(57)【要約】  本発明に係る光学部品調整方法は、所定の観測装置を用いて光学機器に搭載された光学部品の調整を行う方法であって、光学機器における使用波長の光を反射させると共に該使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を透過させる波長選択型の光学部品を該光学機器に取り付ける波長選択型光学部品取付ステップと、波長選択型の光学部品の反射面の裏面側に所定の指標を配置する第一の指標配置ステップと、観測装置の観測範囲内において該観測装置が持つ所定の観測基準と指標とが所定の位置関係を満たすように、波長選択型の光学部品より該観測装置側に光学的に位置する少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する光学部品調整ステップとを含む。
2010061438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の観測装置を用いて光学機器に搭載された光学部品の調整を行う光学部品調整方法において、
前記光学機器における使用波長の光を反射させると共に該使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を透過させる波長選択型の光学部品を該光学機器に取り付ける波長選択型光学部品取付ステップと、
前記波長選択型の光学部品の反射面の裏面側に所定の指標を配置する第一の指標配置ステップと、
前記観測装置の観測範囲内において該観測装置が持つ所定の観測基準と前記指標とが所定の位置関係を満たすように、前記波長選択型の光学部品より該観測装置側に光学的に位置する少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する光学部品調整ステップと、
を含むことを特徴とする光学部品調整方法。
【請求項２】
前記第一の指標配置ステップにおいて、前記指標は、前記波長選択型の光学部品に入射される前記使用波長の光の光路の延長線上に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の光学部品調整方法。
【請求項３】
前記光学機器使用時における前記使用波長の光の光路上に指標を配置する第二の指標配置ステップをさらに含み、
前記第一の指標配置ステップにおいて配置される指標と、前記第二の指標配置ステップにおいて配置される指標は、互いに区別できるよう、色又は形態が異なることを特徴とする、請求項２に記載の光学部品調整方法。
【請求項４】
前記所定の位置関係は、前記観測装置の観測範囲内における前記観測基準と前記指標との位置が一致する関係であることを特徴とする、請求項１から請求項３の何れかに記載の光学部品調整方法。
【請求項５】
前記光学部品調整ステップにおいて前記指標は、前記観測装置が有する対物光学系の被写界深度内に収められることを特徴とする、請求項１から請求項４の何れかに記載の光学部品調整方法。
【請求項６】
前記指標は、所定の照明光により直接照明されることを特徴とする、請求項１から請求項５の何れかに記載の光学部品調整方法。
【請求項７】
前記光学部品調整ステップにおいて前記少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する時以外は、前記使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を吸収する吸収部材を前記波長選択型の光学部品の前記裏面に取り付けることを特徴とする、請求項１から請求項６の何れかに記載の光学部品調整方法。
【請求項８】
所定の観測装置を用いて光学機器に搭載された光学部品の調整を行うのに適した光学部品調整システムにおいて、
前記光学機器に取り付けられた、該光学機器における使用波長の光を反射させると共に該使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を透過させる波長選択型の光学部品と、
前記波長選択型の光学部品の反射面の裏面側に配置された指標と、
を有し、
前記観測装置の観測範囲内において該観測装置が持つ所定の観測基準と前記指標とが所定の位置関係を満たすように、前記波長選択型の光学部品より該観測装置側に光学的に位置する少なくとも一つの光学部品の位置又は角度が調整自在に構成されていることを特徴とする光学部品調整システム。
【請求項９】
前記指標は、前記波長選択型の光学部品に入射される前記使用波長の光の光路の延長線上に配置されることを特徴とする、請求項８に記載の光学部品調整システム。
【請求項１０】
前記指標には、前記使用波長の光の光路上に配置される第一指標と、前記波長選択型の光学部品に入射される該使用波長の光の光路の延長線上に配置される第二指標があって、
前記第一指標と前記第二指標は、互いに区別できるよう、色又は形態が異なることを特徴とする、請求項９に記載の光学部品調整システム。
【請求項１１】
前記指標を直接照明する照明手段をさらに有することを特徴とする請求項８から請求項１０の何れかに記載の光学部品調整システム。
【請求項１２】
