(57)【要約】  配線板（１０）が、絶縁基板（１１）と、配線層（１２４、１２５）を有する配線基板（１２ａ、１２ｂ）と、絶縁層（３１１、３１３）と、を備える。絶縁層（３１１、３１３）は、めっきによる導体（３４１、３４３）が形成されたバイアホール（３３１、３３３）を有する。絶縁基板（１１）と配線基板（１２ａ、１２ｂ）とは水平に配置される。絶縁層（３１１、３１３）は、絶縁基板（１１）及び配線基板（１２ａ、１２ｂ）の境界部（Ｒ１）を被覆して配置されるとともに、絶縁基板（１１）から連続して配線基板（１２ａ、１２ｂ）に延設される。境界部（Ｒ１）には、絶縁層（３１１、３１３）を構成する樹脂（２１ａ〜２１ｃ）が充填される。導体（３４１、３４３）と配線層（１２４、１２５）とは、互いに電気的に接続される。
2010061752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体パターンを有する配線基板と、
前記配線基板と並んで配置された絶縁基板と、
前記導体パターンに電気的に接続されためっきによる導体が形成されたバイアホールを有し、前記絶縁基板と前記配線基板の境界部を被覆するように、前記絶縁基板から前記配線基板に連続して延設された絶縁層と、
からなる配線板において、
前記絶縁基板と前記配線基板との境界部には、前記絶縁層を構成する絶縁材料が充填されている、
ことを特徴とする配線板。
【請求項２】
前記絶縁層は、樹脂を含み、
前記絶縁材料は、前記絶縁層から流出した前記樹脂である、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線板。
【請求項３】
前記絶縁層は、前記絶縁基板及び前記配線基板の両面に形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線板。
【請求項４】
前記配線基板を、複数備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線板。
【請求項５】
前記配線基板同士は、互いに電気的に接続されない、
ことを特徴とする請求項４に記載の配線板。
【請求項６】
前記絶縁層は、複数の絶縁材料からなる、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線板。
【請求項７】
前記絶縁層は、前記配線板の絶縁層の一部を構成する、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線板。
【請求項８】
絶縁材料からなる絶縁基板と、配線層を有する配線基板とを、水平に配置することと、
前記絶縁基板及び前記配線基板の境界部を被覆して絶縁層を配置することと、
前記絶縁基板と前記配線基板との境界部に、前記絶縁層を構成する前記絶縁材料を充填することと、
前記絶縁層にバイアホールを形成し、さらに該バイアホールにめっきにより導体を形成することと、
前記バイアホールに形成された前記導体と前記配線層とを、電気的に接続することと、
を含む、
ことを特徴とする配線板の製造方法。
【請求項９】
外形加工を行うことをさらに含む、
ことを特徴とする請求項８に記載の配線板の製造方法。
【請求項１０】
前記絶縁層は、前記絶縁材料としての樹脂を含み、
前記絶縁層をプレスすることにより、前記絶縁層から前記樹脂を押し出して、前記絶縁基板と前記配線基板との間に充填する、
ことを特徴とする請求項８に記載の配線板の製造方法。
【請求項１１】
前記絶縁基板及び前記配線基板を、それぞれ異なる製造パネルを用いて製造することをさらに含む、
ことを特徴とする請求項８に記載の配線板の製造方法。
【請求項１２】
前記外形加工はルーター加工である、
ことを特徴とする請求項９に記載の配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁基板と複数の配線基板とを有する配線板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１〜４に、配線板及びその製造方法が開示されている。これらの配線板は、絶縁基板と、絶縁基板に接続された複数の配線基板と、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】日本国特許出願公開２００２−２８９９８６号公報
【特許文献２】日本国特許出願公開２００２−２３２０８９号公報
【特許文献３】日本国特許出願公開２００７−１１５８５５号公報
