(57)【要約】  発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子（６）と、複数のレーザ素子（６）のそれぞれのレーザ素子を変調するための電気信号を発生する駆動回路（１）と、駆動回路（１）から複数のレーザ素子（６）のそれぞれのレーザ素子に電気信号を伝送する、複数の信号線路（４）とを備えた光送信モジュールにおいて、駆動回路（１）から複数のレーザ素子（６）のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路（１）から複数のレーザ素子（６）のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
2020008594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子の光出力を変調するための電気信号を発生する駆動回路と、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に前記電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、
前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいことを特徴とする光送信モジュール。
【請求項２】
前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路の物理長が異なることにより、前記電気信号の通過損失が、前記それぞれの信号線路で異なることを特徴とする請求項１に記載の光送信モジュール。
【請求項３】
前記複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されたことを特徴とする請求項２に記載の光送信モジュール。
【請求項４】
前記複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記絶縁基板の比誘電率が異なることにより、前記電気信号の通過損失が、前記それぞれの信号線路で異なることを特徴とする請求項１に記載の光送信モジュール。
【請求項５】
前記複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記絶縁基板の誘電損失が異なることにより、前記電気信号の通過損失が、前記それぞれの信号線路で異なることを特徴とする請求項１に記載の光送信モジュール。
【請求項６】
前記複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記信号導体の単位長さ当りの抵抗値が異なることにより、前記電気信号の通過損失が、前記それぞれの信号線路で異なることを特徴とする請求項１に記載の光送信モジュール。
【請求項７】
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子までの間に、前記それぞれのレーザ素子と直列にインダクタンスが接続され、前記それぞれのレーザ素子に接続されるインダクタンスの値が異なることにより、前記駆動回路から前記それぞれのレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が異なることを特徴とする請求項１に記載の光送信モジュール。
【請求項８】
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子と並列にコンデンサが接続され、前記それぞれのレーザ素子に接続されるコンデンサの容量の値が異なることにより、前記駆動回路から前記それぞれのレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が異なることを特徴とする請求項１に記載の光送信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、光送信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、データトラフィックの増大に伴い、光通信によるデータ伝送容量も１００Ｇｂｐｓを超えるような高速大容量化が進んでいる。この需要増加に伴って光トランシーバ内の光通信モジュールを増設することなく通信容量を増大することが望まれていることから、発振波長の異なる複数のＤＦＢ（Distributed Feedback）レーザ素子を一つに集積した光送信モジュール（多波長集積レーザモジュール）が採用されてきている。【０００３】
発振波長の異なる複数のＤＦＢレーザ素子を１枚の半導体基板上に一括形成する場合、発振波長と活性層の利得ピークの波長差（ディチューニング量）が各レーザで異なるため、周波数特性の均一化に不利であった。これを解決するために、例えば特許文献１では、選択気相成長技術により半導体レーザの活性層の膜厚と電界吸収型光変調器の活性層の膜厚との比（半導体レーザ活性層の層厚／変調器活性層の層厚）を半導体レーザの発振波長が長くなるほど小さくする技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３２６４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１によれば、周波数特性を均一化するために発振波長毎に選択気相成長を行う技術（ＭＯＶＰＥ法）を用いて半導体レーザと光変調器の活性層を一括形成しているが、この技術は高度であり容易に製造が実施できないという課題があった。【０００６】
