(57)【要約】【課題】液晶表示素子において、簡単な構成で一対の基板間のギャップを一定に保って表示むらを防ぐ。【解決手段】液晶表示素子１におけるカラーフィルタ基板２に、基板間のギャップＧを均一に保つ複数の柱状スペーサ４を設ける。この柱状スペーサ４における他方のアレイ基板３と当接する先端に、この先端以外の部分と比べ、一対の基板２，３を貼り合わせたときに変形しやすい高さ調整部５を設ける。【選択図】図１
2010146729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子において、
上記柱状スペーサは、一対の基板の他方と当接する先端に、上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記柱状スペーサにおける他の部分と比べて変形しやすい高さ調整部を備えている
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項２】
一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子において、
上記柱状スペーサは、上記一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備え、
上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記高さ調整部が変形することにより、上記ギャップが均一に保たれている
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液晶表示素子において、
上記一対の基板のいずれか一方の表面の下地には、段差が形成され、
上記段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量は、
上記段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量よりも大きい
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つに記載の液晶表示素子において、
上記高さ調整部の高さは、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下であり、
上記高さ調整部の幅は、０よりも大きく上記柱状スペーサの先端幅の１／２以下である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つに記載の液晶表示素子において、
上記高さ調整部は、上記柱状スペーサの先端から突出する複数の突起である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項６】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、半球体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項７】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、柱体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項８】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、錐体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項９】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、環状体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項１０】
一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を製造する方法において、
上記一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備える柱状スペーサを用意し、
上記柱状スペーサを設けた基板を上記一対の基板の他方に、上記高さ調整部を変形させながら貼り合わせることにより、上記ギャップを均一に保つ
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法において、
フォトリソグラフィーの露光工程において、露光マスクの上記高さ調整部に対応する部分を遮光膜のない状態とし、残りの上記柱状スペーサに対応する部分を半透過膜又は完全透過膜として上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法において、
上記高さ調整部を、ドライフィルムレジストの保護フィルムに予め複数の凹部を形成することで形成する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項１３】
請求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法において、
印刷版における上記柱状スペーサの先端に対応する部分に予め複数の凹部を形成することで、上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示素子では、一対のガラス基板のギャップを一定に保って貼り合わせ、その間に液晶材を充填させ、その液晶材に電気信号を印加することにより表示機能を果たしている。このギャップを一定に保つために、プラスチックビーズ等のギャップ材を用いることが知られている。【０００３】
近年、このギャップ材の代わりに柱状スペーサが用いられている。柱状スペーサは、フォトスペーサとも呼ばれ、着色層を重ねて形成したり、感光性ポリイミド、感光性アクリル樹脂、感光性着色樹脂などの専用の材料で形成したりすることが知られている。【０００４】
上記ギャップは、一対の基板を支持する柱状スペーサの高さに依存し、この高さにばらつきがあると、そのままギャップのばらつきとなって、表示品位を悪化させることが知られている。【０００５】
そこで、例えば特許文献１のように、二枚の基板のいずれか一方の基板上にセルギャップを一定に保持するための柱状スペーサを有する画像表示装置において、二枚の基板の貼り合わせ前において、縁辺部の柱状スペーサの断面積又は／及び配置間隔を、画素部の柱状スペーサの断面積又は／及び配置間隔と異なる値とする柱状スペーサを形成し、貼り合わせ後の画素部の中央領域と画素部の端部領域とのセルギャップを均一化した液晶表示素子は知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１９８８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の液晶表示素子において、例えば、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィーによる製法では、感光性樹脂を基板に塗布する際に塗布むらが発生し、複数の柱状スペーサ間で高さの相違が発生する。また、柱状スペーサの下地の厚さが異なることにより、複数の柱状スペーサ間で高さの相違が発生する。【０００８】
