に対し、本開示に係る感光性転写材料の上記感光性樹脂層を上記第１導電層に接触させて貼り合わせる貼り合わせ工程と、
上記貼り合わせ工程後の上記感光性転写材料の上記仮支持体を介して上記感光性樹脂層をパターン露光する第１露光工程と、
上記第１露光工程後の感光性樹脂層から上記仮支持体を剥離した後、上記第１露光工程後の感光性樹脂層を現像して第１パターンを形成する第１現像工程と、
上記第１パターンが配置されていない領域における上記複数の導電層のうち少なくとも上記第１導電層及び上記第２導電層をエッチング処理する第１エッチング工程と、
上記第１エッチング工程後の上記第１パターンを上記第１パターンとは異なるパターンでパターン露光する第２露光工程と、
上記第２露光工程後の上記第１パターンを現像して第２パターンを形成する第２現像工程と、
上記第２パターンが配置されていない領域における上記複数の導電層のうち少なくとも上記第１導電層をエッチング処理する第２エッチング工程と、をこの順に含む。上記第２の実施形態としては、国際公開第２００６／１９０４０５号を参考にすることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４２】
本開示に係る回路配線の製造方法は、タッチパネル又はタッチパネル表示装置用の回路配線の製造方法として用いることができる。
以下、第２の実施形態を元に、各工程の詳細について説明する。
【０１４３】
＜貼り合わせ工程＞
貼り合わせ工程の一例を、図２（ａ）に概略的に示した。
まず、貼り合わせ工程では、基材２２と、互いに構成材料が異なる第１導電層２４及び第２導電層２６を含む複数の導電層とを有し、基材２２の表面上に、基材２２の表面から遠い順に、最表面層である第１導電層２４と第２導電層２６とが積層されている基板（回路配線形成用基板）２０に対し、上述した本開示に係る感光性転写材料１００のポジ型感光性樹脂層１４を第１導電層２４に接触させて貼り合わせる。なお、このような回路配線形成用基板と感光性転写材料との貼り合わせを「転写」又は「ラミネート」と称する場合がある。
【０１４４】
図１に示したように感光性転写材料１００のポジ型感光性樹脂層１４上にカバーフィルム１６を有する場合は、感光性転写材料１００（ポジ型感光性樹脂層１４）からカバーフィルム１６を除去した後、感光性転写材料１００のポジ型感光性樹脂層１４を第１導電層２４に接触させて貼り合わせる。
感光性転写材料の第１導電層上への貼り合わせ（転写）は、感光性転写材料のポジ型感光性樹脂層側を第１導電層の上に重ね、ロール等による加圧及び加熱することに行われることが好ましい。貼り合わせには、ラミネータ、真空ラミネータ、及び、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネータを使用することができる。
回路配線形成用基板の基材が樹脂フィルムである場合は、ロールツーロールでの貼り合わせも行うこともできる。
【０１４５】
〔基材〕
基材上に複数の導電層が積層された基板は、基材がガラス基材又はフィルム基材であることが好ましく、フィルム基材であることがより好ましい。本開示に係る回路配線の製造方法は、タッチパネル用の回路配線である場合、基材がシート状樹脂組成物であることが特に好ましい。
また、基材は透明であることが好ましい。
基材の屈折率は、１．５０〜１．５２であることが好ましい。
基材は、ガラス基材等の透光性基材で構成されていてもよく、コーニング社のゴリラガラスに代表される強化ガラスなどを用いることができる。また、前述の透明基材としては、特開２０１０−８６６８４号公報、特開２０１０−１５２８０９号公報及び特開２０１０−２５７４９２号公報に用いられている材料を好ましく用いることができる。
基材としてフィルム基材を用いる場合は、光学的に歪みがない基材、及び、透明度が高い基材を用いることがより好ましく、具体的な素材には、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ；ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、シクロオレフィンポリマーをあげることができる。
【０１４６】
〔導電層〕
基材上に形成されている複数の導電層としては、一般的な回路配線又はタッチパネル配線に用いられる任意の導電層を挙げることができる。
導電層の材料としては、金属及び金属酸化物などを挙げることができる。
金属酸化物としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＳｉＯ２等を挙げることができる。金属としては、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ等を挙げることができる。
【０１４７】
本開示に係る回路配線の製造方法は、複数の導電層のうち少なくとも一つの導電層が金属酸化物を含むことが好ましい。
導電層としては、静電容量型タッチパネルに用いられる視認部のセンサーに相当する電極パターン又は周辺取り出し部の配線であることが好ましい。
【０１４８】
〔回路配線形成用基板〕
基材の表面に導電層を有する基板である。導電層をパターンニングすることで回路配線とする。本例では、ＰＥＴなどのフィルム基材に金属酸化物や金属などの複数の導電層が設けられたものであることが好ましい。
【０１４９】
＜露光工程（第１露光工程）＞
