(57)【要約】  本開示の押圧部材は、対象基板に当接する当接面を有し、前記第１方向への弾性を有する変形部と、前記変形部にそれぞれ繋がる２つの固定部とを備える。前記変形部は、前記第１方向に沿う複数の第１領域と、前記第２方向に沿う複数の第２領域とを有する。前記変形部は、前記第１領域と前記第２領域とが交わる位置が屈曲している。前記変形部における前記第１方向の総延長Ｌ１は、前記変形部の高さの３倍以上であり、前記変形部における前記第２方向の総延長Ｌ２は、前記変形部の幅の１．５倍以上であり、Ｌ２がＬ１の１倍以上３倍以下である。
2019124443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に載置される対象基板の側面に当接し、前記対象基板を第１方向に沿って押圧して保持する押圧部材であって、
前記対象基板に当接する当接面を有し、前記第１方向への弾性を有する変形部と、
前記第１方向と直交する第２方向に離間して位置し、前記変形部にそれぞれ繋がる２つの固定部とを備え、
前記変形部は、
前記第１方向に沿う複数の第１領域と、
前記第２方向に沿う複数の第２領域とを有し、
前記第１領域と前記第２領域とが交わる位置は屈曲しており、
前記変形部における前記第１方向の総延長Ｌ１は、前記変形部の高さの３倍以上であり、
前記変形部における前記第２方向の総延長Ｌ２は、前記変形部の幅の１．５倍以上であり、
Ｌ２がＬ１の１倍以上３倍以下である、押圧部材。
【請求項２】
基台に載置される対象基板の側面に当接し、前記対象基板を第１方向に沿って押圧して保持する押圧部材であって、
前記対象基板に当接する第１側面と、該第１側面に対向する第２側面とを有し、前記第１方向への弾性を有する変形部と、
前記第１方向と直交する第２方向に離間して位置し、前記変形部にそれぞれ繋がる第１固定部および第２固定部とを備え、
前記変形部は、
前記第１方向に沿う複数の第１領域と、
前記第２方向に沿う複数の第２領域とを有し、
前記第１領域と前記第２領域とが交わる位置が屈曲しており、
さらに前記変形部は、
前記第１方向に沿って中心を通る中心線を境とした一方に、
前記第２側面に開口し、前記第１方向と反対の第３方向に延びたのちに、前記中心線から離れる方向に曲がって延びる第１スリットと、
前記第１側面側に開口し、前記第１方向に延びたのちに、前記第１スリットよりも前記第２側面の近くにおいて前記中心線に近づく方向に曲がって延びる第２スリットと、
該第２スリットより前記中心線から離れた位置において前記第２側面側に開口し、前記第３方向に延びる部分を有する第３スリットと、
該第３スリットより前記中心線から離れた位置において前記第１側面側に開口し、前記第１方向に延びる部分を有する第４スリットとを備え、
前記中心線を境とした他方に、
前記中心線に対し前記第１スリット〜前記第４スリットと線対称に位置する第５スリット〜第８スリットを備える、押圧部材。
【請求項３】
基台に載置される対象基板の側面に当接し、前記対象基板を第１方向に沿って押圧して保持する押圧部材であって、
前記対象基板に当接する第１側面と、該第１側面に対向する第２側面とを有し、前記第１方向への弾性を有する変形部と、
前記第１方向と直交する第２方向に離間した位置し、前記変形部にそれぞれ繋がる第１固定部および第２固定部とを備え、
前記変形部は、
前記第１方向に沿って中心を通る中心線を境とした一方に、
前記第１側面を備える第１部分と、
該第１部分から前記第１方向に延びる第２部分と、
該第２部分から前記中心線に近づく方向に延びる第３部分と、
該第３部分から前記第１方向に延びる第４部分と、
