(57)【要約】  自動倉庫１０を説明する。ラック２５の複数の棚２４は、上下方向及び水平方向に配置された物品載置用のものである。水平レール３２は、ラック２５の幅に対応している水平レールであって、ラック２５の幅よりも短く、さらに上下方向および水平方向に位置を異ならせて配置される第１レール体４０及び第２レール体４１を有する。第１鉛直レール３４は第１レール体４０に、第２鉛直レール３５は第２レール体４１に、それぞれ設けられ、第１レール体４０及び第２レール体４１に沿って移動する。第１移載ヘッド３６は、第１鉛直レール３４に、第２移載ヘッド３７は、第２鉛直レール３５に、それぞれに設けられ、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５に沿ってそれぞれ移動し、カセットＣを複数の棚２４の間で移載可能である。
2010146813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向及び水平方向に配置された物品載置用の複数の棚を有するラックと、
前記ラックの幅に対応している水平レールであって、前記ラックの幅よりも短くさらに上下方向および水平方向に位置を異ならせて配置される複数のレール体を有する水平レールと、
前記複数のレール体のそれぞれに少なくとも１つ設けられ、前記複数のレール体に沿って移動する複数の鉛直レールと、
前記複数の鉛直レールのそれぞれに少なくとも１つ設けられ、前記複数の鉛直レールに沿ってそれぞれ移動し、前記物品を前記複数の棚の間で移載可能な複数の移載ヘッドと、を備えた自動倉庫。
【請求項２】
前記複数のレール体にそれぞれ配置され、前記鉛直レールに連結されて前記鉛直レールを水平方向に移動させる無端駆動部材と、
前記各レール体の両端部に配置され、前記無端駆動部材が巻回された複数の巻回部材と、をさらに備える、請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項３】
前記無端駆動部材は、歯付きベルトであり、前記巻回部材は歯付きプーリである、請求項２に記載の自動倉庫。
【請求項４】
前記水平レールは、前記複数のレール体の間のみ延びて接続する接続部材をさらに有する、請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項５】
前記水平レールは、前記複数のレール体の間のみ延びて接続する接続部材をさらに有する、請求項２に記載の自動倉庫。
【請求項６】
前記水平レールは、第１レール体と、前記第１レール体より高い位置に配置され前記第１レール体と平面視線対称の構造の第２レール体と、前記第１レール体と前記第２レール体とを連結する接続部材と、を有する、請求項１に記載の自動倉庫。
【請求項７】
前記第１レール体は、第１上レール部材と、前記第１上レール部材の真下に配置された第１下レール部材と、を有し、
前記第２レール体は、前記第１上レール部材の上方に対応する高さに配置された第２上レール部材と、前記第２上レール部材の真下であって前記第１上レール部材と前記第１下レール部材の上下方向間に対応する高さに配置された第２下レール部材と、を有する、請求項６に記載の自動倉庫。
【請求項８】
前記接続部材は、前記第１上レール部材と、前記第２上レール部材と、を連結する上接続部材と、前記第１下レール部材と、前記第２下レール部材と、を連結する下接続部材と、を有する、請求項７に記載の自動倉庫。
【請求項９】
前記接続部材は、前記第１上レール部材と前記第２上レール部材及び前記第１下レール部材と前記第２下レール部材を接続するとともに、前記第１上レール部材と前記第２下レール部材を接続している、請求項７に記載の自動倉庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動倉庫、特に、搬送装置と処理装置との間で物品を保管する自動倉庫に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶の製造工場では、シリコンウェハやガラスプレート等の基板上に薄膜形成、酸化、エッチング等の種々の処理構成を経て基板上に半導体デバイスや液晶デバイスが形成される。この種の処理装置の間では、カセット（物品の一例）に基板が収納されてカセット単位で自動搬送台車により搬送される。処理装置と搬送装置との受け渡し場所には、搬送装置と処理装置との間の処理時間を調整するために装置前自動倉庫と呼ばれるバッファが設けられている（たとえば、特許文献１参照）。【０００３】
