(57)【要約】  対基板作業機用貸与ユニットの課金システムは、対基板作業機に装着されるすべてのユニットのうち少なくとも一つを貸与ユニットとした場合にその貸与ユニットの稼動に合わせた課金を行う仕組みを構築すべく、本体側に設けられ、本体に装着された貸与ユニットの個体識別情報を認識する認識部と、貸与ユニットが装着された本体の装着位置と本体に装着された貸与ユニットの個体識別情報との関係を記憶する装着位置情報記憶部と、本体側に設けられ、本体に装着された貸与ユニットの稼動情報を取得する稼動情報取得部と、稼動情報を個体識別情報毎に記憶する稼動情報記憶部と、稼動情報記憶部に記憶された稼動情報に基づいて課金額を演算する課金演算部と、を備える。
2018229900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体に複数のユニットが着脱可能に装着される対基板作業機において前記本体に装着される前記ユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニットである場合の課金システムであって、
前記本体側に設けられ、前記本体に装着された前記貸与ユニットの個体識別情報を認識する認識部と、
前記貸与ユニットが装着された前記本体の装着位置と前記本体に装着された前記貸与ユニットの前記個体識別情報との関係を記憶する装着位置情報記憶部と、
前記本体側に設けられ、前記本体に装着された前記貸与ユニットの稼動情報を取得する稼動情報取得部と、
前記稼動情報を前記個体識別情報毎に記憶する稼動情報記憶部と、
前記稼動情報記憶部に記憶された前記稼動情報に基づいて課金額を演算する課金演算部と、
を備える、対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項２】
前記課金演算部は、前記貸与ユニットを貸与先に貸与する貸与元側に設けられ、
前記稼動情報取得部により取得された前記稼動情報は、前記本体に装着された前記貸与ユニットの前記個体識別情報に関連付けられて、ネットワークを介して前記課金演算部側へ送信される、請求項１に記載の対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項３】
前記稼動情報記憶部に記憶された前記稼動情報は、所定期間毎に纏められて前記ネットワークを介して前記課金演算部側へ送信される、請求項２に記載の対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項４】
前記稼動情報は、前記貸与ユニットの稼動回数又は稼動時間を含む、請求項１乃至３の何れか一項に記載の対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項５】
前記稼動情報は、更に、前記貸与ユニットの稼動負荷を含み、
前記課金演算部は、前記稼動負荷に応じて、前記稼動回数又は前記稼動時間に基づく課金単価を変更する単価変更部を有する、請求項４に記載の対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項６】
前記貸与ユニットの貸与条件情報を前記個体識別情報毎に記憶する貸与条件情報記憶部と、
前記認識部に認識された前記貸与ユニットの前記個体識別情報と前記貸与条件情報とに基づいて、該貸与ユニットの貸与条件外の使用を制限し又は警告する条件外使用制御部と、
を備える、請求項１乃至５の何れか一項に記載の対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項７】
前記対基板作業機を供給する供給元側は、
前記貸与ユニットの前記稼動情報を含む前記対基板作業機の稼動ログを収集する情報収集部と、
前記情報収集部で収集した前記稼動ログのうち前記貸与ユニットの前記稼動情報を、前記貸与ユニットを貸与先に貸与する貸与元側に設けられた前記課金演算部側へ送信する情報送信部と、
を有する、請求項１乃至６の何れか一項に記載の対基板作業機用貸与ユニットの課金システム。
【請求項８】
本体に複数のユニットが着脱可能に装着される対基板作業機において前記本体に装着される前記ユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニットである場合の課金方法であって、
前記本体に装着された前記貸与ユニットの個体識別情報を前記本体側が認識する第１ステップと、
前記貸与ユニットが装着された前記本体の装着位置と前記本体に装着された前記貸与ユニットの前記個体識別情報との関係を、貸与ユニット装着位置情報記憶部が記憶する第２ステップと、
前記本体に装着された前記貸与ユニットの稼動情報を前記本体側が取得する第３ステップと、
前記稼動情報を前記個体識別情報毎に稼動情報記憶部が記憶する第４ステップと、
前記稼動情報記憶部に記憶された前記稼動情報に基づいて課金額を課金演算部が演算する第５ステップと、
を備える、対基板作業機用貸与ユニットの課金方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、対基板作業機用貸与ユニットの課金システム及び課金方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板への電子部品などの部品の装着（実装や装入を含む。）について多品種少量生産或いは受託生産を行うときは、生産基板種によって必要な装置性能や装置数が異なることが多い。このような場合、基板生産者は、一通りの仕様を取り揃えて自社設備として保有することも考えられるが、これでは、設備投資の負担が大きくなってしまう。そこで、基板生産者は、投資負担の軽減のため、必要な設備全体をリース会社から予め定めた貸与期間だけ貸与してもらうことが考えられる。しかしながら、リース品が対基板作業機として必要な設備全体であると、多品種少量生産や受託生産では、生産品種の変動などによって使用頻度が少なくほとんど使用されない設備ユニットをもリース対象となるので、基板生産者にとってはリース料金の点で合理的でないことがあった。【０００３】
