(57)【要約】  エア源から供給されるエア流量と、受け付けた閾値とに応じて、検査に使用する閾値を変更できる閾値の変更方法、及び検査装置を提供すること。  変更方法は、エア源から検査装置に供給される元流量を測定する元流量測定工程と、元流量と関連付けて閾値を受け付ける閾値受付工程と、次式、閾値Ｙｔｈ＝（係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１）×比率Ｃを用いて、閾値受付工程で受け付けた閾値の値を閾値Ｙｔｈに代入し、元流量測定工程で測定した元流量の値を元流量Ｘに代入することで、閾値受付工程で受け付けた閾値に変更した後の比率を演算する比率演算工程と、式の比率Ｃの値を、比率演算工程で演算した比率の値に変更し、変更後の式を用いて閾値を変更する閾値変更工程と、を含む。
2019193705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象にエアを供給し、供給中に測定したエア流量と閾値を用いて前記検査対象を検査する検査装置における閾値の変更方法であって、
当該閾値の変更方法が、
エア源から前記検査装置に供給される前記エア流量である元流量を測定する元流量測定工程と、
前記元流量と関連付けて前記閾値を受け付ける閾値受付工程と、
前記元流量を元流量Ｘ、前記検査対象のエア通路を流れる前記エア流量を先端流量として前記先端流量と比較する前記閾値を閾値Ｙｔｈ、基準値に対する前記閾値の比率を比率Ｃ、係数Ａ１、定数Ｂ１とした場合に、次式、
閾値Ｙｔｈ＝（係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１）×比率Ｃ
を用いて、前記閾値受付工程で受け付けた前記閾値の値を前記閾値Ｙｔｈに代入し、前記元流量測定工程で測定した前記元流量の値を前記元流量Ｘに代入することで、前記閾値受付工程で受け付けた前記閾値に変更した後の前記比率を演算する比率演算工程と、
前記式の前記比率Ｃの値を、前記比率演算工程で演算した前記比率の値に変更し、変更後の前記式を用いて前記閾値を変更する閾値変更工程と、
を含む、閾値の変更方法。
【請求項２】
検査対象にエアを供給し、供給中に測定したエア流量と閾値を用いて前記検査対象を検査する検査装置における閾値の変更方法であって、
当該閾値の変更方法が、
エア源から前記検査装置に供給される前記エア流量である元流量を測定する元流量測定工程と、
前記元流量を元流量Ｘ、前記検査対象のエア通路を流れる前記エア流量を先端流量として前記元流量Ｘを変化させた場合の前記先端流量の変化率を倍率Ｄ、係数Ａ２、定数Ｂ２とした場合に、前記倍率Ｄと前記元流量Ｘの関係式である次式、
倍率Ｄ＝係数Ａ２×元流量Ｘ＋定数Ｂ２
を用いて、前記元流量に応じた前記倍率を演算する倍率演算工程と、
前記閾値を受け付ける閾値受付工程と、
前記閾値受付工程で受け付けた前記閾値と、前記倍率演算工程で演算した前記倍率を用いて、基準となる前記元流量に対応する前記閾値を変更する閾値変更工程と、
を含む、閾値の変更方法。
【請求項３】
検査対象にエアを供給し、供給中に測定したエア流量と閾値を用いて前記検査対象を検査する検査装置であって、
エア源から供給される前記エア流量である元流量を測定する第１流量測定器と、
前記検査対象のエア通路を流れる前記エア流量である先端流量を測定する第２流量測定器と、
前記第１流量測定器及び前記第２流量測定器に接続される制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記第１流量測定器により、前記元流量を測定する元流量測定処理と、
前記元流量と関連付けて前記閾値を受け付ける閾値受付処理と、
前記元流量を元流量Ｘ、前記先端流量と比較する前記閾値を閾値Ｙｔｈ、基準値に対する前記閾値の比率を比率Ｃ、係数Ａ１、定数Ｂ１とした場合に、次式、
閾値Ｙｔｈ＝（係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１）×比率Ｃ
を用いて、前記閾値受付処理で受け付けた前記閾値の値を前記閾値Ｙｔｈに代入し、前記元流量測定処理で測定した前記元流量の値を前記元流量Ｘに代入することで、前記閾値受付処理で受け付けた前記閾値に変更した後の前記比率を演算する比率演算処理と、
前記式の前記比率Ｃの値を、前記比率演算処理で演算した前記比率の値に変更し、変更後の前記式を用いて前記閾値を変更する閾値変更処理と、
を実行する、検査装置。
【請求項４】
検査対象にエアを供給し、供給中に測定したエア流量と閾値を用いて前記検査対象を検査する検査装置であって、
エア源から供給される前記エア流量である元流量を測定する第１流量測定器と、
前記検査対象のエア通路を流れる前記エア流量である先端流量を測定する第２流量測定器と、
前記第１流量測定器及び前記第２流量測定器と接続される制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記第１流量測定器により、前記元流量を測定する元流量測定処理と、
前記元流量を元流量Ｘ、前記元流量Ｘを変化させた場合の前記先端流量の変化率を倍率Ｄ、係数Ａ２、定数Ｂ２とした場合に、前記倍率Ｄと前記元流量Ｘの関係式である次式、
倍率Ｄ＝係数Ａ２×元流量Ｘ＋定数Ｂ２
を用いて、前記元流量に応じた前記倍率を演算する倍率演算処理と、
前記閾値を受け付ける閾値受付処理と、
前記閾値受付処理で受け付けた前記閾値と、前記倍率演算処理で演算した前記倍率を用いて、基準となる前記元流量に対応する前記閾値を変更する閾値変更処理と、
を実行する、検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査対象内を流れるエアの流量を検査するのに用いる閾値を変更する閾値の変更方法、及び検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品装着機で用いられる吸着ノズルを検査する検査装置がある（例えば、特許文献１など）。特許文献１に記載された部品装着機は、装着ヘッドの吸着ノズルにより電子部品を吸着し、吸着した電子部品を基板に装着する。吸着ノズルは、装着ヘッドの内部に形成されたエア通路を介して供給される負圧エアにより電子部品を吸着する。装着作業において、例えば、吸着ノズルの先端から塵や埃などが吸引され吸着ノズル内で詰まりが発生すると十分な吸着力を得ることができなくなる。そこで、検査装置は、例えば、検査対象の吸着ノズルを接続され、その吸着ノズルを用いてエアを吸引する動作を行うとともに、吸着ノズル内を流れるエアの流量と、閾値とを比較して検査を行う。また、吸着ノズルに限らず、例えば、装着ヘッド内のエア通路に漏れや詰まりが発生すると十分な吸着力を得ることができなくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１６／００９４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した検査装置では、検査装置を設置した工場内のエア源からエアの供給を受けている。このエア源から供給されるエアの流量は、例えば、エア源の供給能力やエアを供給する装置数に応じて変動する場合がある。検査装置に供給されるエア流量の変動に応じて、吸着ノズルや装着ヘッドなどの検査対象のエア通路内を流れるエア流量も変動する。このため、検査の良否を判断するために、測定したエア流量と比較する閾値を、エア源から供給されるエア流量に応じて変更する必要がある。また、検査装置を使用するユーザは、検査の条件を変更するために、閾値の変更を望む可能性がある。【０００５】
