(57)【要約】  半導体ウェーハの製造方法であって、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程を含み、上記多段研磨工程において、この多段研磨工程の最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の１段階前に行われる１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の２段階前に行われる２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度とが下記関係式１を満たし、且つ１段階前研磨工程において使用される研磨剤に含まれる砥粒の動的光散乱法により求められる平均粒径は６５ｎｍ以上であり且つ会合度は１．５０超である半導体ウェーハの製造方法が提供される。（関係式１）２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度
2019043890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハの製造方法であって、
砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程を含み、
前記多段研磨工程において、該多段研磨工程の最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の１段階前に行われる１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の２段階前に行われる２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度とが、下記関係式１：
（関係式１）
２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度
を満たし、且つ
１段階前研磨工程において使用される研磨剤に含まれる砥粒の動的光散乱法により求められる平均粒径は６５ｎｍ以上であり且つ会合度は１．５０超である、半導体ウェーハの製造方法。
【請求項２】
最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、前記関係式１を満たし、且つ０．０６〜０．４０質量％の範囲である、請求項１に記載の半導体ウェーハの製造方法。
【請求項３】
１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、前記関係式１を満たし、且つ０．３０〜０．７０質量％の範囲である、請求項１または２に記載の半導体ウェーハの製造方法。
【請求項４】
２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、前記関係式１を満たし、且つ１．００〜５．００質量％の範囲である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体ウェーハの製造方法。
【請求項５】
前記半導体ウェーハはシリコンウェーハである、請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体ウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」とも記載する。）の製造工程には、通常、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる多段研磨工程が含まれる（例えば日本特許第３６３７５９４号の段落０００８および実施例参照）。
【発明の概要】
【０００３】
砥粒を含む研磨剤を用いて行われる多段研磨工程は、通常、ウェーハ表面の平坦度の向上や加工歪層を除去するために行われる粗研磨工程と、粗研磨工程によりウェーハ表面に導入された表面欠陥（研磨起因欠陥）を除去するために行われる１段階または２段階以上の仕上げ研磨工程を含む。しかし、仕上げ研磨工程において研磨起因欠陥を十分に除去することができないと、または仕上げ研磨工程において新たに研磨起因欠陥が導入されてしまうと、製品として出荷された半導体ウェーハから製造されるデバイスの高集積化の妨げとなってしまう。特に近年、デバイスの更なる高集積化の進行に伴い半導体ウェーハの表面品質向上に対する要求は高まっているため、半導体ウェーハの研磨起因欠陥を低減することが、従来よりも一層強く望まれている。
【０００４】
本発明の一態様は、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる多段研磨工程を含む半導体ウェーハの製造方法であって、研磨起因欠陥が低減された半導体ウェーハを製造することが可能な半導体ウェーハの製造方法を提供する。
【０００５】
本発明の一態様は、
半導体ウェーハの製造方法であって、
砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程を含み、
