(57)【要約】  互いに非同期に動作する複数のブロックを有する被試験デバイスを試験する試験装置において、複数のブロックのそれぞれに対応して設けられた複数のドメイン試験ユニットと、複数のドメイン試験ユニットを制御する本体ユニットとを備え、本体ユニットは、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに供給する基準動作クロックを生成する基準動作クロック生成部と複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して試験の開始を指示する試験開始信号を生成する試験開始信号生成部とを有し、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、基準動作クロックに基づいて試験クロックを生成する試験クロック生成部を有し、試験クロック生成部によって得られた試験クロックに基づいて対応する複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成し、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、試験開始信号を受け取ったことを条件として、試験信号の生成を開始する。
2010021131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から与えられる信号に基づいて、互いに非同期に動作する複数のブロックを有する被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記複数のブロックのそれぞれに対応して設けられた複数のドメイン試験ユニットと、
前記複数のドメイン試験ユニットを制御する本体ユニットと、
を備え、
前記本体ユニットは、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに供給する基準動作クロックを生成する基準動作クロック生成部と
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して前記試験の開始を指示する試験開始信号を生成する試験開始信号生成部と、
を有し、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、前記基準動作クロックに基づいて試験クロックを生成する試験クロック生成部を有し、前記試験クロック生成部によって得られた前記試験クロックに基づいて対応する前記複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成し、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、前記試験開始信号を受け取ったことを条件として、前記試験信号の生成を開始する、
試験装置。
【請求項２】
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、前記試験クロック生成部によって得られた前記試験クロックの逓倍の周波数を有する逓倍試験クロックを生成する逓倍試験クロック生成部をさらに有し、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、前記逓倍試験クロック生成部によって得られた前記逓倍試験クロックの周期で前記複数のブロックのそれぞれを試験する前記試験信号を生成する、
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
位相調整信号が入力され、発生する周期信号の位相が前記位相調整信号に基づき調整される第１の周期信号発生部と、
前記第１の周期信号発生部が発生させた前記周期信号が基準クロックとして入力され、前記周期信号の逓倍周波数の逓倍周期信号を発生させる第２の周期信号発生部と、
前記第２の周期信号発生部が発生させた前記逓倍周期信号が試験周期信号として入力され、前記試験周期信号の周期で、被試験デバイスの試験を実行する試験部と、
を有する試験ドメインを備えた試験装置。
【請求項４】
前記位相調整信号が入力され、発生する他の周期信号の位相が前記位相調整信号に基づき調整される第３の周期信号発生部と、
前記第３の周期信号発生部が発生させた前記他の周期信号が他の試験周期信号として入力され、前記他の試験周期信号の周期で、他の被試験デバイスの試験を実行する他の試験部と、
を有する他の試験ドメインをさらに備えた請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
共通の前記位相調整信号により、前記試験ドメインの前記試験周期信号と前記他の試験ドメインの前記他の試験周期信号とが同期される、
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記第１の周期信号発生部は、動作クロックの遷移タイミングで遷移する周期パルス信号と、前記周期信号の周期タイミングと前記周期パルス信号の遷移タイミングとの位相差を示す位相差データと、を前記周期信号として生成する、
