(57)【要約】  ベースブロックに対応した流体用パーツと異なるサイズの流体用パーツを使用できるようにする変換継手を提供するために、本発明の変換継手は、ベースブロック上に配置される第１ベース部と、ベースブロックから離れる第１方向に第１ベース部から離間し、ベースブロック上に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、第１ベース部及び第２ベース部を繋ぐ中間部と、第２ベース部、中間部及び第１ベース部を貫通し、ベースブロックの第１流路の一端に接続される一端側流路と、第２ベース部、中間部及び第１ベース部を貫通し、ベースブロックの第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、一端側流路の第２ベース部側の第１開口部と他端側流路の第２ベース部側の第２開口部が、第１流体用パーツの流体流入口と第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている。
2018180373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手であって、
前記変換継手は、
前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、
前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、
前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、
前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、
前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、
前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されていることを特徴とする変換継手。
【請求項２】
前記第１ベース部は、２組ある向かい合う側面のうちの１組の向かい合う側面が前記第１流体用パーツの前記流体流入口から前記流体流出口に向かう方向の第２方向に沿って配置されるほぼ矩形状の第１外形に形成され、
前記第２ベース部は、前記第１外形と異なる第２外形を有するほぼ矩形状に形成され、
前記中間部は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向の第１幅が前記一端側流路の第１内径及び前記他端側流路の第２内径よりも大きく、かつ、２つある前記第１外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の変換継手。
【請求項３】
前記中間部は、前記第１幅が２組ある前記第２外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の変換継手。
【請求項４】
前記第１ベース部には、４つのネジ貫通部が矩形状を成す位置に設けられており、
前記第２ベース部には、４つのネジ螺合部が矩形状を成す位置に設けられており、
前記中間部は、前記第１幅が４つある隣接する前記ネジ貫通部間の距離のいずれの距離よりも小さく、かつ、４つある隣接する前記ネジ螺合部間の距離のいずれの距離よりも小さいことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の変換継手。
【請求項５】
前記第２ベース部を正面にして、前記第１ベース部と前記第２ベース部が重なる方向に見たときに、前記ネジ貫通部のネジが位置する部分の少なくとも一部に前記第２ベース部が重なっており、
前記ネジ貫通部は、前記第１ベース部の側面に開放された切欠きとして前記第１ベース部に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の変換継手。
【請求項６】
前記第１開口部と前記一端側流路の前記第１ベース部側の第３開口部の間の前記一端側流路の第１内径がほぼ均一な内径であり、
前記第３開口部が前記一端側流路の第１内径よりも拡径されており、
前記第２開口部と前記他端側流路の前記第１ベース部側の第４開口部の間の前記他端側流路の第２内径がほぼ均一な内径であり、
前記第４開口部が前記他端側流路の第２内径よりも拡径されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の変換継手。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の変換継手と、
前記ベースブロックと、
前記第１流体用パーツと、を少なくとも備えていることを特徴とする集積型流体供給装置。
【請求項８】
ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手を用いる流体用パーツの取付け方法であって、
前記変換継手は、
前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、
前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、
前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、
前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、
前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、