上記特許文献１では、画素部と縁辺部との境界部におけるギャップ差異を断面積や配置間隔で調整するようにしているが、依然として、同じ画素部にある複数の柱状スペーサ間又は同じ縁辺部にある複数の柱状スペーサ間で高さにばらつきがある場合には、ギャップを一定に保つことはできない。【０００９】
このように複数の柱状スペーサ間で高さの相違が発生すると、依然として液晶表示素子に表示むらが生じるという問題があった。【００１０】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成で一対の基板間のギャップを一定に保って表示むらを防ぐことにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、この発明では、柱状スペーサの先端に高さ調整部を設けた。【００１２】
具体的には、第１又は第２の発明では、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を前提とする。【００１３】
上記柱状スペーサは、一対の基板の他方と当接する先端に、上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記柱状スペーサにおける他の部分と比べて変形しやすい高さ調整部を備え、
又は、上記柱状スペーサは、一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備え、
上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記高さ調整部が変形することにより、上記ギャップが均一に保たれている。【００１４】
これらの構成によると、一対の基板の一方に設けた複数の柱状スペーサ間で高さに相違があっても、他の柱状スペーサに比べて高い柱状スペーサの先端に形成した高さ調整部が、一対の基板を貼り合わせたときに、最初に他方の基板と当接して容易に変形する。このため、複数の柱状スペーサ間での高さの相違が緩和され、一対の基板間のギャップが均一化される。【００１５】
第３の発明では、第１又は第２の発明において、
上記一対の基板のいずれか一方の表面の下地には、段差が形成され、
上記段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量は、
上記段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量よりも大きい。【００１６】
上記の構成によると、一対の基板の一方の下地に段差が形成されていることにより、段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの高さが、段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの高さよりも高くなっていても、一対の基板を貼り合わせるときに、高さの高い柱状スペーサの先端に設けた高さ調整部が、最初に他方の基板と当接して変形し、段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの高さとほぼ等しくなる。このため、複数の柱状スペーサ間での高さの相違が緩和され、一対の基板間のギャップが均一化される。【００１７】
第４の発明では、第１乃至第３のいずれか１つの発明において、
上記高さ調整部の高さは、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下であり、
上記高さ調整部の幅は、０よりも大きく上記柱状スペーサの先端幅の１／２以下である。【００１８】
すなわち、高さ調整部の高さが１．０μｍよりも大きかったり、幅が柱状スペーサの先端幅の１／２よりも大きかったりすると、高さ調整部の剛性と、柱状スペーサの先端面の剛性との差が小さくなってギャップの均一化を行いにくくなるが、上記の構成によると、最低限の高さと幅に保たれた高さ調整部の剛性と、柱状スペーサの先端面の剛性との差が適度に保たれるので、必要以上に柱状スペーサをつぶしてしまうこともなく、高さ調整が容易である。【００１９】
第５の発明では、第１乃至第４のいずれか１つの発明において、
上記高さ調整部は、上記柱状スペーサの先端から突出する複数の突起である。【００２０】
上記の構成によると、高さ調整部を柱状スペーサの先端よりも断面積の小さい複数の突起で構成することで、複数の突起が、柱状スペーサの他の部分よりも変形しやすくなり、柱状スペーサの高さの均一化に貢献する。【００２１】
第６の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、半球体である。【００２２】
上記の構成によると、半球体なので、ドライフィルムレジスト方式、印刷成形等により成形が容易である。【００２３】
第７の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、柱体である。【００２４】
上記の構成によると、断面積の増減が少ないので、フォトリソグラフィーによる成形にも適している。【００２５】
第８の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、錐体である。【００２６】
上記の構成によると、半球体や柱体に比べて先端が尖っているので、小さな力で変形しやすい、最適な高さ調整部が得られる。【００２７】
第９の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、環状体である。【００２８】
上記の構成によると、フォトリソグラフィーでも成形可能な簡単な構成で変形しやすい高さ調整部が得られる。【００２９】
第１０の発明では、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を製造する方法を前提とし、
上記製造方法は、
上記一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備える柱状スペーサを用意し、
上記柱状スペーサを設けた基板を上記一対の基板の他方に、上記高さ調整部を変形させながら貼り合わせることにより、上記ギャップを均一に保つ構成とする。【００３０】
上記の構成によると、一対の基板の一方に設けた柱状スペーサ間で高さに相違があっても、周囲の柱状スペーサよりも高い柱状スペーサの先端に設けた高さ調整部が一対の基板を貼り合わせたときに、最初に他方の基板と当接して変形し、他の柱状スペーサと同等の高さになるまで変形するので、一対の基板間のギャップが均一化される。【００３１】
第１１の発明では、第１０の発明において、
フォトリソグラフィーの露光工程において、柱状スペーサをネガ型感光レジストで形成する場合、露光マスクの上記高さ調整部に対応する部分を遮光膜のない状態とし、残りの上記柱状スペーサに対応する部分を半透過膜又は完全透過膜として上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する。【００３２】
上記の構成によると、透過率に差を設けて感光光量を部分的に調整することにより、容易に高さ調整部を柱状スペーサの先端から突出させることができる。また、ポジ型感光レジストを用いる場合はマスクにおける完全透過膜と完全遮光膜が逆になる。【００３３】