本願は、上記のような高度な技術を必要とせず、簡易な製造方法で波長が異なるレーザ素子の周波数特性を均一化することが可能な光送信モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願に開示される光送信モジュールは、発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、複数のレーザ素子のそれぞれを変調するための電気信号を発生する駆動回路と、駆動回路から複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、駆動回路から複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路から複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
【発明の効果】
【０００８】
本願に開示される光送信モジュールによれば、簡易な製造方法で波長が異なるレーザ素子の周波数特性を均一化することが可能な光送信モジュールを提供することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態１による光送信モジュールの概略構成を示すブロック図である。
【図２】発振波長が異なるレーザ素子の特性を説明するための線図である。
【図３】実施の形態１による光送信モジュールの作用を説明するための線図である。
【図４】実施の形態１による光送信モジュールの効果を説明するための線図である。
【図５】図５Ａおよび図５Ｂは、実施の形態１による光送信モジュールの信号線路の一例を示す斜視図である。
【図６】実施の形態１による光送信モジュールの作用を説明するための線図である。
【図７】実施の形態２による光送信モジュールの概略構成を示すブロック図である。
【図８】実施の形態３による光送信モジュールの作用を説明するための線図である。
【図９】実施の形態４による光送信モジュールの作用を説明するための線図である。
【図１０】実施の形態５による光送信モジュールの要部の概略構成を示すブロック図である。
【図１１】実施の形態６による光送信モジュールの要部の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】実施の形態７による光送信モジュールの作用を説明するための線図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は実施の形態１による光送信モジュールの概略構成を示すブロック図である。多波長集積レーザモジュール５には、波長が異なるレーザ光を出力するレーザ素子６ａ、レーザ素子６ｂ、レーザ素子６ｃ、およびレーザ素子６ｄが並べて配置されている。以降、各レーザ素子をまとめて、あるいは一つのレーザ素子を代表としてレーザ素子６と記載することもある。各レーザ素子には、例えばレーザ発振素子であるＤＦＢレーザ素子と、ＤＦＢレーザ素子から発生されたレーザ光を変調するための電界吸収型光変調器が集積され、電界吸収型光変調器に変調用の電気信号を印加することにより、各レーザ素子から変調された光が出力される。基板３には、レーザ素子６ａ、レーザ素子６ｂ、レーザ素子６ｃ、およびレーザ素子６ｄに、それぞれ変調のための電気信号を伝送して給電する信号線路４ａ、信号線路４ｂ、信号線路４ｃ、および信号線路４ｄが形成されている。以降、各信号線路をまとめて、あるいは一つの信号線路を代表として信号線路４と記載することもある。駆動回路１は、各レーザ素子６に供給する、変調のための電気信号を発生する。駆動回路１から送信された電気信号２は基板３に形成されたそれぞれの信号線路４を通過した後、それぞれのレーザ素子６に印加され、変調された光信号に変換されて光信号７を出力する。
【００１１】
発振波長の異なる複数のレーザ素子６を１枚の半導体基板上に一括形成する場合、発振波長と活性層の利得ピークの波長差（ディチューニング量）が各レーザ素子で異なる。このため、例えば図２に示すように周波数に対する相対利得の大きさが波長によって異なる。ここで、相対利得とは、各周波数における基準電力の電気信号に対するレーザ出力の比を、基準の周波数の電気信号における値を０ｄＢとして表した値であり、図２は、この相対利得を、横軸を電気信号の周波数として表した線図である。図２に示す各レーザ素子の場合、出力されるレーザの波長が、相対的に波長が短い短波長レーザ素子よりも相対的に波長が長い長波長レーザ素子の周波数に対する相対利得のピークが約２ｄＢと大きく、一方、短波長レーザ素子は周波数に対する相対利得のピークは１ｄＢ以下と小さく、波長により周波数特性に差異がある。このように、一般に、波長が長い長波長レーザ素子の相対利得のピークは、長波長レーザ素子よりも短い波長の短波長レーザ素子の相対利得のピークよりも大きくなる。周波数に対する相対利得のピークは１ｄＢが望ましいとされており、１ｄＢ以上であれば、変調されたレーザの信号波形（アイパターン）におけるオーバーシュートが発生し、相対利得のピークが１ｄＢ以下であれば信号波形の鈍りが発生することが懸念される。
【００１２】
発振波長毎に異なる周波数特性を均一化する方法として、例えば図３に示すように、信号線路４の通過損失が大きいものと小さいものを作製し、レーザ素子６の波長が長いほど通過損失の大きい信号線路４を接続し、逆にレーザ素子６の波長が短いほど通過損失の小さい信号線路４を接続する。このようにレーザ素子６と信号線路４を組合せた場合、信号線路を通過する間に、通過損失により電気信号の電力が低下するため、図４に示すように、信号線路を含めた相対利得において、長波長レーザ素子６の利得ピークが大きく低下し、一方で短波長レーザ素子の利得ピークの低下量は小さい。また、相対利得が−３ｄＢとなる周波数である遮断周波数の変化は長波長レーザ素子および短波長レーザ素子とも大きくない。このため、全体として長波長レーザ素子と短波長レーザ素子の周波数特性を近づけることができる。
