(57)【要約】  本発明は、真空処理の際に放電空間に配置される防着部材から発生するパーティクルを抑制することができる技術を提供するものである。本発明は、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材３０であって、枠状の防着本体部材１０と、防着本体部材１０を保持する保持部材２０とを備える。防着本体部材１０は、基板の周囲に設けられる板状の第１〜第４構成部材１〜４を有するとともに、第１〜第４構成部材１〜４は、真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、保持部材２０に設けられた第１〜第４フック部に引っ掛けて装着するための第１〜第４引っ掛け部がそれぞれ設けられている。
2019244730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材であって、
枠状の防着本体部材と、
前記防着本体部材を保持する保持部材とを備え、
前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有するとともに、前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられている防着部材。
【請求項２】
前記防着本体部材の各構成部材は細長形状に形成され、当該各構成部材の引っ掛け部は、当該防着本体部材が前記保持部材に保持された状態で、前記各構成部材が長手方向に移動しないように前記保持部材のフック部に設けられた固定用フックに引っ掛かる固定用引っ掛け部と、前記各構成部材が長手方向に移動可能な状態で前記保持部材のフック部に設けられた移動用フックに引っ掛かる移動用引っ掛け部とを有し、前記固定用引っ掛け部が当該各構成部材の中央部分に設けられるとともに、前記移動用引っ掛け部が前記固定用引っ掛け部に対して当該構成部材の両端部側に設けられている請求項１記載の防着部材。
【請求項３】
前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている請求項１記載の防着部材。
【請求項４】
前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記プラズマ遮蔽用の壁部に対して外方側に延びるように、前記保持部材に対する取付部が設けられている請求項１乃至３のいずれか１項記載の防着部材。
【請求項５】
真空槽と、
前記真空槽内に設けられ、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材とを備え、
前記防着部材は、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を保持する保持部材とを有し、
前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有し、
前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられ、
前記防着部材の近傍に配置された処理対象物に対して所定の真空処理を行うように構成されている真空処理装置。
【請求項６】
スパッタリングターゲットが配置される前記真空槽を有し、前記防着部材の近傍に配置される処理対象物に対してスパッタリングを行うように構成されている請求項５記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばスパッタリング装置等の真空処理装置に用いる防着部材の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の真空処理装置においては、スパッタリング等の真空処理を行う際に真空槽内の壁面等に対する成膜材料等の付着を防止するため、板状の防着部材が設けられている。
この防着部材は、例えばスパッタリング装置のようなプラズマ処理を行う放電空間の基板の近傍に設けられている。【０００３】
この場合、防着部材は真空槽内において基板と平行な方向に向けて例えば枠状の保持部材に取り付けられる。
従来、このような防着部材は、多数のボルトを用いて保持部材に取り付けられている。【０００４】
しかし、保持部材に取り付けられた防着部材においては、種々の課題がある。
すなわち、スパッタリング等の成膜時には防着部材に対しても成膜材料が付着する。その際にはボルトの表面にも成膜材料が付着してパーティクル発生の原因になる。このため、各ボルトに対して成膜材料の付着を防止するためのキャップを取り付けるようにしているが、このキャップに付着した成膜材料もパーティクルの発生の原因になる。【０００５】
また、防着部材は保持部材に対して多数のボルトを用いて放電空間側から取り付けられているので、放電の際の熱による防着部材の伸びに起因して保持部材との間で擦れが生じ、これによりパーティクルが発生してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平４−７８１３２号公報
【特許文献２】特開平１０−０６０６２４号公報
【特許文献３】特開２００４−３１５９４８号公報
【特許文献４】国際公開２００６−０６７８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、真空処理の際に放電空間に配置される防着部材から発生するパーティクルを抑制することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するためになされた本発明は、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材であって、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を保持する保持部材とを備え、前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有するとともに、前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられている防着部材である。
本発明では、前記防着本体部材の各構成部材は細長形状に形成され、当該各構成部材の引っ掛け部は、当該防着本体部材が前記保持部材に保持された状態で、前記各構成部材が長手方向に移動しないように前記保持部材のフック部に設けられた固定用フックに引っ掛かる固定用引っ掛け部と、前記各構成部材が長手方向に移動可能な状態で前記保持部材のフック部に設けられた移動用フックに引っ掛かる移動用引っ掛け部とを有し、前記固定用引っ掛け部が当該各構成部材の中央部分に設けられるとともに、前記移動用引っ掛け部が前記固定用引っ掛け部に対して当該構成部材の両端部側に設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記防着本体部材の各構成部材の周縁部に、前記プラズマ遮蔽用の壁部に対して外方側に延びるように、前記保持部材に対する取付部が設けられている場合にも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられ、真空処理の際に発生する物質の真空槽内への付着を防止する防着部材とを備え、前記防着部材は、枠状の防着本体部材と、前記防着本体部材を保持する保持部材とを有し、前記防着本体部材は、処理対象物の周囲に設けられる複数の板状の構成部材を有し、前記複数の構成部材は、前記真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、前記保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられ、前記防着部材の近傍に配置された処理対象物に対して所定の真空処理を行うように構成されている真空処理装置である。
