(57)【要約】  繰り返し応力がかかっても破断し難いメタルダイアフラムダンパを提供する。  中央側に設けられた変形作用部１９と外周縁に設けられた外周固定部２０とを有するダイアフラム２，３を備え、内部に気体が封入された円盤状のメタルダイアフラムダンパ１であって、変形作用部１９は、外径側に位置する外向きに突出する第３湾曲部２４と、第３湾曲部２４の内径側に位置する外向きに突出する第１湾曲部２２と、第３湾曲部２４と第１湾曲部２２との間に位置する第２湾曲部２３とを備え、第２湾曲部２３は、少なくとも１つの内向きに凹む曲面を有している。
2019102982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央側に設けられた変形作用部と外周縁に設けられた外周固定部とを有するダイアフラムを備え、内部に気体が封入された円盤状のメタルダイアフラムダンパであって、
前記変形作用部は、外径側に位置する外向きに突出する第３湾曲部と、該第３湾曲部の内径側に位置し外向きに突出する第１湾曲部と、前記第３湾曲部と前記第１湾曲部との間に位置する第２湾曲部とを備え、
前記第２湾曲部は、少なくとも１つの内向きに凹む曲面を有していることを特徴とするメタルダイアフラムダンパ。
【請求項２】
前記第２湾曲部は、１つの内向きの曲面を有して構成されている請求項１に記載のメタルダイアフラムダンパ。
【請求項３】
前記第２湾曲部を構成する曲面の曲率半径は、前記第３湾曲部を構成する曲面の曲率半径に比べて小さく形成されている請求項１または２に記載のメタルダイアフラムダンパ。
【請求項４】
前記メタルダイアフラムダンパは、同形状の２枚のダイアフラムが逆向きに配置され互いの外周縁同士が接合され、該外周縁により前記外周固定部が構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載のメタルダイアフラムダンパ。
【請求項５】
前記第２湾曲部の曲面の頂点から前記ダイアフラムの軸方向の最下点との距離は、前記第１湾曲部の最大変形量に比べて大きく形成されている請求項４に記載のメタルダイアフラムダンパ。
【請求項６】
前記第２湾曲部の曲面の頂点同士の内径方向の距離は、前記頂点から前記第３湾曲部の外径端部までの外径方向の距離に比べて大きく形成されている請求項１ないし５のいずれかに記載のメタルダイアフラムダンパ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧燃料ポンプ等の脈動が生じる箇所に用いられる脈動吸収用のメタルダイアフラムダンパに関する。
【背景技術】
【０００２】
エンジン等を駆動する際、燃料タンクから供給される燃料をインジェクタ側へ圧送するために高圧燃料ポンプが用いられている。この高圧燃料ポンプは、内燃機関のカムシャフトの回転により駆動されるプランジャの往復移動によって燃料の加圧及び吐出を行っている。【０００３】
高圧燃料ポンプ内における燃料の加圧及び吐出の仕組みとして、先ず、プランジャが下降するときに吸入弁を開けて燃料入口側に形成される燃料チャンバから加圧室へ燃料を吸入する吸入行程が行われる。次に、プランジャが上昇するときに加圧室の燃料の一部を燃料チャンバへ戻す調量行程が行われて、吸入弁を閉じた後、プランジャがさらに上昇するときに燃料を加圧する加圧行程が行われる。このように、高圧燃料ポンプは、吸入行程、調量行程及び加圧行程のサイクルを繰り返すことにより、燃料を加圧してインジェクタ側へ吐出している。このとき、高圧燃料ポンプからインジェクタへの燃料の吐出量の変化やインジェクタの噴射量の変化によって燃料チャンバにおいて脈動が発生する。【０００４】
このような高圧燃料ポンプには、燃料チャンバに発生する脈動を低減させるためのメタルダイアフラムダンパが内蔵されている。例えば、図７に示されるように、特許文献１に開示されているようなメタルダイアフラムダンパは、燃料チャンバに設けられ、２枚の円板状のダイアフラムが外径側端部で接合されることにより、内部に所定圧の気体が封入された円盤状となっている。メタルダイアフラムダンパは、中央側に変形作用部を備え、この変形作用部が脈動を伴う燃料圧を受けて弾性変形することにより、燃料チャンバの容積を可変し、脈動を低減している。【０００５】
