(57)【要約】電気特性の良好な半導体装置を提供する。電気特性の安定した半導体装置を提供する。第１の絶縁層と、第２の絶縁層と、第３の絶縁層と、第４の絶縁層と、半導体層と、第１の導電層と、を有する構成とする。第２の絶縁層は第１の絶縁層上に位置し、島状の半導体層は第２の絶縁層上に位置する。第２の絶縁層は、半導体層と重なる領域よりも外側に端部を有する島状の形状を有する。第４の絶縁層は、第２の絶縁層、半導体層、第３の絶縁層、及び第１の導電層を覆い、且つ、半導体層の上面の一部と接し、且つ、第２の絶縁層の端部よりも外側において第１の絶縁層と接する。半導体層は金属酸化物を含み、第２の絶縁層及び第３の絶縁層は酸化物を含み、第１の絶縁層は金属酸化物または窒化物を含み、第４の絶縁層は金属窒化物を含む。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の絶縁層と、第２の絶縁層と、第３の絶縁層と、第４の絶縁層と、半導体層と、第１の導電層と、を有し、
前記第２の絶縁層は、前記第１の絶縁層上に位置し、
前記半導体層は、前記第２の絶縁層上に位置し、且つ島状の形状を有し、
前記第３の絶縁層及び前記第１の導電層は、前記半導体層上に積層して設けられ、
前記第２の絶縁層は、前記半導体層と重なる領域よりも外側に端部を有する島状の形状を有し、
前記第４の絶縁層は、前記第２の絶縁層、前記半導体層、前記第３の絶縁層、及び前記第１の導電層を覆い、且つ、前記半導体層の上面の一部と接し、且つ、前記第２の絶縁層の前記端部よりも外側において前記第１の絶縁層と接し、
前記半導体層は、金属酸化物を含み、
前記第２の絶縁層及び前記第３の絶縁層は、酸化物を含み、
前記第１の絶縁層は、金属酸化物、または窒化物を含み、
前記第４の絶縁層は、金属窒化物を含む、
半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第４の絶縁層は、アルミニウムを含む、
半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記第１の絶縁層は、アルミニウム及びハフニウムの少なくとも一方と、酸素と、を有する、
半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記第２の絶縁層と、前記半導体層とは、上面形状が概略一致する、
半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第２の絶縁層は、前記端部が、前記第１の導電層と重なる領域よりも外側に位置する部分を有する、
半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第２の絶縁層は、前記端部が、前記第１の導電層と重なる領域に位置する部分を有する、
半導体装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
前記第１の絶縁層よりも下に第２の導電層を有し、
前記第２の導電層は、前記半導体層及び前記第１の導電層の両方と重なる領域を有する、
半導体装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記第２の絶縁層は、前記端部が、前記第２の導電層と重なる領域よりも外側に位置する部分を有する、
半導体装置。
【請求項９】
請求項７において、
前記第２の絶縁層は、前記端部が、前記第２の導電層と重なる領域に位置する部分を有する、
半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明の一態様は、半導体装置に関する。本発明の一態様は、表示装置に関する。本発明の一態様は、半導体装置、または表示装置の作製方法に関する。【０００２】  なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。半導体装置は、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。
【背景技術】
【０００３】  トランジスタに適用可能な半導体材料として、金属酸化物を用いた酸化物半導体が注目されている。例えば、特許文献１では、複数の酸化物半導体層を積層し、当該複数の酸化物半導体層の中で、チャネルとなる酸化物半導体層がインジウム及びガリウムを含み、且つインジウムの割合をガリウムの割合よりも大きくすることで、電界効果移動度（単に移動度、またはμＦＥという場合がある）を高めた半導体装置が開示されている。【０００４】  半導体層に用いることのできる金属酸化物は、スパッタリング法などを用いて形成できるため、大型の表示装置を構成するトランジスタの半導体層に用いることができる。また、多結晶シリコンや非晶質シリコンを用いたトランジスタの生産設備の一部を改良して利用することが可能であるため、設備投資を抑えられる。また、金属酸化物を用いたトランジスタは、非晶質シリコンを用いた場合に比べて高い電界効果移動度を有するため、駆動回路を設けた高機能の表示装置を実現できる。【０００５】  また、特許文献２には、ソース領域およびドレイン領域に、アルミニウム、ホウ素、ガリウム、インジウム、チタン、シリコン、ゲルマニウム、スズ、および鉛からなる群のうちの少なくとも一種をドーパントとして含む低抵抗領域を有する酸化物半導体膜が適用された薄膜トランジスタが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−７３９９号公報
【特許文献２】特開２０１１−２２８６２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  本発明の一態様は、電気特性の良好な半導体装置を提供することを課題の一とする。または、電気特性の安定した半導体装置を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の一とする。【０００８】  なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本発明の一態様は、第１の絶縁層と、第２の絶縁層と、第３の絶縁層と、第４の絶縁層と、半導体層と、第１の導電層と、を有する半導体装置である。第２の絶縁層は、第１の絶縁層上に位置する。半導体層は、第２の絶縁層上に位置し、且つ島状の形状を有する。第３の絶縁層及び第１の導電層は、半導体層上に積層して設けられる。第２の絶縁層は、半導体層と重なる領域よりも外側に端部を有する島状の形状を有する。第４の絶縁層は、第２の絶縁層、半導体層、第３の絶縁層、及び第１の導電層を覆い、且つ、半導体層の上面の一部と接し、且つ、第２の絶縁層の端部よりも外側において第１の絶縁層と接する。半導体層は金属酸化物を含み、第２の絶縁層及び第３の絶縁層は酸化物を含み、第１の絶縁層は金属酸化物または窒化物を含み、第４の絶縁層は金属窒化物を含む。【００１０】  また、上記において、第４の絶縁層は、アルミニウムを含むことが好ましい。【００１１】  また、上記において、第１の絶縁層は、アルミニウム及びハフニウムの少なくとも一方と、酸素と、を有することが好ましい。【００１２】  また、上記において、第２の絶縁層と、半導体層とは、上面形状が概略一致することが好ましい。【００１３】  また、上記において、第２の絶縁層は、端部が、第１の導電層と重なる領域よりも外側に位置する部分を有することが好ましい。【００１４】  また、上記において、第２の絶縁層は、端部が、第１の導電層と重なる領域に位置する部分を有することが好ましい。【００１５】  また、上記において、第１の絶縁層よりも下に第２の導電層を有し、第２の導電層は、半導体層及び第１の導電層の両方と重なる領域を有することが好ましい。【００１６】  また、上記において、第２の絶縁層は、その端部が第２の導電層と重なる領域よりも外側に位置する部分を有することが好ましい。または、第２の絶縁層は、その端部が第２の導電層と重なる領域に位置する部分を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】  本発明の一態様によれば、電気特性の良好な半導体装置を提供できる。または、電気特性の安定した半導体装置を提供できる。または、信頼性の高い表示装置を提供できる。【００１８】  なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】トランジスタの構成例。
【図２】トランジスタの構成例。
【図３】トランジスタの構成例。
【図４】トランジスタの構成例。
【図５】トランジスタの構成例。
【図６】画素の構成例。
【図７】トランジスタの作製方法を説明する図。
【図８】トランジスタの作製方法を説明する図。
【図９】トランジスタの作製方法を説明する図。
【図１０】表示装置の上面図。
【図１１】表示装置の断面図。
【図１２】表示装置の断面図。
【図１３】表示装置の断面図。
【図１４】表示装置の断面図。
【図１５】表示装置の断面図。
【図１６】表示装置のブロック図及び回路図。
【図１７】表示装置のブロック図。
【図１８】表示モジュールの構成例。
【図１９】電子機器の構成例。
【図２０】電子機器の構成例。
【図２１】電子機器の構成例。
【発明を実施するための形態】
【００２０】  以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２１】  また、本明細書で説明する各図において、各構成の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。
【００２２】  また、本明細書にて用いる「第１」、「第２」、「第３」という序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。
【００２３】  また、本明細書において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
【００２４】  また、本明細書等において、トランジスタが有するソースとドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００２５】  また、本明細書等において、「電気的に接続」には、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、キャパシタ、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【００２６】  また、本明細書等において、「膜」という用語と、「層」という用語とは、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」や「絶縁層」という用語は、「導電膜」や「絶縁膜」という用語に相互に交換することが可能な場合がある。
【００２７】  また、本明細書等において、特に断りがない場合、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態（非導通状態、遮断状態、ともいう）にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態とは、特に断りがない場合、ｎチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔｈよりも低い（ｐチャネル型トランジスタでは、Ｖｔｈよりも高い）状態をいう。
【００２８】  本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示（出力）する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
【００２９】  また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）もしくはＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）方式等によりＩＣが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
【００３０】  なお、本明細書等において、表示装置の一態様であるタッチパネルは表示面に画像等を表示する機能と、表示面に指やスタイラスなどの被検知体が触れる、押圧する、または近づくことなどを検出するタッチセンサとしての機能と、を有する。したがってタッチパネルは入出力装置の一態様である。
【００３１】  タッチパネルは、例えばタッチセンサ付き表示パネル（または表示装置）、タッチセンサ機能つき表示パネル（または表示装置）とも呼ぶことができる。タッチパネルは、表示パネルとタッチセンサパネルとを有する構成とすることもできる。または、表示パネルの内部または表面にタッチセンサとしての機能を有する構成とすることもできる。
【００３２】  また、本明細書等では、タッチパネルの基板に、コネクターやＩＣが実装されたものを、タッチパネルモジュール、表示モジュール、または単にタッチパネルなどと呼ぶ場合がある。
【００３３】（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置、表示装置、及びその作製方法について説明する。
【００３４】  本発明の一態様は、被形成面上に、チャネルが形成される半導体層と、半導体層上にゲート絶縁層（第３の絶縁層ともいう）と、ゲート絶縁層上にゲート電極と、を有するトランジスタである。半導体層は、半導体特性を示す金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう）を含んで構成されることが好ましい。
【００３５】  ゲート電極とゲート絶縁層とは、それぞれ上面形状が概略一致していることが好ましい。言い換えると、ゲート電極とゲート絶縁層とは、側面が連続するように加工されていることが好ましい。例えばゲート絶縁層となる絶縁膜と、ゲート電極となる導電膜を積層した後に、同じエッチングマスクを用いて続けて加工することで形成することができる。または、先に加工したゲート電極をハードマスクとして当該絶縁膜を加工することでゲート絶縁層を形成してもよい。
