(57)【要約】【課題】特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーンをストッカエリア内と所定エリアとの間で容易に移動させる。【解決手段】クレーン用天井軌道２０と、保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品２を搬送する懸垂式クレーン３０とを備えるストッカ１０と、ストッカエリア１０Ａ外に、受け渡しポート１２及び処理装置ＬＴのロードポートＬＰに沿って設けられてストッカエリア（所定エリア）１０Ｂまで延在する天井搬送車用天井軌道４０と、受け渡しポート１２とロードポートＬＰとの間で物品２を搬送する天井搬送車５０と、連結軌道６０Ａ、６０Ｂと、を備え、クレーン用走行部３１は、連結軌道６０Ａ、６０Ｂを介して、クレーン用天井軌道２０から天井搬送車用天井軌道４０に進入してストッカエリア１０Ｂまで走行可能である。
2019003753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、前記物品を受け渡すための受け渡しポートと、前記保管部及び前記受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、前記クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、前記クレーン用走行部から下垂するマスト、及び前記マストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ前記保管部と前記受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、
前記ストッカエリアの外に設けられて、前記受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、
前記天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ前記受け渡しポートと前記ロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、
前記クレーン用天井軌道と前記天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備え、
前記クレーン用走行部は、前記クレーン用天井軌道から前記連結軌道を通って前記天井搬送車用天井軌道に進入し、前記天井搬送車用天井軌道を前記所定エリアまで走行可能であり、又は前記所定エリアから前記天井搬送車用天井軌道に進入して前記連結軌道まで走行し、前記連結軌道を通って前記クレーン用天井軌道に進入して走行可能である、搬送システム。
【請求項２】
前記クレーン用天井軌道、前記天井搬送車用天井軌道、及び前記連結軌道は、前記クレーン用走行部が走行する方向と直交する断面形状が同一又はほぼ同一である、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記クレーン用走行部と前記搬送車用走行部とは、共通の車輪及び前記車輪が取り付けられる走行部本体を備える、請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記天井搬送車は、停止状態から前記搬送車用走行部による走行を開始する際、前記物品保持部を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記クレーン用天井軌道は、前記懸垂式クレーンの前記マストが通過し、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリアの上方に設けられ、
前記天井搬送車用天井軌道は、作業者の通行が許可される作業者通路の上方に設けられ、
前記天井搬送車用天井軌道に前記懸垂式クレーンが進入する時に、前記マストが通過する前記作業者通路への作業者の進入が禁止される、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記所定エリアは、前記ストッカとは異なるストッカが配置された他のストッカエリアである、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記天井搬送車用天井軌道は、第１ベイ内周回軌道と、第２ベイ内周回軌道と、前記第１ベイ内周回軌道及び前記第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける一方の端部に連結された第１ベイ間軌道と、前記第１ベイ内周回軌道及び前記第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける他方の端部に連結された第２ベイ間軌道と、を備え、
前記ストッカにおける前記クレーン用天井軌道は、第１の前記連結軌道により前記第１ベイ間軌道に連結され、前記他のストッカにおける前記クレーン用天井軌道は、第２の前記連結軌道により前記第２のベイ間軌道に連結されている、請求項６に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記所定エリアは、メンテナンスエリアである、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記所定エリアは、前記懸垂式クレーンの初期投入部を含む、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項１０】
上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、前記物品を受け渡すための受け渡しポートと、前記保管部及び前記受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、前記クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、前記クレーン用走行部から下垂するマスト、及び前記マストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ前記保管部と前記受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、
前記ストッカエリアの外に設けられて、前記受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、
前記天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ前記受け渡しポートと前記ロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、
前記クレーン用天井軌道と前記天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備える搬送システムにおける搬送方法であって、
