(57)【要約】  レーザ装置（１００Ａ）が、密閉筐体（３２Ａ）内に格納されたレーザ発振器（１０）と、レーザ発振器（１０）を制御するとともに第１の一次電源（５１）から電力が供給される発振器制御部（１２）と、密閉筐体（３２Ａ）内に格納されるとともに第２の一次電源（５２）から供給される電力を用いて動作する除湿部（２１）と、除湿部（２１）を制御するともに第２の一次電源（５２）から電力が供給される除湿制御部（２２）と、を備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内に格納されたレーザ発振器と、
前記レーザ発振器を制御するとともに第１の一次電源から電力が供給される発振器制御部と、
前記筐体内に格納されるとともに第２の一次電源から供給される電力を用いて動作する除湿部と、
前記除湿部を制御するとともに前記第２の一次電源から電力が供給される除湿制御部と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記レーザ発振器は、水冷方式で冷却されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記筐体内の湿度を検出する湿度センサをさらに備え、
前記湿度センサは、前記第２の一次電源から供給される電力を用いて動作し、
前記除湿制御部は、前記湿度センサの測定結果に基づいて前記除湿部を制御する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ装置。
【請求項４】
前記筐体内の温度を検出する温度センサをさらに備え、
前記温度センサは、前記第２の一次電源から供給される電力を用いて動作し、
前記除湿制御部は、前記温度センサの測定結果に基づいて前記除湿部を制御する、
ことを特徴とする請求項１から３の何れか１つに記載のレーザ装置。
【請求項５】
前記除湿部は、空冷式の除湿機構を有している、
ことを特徴とする請求項１から４の何れか１つに記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記除湿制御部は、予め設定しておいた第１の日時になると前記除湿部に除湿を開始させる予約部を備える、
ことを特徴とする請求項１から５の何れか１つに記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記除湿制御部は、予め設定しておいた第２の日時になると前記除湿部に除湿を停止させるタイマー部を備える、
ことを特徴とする請求項１から６の何れか１つに記載のレーザ装置。
【請求項８】
前記除湿制御部は、リモート制御機能を有した外部通信機器からの指示に従って前記除湿部を制御する、
ことを特徴とする請求項１から７の何れか１つに記載のレーザ装置。
【請求項９】
前記第１の一次電源と前記発振器制御部とは、第１のブレーカを介して接続され、前記第２の一次電源と前記除湿部とは、第２のブレーカを介して接続されている、
ことを特徴とする請求項１から８の何れか１つに記載のレーザ装置。
【請求項１０】
レーザ光を出力するレーザ装置と、
前記レーザ光を被加工物に照射して前記被加工物を加工する加工部と、
前記レーザ装置および前記加工部を制御するレーザ加工機制御部と、
前記レーザ装置に電力を供給する第１の一次電源と、
前記レーザ装置に電力を供給する第２の一次電源と、
を有し、
前記レーザ装置は、
筐体内に格納されるとともに水冷方式で冷却されるレーザ発振器と、
前記レーザ発振器を制御するとともに前記第１の一次電源から電力が供給される発振器制御部と、
前記筐体内に格納されるとともに前記第２の一次電源から供給される電力を用いて動作する除湿部と、
前記除湿部を制御するとともに前記第２の一次電源から電力が供給される除湿制御部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除湿器を備えたレーザ装置およびレーザ加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示される従来のレーザ装置は、レーザ装置内に除湿器を具備しており、レーザ光を出力するレーザ発振部が駆動している間は除湿器が除湿を行っている。