(57)【要約】  複数の品種（７０３）の製品を混合製造する製造装置用のデータ処理システムであって、複数の品種（７０３）の製品を製造する製造装置（１０１）に取り付けられた加速度センサ（１０２）及び赤外線センサ（１０３）が検出したセンサデータ（１０４）に基づいて、製造装置（１０１）で製造される製品の品種（１２０１）を判定する品種判定部（４０１）と、品種（１２０１）と該品種（１２０１）毎に複数の動作モード（１２０２）とを対応させて規定した製造装置動作仕様（１０５）に基づいて、品種判定部（４０１）が判定した品種（１２０１）に応じた動作モード（１２０２）を選択する動作モード選択部（１６０３）と、動作モード選択部（１６０３）が選択した動作モード（１２０２）の状態モデル（３０５）とセンサデータ（１０４）とを比較して、製造装置（１０１）の異常を検知する比較部（４０３）とを備える。
2018189866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の品種の製品を混合製造する複数品種混合製造装置用のデータ処理システムであって、  複数の品種の製品を製造する製造装置に取り付けられたセンサが検出したセンサデータに基づいて、前記製造装置で製造される製品の品種を判定する品種判定部と、  前記品種と、該品種毎に複数の動作モードとを対応させて規定した製造装置動作仕様に基づいて、前記判定した品種に応じた動作モードを選択する動作モード選択部と、  前記選択した動作モードの状態モデルと、前記センサデータとを比較して、前記製造装置の異常を検知する比較部とを備える複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項２】
前記製造装置動作仕様は、前記品種と、該品種毎に複数の動作モードと、該複数の動作モードの動作時間とを対応させて規定した、請求項１記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項３】
前記動作時間内の前記センサデータを所定期間毎に分割する区間分割部を更に備え、  前記比較部は、前記センサデータを前記区間分割部が分割した分割センサデータと、前記状態モデルのパターンとを比較して、前記製造装置の異常を検知する、請求項２記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項４】
前記分割センサデータに基づいて、前記状態モデルを学習する状態学習部を更に備えた、請求項３記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項５】
前記製造装置動作仕様と、前記状態学習部が前記状態モデルを学習するときの学習データの状態遷移とを前記動作モード毎に対応させて規定した、請求項４記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項６】
前記複数の動作モード及び前記状態遷移に基づいて、前記複数の動作モード毎の状態遷移確率を示す状態遷移表を作成する状態遷移表作成部を更に備える、請求項５記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項７】
前記複数の動作モード及び前記動作時間に基づいて、前記複数の動作モード間のモード間遷移確率を示す動作モード遷移表を作成する動作モード遷移表作成部を更に備える、請求項６記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項８】
前記品種毎の前記状態遷移確率及び前記モード間遷移確率に基づいて、ＨＭＭを作成する、請求項７記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項９】
複数の前記センサを備えており、  前記複数のセンサが検出したセンサデータに基づいて、前記製造装置で製造される製品の品種を判定する、請求項１乃至８の何れか一項に記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項１０】
前記複数のセンサは、加速度センサと、赤外線センサとを含む、  請求項９に記載の複数品種混合製造装置用のデータ処理システム。
