(57)【要約】  本発明の課題は、液晶ポリマーを含む絶縁層と金属層との間の高い引き剥がし強度を実現でき、かつ絶縁層が良好な寸法精度を有することができる金属張積層板を提供することである。本発明に係る金属張積層板は、液晶ポリマーを含有する絶縁層と、絶縁層に重なる金属層とを備える。絶縁層の、剛体振り子型粘弾性測定装置で測定される振動の幅の、絶縁層の融点での対数減衰率は、０．０５以上０．３０以下である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶ポリマーを含有する絶縁層と、前記絶縁層に重なる金属層とを備え、
前記絶縁層の、剛体振り子型粘弾性測定装置で測定される振動の幅の、前記絶縁層の融点での対数減衰率は、０．０５以上０．３０以下である、
金属張積層板。
【請求項２】
前記絶縁層は、３０５℃以上３２０℃以下の融点を有する
請求項１に記載の金属張積層板。
【請求項３】
前記絶縁層の厚みの変動係数は３．３％以下である、
請求項１又は２に記載の金属張積層板。
【請求項４】
前記絶縁層に対する前記金属層の引き剥がし強度は、０．８Ｎ／ｍｍ以上である、
請求項１から３のいずれか一項に記載の金属張積層板。
【請求項５】
前記液晶ポリマーを含有するフィルムと金属箔とを重ねて、これらを熱プレスすることで前記絶縁層と前記金属層とを作製することで製造され、
前記熱プレス時の最高加熱温度は、前記液晶ポリマーの融点より５℃低い温度以上、前記融点よりも２０℃高い温度以下である、
請求項１から４のいずれか一項に記載の金属張積層板。
【請求項６】
前記液晶ポリマーを含有するフィルムと金属箔とを重ねて、これらを熱プレスすることで前記絶縁層と前記金属層とを作製することで製造され、
前記熱プレスを、加熱された二つのエンドレスベルトの間に、前記フィルム及び前記金属箔を積層した積層物を通過させながら、前記エンドレスベルトで前記積層物をプレスすることで行う、
請求項１から４のいずれか一項に記載の金属張積層板。
【請求項７】
請求項１から４のいずれか一項に記載の金属張積層板の製造方法であり、
前記液晶ポリマーを含有するフィルムと金属箔とを重ねて、これらを熱プレスすることで前記絶縁層と前記金属層とを作製することを含む、
金属張積層板の製造方法。
【請求項８】
前記熱プレス時の最高加熱温度は、前記液晶ポリマーの融点より５℃低い温度以上、前記融点よりも２０℃高い温度以下である、
請求項７に記載の金属張積層板の製造方法。
【請求項９】
前記熱プレスを、加熱された二つのエンドレスベルトの間に、前記フィルム及び前記金属箔を積層した積層物を通過させながら、前記エンドレスベルトで前記積層物をプレスすることで行う、
請求項７又は８に記載の金属張積層板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属張積層板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱可塑性樹脂を含有する絶縁層と絶縁層に重なる金属層とを備える金属張積層板は、フレキシブルプリント配線板などのプリント配線板の材料に適用されている。絶縁層の材料の一つに液晶ポリマーがある（特許文献１参照）。液晶ポリマーには、金属張積層板から作製されるプリント配線板に良好な高周波特性を付与できるという利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２２１６９４号公報
【発明の概要】
【０００４】
本発明の目的は、液晶ポリマーを含む絶縁層と金属層との間の高い引き剥がし強度を実現でき、かつ絶縁層が良好な寸法精度を有することができる金属張積層板及びその製造方法を提供することである。
【０００５】
本発明の一態様に係る金属張積層板は、液晶ポリマーを含有する絶縁層と、前記絶縁層に重なる金属層とを備える。前記絶縁層の、剛体振り子型粘弾性測定装置で測定される振動の幅の、前記絶縁層の融点での対数減衰率は、０．０５以上０．３０以下である。
【０００６】
本発明の一態様に係る金属張積層板の製造方法は、前記液晶ポリマーを含有するフィルムと金属箔とを重ねて、これらを熱プレスすることで前記絶縁層と前記金属層とを作製することを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、剛体振り子型粘弾性測定装置の主要な構成の、模式的な斜視図である。
