(57)【要約】  クランプユニットＵであって、電子部品５が搭載される基板Ｐを取り付ける冶具１００と、前記冶具１００を介して前記基板Ｐをクランプするクランプ装置５０と、を備え、前記冶具１００は、基板Ｐを取り付けるベース１１０と、前記ベース１１０の下面に固定されたリング状をなすリング部材１２０と、を備え、前記リング部材１２０は、内面１２１のうち、周方向の少なくとも２等配の位置に溝部１２５Ａ〜１２５Ｃを有し、前記クランプ装置５０は、シリンダ本体５１と、前記シリンダ本体５１に供給するエアの空圧により、前記シリンダ本体５１の径方向に移動して前記溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに係止する爪部６７を有するロック部材６５Ａ〜６５Ｃと、を備え、前記溝部１２５Ａ〜１２５Ｃは、前記シリンダ本体６５の軸線Ｌｏに対して径方向に所定角度、傾斜した形状であり、前記爪部６７は、前記溝部１２５Ａ〜１２５Ｃと同様に前記径方向に前記所定角度、傾斜した形状である。
2019064336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クランプユニットであって、
電子部品が搭載される基板を取り付ける冶具と、
前記冶具を介して前記基板をクランプするクランプ装置と、を備え、
前記冶具は、
前記基板を取り付けるベースと、
前記ベースの下面に固定されたリング状をなすリング部材と、を備え、
前記リング部材は、内面のうち、周方向の少なくとも２等配の位置に溝部を有し、
前記クランプ装置は、
シリンダ本体と、
前記シリンダ本体に供給する流体の圧力により、前記シリンダ本体の径方向に移動して前記溝部に係止する爪部を有するロック部材と、を備え、
前記溝部は、前記シリンダ本体の軸線に対して径方向に所定角度、傾斜した形状であり、
前記爪部は、前記溝部と同様に前記径方向に前記所定角度、傾斜した形状である、クランプユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のクランプユニットであって、
前記溝部の断面形状は、平面形状である、クランプユニット。
【請求項３】
請求項１に記載のクランプユニットであって、
前記溝部の断面形状は、Ｖ字形状である、クランプユニット。
【請求項４】
請求項１に記載のクランプユニットであって、
前記溝部の断面形状は、円弧形状である、クランプユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示される技術は、電子部品が搭載される基板をクランプする技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品に基板を搭載する部品搭載装置が知られている。下記特許文献１には、基板に対して搭載する電子部品を、一対のクランプ爪を用いてクランプする方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２６９７９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電子部品搭載装置は、クランプ装置によりクランプした基板に対して、電子部品を搭載することがある。基板の位置や向きなどを調整するため、クランプ装置全体が軸方向や回転方向に変位できる場合がある。そのため、クランプ装置を軸方向や回転方向に変位させた場合でも、基板がずれないように、基板を強固にクランプすることが求められていた。【０００５】
本明細書で開示される技術は、上記の課題に鑑みて創作されたものであって、クランプ装置を軸方向や回転方向に変位させた場合に、基板を強固にクランプすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書で開示されるクランプユニットであって、電子部品が搭載される基板を取り付ける冶具と、前記冶具を介して前記基板をクランプするクランプ装置と、を備え、前記冶具は、前記基板を取り付けるベースと、前記ベースの下面に固定されたリング状をなすリング部材と、を備え、前記リング部材は、内面のうち、周方向の少なくとも２等配の位置に溝部を有し、前記クランプ装置は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に供給する流体の圧力により、前記シリンダ本体の径方向に移動して前記溝部に係止する爪部を有するロック部材と、を備え、前記溝部は、前記シリンダ本体の軸線に対して径方向に所定角度、傾斜した形状であり、前記爪部は、前記溝部と同様に前記径方向に前記所定角度、傾斜した形状である。【０００７】