この従来のレーザ装置では、一次電源が、レーザ発振器を制御する発振器制御部としての機能を有する制御装置と、除湿器とに電力を供給している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−５１４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の技術である特許文献１では、発振器制御部と除湿器とがブレーカを介して共通の商用電源から電力が供給されているので、レーザ装置が動作中に何らかの理由でブレーカが遮断すると、同時に除湿器も停止する。このため、レーザ発振器に滞留する冷却水によってレーザ発振器内が結露してしまうという問題があった。【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、発振器制御部に供給される電力が遮断された場合であってもレーザ発振器内の結露を防止することができるレーザ装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のレーザ装置は、筐体内に格納されたレーザ発振器と、レーザ発振器を制御するとともに第１の一次電源から電力が供給される発振器制御部と、を備える。また、本発明のレーザ装置は、筐体内に格納されるとともに第２の一次電源から供給される電力を用いて動作する除湿部と、除湿部を制御するとともに第２の一次電源から電力が供給される除湿制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明にかかるレーザ装置は、発振器制御部に供給される電力が遮断された場合であってもレーザ発振器内の結露を防止することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１にかかるレーザ装置の第１の構成例を示す図
【図２】実施の形態１にかかるレーザ装置の第２の構成例を示す図
【図３】実施の形態２にかかるレーザ装置の構成例を示す図
【図４】実施の形態３にかかるレーザ装置の構成例を示す図
【図５】実施の形態１から３にかかるレーザ加工機の構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明の実施の形態にかかるレーザ装置およびレーザ加工機を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１０】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１にかかるレーザ装置の第１の構成例を示す図である。レーザ装置１００Ａは、レーザ光を出力する装置である。レーザ装置１００Ａは、レーザ光を発振する水冷式のレーザ発振器１０と、駆動電源１１と、発振器制御部１２と、除湿器２０Ａとを備えている。レーザ装置１００Ａでは、レーザ発振器１０と、駆動電源１１と、発振器制御部１２と、除湿器２０Ａとが外装カバーで覆われている。また、レーザ装置１００Ａでは、レーザ発振器１０と、駆動電源１１と、除湿器２０Ａとが密閉筐体３２Ａ内に密閉状態で格納されている。レーザ装置１００Ａは、冷却装置５０、第１の一次電源５１、および第２の一次電源５２に接続されている。第１の一次電源５１および第２の一次電源５２は、商用電源である。
【００１１】
第１の一次電源５１は、動力線７４を介して発振器制御部１２に接続されており、発振器制御部１２、駆動電源１１およびレーザ発振器１０を駆動するための電力を、動力線７４を介して発振器制御部１２に供給する。第１の一次電源５１と発振器制御部１２とは、第１のブレーカ５３を介して接続されている。
【００１２】
第２の一次電源５２は、動力線７５を介して除湿器２０Ａに接続されており、除湿器２０Ａを駆動するための電力を、動力線７５を介して除湿器２０Ａに供給する。第２の一次電源５２と除湿器２０Ａとは、第２のブレーカ５４を介して接続されている。
【００１３】
冷却装置５０は、レーザ発振器１０、駆動電源１１、および除湿器２０Ａを水冷方式で冷却する装置である。冷却装置５０は、配管６１を介してレーザ発振器１０に接続され、配管６２を介して除湿器２０Ａに接続され、配管６３を介して駆動電源１１に接続されている。各配管６１〜６３は、冷却装置５０からレーザ装置１００Ａへ水を送る配管と、レーザ装置１００Ａから冷却装置５０へ水を送る配管とを備えている。冷却装置５０は、レーザ装置１００Ａから送られてくる水を冷却してレーザ装置１００Ａに送り出す。
【００１４】
