(57)【要約】  １ターンの長さを有するコイル電極により構成されているコイルを内蔵する積層インダクタにおいて、デラミネーションの発生を抑制する。  コイル電極（１４ｂ〜１４ｅ）は、ｚ軸方向から平面視したときに、磁性体層（１２ｅ〜１２ｈ）上において１ターンの長さで周回しているコイル電極であって、環状の軌道（Ｒ）上に位置している端部（ｔ３，ｔ６，ｔ７，ｔ１０）及び該環状の軌道（Ｒ）外に位置している端部（ｔ４，ｔ５，ｔ８，ｔ９）を有している。コイル電極（１４ａ，１４ｆ）は、該複数のコイル電極（１４ｂ〜１４ｅ）に電気的に接続されているコイル電極であって、ｚ軸方向から平面視したときに、該複数のコイル電極（１４ｂ〜１４ｅ）において前記端部（ｔ３〜ｔ１０）を構成している部分により囲まれている領域と重なっているランド部（１８ａ，１８ｆ）を有している。
2010016345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の絶縁体層が積層されてなる積層体と、
積層方向から平面視したときに、前記絶縁体層上において１ターンの長さで周回している第１のコイル電極であって、環状の軌道上に位置している第１の端部及び該環状の軌道外に位置している第２の端部を有している複数の第１のコイル電極と、
積層方向に隣り合う前記第１の端部同士を接続している第１のビアホール導体と、
積層方向に隣り合う前記第２の端部同士を接続している第２のビアホール導体と、
積層方向において前記複数の第１のコイル電極よりも上側及び下側に設けられていると共に、該複数の第１のコイル電極に電気的に接続されている第２のコイル電極であって、積層方向から平面視したときに、該複数の第１のコイル電極において前記第１の端部及び前記第２の端部を構成している部分により囲まれている領域と重なっているランド部を有している第２のコイル電極と、
を備えていること、
を特徴とする積層インダクタ。
【請求項２】
前記ランド部は、積層方向から平面視したときに、前記第１の端部及び前記第２の端部と重なっていること、
を特徴とする請求項１に記載の積層インダクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層インダクタに関し、より特定的には、コイルを内蔵している積層インダクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の積層インダクタとしては、例えば、特許文献１に記載の積層インダクタが知られている。以下に、図面を参照しながら、特許文献１に記載の積層インダクタについて説明する。図４は、特許文献１に記載の積層インダクタの積層体１１１の分解斜視図である。【０００３】
積層体１１１は、磁性体層１１２ａ〜１１２ｌ、内部導体１１４ａ〜１１４ｆ及びビアホール導体Ｂ１〜Ｂ５により構成されている。磁性体層１１２ａ〜１１２ｌは、積層方向の上側から下側へとこの順に並ぶように配置されている絶縁層である。【０００４】
内部導体１１４ａは、磁性体層１１２ｄ上に設けられ、一端が積層体１１１の右側の側面に引き出されている。内部導体１１４ｂ〜１１４ｅはそれぞれ、磁性体層１１２ｅ〜１１２ｈ上において１ターンの長さで周回しており、その一端において接続部１１６ｂ〜１１６ｅを有している。内部電極１１４ｂ，１１４ｄは、同じ形状を有しており、内部電極１１４ｃ，１１４ｅは、同じ形状を有している。また、内部導体１１４ｆは、磁性体層１１２ｉ上に設けられ、一端が積層体１１１の左側の側面に引き出されている。【０００５】
また、ビアホール導体Ｂ１〜Ｂ５は、積層方向に隣り合う内部導体１１４ａ〜１１４ｆを接続している。これにより、積層体１１１内において螺旋状に旋廻するコイルＬが構成されている。【０００６】