【００１３】
信号線路４における通過損失量を変える方法としては、信号線路４の物理的な線路長あるいは絶縁基板の比誘電率（εｒ）を変えて電気長を変える方法、絶縁基板の誘電損失（ｔａｎＤ）を変える方法、駆動回路とレーザ素子６の間にインダクタンスを直列に付加させる方法、駆動回路とレーザ素子６の間にコンデンサを並列に付加させる方法、および信号線路４の線路厚みを変えて抵抗値を変える方法などがある。それぞれについて以降の実施の形態にて説明する。
【００１４】
例えば単位長さ当りの電気信号の通過損失が同一である信号線路４ａ、信号線路４ｂ、信号線路４ｃ、および信号線路４ｄの長さ（物理長）を、それぞれＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、およびＬｄとした場合、図１に示すように、Ｌａ＜Ｌｂ＜Ｌｃ＜Ｌｄとする。一方、レーザ素子６ａ、レーザ素子６ｂ、レーザ素子６ｃ、およびレーザ素子６ｄの発振波長を、それぞれλａ、λｂ、λｃ、およびλｄとした場合、λａ＜λｂ＜λｃ＜λｄとする。レーザ素子６ａには信号線路４ａにより、レーザ素子６ｂには信号線路４ｂにより、レーザ素子６ｃには信号線路４ｃにより、レーザ素子６ｄには信号線路４ｄにより、それぞれ駆動回路１から電気信号を給電するようにする。このように、単位長さ当りの電気信号の通過損失が同一である同一特性の信号線路を用いた場合、信号線路長が長いほど通過損失が大きくなる。したがって、上述のように、波長が長いレーザ素子ほど、長い信号線路により、駆動回路１からレーザ素子まで電気信号を伝送して給電することで、波長間の周波数に対する信号線路を含めた相対利得を近づけることが可能となる。原理としては信号線路４ｄの線路長を長くすることによって電気長が長くなり、電気信号の通過損失が大きくなるため、これを相対的に波長が長い長波長のレーザ素子６ｄに接続することによって、周波数に対する信号線路を含めた相対利得のピークを低下させることが可能となる。一方、信号線路４ａ、信号線路４ｂ、および信号線路４ｃの線路長を信号線路４ｄよりも短くして電気長を短くした場合、電気信号の通過損失が小さいため、それぞれの信号線路を、短波長のレーザ素子６ａ、レーザ素子６ｂ、およびレーザ素子６ｃに接続することによって、周波数に対する信号線路を含めた相対利得の低下は、長波長のレーザ素子６ｄよりも少なくなる。また、、例えば、レーザ素子６ｂとレーザ素子６ｃを比較すると、レーザ素子６ｃの波長が相対的に長く、レーザ素子６ｂの波長が相対的に短い。したがって、相対的に波長が長いレーザ素子６ｃには、相対的に長さが長く、電気信号の通過損失が相対的に大きい信号線路４ｃを接続する。一方、相対的に波長が短いレーザ素子６ｂには、相対的に長さが短く、電気信号の通過損失が相対的に小さい信号線路４ｄを接続する。その他のレーザ素子の組み合わせにおいても、波長が異なるレーザ素子に接続されるそれぞれの信号線路の電気信号の通過損失の関係は同様である。
【００１５】
実際に図５Ａおよび図５Ｂに示すような、裏面に導体４４を有する絶縁基板４３の表面に信号導体４１および信号導体４２を形成した線路構造の信号線路Ａおよび信号線路Ｂ（Ｗ１＝Ｗ２＝１２０μｍ、Ｓ１＝Ｓ２＝４０μｍ、Ｌ１＝１５ｍｍ、Ｌ２＝７．５ｍｍ、Ｔ１＝Ｔ２＝２μｍ、εｒ＝２１、ｔａｎＤ＝０．０２）を例として解析を行なったところ、図６に示すような周波数に対する通過損失が得られた。このように損失を含めて線路インピーダンス特性が同じ信号線路を用い、異なる線路長の信号線路を各レーザ素子６と組合せることによって、波長間の周波数に対する信号線路を含めた相対利得を近づけることが可能となる。なお、今回の解析は差動線路にて行なっているが、信号導体が一つの単相線路においても同様の効果が得られる。
【００１６】
実施の形態２．
図１の信号線路およびレーザ素子の配置とは違う構成として、図７のように、複数の信号線路４のうち中央の線路の長さが短くなるように、内側に短い信号線路４ｂおよび信号線路４ｃを、外側に長い信号線路４ａおよび信号線路４ｄを配置し、これに対応させて、相対的に波長が短い短波長のレーザ素子６ｂおよびレーザ素子６ｃを多波長集積レーザモジュール５の中央部に配置し、相対的に波長が長い長波長のレーザ素子６ａ、およびレーザ素子６ｄを多波長集積レーザモジュール５の周辺部に配置するような構成にした。レーザ素子６ａには信号線路４ａにより、レーザ素子６ｂには信号線路４ｂにより、レーザ素子６ｃには信号線路４ｃにより、レーザ素子６ｄには信号線路４ｄにより、それぞれ駆動回路１から電気信号を給電するようにする。これにより、多波長集積レーザモジュール５が基板３の中央に配置され、レーザモジュールから出射されるレーザ光の位置も中央に配置することができる。信号線路４の線路長の違いによる通過損失と、各レーザ素子６の波長との関係については実施の形態１と同様である。
【００１７】
実施の形態３．
電気長を変えて通過損失を変える方法としては、実施の形態２の線路長を変える方法とは別に、例えば図５Ａおよび図５Ｂに示した、絶縁基板４３の表面に信号導体４１、４２を形成した構造の信号線路において、絶縁基板４３の比誘電率（εｒ）を変える方法がある。絶縁基板４３の比誘電率を大きくすることによって信号線路の電気長が長くなり、比誘電率が小さい絶縁基板の信号線路に比較して、同一の物理長における電気信号の通過損失が大きくなる。このため、比誘電率がより大きい絶縁基板を相対的に波長が長い長波長のレーザ素子に接続することによって周波数に対する信号線路を含んだ相対利得のピークを低下させることが可能となる。一方で絶縁基板の比誘電率を小さくして電気長を短くした場合、電気長が長いものと比較すると電気信号の通過損失が小さいため、これを相対的に波長が短い短波長のレーザ素子に接続することによって、周波数に対する相対利得の低下を抑えることができる。
