(57)【要約】  インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルのうち、配向膜材料の滴下量が適切でない不良ノズルが存在する場合でも、これが液晶表示パネルの画像表示においてムラとなって表示される原因にならないように抑制することができる配向膜材料の滴下方法および滴下装置を提供すること。  隣り合う各配向膜材料の液滴の列が繋がって基板表面に配向膜を形成するに際して、隣り合う各配向膜材料の液滴の列の形成に用いられるインクジェットヘッドのノズルが、インクジェットヘッドがＹ方向に移動する回毎に異なるように、インクジェットヘッドのＸ方向へのずらし量を設定することにより、滴下量が適切でない不良ノズルがある場合でも、この不良ノズルから滴下されて形成される配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続しないようにして、表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されずに分散されるようにした。
2010058718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドを正方形状または長方形状を有する液晶表示パネル用の基板に対して相対的にＹ方向（滴下移動方向）に移動させつつ、前記インクジェットヘッドのＸ方向（滴下移動方向と直交する方向）に沿って所定のピッチで配設された複数のノズルから液晶配向用の配向膜材料の液滴を前記基板表面に滴下する方法であって、前記インクジェットヘッドの前記基板への１回目のＹ方向への移動によって該基板表面に滴下して形成された複数の配向膜材料の液滴の列の間を埋めるように、該１回目の移動の後、所定のずらし量でＸ方向へずらされた前記インクジェットヘッドの前記基板への２回目のＹ方向への移動によって該基板表面に別の複数の配向膜材料の液滴の列を滴下して形成し、これを順に繰り返すことによって前記基板表面に配向膜を形成するに際して、隣り合う各配向膜材料の液滴の列の形成に用いられる前記ノズルが、前記インクジェットヘッドがＹ方向に移動する回毎に異なるように、前記インクジェットヘッドのＸ方向への前記ずらし量が設定されていることを特徴とする配向膜材料の滴下方法。
【請求項２】
前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされる前記ずらし量が、前記インクジェットヘッドに設けられた前記ノズル間のピッチのＮ１（自然数）倍の長さに該ピッチのＮ２（２以上の自然数）分の１の長さを加えた長さであると共に、前記インクジェットヘッドの前記基板への配向膜材料を滴下するためのＹ方向への移動回数が前記Ｎ２回であることを特徴とする請求項１に記載の配向膜材料の滴下方法。
【請求項３】
前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされる前記ずらし量が、前記インクジェットヘッドに設けられた前記ノズル間のピッチの１０倍の長さに該ピッチの４分の１の長さを加えた長さであると共に、前記インクジェットヘッドの前記基板への配向膜材料の液滴の滴下のためのＹ方向への移動回数が４回であることを特徴とする請求項１に記載の配向膜材料の滴下方法。
【請求項４】
前記インクジェットヘッドの各回のＹ方向への移動が前記基板に対しての往復動によりなされていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の配向膜材料の滴下方法。
【請求項５】
前記インクジェットヘッドの前記基板に対して相対的に移動するＹ方向が前記基板の一辺に対して所定角度傾斜されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の配向膜材料の滴下方法。
【請求項６】
インクジェットヘッドを正方形状または長方形状を有する液晶表示パネル用の基板に対して相対的にＹ方向（滴下移動方向）に移動させつつ、前記インクジェットヘッドのＸ方向（滴下移動方向と直交する方向）に沿って所定のピッチで配設された複数のノズルから液晶配向用の配向膜材料の液滴を前記基板表面に滴下する装置であって、前記基板が支持される基板ステージと、該基板ステージに支持された基板に対して相対的に前記インクジェットヘッドをＹ方向およびＸ方向へ移動可能にする移動手段と、該移動手段の動作を制御する制御手段とを備え、前記インクジェットヘッドの前記移動手段による前記基板への１回目のＹ方向への移動によって該基板表面に滴下して形成された複数の配向膜材料の液滴の列の間を埋めるように、該１回目の移動の後、前記移動手段により所定のずらし量でＸ方向へずらされた前記インクジェットヘッドの前記移動手段による前記基板への２回目のＹ方向への移動によって該基板表面に別の複数の配向膜材料の液滴の列を滴下して形成し、これを順に繰り返すことによって前記基板表面に配向膜を形成するに際して、隣り合う各配向膜材料の液滴の列の形成に用いられる前記ノズルが、前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎に異なるように、前記インクジェットヘッドの前記移動手段によるＸ方向への前記ずらし量が前記制御手段により制御されていることを特徴とする配向膜材料の滴下装置。
【請求項７】
前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされる前記ずらし量が、前記インクジェットヘッドに設けられた前記ノズル間のピッチのＮ１（自然数）倍の長さに該ピッチのＮ２（２以上の自然数）分の１の長さを加えた長さであると共に、前記インクジェットヘッドの前記基板への配向膜材料を滴下するためのＹ方向への移動回数が前記Ｎ２回であるように前記制御手段により制御されていることを特徴とする請求項６に記載の配向膜材料の滴下装置。