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記第２の周期信号発生部の逓倍比を固定して、前記第１の周期信号発生部が発生させた前記周期信号の周期により、前記逓倍周期信号の周期を変化させる、
請求項３から請求項６までの何れか一項に記載の試験装置。
【請求項８】
被試験デバイスの複数のブロックのそれぞれに対応して設けられた複数のドメイン試験ユニットと、前記複数のドメイン試験ユニットを制御する本体ユニットとを備えた試験装置を用いて、前記被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記本体ユニットが、基準動作クロックを生成して、前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに前記基準動作クロックを供給する段階と、
前記本体ユニットが、前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して試験の開始を指示する試験開始信号を生成する段階と、
前記本体ユニットが、前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して前記試験開始信号を供給する段階と、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、前記基準動作クロックに基づいて試験クロックを生成する段階と、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、前記試験開始信号を受け取ったことを条件として、前記試験クロックに基づいて、対応する前記複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号の生成を開始する段階と、
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、前記試験信号を用いて、対応する前記複数のブロックのそれぞれを試験する段階と、
を備える、
試験方法。
【請求項９】
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、前記試験クロックの逓倍の周波数を有する逓倍試験クロックを生成する段階と
前記複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、前記逓倍試験クロックの周期で前記複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成する段階と
をさらに備える、
請求項８に記載の試験方法。
【請求項１０】
位相調整信号が入力され、発生する周期信号の位相が前記位相調整信号に基づき調整される第１の周期信号発生段階と、
前記第１の周期信号発生段階で発生した前記周期信号が基準クロックとして入力され、前記周期信号の逓倍周波数の逓倍周期信号を発生する第２の周期信号発生段階と、
前記第２の周期信号発生段階で発生した前記逓倍周期信号の周期で、被試験デバイスの試験を実行する試験段階と、
を備えた試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置および試験方法に関する。本出願は、下記の日本出願に関連し、下記の日本出願からの優先権を主張する出願である。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
特願２００８−２１１１２３    出願日  ２００８年８月１９日
【背景技術】
【０００２】
電子デバイス等の被試験デバイスを試験する試験装置は、被試験デバイスの動作周波数に応じた周波数の試験信号を被試験デバイスに供給して、被試験デバイスの出力信号と予め定められた期待値信号とを比較することで、被試験デバイスの試験を実施する。例えば、特許文献１には、予め定められた周波数の第１基準クロックに基づいて第１の試験パターンを供給する試験モジュールと、周波数が可変である第２基準クロックに基づいて第２の試験パターンを供給する試験モジュールと、第１基準クロックおよび第２基準クロックを生成するクロック供給部とを備えた試験装置が記載されている。【０００３】