本発明では、スパッタリングターゲットが配置される前記真空槽を有し、前記防着部材の近傍に配置される処理対象物に対してスパッタリングを行うように構成されている場合にも効果的である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にあっては、防着本体部材の複数の板状の構成部材における、真空槽内の放電空間に対向する面と反対側の面に、保持部材に設けられた複数のフック部に引っ掛けて装着するための引っ掛け部がそれぞれ設けられていることから、防着本体部材を保持部材に保持させるために従来技術のように多数のカバー付きのボルトを用いる必要がない。【００１０】
その結果、本発明によれば、防着部材の放電空間側の面の凹凸部を減らしてその表面積を小さくすることができるので、真空処理の際に付着した成膜材料等の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。【００１１】
本発明において、防着本体部材の各構成部材は細長形状に形成され、当該各構成部材の引っ掛け部は、当該防着本体部材が保持部材に保持された状態で、各構成部材が長手方向に移動しないように保持部材のフック部に設けられた固定用フックに引っ掛かる固定用引っ掛け部と、各構成部材が長手方向に移動可能な状態で保持部材のフック部に設けられた移動用フックに引っ掛かる移動用引っ掛け部とを有し、固定用引っ掛け部が当該各構成部材の中央部分に設けられるとともに、移動用引っ掛け部が固定用引っ掛け部に対して当該構成部材の両端部側に設けられている場合には、スパッタリング等の真空処理の際の熱によって複数の構成部材が伸長した場合に、防着本体部材の移動用引っ掛け部は、保持部材の移動用フックに引っ掛けた状態で複数の構成部材の長手方向にそれぞれ移動することができる。【００１２】
その結果、本発明によれば、真空処理の際に生じた熱によって複数の構成部材がそれぞれ伸長する場合に、各構成部材の中央部分を基準として両端部側に均等に伸長するので、真空処理の際の防着部材の反りやゆがみを抑制することができる。【００１３】
また、本発明において、防着本体部材の各構成部材の周縁部に、真空槽の放電空間に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部が設けられている場合には、防着部材の放電空間側の面に付着する成膜材料等の物質の量を減少させることができるので、当該物質の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。【００１４】
さらに、本発明において、防着本体部材の各構成部材の周縁部に、プラズマ遮蔽用の壁部から外方側に延びるように、保持部材に対する取付部が設けられている場合には、取付部においてねじを用いて防着本体部材を保持部材に取り付けた場合であっても、真空処理の際に生ずる物質が防着本体部材に設けたプラズマ遮蔽用の壁部によって遮られ、防着本体部材の取付部への付着を防止することができるので、当該物質の防着部材の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る真空処理装置の例であるスパッタリング装置の内部構成を示す概略構成図
【図２】（ａ）（ｂ）：本発明に係る防着部材の防着本体部材の例を示す概略構成図で、図２（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図２（ｂ）は、放電空間側の反対側から見た正面図
【図３】（ａ）（ｂ）：同防着本体部材の例を示す概略構成図で、図３（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線断面図
【図４】本発明に用いる保持部材の例を示す正面図で、放電空間側から見た図
【図５】（ａ）：防着本体部材の第１及び第２構成部材における固定用引っ掛け部と保持部材の第１及び第２枠部における固定用フックの構成を示す説明図、（ｂ）：防着本体部材の第１及び第２構成部材における移動用引っ掛け部と保持部材の第１及び第２枠部における移動用フックの構成を示す説明図
【図６】（ａ）〜（ｄ）：防着本体部材の第１及び第２構成部材を保持部材の第１及び第２枠部に保持させる場合の要部の構成及び動作を示す断面図
【図７】（ａ）：防着本体部材の第３及び第４構成部材における固定用引っ掛け部と保持部材の第３及び第４枠部における固定用フックの構成を示す説明図、（ｂ）：防着本体部材の第３及び第４構成部材における移動用引っ掛け部と保持部材の第３及び第４枠部における移動用フックの構成を示す説明図
【図８】（ａ）〜（ｄ）：防着本体部材の第３及び第４構成部材を保持部材の第３及び第４枠部に保持させる場合の要部の構成及び動作を示す断面図
【図９】本発明に係る防着部材の例を示す正面図で、放電空間側から見た図
【図１０】図９のＢ−Ｂ線斜視断面図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る真空処理装置の例であるスパッタリング装置の内部構成を示す概略構成図である。
【００１７】
図２（ａ）（ｂ）は、本発明に係る防着部材の防着本体部材の例を示す概略構成図で、図２（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図２（ｂ）は、放電空間側の反対側から見た正面図である。
【００１８】
また、図３（ａ）は、同防着本体部材の例を示す概略構成図で、図３（ａ）は、放電空間側から見た正面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【００１９】
図１に示すように、本例の防着本体部材１０は、真空処理装置であるスパッタリング装置４０に用いる防着部材３０を構成するもので、真空槽６内の基板８（処理対象物）の近傍において後述する保持部材２０に保持された状態で配置される。
【００２０】
ここで、本例では、基板８及びスパッタリングターゲット（以下、「ターゲット」という。）７を概ね鉛直方向に向けて対向配置し、防着本体部材１０は、基板８とターゲット７との間の放電空間９とに対向するように設けられる。
【００２１】
このような構成を有するスパッタリング装置４０では、基板８とターゲット７の間にスパッタガスを導入し、ターゲット７に負電圧を印加してプラズマ放電を生じさせる。
