(57)【要約】  本発明は、無機化合物、重合体、有機色素及び溶媒を含む固体撮像素子用組成物において、上記重合体のアミン価が、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、上記溶媒が、溶解度パラメーターが８．８以上１２．０以下の特定溶媒を含み、上記特定溶媒の上記固体撮像素子用組成物全体に対する含有量が、４０質量％以上９０質量％以下であり、２０℃、０．１ＭＰａにおける上記溶媒への上記有機色素の溶解度が、２質量％以上である固体撮像素子用組成物である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機化合物、重合体、有機色素及び溶媒を含む固体撮像素子用組成物において、
上記重合体のアミン価が、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、
上記溶媒が、溶解度パラメーターが８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以上１２．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以下の特定溶媒を含み、
上記特定溶媒の上記固体撮像素子用組成物全体に対する含有量が、４０質量％以上９０質量％以下であり、
２０℃、０．１ＭＰａにおける上記溶媒への上記有機色素の溶解度が、２質量％以上である固体撮像素子用組成物。
【請求項２】
２種以上の上記有機色素を含む請求項１に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項３】
上記溶媒が、環状構造を有する溶媒を含む請求項１又は請求項２に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項４】
上記環状構造を有する溶媒が、環状ケトン、環状エーテル、ラクトン、ラクタム、芳香族炭化水素又はこれらの組み合わせである請求項３に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項５】
上記有機色素が、波長６００ｎｍ以上１，０００ｎｍ以下の範囲に極大吸収波長を有する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項６】
上記有機色素が、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物又はこれらの組み合わせである請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項７】
上記重合体が、窒素原子を含む官能基を有するブロックと、親溶媒性を有するブロックとを有するブロック共重合体である請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項８】
上記無機化合物が、セシウム酸化タングステン、石英、磁鉄鉱、アルミナ、チタニア、ジルコニア、スピネル又はこれらの組み合わせである請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項９】
重合性化合物をさらに含む請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の固体撮像素子用組成物。
【請求項１０】
基板の一方の面側に塗膜を形成する工程
を備え、
上記塗膜を請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の固体撮像素子用組成物により形成する固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法。
【請求項１１】
上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程、及び
放射線照射後の上記塗膜を現像する工程
をさらに備える請求項１０に記載の固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子用組成物及び固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ビデオカメラ、デジタルカメラ、カメラ機能付き携帯電話等には、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  ＭＯＳ）イメージセンサ等の固体撮像素子が搭載されている。これらの固体撮像素子に備わるフォトダイオードの感度は、可視光領域から赤外線領域にわたる。このため、固体撮像素子においては、赤外線を遮断するためのフィルターが設けられている。この赤外線遮断フィルターにより、固体撮像素子の感度を人間の視感度に近づくように補正することができる。【０００３】
上記赤外線遮断フィルターには、赤外線遮蔽剤としての有機色素や無機化合物が含有されている（特開２０１３−１３７３３７号公報、特開２０１３−１５１６７５号公報参照）。赤外線遮断フィルターは、通常、基板上に赤外線遮蔽剤を含む組成物を塗工することにより形成される。このような赤外線遮断フィルターにおいては、上記組成物の塗膜が赤外線を遮蔽する膜として機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１３７３３７号公報
【特許文献２】特開２０１３−１５１６７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
固体撮像素子用組成物には、良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える光学フィルターが形成できることが求められる。また、固体撮像素子用組成物には、分散安定性や経時安定性が高いことが求められる。これらが不十分である場合、得られる光学フィルター（赤外線遮蔽膜）における欠陥の発生や、生産性の低下を引きおこす。また、可視光透過性や赤外線遮蔽性にも影響を与える。さらに、塗膜に対して露光及び現像を行い、パターニングされた赤外線遮蔽膜を形成する場合もあるが、この場合、用いる固体撮像素子用組成物には、良好なパターニング性を有することが求められる。【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、分散安定性及び経時安定性が高く、欠陥が少なく良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる固体撮像素子用組成物、及びこの固体撮像素子用組成物を用いた固体撮像素子用遮蔽膜の形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた発明は、無機化合物、重合体、有機色素及び溶媒を含む固体撮像素子用組成物において、上記重合体のアミン価が、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、上記溶媒が、溶解度パラメーターが８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以上１２．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以下の特定溶媒を含み、上記特定溶媒の上記固体撮像素子用組成物全体に対する含有量が、４０質量％以上９０質量％以下であり、２０℃、０．１ＭＰａにおける上記溶媒への上記有機色素の溶解度が、２質量％以上である固体撮像素子用組成物である。【０００８】
上記課題を解決するためになされた別の発明は、基板の一方の面側に塗膜を形成する工程を備え、上記塗膜を当該固体撮像素子用組成物により形成する固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、分散安定性及び経時安定性が高く、欠陥が少なく良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる固体撮像素子用組成物、及びこの固体撮像素子用組成物を用いた固体撮像素子用遮蔽膜の形成方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態に係る固体撮像素子用組成物及び固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法について詳説する。
【００１１】
＜固体撮像素子用組成物＞
本発明の一実施形態に係る固体撮像素子用組成物（以下、単に「組成物」ともいう。）は、［Ａ］無機化合物、［Ｂ］重合体、［Ｃ］有機色素及び［Ｄ］溶媒を含む。［Ｂ］重合体は、アミン価が９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である重合体である。［Ｄ］溶媒は、溶解度パラメーター（以下、「ＳＰ値」ともいう。）が８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以上１２．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以下の特定溶媒（以下、「［Ｄ１］溶媒」ともいう。）を含む。［Ｄ１］溶媒の上記固体撮像素子用組成物全体に対する含有量は、４０質量％以上９０質量％以下である。また、２０℃、０．１ＭＰａにおける［Ｄ］溶媒への［Ｃ］有機色素の溶解度は、２質量％以上である。