上記第１の実施態様においては露光工程が、上記第２の実施態様においては第１露光工程が行われる。露光工程（第１露光工程）の一例を、図２（ｂ）に概略的に示した。
露光工程（第１露光工程）では、貼り合わせ工程後の感光性転写材料の仮支持体１２を介してポジ型感光性樹脂層１４をパターン露光する。
【０１５０】
本開示における露光工程、現像工程、及びその他の工程の例としては、特開２００６−２３６９６号公報の段落００３５〜段落００５１に記載の方法を本開示においても好適に用いることができる。
【０１５１】
例えば、第１導電層２４の上に配置された感光性転写材料１００の上方（第１導電層２４と接する側とは反対側）に所定のパターンを有するマスク３０を配置し、その後、マスク３０を介してマスク上方から紫外線で露光する方法などが挙げられる。
本開示においてパターンの詳細な配置及び具体的サイズは特に限定されない。本開示に係る回路配線の製造方法により製造された回路配線を有する入力装置を備えた表示装置（例えばタッチパネル）の表示品質を高め、また、取り出し配線の占める面積をできるだけ小さくしたいことから、パターンの少なくとも一部（特にタッチパネルの電極パターン及び取り出し配線の部分）は１００μｍ以下の細線であることが好ましく、７０μｍ以下であることが更に好ましい。
ここで、露光に使用する光源としては、感光性転写材料の露光された箇所が現像液に溶解しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。
露光量としては、好ましくは５ｍＪ／ｃｍ２〜２００ｍＪ／ｃｍ２程度であり、より好ましくは１０ｍＪ／ｃｍ２〜１００ｍＪ／ｃｍ２程度である。
また、露光後にパターンの矩形性、直線性を向上させる目的で、現像前に熱処理を行うことも好ましい。いわゆるＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）と呼ばれる工程により、露光時に感光性樹脂層中で生じた定在波によるパターンエッジの荒れを低減することが可能である。
【０１５２】
なお、パターン露光は、仮支持体を感光性樹脂層から剥離してから行っても、仮支持体を剥離する前に、仮支持体を介して露光し、その後、仮支持体を剥離してもよい。感光性樹脂層とマスクの接触によるマスク汚染の防止や、マスクに付着した異物による露光への影響を避けるためには、仮支持体を剥離せずに露光することが好ましい。なお、パターン露光は、マスクを介した露光でもよいし、レーザー等を用いたデジタル露光でもよい。
【０１５３】
＜現像工程（第１現像工程）＞
上記第１の実施態様においては現像工程が、上記第２の実施態様においては第１現像工程が行われる。現像工程（第１現像工程）の一例を、図２（ｃ）に概略的に示した。
現像工程（第１現像工程）では、露光工程（第１露光工程）後のポジ型感光性樹脂層１４から仮支持体１２を剥離した後、露光工程（第１露光工程）後のポジ型感光性樹脂層１４を現像して第１パターン１４Ａを形成する。
【０１５４】
現像工程（第１現像工程）は、パターン露光されたポジ型感光性樹脂層を現像することによりパターン（第１パターン）を形成する工程である。
パターン露光されたポジ型感光性樹脂層の現像は、現像液を用いて行うことができる。
現像液としては、ポジ型感光性樹脂層の露光部分を除去することができれば特に制限はなく、例えば、特開平５−７２７２４号公報に記載の現像液など、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液はポジ型感光性樹脂層の露光部が溶解型の現像挙動をする現像液が好ましい。例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５ｍｏｌ／Ｌ（リットル）〜５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むアルカリ水溶液系の現像液が好ましい。現像液は、さらに、水と混和性を有する有機溶剤、界面活性剤等を含有してもよい。本開示において好適に用いられる現像液としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落０１９４に記載の現像液が挙げられる。
【０１５５】
現像方式としては、特に制限はなくパドル現像、シャワー現像、シャワー及びスピン現像、ディップ現像等のいずれでもよい。ここで、シャワー現像について説明すると、露光後のポジ型感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、露光部分を除去することができる。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましい。
【０１５６】
更に、現像して得られたポジ型感光性樹脂層を含むパターンを加熱処理するポストベーク工程を有していてもよい。
ポストベークの加熱は８．１ｋＰａ〜１２１．６ｋＰａの環境下で行うことが好ましく、５０６．６ｋＰａ以上の環境下で行うことがより好ましい。一方、１１１４．６ｋＰａ以下の環境下で行うことがより好ましく、１０１．３ｋＰａ以下の環境下で行うことが特に好ましい。
ポストベークの温度は、８０℃〜２５０℃であることが好ましく、１１０℃〜１７０℃であることがより好ましく、１３０℃〜１５０℃であることが特に好ましい。
ポストベークの時間は、１分〜３０分であることが好ましく、２分〜１０分であることがより好ましく、２分〜４分であることが特に好ましい。
ポストベークは、空気環境下で行っても、窒素置換環境下で行ってもよい。
