(57)【要約】  屈折率が小さく、平滑性に優れた隔壁を有する構造体を提供する。また、この構造体に用いられる隔壁形成用組成物、構造体を含む固体撮像素子および画像表示装置を提供する。構造体１００は、支持体１と、支持体１上に設けられた隔壁２と、隔壁で区切られた領域に設けられた画素４と、を有し、隔壁２がかご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて形成された隔壁である。かご型シロキサン化合物は、「（＊−ＳｉＯ１．５）ｎ」で表される部分構造を有する化合物であることが好ましい。式中、＊は連結手を表し、ｎは６〜１６の整数を表す。
2019064993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
前記支持体上に設けられた隔壁と、
前記隔壁で区切られた領域に設けられた画素と、を有し、
前記隔壁が、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて形成された隔壁である、構造体。
【請求項２】
前記かご型シロキサン化合物は、酸素原子数と珪素原子数との比率であるＯ／Ｓｉが１．３〜１．７であるかご型シロキサン化合物を含む、請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
前記かご型シロキサン化合物が、下記式（Ｓ１）で表される部分構造を含む、請求項１または２に記載の構造体；
（＊−ＳｉＯ１．５）ｎ        ・・・（Ｓ１）
式中、＊は連結手を表し、ｎは６〜１６の整数を表す。
【請求項４】
前記かご型シロキサン化合物が、下記式（Ｓ２）で表される化合物および前記化合物を重合して得られるポリマーから選ばれる少なくとも１種を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の構造体；
（ＲＳ１−ＳｉＯ１．５）ｎ        ・・・（Ｓ２）
式中、ＲＳ１は、アルキル基または重合性基を表し、ｎは６〜１６の整数を表し、ｎ個のＲＳ１のうち２個以上のＲＳ１は重合性基である。
【請求項５】
前記かご型シロキサン化合物は、下記式（Ｓ１−１）で表される部分構造を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の構造体；
式（Ｓ１−１）
【化１】
2019064993.tif 000019
上記式中の波線は結合手を表す。
【請求項６】
前記かご型シロキサン化合物は、重量平均分子量が５０，０００〜３００，０００のポリマーを含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項７】
前記画素は、着色画素、透明画素および赤外線透過層の画素から選ばれる少なくとも１種の画素を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項８】
支持体と、前記支持体上に設けられた隔壁と、前記隔壁で区切られた領域に設けられた画素とを有する構造体の前記隔壁の形成に用いられる隔壁形成用組成物であって、
かご型シロキサン化合物と溶剤とを含む隔壁形成用組成物。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の構造体を有する固体撮像素子。
【請求項１０】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の構造体を有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体上の隔壁で区切られた領域に画素が設けられた構造体に関する。また、隔壁形成用組成物、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。【０００３】
固体撮像素子の一形態として、支持体上の隔壁で区切られた領域に着色層が設けられた構造体を備えた固体撮像素子などが知られている。【０００４】
例えば、特許文献１には、半導体基板と、２色以上のカラーフィルタ層と少なくとも異色のカラーフィルタ層間を隔てて分離する分離壁とを有するカラーフィルタアレイと、半導体基板とカラーフィルタアレイとの間に配置された集光手段と、を備えた固体撮像素子が記載されている。【０００５】
一方、特許文献２、３には、かご型シロキサン化合物を含む組成物に関する発明が記載されている。特許文献２には、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて絶縁膜を形成することが記載されている。また、特許文献３には、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて反射防止膜を形成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１１１２２５号公報
【特許文献２】特開２００７−２５４５０６号公報
【特許文献３】特開２００８−２１４４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
支持体上の隔壁で区切られた領域に画素が設けられた構造体において、隔壁の材質として屈折率の低い材料を用いることが検討されている。例えば、特許文献１の段落００４６には、隔壁の材質として、ガラス、ＳｉＯ２膜の多孔質層、フッ素系ポリマー、シロキサンポリマーなどの低屈折材料が用いられることが記載されている。【０００８】
例えば、隔壁の屈折率を、画素の屈折率よりも相対的に小さくすることで、画素を通過する光の集光率を高めたり、隣接する他の画素への光漏れなどを防止でき、イメージングやセンシングなどの感度を高めることができる。このため、近年においては、隔壁の屈折率をより低下させることが望まれている。【０００９】
一方、本発明者が特許文献１に記載された低屈折材料を用いた隔壁について検討を進めたところ、隔壁の屈折率についてさらなる改善の余地があることが分かった。【００１０】
また、隔壁は、一般的に、支持体上に隔壁材料層を形成し、この隔壁材料層に対してドライエッチング法などの方法でパターン形成を行って形成されるが、隔壁側面の平滑性が不十分な場合があることが分かった。隔壁側面の平滑性が不十分であると、画素を透過する光の散乱などが生じて、光の集光率を十分に高められないことがある。このため、隔壁側面の平滑性は高いことが望ましい。【００１１】
よって、本発明の目的は、屈折率が小さく、平滑性に優れた隔壁を有する構造体を提供することにある。また、前述の構造体に用いられる隔壁形成用組成物、構造体を含む固体撮像素子および画像表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者の検討によれば、かご型シロキサン化合物と溶剤とを含む組成物を用いて隔壁を形成することで、屈折率が小さく、平滑性に優れた隔壁を有する構造体を製造できることを見出し、本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
＜１＞  支持体と、
支持体上に設けられた隔壁と、
隔壁で区切られた領域に設けられた画素と、を有し、
隔壁が、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて形成された隔壁である、構造体。
＜２＞  かご型シロキサン化合物は、酸素原子数と珪素原子数との比率であるＯ／Ｓｉが１．３〜１．７であるかご型シロキサン化合物を含む、＜１＞に記載の構造体。
＜３＞  かご型シロキサン化合物が、下記式（Ｓ１）で表される部分構造を含む、＜１＞または＜２＞に記載の構造体；
（＊−ＳｉＯ１．５）ｎ        ・・・（Ｓ１）
式中、＊は連結手を表し、ｎは６〜１６の整数を表す。
＜４＞  かご型シロキサン化合物が、下記式（Ｓ２）で表される化合物およびこの化合物を重合して得られるポリマーから選ばれる少なくとも１種を含む、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の構造体；
（ＲＳ１−ＳｉＯ１．５）ｎ        ・・・（Ｓ２）
式中、ＲＳ１は、アルキル基または重合性基を表し、ｎは６〜１６の整数を表し、ｎ個のＲＳ１のうち２個以上のＲＳ１は重合性基である。
＜５＞  かご型シロキサン化合物は、下記式（Ｓ１−１）で表される部分構造を有する、＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の構造体；
式（Ｓ１−１）
【化１】
2019064993.tif 000003
上記式中の波線は結合手を表す。
＜６＞  かご型シロキサン化合物は、重量平均分子量が５０，０００〜３００，０００のポリマーを含む、＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の構造体。
＜７＞  画素は、着色画素、透明画素および赤外線透過層の画素から選ばれる少なくとも１種の画素を含む、＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の構造体。
＜８＞  支持体と、支持体上に設けられた隔壁と、隔壁で区切られた領域に設けられた画素とを有する構造体の隔壁の形成に用いられる隔壁形成用組成物であって、かご型シロキサン化合物と溶剤とを含む隔壁形成用組成物。
＜９＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の構造体を有する固体撮像素子。
＜１０＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の構造体を有する画像表示装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、屈折率が小さく、平滑性に優れた隔壁を有する構造体を提供することができる。また、前述の構造体に用いられる隔壁形成用組成物、構造体を含む固体撮像素子および画像表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の構造体の一実施形態を示す側断面図である。
【図２】同構造体における支持体の真上方向からみた平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計質量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。
【００１６】
＜構造体＞
本発明の構造体について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の構造体の一実施形態を示す側断面図であり、図２は、同構造体における支持体の真上方向からみた平面図である。
図１、２に示すように、本発明の構造体１００は、支持体１と、支持体１上に設けられた隔壁２と、隔壁２で区切られた領域に設けられた画素４と、を有する。そして、本発明の構造体１００においては、隔壁２が、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて形成された隔壁であることを特徴とする。
【００１７】
本発明の構造体における隔壁は、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて形成されたものであるので、屈折率が小さく、平滑性に優れている。かご型シロキサン化合物は分子構造内に比較的大きな空隙を有する構造を有しているため、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて隔壁を形成することにより、隔壁の屈折率をより低下させることができる。また、かご型シロキサンを用いて隔壁を形成することにより、得られる隔壁の膜面荒れなどを抑制でき、平滑性に優れた隔壁を形成することができる。このため、本発明の構造体によれば、屈折率が小さく、平滑性に優れた隔壁を有する構造体とすることができる。そして、本発明の構造体は、隔壁の屈折率が小さくかつ平滑性に優れるので、画素を透過する光の集光率をより高めることができる。このため、本発明の構造体を固体撮像素子や画像表示装置などに組み込んで用いることで、イメージングやセンシングなどの感度をより高めることができる。
また、本発明の構造体は、隔壁と画素との密着性にも優れる。かご型シロキサン化合物は、シロキサン骨格に有機基などの官能基が結合した構造を有しているので、この官能基によって画素との親和性が向上したり、画素と相互作用しやすくなり、その結果、優れた密着性を得ることができたと推測される。
【００１８】
本発明の構造体は、固体撮像素子、画像表示装置などに好ましく用いることができる。より具体的には、デジタルスチルカメラ、デジタルビデオカメラ、監視カメラ、車載カメラなどに搭載される撮像デバイスなどに好ましく用いることができる。以下本発明の構造体について詳細に説明する。
【００１９】
本発明の構造体において、支持体１の材質としては特に限定はない。用途に応じて適宜選択できる。例えば、シリコン、無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスなどの材質で構成された基板や、固体撮像素子などの各種電子デバイスなどで使用されている基板（シリコンウエハ、炭化ケイ素ウエハ、窒化ケイ素ウエハ、サファイアウエハ、ガラスウエハなど）を用いることができる。また、支持体上には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、支持体上には、タングステンなどの遮光材で構成されたブラックマトリックスが形成されている場合もある。また、支持体上には、必要により、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下地層が設けられていてもよい。
【００２０】
支持体１上には隔壁２が形成されている。この実施形態においては、図２に示すように、隔壁２は、支持体１の真上方向から見た平面図において、格子状に形成されている。なお、この実施形態では、支持体１上における隔壁２によって区画された領域の形状（以下、隔壁の開口部の形状ともいう）は正方形状をなしているが、隔壁の開口部の形状は、特に限定されず、例えば、長方形状、円形状、楕円形状、または、多角形状等であっても良い。
【００２１】
隔壁２は、かご型シロキサン化合物を含む組成物を用いて形成されたものである。ここで、かご型シロキサン化合物とは、かご型のシロキサン構造を有する化合物のことである。隔壁２は、かご型のシロキサン構造を有することが好ましい。かご型のシロキサン構造は、完全かご型のシロキサン構造であってもよく、不完全かご型のシロキサン構造であってもよいが、より屈折率が小さく、かつ、より平滑性に優れた隔壁を形成し易いという理由から完全かご型のシロキサン構造であることが好ましい。ここで、完全かご型のシロキサン構造とは、シロキサン結合によって形成された閉じた空間を含む多面体構造のシロキサン構造のことを意味し、不完全かご型のシロキサン構造とは、完全かご型のシロキサン構造の一部が開環した構造のシロキサン構造のことを意味する。
