(57)【要約】  第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）の少なくとも一方に液状材料の流動可能な形状が形成されている裏面電極型太陽電池セル（８）、第１導電型用配線（１２）および第２導電型用配線（１３）の少なくとも一方に液状材料の流動可能な形状が形成されている配線シート（１０）、上記の裏面電極型太陽電池セル（８）および／または配線シート（１０）を用いた配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法である。
2010110083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）が形成された半導体基板（１）と、
前記半導体基板（１）の一方の表面側に形成され、前記第１導電型不純物拡散領域（２）および前記第２導電型不純物拡散領域（３）のそれぞれに対応する第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）を有し、
前記第１導電型用電極（６）および前記第２導電型用電極（７）の少なくとも一方は、前記半導体基板（１）から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように前記半導体基板（１）とは反対側に突出している、裏面電極型太陽電池セル（８）。
【請求項２】
請求の範囲第１項に記載の裏面電極型太陽電池セル（８）と、
絶縁性基材（１１）と前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）および第２導電型用配線（１３）を有する配線シート（１０）と、を備え、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接し、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接するように前記配線シート（１０）上に前記裏面電極型太陽電池セル（８）が設置され、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セル（８）と前記配線シート（１０）との間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂（１６）により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項３】
請求の範囲第２項に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項４】
第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）が形成された半導体基板（１）と、
前記半導体基板（１）の一方の表面側に形成され、前記第１導電型不純物拡散領域（２）および前記第２導電型不純物拡散領域（３）のそれぞれに対応する第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）を有し、
前記第１導電型用電極（６）および前記第２導電型用電極（７）の少なくとも一方は、複数の凸部と、前記凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えている、裏面電極型太陽電池セル（８）。
【請求項５】
請求の範囲第４項に記載の裏面電極型太陽電池セル（８）と、
絶縁性基材（１１）と前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）および第２導電型用配線（１３）を有する配線シート（１０）と、を備え、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接し、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接するように前記配線シート（１０）上に前記裏面電極型太陽電池セル（８）が設置され、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セル（８）と前記配線シート（１０）との間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂（１６）により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項６】
請求の範囲第５項に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項７】
絶縁性基材（１１）と、
裏面電極型太陽電池セル（８）の電極（６，７）を接続するために前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）と第２導電型用配線（１３）とを有し、
前記第１導電型用配線（１２）および前記第２導電型用配線（１３）の少なくとも一方は、前記絶縁性基材（１１）から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように前記絶縁性基材（１１）とは反対側に突出している、配線シート（１０）。
【請求項８】
請求の範囲第７項に記載の配線シート（１０）と、
第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）が形成された半導体基板（１）の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域（２）および前記第２導電型不純物拡散領域（３）のそれぞれに対応する第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）が形成された裏面電極型太陽電池セル（８）と、を備え、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接し、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接するように前記配線シート（１０）上に前記裏面電極型太陽電池セル（８）が設置され、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セル（８）と前記配線シート（１０）との間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂（１６）により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項９】
請求の範囲第８項に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項１０】
絶縁性基材（１１）と、
裏面電極型太陽電池セル（８）の電極（６，７）を接続するために前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）と第２導電型用配線（１３）とを有し、
前記第１導電型用配線（１２）および前記第２導電型用配線（１３）の少なくとも一方は、複数の凸部と、前記凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えている、配線シート（１０）。
【請求項１１】
請求の範囲第１０項に記載の配線シート（１０）と、
第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）が形成された半導体基板（１）の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域（２）および前記第２導電型不純物拡散領域（３）のそれぞれに対応する第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）が形成された裏面電極型太陽電池セル（８）と、を備え、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接し、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接するように前記配線シート（１０）上に前記裏面電極型太陽電池セル（８）が設置され、
前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セル（８）と前記配線シート（１０）との間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂（１６）により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項１２】
請求の範囲第１１項に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項１３】
第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）が形成された半導体基板（１）の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域（２）および前記第２導電型不純物拡散領域（３）のそれぞれに対応する第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）が形成された裏面電極型太陽電池セル（８）と、絶縁性基材（１１）と前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）と第２導電型用配線（１３）とを有する配線シート（１０）と、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、
前記第１導電型用配線（１２）の表面および／または前記第２導電型用配線（１３）の表面を含む前記配線シート（１０）の表面上に絶縁性樹脂（１６）を塗布する工程と、
前記配線シート（１０）上に前記裏面電極型太陽電池セル（８）を設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項１４】
請求の範囲第１３項に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１５】
第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）が形成された半導体基板（１）の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域（２）および前記第２導電型不純物拡散領域（３）のそれぞれに対応する第１導電型用電極（６）および第２導電型用電極（７）が形成された裏面電極型太陽電池セル（８）と、絶縁性基材（１１）と前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）と第２導電型用配線（１３）とを有する配線シート（１０）と、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、
前記第１導電型用電極（６）の表面および／または前記第２導電型用電極（７）の表面を含む前記裏面電極型太陽電池セル（８）の表面上に絶縁性樹脂（１６）を塗布する工程と、
前記配線シート（１０）上に前記裏面電極型太陽電池セル（８）を設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項１６】
請求の範囲第１５項に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルは次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルの種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池セルが主流となっている。【０００３】
現在、最も多く製造および販売されている太陽電池セルは、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成の両面電極型太陽電池セルである。【０００４】
また、たとえば特開２００５−３１０８３０号公報（特許文献１）には、太陽電池セルの受光面には電極を形成せず、太陽電池セルの裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池セルが開示されている。【０００５】
上記の特許文献１に開示された構成の裏面電極型太陽電池セル単体では利用できる電気エネルギが限られる。そのため、上記構成の裏面電極型太陽電池セルの複数を電気的に接続して太陽電池モジュールとする方法が検討されている。【０００６】
また、裏面電極型太陽電池セルを、配線を形成したシートに接続して、太陽電池モジュールを構成することが米国特許第５９５１７８６号公報（特許文献２）に開示されている。そして、特許文献２には、接続技術として、はんだ、抵抗溶接、銀含有導電性エポキシ、感圧性または熱硬化性の導電性樹脂で被覆した銅箔、銀含有接着剤、カーボン含有接着剤、金や他の導電性金属を含む接着剤を検討したことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３１０８３０号公報
【特許文献２】米国特許第５９５１７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来においては、裏面太陽電池セルの電極とシート状部材に形成された配線との接続についての検討が不十分であり、電極−配線間の接続の改善によるモジュール特性の向上が望まれている。【０００９】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、太陽電池モジュールの特性を向上することができる裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成され、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極を有し、第１導電型用電極および第２導電型用電極の少なくとも一方は、半導体基板から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように半導体基板とは反対側に突出している、裏面電極型太陽電池セルである。【００１１】
また、本発明は、上記の裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線および第２導電型用配線を有する配線シートと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている太陽電池モジュールである。【００１２】
また、本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成され、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極を有し、第１導電型用電極および第２導電型用電極の少なくとも一方は、複数の凸部と、凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えている、裏面電極型太陽電池セルである。【００１３】
また、本発明は、上記の裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線および第２導電型用配線を有する配線シートと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている太陽電池モジュールである。【００１４】
また、本発明は、絶縁性基材と、裏面電極型太陽電池セルの電極を接続するために絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有し、第１導電型用配線および第２導電型用配線の少なくとも一方は、絶縁性基材から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように絶縁性基材とは反対側に突出している、配線シートである。【００１５】
また、本発明は、上記の配線シートと、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュールである。【００１６】
また、本発明は、絶縁性基材と、裏面電極型太陽電池セルの電極を接続するために絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有し、第１導電型用配線および第２導電型用配線の少なくとも一方は、複数の凸部と、凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えている、配線シートである。【００１７】
また、本発明は、上記の配線シートと、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュールである。【００１８】
また、本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有する配線シートと、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、第１導電型用配線の表面および／または第２導電型用配線の表面を含む配線シートの表面上に絶縁性樹脂を塗布する工程と、配線シート上に裏面電極型太陽電池セルを設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法である。【００１９】
また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法である。【００２０】
また、本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有する配線シートと、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、第１導電型用電極の表面および／または第２導電型用電極の表面を含む裏面電極型太陽電池セルの表面上に絶縁性樹脂を塗布する工程と、配線シート上に裏面電極型太陽電池セルを設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法である。【００２１】
また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、太陽電池モジュールの特性を向上することができる裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図である。
【図２】図１に示す太陽電池モジュールのＩＩ−ＩＩ方向に沿った模式的な拡大断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｇ）は、図１および図２に示す裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図４】本発明に用いられる裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、図１および図２に示す配線シートの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図６】本発明に用いられる配線シートの表面の一例の模式的な平面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、図１および図２に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図８】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図９】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１０】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１１】図１０に示す太陽電池モジュールのＸＩ−ＸＩ方向に沿った模式的な拡大断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は、図１０および図１１に示す裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１３】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図１４】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図１５】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１６】図１５に示す太陽電池モジュールのＸＶＩ−ＸＶＩ方向に沿った模式的な拡大断面図である。
【図１７】（ａ）〜（ｃ）は、図１５に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１８】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図１９】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図２０】実施例の太陽電池モジュールのＥＬ（Electro  Luminescence）発光画像である。
【図２１】比較例の太陽電池モジュールのＥＬ発光画像である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２５】
＜実施の形態１＞
図１に、本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図を示す。図１に示す構成の太陽電池モジュールは、裏面電極型太陽電池セル８が配線シート１０上に設置された構成の配線シート付き太陽電池セルがガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止された構成となっている。
【００２６】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造などの凹凸構造が形成されており、その凹凸構造を覆うようにして反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。
【００２７】
また、裏面電極型太陽電池セル８は、半導体基板１と、半導体基板１の裏面に形成された第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３と、第１導電型不純物拡散領域２に接するようにして形成された第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に接するようにして形成された第２導電型用電極７とを含んでいる。したがって、半導体基板１の裏面側には、第１導電型不純物拡散領域２に対応する第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に対応する第２導電型用電極７とが形成されている。
【００２８】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８の裏面側の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ半導体基板１とは反対側に突出する形状となっており、第１導電型用電極６の電極幅および第２導電型用電極７の電極幅はそれぞれ半導体基板１から離れるにしたがって連続的に減少し、第１導電型用電極６の外表面および第２導電型用電極７の外表面はそれぞれ円柱の側面のように湾曲した曲面となっている。
【００２９】
このように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ上記の形状とすることによって、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状とすることができる。
【００３０】
すなわち、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のいずれにも、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状が形成されている。このような形状は、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状である。
【００３１】
なお、この例においては、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３はそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とは半導体基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。
