(57)【要約】  本発明は、中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯上にロール状に巻きつけられた接着フィルムを有する積層体エレメント１０と、積層体エレメント１０を収容する梱包容器２０と、を備えており、中空部に乾燥剤を有する接着フィルム梱包体１００を提供する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯上にロール状に巻きつけられた接着フィルムを有する積層体エレメントと、前記積層体エレメントを収容する梱包容器と、を備える接着フィルム梱包体であって、
前記中空部に乾燥剤を有する接着フィルム梱包体。
【請求項２】
前記梱包容器はアルミニウムのコーティング層を有する、請求項１に記載の接着フィルム梱包体。
【請求項３】
前記梱包容器が袋状である、請求項１又は２に記載の接着フィルム梱包体。
【請求項４】
前記積層体エレメントは、ロール状に巻きつけられた接着フィルムを挟むように、前記巻芯に装着された一対のパッキンを備えており、
前記積層体エレメントの長手方向に直交する前記パッキンの断面が、前記接着フィルムのロールの横断面よりも大きい、請求項１〜３のいずれか一項に記載の接着フィルム梱包体。
【請求項５】
中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯にロール状に巻きつけられた接着フィルムを有する積層体エレメントを、梱包容器に収容して、前記積層体エレメントと前記梱包容器とを備える接着フィルム梱包体を得る工程を有する、接着フィルム梱包体の製造方法であって、
前記工程において、前記中空部に乾燥剤を配置した状態で、前記梱包容器を封止して前記接着フィルム梱包体を得る、接着フィルム梱包体の製造方法。
【請求項６】
前記工程において、前記中空部に前記乾燥剤を配置した状態で、前記梱包容器の内部の気体の少なくとも一部を吸引して除去し、前記梱包容器をヒートシールで封止する、請求項５に記載の接着フィルム梱包体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着フィルム梱包体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷配線板等の製造に用いられる接着フィルムは、溶剤に溶解したワニス状の樹脂成分を支持体フィルム上に塗布し、乾燥により溶剤を除去して、形成される。このような接着フィルムは、プラスチックや紙等からなる巻芯に巻き取って、ロール状の積層体エレメントとして保管される。【０００３】
この積層体エレメントは、ロール状に巻かれた接着フィルムに埃等が付着してその特性が低下することを抑制するために、梱包容器に密封して保管される。梱包容器を密封する前には、梱包容器中の気体を吸引したり、乾燥剤を入れたりして、空気中の水分の影響を極力低減することが試みられている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１６８１９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体パッケージ分野においては、例えば、パターン形成可能な感光性の機能を有する感光性接着フィルムの需要が益々高くなっている。しかし、このような接着フィルムの接着剤層は、空気中の水分の影響によって、接着強度が低下する傾向がある。このため、従来の保存方法で接着フィルムを保存した場合、保存期間が長期化すると、空気中の水分などの吸湿により接着強度が低下することが懸念される。【０００６】
一方で、特許文献１のように、梱包容器中に乾燥剤を入れると、感光性接着フィルムのように表面が軟らかい接着フィルムの場合、接着フィルムのロールの表面に乾燥剤が接触して、接着フィルムに凹凸が生じる。これによって、感光性接着フィルムの接着特性が低下したり、凹凸を有したままの状態で基材等にラミネートされて、不良品になったりしてしまう可能性が懸念される。【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、長期間保管しても、接着フィルムの形状及び接着特性を維持することが可能な接着フィルム梱包体、及びそのような特性を有する接着性フィルム梱包体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明では、中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯上にロール状に巻きつけられた接着フィルムを有する積層体エレメントと、積層体エレメントを収容する梱包容器と、を備える接着フィルム梱包体であって、中空部に乾燥剤を有する接着フィルム梱包体を提供する。【０００９】
この接着フィルム梱包体は、巻芯の中空部に乾燥剤を有していることから、接着フィルムの吸湿とその表面における凹凸の発生が十分に抑制され、接着フィルムの形状及び接着特性を長期間に亘って維持することができる。このため、表面が軟らかい感光性接着フィルムの保管に用いる接着フィルム梱包体として特に有用である。【００１０】
