(57)【要約】  薄型化板状部材の製造方法は、第１硬質支持体（１１０）の支持面（１１１）に第１両面接着シート（ＡＴ１）の第１接着面（ＡＴ１１）を貼付し、板状部材（ＷＦ）の第１表面（ＷＦ１）全体に第２接着面（ＡＴ１２）を貼付する工程と、前記板状部材（ＷＦ）の内部に境界層（ＣＲ）を形成する工程と、第１硬質支持体（１１０）を挟んで前記板状部材（ＷＦ）の反対側に第１保持手段（１３０）が位置するように、前記第１保持手段（１３０）と第１硬質支持体（１１０）とを着脱自在に固定する工程と、第２保持手段（１６０）で前記板状部材（ＷＦ）を第２表面（ＷＦ２）側から保持する工程と、前記境界層（ＣＲ）を境にして、前記板状部材（ＷＦ）を、第１表面（ＷＦ１）を有する第１薄型化板状部材、及び第２表面（ＷＦ２）を有する第２薄型化板状部材に分割するように、前記第１保持手段（１３０）と前記第２保持手段（１６０）とを相対移動させる工程とを備えている。
2019044530.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１硬質支持体の支持面に第１両面接着シートの第１接着面を貼付し、板状部材の第１表面全体に前記第１両面接着シートの第２接着面を貼付する工程と、
前記板状部材の内部に前記第１表面に平行な境界層を形成する工程と、
前記第１硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に第１保持手段が位置するように、前記第１保持手段と前記第１硬質支持体とを着脱自在に固定する工程と、
第２保持手段で前記板状部材を当該板状部材の第２表面側から保持する工程と、
前記境界層を境にして、前記板状部材を、前記第１表面を有する第１薄型化板状部材、及び前記第２表面を有する第２薄型化板状部材に分割するように、前記第１保持手段と前記第２保持手段とを相対移動させる工程とを備えていることを特徴とする薄型化板状部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の薄型化板状部材の製造方法において、
前記第２保持手段で前記板状部材を前記第２表面側から保持する工程は、
第２硬質支持体の支持面に第２両面接着シートの第１接着面を貼付し、前記板状部材の第２表面全体に前記第２両面接着シートの第２接着面を貼付し、前記第２硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に第２保持手段が位置するように、前記第２保持手段と前記第２硬質支持体とを着脱自在に固定することを特徴とする薄型化板状部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の薄型化板状部材の製造方法において、
前記板状部材は、ウエハであることを特徴とする薄型化板状部材の製造方法。
【請求項４】
支持面に第１両面接着シートの第１接着面が貼付される第１硬質支持体と、
第１表面全体が前記第１両面接着シートの第２接着面に貼付された板状部材の内部に、前記第１表面に平行な境界層を形成する境界層形成手段と、
第１保持手段と、
前記第１硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に前記第１保持手段が位置するように、前記第１保持手段と前記第１硬質支持体とを着脱自在に固定する第１固定手段と、
前記板状部材を第２表面側から保持する第２保持手段と、
前記境界層を境にして、前記板状部材を、前記第１表面を有する第１薄型化板状部材、及び前記第２表面を有する第２薄型化板状部材に分割するように、前記第１保持手段と前記第２保持手段とを相対移動させる相対移動手段とを備えていることを特徴とする薄型化板状部材の製造装置。
【請求項５】
請求項４に記載の薄型化板状部材の製造装置において、
支持面に第２両面接着シートの第１接着面が貼付される第２硬質支持体と、
前記第２硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に前記第２保持手段が位置するように、前記第２保持手段と前記第２硬質支持体とを着脱自在に固定する第２固定手段とを備え、
前記第２両面接着シートの第２接着面は、前記板状部材の前記第２表面全体が貼付可能な大きさに形成されていることを特徴とする薄型化板状部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄型化板状部材の製造方法、及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被加工物を加工する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の方法は、保持手段で保持された被加工物にレーザ光を照射して、被加工物の内部に改質面を形成する。そして、この改質面を境界にして、被加工物の一部を剥離する。【０００３】