【００３２】
また、この例においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれパッシベーション膜４に設けられた開口部を通して、半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３に沿って、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３にそれぞれ接するようにして形成されている。
【００３３】
一方、配線シート１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の表面上において所定の形状に形成された第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３とを含んでいる。
【００３４】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第１導電型用配線１２は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３５】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第２導電型用配線１３は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第２導電型用電極７と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３６】
なお、この例においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されている。
【００３７】
そして、上記の裏面電極型太陽電池セル８と上記の配線シート１０とは、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との間に設置された電気絶縁性の樹脂である絶縁性樹脂１６によって接合されている。
【００３８】
図２に、図１に示す太陽電池モジュールのＩＩ−ＩＩ方向（裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向：図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる方向）に沿った模式的な拡大断面図を示す。
【００３９】
ここで、図２に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６は、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向に沿って、配線シート１０の第１導電型用配線１２と連続して電気的に接続されている。
【００４０】
なお、図示はしていないが、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７も、図２に示す第１導電型用電極６と同様に、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７および配線シート１０の第２導電型用配線１３のそれぞれの伸長方向に沿って、配線シート１０の第２導電型用配線１３と連続して電気的に接続されている。
【００４１】
また、説明の便宜のため、図２においては、半導体基板１の受光面の凹凸構造については、凹凸の形状に図示していない。
【００４２】
以下、図３（ａ）〜図３（ｇ）の模式的断面図を参照して、図１および図２に示す裏面電極型太陽電池セル８の製造方法の一例について説明する。
【００４３】
まず、図３（ａ）に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意する。ここで、半導体基板１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型のいずれかの導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。
【００４４】
次に、図３（ｂ）に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば半導体基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。
【００４５】
ここで、スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば１００μｍ以上５００μｍ以下とすることができ、特に２００μｍ程度とすることが好ましい。
【００４６】
次に、図３（ｃ）に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、たとえば、第１導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、第２導電型不純物拡散領域３は、たとえば、第２導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。
【００４７】
ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、第１導電型不純物を含み、ｎ型またはｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第１導電型不純物としては、第１導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第１導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４８】
また、第２導電型不純物拡散領域３は、第２導電型不純物を含み、第１導電型不純物拡散領域２とは逆の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第２導電型不純物としては、第２導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第２導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４９】
なお、第１導電型はｎ型またはｐ型のいずれの導電型であってもよく、第２導電型は第１導電型と反対の導電型であればよい。すなわち、第１導電型がｎ型のときは第２導電型がｐ型となり、第１導電型がｐ型のときは第２導電型がｎ型となる。
【００５０】
また、第１導電型不純物を含むガスとしては、第１導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第１導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００５１】
また、第２導電型不純物を含むガスとしては、第２導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第２導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００５２】
次に、図３（ｄ）に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などの方法により形成することができる。
【００５３】
ここで、パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【００５４】
また、パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【００５５】
次に、図３（ｅ）に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。
【００５６】
ここで、テクスチャ構造は、たとえば、半導体基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、半導体基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。
【００５７】
また、反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００５８】
次に、図３（ｆ）に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。
【００５９】
なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。
【００６０】
次に、図３（ｇ）に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６とコンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成することによって、裏面電極型太陽電池セル８を作製する。
【００６１】
ここで、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、たとえば、スクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによって、上記のような配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成することができる。
【００６２】
たとえば、スクリーン印刷法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、電極パターンに合わせてパターニングされた開口部を有するように形成されたエマルジョンなどの乳剤を使用したスクリーンまたは薄い金属板に電極パターンに合わせてパターニングされた開口部を有するメタルスクリーンなどを使用し、ある程度の粘度を有した金属ペーストをスクリーンの開口部から半導体基板１に向かってスクリーン側からの押圧によって徐々に押し出す。このとき、半導体基板１に付着した金属ペーストは、半導体基板１からの反力により横方向に広がる方向に力を受けるため、半導体基板１側ではスクリーン開口部幅よりも幅が広くなり、半導体基板１から離れるにしたがってスクリーン開口部とほぼ同じ幅になるように傾斜を形成することが可能となる。その後、金属ペーストは、たとえば５０℃〜２００℃程度の温度で乾燥させた後に、３００℃〜８００℃程度の温度で焼成されて第１導電型用電極６および第２導電型用電極７が形成される。
【００６３】
また、真空蒸着法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、半導体基板１の裏面側において、電極のパターンにパターニングされた開口部を有するメタルマスクと半導体基板１との間に間隔を設けた状態若しくはメタルマスクの開口部の断面に傾斜を付けた状態で金属を真空蒸着することにより、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ上記の形状に形成することが可能となる。また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７がそれぞれエッチング可能な金属から形成されている場合には、たとえば、薄い酸やアルカリによる湿式エッチングによってこれらの電極の表面を短時間処理することによって、表面エネルギの高い電極のエッジ部が優先的にエッチングされて電極の先端部を丸めることが可能となる。
【００６４】
また、メッキ法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、半導体基板１の裏面にフォトリソグラフィ工程用のレジストあるいはスクリーン印刷用のレジストを電極のパターンにパターニングされた開口部を有するようにパターニングした後にレジストを熱処理することによってレジストの開口部の断面に傾斜を設け、その後半導体基板１をメッキ槽に浸漬させてレジストの開口部からメッキ層を析出させることにより、当該メッキ層からなる第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ形成することができる。
【００６５】
また、レジストをパターニングし、メッキ開始層としてのメッキシード層をＲＦスパッタ法などで上記のレジストの開口部に形成した後にレジストを除去し、メッキシード層上にメッキ層を析出させることにより当該メッキ層からなる第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することもできる。この場合には、表面エネルギが一定となるようにメッキ層が自然に半円状に析出するため、上記形状の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ形成することができる。
【００６６】
なお、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としては、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができる。
【００６７】
また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【００６８】
図４に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８の裏面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、裏面電極型太陽電池セル８の裏面においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ帯状に形成されている。そして、帯状の複数の第１導電型用電極６はそれぞれ１つの帯状の第１導電型用集電電極６０に接続されており、帯状の複数の第２導電型用電極７はそれぞれ１つの帯状の第２導電型用集電電極７０に接続されている。なお、この例においては、第１導電型用集電電極６０は、帯状の第１導電型用電極６の長手方向に垂直な方向に伸びるようにして形成されており、第２導電型用集電電極７０は、帯状の第２導電型用電極７の長手方向に垂直な方向に伸びるようにして形成されている。
【００６９】
したがって、図４に示す構成の裏面電極型太陽電池セル８の裏面においては、１つの第１導電型用集電電極６０と複数の第１導電型用電極６とによって１つの櫛形状電極が形成されており、１つの第２導電型用集電電極７０と複数の第２導電型用電極７とによって１つの櫛形状電極が形成されている。そして、当該櫛形状電極の櫛歯に相当する第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とは互いに向かい合って当該櫛歯を１本ずつ噛み合わせるようにして配置されている。そして、帯状の第１導電型用電極６が接する半導体基板１の裏面部分に１本の帯状の第１導電型不純物拡散領域２が配置されており、帯状の第２導電型用電極７が接する半導体基板１の裏面部分に１本の帯状の第２導電型不純物拡散領域３が配置されている。
【００７０】
以下、図５（ａ）〜図５（ｄ）の模式的断面図を参照して、図１および図２に示す配線シート１０の製造方法の一例について説明する。
【００７１】
まず、図５（ａ）に示すように、絶縁性基材１１の表面上に導電層４１を形成する。ここで、絶縁性基材１１としては、たとえば、ポリエステル、ポリエチレンナフタレートまたはポリイミドなどの樹脂からなる基板を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７２】
また、絶縁性基材１１の厚みは、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができ、特に２５μｍ程度とすることが好ましい。
【００７３】
また、導電層４１としては、たとえば、銅などの金属からなる層を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７４】
次に、図５（ｂ）に示すように、絶縁性基材１１の表面の導電層４１上にレジスト４２を形成する。ここで、レジスト４２は、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形成箇所以外の箇所に開口部を有する形状に形成する。レジスト４２としてはたとえば従来から公知のものを用いることができ、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって所定の位置に塗布された樹脂を硬化したものなどを用いることができる。
【００７５】
次に、図５（ｃ）に示すように、レジスト４２から露出している箇所の導電層４１を矢印４３の方向に除去することによって導電層４１のパターンニングを行ない、導電層４１の残部から第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成する。
【００７６】
ここで、導電層４１の除去は、たとえば、酸やアルカリの溶液を用いたウエットエッチングなどによって行なうことができる。
【００７７】
次に、図５（ｄ）に示すように、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面からレジスト４２をすべて除去することによって、配線シート１０が作製される。
【００７８】
図６に、上記のようにして作製した配線シート１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上において、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３はそれぞれ帯状に形成されている。また、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上には帯状の接続用配線１４が形成されており、接続用配線１４によって第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とが電気的に接続されている。なお、接続用配線１４は、たとえば、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３と同様に、導電層４１の残部から形成することができる。
【００７９】
このような構成とすることによって、配線シート１０の終端にそれぞれ位置している櫛形状の第１導電型用配線１２ａおよび櫛形状の第２導電型用配線１３ａ以外の隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とは、接続用配線１４によって電気的に接続されていることから、配線シート１０上で隣り合うようにして設置される裏面電極型太陽電池セル同士は互いに電気的に接続されることになる。したがって、配線シート１０上に設置されたすべての裏面電極型太陽電池セルは電気的に直列に接続されることになる。
【００８０】
以下、図７（ａ）〜図７（ｃ）の模式的断面図を参照して、図１および図２に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。
【００８１】
まず、図７（ａ）に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する。配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面および／または第２導電型用配線１３の表面を含む配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。ここで、絶縁性樹脂１６は、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布することができる。また、絶縁性樹脂１６としては、電気絶縁性を有する樹脂を特に限定なく用いることができ、たとえば従来から公知の熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂などを用いることができる。なお、絶縁性樹脂１６は、裏面電極型太陽電池セル８の表面上に塗布してもよい。裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面および／または第２導電型用電極７の表面を含む裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。
【００８２】
次に、図７（ｂ）に示すように、配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル８を設置する。
【００８３】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、図７（ｃ）に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が設置されるとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３上に裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が設置されるようにして、配線シート１０上に設置される。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とは接続されることになる。
【００８４】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、上述したように絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成されていることから、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの下方に位置する裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との間に位置する絶縁性樹脂１６はそれぞれ、第１導電型用電極６の先端部および第２導電型用電極７の先端部のそれぞれの外側に押しのけられる。すなわち、液状材料の状態の未硬化の絶縁性樹脂１６が第１導電型用電極６−第１導電型用配線１２間および第２導電型用電極７−第２導電型用配線１３間において流動して、第１導電型用電極６と第１導電型用配線１２とが当接するとともに、第２導電型用電極７と第２導電型用配線１３とが当接する。
【００８５】
それゆえ、第１導電型用電極６の先端部と第１導電型用配線１２とが接触して電気的な接続が確保されるとともに、第２導電型用電極７の先端部と配線シート１０の第２導電型用配線１３とも接触して電気的な接続が確保されることになる。
【００８６】
したがって、上記の構成の裏面電極型太陽電池セル８を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間に絶縁性樹脂１６が挟み込まれて、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続を図ることができないという問題の発生を低減することができるため、配線シート付き太陽電池セルおよび後述する太陽電池モジュールの特性を向上することができる。
【００８７】
その後、上記のようにして塗布された絶縁性樹脂１６を加熱および／または絶縁性樹脂１６に光照射することによって絶縁性樹脂１６を硬化させて裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを硬化した絶縁性樹脂１６によって接合する。すると、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３との間が、部分的に絶縁性樹脂１６により接合されるとともに、その接合部以外で当接することにより、電気的に接続されることになる。
【００８８】
そして、上記の絶縁性樹脂１６の硬化後の配線シート付き太陽電池セルは、たとえば図１に示すように、エチレンビニルアセテートなどの封止材１８を備えたガラス基板などの透明基板１７と、封止材１８を備えたポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間に挟み込まれ、配線シート付き太陽電池セルを構成する裏面電極型太陽電池セル８を封止材１８中に封止することによって太陽電池モジュールが作製される。なお、絶縁性樹脂１６の硬化は、配線シート付き太陽電池セルを構成する裏面電極型太陽電池セル８を封止材１８中に封止する際に行なってもよい。