【００３６】  また、半導体層は、チャネルが形成されうるチャネル形成領域と、ソース領域及びドレイン領域として機能する一対の低抵抗領域を有する。チャネル形成領域は、半導体層におけるゲート電極と重畳する領域である。低抵抗領域は、チャネル形成領域よりも低抵抗である領域である。
【００３７】  半導体層の低抵抗領域の表面には、金属窒化物を含む絶縁層（第４の絶縁層ともいう）が接して設けられる。半導体層に接して金属窒化物を含む絶縁層を設けることで、低抵抗領域の導電性を高める効果を奏する。さらに、半導体層に接して金属窒化物を含む絶縁膜を設けた状態で加熱処理を行うと、より低抵抗化が促進されるため好ましい。
【００３８】  金属窒化物としては、アルミニウムを含むことが特に好ましい。例えば、アルミニウムをスパッタリングターゲットに用い、成膜ガスとして窒素を含むガスを用いた反応スパッタリング法により形成した窒化アルミニウム膜は、成膜ガスの全流量に対する窒素ガスの流量を適切に制御することで、極めて高い絶縁性と、水素や酸素に対する極めて高いブロッキング性とを兼ね備えた膜とすることができる。そのため、このような金属窒化物を含む絶縁膜を、半導体層に接して設けることで、半導体層を低抵抗化できるだけでなく、半導体層から酸素が脱離すること、及び半導体層へ水素が拡散することを好適に防ぐことができる。
【００３９】  金属窒化物として、窒化アルミニウムを用いた場合、当該窒化アルミニウムを含む絶縁膜の厚さを５ｎｍ以上とすることが好ましい。このように薄い膜であっても、水素及び酸素に対する高いブロッキング性と、半導体層の低抵抗化の機能とを両立できる。なお、当該絶縁層の厚さはどれだけ厚くてもよいが、生産性を考慮し、５００ｎｍ以下、好ましくは２００ｎｍ以下、より好ましくは５０ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００４０】  また、半導体層の下面に接して酸化物を含む絶縁層（第２の絶縁層ともいう）が設けられていることが好ましい。酸化物を含む第２の絶縁層を半導体層に接して設けることで、加熱により脱離する酸素を効果的に半導体層に供給し、半導体層中の酸素欠損を補填することができる。
【００４１】  本発明の一態様は、第２の絶縁層が島状の形状を有する構成とする。さらに、第２の絶縁層の下側には、水、水素、酸素に対するブロッキング性の高い絶縁層（第１の絶縁層ともいう）を設ける。さらに、第２の絶縁層の上面及び端部の側面が上記金属窒化物を含む絶縁層（第４の絶縁層）で覆われる構成とする。また島状の第２の絶縁層の端部よりも外側の領域において、第１の絶縁層と第４の絶縁層とが接することにより、第２の絶縁層及び半導体層等を第１の絶縁層と第４の絶縁層とで取り囲む（封止する）構成とすることができる。これにより、第２の絶縁層から放出される酸素が外部に放出されることを効果的に抑制し、その酸素のほとんどを半導体層に供給可能な構成とすることができる。
【００４２】  ここで、半導体層に極めて過剰な酸素が供給された場合、トランジスタ特性に悪影響を及ぼす場合がある。しかしながら本構成では、島状に加工する第２の絶縁層の面積を変更することにより、半導体層に供給しうる酸素の量を制御することが可能となる。当該面積は、第２の絶縁層が放出しうる酸素の量、第２の絶縁層と重なる半導体層の面積、または第２の絶縁層の厚さ等に応じて、適宜設計することが可能となる。
【００４３】  以上の構成とすることで、電気特性に優れ、且つ信頼性の高い半導体装置を実現することができる。
【００４４】  以下では、より具体的な例について、図面を参照して説明する。
【００４５】［構成例１］
図１（Ａ）は、トランジスタ１００の上面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す一点鎖線Ａ１−Ａ２における切断面の断面図に相当し、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）に示す一点鎖線Ｂ１−Ｂ２における切断面の断面図に相当する。なお、図１（Ａ）において、トランジスタ１００の構成要素の一部（ゲート絶縁層等）を省略して図示している。また、一点鎖線Ａ１−Ａ２方向をチャネル長方向、一点鎖線Ｂ１−Ｂ２方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。また、トランジスタの上面図においては、以降の図面においても図１（Ａ）と同様に、構成要素の一部を省略して図示する場合がある。
【００４６】  トランジスタ１００は、基板１０２上に設けられ、絶縁層１０３、絶縁層１０４、半導体層１０８、絶縁層１１０、金属酸化物層１１４、導電層１１２、絶縁層１１６、絶縁層１１８等を有する。絶縁層１０４は絶縁層１０３上に設けられ、半導体層１０８は絶縁層１０４上に設けられる。絶縁層１１０、金属酸化物層１１４、及び導電層１１２は、この順に半導体層１０８上に積層されている。絶縁層１１６は、絶縁層１０４の上面及び側面、半導体層１０８の上面及び側面、絶縁層１１０の側面、金属酸化物層１１４の側面、及び導電層１１２の上面及び側面を覆って設けられている。絶縁層１１８は、絶縁層１１６を覆って設けられている。
【００４７】  導電層１１２の一部は、ゲート電極として機能する。絶縁層１１０の一部は、ゲート絶縁層として機能する。トランジスタ１００は、半導体層１０８上にゲート電極が設けられる、いわゆるトップゲート型のトランジスタである。
【００４８】  半導体層１０８は、金属酸化物を含むことが好ましい。
【００４９】  例えば半導体層１０８は、インジウムと、Ｍ（Ｍは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムから選ばれた一種または複数種）と、亜鉛と、を有すると好ましい。特にＭはアルミニウム、ガリウム、イットリウム、またはスズとすることが好ましい。
【００５０】  特に、半導体層１０８として、インジウム、ガリウム、及び亜鉛を含む酸化物を用いることが好ましい。
【００５１】  半導体層１０８として、組成の異なる層、または結晶性の異なる層、または不純物濃度の異なる層を積層した積層構造としてもよい。
【００５２】  半導体層１０８は、導電層１１２と重畳する領域と、当該領域を挟む低抵抗な領域１０８ｎとを有する。領域１０８ｎには、絶縁層１１６が接して設けられている。半導体層１０８の、導電層１１２と重畳する領域は、トランジスタ１００のチャネル形成領域として機能する。一方、領域１０８ｎは、トランジスタ１００のソース領域またはドレイン領域として機能する。
【００５３】  また、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、トランジスタ１００は、絶縁層１１８上に導電層１２０ａ及び導電層１２０ｂを有していてもよい。導電層１２０ａ及び導電層１２０ｂはソース電極またはドレイン電極として機能する。導電層１２０ａ及び導電層１２０ｂは、それぞれ絶縁層１１８及び絶縁層１１６に設けられた開口部１４１ａまたは開口部１４１ｂを介して、領域１０８ｎに電気的に接続される。
【００５４】  導電層１１２、金属酸化物層１１４、及び絶縁層１１０は、上面形状が互いに概略一致している。
【００５５】  なお、本明細書等において「上面形状が概略一致」とは、積層した層と層との間で少なくとも輪郭の一部が重なることをいう。例えば、上層と下層とが、同一のマスクパターン、または一部が同一のマスクパターンにより加工された場合を含む。ただし、厳密には輪郭が重なり合わず、上層が下層の内側に位置することや、上層が下層の外側に位置することもあり、この場合も「上面形状が概略一致」という。
【００５６】  絶縁層１１０と導電層１１２の間に位置する金属酸化物層１１４は、絶縁層１１０に含まれる酸素が導電層１１２側に拡散することを防ぐバリア膜として機能する。金属酸化物層１１４は、例えば少なくとも絶縁層１１０よりも酸素を透過しにくい材料を用いることができる。
【００５７】  金属酸化物層１１４により、導電層１１２にアルミニウムや銅などの酸素を吸引しやすい金属を用いた場合であっても、絶縁層１１０から導電層１１２へ酸素が拡散することを防ぐことができる。また、導電層１１２が水素を含む場合であっても、導電層１１２から絶縁層１１０を介して半導体層１０８へ水素が供給されることが抑制される。その結果、半導体層１０８のチャネル形成領域のキャリア密度を極めて低いものとすることができる。
【００５８】  金属酸化物層１１４としては、絶縁性材料または導電性材料を用いることができる。金属酸化物層１１４が絶縁性を有する場合には、ゲート絶縁層の一部として機能する。一方、金属酸化物層１１４が導電性を有する場合には、ゲート電極の一部として機能する。
【００５９】  特に、金属酸化物層１１４として、酸化シリコンよりも誘電率の高い絶縁性材料を用いることが好ましい。特に、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、またはハフニウムアルミネート膜等を用いることが好ましい。
【００６０】  また、金属酸化物層１１４は、スパッタリング装置を用いて形成すると好ましい。例えば、スパッタリング装置を用いて酸化アルミニウム膜を形成する場合、酸素ガスを含む雰囲気下で形成することで、絶縁層１１０や半導体層１０８中に好適に酸素を添加することができる。また、スパッタリング装置を用いて酸化アルミニウム膜を形成する場合、膜密度を高めることができるため好適である。
【００６１】  絶縁層１１６は、金属窒化物を含む絶縁膜を用いることができる。絶縁層１１６は、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステン、クロム、及びルテニウムなどの金属元素の少なくとも一と、窒素とを含むことが好ましい。特に、アルミニウムと窒素とを含む膜を用いると、極めて絶縁性が高いため好ましい。
【００６２】  絶縁層１１６に窒化アルミニウム膜を用いる場合、組成式がＡｌＮｘ（ｘは０より大きく２以下の実数、好ましくは、ｘは０．５より大きく１．５以下の実数）を満たす膜を用いることが好ましい。これにより、絶縁性に優れ、且つ熱伝導性に優れた膜とすることができるため、トランジスタ１００を駆動したときに生じる熱の放熱性を高めることができる。
【００６３】  または、絶縁層１１６として、窒化アルミニウムチタン膜、窒化チタン膜などを用いることができる。
【００６４】  領域１０８ｎは、半導体層１０８の一部であり、チャネル形成領域よりも低抵抗な領域である。
【００６５】  ここで、半導体層１０８として、インジウムを含む金属酸化物膜を用いた場合、領域１０８ｎの絶縁層１１６側の界面近傍に、金属インジウムが析出した領域、または、インジウム濃度の高い領域が形成されている場合がある。このような領域は、例えばＸ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）等の分析法で観測できる場合がある。
【００６６】  また領域１０８ｎは、チャネル形成領域よりもキャリア密度が高い領域、酸素欠陥密度の高い領域、またはｎ型である領域ともいうことができる。
【００６７】  また、半導体層１０８のチャネル形成領域に接する絶縁層１０４と絶縁層１１０には、酸化物膜を用いることが好ましい。例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜などの酸化物膜を用いることができる。これにより、トランジスタ１００の作製工程における熱のかかる処理などで、絶縁層１０４や絶縁層１１０から脱離した酸素を半導体層１０８のチャネル形成領域に供給し、半導体層１０８中の酸素欠損を低減することができる。
【００６８】  絶縁層１０４よりも下側（基板１０２側）に設けられる絶縁層１０３としては、酸素及び水素を拡散しにくい絶縁膜を用いることが好ましい。特に、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、またはハフニウムアルミネート膜などの、金属酸化物膜を用いることが好ましい。
【００６９】  酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、及びハフニウムアルミネート膜等は、膜厚が薄い場合でも極めて高いバリア性を有する。そのため、その厚さを０．５ｎｍ以上５０ｎｍ以下、好ましくは１ｎｍ以上４０ｎｍ以下、より好ましくは２ｎｍ以上３０ｎｍ以下の厚さとすることができる。特に、酸化アルミニウム膜は水素などに対するバリア性が高いため、極めて薄く（例えば０．５ｎｍ以上１．５ｎｍ以下）しても、十分な効果を得ることができる。このような膜は、例えばスパッタリング法または原子層堆積（ＡＬＤ：Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等の成膜方法により形成することができる。
【００７０】  ここで、半導体層１０８と絶縁層１０４とは、それぞれ島状に加工されている。図１（Ａ）では、絶縁層１０４の輪郭を破線で示している。絶縁層１０４は平面視において、少なくとも半導体層１０８を包含するように設けられている。言い換えると、絶縁層１０４の端部は、半導体層１０８と重なる領域よりも外側に位置するように加工されている。なお、後述するように、半導体層１０８と絶縁層１０４とが同じエッチングマスクを用いて加工されていてもよく、その場合には、半導体層１０８と絶縁層１０４とはそれぞれ上面形状が概略一致する。
【００７１】  また、図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、絶縁層１０４の端部よりも外側の領域において、絶縁層１０３と絶縁層１１６とが接して設けられている。これにより半導体層１０８及び絶縁層１０４等が、絶縁層１０３及び絶縁層１１６で密封された構造とすることができる。このような構造により、トランジスタ１００の半導体層１０８及び絶縁層１０４に外部から水素が拡散すること、及び半導体層１０８及び絶縁層１０４中の酸素が外部に拡散することを効果的に抑制することができる。