この特許文献１には、被加工物としてのウエハを、一般的な厚みから薄く加工できることも開示されている。この場合、ウエハの第１表面をチャックテーブルの上面で直接吸着保持し、第２表面に吸引パッドの吸着面を接触させる。そして、吸引パッドにウエハを吸引させることで、改質面を境界にして、ウエハを第１表面を有する第１薄型化ウエハと第２表面を有する第２薄型化ウエハとに分割できると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−３０００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の方法において、吸引パッドの吸引のみでウエハを分割できない場合、駆動機器で吸引パッドを上昇させることが考えられるが、以下のような不具合が発生するおそれがある。
チャックテーブルの上面は、一般的にポーラス状に形成されている。このため、ウエハの第１表面には、チャックテーブルで吸着されている部分（以下、「吸着部分」という）と、吸着されていない部分（以下、「非吸着部分」という）とが存在することになる。
吸引パッドが上昇すると、吸着部分には吸着パッドの上昇に伴う上方向の力、及びチャックテーブルの吸着による下方向への力が作用するが、非吸着部分には下方向への力が作用しない。また、大気圧雰囲気中では、吸着力に限界がある。さらに、ウエハは薄く変形しやすいことから、非吸着部分が上方向へ撓んでしまい、ウエハが分割されずに破損してしまうおそれがある。【０００６】
本発明の目的は、薄型化板状部材を適切に製造できる薄型化板状部材の製造方法および製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の薄型化板状部材の製造方法は、第１硬質支持体の支持面に第１両面接着シートの第１接着面を貼付し、板状部材の第１表面全体に前記第１両面接着シートの第２接着面を貼付する工程と、前記板状部材の内部に前記第１表面に平行な境界層を形成する工程と、前記第１硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に第１保持手段が位置するように、前記第１保持手段と前記第１硬質支持体とを着脱自在に固定する工程と、第２保持手段で前記板状部材を当該板状部材の第２表面側から保持する工程と、前記境界層を境にして、前記板状部材を、前記第１表面を有する第１薄型化板状部材、及び前記第２表面を有する第２薄型化板状部材に分割するように、前記第１保持手段と前記第２保持手段とを相対移動させる工程とを備えていることを特徴とする。【０００８】
本発明の薄型化板状部材の製造方法において、前記第２保持手段で前記板状部材を前記第２表面側から保持する工程は、第２硬質支持体の支持面に第２両面接着シートの第１接着面を貼付し、前記板状部材の第２表面全体に前記第２両面接着シートの第２接着面を貼付し、前記第２硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に第２保持手段が位置するように、前記第２保持手段と前記第２硬質支持体とを着脱自在に固定することが好ましい。
また、本発明の薄型化板状部材の製造方法において、前記板状部材は、ウエハであることが好ましい。【０００９】
本発明の薄型化板状部材の製造装置は、支持面に第１両面接着シートの第１接着面が貼付される第１硬質支持体と、第１表面全体が前記第１両面接着シートの第２接着面に貼付された板状部材の内部に、前記第１表面に平行な境界層を形成する境界層形成手段と、第１保持手段と、前記第１硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に前記第１保持手段が位置するように、前記第１保持手段と前記第１硬質支持体とを着脱自在に固定する第１固定手段と、前記板状部材を第２表面側から保持する第２保持手段と、前記境界層を境にして、前記板状部材を、前記第１表面を有する第１薄型化板状部材、及び前記第２表面を有する第２薄型化板状部材に分割するように、前記第１保持手段と前記第２保持手段とを相対移動させる相対移動手段とを備えていることを特徴とする。【００１０】
