(57)【要約】  波長変換部材に対して光を走査させるための走査手段として高反射率ミラー等の高重量の走査手段が用いられる場合も、所定の走査範囲においてレーザ光の走査速度が相対的に緩やかとなるように、光偏向器を適正かつ高精度に制御することが可能な光源装置およびそれを備えた投光装置を提供する。光源装置（２）は、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光の波長を他の波長に変換するとともに波長変換されたレーザ光を拡散させる波長変換部材（１５）と、レーザ光を波長変換部材(１５)の入射面上において少なくとも１次元に走査させる光偏向器（１４）と、を備える。光偏向器（１４）は、コイルと、コイルに磁界を付与する磁気回路とを備える。磁気回路は、可動部が所定の移動位置に向かうほどコイルに付与される磁界の強さが相対的に減少するように構成されている。
2018163885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光の光路上に入射面を備え、前記レーザ光の波長を他の波長に変換して変換光を生ぜしめるとともに前記変換光を拡散させる波長変換部材と、
前記光を前記入射面上において走査させる光偏向器と、を備え、
前記光偏向器は、可動部と、コイルと、前記コイルに磁界を付与する磁気回路とを備え、前記コイルに駆動信号を付与することにより前記可動部を駆動するよう構成され、
前記可動部が所定の位置に向かうほど前記コイルに付与される磁界の強さが減少するように、前記磁気回路が構成されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光源装置において、
前記所定の位置は、前記可動部の全移動範囲の中央付近に設定されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光源装置において、
前記磁気回路は、前記所定の位置を含む移動範囲において磁界の向きが反転するように構成されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光源装置において、
前記所定の位置を含む移動範囲における磁界の強さが、前記可動部の移動速度を低下させる強さに設定されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項５】
請求項２から４の何れか一項に記載の光源装置において、
前記磁気回路は、前記可動部の移動に伴い前記コイルに対向する磁極が変化するように構成されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光源装置において、
前記磁気回路は、前記可動部が前記所定の位置に位置するときに前記コイルに向き合う第１の磁極と、前記可動部の移動方向に前記第１の磁極を挟む位置にそれぞれ配置され前記第１の磁極と相違する第２の磁極と、を備える、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項７】
請求項６に記載の光源装置において、
複数の磁石を組み合わせることにより、前記第１の磁極と前記第２の磁極が構成されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項８】
請求項５または６に記載の光源装置において、
前記可動部の移動方向における前記第１の磁極の幅が、前記可動部の移動方向における前記第２の磁極の幅よりも小さく設定されている、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項９】
請求項１から７の何れか一項に記載の光源装置と、
前記変換光を投射する投射光学系と、を備える、
ことを特徴とする投光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、光を発する光源装置およびそれを用いた投光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光源から出射された光を波長変換部材に照射することにより所定波長の光を生成する光源装置が知られている。この光源装置では、たとえば、波長変換部材により波長変換されて拡散された光と、波長変換部材により波長変換されずに拡散された光とが合成されて、白色光等、所定の色の光が生成される。このような光源装置が、たとえば、車両用前照灯の光源装置として利用されている。【０００３】
以下の特許文献１には、ミラー部を備えた光偏向器を用いて励起用の光で波長変換部材を走査する車両用灯具が記載されている。この車両用灯具では、ミラー部の往復揺動の速度を遅くすることにより、光変換部材の一部の領域の光度が高められる。これにより、車両用灯具に求められる一部の領域（たとえば、中央付近の領域）の光度が相対的に高い光度分布を形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１５３６４５号公報
【発明の概要】
【０００５】
蛍光体を用いた光源装置では、より高光度の光を生成するために、波長変換部材を光で走査するためのミラーとして、たとえば、ガラス板に誘電体多層膜が形成された高反射率のミラーが用いられ得る。これに対し、特許文献１に記載された光源装置の構成では、光偏向器のミラー部として高反射率のミラーを用いると、ミラーの重量が大きいため、ミラーに慣性力が働いて、ミラーの揺動速度を適正に減速させることができない。したがって、特許文献１に記載された光源装置の構成では、光偏向器のミラー部として、小型軽量の低反射率のミラーしか用い得ない。
【０００６】
しかし、低反射率のミラーは反射膜の耐光性が低いため、より高光度の光を生成するために高出力かつ高密度の光をミラーに入射させると、ミラーの反射膜が破壊されてしまう。このように、特許文献１に記載された光源装置の構成では、光源装置の高出力化の要請に応えることが困難であった。
【０００７】
かかる課題に鑑み、本開示は、波長変換部材に対して光を走査させるための走査手段として高反射率ミラー等の高重量の走査手段が用いられる場合も、所定の走査範囲においてレーザ光の走査速度が相対的に緩やかとなるように、光偏向器を適正かつ高精度に制御することが可能な光源装置およびそれを用いた投光装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本開示の第１の態様は、光源装置に関する。第１の態様に係る光源装置は、レーザ光源と、波長変換部材と、光偏向器と、を備える。レーザ光源は、レーザ光を出射する。波長変換部材は、レーザ光の光路上に入射面を有し、レーザ光の波長を他の波長に変換し、当該他の波長を有する変換光を生ぜしめるとともに、変換光を拡散させる。光偏向器は、レーザ光を波長変換部材の入射面上において走査させる。ここで、光偏向器は、コイルと、コイルに磁界を付与する磁気回路とを備え、コイルに駆動信号を付与することにより可動部を駆動するよう構成されている。そして、可動部が所定の移動位置に向かうほどコイルに付与される磁界の強さが相対的に減少するように、磁気回路が構成されている。
【０００９】
本態様に係る光源装置によれば、コイルと磁気回路とを用いて可動部が駆動されるため、高反射率のミラー等、高重量の走査手段が用いられる場合も、適正かつ高精度に走査手段を制御できる。また、可動部が所定の移動位置に向かうほどコイルに付与される磁界の強さが相対的に減少するように磁気回路が構成されているため、所定の移動位置付近において可動部の移動速度を相対的に緩やかにできる。よって、この移動位置付近の移動範囲に対応する走査範囲において、レーザ光の走査速度を相対的に低速にできる。
【００１０】
よって、本態様に係る光源装置によれば、波長変換部材に対して光を走査させるための走査手段として高反射率ミラー等の高重量の走査手段が用いられる場合も、所定の走査範囲においてレーザ光の走査速度が相対的に緩やかとなるように、光偏向器を適正かつ高精度に制御できる。
【００１１】
本開示の第２の態様は、投光装置に関する。第２の態様に係る投光装置は、第１の態様に係る光源装置と、前記波長変換部材により拡散された光を投射する投射光学系と、を備える。
【００１２】
本態様に係る投光装置によれば、第１の態様と同様の効果が奏され得る。
【００１３】
以上のとおり、本開示に係る光源装置および投光装置によれば、波長変換部材に対して光を走査させるための走査手段として高反射率ミラー等の高重量の走査手段が用いられる場合も、所定の走査範囲においてレーザ光の走査速度が相対的に緩やかとなるように、光偏向器を適正かつ高精度に制御することができる。
【００１４】
本開示の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本開示にかかる発明(以下、本発明という)を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、第１実施形態に係る投光装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、第１実施形態に係る投光装置の構成を示す断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、第１実施形態に係る光偏向器の構成を示す斜視図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、第１実施形態に係る光偏向器の構成を示す断面斜視図である。
