(57)【要約】  噴霧された被熱交換液体に対して適切に熱交換を行うことが可能な熱交換器を提供する。  内部で熱交換を行わせる熱交換容器３と、熱交換容器３内に被熱交換液体を噴霧する噴霧ノズル５と、噴霧された被熱交換液体のミストＭに対して気体を噴射する噴射ノズル７と、噴射された気体の上流側に位置し被熱交換液体を排出するための排出口９とを備える。
2019017220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部で熱交換を行わせる熱交換容器と、
該熱交換容器内に被熱交換液体を噴霧する噴霧口と、
前記噴霧された前記被熱交換液体に対して気体を噴射する噴射口と、
前記噴射された気体の上流側に位置し前記被熱交換液体を排出するための排出口と、
を備えたことを特徴とする熱交換器。
【請求項２】
請求項１記載の熱交換器であって、
前記熱交換容器を加熱し前記熱交換容器内を前記噴霧された前記被熱交換液体を加熱する加熱空間とするヒーターを備えた、
ことを特徴とする熱交換器。
【請求項３】
請求項２記載の熱交換器であって、
前記噴射口から噴射される前記気体は、前記熱交換液体の噴霧方向とは逆向きの指向性を有しながら前記熱交換容器の内面に接触する螺旋状のスワール流である、
ことを特徴とする熱交換器。
【請求項４】
請求項２又は３記載の熱交換器であって、
前記噴射口から噴射される前記気体は、加熱された気体である、
ことを特徴とする熱交換器。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の熱交換器であって、
前記熱交換容器は、金属製であり、
前記熱交換容器の内面は、取り外し可能に取り付けられた樹脂製のライナーによって被覆された、
ことを特徴とする熱交換器。
【請求項６】
請求項１記載の熱交換器であって、
一側が前記噴霧口に対向すると共に他側が前記噴射口に対向した網目状の伝熱管からなる熱交換部を備えた、
ことを特徴とする熱交換器。
【請求項７】
請求項１〜４の何れか一項に記載の熱交換器を備えた分離システムであって、
前記熱交換器の排出口に接続されたスチームセパレータを備え、
前記熱交換器は、前記被熱交換液体の蒸気を発生させ、
前記スチームセパレータは、前記熱交換器の排出口から排出された蒸気を蒸気成分と濃縮液とに分離する、
ことを特徴とする分離システム。
【請求項８】
請求項２〜４の何れか一項に記載の熱交換器を備え蒸気圧が相対的に高い第一液体及び蒸気圧が相対的に低い第二液体のエアロゾルを形成するエアロゾル形成システムであって、
前記熱交換器の排出口に接続された流動管と、
前記流動管に接続されたベンチュリと、
前記ベンチュリに連通する供給管と、
前記供給管に連通する貯留槽とを備え、
前記熱交換器は、前記第一液体を前記噴霧口から前記被熱交換液体として噴霧し前記加熱空間内で気化させて前記エアロゾルのための分散媒を形成し、
前記貯留槽は、前記第二液体を貯留し、
前記ベンチュリは、前記熱交換器の排出口から排出された前記分散媒を流動させ、前記貯留槽から前記供給管を介して供給された前記第二液体を噴霧させ前記エアロゾルのための分散質とする、
ことを特徴とするエアロゾル形成システム。
【請求項９】
請求項８記載のエアロゾル形成システムであって、
前記ベンチュリを加熱するベンチュリヒーターを備えた、
ことを特徴とするエアロゾル形成システム。
【請求項１０】
請求項８又は９記載のエアロゾル形成システムであって、
前記ベンチュリは、前記流動管に連通し前記流動管よりも内径が大きい第１チャンバーと、前記第１チャンバーよりも内径が小さい絞り部と、前記絞り部よりも内径が大きい第２チャンバーとを備え、
前記供給管が前記絞り部に連通する、
ことを特徴とするエアロゾル形成システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気化器や蒸気発生器等に供される熱交換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱交換器は、温度の異なる２つの物体を接触させて一方の物体を加熱或は冷却する装置であり、気化器、蒸気発生器、食品製造や化学薬品製造、冷蔵保管といった産業用として広く使用されている。【０００３】
例えば、気化器としては、特開２０１０−２１９４２１号公報に記載のものがある。この気化器では、ヒーターにより筒状の気化室内を加熱し、この気化室内に薄膜形成用の液体を噴霧することで気化させて、排出口から気化した液体を排出するようになっている。【０００４】
しかし、従来の気化器では、噴霧された液体の一部が気化する前に加熱容器の内面に付着し、付着した液体が熱分解や重合反応をすることで堆積する。この堆積が排出口付近でも生じるため、堆積物によって排出口が狭くなるという問題がある。【０００５】
実公昭５５−８８３２号公報には、蒸発室内に伝熱管群を配置し、液体を伝熱管群に散布して蒸発させる蒸発装置が開示されている。【０００６】
かかる蒸発装置では、散布された液体の一部が伝熱管群に接触せずに通り過ぎ、十分に蒸発が行われない問題がある。【０００７】
この蒸発装置の構成は、伝熱管内を通る熱媒体の温度を制御することで、液体を加熱又は冷却する装置としても適用可能であるが、蒸発装置の場合と同様、散布された液体が伝熱管群に接触せずに通り過ぎてしまい、液体の加熱や冷却が不十分になる問題がある。【０００８】
このように、気化器、蒸発装置、液体の加熱又は冷却装置等に適用される熱交換器では、噴霧された熱交換対象の液体である被熱交換液体に対して適切に熱交換を行うことができず、これに起因して上記のような問題が生じていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−２１９４２１号公報
【特許文献２】実公昭５５−８８３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
解決しようとする問題点は、噴霧された被熱交換液体に対して適切に熱交換を行うことができないという点である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、噴霧された被熱交換液体に対して適切に熱交換を行うことが可能な熱交換器を提供する。【００１２】
この熱交換器は、内部で熱交換を行わせる熱交換容器と、該熱交換容器内に被熱交換液体を噴霧する噴霧口と、前記噴霧された前記被熱交換液体に対して気体を噴射する噴射口と、前記気体の上流側に位置し前記被熱交換液体を排出するための排出口とを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の熱交換器は、噴射された気体により、噴霧された被熱交換液体の滞留時間を長くすることができ、熱交換容器の内部での被熱交換液体に対する熱交換を適切に行わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施例１に係る熱交換器を適用した気化器を示す概略図である。