そこで、基板生産者における投資負担の更なる軽減を図るため、リースに対する課金を、リース品が貸与されている期間に基づくことなく、そのリース品が実際に稼動している稼動時間に基づいて行うことが考えられる（例えば特許文献１参照）。この課金手法によれば、必要な設備全体がリース品であっても、生産品種の変動などによってリース品の使用頻度が少ないときは多いときに比べて課金額が少額となるので、実際の使用頻度に合致した適切な課金を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２８０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、対基板作業機は、部品吸着用のヘッドや部品供給用のパーツフィーダ，基板搬送用ユニットなどの各ユニットを柔軟に交換して装置仕様を変更できる装置構成である。従って、基板生産者は、装置本体や必要なユニットを保有したうえで、使用頻度の少ないユニットのみをリース会社から貸与してもらうことができれば、基板生産者にとっては投資負担の点で便宜である。しかしながら、対基板作業機のユニット単位で貸与可能としつつその貸与ユニットに対して課金を行う仕組みは構築されていない。【０００６】
本明細書は、対基板作業機の貸与ユニットの稼動に合わせた課金を行う仕組みを構築した対基板作業機用貸与ユニットの課金システム及び課金方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書は、本体に複数のユニットが着脱可能に装着される対基板作業機において前記本体に装着される前記ユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニットである場合の課金システムであって、前記本体側に設けられ、前記本体に装着された前記貸与ユニットの個体識別情報を認識する認識部と、前記貸与ユニットが装着された前記本体の装着位置と前記本体に装着された前記貸与ユニットの前記個体識別情報との関係を記憶する装着位置情報記憶部と、前記本体側に設けられ、前記本体に装着された前記貸与ユニットの稼動情報を取得する稼動情報取得部と、前記稼動情報を前記個体識別情報毎に記憶する稼動情報記憶部と、前記稼動情報記憶部に記憶された前記稼動情報に基づいて課金額を演算する課金演算部と、を備える、対基板作業機用貸与ユニットの課金システムを開示する。【０００８】
また、本明細書は、本体に複数のユニットが着脱可能に装着される対基板作業機において前記本体に装着される前記ユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニットである場合の課金方法であって、前記本体に装着された前記貸与ユニットの個体識別情報を前記本体側が認識する第１ステップと、前記貸与ユニットが装着された前記本体の装着位置と前記本体に装着された前記貸与ユニットの前記個体識別情報との関係を、貸与ユニット装着位置情報記憶部が記憶する第２ステップと、前記本体に装着された前記貸与ユニットの稼動情報を前記本体側が取得する第３ステップと、前記稼動情報を前記個体識別情報毎に稼動情報記憶部が記憶する第４ステップと、前記稼動情報記憶部に記憶された前記稼動情報に基づいて課金額を課金演算部が演算する第５ステップと、を備える、対基板作業機用貸与ユニットの課金方法を開示する。【０００９】
本開示によれば、対基板作業機に装着されるすべてのユニットのうち少なくとも一つを貸与ユニットとした場合にその貸与ユニットの稼動に合わせた課金を行う仕組みを構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施形態に係る対基板作業機用貸与ユニットの課金システムの構成図である。
【図２】実施形態に用いられる対基板作業機の上面図である。
【図３】対基板作業機の電源オン時にその対基板作業機から管理サーバへアップされる一例のログ情報を表した図である。
【図４】対基板作業機の稼動中にユニットが自動交換された時にその対基板作業機から管理サーバへアップされる一例のログ情報を表した図である。
【図５】対基板作業機が基板を一枚生産完了した時にその対基板作業機から管理サーバへアップされる一例のログ情報を表した図である。
【図６】実施形態の課金システムにおいて実行される一例の動作フローチャートである。
【図７】一変形形態に係る対基板作業機における貸与ユニットの貸与条件外の使用制御を説明するための図である。
【図８】一変形形態に係る対基板作業機用貸与ユニットの課金システムの構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
１．対基板作業機用貸与ユニットの課金システムの構成
一実施形態に係る対基板作業機用貸与ユニットの課金システム１の構成について、図１〜図６を参照して説明する。課金システム１は、対基板作業機１０において本体１１に着脱可能に装着されるユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニットである場合のリース課金を行うシステムである。
【００１２】
対基板作業機１０は、回路基板などの基板２に対して部品を装着する作業を行う装置である。対基板作業機１０は、取り外し不可の本体１１を備えていると共に、図２に示す如く、基板搬送装置２０と、部品供給装置３０と、部品移載装置４０と、を備えている。基板搬送装置２０、部品供給装置３０、及び部品移載装置４０はそれぞれ、本体１１に取り付けられて装着される。
【００１３】
基板搬送装置２０は、基板２を搬送する装置である。基板搬送装置２０は、図２に示す如く、一対のガイドレール２１，２２と、コンベアベルト２３と、クランプ装置（図示せず）と、を有している。一対のガイドレール２１，２２は、間隔を空けて互いに平行に配置されている。ガイドレール２１，２２は、搬送方向Ｘに向けて基板２を案内する。コンベアベルト２３は、基板２を載置可能なベルト部材であって、電動モータなどによって輪転可能に設けられている。基板２は、一対のガイドレール２１，２２により案内されつつコンベアベルト２３により搬送方向Ｘに向けて搬送される。クランプ装置は、コンベアベルト２３上に配設されている。クランプ装置は、搬送方向Ｘの所定の部品装着位置において基板２をクランプすることが可能である。基板２は、コンベアベルト２３により所定の部品装着位置まで搬送されると、クランプ装置によって位置決めされる。基板搬送装置２０のコンベアベルト２３やガイドレール２１，２２，クランプ装置は、基板２の種類やサイズ，形状等に応じて適宜交換可能である。
【００１４】
