(57)【要約】  ストロークが長くなっても小形で、発熱を低減でき、さらに、循環電流に起因した制動力も無くすことができるリニアモータ装置を提供する。  複数個の電機子（Ａ１〜Ａｎ）を界磁（１）の移動方向に１列に配置し、前記電機子と同数個の電流アンプ（Ｂ１〜Ｂｎ）を備え、制御器(１５)が、励磁する前記電機子を前記界磁がまたがないように、前記電流アンプ毎に励磁切替信号を出力する。
2010021168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のコイルを有する多相の電機子および複数の永久磁石を有する界磁から構成し、複数個の前記電機子を前記界磁の移動方向に１列に配置するリニアモータと、
前記電機子に対する前記界磁の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子と同数個の前記コイルに電流を供給する電流アンプと、
前記界磁を前記電機子に対して相対的に移動させるために前記電流アンプに制御指令を与えると共に、前記界磁が励磁する前記電機子をまたがないように前記電流アンプ毎に励磁切替信号を出力する制御器と、を備え、
前記制御指令および前記相対位置に基づいて前記電機子の励磁動作を順次行なうことを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項２】
前記リニアモータの前記界磁の長さと前記電機子１個当たりの長さとの関係が、前記制御器により励磁する前記電機子を前記界磁がまたがないように予め設定されたものであることを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項３】
前記リニアモータが、前記電機子１個当たりの移動方向長をＬａ、前記界磁の移動方向長をＬｍ、前記電機子の最大励磁数をＰとした場合、
(Ｐ＋１)×Ｌａ  ≦  Ｌｍ  ＜  (Ｐ＋２)×Ｌａ
となるものであることを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項４】
前記制御器が、励磁開始過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて０から所定の推力値まで滑らかに変化させ、かつ、励磁終了過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて所定の推力値からゼロまで滑らかに変化させることを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項５】
前記制御器が、励磁開始過程または励磁終了過程における前記電機子相互間の推力指令値の総和を、常に一定となるようにすることを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項６】
前記制御器が、前記電機子の励磁数を、前記界磁に発生させる推力の大きさに応じて変更することを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項７】
複数のコイルを有する多相の電機子および複数の永久磁石を有する界磁から構成し、複数個の前記電機子を前記界磁の移動方向に、所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置するリニアモータと、
前記電機子に対する前記界磁の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子と同数個の前記コイルに電流を供給する電流アンプと、
前記界磁を前記電機子に対して相対的に移動させるために前記電流アンプに制御指令を与えると共に、前記界磁が励磁する前記電機子をまたがないように前記電流アンプ毎に励磁切替信号を出力する制御器と、を備え、
前記制御指令および前記相対位置に基づいて前記電機子の励磁動作を順次行なうことを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項８】
前記リニアモータの前記界磁の長さと前記電機子１個当たりの長さとの関係が、前記制御器により励磁する前記電機子を前記界磁がまたがないように予め設定されたものであることを特徴とした請求項７記載のリニアモータ装置。
【請求項９】
前記リニアモータが、前記電機子の並列数をＱ、前記電機子１個当たりの移動方向長をＬａ、前記界磁の移動方向長をＬｍ、前記電機子の最大励磁数をＰとした場合、
(Ｐ＋Ｑ)×Ｌａ／Ｑ  ≦  Ｌｍ  ＜  (Ｐ＋Ｑ＋１)×Ｌａ／Ｑ
となるものであるとともに、
前記電機子の各列のずらし量ΔＬが、
ΔＬ  ＝  Ｌａ／Ｑ
であることを特徴とした請求項７記載のリニアモータ装置。
【請求項１０】
前記制御器が、励磁開始過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて０から所定の推力値まで滑らかに変化させ、かつ、励磁終了過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて所定の推力値からゼロまで滑らかに変化させることを特徴とした請求項７記載のリニアモータ装置。
【請求項１１】
前記制御器が、励磁開始過程または励磁終了過程における前記電機子相互間の推力指令値の総和を、常に一定となるようにすることを特徴とした請求項７記載のリニアモータ装置。
【請求項１２】
前記制御器が、前記電機子の励磁数を、前記界磁に発生させる推力の大きさに応じて変更することを特徴とした請求項７記載のリニアモータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械などの精密装置の直動機構に使用されているリニアモータ装置において、複数の電機子を選択的に励磁して永久磁石を移動させる可動磁石形のリニアモータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
可動磁石形のリニアモータ装置は、固定子に複数のコイル（電機子）を備えてこれらを選択的に励磁して、可動子である界磁の永久磁石を移動させるように動作制御されていて、長ストローク化における装置の小型化、複数のコイル（電機子）が発生する銅損による発熱抑制または高効率化、励磁切替時の推力リプル抑制のような一般的な技術課題がある。【０００３】
