(57)【要約】  現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成できる感光性着色組成物を提供する。また、硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供する。感光性着色組成物は、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍを超える光重合開始剤ａと、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ｂと、アルカリ可溶性樹脂と、重合性基を有する色材とを含有する。感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤ａの含有量が１．５質量％以上であり、光重合開始剤ｂの含有量が１．５質量％以上である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍを超える光重合開始剤ａと、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ｂと、
アルカリ可溶性樹脂と、
重合性基を有する色材と、を含有する感光性着色組成物であって、
前記感光性着色組成物の全固形分中における前記光重合開始剤ａの含有量が１．５質量％以上であり、前記光重合開始剤ｂの含有量が１．５質量％以上である、感光性着色組成物。
【請求項２】
前記光重合開始剤ａのメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である、請求項１に記載の感光性着色組成物。
【請求項３】
前記光重合開始剤ａがオキシム化合物である、請求項１または２に記載の感光性着色組成物。
【請求項４】
前記光重合開始剤ｂがヒドロキシアセトフェノン化合物である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
【請求項５】
前記光重合開始剤ｂの１００質量部に対して、前記光重合開始剤ａを５０〜５００質量部含有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
【請求項６】
前記感光性着色組成物の全固形分中における前記光重合開始剤ａと前記光重合開始剤ｂとの合計の含有量が３〜１７質量％である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
【請求項７】
前記色材は色素多量体である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性着色組成物を硬化して得られる硬化膜。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性着色組成物を用いて支持体上に感光性着色組成物層を形成する工程と、
前記感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する工程と、
前記露光後の感光性着色組成物層をアルカリ現像する工程と、
前記現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４〜３５０ｎｍの光を照射して露光する工程と、を有するパターンの形成方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
【請求項１１】
請求項８に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
【請求項１２】
請求項８に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性着色組成物に関する。更に詳しくはカラーフィルタの着色画素などの形成に用いられる感光性着色組成物に関する。また、感光性着色組成物を用いた硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。【０００３】
カラーフィルタは、各色の画素形成用の着色感光性組成物を支持体上に塗布し、１００℃程度のプリベークを行い、次いで露光および現像を行ったパターンを形成し、次いで、ポストベークを行って製造される。ポストベークは現像後の膜の硬化を促進するための加熱処理であって、比較的高温で行われている。例えば、特許文献１では現像後の膜に対して２００℃以上の温度でポストベークを行っている。【０００４】
また、近年では、画像表示装置における発光光源の有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）化や、イメージセンサにおける光電変換膜の有機素材化が検討されている。これらの部材は、耐熱性が低いものが多い。そこで、カラーフィルタを低温で製造することが検討されている。例えば、特許文献２には、（ｉ）感光性着色組成物を用いて基板上に層を形成する工程、（ｉｉ）感光性着色組成物層を波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光で露光する工程、（ｉｉｉ）感光性着色組成物層をアルカリ現像する工程および（ｉｖ）感光性着色組成物層を波長２５４〜３５０ｎｍの光で露光する工程をこの順に有し、感光性着色組成物として、（ａ）メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である重合開始剤、（ｂ）メタノール中でのは波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である重合開始剤、（ｃ）不飽和二重結合を有する化合物、（ｄ）アルカリ可溶性樹脂、および（ｅ）色材を含有し、感光性着色組成物の全固形分中、（ａ）重合開始剤の含有量が１．５〜１０質量％であり、（ｂ）重合開始剤の含有量が１．５〜７．５質量％である感光性着色組成物を用いる、カラーフィルタの製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１４３３３０号公報
【特許文献２】特開２０１５−４１０５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、近年ではカラーフィルタをより低温で製造することが検討されている。
一方で、本発明者が、色材とアルカリ可溶性樹脂とを含む感光性着色組成物について検討を進めたところ、このような感光性着色組成物を低温で硬化して硬化膜を形成した場合、得られた硬化膜は現像液に対する耐色抜け性が低い傾向にあることが分かった。【０００７】
よって、本発明は現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成できる感光性着色組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は鋭意検討した結果、後述する特定の光重合開始剤と、重合性基を有する色材とを含む感光性着色組成物は、低温で硬化しても、現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下の通りである。
＜１＞  メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍを超える光重合開始剤ａと、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ｂと、
アルカリ可溶性樹脂と、
重合性基を有する色材と、を含有する感光性着色組成物であって、
感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤ａの含有量が１．５質量％以上であり、光重合開始剤ｂの含有量が１．５質量％以上である、感光性着色組成物。
＜２＞  光重合開始剤ａのメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である、＜１＞に記載の感光性着色組成物。
＜３＞  光重合開始剤ａがオキシム化合物である、＜１＞または＜２＞に記載の感光性着色組成物。
＜４＞  光重合開始剤ｂがヒドロキシアセトフェノン化合物である、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の感光性着色組成物。
＜５＞  光重合開始剤ｂの１００質量部に対して、光重合開始剤ａを５０〜５００質量部含有する、＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の感光性着色組成物。
＜６＞  感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとの合計の含有量が３〜１７質量％である、＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の感光性着色組成物。
＜７＞  色材は色素多量体である、＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感光性着色組成物。
＜８＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の感光性着色組成物を硬化して得られる硬化膜。
＜９＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の感光性着色組成物を用いて支持体上に感光性着色組成物層を形成する工程と、
感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する工程と、
露光後の感光性着色組成物層をアルカリ現像する工程と、
現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４〜３５０ｎｍの光を照射して露光する工程と、を有するパターンの形成方法。
＜１０＞  ＜８＞に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
＜１１＞  ＜８＞に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
＜１２＞  ＜８＞に記載の硬化膜を有する画像表示装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成できる感光性着色組成物を提供することができる。また、硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計質量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。
【００１１】
＜感光性着色組成物＞
本発明の感光性着色組成物は、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍを超える光重合開始剤ａと、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ｂと、
アルカリ可溶性樹脂と、
重合性基を有する色材と、を含有する感光性着色組成物であって、
感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤ａの含有量が１．５質量％以上であり、光重合開始剤ｂの含有量が１．５質量％以上であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤として光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとをそれぞれ上記所定の割合で含むので、露光によって硬化膜の深部までしっかりと硬化させることができる。そして、本発明では、重合性基を有する色材を用いるので、感光性着色組成物の硬化時において、色材の重合性基が、感光性着色組成物の色材以外の成分と反応して硬化膜中に色材が取り込まれやすくなり、現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成することができる。このため、現像後の色抜けを効果的に抑制できる。例えば、複数色の感光性着色組成物を用いて各色の硬化膜のパターン（画素）を順次形成して複数色の画素を有するカラーフィルタを製造する場合、２色目以降の画素の形成時に、それよりも前の工程で形成した画素も現像液に曝されるが、本発明の感光性着色組成物を用いることで、現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成することができるので、２色目以降の画素の形成時においてそれより前に形成した画素からの色抜けを抑制できる。
また、本発明の感光性着色組成物によれば、最初の露光（現像前の露光）では、感光性着色組成物を適度に硬化させることができる。このため、矩形性の良いパターンを形成することができる。そして、次の露光（現像後の露光）で感光性着色組成物全体をほぼ硬化させることができる。このため、優れたパターン形成性を有しつつ、現像液に対する耐色抜け性に優れたパターンを形成することもできる。
また、本発明の感光性着色組成物は、重合性基を有する色材として、重合性基を有する染料を用いた場合において特に顕著な効果が得られる。色材として染料を用いた場合、現像液に対する親和性が高い傾向にあり、現像液に対する色抜けが生じやすい傾向にあった。このため、従来の感光性着色組成物では高温での加熱処理を行い、膜を十分に硬化させる必要があった。しかしながら、本発明の感光性着色組成物によれば、重合性基を有する染料を用いることで、低温で硬化しても現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成することができるので特に本発明の効果が顕著である。また、染料を用いることでより鮮明で色価の高い硬化膜を形成することもできる。
【００１３】
以下、本発明の感光性着色組成物について詳細に説明する。
【００１４】
＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル化合物、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物などが挙げられる。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２６５〜０２６８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００１５】
本発明は、光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。そのような光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０−５２７３３９号公報、特表２０１１−５２４４３６号公報、国際公開ＷＯ２０１５／００４５６５号公報、特表２０１６−５３２６７５号公報の段落番号０４１７〜０４１２、国際公開ＷＯ２０１７／０３３６８０号公報の段落番号００３９〜００５５に記載されているオキシム化合物の２量体や、特表２０１３−５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開ＷＯ２０１６／０３４９６３号公報に記載されているＣｍｐｄ１〜７などが挙げられる。
【００１６】
フェニルグリオキシレート化合物としては、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステルなどが挙げられる。市販品としては、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＭＢＦ（ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【００１７】
アミノアセトフェノン化合物としては、例えば、特開平１０−２９１９６９号公報に記載のアミノアセトフェノン化合物が挙げられる。また、アミノアセトフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９（いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることもできる。
【００１８】
アシルホスフィン化合物としては、特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィン化合物が挙げられる。具体例としては、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。アシルホスフィン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることもできる。
【００１９】
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、下記式（Ｖ）で表される化合物が挙げられる。
式（Ｖ）
【化１】
2019065001.tif 000002
式中Ｒｖ１は、置換基を表し、Ｒｖ２およびＲｖ３は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表し、Ｒｖ２とＲｖ３とが互いに結合して環を形成していてもよく、ｍは０〜４の整数を表す。
【００２０】
Ｒｖ１が表す置換基としては、アルキル基（好ましくは、炭素数１〜１０のアルキル基）、アルコキシ基（好ましくは、炭素数１〜１０のアルコキシ基）が挙げられる。アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒｖ１が表すアルキル基およびアルコキシ基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシル基や、ヒドロキシアセトフェノン構造を有する基などが挙げられる。ヒドロキシアセトフェノン構造を有する基としては、式（Ｖ）におけるＲｖ１が結合したベンゼン環またはＲｖ１から水素原子を１個除去した構造の基が挙げられる。
【００２１】
Ｒｖ２およびＲｖ３は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す。置換基としては、アルキル基（好ましくは炭素数１〜１０のアルキル基）が好ましい。また、Ｒｖ２とＲｖ３は互いに結合して環（好ましくは炭素数４〜８の環、より好ましくは、炭素数４〜８の脂肪族環）を形成していてもよい。アルキル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。