本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、エア源から供給されるエア流量と、受け付けた閾値とに応じて、検査に使用する閾値を変更できる閾値の変更方法、及び検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本開示は、検査対象にエアを供給し、供給中に測定したエア流量と閾値を用いて前記検査対象を検査する検査装置における閾値の変更方法であって、当該閾値の変更方法が、エア源から前記検査装置に供給される前記エア流量である元流量を測定する元流量測定工程と、前記元流量と関連付けて前記閾値を受け付ける閾値受付工程と、前記元流量を元流量Ｘ、前記検査対象のエア通路を流れる前記エア流量を先端流量として前記先端流量と比較する前記閾値を閾値Ｙｔｈ、基準値に対する前記閾値の比率を比率Ｃ、係数Ａ１、定数Ｂ１とした場合に、次式、閾値Ｙｔｈ＝（係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１）×比率Ｃを用いて、前記閾値受付工程で受け付けた前記閾値の値を前記閾値Ｙｔｈに代入し、前記元流量測定工程で測定した前記元流量の値を前記元流量Ｘに代入することで、前記閾値受付工程で受け付けた前記閾値に変更した後の前記比率を演算する比率演算工程と、前記式の前記比率Ｃの値を、前記比率演算工程で演算した前記比率の値に変更し、変更後の前記式を用いて前記閾値を変更する閾値変更工程と、を含む、閾値の変更方法を開示する。【０００７】
また、上記課題を解決するために、本開示は、検査対象にエアを供給し、供給中に測定したエア流量と閾値を用いて前記検査対象を検査する検査装置における閾値の変更方法であって、当該閾値の変更方法が、エア源から前記検査装置に供給される前記エア流量である元流量を測定する元流量測定工程と、前記元流量を元流量Ｘ、前記検査対象のエア通路を流れる前記エア流量を先端流量として前記元流量Ｘを変化させた場合の前記先端流量の変化率を倍率Ｄ、係数Ａ２、定数Ｂ２とした場合に、前記倍率Ｄと前記元流量Ｘの関係式である次式、倍率Ｄ＝係数Ａ２×元流量Ｘ＋定数Ｂ２を用いて、前記元流量に応じた前記倍率を演算する倍率演算工程と、前記閾値を受け付ける閾値受付工程と、前記閾値受付工程で受け付けた前記閾値と、前記倍率演算工程で演算した前記倍率を用いて、基準となる前記元流量に対応する前記閾値を変更する閾値変更工程と、を含む、閾値の変更方法を開示する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、変更したい閾値を入力等するだけで、エア源から供給されるエア流量と、受け付けた閾値とに応じた閾値に変更できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の電子部品装着装置の斜視図である。
【図２】スライダから取り外した装着ヘッドの斜視図である。
【図３】吸着ノズルの斜視図である。
【図４】装着ヘッド清掃装置の斜視図である。
【図５】装着ヘッド清掃装置の構成のうち、検査に係わる部分を示すブロック図である。
【図６】元流量と先端流量の関係を示すグラフである。
【図７】上限値及び下限値の変更の受け付け及び検査を実行する処理を示すフローチャートである。
【図８】測定結果及び良否判断結果を表示した画面を示す図である。
【図９】上限値及び下限値の変更を受け付ける画面を示す図である。
【図１０】第２実施形態に係わるグラフであり、元流量と倍率の関係を示すグラフである。
【図１１】第２実施形態に係わるフローチャートであり、上限値及び下限値の変更の受け付け及び検査を実行する処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、本開示を実施するための一実施形態である第１実施形態について、図を参照しつつ詳しく説明する。まず、本開示の検査対象の一例である装着ヘッドを備える電子部品装着装置について説明する。
【００１１】
（電子部品装着装置の構成）
図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４を有している。なお、以下の説明では、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、Ｘ軸方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称して説明する。
【００１２】
各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４を備えている。
【００１３】
搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。
【００１４】
移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられている。装着ヘッド２６は、移動装置２４の２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。装着ヘッド２６は、スライダ５０に対し着脱可能に構成されている。
【００１５】
装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。図２は、スライダ５０から取り外した装着ヘッド２６の斜視図である。図２に示すように、装着ヘッド２６は、例えば、装着ユニット６６を１２個備えている。各装着ユニット６６の先端部には、吸着ノズル６８が装着されている。吸着ノズル６８は、装着ユニット６６に対し着脱可能に構成されており、電子部品のサイズ、形状等に応じて変更することが可能である。
【００１６】
各吸着ノズル６８は、装着ヘッド２６のエア通路７３を介して、正負圧供給装置（図視略）と接続されている。各吸着ノズル６８は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ユニット６６は、略軸状をなし、ホルダ７４の外周部に、等角度ピッチで保持されている。吸着ノズル６８は、装着ユニット６６の先端部に保持され、下方に向かって延び出している。
【００１７】
１２個の装着ユニット６６の各々は、図２における上下方向に沿った回転軸を中心に自転可能となっている。これにより、各吸着ノズル６８によって吸着保持された電子部品の保持姿勢を変更することが可能である。また、ホルダ７４は、装着ヘッド２６のヘッド本体８０によって、図２における上下方向に沿った回転軸を中心に回転可能に支持されている。これにより、１円周上に配置された複数の吸着ノズル６８は、その１円周の中心を軸心として、任意の角度に回転する。また、各装着ユニット６６は、ホルダ７４に上下方向に移動可能に保持されている。装着ユニット６６は、ホルダ７４の回転に伴って、上下方向に移動する。例えば、各装着ユニット６６は、ホルダ７４における１円周上の位置に応じて上下方向の位置を変更される。
【００１８】
また、吸着ノズル６８は、図３に示すように、胴体筒９１と、フランジ部９２と、吸着管９３と、掛止ピン９４を有する。胴体筒９１は、円筒状をなしている。フランジ部９２は、胴体筒９１の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管９３は、細いパイプ状をなし、胴体筒９１の下端部から下方に向かって延び出した状態で胴体筒９１により保持され、図３における上下方向に移動可能に保持されている。掛止ピン９４は、胴体筒９１の径方向に延びるように、胴体筒９１の上端部に設けられている。吸着ノズル６８は、掛止ピン９４を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、吸着ノズル６８は、装着ヘッド２６のエア通路７３を介して正負圧供給装置に接続される。