前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている変換継手を用いて前記ベースブロックに形成された前記第１流路と前記第２流路に流体用パーツの流路を連通させることを特徴とする流体用パーツの取付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は変換継手、その変換継手を有する集積型流体供給装置および流体用パーツの取付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置では、各種のガスを供給する供給ラインに集積化流体供給装置（以下、集積型流体供給装置ともいう）が用いられている（特許文献１参照）。
具体的には、１つのガス供給ラインには、手動バルブ、圧力トランスデューサー、レギュレータ、フィルター、マスフローコントローラ及びエアオペレーションバルブ等の流体用パーツが使用されるが、その流体用パーツの流体流入口及び流体流出口を下側に位置するように形成すると共に、流体用パーツ間を接続する流路を形成したベースブロックを流体用パーツの下側に配置することで流体用パーツの並び方向の幅をコンパクトに集積化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１３０４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そして、集積型流体供給装置では、外形サイズがほぼ１．５インチのベースブロック及びそのベースブロックに対応した流体用パーツが使用されていた時期があったが、更なる集積化の要求によって、現在では、ほぼ１．１２５インチの外形サイズであるベースブロックが用いられるのが主流になっており、各流体用パーツもその１．１２５インチの外形サイズのベースブロックに対応したものになっている。【０００５】
ところが、最近になって、過去に使用していた１．５インチのベースブロックの集積型流体供給装置を復活させて、小ロットの半導体ウエハの生産を行うユーザや中古市場にある１．５インチのベースブロックの集積型流体供給装置を購入して半導体ウエハの生産を行うユーザ等が現れてきている。【０００６】
そして、これらのユーザから流体用パーツの交換に伴い、１．５インチのベースブロックに対応した流体用パーツの引き合いがあるが、現状では、１．５インチのベースブロックに対応した流体用パーツは受注生産となってしまうため、高価かつ長納期であるという問題がある。場合によっては、１．５インチの流体用パーツが生産中止となり、１．１２５インチの流体用パーツのみを生産していることも少なくない。【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ベースブロックに対応した流体用パーツと異なるサイズの流体用パーツを使用できるようにする変換継手及びその変換継手を有する集積型流体供給装置を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の構成によって把握される。
（１）本発明の変換継手は、ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手であって、前記変換継手は、１つの前記ベースブロック上又は２つの前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている。【０００９】
（２）上記（１）の構成において、前記第１ベース部は、２組ある向かい合う側面のうちの１組の向かい合う側面が前記第１流体用パーツの前記流体流入口から前記流体流出口に向かう方向の第２方向に沿って配置されるほぼ矩形状の第１外形に形成され、前記第２ベース部は、前記第１外形と異なる第２外形を有するほぼ矩形状に形成され、前記中間部は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向の第１幅が前記一端側流路の第１内径及び前記他端側流路の第２内径よりも大きく、かつ、２つある前記第１外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さい。【００１０】
（３）上記（２）の構成において、前記中間部は、前記第１幅が２組ある前記第２外形の向かい合う側面間の距離のどちらの距離よりも小さい。【００１１】
（４）上記（２）又は（３）の構成において、前記第１ベース部には、４つのネジ貫通部が矩形状を成す位置に設けられており、前記第２ベース部には、４つのネジ螺合部が矩形状を成す位置に設けられており、前記中間部は、前記第１幅が４つある隣接する前記ネジ貫通部間の距離のいずれの距離よりも小さく、かつ、４つある隣接する前記ネジ螺合部間の距離のいずれの距離よりも小さい。【００１２】
（５）上記（４）の構成において、前記第２ベース部を正面にして、前記第１ベース部と前記第２ベース部が重なる方向に見たときに、前記ネジ貫通部のネジが位置する部分の少なくとも一部に前記第２ベース部が重なっており、前記ネジ貫通部は、前記第１ベース部の側面に開放された切欠きとして前記第１ベース部に形成されている。【００１３】
（６）上記（１）から（５）のいずれか１つの構成において、前記第１開口部と前記一端側流路の前記第１ベース部側の第３開口部の間の前記一端側流路の第１内径がほぼ均一な内径であり、前記第３開口部が前記一端側流路の第１内径よりも拡径されており、前記第２開口部と前記他端側流路の前記第１ベース部側の第４開口部の間の前記他端側流路の第２内径がほぼ均一な内径であり、前記第４開口部が前記他端側流路の第２内径よりも拡径されている。【００１４】
（７）本発明の集積型流体供給装置は、上記（１）から（６）のいずれか１つの構成を有する変換継手と、少なくとも前記第１流路及び前記第２流路を有する１つの前記ベースブロック又は少なくとも前記第１流路を有する前記ベースブロック及び少なくとも前記第２流路を有する前記ベースブロックの２つの前記ベースブロックと、前記第１流体用パーツと、を少なくとも備えている。【００１５】
