(57)【要約】真空処置装置における搬送モジュール及び処理モジュールの制御装置が、それらモジュールからの状態データを収集する。制御装置は、全体のモジュールについてのデータを含む状態データセットを有し、取得タイミングで取得した自己の状態データをセット中の自己の状態データについて更新して、送信タイミングでデータ収集装置に送信する。複数の制御装置がループ状又はチェーン状においてデータ収集装置と接続され、データ収集間隔よりデータ送信間隔が短く、全体の送信同期が取得タイミング間隔の２倍より小さくなるようにされている。
2010073322.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第１のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第２のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータを受信し、受信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの一方はその時に自己が取得している状態データで自己の状態データを更新し他の状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記搬送モジュール制御装置、プロセスモジュール制御装置及びデータ収集装置は、ループ接続されると共に、搬送モジュール及びプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送受信可能に構成され、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、受信した前記状態データセットのうち、自装置で取得した状態データ部分を更新して、送信することを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置で更新した前記状態データ部分が前記データ収集装置に至るまでの到達時間が、前記データ収集装置におけるデータ収集間隔の２倍未満になるように、前記各プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置の状態データセットの送信周期を設定したことを特徴とする請求項２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、前記状態データの取得処理と、前記状態データを含むデータの送信処理と、が並行して実行可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記データ収集装置により取得した状態データの履歴を記憶する履歴記憶装置をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記搬送モジュールは、
搬送ロボットにより、前記プロセスモジュールに被処理体を供給する第１サブモジュールと、
前記搬送ロボットに被処理体を供給するための第２サブモジュールと、
を備え、
前記搬送モジュール制御装置は、前記第１及び第２サブモジュールに共通に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項７】
被処理体を搬送する搬送モジュールの状態データを取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールの状態データを取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータの送信を受け、前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置制御システム。
【請求項８】
被処理体を搬送する搬送モジュールを制御する制御手段と、
前記搬送モジュールの状態データを取得する取得手段と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールの状態データを受信する受信手段と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送信する送信手段と、
を備えることを特徴とする搬送モジュール制御装置。
【請求項９】
被処理体を搬送する搬送モジュールの状態データを取得する取得手段と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールを制御する制御手段と、
前記プロセスモジュールの状態データを受信する受信手段と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送信する送信手段と、
を備えることを特徴とするプロセスモジュール制御装置。
【請求項１０】
被処理体を搬送する搬送モジュールの状態データ、及び、前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを取得する取得手段と、
前記取得手段により取得した状態データセットに時刻情報を付加して出力する出力手段と、
を備えることを特徴とするデータ収集装置。
【請求項１１】