【００２２】
かご型シロキサン化合物は、酸素原子数と珪素原子数との比率であるＯ／Ｓｉが１．３〜１．７であるかご型シロキサン化合物を含むことが好ましい。
また、かご型シロキサン化合物は、下記式（Ｓ１）で表される部分構造を含む化合物であることが好ましい。
（＊−ＳｉＯ１．５）ｎ        ・・・（Ｓ１）
式中、＊は連結手を表し、ｎは６〜１６の整数を表す。
【００２３】
ｎは、８、１０、１２、１４、または１６であることが好ましく、８、１０、または１２であることがより好ましく、８であることが更に好ましい。
【００２４】
式（Ｓ１）で表される部分構造の具体例としては、以下に式（Ｓ１−１）〜（Ｓ１−７）で示す構造が挙げられ、式（Ｓ１−１）で表される部分構造であることが、屈折率および平滑性の観点から好ましい。なお、式（Ｓ１−１）〜（Ｓ１−７）における波線は、それぞれ結合手を表す。
【００２５】
式（Ｓ１−１）
【化２】
2019064993.tif 000004
【００２６】
【化３】
2019064993.tif 000005
【００２７】
かご型シロキサン化合物の形態としては、モノマーであってもよく、ポリマーであってもよいが、得られる隔壁の屈折率、平滑性の観点からポリマーを少なくとも含むことが好ましい。また、かご型シロキサン化合物の全質量中におけるポリマーの含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることが更に好ましい。
モノマー（モノマータイプのかご型シロキサン化合物）の分子量は、４００〜２，０００であることが好ましい。
ポリマー（ポリマータイプのかご型シロキサン化合物）の重量平均分子量は、５０，０００〜３００，０００であることが好ましい。上限は、このポリマーを含む組成物の濾過性の観点から２８０，０００以下であることがより好ましく、２５０，０００以下であることが更に好ましく、２４０，０００以下であることが更により好ましい。下限は、屈折率の観点から７０，０００以上であることがより好ましく、９０，０００以上であることが更に好ましく、１００，０００以上であることが更により好ましい。また、ポリマーの分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は、２〜４が好ましく、２〜３．５がより好ましく、２．５〜３．５が更に好ましい。
また、前述のポリマーは、上記式（Ｓ１−１）で表される部分構造を有するポリマーであることが好ましい。
【００２８】
かご型シロキサン化合物は、下記式（Ｓ２）で表される化合物およびこの化合物を重合して得られるポリマーから選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、前述のポリマーを含むことがより好ましい。
（ＲＳ１−ＳｉＯ１．５）ｎ        ・・・（Ｓ２）
式中、ＲＳ１は、アルキル基または重合性基を表し、ｎは６〜１６の整数を表し、ｎ個のＲＳ１のうち２個以上のＲＳ１は重合性基である。
【００２９】
ＲＳ１が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜８がより好ましく、１〜５が更に好ましく、１〜３が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または環状であることが好ましく、直鎖であることがより好ましい。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、２−ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、２−ペンチル基、３−ペンチル基、イソアミル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、２−ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロオクチル基が挙げられ、好ましくは、メチル基またはエチル基であり、より好ましくはメチル基である。
【００３０】
ＲＳ１が表す重合性基としては、炭素−炭素二重結合または炭素−炭素三重結合を含む基が好ましい。炭素−炭素二重結合または炭素−炭素三重結合を含む基としては、例えば、ビニル基、アリル基、１−プロペニル基、１−ブテニル基、２−ブテン−１−イル基、１−ブテン−４−イル基、１−ヘキセン−６−イル基、エチニル基、プロパルギル基、２−ブチン−１−イル基が挙げられる。これらの基は置換基を有していてもよい。好ましくはビニル基、置換基を有するビニル基、エチニル基、または置換基を有するエチニル基等を挙げることができる。上記における置換基としては、例えば、炭素数１〜６のアルキル基、アリール基、炭素数２〜６のアルケニル基、炭素数２〜６のアルキニル基等が挙げられる。
【００３１】
ＲＳ１が表す重合性基は、炭素−炭素二重結合または炭素−炭素三重結合を含む基のみで構成されていてもよく、炭素−炭素二重結合または炭素−炭素三重結合を含む基と２価の連結基とで構成された基であってもよい。この場合、ケイ素原子に対して、２価の連結基を介して炭素−炭素二重結合または炭素−炭素三重結合を含む基が結合する。
上記の２価の連結基としては、
−［Ｃ（Ｒ１１）（Ｒ１２）］ｋ−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ１３）−、−Ｓ−、−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ１４）（Ｒ１５）−、およびこれらを任意に組み合わせてできる２価の連結基が挙げられる。（Ｒ１１〜Ｒ１５はそれぞれ独立して水素原子、メチル基、エチル基、またはフェニル基を表し、ｋは１〜６の整数を表す。）、なかでも、−［Ｃ（Ｒ１１）（Ｒ１２）］ｋ−、−Ｏ−、−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ１４）（Ｒ１５）−またはこれらを任意に組み合わせてできる２価の連結基が好ましい。
ＲＳ１が表す重合性基は、ビニル基およびエチニル基が好ましく、ビニル基がより好ましい。
【００３２】
式（Ｓ２）で表される化合物を重合して得られるポリマーは、式（Ｓ２）で表される化合物のラジカル重合またはヒドロシリル化反応によって得ることができる。
ラジカル重合に用いる開始剤としては、有機過酸化物および有機アゾ系化合物が挙げられ、有機過酸化物が好ましい。有機過酸化物および有機アゾ系化合物の詳細については、特開２００７−２５４５０６号公報の段落番号００４１〜００４２に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
式（Ｓ２）で表される化合物のヒドロシリル化反応による重合は、式（Ｓ２）で表される化合物とシラン化合物とを、ラジカル発生剤もしくは遷移金属触媒の存在下に行なうことが好ましい。ラジカル発生剤としては、有機過酸化物および有機アゾ系化合物が挙げられる。遷移金属触媒としては、白金触媒、ロジウム触媒、ニッケル触媒、コバルト触媒、レニウム触媒、マンガン触媒、クロム触媒、イリジウム触媒が挙げられ、白金触媒が好ましい。遷移金属触媒の詳細については、特開２００７−２５４５０６号公報の段落番号００４８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、ヒドロシリル化反応により重合を行う場合には、架橋剤を用いることが好ましい。架橋剤としては、ＳｉＨ結合を複数有する化合物が好ましく、テトラメチルシクロテトラシロキサンやヒドロ−Ｔ８−シルセスキオキサンなどを好ましく用いることができる。
【００３３】
本発明において、かご型シロキサン化合物は、式（Ｓ２−１）で表される化合物およびこの化合物を重合して得られるポリマーから選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、前述のポリマーを含むことがより好ましい。
式（Ｓ２−１）
【化４】
2019064993.tif 000006
【００３４】
上記式中、ＲＳ１１〜ＲＳ１８は、それぞれ独立してアルキル基または重合性基を表し、ＲＳ１１〜ＲＳ１８のうち２〜４個は重合性基を表す。
【００３５】
ＲＳ１１〜ＲＳ１８が表すアルキル基および重合性基については、式（Ｓ２）のＲＳ１が表すアルキル基および重合性基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００３６】
式（Ｓ２）で表される化合物の具体例としては、特開２００７−２５４５０６号公報の段落番号００２３〜００３９に記載された化合物、特開２００８−２１４４５５号公報の段落番号００２１〜００２４に記載された化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、式（Ｓ２）で表される化合物のポリマーとしては、下記式（Ｓ２−１−１）〜式（Ｓ２−１−３）で表される構造を有するポリマーが挙げられる。
【００３７】
【化５】
2019064993.tif 000007
【００３８】
隔壁２の形成に用いられる組成物は、かご型シロキサン化合物の他に溶剤などの他の成分をさらに含有することができる。隔壁２の形成に用いられる組成物（隔壁形成用組成物）については後述する。
【００３９】
隔壁２の幅Ｗ１は、２０〜５００ｎｍであることが好ましい。下限は、３０ｎｍ以上であることがより好ましく、４０ｎｍ以上であることが更に好ましく、５０ｎｍ以上であることが更により好ましい。上限は、３００ｎｍ以下であることがより好ましく、２００ｎｍ以下であることが更に好ましく、１００ｎｍ以下であることが更により好ましい。
【００４０】
隔壁２の高さＨ１は、２００〜１０００ｎｍであることが好ましく、３００〜７００ｎｍであることがより好ましい。また、隔壁２の高さＨ１は、画素４の厚さ×２００％以下であることが好ましく、画素４の厚さ×１５０％以下であることがより好ましく、画素４の厚さと実質的に同じであることが更に好ましい。
【００４１】
隔壁２の高さＨ１と幅Ｗ１の比（高さＨ１／幅Ｗ１）は、隔壁の成形性の観点から１〜１００であることが好ましく、５〜５０であることがより好ましく、５〜３０であることが更に好ましい。
【００４２】
隔壁２のピッチＰ１は、特に限定はない。用途に応じて適宜選択することができる。例えば、高画素の固体撮像素子用途では、５００〜２０００ｎｍであることが好ましく、５００〜１５００ｎｍであることがより好ましく、５００〜１０００ｎｍであることが更に好ましい。
【００４３】
隔壁２の波長５５０ｎｍの光の屈折率は、１．１０〜１．４０であることが好ましく、１．１５〜１．３７であることがより好ましく、１．２０〜１．３５であることが更に好ましい。
【００４４】
支持体１上であって、隔壁２で区画された領域（隔壁の開口部）には、画素４が形成されている。画素の種類としては、特に限定は無い。赤色、青色、緑色、マゼンタ、シアンなどの着色画素や、赤外線透過層の画素、透明画素などが挙げられる。画素の種類と配置は任意に選択することができるが、画素４は、着色画素および赤外線透過層の画素から選ばれる少なくとも１種の画素を含むことが好ましい。
【００４５】
透明画素としては、波長４００〜６００ｎｍの範囲における透過率の最小値が８０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましく、９５％以上であることが更に好ましい。
【００４６】
赤外線透過層の画素としては、例えば波長７００〜２５００ｎｍの範囲の光の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層の画素であることが好ましく、波長７００〜２０００ｎｍの範囲の光の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層の画素であることがより好ましく、波長７００〜１５００ｎｍの範囲の光の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層の画素であることが更に好ましく、波長７００〜１３００ｎｍの範囲の光の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層の画素であることがより一層好ましく、波長７００〜１０００ｎｍの範囲の光の少なくとも一部を透過させる分光特性を有するフィルタ層の画素であることが特に好ましい。また、赤外線透過層は、１層の膜（単層膜）で構成されていてもよく、２層以上の膜の積層体（多層膜）で構成されていてもよい。また、赤外線透過層が多層膜で構成されている場合は、多層膜全体として上述の分光特性を有していればよく、１層の膜自体についてはそれぞれ上述の分光特性を有していなくてもよい。
【００４７】
赤外線透過層の画素の好ましい例として、例えば、以下の（１）〜（４）のいずれかの分光特性を有するフィルタ層の画素が挙げられる。
（１）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜６４０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長８００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。この画素によれば、波長４００〜６４０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長７２０ｎｍ以上の光を透過させることができる。
（２）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜７５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長９００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。この画素によれば、波長４００〜７５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長８５０ｎｍ以上の光を透過させることができる。
（３）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜８５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長１０００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。この画素によれば、波長４００〜８５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長９４０ｎｍ以上の光を透過させることができる。