上記多段研磨工程において、この多段研磨工程の最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の１段階前に行われる１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の２段階前に行われる２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度とが、下記関係式１：
（関係式１）
２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度
を満たし、且つ
１段階前研磨工程において使用される研磨剤に含まれる砥粒の動的光散乱法により求められる平均粒径は６５ｎｍ以上であり且つ会合度は１．５０超である、半導体ウェーハの製造方法、
に関する。
【０００６】
本発明および本明細書において、研磨剤の砥粒濃度は、質量基準の濃度である。
【０００７】
本発明および本明細書において、研磨剤に含まれる砥粒の「会合度」とは、研磨剤に含まれる砥粒のＢＥＴ（Ｂｒｕｎａｕｅｒ−Ｅｍｍｅｔｔ−Ｔｅｌｌｅｒ）法により求められる平均粒径（以下、「ＢＥＴ粒径」と記載する。）と、動的光散乱（ＤＬＳ；Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ）法により求められる砥粒の平均粒径（以下、「ＤＬＳ粒径」と記載する）から、下記式により算出される値である。  
会合度＝ＤＬＳ粒径／ＢＥＴ粒径
【０００８】
ＢＥＴ法による平均粒径の測定方法および動的光散乱法による平均粒径の測定方法については、公知技術を適用できる。例えば、ＤＬＳ粒径の測定は、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｐｈｙｓｉｃｓ 第５７巻１１号（１９７２年１２月）第４８１４頁に説明された方法等の公知の方法により行うことができ、例えば砥粒濃度０．３質量％の塩基を含む水性スラリーを用いて行うことができる。この水性スラリーは、例えばアンモニア濃度０．１質量％の水性スラリーであることができ、溶媒は水であることが好ましい。
【０００９】
一態様では、最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、０．０６〜０．４０質量％の範囲である（但し関係式１を満たす）ことができる。
【００１０】
一態様では、１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、０．３０〜０．７０質量％の範囲である（但し関係式１を満たす）ことができる。
【００１１】
一態様では、２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、１．００〜５．００質量％の範囲である（但し関係式１を満たす）ことができる。
【００１２】
一態様では、上記半導体ウェーハは、シリコンウェーハであることができる。
【００１３】
本発明の一態様によれば、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる多段研磨工程を含む半導体ウェーハの製造方法により、研磨起因欠陥が低減された半導体ウェーハを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、半導体ウェーハの一般的な製造工程を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の一態様は、半導体ウェーハの製造方法であって、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程（以下、単に「多段研磨工程」とも記載する。）を含み、上記多段研磨工程において、この多段研磨工程の最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の１段階前に行われる１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と、最終研磨工程の２段階前に行われる２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度とが、下記関係式１を満たし、且つ１段階前研磨工程において使用される研磨剤に含まれる砥粒の動的光散乱法により求められる平均粒径は６５ｎｍ以上であり且つ会合度は１．５０超である、半導体ウェーハの製造方法に関する。関係式１中の符号「＞」は、符号の左側に記載されている砥粒濃度が、同符号の右側に記載されている砥粒濃度より高濃度であることを意味する。
（関係式１）
２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度＞最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度  
【００１６】