前記少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する時以外に前記波長選択型の光学部品の前記裏面に取り付けられる、前記使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を吸収する吸収部材をさらに有することを特徴とする請求項８から請求項１１の何れかに記載の光学部品調整システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、所定の観測装置を用いて光学機器に搭載された光学部品の調整を行うのに適した光学部品調整方法、および該方法を行うのに適した光学部品調整システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザープリンタやプロジェクタ等の光学機器には、例えば特開昭５９−３８７２３号公報に開示されるように、光源から照射されたレーザー光を被走査面上に精度良く走査するため、反射ミラーや偏向器等の各種光学部品が調整工程を経て光学機器の筐体に精度良く取り付けられている。【０００３】
図１〜図３の各図に、従来実施されている調整工程を説明するための図を示す。図１は、調整工程で用いられる周知の調整用望遠鏡５０と一対の光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂの構成を示す斜視図である。図１又は以降の各図中一点鎖線は、反射ミラーや偏向器等の各種光学部品が搭載される図示省略された光学機器の中心軸（光軸）ＡＸである。本明細書において、中心軸ＡＸと平行な方向を「Ｙ方向」と定義し、Ｙ方向と直交し且つ互いに直交する二方向を「Ｘ方向」、「Ｚ方向」と定義する。【０００４】
各種光学部品の調整を行うためには、各種光学部品を光学機器の筐体に取り付けるのに先立ち、調整用望遠鏡５０の光軸を光学機器の中心軸ＡＸ上に合わせ込む必要がある。そのために、作業者は、一対の光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂを光学機器の筐体に形成された取付部に取り付ける。光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂは、取付部が精密に加工されていることから、十字型の各指標の中心（十字をなす各線の交点）２０４ａ、２０４ｂが略中心軸ＡＸ上に位置するように光学機器の筐体に精度良く取り付けられる。この状態で、作業者は、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら望遠鏡本体５０ａの位置をＸ方向又はＹ方向に微調整し、或いは望遠鏡本体５０ａをＸＹ平面上又はＹＺ平面上で回転させて該本体の角度を微調整する。作業者は、調整用望遠鏡５０のレチクルの中心が２つの光軸用指標中心２０４ａ、２０４ｂと重なり合うように、望遠鏡本体５０ａを微調整する。２つの光軸用指標中心２０４ａ、２０４ｂが調整用望遠鏡５０のレチクルの中心に重なり合ったとき、中心軸ＡＸに対する調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業が完了する。【０００５】
図２は、調整用望遠鏡５０、光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂ、および被調整部品の構成を示す斜視図である。図３は、調整用望遠鏡５０、一対の部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂ、および被調整部品の構成を示す斜視図である。図２においては、図面を明瞭化するため、光学機器の筐体に加えて部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの図示を省略する。図３においては、図面を明瞭化するため、光学機器の筐体に加えて光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂの図示を省略する。【０００６】
作業者は、調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業に次いで、光学機器に搭載される光学系を構成する各種光学部品、つまり各種被調整部品を光学機器の筐体に取り付ける。図２又は図３においては、被調整部品として偏向器１（例えばガルバノミラー）と反射ミラー３０１を図示し、他の被調整部品の図示は便宜上省略する。さらに、作業者は、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂ、および図示省略された他の被調整部品を調整するための部品用指標本体を光学機器の筐体に取り付ける。全ての部品用指標本体は、光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂと同じく、光学機器の筐体に精度良く取り付けられる。【０００７】
