(57)【要約】  ２次元状に配列された複数の光電変換素子を有する受光部と、１又は複数の光電変換素子ごとに設けられ、液体又は気体からなる物質を格納する格納部と、格納部に物質を流入する流入部と、格納部から物質を流出する流出部とを有し、当該物質の屈折率に対応する分光特性を分光フィルタとを備える撮像素子を提供する。また、液体又は気体からなる物質を格納する格納部と、格納部に物質を流入する流入部と、格納部から物質を流出する流出部とを有し、当該物質の屈折率に対応する光学特性を有する光学フィルタとを備える光学素子を提供する。
2018230186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２次元状に配列された複数の光電変換素子を有する受光部と、
１又は複数の前記光電変換素子ごとに設けられる分光フィルタであって、液体又は気体からなる物質を格納する格納部と、前記格納部に前記物質を流入する流入部と、前記格納部から前記物質を流出する流出部とを有し、当該物質の屈折率に対応する分光特性を有する分光フィルタと
を備える撮像素子。
【請求項２】
前記分光フィルタは、前記物質として第１屈折率を有する第１物質が前記格納部に格納されている状態において、前記流出部から前記第１物質を流出するとともに、前記物質として第２屈折率を有する第２物質を前記流入部から流入することで、光が透過する波長帯域を第１波長帯域から第２波長帯域に切り替える
請求項１に記載の撮像素子。
【請求項３】
前記分光フィルタは、第３屈折率を有する基材と、前記格納部とが交互に複数積層された多層干渉膜を有し、
前記格納部には、前記第３屈折率とは異なる屈折率を有する前記物質が格納される
請求項１または２に記載の撮像素子。
【請求項４】
前記格納部は、前記第３屈折率とは異なる屈折率を有する複数のピラー構造を有する
請求項３に記載の撮像素子。
【請求項５】
前記ピラー構造の屈折率は、前記第３屈折率よりも高い
請求項４に記載の撮像素子。
【請求項６】
前記分光フィルタは、前記１又は複数の光電変換素子に対応する前記格納部ごとに、前記光電変換素子の配列方向の断面積が異なる前記ピラー構造を有する
請求項４又は５に記載の撮像素子。
【請求項７】
前記分光フィルタは、前記格納部を挟んで互いに対向する一対の反射面を有するファブリペロー干渉膜方式のフィルタである
請求項１又は２に記載の撮像素子。
【請求項８】
前記分光フィルタは、前記一対の反射面で挟まれた前記格納部を、前記複数の光電変換素子からなるブロックごとに有し、
前記格納部は、１つの前記ブロックにおいて、１又は複数の前記光電変換素子ごとに、前記一対の反射面の間隔が異なる
請求項７に記載の撮像素子。
【請求項９】
前記分光フィルタは、前記物質が前記流入部から前記格納部に流入する流入口と、前記物質が前記格納部から前記流出部に流出する流出口とが、前記光電変換素子の配列方向に関して対向して設けられ、
前記格納部は、前記流入口から前記流出口に向かうにつれて前記間隔が広くなる
請求項８に記載の撮像素子。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の撮像素子と、
前記流入部および前記流出部に接続し、前記格納部から流出された前記物質を保存する保存部を更に備え、
前記保存部は、保存した前記物質を前記流入部へ流入させて、前記格納部に再度、前記物質を格納させる撮像装置。
【請求項１１】
液体又は気体からなる物質を格納する格納部と、前記格納部に前記物質を流入する流入部と、前記格納部から前記物質を流出する流出部とを有し、当該物質の屈折率に対応する光学特性を有する光学フィルタ。
【請求項１２】
２次元状に配列された複数の光電変換素子で受光した光に基づいて撮像する方法であって、
前記複数の光電変換素子の一つ又は複数に対応して設けられる、分光フィルタの格納部に、液体又は気体からなる物質を流入部から流入することと、
前記分光フィルタに入射する光のうち、前記物質の屈折率に対応する分光特性によって透過した光を、前記複数の光電変換素子が受光することと、
前記格納部から流出部へ前記物質を流出することと
を含む撮像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子、撮像装置および撮像方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、充填する液体の屈折率を変えることにより、透過特性を変更する光ファイバが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１  特開２０１４−２１５５１８号公報【０００３】
しかしながら、物質を一度充填することで得られる透過特性は一種類のみである。
【一般的開示】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、２次元状に配列された複数の光電変換素子を有する受光部と、１又は複数の光電変換素子ごとに設けられ、液体又は気体からなる物質を格納する格納部と、格納部に物質を流入する流入部と、格納部から物質を流出する流出部とを有し、当該物質の屈折率に対応する分光特性を有する分光フィルタとを備える撮像素子を提供する。
【０００５】
本発明の第２の態様においては、本発明の第１の態様に係る撮像素子と、流入部および流出部に接続し、格納部から流出された物質を保存する保存部を更に備え、保存部は、保存した物質を流入部へ流入させて、格納部に再度、物質を格納させる撮像装置を提供する。
【０００６】
本発明の第３の態様においては、液体又は気体からなる物質を格納する格納部と、格納部に物質を流入する流入部と、格納部から物質を流出する流出部とを有し、当該物質の屈折率に対応する光学特性を有する光学フィルタとを備える光学素子を提供する。
【０００７】
本発明の第３の態様においては、２次元状に配列された光電変換素子の一つ又は複数に対応して設けられる、分光フィルタの格納部に、液体又は気体からなる物質を流入部から流入することと、分光フィルタに入射する光のうち、物質の屈折率に対応する波長帯域を透過した光を、複数の光電変換素子が受光することと、格納部から流出部へ物質を流出することと、を含む撮像方法を提供する。