該第４部分から前記中心線から離れる方向に延びる第５部分と、
該第５部分から前記第１方向と反対の第３方向に延びる第６部分と、
前記第６部分から前記中心線から離れる方向に延びる第７部分と、
該第７部分から前記第１方向に延びる第８部分と、
該第８部分から前記中心線から離れる方向に延びる第９部分とを備え、
前記中心線を境とした他方に、
前記中心線に対し前記第１部分〜前記第９部分と線対称に位置する第１０部分〜第１８部分を備え、
さらに前記変形部は、
前記第４部分と前記第１３部分との間において、前記第１部分および前記第１０部分から前記第１方向に延びる把持部を備える、押圧部材。
【請求項４】
前記第２領域の断面２次モーメントをＩ、前記第１領域と前記第２領域とが交わる屈曲部の断面積をＡとしたとき、
１７００＜(Ｌ２＾３／Ｉ)／（（Ｌ１＋Ｌ２）／Ａ）＜２０００
である、請求項１に記載の押圧部材。
【請求項５】
基板当接部を有する前記基台と、
該基台上に位置する、請求項１から４のいずれかに記載の押圧部材とを備える、基板保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
押圧部材および基板保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の製造工程に用いられる基板は大型化が進んでおり、これに伴い、基板が載置される基台も大型化してきている。この基台においては、大径基板のみならず、大径基板よりも寸法の小さい小径基板を載置する場合がある。このような小径基板の保持には、基板保持具が用いられる。【０００３】
特許文献１（特開２０１１−９７０４３号公報）には、基板位置決め用の当接部と、当接部に基板を押圧して保持する押圧部材である板ばねとを有する基板保持具が記載されている。【０００４】
半導体基板には公差が存在する。基板保持具で使用される押圧部材には、基板の大きさが規定の公差内でばらつきを有する場合でも適当な保持力で基板を保持することが求められる。
【発明の概要】
【０００５】
本開示の押圧部材は、基台に載置される対象基板の側面に当接し、前記対象基板を第１方向に沿って押圧して保持する押圧部材である。押圧部材は、前記対象基板に当接する当接面を有し、変形部と２つの固定部とを備える。変形部は、前記第１方向への弾性を有する。２つの固定部は、前記第１方向と直交する第２方向に離間して位置し、前記変形部にそれぞれ繋がっている。前記変形部は、前記第１方向に沿う複数の第１領域と、前記第２方向に沿う複数の第２領域とを有する。前記変形部は、前記第１領域と前記第２領域とが交わる位置が屈曲している。前記変形部における前記第１方向の総延長Ｌ１は、前記変形部の高さの３倍以上である。前記変形部における前記第２方向の総延長Ｌ２は、前記変形部の幅の１．５倍以上である。また、Ｌ２がＬ１の１倍以上３倍以下である。
【０００６】
また、本開示の押圧部材は、基台に載置される対象基板の側面に当接し、前記対象基板を第１方向に沿って押圧して保持する押圧部材である。押圧部材は、変形部と、第１固定部と、第２固定部とを備える。変形部は、前記対象基板に当接する第１側面と、該第１側面に対向する第２側面とを有し、前記第１方向への弾性を有する。第１固定部および第２固定部は、前記第１方向と直交する第２方向に離間して位置し、前記変形部にそれぞれ繋がっている。前記変形部は、前記第１方向に沿う複数の第１領域と、前記第２方向に沿う複数の第２領域とを有する。前記変形部は、前記第１領域と前記第２領域とが交わる位置が屈曲している。