【特許文献４】日本国特許出願公開２００５−３２２８７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１〜４に記載の配線板及びその製造方法は、材料の消費などが大きいため、製造コストが高いと考えられる。【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、製造コストを削減することができる配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、材料の消費を軽減することを他の目的とする。また、本発明は、配線板の歩留まり又は製品取り数を向上することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の観点に係る配線板は、導体パターンを有する配線基板と、前記配線基板と並んで配置された絶縁基板と、前記導体パターンに電気的に接続されためっきによる導体が形成されたバイアホールを有し、前記絶縁基板と前記配線基板の境界部を被覆するように、前記絶縁基板から前記配線基板に連続して延設された絶縁層と、からなる配線板において、前記絶縁基板と前記配線基板との境界部には、前記絶縁層を構成する絶縁材料が充填されている。【０００７】
本発明の第２の観点に係る配線板の製造方法は、絶縁材料からなる絶縁基板と、配線層を有する配線基板とを、水平に配置することと、前記絶縁基板及び前記配線基板の境界部を被覆して絶縁層を配置することと、前記絶縁基板と前記配線基板との境界部に、前記絶縁層を構成する前記絶縁材料を充填することと、前記絶縁層にバイアホールを形成し、さらに該バイアホールにめっきにより導体を形成することと、前記バイアホールに形成された前記導体と前記配線層とを、電気的に接続することと、を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば最外層を形成する前に不良基板を取り除くことで、材料の消費を軽減することができる。また、例えば絶縁基板及び配線基板を、それぞれ異なる製造パネルを用いて別々に製造することで、配線板の歩留まり又は製品取り数を向上することができる。さらに、材料の消費を軽減し、あるいは配線板の歩留まり又は製品取り数を向上することで、製造コストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る配線板の概要を示す図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態に係る配線板の内部構造を示す図である。
【図２】配線板を構成する配線基板の断面図である。
【図３】図１ＡのＡ−Ａ断面図である。
【図４】製造パネルに配線基板を製造する工程を説明するための図である。
【図５Ａ】配線基板の第１層を形成する工程を説明するための図である。
【図５Ｂ】配線基板の第１層を形成する工程を説明するための図である。
【図５Ｃ】配線基板の第１層を形成する工程を説明するための図である。
【図６Ａ】配線基板の第２層を形成する工程を説明するための図である。
【図６Ｂ】配線基板の第２層を形成する工程を説明するための図である。
【図６Ｃ】配線基板の第２層を形成する工程を説明するための図である。
【図７Ａ】配線基板の第３層を形成する工程を説明するための図である。
【図７Ｂ】配線基板の第３層を形成する工程を説明するための図である。
【図８】絶縁基板を製造する工程を説明するための図である。
【図９】絶縁基板の概要を示す図である。
【図１０】配線基板を配置する工程を説明するための図である。
【図１１Ａ】絶縁基板及び配線基板の両面に絶縁層を形成する工程を説明するための図である。
【図１１Ｂ】絶縁基板及び配線基板の両面に絶縁層を形成する工程を説明するための図である。
【図１１Ｃ】絶縁基板及び配線基板の両面に絶縁層を形成する工程を説明するための図である。
【図１１Ｄ】絶縁基板及び配線基板の両面に絶縁層を形成する工程を説明するための図である。
【図１２】配線板の外形加工をする工程を説明するための図である。
【図１３Ａ】配線基板の別例を示す図である。
【図１３Ｂ】配線基板の別例を示す図である。
【図１３Ｃ】配線基板の別例を示す図である。
【図１４】片面配線基板を有する配線板の例を示す断面図である。
【図１５】配線板の別例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を具体化した一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１１】
