(57)【要約】低減荷重印加機構の大型化や複雑化を招くことがなく、小型で信頼性の高い真空バルブを得る。この発明に係る真空バルブは、可動側通電軸あるいは固定側通電軸のうち少なくとも一方の軸面の周縁に磁性体が配置される。さらに、この磁性体は他の部位に比べ磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有する。この低磁気パーミアンス部を配置することにより、軸方向に平行な磁場を生じる。アーク放電は、この平行な磁場の方へ駆動され、消弧される。
2019188699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記可動側通電軸あるいは前記固定側通電軸の少なくも一方の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
前記磁性体は、板状の第１の板状磁性体と板状の第２の板状磁性体とを重ね合わせて構成されることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記磁性体は、前記低磁気パーミアンス部の両端あるいは一端に、前記低磁気パーミアンス部を除く他の部位に比べ磁気パーミアンスを減衰する磁気パーミアンス減衰部を配置することを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体に形成された切り欠き部であること特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項５】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体に溝を形成された溝部であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第１の磁気劣化部であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第１の磁気劣化部であり、
前記第２の板状磁性体は、前記第１の磁気劣化部を有することを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記磁気パーミアンス減衰部は、傾斜面を有する傾斜形状部であること特徴とする請求項３に記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記磁気パーミアンス減衰部は、段差面を有する段差形状部であることを特徴とする請求項３に記載の真空バルブ。
【請求項１０】
前記磁気パーミアンス減衰部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第２の磁気劣化部であることを特徴とする請求項３に記載の真空バルブ。
【請求項１１】
前記可動側電極と前記固定側電極とは、中心部側を一方の端点とし、縁部を他方の端点として複数の円弧部に分割して複数の翼部を形成するスリットとを有することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１２】
前記可動側電極の接触面あるいは前記固定側電極の接触面の少なくとも一方に、凸部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１３】
前記凸部は、前記可動側電極の接触面あるいは前記固定側電極の接触面の少なくとも一方の中心部に配置されたことを特徴とする請求項１２に記載の真空バルブ。
【請求項１４】
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である可動側磁性体を備え、
前記可動側磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記可動側電極の前記翼部の外周側の最先端部分とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする請求項１１に記載の真空バルブ。
【請求項１５】
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である固定側磁性体を備え、
前記固定側磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記固定側電極の前記翼部の外周側の最先端部分とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする請求項１１に記載の真空バルブ。
【請求項１６】
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である可動側磁性体と、
前記可動側磁性体と前記可動側電極との間に空隙を備えることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１７】
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である固定側磁性体と、
前記固定側磁性体と前記固定側電極との間に空隙を備えることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１８】
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である可動側磁性体と、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である固定側磁性体とを備えること特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１９】
前記可動側磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記固定側磁性体の前記低磁気パーミアンス部とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする請求項１８に記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空を維持する絶縁容器内に、固定側電極および可動側電極が配置され、回路の遮断および接続を行う真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の真空バルブでは、事故発生時などに電気回路を流れる大電流を、固定側電極と可動側電極との間を閉状態から開状態することにより、遮断する機能を有する。なお、電流を遮断する場合には、固定側電極と可動側電極との間にアーク放電が発生する。
このアーク放電を消弧するために、固定側電極と可動側電極とには、中心部より突出した接触部と、中心部側を一方の端点とし接触部の周縁を他方の端点として接触部を複数の円弧部に分割するスリットとを有する。
さらに、固定側電極を支持する固定側軸と可動側電極を支持する可動側軸との面に沿って周縁に磁性体が配置される。
この構造により、アーク放電にローレンツ力を作用させ、電極の周縁部に沿ってアーク放電を回転駆動させ効率よく消弧することができる（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１２７２８０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の真空バルブは、図１７に示すように構成されている。図１７（ａ）は、可動側電極部１０１ｕの固定側電極部１０１ｄと接触する面の正面図であり、図１７（ｂ）は、固定側電極部１０１ｄの可動側電極部１０１ｕと接触する面の正面図である。なお、図１７（ａ）では、可動側電極部１０１ｕの側から固定側電極部１０１ｄの側へ流れる電流を明確に説明するため、可動側電極部１０１ｕを紙面上の上と下とを反転し表示している。【０００５】
つぎに、可動側電極部１０１ｕの接触部２０２と固定側電極部１０１ｄの接触部２０２とが接触する閉状態にある場合の可動側電極部１０１ｕの側から固定側電極部１０１ｄの側へ流れる電流を説明する。
可動側電極部１０１ｕと固定側電極部１０１ｄが接触している場合、可動側電極部１０１ｕの接触部２０２と固定側電極部１０１ｄの接触部２０２とは、中心部２０１より突出した形状であるので、可動側電極部１０１ｕの中心部２０１と固定側電極部１０１ｄの中心部２０１とには電流は流れず、可動側電極部１０１ｕの接触部２０２と固定側電極部１０１ｄの接触部２０２とに電流が流れる。
可動側電極部１０１ｕにおいて、紙面の上から下方向へ中心部２０１近傍の接触部２０２に流れ込んだ電流成分電流成分Ｉｖｕは、可動側電極部１０１ｕの中心側から周方向へ流れる電流成分Ｉｃｕに分岐する。
電流成分Ｉｃｕは、可動側電極部１０１ｕの接触部２０２から固定側電極部１０１ｄの接触部２０２へ流入する。さらに、固定側電極部１０１ｄの接触部２０２から中心部２０１近傍へ流れ込む電流成分Ｉｃｄを生じ、固定側電極部１０１ｄから紙面上から下方向へ流出する電流成分Ｉｖｄとなる。
固定側電極部１０１ｄを流れる電流成分Ｉｃｄは、同心円状の磁束Ｍｄを生じる。同様に、可動側電極部１０１ｕを流れる電流成分Ｉｃｕは、同心円状の磁束Ｍｕを生じる。
可動側電極部１０１ｕ上では、磁束Ｍｄは中心部２０１側から周方向の磁束となり、電流成分Ｉｃｕに作用し、可動側電極部１０１ｕに紙面下から上方向へ作用するローレンツ力Ｆｕを生じる。
同様に固定側電極部１０１ｄ上では、磁束Ｍｕは中心部２０１側から周方向の磁束となり、電流成分Ｉｃｄに作用し、固定側電極部１０１ｄに紙面上から下方向へ作用するローレンツ力Ｆｄを生じる。【０００６】
すなわち、従来の真空バルブを閉状態とし、固定側軸と可動側軸電流と間に電流を通流させる場合、固定側電極部１０１ｄと可動側電極部１０１ｕとには、ローレンツ力が作用し、開状態にさせる方向に反発力が生じてしまう。
そのため、固定側電極と可動側電極とが意図せず開離することがないように、荷重（以下、接触荷重と称する）を印加する必要がある。よって、従来の真空バルブでは、開状態にさせる方向に反発力が生じてしまうため、接触荷重が増大し荷重印加機構の大型化や複雑化を招くという課題があった。【０００７】
なお、仮に固定側電極と可動側電極とが、接触部２０２が中心部２０１より突出した形状ではなく、接触部２０２と中心部２０１とが、同一な面に形成された形状である場合、真空バルブが閉状態から開状態となる遮断動作時に中心部２０１近傍にアーク放電が発生することがある。このような中心部２０１近傍に発生するアーク放電には、ローレンツ力が作用せず、このアーク放電を消弧できない問題を生じる。【０００８】
