(57)【要約】  簡易な構成で容易に点灯の突然停止（突然死）し易い有機ＥＬパネルの選別ができる有機ＥＬパネル検査方法及び前記有機ＥＬパネル検査方法で検査を実施するための有機ＥＬパネル検査装置を提供する。前記有機ＥＬパネルの検査において、有機ＥＬパネルの良、不良の判定は、有機ＥＬパネルに、異なる値の複数の電圧を順次印加してそれぞれの電流を測定し、前記電流に基づき、判定条件１を測定された前記電流にスパイク状の電流の有無、判定条件２を前記複数の電圧の一方から他方に前記複数の電圧を順次印加した時と前記他方から前記一方に前記複数の電圧を順次印加した時とで、同じ電圧で異なる電流密度の電流の発生の有無、判定条件３を前記有機ＥＬパネルに逆方向の所定の電圧を印加した時に流れる電流の電流密度の絶対値、とした時に前記良、不良の判定は、判定条件１から３の１つ以上の判定条件に基づき行われる。
2010137452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬパネルの良、不良を検査する有機ＥＬパネル検査方法であって、
前記有機ＥＬパネルに、異なる値の複数の電圧を順次印加し、それぞれの電流を測定するステップと、
測定された前記電流に基づき、前記有機ＥＬパネルの良、不良を判定するステップと、を有し、
判定条件１を測定された前記電流にスパイク状の電流の有無、判定条件２を前記複数の電圧の一方から他方に前記複数の電圧を順次印加した時と前記他方から前記一方に前記複数の電圧を順次印加した時とで、同じ電圧で異なる電流密度の電流の発生の有無、判定条件３を前記有機ＥＬパネルに逆方向の所定の電圧を印加した時に流れる電流の電流密度の絶対値、とした時に前記良、不良の判定は、判定条件１から３の１つ以上の判定条件に基づき行われることを特徴とする有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項２】
前記複数の電圧は、０．５Ｖ以下の電圧間隔でステップ状に変化する電圧であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項３】
前記複数の電圧の少なくとも１つが、前記有機ＥＬパネルの順方向の電圧−電流特性図で、電流が立ち上がる近傍部分の電圧であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項４】
前記有機ＥＬパネルの重ね合わせた複数の発光ユニットの数をｎユニットとした時、印加される前記電圧の範囲は、＋（ｎ×Ｅ）Ｖ〜−（ｎ×Ｅ）の全範囲または一部で表されることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）、前記有機ＥＬパネル発光開始電圧は、発光ユニットが１ユニットの場合の電圧とする。）
【請求項５】
前記判定条件１において、前記スパイク状の電流の電流密度の大きさが所定の電流密度未満の時は前記スパイク状の電流を無しと判定して前記有機ＥＬパネルを良と判定し、所定の電流密度以上の時は前記スパイク状の電流を有りと判定して前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項６】
前記判定条件１において、前記スパイク状の電流が発生した印加電圧の電圧域が、（−Ｅ＋０．５）Ｖ以上−１．０Ｖ以下、または、＋１．０Ｖ以上（Ｅ−０．５）Ｖ以下である時、前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）。）
【請求項７】
前記判定条件２において、同一電圧での電流密度の差が所定値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、所定値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項８】
前記判定条件３において、前記電流の電流密度の絶対値が、所定の絶対値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、前記所定の絶対値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項９】
前記複数の電圧を繰り返し印加する回数が３回以上であることを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
【請求項１０】
有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬパネルの良、不良を検査する有機ＥＬパネル検査装置であって、
前記有機ＥＬパネルに、異なる値の複数の電圧を順次印加する電圧印加手段と、
前記複数の電圧での、それぞれの電流を測定する電流測定手段と、
測定された前記電流に基づき、前記有機ＥＬパネルの良、不良を判定する判定手段と、を有し、
判定条件１を測定された前記電流にスパイク状の電流の有無、判定条件２を前記複数の電圧の一方から他方に前記複数の電圧を順次印加した時と前記他方から前記一方に前記複数の電圧を順次印加した時とで、同じ電圧で異なる電流密度の電流の発生の有無、判定条件３を前記有機ＥＬパネルに逆方向の所定の電圧を印加した時に流れる電流の電流密度の絶対値、とした時に前記良、不良の判定は、判定条件１から３の１つ以上の判定条件に基づき行われることを特徴とする有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１１】
前記複数の電圧は、０．５Ｖ以下の電圧間隔でステップ状に変化する電圧であることを特徴とする請求項１０に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１２】
前記複数の電圧の少なくとも１つが、前記有機ＥＬパネルの順方向の電圧−電流特性図で、電流が立ち上がる近傍部分の電圧であることを特徴とする請求項１０または１１に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１３】