本発明の接着フィルム梱包体における梱包容器は、アルミニウムのコーティング層を有することが好ましい。これによって、梱包容器の内部への光の透過を抑制することができるため、接着フィルムの接着特性を一層良好に維持することができる。【００１１】
本発明の接着フィルム梱包体における梱包容器は、袋状であることが好ましい。これによって、梱包容器から積層体エレメントを容易に取り出すことができる。【００１２】
本発明の積層体エレメントは、ロール状に巻きつけられた接着フィルムを挟むように、巻芯に装着された一対のパッキンを備えており、積層体エレメントの長手方向に直交するパッキンの断面が、接着フィルムのロールの横断面よりも大きいことが好ましい。このようなパッキンを備えた積層体エレメントを梱包容器に収容して保管することによって、接着フィルムの表面における凹凸の発生が一層抑制されることとなり、接着フィルムの形状をより長期間に亘って一層良好に維持することが可能になる。なお、巻芯が円筒状である場合、パッキンは、巻芯に嵌合するような円柱状の穴を有する管状の形状を有することが好ましい。【００１３】
また、本発明は、中空部を有する筒状の巻芯、及び当該巻芯にロール状に巻きつけられた接着フィルムを有する積層体エレメントを、梱包容器に収容して、積層体エレメントと梱包容器とを備える接着フィルム梱包体を得る工程を有する、接着フィルム梱包体の製造方法であって、上記工程において、中空部に乾燥剤を配置した状態で、梱包容器を封止して接着フィルム梱包体を得る、接着フィルム梱包体の製造方法を提供する。【００１４】
本発明の接着フィルム梱包体の製造方法によれば、巻芯の中空部に乾燥剤を配置した状態で梱包容器を封止していることから、接着フィルムの吸湿とその表面の凹凸の発生が十分に抑制され、接着フィルムの形状及び接着特性を長期間に亘って維持することが可能な接着フィルム梱包体を製造することができる。【００１５】
本発明の製造方法の上記工程において、巻芯の中空部に乾燥剤を配置した状態で、梱包容器の内部の気体の少なくとも一部を吸引して除去し、梱包容器をヒートシールで封止することが好ましい。これによって、接着フィルムの接着剤層の吸湿が一層抑制されることとなり、接着フィルムの接着特性及び形状を長期間に亘って一層良好に維持することが可能な接着フィルム梱包体を製造することができる。【００１６】
なお、梱包容器の内部の気体の少なくとも一部を吸引して除去する場合、接着フィルム梱包体の梱包容器に生じるシワが接着フィルムの表面に転写して、接着フィルムの表面に凹凸が発生する可能性がある。また、吸引した際に接着フィルムのロールの端に力が加わり、接着フィルムのロールの端が変形する可能性もある。しかし、上述のように、積層体エレメントがパッキンを備えることによって、接着フィルムの表面へのシワの転写及び接着フィルムのロールの端の変形を抑制することができる。これによって、接着フィルムの表面における凹凸の発生を十分に低減することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、長期間保管しても、接着フィルムの接着特性及び形状を維持することが可能な接着フィルム梱包体、及びそのような特性を有する接着性フィルム梱包体の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の接着フィルム梱包体の好適な実施形態を説明するため、その内部を透視して示す透視図である。
【図２】本発明の接着フィルム梱包体の好適な実施形態に含まれる積層体エレメントを示す斜視図である。
【図３】本発明の接着フィルム梱包体の好適な実施形態に含まれる巻芯、巻芯の中空部に配置された乾燥剤容器及び当該容器内に収容された乾燥剤を模式的に示す透視図である。
【図４】本発明の接着フィルム梱包体の好適な実施形態に含まれる乾燥剤の乾燥剤用容器の概略図である。
【図５】本発明の接着フィルム梱包体の好適な別の実施形態を説明するため、その内部を透視して示す透視図である。
【図６】本発明の別の好適な実施形態である接着フィルム梱包体の積層体エレメントを示す斜視図である。
【図７】本発明の別の好適な実施形態である接着フィルム梱包体の縦断面を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の好適な実施形態である接着フィルム梱包体の縦断面を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、場合により図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図面において、同一または同等の要素には同一の符号を付与し、重複する説明を省略する。各構成要素の寸法比率は、各図面に示す寸法比率に限定されるものではない。
【００２０】
図１は、本実施形態の接着フィルム梱包体の内部を透視して示す透視図である。接着フィルム梱包体１００は、積層体エレメント１０と、該積層体エレメント１０を収容する梱包容器２０と、を備える。