この発明は、前述した荷重印加機構の大型化や複雑化を招く課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、反発力が低減される固定側電極と可動側電極とそれらの周辺の構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る真空バルブは、可動側通電軸あるいは固定側通電軸のうち少なくとも一方の軸面の周縁に磁性体が配置され、さらに、この磁性体は他の部位に比べ磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有する。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、低減荷重印加機構の大型化や複雑化を招くことがなく、小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１に係る真空バルブ１００の断面図である。
【図２】真空バルブ１００の固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の斜視図である。
【図３】真空バルブ１００の固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の正面図である。
【図４】真空バルブ１００の閉状態の固定側電極５および可動側電極８、それら周辺の断面図と、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との配置を示す正面図である。
【図５】真空バルブ１００の閉状態の固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の斜視図である。
【図６】真空バルブ１００の固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の正面である。
【図７】真空バルブ１００の遮断動作時の各パラメータの時間変化を示すグラフである。
【図８】真空バルブ１００の遮断動作時の固定側電極５の接触面５ｆ上のアーク放電の状態を示す正面図である。
【図９】真空バルブ１００の遮断動作時のアーク放電の状態示す斜視図である。
【図１０】電流および磁束の方向を説明する真空バルブ１００の固定側電極５、可動側電極８、それらの周辺の断面図である。
【図１１】実施の形態１の好ましい例の固定側電極５と固定側磁性体１０との正面図である。
【図１２】実施の形態１の変形例の固定側磁性体１０Ａおよび可動側磁性体１１Ａの形状、生じる磁束密度を説明する正面図である。
【図１３】この発明の実施の形態２に係る固定側電極５および可動側電極８Ａ、それらの周辺の断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態３に係る固定側磁性体１０の磁性体で構成された部分と可動側磁性体１１磁性体で構成された部分とが重なる部分の面積を説明する配置図と、固定側電極５上のアーク放電を説明する正面図である。
【図１５】この発明の実施の形態４に係る真空バルブの固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の断面図である。
【図１６】幅ｄｓによるアーク駆動力を比較したグラフである。
【図１７】従来の真空バルブに加わるローレンツ力を説明する正面図である。
【図１８】実施の形態５に係る真空バルブ１１０の可動側磁性体１１Ｂおよび固定側磁性体１０Ｂ、それらの周辺の斜視図である。
【図１９】実施の形態５に係る真空バルブ１１０の可動側磁性体１１Ｂおよび固定側磁性体１０Ｂの側面図である。
【図２０】実施の形態１に係る真空バルブ１００の可動側磁性体１１および固定側磁性体１０、それらの周辺の斜視図である。
【図２１】真空バルブ１００の可動側磁性体１１および固定側磁性体１０の側面図である。
【図２２】真空バルブ１００との磁気回路を示す磁気回路図である。
【図２３】図２２に示す磁気回路を簡略化した磁気回路図である。
【図２４】実施の形態５に係る変形例の真空バルブ１２０の可動側磁性体１１Ｃおよび固定側磁性体１０Ｃ、それらの周辺の斜視図である。
【図２５】実施の形態５に係る変形例の真空バルブ１２０の可動側磁性体１１Ｃおよび固定側磁性体１０Ｃの側面図である。
【図２６】実施の形態６に係る真空バルブ１３０の可動側磁性体１１Ｄおよび固定側磁性体１０Ｄ、それらの周辺の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１について、図１〜図１２を参照し詳細に説明する。
はじめに、図１〜図３を参照して、実施の形態１に係る真空バルブ１００の構成を説明する。
図１は、この発明を実施するための実施の形態１に係る真空バルブ１００の断面図であり、図２は、真空バルブ１００の固定側電極５、可動側電極８、それらの周辺の斜視図である。さらに図３は、真空バルブ１００の固定側電極５、可動側電極８、それらの周辺の正面図である。
【００１３】
図１に矢印で示すＹ方向は、図１の紙面上の裏面から表面への方向を示し、矢印で示すＸ方向は、図１の紙面上の左から右への方向を示し、矢印で示すＺ方向は、図１の紙面上の上から下への方向を示す。また、図２および図３に矢印で示すＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向とそれぞれ同様な方向を示す。
さらに、図４〜図１５、および図１８〜図２６にＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向を示す場合、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向とそれぞれ同様な方向を示す。
【００１４】
図１および図２を参照して、筒状の絶縁容器１は、セラミックスなどの絶縁性の部材で構成される。絶縁容器１の一方の端部に、可動側端板３が配置される。さらに、絶縁容器１の他方の端部に、固定側端板２が配置される。
【００１５】
可動側端板３には、Ｚ方向に伸縮自在のベローズ６の一端側が取り付けれ、ベローズ６のもう一端側には、ベローズシールド１２が取り付けられる。さらに、ベローズシールド１２を貫通するように、可動側通電軸７が取り付けられる。さらに、可動側通電軸７の端部には、可動側電極８を有する。
なお、可動側端板３、ベローズ６、ベローズシールド１２、可動側通電軸７、および可動側電極８は、電気的に接続される。さらに、磁性体で構成される可動側磁性体１１は、可動側通電軸７の軸面の周縁に配置される。
【００１６】
固定側端板２には、可動側通電軸７の軸線の延長上に、固定側端板２を貫通するように固定側通電軸４が取り付けられる。また、固定側通電軸４の端部には、固定側電極５を有する。
なお、固定側端板２、固定側通電軸４、および固定側電極５は、電気的に接続される。さらに、磁性体で構成される固定側磁性体１０は、固定側通電軸４の軸面の周縁に配置される。
【００１７】
また、固定側電極５の接触面５ｆと可動側電極８の接触面８ｆとは、対向するように配置される。電極間距離ｇは、固定側電極５の接触面５ｆと可動側電極８の接触面８ｆとの間の距離を示し、最大距離ｇｍａｘは、電極間距離ｇの最大値であり、可動側通電軸７の動作範囲の最大値である。
【００１８】
さらに、絶縁容器１の内部には、金属などの導電性部材で形成されたアークシールド９を備える。アークシールド９は、固定側電極５と可動側電極８とを覆うように設置される。また、アークシールド９は、可動側電極８と固定側電極５との間にアーク放電が発生した場合、アーク放電の熱により可動側電極８と固定側電極５とから飛散する金属蒸気および金属粒子から他の部位を保護する役割を担う。
【００１９】
つぎに、図３を参照して、真空バルブ１００の固定側電極５、可動側電極８、およびそれらの周辺の構造を詳細に説明する。
図３（ａ）は、図１に印す破線Ａ−Ａに示す可動側電極８と可動側通電軸７との接続位置の正面図である。後述する電流方向を一致して表示するために、Ｙ方向を反転して表示している。図３（ｂ）は、可動側電極８の接触面８ｆの正面図であり、同様にＹ方向を反転し表示している。図３（ｃ）は、固定側電極５の接触面５ｆの正面図である。さらに、図３（ｄ）は、図１に印す破線Ｂ−Ｂに示す固定側電極５と固定側通電軸４との接続位置の正面図である。
【００２０】
図３（ａ）を参照して、磁性体で構成された可動側磁性体１１は、可動側通電軸７の軸面７ｆの周縁に配置される。また、可動側磁性体１１は、磁性体で構成された一部を切り取ったように形成された切り欠き部１１ｎを有する。さらに、先端部１１ｔは、磁性体で構成された部分と切り欠き部１１ｎとの境界のうち外周側に位置する。
図３（ｂ）を参照して、可動側電極８は、点線で示す中心部８ｃの側を一方の端点とし、縁部８ｅを他方の端点として、スリット８ｓを有する。また、スリット８ｓは、可動側電極８の外周を複数の円弧部８ａに分割する。さらに、スリット８ｓと円弧部８ａとで挟まれ、図中点線で囲まれた部位を翼部８ｗと称する。また、先端部８ｔは、翼部８ｗの外周側の最先端部分である。言い換えると、スリット８ｓにより、中心部８ｃより縁部８ｅ側の部位は、複数の翼部８ｗに分割される。
なお、本実施の形態１の場合、可動側電極８は、スリット８ｓを３個有し、可動側電極８の外周は、３つに分割され円弧部８ａを３個有する。さらに、翼部８ｗも３個有する。
【００２１】
図３（ｃ）を参照して、固定側電極５は、点線で示す中心部５ｃの側を一方の端点とし、縁部５ｅを他方の端点として、スリット５ｓを有する。さらに、スリット５ｓは、固定側電極５の外周を複数の円弧部５ａに分割する。また、スリット５ｓと円弧部５ａとで挟まれ、図中点線で囲まれた部位を翼部５ｗと称する。また、先端部５ｔは、翼部５ｗの外周側の最先端部分である。言い換えると、スリット５ｓにより、中心部５ｃより縁部５ｅ側の部位は、複数の翼部５ｗに分割される。
なお、本実施の形態１の場合、固定側電極５は、スリット５ｓを３個有し、固定側電極５の外周は、３つに分割され円弧部５ａを３個有する。さらに、翼部５ｗも３個有する。
図３（ｄ）を参照して、磁性体で構成された固定側磁性体１０は、固定側通電軸４の軸面４ｆの周縁に配置される。また、固定側磁性体１０は、磁性体で構成された一部が切り取ったように形成された切り欠き部１０ｎを有する。さらに、先端部１０ｔは、磁性体で構成された部分と切り欠き部１０ｎとの境界のうち外周側に位置する。
また、本実施の形態１の場合は、可動側磁性体１１の切り欠き部１１ｎは固定側磁性体１０の切り欠き部１０ｎに対し、Ｚ方向の周りに１８０度回転したように配置される。
【００２２】
つぎに、真空バルブ１００の動作について説明する。
真空バルブ１００の内部は、高い絶縁状態を維持するために、１×１０−３パスカル以下の真空状態に保たれる。また、可動側電極８と固定側電極５とを接続する閉状態と、可動側電極８と固定側電極５とを開放する開状態とを、切り替えることが可能である。