【図２】図２は、剛体振り子型粘弾性測定装置で計測される変位量の経時変化の例を示すグラフである。
【図３】図３は、本発明の実施形態における金属張積層板の製造装置の一例の、概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
まず、発明者が本発明の完成に至った経緯について説明する。
【０００９】
特開２０１０−２２１６９４号公報に開示されている金属張積層板においては、液晶ポリマーからなる絶縁層と金属箔との間の高い引き剥がし強度を確保しながら、絶縁層の良好な寸法精度を確保することは、困難であった。すなわち、絶縁層と金属箔との間の高い引き剥がし強度を確保するためには絶縁層と金属箔とを高温条件下で熱プレスする必要があるが、その場合、絶縁層が塑性変形しやすく、そのため寸法精度が悪化してしまった。
【００１０】
発明者は、寸法精度の悪化の理由の解明と、この寸法精度の悪化の解消のために、鋭意研究を行った。その結果、発明者は、液晶ポリマーからなる絶縁層の加熱時の剛体振り子型粘弾性測定装置を用いて得られた振動の幅（すなわち、振動の谷から頂点までの高さ）の対数減衰率に着目し、下記の知見を得た。
【００１１】
振動の幅の対数減衰率が高いほど、絶縁層は塑性変形しやすい。このため、対数減衰率が高い状態で絶縁層と金属箔を熱プレスして金属張積層板を製造すれば、金属張積層板において絶縁層の寸法のばらつきが生じやすい。一方、対数減衰率が低い状態で同様に金属張積層板を製造すれば、絶縁層の寸法精度は悪化しにくいが、良好な引き剥がし強度を確保することは難しい。
【００１２】
そこで、発明者は、この知見に基づき、液晶ポリマーを含む絶縁層と金属層との間の高い引き剥がし強度を実現しながら、絶縁層の良好な寸法精度を確保すべく、更に研究開発を進め、本発明の完成に至った。
【００１３】
本実施形態は、金属張積層板及びその製造方法に関し、特にプリント配線板の材料に適用されうる金属張積層板及びこの金属張積層板の製造方法に関する。
【００１４】
本発明の実施形態に係る金属張積層板１及びその製造方法について説明する。
【００１５】
本実施形態に係る金属張積層板１は、液晶ポリマーを含有する絶縁層と、絶縁層に重なる金属層とを備える。金属張積層板１は金属層を二つ有することができる。この場合、二つの金属層は、絶縁層における一つの面とその反対側の面とにそれぞれ重なっている。金属張積層板１は金属層を一つのみ有してもよい。この場合、金属層は絶縁層における一つの面に重なっている。
【００１６】
絶縁層の、剛体振り子型粘弾性測定装置で測定される振動の幅の、絶縁層の融点での対数減衰率は、０．０５以上０．３０以下である。
【００１７】
絶縁層の融点は、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）法で測定される。すなわち、絶縁層を示差走査熱量測定法で温度範囲２３〜３４５℃、昇温速度１０℃／分の条件で測定した場合に得られた曲線に最初に現れる吸熱ピークの頂点の位置が、融点である。絶縁層が後述のとおり液晶ポリマーから作製されたフィルム２から作製される場合、絶縁層の融点は、フィルム２の融点と一致する。この場合、フィルム２を示差走査熱量測定法で温度範囲２３〜３４５℃、昇温速度１０℃／分の条件で測定した場合に得られた曲線に最初に現れる吸熱ピークの頂点の位置が、絶縁層の融点である。
【００１８】
本明細書中の説明において、振動の幅の対数減衰率は、株式会社エー・アンド・デイ製の剛体振り子型粘弾性測定装置を用いた剛体振り子の変位量の計測結果から導出される。使用される剛体振り子型粘弾性測定装置の本体の型番はＲＰＴ−３０００Ｗであり、剛体振り子の型番はＦＲＢ−３００であり、試料台（冷熱ブロック）の型番はＣＨＢ−１００であり、支点部（エッジ）の型番はＲＢＰ−００６である。
【００１９】
剛体振り子型粘弾性測定装置の構造を、図１に模式的に示す。剛体振り子型粘弾性測定装置７０は、本体７６と、試料台７２と、剛体振り子８０と、支点部８６とを備える。
【００２０】