（８）本発明の流体用パーツの取付け方法は、ベースブロックに形成された第１流路と第２流路に接続される流路を有する変換継手を用いる流体用パーツの取付け方法であって、前記変換継手は、前記ベースブロック上に配置される第１ベース部と、前記ベースブロックから離れる第１方向に前記第１ベース部から離間し、前記ベースブロックの前記変換継手が設置される場所に設置される流体用パーツと異なるサイズの第１流体用パーツが設置される第２ベース部と、前記第１ベース部及び前記第２ベース部の間に位置し、前記第１ベース部及び前記第２ベース部を繋ぐ中間部と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第１流路の一端に接続される一端側流路と、前記第２ベース部、前記中間部及び前記第１ベース部を貫通し、前記ベースブロックの前記第２流路の他端に接続される他端側流路と、を備え、前記一端側流路の前記第２ベース部側の第１開口部と前記他端側流路の前記第２ベース部側の第２開口部が、前記第１流体用パーツの流体流入口と前記第１流体用パーツの流体流出口に接続可能に設定されている変換継手を用いて前記ベースブロックに形成された前記第１流路と前記第２流路に流体用パーツの流路を連通させる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ベースブロックに対応した流体用パーツと異なるサイズの流体用パーツを使用できるようにする変換継手及びその変換継手を有する集積型流体供給装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る実施形態の変換継手が用いられる対象となる集積型流体供給装置を説明する斜視図である。
【図２】図１に示す第１ベースブロック及び第２ベースブロック間を橋渡しするように設置される予定の流体用パーツと異なるサイズである第１流体用パーツに換えた場合を説明する側面図である。
【図３】本発明に係る実施形態の変換継手の斜視図である。
【図４】本発明に係る実施形態の変換継手を図３の矢印Ｃ１方向から見た側面図である。
【図５】本発明に係る実施形態の変換継手を図３の矢印Ｃ２方向から見た側面図である。
【図６】本発明に係る実施形態の変換継手を図３の矢印Ｃ３方向から見た平面図である。
【図７】本発明に係る実施形態の変換継手を用いて第１ベースブロック及び第２ベースブロックに第１流体用パーツを接続したところを示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態(以下、「実施形態」という)を、添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１９】
図１は本発明に係る実施形態の変換継手４０が用いられる対象となる集積型流体供給装置１を説明する斜視図であり、約１．５インチのベースブロックＡを用いた集積型流体供給装置１を示している。
【００２０】
なお、以下の説明では、図１に示すＸＹＺ軸において、Ｚ軸方向を第１方向Ｚ、Ｘ軸方向を第２方向Ｘ、Ｙ軸方向を第３方向Ｙと呼ぶことにし、その他の図においても同様である。
【００２１】
図１に示すように、集積型流体供給装置１は、ベースブロックＡの並び方向となる第２方向Ｘに並べられた複数のベースブロックＡと、隣接するベースブロックＡ間を橋渡しするように設置された流体用パーツＢと、を備えており、各ベースブロックＡは、図示しないベースプレート上の決められた位置に固定されている。
【００２２】
流体用パーツＢは、一般に、手動バルブ、圧力トランスデューサー、レギュレータ、フィルター、マスフローコントローラ及びエアオペレーションバルブ等から選ばれ、どのような順序でどのパーツが並べられるかは、ガス供給ラインに求められる仕様によって決められる。
【００２３】
したがって、仕様によっては、流体用パーツＢに手動バルブ、圧力トランスデューサー、レギュレータ、フィルター、マスフローコントローラ及びエアオペレーションバルブ以外に別の機能を有するパーツが用いられている場合がある。
【００２４】
なお、図１は、１種のガス供給ラインに対応する部分だけを図示しており、集積型流体供給装置１は、必要なガス種の数に応じて、第３方向Ｙに並ぶように同様のガス供給ラインが集積されている。
【００２５】
図２は、図１に示す第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように設置される予定の流体用パーツＢ１（例えば１．５インチ用のエアオペレーションバルブ）と異なるサイズである第１流体用パーツ３０（例えば１．１２５インチ用のエアオペレーションバルブ）に換えた場合を説明する側面図である。
【００２６】
なお、図２では、第１ベースブロックＡ１内に形成されている第１流路１０及び第２ベースブロックＡ２内に形成されている第２流路２０がわかるように、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２を断面図として描いている。
また、第１流体用パーツ３０についても、流体流入口３１及び流体流出口３２がわかるように、流体流入口３１及び流体流出口３２の周辺の一部を断面図として描いている。
【００２７】
第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように設置される予定の１．５インチ用の流体用パーツＢ１よりも１．１２５インチ用の第１流体用パーツ３０は、全体的に小型化しており、先に述べたように、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２は、ベースプレート上の決められた位置に固定されている。