これにより、負電荷にされたターゲット７がプラズマ中のイオンによってスパッタされ、ターゲット７表面から飛び出したスパッタ粒子によって基板８上に膜が形成される。
【００２２】
図２（ａ）は、防着本体部材１０の表側面を示すものであり、図２（ｂ）には、防着本体部材１０の裏側面が示されている。
図２（ａ）（ｂ）に示すように、本例の防着本体部材１０は、例えば直線板状の第１〜第４構成部材１〜４を有し、開口部１０ａを有する矩形枠状に形成されている。
【００２３】
本例の防着本体部材１０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）、ステンレス、チタン（Ｔｉ）からなり、通常は鉛直方向に向けた状態で配置される。
ここで、防着本体部材１０は、上下側に配置され水平方向に延びる第１構成部材１及び第２構成部材２と、第１構成部材１及び第２構成部材２の間において左右側に配置され鉛直方向に延びる第３構成部材３及び第４構成部材４とを有している。
【００２４】
以下、防着本体部材１０の第１構成部材１及び第２構成部材２の長手方向を適宜「Ｘ軸方向」といい、第３構成部材３及び第４構成部材４の長手方向を適宜「Ｚ軸方向」という。
【００２５】
これら第１〜第４構成部材１〜４は、真空処理時における熱による伸長を考慮して、隣接する部材の両端部同士に若干の隙間を設けて配置される。
第１〜第４構成部材１〜４のうち第１構成部材１と第２構成部材２、並びに、第３構成部材３と第４構成部材４は、防着本体部材１０の中心点を通る直線に関して線対称の形状に形成され配置される。
【００２６】
そして、第１〜第４構成部材１〜４は、後述する機構によって保持部材２０に引っ掛けられて保持される。
なお、第１〜第４構成部材１〜４のそれぞれの周縁部には、第１〜第４構成部材１〜４の図１に示す放電空間９側（表面側）に向って例えば垂直に延びるように形成されたプラズマ遮蔽壁（プラズマ遮蔽用の壁部）１ｃ、２ｃ、３ｃ、４ｃが設けられている。
【００２７】
本例の第１〜第４構成部材１〜４の裏側面には、第１〜第４構成部材１〜４をそれぞれ保持部材２０に引っ掛けて保持させるための引っ掛け部１Ａ、２Ａ、３Ａ、４Ａが設けられている。
【００２８】
ここで、第１及び第２構成部材１、２の引っ掛け部１Ａ、２Ａは、後述する固定用引っ掛け部１ａと移動用引っ掛け部１ｂをそれぞれ有し、これら固定用引っ掛け部１ａと移動用引っ掛け部１ｂは、第１及び第２構成部材１、２の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って例えば直線状に一列に並べて設けられている。
【００２９】
一方、第３及び第４構成部材３、４の引っ掛け部３Ａ、４Ａは、後述する固定用引っ掛け部１ａと、上方側移動用引っ掛け部１ｂaと、下方側移動用引っ掛け部１ｂbとをそれぞれ有し、これら固定用引っ掛け部１ａと、上方側移動用引っ掛け部１ｂaと、下方側移動用引っ掛け部１ｂbは、第３及び第４構成部材３、４の長手方向（Ｚ軸方向）に沿って例えば直線状に一列に並べて設けられている。
【００３０】
本発明においては、それぞれ第１及び第２構成部材１、２の中央部分に固定用引っ掛け部１ａを設けるとともに、この固定用引っ掛け部１ａに対して第１及び第２構成部材１、２の両端部側に移動用引っ掛け部１ｂを設けることが好ましい。
【００３１】
また、本発明においては、それぞれ第３及び第４構成部材３、４の中央部分に固定用引っ掛け部１ａを設けるとともに、この固定用引っ掛け部１ａに対して第３及び第４構成部材３、４の両端部側に上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂbを設けることが好ましい。
【００３２】
本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材３０の反りを防止する観点及び固定位置に対して各端部の移動量を少なくする観点からは、第１〜第４構成部材１〜４の中央部分に設けられる固定用引っ掛け部１ａに対し、それぞれ第１〜第４構成部材１〜４の長手方向と直交する直線（図示せず）に関して線対称となるように複数の移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）を設けることが好ましい。
【００３３】
本例では、それぞれ第１〜第４構成部材１〜４の中央部分に一つの固定用引っ掛け部１ａが設けられるとともに、固定用引っ掛け部１ａに対して第１〜第４構成部材１〜４の両端部側の当該線対称となる位置に複数（本例ではそれぞれ二つ）の移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）が設けられている。
【００３４】
なお、第１〜第４構成部材１〜４に設けられた固定用引っ掛け部１ａ及び移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）は、例えば長方体形状に形成され、それぞれ同等の幅及び長さを有している。
【００３５】
一方、第１〜第４構成部材１〜４の周縁部には、第１〜第４構成部材１〜４を保持部材２０に例えばボルトを用いて取り付けるための複数の取付部５が、それぞれプラズマ遮蔽壁１ｃ〜４ｃから外方側に延びる（突出する）ように設けられている。
【００３６】
図４は、本発明に用いる保持部材の例を示す正面図で、放電空間側から見たものである。
本例では、保持部材２０は、図１に示すスパッタリング装置４０内に固定され、保持部材２０の放電空間９側に防着本体部材１０の第１〜第４構成部材１〜４が取り付けられる。
【００３７】
図４に示すように、本例の保持部材２０は、矩形枠状に形成されている。
この保持部材２０は、剛性の高い板材を用いて一体的に形成され、上述した防着本体部材１０の外径より若干大きい外径を有するとともに、防着本体部材１０の開口部１０ａより若干大きい内径を有する開口部２０ａが設けられている。
【００３８】
保持部材２０は、防着本体部材１０の第１〜第４構成部材１〜４に対応する第１〜第４枠部１１〜１４から構成されている。すなわち、保持部材２０の上下に水平方向に延びる第１枠部１１及び第２枠部１２が設けられ、第１枠部１１及び第２枠部１２の間において保持部材２０の左右に鉛直方向に延びる第３枠部１３及び第４枠部１４が設けられている。
【００３９】
以下、保持部材２０の第１枠部１１及び第２枠部１２の長手方向を適宜「Ｘ軸方向」といい、第３枠部１３及び第４枠部１４の長手方向を適宜「Ｚ軸方向」という。
【００４０】
保持部材２０の第１〜第４枠部１１〜１４の図１に示す放電空間９側の面即ち表側面には、防着本体部材１０の第１〜第４構成部材１〜４の引っ掛け部１Ａ〜４Ａに対応する第１〜第４フック部１１Ａ〜１４Ａが設けられている。
本例では、保持部材２０の上側の第１枠部１１に第１フック部１１Ａが設けられるとともに、下側の第２枠部１２に第２フック部１２Ａが設けられている。
【００４１】
一方、保持部材２０の図１に示す放電空間９側から見て左側の第３枠部１３には第３フック部１３Ａが設けられるとともに、同放電空間９側から見て右側の第４枠部１４には第４フック部１４Ａが設けられている。