図１は、可動側電極８と固定側電極５とが接続していない開状態である。言い換えると、接触面８ｆと接触面５ｆとが接触していない状態である。
外部から可動側通電軸７に、Ｚ方向へ押圧が印加されることにより、可動側通電軸７が移動し、可動側電極８と固定側電極５とが接続する閉状態となる。言い換えると、接触面８ｆと接触面５ｆとが接触している状態である。
すなわち、可動側通電軸７を移動することにより、開状態から閉状態への切り替え、あるいは閉状態から開状態への切り替えることが可能である。
【００２３】
つぎに、図４〜１０を参照して、遮断動作時に発生するアーク放電を消弧するメカニズムについて説明する。
はじめに、図４〜図６を参照して、真空バルブ１００の閉状態における電流経路およびこの電流より生じる磁場について説明する。
図４は、真空バルブ１００の閉状態の固定側電極５および可動側電極８、それら周辺の断面図と、可動側磁性体１１および固定側磁性体１０の配置とを示す正面図である。
図４（ａ）は、図１に示す断面と同一な方向からの断面図であり、電流Ｉｄの方向、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、および漏れ磁束Ｍｖｒの方向を併記する。
図４（ｂ）は、Ｚ方向から正面視した場合の可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との配置図であり、漏れ磁束Ｍｖ、および漏れ磁束Ｍｖｒの方向を併記する。
さらに、部位ｖ１と部位ｖ２とは、可動側磁性体１１の磁性体で構成された部分と固定側磁性体１０の磁性体で構成された部分とが重なる部分であり、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との間に位置するものとする。
【００２４】
図５は、真空バルブ１００の閉状態における固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の斜視図であり、電流Ｉｄの方向、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、および漏れ磁束Ｍｖｒの方向を併記する。
【００２５】
さらに、図６は、図３と同様に、真空バルブ１００の固定側電極５および可動側電極８、それらの周辺の正面であり、電流Ｉｄの方向、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。
図６（ａ）に、図３（ａ）と同様に可動側電極８と可動側通電軸７との接続位置の正面と、電流Ｉｄの方向、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。図６（ｂ）に、図３（ｂ）と同様に可動側電極８の正面と、電流Ｉｄの方向を併記する。図６（ｃ）に、図３（ｃ）と同様に固定側電極５の正面と、電流Ｉｄの方向を併記する。図６（ｄ）に、図３（ｄ）と同様に固定側電極５と固定側通電軸４との接続位置の正面と、電流Ｉｄの方向、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。
【００２６】
真空バルブ１００は閉状態であり、可動側通電軸７から固定側通電軸４へ電流Ｉｄが流れている状態である。すなわち、Ｚ方向に電流Ｉｄが流れる状態である。
また、固定側電極５の接触面５ｆと可動側電極８の接触面８ｆとは、全面で接触するので、主に電流Ｉｄは可動側電極８の中心部８ｃから固定側電極５の中心部５ｃを通り流れる。
すなわち、従来の真空バルブ（特許文献１に記載）に比べ、電流Ｉｄは、翼部８ｗと翼部５ｗを経由する電流成分は生じない、あるいは僅かである。よって、固定側電極５と可動側電極８との間に開状態にさせる方向の反発力は低減される。
【００２７】
電流Ｉｄによる起磁力が発生する磁束について説明する。
まず、電流Ｉｄにより、可動側通電軸７および固定側通電軸４を中心に同心円状の磁束を生じる。この磁束のうち、磁束Ｍｒは可動側磁性体１１および固定側磁性体１０を周回する磁束である。
さらに、可動側磁性体１１の切り欠き部１１ｎを有するので、漏れ磁束が発生する。磁束Ｍｒと同一方向の漏れ磁束Ｍｐと、可動側電極８の側から固定側通電軸４の側への方向を有する漏れ磁束Ｍｖと、固定側通電軸４の側から可動側電極８の側への方向を有する漏れ磁束Ｍｖｒとを生じる。
同様に、固定側磁性体１０の切り欠き部１０ｎを有するので、漏れ磁束が発生する。磁束Ｍｒと同一方向の漏れ磁束Ｍｐと、可動側電極８の側から固定側通電軸４の側への方向を有する漏れ磁束Ｍｖと、固定側通電軸４の側から可動側電極８の側への方向を有する漏れ磁束Ｍｖｒとを生じる。
また、漏れ磁束Ｍｖは、主に部位ｖ２を通過し、漏れ磁束Ｍｖｒは主に部位ｖ１を通過する。
【００２８】
つぎに、図７〜図１０を参照して、真空バルブ１００が、電流Ｉｄが流れる状態で遮断動作を実行した時に、接触面５ｆと接触面８ｆとの間に発生するアーク放電を消弧するメカニズムについて説明する。
【００２９】
図７は、真空バルブ１００が遮断動作を実行した時の各パラメータの時間変化を示すグラフである。
図７（ａ）は、電極間距離ｇの時間変化を示す。
さらに、漏れ磁束Ｍｖと漏れ磁束Ｍｖｒとによる磁場を平行磁場と定義し、漏れ磁束Ｍｖと漏れ磁束Ｍｖｒとによる磁場強度の絶対値の平均値を平行磁場強度と定義する。
また、可動側磁性体１１の内部あるいは固定側磁性体１０の内部を周回する磁束Ｍｒによる磁場を周回磁場と定義し、磁束Ｍｒによる強度の絶対値の平均値を周回磁場強度と定義する。
図７（ｂ）では、平行磁場強度と周回磁場強度との時間変化を示す。
なお、時間ゼロでは、真空バルブ１００は閉状態であり、可動側通電軸７の機械的動作を実行し、電極間距離ｇが最大距離ｇｍａｘなった時点で、可動側通電軸７の機械的動作が完了する。
さらに、この間に固定側電極５の接触面５ｆと可動側電極８の接触面８ｆと間にアーク放電が生じ、時間ｔ３でアーク放電が消弧され、平行磁場および周回磁場は消滅するものとする。
【００３０】
また、アーク放電の発生位置は、遮断動作時に接触面５ｆと接触面８ｆとが最後に離れる点となる。すなわち、接触面５ｆおよび接触面８ｆの微小凹凸などの影響を受けて、アーク放電の発生位置は、接触面（５ｆ、８ｆ）のどの位置でもなりうる。
前述したように、従来の真空バルブ（特許文献１に記載）が、仮に固定側電極および可動側電極の接触部２０２が中心部２０１より突出した形状ではなく、接触部２０２と中心部２０１とが、同一な面に形成された形状である場合、中心部２０１で生じたアーク放電を消弧できない問題を生じる。
この発明は、遮断動作に中心部（８ｃ、５ｃ）に発生するアーク放電を消弧する機能が高いので、アーク放電は中心部（８ｃ、５ｃ）に発生するものとして、アーク放電を消弧するメカニズムについて説明する。
【００３１】
図８は、遮断動作時の真空バルブ１００の固定側電極５の接触面５ｆ上のアーク放電の状態を示す正面図である。同様に、図９は、遮断動作時の固定側電極５および可動側電極８のアーク放電の状態を示す斜視図である。
なお、図８（ａ）および図９（ａ）は、図７に示す時間ｔ１における状態を示し、図８（ｂ）および図９（ｂ）は、図７に示す時間ｔ２における状態を示し、図８（ｃ）および図９（ｃ）は、図７に示す時間ｔ３における状態を示す。
さらに、図１０は、アーク放電が翼部５ｗへ移動した後の、電流および磁束の方向を説明する真空バルブ１００の固定側電極５、可動側電極８、それらの周辺の断面図であり、電流Ｉａ、磁束Ｍａ、ローレンツ力Ｆａの方向を併記する。
【００３２】
図７、図８（ａ）および図９（ａ）を参照して、遮断動作開始直後の時間ｔ１では、中心部８ｃから中心部５ｃへ放電するアーク放電ａ１をすでに生じている。
なお、固定側電極５の内部および可動側電極８の内部の磁気パーミアンスが変化しないので、周回磁場強度はほぼ変化しない。
電極間距離ｇが広がると、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との間の磁気パーミアンスが低下し、平行磁場強度は初期強度から磁場強度値ｍｓ１まで減衰する。一方、周回磁場強度は比較的高い磁場強度値ｍｇ1を維持する。
【００３３】
図７、図８（ｂ）および図９（ｂ）を参照して、さらに、時間ｔ１から時間経過後の時間ｔ２では、アーク放電ａ１は、アーク放電ａ２に示すように中心部５ｃから翼部５ｗの側へ移動しながら拡散し、断面積（接触面５ｆ上の面積）が拡大する。
この変化は、真空中のアーク放電に特有の事象であり、アーク放電が放電電流と平行な磁場（平行磁場）の強度の高いほうへ動く性質があるためである。なお、この現象は、アーク放電を構成する荷電粒子（イオン、電子）が、磁束に対して巻きつくように螺旋運動することによると考えられている。
言い換えると、本実施の形態１の場合、図４（ｂ）に示す部位ｖ１と部位ｖ２とで平行磁場強度が高いので、アーク放電ａ１は部位ｖ１あるいは部位ｖ２の方向に移動する。
【００３４】
アーク放電ａ１が、部位ｖ１および部位ｖ２の方向に移動した後のアークの挙動および消弧メカニズムは、遮断する電流Ｉｄの大きさによって変化する。
まず、遮断する電流Ｉｄが小さい場合のアーク放電の挙動について説明する。
平行磁場によって捕捉された真空中のアーク放電は、平行磁場強度が高い部位ｖ１およびｖ２の全面に拡散し、平行磁場のない場合に比べて電流密度が低下した状態で維持される。そのため、アーク放電ａ２は、固定側電極５および可動側電極８の過度な温度上昇を招くことがない。従って、アーク放電ａ２は部位ｖ１、部位ｖ２の全面に拡散されたまま消弧される。なお、この場合、固定側電極５および可動側電極８の過度な温度上昇を招くことがないので、固定側電極５および可動側電極８の損耗量は極めて少ない。
【００３５】
つぎに、遮断する電流Ｉｄが大きい場合のアーク放電の挙動について説明する。
電流の増加に従い起磁力が増加するため、固定側磁性体１０および可動側磁性体１１を流れる周回磁場の磁束密度が増加する。この磁束密度が、固定側磁性体１０および可動側磁性体１１の材料に固有の飽和磁束密度を上回った場合は磁気飽和が発生し、固定側磁性体１０および可動側磁性体１１の透磁率が著しく低下させる。
この場合、切り欠き部１１ｎを通過して同一磁性体を周回する経路において磁束が通りやすくなり、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒの強度は低下する。すなわち、平行磁場強度は減衰する。そのため、部位ｖ１と部位ｖ２に拡散していたアーク放電ａ２は、拡散状態を維持できず、図８（ｃ）のアーク放電ａ３に示すように翼部５ｗへ移動し、電流密度の高い状態へと変化する。
【００３６】
