(57)【要約】  ダイヤモンド砥石の砥粒面に切り粉ができるだけ付着しないように研磨する。  回転砥石(２)を回転させながら、回転砥石(２)のダイヤモンド砥石(２ｂ)の研磨面(２ｂａ)で、超合金からなるワーク(Ｗ)を研磨する研磨装置(１)である。研磨の際に、研磨面(２ｂａ)に、研磨面(２ｂａ)に直交する方向からノズル(３ａ)を通じて高圧の研削液を吹き付けて研磨粉を洗い流す研削液吹き付け手段(３)を備える。研削液吹き付け手段(３)は、ワーク(Ｗ)を研磨するワーク研磨位置(Ｐ２)とは異なる研削液吹き付け位置(Ｐ１)に配置され、研削液吹き付け手段(３)のノズル(３ａ)が揺動する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤモンド砥粒をバインダーで結合してなるダイヤモンド砥石を回転させながら、超合金からなるワークを研磨する研磨方法であって、  前記ワークを研磨する前記ダイヤモンド砥石の研磨面に、吹き付ける部位を変えつつ高圧の研削液を吹き付けながら、前記ワークを研磨することを特徴とする、  研磨方法。
【請求項２】
前記研削液は、前記ワークを研磨する位置とは異なる位置で、前記研磨面に直交する方向から１ｍｍ〜２０ｍｍ程度離れて８Ｍｐａ以上５０ＭＰａ以下の高圧で、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付けられる、  請求項１記載の研磨方法。
【請求項３】
前記研削液の吹き付けは、噴射角０度の直線噴射、又は噴射角１５度以内の噴射である、  請求項２記載の研磨方法。
【請求項４】
前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付けられる圧力は、１０Ｍｐａ以上１５ＭＰａ以下の高圧である、  請求項３記載の研磨方法。
【請求項５】
前記ダイヤモンド砥石は、半径方向に一定長さを有する環状の研磨面を有するもので、  前記研磨面に対し前記研削液を吹き付ける部位を前記半径方向において、内径側部分と外径側部分との間で揺動させる、  請求項１記載の研磨方法。
【請求項６】
前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付ける高圧の研削液とは別に、  前記研磨面に冷却液を供給しながら、前記ワークを研磨する、  請求項２記載の研磨方法。
【請求項７】
前記高圧の研削液に、精製水を用い、  前記冷却液に、前記研削液として使用された後の精製水を用いる、  請求項６記載の研磨方法。
【請求項８】
前記ダイヤモンド砥石にかえて、ＣＢＮ砥石、又はアルミナ質系砥粒をバインダーで結合してなるアルミナ質系砥石、若しくは炭化けい素質系砥粒をバインダーで結合してなる炭化けい素質系砥石を用いる、  請求項１乃至７のいずれか１項に記載の研磨方法。
【請求項９】
ダイヤモンド砥粒をバインダーで結合してなるダイヤモンド砥石を回転させながら、超合金からなるワークを研磨する研磨装置であって、  研磨の際に、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に、前記研磨面に直交する方向からノズルを通じて高圧で研削液を吹き付ける研削液吹き付け手段を備え、  前記研削液吹き付け手段は、前記ノズルを移動させることで研削液の吹き付け部位を変えるノズル移動手段を有することを特徴とする、  研磨装置。
【請求項１０】
前記ダイヤモンド砥石は、半径方向に一定長さを有する環状の研磨面を有するもので、  前記ノズル移動手段は、前記ワークを研磨する研磨位置とは異なる位置で、前記研磨面に対し半径方向において、内径側部分と外径側部分との間で前記ノズルを揺動させるものである、  請求項９記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記研削液吹き付け手段は、８Ｍｐａ以上５０ＭＰａ以下の高圧で研削液を吹き付け可能である、  請求項９記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記ノズルは、前記研削液の吹き付けが噴射角０度の直線噴射、又は噴射角１５度以内の噴射となるノズルである、  請求項１１記載の研磨装置。