【請求項１１】
複数の品種の製品を混合製造する複数品種混合製造装置用のデータ処理方法であって、  複数の品種の製品を製造する製造装置に取り付けられたセンサが検出したセンサデータに基づいて、前記製造装置で製造される製品の品種を判定し、  前記品種と、該品種毎に複数の動作モードと、該複数の動作モードの動作時間とを対応させて規定した製造装置動作仕様に基づいて、前記判定した品種に応じた動作モードを選択し、  前記選択した動作モードの状態モデルと、前記センサデータとを比較して、前記製造装置の異常を検知する複数品種混合製造装置のデータ処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、複数品種混合製造装置用データ処理システム及びデータ処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、工場の稼働率の向上を目的として、製造装置が故障する前に、該製造装置の異常を検出する手法が検討されている。製造装置の異常は、該製造装置の可動部の動作によって生じた振動を加速度センサで測定し、その測定された加速度を周波数に変換することによって検出する。つまり、製造装置の振動部の異常は、加速度センサが検出したデータを高速フーリエ変換（ＦＦＴ：Ｆａｓｔ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）し、任意の周波数成分を製造装置の振動の特徴量とすることで検出する（特許文献１）。【０００３】  １台の車両の動作を学習するために、車両センサが検出したデータから車両の動作の特徴量を学習し、車両の動作モードと特徴量とを関連付けた動作モデル（隠れマルコフモデル）を用いる技術が知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−９１４１４号公報
【特許文献２】特開２０１４−２３４１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  上述の従来技術では、装置から収集したデータを分析することで、装置の異常を診断することができる。しかし、同一の製造装置を用いて複数の品種を混合製造する複数品種混合製造装置では、製造する製品が時々刻々と変動する。特許文献１の技術では、ユーザが任意の周波数帯を特徴量として入力しているため、特許文献１の技術を複数品種混合製造装置に用いると、時間と共に変動する周波数帯毎の特徴量を選択することが困難である。さらに、複数品種混合製造装置では、異なる製品を同一の装置で製造する為、製造装置の振動部の動作の種類が多数存在する。【０００６】  特許文献２の技術は、車両の動作モードが、発進、低速走行、及びカーブ旋回のように固定されているため、多種多様な動作モードに対応することが困難である。ところで、動作モード毎ではなく、製品単位の時間粒度で製造装置の動作不良を検知する場合、動作不良の検知精度が低下するという問題がある。【０００７】  さらに、複数品種混合製造装置の動作の特徴量は、動作モードが同一の場合、バラツキが少ない。しかし、特許文献２の技術では、人が車両を運転するため、動作の特徴量にバラツキが生じることも、動作不良の検知精度を低下させる要因となる。【０００８】  そこで、本発明においては、複数品種混合製造装置の異常の検知精度を向上させる複数品種混合製造装置用データ処理システム及びデータ処理方式を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  複数品種混合製造装置用のデータ処理システムは、複数の品種の製品を混合製造する複数品種混合製造装置用のデータ処理システムであって、複数の品種の製品を製造する製造装置に取り付けられたセンサが検出したセンサデータに基づいて、前記製造装置で製造される製品の品種を判定する品種判定部と、前記品種と、該品種毎に複数の動作モードとを対応させて規定した製造装置動作仕様に基づいて、前記判定した品種に応じた動作モードを選択する動作モード選択部と、前記選択した動作モードの状態モデルと、前記センサデータとを比較して、前記製造装置の異常を検知する比較部とを備える。