さらに、図７、図８（ｃ）および図９（ｃ）を参照して、詳細に、アーク放電ａ３について説明する。
時間ｔ２から時間経過後の時間ｔ３では、アーク放電ａ２は、アーク放電ａ３に示すように翼部５ｗへ移動する。
さらに、図１０を参照して、アーク放電ａ３により流れる電流Ｉａは、遮断動作前と同様に可動側通電軸７から固定側通電軸４へ流れる。
アーク放電ａ３が翼部５ｗにある場合、電流Ｉａは、可動側電極８の翼部８ｗに沿った方向に流れる。なお、説明を簡略にするため、電流Ｉａは翼部８ｗに沿った方向は、ほぼＹ方向として説明する。
また、電流Ｉａは、アーク放電ａ３として可動側電極８と固定側電極５との間を通過し、翼部５ｗに沿った方向に流れた後に、固定側通電軸４へ流れる。なお、説明を簡略にするため、電流Ｉａの翼部８ｗに沿った方向は、ほぼＹ方向と反対方向として説明する。
電流Ｉａは、可動側電極８の翼部８ｗをＹ方向に流れる場合、電流Ｉａの方向を中心に同心円状の磁束Ｍａを生じる。同様に、固定側電極５の翼部５ｗをＹ方向と反対方向に流れる場合、電流Ｉａの方向を中心に同心円状の磁束Ｍａを生じる。これらの磁束は、アーク放電ａ３の近傍では、Ｘ方向の磁束となる。
さらに、アーク放電ａ３に、Ｙ方向のローレンツ力Ｆａが加わる。ローレンツ力Ｆａにより、アーク放電ａ３は、可動側電極８の接触面８ｆ上と固定側電極５の接触面５ｆ上とを周回するように運動することで冷却され消弧される。
【００３７】
すなわち、当初中心部（８ｃ、５ｃ）に発生したアーク放電ａ１は、放電方向と平行な平行磁場の作用により周方向へ拡散する。
電流Ｉｄが小さい場合は、平行磁場の作用が継続して電流密度の低い拡散状態を維持するため、固定側電極５および可動側電極８の温度上昇が抑制でき、アーク放電ａ２は消弧へと至る。
電流Ｉｄが大きい場合は、磁性体の磁気飽和により平行磁場が維持できず、アーク放電ａ２は翼部５ｗに移動した後、電流密度の高い状態に変化するが、可動側電極８と固定側電極５とを流れる電流Ｉａが形成する磁束によるローレンツ力Ｆａにより、可動側電極８の接触面８ｆ上と固定側電極５の接触面５ｆ上とを周回するように運動することで冷却され消弧される。
なお、ローレンツ力Ｆａは、翼部（８ｗ、５ｗ）に沿った方向の電流Ｉａにより作用するので、実際には、ローレンツ力Ｆａはアーク放電ａ３にＺ方向に回転する方向に作用する。また、説明を簡略にするため、時間ｔ１〜時間ｔ３においても、ローレンツ力Ｆａは、アーク放電に作用するので、アーク放電はＺ方向を軸に回転する方向にも移動する。
【００３８】
前述したように本実施の形態１によれば、閉状態において、真空バルブ１００は固定側電極５と可動側電極８との間に開状態にさせる方向の反発力を抑制することができる。このため、荷重印加機構の大型化や複雑化を招くことがない。
さらに、遮断動作時においても、固定側電極５と可動側電極８との間に発生したアーク放電ａ１を速やかに消弧することができる。
すなわち、本実施の形態１によれば、小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【００３９】
さらに、図１１を参照して本実施の形態１の好ましい例を説明する。
図１１は、固定側電極５と固定側磁性体１０との回転角を説明する正面図である。図１１（ａ）は、固定側電極５の中心を原点Ｏとし、この原点Ｏから紙面上の上方向に伸びた基準軸から時計回りを正の角度した場合の固定側電極５の正面である。同様に、図１１（ｂ）は、図１１（ｂ）と同様な基準軸から時計回りを正の角度とした場合の固定側磁性体１０の正面である。
【００４０】
図１１（ａ）を参照して、前述したように固定側電極５は、翼部５ｗを３個有する。
角度θ１は、基準軸から原点Ｏを中心に正方向に線分を回転させた場合に、最初に接する先端部５ｔとこの線分とが成す角度である。同様に、角度θ２は、基準軸から原点Ｏを中心に正方向に線分を回転させた場合に、角度θ１のつぎに接する先端部５ｔとこの線分とが成す角度である。さらに、角度θ３は、基準軸から原点Ｏを中心に正方向に線分を回転させた場合に、角度θ２のつぎに接する先端部５ｔとこの線分とが成す角度である。
なお、角度θ１、角度θ２、および角度θ３をまとめて角度θｎ（ｎ＝１、２、３）とする。
【００４１】
図１１（ｂ）を参照して、角度（θｃ−Δθｃ）は、固定側磁性体１０の基準軸から原点Ｏを中心に正方向に線分を回転させた場合に、最初に接する切り欠き部１０ｎの一方の先端部１０ｔとこの線分とが成す角度である。同様に、角度（θｃ＋Δθｃ）は、固定側磁性体１０の基準軸から原点Ｏを中心に正方向に線分を回転させた場合に、つぎに接する切り欠き部１０ｎのもう一方の先端部１０ｔとこの線分とが成す角度である。
すなわち、角度θｃは、切り欠き部１０ｎの中心と基準軸と成す角度であり、角度（２×Δθｃ）は、最初に切り欠き部１０ｎの一方の先端部１０ｔともう一方の先端部１０ｔとに原点Ｏを中心として弧を形成した場合の中心角である。
【００４２】
本実施の形態１のより好ましい例は、固定側電極５の先端部５ｔが、固定側磁性体１０の切り欠き部１０ｎに重なり配置されないのが望ましい。
この理由は、固定側電極５の先端部５ｔが、固定側磁性体１０の切り欠き部１０ｎが重なり配置される場合に比べ、固定側電極５の先端部５ｔの近傍におけるアーク放電ａ３に作用するローレンツ力Ｆａが強力になるためである。
言い換えると、固定側電極５の先端部５ｔに、固定側磁性体１０の磁性体で構成された部分が重なり配置されることが望ましい。よって、それぞれの角度θ１、角度θ２、および角度θ３において、角度（θｃ−Δθｃ）＞角度θｎ（ｎ＝１、２、３）あるいは、角度θｎ（ｎ＝１、２、３）＞角度（θｃ＋Δθｃ）の条件を満たすことが、本実施の形態１のより好ましい例である。
【００４３】
同様な理由により、可動側電極８の先端部８ｔが、可動側磁性体１１の切り欠き部１１ｎに重なり配置されないのが望ましい。言い換えると、可動側電極８の先端部８ｔに、可動側磁性体１１の磁性体で構成された部分が重なり配置されることが望ましい。
【００４４】
さらに、図１２を参照して本実施の形態１の変形例を説明する。
図１２は、本実施の形態１の変形例の固定側磁性体１０Ａおよび可動側磁性体１１Ａの形状、生じる磁束を説明する正面図である。図１２（ａ）は、本実施の形態１の変形例の固定側磁性体１０Ａの正面である。図１２（ｂ）は、本実施の形態１の変形例の固定側磁性体１０Ａと可動側磁性体１１Ａとが配置された状態の正面である。
【００４５】
図１２（ａ）を参照して、固定側磁性体１０Ａは、切り欠き部１０ｎを周上に等間隔に３個有する。また、同様に可動側磁性体１１Ａも、切り欠き部１１ｎを周上に等間隔に３個有する。
図１２（ｂ）を参照して、固定側磁性体１０Ａと可動側磁性体１１Ａとは、切り欠き部１０ｎと切り欠き部１１ｎとが重ならないように、可動側磁性体１１Ａは、Ｚ方向を軸に６０度回転し配置される。
電流Ｉｄを流した場合、漏れ磁束Ｍｖと漏れ磁束Ｍｖｒとを、交互にそれぞれ３箇所に発生させることができる。すなわち、平行磁場が形成され、遮断動作時においても、可動側電極８の中心部８ｃから固定側電極５の中心部５ｃを通るアーク放電ａ１が発生しても、消弧することができる。
【００４６】
よって、前述した本実施の形態１のより好ましい例および変形例によっても、閉状態において、真空バルブ１００は、固定側電極５と可動側電極８との間の開状態にさせる方向の反発力を低減されることができるため、荷重印加機構の大型化や複雑化を招くことがない。
さらに、遮断動作時においても、固定側電極５と可動側電極８との間に発生したアーク放電ａ１を速やかに消弧することができる。
すなわち、本実施の形態１によれば、小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【００４７】
実施の形態２．
実施の形態１では、可動側電極８の接触面８ｆは、平面である形態を説明した。
本実施の形態２では、可動側電極８の接触面８ｆに凸部８ｘを有する形態を説明する。
【００４８】
図１３は、固定側電極５および可動側電極８Ａの周辺の断面図であり、その他の部位は、実施の形態１の真空バルブ１００と同様である。
なお、図１３において、図１および図２と同一番号あるいは同一符号は、実施の形態１に示す構成要素と同一品あるいは同等品であるので、その詳細な説明は省略する
【００４９】
図１３を参照して、可動側電極８Ａの接触面８ｆの中心部８ｃに盛り上がった凸部８ｘを有する。前述したように、接触面８ｆが平面である構成では、初期のアーク放電が接触面８ｆのどの位置になるかを予測するのは難しい。しかしながら、アーク放電の挙動に対して、接触面８ｆのどの位置においても遮断性能を確保させる必要がある。そのため、可動側電極８Ａ、固定側電極５、可動側磁性体１１、および固定側磁性体１０の設計が複雑になる場合がある。
【００５０】
凸部８ｘを可動側電極８Ａの接触面８ｆの中心部８ｃに設けることにより、遮断動作時に最後に接触する接触面８ｆ上の位置が凸部８ｘに限定することができる。すなわち、アーク放電の初期の発生位置を凸部８ｘに限定できるため、可動側電極８Ａ、固定側電極５、可動側磁性体１１、および固定側磁性体１０の設計が容易になる。さらに、真空バルブを閉状態として、固定側軸と可動側軸の間に電流を通電した場合に、真空バルブを開状態にさせる方向に生じる反発力を低減することができる。
【００５１】
この反発力の発生メカニズムについては、従来の真空バルブを例示し前述したが、真空バルブの閉状態において、電流成分Ｉｃｕおよび電流成分Ｉｃｄが流れることにより、ローレンツ力Ｆｕおよびローレンツ力Ｆｄを生じることが原因であった。接触する部分を中心部８ｃの凸部８ｘに限定した場合、翼部を電流が流れないために必然的に反発力が低減する効果が得られる。
【００５２】
さらに、真空バルブを閉状態として、固定側軸と可動側軸の間に電流を通電した場合に、生じるジュール損失を低減する効果も得られる。固定側電極５や可動側電極８の材質は、銅や銀といった導電材料を主とした合金であるが、その導電率は純銅などに比べて低い。従って、ジュール損失を低減するには、固定側電極５や可動側電極８内での電流通電経路を最短にすることが好ましい。従来の真空バルブでは翼部に沿って電流が流れるため通電経路が長い。一方で、本実施の形態２では、接触部が中心部８ｃに限定されるために、翼部を電流が流れず、電流経路の長さを短縮することができる。
【００５３】
また、可動側電極８Ａの接触面８ｆの中心部８ｃに凸部８ｘを形成する形態を説明したが、凸部を固定側電極に設けても良く、さらには、凸部を可動側電極８Ａおよび固定側電極の両方に設けても良い。
さらに、凸部８ｘを中心部８ｃに形成する形態を説明したが、アーク放電の初期の発生位置を凸部８ｘに限定できるのであれば、中心部８ｃ、中心部５ｃ以外に設けても良い。
【００５４】