【００２２】
式（Ｖ）で表される化合物の具体例としては、下記化合物が挙げられる。
【化２】
2019065001.tif 000003
【００２３】
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることもできる。
【００２４】
オキシム化合物としては、例えば、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物を用いることができる。また、オキシム化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１６５３−１６６０、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２−２３２）、特開２０００−６６３８５号公報、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報、特開２００６−３４２１６６号公報に記載された化合物等を用いることもできる。オキシム化合物の具体例としては、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）などが挙げられる。市販品ではＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）が好適に用いられる。また、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＴＲＯＮＬＹ  ＮＥＷ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＣＯ．，ＬＴＤ）製）、アデカアークルズＮＣＩ−９３０、アデカオプトマーＮ−１９１９（特開２０１２−１４０５２号公報の光重合開始剤２）（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）を用いることができる。
【００２５】
また、オキシム化合物としては、カルバゾール環のＮ位にオキシムが連結した特表２００９−５１９９０４号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第７６２６９５７号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開２０１０−１５０２５号公報および米国特許公開２００９−２９２０３９号に記載の化合物、国際公開ＷＯ２００９／１３１１８９号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許第７５５６９１０号公報に記載の化合物、４０５ｎｍに極大吸収を有し、ｇ線光源に対して良好な感度を有する特開２００９−２２１１１４号公報に記載の化合物などを用いてもよい。好ましくは、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２７４〜０３０６を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００２６】
また、オキシム化合物として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【００２７】
また、オキシム化合物として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。
【００２８】
また、オキシム化合物として、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開ＷＯ２０１３／０８３５０５号公報に記載の化合物が挙げられる。
【００２９】
また、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【００３０】
また、オキシム化合物として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【００３１】
オキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３２】
【化３】
2019065001.tif 000004
【化４】
2019065001.tif 000005
【００３３】
本発明では、光重合開始剤として、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍを超える光重合開始剤ａ（以下、光重合開始剤ａともいう）と、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ｂ（以下、光重合開始剤ｂともいう）と、を併用する。光重合開始剤ａおよび光重合開始剤ｂとしては、上述した化合物のなかから上記の吸光係数を有する化合物を選択して用いることができる。
【００３４】
なお、本発明において、光重合開始剤の上記波長における吸光係数は、以下のようにして測定した値である。すなわち、光重合開始剤をメタノールに溶解させて測定溶液を調製し、前述の測定溶液の吸光度を測定することで算出した。具体的には、前述の測定溶液を幅１ｃｍのガラスセルに入れ、Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製ＵＶ−Ｖｉｓ−ＮＩＲスペクトルメーター（Ｃａｒｙ５０００）を用いて吸光度を測定し、下記式に当てはめて、波長３６５ｎｍおよび波長２５４ｎｍにおける吸光係数（ｍＬ／ｇｃｍ）を算出した。
【数１】
2019065001.tif 000006
上記式においてεは吸光係数（ｍＬ／ｇｃｍ）、Ａは吸光度、ｃは光重合開始剤の濃度（ｇ／ｍＬ）、ｌは光路長（ｃｍ）を表す。
【００３５】
光重合開始剤ａのメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍを超える値であり、１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上であることが好ましく、１．０×１０３〜１．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、２．０×１０３〜９．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましく、３．０×１０３〜８．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍであることが特に好ましい。
また、光重合開始剤ａのメタノール中での波長２５４ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０４〜１．０×１０５ｍＬ／ｇｃｍであることが好ましく、１．５×１０４〜９．５×１０４ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、３．０×１０４〜８．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましい。
【００３６】
光重合開始剤ａとしては、オキシム化合物、アミノアセトフェノン化合物、アシルホスフィン化合物が好ましく、オキシム化合物およびアシルホスフィン化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光重合開始剤ａの具体例としては、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＢＡＳＦ社製）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＢＡＳＦ社製）、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＢＡＳＦ社製）、上記のオキシム化合物の具体例で示した（Ｃ−１３）の化合物などが挙げられる。
【００３７】
光重合開始剤ｂのメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、１０〜１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍであることが好ましく、２０〜１．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましい。また、光重合開始剤ａのメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数と、光重合開始剤ｂのメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数との差は、９．０×１０２ｍＬ／ｇｃｍ以上であることが好ましく、９．０×１０２〜１．０×１０５ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、９．０×１０２〜１．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましい。また、光重合開始剤ｂのメタノール中での波長２５４ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上であり、１．０×１０３〜１．０×１０６ｍＬ／ｇｃｍであることが好ましく、５．０×１０３〜１．０×１０５ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、１．０×１０４〜５．０×１０５ｍＬ／ｇｃｍがさらに好ましい。
【００３８】
光重合開始剤ｂとしては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物、アミノアセトフェノン化合物、アシルホスフィン化合物が好ましく、ヒドロキシアセトフェノン化合物およびフェニルグリオキシレート化合物がより好ましく、ヒドロキシアセトフェノン化合物が更に好ましい。また、ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、上述した式（Ｖ）で表される化合物が好ましい。光重合開始剤ｂの具体例としては、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＢＡＳＦ社製）、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【００３９】
光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとの組み合わせとしては、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光の吸収係数、および、波長２５４ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の光の吸収係数を高めることができるという理由から、光重合開始剤ａがオキシム化合物であり、光重合開始剤ｂがヒドロキシアセトフェノン化合物である組み合わせが好ましく、光重合開始剤ａがオキシム化合物であり、光重合開始剤ｂが上述した式（Ｖ）で表される化合物である組み合わせがより好ましい。
【００４０】
光重合開始剤ａの含有量は、本発明の感光性着色組成物の全固形分中１．５質量％以上であり、１．５〜１５質量％が好ましい。現像後の硬化膜（パターン）の支持体への密着性の観点から光重合開始剤ａの含有量の下限は、２質量％以上であることが好ましく、３質量％以上であることがより好ましく、５質量％以上であることが更に好ましい。現像パターンの微細化の観点から光重合開始剤ａの含有量の上限は、１４．５質量％以下であることが好ましく、１２．５質量％以下であることがより好ましく、９質量％以下であることが更に好ましい。光重合開始剤ａは１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。光重合開始剤ａを２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲となることが好ましい。
【００４１】
光重合開始剤ｂの含有量は、本発明の感光性着色組成物の全固形分中１．５質量％以上であり、１．５〜１０質量％が好ましい。得られる硬化膜の耐色抜け性の観点から光重合開始剤ｂの含有量の下限は、１．６質量％以上であることが好ましく、２質量％以上であることがより好ましく、３質量％以上であることが更に好ましい。現像パターンの微細化の観点から光重合開始剤ｂの含有量の上限は、９．５質量％以下であることが好ましく、７．５質量％以下であることがより好ましく、５質量％以下であることが更に好ましい。光重合開始剤ｂは１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。光重合開始剤ｂを２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲となることが好ましい。
【００４２】
本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤ｂの１００質量部に対して、光重合開始剤ａを５０〜５００質量部含有することが好ましい。耐色抜け性に優れた硬化膜を形成し易いという理由から上限は、４００質量部以下であることが好ましく、３５０質量部以下であることがより好ましい。また、現像後の残膜率が高く、支持体との密着性に優れた硬化膜を形成し易いという理由から下限は、１００質量部以上であることが好ましく、１５０質量部以上であることが更に好ましい。
【００４３】
本発明の感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとの合計の含有量は、３〜１７質量％以上であることが好ましい。組成物の経時安定性の観点から下限は、３．２質量％以上であることが好ましく、３．５質量％以上であることがより好ましく、４．５質量％以上であることが更に好ましい。現像パターンの微細化の観点から上限は、１６質量％以下であることが好ましく、１５質量％以下であることがより好ましく、１４質量％以下であることが更に好ましい。
【００４４】
本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤として光重合開始剤ａおよび光重合開始剤ｂ以外の光重合開始剤（以下、他の光重合開始剤ともいう）を含有することもできるが、他の光重合開始剤は実質的に含有しないことが好ましい。他の光重合開始剤を実質的に含有しない場合とは、他の光重合開始剤の含有量が、光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとの合計１００質量部に対して１質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以下であることがより好ましく、０．１質量部以下であることが更に好ましく、他の光重合開始剤を含有しないことが一層好ましい。
【００４５】
＜＜重合性基を有する色材＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合性基を有する色材を含有する。重合性基を有する色材は、顔料であってもよく、染料であってもよいが、染料であることが好ましい。すなわち、重合性基を有する色材は、重合性基を有する染料であることが好ましい。色材として染料を含む感光性着色組成物を用いて得られる硬化膜は、現像液によって色抜けが生じやすい傾向にあったが、染料として重合性基を有するものを用いることにより、低温で硬化しても現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成できる。このため、本発明の効果がより顕著である。
なお、本明細書において、染料とは、水または有機溶剤に溶解する色素化合物を指す。たとえば、２５℃のシクロヘキサノンまたはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に対して０．１質量％以上溶解する色素化合物が好ましい。
【００４６】
重合性基を有する色材は、トリアリールメタン色素構造、キサンテン色素構造、アントラキノン色素構造、シアニン色素構造、スクアリリウム色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、サブフタロシアニン色素構造、アゾ色素構造、ピラゾロトリアゾール色素構造、ジピロメテン色素構造、イソインドリン色素構造、チアゾール色素構造、ベンズイミダゾロン色素構造、ぺリノン色素構造、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、ジインモニウム色素構造、ナフタロシアニン色素構造、リレン色素構造、ジベンゾフラノン色素構造、メロシアニン色素構造、クロコニウム色素構造およびオキソノール色素構造から選ばれる色素構造を有する化合物であることが好ましく、トリアリールメタン色素構造、キサンテン色素構造、アントラキノン色素構造、シアニン色素構造、スクアリリウム色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、サブフタロシアニン色素構造、アゾ色素構造、チアゾール色素構造、ピラゾロトリアゾール色素構造およびジピロメテン色素構造から選ばれる色素構造を有する化合物であることがより好ましく、トリアリールメタン色素構造、キサンテン色素構造およびジピロメテン色素構造から選ばれる色素構造を有する化合物であることが更に好ましく、トリアリールメタン色素構造またはキサンテン色素構造を有する化合物であることが特に好ましい。
【００４７】
（トリアリールメタン色素構造を有する化合物）
トリアリールメタン色素構造を有する化合物としては、下記式（ＴＰ）で表される化合物が挙げられる。
【００４８】
式（ＴＰ）
【化５】
2019065001.tif 000007
【００４９】
