(57)【要約】【課題】潤滑性の向上及び密封性の信頼性を向上できる摺動部品を提供する。【解決手段】互いに相対摺動する摺動面を有する一対の摺動部品であって、少なくとも一方側の摺動面Ｓは複数のディンプル１０がランダムに配設されたランダムディンプル群１１を備え、ランダムディンプル群１１は一方側の摺動面Ｓの周方向に偏って配設される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対摺動する摺動面を有する一対の摺動部品であって、
少なくとも一方側の前記摺動面は複数のディンプルがランダムに配設されたランダムディンプル群を備え、
前記ランダムディンプル群は前記一方側の前記摺動面の周方向に偏って配設されることを特徴とする摺動部品。
【請求項２】
前記ランダムディンプル群は、前記複数のディンプルが前記摺動面の内周部から外周部に亘って配設される帯状体であることを特徴とする請求項１に記載の摺動部品。
【請求項３】
前記ランダムディンプル群の角度方向標準偏差が１未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載の摺動部品。
【請求項４】
前記ランダムディンプル群の角度方向標準偏差が０．８未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載の摺動部品。
【請求項５】
前記ランダムディンプル群を前記摺動面の周方向に分離する少なくとも一つのランド部を備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項６】
前記ランド部は、前記摺動面の内周部から外周部に亘って、かつ、前記ランダムディンプル群の周方向幅より狭い周方向幅を有する平坦面であることを特徴とする請求項５のいずれかに記載の摺動部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば、メカニカルシール、すべり軸受、その他、摺動部に適した摺動部品に関する。特に、摺動面に流体を介在させて摩擦を低減させるとともに、摺動面から流体が漏洩するのを防止する必要のある密封環または軸受などの摺動部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
摺動部品の一例である、メカニカルシールにおいて、密封性を維持しつつ、回転中の摺動摩擦を極限まで下げることが求められている。低摩擦化の手法としては、摺動面に多様なテクスチャリングを施すことで、これらの実現を図ろうとしており、例えば、テクスチャリングのひとつとして摺動面にディンプルを配列したものが知られている。【０００３】
従来、摺動面にディンプルを設ける場合、複数のディンプルを整列に配置するのが一般的である。例えば、特開２００３−３４３７４１号公報（以下、「特許文献１」という。）に記載の発明は、摺動面の摩擦係数を低減すると共に、シール能力を向上させることを目的として、摺動面に境界基準線Ｘを境に外周側と内周側とが傾斜方向を異にする複数の細長いディンプルを規則的に整列して設け、外周側のディンプルの回転方向先端を外周側へ向かって傾斜させると共に、内周側のディンプルの回転方向先端を内周側へ向かって傾斜させるようにしたものである。【０００４】
また、従来、潤滑性の向上のため、複数のディンプルをランダムに配置することも知られている。例えば、特開２００１−２２１１７９号公報（以下、「特許文献２」という。）に記載の発明は、ロータリ圧縮機のシリンダの内壁と摺動するベーンの先端面及び両側端面に、複数個のディンプルをランダム配列したものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３４３７４１号公報
【特許文献２】特開２００１−２２１１７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の発明は、ディンプルを整列配置していることから、漏れ側から摺動面への吸い込み効果及び被密封流体側から摺動面への流入効果が少ないため、外周側のディンプルの回転方向先端を外周側へ向かって傾斜させると共に、内周側のディンプルの回転方向先端を内周側へ向かって傾斜させるという複雑な構成をとる必要があり、また、摺動面の径方向の中心部に流体が集中するため摺動面全体を均一に潤滑することができないという問題があった。【０００７】
また、特許文献２に記載の発明は、潤滑性の向上のため、複数のディンプルをランダムに配置したというに過ぎず、ディンプルの配置がどのように潤滑性能に影響しているか不明瞭であるという問題もあった。【０００８】
