(57)【要約】  予め定められた時間間隔で配置された複数のストローブを含むマルチストローブを、予め定められた試験周期毎に発生するマルチストローブ発生部と、被試験デバイスが出力する応答信号の論理値を、それぞれのストローブに応じて検出するデータ検出部と、データ検出部が出力する論理値の各変化点に基づいて応答信号の論理値が予め定められた期待値と一致する期間を示すデータ幅を検出するデータ幅検出部とを備え、マルチストローブで検出した全ての変化点の情報に基づいて、データ幅を検出する試験装置を提供する。
2010092800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
予め定められた時間間隔で配置された複数のストローブを含むマルチストローブを、予め定められた試験周期毎に発生するマルチストローブ発生部と、
前記被試験デバイスが出力する応答信号の論理値を、それぞれの前記ストローブに応じて検出するデータ検出部と、
前記データ検出部が出力する論理値の各変化点に基づいて、前記応答信号の論理値が予め定められた期待値と一致する期間を示すデータ幅を検出するデータ幅検出部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記マルチストローブ発生部は、複数の前記ストローブが、前記応答信号の周期より長い期間に渡って配置されるように、それぞれの前記マルチストローブを発生する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記データ幅検出部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点と、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点とを検出した場合に、前記第１変化点および前記第２変化点の各位置に基づいて、前記データ幅を検出する
請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記データ幅検出部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点の後に、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点を検出した場合に、前記第１変化点および前記第２変化点の相対位置差に基づいて、前記データ幅を検出する
請求項１から３のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項５】
前記マルチストローブ発生部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点の後に、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点を検出しない場合に、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点の後に、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点が検出されるまで、前記マルチストローブの位置を調整する
請求項１から４のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項６】
前記データ幅検出部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点の前に、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点を検出しない場合に、前記マルチストローブの始点から前記第２変化点までの期間に基づいて前記データ幅を検出する
請求項１から４のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項７】
前記データ幅検出部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点の後に、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点を検出しない場合に、前記第１変化点から前記マルチストローブの終点までの期間に基づいて前記データ幅を検出する
請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
前記マルチストローブ発生部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点の前に、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点を検出しない場合に、前記データ幅検出部が検出した前記データ幅が予め定められた許容範囲外となることを条件に、前記マルチストローブの位相を早くする
請求項６に記載の試験装置。
【請求項９】
前記マルチストローブ発生部は、１つの前記マルチストローブにおいて、前記応答信号の論理値が前記期待値に変化する第１変化点の後に、前記応答信号の論理値が前記期待値から変化する第２変化点を検出しない場合に、前記データ幅検出部が検出した前記データ幅が予め定められた許容範囲外となることを条件に、前記マルチストローブの位相を遅くする
請求項７に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記データ幅検出部は、
１つの前記マルチストローブ毎に、検出した前記データ幅が予め定められた許容範囲内か否かを示すウィンドウ逐次判定結果を出力するウィンドウ逐次判定部と、
複数の前記マルチストローブにおいて検出された、それぞれの前記第１変化点のうち最も位相の遅いものと、それぞれの前記第２変化点のうち最も位相の早いものとの相対位相差が、予め定められた許容範囲内か否かを示すウィンドウ蓄積判定結果を出力するウィンドウ蓄積判定部と
を有する請求項３から９のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項１１】
前記試験装置は、前記被試験デバイスの複数のピンを並行して試験し、
前記データ幅検出部は、前記被試験デバイスのピン毎に設けられ、
前記試験装置は、それぞれの前記データ幅検出部における判定結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定するデバイスウィンドウ判定部を更に備える
請求項１から１０のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項１２】