【００１２】
当該組成物においては、特定のアミン価を有する［Ｂ］重合体を用いることにより、［Ａ］無機化合物の分散性が向上する。さらに、特定の溶解度パラメーターを有する［Ｄ１］溶媒を所定量含有させることで、［Ａ］無機化合物の分散性を高めることができる。［Ａ］化合物の分散性が高い場合、得られる光学フィルターの可視光透過性や赤外線遮蔽性も良好なものとなる。加えて、溶解性の高い［Ｃ］有機色素と［Ｄ］溶媒とを組み合わせることで、上記可視光透過性や赤外線遮蔽性等がより改善される。従って、当該組成物によれば、分散安定性及び経時安定性が高く、欠陥が少なく良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる。
【００１３】
当該組成物は、［Ｅ］重合性化合物をさらに含むことが好ましく、加えて［Ｆ］重合開始剤を含むことが好ましい。当該組成物は、さらにその他の成分を含むことができる。以下、各成分について詳説する。
【００１４】
（［Ａ］無機化合物）
［Ａ］無機化合物は、赤外線遮蔽剤として機能する成分である。［Ａ］無機化合物は、いわゆる顔料であってよい。［Ａ］無機化合物は、波長８００ｎｍ以上２，０００ｎｍ以下の範囲に極大吸収波長を有することが好ましい。［Ａ］無機化合物は、粒子状であり、当該組成物中に分散して存在する。
【００１５】
［Ａ］無機化合物としては、金属又は半金属（ケイ素等）の酸化物であることが好ましい。［Ａ］無機酸化物としては、具体的には、セシウム酸化タングステン、石英、磁鉄鉱、アルミナ、チタニア、ジルコニア、スピネル又はこれらの組み合わせであることが好ましい。これらの無機化合物は、１種を単独で、又は２種以上を混合して用いることができる。
【００１６】
［Ａ］無機化合物としては、これらの中でも、セシウム酸化タングステンが好ましい。セシウム酸化タングステンは、赤外線（特に波長が約８００ｎｍ以上１，２００ｎｍ以下の赤外線）に対しては吸収が高く（すなわち、赤外線に対する遮蔽性が高く）、可視光に対しては吸収が低い赤外線遮蔽剤である。よって、セシウム酸化タングステンを用いることで、得られる光学フィルターの良好な可視光透過性を維持しつつ、赤外線遮蔽性を高めることができる。
【００１７】
セシウム酸化タングステンは、例えば下記式（ａ）で表すことができる
ＣｓｘＷＯｙ  ・・・（ａ）
式（Ａ）中、０．００１≦ｘ≦１．１である。２．２≦ｙ≦３．０である。
【００１８】
上記式（ａ）中のｘが０．００１以上であることにより、赤外線を十分に遮蔽することができる。ｘの下限は、０．０１が好ましく、０．１がより好ましい。一方、ｘが１．１以下であることにより、セシウム酸化タングステン中に不純物相が生成されることをより確実に回避することできる。ｘの上限は、１が好ましく、０．５がより好ましい。
【００１９】
上記式（ａ）中のｙが２．２以上であることにより、材料としての化学的安定性をより向上させることができる。ｙの下限は、２．５が好ましい。一方、ｙが３．０以下であることにより赤外線を十分に遮蔽することができる。
【００２０】
上記式（ａ）で表されるセシウム酸化タングステンの具体例としては、Ｃｓ０．３３ＷＯ３等を挙げることができる。
【００２１】
［Ａ］無機化合物は微粒子であることが好ましい。［Ａ］無機化合物の平均粒子径（Ｄ５０）の上限としては、５００ｎｍが好ましく、２００ｎｍがより好ましく、５０ｎｍがさらに好ましく、３０ｎｍがよりさらに好ましく、２０ｎｍがよりさらに好ましい。平均粒子径が上記上限以下であることによって、可視光透過性をより高めることができる。一方、製造時における取り扱い容易性などの理由から、［Ａ］無機化合物の平均粒子径は、通常、１ｎｍ以上であり、１０ｎｍ以上であってもよい。なお、この平均粒子径（Ｄ５０）は、当該組成物中の二次粒子径である。
【００２２】
［Ａ］無機化合物は、公知の方法によって合成することもできるが、市販品として入手可能である。例えば、セシウム酸化タングステンは、住友金属鉱山社の「ＹＭＦ−０２」等のセシウム酸化タングステン微粒子の分散物としても入手可能である。
【００２３】
当該組成物における全固形分に占める［Ａ］無機化合物の含有量の下限としては、１質量％が好ましく、１０質量％がより好ましく、２０質量％がさらに好ましく、３０質量％がよりさらに好ましい。一方、この含有量の上限としては、７０質量％が好ましく、６０質量％がより好ましい。［Ａ］無機化合物の含有量を上記範囲とすることで、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とがより良好なバランスとなる。また、当該組成物の分散安定性や経時安定性をより良好なものとすることができる。なお、全固形分とは、［Ｄ］溶媒以外の全成分をいう。
【００２４】
（［Ｂ］重合体）
［Ｂ］重合体は、［Ａ］無機化合物等の分散性を高める成分である。［Ｂ］重合体は、１種の重合体からなってもよく、同一又は異なるアミン価を有する２種以上の重合体の混合物であってもよい。アミン価が０ｍｇＫＯＨ／ｇである重合体は、複数種の重合体の混合物としての［Ｂ］重合体には含まれない。
【００２５】
［Ｂ］重合体のアミン価の下限は、９０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、１１０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、１３０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。一方、このアミン価の上限は、２００ｍｇＫＯＨ／ｇである。このようなアミン価を有する重合体を用いることで、［Ａ］無機化合物の分散性が向上し、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とをより高めることができる。なお、「アミン価」とは、重合体固形分１ｇを中和するのに必要なＨＣｌと当量のＫＯＨのｍｇ数である。［Ｂ］重合体として、異なるアミン価を有する複数種の重合体を混合して用いる場合、この［Ｂ］重合体のアミン価は、加重平均値とする。
【００２６】
［Ｂ］重合体は、ブロック共重合体であることが好ましい。ブロック共重合体としては、窒素原子を含む官能基を有するＡブロックと、親溶媒性を有するＢブロックとを有するブロック共重合体が好ましい。Ａブロックの窒素原子を含む官能基は、［Ａ］無機化合物に対する良好な吸着性を示す。従って、ＡブロックとＢブロックとを有するブロック共重合体を用いることで、［Ａ］無機化合物の分散性をより高めることができる。
【００２７】
Ａブロックは、例えば下記式（１）で表わされる構造単位を有することが好ましい。
【００２８】
【化１】
2018186114.tif 000002
【００２９】
式（１）中、Ｘは、２価の連結基である。Ｒ１は、水素原子又はメチル基である。Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子、又は置換基を有していてもよい鎖状若しくは環状の炭化水素基であるか、Ｒ２とＲ３とは、互いに結合して、これらが結合する窒素原子と共に環構造を形成する。
【００３０】
上記Ｘとしては、メチレン基、炭素数２〜１０のアルキレン基、アリーレン基、−ＣＯＮＨ−Ｒ７−（＊）で表される基、−ＣＯＯ−Ｒ８−（＊）で表わされる基等を挙げることができる。Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立して、メチレン基、炭素数２〜１０のアルキレン基、又は炭素数２〜１０のアルキレンオキシアルキレン基である。（＊）は、Ｎとの結合部位を示す。Ｘとしては、−ＣＯＯ−Ｒ８−で表される基が好ましく、Ｒ８としては、炭素数２〜６のアルキレン基が好ましい。
【００３１】
Ｒ２及びＲ３としては、鎖状の炭化水素基が好ましく、炭素数１〜５の鎖状の炭化水素基がより好ましく、メチル基、エチル基及びプロピル基がさらに好ましい。
【００３２】
上記式（１）で表される構造単位を与える単量体としては、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【００３３】
Ａブロックは、上記式（１）で表される構造単位以外の構造単位を含んでいてもよい。ブロック共重合体におけるＡブロックの含有割合としては、例えば３０質量％以上７０質量％以下が好ましい。
【００３４】
Ｂブロックは、例えば下記式（２）で表わされる構造単位を有することが好ましい。
【００３５】
【化２】
2018186114.tif 000003
【００３６】
式（２）中、Ｒ４は、それぞれ独立して、炭素数２〜４のアルキレン基である。Ｒ５は、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基である。Ｒ６は、水素原子又はメチル基である。ｎは、１〜１５０の整数である。
【００３７】
Ｒ４としては、エチレン基及びメチルエチレン基が好ましい。Ｒ５としては、メチル基、エチル基、プロピル基及びブチル基が好ましい。ｎの上限は、２０が好ましく、１０がより好ましく、５がさらに好ましい。
【００３８】