偏向器１は偏向ユニット１０が、反射ミラー３０１はミラーユニット３００が有している。偏向ユニット１０は、偏向器１の位置又は角度を微調整する微調整用精密ステージ２を有している。調整工程において作業者は、微調整用精密ステージ２を操作して偏向器１の位置調整や角度調整を行う。ミラーユニット３００は、反射ミラー３０１をＹＺ平面上で回動自在に保持するミラー台３０２を有している。調整工程においてミラー台３０２は、光学機器の筐体に仮止めされている。ミラー台３０２が仮止め状態にあるとき、作業者は、ミラー台３０２又は反射ミラー３０１自体を手で動かして、反射ミラー３０１の位置又は角度を微調整する。作業者は、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら偏向器１又は反射ミラー３０１を微調整して、調整用望遠鏡５０のレチクルの中心を部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂと重ね合わせる。２つの部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂが調整用望遠鏡５０のレチクルの中心に重なり合ったとき、偏向器１および反射ミラー３０１の調整が完了する。【０００８】
ところで、調整工程中例えば作業者の身体が調整用望遠鏡５０に接触等して調整用望遠鏡５０が動き、調整用望遠鏡５０の光軸が中心軸ＡＸから外れることがある。この場合、作業者は、微調整用精密ステージ２を操作して偏向器１を中心軸ＡＸから一旦退避させる。作業者は、偏向器１を退避させた後、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら望遠鏡本体５０ａを微調整して、２つの光軸用指標中心２０４ａ、２０４ｂを調整用望遠鏡５０のレチクルの中心に再度重ね合わせる。作業者は、調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業を終えると、微調整用精密ステージ２を操作して偏向器１を元の位置に戻すこととなる。精密な調整作業を継続して行うためには、偏向器１を元の位置に精度良く戻す必要がある。【０００９】
また、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂは、実装スペースの関係上、図３に示される位置、つまり反射ミラー３０１によって折り曲げられた光路上に配置できないことがある。この場合、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂは、例えば偏向器１から反射ミラー３０１に延びる中心軸ＡＸの延長線ＡＸ’上（図３参照）に精度良く配置される。ここで、調整工程中例えば作業者の身体が偏向ユニット１０に接触等して偏向ユニット１０が動き、偏向ユニット１０の位置又は角度がずれることがある。この場合、作業者は、反射ミラー３０１を中心軸ＡＸから一旦退避させるため、反射ミラー３０１自体を大きく回転させるか、ミラーユニット３００を光学機器の筐体から取り外す。作業者は、反射ミラー３０１を退避させた後、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら偏向器１を再調整して、調整用望遠鏡５０のレチクルの中心を２つの部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂに再度重ね合わせる。作業者は偏向器１の再調整を終えると、今度は反射ミラー３０１を元の位置に戻すべく、反射ミラー３０１の再調整を行うこととなる。精密な調整作業を継続して行うためには、反射ミラー３０１の再調整を精度良く行う必要がある。【００１０】
しかし、一旦退避させた偏向器１や反射ミラー３０１を元の位置や角度に精度良く戻すことは至極困難である。偏向器１や反射ミラー３０１を元の位置や角度に精度良く戻すためには、例えば位置再現性や角度再現性を保障する複雑な構造を導入したり、調整時間を長くしたりする解決方法が想定される。しかし、何れの場合も製造コストの増加や量産性の低下等の別の弊害を生じさせるため、有効な解決方法とはいえない。すなわち、従来実施されている調整方法では、調整工程中に生じた調整用望遠鏡や被調整部品の位置や角度のずれを修正する代償として、別の被調整部品の位置精度や角度精度が低下するという弊害が生じてしまう。また、かかる精度低下に起因する光路のずれは被調整部品が多いほど累積するため、調整作業に深刻な影響を及ぼす。【００１１】
なお、複数の光学部品を有する光学機器そのものに関する文献は多々あるものの、以上に述べた背景技術および問題点に関する適切な先行技術文献を見出すことはできなかった。【００１２】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、調整工程中に光学部品等の位置や角度がずれた場合にも、他の光学部品の位置精度や角度精度の低下を招くことなく、かかる光学部品等のずれを修正するのに好適な光学部品調整方法、および該方法を行うのに適した光学部品調整システムを提供することである。【００１３】
上記の課題を解決する本発明の一形態に係る光学部品調整方法は、所定の観測装置を用いて光学機器に搭載された光学部品の調整を行う方法であり、以下の特徴を有する。すなわち、かかる光学部品調整方法は、光学機器における使用波長の光を反射させると共に該使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を透過させる波長選択型の光学部品を該光学機器に取り付ける波長選択型光学部品取付ステップと、波長選択型の光学部品の反射面の裏面側に所定の指標を配置する第一の指標配置ステップと、観測装置の観測範囲内において該観測装置が持つ所定の観測基準と指標とが所定の位置関係を満たすように、波長選択型の光学部品より該観測装置側に光学的に位置する少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する光学部品調整ステップとを含むことを特徴としている。【００１４】
