(57)【要約】  駆動源を用いて冷媒液を循環させる相変化冷却装置は、起動時直後に冷却能力が著しく低下するため、本発明の相変化冷却装置は、発熱源から受熱する冷媒液を収容する受熱手段と、冷媒液が受熱手段で気化することにより発生した冷媒蒸気の熱を放熱し冷媒液を生成する放熱手段と、冷媒液を循環させる冷媒液駆動手段と、冷媒液駆動手段から流出する冷媒液が、受熱手段と放熱手段を経由して循環する第１の冷媒流路と、冷媒液駆動手段から受熱手段に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液が、受熱手段と放熱手段を経由することなく循環するように、第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路と、受熱手段に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、分岐冷媒液の流量に基づいて制御する制御手段、とを有する。
2019017297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱源から受熱する冷媒液を収容する受熱手段と、
前記冷媒液が前記受熱手段で気化することにより発生した冷媒蒸気の熱を放熱し前記冷媒液を生成する放熱手段と、
前記冷媒液を循環させる冷媒液駆動手段と、
前記冷媒液駆動手段から流出する前記冷媒液が、前記受熱手段と前記放熱手段を経由して循環する第１の冷媒流路と、
前記冷媒液駆動手段から前記受熱手段に向かって流出する前記冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液が、前記受熱手段と前記放熱手段を経由することなく循環するように、前記第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路と、
前記受熱手段に流入する前記冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、前記分岐冷媒液の流量に基づいて制御する制御手段、とを有する
相変化冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載した相変化冷却装置において、
前記第２の冷媒流路は、前記分岐冷媒液の流量を一定に制御する定流量弁を備え、
前記冷媒液駆動手段は、流量が回転数に応じて変化するポンプであり、
前記制御手段は、前記回転数を制御することにより前記受熱側冷媒液の流量を制御する  相変化冷却装置。
【請求項３】
請求項１に記載した相変化冷却装置において、
前記第２の冷媒流路は、前記分岐冷媒液の流量を制御する分岐流量制御バルブを備え、  前記制御手段は、前記分岐流量制御バルブを制御することにより前記受熱側冷媒液の流量を制御する
相変化冷却装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載した相変化冷却装置において、
前記制御手段は、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記受熱側冷媒液の流量を制御する
相変化冷却装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載した相変化冷却装置において、
前記制御手段は、前記放熱手段の放熱性能に関する放熱側計測値に基づいて、前記受熱側冷媒液の流量を制御する
相変化冷却装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載した相変化冷却装置において、
前記第１の冷媒流路は、前記受熱側冷媒液の流量を制御する受熱流量制御バルブを備え、
前記制御手段は、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記受熱流量制御バルブを制御する
相変化冷却装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載した相変化冷却装置において、
前記第１の冷媒流路と前記第２の冷媒流路に共通の流路内に、前記冷媒液をためる冷媒貯留手段を有する
相変化冷却装置。
【請求項８】
冷媒液駆動手段から流出する冷媒液を、受熱手段と放熱手段を経由する第１の冷媒流路によって循環させ、
前記冷媒液駆動手段から前記受熱手段に向かって流出する前記冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液を、前記第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路によって、前記受熱手段と前記放熱手段を経由することなく循環させ、
前記受熱手段に流入する前記冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、前記分岐冷媒液の流量に基づいて制御する
相変化冷却方法。
【請求項９】
請求項８に記載した相変化冷却方法において、
前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記分岐冷媒液の流量を一定に保持し、前記冷媒液駆動手段から流出する前記冷媒液の流量を制御することを含む
相変化冷却方法。
【請求項１０】
請求項８に記載した相変化冷却方法において、
前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記分岐冷媒液の流量を制御することを含む
相変化冷却方法。
【請求項１１】
請求項４または６に記載した相変化冷却装置において、
前記受熱側計測値は、前記発熱源からの排気の温度を検知する温度センサの出力値である
相変化冷却装置。
【請求項１２】
請求項４または６に記載した相変化冷却装置において、
前記受熱側計測値は、前記発熱源の使用電力を検知する電力センサおよび前記受熱側冷媒液の流量を検知する流量検知センサの出力値である
相変化冷却装置。
【請求項１３】
請求項４または６に記載した相変化冷却装置において、
前記受熱側計測値は、前記冷媒蒸気の温度を検知する蒸気管温度センサおよび前記冷媒蒸気の圧力を検知する蒸気管圧力センサの出力値である
相変化冷却装置。
【請求項１４】
請求項５に記載した相変化冷却装置において、
前記放熱側計測値は、前記放熱手段の周辺温度を検知する周辺温度センサの出力値である
相変化冷却装置。
【請求項１５】
請求項９に記載した相変化冷却方法において、
前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記冷媒液の流量を制御することを含む
相変化冷却方法。
【請求項１６】
請求項１０に記載した相変化冷却方法において、
前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記分岐冷媒液の流量を制御することを含む