【図４Ａ】図４Ａは、第１実施形態に係る光偏向器の磁気回路の構成を示す分解斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、第１実施形態に係る光偏向器の組み立て過程を示す分解斜視図である。
【図５Ａ】図５Ａは、第１実施形態に係る光偏向器の磁石の構成を模式的に示す図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、第１実施形態に係る光偏向器の磁石の構成を模式的に示す図である。
【図６Ａ】図６Ａは、第１実施形態に係る波長変換部材の構成を模式的に示す側面図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、第１実施形態に係る波長変換部材の構成を模式的に示す平面図である。
【図７Ａ】図７Ａは、第１実施形態に係る光偏向器の回動動作を説明する図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第１実施形態に係る光偏向器の回動動作を説明する図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、第１実施形態に係る光偏向器の回動動作を説明する図である。
【図８Ａ】図８Ａは、第１実施形態に係る光偏向器の回動動作を説明する図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、第１実施形態に係る光偏向器の回動動作を説明する図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、第１実施形態に係る光偏向器の回動動作を説明する図である。
【図９Ａ】図９Ａは、第１実施形態に係る可動部の角速度の変化を模式的に示すグラフである。
【図９Ｂ】図９Ｂは、第１実施形態に係る波長変換部材の入射面上の各位置における光度を模式的に示すグラフである。
【図１０Ａ】図１０Ａは、第１実施形態に係る検証における駆動信号を示すグラフである。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、第１実施形態に係る検証における磁束密度を示すグラフである。
【図１０Ｃ】図１０Ｃは、第１実施形態に係る検証における角速度を示すグラフである。
【図１１Ａ】図１１Ａは、比較例に係る検証における駆動信号を示すグラフである。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、比較例に係る検証における磁束密度を示すグラフである。
【図１１Ｃ】図１１Ｃは、比較例に係る検証における角速度を示すグラフである。
【図１２Ａ】図１２Ａは、第１変更例に係る光偏向器の磁石の構成を示す模式図である。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、第１変更例に係る光偏向器の磁石の構成を示す模式図である。
【図１２Ｃ】図１２Ｃは、第２変更例に係る磁石の構成を示す模式図である。
【図１２Ｄ】図１２Ｄは、第３変更例に係る磁石および非磁性体の構成を示す模式図である。
【図１３】図１３は、第２実施形態に係る光偏向器の構成を示す斜視図である。
【図１４Ａ】図１４Ａは、第２実施形態に係る光偏向器の構成を示す断面斜視図である。
【図１４Ｂ】図１４Ｂは、第２実施形態に係る光偏向器の構成を示す断面斜視図である。
【図１５Ａ】図１５Ａは、第２実施形態に係る磁気回路の構成を示す分解斜視図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、第２実施形態に係る光偏向器の組み立てを説明するための分解斜視図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、第２実施形態に係る光偏向器の磁石の構成を模式的に示す図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、第２実施形態に係る光偏向器の磁石の構成を模式的に示す図である。
【図１７】図１７は、第２実施形態に係る波長変換部材におけるレーザ光の走査状態を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。便宜上、各図には互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸が付記されている。Ｘ軸方向およびＹ軸方向は、それぞれ、投光装置の幅方向および奥行き方向であり、Ｚ軸方向は投光装置の高さ方向である。Ｚ軸正方向が、投光装置における光の投射方向である。
【００１７】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る投光装置１の構成を示す斜視図である。図２は、第１実施形態に係る投光装置１の構成を示す断面図である。図２には、Ｙ−Ｚ平面に平行な平面で投光装置１をＸ軸方向の中央位置において切断した断面図が示されている。
【００１８】
図１および図２を参照して、投光装置１は、光を生成する光源装置２と、光源装置２により生成された光を投射するための投射光学系３とを備えている。投射光学系３は、２つのレンズ３ａ、レンズ３ｂを備え、これらレンズ３ａ、レンズ３ｂによって光源装置２からの光を集光して目標領域へと投射する。なお、投射光学系３は、必ずしも２つのレンズ３ａ、レンズ３ｂのみから構成されなくともよく、たとえば、他のレンズやミラーを備えていてもよい。また、投射光学系３は、凹面ミラーによって光源装置２からの光を集光する構成であってもよい。
【００１９】
光源装置２は、ベース１１に、各種部材が設置された構成となっている。具体的には、投射用の光を生成するための構成として、レーザ光源１２と、コリメータレンズ１３と、光偏向器１４と、波長変換部材１５がベース１１に設置されている。コリメータレンズ１３は、ホルダ１６を介してベース１１に設置されている。
【００２０】
レーザ光源１２は、青色波長帯（たとえば、４５０ｎｍ）のレーザ光をＺ軸正方向に出射する。レーザ光源１２は、たとえば、半導体レーザからなっている。レーザ光源１２から出射されるレーザ光の波長は、適宜変更可能である。また、レーザ光源１２は、必ずしも単一波長帯のレーザ光を出射するものでなくともよく、たとえば、１基板に複数の発光素子がマウントされたマルチ発光の半導体レーザであってもよい。
【００２１】
コリメータレンズ１３は、レーザ光源１２から出射されたレーザ光を平行光に変換する。コリメータレンズ１３は、レーザ光源１２から出射されたレーザ光を収束させ得るように、光軸方向の位置が調整されてもよい。
【００２２】
光偏向器１４は、ミラー１７を備え、ミラー１７を回動軸Ｌ１について回動させることにより、コリメータレンズ１３を通過したレーザ光の進行方向を変化させる。ミラー１７の入射面は平面である。ミラー１７は、たとえば、ガラス板に誘電体多層膜を形成した高反射率のミラーである。回転軸Ｌ１は、Ｙ−Ｚ平面に含まれ、かつＺ軸に対し所定角度をなす方向に設けられている。ミラー１７の入射面は、中立位置においてＸ軸に平行であり、かつＸ−Ｚ平面に平行な面に対して所定角度だけ傾く。光偏向器１４の構成は、追って、図３Ａ〜図５Ｂを参照して説明する。
【００２３】
波長変換部材１５は、ミラー１７によって反射されたレーザ光が入射する位置に配置されている。波長変換部材１５は、長方形形状の板状の部材であり、入射面がＸ−Ｙ平面に平行となり、且つ、長手方向がＸ軸に平行となるように、ベース１１に設置されている。上記のように、ミラー１７が回動軸Ｌ１について回動することにより、波長変換部材１５は、レーザ光によって長手方向に走査される。
【００２４】
波長変換部材１５は、入射したレーザ光の一部を、青色波長帯とは異なる波長に変換して、Ｚ軸方向に拡散させる。波長変換されなかった他のレーザ光は、波長変換部材１５によってＺ軸方向に拡散される。こうして拡散された２種類の波長の光が合成されて、所定の色の光が生成される。各波長の光は、投射光学系３に取り込まれて、目標領域に投射される。
【００２５】
第１実施形態では、波長変換部材１５によって、レーザ光の一部が、黄色波長帯の光に変換される。波長変換後の黄色波長帯の拡散光と、波長変換されなかった青色波長帯の散乱光とが合成されて、白色の光が生成される。なお、波長変換後の波長は黄色波長帯でなくてもよく、生成される光の色は、白以外の色であってもよい。波長変換部材１５の構成は、追って、図６Ａ、図６Ｂを参照して説明する。
【００２６】
ベース１１の下面には、回路基板１８が設置されている。この回路基板１８に、レーザ光源１２および光偏向器１４を制御するための回路が実装されている。図１に示すように、回路基板１８の端子部が、ベース１１のＹ軸正側において、外部に露出している。
【００２７】
図３Ａおよび図３Ｂは、それぞれ、光偏向器１４の構成を示す斜視図および断面斜視図である。図３Ｂには、図３Ａの光偏向器１４を、ｙ軸方向の中央位置においてｘ−ｚ平面に平行な平面で、IIIB−IIIB線分に沿って切断した断面がハッチングにて示されている。図４Ａは、磁気回路１４ａの構成を示す分解斜視図、図４Ｂは、光偏向器１４の組み立て過程を示す分解斜視図である。