【０１５７】
本開示に係る回路配線の製造方法は、ポスト露光工程等のその他の工程を有していてもよい。
【０１５８】
＜エッチング工程（第１エッチング工程）＞
上記第１の実施態様においてはエッチング工程が、上記第２の実施態様においては第１エッチング工程が行われる。エッチング工程（第１エッチング工程）の一例を、図２（ｄ）に概略的に示した。
エッチング工程（第１エッチング工程）では、第１パターン１４Ａが配置されていない領域における複数の導電層のうち少なくとも第１導電層２４及び第２導電層２６をエッチング処理する。エッチングにより、同じパターンを有する第１導電層２４Ａ及び第２導電層２６Ａが形成される。
【０１５９】
導電層のエッチングは、特開２０１０−１５２１５５号公報の段落００４８〜段落００５４等に記載の方法、公知のプラズマエッチング等のドライエッチングによる方法など、公知の方法でエッチングを適用することができる。
【０１６０】
例えば、エッチングの方法としては、一般的に行われている、エッチング液に浸漬するウェットエッチング法が挙げられる。ウェットエッチングに用いられるエッチング液は、エッチングの対象に合わせて酸性タイプ又はアルカリ性タイプのエッチング液を適宜選択すればよい。
酸性タイプのエッチング液としては、塩酸、硫酸、フッ酸、リン酸等の酸性成分単独の水溶液、酸性成分と塩化第２鉄、フッ化アンモニウム、過マンガン酸カリウム等の塩の混合水溶液等が例示される。酸性成分は、複数の酸性成分を組み合わせた成分を使用してもよい。
アルカリ性タイプのエッチング液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、有機アミン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドのような有機アミンの塩等のアルカリ成分単独の水溶液、アルカリ成分と過マンガン酸カリウム等の塩の混合水溶液等が例示される。アルカリ成分は、複数のアルカリ成分を組み合わせた成分を使用してもよい。
【０１６１】
エッチング液の温度は特に限定されないが、４５℃以下であることが好ましい。本開示においてエッチングマスク（エッチングパターン）として使用される第１パターンは、４５℃以下の温度域における酸性及びアルカリ性のエッチング液に対して特に優れた耐性を発揮することが好ましい。したがって、エッチング工程中にポジ型感光性樹脂層が剥離することが防止され、ポジ型感光性樹脂層の存在しない部分が選択的にエッチングされることになる。
【０１６２】
エッチング工程後、工程ラインの汚染を防ぐために、必要に応じて洗浄工程及び乾燥工程を行ってもよい。洗浄工程については、例えば常温で純水により１０秒〜３００秒間基板を洗浄して行い、乾燥工程については、例えばエアブローを使用し、エアブロー圧（０．１ｋｇ／ｃｍ２〜５ｋｇ／ｃｍ２程度）を適宜調整して乾燥を行えばよい。
【０１６３】
＜第２露光工程＞
上記第２の実施態様においては第２露光工程が行われる。第２露光工程の一例を、図２（ｅ）に概略的に示した。
第１エッチング工程後、第１エッチング工程後の第１パターン１４Ａを第１パターンとは異なるパターンでパターン露光する。
【０１６４】
第２露光工程では、第１導電層上に残存する第１パターンに対し、後述する第２現像工程において少なくとも第１導電層の除去すべき部分に相当する箇所を露光する。
第２露光工程におけるパターン露光は、第１露光工程で用いたマスク３０とはパターンが異なるマスク４０を用いること以外は第１露光工程におけるパターン露光と同じ方法を適用することができる。
【０１６５】
＜第２現像工程＞
上記第２の実施態様においては第２現像工程が行われる。第２現像工程の一例を、図２（ｆ）に概略的に示した。
第２現像工程では、第２露光工程後の第１パターン１４Ａを現像して第２パターン１４Ｂを形成する。
現像により、第１パターンのうち第２露光工程において露光された部分が除去される。
なお、第２現像工程では、第１現像工程における現像と同じ方法を適用することができる。
【０１６６】
＜第２エッチング工程＞
上記第２の実施態様においては第２露光工程が行われる。第２エッチング工程の一例を、図２（ｇ）に概略的に示した。
第２エッチング工程では、第２パターン１４Ｂが配置されていない領域における複数の導電層のうち少なくとも第１導電層２４Ａをエッチング処理する。
【０１６７】
第２エッチング工程におけるエッチングは、エッチングにより除去すべき導電層に応じたエッチング液を選択すること以外は第１エッチング工程におけるエッチングと同じ方法を適用することができる。
第２エッチング工程では、所望のパターンに応じて、第１エッチング工程よりも少ない導電層を選択的にエッチングすることが好ましい。例えば、図２に示すように、ポジ型感光性樹脂層が配置されていない領域において第１導電層２４Ｂのみを選択的にエッチングするエッチング液を用いてエッチングを行うことで、第１導電層を第２導電層のパターンとは異なるパターンにすることができる。
第２エッチング工程の終了後、少なくとも２種類のパターンの導電層２４Ｂ，２６Ａを含む回路配線が形成される。
【０１６８】
＜ポジ型感光性樹脂層除去工程＞
ポジ型感光性樹脂層除去工程の一例を、図２（ｈ）に概略的に示した。
第２エッチング工程の終了後、第１導電層２４Ｂ上の一部には第２パターン１４Ｂが残存している。ポジ型感光性樹脂層が不要であれば、残存する全てのポジ型感光性樹脂層１４Ｂを除去すればよい。