本発明の薄型化板状部材の製造装置において、支持面に第２両面接着シートの第１接着面が貼付される第２硬質支持体と、前記第２硬質支持体を挟んで前記板状部材の反対側に前記第２保持手段が位置するように、前記第２保持手段と前記第２硬質支持体とを着脱自在に固定する第２固定手段とを備え、前記第２両面接着シートの第２接着面は、前記板状部材の前記第２表面全体が貼付可能な大きさに形成されていることが好ましい。【００１１】
本発明によれば、薄型化板状部材を適切に製造できる薄型化板状部材の製造方法および製造装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１Ａ】本発明の実施形態に係る薄型化ウエハの製造装置の動作説明図。
【図１Ｂ】前記実施形態に係る薄型化ウエハの製造装置の動作説明図であり、図１Ａに続く状態を示す。
【図１Ｃ】前記実施形態に係る薄型化ウエハの製造装置の動作説明図であり、図１Ｂに続く状態を示す。
【図２Ａ】前記実施形態に係る薄型化ウエハの製造装置の動作説明図であり、図１Ｃに続く状態を示す。
【図２Ｂ】前記実施形態に係る薄型化ウエハの製造装置の動作説明図であり、図２Ａに続く状態を示す。
【図３】本発明の実施形態の変形にて複数の改質部を形成した後のウエハの縦断面概略図。
【図４】前記変形にて複数の改質部を形成した後のウエハの横断面概略図。
【図５】本発明の実施形態の他の変形にて複数の改質部を形成した後のウエハの縦断面概略図。
【図６】前記他の変形にて複数の改質部を形成した後のウエハの横断面概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［実施形態］
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１４】
図１Ａ〜Ｃ、及び図２Ａ、Ｂにおいて、薄型化板状部材としての薄型化ウエハの製造装置１００は、支持面１１１に第１両面接着シートＡＴ１の第１接着面ＡＴ１１が貼付される第１硬質支持体１１０と、第１表面ＷＦ１全体が第１両面接着シートＡＴ１の第２接着面ＡＴ１２に貼付された板状部材としてのウエハＷＦの内部に、第１表面ＷＦ１に平行な境界層としてのクラック層ＣＲを形成する境界層形成手段１２０と、第１保持手段としての下テーブル１３０と、第１硬質支持体１１０を挟んでウエハＷＦの反対側に下テーブル１３０が位置するように、下テーブル１３０と第１硬質支持体１１０とを着脱自在に固定する第１固定手段１４０と、支持面１５１に第２両面接着シートＡＴ２の第１接着面ＡＴ２１が貼付される第２硬質支持体１５０と、ウエハＷＦを第１表面ＷＦ１と反対側の第２表面ＷＦ２側から保持する第２保持手段としての上テーブル１６０と、第２硬質支持体１５０を挟んでウエハＷＦの反対側に上テーブル１６０が位置するように、上テーブル１６０と第２硬質支持体１５０とを着脱自在に固定する第２固定手段１７０と、クラック層ＣＲを境にして、ウエハＷＦを、第１表面ＷＦ１を有する第１薄型化板状部材としての第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２表面ＷＦ２を有する第２薄型化板状部材としての第２薄型化ウエハＷＴ２に分割するように、下テーブル１３０と上テーブル１６０とを相対移動させる相対移動手段１８０とを備えている。
【００１５】
ウエハＷＦは、レーザ照射によって改質される材質からなるウエハであれば特に限定されない。レーザは、ステルスダイシング法において照射するレーザであることが好ましい。ウエハＷＦの材質は、例えば、シリコン、窒化ケイ素、窒化ガリウム、ガリウム砒素、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、サファイア、及びガラスからなる群から選択されることが好ましい。ウエハＷＦの材質は、シリコンであることがより好ましく、単結晶シリコンであることがさらに好ましい。また、ウエハＷＦは、結晶方位を有する材質で形成されていることも好ましい。
【００１６】
本実施形態に係るウエハの製造方法によれば、インゴットのように厚みの大きい処理対象物ではなく、厚みが小さい板状部材（ウエハ）をさらに薄型化できる。ウエハＷＦの厚みは、３ｍｍ以下であることが好ましい。ウエハＷＦを分割して形成される第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２の厚みの少なくともいずれかが、１０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であることがより好ましい。
【００１７】