被処理体を搬送する搬送モジュールの状態データ、及び、前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを取得する取得手段と、
前記取得手段により取得した状態データセットに時刻情報を付加して出力する出力手段と、
を備えることを特徴とするデータ収集装置用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
半導体装置、電子部品などを製造する真空処理装置は、内部を排気可能なチャンバーを有し、真空下で被処理体に処理を行うための少なくとも１つのプロセスモジュールと、プロセスモジュールに被処理体を供給するための搬送モジュールと、を備えて構成される。そして、従来からこれらのモジュールに、データ収集サーバを接続し、プロセスモジュールや搬送モジュールの状態データを常時収集することが行われている。収集された状態データは、これらの装置の動作状況を監視したり、異常発生時の原因分析のために用いられたりする（特許文献１参照）。
データ収集は、データ収集周期に合わせて、データ収集サーバがプロセスモジュールや搬送モジュールにソケット通信で送信要求を行い、これに応答してプロセスモジュールや搬送モジュールが状態データを送信することにより行われるのが一般的である。
【特許文献１】特開２００５−２７６９３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
しかしながら、接続モジュールの数が増えると、最初の応答局と最後の応答局へのデータの送信要求タイミングが大きく異なる。
これは、１つのモジュールに対してデータを要求し、そのモジュールからデータが返信された後に順に、次のモジュールに対してデータを要求していく為である。
このように、送信要求タイミングが異なると、モジュールは送信要求を受けたときの現在値をデータ収集装置に対して送信することから、データ収集装置において収集する状態データの各モジュールにおけるサンプリング時刻もずれることになる。通常はこのずれが問題とならない範囲にネットワークを構成する。しかし、例えば、データ収集装置が輻輳している場合など、データ収集装置の負荷状況によって、このずれが無視できないほど大きくなることがあり、データ収集の信頼性にかけると言う問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明による真空処理装置は、
被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第１のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第２のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含む状態データセットを受信し、送信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュール一方のはその時に自己が取得している状態データで該受信した状態データセット中の自己の状態データを更新して作成された更新状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする。【０００４】
前記搬送モジュール制御装置、プロセスモジュール制御装置及びデータ収集装置は、ループ接続又はチェーン接続されると共に、搬送モジュール及びプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送受信可能に構成され、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、受信した前記状態データセットのうち、自装置で取得した状態データ部分を更新している。【０００５】
前記プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置で更新した前記状態データ部分が前記データ収集装置に至るまでの到達時間が、前記データ収集装置におけるデータ収集間隔の２倍未満になるように、前記各プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置の状態データセットの送信周期を設定している。【０００６】
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、前記状態データの取得処理と、前記状態データを含むデータの送信処理と、が並行して実行可能に構成されている。【０００７】
前記データ収集装置により取得した状態データの履歴を記憶する履歴記憶装置をさらに備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ネットワーク上の装置の１つに輻輳が発生していても、全体としての状態データの送信時間に大幅なずれが生ずる確立は極めて低くなる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例の真空処理装置の構成を示す図である。
【図２】制御装置とデータ収集装置を含む制御システムの構成を示す図である。
【図３】制御装置の構成を示す図である。
【図４】制御装置間のデータのフローを示す図である。
【図５】データ収集装置の構成を示す図である。