【０００８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】実施例１に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図１Ｂ】実施例１に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図２Ａ】実施例２に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図２Ｂ】実施例２に係る撮像素子１００の流路９０の形成方法の一例を示す。
【図３】実施例２に係る撮像素子１００の動作の一例を示す。
【図４】実施例２に係る撮像素子１００の動作の一例を示す。
【図５】実施例３に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図６Ａ】実施例４に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図６Ｂ】実施例４に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図７Ａ】実施例５に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図７Ｂ】実施例５に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図８Ａ】実施例６に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図８Ｂ】実施例６に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図８Ｃ】実施例６に係るピラー積層部６０の構造の拡大図である。
【図９Ａ】実施例７に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。
【図９Ｂ】実施例７に係る撮像素子１００の断面図の一例を示す。
【図１０】実施例７に係る撮像素子１００の製造方法の一例を示す。
【図１１】実施例７に係る撮像素子１００の製造方法の一例を示す。
【図１２】撮像装置３００の構成の概要を示す。
【図１３】撮像素子１００を用いた撮像方法の一例を示す。
【図１４Ａ】実施例８に係る光学素子１５０の構成の一例を示す。
【図１４Ｂ】実施例８に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。
【図１４Ｃ】実施例８に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。
【図１５】実施例８に係る光学素子１５０の製造方法の一例を示す。
【図１６Ａ】実施例９に係る光学素子１５０の構成の一例を示す。
【図１６Ｂ】実施例９に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。
【図１６Ｃ】実施例９に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。
【図１７Ａ】実施例１０に係る光学素子１５０の構成の一例を示す。
【図１７Ｂ】実施例１０に係る光学素子１５０の平面図の一例を示す。
【図１７Ｃ】実施例１０に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。
【図１７Ｄ】実施例１０に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
［実施例１］
図１Ａおよび図１Ｂは、実施例１に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。本例の撮像素子１００は、受光部１０と、分光フィルタ２０と、ガラス基板３０とを備える。図１Ａおよび図１Ｂは、分光フィルタ２０に充填されている物質が異なる。
【００１２】
受光部１０は、半導体基板を有する。本例の受光部１０は、２次元状に配列された複数の光電変換素子１１を有する。光電変換素子１１は、受光部１０に入射した光を受光する。
【００１３】
分光フィルタ２０は、予め定められた波長の光を透過させるファブリペロー干渉膜方式のフィルタである。分光フィルタ２０は、格納した物質の屈折率に対応する波長帯域の光を透過させる。分光フィルタ２０は、受光部１０上に接合されている。分光フィルタ２０は、２次元状に配列された光電変換素子１１の一つ又は複数に対応して設けられる。分光フィルタ２０は、ミラー２１と、格納部２２と、ミラー２３とを有する。分光フィルタ２０は、屈折率の異なる複数の物質を入れ替えて格納する。一例において、分光フィルタ２０は、第１屈折率を有する第１物質と、第２屈折率を有する第２物質とを入れ替える。例えば、第１物質が空気であり、第２物質が液体である。これにより、分光フィルタ２０は、分光特性を第１分光特性から第２分光特性に切り替える。なお、分光特性には、波長の変化に対する光の透過率の推移を示す光学特性（透過率スペクトル）が含まれる。本例の撮像素子１００は、分光特性として、光が透過する波長帯域（透過率が所定の閾値以上である最短波長から最長波長までの範囲）、オフバンド特性（透過率が所定の閾値未満である波長帯域）、ピーク波長、ピーク波長の透過率、透過率スペクトル形状自体のいずれかまたはこれらの組み合わせを切り替え可能である。ただし、分光特性の具体的な項目はこれに限らない。このように、分光フィルタ２０は、マルチバンドの光をフィルタリングする。
【００１４】
格納部２２は、１又は複数の光電変換素子１１ごとに設けられ、液体又は気体からなる物質を格納する。格納部２２は、互いに対向する一対の反射面であるミラー２１およびミラー２３で挟まれている。本例のミラー２１およびミラー２３は、ＡｇおよびＡｌ２Ｏ３を含む。格納部２２は、格納部２２に物質を流入する流入部と、格納部２２から物質を流出させる流出部とを有する。例えば、格納部２２は、物質２４を格納している状態において、流出部から物質２４を流出する。そして、格納部２２は、流入部から物質２５を流入する。このように、格納部２２に格納する物質が入れ替えられる。
【００１５】