【図２】図１の気化器を示す斜視図である。
【図３】図２の気化器の斜視断面図である。
【図４】図２の気化器の斜視断面図である。
【図５】図２の気化器のボディの平面図である。
【図６】図２の気化器の噴霧ノズル周辺を示す断面図である。
【図７】図１の噴射ノズルの噴射口の噴射方向を示す概念図であり、図７（Ａ）は、熱交換容器の内面に対する角度θ１、図７（Ｂ）は、熱交換容器の径方向に対する角度θ２を示している。
【図８】本発明の実施例２に係る熱交換器を適用した気化器を示す概略図である。
【図９】図８の気化器のボトムの概略平面図である。
【図１０】本発明の実施例３に係る熱交換器を適用した加熱冷却装置を示す概略図である。
【図１１】図１０の加熱冷却装置を示す概略図である。
【図１２】図１１の加熱冷却装置の熱交換部を示す熱交換室の断面図である。
【図１３】図１１の加熱冷却装置のノズルの配置を示す熱交換室の断面図である。
【図１４】図１１の加熱冷却装置のノズルと熱交換部との関係を示す概略図である。
【図１５】本発明の実施例４に係る熱交換器を適用した加熱冷却装置を示す概略図である。
【図１６】本発明の実施例５に係る熱交換器を適用した蒸気発生装置を有する分離システムの概略構成図である。
【図１７】本発明の実施例６に係る熱交換器を適用した気化器を有するエアロゾル形成システムの概略図である。
【図１８】図１７のエアロゾル形成システムに用いられるベンチュリを示す概略断面図である。
【図１９】エアロゾルの分散媒及び分散質の分子同士の接触状態の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
噴霧された被熱交換液体に対して適切に熱交換を行うという目的を、熱交換容器内に被熱交換液体を噴霧し、噴霧された被熱交換液体に対して気体を噴射する熱交換器により実現した。
【００１６】
具体的には、熱交換器は、内部で熱交換を行わせる熱交換容器と、該熱交換容器内に被熱交換液体を噴霧する噴霧口と、前記噴霧された前記被熱交換液体に対して気体を噴射する噴射口と、前記噴射された気体の上流側に位置し前記被熱交換液体を排出するための排出口とを備える。
【００１７】
熱交換器は、被熱交換液体の冷却装置又は加熱装置、蒸気発生装置、気化器等として適用することが可能である。
【００１８】
熱交換器を加熱装置、蒸気発生装置、気化器等に適用する場合は、熱交換容器を加熱し熱交換容器内を噴霧された被熱交換液体を加熱する加熱空間とするヒーターを備える。この場合、噴射口から噴射される気体は、加熱気体とするのが好ましい。
【００１９】
噴射口から噴射される気体は、熱交換液体の噴霧方向とは逆向きの指向性を有しながら熱交換容器の内面に接触する螺旋状のスワール流であることが好ましい。
【００２０】
また、熱交換器を冷却装置又は加熱装置として適用する場合には、一側が噴霧口に対向すると共に他側が噴射口に対向した網目状の伝熱管からなる熱交換部を備えてもよい。
【００２１】
また、熱交換器を利用して分離システムを構築することも可能である。分離システムは、熱交換器の排出口に接続されたスチームセパレータを備える。熱交換器は、被熱交換液体の蒸気を発生させ、スチームセパレータは、熱交換器の排出口から排出された蒸気を蒸気成分と濃縮液とに分離する。
【００２２】
熱交換器を利用して、蒸気圧が相対的に高い第一液体及び蒸気圧が相対的に低い第二液体のエアロゾルを形成するエアロゾル形成システムを構築することも可能である。
【００２３】
エアロゾル形成システムは、熱交換器の排出口に接続された流動管と、流動管に設けられたベンチュリと、ベンチュリに連通する供給管と、供給管に連通する貯留槽とを備える。
【００２４】
熱交換器は、第一液体を噴霧口から被熱交換液体として噴霧し加熱空間内で気化させてエアロゾルのための分散媒を形成し、貯留槽は、第二液体を貯留し、ベンチュリは、熱交換器の排出口から排出された分散媒を流動させ、貯留槽から供給管を介して供給された第二液体を噴霧させエアロゾルのための分散質とする。
【００２５】
かかるエアロゾル形成システムにおいて、ベンチュリを加熱するベンチュリヒーターを備えてもよい。
【実施例１】
【００２６】
［気化器の構成］
図１は、本発明の実施例１に係る熱交換器を適用した気化器の概略図、図２は、気化器の斜視図、図３は、同斜視断面図、図４は、異なる面での同斜視断面図、図５は、気化器のボディを示す平面図である。【００２７】
本実施例の熱交換器としての気化器１は、例えば半導体の製造ライン等に設けられ、被熱交換液体を気化して供給するためのものである。【００２８】
被熱交換液体は、特に限定されるものではないが、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、クロム酸、リン酸、弗酸、酢酸、過塩素酸、臭化水素酸、弗化珪酸、ホウ酸等の腐食性を有する酸類、アンモニア、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ類、及び塩素化珪素等の金属塩類等の溶液、さらには高純度水等である。【００２９】
本実施例の気化器１は、熱交換容器３と、噴霧口５ａを有する噴霧ノズル５と、噴射口７ａを有する噴射ノズル７と、排出口９とを備えている。【００３０】
熱交換容器３は、内部で後述する噴霧された被熱交換液体（ミストＭ）に対する熱交換を行わせるものである。熱交換容器３の材質は、特に限定されるものではないが、例えばステンレス等の金属、耐薬品性に優れた塩化ビニルやフッ素樹脂等となっている。この熱交換容器３は、ボディ１１、トップ部１３、及びボトム部１５からなっている。【００３１】
ボディ１１は、筒状に形成されており、周壁部１１ａで囲まれた内部に円筒形状の空間部１２を有している。空間部１２の径は、一定であるが、熱交換容器３の軸方向において変化させても良い。【００３２】
ボディ１１の周壁部１１ａ内には、軸方向にヒーター１７が周方向所定間隔毎に配置されている。ヒーター１７は、熱交換容器３を加熱し熱交換容器３内を後述する噴霧された被熱交換液体を加熱する加熱空間とするものである。【００３３】
本実施例のヒーター１７は、周壁部１１ａを軸方向に貫通する保持孔１１ｂ内に保持されている。ただし、ヒーター１７は、熱交換容器３を加熱できるものであれば、特に限定されるものではない。例えば、ヒーター１７は、ボディ１１の周囲に巻き付けるものであってもよい。【００３４】
