(57)【要約】第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する電気コネクター（１０）であって、樹脂層（２０）と、樹脂層（２０）を厚さ方向に貫通し、接続端子との接続面における形状が矩形である、複数の金属線材（３０）と、を備え、各金属線材の前記矩形を構成する辺のうち、少なくとも一つの辺が同一方向に揃って等間隔に配置されており、矩形の縦の長さが５μｍ未満である電気コネクター（１０）。
2019078295.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する電気コネクターであって、
樹脂層と、該樹脂層を厚さ方向に貫通し、前記接続端子との接続面における形状が矩形である、複数の金属線材と、を備え、
各金属線材の前記矩形を構成する辺のうち、少なくとも一つの辺が同一方向に揃って等間隔に配置されており、
前記矩形の短辺の長さが５μｍ未満である、電気コネクター。
【請求項２】
前記矩形の長辺の長さが１５０μｍ以下である、請求項１に記載の電気コネクター。
【請求項３】
前記矩形の長辺方向における前記金属線材のピッチが０．２ｍｍ以下である、請求項１または２に記載の電気コネクター。
【請求項４】
前記矩形の短辺方向における前記金属線材のピッチが０．２ｍｍ以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電気コネクター。
【請求項５】
前記金属線材は、前記樹脂層の厚さ方向に対して斜めに貫通している、請求項１〜４の何れか一項に記載の電気コネクター。
【請求項６】
前記金属線材の端部が前記樹脂層の一方の主面及び他方の主面の少なくとも一方から突出している、請求項１〜５の何れか一項に記載の電気コネクター。
【請求項７】
前記金属線材の端部にメッキ層が形成されている、請求項１〜６の何れか一項に記載の電気コネクター。
【請求項８】
基材の一面にメッキ層を形成することと、
前記メッキ層をレーザー加工して、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、
前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、
前記基材を除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、
前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートを貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、
前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、
前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
【請求項９】
基材の一面にメッキ層を形成することと、
前記基材の一面に形成された前記メッキ層に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、
前記基材を除去し、前記メッキ層を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、
前記メッキ層をレーザー加工して、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、
前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、
前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、
前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
【請求項１０】
基材の一面に、金属ナノペーストを塗布して、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、
前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、
前記基材を除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、
前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、
前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、
前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
【請求項１１】
シリコンウエハーの一面側に、同一方向に揃って等間隔に配置された複数の帯状の溝を有するシリコンウエハー型を用い、前記複数の溝内に浸入するように、前記シリコンウエハー型の一面に液状シリコーンゴムを塗布した後、前記液状シリコーンゴムを加硫し、前記溝に対応する複数の凸部と凹部を有するシリコーンゴム型を成形することと、
前記シリコーンゴム型の複数の凸部上に、金属ナノペーストを塗布して、複数の金属線材の前駆体を形成することと、
前記シリコーンゴム型の凸部に形成された前記複数の金属線材の前駆体に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせ、前記第１の未硬化のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材の前駆体を転写することと、
前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成するとともに、前記複数の金属線材の前駆体を焼成して、前記第１のゴムシートの一面に、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、
前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、
前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、
前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
【請求項１２】
基材の一面に、同一方向に揃って等間隔に帯状の溝を有するラインアンドスペースのレジストパターンが形成された基材を用い、
前記基材の一面が露出する前記溝にメッキ層を形成することにより、同一方向に揃って等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、
前記基材の一面に形成された前記レジストパターンを除去することと、
前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、
前記基材を除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、
前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の第１のゴムシートを、接着剤を介して積層して、積層体を成形することと、
前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気コネクターおよびその製造方法に関する。本願は、２０１７年１０月１９日に、日本に出願された特願２０１７−２０２４７５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気・電子部品相互の接続に用いられる電気コネクターは、シリコーンゴム製の絶縁シートの平面内において、縦方向および横方向にそれぞれ略等間隔で、複数本の貴金属で被覆された金属線を絶縁シートの厚さ方向に斜めに貫通させた構造を有していた（例えば、特許文献１参照）。
また、金属線の代わりに、０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍの厚さを有する直線的な形状に形成され、アスペクト比（厚さ／幅）が０．２〜０．６の範囲に設定され、表面から４５°〜８５°の角度で傾いて配置されている金属リボンを備えた電気コネクターが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２５１８４８号公報
【特許文献２】特開２００２−００８７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されている電気コネクターでは、金属線は、直径が１０μｍ〜５０μｍであるため、比較的剛性がある。金属線と検査対象の電極との間で電気的に安定した接触を得るためには、一定以上の荷重が必要である。しかし、過度の荷重をかけると、金属線が電極に対して損傷を与えることがある。そこで、金属線を斜めに配置することにより、金属線にバネ性を与え、金属線と検査対象の電極との間で電気的に安定した接触を得つつ、過度の荷重を避けようとしても、検査対象の電極の損傷を完全に抑えることは難しかった。また、デバイスの小型化に伴い、検査対象の電極面積および電極間ピッチが狭くなり、従来の金属線の寸法では対応が困難であった。
また、特許文献２に記載されている電気コネクターでは、上記のような金属リボンを用いているが、検査対象の電極の損傷を完全に抑えることが難しく、デバイスの小型化に対応することも困難であった。【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、検査対象の電極の損傷を抑制し、かつ狭ピッチおよび高集積化に対応することが可能な電気コネクターおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］  第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する電気コネクターであって、樹脂層と、該樹脂層を厚さ方向に貫通し、前記接続端子との接続面における形状が矩形である、複数の金属線材と、を備え、各金属線材の前記矩形を構成する辺のうち、少なくとも一つの辺が同一方向に揃って等間隔に配置されており、前記矩形の短辺の長さが５μｍ未満である、電気コネクター。