【００１９】
装着ヘッド２６の内部には、正負圧供給装置が発生させる負圧エアを吸着ノズル６８まで供給するエア通路７３（図２参照）が形成されている。装着ヘッド２６は、例えば、スライダ５０と接続されるコネクタを備え、このコネクタを介して正負圧供給装置から負圧を供給される。本実施形態のエア通路７３は、例えば、装着ヘッド２６におけるスライダ５０と接続するコネクタから装着ユニット６６に至るまでのエアの通路である。装着ヘッド２６は、例えば、ホルダ７４を回転させることで、１２個の装着ユニット６６のうち、エア通路７３と接続される装着ユニット６６を変更する。エア通路７３と接続された装着ユニット６６は、コネクタから吸着ノズル６８に至るまでのエア通路となる。従って、装着ユニット６６内のエアの通路は、本開示における検査対象のエア通路の一例である。各吸着ノズル６８は、エア通路７３、装着ユニット６６を介して供給される負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。
【００２０】
また、図１に示すように、供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、テープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送出装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
【００２１】
ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６８を収容するノズルトレイ７８を有している。装着ヘッド２６は、ノズルステーション３０において、取り付けられている吸着ノズル６８と、ノズルトレイ７８に収容されている吸着ノズル６８との交換等を行う。また、ノズルトレイ７８は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７８に収容された吸着ノズル６８の回収、ノズルトレイ７８への吸着ノズル６８の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。
【００２２】
（装着機１４による装着作業）
装着機１４は、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４は、回路基板を作業位置まで搬送し、作業位置において基板保持装置によって回路基板を固定的に保持する。また、テープフィーダ７２は、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。装着ヘッド２６は、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６８によって電子部品を吸着保持する。装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
【００２３】
（装着ヘッド２６の検査）
本実施形態の装着機１４では、上記したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、装着ヘッド２６の吸着ノズル６８によって吸着保持し、その電子部品を回路基板に装着する。例えば、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６８の先端などから塵や埃などを吸着ノズル６８、装着ユニット６６、エア通路７３等に吸引する虞がある。また、塵や埃の詰まりだけでなく、エアの通る流路のいずれかに漏れなどが発生する虞がある。このような不具合が生じていると、装着ヘッド２６は、十分な吸着力を得ることができず、適切に装着作業を実行することができなくなる。このようなことを考慮して、装着機１４から取り外した装着ヘッド２６の清掃や清掃後の検査を行う必要が生じる。
【００２４】
図４は、装着ヘッド清掃装置１０１の斜視図である。図４に示すように、装着ヘッド清掃装置１０１は、略直方体形状をなしている。装着ヘッド清掃装置１０１の正面には、装着ヘッド２６の出し入れを行う取り出し口１０３が設けられている。また、装着ヘッド清掃装置１０１の正面の上部には、操作部１０５が設けられている。操作部１０５は、例えば、タッチパネルや操作スイッチを有する。ユーザは、取り出し口１０３を開けて検査を行いたい装着ヘッド２６を装着ヘッド清掃装置１０１内に接続する。
【００２５】
装着ヘッド２６の清掃及び検査は、例えば、吸着ノズル６８を取り外した状態の装着ヘッド２６に対して行われる。このため、ユーザは、例えば、装着ユニット６６から全ての吸着ノズル６８を取り外した装着ヘッド２６を装着ヘッド清掃装置１０１に接続する。ユーザは、装着ヘッド２６を接続して取り出し口１０３を閉じた後、操作部１０５の表示内容を確認し操作部１０５の操作を行って清掃や検査を実行させる。装着ヘッド清掃装置１０１は、例えば、装着ヘッド２６の清掃を実行し、清掃後の装着ヘッド２６内（エア通路７３など）を流れるエアの流量を検査する。
【００２６】
清掃作業において、装着ヘッド清掃装置１０１は、例えば、装着ヘッド２６のエア通路７３に正圧エアやオイルミストなどを供給してエア通路７３内の清掃を行う。装着ヘッド清掃装置１０１は、例えば、エア通路７３に接続される切替バルブ（図視略）を備え、切替バルブの切り替えにより正圧エア又はオイルミストの供給を切り替える。装着ヘッド清掃装置１０１は、正圧エア又はオイルミストをエア通路７３に供給し、吸着ノズル６８を取り外した装着ユニット６６から排出される塵等を回収する。これにより、装着ヘッド２６のエア通路７３の清掃が実行される。
【００２７】
次に、装着ヘッド清掃装置１０１は、清掃後のエア通路７３のエア流量を検査する。図５は、装着ヘッド清掃装置１０１の構成のうち、検査に係わる部分を示すブロック図である。図５に示すように、装着ヘッド清掃装置１０１は、制御部１１０、第１流量測定器１１１、レギュレータ１１３、エジェクタ１１５、及び第２流量測定器１１７を備えている。なお、装着ヘッド清掃装置１０１は、清掃と検査とを同じ装置を用いて実行しても良く、清掃を行う装置とは別に検査を行う装置を備えても良い。
【００２８】
制御部１１０は、上記した操作部１０５（図４参照）の他に、ＣＰＵ１２１、記憶部１２３、外部ＩＦ１２５、駆動回路１２７を備える。これら操作部１０５、ＣＰＵ１２１等は、通信バス１２９を介して互いに通信可能となっている。操作部１０５は、タッチパネルや操作スイッチに対する操作入力に応じた信号をＣＰＵ１２１へ出力する。また、操作部１０５は、ＣＰＵ１２１からの信号に基づいてタッチパネルの表示内容を変更する。
【００２９】
ＣＰＵ１２１は、記憶部１２３に記憶されたプログラムＰＧを実行し、装着ヘッド清掃装置１０１の各部を制御して検査を実行する。記憶部１２３は、例えば、ハードディスクや不揮発性メモリ等を備えている。外部ＩＦ１２５は、第１流量測定器１１１及び第２流量測定器１１７に接続されている。外部ＩＦ１２５は、第１流量測定器１１１及び第２流量測定器１１７から測定信号を入力し、入力した測定信号をＣＰＵ１２１へ出力する。
【００３０】