【請求項８】
前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされる前記ずらし量が、前記インクジェットヘッドに設けられた前記ノズル間のピッチの１０倍の長さに該ピッチの４分の１の長さを加えた長さであると共に、前記インクジェットヘッドの前記基板への配向膜材料の液滴の滴下のためのＹ方向への移動回数が４回であるように前記制御手段により制御されていることを特徴とする請求項６に記載の配向膜材料の滴下装置。
【請求項９】
前記インクジェットヘッドの各回のＹ方向への移動が前記基板に対しての往復動によりなされるように前記制御手段により制御されていることを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の配向膜材料の滴下装置。
【請求項１０】
前記インクジェットヘッドの前記基板に対して相対的に移動するＹ方向が前記基板の一辺に対して所定角度傾斜されていることを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の配向膜材料の滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル用の基板にインクジェット方式により配向膜材料を滴下する方法およびその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータやテレビなどの家電製品の表示部として、液晶表示パネルが広く用いられている。液晶表示パネルは、一般には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ基板とカラーフィルタ（ＣＦ）基板とからなる一対の基板が所定の間隔を置いて平行に対向配置され、両基板間に液晶が充填された構成をなしている。ＴＦＴアレイ基板には複数の画素電極がマトリクス状に形成され、ＣＦ基板にはほぼ全面に共通電極が形成されており、これら電極間に印加する電圧を変化させることで、液晶を配向制御することができるようになっている。【０００３】
通常、液晶の配向を揃えるために、有機材料からなる配向膜が上述した画素電極と共通電極を覆うように形成されている。このような配向膜は、電極が形成された基板表面に配向膜材料からなる薄膜を回転ローラにより転写して形成する方法の他に、図９に示されるようなインクジェットヘッドを用いて基板表面に配向膜材料を滴下して形成する方法がある（例えば下記特許文献１）。【０００４】
図示されるように、千鳥状に配置された各インクジェットヘッド１００には、複数のノズル１００ａが所定のピッチＰでＸ方向に沿って配列されており、これらインクジェットヘッド１００を基板１３０に対してＹ方向に相対的に移動させつつ、各ノズル１００ａから配向膜材料の液滴１１０，１１０，１１０，１１０，・・・・を連続的に滴下することができるようになっている。【０００５】
ノズル１００ａから滴下された配向膜材料の各液滴１１０は、着弾の瞬間に基板１３０表面で濡れ広がり、隣接する液滴１１０同士が接触すると、その接触位置からそれらの液滴１１０同士が繋がって一体となり、配向膜材料が基板１３０表面に一様に広がった単一の薄膜として形成される。その後、乾燥などの所定の工程を経ることで液滴１１０に含まれる配向膜材料以外の溶剤等が除去されると、基板１３０表面に所定の膜厚を有する配向膜が得られる。【０００６】
この場合、隣り合うノズル１００ａ，１００ａの間隔であるノズル間ピッチＰは数百μｍという長さとなっており、隣り合うノズル１００ａ，１００ａから滴下された配向膜材料の液滴１１０は、図１０に示されるように重ならないため、ノズル間ピッチＰの半分〜１／４（半ピッチ〜１／４ピッチ）の長さ分だけ各ノズル１００ａを配列方向（Ｘ方向）にずらすことを、インクジェットヘッド１００のＹ方向への複数回の移動毎に繰り返すことにより、各液滴１１０が一体的に繋げられるようになっている。【０００７】
より具体的には、例えばノズル間ピッチＰが８００μｍで、その１／４の長さ、つまり２００μｍ分だけＸ方向にずらす場合は、図示されるように、インクジェットヘッド１００のＹ方向への滴下のための移動は４回なされることになる。この場合の滴下の手順について説明する。【０００８】
先ず、図１０に示されるように、インクジェットヘッド１００の１回目のＹ方向下側への矢印１２１の移動により、基板１３０表面にＹ方向に沿って連続した配向膜材料の液滴１１０の列１１１を形成する。次に、図１１に示されるようにインクジェットヘッド１００のノズル間ピッチＰの１／４の長さ（１／４ピッチ）だけＸ方向右側への矢印１２２の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド１００の２回目のＹ方向上側への矢印１２３の移動により、基板１３０表面に配向膜材料の液滴１１０の列１１２を形成する。【０００９】
次に、図１２に示されるようにインクジェットヘッド１００のノズル間ピッチＰの１／４の長さだけＸ方向右側への矢印１２４の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド１００の３回目のＹ方向下側への矢印１２５の移動により、基板１３０表面に配向膜材料の液滴１１０の列１１３を形成する。そして、図１３に示されるようにインクジェットヘッド１００のノズル間ピッチＰの１／４の長さだけＸ方向右側への矢印１２６の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド１００の４回目のＹ方向上側への矢印１２７の移動により、基板１３０表面に配向膜材料の液滴１１０の列１１４を形成する。【００１０】
