(57)【要約】  処理液供給システムは、キャリア７０を収容するキャリア収容部１２と、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０を収容するボトル収容部１３と、処理液ボトル８０から基板処理装置９０に処理液を送出する送液部１４と、搬送部１５と、を有する処理液供給装置１０と、キャリア収容部１２のキャリア７０から処理液ボトル８０を取り出してボトル収容部１３に搬送するように搬送部１５を制御することと、送液部１４に処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御することと、処理液ボトル８０をキャリア収容部１２のキャリア７０に収容するように搬送部１５を制御することと、を実行するように構成された制御装置と、を備える。
2019088189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理液ボトルを収容したキャリアを収容する第一キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルを収容する第一ボトル収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルから基板処理装置に処理液を送出する送液部と、  前記第一キャリア収容部、前記第一ボトル収容部及び前記送液部の間で前記処理液ボトルを搬送する第一搬送部と、を有する処理液供給装置と、  前記第一キャリア収容部の前記キャリアから前記処理液ボトルを取り出して前記第一ボトル収容部に搬送するように前記第一搬送部を制御することと、前記第一ボトル収容部から前記送液部に前記処理液ボトルを搬送するように前記第一搬送部を制御することと、使用済みの前記処理液ボトルを前記送液部から搬送して前記第一キャリア収容部の前記キャリアに収容するように前記第一搬送部を制御することと、を実行するように構成された制御装置と、を備える処理液供給システム。
【請求項２】
前記処理液供給装置は、  前記キャリアの受け渡し用の第一受渡部を更に備え、  前記制御装置は、前記第一受渡部に配置された前記キャリアを前記第一キャリア収容部に搬送するように前記第一搬送部を制御することと、使用済みの前記処理液ボトルを収容した前記キャリアを前記第一キャリア収容部から前記第一受渡部に搬送するように前記第一搬送部を制御することと、を更に実行するように構成されている、請求項１記載の処理液供給システム。
【請求項３】
前記制御装置は、前記送液部に前記処理液ボトルが配置された後、当該処理液ボトルが使用済みになるまでの間に、前記第一キャリア収容部の前記キャリア及び前記第一ボトル収容部の間で他の前記処理液ボトルを搬送するように前記第一搬送部を制御する、請求項１記載の処理液供給システム。
【請求項４】
前記処理液供給装置は、  複数の前記送液部を有し、  前記第一搬送部は、前記処理液ボトルを搬送可能な範囲が前記複数の送液部を含むように構成されている、請求項１記載の処理液供給システム。
【請求項５】
前記制御装置は、前記送液部において前記処理液ボトルのキャップの開閉を行うように前記第一搬送部を制御することを更に実行するように構成されている、請求項４記載の処理液供給システム。
【請求項６】
前記送液部は、前記処理液ボトル内から処理液を送出するための送液ヘッドを有し、  前記制御装置は、前記送液ヘッドを前記処理液ボトルに装着するように前記第一搬送部を制御することを更に実行するように構成されている、請求項５記載の処理液供給システム。
【請求項７】
前記キャリアは、前記処理液ボトルに収容された処理液に関する情報を保持する情報保持部を有し、  前記制御装置は、前記情報保持部が保持する情報に基づいて、前記処理液ボトルに収容された処理液の種類の情報を取得し、処理液の種類に基づいて前記キャリアから取り出す前記処理液ボトルを選定する、請求項２記載の処理液供給システム。
【請求項８】
前記制御装置は、前記情報保持部が保持する情報に基づいて、前記処理液ボトルに収容された処理液の消費期限の情報を取得し、処理液の消費期限の近い前記処理液ボトルが優先的に前記送液部に搬送されるように、前記キャリアから取り出す前記処理液ボトルを選定する、請求項７記載の処理液供給システム。
【請求項９】
全ての前記処理液ボトルの処理液が消費期限内であることを示す通常状態と、少なくとも一つの前記処理液ボトルの処理液が消費期限切れであることを示すアラーム状態と、を切り替える報知装置を更に備え、  前記制御装置は、前記処理液が消費期限切れである前記処理液ボトルが有る場合に、前記通常状態を前記アラーム状態に切り替えるように報知装置を制御することを更に実行するように構成されている、請求項８記載の処理液供給システム。
【請求項１０】
前記処理液供給装置は、  前記第一キャリア収容部、前記第一ボトル収容部、前記送液部、及び前記第一搬送部を含む筐体と、  前記筐体の内部の温度を調節する温度調節部と、を更に有する、請求項１記載の処理液供給システム。
【請求項１１】
複数の前記キャリアを収容するキャリア保管装置と、  前記キャリア保管装置及び前記処理液供給装置の間で前記キャリアを搬送する自動搬送装置と、を更に備える、請求項１記載の処理液供給システム。
【請求項１２】
前記キャリア保管装置は、  複数の前記キャリアをそれぞれ収容する複数の第二キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルを収容する第二ボトル収容部と、  前記第二キャリア収容部及び前記第二ボトル収容部の間で前記処理液ボトルを搬送する第二搬送部と、を有し、  前記制御装置は、前記処理液供給装置に送るための前記キャリア内の前記複数の処理液ボトルが、当該処理液供給装置に適した処理液を収容した状態になるように、当該キャリアと他の前記キャリアとの間で前記処理液ボトルを入れ替えるように前記第二搬送部を制御することを更に実行するように構成されている、請求項１１記載の処理液供給システム。
【請求項１３】
複数の処理液ボトルを収容したキャリアを収容する第一キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルを収容する第一ボトル収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルから基板処理装置に処理液を送出する送液部と、  前記第一キャリア収容部、前記第一ボトル収容部及び前記送液部の間で前記処理液ボトルを搬送する第一搬送部と、を備える処理液供給装置。
【請求項１４】
複数の処理液ボトルをそれぞれが収容した複数のキャリアを収容する第二キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記ボトルを収容する第二ボトル収容部と、  前記第二キャリア収容部及び前記第二ボトル収容部の間で前記ボトルを搬送する第二搬送部と、  基板処理装置に処理液を供給する処理液供給装置との間でキャリアの受け渡しを行うための第二受渡部と、を備えるキャリア保管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本開示は、処理液供給システム、処理液供給装置、及びキャリア保管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  特許文献１には、複数の基板処理システムに対して外部から処理液を供給する処理液供給装置が開示されている。この処理液供給装置は、処理液が貯留されている新たな容器の搬入と使用済みの容器の搬出とを行う搬入出部と、処理液供給位置に配置された容器内の処理液を複数の基板処理システムに対して圧送する処理液供給部と、処理液供給位置の使用済みの容器と搬入出部の新たな容器とを交換する容器交換機構と、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−７６６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  本開示は、基板処理において処理液のボトルを補充・回収する作業の負担軽減に有効な処理液供給システム、処理液供給装置及びキャリア保管装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本開示の一側面に係る処理液供給システムは、複数の処理液ボトルを収容したキャリアを収容する第一キャリア収容部と、キャリアから取り出された処理液ボトルを収容する第一ボトル収容部と、キャリアから取り出された処理液ボトルから基板処理装置に処理液を送出する送液部と、第一キャリア収容部、第一ボトル収容部及び送液部の間で処理液ボトルを搬送する第一搬送部と、を有する処理液供給装置と、第一キャリア収容部のキャリアから処理液ボトルを取り出して第一ボトル収容部に搬送するように第一搬送部を制御することと、第一ボトル収容部から送液部に処理液ボトルを搬送するように第一搬送部を制御することと、使用済みの処理液ボトルを送液部から搬送して第一キャリア収容部のキャリアに収容するように第一搬送部を制御することと、を実行するように構成された制御装置と、を備える。【０００６】  この処理液供給システムによれば、キャリアから処理液ボトルを取り出して送液部に配置すること、及び使用済みの処理液ボトルをキャリアに戻すことが自動実行されるので、キャリア単位での処理液ボトルの補充・回収が可能となる。これにより、処理液ボトルの補充・回収作業の頻度が低減される。また、ボトル収容部を用いて処理液ボトル単位でのバッファリングを行うことで、送液部における処理液ボトル交換の迅速性を保つことができる。したがって、基板処理において処理液ボトルを補充・回収する作業の負担軽減に有効である。【０００７】  処理液供給装置は、キャリアの受け渡し用の第一受渡部を更に備え、制御装置は、第一受渡部に配置されたキャリアを第一キャリア収容部に搬送するように第一搬送部を制御することと、使用済みの処理液ボトルを収容したキャリアを第一キャリア収容部から第一受渡部に搬送するように第一搬送部を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。