従来の第１のリニアモータ装置は、固定子に複数のコイルを配置し、その複数のコイルと電流アンプとの間にコイルと同数のスイッチを設けて構成している（例えば、特許文献１）。また、従来の第２のリニアモータ装置は、固定子に複数のコイルを配置し、各コイルにつないだ同数の電流アンプと、電流アンプに電流制御指令を与えるコントローラとの間にスイッチを設けて構成している（例えば、特許文献２）。また、従来の第３のリニアモータ装置は、固定子に複数のコイルを配置し、電流アンプとコイルのリード始端側との間にスイッチを設け、さらに、コイルのリード終端側との間にもスイッチを設けて構成している（例えば、特許文献３）。【０００４】
このように従来の第１〜３のリニアモータ装置（特許文献１〜３）は、コイル毎に励磁を切替える構成であり、励磁切替え区間のスパンが短く、可動子の移動に合わせて細かく切替えていくことを特徴としている。そのため、ストロークが１ｍ以内の精密な移動を必要とする用途に有効な方式である。  【０００５】
また、従来の第４のリニアモータ装置は、固定子に複数のコイルを有した電機子を複数個配置し、電流アンプと電機子の間にスイッチを設けて構成している（例えば、特許文献３）。また、従来の第５のリニアモータ装置は、固定子に複数のコイルを有した電機子を複数個配置し、電機子と同数の電流アンプを各電機子につないで構成している（例えば、特許文献５）。【０００６】
このように従来の第４、５のリニアモータ装置（特許文献４、５）は、電機子毎に励磁を切替える構成であり、励磁切替え区間が比較的長く、可動子の移動に合わせて大きなスパンで切替えていくことを特徴としている。そのため、ストロークが数十ｍ以上の長い用途に有効な方式である。
【特許文献１】特開２００１−１１９９１６号公報（第４−８頁、図１３）
【特許文献２】特開２００１−８５５０３号公報（第３−５頁、図１）
【特許文献３】特開２００６−８７２３０号公報（第５−６頁、図１）
【特許文献４】特許第３３２９８７３号公報（第８−１０頁、図５）
【特許文献５】特開平４−２２９０９２号公報（第２−３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のリニアモータ装置には次のような問題があった。
従来の第１〜３のリニアモータ装置（特許文献１〜３）の構成は、移動距離が数ｍ程度に長くなるとリニアモータの固定子が長くなり、コイルとスイッチの数に大幅に増える。例えば、ストロークが５ｍのリニアモータの場合、コイルのピッチを５０ｍｍとしても固定子は５ｍ以上となり、その結果、コイル数は１００個以上になる。つまり、１００個以上のスイッチを備え、さらに、コイルとスイッチをつなぐケーブルを１００本以上持つことになる。このような構成では、リニアモータ装置全体の大形化が問題となり、さらに、スイッチとケーブルの増数によるコスト高が問題となった。【０００８】
一方、従来の第４、５のリニアモータ装置（特許文献４、５）の構成は、ストロークに合わせリニアモータの固定子を長くしても、多数のコイルを直列に結線して構成した電機子そのものを長くすることできる。つまり、励磁切替え区間の長い電機子ごとに励磁を切替えるので、スイッチやケーブルを増やすことなく、上記の問題を解消できる。しかし、この構成は２つの電機子を可動子がまたぐ際に、可動子の永久磁石によって各相コイルに発生する誘起電圧に大きな差（アンバランス）が生じ、循環電流が流れる。この循環電流は電流制御系の外乱となり、励磁する各電機子に所定の推力に応じた電流を供給できなくなることにより推力リプルが発生する。このような推力リプルは、リニアモータ装置を精密装置（例えば、半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械など）に適用する場合、所望の精度に対して致命的な影響となる恐れがあり、改善の必要があった。【０００９】
本発明の複数の電機子を選択的に励磁して永久磁石を移動させる可動磁石形のリニアモータ装置は、ストロークが長くなっても装置自体の構成を小形化できることを目的とする。また、このリニアモータ装置は、発熱を低減できることを目的とする。更に、このリニアモータ装置は、循環電流に起因した制動力を無くすことができることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、複数のコイルを有する多相の電機子および複数の永久磁石を有する界磁から構成し、複数個の前記電機子を前記界磁の移動方向に１列に配置するリニアモータと、前記電機子に対する前記界磁の相対位置を検出する位置検出器と、前記電機子と同数個の前記コイルに電流を供給する電流アンプと、前記界磁を前記電機子に対して相対的に移動させるために前記電流アンプに制御指令を与えると共に、前記界磁が励磁する前記電機子をまたがないように前記電流アンプ毎に励磁切替信号を出力する制御器と、を備え、前記制御指令および前記相対位置に基づいて前記電機子の励磁動作を順次行なうものである。
また、請求項２に記載の発明は、請求項１記載の発明における前記リニアモータの前記界磁の長さと前記電機子１個当たりの長さとの関係が、前記制御器により励磁する前記電機子を前記界磁がまたがないように予め設定されたものである。
また、請求項３に記載の発明は、請求項１記載の発明における前記リニアモータが、前記電機子１個当たりの移動方向長をＬａ、前記界磁の移動方向長をＬｍ、前記電機子の最大励磁数をＰとした場合、
(Ｐ＋１)×Ｌａ  ≦  Ｌｍ  ＜  (Ｐ＋２)×Ｌａ
となるものである。
また、請求項４に記載の発明は、請求項１記載の発明における前記制御器が、励磁開始過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて０から所定の推力値まで滑らかに変化させ、かつ、励磁終了過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて所定の推力値からゼロまで滑らかに変化させるものである。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１記載の発明における前記制御器が、励磁開始過程または励磁終了過程における前記電機子相互間の推力指令値の総和を、常に一定となるようにするものである。
また、請求項６に記載の発明は、請求項１記載の発明における前記制御器が、前記電機子の励磁数を、前記界磁に発生させる推力の大きさに応じて変更するものである。