図７（ａ）に示されるように、ダイアフラムの変形作用部は、中央（内径側）に曲率半径（Ｒ１０１）の大きい外向きに突出する第１湾曲部１０１と、第１湾曲部１０１から外径側に連なり第１湾曲部１０１に比べて曲率半径（Ｒ１０２）の小さい外向きに突出する第２湾曲部１０２とを備えている。メタルダイアフラムダンパは、その外周縁に設けられた外周固定部が支持部材により支持されて、図示しない燃料チャンバ内に固定されている。【０００６】
このように、特許文献１に記載のダイアフラムは弾性変形代を大きく確保するために、内径側が外向きに突出する第１湾曲部１０１となっている。そのため、外圧（燃料圧）により第１湾曲部１０１が軸方向に変形すると、第１湾曲部１０１の外径方向端部は外径方向に広がるように変形する。そして、この第１湾曲部１０１の外径方向への変形により第２湾曲部１０２に外径方向への応力が作用し、第２湾曲部１０２が外径方向に変形することでダイアフラムにかかる応力を分散させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１６−１１３９２２号公報（第５頁、第３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ここで、特許文献１のメタルダイアフラムダンパにあっては、ダイアフラムの内径側の第１湾曲部１０１は曲率半径が大きいため軸方向に変形し易く、外径側の第２湾曲部１０２は外周固定部側に位置し、かつ曲率半径が小さいため第１湾曲部１０１に比べて軸方向に変形し難い構造となっている。加えて、第１湾曲部１０１と第２湾曲部１０２とがいずれも外向きに突出する湾曲形状であるとともに、第１湾曲部１０１は軸方向に変形すると径方向に拡がるように変形する構造であるため、外圧を受け第１湾曲部１０１が外径方向へ変形した際に、第１湾曲部１０１と第２湾曲部１０２との変曲点周辺Ｐ１や第２湾曲部１０２と外周固定部との境界周辺Ｐ２に曲げ応力が集中してしまい、高圧と低圧を繰り返す脈動によりダイアフラムが破断する虞があった。更に、外力が大きい場合には、第２湾曲部１０２に反転する部位が生じることがあり（図７（ｂ）参照）、ダイアフラムが破断する虞があった。【０００９】
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、繰り返し応力がかかっても破断し難いメタルダイアフラムダンパを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために、本発明のメタルダイアフラムダンパは、
中央側に設けられた変形作用部と外周縁に設けられた外周固定部とを有するダイアフラムを備え、内部に気体が封入された円盤状のメタルダイアフラムダンパであって、
前記変形作用部は、外径側に位置する外向きに突出する第３湾曲部と、該第３湾曲部の内径側に位置し外向きに突出する第１湾曲部と、前記第３湾曲部と前記第１湾曲部との間に位置する第２湾曲部とを備え、
前記第２湾曲部は、少なくとも１つの内向きに凹む曲面を有していることを特徴としている。
この特徴によれば、第２湾曲部が内向きの曲面を有することから、外圧による第１湾曲部の変形に伴い第２湾曲部がダイアフラムの内側に向けて変形し、この第２湾曲部の変形により第３湾曲部の内径側にダイアフラムの内側方向への応力が作用し、第３湾曲部は曲率半径が小さくなるように変形することで、ダイアフラムは第１湾曲部の変形に伴う外径方向への応力を吸収するようになっているため、第３湾曲部並びに第３湾曲部及び外周固定部の境界周辺への応力の集中を抑制しメタルダイアフラムダンパの破断を効果的に防止することができる。また、第３湾曲部には曲率半径が小さくなるような応力が作用するため、第３湾曲部が反転しにくくなっており、メタルダイアフラムダンパの破断を効果的に防止することができる。【００１１】
好適には、前記第２湾曲部は、１つの内向きの曲面を有して構成されている。
これによれば、ダイアフラムの中央側への容積変動領域を大きく確保することができる。【００１２】