格納部２２は、厚さｄの膜厚を有する。例えば、格納部２２が屈折率ｎの物質を格納した場合、格納部２２の光学膜厚（即ち、屈折率×膜厚）がｎｄとなる。格納部２２の光学膜厚に応じて、透過光のピーク波長がシフトする。例えば、格納部２２の光学膜厚がλ／２の整数倍に等しい場合、波長λ付近の光が格納部２２を透過する。図１Ａでは、格納部２２が物質２４を格納し、図１Ｂでは、格納部２２が物質２５を格納している。物質２４および物質２５は、互いに屈折率が異なる物質である。
【００１６】
物質２４は、予め定められた第１屈折率を有する。本例の物質２４は、気体である。例えば、物質２４は、空気である。物質２４は、第１物質の一例である。
【００１７】
物質２５は、物質２４よりも屈折率の高い第２屈折率を有する。本例の物質２５は、液体である。物質２５は、第２物質の一例である。なお、物質２４および物質２５は、いずれもが気体であってもよいし、いずれもが液体であってもよい。即ち、物質２４および物質２５は、互いに屈折率の異なる物質であればよい。
【００１８】
ガラス基板３０は、分光フィルタ２０上に接合されている。ガラス基板３０は、入射した光を透過させて分光フィルタ２０に入射させてよい。なお、ガラス基板３０への入射媒質は空気であってよい。
【００１９】
分光フィルタ２０の一例として、ミラー２１およびミラー２３のそれぞれについて、Ａｇの膜厚を２５ｎｍ、Ａｌ２Ｏ３の膜厚を７０ｎｍとし、格納部２２の厚さｄを２００ｎｍとする。ここで、第１物質の一例として、屈折率が１である空気を格納部２２に格納すると、分光フィルタ２０は、波長４００ｎｍ（透過率１０％以上）から波長７５０ｎｍ（透過率１％以上）までを透過する波長帯域とし、ピーク波長がおよそ５００ｎｍである分光特性となる。また、第２物質の一例として、屈折率が１．３３である水を格納部２２に格納すると、分光フィルタ２０は、空気を格納部２２に格納した場合と同様の波長帯域で、ピーク波長がおよそ６６７ｎｍである分光特性となる。
【００２０】
このように、本例の撮像素子１００は、格納部２２に格納する物質を入れ替えることにより、格納部２２の光学膜厚を変化させる。これにより、撮像素子１００は、格納部２２に入射する光のうち、透過する光の分光特性を変化させる。よって、撮像素子１００のマルチバンド化が実現される。
【００２１】
［実施例２］
図２Ａは、実施例２に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。本例の分光フィルタ２０は、格納部２２に格納する物質が流れる複数の流路９０を有する。
【００２２】
流路９０は、４つの流路９０ａ〜９０ｄを含む。流路９０ａ〜９０ｄは、ライン状にそれぞれが延伸したライン型分離構造を有し、それぞれに物質を格納する。即ち、流路９０ａ〜９０ｄは、それぞれが格納部に対応する。本例の流路９０は、それぞれが光電変換素子１１に対応して設けられている。流路９０は、両端に流入部９１および流出部９２を有する。流入部９１には物質を流入するための流入口が設けられ、流出部９２には物質を流出するための流出口が設けられている。
【００２３】
また、本例の流路９０ａ〜９０ｄは、それぞれ同一構造を有する。即ち、流路９０ａ〜９０ｄの深さおよび長さがそれぞれ等しい。但し、流路９０ａ〜９０ｄの形状は、それぞれ異なっていてもよい。この場合、同一の屈折率を有する物質が格納されている場合であっても、流路９０ａ〜９０ｄの波長帯域を変更できる。
【００２４】
ガラス基板３０は、分光フィルタ２０に接合されている。本例のガラス基板３０は、ミラー２３上に積層されている。ガラス基板３０は、複数のレンズ部を有する。複数のレンズ部は、それぞれ光電変換素子１１に対応して設けられてよい。
【００２５】
図２Ｂは、実施例２に係る撮像素子１００の流路９０の形成方法の一例を示す。本例の流路９０は、ナノインプリント法を用いて樹脂５５に形成される。
【００２６】
モールド５０は、流路９０の形状に応じたパターンを有する。例えば、モールド５０は、流路９０の凹部の形状に応じた凸部を有する。モールド５０は、樹脂５５に押し付けられることにより、樹脂５５に流路９０のライン構造を形成する。
【００２７】
樹脂５５は、ミラー２１上に設けられる。樹脂５５は、モールド５０を押し付けられることにより変形する。これにより、流路９０に応じた凹部が樹脂５５に形成される。流路９０の凹部が形成された後は、モールド５０が樹脂５５から離されてよい。一例において、樹脂５５は、紫外線（ＵＶ）の照射や加熱により硬化する。
【００２８】
本例では、ナノインプリント法を用いて流路９０を形成する場合について説明したが、他のプロセスを用いても流路９０を形成できる。流路９０の凹部は、樹脂５５のエッチングプロセスにより形成されてもよい。
【００２９】
図３は、実施例２に係る撮像素子１００の動作の一例を示す。本例の撮像素子１００は、時分割で屈折率の異なる物質を流路９０に流す。本例の撮像素子１００は、波長掃引方式でマルチバンド化を実現する。
【００３０】
撮像素子１００は、フレーム毎に流路９０ａ〜流路９０ｄに格納する物質の屈折率を変化させる。本例の撮像素子１００は、屈折率の異なる３つの物質２５〜物質２７を用いる。例えば、撮像素子１００は、予め定められた第１時刻において、流路９０ａ〜流路９０ｄに物質２５を格納する。即ち、全ての流路９０ａ〜流路９０ｄに同一の物質２５が格納されている。次に、第１時刻より後の第２時刻において、流路９０ａ〜流路９０ｄの物質２５を流出させた後に、流路９０ａ〜流路９０ｄに物質２６を格納する。そして、第２時刻より後の第３時刻において、流路９０ａ〜流路９０ｄの物質２６を流出させた後に、流路９０ａ〜流路９０ｄに物質２７を格納する。これにより、本例の撮像素子１００は、受光する波長帯域を、流路９０に格納された複数の物質に応じた複数の波長帯域に変更できる。なお、本例では、物質２５〜物質２７の３つの物質を用いる場合について説明したが、４以上の物質を用いてもよい。
【００３１】
以上の通り、本例の撮像素子１００は、フレーム毎に予め定められた波長帯域の光を受光できる。また、撮像素子１００は、流路９０の形状を変更することなく、流路９０に格納する物質を変更するだけで複数の波長帯域の光を受光できる。これにより、撮像素子１００は、構造を複雑化することなく、マルチバンド化を実現する。
【００３２】
図４は、実施例２に係る撮像素子１００の動作の一例を示す。本例の撮像素子１００は、流路９０ａ〜流路９０ｄに異なる屈折率の物質を格納する。本例の撮像素子１００は、ラインスキャン方式でマルチバンド化を実現する。