本発明は、複数のディンプルをランダム配置する場合において、ディンプル配置と潤滑性能との関係を明らかにして、潤滑性及び密封性を向上できる摺動部品を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明の発明者は、摺動面に複数ディンプルをランダムに配置した摺動部品において、ラテン超方格法による実験計画を用いた２００ケースの配置条件の数値実験を行った結果、ディンプルの配置と潤滑特性との間には以下の関係があるという知見を得た。【００１０】
相対摺動する摺動面のトルクは、ディンプル群を構成するディンプルの角度方向標準偏差σθと相関があることも判明した（スピアマン順位相関係数０．５９５）。図２に示すように、角度方向標準偏差σθが１より小さく、より好ましくは、０．８より小さくなると、摺動面の外周側（被密封流体側）から摺動面への流入特性を向上させ、厚い液膜によって大きなトルクが発生しにくくなる。ここで、角度方向標準偏差σθは、ランダムディンプル群を構成するディンプルの角度方向座標の標準偏差を、整列ディンプル群を構成するディンプルの角度方向座標の標準偏差によって正規化したもので、ディンプル群の角度方向の分散度合を示すものである。
本発明の摺動部品は、上記知見を利用して上記課題を解決するものである。【００１１】
本発明の摺動部品は、
互いに相対摺動する摺動面を有する一対の摺動部品であって、
少なくとも一方側の摺動面は複数のディンプルがランダムに配設されたランダムディンプル群を備え、
前記ランダムディンプル群は前記一方側の前記摺動面の周方向に偏って配設されることを特徴としている。
この特徴によれば、上記知見を利用してランダムディンプル群は摺動面の周方向に偏って配設されることで流体潤滑効果を向上させ、ランダムディンプル群が有する流体潤滑効果を相乗的に増大して、潤滑性に優れた摺動部品を提供することができる。ここで、流体潤滑効果とは被密封流体側から摺動面に流体を流入させ、厚い液膜を形成させることにより潤滑性を向上させる効果である。【００１２】
本発明の摺動部品は、
前記ランダムディンプル群は、前記複数のディンプルが前記摺動面の内周部から外周部に亘って配設される帯状体であることを特徴としている。
この特徴によれば、摺動面の周方向に偏った帯状体のランダムディンプル群とすることで、流体潤滑効果を向上させ、ランダムディンプル群が有する流体潤滑効果を相乗的に増大して、密封性及び潤滑性に優れた摺動部品を提供することができる。【００１３】
本発明の摺動部品は、
前記ランダムディンプル群の角度方向標準偏差が１未満であることを特徴としている。
また、前記ランダムディンプル群の角度方向標準偏差が０．８未満になるように前記ディンプルが配置されることを特徴としている。
この特徴によれば、ランダムディンプル群の角度方向標準偏差を利用して、潤滑性に優れたランダムディンプルのディンプル配置を決めることができる。【００１４】
本発明の摺動部品は、
前記ランダムディンプル群を前記摺動面の周方向に分離する少なくとも一つのランド部を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、ランダムディンプル群を周方向に流れた流体はランド部にせき止められて、さらに厚い流体皮膜を得ることができ、摺動面の面荒れを防いで密封性の信頼性に優れた摺動部品を提供することができる。【００１５】
前記ランド部は、前記摺動面の内周部から外周部に亘って、かつ、前記ランダムディンプル群の周方向幅より狭い周方向幅を有する平坦面であることを特徴としている。
この特徴によれば、様々な角度方向標準偏差を有するランダムディンプル群をランド部によって分離することで、厚い流体皮膜を形成するとともに、様々な回転数、温度（粘度）に適応した摺動部品とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１に係るメカニカルシールの一例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の原理を説明するための説明図であり、摺動部品の摺動トルクと、角度方向標準偏差σθとの相関を示す図である。
【図３】図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例１に係るランダムディンプル群を備える摺動部品の摺動面の一例を示すもので、角度方向標準偏差σθ＝０．７７６の場合を示す。