上記式（２）で表される構造単位を与える単量体としては、ポリエチレングリコール（ｎ＝１〜５）メチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（ｎ＝１〜５）エチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（ｎ＝１〜５）プロピルエーテル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（ｎ＝１〜５）メチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（ｎ＝１〜５）エチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（ｎ＝１〜５）プロピルエーテル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【００３９】
Ｂブロックは、上記式（２）で表される構造単位以外の構造単位を含んでいてもよい。Ｂブロックが含んでいてもよい他の構造単位としては、（メタ）アクリル酸エステルに由来する構造単位を挙げることができる。具体的に他の構造単位を与える単量体としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【００４０】
ブロック共重合体におけるＢブロックの含有割合としては、例えば３０質量％以上７０質量％以下が好ましい。
【００４１】
［Ｂ］重合体の平均分子量の下限としては、例えば３，０００であり、６，０００が好ましい。一方、この上限としては、例えば３０，０００であり、２０，０００が好ましい。
【００４２】
ブロック共重合体は、従来公知の方法によって合成することができる。また、ブロック共重合体及びその他の［Ｂ］重合体は、市販品を使用することもできる。［Ｂ］重合体は当該組成物中において［Ａ］無機化合物の表面の少なくとも一部を被覆する分散剤であってよい。
【００４３】
［Ｂ］重合体の含有量の下限は、［Ａ］無機化合物１００質量部に対して、５質量部が好ましく、１０質量部がより好ましく、２０質量部がさらに好ましい。一方、この含有量の上限は、２００質量部が好ましく、１００質量部がより好ましく、６０質量部がさらに好ましい。
【００４４】
（［Ｃ］有機色素）
［Ｃ］有機色素は、［Ａ］無機化合物と共に赤外線遮蔽剤として機能する成分である。［Ａ］無機化合物と［Ｃ］有機色素とを組み合わせて用いることで、良好な可視光透過性及び赤外線遮蔽性を発揮することができる。［Ｃ］有機色素は、［Ｄ］溶媒に溶解している。
【００４５】
［Ｃ］有機色素としては、有機染料又は有機顔料を挙げることができるが、有機染料であることが好ましい。有機染料を用いることで、［Ｄ］溶媒に対する溶解性が高まり、凝集異物の発生をより抑制できる。
【００４６】
２０℃、０．１ＭＰａにおける［Ｄ］溶媒への［Ｃ］有機色素の溶解度は、２質量％以上である。このため、当該組成物は、［Ｃ］有機色素の溶解性が高く、分散安定性や経時安定性が高まり、ひいては欠陥の少ない良好な特性を有する光学フィルターを得ることができる。上記溶解度は、［Ｄ］溶媒に対して最大量の［Ｃ］有機色素が溶解した溶液、すなわち飽和溶液中の［Ｃ］有機色素の濃度（質量％）をいう。［Ｄ］溶媒が、混合溶媒である場合は、混合溶媒を溶媒とする飽和溶液中の［Ｃ］有機色素の濃度である。この［Ｃ］有機色素の溶解度は、［Ｃ］有機色素と［Ｄ］溶媒との組み合わせによって達成することができる。なお、この溶解度の上限としては特に限定されないが、例えば５０質量％であってよい。
【００４７】
［Ｃ］有機色素は、波長６００ｎｍ以上１，０００ｎｍ以下の範囲に極大吸収波長を有することが好ましい。この極大吸収波長の下限は、６５０ｎｍがより好ましい。一方、この上限は、９００ｎｍがより好ましく、８５０ｎｍがさらに好ましい。このような極大吸収波長を有する［Ｃ］有機色素を用いることで、得られる光学フィルターの可視光透過性や赤外線遮蔽性をより良好にすることができる。
【００４８】
［Ｃ］有機色素としては、従来公知の有機色素を上記溶解度を満たす範囲で適宜選択して用いることができる。［Ｃ］有機色素としては、ジイミニウム化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、アミニウム化合物、イミニウム化合物、アゾ化合物、アントラキノン化合物、ポルフィリン化合物、ピロロピロール化合物、オキソノール化合物、クロコニウム化合物、ヘキサフィリン化合物又はこれらの組み合わせを用いることができる。［Ｃ］有機色素としては、フタロシアニン化合物を含むことが好ましい。フタロシアニン化合物は、色合い、耐熱性、耐光性等に優れる。
【００４９】
［Ｃ］有機色素は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。当該組成物は、２種以上の［Ｃ］有機色素を含むことが好ましい。さらには、３種以上の［Ｃ］有機色素を含むことがより好ましいこともある。複数種の［Ｃ］有機色素を組み合わせて用いることで、得られる光学フィルターの可視光透過性や赤外線遮蔽性をより良好にすることができる。一方、従来、複数種の有機色素を用いる場合、分散安定性や経時安定性等が低下する場合がある。しかし、当該組成物によれば、複数種の有機色素を用いても、良好な分散安定性や経時安定性を発揮することができる。使用する［Ｃ］有機色素の種類数の上限としては特に限定されず、例えば１０種であってもよく、５種であってもよく、３種であってもよい。
【００５０】
当該組成物における全固形分に占める［Ｃ］有機色素の含有量の下限としては、０．１質量％が好ましく、０．５質量％がより好ましく、１質量％がさらに好ましい。一方、この含有量の上限としては、３０質量％が好ましく、１５質量％がより好ましく、１０質量％がさらに好ましい。［Ｃ］有機色素の含有量を上記範囲とすることで、得られる光学フィルターの可視光透過性と赤外線遮蔽性とがより良好なバランスとなる。
【００５１】
（［Ｄ］溶媒）
［Ｄ］溶媒は、［Ａ］無機化合物の分散媒として機能し、かつ［Ｃ］有機色素等を溶解させる成分である。
【００５２】
［Ｄ］溶媒は、［Ｄ１］溶媒を含む。［Ｄ１］溶媒は、ＳＰ値が８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以上１２．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以下の溶媒である。上記ＳＰ値の下限としては、９．５（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２が好ましい。一方、この上限としては、１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２が好ましく、１０．５（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２がより好ましい。このような特定範囲のＳＰ値を有する［Ｄ１］溶媒を用いることで、［Ａ］無機化合物の分散性や［Ｃ］有機色素の溶解性を高めることができる。ここで、ＳＰ値とは、Ｒ．Ｆ．Ｆｅｄｏｒｓ，Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，１４，１４７（１９７４）に記載の以下のＦｅｄｏｒｓの式によって求められる値である。
Ｆｅｄｏｒｓの式：
ＳＰ値（δ）＝（Ｅｖ／ｖ）１／２＝（ΣΔｅｉ／ΣΔｖｉ）１／２
Ｅｖ：蒸発エネルギー
ｖ：モル体積
Δｅｉ：各成分の原子又は原子団の蒸発エネルギー
Δｖｉ：各原子又は原子団のモル体積
【００５３】
［Ｄ１］溶媒としては、例えばｎ−プロパノール（ＳＰ値：１１．８）、１，２，５，６−テトラヒドロベンジルアルコール（ＳＰ値：１１．３）、ジエチレングリコールエチルエーテル（ＳＰ値：１０．９）、３−メトキシブタノール（ＳＰ値：１０．９）、トリアセチン（ＳＰ値：１０．２）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＳＰ値：１０．２）、シクロペンタノン（ＳＰ値：１０．０）、γ−ブチロラクトン（ＳＰ値：９．９）、シクロヘキサノン（ＳＰ値：９．９）、プロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル（ＳＰ値：９．８）、プロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル（ＳＰ値：９．７）、ジプロピレングリコールメチルエーテル（ＳＰ値：９．７）、１，４−ブタンジオールジアセテート（ＳＰ値：９．６）、３−メトキシブチルアセテート（ＳＰ値：８．７）、プロピレングリコールジアセテート（ＳＰ値：９．６）、乳酸エチルアセテート（ＳＰ値：９．６）、ε−カプロラクトン（ＳＰ値：９．６）、１，３−ブチレングリコールジアセテート（ＳＰ値：９．５）、ジプロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル（ＳＰ値：９．５）、１，６−ヘキサンジオールジアセテート（ＳＰ値：９．５）、ジプロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル（ＳＰ値：９．４）、トリプロピレングリコールメチルエーテル（ＳＰ値：９．４）、トリプロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル（ＳＰ値：９．３）、シクロヘキサノールアセテート（ＳＰ値：９．２）、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート（ＳＰ値：９．０）、エチレングリコールメチルエーテルアセテート（ＳＰ値：９．０）、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＳＰ値：８．９）、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＳＰ値：８．９）、トルエン（ＳＰ値：８．９）、メチルアセテート（ＳＰ値：８．８）等を挙げることができる。なお、ＳＰ値の単位（（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２）は、適宜省略する。［Ｄ１］溶媒は、１種又は２種以上を混合して用いることができる。