【００３３】
撮像素子１００は、ライン（即ち、行又は列）毎に流路９０ａ〜流路９０ｄに異なる屈折率の物質を格納する。例えば、流路９０ａ〜流路９０ｄは、それぞれ物質２５〜物質２８を格納する。これにより、流路９０ａ〜流路９０ｄは、それぞれ異なる波長帯域の光を透過させる。そして、流路９０ａ〜流路９０ｄに対応する複数の光電変換素子１１は、それぞれ異なる波長帯域の光を受光する。
【００３４】
以上の通り、本例の撮像素子１００は、同一時刻において、異なる屈折率の物質を流路９０ａ〜流路９０ｄのそれぞれに格納する。そのため、撮像素子１００は、同時に複数の波長帯域の光を受光できる。また、本例の撮像素子１００は、流路９０ａ〜流路９０ｄに格納する物質を入れ替える必要がないので、物質を入れ替えるための電力を消費しない。
【００３５】
なお、本例では、物質２５〜物質２８の４つの物質を用いる場合について説明したが、５以上の物質を用いてもよい。また、撮像素子１００は、流路９０に格納する物質をそれぞれ屈折率の異なる物質に入れ替えてもよい。具体的には、予め定められた第１時刻において、流路９０ａ〜流路９０ｄに物質２５〜物質２８を格納する。次に、第１時刻より後の第２時刻において、流路９０ａ〜流路９０ｄの物質２５〜物質２８を流出させた後に、物質２５〜物質２８をそれまで格納されていた流路の隣の流路９０ａ〜流路９０ｄに格納する。即ち、流路９０ａ〜流路９０ｄの順に、物質２６、物質２７、物質２８、物質２５を格納する。これを繰り返すことにより、撮像素子１００では、撮像するたびにマルチバンド画像が得られるとともに、時分割により同一の光電変換素子１１でのマルチバンド化も実現できる。更に、撮像素子１００は、被写体をベルトコンベア等で移動させながら撮影してよい。これにより、流路９０ａ〜流路９０ｄのそれぞれの透過波長帯域に応じたデータを一度に取得できる。
【００３６】
［実施例３］
図５は、実施例３に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。本例の撮像素子１００は、ミラー２１とミラー２３との間に流路９０を備える。流路９０は、空洞部９３および接続部９４を有する。
【００３７】
空洞部９３は、内部が空洞となっており、予め定められた屈折率の物質を格納する。即ち、空洞部９３は、格納部に対応する。一例において、空洞部９３の形状が直方体である。本例の撮像素子１００は、複数の空洞部９３を備える。複数の空洞部９３は、それぞれ光電変換素子１１に対応して配列されている。空洞部９３には、１又は複数の物質が格納されてよい。
【００３８】
接続部９４は、複数の空洞部９３同士を接続する。本例の接続部９４は、予め定められた列方向において、複数の空洞部９３を接続している。これにより、複数の空洞部９３が接続部９４で接続されたラインが形成される。また、複数の空洞部９３が接続部９４で接続されたラインは、予め定められた行方向に複数配列されている。接続部９４は、内部が空洞となっており、接続された複数の空洞部９３の間で物質を流す。
【００３９】
本例の撮像素子１００は、複数の空洞部９３が接続部９４で接続されたライン毎に予め定められた物質を流す。撮像素子１００は、ライン毎に異なる屈折率の物質を流してもよい。また、撮像素子１００は、フレーム毎に（即ち、時分割で）、異なる屈折率の物質を流してもよい。本例の撮像素子１００は、光電変換素子１１に対応して空洞部９３を配置させ、光電変換素子１１が設けられた領域以外の領域を接続部９４で接続する。これにより、本例の撮像素子１００は、実施例２の場合と比較して、流路９０に流す物質の量を少なくできる。これにより、流路９０に流す物質の入れ替えが容易となる。
【００４０】
［実施例４］
図６Ａおよび図６Ｂは、実施例４に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。本例の撮像素子１００は、分光フィルタ２０として多層干渉膜４０を備える。
【００４１】
多層干渉膜４０は、低屈折率層と高屈折率層との積層構造からなる干渉フィルタである。本例の多層干渉膜４０は、低屈折率層として格納部４１を有し、高屈折率層として基材４２を有する。本例の多層干渉膜４０は、格納部４１に格納した物質で屈折率を変更し、複数の波長帯域を実現する。なお、多層干渉膜４０は、予め定められた波長帯域の光を透過するカラーフィルタとして機能してもよい。
【００４２】
格納部４１は、１又は複数の光電変換素子１１ごとに設けられ、液体又は気体からなる物質を格納する。格納部４１は、流入部および流出部を有し、格納する物質を入れ替えることにより、複数の波長帯域を実現する。図６Ａを参照すると、格納部４１には、予め定められた屈折率の物質２４が格納されている。一方、図６Ｂを参照すると、格納部４１には、物質２４の屈折率と異なる屈折率の物質２５が格納されている。例えば、格納部４１には、屈折率が１である空気と、屈折率が１．３３である水とのいずれかが格納され、流入部および流出部によってこれらの物質が入れ替えられる。ただし、格納部４１に格納される物質はこれらに限らない。
【００４３】
基材４２は、格納部４１に格納された物質の屈折率と異なる第３屈折率を有する。基材４２の屈折率は、格納部４１に格納された物質の屈折率よりも高い。基材４２は、格納部４１を挟んで設けられる。即ち、多層干渉膜４０の両端には、基材４２が設けられている。基材４２が格納部４１を挟んで設けられることにより、予め定められた物質が格納部４１内に格納される。多層干渉膜４０は、格納部４１に格納する物質を入れ替えることにより、多層干渉膜４０の透過バンドを変化させる。例えば、基材４２は、屈折率が２．０であるＳｉＮ等で形成される。ただし、基材４２の材料はこれに限らない。
【００４４】
レンズ部８０は、多層干渉膜４０の上方に形成される。レンズ部８０は、多層干渉膜４０において、受光部１０と接合される側と反対側に接合される。複数の光電変換素子１１に対応して、複数のレンズ部８０が設けられてよい。
【００４５】
以上の通り、本例の撮像素子１００は、多層干渉膜４０の格納部４１に格納する物質を入れ替えることによりマルチバンド化を実現する。このように、撮像素子１００は、低屈折率層と高屈折率層との積層構造からなる干渉フィルタにおいてもマルチバンド化を実現できる。