この場合、処理液供給装置へのキャリアの受け渡し作業が単純化される。キャリアの受け渡し作業の単純化は、当該作業の自動化にも寄与し得る。したがって、処理液ボトルを交換する作業の更なる負担軽減に有効である。【０００８】  制御装置は、送液部に処理液ボトルが配置された後、当該処理液ボトルが使用済みになるまでの間に、第一キャリア収容部のキャリア及び第一ボトル収容部の間で他の処理液ボトルを搬送するように第一搬送部を制御してもよい。この場合、送液部に処理液ボトルが配置された後、当該処理液ボトルが使用済みになるまでの間に、処理液ボトル単位でのバッファリングを行っておくことにより、送液部における処理液ボトル交換の迅速性をより確実に保つことができる。【０００９】  処理液供給装置は、複数の送液部を有し、第一搬送部は、処理液ボトルを搬送可能な範囲が複数の送液部を含むように構成されていてもよい。この場合、複数の送液系統で第一搬送部を共用することにより、装置構成の簡素化を図ることができる。【００１０】  制御装置は、送液部において処理液ボトルのキャップの開閉を行うように第一搬送部を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、キャップを開閉するための構成の少なくとも一部が複数の送液系統で共用されるので、装置構成の簡素化を図ることができる。【００１１】  送液部は、処理液ボトル内から処理液を送出するための送液ヘッドを有し、制御装置は、送液ヘッドを処理液ボトルに装着するように第一搬送部を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、送液ヘッドを装着するための構成の少なくとも一部が複数の送液系統で共用されるので、装置構成の更なる簡素化を図ることができる。【００１２】  キャリアは、処理液ボトルに収容された処理液に関する情報を保持する情報保持部を有し、制御装置は、情報保持部が保持する情報に基づいて、処理液ボトルに収容された処理液の種類の情報を取得し、処理液の種類に基づいてキャリアから取り出す処理液ボトルを選定してもよい。この場合、情報保持部に保持された情報を利用して、処理液供給装置におけるボトル搬送の高効率化を図ることができる。【００１３】  制御装置は、情報保持部が保持する情報に基づいて、処理液ボトルに収容された処理液の消費期限の情報を取得し、処理液の消費期限の近い処理液ボトルが優先的に送液部に搬送されるように、キャリアから取り出す処理液ボトルを選定してもよい。この場合、処理液の消費期限切れの発生を抑制することができる。【００１４】  処理液供給システムは、全ての処理液ボトルの処理液が消費期限内であることを示す通常状態と、少なくとも一つの処理液ボトルの処理液が消費期限切れであることを示すアラーム状態と、を切り替える報知装置を更に備え、制御装置は、処理液が消費期限切れである処理液ボトルが有る場合に、通常状態をアラーム状態に切り替えるように報知装置を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、消費期限切れとなった処理液の使用を防ぐことで、信頼性の更なる向上を図ることができる。【００１５】  処理液供給装置は、第一キャリア収容部、第一ボトル収容部、送液部、及び第一搬送部を含む筐体と、筐体の内部の温度を調節する温度調節部と、を更に有していてもよい。この場合、処理液ボトルが処理液供給装置の筐体内に集中配置される構成を利用し、簡素な構成にて処理液の温度を管理することができる。【００１６】  処理液供給システムは、複数のキャリアを収容するキャリア保管装置と、キャリア保管装置及び処理液供給装置の間でキャリアを搬送する自動搬送装置と、を更に備えていてもよい。この場合、キャリアの供給元と、処理液供給装置との間に、複数のキャリアを収容するキャリア保管装置が介在することにより、キャリアの補充・回収作業の頻度を更に低減することができる。【００１７】  キャリア保管装置は、複数のキャリアをそれぞれ収容する複数の第二キャリア収容部と、キャリアから取り出された処理液ボトルを収容する第二ボトル収容部と、第二キャリア収容部及び第二ボトル収容部の間で処理液ボトルを搬送する第二搬送部と、を有し、制御装置は、処理液供給装置に送るためのキャリア内の複数の処理液ボトルが、当該処理液供給装置に適した処理液を収容した状態になるように、当該キャリアと他のキャリアとの間で処理液ボトルを入れ替えるように第二搬送部を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、処理液ボトルの補充・回収作業の頻度低減と、無駄の少ない処理液ボトル供給との両立を図���ことができる。【００１８】  本開示の他の側面に係る処理液供給装置は、複数の処理液ボトルを収容したキャリアを収容する第一キャリア収容部と、キャリアから取り出された処理液ボトルを収容する第一ボトル収容部と、キャリアから取り出された処理液ボトルから基板処理装置に処理液を送出する送液部と、第一キャリア収容部、第一ボトル収容部及び送液部の間で処理液ボトルを搬送する第一搬送部と、を備える。【００１９】  本開示の更に他の側面に係るキャリア保管装置は、複数の処理液ボトルをそれぞれが収容した複数のキャリアを収容する第二キャリア収容部と、キャリアから取り出されたボトルを収容する第二ボトル収容部と、第二キャリア収容部及び第二ボトル収容部の間でボトルを搬送する第二搬送部と、基板処理装置に処理液を供給する処理液供給装置との間でキャリアの受け渡しを行うための第二受渡部と、を備える。
【発明の効果】
【００２０】  本開示によれば、基板処理において処理液のボトルを補充・回収する作業の負担軽減に有効な処理液供給システム、処理液供給装置及びキャリア保管装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】処理液供給システムの構成を示す模式図である。
【図２】処理液供給装置の構成を示す模式図である。
【図３】ボトル保管装置の構成を示す模式図である。
【図４】制御装置の機能的な構成を示すブロック図である。
【図５】制御装置のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図６】処理液供給の開始手順を示すフローチャートである。
【図７】キャリアを受け取り、処理液ボトルを搬送するまでにおける処理液供給装置の状態を示す模式図である。
【図８】送液開始処理の手順を示すフローチャートである。
【図９】処理液ボトルを送液部に搬送し、送液を開始するまでにおける処理液供給装置の状態を示す模式図である。
【図１０】処理液供給の継続手順を示すフローチャートである。
【図１１】ボトル交換処理の手順を示すフローチャートである。
【図１２】処理液ボトルの交換中における処理液供給装置の状態を示す模式図である。
【図１３】キャリアの保管手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】  以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２３】〔処理液供給システム〕  図１に示すように、本実施形態に係る処理液供給システム１は、少なくとも一つの基板処理装置９０に処理液を供給するためのシステムである。基板処理装置９０は、処理液供給システム１から供給される処理液を用いて、半導体のウェハに所定の処理を行う装置である。例えば基板処理装置９０は、ウェハの表面に、レジスト膜形成用の処理液を塗布してレジスト膜を形成し、露光後のレジスト膜に現像用の処理液及びリンス用の処理液を供給して現像処理を行い、レジストパターンを形成する装置である。例えば基板処理装置９０は、レジスト膜等の被膜形成用の処理モジュール９１，９２，９３と、現像処理用の処理モジュール９４とを有する。
【００２４】  処理液供給システム１は、少なくとも一つの処理液供給装置１０と、キャリア保管装置３０と、自動搬送装置５０と、報知装置６０と、制御装置１００とを備える。図示のように処理液供給システム１は、複数の処理液供給装置１０を備えてもよい。
【００２５】  処理液供給装置１０は、複数の処理液ボトルを収容したキャリア７０から処理液ボトルを取り出し、処理液ボトルから少なくとも一つの基板処理装置９０に処理液を送出する。キャリア７０が収容する複数の処理液ボトルは、同種の処理液を収容していてもよいし、互いに異種の処理液を収容していてもよい。図示のように、各処理液供給装置１０は、複数の基板処理装置９０に処理液を供給するように構成されていてもよい。
【００２６】  キャリア保管装置３０は、処理液供給装置１０に送るための複数のキャリア７０を収容する。自動搬送装置５０は、キャリア保管装置３０及び処理液供給装置１０の間でキャリア７０を搬送する。報知装置６０は、処理液ボトル内の処理液が期限切れであることを報知する。制御装置１００は、処理液供給装置１０、キャリア保管装置３０、自動搬送装置５０及び報知装置６０を制御する。以下、各装置の構成を説明する。
【００２７】（処理液供給装置）  図２に示すように、処理液供給装置１０は、受渡部１１と、複数のキャリア収容部１２と、複数のボトル収容部１３と、複数の送液部１４と、搬送部１５と、筐体１６と、温度調節部１７とを有する。
【００２８】  受渡部１１（第一受渡部）は、自動搬送装置５０との間でのキャリア７０の受け渡し（すなわち、キャリア保管装置３０との間でのキャリア７０の受け渡し）に用いられる。受渡部１１は、上方からのキャリア７０の出し入れが可能となるように、処理液供給装置１０の上部に設けられている。受渡部１１は、情報読み取り用の読取部２１を有する。キャリア７０は、読取部２１による読み取り用の情報を保持する情報保持部７１を有する。読取部２１は、受渡部１１内において情報保持部７１を読み取り可能な位置に配置されている。
