(57)【要約】  この発明のスパッタリングターゲットは、金属成分として、Ｃｏと、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上であり、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有してなるものである。【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属成分として、Ｃｏと、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上であり、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有してなるスパッタリングターゲット。
【請求項２】
金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5のみを含有し、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が５ｍｏｌ％〜１５ｍｏｌ％である請求項１に記載のスパッタリングターゲット。
【請求項３】
Ｎｂ2Ｏ5の含有量が２ｍｏｌ％〜５ｍｏｌ％であり、Ｎｂ2Ｏ5以外の金属酸化物をさらに含有し、Ｎｂ2Ｏ5を含む金属酸化物の合計含有量が３０ｖоｌ％以上である請求項１に記載のスパッタリングターゲット。
【請求項４】
前記Ｎｂ2Ｏ5以外の金属酸化物が、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ及びＭｎＯからなる群から選択される少なくとも一種の金属酸化物である請求項３に記載のスパッタリングターゲット。
【請求項５】
Ｃｏを１５ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％で含有してなる請求項１〜４のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
【請求項６】
ＣｒもしくはＲｕ又はその両方を含有し、Ｃｒ及びＲｕの合計含有量を３０ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％としてなる請求項１〜５のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
【請求項７】
金属成分として、さらに、Ｐｔを５ｍｏｌ％〜３０ｍｏｌ％で含有してなる請求項１〜６のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
【請求項８】
Ｒｕを含有する下地層上に、請求項１〜７のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより、中間層を形成することを含む、積層膜の製造方法。
【請求項９】
前記中間層上に、金属成分としてＣｏ及びＰｔを含有するスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより、磁性層を形成することをさらに含む、請求項８に記載の積層膜の製造方法。
【請求項１０】
Ｒｕを含有する下地層と、前記下地層上に形成されて、金属成分としてＣｏとＣｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上である中間層と、前記中間層上に形成されて、金属成分としてＣｏ及びＰｔを含有する磁性層とを有する積層膜であって、前記中間層が、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有してなる積層膜。
【請求項１１】
請求項１０に記載の積層膜を備える磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、金属成分としてＣｏとＣｒ及び／又はＲｕとを含有し、たとえば垂直磁気記録媒体の下地層と磁性層との間の中間層等の形成に用いて好適なスパッタリングターゲット、積層膜の製造方法、積層膜および磁気記録媒体に関するものであり、特に、ハードディスクドライブの高密度化に寄与することのできる技術を提案するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブでは、記録面に対して垂直方向に磁気を記録する垂直磁気記録方式が実用化され、この方式は、それまでの面内磁気記録方式に比べて高密度の記録が可能であることから広く採用されている。【０００３】
