(57)【要約】透明物体の形状計測と厚み計測を行う装置、および方法を提供する。透明物体に向けて光を出力する投光部と、透明物体を通過した光を受光する受光センサと、受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、投光部は、複数の光源からの出力光を並列出力する構成であり、データ処理部は、受光センサの各受光素子の受光信号を解析し、記憶部に格納された受光信号値対応の光源組み合わせ情報を利用して一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する。さらに、投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出して、透明物体の表裏両面の形状を算出する。
2019124104.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記投光部は、複数の光源からの出力光を並列出力する構成であり、
前記データ処理部は、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析し、記憶部に格納された受光信号値対応の光源組み合わせ情報を利用して一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する物体形状計測装置。
【請求項２】
前記データ処理部は、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する請求項１に記載の物体形状計測装置。
【請求項３】
前記投光部を構成する光源の各々は、出力光の偏光方向を時間経過に伴い変化させた偏光を出力する構成であり、
少なくとも近接する光源における偏光制御態様が異なる設定である請求項１に記載の物体形状計測装置。
【請求項４】
前記投光部を構成する光源中、少なくとも近接する光源は、偏光方向の変化速度が異なる設定である請求項３に記載の物体形状計測装置。
【請求項５】
前記投光部を構成する光源中、少なくとも近接する光源は、出力光の色、または明るさ、または偏光方向が異なる設定である請求項１に記載の物体形状計測装置。
【請求項６】
前記データ処理部は、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出して、前記透明物体の形状を算出する物体形状算出部を有する請求項１に記載の物体形状計測装置。
【請求項７】
前記物体形状算出部は、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する請求項６に記載の物体形状計測装置。
【請求項８】
前記物体形状算出部は、
前記投光部を構成する複数の光源各々の特徴量Ｉと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号Ｉ'と、
前記ミュラー行列との関係式に基づいて、
前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する請求項６に記載の物体形状計測装置。
【請求項９】
前記物体形状算出部は、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを利用して、一つの受光素子に対する入力光の光源を特定した後、
前記関係式を用いて、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する請求項８に記載の物体形状計測装置。
【請求項１０】
前記データ処理部は、
前記透明物体の形状を算出する物体形状算出部を有し、
さらに、前記物体形状算出部の算出したデータを利用して前記透明物体の厚みを算出する物体厚み算出部を有する請求項１に記載の物体形状計測装置。
【請求項１１】
前記物体厚み算出部は、
前記透明物体と、前記投光部を構成する光源と、前記受光センサとの位置関係データと、前記物体形状算出部の算出したデータを、算出パラメータとして利用して、前記透明物体の厚みを算出する請求項１０に記載の物体形状計測装置。
【請求項１２】
物体形状計測装置において実行する光源特定方法であり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記データ処理部が、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、前記受光センサの一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する光源特定方法。
【請求項１３】
物体形状計測装置において実行する透明物体形状算出方法であり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記データ処理部は、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出し、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する物体形状算出方法。
【請求項１４】
物体形状計測装置において光源特定処理を実行させるプログラムであり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記プログラムは、前記データ処理部に、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、前記受光センサの一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行させるプログラム。
【請求項１５】
物体形状計測装置において透明物体形状算出処理を実行させるプログラムであり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記プログラムは、前記データ処理部に、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出させ、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出させて、前記透明物体の形状を算出させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、物体形状計測装置、および方法、並びにプログラムに関する。具体的には、透明物体の３次元形状を解析する物体形状計測装置、および方法、並びにプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
物体の表面形状、すなわち物体の３次元形状を計測する場合、例えば、測定対象となる物体に特定方向から光を照射し、物体表面からの反射光を解析する処理が行われる。
しかし、測定対象物が光を透過する透明な物体である場合には、反射光を適用した処理は困難となる。【０００３】
透明物体の表面形状を計測する処理を開示した文献として、例えば以下の文献がある。
非特許文献１（宮崎大輔、池内克史著「偏光レイトレーシング法による透明物体の表面形状の推定」画像の認識・理解シンポジウム（ＭＩＲＵ２００４）２００４年７月）は、透明体の表面形状を計測するために、同一面に対して複数方向から偏光を照射し、透明対象物の表面からの複数の反射光の偏光方向を解析することで計測を可能にした構成を開示している。
このシステムにおいて、様々な方向からの偏光を区別するため、複数方向の照明を順次点灯する構成としている。【０００４】
また、非特許文献２（Ｙｉｍｉｎｇ  Ｑｉａｎ他２名，「Ｍｉ３Ｄ  Ｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ  Ｏｂｊｅｃｔｓ  ｗｉｔｈ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎ−Ｎｏｒｍａｌ  Ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｃｙ」、［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成２９年１２月１日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：https://pdfs.semanticscholar.org/0ea6/96f0a6217272a0f0797638c49e47f67f9ef4.pdf#search=%273d+reconstruction+of+transparent%27＞）は、透明対象物の片側に特定なパターンを持つ背景を設け、反対方向にカメラを設置し、背景からの光が透明対象物を通過する際に発生する形状に起因する歪みを解析することで形状を推定する構成を開示している。【０００５】
この解析処理においては、カメラの同一画素に入射する複数の背景パターンの物体透過光を分離して形状を計測することが必要であり、パターンとカメラを、測定対象物を中心に空間方向に複数回、回転移動する処理を行う必要がある。【０００６】
また、特許文献１（特開２００２−０９８６５０号公報）は、透明体の屈折率によって特定の偏光方向の分量が小さくなることを利用して透明体の存在検出を行う構成を開示している。
対象物に付着された透明な異物がある場合、屈折率の違いにより上記分量の減衰量に違いが発生し、欠陥として検出が可能となる。また、検出対象の形状が滑らかであることを前提とした場合、形状的な欠陥のある場所では急峻な形状変化が発生するので上記分量の減衰量が急激に変化し、検出することが可能となる。【０００７】