［２］  前記矩形の長辺の長さが１５０μｍ以下である、［１］に記載の電気コネクター。
［３］  前記矩形の長辺方向における前記金属線材のピッチが０．２ｍｍ以下である、［１］または［２］に記載の電気コネクター。
［４］  前記矩形の短辺方向における前記金属線材のピッチが０．２ｍｍ以下である、［１］〜［３］のいずれか１項に記載の電気コネクター。
［５］  前記金属線材は、前記樹脂層の厚さ方向に対して斜めに貫通している、［１］〜［４］の何れか一項に記載の電気コネクター。
［６］  前記金属線材の端部が前記樹脂層の一方の主面及び他方の主面の少なくとも一方から突出している、［１］〜［５］の何れか一項に記載の電気コネクター。
［７］  前記金属線材の端部にメッキ層が形成されている、［１］〜［６］の何れか一項に記載の電気コネクター。
［８］  基材の一面にメッキ層を形成することと、前記メッキ層をレーザー加工して、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、前記基材を除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートを貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
［９］  基材の一面にメッキ層を形成することと、前記基材の一面に形成された前記メッキ層に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、前記基材を除去し、前記メッキ層を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、前記メッキ層をレーザー加工して、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
［１０］  基材の一面に、金属ナノペーストを塗布して、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、前記基材を除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
［１１］  シリコンウエハーの一面側に、同一方向に揃って等間隔に配置された複数の帯状の溝を有するシリコンウエハー型を用い、前記複数の溝内に浸入するように、前記シリコンウエハー型の一面に液状シリコーンゴムを塗布した後、前記液状シリコーンゴムを加硫し、前記溝に対応する複数の凸部と凹部を有するシリコーンゴム型を成形することと、前記シリコーンゴム型の複数の凸部上に、金属ナノペーストを塗布して、複数の金属線材の前駆体を形成することと、前記シリコーンゴム型の凸部に形成された前記複数の金属線材の前駆体に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせ、前記第１の未硬化のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材の前駆体を転写することと、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成するとともに、前記複数の金属線材の前駆体を焼成して、前記第１のゴムシートの一面に、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、前記第１のゴムシートの一面に、前記複数の金属線材を覆うように、第２の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第２の未硬化のゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、前記第１のゴムシート、前記複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形することと、前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の前記弾性体を積層して、積層体を成形することと、前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
［１２］  基材の一面に、同一方向に揃って等間隔に帯状の溝を有するラインアンドスペースのレジストパターンが形成された基材を用い、前記基材の一面が露出する前記溝にメッキ層を形成することにより、同一方向に揃って等間隔に配置された複数の金属線材を形成することと、前記基材の一面に形成された前記レジストパターンを除去することと、前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未硬化のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未硬化のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成することと、前記基材を除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残すことと、前記複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の第１のゴムシートを、接着剤を介して積層して、積層体を成形することと、前記積層体を、前記複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断することと、を有する、電気コネクターの製造方法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、検査対象の電極の損傷を抑制し、かつ狭ピッチおよび高集積化に対応することが可能な電気コネクターおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態の電気コネクターの概略構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図３】第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図４】第２の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図５】第２の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図６】第３の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図７】第３の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図８】第４の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図９】第４の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図１０】実施例１の電気コネクターを用いた場合について、積層体の変位量（圧縮量）と、電気コネクターに加えられる荷重との関係を示す図である。
【図１１】比較例の電気コネクターを用いた場合について、積層体の変位量（圧縮量）と、電気コネクターに加えられる荷重との関係を示す図である。
【図１２】実施例１または比較例の電気コネクターを用いた場合について、積層体の変位量（圧縮量）と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係を示す図である。
【図１３】実施例１における、電気コネクターと銅箔テープの接触面の走査型電子顕微鏡である。
【図１４】比較例における、電気コネクターと銅箔テープの接触面の走査型電子顕微鏡である。
【図１５】実施例３（第５の実施形態）の電気コネクターの製造方法で作製した積層体８０の概略を示す断面図である。
【図１６】実施例２の電気コネクターを用いた場合について、電気コネクターに加えられる荷重と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係を示す図である。
【図１７】実施例３の電気コネクターを用いた場合について、電気コネクターに加えられる荷重と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係を示す図である。
【図１８】実施例２又は実施例３の電気コネクターを用いた場合について、積層体の圧縮量と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係を示す図である。
【図１９】実施例２又は実施例３の電気コネクターを用いた場合について、積層体の圧縮量と、電気コネクターに加えられる荷重との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の電気コネクターおよびその製造方法の実施の形態について説明する。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【００１０】
（第１の実施形態）
［電気コネクター］
図１は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１に示すように、本実施形態の電気コネクター１０は、樹脂層２０と、樹脂層２０を厚さ方向に貫通し、樹脂層２０の一方の主面（上面）２０ａおよび他方の主面（下面）２０ｂにおける形状が矩形であり、少なくとも矩形の一方の辺がＸ方向に揃って等間隔に配置された多数の金属線材３０と、を備える。また、金属線材３０の矩形の短辺の長さが５μｍ未満である。
本発明において「矩形」の４つの内角は厳密な９０度である必要はなく、「矩形」は厚みのある線形とみなしてもよい。この場合、矩形の長辺の長さは線形の長さであり、矩形の短辺の長さは線形の厚みに相当する。