（４）：厚み方向における光の透過率の、波長４００〜９５０ｎｍの範囲における最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、厚み方向における光の透過率の、波長１１００〜１３００ｎｍの範囲における最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。この画素によれば、波長４００〜９５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長１０４０ｎｍ以上の光を透過させることができる。
【００４８】
画素４の高さＨ２は、用途により適宜選択できる。例えば、固体撮像素子用途では、３００〜１０００ｎｍであることが好ましく、３００〜８００ｎｍであることがより好ましく、３００〜６００ｎｍであることが更に好ましい。また、画素４の高さＨ２は、隔壁２の高さＨ１の５０〜１５０％であることが好ましく、７０〜１３０％であることがより好ましく、９０〜１１０％であることが更に好ましい。
【００４９】
画素４は、各種の画素形成用組成物を用いて形成することができる。画素形成用組成物については後述する。
【００５０】
本発明の構造体は、隔壁２と画素４との間に有機物層が設けられていてもよい。この態様によれば、隔壁２と画素４との密着性をより向上させることができる。有機物層としては、樹脂や硬化性化合物などを含む組成物を用いて形成することができる。樹脂としては例えば、（メタ）アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂などが挙げられる。硬化性化合物としては後述する材料などが挙げられる。
【００５１】
本発明の構造体は、画素４上に集光レンズなどが設けられていてもよい。また、集光レンズは画素の表面に設けられていてもよく、画素４と集光レンズとの間に中間層が更に設けられていてもよい。中間層としては、上記の有機物層や、低屈層などが挙げられる。低屈層は本発明の隔壁形成用組成物を用いて形成した膜であってもよい。
【００５２】
＜隔壁形成用組成物＞
次に、本発明の構造体における隔壁の形成に用いられる組成物（隔壁形成用組成物）についてさらに詳しく説明する。
【００５３】
（かご型シロキサン化合物）
隔壁形成用組成物は、かご型シロキサン化合物を含む。かご型シロキサン化合物については上述したものが挙げられる。
隔壁形成用組成物中におけるかご型シロキサン化合物の含有量は、１質量％以上であることが好ましく、５質量％以上であることがより好ましい。
隔壁形成用組成物の全固形分中におけるかご型シロキサン化合物の含有量は、４０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましい。隔壁形成用組成物の全固形分中におけるかご型シロキサン化合物の含有量が高いほど、屈折率が低く、平滑性に優れた隔壁を形成し易い。
隔壁形成用組成物の全固形分中におけるポリマータイプのかご型シロキサン化合物の含有量は、４５質量％以上であることが好ましく、６５質量％以上であることがより好ましく、８５質量％以上であることが更に好ましい。
また、隔壁形成用組成物に含まれるかご型シロキサン化合物の全質量中におけるポリマータイプのかご型シロキサン化合物の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることが更に好ましい。かご型シロキサン化合物は実質的にポリマータイプのかご型シロキサン化合物のみであることも好ましい。なお、隔壁形成用組成物に含まれるかご型シロキサン化合物が、実質的にポリマータイプのかご型シロキサン化合物のみである場合とは、かご型シロキサン化合物の全質量中におけるポリマータイプのかご型シロキサン化合物の含有量が９９質量％以上であることを意味し、９９．５質量％以上であることがより好ましく、ポリマータイプのかご型シロキサン化合物のみであることが更に好ましい。
また、かご型シロキサン化合物としてポリマータイプのかご型シロキサン化合物とモノマータイプのかご型シロキサン化合物とを併用することもできる。両者を併用することで隔壁形成用組成物の硬化性を向上させることができる。また、画素との密着性を高めることもできる。両者を併用する場合、ポリマータイプのかご型シロキサン化合物の１００質量部に対して、モノマータイプのかご型シロキサン化合物が０．０１〜１０質量部であることが好ましく、０．１〜１．０質量部であることがより好ましい。
【００５４】
（他の低屈折材料）
本発明の隔壁形成用組成物は、かご型シロキサン化合物以外の他の低屈折材料を含有することができる。他の低屈折材料としては、かご型シロキサン化合物以外のシロキサン樹脂、フッ素樹脂、コロイダルシリカ粒子などが挙げられる。
【００５５】
シロキサン樹脂としては、アルコキシシラン原料を用いて、加水分解反応および縮合反応を介して得られる樹脂が挙げられる。シロキサン樹脂はかご型のシルセスキオキサン構造を有するシロキサン樹脂であってもよい。
【００５６】
フッ素樹脂としては、分子中にフッ素を含有する樹脂が挙げられる。具体的には、ポリテトラフルオロエチレン、ポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体、ヘキサフルオロプロピレン／プロピレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ビニリデンフルオライド／エチレン共重合体などが挙げられる。また、アモルファスフッ素樹脂も好ましく用いられ、市販品としてはＣＹＴＯＰ（旭硝子製）などが挙げられる。ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素樹脂の重量平均分子量は１０万〜１０００万の範囲が好ましく、１０万〜１００万がより好ましい。ポリテトラフルオロエチレンの市販品としては、三井・デュポンフロロケミカル（株）製のテフロン（登録商標）６−Ｊ、テフロン（登録商標）６Ｃ−Ｊ、テフロン（登録商標）６２−Ｊ、旭アイシーアイフロロポリマーズ（株）製のフルオンＣＤ１やＣＤ０７６が挙げられる。また、ポリテトラフルオロエチレン粒子と有機系重合体とからなるポリテトラフルオロエチレン含有混合粉体の市販品としては、三菱レイヨン（株）から、“メタブレン（登録商標）”Ａシリーズとして市販され、“メタブレン（登録商標）”Ａ−３０００、“メタブレン（登録商標）”Ａ−３８００などが市販されている。なお、本明細書において、分子中にシロキサン結合とフッ素原子を含む樹脂については、シロキサン樹脂に該当するものとする。
【００５７】
コロイダルシリカ粒子の好ましい態様としては、以下の第１〜３の態様が挙げられる。
第１の態様：動的光散乱法により測定された平均粒子径Ｄ１が２５〜１０００ｎｍであり、かつ、平均粒子径Ｄ１と、窒素吸着法により測定されたコロイダルシリカ粒子の比表面積Ｓから算出される平均粒子径Ｄ２との比Ｄ１／Ｄ２が３以上である態様。
第２の態様：複数個の球状シリカ粒子が平面的に連結されている態様。
第３の態様：複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている態様。
【００５８】
第１の態様のコロイダルシリカ粒子は、更に第２の態様または第３の態様のコロイダルシリカ粒子の要件を満たしていてもよい。また、第２の態様のコロイダルシリカ粒子は、更に第１の態様の要件を満たしていてもよい。また、第３の態様のコロイダルシリカ粒子は、更に第１の態様のコロイダルシリカ粒子の要件を満たしていてもよい。
【００５９】
なお、本明細書において「球状」とは、実質的に球形であれば良く、本発明の効果を奏する範囲で、変形していてもよい意味である。例えば、表面に凹凸を有する形状や、所定の方向に長軸を有する扁平形状も含む意味である。
また、「複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている」とは、複数個の球状シリカ粒子同士が直鎖状および／または分岐した形で繋がった構造を意味する。例えば、複数個の球状シリカ粒子同士が、これよりも外径の小さい接合部で連結された構造が挙げられる。また、本発明において、「複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている」構造としては、リング状につながった形態をなしている構造のみならず、末端を有する鎖状の形態をなしている構造も含まれる。
また、「複数個の球状シリカ粒子が平面的に連結されている」とは、複数個の球状シリカ粒子同士が、略同一平面上において連結された構造を意味する。なお、「略同一平面」とは同一平面である場合のみならず、同一平面から上下にずれていてもよい意味である。例えば、シリカ粒子の粒子径の５０％以下の範囲で上下にずれていてもよい。
【００６０】
本発明で用いられるコロイダルシリカ粒子は、動的光散乱法により測定された平均粒子径Ｄ１と上記の平均粒子径Ｄ２との比Ｄ１／Ｄ２が３以上であることが好ましい。Ｄ１／Ｄ２の上限は特にないが、１０００以下であることが好ましく、８００以下であることがより好ましく、５００以下であることが更に好ましい。Ｄ１／Ｄ２をこのような範囲とすることにより、良好な光学特性を発現し、更には、乾燥時における凝集を効果的に抑制することができる。なお、コロイダルシリカ粒子におけるＤ１／Ｄ２の値は、球状シリカ粒子のつながり度合の指標でもある。
【００６１】
コロイダルシリカ粒子の上記平均粒子径Ｄ２は、球状シリカの一次粒子に近似する平均粒子径とみなすことができる。平均粒子径Ｄ２は１ｎｍ以上であることが好ましく、３ｎｍ以上であることがより好ましく、５ｎｍ以上であることが更に好ましく、７ｎｍ以上であることが特に好ましい。上限としては、１００ｎｍ以下であることが好ましく、８０ｎｍ以下であることがより好ましく、７０ｎｍ以下であることが更に好ましく、６０ｎｍ以下であることがより一層好ましく、５０ｎｍ以下であることが特に好ましい。
【００６２】
平均粒子径Ｄ２は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した球状部分の投影像における円相当直径（Ｄ０）で代用することができる。円相当直径による平均粒子径はとくに断らない限り、５０個以上の粒子の数平均で評価する。
【００６３】
コロイダルシリカ粒子の上記平均粒子径Ｄ１は、複数の球状シリカ粒子がまとまった二次粒子の数平均粒径とみなすことができる。したがって、通常、Ｄ１＞Ｄ２の関係が成り立つ。平均粒子径Ｄ１は、２５ｎｍ以上であることが好ましく、３０ｎｍ以上であることがより好ましく、３５ｎｍ以上であることが特に好ましい。上限としては、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、７００ｎｍ以下であることがより好ましく、５００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、３００ｎｍ以下であることが特に好ましい。
【００６４】
コロイダルシリカ粒子の上記平均粒子径Ｄ１の測定は、特に断らない限り、動的光散乱式粒径分布測定装置（日機装製  ナノトラック  Ｎａｎｏｔｒａｃ  Ｗａｖｅ−ＥＸ１５０［商品名］）を用いて行う。手順は以下のとおりである。コロイダルシリカ粒子の分散液を２０ｍｌサンプル瓶に分取し、トルエンにより固形分濃度が０．２質量％になるように希釈調整する。希釈後の試料溶液は、４０ｋＨｚの超音波を１分間照射し、その直後に試験に使用する。温度２５℃で２ｍｌの測定用石英セルを使用してデータ取り込みを１０回行い、得られた「数平均」を平均粒子径とする。その他の詳細な条件等は必要によりＪＩＳＺ８８２８：２０１３「粒子径解析−動的光散乱法」の記載を参照する。１水準につき５つの試料を作製しその平均値を採用する。
【００６５】
コロイダルシリカ粒子は、平均粒子径１〜８０ｎｍの球状シリカ粒子が、連結材を介して複数個連結していることが好ましい。球状シリカ粒子の平均粒子径の上限としては、７０ｎｍ以下であることが好ましく、６０ｎｍ以下であることがより好ましく、５０ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、球状シリカ粒子の平均粒子径の下限としては、３ｎｍ以上であることが好ましく、５ｎｍ以上であることがより好ましく、７ｎｍ以上であることが更に好ましい。なお、本発明において球状シリカ粒子の平均粒子径の値は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した球状部分の投影像における円相当直径から求められる平均粒子径の値を用いる。
【００６６】
球状シリカ粒子同士を連結する連結材としては、金属酸化物含有シリカが挙げられる。金属酸化物としては、例えば、Ｃａ、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｙ、Ｔｉから選ばれる金属の酸化物などが挙げられる。金属酸化物含有シリカとしては、これらの金属酸化物とシリカ（ＳｉＯ２）との反応物、混合物などが挙げられる。連結材については、国際公開ＷＯ２０００/１５５５２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００６７】
球状シリカ粒子の連結数としては、３個以上が好ましく、５個以上がより好ましい。上限は、１０００個以下が好ましく、８００個以下がより好ましく、５００個以下が更に好ましい。球状シリカ粒子の連結数は、ＴＥＭで測定できる。
【００６８】
コロイダルシリカ粒子は、粒子液（ゾル）の状態で用いてもよい。例えば特許第４３２８９３５号に記載されているシリカゾル等を使用することができる。コロイダルシリカ粒子を分散させる媒体としては、アルコール（例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール（ＩＰＡ））、エチレングリコール、グリコールエーテル（例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル）、グリコールエーテルアセテート（例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）等が例示される。また、後述する溶剤Ａ１、溶剤Ａ２などを用いることもできる。粒子液（ゾル）において、ＳｉＯ２濃度は５〜４０質量％であることが好ましい。粒子液（ゾル）は市販品を用いることもできる。例えば、日産化学工業社製の「スノーテックス  ＯＵＰ」、「スノーテックス  ＵＰ」、「ＩＰＡ−ＳＴ−ＵＰ」、「スノーテックス  ＰＳ−Ｍ」、「スノーテックス  ＰＳ−ＭＯ」、「スノーテックス  ＰＳ−Ｓ」、「スノーテックス  ＰＳ−ＳＯ」、触媒化成工業株式会社製の「ファインカタロイドＦ−１２０」、扶桑化学工業株式会社製の「クォートロンＰＬ」などが挙げられる。