垂直磁気記録方式の磁気記録媒体は、概して、アルミニウムやガラス等の基板上に密着層、軟磁性層、Ｓｅｅｄ層、Ｒｕ層などの下地層、中間層、磁性層および保護層等を順次に積層して構成されるものである。このうち、磁性層は下部に、Ｃｏを主成分としたＣｏ‐Ｐｔ系合金等に、ＳｉＯ2やその他の金属酸化物が分散したグラニュラ膜が存在し、高い飽和磁化Ｍｓと磁気異方性Ｋｕを有する。また、磁性層の下方側に積層される中間層は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｕ系合金等に、同様の金属酸化物が分散した組織構造からなるものであり、非磁性とするため比較的多くのＲｕやＣｒ等を含有させる場合がある。【０００４】
このような磁性層及び中間層では、非磁性材料となる上記の金属酸化物が、垂直方向に配向するＣｏ合金等の磁性粒子の粒界へ析出して、磁性粒子間の磁気的な相互作用が低減され、それによるノイズ特性の向上および、高い記録密度を実現している。
なお一般に、磁性層や中間層等の各層は、所定の組成ないし組織を有するスパッタリングターゲットを用いて、基板上へスパッタリングすることにより製膜して形成する。この種の技術として従来は、特許文献１に記載されたもの等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５９６０２８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ハードディスクドライブの高密度化を実現するには、熱安定性の確保のための磁気異方性Ｋｕの増大と、高分解能化のための磁性粒子の高い磁気的分離性が求められる。【０００７】
しかるに、上述したような飽和磁化Ｍｓが高い磁性層では、磁性粒子間の交換結合が強固であることから、磁性粒子どうしの磁気的分離性に乏しい。ここで、磁気的分離性を向上させるべく金属酸化物を多く添加すると、磁性粒子内に金属酸化物が入り込んで磁性粒子の結晶性が悪化し、それに伴って飽和磁化Ｍｓおよび磁気異方性Ｋｕが低下する。【０００８】
この発明は、従来技術が抱えるこのような問題を解決することを課題とするものであり、その目的とするところは、磁気記録媒体の磁性層における磁気異方性を大きく低下させることなしに、磁性粒子間の磁気的分離性を向上させることのできるスパッタリングターゲット、積層膜の製造方法、積層膜および磁気記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
発明者は鋭意検討の結果、磁性層及び中間層の磁性材料であるＣｏ合金に分散させる非磁性材料の金属酸化物として、これまで用いられていたＳｉＯ2等に加えて又はそれに代えて、Ｎｂ2Ｏ5を用いることにより、金属酸化物の含有量をそれほど増大させなくとも、磁性粒子間の磁気的分離性を有意に改善できるとの知見を得た。また、これにより、Ｃｏ‐Ｐｔを主体とする磁性層の高い飽和磁化Ｍｓと高い磁気異方性Ｋｕを維持できることを見出した。これは、Ｎｂ2Ｏ5のＣｏとの適度な濡れ性と一部の酸素が欠損しても安定な酸化物として存在できることによるものと考えられるが、この発明は、このような理論に限定されるものではない。【００１０】
このような知見に基き、この発明のスパッタリングターゲットは、金属成分として、Ｃｏと、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上であり、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有してなるものである。【００１１】
ここにおいて、この発明のスパッタリングターゲットでは、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5のみを含有し、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が５ｍｏｌ％〜１５ｍｏｌ％であることが好ましい。【００１２】
あるいは、この発明のスパッタリングターゲットでは、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が２ｍｏｌ％〜５ｍｏｌ％であり、Ｎｂ2Ｏ5以外の金属酸化物をさらに含有し、Ｎｂ2Ｏ5を含む金属酸化物の合計含有量が３０ｖоｌ％以上であることが好ましい。
この場合、前記Ｎｂ2Ｏ5以外の金属酸化物が、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ及びＭｎＯからなる群から選択される少なくとも一種の金属酸化物であることが好ましい。【００１３】
この発明のスパッタリングターゲットは、Ｃｏを１５ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％で含有することが好適である。