前記クレーン用走行部を、前記クレーン用天井軌道から前記連活軌道を通って前記天井搬送車用天井軌道に進入させ、前記天井搬送車用天井軌道を前記所定エリアまで走行させること、又は前記所定エリアから前記天井搬送車用天井軌道に進入させて前記連結軌道まで走行させ、前記連結軌道を通って前記クレーン用天井軌道に進入させて走行させること、を含む、搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システム及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場等の製造工場では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰあるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を保管するストッカが配置されている。ストッカは、複数の保管棚と受け渡しポートとの間で物品を移載するためのクレーンを備えている。このクレーンとしては、天井に配置された軌道を走行する懸垂式クレーンが知られており、物品の移載効率を向上させるために、２種類の懸垂式クレーンが共通の軌道を走行する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１６／１７８３４７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のストッカは、２種類の懸垂式クレーンが共通の軌道を走行するが、その走行範囲はストッカが配置された１つのストッカエリア内に留まっている。従って、この懸垂式クレーンを別のストッカエリアに移動させる場合、又はメンテナンスのために懸垂式クレーンをメンテナンスエリアに移動させる場合には、軌道から懸垂式クレーンを取り外して搬送する必要がある。ただし、軌道から懸垂式クレーンを取り外す作業は面倒で手間がかかり、作業者の負担が大きい。さらに、取り外した懸垂式クレーンを特別の搬送機材を用いて搬送するのでコストがかかるだけでなく、搬送に時間がかかるといった問題を有している。【０００５】
本発明は、特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーンをストッカエリア内と所定エリアとの間で容易に移動させることが可能な搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送システムは、上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、物品を受け渡すための受け渡しポートと、保管部及び受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、クレーン用走行部から下垂するマスト、及びマストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ保管部と受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、ストッカエリアの外に設けられて、受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ受け渡しポートとロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、クレーン用天井軌道と天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備え、クレーン用走行部は、クレーン用天井軌道から連結軌道を通って天井搬送車用天井軌道に進入し、天井搬送車用天井軌道を前記所定エリアまで走行可能であり、又は前記所定エリアから天井搬送車用天井軌道に進入して連結軌道まで走行し、連結軌道を通ってクレーン用天井軌道に進入して走行可能である。【０００７】
また、クレーン用天井軌道、天井搬送車用天井軌道、及び連結軌道は、クレーン用走行部が走行する方向と直交する断面形状が同一又はほぼ同一であってもよい。また、クレーン用走行部と搬送車用走行部とは、共通の車輪及び車輪が取り付けられる走行部本体を備えてもよい。また、天井搬送車は、停止状態から搬送車用走行部による走行を開始する際、物品保持部を最上位置まで上昇させた後、走行を開始してもよい。また、クレーン用天井軌道は、懸垂式クレーンのマストが通過し、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリアの上方に設けられ、天井搬送車用天井軌道は、作業者の通行が許可される作業者通路の上方に設けられ、天井搬送車用天井軌道に懸垂式クレーンが進入する時に、マストが通過する作業者通路への作業者の進入が禁止されてもよい。また、所定エリアは、上記したストッカとは異なるストッカが配置された他のストッカエリアであってもよい。【０００８】
また、天井搬送車用天井軌道は、第１ベイ内周回軌道と、第２ベイ内周回軌道と、第１ベイ内周回軌道及び第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける一方の端部に連結された第１ベイ間軌道と、第１ベイ内周回軌道及び第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける他方の端部に連結された第２ベイ間軌道と、を備え、ストッカにおけるクレーン用天井軌道は、第１の連結軌道により第１ベイ間軌道に連結され、他のストッカにおけるクレーン用天井軌道は、第２の連結軌道により第２のベイ間軌道に連結されていてもよい。また、所定エリアは、メンテナンスエリアであってもよい。また、所定エリアは、懸垂式クレーンの初期投入部を含んでもよい。【０００９】
また、本発明に係る搬送方法は、上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、物品を受け渡すための受け渡しポートと、保管部及び受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、クレーン用走行部から下垂するマスト、及びマストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ保管部と受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、ストッカエリアの外に設けられて、受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ受け渡しポートとロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、クレーン用天井軌道と天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備える搬送システムにおける搬送方法であって、クレーン用走行部を、クレーン用天井軌道から連結軌道を通って天井搬送車用天井軌道に進入させ、天井搬送車用天井軌道を所定エリアまで走行させること、又は所定エリアから天井搬送車用天井軌道に進入して連結軌道まで走行させ、連結軌道を通ってクレーン用天井軌道に進入させて走行させること、を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る搬送システム及び搬送方法によれば、通常はストッカエリア内のクレーン用天井軌道に沿って走行しつつ、ストッカエリア内で保管部と受け渡しポートとの間で物品を移載する懸垂式クレーンが、必要に応じて、連結軌道および天井搬送車用天井軌道を通ってストッカエリア外の所定エリアまで移動できる。この構成により、特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーンをストッカエリア内と所定エリアとの間で容易かつ時間をかけずに移動させることができ、軌道から懸垂式クレーンを取り外すといった面倒な作業が不要となり、さらに、取り外した懸垂式クレーンを搬送するための特別の搬送機材も不要となるのでコストの増加を抑制できる。【００１１】