第１２の発明では、第１０の発明において、
上記高さ調整部を、ドライフィルムレジストの保護フィルムに予め複数の凹部を形成することで形成する。【００３４】
上記の構成によると、保護フィルムにおける高さ調整部に対応する部分に予め複数の凹部を設けるだけで、露光マスクの高さ調整部に対応する部分に細工を施すことなく、簡単に好みの形状の高さ調整部を適切な位置に確実に形成することができる。【００３５】
第１３の発明では、第１０の発明において、
印刷版における上記柱状スペーサの先端に対応する部分に予め複数の凹部を形成することで、上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する。【００３６】
上記の構成によると、予め印刷版の高さ調整部に対応する位置に複数の凹部を形成するだけでよいので、好みの形状の高さ調整部を容易に形成することができる。
【発明の効果】
【００３７】
以上説明したように、本発明によれば、柱状スペーサに高さ調整部を設け、この高さ調整部を一対の基板を貼り合わせたときに変形させるようにしたことにより、簡単な構成で一対の基板間のギャップを一定に保って表示むらを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態にかかる一対の基板を貼り合わせる工程を示す液晶表示素子の一部拡大断面図であり、（ａ）が貼り合わせ前を示し、（ｂ）が貼り合わせ後を示す。
【図２】（ａ）が高さ調整部を有する柱状スペーサ及びその周辺を拡大して示す断面図であり、（ｂ）が柱状スペーサの平面図である。
【図３】液晶表示素子の縁辺部及びその周辺を示す図１相当図である。
【図４】印刷方式で高さ調整部を形成するその他の実施形態を示し、（ａ）が印刷版の断面図であり、（ｂ）が柱状スペーサ及びその周辺の断面図である。
【図５】（ａ）が柱状スペーサ上に高さ調整部を形成するためのマスク形状を示す平面図であり、（ｂ）が柱状スペーサの平面図である。
【図６】（ａ）は、図５（ａ）のVIa−VIa線断面図であり、（ｂ）は、図５（ｂ）のVIb−VIb線断面図である。
【図７】感光レジストで高さ調整部を形成するその他の実施形態にかかる断面図である。
【図８】その他の実施形態にかかる図２相当図である。
【図９】その他の実施形態にかかる図２相当図である。
【図１０】その他の実施形態にかかる図２相当図であり、（ａ）は、（ｂ）のＸａ−Ｘａ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００４０】
図１は、本発明の実施形態の液晶表示素子１を示し、この液晶表示素子１は、一対の基板２，３を備えている。例えば、一対の基板２，３は、カラーフィルタ基板２とアレイ基板３とからなり、カラーフィルタ基板２側に、これら一対の基板２，３間のギャップＧを均一に保つ複数の柱状スペーサ４が設けられている。そして、この柱状スペーサ４で均一に保たれたギャップＧに液晶材（図示せず）が封入されている。
【００４１】
そして、本実施形態の特徴として、柱状スペーサ４は、円錐台形状であり、アレイ基板３と当接する先端に高さ調整部５を備えている。柱状スペーサ形状についてはその他四角柱、円柱など上底に高さ調整部を形成できるものであればよい。柱状スペーサ４は、着色層を重ねて形成されたり、感光性ポリイミド、感光性アクリル樹脂、感光性着色樹脂などの専用材料で、フォトリソグラフィー、ドライフィルムレジスト、印刷等により成形されたりし、例えば、その高さは、３〜１０μmで、幅は１０〜５０μmである。
【００４２】
具体的には、図２に拡大して示すように、高さ調整部５は、柱状スペーサ４における円錐台の先端の平坦面４ａに設けた複数の（本実施形態では２つの）突起よりなり、この突起は、半球体６よりなる。例えば、この半球体６の高さｈは、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下であり（０＜ｈ≦１．０μｍ）、半球体６の幅ｗ１（外径）は、０よりも大きく柱状スペーサ４の先端幅ｗ２の１／２以下である（０＜ｗ１≦ｗ２／２）。この半球体６を設けることで、高さ調整部５は、円錐台部分に比べて断面積が減少して円錐台部分と比べて剛性が低くなり、一対の基板２，３を貼り合わせたときに変形しやすくなっている。そして、周囲に比べて出っ張った高さ調整部５が変形することにより、一対の基板２，３間のギャップＧが均一に保たれている。
【００４３】
また、図３に示すように、カラーフィルタ基板２の表面の下地は、その周縁部（縁辺部２ａであり、図３に領域Ｂで示す）において、その内側の画素部２ｂ（図３に領域Ａで示す）に比べて高く、縁辺部２ａ表面と画素部２ｂ表面との間で、段差が形成されている。結果として、縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４の高さは、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さよりも高くなっている。例えば、段差は、高さ１．０μｍよりも小さいものとする。縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４における高さ調整部５の変形量が、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さ調整部５の変形量よりも大きくなっていることで、一対の基板２，３間のギャップＧが均一に保たれている。
【００４４】
−液晶表示素子の製造方法−
次に、本実施形態にかかる液晶表示素子１の製造方法について説明する。
【００４５】
まず、カラーフィルタ基板２に複数の柱状スペーサ４を形成する。本実施形態では、例えば、印刷法で柱状スペーサ４及び高さ調整部５を形成する。
【００４６】
印刷法としては、スクリーン印刷、フレキソ印刷等の方法があるが、例えば、図４（ａ）に示すように、印刷版１０における柱状スペーサ４の部分に、円錐台に対応する本体凹部１１を形成すると共に、その先端の平坦面４ａに対応する部分に、予め複数の半球状凹部１２を形成しておく。
【００４７】
そして、カラーフィルタ基板２上に印刷版１０を用いてスクリーン印刷又はフレキソ印刷を行う。印刷部分が硬化後、上記本体凹部１１及び半球状凹部１２に対応する部分において、図４（ｂ）に示すような平坦面４ａから複数の半球体６が突出した柱状スペーサ４が得られる。
【００４８】
このように、予め印刷版１０の高さ調整部５に対応する位置に複数の半球状凹部１２を形成するだけでよいので、好みの形状の高さ調整部５を容易に形成することができる。また、本実施形態では、複数の突起は、半球体６であるので、成形が容易である。
【００４９】
そして、図１（ａ）及び図３（ａ）に示すように、先端に高さ調整部５を備える柱状スペーサ４が形成されたカラーフィルタ基板２を圧力を加えながら、アレイ基板３に貼り合わせる。
【００５０】