【００２９】  情報保持部７１が保持する情報は、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液に関する情報を含んでいる。例えば、情報保持部７１が保持する情報は、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液の種類の情報を含んでいてもよい。また、情報保持部７１が保持する情報は、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液の消費期限の情報を含んでいてもよい。更に情報保持部７１が保持する情報は、キャリア７０の識別情報を含んでいてもよい。キャリア７０の識別情報が、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液に関する情報と対応付けてデータベースに記憶されている場合、当該識別情報も処理液に関する情報の一種である。
【００３０】  情報保持部７１は、例えばバーコード等の画像パターンであってもよく、読取部２１は当該画像パターンを取得するためのカメラであってもよい。また、情報保持部７１は、情報を記憶したＩＣチップであってもよく、読取部２１は当該ＩＣチップのリーダであってもよい。
【００３１】  複数のキャリア収容部１２（第一キャリア収容部）は、複数のキャリア７０をそれぞれ収容する。複数のキャリア収容部１２は、受渡部１１の下において上下方向に並んでいる。
【００３２】  ボトル収容部１３（第一ボトル収容部）は、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０を収容する。ボトル収容部１３は、複数の処理液ボトル８０を収容するように構成されていてもよい。複数のボトル収容部１３は、キャリア収容部１２から離れた位置において上下方向に並んでいる。複数のボトル収容部１３は、キャリア７０から取り出された後、基板処理装置９０への送液に用いられる前の処理液ボトル８０を収容する補充ボトル収容部２２と、基板処理装置９０への送液に用いられた後の処理液ボトル８０（以下、「使用済みの処理液ボトル８０」という。）を収容する空ボトル収容部２３とを含む。
【００３３】  送液部１４は、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０から基板処理装置９０に処理液を送出する。送液部１４は、複数のボトル収容部１３と上下方向に並んでいる。例えば送液部１４は、上下方向に並ぶボトル収容部１３の間に配置されている。例えば送液部１４は、開閉治具２４と、送液管路２８と、送液ヘッド２５と、ポンプ２６と、液位センサ２７とを有する。
【００３４】  開閉治具２４は、処理液ボトル８０のキャップ８２の開閉に際して、当該キャップ８２を保持する。送液管路２８は、基板処理装置９０に接続される管路である。例えば送液管路２８は、途中で分岐して複数の基板処理装置９０に接続されている。送液ヘッド２５は、開いた処理液ボトル８０（キャップ８２が外された処理液ボトル８０）に装着され、当該処理液ボトル８０内から送液管路２８に処理液を送出する。ポンプ２６は、送液管路２８に設けられ、処理液ボトル８０側から基板処理装置９０側に処理液を圧送する。液位センサ２７は、処理液ボトル８０内の処理液の液位を検出する。液位センサ２７は、例えば超音波式又は静電容量式等の非接触センサである。
【００３５】  搬送部１５（第一搬送部）は、キャリア収容部１２、ボトル収容部１３及び送液部１４の間で処理液ボトル８０を搬送し、受渡部１１及びキャリア収容部１２の間でキャリア７０を搬送する。搬送部１５は、受渡部１１及び複数のキャリア収容部１２と、複数のボトル収容部１３及び送液部１４との間に配置されている。例えば搬送部１５は、昇降、水平移動、旋回及び把持等の複数の自由度を有するロボットアームである。搬送部１５は、処理液ボトル８０を搬送可能な範囲が複数の送液部１４を含むように構成されている。例えば搬送部１５が処理液ボトル８０を搬送可能な範囲は、受渡部１１と、全てのキャリア収容部１２と、全てのボトル収容部１３と、全ての送液部１４とを含んでいる。
【００３６】  筐体１６は、受渡部１１、全てのキャリア収容部１２、全てのボトル収容部１３及び全ての送液部１４を収容する。温度調節部１７は、筐体１６の内部の温度を調節する。例えば温度調節部１７は、ヒータと、クーラと、ファンと（いずれも不図示）を含んでいる。
【００３７】（キャリア保管装置）  図３に示すように、キャリア保管装置３０は、受渡部３１と、搬入部３２と、搬出部３３と、複数のキャリア収容部３４と、複数のボトル収容部３５と、搬送部３６とを備える。
【００３８】  受渡部３１（第二受渡部）は、自動搬送装置５０との間でのキャリア７０の受け渡し（すなわち、処理液供給装置１０との間でのキャリア７０の受け渡し）に用いられる。受渡部３１は、上方からのキャリア７０の出し入れが可能となるように、キャリア保管装置３０の上部に設けられている。受渡部３１は、上記読取部２１と同様の読取部３９を有する。読取部３９は、受渡部３１内において上記情報保持部７１を読み取り可能な位置に配置されている。
【００３９】  搬入部３２は、キャリア７０の補充に用いられる。搬入部３２は、側方からのキャリア７０の搬入が可能となるように、受渡部３１の下方に設けられている。搬入部３２は、上記読取部２１と同様の読取部４１を有する。読取部４１は、搬入部３２内において上記情報保持部７１を読み取り可能な位置に配置されている。
【００４０】  搬出部３３は、使用済みの処理液ボトル８０を収容したキャリア７０の搬出に用いられる。搬出部３３は、側方へのキャリア７０の搬出が可能となるように、受渡部３１の下方に設けられている。
【００４１】  複数のキャリア収容部３４（第二キャリア収容部）は、複数のキャリア７０をそれぞれ収容する。複数のキャリア収容部３４は、受渡部３１と、搬入部３２及び搬出部３３との間において上下方向に並んでいる。
【００４２】  ボトル収容部３５（第二ボトル収容部）は、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０を収容する。ボトル収容部３５は、複数の処理液ボトル８０を収容するように構成されていてもよい。複数のボトル収容部３５は、キャリア収容部３４から離れた位置において上下方向に並んでいる。
【００４３】  搬送部３６（第二搬送部）は、キャリア収容部３４及びボトル収容部３５の間で処理液ボトル８０を搬送し、受渡部３１、搬入部３２、搬出部３３及びキャリア収容部３４の間でキャリア７０を搬送する。搬送部３６は、受渡部３１、搬入部３２、搬出部３３及び複数のキャリア収容部３４と、複数のボトル収容部３５との間に配置されている。例えば搬送部３６は、昇降、水平移動、旋回及び把持等の複数の自由度を有するロボットアームである。搬送部３６は、処理液ボトル８０を搬送可能な範囲が、受渡部３１と、搬入部３２と、搬出部３３と、全てのキャリア収容部３４と、全てのボトル収容部３５とを含むように構成されている。
【００４４】  筐体３７は、受渡部３１、搬入部３２、搬出部３３、全てのキャリア収容部３４、及び全てのボトル収容部３５を収容する。温度調節部３８は、筐体３７の内部の温度を調節する。例えば温度調節部３８は、ヒータと、クーラと、ファンと（いずれも不図示）を含んでいる。
【００４５】  なお、キャリア保管装置３０は、処理液供給装置１０と同様に、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０から基板処理装置９０に処理液を送出する送液部を更に有してもよい。換言すると、処理液供給システム１は、複数の処理液供給装置１０のいずれかが、キャリア保管装置３０としての機能を担うように構成されていてもよい。
【００４６】（自動搬送装置）  自動搬送装置５０は、例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ）であり、キャリア７０を吸着又は把持などにより保持する保持部５１と、保持部５１を昇降させる昇降部５２と、キャリア保管装置３０及び処理液供給装置１０の間で保持部５１を搬送する搬送部５３とを有する。
【００４７】（報知装置）  報知装置６０は、画像表示モニタ又は警告灯等の表示装置であり、処理液ボトル８０の処理液が消費期限内であることを示す通常状態と、少なくとも一つの処理液ボトル８０の処理液が消費期限切れであることを示すアラーム状態と、を切り替える。報知装置６０は、アラーム状態において、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０がいずれの装置に存在するかを示すように構成されていてもよい。
【００４８】（制御装置）  制御装置１００は、キャリア収容部１２のキャリア７０から処理液ボトル８０を取り出してボトル収容部１３に搬送するように搬送部１５を制御することと、ボトル収容部１３から送液部１４に処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御することと、使用済みの処理液ボトル８０を送液部１４からキャリア収容部１２のキャリア７０に収容するように搬送部１５を制御することと、を実行するように構成されている。
【００４９】  制御装置１００は、受渡部１１に配置されたキャリア７０をキャリア収容部１２に搬送するように搬送部１５を制御することと、使用済みの処理液ボトル８０を収容したキャリア７０をキャリア収容部１２から受渡部１１に搬送するように搬送部１５を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。制御装置１００は、送液部１４に処理液ボトル８０が配置された後、当該処理液ボトル８０が使用済みになるまでの間に、キャリア収容部１２のキャリア７０及びキャリア保管装置３０の間で他の処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御してもよい。制御装置１００は、送液部１４において処理液ボトル８０のキャップ８２の開閉を行うように搬送部１５を制御することを更に実行するように構成されていてもよく、送液ヘッド２５を処理液ボトル８０に装着するように搬送部１５を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。