本実施形態に係る配線板１０は、例えば図１Ａにその外観を、図１Ｂにその内部構造を、それぞれ示すように、フレームとしての絶縁基板１１と、配線基板１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆと、を有する。絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆ、また配線基板１２ａ〜１２ｆ同士は、それぞれ境界部Ｒ１、Ｒ２を介して水平に配置される。さらに、絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆの表裏には、それぞれ第６、第５の絶縁層３１３、３１１が形成されている。なお、図１Ｂは、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３を割愛して、配線板１０の内部構造を示す図である。
【００１２】
絶縁基板１１は、例えばガラスエポキシ樹脂等からなる絶縁基板である。詳しくは、図１Ａ及び図１Ｂに示されるように、絶縁基板１１は、配線基板１２ａ〜１２ｆを囲む方形状の枠である。配線基板１２ａ〜１２ｆは、絶縁基板１１の内側に配置されている。なお、絶縁基板１１の形状は任意である。例えば円形状、楕円形状、又は一列に配置された配線基板を挟む２本の細長い棒状であってもよい。
【００１３】
配線基板１２ａ〜１２ｆは、矩形状のリジッド基板である。ただし、配線基板１２ａ〜１２ｆの形状は任意であり、例えば平行四辺形、円形、楕円形等であってもよい。なお、配線基板１２ａ〜１２ｆ同士は、互いに電気的に接続されていない。
【００１４】
配線基板１２ａ〜１２ｆは、図２にその断面構造を示すように、いわゆるビルドアップ多層プリント配線板である。すなわち、配線基板１２ａ〜１２ｆは、リジッド基材１１２と、第１及び第２の絶縁層１１１及び１１３と、第３及び第４の絶縁層１１４及び１１５と、が積層されて構成されている。
【００１５】
リジッド基材１１２は、例えばリジッド絶縁材料からなる。具体的には、リジッド基材１１２は、例えば「５０〜１５０μｍ」、望ましくは「１００μｍ」程度の厚さのガラスエポキシ樹脂等から構成される。
【００１６】
リジッド基材１１２の表裏には、例えば硬化したプリプレグからなる第１〜第４の絶縁層１１１、１１３〜１１５、例えば銅からなる配線層１２２ａ、１２２ｂ、１２１、１２３〜１２５、及びバイアホール（層間接続部）１３１、１３３〜１３５が形成されている。バイアホール１３１、１３３〜１３５は、例えば銅からなる導体１４１、１４３〜１４５が充填され、各配線層間を電気的に接続する。また、リジッド基材１１２には、スルーホール１３２が形成されている。スルーホール１３２は、例えば銅等の導体１４２がスルーホールめっきされ、リジッド基材１１２の表裏の配線層１２２ａ及び１２２ｂを電気的に接続する。
【００１７】
より詳しくは、リジッド基材１１２の表裏各面に、それぞれ配線層１２２ｂ、１２２ａが形成され、これら配線層１２２ａ、１２２ｂが、それぞれバイアホール１３１、１３３及び導体１４１、１４３を介して、それぞれ上層の配線層１２１、１２３に電気的に接続されている。さらに、配線層１２１、１２３は、バイアホール１３４、１３５及び導体１４４、１４５を介して、それぞれ上層の配線層１２４、１２５に電気的に接続されている。
【００１８】
絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆの表裏には、例えば図３（図１ＡのＡ−Ａ断面図）に示すように、それぞれ第６、第５の絶縁層３１３、３１１が形成されている。第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３は、絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆの境界部Ｒ１、並びに配線基板１２ａ〜１２ｆ同士の境界部Ｒ２（図１Ａ及び図１Ｂ参照）を被覆して配置される。また、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３は、絶縁基板１１から連続して配線基板１２ａ〜１２ｆに延設されている。
【００１９】
第５、第６の絶縁層３１１、３１３には、それぞれバイアホール３３１、３３３が形成されている。バイアホール３３１、３３３には、例えば銅からなる導体３４１、３４３が形成される。そして、導体３４１、３４３は、それぞれ配線基板１２ａ〜１２ｆの配線層１２４、１２５と電気的に接続される。なお、配線基板１２ａ〜１２ｆ同士は、互いに電気的に接続されない。
【００２０】