また、特許文献２（特表２００２−５１３４６３号公報）は、成形された透明ガラス製品の応力を見ることで成形欠陥を検査する構成を開示している。
透明体が成形されたときに、かかる力（応力）の具合によって内部の屈折率分布にバラつきが発生し、この屈折率のバラつきによって、特定偏光方向を持つ透過光を２次元で観測した時の濃淡値に空間バラつきが発生する。この現象を利用して、透明性景物にかかる応力の検査を行うと同時に、２次元センサで受光した光量から対象物のエッジ情報を抽出し、成形欠陥の検査に利用している。【０００８】
さらに、特許文献３（特開２０１０−１５１８０３号公報）は、透明体の中の欠陥を検出する構成を開示している。
欠陥として、
欠陥１：傷などの形状欠陥（光を散乱）、
欠陥２：異物（光を遮断）、
欠陥３：応力欠陥（屈折率変化）、
これらの異なる３種類の欠陥を識別可能としている。
具体的には、２方向から３色の光を照射する。カメラ光軸と垂直方向からは１色の光を、平行方向からは偏光と２色の光を照射する。垂直方向からの光は欠陥１を、平行方向からの光は欠陥２（色利用）と欠陥３（偏光利用）を検出する。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】宮崎大輔、池内克史著「偏光レイトレーシング法による透明物体の表面形状の推定」画像の認識・理解シンポジウム（ＭＩＲＵ２００４）２００４年７月
【非特許文献２】Ｙｉｍｉｎｇ  Ｑｉａｎ他２名，「Ｍｉ３Ｄ  Ｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ  Ｏｂｊｅｃｔｓ  ｗｉｔｈ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎ−Ｎｏｒｍａｌ  Ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｃｙ」、［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成２９年１２月１日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：https://pdfs.semanticscholar.org/0ea6/96f0a6217272a0f0797638c49e47f67f9ef4.pdf#search=%273d+reconstruction+of+transparent%27＞
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−０９８６５０号公報
【特許文献２】特表２００２−５１３４６３号公報
【特許文献３】特開２０１０−１５１８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述した非特許文献１、非特許文献２は、透明対象物の表面形状を計測する構成を開示しているが、非特許文献１に記載の構成では、複数の異なる位置の照明を順次点灯する処理が必要である。また、非特許文献２に記載の構成は、照明の位置を複数回、移動させる処理を行う必要がある。これらの処理を行うためには計測に膨大な時間がかかり、また複雑な計測システムが必要になる。【００１２】
また、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載の構成は、偏光を利用して透明対象物の存在有無や欠陥の検出を行う構成を開示しているにすぎず、測定対象物の表裏両面の３次元形状の計測については開示していない。【００１３】
本開示は、例えば上記問題点に鑑みてなされたものであり、検出対象となる物体が光透過率の高い物体である場合に、測定対象物と証明項との相対的な位置を変更することなく、物体表面の形状、すなわち物体の３次元形状を計測可能とした物体形状計測装置、および方法、並びにプログラムを提供することを目的とする。【００１４】
本開示の一実施例構成においては、偏光方向を特定シーケンスに従って、順次、変化させる照明と、４方向の偏光を同時に取得できる偏光センサを併用することで、照明の空間的な移動を行うことなく照明位置を特定し、偏光状態の変化から透明対象物の表面形状と厚みを同時に計測可能とした物体形状計測装置、および方法、並びにプログラムを提供することを目的とする。【００１５】
本開示の第１の側面は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記投光部は、複数の光源からの出力光を並列出力する構成であり、
前記データ処理部は、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析し、記憶部に格納された受光信号値対応の光源組み合わせ情報を利用して一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する物体形状計測装置にある。【００１６】
さらに、本開示の第２の側面は、
物体形状計測装置において実行する光源特定方法であり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記データ処理部が、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、前記受光センサの一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する光源特定方法にある。【００１７】
さらに、本開示の第３の側面は、
物体形状計測装置において実行する透明物体形状算出方法であり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記データ処理部は、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出し、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する物体形状算出方法にある。【００１８】
さらに、本開示の第４の側面は、
物体形状計測装置において光源特定処理を実行させるプログラムであり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記プログラムは、前記データ処理部に、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、前記受光センサの一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行させるプログラムにある。【００１９】
さらに、本開示の第５の側面は、
物体形状計測装置において透明物体形状算出処理を実行させるプログラムであり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記プログラムは、前記データ処理部に、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出させ、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出させて、前記透明物体の形状を算出させるプログラムにある。【００２０】
なお、本開示のプログラムは、例えば、様々なプログラム・コードを実行可能な情報処理装置やコンピュータ・システムに対して、コンピュータ可読な形式で提供する記憶媒体、通信媒体によって提供可能なプログラムである。このようなプログラムをコンピュータ可読な形式で提供することにより、情報処理装置やコンピュータ・システム上でプログラムに応じた処理が実現される。【００２１】
本開示のさらに他の目的、特徴や利点は、後述する本発明の実施例や添付する図面に基づくより詳細な説明によって明らかになるであろう。なお、本明細書においてシステムとは、複数の装置の論理的集合構成であり、各構成の装置が同一筐体内にあるものには限らない。
【発明の効果】
【００２２】
本開示の一実施例の構成によれば、透明物体の形状計測と厚み計測を行う装置、および方法が実現される。
具体的には、例えば、透明物体に向けて光を出力する投光部と、透明物体を通過した光を受光する受光センサと、受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、投光部は、複数の光源からの出力光を並列出力する構成であり、データ処理部は、受光センサの各受光素子の受光信号を解析し、記憶部に格納された受光信号値対応の光源組み合わせ情報を利用して一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する。さらに、投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出して、透明物体の表裏両面の形状を算出する。
本構成により、透明物体の形状計測と厚み計測を行う装置、および方法が実現される。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また付加的な効果があってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】透明物体の形状計測処理の一構成例を示す図である。
【図２】本開示の形状計測装置の一構成例について説明する図である。
【図３】受光センサの一つの受光素子に複数の光源の出力光が入力される例について説明する図である。
【図４】受光センサの一つの受光素子に複数の光源の出力光が入力される場合に光源特定を可能とする処理について説明する図である。
