(57)【要約】本発明は、基板を収納する容器本体（１０）と蓋体（２０）との間に設けられる環状のパッキン（３０）を備える基板収納容器（１）であって、容器本体（１０）は、パッキン（３０）が接触するシール面（１２）が形成され、蓋体（２０）は、パッキン（３０）を取り付ける取付溝（２１）が形成され、パッキン（３０）は、取付溝（２１）に嵌められる本体部（３１）と、本体部（３１）から延出された延出片（３２）と、で形成されており、延出片（３２）は、蓋体（２０）の閉止方向（Ｈ）において蓋体（２０）側に突出する突起部（３２０）と、突起部（３２０）よりも先端に位置するシール部（３２１）と、を有し、シール部（３２１）は、シール面（１２）側かつ本体部（３１）側に反転して、シール面（１２）に接触するものである。これにより、内部の陽圧に対するシール性を向上させた基板収納容器を提供することができる。
2018221412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体との間に設けられる環状のパッキンと、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記パッキンが接触するシール面が形成され、
前記蓋体は、前記パッキンを取り付ける取付溝が形成され、
前記パッキンは、前記取付溝に嵌められる本体部と、前記本体部から延出された延出片と、で形成されており、
前記延出片は、前記蓋体の閉止方向において前記蓋体の側に突出する突起部と、前記突起部よりも先端に位置するシール部と、を有し、
前記シール部は、前記シール面の側かつ前記本体部の側に反転して、前記シール面に接触する
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記シール面と前記シール部との接触位置は、前記蓋体の閉止方向からみて、前記突起部に重なるか、前記突起部よりも外側に離れている
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記延出片は、前記容器本体に対面する一面が、前記本体部から前記突起部に向かうに従って前記蓋体に接近する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記本体部は、前記延出片の側における前記容器本体の側又は前記蓋体の側の少なくとも一方に、平坦な面を有し、前記パッキンを前記取付溝に押し込み可能である
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体と蓋体との間に設けられる環状のパッキンと、を備えものであり、基板を気密状態で収納している。【０００３】
この種のパッキンとして、延出片がその延長線とシール面との間に略鋭角を形成するように形成されたもの、シール面に接触して基板収納容器の外側に湾曲したもの及び開口正面外方に向けて屈曲しているものなどが知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。【０００４】
これらのパッキンは、基板収納容器の内部が陰圧の場合、言い換えると、外部の圧力が高い場合に、延出片がシール面に押し付けられる方向に変形するため、良好なシール性を奏するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−０６８３６４号公報
【特許文献２】特開２００８−０６２９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、不活性ガスなどのパージガスを基板収納容器の内部に供給した場合、つまり、基板収納容器の内部が陽圧になる場合は、延出片はシール面から剥がされる方向に変形するため、シール性が低下することがある。【０００７】
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、内部の陽圧に対するシール性を向上させた基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る一つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に設けられる環状のパッキンと、を備える基板収納容器であって、前記容器本体は、前記パッキンが接触するシール面が形成され、前記蓋体は、前記パッキンを取り付ける取付溝が形成され、前記パッキンは、前記取付溝に嵌められる本体部と、前記本体部から延出された延出片と、で形成されており、前記延出片は、前記蓋体の閉止方向において前記蓋体の側に突出する突起部と、前記突起部よりも先端に位置するシール部と、を有し、前記シール部は、前記シール面の側かつ前記本体部の側に反転して、前記シール面に接触する基板収納容器を提供する。