本発明に係る光学部品調整方法によれば、一部領域の波長の光を透過させるように光学部品が構成されているため、指標は、調整位置からずれた光学部品を再調整する際に他の光学部品を移動させることなく観測される。そのため、調整位置からずれた光学部品を他の光学部品の位置精度や角度精度の低下を生じさせることなく再調整できるようになる。また、他の光学部品の精度低下が実質的に生じないため、該精度低下に起因する光路のずれが累積して精密な調整作業を妨げることが無くなる。別の側面によれば、光学部品を大きく移動させる必要がないため、光学部品の再調整にかかる時間が短縮する効果も奏される。【００１５】
第一の指標配置ステップにおいて指標は、例えば波長選択型の光学部品に入射される使用波長の光の光路の延長線上に配置される。ここで、本発明に係る光学部品調整方法は、光学機器使用時における使用波長の光の光路上に指標を配置する第二の指標配置ステップをさらに含む方法としてもよい。この場合に、第一の指標配置ステップにおいて配置される指標と、第二の指標配置ステップにおいて配置される指標は、互いに区別できるよう、色又は形態が異なることが望ましい。【００１６】
上記の所定の位置関係は、例えば観測装置の観測範囲内における観測基準と指標との位置が一致する関係である。【００１７】
光学部品調整ステップにおいて指標は、好ましくは、観測装置が有する対物光学系の被写界深度内に収められる。【００１８】
指標は、観測装置の観測範囲内に鮮明に写るように、所定の照明光により直接照明されることが望ましい。【００１９】
光学部品調整ステップにおいて少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する時以外は、観測装置の観測範囲内に不要な指標が写らないように、使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を吸収する吸収部材を波長選択型の光学部品の裏面に取り付けることが望ましい。【００２０】
また、上記の課題を解決する本発明の一形態に係る光学部品調整システムは、所定の観測装置を用いて光学機器に搭載された光学部品の調整を行うのに適したシステムであり、以下の特徴を有する。すなわち、かかる光学部品調整システムは、光学機器に取り付けられた、該光学機器における使用波長の光を反射させると共に該使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を透過させる波長選択型の光学部品と、波長選択型の光学部品の反射面の裏面側に配置された指標とを有し、観測装置の観測範囲内において該観測装置が持つ所定の観測基準と指標とが所定の位置関係を満たすように、波長選択型の光学部品より該観測装置側に光学的に位置する少なくとも一つの光学部品の位置又は角度が調整自在に構成されていることを特徴としている。【００２１】
ここで、指標には、使用波長の光の光路上に配置される第一指標と、波長選択型の光学部品に入射される該使用波長の光の光路の延長線上に配置される第二指標があって、第一指標と第二指標は、互いに区別できるよう、色又は形態が異なることが望ましい。【００２２】
本発明に係る光学部品調整システムは、指標を観測装置の観測範囲内に鮮明に写すため、該指標を直接照明する照明手段をさらに有する構成としてもよい。【００２３】
また、本発明に係る光学部品調整システムは、少なくとも一つの光学部品の位置又は角度を調整する時以外に観測装置の観測範囲内に不要な指標が写らないように、波長選択型の光学部品の裏面に取り付けられる、使用波長以外の少なくとも一部領域の波長の光を吸収する吸収部材をさらに有することが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】従来実施されている調整工程で用いられる調整用望遠鏡や指標治具の構成を示す斜視図である。
【図２】従来実施されている調整工程で用いられる調整用望遠鏡や指標治具、および被調整部品の構成を示す斜視図である。
【図３】従来実施されている調整工程で用いられる調整用望遠鏡や指標治具、および被調整部品の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態において各種被調整部品を調整する光学部品調整システム、および被調整部品の構成を示す側面図である。
【図５】本発明の実施形態において各種被調整部品を調整する光学部品調整システム、および被調整部品の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態において各種被調整部品を調整する光学部品調整システム、および被調整部品の構成を示す概略図である。
【図７】調整用望遠鏡が有するレチクルのパターンの一例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態の偏向面およびミラー面の反射スペクトルを示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明に係る光学部品調整システムおよび光学部品調整方法を説明する。【００２６】