ところで、特許文献１に記載の積層インダクタは、以下に説明するように、デラミネーションが発生し易いという問題を有している。図５は、積層体１１１を積層方向の上側から透視した図である。図５には、内部導体１１４ａ〜１１４ｆが重ねて示されている。【０００７】
図５に示すように、積層体１１１では、接続部１１６ｂ〜１１６ｅ及び内部導体１１４ａ〜１１４ｆにより囲まれた四角形の領域Ｅが形成される。この領域Ｅには、内部導体１１４ａ〜１１４ｆは、形成されていない。そのため、領域Ｅにおける積層体１１１の積層方向の厚みは、領域Ｅの周囲の領域（内部導体１１４ａ〜１１４ｆが形成されている領域）における積層体１１１の積層方向の厚みよりも、接続部１１６ｂ〜１１６ｅ及び内部導体１１４ａ〜１１４ｆの厚みの分だけ薄くなる。そのため、積層体１１１の圧着時に、圧着ツールが領域Ｅ内に回り込むことができず、領域Ｅに十分な圧力が加わらない場合がある。よって、特許文献１に記載の積層インダクタでは、領域Ｅにおいて、デラミネーションが発生し易い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−１３０９７０号公報（図５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、本発明の目的は、１ターンの長さを有するコイル電極により構成されているコイルを内蔵する積層インダクタにおいて、デラミネーションの発生を抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一形態に係る積層インダクタによれば、複数の絶縁体層が積層されてなる積層体と、積層方向から平面視したときに、前記絶縁体層上において１ターンの長さで周回している第１のコイル電極であって、環状の軌道上に位置している第１の端部及び該環状の軌道外に位置している第２の端部を有している複数の第１のコイル電極と、積層方向に隣り合う前記第１の端部同士を接続している第１のビアホール導体と、積層方向に隣り合う前記第２の端部同士を接続している第２のビアホール導体と、積層方向において前記複数の第１のコイル電極よりも上側及び下側に設けられていると共に、該複数の第１のコイル電極に電気的に接続されている第２のコイル電極であって、積層方向から平面視したときに、該複数の第１のコイル電極において前記第１の端部及び前記第２の端部を構成している部分により囲まれている領域と重なっているランド部を有している第２のコイル電極と、を備えていること、を特徴とする。【００１１】
前記積層インダクタにおいて、前記ランド部は、積層方向から平面視したときに、前記第１の端部及び前記第２の端部と重なっていてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、積層方向から平面視したときに、複数の第１のコイル電極において第１の端部及び第２の端部を構成している部分により囲まれている領域と重なっているランド部が設けられているので、１ターンの長さを有するコイル電極により構成されているコイルを内蔵する積層インダクタにおいて、デラミネーションの発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一形態に係る積層インダクタの外観斜視図である。
【図２】図１の積層インダクタの積層体の分解斜視図である。
【図３】図２の積層体をｚ軸方向の正方向側から透視した図である。
【図４】特許文献１に記載の積層インダクタの積層体の分解斜視図である。
【図５】図４の積層体を積層方向の上側から透視した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の一実施形態に係る積層インダクタについて説明する。
【００１５】
（積層インダクタの構成）
図１は、積層インダクタ１０の外観斜視図である。図２は、積層インダクタ１０の積層体１１の分解斜視図である。以下、積層インダクタ１０の積層方向をｚ軸方向と定義し、積層インダクタ１０の長辺に沿った方向をｘ軸方向と定義し、積層インダクタ１０の短辺に沿った方向をｙ軸方向と定義する。