【００６９】
他の低屈折材料の含有量は、かご型シロキサン化合物の１００質量部に対して、５０質量部以下であることが好ましく、３０質量部以下であることがより好ましく、１０質量部以下であることが更に好ましい。
また、隔壁形成用組成物は、他の低屈折材料を実質的に含有しないことも好ましい。他の低屈折材料を実質的に含有しないとは、他の低屈折材料の含有量が、かご型シロキサン化合物の１００質量部に対して、１質量部以下であることが好ましく、０．１質量部以下であることがより好ましく、他の低屈折材料を含有しないことが更に好ましい。
【００７０】
（溶剤）
隔壁形成用組成物は溶剤を含む。溶剤としては、有機溶媒（脂肪族化合物、ハロゲン化炭化水素化合物、アルコール化合物、エーテル化合物、エステル化合物、ケトン化合物、ニトリル化合物、アミド化合物、スルホキシド化合物、芳香族化合物）または水が挙げられる。それぞれの例を下記に列挙する。
【００７１】
・脂肪族化合物
ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、オクタン、ペンタン、シクロペンタンなど。
・ハロゲン化炭化水素化合物
塩化メチレン、クロロホルム、ジクロロメタン、二塩化エタン、四塩化炭素、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、エピクロロヒドリン、モノクロロベンゼン、オルソジクロロベンゼン、アリルクロライド、ＨＣＦＣ、モノクロロ酢酸メチル、モノクロロ酢酸エチル、モノクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、臭化メチル、トリ（テトラ）クロロエチレンなど。
・アルコール化合物
メチルアルコール、エチルアルコール、１−プロピルアルコール、２−プロピルアルコール、２−ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、１，６−ヘキサンジオール、シクロヘキサンジオール、ソルビトール、キシリトール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオールなど。
・エーテル化合物（水酸基含有エーテル化合物を含む）
ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ｔ−ブチルメチルエーテル、シクロヘキシルメチルエーテル、アニソール、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノベンジルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエール、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコールジメチルエーテルなど。
・エステル化合物
酢酸エチル、乳酸エチル、２−（１−メトキシ）プロピルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、炭酸プロピレン、１，３−ブチレングリコールジアセテートなど。
・ケトン化合物
アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノンなど。
・ニトリル化合物
アセトニトリルなど。
・アミド化合物
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、１−メチル−２−ピロリドン、２−ピロリジノン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、２−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルプロパンアミド、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、３−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミド、３−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミドなど。
・スルホキシド化合物
ジメチルスルホキシドなど。
・芳香族化合物
ベンゼン、トルエンなど。
【００７２】
隔壁形成用組成物において、溶剤の含有量は、隔壁形成用組成物の全量に対して７０〜９９質量％であることが好ましい。上限は９７質量％以下であることがより好ましく、９５質量％以下であることが更に好ましく、９３質量％以下であることが更により好ましい。下限は７５質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、８５質量％以上であることが更により好ましい。
【００７３】
（界面活性剤）
隔壁形成用組成物は界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤としては、ノニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、アニオン界面活性剤のいずれを用いてもよい。ノニオン界面活性剤においては、フッ素系界面活性剤が好ましい。特に、フッ素系界面活性剤、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤が好ましく、フッ素系界面活性剤がより好ましい。
【００７４】
本発明においては、ポリオキシアルキレン構造を有する界面活性剤を含有することが好ましい。ポリオキシアルキレン構造とは、アルキレン基と二価の酸素原子が隣接して存在している構造のことをいい、具体的にはエチレンオキサイド（ＥＯ）構造、プロピレンオキサイド（ＰＯ）構造などが挙げられる。ポリオキシアルキレン構造は、アクリルポリマーのグラフト鎖を構成していてもよい。
【００７５】
界面活性剤が高分子化合物であるとき、重量平均分子量は１５００以上であることが好ましく、２５００以上であることがより好ましく、５０００以上であることがさらに好ましく、１００００以上であることが特に好ましい。上限としては、５００００以下であることが好ましく、２５０００以下であることがより好ましく、１７５００以下であることが特に好ましい。
【００７６】
フッ素系界面活性剤としては、ポリエチレン主鎖を有するポリマー（高分子）界面活性剤であることが好ましい。なかでも、ポリ（メタ）クリレート構造を有するポリマー（高分子）界面活性剤が好ましい。なかでも、本発明においては、上記ポリオキシアルキレン構造を有する（メタ）アクリレート構成単位と、フッ化アルキルアクリレート構成単位との共重合体が好ましい。
【００７７】
また、フッ素系界面活性剤として、いずれかの部位にフルオロアルキル基又はフルオロアルキレン基（炭素数１〜２４が好ましく、２〜１２がより好ましい。）を有する化合物を好適に用いることができる。好ましくは、側鎖に上記フルオロアルキル基又はフルオロアルキレン基を有する高分子化合物を用いることができる。フッ素系界面活性剤は、さらに上記ポリオキシアルキレン構造を有することが好ましく、側鎖にポリオキシアルキレン構造を有することがより好ましい。フルオロアルキル基又はフルオロアルキレン基を有する化合物については、国際公開ＷＯ２０１５／１９０３７４号の段落００３４〜００４０を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００７８】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ５５９、Ｆ７８０、Ｆ７８１Ｆ（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、Ｓ−１４１、Ｓ−１４５、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、エフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３、ＥＦ３５１、ＥＦ３５２（以上、ジェムコ（株）製）、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
【００７９】
また、フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
【化６】
2019064993.tif 000008
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜５０，０００であり、例えば、１４，０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【００８０】
フッ素系界面活性剤以外のノニオン界面活性剤、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤については、国際公開ＷＯ２０１５／１９０３７４号の段落００４２〜００４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００８１】
隔壁形成用組成物が界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の含有量は、隔壁形成用組成物の全固形分中０．０１質量％以上であることが好ましく、０．０５質量％以上がより好ましく、０．１質量％以上が特に好ましい。上限としては、１質量％以下が好ましく、０．７５質量％以下がより好ましく、０．５質量％以下が特に好ましい。界面活性剤は、１種類のみであってもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計が上記範囲であることが好ましい。
【００８２】
また、隔壁形成用組成物は、界面活性剤を実質的に含まないことも好ましい。隔壁形成用組成物が界面活性剤を実質的に含まない場合においては、画素との密着性をより向上し易い。なお、界面活性剤を実質的に含まない場合とは、界面活性剤の含有量が、隔壁形成用組成物の全固形分中０．００５質量％以下であることを意味し、０．００１質量％以下であることが好ましく、界面活性剤を含有しないことがより好ましい。
【００８３】
（硬化性化合物）
隔壁形成用組成物は、かご型シロキサン化合物以外の成分として、更に硬化性化合物を含むことができる。硬化性化合物は、例えば、エチレン性不飽和結合基を有する化合物、エポキシ基を有する化合物などが挙げられる。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。エチレン性不飽和結合基を有する化合物としては、重合性化合物であることが好ましく、ラジカル重合性化合物であることがより好ましい。
【００８４】
硬化性化合物として用いられるエチレン性不飽和結合基を有する化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。エチレン性不飽和結合基を有する化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
【００８５】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物は、エチレン性不飽和結合基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合基を３〜１５個含む化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和結合基を３〜６個含む化合物であることが更に好ましい。また、エチレン性不飽和結合基を有する化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。エチレン性不飽和結合基を有する化合物の具体例としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００８６】
硬化性化合物として用いられるエポキシ基を有する化合物（以下、エポキシ化合物ともいう）としては、エポキシ基を１分子内に１〜１００個有する化合物であることが好ましい。エポキシ基の下限は、２個以上がより好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。
【００８７】
エポキシ化合物は、エポキシ当量（＝エポキシ化合物の分子量／エポキシ基の数）が５００ｇ／当量以下であることが好ましく、１００〜４００ｇ／当量であることがより好ましく、１００〜３００ｇ／当量であることが更に好ましい。
【００８８】
エポキシ化合物は、低分子化合物（例えば、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）でもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下がさらに好ましく、５０００以下が一層好ましく、３０００以下がより一層好ましい。
【００８９】
エポキシ化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【００９０】
隔壁形成用組成物が硬化性化合物を含有する場合、硬化性化合物の含有量は、隔壁形成用組成物の全固形分中１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が特に好ましい。上限としては、５０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が特に好ましい。また、隔壁形成用組成物は、硬化性化合物を実質的に含まないことも好ましい。隔壁形成用組成物が硬化性化合物を実質的に含まない場合においては、得られる隔壁の屈折率をより小さくし易い。なお、隔壁形成用組成物が硬化性化合物を実質的に含まない場合とは、硬化性化合物の含有量が、隔壁形成用組成物の全固形分中０．００５質量％以下であることを意味し、０．００１質量％以下であることが好ましく、硬化性化合物を含有しないことがより好ましい。
【００９１】
（光重合開始剤）
隔壁形成用組成物は、硬化性化合物として重合性化合物を含有する場合、更に光重合開始剤を含有することが好ましい。光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する化合物であってもよい。光重合開始剤は光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
【００９２】