相変化冷却方法。
【請求項１７】
請求項８から１０、１５、および１６のいずれか一項に記載した相変化冷却方法において、
前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記放熱手段の放熱性能に関する放熱側計測値に基づいて行うことを含む
相変化冷却方法。
【請求項１８】
請求項８から１０、および１５から１７のいずれか一項に記載した相変化冷却方法において、
前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記受熱側冷媒液の流量を制御することをさらに含む
相変化冷却方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器などの冷却に用いられる相変化冷却装置および相変化冷却方法に関し、特に、駆動源を用いて冷媒液を循環させる相変化冷却装置および相変化冷却方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高性能化にともなって、その発熱量および発熱密度が増大している。このような電子機器等を効率的に冷却するため、冷却能力が高い冷却方式を採用する必要がある。冷却能力が高い冷却方式の一つとして、冷媒の相変化を用いた相変化冷却方式が注目されている。【０００３】
相変化冷却方式による冷却装置（相変化冷却装置）の一例が特許文献１に記載されている。特許文献１に記載された電子機器用冷却モジュールはポンプ循環型の相変化冷却装置であり、発熱体と熱的に接続して熱を吸収するジャケット（受熱部）、放熱器、気液分離機能を兼ねたタンク、および電動ポンプにより構成される冷却液駆動部を有する。【０００４】
このジャケットの入口には冷媒が液状で流れる管が、ジャケットの出口には気液混合液が流れる管がそれぞれ設けられている。ジャケットの入口配管の手前には冷却液駆動部が取り付けられ、ジャケットの出口近傍には気液分離機能を兼ねたタンクが接続されている。このタンクにおいて分離された冷媒蒸気は蒸気管へ流れ込み、その後、放熱器で凝縮されて配管を介して冷却液駆動部へ戻ることにより冷媒の閉ループを形成している。【０００５】
気液分離機能を兼ねたタンクは、多孔体によって、冷媒液が保持される領域とジャケットから吸入される気液混合状態の冷媒が存在する気液混合領域とに仕切られている。冷媒液が保持される領域は、バイパス管によって放熱器と冷却液駆動手段の間に接続されている。【０００６】
このような構成としたことにより、関連する冷却モジュール（相変化冷却装置）によれば、ジャケットと放熱器間の配管内に冷媒液が付着するのを抑制することができる。その結果、ジャケットと放熱器間の圧力損失を低減することができ、効率的な冷却が可能になる、としている。【０００７】
また、特許文献２には、蒸発器と凝縮器との間に冷媒の自然循環機構と強制循環機構とを切り替え可能に備えた関連する電子機器の冷却システムが開示されている。【０００８】
関連する電子機器の冷却システムは、蒸発器から凝縮器へのガス配管と、凝縮器から蒸発器への液配管と、液配管の途中に設けたバイパス配管と、バイパス配管に設けたポンプとを有する。関連する電子機器の冷却システムは、さらに、液配管のバイパス対応部分に設けた逆止弁と、液配管の上流側にこの液配管に連通して設けられたタンクと、排熱空気を蒸発器で冷却した後の排気温度を測定する温度センサと、コントローラとを備える。そして、このコントローラが、温度センサの測定温度が自然循環を停止する設定温度よりも高くなったらポンプを駆動し、低くなったらポンプを停止する構成としている。【０００９】
このような構成としたことにより、関連する電子機器の冷却システムによれば、できるだけ自然循環が停止しないようにして強制循環する時間を短くすることができ、自然循環から強制循環への切り換えをスムーズに行って安定運転を行うことができる、としている。
また、関連技術としては、特許文献３に記載された技術がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００８−１３０７４６号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９０５５３号公報
【特許文献３】特開２０１２−０５９２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述した特許文献１および２に記載された関連する冷却モジュール（システム）のように、ポンプなどの駆動源を用いて冷媒液を循環させるポンプ循環型相変化冷却装置においては、起動時直後に冷却能力が著しく低下するという問題点がある。その理由を以下に説明する。【００１２】
ポンプ循環型相変化冷却装置において、ポンプが停止すると重力の作用により冷媒液は受熱部、および蒸気管にも溜まる。その後、ポンプを再度起動させると、蒸気管に溜まった冷媒液の液柱の圧力によって受熱部における冷媒液の蒸発が抑制されるので、受熱部では冷媒液の顕熱による受熱となる。液相状態で放熱部に流入した冷媒は、放熱部で冷却されて受熱部に還流する。そのため、冷媒液の温度は沸点に至るまで上昇しないので、受熱部では蒸発による潜熱ではなく、冷媒液の顕熱による冷却が行われることになる。一般に、顕熱による受熱は潜熱による受熱に比べて効率が低いため、このような場合、ポンプ循環型相変化冷却装置の冷却能力が著しく低下する。【００１３】
このように、駆動源を用いて冷媒液を循環させる相変化冷却装置は、起動時直後に冷却能力が著しく低下する、という問題があった。【００１４】
本発明の目的は、上述した課題である、駆動源を用いて冷媒液を循環させる相変化冷却装置は、起動時直後に冷却能力が著しく低下する、という課題を解決する相変化冷却装置および相変化冷却方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の相変化冷却装置は、発熱源から受熱する冷媒液を収容する受熱手段と、冷媒液が受熱手段で気化することにより発生した冷媒蒸気の熱を放熱し冷媒液を生成する放熱手段と、冷媒液を循環させる冷媒液駆動手段と、冷媒液駆動手段から流出する冷媒液が、受熱手段と放熱手段を経由して循環する第１の冷媒流路と、冷媒液駆動手段から受熱手段に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液が、受熱手段と放熱手段を経由することなく循環するように、第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路と、受熱手段に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、分岐冷媒液の流量に基づいて制御する制御手段、とを有する。【００１６】