【図４】図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例１に係るランダムディンプル群を備える摺動部品の摺動面の一例を示すもので、角度方向標準偏差σθ＝０．８９６の場合を示す。
【図５】図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例１に係るランダムディンプル群を備える摺動部品の摺動面の一例を示すもので、角度方向標準偏差σθ＝０．９４６の場合を示す。
【図６】図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例２に係るランダムディンプル群及びランド部を備える摺動部品の摺動面の一例を示すもので、角度方向標準偏差σθ＝０．７７６の場合を示す。
【図７】図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例２に係るランダムディンプル群及びランド部を備える摺動部品の摺動面の一例を示すもので、角度方向標準偏差σθ＝０．８９６の場合を示す。
【図８】図１のＷ−Ｗ矢視図であり、本発明の実施例２に係るランダムディンプル群及びランド部を備える摺動部品の摺動面の一例を示すもので、角度方向標準偏差σθ＝０．９４６の場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に図面を参照して、本発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置などは、特に明示的な記載がない限り、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【実施例１】
【００１８】
図１ないし図５を参照して、本発明の実施例１に係る摺動部品について説明する。
なお、以下の実施例においては、摺動部品の一例であるメカニカルシールを例にして説明するが、これに限定されることなく、例えば、円筒状摺動面の軸方向一方側に潤滑油を密封しながら回転軸と摺動する軸受の摺動部品として利用することも可能である。
なお、メカニカルシールを構成する摺動部品の外周側を高圧流体側（被密封流体側）、内周側を低圧流体側（漏れ側）として説明する。【００１９】
図１は、メカニカルシールの一例を示す縦断面図であって、摺動面の外周から内周方向に向かって漏れようとする高圧流体側の被密封流体を密封する形式のインサイド形式のものであり、高圧流体側のポンプインペラ（図示省略）を駆動させる回転軸１側にスリーブ２を介してこの回転軸１と一体的に回転可能な状態に設けられた一方の摺動部品である円環状の回転側密封環３と、ポンプのハウジング４に非回転状態かつ軸方向移動可能な状態で設けられた他方の摺動部品である円環状の固定側密封環５とが設けられ、固定側密封環５を軸方向に付勢するコイルドウェーブスプリング６及びベローズ７によって、摺動面Ｓ同士で密接摺動するようになっている。すなわち、このメカニカルシールは、回転側密封環３と固定側密封環５との互いの摺動面Ｓにおいて、被密封流体が回転軸１の外周側から内周側へ流出するのを防止するものである。
なお、図１では、回転側密封環３の摺動面の幅が固定側密封環５の摺動面の幅より広い場合を示しているが、これに限定されることなく、逆の場合においても本発明を適用出来ることはもちろんである。【００２０】
回転側密封環３及び固定側密封環５の材質は、耐摩耗性に優れた炭化ケイ素（ＳｉＣ）及び自己潤滑性に優れたカーボンなどから選定されるが、例えば、両者がＳｉＣ、あるいは、回転側密封環３がＳｉＣであって固定側密封環５がカーボンの組合せが可能である。
相対摺動する回転側密封環３あるいは固定側密封環５の少なくともいずれか一方の摺動面には、ディンプルが配設される。【００２１】
本発明において、「ディンプル」とは、平坦な摺動面Ｓに形成される窪みのことであり、その形状は特に限定されるものではない。例えば、くぼみの平面形状は円形、三角形、楕円形、長円形、もしくは矩形が包含され、くぼみの断面形状もお椀状、または、方形など種々の形が包含される。【００２２】
本例では、固定側密封環５の摺動面Ｓに複数のディンプルがランダムに配置される場合について説明する。この場合、回転側密封環３にはディンプルは設けられなくても、設けられてもよい。なお、ランダム配置とは、規則性を持って配置される整列配置を除く配置の意味であり、千鳥配置は含まれない。【００２３】
摺動面にディンプル群をランダムに配置することにより、潤滑と密封という相反する機能を向上させることができる。ここで、潤滑機能及び密封機能を向上させるメカニズムは次のとおりである。【００２４】