さらに前記変形部は、前記第１方向に沿って中心を通る中心線を境とした一方に、第１スリット〜第８スリットを備える。第１スリットは、前記第２側面に開口し、前記第１方向と反対の第３方向に延びたのちに、前記中心線から離れる方向に曲がって延びている。第２スリットは、前記第１側面側に開口し、前記第１方向に延びたのちに、前記第１スリットよりも前記第２側面の近くにおいて前記中心線に近づく方向に曲がって延びている。第３スリットは、第２スリットより前記中心線から離れた位置において前記第２側面側に開口し、前記第３方向に延びる部分を有する。第４スリットは、第３スリットより前記中心線から離れた位置において前記第１側面側に開口し、前記第１方向に延びる部分を有する。また、第５スリット〜第８スリットは、前記中心線を境とした他方において、前記中心線に対し前記第１スリット〜前記第４スリットと線対称に位置する。
【０００７】
さらに、本開示の押圧部材は、基台に載置される対象基板の側面に当接し、前記対象基板を第１方向に沿って押圧して保持する押圧部材である。押圧部材は、変形部と、第１固定部と、第２固定部とを備える。変形部は、前記対象基板に当接する第１側面と、該第１側面に対向する第２側面とを有し、前記第１方向への弾性を有する。第１固定部および第２固定部は、前記第１方向と直交する第２方向に離間した位置し、前記変形部にそれぞれ繋がっている。前記変形部は、前記第１方向に沿って中心を通る中心線を境とした一方に、第１部分〜第１８部分を備える。第１部分は、前記第１側面を備える。第２部分は、第１部分から前記第１方向に延びている。第３部分は、第２部分から前記中心線に近づく方向に延びている。第４部分は、第３部分から前記第１方向に延びている。第５部分は、第４部分から前記中心線から離れる方向に延びている。第６部分は、第５部分から前記第１方向と反対の第３方向に延びている。第７部分は、前記第６部分から前記中心線から離れる方向に延びている。第８部分は、第７部分から前記第１方向に延びている。第９部分は、第８部分から前記中心線から離れる方向に延びている。第１０部分〜第１８部分は、前記中心線を境とした他方において、前記中心線に対し前記第１部分〜前記第９部分と線対称に位置する。さらに前記変形部は、前記第４部分と前記第１３部分との間において、前記第１部分および前記第１０部分から前記第１方向に延びる把持部を備える。
【０００８】
本開示の基板保持具は、基板当接部を有する前記基台と、該基台上に位置する、前記のいずれかの押圧部材を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の押圧部材の実施形態の一例を示す、（a）が平面図であり、（ｂ）が（ａ）における矢印Ａ方向から見た側面図である。
【図２】本開示の押圧部材の各部位の説明図である。
【図３】本開示の基板保持具の実施形態の一例を示す、（a）が平面図であり、（ｂ）が（ａ）における矢印Ｂ方向から見た側面図である。
【図４】本開示の押圧部材の応力解析結果である。
【図５】本開示の押圧部材の寸法の説明図である。
【図６】比較例の押圧部材の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の押圧部材および基板保持具の実施形態について説明する。
【００１１】
図１は、本開示の押圧部材の実施形態の一例を示す、（a）が平面図であり、（ｂ）が（ａ）における矢印Ａ方向から見た側面図である。図２は、（ａ）が第１スリット〜第８スリットを説明するための説明図であり、（ｂ）が第１部分〜第１８部分を説明するための説明図である。図３は、本開示の基板保持具の実施形態の一例を示す、（a）が平面図であり、（ｂ）が（ａ）における矢印Ｂ方向から見た側面図である。また、図５は、本開示の押圧部材の寸法の説明図である。