【００２８】
なお、便宜上、図３Ａ〜図４Ｂには、光偏向器１４の構成を説明するために、新たにｘ、ｙ、ｚ軸が示されている。このうち、ｘ軸は、図１および図２に示したＸ軸と同一方向である。ｘ、ｙ、ｚ軸は、図１および図２に示したＸ、Ｙ、Ｚ軸を、Ｘ軸周りに、所定の角度だけ回転させたものである。ｙ軸は、光偏向器１４の短手方向に対応し、ｚ軸は、光偏向器１４の高さ方向に対応する。ここでは、便宜上、ｚ軸負側を光偏向器１４の上側と定義する。
【００２９】
光偏向器１４は、電磁力を利用してミラー１７を駆動する構成となっている。ハウジング１０１に、電磁駆動のための構成部材が設置されている。
【００３０】
ハウジング１０１は、ｘ軸方向に長い直方体形状を有する。ハウジング１０１の上面には、平面視において長方形の凹部１０１ａが形成されている。また、ハウジング１０１には、ｘ軸正負の縁の上面に、それぞれ、ボス１０１ｂが形成されている。２つのボス１０１ｂは、ハウジング１０１のｙ軸方向の中間位置に配置されている。ハウジング１０１は、剛性が高い金属材料からなっている。
【００３１】
図３Ａおよび図４Ｂに示すように、ハウジング１０１の上面に、枠状の板バネ１０２が設置される。板バネ１０２は、枠部１０２ａと、支持部１０２ｂと、２つの梁部１０２ｃと、２つの孔１０２ｄとを有する。
【００３２】
ｘ軸方向の中間位置において、枠部１０２ａからｙ軸方向に平行に延びるように、２つの梁部１０２ｃが形成され、これら梁部１０２ｃによって、枠部１０２ａと支持部１０２ｂとが連結されている。支持部１０２ｂは、平面視において長方形であり、支持部１０２ｂのｘ軸方向の中間位置において、２つの梁部１０２ｃが支持部１０２ｂに繋がっている。ｘ軸正側の孔１０２ｄは、ボス１０１ｂと同様、平面視において円形で、ｘ軸負側の孔１０２ｄは、平面視においてｘ軸方向に長い形状である。板バネ１０２は、ｙ軸方向に対称な形状であり、また、２つの孔１０２ｄを除いてｘ軸方向に対称な形状である。板バネ１０２は、可撓性の金属材料により一体形成されている。
【００３３】
２つの孔１０２ｄは、それぞれ、２つのボス１０１ｂに対応する位置に設けられている。図３Ａおよび図４Ｂに示すように、孔１０２ｄにボス１０１ｂが嵌められた状態で、４つのネジ１０３により、板バネ１０２がハウジング１０１の上面に固定される。支持部１０２ｂの上面にミラー１７が接着剤等によって固定される。ミラー１７は、平面視において略正方形である。２つの梁部１０２ｃを繋いだ軸が、ミラー１７の回動軸Ｌ１となる。すなわち、２つの梁部１０２ｃは、ミラー１７の回動軸Ｌ１に沿うように設けられている。一対の梁部１０２ｃは、回動軸Ｌ１に沿ってｙ軸方向の両側から支持部１０２ｂおよびミラー１７を弾性支持している。
【００３４】
なお、レーザ光源１２からのレーザ光は、ミラー１７の入射面に対して斜め方向から、ミラー１７の中央位置に入射する。すなわち、回動軸Ｌ１とレーザ光の中心軸とが交差するように、レーザ光源１２からのレーザ光が、ミラー１７に入射する。
【００３５】
支持部１０２ｂの下面にコイル１０４が装着される。コイル１０４は、平面視において長方形の角が丸められた形状に周回している。コイル１０４は、長辺の中間位置が回動軸Ｌ１に一致するように、支持部１０２ｂの下面に設置される。コイル１０４、支持部１０２ｂおよびミラー１７が、光偏向器１４の可動部１４ｂを構成する。
【００３６】
コイル１０４のｘ軸正側およびｘ軸負側の部分をそれぞれｘ軸方向に挟むように、磁石１０５および磁石１０６の組が２つ配置される。図４Ａに示すように、磁石１０５と磁石１０６は、それぞれ、ヨーク１０７の壁部１０７ａ、壁部１０７ｂに設置される。この状態で、ヨーク１０７に形成された２つの孔１０７ｃとハウジング１０１の凹部１０１ａ底面に形成された２つのボス１０１ｃが合わされて、ヨーク１０７が、ハウジング１０１の凹部１０１ａの底面に設置される。２組の磁石１０５、磁石１０６と、ヨーク１０７とによって磁気回路１４ａが構成される。
【００３７】
ｘ軸正側の磁石１０５、磁石１０６によって生じる磁界と、ｘ軸負側の磁石１０５、磁石１０６によって生じる磁界と、コイル１０４に印加される駆動信号（電流）とにより、回動軸Ｌ１周りの駆動力がコイル１０４に励起される。これにより、ミラー１７が、回動軸Ｌ１を軸として回動する。このとき、板バネ１０２の一対の梁部１０２ｃが弾性変形する。
【００３８】
なお、実施形態１では、磁石１０５、磁石１０６が、それぞれ、３つの磁石をｚ軸方向に重ねた構成となっている。これら３つの磁石は、ミラー１７の回動動作において、ミラー１７が中立位置付近の回動範囲において可動部１４ｂの角速度が減速するように、磁極および厚みが調整されている。
【００３９】
なお、「中立位置」とは、コイル１０４に駆動信号（電流）が印加されていない場合のミラー１７の位置のことであり、実施形態１の構成では、図３Ａのように、支持部１０２ｂおよびミラー１７が、回動軸Ｌ１について何れの方向にも回動しておらず、ｘ−ｙ平面に平行な状態にあるときのミラー１７の位置をいう。以下では、便宜上、ミラー１７が中立位置にあるときの可動部１４ｂの位置も中立位置と称する。
【００４０】
図５Ａ、図５Ｂは、それぞれ、磁石１０５、１０６の構成を模式的に示す図である。図５Ａは、ｘ軸正側の磁石１０５、１０６の設置位置をｙ軸負方向に見た図であり、図５Ｂは、ｘ軸負側の磁石１０５、１０６の設置位置をｙ軸負方向に見た図である。便宜上、図５Ａ、図５Ｂには、各磁石の磁極を示す文字が付記されている。
【００４１】
図５Ａおよび図５Ｂに示すように、磁石１０５は、２つの磁石１０５ａを磁石１０５ｂの上面と下面に重ねた構成となっており、また、磁石１０６は、２つの磁石１０６ａを磁石１０６ｂの上面と下面に重ねた構成となっている。磁石１０５ａと磁石１０６ａは、互いに異なる磁極が対向するようにヨーク１０７に設置される。磁石１０５ｂと磁石１０６ｂも、互いに異なる磁極が対向するようヨーク１０７に設置される。磁石１０５ａおよび磁石１０６ａと、磁石１０５ｂおよび磁石１０６ｂとは、磁石１０５と磁石１０６と間の隙間に面する磁極が互いに異なっている。
【００４２】
上段の磁石１０５ａと上段の磁石１０６ａのｚ軸方向の位置および幅は、互いに同じである。また、下段の磁石１０５ａと下段の磁石１０６ａのｚ軸方向の位置および幅も、互いに同じである。さらに、中段の磁石１０５ｂと中段の磁石１０６ｂのｚ軸方向における位置および幅も互いに同じである。中段の磁石１０５ａ、磁石１０５ｂのｚ軸方向の幅は、上段および下段の磁石１０５ａ、磁石１０６ａのｚ軸方向の幅よりも小さい。磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの幅は、可動部１４ｂ回動動作において、可動部１４ｂを中立位置付近で減速させるために可動部１４ｂに付与されるべき制動力に応じて調整される。
【００４３】
実施形態１では、図５Ａ、図５Ｂに示すように各磁石の磁極を設定し、さらに、各磁石の幅および磁力を調整することにより、長鎖線の矢印で示すように、磁石１０５ｂと磁石１０６ｂとの間における磁界の向きが、磁石１０５ａと磁石１０６ａとの間における磁界の向きに対して逆向きとなっている。これにより、ミラー１７の中立位置付記の角度範囲において、ミラー１７の角速度を相対的に減速させることができる。ミラー１７の回動動作については、追って、図７Ａ〜図８Ｃを参照して説明する。
【００４４】
図６Ａは、波長変換部材１５の構成を模式的に示す側面図である。
【００４５】
波長変換部材１５は、基板２０１の上面に、反射膜２０２と、蛍光体層２０３とを積層した構成となっている。
【００４６】
基板２０１は、たとえば、シリコンや窒化アルミニウムセラミックなどからなっている。
【００４７】
反射膜２０２は、第１の反射膜２０２ａと第２の反射膜２０２ｂとが積層されて構成されている。第１の反射膜２０２ａは、たとえば、Ａｇ、Ａｇ合金、Ａｌなどの金属膜である。第２の反射膜２０２ｂは、反射とともに第１の反射膜２０２ａを酸化などから保護する機能をも有し、たとえば、ＳｉＯ２、ＺｎＯ、ＺｒＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＳｉＮ、ＡｌＮなど誘電体の１つまたは複数の層からなっている。反射膜２０２は、必ずしも、第１の反射膜２０２ａおよび第２の反射膜２０２ｂから構成されなくともよく、単層または３つ以上の層が積層された構成であってもよい。
【００４８】
蛍光体層２０３は、蛍光体粒子２０３ａをバインダ２０３ｂで固定することにより形成される。蛍光体粒子２０３ａは、レーザ光源１２から出射された青色波長帯のレーザ光が照射されることによって黄色波長帯の蛍光を発する。蛍光体粒子２０３ａとして、たとえば、平均粒子径が１μｍ〜３０μｍの（ＹｎＧｄ１−ｎ）３（ＡｌｍＧａ１−ｍ）５Ｏ１２：Ｃｅ（０．５≦ｎ≦１、０．５≦ｍ≦１）が用いられる。また、バインダ２０３ｂとして、ポリメチルシルセスキオキサンなどのシルセスキオキサンを主に含む透明材料が用いられる。
【００４９】