電気コネクター１０は、図示略の第一デバイスの接続端子と、図示略の第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続するためのものである。電気コネクター１０の一方の主面２０ａがデバイスに対する第１の接続面であり、他方の主面２０ｂが別のデバイスに対する第２の接続面である。電気コネクター１０において、金属線材３０は、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子の電気的接続を行う部材である。
前記デバイスとしては、例えば、半導体パッケージや回路基板、シリコンウエハー、受動部品、液晶モジュールおよびセンサーが挙げられる。
【００１１】
樹脂層２０は、形状が等しい複数の弾性体２１が、接着層４０を介して、第１の方向（図１（ａ）に示すＹ方向）に連続的に接続（積層）されてなる。弾性体２１を連続的に接続する数、すなわち、樹脂層２０の第１の方向（積層方向）の長さは特に限定されず、検査対象となる電極の数、大きさ（面積）、ピッチ等に応じて適宜調整される。例えば、１ｍｍ〜２５０ｍｍの長さが挙げられる。また、樹脂層２０の第２の方向の長さ（図１（ａ）に示すＸ方向の長さ）は特に限定されず、検査対象となる電極の数、大きさ（面積）、ピッチ等に応じて適宜調整される。例えば、１ｍｍ〜２５０ｍｍの長さが挙げられる。ここで、Ｘ方向とＹ方向は直交する。
なお、弾性体２１は、接着層４０を介して積層される必要はなく、後述する電気コネクターの製造方法によって、接着層４０を省略した電気コネクター１０を製造することもできる。また、弾性体２１は、金属線材３０を含んでいる。
【００１２】
金属線材３０は、弾性体２１の長辺方向（図１（ａ）に示すＸ方向）における中心線に沿って、等間隔に配置されている。
【００１３】
また、弾性体２１は、それぞれの金属線材３０がＸ方向に見て互いに平行となり、かつＹ方向に見て互いに重なり合うように連続的に接続されている。なお、変形例として、金属線材３０がＹ方向に見て互いにずれている（重なっていない）配置であってもよい。接続するデバイスの接続端子の配置に合わせて、Ｙ方向の重なりは製造時に調整することができる。
【００１４】
樹脂層２０の厚さ（図１（ｂ）に示すＺ方向の長さ）、すなわち一方の主面２０ａと他方の主面２０ｂの距離は、例えば、０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下が挙げられ、薄型化の観点から、０．０３ｍｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおける金属線材３０の矩形の短辺の長さＬ１は０．０１μｍ以上５μｍ未満であることが好ましく、０．０５μｍ以上４μｍ未満がより好ましく、０．１μｍ以上３μｍ未満がさらに好ましく、０．３μｍ以上２μｍ未満が最も好ましい。
金属線材３０の矩形の短辺の長さＬ１が５μｍ未満であれば、検査対象の電極の損傷を抑制することができ、かつ、狭ピッチの電極との電気的接続を行うことができる。また、短辺の長さＬ１が０．０１μｍ以上であれば、金属線材３０の破損を抑制しつつ、電気コネクターの耐久性を向上できる。
【００１６】
樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおける金属線材３０の矩形の長辺の長さＬ２は０．０１μｍ以上１５０μｍ未満であることが好ましく、０．０５μｍ以上１００μｍ未満がより好ましく、０．１μｍ以上５０μｍ未満がさらに好ましい。
金属線材３０の矩形の長辺の長さＬ２が１５０μｍ以下であれば、狭ピッチの電極との電気的接続を容易に行うことができる。また、長辺の長さＬ２が０．０１μｍ以上であれば、金属線材３０の破損を抑制しつつ、電気コネクターの耐久性を向上できる。
【００１７】
金属線材３０の矩形の短辺の長さＬ１と長辺の長さＬ２のＬ１／Ｌ２で表される比は、例えば、０．００１〜０．７が好ましく、０．０１〜０．６がより好ましく、０．０２〜０．５がさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、金属線材３０及び電気コネクター１０の耐久性が高まり、上記範囲の上限値以下であると、デバイス接続時に少ない圧縮力で安定に接続することができ、接続するデバイスの電極を傷付けることを防止できる。
【００１８】
樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおける金属線材３０の面積が２５％以下であることが好ましい。また、樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおける金属線材３０の面積の下限は、０．０６％以上であってもよく、０．１４％以上であってもよい。
樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおける金属線材３０の面積が２５％以下であれば、検査対象の電極の損傷を抑制することができる。
【００１９】
樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおいて、金属線材３０の矩形の短辺方向における金属線材３０のピッチＰ１が０．２ｍｍ以下であることが好ましく、０．０５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．０３ｍｍ以下であることがさらに好ましい。また、金属線材３０の矩形の短辺方向における金属線材３０のピッチＰ１の下限は、０．００１ｍｍ以上であってもよい。
矩形の短辺方向における金属線材３０のピッチＰ１が０．２ｍｍ以下であれば、狭ピッチの電極との電気的接続を容易に行うことができる。
【００２０】
樹脂層２０の一方の主面２０ａおよび他方の主面２０ｂにおいて、金属線材３０の矩形の長辺方向における金属線材３０のピッチＰ２が０．２ｍｍ以下であることが好ましく、０．０５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．０３ｍｍ以下であることがさらに好ましい。また、金属線材３０の矩形の長辺方向における金属線材３０のピッチＰ２の下限は、０．０２ｍｍ以上であってもよい。
矩形の長辺方向における金属線材３０のピッチＰ２が０．２ｍｍ以下であれば、狭ピッチの電極との電気的接続を容易に行うことができる。
【００２１】
樹脂層２０を構成する弾性体２１の材質としては、絶縁性および弾性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、ポリウレタンゴム、クロロプレンゴム、ポリエステル系ゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、天然ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
【００２２】
金属線材３０の材質としては、例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、黒ルテニウム等や、これらの金属の合金が挙げられる。標準電極電位が高い金、白金、銀、銅がより好ましく、低硬度の金、銀がさらに好ましい。金属線材３０は、同一若しくは複数の材質が積層された構造を有してもよい。
【００２３】
接着層４０を構成する接着剤としては、特に限定されないが、弾性体２１と材質が同じものを用いてもよく、弾性体２１と材質が異なるものを用いてもよい。前記接着剤としては、例えば、シリコーン系、変性シリコーン系、天然ゴムラテックス、ウレタン系、塩化ビニル系、クロロプレンゴム系、ニトリルゴム系、ニトロセルロース、フェノール系、ポリイミド系、ポリビニルアルコール系接着剤等が挙げられる。これらの接着剤の中でも、薄膜化が容易な液状シリコーンゴムが好ましい。ここで、液状シリコーンゴムは、塗工時に液体であるが、硬化することにより流動性が低い又は固形状のシリコーンゴムとなる。
【００２４】
本実施形態の電気コネクター１０は、樹脂層２０と、樹脂層２０を厚さ方向に貫通し、第一デバイスの接続端子および第二デバイスの接続端子との接続面における形状が矩形であり、少なくとも矩形の一方の辺が等間隔に配置された多数の金属線材３０と、を備え、矩形の短辺の長さが５μｍ未満である。そのため、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子と金属線材３０との接続時に、デバイスの接続端子に対して金属線材３０から過剰な力が加えられることがなく、その接続端子が損傷することを防止できる。また、接続面における形状が矩形の金属線材３０を用いることにより、狭ピッチおよび高集積のデバイスとの接続も可能である。さらに、本実施形態の電気コネクター１０は、矩形の短辺の長さが５μｍ未満の金属線材３０を備えるため、表面積が広く高周波特性にも優れる。
【００２５】
電気コネクター１０の厚さ方向に貫通する各金属線材３０の延在方向（長手方向）の向きは、一方の主面２０ａ及び他方の主面２０ｂに対して垂直でもよいし、斜めであってもよい。
各金属線材３０が電気コネクター１０の厚さ方向に対して斜めになる場合、一方の主面２０ａの垂線に対する各金属線材３０がなす鋭角側の角度は、０°超６０°以下が好ましく、１°以上４５°以下であることがより好ましく、１０°以上３０°以下であることがさらに好ましい。上記角度の範囲であると、低い荷重で安定した接続が得られやすく、接続するデバイスの端子を傷付けるおそれが少ない。上記角度は接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。上記角度は、電気コネクター１０の厚さ方向の断面について、５つ以上の金属線材３０をデジタルマイクロスコープ等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【００２６】
電気コネクター１０が有する金属線材３０の端部は、一方の主面２０ａ及び他方の主面２０ｂの少なくとも一方から突出していてもよい。「金属線材の端部」とは、金属線材の先端から金属線材の全長の１／４の長さまでの範囲を意味する。  金属線材３０の端部が主面から突出している場合の突出量は、特に限定されず、電気コネクター１０によって電気的に接続する２つのデバイスの接続端子の形状、配置等に応じて適宜調整される。