従来の装置前自動倉庫は、カセット保管用の複数の棚と、各棚の間で物品を受け渡し可能な移載装置と、を備えている。固定棚は上下及び左右に間隔を隔てて配置されており、最も上の固定棚が搬送装置である自動搬送台車とのカセット受け渡し場所になっている。そして、最も下の固定棚の下方に処理装置とのカセットの受け渡しポートが配置されている。この受け渡しポートで処理装置によりカセット内から基板が取り出され、処理装置で基板が処理される。【０００４】
移載装置は、固定棚の処理装置と逆側に面して配置され、各固定棚間及び各固定棚と受け渡しポートとの間でカセットを移載する。移載装置は、左右方向の棚の全長にわたり配置された水平レールと、水平レールに沿って移動する鉛直レールと、鉛直レールに沿って移動する移載ヘッドと、を備えている。【０００５】
このような装置前自動倉庫を設けることにより、処理装置や搬送装置のトラブルによりカセットの供給又は搬出が滞っても、システムダウンすることなく連続して物品を搬入及び搬出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２９８０６９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような自動倉庫において、移載ヘッドが１台しかないと、取り扱う物品の量が増加すると搬送能力が不足することがある。そこで、水平レールに複数の鉛直レールと移載ヘッドとを配置することが考えられる。しかし、鉛直レール及び移載ヘッドを水平レールに複数配置すると、鉛直レール同士の干渉により搬送能力が向上しないおそれがある。【０００８】
そこで、１本の水平レールでの鉛直レールの移動領域を制限することが考えられる。しかし、移動領域を制限すると、水平レールにデッドスペースが増加して自動倉庫が大型化するおそれがある。【０００９】
本発明の課題は、デッドスペースの増加を抑えて搬送能力を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る自動倉庫は、複数の棚を有するラックと、水平レールと、複数の鉛直レールと、複数の移載ヘッドと、を備えている。ラックの複数の棚は、上下方向及び水平方向に配置された物品載置用のものである。水平レールは、ラックの幅に対応している水平レールであって、ラックの幅よりも短くさらに上下方向および水平方向に位置を異ならせて配置される複数のレール体を有する。複数の鉛直レールは、複数のレール体のそれぞれに少なくとも１つ設けられ、複数のレール体に沿って移動する。複数の移載ヘッドは、複数の鉛直レールのそれぞれに少なくとも１つ設けられ、複数の鉛直レールに沿ってそれぞれ移動し、物品を複数の棚の間で移載可能である。
この自動倉庫では、各レール体に沿って鉛直レールが水平方向に移動し、鉛直レールに沿って移載ヘッドが上下方向に移動する。これにより、自動倉庫内の二次元空間を移載ヘッドが移動する。
ここでは、水平レールの複数のレール体が上下方向位置を異ならせて配置されており、水平レール自体はラックの幅に対応しているので、レール体の両端部にプーリ等の駆動部品を配置してもそれらによるデッドスペースの増加が生じない。また、複数の鉛直レールがレール体に沿って移動するので、鉛直レールの干渉が生じない。このため、デッドスペースの増加を抑えて搬送能力を向上させることができる。【００１１】
複数のレール体にそれぞれ配置され、鉛直レールに連結されて鉛直レールを水平方向に移動させる無端駆動部材と、各レール体の両端部に配置され、無端駆動部材が巻回された複数の巻回部材と、をさらに備えてもよい。
この場合には、チェーン、歯付きベルト等の無端駆動部材を巻回する巻回部材を各レール体の両端に配置すると、レール体の両端部が突出する。しかし、２つのレール体の高さが異なっているので、突出部分が干渉しない。このため、デッドスペースの増加を最小限に抑えることができる。【００１２】
無端駆動部材は、歯付きベルトであり、巻回部材は歯付きプーリでもよい。【００１３】