本発明の相変化冷却方法は、冷媒液駆動手段から流出する冷媒液を、受熱手段と放熱手段を経由する第１の冷媒流路によって循環させ、冷媒液駆動手段から受熱手段に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液を、第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路によって、受熱手段と放熱手段を経由することなく循環させ、受熱手段に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、分岐冷媒液の流量に基づいて制御する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の相変化冷却装置および相変化冷却方法によれば、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る相変化冷却装置の構成を模式的に示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る相変化冷却装置の構成を模式的に示す概略図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る相変化冷却装置が備える制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る相変化冷却装置の構成を模式的に示す概略図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る相変化冷却装置が備える制御部の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る相変化冷却装置の別の構成を模式的に示す概略図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係る相変化冷却装置のさらに別の構成を模式的に示す概略図である。
【図８】本発明の第４の実施形態に係る相変化冷却装置の構成を模式的に示す概略図である。
【図９】本発明の第４の実施形態に係る相変化冷却装置が備える制御部の構成を示すブロック図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係る相変化冷却装置の構成を模式的に示す概略図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態に係る相変化冷却装置が備える制御部の構成を示すブロック図である。
【図１２】本発明の第５の実施形態に係る相変化冷却装置の別の構成を模式的に示す概略図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態に係る相変化冷却装置が備える制御部の別の構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の第６の実施形態に係る相変化冷却装置の構成を模式的に示す概略図である。
【図１５】本発明の第６の実施形態に係る相変化冷却装置が備える制御部の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
【００２０】
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る相変化冷却装置１００の構成を模式的に示す概略図である。
【００２１】
本実施形態による相変化冷却装置１００は、受熱器（受熱手段）１１０、放熱器（放熱手段）１２０、冷媒液駆動部（冷媒液駆動手段）１３０、第１の冷媒流路１４０、第２の冷媒流路１５０、および制御部（制御手段）１６０を有する。
【００２２】
受熱器１１０は、発熱源から受熱する冷媒液を収容する。放熱器１２０は、冷媒液が受熱器１１０で気化することにより発生した冷媒蒸気の熱を放熱し冷媒液を生成する。冷媒液駆動部１３０は、冷媒液を循環させる。
【００２３】
また、第１の冷媒流路１４０には、冷媒液駆動部１３０から流出する冷媒液が、受熱器１１０と放熱器１２０を経由して循環する。第２の冷媒流路１５０は、冷媒液駆動部１３０から受熱器１１０に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液Ｆ１が、受熱器１１０と放熱器１２０を経由することなく循環するように、第１の冷媒流路１４０を短縮した流路である。そして、制御部１６０は、受熱器１１０に流入する冷媒液である受熱側冷媒液Ｆ２の流量を、分岐冷媒液Ｆ１の流量に基づいて制御する。
【００２４】
このように、本実施形態の相変化冷却装置１００は、冷媒液の少なくとも一部（分岐冷媒液Ｆ１）が受熱器１１０と放熱器１２０を経由することなく循環する第２の冷媒流路１５０を備える。そして、受熱器１１０に流入する受熱側冷媒液Ｆ２の流量を、分岐冷媒液Ｆ１の流量に基づいて制御する構成としている。このような構成としたことにより、発熱源から受熱する熱量に応じた最適な流量の受熱側冷媒液Ｆ２を、受熱器１１０に供給することが可能になる。そのため、受熱器１１０と放熱器１２０の間に冷媒液が滞留することがなくなるので、再起動時に冷却能力が低下することを避けることができる。
【００２５】
次に、本実施形態による相変化冷却方法について説明する。
【００２６】
本実施形態による相変化冷却方法においては、まず、冷媒液駆動部（冷媒液駆動手段）から流出する冷媒液を、受熱器（受熱手段）と放熱器（放熱手段）を経由する第１の冷媒流路によって循環させる。また、冷媒液駆動部から受熱器に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液を、第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路によって、受熱器と放熱器を経由することなく循環させる。そして、受熱器に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、分岐冷媒液の流量に基づいて制御する。
【００２７】
このとき、受熱側冷媒液の流量を制御する際に、分岐冷媒液の流量を一定に保持し、冷媒液駆動部から流出する冷媒液の流量を制御する構成とすることができる。また、受熱側冷媒液の流量を制御する際に、分岐冷媒液の流量を制御することとしてもよい。
【００２８】
上述したように、本実施形態の相変化冷却装置１００および相変化冷却方法によれば、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【００２９】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図２に、本発明の第２の実施形態に係る相変化冷却装置２００の構成を模式的に示す。
【００３０】