【００５０】  制御装置１００は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて、処理液ボトル８０に収容された処理液の種類の情報を取得し、処理液の種類に基づいてキャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定してもよい。制御装置１００は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて、処理液ボトル８０に収容された処理液の消費期限の情報を取得し、処理液の消費期限の近い処理液ボトル８０が優先的に送液部１４に搬送されるように、キャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定してもよい。制御装置１００は、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が有る場合に、上記通常状態を上記アラーム状態に切り替えるように報知装置６０を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。
【００５１】  制御装置１００は、処理液供給装置１０に送るためのキャリア７０内の複数の処理液ボトル８０が、当該処理液供給装置１０に適した処理液を収容した状態になるように、当該キャリア７０と他のキャリア７０との間で処理液ボトル８０を入れ替えるように搬送部３６を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。
【００５２】  図４に例示するように、制御装置１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、処理液供給装置１０を制御する第一制御部１１０と、キャリア保管装置３０を制御する第二制御部１３０と、自動搬送装置５０を制御する第三制御部１４０と、処理液ボトル８０の情報を記憶するボトルデータベース１５０を有する。
【００５３】  例えばボトルデータベース１５０は、処理液ボトル８０の識別情報と、処理液ボトル８０の所在情報と、処理液ボトル８０が収容する処理液の種類と、処理液ボトル８０が収容する処理液の消費期限とを対応付けたテーブルデータを含む。処理液ボトル８０がキャリア７０に収容されている場合、処理液ボトル８０の所在情報は、キャリア７０の識別情報と、キャリア７０の所在情報とを含む。キャリア７０の所在情報は、キャリア７０の配置場所（受渡部１１，３１、キャリア収容部１２，３４、搬入部３２又は搬出部３３）の識別情報を含む。処理液ボトル８０がキャリア７０外にある場合、処理液ボトル８０の所在情報は、処理液ボトル８０の配置場所（ボトル収容部１３，３５）の識別情報を含む。
【００５４】  第一制御部１１０は、より細分化された機能モジュールとして、指令取得部１１１と、ボトルデータ更新部１１２と、ボトル選定部１１３と、搬送制御部１１４と、キャップ開閉制御部１１５と、ヘッド着脱制御部１１６と、送液制御部１１７と、外部搬送要求部１１８と、キャリア補充要求部１１９と、期限確認部１２１と、アラーム切替部１２２とを含む。
【００５５】  指令取得部１１１は、操作者による指令入力又は上位の制御装置からの指令入力を取得する。ボトルデータ更新部１１２は、読取部２１が読み取った情報保持部７１の情報と、搬送部１５による処理液ボトル８０の搬送の情報とに応じてボトルデータベース１５０の内容を更新する。例えばボトルデータ更新部１１２は、読取部２１が読み取ったキャリア７０の識別情報と、搬送部１５によるキャリア７０の搬送の情報とに従ってキャリア７０の所在情報を更新し、搬送部１５による処理液ボトル８０の搬送の情報に従って処理液ボトル８０の所在情報を更新する。
【００５６】  ボトル選定部１１３は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて、処理液ボトル８０に収容された処理液の種類の情報を取得し、処理液の種類に基づいてキャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定する。また、ボトル選定部１１３は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて、処理液ボトル８０に収容された処理液の消費期限の情報を取得し、処理液の消費期限の近い処理液ボトル８０が優先的に送液部１４に搬送されるように、キャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定する。例えばボトル選定部１１３は、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液の種類及び消費期限の情報を取得する。上述のように、ボトルデータベース１５０に記憶されるキャリア７０の所在情報は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて更新されている。このため、ボトルデータベース１５０に記憶された情報に基づくことは、情報保持部７１に保持された情報に基づくことに相当する。
【００５７】  搬送制御部１１４は、キャリア収容部１２のキャリア７０から処理液ボトル８０を取り出して補充ボトル収容部２２に搬送するように搬送部１５を制御することと、補充ボトル収容部２２から送液部１４に処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御することと、使用済みの処理液ボトル８０を送液部１４から搬送してキャリア収容部１２のキャリア７０に収容するように搬送部１５を制御することと、受渡部１１に配置されたキャリア７０をキャリア収容部１２に搬送するように搬送部１５を制御することと、使用済みの処理液ボトル８０を収容したキャリア７０をキャリア収容部１２から受渡部１１に搬送するように搬送部１５を制御することと、を実行する。
【００５８】  搬送制御部１１４は、送液部１４に処理液ボトル８０が配置された後、当該処理液ボトル８０が使用済みになるまでの間に、キャリア収容部１２のキャリア７０及びキャリア保管装置３０の間で他の処理液ボトル８０を搬送することと、受渡部１１及びキャリア収容部１２の間でキャリア７０を搬送することと、の少なくとも一方を実行するように構成されていてもよい。
【００５９】  キャップ開閉制御部１１５は、送液部１４において処理液ボトル８０のキャップ８２の開閉を行うように搬送部１５を制御する。ヘッド着脱制御部１１６は、送液ヘッド２５を処理液ボトル８０に対して着脱するように搬送部１５を制御する。
【００６０】  送液制御部１１７は、基板処理装置９０への送液を開始又は停止するように送液部１４を制御する。例えば送液制御部１１７は、送液ヘッド２５が処理液ボトル８０に装着された後に、ポンプ２６をオフ状態からオン状態にするように送液部１４を制御し、液位センサ２７により検出される液位が送液完了のレベルに達したときに、ポンプ２６をオン状態からオフ状態にするように送液部１４を制御する。
【００６１】  外部搬送要求部１１８は、使用済みのキャリア７０（全ての処理液ボトル８０が使用済みとなったキャリア７０）のキャリア保管装置３０への搬送を要求する信号を第三制御部１４０に送信する。キャリア補充要求部１１９は、キャリア７０の補充を要求する信号を第二制御部１３０に送信する。キャリア７０の補充を要求する信号は、補充用のキャリア７０内の処理液ボトル８０が収容する処理液の種類を指定する情報を含んでいてもよい。
【００６２】  期限確認部１２１は、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が処理液供給装置１０に存在するか否かを確認する。アラーム切替部１２２は、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が処理液供給装置１０に存在する場合に、上記通常状態を上記アラーム状態に切り替えるように報知装置６０を制御する。この際に、アラーム切替部１２２は、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が存在する処理液供給装置１０を示すように報知装置６０を制御してもよい。
【００６３】  第二制御部１３０は、より細分化された機能モジュールとして、指令取得部１３１と、ボトルデータ更新部１３２と、補充要求取得部１３３と、搬送制御部１３４と、外部搬送要求部１３５と、期限確認部１３６と、アラーム切替部１３７とを含む。
【００６４】  指令取得部１３１は、操作者による指令入力又は上位の制御装置からの指令入力を取得する。ボトルデータ更新部１３２は、読取部３９，４１が読み取った情報保持部７１の情報と、搬送部３６による処理液ボトル８０の搬送の情報とに応じてボトルデータベース１５０の内容を更新する。例えばボトルデータ更新部１３２は、読取部３９，４１が読み取ったキャリア７０の識別情報と、搬送部３６によるキャリア７０の搬送の情報とに従ってキャリア７０の所在情報を更新し、搬送部３６による処理液ボトル８０の搬送の情報に従って処理液ボトル８０の所在情報を更新する。
【００６５】  補充要求取得部１３３は、第一制御部１１０のキャリア補充要求部１１９から送信された信号（キャリア７０の補充を要求する信号）を取得する。搬送制御部１３４は、処理液供給装置１０に送るためのキャリア７０内の複数の処理液ボトル８０が、当該処理液供給装置１０に適した処理液を収容した状態になるように、当該キャリア７０と他のキャリア７０との間で処理液ボトル８０を入れ替えるように搬送部３６を制御する。例えば搬送制御部１３４は、処理液供給装置１０に送るためのキャリア７０内の複数の処理液ボトル８０が、キャリア補充要求部１１９から取得した信号に合致した処理液を収容した状態となるように、当該キャリア７０と他のキャリア７０との間で処理液ボトル８０を入れ替えるように搬送部３６を制御する。