駆動電源１１は、二次電源であり、動力線７６を介してレーザ発振器１０に接続されている。駆動電源１１は、レーザ発振器１０を駆動するための電力を、動力線７６を介してレーザ発振器１０に供給する。
【００１５】
発振器制御部１２は、動力線７１を介して駆動電源１１に接続されており、駆動電源１１およびレーザ発振器１０を駆動するための電力を、動力線７１を介して駆動電源１１に供給する。また、発振器制御部１２と駆動電源１１とは、信号線８１を介して接続されており、信号線８１を介して信号の送受信を行う。発振器制御部１２は、駆動電源１１を制御するための信号を、信号線８１を介して駆動電源１１に送信し、駆動電源１１は、駆動電源１１の状態を示す信号を、信号線８１を介して発振器制御部１２に送信する。また、発振器制御部１２と冷却装置５０とは、信号線８４を介して接続されており、信号線８４を介して信号の送受信を行う。発振器制御部１２は、冷却装置５０を制御するための信号を、信号線８４を介して冷却装置５０に送信し、冷却装置５０は、冷却装置５０の状態を示す信号を、信号線８４を介して発振器制御部１２に送信する。
【００１６】
発振器制御部１２は、駆動電源１１を制御することによって、レーザ発振器１０を制御する。また、発振器制御部１２は、冷却装置５０を制御する。
【００１７】
除湿器２０Ａは、除湿器２０Ａが配置されている密閉筐体３２Ａ内を除湿する。除湿器２０Ａは、除湿を行う除湿部２１と、除湿部２１を制御する除湿制御部２２と、温度を測定する温度センサ２３と、湿度を測定する湿度センサ２４とを備えている。
【００１８】
除湿制御部２２は、動力線７７を介して除湿部２１に接続されており、除湿部２１を駆動するための電力を、動力線７７を介して除湿部２１に供給する。また、除湿制御部２２は、信号線８５を介して除湿部２１に接続されており、除湿部２１を制御するための信号を、信号線８５を介して除湿部２１に送る。
【００１９】
また、除湿制御部２２は、動力線７２を介して湿度センサ２４に接続されており、湿度センサ２４を駆動するための電力を、動力線７２を介して湿度センサ２４に供給する。この構成により、湿度センサ２４には、除湿部２１と同様に第２の一次電源５２から電力が供給される。また、除湿制御部２２と湿度センサ２４とは、信号線８２を介して接続されており、信号線８２を介して信号の送受信を行う。除湿制御部２２は、湿度センサ２４を制御するための信号を湿度センサ２４に送る。湿度センサ２４は、密閉筐体３２Ａ内の湿度を測定し、湿度測定結果を除湿制御部２２に送る。
【００２０】
また、除湿制御部２２は、動力線７３を介して温度センサ２３に接続されており、温度センサ２３を駆動するための電力を、動力線７３を介して温度センサ２３に供給する。この構成により、温度センサ２３は、除湿部２１と同様に第２の一次電源５２から電力が供給される。また、除湿制御部２２と温度センサ２３とは、信号線８３を介して接続されており、信号線８３を介して信号の送受信を行う。除湿制御部２２は、温度センサ２３を制御するための信号を温度センサ２３に送る。温度センサ２３は、密閉筐体３２Ａ内の温度を測定し、温度測定結果を除湿制御部２２に送る。
【００２１】
除湿制御部２２は、温度測定結果および湿度測定結果に基づいて、除湿部２１を制御する。除湿制御部２２は、温度測定結果に基づいて、密閉筐体３２Ａ内の温度が、設定されている温度に近づくよう除湿部２１をフィードバック制御し、除湿制御部２２は、湿度測定結果に基づいて、密閉筐体３２Ａ内の湿度が、設定されている湿度に近づくよう除湿部２１をフィードバック制御する。
【００２２】
なお、温度センサ２３は、密閉筐体３２Ａの内側であれば除湿器２０Ａの外部に配置されてもよい。また、湿度センサ２４は、密閉筐体３２Ａの内側であれば除湿器２０Ａの外部に配置されてもよい。また、レーザ装置１００Ａは、温度センサ２３を有していなくてもよい。また、レーザ装置１００Ａは、湿度センサ２４を有していなくてもよい。また、除湿制御部２２は、密閉筐体３２Ａの外部に配置されてもよい。また、密閉筐体３２Ａの代わりに非密閉状態でレーザ発振器１０と、駆動電源１１と、除湿器２０Ａとを格納する筐体が用いられてもよい。
【００２３】
このように、レーザ装置１００Ａでは、除湿器２０Ａには、発振器制御部１２、駆動電源１１およびレーザ発振器１０に電力を供給する第１の一次電源５１とは別の電源装置である第２の一次電源５２から電力が供給される。また、温度センサ２３および湿度センサ２４も、第２の一次電源５２から電力が供給される。