【００４６】
［実施例５］
図７Ａおよび図７Ｂは、実施例５に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。本例の撮像素子１００は、分光フィルタ２０として、格納部４１と基材４２とが複数積層された多層干渉膜４０を有する。
【００４７】
多層干渉膜４０は、予め定められた波長帯域の光を反射又は透過する。本例の多層干渉膜４０は、格納部４１に格納する物質を入れ替えることにより、反射フィルタと透過フィルタとを切り替える。一例において、本例の多層干渉膜４０は、光電変換素子１１が感度を有する波長帯域のうち、一部の波長帯域を反射してそれ以外の光を透過する単色の反射フィルタとして機能する。さらに、多層干渉膜４０は、光電変換素子１１が感度を有する波長帯域のうち、全ての波長帯域を透過する透過フィルタとしても機能する。
【００４８】
格納部４１は、入射する光の波長λと等しい厚みを有する。本例の格納部４１は、格納する物質を気体と液体とに入れ替える。図７Ａを参照すると、格納部４１には、気体である物質２４が格納されている。一方、図７Ｂを参照すると、格納部４１には、液体である物質２５が格納されている。一例において、物質２５の屈折率は、基材４２の屈折率と同じである。例えば、物質２４は屈折率が１の空気であり、物質２５は屈折率が１．３３の水である。基材４２は、水と同じ屈折率１．３程度のＭｇＦ２で形成される。ただし、格納部４１に格納される物質及び基材４２の材料はこれらに限らない。
【００４９】
基材４２は、入射する光の波長λと等しい厚みを有する。即ち、格納部４１および基材４２は、光路長１λの繰り返し構造を有する。これにより、本例の多層干渉膜４０は、特定波長λの反射フィルタとして機能する。なお、特定波長λとは、一例として、波長λを中心として半値幅が予め定められた半値幅（例えば１０〜５０ｎｍ程度）である狭帯域の波長帯域を示す。
【００５０】
ここで、多層干渉膜４０は、空気充填時と液体充填時とで異なる機能を有する。例えば、多層干渉膜４０は、格納部４１に気体である物質２４を格納した場合、特定波長λの反射フィルタとして機能する。一方、多層干渉膜４０は、格納部４１に液体である物質２５を格納した場合、光電変換素子１１が受光可能な波長帯域の透過フィルタとして機能する。
【００５１】
以上の通り、本例の撮像素子１００は、格納部４１に格納する物質を空気と液体で入れ替えることにより、反射フィルタ又は透過フィルタとして機能する。このように、撮像素子１００は、格納する物質を入れ替えることにより、多層干渉膜４０の反射特性および透過特性を制御する。
【００５２】
［実施例６］
図８Ａおよび図８Ｂは、実施例６に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。図８Ｃは、実施例６に係るピラー積層部６０の構造の拡大図である。本例の撮像素子１００は、分光フィルタ２０として、ピラー積層部６０を有する。
【００５３】
ピラー積層部６０は、予め定められた波長帯域の光を反射又は透過する。ピラー積層部６０は、格納部６１と基材６２の積層構造を有する。本例のピラー積層部６０は、格納部６１に格納する物質を入れ替えることにより、反射フィルタと透過フィルタとを切り替える。一例において、本例のピラー積層部６０は、単色の反射フィルタとして機能し、且つ、透過フィルタとしても機能する。
【００５４】
格納部６１は、１又は複数の光電変換素子１１ごとに設けられ、液体又は気体からなる物質を格納する。格納部６１は、流入部および流出部を有し、格納する物質を入れ替えることにより、複数の波長帯域を実現する。図８Ａを参照すると、格納部６１には、気体である物質２４が格納されている。一方、図８Ｂを参照すると、格納部６１には、液体である物質２５が格納されている。本例の格納部６１は、厚みｔｅを有する。
【００５５】
基材６２は、格納部６１に格納された物質の屈折率と異なる第３屈折率を有する。基材６２の屈折率は、格納部６１に格納された物質の屈折率よりも高い。基材６２は、高屈折率層の一例である。本例の基材６２は、厚みｔｂを有する。例えば、基材６２は、屈折率が１．５であるＳｉＯ２で形成される。
【００５６】
ピラー６３は、格納部６１の空洞内に複数設けられる。ピラー６３は、基材６２の屈折率と異なる屈折率を有する。本例のピラー６３は、基材６２よりも高い屈折率を有する。例えば、ピラー６３は、屈折率が１．８であるＡｌ２Ｏ３で形成される。本例のピラー６３は、円柱形状を有する。
【００５７】
ここで、複数のピラー６３がピラー積層部６０に入射する光の波長以下の周期で配列されることにより、格納部６１の有効屈折率が変化する。例えば、有効屈折率は、複数のピラー６３と、格納部６１に格納された物質との面積比に応じて変化する。ピラー６３のピッチａは、隣接するピラー６３の中心同士の間隔を示す。ピッチａは、入射する光の波長とピラー積層部６０の有効屈折率に応じて決定されてよい。直径ｄは、基材６２の断面の直径を示す。なお、本例のピラー６３の断面形状は円形であるが、三角形や四角形等の他の多角形であってもよい。また、本例のピラー６３は円柱であるが、テーパーを設けてもよい。このように、ピラー積層部６０は、ピラー６３の形状および配置に基づいて、ピラー積層部６０を透過する波長帯域を調整する。
【００５８】
したがって、ピラー積層部６０は、格納部６１に格納される物質に応じて、透過特性および反射特性を調整できる。例えば、ピラー積層部６０は、格納部６１に気体である物質２４を格納した場合、特定波長帯域の反射フィルタとして機能する。一方、ピラー積層部６０は、格納部６１に液体である物質２５を格納した場合、特定波長帯域の透過フィルタとして機能する。
【００５９】
分光フィルタ２０の一例として、ＳｉＯ２で形成される基材６２の厚みｔｂを２００ｎｍ、格納部６１の厚みｔｅを２３６ｎｍとし、ピラー６３の直径ｄを１３６ｎｍ、ピラー６３中心同士のピッチａを２００ｎｍとする。ここで、気体の一例として、屈折率が１である空気を格納部６１に格納すると、ピラー６３を含む格納部６１の有効屈折率がおよそ１．２７となり、特定波長λとしておよそ６００ｎｍの光を反射する反射フィルタとして機能する。また、液体の一例として、屈折率が１．３３である水を格納部６１に格納すると、ピラー６３を含む格納部６１の有効屈折率がおよそ１．４９となり、基材６２の屈折率との差がなくなるため、入射した光を透過する透過フィルタとして機能する。