【００６６】  外部搬送要求部１３５は、キャリア補充要求部１１９から取得した信号に応じたキャリア７０の処理液供給装置１０への搬送を要求する信号を第三制御部１４０に送信する。期限確認部１３６は、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０がキャリア保管装置３０に存在するか否かを確認する。
【００６７】  アラーム切替部１３７は、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０がキャリア保管装置３０に存在する場合に、上記通常状態を上記アラーム状態に切り替えるように報知装置を制御する。この際に、アラーム切替部１３７は、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０がキャリア保管装置３０に存在することを示すように報知装置６０を制御してもよい。
【００６８】  第三制御部１４０は、外部搬送要求部１１８及び外部搬送要求部１３５からの信号に従って、キャリア保管装置３０の受渡部３１及び処理液供給装置１０の受渡部１１の間でキャリア７０を搬送するように自動搬送装置５０を制御する。
【００６９】  制御装置１００は、制御用コンピュータにより構成される。例えば制御装置１００は、図５に示す回路１９０を有する。回路１９０は、一つ又は複数のプロセッサ１９１と、メモリ１９２と、ストレージ１９３と、入出力ポート１９４とを有する。ストレージ１９３は、例えばハードディスク等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。記憶媒体は、後述の処理液供給手順を処理液供給装置１０、キャリア保管装置３０及び自動搬送装置５０に実行させるためのプログラムを記憶している。記憶媒体は、不揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク及び光ディスク等の取り出し可能な媒体であってもよい。メモリ１９２は、ストレージ１９３の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ１９１による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ１９１は、メモリ１９２と協働して上記プログラムを実行することで、上述した各機能モジュールを構成する。入出力ポート１９４は、プロセッサ１９１からの指令に従って、読取部２１，３９，４１、搬送部１５，３６、ポンプ２６、液位センサ２７、自動搬送装置５０、及び報知装置６０との間で信号の入出力を行う。
【００７０】  なお、制御装置１００のハードウェア構成は、必ずしもプログラムにより各機能モジュールを構成するものに限られない。例えば制御装置１００の各機能モジュールは、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）により構成されていてもよい。また、制御装置１００は、通信回線により接続された複数の制御用コンピュータに分かれていてもよい。例えば制御装置１００は、処理液供給装置１０用の制御用コンピュータと、キャリア保管装置３０用の制御用コンピュータと、自動搬送装置５０用の制御用コンピュータとに分かれていてもよい。
【００７１】〔処理液供給手順〕  続いて、処理液供給方法の一例として、処理液供給システム１が実行する処理液供給手順を説明する。
【００７２】（処理液供給開始手順）  まず、処理液供給装置１０から基板処理装置９０に処理液の供給を開始するまでの手順（以下、「処理液供給開始手順」という。）を説明する。図６に示すように、制御装置１００は、まずステップＳ０１，Ｓ０２，Ｓ０３，Ｓ０４を順に実行する。ステップＳ０１では、自動搬送装置５０により受渡部１１にキャリア７０が配置されるのをボトルデータ更新部１１２が待機する（図７の（ａ）参照）。ステップＳ０２では、キャリア７０の情報保持部７１が保持する情報をボトルデータ更新部１１２が読取部２１から取得する。ステップＳ０３では、搬送制御部１１４が、受渡部１１からいずれかのキャリア収容部１２にキャリア７０を搬送するように搬送部１５を制御する（図７の（ｂ）参照）。ステップＳ０４では、ステップＳ０３におけるキャリア７０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１１２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。例えばボトルデータ更新部１１２は、ステップＳ０３におけるキャリア７０の搬送に従って、当該キャリア７０の所在情報を更新する。
【００７３】  次に、制御装置１００は、ステップＳ０５，Ｓ０６，Ｓ０７，Ｓ０８を順に実行する。ステップＳ０５では、ボトル選定部１１３が、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液の種類及び消費期限の情報を取得する。ステップＳ０６では、ステップＳ０５において取得された情報に基づいて、キャリア７０から取り出す処理液ボトル８０をボトル選定部１１３が選定する。
【００７４】  ボトル選定部１１３は、処理液の種類に基づいてキャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定する。また、ボトル選定部１１３は、処理液の消費期限の近い処理液ボトル８０が優先的に送液部１４に搬送されるように、キャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定する。例えばボトル選定部１１３は、処理液の種類に基づいてキャリア７０から取り出す候補となる複数の処理液ボトル８０を選定し、当該複数の処理液ボトル８０のうち処理液の消費期限の最も近い処理液ボトル８０を選定する。
【００７５】  ステップＳ０７では、ステップＳ０６において選定された処理液ボトル８０をキャリア７０から取り出して補充ボトル収容部２２に搬送するように、搬送制御部１１４が搬送部１５を制御する（図７の（ｃ）参照）。ステップＳ０８では、ステップＳ０７における処理液ボトル８０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１１２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。例えばボトルデータ更新部１１２は、ステップＳ０７における処理液ボトル８０の搬送に従って、当該処理液ボトル８０の所在情報を更新する。なお、ステップＳ０６，Ｓ０７では、複数の処理液ボトル８０が選定、搬送されてもよい。
【００７６】  次に、制御装置１００はステップＳ０９，Ｓ１１を実行する。ステップＳ０９は、補充ボトル収容部２２から送液部１４に処理液ボトル８０を搬送して送液を開始させる処理（以下、「送液開始処理」という。）を含む。送液開始処理の具体的な処理内容については後述する。ステップＳ１１では、全ての送液部１４で送液が開始されたか否かを送液制御部１１７が確認する。ステップＳ１１において、送液を開始していない送液部１４が存在していると判定した場合、制御装置１００は処理をステップＳ０９に戻す。以後、全ての送液部１４において送液が開始されるまで、送液開始処理が繰り返される。ステップＳ１１において、全ての送液部１４で送液が開始されたと判定した場合、制御装置１００は処理液供給開始手順を完了する。
【００７７】  図８は、ステップＳ０９における送液開始処理の手順を示すフローチャートである。図８に示すように、制御装置１００は、ステップＳ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４，Ｓ２５を順に実行する。
【００７８】  ステップＳ２１では、搬送制御部１１４が、補充ボトル収容部２２から送液部１４に処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御する。ステップＳ２２では、キャップ開閉制御部１１５が、送液部１４に搬送された処理液ボトル８０のキャップ８２を開けるように搬送部１５を制御する。例えばキャップ開閉制御部１１５は、処理液ボトル８０のキャップ８２を送液部１４の開閉治具２４に保持させた状態にて処理液ボトル８０を下降させるように搬送部１５を制御する（図９の（ａ）及び（ｂ）参照）。ステップＳ２３では、ステップＳ２２においてキャップ８２が外された処理液ボトル８０に送液ヘッド２５を装着するように、ヘッド着脱制御部１１６が搬送部１５を制御する。
【００７９】  例えばヘッド着脱制御部１１６は、処理液ボトル８０を送液ヘッド２５の下方に配置した後、当該処理液ボトル８０を送液ヘッド２５側に上昇させるように搬送部１５を制御する（図９の（ｃ）参照）。ステップＳ２４では、送液制御部１１７が、ポンプ２６をオフ状態からオン状態にするように送液部１４を制御する。ステップＳ２５では、ステップＳ２１における処理液ボトル８０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１１２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。
【００８０】（処理液供給継続手順）  続いて、送液部１４における処理液ボトル８０を交換しながら、処理液供給装置１０から基板処理装置９０への処理液の供給を継続する手順（以下、「処理液供給継続手順」という。）を説明する。
【００８１】  図１０に示すように、制御装置１００は、まずステップＳ３１を実行する。ステップＳ３１では、いずれかの送液部１４において処理液ボトル８０が使用済みになっているか否かを送液制御部１１７が確認する。処理液ボトル８０が使用済みになっているとは、液位センサ２７により検出される液位が送液完了のレベルに達していることを意味する。
【００８２】  ステップＳ３１において、いずれかの送液部１４において処理液ボトル８０が使用済みになっていると判定した場合、制御装置１００はステップＳ３２を実行する。ステップＳ３２は、処理液ボトル８０が使用済みになっている送液部１４（以下、「交換対象の送液部１４」という。）において、処理液ボトル８０を交換する処理（以下、「ボトル交換処理」という。）を含む。