【００２１】
積層体エレメント１０は梱包容器２０の内部に収容されて、密封されているため、長期間保管しても、接着フィルムの接着特性を長期間に亘って良好に維持することができる。
【００２２】
梱包容器２０は、接着フィルムの吸湿を十分に抑制する観点から、梱包容器２０は、水蒸気の透過率（透湿度）が十分に低減された防湿性を有するものであることが好ましい。水蒸気の透過率（透湿度）は、好ましくは１５ｇ／ｍ2／２４時間以下であり、より好ましくは１０ｇ／ｍ2／２４時間以下であり、さらに好ましくは２ｇ／ｍ2／２４時間以下である。水蒸気の透過率（透湿度）が１５ｇ／ｍ2／２４時間を超えると、接着フィルムの接着強度が低下してしまう場合がある。
【００２３】
梱包容器２０は、光による影響を抑制するために、水蒸気の透過率（透湿度）だけではなく、光の透過率も十分に低減されたものであることが好ましい。また、梱包容器２０の光の透過率は、波長２００〜８００ｎｍにおいて、好ましくは５％以下であり、より好ましくは１％以下である。これによって、感光性接着フィルムを有する積層体エレメントを保存しても、接着性が低下することを十分に抑制することができる。
【００２４】
梱包容器２０の具体例としては、アルミニウムをコーティングすることによって形成されるアルミニウムのコーティング層を有するプラスチック製の袋などが挙げられる。例えば、ポリエステル層／ＡＬ（アルミニウム）層／ＰＥ（ポリエチレン）層が順次積層された、３層からなるフィルム状のものが好ましく、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）層、ＳＰＥ（サンドポリエチレン）層、ＡＬ（アルミニウム）層、ＳＰＥ層、ＰＥ（ポリエチレン）層が順次積層された、５層からなるフィルム状のものがより好ましい。
【００２５】
積層体エレメント１０を梱包容器２０内に収容して密封する際に、梱包容器２０内の気体を吸引し、梱包容器２０内気体を極力少なくするために、梱包容器２０は、柔軟性のある袋状の材質であることが好ましい。また、梱包容器２０は、優れた柔軟性を有する程度の厚みを有することが好ましい。ここでいう柔軟性とは、巻芯１２に接着フィルムをロール状に巻きつけた構造を有する積層体エレメント１０に対して柔軟に変形できる程度の軟らかさをいう。このような柔軟性を有することによって、複雑な構造を有する積層体エレメントや、通常とは大きさが異なる積層体エレメントを用いた場合であっても、その構造に柔軟に対応することが可能となり、梱包容器内に残留する空気量を十分に少なくすることが可能となる。また、梱包容器２０は袋状であるため、積層体エレメント１０を容易に取り出すことができる。梱包容器２０の大きさは、積層体エレメント１０全体を包むことのできる大きさを有するものであれば制限されない。
【００２６】
図２は、本実施形態の接着フィルム梱包体の梱包容器に収容される積層体エレメント１０を示す斜視図である。積層体エレメント１０は、筒状の巻芯１２、及び当該巻芯１２の円周面上にロール状に巻きつけられた接着フィルム１４を備える。
【００２７】
図３は、本実施形態の接着フィルム梱包体が有する巻芯、巻芯の中空部に配置された乾燥剤容器及び当該容器内に収容された乾燥剤を模式的に示す透視図である。筒状の巻芯１２の中空部１３には、乾燥剤１９が収容された乾燥剤用容器１８が配置されている。
【００２８】
接着フィルム１４が巻きつけられている巻芯１２は、筒状の形状を有している。筒状の形状としては、例えば、角筒状、円筒状の形状などが挙げられる。巻芯１２に巻きつけられる接着フィルム１４のシワの発生を十分に抑制するために、巻芯１２は、円筒状の形状を有することが好ましい。巻芯１２は、中心部分に空洞である中空部１３を有しており、その中空部１３に乾燥剤１９が収容された乾燥剤用容器１８を有する。このように、運搬時等において、乾燥剤用容器１８が巻芯１２の中空部１３のスペース内を動くことができるようになっているため、効率的に乾燥剤が水分除去作用を発揮することができる。
【００２９】
巻芯１２の材質は、水分が吸着されにくいものが好ましい。これは、梱包時に梱包容器２０内への水分持ち込み量を低減するためである。巻芯１２の材質の好ましい例としては、プラスチック類、金属類などが挙げられる。これらのなかでも、梱包などの作業の効率を向上させる観点から、軽くて丈夫な素材であるＡＢＳ樹脂が好ましく用いられる。
【００３０】
梱包容器２０内の気体体積は、水や水蒸気などの水分による影響を低減する観点から、少ない方が好ましい。梱包容器２０内における気体体積は、梱包容器２０の全容積の３０体積％以下であることが好ましく、２０体積％であることがより好ましく、１０体積％以内であることがさらに好ましく、８体積％以内であることが特に好ましく、５体積%以内であることが最も好ましい。
【００３１】