ボディ１１の軸方向の両端は、トップ部１３及びボトム部１５によって閉止されている。【００３５】
トップ部１３は、熱交換容器３の一端部を構成するものである。トップ部１３は、ボディ１１とは別体の板状に形成されており、外周部がボディ１１に対してボルト１９により締結されて固定されている。【００３６】
具体的には、トップ部１３の外周部を貫通したボルト１９の雄ねじ部１９ａが、ボディ１１に設けられた雌ねじ部１１ｃに螺合している。ボディ１１の雌ねじ部１１ｃは、ヒーター用の保持孔１１ｂを避けた位置において、ボディ１１の周壁部１１ａの周方向複数個所に形成されている。なお、トップ部１３は、ボディ１１に対して溶接等により一体に構成することも可能である。【００３７】
トップ部１３の中央部には、噴霧ノズル５が取り付けられている。図６は、噴霧ノズル５周辺を示す断面図である。【００３８】
噴霧ノズル５は、図１及び図６のように、熱交換容器３のトップ部１３を貫通した状態で支持され、先端の噴霧口５ａを熱交換容器３の内部空間に臨ませている。【００３９】
噴霧ノズル５の本体部５ｂは、トップ部１３から外側に位置している。この本体部５ｂに被熱交換液体の液体供給管２１及びキャリアガスのガス供給管２３が接続されている。【００４０】
従って、噴霧ノズル５は、液体供給管２１から供給される被熱交換液体を、ガス供給管２３から供給される窒素等のキャリアガスによって、熱交換容器３内に噴霧する構成となっている。【００４１】
この噴霧ノズル５は、本体部５ｂが熱交換容器３外に位置しているため、全体として熱交換容器３の熱の影響を受けにくく、且つ噴霧口５ａが被熱交換液体の噴霧によって冷却される。【００４２】
このため、噴霧ノズル５は、噴霧口５ａで被熱交換液体が熱分解、熱重合されることによる詰まりが抑制されるようになっている。【００４３】
被熱交換液体の供給量は、液体供給管２１に設けられたフローコントローラ２５ａによって制御されている。同様に、キャリアガスの供給量は、ガス供給管２３に設けられたフローコントローラ２５ｂによって制御されている。【００４４】
噴霧ノズル５の噴霧中心軸Ｘは、本実施例において、熱交換容器３の軸方向に沿っており、これにより、噴霧方向は、軸方向に沿った熱交換容器３の他端へ向けた方向となっている。なお、噴霧中心軸Ｘは、熱交換容器３の軸方向に対して傾斜させることも可能である。【００４５】
噴霧ノズル５の噴霧流量及び噴霧角度は、特に限定されるものではないが、本実施例においてそれぞれ約４５度及び約１５度となっている。【００４６】
図１〜図４のように、ボトム部１５は、熱交換容器３の他端部を構成するものである。このボトム部１５は、ブロック状に形成されており、外周部がボディ１１に対してボルト２７により締結されて固定されている。【００４７】
具体的には、トップ部１３と同様、ボトム部１５の外周部を貫通したボルト２７の雄ねじ部２７ａが、ボディ１１に設けられた雌ねじ部１１ｄに螺合している。ボディ１１の雌ねじ部１１ｄは、ヒーター用の保持孔１１ｂを避けた位置において、ボディ１１の周壁部１１ａの周方向複数個所に形成されている。【００４８】
ボトム部１５は、内部に凹部２９が形成されている。凹部２９は、ボディ１１の空間部１２と連通氏、空間部１２と共に熱交換容器３の内部空間を構成している。凹部２９は、第一部分２９ａ及び第二部分２９ｂとで形成されている。【００４９】
凹部２９の第一部分２９ａは、ボディ１１の空間部１２と隣接して同一の径を有する。凹部２９の第二部分２９ｂは、熱交換容器３の他端に向けて漸次径が小さくなるテーパ形状となっている。本実施例の第二部分２９ｂは、放物線状に径が小さくなっているが、直線状に径が小さくなる構成とすることも可能である。【００５０】
このボトム部１５には、噴射ノズル７及び排出口９が設けられている。【００５１】
噴射ノズル７は、噴霧ノズル５から噴霧された被熱交換液体に対して、気体を噴射するものである。気体は、本実施例において加熱空気であるが、窒素等の他の気体であっても良い。他の気体とする場合は、被熱交換液体に影響しないものであればよいため、キャリアガスと同一の気体とするのが好ましい。また、噴出させる気体は、加熱しなくても良い。【００５２】
本実施例の噴射ノズル７は、ボトム部１５を内外に貫通し、熱交換容器３外で噴射気体供給管３１に接続され、熱交換容器３内で噴射口７ａが凹部２９の第一部分２９ａの内面に対向している。【００５３】
噴射気体供給管３１は、フローコントローラ２５ｃ及び熱交換器３３が接続されており、噴射される気体をフローコントローラ２５ｃの制御下で熱交換器３３を介して加熱しつつ噴射ノズル７に供給する。供給された気体は、噴射ノズル７の噴射口７ａから噴射される。【００５４】
なお、熱交換器３３は、本願出願人がＰＣＴ／ＪＰ２０１６／００３０８０において提案した熱交換器を用いても良いが、一般的な熱交換器で十分である。【００５５】
噴射ノズル７の噴射口７ａは、当該噴射口７ａからの気体の噴射方向が、熱交換容器３の径方向に対して熱交換容器３の一端側に傾斜し且つ熱交換容器３の内面に沿って気体が流れるように指向している。【００５６】
図７は、噴射ノズル７の噴射口７ａの噴射方向を示す概念図であり、図７（Ａ）は、熱交換容器３の内面に対する寝かせ角度θ１、図７（Ｂ）は、熱交換容器３の噴霧ノズル５側への傾斜角度θ２を示している。【００５７】
なお、図７（Ａ）及び（Ｂ）は、噴射口７ａの角度を概念的に示しているものである。従って、本実施例の噴射ノズル７のように、先端が湾曲している形態では、噴射口７ａが指向している方向と熱交換容器３の径方向Ｙに対する角度をいう。【００５８】
図７のように、本実施例において、噴射口７ａの噴射方向は、寝かせ角度θ１が約４５度、傾斜角度θ２が約７５度となっている。なお、寝かせ角度θ１及び傾斜角度θ２は、被熱交換液体の流量等に応じて、適宜変更することが可能である。【００５９】
かかる噴射ノズル７の噴射口７ａから噴射された気体は、熱交換容器３の内面に沿ってらせん状に旋回しつつ、熱交換容器３の一端側へ向かうスワール流ＳＦとなる。  すなわち、スワール流ＳＦは、熱交換液体の噴霧方向とは逆向きの指向性を有しながら熱交換容器３の内面に接触する螺旋状を呈している。【００６０】
スワール流ＳＦの中心軸は、熱交換容器３の軸方向に沿っており、これにより、スワール流ＳＦの噴射方向は、軸方向に沿った熱交換容器３の一端へ向けた方向となっている。従って、スワール流ＳＦの噴射方向は、被熱交換液体の噴霧方向とは真逆になっている。【００６１】