第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０は、板状であることが好ましく、その材料や形状は機械的強度を考慮して適宜決定すればよい。材料としては、例えば、ＳＵＳ等の金属材料；ガラス、シリコンウエハ等の非金属無機材料；ポリイミド、ポリアミドイミド等の樹脂材料；ガラスエポキシ樹脂等の複合材料等が挙げられ、これらの中でも、ＳＵＳ、ガラス、シリコンウエハ等が好ましい。
第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０の厚さは、機械的強度、取り扱い性等を考慮して適宜決定すればよく、例えば、１００μｍ以上５０ｍｍ以下であることが好ましい。
第１硬質支持体１１０は、後述するように、上テーブル１６０の回転によってウエハＷＦに第１両面接着シートＡＴ１から離れる方向への力が作用したときに、変形しないものであればよく、例えば曲げ強さが５０ＭＰａ以上であることが好ましい。
また、第２硬質支持体１５０の硬度は、後述するように、上テーブル１６０の回転によって第２両面接着シートＡＴ２にウエハＷＦから離れる方向への力が作用したときに、変形しないものであればよく、例えば曲げ強さが５０ＭＰａ以上であることが好ましい。
境界層形成手段１２０は、レーザ照射器１２１を備えている。
第１固定手段１４０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等によって構成された下側減圧手段１４１を備え、配管１４２を介して接続された下テーブル１３０の内部空間を減圧することによって、下テーブル１３０の保持面１３１で、第１硬質支持体１１０を吸着保持可能に構成されている。
第２固定手段１７０は、下側減圧手段１４１と同様に構成された上側減圧手段１７１を備え、配管１７２を介して接続された上テーブル１６０の内部空間を減圧することによって、上テーブル１６０の保持面１６１で、第２硬質支持体１５０を吸着保持可能に構成されている。
相対移動手段１８０は、下テーブル１３０の側方に配置された駆動機器としての回動モータ１８１を備えている。回動モータ１８１の出力軸１８２は、上テーブル１６０の端部から下方に延びる延出部１６２に接続されている。
【００１８】
以上の薄型化ウエハの製造装置１００において、ウエハＷＦから第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を製造する手順を説明する。
先ず、図１Ａに示すように、支持面１１１に第１両面接着シートＡＴ１の第１接着面ＡＴ１１が貼付された第１硬質支持体１１０を準備し、同図中二点鎖線で示すウエハＷＦの第１表面ＷＦ１全体を、実線で示すように第２接着面ＡＴ１２に貼付する。このとき、気泡が形成されないように第１表面ＷＦ１を第２接着面ＡＴ１２に貼付する。なお、第１接着面ＡＴ１１における第１表面ＷＦ１に対応する領域全体も、気泡が形成されないように、第１硬質支持体１１０に貼付されることが好ましい。また、第１両面接着シートＡＴ１を第１硬質支持体１１０、及び第１表面ＷＦ１に貼付する方法や順序は特に限定されず、例えば、第１両面接着シートＡＴ１をウエハＷＦに貼付した後、第１硬質支持体１１０に貼付してもよい。
【００１９】
次に、図１Ｂに示すように、作業者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、ウエハＷＦ、及び第１硬質支持体１１０を境界層形成手段１２０の下方に移動させ、境界層形成手段１２０がレーザ照射器１２１を駆動し、図示しない相対移動機構がレーザ照射器１２１、及び第１硬質支持体１１０を相対的に水平方向に移動させる。レーザ照射器１２１のレーザ光ＬＢは、ウエハＷＦの内部にその焦点が合うようになっているので、レーザ照射器１２１、及び第１硬質支持体１１０の相対移動により、図１Ｃに示すように、ウエハＷＦの内部全体にＸ−Ｙ平面に沿うクラック層ＣＲが形成される。ウエハＷＦの内部全体にクラック層ＣＲが形成されると、境界層形成手段１２０がレーザ照射器１２１の駆動を停止する。
【００２０】
この後、図２Ａに示すように、第１硬質支持体１１０を挟んでウエハＷＦの反対側に下テーブル１３０が位置し、第２硬質支持体１５０に第２両面接着シートＡＴ２の第１接着面ＡＴ２１が貼付され、ウエハＷＦの第２表面ＷＦ２全体に第２両面接着シートＡＴ２の第２接着面ＡＴ２２が貼付され、第２硬質支持体１５０を挟んでウエハＷＦの反対側に上テーブル１６０が位置する状態にする。このとき、気泡が形成されないように、第２表面ＷＦ２を第２接着面ＡＴ２２に貼付する。なお、第１接着面ＡＴ２１における第２表面ＷＦ２に対応する領域全体も、気泡が形成されないように、第２硬質支持体１５０に貼付されることが好ましい。