【００２４】
図２は、実施の形態１にかかるレーザ装置の第２の構成例を示す図である。図２の各構成要素のうち図１に示すレーザ装置１００Ａと同一機能を有する構成要素については同一符号を付しており、重複する説明は省略する。
【００２５】
図２に示すレーザ装置１００Ｂは、レーザ装置１００Ａと同様の機能を有した装置である。レーザ装置１００Ｂは、密閉筐体３２Ａの代わりに密閉筐体３２Ｂを備えている。密閉筐体３２Ｂは、レーザ発振器１０と、除湿器２０Ｂとを覆っており、駆動電源１１を覆っていない。第２の一次電源５２と除湿器２０Ｂとは、第２のブレーカ５４を介して接続されている。
【００２６】
駆動電源１１は、水冷式で冷却されてもよいし、空冷式で冷却されてもよい。駆動電源１１が、設定温度が高く結露しない環境で用いられる場合に、密閉筐体３２Ｂが適用可能である。すなわち、駆動電源１１が結露しない環境であれば、駆動電源１１を密閉筐体３２Ｂ内に格納する必要はない。一方、密閉筐体３２Ｂが適用されると駆動電源１１が結露する場合には、密閉筐体３２Ａが適用される。
【００２７】
このように、実施の形態１では、第１の一次電源５１が、発振器制御部１２、駆動電源１１およびレーザ発振器１０に電力を供給し、第２の一次電源５２が除湿器２０Ａに電力を供給する。これにより、除湿器２０Ａを、発振器制御部１２、駆動電源１１およびレーザ発振器１０から独立して動作させることが可能となるので、レーザ装置１００Ａ，１００Ｂ内の湿度を発振器制御部１２、駆動電源１１およびレーザ発振器１０から独立して制御することが可能となる。例えば、レーザ装置１００Ａ，１００Ｂが動作中に何らかの理由で発振器制御部１２に供給される電力が第１のブレーカ５３によって遮断された場合であっても、第２のブレーカ５４は遮断されず、除湿器２０Ａは、第２の一次電源５２から供給される電力を用いて除湿を行うことができるので、レーザ発振器１０内の結露を防止することができる。また、レーザ発振器１０が休止中の間も除湿器２０Ａ，２０Ｂを稼働することができるので、所望の湿度でレーザ発振器１０を起動できる。これにより、レーザ発振器１０が長期間に渡って休止していた後に立上げられる場合、短時間でレーザ発振器１０を起動することが可能となる。すなわち、レーザ発振器１０が休止した場合であっても、湿度が仕様の範囲内である許容範囲内となるまでの待ち時間を無くすことができるので、所望のタイミングでレーザ発振器１０を起動することができる。
【００２８】
また、温度センサ２３および湿度センサ２４を発振器制御部１２から独立して動作させることによって、発振器制御部１２が動作していない状況でも、除湿制御部２２は、温度センサ２３によって検出された温度および湿度センサ２４によって検出された湿度に基づいて、除湿部２１をフィードバック制御することができる。
【００２９】
実施の形態２．
つぎに、図３を用いてこの発明の実施の形態２について説明する。実施の形態２では、空冷式の除湿器をレーザ装置に適用する。
【００３０】
図３は、実施の形態２にかかるレーザ装置の構成例を示す図である。図３の各構成要素のうち図１に示す実施の形態１のレーザ装置１００Ａと同一機能を有する構成要素については同一符号を付しており、重複する説明は省略する。
【００３１】
図３に示すレーザ装置１００Ｃは、レーザ装置１００Ａと同様の機能を有した装置である。レーザ装置１００Ｃは、除湿器２０Ａの代わりに空冷式の除湿器２０Ｃを備えている。すなわち、除湿器２０Ｃの除湿部２１は、空冷式の除湿機構を有している。除湿器２０Ｃは、空冷式なので冷却装置５０からの水が不要となる。したがって、レーザ装置１００Ｃは、配管６２を備えていない。第２の一次電源５２と除湿器２０Ｃとは、第２のブレーカ５４を介して接続されている。
【００３２】
なお、レーザ装置１００Ｃは、密閉筐体３２Ａの代わりに密閉筐体３２Ｂを備えていてもよい。換言すると、レーザ装置１００Ｂが、除湿器２０Ａの代わりに空冷式の除湿器２０Ｃを備えていてもよい。
【００３３】
このように、実施の形態２によれば、レーザ装置１００Ｃが備える除湿器２０Ｃが空冷式なので、冷却装置５０が動作していない状態であっても除湿器２０Ｃを独立して動作させることが可能となる。
【００３４】
実施の形態３．