水平レールは、複数のレール体の間のみ延びて接続する接続部材をさらに有する。この場合に、高さが異なる複数のレール体がレール体の間のみ延びる接続部材で接続されているので、接続部材の上下のスペースを利用することができ、デッドスペースの増加を抑えることができる。【００１４】
水平レールは、第１レール体と、第１レール体より高い位置に配置され第１レール体と平面視線対称の構造の第２レール体と、第１レール体と第２レール体とを連結する接続部材と、を有してもよい。【００１５】
第１レール体は、第１上レール部材と、第１上レール部材の真下に配置された第１下レール部材と、を有し、
第２レール体は、第１上レール部材の上方に対応する高さに配置された第２上レール部材と、第２上レール部材の真下であって第１上レール部材と第１下レール部材の上下方向間に対応する高さに配置された第２下レール部材と、を有してもよい。
接続部材は、第１上レール部材と、第２上レール部材と、を連結する上接続部材と、第１下レール部材と、第２下レール部材と、を連結する下接続部材と、を有してもよい。【００１６】
接続部材は、第１上レール部材と第２上レール部材及び第１下レール部材と第２下レール部材を接続するとともに、第１上レール部材と第２下レール部材を接続してもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、水平レールが高さを異ならせて配置された複数のレール体を有するので、レール体の両端部にプーリ等の駆動部品を配置してもそれらによるデッドスペースの増加が生じない。また、複数の鉛直レールがレール体に沿って移動するので、鉛直レールの干渉が生じない。このため、デッドスペースの増加を抑えて搬送能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態による自動倉庫の正面図
【図２】その側面断面図。
【図３】第１レール体の拡大正面図。
【図４】他の実施形態の図１の相当する図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（１）自動倉庫の全体構成
図１及び図２において、本発明の一実施形態による自動倉庫１０は、たとえば、図示しない天井走行の自動搬送台車と半導体処理装置１２（図２）との間に配置される装置前自動倉庫である。自動倉庫１０は、半導体処理装置１２の外周に配置された受け渡しポート１４に重なるように配置されている。受け渡しポート１４は、たとえば、４個のカセット載置台１４ａを有している。
【００２０】
自動倉庫１０は、自動搬送台車から搬入され半導体処理装置１２で処理される処理前の複数枚の基板を収納するカセット（物品の一例）Ｃを保管する。また、半導体処理装置１２で処理され自動搬送台車で搬出される処理済みの基板が収納されたカセットＣを保管する。自動倉庫１０は、フレーム２０と、フレーム２０の外側面を覆う外壁パネル２２と、カセットＣ保管用の棚２４とを含むラック２５と、移載装置２６と、を備えている。移載装置２６は、カセットＣを棚２４と棚２４との間及び棚２４とカセット載置台１４ａとの間で搬送する。
【００２１】
（２）フレーム及び外壁パネルの構成
フレーム２０は、たとえば、四隅に配置された４本の柱部材２０ａと、柱部材２０ａを前後左右に連結する連結部材２０ｂと、を有している。なお、左右をつなぐ連結部材２０ｂは、主に半導体処理装置１２側の背面に配置されており、正面には配置されていない。フレーム２０の左右のそれぞれ２本の柱部材２０ａは、床に固定可能である。フレーム２０の下部に半導体処理装置１２の受け渡しポート１４が配置されている。受け渡しポート１４は、カセットＣを載置可能である。半導体処理装置１２では、カセットＣを開けて内部に収納された、たとえば円形の基板に処理を施し、処理済みの基板をカセットＣに収納する。
【００２２】
外壁パネル２２は、自動倉庫１０の正面及び左右の側面を覆うとともに、背面の上部を覆うように形成されている。
【００２３】
（３）棚の構成