【発明の効果】
【００１０】  複数品種混合製造装置の動作を、品種に応じた動作モード単位に分類して状態モデルと比較することができ、製造装置の異常の検知精度を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施例１に係るデータ処理システムの構成を示すシーケンス。
【図２】実施例１に係る製造装置の故障予兆の検知を示すシーケンス。
【図３】実施例１に係る品種、状態、及び動作学習を示すシーケンス。
【図４】実施例１に係るモデルの適用を示すシーケンス。
【図５】実施例１に係る品種モデルの生成を示すシーケンス。
【図６】実施例１に係る品種α，βの周波数分布を示す説明図。
【図７】実施例１に係るピーク及び標準偏差の品種テーブルとクラスタリングの結果を示す図。
【図８】実施例１に係る状態モデルの生成を示すシーケンス。
【図９】実施例１に係る加速度時系列データの区間分割方法を示す説明図。
【図１０】実施例１に係る状態モデルを示す説明図。
【図１１】実施例１に係る動作モデルの生成を示すシーケンス。
【図１２】実施例１に係る製造装置動作仕様毎の学習データの状態遷移を示す説明図。
【図１３】実施例１に係る品種αの動作モード遷移表。
【図１４】実施例１に係る品種αの状態遷移表。
【図１５】実施例１に係る動作モデルを示す説明図。
【図１６】実施例１に係るモデルの比較を示すシーケンス。
【図１７】実施例１に係る状態モデルとの比較結果を示す説明図。
【図１８】実施例２に係る複数の製造装置の構成を示す説明図。
【図１９】実施例２に係る第１，第２の製造装置の周波数分布を示す説明図。
【図２０】実施例２に係る第１，第２の製造装置の品種テーブル。
【図２１】実施例３に係る区間分割した周波数成分の時系列プロット。
【図２２】実施例３に係る周波数成分の品種テーブル。
【発明を実施するための形態】
【００１２】  以下、幾つかの実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】  図１は、本実施例に係るデータ処理システムの基本構成を示している。【００１４】  データ処理システムは、「複数品種混合製造装置」としての多品種混合製造装置（以下、製造装置）１０１と、センサデータ１０４と、製造装置動作仕様１０５と、区間指定１０６と、サーバ１０７と、モニタ１０８とを備える。製造装置１０１は、例えば、製造後１０年以上経過した装置であり、同一の製造装置１０１は、複数の品種を混合製造する。製造装置１０１には、追加で「センサ」としての加速度センサ１０２及び赤外線センサ１０３が取り付けられる。加速度センサ１０２及び赤外線センサ１０３から収集したデータは、一時的にセンサデータ１０４に蓄積される。サーバ１０７は、センサデータ１０４と、製造装置動作仕様１０５と、区間指定１０６とを入力としてデータを処理し、処理結果がモニタ１０８に表示される。【００１５】  図２は、製造装置の故障予兆検知のシーケンスを示している。【００１６】  学習データ２０１には、加速度センサ１０２と赤外線センサ１０３とから収集したセンサデータ１０４が一定期間蓄積され、学習データ２０１に貯蓄されたセンサデータ１０４は学習に用いられる。学習部２０２は、学習データ２０１と、製造装置動作仕様１０５と、区間指定１０６とを入力として、１度、もしくは一定間隔毎に繰り返し（図中、符号２０３で示すループ）、モデル２０４を生成する。センサデータ１０４と、製造装置仕様１０５と、区間指定１０６と、モデル２０４とに基づいて、モデルが適用２０５され、モデル適用結果がモニタ１０８に表示される。【００１７】  図３は、品種学習、状態学習、及び動作学習のシーケンスを示している。【００１８】  品種学習部３０１は、学習データ２０１に基づいて学習し、品種モデル３０６を生成する。状態学習部３０２は、学習データ２０１と、区間指定１０６と、品種モデル３０６とに基づいて学習し、状態モデル３０５を生成する。動作学習部３０３は、学習データ２０１と、製造装置動作仕様１０５と、状態モデル３０５と、品種モデル３０６とに基づいて学習し、動作モデル３０４を生成する。【００１９】  図４は、モデル適用のシーケンスを示している。