それぞれの前記マルチストローブにおいて、前記第１変化点または前記第２変化点のいずれかの変化点のジッタを検出するジッタ検出部を更に備える
請求項３に記載の試験装置。
【請求項１３】
前記ジッタ検出部は、
１つの前記マルチストローブ毎に、検出した前記ジッタが予め定められた許容範囲内か否かを示すジッタ逐次判定結果を出力するジッタ逐次判定部と、
複数の前記マルチストローブにおいて検出された変化点の位相のうち、最も遅い位相と、最も早い位相との相対位相差が、予め定められた許容範囲内か否かを示すジッタ蓄積判定結果を出力するジッタ蓄積判定部と
を有する請求項１２に記載の試験装置。
【請求項１４】
前記試験装置は、前記被試験デバイスの複数のピンを並行して試験し、
前記ジッタ検出部は、前記被試験デバイスのピン毎に設けられ、
前記試験装置は、それぞれの前記ジッタ検出部における判定結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定するデバイスジッタ判定部を更に備える
請求項１２または１３に記載の試験装置。
【請求項１５】
被試験デバイスを試験する試験方法であって、
予め定められた時間間隔で配置された複数のストローブを含むマルチストローブを、予め定められた試験周期毎に発生するマルチストローブ発生段階と、
前記被試験デバイスが出力する応答信号の論理値を、それぞれの前記ストローブに応じて検出するデータ検出段階と、
前記データ検出段階で検出した論理値の各変化点に基づいて、前記応答信号の論理値が予め定められた期待値と一致する期間を示すデータ幅を検出するデータ幅検出段階と
を備える試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および試験方法に関する。米国において本出願は、米国出願１２／３７０，６０９（出願日：２００９年２月１３日）の継続出願である。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置として、試験信号に応答して被試験デバイスが出力する応答信号のアイ開口部（以下、データウィンドウと称する）の幅（以下、データ幅と称する）を測定する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１  ＷＯ２００７／０９１４１３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体試験装置は、データ幅が所定範囲内であるか否かにより、被試験デバイスの良否を判定する。半導体試験装置は、データ幅の測定に用いるストローブ信号を発生し、ストローブ信号に基づいて応答信号の前縁および後縁をそれぞれ検出する。応答信号の前縁および後縁のタイミング差からデータ幅を測定できる。【０００４】
しかし、従来のデータ幅検出法では、応答信号の前縁および後縁を、異なる試験サイクルで検出するので、応答信号のデータ幅を効率よく検出することができない。当該問題は、近年の被試験デバイスのピン数の増加に伴い顕著になっている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで本明細書に含まれる技術革新（イノベーション）の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および試験方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。【０００６】
即ち、本明細書に含まれるイノベーションに関連する一側面による装置の一つの例 (exemplary) によると、予め定められた時間間隔で配置された複数のストローブを含むマルチストローブを、予め定められた試験周期毎に発生するマルチストローブ発生部と、被試験デバイスが出力する応答信号の論理値を、それぞれのストローブに応じて検出するデータ検出部と、データ検出部が出力する論理値の各変化点に基づいて応答信号の論理値が予め定められた期待値と一致する期間を示すデータ幅を検出するデータ幅検出部とを備える試験装置を提供する。【０００７】
また、本明細書に含まれるイノベーションに関連する一側面による方法の一つの例 (exemplary) によると、予め定められた時間間隔で配置された複数のストローブを含むマルチストローブを、予め定められた試験周期毎に発生するマルチストローブ発生段階と、被試験デバイスが出力する応答信号の論理値を、それぞれのストローブに応じて検出するデータ検出段階と、データ検出段階で検出した論理値の各変化点に基づいて、応答信号の論理値が予め定められた期待値と一致する期間を示すデータ幅を検出するデータ幅検出段階と、を備える試験方法を提供する。【０００８】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。
【図２】応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。
【図３】マルチストローブ信号１０５の期間がデータ幅よりも長くなった場合の、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。
【図４】１つのマルチストローブ信号１０５により応答信号１０２の２つの変化点を検出する場合の、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。
【図５】データの検出および判定方法の詳細を示す。
【図６】データ幅の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が良品であると判定する方法を示す。
【図７】データ幅の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が不良品であると判定する方法を示す。
【図８】他の実施形態に係る、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。
【図９】他の実施形態に係る、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。
【図１０】他の実施形態に係る、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。
【図１１】他の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。
【図１２】ジッタ量の検出方法を示す。
【図１３】ピンごとのジッタ量の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が良品であると判定する方法を示す。
