(57)【要約】【課題】基板を直線運動させるための機構部の薄型化を図ることができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置は、駆動部（２）と、駆動部（２）に連結された一対の共通アーム（１１ａ、１１ｂ）と、共通アームに連結された一対の作動アーム（１２ａ、１２ｂ）と、キャリア（１４）と、変換機構部（１３）とを具備する。変換機構部（１３）は、アームの回転運動をキャリア（１４）の直線運動に変換する。変換機構部（１３）は、一対の軸部材（１３１ａ、１３１ｂ）と、作動アーム（１２ａ、１２ｂ）の先端に形成されたリング部（４２ａ、４２ｂ）とを含む。リング部は軸部材の周囲に回転する。リング部の外周面にはギヤ部（５０ａ、５０ｂ）が形成され、相互に係合することで、各リング部が連動して回転する。リング部と軸部材の間にはベアリング部材（６０ａ、６０ｂ）が配置される。ベアリング部材とギヤ部は、軸部材の径方向において相互に対向するように並んでいる。【選択図】図４
2010146840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置であって、
駆動部と、
前記駆動部と連結される第１の端部と、前記第１の端部とは反対側に位置する第２の端部とをそれぞれ有する一対の第１のアームと、
前記第１のアームの前記第２の端部に回転自在に取り付けられる第３の端部と、前記第３の端部とは反対側に位置し、外周面にギヤ部が形成された円環状のリング部を含む第４の端部とをそれぞれ有し、前記第４の端部が前記ギヤ部を介して相互に係合する一対の第２のアームと、
前記基板を支持するキャリアと、
前記第２のアームの前記第４の端部と前記キャリアとの間に配置され、前記第１及び第２のアームの回転運動を前記キャリアの直線運動に変換する変換機構であって、前記キャリアと結合される結合面及び前記各リング部に挿通される一対の軸部を有する本体と、前記軸部の外周面と前記リング部の内周面との間にそれぞれ装着され、前記軸部の径方向において前記ギヤ部と並ぶベアリング部材とを含む変換機構と
を具備する基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記第２のアームは、
前記第１のアームと連結され、前記第３の端部を有する第１の部材と、
前記第１の部材に取り付けられ、前記第４の端部を有する第２の部材とを含む
基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置であって、
前記変換機構は、前記軸部の軸方向に厚み方向を有し、
前記変換機構の厚みは、前記第１の部材の厚み以下である
基板搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板搬送装置であって、
前記第１の部材の前記第４の端部側の厚みは、前記第１の部材の前記第３の端部の厚みよりも小さい
基板搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板搬送装置であって、
前記本体は、前記第１及び第２のアームの回転方向に平行な第１の面と、前記第１の面より下方に位置する第２の面とをそれぞれ有し、
前記一対の軸部及び前記結合面はそれぞれ、前記第２の面に形成されている
基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、ガラス基板等の被処理基板を搬送するための基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、搬送室の周囲に複数の処理室が配置されたマルチチャンバ型の真空処理装置が知られている。この種の真空処理装置は、搬送室から各処理室へ基板を自動的に搬入・搬出するための基板搬送装置が設置されている【０００３】