第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３は、例えば硬化したプリプレグ等のリジッド絶縁材料からなる。なお、第１〜第６の絶縁層１１１、１１３〜１１５、３１１、３１３のプリプレグは、ローフロー特性を有する樹脂を含むことが望ましい。このようなプリプレグは、エポキシ樹脂をガラスクロスに含侵させた後に樹脂を熱硬化させるなどして、予め硬化度を進めておくことで製造することができる。また、ガラスクロスに粘度の高い樹脂を含侵させたり、ガラスクロスに無機フィラー（例えばシリカフィラー）を含む樹脂を含侵させたり、ガラスクロスの樹脂含侵量を減らしたりしてもよい。また、プリプレグに代えて、ＲＣＦ（Resin Coated cupper Foil）等を用いてもよい。
【００２１】
絶縁基板１１と配線基板１２ａ〜１２ｆとの間、及び配線基板１２ａ〜１２ｆ間には、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３からしみ出した（流出した）絶縁性の樹脂２１ａ〜２１ｃが充填されている。これにより、配線基板１２ａ〜１２ｆが、所定の位置に固定される。したがって、絶縁基板１１と配線基板１２ａ〜１２ｆとを連結するためのブリッジ等は不要である。また、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３からしみ出した樹脂２１ａ〜２１ｃを利用するため、接着剤等も不要である。
【００２２】
配線板１０を製造する場合には、まず、例えば図４に示すように、作業者が、製造パネル１００に、配線基板１２ａ〜１２ｆを製造する。製造パネル１００は、配線基板１２ａ〜１２ｆをはじめ、互いに同一の構造（図２に示す構造）を有する配線基板だけが製造される専用の製造パネルである。
【００２３】
本実施形態の製造方法は、絶縁基板１１とは別に、配線基板１２ａ〜１２ｆを製造する。このため、より多くの配線基板１２ａ〜１２ｆを製造パネル１００に製造することが可能になり、歩留まりや製品取り数を向上することができる。
【００２４】
配線基板１２ａ〜１２ｆの製造において、作業者は、まず、図５Ａに示すように、複数の製品に共通する材料を、例えばレーザ等により切断して、所定の形状及び大きさのリジッド基材１１２を用意する。
【００２５】
続けて、例えば所定の前処理の後、例えばＣＯ２レーザ加工装置からＣＯ２レーザを照射することにより、図５Ｂに示すように、スルーホール１３２を形成する。
【００２６】
続けて、デスミア（スミア除去）、ソフトエッチをした後、ＰＮめっき（例えば化学銅めっき及び電気銅めっき）する。これにより、スルーホール１３２内も含め、リジッド基材１１２全体の表面に導体膜が形成される。続けて、例えばハーフエッチにより、所定の厚さまでその導体膜を薄くした後、例えば所定のリソグラフィ工程（前処理、ラミネート、露光、現像、エッチング、剥膜、内層検査等）を経ることにより、その導体膜を、図５Ｃに示すようにパターニングする。これにより、配線層１２２ａ及び１２２ｂ、並びに導体１４２が形成される。
【００２７】
続けて、例えば図６Ａに示すように、配線板の表裏に、それぞれ第２、第１の絶縁層１１３、１１１を配置する。そして、それらを加圧プレス（例えばホットプレス）する。その後、例えば加熱処理等により樹脂を硬化して、第１及び第２の絶縁層１１１及び１１３を固化する。続けて、所定の前処理の後、図６Ｂに示すように、例えばレーザにより、第１の絶縁層１１１にバイアホール１３１を、また第２の絶縁層１１３にバイアホール１３３を、それぞれ形成する。そして、デスミア（スミア除去）、ソフトエッチをした後、ＰＮめっき（例えば化学銅めっき及び電気銅めっき）する。これにより、バイアホール１３１及び１３３を含めた配線板の全面に導体膜が形成される。続けて、例えばハーフエッチにより、所定の厚さまで配線板表面の導体膜を薄くした後、例えば所定のリソグラフィ工程（前処理、ラミネート、露光、現像、エッチング、剥膜、内層検査等）を経ることにより、その導体膜を、例えば図６Ｃに示すようにパターニングする。これにより、導体１４１及び１４３、並びに配線層１２１及び１２３が形成される。その後、配線層１２１及び１２３の表面を処理して粗化面を形成する。なお、配線層１２１及び１２３は、導電ペースト（例えば導電粒子入り熱硬化樹脂）を、例えばスクリーン印刷法で印刷することによっても形成することができる。
【００２８】