【００５４】
当該組成物全体に対する［Ｄ１］溶媒の含有量の下限は、４０質量％であり、５０質量％が好ましく、６０質量％がより好ましく、６５質量％がさらに好ましい。［Ｄ１］溶媒の含有量を上記下限以上とすることで、［Ａ］無機化合物の分散性や、［Ｃ］有機色素の溶解性がより高まる。一方、［Ｄ１］溶媒の含有量の上限は、９０質量％であり、８０質量％が好ましく、７５質量％がより好ましい。［Ｄ１］溶媒の含有量を上記上限以下とすることで、十分な量の他の成分を配合することができる、すなわち、［Ｄ１］溶媒の含有量を上記範囲とすることで、当該組成物の分散安定性及び経時安定性を高めることができ、当該組成物により、欠陥が少なく良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる。
【００５５】
［Ｄ］溶媒は、［Ｄ１］溶媒以外の［Ｄ２］溶媒を含んでいてもよい。［Ｄ２］溶媒は、ＳＰ値が８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２未満又は１２．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２超の溶媒である。［Ｄ２］溶媒としては、ＳＰ値が８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２未満又は１２．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２超の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル、（シクロ）アルキルアルコール、ケトアルコール（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ケトン、ジアセテート、カルボン酸エステル、ラクタム、芳香族炭化水素等を挙げることができる。例えば、ＳＰ値が８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２未満の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルとしては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＳＰ値：８．７）等を挙げることができる。
【００５６】
［Ｄ２］溶媒のＳＰ値としては、８．８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２未満が好ましい。また、［Ｄ２］溶媒のＳＰ値の下限としては、７（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２が好ましく、８（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２がより好ましく、８．５（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２がさらに好ましい。
【００５７】
［Ｄ］溶媒中の［Ｄ１］溶媒の含有量の下限としては、５０質量％が好ましく、７０質量％がより好ましく、８０質量％がさらに好ましく、９０質量％がよりさらに好ましい。［Ｄ］溶媒は、実質的に［Ｄ１］溶媒のみから構成されていてもよい。［Ｄ］溶媒中の［Ｄ１］溶媒の含有量を上記下限以上とすることで、［Ａ］無機化合物の分散性や［Ｃ］有機色素の溶解性がより高まり、本発明の効果がより十分に奏される。
【００５８】
［Ｄ］溶媒は、環状構造を有する溶媒を含むことが好ましい。環状構造を有する溶媒を用いることで、溶解性や分散性がより良好なものとなる。環状構造を有する溶媒は、［Ｄ１］溶媒であってもよく、［Ｄ２］溶媒であってもよいが、［Ｄ１］溶媒であることが好ましい。上記環状構造は、炭素環であってもよく、複素環であってもよい。また、上記環状構造は、多環であってもよく、単環であってもよい。また、上記環状構造は、芳香環であってもよく、脂肪環であってもよい。
【００５９】
環状構造を有する溶媒としては、環状ケトン、環状エーテル、ラクトン（γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクトン等）、ラクタム、芳香族炭化水素（トルエン等）及びこれらの組み合わせが好ましい。これらの中でも、環状ケトン、ラクトン及び芳香族炭化水素が好ましく、環状ケトン及びラクトンがより好ましい。
【００６０】
環状ケトンとしては、シクロブタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノン、シクロオクタノン等を挙げることができる。これらの中でも、シクロペンタノン、シクロヘキサノン及びシクロヘプタノンが好ましく、シクロペンタノン及びシクロヘキサノンがより好ましい。
【００６１】
環状エーテルとしては、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン等を挙げることができる。
【００６２】
ラクトンとしては、γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクトン等を挙げることができ、γ−ブチロラクトンが好ましい。
【００６３】
ラクタムとしては、ペンタノ−４−ラクタム、５−メチル−２−ピロリジノン、ヘキサノ−６−ラクタム、６−ヘキサンラクタム等を挙げることができる。
【００６４】
［Ｄ］溶媒中の環状構造を有する溶媒の含有量の下限としては、５０質量％が好ましく、７０質量％がより好ましく、８０質量％がさらに好ましく、９０質量％がよりさらに好ましい。［Ｄ］溶媒は、実質的に環状構造を有する溶媒のみから構成されていてよい。［Ｄ］溶媒中の環状構造を有する溶媒の含有量を上記下限以上とすることで、［Ａ］無機化合物の分散性や［Ｃ］有機色素の溶解性がより高まり、本発明の効果がより十分に奏される。
【００６５】
当該組成物における固形分濃度（［Ｄ］溶媒を除いた各成分の合計濃度）の下限としては、５質量％が好ましく、１０質量％がより好ましい。一方、この固形分濃度の上限としては、５０質量％が好ましく、４０質量％がより好ましい。固形分濃度を上記範囲とすることにより、分散性、安定性、塗布性等がより良好なものとなる。
【００６６】
（［Ｅ］重合性化合物）
当該組成物が［Ｅ］重合性化合物を含有する場合、良好な硬化性や得られる光学フィルターの良好な耐熱性等を発揮することができる。［Ｅ］重合性化合物とは、２個以上の重合可能な基を有する化合物をいう。重合可能な基としては、例えばエチレン性不飽和基、オキシラニル基、オキセタニル基、Ｎ−アルコキシメチルアミノ基等を挙げることができる。［Ｅ］重合性化合物は、重合体であっても単量体であってもよいが、単量体であることが好ましい。［Ｅ］重合性化合物としては、２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、及び２個以上のＮ−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物が好ましく、２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物がより好ましい。［Ｅ］重合性化合物は、１種又は２種以上を混合して使用することができる。
【００６７】
２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物等である多官能（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性された多官能（メタ）アクリレート、アルキレンオキサイド変性された多官能（メタ）アクリレート、水酸基を有する（メタ）アクリレートと多官能イソシアネートとの反応物等である多官能ウレタン（メタ）アクリレート、水酸基を有する（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物等であるカルボキシル基を有する多官能（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【００６８】