すると、縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４の高さは、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さよりも高くなっている。このため、一対の基板２，３を貼り合わせるときに、縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４の高さ調整部５が、最初にアレイ基板３と当接する。すると、半球体６は円錐台部分よりも剛性が低いので、押しつぶされて変形する。このとき、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さ調整部５よりも大きく変形する。しかも、同じ縁辺部２ａにある柱状スペーサ４同士や、同じ画素部２ｂにある柱状スペーサ４同士で高さに相違があっても、高い柱状スペーサ４の先端の高さ調整部５が、先にアレイ基板３の表面に当接して変形する。そして、一対の基板２，３をさらに押圧し、他の柱状スペーサ４よりも出っ張った半球体６を、全体の柱状スペーサ４の高さが均一化されるまで順々に押しつぶしていく。このことで、一対の基板２，３間のギャップＧが均一に保たれる。
【００５１】
このとき、高さ調整部５の高さを、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下で、かつ高さ調整部５の幅ｗ１を０よりも大きく柱状スペーサ４の先端幅ｗ２の１／２以下としたことにより（０＜ｗ１≦ｗ２／２）、最低限の高さと幅に保たれた高さ調整部５の剛性と、柱状スペーサ４の先端面４ａの剛性との差が適度に保たれるので、高さ調整が容易である。
【００５２】
そして、この均一にされたギャップＧに液晶材を充填する。
【００５３】
したがって、本実施形態にかかる液晶表示素子１によると、柱状スペーサ４に高さ調整部５を設け、この高さ調整部５を一対の基板２，３を貼り合わせたときに変形させるようにしたことにより、簡単な構成で一対の基板２，３間のギャップＧを一定に保って表示むらを防ぐことができる。
【００５４】
−実施形態の変形例１−
図５及び図６は、本実施形態の変形例１にかかる液晶表示素子１を形成するための露光工程を示し、高さ調整部５の成形方法が異なる点で上記実施形態と異なる。なお、以下の各変形例では、図１〜図３と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００５５】
ネガ型感光レジストにより柱状スペーサをフォトリソグラフィーにより形成する場合、その露光工程において、露光マスク１０１の上記高さ調整部５に対応する部分１０２を遮光膜のない状態とし、残りの上記柱状スペーサ４に対応する部分１０３を半透過膜又は完全透過膜として高さ調整部５を有する柱状スペーサ４を形成する。
【００５６】
このように、露光マスク１０１において、透過率に差を設けて感光光量を部分的に調整することにより、容易に高さ調整部５を柱状スペーサ４の先端から突出させることができる。
【００５７】
−実施形態の変形例２−
図７は本発明の実施形態の変形例２にかかる液晶表示素子１を形成するためのドライフィルムレジスト２０１の断面を示す。
【００５８】
本変形例では、ドライフィルムレジスト２０１によって、柱状スペーサ４と高さ調整部５とを形成する。具体的には、例えば、ドライフィルムレジスト２０１の保護フィルム２０２に予め複数の凹部２０３を等間隔に配置することで形成する。なお、ドライフィルムレジスト２０１は、支持フィルム２０４に支持されている。
【００５９】
このように、保護フィルムにおける高さ調整部５に対応する部分に予め複数の凹部２０３を設けておけば、上記変形例１のように露光マスク１０１側に高さ調整部５を形成するために細工をすることなく、柱状スペーサ４部分を露光させるだけで、簡単に好みの形状の高さ調整部５を適切な位置に確実に形成することができる。
【００６０】
本変形例でも、複数の突起を半球体６としているので、成形が容易である。
【００６１】
（その他の実施形態）
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００６２】
すなわち、上記実施形態では、角柱状スペーサ４に設ける複数の突起は、２つの半球体６としたが、その個数は限定されない。また、図８に示すように、複数の突起を、例えば、４つの四角錐１０６としてもよく、図９に示すように、４つの三角錐２０６としてもよい。このように複数の突起を、四角錐１０６、三角錐２０６、円錐等の錐体とする場合には、半球体６や柱体に比べて先端が尖っているので、小さな力で変形しやすく、最適な高さ調整部５が得られる。なお、いずれの形状でも、突起の高さを、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下で、かつ幅を０よりも大きく柱状スペーサ４の先端幅の１／２以下とすればよい。
【００６３】
図１０に示すように、複数の突起を、中心の半球体６と、それを囲む環状体３０６としてもよい。この半球体６を小さな環状体３０６としてもよい。この場合には、フォトリソグラフィーでも成形可能な簡単な構成で変形しやすい高さ調整部５が得られる。
【００６４】
特に図示しないが、複数の突起を柱体としてもよい。この場合には、断面積の増減が少ないので、フォトリソグラフィーによる成形に適している。
【００６５】
以上のように複数の突起の形状は特に限定されず、その個数も２個以上であれば、特に限定されない。
【００６６】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
以上説明したように、本発明は、カラーフィルタ基板及びアレイ基板等の一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子及びその製造方法について有用である。
【符号の説明】
【００６８】
１      液晶表示素子
２      カラーフィルタ基板（一対の基板の一方）
２ａ    縁辺部（段差）
３      アレイ基板（一対の基板の他方）
４      柱状スペーサ
５      高さ調整部
６      半球体（突起）
１２      半球状凹部
１０１      露光マスク
１０６      四角錐（突起）
２０１      ドライフィルムレジスト
２０２      保護フィルム
２０３      凹部
２０６      三角錐（突起）
３０６      環状体（突起）
【図１】
2010146729.tif 000003
【図２】
2010146729.tif 000004
【図３】
2010146729.tif 000005
【図４】
2010146729.tif 000006
【図５】
2010146729.tif 000007
【図６】
2010146729.tif 000008
【図７】
2010146729.tif 000009
【図８】
2010146729.tif 000010
【図９】
2010146729.tif 000011
【図１０】
2010146729.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成23年11月18日(2011.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示素子では、一対のガラス基板のギャップを一定に保って貼り合わせ、その間に液晶材を充填させ、その液晶材に電気信号を印加することにより表示機能を果たしている。このギャップを一定に保つために、プラスチックビーズ等のギャップ材を用いることが知られている。