【０１６９】
残存するポジ型感光性樹脂層を除去する方法としては特に制限はないが、薬品処理により除去する方法を挙げることができる。
ポジ型感光性樹脂層の除去方法としては、例えば、好ましくは３０℃〜８０℃、より好ましくは５０℃〜８０℃にて撹拌中の剥離液にポジ型感光性樹脂層などを有する基材を１分〜３０分間浸漬する方法が挙げられる。
【０１７０】
剥離液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ成分、又は、第１級アミン、第２級アミン、第３級アミン、第４級アンモニウム塩等の有機アルカリ成分を、水、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン又はこれらの混合溶液に溶解させた剥離液が挙げられる。剥離液を使用し、スプレー法、シャワー法、パドル法等により剥離してもよい。
【０１７１】
本開示に係る回路配線の製造方法は、他の任意の工程を含んでもよい。例えば、以下のような工程が挙げられるが、これらの工程に限定されない。
【０１７２】
＜保護フィルムを貼り付ける工程＞
上記第２の実施態様において、第１エッチング工程の後、第２露光工程の前に、第１パターン上に、光透過性を有する保護フィルム（不図示）を貼り付ける工程をさらに有してもよい。
この場合、第２露光工程において、保護フィルムを介して第１パターンをパターン露光し、第２露光工程後、第１パターンから保護フィルムを剥離した後、第２現像工程を行うことが好ましい。
【０１７３】
＜可視光線反射率を低下させる工程＞
本開示に係る回路配線の製造方法は、基材上の複数の導電層の一部又は全ての可視光線反射率を低下させる処理をする工程を含むことが可能である。
可視光線反射率を低下させる処理としては、酸化処理などを挙げることができる。例えば、銅を酸化処理して酸化銅とし、黒化することにより、可視光線反射率を低下させることができる。
可視光線反射率を低下させる処理の好ましい態様については、特開２０１４−１５０１１８号公報の段落００１７〜段落００２５、並びに、特開２０１３−２０６３１５号公報の段落００４１、段落００４２、段落００４８及び段落００５８に記載があり、この公報の内容は本明細書に組み込まれる。
【０１７４】
＜絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程＞
本開示に係る回路配線の製造方法は、形成した回路配線上に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程を含むことも好ましい。
このような構成により、上述の第二の電極パターンを、第一の電極パターンと絶縁しつつ、形成することができる。
絶縁膜を形成する工程については、特に制限はなく、公知の永久膜を形成する方法を挙げることができる。また、絶縁性を有する感光性材料を用いて、フォトリソグラフィにより所望のパターンの絶縁膜を形成してもよい。
絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程については、特に制限はない。導電性を有する感光性材料を用いて、フォトリソグラフィにより所望のパターンの新たな導電層を形成してもよい。
【０１７５】
また、図２を参照した説明では、２層の導電層を備えた回路配線形成用基板に対して２つの異なるパターンを有する回路配線を形成する場合について説明したが、本開示に係る回路配線の製造方法を適用する基板の導電層の数は２層に限定されず、導電層が３層以上積層された回路配線形成用基板を用い、前述した露光工程、現像工程、及びエッチング工程の組み合わせを３回以上行うことで、３層以上の導電層をそれぞれ異なる回路配線パターンに形成することもできる。
【０１７６】
また、図２には示していないが、本開示に係る回路配線の製造方法は、基材が両方の表面にそれぞれ複数の導電層を有し、基材の両方の表面に形成された導電層に対して逐次又は同時に回路形成することも好ましい。このような構成により、基材の一方の表面に第一の導電パターン、もう一方の表面に第二の導電パターンを形成したタッチパネル用回路配線を形成することができる。また、このような構成のタッチパネル用回路配線を、ロールツーロールで基材の両面から形成することも好ましい。
【０１７７】
（回路配線及び回路基板）
本開示に係る回路配線は、本開示に係る回路配線の製造方法により製造された回路配線である。
本開示に係る回路基板は、本開示に係る回路配線の製造方法により製造された回路配線を有する基板である。
本開示に係る回路基板の用途は限定されないが、例えば、タッチパネル用回路基板であることが好ましい。
【０１７８】
（入力装置及び表示装置）
本開示に係る回路配線の製造方法により製造される回路配線を備えた装置として、入力装置が挙げられる。
本開示における入力装置は、静電容量型タッチパネルであることが好ましい。
本開示における表示装置は、本開示における入力装置を備えることが好ましい。
また、本開示における表示装置は、有機ＥＬ表示装置、及び、液晶表示装置等の画像表示装置であることが好ましい。
【０１７９】
（タッチパネル、及び、タッチパネル表示装置並びにこれらの製造方法）
本開示に係るタッチパネルは、本開示に係る回路配線の製造方法により製造された回路配線を少なくとも有するタッチパネルである。また、本開示に係るタッチパネルは、透明基板と、電極と、絶縁層又は保護層とを少なくとも有することが好ましい。