つまり、図１０に示されるように、インクジェットヘッド１００の基板１３０への１回目のＹ方向への移動（矢印１２１）によって基板１３０表面に滴下して形成された複数の配向膜材料の液滴１１０の列１１１同士の間を埋めるように、インクジェットヘッド１００を所定のずらし量（１／４ピッチ）でＸ方向（矢印１２２，１２４，１２６）へずらしつつ、２回目、３回目、４回目とＹ方向（矢印１２３，１２５，１２７）に移動させることにより、図９に示されるように配向膜材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４を形成することで、隣り合う各配向膜材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４が繋がってこれらを一体的にすることができるようになっている。【００１１】
このようにインクジェットヘッド１００をＸ方向へずらしつつ基板１３０に対してＹ方向に２往復動させることで、隣り合う各配向膜材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４が繋がって各液滴１１０が一体となり、これを乾燥させることで基板１３０表面に単一の薄膜として配向膜が形成されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−４２３３０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、各インクジェットヘッド１００に設けられた複数のノズル１００ａのうち、いずれかのノズル１００ａが詰まる等の不具合や滴下精度のバラツキ等によって、そのノズル１００ａから滴下される液滴１１０の量が少なかったり多かったりと異なってしまう場合がある。【００１４】
このような滴下量が適切でない不良ノズルがあると、上述したインクジェットヘッド１００をＸ方向にずらしつつ、Ｙ方向への２往復の移動によって配向材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４を形成する場合、図１４に示されるように不良ノズル１００ｂ，１００ｂ（図中点線で囲んだノズル）から滴下されて形成される配向膜材料の液滴の列１１１，１１２，１１３，１１４は、隣り合うように連続して形成されてしまい、これら４つの液滴の列全てにおいて、例えば図示されるように滴下量が少なくなる結果、この部分の配向膜材料が他の部分より少なくなってしまうということが発生する。【００１５】
このような配向膜材料の滴下量が適切でない部分を有した基板が、乾燥などの所定の工程を経ると、この部分の膜厚が他の部分の膜厚より不均一な状態の配向膜が基板表面に形成されてしまい、これが図１５に示されるような液晶表示パネル１４０の画像表示においてすじ状のムラとなって表示されてしまう表示ムラ１４１の原因となっていた。【００１６】
このような基板表面に配向膜材料の滴下量が適切でない部分が存在してしまった場合は、この部分の配向膜材料の量が他の部分の配向膜材料の量と均一になるまで一定時間放置したり、または均一になるように基板を振動させたりすることが考えられるが、工程数の増加等により製造コストがアップするという問題がある。【００１７】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、インクジェットヘッドに設けられた複数のノズルのうち、配向膜材料の滴下量が適切でない不良ノズルが存在する場合でも、これが液晶表示パネルの画像表示においてムラとなって表示される原因にならないように抑制することができる配向膜材料の滴下方法および滴下装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するため本発明に係る配向膜材料の滴下方法および滴下装置は、インクジェットヘッドを正方形状または長方形状を有する液晶表示パネル用の基板に対して相対的にＹ方向（滴下移動方向）に移動させつつ、前記インクジェットヘッドのＸ方向（滴下移動方向と直交する方向）に沿って所定のピッチで配設された複数のノズルから液晶配向用の配向膜材料の液滴を前記基板表面に滴下する方法および滴下する装置であって、前記インクジェットヘッドの前記基板への１回目のＹ方向への移動によって該基板表面に滴下して形成された複数の配向膜材料の液滴の列の間を埋めるように、該１回目の移動の後、所定のずらし量でＸ方向へずらされた前記インクジェットヘッドの前記基板への２回目のＹ方向への移動によって該基板表面に別の複数の配向膜材料の液滴の列を滴下して形成し、これを順に繰り返すことによって前記基板表面に配向膜を形成するに際して、隣り合う各配向膜材料の液滴の列の形成に用いられる前記ノズルが、前記インクジェットヘッドがＹ方向に移動する回毎に異なるように、前記インクジェットヘッドのＸ方向への前記ずらし量が設定されていることを要旨とするものである。【００１９】
このような構成の配向膜材料の滴下方法および滴下装置によれば、基板表面に配向膜を形成するに際して、隣り合う各配向膜材料の液滴の列の形成に用いられるノズルが、インクジェットヘッドがＹ方向に移動する回毎に異なるように、インクジェットヘッドのＸ方向へのずらし量が設定されているので、滴下量が適切でない不良ノズルがある場合でも、この不良ノズルから滴下されて形成される配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続しない構成となる。【００２０】
これにより、不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列同士は離れた位置に形成されることになるので、従来技術で説明したように不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続して局所的に形成されてしまうことが防止される。つまり、従来技術では、不良ノズルによって滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続することによって表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されてしまう構成であるが、本発明では不良ノズルによって滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合わないようになっていることから、表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されずに分散される構成となっている。したがって、図１５に示したような液晶表示パネル１４０の画像表示におけるすじ状の表示ムラ１４１の発生を抑制することが可能である。【００２１】
