(57)【要約】  試験信号を出力する信号出力部と、被試験デバイスが出力するデバイス信号を取得する信号取得部と、信号出力部および信号取得部と被試験デバイスとの間を接続する伝送路により生じる遅延に応じて信号出力部が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整する調整部と、を備え、調整部は、信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立上りエッジが伝送路の被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立上りエッジを信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立上りエッジ調整部と、信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立下りエッジが伝送路の被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立下りエッジを信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立下りエッジ調整部と、を備える試験装置を提供する。
2010086971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を出力する信号出力部と、
前記被試験デバイスが出力するデバイス信号を取得する信号取得部と、
前記信号出力部および前記信号取得部と前記被試験デバイスとの間を接続する伝送路により生じる遅延に応じて前記信号出力部が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整する調整部と、
を備え、
前記調整部は、
前記信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立上りエッジが前記伝送路の前記被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立上りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する立上りエッジ調整部と、
前記信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立下りエッジが前記伝送路の前記被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立下りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立下りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する立下りエッジ調整部と、
を備える試験装置。
【請求項２】
前記調整部は、前記伝送路の前記被試験デバイス側の端部を開放端とした場合に生じる反射信号の遅延に応じて、前記信号出力部が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記立上りエッジ調整部は、調整用の試験信号の立上りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングと、調整用の試験信号の立上りエッジが前記伝送路の端部で反射された反射信号の立上りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングとの差分に応じて、試験信号の立上りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整し、
前記立下りエッジ調整部は、調整用の試験信号の立下りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングと、調整用の試験信号の立下りエッジが前記伝送路の端部で反射された反射信号の立下りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングとの差分に応じて、試験信号の立下りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する
請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記立上りエッジ調整部は、
前記信号取得部に対して第１閾値電圧を設定して、前記信号出力部が調整用の試験信号を前記第１閾値電圧未満の第１電圧レベルから前記第１閾値電圧を超える第２電圧レベルへと遷移させて出力した立上りエッジが、前記第１閾値電圧とクロスする第１タイミングを検出し、
前記信号取得部に対して前記第２電圧レベルを超える第２閾値電圧を設定して、前記信号出力部が調整用の試験信号を前記第１電圧レベルから前記第２電圧レベルへと遷移させて出力した立上りエッジが前記伝送路の端部で反射されることによって前記伝送路に重畳されて生じた、前記第２電圧レベルから前記第２閾値電圧を超える第３電圧レベルへと遷移する立上りエッジが、前記第２閾値電圧とクロスする第２タイミングを検出し、
前記第１タイミングおよび前記第２タイミングの差により求めた立上りエッジの伝播遅延時間に応じて、試験信号の立上りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する
請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
【請求項５】
前記立下りエッジ調整部は、