【０００３】
近年、このギャップ材の代わりに柱状スペーサが用いられている。柱状スペーサは、フォトスペーサとも呼ばれ、着色層を重ねて形成したり、感光性ポリイミド、感光性アクリル樹脂、感光性着色樹脂などの専用の材料で形成したりすることが知られている。
【０００４】
上記ギャップは、一対の基板を支持する柱状スペーサの高さに依存し、この高さにばらつきがあると、そのままギャップのばらつきとなって、表示品位を悪化させることが知られている。
【０００５】
そこで、例えば特許文献１のように、二枚の基板のいずれか一方の基板上にセルギャップを一定に保持するための柱状スペーサを有する画像表示装置において、二枚の基板の貼り合わせ前において、縁辺部の柱状スペーサの断面積又は／及び配置間隔を、画素部の柱状スペーサの断面積又は／及び配置間隔と異なる値とする柱状スペーサを形成し、貼り合わせ後の画素部の中央領域と画素部の端部領域とのセルギャップを均一化した液晶表示素子は知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１９８８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の液晶表示素子において、例えば、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィーによる製法では、感光性樹脂を基板に塗布する際に塗布むらが発生し、複数の柱状スペーサ間で高さの相違が発生する。また、柱状スペーサの下地の厚さが異なることにより、複数の柱状スペーサ間で高さの相違が発生する。
【０００８】
上記特許文献１では、画素部と縁辺部との境界部におけるギャップ差異を断面積や配置間隔で調整するようにしているが、依然として、同じ画素部にある複数の柱状スペーサ間又は同じ縁辺部にある複数の柱状スペーサ間で高さにばらつきがある場合には、ギャップを一定に保つことはできない。
【０００９】
このように複数の柱状スペーサ間で高さの相違が発生すると、依然として液晶表示素子に表示むらが生じるという問題があった。
【００１０】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成で一対の基板間のギャップを一定に保って表示むらを防ぐことにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、この発明では、柱状スペーサの先端に高さ調整部を設けた。
【００１２】
具体的には、第１の発明では、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を前提とする。
【００１３】
上記柱状スペーサは、一対の基板の他方と当接する先端に、上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記柱状スペーサにおける他の部分と比べて変形しやすい高さ調整部を備え、
上記一対の基板のいずれか一方の表面の下地には、段差が形成され、
上記段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量は、
上記段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量よりも大きい。
【００１４】
上記の構成によると、一対の基板の一方に設けた複数の柱状スペーサ間で高さに相違があっても、他の柱状スペーサに比べて高い柱状スペーサの先端に形成した高さ調整部が、一対の基板を貼り合わせたときに、最初に他方の基板と当接して容易に変形する。このため、複数の柱状スペーサ間での高さの相違が緩和され、一対の基板間のギャップが均一化される。また、一対の基板の一方の下地に段差が形成されていることにより、段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの高さが、段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの高さよりも高くなっていても、一対の基板を貼り合わせるときに、高さの高い柱状スペーサの先端に設けた高さ調整部が、最初に他方の基板と当接して変形し、段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの高さとほぼ等しくなる。このため、複数の柱状スペーサ間での高さの相違が緩和され、一対の基板間のギャップが均一化される。
【００１５】
第２の発明では、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を前提とする。
【００１６】
上記柱状スペーサは、一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備え、
上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記高さ調整部が変形することにより、上記ギャップが均一に保たれている。
【００１７】
上記の構成によると、一対の基板の一方に設けた複数の柱状スペーサ間で高さに相違があっても、他の柱状スペーサに比べて高い柱状スペーサの先端に形成した高さ調整部が、一対の基板を貼り合わせたときに、最初に他方の基板と当接して容易に変形する。このため、複数の柱状スペーサ間での高さの相違が緩和され、一対の基板間のギャップが均一化される。
【００１８】
第３の発明では、第２の発明において、
上記一対の基板のいずれか一方の表面の下地には、段差が形成され、
上記段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量は、
上記段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量よりも大きい。
【００１９】
上記の構成によると、一対の基板の一方の下地に段差が形成されていることにより、段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの高さが、段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの高さよりも高くなっていても、一対の基板を貼り合わせるときに、高さの高い柱状スペーサの先端に設けた高さ調整部が、最初に他方の基板と当接して変形し、段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの高さとほぼ等しくなる。このため、複数の柱状スペーサ間での高さの相違が緩和され、一対の基板間のギャップが均一化される。
【００２０】
第４の発明では、第１乃至第３のいずれか１つの発明において、
上記高さ調整部の高さは、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下であり、
上記高さ調整部の幅は、０よりも大きく上記柱状スペーサの先端幅の１／２以下である。
【００２１】