【００２８】
このため、図２に示すように、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように第１流体用パーツ３０を設置しても、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端側開口部１１の位置と第１流体用パーツ３０の流体流入口３１の位置が合わないだけでなく、一端側開口部１１と流体流入口３１のシール構造を含むサイズ自体も合わないので、流体がリークしないように接続することができない。
【００２９】
同様に、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端側開口部２１の位置と第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の位置が合わないだけでなく、他端側開口部２１と流体流出口３２のシール構造を含むサイズ自体も合わないので、流体がリークしないように接続することができない。
【００３０】
そこで、以下で説明する変換継手４０を用いることで、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように設置される予定の１．５インチ用の流体用パーツＢ１と異なるサイズである１．１２５インチ用の第１流体用パーツ３０であっても、上述のような流体のリークが起きないように設置することを可能とした。
【００３１】
図３は本実施形態の変換継手４０の斜視図であり、図３の下側が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２が位置する側であり、上側が第１流体用パーツ３０が位置する側である。
【００３２】
また、図４は変換継手４０を図３の矢印Ｃ１方向から見た側面図であり、図５は変換継手４０を図３の矢印Ｃ２方向から見た側面図であり、図６は変換継手４０を図３の矢印Ｃ３方向から見た平面図である。
【００３３】
さらに、図７は変換継手４０を用いて第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２に第１流体用パーツ３０を接続したところを示す側面図である。
【００３４】
なお、図７では、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０及び変換継手４０の流路（第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端（一端側開口部１１）に接続される一端側流路４４及び第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端（他端側開口部２１）に接続される他端側流路４５）がわかるように、第１ベースブロックＡ１、第２ベースブロックＡ２及び変換継手４０を断面図として描いている。
【００３５】
また、図７では、図２と同様に、第１流体用パーツ３０についても、流体流入口３１及び流体流出口３２がわかるように、流体流入口３１及び流体流出口３２の周辺の一部を断面図として描いている。
【００３６】
図３から図７に示すように、変換継手４０は、図１及び図２で示した第１流路１０を有するベースブロックＡ（第１ベースブロックＡ１）及び第２流路２０を有するベースブロックＡ（第２ベースブロックＡ２）の２つのベースブロックＡ上に配置される第１ベース部４１と、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２から離れる第１方向Ｚに第１ベース部４１から離間した第２ベース部４２と、第１ベース部４１及び第２ベース部４２の間に位置し、第１ベース部４１及び第２ベース部４２を繋ぐ中間部４３と、を備えている。
【００３７】
なお、第２ベース部４２は、後ほど説明するように、２つのベースブロックＡ（第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２）の変換継手４０が設置される場所に設置される流体用パーツＢ１と異なるサイズの第１流体用パーツ３０が設置される部分である。
【００３８】
また、図７に示すように、変換継手４０は、第２ベース部４２、中間部４３及び第１ベース部４１を貫通し、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端（一端側開口部１１）に接続される一端側流路４４と、第２ベース部４２、中間部４３及び第１ベース部４１を貫通し、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端（他端側開口部２１）に接続される他端側流路４５と、を備えている。
【００３９】
そして、一端側流路４４の第２ベース部４２側の第１開口部４４ａと他端側流路４５の第２ベース部４２側の第２開口部４５ａは、第１開口部４４ａと第２開口部４５ａの間の離間距離が、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１と第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の間の離間距離と同じになるように形成され、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１と第１流体用パーツ３０の流体流出口３２に接続可能に設定されている。
【００４０】
また、第１開口部４４ａの外周には、図６及び図７に示すように、シール部材（例えば、メタルパッキン）を収容する第１リング状溝４４ｂが形成されているが、この第１リング状溝４４ｂも第１流体用パーツ３０の流体流入口３１の外周に形成されているシール部材を収容する入口側リング状溝３１ａ（図７参照）と同じものになっている。