【請求項１３】
前記研削液吹き付け手段が吹き付ける圧力は、１０Ｍｐａ以上１５ＭＰａ以下の高圧である、  請求項１２記載の研磨装置。
【請求項１４】
前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付ける高圧の研削液とは別に、前記研磨面に冷却液を供給する手段をさらに備える、  請求項１０記載の研磨装置。
【請求項１５】
前記高圧の研削液に精製水を用い、前記冷却液に前記研削液として使用された後の精製水を用いる、  請求項１４記載の研磨装置。
【請求項１６】
前記ダイヤモンド砥石にかえて、ＣＢＮ砥石、又はアルミナ質系砥粒をバインダーで結合してなるアルミナ質系砥石、若しくは炭化けい素質系砥粒をバインダーで結合してなる炭化けい素質系砥石を用いる、  請求項９乃至１５のいずれか１項に記載の研磨装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ダイヤモンド砥石やＣＢＮ砥石などの硬質の砥石を用いた研磨方法及び研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  ダイヤモンド砥石とは、ダイヤモンド砥粒をバインダーで結合したものであり、通常の酸化アルミニウムなどを用いた砥石に比べて硬質の砥石である。また、硬質の砥石として、ＣＢＮ砥石がある。ＣＢＮ砥石とは、ホウ素や窒素からなる化合物である立方晶窒化ホウ素（cubic Boron Nitride）を用いた硬質の砥石である。【０００３】  上記したダイヤモンド砥石やＣＢＮ砥石は、従来のワークから例えばインコネル（登録商標）などの超合金からなるワークまで幅広く利用される。また、超合金のワークなどを研磨する場合など、砥石に目詰まりが生ずる。従来、そのような目詰まりが生じた場合は、研磨性能を回復させるために、ダイヤモンドドレッサーなどにより、目詰まりした研磨面（砥粒面）を１層削り取るようにしている。【０００４】  このような砥石は、従来の砥石に比べて高価であるため、ドレッサーによる削り取りを可能なかぎりせずに、できるだけ長期間に亘って研磨できるようにしたいという要求がある。【０００５】  ところで、研磨面の目詰まりを防止するために、研磨の際に回転中の研磨具の内側から液体を染み出させながら及び／又は研磨具の外側から液体を研磨具に吹き付けながらワークを研磨することが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１１８１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  前述したようなダイヤモンド砥石等で、例えばインコネル（登録商標）などの超合金からなるワークを研磨する場合、目詰まりの原因となる研磨粉がダイヤモンド砥粒の間にしっかりと入り込み、液体を染み出させながら及び／又は研磨具の外側から液体を研磨具に吹き付けながらワークを研磨するだけでは、目詰まりを抑制することが困難である。【０００８】  本発明は、ダイヤモンド砥石などの研磨面の目詰まりを抑制できる研磨方法及び研磨装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本発明に係る一の態様の研磨方法は、ダイヤモンド砥粒をバインダーで結合してなるダイヤモンド砥石を回転させながら、超合金からなるワークを研磨する研磨方法であって、前記ワークを研磨する前記ダイヤモンド砥石の研磨面に、吹き付ける部位を変えつつ高圧の研削液を吹き付けながら、前記ワークを研磨することを特徴とする。【００１０】  このようにすれば、研磨する際に、研磨面（砥粒面）に対し高圧でもって研削液が、吹き付ける部位を変えながら吹き付けられるので、目詰まりを起こす原因となる研磨粉が洗い流され、ドレッシングを行うことなく、長期間に亘って研磨作業を継続することができる。よって、ドレッシングの回数を減らすことができる。とくに、高圧で吹き付けるだけでなく、吹き付ける部位を変えながら吹き付けるので、洗い流しをムラなく行うことができる。