特許文献１に記載された試験装置は、第２基準クロックと、第１基準クロックに基づいて生成され、第１の試験パターンを被試験デバイスに供給する周期を示す第１の試験レートとを同期させる第１位相同期部を有する。これにより、上記試験装置は、動作周波数の異なる複数のブロックを有する被試験デバイスについて、複数のブロックを同時に動作させて試験を実施でき、再現性のある試験を実施できる（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−３６１３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された試験装置は、被試験デバイスの規模が大きくなるにつれて、試験モジュールの数だけでなく、クロック供給部の数も増加する。また、特許文献１に記載された試験装置において、クロック供給部から供給される第２基準クロックは、複数のドメイン間で共通の基準クロックとして使用される。そこで、ドメイン数が多い場合、ドメイン間のテストレートが小さな整数比からわずかにずれる場合等には、第２基準クロックの周波数を下げることで対応している。例えば、第１のドメインの試験周期信号の周波数が２００Ｍｂｐｓであって、第２のドメインの試験周期信号の周波数が４０１Ｍｂｐｓである場合には、共通の基準信号の周波数は、１ＭＨｚという低い値に設定される。【０００５】
特許文献１に記載された試験装置において、第２基準クロックは、各ドメインに設けられたPLL回路の基準クロックとして用いられるので、第２の基準クロックが、PLL帯域の十倍程度の周波数を有しない場合には、基準周波数のスプリアスが十分にカットオフされない場合がある。その結果、PLL回路の精度が悪化する場合がある。【０００６】
そこで本発明の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および試験方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、外部から与えられる信号に基づいて、互いに非同期に動作する複数のブロックを有する被試験デバイスを試験する試験装置であって、複数のブロックのそれぞれに対応して設けられた複数のドメイン試験ユニットと、複数のドメイン試験ユニットを制御する本体ユニットとを備え、本体ユニットは、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに供給する基準動作クロックを生成する基準動作クロック生成部と複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して試験の開始を指示する試験開始信号を生成する試験開始信号生成部とを有し、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、基準動作クロックに基づいて試験クロックを生成する試験クロック生成部を有し、試験クロック生成部によって得られた試験クロックに基づいて対応する複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成し、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、試験開始信号を受け取ったことを条件として、試験信号の生成を開始する試験装置が提供される。【０００８】
上記試験装置において、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、試験クロック生成部によって得られた試験クロックの逓倍の周波数を有する逓倍試験クロックを生成する逓倍試験クロック生成部をさらに有してよく、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれは、逓倍試験クロック生成部によって得られた逓倍試験クロックの周期で複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成してよい。【０００９】
本発明の第２の態様においては、被試験デバイスの複数のブロックのそれぞれに対応して設けられた複数のドメイン試験ユニットと、複数のドメイン試験ユニットを制御する本体ユニットとを備えた試験装置を用いて、被試験デバイスを試験する試験方法であって、本体ユニットが、基準動作クロックを生成して、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに基準動作クロックを供給する段階と、本体ユニットが、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して試験の開始を指示する試験開始信号を生成する段階と、本体ユニットが、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに対して試験開始信号を供給する段階と、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、基準動作クロックに基づいて試験クロックを生成する段階と、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、試験開始信号を受け取ったことを条件として、試験クロックに基づいて、対応する複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号の生成を開始する段階と、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、試験信号を用いて、対応する複数のブロックのそれぞれを試験する段階とを備える試験方法が提供される。【００１０】