相手側摺動面が相対移動すると、摺動面に形成されたディンプルの穴部には流体の粘性によって流体が吸い込まれ、穴部の上流側の部分では負圧、下流側の部分ではくさび効果によって正圧が発生する。その際、穴部の上流側の負圧部分では、液膜が破断され、液体の蒸気や気泡による空洞が形成され（キャビテーション）、負圧が打ち消される。その結果、正圧のみが残り負荷能力が発生することで、摺動面Ｓが持ち上がる。摺動面Ｓが持ち上がると、相対摺動する２つの摺動面の間隙が大きくなり、摺動面Ｓに潤滑性の流体が流入し、潤滑機能が得られる。【００２５】
また、ディンプルに吸い込まれた流体はディンプル内で昇圧してディンプルから吐き出される。すなわちディンプル内への流体の吸込みと、ディンプルから昇圧された流体の吐出しが連続して行われる。そして複数のディンプルがランダムに配置されていると、摺動面の内周側に配置されたディンプルに吸い込まれ、そして吐き出された流体は、さらに外径側に配置されたディンプルに吸い込み、吐き出しが連続的に繰返され、流体が徐々に内径側から外径側へ運ばれる密封機能が得られる。【００２６】
図３において、固定側密封環５の摺動面Ｓは複数の区画１６（図３では３６個）に等しく分けられ、それぞれの区画１６に複数のディンプル１０がランダムに配置されたランダムディンプル群１１が配置される。ランダムディンプル群１１は、複数のディンプル１０が摺動面Ｓの内周部５ａ（漏れ側）から外周部５ｂ（被密封流体側）に亘って配置され、ランダムディンプル群１１の外周部１３は被密封流体側に直接接触する開口部となっている。また、ランダムディンプル群１１の内周部１２は漏れ側に直接接触する開口部となっている。さらにランダムディンプル群１１は、周方向に偏りをもって配置されている。図３において、区画１６に複数のディンプル１０が周方向の一方に偏って配置されているが、区画１６の中央部に偏って配置されていてもよい。これにより、ディンプル１０が密に配置された部分と疎に配置された部分が周方向に周期的に配設される。具体的には、ランダムディンプル群１１を構成するディンプル１０の角度方向標準偏差σθが１未満であるように区画１６に配置され、径方向に延びる帯状体となっている。【００２７】
ここで、角度方向標準偏差σθ（正規化角度方向標準偏差）は、ランダムディンプル群１１を構成するディンプル１０の角度方向座標の標準偏差σ11を、均一に配置された整列ディンプル群を構成するディンプルの角度方向座標の標準偏差σrによって正規化したもので、次の式１のとおりである。
角度方向標準偏差σθ＝ランダムディンプル群の角度方向座標の標準偏差σ11／整列ディンプル群の角度方向座標の標準偏差σr      （式１）【００２８】
各ランダムディンプル群１１において、角度方向標準偏差σθが１未満であるように配置されると、被密封流体側から摺動面への流体が流入して潤滑性を向上させる効果（以下「流体潤滑効果」と記す。）が高まり、摺動面Ｓの潤滑性が向上して大きなトルク（摺動の抵抗）の発生が防止される。また、角度方向標準偏差が０．８未満であるように配置されると、より一層、流体潤滑効果が高まって潤滑性が向上し、摺動面Ｓの面荒れが防止され密封性の信頼性が向上する。本発明において、角度方向標準偏差が１未満であるように配置されてなるランダムディンプル群を「潤滑形ランダムディンプル群」と呼ぶ。  【００２９】
図３において、ディンプル１０は各区画１６に単にランダムに配置されるのでなく、下記の手順にしたがってディンプル１０は区画１６にランダムに配置される。
（１）ディンプル１０を質点系の電子とみなし、電子間に働くクーロン力によって複数のディンプル１０をブロック内にソフトウェアを用いて配置する。
（２）ソフトウェアで仮想の力を操作し、摺動面の周方向に偏ってディンプル１０が配置されるように、ソフトウェアで仮想の力を操作する。
（３）周方向に偏りを与えたディンプルの座標から、ソフトウェアを用いて、ランダムディンプル群の角度方向座標の標準偏差σ11を算出する。  
（４）上記の式１に基づいて、ランダムディンプル群１１の角度方向標準偏差を、整列ディンプル群の角度方向座標の標準偏差σrによって正規化した角度方向標準偏差σθが１未満か確認し、１未満であれば採用する。
（５）角度方向標準偏差σθが１より大きい場合は、上記（２）から（４）の操作を繰り返す。【００３０】