【図６】搬送チャンバーが１つの場合の真空処理装置の構成例を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１の真空処理装置は、搬送チャンバーＴｒ-１、Ｔｒ-２にそれぞれ被処理体（基板等）を搬送可能な搬送ロボットＲ-１，Ｒ-２が存在する。搬送チャンバーＴｒ-１、Ｔｒ-２は、図示しない真空ポンプなどの排気手段に接続されており、真空排気可能になっている。半導体メモリやＭＲＡＭなどの磁気メモリ、ＬＥＤなどの電子部品の製造に用いられる。【００１１】
搬送チャンバーＴｒ１にはロードロック室ＬＬ１、ＬＬ２が接続されている。ＬＬ１、ＬＬ２は、上下２段構造（Ｕｐｐｅｒ，  Ｌｏｗｅｒ）のチャンバーでおのおの１枚ずつウェハーが入り、独立して大気・真空にすることが可能である。大気状態と真空状態になることにより、ウェハーを大気下のＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）のロボットから搬出・搬入する。ＬＬ１はロード専用、ＬＬ２はアンロード専用となっている。また、搬送チャンバーＴｒ-１にはプロセスモジュールＰＭ−Ａ、ＰＭ−ＢとＰＭ−Ｅが接続されている。搬送チャンバーＴｒ１と搬送チャンバーＴｒ２の間はアライナーＰ１が取付られている。アライナーＰ１は搬送チャンバーＴｒ-１とＴｒ-２間のウェハーの移動およびウェハーの位置補正を行っている。搬送チャンバーＴｒ-２にはプロセスモジュールＰＭ−Ｉ、ＰＭ−ＪとＰＭ−Ｌが接続されている。ＥＦＥＭにはロボットＲ-３とアライナーＰ２が設置され、ロードポート上（ＬＰ１〜ＬＰ４）のカセットキャリア内とロードロック室内との間でウェハーを搬送する。上記図１の装置において、搬送チャンバーＴｒ-１、Ｔｒ-２、ＥＦＥＭ、アライナーＰ１、ロードロック室ＬＬ１，ＬＬ２からなる集合体が搬送モジュールＴＭとなる。【００１２】
なお、本発明を適用可能な真空処理装置は、図１の例に限られず、例えば、図６に示すように搬送チャンバーＴｒが１つのもの、あるいは、３つ以上のものであってもよく、プロセスモジュールの数も限定されない。プロセスモジュールとしては、例えば、スパッタリングやＣＶＤにより成膜を行う成膜用のプロセスモジュール、プラズマエッチングなどのドライエッチング用のプロセスモジュール、脱ガスや温度調整の目的で被処理体を加熱するためのプロセスモジュールなどが挙げられる。【００１３】
図２に、真空処理装置における制御システム構成を示す。真空処理装置は、搬送モジュールを制御する制御装置２−１と、プロセスモジュールＰＭ−Ａを制御する制御装置２−２と、プロセスモジュールＰＭ−Ｂを制御する制御装置２−３と、これらの制御装置２−１〜２−３からプロセスモジュール及び搬送モジュールの状態データを収集するデータ収集装置１と、を備える。【００１４】
これらの制御装置２−１〜２−３及びデータ収集装置１は、ネットワークＮＷ１を介し、互いにループ接続されている。ネットワークＮＷ１としては、例えば、光ファイバや同軸ケーブルによるループ接続（通信速度、例えば１０Ｍｂｐｓ、２５Ｍｂｐｓ）を適用でき、例えば、ＭＥＬＳＥＣＮＥＴ／Ｈ（三菱電機（株））などのネットワークシステムを用いることができる。【００１５】
なお、図１では、プロセスモジュールとしてＰＭ−Ａ，ＰＭ−Ｂ，ＰＭ−Ｅ，ＰＭ−Ｇ，ＰＭ−Ｉ，ＰＭ−Ｊ，ＰＭ−Ｌを示している。ここでは、説明の簡単のため、プロセスモジュールＰＭ−Ａ，ＰＭ−Ｂのみ示すが、これ以外のプロセスモジュールＰＭ-Ｅ，Ｇ，Ｉ，Ｊ，Ｌも同じネットワークＮＷ１にループ接続されている。【００１６】
また、真空処理装置は、制御装置２−１〜２−３に所定のタイミングで指令を送り、基板の処理手順（レシピ）に従った処理を行わせるためのホストと、データ収集装置１にて収集した状態データを取得し、その履歴を記憶する履歴記憶装置３と、を備えており、これらはネットワークＮＷ２を介してデータ収集装置１に接続されている。このネットワークＮＷ２の種類は、限定されないが、例えば、ＬＡＮやＲＳ−２３２Ｃなどの接続規格を適用できる。なお、ホストは、データ収集装置１にデータ収集命令を出力したりする機能も有する。【００１７】
図３は、制御装置２の機能ブロック図である。
制御装置１は、本実施形態ではＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）より構成され、シーケンスユニット２１と、ネットワークユニット２２と、Ｉ／Ｏユニット２３と、を備える。【００１８】
シーケンスユニット２１は、ホストからの指令又は予め定められたシーケンスに従って、自分の制御対象となるプロセスモジュールや搬送モジュールの制御対象機器に動作命令を出力する。これと共に、制御対象機器の状態を示す制御対象機器からの出力値や各センサの出力値を所定の取得タイミングで取得し、データ収集装置１が収集対象としている状態データをネットワークユニット２２に出力する。本実施形態では、これらの動作は、予め定められたシーケンスプログラムを繰り返し（例えば、数ミリ秒毎）実行することで、実現する。【００１９】