本構成では、爪部が溝部に嵌合して係止する構成であることから、クランプ装置に対して冶具が周方向に回転することを抑制できる。また、溝部は、シリンダ本体の軸線に対して傾斜した形状であるから、冶具が軸方向へも抜け難くなる。そのため、基板を強固にクランプすることができる。【０００８】
クランプユニットの一実施形態として、前記溝部の断面形状は、平面形状であることが好ましい。【０００９】
クランプユニットの一実施形態として、前記溝部の断面形状は、Ｖ字形状であることが好ましい。【００１０】
クランプユニットの一実施形態として、前記溝部の断面形状は、円弧形状であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本明細書で開示される技術によれば、基板を強固にクランプすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態１における、部品搭載装置の平面図
【図２】部品搭載装置の正面図
【図３】部品搭載装置の側面図
【図４】ロボットの斜視図
【図５】ロボットの一部を拡大した斜視図
【図６】ロボットの側面図
【図７】冶具の斜視図
【図８】冶具を裏返した状態を示す斜視図
【図９】冶具の下面図
【図１０】クランプ装置の平面図
【図１１】図１０のＡ−Ａ線断面図
【図１２】図１０のＡ−Ａ線断面図
【図１３】図１０のＡ−Ａ線断面図
【図１４】リング部材及びロック部材の斜視図
【図１５】溝部の断面図（図１２のＢ−Ｂ線断面図）
【図１６】実施形態２における、リング部材とロック部材の平面図
【図１７】リング部材とロック部材の斜視図
【図１８】溝部の断面図
【図１９】他の実施形態における、溝部の断面図
【図２０】カムとロック部材の側面図
【図２１】ロック部材を図２０のＣ方向から見た図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜実施形態１＞
１．部品搭載装置の説明
図１は部品搭載装置の平面図、図２は部品搭載装置の正面図、図３は部品搭載装置の側面図である。部品搭載装置１は、立体形状をした基板Ｐに部品５を搭載する装置である。尚、以下の説明において、図１の左右方向（基板Ｐの搬送方向）をＸ方向、図１の上下方向（基板の搬送方向に対して直交する方向）をＹ方向とする。また、図２、３の上下方向をＺ方向とする。
【００１４】
また本明細書において、基板Ｐとは、「電子部品５が搭載される対象物」を指し、特に形状が板状であることを限定するものではない。
【００１５】
部品搭載装置１は、基台１０と、ロボット２０と、基板Ｐに対して部品５を搭載するヘッドユニット７０と、ヘッドユニット７０を基台１０上において平面方向（ＸＹ方向）に移動させる移動装置８０と、を含む。
【００１６】
ロボット２０は、基板Ｐを保持してハンドリングする装置である。ハンドリングとは、保持した基板Ｐを移動することである。図１に示すように、ロボット２０は、基台１０上に配置されている。ロボット２０は、ロボット本体３０と、ロボット本体３０に取り付けられたクランプ装置５０とを含む。クランプ装置５０は、冶具Ｕを介して、基板Ｐをクランプする装置である。
【００１７】
以下、ロボット本体３０の構成を説明する。ロボット本体３０は、図４〜図６に示すように、支柱３１と、支柱３１に沿ってＺ方向にスライドするスライド部３３と、モータＭ１を有している。支柱３１には、Ｚ方向に沿って、ボールねじ軸Ｌｚが取り付けられている。ボールねじ軸Ｌｚは、スライド部３３に取り付けられたナット３４と共に、ボールねじ機構を構成している。モータＭ１は、ボールねじ機構の動力源であり、ベルト３５を介してボールねじ軸Ｌｚに連結されている。そのため、モータＭ１を駆動してボールねじ軸Ｌｚを回転させると、ボールねじ機構の作用により、スライド部３３が支柱３１に沿ってＺ方向にスライドすることが出来る。