式（ＴＰ）中、Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ４は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ｒｔｐ５は、水素原子、アルキル基、アリール基またはＮＲｔｐ９Ｒｔｐ１０（Ｒｔｐ９およびＲｔｐ１０は水素原子、アルキル基またはアリール基を表す）を表す。Ｒｔｐ６、Ｒｔｐ７およびＲｔｐ８は、置換基を表す。ａ、ｂおよびｃは、０〜４の整数を表す。ａ、ｂおよびｃが２以上の場合、Ｒｔｐ６同士、Ｒｔｐ７同士およびＲｔｐ８同士は、それぞれ連結して環を形成してもよい。Ｘはアニオンを表す。Ｘが存在しない場合は、Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ８の少なくとも１つがアニオンを含む。Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ８の少なくとも１つが重合性基を含む。
【００５０】
Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ４は水素原子、炭素数１〜５の直鎖または分岐のアルキル基およびフェニル基が好ましい。Ｒｔｐ５は、水素原子またはＮＲｔｐ９Ｒｔｐ１０が好ましく、ＮＲｔｐ９Ｒｔｐ１０が特に好ましい。Ｒｔｐ９およびＲｔｐ１０は、水素原子、炭素数１〜５の直鎖若しくは分岐のアルキル基またはフェニル基が好ましい。Ｒｔｐ６、Ｒｔｐ７およびＲｔｐ８が表す置換基は、後述する置換基Ｔ群で挙げた基や重合性基が挙げられる。
【００５１】
式（ＴＰ）において、Ｘは対アニオンを表す。Ｘが存在しない場合は、Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ８の少なくとも１つがアニオンを含む。対アニオンとしては、特に制限は無い。有機アニオンであってもよく、無機アニオンであってもよい。対アニオンは有機アニオンが好ましい。対アニオンとしては、フッ素アニオン、塩素アニオン、臭素アニオン、ヨウ素アニオン、シアン化物イオン、過塩素酸アニオン、非求核性のアニオンなどが挙げられる。耐熱性の観点で非求核性のアニオンであることが好ましい。対アニオンの例として、特開２００７−３１０３１５号公報の段落番号００７５に記載の公知の非求核性アニオンが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ここで、非求核性とは、加熱により色素を求核攻撃しない性質を意味する。
【００５２】
対アニオンは、イミドアニオン（例えばビス（スルホニル）イミドアニオン）、トリス（スルホニル）メチルアニオン、ホウ素原子を有するアニオンが好ましく、ビス（スルホニル）イミドアニオンおよびトリス（スルホニル）メチルアニオンがより好ましく、ビス（スルホニル）イミドアニオンがより好ましい。ホウ素原子を有するアニオンとしては、テトラフルオロボレートアニオン、テトラフェニルボレートアニオン、テトラパーフルオロフェニルボレートアニオンなどが挙げられる。対アニオンの分子量は、１００〜１，０００が好ましく、２００〜５００がより好ましい。
【００５３】
式（ＴＰ）において、ａ、ｂまたはｃは、それぞれ独立に０〜４の整数を表す。特にａおよびｃは、それぞれ、０または１が好ましく、０がより好ましい。ｂは０〜２の整数が好ましく、０または２がより好ましい。
【００５４】
式（ＴＰ）において、Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ７の少なくとも１つがアニオンを含む場合、アニオンとしては、−ＳＯ３−、−ＣＯＯ−、−ＰＯ４−、ビス（スルホニル）イミドアニオン、トリス（スルホニル）メチドアニオンおよびテトラアリールボレートアニオンが好ましく、ビス（スルホニル）イミドアニオン、トリス（スルホニル）メチドアニオンおよびテトラアリールボレートアニオンがより好ましく、ビス（スルホニル）イミドアニオンおよびトリス（スルホニル）メチドアニオンが更に好ましい。具体的には、Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ７の少なくとも１つが、式（Ｐ）で置換された構造が挙げられる。
式（Ｐ）
【化６】
2019065001.tif 000008
式（Ｐ）中、Ｌは単結合または２価の連結基を表し、Ｘ１は、アニオンを表す。
【００５５】
式（Ｐ）中、Ｌは単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、−ＮＲ１０−、−Ｏ−、−ＳＯ２−、フッ素原子を含むアルキレン基、フッ素原子を含むアリーレン基またはこれらの組み合わせからなる基を表すことが好ましい。特に、−ＮＲ１０−と−ＳＯ２とフッ素原子を含むアルキレン基との組み合わせからなる基、−Ｏ−とフッ素原子を含むアリーレン基との組み合わせからなる基、または、−ＮＲ１０−と−ＳＯ２とフッ素原子を含むアルキレン基との組み合わせからなる基が好ましい。
−ＮＲ１０−において、Ｒ１０は、水素原子または炭素数１〜５のアルキル基を表し、水素原子が好ましい。
フッ素原子を含むアルキレン基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましく、１〜３がさらに好ましい。これらのアルキレン基は、パーフルオロアルキレン基がより好ましい。フッ素置換アルキレン基の具体例としては、ジフルオロメチレン基、テトラフルオロエチレン基、ヘキサフルオロプロピレン基などが挙げられる。
フッ素原子を含むアリーレン基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１４がより好ましく、６〜１０がさらに好ましい。フッ素原子を含むアリーレン基の具体例としては、テトラフルオロフェニレン基、ヘキサフルオロ−１−ナフチレン基、ヘキサフルオロ−２−ナフチレン基などが挙げられる。
【００５６】
式（Ｐ）中、Ｘ１は、アニオンを表し、−ＳＯ３−、−ＣＯＯ−、−ＰＯ４−、ビス（スルホニル）イミドアニオン、トリス（スルホニル）メチドアニオンおよびテトラアリールボレートアニオンから選ばれる１種が好ましく、ビス（スルホニル）イミドアニオン、トリス（スルホニル）メチドアニオンおよびテトラアリールボレートアニオンから選ばれる１種がより好ましく、ビス（スルホニル）イミドアニオンまたはトリス（スルホニル）メチドアニオンが更に好ましい。
【００５７】
Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ８の少なくとも１つがアニオンを含む場合、Ｒｔｐ１〜Ｒｔｐ８の少なくとも１つが、式（Ｐ−１）で置換された構造も好ましい。
式（Ｐ−１）
【化７】
2019065001.tif 000009
式（Ｐ−１）中、Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表し、単結合であることが好ましい。Ｌ１が表す２価の連結基としては、炭素数１〜６のアルキレン基、炭素数６〜１２のアリーレン基、−Ｏ−、−Ｓ−、またはこれらの組み合わせからなる基等が挙げられる。Ｌ２は、−ＳＯ２−または−ＣＯ−を表す。Ｇは、炭素原子または窒素原子を表す。ｎ１は、Ｇが炭素原子の場合２を表し、Ｇが窒素原子の場合１を表す。Ｒ６は、フッ素原子を含むアルキル基またはフッ素原子を含むアリール基を表す。ｎ１が２の場合、２つのＲ６はそれぞれ同一でも異なっていても良い。Ｒ６が表すフッ素原子を含むアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましく、１〜３がさらに好ましい。Ｒ６が表すフッ素原子を含むアリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１４がより好ましく、６〜１０がさらに好ましい。
【００５８】
（キサンテン色素構造を有する化合物）
キサンテン色素構造を有する化合物としては、下記式（Ｊ）で表される化合物が挙げられる。
【００５９】
（式Ｊ）
【化８】
2019065001.tif 000010
【００６０】
式（Ｊ）中、Ｒ８１、Ｒ８２、Ｒ８３およびＲ８４は、各々独立に、水素原子または１価の置換基を表し、Ｒ８５は、各々独立に１価の置換基を表し、ｍは、０〜５の整数を表す。Ｘは、対アニオンを表す。Ｘが存在しない場合は、Ｒ８１〜Ｒ８５の少なくとも１つがアニオンを含む。Ｒ８１〜Ｒ８５の少なくとも１つが重合性基を含む。
【００６１】
式（Ｊ）におけるＲ８１〜Ｒ８５が取りうる置換基は、後述する置換基Ｔで挙げた基や、重合性基が挙げられる。式（Ｊ）中のＲ８１とＲ８２、Ｒ８３とＲ８４、およびｍが２以上の場合のＲ８５同士は、各々独立に、互いに結合して５員、６員若しくは７員の飽和環、または５員、６員若しくは７員の不飽和環を形成していてもよい。形成する環としては、例えば、ピロール環、フラン環、チオフェン環、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピロリジン環、ピペリジン環、シクロペンテン環、シクロヘキセン環、ベンゼン環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環が挙げられ、好ましくは、ベンゼン環、ピリジン環が挙げられる。
形成される環が、さらに置換可能な基である場合には、Ｒ８１〜Ｒ８５で説明した置換基で置換されていてもよく、２個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
【００６２】
式（Ｊ）において、Ｘは、対アニオンを表す。対アニオンとしては、上述した式（ＴＰ）で説明した対アニオンが挙げられる。Ｘが存在しない場合は、Ｒ８１〜Ｒ８５の少なくとも１つがアニオンを含む。また、式（Ｊ）において、Ｒ８１〜Ｒ８５の少なくとも１つがアニオンを含む場合、アニオンとしては、上述した式（ＴＰ）で説明したアニオンが挙げられる。
【００６３】
（ジピロメテン色素構造を有する化合物）
ジピロメテン色素構造を有する化合物としては、ジピロメテン化合物、および、ジピロメテン化合物と金属または金属化合物とから得られるジピロメテン金属錯体化合物が好ましい。たとえば、式（ＰＭ）で表されるジピロメテン色素が好ましい。
式（ＰＭ）
【化９】
2019065001.tif 000011
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、及びＲ６は、各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、Ｒ７は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。これらの置換基としては、後述する置換基Ｔ群が挙げられる。Ｒ１〜Ｒ７の少なくとも１つが重合性基を含む。
【００６４】
ジピロメテン金属錯体化合物を形成する金属又は金属化合物について説明する。金属又は金属化合物としては、錯体を形成可能な金属原子又は金属化合物であればいずれであってもよく、２価の金属原子、２価の金属酸化物、２価の金属水酸化物、又は２価の金属塩化物が含まれる。例えば、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｂ等の他に、ＡｌＣｌ、ＩｎＣｌ、ＦｅＣｌ、ＴｉＣｌ２、ＳｎＣｌ、ＳｉＣｌ２、ＧｅＣｌ２などの金属塩化物、ＴｉＯ、ＶＯ等の金属酸化物、Ｓｉ（ＯＨ）２等の金属水酸化物も含まれる。これらの中でも、錯体の安定性、分光特性、耐熱、耐光性、及び製造適性等の観点から、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、ＴｉＯ、Ｂ、又はＶＯが好ましく、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｂ、又はＶＯが更に好ましく、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｂ、又はＶＯ（Ｖ＝Ｏ）が最も好ましい。これらの中でも、特にＺｎが好ましい。
【００６５】
ジピロメテン色素構造の詳細は、特開２０１４−１３２３４８号公報の段落００４５〜００９５の記載、特開２０１１−９５７３２号公報の段落００３３〜０１３６の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００６６】
（置換基Ｔ群）
置換基Ｔ群として、次の基が挙げられる。アルキル基（好ましくは炭素数１〜３０のアルキル基）、アルケニル基（好ましくは炭素数２〜３０のアルケニル基）、アルキニル基（好ましくは炭素数２〜３０のアルキニル基）、アリール基（好ましくは炭素数６〜３０のアリール基）、アミノ基（好ましくは炭素数０〜３０のアミノ基）、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜３０のアルコキシ基）、アリールオキシ基（好ましくは炭素数６〜３０のアリールオキシ基）、ヘテロアリールオキシ基、アシル基（好ましくは炭素数１〜３０のアシル基）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜３０のアルコキシカルボニル基）、アリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜３０のアリールオキシカルボニル基）、アシルオキシ基（好ましくは炭素数２〜３０のアシルオキシ基）、アシルアミノ基（好ましくは炭素数２〜３０のアシルアミノ基）、アルコキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数２〜３０のアルコキシカルボニルアミノ基）、アリールオキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数７〜３０のアリールオキシカルボニルアミノ基）、スルファモイル基（好ましくは炭素数０〜３０のスルファモイル基）、カルバモイル基（好ましくは炭素数１〜３０のカルバモイル基）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１〜３０のアルキルチオ基）、アリールチオ基（好ましくは炭素数６〜３０のアリールチオ基）、ヘテロアリールチオ基（好ましくは炭素数１〜３０）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１〜３０）、アリールスルホニル基（好ましくは炭素数６〜３０）、ヘテロアリールスルホニル基（好ましくは炭素数１〜３０）、アルキルスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜３０）、アリールスルフィニル基（好ましくは炭素数６〜３０）、ヘテロアリールスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜３０）、ウレイド基（好ましくは炭素数１〜３０）、ヒドロキシル基、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基、カルボン酸アミド基、スルホン酸アミド基、イミド酸基、メルカプト基、ハロゲン原子、シアノ基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基、ヘテロアリール基（好ましくは炭素数１〜３０）。これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔで説明した基が挙げられる。
【００６７】
色材が有する重合性基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などのエチレン性不飽和基が挙げられる。
【００６８】
重合性基を有する色材は、現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜を形成し易いという理由から、色素多量体であることが好ましい。色素多量体とは、一分子中に、色素構造を２以上有する色素化合物であり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。なお、本発明において、異なる色素構造とは、色素骨格が異なる色素構造のみならず、色素骨格が同一であって、かつ、色素骨格に結合している置換基の種類が異なる色素構造を含むこととする。
【００６９】
色素多量体としては、後述する式（Ａ）で表される繰り返し単位、式（Ｂ）で表される繰り返し単位、及び、式（Ｃ）で表される繰り返し単位の少なくとも一つを含む色素多量体、又は後述する式（Ｄ）で表される色素多量体が好ましい。すなわち、色素多量体は、式（Ａ）で表される繰り返し単位を有する色素多量体（色素多量体（Ａ）ともいう）、式（Ｂ）で表される繰り返し単位を有する色素多量体（色素多量体（Ｂ）ともいう）、式（Ｃ）で表される繰り返し単位を有する色素多量体（色素多量体（Ｃ）ともいう）、および、式（Ｄ）で表される色素多量体（色素多量体（Ｄ）ともいう）が好ましく、色素多量体（Ａ）または色素多量体（Ｄ）がより好ましい。
【００７０】
（色素多量体（Ａ））
色素多量体（Ａ）は、式（Ａ）で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。式（Ａ）で表される繰り返し単位の割合は、色素多量体（Ａ）を構成する全繰り返し単位の１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましく、５０質量％以上が特に好ましい。上限は、１００質量％以下とすることもでき、９５質量％以下とすることもできる。
【化１０】
2019065001.tif 000012
式（Ａ）中、Ｘ１は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ１は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ１は色素構造を表す。
【００７１】
式（Ａ）中、Ｘ１は繰り返し単位の主鎖を表す。Ｘ１は、重合反応で形成される連結基などが挙げられ、（メタ）アクリル基、スチレン基、ビニル基、エーテル基を有する化合物由来の主鎖が好ましい。また、主鎖が環状のアルキレン基を有する態様も好ましい。Ｘ１としては、公知の重合可能なモノマーから形成される連結基であれば特に制限ない。下記（ＸＸ−１）〜（ＸＸ−２５）で表される連結基が好ましく、（ＸＸ−１）、（ＸＸ−２）、（ＸＸ−１０）〜（ＸＸ−１７）、（ＸＸ−１８）、（ＸＸ−１９）、（ＸＸ−２４）および（ＸＸ−２５）から選択されることがより好ましく、（ＸＸ−１）、（ＸＸ−２）、（ＸＸ−１０）〜（ＸＸ−１７）、（ＸＸ−２４）および（ＸＸ−２５）から選択されることがさらに好ましい。