【００１６】
積層インダクタ１０は、図１に示すように、内部に螺旋状のコイルＬを含む直方体状の積層体１１と、ｘ軸方向の両端に位置する積層体１１の側面に形成された２つの外部電極１３ａ，１３ｂとを備えている。
【００１７】
積層体１１は、図２に示すように、磁性体層１２ａ〜１２ｌ及びコイル電極１４ａ〜１４ｆが積層されて構成されている。磁性体層１２ａ〜１２ｌは、磁性を有するフェライト（例えば、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト又はＮｉ−Ｚｎフェライト等）からなる長方形状の複数の絶縁層である。以下では、個別の磁性体層１２ａ〜１２ｌ及びコイル電極１４ａ〜１４ｆを指す場合には、参照符号の後ろにアルファベットを付し、これらを総称する場合には、参照符号の後ろのアルファベットを省略する。
【００１８】
コイル電極１４ａ〜１４ｆは、積層体１１内において電気的に接続されることによりコイルＬを構成している。コイル電極１４ｂ〜１４ｅはそれぞれ、Ａｇからなる導電性材料からなり、ｚ軸方向から平面視したときに、磁性体層１２ｅ〜１２ｈ上において１ターンの長さで周回している。より詳細には、コイル電極１４ｂ〜１４ｅは、略長方形状の環状の軌道Ｒ（図２の磁性体層１２ｅ参照）上を周回していると共に、該環状の軌道Ｒ外（図２では、環状の軌道Ｒに囲まれた領域の内側）に引き出されている接続部１６ｂ〜１６ｅを有している。このように、コイル電極１４ｂ〜１４ｅが接続部１６ｂ〜１６ｅを有しているので、コイル電極１４ｂ〜１４ｅの端部ｔ３〜ｔ１０の内、端部ｔ３，ｔ６，ｔ７，ｔ１０（第１の端部）は、前記長方形状の環状の軌道Ｒ上に位置していると共に、ｚ軸方向から平面視したときに互いに重なっている。また、コイル電極１４ｂ〜１４ｅの端部ｔ３〜ｔ１０の内、端部ｔ４，ｔ５，ｔ８，ｔ９（第２の端部）は、長方形状の環状の軌道Ｒ外に位置していると共に、ｚ軸方向から平面視したときに互いに重なっている。また、コイル電極１４ｂ，１４ｄは、同じ形状を有し、コイル電極１４ｃ，１４ｅは、同じ形状を有している。すなわち、コイル電極１４ｂ〜１４ｅは、ｚ軸方向に２種類のコイル電極が交互に並んでいる。
【００１９】
また、コイル電極１４ａは、コイル電極１４ｂ〜１４ｅよりもｚ軸方向の正方向側に設けられ、該コイル電極１４ｂ〜１４ｅに電気的に接続されることによりコイルＬの一部を構成している。コイル電極１４ａは、Ａｇからなる導電性材料からなり、ｚ軸方向から平面視したときに、磁性体層１２ｄ上において３／４ターンの長さで周回している。コイル電極１４ａの一方の端部ｔ１は、図２に示すように、磁性体層１２ｄのｘ軸方向の正方向側の辺に引き出されている。これにより、コイル電極１４ａは、外部電極１３ａと接続されている。また、コイル電極１４ａは、一方の端部ｔ２において、後述するランド部１８ａを有している。
【００２０】
また、コイル電極１４ｆは、コイル電極１４ｂ〜１４ｅよりもｚ軸方向の負方向側に設けられ、該コイル電極１４ｂ〜１４ｅに電気的に接続されることによりコイルＬの一部を構成している。コイル電極１４ｆは、Ａｇからなる導電性材料からなり、ｚ軸方向から平面視したときに、磁性体層１２ｉ上において１／２ターンの長さで周回している。コイル電極１４ｆの一方の端部ｔ１２は、図２に示すように、磁性体層１２ｉのｘ軸方向の負方向側の辺に引き出されている。これにより、コイル電極１４ｆは、外部電極１３ｂと接続されている。また、コイル電極１４ｆは、一方の端部ｔ１１において、後述するランド部１８ｆを有している。
【００２１】