接着フィルム１４は、支持フィルムと該支持フィルム上に形成された接着剤層とを備える接着フィルムシートであることが好ましい。接着フィルム１４としては、感光性接着フィルムや、空気中の水分により劣化する恐れのある接着フィルムなどが挙げられる。接着フィルム１４は、接着剤層上に保護フィルムを備えることがより好ましい。接着フィルム１４の幅は、１０〜５０ｃｍであることが好ましく、巻芯１２への接着フィルム１４の巻き取り長さは、５〜５０ｍであることが好ましい。巻芯１２に接着フィルム１４をロール状に巻きつけた構造を有しているため、広い面積の接着フィルム１４を保存することができ、保存スペースを低減することができる。
【００３２】
巻芯１２の中空部に配置される乾燥剤用容器１８は乾燥剤１９を含有する。乾燥剤１９の種類は、接着フィルム１４を梱包する梱包容器内の水分を取り除くことができるものであれば特に制限はない。例えば、シリカゲル、塩化カルシウム、生石灰、モレキュラーシーブ、酸化アルミニウム、水酸化ナトリウム、炭酸カリウム、五酸化二リン、濃硫酸、水酸化カリウム、金属ナトリウム、硫酸ナトリウム無水塩、硫酸銅無水塩、過塩素酸マグネシウムなどが挙げられる。これらの中でも、包装用の乾燥剤が好ましく、強い吸湿作用を有する点で、塩化カルシウム及びシリカゲルがより好ましい。また、再利用が容易であるという点で、シリカゲルがさらに好ましい。
【００３３】
乾燥剤用容器１８は、袋状のものに限定されるものではなく、立体的な容器であればよい。乾燥剤１９の粒子が乾燥剤用容器１８内で動くことができるように、乾燥剤用容器１８の容積及び乾燥剤１９の量を調整することが好ましい。乾燥剤１９の粒子が乾燥剤用容器１８内において動くことで、吸湿力のある乾燥剤１９のフレッシュな面が水分を含む気体にさらされやすい状態になり、梱包容器２０内の水分を十分に低減することができる。乾燥剤用容器１８としては、乾燥剤１９の粒子が動きやすいという点において、多面体、四面体、略球状体のものが好ましい。中でも、乾燥剤１９の粒子が乾燥剤用容器１８内の角などに一箇所に集まることがなく、よく動くことができるという点において、乾燥剤用容器１８は角のない略球状体であることがより好ましい。また、乾燥剤１９の粒子が乾燥剤用容器１８内でよく混ざるといった点では多面体のものであることが好ましい。さらに、乾燥剤用容器１８は発塵しにくい材質が好ましく、たとえば、ＰＥＴ、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロンのようなプラスチック材料や、不織布、無塵紙が好ましい。
【００３４】
なお、フレッシュな面が水分を含む気体にさらされやすい乾燥剤１９とは、吸湿力のあるフレッシュな面が水分を含む気体にさらされやすい状態にある乾燥剤のことを示す。例えば、乾燥剤１９の粒子が乾燥剤用容器１８内で動くことができれば、動くことで乾燥剤１９の粒子の吸湿面が効率よく交換され、フレッシュな面が水分を含む気体にさらされやすくなる。これにより、該乾燥剤１９の粒子のフレッシュな面が梱包容器２０内の水分に作用し、水分を十分に低減することができる。また、梱包容器２０内で乾燥剤の粒子の乾燥剤用容器１８が動くことで、乾燥剤１９の粒子が乾燥剤用容器１８内で動き、乾燥剤１９の粒子のフレッシュな面がさらされやすくなり、梱包容器２０内の水分を効率よく低減することができる。なお、保管期間中に、接着フィルム１４の劣化を十分に低減する観点から、梱包容器２０内の水分量を、接着フィルム１００質量部に対して、１質量部以下にすることが好ましく、０．７質量部以下にすることがより好ましく、０．５質量部以下にすることがさらに好ましい。また、巻芯１２の内部に存在する水分量及び接着フィルム１４が含有する水分量の合計水分量は、接着フィルム１００質量部に対して５質量部以下であることが好ましく、１質量部以下であることがより好ましい。
【００３５】
乾燥剤用容器１８内で乾燥剤１９が十分に動くことができるようにするため、乾燥剤用容器１８における乾燥剤１９の含有割合（乾燥剤用容器１８の内容積に対する乾燥剤の体積割合）は、７０体積％以下であることが好ましく、５０体積％以下であることがより好ましい。乾燥剤用容器１８内で乾燥剤１９が動くことで乾燥剤１９の粒子の吸湿面が効率よく交換され、乾燥剤の粒子のフレッシュな面が水分を含む気体にさらされやすい状態になる。
【００３６】
袋状の乾燥剤用容器１８を用いる場合、乾燥剤用容器１８の内容積は以下のようにして求めることができる。乾燥剤用容器１８となる、口が開いた袋状の容器に、水面が口の縁にかかるまで、当該口から水を注ぎ入れた後、口を閉止する。なお、その時にあふれた水は捨てる。そして、容器内に残った水をメスシリンダーに移し、その体積を求める。この時の水の体積を乾燥剤用容器１８の内容積とする。また、他の形状の容器の場合も、該容器の中に容器内全体が水で満たされるまで水を入れ、実際に乾燥剤１９を封入する際と同じように蓋をし、容器内に残った水をメスシリンダーで測ることで該容器の内容積を求めることができる。
【００３７】
本明細書において、乾燥剤の体積は、乾燥剤の見かけの比重と実際に用いた乾燥剤の質量とから算出することができる。乾燥剤の見かけの比重は、用いられる乾燥剤粒子の平均半径、及び平均質量から以下の式により算出することができる。