【図５】受光センサの一つの受光素子に複数の光源の出力光が入力される場合に光源特定を可能とする処理について説明する図である。
【図６】透明物体の形状計測処理の処理シーケンスについて説明するフローチャートを示す図である。
【図７】透明物体の厚み計測処理の一例について説明する図である。
【図８】投透明物体の厚み計測処理の処理シーケンスについて説明するフローチャートを示す図である。
【図９】本開示の物体形状計測装置の構成例について説明する図である。
【図１０】透明物体形状計測処理に用いる参照テーブルの例について説明する図である。
【図１１】投光部の一構成例を示す図である。
【図１２】受光部の一構成例を示す図である。
【図１３】受光部の一構成例を示す図である。
【図１４】本開示の形状計測装置の一構成例について説明する図である。
【図１５】本開示の形状計測装置の一構成例について説明する図である。
【図１６】本開示の形状計測装置の一構成例について説明する図である。
【図１７】透明物体形状計測処理に用いる参照テーブルの例について説明する図である。
【図１８】物体形状計測装置のハードウェア構成例について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら本開示の物体形状計測装置、および方法、並びにプログラムの詳細について説明する。なお、説明は以下の項目に従って行う。
１．偏光を利用した透明物体の形状計測処理について
２．透明物体の厚み計測処理について
３．透明物体の形状および厚み計測を行う物体形状計測装置の構成について
４．その他の実施例について
５．物体形状計測装置のハードウェア構成例について
６．本開示の構成のまとめ
【００２５】
［１．偏光を利用した透明物体の形状計測処理について］
まず、図１以下を参照して、偏光を利用した透明物体の形状計測処理について説明する。
図１には、形状計測対象物である透明物体１０を示している。
透明物体１０は、屈折率ｎの透明な物体であり、第１面（表面）１０ａと、第２面（裏面）１０ｂを有する。
【００２６】
透明物体１０の第１面（表面）１０ａ側に置かれた複数の光源、すなわち第１光源Ｌ１，２１と、第２光源Ｌ２，２２から、透明物体１０の第１面（表面）１０ａに向けて光を照射する。
複数の光源、第１光源Ｌ１，２１と、第２光源Ｌ２，２２からの照射光は、透明物体１０を通過して、透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂ側に置かれた光センサ３０によって受光される。
【００２７】
各光源からの照射光は、透明物体１０の屈折率や、形状、すなわち、第１面（表面）１０ａと第２面（裏面）１０ｂの表面形状に応じて、進行方向が変更される。
図１に示す光センサ３０中の注目画素３１に入射する光は、図に示す２つの光Ｐ１、Ｐ２である。
【００２８】
光センサ３０の注目画素３１に入射する光の構成要素である入射光Ｐ１は、第１光源Ｌ１，２１からの光が透明物体１０の第１面（表面）１０ａに入射し、屈折した後に、透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂから出射されたものである。
さらに、光センサ３０の注目画素３１に入射する光のもう一つの構成要素である入射光Ｐ２は、第２光源Ｌ２，２２からの光が透明物体１０の第１面（表面）１０ａに入射し、屈折した後に、透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂから出射されたものである。
【００２９】
光センサ３０の注目画素３１に対する入射光の光量、すなわち受光量をＩ'とすると、受光量Ｉ'は、以下の（式１）によって示すことができる。
【００３０】
【数１】
2019124104.tif 000003
【００３１】
ただし、上記（式１）において、
Ｉ'は受光光量、
θｉ，１，φｉ，１は、測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面領域の面法線の天頂角と方位角、
θｉ，２，φｉ，２は、測定対象物である透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂのｉ番目の裏面領域の面法線の天頂角と方位角である。
Ｉｉは、測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面に入射する光を発する光源の特徴量、
Ｎは光源の個数、
Ｔは、測定対象物である透明物体１０の光通過による変化を表す伝達関数（ミュラー行列）、
とする。
【００３２】
なお、ミュラー行列Ｔは、測定対象物である透明物体１０に入射光が透過するときの偏光状態の変化を示す行列であり、各光源ｉ＝１〜Ｎに対応して各々設定される。
光源ｉに対応するミュラー行列Ｔｉは、行列の要素として、以下の要素を有する。
θｉ，１，φｉ，１（測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面領域の面法線の天頂角と方位角）
θｉ，２，φｉ，２（測定対象物である透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂのｉ番目の裏面領域の面法線の天頂角と方位角）
【００３３】
なお、透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面領域は、各光源ｉに対応して設定される。
具体的には、例えば、図２に示すように、光源２０を構成するＮ個の光源ｉ＝１〜Ｎを設定した場合、Ｎ個の光源の光出力方向の透明物体１０の第１面（表面）１０ａを光出力方向に垂直な面で光源数と同様のＮ個の領域に分割して、各光源ｉ＝１〜Ｎに対応する区分領域の各々を表面領域ｉとする。
また、表面領域ｉに対する入力光が透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂから出力する位置を第２面（裏面）１０ｂのｉ番目の裏面領域とする。
【００３４】
なお、詳細は後述するが、透明物体１０の表面と裏面の形状算出は、各領域単位で実行する。この形状算出は、各光源の出力光の特徴量と、透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂからの出力光を受光する受光センサ３０の各センサ素子単位の受光信号の特徴量に基づいて実行される。
そのため、Ｎ個の光源各々の出力光の照射領域各々と、透明物体１０の第１面（表面）１０ａのＮ個の分割領域の各々に対応した状態とすることが好ましい。
従って、Ｎ個の光源各々の出力光の照射領域が大きく拡散しないよう、光源２０と、透明物体１０の間隔はなるべく狭く近接した位置に配置することが好ましい。
受光センサ３０と、透明物体１０の間隔も同様であり、受光センサ３０と、透明物体１０の間隔はなるべく狭く近接した位置に配置することが好ましい。
【００３５】
なお、光源の特徴量Ｉｉは、具体的には、例えば各光源から出力される偏光の設定態様である。具体的な各光源の出力する偏光の制御例については後段で説明する。
【００３６】
上記（式１）を、
各光源ｉ＝１〜Ｎに対応して各々設定されるミュラー行列Ｔ１，Ｔ２，・・・ＴＮから構成される行列Ｔと、
各光源ｉ＝１〜Ｎに対応する光源特徴量Ｉ１，Ｉ２，・・・ＩＮから構成される行列Ｉを用いて、表現すると下記の（式２）として示すことができる。
Ｉ'＝Ｔ・Ｉ    ・・・（式２）
【００３７】
上記（式２）中のＩ'は、先に説明した（式１）のＩ'に相当する。すなわち、
Ｉ'は受光光量である。
上記（式２）において、行列Ｔと、行列Ｉは、以下の行列である。
Ｔ＝［Ｔ１，Ｔ２，・・・，ＴＮ］
Ｉ＝［Ｉ１，Ｉ２，・・・，ＩＮ］Ｔ
【００３８】
上記（式２）に従って、
行列Ｔは、下式（式３）によって求めることができる。
Ｔ＝Ｉ'・Ｉ−１    ・・・（式３）
【００３９】
上記（式３）を計算するために、行列Ｉの階数（ランク数）が十分となるように光源の特徴量を複数回（Ｍ回）、変化させて、観測値としての受光光量：Ｉ'１〜Ｉ'Ｍを取得して、下式（式４）に示す受光光量Ｉ'と、行列Ｔとの関係式を設定して、行列Ｔを、（式３）、もしくは、（式４）を適用した最小二乗法によって求めることができる。
［Ｉ'１，Ｉ'２・・・Ｉ'Ｍ］＝Ｔ・［Ｉ１，Ｉ２・・・ＩＭ］    ・・・（式４）
【００４０】
なお、行列Ｔの構成要素であるミュラー行列Ｔ１，Ｔ２，・・・ＴＮの各々は、測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａと第２面（裏面）１０ｂの領域単位の面法線の天頂角θと方位角φの集合なので、行列Ｔを求めることで、透明物体１０の表面と裏面の形状を求めることができる。
【００４１】
先に説明したように、光源の特徴量Ｉｉは、具体的には、例えば各光源から出力される偏光の設定態様である。
先に説明した（式１）中の、
Ｉ'（＝受光光量）と、
Ｉｉ（＝測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面に入射する光を発する光源の特徴量）、
これらの各値を、偏光特性を示す特徴量として、上記（式１）を書き直すと、以下の（式５）のような関係式として示すことができる。
【００４２】
【数２】
2019124104.tif 000004
【００４３】
なお、上記（式５）の
Ｉ'（＝受光光量）と、
Ｉｉ（＝測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面に入射する光を発する光源の特徴量）、
これらの各値を示す３要素からなる行列は、光の偏光状態を示すストークスベクトルである。