駆動回路１２７は、装着ヘッド２６に接続されている。駆動回路１２７は、例えば、装着ヘッド２６の駆動源のサーボモータ等に接続されるアンプ回路を備える。駆動回路１２７は、ＣＰＵ１２１の制御に基づいて、装着ヘッド２６の駆動源等を制御する。これにより、ＣＰＵ１２１は、例えば、駆動回路１２７を介してホルダ７４を回転させ、エア通路７３と接続される装着ユニット６６を変更することが可能となる。ＣＰＵ１２１は、ホルダ７４を回転させ装着ユニット６６を切り替えながら各装着ユニット６６のエア流量を検査する。
【００３１】
レギュレータ１１３は、エア源１０７に接続されている。エア源１０７は、装着ヘッド清掃装置１０１のエア源であり、装着ヘッド清掃装置１０１に加圧されたエアを供給する。エア源１０７は、例えば、装着ヘッド清掃装置１０１を設置する工場内のコンプレッサである。エア源１０７は、例えば、装着ヘッド清掃装置１０１以外の工場内の装置にもエアを供給する。このため、接続される装置数や供給可能な最大エア量等に応じて、エア源１０７から装着ヘッド清掃装置１０１へ供給されるエアの流量は、変動する。
【００３２】
レギュレータ１１３は、エアの圧力を調整する調整弁である。レギュレータ１１３は、エア源１０７から供給されたエアを任意の圧力に調整し、エア源１０７から供給されるエアの流量を安定させるように駆動する。第１流量測定器１１１、レギュレータ１１３及びエジェクタ１１５は、エア源１０７から供給されたエアが流れる加圧エア流路１３１に配置されている。第１流量測定器１１１は、レギュレータ１１３とエジェクタ１１５の間に接続されている。第１流量測定器１１１は、エア源１０７からレギュレータ１１３を介して供給されるエアの流量である元流量Ｘを測定する。第１流量測定器１１１は、例えば、エア源１０７からレギュレータ１１３を介して供給されるエアの単位時間当たりの流量（以下、「エア流量」と略して記載する場合がある）を元流量Ｘとして測定する。第１流量測定器１１１は、元流量Ｘの測定値を測定信号として外部ＩＦ１２５へ出力する。これにより、制御部１１０は、第１流量測定器１１１で測定した元流量Ｘの値を取得できる。
【００３３】
エジェクタ１１５は、加圧されたエアを利用して、エアを減圧する真空ポンプであり、第１流量測定器１１１を介してレギュレータ１１３に接続されている。エジェクタ１１５は、真空ポート１３３からエアを吸引するとともに、排気ポート１３５からエアを吹き出す。これにより、装着ヘッド２６には、負圧エアが供給される。
【００３４】
エジェクタ１１５及び第２流量測定器１１７は、減圧されたエアが流れる減圧エア流路１３７に接続されている。エジェクタ１１５は、真空ポート１３３を介して第２流量測定器１１７に接続される。第２流量測定器１１７は、装着ヘッド清掃装置１０１に接続された装着ヘッド２６のエア通路７３に減圧エア流路１３７を介して接続されている。第２流量測定器１１７は、減圧エア流路１３７内を流れるエア流量を測定することで、エア通路７３内やエア通路７３に接続された装着ユニット６６内を流れるエア流量を測定する。第２流量測定器１１７は、検査対象である装着ヘッド２６のエア通路７３や装着ユニット６６を流れるエア流量に応じた先端流量Ｙを測定する。第２流量測定器１１７は、例えば、減圧エア流路１３７内を流れるエアの単位時間当たりのエア流量を先端流量Ｙとして測定する。第２流量測定器１１７は、先端流量Ｙの測定値を測定信号として外部ＩＦ１２５へ出力する。これにより、制御部１１０は、第２流量測定器１１７で測定した先端流量Ｙの値を取得できる。
【００３５】
検査作業において、制御部１１０は、エア通路７３内を流れる先端流量Ｙを測定すると、先端流量Ｙの測定値に基づいて、エア流量が正常であるか否か、即ち、エア通路７３等が正常であるか否かを判断する。例えば、詰まり等のない正常なエア通路７３にエアを供給した場合、エア通路７３内をスムーズにエアが通り抜けていくため、第２流量測定器１１７により測定される先端流量Ｙは、所望の値となる。一方、エア通路７３や装着ユニット６６に塵等の詰まりが生じている場合、エア通路７３等をエアが通り抜け難いため、第２流量測定器１１７により測定される先端流量Ｙは、所望の値に比べて少なくなる。また、エア通路７３等にエアの漏れる部分が存在する場合、エア通路７３等から外部にエアが漏れてしまうため、第２流量測定器１１７により測定される先端流量Ｙは、所望の値に比べて多くなる。
【００３６】
そこで、制御部１１０は、測定した先端流量Ｙが所定の上限値と下限値の間の値になる場合、エア通路７３等が正常であると判断する。一方、制御部１１０は、先端流量Ｙが上限値を超えた場合、あるいは先端流量Ｙが下限値を下回った場合、エア通路７３等が異常であると判断する。
【００３７】
ここで、本実施形態の先端流量Ｙは、エア源１０７から供給される元流量Ｘと比例する関係にある。図６は、元流量Ｘと先端流量Ｙとの関係を示すグラフである。図６の横軸は、元流量Ｘを示しており、１分当たりの流量（リットル）を示している。図６の縦軸は、先端流量Ｙを示しており、１分当たりの流量（リットル）を示している。なお、図６の値は、一例である。
【００３８】
図６に示すように、先端流量Ｙは、元流量Ｘの増加にともなって増加する。例えば、先端流量Ｙは、元流量Ｘ、係数Ａ１、定数Ｂ１を用いて次式（１）で表すことができる。
先端流量Ｙ＝係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１・・・（１）
図６に実線で示すグラフは、基準となるエア流量の式（以下、基準式という場合がある）の値（本開示の基準値の一例）を示している。例えば、基準式において、元流量Ｘが３０Ｌ／ｍｉｎの場合、先端流量Ｙは、１０Ｌ／ｍｉｎとなる。図６に示す例では、基準式の係数Ａ１は、４／１５である。定数Ｂ１は、２である。従って、基準式は、次式（２）で表すことができる。
先端流量Ｙ＝（４／１５）×元流量Ｘ＋２・・・・（２）
この基準となる値や基準式は、例えば、装着ヘッド２６に使用する部材、装着ヘッド２６の構造等に応じて装着ヘッド清掃装置１０１の製造元のベンダーによって決定される推奨の値である。
【００３９】
また、例えば、元流量Ｘが３０Ｌ／ｍｉｎである場合、検査に用いる上限値Ｙｕを１２Ｌ／ｍｉｎ、下限値Ｙｌを８Ｌ／ｍｉｎとする。この場合、制御部１１０は、元流量Ｘが３０Ｌ／ｍｉｎの際、先端流量Ｙの値が１２Ｌ／ｍｉｎから８Ｌ／ｍｉｎの間に収まればエア通路７３等を正常であると判断する。
【００４０】
各元流量Ｘに対応する上限値Ｙｕは、基準式の先端流量Ｙの値に対して所定の比率を乗算した値として定義することができる。従って、上限値Ｙｕを表す上限式は、上記式（１）と、上限比率Ｃ１を用いて、次式（３）で表すことができる。
上限値Ｙｕ＝（係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１）×上限比率Ｃ１・・・（３）
同様に、下限値Ｙｌを表す下限式は、上記式（１）と、下限比率Ｃ２を用いて、次式（４）で表すことができる。
下限値Ｙｌ＝（係数Ａ１×元流量Ｘ＋定数Ｂ１）×下限比率Ｃ２・・・（４）
【００４１】
上記した例では、上限値Ｙｕ（１２Ｌ／ｍｉｎ）は、基準式の先端流量Ｙの値（１０Ｌ／ｍｉｎ）の１．２倍（＝上限比率Ｃ１）となっている。従って、上限式は、上記式（２）を用いて、次式（５）で表すことができる。
上限値Ｙｕ＝（（４／１５）×元流量Ｘ＋２）×１．２・・・・（５）
同様に、上記した例では、下限値Ｙｌ（８Ｌ／ｍｉｎ）は、基準式の先端流量Ｙの値（１０Ｌ／ｍｉｎ）の０．８倍（＝下限比率Ｃ２）となっている。従って、下限式は、上記式（２）を用いて、次式（６）で表すことができる。