好適には、前記第２湾曲部を構成する曲面の曲率半径は、前記第３湾曲部を構成する曲面の曲率半径に比べて小さく形成されている。
これによれば、第３湾曲部を外径方向に変形させ易くするとともに、内向きの曲面を有する第２湾曲部の軸方向への大きな変形を抑制することができる。【００１３】
好適には、前記メタルダイアフラムダンパは、同形状の２枚のダイアフラムが逆向きに配置され互いの外周縁同士が接合され、該外周縁により前記外周固定部が構成されている。
これによれば、それぞれのダイアフラムが脈動を吸収することができ、メタルダイアフラムダンパによる脈動の吸収性能を十分に確保することができる。【００１４】
好適には、前記第２湾曲部の曲面の頂点から前記ダイアフラムの軸方向の最下点との距離は、前記第１湾曲部の最大変形量に比べて大きく形成されている。
これによれば、２枚のダイアフラムのそれぞれの第１湾曲部が最大に変形した場合であっても、互いの第２湾曲部の頂点同士が接触することなく、２枚のダイアフラムの双方が破損する虞がない。【００１５】
好適には、前記第２湾曲部の曲面の頂点同士の内径方向の距離は、前記頂点から前記第３湾曲部の外径端部までの外径方向の距離に比べて大きく形成されている。
これによれば、第１湾曲部は容積変動領域として機能し、第３湾曲部は応力吸収領域として機能するため、第３湾曲部の径方向寸法よりも第１湾曲部の径方向寸法を大きくすることで、容積変動領域を大きく確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例におけるメタルダイアフラムダンパが内蔵される高圧燃料ポンプを示す断面図である。
【図２】実施例におけるメタルダイアフラムダンパを示す断面図である。
【図３】一方のダイアフラムの構造を示す断面図である。
【図４】低圧時におけるダイアフラムの構造を示す一部拡大断面図である。
【図５】実線は高圧時、破線は低圧時におけるダイアフラムの構造を示す一部拡大断面図である。
【図６】メタルダイアフラムダンパの変形例を示す断面図である。
【図７】メタルダイアフラムダンパの従来例を示しており、（ａ）は、低圧時におけるメタルダイアフラムダンパの構造を示す断面図であり、（ｂ）は、高圧による加圧時におけるメタルダイアフラムダンパの構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係るメタルダイアフラムダンパを実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
【実施例】
【００１８】
実施例に係るメタルダイアフラムダンパにつき、図１から図６を参照して説明する。【００１９】
本実施例のメタルダイアフラムダンパ１は、図１に示されるように、燃料タンクから図示しない燃料入口を通して供給される燃料をインジェクタ側へ圧送する高圧燃料ポンプ１０に内蔵されている。高圧燃料ポンプ１０は、内燃機関の図示しないカムシャフトの回転により駆動されるプランジャ１２の往復移動によって燃料の加圧及び吐出を行っている。【００２０】
高圧燃料ポンプ１０内における燃料の加圧及び吐出の仕組みとして、先ず、プランジャ１２が下降するときに吸入弁１３を開けて燃料入口側に形成される燃料チャンバ１１から加圧室１４へ燃料を吸入する吸入行程が行われる。次に、プランジャ１２が上昇するときに加圧室１４の燃料の一部を燃料チャンバ１１へ戻す調量行程が行われて、吸入弁１３を閉じた後、プランジャ１２がさらに上昇するときに燃料を加圧する加圧行程が行われる。【００２１】
このように、高圧燃料ポンプ１０は、吸入行程、調量行程及び加圧行程のサイクルを繰り返すことにより、燃料を加圧して吐出弁１５を開いてインジェクタ側へ吐出している。このとき、高圧燃料ポンプ１０からインジェクタへの燃料の吐出量の変化やインジェクタの噴射量の変化によって燃料チャンバ１１において高圧と低圧を繰り返す脈動が発生する。メタルダイアフラムダンパ１は、このような高圧燃料ポンプ１０の燃料チャンバ１１において発生する脈動を低減するために使用される。【００２２】
図２に示されるように、メタルダイアフラムダンパ１は、２枚のダイアフラム２とダイアフラム３とが接合されることにより構成されている。後に詳述するが、２枚のダイアフラム２，３同士は、レーザ溶接により外周縁を全周に亘って気密に接合されている。【００２３】