ただし、スワール流ＳＦの噴射方向及び被熱交換液体の噴霧方向は、逆向きの指向性を有していればよく、例えば、噴霧方向を軸方向に対して傾けることで両方向間の角度が鈍角となるようにしてもよい。【００６２】
かかる噴射ノズル７よりも、熱交換容器３の軸方向の他端側に排出口９が設けられている。これにより、排出口９は、スワール流ＳＦの上流側に位置している。スワール流ＳＦの上流側とは、噴霧された被熱交換液体に衝突する部分であるスワール流ＳＦの下流側よりも上流側であることを意味する。【００６３】
従って、スワール流ＳＦの上流側には、スワール流ＳＦの噴射口７ａよりも上流側である部分だけでなく、噴射口７ａよりも下流側のスワール流ＳＦの内部も含まれる。【００６４】
本実施例の排出口９は、熱交換容器３のボトム部１５の内外を貫通して軸方向に伸びる孔が熱交換容器３内に開口することで形成されている。この排出口９は、熱交換容器３の軸心部から径方向に偏倚して位置している。排出口９の外側端部には、排出管３５が取り付けられている。この排出管３５により、気化された被熱交換液体が例えば半導体製造等の次工程へと搬送される。【００６５】
［気化器の動作］
本実施例の気化器１は、図示しないコントローラの制御により、ヒーター１７により熱交換容器３を加熱し、熱交換容器３内を所定の温度にする。そして、フローコントローラ２５ａ，２５ｂ，２５ｃによる制御を通じ、噴霧ノズル５から被熱交換液体を噴霧すると共に噴霧された被熱交換液体に対して噴射ノズル７からスワール流ＳＦを噴射させる。【００６６】
噴霧された被熱交換液体（ミストＭ）は、熱交換容器３内の加熱空間との間で熱交換を行いつつ、スワール流ＳＦに衝突することになる。このとき、スワール流ＳＦが加熱気体であるため、被熱交換液体のミストＭとスワール流ＳＦとの間で熱交換が行われる。【００６７】
従って、被熱交換液体のミストＭは、熱交換容器３内の加熱空間との間だけでなく、スワール流ＳＦとの間でも熱交換が行われ、気化が促進される。【００６８】
また、被熱交換液体のミストＭは、スワール流ＳＦに捉えられて排出口９から遠ざかるように運ばれることになり、熱交換容器３の内面への付着が抑制されると共に熱交換容器３内での滞留時間が長くなる。【００６９】
特に、スワール流ＳＦは、熱交換容器３の内面に接触するため、熱交換容器３の内面付近で被熱交換液体のミストＭを確実に捉えて、熱交換容器３の内面への付着を確実に抑制できる。また、スワール流ＳＦは、捉えた被熱交換液体のミストＭを熱交換容器３の内面に沿って螺旋状に運ぶことにより、熱交換容器３の内面とミストＭとの間の熱交換を行わせ、熱交換容器３の内面の熱を有効利用して気化を促進できる。また、ミストＭを螺旋状に運ぶことで滞留時間を確実に長くすることもできる。【００７０】
従って、本実施例では、被熱交換液体のミストＭを確実に滞留させながら気化させることができる。なお、噴射ノズル７から噴射される気体は、スワール流ＳＦでなく、直線的に噴射されるものであっても、被熱交換液体のミストＭの滞留時間を長くすることができればよい。【００７１】
しかも、上記のようにミストＭを強制的に滞留させると、噴霧された直後のミストＭの低温分子と噴射された気体によって加熱されたミストＭの高温分子との間で密度差が生じ、滞留中に高温分子から低温分子に熱を効率よく吸収させることができ、より確実に被熱交換液体のミストＭを気化させることができる。【００７２】
被熱交換液体のミストＭが熱交換容器３の内面に付着しても、スワール流ＳＦが熱交換容器３の内面から被熱交換液体をそぎ落として捉えることになる。【００７３】
従って、本実施例では、より確実に被熱交換液体を滞留させながら気化させることができる。【００７４】
気化した被熱交換液体は、体積が大幅に上昇するため、被熱交換容器３内の圧力を大幅に上昇させ、排出口９とは逆向きのスワール流ＳＦが存在していても、排出口９から排出される。【００７５】
［実施例１の効果］
本実施例の熱交換器が適用された気化器１は、内部で熱交換を行わせる熱交換容器３と、熱交換容器３内に被熱交換液体を噴霧する噴霧ノズル５と、噴霧された被熱交換液体のミストＭに対して気体を噴射する噴射ノズル７と、噴射された気体の上流側に位置し被熱交換液体を排出するための排出口９とを備える。【００７６】
従って、気化器１では、噴射された気体により、噴霧された被熱交換液体のミストＭの滞留時間を長くすることができ、熱交換容器３の内部での被熱交換液体に対する熱交換を適切に行わせることができ、被熱交換液体を確実に気化できる。【００７７】
しかも、本実施例では、上記のようにミストＭを強制的に滞留させると、噴霧された直後のミストＭの低温分子と噴射された気体によって加熱されたミストＭの高温分子との間で密度差が生じ、滞留中に高温分子から低温分子に熱を効率よく吸収させることができ、より確実に被熱交換液体を気化させることができる。【００７８】
このため、本実施例の気化器１では、例えば、薄膜形成用のガスを生成する場合等でも被熱交換液体が熱交換容器３の付着して排出口９を狭めるようなことがなく、長寿命化を図ることができる。また、本実施例では、噴霧ノズル５の本体部５ｂが熱交換容器３外に露出することで、全体として熱交換容器３の熱の影響を受けにくく、且つ噴霧口５ａが被熱交換液体の噴霧によって冷却されるため、噴霧口５ａの詰まりを抑制して、さらに長寿命化を図ることができる。【００７９】
さらに、本実施例では、熱交換容器３内へ至る被熱交換液体が大流量であっても、上記のように被熱交換液体のミストＭを熱交換容器３内で滞留させることによって、被熱交換液体を確実に気化できる。【００８０】
しかも、上記のように被熱交換液体のミストＭを熱交換容器３内で滞留させることによって被熱交換液体を確実に気化できるので、熱交換容器３を加熱するヒーター１７の加熱温度を低減することが可能となる。【００８１】
この結果、半導体製造装置等の金属を腐食させる被熱交換液体を気化させる装置においては、耐薬品性に優れた樹脂を用いて熱交換容器３を形成する必要があるが、そのような被熱交換液体を確実に気化させつつ、加熱温度の低減によって樹脂製の熱交換容器３の熱による損傷を抑制することができる。【００８２】
例えば、ウエハの表面処理のためのＨＭＤＳ（hexamethyldisilazane）処理においては、通常、バブリング方式を用いて被熱交換液体であるＨＭＤＳ液の気化を行っているが、気化能力が毎分５ｇ程度の流量が限界であり、流量が不安定であるという問題もある。【００８３】
これに対し、本実施例の気化器１では、熱交換容器３を樹脂製にすることでＨＭＤＳ処理に対応することができ、しかも毎分５０ｇ程度までの大流量に対応することが可能であるため、ＨＭＤＳ処理に有用である。【００８４】