蛍光体層２０３には、さらに、第２粒子として、平均粒子径が０．１μｍ〜１０μｍで熱伝導率３０Ｗ／（ｍ・Ｋ）のＡｌ２Ｏ３の微粒子が混合されるとよい。この場合、第２粒子は、蛍光体粒子２０３ａに対して１０ｖｏｌ％以上、９０ｖｏｌ％以下の比率で混合される。たとえば、第２粒子として、バインダ２０３ｂの材料であるシルセスキオキサン（屈折率１．５）と屈折率差が大きいＡｌ２Ｏ３（屈折率１．８）が用いられる。この構成により、蛍光体層２０３の内部での光散乱性が向上するとともに、蛍光体層２０３の熱伝導率を高くすることができる。なお、ｖｏｌ％とは、体積％のことである。
【００５０】
さらに、蛍光体層２０３の内部に、ボイド２０３ｃを設けることが好ましい。実施形態１では、蛍光体層２０３の中央付近に形成されたボイド２０３ｃと、反射膜２０２との界面付近に形成されたボイド２０３ｃが蛍光体層２０３に設けられる。
【００５１】
ここで、蛍光体層２０３の内部に形成されたボイド２０３ｃは、反射膜２０２に近いほど密度が高くなるように構成される。この構成により、内部に侵入したレーザ光をより効率的に散乱させて、光源装置２から取り出すことができる。また、反射膜２０２との界面付近に形成されたボイド２０３ｃは、誘電体である第２の反射膜２０２ｂと接するため、金属表面によるエネルギーロスを低減しつつ、効果的にレーザ光と蛍光を散乱させることができる。
【００５２】
上記のようなボイド２０３ｃの配置は、ＹＡＧ：Ｃｅからなる蛍光体粒子２０３ａと、ポリシルセスキオキサンからなるバインダ２０３ｂとを混合した、蛍光体ペーストを用いて波長変換部材１５を構成することで容易に形成できる。具体的には、蛍光体粒子２０３ａと第２粒子とを、ポリシルセスキオキサンを有機溶剤に溶かしたバインダ２０３ｂに混合した蛍光体ペーストを用いて基板２０１（反射膜２０２）上に成膜し、その後、２００℃程度の高温アニールを行うことで、ペースト中の有機溶剤を気化させる。このとき、波長変換部材１５の基板２０１に近い部分から気化した有機溶剤は保持されやすいため、基板２０１に近い部分では、ボイド２０３ｃが容易に形成され得る。このような製造方法により、容易に反射膜２０２の近傍に高い密度のボイド２０３ｃを形成することができる。
【００５３】
なお、蛍光体層２０３には、さらに、強度および耐熱性を高めるためのフィラー２０３ｄが含まれる。フィラー２０３ｄとバインダ２０３ｂとの屈折率差も、蛍光体粒子２０３ａとバインダ２０３ｂとの屈折率差と同様、大きく設定される。
【００５４】
レーザ光源１２から出射されたレーザ光は、図６Ａに示す励起領域Ｒ１に照射され、蛍光体層２０３の表面または内部で、散乱、吸収される。このとき、レーザ光の一部は、蛍光体粒子２０３ａにより黄色波長帯の光に変換されて、蛍光体層２０３から放射される。また、レーザ光の他の一部は、黄色波長帯の光に変換されずに散乱されて青色波長帯の光のまま蛍光体層２０３から放射される。このとき、各波長帯の光は、蛍光体層２０３内を伝搬しながら散乱されるため、励起領域Ｒ１よりも広い発光領域Ｒ２から放射される。
【００５５】
なお、上記のようにバインダ２０３ｂと蛍光体粒子２０３ａの屈折率差、および、バインダ２０３ｂとフィラー２０３ｄの屈折率差が何れも大きくなるように蛍光体層２０３が構成されることにより、光を散乱し易くでき、また、光の蛍光体層２０３内部での伝搬を抑制することができる。この結果、励起領域Ｒ１よりも微小に広い発光領域Ｒ２から光を放射させることができる。また、実施形態１では、さらに、蛍光体層２０３にボイド２０３ｃを配置して、光の散乱を増強させている。この結果、さらに励起領域Ｒ１と発光領域Ｒ２とを近づけることができる。
【００５６】
図６Ｂは、波長変換部材１５の構成を模式的に示す平面図である。
【００５７】
波長変換部材１５は、平面視において、Ｘ軸方向に長い長方形の形状を有する。波長変換部材１５は、光偏向器１４のミラー１７が回動されることにより、レーザ光でＸ軸方向に走査される。図６Ｂにおいて、Ｂ１は、レーザ光のビームスポットを示している。ビームスポットＢ１は、波長変換部材１５の入射面１５ａを幅Ｗ１において往復移動する。
【００５８】
たとえば、コイル１０４に、ゼロレベルを振幅中心とする三角波状の駆動信号（電流）が印加される。この駆動信号によりコイル１０４に励起される駆動力によって、支持部１０２ｂとともにミラー１７が中立位置を中心に所定の回動幅で回動する。これにより、ミラー１７で反射されたレーザ光（ビームスポットＢ１）が、波長変換部材１５の入射面１５ａを幅Ｗ１において往復移動する。
【００５９】
入射面１５ａ上におけるビームスポットＢ１の領域は、図６Ａの励起領域Ｒ１に対応する。波長変換部材１５の入射面１５ａをビームスポットＢ１が移動する間に、ビームスポットＢ１の領域よりもやや広い発光領域Ｒ２から青色波長帯の拡散光と黄色波長帯の拡散光がＺ軸正方向に放射される。
【００６０】
こうして放射された２つの波長帯の光が、図１、図２に示した投射光学系３により取り込まれ、目標領域に投射される。これにより、青色波長帯の光と黄色波長帯の光が合成された白色の光が、投光装置１から目標領域に投射される。
【００６１】
図７Ａ〜図８Ｃは、光偏向器１４の可動部１４ｂの回動動作を説明する図である。便宜上、可動部１４ｂの構成としてミラー１７およびコイル１０４のみが図示され、支持部１０２ｂの図示は省略されている。図７Ａ〜図８Ｃには、磁石１０５、磁石１０６付近をｙ軸正側から見たときの断面図が模式的に示されている。
【００６２】
図７Ａ〜図８Ｃにおいて、破線矢印は磁界の向きを示し、実線矢印はコイル１０４に生じる駆動力の向きを示し、点線矢印はミラー１７の回動方向を示している。また、図７Ａ〜図８Ｃには、磁石１０５、１０６の隙間の挿入されたコイル１０４部分の電流の向きが、方向を表す記号で図示されている。さらに、図７Ａ〜図８Ｃには、各磁石の磁極のうち、コイル１０４に対向する方の磁極を示す文字が各磁石に付記されている。以下の説明では、可動部１４ｂの回動方向は、ｙ軸負方向に見た場合の回動方向とする。
【００６３】
図７Ａは、ミラー１７が時計方向に最も回動した状態を示している。この状態において、ミラー１７およびコイル１０４は停止している。コイル１０４に印加された駆動信号（電流）によって、図７Ａに示すように、磁石１０５、１０６に挟まれたコイル１０４の部分（以下、「励磁部分１０４ａ」という）に駆動力が生じる。この駆動力と、板バネ１０２の弾性復帰力とによって、可動部１４ｂが反時計方向の回動を始める。
【００６４】
その後、図７Ｂに示すように、コイル１０４の励磁部分１０４ａが磁石１０５ａ、１０６ａと磁石１０５ｂ、１０６ｂとの境界付近を超えると、励磁部分１０４ａに付与される磁界の向きが反転する。これにより、励磁部分１０４ａに生じる駆動力が反転し、コイル１０４の回動に反する方向のトルク（制動力）が発生する。このトルク（制動力）によって、可動部１４ｂの回動速度（角速度）が低下する。この場合も、可動部１４ｂは、慣性力により反時計方向の回動を続ける。
【００６５】
その後、図７Ｃに示すように、ミラー１７が中立位置に到達すると、コイル１０４に印加される駆動信号（電流）がゼロとなる。コイル１０４に印加される駆動信号（電流）は、図７Ａのタイミングから図７Ｃのタイミングに向かうに従って徐々に低下し、図７Ｃのタイミングにおいてゼロとなる。そして、図７Ｃのタイミングを過ぎると、コイル１０４に印加される駆動信号（電流）の極性が反転し、その後、次第に駆動信号（電流）の大きさが反転後の極性で高められる。
【００６６】
さらに、コイル１０４の励磁部分１０４ａが、図８Ａに示す位置、すなわち、磁石１０５ａ、１０６ａと磁石１０５ｂ、１０６ｂとの境界付近を超えると、コイル１０４の励磁部分１０４ａに付与される磁界の向きが反転する。ここで、図７Ｃのタイミングから図８Ａのタイミングまでの期間は、コイル１０４の励磁部分１０４ａに、コイル１０４の回動を促進する方向の駆動力が発生する。図８Ａの実線矢印は、この駆動力を示している。この駆動力により、図７Ｃのタイミングから図８Ａのタイミングまでの期間において、可動部１４ｂの回動速度（角速度）が高まる。
【００６７】
そして、コイル１０４の励磁部分１０４ａが磁石１０５ａ、磁石１０６ａと磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂとの境界付近を超えると、励磁部分１０４ａに付与される磁界の向きが再度反転し、これに伴い、励磁部分１０４ａに生じる駆動力が反転する。これにより、可動部１４ｂの回動に反する方向のトルク（制動力）が発生する。このトルク（制動力）によって、可動部１４ｂの回動速度（角速度）が徐々に低下する。
【００６８】
その後、可動部１４ｂの反時計方向の回動が図８Ｂに示す位置まで進むと、可動部１４ｂの回動が停止する。したがって、図８Ｂの位置が、可動部１４ｂの反時計方向の最大回動位置となる。中立位置に対する反時計方向の最大回動角は、図７Ａに示した中立位置に対する時計方向の最大回動角と同じである。その後、可動部１４ｂは、コイル１０４の励磁部分１０４ａに生じる駆動力と、板バネ１０２の弾性復帰力とによって、時計方向の回動を始める。
【００６９】