試料台７２は、本体７６に取り付けられている。試料台７２は、ヒータ及びクーラを備え、このため試料台７２は試料台７２に載せられた試料７１の温度を制御できる。
【００２１】
剛体振り子８０には、支点部８６が取り付けられている。支点部８６が試料台７２上の試料７１である絶縁層に載せられた状態で、支点部８６を支点に剛体振り子８０が自由振動できる。剛体振り子８０は支点部８６よりも下方に延びる脚部８２を備え、脚部８２には、磁性体である加振片８４と、変位片８５とが設けられている。
【００２２】
本体７６は、加振片８４に対向する電磁石７４と、変位片８５に対向する変位センサー７３とを備える。電磁石７４は磁力を発生させてから直ちに消失させることで、加振片８４を引き寄せ、それにより剛体振り子８０の自由振動を開始させる。変位センサー７３は、剛体振り子が自由振動する際の変位片８５の変位量を計測する。
【００２３】
剛体振り子型粘弾性測定装置７０を用いて、振動の幅の、絶縁層の融点での対数減衰率を測定する場合、まず、試料台７２の上に試料７１である絶縁層を載せ、ヒータで試料７１を、試料７１の融点まで加熱する。この状態で、試料７１の上に支点部８６を載せて、試料７１に支点部８６を接触させる。支点部８６における、試料７１と接している箇所の長さ寸法は、１０ｍｍである。この状態で、剛体振り子８０の振動を開始させ、剛体振り子８０の変位片８５の変位量の経時変化を計測する。変位センサー７３による計測結果から、図２に例示するような変位量の経時変化を導出できる。この変位量の経時変化から振動の幅Ａiを導出できる。ｉは１からｎ＋１までの整数であり、Ａiは変位量の経時変化において時系列順にｉ番目に現れる振動の幅の値である。ｎは少なくとも５である。
【００２４】
振動の幅Ａiから、下記の式（１）により、振動の幅の対数減衰率Δを算出できる。
【００２５】
Δ＝｛ｌｎ（Ａ1／Ａ2）＋ｌｎ（Ａ2／Ａ3）＋……＋ｌｎ（Ａn／Ａn+1）｝／ｎ  （１）
【００２６】
本実施形態に係る金属張積層板１は、絶縁層の融点での振動の幅の対数減衰率が０．０５以上０．３０以下であることで、絶縁層と金属層との間の高い密着強度を実現できる。さらに、絶縁層が良好な寸法精度を有することができ、すなわち絶縁層には厚みのばらつきが生じにくい。その理由は次のとおりであると推察される。
【００２７】
絶縁層の温度が上昇して融点付近へ至るまでの温度域で、対数減衰率が増加する。この場合、融点における対数減衰率が０．０５以上０．３０以下であると、絶縁層と金属層とを熱プレスなどで接着させる際に、絶縁層と金属層とを十分に接着させることができる。このため、高い引き剥がし強度（ピール強度）を達成できる。さらに、熱プレス時の絶縁層の塑性変形が抑制され、良好な寸法精度を達成できる。
【００２８】
対数減衰率の範囲はより好ましくは、０．１０以上０．３０以下であり、更に好ましくは０．０５以上０．２５以下である。
【００２９】
絶縁層は、３０５℃以上３２０℃以下の融点を有することが好ましい。融点が３０５℃以上であることで、金属張積層板１は良好な耐熱性を有することができる。また、融点が３２０℃以下であることで、熱プレスなどで金属張積層板１に金属層を接着する場合の加熱温度が高くなりすぎないようにできる。そのため加熱温度が高温になることによる絶縁層の塑性変形を抑制できる。このため、高い引き剥がし強度と良好な寸法精度とを両立できる。この融点は、３１０℃以上３２０℃以下であれば更に好ましい。
【００３０】
このような特性の絶縁層を作製するための液晶ポリマー及び液晶ポリマーを含有するフィルム２は、市販品から選択可能である。液晶ポリマーを含有するフィルム２の具体例は、株式会社クラレ製のベクスターＣＴＱを含む。
【００３１】
絶縁層の厚みは例えば１０μｍ以上であり、１３μｍ以上であることが好ましい。また絶縁層の厚みは例えば１７５μｍ以下である。金属層は、例えば金属箔３から作製される。金属箔３は、例えば銅箔である。銅箔は、電解銅箔、圧延銅箔のいずれでもよい。
【００３２】
金属層の厚みは、例えば２μｍ以上３５μｍ以下であり、好ましくは６μｍ以上３５μｍ以下である。
【００３３】