【００８９】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のすべての形状について絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状としたが、本発明においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の電極のうち少なくとも１つの電極の形状が絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状とされていればよい。すなわち、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の少なくとも一方に、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状が形成さていればよい。
【００９０】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの形状について絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状としたが、本発明においては、たとえば図８の模式的断面図に示すように、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの形状を裏面電極型太陽電池セル８との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状としてもよい。すなわち、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状を形成してもよい。このような形状は、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３にそれぞれ当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状である。
【００９１】
ここで、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３はそれぞれ絶縁性基材１１とは反対側に突出する形状となっており、第１導電型用配線１２の電極幅および第２導電型用配線１３の電極幅はそれぞれ絶縁性基材１１から離れるにしたがって連続的に減少し、第１導電型用配線１２の外表面および第２導電型用配線１３の外表面はそれぞれ円柱の側面のように湾曲した曲面となっている。
【００９２】
また、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形状をそれぞれ、裏面電極型太陽電池セル８との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状に形成する方法としては、たとえば、上述のスクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによっても形成することができるが、金属箔のエッチングにより形成する方法を用いることもできる。
【００９３】
ここで、金属箔のエッチングによって、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する場合には、まず、圧延や電解メッキ法などにより形成された金属箔を絶縁性基材１１の表面上に形成する。そして、金属箔の表面上にレジストをパターニングした後に金属箔を酸などでエッチングすることによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のパターンに金属箔をパターニングする。その後、パターニングされた金属箔からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の表面をそれぞれたとえば薄い酸やアルカリの溶液を用いた湿式エッチングで短時間処理することにより、表面エネルギの高い配線のエッジ部が優先的にエッチングされて、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面をそれぞれ丸めることができる。
【００９４】
また、図８に示す構成においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のすべての配線の形状を絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状としたが、本発明においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のうち少なくとも１つの配線の形状が絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状とされていればよい。すなわち、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の少なくとも一方に、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状が形成されていればよい。
【００９５】
ここで、図８に示す構成においては、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【００９６】
また、本発明においては、たとえば図９の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの形状を配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状にするとともに、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの形状を裏面電極型太陽電池セル８との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状としてもよい。すなわち、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７に絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状を形成するとともに、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状を形成してもよい。
【００９７】
図９に示す構成においても、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるための第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さをそれぞれ上記と同様に１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【００９８】
以上のように、本発明においては、裏面電極型太陽電池セル８の電極および／または配線シート１０の配線の形状を絶縁性樹脂１６を押しのける形状にすることによって、すなわち、裏面電極型太陽電池セル８の電極および／または配線シート１０の配線に液状材料が流動可能な形状を形成することによって、絶縁性樹脂１６の挟み込みを低減して、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間の接触抵抗として良好な値を得ることが可能となるため、本発明によって形成した配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールは電気特性のうち直列抵抗成分として優れた値が得られ、光照射時のＦ．Ｆ．(Fill  Factor：曲線因子)を改善することができる。
【００９９】
なお、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板の一方の表面側（裏面側）のみに第１導電型用電極および第２導電型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal  Wrap  Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面側と反対側の裏面側から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
【０１００】
また、本発明における配線シート付き太陽電池セルの概念には、複数の裏面電極型太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成のみならず、１つの裏面電極型太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成も含まれる。
【０１０１】
＜実施の形態２＞
図１０に、本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図を示す。また、図１１に、図１０に示す太陽電池モジュールのＸＩ−ＸＩ方向（裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向：図１０の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる方向）に沿った模式的な拡大断面図を示す。
【０１０２】
本実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、たとえば図１１に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面は、第１導電型用電極６の伸長方向に沿って凹部２６と凸部３６とを有しており、第１導電型用電極６の表面の凹部２６が第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている点に特徴がある。
【０１０３】
また、図示はしていないが、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７の表面も図１１に示す第１導電型用電極６の表面のように、第２導電型用電極７の伸長方向に沿って凹部と凸部とを有しており、第２導電型用電極７の表面の凹部も絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている。
【０１０４】
すなわち、実施の形態２においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成されているとともに、押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部を有していることになる。
【０１０５】
実施の形態２においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のいずれにも、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な凹部２６が形成されている。このような凹部２６は、第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３にそれぞれ当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状であり、未硬化の絶縁性樹脂１６を流動させる樹脂流動部となる。
【０１０６】
第１導電型用電極６の凹部２６は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部２６は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部２６が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部２６が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部３６によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１０７】
ここで、図１１に示すような形状の樹脂流動部を有する裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、たとえば、スクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによって形成することができる。
【０１０８】
たとえば、スクリーン印刷法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、まず、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれのパターンに対応するスクリーンの開口部（以下、「メイン開口部」という。）とともに、その開口部の長さ方向（電極の伸長方向）に対して直交する方向にも任意の間隔で開口部（以下、「サブ開口部」という。）を設けたスクリーンを用意する。そして、スクリーンを通して金属ペーストを半導体基板１に向かって徐々に押し出して印刷する。このとき、スクリーンのサブ開口部が設けられたメイン開口部の部分においては、金属ペーストがそのサブ開口部にも流れ込むためにその箇所においては印刷された金属ペーストの厚みが薄くなる。これにより、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面の伸長方向に沿って凹部と凸部とを形成することができる。その後、金属ペーストを、たとえば５０℃〜２００℃程度の温度で乾燥させた後に、３００℃〜８００℃程度の温度で焼成することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１０９】
また、真空蒸着法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、上記と同様に、メイン開口部とサブ開口部とを有するメタルマスクを用いて、メタルマスクの開口部に金属を真空蒸着させることにより形成することができる。
【０１１０】
また、メッキ法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、上記と同様に、メイン開口部とサブ開口部とを有するようにレジストを形成して、レジストの開口部にメッキ層を析出することにより当該メッキ層からなる第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１１１】
また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１１２】
以下、図１２（ａ）〜図１２（ｃ）の模式的拡大断面図を参照して、図１０および図１１に示す太陽電池モジュールに用いられている配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。なお、図１２（ａ）〜図１２（ｃ）は、図１１と同一の方向から見たときの拡大断面図とされている。
【０１１３】
まず、図１２（ａ）に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する。ここで、絶縁性樹脂１６は、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面上にも塗布されることになる。また、図示されていないが、絶縁性樹脂１６は、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面上にも塗布されることになる。なお、配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面および／または第２導電型用配線１３の表面を含む配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。また、絶縁性樹脂１６は、裏面電極型太陽電池セル８の表面上に塗布してもよい。裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面および／または第２導電型用電極７の表面を含む裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。
【０１１４】
次に、図１２（ｂ）に示すように、配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル８を設置する。
【０１１５】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、図１２（ｃ）に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が設置されるようにして配線シート１０上に設置される。なお、図示はしていないが、配線シート１０の第２導電型用配線１３上には裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が設置されることになる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とは接続されることになる。
【０１１６】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部（図示せず）はそれぞれ、配線シート１０上の絶縁性樹脂１６を押しのけることになるが、これらの電極の凸部に押しのけられた絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部となる第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部（図示せず）にそれぞれ収容されることになる。すなわち、液状材料の状態の未硬化の絶縁性樹脂１６が第１導電型用電極６−第１導電型用配線１２間および第２導電型用電極７−第２導電型用配線１３間において流動して、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが当接するとともに、第２導電型用電極７の凸部と第２導電型用配線１３とが当接する。ここで流動した絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部（第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部）に収容されて硬化されると、樹脂流動部において、第１導電型用電極６と第１導電型用配線１２とを接合するとともに、第２導電型用電極７と第２導電型用配線１３とを接合することになる。
【０１１７】
それゆえ、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが接触して電気的な接続が確保されるとともに、第２導電型用電極７の凸部と配線シート１０の第２導電型用配線１３とも接触して電気的な接続が確保されることになる。
【０１１８】
絶縁性樹脂１６が硬化された状態においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３との間が、樹脂流動部において部分的に絶縁性樹脂１６により接合されるとともに、その樹脂流動部以外の凸部の頂部で当接することにより、電気的に接続されることになる。
【０１１９】
したがって、上記の構成の裏面電極型太陽電池セル８を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間に絶縁性樹脂１６が挟み込まれて、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続を図ることができないという問題の発生を低減することができるため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの特性を向上することができる。
【０１２０】
また、絶縁性樹脂１６が裏面電極型太陽電池セル８の電極の樹脂流動部に充填されて電極の周囲を覆って保護するため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの長期信頼性を向上させることもできる。
【０１２１】
なお、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のうち少なくとも１つの電極に樹脂流動部が設けられていればよい。
【０１２２】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部（図示せず）のそれぞれを樹脂流動部としたが、本発明においては、たとえば図１３の模式的拡大断面図に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面に第１導電型用配線１２の伸長方向に沿って凹部１１２と凸部２１２とを設けるとともに、第２導電型用配線１３の表面に第２導電型用配線１３の伸長方向に沿って凹部（図示せず）と凸部（図示せず）とを設けてもよい。この場合には、第１導電型用配線１２に凹部１１２および第２導電型用配線１３に凹部（図示せず）がそれぞれ樹脂流動部となる。
【０１２３】
第１導電型用配線１２の凹部１１２は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部１１２が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部２１２によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部２１２によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１２４】
ここで、凹部１１２と凸部２１２とを有する第１導電型用配線１２および凹部（図示せず）と凸部（図示せず）とを有する第２導電型用配線１３を形成する方法としては、たとえば、上述のスクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによっても形成することができるが、金属箔のエッチングにより形成する方法を用いることもできる。
【０１２５】
金属箔のエッチングによって、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する場合には、たとえば、まず圧延や電解メッキ法などにより形成された金属箔を絶縁性基材１１の表面上に形成する。そして、上記と同様に、メイン開口部とサブ開口部とを有するように金属箔の表面上にレジストをパターニングした後に金属箔を酸などでエッチングすることによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のパターンに金属箔をパターニングすることにより、パターニングされた金属箔からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成することができる。
【０１２６】
また、図１３に示す構成においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のうち少なくとも１つの配線に樹脂流動部が設けられていればよい。ここで、図１３に示す構成においては、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１２７】
また、本発明においては、たとえば図１４の模式的拡大断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれに樹脂流動部を設けるとともに、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれにも樹脂流動部を設けてもよい。図１４に示す構成においても、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるための第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さはそれぞれ上記と同様に１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１２８】
ここで、第１導電型用電極６の凹部２６は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部２６は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部２６が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部２６が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部３６によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１２９】
また、第１導電型用配線１２の凹部１１２は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部１１２が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部２１２によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部２１２によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１３０】