この場合、前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされる前記ずらし量が、前記インクジェットヘッドに設けられた前記ノズル間のピッチのＮ１（自然数：１，２，３，・・・）倍の長さに該ピッチのＮ２（２以上の自然数：２，３，４，・・・）分の１の長さを加えた長さであると共に、前記インクジェットヘッドの前記基板への配向膜材料を滴下するためのＹ方向への移動回数が前記Ｎ２回である構成にすれば、不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列同士を離れた位置に形成しつつ、これらも含めて隣り合う各配向膜材料の液滴の列を簡便に一体的に繋げることができる。【００２２】
より具体的には、前記インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされる前記ずらし量が、前記インクジェットヘッドに設けられた前記ノズル間のピッチの１０倍の長さに該ピッチの４分の１の長さを加えた長さであると共に、前記インクジェットヘッドの前記基板への配向膜材料の液滴の滴下のためのＹ方向への移動回数が４回である構成にすれば、配向膜材料の滴下量が適切でない不良ノズルがある場合でも、不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列同士がノズル間のピッチの１０倍の距離離れた位置に形成されることになり、表示ムラを十分目立たなくすることが可能である。【００２３】
また、前記インクジェットヘッドの各回のＹ方向への移動が前記基板に対しての往復動によりなされている構成にすれば、インクジェットヘッドの無駄な移動が無く、基板表面への配向膜材料の滴下に要する時間が短縮される。【００２４】
更に、前記インクジェットヘッドの前記基板に対して相対的に移動するＹ方向が前記基板の一辺に対して所定角度傾斜されている構成にすれば、例えば、それぞれ本発明によって配向膜が形成された２枚の基板を対向して配置して液晶表示パネルを構成する際に、それぞれの基板に形成された配向膜に膜厚がすじ状に不均一な部分が存在する場合でも、それらすじ状に不均一な部分同士を交差するように両基板を対向させることができるので、それらすじ状に不均一な部分同士を同じ位置で対向させる場合と比べて表示ムラをより目立たなくさせることが可能である。
【発明の効果】
【００２５】
上記構成を有する配向膜材料の滴下方法および滴下装置によれば、不良ノズルによって滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合わないようになるので、表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されずに分散されることになり、図１５に示したような液晶表示パネル１４０の画像表示におけるすじ状の表示ムラ１４１の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態である配向膜材料の滴下装置の概略構成を示した図である。
【図２】図１の滴下装置が備えるインクジェットヘッドによって基板表面に配向膜材料の液滴を滴下した状態を示した図である。
【図３】液晶表示パネルの概略構成を示した図である。
【図４】図２のインクジェットヘッドの１回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第１列を形成した状態を示した図である。
【図５】図２のインクジェットヘッドの２回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第２列を形成した状態を示した図である。
【図６】図２のインクジェットヘッドの３回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第３列を形成した状態を示した図である。
【図７】図２のインクジェットヘッドの４回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第４列を形成した状態を示した図である。
【図８】図１の滴下装置が備えるインクジェットヘッドによって基板表面に配向膜材料の液滴を滴下した状態の変形例を示した図である。
【図９】従来用いられてきたインクジェットヘッドによって基板表面に配向膜材料の液滴を滴下した状態を示した図である。
【図１０】図９のインクジェットヘッドの１回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第１列を形成した状態を示した図である。
【図１１】図９のインクジェットヘッドの２回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第２列を形成した状態を示した図である。
【図１２】図９のインクジェットヘッドの３回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第３列を形成した状態を示した図である。
【図１３】図９のインクジェットヘッドの４回目の移動により基板表面に配向膜材料の液滴の第４列を形成した状態を示した図である。
【図１４】図９のインクジェットヘッドに滴下量が不適切な不良ノズルが存在する場合の滴下状態を示した図である。