【図１４】エッジ選択信号１２４が立ち上がりエッジを選択することを示す信号である場合の判定方法を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明の（一）側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。同図において、試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する。試験装置１００は、被試験デバイス２００の複数のピンと接続されてよい。試験装置１００は、被試験デバイス２００に対して試験信号１０１を供給する。被試験デバイス２００は、試験信号１０１に応じて、応答信号１０２を出力する。試験信号１０１は、例えば予め定められた論理パターンを有する信号、または、クロック信号等であってよい。
【００１２】
試験装置１００は、複数の試験機能部（本例では、試験機能部２０、試験機能部４０、試験機能部６０）、制御部７０、レベルコンパレータ８０、マルチストローブ発生部８２、期待値発生部８３、および、デバイスウィンドウ判定部８４を有する。試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０は、それぞれ、被試験デバイス２００の異なる出力ピンに接続される。試験装置１００は、被試験デバイス２００のピン数に応じた数の試験機能部を有してよい。
【００１３】
試験機能部２０は、データ検出部２２、選択部２４、および、データ幅検出部２５を有する。データ幅検出部２５は、ウィンドウ遂次判定部２６、および、ウィンドウ蓄積判定部２８を有する。試験機能部４０および試験機能部６０のそれぞれは、試験機能部２０と同一の構成を有してよい。
【００１４】
レベルコンパレータ８０は、被試験デバイス２００から受信した応答信号１０２の信号レベルを予め定められた閾値と比較する。レベルコンパレータ８０は、比較的に高電圧の閾値ＶＨおよび比較的に低電圧の閾値ＶＬのそれぞれと、応答信号１０２の信号レベルを比較してよい。レベルコンパレータ８０は、応答信号１０２の信号レベルと閾値との比較結果を示す論理データを閾値ごとに生成して、データ検出部２２に出力してよい。
【００１５】
例えば、レベルコンパレータ８０は、応答信号１０２の信号レベルが閾値ＶＨより大きい場合にパス（論理値０）を示し、閾値ＶＨより小さい場合にフェイル（論理値１）を示す論理信号１０３を出力する。また、レベルコンパレータ８０は、応答信号１０２の信号レベルが閾値ＶＬより小さい場合にパス（論理値０）を示し、閾値ＶＬより大きい場合にフェイル（論理値１）を示す論理信号１０４を出力する。
【００１６】
試験装置１００は、被試験デバイス２００のそれぞれのピンに対応する複数のレベルコンパレータ８０を有してよい。それぞれのレベルコンパレータ８０は、対応する試験機能部のデータ検出部２２に対して、論理信号１０３および論理信号１０４を出力してよい。
【００１７】
マルチストローブ発生部８２は、予め定められた時間間隔で配置された複数のストローブ信号を含むマルチストローブ信号１０５を、予め定められた試験周期毎に発生する。例えば、マルチストローブ発生部８２は、等間隔の複数のストローブ信号を含むマルチマルチストローブ信号１０５を発生してよい。
【００１８】
マルチストローブ発生部８２は、複数のストローブ信号が、応答信号１０２の周期より長い期間に渡って配置されるように、それぞれのマルチストローブ信号１０５を発生してよい。例えば、マルチストローブ信号１０５に含まれる複数のストローブ信号の間隔をストローブ信号の数で乗じた時間が、応答信号１０２の周期より長い時間であってよい。なお、被試験デバイス２００の応答信号１０２の周期が短くなることで、マルチストローブの期間が応答信号１０２の周期より長くなってもよい。より具体的には、応答信号１０２の周期が試験周期の１／２である場合に、マルチストローブ発生部８２は、試験周期の１／２より長く、試験周期より短い期間に渡って、マルチストローブ信号１０５を生成してよい。
【００１９】
また、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の周期が予め定められた時間より短い場合に、応答信号１０２の周期より長い期間に渡って配置されるように、それぞれのマルチストローブ信号１０５を発生してもよい。例えば、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の周波数の変化に応じて、マルチストローブ信号１０５が応答信号１０２の周期より長い期間に渡って配置されるか否かを切り換えてもよい。
【００２０】
期待値発生部８３は、被試験デバイス２００から受信する応答信号１０２の論理値の期待値１０８を、選択部２４に対して出力する。期待値発生部８３は、試験信号１０１に応じた期待値１０８を出力してよい。
【００２１】
データ検出部２２は、被試験デバイス２００が出力する応答信号１０２の論理値を、それぞれのストローブ信号に応じて検出する。データ検出部２２は、マルチストローブ発生部８２が出力するマルチストローブ信号１０５により論理信号１０３および論理信号１０４をラッチして、それぞれに対応する論理データ１０６および論理データ１０７を生成してよい。データ検出部２２は、論理データ１０６および論理データ１０７を選択部２４に出力する。
【００２２】
選択部２４は、期待値発生部８３が出力する期待値１０８に基づいて、論理データ１０６および論理データ１０７のいずれかを選択する。選択部２４は、選択したいずれかの論理データを、選択データ１０９としてデータ幅検出部２５に出力する。
【００２３】
例えば、期待値１０８が「１」の場合には、選択部２４は、高電圧の閾値ＶＨに対応する論理データ１０６を選択してよい。期待値１０８が「０」の場合には、選択部２４は、低電圧の閾値ＶＬに対応する論理データ１０７を選択してよい。選択データ１０９が「０」の場合には、応答信号１０２の論理値が期待値１０８と一致する「パス」状態であり、選択データ１０９が「１」の場合には、応答信号１０２の論理値が期待値１０８と一致しない「フェイル」状態であることを示す。
【００２４】
データ幅検出部２５は、データ検出部２２が出力する論理値の各変化点に基づいて、応答信号１０２の論理値が予め定められた期待値１０８と一致する期間を示すデータ幅を検出する。データ幅検出部２５は、１つのマルチストローブ信号１０５で検出した全ての変化点に基づいて、当該マルチストローブ信号の期間において応答信号１０２の論理値が予め定められた期待値１０８と一致する期間を示すデータ幅を検出してよい。データ幅検出部２５は、選択部２４が出力する選択データ１０９の各変化点に基づいて、データ幅を検出してよい。