前記有機ＥＬパネルの重ね合わせた複数の発光ユニットの数をｎユニットとした時、印加される前記電圧の範囲は、＋（ｎ×Ｅ）Ｖ〜−（ｎ×Ｅ）の全範囲または一部で表されることを特徴とする請求項１０から１２の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）、前記有機ＥＬパネル発光開始電圧は、発光ユニットが１ユニットの場合の電圧とする。）
【請求項１４】
前記判定条件１において、前記スパイク状の電流の電流密度の大きさが所定の電流密度未満の時は、前記スパイク状の電流を無しと判定して前記有機ＥＬパネルを良と判定し、前記所定の電流密度以上の時は前記スパイク状の電流を有りと判定して前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１０から１３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１５】
前記判定条件１において、前記スパイク状の電流が発生した印加電圧の電圧域が、（−Ｅ＋０．５）Ｖ以上−１．０Ｖ以下、または、＋１．０Ｖ以上（Ｅ−０．５）Ｖ以下である時、前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１０から１４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）。）
【請求項１６】
前記判定条件２において、同一電圧での電流密度の差が所定値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、所定値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１０から１３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１７】
前記判定条件３において、前記電流の電流密度の絶対値が、所定の絶対値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、前記所定の絶対値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする請求項１０から１３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１８】
前記複数の電圧を繰り返し印加する回数が３回以上であることを特徴とする請求項１０から１７の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
【請求項１９】
請求項１から９の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法で検査されたことを特徴とする有機ＥＬパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬパネルの故障の検査に用いる有機ＥＬパネル検査方法、有機ＥＬパネル検査装置及び前記有機ＥＬパネル検査方法を用いて検査された有機ＥＬパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、消費電力が少なく、容積が小さい面発光素子のニーズが高まり、このような面発光素子の一つとして有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子と称す）が注目されている。【０００３】
有機ＥＬ素子は電子注入電極とホール注入電極とからそれぞれ電子とホールとを発光層内に注入し、このように注入された電子とホールとを発光層内で再結合させて、有機材料を励起状態にし、この有機材料が励起状態から基底状態に戻る時に発光するようになっており、低い電圧で駆動できるという特徴がある。また、面で発光するという特徴を活かして、薄型でフレキシブルな照明用途としての展開が期待されている。【０００４】
以下、前記有機ＥＬ素子を用いて構成される発光体を有機ＥＬパネルと称す。【０００５】
この有機ＥＬ素子の故障の１つに、有機ＥＬ素子の製造に起因して、初期状態では判別できないが、有機ＥＬパネルの点灯時間とともに不良が顕在化され、突然に発光が停止するものがあることが知られている。この故障（欠陥）は、有機ＥＬパネルの点灯の突然停止を招き、特に有機ＥＬパネルを照明用途に用いた時、照明の点灯の突然停止となり、安全環境に影響する等の問題にもなっていた。【０００６】
以下、有機ＥＬパネルの点灯の突然停止を有機ＥＬパネルの突然死ともいう。【０００７】
上記問題に対し、有機ＥＬ素子にとって逆バイアス条件となる所定の電圧値と所定のパルス幅を有する逆パルス電圧を有機ＥＬ素子に印加し、撮像手段で前記逆パルス電圧が印加されている状態の有機ＥＬ素子を遮光状態下で撮像する。次に、画像検査手段で所定の輝度以上の発光箇所の個数を測定し、有機ＥＬ素子の良品、不良品を判定する検査装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２１４４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１は、有機ＥＬ素子に逆パルス電圧を印加すると、欠陥を有する有機ＥＬ素子の欠陥部に発光が見られることを利用して、撮像手段で撮像することにより有機ＥＬ素子を検査して潜在的な不良を発見するものである。【００１０】
しかしながら、撮像手段を要する等により、装置の構成が複雑で大型化する恐れがあった。【００１１】
本発明は、上記状況に鑑みなされたもので、簡易な方法及び構成で容易に点灯の突然停止（突然死）し易い有機ＥＬパネルの選別ができる有機ＥＬパネル検査方法及び前記有機ＥＬパネル検査方法で検査を実施するための有機ＥＬパネル検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的は、下記の方法及び構成により達成される。【００１３】