前記信号取得部に対して前記第２電圧レベルおよび前記第３電圧レベルの間の第３閾値電圧を設定して、前記信号出力部が調整用の試験信号を前記第３電圧レベルから前記第２電圧レベルへと遷移させて出力した立下りエッジが、前記第３閾値電圧とクロスする第３タイミングを検出し、
前記信号取得部に対して前記第１電圧レベルおよび前記第２電圧レベルの間の第４閾値電圧を設定して、前記信号出力部が調整用の試験信号を前記第３電圧レベルから前記第２電圧レベルへと遷移させて出力した立下りエッジが前記伝送路の端部で反射されることによって前記伝送路に重畳されて生じた、前記第２電圧レベルから前記第１電圧レベルへと遷移する立下りエッジが、前記第４閾値電圧とクロスする第４タイミングを検出し、
前記第３タイミングおよび前記第４タイミングの差により求めた立下りエッジの伝播遅延時間に応じて、試験信号の立下りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記立上りエッジ調整部および前記立下りエッジ調整部は、前記伝送路における試験信号の立上りエッジの伝播遅延時間および立下りエッジの伝播遅延時間の平均値に応じて、試験信号の立上りエッジおよび立下りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記立上りエッジ調整部および前記立下りエッジ調整部は、前記信号出力部から出力させた調整用の試験信号の同一パルスにおける立上りエッジおよび立下りエッジが反射された反射信号の立上りエッジおよび立下りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジおよび試験信号の立下りエッジにおける前記信号出力タイミングを調整する請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。
【請求項８】
前記信号出力部は、
セット信号が入力されたことに応じてＨレベルの試験信号を出力し、リセット信号が入力されたことに応じてＬレベルの試験信号を出力するＳＲフリップフロップと、
前記立上りエッジ調整部からの設定に応じて、試験信号を立ち上げる指示を受けてから前記ＳＲフリップフロップにセット信号を供給するまでの遅延時間を変更するセット側可変遅延部と、
前記立下りエッジ調整部からの設定に応じて、試験信号を立ち下げる指示を受けてから前記ＳＲフリップフロップにリセット信号を供給するまでの遅延時間を変更するリセット側可変遅延部と、
を有する請求項１から７のいずれかに記載の試験装置。
【請求項９】
試験装置により被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記試験装置は、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を出力する信号出力部と、
前記被試験デバイスが出力するデバイス信号を取得する信号取得部と、
前記信号出力部および前記信号取得部と前記被試験デバイスとの間を接続する伝送路と、
を備えるものであり、
前記信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立上りエッジが前記伝送路の前記被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立上りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立上りエッジ調整段階と、
前記信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立下りエッジが前記伝送路の前記被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立下りエッジを前記信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立下りエッジ調整段階と、
を備える試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試験装置が備えるコンパレータの立ち上がり応答と立ち下がり応答との差を検出し、検出した差に基づきコンパレータにおけるタイミングを調整していた（特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００８−１０７１８８号公報
【０００３】
特許文献１の手法では、ドライバからの出力波形が接地電位に終端された伝送路の端部で反射された波形をコンパレータで検出し、コンパレータにおけるタイミングを調整している。被試験デバイスの入出力信号のタイミングを正確に規定するには、試験信号を供給するドライバについてもタイミングを調整する必要がある。ドライバの出力波形に関しても、立上り時間と立下り時間とに差があるので、正確にタイミングを調整するには立上り時間と立下り時間の差を踏まえてタイミングを調整することが望ましい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで本発明の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および試験方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の態様によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験するための試験信号を出力する信号出力部と、被試験デバイスが出力するデバイス信号を取得する信号取得部と、信号出力部および信号取得部と被試験デバイスとの間を接続する伝送路により生じる遅延