つぎに、図４を用いてこの発明の実施の形態３について説明する。実施の形態３では、除湿器が、特定時間に動作を開始する予約機能および特定時間に動作を終了するタイマー機能を備えている。また、実施の形態３では、除湿器に接続される外部通信機器が、遠隔操作によって除湿部２１を制御するリモート制御機能を有している。実施の形態３の除湿器は、リモート制御機能を有した外部通信機器からの指示に従って除湿を実行する。
【００３５】
図４は、実施の形態３にかかるレーザ装置の構成例を示す図である。図４の各構成要素のうち図１に示す実施の形態１のレーザ装置１００Ａと同一機能を有する構成要素については同一符号を付しており、重複する説明は省略する。
【００３６】
図４に示すレーザ装置１００Ｄは、除湿器２０Ａの代わりに除湿器２０Ｄを備えている。除湿器２０Ｄは、水冷式であってもよいし空冷式であってもよい。除湿器２０Ｄが水冷式の場合、除湿器２０Ｄは除湿器２０Ａと同じ機能を含み、除湿器２０Ｄが空冷式の場合、除湿器２０Ｄは除湿器２０Ｃと同じ機能を含んでいる。第２の一次電源５２と除湿器２０Ｄとは、第２のブレーカ５４を介して接続されている。
【００３７】
除湿器２０Ｄの除湿制御部２２は、レーザ装置１００Ｄの外部に配置されている外部通信機器９３との間で通信を行なう。除湿制御部２２と外部通信機器９３とが行う通信は、無線通信であってもよいし、有線通信であってもよい。外部通信機器９３の例は、リモートコントローラである。
【００３８】
除湿制御部２２は、外部通信機器９３から送られてくる指示に従って、除湿部２１を制御する。外部通信機器９３が除湿制御部２２に送る指示の例は、除湿器２０Ｄを起動させる指示、除湿器２０Ｄを特定の時間後に起動させる指示、除湿器２０Ｄを特定の時間後に停止させる指示である。
【００３９】
また、除湿器２０Ｄは、予約部９１と、タイマー部９２とを備えている。予約部９１は、予め設定しておいた第１の日時になると除湿部２１に除湿を開始させる。予約部９１へは、ユーザによって第１の日時が設定される。タイマー部９２は、予め設定しておいた第２の日時になると除湿部２１の動作を停止させる。タイマー部９２へは、ユーザによって第２の日時が設定される。
【００４０】
なお、レーザ装置１００Ｄは、密閉筐体３２Ａの代わりに密閉筐体３２Ｂを備えていてもよい。換言すると、レーザ装置１００Ｂが、除湿器２０Ｂの代わりに除湿器２０Ｄを備えていてもよい。また、レーザ装置１００Ｄは、予約部９１、タイマー部９２、および外部通信機器９３の何れかを備えていなくてもよい。
【００４１】
このように実施の形態３によれば、レーザ発振器１０が長期間に渡って休止していた後に立上げられる場合、レーザ発振器１０を立上げる前から、予約部９１が予め除湿器２０Ｄを起動させることができる。これにより、レーザ発振器１０を起動させる前に湿度を仕様の範囲内にすることができるので、短時間でレーザ発振器１０を起動することが可能となる。また、除湿器２０Ｄを動作させ続ける必要がない場合、レーザ発振器１０を起動させるまでの特定時間前から除湿器２０Ｄの動作を開始させればよいので、除湿器２０Ｄを動作させ続ける場合よりも消費電力を削減することが可能となる。
【００４２】
また、レーザ発振器１０を立下げる場合、冷却装置５０が停止した直後の低温状態では除湿器２０Ｄを動作させたままにして結露を防止しつつ、結露の可能性が低くなった後にタイマー部９２が除湿器２０Ｄを停止することができる。これにより、長時間に渡ってレーザ発振器１０を休止する場合の無駄な除湿動作を減らすことができるので消費電力を削減することが可能となる。
【００４３】
また、外部通信機器９３が操作されることによって、レーザ装置１００Ｄから離れた場所からでも、除湿器２０Ｄを起動させることができるので、レーザ発振器１０の立上げ前から容易に除湿器２０Ｄを動作させることができる。これにより、レーザ発振器１０の立上げ時間を短縮することができる。
【００４４】
また、外部通信機器９３を、他の装置と接続しておくことにより、レーザ発振器１０の立上げ前から他の装置と連動して除湿器２０Ｄを動作させることができる。これにより、レーザ発振器１０の立上げ時間を短縮することができる。
【００４５】
ここで、レーザ装置１００Ａ〜１００Ｄの何れかを備えたレーザ加工機の構成について説明する。図５は、実施の形態１から３にかかるレーザ加工機の構成例を示す図である。レーザ加工機１５０は、レーザ装置１００Ａ〜１００Ｄの何れかと、冷却装置５０と、第１の一次電源５１と、第２の一次電源５２と、伝送ファイバ１１１と、加工部である加工機駆動部１１０と、加工機制御部１２０とを備えている。なお、ここではレーザ加工機１５０が、レーザ装置１００Ａを備える場合について説明する。