部品供給装置３０は、基板２に装着する部品３を所定の供給位置Ｌまで供給する装置である。本体１１は、パーツフィーダ３１を保持するための保持部１２を有している。保持部１２は、搬送方向Ｘに並んで設けられた複数のスロット１３を有している。各スロット１３には、相互に異なるスロット番号が付されており、パーツフィーダ３１が一つずつ着脱可能かつ交換可能に保持される。複数のスロット１３は、互いに種類の異なるパーツフィーダ３１を保持することが可能である。尚、本体１１は、パーツフィーダ３１が保持する部品よりも大型の部品を載置するトレイを保持可能であってもよく、パーツフィーダ３１とそのトレイとを交換して使用できるものであってもよい。
【００１５】
パーツフィーダ３１は、リール３２を着脱可能かつ回転可能に保持するリール保持軸３３を有している。リール３２は、部品３を複数個収容したキャリアテープが巻回される回転体である。リール３２は、部品３の種類ごとに設けられている。各リール３２は、その収容部品の種類に応じた数の部品３を収容することが可能である。
【００１６】
パーツフィーダ３１は、リール保持軸３３に保持されているリール３２に巻回されているキャリアテープを走行させる装置である。このパーツフィーダ３１による走行は、キャリアテープを所定の供給方向（具体的には、後述のテープ挿入口側から所定の供給位置Ｌ側への方向）へ送ることにより実現される。パーツフィーダ３１は、キャリアテープに設けられたスプロケット孔に係合する歯を有するスプロケットと、そのスプロケットを回転させる電動モータと、を有している。パーツフィーダ３１において、電動モータが作動すると、スプロケットが回転してキャリアテープが所定の供給方向へ走行することで、部品３が所定の供給位置Ｌまで供給される。
【００１７】
部品移載装置４０は、所定の供給位置Ｌまで供給された部品３を、所定の部品装着位置に位置決めされている基板２に向けて移載する装置である。部品移載装置４０は、Ｙ軸スライダ４１と、Ｘ軸スライダ４２と、装着ヘッド４３と、を有している。
【００１８】
Ｙ軸スライダ４１は、ガイドレール４４により支持されている。ガイドレール４４は、基板搬送装置２０による基板２の搬送方向Ｘに直交する方向（以下、直交方向Ｙと称す。）に延びており、基板搬送装置２０の鉛直上方に配設されている。Ｙ軸スライダ４１は、ガイドレール４４に沿って直交方向Ｙに向けて移動可能である。Ｙ軸スライダ４１には、Ｙ軸サーボモータ（図示せず）が機械的に連結されている。Ｙ軸スライダ４１は、Ｙ軸サーボモータによりガイドレール４４に沿って直交方向Ｙへ位置移動される。
【００１９】
Ｘ軸スライダ４２は、Ｙ軸スライダ４１に搬送方向Ｘに向けて移動可能に取り付けられている。Ｘ軸スライダ４２には、Ｙ軸スライダ４１に固定されたＸ軸サーボモータ（図示せず）が機械的に連結されている。Ｘ軸スライダ４２は、Ｘ軸サーボモータにより搬送方向Ｘへ位置移動される。
【００２０】
Ｘ軸スライダ４２には、装着ヘッド４３が取り付けられている。装着ヘッド４３は、部品３を吸着可能な吸着ノズルを保持している。尚、装着ヘッド４３は、複数の吸着ノズルを同時に保持可能であってもよい。装着ヘッド４３又は吸着ノズルは、Ｘ軸スライダ４２に対して或いは装着ヘッド４３に対して着脱可能かつ交換可能である。装着ヘッド４３又はその装着ヘッド４３に保持される吸着ノズルは、部品３の種類やサイズ，形状等に応じて適宜変更可能である。装着ヘッド４３は、Ｘ軸スライダ４２に対して、搬送方向Ｘ及び直交方向Ｙの双方に直交する上下方向Ｚに位置移動可能である。装着ヘッド４３の吸着ノズルは、部品供給装置３０の所定の供給位置Ｌに到達した部品３を負圧などを用いて吸着すると共に、その吸着した部品３をその吸着解除により所定の部品装着位置に位置決めされた基板２上に載置する。
【００２１】
Ｘ軸スライダ４２には、基板カメラ４６が取り付けられている。基板カメラ４６は、所定の部品装着位置に位置決めされている基板２の基準マークを上方から撮像して、基板位置基準情報を取得し、又は、所定の供給位置Ｌに到着した部品３を上方から撮像して、部品位置情報を取得する。部品位置情報は、装着ヘッド４３の吸着ノズルへの部品３の吸着時にその吸着ノズルの位置制御や姿勢制御に用いられる。また、基板位置基準情報は、装着ヘッド４３の吸着ノズルに吸着した部品３の基板２への装着時にその吸着ノズルの位置制御や姿勢制御に用いられる。
【００２２】
また、部品移載装置４０の基台には、部品カメラ４７が取り付けられている。部品カメラ４７は、装着ヘッド４３の吸着ノズルにより吸着されている部品３を下方から撮像して、その部品３の姿勢情報などを取得する。この姿勢情報は、装着ヘッド４３の吸着ノズルに吸着した部品３の基板２への装着時にその吸着ノズルの位置制御や姿勢制御に用いられる。
【００２３】
更に、対基板作業機１０は、本体１１に取り付けられた制御装置５０を備えている。制御装置５０は、ＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭなどが設けられたコンピュータを主体に構成されたマシンコントローラ５１を有している。マシンコントローラ５１には、基板カメラ４６及び部品カメラ４７によって得られた画像データを処理する画像処理装置などが接続されている。マシンコントローラ５１は、入力された情報に基づいて、対基板作業機１０の各装置２０，３０，４０の作動を制御することが可能である。
【００２４】
また、マシンコントローラ５１は、認識部５１ａを有している。認識部５１ａは、対応の対基板作業機１０の本体１１に装着されている各種のユニットに割り当てられているユニット個体識別情報を認識する。このユニット個体識別情報は、対基板作業機１０に装着され得るユニットそれぞれに割り当てられる識別コードであって、自ユニットを他ユニットと区別するための識別情報である。ユニット個体識別情報が割り当てられるユニットは、装置２０，３０，４０に交換可能に取り付けられるパーツフィーダ３１や装着ヘッド４３，装着ヘッド４３に保持される吸着ノズル，把持チャック、或いは、部品供給装置３０のパーツフィーダ３１に替えて搭載される各種の処理装置（例えば、部品へ転写するフラックスを供給する供給装置や廃棄部品を回収する回収装置，装着ヘッド４３のノズルを清掃する清掃装置）などである。
【００２５】
尚、上記した認識部５１ａでのユニット個体識別情報の認識は、以下の手法で行われるものとすればよい。例えば、一つの認識手法は、対基板作業機１０に装着された各装置２０，３０，４０に搭載されているコンピュータなどがそれぞれ当該装置２０，３０，４０の有するユニットのユニット個体識別情報を検出したうえでマシンコントローラ５１に向けて送信し、そのマシンコントローラ５１が各装置２０，３０，４０から送信されるユニット個体識別情報を受信して認識することである。また、他の認識手法は、装置２０，３０，４０の有するユニットの外面の所定箇所にユニット個体識別情報を付すと共に、そのユニット個体識別情報を撮像するカメラや読み込むリーダなどを設けたうえで、マシンコントローラ５１がそのカメラやリーダなどからの情報に基づいて装置２０，３０，４０に装着されたユニットのユニット個体識別情報を認識することである。