【００１２】
本開示の押圧部材１は、大径基板用に設計された基台１１上において小径の基板（図３における長鎖線）を押圧して保持するために用いられる。この押圧部材１は、板ばねとも呼ばれるものである。本開示の基板保持具１０は、図３に示すように、基台１１と、基板当接部１２と、押圧部材１とを備える。基台１１は、基板を載置するためのものである。基板当接部１２は、基板の側面に当接して、基板の位置決めをするためのものである。押圧部材１は、基台１１上に位置する。なお、図３においては、基板当接部１２として、ピン形状のものを示しているが、ピン形状に限定されるものではなく、基台１１が備える凹部における内側面自体や内側面から突出した突出部などであってもよい。
【００１３】
押圧部材１は、変形部６と、２つの固定部５とを備える。変形部６は、基板に当接する当接面６ｄを有し、第１方向（図１（ａ）における下から上の方向）への弾性を有する。２つの固定部５は、第１方向と直交する第２方向（図１（ａ）における左右方向）に離間して位置し、変形部６にそれぞれ繋がっている。
【００１４】
変形部６は、第１方向に沿う複数の第１領域６ａと、第２方向に沿う複数の第２領域６ｂとを有する。変形部６において、第１領域６ａと第２領域６ｂとが交わる位置は屈曲している。そして、本開示の押圧部材１における変形部６は、変形部６における第１方向６ａの総延長Ｌ１は、変形部６の高さ（図５におけるＨ）の３倍以上であり、変形部６における第２方向の総延長Ｌ２は、変形部６の幅（図５におけるＷ）の１．５倍以上であり、Ｌ２がＬ１の１倍以上３倍以下である。
【００１５】
なお、変形部６の第１方向の総延長Ｌ１と第２方向の総延長Ｌ２は、図１に示すような押圧部材１を平面視したときの変形部６の中央線６ｃのそれぞれ第１方向、および第２方向の総延長とする。図１では、中央線６ｃのうち、第１領域を長鎖線、第２領域を点線で示している。第１方向の総延長Ｌ１は長鎖線の長さの総和であり、第２方向の総延長Ｌ２は、点線の長さの総和である。
【００１６】
また、第１方向に沿うとは、第１方向に沿って変形部６の中心を通る中心線に対し、４５°未満の角度で延びることを指す。また、第２方向に沿うとは、上記中心線に対して４５°以上の角度で延びることを指す。
【００１７】
第１領域６ａおよび第２領域６ｂの長さの起点となるのは、第１領域６ａの中央線６ｃと第２領域６ｂの中央線６ｃとの交点であり、この交点は屈曲している部分に存在する。
【００１８】
なお、平面視において、第１領域６ａの輪郭が曲線を有する場合は、１つの第１領域６ａの始点における幅の中央と、終点における幅の中央とを結ぶ仮想線から長さを求めればよい。第２領域６ｂについても同様である。
【００１９】
また、押圧部材１は、変形部６と、第１固定部５ａと、第２固定部５ｂとを備える。変形部６は、第１側面（当接面）６ｄと、第１側面６ｄに対向する第２側面６ｅを有し、第１方向への弾性を有する。第１固定部５ａおよび第２固定部５ｂは、第１方向と直交する第２方向に離間して位置し、変形部６にそれぞれ繋がっている。
【００２０】
変形部６は、第１スリット８ａと、第２スリット８ｂと、第３スリット８ｃと、第４スリット８ｄとを備える。第１スリット８ａは、第１方向に沿って中心を通る中心線を境とした一方に、第２側面６ｅに開口し、第１方向と反対の第３方向に延びたのちに、中心線から離れる方向に曲がって延びている。第２スリット８ｂは、第１側面６ｄ側に開口し、第１方向に延びたのちに、第１スリット８ａよりも第２側面６ｅの近くにおいて中心線に近づく方向に曲がって延びている。第３スリット８ｃは、第２スリット８ｂより中心線から離れた位置において第２側面６ｅ側に開口し、第３方向に延びる部分を有する。第４スリット８ｄは、第３スリット８ｃより中心線から離れた位置において第１側面６ｄ側に開口し、第１方向に延びる部分を有する。