ラック２５の棚２４は、上下方向及び左右方向に配置されている。この実施形態では、左右に４列、上下に３段の合計１２個設けられている。棚２４は、上面にカセットＣを位置決めして載置可能である。棚２４は、フレーム２０の左右の連結部材２０ｂに固定されている。左右方向において、棚２４の間に移載装置２６が上下に通過可能な鉛直通路３０ａが設けられている。この実施形形態では、棚２４は、左右方向において、棚２４，鉛直通路３０ａ，棚２４，棚２４、鉛直通路３０ａ，棚２４の順に並んでおり、すべての棚２４が鉛直通路３０ａに面している。これにより、移載装置２６がすべての棚２４及び受け渡しポート１４との間でカセットＣを移載できる。棚２４には、カセットＣを識別するカセット読み取り器（図示せず）が設けられている。最上段の棚２４は、自動搬送台車とのカセットＣの受け渡しに使用される。最下段の棚２４と受け渡しポート１４との間は、水平通路３０ｂとなっている。
【００２４】
（４）移載装置の構成
移載装置２６は、左右方向に沿った水平軸及び鉛直軸の二軸を有する装置であり、カセットＣを水平軸方向の移動で保持可能である。移載装置２６は、水平レール３２と、水平レール３２に沿って移動する第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５と、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５に沿って各別に移動する第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７と、を備えている。水平レール３２は、棚２４の正面側に棚２４と隙間を空けて水平方向に配置されている。
【００２５】
図２及び図３に示すように、水平レール３２は、左右方向に沿って配置されている。水平レール３２は、複数の棚２４の左右方向の全長より短く上下方向に高さを異ならせて配置された第１レール体４０及び第２レール体４１と、第１レール体４０と第２レール体４１とを接続する接続部材４２と、を有している。なお、図３は、第１レール体４０の正面図であり、第１レール体４０を自動倉庫１０の背面側から見た図である。
第１レール体４０は、図３に示すように、第１上レール部材４０ａと、第１上レール部材４０ａの下方に配置された第１下レール部材４０ｂと、を有している。また、第１レール体４０は、第１鉛直レール３４を水平方向に駆動するための第１水平駆動モータ４４と、第１上駆動プーリ（巻回部材の一例）４６ａ及び第１下駆動プーリ（巻回部材の一例）４６ｂと、第１上従動プーリ（巻回部材の一例）４８ａ及び第１下従動プーリ（巻回部材の一例）４８ｂと、第１上歯付きベルト５０ａ及び第１下歯付きベルト（無端駆動部材の一例）５０ｂと、を有している。
【００２６】
第１水平駆動モータ４４は、第１上レール部材４０ａの図３右端（図２左端）に固定された減速機付きのモータであり、９０度折り曲げて回転を出力可能である。第１水平駆動モータ４４の出力は、第１上駆動プーリ４６ａに伝達され、かつ第１連結軸５４を介して第１下駆動プーリ４６ｂに伝達される。第１上駆動プーリ４６ａ及び第１下駆動プーリ４６ｂは、第１上レール部材４０ａ及び第１下レール部材４０ｂの図３右端（図１の左端）の平面視で重なる位置に配置されている。第１上従動プーリ４８ａ及び第１下従動プーリ４８ｂは、第１上レール部材４０ａ及び第１下レール部材４０ｂの図３左端（図１の右端）の平面視で重なる位置に配置されている。第１上歯付きベルト５０ａは、第１上駆動プーリ４６ａと第１上従動プーリ４８ａに巻回されている。第１上歯付きベルト５０ａには、第１上レール部材４０ａに水平方向に案内される第１上スライダ５２ａが固定されている。第１下歯付きベルト５０ｂには、第１下レール部材４０ｂに水平方向に案内される第１下スライダ５２ｂが固定されている。第１上スライダ５２ａ及び第１下スライダ５２ｂに第１鉛直レール３４が固定されている。
【００２７】
第２レール体４１は、第１レール体４０より高い位置に配置され、かつ第１レール体４０と平面視で線対称の構造である。したがって、第２水平駆動モータ４５は、図２右側に配置されている。第２レール体４１は、第２上レール部材４１ａと、第２下レール部材４１ｂと、第２水平駆動モータ４５と、第２上駆動プーリ４７ａ及び第２上従動プーリ４９ａと、第２下駆動プーリ４７ｂ及び第２下従動プーリ４９ｂと、第２上歯付きベルト５１ａ及び第２下歯付きベルト５１ｂと、第２鉛直レール３５が固定される第２上スライダ５３ａ及び第２下スライダ５３ｂと、を有している。第２水平駆動モータ４５の出力は、第２上駆動プーリ４７ａと、第２連結軸５５を介して第２下駆動プーリ４７ｂとに伝達される。第２上駆動プーリ４７ａ及び第２下駆動プーリ４７ｂは、第２上レール部材４１ａ及び第２下レール部材４１ｂの図１の右端の平面視で重なる位置に配置されている。第２上従動プーリ４９ａ及び第２下従動プーリ４９ｂは、第２上レール部材４１ａ及び第２下レール部材４１ｂの図１の左端の平面視で重なる位置に配置されている。なお、これらの符号は、参考のために図３の括弧内に付している。