下記特許文献１には、真空チャンバ内で基板を搬送するロボットが記載されている。このロボットは、連結された二本の腕を一対有し、一対の腕で一つの被搬送物を載せるキャリアを支え、上記一対の腕を同時に駆動することにより、被搬送物を搬送する。さらに、上記ロボットは、キャリアを直線運動させる手段として、キャリアを支える一対の各腕のキャリア側の一端にそれぞれ結合された歯車を含む回転拘束機構部を備えている。【０００４】
近年、マルチチャンバ型の真空処理装置は、処理室内の排気効率の向上、処理室内の温度変化の低減等を目的として、搬送室と処理室との間で基板を搬送する開口を狭く形成する傾向がある。このため、上記開口を通過する基板搬送装置の先端部の薄型化が必要となっている。そこで、上記ロボットは、上記各歯車を支持する軸受を単段とすることにより、回転拘束機構部の薄型化を図るようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３１７８７７号公報（段落[００２１]、図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のロボットは、上記歯車とこれを支持する軸受とが、それらの軸心方向に積み重なるようにして配置されているため、回転拘束機構部の薄型化に制限があるという問題がある。【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、基板を直線運動させるための機構部の薄型化を図ることができる基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板搬送装置は、基板を搬送する基板搬送装置であって、駆動部と、一対の第１のアームと、一対の第２のアームと、キャリアと、変換機構とを具備する。
上記一対の第１のアームは、上記駆動部と連結される第１の端部と、上記第１の端部とは反対側に位置する第２の端部とをそれぞれ有する。
上記一対の第２のアームは、上記第１のアームの上記第２の端部に回転自在に取り付けられる第３の端部と、上記第３の端部とは反対側に位置し、外周面にギヤ部が形成された円環状のリング部を含む第４の端部とをそれぞれ有する。上記一対の第２のアームは、上記第４の端部が上記ギヤ部を介して相互に係合する。
上記キャリアは、上記基板を支持する。
上記変換機構は、上記第２のアームの上記第４の端部と上記キャリアとの間に配置され、上記第１及び第２のアームの回転運動を上記キャリアの直線運動に変換する。上記変換機構は、本体と、ベアリング部材とを含む。上記本体は、上記キャリアと結合される結合面及び上記各リング部に挿通される一対の軸部を有する。上記ベアリング部材は、上記軸部の外周面と上記リング部の内周面との間にそれぞれ装着され、上記軸部の径方向において上記ギヤ部と並ぶ。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の上方側から見た斜視図である。
【図２】上記基板搬送装置の下方側から見た斜視図である。
【図３】上記基板搬送装置の変換機構部周辺の底面図である。
【図４】上記基板搬送装置の変換機構部周辺の斜視図である。
【図５】上記基板搬送装置の変換機構部の断面図である。
【図６】上記基板搬送装置を備えた真空処理装置の要部の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の一実施形態に係る基板搬送装置は、基板を搬送する基板搬送装置であって、駆動部と、一対の第１のアームと、一対の第２のアームと、キャリアと、変換機構とを具備する。
上記一対の第１のアームは、上記駆動部と連結される第１の端部と、上記第１の端部とは反対側に位置する第２の端部とをそれぞれ有する。
上記一対の第２のアームは、上記第１のアームの上記第２の端部に回転自在に取り付けられる第３の端部と、上記第３の端部とは反対側に位置し、外周面にギヤ部が形成された円環状のリング部を含む第４の端部とをそれぞれ有する。上記一対の第２のアームは、上記第４の端部が上記ギヤ部を介して相互に係合する。
上記キャリアは、上記基板を支持する。