本発明の実施形態において光学機器（被走査面上にレーザー光を走査する光学機器であって、例えばレーザープリンタやプロジェクタ等）の筐体には複数の光学部品、すなわち被調整部品が取り付けられる。また、各種被調整部品を調整するために必要な指標本体が、調整工程時に光学機器の筐体に複数取り付けられる。なお、本実施形態を説明する各図においては、図面を明瞭化するため、光学機器の筐体の図示は省略する。また、以降の各図において図１〜図３に示された構成と同一又は同様の構成には同一又は同様の符号を付して、原則説明を省略する。【００２７】
図４、図５、図６はそれぞれ、本発明の実施形態において各種被調整部品を調整するためのシステム（光学部品調整システム）の構成を示す側面図、斜視図、概略図である。図４には、調整用望遠鏡５０の構成を概略的に説明するため、調整用望遠鏡５０に内蔵される一部の部品が破線で示されている。図４、図５の各図には、被調整部品として偏向器１１（例えばガルバノミラー）と反射ミラー３０１を図示し、他の被調整部品の図示は便宜上省略する。また、図４、図５の各図には、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂを図示し、他の指標本体の図示は便宜上省略する。図６には、被調整部品として偏向器１１、反射ミラー３０１、４０１、５０１、６０１を図示し、他の被調整部品の図示は便宜上省略する。また、図６には、光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂ、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂ、２２２ａ、２２２ｂを図示し、他の指標本体の図示は便宜上省略する。【００２８】
本実施形態の調整工程においても従来と同じく、先ず、光学機器の筐体の中心軸（光軸）ＡＸに対する調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業が行われる。かかる光軸の合わせ込み作業を、図４又は図５に示される調整用望遠鏡５０の構成図を参照しつつ図１を援用して説明する。【００２９】
調整用望遠鏡５０には、例えばコースタル・オプティカル・システム社のアライメントテレスコープ（[平成２０年１１月検索]、インターネット、URL:<http://www.coastalopt.com/index.php?option=com_docman&task=doc_download&gid=11&Itemid=99999999>参照）が使用される。図４に示されるように、調整用望遠鏡５０は、望遠鏡本体５０ａの内部に対物光学系５４、レチクル５５、および接眼光学系５６を保持している。望遠鏡本体５０ａの外部から対物光学系５４に入射された光は、望遠鏡本体５０ａ内部の図示省略された各種光学素子を透過してレチクル５５上に中間像を結ぶ。作業者は、接眼光学系５６を通じてレチクル５５およびレチクル５５上に結ばれる像を観察する。なお、対物光学系５４、接眼光学系５６はそれぞれ、図４中単レンズで示されているが、実際には複数枚のレンズによって構成されている。【００３０】
図４又は図５に示されるように、調整用望遠鏡５０は、フォーカシングノブ５７を有している。対物光学系５４は、作業者によるフォーカシングノブ５７の操作量に応じて、一部のレンズ群が移動する。フォーカシングノブ５７に連動したレンズ群の移動により、対物光学系５４の焦点位置の調節がなされる。調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業において、対物光学系５４は、略中心軸ＡＸ上に配置された何れの光軸用指標中心２０４ａ、２０４ｂも被写界深度内に収まるように焦点が調節される。なお、偏向器１１を挟んで調整用望遠鏡５０と逆側に延びる、光軸用指標中心２０４ａ、２０４ｂが位置する延長線は厳密には光学機器の中心軸ＡＸではないが、ここでは説明の便宜上、中心軸ＡＸとして説明している。【００３１】
また、調整用望遠鏡５０は、垂直方向調整用マイクロメータ５８、水平方向調整用マイクロメータ５９を有している。垂直方向調整用マイクロメータ５８、水平方向調整用マイクロメータ５９は、レチクル５５と連動している。レチクル５５は、作業者による垂直方向調整用マイクロメータ５８又は水平方向調整用マイクロメータ５９の操作量に応じて、Ｚ方向又はＸ方向に移動する。図７に、調整用望遠鏡５０を覗いたときの該望遠鏡５０の視野範囲６０に写るレチクル５５のパターンの一例を示す。【００３２】
作業者は、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら、垂直方向調整用マイクロメータ５８又は水平方向調整用マイクロメータ５９により、レチクル５５のパターン中心５５ｃを視野範囲６０の中心に調節する。その上で作業者は、図１に示されるように望遠鏡本体５０ａの位置をＸ方向又はＹ方向に微調整し、或いは望遠鏡本体５０ａをＸＹ平面上又はＹＺ平面上で回転させて該本体の角度を微調整して、レチクル５５のパターン中心５５ｃを２つの光軸用指標中心２０４ａ、２０４ｂに重ね合わせる。これにより、調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業が完了する。【００３３】