この回動動作においても、図８Ｃに示すように、コイル１０４の励磁部分１０４ａが磁石１０５ａ、磁石１０６ａと磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂとの境界付近を超えると、コイル１０４の励磁部分１０４ａに付与される磁界の向きが反転し、コイル１０４の回動に反する方向のトルク（制動力）が発生する。このトルク（制動力）によって、可動部１４ｂの回動速度（角速度）が低下する。その後は、図７Ｃ〜図８Ｂの場合と逆の過程で可動部１４ｂが時計方向に回動する。これにより、可動部１４ｂが図７Ａの位置に戻る。その後、可動部１４ｂは、同様の回動動作を繰り返す。
【００７０】
図９Ａは、光偏向器１４の可動部１４ｂ（支持部１０２ｂ、コイル１０４、ミラー１７）の角速度の変化を模式的に示すグラフである。図９Ａにおいて、横軸は、光偏向器１４の可動部１４ｂの回動角度である。図９Ａのグラフでは、時計方向の最大回動角（−θ１）から反時計方向の最大回動角（＋θ１）までの範囲における可動部１４ｂの角速度が示されている。なお、角度−θ２、＋θ２は、コイル１０４が磁石１０５ａ、磁石１０６ａと磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂとの境界付近（磁界の反転位置）に位置するときの回動角である。
【００７１】
図９Ａに示すように、回動角が−θ１から−θ２に近づくに伴い、コイル１０４に生じた回動促進方向の駆動力と板バネ１０２の弾性復帰力により可動部１４ｂの角速度が増加し、回動角が−θ２に到達すると、角速度が最大になる。そして、回動角が−θ２から０に近づくと、コイル１０４に生じた制動方向の駆動力によって、可動部１４ｂの角速度が徐々に減少する。その後、回動角が０から＋θ２に近づくに伴い、コイル１０４に生じた回動促進方向の駆動力によって、可動部１４ｂの角速度が徐々に増加し、回動角が＋θ２に到達すると、角速度が最大になる。そして、回動角が＋θ２から＋θ１に近づくと、コイル１０４に生じた制動方向の駆動力によって、角速度が減少し、回動角が＋θ１になると可動部１４ｂの角速度がゼロとなる。回動角が＋θ１から−θ１まで変化する場合も、同様に、可動部１４ｂの角速度が変化する。
【００７２】
このように、回動角が−θ２と＋θ２の間の範囲にあるとき、可動部１４ｂの角速度は、回動角が−θ２、＋θ２のときの可動部１４ｂの角速度に比べて相対的に低速になる。
【００７３】
図９Ｂは、波長変換部材１５の入射面１５ａ上の各位置における光度（単位時間あたりの光量）を模式的に示すグラフである。図９Ｂのグラフにおいて、横軸は、入射面１５ａ上のビームスポットＢ１の移動方向における位置、すなわち、図６ＢにおけるＸ軸方向の位置に対応する。支持部１０２ｂの回動角度が−θ１、−θ２、０、＋θ２、＋θ１のとき、入射面１５ａ上のビームスポットＢ１の位置は、それぞれ、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５となる。
【００７４】
上述したように、光偏向器１４の可動部１４ｂが回動角−θ２〜＋θ２の範囲にあるとき、可動部１４ｂの角速度は相対的に低速になる。これにより、図９Ｂに示すように、位置Ｐ２と位置Ｐ４の間における入射面１５ａ上の光度は、位置Ｐ２、Ｐ４における入射面１５ａ上の光度に比べて、相対的に高められる。
【００７５】
＜検証＞
発明者らは、第１実施形態の光偏向器１４を用いた場合の可動部１４ｂの速度変化を、比較例と対比して、シミュレーションにより検証した。比較例では、磁石１０５、１０６が、いずれも１つの磁石により構成され、磁石１０５と磁石１０６との間の磁界の向きがｘ軸負方向となるよう、磁石１０５、１０６が配置された。
【００７６】
第１実施形態のシミュレーションの条件は、以下のように設定した。
【００７７】
（１）コイル１０４、支持部１０２ｂおよびミラー１７により構成される可動部１４ｂの慣性モーメント：  ２．６ｇ・ｍ２
（２）可動部１４ｂの重量：  １５０ｍｇ
（３）コイル１０４の材料：  銅クラッドアルミ
（４）コイル１０４の大きさ等：  横１４ｍｍ、縦１０ｍｍ、厚み０．８ｍｍ、４５ターン
（５）磁石１０５ａ、磁石１０５ｂ、磁石１０６ａ、磁石１０６ｂの材料：  ネオジ永久磁石
（６）磁石１０５ａ、磁石１０５ｂ、磁石１０６ａ、磁石１０６ｂの残留磁束密度：  １．３９Ｔ
（７）磁石１０５ａ、磁石１０６ａの厚み：  １．３５ｍｍ
（８）磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの厚み：  ０．７ｍｍ
（９）ヨーク１０７の材料：  鉄鋼（ＳＳ４００）
比較例では、上記（７）、（８）のシミュレーション条件に代えて、ｚ軸方向の厚みが３．４ｍｍの単一の磁石１０５、１０６が想定された。これら磁石１０５、１０６の材料および残留磁束密度は、上記（５）、（６）と同様とした。
【００７８】
以上の条件で、可動部１４ｂを中立位置に対して正負方向に２．５度の範囲で回動させたときの、可動部１４ｂの角速度を検証した。
【００７９】
図１０Ｃは、第１実施形態に係る光偏向器１４を用いた場合の角速度のシミュレーション結果を示すグラフである。第１実施形態の検証では、図１０Ａに示すように、ゼロレベルを振幅中心とする三角波状の駆動信号（電圧）が印加され、図１０Ｂに示すように、磁束密度が設定された。なお、図１０Ａの横軸は、駆動信号の印加タイミングが可動部１４ｂの回動角で示されている。また、図１０Ｂの磁束密度は、横軸の回動角に可動部１４ｂがあるときにコイル１０４の励磁部分１０４ａに印加される磁束密度である。図１０Ａ〜図１０Ｃのグラフの縦軸は、何れも、最大値を１として規格化されている。
【００８０】
図１１Ｃは、比較例に係る光偏向器１４を用いた場合の角速度のシミュレーション結果を示すグラフである。比較例の検証では、図１１Ａに示すように、実施形態１と同様に三角波状の駆動信号（電圧）が印加され、図１１Ｂに示すように、コイル１０４の励磁部分１０４ａに印加される磁束密度が全角度範囲において一定に設定された。図１１Ａ〜図１１Ｃのグラフの縦軸も、最大値を１として規格化されている。
【００８１】
図１１Ｃに示すように、比較例では、中立位置付近において、可動部１１ｂの角速度が減速せずに最大値となった。これに対し、第１実施形態では、図１０Ｃに示すように、中立位置付近において、可動部１４ｂの角速度が減速された。
【００８２】
このように、第１実施形態の構成では、磁束密度を図９Ｂのように設定することにより、比較例とは異なり、中立位置付近において可動部１４ｂの角速度を減速できることが確認できた。これにより、第１実施形態では、波長変換部材１５の中央付近の走査範囲において、レーザ光の走査速度が相対的に低下し、目標領域に投射される光の光量が高まることが確認できた。
【００８３】
＜実施形態の効果＞
以上、実施形態１によれば、以下の効果が奏される。
【００８４】
図３Ａ〜図４Ｂに示したように、コイル１０４と磁気回路１４ａとを用いて可動部１４ｂ（ミラー１７、支持部１０２ｂおよびコイル１０４）が駆動されるため、高反射率のミラー等、高重量の走査手段が用いられる場合も、適正かつ高精度にミラー１７を制御することができる。
【００８５】
また、図１０Ｂに示したように、可動部１４ｂが中立位置（所定の移動範囲）に向かうほどコイル１０４に付与される磁界の強さ（磁束密度）が相対的に減少するように磁気回路１４ａが構成されている。このため、図１０Ｃに示したように、中立位置付近において、可動部１４ｂの角速度を相対的に低下させ得る。すなわち、図９Ａに示した角度範囲（−θ２〜＋θ２）において、可動部１４ｂの角速度を相対的に減速させ得る。よって、図９Ｂに示すように、中立位置付近の角度範囲（−θ２〜＋θ２）に対応する中央付近の走査範囲（位置Ｐ２〜Ｐ４）において、レーザ光の走査速度を相対的に低速にできる。
【００８６】
よって、第１実施形態によれば、波長変換部材１５に対して光を走査させるための走査手段として高反射率ミラー等の高重量のミラー１７が用いられる場合も、中央付近の走査範囲においてレーザ光の走査速度が相対的に低速となるように、光偏向器１４を適正かつ高精度に制御できる。
【００８７】
なお、第１実施形態では、図１０Ｂに示すように、中立位置付近の角度範囲において、コイル１０４に付与される磁界の強さ（磁束密度）が最小となっているため、図１０Ｃに示すように、中立位置付近において可動部１４ｂの角速度を低下させ得る。ただし、可動部１４ｂの角速度を低下させる範囲は、中立位置付近に限らず、他の範囲であってもよい。この場合、可動部１４ｂの角速度を低下させる範囲に応じて、コイル１０４に付与される磁界の強さ（磁束密度）が最小となる角度位置が適宜変更される。
【００８８】
また、第１実施形態では、図１０Ｂに示したように、中立位置を含む角度範囲（約−１．３°〜約＋１．３°）において磁界の向きが反転するように、磁気回路１４ａが構成されている。このため、この角度範囲内の角度が負である範囲において、可動部１４ｂの回動を抑制するトルクを可動部１４ｂに付与できる。よって、可動部１４ｂの角速度を中立位置付近において効果的に弱めることができる。
【００８９】
ここで、中立位置を含む角度範囲（約−１．３°〜約＋１．３°）における磁界の強さが、図１０Ｂに示すように、可動部１４ｂの角速度を減速させ得る強さに設定されている。これにより、図１０Ｃに示すように、中立位置付近における可動部１４ｂの角速度を、相対的に減速させることができる。
【００９０】