【００６０】
以上の通り、撮像素子１００は、予め定められた間隔で配列された複数のピラー６３を備える。本例の撮像素子１００は、ピラー６３のピッチ、各部材の屈折率、ピラー６３のサイズ等に応じて、ピラー積層部６０の透過特性および反射特性を自由に設計できる。したがって、本例の撮像素子１００は、格納部６１に格納する物質に応じた構造の設計が容易である。
【００６１】
なお、分光フィルタ２０は、１又は複数の光電変換素子１１に対応する格納部６１ごとに、光電変換素子１１の配列方向の断面積が異なるピラー６３を有してよい。これにより、分光フィルタ２０の透過特性を１又は複数の光電変換素子１１に対応する格納部６１ごとに変更できる。
【００６２】
［実施例７］
図９Ａは、実施例７に係る撮像素子１００の構成の一例を示す。図９Ｂは、実施例７に係る撮像素子１００の断面図の一例を示す。本例の撮像素子１００は、分光フィルタ２０として、段差が設けられた流路９０を備える。流路９０は格納部に対応する。本例の撮像素子１００は、実施例１と同様、ファブリペロー干渉膜方式のフィルタであり、流路９０を挟んで一対のミラーが配置される。
【００６３】
分光フィルタ２０は、複数の光電変換素子１１からなるブロックごとに設けられる。これにより、分光フィルタ２０がマルチバンド化した光を複数の光電変換素子１１が受光する。本例の分光フィルタ２０は、物質が流入部９１から格納部２２に流入する流入口と、物質が格納部２２から流出部９２に流出する流出口とが、光電変換素子１１の配列方向に対向して設けられている。
【００６４】
流路９０は、物質が流れる空洞に段差を有することにより、異なる厚みを有する。流路９０の厚みとは、流路９０を挟む一対の反射面の間隔であってよい。光電変換素子１１の１つのブロックにおいて、１又は複数の光電変換素子１１ごとに、流路９０の厚みが異なってよい。即ち、流路９０の厚みごとに対応して、少なくとも１つの光電変換素子１１が設けられる。本例の流路９０は、流入部９１の流入口から流出部９２の流出口に向かうにつれて間隔が広くなる。
【００６５】
より具体的には、流路９０は、４つの流路９０ａ〜流路９０ｄを含む。また、４つの流路９０ａ〜流路９０ｄは、スペーサ層厚みの異なる領域を含む。本例の流路９０ａ〜流路９０ｄは、４つの異なるスペーサ層厚みｔ１〜ｔ４をそれぞれ有する。例えば、流路９０ａは、流路９０ａ（ｔ１）〜流路９０ａ（ｔ４）を有し、流路９０ｂは、流路９０ｂ（ｔ１）〜流路９０ｂ（ｔ４）を有し、流路９０ｃは、流路９０ｃ（ｔ１）〜流路９０ｃ（ｔ４）を有し、流路９０ｄは、流路９０ｄ（ｔ１）〜流路９０ｄ（ｔ４）を有する。スペーサ層厚みｔ１〜ｔ４は、ｔ１＜ｔ２＜ｔ３＜ｔ４の関係を有する。例えば、厚みｔ１〜ｔ４の領域において、流路９０の上端が同一平面上にあり、流路９０の下端が徐々に深くなる。これにより、流路９０内の物質が流入部９１から流出部９２に向けて流れやすくなる。
【００６６】
ここで、撮像素子１００は、流路９０ａ〜流路９０ｄ毎に屈折率の異なる物質を流す。例えば、４つの流路９０ａ〜流路９０ｄには、屈折率ｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ４の物質がそれぞれ流される。本例の物質は、ｎ１＜ｎ２＜ｎ３＜ｎ４の関係を有する。これにより、撮像素子１００は、４つの屈折率と４つのスペーサ層厚みの計１６通りのバンドを実現する。
【００６７】
なお、撮像素子１００は、流路９０ａ〜流路９０ｄに同一の物質を流してもよい。この場合、４つのスペーサ層厚みに応じた４通りのバンドを実現する。撮像素子１００は、流路９０の段差を増やすことにより、５通り以上のバンドを実現できる。
【００６８】
図１０は、実施例７に係る撮像素子１００の製造方法の一例を示す。本例では、オンチップ方式のプロセスフローについて説明する。オンチップ方式では、受光部１０が設けられたチップ上に各部材を形成して撮像素子１００を製造する。各フローにおいて、流路方向の断面と、流路に対し垂直方向の断面を示す。
【００６９】
受光部１０を用意し、受光部１０上に酸化膜１５を成膜する。また、３Ｄプリンタ２００で樹脂５５を酸化膜１５上に塗布する。樹脂５５により、流路９０の中空構造および外枠が形成される。３Ｄプリンタ２００を用いる場合、流路９０の段差形状等を自由に選択できる。さらに、３Ｄプリンタ２００で金属膜５６を樹脂５５の上部に形成する。そして、樹脂５７の蓋構造を３Ｄプリンタ２００で形成する。樹脂５７上には、金属膜５８および酸化膜５９がスパッタ装置等により成膜される。このように、３Ｄプリンタ２００を用いることにより、流路９０を任意の形状で形成できる。
【００７０】
図１１は、実施例７に係る撮像素子１００の製造方法の一例を示す。本例では、貼り合わせ方式のプロセスフローについて説明する。貼り合わせ方式では、センサ側の基板と、蓋となるガラス基板３０とを貼り合わせることにより、撮像素子１００を製造する。各フローにおいて、流路方向の断面と、流路に対し垂直方向の断面を示す。
【００７１】
センサ側の基板に設けられた受光部１０を用意する。受光部１０上には、酸化膜１５および樹脂５５が成膜される。その後、モールド５０を用いたナノインプリントによって、流路９０の中空構造および外枠を形成する。次に紫外線（ＵＶ）の照射や加熱により、樹脂５５を硬化させる。樹脂５５上には、金属膜５６が形成される。
【００７２】
一方、撮像素子１００の蓋となるガラス基板３０を用意する。ガラス基板３０上には、酸化膜３１および金属膜３２が成膜される。そして、センサ側の基板とガラス基板３０とを接合する。これにより、流入部９１および流出部９２を有する流路９０が形成される。
【００７３】
図１２は、撮像装置３００の構成の概要を示す。本例の撮像装置３００は、撮像素子１００および保存部１１０を備える。
【００７４】
撮像素子１００は、流入部９１と、格納部２２と、流出部９２とを備える。格納部２２には、流入部９１を介して予め定められた物質が流入される。格納部２２に格納された物質は、流出部９２を介して保存部１１０に流出される。
【００７５】