【００２６】
マシンコントローラ５１は、上記の如く認識部５１ａにて認識した対基板作業機１０の本体１１に装着されるユニットのユニット個体識別情報を、そのユニットが装着された本体１１の装着位置（例えば、パーツフィーダ３１では装着されたスロット番号など）と関連付けて記憶部５２に記憶させる。記憶部５２は、自対基板作業機１０に搭載されるユニットが装着された本体１１の装着位置とそのユニットのユニット個体識別情報との関係を記憶する。
【００２７】
各対基板作業機１０のマシンコントローラ５１は、対基板作業機１０が設置される工場内などに設けられた管理サーバ６０に接続されている。管理サーバ６０は、対基板作業機１０（尚、その工場内に複数あってよい。）を用いた生産計画や対基板作業機１０の稼動状況，基板２の生産，部品３の供給を管理するホストコンピュータである。生産計画には、今後所定期間（例えば、一週間や一ヶ月）に亘る複数種類の基板２の生産計画が含まれると共に、その基板２の生産計画に合わせて使用する部品３の種類や数を示した使用計画が含まれる。尚、これらの生産計画は、逐次更新されるものであってよい。管理サーバ６０は、基板２の生産計画及び部品３の使用計画を格納している。
【００２８】
管理サーバ６０は、管理対象の対基板作業機１０ごとに、装着されているユニット（例えば、基板搬送装置２０のガイドレール２１，２２やコンベアベルト２３、部品供給装置３０のパーツフィーダ３１やそのパーツフィーダ３１に保持されているリール３２、部品移載装置４０の装着ヘッド４３その装着ヘッド４３に保持されている吸着ノズルなど）のユニット個体識別情報を関連付けて記憶している。管理サーバ６０は、生産計画などに従って対基板作業機１０のマシンコントローラ５１に対して生産指令を行う。
【００２９】
マシンコントローラ５１は、生産指令と使用装置や使用部品との関係を記憶している。マシンコントローラ５１は、管理サーバ６０からの生産指令を受けると、以下の手順で基板２の生産を行う。すなわち、マシンコントローラ５１は、管理サーバ６０からの生産指令に従って使用すべきすなわち稼動すべき装置２０，３０，４０のユニット（例えば、複数のスロット１３に保持されたパーツフィーダ３１のうちから使用すべきパーツフィーダ３１）を選択し、そのユニットが装着された本体１１の装着位置を特定し、そのユニットに対して稼動指令を行う。
【００３０】
また、マシンコントローラ５１は、基板２の生産を行っている稼動中や各種の処理を行っている際、所定のタイミングで、対基板作業機１０に搭載されているユニットのログ情報を生成し、その生成したログ情報を管理サーバ６０へアップする。このログ情報のアップタイミングは、対基板作業機１０の電源オン等でユニットが認識された時、対基板作業機１０の稼動中に装置２０，３０，４０の有するユニットが自動交換された時、対基板作業機１０が自動運転を開始した時、対基板作業機１０が自動運転を終了した時、対基板作業機１０が基板２を一枚生産完了した時などである。
【００３１】
上記のログ情報とは、取得時刻又はアップ時刻に関連付けられて、対基板作業機１０の機種名、作業機個体識別情報、及びその状態、並びに、対基板作業機１０に装着された装置２０，３０，４０などの有するユニットのユニット種類、ユニット個体識別情報、及びユニット稼動情報などを纏めたものである。マシンコントローラ５１から管理サーバ６０へアップされるログ情報は、生成タイミングに応じて異なるものであってよい。
【００３２】
ログ情報は、例えばユニット認識時は、図３に示す如く、時刻と対基板作業機１０の機種名と作業機個体識別情報とその状態とユニット種類とユニット個体識別情報とである。ユニット自動交換時は、図４に示す如く、時刻と対基板作業機１０の機種名と作業機個体識別情報とその状態とユニット種類と交換前のユニット個体識別情報と交換後のユニット個体識別情報とである。一枚の基板２の生産完了時は、図５に示す如く、時刻と対基板作業機１０の機種名と作業機個体識別情報とその状態とユニット種類とユニット個体識別情報と稼動スピードと稼動回数と稼動ミス回数とである。
【００３３】
上記の如く、マシンコントローラ５１は、各装置２０，３０，４０の有するユニットのユニット稼動情報を含むログ情報を生成するとき（具体的には、一枚の基板２の生産完了時）がある。マシンコントローラ５１は、ユニット稼動情報を取得する取得部５１ｂを有している。このユニット稼動情報とは、各ユニットの稼動に関する情報のことであり、その稼動を量的に表した稼動量を含む概念のことである。稼動量とは、稼動負荷、稼動時間、稼動回数、稼動ミス回数などである。稼動負荷とは、対基板作業機１０の本体１１に搭載されたユニットの稼動に伴う装置自体の疲弊度合いを示すものであって、例えば稼動スピード（％）である。稼動時間とは、電源オンからの稼動が継続する時間であってよく、或いは、電源オンから電源オフまでの稼動時間を加算した稼動総時間であってよい。また、稼動回数は、例えば、基板搬送装置２０のときはコンベアベルト２３による基板２などの搬送回数であり、部品供給装置３０のときはパーツフィーダ３１によるフィード回数であり、部品移載装置４０のときは装着ヘッド４３による実装点数やピックアップ回数などである。
【００３４】
管理サーバ６０は、対基板作業機１０のマシンコントローラ５１からアップされるログ情報を取得することが可能である。管理サーバ６０は、第１記憶部６１を有している。管理サーバ６０のコンピュータは、対基板作業機１０ごとに取得したログ情報を第１記憶部６１に記憶させる。
【００３５】
管理サーバ６０は、また、第２記憶部６２を有している。第２記憶部６２は、対基板作業機１０ごとに搭載されているユニットのユニット個体識別情報に関連付けて、その搭載ユニットが貸与元から貸与されたユニット（以下、貸与ユニット４と称す。）であるか否かを示す貸与有無情報を記憶していると共に、更に、貸与ユニット４に対してその貸与条件を含む情報を記憶している。この貸与条件は、例えば、貸与開始時を示す情報、貸与終了時を示す情報、貸与期間を示す情報、作動スピードとして許容する範囲の上限や下限を示す情報、課金単価を示す情報、課金単価を変更する条件を示す情報、対象とする装着可能な対基板作業機１０の種類などを含んでいる。尚、図２には、９つのスロット１３に装着された部品供給装置３０のパーツフィーダ３１のうち２つのパーツフィーダ３１が貸与ユニット４であることを示している。