【００７２】
以下の式中、＊は、式（Ａ）のＬ１との結合部位である。Ｍｅはメチル基を表す。また、（ＸＸ−１８）および（ＸＸ−１９）中のＲは、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基またはフェニル基を表す。
【００７３】
【化１１】
2019065001.tif 000013
【００７４】
Ｌ１は単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭素数１〜３０のアルキレン基、炭素数６〜３０のアリーレン基、ヘテロ環連結基、−ＣＨ＝ＣＨ−、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＣＯＯ−、−ＮＲ−、−ＣＯＮＲ−、−ＯＣＯ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−およびこれらを２個以上連結して形成される連結基が挙げられる。ここで、Ｒは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、またはヘテロアリール基を表す。
【００７５】
アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましい。上限は、２５以下がより好ましく、２０以下が更に好ましい。下限は、２以上がより好ましく、３以上が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、置換基Ｔ群で説明した基が挙げられる。
アリーレン基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１２がより好ましい。アリーレン基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、置換基Ｔ群で説明した基が挙げられる。
ヘテロ環連結基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環連結基が有するヘテロ原子は、酸素原子、窒素原子および硫黄原子が好ましい。ヘテロ環連結基が有するヘテロ原子の数は、１〜３個が好ましい。ヘテロ環連結基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、置換基Ｔ群で説明した基が挙げられる。
【００７６】
Ｄ１は、色素構造を表す。Ｄ１が表す色素構造の種類としては特に限定は無い。トリアリールメタン色素構造、キサンテン色素構造、アントラキノン色素構造、シアニン色素構造、スクアリリウム色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、サブフタロシアニン色素構造、アゾ色素構造、ピラゾロトリアゾール色素構造、ジピロメテン色素構造、イソインドリン色素構造、チアゾール色素構造、ベンズイミダゾロン色素構造、ぺリノン色素構造、ピロロピロール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、ジインモニウム色素構造、ナフタロシアニン色素構造、リレン色素構造、ジベンゾフラノン色素構造、メロシアニン色素構造、クロコニウム色素構造、オキソノール色素構造などが挙げられる。Ｄ１が表す色素構造は、重合性基を含んでいてもよい。
【００７７】
色素多量体（Ａ）は、式（Ａ）で表される繰り返し単位のほかに、さらに、重合性基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。なお、上述した式（Ａ）のＤ１が表す色素構造が、重合性基を有さない場合においては、色素多量体（Ａ）は、重合性基を有する繰り返し単位を有する。
【００７８】
色素多量体（Ａ）は、式（Ａ）で表される繰り返し単位の他に、他の繰り返し単位を含んでいてもよい。他の繰り返し単位は、重合性基、酸基等の官能基を含んでいてもよい。官能基を含んでいなくてもよい。なお、上述した式（Ａ）のＤ１が表す色素構造が、重合性基を有さない場合においては、色素多量体（Ａ）は、重合性基を有する繰り返し単位を有する。
【００７９】
重合性基を有する繰り返し単位の割合は、色素多量体（Ａ）を構成する全繰り返し単位の０〜５０質量％であることが好ましい。下限は、１質量％以上がより好ましく、３質量％以上が更に好ましい。上限は、３５質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。
【００８０】
酸基としては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基が例示される。酸基は１種類のみ含まれていても良いし、２種類以上含まれていても良い。酸基を有する繰り返し単位の割合は、色素多量体（Ａ）を構成する全繰り返し単位の０〜５０質量％であることが好ましい。下限は、１質量％以上がより好ましく、３質量％以上が更に好ましい。上限は、３５質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。
【００８１】
その他の官能基として、２〜２０個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基、ラクトン、酸無水物、アミド、シアノ基等の現像促進基、長鎖および環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、ポリアルキレンオキシド基、ヒドロキシル基、マレイミド基、アミノ基等の親疎水性調整基等が挙げられ、適宜導入することができる。２〜２０個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基において、アルキレンオキシ鎖の繰り返しの数は、２〜１５個が好ましく、２〜１０個がさらに好ましい。１つのアルキレンオキシ鎖は、−（ＣＨ２）ｎＯ−で表され、ｎは整数であるが、ｎは１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましく、２または３がさらに好ましい。
【００８２】
他の繰り返し単位の具体例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表す。
【化１２】
2019065001.tif 000014
【化１３】
2019065001.tif 000015
【００８３】
（色素多量体（Ｂ））
色素多量体（Ｂ）は、式（Ｂ）で表される繰り返し単位を含む。式（Ｂ）で表される繰り返し単位の割合は、色素多量体（Ｂ）を構成する全繰り返し単位の１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましく、５０質量％以上が特に好ましい。上限は、１００質量％以下とすることもでき、９５質量％以下とすることもできる。
【化１４】
2019065001.tif 000016
式（Ｂ）中、Ｘ２は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ２は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ２はＹ２とイオン結合もしくは配位結合可能な基を有する色素構造を表し、Ｙ２はＤ２とイオン結合または配位結合可能な基を表す；
【００８４】
Ｘ２は、式（Ａ）のＸ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。
Ｌ２は、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭素数１〜３０のアルキレン基、炭素数６〜３０のアリーレン基、ヘテロ環連結基、−ＣＨ＝ＣＨ−、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＣＯＯ−、−ＮＲ−、−ＣＯＮＲ−、−ＯＣＯ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−およびこれらを２個以上連結して形成される連結基が挙げられる。ここで、Ｒは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、またはヘテロアリール基を表す。２価の連結基の詳細については、式（Ａ）のＬ１と同じである。Ｌ２は、単結合、または、アルキレン基、アリーレン基、−ＮＨ−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−およびこれらを２以上組み合わせた２価の連結基が好ましい。
【００８５】
Ｙ２は、Ｄ２とイオン結合もしくは配位結合可能な基であればよい。たとえば、アニオン性基、カチオン性基などが挙げられる。アニオン性基としては、−ＳＯ３−、−ＣＯＯ−、−ＰＯ４−、−ＰＯ４Ｈ−、ビス（スルホニル）イミドアニオン、トリス（スルホニル）メチドアニオンおよびテトラアリールボレートアニオンなどが挙げられる。カチオン性基としては、置換又は無置換のオニウムカチオン（例えば、アンモニウム、ピリジニウム、イミダゾリウム及びホスホニウム等）が挙げられ、特にアンモニウムカチオンが好ましい。アンモニウムカチオンとしては、−Ｎ（Ｒ）３＋が挙げられる。Ｒは、それぞれ独立して、水素原子またはアルキル基を表し、Ｒの少なくとも１つは、アルキル基を表す。アルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖が好ましい。
【００８６】
Ｄ２は、Ｙ２とイオン結合もしくは配位結合可能な基を有する色素構造を表す。色素構造の種類としては、特に限定は無くＤ１で説明した種類の色素構造が挙げられる。Ｄ２が有するＹ２とイオン結合もしくは配位結合可能な基としては、Ｙ２で説明した、アニオン性基およびカチオン性基が挙げられる。また、Ｄ２の電荷のバランスがカチオンおよびアニオンのいずれかに偏っている場合は、Ｄ２のカチオン部またはアニオン部において、Ｙ２と結合することもできる。Ｄ２が表す色素構造は重合性基を有してもよい。
【００８７】
色素多量体（Ｂ）は、式（Ｂ）で表される繰り返し単位の他に、色素多量体（Ａ）で説明した他の繰り返し単位などを含んでいてもよい。また、上述した式（Ａ）で表される繰り返し単位、および、後述する式（Ｃ）で表される繰り返し単位を更に含んでいてもよい。なお、上述した式（Ｂ）のＤ２が表す色素構造が、重合性基を有さない場合においては、色素多量体（Ｂ）は、重合性基を有する繰り返し単位を有する。
【００８８】
（色素多量体（Ｃ））
色素多量体（Ｃ）は、式（Ｃ）で表される繰り返し単位を含むことが好ましい。式（Ｃ）で表される繰り返し単位の割合は、色素多量体（Ｃ）を構成する全繰り返し単位の１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましく、５０質量％以上が特に好ましい。上限は、１００質量％以下とすることもでき、９５質量％以下とすることもできる。
【化１５】
2019065001.tif 000017
式（Ｃ）中、Ｌ３は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ３は色素構造を表し、ｍは０または１を表す。
【００８９】
式（Ｃ）中、Ｌ３は単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭素数１〜３０のアルキレン基、炭素数６〜３０のアリーレン基、ヘテロ環連結基、−ＣＨ＝ＣＨ−、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ（＝Ｏ）−、−ＣＯＯ−、−ＮＲ−、−ＣＯＮＲ−、−ＯＣＯ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−およびこれらを２個以上連結して形成される連結基が挙げられる。ここで、Ｒは、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、またはヘテロ環基を表す。
【００９０】
アルキル基およびアルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましい。上限は、２５以下がより好ましく、２０以下が更に好ましい。下限は、２以上がより好ましく、３以上が更に好ましい。アルキル基およびアルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
アリール基およびアリーレン基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１２がより好ましい。
ヘテロ環連結基およびヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環連結基およびヘテロ環基が有するヘテロ原子は、酸素原子、窒素原子および硫黄原子が好ましい。ヘテロ環連結基およびヘテロ環基が有するヘテロ原子の数は、１〜３個が好ましい。
アルキレン基、アリーレン基、ヘテロ環連結基、アルキル基、アリール基、およびヘテロ環基は、無置換であってもよく、置換基を有してもよい。置換基としては、重合性基、酸基が挙げられる。また、２〜２０個の無置換のアルキレンオキシ鎖の繰り返しからなる基、ラクトン、酸無水物、アミド、シアノ基等の現像促進基、長鎖および環状アルキル基、アラルキル基、アリール基、ポリアルキレンオキシド基、ヒドロキシル基、マレイミド基、アミノ基等の親疎水性調整基等を置換基として有してもよい。
【００９１】
Ｌ３は、アルキレン基、アリーレン基、−ＮＨ−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらを２以上組み合わせた連結基が好ましい。
Ｄ３は色素構造を表す。色素構造の種類としては、特に限定は無くＤ１で説明した種類の色素構造が挙げられる。Ｄ３が表す色素構造は、重合性基を有してもよい。
ｍは０または１を表し、１が好ましい。
【００９２】
色素多量体（Ｃ）は、一般式（Ｃ）で表される繰り返し単位の他に、色素多量体（Ａ）で説明した他の繰り返し単位を含んでいてもよい。
【００９３】
（色素多量体（Ｄ））
色素多量体（Ｄ）は、式（Ｄ）で表されることが好ましい。
【化１６】
2019065001.tif 000018
式（Ｄ）中、Ｌ４は（ｎ＋ｋ）価の連結基を表し、Ｌ４１およびＬ４２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表し、Ｄ４は色素構造を表し、Ｐ４は置換基を表す；ｎは２〜１５を表し、ｋは０〜１３を表し、ｎ＋ｋは２〜１５である。ｎ個のＤ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｋが２以上の場合、複数のＰ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。
【００９４】
ｎは２〜１４が好ましく、２〜８がより好ましく、２〜７が特に好ましく、２〜６が一層好ましい。ｋは１〜１３が好ましく、１〜１０がより好ましく、１〜８がさらにより好ましく、１〜７が特に好ましく、１〜６が一層好ましい。
【００９５】
Ｌ４１、Ｌ４２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、１から１００個までの炭素原子、０個から１０個までの窒素原子、０個から５０個までの酸素原子、１個から２００個までの水素原子、および０個から２０個までの硫黄原子から成り立つ基が含まれ、無置換でも置換基を更に有していてもよい。２価の連結基は、具体的な例として、下記の構造単位または以下の構造単位が２以上組み合わさって構成される基を挙げることができる。
【００９６】
【化１７】
2019065001.tif 000019
【００９７】
Ｌ４が表す（ｎ＋ｋ）価の連結基としては、１から１００個までの炭素原子、０個から１０個までの窒素原子、０個から５０個までの酸素原子、１個から２００個までの水素原子、および０個から２０個までの硫黄原子から成り立つ基が含まれる。（ｎ＋ｋ）価の連結基としては、下記の構造単位または以下の構造単位が２以上組み合わさって構成される基（環構造を形成していてもよい）を挙げることができる。
【００９８】
【化１８】
2019065001.tif 000020
【００９９】
（ｎ＋ｋ）価の連結基の具体例としては、特開２００８−２２２９５０号公報の段落番号００７１〜００７２に記載された連結基、特開２０１３−０２９７６０号公報の段落番号０１７６に記載された連結基が挙げられる。
【０１００】
一般式（Ｄ）中、Ｄ４は色素構造を表す。色素構造の種類としては、特に限定は無くＤ１で説明した種類の色素構造が挙げられる。Ｄ４が表す色素構造は重合性基を含んでいてもよい。
【０１０１】
式（Ｄ）中、Ｐ４が表す置換基としては、酸基、重合性基等が挙げられる。また、Ｐ４が表す置換基は、繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖が好ましい。ｋが２以上の場合、ｋ個のＰ４は、同一であっても、異なっていてもよい。Ｄ４が表す色素構造が重合性基を含まない場合は、ｋ個のＰ４のうち１個以上は重合性基を表す。
【０１０２】
式（Ｄ）で表される色素多量体は、式（Ｄ−１）で表される構造が好ましい。
【化１９】
2019065001.tif 000021
【０１０３】
式（Ｄ−１）中、Ｌ４は（ｎ＋ｋ）価の連結基を表す。ｎは２〜１５を表し、ｋは０〜１３を表す。Ｄ４は、色素構造を表し、Ｐ４は、置換基を表す。Ｂ４１およびＢ４２は、それぞれ独立に、単結合、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−、−ＮＲ−、−Ｏ２Ｃ−、−ＣＯ２−、−ＮＲＯＣ−、または、−ＣＯＮＲ−を表す。Ｒは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ｃ４１およびＣ４２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表す。Ｓは、硫黄原子を表す。ｎ個のＤ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｋが２以上の場合、複数のＰ４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｎ＋ｋは２〜１５である。