本実施形態による相変化冷却装置２００は、受熱器（受熱手段）２１０、放熱器（放熱手段）２２０、冷媒液駆動手段としてのポンプ２３０、および制御部（制御手段）２６０を有する。受熱器２１０は内部に冷媒液を収容し、この冷媒液は電子機器１０の排気熱を受けて沸騰する。放熱器２２０は、受熱器２１０において沸騰し気化した気相冷媒を冷却する。ポンプ２３０は、冷媒液を循環させる。
【００３１】
本実施形態の相変化冷却装置２００はさらに、冷媒液をためる冷媒貯留手段としてのタンク２７０および定流量弁２８０を備えた構成とした。定流量弁２８０は、ポンプ２３０から受熱器２１０に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液の流量を一定に制御する。冷媒液駆動手段としてのポンプ２３０は、流量が回転数に応じて変化する。そして、制御部２６０がポンプ２３０の回転数を制御することにより、受熱器２１０に流入する受熱側冷媒液の流量を制御する構成とした。
【００３２】
ポンプ２３０と受熱器２１０は第１の液管２５１および第２の液管２４１によって接続され、受熱器２１０と放熱器２２０は蒸気管２４２によって接続される。また、放熱器２２０とタンク２７０は第３の液管２４３によって接続され、タンク２７０とポンプ２３０は第４の液管２５３によって接続される。そして、タンク２７０と第１の液管２５１および第２の液管２４１とは、第５の液管２５２によって接続される。
【００３３】
ここで、第１の液管２５１、第２の液管２４１、蒸気管２４２、第３の液管２４３、および第４の液管２５３が、第１の冷媒流路を構成している。また、第１の液管２５１、第５の液管２５２、および第４の液管２５３が、第２の冷媒流路を構成している。そして、第２の冷媒流路内の第５の液管２５２に定流量弁２８０が配置されている。また、タンク２７０は、第１の冷媒流路と第２の冷媒流路に共通の流路内に配置されている。
【００３４】
本実施形態による相変化冷却装置２００は、発熱源としての電子機器１０から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、制御部２６０が受熱側冷媒液の流量を制御する構成とした。このとき、受熱側計測値は、発熱源からの排気の温度を検知する温度センサの出力値とすることができる。すなわち、本実施形態では、発熱源としての電子機器１０の排気側に温度センサ２９０を配置した構成とした。ここで、温度センサ２９０の出力値をＴｒ_ｉとする。また、電子機器１０の吸気側における対応する値をＴａで表わしている。
【００３５】
図３に、本実施形態による相変化冷却装置２００が備える制御部２６０の構成を示す。
制御部２６０は、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉを取得する温度取得部２６１、中央制御部２６２、温度センサ２９０の出力値の参照値を記録するデータテーブル２６３、およびポンプ２３０を制御するポンプ制御部２６４を備える。
【００３６】
次に、本実施形態による相変化冷却装置２００が備える制御部２６０の動作を説明する。
【００３７】
制御部２６０が備える温度取得部２６１は、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉを取得する。中央制御部２６２は、出力値Ｔｒ_ｉとデータテーブル２６３が記録している参照値とから、ポンプ２３０の回転数を規定値から変化させるか否かを判断する。出力値Ｔｒ_ｉが、基準とするＴ_ｂａｓｅよりも大きい場合、ポンプ２３０の回転数が規定値よりも大きくなるように、ポンプ制御部２６４を介してポンプ２３０を制御する。一方、出力値Ｔｒ_ｉがＴ_ｂａｓｅよりも小さい場合、ポンプ２３０の回転数が規定値よりも小さくなるようにポンプ２３０を制御する。
【００３８】
また、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉが閾値Ｔｔｈよりも小さい場合、制御部２６０は、冷媒液が受熱器２１０に供給されず、冷媒液の全てが第５の液管２５２を通って循環するように、ポンプ２３０の回転数を低減する。このとき、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉが一定時間以上にわたって閾値Ｔｔｈよりも小さい場合、ポンプ２３０を停止することにより、省エネルギー化を図ることができる。
【００３９】
上述したように、本実施形態による相変化冷却装置２００は、駆動源としてのポンプ２３０によって冷媒を循環させ、冷媒の相変化現象を利用して電子機器１０を冷却する。このとき、温度センサ２９０によって得られる電子機器１０の排気温度に関する情報から電子機器１０の発熱量の変化を検知し、この発熱量の変化に応じてポンプ２３０の回転数をインバーター等によって制御する構成とした。
【００４０】
このような構成としたことにより、受熱器２１０に供給する冷媒液の流量を変化させることができる。それによって、発熱量に応じた最適な流量の冷媒液を受熱器２１０に供給することが可能になる。その結果、受熱器２１０と放熱器２２０を接続する蒸気管２４２内に冷媒液が滞留することを回避することができる。
【００４１】
また、電子機器１０の発熱量が非常に小さい場合、ポンプ２３０が送出する冷媒液の流量を、定流量弁２８０の設定値以下の流量になるように制御することによって、受熱器２１０には冷媒液が供給されないようにすることができる。したがって、この場合には、蒸気管２４２に冷媒液が溜まることはない。
【００４２】
以上より、本実施形態の相変化冷却装置２００によれば、再起動時に冷却能力が低下することを回避することができる。
【００４３】
上記実施形態では、第５の液管２５２に定流量弁２８０を配置した構成について説明した。しかしこれに限らず、定流量弁２８０に替えて、第１の液管２５１からタンク２７０に向かう方向を順方向とする逆止弁を用いることもできる。この場合、第５の液管２５２にオリフィスやしぼり構造を挿入した構成とすることにより、ポンプ２３０の回転数を増大させたときに冷媒液が受熱器２１０にも供給されるようにすることができる。
【００４４】
次に、本実施形態による相変化冷却方法について説明する。
【００４５】
本実施形態による相変化冷却方法においては、まず、冷媒液駆動部（冷媒液駆動手段）から流出する冷媒液を、受熱器（受熱手段）と放熱器（放熱手段）を経由する第１の冷媒流路によって循環させる。また、冷媒液駆動部から受熱器に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液を、第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路によって、受熱器と放熱器を経由することなく循環させる。そして、受熱器に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、分岐冷媒液の流量に基づいて制御する。ここまでの構成は、第１の実施形態による相変化冷却方法と同様である。