【００３８】
乾燥剤の見かけの比重（ｇ／ｃｍ3）＝１粒あたりの平均質量（ｇ）／１粒あたりの平均体積（ｃｍ3）
【００３９】
本実施形態の接着フィルム梱包体１００は、巻芯１２の中空部１３に乾燥剤１９を有する乾燥剤用容器１８を有しており、乾燥剤用容器１８は巻芯１２の内径よりも小さくなっている。このため、乾燥剤用容器１８が中空部１３内のスペースを動くことができる。乾燥剤用容器１８が動くことで、乾燥剤用容器１８内に封入された乾燥剤粒子が動き、乾燥剤粒子の吸湿面が効率よく交換される。そのため、乾燥剤１９の粒子のフレッシュな面が水分を含む気体に暴露されやすい状態になり、梱包容器２０内の水分を効率よく取り除くことができる。
【００４０】
図４は、本発明の接着フィルム梱包体に備えられる乾燥剤用容器の一例を示す概略図である。図４（ａ）は、乾燥剤用容器の上面図であり、図４（ｂ）は、乾燥剤容器の側面図である。
【００４１】
図４に示す乾燥剤用容器１８は、袋状（両凸レンズ状）の形状を有する。巻芯１２の中空部１３に乾燥剤用容器１８を配置することができる。その場合、乾燥剤用容器１８の上面図において、短辺の長さＡが、接着フィルムを巻きつける巻芯１２の軸方向に垂直な面における最短の長さ（巻芯１２が円筒状の場合は内径）に対し、９８パーセント以下であることが好ましく、９５パーセント以下であることがより好ましい。また、乾燥剤用容器１８の上面図において、長辺の長さＢが、接着フィルム１４を巻きつける巻芯１２の軸方向に垂直な面における最短の長さ（巻芯１２が円筒状の場合は内径）に対し、９８パーセント以下であることが好ましく、９５パーセント以下であることがより好ましい。なお、乾燥剤用容器１８の厚みは、巻心１２内を動くことができる程度の厚さであることが好ましい。また、乾燥剤用容器１８が、形状が変化しない材質で構成される場合、その大きさは、巻芯１２の中空部１３内を動くことができる大きさであることが好ましい。
【００４２】
本実施形態の接着フィルム梱包体１００は、接着フィルム１４の劣化の進行を抑制する観点から、低温で保存することが好ましい。具体的には、接着フィルム梱包体１００を冷蔵庫（５℃）で保存することが好ましく、冷凍庫（−３０℃）で保存することがより好ましい。
【００４３】
接着フィルム梱包体１００は、接着フィルムの劣化を防止する観点から、低湿度の条件下で保存することが好ましい。湿度は低ければ特に制限はなく、相対湿度は５０％ＲＨ以下であることが好ましく、３０％ＲＨ以下であることがより好ましく、２０％ＲＨ以下であることがさらに好ましく、１０％ＲＨ以下であることが特に好ましい。
【００４４】
次に、本実施形態の接着フィルム梱包体の製造方法について説明する。本実施形態の製造方法は、中空部１３を有する筒状の巻芯１２、及び当該巻芯１２に巻きつけた接着フィルム１４を有する積層体エレメント１０、並びに乾燥剤１９が収容された乾燥剤用容器１８を、梱包容器２０の内部に収容する収容工程と、中空部１３に乾燥剤１９が収容された乾燥剤用容器１８を配置した状態で、積層体エレメント１０を収容した梱包容器２０の口を封止して、接着フィルム梱包体１００を得る封止工程とを有する。
【００４５】
収容工程では、梱包容器２０の内部に、積層体エレメント１０を梱包容器２０の開口部から挿入する。乾燥剤１９が収容された乾燥剤用容器１８は、積層体エレメント１０とともに梱包容器２０内に収容してもよいし、一旦積層体エレメント１０を収容した後に、乾燥剤用容器１８を梱包容器２０内に収容された積層体エレメント１０の巻芯１２の中空部１３内に収容してもよい。
【００４６】
封止工程では、積層体エレメント１０及び乾燥剤用容器１８を収容した梱包容器２０の開口部を、中空部１３に乾燥剤用容器１８を配置した状態でヒートシールによって封止する。これによって、接着フィルム梱包体１００を得ることができる。梱包容器２０を封止する前に、真空ポンプなどを用いて梱包容器２０内の水分を含む気体を除去して、梱包容器２０内の水分を低減することが好ましい。なお、ヒートシールとは、梱包容器２０の一部（開口部）に、熱と圧力を印加することによって梱包容器２０に封をすることを示す。そのため、ヒートシールによって封止する場合、梱包容器２０の素材は熱により溶着できるものが好ましい。そのような素材としては、例えば、ポリエチレン、塩化ビニル、ポリエチレンを内側にラミネートした複合フィルムなどが挙げられる。
【００４７】
図５は、本発明の別の実施形態である接着フィルム梱包体の内部を透視して示す透視図である。本実施形態の接着フィルム梱包体１１０は、積層体エレメント１１と、該積層体エレメント１１を収容する梱包容器２０と、を備える。
【００４８】
図６は、本実施形態の接着フィルム梱包体の梱包容器に収容される積層体エレメント１１を示す斜視図である。本実施形態の接着フィルム梱包体に収容される積層体エレメント１１は、筒状の巻芯１２、当該巻芯１２上にロール状に巻きつけられた接着フィルム１４、及び、巻芯１２の両端部に、接着フィルム１４の積層ロールの側面と対向するように装着された一対のリング状のパッキン（保護材）１６を備える。パッキン１６のリング穴には、巻芯１２が挿入され、一対のパッキン１６は、巻芯１２の両端部にそれぞれ固定されている。