ここで、上記脂肪族ポリヒドロキシ化合物としては、例えばエチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の２価の脂肪族ポリヒドロキシ化合物や、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の３価以上の脂肪族ポリヒドロキシ化合物を挙げることができる。上記水酸基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールジメタクリレート等を挙げることができる。上記多官能イソシアネートとしては、例えばトリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等を挙げることができる。上記酸無水物としては、例えば無水こはく酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の二塩基酸の無水物や、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の四塩基酸二無水物を挙げることができる。
【００６９】
２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物の具体例としては、例えばω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、エチレングリコール（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイロキシプロピルメタクリレート、２−（２’−ビニロキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）フォスフェート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、こはく酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート化合物等を挙げることができる。
【００７０】
２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物の中でも、多官能（メタ）アクリレートが好ましく、３個以上１０個以下の（メタ）アクリロイル基を有する多官能（メタ）アクリレートがより好ましい。具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好ましい。
【００７１】
２個以上のＮ−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物としては、例えばメラミン構造、ベンゾグアナミン構造、ウレア構造を有する化合物等を挙げることができる。２個以上のＮ−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物の具体例としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（アルコキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（アルコキシメチル）ベンゾグアナミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（アルコキシメチル）グリコールウリル等を挙げることができる。
【００７２】
当該組成物における全固形分に占める［Ｅ］重合性化合物の含有量の下限としては、５質量部が好ましく、１０質量部がより好ましく、２０質量部がさらに好ましい。一方、この含有量の上限としては、６０質量％が好ましく、５０質量％がより好ましい。
【００７３】
（［Ｆ］重合開始剤）
［Ｆ］重合開始剤は、［Ｅ］重合性化合物の重合反応を開始させる成分である。［Ｆ］重合開始剤としては、光重合開始剤、熱重合開始剤等を挙げることができるが、光重合開始剤が好ましい。これにより、当該組成物に感光性（感放射線性）を付与することができる。光重合開始剤とは、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の露光により、［Ｅ］重合性化合物の重合を開始しうる活性種を発生する化合物をいう。［Ｆ］重合開始剤は、１種又は２種以上を混合して使用することができる。
【００７４】
［Ｆ］重合開始剤としては、例えばチオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物、オニウム塩系化合物等を挙げることができる。これらの中でも、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物又はＯ−アシルオキシム系化合物が好ましく、Ｏ−アシルオキシム系化合物がより好ましい。
【００７５】
チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等を挙げることができる。
【００７６】
アセトフェノン系化合物としては、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、２−（４−メチルベンジル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン等を挙げることができる。
【００７７】
ビイミダゾール系化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等を挙げることができる。
【００７８】
なお、ビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を改良することができる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体；４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体を挙げることができる。
【００７９】
トリアジン系化合物としては、例えば特公昭５７−６０９６号公報、特開２００３−２３８８９８号公報の段落［００６３］〜［００６５］に記載の化合物を挙げることができる。
【００８０】
Ｏ−アシルオキシム系化合物としては、１，２−オクタンジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等を挙げることができる。Ｏ−アシルオキシム系化合物の市販品としては、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、株式会社ＡＤＥＫＡ社製））、ＯＸＥ−０３、ＯＸＥ−０４（以上、ＢＡＳＦ社製）等を使用することもできる。
【００８１】
光重合開始剤を用いる場合には、増感剤を併用することもできる。このような増感剤としては、例えば４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、２，５−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロヘキサノン、７−ジエチルアミノ−３−（４−ジエチルアミノベンゾイル）クマリン、４−（ジエチルアミノ）カルコン等を挙げることができる。
【００８２】
［Ｆ］重合開始剤の含有量の下限は、［Ｅ］重合性化合物１００質量部に対して、１質量部が好ましく、５質量部がより好ましい。一方、この含有量の上限としては、１００質量部が好ましく、４０質量部がより好ましい。
【００８３】
（バインダー樹脂）
当該組成物には、バインダー樹脂がさらに含有されていてもよい。なお、［Ｂ］重合体は、バインダー樹脂には含まれない。バインダー樹脂としては、特に限定されるものではないが、カルボキシ基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する樹脂であることが好ましい。中でも、カルボキシ基を有する重合体（以下、「カルボキシ基含有重合体」とも称する。）が好ましい。カルボキシ基含有重合体としては、例えば、１個以上のカルボキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（以下、「不飽和単量体（１）」とも称する。）と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体（以下、「不飽和単量体（２）」とも称する。）との共重合体を挙げることができる。
【００８４】
上記不飽和単量体（１）としては、例えば（メタ）アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、ｐ−ビニル安息香酸等を挙げることができる。
【００８５】
上記不飽和単量体（２）としては、例えば
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等のＮ−位置換マレイミド、
スチレン、α−メチルスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、アセナフチレン等の芳香族ビニル化合物、
メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（重合度２〜１０）メチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（重合度２〜１０）メチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（重合度２〜１０）モノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（重合度２〜１０）モノ（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−８−イル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、３−〔（メタ）アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、３−〔（メタ）アクリロイルオキシメチル〕−３−エチルオキセタン等の（メタ）アクリル酸エステル、
シクロヘキシルビニルエーテル、イソボルニルビニルエーテル、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−８−イルビニルエーテル、ペンタシクロペンタデカニルビニルエーテル、３−（ビニルオキシメチル）−３−エチルオキセタン等のビニルエーテル、
ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
【００８６】
また、バインダー樹脂としては、側鎖に（メタ）アクリロイル基等の重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有重合体を用いることもできる。また、ポリシロキサン等もバインダー樹脂として用いることができる。
【００８７】
（添加剤）
当該組成物は、必要に応じて種々の添加剤を含有することもできる。
【００８８】
添加剤としては、例えば界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、残渣改善剤、現像性改善剤等を挙げることができる。
【００８９】
界面活性剤としては、フッ素界面活性剤、シリコーン界面活性剤等を挙げることができる。当該組成物における全固形分に占める界面活性剤の含有量としては、例えば０．０１質量％以上５質量％以下とすることができる。
【００９０】
密着促進剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができる。
【００９１】
酸化防止剤としては、２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［２−［３−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−プロピオニルオキシ］−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサ−スピロ［５．５］ウンデカン、チオジエチレンビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］等を挙げることができる。当該組成物における全固形分に占める酸化防止剤の含有量としては、例えば０．０１質量％以上５質量％以下とすることができる。
【００９２】
紫外線吸収剤としては、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等を挙げることができる。
【００９３】
凝集防止剤としては、ポリアクリル酸ナトリウム等を挙げることができる。
【００９４】
残渣改善剤としては、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸、２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、５−アミノ−１−ペンタノール、３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール等を挙げることができる。
【００９５】
現像性改善剤としては、こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等剤等を挙げることができる。
【００９６】
（調製方法）
当該組成物の調製方法としては、特に限定されず、各成分を混合することによって調製することができる。例えば、まず［Ａ］無機化合物、［Ｂ］重合体及び［Ｄ］溶媒を含有する分散液を調製し、この分散液に［Ｃ］有機色素やその他の成分を添加し、混合する方法を採用することができる。このときさらに［Ｄ］溶媒を加えてもよい。分散液又は当該組成物は、必要に応じろ過処理を施し、凝集物を除去することができる。
【００９７】
＜固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法＞
本発明の一実施形態に係る固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の形成方法は、
基板の一方の面側に塗膜を形成する工程（工程１）
を備え、
上記塗膜を当該固体撮像素子用組成物により形成する。
【００９８】
当該形成方法は、
上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程（工程２）、及び
放射線照射後の上記塗膜を現像する工程（工程３）
をさらに備えることが好ましい。
【００９９】
当該形成方法によれば、分散安定性及び経時安定性が高い組成物を用いることにより、欠陥が少なく良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備える固体撮像素子用の光学フィルターを形成することができる。また、当該形成方法が、工程２及び工程３を備える場合、良好なパターニング性を有する。
【０１００】
（工程１）
工程１においては、当該組成物を用い、基板（支持体）の一方の面側に塗膜を形成する。上記基板としては、ガラス基板、合成樹脂基板等が挙げられる。なお、基板の形状は、板状に限定されるものではない。なお、後述する固体撮像素子中に赤外線遮蔽膜を組み込む場合、固体撮像素子の構成要素である透明基板、マイクロレンズ、カラーフィルター等が、上記基板に相当する。
【０１０１】
塗膜の形成は、通常、当該組成物の塗布により行うことができる。上記塗布は、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法（スリット塗布法）、バー塗布法等の適宜の塗布法を採用することができる。
【０１０２】
塗布の後、プレベークを行って溶媒を蒸発させることで、塗膜が形成される。上記プレベークにおける加熱乾燥の条件としては、例えば７０℃以上１１０℃以下、１分以上１０分以下程度である。
【０１０３】
（工程２）
工程２においては、上記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する。塗膜の露光に用いる放射線の光源としては、例えばキセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯等のランプ光源やアルゴンイオンレーザー、ＹＡＧレーザー、ＸｅＣｌエキシマーレーザー、窒素レーザー等のレーザー光源等を挙げることができる。露光光源として、紫外線ＬＥＤを使用することもできる。波長は、１９０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲にある放射線が好ましい。放射線の露光量は、一般的には１０Ｊ／ｍ２以上５０，０００Ｊ／ｍ２以下程度である。
【０１０４】
（工程３）
工程３においては、放射線照射後の上記塗膜を現像する。上記現像液としては、アルカリ現像液又は有機溶媒現像液が一般的である。なお、現像後は、通常、水洗する。
【０１０５】
アルカリ現像液としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）、コリン、１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ−［４．３．０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加することもできる。
【０１０６】
有機溶媒現像液としては、アセトン、メチルエチルケトン、２−オクタノン、２ーノナノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、２−ヘキサノン、３−ヘキサノン、ジイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノン、アセトフェノン、メチルアセトフェノン等のケトン類、酢酸プロピル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸アミル、酢酸ブテニル、酢酸イソアミル、蟻酸プロピル、蟻酸ブチル、蟻酸イソブチル、蟻酸アミル、蟻酸イソアミル、吉草酸メチル、ペンテン酸メチル、クロトン酸メチル、クロトン酸エチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、乳酸イソブチル、乳酸アミル、乳酸イソアミル、２−ヒドロキシイソ酪酸メチル、２−ヒドロキシイソ酪酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、酢酸フェニル、酢酸ベンジル、フェニル酢酸メチル、蟻酸ベンジル、蟻酸フェニルエチル、３−フェニルプロピオン酸メチル、プロピオン酸ベンジル、フェニル酢酸エチル、酢酸２−フェニルエチル等のエステル類を好ましく用いることができる。