上記試験方法は、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、試験クロックの逓倍の周波数を有する逓倍試験クロックを生成する段階と複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、逓倍試験クロックの周期で複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成する段階とをさらに備えてよい。【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の第３の態様においては、位相調整信号が入力され、発生する周期信号の位相が位相調整信号に基づき調整される第１の周期信号発生部と、第１の周期信号発生部が発生させた周期信号が基準クロックとして入力され、周期信号の逓倍周波数の逓倍周期信号を発生させる第２の周期信号発生部と、第２の周期信号発生部が発生させた逓倍周期信号が試験周期信号として入力され、試験周期信号の周期で、被試験デバイスの試験を実行する試験部とを有する試験ドメインを備えた試験装置が提供される。【００１２】
上記試験装置は、位相調整信号が入力され、発生する他の周期信号の位相が位相調整信号に基づき調整される第３の周期信号発生部と、第３の周期信号発生部が発生させた他の周期信号が他の試験周期信号として入力され、他の試験周期信号の周期で、他の被試験デバイスの試験を実行する他の試験部とを有する他の試験ドメインをさらに備えてよい。上記試験装置は、共通の位相調整信号により、試験ドメインの試験周期信号と他の試験ドメインの他の試験周期信号とが同期されてよい。上記試験装置において、第１の周期信号発生部は、動作クロックの遷移タイミングで遷移する周期パルス信号と、周期信号の周期タイミングと周期パルス信号の遷移タイミングとの位相差を示す位相差データと、を周期信号として生成してよい。【００１３】
上記試験装置は、第２の周期信号発生部の逓倍比を固定して、第１の周期信号発生部が発生させた周期信号の周期により、逓倍周期信号の周期を変化させてよい。【００１４】
本発明の第４の態様においては、位相調整信号が入力され、発生する周期信号の位相が位相調整信号に基づき調整される第１の周期信号発生段階と、周期信号発生段階で発生した周期信号が基準クロックとして入力され、周期信号の逓倍周波数の逓倍周期信号を発生する第２の周期信号発生段階と、第２の周期信号発生段階で発生した逓倍周期信号の周期で、被試験デバイスの試験を実行する試験段階とを備えた試験方法が提供される。【００１５】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を概略的に示す。
【図２】第１のドメイン１０４の構成の一例を概略的に示す。
【図３】第２のドメイン１０６の構成の一例を概略的に示す。
【図４】第１の周期信号４０の一例を概略的に示す。
【符号の説明】
【００１７】
１０  被試験デバイス
１４  被試験ブロック
１６  被試験ブロック 
４０  第１の周期信号 
４２  動作クロック 
４４  周期パルス信号 
４６  位相差データ 
４８  波形  
１００  試験装置 
１０２  本体 
１０４  第１のドメイン 
１０６  第２のドメイン 
１２２  動作クロック生成部
１２４  位相調整信号生成部
２１０  第１の周期信号発生部 
２１４  周期信号波形整形部 
２２０  第２の周期信号発生部 
２３０  試験部 
２３２  パターン発生部 
２３４  波形整形部 
２３６  論理比較部 
３１０  第３の周期信号発生部 
３３０  試験部
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を概略的に示す。試験装置１００は、被試験デバイス１０を試験する。被試験デバイス１０は、被試験ブロック１４および被試験ブロック１６を備える。被試験ブロック１４および被試験ブロック１６は、被試験デバイス１０における、動作周波数の異なる複数のブロックであってよい。例えば、被試験デバイス１０が動作周波数の異なる中央処理装置とメモリ制御装置とを備える場合、被試験ブロック１４は中央処理装置であってよく、被試験ブロック１６は、メモリ制御装置であってよい。【００２０】
本実施形態において、被試験デバイス１０が動作周波数の異なる複数のブロックを有する場合について説明したが、被試験デバイス１０は、これに限定されない。例えば、被試験デバイス１０は、１の半導体チップであってよい。【００２１】
試験装置１００は、本体１０２と、第１のドメイン１０４と、第２のドメイン１０６とを備える。第１のドメイン１０４は、試験ドメインの一例であってよい。第２のドメイン１０６は、他の試験ドメインの一例であってよい。第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６は、ドメイン試験ユニットの一例であってよい。本実施形態において、試験装置１００は、複数の第１のドメイン１０４と、複数の第２のドメイン１０６とを備える。【００２２】