作業者は、調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業に次いで、各種被調整部品を光学機器の筐体に取り付ける。図６には、光学機器の筐体に取り付けられる被調整部品として、偏向器１１、反射ミラー３０１、４０１、５０１、６０１が示されている。但し、実際には、より多くの被調整部品が光学機器の筐体に取り付けられる。図４又は図５に示されるように、偏向器１１は偏向ユニット１００が、反射ミラー３０１はミラーユニット３００が有している。反射ミラー４０１、５０１、６０１は、反射ミラー３０１と同じく、図示省略されたミラー台によりＹＺ平面上で回動自在に保持されている。【００３４】
偏向ユニット１００は、偏向器１１に加えて微調整用精密ステージ２を有している。微調整用精密ステージ２には、被調整部品の位置又は角度を４軸方向で微調整する汎用的なステージ（例えばシグマ光機株式会社のＴＳＤ−４０９Ｃ、ＴＳＤ−４０９Ｓ、ＴＳＤ−６０９Ｃ、ＴＳＤ−６０９Ｓ等（[平成２０年１１月検索]、インターネット、URL:<http://www.sigma-koki.com/english/C/ManualStages/MultiAxezStages/TSD-XYZQ/TSD-XYZQ.html>参照））が使用される。調整工程において作業者は、微調整用精密ステージ２を操作することにより、偏向器１１の位置をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に微調整し、或いは偏向器１１のＸＹ平面上での角度を微調整することができる。偏向器１１のＹＺ平面上での角度は、図示省略されたアクチュエータにより電気的に又は手動によって調整可能である。【００３５】
作業者は、被調整部品を調整するための部品用指標本体も光学機器の筐体に取り付ける。図６には、光学機器の筐体に取り付けられる部品用指標本体として、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂ、２２２ａ、２２２ｂが示されている。但し、実際には、より多くの部品用指標本体が光学機器の筐体に取り付けられる。なお、筐体に取り付けられている全ての部品用指標本体は寸法差等があるものの、基本的構成は部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂと同じである。【００３６】
部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂは、取付部が精密に加工されていることから、部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂ（部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂが有する十字型指標の中心）が略中心軸ＡＸ上に位置するように光学機器の筐体に精度良く取り付けられる。部品用指標本体２２２ａ、２２２ｂは、部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂが反射ミラー５０１から反射ミラー６０１に延びる中心軸ＡＸの略延長線ＡＸ１上（図６参照）に位置するように光学機器の筐体に精度良く取り付けられる。【００３７】
被調整部品のうち、偏向器１１の偏向面１１Ｐ、および裏面側に部品用指標本体が配置された反射ミラー（ここでは図６に示される反射ミラー６０１）のミラー面６０１Ｒは、特定波長域（具体的には、光学機器による走査に実際に使用される使用波長を含む領域）の光のみを反射するように特殊なコーティングがされている。図８に、偏向面１１Ｐ、ミラー面６０１Ｒの反射スペクトルを示す。図８の縦軸は反射率（単位：％）を、図８の横軸は波長（単位：ｎｍ）をそれぞれ示している。また、図８の実線はＰ偏光の反射スペクトルを、図８の破線はＳ偏光の反射スペクトルをそれぞれ示している。図８に示されるように、偏向面１１Ｐ、ミラー面６０１Ｒの各面は主に３８０〜４５０ｎｍ付近の波長の光を反射させ、それ以外の波長の光を透過させるように構成されている。また、偏向面１１Ｐ、ミラー面６０１Ｒの裏面は、可視光領域およびその近辺の波長の光を透過させるように構成されている。すなわち、偏向器１１、反射ミラー６０１に入射された光は、走査に使用される近辺の波長の光が反射され、それ以外の波長の光が透過される。一方、反射ミラー３０１、４０１、５０１のミラー面は一般的なミラー面であり、例えば可視光領域およびその近辺の波長の光を反射させる。【００３８】
図５、図６等を参照して、偏向器１１および反射ミラー３０１を調整する作業を説明する。作業者は、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら偏向器１１又は反射ミラー３０１の微調整を行う。具体的には、作業者は、調整用望遠鏡５０のフォーカシングノブ５７を操作して、部品用指標中心２１４ａおよび２１４ｂが対物光学系５４の被写界深度内に収まるように対物光学系５４の焦点を調節する。次いで作業者は、微調整用精密ステージ２を操作して偏向器１１の位置調整や角度調整を行いつつ、ミラー台３０２又は反射ミラー３０１自体を手で動かして反射ミラー３０１の位置調整や角度調整も行い、レチクル５５のパターン中心５５ｃを部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂと重ね合わせる。２つの部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂがパターン中心５５ｃに重なり合ったとき、偏向器１１、反射ミラー３０１が共に適正な位置および角度に調整されたことになる。作業者は偏向器１１および反射ミラー３０１の調整を終えると、微調整用精密ステージ２の各クランプを締め、また、ミラー台３０２の本締めを行って、偏向器１１および反射ミラー３０１を光学機器の筐体に固定する。【００３９】