【００７２】  また、絶縁層１１８中には水素が含まれる場合があるが、半導体層１０８に接する酸化物膜を含む絶縁層１０４や絶縁層１１０は、絶縁層１１６により絶縁層１１８とは接しない構成となっている。そのため、絶縁層１１８中に水素が含まれている場合であっても、トランジスタ１００の作製工程中にかかる熱などにより、当該水素が絶縁層１０４及び絶縁層１１０を介して半導体層１０８に拡散することを効果的に防ぐことができる。
【００７３】  ここで、半導体層１０８、及び半導体層１０８中に形成されうる酸素欠損について説明を行う。
【００７４】  半導体層１０８に形成される酸素欠損は、トランジスタ特性に影響を与えるため問題となる。例えば、半導体層１０８中に酸素欠損が形成されると、該酸素欠損に水素が結合し、キャリア供給源となりうる。半導体層１０８中にキャリア供給源が生成されると、トランジスタ１００の電気特性の変動、代表的にはしきい値電圧のシフトが生じる。したがって、半導体層１０８においては、酸素欠損が少ないほど好ましい。
【００７５】  そこで、本発明の一態様においては、半導体層１０８近傍の絶縁膜、具体的には、半導体層１０８の上方に位置する絶縁層１１０、及び下方に位置する絶縁層１０４が、酸化物膜を含む構成である。作製工程中にかかる熱などにより絶縁層１０４及び絶縁層１１０から半導体層１０８へ酸素を移動させることで、半導体層１０８中の酸素欠損を低減することが可能となる。
【００７６】  また、半導体層１０８は、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有すると好ましい。Ｉｎの原子数比が多いほど、トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。
【００７７】  ここで、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎを含む金属酸化物の場合、Ｉｎと酸素の結合力は、Ｇａと酸素の結合力よりも弱いため、Ｉｎの原子数比が大きい場合には、金属酸化物膜中に酸素欠損が形成されやすい。また、Ｇａに代えて、上記Ｍで示す金属元素を用いた場合でも同様の傾向がある。金属酸化物膜中に酸素欠損が多く存在すると、トランジスタの電気特性の低下や、信頼性の低下が生じる。
【００７８】  しかしながら本発明の一態様では、金属酸化物を含む半導体層１０８中に極めて多くの酸素を供給できるため、Ｉｎの原子数比の大きな金属酸化物材料を用いることが可能となる。これにより、極めて高い電界効果移動度と、安定した電気特性と、高い信頼性とを兼ね備えたトランジスタを実現することができる。
【００７９】  例えば、Ｉｎの原子数比が、Ｍの原子数比に対して１．５倍以上、または２倍以上、または３倍以上、または３．５倍以上、または４倍以上である金属酸化物を、好適に用いることができる。
【００８０】  特に、半導体層１０８のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６またはその近傍（Ｉｎが５の場合、Ｍが０．５以上１．５以下であり、且つＺｎが５以上７以下を含む）とすることが好ましい。または、Ｉｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３またはその近傍とすると好ましい。また、半導体層１０８の組成として、半導体層１０８のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を概略等しくしてもよい。すなわち、Ｉｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比が、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１またはその近傍の材料を含んでいてもよい。
【００８１】  例えば、上記の電界効果移動度が高いトランジスタを、ゲート信号を生成するゲートドライバに用いることで、額縁幅の狭い（狭額縁ともいう）表示装置を提供することができる。また、上記の電界効果移動度が高いトランジスタを、ソースドライバ（特に、ソースドライバが有するシフトレジスタの出力端子に接続されるデマルチプレクサ）に用いることで、表示装置に接続される配線数が少ない表示装置を提供することができる。
【００８２】  なお、半導体層１０８が、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有していても、半導体層１０８の結晶性が高い場合、電界効果移動度が低くなる場合がある。半導体層１０８の結晶性としては、例えば、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）を用いて分析する、あるいは、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて分析することで解析できる。
【００８３】  ここで、半導体層１０８に混入する水素または水分などの不純物は、トランジスタ特性に影響を与えるため問題となる。したがって、半導体層１０８においては、水素または水分などの不純物が少ないほど好ましい。不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低い金属酸化物膜を用いることで、優れた電気特性を有するトランジスタを作製することができ好ましい。不純物濃度が低く、欠陥準位密度を低く（酸素欠損を少なく）することで、膜中のキャリア密度を低くすることができる。このような金属酸化物膜を半導体層に用いたトランジスタは、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性（ノーマリーオンともいう。）になることが少ない。また、このような金属酸化物膜を用いたトランジスタは、オフ電流が著しく小さい特性を得ることができる。
【００８４】  また、半導体層１０８が、２層以上の積層構造を有していてもよい。
【００８５】  例えば、組成の異なる２以上の金属酸化物膜を積層した半導体層１０８を用いることができる。例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を用いた場合に、Ｉｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比が、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：２：１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：３：４、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：３：２、またはそれらの近傍であるスパッタリングターゲットで形成する膜のうち、２以上を積層して用いることが好ましい。
【００８６】  また、結晶性の異なる２以上の金属酸化物膜を積層した半導体層１０８を用いることができる。その場合、同じ酸化物ターゲットを用い、成膜条件を異ならせることで、大気に触れることなく連続して形成されることが好ましい。
【００８７】  例えば、先に形成する第１の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比を、後に形成する第２の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比よりも小さくする。または、第１の金属酸化物膜の成膜時に、酸素を流さない条件とする。これにより、第２の金属酸化物膜の成膜時に、酸素を効果的に供給することができる。また、第１の金属酸化物膜は第２の金属酸化物膜よりも結晶性が低く、電気伝導性の高い膜とすることができる。一方、上部に設けられる第２の金属酸化物膜を第１の金属酸化物膜よりも結晶性の高い膜とすることで、半導体層１０８の加工時や、絶縁層１１０の成膜時のダメージを抑制することができる。
【００８８】  より具体的には、第１の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比を、０％以上５０％未満、好ましくは０％以上３０％以下、より好ましくは０％以上２０％以下、代表的には１０％とする。また第２の金属酸化物膜の成膜時の酸素流量比を、５０％以上１００％以下、好ましくは６０％以上１００％以下、より好ましくは８０％以上１００％以下、さらに好ましくは９０％以上１００％以下、代表的には１００％とする。また、第１の金属酸化物膜と第２の金属酸化物膜とで、成膜時の圧力、温度、電力等の条件を異ならせてもよいが、酸素流量比以外の条件を同じとすることで、成膜工程にかかる時間を短縮することができるため好ましい。
【００８９】  このような構成とすることで、電気特性に優れ、且つ信頼性の高いトランジスタ１００を実現できる。
【００９０】  以上が構成例１についての説明である。
【００９１】［変形例１］
以下では、上記構成例１の変形例について説明する。
【００９２】〔変形例１−１〕
図２（Ａ）、（Ｂ）では、絶縁層１０４と半導体層１０８とを、同じエッチングマスクにより島状に加工した場合の例を示している。言い換えると、絶縁層１０４と半導体層１０８とは、平面視における上面形状が概略一致しているとも言える。また、絶縁層１０４と半導体層１０８とは、それぞれの端部における側面が連続している、とも言うことができる。
【００９３】  このような構成とすることで、絶縁層１０４を加工するための工程を省略することができるため、歩留まりの向上、作製コストの低減が可能となる。
【００９４】〔変形例１−２〕
図２（Ｃ）は、絶縁層１０４の端部が、半導体層１０８よりも外側であって、且つ導電層１１２、金属酸化物層１１４、及び絶縁層１１０の端部よりも内側に位置するように、絶縁層１０４を加工した場合の例である。図２（Ｃ）には、チャネル幅方向の断面を示している。
【００９５】  変形例１−１及び変形例１−２は、上記構成例１よりも絶縁層１０４の面積が小さくできる構成となっている。このように絶縁層１０４のパターンや形成方法を変更することで、絶縁層１０４から半導体層１０８へ供給する酸素の量を最適化することが可能となる。
【００９６】  以上が変形例１についての説明である。
【００９７】［構成例２］
以下では、上記構成例１と一部の構成が異なるトランジスタの構成例について説明する。なお、以下では、上記構成例１と重複する部分は説明を省略する場合がある。また、以下で示す図面において、上記構成例と同様の機能を有する部分についてはハッチングパターンを同じくし、符号を付さない場合もある。
【００９８】  図３（Ａ）は、トランジスタ１００Ａの上面図であり、図３（Ｂ）はトランジスタ１００Ａのチャネル長方向の断面図であり、図３（Ｃ）はトランジスタ１００Ａのチャネル幅方向の断面図である。
【００９９】  トランジスタ１００Ａは、基板１０２と絶縁層１０３との間に導電層１０６を有する点で、構成例１と主に相違している。導電層１０６は、絶縁層１０４及び絶縁層１０３を介して半導体層１０８及び導電層１１２と重畳する領域を有する。
【０１００】  トランジスタ１００Ａにおいて、導電層１０６は、第１のゲート電極（ボトムゲート電極ともいう）としての機能を有し、導電層１１２は、第２のゲート電極（トップゲート電極ともいう）としての機能を有する。また、絶縁層１０３及び絶縁層１０４の一部は第１のゲート絶縁層として機能し、絶縁層１１０の一部は、第２のゲート絶縁層として機能する。
【０１０１】  半導体層１０８の、導電層１１２及び導電層１０６の少なくとも一方と重畳する部分は、チャネル形成領域として機能する。なお、以下では説明を容易にするため、半導体層１０８の導電層１１２と重畳する部分をチャネル形成領域と呼ぶ場合があるが、実際には導電層１１２と重畳せずに、導電層１０６と重畳する部分（領域１０８ｎを含む部分）にもチャネルが形成しうる。
【０１０２】  また、図３（Ｃ）に示すように、導電層１０６は、金属酸化物層１１４、絶縁層１１０、絶縁層１０４及び絶縁層１０３に設けられた開口部１４２を介して、導電層１１２と電気的に接続されていてもよい。これにより、導電層１０６と導電層１１２には、同じ電位を与えることができる。
【０１０３】  導電層１０６は、導電層１１２、導電層１２０ａ、または導電層１２０ｂと同様の材料を用いることができる。特に導電層１０６として、銅を含む材料により形成することで抵抗を低くすることができるため好適である。
【０１０４】  また、図３（Ａ）、（Ｃ）に示すように、チャネル幅方向において、導電層１１２及び導電層１０６が、半導体層１０８の端部よりも外側に突出していることが好ましい。このとき、図３（Ｃ）に示すように、半導体層１０８のチャネル幅方向の全体が、絶縁層１１０と絶縁層１０４を介して、導電層１１２と導電層１０６に覆われた構成となる。
【０１０５】  このような構成とすることで、半導体層１０８を一対のゲート電極によって生じる電界で、電気的に取り囲むことができる。このとき特に、導電層１０６と導電層１１２に同じ電位を与えることが好ましい。これにより、半導体層１０８にチャネルを誘起させるための電界を効果的に印加できるため、トランジスタ１００Ａのオン電流を増大させることができる。そのため、トランジスタ１００Ａを微細化することも可能となる。
【０１０６】  なお、導電層１１２と導電層１０６とを接続しない構成としてもよい。このとき、一対のゲート電極の一方に定電位を与え、他方にトランジスタ１００Ａを駆動するための信号を与えてもよい。このとき、一方の電極に与える電位により、トランジスタ１００Ａを他方の電極で駆動する際のしきい値電圧を制御することもできる。
【０１０７】  以上が構成例２についての説明である。
【０１０８】［変形例２］
以下では、上記構成例２の変形例について説明する。
【０１０９】〔変形例２−１〕
図４（Ａ）、（Ｂ）は、絶縁層１０４と半導体層１０８とを、同じエッチングマスクにより島状に加工した場合の例を示している。
【０１１０】  このとき、図４（Ｂ）に示すように、導電層１１２と導電層１０６とは、金属酸化物層１１４、絶縁層１１０、及び絶縁層１０３に設けられた開口部１４２を介して電気的に接続される構成となっている。
【０１１１】〔変形例２−２〕
図５（Ａ）は、絶縁層１０４の端部が、半導体層１０８、導電層１１２、金属酸化物層１１４、及び絶縁層１１０よりも外側であって、且つ、導電層１０６よりも内側に位置するように、絶縁層１０４を加工した場合の例である。