【００４６】
レーザ装置１００Ａのレーザ発振器１０は、レーザ光を伝送する伝送ファイバ１１１に接続されており、伝送ファイバ１１１を介して加工機駆動部１１０にレーザ光を送る。
【００４７】
加工機駆動部１１０は、レーザ装置１００Ａから送られてくるレーザ光を用いて被加工物であるワークＷを加工する。加工機駆動部１１０は、加工ヘッド１１２と、ワークテーブル１１３とを有している。
【００４８】
加工ヘッド１１２は、伝送ファイバ１１１を介してレーザ発振器１０に接続されており、伝送ファイバ１１１を介してレーザ発振器１０から送られてくるレーザ光をワークＷに照射する。加工ヘッド１１２は、鉛直方向であるＺ軸方向に移動可能となっている。ワークテーブル１１３は、ワークＷを載置するためのテーブルである。ワークテーブル１１３は、水平面内のＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能となっている。
【００４９】
加工機制御部１２０は、加工機駆動部１１０およびレーザ装置１００Ａを制御する。レーザ装置１００Ａの発振器制御部１２は、動力線７９を介して加工機制御部１２０に接続されており、加工機制御部１２０を駆動するための電力を、動力線７９を介して加工機制御部１２０に送る。また、発振器制御部１２と加工機制御部１２０とは、信号線８７を介して接続されており、信号線８７を介して信号の送受信を行う。加工機制御部１２０は、レーザ装置１００Ａおよび冷却装置５０を制御するための信号を、信号線８７を介して発振器制御部１２に送信し、発振器制御部１２は、レーザ装置１００Ａおよび冷却装置５０の状態を示す信号を、信号線８７を介して加工機制御部１２０に送信する。
【００５０】
なお、第２の一次電源５２は、加工機制御部１２０に接続されていてもよい。この場合、加工機制御部１２０は、発振器制御部１２等を駆動するための電力を、動力線７９を介して発振器制御部１２に送る。また、第２の一次電源５２は、発振器制御部１２および加工機制御部１２０の両方に接続されていてもよい。
【００５１】
また、加工機制御部１２０は、動力線７８を介して加工機駆動部１１０に接続されており、加工機駆動部１１０を駆動するための電力を、動力線７８を介して加工機駆動部１１０に供給する。また、加工機制御部１２０と加工機駆動部１１０とは、信号線８６を介して接続されており、信号線８６を介して信号の送受信を行う。加工機制御部１２０は、加工機駆動部１１０を制御するための信号を、信号線８６を介して加工機駆動部１１０に送信し、加工機駆動部１１０は、加工機駆動部１１０の状態を示す信号を、信号線８６を介して加工機制御部１２０に送信する。
【００５２】
ここで、実施の形態１から３における除湿制御部２２の機能を実現するハードウェア構成について説明する。除湿制御部２２は、制御回路、すなわちプロセッサおよびメモリにより実現することができる。なお、プロセッサおよびメモリは、処理回路に置き換えられてもよい。除湿制御部２２の機能について、一部を専用のハードウェアで実現し、一部をソフトウェアまたはファームウェアで実現するようにしてもよい。
【００５３】
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  レーザ発振器、１１  駆動電源、１２  発振器制御部、２０Ａ〜２０Ｄ  除湿器、２１  除湿部、２２  除湿制御部、２３  温度センサ、２４  湿度センサ、３２Ａ，３２Ｂ  密閉筐体、５０  冷却装置、５１  第１の一次電源、５２  第２の一次電源、５３  第１のブレーカ、５４  第２のブレーカ、６１〜６３  配管、７１〜７９  動力線、８１〜８７  信号線、９１  予約部、９２  タイマー部、９３  外部通信機器、１００Ａ〜１００Ｄ  レーザ装置、１１０  加工機駆動部、１１１  伝送ファイバ、１１２  加工ヘッド、１１３  ワークテーブル、１２０  加工機制御部、１５０  レーザ加工機、Ｗ  ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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