【図１５】液晶表示パネルの画像表示においてすじ状の表示ムラがある場合を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に、本発明に係る配向材料の滴下方法および滴下装置の実施の形態ついて、図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
先ず、本発明が適用される液晶表示パネルについて説明する。図３は、液晶表示パネル４０の平面図と１画素の断面図の概略構成を示している。図示されるように液晶表示パネル４０は、画素が縦方向および横方向に複数配列された構成になっている。図中の断面図に示されるように、この液晶表示パネル４０には、一対の相互に対向するガラス基板（ＴＦＴアレイ側基板）５０とガラス基板（カラーフィルター側基板）６０の間に、液晶７０が充填されている。下側のガラス基板５０上には、１画素ごとに設けられた画素電極５１がマトリクス状に配列して形成され、上側のガラス基板６０の下には、ほぼ全面にわたって設けられた共通電極６１が形成されている。これら画素電極５１および共通電極６１にはＩＴＯ（indium-tin oxide：インジウム酸化スズ）材料が用いられている。
【００２９】
各画素電極５１の周囲には、ソース電極５２と図示しないゲート電極とが相互に直交するように形成されている。ソース電極５２とゲート電極は、その交差部において、ゲート絶縁膜５５を介してソース電極５２が上側、ゲート電極が下側になるように交差しており、交差部には図示しないＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が形成されて、画素電極５１に図示しないドレイン電極を介して接続されている。この場合、ＴＦＴは、ゲート電極より供給される走査信号電圧によってオン／オフ制御され、その際にソース電極５２より供給される画像表示信号電圧が、ドレイン電極を介して画素電極５１に印加されるようになっている。また、図示されるように画素電極５１は、ソース電極５２とゲート電極で囲まれた領域に層間絶縁膜５４を介して設けられている。
【００３０】
各画素電極５１が設けられたガラス基板５０には、これら各画素電極５１を覆うように配向膜５３が形成されている。また、共通電極６１が設けられたガラス基板６０には、この共通電極６１を覆うように配向膜６２が形成されている。これら配向膜５３，６２に、絹布等を用いて配向膜５３，６２表面を所定の方向に擦るラビング処理や、配向膜５３，６２表面に対して所定の方向から紫外線などを照射する光配向処理を施すと、配向膜５３，６２表面に所定の配向特性が与えられて、これら配向膜５３，６２に接触される液晶７０の配向を揃えることができるようになっている。これら配向膜５３，６２にはポリイミド材料が用いられる。
【００３１】
また、共通電極６１が設けられたガラス基板６０には、ブラックマトリクス６３が形成されている。このブラックマトリクス６３により、ガラス基板５０側のソース電極５２、ゲート電極およびＴＦＴが形成された領域が遮光されるようになっている。また、このガラス基板６０には、各画素に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）のうちのいずれか１色の着色層６４が形成されている。
【００３２】
図１は、上述した構成の液晶表示パネル４０が備えるガラス基板（ＴＦＴアレイ側基板）５０への配向膜５３の形成およびガラス基板（カラーフィルター側基板）６０への配向膜６２の形成に用いられる配向膜材料の滴下装置の概略構成を示した図である。尚、以下の説明では、ガラス基板（カラーフィルター側基板）６０に配向膜６２を形成する態様について説明し、ガラス基板（ＴＦＴアレイ側基板）５０に配向膜５３を形成する態様については同様であるので省略する。
【００３３】
図示されるように滴下装置１は、図２に示される複数のインクジェットヘッド２を下面に固定するヘッド固定台３と、ヘッド固定台３に固定されたインクジェットヘッド２に対してガラス基板６０を相対的にＸＹ方向に移動可能にする基板ステージ４を備えている。
【００３４】
基板ステージ４は、その上面にガラス基板６０を吸着保持可能となっており、ガラス基板６０をインクジェットヘッド２に対してＸＹ方向に移動可能となっている。具体的には、基板ステージ４は、インクジェットヘッド２のノズル２ａの配列方向に対して平行方向（Ｘ方向）に第１スライダ５によって移動が可能であると共に、直角方向（Ｙ方向）に第２スライダ６によって移動可能になっている。また、ガラス基板６０とインクジェットヘッド２との距離の調整のために昇降手段７よって垂直方向（Ｚ方向）への移動も可能になっている。制御部８は、各スライダ５，６および昇降手段７の動作を制御すると共に、インクジェットヘッド２の滴下動作を制御する。尚、これら基板ステージ４，各スライダ５，６および昇降手段７は装置台９上に設けられている。
【００３５】
ヘッド固定台３の下面に設けられたインクジェットヘッド２には、供給タンク１０から供給管１１を介して配向膜の材料を含む配向膜溶液（例えば、ポリイミド樹脂５％，溶剤９５パーセント）１２が加圧圧送によって供給されるようになっている。
【００３６】
図２に示されるように、複数のインクジェットヘッド２が、ヘッド固定台３の下面にＸ方向に沿って千鳥状になるように配置されている。また、各インクジェットヘッド２には、Ｘ方向に沿って複数のノズル２ａが所定のピッチＰで配列されており、ガラス基板６０のほぼ全面に、配向膜材料を滴下できるようになっている。この場合、図示されるようにガラス基板６０の表面のほぼ全面に滴下された配向膜材料の液滴２０は、後述する本発明に係る滴下方法によって形成されている。
【００３７】