【０１１２】〔変形例２−３〕
図５（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、絶縁層１０４の端部が、半導体層１０８よりも外側であって、且つ、導電層１１２、金属酸化物層１１４、絶縁層１１０、及び導電層１０６よりも内側に位置する場合の例である。
【０１１３】  また図５（Ｂ）は、絶縁層１０４が存在しない位置に開口部１４２が設けられている例である。一方、図５（Ｃ）は、絶縁層１０４が存在する位置に開口部１４２が設けられている場合の例である。
【０１１４】  図４（Ｂ）（変形例２−１）や、図５（Ｂ）、（Ｃ）（変形例２−３）に示す構成では、トランジスタのチャネル幅方向において、絶縁層１０４の端部よりも外側の導電層１１２の一部が、半導体層１０８よりも下側に位置している。このような構成とすることで、半導体層１０８を一対のゲート電極によって生じる電界で、より効果的に電気的に取り囲むことができ、トランジスタのオン電流を増大させることができる。
【０１１５】  以上が変形例２についての説明である。
【０１１６】［応用例］
以下では、上記トランジスタを表示装置の画素に適用する場合の例について説明する。
【０１１７】  図６（Ａ）は、複数の副画素がマトリクス状に配置された表示装置の上面概略図である。１つの副画素は、少なくともトランジスタ１００と、トランジスタ１００と電気的に接続し、画素電極として機能する導電層１３１と、を有する。なお、ここでは簡略化した副画素の構成を示しているが、副画素に適用する表示素子に応じて、他のトランジスタや容量素子等を適宜設けることができる。
【０１１８】  図６（Ａ）において、導電層１１２はゲート線（走査線ともいう）として機能し、導電層１２０ａは、ソース線（信号線、ビデオ信号線ともいう）として機能し、導電層１２０ｂは、トランジスタ１００と導電層１３１とを電気的に繋ぐ配線として機能する。
【０１１９】  図６（Ａ）では、島状の形状を有する絶縁層１０４が、１つのトランジスタにつき１つ設けられている例を示している。すなわち、１つの絶縁層１０４が、１つの半導体層１０８と重畳する構成、ともいえる。
【０１２０】  図６（Ｂ）、（Ｃ）には、１つの絶縁層１０４が、２以上の半導体層１０８と重畳する構成の例を示している。
【０１２１】  図６（Ｂ）には、表示装置の表示領域１３０において、ゲート線（導電層１１２）の延伸方向の両端を含む部分を示している。図６（Ｂ）では、絶縁層１０４が、表示領域１３０を横断するように加工されている。
【０１２２】  図６（Ｃ）には、表示装置の表示領域１３０の全域を含む部分を示している。図６（Ｃ）では、１つの絶縁層１０４が、表示領域１３０の全域に亘って設けられるように加工されている。言い換えると、絶縁層１０４は表示領域１３０内に設けられる全ての半導体層１０８と重ねて設けられている。
【０１２３】  図６（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、２以上の副画素間で絶縁層１０４を共通に用いることで、高精細化が容易となる。
【０１２４】  なお、絶縁層１０４の構成は上記に限らず、１つの画素毎、または数画素単位のブロック毎に１つの絶縁層１０４を配置する構成としてもよい。また、１つの副画素に複数のトランジスタを含む場合、１つの副画素毎に１つの絶縁層を配置する構成としてもよい。
【０１２５】  本発明の一態様のトランジスタは、表示装置だけでなく、様々な回路や装置に適用することができる。例えば電子機器等に実装されるＩＣチップ内の演算回路、メモリ回路、駆動回路、及びインターフェース回路などの各種回路、または、液晶素子や有機ＥＬ素子などが適用されたディスプレイデバイスや、各種センサデバイスにおける駆動回路などに好適に用いることができる。
【０１２６】  このとき、例えば、一以上のトランジスタ１００を含むブロック（例えば回路毎、またはチップ毎など）を包含するように、１つの絶縁層１０４を設け、その周囲で絶縁層１１６と絶縁層１０３とが接する領域を設けることで、当該ブロック内の複数のトランジスタ１００が絶縁層１０３と絶縁層１１６とで密封された構造とすることができる。これにより、トランジスタ１００の半導体層１０８に外部から水素が拡散すること、及び半導体層１０８中の酸素が外部に拡散することを効果的に抑制され、信頼性の高い装置を実現できる。
【０１２７】  以上が応用例についての説明である。
【０１２８】［半導体装置の構成要素］
次に、本実施の形態の半導体装置に含まれる構成要素について、詳細に説明する。
【０１２９】〔基板〕
基板１０２の材質などに大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有している必要がある。例えば、シリコンや炭化シリコンを材料とした単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、ＳＯＩ基板、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板等を、基板１０２として用いてもよい。また、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板１０２として用いてもよい。
【０１３０】  また、基板１０２として、可撓性基板を用い、可撓性基板上に直接、トランジスタ１００等を形成してもよい。または、基板１０２とトランジスタ１００等の間に剥離層を設けてもよい。剥離層は、その上に半導体装置を一部あるいは全部完成させた後、基板１０２より分離し、他の基板に転載するために用いることができる。その際、トランジスタ１００等は耐熱性の劣る基板や可撓性の基板にも転載できる。
【０１３１】〔絶縁層１０４〕
絶縁層１０４としては、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法、パルスレーザー堆積（ＰＬＤ）法等を適宜用いて形成することができる。また、絶縁層１０４としては、例えば、酸化物絶縁膜または窒化物絶縁膜を単層または積層して形成することができる。なお、半導体層１０８との界面特性を向上させるため、絶縁層１０４において少なくとも半導体層１０８と接する領域は酸化物絶縁膜で形成することが好ましい。また、絶縁層１０４には、加熱により酸素を放出する膜を用いることが好ましい。
【０１３２】  絶縁層１０４として、例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウムまたはＧａ−Ｚｎ酸化物などを用いればよく、単層または積層で設けることができる。
【０１３３】  また、絶縁層１０４の半導体層１０８に接する側に窒化シリコン膜などの酸化物膜以外の膜を用いた場合、半導体層１０８と接する表面に対して酸素プラズマ処理などの前処理を行い、当該表面、または表面近傍を酸化することが好ましい。
【０１３４】〔導電膜〕
ゲート電極として機能する導電層１１２及び導電層１０６、並びにソース電極またはドレイン電極の一方として機能する導電層１２０ａ、及び他方として機能する導電層１２０ｂとしては、クロム、銅、アルミニウム、金、銀、亜鉛、モリブデン、タンタル、チタン、タングステン、マンガン、ニッケル、鉄、コバルトから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いてそれぞれ形成することができる。
【０１３５】  また、導電層１１２、導電層１０６、導電層１２０ａ、及び導電層１２０ｂには、Ｉｎ−Ｓｎ酸化物、Ｉｎ−Ｗ酸化物、Ｉｎ−Ｗ−Ｚｎ酸化物、Ｉｎ−Ｔｉ酸化物、Ｉｎ−Ｔｉ−Ｓｎ酸化物、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ酸化物、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物等の酸化物導電体または金属酸化物膜を適用することもできる。
【０１３６】  ここで、酸化物導電体（ＯＣ：Ｏｘｉｄｅ  Ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）について説明を行う。例えば、半導体特性を有する金属酸化物に酸素欠損を形成し、該酸素欠損に水素を添加すると、伝導帯近傍にドナー準位が形成される。この結果、金属酸化物は、導電性が高くなり導電体化する。導電体化された金属酸化物を、酸化物導電体ということができる。
【０１３７】  また、導電層１１２等として、上記酸化物導電体（金属酸化物）を含む導電膜と、金属または合金を含む導電膜の積層構造としてもよい。金属または合金を含む導電膜を用いることで、配線抵抗を小さくすることができる。このとき、ゲート絶縁膜として機能する絶縁層と接する側には酸化物導電体を含む導電膜を適用することが好ましい。
【０１３８】  また、導電層１１２、導電層１０６、導電層１２０ａ、導電層１２０ｂには、上述の金属元素の中でも、特にチタン、タングステン、タンタル、及びモリブデンの中から選ばれるいずれか一つまたは複数を有すると好適である。特に、窒化タンタル膜を用いると好適である。当該窒化タンタル膜は、導電性を有し、且つ、銅、酸素、または水素に対して、高いバリア性を有し、且つ自身からの水素の放出が少ないため、半導体層１０８と接する導電膜、または半導体層１０８の近傍の導電膜として、好適に用いることができる。
【０１３９】〔絶縁層１１０〕
トランジスタ１００等のゲート絶縁膜として機能する絶縁層１１０は、ＰＥＣＶＤ法、スパッタリング法等により形成できる。絶縁層１１０としては、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜および酸化ネオジム膜を一種以上含む絶縁層を用いることができる。なお、絶縁層１１０を、２層の積層構造または３層以上の積層構造としてもよい。
【０１４０】  また、半導体層１０８と接する絶縁層１１０は、酸化物絶縁膜であることが好ましく、化学量論的組成よりも過剰に酸素を含有する領域を有することがより好ましい。別言すると、絶縁層１１０は、酸素を放出することが可能な絶縁膜である。例えば、酸素雰囲気下にて絶縁層１１０を形成すること、成膜後の絶縁層１１０に対して酸素雰囲気下での熱処理、プラズマ処理等を行うこと、または、絶縁層１１０上に酸素雰囲気下で酸化物膜を成膜することなどにより、絶縁層１１０中に酸素を供給することもできる。
【０１４１】  また、絶縁層１１０として、酸化シリコンや酸化窒化シリコンと比べて比誘電率の高い酸化ハフニウム等の材料を用いることもできる。これにより絶縁層１１０の膜厚を厚くしトンネル電流によるリーク電流を抑制できる。特に結晶性を有する酸化ハフニウムは、非晶質の酸化ハフニウムと比べて高い比誘電率を備えるため好ましい。
【０１４２】〔半導体層〕
半導体層１０８がＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物の場合、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットは、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比以上であることが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝１：１：１．２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝３：１：２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：４．１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：７、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：８、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝６：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：２：５等が挙げられる。
【０１４３】  また、スパッタリングターゲットとしては、多結晶の酸化物を含むターゲットを用いると、結晶性を有する半導体層１０８を形成しやすくなるため好ましい。なお、成膜される半導体層１０８の原子数比は、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス４０％の変動を含む。例えば、半導体層１０８に用いるスパッタリングターゲットの組成がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］の場合、成膜される半導体層１０８の組成は、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］の近傍となる場合がある。
【０１４４】  なお、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３またはその近傍と記載する場合、Ｉｎの原子数比を４としたとき、Ｇａの原子数比が１以上３以下であり、Ｚｎの原子数比が２以上４以下である場合を含む。また、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝５：１：６またはその近傍であると記載する場合、Ｉｎの原子数比を５としたときに、Ｇａの原子数比が０．１より大きく２以下であり、Ｚｎの原子数比が５以上７以下である場合を含む。また、原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１またはその近傍であると記載する場合、Ｉｎの原子数比を１としたときに、Ｇａの原子数比が０．１より大きく２以下であり、Ｚｎの原子数比が０．１より大きく２以下である場合を含む。
【０１４５】  また、半導体層１０８は、エネルギーギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上である。このように、シリコンよりもエネルギーギャップの広い金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