上記変換機構は、上記第２のアームの上記第４の端部と上記キャリアとの間に配置され、上記第１及び第２のアームの回転運動を上記キャリアの直線運動に変換する。上記変換機構は、本体と、ベアリング部材とを含む。上記本体は、上記キャリアと結合される結合面及び上記各リング部に挿通される一対の軸部を有する。上記ベアリング部材は、上記軸部の外周面と上記リング部の内周面との間にそれぞれ装着され、上記軸部の径方向において上記ギヤ部と並ぶ。
【００１１】
上記変換機構において、本体の軸部は、各リング部の回転軸を構成する。一対のリング部は、それらの外周面に形成されたギヤ部を介して相互に係合し、各リング部の内周面はベアリング部材を介して軸部に支持される。この変換機構により、駆動部による第１及び第２のアームの回転運動がキャリアの直線運動に変換される。
上記基板搬送装置において、変換機構を構成するギヤ部とベアリング部材は、軸部の径方向においてそれぞれ対向するように並んでいる。したがって、変換機構の軸部の軸方向を厚み方向としたときに、ギヤ部とベアリング部材とが上記厚み方向に積み重なるようにして配置される場合と比較して、変換機構の厚みを小さくできる。これにより、変換機構の薄型化が図れるようになる。
【００１２】
上記第２のアームは、第１の部材と、第２の部材とを含んでもよい。上記第１の部材は、上記第１のアームと連結され、上記第３の端部を有する。上記第２の部材は、上記第１の部材に取り付けられ、上記第４の端部を有する。
これにより、上記各リング部を上記変換機構の一部として構成でき、薄型の変換機構を備えた基板搬送装置の組み立て性を向上させることができる。
【００１３】
本発明の一実施形態では、上記軸部の軸方向を厚み方向としたとき、上記変換機構の厚みは、上記第１の部材の厚み以下とする。また、上記第１の部材の上記第４の端部側の厚みは、上記第１の部材の上記第３の端部の厚みよりも小さい。
これにより、変換機構あるいは変換機構を含む第２のアームの先端領域を、第３の端部側よりも薄く構成することができる。
【００１４】
さらに、本発明の一実施形態では、上記本体は、上記第１及び第２のアームの回転方向に平行な第１の面と、上記第１の面より下方に位置する第２の面とをそれぞれ有する。この場合、上記一対の軸部及び上記結合面は、上記第２の面に形成される。これにより、キャリアを含む変換機構の厚みの増大を抑えることが可能となる。
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００１６】
［全体構成］
図１及び図２は本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を示す斜視図である。ここで、図１は、基板搬送装置１を上方側から見た斜視図、図２は、基板搬送装置１を下方側から見た斜視図である。図２においては、キャリアの図示は省略されている。図中、ｘ軸及びｙ軸は、互いに直交する水平軸であり、ｘｙ平面は、水平面に対応する。また、ｚ軸は、ｘ軸及びｙ軸に直交する鉛直軸である。
【００１７】
本実施形態の基板搬送装置１は、第１の搬送ロボット１０と、第２の搬送ロボット２０とを有する基板搬送装置として構成されている。第１の搬送ロボット１０は、主として、一対の共通アーム１１ａ、１１ｂ（第１のアーム）と、一対の第１の作動アーム１２ａ、１２ｂ（第２のアーム）と、変換機構部１３と、キャリア１４とで構成されている。第２の搬送ロボット２０は、主として、一対の共通アーム１１ａ、１１ｂと、一対の第２の作動アーム２２ａ、２２ｂ（第２のアーム）と、変換機構部２３と、キャリア２４とで構成されている。
【００１８】
基板搬送装置１は、例えばマルチチャンバ型の真空処理装置における搬送室の内部に設置される。上記真空処理装置は、搬送室の周囲に複数の真空処理室を有する。これら真空処理室は、基板を搬入及び／又は搬出するロード／アンロード室、成膜室（スパッタ室、ＣＶＤ室等）、熱処理室などの各種処理室が含まれる。基板搬送装置１は、真空排気された搬送室の内部において複数の真空処理室間で基板を受け渡すためのものであり、例えば、搬送室の底部（ｘｙ平面内）に設置される。