請求項７に記載の発明は、複数のコイルを有する多相の電機子および複数の永久磁石を有する界磁から構成し、複数個の前記電機子を前記界磁の移動方向に、所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置するリニアモータと、前記電機子に対する前記界磁の相対位置を検出する位置検出器と、前記電機子と同数個の前記コイルに電流を供給する電流アンプと、前記界磁を前記電機子に対して相対的に移動させるために前記電流アンプに制御指令を与えると共に、前記界磁が励磁する前記電機子をまたがないように前記電流アンプ毎に励磁切替信号を出力する制御器と、を備え、前記制御指令および前記相対位置に基づいて前記電機子の励磁動作を順次行なうものである。
また、請求項８に記載の発明は、請求項７記載の発明における前記リニアモータの前記界磁の長さと前記電機子１個当たりの長さとの関係が、前記制御器により励磁する前記電機子を前記界磁がまたがないように予め設定されたものである。
また、請求項９に記載の発明は、請求項７記載の発明における前記リニアモータが、前記電機子の並列数をＱ、前記電機子１個当たりの移動方向長をＬａ、前記界磁の移動方向長をＬｍ、前記電機子の最大励磁数をＰとした場合、
(Ｐ＋Ｑ)×Ｌａ／Ｑ  ≦  Ｌｍ  ＜  (Ｐ＋Ｑ＋１)×Ｌａ／Ｑ
となるものであるとともに、前記電機子の各列のずらし量ΔＬが、
ΔＬ  ＝  Ｌａ／Ｑ
であるものである。
また、請求項１０に記載の発明は、請求項７記載の発明における前記制御器が、励磁開始過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて０から所定の推力値まで滑らかに変化させ、かつ、励磁終了過程における前記電機子に与える推力を、前記相対位置に応じて所定の推力値からゼロまで滑らかに変化させるものである。
また、請求項１１に記載の発明は、請求項７記載の発明における前記制御器が、励磁開始過程または励磁終了過程における前記電機子相互間の推力指令値の総和を、常に一定となるようにするものである。
また、請求項１２に記載の発明は、請求項７記載の発明における前記制御器が、前記電機子の励磁数を、前記界磁に発生させる推力の大きさに応じて変更するものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１乃至３のいずれか１つに記載の発明によると、多数のコイルで構成した電機子ごとに励磁を切替えるとともに、励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定している。よって、ストロークが長くなっても小形で、発熱を低減でき、さらに、循環電流に起因した制動力も無くすことができる。
また、請求項７乃至９のいずれか１つに記載の発明によると、励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定しているので、請求項１と同様の効果を得ることができる。さらに、電機子をＱ列並行させ、各列をずらして配置させているので、請求項１に比べると、電機子長Ｌａが同じであっても界磁長Ｌｍを小さくできる。つまり、リニアモータ装置を小形化できる。
また、請求項４、５、１０、１１に記載の発明によると、励磁開始の電機子に与える推力指令を０から所定の推力指令値まで相対位置に応じて滑らかに変化させ、励磁終了の前記電機子に与える推力指令を所定の推力指令値からゼロまで相対位置に応じて滑らかに変化させているので、推力指令の急激な変化がなく、励磁切替え時にショックのないリニアモータ装置を提供できる。
さらに、請求項６、１２に記載の発明によると、界磁に発生させる推力の大きさに応じて電機子の励磁数を変えているので、余分な電力供給と推力不足を起こすことのないリニアモータ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施例を示すリニアモータ装置の全体構成図
【図２】本発明の第１実施例を示すリニアモータ装置の固定子と可動子の構成図
【図３】本発明の第１実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作を示す図
【図４】本発明の第２実施例を示すリニアモータ装置の全体構成図
【図５】本発明の第２実施例を示すリニアモータ装置の固定子と可動子の構成図
【図６】本発明の第２実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作を示す図
【図７】本発明の第３実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作および推力指令を示す図
【図８】本発明の第４実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作を示す図
【符号の説明】
【００１３】
１、２１  可動子
２  永久磁石
１０、２０  固定子
１１  コイル
１４  位置検出器
１５  制御器
Ａ１〜Ａｎ  電機子
Ｂ１〜Ｂｎ  電流アンプ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、本発明の第１実施例を示すリニアモータ装置の全体構成図である。図において、１は可動子、１０は固定子、１４は位置検出器、１５は制御器、Ａ１〜Ａｎは電機子、Ｂ１〜Ｂｎは電流アンプである。また、図２は、第１実施例を示すリニアモータ装置の固定子１０と可動子１の構成図である。図において、２は永久磁石、１１はコイル、Ｌｍは可動子１の移動方向長、Ｌａは電機子Ａ１〜Ａｎの移動方向長である。また、図２（ａ）は固定子１０に対する可動子１の相対位置関係を示す図であり、図２（ｂ）は電機子Ａ１〜Ａｎと電流アンプＢ１〜Ｂｎとの接続を示す図である。【００１６】
可動子１は、複数の界磁磁極を形成する永久磁石２から構成されている。可動子１は、図示しない支持機構により、固定子１０と所定の空隙を介して相対移動できるようになっている。固定子１０は、複数ｎ個の電機子Ａ１〜Ａｎが一列に並んで構成され、電機子Ａ１〜Ａｎは、それぞれ３相の電機子巻線を形成する６個のコイル１１から構成されている。コイル１１は同相のもの同士が直列につながっており、その始端が複数ｎ個（電機子Ａ１〜Ａｎと同数）の電流アンプＢ１〜Ｂｎにつながっており、その終端がそれぞれ中性点として接続されている。制御器１５は、位置検出器１４で得られた可動子位置情報と電流検出器（図示なし）で得られた実電流情報をもとに、推力指令値と照らして合わせて、電流の位相と振幅の指令値を生成する。電流アンプＢ１〜Ｂｎはその電流指令値をもとに電機子Ａ１〜Ａｎへ３相電流を供給する。また、位置検出器１４には例えばホール素子、リニアエンコーダ、レーザー干渉計等が用いられる。【００１７】
ここで、電機子Ａ１〜Ａｎの移動方向長をＬａ、電機子Ａ１〜Ａｎの最大励磁数をＰ、可動子１の移動方向長をＬｍとした場合、