【０１４６】  また、半導体層１０８は、非単結晶構造であると好ましい。非単結晶構造は、例えば、後述するＣＡＡＣ構造、多結晶構造、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、ＣＡＡＣ構造は最も欠陥準位密度が低い。
【０１４７】  以下では、ＣＡＡＣ（ｃ−ａｘｉｓ  ａｌｉｇｎｅｄ  ｃｒｙｓｔａｌ）について説明する。ＣＡＡＣは結晶構造の一例を表す。
【０１４８】  ＣＡＡＣ構造とは、複数のナノ結晶（最大径が１０ｎｍ未満である結晶領域）を有する薄膜などの結晶構造の一つであり、各ナノ結晶はｃ軸が特定の方向に配向し、かつａ軸及びｂ軸は配向性を有さずに、ナノ結晶同士が粒界を形成することなく連続的に連結しているといった特徴を有する結晶構造である。特にＣＡＡＣ構造を有する薄膜は、各ナノ結晶のｃ軸が、薄膜の厚さ方向、被形成面の法線方向、または薄膜の表面の法線方向に配向しやすいといった特徴を有する。
【０１４９】  ＣＡＡＣ−ＯＳ（Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）は結晶性の高い酸化物半導体である。一方、ＣＡＡＣ−ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することはできないため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ−ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。
【０１５０】  ここで、結晶学において、単位格子を構成するａ軸、ｂ軸、及びｃ軸の３つの軸（結晶軸）について、特異的な軸をｃ軸とした単位格子を取ることが一般的である。特に層状構造を有する結晶では、層の面方向に平行な２つの軸をａ軸及びｂ軸とし、層に交差する軸をｃ軸とすることが一般的である。このような層状構造を有する結晶の代表的な例として、六方晶系に分類されるグラファイトがあり、その単位格子のａ軸及びｂ軸は劈開面に平行であり、ｃ軸は劈開面に直交する。例えば層状構造であるＹｂＦｅ２Ｏ４型の結晶構造をとるＩｎＧａＺｎＯ４の結晶は六方晶系に分類することができ、その単位格子のａ軸及びｂ軸は層の面方向に平行となり、ｃ軸は層（すなわちａ軸及びｂ軸）に直交する。
【０１５１】  金属酸化物の結晶構造の一例について説明する。なお、以下では、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物ターゲット（Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］）を用いて、スパッタリング法にて成膜された金属酸化物を一例として説明する。上記ターゲットを用いて、基板温度を１００℃以上１３０℃以下として、スパッタリング法により形成した金属酸化物は、ｎｃ（ｎａｎｏ  ｃｒｙｓｔａｌ）及びＣＡＡＣのいずれか一方の結晶構造、またはこれらが混在した構造をとりやすい。一方、基板温度を室温（Ｒ．Ｔ．）として、スパッタリング法により形成した金属酸化物は、ｎｃの結晶構造をとりやすい。なお、ここでいう室温（Ｒ．Ｔ．）とは、基板を意図的に加熱しない場合の温度を含む。
【０１５２】［作製方法例］
以下では、本発明の一態様のトランジスタの作製方法の例について説明する。ここでは、構成例２で例示したトランジスタ１００Ａを例に挙げて説明する。
【０１５３】  なお、半導体装置を構成する薄膜（絶縁膜、半導体膜、導電膜等）は、スパッタリング法、化学気相堆積（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、真空蒸着法、パルスレーザー堆積（ＰＬＤ：Ｐｕｌｓｅ  Ｌａｓｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、原子層堆積（ＡＬＤ：Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等を用いて形成することができる。ＣＶＤ法としては、プラズマ化学気相堆積（ＰＥＣＶＤ：Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  ＣＶＤ）法や、熱ＣＶＤ法などがある。また、熱ＣＶＤ法のひとつに、有機金属化学気相堆積（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  ＣＶＤ）法がある。
【０１５４】  また、半導体装置を構成する薄膜（絶縁膜、半導体膜、導電膜等）は、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、インクジェット、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコート等の方法により形成することができる。
【０１５５】  また、半導体装置を構成する薄膜を加工する際には、フォトリソグラフィ法等を用いて加工することができる。それ以外に、ナノインプリント法、サンドブラスト法、リフトオフ法などにより薄膜を加工してもよい。また、メタルマスクなどの遮蔽マスクを用いた成膜方法により、島状の薄膜を直接形成してもよい。
【０１５６】  フォトリソグラフィ法としては、代表的には以下の２つの方法がある。一つは、加工したい薄膜上にレジストマスクを形成して、エッチング等により当該薄膜を加工し、レジストマスクを除去する方法である。もう一つは、感光性を有する薄膜を成膜した後に、露光、現像を行って、当該薄膜を所望の形状に加工する方法である。
【０１５７】  フォトリソグラフィ法において、露光に用いる光は、例えばｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、またはこれらを混合させた光を用いることができる。そのほか、紫外線やＫｒＦレーザ光、またはＡｒＦレーザ光等を用いることもできる。また、液浸露光技術により露光を行ってもよい。また、露光に用いる光として、極端紫外光（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ  Ｕｌｔｒａ−ｖｉｏｌｅｔ）やＸ線を用いてもよい。また、露光に用いる光に換えて、電子ビームを用いることもできる。極端紫外光、Ｘ線または電子ビームを用いると、極めて微細な加工が可能となるため好ましい。なお、電子ビームなどのビームを走査することにより露光を行う場合には、フォトマスクは不要である。
【０１５８】  薄膜のエッチングには、ドライエッチング法、ウェットエッチング法、サンドブラスト法などを用いることができる。
【０１５９】  図７〜図９に示す各図には、トランジスタ１００Ａの作製工程の各段階におけるチャネル長方向及びチャネル幅方向の断面を並べて示している。
【０１６０】〔導電層１０６の形成〕
基板１０２上に導電膜を成膜し、これをエッチングにより加工して、ゲート電極として機能する導電層１０６を形成する（図７（Ａ））。
【０１６１】〔絶縁層１０３、絶縁層１０４の形成〕
続いて、基板１０２及び導電層１０６を覆って、絶縁層１０３と絶縁層１０４を積層して形成する（図７（Ｂ））。絶縁層１０３及び絶縁層１０４はそれぞれ、ＰＥＣＶＤ法、ＡＬＤ法、スパッタリング法などを用いて形成することができる。
【０１６２】  例えば、絶縁層１０３はＡＬＤ法またはスパッタリング法を用いて形成し、絶縁層１０４はＰＥＣＶＤ法またはスパッタリング法を用いて形成することができる。
【０１６３】  続いて、絶縁層１０４の一部をエッチングにより除去し、島状に加工する（図７（Ｃ））。
【０１６４】〔半導体層１０８の形成〕
続いて、絶縁層１０４及び絶縁層１０３上に金属酸化物膜を成膜し、これを加工することにより半導体層１０８を形成する。
【０１６５】  金属酸化物膜は、金属酸化物ターゲットを用いたスパッタリング法により形成することが好ましい。
【０１６６】  また、金属酸化物膜を成膜する際に、酸素ガスの他に、不活性ガス（例えば、ヘリウムガス、アルゴンガス、キセノンガスなど）を混合させてもよい。なお、金属酸化物膜を成膜する際の成膜ガス全体に占める酸素ガスの割合（以下、酸素流量比ともいう）が高いほど、金属酸化物膜の結晶性を高めることができ、信頼性の高いトランジスタを実現できる。一方、酸素流量比が低いほど、金属酸化物膜の結晶性が低くなり、オン電流が高められたトランジスタとすることができる。
【０１６７】  また、金属酸化物膜の成膜条件としては、基板温度を室温以上２００℃未満、好ましくは基板温度を室温以上１４０℃以下とすればよい。例えば成膜温度を、室温以上１４０℃未満とすると、生産性が高くなり好ましい。また、基板温度を室温とする、または意図的に加熱しない状態で、金属酸化物膜を成膜することで、結晶性を低くすることができる。
【０１６８】  また、金属酸化物膜を成膜する前に、絶縁層１０４の表面に吸着した水や水素、有機物等を脱離させるための処理や、絶縁層１０４中に酸素を供給する処理を行うことが好ましい。例えば、減圧雰囲気下にて７０℃以上２００℃以下の温度で加熱処理を行うことができる。または、酸素を含む雰囲気下におけるプラズマ処理を行ってもよい。また、Ｎ２Ｏガスを含む雰囲気下におけるプラズマ処理を行うと、絶縁層１０４の表面の有機物を好適に除去することができる。このような処理の後、絶縁層１０４の表面を大気に暴露することなく、連続して金属酸化物膜を成膜することが好ましい。
【０１６９】  金属酸化物膜の加工には、ウェットエッチング法及びドライエッチング法のいずれか一方または双方を用いればよい。このとき、半導体層１０８と重ならない絶縁層１０４の一部がエッチングされ、薄くなる場合がある。
【０１７０】  また、金属酸化物膜の成膜後、または半導体層１０８に加工した後、金属酸化物膜または半導体層１０８中の水素または水を除去するために加熱処理を行ってもよい。加熱処理の温度は、代表的には、１５０℃以上基板の歪み点未満、または２５０℃以上４５０℃以下、または３００℃以上４５０℃以下である。
【０１７１】  加熱処理は、希ガス、または窒素を含む雰囲気下で行うことができる。または、当該雰囲気下で加熱した後、酸素を含む雰囲気下で加熱してもよい。なお、上記加熱処理の雰囲気に水素、水などが含まれないことが好ましい。該加熱処理は、電気炉、ＲＴＡ（Ｒａｐｉｄ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ａｎｎｅａｌ）装置等を用いることができる。ＲＴＡ装置を用いることで、加熱処理時間を短縮することができる。
【０１７２】〔絶縁膜１１０ｆ、金属酸化物膜１１４ｆの形成〕
続いて、絶縁層１０３、絶縁層１０４、及び半導体層１０８を覆って、絶縁層１１０となる絶縁膜１１０ｆと、金属酸化物層１１４となる金属酸化物膜１１４ｆを積層して成膜する。
【０１７３】  絶縁膜１１０ｆとしては、例えば酸化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などの酸化物膜を、プラズマ化学気相堆積装置（ＰＥＣＶＤ装置、または単にプラズマＣＶＤ装置という）を用いて形成することが好ましい。また、マイクロ波を用いたＰＥＣＶＤ法を用いて形成してもよい。
【０１７４】  金属酸化物膜１１４ｆは、例えば酸素を含む雰囲気下で成膜することが好ましい。特に、酸素を含む雰囲気下でスパッタリング法により成膜することが好ましい。これにより、金属酸化物膜１１４ｆの成膜時に絶縁膜１１０ｆに酸素を供給することができる。
【０１７５】  例えば金属酸化物膜１１４ｆの成膜条件として、成膜ガスに酸素を用い、金属ターゲットを用いた反応性スパッタリング法により、金属酸化物膜を形成することが好ましい。金属ターゲットとして、例えばアルミニウムを用いた場合には、酸化アルミニウム膜を成膜することができる。
【０１７６】  金属酸化物膜１１４ｆの成膜時に、成膜装置の成膜室内に導入する成膜ガスの全流量に対する酸素流量の割合（酸素流量比）、または成膜室内の酸素分圧が高いほど、絶縁膜１１０ｆ中に供給される酸素を増やすことができる。酸素流量比または酸素分圧は、例えば５０％以上１００％以下、好ましくは６５％以上１００％以下、より好ましくは８０％以上１００％以下、さらに好ましくは９０％以上１００％以下とする。特に、酸素流量比１００％とし、酸素分圧を１００％にできるだけ近づけることが好ましい。
【０１７７】  このように、酸素を含む雰囲気下でスパッタリング法により金属酸化物膜１１４ｆを形成することにより、金属酸化物膜１１４ｆの成膜時に、絶縁膜１１０ｆへ酸素を供給するとともに、絶縁膜１１０ｆから酸素が脱離することを防ぐことができる。その結果、絶縁膜１１０ｆに極めて多くの酸素を閉じ込めることができる。そして、後の加熱処理によって、半導体層１０８に多くの酸素を供給することができる。その結果、半導体層１０８中の酸素欠損を低減でき、信頼性の高いトランジスタを実現できる。
【０１７８】  続いて、金属酸化物膜１１４ｆの成膜後に、金属酸化物膜１１４ｆ、絶縁膜１１０ｆ、絶縁層１０４、及び絶縁層１０３の一部をエッチングすることで、導電層１０６に達する開口を形成する。これにより、後に形成する導電層１１２と導電層１０６とを、当該開口を介して電気的に接続することができる。
【０１７９】  この段階における断面概略図が、図８（Ｂ）に相当する。
【０１８０】〔導電層１１２、金属酸化物層１１４、絶縁層１１０の形成〕
続いて、金属酸化物膜１１４ｆ上に、導電層１１２となる導電膜を成膜する。当該導電膜は、金属または合金のスパッタリングターゲットを用いたスパッタリング法により成膜することが好ましい。
【０１８１】  続いて、当該導電膜、金属酸化物膜１１４ｆ、及び絶縁膜１１０ｆの一部をエッチングする（図８（Ｃ））。導電膜、金属酸化物膜１１４ｆ、及び絶縁膜１１０ｆは、それぞれ同じレジストマスクを用いて加工することが好ましい。または、エッチング後の導電層１１２をハードマスクとして用いて、金属酸化物膜１１４ｆと絶縁膜１１０ｆとをエッチングしてもよい。
【０１８２】  これにより、上面形状が概略一致した島状の導電層１１２、金属酸化物層１１４、及び絶縁層１１０を形成することができる。