本実施の形態２によれば、実施の形態１の真空バルブ１００が備える効果に加え、可動側電極（８、８Ａ）、固定側電極５、可動側磁性体１１、および固定側磁性体１０の設計が容易になり、製品コストを低減する効果があり、小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
さらには、電磁反発力の大きさを低減し、低減荷重印加機構の大型化や複雑化を招くことがなく、小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。さらにはジュール損失を低減し、高効率な真空バルブを提供することができる。
【００５５】
実施の形態３．
実施の形態１では、固定側磁性体１０の切り欠き部１０ｎと可動側磁性体１１の切り欠き部１１ｎとは、Ｚ方向を軸とし１８０度回転するように配置されていることを説明した。
本実施の形態３では、切り欠き部１０ｎと切り欠き部１１ｎとをＺ方向の周りに１８０度以外に回転するように配置し、固定側磁性体１０の磁性体で構成された部分と可動側磁性体１１の磁性体で構成された部分とが重なる２つの部位（実施の形態１における部位ｖ１、部位ｖ２）の面積に差を設ける形態を説明する。
【００５６】
図１４は、固定側磁性体１０の磁性体で構成された部分と可動側磁性体１１磁性体で構成された部分とが重なる部分の面積を説明する配置図と、固定側電極５上のアーク放電を説明する正面図である。
図１４（ａ）は、Ｚ方向から正面視した場合の可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との配置図であり、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。さらに、部位ｖ１ｗと部位ｖ２ｎとは、可動側磁性体１１の磁性体で構成された部分と固定側磁性体１０の磁性体で構成された部分とが重なる部分である。
図１４（ｂ）は、固定側電極５の接触面５ｆ上のアーク放電（ａ１、ａ３）の状態を示す正面図である。
なお、図１４において、図１〜図１３と同一番号あるいは同一符号は、実施の形態１および実施の形態２に示す構成要素と同一品あるいは同等品であるので、その詳細な説明は省略する
【００５７】
図１４（ａ）を参照して、固定側磁性体１０の切り欠き部１０ｎと可動側磁性体１１の切り欠き部１１ｎとは、Ｚ方向の周りに１８０度以外の角度θｍに配置される。
そのため、部位ｖ１ｗと部位ｖ２ｎとは、同様な面積とならず、部位ｖ２ｎの面積は、部位ｖ１ｗより狭いものとする。
さらに、漏れ磁束Ｍｖｎは主に部位ｖ２ｎを通過し、漏れ磁束Ｍｖｒは主に部位ｖ１ｗを通過する。また、平行磁場強度のうち漏れ磁束Ｍｖｎが寄与する強度と、平行磁場強度のうち漏れ磁束Ｍｖｒが寄与する強度とは、磁界の性質上一致する。よって、部位ｖ２ｎの方が、部位ｖ１ｗより高い磁束密度を有する。
【００５８】
図１４（ｂ）を参照して、前述したように、一般的にアーク放電は、放電方向と平行な磁場（平行磁場）の強度が高い方へ動く性質があるので、中心部８ｃから中心部５ｃへ放電するアーク放電ａ１は、部位ｖ２ｎの方向ｄｉへ移動（アーク放電ａ３の位置）する。
その後、実施の形態１と同様にローレンツ力Ｆａにより、アーク放電ａ３は、可動側電極８の接触面８ｆ上と固定側電極５の接触面５ｆ上とを周回するように運動することで冷却され消弧される。
【００５９】
すなわち、アーク放電の初期の移動方向を方向ｄｉに誘導することができる。よって、実施の形態２と同様に、可動側電極、固定側電極、固定側磁性体、および可動側磁性体の設計が容易になる。
【００６０】
本実施の形態３によれば、実施の形態１の真空バルブ１００が備える効果に加え、可動側電極、固定側電極、固定側磁性体、および可動側磁性体の設計が容易なり、製品コストを低減する効果があり、小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【００６１】
実施の形態４．
本実施の形態４では、可動側電極８と可動側磁性体１１との間、固定側電極５と固定側磁性体１０との間に空隙１３を設けた形態について説明する。
【００６２】
図１５は、真空バルブの固定側電極５および可動側電極８の周辺の断面図である。
なお、図１５において、図１〜図１３と同一番号あるいは同一符号は、実施の形態１および実施の形態２に示す構成要素と同一品あるいは同等品であるので、その詳細な説明は省略する。
【００６３】
図１５を参照して、可動側電極８と可動側磁性体１１との間、固定側電極５と固定側磁性体１０との間に空隙１３を有する。
実施の形態１では、空隙１３がない形態を説明し、遮断動作時にアーク放電が発生し、電流Ｉａが流れている場合、電流Ｉａは、可動側電極８の翼部８ｗをＹ方向に流れ、固定側電極５の翼部５ｗをＹ方向と反対方向に流れることを説明した。
詳細には、空隙１３がない場合、電流Ｉａは、可動側通電軸７から翼部８ｗへ流れる電流成分Ｉａｍと、可動側通電軸７から翼部８ｗへ可動側磁性体１１を経由し流れる電流成分Ｉａｓとに分岐する。
電流成分Ｉａｍは、アーク放電を駆動するローレンツ力Ｆａに寄与するが、電流成分Ｉａｓは、ローレンツ力Ｆａに寄与しない。
そのため、空隙１３を設けることにより、電流成分Ｉａｓを低減し電流成分Ｉａｍを増加させ、ローレンツ力Ｆａを増強する効果を奏する。すなわち、ローレンツ力Ｆａによりアーク放電を駆動し消弧する効果を向上することができる。
【００６４】
本実施の形態４によれば、実施の形態１の真空バルブ１００が備える効果に加え、アーク放電を駆動し消弧する効果の向上を図った小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【００６５】
つぎに、実施の形態４に則り空隙１３の幅ｄｓ（図１５を参照）を変えて、空隙１３の幅ｄｓの効果を比較した例を示す。
（比較例）
図１６は、空隙１３がない場合を「なし」、空隙１３の幅ｄｓ相対的に狭くした場合を「狭」、幅ｄｓ相対的に広くした場合を「広」とした３種の真空バルブについて、アーク駆動力を比較したグラフである。なお、アーク駆動力とは、アーク放電にかかるローレンツ力を電磁界計算により算出した値である。なお、縦軸には、アーク駆動力の相対値を示す。
【００６６】
図１６によれば、空隙１３の幅ｄｓが広くなるとアーク駆動力が増強しており、効率良く電流成分Ｉａｓを低減し、電流成分Ｉａｍを増加させることによりローレンツ力Ｆａを増強する効果を得られていると考えられる。
【００６７】
実施の形態５．
本実施の形態５では、可動側磁性体１１Ｂは、切り欠き部１１ｎの近傍に傾斜形状部１１ｓを有し、固定側磁性体１０Ｂは、切り欠き部１０ｎの近傍に傾斜形状部１０ｓを有する真空バルブ１１０について説明する。
さらに、本実施の形態５に係る変形例の真空バルブ１２０に関して、可動側磁性体１１Cは、切り欠き部１１ｎの近傍に段差形状部１１ｅを有し、固定側磁性体１０Cは、切り欠き部１０ｎの近傍に段差形状部１０ｅを有する形態について説明する。
これら構造によれば、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒの強度が向上し、アーク放電を、速やかに消弧することができる。
【００６８】
図１８〜図２３を参照して、実施の形態１に係る真空バルブ１００と本実施の形態５に係る真空バルブ１１０との相違点を説明し、さらに真空バルブ１１０の特徴を説明する。
図１８は、本実施の形態５に係る真空バルブ１１０の可動側磁性体１１Ｂおよび固定側磁性体１０Ｂ、それらの周辺の斜視図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。
図１９は、紙面上の上半分は、図１８に記す方向Ｎ１からの可動側磁性体１１Ｂの側面であり、下半分は、図１８に記す方向Ｎ２からの固定側磁性体１０Ｂの側面である側面図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。なお、可動側電極８および固定側電極５は、図示しない。また、方向Ｎ１はY方向の反対方向に一致し、方向Ｎ２はY方向に一致する。
【００６９】
図２０は、実施の形態１に係る真空バルブ１００の可動側磁性体１１および固定側磁性体１０、それらの周辺の斜視図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。なお、可動側電極８および固定側電極５を図示しない。
図２１は、紙面上の上半分は、図２０に記す方向Ｎ１からの可動側磁性体１１の側面であり、紙面上の下半分は、図２０に記す方向Ｎ２からの固定側磁性体１０の側面である側面図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。なお、可動側電極８および固定側電極５を図示しない。また、方向Ｎ１はY方向の反対方向に一致し、方向Ｎ２はY方向に一致する。
さらに、図２２は、真空バルブ１００の磁気回路を示す磁気回路図であり、図２３は、図２２の回路図を簡略化した磁気回路図である。
【００７０】
また、図１８〜図２３において、図１〜図１２と同一番号あるいは同一符号は、実施の形態１に示す構成要素と同一品あるいは同等品であるので、その詳細な説明は省略する。
さらに、本実施の形態５に係る真空バルブ１１０は、可動側磁性体１１Ｂおよび固定側磁性体１０Ｂを除く他の部位は、実施の形態１の真空バルブ１００と同様であるので、真空バルブ１１０の全体に関しても、その詳細な説明は省略する。
また、部位ｖ１の面積は、部位ｖ２の面積と等しい面積Ｓｇとし、可動側磁性体１１のＺ方向の厚さと、固定側磁性体１０のＺ方向の厚さとは、同一な厚さＬｃとする。また、切り欠き部１１ｎと接する可動側磁性体１１の端面１１ｆの面積と、切り欠き部１０ｎと接する固定側磁性体１０の端面１０ｆとは、同一な面積Ｓｂとする。
【００７１】
はじめに、図２０〜図２３を参照して、実施の形態１に係る真空バルブ１００の可動側磁性体１１および固定側磁性体１０の形状、発生する磁束について述べ、真空バルブ１００が形成する磁気回路を説明する。
切り欠き部１１ｎおよび切り欠き部１０ｎは、磁気パーミアンスが低いので、磁束Ｍｒは、漏れ磁束Ｍｐと漏れ磁束Ｍｖとに分岐する。すなわち、（磁束Ｍｒの総量）＝（漏れ磁束Ｍｐの総量）＋（漏れ磁束Ｍｖの総量）の関係がある。同様に、磁束Ｍｒは、漏れ磁束Ｍｐと漏れ磁束Ｍｖｒとに分岐するので、（磁束Ｍｒの総量）＝（漏れ磁束Ｍｐの総量）＋（漏れ磁束Ｍｖｒの総量）の関係がある。
【００７２】
さらに、図２２を参照して、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐに関する磁気回路を説明する。