(Ｐ＋１)×Ｌａ  ≦  Ｌｍ  ＜  (Ｐ＋２)×Ｌａ
となるように構成されている。実施例１では、最大励磁数Ｐ＝２としているので、
３×Ｌａ  ≦  Ｌｍ  ＜  ４×Ｌａ
である。この関係式を満たすように、可動子１の移動方向長Ｌｍは、
Ｌｍ  ＝  ３．５×Ｌａ
に設定している。また、コイル１１の３個分の長さと永久磁石２の４個（４極）分の長さが一致するように、コイル１１と永久磁石２の長さを設定しており、電機子Ａ１〜Ａｎは、それぞれコイル１１が６個で構成されているため、電機子の移動方向長Ｌａあたりの永久磁石２の個数は８個となる。よって、可動子１の永久磁石２は、全部で２８個（＝３．５×８個）となっている。【００１８】
以上のような構成において、電機子の励磁動作を説明する。
図３は、本発明の第１実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作を示す図であって、図３（ａ）〜（ｃ）は、図１において可動子１を順に左から右へ移動させた場合の電機子Ａ１〜Ａ４の励磁動作を示したものである。また、図３（ｄ）は、電機子Ａ１〜Ａ４の切替えシーケンスを示す図である。なお、可動子１内の斜数字は、界磁磁極を形成する永久磁石２の数を表している。【００１９】
まず、図３(ａ)では、可動子１に対向した電機子Ａ１とＡ２を励磁しており、電機子の励磁数は２個である（最大励磁数Ｐ＝２）。次に、可動子１が右へ移動し、図３(ｂ)の位置にくると電機子Ａ１の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ３の励磁をＯＮする。このとき、可動子１は電機子Ａ１にもＡ３にも対向している。続いて、更に可動子１が右へ移動し、図３(ｃ)の位置にくると電機子Ａ２の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ４の励磁をＯＮする。このとき、可動子１は電機子Ａ２にもＡ４にも対向している。【００２０】
図３（ｄ）において、横軸は可動子１の中心位置を表している。ここで、可動子１の位置は、図１における位置検出器１４により正確に検出されており、図１における制御器１５が、その位置情報をもとに各電機子の励磁のＯＮとＯＦＦのタイミングを生成している。このようにして、可動子の移動に応じた電機子の励磁動作が行なわれる。
ここで、図３（ａ）〜（ｄ）を見れば、励磁が切替えられるとき（（ｂ）と（ｃ）の状態）において励磁ＯＮ／ＯＦＦされる電機子は必ず可動子１の内側に入っており、励磁されている電機子を界磁がまたがずに励磁のＯＮ／ＯＦＦを切替えられていることが分かる。【００２１】
以上のように構成されたリニアモータ装置は、多数のコイルで構成した電機子毎に励磁のＯＮ／ＯＦＦを切替えるとともに、励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように、電機子と界磁の長さを設定して（図２におけるコイル１１の３個分の長さと永久磁石２の４個（４極）分の長さが一致するようにしている）、励磁のＯＮ／ＯＦＦを切替えるため、ストロークが長くなっても小形で、発熱を低減でき、さらに、循環電流に起因した制動力も無くすことができる。
【実施例２】
【００２２】
次に、第２の実施例について示す。
図４は、第２の実施例を示すリニアモータ装置の全体構成図である。図において、２０は固定子、２１は可動子である。また、図５は、第２の実施例を示すリニアモータ装置の固定子２０と可動子２１の構成図である。また、図５（ａ）は固定子２０に対する可動子２１の相対位置関係を示す図であり、図５（ｂ）は電機子Ａ１〜Ａｎと電流アンプＢ１〜Ｂｎとの接続を示す図である。なお、図１乃至３と同一の符号を付している構成は、同様の作用効果をもつものであるため説明を省略する。第２実施例が、第１の実施例と異なる点は、固定子２０の構成とそれに伴う可動子２１の界磁移動方向の長さである。【００２３】
固定子２０は、複数ｎ個の電機子Ａ１〜Ａｎが所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置構成され、電機子Ａ１〜Ａｎは３相の電機子巻線を形成する６個のコイル１１から構成されている。ここで、電機子Ａ１〜Ａｎの列数をＱ、電機子Ａ１〜Ａｎの移動方向長をＬａ、電機子Ａ１〜Ａｎの最大励磁数をＰ、可動子２１の移動方向長をＬｍとした場合、
(Ｐ＋Ｑ)×Ｌａ／Ｑ  ≦  Ｌｍ  ＜  (Ｐ＋Ｑ＋１)×Ｌａ／Ｑ
となるように構成されている。さらに、電機子Ａ１〜Ａｎの各列のずらし量ΔＬを
ΔＬ  ＝  Ｌａ／Ｑ
として構成されている。実施例２では、列数Ｑ＝２、最大励磁数Ｐ＝３としているので、
２．５×Ｌａ  ≦  Ｌｍ  ＜  ３×Ｌａ
である。この関係式を満たすように、可動子２１の移動方向長Ｌｍは、
Ｌｍ  ＝  ２．７５×Ｌａ
に設定している。また、各列のずらし量ΔＬは、
ΔＬ  ＝  Ｌａ／２
となっている。【００２４】
このように、可動子２１の移動方向長Ｌｍは、実施例１（３×Ｌａ  ≦  Ｌｍ  ＜  ４×Ｌａ、Ｌｍ  ＝  ３．５×Ｌａ）に比べ小さくなっている。また、実施例１と同様に、コイル１１の３個分の長さと永久磁石２の４個（４極）分の長さが一致するように、コイル１１と永久磁石２の長さを設定しており、電機子Ａ１〜Ａｎは、それぞれコイル１１が６個で構成されているため、電機子の移動方向長Ｌａあたりの永久磁石２の個数は８個となる。よって、可動子２１の永久磁石２の個数は、全部で２２個（＝２．７５×８個）となっている。【００２５】
また、Ａ１〜Ａｎの各電機子は、６個のコイル１１で構成されているので、ずらし量ΔＬ（＝  Ｌａ／２）に相当するコイル数は３個であり、２列目の電機子Ａ２は、１列目のＡ１のコイルに対し３コイル（ずらし量ΔＬ）分だけずらして配置されている。つまり、１列目と２列目の電機子Ａ１とＡ２のコイル１１は、同相のコイルが重なり合っており、ずらし量ΔＬのずれにより推力低下が起きないようになっている。【００２６】
以上のような構成において、電機子の励磁動作を説明する。
図６は、本発明の第２実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作を示す図であって、図６（ａ）〜（ｃ）は、図４において可動子２１を順に左から右へ移動させた場合の電機子Ａ１〜Ａ５の励磁動作を示したものである。また、図６（ｄ）は、電機子Ａ１〜Ａ４の切替えシーケンスを示す図である。なお、図１乃至５と同一の符号を付している構成は、同様の作用効果をもつものであるため説明を省略する。【００２７】