【００４６】
本実施形態による相変化冷却方法においては、受熱側冷媒液の流量を制御する際に、分岐冷媒液の流量を一定に保持し、冷媒液駆動部から流出する冷媒液の流量を制御する。そして、発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、冷媒液の流量を制御する構成とした。
【００４７】
上述したように、本実施形態の相変化冷却装置２００および相変化冷却方法によれば、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【００４８】
〔第３の実施形態〕
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図４に、本発明の第３の実施形態に係る相変化冷却装置３００の構成を模式的に示す。第２の実施形態による相変化冷却装置２００と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４９】
本実施形態による相変化冷却装置３００は、受熱器（受熱手段）２１０、放熱器（放熱手段）２２０、冷媒液駆動手段としてのポンプ２３０、冷媒貯留手段としてのタンク２７０、および制御部（制御手段）３６０を有する。本実施形態の相変化冷却装置３００はさらに、分岐流量制御バルブ３８０を備えた構成とした。
【００５０】
分岐流量制御バルブ３８０は、ポンプ２３０から受熱器２１０に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液の流量を制御する。ここで分岐流量制御バルブ３８０は、第２の冷媒流路内の第５の液管２５２に配置されている。なお、第１の液管２５１、第５の液管２５２、および第４の液管２５３が、第２の冷媒流路を構成している。そして、制御部３６０が分岐流量制御バルブ３８０を制御することにより、受熱器２１０に流入する受熱側冷媒液の流量を制御する構成とした。
【００５１】
本実施形態による相変化冷却装置３００は、発熱源としての電子機器１０から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、制御部３６０が受熱側冷媒液の流量を制御する構成とした。このとき、受熱側計測値は、発熱源からの排気の温度を検知する温度センサの出力値とすることができる。すなわち、本実施形態では、発熱源としての電子機器１０の排気側に温度センサ２９０を配置した構成とした。ここで、温度センサ２９０の出力値をＴｒ_ｉとする。また、電子機器１０の吸気側における対応する値をＴａで表わしている。
【００５２】
図５に、本実施形態による相変化冷却装置３００が備える制御部３６０の構成を示す。
制御部３６０は、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉを取得する温度取得部２６１、中央制御部２６２、温度センサ２９０の出力値の参照値を記録しているデータテーブル２６３、および分岐流量制御バルブ３８０を制御する分岐バルブ制御部３６４を備える。
【００５３】
次に、本実施形態による相変化冷却装置３００が備える制御部３６０の動作を説明する。
【００５４】
制御部３６０が備える温度取得部２６１は、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉを取得する。中央制御部２６２は、出力値Ｔｒ_ｉとデータテーブル２６３が記録している参照値とから、分岐流量制御バルブ３８０の開度を決定する。すなわち、中央制御部２６２は、温度センサ２９０の出力値Ｔｒ_ｉと参照値を比較した結果、電子機器１０の発熱量が大きいと判断した場合、分岐バルブ制御部３６４を介して分岐流量制御バルブ３８０の開度を小さく設定する。これにより、受熱器２１０に流入する受熱側冷媒液の流量を増大させることができる。一方、電子機器１０の発熱量が小さいと判断した場合、中央制御部２６２は分岐バルブ制御部３６４を介して分岐流量制御バルブ３８０の開度を大きく設定する。これにより、受熱器２１０に流入する受熱側冷媒液の流量を減少させることができる。
【００５５】
このように、本実施形態による相変化冷却装置３００は、温度センサ２９０によって得られる電子機器１０の排気温度に関する情報から電子機器１０の発熱量の変化を検知し、この発熱量の変化に応じて分岐流量制御バルブ３８０の開度を制御する構成とした。このような構成としたことにより、受熱器２１０に供給する冷媒液の流量を、電子機器１０の発熱量に応じて変化させることができる。したがって、発熱量に応じた最適な流量の冷媒液を受熱器２１０に供給することが可能になる。その結果、受熱器２１０と放熱器２２０を接続する蒸気管２４２内に冷媒液が滞留することを回避することができる。
【００５６】
また、電子機器１０の発熱量が非常に小さい場合、分岐流量制御バルブ３８０の開度を例えば全開となるように制御することによって、受熱器２１０には冷媒液が供給されないようにすることができる。したがって、この場合、蒸気管２４２に冷媒液が溜まることはない。
【００５７】
以上より、本実施形態の相変化冷却装置３００によれば、再起動時に冷却能力が低下することを回避することができる。
【００５８】
次に、本実施形態による相変化冷却方法について説明する。
【００５９】
本実施形態による相変化冷却方法においては、まず、冷媒液駆動部（冷媒液駆動手段）から流出する冷媒液を、受熱器（受熱手段）と放熱器（放熱手段）を経由する第１の冷媒流路によって循環させる。また、冷媒液駆動部から受熱器に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液を、第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路によって、受熱器と放熱器を経由することなく循環させる。そして、受熱器に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、分岐冷媒液の流量に基づいて制御する。ここまでの構成は、第１の実施形態による相変化冷却方法と同様である。
【００６０】
本実施形態による相変化冷却方法においては、受熱側冷媒液の流量を制御する際に、分岐冷媒液の流量を制御する。そして、発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、分岐冷媒液の流量を制御する構成とした。
【００６１】
上述したように、本実施形態の相変化冷却装置３００および相変化冷却方法によれば、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【００６２】