砥粒を含む研磨剤を用いる多段研磨工程が行われた半導体ウェーハの表面に研磨起因欠陥が存在してしまう理由の１つとしては、ある段階の研磨工程で導入された研磨加工欠陥を、次工程以降の研磨工程で十分に除去できなかったことが挙げられる。また、上記理由の１つとしては、ある段階の研磨工程で研磨剤中の砥粒が凝集して半導体ウェーハ表面に付着し、付着した状態で当該段階または次工程以降の研磨が行われることでスクラッチ等の表面欠陥が発生することが挙げられる。この点に関し、研磨剤中の砥粒濃度が高いほど研磨能は高まる傾向があり、他方で、砥粒濃度が低いほど研磨剤中の砥粒の凝集は起こり難くなる傾向がある。また、砥粒のＤＬＳ粒径および会合度に関しては、ＤＬＳ粒径が大きいほど、また会合度の値が大きいほど、研磨能は高まる傾向がある。
上記半導体ウェーハの製造方法においては、多段研磨工程において使用される各種研磨剤の濃度が上記関係式１を満たし、且つ１段階前研磨工程において使用される研磨剤に含まれる砥粒の動的光散乱法により求められる平均粒径（ＤＬＳ粒径）が６５ｎｍ以上であり且つ会合度が１．５０超であることにより、前工程までで導入された研磨起因欠陥を十分に除去することができ、且つ研磨剤中の砥粒の凝集に起因する表面欠陥の発生を抑制できると考えられ、これらのことが多段研磨工程後の半導体ウェーハの研磨起因欠陥を低減することに寄与すると、本発明者は推察している。
ただし以上は推察に過ぎず、本発明を何ら限定するものではない。
【００１７】
以下、上記半導体ウェーハの製造方法について、更に詳細に説明する。
【００１８】
［多段研磨工程に付される半導体ウェーハ］
上記半導体ウェーハの製造方法は、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程を含む。多段研磨工程に付される半導体ウェーハは、シリコンウェーハ（単結晶シリコンウェーハ）等の各種半導体ウェーハであることができる。半導体ウェーハの導電型はｐ型であってもｎ型であってもよい。また、半導体ウェーハは、２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍ等の各種口径のウェーハであることができる。その厚さは、例えば６００〜１０００μｍであるが、特に限定されるものではない。
【００１９】
図１は、半導体ウェーハの一般的な製造工程を示すフロー図である。ただし図１に示すフロー図は一例であって、本発明を何ら限定するものではない。図１に示す態様の製造工程は、スライス工程（例えば単結晶シリコンインゴットからのウェーハの切り出し工程）１１、面取り工程１２、ラッピング工程１３、エッチング工程１４、多段研磨工程１５および最終洗浄工程１６を含んでいる。多段研磨工程について、詳細は後述する。多段研磨工程に付される半導体ウェーハは、一態様では、図１に示す製造工程のように、スライス工程、面取り工程、ラッピング工程およびエッチング工程を経た半導体ウェーハであることができる。なおスライス工程、面取り工程、ラッピング工程およびエッチング工程等の半導体ウェーハの製造のために行われる各種工程については、いずれも公知技術を適用することができる。
【００２０】
［多段研磨工程］
上記半導体ウェーハの製造方法に含まれる多段研磨工程は、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む。多段研磨工程において行われる研磨工程は、例えば３段階であることができ、４段階以上であることもできる。好ましくは、多段研磨工程において行われる研磨工程は３段階である。３段階以上の研磨工程の中で、最終研磨工程と、最終研磨工程の１段階前に行われる１段階前研磨工程と、最終研磨工程の２段階前に行われる２段階前研磨工程の詳細は後述する。多段研磨工程が４段階以上の研磨工程を含む場合、最終研磨工程の２段階前に行われる２段階前研磨工程より前に行われる研磨工程については、特に限定されず、公知技術を適用することができる。また、一態様では、多段研磨工程の最終研磨工程の後に、砥粒を含まない研磨剤（砥粒レス研磨剤）を用いる研磨工程を行うこともできるし、行わなくてもよい。
【００２１】
最終研磨工程、１段階前研磨工程、２段階前研磨工程等の各種研磨工程において行われる研磨の一態様は、半導体ウェーハの一方の表面のみを研磨する片面研磨であり、他の一態様は半導体ウェーハの表面と裏面を同時に研磨する両面研磨である。以下では、両面研磨により研磨される半導体ウェーハの表面と裏面も総称して「表面」という。研磨処理は、例えば、研磨装置の定盤に貼り付けられた研磨パッド（例えばウレタン系のポリッシングパッド等）と半導体ウェーハ表面との間に研磨剤を所定量供給し、半導体ウェーハを研磨パッドに対して相対的に移動（例えば回転）させることによって行うことができる。
【００２２】