また、本実施例では、上記のように被熱交換液体のミストＭを熱交換容器３内で滞留させることによって被熱交換液体を確実に気化できるので、被熱交換液体の噴霧時のキャリアガスの割合を抑えることができる。【００８５】
さらに、本実施例では、構造が簡易であるため、部品点数を大幅に削減することができる。【００８６】
また、本実施例の排出口９は、熱交換容器３の軸心部から径方向に偏倚して位置している。従って、熱交換容器３の内面に噴霧された被熱交換液体が付着して流下するような場合でも、排出口９に至る被熱交換液体を少なくすることができ、長寿命化に寄与することができる。【００８７】
気化した被熱交換液体は、体積が大幅に上昇するため、被熱交換容器３内の圧力を大幅に上昇させ、噴霧された被熱交換液体を排出口９から離反させるように気体が噴射されても、排出口９から確実に排出できる。【００８８】
本実施例において、噴射ノズル７から噴射される気体は、熱交換液体３の噴霧方向とは逆向きの指向性を有しながら熱交換容器３の内面に接触する螺旋状のスワール流ＳＦであるため、熱交換容器３の内面付近で被熱交換液体のミストＭを確実に捉えて、熱交換容器３の内面への付着を確実に抑制できる。しかも、捉えた被熱交換液体のミストＭを熱交換容器３の内面に沿って螺旋状に運ぶので、熱交換容器３の内面とミストＭとの間の熱交換を行わせ、熱交換容器３の内面を有効利用することができると共に滞留時間を確実に長くすることもできる。【００８９】
従って、本実施例では、熱交換容器３の内部での被熱交換液体に対する熱交換を、より適切に行わせることができる。【００９０】
本実施例では、噴射ノズルから噴射されるスワール流ＳＦが加熱された空気であるので、被熱交換液体のミストＭとスワール流ＳＦとの間でも熱交換を行うことで、被熱交換液体の気化が促進できる。
【実施例２】
【００９１】
図８は、本発明の実施例２に係る熱交換器を適用した気化器を示す概略図、図９は、図８の気化器の熱交換容器のボトム部を示す平面図である。実施例２は、実施例１と対応する構成部分に同符号又は同符号にＡを付した符号を用いて重複した説明を省略する。【００９２】
本実施例の気化器１Ａは、実施例１に対し、熱交換容器３Ａのボトム部１５Ａの凹部２９Ａの形状を変更したものである。【００９３】
凹部２９Ａは、内面が全体として放物線状に形成されており、ボディ１１Ａの内面の一部も凹部２９Ａの内面に連続する放物線状に形成されている。【００９４】
これらボディ１１Ａ及びボトム部１５Ａの凹部２９Ａの内面、つまり熱交換容器３Ａの内面が取り外し可能に取り付けられた樹脂製のライナー３６によって被覆されている。【００９５】
ライナー３６は、耐薬品性に優れた塩化ビニルやフッ素樹脂等からなる筒状体であり、本実施例において金属製の熱交換容器３Ａのボディ１１Ａ及びボトム１５Ａの凹部２９Ａの内面に嵌合している。【００９６】
ライナー３６は、熱交換容器３Ａを被熱交換液体から保護すると共に被熱交換液体が付着して化合物が堆積した場合に交換できるようになっている。なお、ライナー３６は、実施例１のように省略しても良いし、他の実施例に適用することも可能である。本実施例において、ライナー３６を省略する場合は、熱交換容器３Ａは、被熱交換液体の種類に応じて樹脂又は金属によって形成すればよい。【００９７】
噴射ノズル７Ａは、周方向において凹部２９Ａの内面に沿っていると共に熱交換容器３Ａの径方向に対して熱交換容器３Ａの一端側に向けて傾斜している。【００９８】
これにより、本実施例では、噴射ノズル７Ａの噴射口７Ａａから噴出された空気が、凹部２９Ａの内面に沿ってらせん状に拡がってスワール流ＳＦを容易に発生させることができる。【００９９】
また、本実施例の気化器１Ａでは、ライナー３６によって熱交換容器３Ａの内面を取り外し可能に被覆することにより、金属によって熱交換容器３Ａを構成しても、被熱交換液体が金属を腐食させる液体である場合にも適用可能であり、且つ長寿命化を図ることも可能となる。【０１００】
その他、本実施例でも、実施例１と同様の作用効果を奏することができる。
【実施例３】
【０１０１】
図１０は、本発明の実施例３に係る熱交換器を適用した加熱冷却装置の概略図、図１１は、図１０の加熱冷却装置を部分的に示す拡大図である。実施例３は、実施例１と対応する構成部分に同符号又は同符号にＢを付した符号を用いて重複した説明を省略する。【０１０２】
本実施例の熱交換器としての加熱冷却装置１Ｂは、被熱交換液体の温度制御に用いられ、被熱交換液体を所望の温度まで加熱又は冷却するものである。この加熱冷却装置１Ｂは、熱交換容器３Ｂと、噴霧ノズル５Ｂと、噴射ノズル７Ｂと、排出口９Ｂとを備えている。【０１０３】
本実施例の熱交換容器３Ｂは、箱状に形成されており、一端に噴霧ノズル５Ｂが設けられ、他端に加熱又は冷却後の被熱交換液体を溜める貯留部３７が区画されている。貯留部３７には、排出口９Ｂが設けられている。【０１０４】
熱交換容器３Ｂには、噴霧ノズル５Ｂに対向して熱交換部３９が設けられている。【０１０５】
図１２は、図１１の加熱冷却装置１Ｂの熱交換部３９を示す熱交換容器３Ｂの断面図である。【０１０６】
熱交換部３９は、図１１及び図１２のように、網目状に配置した伝熱管３９ａを複数層に配置し、各層の伝熱管３９ａを相互に接続したものである。熱交換部３９の伝熱管３９ａは、熱交換容器３Ｂ外に引き出されてヒートポンプ４１に接続されている。ヒートポンプ４１は、熱媒体を伝熱管３９ａを介して熱交換部３９へ送るものである。【０１０７】
この熱交換部３９と貯留部３７との間には、熱交換容器３Ｂに噴射ノズル７Ｂが設けられている。【０１０８】
図１３は、図１１の加熱冷却装置１の噴射ノズル７Ｂの配置を示す熱交換容器３Ｂの断面図である。【０１０９】
噴射ノズル７Ｂは、図１１及び図１３のように、熱交換容器３Ｂの周方向に複数設けられている。本実施例では、熱交換容器３Ｂが内外周を断面矩形に形成された筒状に形成されており、熱交換容器３Ｂの各辺に２つの噴射ノズル７Ｂが配置されている。各噴射ノズル７Ｂは、熱交換部３９に向けて斜めに配置されている。【０１１０】
図１４は、図１１の加熱冷却装置１の噴霧ノズル及び熱交換部を示す概略図である。【０１１１】
本実施例の加熱冷却装置１では、図１４のように、噴霧ノズル５Ｂから被熱交換液体が噴霧されると、被熱交換液体のミストＭが熱交換部３９に至る。熱交換部３９では、被熱交換液体のミストＭと伝熱管３９ａとの間で熱交換が行われ、被熱交換液体の加熱又は冷却が行われる。【０１１２】
このとき、噴射ノズル７Ｂからの気体が被熱交換液体のミストＭに衝突し、被熱交換液体のミストＭが噴射された気体に捉えられ、熱交換容器３内での滞留時間が長くなる。【０１１３】