ここで、ランド部１８ａ，１８ｆについて図面を参照しながら説明する。図３は、積層体１１をｚ軸方向の正方向側から透視した図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）には、コイル電極１４ａ〜１４ｆが示されている。なお、図３（ａ）において、斜線で示した部分は、コイル電極１４ａを示し、図３（ｂ）において、斜線で示した部分は、コイル電極１４ｆを示している。
【００２２】
図３（ａ）に示すように、ランド部１８ａは、ｚ軸方向の正方向側から平面視したときに、コイル電極１４ｂ〜１４ｅにおいて端部ｔ３，ｔ６，ｔ７，ｔ１０及び端部ｔ４，ｔ５，ｔ８，ｔ９を構成している部分により囲まれている領域Ｅと重なっている。同様に、図３（ｂ）に示すように、ランド部１８ｆは、ｚ軸方向の正方向側から平面視したときに、コイル電極１４ｂ〜１４ｅにおいて端部ｔ３，ｔ６，ｔ７，ｔ１０及び端部ｔ４，ｔ５，ｔ８，ｔ９を構成している部分により囲まれている領域Ｅと重なっている。領域Ｅとは、より具体的には、ｚ軸方向から平面視したときに、接続部１６ｂ〜１６ｅ及びコイル電極１４ｂ〜１４ｅの端部ｔ３，ｔ６，ｔ７，ｔ１０の近傍の部分により囲まれた、コイル電極１４ｂ〜１４ｅが形成されていない四角形の領域である。
【００２３】
ビアホール導体ｂ１〜ｂ５は、コイル電極１４ａ〜１４ｆを電気的に接続することにより螺旋状のコイルＬを構成している。より具体的には、図２に示すように、ビアホール導体ｂ１は、環状の軌道Ｒ上に位置し、かつ、磁性体層１２ｄを貫通することにより、ｚ軸方向に隣り合っている端部ｔ２と端部ｔ３とを接続している。ビアホール導体ｂ２は、環状の軌道Ｒ外に位置し、かつ、磁性体層１２ｅを貫通することにより、ｚ軸方向に隣り合っている端部ｔ４と端部ｔ５とを接続している。ビアホール導体ｂ３は、環状の軌道Ｒ上に位置し、かつ、磁性体層１２ｆを貫通することにより、ｚ軸方向に隣り合っている端部ｔ６と端部ｔ７とを接続している。ビアホール導体ｂ４は、環状の軌道Ｒ外に位置し、かつ、磁性体層１２ｇを貫通することにより、ｚ軸方向に隣り合っている端部ｔ８と端部ｔ９とを接続している。ビアホール導体ｂ５は、環状の軌道Ｒ上に位置し、かつ、磁性体層１２ｈを貫通することにより、ｚ軸方向に隣り合っている端部ｔ１０と端部ｔ１１とを接続している。すなわち、環状の軌道Ｒ上の端部ｔ２，ｔ３，ｔ６，ｔ７，ｔ１０，ｔ１１を接続するビアホール導体ｂ１，ｂ３，ｂ５と環状の軌道Ｒ外の端部ｔ４，ｔ５，ｔ８，ｔ９を接続するビアホール導体ｂ２，ｂ４とは、ｚ軸方向に交互に並ぶように設けられている。これにより、１ターンの長さを有する複数のコイル電極１４は、短絡することなく互いに接続されている。
【００２４】
（積層インダクタの製造方法）
以下に、前記積層インダクタ１０の製造方法について図１及び図２を参照しながら説明する。
【００２５】
まず、酸化第二鉄（Ｆｅ2Ｏ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ニッケル（ＮｉＯ）及び酸化銅（ＣｕＯ）を所定の比率で秤量したそれぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式調合を行う。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を８００℃で１時間仮焼する。得られた仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕して、フェライトセラミック粉末を得る。
【００２６】
このフェライトセラミック粉末に対して結合剤（酢酸ビニル、水溶性アクリル等）と可塑剤、湿潤材、分散剤を加えてボールミルで混合を行い、その後、減圧により脱泡を行う。得られたセラミックスラリーをドクターブレード法により、キャリアシート上にシート状に形成して乾燥させ、磁性体層１２となるべきセラミックグリーンシートを作製する。
【００２７】