保存部１１０は、流入部９１および流出部９２に接続され、格納部２２から流出された物質を保存する。保存部１１０は、複数の物質を保存してよい。保存部１１０は、保存した物質を流入部へ流入させて、格納部２２に再度、物質を格納させる。保存部１１０は、撮像素子１００に物質を流入および流出させ続けてもよい。また、保存部１１０は、撮像素子１００に物質を流入する工程と、撮像素子１００から物質を流出させる工程とを予め定められた間隔で実行してよい。この場合、保存部１１０で消費される電力が低減する。
【００７６】
図１３は、撮像素子１００を用いた撮像方法の一例を示す。本例では、ステップＳ１００〜ステップＳ１０４により、撮像素子１００の透過特性が制御される。
【００７７】
ステップＳ１００において、分光フィルタ２０の格納部２２に、液体又は気体からなる物質を流入部９１から流入する。一例において、格納部２２への物質の流入には、マイクロポンプが用いられる。
【００７８】
ステップＳ１０２において、分光フィルタ２０に入射する光のうち、物質の屈折率に対応する波長帯域を透過した光を、複数の光電変換素子１１が受光する。例えば、ステップＳ１０２では、分光フィルタ２０が液体を格納している。
【００７９】
ステップＳ１０４において、撮像素子１００は、格納部から保存部１１０へ物質を流出する。一例において、保存部１１０への物質の流出は、分光フィルタ２０の内部にエアーポンプで空気を送り込むことにより、液体が排出される。また、撮像素子１００は、加熱機構を内蔵することにより、液体を気化させてもよい。その後、分光フィルタ２０に入射する光のうち、入れ替え後の物質の屈折率に対応する波長帯域を透過した光を、複数の光電変換素子１１が受光する。例えば、ステップＳ１０４では、分光フィルタ２０が気体を格納している。なお、ステップＳ１０４の実行後に再びステップＳ１００に戻ってもよい。
【００８０】
［実施例８］
図１４Ａは、実施例８に係る光学素子１５０の構成の一例を示す。また、図１４Ｂおよび図１４Ｃは、実施例８に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。本例の光学素子１５０は、ガラス基板１６と、光学フィルタ１７と、ガラス基板３０とを備える。ガラス基板１６およびガラス基板３０は、光学フィルタ１７を挟んで設けられる。実施例８に係る光学素子１５０は、実施例１から７と同様に光電変換素子１１に接して配置されるか、または光電変換素子１１と間隔を空けて配置されることで撮像素子１００の一部として構成されてよい。また、光学素子１５０は、単体の光学部品として構成されてよい。
【００８１】
光学フィルタ１７は、任意の光学部材を有する。例えば、光学フィルタ１７は、光学部材として、ワイヤーグリッド９５を備える。また、光学フィルタ１７は、予め定められた屈折率の物質を格納する。本例の光学フィルタ１７は、屈折率の異なる物質２４および物質２５のいずれかを格納している。
【００８２】
ワイヤーグリッド９５は、光学フィルタ１７に入射した光を偏光する。本例のワイヤーグリッド９５は、流入部９１から流出部９２の方向（即ち、流路方向）に延伸している。また、ワイヤーグリッド９５は、流路方向と垂直な方向に予め定められた間隔で配列されている。ワイヤーグリッド９５は、ホトリソグラフィとドライエッチングにより形成される。光学フィルタ１７の流路および外壁は、実施例７の製造方法と同様にナノインプリント法や３Ｄプリンタで形成されてよい。
【００８３】
本例のワイヤーグリッド９５は、高さＨ１、幅Ｗ１、ピッチＷ２を有する。ここで、物質の屈折率をｎ、入射する光の波長をλとすると、ワイヤーグリッド９５のピッチＷ２が次式を満たすことが好ましい。
λ／２＞Ｗ２＞λ／２ｎ
ワイヤーグリッド９５の構造および配列は、入射される光の偏光条件に応じて、適宜変更されてよい。
【００８４】
ここで、光学フィルタ１７は、格納する物質を入れ替えることにより、偏光と非偏光を切り替える。例えば、光学フィルタ１７は、内部に空気を格納することにより、偏光機能を有する。一方、光学フィルタ１７は、内部に水等の液体を格納することにより、偏光機能を有さなくなる。
【００８５】
以上の通り、本例の光学素子１５０は、偏光機能を有する光学フィルタ１７の光学特性を切り替える。即ち、光学素子１５０は、光学フィルタ１７に格納する物質を入れ替えることにより、光学フィルタ１７の偏光および非偏光を切り替える。本例の光学素子１５０は、簡易な構造で光学フィルタ１７の光学特性の切り替えを実現できる。
【００８６】
図１５は、実施例８に係る光学素子１５０の製造方法の一例を示す。本例では、貼り合わせ方式のプロセスフローについて説明する。但し、光学素子１５０の製造方法は本例に限られない。
【００８７】
ガラス基板１６を用意し、ガラス基板１６上にナノインプリント用の樹脂５５を塗布する。モールド５０を用いたナノインプリントで光学フィルタ１７の側壁（樹脂５５）を形成する。次に紫外線（ＵＶ）を照射することにより、樹脂５５を硬化させる。リフトオフ用のレジスト８５を塗布して、レジスト８５を露光および現像する。レジスト８５は、樹脂５５で形成した光学フィルタ１７の側壁を覆うように塗布される。
【００８８】
次に全面に金属膜５６を成膜する。さらに、金属膜５６上にレジスト８６を塗布して、レジスト８６を露光および現像する。レジスト８６は、ワイヤーグリッド９５に応じたパターンを有する。レジスト８６越しにドライエッチングすることにより、金属膜５６によってワイヤーグリッド９５が形成される。その後、レジスト８５およびレジスト８６をリフトオフする。そして、樹脂５５でできた光学フィルタ１７の側壁上にガラス基板３０を貼り合わせて接合する。
【００８９】
［実施例９］
図１６Ａは、実施例９に係る光学素子１５０の構成の一例を示す。図１６Ｂおよび図１６Ｃは、実施例９に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。本例の光学素子１５０は、光学フィルタ１７に任意の物質２４および物質２５と、光学部材とを備える。本例の光学素子１５０は、光学部材として、グレーティング９６を備える。本例の光学素子１５０は、ワイヤーグリッド９５の代わりにグレーティング９６を有する点で実施例８に係る光学素子１５０と相違する。本例では、実施例８と相違する点について特に説明する。実施例９に係る光学素子１５０も、実施例８と同様、光電変換素子１１に接して配置されるか間隔を空けて配置されることで撮像素子１００の一部として構成されてよい。また、光学素子１５０は、単体の光学部品として構成されてもよい。