この発明のスパッタリングターゲットでは、ＣｒもしくはＲｕ又はその両方を含有し、Ｃｒ及びＲｕの合計含有量を３０ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％とすることが好ましい。
なお、この発明のスパッタリングターゲットは、金属成分として、さらに、Ｐｔを５ｍｏｌ％〜３０ｍｏｌ％で含有するものとすることができる。【００１４】
この発明の積層膜の製造方法は、Ｒｕを含有する下地層上に、上記のいずれかのスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより、中間層を形成することを含むものである。
この発明の積層膜の製造方法は、前記中間層上に、金属成分としてＣｏ及びＰｔを含有するスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより、磁性層を形成することをさらに含むことが好ましい。【００１５】
この発明の積層膜は、Ｒｕを含有する下地層と、前記下地層上に形成されて、金属成分としてＣｏとＣｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上である中間層と、前記中間層上に形成されて、金属成分としてＣｏ及びＰｔを含有する磁性層とを有する積層膜であって、前記中間層が、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有してなるものである。【００１６】
この発明の磁気記録媒体は、上記の積層膜を備えるものである。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有することにより、磁性粒子間の良好な磁気的分離性と、高い磁気異方性Ｋｕを両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例で製造した積層膜の層構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、この発明の実施の形態について詳細に説明する。
この発明の一の実施形態のスパッタリングターゲットは、金属成分として、Ｃｏと、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上であり、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有することを特徴とするものである。
より具体的には、ＣｏとＣｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属との合金に、Ｎｂ2Ｏ5を含む金属酸化物が分散した組織構造を有する。
【００２０】
このスパッタリングターゲットは、特に、垂直磁気記録方式の磁気記録媒体の下地層と磁性層との間に位置する中間層の形成に用いることが好ましい。この場合、当該スパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより成膜した中間層では、上記の金属成分が磁性層の磁性粒子の下地を構成するとともに、Ｎｂ2Ｏ5を含む金属酸化物が磁性層の金属酸化物を含む非磁性粒界材料の下地となって、垂直方向に配向する磁性粒子の配向性を向上するとともに粒界材料が周囲に均一に分布させて、磁性粒子間の磁気的な相互作用が有効に低減される。
【００２１】
（組成）
スパッタリングターゲットの金属成分は、主としてＣｏからなり、それに加えてＣｒ及びＲｕのうちの少なくとも一種を含む。特に、金属成分は、Ｃｒ及び／又はＲｕを含有するＣｏ合金である。
【００２２】
Ｃｏの含有量は、１５ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％とすることが好ましい。Ｃｏが多すぎると強磁性となることが懸念され、この一方で、Ｃｏが少なすぎるとｈｃｐ構造が安定しなかったり、上部磁性層の格子定数が大きく変わる可能性がある。この観点より、Ｃｏ含有量は、より好ましくは３０ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％である。
【００２３】
金属成分としてＣｒもしくはＲｕ又はその両方を含有する場合、Ｃｒ及びＲｕの合計含有量は、３０ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％とすることが好ましい。Ｃｒ及びＲｕの合計含有量が多すぎるとｈｃｐ構造が安定しなかったり、上部磁性層の格子定数が大きく変わるおそれがあり、この一方で、Ｃｒ及びＲｕの合計含有量が少なすぎると強磁性となる懸念がある。
【００２４】
Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属は、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上となる量で含有されることが好ましい。これはすなわち、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２未満であると、強磁性となることが懸念されるからである。この観点から、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比は、２／３以上であることがより一層好ましい。一方、このモル比が大きすぎると、ｈｃｐ構造が安定しなかったり、上部磁性層の格子定数が大きく変わる可能性があるので、当該モル比は、好ましくは３以下、より好ましくは１以下とすることができる。
【００２５】
この発明の実施形態のスパッタリングターゲットは、金属成分としてさらに、Ｐｔを５ｍｏｌ％〜３０ｍｏｌ％で含有することができる。Ｐｔを含有することにより、磁性層との格子定数を揃えて磁性層の結晶性を良くできることと、磁性層の中間層との界面付近の磁気異方性を高められるという利点がある。より好ましくは、Ｐｔの合計含有量を、１５ｍｏｌ％〜２５ｍｏｌ％とする。なお、これらの金属元素の多くは通常、金属成分として含まれるが、後述する製造時の焼結で酸化されることによって、一部が金属酸化物として含まれることもある。
【００２６】
そして、この発明のスパッタリングターゲットは、金属酸化物成分として、少なくともＮｂ2Ｏ5を含有する。Ｎｂ2Ｏ5は、従来のスパッタリングターゲットで主たる金属酸化物としていたＴｉＯ2やＳｉＯ2等に比して、Ｃｏ合金粒との分離性に優れる上に濡れ性が良く、金属酸化物で構成される粒界幅が広く、また幅の分散を小さくできることから、Ｎｂ2Ｏ5を含有させることにより、磁性層の粒径を小さくすることなく粒子間の分離性を高められ高い磁気異方性と磁気クラスタサイズ低減を両立することができる。
【００２７】
Ｎｂ2Ｏ5の含有量は、５ｍｏｌ％〜１５ｍｏｌ％とすることが好適である。これはすなわち、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が少ない場合は、上述した効果を十分に得ることができない可能性があり、この一方で、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が多い場合は、金属粒子が小さくなって上部磁性層の結晶性が落ちるおそれがあるからである。
【００２８】
一方、この発明の実施形態のスパッタリングターゲットは、金属酸化物成分として、Ｎｂ2Ｏ5の他、ＴｉＯ2やＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ及びＭｎＯ等の金属酸化物を含有することもできる。特に、このような金属酸化物を含有する場合、Ｎｂ2Ｏ5の含有量は、２ｍｏｌ％〜５ｍｏｌ％であっても良好な効果が得られる。
【００２９】
Ｎｂ2Ｏ5以外の上記のような金属酸化物を含有する場合、Ｎｂ2Ｏ5を含むすべての金属酸化物の合計含有量は、３０ｖоｌ％以上であることが好ましい。金属酸化物の合計含有量が３０ｖоｌ％未満であると、上部の磁性層の磁性粒子の分離が不十分となることが懸念されるからである。この理由から、金属酸化物の合計含有量は、３５ｖоｌ％以上であることがさらに好適である。
一方、金属酸化物の合計含有量が多すぎる場合は、金属粒子が小さくなって上部磁性層の結晶性が落ちることが考えられるので、金属酸化物の合計含有量は６０ｖоｌ％以下とすることが好ましい。
【００３０】
（スパッタリングターゲットの製造方法）
上述したスパッタリングターゲットは、粉末焼結法を用いて製造することができ、その具体例としては以下のとおりである。
【００３１】
はじめに、金属粉末として、Ｃｏ粉末と、Ｃｒ粉末及び／又はＲｕ粉末と、必要に応じてさらにＰｔ粉末を用意する。金属粉末は、単元素のみならず合金の粉末であってもよく、その粒径が１μｍ〜１０μｍの範囲内のものであることが、均一な混合を可能にして偏析と粗大結晶化を防止できる点で好ましい。金属粉末の粒径が１０μｍより大きい場合は、後述の酸化物粒子が均一に分散しないことがあり、また、１μｍより小さい場合は、金属粉末の酸化の影響でスパッタリングターゲットが所望の組成から外れたものになるおそれがある。
【００３２】