また、クレーン用天井軌道、天井搬送車用天井軌道、及び連結軌道は、クレーン用走行部が走行する方向と直交する断面形状が同一又はほぼ同一である場合、これらの軌道を同一の規格とすることにより、軌道の設置を低コストで行うことができる。また、クレーン用走行部と搬送車用走行部とは、共通の車輪及び車輪が取り付けられる走行部本体を備える場合、懸垂式クレーン及び天井搬送車の走行部を同一の規格とすることで、クレーン用走行部及び搬送車用走行部を低コストで製造できる。また、天井搬送車が、停止状態から搬送車用走行部による走行を開始する際、物品保持部を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する場合、天井搬送車の走行時に、天井搬送車の一部が、天井搬送車用天井軌道の下方の障害物と接触することを防止できる。また、クレーン用天井軌道が、上記した作業者進入禁止エリアの上方に設けられ、天井搬送車用軌道が、上記した作業者通路の上方に設けられ、天井搬送車用天井軌道に懸垂式クレーンが進入する時に、マストが通過する作業者通路への作業者の進入が禁止される場合、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリア内で稼働していた懸垂式クレーンを、作業者の通行が許可される作業者通路上に設置された天井搬送車用天井軌道を介して適切に移動させることができる。【００１２】
また、所定エリアが、上記したストッカとは異なるストッカが配置された他のストッカエリアである場合、懸垂式クレーンを、ストッカエリア内と他のストッカエリア内との間で容易に移動させることができる。また、天井搬送車用天井軌道が、上記した第１ベイ内周回軌道と、第２ベイ内周回軌道と、第１ベイ間軌道と、第２ベイ間軌道と、を備え、ストッカにおけるクレーン用天井軌道が、第１の連結軌道により第１ベイ間軌道に連結され、他のストッカにおけるクレーン用天井軌道が、第２の連結軌道により第２のベイ間軌道に連結される場合、懸垂式クレーンを、第１及び第２ベイ内周回軌道並びに第１及び第２ベイ間軌道を介して、ストッカと他のストッカとの間で確実に移動させることができる。また、所定エリアが、メンテナンスエリアである場合、懸垂式クレーンを、ストッカエリア内とメンテナンスエリアとの間で容易に移動させることができる。また、所定エリアが、懸垂式クレーンの初期投入部を含む場合、懸垂式クレーンを、初期投入部から各ストッカエリア内に移動させることにより、各ストッカにおいてクレーン用天井軌道に懸垂式クレーンを取り付ける作業が不要となり、作業性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係る搬送システムの一例を示す平面図である。
【図２】図１においてストッカエリアを拡大して示す平面図である。
【図３】図１において所定エリアを拡大して示す平面図である。
【図４】懸垂式クレーンの一例を示す図である。
【図５】天井搬送車の一例を示す図である。
【図６】クレーン用走行部及び搬送車用走行部の一例を示す図である。
【図７】懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。
【図８】図７に続いて、懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。
【図９】図８に続いて、懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。
【図１０】図９に続いて、懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。
【図１１】所定エリアがメンテナンスエリアである一例を示す平面図である。
【図１２】初期投入部を含む所定エリアの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表している。
【００１５】
図１は、本実施形態に係る搬送システム１００の一例を示す平面図である。図１に示す搬送システム１００は、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設置されており、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどを収容したレチクルポッドなどの物品２を搬送する。ここでは、物品２がＦＯＵＰであるとして説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外であってもよい。また、搬送システム１００は、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、搬送システム１００が設置される設備で扱われる各種の物品でもよい。
【００１６】
搬送システム１００は、図１に示すように、ストッカ１０と、天井搬送車用天井軌道４０と、天井搬送車５０と、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂと、制御装置８０と、を有する。ストッカ１０は、ストッカエリア１０Ａ及び他のストッカエリア（所定エリア）１０Ｂ内に配置される。図２は、ストッカエリア１０Ａの一例を示す図である。図２に示すように、ストッカ１０は、保管部１１と、受け渡しポート１２と、クレーン用天井軌道２０と、懸垂式クレーン３０と、を備える。
【００１７】
保管部１１は、上下方向に複数段設けられ、かつ懸垂式クレーン３０の移動方向に沿った左右方向に並べた状態で物品２を保管する。保管部１１は、物品２を載置可能な棚部等が用いられる。物品２を載置する棚部には、物品２の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品２の溝部に入り込むことにより、棚部に対して物品２が位置決めされる。複数の保管部１１は、各ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂにおいて、３箇所に配置されるが、この構成に限定されず、保管部１１の数は任意である。受け渡しポート１２は、天井搬送車５０等との間で物品２の受け渡しを行う場所として設けられる。受け渡しポート１２は、ストッカエリア１０Ａにおいて複数設けられている。クレーン用天井軌道２０は、保管部１１及び受け渡しポート１２に沿って設けられる。クレーン用天井軌道２０は、懸垂式クレーン３０の稼働中は作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリア１０Ｆの上方に設けられる。さらに、懸垂式クレーン３０の稼働中は、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂ全体に対する作業者の進入が禁止されてもよい。
【００１８】
図３は、所定エリアの一例を示す図である。図３に示す所定エリアは、ストッカエリア１０Ａとは別に配置された他のストッカエリア１０Ｂである。図３に示すように、本実施形態において、ストッカエリア１０Ｂは、上記のストッカエリア１０Ａと同様の構成となっているが、他の構成であってもよい。ストッカエリア１０Ｂには、ストッカ１０が配置される。ストッカ１０は、ストッカエリア１０Ａと同様に、複数の保管部１１と、複数の受け渡しポート１２と、クレーン用天井軌道２０と、懸垂式クレーン３０とを備える。
【００１９】