可動側磁性体１１に関して、漏れ磁束Ｍｐが透過する切り欠き部１１ｎの磁気抵抗は、可動側磁性体１１の端面１１ｆの面積Ｓｂと、端面１１ｆの端部間距離Ｄｂとを用いて表すと、Ｄｂ／（μ・Ｓｂ）となる。なお、μは、透磁率である。
同様に、固定側磁性体１０に関して、漏れ磁束Ｍｐが透過する切り欠き部１０ｎの磁気抵抗は、固定側磁性体１０の端面１０ｆの面積Ｓｂと、端面１０ｆの端部間距離Ｄｂとを用いて表すと、Ｄｂ／（μ・Ｓｂ）となる。
【００７３】
また、漏れ磁束Ｍｖが透過する可動側磁性体１１と固定側磁性体１０と間の磁気抵抗は、部位ｖ２の面積Ｓｇと、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との距離である磁性体間距離Ｄｇとを用いて表すと、Ｄｇ／（μ・Ｓｇ）となる。
同様に、漏れ磁束Ｍｖｒが透過する可動側磁性体１１と固定側磁性体１０と間の磁気抵抗は、部位ｖ１の面積Ｓｇと、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０との距離である磁性体間距離Ｄｇとを用いて表すと、Ｄｇ／（μ・Ｓｇ）となる。
【００７４】
さらに、漏れ磁束Ｍｖと漏れ磁束Ｍｖｒとは方向が逆方方向であるが、絶対値は同量であるので、図２２に示す磁気回路の対称性から、図２３に示す磁気回路に簡略し置き換えることができる。さらに、この図２３の磁気回路から以下の数式１を導出することができる。
【００７５】
【数１】
2019188699.tif 000003
数式１によれば、端部間距離Ｄｂを広げ、面積Ｓｂを縮小することにより、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒを大きくすることができることがわかる。
【００７６】
つぎに、図１８および図１９を参照して、本実施の形態５の真空バルブ１１０を説明する。
実施の形態１に示す真空バルブ１００には、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０とが配置されることを説明した。真空バルブ１１０には、可動側磁性体１１の代わりに可動側磁性体１１Ｂが配置され、固定側磁性体１０の代わりに固定側磁性体１０Ｂが配置される。
可動側磁性体１１Ｂは、切り欠き部１１ｎに接する両端に、傾斜面Ｒを有する傾斜形状部１１ｓを備える。同様に、固定側磁性体１０Ｂは、切り欠き部１０ｎに接する両端に、傾斜面Ｒを有する傾斜形状部１０ｓを備える。なお、可動側磁性体１１Ｂと固定側磁性体１０Ｂとは、同一形状とする。すなわち、傾斜形状部１１ｓと傾斜形状部１０ｓとは、同一形状である。
【００７７】
また、部位ｖ１の面積と部位ｖ２の面積とは、真空バルブ１００と同一な面積Ｓｇであり、可動側磁性体１１ＢのＺ方向の厚さと、固定側磁性体１０ＢのＺ方向の厚さとも、真空バルブ１００と同一な厚さＬｃである。
さらに、切り欠き部１１ｎと接する可動側磁性体１１Ｂの端面１１Ｂｆの面積と、切り欠き部１０ｎと接する固定側磁性体１０Ｂの端面１０Ｂｆの面積とを、面積Ｓｃとする。
【００７８】
つぎに、傾斜形状部１１ｓおよび傾斜形状部１０ｓの効果について説明する。
可動側磁性体１１Ｂに関して、切り欠き部１１ｎと接する可動側磁性体１１Ｂの端面１１Ｂｆの面積Ｓｃは、面積Ｓｃ＜面積Ｓｂとなる。これは、可動側磁性体１１Ｂが傾斜面Ｒを有するので、傾斜面ＲのＺ方向の長さ成分Ｒｚを用いると、端面１１ＢｆのＺ方向の長さ成分は（Ｌｃ−Ｒｚ）となることによる。
また、一方の端面１１Ｂｆともう一方の端面１１Ｂｆの距離をＤｂに設定する。さらに、一方の傾斜形状部１１ｓともう一方の傾斜形状部１１ｓとの平均距離である傾斜形状部間平均距離Ｄｓは、傾斜面ＲのＸ方向の長さ成分Ｒｘ、Ｚ方向の長さ成分Ｒｚを用いると、Ｄｓ＝（（Ｒｘ・Ｒｚ）／Ｌｃ＋Ｄｂ）となる。すなわち、Ｒｘ＞０、Ｒｚ＞０であるので、常に、Ｄｓ＞Ｄｂとなる。言い換えると、可動側磁性体１１Ｂが傾斜形状部１１ｓを有することにより、実効的な傾斜形状部間距離は、Ｄｂより大きくなる。
【００７９】
前述したように、数式１を鑑みると、傾斜形状部１１ｓおよび傾斜形状部１０ｓを配置し、傾斜形状部間平均距離Ｄｓと面積Ｓｃとを設定することは、端部間距離Ｄｂを広げ、面積Ｓｂを縮小することに相当するので、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒの強度を増強することができる。
なお、可動側磁性体１１Ｂについて説明したが、可動側磁性体１１Ｂと固定側磁性体１０Ｂとは同一形状であるので、固定側磁性体１０Ｂに関しても、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒの強度を増強することができる。
すなわち、傾斜形状部１１ｓと傾斜形状部１０ｓとを配置することにより、平行磁場強度を増強することができる。よって、アーク放電を部位ｖ１あるいは部位ｖ２の方向に移動し、アーク放電を消弧する効果を向上することができる。
【００８０】
つぎに、図２４および図２５を参照して本実施の形態５に係る変形例の真空バルブ１２０の特徴を説明する。
図２４は、本実施の形態５に係る変形例の真空バルブ１２０の可動側磁性体１１Cおよび固定側磁性体１０C、それらの周辺の斜視図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。
図２５は、紙面上の上半分は、図２４に記す方向Ｎ１からの可動側磁性体１１Cの側面であり、紙面上の下半分は、図２４に記す方向Ｎ２からの固定側磁性体１０Cの側面である側面図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。なお、可動側電極８および固定側電極５は、図示しない。また、方向Ｎ１はY方向の反対方向に一致し、方向Ｎ２はY方向に一致する。
【００８１】
また、図２４および図２５において、図１〜図１２、図１８〜図２３と同一番号あるいは同一符号は、実施の形態１に示す構成要素と同一品あるいは同等品であるので、その詳細な説明は省略する。
さらに、真空バルブ１２０は、可動側磁性体１１Cおよび固定側磁性体１０Cを除く他の部位は、実施の形態１の真空バルブ１００と同様であるので、真空バルブ１２０の全体に関しても、その詳細な説明は省略する。
【００８２】
実施の形態１に示す真空バルブ１００には、可動側磁性体１１と固定側磁性体１０とが配置される。一方、真空バルブ１２０には、可動側磁性体１１の代わりに可動側磁性体１１Ｃが配置され、固定側磁性体１０の代わりに固定側磁性体１０Ｃが配置される。
可動側磁性体１１Ｃは、切り欠き部１１ｎに接する両端に、段差面Ｅを有する段差形状部１１ｅを備える。同様に、固定側磁性体１０Ｃは、切り欠き部１０ｎに接する両端に、段差面Ｅを有する段差形状部１０ｅを備える。なお、可動側磁性体１１Ｃと固定側磁性体１０Ｃとは、同一形状とする。すなわち、段差形状部１１ｅと段差形状部１０ｅとは、同一形状である。
【００８３】
また、可動側磁性体１１Ｃは、板状の磁性部材１１ｃ１と板状の磁性部材１１ｃ２とを重ね合わせることにより構成される。同様に、固定側磁性体１０Ｃは、板状の磁性部材１０ｃ１と板状の磁性部材１０ｃ２を重ね合わせることにより構成される。なお、磁性部材１１ｃ１と磁性部材１０ｃ１とは同一形状であり、Ｚ方向の厚さは、長さ成分Ｅｚである。また、磁性部材１１ｃ２と磁性部材１０ｃ２とは同一形状であり、Ｚ方向の厚さは、厚さ（Ｌｃ−Ｅｚ）である。
なお、板状の磁性部材１１ｃ１および板状の磁性部材１０ｃ１は、請求の範囲に記す第１の板状磁性体の例示であり、板状の磁性部材１１ｃ２および板状の磁性部材１０ｃ２は、請求の範囲に記す第２の板状磁性体の例示である。
【００８４】
さらに、部位ｖ１の面積と部位ｖ２の面積とは、真空バルブ１００と同一な面積Ｓｇであり、可動側磁性体１１ＢのＺ方向の厚さと、固定側磁性体１０ＢのＺ方向の厚さとも、真空バルブ１００と同一な厚さＬｃである。
さらに、切り欠き部１１ｎと接する可動側磁性体１１Ｃの端面１１Ｃｆの面積と、切り欠き部１０ｎと接する固定側磁性体１０Ｃの端面１０Ｃｆの面積とを、面積Ｓｄとする。
【００８５】
つぎに、段差形状部１１ｅおよび段差形状部１０ｅの効果について説明する。
可動側磁性体１１Ｃに関して、切り欠き部１１ｎと接する可動側磁性体１１Ｃの端面１１Ｃｆの面積Ｓｄは、面積Ｓｄ＜面積Ｓｂとなる。これは、可動側磁性体１１Ｃが段差面Ｅを有するので、段差面ＥのＺ方向の長さ成分Ｒｚ＝（Ｌｃ−Ｅｚ）＜Ｌｃとなることによる。
【００８６】
また、一方の端面１１Ｃｆともう一方の端面１１Ｃｆの距離をＤｂに設定する。さらに、一方の段差形状部１１ｅともう一方の段差形状部１１ｅとの平均距離である段差形状部間平均距離Ｄｅは、段差面ＥのＸ方向の長さ成分Ｅｘ、Ｚ方向の長さ成分Ｅｚを用いると、Ｄｅ＝（（２・Ｅｘ・Ｅｚ）／Ｌｃ＋Ｄｂ）となる。すなわち、Ｅｘ＞０、Ｅｚ＞０であるので、常に、Ｄｅ＞Ｄｂとなる。言い換えると、可動側磁性体１１Ｃが段差形状部１１ｅを有することにより、実効的な傾斜形状部間距離は、Ｄｂより大きくなる。
【００８７】
前述したように、数式１を鑑みると、段差形状部１１ｅおよび段差形状部１０ｅを配置し、段差形状部間平均距離Ｄｅと面積Ｓｄとを設定することは、端部間距離Ｄｂを広げ、面積Ｓｂを縮小することに相当するので、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒの強度を増強することができる。
なお、可動側磁性体１１Ｃについて説明したが、可動側磁性体１１Ｃと固定側磁性体１０Ｃとは同一形状であるので、固定側磁性体１０Ｃに関しても、漏れ磁束Ｍｖおよび漏れ磁束Ｍｖｒの強度を増強することができる。
すなわち、段差形状部１１ｅと段差形状部１０ｅとを配置することにより、平行磁場強度を増強することができる。よって、アーク放電を部位ｖ１あるいは部位ｖ２の方向に移動し、アーク放電を消弧する効果を向上することができる。
【００８８】
なお、段差形状部１１ｅの段差を、板状の磁性部材１１ｃ１と板状の磁性部材１１ｃ２との２枚の板状の磁性部材を重ね合わせることにより、段差面Ｅを形成したが、３枚以上に板状の磁性部材を重ね合わせて、段差面を複数形成しても良い。同様に、段差形状部１０ｅについても段差面を複数形成しても良い。
【００８９】
本実施の形態５によれば、実施の形態１の真空バルブ１００が備える効果に加え、平行磁場強度を増強することにより、アーク放電を消弧する効果を向上することができる。すなわち、アーク放電を消弧する効果を向上した小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【００９０】
実施の形態６．
本実施の形態６では、可動側磁性体１１Ｄは、切り欠き部１１ｎに代わり磁気劣化部１１ｒを有し、固定側磁性体１０Ｄは、切り欠き部１０ｎに代わり磁気劣化部１０ｒを有する真空バルブ１３０について説明する。