【００８３】  図１１は、ステップＳ３２におけるボトル交換処理の手順を示すフローチャートである。図１１に示すように、制御装置１００は、まずステップＳ６１，Ｓ６２，Ｓ６３，Ｓ６４を順に実行する。ステップＳ６１では、送液制御部１１７が、ポンプ２６をオン状態からオフ状態にするように交換対象の送液部１４を制御する。ステップＳ６２では、ヘッド着脱制御部１１６が、使用済みの処理液ボトル８０から送液ヘッド２５を外すように搬送部１５を制御する。例えばヘッド着脱制御部１１６は、使用済みの処理液ボトル８０を下降させて送液ヘッド２５から遠ざけるように搬送部１５を制御する（図１２の（ａ）参照）。ステップＳ６３では、キャップ開閉制御部１１５が、使用済みの処理液ボトル８０のキャップ８２を閉じるように搬送部１５を制御する。例えばキャップ開閉制御部１１５は、交換対象の送液部１４の開閉治具２４に保持されたキャップ８２の下方に使用済みの処理液ボトル８０を配置した後、当該処理液ボトル８０を当該キャップ８２側に上昇させるように搬送部１５を制御する（図１２の（ｂ）参照）。ステップＳ６４では、搬送制御部１１４が、使用済みの処理液ボトル８０を交換対象の送液部１４から空ボトル収容部２３に搬送するように搬送部１５を制御する（図１２の（ｃ）参照）。
【００８４】  次に、制御装置１００は、ステップＳ６５，Ｓ６６，Ｓ６７，Ｓ６８を順に実行する。ステップＳ６５では、搬送制御部１１４が、補充ボトル収容部２２から交換対象の送液部１４に処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御する。ステップＳ６６では、キャップ開閉制御部１１５が、交換対象の送液部１４に搬送された処理液ボトル８０のキャップ８２を開けるように搬送部１５を制御する（ステップＳ２２と同様）。ステップＳ６７では、ステップＳ６６においてキャップ８２が外された処理液ボトル８０に送液ヘッド２５を装着するように、ヘッド着脱制御部１１６が搬送部１５を制御する（ステップＳ２３と同様）。ステップＳ６８では、送液制御部１１７が、ポンプ２６をオフ状態からオン状態にするように交換対象の送液部１４を制御する。
【００８５】  次に、制御装置１００は、ステップＳ６９，Ｓ７１を順に実行する。ステップＳ６９では、搬送制御部１１４が、使用済みの処理液ボトル８０を空ボトル収容部２３から搬送してキャリア収容部１２のキャリア７０に収容するように搬送部１５を制御する（図１２の（ｄ）参照）。ステップＳ７１では、ステップＳ６９における処理液ボトル８０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１１２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。以上でステップＳ３２におけるボトル交換処理が完了する。
【００８６】  図１０に戻り、ステップＳ３１においていずれの送液部１４においても処理液ボトル８０は使用済みになっていないと判定した場合、制御装置１００はステップＳ３３を実行する。ステップＳ３３では、受渡部１１に補充用のキャリア７０が配置されているか否かをボトルデータ更新部１１２が確認する。
【００８７】  ステップＳ３３において、受渡部１１に補充用のキャリア７０が配置されていると判定した場合、制御装置１００はステップＳ３４，Ｓ３５，Ｓ３６を順に実行する。ステップＳ３４では、キャリア７０の情報保持部７１が保持する情報をボトルデータ更新部１１２が読取部２１から取得する。ステップＳ３５では、搬送制御部１１４が、受渡部１１からいずれかのキャリア収容部１２にキャリア７０を搬送するように搬送部１５を制御する。ステップＳ３６では、ステップＳ３５におけるキャリア７０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１１２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。
【００８８】  ステップＳ３３において、受渡部１１に補充用のキャリア７０は配置されていないと判定した場合、制御装置１００はステップＳ３７を実行する。ステップＳ３７では、使用済みのキャリア７０（全ての処理液ボトル８０が使用済みとなったキャリア７０）が存在するか否かを搬送制御部１１４が確認する。
【００８９】  ステップＳ３７において、使用済みのキャリア７０が存在すると判定した場合、制御装置１００はステップＳ３８，Ｓ３９，Ｓ４１を順に実行する。ステップＳ３８では、搬送制御部１１４が、キャリア収容部１２から受渡部１１に使用済みのキャリア７０を搬送するように搬送部１５を制御する。ステップＳ３９では、キャリア補充要求部１１９が、キャリア７０の補充を要求する信号を第二制御部１３０の補充要求取得部１３３に送信する。ステップＳ４１では、外部搬送要求部１１８が、使用済みのキャリア７０のキャリア保管装置３０への搬送を要求する信号を第三制御部１４０に送信する。これに応じ、第三制御部１４０は、使用済みのキャリア７０を処理液供給装置１０の受渡部１１からキャリア保管装置３０の受渡部３１に搬送するように自動搬送装置５０を制御する。
【００９０】  ステップＳ３７において、使用済みのキャリア７０は無いと判定した場合、制御装置１００はステップＳ４２を実行する。ステップＳ４２では、補充ボトル収容部２２への処理液ボトル８０の補充が必要か否かを搬送制御部１１４が確認する。例えば搬送制御部１１４は、補充ボトル収容部２２の処理液ボトル８０の数が所定数よりも少ない場合に、処理液ボトル８０の補充が必要であると判定する。
【００９１】  ステップＳ４２において、補充ボトル収容部２２への処理液ボトル８０の補充が必要であると判定した場合、制御装置１００はステップＳ４３，Ｓ４４，Ｓ４５，Ｓ４６を順に実行する。ステップＳ４３では、ボトル選定部１１３が、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、キャリア７０内の処理液ボトル８０に収容された処理液の種類及び消費期限の情報を取得する。ステップＳ４４では、ステップＳ４３において取得された情報に基づいて、キャリア７０から取り出す処理液ボトル８０をボトル選定部１１３が選定する（ステップＳ０６と同様）。ステップＳ４５では、ステップＳ４４において選定された処理液ボトル８０をキャリア７０から取り出して補充ボトル収容部２２に搬送するように、搬送制御部１１４が搬送部１５を制御する。ステップＳ４６では、ステップＳ４５における処理液ボトル８０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１１２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。
【００９２】  ステップＳ３２，Ｓ３６，Ｓ４１，Ｓ４６の後、制御装置１００はステップＳ４７を実行する。ステップＳ４２において、補充ボトル収容部２２への処理液ボトル８０の補充は不要であると判定した場合も、制御装置１００はステップＳ４７を実行する。ステップＳ４７では、指令取得部１１１が、停止指令の有無を確認する。
【００９３】  ステップＳ４７において、停止指令は無いと判定した場合、制御装置１００はステップＳ４８を実行する。ステップＳ４８では、期限確認部１２１が、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が処理液供給装置１０に存在するか否かを確認する。
【００９４】  ステップＳ４８において、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が存在すると判定した場合、制御装置１００はステップＳ４９を実行する。ステップＳ４９では、アラーム切替部１２２が、上記通常状態を上記アラーム状態に切り替えるように報知装置６０を制御する。その後、制御装置１００は処理をステップＳ３１に戻す。ステップＳ４８において、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０は存在しないと判定した場合、制御装置１００はステップＳ４９を実行することなく処理をステップＳ３１に戻す。
【００９５】  以後、停止指令が入力されるまでは、必要に応じ送液部１４における処理液ボトル８０を交換しながら、処理液供給装置１０から基板処理装置９０への処理液の供給が継続される。送液部１４に処理液ボトル８０が配置された後、当該処理液ボトル８０が使用済みになるまでの間（すなわち、いずれの送液部１４においても処理液ボトル８０は使用済みになっていないと判定されている間）においては、キャリア収容部１２のキャリア７０及びキャリア保管装置３０の間で他の処理液ボトル８０を搬送することと、受渡部１１及びキャリア収容部１２の間でキャリア７０を搬送することと、の少なくとも一方が必要に応じ実行される。
【００９６】  ステップＳ４７において、停止指令が有ると判定した場合、制御装置１００はステップＳ５１を実行する。ステップＳ５１では、送液制御部１１７が、ポンプ２６をオフ状態からオン状態に切り替えるように全ての送液部１４を制御する。以上で処理液供給継続手順が完了する。
【００９７】（キャリア保管手順）  続いて、キャリア保管装置３０におけるキャリア７０の保管手順を説明する。図１３に示すように、制御装置１００は、まずステップＳ８１を実行する。ステップＳ８１では、補充要求取得部１３３が、キャリア７０の補充を要求する信号の受信の有無を確認する。