本開示に係るタッチパネル表示装置は、本開示に係る回路配線の製造方法により製造された回路配線を少なくとも有するタッチパネル表示装置であり、本開示に係るタッチパネルを有するタッチパネル表示装置であることが好ましい。
本開示に係るタッチパネル又はタッチパネル表示装置の製造方法は、本開示に係る回路配線の製造方法を含むことが好ましい。
本開示に係るタッチパネル又はタッチパネル表示装置の製造方法は、感光性転写材料の製造方法により得られた感光性転写材料の上記感光性樹脂層を上記基板に接触させて貼り合わせる工程と、上記貼り合わせる工程後の上記感光性転写材料の上記感光性樹脂層をパターン露光する工程と、上記露光する工程後の感光性樹脂層を現像してパターンを形成する工程と、上記パターンが配置されていない領域における基板をエッチング処理する工程と、をこの順に含むことが好ましい。各工程の詳細は、上述の回路配線の製造方法における各工程の詳細と同義であり、好ましい態様も同様である。
本開示に係るタッチパネル及び本開示に係るタッチパネル表示装置のおける検出方法としては、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、電磁誘導方式、及び、光学方式など公知の方式いずれでもよい。中でも、静電容量方式が好ましい。
タッチパネル型としては、いわゆる、インセル型（例えば、特表２０１２−５１７０５１号公報の図５、図６、図７、図８に記載のもの）、いわゆる、オンセル型（例えば、特開２０１３−１６８１２５号公報の図１９に記載のもの、特開２０１２−８９１０２号公報の図１や図５に記載のもの）、ＯＧＳ（Ｏｎｅ  Ｇｌａｓｓ  Ｓｏｌｕｔｉｏｎ）型、ＴＯＬ（Ｔｏｕｃｈ−ｏｎ−Ｌｅｎｓ）型（例えば、特開２０１３−５４７２７号公報の図２に記載のもの）、その他の構成（例えば、特開２０１３−１６４８７１号公報の図６に記載のもの）、各種アウトセル型（いわゆる、ＧＧ、Ｇ１・Ｇ２、ＧＦＦ、ＧＦ２、ＧＦ１、Ｇ１Ｆなど）を挙げることができる。
本開示に係るタッチパネル及び本開示に係るタッチパネル表示装置としては、『最新タッチパネル技術』（２００９年７月６日、（株）テクノタイムズ社発行）、三谷雄二監修、“タッチパネルの技術と開発”、シーエムシー出版（２００４，１２）、ＦＰＤ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  ２００９  Ｆｏｒｕｍ  Ｔ−１１講演テキストブック、Ｃｙｐｒｅｓｓ
Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ  アプリケーションノートＡＮ２２９２等に開示されている構成を適用することができる。
【実施例】
【０１８０】
以下に実施例を挙げて本発明の実施形態を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本発明の実施形態の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。したがって、本発明の実施形態の範囲は以下に示す具体例に限定されない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は質量基準である。なお、本実施例における「極大吸収波長」とは、発色時における波長範囲４００ｎｍ〜７８０ｎｍの極大吸収波長である。【０１８１】
＜ｐＫａ及びｐＫａＨの計算方法＞
Advanced Chemistry Development社製ACD/Labs software Ver 8.0 for Microsoft windowsのACD/pka DB ver 8.07を使用して、化合物のｐＫａ、及び、化合物の共役酸のｐＫａ（ｐＫａＨ）を計算した。【０１８２】
〔重合体〕
以下の例において、以下の略語はそれぞれ以下の化合物を表す。
ＡＴＨＦ：２−テトラヒドロフラニルアクリレート（合成品）
ＭＡＴＨＦ：２−テトラヒドロフラニルメタクリレート（合成品）
ＡＴＨＰ：テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−イルアクリレート（新中村化学工業（株）製）
ＭＡＴＨＰ：テトラヒドロ−２Ｈ−ピラン−２−イルメタクリレート（新中村化学工業（株）製）
ＭＡＥＶＥ：１−エトキシエチルメタクリレート（和光純薬工業（株）製）
ＴＢＭＡ：t−ブチルメタクリレート（和光純薬工業（株）製）
ＡＡ：アクリル酸（東京化成工業（株）製）
ＭＡＡ：メタクリル酸（東京化成工業（株）製）
ＥＡ：アクリル酸エチル（東京化成工業（株）製）
ＭＭＡ：メタクリル酸メチル（東京化成工業（株）製）
ＣＨＡ：アクリル酸シクロヘキシル（東京化成工業（株）製）
ＣＨＭＡ：メタクリル酸シクロヘキシル（東京化成工業（株）製）
ＥＨＭＡ：アクリル酸２−エチルヘキシル（東京化成工業（株）製）
ＢＭＡ：アクリル酸ｎ−ブチル（東京化成工業（株）製）
ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）：（昭和電工（株）製）
Ｖ−６０１：ジメチル  ２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）（和光純薬工業（株）製）【０１８３】
＜ＡＴＨＦの合成＞