【００２７】
電気コネクター１０が有する金属線材３０の端部が一方の主面２０ａ又は他方の主面２０ｂから突出している場合、その突出した端部にメッキ加工が施されて、メッキ層が形成されていてもよい。メッキ層の材質は、特に限定されず、金属線材３０の材質に応じて適宜選択される。メッキ層により金属線材３０の端部の表面積（断面積）が増加し、金属線材３０の端部と、接続するデバイスの接続端子との接触面積が増加し、これらの電気的な接続状態をより安定に保つことができる。
【００２８】
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、基材の一面にメッキ層を形成する工程（以下、「工程Ａ１」と言う。）と、メッキ層をレーザー加工して、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数（即ち複数）の金属線材を形成する工程（以下、「工程Ｂ１」と言う。）と、基材の一面に形成された複数の金属線材に、第１の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせた後、第１の粘土状ゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成する工程（以下、「工程Ｃ１」と言う。）と、基材をウェットエッチングにより除去し、複数の金属線材を第１のゴムシートの一面に残す工程（以下、「工程Ｄ１」と言う。）と、第１のゴムシートの一面に、複数の金属線材を覆うように、第２の粘土状ゴムシートを貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、第１のゴムシート、複数の金属線材および第２のゴムシートからなる弾性体を成形する工程（以下、「工程Ｅ１」と言う。）と、第一の弾性体と第二の弾性体とを積層したときに各々の弾性体に含まれる複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の弾性体を積層して、積層体を成形する工程（以下、「工程Ｆ１」と言う。）と、積層体を、金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断する工程（以下、「工程Ｇ１」と言う。）と、を有する。
【００２９】
以下、図２（ａ）〜図２（ｄ）および図３（ａ）〜図３（ｃ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。図２および図３において、図１に示した構成と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３０】
図２（ａ）に示すように、基材５０の一面５０ａにメッキ層６０を形成する（工程Ａ１）。
【００３１】
工程Ａ１では、基材５０の一面５０ａに、電解メッキまたは無電解メッキによって、メッキ層６０を形成する。
【００３２】
基材５０は、電解メッキまたは無電解メッキによって、メッキ層６０を形成することができるものであれば特に限定されない。基材５０としては、例えば、図２（ａ）に示すように、銅または真鍮、リン青銅や洋白等の銅合金からなる第１の層５１と、ニッケルまたは亜鉛からなる第２の層５２が積層されてなる積層体や、これらの金属の合金や、水溶性フィルムの一面に、金メッキ層、白金メッキ層、銀メッキ層、銅メッキ層、ニッケルメッキ層、ロジウムメッキ層、パラジウムメッキ層または黒ルテニウムメッキ層が形成されたものが用いられる。また、水溶性フィルムとしては、例えば、ポリビニルアルコール等が挙げられる。
【００３３】
メッキ層６０の材質としては、例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル等や、これらの金属の合金が挙げられる。
【００３４】
次いで、図２（ｂ）に示すように、メッキ層６０をレーザー加工して、基材５０の一面５０ａに、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数の金属線材３０を形成する（工程Ｂ１）。
【００３５】
レーザー加工に用いるレーザーの波長は、メッキ層６０の加工が可能な波長であれば特に限定されない。工程Ｂ１では、金、銅等の反射率の高いものを加工し易く、加工面へ熱を与え難く、波長１０６４ｎｍの基本波よりも微細加工が可能である波長５３２ｎｍまたは波長３５５ｎｍのレーザーを用いて、メッキ層６０を加工して、金属線材３０を形成する。
【００３６】
次いで、図２（ｃ）に示すように、基材５０の一面５０ａに形成された複数の金属線材３０に、第１の粘土状ゴムシート７１の一面７１ａを貼り合わせた後、第１の粘土状ゴムシート７１を加硫して第１のゴムシート７１Ａを形成する（工程Ｃ１）。
【００３７】
第１の粘土状ゴムシート７１としては、特に限定されないが、例えば、加熱または光や電磁波照射によって加硫して硬化する、粘土状シリコーンゴム、粘土状フッ素ゴム、粘土状ポリブタジエンゴム、粘土状ポリイソプレンゴム、粘土状ポリウレタンゴム、粘土状クロロプレンゴム、粘土状ポリエステル系ゴム、粘土状スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、粘土状天然ゴム等が挙げられる。
これらの粘土状ゴムシートは、ミラブルコンパウンドに、加硫剤と必要に応じた添加剤を加えて混練してなるものである。
粘土状シリコーンゴムの具体例としては、例えば、信越化学工業株式会社製のＫＥ−１７４−Ｕ等のいわゆるゴムコンパウンドが挙げられる。
粘土状シリコーンゴムの硬化後の硬さ（デュロメータＡ）は、２０以上が好ましく、３０以上がより好ましい。この硬さの上限値は、９０以下であることが好ましい。硬さが上記範囲であると、電気コネクターに適度な剛性を付与できる。
上記硬さは、ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９：２００３の方法に準拠して測定される。  
【００３８】
第１の粘土状ゴムシート７１の厚さは、特に限定されず、第１の粘土状ゴムシート７１によって形成される弾性体２１を連接してなる樹脂層２０に要求される厚さに応じて適宜調整される。例えば、０．０００５ｍｍ〜０．５ｍｍの厚さが挙げられる。シートはフィルムと呼び替えてもよい。
【００３９】
工程Ｃ１において、第１の粘土状ゴムシート７１を加熱して加硫し、第１のゴムシート７１Ａを形成する。
【００４０】
次いで、図２（ｄ）に示すように、基材５０をウェットエッチングにより除去し、金属線材３０を第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに残す（工程Ｄ１）。
【００４１】
基材５０として銅を用いた場合には、金属線材３０が形成された基材５０に第１のゴムシート７１を貼り合わせたものを塩化鉄の溶液に浸漬する。また、基材５０として水溶性フィルムを用いた場合には、金属線材３０が形成された基材５０に第１のゴムシート７１を貼り合わせたものを水に浸漬する。これにより、基材５０を除去する。
【００４２】
工程Ｄ１において、基材５０をウェットエッチングにより除去し、金属線材３０を第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに残す。すなわち、第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａ上に複数の金属線材３０を転写する。
【００４３】
次いで、図３（ａ）に示すように、第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに、複数の金属線材３０を覆うように、第２の粘土状ゴムシート７２を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシート７２を加硫して第２のゴムシート７２Ａを形成し、第１のゴムシート７１Ａ、複数の金属線材３０および第２のゴムシート７２Ａからなる弾性体２１を成形する（工程Ｅ１）。
【００４４】
第２の粘土状ゴムシート７２としては、第１の粘土状ゴムシート７１と同様のものが用いられることが好ましい。
【００４５】
第２の粘土状ゴムシート７２の厚さは、第１の粘土状ゴムシート７１の厚さと等しくすることが好ましい。
【００４６】
工程Ｅ１において、第２の粘土状ゴムシート７２を加熱して加硫し、第２のゴムシート７２Ａを形成する。
【００４７】
次いで、図３（ｂ）に示すように、弾性体２１の積層方向と直交する方向に見て複数の金属線材３０が互いに平行となり、かつ弾性体２１の積層方向に見て複数の金属線材３０が互いに重なるように、工程Ａ１〜工程Ｅ１で得られた弾性体２１を複数積層して、積層体８０を成形する（工程Ｆ１）。
【００４８】
弾性体２１を積層する方法としては、接着剤９０を用いる方法、弾性体２１の表面をコロナ放電、真空紫外線等の表面処理により活性化させて化学結合する方法等が挙げられる。
【００４９】
接着剤９０としては、接着層４０を構成する接着剤と同様のものが用いられる。
接着剤の一例である液状シリコーンゴムの具体例としては、例えば、信越化学工業株式会社製のＫＥ−１９３５−Ａ，ＫＥ−１９３５−Ｂ等の付加反応によって熱硬化するものが挙げられる。
液状シリコーンゴムの硬化前の粘度は、粘土状シリコーンのコンパウンドよりも格段に低く、例えば、５００Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、２００Ｐａ・ｓ以下が好ましく、１００Ｐａ・ｓ以下がさらに好ましい。この粘度の下限値としては、１０Ｐａ・ｓ以上が好ましい。
液状シリコーンゴムの硬化前の密度（２３℃，単位：ｇ／ｃｍ３）は、粘土状シリコーンゴムよりも低いことが好ましく、例えば、１．１０未満が好ましく、１．０６以下が好ましく、１．０３以下がさらに好ましい。この密度の下限値は、通常１．００以上である。密度が上記範囲であると、液状シリコーンゴムの塗工が容易になる。
液状シリコーンゴムの硬化後の硬さ（デュロメータＡ）は、２０以上が好ましく、３０以上がより好ましい。この硬さの上限値は、９０以下であることが好ましい。硬さが上記範囲であると、電気コネクターに適度な剛性を付与できる。