に応じて信号出力部が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整する調整部と、を備え、調整部は、信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立上りエッジが伝送路の被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立上りエッジを信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立上りエッジ調整部と、信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立下りエッジが伝送路の被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立下りエッジを信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立下りエッジ調整部と、を備える試験装置を提供する。【０００６】
本発明の第２の態様によると、試験装置により被試験デバイスを試験する試験方法であって、試験装置は、被試験デバイスを試験するための試験信号を出力する信号出力部と、被試験デバイスが出力するデバイス信号を取得する信号取得部と、信号出力部および信号取得部と被試験デバイスとの間を接続する伝送路と、を備えるものであり、信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立上りエッジが伝送路の被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立上りエッジを信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立上りエッジ調整段階と、信号出力部から出力させた調整用の試験信号の立下りエッジが伝送路の被試験デバイス側の端部で反射されて生じる反射信号の立下りエッジを信号取得部が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整する立下りエッジ調整段階と、を備える試験方法を提供する。【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、試験装置が試験信号を出力するタイミングを正確に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】伝送路２００を介して被試験デバイス３００に接続された試験装置１００の構成を示す。
【図２】信号出力部１２０の構成例を示す。
【図３】信号出力部１２０の入出力波形を示す。
【図４】図４（Ａ）は、伝送路２００における被試験デバイス３００側の端部での理想的なタイミングの波形を示す。図４（Ｂ）は図４、（Ａ）に示した波形を得るために必要とされる試験装置１００の出力端での波形を示す。
【図５】伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部を開放（オープン）とした場合に信号取得部１４０が受け取る波形を示す。
【図６】図６（Ａ）は、ドライバ１２４が出力する波形の立上りエッジおよび立下りエッジを示す。図６（Ｂ）は、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部が開放とされた状態で信号出力部１２０が図６（Ａ）の波形を出力した場合に信号取得部１４０が受け取る波形を示す。
【符号の説明】
【００１０】
１００・・・試験装置、１１０・・・タイミング発生器、１２０・・・信号出力部、１２２・・・ＳＲフリップフロップ、１２４・・・ドライバ、１２６・・・セット側可変遅延部、１２８・・・リセット側可変遅延部、１４０・・・信号取得部、１６０・・・調整部、１６２・・・立上りエッジ調整部、１６４・・・立下りエッジ調整部、２００・・・伝送路、３００・・・被試験デバイス
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明の（一）側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１２】
図１は、伝送路２００を介して被試験デバイス３００に接続された試験装置の構成を示す。試験装置は、タイミング発生器１１０と、信号出力部１２０と、信号取得部１４０と、調整部１６０とを備える。試験装置は、被試験デバイス３００に試験信号を供給し、被試験デバイス３００が出力するデバイス信号を受け取る。試験装置１００は、試験信号とデバイス信号とに基づき被試験デバイス３００を試験する。【００１３】
タイミング発生器１１０は、被試験デバイス３００を試験するための試験信号を信号出力部に発生させるタイミングを規定するタイミング信号を信号出力部１２０に供給する。また、タイミング発生器１１０は、被試験デバイス３００が出力するデバイス信号を信号取得部１４０に取得させるタイミングを規定するストローブ信号を信号取得部１４０に供給する。【００１４】
信号出力部１２０は、タイミング発生器１１０から供給されるタイミング信号に基づき、被試験デバイス３００を試験するための試験信号を出力する。信号出力部１２０の出力端は、伝送路２００を介して被試験デバイス３００に接続される。【００１５】
信号取得部１４０は、被試験デバイス３００が出力するデバイス信号を伝送路２００を介して取得する。信号取得部１４０は、タイミング発生器１１０から供給されるストローブ信号により規定されたタイミングで、デバイス信号を取得してよい。例えば、信号取得部１４０は、デバイス信号の電圧と所定の閾値電圧との大小関係を、タイミング発生器１１０から供給されるストローブ信号が規定するタイミングにおいて比較するコンパレータを備えてよい。【００１６】