光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３−アリール置換クマリン化合物が好ましく、オキシム化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光重合開始剤については、特開２０１４−１３０１７３号公報の段落番号００６５〜０１１１、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２７４〜０３０６の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００９３】
α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。オキシム化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）も好適に用いられる。また、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＴＲＯＮＬＹ  ＮＥＷ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＣＯ．，ＬＴＤ）製）、アデカアークルズＮＣＩ−９３０、アデカオプトマーＮ−１９１９（特開２０１２−１４０５２号公報の光重合開始剤２）（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。
【００９４】
本発明は、光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。そのような光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０−５２７３３９号公報、特表２０１１−５２４４３６号公報、国際公開ＷＯ２０１５／００４５６５号公報、特表２０１６−５３２６７５号公報の段落番号０４１７〜０４１２、国際公開ＷＯ２０１７／０３３６８０号公報の段落番号００３９〜００５５に記載されているオキシム化合物の２量体や、特表２０１３−５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開ＷＯ２０１６／０３４９６３号公報に記載されているＣｍｐｄ１〜７などが挙げられる。
【００９５】
隔壁形成用組成物が光重合開始剤を含有する場合、光重合開始剤の含有量は、隔壁形成用組成物の全固形分中１質量％以上が好ましく、３質量％以上がより好ましく、５質量％以上が特に好ましい。上限としては、２０質量％以下が好ましく、１５質量％以下がより好ましく、１０質量％以下が特に好ましい。また、隔壁形成用組成物は、光重合開始剤を実質的に含まないことも好ましい。なお、隔壁形成用組成物が光重合開始剤を実質的に含まない場合とは、光重合開始剤の含有量が、隔壁形成用組成物の全固形分中０．００５質量％以下であることを意味し、０．００１質量％以下であることが好ましく、光重合開始剤を含有しないことがより好ましい。
【００９６】
（アルカリ可溶性樹脂）
隔壁形成用組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含むことができる。アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ溶解を促進する基を有する樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ溶解を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシル基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基の種類は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００９７】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１０００００が好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２００００が好ましい。
【００９８】
アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
【００９９】
アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、２−カルボキシエチル（メタ）アクリル酸、ビニル安息香酸、部分エステル化マレイン酸等のモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシル基を有するポリマーに酸無水物を付加させたポリマーが挙げられる。
【０１００】
アルカリ可溶性樹脂は、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。重合性基としては、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂の市販品としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアーＲＤ−Ｆ８（（株）日本触媒製）、ＤＰ−１３０５（富士ファインケミカルズ（株）製）などが挙げられる。
【０１０１】
アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および特開２０１０−１６８５３９号公報の式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分を重合してなるポリマーを含むことも好ましい。
【０１０２】
【化７】
2019064993.tif 000009
【０１０３】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【０１０４】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【０１０５】
アルカリ可溶性樹脂は、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０５５８〜０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５〜０７００）の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２−３２７６７号公報の段落番号００２９〜００６３に記載の共重合体（Ｂ）および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開２０１２−２０８４７４号公報の段落番号００８８〜００９８に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−１３７５３１号公報の段落番号００２２〜００３２に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１３−０２４９３４号公報の段落番号０１３２〜０１４３に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１１−２４２７５２号公報の段落番号００９２〜００９８および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２−０３２７７０号公報の段落番号００３０〜００７２に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１０６】
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、３０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が一層好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。
【０１０７】
隔壁形成用組成物がアルカリ可溶性樹脂を含有する場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量は、隔壁形成用組成物の全固形分中１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が特に好ましい。上限としては、５０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が特に好ましい。また、隔壁形成用組成物は、アルカリ可溶性樹脂を実質的に含まないことも好ましい。なお、隔壁形成用組成物がアルカリ可溶性樹脂を実質的に含まない場合とは、アルカリ可溶性樹脂の含有量が、隔壁形成用組成物の全固形分中０．００５質量％以下であることを意味し、０．００１質量％以下であることが好ましく、アルカリ可溶性樹脂を含有しないことがより好ましい。
【０１０８】
（その他添加剤）
隔壁形成用組成物には、必要に応じて、上記以外の各種添加剤、例えば、重合禁止剤、紫外線吸収剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、潜在酸化防止剤等を配合することができる。
【０１０９】
＜着色画素形成用組成物＞
次に、本発明の構造体における着色画素の形成に好ましく用いることができる組成物（着色画素形成用組成物）について説明する。着色画素形成用組成物は、着色剤を含むことが好ましい。着色剤としては、黄色着色剤、オレンジ色着色剤、赤色着色剤、緑色着色剤、紫色着色剤、青色着色剤などの有彩色着色剤が挙げられる。着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。
【０１１０】
顔料の具体例として、以下を挙げることができる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ピグメントイエロー１、２、３、４、５、６、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２０、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、２１３、２１４（以上、黄色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２、５、１３、１６、１７：１、３１、３４、３６、３８、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６２、６４、７１、７３（以上、オレンジ色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、９、１０、１４、１７、２２、２３、３１、３８、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５２：１、５２：２、５３：１、５７：１、６０：１、６３：１、６６、６７、８１：１、８１：２、８１：３、８３、８８、９０、１０５、１１２、１１９、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５５、１６６、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４６、２５４、２５５、２６４、２７０、２７２、２７９（以上、赤色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、１０、３６、３７、５８、５９（以上、緑色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２７、３２、３７、４２、５８、５９（以上、紫色顔料）；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、２、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、６６、７９、８０（以上、青色顔料）。
【０１１１】
また、緑色着色剤として、分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子数が平均８〜１２個であり、塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０号公報に記載された化合物が挙げられる。
【０１１２】
また、青色着色剤として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落番号００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載された化合物などが挙げられる。
【０１１３】
染料としては、例えば特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、米国特許４８０８５０１号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に開示されている染料が挙げられる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物等が挙げられる。
【０１１４】
また、着色剤として色素多量体を用いてもよい。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は、色素多量体を溶剤などに分散して用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができる。粒子状態の色素多量体としては、例えば、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、色素多量体として、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。
【０１１５】
着色剤の含有量は、着色画素形成用組成物の全固形分に対して、２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上がより好ましく、４０質量％以上がさらに好ましく、５０質量％以上がより一層好ましく、６０質量％以上が更に一層好ましく、６５質量％以上が特に好ましい。上限は、８０質量％以下であることが好ましく、７５質量％以下がより好ましく、７０質量％以下がさらに好ましい。着色画素形成用組成物に含まれる着色剤は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。着色剤が２種以上含まれる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１１６】