研磨装置としては、市販の研磨装置等の公知の構成の研磨装置を何ら制限なく用いることができる。例えば、研磨装置は、その表面に研磨パッドを貼り付けた定盤、研磨剤の供給手段および半導体ウェーハの移動手段（例えば回転手段）を有する装置であることができる。また、研磨装置としては、キャリアプレートにワックス等で貼り付けたウェーハの表面のみを研磨する片面研磨装置、または、ウェーハ保持用丸穴を有するキャリアに保持したウェーハの表面と裏面を同時に研磨する両面研磨装置等の各種研磨装置を用いることができる。定盤としては、鉄、ステンレス等の金属またはセラミックスから製造された平坦性が良好なものが好適である。定盤のサイズは半導体ウェーハのサイズに応じて適宜選択することができる。  
【００２３】
砥粒を含む研磨剤を用いて行われる研磨工程では、半導体ウェーハは、通常、研磨装置において研磨剤が供給された研磨パッド上で研磨パッドに対して相対的に移動しながら砥粒と接触する。ここでのウェーハ移動速度（例えばウェーハおよび／または定盤の回転数）は、装置機構、砥粒の材質、半導体ウェーハの口径や材質等に応じて適宜選択することができる。また、半導体ウェーハは、通常、定盤に向かって加圧される。加圧時の圧力は、研磨砥粒の種類およびサイズに応じて適宜選択することができる。研磨剤の供給量も、定盤のサイズに応じて適宜選択することができる。
【００２４】
多段研磨工程に含まれる各研磨工程において使用される研磨剤は、少なくとも砥粒を含み、溶媒を更に含むことが好ましく、砥粒を溶媒に分散させたスラリーであることがより好ましい。
【００２５】
砥粒としては、一般に半導体ウェーハの研磨に使用される各種砥粒を用いることができ、例えば、コロイダルシリカ、シリカ、アルミナ、セリア、チタニア、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素、酸化マンガンおよびダイアモンドを単独で、または２種以上を混合して用いることができる。研磨剤における砥粒の凝集を抑制する観点からは、分散性の高い砥粒を用いることが好ましく、この点からはコロイダルシリカが好ましい。
【００２６】
溶媒は、研磨対象である半導体ウェーハの材質、使用する砥粒の種類等に応じて適宜選択することができ、例えば塩基性水溶液等を用いることができる。塩基性水溶液としては、ＫＯＨ、ＮａＯＨ等のアルカリ金属水酸化物の水溶液、アルカリ土類金属水酸化物の水溶液、アンモニア水等を挙げることができる。溶媒の使用量は特に限定されるものではなく、例えば砥粒量の２〜２００質量倍であることができ、５〜５０質量倍であることが好ましい。
【００２７】
また、研磨剤は、砥粒および溶媒に加えて、必要に応じて、ｐＨ調整剤等の添加剤を１種以上、任意の量で含むこともできる。研磨剤のｐＨは、上記の塩基性水溶液の塩基濃度によって調整することができ、または、ｐＨ調整剤の添加によっても調整することができる。ｐＨ調整剤としては、例えば、炭酸水素塩、有機酸等を用いることができる。研磨剤のｐＨは、研磨対象である半導体ウェーハの材質、使用する砥粒の種類等に応じて適宜選択することができる。一例として、研磨剤のｐＨは、塩基性領域のｐＨであることができる。
【００２８】
次に、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる各種研磨工程の詳細について説明する。
【００２９】
＜２段階前研磨工程＞
２段階前研磨工程は、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程において、最終工程（最終研磨工程）の２段階前に行われる研磨工程である。この２段階前研磨工程は、好ましくは、主にウェーハの平坦度向上および加工歪層の除去を目的とする研磨工程（いわゆる粗研磨工程）として行うことができる。この２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度と比べて、次の研磨工程である１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は低い。このことが１段階前研磨工程における研磨剤中の砥粒の凝集の抑制に寄与することが、結果的に研磨起因欠陥の発生を抑制することにつながると考えられる。
【００３０】
２段階前研磨工程では、それ以前の工程で半導体ウェーハに導入された加工歪を含む層（加工歪層）を除去することが好ましい。加工歪層の除去効率を高める観点からは、２段階前研磨工程で用いられる研磨剤の砥粒濃度は、１．００質量％以上であることが好ましく、１．５０質量％以上であることがより好ましく、２．００質量％以上であることが更に好ましい。また、砥粒の凝集を抑制する観点からは、２段階前研磨工程で用いられる研磨剤の砥粒濃度は、５．００質量％以下であることが好ましく、４．００質量％以下であることがより好ましい。また、２段階前研磨工程による研磨取り代は、例えばウェーハ片面で５〜１２μｍ程度とすることができる。ただしこの範囲に限定されるものではなく、ウェーハの厚み等に応じて決定すればよい。
【００３１】