上記粘度、密度及び硬さは、ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９：２００３の方法に準拠して測定される。
【００５０】
次いで、工程Ｆ１で得られた積層体８０を、複数の金属線材３０の延在する方向（すなわち、図３（ｃ）の紙面奥行き方向）に対して垂直又は斜めに切断する（工程Ｇ１）。垂直に切断すると、電気コネクター１０における各金属線材３０の延在方向は、一方の主面２０ａ及び他方の主面２０ｂに対して垂直になる。斜めに切断すると、電気コネクター１０における各金属線材３０の延在方向は、一方の主面２０ａ及び他方の主面２０ｂに対して斜めになり、電気コネクター１０の厚さ方向に対して斜めになる。
これにより、図３（ｃ）に示すように、電気コネクター１０を得る。
【００５１】
以上で説明した第１の実施形態の製造方法において、前記第１及び前記第２の粘土状ゴムシートの代わりに、液状シリコーンからなるゴムシートを用いてもよい。液状シリコーンからなるゴムシートを用いる場合には、液状シリコーンを半硬化させたシート又は流動性が比較的低い液状シリコーンをシート状に成形したものを用いることが好ましい。
【００５２】
（第２の実施形態）
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、基材の一面にメッキ層を形成する工程（以下、「工程Ａ２」と言う。）と、基材の一面に形成されたメッキ層に、第１の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせた後、第１の粘土状ゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成する工程（以下、「工程Ｂ２」と言う。）と、基材をウェットエッチングにより除去し、メッキ層を第１のゴムシートの一面に残す工程（以下、「工程Ｃ２」と言う。）と、メッキ層をレーザー加工して、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数（即ち複数）の金属線材を形成する工程（以下、「工程Ｄ２」と言う。）と、第１のゴムシートの一面に、複数の金属線材を覆うように、第２の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、第１のゴムシート、複数の金属線材および第２のゴムシートからなる弾性体を成形する工程（以下、「工程Ｅ２」と言う。）と、第一の弾性体と第二の弾性体とを積層したときに各々の弾性体に含まれる複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の弾性体を積層して、積層体を成形する工程（以下、「工程Ｆ２」と言う。）と、積層体を、金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断する工程（以下、「工程Ｇ２」と言う。）と、を有する。
前記第１及び前記第２の粘土状ゴムシートの代わりに、液状シリコーンからなるゴムシートを用いてもよい。液状シリコーンからなるゴムシートを用いる場合には、液状シリコーンを半硬化させたシート又は流動性が比較的低い液状シリコーンをシート状に成形したものを用いることが好ましい。
【００５３】
以下、図４（ａ）〜図４（ｄ）および図５（ａ）〜図５（ｃ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。図４および図５において、図１〜図３に示した構成と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００５４】
図４（ａ）に示すように、基材５０の一面５０ａにメッキ層６０を形成する（工程Ａ２）。
【００５５】
工程Ａ２では、上述の工程Ａ１と同様に、基材５０の一面５０ａに、電解メッキまたは無電解メッキによって、メッキ層６０を形成する。
【００５６】
次いで、図４（ｂ）に示すように、基材５０の一面５０ａに形成されたメッキ層６０に、第１の粘土状ゴムシート７１の一面７１ａを貼り合わせた後、第１の粘土状ゴムシート７１を加硫して第１のゴムシート７１Ａを形成する（工程Ｂ２）。
【００５７】
工程Ｂ２では、上述の工程Ｃ１と同様に、第１の粘土状ゴムシート７１を加硫する。
【００５８】
次いで、図４（ｃ）に示すように、基材５０をウェットエッチングにより除去し、メッキ層６０を第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに残す（工程Ｃ２）。
【００５９】
工程Ｃ２では、上述の工程Ｄ１と同様に、基材５０をウェットエッチングにより除去する。
【００６０】
次いで、図４（ｄ）に示すように、メッキ層６０をレーザー加工して、第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数の金属線材３０を形成する（工程Ｄ２）。
【００６１】
工程Ｄ２では、上述の工程Ｂ１と同様に、メッキ層６０をレーザー加工する。
【００６２】
次いで、図５（ａ）に示すように、第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに、複数の金属線材３０を覆うように、第２の粘土状ゴムシート７２を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシート７２を加硫して第２のゴムシート７２Ａを形成し、第１のゴムシート７１Ａ、複数の金属線材３０および第２のゴムシート７２Ａからなる弾性体２１を成形する（工程Ｅ２）。
【００６３】
工程Ｅ２では、上述の工程Ｅ１と同様に、弾性体２１を成形する。
【００６４】
次いで、図５（ｂ）に示すように、弾性体２１の積層方向と直交する方向に見て金属線材３０が互いに平行となり、かつ弾性体２１の積層方向に見て金属線材３０が互いに重なるように、工程Ａ２〜工程Ｅ２で得られた弾性体２１を複数積層して、積層体８０を成形する（工程Ｆ２）。
【００６５】
工程Ｆ２では、上述の工程Ｆ１と同様に、積層体８０を成形する。
【００６６】
次いで、工程Ｆ２で得られた積層体８０を、金属線材３０の延在する方向（すなわち、図５（ｃ）の紙面奥行き方向）と垂直に切断する（工程Ｇ２）。
これにより、図５（ｃ）に示すように、電気コネクター１０を得る。
【００６７】
（第３の実施形態）
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、基材の一面に、金属ナノペーストを塗布して、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数（即ち複数）の金属線材を形成する工程（以下、「工程Ａ３」と言う。）と、基材の一面に形成された複数の金属線材に、第１の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせた後、第１の粘土状ゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成する工程（以下、「工程Ｂ３」と言う。）と、基材をウェットエッチングにより除去し、複数の金属線材を第１のゴムシートの一面に残す工程（以下、「工程Ｃ３」と言う。）と、第１のゴムシートの一面に、複数の金属線材を覆うように、第２の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、第１のゴムシート、複数の金属線材および第２のゴムシートからなる弾性体を成形する工程（以下、「工程Ｄ３」と言う。）と、第一の弾性体と第二の弾性体とを積層したときに各々の弾性体に含まれる複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の弾性体を積層して、積層体を成形する工程（以下、「工程Ｅ３」と言う。）と、積層体を、金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断する工程（以下、「工程Ｆ３」と言う。）と、を有する。
前記第１及び前記第２の粘土状ゴムシートの代わりに、液状シリコーンからなるゴムシートを用いてもよい。液状シリコーンからなるゴムシートを用いる場合には、液状シリコーンを半硬化させたシート又は流動性が比較的低い液状シリコーンをシート状に成形したものを用いることが好ましい。
【００６８】
以下、図６（ａ）〜図６（ｃ）および図７（ａ）〜図７（ｃ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。図６および図７において、図１〜図３に示した構成と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００６９】
図６（ａ）に示すように、基材５０の一面５０ａに、金属ナノペーストを塗布して、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数の金属線材３０を形成する（工程Ａ３）。
【００７０】
工程Ａ３において、基材５０の一面５０ａに複数の金属線材３０を形成する方法としては、例えば、まず、静電吐出方式等により、基材５０の一面５０ａに金属ナノペーストからなる細線３０Ａを描画する。この際、基材５０の一面５０ａに、同一方向に揃えて等間隔に多数の細線３０Ａを形成する。
【００７１】
金属ナノペーストとしては、例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル等や、これらの金属の合金等のナノサイズ（平均粒径１ｎｍ〜１μｍ未満）の金属粒子がバインダー樹脂に分散されたものである。金属ナノペーストとして市販品を適用できる。
【００７２】
次いで、細線３０Ａを基材５０とともに焼成して、金属線材３０とする。焼成温度としては、基材５０が焼損しない温度であることが好ましく、例えば、１５０〜４００℃程度が挙げられる。基材５０は、焼成時に焼損しない材料によって形成されているものが好ましい。
【００７３】