まず、図６(ａ)では、可動子２１に対向した電機子Ａ１とＡ２とＡ３の３個を励磁しており、電機子の励磁数は３個である（最大励磁数Ｐ＝３）。次に、可動子２１が右へ移動し、図６(ｂ)の位置にくると電機子Ａ１の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ４の励磁をＯＮする。このとき、可動子２１は電機子Ａ１にもＡ４にも対向している。続いて、更に、可動子２１が右へ移動し、図６(ｃ)の位置にくると電機子Ａ２の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ５の励磁をＯＮする。このとき、可動子２１は電機子Ａ２にもＡ５にも対向している。【００２８】
図６（ｄ）において、横軸は可動子２１の中心位置を表している。ここで、可動子２１の位置は、図４における位置検出器１４により正確に検出されており、図４における制御器１５が、その位置情報をもとに各電機子の励磁のＯＮとＯＦＦのタイミングを生成している。このようにして、可動子の移動に応じた電機子の励磁動作が行なわれる。
ここで、実施例１と同様に、図６（ａ）〜（ｄ）を見れば、励磁が切替えられるとき（（ｂ）と（ｃ）の状態）において励磁ＯＮ／ＯＦＦされる電機子は必ず可動子１の内側に入っており、励磁されている電機子を界磁がまたがずに励磁のＯＮ／ＯＦＦを切替えられていることが分かる。【００２９】
以上のように構成されたリニアモータ装置は、励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定しているので、実施例１と同様の効果を得ることができる。さらに、電機子をＱ列並行させ、各列をずらして配置させているので、実施例１に比べると、電機子長Ｌａが同じであっても界磁長Ｌｍを小さくできる。つまり、リニアモータ装置を小形化できる。
【実施例３】
【００３０】
次に、第３の実施例について示す。
図７は、第３の実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作および推力指令を示す図であって、図７（ａ）〜（ｄ）は、実施例１と同じ励磁動作を表したもの（図３（ａ）〜（ｄ）に相当）であり、図７（ｅ）は、図１または図４における制御器１５内の電機子Ａ１〜Ａ４への推力指令を表したものである。ここでは、励磁開始過程および励磁終了過程において、可動子１に発生させる推力を常に一定とする等加速度状態の推力指令として表している。なお、図１乃至６と同一の符号を付している構成は、同様の作用効果をもつものであるため説明を省略する。実施例３が実施例１や実施例２と異なる点は、励磁開始過程における電機子に与える推力を、０から所定の推力値まで相対位置に応じて滑らかに変化させ、かつ、励磁終了過程における電機子に与える推力を、所定の推力値からゼロまで相対位置に応じて滑らかに変化させている点である。【００３１】
各電機子への励磁開始過程において、推力指令を０から所定の推力値まで相対位置に応じて滑らかに変化させ、かつ、各電機子への励磁終了過程において、推力指令を所定の推力値からゼロまで相対位置に応じて滑らかに変化させている。
ここで、推力指令を滑らかに変化させる量（傾き）は適宜決定すればよいが、可動子１に発生させる推力を常に一定とするために、図１または図４における制御器１５が、各電機子相互間の推力指令値の総和が、常に一定となるようにするものである。
なお、第３の実施例として実施例１に対する推力指令を滑らかに変化させることについて説明したが、実施例２に対しても同様に適用できることは言うまでもない。
以上のように構成されたリニアモータ装置は、推力指令の急激な変化がなく、励磁切替え時にショックがなく、推力リプルを抑制できるリニアモータ装置を提供できる。
【実施例４】
【００３２】
次に第４の実施例について示す。
図８は、第４の実施例を示すリニアモータ装置の励磁動作を示す図であって、図８（ａ）〜（ｄ）は、図４において可動子２１を順に左から右へ移動させた場合の電機子Ａ１〜Ａ５の励磁動作を示したものである。また、図８（ｅ）は、電機子Ａ１〜Ａ４の切替えシーケンスを示す図である。なお、図１乃至７と同一の符号を付している構成は、同様の作用効果をもつものであるため説明を省略する。実施例４が実施例１〜３と異なる点は、可動子に発生させる推力の大きさに応じて、電機子の励磁数を変えている点である。すなわち、大きな推力指令値が必要とされる可動子２１の加減速区間では電機子の励磁数を多くし、比較的小さな推力指令値でよい可動子２１の一定速区間では電機子の励磁数を少なくするものである。【００３３】
図８（ａ）〜（ｃ）までは可動子２１の加速時であり、大きな推力指令値が必要とされる区間である。図８（ａ）では、可動子２１に対向した電機子Ａ１とＡ２とＡ３の３個が励磁されている。次に、可動子１が右へ移動し、図８（ｂ）の位置にくると電機子Ａ１の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ４の励磁をＯＮする。ここまでは、実施例２と同じである。次に、図８（ｃ）は加速から一定速（等速）に変わる瞬間であり、可動子２１が一定速となり、推力指令値が励磁数変更の基準値を下回るまで低下する区間である。このとき、電機子Ａ２とＡ３の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ４のみの励磁をＯＮした状態となる。次に、図８（ｄ）は可動子２１が一定速（等速）で移動している区間であり、推力指令値は励磁数変更の基準値を下回ったままの状態である。電機子Ａ４の励磁をＯＦＦし、電機子Ａ５の励磁をＯＮする。励磁数は１個のままとなっている。【００３４】
ここで、励磁数変更の基準値は、リニアモータを配置する機構系（図示しない）や駆動する仕様に応じて予め決定してもよいし、駆動時の可動子速度または可動子位置に基づいて随時決定してもよい。
なお、第４の実施例として実施例２に対する励磁数変更について説明したが、実施例１に対しても同様に適用できることは言うまでもない。また、変更する励磁数は、最大励磁数Ｐの範囲内で変えるものである。
以上のように構成されたリニアモータ装置は、界磁に発生させる推力の大きさに応じて電機子の励磁数を変えているので、余分な電力供給と推力不足を起こすことのないリニアモータ装置を提供できる。【００３５】