また、図５Ａ、図５Ｂおよび図７Ａ〜図８Ｃに示すように、磁気回路１４ａは、可動部１４ｂの移動に伴いコイル１０４に対向する磁極が変化するように構成されている。より詳細には、磁気回路１４ａは、可動部１４ｂが中立位置に位置するときにコイル１０４に向き合う第１の磁極（磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの磁極）と、可動部１４ｂの移動方向（ｚ軸方向）に第１の磁極を挟む位置にそれぞれ配置され第１の磁極と相違する第２の磁極（磁石１０５ａ、１０６ａの磁極）と、を備えるように構成されている。これにより、図１０Ｂに示した磁界（磁束密度）を実現できる。
【００９１】
ここで、実施形態１では、複数の磁石（２つの磁石１０５ａと磁石１０５ｂ、２つの磁石１０６ａと磁石１０６ｂ）を組み合わせることにより、第１の磁極と第２の磁極が構成されている。この構成によれば、各磁石の強度および幅を調整することにより、図１０Ｂに示した磁界（磁束密度）を容易に実現できる。
【００９２】
また、図５Ａ、図５Ｂおよび図７Ａ〜図８Ｃに示すように、可動部１４ｂの移動方向（ｚ軸方向）における第１の磁極（磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの磁極）の幅が、可動部１４ｂの移動方向（ｚ軸方向）における第２の磁極（磁石１０５ａ、磁石１０６ａの磁極）の幅よりも小さく設定されている。これにより、制動力が付与される回動範囲を狭くでき、推進方向の駆動力が付与される回動範囲を広くできるため、可動部１４ｂを円滑かつ安定的に移動させつつ、中立位置付近において可動部１４ｂの回動速度を減速させることができる。
【００９３】
＜第１変更例＞
本開示の実施形態は、上記第１実施形態に限られるものではなく、種々の変更が可能である。以下、第１実施形態の変更例について説明する。
【００９４】
図１２Ａは、第１変更例に係る磁気回路１４ａの構成を示す側面図である。図１２Ａには、磁気回路１４ａのｘ軸正側の部分をｙ軸負方向に見た図が示されている。磁気回路１４ａのｘ軸負側の部分については、図１２Ａと同様であるため、図示を省略する。
【００９５】
第１変更例では、実施形態１の磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂが、それぞれ、非磁性体１０８、非磁性体１０９に置き換えられている。非磁性体１０８、非磁性体１０９は、たとえば、プラスチックにより構成される。
【００９６】
第１変更例の磁気回路１４ａでは、第１実施形態と異なり、中立位置付近の回動範囲において磁界の向きが反転しない。しかし、第１変更例の磁気回路１４ａでは、中立位置付近の回動範囲に非磁性体１０８、非磁性体１０９が配置されているため、中立位置付近の回動範囲において、磁石１０５、磁石１０６間の隙間の磁界強度をゼロ付近まで減少させ得る。このため、この構成では、中立位置付近の回動範囲において、可動部１４ｂの角速度の変化が緩やかになる。その結果、図１１Ａ〜図１１Ｃに示した比較例の場合に比べて、中立位置付近における可動部１４ｂの角速度を低下させ得る。よって、波長変換部材１５の中央付近の走査範囲において、レーザ光の走査速度を比較例の場合に比べて低下させることができ、波長変換部材１５の中央付近で生じる光の光量を高めることができる。
【００９７】
なお、図１２Ｂに示すように、非磁性体１０８、非磁性体１０９を省略して、ｚ軸方向に並ぶ磁石１０５ａ間に隙間を設けてもよい。この場合も、図１２Ａの構成と同様、中立位置付近の回動範囲において、磁石１０５、磁石１０６間の隙間の磁界強度をゼロ付近まで減少させ得る。このため、図１２Ａの構成と同様の効果が奏され得る。
【００９８】
なお、実施形態１の構成によっても、磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂのｚ軸方向の幅が小さい場合や、磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの磁力が小さい場合は、中立位置付近の回動範囲における磁界の向きが反転しない場合が起こり得る。しかし、この場合も、図１２Ａ、図１２Ｂの構成に比べて、磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの磁束によって、中立位置付近の回動範囲における磁界の強度を、ゼロ付近までより円滑に減少させ得る。よって、この場合も、図１１Ａ〜図１１Ｃに示した比較例の場合に比べて、中立位置付近における可動部１４ｂの角速度を低下させることができ、波長変換部材１５の中央付近から生じる光量を高めることができる。
【００９９】
＜第２変更例＞
図１２Ｃは、第２変更例に係る磁気回路１４ａの構成を示す側面図である。図１２Ｃには、磁気回路１４ａのｘ軸正側の部分をｙ軸負方向に見た図が示されている。磁気回路１４ａのｘ軸負側の部分については、図１２Ｃと同様であるため、図示を省略する。
【０１００】
図１２Ｃに示すように、第２変更例では、中断の磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの互いに対向する磁極面の距離が、上段および下段の磁石１０５ａ、磁石１０６ａの互いに対向する磁極面の距離よりも小さくなっている。この構成により、第２変更例では、中立位置付近の回動範囲における反対磁界の強度をより高めることができ、中立位置付近において、より効果的に、可動部１４ｂを減速させ得る。
【０１０１】
なお、図１２Ｃの構成では、中段の磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの互いに対向する磁極面の両方が、それぞれ、上段および下段の磁石１０５ａ、磁石１０６ａの互いに対向する磁極面に対して突出しているが、磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの互いに対向する磁極面の一方のみが、上段および下段の磁石１０５ａ、磁石１０６ａの互いに対向する磁極面の一方から突出する構成であってもよい。磁石１０５ｂ、磁石１０６ｂの互いに対向する磁極面のｘ軸方向の位置は、中立位置付近の回動範囲においてコイル１０４に付与すべき磁界の強度に応じて、適宜、調整され得る。
【０１０２】
＜第３変更例＞
磁石１０５、磁石１０６を構成するために重ねられる磁石の数は、必ずしも、上記第１実施形態のように３つでなくてもよい。
【０１０３】
たとえば、図１２Ｄに示すように、第１実施形態における磁石１０５ｂが、１つの磁石１０５ｃと２つの磁石１０５ｄに置き換えられ、また、第１実施形態における磁石１０６ｂが、１つの磁石１０６ｃと２つの磁石１０６ｄに置き換えられてもよい。ここでは、２つの磁石１０５ｄが、磁石１０５ｃのｚ軸正側およびｚ軸負側の面にそれぞれ設置され、また、２つの磁石１０６ｄが、磁石１０６ｃのｚ軸正側およびｚ軸負側の面にそれぞれ設置されている。磁石１０５ｃと磁石１０６ｃの磁力は同じであり、また、磁石１０５ｄと磁石１０６ｄの磁力は同じである。磁石１０５ｃ、磁石１０５ｄ、磁石１０６ｃ、磁石１０６ｄは、何れもＮ極がｘ軸正方向に向くように配置されている。
【０１０４】
この構成によれば、磁石１０５ｃ、磁石１０６ｃの磁力と、磁石１０５ｄ、磁石１０６ｄの磁力とを相違させ、あるいは、磁石１０５ｃ、磁石１０６ｃのｚ軸方向の幅と磁石１０５ｄ、磁石１０６ｄのｚ軸方向の幅とを相違させることにより、中立位置付近の回動範囲における磁界の分布をより細かく調整できる。これにより、中立位置付近の回動範囲において可動部１４ｂの付与される制動力をより細かく調整できる。
【０１０５】
中立位置付近の回動範囲においてｚ軸方向に配置される磁石の数は、図１２Ｄに示した数に限られるものではない。また、磁石１０５ａも、磁力または厚みの異なる複数の磁石を組み合わせて構成されてもよい。
【０１０６】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、光偏向器１４が、ミラー１７を１軸で回動させる構成であった。これに対し、第２実施形態では、ミラー１７が互いに直交する２つの回動軸について回動可能なように、光偏向器１４が構成されている。
【０１０７】
第２実施形態では、ミラー１７が２軸駆動可能であるため、波長変換部材１５の入射面１５ａにおけるレーザ光の走査軌跡が第１実施形態と異なっている。実施形態２では、後述のように、波長変換部材１５の入射面１５ａに複数の走査ラインが設定され、これに伴い、波長変換部材１５の入射面１５ａを走査するビームスポットのサイズが、第１実施形態に比べて絞られている。投光装置１および光源装置２のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１０８】
なお、ビームスポットのサイズは、レーザ光源１２とコリメータレンズ１３との間の距離や、コリメータレンズ１３の開口数等を調整して、コリメータレンズ１３によりレーザ光を収束させることにより、より小さく絞ることができる。この他、ミラー１７の反射面を凹面形状として、レーザ光を収束させるようにしてもよい。
【０１０９】