【０１８３】  なお、導電膜、金属酸化物膜１１４ｆ、及び絶縁膜１１０ｆのエッチング時に、絶縁層１１０に覆われない半導体層１０８もエッチングされ、薄膜化する場合がある。
【０１８４】〔絶縁層１１６の形成〕
続いて、絶縁層１０４、半導体層１０８、絶縁層１１０の側面、金属酸化物層１１４の側面、及び導電層１１２等を覆って、絶縁層１１６を形成する。またこのとき、絶縁層１０４の端部よりも外側において、絶縁層１０３と絶縁層１１６とが接する領域が形成される（図９（Ａ））。
【０１８５】  絶縁層１１６は、上述の金属元素を含むスパッタリングターゲットを用い、窒素ガスと、希釈ガスである希ガス等の混合ガスを成膜ガスとして用いた反応性スパッタリング法により形成することが好ましい。これにより、成膜ガスの流量比を制御することで、絶縁層１１６の膜質を制御することが容易となる。
【０１８６】  例えば、絶縁層１１６としてアルミニウムターゲットを用いた反応性スパッタリングにより形成した窒化アルミニウム膜を用いる場合、成膜ガスの全流量に対する窒素ガスの流量を３０％以上１００％以下、好ましくは４０％以上１００％以下、より好ましくは５０％以上１００％以下とすることが好ましい。
【０１８７】  絶縁層１１６を成膜した時点で、半導体層１０８の絶縁層１１６と接する界面及びその近傍の領域に、低抵抗な領域１０８ｎが形成される。
【０１８８】［第１の加熱処理］
続いて、加熱処理を行うことが好ましい。加熱処理により、半導体層１０８の領域１０８ｎの低抵抗化をより促進させることができる。
【０１８９】  加熱処理は、窒素または希ガスなどの不活性ガス雰囲気下で行うことが好ましい。加熱処理の温度は高いほど好ましいが、基板１０２、導電層１０６、導電層１１２等の耐熱性を考慮した温度とすることができる。例えば、１２０℃以上５００℃以下、好ましくは１５０℃以上４５０℃以下、より好ましくは２００℃以上４００℃以下、さらに好ましくは２５０℃以上４００℃以下の温度とすることができる。例えば加熱処理の温度を３５０℃程度とすることで、大型のガラス基板を用いた生産設備で歩留り良く半導体装置を生産することができる。
【０１９０】  なお、加熱処理は絶縁層１１６の形成後であればどの段階で行ってもよい。また他の加熱処理と兼ねてもよい。
【０１９１】  例えば加熱処理により、半導体層１０８中の酸素が絶縁層１１６側に引き抜かれることにより酸素欠損が生成される。当該酸素欠損と、半導体層１０８中に含まれる水素とが結合することによりキャリア濃度が高まり、絶縁層１１６と接する部分が低抵抗化されうる。
【０１９２】  または、加熱処理により、半導体層１０８に含まれる金属元素が絶縁層１１６との界面近傍に向かって拡散し、当該金属元素の濃度の高い領域が形成されることにより、絶縁層１１６と接する部分が低抵抗化される場合もある。例えば半導体層１０８にインジウムを含む金属酸化物膜を用いた場合、インジウム濃度の高い領域が、半導体層１０８の絶縁層１１６との界面近傍に観測される場合がある。
【０１９３】  このような複合的な作用により低抵抗化された領域１０８ｎは、極めて安定な低抵抗な領域となる。このように形成された領域１０８ｎは、例えば後の工程で酸素が供給される処理が行われたとしても、再度高抵抗化しにくいといった特徴を有する。
【０１９４】［絶縁層１１８の形成］
続いて、絶縁層１１６を覆って絶縁層１１８を形成する。絶縁層１１８は、例えばＰＥＣＶＤ法により形成することができる。
【０１９５】〔開口部１４１ａ、１４１ｂの形成〕
続いて、絶縁層１１８及び絶縁層１１６の一部をエッチングすることで、領域１０８ｎに達する開口部１４１ａ、開口部１４１ｂを形成する。
【０１９６】〔導電層１２０ａ、１２０ｂの形成〕
続いて、開口部１４１ａ、開口部１４１ｂを覆うように、絶縁層１１８上に導電膜を成膜し、当該導電膜を所望の形状に加工することで、導電層１２０ａ、導電層１２０ｂを形成する（図９（Ｂ））。
【０１９７】  以上の工程により、トランジスタ１００Ａを作製することができる。
【０１９８】  なお、構成例１及び変形例１で例示した各構成とする場合には、上記作製方法例における導電層１０６の形成工程、及び開口部１４２の形成工程を省略すればよい。
【０１９９】  以上が作製方法例についての説明である。
【０２００】  本実施の形態で例示した構成例、作製方法例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、作製方法例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２０１】  本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２０２】（実施の形態２）
本実施の形態においては、先の実施の形態で例示したトランジスタを有する表示装置の一例について説明を行う。
【０２０３】［構成例］
図１０（Ａ）に、表示装置７００の上面図を示す。表示装置７００は、シール材７１２により貼りあわされた第１の基板７０１と第２の基板７０５を有する。また第１の基板７０１、第２の基板７０５、及びシール材７１２で封止される領域において、第１の基板７０１上に画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６が設けられる。また画素部７０２には、複数の表示素子が設けられる。
【０２０４】  また、第１の基板７０１の第２の基板７０５と重ならない部分に、ＦＰＣ７１６（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）が接続されるＦＰＣ端子部７０８が設けられている。ＦＰＣ７１６によって、ＦＰＣ端子部７０８及び信号線７１０を介して、画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４、及びゲートドライバ回路部７０６のそれぞれに各種信号等が供給される。
【０２０５】  ゲートドライバ回路部７０６は、複数設けられていてもよい。また、ゲートドライバ回路部７０６及びソースドライバ回路部７０４は、それぞれ半導体基板等に別途形成され、パッケージされたＩＣチップの形態であってもよい。当該ＩＣチップは、第１の基板７０１上、またはＦＰＣ７１６に実装することができる。
【０２０６】  画素部７０２、ソースドライバ回路部７０４及びゲートドライバ回路部７０６が有するトランジスタに、本発明の一態様の半導体装置であるトランジスタを適用することができる。
【０２０７】  画素部７０２に設けられる表示素子としては液晶素子、発光素子などが挙げられる。液晶素子としては、透過型の液晶素子、反射型の液晶素子、半透過型の液晶素子などを用いることができる。また、発光素子としては、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ  ＬＥＤ）、ＱＬＥＤ（Ｑｕａｎｔｕｍ−ｄｏｔ  ＬＥＤ）、半導体レーザなどの、自発光性の発光素子が挙げられる。また、シャッター方式または光干渉方式のＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）素子や、マイクロカプセル方式、電気泳動方式、エレクトロウェッティング方式、または電子粉流体（登録商標）方式等を適用した表示素子などを用いることもできる。
【０２０８】  図１０（Ｂ）に示す表示装置７００Ａは、大型の画面を有する電子機器に好適に用いることのできる表示装置である。表示装置７００Ａは、例えばテレビジョン装置、モニタ装置、パーソナルコンピュータ（ノート型またはデスクトップ型を含む）、タブレット端末、デジタルサイネージなどに好適に用いることができる。
【０２０９】  表示装置７００Ａは、複数のソースドライバＩＣ７２１と、一対のゲートドライバ回路部７２２を有する。
【０２１０】  複数のソースドライバＩＣ７２１は、それぞれＦＰＣ７２３に取り付けられている。また、複数のＦＰＣ７２３は、一方の端子が第１の基板７０１に、他方の端子がプリント基板７２４にそれぞれ接続されている。ＦＰＣ７２３を折り曲げることで、プリント基板７２４を画素部７０２の裏側に配置して、電子機器に実装することができ、電子機器の省スペース化を図ることができる。
【０２１１】  一方、ゲートドライバ回路部７２２は、第１の基板７０１上に形成されている。これにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
【０２１２】  このような構成とすることで、大型で且つ高解像度の表示装置を実現できる。例えば画面サイズが対角３０インチ以上、４０インチ以上、５０インチ以上、または６０インチ以上の表示装置にも適用することができる。また、解像度がフルハイビジョン、４Ｋ２Ｋ、または８Ｋ４Ｋなどといった極めて高解像度の表示装置を実現することができる。
【０２１３】［断面構成例］
以下では、表示素子として液晶素子及びＥＬ素子を用いる構成について、図１１乃至図１３を用いて説明する。なお、図１１乃至図１３は、それぞれ図１０（Ａ）に示す一点鎖線Ｑ−Ｒにおける断面図である。図１１及び図１２は、表示素子として液晶素子を用いた構成であり、図１３は、ＥＬ素子を用いた構成である。
【０２１４】〔表示装置の共通部分に関する説明〕
図１１乃至図１３に示す表示装置７００は、引き回し配線部７１１と、画素部７０２と、ソースドライバ回路部７０４と、ＦＰＣ端子部７０８と、を有する。引き回し配線部７１１は、信号線７１０を有する。画素部７０２は、トランジスタ７５０及び容量素子７９０を有する。ソースドライバ回路部７０４は、トランジスタ７５２を有する。
【０２１５】  トランジスタ７５０及びトランジスタ７５２は、実施の形態１で例示したトランジスタを適用することができる。
【０２１６】  本実施の形態で用いるトランジスタは、高純度化し、酸素欠損の形成を抑制した酸化物半導体膜を有する。該トランジスタは、オフ電流を低くすることができる。よって、画像信号等の電気信号の保持時間を長くすることができ、画像信号等の書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を低減する効果を奏する。
【０２１７】  また、本実施の形態で用いるトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。例えば、このような高速駆動が可能なトランジスタを表示装置に用いることで、画素部のスイッチングトランジスタと、駆動回路部に使用するドライバトランジスタを同一基板上に形成することができる。すなわち、別途駆動回路として、シリコンウェハ等により形成された半導体装置を用いる必要がないため、表示装置の部品点数を削減することができる。また、画素部においても、高速駆動が可能なトランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。
【０２１８】  容量素子７９０は、トランジスタ７５０が有する半導体層と同一の膜を加工して形成され、低抵抗化された下部電極と、ソース電極またはドレイン電極と同一の導電膜を加工して形成される上部電極と、を有する。また、下部電極と上部電極との間には、トランジスタ７５０を覆う２層の絶縁膜が設けられる。すなわち、容量素子７９０は、一対の電極間に誘電体膜として機能する絶縁膜が挟持された積層型の構造である。
【０２１９】  また、トランジスタ７５０、トランジスタ７５２、及び容量素子７９０上には平坦化絶縁膜７７０が設けられている。
【０２２０】  画素部７０２が有するトランジスタ７５０と、ソースドライバ回路部７０４が有するトランジスタ７５２とは、異なる構造のトランジスタを用いてもよい。例えばいずれか一方にトップゲート型のトランジスタを適用し、他方にボトムゲート型のトランジスタを適用した構成としてもよい。なお、上記のソースドライバ回路部７０４を、ゲートドライバ回路部と読み替えてもよい。
【０２２１】  信号線７１０は、トランジスタ７５０、７５２のソース電極及びドレイン電極等と同じ導電膜で形成されている。このとき、銅元素を含む材料等の低抵抗な材料を用いると、配線抵抗に起因する信号遅延等が少なく、大画面での表示が可能となるため好ましい。
【０２２２】  ＦＰＣ端子部７０８は、一部が接続電極として機能する配線７６０、異方性導電膜７８０、及びＦＰＣ７１６を有する。配線７６０は、異方性導電膜を介してＦＰＣ７１６が有する端子と電気的に接続される。ここでは、配線７６０は、トランジスタ７５０、７５２のソース電極及びドレイン電極等と同じ導電膜で形成されている。
【０２２３】  第１の基板７０１及び第２の基板７０５としては、例えばガラス基板、またはプラスチック基板等の可撓性を有する基板を用いることができる。
【０２２４】  また、第１の基板７０１と第２の基板７０５の間の構造体７７８は、第１の基板７０１と第２の基板７０５の間の距離（セルギャップ）を制御する柱状のスペーサとして機能する。なお、構造体７７８は第２の基板７０５側に形成してもよいし、球状のスペーサを用いてもよい。
【０２２５】  また、第２の基板７０５側には、遮光膜７３８と、着色膜７３６と、これらに接する絶縁膜７３４と、が設けられる。
【０２２６】〔液晶素子を用いる表示装置の構成例〕
図１１に示す表示装置７００は、液晶素子７７５を有する。液晶素子７７５は、導電膜７７２、導電膜７７４、及びこれらの間に液晶層７７６を有する。導電膜７７４は、第２の基板７０５側に設けられ、共通電極としての機能を有する。また、導電膜７７２は、トランジスタ７５０が有するソース電極またはドレイン電極と電気的に接続される。導電膜７７２は、平坦化絶縁膜７７０上に形成され、画素電極として機能する。
【０２２７】  導電膜７７２には、可視光に対して透光性の材料、または可視光に対して反射性の材料を用いることができる。透光性の材料としては、例えば、インジウム、亜鉛、スズ等を含む酸化物材料を用いるとよい。反射性の材料としては、例えば、アルミニウム、銀等を含む材料を用いるとよい。
【０２２８】  導電膜７７２に反射性の材料を用いると、表示装置７００は反射型の液晶表示装置となる。一方、導電膜７７２に透光性の材料を用いると、透過型の液晶表示装置となる。反射型の液晶表示装置の場合、視認側に偏光板を設ける。一方、透過型の液晶表示装置の場合、液晶素子を挟むように一対の偏光板を設ける。