以上の実施例では、位置検出器を用いた例で説明したが、この位置検出器を無くし、可動子の位置を推定しながら電機子を励磁して可動子を移動させたり、Ｖ／ｆ駆動で電機子を励磁して可動子を移動させるようにしても本発明の効果が得られることは言うまでもない。また、固定子上に可動子１台の例で説明したが、可動子を複数台搭載して、それぞれ独立した制御で移動させても本発明の効果が得られることは言うまでも無い。また、電機子と電流アンプをケーブルでつなぐ構成で示したが、電機子と電流アンプを一体に構成しリニアモータ装置の小形化を図っても、本発明の効果が得られることは言うまでも無い。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、ストロークや推力の大きさに応じて電機子の大きさと電流アンプの容量を変えることで、半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械などの精密装置だけでなく、エレベータ装置、各種搬送装置といった用途にも適用できる。
【図１】
2010021168.tif 000003
【図２】
2010021168.tif 000004
【図３】
2010021168.tif 000005
【図４】
2010021168.tif 000006
【図５】
2010021168.tif 000007
【図６】
2010021168.tif 000008
【図７】
2010021168.tif 000009
【図８】
2010021168.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月14日(2010.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を１列に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、
前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、
前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力するものであって、前記可動子の移動方向長の内側に対向する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、前記制御指令を選択的に出力する制御器と、を備えることを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項２】
前記制御器が、前記電機子の励磁開始過程または励磁終了過程で、前記可動子に発生させる推力指令値の総和を常に一定として、前記電流アンプに対する前記制御指令を出力することを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項３】
前記制御器が、前記可動子に発生させる推力指令値の大きさに応じて、前記制御指令を出力する前記電流アンプの数を可変することを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項４】
前記リニアモータが、（Ｐ＋１）×Ｌａ≦Ｌｍ＜（Ｐ＋２）×Ｌａの関係式で決定される、前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さＬｍ、前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さＬａ、前記電機子の同時に励磁する最大励磁数Ｐ、を予め設定されることを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項５】
複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、
前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、
前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力するものであって、前記可動子の移動方向長の内側に対向する前記電機子のみに、前記制御指令を選択的に出力する制御器と、を備えることを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項６】
前記制御器が、前記電機子の励磁開始過程または励磁終了過程で、前記可動子に発生させる推力指令値の総和を常に一定として、前記電流アンプに対する前記制御指令を出力することを特徴とした請求項５記載のリニアモータ装置。
【請求項７】
前記制御器が、前記可動子に発生させる推力指令値の大きさに応じて、前記制御指令を出力する前記電流アンプの数を可変することを特徴とした請求項５記載のリニアモータ装置。
【請求項８】
前記リニアモータが、（Ｐ＋Ｑ）×Ｌａ／Ｑ≦Ｌｍ＜（Ｐ＋Ｑ＋１）×Ｌａ／Ｑ、およびΔＬ＝Ｌａ／Ｑの関係式で決定される、前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さＬｍ、前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さＬａ、前記電機子の同時に励磁する最大励磁数Ｐ、前記列ずらし量ΔＬ、前記並列数Ｑ、を予め設定されることを特徴とした請求項５記載のリニアモータ装置。
【請求項９】
前記リニアモータが、並列に配置する前記電機子相互の同相コイル同士が重なり合う前記列ずらし量を予め設定されることを特徴とした請求項５記載のリニアモータ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記問題を解決するために、本発明は、次のように構成したのである。
本発明の代表的な構成は、リニアモータ装置が、複数の界磁を有する可動子と、可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を１列に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、可動子の相対位置を検出する位置検出器と、電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して電機子を励磁する複数の電流アンプと、可動子の相対位置に応じて、制御指令を電流アンプに対して順次出力するものであって、可動子の移動方向長の内側に対向する電機子に対応する電流アンプのみに、制御指令を選択的に出力する制御器と、を備える。