図１３は、実施形態２に係る光偏向器１４の構成を示す斜視図である。また、図１４Ａ、図１４Ｂは、それぞれ、実施形態２に係る光偏向器１４の構成を示す断面斜視図である。図１４Ａには、ｘ−ｚ平面に平行な平面で図１３の光偏向器１４をｙ軸方向の中央位置において切断したXIVA−XIVA断面図が示され、図１４Ｂには、ｙ−ｚ平面に平行な平面で図１３の光偏向器１４をｘ軸方向の中央位置において切断したXIVB−XIVB断面図が示されている。図１５Ａは、実施形態２に係る磁気回路１４ａの構成を示す分解斜視図、図１５Ｂは、実施形態２に係る光偏向器１４の組み立て過程を示す分解斜視図である。図１３〜図１５Ｂには、図３Ａ、図３Ｂと同様のｘ、ｙ、ｚ軸が示されている。
【０１１０】
ハウジング１１１は、ｘ軸方向に長い直方体形状を有する。ハウジング１１１の上面には、平面視において長方形の凹部１１１ａが形成されている。ハウジング１１１は、剛性が高い金属材料からなっている。
【０１１１】
図１３および図１５Ｂに示すように、ハウジング１１１の上面に、枠状の板バネ１１２が設置される。板バネ１１２は、外枠部１１２ａと、内枠部１１２ｂと、２つの梁部１１２ｃと、支持部１１２ｄと、２つの梁部１１２ｅとを有する。ｙ軸方向の中間位置において、外枠部１１２ａからｘ軸方向に平行に延びるように、２つの梁部１１２ｃが形成され、これら梁部１１２ｃによって、外枠部１１２ａと内枠部１１２ｂとが連結されている。また、ｘ軸方向の中間位置において、内枠部１１２ｂからｙ軸方向に平行に延びるように、２つの梁部１１２ｅが形成され、これら梁部１１２ｅによって、内枠部１１２ｂと支持部１１２ｄとが連結されている。
【０１１２】
内枠部１１２ｂは、平面視において長方形の角が丸められた輪郭を有し、内枠部１１２ｂのｙ軸方向の中間位置において、２つの梁部１１２ｃが内枠部１１２ｂに繋がっている。また、支持部１１２ｄは、平面視において長方形の輪郭を有し、支持部１１２ｄのｘ軸方向の中間位置において、２つの梁部１１２ｅが支持部１１２ｄに繋がっている。板バネ１１２は、ｘ軸方向およびｙ軸方向に対称な形状である。板バネ１１２は、可撓性の金属材料により一体形成されている。
【０１１３】
図１５Ｂに示すように、外枠部１１２ａをハウジング１１１の上面に載せた状態で、４つのネジ１１３により、板バネ１１２がハウジング１１１の上面に固定される。支持部１１２ｄの上面にミラー１７が接着剤等によって固定される。ミラー１７は、平面視において略正方形である。２つの梁部１１２ｅを繋いだ軸が、上記実施形態１と同様、レーザ光を波長変換部材１５の長手方向に走査させるための、ミラー１７の回動軸Ｌ１となる。また、２つの梁部１１２ｃを繋いだ軸が、波長変換部材１５におけるレーザ光の走査ラインを変更するための、ミラー１７の回動軸Ｌ２となる。
【０１１４】
なお、上記第１実施形態と同様、レーザ光源１２からのレーザ光は、ミラー１７の中央位置に入射する。すなわち、回動軸Ｌ１、回動軸Ｌ２が交わる位置をレーザ光の中心軸が貫くように、レーザ光源１２からのレーザ光が、ミラー１７に入射する。
【０１１５】
支持部１１２ｄの下面にコイル１１４が装着される。コイル１１４は、平面視において長方形の角が丸められた形状に周回している。コイル１１４は、長辺の中間位置が回動軸Ｌ１に一致するように、支持部１１２ｄの下面に設置される。コイル１１４、支持部１１２ｄおよびミラー１７が、光偏向器１４の可動部１４ｂを構成する。
【０１１６】
コイル１１４をｘ軸方向に挟むように、磁石１１５および磁石１１６の組が２つ配置される。図１５Ａに示すように、磁石１１５と磁石１１６は、それぞれ、ヨーク１１７の壁部１１７ａ、壁部１１７ｂに設置される。この状態で、ヨーク１１７に形成された２つの孔１１７ｃとハウジング１１１の凹部１１１ａ底面に形成された２つのボス１１１ｃが合わされて、ヨーク１１７が、ハウジング１１１の凹部１１１ａの底面に設置される。各組の磁石１１５および磁石１１６の構成および磁極の設定方法は、図３Ａ、図３Ｂに示した磁石１０５および磁石１０６と同様である。
【０１１７】
さらに、内枠部１１２ｂの下面にコイル１１８が装着される。コイル１１８は、平面視において内枠部１１２ｂと同様の形状である。コイル１１８は、短辺の中間位置が回動軸Ｌ２に一致するように、内枠部１１２ｂの下面に設置される。コイル１１８および内枠部１１２ｂが、光偏向器１４の第２の可動部を構成する。
【０１１８】
図１３に示すように、コイル１１４に対して、ｙ軸正側とｙ軸負側に、それぞれ、磁石１１９が配置される。図１５Ａに示すように、これら磁石１１９は、ヨーク１１７の壁部１１７ｄに設置される。また、これら２つの磁石１１９は、コイル１１８に対向する磁極が互いに異なるように、ヨーク１１７に設置される。これら２つの磁石１１９と、２組の磁石１１５、１１６と、ヨーク１１７とによって磁気回路１４ａが構成される。
【０１１９】
このように２つの磁石１１９の磁極を調整することにより、コイル１１８に駆動信号（電流）が印加されると、回動軸Ｌ２について内枠部１１２ｂが回動し、駆動信号の大きさに応じた角度だけ、内枠部１１２ｂが傾く。すなわち、内枠部１１２ｂは、梁部１１２ｃに生じる弾性復帰力とコイル１１８に励起された電磁力とが釣り合う角度だけ図１３に示した中立位置から傾く。このとき、内枠部１１２ｂの回動に伴って、支持部１１２ｄとともにミラー１７が回動する。
【０１２０】
支持部１１２ｄは、図３Ａ、図３Ｂの構成と同様、コイル１１４に駆動信号（電流）を印加することにより、回動軸Ｌ１を軸として回動する。支持部１１２ｄの回動に伴い、ミラー１７が回動軸Ｌ１を軸として回動する。このように、第２実施形態の光偏向器１４によれば、コイル１１４、コイル１１８にそれぞれ独立して駆動信号（電流）を印加することにより、ミラー１７を、回動軸Ｌ１、回動軸Ｌ２について個別に回動させることができる。
【０１２１】
図１６Ａ、図１６Ｂは、それぞれ、磁石１１５、磁石１１６の構成を模式的に示す図である。図１６Ａは、ｘ軸正側の磁石１１５、磁石１１６の設置位置をｙ軸負方向に見た図であり、図１６Ｂは、ｘ軸負側の磁石１１５、磁石１１６の設置位置をｙ軸負方向に見た図である。便宜上、図１６Ａ、図１６Ｂには、各磁石の磁極を示す文字が付記されている。
【０１２２】
図１６Ａ、図１６Ｂに示すように、磁石１１５、磁石１１６の構成および磁極は、図５Ａ、図５Ｂに示した磁石１０５、磁石１０６の構成および磁極と同じである。すなわち、磁石１１５は、２つの磁石１１５ａを磁石１１５ｂの上面と下面に重ねた構成となっており、磁石１１６は、２つの磁石１１６ａを磁石１１６ｂの上面と下面に重ねた構成となっている。したがって、磁気回路１４ａは、コイル１１４に対して上記実施形態１と同様の強度分布で磁界を付与する。よって、実施形態２においても、可動部１４ｂは、実施形態１と同様、中立位置付近の回動範囲における角速度が相対的に低下するように、可動部１４ｂが駆動される。
【０１２３】
図１７は、波長変換部材１５におけるレーザ光の走査状態を模式的に示す図である。
【０１２４】
図１７に示すように、第２実施形態では、波長変換部材１５の入射面１５ａに複数の走査ラインＳＬ１が設定される。図１７の例では、３つの走査ラインＳＬ１が、入射面１５ａに設定されている。ただし、走査ラインＳＬ１の数は、これに限られるものではない。
【０１２５】
レーザ光のビームスポットＢ２は、最上段の走査ラインＳＬ１をＸ軸正方向に終端位置まで移動した後、２段目の走査ラインＳＬ１のＸ軸正側の開始位置に位置付けられる。その後、ビームスポットＢ２は、２段目の走査ラインＳＬ１をＸ軸負方向に終端位置まで移動した後、３段目の走査ラインＳＬ１のＸ軸負側の開始位置に位置付けられる。同様に、３段目の走査ラインＳＬ１のＸ軸正側の終端位置までビームスポットＢ２が移動すると、ビームスポットＢ２は、２段目の走査ラインＳＬ１の開始位置に位置付けられる。その後、ビームスポットＢ２は、２段目の走査ラインＳＬ１をＸ軸負方向に終端位置まで移動した後、１段目の走査ラインＳＬ１のＸ軸負側の開始位置に位置付けられる。以下、３つの走査ラインＳＬ１について同様の走査が繰り返される。
【０１２６】
走査ラインＳＬ１に沿ったビームスポットＢ２の移動は、図１３に示した回動軸Ｌ１についてミラー１７を回動させることにより行われる。走査ラインＳＬ１の変更は、図１３に示した回動軸Ｌ２についてミラー１７を回動させて傾けることにより行われる。光偏向器１４は、図１の回路基板１８に実装された制御回路によって、ビームスポットＢ２が上記のように波長変換部材１５の入射面１５ａを走査するように制御される。
【０１２７】
なお、ビームスポットＢ２が、１つの走査ラインＳＬ１の終端位置から次の走査ラインＳＬ１の開始位置に移動する期間は、レーザ光源１２からのレーザ光の出射が停止される。すなわち、図１７の送りラインＴＬ１、ＴＬ２は、仮にレーザ光が出射されている場合のビームスポットＢ２の移動軌跡を示すものであって、実際の制御では、送りラインＴＬ１、ＴＬ２において、レーザ光源１２は消灯状態に制御される。
【０１２８】
なお、波長変換部材１５の入射面１５ａに対するレーザ光の走査方法は、上記に限られるものではない。たとえば、ビームスポットＢ２が、各々の走査ラインＳＬ１を往復移動した後、次の走査ラインＳＬ１の開始位置へとジャンプするように、波長変換部材１５の入射面１５ａがレーザ光で走査される構成であってもよい。
【０１２９】
第２実施形態の構成によれば、上記のように、中立位置付近の回動範囲において可動部１４ｂの角速度が減速されるため、各々の走査ラインＳＬ１の中央付近における走査速度を減速させ得る。よって、波長変換部材１５の中央付近において生じる光の光量を高めることができる。