特に、本実施例では、熱交換部３９が網目状の伝熱管３９ａで構成されているため、熱交換部３９内に乱流が生じて、熱交換部３９内に被熱交換液体のミストＭが滞留しつつ熱交換部３９の伝熱管３９ａとの間で熱交換が行われる。【０１１４】
さらに、滞留中に噴霧された直後の熱交換前のミストＭが熱交換後のミストＭと接触することにより、両ミストＭの分子間の密度差によって熱交換をより確実に行わせることができる。【０１１５】
従って、本実施例では、被熱交換液体のミストＭを確実に滞留させながら加熱又は冷却することができる。【０１１６】
熱交換部３９によって加熱又は冷却された被熱交換液体は、熱交換部３９から流下して貯留部３７に溜められる。溜められた加熱又は冷却後の被熱交換液体は、排出口９から排出される。【０１１７】
本実施例の熱交換器が適用された加熱冷却装置１は、内部で熱交換を行わせる熱交換容器３Ｂと、熱交換容器３Ｂ内に被熱交換液体を噴霧する噴霧ノズル５Ｂと、噴霧された被熱交換液体に対して気体を噴射する噴射ノズル７Ｂと、噴射された気体の上流側に位置し被熱交換液体を排出するための排出口９Ｂとを備える。【０１１８】
従って、加熱冷却装置１Ｂでは、噴射された気体により、噴霧された被熱交換液体の滞留時間を長くすることができ、熱交換容器３の内部での被熱交換液体に対する熱交換を適切に行わせることができ、被熱交換液体を確実に加熱又は冷却できる。【０１１９】
本実施例では、熱交換部３９が網目状の伝熱管３９ａであり、熱交換部３９に一側から対向する噴霧ノズル５Ｂより被熱交換液体が噴霧され、他側から対向する噴射ノズル７Ｂより気体が噴き付けられるので、熱交換部３９で乱流を生じさせて被熱交換液体のミストＭを滞留させ、より適切に熱交換を行わせることができる。
【実施例４】
【０１２０】
図１５は、本発明の実施例４に係る熱交換器を適用した加熱冷却装置を示す概略図である。実施例４は、実施例３と対応する構成部分に同符号又は同符号にＣを付した符号を用いて重複した説明を省略する。【０１２１】
本実施例の熱交換器としての加熱冷却装置１Ｃは、実施例３の加熱冷却装置１Ｃから熱交換部３９を省略し、噴射ノズル７Ｃから冷風又は熱風を噴射することによって被熱交換液体を所望の温度まで冷却又は加熱するものである。【０１２２】
すなわち、本実施例の噴射ノズル７Ｃは、気体を供給するための供給路３８中に気体を冷却又は加熱するための熱交換部４０が設けられている。熱交換部４０は、ヒートポンプ４２に接続され、ヒートポンプ４２からの熱媒体により供給路３８中の気体を冷却又は加熱する。【０１２３】
かかる加熱冷却装置１Ｃでは、噴霧ノズル５Ｃから被熱交換液体が噴霧されると、被熱交換液体のミストＭに対して噴射ノズル７Ｃから気体が噴射される。噴射された気体は、熱交換部４０によって冷却又は加熱されているため、ミストＭに衝突して熱交換を行う。これにより、ミストＭを加熱又は冷却することができる。【０１２４】
また、気体が被熱交換液体のミストＭに衝突することで、被熱交換液体のミストＭが噴射された気体に捉えられ、熱交換容器３内で滞留する。【０１２５】
この滞留時には、噴霧された直後のミストＭと噴射された気体によって冷却又は加熱されたミストＭとの高温分子及び低温分子間で密度差が生じる。【０１２６】
かかる密度差によって、高温分子から低温分子に熱を効率よく吸収させることができ、確実に被熱交換液体のミストＭを加熱又は冷却することができる。【０１２７】
従って、加熱冷却装置１Ｃでは、噴射された気体により、噴霧された被熱交換液体を冷却又は加熱しつつ強制的に滞留させ、且つ滞留中に冷却又は加熱前後の被熱交換液体を接触させて、被熱交換液体を確実に冷却又は加熱できる。【０１２８】
その他、本実施例では、実施例３と同様の作用効果を奏することができる。
【実施例５】
【０１２９】
図１６は、本発明の実施例５に係る熱交換器を適用した蒸気発生装置を有する分離システムの概略図である。実施例５は、実施例１と対応する構成部分に同符号又は同符号にＤを付した符号を用いて重複した説明を省略する。【０１３０】
本実施例の分離システム４３は、実施例１の気化器１と同一構成の熱交換器である第一及び第二の蒸気発生装置１Ｄａ及び１Ｄｂを利用したものである。なお、蒸気発生装置１Ｄａ及び１Ｄｂは、ヒーター１７の温度が実施例１の気化器１よりも低く設定されており、熱交換容器３内に噴霧された被熱交換液体が気化せずに蒸気となるものである。【０１３１】
分離システム４３は、第一の蒸気発生装置１Ｄａの上流側で液体供給管２１Ｄに分離対象となる被熱交換液体の貯留槽４５が接続されている。第一の蒸気発生装置１Ｄａの下流側には、排出管３５Ｄに第一のスチームセパレータ４７ａが接続されている。【０１３２】
第一のスチームセパレータ４７ａは、例えば、比重の違いにより、蒸気成分と濃縮液とを分離するものである。この第一のスチームセパレータ４７ａの蒸気取出管４９は、第一の蒸気発生装置１Ｄａの熱交換容器３Ｄの外周にコイル状に巻き付けられている。これにより、蒸気を利用して熱交換容器３Ｄを補助的に加熱する構成になっている。【０１３３】
第一のスチームセパレータ４７ａの液取出管５１は、第二の蒸気発生装置１Ｄｂの上流側で液体供給管として機能する。第二の蒸気発生装置１Ｄｂは、第一の蒸気発生装置１Ｄａよりも容量が小さい。この第二の蒸気発生装置１Ｄｂの下流側には、排出管３５Ｄに第二のスチームセパレータ４７ｂが接続されている。【０１３４】
第二の蒸気発生装置１Ｄｂの熱交換容器３Ｄの外周には、第一の蒸気発生装置１Ｄａの熱交換容器３Ｄを経た第一のスチームセパレータ４７ａの蒸気取出管４９がコイル状に巻き付けられている。従って、第二の蒸気発生装置１Ｄｂでも、蒸気を利用して補助的に加熱が行われる構成になっている。【０１３５】
第二のスチームセパレータ４７ｂは、第一のスチームセパレータ４７ａと同一構成であり、且つ第一のスチームセパレータ４７ａよりも容量が小さい。この第二のスチームセパレータ４７ｂは、蒸気取出管４９が排出先等に接続され、液取出管５１が濃縮液の貯留槽５３に至っている。【０１３６】
かかる分離システム４３では、例えば被熱交換液体としての重金属汚染溶液を第一の蒸気発生装置１Ｄａに供給すると、実施例１の気化と同様の処理により重金属汚染溶液の蒸気が発生する。【０１３７】
発生した蒸気は、第一の蒸気発生装置１Ｄａの排出管３５を介して第一のスチームセパレータ４７ａに送られる。第一のスチームセパレータ４７ａでは、比重の違いから蒸気と濃縮液とを分離する。【０１３８】
分離された蒸気は、第一のスチームセパレータ４７ａの蒸気取出管４９から取り出されて第一の蒸気発生装置１Ｄａの熱交換容器３Ｄ及び第二の蒸気発生装置１Ｄｂの熱交換容器３Ｄの加熱に用いられた後、排出先に送られる。【０１３９】