（２）上記（１）の態様において、前記シール面と前記シール部との接触位置は、前記蓋体の閉止方向からみて、前記突起部に重なるか、前記突起部よりも外側に離れていてもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記延出片は、前記容器本体に対面する一面が、前記本体部から前記突起部に向かうに従って前記蓋体に接近してもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記本体部は、前記延出片の側における前記容器本体の側又は前記蓋体の側の少なくとも一方に、平坦な面を有し、前記パッキンを前記取付溝に押し込み可能であってもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、内部の陽圧に対するシール性を向上させた基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解概略斜視図である。
【図２】実施形態のパッキンを示す、（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図及びＢ−Ｂ断面図である。
【図３】実施形態のパッキンを用いた、容器本体と蓋体との閉止途中の状態を示す概略部分断面図である。
【図４】従来のパッキンを用いた、容器本体と蓋体との閉止途中の状態を示す概略部分断面図である。
【図５】変形例１のパッキンを示す、（ａ）平面図、（ｂ）Ｄ−Ｄ断面図及びＥ−Ｅ断面図である。
【図６】変形例２のパッキンを用いた、容器本体と蓋体との閉止途中の状態を示す概略部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
【００１２】
図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。図２は、実施形態のパッキン３０を示す、（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図及びＢ−Ｂ断面図である。図３は、実施形態のパッキン３０を用いた、容器本体１０と蓋体２０との閉止途中の状態を示す概略部分断面図である。
【００１３】
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。
【００１４】
容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。
【００１５】
容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものと同じであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。
【００１６】
また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。
【００１７】
基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。
【００１８】
容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。
【００１９】
また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。
【００２０】
そして、容器本体１０の底面には、例えば、チェックバルブ機能を有する給気弁１８と排気弁１９とが設けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気弁１８から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気弁１９から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、気密状態を維持したりする。なお、給気弁１８及び排気弁１９は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気弁１８及び排気弁１９の数量や位置は、図示したものに限らない。また、給気弁１８及び排気弁１９は、気体を濾過するフィルタを有している。
【００２１】
内部の気体の置換は、収納した基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたり、内部の湿度を低くしたりするなどの目的で行われ、搬送中の基板収納容器１の内部の清浄性を保つ。気体の置換は、排気弁１９側においてガスを検知することで、確実に行われているか確認することができる。そして、内部の気体を置換する時や、蓋体２０を容器本体１０に取り付けて、閉止する時に、基板収納容器１の内部は陽圧になり、逆に、蓋体２０を容器本体１０から取り外す時に、基板収納容器１の内部は陰圧となる。
【００２２】
一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。
【００２３】
このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。
【００２４】
そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている（図３参照）。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さの凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。