【００１９】
基板搬送装置１は、図１に示すように、駆動シャフト２１を有する駆動部２を有する。駆動部２は、搬送室の外方に設置され、典型的には電動機、シリンダ装置などで構成されている。駆動シャフト２１は、搬送室の底部をｚ軸方向に気密に貫通し、共通アーム１１ａ、１１ｂの各基端部１１１ａ、１１１ｂ（第１の端部）に連結されている。各基端部１１１ａ、１１１ｂは、図示するように相互に重ねて配置されている。駆動シャフト２１は、図２に示すように、同心的に配置された第１及び第２の駆動軸２１ａ、２１ｂを有し、第１の駆動軸２１ａは基端部１１１ａに連結され、第２の駆動軸２１ｂは基端部１１１ｂに連結されている。駆動部２は、共通アーム１１ａ、１１ｂをｘｙ面内で回転させ、あるいは、ｚ軸方向に上下移動させる。
【００２０】
共通アーム１１ａ、１１ｂは、例えばアルミニウム合金等の金属材料で構成される。共通アーム１１ａ、１１ｂの他端部（第２の端部）には、連結具３ａ、３ｂがそれぞれ取り付けられている。連結具３ａ、３ｂは、第１の作動アーム１２ａ、１２ｂをｘｙ平面内で回転自在に支持する第１の回転軸３１ａ、３１ｂと、第２の作動アーム２２ａ、２２ｂをｘｙ平面内で回転自在に支持する第２の回転軸３２ａ、３２ｂとを有する。
【００２１】
第１及び第２の作動アーム１２ａ、１２ｂ、２２ａ，２２ｂは、例えばアルミニウム合金等の金属材料で構成される。第１の作動アーム１２ａ、１２ｂは、第１の回転軸３１ａ、３１ｂに連結される端部１２１ａ、１２１ｂ（第３の端部）と、変換機構部１３に連結される端部１２２ａ、１２２ｂ（第４の端部）とを有する。変換機構部１３は、共通アーム１１ａ、１１ｂ及び第１の作動アーム１２ａ、１２ｂのｘｙ平面内における回転運動を、キャリア１４のｘｙ平面内における直線運動に変換する。キャリア１４は、ガラス基板や半導体基板等が載置される支持面１４ａを有し、図示しない真空処理室に進入して基板を受け渡す。
【００２２】
同様に、第２の作動アーム２２ａ、２２ｂは、第２の回転軸３２ａ、３２ｂに連結される端部２２１ａ、２２１ｂ（第３の端部）と、変換機構部２３に連結される端部２２２ａ、２２２ｂ（第４の端部）とを有する。変換機構部２３は、共通アーム１１ａ、１１ｂ及び第２の作動アーム２２ａ、２２ｂのｘｙ平面内における回転運動を、キャリア２４のｘｙ平面内における直線運動に変換する。キャリア２４は、ガラス基板や半導体基板等が載置される支持面２４ａを有し、図示しない真空処理室に進入して基板を受け渡す。キャリア１４、２４は、例えばアルミニウム合金等の金属材料で構成されており、その形状は図示のものに限られない。
【００２３】
変換機構部１３、２３はそれぞれ同一の構成を有している。以下、変換機構部１３及びその周辺構成の詳細について説明する。また、以下の説明では、便宜上、第１の搬送ロボット１０を単に搬送ロボット１０と、第１の作動アーム１２ａ、１２ｂを単に作動アーム１２ａ、１２ｂとそれぞれ称する。
【００２４】
［変換機構部の周辺構成］
図３〜図５は、変換機構部１３の構成を示している。ここで、図３は、搬送ロボット１０を下方側から見た底面図、図４は変換機構部１３を下方側から見たときの斜視図、図５は変換機構部１３をｘ軸方向から見たときの断面図である。図３及び図４においては、キャリアの図示は省略されている。
【００２５】
図３及び図４に示すように、作動アーム１２ａ、１２ｂはそれぞれ、主アーム部材３０ａ、３０ｂ（第１の部材）と、補助アーム部材４０ａ、４０ｂ（第２の部材）との結合体で構成されている。主アーム部材３０ａ、３０ｂは、端部１２１ａ、１２１ｂとは反対側の端部に、補助アーム部材４０ａ、４０ｂを組み付けるための取付孔３０１ａ、３０１ｂを備えている。
【００２６】