試験装置１００は、外部から与えられる信号に基づいて、互いに非同期に動作する複数のブロックを有する被試験デバイスを試験してよい。例えば、被試験ブロック１４および被試験ブロック１６が互いに非同期に動作する場合、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６は、被試験ブロック１４および被試験ブロック１６のそれぞれに対応して設けられる。【００２３】
本体１０２は、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６を制御してよい。本体１０２は、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６のそれぞれに供給する動作クロックを生成する動作クロック生成部１２２を有してよい。動作クロックは、試験装置１００の動作の基準となるクロックであってよい。動作クロックは、基準動作クロックの一例であってよい。【００２４】
本体１０２は、位相調整信号ＰＣｓｉｇを生成して、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６に供給する。位相調整信号ＰＣｓｉｇは、第１のドメイン１０４と第２のドメイン１０６との位相を調整する。【００２５】
位相調整信号ＰＣｓｉｇは、例えば、第１のドメイン１０４と第２のドメイン１０６との間で、試験を開始するタイミングを合わせる目的で供給される。下記の第１の試験周期信号および第２の試験周期信号は、共通の位相調整信号ＰＣｓｉｇにより、同期されてよい。これにより、第１のドメイン１０４と第２のドメイン１０６との間における位相の同期管理が容易になる。本体１０２は、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６から供給された試験結果を格納してよい。【００２６】
位相調整信号ＰＣｓｉｇは、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６のそれぞれに対して試験の開始を指示する試験開始信号の一例であってよい。本体１０２は、位相調整信号ＰＣｓｉｇを生成する位相調整信号生成部１２４を有してよい。位相調整信号生成部１２４は、試験開始信号生成部の一例であってよい。本体１０２は、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６のそれぞれに対して、試験開始信号を供給してよい。本体１０２は、一旦停止していた試験を再開する場合に、第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６のそれぞれに対して試験の開始を指示すべく、位相調整信号ＰＣｓｉｇを供給してもよい。本体１０２は、本体ユニットの一例であってよい。【００２７】
第１のドメイン１０４は、被試験ブロック１４を試験する。例えば、第１のドメイン１０４は、第１の試験信号を被試験ブロック１４に供給して、被試験ブロック１４からの出力信号と予め定められた第１の期待値信号とを比較することで、被試験ブロック１４の試験を実施する。第１の試験信号は、被試験ブロック１４の動作周波数に応じた周波数を有してよい。第１のドメイン１０４は、第１の試験信号の周期を規定する第１の試験周期信号を内部で発生させてよい。第１のドメイン１０４は、第１の試験周期信号の周期で、被試験ブロック１４の試験を実行してよい。第１のドメイン１０４は、得られた試験結果を本体１０２に供給してよい。第１の試験周期信号は、試験クロックの一例であってよい。【００２８】
第２のドメイン１０６は、被試験ブロック１６を試験する。例えば、第２のドメイン１０６は、第２の試験信号を被試験ブロック１６に供給して、被試験ブロック１６からの出力信号と予め定められた第２の期待値信号とを比較することで、被試験ブロック１６の試験を実施する。第２の試験信号は、被試験ブロック１６の動作周波数に応じた周波数を有してよい。第２のドメイン１０６は、第２の試験信号の周期を規定する第２の試験周期信号を内部で発生させてよい。第２のドメイン１０６は、第２の試験周期信号の周期で、被試験ブロック１６の試験を実行してよい。第２のドメイン１０６は、得られた試験結果を本体１０２に供給してよい。第２の試験周期信号は、試験クロックの一例であってよい。【００２９】
図２は、第１のドメイン１０４の構成の一例を概略的に示す。第１のドメイン１０４は、第１の周期信号発生部２１０と、周期信号波形整形部２１４と、第２の周期信号発生部２２０と、試験部２３０とを有する。【００３０】