【００２５】
これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。
【００２６】
つぎに、図２（ａ）に示すように、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。
【００２７】
パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。
【００２８】
パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。また、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよい。なお、パッキン３０の硬度は、ショアＡ硬度で４０度から９０度が好ましく、６０度から９０度がより好ましい。
【００２９】
パッキン３０についてより詳しく説明する。図２（ｂ）に示すように、パッキン３０は、取付溝２１に嵌められる本体部３１と、本体部３１から延出された延出片３２と、で形成されている。
【００３０】
本体部３１は、蓋体２０の取付溝２１と同様の環状に形成され、その断面が取付溝２１の断面形状に対応するよう略矩形とされている。本体部３１は、延出片３２が延出する側であって蓋体２０側に、平坦な面３１０を有し、パッキン３０を取付溝２１の底側に押し込むことができるようになっている。
【００３１】
また、本体部３１は、取付溝２１の底側（内側）の第１の嵌合突部３１１と、取付溝２１の開口側（外側）の第２の嵌合突部３１２とが、容器本体１０側に並べて形成されており、第１の嵌合突部３１１及び第２の嵌合突部３１２は、それぞれ先細りに形成されている。
【００３２】
一方、延出片３２は、蓋体２０の閉止方向Ｈにおいて蓋体２０側に突出する突起部３２０と、突起部３２０よりも先端に位置するシール部３２１と、を有している。また、延出片３２は、容器本体１０に対面する一面が、本体部３１から突起部３２０に向かうに従って蓋体２０に接近している。つまり、水平方向を示す図中の一点鎖線より蓋体２０側に向かって延びている。
【００３３】
シール部３２１は、シール面１２側かつ本体部３１側に（Ｊ字状に）反転して、シール面１２に接触している。このとき、シール面１２とシール部３２１との接触位置Ｃは、蓋体２０の閉止方向Ｈからみて、突起部３２０に重なるか、突起部３２０よりも外側に離れている。シール部３２１の厚みは、０．６ｍｍ程度が好ましいが、成形上の問題がなければ特に限定されない。
【００３４】
ところで、パッキン３０は、取付溝２１へ嵌め込んで取り付けた際に緩みがあると、シール部３２１の（蓋体２０の裏面２０ａから）接触位置Ｃまでの高さにバラツキを生じるため、パッキン３０の本体部３１の内周側は、取付溝２１の底の環状周面よりも若干（１％から５％程度）小さくなるように、形成されている。
【００３５】
そして、パッキン３０を取付溝２１に取り付ける際に、パッキン３０は、引き伸ばされた状態で、蓋体２０の取付溝２１に嵌め込まれる。このとき、凸部２２を超えるようにパッキン３０を引き伸ばして、本体部３１を取付溝２１に嵌め込むと、延出片３２は蓋体２０側へ傾き、突起部３２０は蓋体２０に押し付けられる。このようにして、シール部３２１の接触位置Ｃまでの高さを、パッキン３０の全体に渡って安定させることができる。
【００３６】
なお、図３は、蓋体２０が容器本体１０に取り付けられた閉止状態での、パッキン３０の状態を示しており、パッキン３０のシール部３２１は、シール面１２に接触した後、閉止方向Ｈに１ｍｍ程変形して潰れた状態になっている。
【００３７】
最後に、実施形態のパッキン３０と、従来のパッキン３０Ｒとを比較しながら、本発明に係る実施形態の基板収納容器１の効果について説明する。
【００３８】
図４は、従来のパッキン３０Ｒを用いた、容器本体１０と蓋体２０との閉止途中の状態を示す概略部分断面図である。なお、図３及び４において、実線矢印は、接触位置Ｃの移動軌跡を示す。
図４に示すように、従来のパッキン３０Ｒは、取付溝２１に嵌められる本体部３１Ｒと、本体部３１Ｒから延出された延出片３２Ｒと、で形成されている。また、延出片３２Ｒは、シール部３２１Ｒが形成されているが、このシール部３２１Ｒは、反転することなく屈曲した状態で、シール面１２に接触している。なお、本体部３１Ｒは、平坦な面３１０Ｒを有している。
【００３９】
従来のパッキン３０Ｒでは、容器本体１０に対して蓋体２０が閉止方向Ｈに閉止されるに従って、まずシール部３２１Ｒは接触位置Ｃでシール面１２に接触するが、さらに蓋体２０が閉止方向Ｈに押し込まれると、シール部３２１Ｒが閉止方向Ｈと直交する方向に摺動（横滑り）しながら移動することなり、最終的に接触位置Ｃが距離Ｓだけ外側に離れた位置に移動することなる。そのため、パッキン３０Ｒのシール部３２１Ｒは、摺動によって、パーティクルの発生が起こり易い。
【００４０】