【００２０】  品種判定部４０１は、センサデータ１０４と、品種モデル３０６とに基づいて、製造装置１０１で製造している品種を判定する。区間分割部４０２は、区間指定１０６の設定に従い、センサデータ１０４を複数の区間（時間的な区間）に分割する。比較部４０３は、品種判定部４０１の結果と、区間分割部４０２の結果と、製造装置動作仕様１０５と、動作モデル３０４と、状態モデル３０５とに基づいて、分割されたセンサデータ１０４を状態モデル３０５と比較し、モデル比較結果４０４を出力する。診断結果出力部４０５は、モデル比較結果４０４をモニタ１０８に出力する。【００２１】  図５は、品種モデル生成のシーケンスを示している。【００２２】  ピーク位置検知部５０１は、センサデータ１０４からピーク位置を検出する。標準偏差算出部５０２は、前記ピーク位置の標準偏差を算出し、品種テーブル５０３を生成する。Ｋ―Ｍｅａｎｓによる品種モデル生成部５０４は、品種テーブル５０３に基づいて、Ｋ値を品種の数に設定し、���種モデル３０６を生成する。【００２３】  図６は、品種α，βの周波数毎のＰｏｗｅｒ分布を示している。【００２４】  品種α６０１は、ピークが３箇所ある。それらピークのうちの１つは、図中の符号６０３で示す周波数成分であり、ピーク６０３に対して標準偏差６０４が規定されている。一方、品種β６０２は、ピークが２箇所ある。【００２５】  図７は、ピーク及び標準偏差の品種テーブル５０３と、クラスタリング結果とを示している。【００２６】  品種テーブル５０３には、品種単位のピーク位置７０１と、各ピークに対する標準偏差７０２とが記されている。図５の品種テーブル５０３を入力としてＫ−Ｍｅａｎｓによるクラスタリングの結果、品種α６０１と、品種β６０２とを判別し、品種７０３を得る。【００２７】  図８は、状態モデルの生成のシーケンスを示している。【００２８】  品種判定部８０１は、センサデータ１０４と、品種モデル３０６とに基づいて、製造装置１０１で製造している品種を判定する。区間分割部８０２は、区間指定１０６の設定に従い、センサデータ１０４を複数の区間に分割する。Ｘ−Ｍｅａｎｓによる状態モデル生成部８０３は、区間分割部８０２でセンサデータ１０４が分割された分割データを入力として、状態モデル３０５を生成する。【００２９】  図９は、加速度時系列データの区間分割方法を示している。【００３０】  加速度時系列データは、区間指定１０６の設定に従い、所定期間９０１毎に分割される。【００３１】  図１０は、状態モデルを示している。【００３２】  状態ＩＤ１００１は、１から５までの５種類の状態があり、各々の状態ＩＤ１００１には、パターン１００２と、出現頻度１００３とが記されている。パターン１００２は、区間分割部８０２でセンサデータ１０４が分割された分割データを用いて、Ｘ−Ｍｅａｎｓによる状態モデル生成部８０３によって得られる。出現頻度１００３は、センサデータ１０４に含まれるパターン１００２が出現する頻度である。【００３３】  図１１は、動作モデルの生成のシーケンスを示している。【００３４】  品種判定部１１０１は、センサデータ１０４と、品種モデル３０６とに基づいて、製造装置１０１で製造している品種を判定する。動作モード遷移表作成部１１０２は、製造装置動作仕様１０５に基づいて、動作モード遷移表１１０３を生成する。状態遷移表作成部１１０４は、センサデータ１０４と、製造装置動作仕様１０５と、品種判定部１１０１の結果と、状態モデル３０５とに基づいて、状態遷移表１１０５を生成する。ＨＭＭ（隠れマルコフモデル）による動作モデル生成部１１０６は、動作モード遷移表１１０３と、状態遷移表１１０５とに基づいて、ＨＭＭ（隠れマルコフモデル）によって動作モデル３０４を生成する。【００３５】  図１２は、製造装置動作仕様と、学習データの状態遷移とを示している。【００３６】  製造装置動作仕様１０５には、品種１２０１と、動作モード１２０２と、動作時間１２０３とが規定されている。例えば、品種αの動作モード１２０２は、Ｐと、Ｑと、Ｒとの３種類あり、各々の動作時間１２０３が３秒、２秒、３秒である。学習データの状態遷移１２０４は、各品種１２０１の動作モード１２０２毎に表されており、状態は状態���Ｄ１００１の５状態を取り得る。