【００４２】
保持部材２０の第１〜第４フック部１１Ａ〜１４Ａは、後述する固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂをそれぞれ有し、これら固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、保持部材２０の第１〜第４枠部１１〜１４の長手方向に沿って例えば直線状に一列に並べて設けられている。
【００４３】
本発明においては、それぞれ保持部材２０の第１〜第４枠部１１〜１４の中央部分に固定用フック１１ａを設けるとともに、この固定用フック１１ａに対して第１〜第４枠部１１〜１４の両端部側に移動用フック１１ｂを設けることが好ましい。
【００４４】
本発明の場合、特に限定されることはないが、防着部材３０の反りを防止する観点からは、上述した第１〜第４枠部１１〜１４の中央部分に設けられる固定用フック１１ａに対し、それぞれ第１〜第４枠部１１〜１４の長手方向と関して線対称となるように複数の移動用フック１１ｂを設けることが好ましい。
【００４５】
本例では、それぞれ第１〜第４枠部１１〜１４の中央部分に一つの固定用フック１１ａが設けられるとともに、固定用フック１１ａに対して第１〜第４枠部１１〜１４の両端部側の当該線対称となる位置に複数（本例ではそれぞれ二つ）の移動用フック１１ｂが設けられている。
【００４６】
これら固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、上述した防着本体部材１０の固定用引っ掛け部１ａ及び移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）に対応する位置にそれぞれ設けられている。
【００４７】
図５（ａ）は、防着本体部材の第１及び第２構成部材における固定用引っ掛け部と保持部材の第１及び第２枠部における固定用フックの構成を示す説明図で、図５（ｂ）は、防着本体部材の第１及び第２構成部材における移動用引っ掛け部と保持部材の第１及び第２枠部における移動用フックの構成を示す説明図である。
【００４８】
図６（ａ）〜（ｄ）は、防着本体部材の第１及び第２構成部材を保持部材の第１及び第２枠部に保持させる場合の要部の構成及び動作を示す断面図である。
【００４９】
図４及び図５（ａ）（ｂ）に示すように、本例においては、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２における固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２に設けられた、固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂ内にそれぞれ配置されている。
【００５０】
これら固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂは、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２のそれぞれのＸ軸方向の長さについて、いずれも上方側の部分の長さより下方側の部分の長さの方が長くなるように形成されている。
【００５１】
そして、固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、共に固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂの下方側の部分に配置されている。
なお、第１及び第２枠部１１、１２の固定用フック１１ａは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば固定用フック用凹部２１ａの底部側に向って高さが低くなるように傾斜させた平面状の支持面１１ａ1が形成されている（図６（ａ）参照）。
【００５２】
また、第１及び第２枠部１１、１２の移動用フック１１ｂは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば移動用フック用凹部２１ｂの底部から離れる側の部分に上方に突出させたフック突部１１ｂ1が形成されている（図６（ｂ）参照）。
なお、この移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1と移動用フック用凹部２１ｂの底部との間には、平坦な支持部１１ｂ2が形成されている。
【００５３】
本例では、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２における固定用引っ掛け部１ａと移動用引っ掛け部１ｂは、防着本体部材１０を保持部材２０に保持させた場合に、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２において、共に固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂの上方側の部分に配置されるように構成されている（図５（ａ）（ｂ）参照）。
【００５４】
ここで、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の固定用引っ掛け部１ａは、図５（ａ）に示すように、そのＸ軸方向の長さ（ｄ１）が、保持部材２０の第１及び第２構成部材１、２における固定用フック用凹部２１ａの上方側の部分でＸ軸方向の長さ（ｄ）以下で、それぞれ固定用フック用凹部２１ａ内に挿入（圧入）可能となるように設定されている（ｄ１≦ｄ）。
【００５５】
これにより、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の固定用引っ掛け部１ａは、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の固定用フック用凹部２１ａ内にそれぞれ配置された場合に、固定用フック用凹部２１ａのＸ軸方向の両側の壁部２１ａｈにそれぞれ密着した状態で接触し、これにより固定用フック用凹部２１ａ内においてＸ軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
【００５６】
ここで、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の固定用引っ掛け部１ａは、その下部分に上記第１及び第２枠部１１、１２の固定用フック１１ａの支持面１１ａ1と密着可能な平面状の当接面１ａ1が設けられている（図６（ａ）参照）。
【００５７】
一方、上述した防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の移動用引っ掛け部１ｂは、図５（ｂ）に示すように、そのＸ軸方向の長さ（ｄ２）が、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２における移動用フック用凹部２１ｂの上方側の部分のＸ軸方向の長さ（Ｄ）よりそれぞれ小さくなるように設定されている（ｄ２＜Ｄ）。