下限値Ｙｌ＝（（４／１５）×元流量Ｘ＋２）×０．８・・・・（６）
【００４２】
ここで、上記したように、エア源１０７から供給される元流量Ｘは、例えば、エア源１０７と接続される装置数や供給可能な最大エア量等に応じて、即ち、装着ヘッド清掃装置１０１を使用する使用環境に応じて変動する虞がある。例えば、制御部１１０のプログラムＰＧには、上記した３０Ｌ／ｍｉｎの元流量Ｘが基準の元流量（以下、「基準元流量」という場合がある）Ｘ１として設定されている。また、プログラムＰＧには、基準元流量Ｘ１に対応する、即ち、元流量Ｘが３０Ｌ／ｍｉｎの際の上限値（以下、「基準上限値」という場合がある）Ｙｕ１として１２Ｌ／ｍｉｎが設定されている。また、プログラムＰＧには、基準元流量Ｘ１に対応する下限値（以下、「基準下限値」という場合がある）Ｙｌ１として８Ｌ／ｍｉｎが設定されている。
【００４３】
制御部１１０は、例えば、装着ヘッド２６の検査を開始し、第１流量測定器１１１により測定した元流量Ｘに基づいて上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更し、変更した上限値Ｙｕ等で先端流量Ｙを判断する。例えば、装着ヘッド清掃装置１０１を使用する使用環境の元流量（以下、「使用環境元流量」という場合がある）Ｘ２を２０Ｌ／ｍｉｎとする。この場合、制御部１１０は、例えば、元流量Ｘが使用環境元流量Ｘ２付近で安定すると、上記した式（５），（６）を用いて使用環境元流量Ｘ２の実測値に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを演算する。制御部１１０は、演算した上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを用いて先端流量Ｙの判断を実行する。
【００４４】
なお、上記した判断手順は、一例である。例えば、制御部１１０は、検査を開始する前に予め使用環境元流量Ｘ２を測定し、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを設定しても良い。即ち、制御部１１０は、検査中に上限値Ｙｕ等を演算しなくとも良い。また、制御部１１０は、使用環境元流量Ｘ２及び先端流量Ｙの測定のみを先に実行し、測定後に上限値Ｙｕの演算等を実行しても良い。
【００４５】
（上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの変更）
次に、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの変更方法について説明する。例えば、制御部１１０のプログラムＰＧには、上記した式（５）、（６）の情報が設定されている。制御部１１０は、この式（５）、（６）を用いて使用環境元流量Ｘ２の実測値に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを演算し、設定することができる。しかしながら、ユーザは、例えば、検査基準を厳しくしたい場合、あるいは、検査基準を緩めたい場合、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更したくなる。そこで、本実施形態の制御部１１０は、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの変更を受け付けて、変更後の上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌに基づいて検査を実行可能となっている。
【００４６】
図７は、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの変更の受け付け及び検査を実行するフローチャートを示している。制御部１１０は、例えば、システムの起動時に記憶部１２３のプログラムＰＧをＣＰＵ１２１で実行することで図７の処理を開始する。なお、図７に示す処理の内容、処理の順番等は一例である。
【００４７】
まず、図７のステップ（以下、単に「Ｓ」と記載する）１１において、制御部１１０は、検査の開始を受け付ける。制御部１１０は、例えば、操作部１０５のタッチパネルに検査の開始を受け付けるための画面を表示する。制御部１１０は、開始を指示する操作を操作部１０５で受け付けると（Ｓ１１）、検査を開始する（Ｓ１３）。
【００４８】
制御部１１０は、第１流量測定器１１１によりエア源１０７から供給される元流量Ｘを測定し、実際の使用環境の使用環境元流量Ｘ２を測定する（Ｓ１３）。制御部１１０は、第２流量測定器１１７により先端流量Ｙを測定する。制御部１１０は、測定した使用環境元流量Ｘ２の値を、プログラムＰＧに設定された式（５）（６）の元流量Ｘに代入して、使用環境元流量Ｘ２に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを演算する。制御部１１０は、演算した上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを用いて装着ユニット６６ごとのエア通路７３等の良否を判断する。
【００４９】
制御部１１０は、測定結果と、良否の判断結果を操作部１０５に表示する（Ｓ１５）。図８は、測定結果と良否判断結果を操作部１０５に表示した画面の一例を示している。例えば、使用環境元流量Ｘ２が２０Ｌ／ｍｉｎの場合、上限値Ｙｕは、８．８Ｌ／ｍｉｎ（＝（（４／１５）×２０＋２）×１．２）となる。下限値Ｙｌは、約５．９Ｌ／ｍｉｎ（＝（（４／１５）×２０＋２）×０．８）となる。制御部１１０は、演算した上限値Ｙｕから下限値Ｙｌの範囲内に装着ユニット６６ごとの先端流量Ｙが含まれているか否かを判断し、良否を判断する。
【００５０】
例えば、１２個の装着ユニット６６のうち、一番目に測定した装着ユニット６６（図中の「ホルダ１」）の先端流量Ｙは、６Ｌ／ｍｉｎとなっている。ホルダ１の装着ユニット６６の先端流量Ｙは、上限値Ｙｕから下限値Ｙｌの範囲内に入っているため、合格と判断される。一方、ホルダ２の装着ユニット６６の先端流量Ｙ（＝９Ｌ／ｍｉｎ）は、上限値Ｙｕ（８．８Ｌ／ｍｉｎ）を超えているため、不合格と判断される。ユーザは、判断結果を確認することで、適切な対応を実行できる。ユーザは、例えば、装着ヘッド２６を再度清掃する、装着ヘッド２６を交換するなどの対応を実行できる。
【００５１】
制御部１１０は、Ｓ１５を実行した後、良否を判断する上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更して再度検査を実行するか否かを受け付ける（Ｓ１７）。制御部１１０は、例えば、変更を実行するか否かを受け付ける画面を操作部１０５のタッチパネルに表示する。なお、制御部１１０は、Ｓ１１を実行した後、最初の検査（Ｓ１３）を実行する前に、上限値Ｙｕ等の変更を受け付けても良い。
【００５２】
制御部１１０は、Ｓ１７において、上限値Ｙｕ等を変更して再度検査を実行しない旨の操作を受け付けると（Ｓ１７：ＮＯ）、図７に示す処理を終了する。また、制御部１１０は、上限値Ｙｕ等を変更して再度検査を実行する旨の操作を受け付けると（Ｓ１７：ＹＥＳ）、使用環境元流量Ｘ２に応じた上限値Ｙｕ等の変更を受け付ける（Ｓ１９）。
【００５３】