そして、第１固定手段１４０、及び第２固定手段１７０がそれぞれ下側減圧手段１４１、及び上側減圧手段１７１を駆動し、第１硬質支持体１１０を下テーブル１３０の保持面１３１で、第２硬質支持体１５０を上テーブル１６０の保持面１６１でそれぞれ吸着保持する。なお、第１硬質支持体１１０を下テーブル１３０上に位置させたり、第２両面接着シートＡＴ２を第２硬質支持体１５０、及び第２表面ＷＦ２に貼付したり、第２硬質支持体１５０を上テーブル１６０の下方に位置させたりする方法や順序は特に限定されず、例えば、第２両面接着シートＡＴ２を第２硬質支持体１５０に貼付した後に第２表面ＷＦ２に貼付してもよいし、その逆の貼付順序でもよい。
【００２１】
その後、図２Ｂに示すように、相対移動手段１８０が回動モータ１８１を駆動し、上テーブル１６０を時計回転方向に回転させ、クラック層ＣＲを境にしてウエハＷＦを分割することで、薄型化された第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を形成する。
【００２２】
このとき、ウエハＷＦの第１表面ＷＦ１全体に第１両面接着シートＡＴ１の第２接着面ＡＴ１２が貼付され、第１硬質支持体１１０に第１接着面ＡＴ１１が接着されているため、上テーブル１６０の回転によってウエハＷＦに第１両面接着シートＡＴ１から離れる方向への力が作用したときに、第１硬質支持体１１０によってウエハＷＦ全体の撓みが抑制されたまま、上テーブル１６０が回転する。したがって、ウエハＷＦを破損させることなく分割でき、第１薄型化ウエハＷＴ１を適切に製造できる。
また、ウエハＷＦの第２表面ＷＦ２全体に第２両面接着シートＡＴ２の第２接着面ＡＴ２２が貼付され、第２硬質支持体１５０に第１接着面ＡＴ２１が接着されているため、上テーブル１６０の回転によって第２両面接着シートＡＴ２にウエハＷＦから離れる方向への力が作用したときに、第２硬質支持体１５０によってウエハＷＦ全体の撓みが抑制されたまま、上テーブル１６０が回転する。したがって、ウエハＷＦを破損させることなく分割でき、第２薄型化ウエハＷＴ２を適切に製造できる。
さらに、第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０で第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を支持しているため、第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０を保持することによって、第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２の搬送が容易になる。
【００２３】
次に、作業者または図示しない搬送手段が第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を保持すると、第１固定手段１４０、及び第２固定手段１７０がそれぞれ下側減圧手段１４１、及び上側減圧手段１７１の駆動を停止し、第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を支持している第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０の吸着保持を解除する。
本実施形態では、第１固定手段１４０、及び第２固定手段１７０として、第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０を吸着保持で固定する構成を適用しているため、例えば、粘着剤で固定する場合のように、吸着保持解除後に下テーブル１３０の保持面１３１、及び上テーブル１６０の保持面１６１のそれぞれに付着した粘着成分を除去する必要がなく、作業性の低下を抑制できる。
その後、図示しない搬送手段が第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を次工程に搬送すると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２４】
以上のような実施形態によれば、第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を適切に製造できる。
【００２５】
[実施形態の変形]
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２６】