【０１０４】
式（Ｄ−１）のＬ４、Ｄ４およびＰ４は、式（Ｄ）のＬ４、Ｄ４およびＰ４と同義である。
式（Ｄ−１）のＢ４１およびＢ４２は、単結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−Ｏ２Ｃ−、−ＣＯ２−、−ＮＲＯＣ−、または、−ＣＯＮＲ−が好ましく、単結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−Ｏ２Ｃ−または−ＣＯ２−がより好ましい。Ｒは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
【０１０５】
式（Ｄ−１）のＣ４１およびＣ４２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基およびこれらを組み合わせた基が好ましい。アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜１０がより好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。アリーレン基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜１２がより好ましい。
【０１０６】
色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００〜５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。上記範囲を満たすことにより、耐色抜け性に優れた硬化膜を製造しやすい。
【０１０７】
重合性基を有する色材の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、５〜４０質量％が好ましい。下限は、６質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が更に好ましい。上限は、３５質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましい。
また、重合性基を有する色材の含有量は、光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとの合計１００質量部に対して、２５〜５００質量部であることが好ましい。下限は、３０質量部以上がより好ましく、５０質量部以上が更に好ましく、１００質量部以上が特に好ましい。上限は、４５０質量部以下がより好ましく、４００質量部以下が更に好ましく、３５０質量部以下が特に好ましい。この範囲であれば、より現像液に対する耐色抜け性に優れた硬化膜が得られやすい。
【０１０８】
＜＜他の色材＞＞
本発明の感光性着色組成物は、更に、重合性基を有さない色材（以下、他の色材ともいう）を含有することができる。他の色材は、顔料、染料のいずれでよい。顔料としては、無機顔料、有機顔料が挙げられ、有機顔料であることが好ましい。顔料の平均粒径としては、２０〜３００ｎｍが好ましく、２５〜２５０ｎｍがより好ましく、３０〜２００ｎｍが更に好ましい。ここでいう「平均粒径」とは、顔料の一次粒子が集合した二次粒子についての平均粒径を意味する。また、顔料の二次粒子の粒径分布（以下、単に「粒径分布」ともいう。）は、（平均粒径±１００）ｎｍに入る二次粒子が全体の７０質量％以上、好ましくは８０質量％以上であることが好ましい。なお、二次粒子の粒径分布は、散乱強度分布を用いて測定することができる。また、一次粒子の平均粒径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）あるいは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察し、粒子が凝集していない部分で粒子サイズを１００個計測し、平均値を算出することによって求めることができる。
【０１０９】
有機顔料としては、例えば、以下に示すものが挙げられる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２６９，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８，５９等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）。
【０１１０】
また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子が平均８〜１２個であり、塩素原子が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０公報に記載の化合物が挙げられる。
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物などが挙げられる。
【０１１１】
染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、特開２０１２−１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１−１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１−１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物も好ましく用いることができる。また、黄色染料として、特開２０１３−５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。
【０１１２】
本発明の感光性着色組成物が他の色材を含有する場合、他の色材の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、５〜５０質量％が好ましい。下限は、６質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。
また、他の色材は顔料の含有量が５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましい。
また、重合性基を有する色材と他の色材との合計量は、感光性着色組成物中の全固形分中２０〜７０質量％が好ましい。下限は、２５質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましい。上限は、７０質量％以下がより好ましく、５５質量％以下が更に好ましい。
また、本発明の感光性着色組成物に含まれる色材（重合性基を有する色材と他の色材との合計）中における染料の含有量は、１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上であることが更に好ましい。
【０１１３】
＜＜樹脂＞＞
本発明の感光性着色組成物は、樹脂を含む。樹脂としてはアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。
【０１１４】
本発明の感光性着色組成物において、樹脂の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、１〜８０質量％であることが好ましい。下限は、５質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上がさらに好ましい。上限は、７０質量％以下であることがより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましい。
【０１１５】
（アルカリ可溶性樹脂）
本発明の感光性着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含む。アルカリ可溶性樹脂としては、アルカリ溶解を促進する基を有する樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ溶解を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性水酸基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基の種類は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【０１１６】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１００，０００が好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２０，０００が好ましい。
【０１１７】
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、２５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。下限は、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。
【０１１８】
アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合樹脂が好ましい。
【０１１９】
アルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、２−カルボキシエチル(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、部分エステル化マレイン酸等のモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたポリマーが挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートおよびアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどが挙げられる。ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【０１２０】
アルカリ可溶性樹脂は、マレイミド化合物に由来する繰り返し単位を有していてもよい。マレイミド化合物としては、Ｎ−アルキルマレイミド、Ｎ−アリールマレイミドなどが挙げられる。マレイミド化合物に由来する繰り返し単位としては、式（Ｃ−ｍｉ）で表される繰り返し単位が挙げられる。
【化２０】
2019065001.tif 000022
【０１２１】
式（Ｃ−ｍｉ）において、Ｒｍｉはアルキル基またはアリール基を表す。アルキル基の炭素数１〜２０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれもよい。アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。Ｒｍｉはアリール基であることが好ましい。
【０１２２】
アルカリ可溶性樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体を好ましく用いることができる。また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと他のモノマーとを共重合した共重合体、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。
【０１２３】
アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。重合性基としては、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂の市販品としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアＲＤ−Ｆ８(（株）日本触媒製)、ＤＰ−１３０５（富士フイルムファインケミカルズ（株）製）などが挙げられる。
【０１２４】
アルカリ可溶性樹脂としては、ヒドロキシル基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂が好ましい。この態様によれば、現像液との親和性が向上し、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。ヒドロキシル基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂において、アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシル基価としては３０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は３５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシル基価が上記範囲であれば、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。ヒドロキシル基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂としては、例えば下記構造の樹脂が挙げられる。
【化２１】
2019065001.tif 000023
【０１２５】
アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および特開２０１０−１６８５３９号公報の式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。
【０１２６】
【化２２】
2019065001.tif 000024
【０１２７】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【０１２８】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【０１２９】
エーテルダイマーを含むモノマー成分を重合してなるポリマーとしては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。
【化２３】
2019065001.tif 000025
【０１３０】
アルカリ可溶性樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。
【化２４】
2019065001.tif 000026
式（Ｘ）において、Ｒ１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。
【０１３１】
アルカリ可溶性樹脂は、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０５５８〜０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５〜０７００）の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−３２７６７号公報の段落番号００２９〜００６３に記載の共重合体（Ｂ）および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開２０１２−２０８４７４号公報の段落番号００８８〜００９８に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−１３７５３１号公報の段落番号００２２〜００３２に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１３−０２４９３４号公報の段落番号０１３２〜０１４３に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１１−２４２７５２号公報の段落番号００９２〜００９８および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−０３２７７０号公報の段落番号００３０〜００７２に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３２】
アルカリ可溶性樹脂の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、１〜５０質量％が好ましい。下限は、２質量％以上がより好ましく、３質量％以上がさらに好ましい。上限は、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％以下がさらに好ましい。本発明の感光性着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、１種のみ含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、その合計が上記範囲となることが好ましい。
【０１３３】
（分散剤）
本発明の感光性着色組成物は、分散剤としての樹脂を含有することができる。分散剤としては、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。
【０１３４】
ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、１０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。
また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基が好ましい。
【０１３５】
分散剤としては、例えば、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等が挙げられる。高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子を好ましい構造として挙げることができる。また、特開２０１１−０７０１５６号公報の段落番号００２８〜０１２４に記載の分散剤や特開２００７−２７７５１４号公報に記載の分散剤も好ましく用いられる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３６】