なお、説明の便宜のため、図１１〜図１４においても、半導体基板１の受光面の凹凸構造については、凹凸の形状に図示していない。
【０１３１】
本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここではその説明については省略する。
【０１３２】
＜実施の形態３＞
図１５に、本発明の太陽電池モジュールのさらに他の一例の模式的な断面図を示す。また、図１６に、図１５に示す太陽電池モジュールのＸＶＩ−ＸＶＩ方向（裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向：図１５の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる方向）に沿った模式的な拡大断面図を示す。なお、説明の便宜のため、図１６においても、半導体基板１の受光面の凹凸構造については、凹凸の形状に図示していない。
【０１３３】
本実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、たとえば図１５および図１６に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面は、第１導電型用電極６の伸長方向およびその伸長方向と直交する方向に沿っても凹部２６と凸部３６とを有しており、第１導電型用電極６の表面の凹部２６が第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている点に特徴がある。
【０１３４】
また、本実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、たとえば図１５および図１６に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７の表面も第２導電型用電極７の伸長方向およびその伸長方向と直交する方向に沿って凹部２７と凸部３７とを有しており、第２導電型用電極７の表面の凹部２７も絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている。
【０１３５】
すなわち、実施の形態３においても、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成されているとともに、押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部を有していることになる。
【０１３６】
実施の形態３においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のいずれにも、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な凹部２６，２７が形成さている。このような凹部２６，２７は、第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部３７をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状であり、未硬化の絶縁性樹脂１６を流動させる樹脂流動部となる。
【０１３７】
ここで、第１導電型用電極６の凹部２６は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部２６は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部２６が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部２６が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部３６によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向の端部および／または第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向の端部および／または第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１３８】
ここで、図１５および図１６に示すような形状の樹脂流動部を有する裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、たとえば、スクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによって形成することができる。
【０１３９】
たとえば、スクリーン印刷法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、スクリーンに使用するメッシュ状の金属線の線形や厚さを選択することで電極パターンに対応する開口部の形状に押し出された金属ペースト表面に細かな凹凸を形成することができる。この場合、金属線部が凹部になり、金属線の間の開口部が凸部になる。その後、金属ペーストを、たとえば５０℃〜２００℃程度の温度で乾燥させた後に、３００℃〜８００℃程度の温度で焼成することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１４０】
また、真空蒸着法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、電極パターンに対応する開口部を有するメタルマスクを用いて金属を真空蒸着した後に、絶縁膜やレジスト等のパターンマスクを用いた湿式エッチングまたはプラズマイオン処理やサンドブラスト等の乾式エッチングなどを用いて金属の表面を粗面化することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１４１】
また、メッキ法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、実施の形態２と同様にしてメッキ層を形成した後に、絶縁膜やレジスト等のパターンマスクを用いた湿式エッチングまたはプラズマイオン処理やサンドブラスト等の乾式エッチングなどを用いて金属の表面を粗面化することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１４２】
また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１４３】
以下、図１７（ａ）〜図１７（ｃ）の模式的拡大断面図を参照して、図１５および図１６に示す太陽電池モジュールに用いられている配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。
【０１４４】
まず、図１７（ａ）に示すように、配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する。ここで、絶縁性樹脂１６は、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の表面上にも塗布されることになる。配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面および／または第２導電型用配線１３の表面を含む配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。なお、絶縁性樹脂１６は、裏面電極型太陽電池セル８の表面上に塗布してもよい。裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面および／または第２導電型用電極７の表面を含む裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。
【０１４５】
次に、図１７（ｂ）に示すように、配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル８を設置する。
【０１４６】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、図１７（ｃ）に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が設置されるようにして配線シート１０上に設置される。なお、図示はしていないが、配線シート１０の第２導電型用配線１３上には裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が設置されることになる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とが接続されることになる。
【０１４７】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部３７はそれぞれ、配線シート１０上の絶縁性樹脂１６を押しのけることになるが、これらの電極の凸部に押しのけられた絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部となる第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部２７にそれぞれ収容されることになる。すなわち、液状材料の状態の未硬化の絶縁性樹脂１６が第１導電型用電極６−第１導電型用配線１２間および第２導電型用電極７−第２導電型用配線１３間において流動して、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが当接するとともに、第２導電型用電極７の凸部３７と第２導電型用配線１３とが当接する。ここで流動した絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部（第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部２７）に収容されて硬化されると、樹脂流動部において、第１導電型用電極６と第１導電型用配線１２とを接合するとともに、第２導電型用電極７と第２導電型用配線１３とを接合することになる。
【０１４８】
それゆえ、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが接触して電気的な接続が確保されるとともに、第２導電型用電極７の凸部３７と配線シート１０の第２導電型用配線１３とも接触して電気的な接続が確保されることになる。
【０１４９】
絶縁性樹脂１６が硬化された状態においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３との間が、樹脂流動部において部分的に絶縁性樹脂１６により接合されるとともに、その樹脂流動部以外の凸部の頂部で当接することにより、電気的に接続されることになる。
【０１５０】
したがって、上記の構成の裏面電極型太陽電池セル８を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間に絶縁性樹脂１６が挟み込まれて、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続を図ることができないという問題の発生を低減することができるため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの特性を向上することができる。
【０１５１】
また、絶縁性樹脂１６が裏面電極型太陽電池セル８の電極の樹脂流動部に充填されて電極の周囲を覆って保護するため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの長期信頼性を向上させることもできる。
【０１５２】
なお、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の少なくとも１つに樹脂流動部が設けられていればよい。
【０１５３】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部２７のそれぞれを樹脂流動部としたが、本発明においては、たとえば図１８の模式的拡大断面図に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面に第１導電型用配線１２の伸長方向およびその伸長方向に直交する方向に沿って凹部１１２と凸部２１２とを設けるとともに、第２導電型用配線１３の表面に第２導電型用配線１３の伸長方向およびその伸長方向に直交する方向に沿って凹部１１３と凸部２１３とを設けてもよい。この場合には、第１導電型用配線１２に凹部１１２および第２導電型用配線１３に凹部１１３がそれぞれ樹脂流動部となる。
【０１５４】
第１導電型用配線１２の凹部１１２は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部１１２が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部２１２によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部２１２によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向の端部および／または第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向の端部および／または第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１５５】
ここで、凹部１１２と凸部２１２とを有する第１導電型用配線１２および凹部１１３と凸部２１３とを有する第２導電型用配線１３を形成する方法としては、たとえば、上述のスクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによっても形成することができるが、金属箔のエッチングにより形成する方法を用いることもできる。
【０１５６】
金属箔のエッチングによって、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する場合には、たとえば、まず圧延や電解メッキ法などにより形成された金属箔を絶縁性基材１１の表面上に形成した後に、メイン開口部とサブ開口部とを有するように金属箔の表面上にレジストをパターニングした後に金属箔を酸などでエッチングすることによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のパターンに金属箔をパターニングすることにより、パターニングされた金属箔からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する。そして、絶縁膜やレジスト等のパターンマスクを用いた湿式エッチングまたはプラズマイオン処理やサンドブラスト等の乾式エッチングなどを用いて金属の表面を粗面化することによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成することができる。
【０１５７】
また、図１８に示す構成においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の少なくとも１つに樹脂流動部が設けられていればよい。また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１５８】
また、本発明においては、たとえば図１９の模式的拡大断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれに樹脂流動部（凹部）を設けるとともに、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれにも樹脂流動部（凹部）を設けてもよい。図１９に示す構成においても、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるための第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さはそれぞれ上記と同様に１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１５９】
ここで、第１導電型用電極６の凹部は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向の端部および／または第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向の端部および／または第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１６０】
第１導電型用配線１２の凹部は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向の端部および／または第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向の端部および／または第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１６１】
本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１および実施の形態２と同様であるため、ここではその説明については省略する。
【実施例】
【０１６２】
＜実施例＞
実施例においては、図１に示す構成の太陽電池モジュールを作製した。以下、実施例の太陽電池モジュールの製造方法について説明する。【０１６３】
まず、半導体基板１として、１辺がそれぞれ１２６ｍｍの擬似正方形状の受光面および裏面を有し、厚さが２００μｍのｎ型シリコン基板を用意した。そして、ｎ型シリコン基板の裏面に第１導電型不純物拡散領域２として帯状のｎ型不純物ドーピング領域を形成するとともに、第２導電型不純物拡散領域３として帯状のｐ型不純物ドーピング領域を交互に配列することにより形成した。【０１６４】
その後、ｎ型シリコン基板の裏面の全面にパッシベーション膜４としてプラズマＣＶＤ法によって窒化シリコン膜を形成した。そして、ｎ型シリコン基板の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５としてプラズマＣＶＤ法によって窒化シリコン膜を形成した。【０１６５】
次に、ｎ型シリコン基板の裏面の窒化シリコン膜の一部を除去することによってコンタクトホールを形成した後に、コンタクトホールから露出したｎ型不純物ドーピング領域上に第１導電型用電極６として帯状に伸長して外表面が円柱の側面のように湾曲した曲面の銀電極を形成するとともに、コンタクトホールから露出したｐ型不純物ドーピング領域上に第２導電型用電極７として帯状に伸長して外表面が円柱の側面のように湾曲した曲面の銀電極を形成した。ここで、銀電極の厚さはそれぞれ１０μｍ〜１５μｍの範囲内のものとされ、隣り合う銀電極間のピッチは０．７５ｍｍピッチとされた。【０１６６】
また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としての銀電極はそれぞれ、電極パターンに合わせてパターニングされた開口部を有するように形成された乳剤を使用したスクリーンを使用し、銀ペーストをスクリーンの開口部からｎ型シリコン基板の裏面のｎ型不純物ドーピング領域またはｐ型不純物ドーピング領域に向かってスクリーン側からの押圧によって徐々に押し出し、その後、１００℃程度の温度で乾燥させた後に、６００℃程度の温度で焼成することによって形成した。以上により、実施例における裏面電極型太陽電池セルを作製した。【０１６７】
また、図６に示すように、配線シート１０として、絶縁性基材１１としてのポリイミドフィルムの表面上に第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３としてそれぞれ図６に示すようにパターニングされた銅配線を形成した構成の配線シートを用意した。この配線シートの銅配線のパターンは、上記のようにして作製した１６枚の裏面電極型太陽電池セルを電気的に直列に接続できるパターンとされた。【０１６８】
続いて、図７（ａ）〜図７（ｃ）に示すように、上記のようにして作製した配線シートの表面上に絶縁性樹脂１６としての熱硬化型樹脂を塗布した後に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セルを設置し、その後、熱硬化型樹脂を加熱して硬化させることにより裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを接続して、配線シート付き太陽電池セルを作製した。ここで、裏面電極型太陽電池セルは、裏面電極型太陽電池セルに予め形成されていたアライメントマークにより位置を合わせて配線シート上に設置した。【０１６９】
次に、図１に示すように、透明基板１７としてのガラス基板と、バックフィルム１９としてのアルミニウム箔の両面がＰＥＴフィルムで挟まれた構成のフィルムとの間の封止材１８としてのエチレンビニルアセテート樹脂中に真空圧着により封止した。ここで、真空圧着は、真空排気しながら、１３０℃で５分保持することにより行なった。そして、真空圧着後は、１４５℃で４０分間加熱することによって、エチレンビニルアセテート樹脂を熱硬化して、図１に示す構成の実施例の太陽電池モジュールを完成させた。【０１７０】
図２０に、実施例の太陽電池モジュールのＥＬ発光画像を示す。図２０に示すように、実施例の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続不良を示す黒い部分があまり見られず、面内においてほぼ均一な発光が確認されていることから、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続が良好であることが確認された。【０１７１】
＜比較例＞
比較例においては、１辺がそれぞれ９０ｍｍの擬似正方形状の受光面および裏面を有するｎ型シリコン基板を用い、銀電極間のピッチを０．６ｍｍとして、裏面電極型太陽電池セルの電極の表面および配線シートの配線の表面をそれぞれ平坦としたこと以外は実施例と同様にして、図７（ｃ）に示す構成の比較例の太陽電池モジュールを作製した。【０１７２】
図２１に、比較例の太陽電池モジュールのＥＬ発光画像を示す。図２１に示すように、比較例の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続不良を示す黒い部分が面内の広い領域で確認されていることから、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続が実施例の太陽電池モジュールと比べて良好でないことが確認された。【０１７３】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１７４】
本発明は、裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に利用することができる。
【符号の説明】
【０１７５】
１  半導体基板、１ａ  スライスダメージ、２  第１導電型不純物拡散領域、３  第２導電型不純物拡散領域、４  パッシベーション膜、４ａ，４ｂ  コンタクトホール、５  反射防止膜、６  第１導電型用電極、７  第２導電型用電極、８，８０  裏面電極型太陽電池セル、１０，１００  配線シート、１１  絶縁性基材、１２，１２ａ  第１導電型用配線、１３，１３ａ  第２導電型用配線、１４  接続用配線、１６  絶縁性樹脂、１７  透明基板、１８  封止材、１９  バックフィルム、２６，２７，１１２，１１３  凹部、３６，３７，２１２，２１３  凸部、４１  導電層、４２  レジスト、６０  第１導電型用集電電極、７０  第２導電型用集電電極。
【図１】
2010110083.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2010110083.tif 000015
【図１４】
2010110083.tif 000016
【図１５】
2010110083.tif 000017
【図１６】
2010110083.tif 000018
【図１７】
2010110083.tif 000019
【図１８】
2010110083.tif 000020
【図１９】
2010110083.tif 000021
【図２０】
2010110083.tif 000022
【図２１】
2010110083.tif 000023