区間指定１０６が、例えば、１区間を５００ミリ秒と指定すると、品種αの動作モードＰの動作時間は３秒であるので、３秒間には６状態を取る。同様に、動作モードＱと、動作モードＲとは各々、２秒、３秒の動作時間であるので、各々の間には４状態、６状態を取る。【００３７】  図１３は、品種αの動作モード遷移表を示している。【００３８】  品種αの動作モード１２０２は、前述したように、Ｐと、Ｑと、Ｒとの３種類を取り得、各々の動作時間１２０３が３秒、２秒、３秒である。各動作モード１２０２の切り替え時間を１秒とすると、動作モードＰは、３秒動作し、その後、動作モードQに遷移するので、遷移前Ｐ１３０４から遷移後Ｐ１３０１への遷移確率は３／４であり、遷移前Ｐ１３０４から遷移後Ｑ１３０２への遷移確率は１／４である。動作モードＱは、２秒動作し、その後、遷移後Ｒ１３０３に遷移するので、遷移前Ｑ１３０５から遷移後Ｑ１３０２への遷移確率は２／３であり、遷移前Ｑ１３０５から遷移後Ｒ１３０３への遷移確率は１／３である。動作モードＲは、３秒動作し終了するので、遷移前Ｒ１３０６から遷移後Ｒ１３０３への遷移確率は３／４であり、遷移前Ｒ１３０６から終了への遷移確率は１／４である。【００３９】  図１４は、品種αの状態遷移表である。【００４０】  学習データの状態遷移１２０４で示したように、品種αの動作モードＰ１４０６の状態遷移は、１→１→２→５→１→３であるので、状態１  １４０１が３回、状態２  １４０２が１回、状態３  １４０３が１回、状態５  １４０５が１回出現する。従って、動作モードＰ１４０６のうちの各々の状態１４０１〜１４０３，１４０５の出現確率は、状態１  １４０１が３／６、状態２  １４０２が１／６、状態３  １４０３が１／６、状態５  １４０５が１／６である。品種αの動作モードＱ１４０７の状態遷移は、４→１→１→３であるので、状態１  １４０１が２回、状態３  １４０３が１回、状態４  １４０４が１回出現する。従って、動作モードＱ１４０７のうちの各々の状態１４０１，１４０３，１４０４の出現確率は、状態１  １４０１が２／４、状態３  １４０３が１／４、状態４  １４０４が１／４である。品種αの動作モードＲ１４０８の状態遷移は、１→４→１→３→２→１であるので、状態１  １４０１が３回、状態２  １４０２が１回、状態３  １４０３が１回、状態４  １４０４が１回出現する。従って、動作モードＲ１４０８のうちの各々の状態１４０１〜１４０４の出現確率は、状態１  １４０１が３／６、状態２  １４０２が１／６、状態３  １４０３が１／６、状態４  １４０４が１／６である。【００４１】  図１５は、動作モデルを示している。【００４２】  動作モデルは、品種１５０１毎の動作モード及び状態の遷移確率１５０２を表しており、図１３の品種αの動作モード遷移表と、図１４の品種αの状態遷移表とを１つに纏めた動作モデルであって、ＨＭＭ（隠れマルコフモデル）を適用する。【００４３】  図１６は、モデル比較のシーケンスを示している。【００４４】  区間データ読込み部１６０１は、区間分割部４０２の出力データを読み込む。状態パターン比較部１６０２は、区間データ読込み部１６０１の結果と、動作モデル３０４と、状態モデル３０５とに基づいて、区間データと、状態モデル３０５とを比較し、比較した結果をモデル比較結果４０４に書き出す。動作モード選択部１６０３は、動作モデル３０４に従って、動作モード１２０２を選択する。状態選択部１６０４は、状態モデル３０５に従って、状態を選択する。全区間終了１６０５すれば（Ｓ１６０５：ＹＥＳ）、モデル比較終了１６０６であり、終了していなければ（Ｓ１６０５：ＮＯ）、区間データ読込み部１６０１に戻り、全区間終了するまで繰り返す。【００４５】  図１７は、状態モデルとの比較結果を示している。【００４６】  モデル比較結果４０４は、状態ＩＤ１７０１と、状態モデルパターン１７０２と、出現頻度１７０３と、分割センサデータ１７０４と、不一致度１７０５との５列から構成されている。各状態ＩＤ１７０１において、状態モデルパターン１７０２と、分割センサデータ１７０４の不一致度１７０５とを計算する。製造装置１０１の故障予兆検知は、不一致度１７０５に閾値を設けて、ある閾値以上を超過した際に、故障が発生する確率が高まっていることを判定する。