続けて、例えば図７Ａに示すように、配線板の表裏に、それぞれ第４、第３の絶縁層１１５、１１４を配置する。そして、それらを加圧プレス（例えばホットプレス）する。その後、例えば加熱処理等により樹脂を硬化して、第３及び第４の絶縁層１１４及び１１５を固化する。続けて、所定の前処理の後、図７Ｂに示すように、例えばレーザにより、第３の絶縁層１１４にバイアホール１３４を、また第４の絶縁層１１５にバイアホール１３５を、それぞれ形成する。さらに、図６Ｃの工程と同様の工程を経て、先の図２に示したような導体１４４及び１４５、並びに配線層１２４及び１２５を形成する。こうして、先の図４に示したように、製造パネル１００に、配線基板１２ａ〜１２ｆが製造される。
【００２９】
また、こうした配線基板１２ａ〜１２ｆを製造する前又は後に、作業者は、絶縁基板１１を製造する。具体的には、図８に示すように、複数の製品に共通する材料（製造パネル２００）を、例えばレーザ等により切断して、所定の形状及び大きさの絶縁基板１１を製造する。これにより、絶縁基板１１として、図９に示すような方形状の枠が得られる。このように、配線基板１２ａ〜１２ｆとは別に、絶縁基板１１を製造することで、絶縁基板１１に不要な積層体が形成されない。したがって、導体材料や絶縁材料等の消費を軽減することができる。さらにその結果、製造コストを削減することができる。
【００３０】
次に、製造パネル１００から配線基板１２ａ〜１２ｆをそれぞれ切り取って、図１０に示すように、絶縁基板１１の内側に配置する。なお、製造パネル１００から配線基板１２ａ〜１２ｆを切り取る前に、それら配線基板１２ａ〜１２ｆ等について通電検査等を行う。これによって、不良基板を取り除き、良基板のみを使用する。すなわち、良基板だけが、絶縁基板１１の内側に配置される。
【００３１】
本実施形態の製造方法は、最外層を形成する前に、すなわちより早期に、不良基板を発見し、不良基板を取り除くことができる。したがって、不良基板が生じた場合における材料の消費を軽減することができる。さらにその結果、製造コストを削減することができる。
【００３２】
また、最外層を形成する前に配線基板１２ａ〜１２ｆの位置決めをすることで、容易に高い精度のアライメントをすることができる。
【００３３】
続けて、例えば図１１Ａに示すように、配線基板１２ａ〜１２ｆ（図１１Ａ〜図１１Ｄには１２ａ、１２ｂのみ図示）及び絶縁基板１１の表裏に、それぞれ第６、第５の絶縁層３１３、３１１を配置する。そして、図１１Ｂに示すように、それらを加圧プレス（例えばホットプレス）する。これにより、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３から、それぞれ樹脂２１ａ〜２１ｃを押し出す。すなわち、このプレスにより、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３を構成する各プリプレグから、樹脂２１ａ〜２１ｃ（絶縁材料）がしみ出して（流出して）、絶縁基板１１と配線基板１２ａ〜１２ｆとの境界部Ｒ１、及び配線基板１２ａ〜１２ｆ同士の境界部Ｒ２に、それぞれその樹脂２１ａ〜２１ｃが充填される。このとき、絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆの表裏両面に、第６、第５の絶縁層３１３、３１１が形成されていることで、両面から樹脂２１ａ〜２１ｃが充填される。その後、例えば加熱処理等により樹脂を硬化して、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３を固化する。
【００３４】
続けて、所定の前処理の後、図１１Ｃに示すように、例えばレーザにより、第５の絶縁層３１１にバイアホール３３１を、また第６の絶縁層３１３にバイアホール３３３を、それぞれ形成する。そして、デスミア（スミア除去）、ソフトエッチをした後、ＰＮめっき（例えば化学銅めっき及び電気銅めっき）する。これにより、バイアホール３３１及び３３３を含めた配線板の全面に導体膜が形成される。続けて、例えばハーフエッチにより、所定の厚さまで配線板表面の導体膜を薄くした後、例えば所定のリソグラフィ工程（前処理、ラミネート、露光、現像、エッチング、剥膜、内層検査等）を経ることにより、その導体膜を、例えば図１１Ｄに示すようにパターニングする。これにより、導体３４１及び３４３、並びに配線層３２１及び３２３が形成される。
【００３５】
その後、例えば図１２に示すように、例えばルーターにより、配線板の外形加工をする。この外形加工は、例えば図中の切取線Ｌ１のように、絶縁基板１１の枠の幅の範囲で、配線板を所定の形状（例えば方形状）に加工する。
【００３６】