尚、図１に示されるように、滴下装置１の装置台９の中央に固定されたインクジェットヘッド２に対して、基板ステージ４に保持されたガラス基板６０を第１スライダ５および第２スライダ６の動作によってＸ方向およびＹ方向に移動する構成であるが、図２，図４〜図７中における矢印３１〜３７は、後述する滴下方法の説明を簡略にするために、ガラス基板６０に対してインクジェットヘッド２を移動させる方向として示されている。
【００３８】
インクジェットヘッド２に設けられた各ノズル２ａには図示しない圧電素子が備えられており、制御部８からの制御信号によって、任意のノズル２ａから配向膜材料の液滴２０を吐出することが可能になっている。この場合、図示されるように、ガラス基板６０上を、インクジェットヘッド２がＹ方向（矢印３１，３３，３５，３７）に第２スライダ６によって移動しながら、各ノズル２ａから配向膜材料の液滴２０が連続的に滴下される。
【００３９】
このとき各ノズル２ａの吐出は、それぞれのノズル２ａがガラス基板６０の滴下エリア内に入った際に滴下を開始するように制御部８により制御されている。また、ガラス基板６０に対して、インクジェットヘッド２がＹ方向（矢印３１，３３，３５）に移動する後に、Ｘ方向（矢印３２，３４，３６）に第１スライダ５によって所定のずらし量でガラス基板６０に対してずらされるようになっている。したがって、図２に示されるように、不良ノズル２ｂから滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４同士を離れた位置に形成しつつ、隣り合う各配向膜材料の液滴２０の列を一体的に繋げることができるようになっている。
【００４０】
この場合、インクジェットヘッド２がＹ方向（矢印３１，３３，３５）へ移動する回毎にＸ方向（矢印３２，３４，３６）へずらされるずらし量は、図示されるようにインクジェットヘッドに設けられたノズル２ａ間のピッチＰの１倍の長さにそのピッチＰの４分の１の長さを加えた長さになるように制御部８によって設定されており、インクジェットヘッド２のガラス基板６０への配向膜材料を滴下するためのＹ方向（３１，３３，３５，３７）への移動回数が４回となっている。
【００４１】
このようにインクジェットヘッド２がＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされるずらし量を、インクジェットヘッド２に設けられたノズル２ａ間のピッチＰのＮ１（自然数：１，２，３，・・・）倍の長さにそのピッチＰのＮ２（２以上の自然数：２，３，４，・・・）分の１の長さを加えた長さになるように設定すると共に、インクジェットヘッド２のガラス基板６０への配向膜材料を滴下するためのＹ方向への移動回数（走査回数）をＮ２回に設定することで、隣り合う各配向膜材料の液滴２０の列を一体的に繋げることが可能である。
【００４２】
尚、本実施形態では、滴下方法の説明に用いられる図の簡略化のために、インクジェットヘッド２のＸ方向へのずらし量の長さを決定するＮ１が１、インクジェットヘッド２のＹ方向への移動回数を決定するＮ２が４である構成について説明するが、この場合、Ｎ１は１〜２０、Ｎ２は２〜４が好ましく、特にＮ１が１０、Ｎ２が４である構成が好ましい。つまり、インクジェットヘッド２がＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされるずらし量を、インクジェットヘッド２に設けられたノズル２ａ間のピッチＰの１０倍の長さにそのピッチＰの４分の１の長さを加えた長さになるように設定すると共に、インクジェットヘッド２のガラス基板６０への配向膜材料を滴下するためのＹ方向への移動回数（走査回数）を４回とした構成が好ましい。
【００４３】
次に、このような配向膜材料の滴下装置１を用いて配向材料の液滴２０をガラス基板６０上に滴下して配向膜を形成する手順について図４〜図７を用いて説明する。
【００４４】
先ず、図４に示されるように、インクジェットヘッド２の１回目のＹ方向下側への矢印３１の移動により、ガラス基板６０表面にＹ方向に沿って連続した配向膜材料の液滴２０の第１列２１を形成する。
【００４５】
このとき、図示されるように、左から２番目のインクジェットヘッド２の中央のノズル（図中点線で囲まれたノズル）がノズル詰まり等によって滴下量が少ない不良ノズル２ｂとなっている。
【００４６】
また、左から４番目のインクジェットヘッド２の右側のノズル（図中点線で囲まれたノズル）も滴下量が少ない不良ノズル２ｂとなっている。したがって、これら不良ノズル２ｂ，２ｂから滴下して形成された第１列２１の液滴２０は他のものよりも小さくなっている。
【００４７】
次に、図５に示されるようにインクジェットヘッド２のノズル間ピッチＰの長さに更にその１／４の長さ（１／４ピッチ）加えた長さ分だけＸ方向右側への矢印３２の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド３の２回目のＹ方向上側への矢印３３の移動により、ガラス基板６０表面に配向膜材料の液滴２０の第２列２２を形成する。
【００４８】
このとき、図示されるように、左から２番目のインクジェットヘッド２の中央の不良ノズル２ｂによって滴下して形成された液滴２０の第２列２２は、同じく左から２番目のインクジェットヘッド２の右側のノズル２ａによって１回目のＹ方向下側への矢印３１の移動の際に滴下して形成された滴下量が適切である液滴２０の第１列２１と隣り合うようになっている。
【００４９】
また、左から４番目のインクジェットヘッド２の右側の不良ノズル２ｂによって滴下して形成された液滴２０の第２列２２は、左から５番目のインクジェットヘッド２の左側のノズル２ａによって１回目のＹ方向下側への矢印２１の移動の際に滴下して形成された滴下量が適切である液滴２０の第１列２１と隣り合うようになっている。
【００５０】