また、主アーム部材３０ａ、３０ｂの下面側には段部３０２ａ、３０２ｂがそれぞれ形成されている。これにより、図１及び図２に示すように、主アーム部材３０ａ、３０ｂは、段部３０２ａ、３０２ｂを境として、共通アーム１１ａ、１１ｂ側と変換機構部１３側とで厚み（ｚ軸方向）が異なり、共通アーム１１ａ、１１ｂ側よりも変換機構部１３側の方が薄く形成されている。また、共通アーム１１ａ、１１ｂ側の厚みを大きくすることで、主アーム部材３０ａ、３０ｂの剛性を確保することができる。
【００２７】
補助アーム部材４０ａ、４０ｂは、作動アーム１２ａ、１２ｂの第２の端部１２２ａ、１２２ｂをそれぞれ構成し、図５に示すように、板部４１ａ、４１ｂと、環状のリング部４２ａ、４２ｂとを有する。板部４１ａ、４１ｂは、ｘｙ平面に平行に形成された長方形状を有し、主アーム部材３０ａ，３０ｂの取付孔３０１ａ、３０１ｂに挿通されている。板部４１ａ、４１ｂは、取付孔３０１ａ，３０１ｂに対して摺動自在であり、所定の位置で複数本の締結具Ｓ１（図１）によって固定可能とされている。
【００２８】
一方、リング部４２ａ、４２ｂは、変換機構部１３の一部を構成し、主アーム部材３０ａ、３０ｂを変換機構部１３に連結させる。以下、変換機構部１３の詳細について説明する。
【００２９】
変換機構部１３は、図５に示すように、台座部１３３と、一対の軸部材１３１ａ、１３１ｂとを含む金属製の本体１３０を有する。一対の軸部材１３１ａ、１３１ｂは、台座部１３３の下面側に取り付けられている。
【００３０】
本体１３０の台座部１３３は、図４に示すように、キャリア１４と結合される結合面１３４を有する。台座部１３３は、その下面に段部１３３ｓを介して形成された薄肉領域を有しており、この薄肉領域の下面が結合面１３４とされている。結合面１３４は、複数本の締結具Ｓ２（図１）を介してキャリア１４の基部上面に接合される。
【００３１】
段部１３３ｓの高さ（深さ）は、キャリア１４の基部の厚みと同等に設定されている。また、結合面１３４を構成する台座部１３３の薄肉領域の厚みは、キャリア１４によって支持される基板の厚み以下とされている。
【００３２】
軸部材１３１ａ、１３１ｂは、それぞれ同一の直径を有する円柱形状に形成されている。軸部材１３１ａ、１３１ｂは、補助アーム部材４０ａ、４０ｂのリング部４２ａ，４２ｂを貫通し、締結具１３２ａ、１３２ｂを介して台座部１３３に固定されている。軸部材１３１ａ、１３１ｂの外周面とリング部４２ａ、４２ｂの内周面との間にはベアリング部材６０ａ、６０ｂがそれぞれ装着されており、軸部材１３１ａ、１３１ｂの周りに補助アーム部材４０ａ、４０ｂが回動可能とされている。
【００３３】
ベアリング部材６０ａ、６０ｂは、それぞれ単一のベアリング部品で構成されている。ベアリング部品の種類は特に限定されないが、本実施形態では、２点支持式のベアリング部品が用いられる。この種のベアリング部品としては、例えば、アンギュラベアリング（アンギュラ玉軸受）、真空グリスを潤滑材として含むベアリング部品等が挙げられる。４点支持式のベアリング部品が採用されてもよい。ベアリング部材６０ａ、６０ｂは、リング部４２ａ、４２ｂの上端から径内方側へ突出する周縁部４２ｃと、軸部材１３１ａ、１３１ｂの外周面から径外方側へ突出する段部１３１ｓとの間で挟持されるように、本体１３０に対して固定されている。
【００３４】
一方、リング部４２ａ、４２ｂの外周面には、それぞれギヤ部５０ａ、５０ｂが設けられている。各ギヤ部５０ａ、５０ｂは相互に係合し、これにより、各リング部４２ａ、４２ｂは相互に連動して、軸部材１３１ａ、１３１ｂの周りを回転する。すなわち、各リング部４２ａ、４２ｂは、軸部材１３１ａ、１３１ｂの周りに、それぞれ同一の回転角で同時に回転する。
【００３５】
本実施形態において、ギヤ部５０ａ、５０ｂは、リング部４２ａ、４２ｂの外周面にそれぞれ装着された環状のギヤ部品で構成されている。ギヤ部５０ａ、５０ｂとしては、例えば真空焼入れ処理が施された耐摩耗性に優れるギヤ部品を用いることができる。ギヤ部５０ａ、５０ｂは、リング部４２ａ、４２ｂの外周面に直接形成されてもよい。ギヤ部５０ａ、５０ｂは、リング部４２ａ、４２ｂの下面側に環状の支持プレート７０ａ、７０ｂを取り付ける複数本の締結具７１ａ、７１ｂによって、支持プレート７０ａ、７０ｂとともに、リング部４２ａ、４２ｂに対して固定される。支持プレート７０ａ、７０ｂの下面は、補助アーム部材４０ａ、４０ｂの下面と同一の平面内に属している。