また、酸化物粉末として、少なくともＮｂ2Ｏ5粉末と、必要に応じて、ＳｉＯ2粉末、ＴｉＯ2粉末、Ｂ2Ｏ3粉末、ＣｏＯ粉末、Ｃｏ3Ｏ4粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末、Ｔａ2Ｏ5粉末、ＺｎＯ粉末及びＭｎＯ粉末からなる群から選択される少なくとも一種の粉末を用意する。酸化物粉末は粒径が１μｍ〜３０μｍの範囲のものとすることが好ましい。それにより、上記の金属粉末と混合して加圧焼結した際に、金属相中に酸化物粒子をより均一に分散させることができる。酸化物粉末の粒径が３０μｍより大きい場合は、加圧焼結後に粗大な酸化物粒子が生じることがあり、この一方で、１μｍより小さい場合は、酸化物粉末同士の凝集が生じることがある。
【００３３】
次いで、上記の金属粉末及び酸化物粉末を、所望の組成になるように秤量し、ボールミル等の公知の手法を用いて混合するとともに粉砕する。このとき、混合・粉砕に用いる容器の内部を不活性ガスで充満させて、原料粉末の酸化をできる限り抑制することが望ましい。これにより、所定の金属粉末と酸化物粉末とが均一に混合した混合粉末を得ることができる。
【００３４】
その後、このようにして得られた混合粉末を、真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気下で加圧して焼結させ、円盤状等の所定の形状に成型する。ここでは、ホットプレス焼結法、熱間静水圧焼結法、プラズマ放電焼結法等の様々な加圧焼結方法を使用することができる。なかでも、熱間静水圧焼結法は焼結体の密度向上の観点から有効である。
【００３５】
焼結時の保持温度は、７００〜１５００℃の温度範囲とし、特に８００℃〜１４００℃とすることが好ましい。そして、この範囲の温度に保持する時間は、１時間以上とすることが好適である。
また焼結時の加圧力は、好ましくは１０ＭＰａ〜４０ＭＰａ、より好ましくは２５ＭＰａ〜３５ＭＰａとする。
それにより、金属相中に酸化物粒子をより均一に分散させることができる。
【００３６】
上記の加圧焼結により得られた焼結体に対し、旋盤等を用いて所望の形状にする切削その他の機械加工を施すことにより、スパッタリングターゲットを製造することができる。
【００３７】
（積層膜）
積層膜は、少なくとも、下地層と、下地層上に形成された中間層と、中間層上に形成された磁性層とを有するものである。
より詳細には、下地層は、Ｒｕを含有するものであり、一般にはＲｕからなり、又はＲｕを主成分とする層である。
【００３８】
中間層は、金属成分として、Ｃｏと、Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属とを含有し、前記Ｃｒ及びＲｕからなる群から選択される一種以上の金属の含有量の、Ｃｏの含有量に対するモル比が１／２以上であり、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5を含有するものである。
この中間層は、上述したスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより形成することができる。
【００３９】
したがって、中間層は、上記のスパッタリングターゲットと同様に、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が５ｍｏｌ％〜１５ｍｏｌ％であるとすることができ、または他の金属酸化物を含む場合はＮｂ2Ｏ5の含有量が２ｍｏｌ％〜５ｍｏｌ％であってもよい。中間層は、Ｎｂ2Ｏ5以外の金属酸化物をさらに含有し、Ｎｂ2Ｏ5を含む金属酸化物の合計含有量が３０ｖоｌ％以上であるものとすることができ、ここで、Ｎｂ2Ｏ5以外の金属酸化物は、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ及びＭｎＯからなる群から選択される少なくとも一種とすることができる。
【００４０】
中間層のＣｏ含有量は１５ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％とすることができ、Ｃｒ及びＲｕの合計含有量は３０ｍｏｌ％〜６０ｍｏｌ％とすることができる。その他、中間層は、金属成分として、さらに、Ｐｔを５ｍｏｌ％〜３０ｍｏｌ％で含有するものとすることができる。
【００４１】
磁性層は、金属成分としてＣｏ及びＰｔを含有するものであり、金属酸化物成分としてＮｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｎＯ及びＭｎＯなどの金属酸化物から選択することができる。この金属酸化物にＮｂ2Ｏ5を含有することが好ましい。磁性層がＮｂ2Ｏ5を含有することにより、磁性粒子の磁気的分離性を向上させることができる。
磁性層のＮｂ2Ｏ5の含有量は２０ｍｏｌ％以下とすることがさらに好ましい。Ｎｂ2Ｏ5を２０ｍｏｌ％より多くすれば、磁性粒の結晶性が損なわれるおそれがある。一方、磁気的分離性を有効に高めるため、磁性層のＮｂ2Ｏ5の含有量は２ｍｏｌ％以上とすることが好適である。