次に、図６に示されるようにインクジェットヘッド２のノズル間ピッチＰの長さに更にその１／４の長さ（１／４ピッチ）加えた長さ分だけＸ方向右側への矢印３４の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド２の３回目のＹ方向下側への矢印３５の移動により、ガラス基板６０表面に配向膜材料の液滴２０の第３列２３を形成する。
【００５１】
このとき、図示されるように、左から２番目のインクジェットヘッド２の中央の不良ノズル２ｂによって滴下して形成された液滴２０の第３列２３は、同じく左から２番目のインクジェットヘッド２の右側のノズル２ａによって２回目のＹ方向下側への矢印３３の移動の際に滴下して形成された滴下量が適切である液滴２０の第２列２２と隣り合うようになっている。
【００５２】
また、左から４番目のインクジェットヘッド２の右側の不良ノズル２ｂによって滴下して形成された液滴２０の第３列２３は、左から５番目のインクジェットヘッド２の左側のノズル２ａによって２回目のＹ方向下側への矢印３３の移動の際に滴下して形成された滴下量が適切である液滴２０の第２列２２と隣り合うようになっている。
【００５３】
そして、図７に示されるようにインクジェットヘッド２のノズル間ピッチＰの長さに更にその１／４の長さ（１／４ピッチ）加えた長さ分だけＸ方向右側への矢印３６の移動によりずらした後に、インクジェットヘッド２の４回目のＹ方向上側への矢印３７の移動により、ガラス基板６０表面に配向膜材料の液滴２０の第４列２４を形成する。
【００５４】
このとき、図示されるように、左から２番目のインクジェットヘッド２の中央の不良ノズル２ｂによって滴下して形成された液滴２０の第４列２４は、同じく左から２番目のインクジェットヘッド２の右側のノズル２ａによって３回目のＹ方向下側への矢印３５の移動の際に滴下して形成された滴下量が適切である液滴２０の第３列２３と隣り合うようになっている。
【００５５】
また、左から４番目のインクジェットヘッド２の右側の不良ノズル２ｂによって滴下して形成された液滴２０の第４列２４は、左から５番目のインクジェットヘッド２の左側のノズル２ａによって３回目のＹ方向下側への矢印３５の移動の際に滴下して形成された滴下量が適切である液滴２０の第３列２３と隣り合うようになっている。
【００５６】
そして、滴下された各配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４は、隣り合うもの同士が濡れ広がって繋がり、ガラス基板６０の表面で各液滴２０が一体的となり、配向膜材料がガラス基板６０表面に一様に広がった単一の薄膜として形成される。その後、乾燥などの所定の工程を経ることで各液滴２０に含まれる配向膜材料以外の溶剤等が除去されると、ガラス基板６０表面に所定の膜厚を有する配向膜６２が得られる。
【００５７】
このように不良ノズル２ｂ，２ｂによって滴下されて形成された液滴２０の第１列２１，第２列２２，第３列２３，第４列２４に含まれる配向膜材料は、それらと隣り合う滴下量が正常なノズル２ａによって滴下されて形成された液滴の列に含まれる配向膜材料によって、各液滴の列が濡れ広がって繋がる際に補完されることになり、この部分の配向膜材料の量を周りとほぼ均一な状態にすることができる。
【００５８】
従来の滴下方法では、不良ノズルから滴下された配向膜材料の液滴の列が隣り合うように連続して局所的に形成されてしまう上に、それら液滴の列に含まれる配向膜材料が、それらと隣り合う滴下量が正常なノズルによって滴下されて形成された液滴の列に含まれる配向膜材料によっても、各列が濡れ広がって繋がる際に十分に補完されず、この部分の配向膜材料の量が周りとは不均一な状態なってしまう。
【００５９】
つまり、従来の滴下方法では、図１４に示されるように、不良ノズル１００ｂによって滴下された配向膜材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４が隣り合うように連続することによって表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されてしまう構成であるが、本発明に係る滴下方法では、図２に示されるように、不良ノズル２ｂによって滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が隣り合わないようになっていることから、表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されずに分散される構成となっている。
【００６０】
したがって、図１５に示したような液晶表示パネル１４０の画像表示におけるすじ状の表示ムラ１４１の発生を抑制することが可能である。
【００６１】
尚、図８は上述した滴下方法の変形例を示しており、インクジェットヘッド２がガラス基板６０に対して相対的に移動するＹ方向が、ガラス基板６０の一辺に対して所定角度傾斜した構成、つまり、インクジェットヘッド６０の滴下のために相対的に移動されるＹ方向（走査方向）がガラス基板６０における画素の配列方向に対して所定角度傾斜した構成となっている。このような構成にすることで、配向膜に膜厚がすじ状に不均一な部分が形成される方向と、ガラス基板６０における画素の配列方向とが一致しないことによって、表示ムラの発生を抑制することができるようになっている。
【００６２】
更に、例えば、それぞれ本発明によって配向膜５３，６２が形成された２枚のガラス基板５０，６０を対向配置して液晶表示パネルを構成する際に、それぞれのガラス基板５０，６０に形成された配向膜５３，６２に膜厚がすじ状に不均一な部分が存在する場合でも、それらすじ状に不均一な部分同士が交差するように両ガラス基板５０，６０を対向配置させることができるので、それらすじ状に不均一な部分同士が同じ位置になるように両ガラス基板５０，６０を対向配置させる場合と比べて表示ムラをより目立たなくさせることが可能である。
【００６３】