【００１８】
また、ロボット本体３０は、第１回転軸Ｌｓ１と、第１回転軸Ｌｓ１の先端に取り付けられた回転板４１と、モータＭ２を有している。第１回転軸Ｌｓ１は、軸線が水平方向に沿った水平軸であり、スライド部３３に固定されたプレート４０に対して、軸受け３７を介して回転可能に支持されている。モータＭ２のモータ軸は、ベルト３８を介して第１回転軸Ｌｓ１に連結されている。そのため、モータＭ２を駆動させると、第１回転軸Ｌｓ１が回転し、回転板４１が第１回転軸Ｌｓ１を中心に、Ｓ１方向に回転する。Ｓ１方向への回転を以下、チルトと呼ぶ。
【００１９】
また、ロボット本体３０は、第２回転軸Ｌｓ２と、第２回転軸Ｌｓ２の先端に取り付けられたクランプ装置５０と、モータＭ３を有している。第２回転軸Ｌｓ２は、チルト角がゼロ度の状態で、鉛直な鉛直軸であり、回転板４１に対して軸受け４３を介して回転可能に支持されている。モータＭ３のモータ軸はベルト４５を介して第２回転軸Ｌｓ２に連結されている。そのため、モータＭ３を駆動させると、第２回転軸Ｌｓ２が回転し、クランプ装置５０が第２回転軸Ｌｓ２を中心にＳ２方向に回転する。
【００２０】
上記のように、ロボット本体３０は３つの駆動軸Ｌｚ、Ｌｓ１、Ｌｓ２を備えており、Ｚ方向（上下方向）への移動と、Ｓ１方向及びＳ２方向への回転の３つの自由度を有している。そして、各モータＭ１〜３を駆動させることで、クランプ装置５０に対して、以下（１）〜（３）の動きを独立又は複合的に行わせることが出来る。尚、自由度とは、ロボット１の運動の融通性を表す尺度であり、独立して行うことが出来る運動の数を意味する。一般に、駆動軸の数が、自由度の数となる。
【００２１】
（１）Ｚ方向への直線移動
（２）Ｓ１方向への回転（チルト）
（３）Ｓ２方向への回転
【００２２】
ロボット２０は、クランプ装置５０によりクランプされた基板Ｐに対して部品５を搭載する際（搭載前）に、モータＭ２やモータＭ３を駆動して回転軸Ｌｓ１や回転軸Ｌｓ２を中心にクランプ装置５０を回転することにより、部品装着面Ｐａが水平になるように、基板Ｐの向きや角度を調整する。また、モータＭ１を駆動してＺ方向（上下方向）にクランプ装置５０を移動することにより、部品装着面ＰａのＺ方向（上下方向）の高さが所定高さとなるように調整する。
【００２３】
部品搭載装置１は、ヘッドユニット７０と、ヘッドユニット７０を基台１０上において平面方向（ＸＹ方向）に移動させる移動装置８０と、を含む。
【００２４】
ヘッドユニット７０は、図２に示すように、ユニット本体７１と、吸着ヘッド７３と、ディスペンサヘッド７５とを備えている。吸着ヘッド７３は、先端に負圧を生じさせることで部品５を保持することが出来る。ディスペンサヘッド７５は、先端に吐出孔を有しており、接着剤等を吐出する。
【００２５】
吸着ヘッド７３とディスペンサヘッド７５は、ユニット本体７１に対してＸ方向に並んで取り付けられている。これら吸着ヘッド７３とディスペンサヘッド７５は、モータＭ６を駆動させることで、ユニット本体７１に対して、Ｚ方向に移動することが出来る。また、ヘッドユニット７０には、基板認識カメラ７７や変位センサ７８が搭載されている。
【００２６】
移動装置８０は、ヘッドユニット７０を基台１０上にて、Ｘ方向及びＹ方向に移動させる装置である。移動装置８０は、Ｙ方向に沿った一対のＹビーム８１と、Ｘビーム８５と、第１直線軸８３、第２直線軸８７、モータＭ４、モータＭ５を備えている。
【００２７】
Ｘビーム８５は、Ｘ方向に長い形状であり、Ｙビーム８１に対して、Ｘ方向の両端をスライド可能に支持されている。第１直線軸８３は、Ｙビーム８１に取り付けられ、Ｙ方向に沿っている。第１直線軸８３は、例えば、ボールねじ軸である。第１直線軸８３は、Ｘビーム８５に取り付けられたボールナットと共にボールねじ機構を構成している。そのため、モータＭ４を駆動して、第１直線軸８３を回転させると、ボールねじ機構の作用により、Ｙビーム８１に対して、Ｘビーム８５及びヘッドユニット７０をＹ方向に移動させることが出来る。
【００２８】