【００３６】
管理サーバ６０は、課金システム１の一部をなす。管理サーバ６０は、第１記憶部６１内の対基板作業機１０のログ情報と第２記憶部６２内の対基板作業機１０での貸与有無情報とを参照して、搭載ユニットが貸与ユニット４であるか否かを判別すると共に、貸与ユニット４のユニット個体識別情報ごとのログ情報を抽出することが可能である。管理サーバ６０は、第３記憶部６３を有している。第３記憶部６３は、貸与ユニット４のユニット個体識別情報ごとにログ情報を記憶する。
【００３７】
管理サーバ６０は、貸与ユニット４を貸与した貸与元の情報（例えば、名称や電話番号，データ送信先など）を記憶している。管理サーバ６０は、ネットワーク７０に通信接続可能な通信部６５を有している。管理サーバ６０は、通信部６５からネットワーク７０を介して貸与元側のサーバ８０（以下、貸与元サーバ８０と称す。）へ情報送信することが可能である。尚、ネットワーク７０は、既存の回線を利用したものであってもよいし、また、専用回線を利用したものであってもよい。
【００３８】
管理サーバ６０から貸与元サーバ８０へ送信される情報は、貸与ユニット４の貸与に対して課金を行ううえで必要なデータであって、第３記憶部６３に記憶されているその貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けられたログ情報である。尚、この送信情報は、そのログ情報のうち課金に必要な稼動情報を少なくとも含むものであればよい。また、管理サーバ６０から貸与元サーバ８０への情報送信のタイミングは、定期的すなわち一日や一週間などの予め定められた期間ごとである。尚、この情報送信のタイミングは、定期的に代えて、上記したログ情報内の稼動情報としての稼動量が予め定めた量に達するごとであってもよい。
【００３９】
上記の情報送信が定期的に行われる場合、送信される稼動情報は、前回送信から今回送信までに取得したものを纏めたものである。例えば、ログ情報が複数回取得されても、その取得毎に情報送信が行われることはなく、複数回の稼動情報が纏められて一回で送信される。尚、複数回の稼動情報の纏めは、複数回の稼動情報をそのまま束として纏めたものであってもよいし、或いは、複数回の稼動情報を全体として一つに纏めて一つの稼動情報としたものであってもよい。
【００４０】
貸与元サーバ８０は、課金システム１の一部である。貸与元サーバ８０は、自己の貸与元から貸与先へ貸し出した貸与ユニット４の管理を行うホストコンピュータである。貸与元サーバ８０は、貸し出しリスト８１を保有している。この貸し出しリスト８１は、貸与ユニット４をリスト化したものであって、貸与ユニット４ごとに、貸与ユニット４の管理番号（すなわち、ユニット個体識別情報）と、貸与期間や課金単価などを含む貸与条件と、貸与先の請求先や担当部署等を示す情報と、などを関連付けたものである。
【００４１】
貸与元サーバ８０は、ネットワーク７０に通信接続可能な通信部８２を有している。貸与元サーバ８０は、貸与先側の管理サーバ６０からネットワーク７０を介して送信される、ユニット個体識別情報に関連付けられた課金に必要な稼動情報を含むログ情報を通信部８２にて受信することが可能である。貸与元サーバ８０は、課金部８３を有している。課金部８３は、通信部８２にて受信した貸与先側の管理サーバ６０からのログ情報から課金に必要な稼動情報を抽出し、その稼動情報に基づいてその貸与先への課金額（すなわち、課金総額）を演算する。そして、その演算した課金額に基づいて、貸与元から貸与先への課金請求が行われる。
【００４２】
上記した貸与先への課金総額は、稼動情報の内容に応じて変動され、稼動量が多いほど高額となる。例えば、一稼動回数当たりの課金額（すなわち、課金単価）が予め貸与元と貸与先との契約により定められていれば、その課金総額は、稼動回数と課金単価との乗算により決まる。また、課金総額は、予め貸与元と貸与先との契約により定めた貸与基本料に上記の稼動量に応じた金額が加算されるものであってもよい。尚、上記の貸与基本料は、貸与期間に応じて増減されるものであってもよい。
【００４３】
２．貸与ユニットの貸与から課金までの動作
ユニットオーナーである貸与元は、対基板作業機１０に搭載可能な基板搬送装置２０、部品供給装置３０、及び部品移載装置４０などを構成する搭載ユニットの一以上を貸与ユニット４として、顧客であり対基板作業機１０の使用者である貸与先に個別に貸与することができる。貸与先は、生産可能性のあるすべての基板２の種類を考慮して対基板作業機１０の装置仕様を設定すると共に、生産対象の基板２の生産予定個数やその生産期間，基板２が使用される製品のサイクル期間，ユニットのメンテナンス性などを考慮して、その装置仕様内で貸与元から貸与を受ける一以上の貸与ユニット４を決定する。尚、貸与先は、その貸与ユニット４以外のユニットや対基板作業機１０の本体１１を購入する。貸与先は、貸与元との間で貸与ユニットの貸与に関する契約を締結してその貸与ユニット４の貸与を受ける。貸与元と貸与先とが貸与ユニット４の貸与に関する契約を締結すると、貸与元サーバ８０及び貸与先の管理サーバ６０に、その貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けられて貸与条件を含む情報が格納される。
【００４４】
貸与先において、貸与ユニット４が対基板作業機１０に装着されると、その対基板作業機１０のマシンコントローラ５１の認識部５１ａは、その対基板作業機１０の本体１１に装着された貸与ユニット４を含むすべてのユニットのユニット個体識別情報を認識する（図６に示すルーチン中のステップＳ１００）。そして、マシンコントローラ５１は、記憶部５２に、貸与ユニット４を含むユニットが装着された本体１１の装着位置とそのユニットのユニット個体識別情報との関係を記憶させる（ステップＳ１１０）。また、管理サーバ６０は、第２記憶部６２に、対基板作業機１０ごとのユニットのユニット個体識別情報と貸与有無情報と貸与条件情報とを記憶させる。
【００４５】