第１の周期信号発生部２１０には、本体１０２から供給された位相調整信号PCｓｉｇが入力される。第１の周期信号発生部２１０は、第１の周期信号を発生させる。第１の周期信号は、第２の周期信号発生部２２０の基準クロックの周期を規定する。第１の周期信号の位相は、位相調整信号ＰＣｓｉｇに基づき調整される。第１の周期信号は、周期信号の一例であってよい。また、第１の周期信号は、動作クロックの遷移タイミングで遷移する周期パルス信号と、第１の周期信号の周期タイミングと周期パルス信号の遷移タイミングとの位相差を示す位相差データとを含んでよい。【００３１】
第１の周期信号発生部２１０は、第１の周期信号を周期信号波形整形部２１４に供給する。以上の構成により、第１の周期信号の周波数は、第１のドメイン１０４のテストレートと第２のドメイン１０６のテストレートとの関係を考慮することなく選択できる。【００３２】
周期信号波形整形部２１４は、第１の周期信号発生部２１０から供給された第１の周期信号を、第２の周期信号発生部２２０の基準クロックに適した波形に整形する。例えば、周期信号波形整形部２１４は、第１の周期信号発生部２１０から供給された周期パルス信号および位相差データに基づき、波形を整形してよい。周期信号波形整形部２１４は、整形した波形を、第２の周期信号発生部２２０に供給する。【００３３】
第２の周期信号発生部２２０には、第１の周期信号発生部２１０が発生させた第１の周期信号が基準クロックとして入力される。第２の周期信号発生部２２０は、第１の周期信号の逓倍周波数を有する逓倍周期信号を発生させる。第２の周期信号発生部２２０は、逓倍周期信号を、試験部２３０に供給する。逓倍周期信号は、被試験ブロック１４に供給する第１の試験信号の周期を規定する。第２の周期信号発生部２２０は、例えば、ＰＬＬ回路であってよく、第１の周期信号の位相と同期して、第１の周期信号の逓倍の周波数を有する逓倍周期信号を精度よく発生させる。【００３４】
第１の周期信号および第１の周期信号に基づき生成された基準クロックは、試験クロックの一例であってよい。第１の周期信号発生部２１０は、試験クロック生成部の一例であってよい。第１の周期信号発生部２１０は、カウンタ、フリップフロップ回路などを用いて、動作クロックに基づいて、任意の波形または任意の周波数の信号を生成してよい。本実施形態において、第１の周期信号発生部２１０が発生させた第１の周期信号に基づき、周期信号波形整形部２１４が波形を整形することで、上記基準クロックを生成する場合について説明した。しかし、基準クロックの生成方法はこれに限定されない。例えば、第１の周期信号発生部２１０が波形が整形された基準クロックを出力してもよい。【００３５】
逓倍周期信号は、第１の周期信号に基づき生成された基準クロックの逓倍の周波数を有してよい。第２の周期信号発生部２２０は、逓倍試験クロック生成部の一例であってよい。また、第１の周期信号に基づき生成された基準クロックは、本体１０２から供給された動作クロックのM／N倍の周波数を有してよい。本明細書において、MおよびNは自然数を表す。MおよびNは、０を含まない。【００３６】
第１の周期信号および第２の周期信号発生部２２０の逓倍比の少なくともどちらか一方を変化させることで、逓倍周期信号の周期を調整できる。例えば、第２の周期信号発生部２２０の逓倍比を固定して、第１の周期信号発生部２１０が発生させた第１の周期信号の周期により、逓倍周期信号の周期を変化させてよい。即ち、第１の周期信号の周期を変化させることで、逓倍周期信号の周期を調整してよい。このとき、第２の周期信号発生部２２０としてＰＬＬ回路を用いた場合には、ＰＬＬ回路のＬｏｏｐ定数が一定となる。これにより、第２の周期信号発生部２２０の設計が容易になり、ハードウエアの規模を小さくできる。【００３７】
試験部２３０には、第２の周期信号発生部２２０が発生させた逓倍周期信号が、第１の試験周期信号として入力される。第１の試験周期信号は、被試験ブロック１４に供給する第１の試験信号の周期を規定する。試験部２３０は、第１の試験周期信号の周期で被試験ブロック１４の試験を実行する。【００３８】
試験部２３０は、パターン発生部２３２と、波形整形部２３４と、論理比較部２３６とを含む。パターン発生部２３２および波形整形部２３４には、第２の周期信号発生部２２０から供給された逓倍周期信号が入力される。パターン発生部２３２は、第１の試験信号に対応するパターン信号を生成して、波形整形部２３４に供給する。パターン信号は、第１の試験信号のデータパターンを規定する。パターン発生部２３２は、第１の試験信号に対応する第１の期待値信号を生成して、論理比較部２３６に供給する。【００３９】
波形整形部２３４は、パターン発生部２３２から供給されたパターン信号と、第２の周期信号発生部２２０から供給された逓倍周期信号とを、被試験ブロック１４の試験に適した波形に整形する。波形整形部２３４は、整形した波形を、被試験ブロック１４に供給する。論理比較部２３６は、被試験ブロック１４の出力信号を受け取る。論理比較部２３６は、被試験ブロック１４の出力信号と、パターン発生部２３２から供給された第１の期待値信号とを比較して、被試験ブロック１４の良否を判定する。論理比較部２３６は、試験結果を、本体１０２に供給してよい。【００４０】