本発明において、分散剤としては、グラフト共重合体を用いることもできる。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２−１３７５６４号公報の段落番号０１３１〜０１６０の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明において、分散剤としては、主鎖に窒素原子を含む樹脂を用いることもできる。主鎖に窒素原子を含む樹脂（以下、オリゴイミン系樹脂ともいう）は、ポリ（低級アルキレンイミン）系繰り返し単位、ポリアリルアミン系繰り返し単位、ポリジアリルアミン系繰り返し単位、メタキシレンジアミン−エピクロルヒドリン重縮合物系繰り返し単位、及びポリビニルアミン系繰り返し単位から選択される少なくとも１種の、窒素原子を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。オリゴイミン系樹脂については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１７４の記載を参酌でき、本明細書にはこの内容が組み込まれる。
【０１３７】
分散剤は市販品を用いることもできる。例えば、特開２０１２−１３７５６４号公報の段落番号０１２９に記載された製品を分散剤として用いることもできる。例えば、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ（たとえば、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６１など）などが挙げられる。なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。
【０１３８】
分散剤の含有量は、顔料１００質量部に対して１〜２００質量部が好ましい。下限は、５質量部以上が好ましく、１０質量部以上がより好ましい。上限は、１５０質量部以下が好ましく、１００質量部以下がより好ましい。
【０１３９】
（その他の樹脂）
本発明の感光性着色組成物は、樹脂として上述した分散剤やアルカリ可溶性樹脂以外の樹脂（その他の樹脂ともいう）を含有することができる。その他の樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、（メタ）アクリルアミド樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。他の樹脂は、これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。
【０１４０】
＜＜重合性化合物＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合性基を有する色材の他に、更に、重合性化合物を含有することが好ましい。重合性化合物としては、例えば、エチレン性不飽和基を有する化合物などが挙げられる。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。重合性化合物はラジカルにより重合可能な化合物（ラジカル重合性化合物）であることが好ましい。なお、本明細書において、重合性化合物は、重合性基を有する色材とは異なる化合物である。重合性化合物は、色素構造を有さない化合物であることが好ましい。
【０１４１】
重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
【０１４２】
重合性化合物は、エチレン性不飽和基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和基を３〜１５個含む化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和基を３〜６個含む化合物であることが更に好ましい。また、ラジカル重合性化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。ラジカル重合性化合物の具体例としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４３】
重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、ラジカル重合性化合物として、ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＲＰ−１０４０、ＤＰＣＡ−２０（日本化薬（株）製）を使用することもできる。また、ラジカル重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−３０３、Ｍ−４５２、Ｍ−４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル  Ａ９３００、Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ、Ａ−ＧＬＹ−２０Ｅ、Ａ−ＴＭＭ−３、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【０１４４】
重合性化合物は、酸基を有していてもよい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有するラジカル重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ−５１０、Ｍ−５２０、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。
【０１４５】
酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。
【０１４６】
重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物であることも好ましい。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等が挙げられる。
【０１４７】
重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する化合物であることも好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する化合物であることが好ましく、エチレンオキシ基を有する化合物であることがより好ましく、エチレンオキシ基を４〜２０個有する３〜６官能（メタ）アクリレート化合物であることがさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【０１４８】
重合性化合物としては、特公昭４８−４１７０８号公報、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることも好ましい。市販品としては、ＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社化学（株）製）などが挙げられる。
また、重合性化合物としては、８ＵＨ−１００６、８ＵＨ−１０１２（以上、大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ−Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることも好ましい。
また、重合性化合物としては、特開２０１７−４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報に記載されている化合物を用いることもできる。
【０１４９】
重合性化合物の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、０．１〜５０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。
また、重合性化合物の含有量は、重合性基を有する色材の１００質量部に対して２５〜５００質量部であることが好ましい。下限は、３０質量部以上がより好ましく、５０質量部以上が更に好ましい。上限は、４５０質量部以下がより好ましく、３００質量部以下が更に好ましい。重合性化合物の含有量が上記範囲であれば、現像パターンのより微細化が期待できる。
また、重合性化合物と重合性基を有する色材の合計量は、感光性着色組成物の全固形分中、２０〜８０質量％が好ましい。下限は、２５質量％以上がより好ましく、４０質量％以上が更に好ましい。上限は、７５質量％以下がより好ましく、６０質量％以下が更に好ましい。上述の合計量が上記範囲であれば、支持体とのより密着性に優れた硬化膜が得られやすい。
また、重合性化合物と重合性基を有する色材の合計量は、光重合開始剤ａと光重合開始剤ｂとの合計１００質量部に対して、２５〜５００質量部であることが好ましい。下限は、３０質量部以上がより好ましく、５０質量部以上が更に好ましい。上限は、４５０質量部以下がより好ましく、３００質量部以下が更に好ましい。この範囲であれば、より現像液に対する耐色抜け性や支持体との密着性などに優れた硬化膜が得られやすい。
【０１５０】
＜＜エポキシ基を有する化合物＞＞
本発明の感光性着色組成物は、更にエポキシ基を有する化合物を含有することが好ましい。この態様によれば、得られる硬化膜の機械強度などを向上できる。エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に２〜１００個有することが好ましい。上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。
【０１５１】
エポキシ基を有する化合物のエポキシ当量（＝エポキシ基を有する化合物の分子量／エポキシ基の数）は、５００ｇ／ｅｑ以下であることが好ましく、１００〜４００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、１００〜３００ｇ／ｅｑであることがさらに好ましい。
【０１５２】
エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の分子量（ポリマーの場合は、重量平均分子量）は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。分子量（ポリマーの場合は、重量平均分子量）の上限は、３０００以下が好ましく、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。
【０１５３】
エポキシ基を有する化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【０１５４】
本発明の感光性着色組成物がエポキシ基を有する化合物を含有する場合、エポキシ基を有する化合物の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、０．１〜４０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。エポキシ基を有する化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。また、エポキシ基を有する化合物の含有量は、重合性化合物の１００質量部に対して１〜４００質量部であることが好ましく、１〜１００質量部であることがより好ましく、１〜５０質量部であることが更に好ましい。
【０１５５】
＜＜溶剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や感光性着色組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。
【０１５６】
有機溶剤の例としては、例えば、以下の有機溶剤が挙げられる。エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、アルキルオキシ酢酸アルキル（例えば、アルキルオキシ酢酸メチル、アルキルオキシ酢酸エチル、アルキルオキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−アルキルオキシプロピオン酸メチル、３−アルキルオキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−アルキルオキシプロピオン酸メチル、２−アルキルオキシプロピオン酸エチル、２−アルキルオキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−アルキルオキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等が挙げられる。エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等が挙げられる。芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下、１０質量ｐｐｍ以下、あるいは１質量ｐｐｍ以下とすることができる）。
【０１５７】
有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。有機溶剤を２種以上組み合わせて用いる場合、特に好ましくは、上記の３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合液である。
【０１５８】
本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。また、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、例えば有機溶剤の金属含有量は、１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて有機溶剤の金属含有量が質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルのものを用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
【０１５９】
溶剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分が５〜８０質量％となる量が好ましい。下限は１０質量％以上が好ましい。上限は、６０質量％以下が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下がさらに好ましい。
【０１６０】
＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合性化合物の反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を添加してもよい。硬化促進剤としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、式（Ｔ１）で表される化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）
【化２５】
2019065001.tif 000027
（式（Ｔ１）中、ｎは２〜４の整数を表し、Ｌは２〜４価の連結基を表す。）
【０１６１】
式（Ｔ１）において、連結基Ｌは炭素数２〜１２の脂肪族基であることが好ましく、ｎが２であり、Ｌが炭素数２〜１２のアルキレン基であることが特に好ましい。多官能チオール化合物の具体例としては、下記の構造式（Ｔ２）〜（Ｔ４）で表される化合物が挙げられ、式（Ｔ２）で表される化合物が特に好ましい。これらの多官能チオール化合物は１種または複数組み合わせて使用することが可能である。
【０１６２】
【化２６】
2019065001.tif 000028
【０１６３】
また、硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３−４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４−５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２−１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１−２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９−１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。
【０１６４】
本発明の感光性着色組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．３〜８．９質量％が好ましく、０．８〜６．４質量％がより好ましい。
【０１６５】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を含有させてもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
【０１６６】
本発明の感光性着色組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）が向上し、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する感光性着色組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力が低下して、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行うことができる。
【０１６７】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好ましく、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性着色組成物中における溶解性も良好である。
【０１６８】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の化合物を用いることもできる。
【０１６９】
フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられる。
【０１７０】
フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６−２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１７１】
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【化２７】
2019065001.tif 000029
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。
【０１７２】
フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８−Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。
【０１７３】
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ−１０１、ＮＣＷ−１００１、ＮＣＷ−１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ−６１１２、Ｄ−６１１２−Ｗ、Ｄ−６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。
【０１７４】
カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ−３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。
【０１７５】
アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。
【０１７６】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ−３４１、ＫＦ−６００１、ＫＦ−６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ−３０７、ＢＹＫ−３２３、ＢＹＫ−３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
【０１７７】
界面活性剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、０．００１〜２．０質量％が好ましく、０．００５〜１．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせてもよい。２種類以上含む場合は合計量が上記範囲であることが好ましい。
【０１７８】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。シランカップリング剤としては、一分子中に少なくとも２種の反応性の異なる官能基を有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチレン基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、例えば、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０２）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−６０３）、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−６０２）、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−９０３）、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ−９０３）、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−５０３）、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−４０３）等が挙げられる。シランカップリング剤の詳細については、特開２０１３−２５４０４７号公報の段落番号０１５５〜０１５８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１７９】
本発明の感光性着色組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．００１〜２０質量％が好ましく、０．０１〜１０質量％がより好ましく、０．１質量％〜５質量％が特に好ましい。本発明の感光性着色組成物は、シランカップリング剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１８０】
＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合禁止剤を含有することも好ましい。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）等が挙げられる。
本発明の感光性着色組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．０１〜５質量％が好ましい。本発明の感光性着色組成物は、重合禁止剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１８１】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２−２０８３７４号公報の段落番号００５２〜００７２、特開２０１３−６８８１４号公報の段落番号０３１７〜０３３４の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。
【０１８２】
本発明の感光性着色組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましく、０．１〜３質量％が特に好ましい。また、紫外線吸収剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１８３】
＜＜その他添加剤＞＞
本発明の感光性着色組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加剤としては、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号０１５５〜０１５６に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物（例えば特開２０１１−９０１４７号公報の段落番号００４２に記載の化合物）、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカスタブシリーズ（ＡＯ−２０、ＡＯ−３０、ＡＯ−４０、ＡＯ−５０、ＡＯ−５０Ｆ、ＡＯ−６０、ＡＯ−６０Ｇ、ＡＯ−８０、ＡＯ−３３０など）が挙げられる。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。本発明の着色組成物は、特開２００４−２９５１１６号公報の段落番号００７８に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落番号００８１に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
【０１８４】
用いる原料等により感光性着色組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、着色組成物中の第２族元素（カルシウム、マグネシウム等）の含有量は５０質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．０１〜１０質量ｐｐｍがより好ましい。また、感光性着色組成物中の無機金属塩の総量は１００質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．５〜５０質量ｐｐｍがより好ましい。
【０１８５】
本発明の感光性着色組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１〜１．５質量％が好ましく、０．１〜１．０質量％の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。
【０１８６】
本発明の感光性着色組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ〜５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ〜２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製  粘度計  ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６〜１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。
【０１８７】
本発明の感光性着色組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５−１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。
【０１８８】
本発明の感光性着色組成物は、カラーフィルタにおける着色画素の形成用の感光性着色組成物として好ましく用いることができる。着色画素としては、例えば、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、シアン色画素、イエロー色画素などが挙げられる。また、青色画素に含まれる色材は、ｉ線に対して吸収を持つものが多いため、従来の感光性着色組成物では、露光での硬化が不十分な傾向にあった。このため、従来では青色画素の形成にあたっては、高温でのポストベークが必要であった。しかしながら、本発明によれば、低温での硬化で、現像液に対する耐色抜け性に優れた青色画素（硬化膜）を形成することでき、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【０１８９】
本発明の感光性着色組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１−００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２−２２４８４７号公報の段落０１２３〜０１２９に記載の方法等で測定することができる。
【０１９０】
＜感光性着色組成物の調製方法＞
本発明の感光性着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性着色組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性着色組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性着色組成物を調製してもよい。
【０１９１】
また、顔料を含む感光性着色組成物を調製する場合、感光性着色組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことも好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際  総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５−１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５−１９４５２１号公報、特開２０１２−０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【０１９２】
感光性着色組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度および／または超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
【０１９３】
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜３．０μｍ程度、より好ましくは０．０５〜０．５μｍ程度である。
【０１９４】
また、フィルタとしては、ファイバ状のろ材を用いたフィルタを用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。ファイバ状のろ材を用いたフィルタとしては、具体的にはロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。
【０１９５】
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
例えば、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）または株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。第２のフィルタとしては、第１のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
【０１９６】
＜硬化膜＞
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性着色組成物から得られる硬化膜である。本発明の硬化膜は、カラーフィルタの着色画素として好ましく用いることができる。着色画素としては、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、シアン色画素、イエロー色画素などが挙げられる。硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。
【０１９７】
＜パターンの形成方法＞
本発明のパターン形成方法は、上述した本発明の感光性着色組成物を用いて支持体上に感光性着色組成物層を形成する工程と、
感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する工程と、
露光後の感光性着色組成物層をアルカリ現像する工程と、
アルカリ現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４〜３５０ｎｍの光を照射して露光する工程と、を有する。さらに、必要に応じて、感光性着色組成物層を支持体上に形成した後であって露光する前にベークする工程（プリベーク工程）、および、アルカリ現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。以下、各工程について説明する。
【０１９８】
感光性着色組成物層を形成する工程では、感光性着色組成物を用いて、支持体上に感光性着色組成物層を形成する。
【０１９９】
支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、固体撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基板、シリコン基板等が挙げられる。また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【０２００】
支持体上への感光性着色組成物の適用方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の方法を用いることができる。
【０２０１】
支持体上に形成した感光性着色組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスによりパターンを形成する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１２０℃以下が好ましく、１１０℃以下がより好ましく、１０５℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０２０２】
次に、感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する。例えば、感光性着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、感光性着色組成物層の露光部分を硬化させることができる。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光であり、波長３５５〜３７０ｎｍの光が好ましく、ｉ線がより好ましい。照射量（露光量）としては、例えば、３０〜１５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０２０３】
露光後の感光性着色組成物層中の重合性化合物の反応率は、３０％を超え６０％未満であることが好ましい。このような反応率にすることにより重合性化合物を適度に硬化させた状態にすることができる。ここで、重合性化合物の反応率とは、重合性化合物が有する全エチレン性不飽和基中の反応したエチレン性不飽和基の割合のことをいう。
【０２０４】
次に、露光後の感光性着色組成物層をアルカリ現像する。すなわち、未露光部の感光性着色組成物層をアルカリ現像液を用いて除去してパターンを形成する。アルカリ現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜３００秒が好ましい。
【０２０５】
アルカリ現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、アルカリ現像液には、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。界面活性剤の例としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。アルカリ現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５〜１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することが好ましい。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後、純水で洗浄（リンス）することが好ましい。