ここで、研削液は、主として砥石の砥粒面の目詰まり除去や目詰まりを抑制する目的で用いるが、あわせて、砥粒面を冷却する冷却液としても作用する。また、研削液には、一例として精製水を用いる。【００１１】  特に、上記したダイヤモンド砥粒を用いたダイヤモンド砥石の場合、ドレッシングを行うと、高価なダイヤモンド砥粒が多数存在する層を削除しなければならないため、コストが非常にかかっていた。また、ダイヤモンド砥粒は極めて硬度が高いため、通常の砥石のように、砥石の表面をメンテナンス用の砥石などで研削して、砥石の表面を削って研磨性能を回復させることが非常に困難であった。ダイヤモンド砥粒がメンテナンス用の砥石よりも硬いためである。そのため、ダイヤモンド砥石のメンテナンスは非常に困難であったところ、上記した本発明を用いることで、ダイヤモンド砥石の表面をダイヤモンド砥粒を研削せずとも回復させることができ、非常に画期的である。【００１２】  また、この研磨方法は、前記研削液が、前記ワークを研磨する位置とは異なる位置で、前記研磨面に直交する方向から１ｍｍ〜２０ｍｍ離れて、８Ｍｐａ以上５０ＭＰａ以下の高圧で、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付けられることが望ましい。【００１３】  このようにすれば、研磨作業の作業性を損なうことなく、目詰まりを効果的に抑制することができる。ここで、前記研削液の噴出位置は、研磨面と直交する方向から５ｍｍ程度離れた位置であると、より効果的である。【００１４】  また、この研磨方法は、前記研削液の吹き付けが噴射角０度の直線噴射又は噴射角１５度以内の噴射である。このようにすれば、研削液の高圧の吹き付けが可能となる。また、噴射角０度とすればより高圧となる一方、噴射角を付けることで砥面への吹き付け面積が大きくなる。なお、噴射角を付ける場合は、研磨面からの離間距離は５ｍｍ以内が好ましい。【００１５】  また、この研磨方法は、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付けられる圧力が１０Ｍｐａ以上１５ＭＰａ以下の高圧であることが好ましい。このようにすれば、研磨作業の作業性、コストの面からより望ましい。【００１６】  また、この研磨方法は、前記ダイヤモンド砥石が、半径方向に一定長さを有する環状の研磨面を有するもので、前記研磨面に対し前記研削液を吹き付ける部位を前記半径方向において、内径側部分と外径側部��との間で揺動させることが望ましい。【００１７】  このようにすれば、高圧の研削液を、ダイヤモンド砥石におけるワークが研磨される研磨部分にわたり吹き付けることができる。なお、研磨面に対し研削液を吹き付ける部位を、半径方向において、内径側部分と外径側部分との間で往復移動させてもよい。このようにすれば、ワークが大きい場合に高圧の研削液を内径側部分、外径側部分にかかわりなく研磨面全体に吹き付けることができる。なお、ワークのサイズが小さい場合は、研削液を吹き付ける部位を固定させてもよい。【００１８】  また、この研磨方法は、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付ける高圧の研削液とは別に、前記研磨面に冷却液を供給しながら、前記ワークを研磨する。このようにすれば、砥石やワークを冷却しながら研磨できるとともに、砥石とワークの接地面に冷却液が介在してスムーズな研磨が可能となる。【００１９】  また、この研磨方法は、前記高圧の研削液に精製水を用い、前記冷却液に前記研削液として使用された後の精製水を用いる。このようにすれば、高圧の研削液に地下水や水道水などの不純物が存在する液体を用いずに精製水を用いることで、ポンプやノズルなどに異物が介在することを抑制して、これらの寿命がのびる。一方、冷却液は高圧ノズル等を介さず使用するため、使用後の研削液を用いてもよい。なお、使用後の研削液を濾過した後に冷却液として用いてもよい。【００２０】  また、この研磨方法は、前記ダイヤモンド砥石にかえて、ＣＢＮ砥石、又はアルミナ質系砥粒をバインダーで結合してなるアルミナ質系砥石、若しくは炭化けい素質系砥粒をバインダーで結合してなる炭化けい素質系砥石を用いた場合にも適用できる。