この構造によれば、アーク放電の熱により可動側電極８と固定側電極５とから飛散する金属蒸気および金属粒子から他の部位を保護する効果を強化することができる。
図２６は、本実施の形態６に係る真空バルブ１３０の可動側磁性体１１Ｄおよび固定側磁性体１０Ｄ、それらの周辺の斜視図である。また、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向を併記する。
【００９１】
また、図２６において、図２４と同一番号あるいは同一符号は、実施の形態５の変形例に示す構成要素と同一品あるいは同等品であるので、その詳細な説明は省略する。
さらに、本実施の形態６に係る真空バルブ１３０は、可動側磁性体１１Ｄおよび固定側磁性体１０Ｄを除く他の部位は、実施の形態５の変形例の真空バルブ１２０と同様であるので、真空バルブ１３０の全体に関しても、その詳細な説明は省略する。
さらに、真空バルブ１３０の側面は、切り欠き部１１ｎに代わり磁気劣化部１１ｒを配し、切り欠き部１０ｎに代わり磁気劣化部１０ｒを配する以外は、図２５と同様であるので図示を省略する。さらに、磁束Ｍｒ、漏れ磁束Ｍｖ、漏れ磁束Ｍｖｒ、および漏れ磁束Ｍｐの方向に関しても図２５と同様であるので図示を省略する。
【００９２】
図２６を参照して、可動側磁性体１１Ｄおよび固定側磁性体１０Ｄの構造を説明する。
可動側磁性体１１Ｄは、板状の磁性部材１１ｃ１と板状の磁性部材１１ｄ２とを重ね合わせることにより構成される。磁性部材１１ｃ１については、実施の形態５の変形例と同様である。磁性部材１１ｄ２は、切り欠き部１１ｎに代わり磁気劣化部１１ｒを有する。
磁気劣化部１１ｒは、磁性部材１１ｄ２の一部分に圧力を印加するなどの方法により磁気的に劣化することにより形成される。言い換えると、磁気劣化部１１ｒは、磁性部材１１ｄ２の他の部分に比べ磁気パーミアンスが低くなる。
【００９３】
同様に、固定側磁性体１０Ｄは、板状の磁性部材１０ｃ１と板状の磁性部材１０ｄ２とを重ね合わせることにより構成される。磁性部材１０ｃ１については、実施の形態５の変形例と同様である。磁性部材１０ｄ２は、切り欠き部１０ｎに代わり磁気劣化部１０ｒ（図示せず）を有する。
磁気劣化部１０ｒは、磁性部材１０ｄ２の一部分に圧力を印加するなどの方法により磁気的に劣化することにより形成される。言い換えると、磁気劣化部１０ｒは、磁性部材１０ｄ２の他の部分に比べ磁気パーミアンスが低くなる。
なお、磁気劣化部１０ｒおよび磁気劣化部１１ｒは、請求の範囲に記す第１の磁気劣化部の例示であり、板状の磁性部材１１ｄ２および板状の磁性部材１０ｄ２は、請求の範囲に記す第２の板状磁性体の例示である。
【００９４】
磁気劣化部１１ｒおよび磁気劣化部１０ｒの磁気パーミアンスを、切り欠き部１１ｎおよび切り欠き部１０ｎの磁気パーミアンスと同等に設定すれば、磁気劣化部１１ｒおよび磁気劣化部１０ｒには、漏れ磁束Ｍｐの総量と同等な磁束が通る。よって、本実施の形態６に係る真空バルブ１３０は、実施の形態５に係る真空バルブ１２０と同様に、平行磁場強度を増強することにより、アーク放電を消弧する効果を向上することができる。
【００９５】
アーク放電の熱により可動側電極８と固定側電極５とから金属蒸気および金属粒子が飛散することを前述した。真空バルブ（１００、１１０、１２０）は、開口する切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）を有するために、切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）を通り、金属蒸気および金属粒子が飛散する可能性がある。
一方、本実施の形態６に係る真空バルブ１３０は、開口する切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）に代わり、開口しない磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）を有するので、磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）を通り、金属蒸気および金属粒子が飛散することがない。すなわち、磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）により、金属蒸気および金属粒子の飛散を防止することができる。
【００９６】
本実施の形態６によれば、実施の形態５に係る真空バルブ１２０が備える効果に加え、アーク放電の熱により発生する金属蒸気および金属粒子の飛散を防止する効果を備える。すなわち、アーク放電を消弧する効果を向上した小型で信頼性の高い真空バルブを提供することができる。
【００９７】
また、実施の形態１〜５では、磁性体（１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ）に磁性体で構成された部分より磁気パーミアンスの低い切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）を形成することにより、平行磁場強度を増強している。同様に、実施の形態６では、磁性体（１０Ｄ、１１Ｄ）の一部を劣化させて、磁気パーミアンスの低い磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）を形成することにより、平行磁場強度を増強している。
すなわち、磁性体（１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ）の一部に磁気パーミアンスの低い低磁気パーミアンス部を有していれば良い。低磁気パーミアンス部には、切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）および磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）の他に、磁性体の一部に溝を形成された溝部でも良い。
例えば、溝部は、機械加工により磁性体の表面から厚さ方向に適当な深さまで削り取ることで形成することができる。
【００９８】
さらに、実施の形態５〜６では、磁性体（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ）の切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）または磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）に接する両端に、傾斜形状部（１０ｓ、１１ｓ）あるいは段差形状部（１０ｅ、１１ｅ）を配置している。傾斜形状部（１０ｓ、１１ｓ）あるいは段差形状部（１０ｅ、１１ｅ）は、切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）を除く他の部位に比べ、磁気パーミアンスを減衰することにより、さらに平行磁場強度を増強している。
すなわち、磁性体（１０Ｂ、１０Ｃ、１１Ｂ、１１Ｃ）の切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）に接する両端に磁気パーミアンスを減衰する磁気パーミアンス減衰部を有していれば良い。磁気パーミアンス減衰部は、第１の磁気劣化部比べ磁気劣化度合いの低い第２の磁気劣化部を形成しても良い。
あるいは、磁性部材１１ｃ１と磁性部材１１ｃ２とを重ね合わせることで、段差形状部１１ｅを形成したが、１つの磁性部材から段差形状部１１ｅしても良い。すなわち、磁気パーミアンス減衰部は、機械加工により形成しても良い。
なお、磁気パーミアンス減衰部を低磁気パーミアンス部の両端に配置したが、一端であっても、平行磁場強度を増強する効果を得ることができるので、低磁気パーミアンス部の一端に磁気パーミアンス減衰部を配置しても良い。
【００９９】
さらに、実施の形態１〜６では、切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）または磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）を、固定側通電軸４と可動側通電軸７の両方に配置する例を説明したが、切り欠き部（１０ｎ、１１ｎ）または磁気劣化部（１０ｒ、１１ｒ）を、固定側通電軸４と可動側通電軸７のいずれか一方に配置しても、平行磁場を形成することが可能であり、アーク放電を駆動し消弧することができる。
【０１００】
また、実施の形態１〜４では、中心部（５ｃ、８ｃ）より縁部（５ｅ、８ｅ）側の部位に、翼部（５ｗ、８ｗ）を配置する例を説明したが、アーク放電を駆動し消弧する効果がれば、中心部（５ｃ、８ｃ）より縁部（５ｅ、８ｅ）側の部位は、他の構造でも良い。
【０１０１】
なお、実施の形態１〜４では、電極（５、８）は、スリット（５ｓ、８ｓ）を３個有し、電極（５、８）の外周は、３つに分割され円弧部（５ａ、８ａ）を３個有する。さらに、翼部（５ｗ、８ｗ）も３個有することを説明した。すなわち、スリット（５ｓ、８ｓ）による分割数が３個であるが、分割数が２個または４個以上であっても効果を得ることができる。言い換えると、本発明はこの分割数に依存しない。
【０１０２】
さらに、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜変更、省略したりすることが可能である。例えば、実施の形態２と実施の形態４とを組み合わせ、可動側電極の接触面に凸部を有し、さらに可動側電極と可動側磁性体との間に空隙を有しても良い。あるいは、実施の形態２〜４と実施の形態５とを組み合わせ、磁気パーミアンス減衰部を各磁性体（１０、１０Ａ、１１、１１Ａ）に、配置しても良い。
【符号の説明】
【０１０３】
４  固定側通電軸、４ｆ  軸面、５  固定側電極、５ａ  円弧部、５ｃ  中心部、５ｅ  縁部、５ｆ  接触面、５ｓ  スリット、５ｔ  先端部、５ｗ  翼部、７  可動側通電軸、７ｆ  軸面、  ８、８Ａ  可動側電極、８ａ  円弧部、８ｃ  中心部、８ｅ  縁部、８ｆ  接触面、８ｓ  スリット、８ｗ  翼部、８ｘ  凸部、１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ  固定側磁性体、１０ｎ  切り欠き部、１０ｒ  磁気劣化部、１０ｓ  傾斜形状部、１０ｅ  段差形状部、１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ  可動側磁性体、１１ｃ１  磁性部材、１１ｃ２、１１ｄ２  磁性部材、１１ｎ  切り欠き部、１１ｒ  磁気劣化部、１３  空隙、１００、１１０、１２０、１３０  真空バルブ。
【図１】
2019188699.tif 000004