【００２１】
また、変形部６は、中心線を境とした他方に、中心線に対し第１スリット８ａ〜第４スリット８ｄと線対称に位置する、第５スリット８ｅ、第６スリット８ｆ、第７スリット８ｇ、第８スリット８ｈを備える。
【００２２】
なお、第１方向および第３方向に延びるとは、スリット８の開口部分の幅の中央と、底の部分の幅の中央とを結ぶ仮想線が、中心線に対して４５°未満であることをいう。また、図１ａにおいては、第４スリット８ｄが第１固定部５ａに接している例を示しているが、これに限らず、第４スリット８ｄと第１固定部５ａとの間に他の部位を有するものであってもよい。
【００２３】
また、中心線を境とした一方である図１ａにおける左側においては、中心線に近づく方向とは、第２固定部５ｂに向かう方向と言い換えることができ、中心線から離れる方向とは、第１固定部５ａに向かう方向と言い換えることができる。
【００２４】
また、変形部６は、第１部分９ａと、第２部分９ｂと、第３部分９ｃと、第４部分９ｄと、第５部分９ｅと、第６部分９ｆと、第７部分９ｇと、第８部分９ｈと、第９部分９ｉとを備える。第１部分９ａは、中心線を境とした一方に、第１側面６ｄを備える。第２部分９ｂは、第１部分９ａから第１方向に延びる。第３部分９ｃは、第２部分９ｂから中心線に近づく方向に延びる。第４部分９ｄは、第３部分９ｃから第１方向に延びる。第５部分９ｅは、第４部分９ｄから中心線から離れる方向に延びる。第６部分９ｆは、第５部分９ｅから第１方向と反対の第３方向に延びる。第７部分９ｇは、第６部分９ｆから中心線から離れる方向に延びる。第８部分９ｈは、第７部分９ｇから第１方向に延びる。第９部分９ｉは、第８部分９ｈから中心線から離れる方向に延びる。
【００２５】
変形部６は、中心線を境とした他方に、中心線に対し第１部分９ａ〜第９部分９ｉと線対称に位置する、第１０部分９ｊ、第１１部分９ｋ、第１２部分９ｌ、第１３部分９ｍ、第１４部分９ｎ、第１５部分９ｏ、第１６部分９ｐ、第１７部分９ｑ、第１８部分９ｒを備える。
【００２６】
さらに変形部６は、第４部分９ｄと第１３部分９ｍとの間において、第１部分９ａおよび第１０部分９ｊから記第１方向に延びる把持部７を備える。
【００２７】
本開示の押圧部材１は、上記構成を満たしていることにより、基板の寸法ばらつきによる保持力の変化が小さい。言い換えれば、本開示の押圧部材１は、小さい変形量でも十分大きな保持力を有するとともに、大きい変形量でも保持力が大きすぎない。また、本開示の基板保持具は、基板の寸法ばらつきによる保持力の変化が小さい押圧部材を備えることから、加工歩留まりおよび加工精度が向上する。
【００２８】
半導体製造装置または半導体検査装置で使用される基板の厚みは、一般に１ｍｍ以下である。押圧部材１の厚みが１ｍｍ以下であれば、基板保持具１０の厚みを小さくコンパクトにすることができる。特に、基板保持具１０が、大径基板用に設計された装置の吸着台に小径基板を保持するための基板保持具１０である場合、基板保持具１０の最大厚み（押圧部材１の厚みまたは基板当接部１２の厚みと基板保持具１０の基板載置面の厚みの和の最大値）が、装置設計上載置可能な大径基板の最大厚み以下であることが好ましいので、押圧部材１の厚みは０．５ｍｍ以下が好ましい。