着色画素形成用組成物は樹脂を含有することが好ましい。樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１０００００が好ましい。また、樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２００００が好ましい。
【０１１７】
着色画素形成用組成物は樹脂としてアルカリ可溶性樹脂を用いることも好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、上述したものが挙げられる。
【０１１８】
着色画素形成用組成物は分散剤として樹脂を用いることもできる。分散剤としては、特開２０１５−１５１５３０号公報の段落０１７３〜０１７９に記載された顔料分散剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１９】
着色画素形成用組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アンスラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開２０１１−２５２０６５号公報の段落番号０１６２〜０１８３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２０】
着色画素形成用組成物は、更に、硬化性化合物、光重合開始剤、溶剤、界面活性剤を含有することができる。これらは、上述した材料が挙げられる。
着色画素形成用組成物は、更に、シランカップリング剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、潜在酸化防止剤などの添加剤を含んでいてもよい。
【０１２１】
＜透明画素形成用組成物＞
次に、本発明の構造体における透明画素の形成に好ましく用いることができる組成物（透明画素形成用組成物）について説明する。透明画素形成用組成物は、硬化性化合物を含有することが好ましい。硬化性化合物としては、上述した材料が挙げられ、好ましい範囲も同様である。透明画素形成用組成物は、更に、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ｃｄ、Ａｓ、Ｃｒ、Ｈｇ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｓｉ、ＰおよびＳから選択される少なくとも一種の元素を含む酸化物の粒子（無機粒子ともいう）を含有することもできる。前述の無機粒子を含有する場合、無機粒子の含有量は、透明画素形成用組成物の全固形分に対して、２０〜７０質量％であることが好ましい。下限は、２５質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましい。上限は、６５質量％以下がより好ましく、６０質量％以下が更に好ましい。透明画素形成用組成物は、更に、光重合開始剤、溶剤、界面活性剤などの添加剤を含んでいてもよい。これらは、上述した材料が挙げられる。また、透明画素形成用組成物は、更に、シランカップリング剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、潜在酸化防止剤などの添加剤を含んでいてもよい。
【０１２２】
＜赤外線透過層形成用組成物＞
次に、本発明の構造体における赤外線透過層の画素の形成に好ましく用いることができる組成物（赤外線透過層形成用組成物）について説明する。赤外線透過層形成用組成物は、波長４００〜６４０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａと、波長１１００〜１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂとの比であるＡ／Ｂが５以上であることが好ましく、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。
【０１２３】
赤外線透過層形成用組成物において、上記吸光度の条件は、例えば、後述する遮光材の種類およびその含有量を調整することにより好適に達成できる。
【０１２４】
ある波長λにおける吸光度Ａλは、以下の式（１）により定義される。
Ａλ＝−ｌｏｇ（Ｔλ／１００）      ・・・（１）
Ａλは、波長λにおける吸光度であり、Ｔλは、波長λにおける透過率（％）である。
本発明において、吸光度の値は、溶液の状態で測定した値であってもよく、赤外線透過層形成用組成物を用いて製膜した膜での値であってもよい。膜の状態で吸光度を測定する場合は、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜の厚さが所定の厚さとなるように赤外線透過層形成用組成物を塗布し、ホットプレートを用いて１００℃、１２０秒間乾燥して調製した膜を用いて測定することが好ましい。膜の厚さは、膜を有する基板について、触針式表面形状測定器（ＵＬＶＡＣ社製  ＤＥＫＴＡＫ１５０）を用いて測定することができる。
【０１２５】
赤外線透過層形成用組成物は遮光材を含有することが好ましい。遮光材は、紫色から赤色の波長領域の光を吸収する色材であることが好ましい。また、遮光材は、波長４００〜６４０ｎｍの波長領域の光を遮光する色材であることが好ましい。また、遮光材は、波長１１００〜１３００ｎｍの光を透過させる色材であることが好ましい。遮光材は、以下の（Ａ）および（Ｂ）の少なくとも一方の要件を満たすことが好ましい。
（１）：２種類以上の有彩色着色剤を含み、２種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成している。
（２）：有機系黒色着色剤を含む。（２）の態様において、更に有彩色着色剤を含有することも好ましい。
【０１２６】
遮光材は、例えば、波長４００〜６４０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａと、波長１１００〜１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂとの比であるＡ／Ｂが４．５以上であることが好ましい。上記の特性は、１種類の素材で満たしていてもよく、複数の素材の組み合わせで満たしていてもよい。例えば、上記（１）の態様の場合、複数の有彩色着色剤を組み合わせて上記分光特性を満たしていることが好ましい。また、上記（２）の態様の場合、有機系黒色着色剤が上記分光特性を満たしていてもよい。また、有機系黒色着色剤と有彩色着色剤との組み合わせで上記の分光特性を満たしていてもよい。
【０１２７】
遮光材は、赤色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤および緑色着色剤から選ばれる２種以上を含むことが好ましい。すなわち、遮光材は、赤色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤および緑色着色剤から選ばれる２種類以上の着色剤の組み合わせで黒色を形成していることが好ましい。好ましい組み合わせとしては、例えば以下が挙げられる。
（１）赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。
（２）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤とを含有する態様。
（３）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
（４）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（５）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（６）赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（７）黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
【０１２８】
上記（１）の態様において、赤色着色剤と青色着色剤との質量比は、赤色着色剤：青色着色剤＝２０〜８０：２０〜８０であることが好ましく、２０〜６０：４０〜８０であることがより好ましく、２０〜５０：５０〜８０であることが更に好ましい。
上記（２）の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤の質量比は、赤色着色剤：青色着色剤：黄色着色剤＝１０〜８０：２０〜８０：１０〜４０であることが好ましく、１０〜６０：３０〜８０：１０〜３０であることがより好ましく、１０〜４０：４０〜８０：１０〜２０であることが更に好ましい。
上記（３）の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤との質量比は、赤色着色剤：青色着色剤：黄色着色剤：紫色着色剤＝１０〜８０：２０〜８０：５〜４０：５〜４０であることが好ましく、１０〜６０：３０〜８０：５〜３０：５〜３０であることがより好ましく、１０〜４０：４０〜８０：５〜２０：５〜２０であることが更に好ましい。
上記（４）の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤：青色着色剤：黄色着色剤：紫色着色剤：緑色着色剤＝１０〜８０：２０〜８０：５〜４０：５〜４０：５〜４０であることが好ましく、１０〜６０：３０〜８０：５〜３０：５〜３０：５〜３０であることがより好ましく、１０〜４０：４０〜８０：５〜２０：５〜２０：５〜２０であることが更に好ましい。
上記（５）の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤：青色着色剤：黄色着色剤：緑色着色剤＝１０〜８０：２０〜８０：５〜４０：５〜４０であることが好ましく、１０〜６０：３０〜８０：５〜３０：５〜３０であることがより好ましく、１０〜４０：４０〜８０：５〜２０：５〜２０であることが更に好ましい。
上記（６）の態様において、赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤の質量比は、赤色着色剤：青色着色剤：緑色着色剤＝１０〜８０：２０〜８０：１０〜４０であることが好ましく、１０〜６０：３０〜８０：１０〜３０であることがより好ましく、１０〜４０：４０〜８０：１０〜２０であることが更に好ましい。
上記（７）の態様において、黄色着色剤と紫色着色剤の質量比は、黄色着色剤：紫色着色剤＝１０〜５０：４０〜８０であることが好ましく、２０〜４０：５０〜７０であることがより好ましく、３０〜４０：６０〜７０であることが更に好ましい。
【０１２９】
黄色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１５０，１８５が好ましく、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，１５０がより好ましく、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９が更に好ましい。青色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６が好ましい。紫色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３が好ましい。赤色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２，１７７，２２４，２５４が好ましく、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、１７７、２５４がより好ましく、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が更に好ましい。緑色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８、５９が好ましい。
【０１３０】
遮光材として有機系黒色着色剤を用いる場合、有彩色着色剤と組み合わせて使用することが好ましい。有機系黒色着色剤と有彩色着色剤とを併用することで、優れた分光特性が得られ易い。有機系黒色着色剤と組み合わせて用いる有彩色着色剤としては、例えば、赤色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤などが挙げられ、赤色着色剤および青色着色剤が好ましい。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。また、有彩色着色剤と有機系黒色着色剤との混合割合は、有機系黒色着色剤１００質量部に対して、有彩色着色剤が１０〜２００質量部が好ましく、１５〜１５０質量部がより好ましい。
【０１３１】
遮光材における顔料の含有量は、遮光材の全量に対して９５質量％以上であることが好ましく、９７質量％以上であることがより好ましく、９９質量％以上であることが更に好ましい。
【０１３２】
遮光材の含有量は、赤外線透過層形成用組成物の全固形分に対して５〜６０質量％であることが好ましい。下限は、９質量％以上がより好ましく、１３質量％以上が更に好ましい。上限は、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。
【０１３３】
赤外線透過層形成用組成物は、更に、赤外線吸収剤を含有することもできる。赤外線透過層形成用組成物において、赤外線吸収剤は透過する光（赤外線）をより長波長側に限定する役割を有している。赤外線吸収剤としては、赤外領域（好ましくは、波長７００〜１３００ｎｍの範囲、より好ましくは波長７００〜１０００ｎｍの範囲）に極大吸収波長を有する化合物を好ましく用いることができる。
【０１３４】