ところで、上述したように偏向器１１の偏向面１１Ｐは一部領域の波長の光を透過することから、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの指標の像が偏向面１１Ｐとその裏面の各面で反射されて、当該指標の二重像が調整用望遠鏡５０の視野範囲６０内で観察される不都合がある。このような二重像の発生を防ぐべく、偏向面１１Ｐの裏面には、調整工程中原則、単色無地の紙等（可視光領域およびその近辺の波長の光を吸収する部材）が貼り付けられている。【００４０】
ここで、調整工程中例えば作業者の身体が調整用望遠鏡５０に接触等して調整用望遠鏡５０が動き、調整用望遠鏡５０の光軸が中心軸ＡＸから外れることがある。この場合、作業者は、偏向面１１Ｐの裏面に貼り付けられた紙を外して、光軸ＡＸと略直交する角度に偏向面１１Ｐを回転させる。作業者は次いで、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながらフォーカシングノブ５７を操作して対物光学系５４の焦点を調節する。対物光学系５４の焦点が偏向面１１Ｐより後方に移動されたとき、調整用望遠鏡５０の視野範囲６０には偏向器１１が一部領域の波長の光を透過することから、偏向面１１Ｐの裏面側に位置する物体の像（走査に使用される近辺の波長の光の像を除く）、つまり光軸用指標本体２０２ａ、２０２ｂの指標の像が観察される。【００４１】
そのため、作業者は、微調整用精密ステージ２を操作して偏向器１１を中心軸ＡＸから退避させるまでも無く、調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業を行うことができる。このように本実施形態の調整方法によれば、微調整用精密ステージ２を操作して偏向器１１を移動させる必要がない。そのため、調整用望遠鏡５０の位置や角度のずれを修正する際に従来生じていた偏向器１１の位置精度や角度精度が低下する問題が有効に避けられる。かかる精度低下が実質的に生じないため、該精度低下に起因する光路のずれが累積して精密な調整作業を妨げることが無くなる。別の側面によれば、偏向器１１を中心軸ＡＸから退避させる必要がないため、調整用望遠鏡５０の光軸の合わせ込み作業にかかる時間が短縮する効果も奏される。【００４２】
次に、図６を参照して、反射ミラー４０１、５０１を調整する作業を説明する。ミラー面６０１Ｒ等の波長選択性を有する面の裏面にも、偏向面１１Ｐの裏面と同様に単色無地の紙等が貼り付けられている。作業者は、反射ミラー４０１、５０１の調整を行う際、ミラー面６０１Ｒの裏面の紙を外す。次いで作業者は、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗きながら反射ミラー４０１又は５０１を微調整する。具体的には、作業者は、調整用望遠鏡５０のフォーカシングノブ５７を操作して、部品用指標中心２２４ａおよび２２４ｂが対物光学系５４の被写界深度内に収まるように対物光学系５４の焦点を調節する。次いで作業者は、各反射ミラーのミラー台や反射ミラー４０１又は５０１自体を手で動かして反射ミラー４０１又は５０１の位置調整や角度調整を行い、レチクル５５のパターン中心５５ｃを部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂと重ね合わせる。２つの部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂがパターン中心５５ｃに重なり合ったとき、反射ミラー４０１および５０１が適正な位置および角度に調整されたことになる。作業者は反射ミラー４０１、５０１の調整を終えると、上記の紙をミラー面６０１Ｒの裏面に再び貼り付ける。また、反射ミラー４０１、５０１のミラー台を本締めして、反射ミラー４０１および５０１を光学機器の筐体に固定する。【００４３】
なお、反射ミラー６０１を調整中、調整用望遠鏡５０の視野範囲６０には、部品用指標本体２２２ａ、２２２ｂの指標だけでなく部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの指標もぼやけて写る。部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの指標は、他の全ての指標と区別できるように十字の角度や色、或いは形そのものが異なっている。そのため作業者は、部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの指標と他の指標（ここでは部品用指標本体２１２ａ、２１２ｂの指標）とを混同することなく被調整部品（ここでは反射ミラー４０１、５０１）の調整を行うことができる。【００４４】