一方、分離された濃縮液は、液取出管５１から第二の蒸気発生装置１Ｄｂに送られ、第一の蒸気発生装置１Ｄａと同様にして濃縮液に対する蒸気を発生させる。【０１４０】
発生した蒸気は、排出管３５Ｄを介して第二のスチームセパレータ４７ｂに送られ、第二のスチームセパレータ４７ｂで比重の違いから蒸気と濃縮液とに分離される。【０１４１】
分離された蒸気は、第二のスチームセパレータ４７ｂの蒸気取出管４９から取り出された排出先へ排出され、分離された濃縮液は、貯留槽５３に送られる。【０１４２】
このように、本実施例では、重金属汚染溶液等を分離により浄化することができる。なお、被熱交換液体として重金属汚染溶液の場合について説明したが、これに限定されるものではなく、分離や浄化が要求される溶液であれば被熱交換液体とすることが可能である。【０１４３】
例えば、放射能汚染水も、分離システム４３の被熱交換液体とすることで、放射性物質（濃縮液）と浄化された水（蒸気）とを分離することが可能である。【０１４４】
また、本実施例の分離システム４３は、濃縮装置としても用いることができる。例えば、被熱交換液体として薬剤などのエキスや溶液とすることにより、薬剤等の濃縮が可能である。
【実施例６】
【０１４５】
図１７は、本発明の実施例６に係る熱交換器を適用した気化器を有するエアロゾル形成システムの概略図、図１８は、図１７のエアロゾル形成システムに用いられるベンチュリを示す概略断面図である。なお、実施例６は、実施例１と対応する構成部分に同符号を用いて重複した説明を省略する。【０１４６】
本実施例のエアロゾル形成システム５５は、熱交換器としての気化器１と、流動管５７及び５８と、ベンチュリ５９と、供給管６１と、貯留槽６３とを備え、蒸気圧が相対的に高い第一液体Ｌ１及び蒸気圧が相対的に低い第二液体Ｌ２のエアロゾルＡＳを形成するものである。【０１４７】
気化器１は、実施例１の気化器１と同一構成となっている。気化器１の上流側には、実施例１と同様に、液体供給管２１及びキャリアガスのガス供給管２３が接続されている。液体供給管２１には、第一液体Ｌ１を貯留する貯留槽６５が接続されている。【０１４８】
なお、第一液体Ｌ１は、本実施例においてヘプタンとなっている。ただし、第一液体Ｌ１は、第二液体Ｌ２よりも蒸気圧が高い物質であればよく、ヘプタンに限られるものではない。【０１４９】
かかる気化器１は、第一液体Ｌ１を噴霧ノズル５の噴霧口５ａ（図１参照）から被熱交換液体として噴霧し、気化器１の加熱空間内で噴霧された第一液体Ｌ１を気化させてエアロゾルＡＳのための分散媒ＤＭを形成する。形成された分散媒ＤＭは、気化器１の排出口９（図１参照）から排出される。【０１５０】
気化器１の下流側には、排出口９に接続された流動管５７が設けられている。流動管５７は、気化器１から排出された分散媒ＤＭを流動させる。流動管５７には、ベンチュリ５９が設けられている。【０１５１】
本実施例のベンチュリ５９は、ユニットとして構成されている。すなわち、ベンチュリ５９は、管状のベンチュリ本体５９ａの両端にトップ部５９ｂ及びボトム部５９ｃがボルト５９ｄにより取り付けられて構成されている。【０１５２】
ベンチュリ本体５９ａ、トップ部５９ｂ、及びボトム部５９ｃは、ステンレス等の金属により形成されている。ベンチュリ本体５９ａの内部には、第１チャンバー５９ａａ、絞り部５９ａｂ、第２チャンバー５９ａｃが形成されている。【０１５３】
第１チャンバー５９ａａには、トップ部５９ｂに接続された流動管５７が連通し、この流動管５７から分散媒ＤＭが流入する。第１チャンバー５９ａａの内径は、流動管５７の内径よりも大きく、流入した分散媒ＤＭの流速を低下させるようになっている。【０１５４】
絞り部５９ａｂは、ベンチュリ本体５９ａの内径を局所的に小さくする部分である。すなわち、絞り部５９ａｂは、第１チャンバー５９ａａよりも内径が小さい。本実施例では、絞り部５９ａｂが、第１チャンバー５９ａａの内径を漸次小さくし、最も内径が小さくなった後、内径を漸次大きくして第２チャンバー５９ａｃへと遷移する。【０１５５】
第２チャンバー５９ａｃは、第１チャンバー５９ａａと同等の内径を有しており、絞り部５９ａｂから流入した分散媒ＤＭ及び後述する分散質ＤＳによるエアロゾルＡＳの流速を低下させる。なお、第２チャンバー５９ａｃの内径は、絞り部５９ａｃよりも大きければ、第１チャンバー５９ａａと同等でなくてもよい。また、第２チャンバー５９ａｃの内周には、分散質ＤＭの蓄積を防止するための、フッ素等によるコーティングを形成してもよい。【０１５６】
第２チャンバー５９ａｃからは、ボトム部５９ｃに接続された流動管５８からエアロゾルＡＳが流出する。【０１５７】
本実施例のベンチュリ５９は、ベンチュリヒーター６７が備えられている。ベンチュリヒーター６７は、ベンチュリ５９を加熱するものである。本実施例のベンチュリヒーター６７は、例えばカートリッジヒーターにより構成され、ベンチュリ５９の管壁６０内に埋め込まれている。【０１５８】
ただし、ベンチュリヒーター６７は、他のヒーターを採用することも可能であり、ベンチュリ５９の外周に巻き付ける構成等としてもよい。このベンチュリヒーター６７の構成は、第一液体Ｌ１及び第二液体Ｌ２の蒸気圧等に応じて適宜変更すればよい。【０１５９】
供給管６１は、ベンチュリ５９に連通して、第二液体Ｌ２を供給する。本実施例において、供給管６１は、一端がベンチュリ本体５９ａの絞り部５９ａｂに接続され、絞り部５９ａｂに臨む開口部６１ａを有している。【０１６０】
供給管６１は、フローコントローラ６１ｂが設けられ、第二液体Ｌ２の供給量が制御されている。この供給管６１の他端は、貯留槽６３に連通している。【０１６１】
貯留槽６３には、第二液体Ｌ２が貯留されている。第二液体Ｌ２は、本実施例においてシリコンとなっている。ただし、第一液体Ｌ２は、第二液体Ｌ１よりも蒸気圧が低い物質であればよく、シリコンに限られるものではない。【０１６２】
なお、シリコンは、粘性が高いため、第二液体Ｌ２としてのシリコンは、溶剤としてのヘプタンを３０ｗｔ％程度混合することによって希釈されている。ただし、第二液体Ｌ２として粘性が低い物質を用いる場合は希釈の必要はない。【０１６３】
貯留槽６３には、加圧管６３ａが接続されている。この加圧管６３ａからは、加圧ガス、例えばキャリアガスと同一の窒素が供給され、貯留槽６３内の第二液体Ｌ２を供給のために加圧する。【０１６４】
かかる構成のエアロゾル形成システム５５は、上記のように第一液体Ｌ１を気化器１内部の加熱空間に噴霧して気化させ、エアロゾルＡＳのための分散媒ＤＭを形成し、形成した分散媒ＤＭを気化器１の排出口９から排出する。【０１６５】