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月9日(2011.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルは次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルの種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池セルが主流となっている。
【０００３】
現在、最も多く製造および販売されている太陽電池セルは、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成の両面電極型太陽電池セルである。
【０００４】
また、たとえば特開２００５−３１０８３０号公報（特許文献１）には、太陽電池セルの受光面には電極を形成せず、太陽電池セルの裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池セルが開示されている。
【０００５】
上記の特許文献１に開示された構成の裏面電極型太陽電池セル単体では利用できる電気エネルギが限られる。そのため、上記構成の裏面電極型太陽電池セルの複数を電気的に接続して太陽電池モジュールとする方法が検討されている。
【０００６】
また、裏面電極型太陽電池セルを、配線を形成したシートに接続して、太陽電池モジュールを構成することが米国特許第５９５１７８６号公報（特許文献２）に開示されている。そして、特許文献２には、接続技術として、はんだ、抵抗溶接、銀含有導電性エポキシ、感圧性または熱硬化性の導電性樹脂で被覆した銅箔、銀含有接着剤、カーボン含有接着剤、金や他の導電性金属を含む接着剤を検討したことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３１０８３０号公報
【特許文献２】米国特許第５９５１７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来においては、裏面太陽電池セルの電極とシート状部材に形成された配線との接続についての検討が不十分であり、電極−配線間の接続の改善によるモジュール特性の向上が望まれている。
【０００９】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、太陽電池モジュールの特性を向上することができる裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成され、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極を有し、第１導電型用電極および第２導電型用電極の少なくとも一方は、半導体基板から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように半導体基板とは反対側に突出している、裏面電極型太陽電池セルである。
【００１１】
また、本発明は、上記の裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線および第２導電型用配線を有する配線シートと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている太陽電池モジュールである。
【００１２】
また、本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成され、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極を有し、第１導電型用電極および第２導電型用電極の少なくとも一方は、複数の凸部と、凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えている、裏面電極型太陽電池セルである。
【００１３】
また、本発明は、上記の裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線および第２導電型用配線を有する配線シートと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている太陽電池モジュールである。
【００１４】
また、本発明は、絶縁性基材と、裏面電極型太陽電池セルの電極を接続するために絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有し、第１導電型用配線および第２導電型用配線の少なくとも一方は、絶縁性基材から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように絶縁性基材とは反対側に突出している、配線シートである。
【００１５】
また、本発明は、上記の配線シートと、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュールである。
【００１６】
また、本発明は、絶縁性基材と、裏面電極型太陽電池セルの電極を接続するために絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有し、第１導電型用配線および第２導電型用配線の少なくとも一方は、複数の凸部と、凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えている、配線シートである。
【００１７】
また、本発明は、上記の配線シートと、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、を備え、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接し、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接するように配線シート上に裏面電極型太陽電池セルが設置され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュールである。
【００１８】
また、本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有する配線シートと、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、第１導電型用配線の表面および／または第２導電型用配線の表面を含む配線シートの表面上に絶縁性樹脂を塗布する工程と、配線シート上に裏面電極型太陽電池セルを設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法である。
【００１９】
また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法である。
【００２０】
また、本発明は、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有する配線シートと、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、第１導電型用電極の表面および／または第２導電型用電極の表面を含む裏面電極型太陽電池セルの表面上に絶縁性樹脂を塗布する工程と、配線シート上に裏面電極型太陽電池セルを設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法である。
【００２１】
また、本発明は、上記の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、太陽電池モジュールの特性を向上することができる裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図である。
【図２】図１に示す太陽電池モジュールのＩＩ−ＩＩ方向に沿った模式的な拡大断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｇ）は、図１および図２に示す裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図４】本発明に用いられる裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、図１および図２に示す配線シートの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図６】本発明に用いられる配線シートの表面の一例の模式的な平面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、図１および図２に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図８】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図９】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１０】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１１】図１０に示す太陽電池モジュールのＸＩ−ＸＩ方向に沿った模式的な拡大断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は、図１０および図１１に示す裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１３】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図１４】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図１５】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１６】図１５に示す太陽電池モジュールのＸＶＩ−ＸＶＩ方向に沿った模式的な拡大断面図である。
【図１７】（ａ）〜（ｃ）は、図１５に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１８】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図１９】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な拡大断面図である。
【図２０】実施例の太陽電池モジュールのＥＬ（Electro  Luminescence）発光画像である。
【図２１】比較例の太陽電池モジュールのＥＬ発光画像である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２５】
＜実施の形態１＞
図１に、本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図を示す。図１に示す構成の太陽電池モジュールは、裏面電極型太陽電池セル８が配線シート１０上に設置された構成の配線シート付き太陽電池セルがガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止された構成となっている。
【００２６】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造などの凹凸構造が形成されており、その凹凸構造を覆うようにして反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。
【００２７】
また、裏面電極型太陽電池セル８は、半導体基板１と、半導体基板１の裏面に形成された第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３と、第１導電型不純物拡散領域２に接するようにして形成された第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に接するようにして形成された第２導電型用電極７とを含んでいる。したがって、半導体基板１の裏面側には、第１導電型不純物拡散領域２に対応する第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に対応する第２導電型用電極７とが形成されている。
【００２８】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８の裏面側の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ半導体基板１とは反対側に突出する形状となっており、第１導電型用電極６の電極幅および第２導電型用電極７の電極幅はそれぞれ半導体基板１から離れるにしたがって連続的に減少し、第１導電型用電極６の外表面および第２導電型用電極７の外表面はそれぞれ円柱の側面のように湾曲した曲面となっている。
【００２９】
このように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ上記の形状とすることによって、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状とすることができる。
【００３０】
すなわち、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のいずれにも、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状が形成されている。このような形状は、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状である。
【００３１】
なお、この例においては、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３はそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とは半導体基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。
【００３２】
また、この例においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれパッシベーション膜４に設けられた開口部を通して、半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３に沿って、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３にそれぞれ接するようにして形成されている。
【００３３】
一方、配線シート１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の表面上において所定の形状に形成された第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３とを含んでいる。
【００３４】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第１導電型用配線１２は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３５】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第２導電型用配線１３は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第２導電型用電極７と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３６】
なお、この例においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されている。
【００３７】
そして、上記の裏面電極型太陽電池セル８と上記の配線シート１０とは、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との間に設置された電気絶縁性の樹脂である絶縁性樹脂１６によって接合されている。
【００３８】
図２に、図１に示す太陽電池モジュールのＩＩ−ＩＩ方向（裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向：図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる方向）に沿った模式的な拡大断面図を示す。
【００３９】
ここで、図２に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６は、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向に沿って、配線シート１０の第１導電型用配線１２と連続して電気的に接続されている。
【００４０】
なお、図示はしていないが、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７も、図２に示す第１導電型用電極６と同様に、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７および配線シート１０の第２導電型用配線１３のそれぞれの伸長方向に沿って、配線シート１０の第２導電型用配線１３と連続して電気的に接続されている。
【００４１】
また、説明の便宜のため、図２においては、半導体基板１の受光面の凹凸構造については、凹凸の形状に図示していない。
【００４２】
以下、図３（ａ）〜図３（ｇ）の模式的断面図を参照して、図１および図２に示す裏面電極型太陽電池セル８の製造方法の一例について説明する。
【００４３】
まず、図３（ａ）に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意する。ここで、半導体基板１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型のいずれかの導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。
【００４４】
次に、図３（ｂ）に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば半導体基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。
【００４５】
ここで、スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば１００μｍ以上５００μｍ以下とすることができ、特に２００μｍ程度とすることが好ましい。
【００４６】
次に、図３（ｃ）に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、たとえば、第１導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、第２導電型不純物拡散領域３は、たとえば、第２導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。
【００４７】
ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、第１導電型不純物を含み、ｎ型またはｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第１導電型不純物としては、第１導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第１導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４８】
また、第２導電型不純物拡散領域３は、第２導電型不純物を含み、第１導電型不純物拡散領域２とは逆の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第２導電型不純物としては、第２導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第２導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４９】
なお、第１導電型はｎ型またはｐ型のいずれの導電型であってもよく、第２導電型は第１導電型と反対の導電型であればよい。すなわち、第１導電型がｎ型のときは第２導電型がｐ型となり、第１導電型がｐ型のときは第２導電型がｎ型となる。
【００５０】
また、第１導電型不純物を含むガスとしては、第１導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第１導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００５１】
また、第２導電型不純物を含むガスとしては、第２導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第２導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００５２】
次に、図３（ｄ）に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などの方法により形成することができる。
【００５３】
ここで、パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【００５４】
また、パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【００５５】
次に、図３（ｅ）に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。
【００５６】
ここで、テクスチャ構造は、たとえば、半導体基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、半導体基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。
【００５７】
また、反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００５８】
次に、図３（ｆ）に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。
【００５９】
なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。
【００６０】
次に、図３（ｇ）に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６とコンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成することによって、裏面電極型太陽電池セル８を作製する。
【００６１】
ここで、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、たとえば、スクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによって、上記のような配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成することができる。
【００６２】
たとえば、スクリーン印刷法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、電極パターンに合わせてパターニングされた開口部を有するように形成されたエマルジョンなどの乳剤を使用したスクリーンまたは薄い金属板に電極パターンに合わせてパターニングされた開口部を有するメタルスクリーンなどを使用し、ある程度の粘度を有した金属ペーストをスクリーンの開口部から半導体基板１に向かってスクリーン側からの押圧によって徐々に押し出す。このとき、半導体基板１に付着した金属ペーストは、半導体基板１からの反力により横方向に広がる方向に力を受けるため、半導体基板１側ではスクリーン開口部幅よりも幅が広くなり、半導体基板１から離れるにしたがってスクリーン開口部とほぼ同じ幅になるように傾斜を形成することが可能となる。その後、金属ペーストは、たとえば５０℃〜２００℃程度の温度で乾燥させた後に、３００℃〜８００℃程度の温度で焼成されて第１導電型用電極６および第２導電型用電極７が形成される。
【００６３】