接合されたダイアフラム２とダイアフラム３との間に形成される密閉空間（メタルダイアフラムダンパ１の内部）内には、アルゴン及びヘリウム等から構成される所定圧力の気体が封入されている。尚、メタルダイアフラムダンパ１は、密閉空間に封入される気体の内部圧によって容積変化量の調整を行うことにより、所望の脈動吸収性能を得ることができる。【００２４】
ダイアフラム２，３は、それぞれ同一素材の金属板をプレス加工して略同形状に全体が均一な厚みを有して皿状に成形され、中央側に変形作用部１９が形成され、外周縁に接合端片２１が形成されている。これらダイアフラム２の接合端片２１とダイアフラム３の接合端片２１とは、並行部分をレーザ溶接によって全周に亘って気密に接合され、外周固定部２０を構成している。【００２５】
以下、ダイアフラム２，３について詳しく説明するが、便宜上図３以降を用いた説明においては、ダイアフラム２について説明し、同構造のダイアフラム３についての説明を省力する。【００２６】
図３及び図４に示されるように、ダイアフラム２は、前述の環状の接合端片２１と、接合端片２１の内径側に連なる第３湾曲部２４と、中央側（内径側）の第１湾曲部２２と、第３湾曲部２４と第１湾曲部２２との間に位置する第２湾曲部２３と、第１湾曲部２２と第２湾曲部２３との間に位置し、これらに連なる接続部２５及び第２湾曲部２３と第３湾曲部２４との間に位置し、これらに連なる接続部２６と、から主に構成されている。【００２７】
第１湾曲部２２と第２湾曲部２３と第３湾曲部２４とは、それぞれ一定の曲率で構成されており、第１湾曲部２２はダイアフラム２の外部（すなわち図１における燃料チャンバ１１側）に突出する所謂外向きに形成され、第２湾曲部２３はダイアフラム２の内部（すなわち密閉空間側）に突出する所謂内向きに形成され、第３湾曲部２４はダイアフラム２の外部に突出する所謂外向きに形成されている。【００２８】
本実施例では、図４に示されるように、第１湾曲部２２は接続部２５との境界Ａより内径側の一定の曲率を有する部分を指し、第２湾曲部２３は接続部２５との境界Ｂと接続部２６との境界Ｃとの間の一定の曲率を有する部分を指し、第３湾曲部２４は接続部２６との境界Ｃと接合端片２１との境界Ｄとの間の一定の曲率を有する部分を指す。接続部２５及び接続部２６は、図にて詳述しないが、それぞれの両端部に連続する第１湾曲部２２と第２湾曲部２３及び第２湾曲部２３と第３湾曲部２４の曲率半径より大きく形成された曲面形状となっている。【００２９】
尚、第１湾曲部２２と第２湾曲部２３と第３湾曲部２４とは、上述した曲面形状の接続部２５及び接続部２６により接続される態様に限らず、直線状や略Ｓ字形状の接続部により接続されてもよいし、接続部２５と接続部２６とを省略してそれぞれ直接連なるように形成されていてもよい。【００３０】
図４に示されるように、第１湾曲部２２は、ダイアフラム２の中央側（内径側）において外向きに突出するように湾曲するドーム状の形状を成しており、第１湾曲部２２の外径側は、接続部２５を介して第２湾曲部２３に連なっている。第１湾曲部２２は、曲率半径を一定とする連続する曲面であるため、燃料圧が第１湾曲部２２の外面に略均一に作用した際に、第１湾曲部２２が途中で折れ曲がることなく変形し易い。【００３１】
また、図３に示されるように、第１湾曲部２２は、低圧時において、その曲面の頂点Ｔ１が第３湾曲部２４の曲面の頂点Ｔ３よりも外向きの突出量が大きくなるように形成されている（Ｈ１＞Ｈ３）。さらに、第１湾曲部２２の曲率半径Ｒ２２は、第３湾曲部２４の曲率半径Ｒ２４よりも大きい（Ｒ２２＞Ｒ２４）。【００３２】
図３及び図４に示されるように、第２湾曲部２３は、内向きに凹むように湾曲する凹部を構成しており、第２湾曲部２３の内径側は前述したように接続部２５を介して第１湾曲部２２に連なり、第２湾曲部２３の外径側は接続部２６を介して第３湾曲部２４に連なっている。また、第２湾曲部２３の曲率半径Ｒ２３は、第３湾曲部２４の曲率半径Ｒ２４よりも小さい（Ｒ２３＜Ｒ２４）。【００３３】