なお、制御対象機器としては、例えば、図１に示すようにプロセスモジュールＰＭと搬送チャンバーＴＲと間を仕切るゲートバルブＧＶ、反応ガスや放電用ガスを導入するためのマスフローコントローラ、排気バルブなどの各種バルブ類、各プロセスモジュールのチャンバー内を真空にするためのポンプ、プラズマ生成用の電源、基板を基板載置台から昇降させるためのリフトピン、搬送モジュールＴＭの場合は、搬送ロボットＲなどが挙げられる。また、センサとしては、基板温度やチャンバー内温度を検出するための温度センサやチャンバー圧力を検出するための圧力センサなどが挙げられる。【００２０】
なお、制御装置の構成方法は上記に限定されず、例えば、複数のプロセスモジュールを１つの制御装置で制御したり、搬送モジュールを各チャンバー単位で区切って制御装置を設けるようにしてもよい。しかし、本実施形態のように、プロセスモジュールは各プロセスモジュールで、複数の搬送チャンバーや搬送ロボットに基板を供給する前段装置がある場合にも、基板搬送にかかわる搬送モジュールには制御装置を単一に設けることで、装置の拡張性を向上できる。【００２１】
ネットワークユニット２２は、隣接するデータ収集装置１又は制御装置２との間で状態データの送受信を行うことで、データ収集装置１に状態データを送信する機能を有する。本実施形態では、ネットワークユニット２２はシーケンスユニット２１とは独立した演算処理装置を備えることで、シーケンスユニット２１による処理と並行して実行可能になっており、シーケンスユニット２１のシーケンスプログラムの実行間隔とは非同期の送受信間隔で繰り返し隣接装置とのデータ通信を実行する。なお、本実施形態では、状態データを取得するシーケンスプログラムの実行（取得タイミング）間隔よりも短い（送信タイミング）間隔で、ネットワークユニット２２による送受信処理を繰り返し実行する。【００２２】
より具体的に説明すると、ネットワークユニット２２は、図４に示すように、自分の制御対象となるモジュールの状態データのほか、同一のネットワークに接続する全ての制御装置２の状態データ、及び、データ収集装置１から送信される命令データを含む状態データセットＤ１〜Ｄ４を保持可能である。このうち、自分の制御対象となるモジュールの状態データのみが、自身のシーケンスユニット２１によって更新可能であり、他の記憶領域の状態データは、他の制御装置２から受信するデータをそのまま保持し、シーケンスユニット２１などで参照して用いる。このシーケンスユニット２１によるデータの更新動作は、上述のように、シーケンスプログラムの実行間隔（第１と第２のタイミング）で行われ、更新された状態データセットは、データ更新後の次の送信タイミングで隣接する制御装置２に送信されることとなる。【００２３】
なお、状態データセットに含む命令データは、データ収集装置１から送信されるデータ収集に関する命令データのほか、ホストからデータ収集装置１を介して送信される基板の処理手順に関する命令を含む。データ収集に関する命令データとしては、例えば、データ収集項目の追加、削除、変更、一部データ収集項目の取得周期の変更などを指定するデータが挙げられる。【００２４】
Ｉ／Ｏユニット２３は、制御対象機器やセンサとの通信を行う機能を有する。図４に、制御装置２−１〜２−３間及び該制御装置とデータ収集装置１間の状態データの送受信フローを説明するための図を示す。【００２５】
各制御装置２−１〜２−３及びデータ収集装置１は、隣接する制御装置又はデータ収集装置１から状態データセットを受信し、もう一方の隣接する制御装置又はデータ収集装置１に対し、現在メモリに保持する状態データセットを所定の送信タイミングで送信する。つまり、基本的に、ループ内の一方向の通信により、状態データセットを伝播していく。上述のように、各制御装置２で保持している状態データが、各自のシーケンスユニット２１の状態データ取得周期に従って更新されれば、ネットワークユニット２２による次の送信タイミングではその更新された最新の状態データを含む状態データセットが隣の制御装置２に送信される。この各制御装置２及びデータ収集装置１での状態データ取得処理、状態データの更新処理、状態データの送受信処理は、状態データが更新されたか否かにかかわらず、上述したように所定のシーケンスプログラム実行間隔や、ネットワークユニットによる送受信間隔で行われる。【００２６】
図４では、このようなループ通信により、紙面左側から紙面右側に向かって時間が進むに従って、状態データセットの各状態データ部分が順に更新されていく様子を示している。本実施形態では、一方向ループにおいて、最もデータ収集装置１と離れた制御装置２の最新のデータがデータ収集装置１に送信される周期を全体としての状態データの送信周期とみなし、この全体としての送信周期がデータ収集装置１における一括データ収集周期よりも短くなるように、ネットワークＮＷ１の通信速度やネットワークユニット２２の送受信周期、ループ構成を設定している。なお、好ましくは、この全体としての送信周期が、各制御装置２における状態データ取得周期（取得タイミング間隔）の２倍よりも小さくなるように送信タイミングを設定することで、状態データセットの中の状態データはその取得タイミングが同じか、せいぜい１回異なるだけにすることができる。【００２７】
図５は、データ収集装置１の機能ブロック図である。
データ収集装置１は、隣接する制御装置２との間で状態データセットを送受信するネットワークＮＷ１−インターフェース部１１を備える。ネットワークＮＷ１−インターフェース部１１は、状態データセット保持部１１ａを備える。この状態データセット保持部１１ａに、隣の制御装置２から所定の受信周期で受信した状態データセットを保持、更新し、所定の送信周期には、ここに保持される状態データセットを送信する。【００２８】