【００１８】
実際に図５Ａおよび図５Ｂに示す線路構造の信号線路Ａおよび信号線路Ｂ（Ｗ１＝１２０μｍ、Ｗ２＝５００μｍ、Ｓ１＝４０μｍ、Ｓ２＝１５μｍ、Ｌ１＝Ｌ２＝１５ｍｍ、Ｔ１＝Ｔ２＝２μｍ、εｒ１＝２１、εｒ２＝６、ｔａｎＤ１＝ｔａｎＤ２＝０．０２）を例として解析を行なったところ、図８に示すような周波数に対する通過損失が得られた。このように、異なる比誘電率の線路と波長が異なる各レーザ素子６を組合せることによって波長間の周波数特性を近づけることが可能となる。なお、今回の解析は差動線路にて行なっているが、信号導体が一つの単相線路においても同様の効果が得られる。
【００１９】
実施の形態４．
信号線路４の通過損失を直接変える方法としては、例えば図５Ａおよび図５Ｂに示した、絶縁基板４３の表面に信号導体４１、４２を形成した構造の信号線路において、信号線路において、絶縁基板４３の誘電損失（ｔａｎＤ）を変える方法がある。絶縁基板４３の誘電損失を大きくすることによって、電気信号の通過損失が大きくなるため、誘電損失が大きい絶縁基板を用いた信号線路を相対的に波長が長い長波長のレーザ素子に接続することによって、周波数に対する信号線路を含んだ相対利得のピークを低下させることが可能となる。一方で絶縁基板４３の誘電損失を小さくした場合、誘電損失が大きい絶縁基板４３の信号線路と比較して電気信号の通過損失が小さいため、これを相対的に波長が短い短波長のレーザ素子６に接続することによって、周波数に対する信号線路を含んだ相対利得の低下が少なくなる。
【００２０】
実際に図５に示す線路構造の信号線路Ａおよび信号線路Ｂ（Ｗ１＝Ｗ２＝１２０μｍ、Ｓ１＝Ｓ２＝４０μｍ、Ｌ１＝Ｌ２＝１５ｍｍ、Ｔ１＝Ｔ２＝２μｍ、εｒ１＝εｒ２＝２１、ｔａｎＤ１＝０．０２、ｔａｎＤ２＝０．０１）を例として解析を行なったところ、図９に示すような周波数に対する通過損失が得られた。このように異なる誘電損失の信号線路と波長が異なる各レーザ素子を組合せることによって波長間の周波数特性を近づけることが可能となる。なお、今回の解析は差動線路にて行なっているが、信号導体が一つの単相線路においても同様の効果が得られる。
【００２１】
実施の形態５．
信号線路４の通過損失を直接変える方法としては、実施の形態４の誘電損失を変える方法とは別に、図１０に示すように、駆動回路１とレーザ素子６の間にインダクタンス（Ｌ）６０を直列に付加する方法がある。なお、図１０は、例として信号線路４に差動線路を用いた場合を示している。直列に付加したインダクタンス６０の値が大きいほど電気信号の通過損失が大きくなるため、これを相対的に波長が長い長波長のレーザ素子に接続することによって周波数に対する信号線路およびインダクタンスを含んだ相対利得のピークを低下させることが可能となる。一方で、相対的に波長が短い短波長のレーザ素子には長波長のレーザ素子に接続したインダクタンス６０の値よりも小さい値のインダクタンス６０を接続、あるいはインダクタンスを接続しないことによって周波数に対する信号線路およびインダクタンスを含んだ相対利得の低下が少なくなる。このような組合せを行なうことによって波長間の周波数特性を近づけることができる。
【００２２】
実施の形態６．
信号線路４の通過損失を直接変える方法としては、実施の形態４の誘電損失を変える方法、および実施の形態５の駆動回路１とレーザ素子６の間にインダクタンス（Ｌ）を直列に付加する方法とは別に、図１１に示すように、レーザ素子６にコンデンサ（Ｃ）６１を並列に付加する方法がある。なお、図１１は、例として信号線路４に差動線路を用いた場合を示している。並列に付加したコンデンサ６１の容量が大きいほど電気信号の通過損失が大きくなるため、これを相対的に波長が長い長波長のレーザ素子６に接続することによって周波数に対する相対利得のピークを低下させることが可能となる。一方で相対的に波長が短い短波長のレーザ素子６には長波長のレーザ素子６に接続したコンデンサ６１の容量よりも小さいものを接続、あるいはコンデンサを接続しないことによって周波数に対する相対利得の低下を少なくすることができる。このような組合せを行なうことによって波長間の周波数特性を近づけることができる。
【００２３】
実施の形態７．
信号線路４の通過損失を変える方法としては、信号線路の信号導体の単位長さ当りの抵抗値を変える方法がある。例えば図５Ａおよび図５Ｂに示した、絶縁基板４３の表面に信号導体４１、４２を形成した構成の信号線路において、信号導体４１および信号導体４２の厚みを変えることで、信号線路の単位長さ当りの抵抗値を変えることができる。信号導体４１および信号導体４２の厚みを薄くすることによって、電気信号の通過損失が大きくなるため、厚みがより薄い信号導体を有する信号線路を相対的に波長が長い長波長のレーザ素子６に接続することによって周波数に対する信号線路を含んだ相対利得のピークを低下させることが可能となる。一方で信号導体の厚みを厚くした場合、厚みが薄いものと比較して電気信号の通過損失が小さいため、これを相対的に波長が短い短波長のレーザ素子６に接続することによって、周波数に対する相対利得の低下は少なくなる。
【００２４】