図３及び図４に示されるように、第３湾曲部２４は、ダイアフラム２の外径側において外向き（すなわち図１における燃料チャンバ１１側）に突出するように略円弧状に湾曲する環状の凸部を構成している。また、第３湾曲部２４は、前述したように外径側で接合端片２１に連なり、内径側で接続部２６を介して第２湾曲部２３に連なっている。さらに、第３湾曲部２４の曲率半径Ｒ２４は、第２湾曲部２３の曲率半径Ｒ２３よりも大きく、かつ第１湾曲部２２の曲率半径Ｒ２２よりも小さい（Ｒ２３＜Ｒ２４＜Ｒ２２）。【００３４】
次いで、高圧と低圧を繰り返す脈動を伴う燃料圧を受けた際のメタルダイアフラムダンパ１の脈動吸収について図５を用いて説明する。【００３５】
図５に示されるように、脈動に伴う燃料圧が低圧から高圧になり、ダイアフラム２に燃料チャンバ１１側からの燃料圧がかかると、先ず、曲率半径が大きく剛性が小さいドーム状の第１湾曲部２２が主に変形する。尚、第１湾曲部２２が内側に押し潰されることにより、メタルダイアフラムダンパ１内の気体は、圧縮される。【００３６】
詳細には、第１湾曲部２２は外圧である燃料圧により軸方向（ダイアフラム２の内部方向）へ変形するとともに、外径方向に広がるように変形する。つまり、第１湾曲部２２の外径方向端部である境界Ａが外径方向に移動する。この境界Ａの外径方向への移動によりダイアフラム２の境界Ａより外径側の部位に外径方向に応力がかかる。【００３７】
この外径方向へかかる応力により、第３湾曲部２４が外径方向に圧縮されるように変形することで、外圧により第１湾曲部２２にかかる軸方向への応力は主に外径方向の応力に変換され、第３湾曲部２４は曲率半径が小さくなるように変形することによって吸収され、ダイアフラム２の破断を効果的に防止することができる。【００３８】
詳しくは、境界Ａより外径側にかかる外径方向への応力は、ダイアフラム２の面に沿って伝達される。第２湾曲部２３は内向きに凹む曲面であることから、第２湾曲部２３の頂点Ｔ２より内径側では、当該応力は接続部２５を介して第２湾曲部２３の形状に誘導されるようにしてダイアフラム２の内部方向へも作用する。そのため、この内部方向へかかる力と外径方向への応力により、図５に示されるように、その頂点Ｔ２がダイアフラム２の内部方向かつ外径方向へ移動するように変形する。【００３９】
このように、第２湾曲部２３がその頂点Ｔ２がダイアフラム２の内部方向かつ外径方向へ移動するように変形することで、第２湾曲部２３と接続部２６を介して連なる第３湾曲部２４には、外径方向への応力に加え、その頂点Ｔ３より内径側にダイアフラム２の内部方向へ引っ張られる力も作用する。そのため、図５に示されるように、第３湾曲部２４は、頂点Ｔ３より内径側にダイアフラム２の内部方向へ引っ張られることで、低圧時に比べて第３湾曲部２４の内径側端部である境界Ｄがダイアフラム２の内部側に位置することになる。これによれば、第１湾曲部２２に作用する外径方向への応力が第３湾曲部２４を湾曲の内側方向に曲げる力に変換され、第３湾曲部２４の変形により外径方向への応力の一部が吸収されるため、ダイアフラム２にかかる応力を分散させて破断を防止できる。特に、第３湾曲部２４と接合端片２１との境界Ｅ近傍への応力集中を効果的に防止することができる。【００４０】
また、第３湾曲部２４には曲率半径が小さくなるような応力が作用するため、第３湾曲部２４が反転しにくくなっており、ダイアフラム２の破断を効果的に防止することができる。【００４１】
次いで、脈動に伴う燃料圧が高圧から低圧になり、ダイアフラム２が燃料チャンバ１１側から受ける燃料圧が小さくなると、第１湾曲部２２は、ダイアフラム２の外部に向けてドーム状に突出し、形状が復元される。合わせて、第１湾曲部２２の復元力を受けて第２湾曲部２３及び第３湾曲部２４の形状が復元される。【００４２】