【００２５】
データ幅検出部２５は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点と、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点とを検出した場合に、第１変化点および第２変化点の各位置に基づいて、データ幅を検出する。例えば、データ幅検出部２５は、選択部２４から受信した選択データ１０９が「１」から「０」に変化する第１変化点と、「０」から「１」に変化する第２変化点の位置とに基づいて、データ幅を検出してよい。
【００２６】
より具体的には、データ幅検出部２５は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点の後に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点を検出した場合に、第１変化点および第２変化点の相対位置差に基づいて、データ幅を検出してよい。例えば、データ幅検出部２５は、カウンタにより第１変化点および第２変化点の相対位相差を検出することにより、データ幅を検出してよい。
【００２７】
ウィンドウ遂次判定部２６は、１つのマルチストローブ信号１０５毎に、検出したデータ幅が予め定められた許容範囲内か否かを示すウィンドウ逐次判定結果１１０を制御部７０に出力する。具体的には、ウィンドウ遂次判定部２６は、選択部２４から受信した選択データ１０９が「１」から「０」に変化する第１変化点、および、「０」から「１」に変化する第２変化点に基づいて、応答信号１０２のデータ幅を検出する。ウィンドウ遂次判定部２６は、制御部７０が出力するデータ幅基準値１１２に基づいて、応答信号１０２のデータ幅が許容範囲内か否かを判定してよい。
【００２８】
ウィンドウ蓄積判定部２８は、複数のマルチストローブ信号１０５において検出された、それぞれの第１変化点のうち最も位相の遅いものと、それぞれの第２変化点のうち最も位相の早いものとの相対位相差が、予め定められた許容範囲内か否かを示すウィンドウ蓄積判定結果１１４を出力する。ウィンドウ蓄積判定部２８は、選択部２４から受信した選択データ１０９を、複数のマルチストローブ信号１０５が含む、位相の異なる複数のストローブ信号のそれぞれに関連づけて蓄積してよい。また、ウィンドウ蓄積判定部２８は、蓄積した比較結果に基づいて、第１変化点のうち最も位相の遅い変化点の位相と、第２変化点のうち最も位相の早い変化点の位相とを検出してよい。
【００２９】
ウィンドウ蓄積判定部２８は、位相の異なるマルチストローブ信号１０５のそれぞれに対して、異なるアドレスのメモリに選択データ１０９を蓄積してよい。また、ウィンドウ蓄積判定部２８は、制御部７０が出力するデータ幅基準値１１２に基づいて、応答信号１０２のデータ幅が許容範囲内か否かを判定してよい。
【００３０】
試験装置１００は、被試験デバイス２００の複数のピンを並行して試験してよい。デバイスウィンドウ判定部８４は、それぞれの試験機能部が有するデータ幅検出部２５における判定結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。具体的には、デバイスウィンドウ判定部８４は、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が有するそれぞれのウィンドウ蓄積判定部２８から、それぞれのピンに対するウィンドウ蓄積判定結果１１４を取得する。
【００３１】
デバイスウィンドウ判定部８４は、試験機能部２０、試験機能部４０、又は、試験機能部６０のいずれかが出力する判定結果が、データ幅基準値１１２の範囲外であることを示す場合には、被試験デバイス２００が不良であると判定してよい。デバイスウィンドウ判定部８４は、判定結果を制御部７０に通知してよい。
【００３２】
図２は、応答信号１０２のデータ幅を検出する方法の一例を示す。本例の検出方法は、応答信号１０２の立ち上がり変化点（前縁）および立ち下がり変化点（後縁）をそれぞれ別個のマルチストローブを用いて検出する。同図における応答信号１０２の周波数は１Ｇｂｐｓであり、応答信号１０２の１周期に相当するデータ幅は１０００ｐｓである。これに対して、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の立ち上がり変化点周辺、および、応答信号１０２の立ち下がり変化点周辺において、それぞれ６００ｐｓの期間に渡ってマルチストローブ信号１０５を出力する。
【００３３】
マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の立ち上がり変化点を検出する場合に、応答信号１０２が立ち上がると予想されるタイミングより早いタイミングにおいて、マルチストローブ信号１０５の出力を開始してよい。また、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の立ち下がりタイミングを検出する場合には、応答信号１０２が立ち下がると予想されるタイミングより早いタイミングにおいて、マルチストローブ信号１０５の出力を開始してよい。
【００３４】
図３は、応答信号１０２の周波数が高くなり、マルチストローブ発生部８２が発生するマルチストローブ信号１０５の出力期間がデータ幅よりも長くなった場合の、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。図２の場合と同様に、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の立ち上がり変化点を検出する場合に、応答信号１０２の立ち上がりタイミングの手前から６００ｐｓに渡ってマルチストローブ信号１０５を出力する。また、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の立ち下がり変化点を検出する場合に、応答信号１０２の立ち下がりタイミングの手前から６００ｐｓに渡ってマルチストローブ信号１０５を出力する。
【００３５】