【００９８】  ステップＳ８１において、キャリア７０の補充を要求する信号を受信したと判定した場合、制御装置１００はステップＳ８２，Ｓ８３，Ｓ８４，Ｓ８５を順に実行する。ステップＳ８２では、処理液供給装置１０に送るためのキャリア７０内の複数の処理液ボトル８０が、キャリア補充要求部１１９から取得した信号に合致した処理液を収容した状態となるように、当該キャリア７０と他のキャリア７０との間で処理液ボトル８０を入れ替えるように搬送制御部１３４が搬送部３６を制御する。この際に、搬送制御部１３４は、ボトル収容部３５を経て処理液ボトル８０を搬送するように搬送部３６を制御してもよい。ステップＳ８３では、ステップＳ８２における処理液ボトル８０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１３２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。ステップＳ８４では、補充用のキャリア７０（処理液供給装置１０に送るためのキャリア７０）をキャリア収容部３４から受渡部３１に搬送するように搬送制御部１３４が搬送部３６を制御する。ステップＳ８５では、外部搬送要求部１３５が、補充用のキャリア７０の処理液供給装置１０への搬送を要求する信号を第三制御部１４０に送信する。これに応じ、第三制御部１４０は、補充用のキャリア７０をキャリア保管装置３０の受渡部３１から処理液供給装置１０の受渡部１１に搬送するように自動搬送装置５０を制御する。
【００９９】  ステップＳ８１において、キャリア７０の補充を要求する信号を受信していないと判定した場合、制御装置１００はステップＳ８６を実行する。ステップＳ８６では、搬入部３２にキャリア７０が配置されているか否かをボトルデータ更新部１３２が確認する。
【０１００】  ステップＳ８６において、搬入部３２にキャリア７０が配置されていると判定した場合、制御装置１００はステップＳ８７，Ｓ８８，Ｓ８９を順に実行する。ステップＳ８７では、キャリア７０の情報保持部７１が保持する情報をボトルデータ更新部１３２が読取部４１から取得する。ステップＳ８８では、搬送制御部１３４が、搬入部３２からいずれかのキャリア収容部３４にキャリア７０を搬送するように搬送部３６を制御する。ステップＳ８９では、ステップＳ８７において読み取ったデータに従って、新たなキャリア７０（ステップＳ８８において搬送されたキャリア７０）内の処理液ボトル８０のデータをボトルデータベース１５０に登録する。
【０１０１】  ステップＳ８６において、搬入部３２にキャリア７０は配置されていないと判定した場合、制御装置１００はステップＳ９１を実行する。ステップＳ９１では、受渡部３１に上記使用済みのキャリア７０が配置されているか否かをボトルデータ更新部１３２が確認する。
【０１０２】  ステップＳ９１において、受渡部３１に使用済みのキャリア７０が配置されていると判定した場合、制御装置１００はステップＳ９２，Ｓ９３，Ｓ９４を順に実行する。ステップＳ９２では、キャリア７０の情報保持部７１が保持する情報をボトルデータ更新部１３２が読取部３９から取得する。ステップＳ９３では、搬送制御部１３４が、受渡部３１から搬出部３３にキャリア７０を搬送するように搬送部３６を制御する。ステップＳ９４では、ステップＳ９３におけるキャリア７０の搬送に従って、ボトルデータ更新部１３２がボトルデータベース１５０の内容を更新する。例えばボトルデータ更新部１３２は、ステップＳ９３において搬送されたキャリア７０内の処理液ボトル８０の情報をボトルデータベース１５０から削除する。
【０１０３】  ステップＳ８５，Ｓ８９，Ｓ９４の後、制御装置１００はステップＳ９５を実行する。ステップＳ９１において、受渡部３１に使用済みのキャリア７０は配置されていないと判定した場合も、制御装置１００はステップＳ９５を実行する。ステップＳ９５では、指令取得部１３１が、停止指令の有無を確認する。
【０１０４】  ステップＳ９５において、停止指令は無いと判定した場合、制御装置１００はステップＳ９６を実行する。ステップＳ９６では、期限確認部１３６が、ボトルデータベース１５０に記憶された情報を参照し、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０がキャリア保管装置３０に存在するか否かを確認する。
【０１０５】  ステップＳ９６において、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が存在すると判定した場合、制御装置１００はステップＳ９７を実行する。ステップＳ９７では、アラーム切替部１３７が、上記通常状態を上記アラーム状態に切り替えるように報知装置６０を制御する。その後、制御装置１００は処理をステップＳ８１に戻す。ステップＳ９６において、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０は存在しないと判定した場合、制御装置１００はステップＳ９７を実行することなく処理をステップＳ８１に戻す。以後、停止指令が入力されるまでは、必要に応じ補充用のキャリア７０の準備、新たなキャリア７０の受入れ、使用済みのキャリア７０の送出しを行いながら、キャリア７０の保管が継続される。
【０１０６】  ステップＳ９５において、停止指令が有ると判定した場合、制御装置１００はキャリア７０の保管手順を完了する。
【０１０７】〔本実施形態の効果〕  以上に説明したように、処理液供給システム１は、複数の処理液ボトル８０を収容したキャリア７０を収容するキャリア収容部１２と、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０を収容するボトル収容部１３と、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０から基板処理装置９０に処理液を送出する送液部１４と、キャリア収容部１２、ボトル収容部１３及び送液部１４の間で処理液ボトル８０を搬送する搬送部１５と、を有する処理液供給装置１０と、キャリア収容部１２のキャリア７０から処理液ボトル８０を取り出してボトル収容部１３に搬送するように搬送部１５を制御することと、ボトル収容部１３から送液部に処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御することと、使用済みの処理液ボトル８０を送液部１４から搬送してキャリア収容部１２のキャリア７０に収容するように搬送部１５を制御することと、を実行するように構成された制御装置１００と、を備える。
【０１０８】  この処理液供給システム１によれば、キャリア７０から処理液ボトル８０を取り出して送液部に配置すること、及び使用済みの処理液ボトル８０をキャリア７０に戻すことが自動実行されるので、キャリア７０単位での処理液ボトル８０の補充・回収が可能となる。これにより、処理液ボトル８０の補充・回収作業の頻度が低減される。また、ボトル収容部１３を用いて処理液ボトル８０単位でのバッファリングを行うことで、送液部１４における処理液ボトル８０の交換の迅速性を保つことができる。したがって、基板処理において処理液ボトル８０を補充・回収する作業の負担軽減に有効である。
【０１０９】  処理液供給装置１０は、キャリア７０の受け渡し用の受渡部１１を更に備え、制御装置１００は、受渡部１１に配置されたキャリア７０をキャリア収容部１２に搬送するように搬送部１５を制御することと、使用済みの処理液ボトル８０を収容したキャリア７０をキャリア収容部１２から受渡部１１に搬送するように搬送部１５を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。この場合、処理液供給装置１０へのキャリア７０の受け渡し作業が単純化される。キャリア７０の受け渡し作業の単純化は、当該作業の自動化にも寄与し得る。したがって、処理液ボトル８０を交換する作業の更なる負担軽減に有効である。
【０１１０】  制御装置１００は、送液部１４に処理液ボトル８０が配置された後、当該処理液ボトル８０が使用済みになるまでの間に、キャリア収容部１２のキャリア７０及びボトル収容部１３の間で他の処理液ボトル８０を搬送するように搬送部１５を制御してもよい。この場合、送液部１４に処理液ボトル８０が配置された後、当該処理液ボトル８０が使用済みになるまでの間に、処理液ボトル８０単位でのバッファリングを行っておくことにより、送液部１４における処理液ボトル８０の交換の迅速性をより確実に保つことができる。
【０１１１】  処理液供給装置１０は、複数の送液部１４を有し、搬送部１５は、処理液ボトル８０を搬送可能な範囲が複数の送液部１４を含むように構成されていてもよい。この場合、複数の送液系統で搬送部１５を共用することにより、装置構成の簡素化を図ることができる。
【０１１２】  制御装置１００は、送液部１４において処理液ボトル８０のキャップ８２の開閉を行うように搬送部１５を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、キャップ８２を開閉するための構成の少なくとも一部が複数の送液系統で共用されるので、装置構成の簡素化を図ることができる。
【０１１３】  送液部１４は、処理液ボトル８０内から処理液を送出するための送液ヘッド２５を有し、制御装置１００は、送液ヘッド２５を処理液ボトル８０に装着するように搬送部１５を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、送液ヘッド２５を装着するための構成の少なくとも一部が複数の送液系統で共用されるので、装置構成の更なる簡素化を図ることができる。
【０１１４】  キャリア７０は、処理液ボトル８０に収容された処理液に関する情報を保持する情報保持部７１を有し、制御装置１００は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて、処理液ボトル８０に収容された処理液の種類の情報を取得し、処理液の種類に基づいてキャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定してもよい。この場合、情報保持部７１に保持された情報を利用して、処理液供給装置１０における処理液ボトル８０搬送の高効率化を図ることができる。
【０１１５】  制御装置１００は、情報保持部７１が保持する情報に基づいて、処理液ボトル８０に収容された処理液の消費期限の情報を取得し、処理液の消費期限の近い処理液ボトル８０が優先的に送液部１４に搬送されるように、キャリア７０から取り出す処理液ボトル８０を選定してもよい。この場合、処理液の消費期限切れの発生を抑制することができる。