【００４７】  本実施例によれば、複数の品種７０３の製品を混合製造する製造装置１０１用のデータ処理システムは、品種判定部４０１と、動作モード選択部１６０３と、比較部４０３とを備えている。品種判定部４０１は、複数の品種７０３の製品を製造する製造装置１０１に取り付けられた加速度センサ１０２及び赤外線センサ１０３が検出したセンサデータ１０４に基づいて、製造装置１０１で製造される製品の品種７０３を判定する。動作モード選択部１６０３は、品種７０３と、該品種７０３毎に複数の動作モード１２０２とを対応させて規定した製造装置動作仕様１０５に基づいて、判定した品種７０３に応じた動作モード１２０２を選択する。比較部４０３は、選択した動作モード１２０２の状態モデル３０５と、センサデータ１０４とを比較して、製造装置１０１の異常を検知する。これにより、品種７０３に応じた動作モード１２０２毎に製造装置１０１の動作を分類すると、動作モード１２０２毎に状態モデル３０５と比較することができ、製造装置１０１の異常検知精度を向上することが可能となる。【００４８】  製造装置動作仕様１０５は、品種７０３と、該品種７０３毎に複数の動作モード１２０２と、該複数の動作モード１２０２の動作時間１２０３とを対応させて規定した。これにより、各品種７０３の動作を分類するときのノイズを削減することができる。【００４９】  動作時間１２０３内のセンサデータ１０４を所定期間９０１毎に分割する区間分割部４０２を更に備え、比較部４０３は、センサデータ１０４を区間分割部４０２が分割した分割センサデータ１７０４と、状態モデル３０５のパターン１７０２とを比較して、製造装置１０１の異常を検知する。これにより、センサデータ１０４を短い時間区間に分類することができ、各品種７０３の動作を分類する精度を高めることができる。【００５０】  分割センサデータ１７０４に基づいて、状態モデル３０５を学習する状態学習部３０２を更に備えたので、状態モデル３０５の精度が向上する。【００５１】  製造装置動作仕様１０５と、状態学習部３０２が状態モデル３０５を学習すると���の学習データ２０１の状態遷移１２０４とを、動作モード１２０２毎に対応させて規定した。これにより、製造装置動作仕様１０５及び学習データ２０１の状態遷移１２０４に基づいて動作モード１２０２を類推でき、製造装置１０１の動作を分類する精度を高めることができる。【００５２】  複数の動作モード１２０２と、学習データ２０１の状態遷移１２０４とに基づいて、複数の動作モード１２０２毎の状態遷移確率を示す状態遷移表１１０５を作成する状態遷移表作成部１１０４を更に備える。これにより、状態遷移確率に基づいて動作モード１２０２を類推でき、製造装置１０１の動作を分類する精度を高めることができる。【００５３】  複数の動作モード１２０２と、動作時間１２０３とに基づいて、複数の動作モード１２０２間のモード間遷移確率を示す動作モード遷移表１１０３を作成する動作モード遷移表作成部１１０２を更に備える。これにより、モード間遷移確率に基づいて動作モード１２０２を類推でき、各品種７０３の動作を分類する精度を高めることができる。【００５４】  品種７０３毎の状態遷移確率及びモード間遷移確率に基づいて、HMMを作成するので、各品種７０３の動作を分類するときのノイズに対する頑健性を高めることができ、且つ計算効率を高めることができる。【００５５】  複数のセンサ１０２，１０３を備えており、複数のセンサ１０２，１０３が検出したセンサデータ１０４に基づいて、製造装置１０１で製造される製品の品種７０３を判定する。これにより、センサデータ１０４を複数のセンサ１０２，１０３の各々から検出することができ、各品種７０３の動作の分類精度を高めることができる。【００５６】  加速度センサ１０２と、赤外線センサ１０３とを備えているので、加速度センサ１０２が製造装置１０１の振動を検出し、赤外線センサ１０３が製造装置１０１内の製品の移動を検出することができ、各品種７０３の動作を分類する精度を高めることができる。
【実施例２】