ヘッドユニット７０は、Ｘビーム８５に対して、スライド可能に取り付けられている。第２直線軸８７は、Ｘビーム８５に取り付けられ、Ｘ方向に沿っている。第２直線軸８７は、例えば、ボールねじである。第２直線軸８７は、ヘッドユニット７０に取り付けられたボールナットと共にボールねじ機構を構成している。そのため、モータＭ５を駆動して、第２直線軸８７を回転させると、ボールねじ機構の作用により、Ｘビーム８１に対して、ヘッドユニット７０をＸ方向に移動させることが出来る。
【００２９】
このように移動装置８０は、駆動源としてモータＭ４、モータＭ５を備えており、モータＭ４の駆動により、ヘッドユニット７０及びＸビーム８５を基台１０上においてＹ方向に移動することが出来、モータＭ５の駆動により、ヘッドユニット７０を基台１０上においてＸ方向に移動することが出来る。
【００３０】
以上のことから、基台１０上に設置された部品供給部１１の上方にヘッドユニット７０を移動した後、吸着ヘッド７３を所定高さまで下降させつつ、部品５を吸着することで、部品供給部１１から部品５を取り出すことができる。
【００３１】
また、部品の取り出し後、ヘッドユニット７０をロボット２０に保持された基板Ｐの上方に移動した後、吸着ヘッド７３を所定高さまで下降させつつ、部品５が基板Ｐの高さに至るタイミングに合わせて負圧による部品の保持を解くことで、ロボット２０に保持された基板Ｐ上に、部品５を搭載することができる。
【００３２】
尚、基台１０上には、部品認識カメラ９０が設置されおり、吸着ヘッド７３により保持された部品５を画像認識できるようになっている。
【００３３】
２．クランプユニット
クランプユニットＵは、図６に示すように、電子部品５が搭載される基板Ｐを取り付ける冶具１００と、冶具１００を介して基板Ｐをクランプ（固定）するクランプ装置５０と、とから構成されている。
【００３４】
図７は冶具の斜視図、図８は冶具を裏返した状態の斜視図、図９は冶具の下面図である。図６〜図９に示すように、冶具１００は、金属製のベース１１０と、リング部材１２０とを備える。
【００３５】
ベース１１０は平板状である。ベース１１０は、基板Ｐを位置決めする位置決め孔１１５を有している。一方、基板Ｐの底面には、位置決め孔１１５の相手となる突起Ｐｂが設けられており、突起Ｐｂを位置決め孔１１５に嵌合させることで、ベース１１０に対して、基板Ｐを回り止めしつつ、位置を決めることが出来る。また、ベース１１０に対する基板Ｐの固定はボルト締めにより行うことが出来る。尚、図７に示す符号１１７、１１８は、基板固定用のナットと、ボルトである。
【００３６】
リング部材１２０は、ベース１１０の下面に、溶接等により固定されている。リング部材１２０は、環状（リング形状）である。リング部材１２０の内面１２１には、周方向の３等配の位置（すなわち１２０°間隔）に、溝部１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃが設けられている。溝部１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃの断面形状は、図１５に示すように、平面形状である。具体的には、爪部６７に対する当接面となる、溝部１２５の奥面部分が平面形状である。尚、図１５は、溝部１２５の傾斜に垂直な断面（図１２のＢ−Ｂ線断面）である。
【００３７】
図５はクランプ装置５０の斜視図、図１０はリング部材１２０をクランプしたクランプ装置の平面図、図１１〜図１３はクランプ装置５０の断面図である。
【００３８】
クランプ装置５０は、空圧式であり、図５、図１１〜１３に示すように、筒状をしたシリンダ本体５１と、ピストン５３と、結合部材５４と、カム５５と、可動部材６１と、ロック部材６５とを備える。
【００３９】
ピストン５３は、シリンダ本体５１の内部に位置している。シリンダ本体５１の内部空間は、ピストン５３により、２つの空気室Ｆ１、Ｆ２に区画されている。シリンダ本体５１には、各空気室Ｆ１、Ｆ２に連通して、エアの供給経路Ｑ１、Ｑ２が設けられている。尚、エアが本発明の「流体」に相当する。
【００４０】
カム５５は、シリンダ本体５１の軸線Ｌｏ上に位置している。カム５５は、シリンダ本体５１の上部壁５２を貫通して上方に突出している。カム５５は、結合部材５４を介してピストン５３に固定されている。