本発明の他の代表的な構成は、リニアモータ装置が、複数の界磁を有する可動子と、可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、可動子の相対位置を検出する位置検出器と、電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して電機子を励磁する複数の電流アンプと、可動子の相対位置に応じて、制御指令を電流アンプに対して順次出力するものであって、可動子の移動方向長の内側に対向する電機子のみに、制御指令を選択的に出力する制御器と、を備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の代表的な構成によると、多数のコイルで構成した電機子ごとに励磁を切替えるとともに、励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定している。よって、ストロークが長くなっても小形で、発熱を低減でき、さらに、循環電流に起因した制動力も無くすことができる。また、励磁開始の電機子に与える推力指令を０から所定の推力指令値まで相対位置に応じて滑らかに変化させ、励磁終了の前記電機子に与える推力指令を所定の推力指令値からゼロまで相対位置に応じて滑らかに変化させているので、推力指令の急激な変化がなく、励磁切替え時にショックのないリニアモータ装置を提供できる。更に、界磁に発生させる推力の大きさに応じて電機子の励磁数を変えているので、余分な電力供給と推力不足を起こすことのないリニアモータ装置を提供できる。
本発明の他の代表的な構成によると、同じく励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定しているので、請求項１と同様の効果を得ることができる。さらに、電機子をＱ列並行させ、各列をずらして配置させているので、請求項１に比べると、電機子長Ｌａが同じであっても界磁長Ｌｍを小さくできる。つまり、リニアモータ装置を小形化できる。また、励磁開始の電機子に与える推力指令を０から所定の推力指令値まで相対位置に応じて滑らかに変化させ、励磁終了の前記電機子に与える推力指令を所定の推力指令値からゼロまで相対位置に応じて滑らかに変化させているので、推力指令の急激な変化がなく、励磁切替え時にショックのないリニアモータ装置を提供できる。更に、界磁に発生させる推力の大きさに応じて電機子の励磁数を変えているので、余分な電力供給と推力不足を起こすことのないリニアモータ装置を提供できる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月23日(2011.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を１列に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、
前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、
前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力するものであって、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、予め設定された電機子を同時に励磁する最大励磁数Ｐに応じて前記制御指令を選択的に出力する制御器と、を備えることを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項２】
前記リニアモータが、（Ｐ＋１）×Ｌａ≦Ｌｍ＜（Ｐ＋２）×Ｌａの関係式で決定される、前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さＬｍ、前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さＬａ、前記最大励磁数Ｐ、を予め設定されることを特徴とした請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項３】
複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、
前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、
前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力するものであって、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子のみに、予め設定された電機子を同時に励磁する最大励磁数Ｐに応じて前記制御指令を選択的に出力する制御器と、を備えることを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項４】
前記リニアモータが、（Ｐ＋Ｑ）×Ｌａ／Ｑ≦Ｌｍ＜（Ｐ＋Ｑ＋１）×Ｌａ／Ｑ、およびΔＬ＝Ｌａ／Ｑの関係式で決定される、前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さＬｍ、前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さＬａ、前記最大励磁数Ｐ、前記列ずらし量ΔＬ、前記並列数Ｑ、を予め設定されることを特徴とした請求項３記載のリニアモータ装置。
【請求項５】
前記リニアモータが、並列に配置する前記電機子相互の同相コイル同士が重なり合うように前記列ずらし量を予め設定されることを特徴とした請求項３記載のリニアモータ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記問題を解決するために、本発明は、次のように構成したのである。
本発明の代表的な構成は、リニアモータ装置が、複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を１列に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力するものであって、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、予め設定された電機子を同時に励磁する最大励磁数Ｐに応じて前記制御指令を選択的に出力する制御器と、を備える。