３つ口フラスコにアクリル酸（７２．１部、１．０モル当量）、ヘキサン（７２．１部）を加え２０℃に冷却した。カンファースルホン酸（０．０００７０質量部、０．００３ミリモル当量）、２−ジヒドロフラン（７０．１質量部、１．０モル当量））を滴下した後に、２０℃±２℃で１．５時間撹拌した後、３５℃まで昇温して２時間撹拌した。ヌッチェにキョーワード２００（水酸化アルミニウム吸着剤、協和化学工業（株）製）、キョーワード１０００（ハイドロタルサイト系吸着剤、協和化学工業（株）製）の順に敷き詰めた後、反応液をろ過することでろ過液を得た。得られたろ過液にヒドロキノンモノメチルエーテル（ＭＥＨＱ、０．００１２部）を加えた後、４０℃で減圧濃縮することで、アクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル（ＡＴＨＦ）１４０．８部を無色油状物として得た（収率９９．０％）。【０１８４】
＜ＭＡＴＨＦの合成＞
３つ口フラスコにメタクリル酸（８６．１部、１．０モル当量）、ヘキサン（８６．１部）を加え２０℃に冷却した。カンファースルホン酸（０．０００７０質量部、０．００３ミリモル当量）、２−ジヒドロフラン（７０．１質量部、１．０モル当量））を滴下した後に、２０℃±２℃で１．５時間撹拌した後、３５℃まで昇温して２時間撹拌した。ヌッチェにキョーワード２００、キョーワード１０００の順に敷き詰めた後、反応液をろ過することでろ過液を得た。得られたろ過液にＭＥＨＱ（０．００１２部）を加えた後、４０℃で減圧濃縮することで、メタクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル（ＭＡＴＨＦ）１５６．２部を無色油状物として得た（収率９８．０％）。【０１８５】
＜重合体Ａ１の合成例＞
３つ口フラスコに酢酸ｎ−プロピル（１５０．０質量部）を入れ、窒素雰囲気下において９０℃に昇温した。ＡＴＨＦ（２５．０質量部）、ＡＡ（３．７質量部）、ＥＡ（１５．０質量部）、ＭＭＡ（３２．４質量部）、ＣＨＭＡ（２３．９質量部）、Ｖ−６０１（３．１質量部）を混合した溶液を、９０℃±２℃の温度範囲に維持した３つ口フラスコ溶液中に２時間かけて滴下した。滴下終了後，９０℃±２℃の温度範囲内にて２時間撹拌することで、重合体Ａ１（固形分濃度４０．０質量％）を得た。【０１８６】
＜重合体Ａ−２〜Ａ−９の合成例＞
モノマーの種類等を下記表１に示す通りに変更し、その他の条件については、重合体Ａ−１と同様の方法で合成した。重合体の固形分濃度は４０質量％とした。【０１８７】
【表１】
2019021622.tif 000022
【０１８８】
＜重合体Ａ−１０の合成例＞
特開２００８−６４９０８号公報に記載の酸分解性高分子化合物ＰＳ−２と同じ方法で合成したポリマーを、重合体Ａ−１０（カルボン酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を含有しない重合体）とした。【０１８９】
〔光酸発生剤〕
Ｂ−１：下記に示す構造の化合物（特開２０１３−４７７６５号公報の段落０２２７に記載の方法に従って合成した。）【０１９０】
【化２０】
2019021622.tif 000023
【０１９１】
Ｂ−２：ＢＡＳＦ社製Ｉｒｇａｃｕｒｅ  ＰＡＧ−１０３、下記化合物【０１９２】
【化２１】
2019021622.tif 000024
【０１９３】
Ｂ−３：下記に示す構造の化合物（特開２０１４−１９７１５５号公報の段落０２１０に記載の方法に従って合成した。）【０１９４】
【化２２】
2019021622.tif 000025
【０１９５】
Ｂ−４：ＷＰＡＧ−２８１（商品名、和光純薬工業（株）製）【０１９６】
【化２３】
2019021622.tif 000026
【０１９７】
Ｂ−５：下記に示す構造の化合物（特開２０１５−１５１３４７号公報の段落０１３８に記載の方法に従って合成した。）【０１９８】
【化２４】
2019021622.tif 000027
【０１９９】
〔潜在性色素〕
Ｃ−１：上述したＣ−１と同じ化合物、福井山田化学工業（株）製、極大吸収波長：５７６ｎｍ、ｐＫａＨ：−３．５３
Ｃ−２：上述したＣ−２と同じ化合物、Chameleon社製、極大吸収波長：５３３ｎｍ、ｐＫａＨ：共役酸を形成せず
Ｃ−３：上述したＣ−３と同じ化合物、山本化成（株）製、極大吸収波長：５３１ｎｍ、ｐＫａＨ：共役酸を形成せず
Ｃ−４：上述したＣ−４と同じ化合物、福井山田化学工業（株）製、極大吸収波長：４６０ｎｍ及び５９５ｎｍ、ｐＫａＨ：０．５３
Ｃ−５：上述したＣ−５と同じ化合物、福井山田化学工業（株）製、極大吸収波長：４７０ｎｍ及び６７２ｎｍ、ｐＫａＨ：０．２３
Ｃ−６：上述したＣ−６と同じ化合物、福井山田化学工業（株）製、極大吸収波長：５２５ｎｍ、ｐＫａＨ：０．２７
Ｃ’−１：下記化合物、福井山田化学工業（株）製、極大吸収波長：５９８ｎｍ、ｐＫａＨ：４．７３
Ｃ’−２：下記化合物、保土谷化学工業（株）製、極大吸収波長：４４４ｎｍ、ｐＫａＨ：１．８６【０２００】
【化２５】
2019021622.tif 000028
【０２０１】
〔塩基性化合物〕
Ｄ−１：下記に示す構造の化合物（ＣＭＴＵ）【０２０２】
【化２６】
2019021622.tif 000029
【０２０３】
Ｄ−２：２，４，５−トリフェニルイミダゾール（東京化成工業（株）製）
Ｄ−３：１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノネン（東京化成工業（株）製）【０２０４】
〔界面活性剤〕
Ｅ−１：メガファックＦ−５５４（フッ素系ノニオン界面活性剤、ＤＩＣ（株）製）