次に、磁性体層１２ｄ〜１２ｈとなるべきセラミックグリーンシートのそれぞれに、ビアホール導体ｂ１〜ｂ５を形成する。具体的には、磁性体層１２ｄ〜１２ｈとなるべきセラミックグリーンシートにレーザビームを照射してビアホールを形成する。次に、このビアホールに対して、Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などの導電性ペーストを印刷塗布などの方法により充填する。
【００２８】
次に、磁性体層１２ｄ〜１２ｉとなるべきセラミックグリーンシート上に、Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などを主成分とする導電性ペーストをスクリーン印刷法やフォトリソグラフィ法などの方法で塗布することにより、コイル電極１４ａ〜１４ｆを形成する。なお、コイル電極１４ａ〜１４ｆを形成する工程とビアホールに対して導電性ペーストを充填する工程とは、同じ工程において行われてもよい。
【００２９】
次に、各セラミックグリーンシートを積層する。具体的には、磁性体層１２ｌとなるべきセラミックグリーンシートを配置する。磁性体層１２ｌとなるべきセラミックグリーンシートのキャリアフィルムを剥がして、磁性体層１２ｋとなるべきセラミックグリーンシートを配置する。この後、磁性体層１２ｋとなるべきセラミックグリーンシートを磁性体層１２ｌに対して圧着する。圧着条件は、１００トン〜２００トンの圧力及び１秒間から３０秒間程度の時間である。また、キャリアフィルムの排出方法は、吸引による排出及びチャックによるつかみ排出である。この後、磁性体層１２ｊ，１２ｉ，１２ｈ，１２ｇ、１２ｆ，１２ｅ、１２ｄ，１２ｃ，１２ｂ，１２ａとなるべきセラミックグリーンシートについても同様にこの順番に積層及び圧着する。これにより、マザー積層体が形成される。このマザー積層体には、静水圧プレスなどにより本圧着が施される。
【００３０】
次に、マザー積層体をギロチンカットにより所定寸法の積層体１１にカットする。これにより未焼成の積層体１１が得られる。この未焼成の積層体１１には、脱バインダー処理及び焼成がなされる。脱バインダー処理は、例えば、低酸素雰囲気中において５００℃で２時間の条件で行う。焼成は、例えば、９００℃で３時間の条件で行う。
【００３１】
以上の工程により、焼成された積層体１１が得られる。積層体１１には、バレル加工が施されて、面取りが行われる。その後、積層体１１の表面には、例えば、浸漬法等の方法により主成分が銀である電極ペーストが塗布及び焼き付けされることにより、外部電極１３ａ，１３ｂとなるべき銀電極が形成される。銀電極の焼き付けは、８００℃で１時間行われる。
【００３２】
最後に、銀電極の表面に、Ｎｉめっき／Ｓｎめっきを施すことにより、外部電極１３ａ，１３ｂを形成する。以上の工程を経て、図１に示すような積層インダクタ１０が完成する。
【００３３】
（効果）
以上のように構成された積層インダクタ１０は、以下に説明するように、１ターンの長さを有するコイル電極１４により構成されているコイルＬを内蔵していても、領域Ｅにおいてデラミネーションが発生することを抑制できる。より詳細には、特許文献１に記載の積層インダクタでは、領域Ｅにおける積層体１１１の積層方向の厚みは、領域Ｅの周囲の領域における積層体１１１の積層方向の厚みよりも、内部導体１１４ａ〜１１４ｆの厚みの分だけ薄くなる。そのため、積層体１１１の圧着時に、圧着ツールが領域Ｅ内に回り込むことができず、領域Ｅに十分な圧力が加わらない場合があった。その結果、特許文献１に記載の積層インダクタは、領域Ｅにおいて、デラミネーションが発生し易いという問題を有していた。
【００３４】