制御部１１０は、上限値Ｙｕ等の変更を受け付ける画面を操作部１０５に表示する。図９は、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの変更を受け付ける画面の一例を示している。図９に示すように、制御部１１０は、Ｓ１３で測定した使用環境元流量Ｘ２を画面に表示する。また、制御部１１０は、使用環境元流量Ｘ２に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを、変更前の値として画面に表示する。また、制御部１１０は、変更前の値の右側に変更後の上限値Ｙｕ等を入力する入力欄を表示する。ユーザは、例えば、操作部１０５のタッチパネルを操作し、変更後の上限値Ｙｕ等を入力欄に入力する。
【００５４】
なお、制御部１１０は、誤った値が入力された場合に、警告を表示しても良い。例えば、下限値（＝５．９Ｌ／ｍｉｎ）よりも小さい上限値Ｙｕが入力された場合、制御部１１０は、警告を表示しても良い。また、使用環境元流量Ｘ２（＝２０Ｌ／ｍｉｎ）の場合、式（２）の基準式の先端流量Ｙは、約７．３（＝（４／１５）×２０＋２）となる。このため、制御部１１０は、例えば、７．３以下の上限値Ｙｕが入力された場合、警告を表示しても良い。
【００５５】
制御部１１０は、変更後の上限値Ｙｕ等を受け付けると（Ｓ１９）、例えば、受け付けた上限値Ｙｕ等を使用環境元流量Ｘ２と関連付けて記憶部１２３に記憶する（Ｓ２１）。これにより、変更を受け付けた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌが、その上限値Ｙｕ等を使用する使用環境元流量Ｘ２、即ち、使用環境の条件と関連付けて記憶される。制御部１１０は、例えば、操作部１０５の確定ボタンを押されると、Ｓ２１の処理を開始する。制御部１１０は、上限値Ｙｕ等を記憶部１２３に記憶した後、受け付けた変更後の上限値Ｙｕ等に応じた上限比率Ｃ１及び下限比率Ｃ２を演算する（Ｓ２１）。
【００５６】
例えば、Ｓ１９において、上限値Ｙｕを８．８Ｌ／ｍｉｎから８Ｌ／ｍｉｎに変更する指示を受け付けた場合について説明する。この場合、変更後の上限比率Ｃ１、変更後の上限値Ｙｕ、使用環境元流量Ｘ２（＝２０Ｌ／ｍｉｎ）の関係は、式（５）を用いて、
８＝（（４／１５）×２０＋２）×上限比率Ｃ１
となる。よって、上限比率Ｃ１は、約１．０９（＝１２／１１）となる。
【００５７】
制御部１１０は、同様に、変更後の下限比率Ｃ２についても演算することができる。例えば、Ｓ１９において、下限値Ｙｌを５．９Ｌ／ｍｉｎから６Ｌ／ｍｉｎに変更する指示を受け付けた場合について説明する。この場合、ユーザは、変更前の上限値Ｙｕ（８．８Ｌ／ｍｉｎ）〜下限値Ｙｌ（５．９Ｌ／ｍｉｎ）の範囲を、変更後の上限値Ｙｕ（８Ｌ／ｍｉｎ）〜下限値Ｙｌ（６Ｌ／ｍｉｎ）の範囲に絞る操作を行ったこととなる。変更後の下限比率Ｃ２、変更後の下限値Ｙｌ、使用環境元流量Ｘ２（＝２０Ｌ／ｍｉｎ）の関係は、式（６）を用いて、
６＝（（４／１５）×２０＋２）×下限比率Ｃ２
となる。よって、下限比率Ｃ２は、約０．８２（＝９／１１）となる。
【００５８】
制御部１１０は、Ｓ２１で演算した上限比率Ｃ１を式（５）に設定する（Ｓ２３）。また、制御部１１０は、Ｓ２１で演算した下限比率Ｃ２を式（６）に設定する（Ｓ２３）。例えば、変更後の式（５）’は、使用環境元流量Ｘ２を用いて、
上限値Ｙｕ＝（（４／１５）×使用環境元流量Ｘ２＋２）×１．０９・・・・（５）’
となる。これにより、次の検査では、変更後の式を用いて使用環境元流量Ｘ２の実測値に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌが演算され、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌが変更される。
【００５９】
なお、本実施形態のプログラムＰＧには、基準となる基準元流量Ｘ１（例えば、３０Ｌ／ｍｉｎ）、基準元流量Ｘ１に対応する基準上限値Ｙｕ１（例えば、１２Ｌ／ｍｉｎ）、基準元流量Ｘ１に対応する基準下限値Ｙｌ１（例えば、８Ｌ／ｍｉｎ）が設定されている。制御部１１０は、上記した上限比率Ｃ１及び下限比率Ｃ２の変更に併せて、基準上限値Ｙｕ１、及び基準下限値Ｙｌ１を変更しても良い。また、プログラムＰＧは、式（５）（６）が設定され、基準元流量Ｘ１、基準上限値Ｙｕ１、及び基準下限値Ｙｌ１が設定されていないデータでも良い。
【００６０】
制御部１１０は、上限比率Ｃ１及び下限比率Ｃ２を式（５）（６）のそれぞれに設定した後、Ｓ１３からの処理を再度実行する。制御部１１０は、範囲を絞った変更後の上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌ（式（５）（６））を用いて、測定した先端流量Ｙの良否判断を実行する。制御部１１０は、例えば、使用環境元流量Ｘ２を再度測定し、変更後の式（５）（６）により上限値Ｙｕ等を演算する。使用環境元流量Ｘ２が２０Ｌ／ｍｉｎで変動がない場合、演算した上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌは、Ｓ１９で受け付けた値となる。制御部１１０は、演算した上限値Ｙｕ等を用いて、先端流量Ｙの良否判断を実行する。あるいは、制御部１１０は、使用環境元流量Ｘ２の再測定を実行せずに、Ｓ１９で受け付けた上限値Ｙｕ等を用いて良否判断を実行しも良い。この場合、次回以降の図７の検査の実行時において、変更後の式（５）（６）を用いて演算することで上限値Ｙｕ等が変更される。これにより、前回実行した検査に比べてより厳しい検査を実行することができる。このようにして、第１実施形態の制御部１１０は、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更し、変更後の上限値Ｙｕ等による検査を実行できる。
【００６１】
なお、上記した説明では、上限値Ｙｕ〜下限値Ｙｌの範囲を絞る例について説明したが、制御部１１０は、上限値Ｙｕ〜下限値Ｙｌの範囲を広げる場合、即ち、上限値Ｙｕの値をより大きくし、下限値Ｙｌの値をより小さくする場合についても同様に実行可能である。また、制御部１１０は、他の場合、例えば、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを小さくする場合、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを大きくする場合、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの一方のみを変更する場合についても同様に実行可能である。
【００６２】
因みに、上記第１実施形態において、装着ヘッド２６は、検査対象の一例である。装着ユニット６６内のエアの通路は、エア通路の一例である。装着ヘッド清掃装置１０１は、検査装置の一例である。上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌは、閾値Ｙｔｈの一例である。Ｓ１３は、元流量測定工程、元流量測定処理の一例である。Ｓ１９は、閾値受付工程、閾値受付処理の一例である。Ｓ２１は、比率演算工程、比率演算処理の一例である。Ｓ２３及びＳ２３を実行した後の検査は、閾値変更工程、閾値変更処理の一例である。
【００６３】