また、真空蒸着法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、半導体基板１の裏面側において、電極のパターンにパターニングされた開口部を有するメタルマスクと半導体基板１との間に間隔を設けた状態若しくはメタルマスクの開口部の断面に傾斜を付けた状態で金属を真空蒸着することにより、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ上記の形状に形成することが可能となる。また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７がそれぞれエッチング可能な金属から形成されている場合には、たとえば、薄い酸やアルカリによる湿式エッチングによってこれらの電極の表面を短時間処理することによって、表面エネルギの高い電極のエッジ部が優先的にエッチングされて電極の先端部を丸めることが可能となる。
【００６４】
また、メッキ法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、半導体基板１の裏面にフォトリソグラフィ工程用のレジストあるいはスクリーン印刷用のレジストを電極のパターンにパターニングされた開口部を有するようにパターニングした後にレジストを熱処理することによってレジストの開口部の断面に傾斜を設け、その後半導体基板１をメッキ槽に浸漬させてレジストの開口部からメッキ層を析出させることにより、当該メッキ層からなる第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ形成することができる。
【００６５】
また、レジストをパターニングし、メッキ開始層としてのメッキシード層をＲＦスパッタ法などで上記のレジストの開口部に形成した後にレジストを除去し、メッキシード層上にメッキ層を析出させることにより当該メッキ層からなる第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することもできる。この場合には、表面エネルギが一定となるようにメッキ層が自然に半円状に析出するため、上記形状の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ形成することができる。
【００６６】
なお、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としては、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができる。
【００６７】
また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【００６８】
図４に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８の裏面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、裏面電極型太陽電池セル８の裏面においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ帯状に形成されている。そして、帯状の複数の第１導電型用電極６はそれぞれ１つの帯状の第１導電型用集電電極６０に接続されており、帯状の複数の第２導電型用電極７はそれぞれ１つの帯状の第２導電型用集電電極７０に接続されている。なお、この例においては、第１導電型用集電電極６０は、帯状の第１導電型用電極６の長手方向に垂直な方向に伸びるようにして形成されており、第２導電型用集電電極７０は、帯状の第２導電型用電極７の長手方向に垂直な方向に伸びるようにして形成されている。
【００６９】
したがって、図４に示す構成の裏面電極型太陽電池セル８の裏面においては、１つの第１導電型用集電電極６０と複数の第１導電型用電極６とによって１つの櫛形状電極が形成されており、１つの第２導電型用集電電極７０と複数の第２導電型用電極７とによって１つの櫛形状電極が形成されている。そして、当該櫛形状電極の櫛歯に相当する第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とは互いに向かい合って当該櫛歯を１本ずつ噛み合わせるようにして配置されている。そして、帯状の第１導電型用電極６が接する半導体基板１の裏面部分に１本の帯状の第１導電型不純物拡散領域２が配置されており、帯状の第２導電型用電極７が接する半導体基板１の裏面部分に１本の帯状の第２導電型不純物拡散領域３が配置されている。
【００７０】
以下、図５（ａ）〜図５（ｄ）の模式的断面図を参照して、図１および図２に示す配線シート１０の製造方法の一例について説明する。
【００７１】
まず、図５（ａ）に示すように、絶縁性基材１１の表面上に導電層４１を形成する。ここで、絶縁性基材１１としては、たとえば、ポリエステル、ポリエチレンナフタレートまたはポリイミドなどの樹脂からなる基板を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７２】
また、絶縁性基材１１の厚みは、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができ、特に２５μｍ程度とすることが好ましい。
【００７３】
また、導電層４１としては、たとえば、銅などの金属からなる層を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７４】
次に、図５（ｂ）に示すように、絶縁性基材１１の表面の導電層４１上にレジスト４２を形成する。ここで、レジスト４２は、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形成箇所以外の箇所に開口部を有する形状に形成する。レジスト４２としてはたとえば従来から公知のものを用いることができ、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって所定の位置に塗布された樹脂を硬化したものなどを用いることができる。
【００７５】
次に、図５（ｃ）に示すように、レジスト４２から露出している箇所の導電層４１を矢印４３の方向に除去することによって導電層４１のパターンニングを行ない、導電層４１の残部から第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成する。
【００７６】
ここで、導電層４１の除去は、たとえば、酸やアルカリの溶液を用いたウエットエッチングなどによって行なうことができる。
【００７７】
次に、図５（ｄ）に示すように、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面からレジスト４２をすべて除去することによって、配線シート１０が作製される。
【００７８】
図６に、上記のようにして作製した配線シート１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上において、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３はそれぞれ帯状に形成されている。また、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上には帯状の接続用配線１４が形成されており、接続用配線１４によって第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とが電気的に接続されている。なお、接続用配線１４は、たとえば、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３と同様に、導電層４１の残部から形成することができる。
【００７９】
このような構成とすることによって、配線シート１０の終端にそれぞれ位置している櫛形状の第１導電型用配線１２ａおよび櫛形状の第２導電型用配線１３ａ以外の隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とは、接続用配線１４によって電気的に接続されていることから、配線シート１０上で隣り合うようにして設置される裏面電極型太陽電池セル同士は互いに電気的に接続されることになる。したがって、配線シート１０上に設置されたすべての裏面電極型太陽電池セルは電気的に直列に接続されることになる。
【００８０】
以下、図７（ａ）〜図７（ｃ）の模式的断面図を参照して、図１および図２に示す配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。
【００８１】
まず、図７（ａ）に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する。配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面および／または第２導電型用配線１３の表面を含む配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。ここで、絶縁性樹脂１６は、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布することができる。また、絶縁性樹脂１６としては、電気絶縁性を有する樹脂を特に限定なく用いることができ、たとえば従来から公知の熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂などを用いることができる。なお、絶縁性樹脂１６は、裏面電極型太陽電池セル８の表面上に塗布してもよい。裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面および／または第２導電型用電極７の表面を含む裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。
【００８２】
次に、図７（ｂ）に示すように、配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル８を設置する。
【００８３】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、図７（ｃ）に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が設置されるとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３上に裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が設置されるようにして、配線シート１０上に設置される。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とは接続されることになる。
【００８４】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、上述したように絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成されていることから、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの下方に位置する裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との間に位置する絶縁性樹脂１６はそれぞれ、第１導電型用電極６の先端部および第２導電型用電極７の先端部のそれぞれの外側に押しのけられる。すなわち、液状材料の状態の未硬化の絶縁性樹脂１６が第１導電型用電極６−第１導電型用配線１２間および第２導電型用電極７−第２導電型用配線１３間において流動して、第１導電型用電極６と第１導電型用配線１２とが当接するとともに、第２導電型用電極７と第２導電型用配線１３とが当接する。
【００８５】
それゆえ、第１導電型用電極６の先端部と第１導電型用配線１２とが接触して電気的な接続が確保されるとともに、第２導電型用電極７の先端部と配線シート１０の第２導電型用配線１３とも接触して電気的な接続が確保されることになる。
【００８６】
したがって、上記の構成の裏面電極型太陽電池セル８を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間に絶縁性樹脂１６が挟み込まれて、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続を図ることができないという問題の発生を低減することができるため、配線シート付き太陽電池セルおよび後述する太陽電池モジュールの特性を向上することができる。
【００８７】
その後、上記のようにして塗布された絶縁性樹脂１６を加熱および／または絶縁性樹脂１６に光照射することによって絶縁性樹脂１６を硬化させて裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを硬化した絶縁性樹脂１６によって接合する。すると、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３との間が、部分的に絶縁性樹脂１６により接合されるとともに、その接合部以外で当接することにより、電気的に接続されることになる。
【００８８】
そして、上記の絶縁性樹脂１６の硬化後の配線シート付き太陽電池セルは、たとえば図１に示すように、エチレンビニルアセテートなどの封止材１８を備えたガラス基板などの透明基板１７と、封止材１８を備えたポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間に挟み込まれ、配線シート付き太陽電池セルを構成する裏面電極型太陽電池セル８を封止材１８中に封止することによって太陽電池モジュールが作製される。なお、絶縁性樹脂１６の硬化は、配線シート付き太陽電池セルを構成する裏面電極型太陽電池セル８を封止材１８中に封止する際に行なってもよい。
【００８９】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のすべての形状について絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状としたが、本発明においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の電極のうち少なくとも１つの電極の形状が絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状とされていればよい。すなわち、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の少なくとも一方に、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状が形成さていればよい。
【００９０】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの形状について絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状としたが、本発明においては、たとえば図８の模式的断面図に示すように、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの形状を裏面電極型太陽電池セル８との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状としてもよい。すなわち、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状を形成してもよい。このような形状は、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３にそれぞれ当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状である。
【００９１】
ここで、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３はそれぞれ絶縁性基材１１とは反対側に突出する形状となっており、第１導電型用配線１２の電極幅および第２導電型用配線１３の電極幅はそれぞれ絶縁性基材１１から離れるにしたがって連続的に減少し、第１導電型用配線１２の外表面および第２導電型用配線１３の外表面はそれぞれ円柱の側面のように湾曲した曲面となっている。
【００９２】
また、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形状をそれぞれ、裏面電極型太陽電池セル８との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状に形成する方法としては、たとえば、上述のスクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによっても形成することができるが、金属箔のエッチングにより形成する方法を用いることもできる。
【００９３】
ここで、金属箔のエッチングによって、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する場合には、まず、圧延や電解メッキ法などにより形成された金属箔を絶縁性基材１１の表面上に形成する。そして、金属箔の表面上にレジストをパターニングした後に金属箔を酸などでエッチングすることによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のパターンに金属箔をパターニングする。その後、パターニングされた金属箔からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の表面をそれぞれたとえば薄い酸やアルカリの溶液を用いた湿式エッチングで短時間処理することにより、表面エネルギの高い配線のエッジ部が優先的にエッチングされて、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面をそれぞれ丸めることができる。
【００９４】
また、図８に示す構成においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のすべての配線の形状を絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状としたが、本発明においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のうち少なくとも１つの配線の形状が絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状とされていればよい。すなわち、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の少なくとも一方に、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状が形成されていればよい。
【００９５】
ここで、図８に示す構成においては、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【００９６】
また、本発明においては、たとえば図９の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの形状を配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状にするとともに、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの形状を裏面電極型太陽電池セル８との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と電気的に接続する形状としてもよい。すなわち、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７に絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状を形成するとともに、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な形状を形成してもよい。
【００９７】
図９に示す構成においても、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるための第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さをそれぞれ上記と同様に１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【００９８】
以上のように、本発明においては、裏面電極型太陽電池セル８の電極および／または配線シート１０の配線の形状を絶縁性樹脂１６を押しのける形状にすることによって、すなわち、裏面電極型太陽電池セル８の電極および／または配線シート１０の配線に液状材料が流動可能な形状を形成することによって、絶縁性樹脂１６の挟み込みを低減して、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間の接触抵抗として良好な値を得ることが可能となるため、本発明によって形成した配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールは電気特性のうち直列抵抗成分として優れた値が得られ、光照射時のＦ．Ｆ．(Fill  Factor：曲線因子)を改善することができる。
【００９９】
なお、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板の一方の表面側（裏面側）のみに第１導電型用電極および第２導電型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal  Wrap  Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面側と反対側の裏面側から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
【０１００】
また、本発明における配線シート付き太陽電池セルの概念には、複数の裏面電極型太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成のみならず、１つの裏面電極型太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成も含まれる。
【０１０１】
＜実施の形態２＞
図１０に、本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図を示す。また、図１１に、図１０に示す太陽電池モジュールのＸＩ−ＸＩ方向（裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向：図１０の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる方向）に沿った模式的な拡大断面図を示す。
【０１０２】
本実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、たとえば図１１に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面は、第１導電型用電極６の伸長方向に沿って凹部２６と凸部３６とを有しており、第１導電型用電極６の表面の凹部２６が第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている点に特徴がある。
【０１０３】
また、図示はしていないが、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７の表面も図１１に示す第１導電型用電極６の表面のように、第２導電型用電極７の伸長方向に沿って凹部と凸部とを有しており、第２導電型用電極７の表面の凹部も絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている。
【０１０４】
すなわち、実施の形態２においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、配線シート１０との接続時に絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成されているとともに、押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部を有していることになる。
【０１０５】