例えば、第１硬質支持体１１０を適用していれば、第２硬質支持体１５０を適用せずに、ウエハＷＦを直接あるいは第２両面接着シートＡＴ２を介して上テーブル１６０の保持面１６１で吸着保持させてもよい。
第２硬質支持体１５０を適用していれば、第１硬質支持体１１０を適用せずに、ウエハＷＦを直接あるいは第１両面接着シートＡＴ１を介して下テーブル１３０の保持面１３１で吸着保持させてもよく、この場合、第２硬質支持体１５０、第２両面接着シートＡＴ２が、それぞれ本発明の第１硬質支持体、第１両面接着シートに該当することになる。
【００２７】
境界層形成手段１２０は、分割される前のウエハＷＦにレーザ光ＬＢを照射するものであればよく、例えば、第１両面接着シートＡＴ１を貼付する前のウエハＷＦにレーザ光ＬＢを照射してもよい。
境界層形成手段１２０は、第１両面接着シートＡＴ１が貼付されたウエハＷＦに対して第１両面接着シートＡＴ１側からレーザ光ＬＢを照射してもよいし、第２両面接着シートＡＴ２が貼付されたウエハＷＦに対して第１両面接着シートＡＴ１側または第２両面接着シートＡＴ２側からレーザ光ＬＢを照射してもよいし、ウエハＷＦの外周面側からレーザ光ＬＢを照射してもよいし、第１薄型化ウエハＷＴ１側、第２薄型化ウエハＷＴ２側、及び外周面側のうち２つまたは全部の方向からレーザ光ＬＢを照射してもよい。
境界層形成手段１２０は、第１硬質支持体１１０、及び第２硬質支持体１５０の少なくとも一方がレーザ光ＬＢを透過する材料で形成されている場合、当該レーザ光ＬＢを透過する材料で形成された支持体側からレーザ光ＬＢを照射してもよい。
境界層形成手段１２０は、下テーブル１３０または上テーブル１６０で吸着保持されたウエハＷＦに対してレーザ光ＬＢを照射してもよい。
境界層形成手段１２０は、焦点が線状のレーザ光（線状レーザ光）や焦点が面状のレーザ光（面状レーザ光）を照射可能なレーザ照射器を採用してもよいし、複数のレーザ照射器を採用してもよい。
境界層形成手段１２０は、焦点の位置を任意に決定することができ、形成される第１薄型化ウエハＷＴ１と第２薄型化ウエハＷＴ２との厚みの比は、５０対５０でもよいし、１対９９でもよいし、１０００対１でもよく、希望する薄型化ウエハの厚みに合わせてその焦点を決定することができる。
境界層形成手段１２０は、Ｘ線や紫外線等のエネルギー線や振動や脈動等を付与してウエハＷＦの厚み方向中間部にクラック層ＣＲを形成してもよい。
境界層形成手段１２０は、クラック層以外に、改質層や空隙等を形成してもよい。なお、クラック層とは、化学的または物理的にウエハＷＦにひび割れや割れを生じさせた層のことであり、改質層とは、化学的または物理的にウエハＷＦの性質や強度を変更して脆弱化または軟化した層のことであり、空隙とは、何もない空間または、実質的に何もないが当該空隙を挟んだ両者が接触している状態を含む。
境界層形成手段１２０は、ウエハＷＦの内部に部分的にＸ−Ｙ平面に沿う境界部を形成してもよい。
【００２８】
境界層形成手段１２０は、クラック層ＣＲの代わりに、図３、及び図４に示すような複数の改質部ＲＰから構成される境界層を形成してもよい。なお、図３、図４、及び後述する図５、図６において、図の視認性の観点からハッチは省略してある。
境界層形成手段１２０は、半導体ウエハを改質できるレーザ光ＬＢを照射する手段であれば特に限定されない。境界層形成手段１２０としては、例えば、ステルスダイシング法に採用される装置を用いることもできる。
【００２９】
境界層を形成するレーザ照射工程においては、ウエハＷＦの第２表面ＷＦ２側からレーザ光ＬＢを照射してもよい。このレーザ光ＬＢの照射によって、複数の改質部ＲＰを、ウエハＷＦの内部の分割面ＤＰに沿って形成する。すなわち、複数の改質部ＲＰが存在しているウエハ内部の面状の領域が分割面ＤＰに相当する。改質部ＲＰを起点として、ウエハＷＦが分割される。
ウエハＷＦが結晶方位を有する材質で形成されている場合、分割面ＤＰと結晶方位とが一致していることが好ましい。分割面ＤＰと結晶方位とが一致していれば、ウエハＷＦの分割によって現れる第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２の表面（分割面ＤＰと対応する面）を、より滑らかにすることができる。
レーザ照射器１２１は、ウエハＷＦの内部に、改質部ＲＰを形成できるようにレーザ照射条件が設定されている。レーザ照射条件としては、例えば、レーザ出力、レーザ周波数、レーザ照射位置、及びレーザ波長などが挙げられるが、これらに限定されない。
【００３０】