調整部１６０は、信号出力部１２０および信号取得部１４０と被試験デバイス３００との間を接続する伝送路２００により生じる遅延に応じて信号出力部１２０が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整する。調整部１６０は、立上りエッジ調整部１６２と、立下りエッジ調整部１６４と、を有する。立上りエッジ調整部１６２は、信号出力部１２０から出力させた調整用の試験信号の立上りエッジが伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部で反射されて生じる反射信号の立上りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整する。立下りエッジ調整部１６４は、信号出力部１２０から出力させた調整用の試験信号の立下りエッジが伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部で反射されて生じる反射信号の立下りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整する。【００１７】
図２は、信号出力部１２０の構成例を示す。信号出力部１２０は、ＳＲフリップフロップ１２２と、ドライバ１２４と、セット側可変遅延部１２６と、リセット側可変遅延部１２８とを備える。【００１８】
ＳＲフリップフロップ１２２は、セット信号が入力されたことに応じてＨレベルの試験信号を出力し、リセット信号が入力されたことに応じてＬレベルの試験信号を出力する。【００１９】
ドライバ１２４は、ＳＲフリップフロップ１２２から出力されるHレベルおよびＬレベルの試験信号を、設定された所定の電圧レベルに変換し、変換した試験信号を被試験デバイス３００に出力する。【００２０】
セット側可変遅延部１２６は、立上りエッジ調整部１６２からの設定に応じて、試験信号を立ち上げを指示するタイミング信号をタイミング発生器１１０から受けてからＳＲフリップフロップ１２２にセット信号を供給するまでの遅延時間を変更する。また、リセット側可変遅延部１２８は、立下りエッジ調整部１６４からの設定に応じて、試験信号を立ち下げを指示するタイミング信号をタイミング発生器１１０から受けてからＳＲフリップフロップ１２２にリセット信号を供給するまでの遅延時間を変更する。【００２１】
図３は、信号出力部１２０の入出力波形を示す。正論理のパルスを発生する場合、信号出力部１２０は、タイミング発生器１１０から立上がりを指示するタイミング信号をセット信号として受け取ったタイミング（Ｔ１）で信号出力部１２０の出力を立ち上げる。また、信号出力部１２０は、タイミング発生器１１０から立下がりを指示するタイミング信号をリセット信号として受け取ったタイミング（Ｔ２）で信号出力部１２０の出力を立ち下げる。また、反転したパルスを発生する場合、信号出力部１２０の出力は、試験信号を立ち下げる指示としてタイミング発生器１１０からリセット信号受け取ったタイミング（Ｔ３）で立ち下がり、試験信号を立ち上げる指示としてタイミング発生器１１０からセット信号受け取ったタイミング（Ｔ４）で立ち上がる。【００２２】
図４（Ａ）は、伝送路２００における被試験デバイス３００側の端部での理想的なタイミングの波形を示す。伝送路２００における被試験デバイス３００側の端部では、信号出力部１２０が基準タイミング設定において出力する試験信号と、信号取得部１４０が基準タイミング設定においてデバイス信号を取り込むタイミングを規定するストローブ信号とは、図４（Ａ）に示されるように、同じタイミングのエッジを有するのが理想的である。しかし、試験装置１００の出力端で図４（Ａ）のようなタイミング関係となるようにタイミングを調整すると、伝送路２００における被試験デバイス３００側の端部では、試験信号は伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）分、ストローブ信号より遅延したように見え、ストローブ信号は、伝播遅延時間（Ｔｐｄ）分だけ進んで見える。【００２３】
このため、図４（Ｂ）のような被試験デバイス３００側の端部において基準タイミング設定において同タイミングで入出力をする理想的な関係を得るには、試験装置１００の出力端において、図４（Ｂ）に示されるようなタイミング関係の波形が必要である。すなわち、調整部１６０は、試験信号が伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）だけ先行して信号出力部１２０から出力されるようエッジタイミングを調整する必要があり、ストローブ信号が伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）だけ経過するのを待って出力されるようエッジタイミングを調整する必要がある。【００２４】
上記のようにタイミングを調整するには、伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）を知る必要がある。例えば、信号出力部１２０から出力された調整用の試験信号が伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部で反射された波形を信号取得部１４０で取得し、当該取得した波形から伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）を得ることができる。より具体的には、信号取得部１４０は複数のストローブタイミングで調整用の試験信号の波形を取得して波形の変化点を求め、変化点の感覚から伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）を求めることができる。【００２５】
伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部における試験信号のエッジタイミングを調整する場合、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部を開放端としてよい。そして、調整部１６０は、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部を開放端とした場合に生じる反射信号の遅延に応じて、信号出力部１２０が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整してよい。【００２６】
図５は、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部を開放（オープン）とした場合に信号取得部１４０が受け取る波形を示す。信号出力部１２０が調整用の試験信号の立上りエッジを出力すると、信号取得部１４０は、はじめに信号出力部１２０から伝送路２００を経由せずに直接信号取得部１４０に届く波形の立上りエッジ（非反射波エッジ）を受け取る（Ｔ５）。その後、信号取得部１４０は、調整用の試験信号の立上りエッジが伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部に到達して反射され、信号取得部１４０に戻ってきた波形の立上りエッジ（反射波エッジ）を受け取る（Ｔ６）。反射波エッジは伝送路２００を往復してから信号取得部１４０に到達するので、非反射波エッジの到達から反射波エッジの到達までの時間は、伝送路２００の伝播遅延時間（Ｔｐｄ）の２倍の時間に相当する。従って、開放端とされた伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部で反射された波形から、伝播遅延時間（Ｔｐｄ）を得ることができる。【００２７】
伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部を開放端とした場合に生じる反射信号の遅延に応じて、信号出力部１２０が試験信号を出力する信号出力タイミングを調整する場合、非反射波と反射波のエッジがともに立上りエッジ（又はともに立下りエッジ）で往復するので、着目した極性のエッジについてタイミングを調整ができ、信号取得部１４０がエッジ極性に依存する特性を有する場合であっても正確にタイミングを調整できる。【００２８】
ところで、信号出力部１２０の出力波形は、立上り時間Ｔｒと立下り時間Ｔｆが異なることがある。図６（Ａ）は、ドライバ１２４が出力する波形の立上りエッジおよび立下りエッジを示す。図６（Ｂ）は、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部が開放とされた状態で信号出力部１２０が図６（Ａ）の波形を出力した場合に信号取得部１４０が受け取る波形を示す。【００２９】
信号出力部１２０が立上がりエッジを出力すると、信号取得部１４０は時刻Ｔ７において伝送路２００を通過せずに信号取得部１４０に到達した立上がりエッジを観測し、時刻Ｔ８において、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部で反射されて信号取得部１４０に到達した立上りエッジを観測する。信号出力部１２０から出力された立上りエッジが伝送路２００を往復するのに要した時間はＴ８−Ｔ７であるから、立上りエッジから求めえた伝送路２００の伝播遅延時間Ｔｐｄｒは（Ｔ８−Ｔ７）／２となる。【００３０】
同様に、信号出力部１２０が立下りエッジを出力すると、信号取得部１４０は時刻Ｔ９において伝送路２００を通過せずに信号取得部１４０に到達した立下がりエッジを観測し、時刻Ｔ１０において、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部で反射されて信号取得部１４０に到達した立下りエッジを観測する。信号出力部１２０から出力された立下りエッジが伝送路２００を往復するのに要した時間はＴ１０−Ｔ９であるから、立下りエッジから求めえた伝送路２００の伝播遅延時間Ｔｐｄｆは（Ｔ１０−Ｔ９）／２となる。【００３１】
信号出力部１２０の出力波形の立下り時間Ｔｒと立下り時間Ｔｆとが異なる場合、図６（Ｂ）に示されるように、立下りエッジから求めた伝播遅延時間Ｔｐｄｒと、立下りエッジから求めた伝播遅延時間Ｔｐｄｆとに差異が生じる。【００３２】
このため、立上りエッジと立下りエッジについて共通の伝播遅延時間としてタイミングを調整すると、伝送路２００の被試験デバイス３００側の端部において、図４（Ａ）に示されたようなタイミング関係を得ることができない。このため、本実施形態では、立上りエッジと立下りエッジについて、各個別にタイミングを調整する。【００３３】