【０１３０】
また、第２実施形態の構成によれば、より絞られたビームスポットＢ２で、波長変換部材１５が複数の走査ラインＳＬ１に沿って走査されるため、たとえば、発光領域Ｒ２上において、白色光の発光を停止させる領域や、白色光の発光を生じさせる領域を、より細かく設定できる。このため、光源装置２から生じた白色光を投射光学系３で目標領域に投射する場合に、目標領域上において、白色光の投射を停止させる領域や、白色光の投射を行う領域を、より細かく設定できる。よって、たとえば、投光装置１が車両の前照灯に組み込まれた場合には、対向車の位置や歩行者の位置に応じて、より細かく、白色光の照射領域および非照射領域を設定することができる。
【０１３１】
＜その他の変更例＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何らの制限を受けるものではない。
【０１３２】
たとえば、上記第１実施形態では、３つの磁石をｚ軸方向に重ねる構成によって、図５Ａ、図５Ｂに示す磁極が設定された。しかしながら、これに限らず、磁石１０５、磁石１０６、磁石１１５、磁石１１６を、それぞれ、１つの磁石で構成し、各磁石に対する着磁によって、図５Ａ、図５Ｂに示す磁極が設定されてもよい。第２実施形態においても、同様の変更が可能である。
【０１３３】
また、上記実施形態１では、コイル１０４を挟むようにして磁石１０５と磁石１０６が配置されたが、必ずしも、コイル１０４を挟むように磁石１０５、磁石１０６が配置されなくてもよく、コイル１０４に所望の強度分布で磁界を付与できれば、磁石１０５、磁石１０６の何れか一方が省略されてもよい。第２実施形態においても、同様の変更が可能である。
【０１３４】
また、磁石１０５ｂと２つの磁石１０５ａは、必ずしも互いに直接重なり合わなくてもよく、隙間や他の部材を介して重ねられてもよい。
【０１３５】
また、上記第１実施形態および第２実施形態では、可動部１４ｂが回動軸Ｌ１について回動するよう構成されたが、可動部１４ｂが揺動可能にハウジング１０１に支持される構成であってもよい。また、上段の磁石１０５ａ、磁石１０６ａと下段の磁石１０５ａ、磁石１０６ａの厚みが互いに異なっていてもよい。駆動信号の波形は、図１０Ａに示すように直線状に変化する三角波でなくともよく、たとえば、やや湾曲した波形であってもよい。磁界の分布は、所定の回動範囲における角速度が相対的に緩やかとなるように、駆動信号の波形に応じて調整されればよい。
【０１３６】
また、上記第１実施形態１、第２実施形態では、光源装置２が、反射型の波長変換部材１５を用いる構成であったが、光源装置２は、透過型の波長変換部材１５を用いる構成であってもよい。
【０１３７】
また、板バネ１０２、板バネ１１２の形状は、必ずしも、上記実施形態１、２に示した形状に限られるものではなく、たとえば、図３Ａにおいて、ｘ軸方向に隣り合う２つのネジ１０３で挟まれた領域以外の枠部１０２ａの領域が省略されてもよい。
【０１３８】
また、ミラー１７の形状は、必ずしも、平面視において正方形でなくともよく、平面視において長方形または円形であってもよい。支持部１０２ｂの形状も、適宜変更可能である。
【０１３９】
上記第１実施形態では、図３Ａに示すように、板バネ１０２の設けられた２つの孔１０２ｄの一方を長孔としたが、２つの孔１０２ｄの両方を長孔として、ネジ１０３を締める前に、板バネ１０２が長手方向に僅かに移動可能であってもよい。この場合、所望の厚みを有する隙間ゲージを差し込んで板バネ１０２の位置を確定してから、ネジ１０３を締める構成であってもよい。あるいは、コイル１０４と磁石１０５、磁石１０６とのギャップを測定装置で測定しながら長手方向に板バネ１０２を位置調整して位置を決めてから、ネジ１０３を締める構成であってもよい。
【０１４０】
また、ミラー１７の反射面は、必ずしも、平面でなくてもよく、レーザ光に収束作用を付与し得る凹面形状であってもよい。この場合、凹面形状は、波長変換部材１５の入射面１５ａ上のビームスポットＢ１、ビームスポットＢ２の形状をＹ軸方向に略線状の形状に成形し得るように調整されてもよい。あるいは、ミラー１７の反射面に、波長変換部材１５の入射面１５ａ上のビームスポットＢ１、ビームスポットＢ２の形状を所定の形状に成形するためのレンズが装着されてもよい。
【０１４１】
また、波長変換部材１５の蛍光体層２０３に含まれる蛍光体粒子２０３ａの種類は、必ずしも１種類でなくてもよく、たとえば、レーザ光源１２からのレーザ光によって互いに異なる波長の蛍光を生じる複数種類の蛍光体粒子２０３ａが蛍光体層２０３に含まれてもよい。この場合、各種類の蛍光体粒子２０３ａから生じた蛍光の拡散光と、これら蛍光体粒子２０３ａによって波長変換されなかったレーザ光の拡散光とによって、所定の色の光が生成される。
【０１４２】
この他、本開示の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
本開示の光源装置および投光装置によれば、高反射率ミラー等の高重量の走査手段が用いられる場合も、所定の走査範囲においてレーザ光の走査速度が相対的に緩やかとなるように、光偏向器を適正かつ高精度に制御することができる。それにより、本開示の光源装置および投光装置は、目標領域に投射される光の光量を高めることができ、産業上有用である。
【符号の説明】
【０１４４】
１  投光装置
２  光源装置
３  投射光学系
３ａ，３ｂ  レンズ
１１  ベース
１２  レーザ光源
１３  コリメータレンズ
１４  光偏向器
１４ａ  磁気回路
１１ｂ，１４ｂ  可動部
１５  波長変換部材
１５ａ  入射面
１６  ホルダ
１７  ミラー
１８  回路基板
１０１，１１１  ハウジング
１０１ａ，１１１ａ  凹部
１０１ｂ，１０１ｃ，１１１ｃ  ボス
１０２，１１２  板バネ
１０２ｂ，１１２ｄ  支持部
１０２ａ  枠部
１１２ａ  外枠部
１１２ｂ  内枠部
１０２ｃ，１１２ｃ，１１２ｅ  梁部
１０２ｄ  孔
１０３，１１３  ネジ
１０４，１１４，１１８  コイル
１０５，１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄ，１０６，１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄ，１１５，１１５ａ，１１５ｂ，１１６，１１６ａ，１１６ｂ，１１９  磁石
１０７，１１７  ヨーク
１０７ａ，１０７ｂ，１１７ａ，１１７ｂ，１１７ｄ  壁部
１０７ｃ，１１７ｃ  孔
１０８，１０９  非磁性体
Ｌ１，Ｌ２  回動軸
ＳＬ１  走査ライン
【図１】
2018163885.tif 000003
【図２】
2018163885.tif 000004
【図３Ａ】
2018163885.tif 000005
【図３Ｂ】
2018163885.tif 000006
【図４Ａ】
2018163885.tif 000007
【図４Ｂ】
2018163885.tif 000008
【図５Ａ】
2018163885.tif 000009
【図５Ｂ】
2018163885.tif 000010
【図６Ａ】
2018163885.tif 000011
【図６Ｂ】
2018163885.tif 000012
【図７Ａ】
2018163885.tif 000013
【図７Ｂ】
2018163885.tif 000014
【図７Ｃ】
2018163885.tif 000015
【図８Ａ】
2018163885.tif 000016
【図８Ｂ】
2018163885.tif 000017
【図８Ｃ】
2018163885.tif 000018
【図９Ａ】
2018163885.tif 000019
【図９Ｂ】
2018163885.tif 000020
【図１０Ａ】
2018163885.tif 000021
【図１０Ｂ】
2018163885.tif 000022
【図１０Ｃ】
2018163885.tif 000023
【図１１Ａ】
2018163885.tif 000024
【図１１Ｂ】
2018163885.tif 000025
【図１１Ｃ】
2018163885.tif 000026
【図１２Ａ】
2018163885.tif 000027
【図１２Ｂ】
2018163885.tif 000028
【図１２Ｃ】
2018163885.tif 000029
【図１２Ｄ】
2018163885.tif 000030
【図１３】
2018163885.tif 000031
【図１４Ａ】
2018163885.tif 000032
【図１４Ｂ】
2018163885.tif 000033
【図１５Ａ】
2018163885.tif 000034
【図１５Ｂ】
2018163885.tif 000035
【図１６Ａ】
2018163885.tif 000036
【図１６Ｂ】
2018163885.tif 000037
【図１７】
2018163885.tif 000038
【国際調査報告】
2018163885.tif 000039
2018163885.tif 000040
2018163885.tif 000041
2018163885.tif 000042
2018163885.tif 000043