【００２１】  本発明に係る一の態様の研磨装置は、ダイヤモンド砥粒をバインダーで結合してなるダイヤモンド砥石を回転させながら、超合金からなるワークを研磨する研磨装置であって、研磨の際に、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に、前記研磨面に直交する方向からノズルを通じて高圧で研削液を吹き付ける研削液吹き付け手段を備え前記研削液吹き付け手段は、前記ノズルを移動させることで研削液の吹き付け部位を変えるノズル移動手段を有することを特徴とする。【００２２】  このようにすれば、高圧の研削液を吹き付けるノズルが、研磨面に対し、吹き付ける部位を変えながら吹き付けるので、研磨面に付着しようとする研磨粉がムラなく洗い流され、長期間に亘って研磨作業を継続することができる。【００２３】  また、この研磨装置は、前記ダイヤモンド砥石が、半径方向に一定長さを有する環状の研磨面を有するもので、前記ノズル移動手段は、前記ワークを研磨する研磨位置とは異なる位置で、前記研磨面に対し半径方向において、内径側部分と外径側部分との間で前記ノズルを揺動させるものであることが望ましい。【００２４】  このようにすれば、高圧の研削液を、ダイヤモンド砥石におけるワークが研磨される研磨部分にわたり吹き付けることができ、効率のよい研磨を実現できる。なお、研磨面に対し研削液を吹き付ける部位を、半径方向において、内径側部分と外径側部分との間で往復移動可能な構成としてもよい。このようにすれば、ワークが大きい場合に高圧の研削液を内径側部分、外径���部分にかかわりなく研磨面全体に吹き付けることができる。なお、ワークのサイズが小さい場合は、研削液を吹き付ける部位を固定させてもよい。          【００２５】  また、この研磨装置は、前記研削液吹き付け手段が、８Ｍｐａ以上５０ＭＰａ以下の高圧で研削液を吹き付け可能である。このようにすれば、従来の研磨装置よりも大幅に目詰まりを抑制することができる。【００２６】  また、この研磨装置は、前記ノズルが、前記研削液の吹き付けが噴射角０度の直線噴射、又は噴射角１５度以内の噴射となるノズルである。このようにすれば、研削液の高圧の吹き付けが可能となる。また、噴射角０度とすればより高圧となる一方、噴射角を付けることで砥面への吹き付け面積が大きくなる。【００２７】  また、この研磨装置は、さらに、この研削液吹き付け手段が吹き付ける圧力は、１０Ｍｐａ以上１５ＭＰａ以下の高圧である、ことが望ましい。このようにすれば、研磨作業の作業性だけでなく、コストの面からより望ましい。【００２８】  また、この研磨装置は、前記ダイヤモンド砥石の研磨面に吹き付ける高圧の研削液とは別に、前記研磨面に冷却液を供給する手段をさらに備えることが好ましい。【００２９】  また、この研磨装置は、前記高圧の研削液に精製水を用い、前記冷却液に前記研削液として使用された後の精製水を用いてもよい。【００３０】  また、この研磨装置は、前記ダイヤモンド砥石にかえて、ＣＢＮ砥石、又はアルミナ質系砥粒をバインダーで結合してなるアルミナ質系砥石、若しくは炭化けい素質系砥粒をバインダーで結合してなる炭化けい素質系砥石を用いた場合にも適用できる。
【発明の効果】
【００３１】  本発明は、ダイヤモンド砥石を回転させながら、超合金からなるワークを研磨する際に、高圧の研削液を研磨面（砥粒面）に対し、吹き付ける部位を変えつつ高圧状態で吹き付けるので、目詰まりを起こす原因となる研磨粉を洗い流し、ドレッシングを行うことなく、長期間に亘って研磨作業を継続することができる。よって、ダイヤモンドドレッサーにて目詰まりした研磨面（砥粒面）を、１層削り取る作業回数を減らすことができる。とくに、高圧で吹き付けるだけでなく、吹き付ける部位を変えながら吹き付けるので、目詰まりの洗い流しをムラなく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す図である。
【図２】前記研磨装置に用いる砥石の正面図である。
【図３】図１の砥石の回転軸を変更した研磨装置の概略構成を示す図である。