排出された分散媒ＤＭは、流動管５７内を流動し、ベンチュリ５９へと流入する。ベンチュリ５９に流入した分散媒ＤＭは、まずベンチュリ本体５９ａの第１チャンバー５９ａａにより流速が下がって充満し、絞り部５９ａｂを通過するときに流速が上がる。この絞り部５９ａｂにおいて、第二液体Ｌ２が供給管６１を介して供給される。【０１６６】
供給された第二液体Ｌ２は、分散媒ＤＭによって供給管６１の開口部６１ａから絞り部５９ａｂ内へと噴霧（微粒子化）されて分散質ＤＳとなり、直ちに分散媒ＤＭと混合される。この結果、分散媒ＤＭ及び分散質ＤＳによりエアロゾルＡＳが形成される。【０１６７】
かかるエアロゾルＡＳの形成時には、分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと分子同士の接触により熱を与える。図１９は、エアロゾルＡＳの分散媒ＤＭ及び分散質ＤＳの分子同士の接触状態の一例を示す概略図である。【０１６８】
また、ベンチュリ５９において、分散媒ＤＭ及び分散質ＤＳが圧縮されるため、分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと熱を確実に与えることができる。【０１６９】
また、本実施例では、ベンチュリ５９がベンチュリヒーター６７により加熱されているので、分散媒ＤＭから分散質ＤＳに与えた熱がベンチュリ５９に吸収されることを抑制でき、より確実に分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと熱を与えることができる。【０１７０】
なお、ベンチュリ５９の加熱温度は、分散媒ＤＭから分散質ＤＳに与えた熱がベンチュリ５９に吸収されることを抑制できる範囲で設定すればよく、例えば６０℃〜８０℃等とする。ただし、ベンチュリの加熱温度は、第一液体Ｌ１及び第二液体Ｌ２に応じて適宜変更することが可能である。【０１７１】
こうして分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと熱を与えることにより、分散質ＤＳの粒子（分子）を分散媒ＤＭの粒子（分子）に結合させると共に分散質ＤＳであるシリコンの粘性を低下させることができる。【０１７２】
かかる分散媒ＤＭと分散質ＤＳとの結合により、分散質ＤＳを確実に運び、供給管６１の開口部６１ａ付近や第２チャンバー５９ａｃ内に分散質ＤＳであるシリコンが堆積すること抑制できる。また、分散質ＤＳの粘性低下により、より確実に供給管６１の開口部６１ａ付近や第２チャンバー５９ａｃ内に分散質ＤＳが堆積すること抑制できる。【０１７３】
このようにしてベンチュリ５９で形成されたエアロゾルＡＳは、ベンチュリ５９の絞り部５９ａから下流側に流動すると、分散媒ＤＭと分散質ＤＳ又は分散媒ＤＭと結合した分散質ＤＳとが圧縮から解放されて混ざり、エアロゾルＡＳの密度を均一化することができる。【０１７４】
以上説明したように、本実施例のエアロゾル形成システム５５は、気化器１の排出口９に接続された流動管５７と、流動管５７に設けられたベンチュリ５９と、ベンチュリ５９に連通する供給管６１と、供給管６１に連通する貯留槽６３とを備える。気化器１は、相対的に蒸気圧の高い第一液体Ｌ１を噴霧口５ａから被熱交換液体として噴霧し加熱空間内で気化させてエアロゾルＡＳのための分散媒ＤＭを形成し、貯留槽６３は、相対的に蒸気圧の低い第二液体Ｌ２を貯留し、ベンチュリ５９は、気化器１の排出口９から排出された分散媒ＤＭを流動させ、貯留槽６３から供給管６１を介して供給された第二液体Ｌ２を噴霧させエアロゾルＡＳのための分散質ＤＳとする。【０１７５】
従って、本実施例では、相対的に気化しやすい第一液体Ｌ１を気化させて分散媒ＤＭとし、ベンチュリ５９での相対的に気化し難い第二液体Ｌ２を噴霧（微粒子化）により分散質ＤＳとすることで、エアロゾルＡＳを容易且つ確実に形成することができる。【０１７６】
また、エアロゾルＡＳの形成時には、分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと分子同士の接触により熱を与えることにより、分散質ＤＳの粒子（分子）を分散媒ＤＭの粒子（分子）に結合させると共に分散質ＤＳであるシリコンの粘性を低下させることができる。【０１７７】
従って、本実施例では、供給管６１の開口部６１ａ付近や第２チャンバー５９ａｃ内に分散質ＤＳであるシリコンが堆積すること抑制できる。【０１７８】
また、本実施例では、ベンチュリ５９において分散媒ＤＭ及び分散質ＤＳが圧縮されるため、分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと熱を確実に与えることができる。【０１７９】
また、ベンチュリ５９で形成されたエアロゾルＡＳは、ベンチュリ５９の絞り部５９ａから下流側に流動すると、圧縮から解放されて分散媒ＤＭ及び分散質ＤＳが混ざり、密度を均一化することができる。【０１８０】
本実施例では、ベンチュリ５９を加熱するベンチュリヒーター６７を備えているので、分散媒ＤＭから分散質ＤＳに与えた熱がベンチュリ５９に吸収されることを抑制でき、より確実に分散媒ＤＭから分散質ＤＳへと熱を与えることができる。
【符号の説明】
【０１８１】
１，１Ａ  気化器（熱交換器）
１Ｂ  加熱冷却装置（熱交換器）
１Ｄａ，１Ｄｂ  蒸気発生装置
３，３Ａ，３Ｂ，３Ｄ  熱交換容器
５ａ，５Ａａ  噴霧口
７ａ，７Ａａ  噴射口
９，９Ｂ  排出口
１１，１１Ａ  ボディ
１７  ヒーター
３９  熱交換部
３９ａ  伝熱管
４３  分離システム
４７ａ，４７ｂ  スチームセパレータ
５５  エアロゾル形成システム
５７，５８  流動管
５９  ベンチュリ
５９ａａ  第１チャンバー
５９ａｂ  絞り部
５９ａｃ  第２チャンバー
６１  供給管
６３  貯留槽
６７  ベンチュリヒーター
ＡＳ  エアロゾル
ＤＭ  分散媒
ＤＳ  分散質
【図１】
2019017220.tif 000003
【図２】
2019017220.tif 000004
【図３】
2019017220.tif 000005
【図４】
2019017220.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2019017220.tif 000010
【図９】
2019017220.tif 000011
【図１０】
2019017220.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2019017220.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
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