ここで、整列ディンプル群の角度方向座標の標準偏差σrについて説明する。図３において、摺動面Ｓは３６個の区画１６に等しく分けられているので、区画１６の中心角θcは１０°であり、区画１６の中心位置１７からの均等位置は２．５°の位置になる。よって、３６等配の場合の整列ディンプル群の角度方向座標の標準偏差σrは２．５°となる。区画１６の中心角θcの大きさが１０°と異なる場合でも同じ手順で整列ディンプル群の角度方向座標の標準偏差σrは計算される。【００３１】
図４及び図５は、上記の手順により決定されたディンプル１０のランダム配置の一例である。図４の実施例において、区画２６に配置されるランダムディンプル群２１の角度方向標準偏差σθは０．８９６であり、図５の実施例において、区画３６に配置されるランダムディンプル群３１の角度方向標準偏差σθは０．９４６である。角度方向標準偏差σθが小さいほど被密封流体側から摺動面へ流体が流入する流体潤滑効果が高まり、摺動面Ｓの面荒れが防止され密封性の信頼性が向上する。【００３２】
なお、図３から図５のランダムディンプル群１１、２１、３１は、ディンプル１０のランダム配置の一例を示したものであり、同じ角度方向標準偏差σθであっても、異なるディンプル１０のランダム配置のパターンは無数に存在する。【００３３】
なお、図３の場合には、摺動面Ｓは３６個の区画１６に等しく分けられ、各ブロックにランダムディンプル群１１が配設されているが、３６等配に限定されることなく、ブロック数は１でもよいし、２以上の自然数に分割してもよい。【００３４】
図３の３６個のランダムディンプル群１１はすべて同じ角度方向標準偏差σθを有するが、これに限らず、角度方向標準偏差が１より小さければ、異なる角度方向標準偏差σθを有するランダムディンプル群１１を区画１６に配置してもよい。図４、図５のランダムディンプル群２１、３１についても同じである。【００３５】
また、図３から図５において、３６個の区画１６は、同じ中心角θｃを有しているが、これに限らず異なる中心角を有する複数の区画１６としてもよい。
【実施例２】
【００３６】
図６から図８を参照して、本発明の実施例２に係る摺動部品について説明する。
実施例２に係る摺動部品は、ランダムディンプル群を摺動面の周方向に分離するランド部を備える点で実施例１の摺動部品と相違し、その他の基本構成は実施例１と同じであり、同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００３７】
図６において、摺動面Ｓには、固定側密封環５の摺動面Ｓは複数の区画４６（図６では３６個）に等しく分けられ、各区画４６にはランダムディンプル群４１とランド部４５が配置される。また、各区画４６に複数のディンプル１０が前述の手法によって配置され、ランダムディンプル群を構成した後、ランド部を形成する様にいくつかのディンプル群を排除することでランダムディンプル群４１が構成される。ランダムディンプル群４１は、複数のディンプル１０が摺動面Ｓの内周部５ａ（漏れ側）から外周部５ｂ（被密封流体側）に亘って配置され、ランダムディンプル群４１の外周部４３は被密封流体側に直接接触する開口部となっている。また、ランダムディンプル群４１の内周部４２は漏れ側に直接接触する開口となっている。さらに、ランダムディンプル群４１は、周方向に偏りをもって配置されており、具体的には、ランダムディンプル群１１を構成するディンプル１０の角度方向標準偏差σθが１未満であるように区画４６に配置され、径方向に延びる帯状体となっている。また、ランド部４５は、摺動面Ｓの内周部５ａ（漏れ側）から外周部５ｂ（被密封流体側）の全長に亘って、ランダムディンプル群４１の周方向幅より狭い周方向幅を有する平坦面である。このランド部４５よってランダムディンプル群４１は隣接する他のランダムディンプル群４１と分離される。【００３８】
区画４６に配設されるランダムディンプル群４１の角度方向標準偏差σθは０．７６６になるように複数のディンプル１０が配置されてなる潤滑形ランダムディンプル群４１から構成される。これにより、区画１６の周方向の一方にランダムディンプル群４１が偏って配設され、流体潤滑効果が向上して大きなトルク（摺動の抵抗）の発生が防止される。【００３９】
また、隣接するランダムディンプル群４１同志はランド部４５によって分離されるので、ランダムディンプル群４１を流れる流体はランド部４５によってせき止められて正の動圧が発生する効果（以下「動圧発生効果」という。）が得られ、より一層、摺動面Ｓの潤滑性が向上して、摺動面Ｓの面荒れが防止され密封性の信頼性が向上する。【００４０】