立上りエッジ調整部１６２は、調整用の試験信号の立上りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングと、調整用の試験信号の立上りエッジが伝送路２００の端部で反射された反射信号の立上りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングとの差分に応じて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整してよい。また、立下りエッジ調整部１６４は、調整用の試験信号の立下りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングと、調整用の試験信号の立下りエッジが伝送路２００の端部で反射された反射信号の立下りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングとの差分に応じて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整してよい。【００３４】
立上りエッジのタイミングを調整する場合、はじめに、立上りエッジ調整部１６２は、信号取得部１４０に対して第１閾値電圧（ＶＴＨ１）を設定し、信号出力部１２０が調整用の試験信号を第１閾値電圧（ＶＴＨ１）未満の第１電圧レベル（Ｖ１）から第１閾値電圧（ＶＴＨ１）を超える第２電圧レベル（Ｖ２）へと遷移させて出力した立上りエッジが、第１閾値電圧（ＶＴＨ１）とクロスする第１タイミング（Ｔ７）を検出する。次に、立上りエッジ調整部１６２は、信号取得部１４０に対して第２電圧レベル（Ｖ２）を超える第２閾値電圧（ＶＴＨ２）を設定し、信号出力部１２０が調整用の試験信号を第１電圧レベル（Ｖ１）から第２電圧レベル（Ｖ２）へと遷移させて出力した立上りエッジが伝送路２００の端部で反射されることによって伝送路２００に重畳されて生じた、第２電圧レベル（Ｖ２）から第２閾値電圧（ＶＴＨ２）を超える第３電圧レベル（Ｖ３）へと遷移する立上りエッジが、第２閾値電圧（ＶＴＨ２）とクロスする第２タイミング（Ｔ８）を検出する。そして、立上りエッジ調整部１６２は、第１タイミング（Ｔ７）および第２タイミング（Ｔ８）の差により求めた立上りエッジの伝播遅延時間Ｔｐｄｒに応じて、試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整する。【００３５】
例えば、立上りエッジ調整部１６２は、図６（Ｂ）のタイミング関係における（Ｔ８−Ｔ７）／２を伝送路２００の伝播遅延時間であるとして、試験装置１００の出力端において、図４（Ｂ）に示されたタイミング関係となるよう試験信号の立上りエッジにおける信号出力タイミングを調整すべくセット側可変遅延部１２６の遅延時間を設定してよい。【００３６】
立下りエッジのタイミングを調整する場合、はじめに、立下りエッジ調整部１６４は、信号取得部１４０に対して第２電圧レベル（Ｖ２）および第３電圧レベル（Ｖ３）の間の第３閾値電圧（ＶＴＨ３）を設定し、信号出力部１２０が調整用の試験信号を第３電圧レベル（Ｖ３）から第２電圧レベル（Ｖ２）へと遷移させて出力した立下りエッジが、第３閾値電圧（ＶＴＨ３）とクロスする第３タイミング（Ｔ９）を検出する。次に、立下りエッジ調整部１６４は、信号取得部１４０に対して第１電圧レベル（Ｖ１）および第２電圧レベル（Ｖ２）の間の第４閾値電圧（ＶＴＨ４）を設定し、信号出力部１２０が調整用の試験信号を第３電圧レベル（Ｖ３）から第２電圧レベル（Ｖ２）へと遷移させて出力した立下りエッジが伝送路２００の端部で反射されることによって伝送路２００に重畳されて生じた、第２電圧レベル（Ｖ２）から第１電圧レベル（Ｖ１）へと遷移する立下りエッジが、第４閾値電圧（ＶＴＨ４）とクロスする第４タイミング（Ｔ１０）を検出する。そして、立下りエッジ調整部１６４は、第３タイミング（Ｔ９）および第４タイミング（Ｔ１０）の差により求めた立下りエッジの伝播遅延時間Ｔｐｄｆに応じて、試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整する。【００３７】
例えば、立下りエッジ調整部１６４は、図６（Ｂ）のタイミング関係における（Ｔ１０−Ｔ９）／２を伝送路２００の伝播遅延時間であるとして、試験装置１００の出力端において、図４（Ｂ）に示されたタイミング関係となるよう試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整すべくリセット側可変遅延部１２８の遅延時間を設定してよい。【００３８】
立上りエッジおよび立下りエッジのタイミングを調整するときに用いられる第１閾値電圧（ＶＴＨ１）、第２閾値電圧（ＶＴＨ２）、第３閾値電圧（ＶＴＨ３）、第４閾値電圧（ＶＴＨ４）はそれぞれ異なる電圧値としてもよい。また、第１閾値電圧（ＶＴＨ１）と第４閾値電圧（ＶＴＨ４）とを同電圧としてもよく、第２閾値電圧（ＶＴＨ２）と第３閾値電圧（ＶＴＨ３）とを同電圧としてもよい。【００３９】
立上りエッジ調整部１６２および立下りエッジ調整部１６４は、伝送路２００における試験信号の立上りエッジの伝播遅延時間Ｔｐｄｒおよび立下りエッジの伝播遅延時間Ｔｐｄｆの平均値に応じて、試験信号の立上りエッジおよび立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整してもよい。【００４０】
立上りエッジ調整部１６２および立下りエッジ調整部１６４は、信号出力部１２０から出力させた調整用の試験信号の同一パルスにおける立上りエッジおよび立下りエッジが反射された反射信号の立上りエッジおよび立下りエッジを信号取得部１４０が取得したタイミングに基づいて、試験信号の立上りエッジおよび試験信号の立下りエッジにおける信号出力タイミングを調整してもよい。【００４１】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。【００４２】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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