金属層の絶縁層と接する面は粗面であることが好ましい。この場合、引き剥がし強度をより高くできる。特に、金属層の絶縁層と接する面の、ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９９４で規定される表面粗さ（十点平均粗さ）Ｒｚが、０．５μｍ以上であることが好ましい。また、このＲｚが２．０μｍ以下であることも好ましく、この場合、金属張積層板１から製造されるプリント配線板の良好な高周波特性を確保できる。
【００３４】
次に、金属張積層板１の製造方法について説明する。
【００３５】
例えば液晶ポリマーを含有するフィルム２と金属箔３とを重ねて、これらを熱プレスすることで、絶縁層と金属層とを作製できる。すなわち、フィルム２及び金属箔３が、それぞれ金属張積層板１における絶縁層及び金属層になる。これにより、金属張積層板１を製造できる。
【００３６】
このとき、熱プレス前のフィルムの、室温から１５０℃までの温度域での線膨張係数は、直角方向（ＴＤ）、流動方向（ＭＤ）のいずれにおいても、１４ｐｐｍ／℃以上１６ｐｐｍ／℃以下であることが好ましい。直角方向の線膨張係数が１５ｐｐｍ／℃であり、流動方向の線膨張係数が１６ｐｐｍ／℃であれば、更に好ましい。絶縁層の材料であるフィルムが前記のような熱線膨張係数を有すると、絶縁層と金属層との間の線膨張係数の差を低くできる。特に金属層が銅箔から作製される場合、金属層の線膨張係数は１８〜１９ｐｐｍ／℃であるため、絶縁層と金属層との間の線膨張係数の差は非常に小さくなる。このため、金属積層板には、金属層と絶縁層との間の線膨張係数の差に起因する歪が生じにくくなる。
【００３７】
熱プレスは、例えば熱盤プレス、ロールプレス、ダブルベルトプレスといった適宜の方法で行える。熱盤プレスは、二つの熱盤の間に、フィルム２及び金属箔３を積層した複数の積層物を多段に配置して、熱盤を加熱しながら積層物をプレスする方法である。ロールプレスは、加熱された二つのロールの間にフィルム２及び金属箔３を積層した積層物を通過させることで積層物を加熱しながらプレスする方法である。ダブルベルトプレスは、加熱された二つのエンドレスベルト４の間に、フィルム２及び金属箔３を積層した積層物１１を通過させながら、エンドレスベルト４で積層物１１をプレスする方法である。
【００３８】
ダブルベルトプレスを含む方法で金属張積層板１を製造するための製造装置を、図３を参照して説明する。
【００３９】
製造装置はダブルベルトプレス装置７を備える。ダブルベルトプレス装置７は、向かい合う二つのエンドレスベルト４と、各エンドレスベルト４に設けられた熱圧装置１０とを備える。エンドレスベルト４は、例えばステンレスから作製される。エンドレスベルト４は二つのドラム９の間に掛け渡されており、ドラム９が回転することにより周回移動する。二つのエンドレスベルト４の間を、フィルム２及び金属箔３が積層した積層物１１が通過することができる。積層物１１がこのエンドレスベルト４の間を通過する間、各エンドレスベルト４は、積層物１１の一つの面とその反対側の面にそれぞれ面接触しながら、積層物１１をプレスできる。各エンドレスベルト４の内側には熱圧装置１０が設けられており、この熱圧装置１０が、エンドレスベルト４を介して積層物１１をプレスしながら加熱できる。熱圧装置１０は、例えば加熱された液体媒体の液圧によってエンドレスベルト４を介して積層物１１を熱プレスするように構成された液圧プレートである。なお、二つのドラム９の間に複数の加圧ローラを設置し、このドラム９と加圧ローラとで、熱圧装置１０を構成してもよい。この場合、加圧ローラとドラム９とを誘電加熱等により加熱することでエンドレスベルト４を加熱することで積層物１１を加熱し、かつ加圧ローラによってエンドレスベルト４を介して積層物１１をプレスできる。
【００４０】
製造装置は、長尺なフィルム２をコイル状に巻回した状態で保持する繰出機５と、長尺な金属箔３をコイル状に巻回した状態で保持する二つの繰出機６とを備える。繰出機５及び繰出機６は、フィルム２及び金属箔３をそれぞれ連続的に繰り出せる。また、製造装置は、長尺な金属張積層板１をコイル状に巻き取る巻取機８も備える。繰出機５及び繰出機６と巻取機８との間に、ダブルベルトプレス装置７が配置されている。
【００４１】