また、ｎは、透明物体１０の屈折率である。
【００４４】
なお、Ｉ'（＝受光光量）対応のストークスベクトルは、透明物体１０の通過光を受光する受光センサ３０によって検出される透明物体１０の通過光の偏光状態を示すストークスベクトルである。
第１成分＝Ｉ'は、透明物体１０通過光の平均光量、
第２成分＝Ｉ'９０は、透明物体１０通過光の９０°方向偏光成分、
第３成分＝Ｉ'４５は、透明物体１０通過光の４５°方向偏光成分、
である。
【００４５】
また、Ｉｉ（＝測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面に入射する光を発する光源の特徴量）対応のストークスベクトルは、透明物体１０に対する入射光、すなわち光源ｉから出力される出力光ｉの偏光状態を示すストークスベクトルである。
第１成分＝Ｉｉは、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の平均光量、
第２成分＝Ｉｉ，９０は、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の９０°方向偏光成分、
第３成分＝Ｉｉ，４５は、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の４５°方向偏光成分、
である。
【００４６】
上記（式５）に含まれるＴは、先に（式１）参照して説明したように、測定対象物である透明物体１０の光通過による変化を表す伝達関数に相当するミュラー行列である。
ミュラー行列Ｔは、測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａと第２面（裏面）１０ｂの領域単位の面法線の天頂角θと方位角φのデータを要素として含む行列であり、行列Ｔを求めることで、透明物体１０の表面と裏面の形状を求めることができる。
【００４７】
（式１）を（式５）のように変形することで、利用可能な情報が、
平均光量、９０°方向偏光成分、４５°方向偏光成分の３つとなり、（式１）よりも３倍の情報を利用した処理が可能となる。この結果、透明物体１０の面形状を精度よく推定することが可能となる。
【００４８】
なお、上述した（式５）に基づいて、透明物体１０の面形状を算出するためには、
先に説明した（式２）、（式３）と同様の手順で、Ｔの算出式を導く。すなわち、
Ｉ'＝Ｔ・Ｉ    ・・・（式２）
Ｔ＝Ｉ'・Ｉ−１    ・・・（式３）
【００４９】
上記（式２）、（式３）において、行列Ｔと、行列Ｉは、以下の行列である。
Ｔ＝［Ｔ１，Ｔ２，・・・，ＴＮ］
Ｉ＝［Ｉ１，Ｉ２，・・・，ＩＮ］Ｔ
【００５０】
なお、行列Ｉの要素Ｉｉは、測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面に入射する光を発する光源の特徴量であり、（式５）を用いる場合、光源ｉから出力される出力光ｉの偏光状態を示すストークスベクトルである。
第１成分＝Ｉｉは、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の平均光量、
第２成分＝Ｉｉ，９０は、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の９０°方向偏光成分、
第３成分＝Ｉｉ，４５は、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の４５°方向偏光成分、
である。
これらの値は、既知である。
【００５１】
一方、上記（式２）、（式３）において、Ｉ'は受光光量であるが、（式５）を用いる場合、Ｉ'は、Ｉ'（＝受光光量）対応のストークスベクトルである。
すなわち、透明物体１０の通過光を受光する受光センサ３０によって検出される透明物体１０の通過光の偏光状態を示すストークスベクトルであり、以下の成分を要素とした行列である。
第１成分＝Ｉ'は、透明物体１０通過光の平均光量、
第２成分＝Ｉ'９０は、透明物体１０通過光の９０°方向偏光成分、
第３成分＝Ｉ'４５は、透明物体１０通過光の４５°方向偏光成分、
これらの成分から構成される行列である。
【００５２】
この値は、図１や図２に示す構成において、受光センサ３０のセンサ出力から算出することが必要となる。
しかし、ここで、問題となるのは、受光センサ３０を構成する個々の素子に入射する光は、図１、図２に示すＮ個の光源の１つの光源からの光であるとは限らないということである。
図１、図２に示すＮ個の光源各々から出力されたＮ個の光は、透明物体１０を通過する際に、透明物体の形状、屈折率に応じて、様々な方向に進路が変更される。
その結果、受光センサ３０を構成する個々の素子に入射する光は、図１、図２に示すＮ個の光源の複数の光源からの出力光を合算した光となる場合がある。
【００５３】
例えば、図３に示すように、第１光源（Ｌ１）２１の出力光と、第２光源（Ｌ２）２２の出力光が、透明物体１０の通過によって進路が変更され、受光センサ３０の１つの受光素子３１に入力するような設定となる場合がある。
【００５４】
このような場合、上記（式５）を用いて、透明物体１０の形状算出を行うためには、受光センサ３０の各素子に入力した光が、どの光源（ｉ）からの入力光であるかを判別することが必要である。
【００５５】
上記（式５）を用いて、透明物体１０の形状算出を行う場合、
ミュラー行列Ｔｉから構成されるＴ＝［Ｔ１，Ｔ２，・・・，ＴＮ］を算出し、行列Ｔの要素である個々のミュラー行列Ｔｉの構成要素である、
θｉ，１，φｉ，１（測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面領域の面法線の天頂角と方位角）
θｉ，２，φｉ，２（測定対象物である透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂのｉ番目の裏面領域の面法線の天頂角と方位角）
これらの要素を算出する処理を行うことになる。
この処理のためには、（式５）中のパラメータｉを特定することが必要である。
【００５６】
これは、（式５）中のＩ'、すなわち、受光センサ３０を構成する個々の素子への入射光がどの光源からの光を含むものであるかを識別することが必要であることを意味する。
従って、例えば、図３に示すように、受光センサ３０の各素子に入力した光が、複数の光源からの合算光である場合にも、その複数の光源（ｉ）を識別する処理が必要となる。
この識別を可能とするため、本開示の処理では、Ｎ個の光源の偏光態様の制御を行う。
以下、本開示の光源の偏光制御処理について説明する。
【００５７】
本開示の光源の偏光制御処理では偏光位相を利用する。すなわち、各光源ｉ＝１〜Ｎ各々の偏光位相を時間方向に異なる変化率で変化させる。
この偏光制御を行うことで、受光センサ３０を構成する個々の素子への入射光がどの光源からの光を含むものであるかを識別することが可能となる。
【００５８】
図４を参照して本開示の光源に対する偏光制御処理の一例について説明する。
図４には、図３と同様、第１光源（Ｌ１）２１の出力光と、第２光源（Ｌ２）２２の出力光が、透明物体１０の通過によって進路が変更され、受光センサ３０の１つの受光素子３１に入力する設定例を示している。
【００５９】
ここで、第１光源（Ｌ１）２１と第２光源（Ｌ２）２２の偏光制御を図に示す設定とする。すなわち、図４に示す、
（１）第１光源（Ｌ１）偏光制御シーケンス
（２）第２光源（Ｌ２）偏光制御シーケンス
のように設定する。
【００６０】
「（１）第１光源（Ｌ１）偏光制御シーケンス」と、「（２）第２光源（Ｌ２）偏光制御シーケンス」は、いずれも、４種類の偏光方向（４５°、０°、１３５°、９０°）に順次、偏光方向を変更するような偏光方向制御シーケンスとする。
【００６１】
なお、図に示す例では、
（φａ）矢印が右上方向の設定が４５°偏光を意味する。
（φｂ）矢印が上方向の設定が０°偏光を意味する。
（φｃ）矢印が左上方向の設定が１３５°偏光を意味する。
（φｄ）矢印が左方向の設定が９０°偏光を意味する。
【００６２】
本開示の処理では、各光源の偏光方向の変更速度を異ならせる。すなわち位相をずらした偏光制御を行う。
（１）第１光源（Ｌ１）偏光制御シーケンスでは、４種類の偏光方向（４５°、０°、１３５°、９０°）の制御において、
偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ１とする。
すなわち、図に示す例では、
偏光方向が４５°から０°まで変化する時間がΔφ１、
偏光方向が０°から１３５°まで変化する時間もΔφ１、
偏光方向が１３５°から９０°まで変化する時間もΔφ１、
である。
【００６３】
一方、（２）第２光源（Ｌ２）偏光制御シーケンスでは、４種類の偏光方向（４５°、０°、１３５°、９０°）の制御において、
偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ２（≠Δφ１）とする。
すなわち、図に示す例では、
偏光方向が４５°から０°まで変化する時間がΔφ２、
偏光方向が０°から１３５°まで変化する時間もΔφ２、
偏光方向が１３５°から９０°まで変化する時間もΔφ２、
である。
【００６４】
このように、各光源の偏光状態の変化時間を異ならせる設定で偏光制御を行うことで、複数の光源からの偏光が、受光センサ３０の１つの受光素子に入力した場合でも、その受光信号を解析することで、受光信号に含まれる光の光源を特定することができる。
【００６５】