１．有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬパネルの良、不良を検査する有機ＥＬパネル検査方法であって、
前記有機ＥＬパネルに、異なる値の複数の電圧を順次印加し、それぞれの電流を測定するステップと、
測定された前記電流に基づき、前記有機ＥＬパネルの良、不良を判定するステップと、を有し、
判定条件１を測定された前記電流にスパイク状の電流の有無、判定条件２を前記複数の電圧の一方から他方に前記複数の電圧を順次印加した時と前記他方から前記一方に前記複数の電圧を順次印加した時とで、同じ電圧で異なる電流密度の電流の発生の有無、判定条件３を前記有機ＥＬパネルに逆方向の所定の電圧を印加した時に流れる電流の電流密度の絶対値、とした時に前記良、不良の判定は、判定条件１から３の１つ以上の判定条件に基づき行われることを特徴とする有機ＥＬパネル検査方法。【００１４】
２．前記複数の電圧は、０．５Ｖ以下の電圧間隔でステップ状に変化する電圧であることを特徴とする前記１に記載の有機ＥＬパネル検査方法。【００１５】
３．前記複数の電圧の少なくとも１つが、前記有機ＥＬパネルの順方向の電圧−電流特性図で、電流が立ち上がる近傍部分の電圧であることを特徴とする前記１または２に記載の有機ＥＬパネル検査方法。【００１６】
４．前記有機ＥＬパネルの重ね合わせた複数の発光ユニットの数をｎユニットとした時、印加される前記電圧の範囲は、＋（ｎ×Ｅ）Ｖ〜−（ｎ×Ｅ）の全範囲または一部で表されることを特徴とする前記１から３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）、前記有機ＥＬパネル発光開始電圧は、発光ユニットが１ユニットの場合の電圧とする。）
５．前記判定条件１において、前記スパイク状の電流の電流密度の大きさが所定の電流密度未満の時は前記スパイク状の電流を無しと判定して前記有機ＥＬパネルを良と判定し、所定の電流密度以上の時は前記スパイク状の電流を有りと判定して前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１から４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。【００１７】
６．前記判定条件１において、前記スパイク状の電流が発生した印加電圧の電圧域が、（−Ｅ＋０．５）Ｖ以上−１．０Ｖ以下、または、＋１．０Ｖ以上（Ｅ−０．５）Ｖ以下である時、前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１から５の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）。）
７．前記判定条件２において、同一電圧での電流密度の差が所定値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、所定値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１から４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。【００１８】
８．前記判定条件３において、前記電流の電流密度の絶対値が、所定の絶対値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、前記所定の絶対値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１から４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。【００１９】
９．前記複数の電圧を繰り返し印加する回数が３回以上であることを特徴とする前記１から８の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法。【００２０】
１０．有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬパネルの良、不良を検査する有機ＥＬパネル検査装置であって、
前記有機ＥＬパネルに、異なる値の複数の電圧を順次印加する電圧印加手段と、
前記複数の電圧での、それぞれの電流を測定する電流測定手段と、
測定された前記電流に基づき、前記有機ＥＬパネルの良、不良を判定する判定手段と、を有し、
判定条件１を測定された前記電流にスパイク状の電流の有無、判定条件２を前記複数の電圧の一方から他方に前記複数の電圧を順次印加した時と前記他方から前記一方に前記複数の電圧を順次印加した時とで、同じ電圧で異なる電流密度の電流の発生の有無、判定条件３を前記有機ＥＬパネルに逆方向の所定の電圧を印加した時に流れる電流の電流密度の絶対値、とした時に前記良、不良の判定は、判定条件１から３の１つ以上の判定条件に基づき行われることを特徴とする有機ＥＬパネル検査装置。【００２１】
１１．前記複数の電圧は、０．５Ｖ以下の電圧間隔でステップ状に変化する電圧であることを特徴とする前記１０に記載の有機ＥＬパネル検査装置。【００２２】
１２．前記複数の電圧の少なくとも１つが、前記有機ＥＬパネルの順方向の電圧−電流特性図で、電流が立ち上がる近傍部分の電圧であることを特徴とする前記１０または１１に記載の有機ＥＬパネル検査装置。【００２３】
１３．前記有機ＥＬパネルの重ね合わせた複数の発光ユニットの数をｎユニットとした時、印加される前記電圧の範囲は、＋（ｎ×Ｅ）Ｖ〜−（ｎ×Ｅ）の全範囲または一部で表されることを特徴とする前記１０から１２の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）、前記有機ＥＬパネル発光開始電圧は、発光ユニットが１ユニットの場合の電圧とする。）