本実施形態においては、偏向器１１や反射ミラー６０１等が一部領域の波長の光しか反射させないため、調整用望遠鏡５０から光学的に離れた位置の指標ほど調整用望遠鏡５０の視野範囲６０内で暗く写りぼやけることが懸念される。調整用望遠鏡５０から光学的に離れた位置の指標も視野範囲６０内で鮮明に写すため、各指標は、例えば白熱灯の白色光等によって直接照らされている。【００４５】
ここで、調整工程中例えば作業者の身体が何れかの被調整部品にぶつかって該被調整部品が調整位置からずれることがある。この場合、作業者は、調整位置からずれた被調整部品を特定して再調整するため、以下の作業を行う。【００４６】
すなわち作業者は、調整用望遠鏡５０のアイピースを覗いてレチクル５５のパターン中心５５ｃが部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂと重なり合っているかを確認する。部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂがパターン中心５５ｃからずれて観察される場合には、偏向器１１又は反射ミラー３０１の少なくとも一方が調整位置からずれている。そのため、作業者は、偏向器１１又は反射ミラー３０１の調整作業を行う。【００４７】
一方、パターン中心５５ｃが部品用指標中心２１４ａ、２１４ｂと重なり合って観察される場合には、偏向器１１、反射ミラー３０１以外の被調整部品が調整位置からずれていることになる。作業者は、調整位置からずれた被調整部品を特定するため、反射ミラー６０１のミラー面６０１Ｒの裏面の紙を外す。部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂがパターン中心５５ｃからずれて観察される場合には、反射ミラー４０１又は５０１の少なくとも一方が調整位置からずれている。そのため、作業者は、反射ミラー４０１又は５０１の調整作業を行う。【００４８】
パターン中心５５ｃが部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂと重なり合って観察される場合には、反射ミラー５０１よりも調整用望遠鏡５０から光学的に離れた被調整部品の何れかが調整位置からずれていることになる。作業者は、上記と同様の作業を続けて、調整位置からずれた被調整部品の特定と、特定された被調整部品の再調整を行う。【００４９】
このように本実施形態の調整方法によれば、調整位置からずれた被調整部品を特定する際に別の被調整部品を移動させる必要がない。そのため、調整位置からずれた被調整部品を再調整する際に従来生じていた該別の被調整部品の位置精度や角度精度が低下する問題が有効に避けられる。かかる精度低下が実質的に生じないため、該精度低下に起因する光路のずれが累積して精密な調整作業を妨げることが無くなる。別の側面によれば、被調整部品を中心軸ＡＸから退避させる必要がないため、被調整部品の再調整にかかる時間が短縮する効果も奏される。【００５０】
なお、反射ミラー６０１のミラー面６０１Ｒおよびその裏面は、中心軸ＡＸに対して傾いて配置されている。そのため、部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂの像は、反射ミラー６０１を透過する際に屈折する。したがって、部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂは、延長線ＡＸ１上に位置する場合、厳密にはレチクル５５のパターン中心５５ｃと重なり合わず該中心５５ｃからずれて観察される。但し、このときのずれ量は微少であるため無視できる範囲である。【００５１】
一方、上記のずれ量は、例えば反射ミラー６０１の角度や屈折率、部品用指標本体２２２ａ、２２２ｂの位置等により既知である。作業者は、より一層精度の高い調整作業を行うため、既知であるずれ量を考慮してパターン中心５５ｃと部品用指標中心２２４ａ又は２２４ｂとの調整を行うようにしてもよい。別の側面によれば、調整精度をより一層向上させるべく、部品用指標本体２２２ａ、２２２ｂを筐体に取り付けたときに部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂが延長線ＡＸ１から上記のずれ量に対応する距離だけずれて位置するように部品用指標本体２２２ａ、２２２ｂを構成してもよい。かかる構成によれば、部品用指標中心２２４ａ、２２４ｂは共に、反射ミラー６０１による屈折と望遠鏡本体５０ａ内部の光学系の光学作用により、レチクル５５のパターン中心５５ｃに像を結ぶこととなる。【００５２】
以上が本発明の実施形態である。本発明に係る光学部品調整システムおよび光学部品調整方法は、上記の構成又は方法に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲において様々な変形が可能である。例えば被調整部品を調整するため、指標は、調整用望遠鏡５０から光学的に最も離れた被調整部品の、調整用望遠鏡５０から離れる側に最低限一つ配置されていればよい。【００５３】
また、各指標の形は十字型に限定されない。各指標は、例えば作業者が指標の中心を特定できる形を有していればよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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