また、曲率半径が大きいほど変形し易いため、曲率半径が大きい第１湾曲部２２がダイアフラム２の中央側に配置されていることで、ダイアフラム２の中央側に十分な容積変動領域（脈動吸収箇所）を確保することができる。なお、第２湾曲部２３の曲面の頂点Ｔ２同士の内径方向の距離は、頂点Ｔ２から第３湾曲部２４の外径端部（境界Ｅ）までの外径方向の距離に比べて大きく形成されている。すなわち第１湾曲部２２が径方向に占める領域は、第３湾曲部２４が径方向に占める領域に比べて大きく形成されている。これによれば、第１湾曲部２２は容積変動領域として機能し、第３湾曲部２４は応力吸収領域として機能するため、第３湾曲部２４の径方向寸法よりも第１湾曲部２２の径方向寸法を大きくすることで、容積変動領域を大きく確保することができる。また、第１湾曲部２２が外向きに突出する湾曲形状であるため、第１湾曲部２２は外力により反転し難くなっている。【００４３】
また、ダイアフラム２は内径側から、外向きに突出する湾曲形状である第１湾曲部２２、内向きに凹む湾曲形状である第２湾曲部２３、外向きに突出する湾曲形状である第３湾曲部２４により外向き・内向き・外向きの構造となっているので、外圧を受けて外径方向へ応力が加わった場合に、外向き・内向き・外向きの形状を保って変形することになるため、第１湾曲部２２と第２湾曲部２３との間及び第２湾曲部２３と第３湾曲部２４との間でそれぞれ反転が発生し難くなっている。【００４４】
また、上述したように第２湾曲部２３の曲率半径Ｒ２３は、第３湾曲部２４の曲率半径Ｒ２４に比べて小さく形成されているため、第３湾曲部２４を外径方向に変形させ易くするとともに、内向きの曲面を有する第２湾曲部２３の軸方向への大きな変形を抑制することができ、対向するダイアフラム２，３の第２湾曲部２３同士の接触を防止し、ダイアフラム２，３の破損を防止できる。【００４５】
また、ダイアフラム２は、第２湾曲部２３の頂点Ｔ２からダイアフラム２の垂直方向の最下点（仮想線α）との距離Ｈ２（図３参照）が第１湾曲部２２の最大変形量よりも大きく形成されている。詳しくは、「第１湾曲部２２の頂点Ｔ１からダイアフラム２の軸方向の最下点との距離Ｈ１（図３参照）から第１湾曲部２２の軸方向の最大変形量ΔＭＡＸ（図示しない）を減じた長さは第２湾曲部２３の頂点Ｔ２からダイアフラム２の軸方向の最下点との距離Ｈ２よりも長い（Ｈ１−ΔＭＡＸ＞Ｈ２）」式が成り立つような寸法関係となっている。これによれば、対向するダイアフラム２とダイアフラム３のそれぞれの第２湾曲部２３が最大に変形した場合であっても、互いの第２湾曲部２３の頂点Ｔ２同士が接触することなく、ダイアフラム２，３の双方が破損する虞がない。【００４６】
また、図４に示されるように、第２湾曲部２３の頂点Ｔ２から第２湾曲部２３の外径側端部である境界Ｃまでの径方向の距離Ｗ１は、頂点Ｔ２から第２湾曲部２３の内径側端部である境界Ｂまでの径方向の距離Ｗ２に比べて大きく形成されている（Ｗ１＞Ｗ２）。これによれば、第２湾曲部２３は外径側に比べて内径側が応力に対して軸方向に曲がり易く、内径側の一部が第１湾曲部２２と共に容積変動領域として機能するため、ダイアフラム２の容積変動領域を大きく確保することができる。【００４７】
また、図４に示されるように、第３湾曲部２４の頂点Ｔ３からダイアフラム２の軸方向の最下点との距離Ｈ３に比べて、第１湾曲部２２の頂点Ｔ１からダイアフラム２の軸方向の最下点との距離Ｈ１が大きく設定されている（Ｈ１＞Ｈ３）。これによれば、ダイアフラム２の軸方向の寸法に対するダイアフラム２の容積変動領域を大きく確保することができる。【００４８】
変形作用部１９は、第２湾曲部２３の頂点Ｔ２より内径側の面積が、第２湾曲部２３の頂点Ｔ２より外径側の面積に比べて大きく形成されているため、ダイアフラム２における容積変動領域を大きく確保することができる。【００４９】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。【００５０】
例えば、前記実施例では、ダイアフラム２，３同士の接合端片２１がレーザ溶接により接合されるものとして説明したが、これに限らず、ダイアフラム２とダイアフラム３との間に密閉空間を構成できるものであれば、各種溶接、かしめ、摩擦拡散接合等によって接合されていてもよい。【００５１】
また、前記実施例では、第１湾曲部２２と第２湾曲部２３と第３湾曲部２４の曲率半径の関係は、第１湾曲部２２の曲率半径Ｒ２２＞第３湾曲部２４の曲率半径Ｒ２４＞第２湾曲部２３の曲率半径Ｒ２３となるように説明したが、これに限らず、例えば第１湾曲部２２と第３湾曲部２４とが同じ曲率半径であってもよい。【００５２】