【００２９】
変形部６が変形するとき、第１領域６ａおよび第２領域６ｂを構成する各部分は、それぞれ変形し、第１領域６ａと第２領域６ｂとが交わる屈曲している部分は、変形の際の支持点となる。変形部６は、中心線に沿って線対称で、第１領域６ａと第２領域６ｂとがそれぞれ略垂直に接続されていると、支持点に働くモーメントが安定するとともに、隣接する部分の変形に与える影響が少なくなるため、押圧部材１の変形が安定する。
【００３０】
基板保持具１０が半導体製造装置で使用される場合、押圧部材１の材質が金属であると、基板の金属汚染が懸念される。そのため、押圧部材１の材質は、樹脂が好ましい。特に、ポリカーボネート樹脂は、強度と弾性率の観点からも好適である。
【００３１】
図３に示すような基板保持具１０で基板を保持する場合、ＳＥＭＩ規格の公差内で最も小さい基板を保持したときと、最も大きい基板を保持したときの押圧部材１の当接面６ｄにおける変形量の差は、外径の公差と、オリエンテーションフラットの公差で決まり、２インチ基板で１．３３ｍｍ、３インチ基板で２．２６ｍｍ、４インチ基板で１．８５ｍｍ、５インチ基板で１．８９ｍｍ、６インチ基板で１．２６ｍｍである。押圧部材１に求められる変形量差が最も大きいのは、３インチ基板の２．２６ｍｍである。基板保持具１０で、公差内で最も小さい基板を保持したときの押圧部材１の変形量を０．５ｍｍとした場合、押圧部材１の変形量が０．５ｍｍから２．８ｍｍの間で、押圧部材１が適当な保持力を有していれば、２インチ基板用から６インチ基板用まで全ての基板保持具１０で、基板のサイズが公差内でばらついていたとしても、押圧部材１および基板保持具１０は好適な保持力で基板を保持できる。
【００３２】
また、変形時に最も大きな応力が集中する箇所（応力集中箇所）の応力集中度（複数の解析箇所の応力値の総和に対する応力集中箇所の応力値の比率）は、保持力と相関がある。応力集中度が小さいと、変形に対する保持力の増加が顕著になる傾向があり、逆に応力集中度が大きいと、変形に対する保持力の増加が小さくなる傾向がある。応力集中度が所定の範囲となるようにすると、押圧部材１は、小さい変形量でも大きい変形量でも適当な保持力を有することができる。後述する解析結果から、押圧部材１の応力集中箇所は、第８部分９ｈの第３スリット８ｃ側で、第７部分９ｇ寄りの箇所である。
【００３３】
また、第２領域６ｂの断面２次モーメントをＩ、第１領域６ａと第２領域６ｂとの屈曲領域の断面積をＡとしたとき、(Ｌ２＾３／Ｉ)／（（Ｌ１＋Ｌ２）／Ａ）の値は、押圧部材１の保持力と相関があり、以下の式を満たすとよい。
１７００＜(Ｌ２＾３／Ｉ)／（（Ｌ１＋Ｌ２）／Ａ）＜２０００
【００３４】
上記式で、(Ｌ２＾３／Ｉ)は第２領域６ｂのたわみ、（（Ｌ１＋Ｌ２）／Ａ）は第１領域６ａの変形に相当する。(Ｌ２＾３／Ｉ)／（（Ｌ１＋Ｌ２）／Ａ）の値が１７００を超え、２０００未満であるときには、小さい変形量でも大きい変形量でも適当な保持力を有することができる。屈曲領域の断面とは、押圧部材１を図２（ｂ）に示す各点線で切断したときの断面であり、第１領域６ａと第２領域６ｂとが交わる屈曲部の断面積Ａは、複数の屈曲部の断面積の平均値とする。
【実施例】
【００３５】
図５は、押圧部材の寸法の説明図である。表１に示すように、実施例として、図５のＨ、Ｗ１、Ｗ２の寸法を変更した押圧部材１を計１８種類（試料Ｎｏ．１〜１８）作製した。試料Ｎｏ．１〜１６の厚みは０．５ｍｍ、高さは６．５〜９．０ｍｍ、幅は４４ｍｍ、変形部の幅Ｗは３４ｍｍである。試料Ｎｏ．１７は、図６に示す形状であり、厚みは０．５ｍｍ、高さは６．５ｍｍ、幅は３４ｍｍ、変形部の幅Ｗは２４ｍｍである。試料Ｎｏ．１８は、試料Ｎｏ．１との異なる点は、第３スリット８ｃ、第４スリット８ｄ、第７スリット８ｇ、第８スリット８ｈを有していない点である。【００３６】