１４．前記判定条件１において、前記スパイク状の電流の電流密度の大きさが所定の電流密度未満の時は、前記スパイク状の電流を無しと判定して前記有機ＥＬパネルを良と判定し、前記所定の電流密度以上の時は前記スパイク状の電流を有りと判定して前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１０から１３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。【００２４】
１５．前記判定条件１において、前記スパイク状の電流が発生した印加電圧の電圧域が、（−Ｅ＋０．５）Ｖ以上−１．０Ｖ以下、または、＋１．０Ｖ以上（Ｅ−０．５）Ｖ以下である時、前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１０から１４の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。
（但し、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）。）
１６．前記判定条件２において、同一電圧での電流密度の差が所定値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、所定値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１０から１３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。【００２５】
１７．前記判定条件３において、前記電流の電流密度の絶対値が、所定の絶対値未満の時は前記有機ＥＬパネルを良と判定し、前記所定の絶対値以上の時は前記有機ＥＬパネルを不良と判定することを特徴とする前記１０から１３の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。【００２６】
１８．前記複数の電圧を繰り返し印加する回数が３回以上であることを特徴とする前記１０から１７の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査装置。【００２７】
１９．前記１から９の何れか１項に記載の有機ＥＬパネル検査方法で検査されたことを特徴とする有機ＥＬパネル。
【発明の効果】
【００２８】
上記によれば、有機ＥＬパネルに異なる複数のステップ状の電圧を印加し、上記判定条件１から３の少なくとも１つ以上の判定条件に基づき、有機ＥＬパネルの良、不良を判定することにより、突然の発光停止となる確率の高い有機ＥＬパネルの選別を精度よく行うことが可能となる。即ち、有機ＥＬパネルの良、不良の検査を、高い精度で効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】発光ユニットが１ユニットの有機ＥＬパネルの基本的なユニット構成の例を示す図である。
【図２】発光ユニットが複数ユニットの有機ＥＬパネルの基本的なユニット構成の例を示す図である。
【図３】本発明に係る有機ＥＬパネル検査装置の例を示すブロック図である。
【図４】有機ＥＬパネルに電圧を印加した時のＶ−Ｉ特性の例を表すグラフである。
【図５】図４のグラフを高精細にしたグラフである。
【図６】電圧印加の各種方法を示す図である。
【図７】本発明に係る有機ＥＬパネル検査方法のフロー図である。
【図８】本発明に係る検査方法に光学的情報による検査方法を併用した例である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の発明者らは、前述の有機ＥＬパネルの点灯時間とともに不良が顕在化され、突然に発光が停止する問題に関し、有機ＥＬパネルの不良を事前に予測、分別する検査方法について、鋭意検討を行った。その結果、有機ＥＬパネルに電圧を印加し、その電圧（Ｖ）−電流（Ｉ）特性（以下、Ｖ−Ｉ特性ともいう）を測定した時、その特性がきれいな（正常な）ダイオード特性を示さず、スパイク状のリーク電流や電流履歴差や漏れ電流を含む場合には、有機ＥＬパネルが一定時間内に突然の発光停止となる確率が高いことを確認した。
【００３１】
そこで、有機ＥＬパネルに電圧を印加し、Ｖ−Ｉ特性を測定することにより、有機ＥＬパネルの潜在的な不良箇所を短時間で発見できるとの知見を得た。
【００３２】
以下、図を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３３】
図１は、発光ユニットが１ユニットの有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬパネル１０の基本的なユニット構成を示す図である。
【００３４】
支持層１０１は、可撓性の支持層であり樹脂からなる。支持層１０１上に電極層１０２（第１電極層）が形成され、電極層１０２上に有機ＥＬ発光層１０３が形成され、有機ＥＬ発光層１０３上に電極層１０４（第２電極層）が形成される。１０５は保護層である。
【００３５】
有機ＥＬ発光層１０３としては、有機発光材料を含有する有機発光層の他に、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層、正孔ブロック層、電子輸送層及び電子注入層を有するものを用いることができる。
【００３６】
面状発光体１０は片面発光タイプまたは両面発光タイプがある。片面発光タイプの場合は、例えば支持層１０１及び電極層１０２が透明に形成され、電極層１０４及び保護層１０５の何れか一つが不透明に形成される。両面発光タイプの場合は、支持層１０１、電極層１０２、１０４及び保護層１０５が透明に形成される。有機ＥＬ発光層１０３は電極層１０２、１０４間に電圧が印加され、電流が流れた時に発光する。
【００３７】