Ｅ−２：メガファックＦ−５５２（フッ素系ノニオン界面活性剤、ＤＩＣ（株）製）
Ｅ−３：メガファックＦ−２５３（フッ素系ノニオン界面活性剤、ＤＩＣ（株）製）【０２０５】
（実施例１〜２２及び比較例１〜４）
＜感光性転写材料の調製＞
実施例１〜２２及び比較例１〜４では、下記表２に示す固形分比となるように、重合体成分、光酸発生剤、塩基性化合物、界面活性剤、及び、その他の成分を酢酸ｎ−プロピル／メチルエチルケトン＝７０／３０（体積％）に固形分濃度１４質量％になるように溶解混合し、孔径０．２μｍのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過して、感光性樹脂組成物を得た。
この感光性樹脂組成物を、仮支持体となる厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（以下、「ＰＥＴ（Ａ）」ともいう。）の上に、スリット状ノズルを用いて乾燥膜厚が３．０μｍとなるように塗布した。その後、１００℃のコンベクションオーブンで２分間乾燥させ、最後にカバーフィルムとしてポリプロピレンフィルム（王子エフテックス（株）製、アルファンＰＫ−００２）を圧着して感光性転写材料を作成した。【０２０６】
［性能評価］
厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に厚さ２００ｎｍでスパッタ法にて銅層を作製した銅層付きＰＥＴ基板を使用した。【０２０７】
＜感度評価＞
作製した感光性転写材料を、線圧０．８ＭＰａ、線速度３．０ｍ／ｍｉｎ．のラミネート条件で銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。なお、ロール温度９０℃で、目視評価により、感光性樹脂層が銅層に泡や浮きがなく密着している面積を確認し、上記面積が９５％未満である場合、上記面積が９５％以上になるまでロール温度を上げて試料を作製した。
仮支持体を剥離せずに線幅３μｍ〜２０μｍのラインアンドスペースパターンマスク（Ｄｕｔｙ比  １：１）を介して超高圧水銀灯で感光性樹脂層を露光後、１時間放置した後に仮支持体を剥離して現像した。現像は２８℃の１．０％炭酸ナトリウム水溶液を用い、シャワー現像で３０秒行った。上記方法にて１０μｍのラインアンドスペースパターンを形成したとき、スペース部の残渣を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察し評価し、ＳＥＭによる観察において、残渣が確認できなくなる露光量を求めた。露光量が２００ｍＪ／ｃｍ２以下が実用可能レベルである。露光量が小さいほど、露光感度に優れているといえる。
−評価基準−
Ａ：８０ｍＪ／ｃｍ２以下
Ｂ：８０ｍＪ／ｃｍ２を超え１００ｍＪ／ｃｍ２以下
Ｃ：１００ｍＪ／ｃｍ２を超え２００ｍＪ／ｃｍ２以下
Ｄ：２００ｍＪ／ｃｍ２を超え３００ｍＪ／ｃｍ２以下
Ｅ：３００ｍＪ／ｃｍ２を超える【０２０８】
＜視認性評価＞
作製した感光性転写材料を、線圧０．８ＭＰａ、線速度３．０ｍ／ｍｉｎ．のラミネート条件で銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。なお、ロール温度９０℃で、目視評価により、感光性樹脂層が銅層に泡や浮きがなく密着している面積を確認し、上記面積が９５％未満である場合、上記面積が９５％以上になるまでロール温度を上げて試料を作製した。仮支持体を剥離せずに一部を遮光し、超高圧水銀灯で感光性樹脂層を露光した後、４時間放置した。露光量は、上記感度評価で求めた露光量を採用した。
白黒用ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラの先端に倍率４倍の光学レンズを取り付け、露光部の反射光強度と未露光部の反射光強度とをそれぞれ測定した。
反射光強度比＝（露光部の反射光強度）／（未露光部の反射光強度）
上記反射光強度比の値が小さいほど良好な性能であり、下記評価基準において実用レベルはＡ〜Ｃである。【０２０９】
−測定条件−
読取りカメラ画素数：５００万画素（２，４３２×２，０５０）
読取りカメラ分光感度：４００ｎｍ＝ｘ０．６、５００ｎｍ＝ｘ１．０、６００ｎｍ＝ｘ０．８４、７００ｎｍ＝ｘ０．５５
光源：Ｄ６５光源（国際照明委員会（ＣＩＥ）標準光源Ｄ６５）を、富士フイルム（株）製シャープカットフィルタＳＣ−４２を通過させたもの【０２１０】
−評価基準−
Ａ：反射光強度比が０．４５未満
Ｂ：反射光強度比が０．４５以上０．６５未満
Ｃ：反射光強度比が０．６５以上０．７８未満
Ｄ：反射光強度比が０．７８以上０．９０未満
Ｅ：反射光強度比が０．９０以上【０２１１】
＜直線性評価＞
作製した感光性転写材料を、線圧０．８ＭＰａ、線速度３．０ｍ／ｍｉｎ．のラミネート条件で銅層付きＰＥＴ基板にラミネートした。なお、ロール温度９０℃で、目視評価により、感光性樹脂層が銅層に泡や浮きがなく密着している面積を確認し、上記面積が９５％未満である場合、上記面積が９５％以上になるまでロール温度を上げて試料を作製した。