２段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の粒子サイズについては、加工歪層の除去効率を高める観点からは、ＤＬＳ粒径が５０ｎｍ以上であることが好ましく、６０ｎｍ以上であることがより好ましい。一方、２段階前研磨工程で加工歪層が形成されてしまうことを抑制する観点からは、２段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒のＤＬＳ粒径は、９０ｎｍ以下であることが好ましく、８５ｎｍ以下であることがより好ましく、８０ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、先に記載した会合度は、  
会合度＝ＤＬＳ粒径／ＢＥＴ粒径
により求められる値である。ＢＥＴ粒径は、公知の通り、ＢＥＴ法により測定される一次粒子の比表面積から、粒子の形状を球状（真球）と見なして算出される値である。これに対し、ＤＬＳ粒径は、液中粒径ということもでき、研磨剤中に実際に存在している粒子の状態（例えば二次粒子として存在するなら二次粒子の状態）と相関している。したがって、会合度の値が１に近いほど、研磨剤中に球状に近い形状の状態で存在している砥粒がより多く含まれていることを意味していると考えられる。また、会合度の値が１より大きくなるほど、研磨剤中には二次粒子以上の高次粒子として球状から外れた形状（非球状）で存在している砥粒が多く含まれていることを意味していると考えられる。２段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の会合度は、加工歪層の除去効率の観点からは、１．００以上であることが好ましく、１．００超であることがより好ましく、１．１０以上であることがより好ましい。また、２段階前研磨工程で加工歪層が形成されてしまうことを抑制する観点からは、２段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の会合度は、２．００以下であることが好ましく、１．９５以下であることがより好ましい。
【００３２】
以上説明した２段階前研磨工程と１段階前研磨工程との間に、公知の方法によって１段階以上の洗浄工程を行ってもよく、行わなくてもよい。
【００３３】
＜１段階前研磨工程＞
１段階前研磨工程は、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程において、最終工程（最終研磨工程）の１段階前に行われる研磨工程である。この１段階前研磨工程は、好ましくは、２段階前研磨工程で生じたウェーハの表面粗さ、歪み、くもり等を除去するために行うことができる。この１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、１段階前の研磨工程である２段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度より低い。このことが、１段階前研磨工程において凝集した砥粒が半導体ウェーハ表面に付着して表面欠陥が発生することを抑制することに寄与すると考えられる。また、１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、次の研磨工程である最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度より高い。このことが、２段階前研磨工程で生じたウェーハの表面粗さ、歪み、くもり等の除去効率を高めることに寄与すると考えられる。２段階前研磨工程で生じたウェーハの表面粗さ、歪み、くもり等の除去効率を高める観点からは、１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、０．３０質量％以上であることが好ましく、０．５０質量％以上であることがより好ましい。また、砥粒の粒子の凝集をより一層抑制する観点からは、１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、０．８０質量％以下であることが好ましく、０．７０質量％以下であることがより好ましい。また、１段階前研磨工程による研磨取り代は、例えばウェーハ片面で０．１〜０．７μｍ程度とすることができる。ただしこの範囲に限定されるものではなく、ウェーハの厚み等に応じて決定すればよい。
【００３４】
１段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の粒子サイズについては、動的光散乱法により求められる平均粒径（ＤＬＳ粒径）が６５ｎｍ以上であり、且つ会合度が１．５０超である。砥粒のＤＬＳ粒径および会合度がそれぞれ上記範囲である研磨剤を使用することも、２段階前研磨工程で生じたウェーハの表面粗さ、歪み、くもり等の除去効率を高めることに寄与すると考えられる。このことが、次の研磨工程である最終研磨工程において、砥粒濃度がより低い研磨剤を使用しても（即ち研磨能が低い研磨剤を使用しても）、最終的に研磨起因欠陥が低減された半導体ウェーハを提供することを可能にすることに寄与すると推察される。１段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒のＤＬＳ粒径は６５ｎｍであり、６６ｎｍ以上であることが好ましく、６７ｎｍ以上であることがより好ましい。