図２は、複数の発光ユニットを有するマルチフォトン有機ＥＬ素子（ＭＰＥ）を備えたマルチフォトン有機ＥＬパネル１１０のユニット構成を示す図である。図中１０６は電荷発生層を示す。図２の例は、発光ユニットが３ユニットの場合である。マルチフォトン有機ＥＬパネル１１０は１ユニットの有機ＥＬパネル１０と比べ、同一輝度を出すためには電流はユニット数分の１に減り、代わりに電圧がユニット数倍必要になるという特徴を有する。
【００３８】
図３は、本発明に係る有機ＥＬパネル検査方法を適用した有機ＥＬパネル検査装置１の例を示すブロック図である。
【００３９】
有機ＥＬパネル検査装置１は、電圧印加手段である電源部２０、電流測定手段である電流測定部３０、制御部４０、判定手段である判定部５０を備える。
【００４０】
電源部２０は、被検体である有機ＥＬパネル１０に、異なる値の複数の電圧を順次印加する。電流測定部３０は、有機ＥＬパネル１０に印加された複数の電圧でのそれぞれの電流を測定する。制御部４０は、電源部２０、電流測定部３０を制御するとともに各種データ、信号の管理を行う。判定部５０は測定されたＶ−Ｉ特性に基づき、所定の判定条件を基準にして有機ＥＬパネル１０の良、不良の判定を行う。
【００４１】
次に、有機ＥＬパネル１０の検査について説明する。
【００４２】
まず、被検体である有機ＥＬパネル１０を所定の位置、例えば検査台（不図示）に載置する。
【００４３】
次に、有機ＥＬパネル１０と電源部２０及び電流測定部３０とを接続する。
【００４４】
制御部４０は、予め算出された印加電圧の範囲に基づき、電源部２０が有機ＥＬパネル１０に印加する複数の電圧の制御を行う。
【００４５】
この検査台を有機ＥＬパネル１０の製造ラインに配設し、オンラインで検査を行うようにすると、生産効率の向上を図ることができる。
【００４６】
印加される複数の電圧は、印加電圧範囲で一定の電圧間隔でステップ状に変化する電圧とされる。この一定の電圧間隔は、生産を開始後ある期間においては、０．５Ｖ以下が好ましい。０．５Ｖを超えると電流測定間隔が広くなり、測定間の電圧で異常電流が生じても検知し難くなる。また、電圧間隔を狭くすると異常電流の検知精度は向上するが、検知に要する時間が掛かることになり、生産性を低下させる。このため、有機ＥＬパネル１０の製造品質レベルに応じて、電圧間隔は０．５Ｖ以下で適宜設定される。
【００４７】
しかしながら、この電圧間隔は、検査時間の短縮を図り生産性向上を図るために、有機ＥＬパネル１０の製造品質が許容されるレベルで一定期間維持されている場合、及び不良原因の解析がなされ対処がなされている場合等の品質安定状態の条件の元では、見直しも可能でもある。
【００４８】
また、前述のように有機ＥＬパネル１０のＶ−Ｉ特性にスパイク状のリーク電流や電流履歴差や漏れ電流を含む場合に、有機ＥＬパネル１０の突然発光停止を引き起こす確率が高いことから、Ｖ−Ｉ特性の検査範囲は有機ＥＬパネル１０が発光開始する電圧範囲までカバーする必要がある。このため、印加する複数の電圧の少なくとも１つは電流が立ち上がる近傍部分の電圧であることが好ましい。更に、この近傍部分は、電流が立ち上がる電圧の±０．２５Ｖであることが好ましい。
【００４９】
上記の印加電圧範囲は、有機ＥＬパネル１０の重ね合わせた複数の発光ユニットのユニット数をｎとすると、＋（ｎ×Ｅ）〜−（ｎ×Ｅ）の全範囲または一部とされる。Ｅの値は、Ｅ（Ｖ）＝有機ＥＬパネル発光開始電圧（Ｖ）＋２．０（Ｖ）で設定される。但し、式中の有機ＥＬパネル発光開始電圧は、発光ユニットが１ユニットの場合の電圧とする。
【００５０】
ここで、前述の電流が立ち上がる電圧は、発光が開始される電圧と見なすことができるので、上記印加電圧範囲には、前述の電流が立ち上がる近傍部分の電圧が含まれることになる。
【００５１】
本実施の形態では、有機ＥＬパネル１０の発光ユニットが１ユニットで、印加電圧範囲を−３．５Ｖ〜＋３．５Ｖ、電圧間隔は０．２５Ｖとして説明する。
【００５２】
図４は、有機ＥＬパネル１０に電圧を印加した時のＶ−Ｉ特性の例を表すグラフである。以下、図４を中精細グラフとも称す。図５は、図４のグラフの電流部分を更に精細に表したグラフである。以下、図５を高精細グラフとも称す。
【００５３】
ここで、有機ＥＬパネル１０は、＋電圧で電流が流れ発光するため、図４及び５において、＋電圧方向が順方向、−電圧方向が逆方向となる。
【００５４】
次に、電源部２０により、有機ＥＬパネル１０に電圧が印加される。電圧は、０Ｖを起点として、まず、逆方向、即ち−３．５Ｖ方向に０．２５Ｖ間隔でステップ状に印加される。印加電圧の間は、電圧はオフされ、回路はオープン状態とされる。
【００５５】
−３．５Ｖまで印加されると、再び０Ｖ方向へ折り返し、同様に電圧印加される。次に、順方向、即ち３．５Ｖ方向に同様に電圧印加される。３．５Ｖまで印加されると、再び０Ｖ方向へ折り返し、同様に電圧印加される。このように、電圧は、０→−３．５→０→３．５→０（Ｖ）の方向の順序で印加される。この１連の電圧印加で１回とする。電圧印加の回数は、ノイズ、測定ミス等を避け測定の精度を確保するため、３回以上とすることが好ましい。
【００５６】
電圧が印加されると、それぞれの電流が電流測定部３０により測定され、測定データは制御部４０に送られる。制御部４０は、測定データを基に印加電圧と測定電流の関係表（Ｖ−Ｉ特性テーブル）を作成する。またＶ−Ｉ特性グラフも作成される。これらは判定部５０に送られる。
【００５７】
図４及び図５は、このようにして印加した電圧の、それぞれの電流を測定してグラフにしたものである。中精細グラフ（図４）では、同電圧での電流の違いは視認できないが、高精細グラフ（図５）にすると、図中Ａ部に同電圧で電流のずれが生じていることが視認できる。高精細グラフの破線は、スパイク電流の例である。
【００５８】
判定部５０は、Ｖ−Ｉ特性テーブル及びＶ−Ｉ特性グラフを参照しＶ−Ｉ特性を基に、有機ＥＬパネル１０の良、不良を判定する。良、不良の判定は、後述の３つの判定条件の、１つ以上の判定条件に基づき行われる。