すなわち、高さ調整部の高さが１．０μｍよりも大きかったり、幅が柱状スペーサの先端幅の１／２よりも大きかったりすると、高さ調整部の剛性と、柱状スペーサの先端面の剛性との差が小さくなってギャップの均一化を行いにくくなるが、上記の構成によると、最低限の高さと幅に保たれた高さ調整部の剛性と、柱状スペーサの先端面の剛性との差が適度に保たれるので、必要以上に柱状スペーサをつぶしてしまうこともなく、高さ調整が容易である。
【００２２】
第５の発明では、第１乃至第４のいずれか１つの発明において、
上記高さ調整部は、上記柱状スペーサの先端から突出する複数の突起である。
【００２３】
上記の構成によると、高さ調整部を柱状スペーサの先端よりも断面積の小さい複数の突起で構成することで、複数の突起が、柱状スペーサの他の部分よりも変形しやすくなり、柱状スペーサの高さの均一化に貢献する。
【００２４】
第６の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、半球体である。
【００２５】
上記の構成によると、半球体なので、ドライフィルムレジスト方式、印刷成形等により成形が容易である。
【００２６】
第７の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、柱体である。
【００２７】
上記の構成によると、断面積の増減が少ないので、フォトリソグラフィーによる成形にも適している。
【００２８】
第８の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、錐体である。
【００２９】
上記の構成によると、半球体や柱体に比べて先端が尖っているので、小さな力で変形しやすい、最適な高さ調整部が得られる。
【００３０】
第９の発明では、第５の発明において、
上記複数の突起は、環状体である。
【００３１】
上記の構成によると、フォトリソグラフィーでも成形可能な簡単な構成で変形しやすい高さ調整部が得られる。
【００３２】
第１０の発明では、一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を製造する方法を前提とし、
上記製造方法は、
上記一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備える柱状スペーサを用意し、
上記柱状スペーサを設けた基板を上記一対の基板の他方に、上記高さ調整部を変形させながら貼り合わせることにより、上記ギャップを均一に保つ構成とする。
【００３３】
上記の構成によると、一対の基板の一方に設けた柱状スペーサ間で高さに相違があっても、周囲の柱状スペーサよりも高い柱状スペーサの先端に設けた高さ調整部が一対の基板を貼り合わせたときに、最初に他方の基板と当接して変形し、他の柱状スペーサと同等の高さになるまで変形するので、一対の基板間のギャップが均一化される。
【００３４】
第１１の発明では、第１０の発明において、
フォトリソグラフィーの露光工程において、柱状スペーサをネガ型感光レジストで形成する場合、露光マスクの上記高さ調整部に対応する部分を遮光膜のない状態とし、残りの上記柱状スペーサに対応する部分を半透過膜又は完全透過膜として上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する。
【００３５】
上記の構成によると、透過率に差を設けて感光光量を部分的に調整することにより、容易に高さ調整部を柱状スペーサの先端から突出させることができる。また、ポジ型感光レジストを用いる場合はマスクにおける完全透過膜と完全遮光膜が逆になる。
【００３６】
第１２の発明では、第１０の発明において、
上記高さ調整部を、ドライフィルムレジストの保護フィルムに予め複数の凹部を形成することで形成する。
【００３７】
上記の構成によると、保護フィルムにおける高さ調整部に対応する部分に予め複数の凹部を設けるだけで、露光マスクの高さ調整部に対応する部分に細工を施すことなく、簡単に好みの形状の高さ調整部を適切な位置に確実に形成することができる。
【００３８】
第１３の発明では、第１０の発明において、
印刷版における上記柱状スペーサの先端に対応する部分に予め複数の凹部を形成することで、上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する。
【００３９】
上記の構成によると、予め印刷版の高さ調整部に対応する位置に複数の凹部を形成するだけでよいので、好みの形状の高さ調整部を容易に形成することができる。
【発明の効果】
【００４０】
以上説明したように、本発明によれば、柱状スペーサに高さ調整部を設け、この高さ調整部を一対の基板を貼り合わせたときに変形させるようにしたことにより、簡単な構成で一対の基板間のギャップを一定に保って表示むらを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態にかかる一対の基板を貼り合わせる工程を示す液晶表示素子の一部拡大断面図であり、（ａ）が貼り合わせ前を示し、（ｂ）が貼り合わせ後を示す。
【図２】（ａ）が高さ調整部を有する柱状スペーサ及びその周辺を拡大して示す断面図であり、（ｂ）が柱状スペーサの平面図である。
【図３】液晶表示素子の縁辺部及びその周辺を示す図１相当図である。
【図４】印刷方式で高さ調整部を形成するその他の実施形態を示し、（ａ）が印刷版の断面図であり、（ｂ）が柱状スペーサ及びその周辺の断面図である。
【図５】（ａ）が柱状スペーサ上に高さ調整部を形成するためのマスク形状を示す平面図であり、（ｂ）が柱状スペーサの平面図である。
【図６】（ａ）は、図５（ａ）のVIa−VIa線断面図であり、（ｂ）は、図５（ｂ）のVIb−VIb線断面図である。
【図７】感光レジストで高さ調整部を形成するその他の実施形態にかかる断面図である。
【図８】その他の実施形態にかかる図２相当図である。
【図９】その他の実施形態にかかる図２相当図である。
【図１０】その他の実施形態にかかる図２相当図であり、（ａ）は、（ｂ）のＸａ−ｘａ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００４３】
図１は、本発明の実施形態の液晶表示素子１を示し、この液晶表示素子１は、一対の基板２，３を備えている。例えば、一対の基板２，３は、カラーフィルタ基板２とアレイ基板３とからなり、カラーフィルタ基板２側に、これら一対の基板２，３間のギャップＧを均一に保つ複数の柱状スペーサ４が設けられている。そして、この柱状スペーサ４で均一に保たれたギャップＧに液晶材（図示せず）が封入されている。
【００４４】
そして、本実施形態の特徴として、柱状スペーサ４は、円錐台形状であり、アレイ基板３と当接する先端に高さ調整部５を備えている。柱状スペーサ形状についてはその他四角柱、円柱など上底に高さ調整部を形成できるものであればよい。柱状スペーサ４は、着色層を重ねて形成されたり、感光性ポリイミド、感光性アクリル樹脂、感光性着色樹脂などの専用材料で、フォトリソグラフィー、ドライフィルムレジスト、印刷等により成形されたりし、例えば、その高さは、３〜１０μmで、幅は１０〜５０μmである。
【００４５】