【００９０】
グレーティング９６は、光学フィルタ１７に入射した光を回折する。本例のグレーティング９６は、流入部９１から流出部９２の方向（即ち、流路方向）に延伸している。また、グレーティング９６は、流路方向と垂直な方向に予め定められた間隔で配列されている。グレーティング９６は、ホトリソグラフィとドライエッチングにより形成される。光学フィルタ１７の流路および外壁は、実施例７の製造方法と同様にナノインプリント法や３Ｄプリンタで形成されてよい。
【００９１】
ここで、光学フィルタ１７は、格納する物質を入れ替えることにより、回折と非回折を切り替える。例えば、光学フィルタ１７は、内部に空気を格納することにより、回折機能を有する。図１６Ｂを参照すると、ガラス基板１６側からの入射光がグレーティング９６により、０次光と、１次光と、２次光とに回折されている。一方、光学フィルタ１７は、内部に液体を格納することにより、回折機能を有さなくなる。図１６Ｃを参照すると、ガラス基板１６側からの入射光がグレーティング９６により回折されていない。
【００９２】
以上の通り、本例の光学素子１５０は、回折機能を有する光学フィルタ１７の光学特性を切り替える。即ち、光学素子１５０は、光学フィルタ１７に格納する物質を入れ替えることにより、光学フィルタ１７の回折および非回折を切り替える。本例の光学素子１５０は、簡易な構造で光学フィルタ１７の光学特性の切り替えを実現できる。
【００９３】
［実施例１０］
図１７Ａは、実施例１０に係る光学素子１５０の構成の一例を示す。図１７Ｂは、実施例１０に係る光学素子１５０の平面図の一例を示す。図１７Ｃおよび図１７Ｄは、実施例１０に係る光学素子１５０の断面図の一例を示す。本例の光学素子１５０は、複数の流路９０と、複数の流入部９１と、複数の流出部９２とを備える。なお、図１７Ａでは、簡略化のため、１対の流入部９１および流出部９２のみ図示されているが、複数の流入部９１および流出部９２が設けられてもよい。
【００９４】
流路９０は、４つの流路９０ａ〜流路９０ｄを備える。流路９０ａ〜流路９０ｄは、平面視で、円形の外形を有する。例えば、流路９０ａ〜流路９０ｃは、ドーナツ状の平面形状を有する。流路９０ｄは、円形の平面形状を有する。流路９０ａ〜流路９０ｄは、外周側から同心円状に設けられている。即ち、流路９０ａの内側に流路９０ｂが配置され、流路９０ｂの内側に流路９０ｃが配置され、流路９０ｃの内側の流路９０ｄが配置されている。
【００９５】
流路９０ａ〜流路９０ｄには、予め定められた物質が格納されている。図１７Ｃを参照すると、流路９０ａ〜流路９０ｄには、物質２４として気体が格納されている。本例の流路９０ａ〜流路９０ｄには、全て空気が格納されている。一方、図１７Ｄを参照すると、流路９０ａ〜流路９０ｄには、物質２５〜物質２８として液体が格納されている。本例の流路９０ａ〜流路９０ｄには、それぞれ異なる屈折率を有する物質２５〜物質２８が格納されている。但し、流路９０ａ〜流路９０ｄには、同一の物質が格納されてよい。
【００９６】
本例の光学素子１５０は、格納する物質を空気と液体とで入れ替え、且つ、屈折率の異なる複数の液体を用いる。これにより、光学素子１５０は、撮像装置の光学特性である絞りおよび遮光を切り替える。例えば、光学素子１５０は、流路９０に流す物質２５〜物質２８を変化させることにより、遮光する領域を任意に変更する。これにより、撮像装置のＦ値を制御してもよい。また、光学素子１５０は、遮光機能と絞りを変更する機能を組み合わせることにより、シャッタとして機能してもよい。
【００９７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００９８】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００９９】
１０・・・受光部、１１・・・光電変換素子、１５・・・酸化膜、１６・・・ガラス基板、１７・・・光学フィルタ、２０・・・分光フィルタ、２１・・・ミラー、２２・・・格納部、２３・・・ミラー、２４・・・物質、２５・・・物質、２６・・・物質、２７・・・物質、２８・・・物質、３０・・・ガラス基板、３１・・・酸化膜、３２・・・金属膜、４０・・・多層干渉膜、４１・・・格納部、４２・・・基材、５０・・・モールド、５５・・・樹脂、５６・・・金属膜、５７・・・樹脂、５８・・・金属膜、５９・・・酸化膜、６０・・・ピラー積層部、６１・・・格納部、６２・・・基材、６３・・・ピラー、８０・・・レンズ部、８５・・・レジスト、８６・・・レジスト、９０・・・流路、９１・・・流入部、９２・・・流出部、９３・・・空洞部、９４・・・接続部、９５・・・ワイヤーグリッド、９６・・・グレーティング、１００・・・撮像素子、１１０・・・保存部、１５０・・・光学素子、２００・・・３Ｄプリンタ、３００・・・撮像装置
【図１Ａ】
2018230186.tif 000003
【図１Ｂ】
2018230186.tif 000004
【図２Ａ】
2018230186.tif 000005
【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2018230186.tif 000009
【図６Ａ】
2018230186.tif 000010
【図６Ｂ】
2018230186.tif 000011
【図７Ａ】
2018230186.tif 000012
【図７Ｂ】
2018230186.tif 000013
【図８Ａ】
2018230186.tif 000014
【図８Ｂ】
2018230186.tif 000015
【図８Ｃ】
2018230186.tif 000016
【図９Ａ】
2018230186.tif 000017
【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１７Ｄ】
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【国際調査報告】
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