以上説明した本発明に係る配向膜材料の滴下方法および滴下装置によれば、隣り合う各配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が繋がってガラス基板６０表面に配向膜を形成するに際して、隣り合う各配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４の形成に用いられるノズル２ａが、インクジェットヘッド２がＹ方向に移動する回毎に異なるように、インクジェットヘッド２のＸ方向へのずらし量が設定されているので、滴下量が適切でない不良ノズル２ｂがある場合でも、この不良ノズル２ｂから滴下されて形成される配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が隣り合うように連続しない構成とすることが可能である。
【００６４】
これにより、不良ノズル２ｂから滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４同士は離れた位置に形成されることになるので、従来技術で説明したように不良ノズル１００ｂから滴下された配向膜材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４が隣り合うように連続して局所的に形成されてしまうことが防止される。従来技術では、不良ノズル１００ｂによって滴下された配向膜材料の液滴１１０の列１１１，１１２，１１３，１１４が隣り合うように連続することによって表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されてしまう構成であるが、本発明では不良ノズル２ｂによって滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４が隣り合わないようになっていることから、表示ムラの原因となる配向膜の膜厚の不均一さが強調されずに分散される構成となっている。したがって、図１５に示したような液晶表示パネル１４０の画像表示におけるすじ状の表示ムラ１４１の発生を抑制することが可能である。
【００６５】
この場合、インクジェットヘッド２がＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされるずらし量が、インクジェットヘッド２に設けられたノズル２ａ，２ａ間のピッチＰのＮ１（自然数）倍の長さに該ピッチＰのＮ２（２以上の自然数）分の１の長さを加えた長さであると共に、インクジェットヘッド２の基板への配向膜材料を滴下するためのＹ方向への移動回数がＮ２回である構成にすれば、不良ノズル２ｂから滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４同士を離れた位置に形成しつつ、これらも含めて隣り合う各配向膜材料２０の液滴２０の列２１，２２，２３，２４を基板表面において一体的に繋げることができる。
【００６６】
より具体的には、インクジェットヘッドがＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされるずらし量が、インクジェットヘッド２に設けられたノズル２ａ，２ａ間のピッチＰの１０倍の長さに該ピッチＰの４分の１の長さを加えた長さであると共に、インクジェットヘッド２の基板への配向膜材料の液滴の滴下のためのＹ方向への移動回数が４回である構成にすれば、配向膜材料の滴下量が適切でない不良ノズル２ｂがある場合でも、その不良ノズル２ｂから滴下された配向膜材料の液滴２０の列２１，２２，２３，２４同士がノズル２ａ，２ａ間のピッチＰの１０倍の距離離れた位置に形成されることになり、表示ムラを十分目立たなくすることが可能である。
【００６７】
また、インクジェットヘッド２の各回のＹ方向への移動が基板に対しての往復動によりなされている構成にすれば、インクジェットヘッド２の滴下のための無駄な移動が無く、基板表面への配向膜材料の滴下に要する時間が短縮される。
【００６８】
更に、インクジェットヘッド２の基板に対して相対的に移動するＹ方向が基板の一辺に対して所定角度傾斜されている構成にすれば、例えば、それぞれ本発明によって配向膜が形成された２枚の基板を対向して配置して液晶表示パネルを構成する際に、それぞれの基板に形成された配向膜に膜厚がすじ状に不均一な部分が存在する場合でも、それらすじ状に不均一な部分同士を交差するように両基板を対向させることができるので、それらすじ状に不均一な部分同士を同じ位置で対向させる場合と比べて表示ムラをより目立たなくさせることが可能である。
【００６９】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。
【００７０】
例えば、インクジェットヘッド２がＹ方向へ移動する回毎にＸ方向へずらされるずらし量を、その移動回毎に異ならせる構成でも良い。具体的には、例えば、インクジェットヘッド２の１回目のＹ方向下側への移動の後、ピッチＰの１倍の長さにピッチＰの４分の１の長さを加えた長さ分だけＸ方向右側に移動させ、次にインクジェットヘッド２の２回目のＹ方向上側への移動の後、ピッチＰの２倍の長さにピッチＰの４分の１の長さを加えた長さ分だけＸ方向右側に移動させ、次にインクジェットヘッド２の３回目のＹ方向下側への移動の後、ピッチＰの３倍の長さにピッチＰの４分の１の長さを加えた長さ分だけＸ方向右側に移動させ、最後にインクジェットヘッド２の４回目のＹ方向上側へ移動させるような構成でも良い。
【００７１】
また、インクジェットヘッド２のＸ方向への移動も、上述したようにＸ方向右側へだけという構成の他に、このＸ方向右側への移動に更にＸ方向左側への移動も含めても良く、上述した実施の形態には限定されない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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