具体的には、図２に拡大して示すように、高さ調整部５は、柱状スペーサ４における円錐台の先端の平坦面４ａに設けた複数の（本実施形態では２つの）突起よりなり、この突起は、半球体６よりなる。例えば、この半球体６の高さｈは、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下であり（０＜ｈ≦１．０μｍ）、半球体６の幅ｗ１（外径）は、０よりも大きく柱状スペーサ４の先端幅ｗ２の１／２以下である（０＜ｗ１≦ｗ２／２）。この半球体６を設けることで、高さ調整部５は、円錐台部分に比べて断面積が減少して円錐台部分と比べて剛性が低くなり、一対の基板２，３を貼り合わせたときに変形しやすくなっている。そして、周囲に比べて出っ張った高さ調整部５が変形することにより、一対の基板２，３間のギャップＧが均一に保たれている。
【００４６】
また、図３に示すように、カラーフィルタ基板２の表面の下地は、その周縁部（縁辺部２ａであり、図３に領域Ｂで示す）において、その内側の画素部２ｂ（図３に領域Ａで示す）に比べて高く、縁辺部２ａ表面と画素部２ｂ表面との間で、段差が形成されている。結果として、縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４の高さは、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さよりも高くなっている。例えば、段差は、高さ１．０μｍよりも小さいものとする。縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４における高さ調整部５の変形量が、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さ調整部５の変形量よりも大きくなっていることで、一対の基板２，３間のギャップＧが均一に保たれている。
【００４７】
−液晶表示素子の製造方法−
次に、本実施形態にかかる液晶表示素子１の製造方法について説明する。
【００４８】
まず、カラーフィルタ基板２に複数の柱状スペーサ４を形成する。本実施形態では、例えば、印刷法で柱状スペーサ４及び高さ調整部５を形成する。
【００４９】
印刷法としては、スクリーン印刷、フレキソ印刷等の方法があるが、例えば、図４（ａ）に示すように、印刷版１０における柱状スペーサ４の部分に、円錐台に対応する本体凹部１１を形成すると共に、その先端の平坦面４ａに対応する部分に、予め複数の半球状凹部１２を形成しておく。
【００５０】
そして、カラーフィルタ基板２上に印刷版１０を用いてスクリーン印刷又はフレキソ印刷を行う。印刷部分が硬化後、上記本体凹部１１及び半球状凹部１２に対応する部分において、図４（ｂ）に示すような平坦面４ａから複数の半球体６が突出した柱状スペーサ４が得られる。
【００５１】
このように、予め印刷版１０の高さ調整部５に対応する位置に複数の半球状凹部１２を形成するだけでよいので、好みの形状の高さ調整部５を容易に形成することができる。また、本実施形態では、複数の突起は、半球体６であるので、成形が容易である。
【００５２】
そして、図１（ａ）及び図３（ａ）に示すように、先端に高さ調整部５を備える柱状スペーサ４が形成されたカラーフィルタ基板２を圧力を加えながら、アレイ基板３に貼り合わせる。
【００５３】
すると、縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４の高さは、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さよりも高くなっている。このため、一対の基板２，３を貼り合わせるときに、縁辺部２ａに設けた柱状スペーサ４の高さ調整部５が、最初にアレイ基板３と当接する。すると、半球体６は円錐台部分よりも剛性が低いので、押しつぶされて変形する。このとき、画素部２ｂに設けた柱状スペーサ４の高さ調整部５よりも大きく変形する。しかも、同じ縁辺部２ａにある柱状スペーサ４同士や、同じ画素部２ｂにある柱状スペーサ４同士で高さに相違があっても、高い柱状スペーサ４の先端の高さ調整部５が、先にアレイ基板３の表面に当接して変形する。そして、一対の基板２，３をさらに押圧し、他の柱状スペーサ４よりも出っ張った半球体６を、全体の柱状スペーサ４の高さが均一化されるまで順々に押しつぶしていく。このことで、一対の基板２，３間のギャップＧが均一に保たれる。
【００５４】
このとき、高さ調整部５の高さを、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下で、かつ高さ調整部５の幅ｗ１を０よりも大きく柱状スペーサ４の先端幅ｗ２の１／２以下としたことにより（０＜ｗ１≦ｗ２／２）、最低限の高さと幅に保たれた高さ調整部５の剛性と、柱状スペーサ４の先端面４ａの剛性との差が適度に保たれるので、高さ調整が容易である。
【００５５】
そして、この均一にされたギャップＧに液晶材を充填する。
【００５６】
したがって、本実施形態にかかる液晶表示素子１によると、柱状スペーサ４に高さ調整部５を設け、この高さ調整部５を一対の基板２，３を貼り合わせたときに変形させるようにしたことにより、簡単な構成で一対の基板２，３間のギャップＧを一定に保って表示むらを防ぐことができる。
【００５７】
−実施形態の変形例１−
図５及び図６は、本実施形態の変形例１にかかる液晶表示素子１を形成するための露光工程を示し、高さ調整部５の成形方法が異なる点で上記実施形態と異なる。なお、以下の各変形例では、図１〜図３と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００５８】
ネガ型感光レジストにより柱状スペーサをフォトリソグラフィーにより形成する場合、その露光工程において、露光マスク１０１の上記高さ調整部５に対応する部分１０２を遮光膜のない状態とし、残りの上記柱状スペーサ４に対応する部分１０３を半透過膜又は完全透過膜として高さ調整部５を有する柱状スペーサ４を形成する。
【００５９】
このように、露光マスク１０１において、透過率に差を設けて感光光量を部分的に調整することにより、容易に高さ調整部５を柱状スペーサ４の先端から突出させることができる。
【００６０】
−実施形態の変形例２−
図７は本発明の実施形態の変形例２にかかる液晶表示素子１を形成するためのドライフィルムレジスト２０１の断面を示す。
【００６１】
本変形例では、ドライフィルムレジスト２０１によって、柱状スペーサ４と高さ調整部５とを形成する。具体的には、例えば、ドライフィルムレジスト２０１の保護フィルム２０２に予め複数の凹部２０３を等間隔に配置することで形成する。なお、ドライフィルムレジスト２０１は、支持フィルム２０４に支持されている。
【００６２】
このように、保護フィルムにおける高さ調整部５に対応する部分に予め複数の凹部２０３を設けておけば、上記変形例１のように露光マスク１０１側に高さ調整部５を形成するために細工をすることなく、柱状スペーサ４部分を露光させるだけで、簡単に好みの形状の高さ調整部５を適切な位置に確実に形成することができる。
【００６３】
本変形例でも、複数の突起を半球体６としているので、成形が容易である。
【００６４】
（その他の実施形態）
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００６５】