【００３６】
図５に示すように、ベアリング部材６０ａ、６０ｂと、ギヤ部５０ａ、５０ｂとは、リング部４２ａ、４２ｂを挟んで、軸部材１３１ａ、１３１ｂの径方向において相互に対向するように並置されている。特に本実施形態では、ベアリング部材６０ａ、６０ｂとギヤ部５０ａ、５０ｂとはほぼ同一平面上に位置するように、リング部４２ａ、４２ｂの内周側及び外周側にそれぞれ配置されている。これにより、これらベアリング部材及びギヤ部が軸部材の軸方向に積み重なるように配置される構成と比較して、変換機構部１３の厚み寸法を小さく抑えることが可能となる。
【００３７】
以上のようにして構成される変換機構部１３は、作動アーム１２ａ、１２ｂは、補助アーム部材４０ａ、４０ｂのリング部４２ａ、４２ｂを軸部材１３１ａ、１３１ｂの周りに回動させることによって、共通アーム１１ａ、１１ｂの回転動作に追従する。このとき、リング部４２ａ、４２ｂはギヤ部５０ａ、５０ｂを介して相互に係合しているため、互いに同期して、かつ逆方向に回転する。その結果、キャリア１４は、ｚ軸のまわりに回転することなく、ｘｙ平面内において直線的に移動される。
【００３８】
第１の搬送ロボット１０は以上のようにして構成される。また、第２の搬送ロボット２０も、第１の搬送ロボット１０と同様に構成される。次に、以上のようにして構成される本実施形態の基板搬送装置１の典型的な動作について説明する。
【００３９】
［基板搬送装置の動作］
駆動部２は、駆動シャフト２１を構成する第１及び第２の駆動軸２１ａ及び２１ｂをそれぞれ逆方向に回転させることで、キャリア１４、２４を直線移動させる。すなわち、図１に示す状態において、上方から見て駆動軸２１ａを時計周りに、同じく駆動軸２１ｂを反時計周りにそれぞれ回動させると、キャリア１４、２４はそれぞれ（−ｘ）方向に移動する。逆に、上方から見て駆動軸２１ａを反時計周りに、同じく駆動軸２１ｂを時計周りにそれぞれ回転させると、キャリア１４、２４はそれぞれ（＋ｘ）方向に移動する。
【００４０】
一方、駆動部２は、第１及び第２の駆動軸２１ａ、２１ｂをそれぞれ同じ方向に回転させることで、第１及び第２の搬送ロボット１０、２０をｚ軸の周りに旋回させる。さらに、駆動部２は、第１及び第２の駆動軸２１ａ、２１ｂをｚ軸方向に伸縮させることによって、第１及び第２の搬送ロボット１０、２０を上下移動させる。
【００４１】
以上のようにして、キャリア１４、２４は、任意の空間位置へ移動される。これにより、キャリア１４、２４を用いて所定の搬送位置から他の搬送位置へ基板を精度よく搬送することができる。
【００４２】
ここで、本実施形態の基板搬送装置１においては、変換機構部１３、２３を構成するギヤ部５０ａ、５０ｂとベアリング部材６０ａ、６０ｂは、それぞれ軸部材１３１ａ、１３１ｂの径方向に対向するように配置されている。したがって、ギヤ部とベアリング部材とがｚ軸方向に積み重なって配置される構成と比較して、変換機構部１３、２３の厚みを小さくすることができ、変換機構部１３、２３の薄型化を図ることが可能となる。変換機構部１３、２３の厚みとしては、図５に示すように、補助アーム部材４０ａ、４０ｂが取り付けられる主アーム部材３０ａ、３０ｂの先端部の厚み（Ｔ）以下に抑えることができる。
【００４３】
また、本実施形態の基板搬送装置１において、作動アーム１２ａ、１２ｂ（２２ａ，２２ｂ）は、主アーム部材３０及び補助アーム部材４０の２つの部材で構成されている。これにより、補助アーム部材４０ａ、４０ｂのリング部４２ａ、４２ｂを変換機構部１３、２３の一部として構成でき、薄型の変換機構を備えた基板搬送装置１の組み立て性を向上させることができる。
【００４４】