実際に図５に示す線路構造の信号線路Ａおよび信号線路Ｂ（Ｗ１＝１２０μｍ、Ｗ２＝５００μｍ、Ｓ１＝４０μｍ、Ｓ２＝７０μｍ、Ｌ１＝Ｌ２＝１５ｍｍ、Ｔ１＝２μｍ、Ｔ２＝２０μｍ、εｒ１＝εｒ２＝２１、ｔａｎＤ１＝ｔａｎＤ２＝０．０２）を例として解析を行なったところ、図１２に示すような周波数に対する通過損失が得られた。このように信号導体の厚みが異なる信号線路と波長が異なる各レーザ素子６を組合せることによって波長間の周波数特性を近づけることが可能となる。なお、今回の解析は差動線路にて行なっているが、信号導体が一つの単相線路においても同様の効果が得られる。
【００２５】
本願には、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
【符号の説明】
【００２６】
１  駆動回路、２  電気信号、４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ  信号線路、５  多波長集積レーザモジュール、６、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ  レーザ素子、４１、４２  信号導体、４３  絶縁基板、６０  インダクタンス、６１  コンデンサ
【図１】
2020008594.tif 000003
【図２】
2020008594.tif 000004
【図３】
2020008594.tif 000005
【図４】
2020008594.tif 000006
【図５】
2020008594.tif 000007
【図６】
2020008594.tif 000008
【図７】
2020008594.tif 000009
【図８】
2020008594.tif 000010
【図９】
2020008594.tif 000011
【図１０】
2020008594.tif 000012
【図１１】
2020008594.tif 000013
【図１２】
2020008594.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月1日(2018.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子の光出力を変調するための電気信号を発生する駆動回路と、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に前記電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、
前記複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に１枚の半導体基板上に一括形成されて並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されるとともに、
前記複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記絶縁基板の比誘電率が異なることにより、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいことを特徴とする光送信モジュール。
【請求項２】
発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子の光出力を変調するための電気信号を発生する駆動回路と、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に前記電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、
前記複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に１枚の半導体基板上に一括形成されて並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されるとともに、
前記複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記絶縁基板の誘電損失が異なることにより、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいことを特徴とする光送信モジュール。
【請求項３】
発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子の光出力を変調するための電気信号を発生する駆動回路と、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に前記電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、
前記複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に１枚の半導体基板上に一括形成されて並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されるとともに、
前記複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、前記複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記信号導体の単位長さ当りの抵抗値が異なることにより、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいことを特徴とする光送信モジュール。
【請求項４】
発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子の光出力を変調するための電気信号を発生する駆動回路と、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に前記電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、