【００５９】
本実施に形態では、後述の３つの判定条件を全て用いて判定している。
【００６０】
判定条件１は、測定された前記電流にスパイク状の電流（スパイク電流）の有無を判定条件とする。ダイオードのＶ−Ｉ特性で本来電圧が印加されても電流が流れない部分に電流が流れることは、ダイオードの故障と見なすことができるから、スパイク電流の有無を判定条件とすることができる。
【００６１】
しかしながら、スパイク電流が発生しても軽微な場合等で寿命に影響を与えない場合には、スパイク電流なしと見なすことができる。このため、所定の電流密度をスパイク電流の閾値に設定し、スパイク電流の電流密度が閾値（所定の電流密度）未満の時はスパイク電流無しとして有機ＥＬパネル１０を良と判定し、閾値（所定の電流密度）以上の時はスパイク電流有りとして有機ＥＬパネル１０を不良と判定する。
【００６２】
この良、不良を判定する電流密度の閾値は、有機ＥＬパネル１０の製品仕様、ダイオード特性等に基づき、実験等により適宜設定される。この閾値をＸ（Ａ／ｍ２）とするとＸは、０．００００５＜Ｘ＜０．００５の範囲が好ましい。
【００６３】
例えば、スパイク電流の電流密度の大きさが、発光面積をｍ２に換算して０．０００５Ａ／ｍ２の時を閾値として、電流密度が０．０００５Ａ／ｍ２未満の時は良と判定され、０．０００５Ａ／ｍ２以上の時は否と判定される。
【００６４】
ここで、スパイク電流発生の有無の判定をする電圧範囲は、特定の電圧範囲とすることもできる。
【００６５】
逆方向の場合、印加電圧が−１Ｖ以上では、印加電圧の絶対値が小さいためスパイク電流は発生し難い。また、印加電圧の絶対値が大きく（電圧が小さく）なると降伏点に近づくため、スパイク電流の発生以外でも電流の増加が起こることがあり、スパイク電流とは限らない。
【００６６】
同じように順方向の場合、印加電圧が１Ｖ以下では、印加電圧の絶対値が小さいためスパイク電流は発生し難い。また、印加電圧の絶対値が大きく（電圧が大きく）なると発光開始点に近づくため、スパイク電流との判定はできない。
【００６７】
特定の電圧範囲は、（−Ｅ＋０．５）Ｖ以上−１．０Ｖ以下、または、＋１．０Ｖ以上（Ｅ−０．５）Ｖ以下とすることができる。これにより、スパイク電流有無の検査の効率を挙げることができる。
【００６８】
上記検査において、更に精度が要求される場合には、印加する電圧の電圧間隔を狭めて行うことが好ましい。以下、前述のスパイク電流の検査を「スパイク検査」この精度を高めた検査を「高精度スパイク検査」と称する。また、スパイク検査と高精度スパイク検査とを両方実施する場合には、スパイク検査での判定を判定条件１−１及び高精度スパイク検査での判定を判定条件１−２と称する。
【００６９】
高精度スパイク検査は、例えば、印加電圧を０．００５Ｖの電圧間隔として、スパイク検査に準じて行われる。高精度スパイク検査は、印加電圧を０．００５Ｖの電圧間隔とするため、スパイク検査より検査時間を要する。このため、後述の判定条件２及び３に係る検査との関係からスパイク検査とは別に、スパイク検査の後に行われることが好ましい。また、このように検査時間を要するため、検査範囲をダイオードのＶ−Ｉ特性で本来電圧が印加されても電流が流れない部分、即ち逆方向（印加電圧が０→−３．５→０の範囲）に限定してもよい。
【００７０】
ここで、検査で判定条件１−１及び判定条件１−２を実施する場合の例を説明する。
【００７１】
まず、判定条件１−１での閾値を大きく、例えば０．００１Ａ／ｍ２として良品と判定する範広げて判定する。その判定及び後述の判定条件２及び３に係る検査での判定を総合して、有機ＥＬパネル１０の良、不良の一次振り分けを行い、更に判定条件１−２で詳細な判定行い二次振り分けを行う。これにより、判定条件１−１、判定条件２、判定条件３をほぼ並行して実施することができ、より高い精度の判定を効率よく行うことができる。
【００７２】
判定条件２は、複数の電圧の一方から他方に前記複数の電圧を順次印加した時と前記他方から前記一方に前記複数の電圧を順次印加した時とで、同じ電圧で異なる電流密度の電流の発生の有無を判定条件とする。即ち、前述のように電圧を、０→−３．５→０→３．５→０（Ｖ）と順次印加した時の電流の履歴（ヒステリシス）に異なる部分（差）が発生したかどうかである。
【００７３】
判定条件２において、同一電圧での所定の電流密度の差を閾値として設定し、同一電圧での電流密度の差が閾値（所定の電流密度差）未満の時は、有機機ＥＬパネル１０は良と判定され、閾値（所定の電流密度差）以上の時は、有機ＥＬパネル１０は不良と判定される。
【００７４】
電流のヒステリシスに差が生じることは、同じ電圧を印加した時の電流にバラツキが生じることであり、その電流密度の差が閾値以上となるとヒステリシスのバラツキが大きいことになり、有機ＥＬパネル１０が不安定であることを意味する。
【００７５】
この良、不良を判定する電流のヒステリシスの差の閾値は、有機ＥＬパネル１０の製品仕様、ダイオード特性等に基づき、実験等により適宜設定される。例えば、閾値を０．００１Ａ／ｍ２に設定した場合には電流密度の差が０．００１Ａ／ｍ２以上となるとヒステリシスのバラツキが大きいことになり、有機ＥＬパネル１０が不安定であることを意味する。
【００７６】
判定条件２において、閾値を０．００１Ａ／ｍ２とした場合には、有機ＥＬパネル１０は、同一電圧での電流密度の差が０．００１Ａ／ｍ２未満の時は良と判定され、０．００１Ａ／ｍ２以上の時は不良と判定される。
【００７７】
判定条件３は、有機ＥＬパネル１０に逆方向に電圧を印加した時に、所定の電圧で流れる電流の、電流密度の絶対値を判定条件とする。ここで、所定の電圧とは、逆方向の印加電圧で絶対値が最大（電圧が最小）の電圧をいう。
【００７８】
判定条件３において、所定の電圧での所定の電流密度の絶対値を閾値として設定し、所定の電圧での電流密度の絶対値が閾値（所定の電流密度の絶対値）未満の時は、有機機ＥＬパネル１０は良と判定され、閾値（所定の電流密度の絶対値）以上の時は、有機ＥＬパネル１０は不良と判定される。