ところが、図３においては応答信号１０２の周波数が図２における応答信号１０２の周波数よりも高くなっているので、マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２のデータ幅よりも長い期間に渡ってマルチストローブ信号１０５を出力する。その結果、１つのマルチストローブ信号１０５の期間内に、応答信号１０２の立ち上がり変化点および立ち下がり変化点の双方が含まれる場合がある。このとき、図２において説明したように、２つの変化点の検出に、それぞれ異なる複数のマルチストローブ信号１０５を用いると、同等の測定を２回実施することになり、試験の効率が低下してしまう。そこで、試験装置１００は、１つのマルチストローブ信号１０５の期間内に２つの変化点が含まれる場合には、１つのマルチストローブ信号１０５を用いて、応答信号１０２の２つの変化点を検出することが好ましい。
【００３６】
図４は、１つのマルチストローブ信号１０５により応答信号１０２の２つの変化点を検出する場合の、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の第１のデータ変化点の手前からマルチストローブ信号１０５の出力を開始すると共に、応答信号１０２の第２のデータ変化点の後までマルチストローブ信号１０５の出力を継続する。試験装置１００は、１つのマルチストローブ信号１０５を用いて応答信号１０２の２つの変化点を検出することにより、データ幅の測定時間を短縮することができる。
【００３７】
図５は、データ幅の検出方法の詳細を示す。被試験デバイス２００が出力する応答信号１０２は、試験装置１００が被試験デバイス２００に対して出力する試験信号１０１に応答して値が変化する。ただし、ノイズ等の影響により応答信号１０２の変化点にはジッタが生じる。試験装置１００は、ジッタが生じない期間に相当するデータウィンドウのデータ幅を検出した上で、データ幅の長さに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。
【００３８】
本実施形態においては、データ幅の測定に用いるマルチストローブ信号１０５は、それぞれ位相の異なる１６のストローブ信号を有する。マルチストローブ発生部８２は、応答信号１０２の第１変化点の手前のタイミングにおいて、第１位相のストローブ信号を出力する。マルチストローブ発生部８２は、第１位相のストローブ信号に続いて、一定間隔で順次複数のストローブ信号を生成する。マルチストローブ発生部８２は、第１６位相のストローブ信号を、応答信号１０２の値が変化する第２のタイミングの後に生成する。
【００３９】
選択部２４は、期待値１０８の値に基づいて、論理データ１０６および論理データ１０７のうちの一方を選択して、選択データ１０９をデータ幅検出部２５に出力する。レベルコンパレータ８０の出力値が期待値１０８と一致している場合には、選択データ１０９はパス（論理値０）を示し、レベルコンパレータ８０の出力値が期待値１０８と一致していない場合には、選択データ１０９はフェイル（論理値１）を示す。
【００４０】
例えば、図５における１回目の測定において、マルチストローブ信号１０５の第１位相から第３位相においては、応答信号１０２の論理値が期待値１０８と一致していないので、選択部２４は「１」を出力する。マルチストローブ信号１０５の第４位相から第１２位相においては、応答信号１０２の論理値が期待値１０８と一致しているので、選択部２４は「０」を出力する。同様に、選択部２４は、マルチストローブ信号１０５の第１３位相から第１６位相においては、「１」を出力する。
【００４１】
ウィンドウ遂次判定部２６は、選択部２４が出力する選択データ１０９を取得する。ウィンドウ遂次判定部２６は、第４位相において選択データ１０９が「１」から「０」に変化すると共に、第１３位相において選択データ１０９が「０」から「１」に変化することを検出する。その結果、ウィンドウ遂次判定部２６は、データ幅がストローブ間隔Ｔｓの９倍９Ｔｓに相当する長さであることを検出する。
【００４２】
ウィンドウ遂次判定部２６は、制御部７０からデータ幅基準値１１２を受信する。ウィンドウ遂次判定部２６は、検出したデータ幅の値をデータ幅基準値１１２と比較して、被試験デバイス２００の対応するピンの良否を判定する。例えば、データ幅基準値１１２が、「５Ｔｓ以上１０Ｔｓ以下」を示す場合には、マルチストローブ信号１０５の９Ｔｓに相当する長さは、データ幅基準値１１２が示す条件を満たす。そこで、この場合には、ウィンドウ遂次判定部２６は、被試験デバイス２００の対応するピンが正常であると判定して、判定結果を制御部７０に対して出力してよい。
【００４３】
試験装置１００は、複数のマルチストローブ信号１０５を用いて、応答信号１０２の測定を複数回実施することにより、測定精度を向上することができる。被試験デバイス２００が応答信号１０２を出力するタイミングは変動するので、選択部２４が出力する選択データ１０９は、測定ごとに変動する。例えば、図５における２回目の測定においては、選択部２４は、第５位相から第１４位相の間において、選択データ１０９として「０」を出力する。３回目の測定においては、選択部２４は、第２位相から第１１位相の間において「０」を出力する。
【００４４】
ウィンドウ蓄積判定部２８は、複数のマルチストローブ信号１０５の発生期間において、選択部２４が出力する選択データ１０９を、マルチストローブ信号１０５が含むストローブ信号のそれぞれの位相に対応づけて記憶してよい。さらに、ウィンドウ蓄積判定部２８は、選択部２４が出力する選択データ１０９に基づいて、データウィンドウの前縁位相および後縁位相を検出してよい。
【００４５】
ウィンドウ蓄積判定部２８は、データウィンドウの前縁位相を検出する場合には、複数回の測定結果のうち、選択部２４が出力する選択データ１０９が「１」から「０」に変化した位相のうち、最も遅い位相を選択する。例えば、図５においては、２回目および５回目の測定において選択データ１０９が「１」から「０」に変化した第５位相が、最も遅い位相である。そこで、ウィンドウ蓄積判定部２８は、前縁位相を第５位相であると検出する。
【００４６】
同様に、ウィンドウ蓄積判定部２８は、データウィンドウの後縁位相を検出する場合には、複数回の測定結果のうち、選択部２４が出力する選択データ１０９が「０」から「１」に変化した位相のうち、最も早い位相を選択する。例えば、図５においては、３回目の測定において選択データ１０９が「０」から「１」に変化した第１２位相が、最も遅い位相である。そこで、ウィンドウ蓄積判定部２８は、選択データ１０９が「０」から「１」に変化した位相の一つ手前の位相である第１１位相を、後縁位相であると検出する。
【００４７】
ウィンドウ蓄積判定部２８は、検出した前縁位相および後縁位相の値に基づいて、データ幅を検出する。ウィンドウ蓄積判定部２８は、検出したデータ幅をデータ幅基準値１１２と比較することにより、対応するピンの良否を判定してよい。
【００４８】