仮支持体を剥離せずに線幅３μｍ〜２０μｍのラインアンドスペースパターン（Ｄｕｔｙ比  １：１）マスクを介して超高圧水銀灯で、感光性樹脂層を感度評価で求めた露光量で露光した。４時間放置した後に仮支持体を剥離して現像した。現像は２８℃の１．０％炭酸ナトリウム水溶液を用い、シャワー現像で３０秒行った。このようにして得られたラインアンドスペースパターンで、ライン幅が７±０．５μｍに入るパターンの長手方向のエッジ４０μｍの範囲について、線幅を５０ポイント測定し、その測定ばらつきについて標準偏差を求め、３σを算出した。これをｎ＝５測定し平均値（ＬＷＲ、line width roughness）を求めた。値が小さいほど良好な性能であり、実用レベルはＡ〜Ｃである。
−評価基準−
Ａ：ＬＷＲが２００ｎｍ未満
Ｂ：ＬＷＲが２００ｎｍ以上２４０ｎｍ未満
Ｃ：ＬＷＲが２４０ｎｍ以上２９０ｎｍ未満
Ｄ：ＬＷＲが２９０ｎｍ以上３４０ｎｍ未満
Ｅ：ＬＷＲが３４０ｎｍ以上【０２１２】
評価結果を、表２にまとめて示す。【０２１３】
【表２】
2019021622.tif 000030
【０２１４】
なお、表２の各成分の量の単位は、質量部である。
また、比較例４では、感度が出ないため、きれいなパターンが形成できず直線性は「Ｅ」となった。
表２に示すように、本開示に係る感光性樹脂組成物は、感度及び視認性を高いレベルで両立することが可能であった。
また、表２に示すように、本開示に係る感光性転写材料は、銅層への転写が可能であった。【０２１５】
（実施例１０１）
１００μｍ厚ＰＥＴ基材上に、第２層の導電性層として酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）をスパッタリングで１５０ｎｍ厚にて成膜し、その上に第１層の導電性層として銅を真空蒸着法で２００ｎｍ厚にて成膜して、回路形成基板とした。
銅層上に実施例１で得た感光性転写材料１をラミネートした（線圧０．８ＭＰａ、線速度３．０ｍ／ｍｉｎ、ロール温度９０℃）。仮支持体を剥離せずに一方向に導電性層パッドが連結された構成を持つ図３に示すパターン（以下、「パターンＡ」とも称する。）を設けたフォトマスクを用いてコンタクトパターン露光した。
なお、図３に示すパターンＡは、実線部ＳＬ及びグレー部Ｇが遮光部であり、点線部ＤＬはアライメント合わせの枠を仮想的に示したものである。
その後仮支持体を剥離し、現像、水洗を行ってパターンＡを得た。次いで銅エッチング液（関東化学（株）製Ｃｕ−０２）を用いて銅層をエッチングした後、ＩＴＯエッチング液（関東化学（株）製ＩＴＯ−０２）を用いてＩＴＯ層をエッチングすることで、銅（実線部ＳＬ）とＩＴＯ（グレー部Ｇ）とが共にパターンＡで描画された基板を得た。【０２１６】
次いで、アライメントを合わせた状態で図４に示すパターン（以下、「パターンＢ」とも称する。）の開口部を設けたフォトマスクを用いてパターン露光し、現像、水洗を行った。
なお、図４に示すパターンＢは、グレー部Ｇが遮光部であり、点線部ＤＬはアライメント合わせの枠を仮想的に示したものである。
その後、Ｃｕ−０２を用いて銅層をエッチングし、残った感光性樹脂層を剥離液（１０質量％水酸化ナトリウム水溶液）を用いて剥離し、回路配線基板を得た。
これにより、回路配線基板を得た。顕微鏡で観察したところ、剥がれや欠けなどは無く、きれいなパターンであった。【０２１７】
（実施例１０２）
１００μｍ厚ＰＥＴ基材上に、第２層の導電性層としてＩＴＯをスパッタリングで１５０ｎｍ厚にて成膜し、その上に第１層の導電性層として銅を真空蒸着法で２００ｎｍ厚にて成膜して、回路形成基板とした。
銅層上に実施例１で得た感光性転写材料１をラミネートした（線圧０．８ＭＰａ、線速度３．０ｍ/ｍｉｎ、ロール温度９０℃）。
仮支持体を剥離せずに一方向に導電性層パッドが連結された構成を持つ図３に示すパターンＡを設けたフォトマスクを用いて感光性樹脂層をパターン露光した。その後仮支持体を剥離し、現像、水洗を行ってパターンＡを得た。次いで銅エッチング液（関東化学（株）製Ｃｕ−０２）を用いて銅層をエッチングした後、ＩＴＯエッチング液（関東化学（株）製ＩＴＯ−０２）を用いてＩＴＯ層をエッチングすることで、銅（実線部ＳＬ）とＩＴＯ（グレー部Ｇ）とが共にパターンＡで描画された基板を得た。
次いで、残存しているレジスト上に保護層としてＰＥＴ（Ａ）をラミネートした。この状態で、アライメントを合わせた状態で図４に示すパターンＢの開口部を設けたフォトマスクを用いてパターン露光し、ＰＥＴ（Ａ）を剥離した後に現像、水洗を行った。
その後、Ｃｕ−０２を用いて銅配線をエッチングし、残った感光性樹脂層を剥離液（関東化学（株）製ＫＰ−３０１）を用いて剥離し、回路配線基板を得た。
顕微鏡で観察したところ、剥がれや欠けなどは無く、きれいなパターンであった。
【符号の説明】
【０２１８】
１２  仮支持体
１４  感光性樹脂層
１４Ａ  第１パターン
１４Ｂ  第２パターン
１６  カバーフィルム
２０  回路形成用基板
２２  基材
２４  第１導電層
２４Ａ  第１導電層（第１エッチング工程後）
２４Ｂ  第１導電層（第２エッチング工程後）
２６  第２導電層
２６Ａ  第２導電層（第１エッチング工程及び第２エッチング工程後）
３０  マスク
４０  マスク
１００  感光性転写材料
ＳＬ  実線部
Ｇ  グレー部
ＤＬ  点線部
【図１】
2019021622.tif 000034
【図２】
2019021622.tif 000035
【図３】
2019021622.tif 000036
【図４】
2019021622.tif 000037
【国際調査報告】
2019021622.tif 000038
2019021622.tif 000039
2019021622.tif 000040
2019021622.tif 000041