すなわち、上記実施形態では、角柱状スペーサ４に設ける複数の突起は、２つの半球体６としたが、その個数は限定されない。また、図８に示すように、複数の突起を、例えば、４つの四角錐１０６としてもよく、図９に示すように、４つの三角錐２０６としてもよい。このように複数の突起を、四角錐１０６、三角錐２０６、円錐等の錐体とする場合には、半球体６や柱体に比べて先端が尖っているので、小さな力で変形しやすく、最適な高さ調整部５が得られる。なお、いずれの形状でも、突起の高さを、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下で、かつ幅を０よりも大きく柱状スペーサ４の先端幅の１／２以下とすればよい。
【００６６】
図１０に示すように、複数の突起を、中心の半球体６と、それを囲む環状体３０６としてもよい。この半球体６を小さな環状体３０６としてもよい。この場合には、フォトリソグラフィーでも成形可能な簡単な構成で変形しやすい高さ調整部５が得られる。
【００６７】
特に図示しないが、複数の突起を柱体としてもよい。この場合には、断面積の増減が少ないので、フォトリソグラフィーによる成形に適している。
【００６８】
以上のように複数の突起の形状は特に限定されず、その個数も２個以上であれば、特に限定されない。
【００６９】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
以上説明したように、本発明は、カラーフィルタ基板及びアレイ基板等の一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子及びその製造方法について有用である。
【符号の説明】
【００７１】
１      液晶表示素子
２      カラーフィルタ基板（一対の基板の一方）
２ａ    縁辺部（段差）
３      アレイ基板（一対の基板の他方）
４      柱状スペーサ
５      高さ調整部
６      半球体（突起）
１２      半球状凹部
１０１      露光マスク
１０６      四角錐（突起）
２０１      ドライフィルムレジスト
２０２      保護フィルム
２０３      凹部
２０６      三角錐（突起）
３０６      環状体（突起）
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子において、
上記柱状スペーサは、一対の基板の他方と当接する先端に、上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記柱状スペーサにおける他の部分と比べて変形しやすい高さ調整部を備え、
上記一対の基板のいずれか一方の表面の下地には、段差が形成され、
上記段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量は、
上記段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量よりも大きいことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項２】
一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子において、
上記柱状スペーサは、上記一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備え、
上記一対の基板を貼り合わせたときに、上記高さ調整部が変形することにより、上記ギャップが均一に保たれている
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項３】
請求項２に記載の液晶表示素子において、
上記一対の基板のいずれか一方の表面の下地には、段差が形成され、
上記段差の高い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量は、
上記段差の低い方の領域に設けた柱状スペーサの上記高さ調整部の変形量よりも大きい
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つに記載の液晶表示素子において、
上記高さ調整部の高さは、０よりも大きくかつ１．０μｍ以下であり、
上記高さ調整部の幅は、０よりも大きく上記柱状スペーサの先端幅の１／２以下である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つに記載の液晶表示素子において、
上記高さ調整部は、上記柱状スペーサの先端から突出する複数の突起である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項６】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、半球体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項７】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、柱体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項８】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、錐体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項９】
請求項５に記載の液晶表示素子において、
上記複数の突起は、環状体である
ことを特徴とする液晶表示素子。
【請求項１０】
一対の基板のいずれか一方に該一対の基板間のギャップを均一に保つ複数の柱状スペーサを備えた液晶表示素子を製造する方法において、
上記一対の基板の他方と当接する先端に高さ調整部を備える柱状スペーサを用意し、
上記柱状スペーサを設けた基板を上記一対の基板の他方に、上記高さ調整部を変形させながら貼り合わせることにより、上記ギャップを均一に保つ
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法において、
フォトリソグラフィーの露光工程において、露光マスクの上記高さ調整部に対応する部分を遮光膜のない状態とし、残りの上記柱状スペーサに対応する部分を半透過膜又は完全透過膜として上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法において、
上記高さ調整部を、ドライフィルムレジストの保護フィルムに予め複数の凹部を形成することで形成する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【請求項１３】
請求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法において、
印刷版における上記柱状スペーサの先端に対応する部分に予め複数の凹部を形成することで、上記高さ調整部を有する上記柱状スペーサを形成する
ことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
【国際調査報告】
2010146729.tif 000013
2010146729.tif 000014
2010146729.tif 000015
2010146729.tif 000016