一方、実施形態のパッキン３０は、容器本体１０に対して蓋体２０が閉止方向Ｈに閉止されるに従って、まずシール部３２１は接触位置Ｃでシール面１２に接触するが、さらに蓋体２０が閉止方向Ｈに押し込まれても、突起部３２０が基点（起点）となって変形するため、シール部３２１が閉止方向Ｈと直交する方向にはほぼ移動することがなく、閉止方向Ｈに沿って移動するだけであるから、接触位置Ｃが外側に離れた位置に移動することがない（図３参照）。つまり、パッキン３０のシール部３２１がシール面１２で横方向に摺動することがない。仮に、横滑りしたとしても、従来のパッキン３０Ｒ距離Ｓの１／３以下程度に抑えることができる。そのため、パッキン３０のシール部３２１は、摺動することがなく、パーティクルの発生を低減させることができる。
【００４１】
また、延出片３２は、突起部３２０を有しているため、蓋体２０にパッキン３０を取り付けた際、突起部３２０が蓋体２０の一面に当接することにより、突起部３２０より先端のシール部３２１の高さが一定になる。そして、シール部３２１の高さが一定になることで、シール部３２１の波打ちを抑制することもできる。
【００４２】
さらに、延出片３２は、容器本体１０に対面する一面が、本体部３１から突起部３２０に向かうに従って蓋体２０に接近して設けられているため、同様にシール部３２１の波打ちを抑制することができる。シール部３２１の波打ちが低減されることにより、シール部３２１のシール面１２に対する接触圧も、全周において均一になるから、パッキン３０のシール部３２１は、摺動することがなく、パーティクルの発生を低減させることができる。
【００４３】
そして、シール部３２１のシール面１２に対する接触幅、最大接触圧力を低減することができるから、パッキン３０のシール面１２への貼り付きも低減することができる。さらに、蓋体２０を容器本体１０から取り外す際に、シール部３２１がシール面１２を横滑りしないから、閉止方向Ｈと直交する方向の摩擦力が発生し難いから、蓋体２０を容器本体１０から簡単に取り外すことができる。
【００４４】
ところで、従来のパッキン３０Ｒでは、基板収納容器１の内部が陰圧の場合は、シール部３２１Ｒが外部圧力によりシール面１２に更に押し付けられ、シール性が向上するが、内部が陽圧の場合は、シール部３２１Ｒが内部圧力にシール面１２から離れる方向に押されるため、シール性が悪くなり、気体が漏れるようになる（図４参照）。
【００４５】
一方、実施形態のパッキン３０では、基板収納容器１の内部が陰圧の場合は、シール部３２１が外部圧力により取付溝２１の底側に押されるが、突起部３２０が基点となり、逆に反転部での弾性力（反発力）も高くなるため、シール性が向上するし、内部が陽圧の場合は、シール部３２１が外部圧力によりシール面１２に更に押し付けられ、シール性が向上する。これにより、陽圧に対するシール性が２倍以上向上し、内部圧力が６ｋＰａ程度高くなっても、気体が漏れるようなことがない。
【００４６】
なお、従来のパッキン３０Ｒでは、シール部３２１Ｒが柔らかいと、陽圧に弱くなるが、実施形態のパッキン３０では、シール部３２１が反転しているため、柔らかい材料であっても、シール面１２に対して押し付けられるため、上記とほぼ同様の効果を奏する。
【００４７】
以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、パッキン３０が接触するシール面１２が形成され、蓋体２０は、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成され、パッキン３０は、取付溝２１に嵌められる本体部３１と、本体部３１から延出された延出片３２と、で形成されており、延出片３２は、蓋体２０の閉止方向Ｈにおいて蓋体２０側に突出する突起部３２０と、突起部３２０よりも先端に位置するシール部３２１と、を有し、シール部３２１は、シール面１２側かつ本体部３１側に反転して、シール面１２に接触するものである。
【００４８】
これにより、基板収納容器１の内部が陽圧になると、パッキン３０の突起部３２０を基点に、シール部３２１が膨らむように変形するから、シール部３２１がシール面１２に押し付けられる。また、基板収納容器１の内部が陰圧になると、パッキン３０の突起部３２０を基点に、シール部３２１が取付溝２１の底側に押し付けられる変形するから、シール部３２１の弾性力が増加し、シール面１２に押し付けられる。このように、実施形態のパッキン３０は、基板収納容器１の内部が陽圧又は陰圧になっても、シール性を向上させる
ことができ、基板収納容器１の内部からの気体の漏れや、外部からの塵埃の進入を抑制することができる。
【００４９】
（変形例）
図５は、変形例１のパッキン３０Ａを示す、（ａ）平面図、（ｂ）Ｄ−Ｄ断面図及びＥ−Ｅ断面図である。
図５に示すように、変形例１のパッキン３０Ａは、延出片３２Ａの蓋体２０側が平らに延びており、上記実施形態と同様の位置に、突起部３２０Ａが形成されている。シール部３２１Ａは、実施形態と同様に、蓋体２０側から離れ、シール面１２側かつ本体部３１Ａ側に反転して、シール面１２に接触する。なお、本体部３１Ａには、第１の嵌合突部３１１Ａ及び第２の嵌合突部３１２Ａが形成されており、また、平坦な面３１０Ａが容器本体１０側に形成されている。