金属張積層板１を製造する際には、まず繰出機５及び繰出機６からそれぞれ繰り出されたフィルム２及び金属箔３が、ダブルベルトプレス装置７へ供給される。このとき、二枚の金属箔３がフィルム２の一つの面とその反対側の面にそれぞれ重ねられて、積層物１１が構成される。なお、金属層を一つのみ備える金属張積層板１を製造する場合には、一つの繰出機６のみから金属箔３を繰り出すことで、一枚の金属箔３がフィルム２の一つの面に重ねられて、積層物１１が構成されてもよい。この積層物１１はダブルベルトプレス装置７の二つのエンドレスベルト４間に供給される。
【００４２】
ダブルベルトプレス装置７では積層物１１は二つのエンドレスベルト４に挟まれた状態でエンドレスベルト４間を通過する。エンドレスベルト４はフィルム２及び金属箔３の搬送速度に同期して周回する。積層物１１がエンドレスベルト４の間を移動する間、積層物１１には熱圧装置１０によりエンドレスベルト４を介してプレスされると同時に加熱される。これにより、軟化又は溶融したフィルム２と金属箔３とが接着する。これにより、金属張積層板１が製造され、この金属張積層板１がダブルベルトプレス装置７から導出される。この金属張積層板１は巻取機８によってコイル状に巻き取られる。
【００４３】
ダブルベルトプレスを含む方法で金属張積層板１を製造すると、エンドレスベルト４は一定時間、積層物１１に面接触しながら積層物１１をプレスでき、しかも積層物１１全体を同じ条件で加熱することが容易である。このため、熱盤プレス及びロールプレスに比べて、加熱温度及びプレス圧のばらつきが生じにくく、その結果、より高い引き剥がし強度と寸法精度とを達成できる。
【００４４】
なお、上記説明では一枚のフィルム２から絶縁層を作製しているが、二枚以上のフィルム２から絶縁層を作製してもよい。
【００４５】
フィルム２と金属箔３との熱プレス時の最高加熱温度は、液晶ポリマーの融点より５℃低い温度以上、この融点よりも２０℃高い温度以下であることが好ましい。最高加熱温度が融点より５℃低い温度以上であると、熱プレス時にフィルム２が十分に軟化することで、絶縁層と金属層との密着性を高くでき、このため引き剥がし強度をより高くできる。最高加熱温度が融点よりも２０℃高い温度以下であると、熱プレス時のフィルム２の過度な変形を抑制でき、このため寸法精度をより高くできる。最高加熱温度は、融点以上、融点より１５℃高い温度以下であれば、更に好ましい。
【００４６】
積層物１１を熱プレスするに当たり、ダブルベルトプレスする場合には、エンドレスベルト４間を通過する間の積層物１１にその移動方向と直交する幅方向に生じる温度差が、１０℃以内であることが好ましい。この場合、熱プレス時のフィルム２の流動性を適切に制御できるため、引き剥がし強度と寸法精度とをより高くできる。
【００４７】
熱プレス時のプレス圧は０．４９ＭＰａ以上であることが好ましく、２ＭＰａ以上であれば更に好ましい。この場合、引き剥がし強度をより高くできる。プレス圧は５．９ＭＰａ以下であることが好ましく、５ＭＰａ以下であれば更に好ましい。この場合、寸法精度をより高くできる。
【００４８】
熱プレスの加熱加圧時間は９０秒以上であることが好ましく、１２０秒以上であれば更に好ましい。この場合、引き剥がし強度をより高くできる。熱プレスの加熱加圧時間が３６０秒以下であることも好ましく、２４０秒以下であれば更に好ましい。この場合、寸法精度をより高くできる。
【００４９】
金属張積層板１における絶縁層の厚みの変動係数は３．３％以下であることが好ましい。本実施形態では、絶縁層の厚みの寸法精度を高くすることで、このような変動係数を達成可能である。なお、厚みの変動係数は、絶縁層の厚みを、その５００ｍｍ×５００ｍｍの面積当たり６つの、互いに異なる位置で測定した結果から算出される。
【００５０】
金属張積層板１における絶縁層に対する金属層の引き剥がし強度は、０．８Ｎ／ｍｍ以上であることが好ましい。本実施形態では、絶縁層と金属層との接着性を向上することで、このような金属層の引き剥がし強度を達成可能である。金属層の引き剥がし強度が０．９Ｎ／ｍｍ以上であればより好ましく、１．０Ｎ／ｍｍ以上であれば更に好ましい。なお、金属層の引き剥がし強度は、金属張積層板１における８箇所での金属層の引き剥がし強度を、オートグラフを用いて９０度引き剥がし法で測定した結果の、平均値である。