【００５７】  本実施例においては、ある製品の製造工程が複数の製造装置に跨る場合について説明する。【００５８】  図１８は、複数の製造装置の構成を示している。【００５９】  第１の製造装置１８０１は、製造アーム１８０４と、製品１８０５と、加速度センサ１８０６と、赤外線センサ１８０７，１８０８とから構成される。第２の製造装置１８０２，第３の製造装置１８０３も、第１の製造装置１８０１と同様の構成であり、アーム１８０４の動作が、第１の製造装置１８０１と、第２の製造装置１８０２と、第３の製造装置１８０３とで異なる。製造工程の上流側の赤外線センサ１８０７は、製品α１８０５が第１の製造装置１８０１に入力されたタイミングを検知し、下流側の赤外線センサ１８０８は、製品α１８０５が第１の製造装置１８０１から出力されるタイミングを検知する。加速度センサ１８０６は、製造アーム１８０４の動作状態を検知する。【００６０】  図１９は、第１，第２の製造装置の周波数分布を示している。【００６１】  加速度センサ１８０６から収集したセンサデータ１０４をＦＦＴし、横軸に周波数、縦軸にＰｏｗｅｒを取っている。第１の製造装置１８０１のピークは、３箇所あり、最大のピーク１９０１に対して標準偏差１９０２が規定されている。一方、第２の製造装置１８０２のピークは、２箇所あり、ピーク１９０３に対して標準偏差１９０４が規定されている。【００６２】  図２０は、第１，第２の製造装置の品種テーブルを示している。【００６３】  品種テーブルは、第１の製造装置２００１の周波数のピーク２００３と、そのピーク２００３に対する標準偏差２００４とを示しており、第２の製造装置２００２以降も同様である。モデル生成と、モデル比較方法とは、実施例１と同様である。本実施例によれば、複数の製造装置２００１，２００２を用いることによって、各品種２００５の動作の特徴をより的確に捉えることが可能となり、製造装置１０１の異常検知の精度が向上する。
【実施例３】
【００６４】  本実施例においては、品種判別に周波数成分を用いた場合について説明する。【００６５】  図２１は、実施例３に係る区間分割した周波数成分の時系列プロットである。【００６６】  時系列プロットは、加速度センサ１０２から収集したセンサデータ１０４を一定期間毎にＦＦＴし、５Ｈｚ単位でＰｏｗｅｒの集計を取ったプロットを示している。図中の〇印２１０１は０〜５Ｈｚの周波数成分、△印２１０２は５〜１０Ｈｚの周波数成分、×印２１０３は１０〜１５Ｈｚの周波数成分である。【００６７】  時系列プロットは、横軸に時間、縦軸にＰｏｗｅｒを取っているため、周波数成分のＰｏｗｅｒを特徴として品種を判別することが可能となる。【００６８】  図２２は、周波数成分の品種テーブルを示している。【００６９】  本実施例では、０−５Ｈｚの周波数成分２２０３と、５−１０Ｈｚの周波数成分２２０４と、１０−１５Ｈｚの周波数成分２２０５とにおけるＰｏｗｅｒ２２０１を用いて、Ｋ−Ｍｅａｎｓでクラスタリングし、品種２２０２を判別する。品種判別後のモデル生成と、モデル比較方法とは、実施例１と同様である。【００７０】  尚、上記実施例では、センサの一例を、加速度センサ１０２と、赤外線センサ１０３とした。これに限定するものではなく、超音波センサ、温度センサを用いることも可能である。
【符号の説明】
【００７１】１０１…製造装置、１０２…加速度センサ、１０３…赤外線センサ、１０４…センサデータ、１０５…製造装置動作仕様、２０１…学習データ、３０２…状態学習部、３０５…状態モデル、４０１…品種判定部、４０２…区間分割部、４０３…比較部、７０３…品種、８０１…品種判定部、８０２…区間分割部、９０１…所定間隔、１１０１…品種判定部、１１０２…動作モード遷移表作成部、１１０３…動作モード遷移表、１１０４…状態遷移表作成部、１１０５…状態遷移表、１２０１…品種、１２０２…動作モード、１２０３…動作時間、１２０４…状態遷移、１５０２…遷移確率、１６０３…動作モード選択部、１７０２…状態モデルパターン、１７０４…分割センサデータ、１８０１〜１８０３…製造装置、１８０６…加速度センサ、１８０７，１８０８…赤外線センサ 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【国際調査報告】
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