ウィンドウ蓄積判定部２８は、ピンの良否判定結果をデバイスウィンドウ判定部８４に対して出力する。デバイスウィンドウ判定部８４は、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０から、それぞれに対応する被試験デバイス２００のピンに対する判定結果を取得する。デバイスウィンドウ判定部８４は、取得した判定結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。
【００４９】
図６は、データ幅の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が良品であると判定する方法を示す。ピン１が出力する応答信号１０２におけるデータウィンドウの前縁位相は第５位相であり、後縁位相は第１１位相である。ピン２における前縁位相は第６位相であり、後縁位相は第１１位相である。ピン３における前縁位相は第４位相であり、後縁位相は第１０位相である。
【００５０】
前縁位相と後縁位相との位相差に相当するデータ幅は、それぞれ、６Ｔｓ、５Ｔｓ、および、６Ｔｓであり、全てデータ幅基準値１１２が示す５Ｔｓから１０Ｔｓの範囲内に収まっている。デバイスウィンドウ判定部８４は、全てのピンのデータ幅測定値が基準範囲内に収まっているので、被試験デバイス２００を良品であると判定する。
【００５１】
図７は、データ幅の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が不良品であると判定する方法を示す。同図においては、ピン２における前縁位相は第６位相であり、後縁位相は第１０位相である。従って、ピン２におけるデータ幅は４Ｔｓとなり、基準範囲内に収まっていない。そこで、デバイスウィンドウ判定部８４は、被試験デバイス２００を不良品であると判定する。デバイスウィンドウ判定部８４は、判定結果１１６を制御部７０に出力してよい。
【００５２】
以上の説明においては、ウィンドウ蓄積判定部２８は、被試験デバイス２００のそれぞれのピンの良否を判定した上で、ウィンドウ蓄積判定結果１１４をデバイスウィンドウ判定部８４に出力した。しかし、ウィンドウ蓄積判定部２８は、検出したデータ幅の値をデバイスウィンドウ判定部８４に出力してもよい。デバイスウィンドウ判定部８４は、それぞれの試験機能部が有するウィンドウ蓄積判定部２８が出力するデータ幅の値と、制御部７０が出力するデータ幅基準値１１２とに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してもよい。
【００５３】
以上のように、試験装置１００は、複数のマルチストローブ信号１０５に含まれる複数のストローブ信号の位相に対応づけて選択データ１０９を蓄積することにより、応答信号１０２のデータ幅を高精度で検出することができる。さらに、試験装置１００は、被試験デバイス２００のピンの試験を並行して実施することにより、短時間で被試験デバイス２００の良否を判定できる。
【００５４】
図８は、他の実施形態に係る、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。図８においては、マルチストローブ発生部８２がマルチストローブ信号１０５を発生する期間内に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点が含まれない。そこで、マルチストローブ発生部８２は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点の後に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点を検出しない場合に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点の後に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点が検出されるまで、マルチストローブ信号１０５の位置を調整してもよい。例えば、マルチストローブ発生部８２は、図８の位置調整後ストローブ信号が示す位置に、マルチストローブ信号１０５の位置を調整してよい。
【００５５】
さらに、データ幅検出部２５は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点の後に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点を検出しない場合に、第１変化点からマルチストローブ信号１０５の終点までの期間に基づいてデータ幅を検出してよい。例えば、マルチストローブ信号１０５が、図８に示す位置調整前ストローブ信号の位置にある場合には、データ幅検出部２５は、第１変化点と、位置調整前ストローブ信号が含む最後の位相のストローブ信号との間をデータ幅であるとしてよい。
【００５６】
また、マルチストローブ発生部８２は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点の後に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点を検出しない場合に、データ幅検出部２５が検出したデータ幅が予め定められた許容範囲外となることを条件に、マルチストローブ信号１０５の位相を遅くしてよい。例えば、マルチストローブ信号１０５が、図８の位置調整前ストローブ信号が示す位置にある場合において、データ幅検出部２５が検出したデータ幅がデータ幅基準値１１２の範囲内にない場合には、マルチストローブ発生部８２は、マルチストローブ信号１０５の位相を遅くして、位置調整後ストローブ信号が示す位置に変更してよい。
【００５７】
マルチストローブ発生部８２は、データ幅検出部２５が検出したデータ幅がデータ幅基準値１１２の範囲内にある場合には、マルチストローブ信号１０５の位相を変更しなくてよい。マルチストローブ発生部８２は、ウィンドウ遂次判定部２６における判定結果に基づいて、マルチストローブ信号１０５の位相を変更するか否かを判断してよい。また、マルチストローブ発生部８２は、制御部７０の制御に基づいて、マルチストローブ信号１０５の位相を変更するか否かを判断してよい。
【００５８】
図９は、他の実施形態に係る、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。データ幅検出部２５は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点の前に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点を検出しない場合に、マルチストローブ信号１０５の始点から第２変化点までの期間に基づいてデータ幅を検出してよい。例えば、マルチストローブ信号１０５が、図９の位置調整前ストローブ信号に示す位置にある場合には、データ幅検出部２５は、位置調整前ストローブ信号が含む最初の位相のストローブ信号と、第２変化点との間をデータ幅であるとしてよい。