【０２０６】
次に、アルカリ現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４〜３５０ｎｍの光を照射して露光する。以下、アルカリ現像後の露光を後露光ともいう。後露光に際して用いることができる放射線（光）としては、波長２５４〜３００ｎｍの紫外線が好ましく、波長２５４ｎｍの紫外線がより好ましい。後露光は、例えば紫外線フォトレジスト硬化装置を用いて行うことができる。紫外線フォトレジスト硬化装置からは、例えば波長２５４〜３５０ｎｍの光とともに、これ以外の光（例えばｉ線）が照射されてもよい。
【０２０７】
上述したアルカリ現像前の露光で用いられる光の波長と、アルカリ現像後の露光（後露光）で用いられる光の波長の差は、２００ｎｍ以下であることが好ましく、１００〜１５０ｎｍであることがより好ましい。照射量（露光量）は、３０〜４０００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５０〜３５００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができる。上述したアルカリ現像前の露光工程で説明した条件が挙げられる。
【０２０８】
後露光後の感光性着色組成物層中の重合性化合物の反応率としては、６０％以上であることが好ましい。上限は、１００％以下とすることもでき、９０％以下とすることもできる。このような反応率にすることにより、露光後の感光性着色組成物層の硬化状態をより良好にすることができる。
【０２０９】
本発明では、アルカリ現像前およびアルカリ現像後の２段階で感光性着色組成物層を露光することにより、最初の露光（アルカリ現像前の露光）で感光性着色組成物を適度に硬化させることができ、次の露光（現像後の露光）で感光性着色組成物全体をほぼ完全に硬化させることができる。結果として、低温条件でも、感光性着色組成物を十分に硬化させることができ、現像液に対する耐色抜け性に優れたパターン（硬化膜）を形成することができる。
【０２１０】
本発明のパターン形成においては、更に、後露光後にポストベークを行ってもよい。ポストベークを行う場合、画像表示装置の発光光源として有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合においては、５０〜１２０℃（より好ましくは８０〜１００℃、さらに好ましくは８０〜９０℃）で加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。ポストベークは、ホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、低温プロセスによりパターンを形成する場合においては、ポストベークは行わなくてもよい。
【０２１１】
後露光後（後露光後にポストベークを行った場合はポストベーク後）のパターン（以下画素ともいう）の厚みとしては、０．１〜２．０μｍであることが好ましい。下限は、０．２μｍ以上であることが好ましく、０．３μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１．７μｍ以下であることが好ましく、１．５μｍ以下であることがより好ましい。
【０２１２】
画素の幅としては、０．５〜２０．０μｍであることが好ましい。下限は、１．０μｍ以上であることが好ましく、２．０μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１５．０μｍ以下であることが好ましく、１０．０μｍ以下であることがより好ましい。
【０２１３】
画素のヤング率としては０．５〜２０ＧＰａが好ましく、２．５〜１５ＧＰａがより好ましい。
【０２１４】
画素は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、画素の表面粗さＲａとしては、１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。表面粗さの測定は、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡）  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。
また、画素上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０〜１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ−ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。
【０２１５】
画素の体積抵抗値は高いことが望まれる。具体的には、画素の体積抵抗値は１０９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。
【０２１６】
＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明のカラーフィルタにおいて、硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
【０２１７】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の硬化膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０２１８】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２−２２７４７８号公報、特開２０１４−１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【０２１９】
＜画像表示装置＞
本発明の硬化膜は、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０２２０】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。【０２２１】
＜顔料分散組成物の調製＞
（顔料分散液Ｐ１）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５：６の２０．０質量部（平均一次粒子径５５ｎｍ）と、顔料分散剤（ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）の２．４０質量部と、分散剤１の２．４０質量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の１７５．２質量部との混合液を、ビーズミル（直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ）を用いて３時間混合および分散した。その後、さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、顔料分散液Ｐ１を得た。得られた顔料分散液Ｐ１について、顔料の平均一次粒子径を動的光散乱法（Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ  Ｎａｎｏｔｒａｃ  ＵＰＡ−ＥＸ１５０（日機装社製））により測定したところ、２４ｎｍであった。【０２２２】
・分散剤１：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比である、Ｍｗ＝１１０００）
【化２８】
2019065001.tif 000030
（顔料分散液Ｐ２）
分散剤１のかわりに特開２０１３−１９５８５４号公報の段落番号０５７７に記載の分散樹脂Ａを用いた以外は、顔料分散液Ｐ１と同様にして顔料分散液Ｐ２を得た。【０２２３】
＜感光性着色組成物の調製＞
（実施例１）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、感光性着色組成物を調製した。
・顔料分散液Ｐ１・・・６０．０質量部
・光重合開始剤（開始剤１）・・・１．６８質量部
・光重合開始剤（開始剤４）・・・０．６３質量部
・アルカリ可溶性樹脂（樹脂Ａ）・・・０．６０質量部
・重合性化合物（Ｍ１）・・・６．００質量部
・染料（Ｖ１）・・・２０．０質量部
・エポキシ化合物（ＥＨＰＥ  ３１５０、（株）ダイセル製）・・・０．６６質量部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）・・・０．０００７質量部
・界面活性剤（下記構造の化合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％の数値はモル％である）の１質量％シクロヘキサノン溶液）・・・２．５０質量部
【化２９】
2019065001.tif 000031
・シクロヘキサノン・・・７．７４質量部【０２２４】
（実施例２〜１８、比較例１〜４）
顔料分散液の種類、光重合開始剤の種類および含有量、アルカリ可溶性樹脂の種類、染料の種類および重合性化合物の種類をそれぞれ下記表に記載の通り変更した以外は実施例１と同様にして感光性着色組成物を調製した。なお、下記表の光重合開始剤の欄に記載の含有量の数値は、感光性着色組成物の全固形分中における含有量である。【０２２５】
【表１】
2019065001.tif 000032
【０２２６】
（実施例１９〜２２）
染料（Ｖ１）の含有量を下記表に記載の通り変更した以外は、実施例１と同様にして感光性着色組成物を調製した。下記表に重合性基を有する色材と光重合開始剤（開始剤１と開始剤４の合計量）の質量比をあわせて記す。【０２２７】
【表２】
2019065001.tif 000033
【０２２８】
上記表に記載の原料は以下の通りである。【０２２９】
（光重合開始剤）
開始剤１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が６９６９ｍＬ／ｇｃｍである）
開始剤２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が７７４９ｍＬ／ｇｃｍである）
開始剤３：下記構造の化合物（メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１８９００ｍＬ／ｇｃｍである）
【化３０】
2019065001.tif 000034
開始剤４：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ２９５９（ＢＡＳＦ社製、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が４８．９３ｍＬ／ｇｃｍであり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が３．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍである。）
開始剤５：ＩＲＧＡＣＵＲＥ  １８４（ＢＡＳＦ社製、メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が８８．６４ｍＬ／ｇｃｍであり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が３．３×１０４ｍＬ／ｇｃｍである。）【０２３０】
（アルカリ可溶性樹脂）
樹脂Ａ：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝１１０００、酸価＝３１．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値はモル比である。）
【化３１】
2019065001.tif 000035
樹脂Ｂ：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝３００００、酸価＝１１２．８ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値はモル比である。）
【化３２】
2019065001.tif 000036
樹脂Ｃ：特開２０１３−２２５１１２号公報の段落番号０５７３に記載のアルカリ可溶性樹脂Ｊ５
樹脂Ｄ：特開２０１０−０４９１６１号公報の段落番号０１５０に記載の樹脂Ｂ−１【０２３１】
（染料）
染料Ｖ１：下記構造の色素多量体（重合性基を有する染料）の２０質量％のシクロヘキサノン溶液
【化３３】
2019065001.tif 000037
染料Ｖ２：下記構造の色素多量体（重合性基を有する染料、主鎖に付記した数値はモル比である、Ｍｗ＝１３０００）の２０質量％のシクロヘキサノン溶液
【化３４】
2019065001.tif 000038
染料Ｖ３：下記構造の色素多量体（重合性基を有さない染料、主鎖に付記した数値はモル比である、Ｍｗ＝１２０００）の２０質量％のシクロヘキサノン溶液
【化３５】
2019065001.tif 000039
染料Ｖ４：下記構造の色素化合物（重合性基を有する染料）の２０質量％のシクロヘキサノン溶液
【化３６】
2019065001.tif 000040
【０２３２】
（重合性化合物）
Ｍ１：下記構造の化合物の混合物（左の化合物：右の化合物＝７：３（モル比））
【化３７】
2019065001.tif 000041
Ｍ２：下記構造の化合物
【化３８】
2019065001.tif 000042
【０２３３】
＜評価＞
（耐色抜け性）
ガラス基板上に、各感光性着色組成物をプリベーク後の膜厚が１．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。
次いで、紫外線フォトレジスト硬化装置（ＵＭＡ−８０２−ＨＣ−５５２；ウシオ電気株式会社製）を用いて、３０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光を行い、硬化膜を作製した。
得られた硬化膜について、紫外可視近赤外分光光度計ＵＶ３６００（島津製作所製）の分光光度計（レファレンス：ガラス基板）を用いて波長３００〜８００ｎｍの範囲の光の透過率を測定した。また、ＯＬＹＭＰＵＳ製光学顕微鏡  ＢＸ６０を用いて、反射観測（倍率５０倍）にて微分干渉像を観察した。
次いで、硬化膜を、２５℃のアルカリ現像液（ＦＨＤ−５、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の中に５分間浸漬し、乾燥させた後に再度分光測定を実施し、アルカリ現像液浸漬前後の透過率変動を算出して以下の基準で耐色抜け性を評価した。
透過率変動＝｜Ｔ０−Ｔ１｜
Ｔ０は、アルカリ現像液浸漬前の硬化膜の透過率であり、Ｔ１は、アルカリ現像液浸漬後の硬化膜の透過率である。
ＡＡ：波長３００〜８００ｎｍの全範囲での透過率変動が２％未満である。
Ａ：波長３００〜８００ｎｍの全範囲での透過率変動が５％未満であり、かつ、一部の範囲において透過率変動が２％以上５％未満である。
Ｂ：波長３００〜８００ｎｍの全範囲での透過率変動が７．５％未満であり、かつ、一部の範囲において透過率変動が５％以上７．５％未満である。
Ｃ：波長３００〜８００ｎｍの全範囲での透過率変動が１０％未満であり、かつ、一部の範囲において透過率変動が７．５％以上１０％未満である。
Ｄ：波長３００〜８００ｎｍの少なくも一部の範囲において透過率変動が１０％以上である。【０２３４】
（残膜率、密着性の評価）
ヘキサメチルジシラザンを噴霧した８インチ（２０．３２ｃｍ）のガラス基板の上に、各感光性着色組成物をプリベーク後の膜厚が１．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。
次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、３６５ｎｍの波長で３．０μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して３００ｍＪ／ｃｍ２にて照射した（３．０μｍの線幅を得るのに必要な露光量である）。
次いで、露光後の塗布膜が形成されているガラス基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、現像液（ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の４０％希釈液）を用いて２３℃で１８０秒間パドル現像を行ない、ガラス基板上に着色パターン（画素）を形成した。この着色パターン（画素）が形成されたガラス基板を真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってガラス基板を回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スピン乾燥して着色パターン（画素）を形成した。【０２３５】
残膜率は、現像前後の膜の厚みを走査型電子顕微鏡（Ｓ−４８００、（株）日立ハイテクノロジーズ製）を用いて測定した。残膜率は、値が高いほど好ましく、８０％以上がより好ましい。
残膜率（％）＝（現像前の厚み／現像後の厚み）×１００
ＡＡ：残膜率が８７．５％以上
Ａ：残膜率が８２．５％以上、８７．５％未満
Ｂ：残膜率が８０％以上、８２．５％未満
Ｃ：残膜率が８０％未満【０２３６】
密着性は、ガラス基板上に形成された着色パターンを光学式顕微鏡を用いて観察し、以下の基準で評価した。
ＡＡ：着色パターンの剥がれがない。
Ａ：着色パターンの剥がれが１００画素中１〜５画素存在する
Ｂ：着色パターンの剥がれが１００画素中６〜１５画素存在する
Ｃ：着色パターンの剥がれが１００画素中１６画素以上存在する【０２３７】
【表３】
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【０２３８】
上記表に示す通り、実施例は耐色抜け性に優れていた。これに対し、重合性基を有する色材を用いなかった比較例１、光重合開始剤ａおよび光重合開始剤ｂの一方のみしか含まない比較例２、３、光重合開始剤ａおよび光重合開始剤ｂを含みその含有量が１．５質量％未満である比較例４は、実施例よりも耐色抜け性が劣っていた。
【国際調査報告】
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