【０１１６】  処理液供給システムは、全ての処理液ボトル８０の処理液が消費期限内であることを示す通常状態と、少なくとも一つの処理液ボトル８０の処理液が消費期限切れであることを示すアラーム状態と、を切り替える報知装置６０を更に備え、制御装置１００は、処理液が消費期限切れである処理液ボトル８０が有る場合に、通常状態をアラーム状態に切り替えるように報知装置６０を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、消費期限切れとなった処理液の使用を防ぐことで、信頼性の更なる向上を図ることができる。
【０１１７】  処理液供給装置１０は、キャリア収容部１２、ボトル収容部１３、送液部１４、及び搬送部１５を含む筐体１６と、筐体１６の内部の温度を調節する温度調節部１７と、を更に有していてもよい。この場合、処理液のボトルが処理液供給装置１０の筐体１６内に集中配置される構成を利用し、簡素な構成にて処理液の温度を管理することができる。
【０１１８】  処理液供給システム１は、複数のキャリア７０を収容するキャリア保管装置３０と、キャリア保管装置３０及び処理液供給装置１０の間でキャリア７０を搬送する自動搬送装置５０と、を更に備えていてもよい。この場合、キャリア７０の供給元と、処理液供給装置１０との間に、複数のキャリア７０を収容するキャリア保管装置３０が介在することにより、キャリア７０の補充・回収作業の頻度を更に低減することができる。
【０１１９】  キャリア保管装置３０は、複数のキャリア７０をそれぞれ収容する複数のキャリア収容部３４と、キャリア７０から取り出された処理液ボトル８０を収容するボトル収容部３５と、キャリア収容部３４及びボトル収容部３５の間で処理液ボトル８０を搬送する搬送部３６と、を有し、制御装置１００は、処理液供給装置１０に送るためのキャリア７０内の複数の処理液ボトル８０が、当該処理液供給装置１０に適した処理液を収容した状態になるように、当該キャリア７０と他のキャリア７０との間で処理液ボトル８０を入れ替えるように搬送部３６を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、処理液ボトル８０の補充・回収作業の頻度低減と、無駄の少ない処理液ボトル８０供給との両立を図ることができる。
【０１２０】  以上、実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。基板処理装置９０における処理対象の基板は、半導体ウェハに限られず、例えばガラス基板、マスク基板、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等であってもよい。
【０１２１】  以上の実施形態に関して、次のとおり付記する。（付記１）  複数の処理液ボトルを収容したキャリアを収容する第一キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルを収容する第一ボトル収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルから基板処理装置に処理液を送出する送液部と、  前記第一キャリア収容部、前記第一ボトル収容部及び前記送液部の間で前記処理液ボトルを搬送する第一搬送部と、を有する処理液供給装置と、  前記第一キャリア収容部の前記キャリアから前記処理液ボトルを取り出して前記第一ボトル収容部に搬送するように前記第一搬送部を制御することと、前記第一ボトル収容部から前記送液部に前記処理液ボトルを搬送するように前記第一搬送部を制御することと、使用済みの前記処理液ボトルを前記送液部から搬送して前記第一キャリア収容部の前記キャリアに収容するように前記第一搬送部を制御することと、を実行するように構成された制御装置と、を備える処理液供給システム。（付記２）  前記処理液供給装置は、  前記キャリアの受け渡し用の第一受渡部を更に備え、  前記制御装置は、前記第一受渡部に配置された前記キャリアを前記第一キャリア収容部に搬送するように前記第一搬送部を制御することと、使用済みの前記処理液ボトルを収容した前記キャリアを前記第一キャリア収容部から前記第一受渡部に搬送するように前記第一搬送部を制御することと、を更に実行するように構成されている、付記１記載の処理液供給システム。（付記３）  前記制御装置は、前記送液部に前記処理液ボトルが配置された後、当該処理液ボトルが使用済みになるまでの間に、前記第一キャリア収容部の前記キャリア及び前記第一ボトル収容部の間で他の前記処理液ボトルを搬送するように前記第一搬送部を制御する、付記１又は２記載の処理液供給システム。（付記４）  前記処理液供給装置は、  複数の前記送液部を有し、  前記第一搬送部は、前記処理液ボトルを搬送可能な範囲が前記複数の送液部を含むように構成されている、付記１〜３のいずれか一項記載の処理液供給システム。（付記５）  前記制御装置は、前記送液部において前記処理液ボトルのキャップの開閉を行うように前記第一搬送部を制御することを更に実行するように構成されている、付記４記載の処理液供給システム。（付記６）  前記送液部は、前記処理液ボトル内から処理液を送出するための送液ヘッドを有し、  前記制御装置は、前記送液ヘッドを前記処理液ボトルに装着するように前記第一搬送部を制御することを更に実行するように構成されている、付記５記載の処理液供給システム。（付記７）  前記キャリアは、前記処理液ボトルに収容された処理液に関する情報を保持する情報保持部を有し、  前記制御装置は、前記情報保持部が保持する情報に基づいて、前記処理液ボトルに収容された処理液の種類の情報を取得し、処理液の種類に基づいて前記キャリアから取り出す前記処理液ボトルを選定する、付記２〜６のいずれか一項記載の処理液供給システム。（付記８）  前記制御装置は、前記情報保持部が保持する情報に基づいて、前記処理液ボトルに収容された処理液の消費期限の情報を取得し、処理液の消費期限の近い前記処理液ボトルが優先的に前記送液���に搬送されるように、前記キャリアから取り出す前記処理液ボトルを選定する、付記７記載の処理液供給システム。（付記９）  全ての前記処理液ボトルの処理液が消費期限内であることを示す通常状態と、少なくとも一つの前記処理液ボトルの処理液が消費期限切れであることを示すアラーム状態と、を切り替える報知装置を更に備え、  前記制御装置は、前記処理液が消費期限切れである前記処理液ボトルが有る場合に、前記通常状態を前記アラーム状態に切り替えるように報知装置を制御することを更に実行するように構成されている、付記８記載の処理液供給システム。（付記１０）  前記処理液供給装置は、  前記第一キャリア収容部、前記第一ボトル収容部、前記送液部、及び前記第一搬送部を含む筐体と、  前記筐体の内部の温度を調節する温度調節部と、を更に有する、付記１〜９のいずれか一項記載の処理液供給システム。（付記１１）  複数の前記キャリアを収容するキャリア保管装置と、  前記キャリア保管装置及び前記処理液供給装置の間で前記キャリアを搬送する自動搬送装置と、を更に備える、付記１〜１０のいずれか一項記載の処理液供給システム。（付記１２）  前記キャリア保管装置は、  複数の前記キャリアをそれぞれ収容する複数の第二キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルを収容する第二ボトル収容部と、  前記第二キャリア収容部及び前記第二ボトル収容部の間で前記処理液ボトルを搬送する第二搬送部と、を有し、  前記制御装置は、前記処理液供給装置に送るための前記キャリア内の前記複数の処理液ボトルが、当該処理液供給装置に適した処理液を収容した状態になるように、当該キャリアと他の前記キャリアとの間で前記処理液ボトルを入れ替えるように前記第二搬送部を制御することを更に実行するように構成されている、付記１１記載の処理液供給システム。（付記１３）  複数の処理液ボトルを収容したキャリアを収容する第一キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルを収容する第一ボトル収容部と、  前記キャリアから取り出された前記処理液ボトルから基板処理装置に処理液を送出する送液部と、  前記第一キャリア収容部、前記第一ボトル収容部及び前記送液部の間で前記処理液ボトルを搬送する第一搬送部と、を備える処理液供給装置。（付記１４）  複数の処理液ボトルをそれぞれが収容した複数のキャリアを収容する第二キャリア収容部と、  前記キャリアから取り出された前記ボトルを収容する第二ボトル収容部と、  前記第二キャリア収容部及び前記第二ボトル収容部の間で前記ボトルを搬送する第二搬送部と、  基板処理装置に処理液を供給する処理液供給装置との間でキャリアの受け渡しを行うための第二受渡部と、を備えるキャリア保管装置。
【符号の説明】
【０１２２】  １…処理液供給システム、１０…処理液供給装置、１１…受渡部（第一受渡部）、１２…キャリア収容部（第一キャリア収容部）、１３…ボトル収容部（第一ボトル収容部）、１４…送液部、１５…搬送部（第一搬送部）、１６…筐体、１７…温度調節部、２５…送液ヘッド、３０…キャリア保管装置、３４…キャリア収容部（第二キャリア収容部）、３５…ボトル収容部（第二ボトル収容部）、３６…搬送部（第二搬送部）、５０…自動搬送装置、６０…報知装置、７０…キャリア、７１…情報保持部、８０…処理液ボトル、８２…キャップ、９０…基板処理装置、１００…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2019088189.tif 000011
【図１０】
2019088189.tif 000012
【図１１】
2019088189.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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