【００５９】
また、マルチストローブ発生部８２は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点の前に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点を検出しない場合に、データ幅検出部２５が検出したデータ幅が予め定められた許容範囲外となることを条件に、マルチストローブ信号１０５の位相を早くしてよい。例えば、マルチストローブ信号１０５が、図９の位置調整前ストローブ信号が示す位置にある場合において、データ幅検出部２５が検出したデータ幅がデータ幅基準値１１２の範囲内にない場合には、マルチストローブ発生部８２は、マルチストローブ信号１０５の位相を早くして、位置調整後ストローブ信号が示す位置に変更してよい。マルチストローブ発生部８２は、データ幅検出部２５が検出したデータ幅がデータ幅基準値１１２の範囲内にある場合には、マルチストローブ信号１０５の位相を変更しなくてよい。
【００６０】
図１０は、他の実施形態に係る、応答信号１０２とマルチストローブ信号１０５との関係を示す。マルチストローブ発生部８２は、１つのマルチストローブ信号１０５において、応答信号１０２の論理値が期待値１０８から変化する第２変化点の後に、応答信号１０２の論理値が期待値１０８に変化する第１変化点を検出する場合が生じ得る。この場合には、マルチストローブ発生部８２は、データ幅検出部２５が検出したデータ幅が予め定められた許容範囲内になるまで、マルチストローブ信号１０５の位相を変化させてよい。マルチストローブ発生部８２は、マルチストローブ信号１０５の位相を早くすることにより、図１０の位置調整後ストローブ信号１の位置に変化させてよい。また、マルチストローブ発生部８２は、マルチストローブ信号１０５の位相を遅くすることにより、図１０の位置調整後ストローブ信号２の位置に変化させてよい。
【００６１】
図１１は、他の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。同図において、試験装置１００は、さらにデバイスジッタ判定部８６を備える。また、試験機能部２０は、さらにジッタ検出部２９を有する。ジッタ検出部２９は、それぞれのマルチストローブ信号１０５において、第１変化点または第２変化点のいずれかの変化点のジッタを検出する。
【００６２】
ジッタ検出部２９は、１つのマルチストローブ信号１０５毎に、検出したジッタが予め定められた許容範囲内か否かを示すジッタ逐次判定結果を出力するジッタ遂次判定部３０を有する。また、ジッタ検出部２９は、複数のマルチストローブ信号１０５において検出された変化点の位相のうち、最も遅い位相と、最も早い位相との相対位相差が、予め定められた許容範囲内か否かを示すジッタ蓄積判定結果１２０を出力するジッタ蓄積判定部３２を有する。制御部７０は、ジッタ遂次判定部３０、および、ジッタ蓄積判定部３２に対して、ジッタ量基準値１２２を出力する。さらに、制御部７０は、ジッタ量を測定すべき選択データ１０９の変化点の極性を選択するエッジ選択信号１２４を、ジッタ遂次判定部３０およびジッタ蓄積判定部３２に対して出力してよい。
【００６３】
試験装置１００は、被試験デバイス２００の複数のピンを並行して試験してよい。ジッタ検出部２９は、被試験デバイス２００のピン毎に設けられ、試験装置１００は、それぞれのジッタ検出部２９における判定結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定するデバイスジッタ判定部８６を有してよい。つまり、試験機能部４０および試験機能部６０は、試験機能部２０と同様に、ジッタ検出部２９を有してよく、デバイスジッタ判定部８６は、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が出力する判定結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。
【００６４】
ジッタ遂次判定部３０は、選択部２４が複数回に渡って測定した選択データ１０９を取得する。ジッタ遂次判定部３０は、選択データ１０９に基づいて、ジッタが生じているマルチストローブ信号１０５の位相範囲を検出する。ジッタ遂次判定部３０は、エッジ選択信号１２４が「１」の場合には、選択データ１０９が「１」から「０」に変化するタイミングにおけるジッタ量を測定してよい。また、ジッタ遂次判定部３０は、エッジ選択信号１２４が「０」の場合には、選択データ１０９が「０」から「１」に変化するタイミングにおけるジッタ量を測定してよい。
【００６５】
ジッタ遂次判定部３０は、測定したジッタ量がジッタ量基準値１２２に示される範囲内に収まっている場合には、測定したピンが正常であることを示すジッタ蓄積判定結果１２０を制御部７０に出力する。これに対して、ジッタ遂次判定部３０は、測定したジッタ量が、ジッタ量基準値１２２に示される範囲内に収まっていない場合には、測定したピンが正常でないことを示すジッタ蓄積判定結果１２０を制御部７０に出力する。
【００６６】
ジッタ蓄積判定部３２は、選択部２４が複数回に渡って測定した選択データ１０９を、マルチストローブ信号１０５が含む複数のストローブ信号の位相に関連づけて蓄積する。ジッタ蓄積判定部３２は、蓄積した選択データ１０９に基づいてジッタ量を検出する。ジッタ蓄積判定部３２は、制御部７０が出力するジッタ量基準値１２２に基づいて、対応するピンのジッタ量の良否を判定してよい。
【００６７】
デバイスジッタ判定部８６は、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が出力する、それぞれに対応するピンにおけるジッタ蓄積判定結果１２６を取得する。デバイスジッタ判定部８６は、取得したぞれぞれのピンにおけるジッタ蓄積判定結果１２６に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。デバイスジッタ判定部８６は、判定結果を制御部７０に通知してよい。
【００６８】
図１２は、ジッタ量の検出方法を示す。図中の各信号および選択データ１０９は、図５に示した各信号および選択データ１０９に等しい。ジッタ蓄積判定部３２は、図１２に示す選択データ１０９に基づいて、ジッタが発生するマルチストローブ信号１０５の位相範囲の前縁および後縁を検出する。