【００５１】
金属張積層板１から、フレキシブルプリント配線板などのプリント配線板を製造できる。例えば金属張積層板１における金属層をフォトリソグラフィ法などでパターニングして導体配線を作製することで、プリント配線板を製造できる。このプリント配線板を公知の方法で多層化することで、多層プリント配線板を製造することもできる。プリント配線板を公知の方法で部分的に多層化することで、フレックスリジッドプリント配線板を製造することもできる。
【実施例】
【００５２】
以下、本発明の具体的な実施例を説明する。なお、本発明はこの実施例のみに制限されない。【００５３】
１．金属張積層板の製造
二つの金属箔の粗面をフィルムの一つの面とそれとは反対側の面とにそれぞれ重ねて得られた積層物を、熱プレスすることで、金属張積層板を製造した。なお、金属箔の幅寸法は５５０ｍｍ、フィルムの幅寸法は５３０ｍｍである。【００５４】
各実施例及び比較例で使用したフィルムの種別、フィルムの平均厚み、及びフィルムの厚みの変動係数を、表１及び２に示す。「種別」におけるＣＴＱは株式会社クラレ製のベクスターＣＴＱを示し、ＣＴＺは株式会社クラレ製のベクスターＣＴＺを示す。「平均厚み」は、フィルムの厚みを、その５００ｍｍ×５００ｍｍの面積当たり６つの異なる位置で、マイクロメーターで測定した値の、算術平均値である。「厚みの変動係数」は、前記の厚みの測定結果から算出した変動係数である。【００５５】
各実施例及び比較例で使用した金属箔の厚み及び粗面のＲｚも、表１及び２に示す。【００５６】
また、各実施例及び比較例における、熱プレスの方法、最高加熱温度、プレス圧及び加熱加圧時間も、表１及び２に示す。【００５７】
２．評価試験
２−１．端部樹脂流れ量
金属張積層板の幅寸法から、成形前のフィルムの幅寸法を引いた値の半分の値を、端部樹脂流れ量とした。【００５８】
２−２．絶縁層厚さの変動係数
金属張積層板から金属層をエッチング処理で除去することで、アンクラッド板を得た。このアンクラッド板の厚みを、その５００ｍｍ×５００ｍｍの面積当たり６つの異なる位置で、マイクロメーターで測定し、その結果から変動係数を算出した。【００５９】
２−３．金属層引き剥がし強度
金属張積層板の金属層をエッチング処理することで、１ｍｍ×２００ｍｍの寸法を有する直線状の配線を作製した。この配線の絶縁層からの引き剥がし強度を、９０度引き剥がし法で測定した。同様の測定を８回行い、その結果の算術平均値を算出した。【００６０】
２−４．金属層引き剥がし強度の変動係数
上記金属層引き剥がし強度の測定値から、その変動係数を算出した。【００６１】
２−５．絶縁層の融点
各実施例及び比較例で使用したフィルムを、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）法で、温度範囲２３〜３４５℃、昇温速度１０℃／分の条件で測定した。測定結果の曲線に最初に現れる吸熱ピークの頂点の位置を絶縁層の融点とした。【００６２】
２−６．対数減衰率
絶縁層について、剛体振り子型粘弾性測定装置を用いて、絶縁層の融点における、振動の幅の対数減衰率を測定した。剛体振り子型粘弾性測定装置は株式会社エー・アンド・デイ製である。剛体振り子型粘弾性測定装置における、本体の型番はＲＰＴ−３０００Ｗ、剛体振り子の型番はＦＲＢ−３００、試料台（冷熱ブロック）の型番はＣＨＢ−１００、支点部（エッジ）の型番はＲＢＰ−００６である。支点部における、絶縁層と接触している箇所の長さ寸法は、１０ｍｍである。対数減衰率は、上記式（１）を用いて算出した。【００６３】
【表１】
2019082971.tif 000003
【００６４】
【表２】
2019082971.tif 000004
【符号の説明】
【００６５】
１    金属張積層板
【図１】
2019082971.tif 000005
【図２】
2019082971.tif 000006
【図３】
2019082971.tif 000007
【国際調査報告】
2019082971.tif 000008
2019082971.tif 000009
2019082971.tif 000010
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