また、データ収集装置１は、所定の一括データ取得周期（例えば、１００ミリ秒）で、上記ネットワークＮＷ１−インターフェース部１１の状態データセット保持部から状態データセットを取得する一括データ取得部１２を備える。一括データ取得部１２により取得した状態データセットは、履歴記録部１３で、状態データセットを取得した時刻情報を付加し、取得する度に又は数回取得した分をまとめて履歴記憶装置３に送信する。このように、状態データの履歴を保存することで、複数のモジュールにまたがるデバイスなどの動作を監視することができる。なお、データ収集装置１は、例えば、一般的なコンピュータにネットワークインターフェースを設けることで構成する。【００２９】
本実施形態の場合、例えば、ネットワーク上の装置の１つに輻輳が発生していても、全体としてのデータの送信時間にもたらされる遅れは当該装置の処理の遅れ分だけである。全ての制御装置２及びデータ収集装置１に一度に輻輳が発生することは極めてまれであることから、全体としての状態データの送信時間に大幅なずれを生じることは極めてまれとなり、収集データの信頼性が高い。【００３０】
しかし、ポーリング方式により順に制御装置２からデータを収集する方式を採用すると、データ収集装置が、例えば履歴保存処理が輻輳していた場合、各制御装置からの収集動作の全てに遅れを生じることとなる。このため、最初の制御装置から最後の制御装置からデータを収集してくるまでの全体としての収集時間差は、全ての遅れが合計されるため、非常に大きく、許容範囲を超え、収集データの信頼性が不十分となる。
なお、ループ接続した場合について述べたが、これに限らず、データ収集装置と、制御装置のうちのいずれかと、が末端となるチェーン接続を行ってもよい。この場合は、例えば、一端の制御装置から各制御装置を順に介してデータ収集装置に状態データが伝達される構成とする。【００３１】
また、上記実施形態では、図示していないがループが２重化されており、１つのループに障害が発生したときに他のループに切替えられるように構成されている。このため、上述のように、状態データセットに全ての制御装置の状態データを含めるようにすることで、障害発生時により新しいデータを復元できるようにしているが、全制御装置の状態データを状態データセットに必ずしも含めなくてもよい。つまり、少なくとも、データ収集装置により近い下流側の制御装置で、上流側の全ての制御装置の状態データを受信可能な構成とすれば、全制御装置が全制御装置の状態データを受信する構成としなくてもよい。
【図１】
2010073322.tif 000003
【図２】
2010073322.tif 000004
【図３】
2010073322.tif 000005
【図４】
2010073322.tif 000006
【図５】
2010073322.tif 000007
【図６】
2010073322.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月21日(2010.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第１のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第２のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータを受信し、受信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの一方はその時に自己が取得している状態データで自己の状態データを更新し他の状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記搬送モジュール制御装置、プロセスモジュール制御装置及びデータ収集装置は、ループ接続されると共に、搬送モジュール及びプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送受信可能に構成され、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、受信した前記状態データセットのうち、自装置で取得した状態データ部分を更新して、送信することを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置で更新した前記状態データ部分が前記データ収集装置に至るまでの到達時間が、前記データ収集装置におけるデータ収集間隔の２倍未満になるように、前記各プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置の状態データセットの送信周期を設定したことを特徴とする請求項２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、前記状態データの取得処理と、前記状態データを含むデータの送信処理と、が並行して実行可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記データ収集装置により取得した状態データの履歴を記憶する履歴記憶装置をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記搬送モジュールは、