【００４１】
シリンダ本体５１の２つの空気室Ｆ１、Ｆ２に供給経路Ｑ１、Ｑ２を通じて、エアを交互に供給することで、ピストン５３及びカム５５を、シリンダ本体５１の軸線Ｌｏに沿った軸方向Ｌｖに往復移動することが出来る。
【００４２】
カム５５は、ピストン５３の軸方向Ｌｖの運動を利用して、ロック部材６５Ａ〜６５Ｃをシリンダ本体５１の径方向Ｌｒに変位させる機能を果たす。径方向Ｌｒとは、シリンダ本体５１の中心に接近する方向及び中心から拡がる方向である。
【００４３】
可動部材６１Ａ〜６１Ｃは、シリンダ本体５１の上部であって、周方向の３等配の位置に配置されている。可動部材６１は、径方向Ｌｒに長いブロック状であり、シリンダ本体５１に設けられたガイド溝５９に沿って、シリンダ本体５１の径方向Ｌｒに移動可能である。
【００４４】
また、周方向の３等配の位置に配置された各可動部材６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃには、その上面に重ねてロック部材６５Ａ、６５Ｂ、６５Ｃが取り付けられている。
【００４５】
ロック部材６５Ａ、６５Ｂ、６５Ｃは、リング部材１２０の溝部１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃと対応している。
【００４６】
ロック部材６５Ａ、６５Ｂ、６５Ｃは、Ｌ字型に屈曲しており、先端部に爪部６７を有している。爪部６７の断面形状は、平面形状である。具体的には、溝部１２５に対する当接面となる、爪部６７の外面６８が平面形状である。
【００４７】
ロック部材６５Ａ、６５Ｂ、６５Ｃの爪部６７は、リング部材１２０の各溝部１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃに嵌合可能である。尚、嵌合時における、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに対する爪部６７の隙間は、周方向のたつきを抑えるため、小さいことが好ましい。
【００４８】
図１１は、クランプ装置５０の断面図であり、解放状態を示している。この状態では、ロック部材６５Ａの爪部６７は、リング部材１２０の内面１２１よりも中心側（図１１の左側）に位置しており、溝部１２５Ａに対して非嵌合である。
【００４９】
図１１の状態から、シリンダ本体５１に供給経路Ｑ２よりエアを供給して、カム５５を突出方向（図１１の上方向）に変位させると、可動部材６１Ａは、カム５５の先端部に形成された作用部５６Ａの外面５７を介して、径方向Ｌｒの外向きに押される（図１１の右方向）。これにより、ロック部材６５Ａは、径方向Ｌｒの外向きに移動する。
【００５０】
ロック部材６５Ａが、図１１に示す解放位置Ｒ１から図１２に示すロック位置Ｒ２に至ると、爪部６７は、リング部材１２０の内面１２１に設けられた溝部１２５Ａに対して嵌合して係止する。このとき、溝部１２５Ａに嵌合した爪部６７の外面６８は、溝部１２５Ａに面当りする。
【００５１】
また同様に、ロック部材６５Ｂの爪部６７は、リング部材１２０の溝部１２５Ｂに嵌合して係止し、ロック部材６５Ｃの爪部６７は、リング部材１２０の溝部１２５Ｃに嵌合して係止する（図１４参照）。
【００５２】
このように、エアの圧力を利用して、ロック部材６５Ａ〜６５Ｃが径方向Ｌｒの外側に拡がるように変位し、各ロック部材６５Ａ〜６５Ｃの爪部６７が、リング部材１２０の各溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに嵌合して係止する。このとき、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに嵌合した各ロック部材６５Ａ〜６５Ｃの爪部６７の外面６８は、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに面当りする。そして、リング部材１２０は、内面１２１の３等配の位置を、３つのロック部材６５Ａ〜６５により、径方向Ｌｒの外向きに押される状態となる。以上により、リング部材１２０及び冶具１００全体を、クランプして保持することが出来る。そして、エアの圧力を保持することで、クランプ状態を保持できる。