【００７９】
ダイオードのＶ−Ｉ特性で本来電圧が印加されても電流が流れない逆方向の部分に大きな電流が流れることは、漏れ電流が大きいことになりダイオードの故障を意味する。
【００８０】
この良、不良を判定する閾値は、有機ＥＬパネル１０の製品仕様、ダイオード特性等に基づき、実験等により適宜設定される。この閾値をＹ（Ａ／ｍ２）とするとＹは、０．０００２Ａ／ｍ２＜Ｙ＜０．０２の範囲が好ましい。
【００８１】
例えば、閾値を０．００４Ａ／ｍ２とした場合には、有機ＥＬパネル１０は、所定の電圧を−３．５Ｖとして、電圧印加時に電流の電流密度の絶対値が、０．００４Ａ／ｍ２未満の時は良と判定され、０．００４Ａ／ｍ２以上の時は不良と判定される。
【００８２】
なお、電圧印加の方法は、上記に限定されるものではない。図６は、電圧印加の各種方法について、一部を模式的に示した図である。
【００８３】
図６（ａ）は、本実施の形態で用いた、前述の電圧印加方法を示す図であり、０Ｖを起点として、まず、逆方向、即ち−３．５Ｖ方向に０．２５Ｖ間隔でステップ状に印加し、印加電圧の間は、電圧はオフされ、回路はオープン状態としている。
【００８４】
図６（ａ）において、印加電圧の間は、電圧はオフとし、回路はショート状態としてもよい。
【００８５】
図６（ｂ）は、ステップ状で連続して電圧を印加する方法を示している。
【００８６】
図６（ｃ）は、印加電圧の電圧間隔を大きくする方法を示している。例えば０．５Ｖ間隔でなく１．０Ｖ間隔とする等である。これは、前述のように、品質安定状態の条件の基で用いられる。また、判定条件１の特定電圧範囲を電圧間隔０．２５Ｖとし、他の部分は、１．０Ｖとしてもよい。これにより、検査時間の短縮を図り生産性向上を図ることができる。
【００８７】
図６（ｄ）は、電圧を逆方向と順方向とに順次交代で印加する方法である。これは、ステップ間でショートする必要がなく、逆方向電流のチェックとスパイク電流のチェックを交代に行うため所要時間が短く、生産性向上に有利である。
【００８８】
本発明により、有機ＥＬパネル１０に異なる複数のステップ状の電圧を印加し、上記判定条件１から３の少なくとも１つ以上の判定条件に基づき、有機ＥＬパネル１０の良、不良を判定することにより、突然の発光停止となる確率の高い有機ＥＬパネル１０の選別を精度よく行うことが可能となる。即ち、有機ＥＬパネル１０の良、不良の検査を、高い精度で効率よく行うことができる。
【００８９】
図７は、前述の判定条件１−１、判定条件１−２、判定条件２、判定条件３の判定を用いて検査する場合のフロー図である。電圧印加条件、各判定条件での判定基準（閾値）は、ステップＳ２０１、２０２で予め設定され、入力されているものとする。
【００９０】
ステップＳ１０１で、有機ＥＬパネル１０が検査台にセットされる。
【００９１】
ステップＳ１０２で、制御部４０により制御される電源部２０により、予め設定された複数の電圧が順次印加される。この電圧は、判定条件１−１、判定条件２、判定条件３で用いられる電圧である。
【００９２】
ステップＳ１０３で、電流測定部３０で印加電圧それぞれの電流が測定される。測定された電流は、制御部４０に送られ、制御部４０は、測定データを基に印加電圧と測定電流の関係表（Ｖ−Ｉ特性テーブル）を作成する。またＶ−Ｉ特性グラフも作成される。これらは判定部５０に送られる。
【００９３】
ステップＳ１０４で、判定部５０で、Ｖ−Ｉ特性テーブル、Ｖ−Ｉ特性グラフを参照しＶ−Ｉ特性を基に、判定基準１−１で、スパイク電流の有無を判定し、有機ＥＬパネル１０の良、不良を判定する。不良と判定された場合は（ステップＳ１０４；Ｎｏ）、ステップＳ１１１で不良品に分類処理される。良と判定された場合は（ステップＳ１０４；Ｙｅｓ）、ステップＳ１０５に進む。
【００９４】
ステップＳ１０５で、判定部５０で、Ｖ−Ｉ特性テーブル、Ｖ−Ｉ特性グラフを参照しＶ−Ｉ特性を基に、判定基準２で、電流のヒステリシスの差を判定し、有機ＥＬパネル１０の良、不良を判定する。不良と判定された場合は（ステップＳ１０５；Ｎｏ）、ステップＳ１１１で不良品に分類処理される。良と判定された場合は（ステップＳ１０５；Ｙｅｓ）、ステップＳ１０６に進む。
【００９５】
ステップＳ１０６で、判定部５０で、Ｖ−Ｉ特性テーブル、Ｖ−Ｉ特性グラフを参照しＶ−Ｉ特性を基に、判定基準３で、所定の電圧での、電流密度の絶対値を判定し、有機ＥＬパネル１０の良、不良を判定する。不良と判定された場合は（ステップＳ１０６；Ｎｏ）、ステップＳ１１１で不良品に分類処理される。良と判定された場合は（ステップＳ１０６；Ｙｅｓ）、ステップＳ１０７に進む。
【００９６】
ステップＳ１０７で、制御部４０により制御される電源部２０により、予め設定された複数の電圧が順次印加される。この電圧は、判定条件１−２で用いられる電圧である。
【００９７】
ステップＳ１０８で、電流測定部３０で印加電圧それぞれの電流が測定される。測定された電流は、制御部４０に送られ、制御部４０は、測定データを基に印加電圧と測定電流の関係表（Ｖ−Ｉ特性テーブル）を作成する。またＶ−Ｉ特性グラフも作成される。これらは判定部５０に送られる。
【００９８】
ステップＳ１０９で、判定部５０で、Ｖ−Ｉ特性テーブル、Ｖ−Ｉ特性グラフを参照しＶ−Ｉ特性を基に、判定基準１−２で、スパイク電流の有無を判定し（高精度スパイク検査）、有機ＥＬパネル１０の良、不良を判定する。不良と判定された場合は（ステップＳ１０９；Ｎｏ）、ステップＳ１１１で不良品に分類処理される。良と判定された場合は（ステップＳ１０９；Ｙｅｓ）、ステップＳ１１０で良品に分類処理される。
【００９９】