【００４９】
積層体エレメント１１の長手方向に直交するパッキン１６の断面は、接着フィルム１４のロールの横断面よりも大きくなっている。このような積層体エレメント１１を、上記実施形態に係る梱包容器２０内に収容して封止することによって、本実施形態の接着フィルム梱包体１１０を得ることができる。パッキン１６の材質は特に制限されず、プラスチック製、樹脂製等、様々な材質のものを用いることができる。
【００５０】
すなわち、積層体エレメント１１は、ロール状に巻きつけられた接着フィルムを挟むように、巻芯に装着された一対のパッキンを備えており、積層体エレメントの長手方向に直交するパッキンの断面が、接着フィルムのロールの横断面よりも大きいため、接着フィルム梱包体を保管したり、輸送したりする際に、接着フィルム１４の表面に異物が接触することを防止することができる。また、図６のように、巻芯１２が円筒状である場合、積層体エレメント１１は、ロール状に巻きつけられた接着フィルム１４のロールの外径よりも大きな外径を有する一対のパッキン１６を両端部に有することが好ましい。
【００５１】
図７は、本実施形態の接着フィルム梱包体の縦断面を模式的に示す断面図である。積層体エレメント１１の長手方向におけるパッキン１６の長さＬは、接着フィルム１４の変形を十分に抑制する観点から、巻芯１２の接着フィルム１４が巻きつけられていない部分の長さ（図８中の長さＳ）と同じか、又はそれより長いことが好ましい。
【００５２】
本実施形態の接着フィルム梱包体１１０は、積層体エレメント１１がパッキン１６を有する点で、上記実施形態に係る接着フィルム梱包体１００と異なっている。パッキン１６以外の構成は、上記実施形態と同様とすることができる。すなわち、巻芯１２の中空部には、乾燥剤１９が収容された乾燥剤用容器１８が配置されている。これによって、長期間保管しても、接着フィルム１４の接着特性を維持することができる。また、本実施形態の接着フィルム梱包体１１０の積層体エレメント１１は、パッキン１６を有していることから、接着フィルム１４の表面に凹凸が生じることを一層確実に抑制することができる。
【００５３】
図８は、接着フィルム梱包体１００の縦断面を模式的に示す断面図である。梱包容器２０に積層体エレメント１０を収容し、梱包容器２０の内部の気体の少なくとも一部を吸引して除去した場合、図８に示すように、吸引した際に接着フィルム１４のロールの端２０ａに力が加わって、接着フィルム１４のロールの端２０ａ付近が変形する可能性がある。
【００５４】
一方、図７の接着フィルム梱包体１１０の場合、積層体エレメント１１０がパッキン１６を備えるため、接着フィルム１４の表面における凹凸の発生を低減するとともに、接着フィルム１４のロールの端付近が変形することを十分に抑制することができる。
【００５５】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。
【実施例】
【００５６】
実施例及び比較例を用いて本発明の内容をより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。【００５７】
（実施例１）
攪拌機、温度計、及び窒素置換装置を備えたフラスコ内に、５，５’−メチレン−ビス（アントラニリックアシッド）（分子量２８６．３、以下「ＭＢＡＡ」という。）を２８．６ｇ、脂肪族エーテルジアミン（ＢＡＳＦ社製、「Ｄ−４００」（商品名）、分子量４５２．４）を３１６ｇ、及び１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ビス（４−アミノフェニル）ジシロキサン（東レ・ダウコーニングシリコーン製、「ＢＹ１６−８７１ＥＧ」（商品名）、分子量２４８．５）を２４．８ｇ、及びＮ−メチル−２−ピロリジノン（以下、「ＮＭＰ」という。）を１０００ｇ仕込んだ。【００５８】
次いで、上述のフラスコを氷浴中で冷却しながら、４，４’−オキシジフタル酸二無水物（分子量３２６．３、以下「ＯＤＰＡ」という。）３２６ｇを、当該フラスコ内に添加した。添加終了後、更に室温で５時間攪拌した。次に、当該フラスコに水分受容器付の還流冷却器を取り付けて、キシレン７００ｇを加え、窒素ガスを吹き込みながら１８０℃に昇温して、１８０℃で５時間保持し、水と共にキシレンを共沸除去した。こうしてポリイミド樹脂（以下、「ポリイミドＰＩ−１」という。）を得た。ポリイミドＰＩ−１のＭｗ（重量平均分子量）を、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）を用いて測定したところ、ポリスチレン換算で３１０００であった。また、ポリイミドＰＩ−１のＴｇ（ガラス転移温度）は５５℃であった。【００５９】
以下の原材料を準備した。
ＢＰＥ−１００：商品名、新中村化学工業株式会社製、エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート
Ｍ−３１３：商品名、東亜合成（株）製、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジ及びトリアクリレート
Ｉ−８１９：商品名、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド
Ｉ−ＯＸＥ０２：商品名、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製、エタノン,１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−,１−(Ｏ−アセチルオキシム)、オキシムエステル基含有化合物
ＶＧ３１０１：商品名、株式会社プリンテック製、３官能エポキシ樹脂
ＹＤＦ−８１７０：商品名、東都化成株式会社製、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂
ＴｒｉｓＰ−ＰＡ：商品名、本州化学工業株式会社製、トリスフェノール化合物（α，α，α´−トリス（４−ヒドロキシフェノル）−１−エチル−４−イソプロピルベンゼン）
Ｒ９７２：商品名、日本アエロジル株式会社製、疎水性フュームドシリカ（平均粒径：約１６ｎｍ）
ＮＭＰ：関東化学株式会社製、Ｎ−メチル−２−ピロリジノン【００６０】
上述の原材料を、表１に示す質量比率で配合し、混合して接着剤層形成用のワニスを調製した。【００６１】
【表１】
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【００６２】
市販の離型ＰＥＴフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム）上に、上記ワニスを、厚みが５０μmになるように塗布し、マルチコーター（（株）ヒラノテクノシード社製）を用いて、上記ＰＥＴフィルム上に感光性接着剤層を有する感光性接着フィルム（長さ２５ｍ）を作製した。具体的には、マルチコーターを、前室乾燥温度／乾燥風量９０℃／５．０、後室乾燥温度／乾燥風量１１０℃／１０．０ｍ／ｓｅｃの条件とし、ワニスを塗布したＰＥＴフィルムを、０．２ｍ／ｍｉｎの速度で移動させて作製した。【００６３】
作製した感光性接着フィルム上に、接着剤層とポリプロピレン製の保護フィルムとが接触するように、保護フィルムを付けた後、感光性接着フィルムをプラスチック製の円筒状の巻芯（内径：７８ｍｍ、外径：８８ｍｍ、幅：３００ｍｍ）に巻き取った。これによって、巻芯上に、ＰＥＴフィルム、接着フィルム、ＰＰ保護フィルムがこの順で積層された感光性接着フィルムがロール状に巻きつけられた積層体エレメントを得た。【００６４】
得られた積層体エレメントを、外側からＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）層、ＳＰＥ（サンドポリエチレン）層、ＡＬ（アルミニウム）層、ＳＰＥ層、及びＰＥ（ポリエチレン）層が順次積層された複合フィルム（厚さ：１４０μｍ、透湿度：０．１〜０．２９ｇ／３０日間＝０．０１〜０．０３ｇ／ｍ2／２４時間（計算値））からなる袋状の梱包容器（横×縦：３１０ｍｍ×６００ｍｍ）の中に収容した。【００６５】
次に、シリカゲルが収容された、２つの袋状の乾燥剤用容器（商品名「ＭＰ５Ｇ」、豊田化工株式会社製）を、積層体エレメントの巻芯の中空部内に配置した。そして、巻芯の中空部に上記乾燥剤用容器を配置した状態で、梱包容器の開口をヒートシールにより封止して、梱包容器を密封し、接着フィルム梱包体を作製した。接着フィルム梱包体に含まれる乾燥剤用容器は、巻芯の中空部内を移動することが可能な状態であった。【００６６】
なお、上記乾燥剤に収容されていたシリカゲルの質量は５ｇ、真比重は２．２、体積は２．３ｃｍ3であり、乾燥剤用容器（袋）の内部容積は１５ｃｍ3（サイズ：５６×７０ｍｍ）であった。また、乾燥剤用容器に収容されているシリカゲル粒子の性状（使用前）及び含有量は次の通りであった。シリカゲル粒子の平均半径及び平均質量は、粒子１０個の計測値から求めた平均値である。尚、乾燥剤用容器中において、シリカゲル粒子は移動可能な状態であった。【００６７】
シリカゲル粒子の平均半径：１．６ｍｍ
シリカゲル粒子の平均質量：０．０２６ｇ／個
シリカゲル粒子の見かけの密度：１．５ｇ／ｃｍ3、（平均質量と平均半径とから算出）
シリカゲル粒子の合計体積：３．３ｃｍ3、（シリカゲル粒子の合計質量／シリカゲルの見かけの密度＝５（ｇ）／１．５（ｇ／ｃｍ3）で算出）
乾燥剤用容器中におけるシリカゲル粒子の含有量：３．３／１５×１００＝２２体積％【００６８】
（実施例２）
梱包容器の開口をヒートシールにより封止する前に、ポリシーラー（富士インパルス社製）を用いて袋の内部を真空引きしたこと以外は、実施例１と同様にして、接着フィルム梱包体を作製した。【００６９】
（実施例３）