【００６９】
図１２において、選択データ１０９が「１」から「０」に変化する立ち下り変化点のタイミングは、１回目の測定から５回目の測定のそれぞれについて、第４位相、第５位相、第２位相、第４位相、および、第５位相である。そこで、ジッタ蓄積判定部３２は、第２位相から第４位相の範囲において選択データ１０９が「１」から「０」に変化することを検出する。つまり、ジッタ蓄積判定部３２は、選択データ１０９が「１」から「０」に変化する場合のジッタの前縁位相（図１２内のＪ１）が第２位相であり、ジッタの後縁位相（図１２内のＪ２）が第４位相なので、ジッタ量が３Ｔｓであることを検出する。
【００７０】
同様に、選択データ１０９が「０」から「１」に変化する立ち上がり変化点におけるタイミングは、１回目の測定から５回目の測定のそれぞれについて、第１３位相、第１５位相、第１２位相、第１５位相、および、第１４位相である。そこで、ジッタ蓄積判定部３２は、第１２位相から第１５位相の範囲において選択データ１０９の「１」から「０」に変化することを検出する。つまり、ジッタ蓄積判定部３２は、選択データ１０９が「０」から「１」に変化する場合のジッタの前縁位相（図１２内のＪ３）が第１２位相であり、ジッタの後縁位相（図１２内のＪ４）が第１５位相なので、ジッタ量が３Ｔｓであることを検出する。
【００７１】
図１３は、ピンごとのジッタ量の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が良品であると判定する方法を示す。ピン１においては、立ち下がりエッジにおけるジッタの前縁位相Ｊ１および後縁位相Ｊ２が、それぞれ第２位相および第４位相であるので、ジッタ量は３Ｔｓである。同様に、ピン２およびピン３においては、立ち下がりエッジにおけるジッタ量は、それぞれ４Ｔｓである。これに対して、立ち上がりエッジにおけるジッタ量は、ピン１からピン３のそれぞれにおいて、３Ｔｓ、３Ｔｓ、および、５Ｔｓである。
【００７２】
図１３においては、ジッタ量基準値１２２の最小値は１Ｔｓであり、ジッタ量基準値１２２の最大値は４Ｔｓである。また、制御部７０がジッタ蓄積判定部３２に対して出力するエッジ選択信号１２４は、立ち下がりエッジを選択することを示している。そこで、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が有するジッタ蓄積判定部３２は、ピン１からピン３における立ち下りエッジのジッタ量を、ジッタ量基準値１２２が示す値と比較する。
【００７３】
図１３においては、ピン１からピン３における立ち下がりエッジのジッタ量が、ジッタ量基準値１２２の範囲内に収まっているので、ジッタ蓄積判定部３２は、対応するピンは良品であると判定する。デバイスジッタ判定部８６は、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が有するジッタ蓄積判定部３２が出力するジッタ蓄積判定結果１２６に基づいて、被試験デバイス２００が良品であると判定する。
【００７４】
図１４は、ピンごとのジッタ量の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００が不良品であると判定する方法を示す。同図において、それぞれのピンにおけるジッタ量は、図１３におけるジッタ量と等しい。しかし、エッジ選択信号１２４が立ち上がりエッジを選択することを示している点で、図１３の場合と異なる。そこで、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が有するジッタ蓄積判定部３２は、立ち上がりエッジのジッタ量に基づいて対応するピンの良否を判定する。
【００７５】
立ち上がりエッジにおいては、ピン３の出力データのジッタ量が５Ｔｓであり、基準ジッタ量の最大値である４Ｔｓを上回っている。従って、ピン３に接続される試験機能部６０が有するジッタ蓄積判定部３２は、ピン３が正常でないと判断する。デバイスジッタ判定部８６は、試験機能部６０が有するジッタ蓄積判定部３２が出力するジッタ蓄積判定結果１２６に基づいて、被試験デバイス２００が不良品であると判定してよい。
【００７６】
以上の説明においては、ジッタ蓄積判定部３２は、被試験デバイス２００のそれぞれのピンの良否を判定した上で、ジッタ蓄積判定結果１２６をデバイスジッタ判定部８６に出力した。しかし、ジッタ蓄積判定部３２は、検出したデータ幅の値をデバイスジッタ判定部８６に出力してもよい。デバイスジッタ判定部８６は、試験機能部２０、試験機能部４０、および、試験機能部６０が有するジッタ蓄積判定部３２が出力するジッタ量の値と、制御部７０が出力するジッタ量基準値１２２とに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してもよい。デバイスジッタ判定部８６は、判定結果１２８を制御部７０に出力してよい。
【００７７】
以上のように、試験装置１００は、複数のマルチストローブ信号１０５に含まれる複数のストローブ信号の位相に対応づけて選択データ１０９を蓄積することにより、応答信号１０２のジッタ量を高精度で検出することができる。さらに、試験装置１００は、被試験デバイス２００のピンの試験を並行して実施することにより、短時間で被試験デバイス２００の良否を判定できる。
【００７８】
以上、本発明の一側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００７９】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【００８０】
上記説明から明らかなように、本発明の実施形態によれば、データ幅、または、ジッタ量の試験時間を短縮する試験装置および試験方法を実現することができる。
【符号の説明】
【００８１】
２０  試験機能部、２２  データ検出部、２４  選択部、２５  データ幅検出部、２６  ウィンドウ遂次判定部、２８  ウィンドウ蓄積判定部、２９  ジッタ検出部、３０  ジッタ遂次判定部、３２  ジッタ蓄積判定部、４０  試験機能部、６０  試験機能部、７０  制御部、８０  レベルコンパレータ、８２  マルチストローブ発生部、８３  期待値発生部、８４  デバイスウィンドウ判定部、８６  デバイスジッタ判定部、１００  試験装置、２００  被試験デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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