赤外線吸収剤としては、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、メロシアニン化合物、クロコニウム化合物、オキソノール化合物、ジイモニウム化合物、ジチオール化合物、トリアリールメタン化合物、ピロメテン化合物、アゾメチン化合物、アントラキノン化合物及びジベンゾフラノン化合物から選ばれる少なくとも１種が好ましく、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物およびジイモニウム化合物から選ばれる少なくとも１種がより好ましく、ピロロピロール化合物、シアニン化合物およびスクアリリウム化合物から選ばれる少なくとも１種が更に好ましく、ピロロピロール化合物が特に好ましい。ピロロピロール化合物の具体例としては、特開２００９−２６３６１４号公報の段落番号００１６〜００５８に記載の化合物、特開２０１１−６８７３１号公報の段落番号００３７〜００５２に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１５／１６６８７３号公報の段落番号００１０〜００３３に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。スクアリリウム化合物の具体例としては、特開２０１１−２０８１０１号公報の段落番号００４４〜００４９に記載の化合物、特許第６０６５１６９号公報の段落番号００６０〜００６１に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１８１９８７号公報の段落番号００４０に記載の化合物、特開２０１５−１７６０４６号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１９０１６２号公報の段落番号００７２に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。シアニン化合物の具体例としては、特開２００９−１０８２６７号公報の段落番号００４４〜００４５に記載の化合物、特開２００２−１９４０４０号公報の段落番号００２６〜００３０に記載の化合物、特開２０１５−１７２００４号公報に記載の化合物、特開２０１５−１７２１０２号公報に記載の化合物、特開２００８−８８４２６号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１９０１６２号公報の段落番号００９０に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ジイモニウム化合物の具体例としては、例えば、特表２００８−５２８７０６号公報に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。フタロシアニン化合物の具体例としては、例えば、特開２０１２−７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物、特開２００６−３４３６３１号公報に記載のオキシチタニウムフタロシアニン、特開２０１３−１９５４８０号公報の段落番号００１３〜００２９に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ナフタロシアニン化合物の具体例としては、例えば、特開２０１２−７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、赤外線吸収化合物としては、特開２０１６−１４６６１９号公報に記載された化合物を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３５】
赤外線透過層形成用組成物が赤外線吸収剤を含有する場合、赤外線吸収剤の含有量は、赤外線透過層形成用組成物の全固形分に対して１〜３０質量％であることが好ましい。上限は、２０質量％以下がより好ましく、１０質量％以下が更に好ましい。下限は、３質量％以上がより好ましく、５質量％以上が更に好ましい。また、赤外線吸収剤と遮光材との合計量は、赤外線透過層形成用組成物の全固形分の１０〜７０質量％であることが好ましい。下限は、２０質量％以上がより好ましく、２５質量％以上が更に好ましい。また、赤外線吸収剤と遮光材との合計量中における、赤外線吸収剤の含有量は、５〜４０質量％であることが好ましい。上限は、３０質量％以下がより好ましく、２５質量％以下が更に好ましい。下限は、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上が更に好ましい。
【０１３６】
赤外線透過層形成用組成物は、更に、樹脂、硬化性化合物、光重合開始剤、顔料誘導体、溶剤、界面活性剤、シランカップリング剤、重合禁止剤、紫外線吸収剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、潜在酸化防止剤などの添加剤を含んでいてもよい。これらの詳細については、上述した材料が挙げられる。
【０１３７】
＜組成物の収容容器＞
上述した各組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収納容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５−１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。
【０１３８】
＜組成物の調製方法＞
上述した各組成物は、前述の成分を混合して調製できる。組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解または分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜配合した２つ以上の溶液または分散液をあらかじめ調製し、使用時（塗布時）にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
【０１３９】
また、組成物が顔料などの粒子を含む場合は、粒子を分散させるプロセスを含むことが好ましい。粒子を分散させるプロセスにおいて、粒子の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における粒子の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、粒子を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際  総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５−１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また粒子を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５−１９４５２１号公報、特開２０１２−０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【０１４０】
組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜３．０μｍ程度であり、更に好ましくは０．０５〜０．５μｍ程度である。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物を確実に除去できる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。具体的には、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。
【０１４１】
フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＸＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。第２のフィルタは、第１のフィルタと同様の素材等で形成されたものを使用することができる。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。
【０１４２】
＜構造体の製造方法＞
次に、本発明の構造体の製造方法について説明する。
本発明の構造体は、支持体上に隔壁を形成する工程と、支持体上であって、隔壁で区画された領域に各種の画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層を形成し、画素形成用組成物層に対してパターン形成を行って画素を形成する工程を経て製造できる。画素形成用組成物としては上述した着色画素形成用組成物や赤外線透過層形成用組成物などが挙げられる。また、画素を作ったのち隔壁を形成してもよい。
【０１４３】
隔壁は、従来公知の方法を用いて形成することができる。例えば、次のようにして隔壁を形成することができる。
【０１４４】
まず、支持体上に隔壁形成用組成物を適用して隔壁材料層を形成する。隔壁形成用組成物の適用方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット−特許に見る無限の可能性−、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ〜１３３ページ）や、特開２００３−２６２７１６号公報、特開２００３−１８５８３１号公報、特開２００３−２６１８２７号公報、特開２０１２−１２６８３０号公報、特開２００６−１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。
【０１４５】
隔壁材料層を形成した後、乾燥（プリベーク）を行ってもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０秒〜３０００秒が好ましく、４０〜２５００秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。
【０１４６】
次に、隔壁材料層に対してパターン形成を行って隔壁を形成する。パターン形成方法としては、フォトリソグラフィ法を用いたパターン形成方法や、ドライエッチング法を用いたパターン形成方法が挙げられる。矩形性の良い隔壁が得られやすいという理由からドライエッチング法を用いたパターン形成方法であることが好ましい。
【０１４７】
ドライエッチング法を用いたパターン形成方法としては、隔壁の形状に沿ったパターンを有するマスクを使用して隔壁材料層上にレジストパターンを形成し、次いで、このレジストパターンをマスクとして、隔壁材料層に対してドライエッチング法でエッチングを行い、次いで、レジストパターンを隔壁材料層から剥離除去することで隔壁を形成できる。ドライエッチング法については、特開２０１６−１４８５６号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４８】
フォトリソグラフィ法でのパターン形成方法は、隔壁材料層をパターン状に露光する工程（露光工程）と、未露光部の隔壁材料層を現像除去してパターンを形成する工程（現像工程）と、を含むことが好ましい。必要に応じて、現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。以下、各工程について説明する。
【０１４９】
露光工程では隔壁材料層をパターン状に露光する。例えば、隔壁材料層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、隔壁材料層をパターン露光することができる。これにより、隔壁材料層の露光部分を硬化することができる。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく、ｉ線がより好ましい。照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましく、０．０８〜０．５Ｊ／ｃｍ２が最も好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０１５０】
次に、露光後の隔壁材料層における未露光部の隔壁材料層を現像除去してパターンを形成する。未露光部の隔壁材料層の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の隔壁材料層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが支持体上に残る。現像液としては、アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、更に新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
【０１５１】
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。現像液は、これらのアルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液には、界面活性剤を添加して用いてもよい。界面活性剤の例としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５〜１００倍の範囲に設定することができる。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、現像後純水で洗浄（リンス）することが好ましい。
【０１５２】
現像後、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うこともできる。ポストベークは、膜の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理である。ポストベークを行う場合、ポストベーク温度は、例えば５０〜２４０℃が好ましい。膜硬化の観点から、２００〜２３０℃がより好ましい。また、発光光源として有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合は、ポストベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１００℃以下が更に好ましく、９０℃以下が特に好ましい。ポストベークは、現像後の膜に対して、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【０１５３】
画素は、従来公知の方法を用いて形成することができる。例えば、支持体上の隔壁で区画された領域に画素形成用組成物を適用して画素形成用組成物層を形成したのち、この画素形成用組成物層に対してパターン形成を行うことで形成できる。
【０１５４】
画素形成用組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、上述した方法が挙げられる。
【０１５５】
画素形成用組成物層を形成した後、乾燥（プリベーク）を行ってもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０秒〜３０００秒が好ましく、４０〜２５００秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。
【０１５６】
次に、画素形成用組成物層に対してパターン形成を行って画素を形成する。パターン形成方法としては、フォトリソグラフィ法を用いたパターン形成方法やドライエッチング法を用いたパターン形成方法が挙げられる。
【０１５７】
フォトリソグラフィ法でのパターン形成方法は、支持体上の画素形成用組成物層に対しパターン状に露光する工程と、未露光部の画素形成用組成物層を現像除去してパターンを形成する工程と、を含むことが好ましい。必要に応じて、現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。これらの工程の詳細については上述した通りである。