【００５０】
この変形例１においても、実施形態と略同様に、陽圧に対するシール性が向上する。また、本体部３１Ａと、突起部３２０Ａと、蓋体２０との間に形成される空間が小さい（実質的に押し潰されて無くなる。）から、基板収納容器１を洗浄したなどによる洗浄液が残りにくい。
【００５１】
図６は、変形例２のパッキン４０を用いた、容器本体１０と蓋体２０との閉止途中の状態を示す概略部分断面図である。
上記実施形態や変形例１のパッキン３０Ａを用いた基板収納容器１では、パッキン３０，３０Ａの本体部３１が、蓋体２０の閉止方向Ｈに対して略直交する方向に沿って形成された取付溝２１に取り付けられたが、変形例２のパッキン４０は、蓋体２０の閉止方向Ｈに沿って形成された取付溝２３に取り付けられる点が異なっている。
【００５２】
このパッキン４０は、図６に示すように、取付溝２３に嵌められる本体部４１と、本体部４１から延出された延出片４２と、で略「て」字状に形成されている。
【００５３】
本体部４１は、蓋体２０の取付溝２３と同様の環状に形成され、その断面が取付溝２１の断面形状に対応するよう略矩形とされている。本体部４１は、取付溝２１の底側とは反対側に、平坦な面４１０を有し、パッキン４０を取付溝２３の底側に押し込むことができるようになっている。
【００５４】
また、本体部４１は、取付溝２３の底側（基板収納容器１の正面側）の第１の嵌合突部４１１と、取付溝２３の開口側（容器本体１０側）の第２の嵌合突部４１２とが、蓋体２０の内側を向くように並べて形成されており、第１の嵌合突部４１１及び第２の嵌合突部４１２は、それぞれ先細りに形成されている。
【００５５】
一方、延出片４２は、蓋体２０の閉止方向Ｈにおいて蓋体２０側に突出する突起部４２０と、突起部４２０よりも先端に位置するシール部４２１と、を有している。また、延出片４２は、容器本体１０に対面する一面が、本体部３１から突起部４２０に向かうに従って蓋体２０に接近している。
【００５６】
シール部４２１は、シール面１２側かつ本体部４１側に（Ｊ字状に）反転して、シール面１２に接触している。このとき、シール面１２とシール部４２１との接触位置Ｃは、蓋体２０の閉止方向Ｈからみて、突起部４２０に重なるか、突起部４２０よりも外側に離れている。
【００５７】
そして、基板収納容器１の内部が陽圧になると、パッキン４０の突起部４２０を基点に、シール部４２１が膨らむように変形するから、シール部４２１がシール面１２に押し付けられる。また、基板収納容器１の内部が陰圧になると、パッキン４０の突起部４２０を基点に、シール部４２１が本体部４１（取付溝２３）の側に押し付けられる変形するから、シール部４２１の弾性力が増加し、シール面１２に押し付けられる。このように、変形例２のパッキン４０であっても、シール性を向上させることができ、気体の漏れや外部からの塵埃の進入を抑制することができる。
【００５８】
上記実施形態では、容器本体１０の底面に、チェックバルブ機能を有する給気弁１８及び排気弁１９が設けられていたが、チェックバルブ機能を有さない、ブリージングの仕様の給排気部であってもよい。このような給排気部であっても、例えば、一方の給排気部から不活性気体を基板収納容器１の内部に流入させ、他方の給排気部から流出させるように構成することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、気密状態を維持したりすることができ、また、気体の流出側においてガスを検知することで、気体の置換作業が確実に行われているかを確認することができる。
【００５９】
また、上記実施形態などにおいて、容器本体１０のシール面１２に、パッキン３０，３０Ａ，４０の貼り付きを防止するために、シボ加工を施してもよい。
【００６０】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１      基板収納容器
１０    容器本体、１１  開口、１２  シール面、１３  支持体、１４  ロボティックフランジ、１５  マニュアルハンドル、１８  給気弁、１９  排気弁
２０    蓋体、２０ａ  裏面、２１  取付溝、２２  凸部、２３  取付溝
３０，３０Ａ，３０Ｒ    パッキン
３１，３１Ａ，３１Ｒ  本体部、３１０，３１０Ａ，３１０Ｒ  平坦な面、３１１，３１１Ａ  第１の嵌合突部、３１２，３１２Ａ  第２の嵌合突部
３２，３２Ａ，３２Ｒ  延出片、３２０，３２０Ａ  突起部、３２１，３２１Ａ，３２１Ｒ  シール部
４０    パッキン
４１  本体部、４１０  平坦な面、４１１  第１の嵌合突部、４１２  第２の嵌合突部
４２  延出片、４２０  突起部、４２１  シール部
Ｗ      基板
Ｃ      接触位置
Ｓ      距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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