【００５８】
これにより、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の移動用引っ掛け部１ｂは、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の移動用フック用凹部２１ｂ内に配置された場合に、各移動用引っ掛け部１ｂのＸ軸方向の両端部と移動用フック用凹部２１ｂ上方側の両側の壁部２１ｂｈとの間に隙間２１ｈが形成されるので、移動用フック用凹部２１ｂのＸ軸方向の両側の壁部２１ｂｈにはそれぞれ接触せず、移動用フック用凹部２１ｂ内においてＸ軸方向にそれぞれ移動することが可能な状態になる。
【００５９】
ここで、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の移動用引っ掛け部１ｂは、その下部分に上記第１及び第２枠部１１、１２の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1と噛み合うことが可能な突出部１ｂ1が設けられている（図６（ｂ）参照）。
【００６０】
なお、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の移動用引っ掛け部１ｂは、後述するように、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の移動用フック１１ｂに引っ掛けた状態であっても、Ｘ軸方向にそれぞれ移動可能な状態になるように構成されている。
【００６１】
このような構成において、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２を保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２に保持させる場合には、以下の動作を行う。
まず、例えば図６（ａ）に示すように、防着本体部材１０の裏側面と保持部材２０の表側面とを対向させ、図６（ｃ）に示すように、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の裏側面の各固定用引っ掛け部１ａを、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の表側面の固定用フック用凹部２１ａ内に挿入し、それぞれの当接面１ａ1を固定用フック１１ａの支持面１１ａ1に当接させて引っ掛ける。
【００６２】
ここでは、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の各固定用引っ掛け部１ａの当接面１ａ1が、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の固定用フック１１ａの傾斜された支持面１１ａ1に密着状態で支持されるようにする。
【００６３】
この場合、上述したように、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の固定用フック用凹部２１ａ内にそれぞれ配置された防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の固定用引っ掛け部１ａは、図５（ａ）に示すように、固定用フック用凹部２１ａのＸ軸方向の両側の壁部２１ａｈに密着状態で接触しているから、固定用フック用凹部２１ａ内においてＸ軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
【００６４】
さらに、上述した動作と同時に、図６（ｂ）に示すように、防着本体部材１０の裏側面と保持部材２０の表側面とを対向させ、図６（ｄ）に示すように、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の裏側面の各移動用引っ掛け部１ｂを、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の表側面の移動用フック用凹部２１ｂ内に挿入し、それぞれの移動用引っ掛け部１ｂを移動用フック１１ｂに引っ掛ける。
【００６５】
この場合、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の各移動用引っ掛け部１ｂの突出部１ｂ1が、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の移動用フック１１ｂの移動用フック用凹部２１ｂの底部との間に入り込むようにし、防着本体部材１０の移動用引っ掛け部１ｂの突出部１ｂ1と、保持部材２０の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1とが噛み合うようにする（後述する図９及び図１０参照）。
【００６６】
なお、この状態では、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２の移動用引っ掛け部１ｂの突出部１ｂ1の先端部は、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２の移動用フック１１ｂの支持部１１ｂ2に接触しても接触していなくてもよい。
以上の工程により、防着本体部材１０の第１及び第２構成部材１、２を保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２に保持させる工程が終了する。
【００６７】
図７（ａ）は、防着本体部材の第３及び第４構成部材における固定用引っ掛け部と保持部材の第３及び第４枠部における固定用フックの構成を示す説明図で、図７（ｂ）は、防着本体部材の第３及び第４構成部材における移動用引っ掛け部と保持部材の第３及び第４枠部における移動用フックの構成を示す説明図である。
【００６８】
図８（ａ）〜（ｄ）は、防着本体部材の第３及び第４構成部材を保持部材の第３及び第４枠部に保持させる場合の要部の構成及び動作を示す断面図である。
図９は、本発明に係る防着部材の例を示す正面図で、放電空間側から見たものであり、図１０は、図９のＢ−Ｂ線斜視断面図である。
【００６９】
図４及び図７（ａ）（ｂ）に示すように、本例においては、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４における固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４に設けられた、固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂ内にそれぞれ配置されている。
【００７０】
本例の場合、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４に設けられた固定用フック１１ａは、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２に設けられた固定用フック１１ａと同一の基本構成を有している。