懸垂式クレーン３０は、保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品２を搬送する。また、懸垂式クレーン３０は、保管部１１内において物品２を現在の棚部から別の棚部への移載も行う。図４は、懸垂式クレーン３０の一例を示す図である。図４に示すように、懸垂式クレーン３０は、クレーン用走行部３１と、マスト３２と、物品移載部３４と、を備える。物品移載部３４は、昇降台３３と、昇降駆動部３５と、を備える。クレーン用走行部３１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、クレーン用天井軌道２０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、クレーン用走行部３１に備えられて車輪７１ａを駆動する電動モータであってもよいし、クレーン用天井軌道２０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
【００２０】
マスト３２は、クレーン用走行部３１から下垂して上下方向に延在しており、昇降台３３を案内する。マスト３２は、中空又は中実の棒状に形成され、断面が円形状、楕円形状、長円形状、又は四角形状等の多角形状に形成される。マスト３２の下端は、床面から所定間隔を空けた状態に設定される。図４において、クレーン用走行部３１の下方に取付部３６を介して上部支持体３７が取り付けられている。マスト３２は、上部支持体３７の下面側に取り付けられており、クレーン用走行部３１から吊り下げられた状態となっている。上部支持体３７へのマスト３２の取り付けは、例えば、ボルト及びナットなどの締結部材が用いられてもよいし、溶接などが用いられてもよい。なお、マスト３２は、１本であってもよいし、例えば、クレーン用走行部３１の走行方向の前後にそれぞれ設けられてもよい。
【００２１】
昇降台３３は、上面に物品移載部３４が搭載されており、マスト３２に沿って昇降可能である。昇降台３３は、マスト３２を挟んで配置されたガイドローラー３３ａを備えており、マスト３２に沿った昇降動作を円滑に行っている。また、マスト３２の下部には下部支持体３２ａが取り付けられており、昇降台３３は、この下部支持体３２ａ上に当接する位置まで下降可能である。なお、下部支持体３２ａは、昇降台３３がマスト３２から下方に抜け落ちるのを防止している。
【００２２】
物品移載部３４は、昇降台３３に搭載され、マスト３２にガイドされて昇降する。物品移載部３４は、クレーン用走行部３１の走行方向と直交する方向に伸縮可能なアーム部３８と、アーム部３８の先端に設けられて物品２を載置可能な載置部３９と、を備えている。物品移載部３４は、物品２を受け取る際、アーム部３８を伸ばして載置部３９を物品２の下に配置させ、昇降台３３を上昇させることによって、載置部３９で物品２をすくい上げる。なお、保管部１１には、載置部３９を上下に通過可能な不図示の切り欠き部が設けられている。続いて、物品移載部３４は、載置部３９上に物品２を載置したままアーム部３８を縮めることにより、物品２を載置した載置部３９を昇降台３３の上に配置する。
【００２３】
また、物品移載部３４は、移載先へ物品２を渡す際、移載先の上方にアーム部３８を伸ばして、載置部３９を移載先の上方に配置する。続いて、昇降台３３を下降させることによって、載置部３９が上記した保管部１１の切り欠き部を通過し、その際に物品２が載置部３９から移載先へ渡される。また、物品移載部３４は、載置部３９に物品２を載置する構成に代えて、物品２のフランジ部２ａを把持する構成であってもよいし、物品２の側面を把持する構成であってもよい。
【００２４】
昇降駆動部３５は、例えば、ホイストなどが用いられ、マスト３２に沿って昇降台３３を昇降させる。昇降駆動部３５は、吊り下げ部材３５ａおよび駆動部３５ｂを備える。吊り下げ部材３５ａは、例えば、ベルトあるいはワイヤなどであり、昇降台３３は、この吊り下げ部材３５ａによって上部支持体３７から吊り下げられている。駆動部３５ｂは、上部支持体３７に設けられ、吊り下げ部材３５ａの繰り出し、巻き取りを行う。昇降台３３は、駆動部３５ｂが吊り下げ部材を繰り出すと、マスト３２に案内されて降下する。また、昇降台３３は、駆動部３５ｂが吊り下げ部材３５ａを巻き取ると、マスト３２に案内されて上昇する。駆動部３５ｂは、制御装置８０等に制御され、所定の速度で昇降台３３を降下あるいは上昇させる。また、駆動部３５ｂは、制御装置８０等に制御され、昇降台３３を目標の高さに保持する。
【００２５】
昇降駆動部３５は、上部支持体３７（クレーン用走行部３１）に設けられるが、この構成に限定されない。昇降駆動部３５は、例えば、昇降台３３に設けられてもよい。昇降台３３に昇降駆動部３５が設けられる構成としては、例えば、上部支持体３７から吊り下げたベルトあるいはワイヤなどを昇降台３３に搭載したホイストなどにより巻き上げまたは繰り出しを行って昇降台３３を昇降させてもよい。また、昇降台３３にピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックがマスト３２に形成され、電動モータ等を駆動してピニオンギアを回転させることにより昇降台３３を昇降させてもよい。
【００２６】
図１から図３に示すように、天井搬送車用天井軌道４０は、ストッカエリア１０Ａ外に配置される。天井搬送車用天井軌道４０は、処理装置ＴＬのロードポートＬＰに沿って設けられ、ストッカエリア（所定エリア）１０Ｂまで延在する。天井搬送車用天井軌道４０は、懸垂式クレーン３０の乗り入れ時を除いて天井搬送車５０の稼働中に作業者の通行が許可される作業者通路１０Ｇの上方に設けられる。また、天井搬送車用天井軌道４０は、懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１が走行可能である。この構成により、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリア１０Ｆ内で稼働していた懸垂式クレーン３０を、作業者の通行が許可される作業者通路１０Ｇ上に設置された天井搬送車用天井軌道４０を介して適切に移動させることができる。
【００２７】
天井搬送車用天井軌道４０は、第１ベイ内周回軌道４１と、第２ベイ内周回軌道４２と、第１ベイ間軌道４３と、第２ベイ間軌道４４とを備える。第１ベイ内周回軌道４１及び第２ベイ内周回軌道４２は、ストッカエリア１０Ａ及びストッカエリア１０Ｂの分だけ離間して配置され、互いに平行に並んだ状態となっている。なお、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂの外周をそれぞれ取り囲むように不図示の壁部が設けられている。この壁部により、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂの内外が区画されており、懸垂式クレーン３０の稼働時には、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂ内への作業者の進入が禁止される。なお、懸垂式クレーン３０がストッカエリア１０Ａ、１０Ｂから所定エリアに移動する際は、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂから懸垂式クレーン３０が外に出られるように、連絡軌道４１ｃ、４２ｃに対応する壁部の一部が取り外される。
【００２８】
第１ベイ内周回軌道４１は、外周り軌道４１ａ及び内回り軌道４１ｂを有する。外回り軌道４１ａは、環状に形成され、長手方向の両端において、後述の第１ベイ間軌道４３及び第２ベイ間軌道４４に接続される。外回り軌道４１ａは、平面視において、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂにおける受け渡しポート１２の側方を通過する。外回り軌道４１ａを走行する天井搬送車５０は、受け渡しポート１２に対して物品２の受け渡しが可能である。外周り軌道４１ａは、処理装置ＴＬのロードポートＬＰの直上に配置されている。内回り軌道４１ｂは、環状に形成され、外回り軌道４１ａの内側に配置される。