なお、光源２０を構成する複数の光源の偏光制御態様を異ならせることは必須ではなく、少なくとも近接する光源における偏光制御態様が異なる設定であればよい。
すなわち、離間した位置にある光源の偏光制御態様は同一としてもよい。離間した位置にある光源の光は、透明物体を通過して、同じ受光素子に入力される可能性が低いからである。
【００６６】
複数の光源からの合算光が１つの受光素子の受光信号に含まれる場合に、その光源を特定することを可能とする処理について、図５を参照して説明する。
図５には光源を４つ（Ｌ１〜Ｌ４）として、これら４つの光源の少なくともいずれかの出力光が受光センサ３０の１つの受光素子に入力した場合の受光素子の出力レベル（光電変換結果）を示している。
【００６７】
図５（１）光源設定に示すように、
４つの光源（Ｌ１〜Ｌ４）は、それぞれの偏光の変化速度（位相）が異なる。
光源Ｌ１は、偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ１とする。
光源Ｌ２は、偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ２とする。
光源Ｌ３は、偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ３とする。
光源Ｌ４は、偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ４とする。
なお、Δφ１≠Δφ２≠Δφ３≠Δφ４である。
この偏光の変化速度（位相）が、各光源固有の特徴量となる。
【００６８】
図５（２）受光素子出力は、これら４つの光源の少なくともいずれかの出力光が受光センサ３０の１つの受光素子に入力した場合の受光素子の出力レベル（光電変換結果）を示している。
【００６９】
図５（２）受光素子出力には、（１）〜（１５）の１５のエントリを示している。
これら、１５のエントリは、光源（Ｌ１）〜（Ｌ４）の１つ以上の出力光が１つの受光素子に入力する場合のすべての組み合わせに相当する。
例えば、エントリ（１）は、光源（Ｌ１）の出力光のみが入力した場合の例である。
エントリ（２）は、光源（Ｌ２）の出力光のみが入力した場合の例である。
エントリ（５）は、光源（Ｌ１）と（Ｌ２）の出力光が入力した場合の例である。
エントリ（５）は、光源（Ｌ１）と（Ｌ２）の出力光が入力した場合の例である。
エントリ（１１）は、光源（Ｌ１）と（Ｌ２）と（Ｌ３）の出力光が入力した場合の例である。
エントリ（１５）は、光源（Ｌ１）と（Ｌ２）と（Ｌ３）と（Ｌ４）の出力光が入力した場合の例である。
【００７０】
これら１５種類の入力態様に対する、受光素子の出力レベル（光電変換結果）はすべて異なる値となっている。
すなわち、この受光素子の出力レベル（光電変換結果）を取得すれば、（１）〜（１５）のどの組み合わせであるかを判別することができる。
【００７１】
本開示の処理では、このように、各光源の偏光の変化速度（位相）を異ならせる設定とする偏光制御を行う。この結果、受光センサの１つの受光素子に入力した光の光源を特定することを可能としている。
ただし、このように、光源特定処理を可能とするためには、以下の条件を満たす設定とすることが必要である。
【００７２】
合計Ｍ個の照明に対して、その中の任意のｎ（ｎ≦Ｍ）個の照明からなる部分集合の数を、以下の（式６）とする。
【００７３】
【数３】
2019124104.tif 000005
【００７４】
ここで、第ｊ番目の照明の特徴量をＩ（ｊ）、全ての照明の中の最大特徴量を、
Ｉｍａｘとし、
【数４】
2019124104.tif 000006
上記式を満足する設定とする。
図５を参照して説明した処理に従った光源特定処理を可能とするためには、上記条件を満たす設定とすることが必要である。
なお、図５に示す例は一例であり、特徴量が等比数列の場合を示す例である。
【００７５】
本開示の処理に従った透明物体の形状計測シーケンスについて、図６に示すフローチャートを参照して説明する。
なお、図６に示すフローチャートに従った処理は、物体形状計測装置の制御部の下で実行される。
例えば記憶部に格納されたプログラムに従ってプログラム実行機能を有するＣＰＵ等を有する制御部の制御の下で実行される。
以下、各ステップの処理について説明する。
【００７６】
（ステップＳ１０１）
まず、ステップＳ１０１において、透明物体に対して複数の光源から光を出力し、透過光を受光センサで受光する。
【００７７】
なお、複数の光源の各々は、先に図３、図４を参照して説明したように、異なる速度で偏光角を変化する設定の偏光を出力する。
また、上述した光源特定処理を可能とするための条件を満たす設定とする。
【００７８】
（ステップＳ１０２）
次に、ステップＳ１０２において、受光センサの各受光素子における受光信号に含まれる光の光源を解析する。
【００７９】
（ステップＳ１０３）
次に、ステップＳ１０３において、光源出力（Ｉｉ）と、受光信号（Ｉ'）とからミュラー行列Ｔｉを算出する。
【００８０】
これは、先に説明した（式５）の関係式から、先に説明した（式２）、（式３）を適用してＴの算出式を導く処理である。すなわち、
Ｉ'＝Ｔ・Ｉ    ・・・（式２）
Ｔ＝Ｉ'・Ｉ−１    ・・・（式３）
【００８１】
上記（式２）、（式３）において、行列Ｔと、行列Ｉは、以下の行列である。
Ｔ＝［Ｔ１，Ｔ２，・・・，ＴＮ］
Ｉ＝［Ｉ１，Ｉ２，・・・，ＩＮ］Ｔ
【００８２】
なお、行列Ｉの要素Ｉｉは、測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面に入射する光を発する光源の特徴量であり、（式５）を用いる場合、光源ｉから出力される出力光ｉの偏光状態を示すストークスベクトルである。
第１成分＝Ｉｉは、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の平均光量、
第２成分＝Ｉｉ，９０は、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の９０°方向偏光成分、
第３成分＝Ｉｉ，４５は、光源ｉからの出力光（＝透明物体１０領域ｉに対する入射光）の４５°方向偏光成分、
である。
これらの値は、既知である。
【００８３】
一方、上記（式２）、（式３）において、Ｉ'は受光光量であるが、（式５）を用いる場合、Ｉ'（＝受光光量）対応のストークスベクトルであり、透明物体１０の通過光を受光する受光センサ３０によって検出される透明物体１０の通過光の偏光状態を示すストークスベクトル、すなわち、
第１成分＝Ｉ'は、透明物体１０通過光の平均光量、
第２成分＝Ｉ'９０は、透明物体１０通過光の９０°方向偏光成分、
第３成分＝Ｉ'４５は、透明物体１０通過光の４５°方向偏光成分、
これらの成分から構成される行列である。
【００８４】
（ステップＳ１０４）
次に、ステップＳ１０４において、ミュラー行列（Ｔｉ）の構成要素から、
領域（ｉ）の面法線の天頂角と方位角を取得する。この処理は、透明物体の表面と裏面の両面について行う。
【００８５】
すなわち、ミュラー行列Ｔｉの構成要素である、
θｉ，１，φｉ，１（測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面領域の面法線の天頂角と方位角）
θｉ，２，φｉ，２（測定対象物である透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂのｉ番目の裏面領域の面法線の天頂角と方位角）
これらの要素を算出する処理を行う。
【００８６】
（ステップＳ１０５）
次に、ステップＳ１０５において、ステップＳ１０４で取得した透明物体の表面と裏面の両面の面法線の天頂角と方位角に基づいて、透明物体の表面と裏面の面形状を算出する。ただし、算出できない領域については周囲領域の形状に基づく補間を行う。
【００８７】
ステップＳ１０４では、先に図２を参照して説明したように、透明物体の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出する。
これらの情報を適用して、透明物体の表面と裏面の面形状を算出する。
【００８８】
ただし、透明物体の裏面領域には、どの光源からの出力もない領域が発生する可能性がある。このような領域では、面法線の天頂角と方位角の算出ができない場合がある。
このような領域については、周囲領域の形状に基づく補間を行い、全体の面形状を生成する。
【００８９】
［２．透明物体の厚み計測処理について］
次に、透明物体の厚みの計測処理について説明する。
上述した処理は、透明物体の面形状を計測する処理であるが、本開示の物体形状計測装置は、さらに、透明物体の厚みを計測することができる。
以下、この処理について説明する。
【００９０】
透明物体１０の厚み計測処理について、図７を参照して説明するる
図７には、透明物体１０と、第１光源（Ｌ１）２１と、受光センサ３０を示している。
第１光源（Ｌ１）２１の出力光が透明物体１０を通過して、受光センサ３０に入力する。
【００９１】
ここで、
図７に示すように、
透明物体１０の光源側の表面の面法線の天頂角をθ１、受光センサ３０側の裏面の面法線の天頂角をθ２とする。
また、受光センサ３０の透明物体１０の反対側の光学中心Ｏ、すなわち、受光センサ３０中心から伸ばした垂線位置に設定した光学中心Ｏ，５０に対する透明物体１０の通過光の入射角度をθとする。
また、光学中心Ｏ，５０と、第１光源（Ｌ１）２１との距離をｄとする。
また、光学中心Ｏ，５０と、透明物体１０の裏面との距離をｄ３とする。
また、受光センサ３０中心から伸ばした垂線と、光源と光学中心Ｏ，５０の接続線との角度をθ０とする。