図３は、第２のドメイン１０６の構成の一例を概略的に示す。第２のドメイン１０６は、第３の周期信号発生部３１０と、試験部３３０とを有する。第３の周期信号発生部３１０は、第１の周期信号発生部２１０と、ほぼ同様の構成を有する。試験部３３０は、試験部２３０と同様の構成を有して、パターン発生部２３２と、波形整形部２３４と、論理比較部２３６とを含む。そこで、第３の周期信号発生部３１０および試験部３３０については、第１の周期信号発生部２１０および試験部２３０との相違点を中心に説明して、その他については、説明を省略する場合がある。【００４１】
第３の周期信号発生部３１０には、本体１０２から供給された位相調整信号ＰＣｓｉｇが入力される。第３の周期信号発生部３１０は、第２の周期信号を発生させる。第２の周期信号は、被試験ブロック１６に供給する第２の試験信号の周期を規定する。第２の周期信号は、他の周期信号の一例であってよい。第３の周期信号発生部３１０は、第２の周期信号を、試験部３３０に供給する。第２の周期信号の位相は、位相調整信号ＰＣｓｉｇに基づき調整される。以上の構成により、試験装置１００を構成する他の構成要素への影響を抑制しつつ、第２の試験信号等の位相を調整できる。【００４２】
第２の周期信号は、試験クロックの一例であってよい。第３の周期信号発生部３１０は、試験クロック生成部の一例であってよい。【００４３】
試験部３３０には、第３の周期信号発生部３１０が発生させた第２の周期信号が、第２の試験周期信号として入力される。第２の試験周期信号は、被試験ブロック１６に供給する第２の試験信号の周期を規定する。試験部３３０は、第２の試験周期信号の周期で被試験ブロック１６の試験を実行する。試験部３３０において、パターン発生部２３２および波形整形部２３４には、第３の周期信号発生部３１０から供給された第２の周期信号が入力される。【００４４】
試験部３３０において、パターン発生部２３２は、第２の試験信号に対応するパターン信号を生成して、波形整形部２３４に供給する。パターン発生部２３２は、第２の試験信号に対応する第２の期待値信号を生成して、論理比較部２３６に供給する。【００４５】
試験部３３０において、波形整形部２３４は、パターン発生部２３２から供給されたパターン信号と、第３の周期信号発生部３１０から供給された第２の周期信号とを、被試験ブロック１６の試験に適した波形に整形する。波形整形部２３４は、整形した波形を、被試験ブロック１６に供給する。【００４６】
試験部３３０において、論理比較部２３６は、被試験ブロック１６の出力信号を受け取る。論理比較部２３６は、被試験ブロック１６の出力信号と、パターン発生部２３２から供給された第２の期待値信号とを比較して、被試験ブロック１６の良否を判定する。【００４７】
第１のドメイン１０４は、第１の周期信号発生部２１０によって得られた第１の周期信号に基づいて、対応する被試験ブロック１４を試験する第１の試験信号を生成する。第１のドメイン１０４は、第２の周期信号発生部２２０によって得られた逓倍周期信号に基づいて、対応する被試験ブロック１４を試験する第１の試験信号を生成してよい。第２のドメイン１０６は、第３の周期信号発生部３１０によって得られた第２の周期信号に基づいて、対応する被試験ブロック１６を試験する第２の試験信号を生成する。第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６のそれぞれは、位相調整信号ＰＣｓｉｇを受け取ったことを条件として、動作クロックに基づいて、第１の周期信号および第２の周期信号の生成を開始してよい。第１のドメイン１０４および第２のドメイン１０６のそれぞれは、位相調整信号ＰＣｓｉｇを受け取ったことを条件として、第１の試験信号および第２の試験信号の生成を開始してよい。【００４８】
図４は、第１の周期信号発生部２１０が発生させる第１の周期信号４０の一例を概略的に示す。図４に示すとおり、第１の周期信号４０は、動作クロック４２の遷移タイミングで遷移する周期パルス信号４４と、第１の周期信号４０の周期タイミングと周期パルス信号４４の遷移タイミングとの位相差を示す位相差データ４６とを含んでよい。即ち、第１の周期信号発生部２１０は、周期パルス信号４４と、位相差データ４６とを、第１の周期信号４０として生成してよい。動作クロック４２は、基準動作クロックの一例であってよい。【００４９】
これにより、動作クロックの周波数によらず、任意の周波数を有する第１の周期信号４０を生成できる。その結果、ドメイン間のテストレートが小さな整数比からわずかにずれる場合であっても、第１の周期信号発生部２１０は、第２の試験周期信号の周波数によらず、第１の試験周期信号の周波数と、第２の周期信号発生部２２０の逓倍比とに基づいて、第１の周期信号４０を発生させればよい。なお、第３の周期信号発生部３１０が発生させる第２の周期信号は、第１の周期信号４０と同様の構成を有してもよい。【００５０】