【００２９】
第２ベイ内周回軌道４２は、外回り軌道４２ａ及び内回り軌道４２ｂを有する。外回り軌道４２ａは、環状に形成され、長手方向の両端において、後述の第１ベイ間軌道４３及び第２ベイ間軌道４４に接続される。外回り軌道４２ａは、平面視において、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂにおける受け渡しポート１２の側方を通過する。ただし、この受け渡しポート１２は、第１ベイ内周回軌道４１の外回り軌道４１ａに対応する受け渡しポート１２と異なる受け渡しポート１２である。外回り軌道４２ａを走行する天井搬送車５０は、受け渡しポート１２に対して物品２の受け渡しが可能である。外周り軌道４２ａは、処理装置ＴＬのロードポートＬＰの直上に配置されている。内回り軌道４２ｂは、環状に形成され、外回り軌道４２ａの内側に配置される。なお、内回り軌道４１ｂ、４２ｂは、平面視において、ロードポートＬＰの直上からずれた位置に設けられている。この構成により、懸垂式クレーン３０は、後述するストッカエリア１０Ａから所定エリアへの移動時に、クレーン用走行部３１から下垂するマスト３２がロードポートＬＰと干渉することなく走行可能となっている。
【００３０】
内回り軌道４１ｂは、連絡軌道４１ｃを介して外回り軌道４１ａに接続される。また、内回り軌道４２ｂは、連絡軌道４２ｃを介して外回り軌道４２ａに接続される。なお、外周り軌道４１ａ、４２ａと内回り軌道４１ｂ、４２ｂとの間には、それぞれ外周り軌道４１ａ、４２ａ等に沿って複数のバッファＳＴが配置される。バッファＳＴは、例えば、物品２を載置可能な棚部を有しており、建屋の天井から吊り下げられた状態で設けられている。なお、バッファＳＴを配置するか否かは任意であり、バッファＳＴはなくてもよい。
【００３１】
第１ベイ間軌道４３は、第１ベイ内周回軌道４１及び第２ベイ内周回軌道４２のそれぞれにおける一方の端部に連結される。第２ベイ間軌道４４は、第１ベイ内周回軌道４１及び第２ベイ内周回軌道４２のそれぞれにおける一方の端部に連結される。第１ベイ間軌道４３及び第２ベイ間軌道４４は、それぞれ直線状の２本の軌道が並行して延びており、２本の軌道の間には複数の連絡軌道が設けられている。
【００３２】
天井搬送車５０は、天井搬送車用天井軌道４０に沿って移動し、物品２を処理装置ＴＬのロードポートＬＰと、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂの受け渡しポート１２との間で物品２の受け渡しを行う。また、天井搬送車５０は、ロードポートＬＰ及び受け渡しポート１２に加えて、天井搬送車用天井軌道４０（外周り軌道４１ａ、４２ａ等）に沿って設けられたバッファＳＴと、の間で物品２の移載を行う。処理装置ＴＬは、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、あるいはエッチング装置などであり、搬送システム１００が搬送する物品２に収容された半導体ウエハに各種処理を施す。
【００３３】
図５は、天井搬送車５０の一例を示す図である。図５に示すように、天井搬送車５０は、搬送車用走行部５１と、本体部５２とを有する。搬送車用走行部５１は、クレーン用走行部３１と同様に、不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、天井搬送車用天井軌道４０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、搬送車用走行部５１に備えられて車輪７１ａを駆動する電動モータであってもよいし、天井搬送車用天井軌道４０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
【００３４】
本体部５２は、取付部５２ａを介して搬送車用走行部５１の下部に取り付けられている。本体部５２は、物品２を吊り下げて保持する物品保持部５３と、物品保持部５３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部５４と、昇降駆動部５４を移動させる横出し機構５５とを有する。物品保持部５３は、物品２のフランジ部２ａを把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。物品保持部５３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部５３ａを有するチャックであり、爪部５３ａを物品２のフランジ部の下方に侵入させ、物品保持部５３を上昇させることで、物品２を保持する。物品保持部５３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材５３ｂと接続されている。このように、天井搬送車５０には、懸垂式クレーン３０のマスト３２のように昇降をガイドする構成は設けられない。従って、物品保持部５３は、本体部５２に対して揺動可能な状態となっている。
【００３５】
昇降駆動部５４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材５３ｂを繰り出すことにより物品保持部５３を降下させ、吊り下げ部材５３ｂを巻き取ることにより物品保持部５３を上昇させる。昇降駆動部５４は、制御装置８０等に制御され、所定の速度で物品保持部５３を降下あるいは上昇させる。また、昇降駆動部５４は、制御装置８０等に制御され、物品保持部５３を目標の高さに保持する。天井搬送車５０は、停止状態から搬送車用走行部５１による走行を開始する際、昇降駆動部５４により物品保持部５３を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する。このため、天井搬送車５０の走行時に、天井搬送車５０の一部が、天井搬送車用天井軌道４０の下方の障害物と接触することを防止できる。
【００３６】
横出し機構５５は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、搬送車用走行部５１の走行方向の側方に移動可能である。可動板には、回動部及び昇降駆動部５４が取り付けられている。本体部５２は、横出し機構５５を案内する不図示のガイド、及び横出し機構５５を駆動する不図示の駆動部などを有する。横出し機構５５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部５４及び物品保持部５３をガイドに沿って、突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、本体部５２から側方に突出する位置である。格納位置は、本体部５２内に格納される位置である。
【００３７】
回動部は、不図示の回動部材及び回動駆動部を有する。回動部材は、上下方向の軸周りに回動可能に設けられる。回動部材は、昇降駆動部５４あるいは物品保持部５３に接続される。回動駆動部は、電動モータ等が用いられ、回動部材を上下方向の軸周りに回動させる。回動部は、回動駆動部からの駆動力によって回動軸を回動し、昇降駆動部５４あるいは物品保持部５３を上下方向の軸周りに回動可能である。この回動部によって物品保持部５３で保持する物品２の向きを変えることができる。なお、天井搬送車５０は回動部を備えなくてもよい。
【００３８】