これらは全て既知である。
なお、距離ｄ，ｄ３は、透明物体の厚み方向に平行な方向の距離とする。
【００９２】
なお、透明物体１０の光源側の表面の面法線の天頂角θ１と、受光センサ３０側の裏面の面法線の天頂角θ２については、上述した面形状計測処理によって、透明物体（計測対象物）の表面と、裏面の形状の解析によって取得可能である。
また、その他のパラメータについては予め測定可能である。
【００９３】
図７の下部に示すように、
ｄ・ｔａｎ（θ０）＝ｄ２・ｔａｎ（θ２）＋ｄ３・ｔａｎ（θ）
が成立する。
この式から、透明物体１０の厚みｄ２を以下の（式７）に従って算出することができる。
【００９４】
【数５】
2019124104.tif 000007
【００９５】
次に、図８に示すフローチャートを参照して、透明物体の厚み計測シーケンスについて説明する。
なお、図８に示すフローチャートに従った処理は、物体形状計測装置の制御部の下で実行される。
例えば記憶部に格納されたプログラムに従ってプログラム実行機能を有するＣＰＵ等を有する制御部の制御の下で実行される。
以下、各ステップの処理について説明する。
【００９６】
（ステップＳ２０１）
まず、ステップＳ２０１において、厚み算出に必要となるパラメータを取得する。
具体的には、先に図７を参照して説明したパラメータである。
【００９７】
すなわち、透明物体１０の受光センサ３０側の裏面の面法線の天頂角θ２、
受光センサ３０の透明物体１０の反対側の光学中心Ｏ，５０に対する透明物体１０の通過光の入射角度θ、
光学中心Ｏ，５０と、第１光源（Ｌ１）２１との距離ｄ、
光学中心Ｏ，５０と、透明物体１０の裏面との距離ｄ３、
受光センサ３０中心から伸ばした垂線と、光源と光学中心Ｏ，５０の接続線との角度θ０、
これらのパラメータを取得する。
なお、距離ｄ，ｄ３は、透明物体の厚み方向に平行な方向の距離である。
【００９８】
なお、これらのパラメータ中、透明物体１０の受光センサ３０側の裏面の面法線の天頂角θ２は、上述した面形状計測処理によって、透明物体（計測対象物）の表面と、裏面の形状の解析によって取得可能である。その他のパラメータについては予め測定して取得する。
【００９９】
（ステップＳ２０２）
次に、ステップＳ２０２において、取得パラメータを適用して透明物体の厚みを算出する。
【０１００】
この処理は、上述した（式７）に従った厚みｄ２の算出処理である。
【０１０１】
（ステップＳ２０３）
次に、ステップＳ２０３において、ステップＳ２０２で算出した厚みを出力、または記憶部に格納する。
なお、厚み算出は、透明物体１０の区分領域単位で実行される。
【０１０２】
［３．透明物体の形状および厚み計測を行う物体形状計測装置の構成について］
次に、透明物体の形状および厚み計測を行う物体形状計測装置の構成について説明する。
【０１０３】
図９は、物体形状計測装置１００の一構成例を示すブロック図である。
図９に示すように、物体形状計測装置１００は、入力部１０１、制御部１０２、記憶部１０３、出力部１０４、投光部１１０、受光部１２０、データ処理部１３０を有する。
【０１０４】
投光部１１０から偏光が出力され、検出領域１５０内の透明物体１７０を透過した偏光が、受光部１２０によって受光され、受光信号に基づいて検出領域１５０内の透明物体１７０の形状や厚みの算出を実行する。
【０１０５】
入力部１０１は、処理の開始、停止等のユーザによる処理制御のためのトリガとなる情報や、例えば、物体形状計測のみのモード、物体形状と厚み検出を実行するモード等のモード設定情報の入力等を行う。
その他、例えば利用する偏光の設定情報等、処理に必要となるパラメータの入力や、物体検出、応力算出処理等に用いるしきい値等の入力等にも用いられる。
【０１０６】
制御部１０２は、物体形状計測装置１００全体の処理制御を行う、各構成部に対する処理制御、実行タイミングの制御等を行う。
なお、制御部１０２は、例えばプログラム実行機能を有するＣＰＵ等を有し、記憶部１０３に格納されたプログラムに従って処理制御を実行する。
【０１０７】
記憶部１０３は、受光部１２０において受光された信号に基づくデータや、データ処理部１３０において生成、算出されたデータを記憶する。
さらに、データ処理部１３０におけるデータ処理に適用するパラメータ、基準値、しきい値、制御部１０２において実行するプログラム等の格納領域としても利用される。
【０１０８】
出力部１０４は、例えばデータ処理部１３０におけるデータ処理結果を出力する。
具体的には、透明物体の形状情報や厚み情報を出力する。
【０１０９】
投光部１１０は、光出力部１１１と、偏光制御部１１２を有する。
投光部１１０は、先に図１〜図５を参照して説明したようにＮ個の光源から構成され、各光源が異なる時間変化の偏光を出力する。
具体的な投光部１１０の構成例については後段で詳細に説明する。
【０１１０】
受光部１２０は、偏光板１２１と、受光センサ１２２を有する。
受光部１２０は、投光部１１０から出力される偏光に基づく透明物体１７０の通過光である偏光を観測する構成を有している。
具体的な受光部１２０の構成例については後段で詳細に説明する。
【０１１１】
データ処理部１３０は、受光信号記録部１３１、物体形状算出部１３２、物体厚み算出部１３３を有する。
【０１１２】
受光信号記録部１３１は、受光部１２０の受光センサ１２２の受光した光に基づく光電変換信号を入力し、検出領域１５０内の透明物体１７０の形状や厚みの算出に必要となる入力信号の解析を実行する。
【０１１３】
物体形状算出部１３２は、受光信号記録部１３１の算出した信号値を利用して、検出領域１５０内の透明物体１７０の厚みを算出する。
具体的には、図１〜図６を参照して説明した処理を行う。
【０１１４】
具体的には、各光源の出力（Ｉｉ）と、受光信号（Ｉ'）とからミュラー行列Ｔｉを算出して、ミュラー行列Ｔｉの構成要素である、
θｉ，１，φｉ，１（測定対象物である透明物体１０の第１面（表面）１０ａのｉ番目の表面領域の面法線の天頂角と方位角）
θｉ，２，φｉ，２（測定対象物である透明物体１０の第２面（裏面）１０ｂのｉ番目の裏面領域の面法線の天頂角と方位角）
これらの要素を算出する処理を行う。
なお、先に図６のフローを参照して説明したように、形状の算出できない領域については周囲領域の形状に基づく補間を行う。
【０１１５】
なお、受光部１２０の受光センサ１２２の１つの受光素子に対する入力光の光源特定処理に際しては、先に図４、図５を参照して説明した処理によって、光源を特定する。
図５を参照して説明した図５（２）受光素子出力のデータは、事前準備段階で予め計測する。
この計測結果に基づいて、受光素子の出力から光源を特定可能とした参照テーブルを予め記憶部１０３に格納しておく。
例えば、図１０に示す構成を持つ参照テーブルである。
【０１１６】
図１０に示すように、光源の組み合わせに応じて、受光センサの１つの受光素子の受光信号（＝観測特徴量）を異なる設定とするように調整し、この対応関係データを予め取得して、物体形状計測装置１００の記憶部１０３に参照テーブルとして格納しておく。
【０１１７】
物体形状算出部１３２は、実際の透明物体の形状計測時に得られる受光信号と、参照テーブルとを照合して、測定された受光信号に一致する参照テーブルの登録受光信号（＝観測特徴量）のエントリを選択して、その選択エントリに基づいて、光源の組み合わせデータを取得して、光源を特定する。
【０１１８】
物体形状算出部１３２による形状算出結果は、出力部１０４に出力される。また、必要に応じて記憶部１０３に格納される。
【０１１９】
物体厚み算出部１３３は、物体形状算出部１３２の算出した結果を利用して、検出領域１５０内の透明物体１７０の厚みを算出する。
この厚み算出は、先に、図７、図８を参照して説明した処理に従って実行する。
【０１２０】
先に説明したように、この厚み算出に適用するパラメータは、
透明物体１０の受光センサ３０側の裏面の面法線の天頂角θ２、
受光センサ３０の透明物体１０の反対側の光学中心Ｏ，５０に対する透明物体１０の通過光の入射角度θ、
光学中心Ｏ，５０と、第１光源（Ｌ１）２１との距離ｄ、
光学中心Ｏ，５０と、透明物体１０の裏面との距離ｄ３、
受光センサ３０中心から伸ばした垂線と、光源と光学中心Ｏ，５０の接続線との角度θ０、
これらのパラメータである。
これらは記憶部１０３に格納されている。
なお、距離ｄ，ｄ３は、透明物体の厚み方向に平行な方向の距離である。
【０１２１】
なお、これらのパラメータ中、透明物体の受光センサ側の裏面の面法線の天頂角θ２は、物体形状算出部１３２における面形状計測処理によって算出された値を利用する。その他のパラメータについては予め測定して記憶部１０３に格納されデータを取得して利用する。
【０１２２】
次に、投光部１１０と、受光部１２０の具体的な構成例について説明する。
前述したように、投光部１１０は、先に図１〜図５を参照して説明したようにＮ個の光源から構成され、各光源が異なる時間変化の偏光を出力する。
また、受光部１２０は、投光部１１０から出力される偏光に基づく透明物体１７０の通過光である偏光を観測する構成を有している。
【０１２３】
以下、具体的な投光部１１０と受光部１２０の複数の構成例について説明する。
図１１は、投光部１１０の一構成例を示す図である。
図１１に示すように投光部１１０は、光出力部１１１と、偏光制御部１１２を有する。
図１１（１）には、偏光制御部１１２の具体的構成例を示している。
図１１（１）には、先に図２を参照して説明した光源２０と同様、複数Ｎ個の光源を示している。
これらの各光源は、様々な異なる位相を持つ偏光を出力する。