本明細書において、改質部は、ウエハＷＦの性質や強度を変化させて脆弱化または軟化した部位である。本明細書において、改質部は、ウエハの内部のレーザが照射されたレーザ照射点と、このレーザ照射点を中心部とし、この中心部の周辺に形成された周辺部と、を含んだ領域をいう。ウエハの内部における改質強度は、レーザ照射点において最大である。周辺部の改質強度は、レーザ照射点から離れるほど低減する。
【００３１】
図３及び図４には、断面が円形である改質部ＲＰが示されているが、本明細書における改質部の形状や大きさは、図３及び図４に示されたような形状に限定されない。
改質部ＲＰは、分割面ＤＰの全体に亘って形成されていることも好ましい。形成する改質部ＲＰの個数は、特に限定されない。例えば、ウエハＷＦの材質及びレーザによる改質強度に応じて、第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２に分割し易いように、形成する改質部ＲＰの個数を設定することもできる。また、半導体ウエハの生産性も考慮して、形成する改質部ＲＰの個数を設定することもできる。
【００３２】
また、例えば、図３及び図４に示すように、複数の改質部ＲＰは、互いに重なっていてもよい。
この際、レーザ光ＬＢを分割面ＤＰに沿って１μｍ以上３５０μｍ以下の間隔で照射することが好ましい。すなわち、レーザ光ＬＢが照射された点（レーザ照射点）同士の間隔Ｄが、１μｍ以上３５０μｍ以下となるように、レーザ光ＬＢを照射することが好ましい。レーザ照射点の間隔Ｄが１μｍ以上であれば生産性が向上する。レーザ照射点の間隔が３５０μｍ以下であれば、ウエハＷＦの厚み方向に亀裂が入り易くなるという不具合を抑制できる。レーザ照射点の間隔Ｄは、１μｍ以上３５０μｍ以下の範囲内であれば、全ての改質部ＲＰにおいて同一であっても、異なっていてもよい。
【００３３】
また、図５及び図６に示すように、複数の改質部ＲＰは、互いに離れていてもよい。
この際、レーザ光ＬＢを分割面ＤＰに沿って１μｍ以上３５０μｍ以下の間隔で照射することが好ましい。すなわち、レーザ光ＬＢが照射された点（レーザ照射点）同士の間隔Ｄ１が、１μｍ以上３５０μｍ以下となるように、レーザ光ＬＢを照射することが好ましい。レーザ照射点の間隔Ｄ１が１μｍ以上であれば生産性が向上する。レーザ照射点の間隔が３５０μｍ以下であれば、ウエハＷＦの厚み方向に亀裂が入り易くなるという不具合を抑制できる。レーザ照射点の間隔Ｄ１は、１μｍ以上３５０μｍ以下の範囲内であれば、全ての改質部ＲＰにおいて同一であっても、異なっていてもよい。
隣り合う改質部ＲＰ同士の間隔（一方の改質部の端と他方の改質部との端との間隔）は、ウエハＷＦの面方向に分割できる間隔であれば、特に限定されない。
【００３４】
図３、図４、図５及び図６の構成において、レーザ照射点の間隔は、例えば、第１硬質支持体１１０を保持する図示しないテーブル及びレーザ照射器３２の少なくともいずれかの移動速度を変化させることで、所定の距離に調整することができる。
そして、図３、図４、図５及び図６の構成において、複数の改質部ＲＰが形成された分割面ＤＰを境界にしてウエハＷＦを分割することで、第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２を形成する。
図３及び図４に示すように、複数の改質部ＲＰを互いに重ねるように形成すれば、分割面ＤＰに沿った改質部ＲＰがより多く存在しており、ウエハＷＦを分割し易くなる。
図５及び図６に示すように、複数の改質部ＲＰを互いに重ならないように形成すれば、レーザ照射点の数を少なくすることができ、薄型化板状部材の生産性が向上する。
【００３５】
なお、改質部の形状や大きさは、図３、図４、図５及び図６に示されたような形状に限定されない。改質部の形状としては、例えば、球状、楕円球状、円柱状、角柱状、円錐状、及び角錐状などが挙げられる。改質部の大きさは、板状部材を複数の薄型化板状部材に分割できるものであれば特に限定されない。改質部は、分割前の板状部材の厚みを考慮した大きさであることが好ましい。改質部が板状部材の厚み方向に大き過ぎると、厚み方向に亀裂が生じるおそれがあるためである。そのため、改質部は、分割面に沿った面方向で分割できるように形成されていればよい。
【００３６】
また、板状部材を２つの薄型化板状部材に分割する態様を例に挙げて説明したが、その他の態様としては、板状部材を３つ以上の薄型化板状部材に分割する態様が挙げられる。例えば、３つの薄型化板状部材に分割する場合には、板状部材の内部に分割面を設定する際に、２つの分割面（第１分割面及び第２分割面）を設定し、第１分割面に沿って複数の改質部ＲＰを形成し、第２分割面に沿って複数の改質部ＲＰを形成すればよい。また、その他の態様としては、薄型化板状部材を用いてレーザ照射及び分割を実施して、さらに薄型化させた板状部材を形成する態様も挙げられる。