【０２２９】  図１２に示す表示装置７００は、横電界方式（例えば、ＦＦＳモード）の液晶素子７７５を用いる例を示す。導電膜７７２上に絶縁膜７７３を介して、共通電極として機能する導電膜７７４が設けられる。導電膜７７２と導電膜７７４との間に生じる電界によって、液晶層７７６の配向状態を制御することができる。
【０２３０】  また、図１１及び図１２において図示しないが、液晶層７７６と接する配向膜を設ける構成としてもよい。また、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）、及びバックライト、サイドライトなどの光源を適宜設けることができる。
【０２３１】  液晶層７７６には、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、高分子ネットワーク型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。また、横電界方式を採用する場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。
【０２３２】  また、液晶素子のモードとしては、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ  Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ  ａｌｉｇｎｅｄ  Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ゲストホストモードなどを用いることができる。
【０２３３】〔発光素子を用いる表示装置〕
図１３に示す表示装置７００は、発光素子７８２を有する。発光素子７８２は、導電膜７７２、ＥＬ層７８６、及び導電膜７８８を有する。ＥＬ層７８６は、有機化合物、または量子ドットなどの無機化合物を有する。
【０２３４】  有機化合物に用いることのできる材料としては、蛍光性材料または燐光性材料などが挙げられる。また、量子ドットに用いることのできる材料としては、コロイド状量子ドット材料、合金型量子ドット材料、コア・シェル型量子ドット材料、コア型量子ドット材料、などが挙げられる。
【０２３５】  図１３に示す表示装置７００には、平坦化絶縁膜７７０上に導電膜７７２の一部を覆う絶縁膜７３０が設けられる。ここで、発光素子７８２は透光性の導電膜７８８を有する、トップエミッション型の発光素子である。なお、発光素子７８２は、導電膜７７２側に光を射出するボトムエミッション構造や、導電膜７７２側及び導電膜７８８側の双方に光を射出するデュアルエミッション構造としてもよい。
【０２３６】  また、着色膜７３６は発光素子７８２と重なる位置に設けられ、遮光膜７３８は絶縁膜７３０と重なる位置、引き回し配線部７１１、及びソースドライバ回路部７０４に設けられている。また、着色膜７３６及び遮光膜７３８は、絶縁膜７３４で覆われている。また、発光素子７８２と絶縁膜７３４の間は封止膜７３２で充填されている。なお、ＥＬ層７８６を画素毎に島状または画素列毎に縞状に形成する、すなわち塗り分けにより形成する場合においては、着色膜７３６を設けない構成としてもよい。
【０２３７】〔表示装置に入力装置を設ける構成例〕
また、図１１乃至図１３に示す表示装置７００に入力装置を設けてもよい。当該入力装置としては、例えば、タッチセンサ等が挙げられる。
【０２３８】  図１２に示す表示装置７００にタッチパネル７９１を設ける構成を図１４に、図１３に示す表示装置７００にタッチパネル７９１を設ける構成を図１５に、それぞれ示す。
【０２３９】  図１４及び図１５に示すタッチパネル７９１は、第２の基板７０５と着色膜７３６との間に設けられている。タッチパネル７９１は、着色膜７３６を形成する前に、第２の基板７０５側に形成すればよい。タッチパネル７９１は第２の基板７０５と第１の基板７０１との間に設けられるため、インセル型のタッチパネルとも言うことができる。
【０２４０】  タッチパネル７９１は、遮光膜７３８を覆う絶縁膜７９２と、絶縁層７９７の間に、電極７９３、電極７９４、絶縁膜７９５、及び電極７９６を有する。例えば、指やスタイラスなどの被検知体が近づくことで生じうる、電極７９３と電極７９４との間の容量の変化を検知することができる。
【０２４１】  また、遮光膜７３８と重なる部分に、電極７９３と、電極７９４との交差部を示している。電極７９６は、絶縁膜７９５に設けられた開口部を介して、電極７９４を挟む２つの電極７９３と電気的に接続されている。なお当該交差部は、例えば引き回し配線部７１１等に形成してもよい。
【０２４２】  電極７９３及び電極７９４は、発光素子７８２や液晶素子７７５と重ならない領域、例えば遮光膜７３８と重なる部分に設けられることが好ましい。例えば、電極７９３及び電極７９４をメッシュ状の形状とすることができる。これにより、発光素子７８２が射出する光、または液晶素子７７５を透過する光を遮らない構成とすることができ、タッチパネル７９１を配置することによる輝度の低下が抑制され、視認性が高く、且つ消費電力が低減された表示装置を実現できる。さらにこのとき、電極７９３及び電極７９４には、低抵抗な金属材料を用いることができる。したがって透光性の導電材料を用いたときと比較して、タッチパネルのセンサ感度を向上させることができる。
【０２４３】  なお、タッチパネルの構成はインセル型に限定されず、入力装置を表示装置７００上に形成する、所謂オンセル型のタッチパネルや、入力装置を表示装置７００に貼り合わせて用いる、所謂アウトセル型のタッチパネルとしてもよい。
【０２４４】  本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２４５】  本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２４６】（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置を有する表示装置について、図１６を用いて説明を行う。
【０２４７】  図１６（Ａ）に示す表示装置は、画素部５０２と、駆動回路部５０４と、保護回路５０６と、端子部５０７と、を有する。なお、保護回路５０６は、設けない構成としてもよい。
【０２４８】  画素部５０２や駆動回路部５０４が有するトランジスタに、本発明の一態様のトランジスタを適用することができる。また保護回路５０６にも、本発明の一態様のトランジスタを適用してもよい。
【０２４９】  画素部５０２は、Ｘ行Ｙ列（Ｘ、Ｙはそれぞれ独立に２以上の自然数）に配置された複数の表示素子を駆動する複数の画素回路５０１を有する。
【０２５０】  駆動回路部５０４は、ゲート線ＧＬ＿１乃至ＧＬ＿Ｘに走査信号を出力するゲートドライバ５０４ａ、データ線ＤＬ＿１乃至ＤＬ＿Ｙにデータ信号を供給するソースドライバ５０４ｂなどの駆動回路を有する。ゲートドライバ５０４ａは、少なくともシフトレジスタを有する構成とすればよい。またソースドライバ５０４ｂは、例えば複数のアナログスイッチなどを用いて構成される。また、シフトレジスタなどを用いてソースドライバ５０４ｂを構成してもよい。
【０２５１】  端子部５０７は、外部の回路から表示装置に電源及び制御信号、及び画像信号を入力するための端子が設けられた部分をいう。
【０２５２】  保護回路５０６は、自身が接続する配線に一定の範囲外の電位が与えられたときに、該配線と別の配線とを導通状態にする回路である。図１６（Ａ）に示す保護回路５０６は、例えば、ゲートドライバ５０４ａと画素回路５０１の間の配線である走査線ＧＬ、またはソースドライバ５０４ｂと画素回路５０１の間の配線であるデータ線ＤＬ等の各種配線に接続される。
【０２５３】  また、ゲートドライバ５０４ａとソースドライバ５０４ｂは、それぞれ画素部５０２と同じ基板上に設けられていてもよいし、ゲートドライバ回路またはソースドライバ回路が別途形成された基板（例えば、単結晶半導体膜または多結晶半導体膜で形成された駆動回路基板）をＣＯＧやＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）によって基板に実装する構成としてもよい。
【０２５４】  ここで、図１７に、図１６（Ａ）とは異なる構成を示す。図１７では、ソース線方向に配列する複数の画素を挟むように、一対のソース線（例えばソース線ＤＬａ１とソース線ＤＬｂ１）が配置されている。また、隣接する２本のゲート線（例えばゲート線ＧＬ＿１とゲート線ＧＬ＿２）が電気的に接続されている。
【０２５５】  また、ゲート線ＧＬ＿１に接続される画素は、片方のソース線（ソース線ＤＬａ１、ソース線ＤＬａ２等）に接続され、ゲート線ＧＬ＿２に接続される画素は、他方のソース線（ソース線ＤＬｂ１、ソース線ＤＬｂ２等）に接続される。
【０２５６】  このような構成とすることで、２本のゲート線を同時に選択することができる。これにより、一水平期間の長さを、図１６（Ａ）に示す構成と比較して２倍にすることができる。そのため、表示装置の高解像度化、及び大画面化が容易となる。
【０２５７】  また、図１６（Ａ）及び図１７に示す複数の画素回路５０１は、例えば、図１６（Ｂ）に示す構成とすることができる。
【０２５８】  図１６（Ｂ）に示す画素回路５０１は、液晶素子５７０と、トランジスタ５５０と、容量素子５６０と、を有する。また画素回路５０１には、データ線ＤＬ＿ｎ、走査線ＧＬ＿ｍ、電位供給線ＶＬ等が接続されている。
【０２５９】  液晶素子５７０の一対の電極の一方の電位は、画素回路５０１の仕様に応じて適宜設定される。液晶素子５７０は、書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、複数の画素回路５０１のそれぞれが有する液晶素子５７０の一対の電極の一方に共通の電位（コモン電位）を与えてもよい。また、各行の画素回路５０１の液晶素子５７０の一対の電極の一方に異なる電位を与えてもよい。
【０２６０】  また、図１６（Ｃ）に示す画素回路５０１は、トランジスタ５５２、５５４と、容量素子５６２と、発光素子５７２と、を有する。また画素回路５０１には、データ線ＤＬ＿ｎ、走査線ＧＬ＿ｍ、電位供給線ＶＬ＿ａ、電源供給線ＶＬ＿ｂ等が接続されている。
【０２６１】  なお、電位供給線ＶＬ＿ａ及び電位供給線ＶＬ＿ｂの一方には、高電源電位ＶＤＤが与えられ、他方には、低電源電位ＶＳＳが与えられる。
【０２６２】  本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２６３】  本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２６４】（実施の形態４）
本実施の形態では、本発明の一態様を用いて作製することができる表示モジュールについて説明する。
【０２６５】  図１８（Ａ）に示す表示モジュール６０００は、上部カバー６００１と下部カバー６００２との間に、ＦＰＣ６００５が接続された表示装置６００６、フレーム６００９、プリント基板６０１０、及びバッテリー６０１１を有する。
【０２６６】  例えば、本発明の一態様を用いて作製された表示装置を、表示装置６００６に用いることができる。表示装置６００６により、極めて消費電力の低い表示モジュールを実現することができる。
【０２６７】  上部カバー６００１及び下部カバー６００２は、表示装置６００６のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更することができる。
【０２６８】  表示装置６００６はタッチパネルとしての機能を有していてもよい。
【０２６９】  フレーム６００９は、表示装置６００６の保護機能、プリント基板６０１０の動作により発生する電磁波を遮断する機能、放熱板としての機能等を有していてもよい。
【０２７０】  プリント基板６０１０は、電源回路、ビデオ信号及びクロック信号を出力するための信号処理回路、バッテリー制御回路等を有する。
【０２７１】  図１８（Ｂ）は、光学式のタッチセンサを備える表示モジュール６０００の断面概略図である。
【０２７２】  表示モジュール６０００は、プリント基板６０１０に設けられた発光部６０１５及び受光部６０１６を有する。また、上部カバー６００１と下部カバー６００２により囲まれた領域に一対の導光部（導光部６０１７ａ、導光部６０１７ｂ）を有する。
【０２７３】  表示装置６００６は、フレーム６００９を間に介してプリント基板６０１０やバッテリー６０１１と重ねて設けられている。表示装置６００６とフレーム６００９は、導光部６０１７ａ、導光部６０１７ｂに固定されている。
【０２７４】  発光部６０１５から発せられた光６０１８は、導光部６０１７ａにより表示装置６００６の上部を経由し、導光部６０１７ｂを通って受光部６０１６に達する。例えば指やスタイラスなどの被検知体により、光６０１８が遮られることにより、タッチ操作を検出することができる。
【０２７５】  発光部６０１５は、例えば表示装置６００６の隣接する２辺に沿って複数設けられる。受光部６０１６は、発光部６０１５と対向する位置に複数設けられる。これにより、タッチ操作がなされた位置の情報を取得することができる。
【０２７６】  発光部６０１５は、例えばＬＥＤ素子などの光源を用いることができ、特に、赤外線を発する光源を用いることが好ましい。受光部６０１６は、発光部６０１５が発する光を受光し、電気信号に変換する光電素子を用いることができる。好適には、赤外線を受光可能なフォトダイオードを用いることができる。
【０２７７】  光６０１８を透過する導光部６０１７ａ、導光部６０１７ｂにより、発光部６０１５と受光部６０１６とを表示装置６００６の下側に配置することができ、外光が受光部６０１６に到達してタッチセンサが誤動作することを抑制できる。特に、可視光を吸収し、赤外線を透過する樹脂を用いると、タッチセンサの誤動作をより効果的に抑制できる。
【０２７８】  本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【０２７９】（実施の形態５）
本実施の形態では、本発明の一態様を用いて作製された表示装置を備える電子機器について説明する。