【０１０７】
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ（浸漬）現像法、パドル（液盛り）現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で５秒以上３００秒以下程度である。
【０１０８】
上記現像により、塗膜の非露光部が溶解除去される。その後、必要に応じポストベークすることにより、所定形状にパターニングされた赤外線遮蔽膜が得られる。ポストベークの条件としては、通常１８０℃以上２８０℃以下、１分以上６０分以下程度である。
【０１０９】
なお、当該組成物が、［Ｅ］重合性化合物及び［Ｆ］重合開始剤を含有しない場合は、上記形成方法と異なり、露光等の硬化処理を行わなくてもよい。また、現像処理を行わなくてもよく、この場合、パターニングされていない赤外線遮蔽膜を形成することができる。
【０１１０】
このようにして形成された固体撮像素子用赤外線遮蔽膜の平均膜厚の下限としては、通常０．５μｍであり、１μｍが好ましい。一方、この平均膜厚の上限としては、通常５μｍであり、３μｍが好ましい。赤外線遮蔽膜の平均膜厚が上記範囲であることによって、可視光透過性と赤外線遮蔽性とのバランスがより良好なものとなる。
【０１１１】
上記赤外線遮蔽膜は、一構成部材として、固体撮像素子に組み込まれているものであることが好ましい。この場合、赤外線遮蔽膜が、単体で光学フィルター（赤外線カットフィルター）として機能する。固体撮像素子に赤外線遮蔽膜が組み込まれていることで、大きなプロセスマージンを獲得することなどができ好ましい。赤外線遮蔽膜が固体撮像素子に組み込まれている場合、赤外線遮蔽膜は、例えば固体撮像素子のマイクロレンズの外面側、マイクロレンズとカラーフィルターとの間、カラーフィルターとフォトダイオードとの間などに配することができる。赤外線遮蔽膜は、マイクロレンズとカラーフィルターとの間又はカラーフィルターとフォトダイオードとの間に積層されることが好ましい。
【０１１２】
上記光学フィルターとしては、透明基板の表面に赤外線遮蔽膜が積層されてなるものであってもよい。上記透明基板としては、ガラスや透明樹脂等が採用される。上記透明樹脂としては、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。このような光学フィルターも、固体撮像素子における赤外線カットフィルターとして好適に用いられる。
【０１１３】
赤外線遮蔽膜（光学フィルター）を備える固体撮像素子は、デジタルスチルカメラ、携帯電話用カメラ、デジタルビデオカメラ、ＰＣカメラ、監視カメラ、自動車用カメラ、携帯情報端末、パソコン、ビデオゲーム、医療機器等に有用である。
【実施例】
【０１１４】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、合成例により得られる重合体の特性は、下記の方法により測定した。【０１１５】
［重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）及び分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）］
重合体のＭｗ及びＭｎは、東ソー社のＧＰＣカラム（Ｇ２０００ＨＸＬ  ２本、Ｇ３０００ＨＸＬ  １本、Ｇ４０００ＨＸＬ  １本）を用い、下記分析条件でゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定した。
分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、Ｍｗ及びＭｎの測定結果から算出した。
（分析条件）
溶出溶媒：テトラヒドロフラン
流量：１．０ｍＬ／分
試料濃度：１．０質量％
試料注入量：１００μＬ
カラム温度：４０℃
検出器：示差屈折計
標準物質：単分散ポリスチレン【０１１６】
＜合成例１＞（有機色素（Ｃ−１）の合成）
特開平０５−２５１７７の段落［００２０］〜［００２５］（実施例１）に記載の方法を用いて、下記式で表されるフタロシアニン化合物である有機色素（Ｃ−１）を合成した。【０１１７】
【化３】
2018186114.tif 000004
【０１１８】
＜合成例２＞（有機色素（Ｃ−２）の合成）
特開２０１６−２０４５３６号公報の段落［００７５］（実施例４）に記載の方法を用いて、下記式で表されるフタロシアニン化合物である有機色素（Ｃ−２）を合成した。【０１１９】
【化４】
2018186114.tif 000005
【０１２０】
＜合成例３＞（有機色素（Ｃ−３）の合成）
特開平１−２２８９６０号公報に記載の方法を用いて、下記式で表されるスクアリリウム化合物である有機色素（Ｃ−３）を合成した。【０１２１】
【化５】
2018186114.tif 000006
【０１２２】
＜合成例４＞（有機色素（Ｃ−４）の合成）
特開平２−１３８３８２号公報に記載の方法を用いて、下記式で表されるフタロシアニン化合物である有機色素（Ｃ−４）を合成した。【０１２３】
【化６】
2018186114.tif 000007
【０１２４】
その他、用いた有機色素は以下のとおりである。
・有機色素（Ｃ−５）：山田化学工業社の「ＦＤＮ−００２」（フタロシアニン化合物）
・有機色素（Ｃ−６）：山田化学工業社の「ＦＤＲ−００４」（フタロシアニン化合物）
・有機色素（Ｃ−７）：山田化学工業社の「ＦＤＮ−００１」（フタロシアニン化合物）【０１２５】
＜合成例５〜７＞（重合体（Ｂ−１）〜（Ｂ−３）の合成）
文献（Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ  １９９２，２５，ｐ５９０７−５９１３）に記載の方法を用いて、下記表１に記載のモノマー組成比（質量比）の重合体（Ｂ−１）〜（Ｂ−３）の合成を行った。顔料としての無機化合物に対する吸着性基を有するモノマー（ＤＡＭＡ）のブロックと、その他成分のブロックとからなるジブロック構造のポリマーが得られた。なお、反応後の溶液はメタノールを用いてクエンチを行い、得られた反応溶液を７質量％の炭酸水素ナトリウム水溶液、次いで水にて洗浄した。この後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に溶媒置換を行うことで、下記表１に記載の重合体溶液をいずれも収率８０−８２質量％で得た。表１中に、得られた各重合体のアミン価、Ｍｗ、Ｍｗ／Ｍｎ及び固形分量を示す。また、表中、ＤＡＭＡはジメチルアミノエチルメタクリレート、ＥＨＭＡは２−エチルヘキシルメタクリレート、ｎＢＭＡはノルマルブチルメタクリレート、ＰＭＥ−２００（日油株式会社製の「ブレンマー」）はメトキシポリエチレングリコールモノメタクリレートを表わす。具体的にＰＭＥ−２００は、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｎ−ＣＨ３（ｎ≒４）で表されるモノマーの重合体である。【０１２６】
＜合成例８＞（重合体（Ｂ−８）の合成）
全てのモノマーを一括で重合する以外は、合成例５〜７に記載の方法と同様にして、下記表１に記載のモノマー組成比（質量比）の重合体（Ｂ−８）の合成を行った。重合体（Ｂ−８）はランダム共重合体である。【０１２７】
【表１】
2018186114.tif 000008
【０１２８】
＜合成例９＞（セシウム酸化タングステン粉末の合成）
特許第４０９６２０５号公報の段落［０１１３］に記載の方法を用いて、セシウム酸化タングステン（Ｃｓ０．３３ＷＯ３）粉末を合成した。【０１２９】
以下に調製例、実施例及び比較例で用いた重合体及び溶媒を示す。
（重合体）
・Ｂ−１〜Ｂ−３：上記合成例５〜７で合成した表１の重合体（Ｂ−１）〜（Ｂ−３）
・Ｂ−４：ビックケミー社の「ＢＹＫ−ＬＰＮ６９１９」（固形分濃度６１質量％、アミン価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
・Ｂ−５：ビックケミー社の「ＢＹＫ−２００１」（固形分濃度４６質量％、アミン価２９ｍｇＫＯＨ／ｇ）
・Ｂ−６：ビックケミー社の「ＢＹＫ−２０００」（固形分濃度４０質量％、アミン価４ｍｇＫＯＨ／ｇ）
・Ｂ−７：ビックケミー社の「ＢＹＫ−ＬＰＮ２２１０２」（固形分濃度３８．５質量％、アミン価２３ｍｇＫＯＨ／ｇ）
・Ｂ−８：上記合成例８で合成した表１の重合体（Ｂ−８）【０１３０】
（溶媒）
ＣＰＮ：シクロペンタノン（ＳＰ値：１０．０）
ＣＨＮ：シクロヘキサノン（ＳＰ値：９．９）
ＧＢＬ：γ−ブチロラクタム（ＳＰ値：９．９）
Ｔｏｌ：トルエン（ＳＰ値：８．９）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＳＰ値：８．７）【０１３１】
［調製例１］（分散液（Ｘ−１）の調製）