【００７１】
第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂは、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４のそれぞれのＸ軸方向の長さについて、いずれも上方側の部分の長さより下方側の部分の長さの方が長くなるように形成されている。
【００７２】
そして、固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、共に固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂの下方側の部分に配置されている。
なお、第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック１１ａは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば固定用フック用凹部２１ａの底部側に向って高さが低くなるように傾斜させた平面状の支持面１１ａ1が形成されている（図８（ａ）参照）。
【００７３】
また、第３及び第４枠部１３、１４の移動用フック１１ｂは、例えば長方体形状に形成され、その上部に、例えば移動用フック用凹部２１ｂの底部から離れる側の部分に上方に突出させたフック突部１１ｂ1が形成されている（図８（ｂ）参照）。
なお、この移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1と移動用フック用凹部２１ｂの底部との間には、平坦な支持部１１ｂ2が形成されている。
【００７４】
本例では、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４における固定用引っ掛け部１ａと上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側引っ掛け部１ｂbは、防着本体部材１０を保持部材２０に保持させた場合に、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４において、共に固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂのＺ軸上方側の部分に配置されるように構成されている（図７（ａ）（ｂ）及び図９参照）。
【００７５】
ここで、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の固定用引っ掛け部１ａは、図７（ａ）に示すように、そのＸ軸方向の長さ（ｄ１）が、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４における固定用フック用凹部２１ａの上方側の部分でＸ軸方向の長さ（ｄ）以下で、それぞれ固定用フック用凹部２１ａ内に挿入（圧入）可能な長さとなるように設定されている（ｄ１≦ｄ）。
【００７６】
これにより、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の固定用引っ掛け部１ａは、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック用凹部２１ａ内にそれぞれ配置された場合に、固定用フック用凹部２１ａのＸ軸方向の両側の壁部２１ａｈにそれぞれ密着状態で接触し、これにより固定用フック用凹部２１ａ内においてＸ軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
【００７７】
ここで、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の固定用引っ掛け部１ａは、その下部分に保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック１１ａの支持面１１ａ1と密着可能な平面状の当接面１ａ1が設けられている（図８（ａ）参照）。
【００７８】
なお、本例では、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の固定用引っ掛け部１ａの当接面１ａ1が、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック１１ａの支持面１１ａ1に密着して支持された場合に、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の全荷重が保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック１１ａによってそれぞれ支えられるように構成されている。
【００７９】
一方、本例の防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の上方側移動用引っ掛け部１ｂa及び下方側移動用引っ掛け部１ｂbは、図７（ｂ）に示すように、そのＸ軸方向の長さ（ｄ２）が、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４における移動用フック用凹部２１ｂの上方側の部分でＸ軸方向の長さ（ｄ）以下で移動用フック用凹部２１ｂ内に挿入（圧入）可能な長さとなるように設定されている（ｄ２≦ｄ）。
【００８０】
したがって、本例の場合、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の上方側移動用引っ掛け部１ｂa及び下方側移動用引っ掛け部１ｂbは、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の移動用フック用凹部２１ｂ内にそれぞれ配置された場合に、移動用フック用凹部２１ｂのＸ軸方向の両側の壁部２１ｂｈにそれぞれ密着した状態で接触し、これにより移動用フック用凹部２１ｂ内においてＸ軸方向にそれぞれ移動できない状態になる。
【００８１】
一方、本例においては、スパッタリング等の真空処理の際に熱が加わった場合、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の中央部に位置する固定用引っ掛け部１ａはＺ軸方向に殆ど伸長せず影響がないが、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４はＺ軸方向に伸長することから、これを考慮して次のような構成が採用されている。
【００８２】
まず、防着本体部材１０の上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbを保持部材２０の移動用フック１１ｂに引っ掛けた場合には、図８（ｄ）に示すように、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbの突出部１ｂ1が、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の移動用フック１１ｂの移動用フック用凹部２１ｂの底部との間にそれぞれ入り込み、上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbの突出部１ｂ1と、保持部材２０の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1とが噛み合う。