上記した貸与ユニット４の装着、ユニット個体識別情報の認識、及び上記関係の記憶がなされた後、その対基板作業機１０を用いて基板２の生産が開始される。貸与先の管理サーバ６０は、基板２の生産計画などに従って対基板作業機１０のマシンコントローラ５１に対して生産指令を行う。対基板作業機１０のマシンコントローラ５１は、管理サーバ６０からの生産指令に従って適切な装置２０，３０，４０のユニットを稼動させて基板生産を行う。
【００４６】
マシンコントローラ５１の取得部５１ｂは、基板生産を行っている稼動中などにおいて、貸与ユニットを含むユニットについてユニットごとの稼動情報を取得し（ステップＳ１２０）、その稼動情報を含むログ情報を管理サーバ６０へアップする。尚、このマシンコントローラ５１から管理サーバ６０へのログ情報のアップは、ユニットが貸与ユニット４であるか否かを区別することなくすべてのユニットについて行われるものであってよい。また、このログ情報のアップは、対基板作業機１０の電源オン時、対基板作業機１０の稼動中に装置２０，３０，４０のユニットが自動交換された時、対基板作業機１０が自動運転を開始した時、対基板作業機１０が自動運転を終了した時、対基板作業機１０が基板２を一枚生産完了した時などに行われる。
【００４７】
管理サーバ６０は、対基板作業機１０ごとに送られるログ情報を第１記憶部６１に記憶させる。管理サーバ６０は、第１記憶部６１に記憶されたログ情報から、第２記憶部６２に記憶されている貸与有無情報として貸与有りを示すユニット個体識別情報のユニットのログ情報を抽出し、その貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けたログ情報を第３記憶部６３に記憶させる（ステップＳ１３０）。
【００４８】
管理サーバ６０は、所定のタイミングで、第３記憶部６３に記憶されている貸与ユニット４のログ情報を貸与元サーバ８０へ送信する。貸与元サーバ８０は、貸与先の管理サーバ６０からの貸与ユニット４のログ情報をネットワーク７０を介して通信部８２にて受信すると、そのログ情報から課金に必要な稼動情報を抽出すると共に、貸し出しリスト８１を参照して、その貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けられている貸与条件を読み出す。課金部８３は、抽出した稼動情報の稼動量と読み出した貸与条件から抽出した課金単価とを乗算して課金総額を演算する（ステップＳ１４０）。例えば、単位稼動時間当たりの課金単価が定められていれば、稼動時間とその課金単価との乗算値が課金総額として演算される。また、一稼動回数当たりの課金単価が定められていれば、稼動回数とその課金単価との乗算値が課金総額として演算される。貸与元は、その演算した課金総額を貸与先へ請求する。
【００４９】
３．効果
このように、本実施形態においては、対基板作業機１０の本体１１に装着されるすべてのユニットのうち少なくとも一つを貸与ユニット４として、ユニットオーナーである貸与元から使用者である貸与先へ貸与することができる。そして、その貸与ユニット４の貸与に対して貸与元から貸与先へ課金を行うことができる。
【００５０】
より具体的には、貸与元側の貸与元サーバ８０及び貸与先側の管理サーバ６０それぞれにおいて貸与ユニット４の貸与に対する貸与条件などが記憶されると共に、貸与先側の管理サーバ６０が管理する対基板作業機１０に装着されているユニットのユニット個体識別情報に関連付けて、貸与ユニット４と貸与ユニット４以外のユニットとを区別する貸与有無情報が付される。そのうえで、貸与先側の対基板作業機１０は、装着されているユニットのユニット個体識別情報を認識すると共に、各ユニットの稼動情報を取得する。そして、管理サーバ６０は、所定タイミングで取得する対基板作業機１０に装着されているすべてのユニットのログ情報のうち貸与ユニット４のログ情報を抽出して、その貸与ユニット４のログ情報をユニット個体識別情報に関連付けてその貸与ユニット４を貸与した貸与元側の貸与元サーバ８０へ送信する。そして、貸与元サーバ８０は、管理サーバ６０からのログ情報に含まれる課金に必要な稼動情報に基づいて課金額を演算して課金を行う。
【００５１】
この課金システム１によれば、対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットのうち少なくとも一つを貸与ユニット４とした場合にその貸与ユニット４の稼動に合わせた課金を行う仕組みを構築することができる。このため、対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットのうち例えば使用頻度の少ないユニットを貸与ユニット４とすることで、対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットを購入する場合と比較して、対基板作業機１０の使用者の投資負担を軽減することができる。
【００５２】
また、この課金システム１において、貸与先の管理サーバ６０から貸与元の貸与元サーバ８０へ送信される情報は、管理サーバ６０が対基板作業機１０から取得したすべてのユニットのログ情報ではなく、そのすべてのユニットのログ情報のうちから抽出された貸与対象の貸与ユニット４のログ情報のみである。この場合、貸与元のオーナーは、貸与先である使用者の対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットのログ情報を取得することはなく、貸与対象の貸与ユニット４のログ情報のみを取得する。従って、使用者側の対基板作業機１０による基板生産の全体についてオーナー側に知られることはなく、オーナー側に知らせる情報を貸与ユニット４に関する情報に限定することができるので、使用者側の対基板作業機１０による基板生産の秘匿性を確保することができる。
【００５３】
以上、説明したことから明らかなように、本実施形態の課金システム１は、本体１１に複数のユニットが着脱可能に装着される対基板作業機１０において本体１１に装着されるユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニット４である場合の課金システムである。この課金システム１は、本体１１に取り付けられた制御装置５０に設けられ、本体１１に装着された貸与ユニット４のユニット個体識別情報を認識するマシンコントローラ５１の認識部５１ａと、貸与ユニット４が装着された本体１１の装着位置と本体１１に装着された貸与ユニット４のユニット個体識別情報との関係を記憶する記憶部５２と、制御装置５０に設けられ、本体１１に装着された貸与ユニット４の稼動情報を取得するマシンコントローラ５１の取得部５１ｂと、貸与ユニット４の稼動情報をユニット個体識別情報毎に記憶する第３記憶部６３と、第３記憶部６３に記憶された稼動情報に基づいて課金額を演算する貸与元サーバ８０の課金部８３と、を備える。