また、砥粒は粒子サイズが大きくなるほど重くなり研磨剤中で沈降し易くなる傾向があるため、沈降による凝集を抑制する観点からは、１段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒のＤＬＳ粒径は、１００ｎｍ以下であることが好ましく、９０ｎｍ以下であることがより好ましく、８０ｎｍ以下であることが更に好ましく、７０ｎｍ以下であることが一層好ましい。一方、１段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の会合度は、１．５０超であり、１．６０以上であることが好ましく、１．７０以上であることがより好ましく、１．８０以上であることが更に好ましい。また、１段階前研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の会合度は、例えば２．１０以下であることが好ましく、２．０５以下であることがより好ましい。
【００３５】
以上説明した１段階前研磨工程と最終研磨工程との間に、公知の方法によって１段階以上の洗浄工程を行ってもよく、行わなくてもよい。
【００３６】
＜最終研磨工程＞
最終研磨工程は、砥粒を含む研磨工程を用いて行われる３段階以上の研磨工程を含む多段研磨工程において、最終の研磨工程として行われる。この最終研磨工程は、好ましくは、１段階前研磨工程までで除去できなかった表面粗さ、歪み、くもり等を除去するために行うことができる。この最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、１段階前研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度より低い。このことが、最終研磨工程で研磨起因欠陥が発生することを抑制することに寄与すると考えられる。最終研磨工程における研磨起因欠陥の発生をより一層抑制する観点からは、最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は、０．４０質量％以下であることが好ましく、０．３０質量％以下であることがより好ましい。また、最終研磨工程における表面粗さ、歪み、くもり等の除去効率を高める観点からは、最終研磨工程において使用される研磨剤の砥粒濃度は０．０６質量％以上であることが好ましく、０．０８質量％以上であることがより好ましい。また、最終研磨工程による研磨取り代は、例えばウェーハ片面で０．０１〜０．１μｍ程度とすることができる。ただしこの範囲に限定されるものではなく、最終研磨工程は、表面粗さ、歪み、くもり等を十分除去することにより製品ウェーハに求められる表面品質が得られるように行えばよい。
【００３７】
最終研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の粒子サイズについては、最終研磨工程における表面粗さ、歪み、くもり等の除去効率を高める観点からは、ＤＬＳ粒径が３０ｎｍ以上であることが好ましく、４０ｎｍ以上であることがより好ましく、５０ｎｍ以上であることがより好ましい。また、最終研磨工程で研磨起因欠陥が発生することをより一層抑制する観点からは、最終研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒のＤＬＳ粒径が１１０ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以下であることがより好ましく、９０ｎｍ以下であることが更に好ましく、８０ｎｍ以下であることが一層好ましい。一方、最終研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の会合度は、最終研磨工程における表面粗さ、歪み、くもり等の除去効率の観点からは、１．００以上であることが好ましく、１．００超であることがより好ましく、１．１０以上であることがより好ましい。また、最終研磨工程で研磨起因欠陥が発生することをより一層抑制する観点からは、最終研磨工程で用いられる研磨剤に含まれる砥粒の会合度は、２．２０以下であることが好ましく、２．１０以下であることがより好ましい。
【００３８】
以上説明した多段研磨工程の最終研磨工程後の半導体ウェーハは、次工程として、最終洗浄工程に付すことができ、または１つ以上の更なる工程に付した後に最終洗浄工程に付すこともできる。１つ以上の更なる工程の一例としては、砥粒を含まない研磨剤（砥粒レス研磨剤）を用いて行われる研磨工程を挙げることができる。かかる研磨工程については、公知技術を適用できる。なお本発明および本明細書において、「砥粒を含まない研磨剤」とは、不可避的に混入した砥粒を含む可能性はあるものの、研磨剤の調製時に研磨剤成分として砥粒が積極的に添加されていない研磨剤をいう。
【００３９】
最終洗浄工程は、半導体ウェーハの洗浄方法として公知の洗浄方法によって行うことができる。そのような洗浄方法としては、例えば、純水による洗浄、有機溶媒による洗浄、ＲＣＡ洗浄、ＳＣ−１洗浄等の公知の洗浄方法によって行うことができる。洗浄工程は１段階であってもよく、２段階以上の多段洗浄工程を行ってもよい。