【００８３】
このような状態で真空処理の際の熱が防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４に加わると、第３及び第４構成部材３、４の中央部に対して上方側の部分がＺ軸上方側に伸長し、これにより上方側移動用引っ掛け部１ｂaもＺ軸上方側に伸長する。
【００８４】
その結果、防着本体部材１０の上方側移動用引っ掛け部１ｂaの突出部１ｂ1の先端部が、保持部材２０の移動用フック１１ｂの支持部１１ｂ2から離間してこれらの間隔が拡がる。
【００８５】
したがって、本例では、防着本体部材１０に対して熱が加わらない状態において、上方側移動用引っ掛け部１ｂaの突出部１ｂ1の先端部が保持部材２０の移動用フック１１ｂの支持部１１ｂ2に対して接触する構成又は離間する構成のいずれも採用することができる。
【００８６】
ただし、防着本体部材１０に対して熱が加わった場合に上方側移動用引っ掛け部１ｂaの突出部１ｂ1が、保持部材２０の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1との噛み合いが外れないように、防着本体部材１０の上方側移動用引っ掛け部１ｂaの突出部１ｂ1と、保持部材２０の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1の形状・寸法を適切に設定しておくことが好ましい。
【００８７】
一方、防着本体部材１０に対して熱が加わった場合には、第３及び第４構成部材３、４の中央部に対して下方側の部分がＺ軸下方側に伸長し、これにより下方側移動用引っ掛け部１ｂbもＺ軸下方側に伸長することによって、その先端部がＺ軸下方に移動する。
【００８８】
したがって、本例では、防着本体部材１０に対して熱が加わった場合に下方側移動用引っ掛け部１ｂbの突出部１ｂ1の先端部が保持部材２０の移動用フック１１ｂの支持部１１ｂ2に当接してこれを押圧しないように、防着本体部材１０に対して熱が加わらない状態において、下方側移動用引っ掛け部１ｂbの突出部１ｂ1の先端部が保持部材２０の移動用フック１１ｂの支持部１１ｂ2に対して所定距離だけ離間するように、防着本体部材１０の下方側移動用引っ掛け部１ｂbの突出部１ｂ1と、保持部材２０の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1と支持部１１ｂ2の形状・寸法を適切に設定しておくことが好ましい。
【００８９】
このような構成において、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４を保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４に保持させる場合には、以下の動作を行う。
まず、例えば図８（ａ）に示すように、防着本体部材１０の裏側面と保持部材２０の表側面とを対向させ、図８（ｃ）に示すように、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の裏側面の各固定用引っ掛け部１ａを、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の表側面の固定用フック用凹部２１ａ内に挿入し、それぞれの当接面１ａ1を固定用フック１１ａの支持面１１ａ1に当接させて引っ掛ける。
【００９０】
ここでは、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の各固定用引っ掛け部１ａの当接面１ａ1が、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック１１ａの傾斜した支持面１１ａ1に密着状態で支持されるようにする。
【００９１】
この場合、上述したように、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の固定用フック用凹部２１ａ内にそれぞれ配置された防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の固定用引っ掛け部１ａは、図７（ａ）に示すように、固定用フック用凹部２１ａのＸ軸方向の両側の壁部２１ａｈに密着状態で接触しているから、固定用フック用凹部２１ａ内においてＸ軸方向にそれぞれ移動できない状態となっている。
【００９２】
さらに、上述した動作と同時に、図８（ｂ）に示すように、防着本体部材１０の裏側面と保持部材２０の表側面とを対向させ、図８（ｄ）に示すように、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の裏側面の上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbを、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の表側面の移動用フック用凹部２１ｂ内に挿入し、それぞれの上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbを移動用フック１１ｂに引っ掛ける。
【００９３】
この場合、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４の上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbの突出部１ｂ1が、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４の移動用フック１１ｂの移動用フック用凹部２１ｂの底部との間にそれぞれ入り込み、防着本体部材１０の上方側及び下方側移動用引っ掛け部１ｂa、１ｂbの突出部１ｂ1が、保持部材２０の移動用フック１１ｂのフック突部１１ｂ1に噛み合うようにする。
【００９４】
以上の工程により、防着本体部材１０の第３及び第４構成部材３、４を保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４に保持させる工程が終了する。
その後、防着本体部材１０の取付部５において、例えばねじ（図示せず）の締結によって防着本体部材１０を保持部材２０に密着固定させて保持させる。
これにより、図９に示すように、本実施の形態の防着部材３０が得られる。
【００９５】
以上述べた本実施の形態にあっては、防着本体部材１０の第１〜第４構成部材１〜４における、真空槽６内の放電空間９に対向する面と反対側の面に、保持部材２０に設けられた第１〜第４フック部１１Ａ〜１４Ａに引っ掛けて装着するための第１〜第４引っ掛け部１Ａ〜４Ａがそれぞれ設けられていることから、防着本体部材１０を保持部材２０に保持させるために従来技術のように多数のカバー付きのボルトを用いる必要がない。