さらに、第１湾曲部２２と第３湾曲部２４とが外向きに形成され、第２湾曲部２３が内向きに形成されていれば、外径方向への応力を、第３湾曲部２４を湾曲の内側方向に曲げる力に変換することはできるため、例えば第３湾曲部２４よりも第２湾曲部２３の曲率半径を大きくしてもよい。【００５３】
また、前記実施例では、第２湾曲部２３は一定の曲率半径の内向きに凹む曲面で形成されているが、これに限らず、例えば２つ以上の複数の内向きの曲面を有する波状に形成され、最も外径側の内向きの曲面と第３湾曲部２４とが連なるように構成されていてもよい。【００５４】
また、前記実施例では、第１湾曲部２２は、一定の曲率半径の曲面で形成されているが、これに限らず、例えば２つ以上の複数の同方向へ屈曲する曲面で構成されていてもよく、この場合、第１湾曲部２２を円弧と仮定し第１湾曲部２２を構成する部分における外径側の両端部の接線の傾きの差から求められる半径を第１湾曲部２２の曲率半径と定義し、上述した第２湾曲部２３と第３湾曲部２４を構成する曲面の曲率半径との大小関係を適用することで、上述した効果を得られるものとする。尚、第２湾曲部２３と第３湾曲部２４も同様の定義に基づき２つ以上の複数の同方向へ屈曲する曲面で構成されていてもよい。【００５５】
また、ダイアフラム２とダイアフラム３とは同形状でなくてもよい。【００５６】
また、前記実施例ではメタルダイアフラムダンパ１は、ダイアフラム２とダイアフラム３とを接合して構成され、ダイアフラム２とダイアフラム３の両側で燃料チャンバ１１内の燃料圧を吸収する態様で説明したが、これに限らず、例えば図６に示されるように、円板状のダイアフラム３２と、板状のベース部材３３とが外周縁を全周に亘って気密に接合されて構成されていてもよい。このようなメタルダイアフラムダンパ３１は燃料チャンバ１１の上端に固定され、ダイアフラム３２側のみで燃料チャンバ１１内の燃料圧を吸収する場合に用いられる。【００５７】
また、前記実施例では、メタルダイアフラムダンパ１は、高圧燃料ポンプ１０の燃料チャンバ１１に設けられ、燃料チャンバ１１内の脈動を低減する態様として説明したが、これに限らず、メタルダイアフラムダンパ１は、高圧燃料ポンプ１０に接続される燃料配管等に設けられることにより脈動を低減してもよい。【００５８】
また、ダイアフラム２とダイアフラム３との接合端片２１同士は、気密性と接合強度が維持できれば、少なくとも周縁同士が接合されていればよい。【００５９】
また、接合されたダイアフラム２とダイアフラム３との間に形成される密閉空間（メタルダイアフラムダンパ１の内部）内に弾性変形可能な合成樹脂製等の芯材を配置することで、高圧時のダイアフラム２とダイアフラム３との接触を防止する構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１                メタルダイアフラムダンパ
２，３            ダイアフラム
１０              高圧燃料ポンプ
１１              燃料チャンバ
１２              プランジャ
１３              吸入弁
１４              加圧室
１５              吐出弁
１９              変形作用部
２０              外周固定部
２１              接合端片
２２              第１湾曲部
２３              第２湾曲部
２４              第３湾曲部
２５，２６        接続部
３１              メタルダイアフラムダンパ
３３              ダイアフラム
３３              ベース部材
Ａ〜Ｄ            境界
Ｒ２２〜Ｒ２４    曲率半径
Ｔ１〜Ｔ３        頂点
Ｗ１〜Ｗ２        距離
α                仮想線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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