また、本実施形態の基板搬送装置１において、作動アーム１２ａ、１２ｂ（２２ａ、２２ｂ）の端部１２２ａ、１２２ｂ（２２２ａ、２２２ｂ）側の厚みは、端部１２１ａ、１２１ｂ（２２１ａ、２２１ｂ）側よりも薄く形成されている。これにより、変換機構部１３（２３）を含む作動アーム１２ａ、１２ｂ（２２ａ、２２ｂ）の先端領域を、端部１２１ａ、１２１ｂ（２２１ａ、２２１ｂ）側よりも薄く構成することができる。
【００４５】
さらに、本実施形態の基板搬送装置１においては、変換機構部１３（２３）の台座部１３３の下面側にキャリア１４（２４）が結合されている。これにより、キャリア１４（２４）が台座部１３３の上面側に結合される場合と比較して、基板の厚みを含むキャリア１４（２４）の厚みを変換機構部１３（２３）の厚み以下に抑えることが可能となる。
【００４６】
以上のように、本実施形態によれば、作動アーム１２ａ、１２ｂ（２２ａ、２２ｂ）の先端領域を薄く構成することができる。これにより、搬送室と真空処理室との間で基板を搬送する開口を狭く形成することができ、生産性の高い真空処理装置を構成することが可能となる。
【００４７】
図６は、基板搬送装置１を備えた基板処理装置の構成の一例を示す要部の模式的断面図である。図示する真空処理装置８は、搬送室８０と、真空処理室８１と、これらの間を接続するゲートバルブ８２とを有する。基板搬送装置１は、搬送室８０の内部に設置されている。真空処理室８１は、搬送室８０との間で基板Ｗを搬入出するための開口８１ｗを有し、ゲートバルブ８２は、開口８１ｗを開閉する弁体（図示略）を有している。図示の例では、ゲートバルブ８２が開口８１ｗを開放し、基板搬送装置１のキャリア１４が真空処理室８１の内部へ進入して基板Ｗを搬入する様子を示している。
【００４８】
図６に示すように、本実施形態の基板搬送装置１によれば、変換機構部１３を従来よりも薄型化できるため、開口８１ｗの高さ寸法を従来よりも小さく構成することができる。一例を挙げると、本実施形態によれば、変換機構部１３の厚みを１４ｍｍ以下に抑えることができる。この場合、開口８１ｗの高さ寸法を２５ｍｍ〜３０ｍｍの範囲に設定することができる。
【００４９】
また、本実施形態の基板搬送装置１においては、作動アーム１２ａ、１２ｂの先端領域が変換機構部１３と同等の厚み寸法に形成されている。これにより、図６に示すように、作動アーム１２ａ、１２ｂの先端領域を真空処理室８１内に進入させることが可能となり、基板Ｗの搬入及び搬出作業性を高めることが可能となる。
【００５０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００５１】
例えば以上の実施形態では、第１の搬送ロボット１０と第２の搬送ロボット２０とを備えた基板搬送装置１を例に挙げて説明したが、第２の搬送ロボットを具備しない基板搬送装置にも本発明は適用可能である。
【００５２】
また、以上の実施形態では、同心的に配置された第１及び第２の駆動軸２１ａ、２１ｂを有する駆動部２を例に挙げて説明したが、両駆動軸が非同心的に配置された２軸の駆動部を採用してもよい。この場合、一対の共通アームの各基端部は、それぞれ対応する駆動軸と連結されることになる。
【符号の説明】
【００５３】
１…基板搬送装置
２…駆動部
８…真空処理装置
１０、２０…搬送ロボット
１１ａ、１１ｂ…共通アーム
１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ…作動アーム
１３、２３…変換機構部
１３、２４…キャリア
３０ａ、３０ｂ…主アーム部材
４０ａ、４０ｂ…補助アーム部材
４２ａ、４２ｂ…リング部
５０ａ、５０ｂ…ギヤ部
６０ａ、６０ｂ…ベアリング部材
８０…搬送室
８１…真空処理室
８１ｗ…開口
８２…ゲートバルブ
１３０…本体
１３１ａ、１３１ｂ…軸部材
１３４…結合面
Ｗ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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