上記したように、第１実施形態の装着ヘッド清掃装置１０１の制御部１１０は、操作部１０５を介して受け付けた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌに基づいて、式（５）の上限比率Ｃ１及び式（６）の下限比率Ｃ２を変更する。制御部１１０は、変更後の式（５）、（６）を用いて上限値Ｙｕの決定等を実行し、装着ヘッド２６の検査を実行する。これにより、操作部１０５を操作して上限値Ｙｕ等を入力するだけで、エア源１０７から供給される元流量Ｘと、受け付けた上限値Ｙｕ等に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌに変更できる。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、本開示の第２実施形態について説明する。上記した第１実施形態では、図６に示す基準式の値に対する比率Ｃを変更することで、検査に用いる上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更した。これに対し、第２実施形態では、元流量Ｘを変化させた場合の先端流量Ｙの変化率である倍率を用いて、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更する。なお、以下の説明では、上記実施形態と同様の内容についてはその説明を適宜省略する。
【００６５】
図１０は、元流量Ｘと倍率Ｄとの関係を示すグラフである。図１０の横軸は、元流量Ｘを示しており、１分当たりの流量（リットル）を示している。図１０の縦軸は、倍率を示している。また、基準元流量Ｘ１における先端流量Ｙを、基準先端流量Ｙ１とする。また、図１０に示すように、基準先端流量Ｙ１（基準元流量Ｘ１）に対応する倍率を１倍とする。
【００６６】
ここで、上記式（１）に示すように、先端流量Ｙは、元流量Ｘの増減に比例して変動する。例えば、元流量Ｘが、基準元流量Ｘ１（＝３０Ｌ／ｍｉｎ）から使用環境元流量Ｘ２（＝２０Ｌ／ｍｉｎ）まで減ると、元流量Ｘの減少に比例して先端流量Ｙも減少する。例えば、先端流量Ｙは、基準先端流量Ｙ１から使用環境先端流量Ｙ２まで減少する。
【００６７】
倍率Ｄは、この先端流量Ｙの変化率を示す値であり、元流量Ｘ、先端流量Ｙ、基準先端流量Ｙ１を用いて以下の式（７）で定義する。
倍率Ｄ＝（元流量Ｘを変化させた場合の先端流量Ｙ）／基準先端流量Ｙ１・・・・・（７）
図１０に示す例では、使用環境先端流量Ｙ２（使用環境元流量Ｘ２）における倍率Ｄが０．８倍となっている。従って、式（７）を用いて、使用環境先端流量Ｙ２と基準先端流量Ｙ１は、以下の関係になる。
倍率Ｄ＝０．８＝使用環境先端流量Ｙ２／基準先端流量Ｙ１
【００６８】
そして、元流量Ｘと倍率Ｄは、図１０に示すように比例関係となる。例えば、倍率Ｄは、元流量Ｘ、係数Ａ２、定数Ｂ２を用いて次式（８）で表わすことができる。
倍率Ｄ＝係数Ａ２×元流量Ｘ＋定数Ｂ２・・・・・（８）
図１０に示す例では、係数Ａ２＝０．０２、定数Ｂ２＝０．４となる。
【００６９】
上記第１実施形態で説明したように、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌは、元流量Ｘに比例する関係にある（図６参照）。従って、元流量Ｘの増減に応じて、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌは、先端流量Ｙと同様に増減する。換言すれば、任意の２つの元流量Ｘに対応する上限値Ｙｕ等は、先端流量Ｙと同様に倍率Ｄの関係となる。例えば、使用環境に応じた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌ、即ち、使用環境先端流量Ｙ２を判断するための上限値Ｙｕを上限値Ｙｕ２、下限値Ｙｌを下限値Ｙｌ２とする。この場合、上限値Ｙｕ２及び下限値Ｙｌ２の各々は、基準先端流量Ｙ１を判断する基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１、使用環境先端流量Ｙ２の倍率Ｄ（＝０．８倍）を用いて、次式（９）（１０）で表わされる。
上限値Ｙｕ２＝基準上限値Ｙｕ１×倍率Ｄ＝基準上限値Ｙｕ１×０．８・・・（９）
下限値Ｙｌ２＝基準下限値Ｙｌ１×倍率Ｄ＝基準下限値Ｙｌ１×０．８・・・（１０）
例えば、上記第１実施形態と同様に、基準上限値Ｙｕ１を１２Ｌ／ｍｉｎとすると、使用環境の上限値Ｙｕ２は、９．６Ｌ／ｍｉｎ（＝１２×０．８）となる。また、上記第１実施形態と同様に、基準下限値Ｙｌ１を８Ｌ／ｍｉｎとすると、使用環境の下限値Ｙｌ２は、６．４Ｌ／ｍｉｎ（＝８×０．８）となる。
【００７０】
また、式（９）を変換すると、基準上限値Ｙｕ１は、次式（１１）で表わされる。
基準上限値Ｙｕ１＝上限値Ｙｕ２／倍率Ｄ＝上限値Ｙｕ２／０．８・・・（１１）
また、式（１０）を変換すると、基準下限値Ｙｌ１は、次式（１２）で表わされる。
基準下限値Ｙｌ１＝下限値Ｙｌ２／倍率Ｄ＝下限値Ｙｌ２／０．８・・・（１２）
【００７１】
そして、本実施形態の制御部１１０のプログラムＰＧには、例えば、基準元流量Ｘ１、基準上限値Ｙｕ１、基準下限値Ｙｌ１の他に上記式（８）〜（１２）のデータが設定されている。制御部１１０は、ユーザから受付けた上限値Ｙｕ２及び下限値Ｙｌ２と、式（１１）、（１２）を用いて基準となる基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を演算する。制御部１１０は、演算した基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１により、プログラムＰＧに設定された基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を更新する。
【００７２】
なお、式（８）〜（１２）を予めプログラムＰＧに設定しなくとも良い。例えば、装着ヘッド清掃装置１０１は、第１流量測定器１１１に流れ込むエア流量を制御する制御弁等を備えても良い。そして、制御部１１０は、制御弁を制御し元流量Ｘを変化させながら先端流量Ｙを計測しても良い。これにより、制御部１１０は、測定結果に基づいて、倍率Ｄや式（８）の係数Ａ２等を演算することが可能となる。
【００７３】
図１１は、第２実施形態の制御部１１０により実行される処理の内容を示している。制御部１１０は、第１実施形態と同様に、操作部１０５のタッチパネルで検査を開始する指示を受け付けると（Ｓ１１）、検査を開始する（Ｓ１３）。制御部１１０は、第１流量測定器１１１により実際の使用環境の使用環境元流量Ｘ２を測定する（Ｓ１３）。制御部１１０は、使用環境元流量Ｘ２の値と、式（８）に基づいて、倍率Ｄを演算する。使用環境元流量Ｘ２が２０Ｌ／ｍｉｎの場合、倍率Ｄは、０．８倍（＝０．０２×２０＋０．４）となる。制御部１１０は、演算した使用環境の倍率Ｄと、式（９）、（１０）を用いて、使用環境の上限値Ｙｕ２及び下限値Ｙｌ２を演算する。上記したように上限値Ｙｕ２は、９．６Ｌ／ｍｉｎとなる。下限値Ｙｌ２は、６．４Ｌ／ｍｉｎとなる。制御部１１０は、演算した上限値Ｙｕ２及び下限値Ｙｌ２を用いて装着ユニット６６ごとの良否を判断する。
【００７４】
制御部１１０は、図８の画面と同様に、測定結果と、良否の判断結果を操作部１０５に表示する（Ｓ１５）。制御部１１０は、Ｓ１５を実行した後、Ｓ１７において、上限値Ｙｕ等を変更して再度検査を実行する旨の操作を受け付けると（Ｓ１７：ＹＥＳ）、使用環境元に応じた上限値Ｙｕ等の変更を受け付ける（Ｓ１９）。制御部１１０は、Ｓ１９で変更後の上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを受け付けると、例えば、受け付けた上限値Ｙｕ等を使用環境元流量Ｘ２と関連付けて記憶部１２３に記憶する（Ｓ３１）。制御部１１０は、Ｓ１３で式（８）を用いて演算した倍率Ｄ（＝０．８）、Ｓ１９で受付けた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌ、式（１１）、（１２）を用いて基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を演算する（Ｓ３１）。