【００４０】
以上説明した上記半導体ウェーハの製造方法によれば、研磨起因欠陥が低減された半導体ウェーハを提供することができる。また、上記半導体ウェーハの製造方法の一態様によれば、従来より更に微小な研磨起因欠陥の発生を抑制することも可能となる。研磨起因欠陥が低減された半導体ウェーハであることは、レーザー表面検査装置で検出される輝点（ＬＰＤ；Ｌｉｇｈｔ  Ｐｏｉｎｔ  Ｄｅｆｅｃｔ）の個数によって評価することができる。例えば、本発明の一態様にかかる半導体ウェーハの製造方法によれば、一態様では、例えば直径３００ｎｍの半導体ウェーハとして、多段研磨工程による研磨が行われた表面においてレーザー表面検査装置であるＫＬＡ  Ｔｅｎｃｏｒ社製ＳＰ５により測定される検出サイズが１９ｎｍ以上のＬＰＤの個数が３０個以下の半導体ウェーハを提供することができる。
【実施例】
【００４１】
以下、本発明を実施例により説明する。但し、本発明は実施例に示す態様に限定されるものではない。【００４２】
［実施例１〜１３、比較例１〜７］
直径３００ｍｍの単結晶シリコンインゴットをスライスし、面取り、ラッピング、およびエッチングを行い、厚さ約７８５μｍの研磨対象のシリコンウェーハを得た。
研磨対象のシリコンウェーハに対して、以下の条件で、砥粒を含む研磨剤を使用する３段階の研磨工程を含む多段研磨工程を実施した。各研磨工程は、定盤を備えた研磨装置において、定盤に取り付けられた研磨パッドとシリコンウェーハ表面との間に研磨剤を供給して、定盤またはウェーハを回転させながら、ウェーハを定盤に向かって加圧して行った。各研磨剤としては、市販のコロイダルシリカ溶液を純水で希釈したものを使用した。各研磨工程の間にはＲＣＡ洗浄を実施し、最終研磨工程後のウェーハに対して最終洗浄工程としてＲＣＡ洗浄を行った。
（１）２段階前研磨工程（両面研磨）
研磨剤種類：砥粒含有水酸化カリウム水溶液（水性スラリー）
研磨剤ｐＨ：１１．０
砥粒：コロイダルシリカ（表１参照）
研磨取り代：ウェーハ両面で１０μｍ
（２）１段階前研磨工程（片面研磨）
研磨剤種類：研磨砥粒含有水酸化カリウム水溶液（水性スラリー）
研磨剤ｐＨ：１０．５
研磨砥粒：コロイダルシリカ（表１参照）
研磨取り代：ウェーハ片面で０．５μｍ
（３）最終研磨工程（片面研磨）
研磨剤種類：研磨砥粒含有水酸化カリウム水溶液（水性スラリー）
研磨剤ｐＨ：１０．２
研磨砥粒：コロイダルシリカ（表１参照）
研磨取り代：ウェーハ片面で０．１μｍ【００４３】
［評価方法］
（１）砥粒のＤＬＳ粒径
上記の各研磨剤の調製に使用したコロイダルシリカ溶液を用いてＤＬＳ粒径測定用試料液を調製した。試料液は、コロイダルシリカ溶液を２８質量％アンモニア水溶液および純水により希釈した塩基性の水性スラリー（シリカ濃度０．３質量％、アンモニア濃度０．１質量％）として調製した。この試料液を用いて試料液中のシリカの分散性を保った状態で大塚電子社製ＥＬＳ−Ｚ２によりＤＬＳ粒径を測定した。
（２）砥粒の会合度
上記の各研磨剤の調製に使用した市販の研磨剤十分乾燥させて砥粒試料を得た。得られた砥粒試料について、比表面積測定装置（島津製作所社製マイクロメリティック）によりＢＥＴ法で求められる比表面積Ｓ（ｍ２／ｇ）を用いて下記式によってＢＥＴ粒径を算出した。
ＢＥＴ粒径（ｎｍ）＝２７２７／Ｓ
上記で求められたＢＥＴ粒径と上記ＤＬＳ粒径から会合度を算出した。
（３）ＬＰＤ個数の測定
ＫＬＡ  Ｔｅｎｃｏｒ社製のＳＰ５をＤＷＯ（Ｄａｒｋ  Ｆｉｅｌｄ  Ｗｉｄｅ  Ｏｂｌｉｑｕｅ）モードで使用して、最終洗浄工程後のウェーハ表面に存在するＬＰＤを検出し、検出サイズが１９ｎｍ以上のＬＰＤの個数を測定した。測定されたＬＰＤの個数が３０個以下であれば、研磨起因欠陥が少なく、近年望まれているデバイスの高集積化に十分対応し得る高い表面品質を有する半導体ウェーハであると判断することができる。【００４４】
【表１】
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【００４５】
比較例１〜３および比較例６では、研磨剤の砥粒濃度が、関係式１を満たさなかった。
比較例４および比較例５では、１段階前研磨工程で用いられた研磨剤の砥粒のＤＬＳ粒径が６５ｎｍを下回っていた。
比較例７では、１段階前研磨工程で用いられた研磨剤の砥粒の会合度が１．５０以下であった。
表１に示すＬＰＤ個数の対比から、これら比較例と比べて、実施例１〜１３では、砥粒を含む研磨剤を用いて行われる多段研磨工程後の半導体ウェーハに研磨起因欠陥が発生することを抑制可能であったことが確認できる。【００４６】
本発明の一態様は、各種半導体ウェーハおよびデバイスの技術分野において有用である。
【図１】
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【国際調査報告】
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