図６は、クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１の一例を示す図である。クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１は、例えば、共通の（同一又はほぼ同一の）構成が採用されている。また、クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０は、走行方向に直交する平面による断面が同一又はほぼ同一であり、クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１のいずれも走行可能となっている。このように、クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１が共通の構成であるため、クレーン用走行部３１と搬送車用走行部５１とを別の構成で製造する必要がなく、懸垂式クレーン３０及び天井搬送車５０の製造コストを低減できる。なお、クレーン用走行部３１は、１台の懸垂式クレーン３０で複数台（例えば２台）を用いてもよい。この構成により、重量物である載置部３９及び物品２などを、マスト３２を介して適切に保持することができる。
【００３９】
クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１は、共通の車輪７１ａ及び車輪７１ａが取り付けられる走行部本体７１ｂを備えている。複数の車輪７１ａは、それぞれクレーン用天井軌道２０又は天井搬送車用天井軌道４０の下方の内面に当接する。複数の車輪７１ａが取り付けられる走行部本体７１ｂは、車輪７１ａ駆動するための走行駆動部、又は各種センサを備えている。クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０は給電部７０を備えている。給電部７０は、給電レール７５と、給電レール７５に設けられた非接触給電線７６とを有している。給電部７０は、クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０の下方に配置され、クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０に沿って連続的に又は断続的に設けられている。また、懸垂式クレーン３０の取付部３６及び天井搬送車５０の取付部５２ａには、受電部７３が設けられている。受電部７３は、非接触給電線７６を介して受電し、走行部本体７１ｂなどに電力を供給する。
【００４０】
図１に示すように、制御装置８０は、搬送システム１００を統括して制御する。制御装置８０は、無線又は有線による通信により懸垂式クレーン３０及び天井搬送車５０の動作を制御する。なお、制御装置８０は、懸垂式クレーン３０を制御する制御装置と、天井搬送車５０を制御する制御装置に分割されてもよい。また、懸垂式クレーン３０用の制御装置は、ストッカエリア１０Ａごとに分割されて配置されてもよいし、複数のストッカエリア１０Ａ、１０Ｂをまとめて制御してもよい。また、天井搬送車５０を制御する制御装置は、所定エリア内を走行する複数の天井搬送車５０を制御してもよい。
【００４１】
図１から図３に示すように、第１の連結軌道６０Ａは、ストッカエリア１０Ａのクレーン用天井軌道２０と、天井搬送車用天井軌道４０の第１ベイ間軌道４３とを連結する。また、第２の連結軌道６０Ｂは、ストッカエリア１０Ｂのクレーン用天井軌道２０と、天井搬送車用天井軌道４０の第２ベイ間軌道４４とを連結する。第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂは、クレーン用走行部３１が走行可能である。懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１は、第１の連結軌道６０Ａを介して、クレーン用天井軌道２０から天井搬送車用天井軌道４０に進入して、他のストッカエリア１０Ｂまで走行可能である。また、クレーン用走行部３１は、第２の連結軌道６０Ｂを介して、天井搬送車用天井軌道４０からクレーン用天井軌道２０に進入して走行可能である。
【００４２】
第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂは、搬送車用走行部５１が走行可能であってもよい。なお、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂは、クレーン用走行部３１の走行方向に直交する平面による断面がクレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０と同一又はほぼ同一である（図６参照）。従って、クレーン用走行部３１又は搬送車用走行部５１は、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂを支障なく走行可能である。このように、これらの軌道を同一の断面形状とすることにより、軌道の規格化を実現でき、軌道の設置を低コストで行うことができる。
【００４３】
上記した搬送システム１００において、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ａ又はストッカエリア１０Ｂ内において、クレーン用天井軌道２０に沿って走行し、保管部１１と、受け渡しポート１２との間で物品２を搬送する。例えば、懸垂式クレーン３０は、保管部１１に保管された物品２を物品移載部３４（図４参照）によって受け取り、クレーン用天井軌道２０に沿って受け渡しポート１２まで走行し、物品２を受け渡しポート１２に載置することができる。また、天井搬送車５０により受け渡しポート１２に物品２が載置された場合、懸垂式クレーン３０は、クレーン用天井軌道２０に沿って受け渡しポート１２まで走行し、物品移載部３４によって物品２を受け取った後、クレーン用天井軌道２０に沿って移載先の保管部１１まで走行し、物品移載部３４によって物品２を保管部１１に載置することができる。
【００４４】
また、搬送システム１００において、天井搬送車５０は、懸垂式クレーン３０によって受け渡しポート１２に物品２が載置された場合、天井搬送車用天井軌道４０に沿ってストッカエリア１０Ａの受け渡しポート１２まで走行する。その後、物品２を物品保持部５３（図５参照）で保持し、天井搬送車用天井軌道４０を走行することにより、他のストッカエリア１０Ｂの受け渡しポート１２、処理装置ＬＴのロードポートＬＰ、又はバッファＳＴまで物品２を搬送し、それぞれに対して物品２を載置することができる。また、天井搬送車５０は、他のストッカエリア１０Ｂの受け渡しポート１２、処理装置ＬＴのロードポートＬＰ、又はバッファＳＴから物品２を受け取った場合、天井搬送車用天井軌道４０に沿ってストッカエリア１０Ａの受け渡しポート１２まで走行し、受け渡しポート１２に物品２を載置することができる。
【００４５】
天井搬送車５０が第１ベイ内周回軌道４１を走行する場合、外回り軌道４１ａに位置する天井搬送車５０が、受け渡しポート１２に対する物品２の受け渡しを行うことができる。天井搬送車５０は、受け渡しポート１２に対する物品２の受け渡しにおいて、横出し機構５５により昇降駆動部５４を外回り軌道４１ａの側方に突出させた状態で物品保持部５３を昇降させる（図５参照）。また、外回り軌道４１ａに位置する天井搬送車５０が、処理装置ＬＴのロードポートＬＰに対する物品２の受け渡しを行うことができる。天井搬送車５０は、ロードポートＬＰに対する物品２の受け渡しにおいて、横出し機構５５を駆動せず又はほぼ駆動せずに物品保持部５３を昇降させる（図５参照）。
【００４６】