【００４１】
このため第１流体用パーツ３０に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
【００４２】
同様に、第２開口部４５ａの外周には、図６及び図７に示すように、シール部材を収容する第２リング状溝４５ｂが形成されているが、この第２リング状溝４５ｂも第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の外周に形成されているシール部材を収容する出口側リング状溝３２ａ（図７参照）と同じものになっている。
【００４３】
このため第１流体用パーツ３０に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
【００４４】
一方、一端側流路４４の第１内径ｄ１は、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１の開口径にほぼ近い内径とされ、第１開口部４４ａと一端側流路４４の第１ベース部４１側の第３開口部４４ｃの間の一端側流路４４の第１内径ｄ１は、ほぼ均一な内径になっている。
【００４５】
そして、第３開口部４４ｃは、第１ベースブロックＡ１の第１流路１０の一端側開口部１１と同程度の内径を有するように一端側流路４４の第１内径ｄ１よりも拡径されており、第３開口部４４ｃと一端側開口部１１の接続が異径接続にならないようにされている。
【００４６】
また、第３開口部４４ｃの外周には、図７に示すように、シール部材を収容する第３リング状溝４４ｄが形成されているが、この第３リング状溝４４ｄも第１ベースブロックＡ１の一端側開口部１１の外周に形成されているシール部材を収容する一端側リング状溝１１ａと同じものになっている。
【００４７】
このため第１ベースブロックＡ１に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
【００４８】
ところで、一端側流路４４の第１内径ｄ１を第３開口部４４ｃ側に向かってテーパー状に広げることでも異径接続にならないようにできるものの、そのようにすると加工費が高くなるため、本実施形態のように、一端側流路４４の第１内径ｄ１をほぼ均一な内径として、第３開口部４４ｃが一端側流路４４の第１内径ｄ１よりも拡径することが好ましい。
【００４９】
同様に、他端側流路４５の第２内径ｄ２は、第１流体用パーツ３０の流体流出口３２の開口径にほぼ近い内径とされ、第２開口部４５ａと他端側流路４５の第１ベース部４１側の第４開口部４５ｃの間の他端側流路４５の第２内径ｄ２は、ほぼ均一な内径になっている。
【００５０】
そして、第４開口部４５ｃは、第２ベースブロックＡ２の第２流路２０の他端側開口部２１と同程度の内径を有するように他端側流路４５の第２内径ｄ２よりも拡径されており、第４開口部４５ｃと他端側開口部２１の接続が異径接続にならないようにされている。
【００５１】
また、第４開口部４５ｃの外周には、図７に示すように、シール部材を収容する第４リング状溝４５ｄが形成されているが、この第４リング状溝４５ｄも第２ベースブロックＡ２の他端側開口部２１の外周に形成されているシール部材を収容する他端側リング状溝２１ａと同じものになっている。
【００５２】
このため第２ベースブロックＡ２に用いられるシール部材がそのまま使用できるようになっている。
【００５３】
この場合も、他端側流路４５の第２内径ｄ２を第４開口部４５ｃ側に向かってテーパー状に広げることで異径接続にならないようにできるものの、そのようにすると加工費が高くなるため、本実施形態のように、他端側流路４５の第２内径ｄ２をほぼ均一な内径として、第４開口部４５ｃが他端側流路４５の第２内径ｄ２よりも拡径することが好ましい。
【００５４】
なお、第１開口部４４ａ及び第２開口部４５ａで説明したのと同様に、第３開口部４４ｃと第４開口部４５ｃの間の離間距離は、第１ベースブロックＡ１の一端側開口部１１と第２ベースブロックＡ２の他端側開口部２１の間の離間距離と同じになるように形成され、一端側開口部１１と他端側開口部２１に接続可能に設定されている。
【００５５】
ところで、変換継手４０を用いるにあたっては、第１ベース部４１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２に固定され、第１流体用パーツ３０が第２ベース部４２に固定されることになり、以下、この固定のための構造等について説明する。
【００５６】
図６に示すように、第１ベース部４１は、ほぼ矩形状の第１外形に形成されており、本実施形態では、４つの側面４１ａ、４１ｂ、４１ｃ及び４１ｄの長さがいずれもＤ１であるほぼ正四角形の第１外形に形成されている。
【００５７】
具体的には、図１及び図２に示した第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅が約３９.０［ｍｍ］であるのに合わせて、長さＤ１を約３９．０［ｍｍ］としている。
【００５８】
そして、第１ベース部４１は、２つある向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ及び向かい合う側面４１ａ、４１ｃ）のうちの一方の向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ）が、図１に示す第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の並び方向となる第２方向Ｘに沿って配置される。
【００５９】