【０１５８】
ドライエッチング法でのパターン形成は、支持体上の画素形成用組成物層を硬化して硬化物層を形成し、次いで、この硬化物層上にパターニングされたレジスト層を形成し、次いで、パターニングされたレジスト層をマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングするなどの方法で行うことができる。ドライエッチング法でのパターン形成については、特開２０１３−０６４９９３号公報の段落番号００１０〜００６７の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１５９】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の構造体を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の構造体を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０１６０】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に本発明の構造体を有する構成が挙げられる。更に、デバイス保護膜上であって本発明の構造体の下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、本発明の構造体上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、本発明の構造体と集光手段との間に低屈層を設けてもよい。低屈層は例えば本発明の隔壁形成用組成物を用いて形成することができる。
本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【０１６１】
＜画像表示装置＞
本発明の構造体は、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０１６２】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。【０１６３】
＜重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）の測定＞
かご型シロキサン化合物および樹脂の重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により、以下の条件で測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度：０．１質量％）
装置名：東ソー製  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂【０１６４】
＜隔壁形成用組成物の調製＞
下記表に記載の原料を混合して隔壁形成用組成物を調製した。配合量の欄に記載の数値は質量部である。
【表１】
2019064993.tif 000010
【０１６５】
（かご型シロキサン化合物１）
Ａ−１：下記式（Ｓ２−１−１）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝２００，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝３．０）
Ａ−２：下記式（Ｓ２−１−１）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝１４９，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．８）
Ａ−３：下記式（Ｓ２−１−１）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝５１，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．６）
Ａ−４：下記式（Ｓ２−１−１）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝２４６，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝３．１）
Ａ−５：下記式（Ｓ２−１−１）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝２９８，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝３．３）
Ａ−６：下記式（Ｓ２−１−２）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝１９９，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．９）
Ａ−７：下記式（Ｓ２−１−３）で表される構造のポリマー（Ｍｗ＝２０４，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．９）
（かご型シロキサン化合物２）
Ａ−８：下記式（Ａ−８）で表される構造の化合物
【化８】
2019064993.tif 000011
【０１６６】
（他のシロキサン化合物）
Ｂ−１：ＭＳ−１００１（東レ・ダウコーニング（株）製）【０１６７】
（界面活性剤）
Ｆ−１：下記構造の化合物（Ｍｗ＝１４，０００、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である）
【化９】
2019064993.tif 000012
【０１６８】
（溶剤）
Ｓ−１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）
Ｓ−２：１，３−ブチレングリコールジアセテート
Ｓ−３：プロピレングリコールモノメチルエーテル
Ｓ−４：乳酸エチル
Ｓ−５：酢酸ブチル【０１６９】
＜着色画素形成用組成物の調製＞
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、赤色画素形成用組成物、緑色画素形成用組成物および青色画素形成用組成物をそれぞれ調製した。【０１７０】
（赤色画素形成用組成物）
Ｒｅｄ顔料分散液・・・５１．７質量部
樹脂１・・・０．６質量部
硬化性化合物１・・・０．６質量部
光重合開始剤１・・・０．３質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・４２．６質量部【０１７１】
（緑色画素形成用組成物）
Ｇｒｅｅｎ顔料分散液・・・７３．７質量部
樹脂１・・・０．３質量部
硬化性化合物２・・・１．２質量部
光重合開始剤１・・・０．６質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
紫外線吸収剤１・・・０．５質量部
ＰＧＭＥＡ・・・１９．５質量部【０１７２】
（青色画素形成用組成物）
Ｂｌｕｅ顔料分散液・・・４４．９質量部
樹脂１・・・２．１質量部
硬化性化合物１・・・１．５質量部
硬化性化合物３・・・０．７質量部
光重合開始剤２・・・０．８質量部
界面活性剤１・・・４．２質量部
ＰＧＭＥＡ・・・４５．８質量部【０１７３】
着色画素形成用組成物に用いた原料は以下である。
・Ｒｅｄ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４の９．６質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９の４．３質量部と、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）の６．８質量部と、ＰＧＭＥＡの７９．３質量部とからなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｒｅｄ顔料分散液を得た。【０１７４】
・Ｇｒｅｅｎ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の６．４質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０の５．３質量部と、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）の５．２質量部と、ＰＧＭＥＡの８３．１質量部とからなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後、さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液を得た。【０１７５】
・Ｂｌｕｅ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６の９．７質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３の２．４質量部と、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）の５．５質量部と、ＰＧＭＥＡの８２．４質量部とからなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後、さらに、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行なった。この分散処理を１０回繰り返し、Ｂｌｕｅ顔料分散液を得た。【０１７６】
・樹脂１：下記構造の樹脂の４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝１０，０００、酸価＝７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
【化１０】
2019064993.tif 000013
・硬化性化合物１：下記構造の化合物
【化１１】
2019064993.tif 000014
・硬化性化合物２：下記構造の化合物の混合物（左側化合物と右側化合物とのモル比が７：３の混合物）
【化１２】
2019064993.tif 000015
・硬化性化合物３：アロニックスＭ−３０５（トリアクリレートが５５〜６３質量％、東亞合成（株）製）
・光重合開始剤１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ製）
・光重合開始剤２：下記構造の化合物
【化１３】
2019064993.tif 000016
・界面活性剤１：下記構造の化合物（Ｍｗ＝１４，０００、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である）の０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液
【化１４】
2019064993.tif 000017
・紫外線吸収剤１：ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）【０１７７】
＜構造体の製造＞
シリコンウエハ上に、下記表に記載の隔壁形成用組成物を用いて隔壁材料層を形成し、隔壁材料層に対して、特開２０１６−１４８５６号公報の段落番号０１２８〜０１３３に記載された条件にてドライエッチング法でパターニングして隔壁（幅５０ｎｍ、高さ１μｍ）を１μｍ間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法（シリコンウエハ上の隔壁で区切られた領域）は、縦１μｍ×横１μｍであった。次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、緑色画素形成用組成物を、製膜後の膜厚が１μｍになるようにスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、０．９μｍのベイヤーパターンを有するマスクを介して、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行った後に、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域に緑色画素を形成した。
次に、赤色画素形成用組成物および青色画素形成用組成物についても順次パターニングし、赤色画素および青色画素をそれぞれ隔壁で区画された領域に形成した。【０１７８】
＜濾過性の評価＞
製造直後の隔壁形成用組成物について、ＲＯＫＩ製カプセルフィルター（ＬＰＳ−ＣＬＰ−００２５―Ｎ１  ）を用いて１０００ｇろ過し、以下の基準で濾過性を評価した。
Ａ：隔壁形成用組成物を全量濾過できた
Ｂ：５００ｇ以上１０００ｇ未満で目詰まりが生じた
Ｃ：１００ｇ以上５００ｇ未満で目詰まりが生じた
Ｄ：１００ｇ未満で目詰まりが生じた【０１７９】
＜エッチング面平滑性＞
隔壁のエッチング面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で倍率５万倍で観察し、以下の基準で平滑性を評価した。
Ａ：空孔が観察されなかった。
Ｂ：２０ｎｍ以上の大きさの空孔は観察されなかったが、２０ｎｍ未満の大きさの空孔が観察された。
Ｃ：２０ｎｍ以上の大きさの空孔が観察された。【０１８０】
＜密着性＞
隔壁で区画された領域に各色の着色画素を形成したのち、ＳＥＭで断面観察して以下の基準で密着性を評価した。
Ａ：観測範囲内の全隔壁において、着色画素の剥離が観測されなかった。
Ｂ：観測範囲内の全隔壁のうち２０％未満の個数の隔壁において、着色画素の剥離が発生していた。
Ｃ：観測範囲内の全隔壁のうちの２０％以上の個数の隔壁において、着色画素の剥離が発生していた。【０１８１】
＜屈折率の評価＞
シリコンウエハ上に各隔壁形成用組成物を塗布して膜厚０．３μｍの膜を形成し、エリプソメータＵＶＩＳＥＬ／４６０−ＦＵＶ−ＡＧＡＳ（堀場製作所製）を用いて、波長５５０ｎｍでの屈折率を測定した。【０１８２】
【表２】
2019064993.tif 000018
【０１８３】
上記表に示す通り、実施例は屈折率が低く、平滑性に優れた隔壁を有する構造体を製造することができた。実施例の構造体を固体撮像素子に組み込んだところ、画素の集光率が高く、感度が良好であり、鮮明な画像を取得できた。
【符号の説明】
【０１８４】
１：支持体
２：隔壁
４：画素
【図１】
2019064993.tif 000020
【図２】
2019064993.tif 000021
【国際調査報告】
2019064993.tif 000022
2019064993.tif 000023
2019064993.tif 000024
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