図７及び図８は、ディンプル１０の別のランダム配置例である。図７の実施例において、ランダムディンプル群５１の角度方向標準偏差σθは０．８９６であり、図８の実施例において、ランダムディンプル群６１の角度方向標準偏差σθは０．９４６である。図６から図８に示すように、角度方向標準偏差σθが小さいほどランダムディンプル群は摺動面Ｓの周方向の一方に偏って配設され、角度方向標準偏差σθが１より小さく、より好ましくは、０．８より小さくなると、流体潤滑効果が高まり大きなトルク（摺動の抵抗）の発生が防止される。【００４１】
以上説明したように、ランダムディンプル群４１、５１、６１は、角度方向標準偏差σθが１より小さくすることによって流体潤滑効果が高まり、摺動面Ｓの潤滑性が向上する。さらに、ランダムディンプル群４１、５１、６１を流れる流体はランド部４５によってせき止められて動圧発生効果が得られ、より一層、摺動面Ｓの潤滑性が向上して、摺動面Ｓの面荒れが防止され密封性の信頼性が向上する。【００４２】
なお、図６、図７の実施例では、摺動面Ｓは３６個の区画４６、５６に等しく分けられ、図８の実施例では、摺動面Ｓは２４個の区画６６に等しく分けられているが、これに限定されることなく、区画数は１でもよいし、２以上の自然数に分割してもよい。【００４３】
また、図６の実施例においては、３６個のランダムディンプル群４１はすべて同じ角度方向標準偏差σθを有するが、これに限らない。たとえば、角度方向標準偏差が１より小さければ、異なる角度方向標準偏差σθを有するランダムディンプル群４１を摺動面の周方向に配置してもよい。図７、図８のランダムディンプル群５１、６１についても同じである。【００４４】
さらに、図６から図８において、区画４６、５６、６６は、それぞれ同じ中心角θｃを有しているが、これに限らず区画４６、５６、６６は、それぞれ異なる複数の中心角θｃを有するように形成してもよい。【００４５】
以上、本発明の実施の形態を実施例により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。【００４６】
例えば、実施例１及び実施例２では、摺動部品をメカニカルシール装置における一対の回転用密封環及び固定用密封環の少なくともいずれか一方に用いる例について説明したが、円筒状摺動面の軸方向一方側に潤滑油を密封しながら回転軸と摺動する軸受の摺動部品として利用することも可能である。【００４７】
また、実施例１及び実施例２において、摺動部品の外周側を高圧流体側（被密封流体側）、内周側を低圧流体側（漏れ側）として説明しているが、本発明はこれに限定されることなく、摺動部品の外周側を低圧流体側（漏れ側）、内周側を高圧流体側（被密封流体側）の場合にも適用可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１                回転軸
２                スリーブ
３                回転側密封環
４                ハウジング
５                固定側密封環
６                コイルドウェーブスプリング
７                ベローズ
１０              ディンプル
１１              ランダムディンプル群
１６              区画
１７              区画の中心位置
２１              ランダムディンプル群
２６              区画
３１              ランダムディンプル群
３６              区画
４１              ランダムディンプル群
４５              ランド部
４６              区画
５１              ランダムディンプル群
５５              ランド部
５６              区画
６１              ランダムディンプル群
６６              区画
Ｓ                摺動面
【図１】
2018212143.tif 000003
【図２】
2018212143.tif 000004
【図３】
2018212143.tif 000005
【図４】
2018212143.tif 000006
【図５】
2018212143.tif 000007
【図６】
2018212143.tif 000008
【図７】
2018212143.tif 000009
【図８】
2018212143.tif 000010
【国際調査報告】
2018212143.tif 000011
2018212143.tif 000012