この第２方向Ｘは、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２上に配置される流体用パーツＢ１の流体流入口から流体流出口に向かう方向でもある。
したがって、別の表現をすれば、第１ベース部４１は、２つある向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ及び向かい合う側面４１ａ、４１ｃ）のうちの一方の向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ）が、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２上に配置される流体用パーツＢ１の流体流入口から流体流出口に向かう方向の第２方向Ｘに沿って配置されるほぼ矩形状の第１外形に形成されている。
【００６０】
この場合、側面４１ａ及び４１ｃの長さＤ１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅よりも長い場合、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２間を橋渡しするように変換継手４０を配置すると、第１ベース部４１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２よりも第３方向Ｙ側に出っ張ることになる。
【００６１】
しかし、本実施形態のように、側面４１ａ及び４１ｃの長さＤ１が第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅に合わせたものになっていれば、そのような出っ張りの発生がないようにでき、隣接して配置される別のガス供給ラインと干渉することが回避できる。
また、隣接する１．５インチ用の流体用パーツＢ（図１参照）との干渉を避けるために、側面４１ｂ及び４１ｄの長さＤ１も第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅に合わせたものになっている。
【００６２】
なお、このことから、第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の並び方向となる第２方向Ｘに向かい合う側面４１ａ、４１ｃ及び第２方向Ｘに直交する第３方向Ｙに向かい合う側面４１ｂ、４１ｄの長さＤ１は、いずれも第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の第３方向Ｙの幅以下、例えば、１．５インチの第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２である場合、長さＤ１は約３９［ｍｍ］以下であることが好ましい。
【００６３】
そして、図６に示すように、第１ベース部４１には、向かい合う側面４１ｂ、４１ｄに４つのネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂが矩形状を成す位置に設けられている。
【００６４】
具体的には、第１ベース部４１の向かい合う側面４１ｂ、４１ｄの第１ベースブロックＡ１側には、第１ベースブロックＡ１に形成されているネジ螺合部に対応する位置に、第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄに開放された切欠きとしてネジ貫通部４１ｂａ、４１ｄａが形成されている。
【００６５】
また、第１ベース部４１の向かい合う側面４１ｂ、４１ｄの第２ベースブロックＡ２側には、第２ベースブロックＡ２に形成されているネジ螺合部に対応する位置に、第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄに開放された切欠きとしてネジ貫通部４１ｂｂ、４１ｄｂが形成されている。
【００６６】
ここで、図６を見るとわかるように、第２ベース部４２は、第１ベース部４１の第１外形と異なる第２外形、より具体的には、第１ベース部４１の第１外形よりも小さい外形になっている。
【００６７】
このようにすると、第１ベース部４１の４つのネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂにアクセスしやすい。
一方で、第２ベース部４２は、第１流体用パーツ３０を固定するためのネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂが形成できる程度に大きい第２外形を有している。
【００６８】
このため、第２ベース部４２が第１ベース部４１の第１外形よりも小さい第２外形になっているものの、図６に示すように、第２ベース部４２を正面にして、第１ベース部４１と第２ベース部４２が重なる方向に見たときに、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂのネジが位置する部分（Ｒ形状部）の一部に第２ベース部４２が重なっているため、上側からではネジで第１ベース部４１を第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２に固定する作業が行い難い状態になっている。
【００６９】
なお、ネジが位置する部分（Ｒ形状部）の中心を基準としたときに、ネジ貫通部４１ｂａと４１ｂｂの間及びネジ貫通部４１ｄａと４１ｄｂの間の距離は約２６．０［ｍｍ］であり、ネジ貫通部４１ｂａと４１ｄａの間及びネジ貫通部４１ｂｂと４１ｄｂの間の距離は約３０．０［ｍｍ］になっている。
【００７０】
そこで、本実施形態では、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂを貫通孔として形成するのではなく、切欠きとして形成することで、ネジを第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄから奥側にスライドさせるように挿入できる構造としている。