上記セシウム酸化タングステン２５．００質量部、重合体（Ｂ−４）１３．１１質量部、及び溶媒（分散媒）としてのシクロペンタノン（ＣＰＮ）６１．８９質量部を用意した。これらを０．１ｍｍ径のジルコニアビーズ２０００質量部と共に容器に充填し、ペイントシェーカーで分散を行うことで、平均粒子径（Ｄ５０）が１９ｎｍの分散液（Ｘ−１）を得た。なお、平均粒子径は、光散乱測定装置（ドイツＡＬＶ社の「ＡＬＶ−５０００」）を用いて、ＤＬＳ法により測定した。【０１３２】
［調製例２〜１５］（分散液（Ｘ−２）〜（Ｘ−１５）の調製）
表２に示す各成分を用いたこと以外は調製例１と同様にして、分散液（Ｘ−２）〜（Ｘ−１５）をそれぞれ得た。表２には、得られた分散液中の粒子の平均粒子径（Ｄ５０）をあわせて示す。表２中のＣｓＷＯは、合成例９で得られたセシウム酸化タングステンを示す。【０１３３】
【表２】
2018186114.tif 000009
【０１３４】
［実施例１］
上記分散液（Ｘ−１）５０．００質量部、有機色素（Ｃ−１）０．７５質量部、重合性化合物として日本化薬社の「ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ」（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物）６．２６質量部、重合開始剤としてＡＤＥＫＡ社の「ＮＣＩ−９３０」（Ｏ−アシルオキシム系化合物）１．４６質量部、界面活性剤としてネオス社の「ＦＴＸ−２１８Ｄ」（フッ素系界面活性剤）０．０２質量部、酸化防止剤としてＢＡＳＦ社の「Ｉｒｇａｎｏｘ１０１０」（フェノール系酸化防止剤）０．０１質量部、及び追加の溶媒としてシクロペンタノン（ＣＮＰ）４１．５０質量部を容器に量り取り、攪拌機で混合した。この混合物２００ｍＬを０．５μｍのＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製フィルターを用いて０．５ＭＰａで３分間加圧ろ過することにより、実施例１の組成物（Ｚ−１）を得た。２０℃、０．１ＭＰａにおける有機色素（Ｃ−１）の溶媒（ＣＰＮ）への溶解度は、２質量％以上であった。
ここで、溶解度は以下の方法により求めた。まず、溶媒に有機色素を添加し（このときの添加量は、溶液全体に対し１０質量％に相当する量とした）、得られた溶液を５０℃に加熱した後、室温（２０℃）にて１２時間放置した。放置後に溶け残った各有機色素の量に基づき、各染料の溶媒に対する溶解度（２０℃）を算出した。【０１３５】
［実施例２〜２３、比較例１〜１３］
各成分の組成を表３〜７に示すとおりとしたこと以外は、実施例１と同様にして、実施例２〜２３及び比較例１〜１３の各組成物（Ｚ−２）〜（Ｚ−２３）、（Ｙ−１）〜（Ｙ−１３）を得た。表３〜７には、用いた有機色素の用いた溶媒に対する溶解度をあわせて示す。なお、各組成物中には、重合体溶液由来の溶媒も含まれる。表中の値はこれらも考慮した値である。【０１３６】
［評価］
得られた各組成物を用い、以下の評価を行った。評価結果を表３〜７に示す。【０１３７】
（分散安定性）
各組成物２００ｍＬを０．５μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製フィルターを用いて０．５ＭＰａで３分間加圧ろ過した。このときのろ液の回収率に基づいて以下の基準で、分散安定性（ろ過性、析出抑制性）を評価した。Ａ又はＢの場合、分散安定性が良好であり、Ａの場合、特に優れると評価した。なお、凝集物等の捕集が多く、回収率が９０％未満（Ｃ）の場合、ろ過が不十分となり、生産性が著しく低下する。
Ａ：９５％以上
Ｂ：９０％以上９５％未満
Ｃ：９０％未満【０１３８】
以下の評価は、上記ろ過後の組成物を用いて実施した。【０１３９】
各組成物をガラス基板上に所定の膜厚になるようにスピンコート法にて塗布した。その後、塗膜を１００℃で１２０秒間加熱し、ｉ線ステッパにて１０００ｍＪ／ｃｍ２となるように露光を行った。次いで２２０℃で３００秒間加熱することで、ガラス基板上に平均膜厚１．４０〜１．６０μｍの赤外線遮蔽膜を作製した。各平均膜厚は表３〜７に示す。なお、膜厚は触針式段差計（ヤマト科学社の「アルファステップＩＱ」）にて測定した。次に、上記ガラス基板上に作製した赤外線遮蔽膜の各波長領域における透過率を、分光光度計（日本分光社の「Ｖ−７３００」）を用いて、ガラス基板対比で測定した。得られたスペクトルより、以下のような評価基準により評価を行った。【０１４０】
（可視光透過性）
波長４５０−５５０ｎｍの可視光の平均透過率を算出した。平均透過率が７０％未満の場合は赤外線遮蔽膜として使用した際の固体撮像素子の感度が低下する。また、上記平均透過率について、以下の基準で評価した。
Ａ：８０％以上
Ｂ：７０％以上８０％未満
Ｃ：７０％未満【０１４１】
（赤外線遮蔽性１）
波長７００−９００ｎｍの赤外線の平均透過率を算出した。平均透過率が２０％以上の場合は赤外線遮蔽膜として使用した際に固体撮像素子のノイズ量が増大する。また、上記平均透過率について、以下の基準で評価した。
Ａ：１５％未満
Ｂ：１５％以上２０％未満
Ｃ：２０％以上【０１４２】
（赤外線遮蔽性２）
波長１２００ｎｍの赤外線の透過率については、透過性が１５％未満で実用上良好な赤外線遮蔽性を示すといえる。波長１２００ｎｍの透過率について、以下の基準で評価した。
Ａ：１０％未満
Ｂ：１０％以上１５％未満
Ｃ：１５％以上【０１４３】
（Ｓ／Ｎ比）
上記可視光域（４５０−５５０ｎｍ）の平均透過率（Ｓ）と赤外域（７００−９００ｎｍ）の平均透過率（Ｎ）の比（Ｓ／Ｎ比）をとり、実用性能について推定を行った。Ｓ／Ｎ比は数値が高いほど性能が良好であり、５以上の場合に実用レベルで使用可能と判断した。Ｓ／Ｎ比について以下の基準で評価した。
Ａ：５以上
Ｂ：５未満【０１４４】
（欠陥抑制性）
段落［０１３９］と同様の方法により、膜厚が１μｍの硬化膜を形成した。欠陥／異物検査装置（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社の「ＫＬＡ  ２３５１」）を用いて、硬化膜の欠陥密度（Ｄｅｆｅｃｔ  ｄｅｎｓｉｔｙ）を測定した。この欠陥密度の値が小さいほど、欠陥抑制性が高いと判断できる。なお、欠陥とは、サイズが１μｍ以上となる検出点をさす。上記欠陥密度に基づき、以下の基準で欠陥抑制性を評価した。
Ａ：１０／ｃｍ２以下
Ｂ：１０／ｃｍ２超５０／ｃｍ２以下
Ｃ：５０／ｃｍ２超【０１４５】
（経時安定性：増粘率）
組成物を４０℃で３日間保管し、保管前後の粘度を測定した。なお、粘度は、Ｅ型粘度計（東機産業（株）製Ｅ型粘度計ＲＥ−８０Ｌ）を用い、２０℃に塗布液を保持した状態で測定した。保管前の粘度をＶ１、保管後の粘度をＶ２としたときに、（｜Ｖ２―Ｖ１｜／Ｖ１）×１００の値を増粘率（％）と定義した。この増粘率に基づき、以下の基準で評価した。増粘率は数値が低いほど良好であり、１０％未満の場合に実用性があると判断した。
Ａ：５％未満
Ｂ：５％以上１０％未満
Ｃ：１０％以上【０１４６】
（経時安定性：欠陥数）
組成物を４０℃で３日間保管し、保管後の組成物を用いて欠陥数を測定した。測定方法及び基準は、上記「欠陥抑制性」の評価と同様とした。【０１４７】
（パターニング性）
組成物Ｚ−１〜Ｚ−１３、Ｚ−１７〜Ｚ−１８、Ｚ−２３、Ｙ−１〜Ｙ−８及びＹ−１０について、スピンコート法を用いて膜厚が１μｍの塗膜をシリコン基板上に形成した。次いで、１００℃で１２０秒間加熱後、５０μｍのＬ／Ｓパターンを有するマスクを介してｉ線ステッパにて１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光を行った。露光後の基板をアセトンに浸漬して現像を行うことで非露光部を除去した。次いで２２０℃で３００秒間加熱することでＬ／Ｓパターンを有する赤外線遮蔽膜を作製した。光学顕微鏡にて観察を行ったところ、線幅５０μｍのＬ／Ｓパターンが形成されていることを確認した。【０１４８】
組成物Ｚ−１４〜Ｚ−１６、Ｚ−１９〜Ｚ−２２及びＹ−９について、現像液を２．３８％のＴＭＡＨ溶液に変えた以外は同様の方法にて赤外線遮蔽膜を作製した。光学顕微鏡で観察したところ、５０μｍのＬ／Ｓパターンが形成されていることを確認した。【０１４９】
【表３】
2018186114.tif 000010
【０１５０】
【表４】
2018186114.tif 000011
【０１５１】
【表５】
2018186114.tif 000012
【０１５２】
【表６】
2018186114.tif 000013
【０１５３】
【表７】
2018186114.tif 000014
【０１５４】
表３〜７に示されるように、実施例１〜２３の組成物Ｚ−１〜Ｚ−２３は、分散安定性及び経時安定性が高く、良好なパターニング性も有することがわかる。また、これらの組成物から得られる赤外線遮蔽膜（光学フィルター）は、欠陥が少なく良好な可視光透過性と赤外線遮蔽性とを兼ね備えていることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【０１５５】
本発明の固体撮像素子用組成物は、固体撮像素子の光学フィルター、より具体的には赤外線フィルターなどの形成材料として好適に用いることができる。
【国際調査報告】
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