次いで、図６（ｂ）に示すように、基材５０の一面５０ａに形成された複数の金属線材３０に、第１の粘土状ゴムシート７１の一面７１ａを貼り合わせた後、第１の粘土状ゴムシート７１を加硫して第１のゴムシート７１Ａを形成する（工程Ｂ３）。
【００７４】
工程Ｂ３では、上述の工程Ｃ１と同様に、第１の粘土状ゴムシート７１を加硫する。
【００７５】
次いで、図６（ｃ）に示すように、基材５０をウェットエッチングにより除去し、複数の金属線材３０を第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに残す（工程Ｃ３）。
【００７６】
工程Ｃ３では、上述の工程Ｄ１と同様に、基材５０をウェットエッチングにより除去する。
【００７７】
次いで、図７（ａ）に示すように、第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに、金属線材３０を覆うように、第２の粘土状ゴムシート７２を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシート７２を加硫して第２のゴムシート７２Ａを形成し、第１のゴムシート７１Ａ、複数の金属線材３０および第２のゴムシート７２Ａからなる弾性体２１を成形する（工程Ｄ３）。
【００７８】
工程Ｄ３では、上述の工程Ｅ１と同様に、弾性体２１を成形する。
【００７９】
次いで、図７（ｂ）に示すように、弾性体２１の積層方向と直交する方向に見て複数の金属線材３０が互いに平行となり、かつ弾性体２１の積層方向に見て複数の金属線材３０が互いに重なるように、工程Ａ３〜工程Ｄ３で得られた弾性体２１を複数積層して、積層体８０を成形する（工程Ｅ３）。
【００８０】
工程Ｅ３では、上述の工程Ｆ１と同様に、積層体８０を成形する。
【００８１】
次いで、工程Ｅ３で得られた積層体８０を、複数の金属線材３０の延在する方向（すなわち、図７（ｃ）の紙面奥行き方向）と垂直に切断する（工程Ｆ３）。
これにより、図７（ｃ）に示すように、電気コネクター１０を得る。
【００８２】
（第４の実施形態）
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、シリコンウエハーの一面側に、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数（即ち複数）の帯状の溝を有するシリコンウエハー型を用い、シリコンウエハー型の溝内に浸入するように、シリコンウエハー型の一面に液状シリコーンゴムを塗布した後、液状シリコーンゴムを加硫し、シリコンウエハー型の溝に対応する凸部と凹部を有するシリコーンゴム型を成形する工程（以下、「工程Ａ４」と言う。）と、シリコーンゴム型の凸部上に、金属ナノペーストを塗布して、複数の金属線材の前駆体を形成する工程（以下、「工程Ｂ４」と言う。）と、シリコーンゴム型の凸部に形成された複数の金属線材の前駆体に、第１の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせ、第１の粘土状ゴムシートの一面に、複数の金属線材の前駆体を転写する工程（以下、「工程Ｃ４」と言う。）と、第１の粘土状ゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成するとともに、複数の金属線材の前駆体を焼成して、第１のゴムシートの一面に、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数（即ち複数）の金属線材を形成する工程（以下、「工程Ｄ４」と言う。）と、第１のゴムシートの一面に、複数の金属線材を覆うように、第２の粘土状ゴムシートの一面を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシートを加硫して第２のゴムシートを形成し、第１のゴムシート、複数の金属線材および前記第２のゴムシートからなる弾性体を成形する工程（以下、「工程Ｅ４」と言う。）と、第一の弾性体と第二の弾性体とを積層したときに各々の弾性体に含まれる複数の金属線材が互いに平行となるように、複数の弾性体を積層して、積層体を成形する工程（以下、「工程Ｆ４」と言う。）と、積層体を、複数の金属線材の延在する方向に対して垂直又は斜めに切断する工程（以下、「工程Ｇ４」と言う。）と、を有する。
前記第１及び前記第２の粘土状ゴムシートの代わりに、液状シリコーンからなるゴムシートを用いてもよい。液状シリコーンからなるゴムシートを用いる場合には、液状シリコーンを半硬化させたシート又は流動性が比較的低い液状シリコーンをシート状に成形したものを用いることが好ましい。
【００８３】
以下、図８（ａ）〜図８（ｄ）および図９（ａ）〜図９（ｅ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。図８および図９において、図１〜図３に示した構成と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００８４】
図８（ａ）に示すように、シリコンウエハー１００の一面１００ａ側に、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数の帯状の溝１０１を形成し、シリコンウエハー型１１０を成形する。
【００８５】
シリコンウエハー１００に溝１０１を形成する方法としては、例えば、フッ酸と硝酸を純水若しくは酢酸で希釈した酸性エッチング液や、水酸化カリウムと水酸化ナトリウムを純水で希釈したアルカリ性エッチング液等を用いたウェットエッチングまたはプラズマを用いたドライエッチング等が挙げられる。
【００８６】
次いで、図８（ｂ）に示すように、シリコンウエハー型１１０の溝１０１内に浸入するように、シリコンウエハー型１１０の一面１１０ａに液状シリコーンゴム２００を塗布した後、液状シリコーンゴム２００を加硫し、図８（ｃ）に示すように、シリコンウエハー型１１０の溝１０１に対応する凸部２１２と凹部２１１を有するシリコーンゴム型２１０を成形する（工程Ａ４）。
【００８７】
工程Ａ４において、液状シリコーンゴム２００を加熱して加硫する。
【００８８】
次いで、図８（ｄ）に示すように、シリコーンゴム型２１０の凸部２１２上に、金属ナノペーストを用いて、複数の金属線材の前駆体３００を形成する（工程Ｂ４）。
【００８９】
工程Ｂ４において、シリコーンゴム型２１０の凸部２１２上に、金属線材の前駆体３００を形成するには、転写方式等により、シリコーンゴム型２１０の凸部２１２上に金属線材の前駆体３００を描画する方法が適用できる。
【００９０】
次いで、図９（ａ）に示すように、シリコーンゴム型２１０の複数の凸部２１２に形成された複数の金属線材の前駆体３００に、第１の粘土状ゴムシート７１の一面７１ａを貼り合わせ、第１の粘土状ゴムシート７１の一面７１ａに、複数の金属線材の前駆体３００を転写する（工程Ｃ４）。
【００９１】
次いで、第１の粘土状ゴムシート７１を加硫して第１のゴムシート７１Ａを形成するとともに、複数の金属線材の前駆体３００を焼成して、図９（ｂ）に示すように、第１のゴムシートの７１Ａの一面７１ａに、同一方向に揃えて等間隔に配置された多数の金属線材３０を形成する（工程Ｄ４）。
【００９２】
工程Ｄ４において、前記前駆体を焼成する際に、同時に、第１の粘土状ゴムシート７１を加熱して加硫することができる。ここで、前記前駆体を焼成する好適な温度としては、例えば、１５０〜２５０℃程度が挙げられる。
【００９３】
次いで、図９（ｃ）に示すように、第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに、複数の金属線材３０を覆うように、第２の粘土状ゴムシート７２を貼り合わせた後、第２の粘土状ゴムシート７２を加硫して第２のゴムシート７２Ａを形成し、第１のゴムシート７１Ａ、複数の金属線材３０および第２のゴムシート７２Ａからなる弾性体２１を成形する（工程Ｅ４）。
【００９４】
工程Ｅ４では、上述の工程Ｅ１と同様に、弾性体２１を成形する。
【００９５】
次いで、図９（ｄ）に示すように、複数の金属線材３０が互いに平行に重なり合うように、工程Ａ４〜工程Ｅ４で得られた弾性体２１を複数積層して、積層体８０を成形する（工程Ｆ４）。
【００９６】
工程Ｆ４では、上述の工程Ｆ１と同様に、積層体８０を成形する。
【００９７】
次いで、工程Ｆ４で得られた積層体８０を、複数の金属線材３０の延在する方向と垂直に切断する（工程Ｇ４）。
これにより、図９（ｅ）に示すように、電気コネクター１０を得る。
【００９８】
（第５の実施形態）
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、基材の一面に、同一方向に揃って等間隔に帯状の溝を有する、ラインアンドスペース(Line and Space：Ｌ／Ｓ)のレジストパターンが形成された基材を用い、前記基材の一面が露出する前記溝にメッキ層を形成することにより、同一方向に揃えて等間隔に配置された複数の金属線材を形成する工程（以下、「工程Ａ５」と言う。）と、前記基材の一面に形成された前記レジストパターンを除去する工程（以下、「工程Ｂ５」と言う。）と、前記基材の一面に形成された前記複数の金属線材に、第１の未加硫のゴムシートの一面を貼り合わせた後、前記第１の未加硫のゴムシートを加硫して第１のゴムシートを形成する工程（以下、「工程Ｃ５」と言う。）と、前記基材をウェットエッチングにより除去し、前記複数の金属線材を前記第１のゴムシートの一面に残す工程（以下、「工程Ｄ５」と言う。）と、を有する。
前記未加硫のゴムシートは、粘土状シリコーン又は液状シリコーンの何れによっても形成され得る。液状シリコーンを用いる場合には、半硬化させたもの又は流動性が比較的低いものを用いることが好ましい。
【００９９】
工程Ａ５において用いる基材は、その一面にメッキ層を形成可能な導電性を有し、後段の工程Ｄ５で行うウェットエッチングにより除去可能な基材であればよく、例えば前述の工程Ａ１で説明した基材が挙げられる。基材の一面には、予めＬ／Ｓのレジストパターンが形成されたものを用いる。Ｌ／Ｓのスペースによって区画されてなる溝の底面には基材の一面が露出している。この露出した一面に対して、電解メッキまたは無電解メッキの常法によってメッキ層を形成することにより、溝の中に溝の長手方向に沿う金属線材を形成することができる。Ｌ／Ｓのスペースのピッチを調整することにより、形成する複数の金属線材同士のピッチを調整することができる。また、メッキ層の厚みを調整することにより金属線材の厚みを調整することができる。ここで、形成した複数の金属線材同士が短絡することを防ぐ観点から、レジストパターンの厚みはメッキ層の厚みよりも厚いことが好ましい。