実施の形態２においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のいずれにも、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な凹部２６が形成されている。このような凹部２６は、第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３にそれぞれ当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状であり、未硬化の絶縁性樹脂１６を流動させる樹脂流動部となる。
【０１０６】
第１導電型用電極６の凹部２６は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部２６は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部２６が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部２６が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部３６によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１０７】
ここで、図１１に示すような形状の樹脂流動部を有する裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、たとえば、スクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによって形成することができる。
【０１０８】
たとえば、スクリーン印刷法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、まず、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれのパターンに対応するスクリーンの開口部（以下、「メイン開口部」という。）とともに、その開口部の長さ方向（電極の伸長方向）に対して直交する方向にも任意の間隔で開口部（以下、「サブ開口部」という。）を設けたスクリーンを用意する。そして、スクリーンを通して金属ペーストを半導体基板１に向かって徐々に押し出して印刷する。このとき、スクリーンのサブ開口部が設けられたメイン開口部の部分においては、金属ペーストがそのサブ開口部にも流れ込むためにその箇所においては印刷された金属ペーストの厚みが薄くなる。これにより、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面の伸長方向に沿って凹部と凸部とを形成することができる。その後、金属ペーストを、たとえば５０℃〜２００℃程度の温度で乾燥させた後に、３００℃〜８００℃程度の温度で焼成することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１０９】
また、真空蒸着法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、上記と同様に、メイン開口部とサブ開口部とを有するメタルマスクを用いて、メタルマスクの開口部に金属を真空蒸着させることにより形成することができる。
【０１１０】
また、メッキ法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、上記と同様に、メイン開口部とサブ開口部とを有するようにレジストを形成して、レジストの開口部にメッキ層を析出することにより当該メッキ層からなる第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１１１】
また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１１２】
以下、図１２（ａ）〜図１２（ｃ）の模式的拡大断面図を参照して、図１０および図１１に示す太陽電池モジュールに用いられている配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。なお、図１２（ａ）〜図１２（ｃ）は、図１１と同一の方向から見たときの拡大断面図とされている。
【０１１３】
まず、図１２（ａ）に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する。ここで、絶縁性樹脂１６は、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面上にも塗布されることになる。また、図示されていないが、絶縁性樹脂１６は、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面上にも塗布されることになる。なお、配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面および／または第２導電型用配線１３の表面を含む配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。また、絶縁性樹脂１６は、裏面電極型太陽電池セル８の表面上に塗布してもよい。裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面および／または第２導電型用電極７の表面を含む裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。
【０１１４】
次に、図１２（ｂ）に示すように、配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル８を設置する。
【０１１５】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、図１２（ｃ）に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が設置されるようにして配線シート１０上に設置される。なお、図示はしていないが、配線シート１０の第２導電型用配線１３上には裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が設置されることになる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とは接続されることになる。
【０１１６】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部（図示せず）はそれぞれ、配線シート１０上の絶縁性樹脂１６を押しのけることになるが、これらの電極の凸部に押しのけられた絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部となる第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部（図示せず）にそれぞれ収容されることになる。すなわち、液状材料の状態の未硬化の絶縁性樹脂１６が第１導電型用電極６−第１導電型用配線１２間および第２導電型用電極７−第２導電型用配線１３間において流動して、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが当接するとともに、第２導電型用電極７の凸部と第２導電型用配線１３とが当接する。ここで流動した絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部（第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部）に収容されて硬化されると、樹脂流動部において、第１導電型用電極６と第１導電型用配線１２とを接合するとともに、第２導電型用電極７と第２導電型用配線１３とを接合することになる。
【０１１７】
それゆえ、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが接触して電気的な接続が確保されるとともに、第２導電型用電極７の凸部と配線シート１０の第２導電型用配線１３とも接触して電気的な接続が確保されることになる。
【０１１８】
絶縁性樹脂１６が硬化された状態においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３との間が、樹脂流動部において部分的に絶縁性樹脂１６により接合されるとともに、その樹脂流動部以外の凸部の頂部で当接することにより、電気的に接続されることになる。
【０１１９】
したがって、上記の構成の裏面電極型太陽電池セル８を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間に絶縁性樹脂１６が挟み込まれて、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続を図ることができないという問題の発生を低減することができるため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの特性を向上することができる。
【０１２０】
また、絶縁性樹脂１６が裏面電極型太陽電池セル８の電極の樹脂流動部に充填されて電極の周囲を覆って保護するため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの長期信頼性を向上させることもできる。
【０１２１】
なお、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のうち少なくとも１つの電極に樹脂流動部が設けられていればよい。
【０１２２】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部（図示せず）のそれぞれを樹脂流動部としたが、本発明においては、たとえば図１３の模式的拡大断面図に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面に第１導電型用配線１２の伸長方向に沿って凹部１１２と凸部２１２とを設けるとともに、第２導電型用配線１３の表面に第２導電型用配線１３の伸長方向に沿って凹部（図示せず）と凸部（図示せず）とを設けてもよい。この場合には、第１導電型用配線１２に凹部１１２および第２導電型用配線１３に凹部（図示せず）がそれぞれ樹脂流動部となる。
【０１２３】
第１導電型用配線１２の凹部１１２は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部１１２が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部２１２によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部２１２によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１２４】
ここで、凹部１１２と凸部２１２とを有する第１導電型用配線１２および凹部（図示せず）と凸部（図示せず）とを有する第２導電型用配線１３を形成する方法としては、たとえば、上述のスクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによっても形成することができるが、金属箔のエッチングにより形成する方法を用いることもできる。
【０１２５】
金属箔のエッチングによって、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する場合には、たとえば、まず圧延や電解メッキ法などにより形成された金属箔を絶縁性基材１１の表面上に形成する。そして、上記と同様に、メイン開口部とサブ開口部とを有するように金属箔の表面上にレジストをパターニングした後に金属箔を酸などでエッチングすることによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のパターンに金属箔をパターニングすることにより、パターニングされた金属箔からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成することができる。
【０１２６】
また、図１３に示す構成においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のうち少なくとも１つの配線に樹脂流動部が設けられていればよい。ここで、図１３に示す構成においては、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１２７】
また、本発明においては、たとえば図１４の模式的拡大断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれに樹脂流動部を設けるとともに、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれにも樹脂流動部を設けてもよい。図１４に示す構成においても、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるための第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さはそれぞれ上記と同様に１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１２８】
ここで、第１導電型用電極６の凹部２６は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部２６は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部２６が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部２６が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部３６によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１２９】
また、第１導電型用配線１２の凹部１１２は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部１１２が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部２１２によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部２１２によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１３０】
なお、説明の便宜のため、図１１〜図１４においても、半導体基板１の受光面の凹凸構造については、凹凸の形状に図示していない。
【０１３１】
本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここではその説明については省略する。
【０１３２】
＜実施の形態３＞
図１５に、本発明の太陽電池モジュールのさらに他の一例の模式的な断面図を示す。また、図１６に、図１５に示す太陽電池モジュールのＸＶＩ−ＸＶＩ方向（裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および配線シート１０の第１導電型用配線１２のそれぞれの伸長方向：図１５の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる方向）に沿った模式的な拡大断面図を示す。なお、説明の便宜のため、図１６においても、半導体基板１の受光面の凹凸構造については、凹凸の形状に図示していない。
【０１３３】
本実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、たとえば図１５および図１６に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面は、第１導電型用電極６の伸長方向およびその伸長方向と直交する方向に沿っても凹部２６と凸部３６とを有しており、第１導電型用電極６の表面の凹部２６が第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている点に特徴がある。
【０１３４】
また、本実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、たとえば図１５および図１６に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７の表面も第２導電型用電極７の伸長方向およびその伸長方向と直交する方向に沿って凹部２７と凸部３７とを有しており、第２導電型用電極７の表面の凹部２７も絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部となっている。
【０１３５】
すなわち、実施の形態３においても、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、絶縁性樹脂１６を押しのけて配線シート１０の配線と電気的に接続する形状に形成されているとともに、押しのけられた絶縁性樹脂１６を流動させるための樹脂流動部を有していることになる。
【０１３６】
実施の形態３においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のいずれにも、絶縁性樹脂１６が未硬化の液状材料の状態で流動可能な凹部２６，２７が形成さている。このような凹部２６，２７は、第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部３７をそれぞれ、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３に当接させるときに電極−配線間に配置された未硬化の絶縁性樹脂１６が流動可能な形状であり、未硬化の絶縁性樹脂１６を流動させる樹脂流動部となる。
【０１３７】
ここで、第１導電型用電極６の凹部２６は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部２６は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部３６の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部２６が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部３６によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部２６が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部３６によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部２６に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向の端部および／または第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向の端部および／または第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１３８】
ここで、図１５および図１６に示すような形状の樹脂流動部を有する裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ、たとえば、スクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによって形成することができる。
【０１３９】
たとえば、スクリーン印刷法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、スクリーンに使用するメッシュ状の金属線の線形や厚さを選択することで電極パターンに対応する開口部の形状に押し出された金属ペースト表面に細かな凹凸を形成することができる。この場合、金属線部が凹部になり、金属線の間の開口部が凸部になる。その後、金属ペーストを、たとえば５０℃〜２００℃程度の温度で乾燥させた後に、３００℃〜８００℃程度の温度で焼成することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１４０】
また、真空蒸着法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、電極パターンに対応する開口部を有するメタルマスクを用いて金属を真空蒸着した後に、絶縁膜やレジスト等のパターンマスクを用いた湿式エッチングまたはプラズマイオン処理やサンドブラスト等の乾式エッチングなどを用いて金属の表面を粗面化することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１４１】
また、メッキ法によって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成する場合には、実施の形態２と同様にしてメッキ層を形成した後に、絶縁膜やレジスト等のパターンマスクを用いた湿式エッチングまたはプラズマイオン処理やサンドブラスト等の乾式エッチングなどを用いて金属の表面を粗面化することによって第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を形成することができる。
【０１４２】
また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１４３】
以下、図１７（ａ）〜図１７（ｃ）の模式的拡大断面図を参照して、図１５および図１６に示す太陽電池モジュールに用いられている配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。
【０１４４】
まず、図１７（ａ）に示すように、配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する。ここで、絶縁性樹脂１６は、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の表面上にも塗布されることになる。配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面および／または第２導電型用配線１３の表面を含む配線シート１０の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。なお、絶縁性樹脂１６は、裏面電極型太陽電池セル８の表面上に塗布してもよい。裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布する場合には、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面および／または第２導電型用電極７の表面を含む裏面電極型太陽電池セル８の表面上に絶縁性樹脂１６を塗布することができる。
【０１４５】
次に、図１７（ｂ）に示すように、配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル８を設置する。
【０１４６】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、図１７（ｃ）に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が設置されるようにして配線シート１０上に設置される。なお、図示はしていないが、配線シート１０の第２導電型用配線１３上には裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が設置されることになる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とが接続されることになる。
【０１４７】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凸部３６および第２導電型用電極７の凸部３７はそれぞれ、配線シート１０上の絶縁性樹脂１６を押しのけることになるが、これらの電極の凸部に押しのけられた絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部となる第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部２７にそれぞれ収容されることになる。すなわち、液状材料の状態の未硬化の絶縁性樹脂１６が第１導電型用電極６−第１導電型用配線１２間および第２導電型用電極７−第２導電型用配線１３間において流動して、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが当接するとともに、第２導電型用電極７の凸部３７と第２導電型用配線１３とが当接する。ここで流動した絶縁性樹脂１６は、樹脂流動部（第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部２７）に収容されて硬化されると、樹脂流動部において、第１導電型用電極６と第１導電型用配線１２とを接合するとともに、第２導電型用電極７と第２導電型用配線１３とを接合することになる。