上記実施形態では、制御部が、発熱源としての電子機器１０から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、受熱側冷媒液の流量を制御する構成とした。そして、受熱側計測値は、発熱源からの排気の温度を検知する温度センサ２９０の出力値とした場合について説明した。
【００６３】
しかしこれに限らず、受熱側計測値として、発熱源の使用電力を検知する電力センサおよび受熱側冷媒液の流量を検知する流量検知センサの出力値を用いることができる。すなわち、図６に示すように、本実施形態による相変化冷却装置３０１は、温度センサ２９０に替えて、電子機器１０の電源などに設置される電力センサ３９１、および第２の液管２４１に設置された流量検知センサ３９２を備えた構成とすることができる。ここで、流量検知センサ３９２は、流量センサおよび圧力センサのいずれか一方とすることができる。
【００６４】
制御部３６１は、電力センサ３９１から電子機器１０の消費電力を取得する。そして制御部３６１は、この消費電力による発熱を輸送するために必要な流量の冷媒液が受熱器２１０に供給されるように、分岐流量制御バルブ３８０を制御する。このとき制御部３６１は、流量検知センサ３９２によって冷媒液の流量を監視しながら分岐流量制御バルブ３８０の制御を行う。
【００６５】
このような構成としたことにより、本実施形態の相変化冷却装置３０１によれば、電子機器１０の消費電力に応じた最適な流量の冷媒液を、受熱器２１０に供給することが可能になる。
【００６６】
また、受熱側計測値として、冷媒蒸気の温度を検知する蒸気管温度センサおよび冷媒蒸気の圧力を検知する蒸気管圧力センサの出力値を用いることとしてもよい。すなわち、図７に示すように、本実施形態による相変化冷却装置３０２は、温度センサ２９０に替えて、蒸気管温度センサ３９３および蒸気管圧力センサ３９４を蒸気管２４２に配置した構成としてもよい。このとき、制御部３６２は、蒸気管温度センサ３９３および蒸気管圧力センサ３９４の出力値から冷媒の過熱度を算出し、算出した過熱度に基づいて分岐流量制御バルブ３８０を制御する。
【００６７】
このような構成としたことにより、本実施形態の相変化冷却装置３０２によれば、蒸気管２４２を流れる冷媒が気液混合した二相流となることを回避することができる。そのため、気相冷媒と液相冷媒を分離する構造を蒸気管２４２に設ける必要がなくなる。
【００６８】
〔第４の実施形態〕
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。図８に、本発明の第４の実施形態に係る相変化冷却装置４００の構成を模式的に示す。第３の実施形態による相変化冷却装置３００と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００６９】
本実施形態による相変化冷却装置４００は、受熱器（受熱手段）２１０、放熱器（放熱手段）２２０、冷媒液駆動手段としてのポンプ２３０、冷媒貯留手段としてのタンク２７０、分岐流量制御バルブ３８０、および制御部（制御手段）４６０を有する。
【００７０】
分岐流量制御バルブ３８０は、ポンプ２３０から受熱器２１０に向かって流出する冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液の流量を制御する。ここで分岐流量制御バルブ３８０は、第２の冷媒流路内の第５の液管２５２に配置されている。
【００７１】
本実施形態の相変化冷却装置４００はさらに、受熱流量制御バルブ４１０を備えた構成とした。受熱流量制御バルブ４１０は、受熱器２１０に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を制御する。ここで、受熱流量制御バルブ４１０は、第１の冷媒流路内の第２の液管２４１に配置されている。なお、第１の液管２５１、第２の液管２４１、蒸気管２４２、第３の液管２４３、および第４の液管２５３が、第１の冷媒流路を構成している。
【００７２】
制御部４６０は、分岐流量制御バルブ３８０に加えて、受熱流量制御バルブ４１０を制御する。このとき、制御部４６０は、発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、受熱流量制御バルブ４１０を制御する構成とした。ここで、受熱側計測値は、発熱源からの排気の温度を検知する温度センサの出力値とすることができる。すなわち、本実施形態では、発熱源としての電子機器１０の排気側に温度センサ２９０を配置した構成とした。
【００７３】
図９に、本実施形態による相変化冷却装置４００が備える制御部４６０の構成を示す。
制御部４６０は、温度センサ２９０から出力値Ｔｒ_ｉを取得する温度取得部２６１、中央制御部２６２、温度センサ２９０の出力値の参照値を記録しているデータテーブル２６３、および分岐流量制御バルブ３８０を制御する分岐バルブ制御部３６４を備える。ここまでの構成は、第３の実施形態による相変化冷却装置３００が備える制御部３６０の構成と同様である。本実施形態による相変化冷却装置４００が備える制御部４６０は、さらに、受熱流量制御バルブ４１０を制御する受熱バルブ制御部４６４を備えた構成とした。
【００７４】
上述したように、本実施形態の相変化冷却装置４００は受熱流量制御バルブ４１０を備えた構成とした。これにより、温度センサ２９０の出力値、すなわち電子機器１０の発熱量が急激に変動した場合であっても、この急激な変動に追従して受熱器２１０に流入する受熱側冷媒液の流量を調整することが可能になる。
【００７５】
また、上述した実施形態による相変化冷却装置と同様に、本実施形態の相変化冷却装置４００によれば、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【００７６】
上記説明では、相変化冷却装置４００は分岐流量制御バルブ３８０を備え、制御部４６０が分岐流量制御バルブ３８０を制御する構成とした。しかしこれに限らず、第２の実施形態による相変化冷却装置２００（図２参照）と同様に、分岐流量制御バルブ３８０に替えて定流量弁２８０を備え、制御部がポンプ２３０の回転数と受熱流量制御バルブ４１０を制御する構成としても良い。
【００７７】
〔第５の実施形態〕
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。図１０に、本発明の第５の実施形態に係る相変化冷却装置５００の構成を模式的に示す。第３の実施形態による相変化冷却装置３００と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７８】
本実施形態による相変化冷却装置５００は、受熱器（受熱手段）２１０、送風機５２１を備えた放熱器（放熱手段）５２０、冷媒液駆動手段としてのポンプ２３０、冷媒貯留手段としてのタンク２７０、分岐流量制御バルブ３８０、および制御部５６０を有する。