【０１２４】
具体例を図１２に示す。
図１２は、偏光制御部１１２の制御対象の２つの光源の偏光制御例を示している。
この図は、先に図４を参照して説明した例と同様の図である。
【０１２５】
（１）第１光源（Ｌ１）偏光制御シーケンスは、４種類の偏光方向（４５°、０°、１３５°、９０°）の制御において、
偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ１とする。
すなわち、図に示す例では、
偏光方向が４５°から０°まで変化する時間がΔφ１、
偏光方向が０°から１３５°まで変化する時間もΔφ１、
偏光方向が１３５°から９０°まで変化する時間もΔφ１、
である。
【０１２６】
一方、（２）第２光源（Ｌ２）偏光制御シーケンスでは、４種類の偏光方向（４５°、０°、１３５°、９０°）の制御において、
偏光方向が４５°変化する時間間隔をΔφ２（≠Δφ１）とする。
すなわち、図に示す例では、
偏光方向が４５°から０°まで変化する時間がΔφ２、
偏光方向が０°から１３５°まで変化する時間もΔφ２、
偏光方向が１３５°から９０°まで変化する時間もΔφ２、
である。
【０１２７】
このように、各光源の偏光状態の変化時間を異ならせる設定で偏光制御を行うことで、複数の光源からの偏光が、受光センサ３０の１つの受光素子に入力した場合でも、その受光信号を解析することで、受光信号に含まれる光の光源を特定することができる。
【０１２８】
次に、図１３を参照して、受光部１２０の構成例について説明する。
受光部１２０は、上述した投光部１１０から出力される複数の異なる光源からの偏光を、透明物体を介して受光する。
【０１２９】
受光部１２０は、例えば、図１３に示すように、複数の異なる観測偏光角（θ）における観測輝度Ｉ（θ）を観測値として取得する構成を有する。
図１３は、受光部１２０の一構成例を示す図である。
図１３に示すように受光部１２０は、偏光板１２１と、受光センサ１２２を有する。
図１３（１）には、偏光板１２１の具体的構成例を示している。
図１３（１）に示すように、受光部１２０の偏光板１２１は、４種類の偏光方向（偏光角）を持つ４種類の偏光板の組み合わせによって構成されている。
これは、４方向の偏光を同時に取得できる偏光センサである。
【０１３０】
具体的には、（０°、４５°、９０°、１３５°）、これらの４種類の偏光方向を持つ偏光板を組み合わせた構成である。
図１３（２）は、４つの偏光板の偏光方向（偏光角）を矢印で示している。
図に示すように、
ａ＝偏光方向０°、
ｂ＝偏光方向４５°、
ｃ＝偏光方向９０°、
ｄ＝偏光方向１３５°、
偏光板１２１は、上記４種類（ａ〜ｄ）の偏光方向を持つ偏光板を組み合わせた構成を持つ。
【０１３１】
上記４種類（ａ〜ｄ）の偏光方向を持つ偏光板を組み合わせた偏光板１２１を介した光信号は、受光センサ１２２に入力され、光信号量（光強度）に応じた電気信号に変換する光電変換処理がなされ、光強度を示す電気信号が記憶部１０３に格納され、データ処理部１３０に入力される。
このように、受光部１２０は、４つの異なる観測偏光角（θ）における観測輝度Ｉ（θ）を観測値として取得する構成を有する。
【０１３２】
受光部１２０が受光した４つの異なる観測偏光角（θ）における観測値である観測輝度Ｉ（θ）は、記憶部１０３に格納され、データ処理部１３０に入力される。
データ処理部１３０の物体形状算出部１３２は、受光センサ１２２の各受光素子に入力された光を出力した光源を特定する処理を実行し、その後、先に説明した（式１）や（式５）等を利用して物体の形状算出が行われる。
【０１３３】
［４．その他の実施例について］
次に、透明物体の形状計測を行うその他の実施例について説明する。
上述した実施例では、透明物体の形状計測処理に際して、光源各々の偏光の時間的な変化を異ならせる設定とすることで、受光センサの１つの受光素子の入力光の光源を特定する処理を行う実施例について説明した。
【０１３４】
受光センサの１つの受光素子の入力光の光源を特定する処理、上述した各光源の偏光の時間変化態様を異ならせる方法以外の方うも適用可能である。
例えば、各光源の色、明るさ、偏光方向を異ならせる。
すなわち、各光源を、異なる色、または明るさ、または偏光方向の異なる設定とする。
各光源の色、明るさ、偏光方向の少なくともいずれかを各光源固有の特徴量として設定することで、複数の光源からの光が、受光センサの１つの受光素子の入力光の光源を特定する処理を行う。
【０１３５】
図１５は、光源２０を構成する個々の光源ｉ（ｉ＝１〜Ｎ）の各々に異なる色を配色した設定である。
なお、離間した位置にある光源の色は同一としてもよい。離間した位置にある光源の光は、透明物体を通過して、同じ受光素子に入力される可能性が低いからである。
【０１３６】
図１６は、光源２０を構成する個々の光源ｉ（ｉ＝１〜Ｎ）の各々を異なる偏光方向の偏光を出力する設定とした例である。
なお、離間した位置にある光源の偏光方向は同一としてもよい。離間した位置にある光源の光は、透明物体を通過して、同じ受光素子に入力される可能性が低いからである。
【０１３７】
このように、各光源の色、明るさ、偏光方向の少なくともいずれかを各光源固有の特徴量として設定した場合、受光センサの１つの受光素子の受光信号（＝観測特徴量）と、光源の組み合わせの対応関係の例を図１７に示す。
【０１３８】
図１７に示すように、光源の組み合わせに応じて、受光センサの１つの受光素子の受光信号（＝観測特徴量）を異なる設定とするように調整し、この対応関係データを予め取得して、物体形状計測装置１００の記憶部１０３に参照テーブルとして格納しておく。
【０１３９】
実際の透明物体の形状計測時に得られる受光信号と、参照テーブルとを照合して、測定された受光信号に一致する参照テーブルの登録受光信号（＝観測特徴量）のエントリを選択して、その選択エントリに基づいて、光源の組み合わせデータを取得して、光源を特定することができる。
【０１４０】
［５．物体形状計測装置のハードウェア構成例について］
次に、図１８を参照して物体形状計測装置のハードウェア構成例について説明する。
なお、図１８に示すハードウェア構成は、上述した実施例において説明した物体形状計測装置として利用可能なハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【０１４１】
ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）３０１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）３０２、または記憶部３０８に記憶されているプログラムに従って各種の処理を実行するデータ処理部として機能する。例えば、上述した実施例において説明した処理を実行する。ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）３０３には、ＣＰＵ３０１が実行するプログラムやデータなどが記憶される。これらのＣＰＵ３０１、ＲＯＭ３０２、およびＲＡＭ３０３は、バス３０４により相互に接続されている。
【０１４２】
ＣＰＵ３０１はバス３０４を介して入出力インタフェース３０５に接続され、入出力インタフェース３０５には、各種スイッチ、キーボード、マウス、マイクロフォンなどよりなる入力部３０６、ディスプレイ、スピーカなどよりなる出力部３０７が接続されている。
ＣＰＵ３０１は、入力部３０６から入力される指令に対応して各種の処理を実行し、処理結果を例えば出力部３０７に出力する。
【０１４３】
入出力インタフェース３０５に接続されている記憶部３０８は、例えばハードディスク等からなり、ＣＰＵ３０１が実行するプログラムや各種のデータを記憶する。通信部３０９は、インターネットやローカルエリアネットワークなどのネットワークを介したデータ通信の送受信部として機能し、外部の装置と通信する。
【０１４４】
入出力インタフェース３０５に接続されているドライブ３１０は、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、あるいはメモリカード等の半導体メモリなどのリムーバブルメディア３１１を駆動し、データの記録あるいは読み取りを実行する。
【０１４５】
投光部３２１は、図９に示す物体形状計測装置の投光部１１０に相当光する。
受光部３２２は、図９に示す物体形状計測装置の受光部１２０に相当する。
【０１４６】
［６．本開示の構成のまとめ］
以上、特定の実施例を参照しながら、本開示の実施例について詳解してきた。しかしながら、本開示の要旨を逸脱しない範囲で当業者が実施例の修正や代用を成し得ることは自明である。すなわち、例示という形態で本発明を開示してきたのであり、限定的に解釈されるべきではない。本開示の要旨を判断するためには、特許請求の範囲の欄を参酌すべきである。
【０１４７】
なお、本明細書において開示した技術は、以下のような構成をとることができる。
（１）  形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記投光部は、複数の光源からの出力光を並列出力する構成であり、
前記データ処理部は、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析し、記憶部に格納された受光信号値対応の光源組み合わせ情報を利用して一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する物体形状計測装置。
【０１４８】