【図４】目詰まりした砥石表面と、研削液吹き付け手段を用いた後の砥石表面との比較写真である。
【図５】図１の研磨装置の変形例の概略構成を示す図である。
【図６】図１の研磨装置に用いる砥石の変形例を示す図である。
【図７】本発明の別の実施の形態に係る研磨装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】（本実施形態の研磨装置）  以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。図１は本発明の一実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す図である。図２は研磨装置に用いる回転砥石の正面図である。
【００３４】  図１および図２に示すように、研磨装置１は、回転可能に支持される円板状の回転砥石２を有し、回転砥石２は、芯金２ａの周囲にダイヤモンド砥粒がバインダーにて結合されてなるダイヤモンド砥石２ｂが設けられたものである。そして、研磨作業の際には、水平方向の回転軸回りに一定速度で回転砥石２を回転させ、回転砥石２の側面である研磨面２ｂａで、例えばインコネル（登録商標）などの超合金からなるワークＷ（例えば、円柱状部材あるいは円筒状部材）を研磨するものである。
【００３５】  研磨装置１は、砥石２と並んで、研磨の際に研磨面２ｂａに対し、研磨面２ｂａに直交する方向から細いノズル３ａを通じて高圧の研削液を吹き付ける研削液吹き付け手段３が設けられている。なお、本実施形態においては、研削液には、例えば、防錆剤、界面活性剤などを含み濃度管理がされている精製水が用いられる。そして、砥石２の研磨面２ｂａに吹き付ける圧力は、８Ｍｐａ以上５０ＭＰａ以下（好ましくは１０Ｍｐａ以上１５ＭＰａ以下）の高圧である。ノズル３による吹き付け方向は、研磨面２ｂａに直交しているが、傾斜していてもよい。
【００３６】  研削液吹き付け手段３は、図示しないポンプに接続された細いノズル３ａを有し、これにより高圧の研削液の噴出を可能としている。また、研削液吹き付け手段３のノズル３ａは、砥石２の研磨面２ｂａに対し揺動可能な構成となっている。研削液吹き付け手段３のノズル３ａが揺動することで、研削液を研磨面２ｂａの所定範囲に吹き付けることが可能となる。
【００３７】  また、研削液吹き付け手段３による研削液吹き付け位置Ｐ１は、ワークＷを研磨するwワーク研磨位置Ｐ２と異なる位置とする。図１に示す例では、研削液吹き付け位置Ｐ１が下位置で、ワーク研磨位置Ｐ２が上位置としている。これにより、回転中の砥石２において、研削面２ｂａに研削液が吹き付けされて生じる研磨粉は下方に流され、研磨粉が取り除かれた研磨面２ｂａでワークＷの研磨が行われることになる。
【００３８】  上記装置１によれば、円板状の回転砥石２を回転させながら、研磨面２ｂａでワークＷを研磨する際に、回転砥石２の研磨面２ｂａに付着した研磨粉を高圧の研削液で洗い流しながら、ワークＷを研磨することができる。これにより、研磨粉による目詰まりを抑制しながら、ワークを効率よく研磨することができる。
【００３９】  また、研削液の吹き付けは、ワークＷを研磨するワーク研磨位置Ｐ２とは異なる研削液吹き付け位置Ｐ１で行われ、研磨面２ｂａに付着している研磨粉を洗い流すものであり、ワークＷを研磨する作業を妨げるおそれがない。
【００４０】  また、研削液は、８Ｍｐａ以上の高圧で研磨面２ｂａに直交する方向から５ｍｍ程度離れたところから移動しながら吹き付けられるので、高圧の研削液が研磨粉を掘り起こすように作用し、研磨粉が研磨面２ｂａに付着しようとする力に打ち勝って、研磨粉を洗い流す。よって、長期間に亘って、ダイヤモンドドレッサーにて目詰まりした砥粒面を１層削り取るという作業が必要なくなる。
【００４１】  また、研削液吹き付け手段３が回転砥石２の研磨面２ｂａに対し半径方向において、内径側部分と外径側部分との間で揺動可能な構成であるため、ワークＷを研磨している研磨面２ｂａの所定範囲に亘って一様に８ＭＰａ以上の高圧で研削液を吹き付けることができる。これにより、ワークＷを研磨する研磨面２ｂａに付着した研磨粉を洗い残しながら、ワークＷの研磨ができるため、効率のよい研磨が可能となる。