磁性層は、必要に応じて、金属成分としてさらにＣｒ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｗ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｂ及び／又はＭｏを含有し、金属酸化物成分としてさらにＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3及び／又はＣｏＯを含有するものとすることができる。
【００４２】
（積層膜の製造方法）
積層膜の各層は、それらの各層に応じた組成及び組織を有するスパッタリングターゲットを用いて、マグネトロンスパッタリング装置等で成膜することにより形成することができる。
ここで、積層膜の中間層は、下地層上に、先述したスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより成膜することで形成する。
【００４３】
また積層膜の磁性層は、中間層上に、上記の磁性層の組成に対応する組成を有する金属成分のＣｏ及びＰｔを含有するスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより成膜して形成することが好ましい。
【００４４】
（磁気記録媒体）
磁気記録媒体は、上述したような、下地層と、下地層上に形成された中間層と、中間層上に形成された磁性層とを有する積層膜を備えるものである。磁気記録媒体は通常、アルミニウムやガラス等の基板上に軟磁性層、下地層、中間層、磁性層および保護層等を順次に形成することにより製造される。
【実施例】
【００４５】
次に、この発明のスパッタリングターゲットを試作し、それを用いて製膜した中間層による効果を確認したので、以下に説明する。但し、ここでの説明は単なる例示を目的としたものであり、これに限定されることを意図するものではない。【００４６】
各種のスパッタリングターゲットを用いて、図１に示す層構成の積層膜を製造した。
ここで、図１に「Ｍａｇ」として示す磁性層は、組成が異なる（Ｃｏ−２５Ｐｔ）−５ＴｉＯ2−３．５ＳｉＯ2−１．５Ｎｂ2Ｏ5、（Ｃｏ−２５Ｐｔ）−７ＴｉＯ2−５ＳｉＯ2、（Ｃｏ−２５Ｐｔ）−４．５ＴｉＯ2−３ＳｉＯ2の三種類とし、それらの各磁性層について、その下方側の「Ｎｏｎ−Ｍａｇ」として示す中間層を、表１に示すように変化させた複数の積層膜を製造し、その積層膜における磁性層の飽和磁化Ｍｓ、磁気異方性Ｋｕ、磁化曲線の保磁力における傾きαをそれぞれ測定した。【００４７】
なおここで、飽和磁化Ｍｓ、磁化曲線の傾きαは玉川製作所製の試料振動型磁力計（ＶＳＭ）により測定し、玉川製作所製磁気トルク計（ＴＲＱ）により磁気異方性Ｋｕを測定した。また、酸化物の体積率は、原料粉の密度、重量からターゲット全体の体積と酸化物の体積を見積りこれらの比により算出した。
表１中、「効果」の項における「×」はαの低減効果が無かったこと、「〇」はαの低減効果があったこと、「◎」は顕著なαの低減効果があったことをそれぞれ意味する。【００４８】
【表１】
2019058820.tif 000002
【００４９】
表１に示す結果より、Ｎｂ2Ｏ5を含有する発明例１〜１４では、比較的高い飽和磁化Ｍｓ及び磁気異方性Ｋｕを維持しつつ、磁化曲線の傾きαが有効に低減されていることが解かる。特に、金属酸化物成分をＮｂ2Ｏ5のみとした場合は、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が５ｍｏｌ％以上とすれば磁化曲線の傾きαが顕著に低減され、また、Ｎｂ2Ｏ5に加えてＴｉＯ2等を含有するものとした場合は、Ｎｂ2Ｏ5の含有量が２ｍｏｌ％以上とすれば磁化曲線の傾きαが大きく低減されることが解かった。【００５０】
一方、中間層を設けなかった比較例１は、飽和磁化Ｍｓ及び磁気異方性Ｋｕが低い値となった。比較例２〜４の結果より、Ｎｂ2Ｏ5を含有しない場合、金属酸化物の含有量を増大させると、磁化曲線の傾きαは若干低減される傾向にあるが、例えば比較例４のＴｉＯ2では飽和磁化Ｍｓの低下を招くことが解かる。また、比較例５のＳｉＯ2では、Ｍｓの増加の割にαが低下しておらず磁性粒子の分離が不十分になっている。【００５１】
以上より、この発明によれば、磁気記録媒体の磁性層における磁気異方性を大きく低下させずに、磁性粒子間の磁気的分離性を向上できることが示唆された。
【図１】
2019058820.tif 000003
【国際調査報告】
2019058820.tif 000004
2019058820.tif 000005
2019058820.tif 000006
2019058820.tif 000007