【００７１】
このようにしておけば、第１ベース部４１の側面４１ｂ、４１ｄから奥側にネジをスライドさせて、指で軽く回せるところまでネジを回して、ネジの上面と第２ベース部４２との間の隙間の距離を大きくしてから、最後に六角レンチ等で増締めを行うようにして固定作業ができるため、作業性を向上させることができる。
【００７２】
また、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂを切欠きとして形成すると、第１ベース部４１の厚みＨ１（図４及び図５参照）分だけ、長さが長いネジを使用することができるため、ネジの締め代を大きくすることができ、しっかりとした固定ができる。
【００７３】
なお、本実施形態では、第１ベース部４１の厚みＨ１を６．０［ｍｍ］としているが、第１ベース部４１の厚みＨ１は、十分な強度が得られるように、４.０［ｍｍ］以上であることが好ましく、５.０［ｍｍ］以上であることがより好ましく、６.０［ｍｍ］以上であることが更に好ましい。
【００７４】
一方で、厚みＨ１が厚くなりすぎると、ネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂを切欠きとして形成するときの手間が増えることや第１方向Ｚの高さが高くなることを考えると、第１ベース部４１の厚みＨ１は、１０．０［ｍｍ］以下であることが好ましく、９．０［ｍｍ］以下であることがより好ましく、８．０［ｍｍ］以下であることが更に好ましい。
【００７５】
次に、第２ベース部４２について見ると、図６に示すように、第２ベース部４２も、第１ベース部４１と同様に、ほぼ矩形状の第２外形に形成されており、本実施形態では、４つの側面４２ａ、４２ｂ、４２ｃ及び４２ｄの長さがいずれもＤ２であるほぼ正四角形の第２外形に形成されており、具体的には、第１流体用パーツ３０の底面のサイズに合わせるように、長さＤ２を約２８．５［ｍｍ］としている。
【００７６】
なお、本実施形態では、第２ベース部４２は、４角をＲ形状として面取りを行っている例を示しているが、必ずしも、４角に面取りを施さなくてもよい。
また、面取りを行う場合であっても、Ｒ形状の面取りではなく、直線状の角を切り落としたような面取りであってもよい。
【００７７】
この点は、第１ベース部４１においても同じである。
つまり、本実施形態では、第１ベース部４１は４角に面取りを施していないが、第２ベース部４２のように面取りを実施してもよい。
【００７８】
そして、第２ベース部４２は、２つある向かい合う側面（向かい合う側面４２ｂ、４２ｄ及び向かい合う側面４２ａ、４２ｃ）のうちの一方の向かい合う側面（向かい合う側面４２ｂ、４２ｄ）が、図１に示す第１ベースブロックＡ１及び第２ベースブロックＡ２の並び方向となる第２方向Ｘに沿って位置するように設けられている。
【００７９】
また、図６に示すように、第２ベース部４２には、第１流体用パーツ３０のネジを通すネジ貫通孔に対応する位置に設けられた４つのネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂが矩形状を成す位置に設けられている。
【００８０】
具体的には、ネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂの中心を基準としたときに、ネジ螺合部４２ｂａと４２ｂｂの間及びネジ螺合部４２ｄａと４２ｄｂの間の距離は約２０．０［ｍｍ］であり、ネジ螺合部４２ｂａと４２ｄａの間及びネジ螺合部４２ｂｂと４２ｄｂの間の距離は約２１．８［ｍｍ］になっている。
【００８１】
また、本実施形態では、第２ベース部４２の厚みＨ２（図４及び図５参照）を第１ベース部４１の厚みＨ１と同じ６．０［ｍｍ］としているが、第１ベース部４１と同様に、第２ベース部４２の厚みＨ２は、十分な強度が得られるように、４.０［ｍｍ］以上であることが好ましく、５.０［ｍｍ］以上であることがより好ましく、６.０［ｍｍ］以上であることが更に好ましく、厚みＨ２が厚くなりすぎると、第１方向Ｚの高さが高くなることから、第２ベース部４２の厚みＨ２は、１０．０［ｍｍ］以下であることが好ましく、９．０［ｍｍ］以下であることがより好ましく、８．０［ｍｍ］以下であることが更に好ましい。
【００８２】
次に中間部４３について見て見ると、図４に示すように、中間部４３の第２方向Ｘの第２幅は、第２ベース部４２の幅Ｗ１から第１ベース部４１の幅Ｗ２に向かってテーパー状に広がっている。
【００８３】
なお、本実施形態では、中間部４３は、第１方向Ｚの高さＦが８．０［ｍｍ］になっているが、この高さが低い場合、後述する一端側流路４４及び他端側流路４５を大きく斜めに傾けて形成することになるため、流路を形成するのが難しくなっていく。
一方で、この高さＦが高い場合、第１方向Ｚの高さが高くなる。
このため、この高さＦは、６.０［ｍｍ］以上１０.０［ｍｍ］以下が好ましく、７.０［ｍｍ］以上９.０［ｍｍ］以下がより好ましい。
【００８４】
そして、このように第２方向Ｘの第２幅が第２ベース部４２から第１ベース部４１に向かって広がるようにすることで、第１流体用パーツ３０の流体流入口３１及び流体流出口３２に対応した第１開口部４４ａ及び第２開口部４５ａと、第１ベースブロックＡ１の一端側開口部１１及び第２ベースブロックＡ２の他端側開口部２１に対応した第３開口部４４ｃ及び第４開口部４５ｃと、の間を繋ぐ一端側流路４４及び他端側流路４５を形成することができるようになる。
【００８５】