【００７９】
本実施形態による相変化冷却装置５００は、放熱器５２０の放熱性能に関する放熱側計測値に基づいて、制御部５６０が受熱側冷媒液の流量を制御する構成とした。このとき、放熱側計測値は、放熱器５２０の周辺温度を検知する周辺温度センサの出力値とすることができる。すなわち、本実施形態では、放熱器５２０の周辺に周辺温度センサ５９０を備えた構成とした。
【００８０】
図１１に、本実施形態による相変化冷却装置５００が備える制御部５６０の構成を示す。制御部５６０は、温度センサ２９０および周辺温度センサ５９０から出力値を取得する温度取得部５６１、中央制御部２６２、温度センサ２９０および周辺温度センサ５９０の出力値の参照値を記録しているデータテーブル２６３を備える。制御部５６０はさらに、分岐流量制御バルブ３８０を制御する分岐バルブ制御部３６４、および放熱器５２０が備える送風機５２１を制御する送風機制御部５６４を備えた構成とした。
【００８１】
上述した構成とすることにより、本実施形態の相変化冷却装置５００によれば、放熱器５２０の放熱性能が変化する場合、放熱性能の変化に応じて受熱器２１０に流入する冷媒液である受熱側冷媒液の流量を変化させることができる。例えば、放熱器５２０が室外機である場合、外気温度が高くなると冷却性能が悪化する。そのため、ある一定以上の冷却性能が得られなくなる場合、分岐流量制御バルブ３８０の開度を増加させることによって受熱側冷媒液の供給を停止するとともに、室外機が備える送風機５２１の運転を停止することができる。これにより、相変化冷却装置５００の省エネルギー化を図ることができる。
【００８２】
上記説明では、相変化冷却装置５００は分岐流量制御バルブ３８０を備え、制御部５６０が分岐流量制御バルブ３８０を制御する構成とした。しかしこれに限らず、第２の実施形態による相変化冷却装置２００（図２参照）と同様に、分岐流量制御バルブ３８０に替えて定流量弁２８０を備え、制御部がポンプ２３０の回転数を制御する構成としても良い。この場合、制御部は、ある一定以上の冷却性能が得られなくなる場合、ポンプ２３０の回転を止めることによって受熱側冷媒液の供給を停止するとともに、室外機が備える送風機５２１の運転を停止することができる。ポンプ２３０および送風機５２１の運転を停止することにより、相変化冷却装置５００の省エネルギー化を図ることができる。
【００８３】
上述した一定以上の冷却性能が得られなくなる場合として、例えば、成績係数（Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ  ｏｆ  Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ：ＣＯＰ）が１以下となる場合とすることができる。ここで成績係数（ＣＯＰ）とは、ポンプの電力と室外機の送風機（ファン）の電力との和に対する冷却性能の比率である。すなわち、ＣＯＰ＝冷却性能／（ポンプ電力＋室外機ファン電力）と表わされる。
【００８４】
また、上述した実施形態による相変化冷却装置と同様に、本実施形態の相変化冷却装置５００によれば、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【００８５】
上述した相変化冷却装置５００に、第４の実施形態で説明した相変化冷却装置４００と同様に、受熱流量制御バルブ４１０を第２の液管２４１にさらに備えた構成としてもよい。この場合の相変化冷却装置５０１の構成を図１２に、相変化冷却装置５０１が備える制御部５６１の構成を図１３にそれぞれ示す。
【００８６】
〔第６の実施形態〕
次に、本発明の第６の実施形態について説明する。これまでの実施形態においては、１個の受熱器を備えた相変化冷却装置が、１個の電子機器１０を冷却する場合を例に説明した。これに限らず、複数の受熱器を備えた構成とすることにより、複数の電子機器１０を冷却することが可能になる。このような構成とした本実施形態による相変化冷却装置６００の構成を図１４に、相変化冷却装置６００が備える制御部６６０の構成を図１５にそれぞれ示す。以下では、相変化冷却装置６００が２個の受熱器を有する構成を例として説明する。
【００８７】
図１４に示すように、本実施形態による相変化冷却装置６００は、２個の受熱器２１１、２１２、送風機５２１を備えた放熱器５２０、ポンプ２３０、タンク２７０、定流量弁２８０、および制御部６６０を有する構成とした。ここで、相変化冷却装置６００は、２個の受熱器２１１、２１２に対応して、温度センサ２９１、２９２および２個の受熱流量制御バルブ４１１、４１２を備える。また、相変化冷却装置６００は、放熱器５２０の周辺に周辺温度センサ５９０を備えた構成とした。
【００８８】
相変化冷却装置６００が備える制御部６６０は、図１５に示すように、温度取得部６６１、中央制御部２６２、データテーブル２６３、受熱バルブ制御部６６４、分岐バルブ制御部３６４、および送風機制御部５６４を備えた構成とした。ここで、温度取得部６６１は、２個の温度センサ２９１、２９２および周辺温度センサ５９０からそれぞれの出力値を取得する。受熱バルブ制御部６６４は、２個の受熱流量制御バルブ４１１、４１２を制御する。本実施形態による相変化冷却装置６００のその他の構成は、上述した各実施形態で説明したものと同様であるので、それらの説明は省略する。
【００８９】
このような構成としたことにより、例えば、温度センサ２９１、２９２の出力値から一方の受熱器が受熱していないと判断した場合、受熱していない方の受熱流量制御バルブを閉じ、ポンプ２３０の流量を半分に制御することができる。これにより、ポンプ２３０の消費電力を削減するとともに、蒸気管２４２に冷媒液が滞留することを回避することができる。この場合、さらに、放熱器５２０の放熱能力も半減させることが可能であるので、送風機５２１の回転数を低減することにより送風機（ファン）の消費電力を削減することができる。
【００９０】
また、上述した実施形態による相変化冷却装置と同様に、本実施形態の相変化冷却装置６００によれば、複数の受熱器を備え、駆動源を用いて冷媒液を循環させる構成であっても、起動時直後における冷却能力の低下を回避することができる。
【００９１】
上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
【００９２】