【００５４】
課金システム１による課金方法は、本体１１に複数のユニットが着脱可能に装着される対基板作業機１０において本体１１に装着されるユニットの少なくとも一つが貸与された貸与ユニット４である場合の課金方法である。この課金方法は、本体１１に装着された貸与ユニット４のユニット個体識別情報をマシンコントローラ５１の認識部５１ａが認識する第１ステップと、貸与ユニット４が装着された本体１１の装着位置と本体１１に装着された貸与ユニット４のユニット個体識別情報との関係を、記憶部５２が記憶する第２ステップと、本体１１に装着された貸与ユニット４の稼動情報をマシンコントローラ５１の取得部５１ｂが取得する第３ステップと、貸与ユニット４の稼動情報をユニット個体識別情報毎に第３記憶部６３が記憶する第４ステップと、第３記憶部６３に記憶された稼動情報に基づいて課金額を貸与元サーバ８０の課金部８３が演算する第５ステップと、を備える。
【００５５】
この構成によれば、対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットのうち少なくとも一つを貸与ユニット４とした場合にその貸与ユニット４の稼動に合わせた課金を行う仕組みを構築することができる。
【００５６】
また、課金システム１において、課金部８３は、貸与ユニット４を貸与先に貸与する貸与元の貸与元サーバ８０に設けられ、取得部５１ｂにより取得された稼動情報は、本体１１に装着された貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けられて、ネットワーク７０を介して貸与元サーバ８０へ送信される。この構成によれば、貸与元の貸与元サーバ８０で課金演算を行うことができる。
【００５７】
また、課金システム１において、第３記憶部６３に記憶された稼動情報は、所定期間毎に纏めてネットワーク７０を介して貸与元サーバ８０へ送信される。この構成によれば、貸与先側と貸与元側との間の通信が頻繁に行われるのを防止することができ、その通信負荷を軽減することができる。
【００５８】
また、課金システム１において、貸与ユニット４の稼動情報は、貸与ユニット４の稼動回数又は稼動時間を含む。この構成によれば、対基板作業機１０の本体１１に装着されている貸与ユニット４の稼動回数又は稼動時間に応じた課金を行うことができる。
【００５９】
４．変形形態
ところで、上記の実施形態においては、管理サーバ６０が、対基板作業機１０の本体１１に装着される装置２０，３０，４０などを構成するユニットが貸与ユニット４であるか否かを示す貸与有無情報を記憶している。また、対基板作業機１０に搭載された制御装置５０のマシンコントローラ５１が、ユニットが貸与ユニット４であるか否かの区別なく貸与ユニット４を含むすべてのユニットのユニット稼動情報を取得部５１ｂにて取得すると共に、貸与ユニット４を含むすべてのユニットのユニット個体識別情報とそのユニットが装着された本体１１の装着位置との関係を記憶部５２にて記憶している。そして、管理サーバ６０が、すべてのユニットのユニット稼動情報のうち貸与ユニット４のユニット稼動情報を抽出することとしている。
【００６０】
しかし、本発明はこれに限定されるものではない。上記の貸与有無情報を対基板作業機１０側のマシンコントローラ５１が記憶するものとし、マシンコントローラ５１がその貸与有無情報に従ってユニットが貸与ユニット４であるか否かを判定して、その貸与ユニット４のユニット個体識別情報のみを取得部５１ｂにて取得するものとし、その貸与ユニット４のユニット個体識別情報とその貸与ユニット４が装着された本体１１の装着位置との関係を記憶部５２にて記憶するものとしてもよい。
【００６１】
また、上記の実施形態においては、貸与ユニット４の課金額の演算を、その貸与ユニット４の稼動量が多いほど高額となるように行うものとし、稼動量に課金単価を乗算することとしている。しかし、貸与ユニット４の稼動負荷によっては疲弊度や過酷度が異なるので、一稼動量当たりの課金単価を変えることが適切な場合がある。例えば、疲弊度が高い稼動負荷では課金単価を高くし、疲弊度が低い稼動負荷では課金単価を低くすることが、貸与ユニット４のメンテナンス性などを考慮すると適切である。
【００６２】
そこで、貸与先側の管理サーバ６０から貸与元側の貸与元サーバ８０へ貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けられて送られる情報にその貸与ユニット４の稼動量と共に貸与ユニット４の稼動負荷を示す情報をも含めるものとし、貸与ユニット４の課金額の演算を、その貸与ユニット４の稼動負荷すなわち稼動スピードに応じて一稼動量当たりの課金単価を変更しつつ行うものとしてもよい。例えば、貸与先側の管理サーバ６０は、図５に示す如き稼動スピードごとに算出された稼動時間及び稼動回数を含む情報を貸与元サーバ８０へ送信する。貸与元サーバ８０は、貸与元と貸与先との間で定めた稼動スピードごとの課金単価を予め記憶している。課金部８３は、単価変更部を有しており、その単価変更部にて、貸与先側の管理サーバ６０から送られた情報内の稼動スピードごとに課金単価を変更する。そして、課金部８３は、その稼動スピードごとの稼動時間や稼動回数に基づいて課金額を演算する。
【００６３】
例えば、全稼動回数Ｎが（Ｎ１＋Ｎ２＋Ｎ３）である場合において、稼動スピードが１００％であったときの課金単価をＡ１としかつ稼動回数をＮ１とし、稼動スピードが７０％であるときの課金単価をＡ２としかつ稼動回数をＮ２とし、稼動スピードが５０％であるときの課金単価をＡ３としかつ稼動回数をＮ３とすると、課金額Ｂは、次式（１）に従って演算される。
【００６４】
Ｂ＝Ａ１×Ｎ１＋Ａ２×Ｎ２＋Ａ３×Ｎ３                ・・・（１）
尚、課金単価は、稼動負荷が大きくなるに従ってリニアに高くなるものであってもよいし、二次関数的に高くなるものであってもよいし、対数関数や指数関数的に高くなるものであってもよい。また、課金単価は、稼動スピードを複数の範囲に区切ってその範囲ごとに定められていてもよい。
【００６５】
この変形形態の構成によれば、課金部８３が貸与ユニット４の課金演算を行ううえでその貸与ユニット４の稼動負荷に応じて一稼動量当たりの課金単価を変更するので、貸与ユニット４の疲弊度に応じた課金を行うことができる。