【００３７】
第１固定手段１４０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で第１硬質支持体１１０を下テーブル１３０に固定する構成としてもよいし、第２固定手段１７０も同様に構成してもよい。
相対移動手段１８０は、ウエハＷＦを分割する際に、下テーブル１３０と上テーブル１６０とを上下方向に相対移動させ、ウエハＷＦの厚み方向に当該ウエハＷＦを離間させてもよいし、下テーブル１３０の保持面１３１や上テーブル１６０の保持面１６１に平行な面方向に直線的に相対移動させたり、保持面１３１、保持面１６１に平行な面内で円周方向に相対回転させたりしてもよく、下テーブル１３０および上テーブル１６０の少なくとも一方を移動させたり回転させたりしてもよい。
【００３８】
ウエハＷＦは、回路面を有するものであってもよく、当該回路面は、第１表面ＷＦ１側でもよいし、第２表面ＷＦ２側でもよいし、それら両方の面側でもよいし、後の工程で回路面を形成する場合は、第１薄型化ウエハＷＴ１、及び第２薄型化ウエハＷＴ２に分割された分割面（クラック層ＣＲが形成されていた面）でもよい。
【００３９】
その他、前記した実施形態及び実施形態の変形においては、以下の点も適用することができる。
第１両面接着シートＡＴ１、第２両面接着シートＡＴ２、及び板状部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１両面接着シートＡＴ１、及び第２両面接着シートＡＴ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、及びその他の形状であってもよいし、感圧接着性、及び感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１両面接着シートＡＴ１、及び第２両面接着シートＡＴ２が採用された場合は、当該第１両面接着シートＡＴ１、及び第２両面接着シートＡＴ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１両面接着シートＡＴ１、及び第２両面接着シートＡＴ２は、接着剤層だけの単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、板状部材としては、例えば、食品、樹脂容器、半導体ウエハ（シリコン半導体ウエハ及び化合物半導体ウエハ等）、回路基板、情報記録基板（光ディスク等）、ガラス板、鋼板、陶器、木板、及び樹脂板等、並びに任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１両面接着シートＡＴ１、及び第２両面接着シートＡＴ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、及び記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の板状部材に貼付することができる。
【００４０】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１硬質支持体は、支持面に第１両面接着シートの第１接着面が貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４１】
１００      製造装置
１１０      第１硬質支持体
１１１      支持面
１２０      境界層形成手段
１３０      下テーブル（第１保持手段）
１４０      第１固定手段
１５０      第２硬質支持体
１６０      上テーブル（第２保持手段）
１７０      第２固定手段
１８０      相対移動手段
ＡＴ１    第１両面接着シート
ＡＴ１１  第１接着面
ＡＴ１２  第２接着面
ＡＴ２    第２両面接着シート
ＡＴ２１  第１接着面
ＡＴ２２  第２接着面
ＣＲ      クラック層（境界層）
ＷＦ      ウエハ（板状部材）
ＷＦ１    第１表面
ＷＦ２    第２表面
ＷＴ１    第１薄型化ウエハ
ＷＴ２    第２薄型化ウエハ
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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