（付記１）発熱源から受熱する冷媒液を収容する受熱手段と、前記冷媒液が前記受熱手段で気化することにより発生した冷媒蒸気の熱を放熱し前記冷媒液を生成する放熱手段と、前記冷媒液を循環させる冷媒液駆動手段と、前記冷媒液駆動手段から流出する前記冷媒液が、前記受熱手段と前記放熱手段を経由して循環する第１の冷媒流路と、前記冷媒液駆動手段から前記受熱手段に向かって流出する前記冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液が、前記受熱手段と前記放熱手段を経由することなく循環するように、前記第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路と、前記受熱手段に流入する前記冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、前記分岐冷媒液の流量に基づいて制御する制御手段、とを有する相変化冷却装置。
【００９３】
（付記２）前記第２の冷媒流路は、前記分岐冷媒液の流量を一定に制御する定流量弁を備え、前記冷媒液駆動手段は、流量が回転数に応じて変化するポンプであり、前記制御手段は、前記回転数を制御することにより前記受熱側冷媒液の流量を制御する付記１に記載した相変化冷却装置。
【００９４】
（付記３）前記第２の冷媒流路は、前記分岐冷媒液の流量を制御する分岐流量制御バルブを備え、前記制御手段は、前記分岐流量制御バルブを制御することにより前記受熱側冷媒液の流量を制御する付記１に記載した相変化冷却装置。
【００９５】
（付記４）前記制御手段は、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記受熱側冷媒液の流量を制御する付記１から３のいずれか一項に記載した相変化冷却装置。
【００９６】
（付記５）前記制御手段は、前記放熱手段の放熱性能に関する放熱側計測値に基づいて、前記受熱側冷媒液の流量を制御する付記１から４のいずれか一項に記載した相変化冷却装置。
【００９７】
（付記６）前記第１の冷媒流路は、前記受熱側冷媒液の流量を制御する受熱流量制御バルブを備え、前記制御手段は、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記受熱流量制御バルブを制御する付記１から５のいずれか一項に記載した相変化冷却装置。
【００９８】
（付記７）前記第１の冷媒流路と前記第２の冷媒流路に共通の流路内に、前記冷媒液をためる冷媒貯留手段を有する付記１から６のいずれか一項に記載した相変化冷却装置。
【００９９】
（付記８）冷媒液駆動手段から流出する冷媒液を、受熱手段と放熱手段を経由する第１の冷媒流路によって循環させ、前記冷媒液駆動手段から前記受熱手段に向かって流出する前記冷媒液の少なくとも一部である分岐冷媒液を、前記第１の冷媒流路を短縮した第２の冷媒流路によって、前記受熱手段と前記放熱手段を経由することなく循環させ、前記受熱手段に流入する前記冷媒液である受熱側冷媒液の流量を、前記分岐冷媒液の流量に基づいて制御する相変化冷却方法。
【０１００】
（付記９）前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記分岐冷媒液の流量を一定に保持し、前記冷媒液駆動手段から流出する前記冷媒液の流量を制御することを含む付記８に記載した相変化冷却方法。
【０１０１】
（付記１０）前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記分岐冷媒液の流量を制御することを含む付記８に記載した相変化冷却方法。
【０１０２】
（付記１１）前記受熱側計測値は、前記発熱源からの排気の温度を検知する温度センサの出力値である付記４または６に記載した相変化冷却装置。
【０１０３】
（付記１２）前記受熱側計測値は、前記発熱源の使用電力を検知する電力センサおよび前記受熱側冷媒液の流量を検知する流量検知センサの出力値である付記４または６に記載した相変化冷却装置。
【０１０４】
（付記１３）前記受熱側計測値は、前記冷媒蒸気の温度を検知する蒸気管温度センサおよび前記冷媒蒸気の圧力を検知する蒸気管圧力センサの出力値である付記４または６に記載した相変化冷却装置。
【０１０５】
（付記１４）前記放熱側計測値は、前記放熱手段の周辺温度を検知する周辺温度センサの出力値である付記５に記載した相変化冷却装置。
【０１０６】
（付記１５）前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記冷媒液の流量を制御することを含む付記９に記載した相変化冷却方法。
【０１０７】
（付記１６）前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記分岐冷媒液の流量を制御することを含む付記１０に記載した相変化冷却方法。
【０１０８】
（付記１７）前記受熱側冷媒液の流量を制御することは、前記放熱手段の放熱性能に関する放熱側計測値に基づいて行うことを含む付記８から１０、１５、および１６のいずれか一項に記載した相変化冷却方法。
【０１０９】
（付記１８）前記発熱源から受熱する熱量に関する受熱側計測値に基づいて、前記受熱側冷媒液の流量を制御することをさらに含む付記８から１０、および１５から１７のいずれか一項に記載した相変化冷却方法。
【０１１０】
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
この出願は、２０１７年７月１８日に出願された日本出願特願２０１７−１３９１４９を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【符号の説明】
【０１１１】
１００、２００、３００、３０１、３０２、４００、５００、５０１、６００    相変化冷却装置
１１０、２１０、２１１、２１２    受熱器
１２０、２２０、５２０    放熱器
１３０    冷媒液駆動部
１４０    第１の冷媒流路
１５０    第２の冷媒流路
１６０、２６０、３６０、３６１、３６２、４６０、５６０、５６１    制御部
２３０    ポンプ
２４１    第２の液管
２４２    蒸気管
２４３    第３の液管
２５１    第１の液管
２５２    第５の液管
２５３    第４の液管
２６１、５６１、６６１    温度取得部
２６２    中央制御部
２６３    データテーブル
２６４    ポンプ制御部
２７０    タンク
２８０    定流量弁
２９０、２９１、２９２    温度センサ
３６４    分岐バルブ制御部
３８０    分岐流量制御バルブ
３９１    電力センサ
３９２    流量検知センサ
３９３    蒸気管温度センサ
３９４    蒸気管圧力センサ
４１０、４１１、４１２    受熱流量制御バルブ
４６４、６６４    受熱バルブ制御部
５２１    送風機
５６４    送風機制御部
５９０    周辺温度センサ
１０    電子機器
【図１】
2019017297.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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