【００７５】
例えば、Ｓ１９において、上限値Ｙｕを９．６Ｌ／ｍｉｎから８Ｌ／ｍｉｎに変更する操作を受け付けた場合について説明する。この場合、変更後の基準上限値Ｙｕ１は、式（１１）を用いて次式のように演算できる。
基準上限値Ｙｕ１＝８／０．８＝１０Ｌ／ｍｉｎ
【００７６】
制御部１１０は、同様に、変更後の基準下限値Ｙｌ１についても演算することができる。例えば、Ｓ１９において、下限値Ｙｌを６．４Ｌ／ｍｉｎから７Ｌ／ｍｉｎに変更する操作を受け付けた場合について説明する。この場合、ユーザは、変更前の上限値Ｙｕ（９．６Ｌ／ｍｉｎ）〜下限値Ｙｌ（６．４Ｌ／ｍｉｎ）の範囲を、変更後の上限値Ｙｕ（８Ｌ／ｍｉｎ）〜下限値Ｙｌ（７Ｌ／ｍｉｎ）の範囲に絞る操作を行っている。変更後の基準下限値Ｙｌ１は、式（１２）を用いて次式のように演算できる。
基準下限値Ｙｌ１＝７／０．８＝８．７５Ｌ／ｍｉｎ
【００７７】
制御部１１０は、Ｓ３１で基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を演算した後、演算した基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１をプログラムＰＧに設定する（Ｓ３３）。即ち、制御部１１０は、ユーザから受付けた上限値Ｙｕや下限値Ｙｌの変更に応じて、基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を変更する（Ｓ３３）。
【００７８】
制御部１１０は、Ｓ３３で基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を変更した後、Ｓ１３からの処理を再度実行する。制御部１１０は、Ｓ３３で変更した基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１に基づいて検査を実行する。例えば、制御部１１０は、第１流量測定器１１１により使用環境元流量Ｘ２を再度測定する（Ｓ１３）。制御部１１０は、使用環境元流量Ｘ２の値と、式（８）に基づいて、倍率Ｄを演算する。制御部１１０は、演算した使用環境の倍率Ｄと、式（９）、（１０）を用いて、使用環境の上限値Ｙｕ２及び下限値Ｙｌ２を演算する（Ｓ１３）。この際、Ｓ３３で変更した基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を用いて、使用環境の上限値Ｙｕ２及び下限値Ｙｌ２を演算する。これにより、例えば、制御部１１０は、範囲を絞った変更後の上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを用いて測定した先端流量Ｙの良否判断を実行する。制御部１１０は、前回実行した検査に比べてより厳しい検査を実行することができる。このようにして、第２実施形態の制御部１１０は、基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を変更し、変更後の基準上限値Ｙｕ１等による検査を実行できる。
【００７９】
因みに、上記第２実施形態において、装着ヘッド２６は、検査対象の一例である。装着ユニット６６内のエアの通路は、エア通路の一例である。装着ヘッド清掃装置１０１は、検査装置の一例である。上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌは、閾値Ｙｔｈの一例である。Ｓ１３は、元流量測定工程、元流量測定処理、倍率演算工程、倍率演算処理の一例である。Ｓ１９は、閾値受付工程、閾値受付処理の一例である。Ｓ３３は、閾値変更工程、閾値変更処理の一例である。
【００８０】
上記したように、第２実施形態の装着ヘッド清掃装置１０１の制御部１１０は、操作部１０５を介して受け付けた上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌに基づいて、基準となる基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を変更できる。そして、制御部１１０は、変更後の基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１に基づいて、その後の装着ヘッド２６の検査を実行できる。これにより、操作部１０５を操作して上限値Ｙｕ等を入力するだけで、エア源１０７から供給される元流量Ｘと、受け付けた上限値Ｙｕ等に応じて基準上限値Ｙｕ１及び基準下限値Ｙｌ１を変更し、検査に使用する上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌを変更できる。
【００８１】
なお、本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。
例えば、上記各実施形態では、装着ヘッド清掃装置１０１は、上限値Ｙｕ及び下限値Ｙｌの両方を変更可能であったが、どちらか一方のみを変更可能な構成でも良い。
また、装着ヘッド清掃装置１０１は、装着ヘッド２６の清掃を実行せずに、検査のみを実行する構成でも良い。
また、装着ヘッド清掃装置１０１は、エアによる清掃のみ、あるいはオイルミストによる洗浄のみを実行する構成でも良い。
また、上記実施形態において、第１流量測定器１１１と第２流量測定器１１７の設置場所は、一例であり、適宜変更しても良い。例えば、第１流量測定器１１１を、レギュレータ１１３の上流側（エア源１０７側）に設置しても良い。また、第２流量測定器１１７は、エア通路７３を介して装着ユニット６６から排出されるエア流量を測定する構成でも良い。即ち、第２流量測定器１１７は、検査対象から排出された後のエア流量を測定しても良い。
【００８２】
また、上記各実施形態では、本願の検査対象として装着ヘッド２６を採用したが、これに限らない。例えば、検査対象は、吸着ノズル６８でも良い。この場合、本開示の検査装置は、吸着ノズル６８を接続して、吸着ノズル６８内のエア通路を検査可能なノズル清掃装置でも良い。ノズル清掃装置の構成としては、先行技術文献（国際公開第２０１６／００９４９１号公報）のノズル管理装置の構成を採用することができる。例えば、ノズルステーション３０（図１参照）から取り外したノズルトレイ７８を装置内に配置され、ノズルトレイ７８の各吸着ノズル６８を順番に検査するノズル管理装置でも良い。この吸着ノズル６８の検査において、本開示の閾値の変更方法を適用しても良い。
また、検査対象としては、電子部品を吸着する装置（装着ヘッド２６等）に限らず、他の部材等を吸着する装置や、エア通路を備える種々の装置を採用できる。
【符号の説明】
【００８３】
２６  装着ヘッド（検査対象）、７３  エア通路、１０１  装着ヘッド清掃装置（検査装置）、１０７  エア源、１１０  制御部、１１１  第１流量測定器、１１７  第２流量測定器、Ａ１，Ａ２  係数、Ｂ１，Ｂ２  定数、Ｃ  比率、Ｄ  倍率、Ｘ  元流量、Ｙ  先端流量、Ｙｕ  上限値（閾値）、Ｙｌ  下限値（閾値）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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