【０１４８】
それゆえ、第１導電型用電極６の凸部３６と第１導電型用配線１２とが接触して電気的な接続が確保されるとともに、第２導電型用電極７の凸部３７と配線シート１０の第２導電型用配線１３とも接触して電気的な接続が確保されることになる。
【０１４９】
絶縁性樹脂１６が硬化された状態においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３との間が、樹脂流動部において部分的に絶縁性樹脂１６により接合されるとともに、その樹脂流動部以外の凸部の頂部で当接することにより、電気的に接続されることになる。
【０１５０】
したがって、上記の構成の裏面電極型太陽電池セル８を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との間に絶縁性樹脂１６が挟み込まれて、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続を図ることができないという問題の発生を低減することができるため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの特性を向上することができる。
【０１５１】
また、絶縁性樹脂１６が裏面電極型太陽電池セル８の電極の樹脂流動部に充填されて電極の周囲を覆って保護するため、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの長期信頼性を向上させることもできる。
【０１５２】
なお、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の少なくとも１つに樹脂流動部が設けられていればよい。
【０１５３】
また、上記においては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の凹部２６および第２導電型用電極７の凹部２７のそれぞれを樹脂流動部としたが、本発明においては、たとえば図１８の模式的拡大断面図に示すように、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面に第１導電型用配線１２の伸長方向およびその伸長方向に直交する方向に沿って凹部１１２と凸部２１２とを設けるとともに、第２導電型用配線１３の表面に第２導電型用配線１３の伸長方向およびその伸長方向に直交する方向に沿って凹部１１３と凸部２１３とを設けてもよい。この場合には、第１導電型用配線１２に凹部１１２および第２導電型用配線１３に凹部１１３がそれぞれ樹脂流動部となる。
【０１５４】
第１導電型用配線１２の凹部１１２は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部２１２の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部１１２が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部２１２によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部１１２が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部２１２によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部１１２に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向の端部および／または第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向の端部および／または第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１５５】
ここで、凹部１１２と凸部２１２とを有する第１導電型用配線１２および凹部１１３と凸部２１３とを有する第２導電型用配線１３を形成する方法としては、たとえば、上述のスクリーン印刷法、真空蒸着法またはメッキ法などによっても形成することができるが、金属箔のエッチングにより形成する方法を用いることもできる。
【０１５６】
金属箔のエッチングによって、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する場合には、たとえば、まず圧延や電解メッキ法などにより形成された金属箔を絶縁性基材１１の表面上に形成した後に、メイン開口部とサブ開口部とを有するように金属箔の表面上にレジストをパターニングした後に金属箔を酸などでエッチングすることによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のパターンに金属箔をパターニングすることにより、パターニングされた金属箔からなる第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３をそれぞれ形成する。そして、絶縁膜やレジスト等のパターンマスクを用いた湿式エッチングまたはプラズマイオン処理やサンドブラスト等の乾式エッチングなどを用いて金属の表面を粗面化することによって第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成することができる。
【０１５７】
また、図１８に示す構成においては、配線シート１０の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のすべてに樹脂流動部を設けたが、本発明においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の少なくとも１つに樹脂流動部が設けられていればよい。また、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるためには、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの厚さを１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１５８】
また、本発明においては、たとえば図１９の模式的拡大断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれに樹脂流動部（凹部）を設けるとともに、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上の第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれにも樹脂流動部（凹部）を設けてもよい。図１９に示す構成においても、絶縁性樹脂１６を好適に押しのけて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との接続との安定性を向上させるための第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の厚さはそれぞれ上記と同様に１０ｎｍ以上１０００μｍ以下の範囲内のものとすることが好ましい。
【０１５９】
ここで、第１導電型用電極６の凹部は、第１導電型用電極６の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用電極７の凹部は第２導電型用電極７の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用電極６の凹部が第１導電型用電極６の端部に連なっている場合には、第１導電型用電極６の凸部によって押しのけられて第１導電型用電極６の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用電極６の端部から第１導電型用電極６の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用電極７の凹部が第２導電型用電極７の端部に連なっている場合には、第２導電型用電極７の凸部によって押しのけられて第２導電型用電極７の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用電極７の端部から第２導電型用電極７の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用電極６の端部としては、たとえば、第１導電型用電極６の伸長方向の端部および／または第１導電型用電極６の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用電極７の端部としては、たとえば、第２導電型用電極７の伸長方向の端部および／または第２導電型用電極７の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１６０】
第１導電型用配線１２の凹部は、第１導電型用配線１２の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。また、第２導電型用配線１３の凹部は第２導電型用配線１３の端部に連なるように複数の凸部の間に形成されていることが好ましい。第１導電型用配線１２の凹部が第１導電型用配線１２の端部に連なっている場合には、第１導電型用配線１２の凸部によって押しのけられて第１導電型用配線１２の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第１導電型用配線１２の端部から第１導電型用配線１２の外部に排出することができる傾向にある。また、第２導電型用配線１３の凹部が第２導電型用配線１３の端部に連なっている場合には、第２導電型用配線１３の凸部によって押しのけられて第２導電型用配線１３の凹部に流れ込んだ絶縁性樹脂１６を第２導電型用配線１３の端部から第２導電型用配線１３の外部に排出することができる傾向にある。なお、第１導電型用配線１２の端部としては、たとえば、第１導電型用配線１２の伸長方向の端部および／または第１導電型用配線１２の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができ、第２導電型用配線１３の端部としては、たとえば、第２導電型用配線１３の伸長方向の端部および／または第２導電型用配線１３の伸長方向とは直交する方向の端部を挙げることができる。
【０１６１】
本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１および実施の形態２と同様であるため、ここではその説明については省略する。
【実施例】
【０１６２】
＜実施例＞
実施例においては、図１に示す構成の太陽電池モジュールを作製した。以下、実施例の太陽電池モジュールの製造方法について説明する。
【０１６３】
まず、半導体基板１として、１辺がそれぞれ１２６ｍｍの擬似正方形状の受光面および裏面を有し、厚さが２００μｍのｎ型シリコン基板を用意した。そして、ｎ型シリコン基板の裏面に第１導電型不純物拡散領域２として帯状のｎ型不純物ドーピング領域を形成するとともに、第２導電型不純物拡散領域３として帯状のｐ型不純物ドーピング領域を交互に配列することにより形成した。
【０１６４】
その後、ｎ型シリコン基板の裏面の全面にパッシベーション膜４としてプラズマＣＶＤ法によって窒化シリコン膜を形成した。そして、ｎ型シリコン基板の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５としてプラズマＣＶＤ法によって窒化シリコン膜を形成した。
【０１６５】
次に、ｎ型シリコン基板の裏面の窒化シリコン膜の一部を除去することによってコンタクトホールを形成した後に、コンタクトホールから露出したｎ型不純物ドーピング領域上に第１導電型用電極６として帯状に伸長して外表面が円柱の側面のように湾曲した曲面の銀電極を形成するとともに、コンタクトホールから露出したｐ型不純物ドーピング領域上に第２導電型用電極７として帯状に伸長して外表面が円柱の側面のように湾曲した曲面の銀電極を形成した。ここで、銀電極の厚さはそれぞれ１０μｍ〜１５μｍの範囲内のものとされ、隣り合う銀電極間のピッチは０．７５ｍｍピッチとされた。
【０１６６】
また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としての銀電極はそれぞれ、電極パターンに合わせてパターニングされた開口部を有するように形成された乳剤を使用したスクリーンを使用し、銀ペーストをスクリーンの開口部からｎ型シリコン基板の裏面のｎ型不純物ドーピング領域またはｐ型不純物ドーピング領域に向かってスクリーン側からの押圧によって徐々に押し出し、その後、１００℃程度の温度で乾燥させた後に、６００℃程度の温度で焼成することによって形成した。以上により、実施例における裏面電極型太陽電池セルを作製した。
【０１６７】
また、図６に示すように、配線シート１０として、絶縁性基材１１としてのポリイミドフィルムの表面上に第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３としてそれぞれ図６に示すようにパターニングされた銅配線を形成した構成の配線シートを用意した。この配線シートの銅配線のパターンは、上記のようにして作製した１６枚の裏面電極型太陽電池セルを電気的に直列に接続できるパターンとされた。
【０１６８】
続いて、図７（ａ）〜図７（ｃ）に示すように、上記のようにして作製した配線シートの表面上に絶縁性樹脂１６としての熱硬化型樹脂を塗布した後に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セルを設置し、その後、熱硬化型樹脂を加熱して硬化させることにより裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを接続して、配線シート付き太陽電池セルを作製した。ここで、裏面電極型太陽電池セルは、裏面電極型太陽電池セルに予め形成されていたアライメントマークにより位置を合わせて配線シート上に設置した。
【０１６９】
次に、図１に示すように、透明基板１７としてのガラス基板と、バックフィルム１９としてのアルミニウム箔の両面がＰＥＴフィルムで挟まれた構成のフィルムとの間の封止材１８としてのエチレンビニルアセテート樹脂中に真空圧着により封止した。ここで、真空圧着は、真空排気しながら、１３０℃で５分保持することにより行なった。そして、真空圧着後は、１４５℃で４０分間加熱することによって、エチレンビニルアセテート樹脂を熱硬化して、図１に示す構成の実施例の太陽電池モジュールを完成させた。
【０１７０】
図２０に、実施例の太陽電池モジュールのＥＬ発光画像を示す。図２０に示すように、実施例の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続不良を示す黒い部分があまり見られず、面内においてほぼ均一な発光が確認されていることから、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続が良好であることが確認された。
【０１７１】
＜比較例＞
比較例においては、１辺がそれぞれ９０ｍｍの擬似正方形状の受光面および裏面を有するｎ型シリコン基板を用い、銀電極間のピッチを０．６ｍｍとして、裏面電極型太陽電池セルの電極の表面および配線シートの配線の表面をそれぞれ平坦としたこと以外は実施例と同様にして、図７（ｃ）に示す構成の比較例の太陽電池モジュールを作製した。
【０１７２】
図２１に、比較例の太陽電池モジュールのＥＬ発光画像を示す。図２１に示すように、比較例の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続不良を示す黒い部分が面内の広い領域で確認されていることから、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との接続が実施例の太陽電池モジュールと比べて良好でないことが確認された。
【０１７３】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１７４】
本発明は、裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に利用することができる。
【符号の説明】
【０１７５】
１  半導体基板、１ａ  スライスダメージ、２  第１導電型不純物拡散領域、３  第２導電型不純物拡散領域、４  パッシベーション膜、４ａ，４ｂ  コンタクトホール、５  反射防止膜、６  第１導電型用電極、７  第２導電型用電極、８，８０  裏面電極型太陽電池セル、１０，１００  配線シート、１１  絶縁性基材、１２，１２ａ  第１導電型用配線、１３，１３ａ  第２導電型用配線、１４  接続用配線、１６  絶縁性樹脂、１７  透明基板、１８  封止材、１９  バックフィルム、２６，２７，１１２，１１３  凹部、３６，３７，２１２，２１３  凸部、４１  導電層、４２  レジスト、６０  第１導電型用集電電極、７０  第２導電型用集電電極。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面電極型太陽電池セルと、
絶縁性基材と前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線および第２導電型用配線を有する配線シートと、を備え、
前記裏面電極型太陽電池セルは、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一方の表面側に形成され、前記第１導電型不純物拡散領域および前記第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極を有し、
前記第１導電型用電極および前記第２導電型用電極の少なくとも一方は、前記半導体基板から離れるにしたがって連続的に幅が減少するように前記半導体基板とは反対側に突出しており、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に当接し、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に当接するように前記配線シート上に前記裏面電極型太陽電池セルが設置され、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項２】
請求項１に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項３】
裏面電極型太陽電池セルと、
絶縁性基材と前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線および第２導電型用配線を有する配線シートと、を備え、
前記裏面電極型太陽電池セルは、第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一方の表面側に形成され、前記第１導電型不純物拡散領域および前記第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極を有し、
前記第１導電型用電極および前記第２導電型用電極の少なくとも一方は、複数の凸部と、前記凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えており、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に当接し、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に当接するように前記配線シート上に前記裏面電極型太陽電池セルが設置され、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項４】
請求項３に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項５】
配線シートと、
第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域および前記第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、を備え、
前記配線シートは、絶縁性基材と、裏面電極型太陽電池セルの電極を接続するために前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有し、
前記第１導電型用配線および前記第２導電型用配線の少なくとも一方は、複数の凸部と、前記凸部の間に形成されて端部に連なる凹部と、を表面に備えており、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に当接し、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に当接するように前記配線シート上に前記裏面電極型太陽電池セルが設置され、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に当接して電気的に接続する領域と、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に当接して電気的に接続する領域とを除いた、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとの間の少なくとも一部の領域が絶縁性樹脂により接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項６】
請求項５に記載の配線シート付き太陽電池セルが封止材によって透明基板上に封止されている、太陽電池モジュール。
【請求項７】
第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域および前記第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有する配線シートと、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、
前記第１導電型用配線の表面および／または前記第２導電型用配線の表面を含む前記配線シートの表面上に絶縁性樹脂を塗布する工程と、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線上に設置されるとともに、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線上に設置されるように、前記配線シート上に前記裏面電極型太陽電池セルを設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項９】
第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域が形成された半導体基板の一方の表面側に前記第１導電型不純物拡散領域および前記第２導電型不純物拡散領域のそれぞれに対応する第１導電型用電極および第２導電型用電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材と前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有する配線シートと、を備えた配線シート付き太陽電池セルを製造する方法であって、
前記第１導電型用電極の表面および／または前記第２導電型用電極の表面を含む前記裏面電極型太陽電池セルの表面上に絶縁性樹脂を塗布する工程と、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線上に設置されるとともに、前記裏面電極型太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線上に設置されるように、前記配線シート上に前記裏面電極型太陽電池セルを設置する工程と、を含む、配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法によって製造された配線シート付き太陽電池セルを封止材によって透明基板上に封止する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【国際調査報告】
2010110083.tif 000024
2010110083.tif 000025