図４を用いて、動作クロック４２の周波数が１２５ＭＨｚであって、周波数が１００ＭＨｚの第１の周期信号４０を生成する場合を例として、周期パルス信号４４および位相差データ４６について説明する。例えば、０ｎｓの時間において、周期パルス信号４４は、動作クロック４２がＬ論理からＨ論理に遷移するタイミングで、Ｌ論理からＨ論理に遷移する。このとき、位相差データ４６は、０ｎｓを示している。これにより、周期パルス信号４４と同時に、第１の周期信号４０の周期タイミングが、Ｌ論理からＨ論理に遷移することを表すことができる。【００５１】
周期パルス信号４４は、Ｌ論理からＨ論理に遷移した後、所定の時間が経過したら、Ｈ論理からＬ論理に遷移するよう設定されてよい。例えば、本実施形態において、周期パルス信号４４は、Ｌ論理からＨ論理に遷移した後、４ｎｓの時間が経過したら、Ｈ論理からＬ論理に遷移するよう設定されている。【００５２】
次に、８ｎｓの時間において、周期パルス信号４４は、Ｌ論理からＨ論理に遷移する。このとき、位相差データ４６は、２ｎｓを示している。これにより、周期パルス信号４４がＬ論理からＨ論理に遷移した後、位相が２ｎｓ経過してから、第１の周期信号４０の周期タイミングが、Ｌ論理からＨ論理に遷移することを表すことができる。【００５３】
このようにして、周期パルス信号４４と、位相差データ４６とを含む第１の周期信号４０が生成される。第１の周期信号４０は、周期信号波形整形部２１４に供給され、第２の周期信号発生部２２０の基準クロックに適した波形４８に整形される。図４に示すとおり、波形４８は、１０ｎｓの周期を有する。【００５４】
以上の構成を採用することにより、試験装置１００は、第１の試験周期信号と第２の試験周期信号の位相を任意に調整できる。そこで、第１の試験周期信号と第２の試験周期信号とを、共通の位相調整信号ＰＣｓｉｇにより同期させることで、被試験ブロック１４と被試験ブロック１６の動作周波数が異なる場合であっても、第１のドメイン１０４と第２のドメイン１０６との間における位相の同期管理が容易になる。【００５５】
なお、本実施形態においては、試験装置１００が、複数の第１のドメイン１０４および複数の第２のドメイン１０６を備える場合について説明したが、試験装置１００の構成はこれに限定されない。例えば、試験装置１００は、第１のドメイン１０４を１つだけ備えてもよく、第１のドメイン１０４と第２のドメイン１０６とを、それぞれ、１つずつ備えてもよい。【００５６】
なお、被試験ブロック１４および被試験ブロック１６も、被試験デバイスの一例であってよい。本実施形態においては、試験装置１００が、複数の第１のドメイン１０４および複数の第２のドメイン１０６を用いて、同一の被試験デバイスの異なるブロックを試験する場合について説明した。しかし、試験装置１００はこれに限定されない。試験装置１００は、同じ種類の被試験デバイスを試験してもよいし、異なる種類の被試験デバイスを試験してもよい。また、第１のドメイン１０４と第２のドメイン１０６とが、異なる被試験デバイスの異なるブロックを試験してもよい。【００５７】
以上の記載により、以下の試験方法が開示される。即ち、位相調整信号が入力され、発生する周期信号の位相が位相調整信号に基づき調整される第１の周期信号発生段階と、周期信号発生段階で発生した周期信号が基準クロックとして入力され、周期信号の逓倍周波数の逓倍周期信号を発生する第２の周期信号発生段階と、第２の周期信号発生段階で発生した試験周期信号の周期で、被試験デバイスの試験を実行する試験段階とを備えた試験方法が開示される。【００５８】
以上の記載により、以下の試験方法が開示される。即ち、被試験デバイスの複数のブロックのそれぞれに対応して設けられた複数のドメイン試験ユニットと、複数のドメイン試験ユニットを制御する本体ユニットとを備えた試験装置を用いて、被試験デバイスを試験する試験方法であって、本体ユニットが、基準動作クロックを生成して、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれに基準動作クロックを供給する段階と、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、基準動作クロックのM／N（ただし、MおよびNは自然数を表す。）倍の周波数を有する試験クロックを生成する段階と、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、試験クロックに基づいて、対応する複数のブロックのそれぞれを試験する試験信号を生成する段階と、複数のドメイン試験ユニットのそれぞれが、試験信号を用いて、対応する複数のブロックのそれぞれを試験する段階とを備える試験方法が開示される。【００５９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。【００６０】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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