一方、図５に示すように、中間部４３の第１方向Ｚ及び第２方向Ｘに直交する第３方向Ｙの第１幅Ｗ３は、一端側流路４４及び他端側流路４５を形成するために、一端側流路４４の第１内径ｄ１（図７参照）及び他端側流路４５の第２内径ｄ２よりも大きくされており、具体的には、本実施形態では、第１幅Ｗ３は約１４．０［ｍｍ］になっている。
【００８６】
そして、第１幅Ｗ３は、図６に示した２つある第１ベース部４１の第１外形の向かい合う側面（向かい合う側面４１ｂ、４１ｄ及び向かい合う側面４１ａ、４１ｃ）間の距離（長さＤ１参照）のどちらの距離よりも小さいと共に、２つある第２ベース部４２の第２外形の向かい合う側面（向かい合う側面４２ｂ、４２ｄ及び向かい合う側面４２ａ、４２ｃ）間の距離（長さＤ２参照）のどちらの距離よりも小さく、変換継手４０としての形状が中間部４３のところで括れた形状になっている。
【００８７】
より具体的には、第１幅Ｗ３は、第１ベース部４１の４つある隣接するネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂ間の距離のいずれの距離よりも小さく、かつ、第２ベース部４２の４つある隣接するネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂ間の距離のいずれの距離よりも小さくなっている。
【００８８】
こうすることで、第１ベース部４１の４つあるネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂ及び第２ベース部４２の４つあるネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂを確実に形成することができるようになる。
【００８９】
ただし、第２ベース部４２の４つあるネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂを第２ベース部４２の厚みＨ２内に収まるように形成する場合には、第２ベース部４２の４つあるネジ螺合部４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ及び４２ｄｂを気にする必要はなく、第１幅Ｗ３は第１ベース部４１の４つあるネジ貫通部４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ及び４１ｄｂが形成できる程度の幅になっていればよい。
【００９０】
以上、本発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変更が可能であることも言うまでもない。
【００９１】
上記実施形態では、第１流路１０を有するベースブロックＡ（第１ベースブロックＡ１）及び第２流路２０を有するベースブロックＡ（第２ベースブロックＡ２）の２つのベースブロックＡを跨ぐように流体用パーツＢ１が配置される場合について説明してきた。
【００９２】
しかしながら、１つのベースブロックＡに第１流路１０と第２流路２０の両方の流路が形成されており、その１つのベースブロックＡ上に流体用パーツＢ１が配置される場合もある。
【００９３】
この場合にも、ベースブロックＡ上に流体用パーツＢ１と異なるサイズの第１流体用パーツ３０を配置すると、上記実施形態で説明したのと同様に、第１流体用パーツ３０を第１流路１０及び第２流路２０に接続できない問題があるが、変換継手４０を用いることで、そのような問題を解決することができる。
【００９４】
このように、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を行ったものも本発明の技術的範囲に含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００９５】
１  集積型流体供給装置
１０  第１流路
１１  一端側開口部
１１ａ  一端側リング状溝
２０  第２流路
２１  他端側開口部
２１ａ  他端側リング状溝
３０  第１流体用パーツ
３１  流体流入口
３１ａ  入口側リング状溝
３２  流体流出口
３２ａ  出口側リング状溝
４０  変換継手
４１  第１ベース部
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ  側面
４１ｂａ、４１ｂｂ、４１ｄａ、４１ｄｂ  ネジ貫通部
４２  第２ベース部
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ  側面
４２ｂａ、４２ｂｂ、４２ｄａ、４２ｄｂ  ネジ螺合部
４３  中間部
４４  一端側流路
４４ａ  第１開口部
４４ｂ  第１リング状溝
４４ｃ  第３開口部
４４ｄ  第３リング状溝
４５  他端側流路
４５ａ  第２開口部
４５ｂ  第２リング状溝
４５ｃ  第４開口部
４５ｄ  第４リング状溝
Ａ  ベースブロック
Ａ１  第１ベースブロック
Ａ２  第２ベースブロック
Ｂ、Ｂ１  流体用パーツ
Ｄ１  長さ
Ｄ２  長さ
ｄ１  第１内径
ｄ２  第２内径
Ｆ  高さ
Ｈ１、Ｈ２  厚み
Ｗ１、Ｗ２  幅
Ｗ３  第１幅
Ｘ  第２方向
Ｙ  第３方向
Ｚ  第１方向
【図１】
2018180373.tif 000003
【図２】
2018180373.tif 000004
【図３】
2018180373.tif 000005
【図４】
2018180373.tif 000006
【図５】
2018180373.tif 000007
【図６】
2018180373.tif 000008
【図７】
2018180373.tif 000009
【国際調査報告】
2018180373.tif 000010
2018180373.tif 000011
2018180373.tif 000012
2018180373.tif 000013