一方、積層インダクタ１０では、図２に示すように、ｚ軸方向から平面視したときに、領域Ｅと重なるようにランド部１８ａ，１８ｆが設けられている。よって、積層インダクタ１０では、特許文献１に記載の積層インダクタに比べて、領域Ｅにおける積層体１１のｚ軸方向の厚みと領域Ｅの周囲の領域における積層体１１のｚ軸方向の厚みとの差が小さくなる。そのため、積層インダクタ１０では、特許文献１に記載の積層インダクタに比べて、領域Ｅ内の磁性体層１２に対して、ランド部１８ａ，１８ｂが圧力を及ぼしやすくなる。更に、焼成前の状態では、ランド電極１８ａ，１８ｂの方が、磁性体層１２に比べて硬いので、ランド電極１８ａ，１８ｆが存在することにより、圧力が領域Ｅ内の磁性体層１２により確実に圧力が伝わるようになる。その結果、積層インダクタ１０では特許文献１に記載の積層インダクタに比べて、領域Ｅ内の磁性体層１２が強固に圧着されるようになり、デラミネーションの発生が抑制される。
【００３５】
また、積層インダクタ１０において、ランド部１８ａ，１８ｆは、ｚ軸方向から平面視したときに、端部ｔ３〜ｔ９と重なっている。そのため、以下に説明するように、コイル電極１４のパターン数を増加させることなく、コイルＬの長さを変化させることができる。
【００３６】
より詳細には、コイルＬの長さを変化させる場合には、コイル電極１４ｂが設けられた磁性体層１２ｅ又はコイル電極１４ｃが設けられた磁性体層１２ｆを磁性体層１２ｈと磁性体層１２ｉとの間に挿入する。例えば、コイルＬの長さを図２の状態から１ターン分長くしたい場合には、コイル電極１４ｂが設けられた磁性体層１２ｅを挿入し、コイルＬの長さを図２の状態から２ターン分長くしたい場合には、コイル電極１４ｂが設けられた磁性体層１２ｅ及びコイル電極１４ｃが設けられた磁性体層１２ｆを挿入する。
【００３７】
上記のような手法によりコイルＬの長さを変化させると、コイル電極１４ｆの隣に位置しているコイル電極１４は、コイル電極１４ｂ又はコイル電極１４ｃのいずれかになる。ここで、コイル電極１４ｂの端部ｔ４とコイル電極１４ｃの端部ｔ６とは、異なる位置にある。そのため、通常では、コイル電極１４ｂの端部ｔ４と接続可能なもの及びコイル電極１４ｃの端部ｔ６と接続可能なものの２種類のコイル電極１４ｆが必要となる。
【００３８】
これに対して、積層インダクタ１０では、ランド部１８ａ，１８ｆは、ｚ軸方向から平面視したときに、端部ｔ３〜ｔ９と重なっている。そのため、コイル電極１４ｆの隣にコイル電極１４ｂ，１４ｃのいずれが位置していたとしても、コイル電極１４ｆは、ビアホール導体ｂにより、コイル電極１４ｂ，１４ｃと接続できる。よって、積層インダクタ１０では、１パターンのコイル電極１４ｆを準備するだけで足り、コイル電極１４のパターン数を増加させることなく、コイルＬの長さを変化させることができる。
【００３９】
なお、積層インダクタ１０では、端部ｔ４，ｔ５，ｔ８，ｔ９は、環状の軌道Ｒに囲まれた領域の内側に位置しているが、環状の軌道Ｒに囲まれた領域の外側に位置していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、積層インダクタに有用であり、特に、デラミネーションの発生を抑制することができる点において優れている。
【符号の説明】
【００４１】
ｂ１〜ｂ５  ビアホール導体
Ｅ 領域
Ｌ コイル
ｔ１〜ｔ１２  端部
１０  積層インダクタ
１１  積層体
１２ａ〜１２ｌ  磁性体層
１３ａ，１３ｂ  外部電極
１４ａ〜１４ｆ  コイル電極
１６ｂ〜１６ｅ  接続部
１８ａ，１８ｆ  ランド部
【図１】
2010016345.tif 000003
【図２】
2010016345.tif 000004
【図３】
2010016345.tif 000005
【図４】
2010016345.tif 000006
【図５】
2010016345.tif 000007
【国際調査報告】
2010016345.tif 000008
2010016345.tif 000009
2010016345.tif 000010
2010016345.tif 000011