また、外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂに位置する天井搬送車５０が、バッファＳＴに対する物品２の受け渡しを行うことができる。天井搬送車５０は、バッファＳＴに対する物品２の受け渡しにおいて、横出し機構５５により昇降駆動部５４を外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂ軌道の側方に突出させた状態で物品保持部５３を昇降させる。バッファＳＴに対する物品２の受け渡しは、外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂのいずれからも可能であり、天井搬送車５０は、横出し機構５５による突出方向を変えることにより対応可能である（図５参照）。なお、バッファＳＴに対する物品２の受け渡しを、外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂのいずれかに限定してもよい。
【００４７】
図７から図１０は、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａから所定エリアであるストッカエリア１０Ｂに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。本実施形態において、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａから他のストッカエリア（所定エリア）１０Ｂに移動させる場合、クレーン用天井軌道２０から懸垂式クレーン３０を取り外す必要がなく、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂ及び天井搬送車用天井軌道４０に沿って移動させることができる。この場合、懸垂式クレーン３０を作業者等による手動で移動させてもよいし、制御装置８０（図１参照）により自動で移動させてもよい。
【００４８】
図７に示すように、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ａ内のクレーン用天井軌道２０に存在している。先ず、懸垂式クレーン３０を、クレーン用天井軌道２０から第１の連結軌道６０Ａを介して第１ベイ間軌道４３に移動させる（図７の矢印参照）。この移動により、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ａ内からストッカエリア１０Ａ外に移動する。なお、懸垂式クレーン３０が天井搬送車用天井軌道４０を走行して他のエリアまで移動する際、懸垂式クレーン３０の移動経路から、マスト３２（図４参照）と干渉する機材等は退避させられる。また、クレーン用天井軌道２０及び第１の連結軌道６０Ａは、上記したように、それぞれ断面形状が同一であるため、懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１がクレーン用天井軌道２０から第１の連結軌道６０Ａに支障なく進入可能である。
【００４９】
次に、図８に示すように、懸垂式クレーン３０を、第１ベイ間軌道４３から第１ベイ内周回軌道４１の外回り軌道４１ａに移動させ、連絡軌道４１ｃを介して内回り軌道４１ｂに移動させる（図８の矢印参照）。外回り軌道４１ａは、処理装置ＴＬのロードポートＬＰの直上に配置されているため、懸垂式クレーン３０がそのまま外回り軌道４１ａを走行すると、マスト３２がロードポートＬＰに接触する可能性がある。そのため、懸垂式クレーン３０は、外回り軌道４１ａから内回り軌道４１ｂに移って移動する。その後、懸垂式クレーン３０を、内回り軌道４１ｂに沿ってストッカエリア１０Ｂに向けて移動させる。
【００５０】
クレーン用走行部３１が内回り軌道４１ｂ（天井搬送車用天井軌道４０）を走行する場合、懸垂式クレーン３０のマスト３２が作業者通路１０Ｇ上を通過することになる。このとき、作業者通路１０Ｇへの作業者等の進入が禁止され、作業者等が作業者通路１０Ｇに立ち入らないように、懸垂式クレーン３０あるいは作業者通路１０Ｇの近傍に設置されたスピーカから警報等を発してもよいし、作業者通路１０Ｇの近傍に設置されたランプ等を点灯又は点滅させてもよい。
【００５１】
次に、図９に示すように、懸垂式クレーン３０を、内回り軌道４１ｂの端部側まで移動させ、内回り軌道４１ｂから連絡軌道４１ｃを介して外回り軌道４１ａに移動させる。続いて、懸垂式クレーン３０を、外回り軌道４１ａから第２ベイ間軌道４４に移動させ、第２ベイ間軌道４４をストッカエリア１０Ｂ側に移動させる（図９の矢印参照）。
【００５２】
次に、図１０に示すように、懸垂式クレーン３０を第２ベイ間軌道４４に沿って第２の連結軌道６０Ｂまで移動させ、第２の連結軌道６０Ｂを介してストッカエリア１０Ｂ内のクレーン用天井軌道２０に移動させる（図９の矢印参照）。第２ベイ間軌道４４、第２の連結軌道６０Ｂ及びクレーン用天井軌道２０は、それぞれ断面形状が同一であるため、懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１が第２ベイ間軌道４４から第２の連結軌道６０Ｂを介してクレーン用天井軌道２０に支障なく進入可能である。
【００５３】
懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ｂに設置されているストッカ１０の一部を構成し、ストッカエリア１０Ｂ内の保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品２の受け渡しを行うことができる。なお、懸垂式クレーン３０の移動において、現在の軌道から次の軌道に乗り移る際、又は曲線状に移動する際には移動速度を遅くして、下垂するマスト３２が振動又は遠心力等により外側に振れるのを防止してもよい。
【００５４】
また、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ｂからストッカエリア１０Ａに移動する場合、上記と同様に、先ず、ストッカエリア１０Ｂ内のクレーン用天井軌道２０Ｃから第２の連結軌道６０Ｂを介して第２ベイ間軌道４４に移動する。続いて、懸垂式クレーン３０は、第２ベイ内周回軌道４２の外回り軌道４２ａに移動し、連絡軌道４２ｃを介して内回り軌道４２ｂに移動する。続いて、懸垂式クレーン３０は、第１ベイ間軌道４３側の連絡軌道４２ｃから外回り軌道４２ａに移動し、外回り軌道４２ａから第１ベイ間軌道４３に移動し、第１ベイ間軌道４３から第１の連結軌道６０Ａを介してストッカエリア１０Ａ内のクレーン用天井軌道２０に移動する。
【００５５】
以上のように、本実施形態に係る搬送システム１００によれば、通常はストッカエリア１０Ａ内のクレーン用天井軌道２０に沿って走行しつつ、ストッカエリア１０Ａ内で保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品を移載する懸垂式クレーン３０が、必要に応じて、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂおよび天井搬送車用天井軌道４０を介してストッカエリア１０Ａ外の所定エリア（ストッカエリア１０Ｂ）まで移動できる。この構成により、特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａ内と所定エリア（ストッカエリア１０Ｂ）との間で容易かつ時間をかけずに移動させることができる。その結果、軌道から懸垂式クレーン３０を取り外すといった面倒な作業が不要となり、さらに、取り外した懸垂式クレーン３０を搬送するための特別の搬送機材も不要となるのでコストの増加を抑制できる。
【００５６】