【００４２】  なお、上記の実施形態では、回転砥石２が、水平方向の回転軸回りに回転するように配置されているが、図３に示されるように、鉛直方向の回転軸回りに回転するように配置してもよい。
【００４３】（本実施形態の効果）  上記した本実施形態の研磨装置によれば、ダイヤモンド砥石をドレッシングして、高価なダイヤモンド砥粒が多数存在する層を削除することを抑え、コストを抑えることができる。また、ダイヤモンド砥粒は極めて硬度が高いため、通常の砥石のようにメンテナンス用の砥石などで研削することが困難であったところ、本実施形態の研磨装置を用いることで、ダイヤモンド砥石の研磨面を、ダイヤモンド砥粒を研削することなく目詰まりをなくして、研磨性能を回復させることができる、非常に画期的なものである。図４に目詰まりしたダイヤモンド砥石の表面と、研削液吹き付け手段を用いた後のダイヤモンド砥石の表面とを比較した写真を示す。
【００４４】（変形例１）  次に、上記の実施形態の変形例について説明する。図５は、変形例の実施形態の研磨装置の概略構成を示す図である。なお、上記の実施形態と共通する構成については、同じ符号を用いる。
【００４５】  この変形例の研磨装置１０と、上記実施形態の研磨装置１との主な相違点は、上記実施形態の研磨装置１は研削液吹き付け手段３が揺動する構成であるのに対し、変形例の研磨装置１０は、研削液吹き付け手段３０が砥石２の研磨面２ｂａに対しその半径方向において、内径側部分から外径側部分にかけてノズル３０ａを直線的に往復移動させるノズル移動手段（図示せず）を有する点である。
【００４６】  この構成によれば、研削液吹き付け手段３０のノズル３０ａが、砥石２の研磨面２ｂａの内径側部分から外径側部分にかけて往復移動して高圧の研削液を吹き付けることで、研磨面２ｂａ全体に亘って一様に砥石を研削できる。これにより、ワークの研磨時に、研磨面２ｂａ全体に付着した研磨粉を洗い残しながらワークを研磨でき、効率のよい研磨が可能となる。特にワークのサイズが大きい場合に好適である。
【００４７】（変形例２）  また、図６は、別の変形例の実施形態の研磨装置の概略構成を示す図である。図６に示すように、円盤状のワーク支持盤４０を、それの回転軸を回転砥石２の回転軸に対し半径方向に偏心して設け、そのワーク支持盤４０の、回転砥石２側の側面において複数のワークＷを周方向に一定間隔で並べた状態で支持させ、ワーク支持盤４０を、例えば回転砥石２の回転方向とは反対方向に回転させながら、回転砥石２によって各ワークＷを研磨する構成とし、複数のワークＷを一緒に研磨することで、研磨作業性を高めることもできる。
【００４８】（その他の実施形態）  以上のとおり、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。例えば、上記した実施形態では、砥石にダイヤモンド砥石を用いているが、ＣＢＮ（ボラゾン）砥石、アルミナ質系砥石や炭化けい素質系砥石などにも適用することもできる。また、砥石の形状は、本実施形態の形状に限らず、その他の形状の砥石を用いてもよい（例えば図７参照）。 
【００４９】  また、本実施形態では砥石の側面（平面）を研磨面とするものであるが、砥石の周面（曲面）を研磨面とする砥石を用いてもよい。そのほか、吹き付けられた研削液は、一旦回収してから濾過し、前記吹き付けられる研削液とは別に研磨面２ｂａに対して垂れ流して、研磨部位を冷却するクーラントとして利用することも可能である。したがって、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００５０】１  研磨装置２  回転砥石２ａ  芯金２ｂ  ダイヤモンド砥石２ｂａ  研磨面３  研削液吹き付け手段３ａ  ノズル１０  研磨装置３０  研削液吹き付け手段３０ａ  ノズル４０  ワーク支持盤Ｐ１  研削液吹き付け位置Ｐ２  ワーク研磨位置Ｗ  ワーク 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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