搬送ロボットにより、前記プロセスモジュールに被処理体を供給する第１サブモジュールと、
前記搬送ロボットに被処理体を供給するための第２サブモジュールと、
を備え、
前記搬送モジュール制御装置は、前記第１及び第２サブモジュールに共通に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の真空処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月25日(2011.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第１のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第２のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータを受信し、受信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの一方はその時に自己が取得している状態データで自己の状態データを更新し他の状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記搬送モジュール制御装置、プロセスモジュール制御装置及びデータ収集装置は、ループ接続されると共に、搬送モジュール及びプロセスモジュールの状態データを含む状態データセットを送受信可能に構成され、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、受信した前記状態データセットのうち、自装置で取得した状態データ部分を更新して、送信することを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置で更新した前記状態データ部分が前記データ収集装置に至るまでの到達時間が、前記プロセスモジュール制御装置および前記搬送モジュール制御装置におけるデータ収集間隔の２倍未満になるように、前記各プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置の状態データセットの送信周期を設定したことを特徴とする請求項２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置は、前記状態データの取得処理と、前記状態データを含むデータの送信処理と、が並行して実行可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記データ収集装置により取得した状態データの履歴を記憶する履歴記憶装置をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記搬送モジュールは、
搬送ロボットにより、前記プロセスモジュールに被処理体を供給する第１サブモジュールと、
前記搬送ロボットに被処理体を供給するための第２サブモジュールと、
を備え、
前記搬送モジュール制御装置は、前記第１及び第２サブモジュールに共通に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
本発明による真空処理装置は、
被処理体を搬送する搬送モジュールと、
前記搬送モジュールの状態データを第１のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信する搬送モジュール制御装置と、
前記搬送モジュールに接続され、搬送モジュールから搬送される被処理体に処理を施すプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの状態データを第２のタイミングで取得し、当該状態データを含むデータを送信するプロセスモジュール制御装置と、
前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの状態データを収集するデータ収集装置と、を備え、
前記搬送モジュール制御装置及びプロセスモジュール制御装置の少なくとも一方は、他方から前記状態データを含むデータを受信し、受信タイミングに応答して前記搬送モジュール及び前記プロセスモジュールの一方はその時に自己が取得している状態データで自己の状態データを更新し他の状態データを含む状態データセットを前記データ収集装置に送信することを特徴とする真空処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
前記プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置で更新した前記状態データ部分が前記データ収集装置に至るまでの到達時間が、前記プロセスモジュール制御装置および前記搬送モジュール制御装置におけるデータ収集間隔の２倍未満になるように、前記各プロセスモジュール制御装置及び搬送モジュール制御装置の状態データセットの送信周期を設定している。
【国際調査報告】
2010073322.tif 000009
2010073322.tif 000010