【００９６】
その結果、本実施の形態によれば、防着部材３０の放電空間９側の面の凹凸部を減らしてその表面積を小さくすることができるので、真空処理の際に付着した成膜材料等の防着部材３０の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生を抑制することができる。
【００９７】
本実施の形態においては、防着本体部材１０の第１〜第４構成部材１〜４が細長形状に形成され、第１〜第４構成部材１〜４の第１〜第４引っ掛け部１Ａ〜４Ａが、防着本体部材１０が保持部材２０に保持された状態で、第１〜第４構成部材１〜４が長手方向に移動しないように保持部材２０の第１〜第４フック部１１Ａ〜１４Ａに設けられた固定用フック１１ａに引っ掛かる固定用引っ掛け部１ａと、第１〜第４構成部材１〜４が長手方向に移動可能な状態で保持部材２０の第１〜第４フック部１１Ａ〜１４Ａに設けられた移動用フック１１ｂに引っ掛かる移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）とを有し、固定用引っ掛け部１ａが第１〜第４構成部材１〜４の中央部分に設けられるとともに、移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）が固定用引っ掛け部１ａに対して第１〜第４構成部材１〜４の両端部側に設けられていることから、スパッタリング等の真空処理の際の熱によって第１〜第４構成部材１〜４が伸長した場合に、防着本体部材１０の移動用引っ掛け部１ｂ（上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂb）は、保持部材２０の移動用フック１１ｂに引っ掛けた状態で第１〜第４構成部材１〜４の長手方向にそれぞれ移動することができる。
【００９８】
その結果、本実施の形態によれば、真空処理の際に生じた熱によって第１〜第４構成部材１〜４がそれぞれ伸長する場合に、それぞれ第１〜第４構成部材１〜４の中央部分を基準として両端部側に均等に伸長するので、真空処理の際の防着部材３０の反りやゆがみを抑制することができる。
【００９９】
また、本実施の形態において、防着本体部材１０の第１〜第４構成部材１〜４の周縁部に、真空槽６の放電空間９に対向する面側に延びるプラズマ遮蔽用の壁部１ｃ〜４ｃが設けられていることから、防着部材３０の放電空間９側の面に付着する成膜材料等の物質の量を減少させることができるので、当該物質の防着部材３０の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。
【０１００】
さらに、本実施の形態において、防着本体部材１０の各構成部材の周縁部に、プラズマ遮蔽壁１ｃ〜４ｃから外方側に延びるように、保持部材２０に対する取付部５が設けられていることから、取付部５においてねじを用いて防着本体部材１０を保持部材２０に取り付けた場合であっても、真空処理の際に生ずる物質が防着本体部材１０に設けたプラズマ遮蔽壁１ｃ〜４ｃによって遮られ、防着本体部材１０の取付部５への付着を防止することができるので、当該物質の防着部材３０の表面からの剥離に起因するパーティクルの発生をより抑制することができる。
【０１０１】
なお、本発明は上記実施の形態に限られず、種々の変更を行うことができる。例えば、防着本体部材１０の固定用引っ掛け部１ａの形状、並びに、移動用引っ掛け部１ｂ、上方側移動用引っ掛け部１ｂa、下方側移動用引っ掛け部１ｂbの形状及び数については、上記実施の形態のものには限られず、適宜変更することができる。
【０１０２】
また、保持部材２０の固定用フック１１ａの形状、並びに、移動用フック１１ｂの形状及び数についても、上記実施の形態のものには限られず、適宜変更することができる。
さらに、上記実施の形態はスパッタリング装置に適用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、種々の真空処理装置に適用することができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１……第１構成部材
１Ａ…引っ掛け部
１ａ…固定用引っ掛け部
１ｂ…移動用引っ掛け部
１ｂa…上方側移動用引っ掛け部
１ｂb…下方側移動用引っ掛け部
１ｃ…プラズマ遮蔽壁（プラズマ遮蔽用の壁部）
２……第２構成部材
２Ａ…引っ掛け部
２ｃ…プラズマ遮蔽壁
３……第３構成部材
３Ａ…引っ掛け部
３ｃ…プラズマ遮蔽壁
４……第４構成部材
４Ａ…引っ掛け部
４ｃ…プラズマ遮蔽壁
５……取付部
６……真空槽
７……スパッタリングターゲット
８……基板（処理対象物）
１０…防着本体部材
１１…第１枠部
１１ａ…固定用フック
１１ｂ…移動用フック
１１Ａ…第１フック部
１２…第２枠部
１２Ａ…第２フック部
１３…第３枠部
１３Ａ…第３フック部
１４…第４枠部
１４Ａ…第４フック部
２０…保持部材
２１ａ…固定用フック用凹部
２１ｂ…移動用フック用凹部
３０…防着部材
４０…スパッタリング装置（真空処理装置） 
【図１】
2019244730.tif 000003
【図２】
2019244730.tif 000004
【図３】
2019244730.tif 000005
【図４】
2019244730.tif 000006
【図５】
2019244730.tif 000007
【図６】
2019244730.tif 000008
【図７】
2019244730.tif 000009
【図８】
2019244730.tif 000010
【図９】
2019244730.tif 000011
【図１０】
2019244730.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月1日(2020.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図４及び図５（ａ）（ｂ）に示すように、本例においては、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２における固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、保持部材２０の第１及び第２枠部１１、１２に設けられた、固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂ内にそれぞれ配置されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図４及び図７（ａ）（ｂ）に示すように、本例においては、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４における固定用フック１１ａと移動用フック１１ｂは、保持部材２０の第３及び第４枠部１３、１４に設けられた、固定用フック用凹部２１ａと移動用フック用凹部２１ｂ内にそれぞれ配置されている。
【国際調査報告】
2019244730.tif 000013
2019244730.tif 000014