（２）  前記データ処理部は、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する（１）に記載の物体形状計測装置。
【０１４９】
（３）  前記投光部を構成する光源の各々は、出力光の偏光方向を時間経過に伴い変化させた偏光を出力する構成であり、
少なくとも近接する光源における偏光制御態様が異なる設定である（１）または（２）に記載の物体形状計測装置。
【０１５０】
（４）  前記投光部を構成する光源中、少なくとも近接する光源は、偏光方向の変化速度が異なる設定である（３）に記載の物体形状計測装置。
【０１５１】
（５）  前記投光部を構成する光源中、少なくとも近接する光源は、出力光の色、または明るさ、または偏光方向が異なる設定である（１）または（２）に記載の物体形状計測装置。
【０１５２】
（６）  前記データ処理部は、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出して、前記透明物体の形状を算出する物体形状算出部を有する（１）〜（５）いずれかに記載の物体形状計測装置。
【０１５３】
（７）  前記物体形状算出部は、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する（６）に記載の物体形状計測装置。
【０１５４】
（８）  前記物体形状算出部は、
前記投光部を構成する複数の光源各々の特徴量Ｉと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号Ｉ'と、
前記ミュラー行列との関係式に基づいて、
前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する（６）または（７）に記載の物体形状計測装置。
【０１５５】
（９）  前記物体形状算出部は、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを利用して、一つの受光素子に対する入力光の光源を特定した後、
前記関係式を用いて、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する（８）に記載の物体形状計測装置。
【０１５６】
（１０）  前記データ処理部は、
前記透明物体の形状を算出する物体形状算出部を有し、
さらに、前記物体形状算出部の算出したデータを利用して前記透明物体の厚みを算出する物体厚み算出部を有する（１）〜（９）いずれかに記載の物体形状計測装置。
【０１５７】
（１１）  前記物体厚み算出部は、
前記透明物体と、前記投光部を構成する光源と、前記受光センサとの位置関係データと、前記物体形状算出部の算出したデータを、算出パラメータとして利用して、前記透明物体の厚みを算出する（１０）に記載の物体形状計測装置。
【０１５８】
（１２）  物体形状計測装置において実行する光源特定方法であり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記データ処理部が、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、前記受光センサの一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行する光源特定方法。
【０１５９】
（１３）  物体形状計測装置において実行する透明物体形状算出方法であり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記データ処理部は、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出し、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出して、前記透明物体の形状を算出する物体形状算出方法。
【０１６０】
（１４）  物体形状計測装置において光源特定処理を実行させるプログラムであり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記プログラムは、前記データ処理部に、
前記受光素子の受光信号の値と、光源識別子との対応データを記録した参照テーブルを参照して、前記受光センサの一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する処理を実行させるプログラム。
【０１６１】
（１５）  物体形状計測装置において透明物体形状算出処理を実行させるプログラムであり、
前記物体形状計測装置は、
形状計測対象となる透明物体に向けて光を出力する複数の光源からなる投光部と、
前記透明物体を通過した前記投光部の出力光を受光する複数の受光素子からなる受光センサと、
前記受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、
前記プログラムは、前記データ処理部に、
前記投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出させ、
前記ミュラー行列の行列要素から、前記透明物体の表裏両面の区分領域単位の面法線の天頂角と方位角を算出させて、前記透明物体の形状を算出させるプログラム。
【０１６２】
また、明細書中において説明した一連の処理はハードウェア、またはソフトウェア、あるいは両者の複合構成によって実行することが可能である。ソフトウェアによる処理を実行する場合は、処理シーケンスを記録したプログラムを、専用のハードウェアに組み込まれたコンピュータ内のメモリにインストールして実行させるか、あるいは、各種処理が実行可能な汎用コンピュータにプログラムをインストールして実行させることが可能である。例えば、プログラムは記録媒体に予め記録しておくことができる。記録媒体からコンピュータにインストールする他、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）、インターネットといったネットワークを介してプログラムを受信し、内蔵するハードディスク等の記録媒体にインストールすることができる。
【０１６３】
なお、明細書に記載された各種の処理は、記載に従って時系列に実行されるのみならず、処理を実行する装置の処理能力あるいは必要に応じて並列的にあるいは個別に実行されてもよい。また、本明細書においてシステムとは、複数の装置の論理的集合構成であり、各構成の装置が同一筐体内にあるものには限らない。
【産業上の利用可能性】
【０１６４】
以上、説明したように、本開示の一実施例の構成によれば、透明物体の形状計測と厚み計測を行う装置、および方法が実現される。
具体的には、例えば、透明物体に向けて光を出力する投光部と、透明物体を通過した光を受光する受光センサと、受光センサの各受光素子の受光信号を解析するデータ処理部を有し、投光部は、複数の光源からの出力光を並列出力する構成であり、データ処理部は、受光センサの各受光素子の受光信号を解析し、記憶部に格納された受光信号値対応の光源組み合わせ情報を利用して一つの受光素子に対する入力光の光源を特定する。さらに、投光部の各光源から出力される偏光状態の変化を示すミュラー行列を算出して、透明物体の表裏両面の形状を算出する。
本構成により、透明物体の形状計測と厚み計測を行う装置、および方法が実現される。
【符号の説明】
【０１６５】
１０  透明物体
２０  光源
２１  第１光源（Ｌ１）
２２  第２光源（Ｌ２）
３０  受光センサ
３１  受光素子
５０  光学中心
１００  物体形状計測装置
１０１  入力部
１０２  制御部
１０３  記憶部
１０４  出力部
１１０  投光部
１１１  光出力部
１１２  偏光制御部
１２０  受光部
１２１  偏光板
１２２  受光センサ
１３０  データ処理部
１３１  受光信号記録部
１３２  物体形状算出部
１３３  物体厚み算出部
１５０  検出領域
１７０  透明物体
３０１  ＣＰＵ
３０２  ＲＯＭ
３０３  ＲＡＭ
３０４  バス
３０５  入出力インタフェース
３０６  入力部
３０７  出力部
３０８  記憶部
３０９  通信部
３１０  ドライブ
３１１  リムーバブルメディア
３２１  投光部
３２２  受光部
【図１】
2019124104.tif 000008
【図２】
2019124104.tif 000009
【図３】
2019124104.tif 000010
【図４】
2019124104.tif 000011
【図５】
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【図６】
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【図７】
2019124104.tif 000014
【図８】
2019124104.tif 000015
【図９】
2019124104.tif 000016
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2019124104.tif 000020
【図１４】
2019124104.tif 000021
【図１５】
2019124104.tif 000022
【図１６】
2019124104.tif 000023
【図１７】
2019124104.tif 000024
【図１８】
2019124104.tif 000025
【国際調査報告】
2019124104.tif 000026
2019124104.tif 000027
2019124104.tif 000028
2019124104.tif 000029