実施例１と同様にして、積層体エレメントを作製した。次に、袋（ポリエチレン、横×縦：８５ｍｍ×１２０ｍｍ、容器内容積：１７２ｃｍ3）に、乾燥剤の粒子のサイズよりも小さなサイズの穴を数ヶ所開けた。この穴を開けた袋に、乾燥したシリカゲル（中粒状（青色）、和光純薬工業株式会社製）１００ｇ（シリカゲル体積は６２．５ｃｍ3）を収容し、ヒートシールにより袋の口を閉じた。シリカゲルを収容した袋を、乾燥剤として、積層体エレメントの巻芯の内部（中空部内）に配置した。そして、巻芯の内部にこの乾燥剤を配置した状態で、梱包容器の開口をヒートシールにより封止して、梱包容器を密封し、接着フィルム梱包体を作製した。接着フィルム梱包体に含まれる乾燥剤は、巻芯の中空部内を移動することが可能な状態であった。なお、乾燥剤用容器に収容されているシリカゲル粒子の性状（使用前）及び含有量は次の通りであった。シリカゲル粒子の平均半径及び平均質量は、粒子１０個の計測値から求めた平均値である。尚、乾燥剤用容器中において、シリカゲル粒子は移動可能な状態であった。【００７０】
シリカゲル粒子の平均半径：１．８ｍｍ
シリカゲル粒子の平均質量：０．０３８ｇ／個
シリカゲル粒子の見かけの密度：１．６ｇ／ｃｍ3（平均質量と平均半径とから算出）
シリカゲル粒子の合計体積：６２．５ｃｍ3（シリカゲル粒子の合計質量／シリカゲル粒子の見かけの密度＝１００ｇ／１．６（ｇ／ｃｍ3）で算出）
乾燥剤用容器中におけるシリカゲル粒子の含有量：６２．５／１７２×１００＝３６体積％【００７１】
（実施例４）
梱包容器の開口をヒートシールにより封止する前に、ポリシーラー（富士インパルス社製）を用いて袋の内部を真空引きしたこと以外は、実施例３と同様にして、接着フィルム梱包体を作製した。【００７２】
（保管後の接着性評価）
上述の通り作製した実施例１〜４の接着フィルム梱包体を、室温（２０℃）で１４４時間、又は５℃で４ヶ月保管した後、以下の手順で接着性を評価した。まず、保管後の接着フィルム梱包体から、積層体エレメントを取り出した。そして、巻芯に巻きつけられている感光性接着フィルムを引っ張り出して、シリコンウェハ（サイズ：６インチ径、厚さ４００μm）上に感光性接着フィルムを、ラミネート装置を用いて、シリコンウェハと接着剤層とが向かい合うようにして貼り合わせた。貼り合わせる際の条件は、貼り合せ温度：８０℃、線圧：４ｋｇｆ／ｃｍ、送り速度：０．５m／分とした。【００７３】
次に、シリコンウェハ上に貼り付けられた感光性接着フィルムのＰＥＴ基材側にネガ型パターン用マスクを載せ、高精度平行露光機（オーク製作所製、商品名：ＥＸＭ−１１７２−Ｂ−∞）を用いて、露光量：１０００ｍＪ／ｃｍ2の条件で、露光した（紫外線を照射）。そして、加熱温度８０℃、加熱時間３０秒間の条件で加熱処理を施した後、感光性接着フィルムから基材をはく離し、コンベア現像機（ヤコー製）を用いて、以下の条件でスプレー現像処理して接着剤パターンを形成した。現像液としては、テトラメチルアンモニウムハイドライド（ＴＭＡＨ）を２．３８質量％含有する水溶液（２７℃）を用い、スプレー圧０．１８ＭＰａでスプレーした後、純水（２３℃）を用い、スプレー圧０．０２ＭＰａで６分間水洗した。【００７４】
続いて、１２０℃、１０分間の条件で加熱乾燥処理を施した直後に、ガラス（縦×横×厚さ：３０ｍｍ×３０ｍｍ×０．３５ｍｍ）を接着剤パターン上に載せ、フラットツール熱圧着装置（大橋製作所製、商品名：ＯＨ−１０５ＡＴＦ）を用いて、圧着温度：１５０℃、圧着荷重：０．５ＭＰａ、圧着時間：１０分間の条件で上記ガラスと接着剤パターンとを加熱圧着してサンプルを作製した。【００７５】
得られたサンプルをオーブン中、１６０℃で３時間、及び１８０℃で３時間の条件で保管して、接着剤パターンを加熱硬化させた。その後、加熱硬化させた接着剤パターンを有するガラスを２６０℃の熱板上で加熱し、ガラスと接着剤パターンと界面に剥離、又は発泡によるボイドが発生するまでの時間（ｔ）を測定した。その結果は表２に示す通りであった。【００７６】
【表２】
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【００７７】
実施例１〜４の接着フィルム梱包体は、所定期間保管した後でも、形状が変わっていなかった。また、接着特性も良好であった。すなわち、実施例１〜４の接着フィルム梱包体は、いずれも、感光性接着フィルムの形状と接着性を良好に維持できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明によれば、長期間保管しても、接着フィルムの接着特性及び形状を維持することが可能な接着フィルム梱包体、及びそのような特性を有する接着性フィルム梱包体の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１０，１１…積層体エレメント、１２…巻芯、１３…中空部、１４…接着フィルム、１６…パッキン、１８…乾燥剤用容器、１９…乾燥剤、２０…梱包容器、２０ａ…端、１００，１１０…接着フィルム梱包体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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