工程Ａ５で用いる基材のレジストパターンは、本工程で常法により形成してもよいし、予め所望のレジストパターンが形成されたものを購入してもよい。
以上の工程Ａ５により、基材の一面に、同一方向に等間隔に配置された複数の金属線材を形成することができる。
【０１００】
工程Ｂ５において、複数の金属線材及びレジストパターンが配置された基材の一面から、レジストパターンを除去する。除去方法は、樹脂製のレジストを溶解可能な溶媒に基材を浸漬するウェットエッチング法が、簡便で好ましい。レジストを除去した基材の一面には工程Ａ５で形成した複数の金属線材が残っている。
以上の工程Ｂ５により、図２（ｂ）に示すような、基材５０の一面５０ａに複数の金属線材３０が配置されたものが得られる。
【０１０１】
次に、図２（ｃ）に示すように、基材５０の一面５０ａに形成された複数の金属線材３０に、第１の未加硫のゴムシート７１の一面７１ａを貼り合わせた後、第１の未加硫のゴムシート７１を加硫して第１のゴムシート７１Ａを形成する（工程Ｃ５）。さらに、図２（ｄ）に示すように、基材５０をウェットエッチングにより除去し、金属線材３０を第１のゴムシート７１Ａの一面７１ａに残す（工程Ｄ５）。
【０１０２】
以上の工程Ｄ５の後の工程は、第１の実施形態の製造方法の工程Ｅ１〜工程Ｇ１と同様に行ってもよいし、次のように別の工程Ｅ５〜工程Ｆ５を行ってもよい。
【０１０３】
本実施形態においては、工程Ｄ５で得た複数のゴムシート７１Ａを複数用意して、図１５に示すように、第一のゴムシート７１Ａの金属線材３０を有する一面７１ａを、第二のゴムシート７１Ａの金属線材３０を有しない側の他面に対して、接着剤９０を介して積層し、積層体８０を得る（工程Ｅ５）。
図１５において、図１〜図３に示した構成と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０１０４】
図１５の例では、積層体８０の最上層と最下層には、ゴムシート７１Ａの代わりに、複数の金属線材３０を備えた基材５０を積層した場合を例示している。積層した基材５０は後段でエッチングにより除去され、金属線材３０が露出する場合には、接着剤９０を塗布して絶縁層を表面に形成する。ただし、基材５０を積層せずに、複数のゴムシート７１Ａだけを接着剤９０を介して積層してもよい。
【０１０５】
積層体８０の接着剤９０の厚みとしては、例えば、第１の実施形態で用いた第２の未加硫のゴムシート７２と同等の厚みが挙げられる。
接着剤９０の加硫や硬化は、使用する接着剤９０の種類に応じて、加熱、乾燥等の公知方法により適宜行われる。
【０１０６】
次に、工程Ｅ５で得た積層体８０を、複数の金属線材３０の延在する方向（すなわち、図１５の紙面奥行き方向）と垂直に切断する（工程Ｆ１）。
これにより、目的の電気コネクター（例えば図３（ｃ）と同様の電気コネクター）が得られる。
本実施形態は、第１の実施形態と比べて、第２の未加硫のシリコーンゴムを用いて弾性体２１を形成する工程がないので、より簡便である。
【０１０７】
以上で説明した第１〜第５の実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子に対して金属線材３０から過剰な力が加えられることがなく、デバイスの接続端子が損傷することを防止でき、かつ狭ピッチおよび高集積のデバイスとの接続も可能な電気コネクター１０が得られる。また、第１〜第５の実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、薄い金属線材３０を備えた、狭ピッチの電気コネクター１０を容易に製造することができる。
【０１０８】
また、各本実施形態の電気コネクターの製造方法は、電気コネクター１０の一方の主面２０ａ及び他方の主面２０ｂの少なくとも一方から、複数の金属線材３０の端部を突出させる工程（突出工程）を有していてもよい。
金属線材３０の端部を主面から突出させる方法としては、例えば、レーザーエッチング、ケミカルエッチング、切削等の機械的加工により電気コネクター１０の主面を構成する樹脂層の一部を削る方法が挙げられる。
突出させた金属線材３０の端部にメッキ層を形成する場合には、公知の電解メッキ又は無電解メッキの方法を適用することができる。
【実施例】
【０１０９】
以下、実施例および比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。【０１１０】
［実施例１］
図１〜図３を参照して、本発明の実施例を説明する。
厚さ５０μｍの銅板の表面に、厚さ０．５μｍのニッケルメッキ層を備える基材と、基材のニッケルメッキ層の表面に厚さ０．５μｍの金メッキ層が積層された金メッキ板を用意した。
次いで、金メッキ板の金メッキ層をレーザー加工して、金メッキ層を除去し、金メッキ板の一面に、幅５０μｍ、ピッチ２００μｍのストライプ状をなす複数の金属線材を形成した。ここでは、波長５３２ｎｍのレーザーを用いた。
ミラブルコンパウンド（品番：ＫＥ−１７４−Ｕ、信越化学工業株式会社製）１００質量部に、加硫剤（品番：Ｃ−１９Ａ、信越化学工業株式会社製）０．６質量部および加硫剤（品番：Ｃ−１９Ｂ）２．５質量部と、シランカップリング剤（品番：ＫＢＭ−４０３、信越化学工業株式会社製）１質量部を加えて混練し、第１の粘土状シリコーンゴムシートを作製した。
この第１の粘土状シリコーンゴムシートを、厚さ８５μｍに成形した。
次いで、金メッキ板に形成された複数の金属線材に、第１の粘土状シリコーンゴムシートの一面を貼り合わせた後、第１の粘土状シリコーンゴムシートを１３５℃にて４０分間加熱して、第１のシリコーンゴムシートを形成した。
次いで、金属線材が形成された金メッキ板に第１のシリコーンゴムシートを貼り合わせたものを塩化鉄の溶液に浸漬して、基材を除去した。これにより、第１のシリコーンゴムシートの一面上に複数の金属線材を転写した。
次いで、第１のシリコーンゴムシートの一面に、複数の金属線材を覆うように、第１の粘土状シリコーンゴムシートと構成および厚さが等しい第２の粘土状シリコーンゴムシートを貼り合わせた後、第２の粘土状シリコーンゴムシートを１３５℃にて４０分間加熱して、第２の粘土状シリコーンゴムシートを加硫して、第２のシリコーンゴムシートを形成した。これにより、第１のシリコーンゴムシートおよび第２のシリコーンゴムシートと、これらに挟まれた複数の金属線材とからなる弾性体を成形した。弾性体を複数作成した。
次いで、各弾性体に含まれる複数の金属線材が互いに平行に重なり合うように、液状シリコーンゴムを介して、弾性体を複数積層して、積層体を成形した。ここでは、弾性体の貼着面に、スクリーン印刷により、厚さが３０μｍとなるように液状シリコーンゴムを塗布した。また、液状シリコーンゴムを介して、弾性体を積層した後、積層体を１３５℃にて４０分間加熱して、液状シリコーンゴムを加硫した。
次いで、得られた積層体を、複数の金属線材の延在する方向と垂直に切断し、図１に示すような、厚さ３００μｍの電気コネクターを得た。
本実施例の電気コネクターでは、接合面における各金属線材の矩形の短辺の長さは０．５μｍ、接合面における各金属線材の矩形の長辺の長さは０．０５ｍｍ（５０μｍ）、接合面の５ｍｍ２当たりにおける複数の金属線材の合計面積が０．００３１２５ｍｍ２、接合面における矩形の長辺方向の金属線材のピッチ（図１のＰ２に相当）が０．２ｍｍ、接合面における矩形の短辺方向の金属線材のピッチ（図１のＰ１に相当）が０．２ｍｍであった。なお、接合面とは、電気コネクターの主面であり、デバイスを接合（接続）する面である。【０１１１】
[実施例２]
実施例１と同様に用意した金メッキ板の金メッキ層に対して、実施例１と同様の第１の粘土状シリコーンゴムシートの一面を貼り合わせた後、第１の粘土状シリコーンゴムシートを１３５℃にて４０分間加熱して、第１のシリコーンゴムシートを形成した。
次いで、金メッキ板の金メッキ層に対して第１のシリコーンゴムシートを貼り合わせたものを、塩化鉄の溶液に浸漬して、基材を除去した。これにより、第１のシリコーンゴムシートの一面上に金メッキ層を転写した。
形成した第１のシリコーンゴムシートの一面に露出する金メッキ層に対して、レーザー（波長５３２ｎｍ）を照射し、幅２５μｍ（図１のＬ２に相当）、ピッチ５０μｍ（図１のＰ２に相当）のストライプ状に加工した。このように加工した第１のシリコーンゴムシートの一面に、実施例１と同様に、複数の金属線材を覆うように、第２の粘土状シリコーンゴムシートを貼り合わせて、加硫することにより、弾性体を成形した。次いで、実施例１と同様に、弾性体を複数積層し、加硫した積層体を得て、複数の金属線材の延在する方向と垂直に切断（スライスカット）することにより、厚さ１５０μｍの電気コネクターを得た。
本実施例の電気コネクターでは、接合面における金属線材の矩形の短辺の長さは０．５μｍ、接合面における金属線材の矩形の長辺の長さは０．０２５ｍｍ（２５μｍ）、接合面の５ｍｍ２当たりにおける複数の金属線材の合計面積が０．０２５ｍｍ２、接合面における矩形の長辺方向の金属線材のピッチ（図１のＰ２に相当）が０．０５ｍｍ、接合面における矩形の短辺方向の金属線材のピッチ（図１のＰ１に相当）が０．０５ｍｍであった。なお、ピッチＰ１を実施例１よりも小さくするために、各シリコーンゴムシートの厚さ及び液状シリコーンゴムの塗膜の厚さを実施例１よりも薄くした。【０１１２】
[実施例３]
厚さ５０μｍの銅板の表面に、Ｌ／Ｓのレジストパターンを常法により形成した後、銅が露出した表面に厚さ０．５μｍのニッケルメッキ層を形成し、さらに厚さ０．５μｍの金メッキ層を積層した。その後、レジストパターンを除去することにより、銅板の表面に、幅１０μｍ、ピッチ２０μｍのストライプ状をなす複数の金属線材が形成された金メッキ板を得た。