図７に示す方法によれば、判定条件１−１での閾値を大きくして良品と判定する範広げて判定する。その判定及び後述の判定条件２及び３に係る検査での判定を総合して、有機ＥＬパネルの良、不良の一次振り分けを行い、更に判定条件１−２で詳細な判定行い二次振り分けを行う。これにより、判定条件１−１、判定条件２、判定条件３をほぼ並行して実施することができ、より高い精度の判定を効率よく行うことができる。
【０１００】
更に、上記の本発明の検査方法に、光学的情報による検査方法を組み合わせてもよい。装置の構成は複雑になるが、所要時間は変わらず、より精度を増すことができる等の利点がある。光学的情報による検査方法を組み合わせた例を、図８に示す。図８において、６１はイメージセンサ等の撮像素子、６２は照明用ランプ等の光源を示す。
【０１０１】
イメージセンサ６１は、非点灯時の外観、定格で発光させた時の輝度ムラ、光色、ダークスポットなどを撮影し、その合否を判定するためのものである。この検査装置では、ここまで述べてきた突然発光停止（突然死）の検査を受けた合格パネルに、ここで述べたイメージセンサ６１を利用した検査を行うものとする。これにより、効率的に有機ＥＬパネル１０の合否判定を行うことができる。
【実施例】
【０１０２】
図３に示す有機ＥＬパネル検査装置で、判定条件１−１、判定条件１−２、判定条件２、判定条件３を用いた検査で１００枚の照明用白色有機ＥＬパネル（以下、有機ＥＬパネル１０という）の検査を行い、有機ＥＬパネル検査方法を評価した。【０１０３】
検査対象とした有機ＥＬパネル１０は、発光面積が５０ｍｍ×５０ｍｍであり、発光ユニットが１ユニットで、通常２．５〜３Ｖで発光開始し、３．６〜３．８Ｖで２５Ａ／ｍ２程度の電流が流れる仕様である。【０１０４】
判定条件１−１、判定条件２、判定条件３での検査を検査１、判定条件１−２での検査を検査２とする。まず、検査１で有機ＥＬパネル１０の良、不良の一次振り分けを行い、検査２（高精度スパイク検査）で二次振り分けを行った。【０１０５】
［検査１］
検査１−１：まず、外観検査の後、発光状態を確認した。ショートによる非発光パネル、発光エリアに輝点が観察されるパネル、ダークスポットが目視観察されるパネルなどを一次不良品として除いた。【０１０６】
検査１−２：残った一次良品のパネルについて、本発明の検査を行った。【０１０７】
下記の検査条件で電圧を印加し、各ステップでの電流を測定し記録した。【０１０８】
（検査条件）
（１）電圧印加形状はステップ状でステップ間は一度電圧印加をオフし、オープン
（２）電圧印加パターンは、０．２５Ｖステップ、電圧範囲−３．５Ｖ〜＋３．５Ｖ、電圧印加順序０→−３．５→０→＋３．５→０
（３）同じ測定を３回繰り返し印加
（４）電圧印加と電流測定に使用した電源は、Ｒ６２４３（Ａｄｖａｎｔｅｓｔ社製）
電流の測定結果に基づき、判定条件１−１、２、３で仮の良、不良を判定し、下記（ａ）から（ｄ）の４種類に分類した。
（ａ）０．００１Ａ／ｍ２以上のスパイク電流が１箇所以上観察された仮不良品パネル
（ｂ）電圧−電流の形状が、印加電圧の往復で電流ヒステリシスに０．００１Ａ／ｍ２以上のずれが観察された仮不良品パネル
（ｃ）−３．５Ｖ印加時の電流の絶対値が０．００４Ａ／ｍ２以上であった仮不良品パネル
（ｄ）（１）〜（３）に該当しない仮良品パネル
［検査２］
検査１で仮良品パネルとなったもの（ｄ）につき、更に下記の検査を行った。【０１０９】
下記の検査条件で電圧を印加し、各ステップでの電流を測定し記録した。【０１１０】
（検査条件）
（１）電圧印加形状はステップ状でステップ間は連続
（２）電圧印加パターンは、０．００５Ｖステップ、電圧範囲０Ｖ〜−３．５、電圧印加順序０→−３．５→０
（３）電圧印加と電流測定に使用した電源は、Ｂ１５００Ａ半導体アナライザー（アジレント社製）
電流の測定結果に基づき、判定条件１−２で良、不良を判定し、下記（ｄ１）、（ｄ２）の２種類に分類した。
（ｄ１）０．０００５Ａ／ｍ２以上のスパイク電流が１箇所以上観察された準良品パネル
（ｄ２）（ｄ１）に該当しない良品パネル
［検査結果］
検査１の結果：有機ＥＬパネル１００枚の内訳は、（ａ）２０枚、（ｂ）５枚、（ｃ）１０枚、（ｄ）６５枚、であった。【０１１１】
検査２の結果：（ｄ）の仮良品パネル６５枚の内訳は、（ｄ１）２０枚、（ｄ２）４５枚であった。【０１１２】
［評価］
上記１００枚の有機ＥＬパネルを定電流にて室温連続駆動を行った。駆動条件は２５Ａ／ｍ２（約１０００ｎｉｔ）で、１日毎に発光を確認した。【０１１３】
その結果、（ａ）〜（ｃ）の仮不良品パネルは、３５枚中７枚が１０００時間以内にショートによる突然発光停止となった。【０１１４】
（ｄ）仮良品パネル候補においては、６５枚中３枚が１０００時間以内にショートによる突然発光停止となった。また、その突然発光停止した３枚の内訳は、全て（ｄ１）の準良品パネルであった。【０１１５】
表１に結果を示す。【０１１６】
【表１】
2010137452.tif 000003
【０１１７】
表１に示すように、本発明の本発明の有機ＥＬパネルの検査方法の有効性が確認された。
【符号の説明】
【０１１８】
１  有機ＥＬパネル検査装置
１０  有機ＥＬパネル
２０  電源部
３０  電流測定部
４０  制御部
５０  判定部
【図１】
2010137452.tif 000004
【図２】
2010137452.tif 000005
【図３】
2010137452.tif 000006
【図４】
2010137452.tif 000007
【図５】
2010137452.tif 000008
【図６】
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【図７】
2010137452.tif 000010
【図８】
2010137452.tif 000011
【国際調査報告】
2010137452.tif 000012
2010137452.tif 000013
2010137452.tif 000014
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