前記複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に１枚の半導体基板上に一括形成されて並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されるとともに、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子までの間に、前記それぞれのレーザ素子と直列にインダクタンスが接続され、前記それぞれのレーザ素子に接続されるインダクタンスの値が異なることにより、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいことを特徴とする光送信モジュール。
【請求項５】
発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子の光出力を変調するための電気信号を発生する駆動回路と、
前記駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に前記電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、
前記複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に１枚の半導体基板上に一括形成されて並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、前記多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されるとともに、
前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子と並列にコンデンサが接続され、前記それぞれのレーザ素子に接続されるコンデンサの容量の値が異なることにより、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの前記電気信号の通過損失が、前記駆動回路から、前記複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいことを特徴とする光送信モジュール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本願に開示される光送信モジュールは、発振波長が異なり、変調が可能な複数のレーザ素子と、複数のレーザ素子のそれぞれを変調するための電気信号を発生する駆動回路と、駆動回路から複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子に電気信号を伝送する、複数の信号線路とを備えた光送信モジュールにおいて、複数のレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの内部に１枚の半導体基板上に一括形成されて並べて配置されており、発振波長が短いレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの中央部に配置され、発振波長が長いレーザ素子が、多波長集積レーザモジュールの周辺部に配置されるとともに、複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、複数の信号線路のそれぞれの信号線路における絶縁基板の比誘電率が異なることにより、駆動回路から複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路から複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
また、複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、複数の信号線路のそれぞれの信号線路における絶縁基板の誘電損失が異なることにより、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
また、複数の信号線路は、絶縁基板の表面に信号導体が形成されることにより構成されており、複数の信号線路のそれぞれの信号線路における前記信号導体の単位長さ当りの抵抗値が異なることにより、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
また、駆動回路から前記複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子までの間に、それぞれのレーザ素子と直列にインダクタンスが接続され、それぞれのレーザ素子に接続されるインダクタンスの値が異なることにより、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
また、複数のレーザ素子のそれぞれのレーザ素子と並列にコンデンサが接続され、それぞれのレーザ素子に接続されるコンデンサの容量の値が異なることにより、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が長いレーザ素子までの電気信号の通過損失が、駆動回路から、複数のレーザ素子のうち発振波長が短いレーザ素子までの電気信号の通過損失に比べて大きいように構成されている。
【国際調査報告】
2020008594.tif 000015
2020008594.tif 000016
2020008594.tif 000017
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