本発明の他の代表的な構成は、リニアモータ装置が、複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を所定の列ずらし量をもつ所定の並列数に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力するものであって、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子のみに、予め設定された電機子を同時に励磁する最大励磁数Ｐに応じて前記制御指令を選択的に出力する制御器と、を備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の代表的な構成によると、多数のコイルで構成した電機子毎に励磁を切替えるとともに、励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定している。よって、ストロークが長くなっても小形で、発熱を低減でき、さらに、循環電流に起因した制動力も無くすことができる。
本発明の他の代表的な構成によると、同じく励磁されている電機子を界磁がまたぐことがないように電機子と界磁の長さを設定しているので、本発明の代表的な構成と同様の効果を得ることができる。さらに、電機子をＱ列並行させ、各列をずらして配置させているので、本発明の代表的な構成に比べると、電機子長Ｌａが同じであっても界磁長Ｌｍを小さくできる。つまり、リニアモータ装置を小形化できる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月16日(2011.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を１列に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、
前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、
前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力する制御器と、を備え、
前記制御器が、前記電機子を同時に励磁する予め設定された最大励磁数（Ｐ）に応じて、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、前記制御指令を選択的に出力すると共に、
前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さ（Ｌｍ）を、前記最大励磁数（Ｐ）および前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さ（Ｌａ）で予め規定した前記リニアモータを駆動する、ことを特徴としたリニアモータ装置。
【請求項２】
複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を所定の列ずらし量（ΔＬ）をもつ所定の並列数（Ｑ）に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、
前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、
前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、
前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力する制御器と、を備え、
前記制御器が、前記電機子を同時に励磁する予め設定された最大励磁数（Ｐ）に応じて、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、前記制御指令を選択的に出力すると共に、
前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さ（Ｌｍ）を、前記最大励磁数（Ｐ）および前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さ（Ｌａ）、並びに前記所定の並列数（Ｑ）で予め規定、且つ前記所定の列ずらし量（ΔＬ）を、並列に配置する前記電機子相互の同相コイル同士が重なり合うように前記電機子１個当たりの長さ（Ｌａ）および前記所定の並列数（Ｑ）で予め規定した前記リニアモータを駆動する、ことを特徴としたリニアモータ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記問題を解決するために、本発明は、次のように構成したのである。
本発明の代表的な構成は、リニアモータ装置が、複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を１列に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力する制御器と、を備え、前記制御器が、前記電機子を同時に励磁する予め設定された最大励磁数（Ｐ）に応じて、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、前記制御指令を選択的に出力すると共に、前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さ（Ｌｍ）を、前記最大励磁数（Ｐ）および前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さ（Ｌａ）で予め規定した前記リニアモータを駆動する。
本発明の他の代表的な構成は、リニアモータ装置が、複数の界磁を有する可動子と、前記可動子の移動方向に対して多相コイルを有する電機子複数個を所定の列ずらし量（ΔＬ）をもつ所定の並列数（Ｑ）に配置する固定子と、を備えたリニアモータと、前記可動子の相対位置を検出する位置検出器と、前記電機子それぞれに接続され、制御指令に応じた電流を供給して前記電機子を励磁する複数の電流アンプと、前記可動子の相対位置に応じて、前記制御指令を前記電流アンプに対して順次出力する制御器と、を備え、前記制御器が、前記電機子を同時に励磁する予め設定された最大励磁数（Ｐ）に応じて、前記可動子の移動方向長の内側に対向する部分のみを有する前記電機子に対応する前記電流アンプのみに、前記制御指令を選択的に出力すると共に、前記可動子の移動方向に対する前記可動子の長さ（Ｌｍ）を、前記最大励磁数（Ｐ）および前記可動子の移動方向に対する前記電機子１個当たりの長さ（Ｌａ）、並びに前記所定の並列数（Ｑ）で予め規定、且つ前記所定の列ずらし量（ΔＬ）を、並列に配置する前記電機子相互の同相コイル同士が重なり合うように前記電機子１個当たりの長さ（Ｌａ）および前記所定の並列数（Ｑ）で予め規定した前記リニアモータを駆動する。
【国際調査報告】
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