【００５３】
また、図１３に示すように、リング部材１２０の溝部１２５Ａの形状は、シリンダ本体５１の軸線Ｌｏに対して、径方向Ｌｒに所定角度θ１、傾斜した形状である。具体的には、上側（抜け方向の前側）から下側（抜け方向の奥側）に向かって、溝深さＤが浅くなっており、リング部材１２０の抜け方向（図１３の上方向）に対して逆テーパーである。また、他の溝部１２５Ｂ、１２５Ｃも同形状であり、軸線Ｌｏに対して径方向Ｌｒに所定角度θ１、傾斜した形状である。
【００５４】
一方、ロック部材６５Ａの爪部６７の外面（溝部への当接面）６８は、溝部１２５Ａと同様に、軸線Ｌｏに対して径方向Ｌｒに所定角度θ１、傾斜した形状である。すなわち、溝部１２５Ａと同じ方向に、同じ角度、傾斜した形状である。また、他のロック部材６５Ｂ、６５Ｃの爪部６７も同形状であり、軸線Ｌｏに対して径方向Ｌｒに所定角度θ１、傾斜した形状である。
【００５５】
このように、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃの形状を、リング部材１２０の抜け方向（図１１〜１３の上方向）に対して逆テーパーとなる斜面にしておけば、図１１〜図１３の上方向に力が加わっても、リング部材１２０がクランプ装置５０から抜け難い構造となる。
【００５６】
次にクランプ装置５０による冶具１００の保持を解除する場合について説明する。
シリンダ本体５１にエアを供給して、カム５５を後退方向（図１２の下方向）に変位させると、可動部材６１Ａ〜６１Ｃは、カム５５により、径方向Ｌｒの内向きに引き込まれる（図１２の左方向）。これにより、各ロック部材６５Ａ〜６５Ｃの爪部６７が、リング部材１２０の各溝部１２５Ａ〜１２５Ｃから離間するので、保持は解除される。
【００５７】
３．効果説明
本構成では、ロック部材６５Ａ〜６５Ｃの爪部６７がリング部材１２０の溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに嵌合して係止する構成であることから、クランプ装置５０に対して冶具１００が周方向に回転することを抑制できる。また、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃは、シリンダ本体５１の軸線Ｌｏに対して傾斜した形状であるから、冶具１００が軸方向Ｌｖへも抜け難くなる。
【００５８】
そのため、基板Ｐを強固にクランプすることができ、ロボット２０でハンドリングした時に、基板Ｐの位置ずれを抑えることが出来る。従って、基板Ｐに対する部品の搭載精度を高めることが出来る。
【００５９】
＜実施形態２＞
実施形態１では、リング部材１２０に対して、周方向の３等配の位置に、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃを設けた構成を例示した。
【００６０】
実施形態２では、図１６に示すように、リング部材２２０の内周２２１に対して、周方向の２等配の位置に溝部２２５Ａ、２２５Ｂを設けている。溝部２２５Ａ、２２５Ｂの断面形状は、図１７、図１８に示すように、Ｖ字形状である。
【００６１】
また、実施形態２では、図１６に示すように、ロック部材６５Ａ、６５Ｂの爪部２６７を円柱状のピンにより構成している。そして、図１７、図１８に示すように、ピン形状の爪部２６７を、Ｖ字形状の溝部２２５Ａ、２２５Ｂに対して、係止させている。溝部２２５Ａ、２２５ＢをＶ字形状にした場合、平面形状に比べて、クランプ装置５０に対する冶具１００の周方向のがたつきを小さくすることが出来る。
【００６２】
以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００６３】
（１）実施形態１では、ロボット２０の一例として、３つの駆動軸Ｌｚ、Ｌｓ１、Ｌｓ２を備え、３つの自由度を持つ装置を例示した。ロボット２０の構成は、実施形態１の構成に限定されるものではなく、他の構成、例えば多関節ロボットでもよい。また、自由度も３に限定されるものではない。４以上でもよい。
【００６４】