【００６６】
また、上記の実施形態においては、貸与先側の管理サーバ６０に貸与ユニット４の貸与条件を示す情報を含めて記憶させることとしている。そこで、貸与ユニット４が対基板作業機１０の本体１１に装着されて使用される場合、その貸与条件外の使用を制限し或いは警告を行うようにしてもよい。尚、貸与条件は、上記の如く、貸与期間や対象とする対基板作業機１０の種類，機能などを含んでいる。
【００６７】
この変形形態において、管理サーバ６０は、図７に示す如く、条件外使用制御部６６と、警告部６７と、を備えている。条件外使用制御部６６は、第２記憶部６２に記憶されている貸与ユニット４の貸与条件に従ってその貸与ユニット４がその貸与条件外で使用されていないか否かを判定する。そして、貸与ユニット４が貸与条件外で使用されていないと判定したときは、通常どおりその貸与ユニット４の使用を許可してその貸与ユニット４を稼動させる。一方、貸与ユニット４が貸与条件外で使用されていると判定したときは、図７に示す如く、その貸与ユニット４の上記通常使用を制限してその貸与ユニット４の稼動を中止する。或いは、その貸与ユニット４の上記通常使用を制限することなく、警告部６７を用いてその貸与ユニット４の使用を警告する。警告部６７は、貸与ユニット４の貸与条件外の使用を中止するように促す警告を行うものであって、例えば、管理サーバ６０に設けられた警告表示や警告ブザーなどである。
【００６８】
この変形形態の構成によれば、貸与ユニット４に予め定められた貸与条件に合致しない使用に対して制限や警告を与えるので、貸与ユニット４の貸与条件内での使用を促すことができる。
【００６９】
また、上記の実施形態においては、貸与ユニット４を貸与する貸与元側の貸与元サーバ８０と、その貸与ユニット４を貸与される貸与先側の管理サーバ６０との間で直接に情報の授受が行われる。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。貸与ユニット４を貸与する貸与元側と、その貸与ユニット４を供給（製造）する供給元側と、が互いに異なる場合は、貸与元側と貸与先側との間で行われる情報の授受を、供給元側を介して行うものとしてもよい。また、この変形形態において、貸与先側は、貸与ユニット４とそれ以外のユニットとを区別することなくすべてのユニットのログ情報をユニット個体識別情報に関連付けて供給元側へ送信することとすればよい。
【００７０】
この変形形態において、課金システム１は、図８に示す如く、貸与先側の管理サーバ６０と、貸与元側の貸与元サーバ８０と、供給元側の供給元サーバ９０と、を備えている。供給元サーバ９０は、自己の供給したユニット（但し、少なくとも、自己の供給したユニットのうち貸与元から貸与先へ貸し出されている貸与ユニット４を含めばよい。）の管理を行うホストコンピュータである。供給元サーバ９０は、供給リスト９１を保有している。この供給リスト９１は、供給したユニットをリスト化したものであって、ユニットごとに、ユニットの管理番号（すなわち、ユニット個体識別情報）及び供給先や貸与元の担当部署等を示す情報などを関連付けたものである。供給元サーバ９０は、ネットワーク７０に通信接続可能な通信部９２を有している。供給元サーバ９０は、通信部９２にて、貸与先側の管理サーバ６０からのすべてのユニットのユニット個体識別情報に関連付けられた稼動情報を含むログ情報を受信すると共に、すべてのユニットのログ情報のうち貸与ユニット４のユニット個体識別情報に関連付けられた稼動情報を含むログ情報のみをその貸与ユニット４を貸与した貸与元サーバ８０へ送信することが可能である。
【００７１】
この変形形態において、供給元の供給元サーバ９０は、情報収集部９３にて、対基板作業機１０に装着された貸与元側から貸与先側へ貸し出された貸与ユニット４を含むすべてのユニットのログ情報を収集する。そして、貸与ユニット４のログ情報を抽出して、その貸与ユニット４のログ情報のみを通信部９２からその貸与ユニットを貸与した貸与元サーバ８０へ送信する。貸与元サーバ８０の課金部８３は、供給元サーバ９０からの稼動情報を含むログ情報に基づいて貸与ユニット４の貸与に対する課金額演算を行う。
【００７２】
この変形形態の構成によれば、上記した実施形態と同様に、対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットのうち少なくとも一つを貸与ユニット４とした場合にその貸与ユニット４の稼動に合わせた課金を行う仕組みを構築することができる。更に、この構成によれば、供給元側に対基板作業機１０に装着されるすべてのユニットの稼動情報を含むログ情報が集まるので、その収集したログ情報を統計的に分析して、更なる商品開発や使用に関する客先提案などを行うことが可能となる。
【００７３】
上記例では、貸与ユニット４として、パーツフィーダ３１、装着ヘッド４３、装着ヘッド４３に保持される吸着ノズルや把持チャック等を示したが、これらに限定されるものではなく、例えば、本体１１に取り付けられる基板搬送装置２０、部品供給装置３０、及び部品移載装置４０自体であってもよい。
【００７４】
尚、本発明は、上述した実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１：課金システム、２：基板、３：部品、４：貸与ユニット、１０：対基板作業機、１１：本体、２０：基板搬送装置、３０：部品供給装置、４０：部品移載装置、５０：制御装置、５１：マシンコントローラ、５１ａ：認識部、５１ｂ：取得部、５２：記憶部、６０：管理サーバ、６１：第１記憶部、６２：第２記憶部、６３：第３記憶部、７０：ネットワーク、８０：貸与元サーバ、８１：貸し出しリスト、８３：課金部、９０：供給元サーバ。
【図１】
2018229900.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2018229900.tif 000006
【図５】
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【図６】
2018229900.tif 000008
【図７】
2018229900.tif 000009
【図８】
2018229900.tif 000010
【国際調査報告】
2018229900.tif 000011
2018229900.tif 000012
2018229900.tif 000013
2018229900.tif 000014