【図２】
2019188699.tif 000005
【図３】
2019188699.tif 000006
【図４】
2019188699.tif 000007
【図５】
2019188699.tif 000008
【図６】
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【図７】
2019188699.tif 000010
【図８】
2019188699.tif 000011
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2019188699.tif 000015
【図１３】
2019188699.tif 000016
【図１４】
2019188699.tif 000017
【図１５】
2019188699.tif 000018
【図１６】
2019188699.tif 000019
【図１７】
2019188699.tif 000020
【図１８】
2019188699.tif 000021
【図１９】
2019188699.tif 000022
【図２０】
2019188699.tif 000023
【図２１】
2019188699.tif 000024
【図２２】
2019188699.tif 000025
【図２３】
2019188699.tif 000026
【図２４】
2019188699.tif 000027
【図２５】
2019188699.tif 000028
【図２６】
2019188699.tif 000029
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月18日(2019.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記可動側通電軸あるいは前記固定側通電軸の少なくも一方の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記可動側電極は、中心部側を一方の端点とし、縁部を他方の端点として複数の円弧部に分割して複数の翼部を形成するスリットとを有し、
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である可動側磁性体を備え、
前記可動側磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記可動側電極の前記翼部の外周側の最先端部分とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記可動側通電軸あるいは前記固定側通電軸の少なくも一方の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記固定側電極は、中心部側を一方の端点とし、縁部を他方の端点として複数の円弧部に分割して複数の翼部を形成するスリットとを有し、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である固定側磁性体を備え、
前記固定側磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記固定側電極の前記翼部の外周側の最先端部分とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である可動側磁性体と、
前記可動側磁性体と前記可動側電極との間に空隙を備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である固定側磁性体と、
前記固定側磁性体と前記固定側電極との間に空隙を備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
前記磁性体は、板状の第１の板状磁性体と板状の第２の板状磁性体とを重ね合わせて構成されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記磁性体は、前記低磁気パーミアンス部の両端あるいは一端に、前記低磁気パーミアンス部を除く他の部位に比べ磁気パーミアンスを減衰する磁気パーミアンス減衰部を配置することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体に形成された切り欠き部であること特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体に溝を形成された溝部であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第１の磁気劣化部であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１０】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第１の磁気劣化部であり、
前記第２の板状磁性体は、前記第１の磁気劣化部を有することを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ。
【請求項１１】
前記磁気パーミアンス減衰部は、傾斜面を有する傾斜形状部であること特徴とする請求項６に記載の真空バルブ。
【請求項１２】
前記磁気パーミアンス減衰部は、段差面を有する段差形状部であることを特徴とする請求項６に記載の真空バルブ。
【請求項１３】
前記磁気パーミアンス減衰部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第２の磁気劣化部であることを特徴とする請求項６に記載の真空バルブ。
【請求項１４】
前記可動側電極の接触面あるいは前記固定側電極の接触面の少なくとも一方に、凸部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１５】
前記凸部は、前記可動側電極の接触面あるいは前記固定側電極の接触面の少なくとも一方の中心部に配置されたことを特徴とする請求項１４に記載の真空バルブ。
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月24日(2020.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記可動側電極は、中心部側を一方の端点とし、縁部を他方の端点として複数の円弧部に分割して複数の翼部を形成するスリットとを有し、
前記磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記可動側電極の前記翼部の外周側の最先端部分とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記固定側電極は、中心部側を一方の端点とし、縁部を他方の端点として複数の円弧部に分割して複数の翼部を形成するスリットとを有し、
前記磁性体の前記低磁気パーミアンス部と、前記固定側電極の前記翼部の外周側の最先端部分とは、前記軸線上から正面視した場合、重ならないことを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記可動側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である可動側磁性体と、
前記可動側磁性体と前記可動側電極との間に空隙を備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
可動可能な可動側通電軸と、
前記可動側通電軸の先端部に設けられた可動側電極と、
前記可動側通電軸の軸線の延長上に配置された固定側通電軸と、
前記固定側通電軸の先端部に前記可動側電極と相対向して設けられた固定側電極と、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された磁性体とを備え、
前記磁性体は、少なくとも一部分に前記磁性体の他の部位に比べ、磁気パーミアンスが低い低磁気パーミアンス部を有し、
前記固定側通電軸の軸面の周縁に配置された前記磁性体である固定側磁性体と、
前記固定側磁性体と前記固定側電極との間に空隙を備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
前記磁性体は、板状の第１の板状磁性体と板状の第２の板状磁性体とを重ね合わせて構成されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記磁性体は、前記低磁気パーミアンス部の両端あるいは一端に、前記低磁気パーミアンス部を除く他の部位に比べ磁気パーミアンスを減衰する磁気パーミアンス減衰部を配置することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体に形成された切り欠き部であること特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体に溝を形成された溝部であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第１の磁気劣化部であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１０】
前記低磁気パーミアンス部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第１の磁気劣化部であり、
前記第２の板状磁性体は、前記第１の磁気劣化部を有することを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ。
【請求項１１】
前記磁気パーミアンス減衰部は、傾斜面を有する傾斜形状部であること特徴とする請求項６に記載の真空バルブ。
【請求項１２】
前記磁気パーミアンス減衰部は、段差面を有する段差形状部であることを特徴とする請求項６に記載の真空バルブ。
【請求項１３】
前記磁気パーミアンス減衰部は、前記磁性体の磁気パーミアンスを劣化させた第２の磁気劣化部であることを特徴とする請求項６に記載の真空バルブ。
【請求項１４】
前記可動側電極の接触面あるいは前記固定側電極の接触面の少なくとも一方に、凸部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項１５】
前記凸部は、前記可動側電極の接触面あるいは前記固定側電極の接触面の少なくとも一方の中心部に配置されたことを特徴とする請求項１４に記載の真空バルブ。 
【国際調査報告】
2019188699.tif 000030
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