（２）実施形態１では、リング部材１２０の内面１２１の３等配の位置に、溝部１２５Ａ〜１２５Ｃを設けた。また、実施形態２では、リング部材２２０の内周２２１の２等配の位置に、溝部２２５Ａ、２２５Ｂを設けた。溝部は、リング部材の内面のうち、少なくとも２等配以上の位置に設けられていればよく、４等配や、５等配の位置に設けるようにしてもよい。
【００６５】
（３）実施形態２では、リング部材２２０の内周２２１に設けた溝部２２５Ａ、２２５Ｂの断面形状をＶ字形状とした。これ以外にも、図１９に示すように、溝部２２５の断面形状を円弧形状にしてもよい。
【００６６】
（４）実施形態１では、カム５５を後退方向（図１２の下方向）に変位させることで、可動部材６１Ａ〜６１Ｃを、径方向Ｌｒの内向き（図１２の左方向）に引き込んで、ロック部材６５Ａ〜６５Ｃの爪部６７を、リング部材１２０の各溝部１２５Ａ〜１２５Ｃから離間させた。溝部１２５Ａ〜１２５Ｃに対する爪部６７の係止解除は、カム５５を使用する場合に限らず、例えば、ばね等の弾性力を利用して、ロック部材６５Ａ〜６５Ｃをロックの解除方向（図１２の左方向）に移動させるようにしてもよい。
【００６７】
また、図２０は、図２１は、カム５５によるロック部材６５Ａの引き込み構造を示した図である。図２０、図２１に示すように、カム５５の先端に設けられた作用部５５Ａは、断面形状がＴ字型をしており、ロック部材６５Ａに設けられた作用溝６６Ａに対してスライド可能に嵌合する。作用部５５Ａと作用溝６６Ａは共に傾斜している。カム５５を、図２０の下方に移動させると、作用部５６Ａの内面５８を介して、ロック部材６５Ａが径方向Ｌｒの内向きに、引かれる構成となっている。
【００６８】
（５）実施形態１では、クランプ装置５０を空圧式としたが、油圧式であってもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１...部品搭載装置
１０...基台
５...部品
２０...ロボット
５０...クランプ装置
５１...シリンダ本体
５３...ピストン
５５...カム
６１Ａ〜６１Ｃ...可動部材
６５Ａ〜６５Ｃ...ロック部材
６７...爪部
１００...冶具
１１０...ベース
１２０...リング部材
１２５Ａ〜１２５Ｃ...溝部
Ｐ...基板
Ｌｏ...軸線
Ｌｖ...軸方向
Ｌｒ...径方向
Ｕ...クランプユニット
θ１...所定角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年12月12日(2018.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クランプユニットであって、
電子部品が搭載される基板を取り付ける冶具と、
前記冶具を介して前記基板をクランプするクランプ装置と、を備え、
前記冶具は、
前記基板を取り付けるベースと、
前記ベースの下面に固定されたリング状をなすリング部材と、を備え、
前記リング部材は、内面のうち、周方向の３等配の位置に３つの溝部を有し、
前記クランプ装置は、
シリンダ本体と、
前記シリンダ本体に供給する流体の圧力により、前記シリンダ本体の径方向に移動して３つの前記溝部にそれぞれ係止する爪部を有する３つのロック部材と、を備え、
３つの前記溝部は、前記リング部材の上面側から下面側に向かって溝深さが浅くなるように、前記シリンダ本体の軸線に対して径方向に所定角度、傾斜した形状であり、
３つの前記ロック部材の３つの前記爪部は、３つの前記溝部と同様に前記径方向に前記所定角度、傾斜した形状である、クランプユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のクランプユニットであって、
３つの前記溝部の断面形状は、平面形状である、クランプユニット。
【請求項３】
請求項１に記載のクランプユニットであって、
３つの前記溝部の断面形状は、Ｖ字形状である、クランプユニット。
【請求項４】
請求項１に記載のクランプユニットであって、
３つの前記溝部の断面形状は、円弧形状である、クランプユニット。
【国際調査報告】
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