【０２８０】  図１９（Ａ）は、ファインダー８１００を取り付けた状態のカメラ８０００の外観を示す図である。
【０２８１】  カメラ８０００は、筐体８００１、表示部８００２、操作ボタン８００３、シャッターボタン８００４等を有する。またカメラ８０００には、着脱可能なレンズ８００６が取り付けられている。
【０２８２】  なおカメラ８０００は、レンズ８００６と筐体とが一体となっていてもよい。
【０２８３】  カメラ８０００は、シャッターボタン８００４を押す、またはタッチパネルとして機能する表示部８００２をタッチすることにより撮像することができる。
【０２８４】  筐体８００１は、電極を有するマウントを有し、ファインダー８１００のほか、ストロボ装置等を接続することができる。
【０２８５】  ファインダー８１００は、筐体８１０１、表示部８１０２、ボタン８１０３等を有する。
【０２８６】  筐体８１０１は、カメラ８０００のマウントと係合するマウントにより、カメラ８０００に取り付けられている。ファインダー８１００はカメラ８０００から受信した映像等を表示部８１０２に表示させることができる。
【０２８７】  ボタン８１０３は、電源ボタン等としての機能を有する。
【０２８８】  カメラ８０００の表示部８００２、及びファインダー８１００の表示部８１０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。なお、ファインダーが内蔵されたカメラ８０００であってもよい。
【０２８９】  図１９（Ｂ）は、ヘッドマウントディスプレイ８２００の外観を示す図である。
【０２９０】  ヘッドマウントディスプレイ８２００は、装着部８２０１、レンズ８２０２、本体８２０３、表示部８２０４、ケーブル８２０５等を有している。また装着部８２０１には、バッテリー８２０６が内蔵されている。
【０２９１】  ケーブル８２０５は、バッテリー８２０６から本体８２０３に電力を供給する。本体８２０３は無線受信機等を備え、受信した映像情報を表示部８２０４に表示させることができる。また、本体８２０３はカメラを備え、使用者の眼球やまぶたの動きの情報を入力手段として用いることができる。
【０２９２】  また、装着部８２０１には、使用者に触れる位置に、使用者の眼球の動きに伴って流れる電流を検知可能な複数の電極が設けられ、視線を認識する機能を有していてもよい。また、当該電極に流れる電流により、使用者の脈拍をモニタする機能を有していてもよい。また、装着部８２０１には、温度センサ、圧力センサ、加速度センサ等の各種センサを有していてもよく、使用者の生体情報を表示部８２０４に表示する機能や、使用者の頭部の動きに合わせて表示部８２０４に表示する映像を変化させる機能を有していてもよい。
【０２９３】  表示部８２０４に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
【０２９４】  図１９（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）は、ヘッドマウントディスプレイ８３００の外観を示す図である。ヘッドマウントディスプレイ８３００は、筐体８３０１と、表示部８３０２と、バンド状の固定具８３０４と、一対のレンズ８３０５と、を有する。
【０２９５】  使用者は、レンズ８３０５を通して、表示部８３０２の表示を視認することができる。なお、表示部８３０２を湾曲して配置させると、使用者が高い臨場感を感じることができるため好ましい。また、表示部８３０２の異なる領域に表示された別の画像を、レンズ８３０５を通して視認することで、視差を用いた３次元表示等を行うこともできる。なお、表示部８３０２を１つ設ける構成に限られず、表示部８３０２を２つ設け、使用者の片方の目につき１つの表示部を配置してもよい。
【０２９６】  なお、表示部８３０２に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明の一態様の半導体装置を有する表示装置は、極めて精細度が高いため、図１９（Ｅ）のようにレンズ８３０５を用いて拡大したとしても、使用者に画素が視認されることなく、より現実感の高い映像を表示することができる。
【０２９７】  図２０（Ａ）乃至図２０（Ｇ）に示す電子機器は、筐体９０００、表示部９００１、スピーカ９００３、操作キー９００５（電源スイッチ、又は操作スイッチを含む）、接続端子９００６、センサ９００７（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの）、マイクロフォン９００８、等を有する。
【０２９８】  図２０（Ａ）乃至図２０（Ｇ）に示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画や動画を撮影し、記録媒体（外部またはカメラに内蔵）に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
【０２９９】  図２０（Ａ）乃至図２０（Ｇ）に示す電子機器の詳細について、以下説明を行う。
【０３００】  図２０（Ａ）は、テレビジョン装置９１００を示す斜視図である。テレビジョン装置９１００は、大画面、例えば、５０インチ以上、または１００インチ以上の表示部９００１を組み込むことが可能である。
【０３０１】  図２０（Ｂ）は、携帯情報端末９１０１を示す斜視図である。携帯情報端末９１０１は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末９１０１は、スピーカ９００３、接続端子９００６、センサ９００７等を設けてもよい。また、携帯情報端末９１０１は、文字や画像情報をその複数の面に表示することができる。図２０（Ｂ）では３つのアイコン９０５０を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報９０５１を表示部９００１の他の面に表示することもできる。情報９０５１の一例としては、電子メール、ＳＮＳメッセージ、電話などの着信の通知、電子メールやＳＮＳメッセージなどの題名もしくは送信者名、日時、時刻、バッテリーの残量、アンテナ受信の強度などがある。または、情報９０５１が表示されている位置にはアイコン９０５０などを表示してもよい。
【０３０２】  図２０（Ｃ）は、携帯情報端末９１０２を示す斜視図である。携帯情報端末９１０２は、表示部９００１の３面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報９０５２、情報９０５３、情報９０５４がそれぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えば使用者は、洋服の胸ポケットに携帯情報端末９１０２を収納した状態で、携帯情報端末９１０２の上方から観察できる位置に表示された情報９０５３を確認することもできる。使用者は、携帯情報端末９１０２をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
【０３０３】  図２０（Ｄ）は、腕時計型の携帯情報端末９２００を示す斜視図である。携帯情報端末９２００は、例えばスマートウォッチとして用いることができる。また、表示部９００１はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末９２００を、例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信させることによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末９２００は、接続端子９００６により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うことや、充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
【０３０４】  図２０（Ｅ）（Ｆ）（Ｇ）は、折り畳み可能な携帯情報端末９２０１を示す斜視図である。また、図２０（Ｅ）は携帯情報端末９２０１を展開した状態、図２０（Ｇ）は折り畳んだ状態、図２０（Ｆ）は図２０（Ｅ）と図２０（Ｇ）の一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末９２０１は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末９２０１が有する表示部９００１は、ヒンジ９０５５によって連結された３つの筐体９０００に支持されている。例えば、表示部９００１は、曲率半径１ｍｍ以上１５０ｍｍ以下で曲げることができる。
【０３０５】  以下で例示する電子機器は、表示部に本発明の一態様の表示装置を備えるものである。したがって、高い解像度が実現された電子機器である。また高い解像度と、大きな画面が両立された電子機器とすることができる。
【０３０６】  本発明の一態様の電子機器の表示部には、例えばフルハイビジョン、４Ｋ２Ｋ、８Ｋ４Ｋ、１６Ｋ８Ｋ、またはそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。
【０３０７】  電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、ノート型のパーソナルコンピュータ、モニタ装置、デジタルサイネージ、パチンコ機、ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
【０３０８】  本発明の一態様が適用された電子機器または照明装置は、家屋やビルの内壁または外壁、自動車等の内装または外装等が有する平面または曲面に沿って組み込むことができる。
【０３０９】  図２１（Ａ）にテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置７１００は、筐体７１０１に表示部７５００が組み込まれている。ここでは、スタンド７１０３により筐体７１０１を支持した構成を示している。
【０３１０】  図２１（Ａ）に示すテレビジョン装置７１００の操作は、筐体７１０１が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機７１１１により行うことができる。または、表示部７５００にタッチパネルを適用し、これに触れることでテレビジョン装置７１００を操作してもよい。リモコン操作機７１１１は、操作ボタンの他に表示部を有していてもよい。
【０３１１】  なお、テレビジョン装置７１００は、テレビ放送の受信機や、ネットワーク接続のための通信装置を有していてもよい。
【０３１２】  図２１（Ｂ）に、ノート型パーソナルコンピュータ７２００を示す。ノート型パーソナルコンピュータ７２００は、筐体７２１１、キーボード７２１２、ポインティングデバイス７２１３、外部接続ポート７２１４等を有する。筐体７２１１に、表示部７５００が組み込まれている。
【０３１３】  図２１（Ｃ）、（Ｄ）に、デジタルサイネージ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｇｅ：電子看板）の一例を示す。
【０３１４】  図２１（Ｃ）に示すデジタルサイネージ７３００は、筐体７３０１、表示部７５００、及びスピーカ７３０３等を有する。さらに、ＬＥＤランプ、操作キー（電源スイッチ、または操作スイッチを含む）、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
【０３１５】  また、図２１（Ｄ）は円柱状の柱７４０１に取り付けられたデジタルサイネージ７４００である。デジタルサイネージ７４００は、柱７４０１の曲面に沿って設けられた表示部７５００を有する。
【０３１６】  表示部７５００が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができ、また人の目につきやすいため、例えば広告の宣伝効果を高める効果を奏する。
【０３１７】  表示部７５００にタッチパネルを適用し、使用者が操作できる構成とすると好ましい。これにより、広告用途だけでなく、路線情報や交通情報、商用施設の案内情報など、使用者が求める情報を提供するための用途にも用いることができる。
【０３１８】  また、図２１（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、デジタルサイネージ７３００またはデジタルサイネージ７４００は、ユーザが所持するスマートフォン等の情報端末機７３１１と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部７５００に表示される広告の情報を情報端末機７３１１の画面に表示させることや、情報端末機７３１１を操作することで、表示部７５００の表示を切り替えることができる。
【０３１９】  また、デジタルサイネージ７３００またはデジタルサイネージ７４００に、情報端末機７３１１を操作手段（コントローラ）としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
【０３２０】  図２１（Ａ）乃至（Ｄ）における表示部７５００に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
【０３２１】  本実施の形態の電子機器は表示部を有する構成としたが、表示部を有さない電子機器にも本発明の一態様を適用することができる。
【０３２２】  本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【０３２３】１００、１００Ａ：トランジスタ、１０２：基板、１０３、１０４、１１０、１１６、１１８：絶縁層、１０６、１１２、１２０ａ、１２０ｂ、１３１：導電層、１０８：半導体層、１０８ｎ：領域、１１０ｆ：絶縁膜、１１４：金属酸化物層、１１４ｆ：金属酸化物膜、１３０：表示領域、１４１ａ、１４１ｂ、１４２：開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【国際調査報告】
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