上記した実施形態では、所定エリアが他のストッカエリア１０Ｂである場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。図１１及び図１２は、所定エリアの他の例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図１１に示すように、所定エリアは、メンテナンスエリア１０Ｃであってもよい。メンテナンスエリア１０Ｃは、クレーン用天井軌道２０Ｃと、複数のメンテナンス装置ＭＮとを有している。複数のメンテナンス装置ＭＮは、クレーン用天井軌道２０Ｃに沿って配置される。
【００５７】
この構成では、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａからメンテナンスエリア１０Ｃに移動させる場合、上記した実施形態と同様に、懸垂式クレーン３０を、ストッカエリア１０Ａから第１ベイ間軌道４３、第１ベイ内周回軌道４１、及び第２ベイ間軌道４４に沿って移動させ、メンテナンスエリア１０Ｃ側の第２の連結軌道６０Ｂを介してクレーン用天井軌道２０Ｃに移動させる。メンテナンスエリア１０Ｃでは、懸垂式クレーン３０をクレーン用天井軌道２０Ｃに保持させたままでメンテナンスを行ってもよいし、クレーン用天井軌道２０Ｃから懸垂式クレーン３０を取り外してメンテナンスを行ってもよい。また、懸垂式クレーン３０をメンテナンス装置ＭＮによりメンテナンスを行ってもよいし、他の器具等によりメンテナンスを行ってもよい。メンテナンス装置ＭＮによってメンテナンスを行う場合、例えば、制御装置８０によって自動で行ってもよい。
【００５８】
懸垂式クレーン３０をメンテナンスエリア１０Ｃからストッカエリア１０Ａに移動させる場合は、上記した実施形態と同様に、懸垂式クレーン３０を、クレーン用天井軌道２０Ｃ、第２の連結軌道６０Ｂ、及び第２ベイ間軌道４４に沿って移動させ、第２ベイ内周回軌道４２側からストッカエリア１０Ａに移動させる。このように、懸垂式クレーン３０を、ストッカエリア１０Ａ内とメンテナンスエリア１０Ｃとの間で容易に移動させることができ、メンテナンスの際に懸垂式クレーン３０をクレーン用天井軌道２０から取り外して搬送するといった面倒かつコストがかかる作業を回避できる。
【００５９】
また、図１２に示すように、所定エリア１０Ｄは、懸垂式クレーン３０の初期投入部９０と、複数の懸垂式クレーン３０を保管するクレーン保管部９１とを有してもよい。なお、所定エリア１０Ｄには、メンテナンス装置ＭＮが配置されているが、メンテナンス装置ＭＮに代えて、保管部１１が配置されてもよいし、クレーン保管部９１が配置されてもよい。クレーン保管部９１は、使用可能な複数の懸垂式クレーン３０を待機させる。所定エリア１０Ｄは、メンテナンスが終了した懸垂式クレーン３０を保管してもよい。
【００６０】
初期投入部９０は、所定エリア１０Ｄに設置されたクレーン用天井軌道２０Ｄの端部に設けられ、例えば、リフター等によって懸垂式クレーン３０を保持して持ち上げ、クレーン用走行部３１をクレーン用天井軌道２０Ｄに進入させることにより懸垂式クレーン３０をクレーン用天井軌道２０Ｄに投入する。クレーン用天井軌道２０Ｃに投入された懸垂式クレーン３０は、クレーン用天井軌道２０Ｃから第２の連結軌道６０Ｂを介して第２ベイ間軌道４４に沿って移動し、上記した実施形態と同様に、第２ベイ内周回軌道４２側からストッカエリア１０Ａに移動することで、ストッカエリア１０Ａにおいて用いることができる。
【００６１】
このように、所定エリア１０Ｄが、懸垂式クレーン３０の初期投入部９０を含む場合、懸垂式クレーン３０を、初期投入部９０から各ストッカエリア１０Ａ内に移動させることにより、各ストッカ１０においてクレーン用天井軌道２０に懸垂式クレーン３０を取り付けるといった作業が不要となり、利便性を向上できる。
【００６２】
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、ストッカエリア１０Ａから所定エリア（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第１ベイ内周回軌道４１を使用し、所定エリアからストッカエリア１０Ａに懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第２ベイ内周回軌道４２を使用しているが、この構成に限定されない。例えば、ストッカエリア１０Ａから所定エリア（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第２ベイ内周回軌道４２を使用し、所定エリアからストッカエリア１０Ａに懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第１ベイ内周回軌道４１を使用してもよい。また、ストッカエリア１０Ａから所定エリア（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に懸垂式クレーン３０を移動させる場合と、所定エリアからストッカエリア１０Ａに懸垂式クレーン３０を移動させる場合とで、同一のベイ内周回軌道を使用してもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−１２８５６９、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００６３】
ＬＰ・・・ロードポート
ＭＮ・・・メンテナンス装置
ＳＴ・・・バッファ
ＴＬ・・・処理装置
２・・・物品
１０・・・ストッカ
１０Ａ・・・ストッカエリア
１０Ｂ・・・ストッカエリア（所定エリア）
１０Ｃ・・・メンテナンスエリア（所定エリア）
１０Ｄ・・・所定エリア
１０Ｆ・・・作業者進入禁止エリア
１０Ｇ・・・作業者通路
１１・・・保管部
１２・・・受け渡しポート
２０、２０Ｃ、２０Ｄ・・・クレーン用天井軌道
３０・・・懸垂式クレーン
３１・・・クレーン用走行部
３２・・・マスト
３３・・・昇降台
３４・・・物品移載部
３５・・・昇降駆動部
４０・・・天井搬送車用天井軌道
４１・・・第１ベイ内周回軌道
４１ａ、４２ａ・・・外回り軌道
４１ｂ、４２ｂ・・・内回り軌道
４１ｃ、４２ｃ・・・連絡軌道
４２・・・第２ベイ内周回軌道
４３・・・第１ベイ間軌道
４４・・・第２ベイ間軌道
５０・・・天井搬送車
５１・・・搬送車用走行部
５３・・・物品保持部
５４・・・昇降駆動部
６０Ａ・・・第１の連結軌道（連結軌道）
６０Ｂ・・・第２の連結軌道（連結軌道）
７１ａ・・・車輪
７１ｂ・・・走行部本体
８０・・・制御装置
９０・・・初期投入部
１００・・・搬送システム
【図１】
2019003753.tif 000003
【図２】
2019003753.tif 000004
【図３】
2019003753.tif 000005
【図４】
2019003753.tif 000006
【図５】
2019003753.tif 000007
【図６】
2019003753.tif 000008
【図７】
2019003753.tif 000009
【図８】
2019003753.tif 000010
【図９】
2019003753.tif 000011
【図１０】
2019003753.tif 000012
【図１１】
2019003753.tif 000013
【図１２】
2019003753.tif 000014
【国際調査報告】
2019003753.tif 000015
2019003753.tif 000016
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