こうして、先の図３に示したような配線板１０が製造される。すなわち、配線板１０では、第５及び第６の絶縁層３１１及び３１３、並びに配線層３２１及び３２３が最外層となる。
【００３７】
以上、本発明の実施形態に係る配線板及びその製造方法について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
【００３８】
上記実施形態では、配線基板１２ａ〜１２ｆ同士を電気的に接続しなかったが、これに限定されない。例えば用途等に応じて、配線基板１２ａ〜１２ｆ同士を電気的に接続してもよい。
【００３９】
配線基板１２ａ〜１２ｆは、図２に示したものに限定されない。例えばフレキシブル配線板であってもよい。また、例えば図１３Ａに示すような、フレキシブル部１０１ａと、リジッド部１０１ｂ及び１０１ｃと、を有するフレックスリジッド配線基板１０１であってもよい。また、例えば図１３Ｂに示すような、電子部品１０２ａを内蔵する配線基板１０２であってもよい。また、例えば図１３Ｃに示すような、表面にキャビティ１０３ａが形成された配線基板１０３であってもよい。また、図１４（図３に対応した断面図）に示すように、コアの片面のみに配線層や絶縁層を積層した片面配線基板１０４ａ、１０４ｂであってもよい。
【００４０】
上記実施形態において、各層の材質、サイズ、層数等も、任意に変更可能である。
【００４１】
例えば上記実施形態では、絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆの表裏に、それぞれ単層の絶縁層、すなわち第６、第５の絶縁層３１３、３１１を形成したが、これに限定されない。例えば図１５に示すように、絶縁基板１１及び配線基板１２ａ〜１２ｆの表裏に、それぞれ異なる材料からなる複数層の絶縁層、すなわち第６及び第８の絶縁層３１３及び３１５、第５及び第７の絶縁層３１１及び３１４を形成してもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、６つの配線基板１２ａ〜１２ｆを備える配線板１０を例示したが、配線基板の数は、任意である。すなわち、例えば１つでも、２〜５つでも、７つ以上でもよい。
【００４３】
上記実施形態の工程は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において任意に順序を変更することができる。また、用途等に応じて、必要ない工程を割愛してもよい。
【００４４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、設計上の都合やその他の要因によって必要となる様々な修正や組み合わせは、「請求項」に記載されている発明や「発明を実施するための形態」に記載されている具体例に対応する発明の範囲に含まれると理解されるべきである。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の配線板は、電気回路の形成に適している。また、本発明の配線板の製造方法は、配線板の製造に適している。
【符号の説明】
【００４６】
１０  配線板
１１  絶縁基板
１２ａ〜１２ｆ  配線基板
２１ａ〜２１ｃ  樹脂（絶縁材料）
１００、２００  製造パネル
１１１  第１の絶縁層
１１２  リジッド基材
１１３  第２の絶縁層
１１４  第３の絶縁層
１１５  第４の絶縁層
１２１、１２３、１２４、１２５  配線層（導体パターン）
１２２ａ、１２２ｂ  配線層（導体パターン）
１３１、１３３、１３４、１３５  バイアホール（層間接続部）
１３２  スルーホール
１４１〜１４５  導体
３１１  第５の絶縁層（絶縁層）
３１３  第６の絶縁層（絶縁層）
３１４  第７の絶縁層（絶縁層）
３１５  第８の絶縁層（絶縁層）
３２１、３２３  配線層（導体パターン）
３３１、３３３  バイアホール
３４１、３４３  導体
Ｒ１、Ｒ２  境界部
【図１Ａ】
2010061752.tif 000003
【図１Ｂ】
2010061752.tif 000004
【図２】
2010061752.tif 000005
【図３】
2010061752.tif 000006
【図４】
2010061752.tif 000007
【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１１Ｄ】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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