試料Ｎｏ．１〜１６は、いずれもＬ２／Ｗ≧１．５、Ｌ１／Ｈ≧３、１≦Ｌ１／Ｌ２≦３である。試料Ｎｏ．１７、１８は、Ｌ２／Ｗ≧１．５である点は試料Ｎｏ．１〜１６と同じであるが、Ｌ１／Ｈ＜３、Ｌ１／Ｌ２＞３である点が試料Ｎｏ．１〜１６と異なる。【００３７】
また、第２領域の断面２次モーメントをＩ、第１領域と第２領域とが交わる屈曲部の断面積をＡとしたときの(Ｌ２＾３／Ｉ)／（（Ｌ１＋Ｌ２）／Ａ）の値を表１に示す。【００３８】
また、各試料の変形量０．５ｍｍのときと、変形量２．８ｍｍのときの保持力を調べた。結果を表１に示す。保持力の評価は、１：小さすぎて基板脱落の可能性が高い、２：やや小さく基板脱落の可能性がある、３：好適、４：やや大きく基板破損または脱落の可能性がある、５：大きすぎて基板破損または脱落の可能性が高い、の５段階とした。【００３９】
また、シーメンス社の有限要素解析ソフトＮＸ、バージョン１１を使用して、試料Ｎｏ．１〜３、６、８、９、１４〜１６のばね定数と応力分布を解析した。保持力が１Ｎのときの試料Ｎｏ．１のフォンミーゼス応力分布を図４に示す。図４では応力の大きさを色の濃さで表している。応力が最も大きくなる箇所は、第８部分９ｈの第３スリット８ｃ側で、第７部分９ｇ寄りの箇所（図４における箇所２）であった。箇所１〜７の応力値の総和に対する箇所２の応力値の比率を応力集中度とし、表１に示す。応力集中度が２４．２以下のときは変形量２．８ｍｍのときの保持力が大きすぎ、２５．４以上のときは変形量０．５ｍｍのときの保持力が不足する。【００４０】
【表１】
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【００４１】
変形量が０．５ｍｍのとき、試料Ｎｏ．１７、１８は保持力が小さすぎであったのに対し、試料Ｎｏ．１〜１６は、保持力に優れていた。特に、試料Ｎｏ．１〜１３は保持力が好適であった。変形量が２．８ｍｍのとき、試料Ｎｏ．１７は保持力が大きすぎであったのに対し、試料Ｎｏ．１〜１６は、保持力に優れていた。特に、試料Ｎｏ．５、７〜１２、１４は保持力が好適であった。試料Ｎｏ．５、７〜１２は、小さい変形量でも大きい変形量でも適当な保持力を有することができることがわかった。
【符号の説明】
【００４２】
１  ：押圧部材（板ばね）
５  ：固定部
５ａ：第１固定部
５ｂ：第２固定部
６  ：変形部
６ａ：第１領域
６ｂ：第２領域
６ｃ：中央線
６ｄ：当接面（第１側面）
６ｅ：第２側面
７  ：把持部
８  ：スリット
８ａ：第１スリット
８ａ：第１スリット
８ｂ：第２スリット
８ｃ：第３スリット
８ｄ：第４スリット
８ｅ：第５スリット
８ｆ：第６スリット
８ｇ：第７スリット
８ｈ：第８スリット
９ａ：第１部分
９ｂ：第２部分
９ｃ：第３部分
９ｄ：第４部分
９ｅ：第５部分
９ｆ：第６部分
９ｇ：第７部分
９ｈ：第８部分
９ｉ：第９部分
９ｊ：第１０部分
９ｋ：第１１部分
９ｌ：第１２部分
９ｍ：第１３部分
９ｎ：第１４部分
９ｏ：第１５部分
９ｐ：第１６部分
９ｑ：第１７部分
９ｒ：第１８部分
１０：基板保持具
１１：基台
１２：基板当接部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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