上記金メッキ板の複数の金属線材に対して、実施例１と同様の第１の粘土状シリコーンゴムシートの一面を貼り合わせた後、第１の粘土状シリコーンゴムシートを１３５℃にて４０分間加熱して、第１のシリコーンゴムシートを形成した。
次いで、第１のシリコーンゴムシートが貼り合された金メッキ板を、塩化鉄の溶液に浸漬して、基材を除去した。これにより、第１のシリコーンゴムシートの一面上に、複数の金属線材を転写した。
複数の金属線材を転写した上記の第１のシリコーンゴムを複数用意して、金メッキ板／（液状シリコーンゴム／第１のシリコーンゴム）×所望の積層枚数／液状シリコーンゴム／金メッキ板の順に積層した積層体を得た（図１５参照）。積層体において、各金属線材は、積層方向と積層方向に直交するシートの平面方向に見て重なるように、それぞれ等間隔に配置された。
さらに、積層体の最表面及び最裏面にある基材を塩化鉄の溶液によって除去し、露出した金属線材を覆うように、実施例１と同様の第２の粘土状シリコーンゴムシートを貼り合わせて、積層体の全体を加硫した。
次いで、実施例１と同様に、積層体を、複数の金属線材の延在する方向と垂直に切断（スライスカット）することにより、厚さ１５０μｍの電気コネクターを得た。
本実施例の電気コネクターでは、接合面における各金属線材の矩形の短辺の長さは０．５μｍ、接合面における各金属線材の矩形の長辺の長さは０．０１０ｍｍ（１０μｍ）、接合面の５ｍｍ２当たりにおける金属線材の面積が０．０６２５ｍｍ２、接合面における矩形の長辺方向の金属線材のピッチ（図１のＰ２に相当）が０．０２０ｍｍ、接合面における矩形の短辺方向の金属線材のピッチ（図１のＰ１に相当）が０．０２０ｍｍであった。なお、ピッチＰ１は液状シリコーンゴムの塗膜の厚さによって調整した。【０１１３】
［比較例］
ポリエチレンテレフタレート基材上に形成したシリコーンゴムからなる厚さ８５μｍの第一の樹脂層の一方の面上に、多数の導電部材を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置した。
導電部材としては、真鍮からなる直径３９．６μｍの円柱状の芯材と、その芯材の外周面に形成された厚さ０．１μｍのニッケルメッキ層および厚さ０．１μｍの金メッキ層とを有するものを用いた。
次いで、多数の導電部材が配置された第一の樹脂層の一方の面上に、シリコーンゴムからなる厚さ８５μｍの第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に導電部材を固定し、導電部材含有シートを形成した。
次いで、導電部材含有シートの複数枚を、互いに導電部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シートの積層体を形成した。
次いで、積層体を、厚さ３００μｍとなるように、切削加工により、複数の導電部材の延在する方向に対して垂直に切断し、輪切りした導電部材が接合された貫通孔を備える電気コネクターを得た。
比較例の電気コネクターでは、接合面における各導電部材の直径は４０μｍ、接合面の５ｍｍ２当たりにおける複数の導電部材の合計面積が０．１２３６６３７０６ｍｍ２、接合面における長辺方向の導電部材のピッチが０．２ｍｍ、接合面における縦方向の導電部材のピッチが０．２５ｍｍであった。【０１１４】
［評価１］
実施例１と比較例の電気コネクターを、銅の表面にニッケルメッキおよび金メッキが施された直径１．０ｍｍのプローブと、金メッキされた接続端子を有する基板との間に配置して、積層体（試験装置）を形成した。
また、プローブと基板上の接続端子の間の抵抗値を測定するために、プローブと接続端子に抵抗測定器（商品名：ＲＭ３５４５−０１、日置電機社製）を接続した。
この状態で、積層体を、その厚さ方向に圧縮しながら、プローブと接続端子の間の抵抗値を測定し、積層体の変位量（圧縮量：積層体が厚さ方向に圧縮された量）と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係を調べた。なお、積層体の変位量は、電気コネクターの変位量に等しい。
また、積層体を圧縮する際に、自動荷重試験機（商品名：ＭＡＸ−１ＫＮ−Ｓ−１、日本計測システム社製）により、積層体に加えられる荷重を測定し、積層体の変位量と、荷重との関係を調べた。
以上の結果から、プローブと基板の接続端子との間の抵抗値と、電気コネクターに加えられる荷重との関係を調べた。実施例１の電気コネクターを用いた場合における、積層体の変位量と荷重との関係の結果を図１０に示す。比較例の電気コネクターを用いた場合における、積層体の変位量と荷重との関係の結果を図１１に示す。実施例１または比較例の電気コネクターを用いた場合における、積層体の変位量と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係の結果を図１２に示す。
図１０〜図１２の結果から、抵抗値が安定する圧縮量は、実施例１および比較例ともに０．０２ｍｍ程度であるが、そのときの荷重は実施例１では０．８Ｎであり、比較例では４．７６Ｎであった。すなわち、比較例では、抵抗値が安定するときの荷重が実施例１の２倍を超えていた。従って、実施例１では検査対象の電極へ掛かる荷重を低減することができ、電極の損傷を抑制することができる。【０１１５】
実施例２〜３の電気コネクターについても、実施例１の場合と同様に、積層体を形成して、積層体の圧縮量（変位量）と、プローブ‐接続端子の抵抗値との関係、及び、積層体の圧縮量と、荷重との関係を調べた。
その結果、抵抗値が安定する圧縮量は、実施例２では０．００８ｍｍであり、実施例３では０．００５ｍｍであった。また、そのときの荷重は、実施例２では０．６２Ｎであり、実施例３では０．３Ｎであった。
以上の結果から、実施例２〜３では、実施例１よりも少ない圧縮量で抵抗値が安定するので、実施例２〜３では検査対象の電極へ掛かる荷重をより一層低減することができ、電極の損傷をより一層抑制することができる。【０１１６】
［評価２］
実施例１と比較例の電気コネクターを、銅の表面にニッケルメッキおよび金メッキが施された直径１．０ｍｍのプローブと、厚さ３５μｍの銅層と厚さ２５μｍの導電性粘着剤とからなる銅箔テープが貼付されたガラス基板との間に配置して、銅層に向けて積層体（試験装置）を形成した。
この状態で、積層体を、その厚さ方向に圧縮した。
実施例１および比較例において、８Ｎの荷重を加えた場合について、電気コネクターと銅箔テープの接触面を走査型電子顕微鏡により観察した。実施例１における走査型電子顕微鏡を図１３に示す。比較例における走査型電子顕微鏡を図１４に示す。
図１３の結果から、実施例１では、銅箔テープに、電気コネクターの金属線材に起因する傷が見られなかった。一方、図１４の結果から、比較例では、銅箔テープに、電気コネクターの導電部材に起因する傷が見られた。【０１１７】
実施例２〜３の電気コネクターについても、実施例１の場合と同様に、銅箔テープに対して圧縮しながら接触させた。その接触面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、電気コネクターの導電部材に起因する傷は見られなかった。【０１１８】
［評価３］
実施例２〜３の電気コネクターを用いて、評価１で使用したプローブを直径０．１４ｍｍのプローブに変更した以外は、評価１と同様の積層体（試験装置）を形成し、抵抗測定器と自動荷重試験機を評価１と同様に接続した。
この状態で、積層体を、その厚さ方向に圧縮しながら、プローブと接続端子の間の抵抗値を測定し、積層体の圧縮量（変位量）と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係を調べた。また、積層体に加えられる荷重が０．１５Ｎになるまで測定し、積層体の圧縮量と、荷重との関係を調べた。
以上の結果から、プローブと基板の接続端子との間の抵抗値と、電気コネクターに加えられる荷重との関係を調べた。実施例２の電気コネクターを用いた場合における、積層体の荷重と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係の結果を図１６に示す。実施例３の電気コネクターを用いた場合における、積層体の荷重と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係の結果を図１７に示す。実施例２または実施例３の電気コネクターを用いた場合における、積層体の圧縮量と、プローブと接続端子の間の抵抗値との関係の結果を図１８に示す。実施例２または実施例３の電気コネクターを用いた場合における、積層体の圧縮量と、積層体の荷重との関係の結果を図１９に示す。
図１６〜図１９の結果から、実施例２〜３では、実施例１よりも少ない圧縮荷重で検査対象の電極を安定に接続できるので、検査対象の電極へ掛かる荷重をより一層低減することができ、電極の損傷をより一層抑制することができることが明らかである。
なお、実施例１の電気コネクターにおける金属線材間のピッチが、直径０．１４ｍｍのプローブに対して広すぎるため、このプローブを実施例１の電気コネクターの金属線材に接触させることに大きな手間を要した。このため、直径０．１４ｍｍのプローブを用いて実施例１及び比較例の電気コネクターを測定することを諦めた。
【符号の説明】
【０１１９】
１０  電気コネクター
２０  樹脂層
２１  弾性体
３０  金属線材
３０Ａ  細線
４０  接着層
５０  基材
５１  第１の層
５２  第２の層
６０  メッキ層
７１  第１の粘土状ゴムシート
７１Ａ  第１のゴムシート
７２  第２の粘土状ゴムシート
７２Ａ  第２のゴムシート
８０  積層体
９０  接着剤
１００  シリコンウエハー
１０１  溝
１１０  シリコンウエハー型
２００  液状シリコーンゴム
２１０  シリコーンゴム型
２１１  凹部
２１２  凸部
３００  金属線材の前駆体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【国際調査報告】
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