【００２８】
接続部材４２は、第１上レール部材４０ａと第２上レール部材４１ａを接続する上接続部材４２ａと、第１下レール部材４０ｂと第２下レール部材４１ｂを接続する下接続部材４２ｂと、を有している。上接続部材４２ａ及び下接続部材４２ｂは、板状の部材であり、たとえば、ボルトにより、第１上レール部材４０ａ及び第２上レール部材４１ａ並びに第１下レール部材４０ｂ及び第２下レール部材４１ｂを固定する。また、段差等により、第１上レール部材４０ａ及び第２上レール部材４１ａ並びに第１下レール部材４０ｂ及び第２下レール部材４１ｂを位置決め可能である。
【００２９】
第１鉛直レール３４は、図３に示すように、第１鉛直レール部材６０と、第１移載ヘッド３６を鉛直方向に駆動するための第１鉛直駆動モータ６４と、第１駆動プーリ６６と、第１従動プーリ６８と、第１歯付きベルト７０と、を有している。これらの構造は、水平レール３２の第１レール体４０と同様である。第１移載ヘッド３６は、第１歯付きベルト７０に固定された第１スライダ７２に固定されている。同様に第２鉛直レール３５は、第２鉛直レール部材６１と、第２移載ヘッド３７を鉛直方向に駆動するための第２鉛直駆動モータ６５と、第２駆動プーリ６７と、第２従動プーリ６９と、第２歯付きベルト７１と、を有している。第２移載ヘッド３７は、第２歯付きベルト７１に固定された第２スライダ７３に固定されている。
【００３０】
第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７には、図２に示すように、カセットＣの上面に突出して形成された突起部Ｃ１を保持可能な１対の第１保持部３６ａ及び第２保持部３７ａが左右方向（図２紙面直交方向）に開閉可能に各別に配置されている。また、第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７のカセットＣに対向可能な位置には、カセットＣを識別するための第１カセット識別センサ３６ｂ及び第２カセット識別センサ３７ｂが各別に設けられている。第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７は、第１保持部３６ａ及び第２保持部３７ａを開閉する図示しないヘッドモータを各別に有している。第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７は、棚２４に対する搬入時及び搬出時には、第１保持部３６ａ及び第２保持部３７ａを開閉して突起部Ｃ１を保持解除及び保持する。この実施形態では、第１移載ヘッド３６は、第１レール体４０及び第１鉛直レール３４に案内されて、左側の鉛直通路３０ａ及び左半分の水平通路３０ｂを移動し、第２移載ヘッド３７は、第２レール体４１及び第２鉛直レール３５に案内されて、右側の鉛直通路３０ａ及び右半分の水平通路３０ｂを移動する
【００３１】
（５）自動倉庫の動作
このように構成された自動倉庫１０では、図１の左半分のカセットＣの移載を第１レール体４０、第１鉛直レール３４及び第１移載ヘッド３６が担当する。また、図１右側の半分のカセットＣの移載を第２レール体４１、第２鉛直レール３５及び第２移載ヘッド３７が担当する。そして、図示しない自動搬送台車がカセットＣを最上段の棚２４のいずれかに搬入する。搬入されたカセットＣは、搬入された最上段の棚２４が面する鉛直通路３０ａから下方の２列の２段の棚２４のいずれかに移載される。そして半導体処理装置１２からの要求により、受け渡しポート１４にさらに移載される。この移載時には、第１移載ヘッド３６（又は第２移載ヘッド３７）を、第１保持部３６ａ（又は第２保持部３７ａ）を開けた状態で移載対象のカセットＣの中心の上方に移動させる。このとき、移載対象のカセットＣが面する鉛直通路３０ａに移動させ、第１鉛直レール３４（又は第２鉛直レール３５）に沿って昇降させる。そしてカセットＣの上方に到達すると、第１レール体４０（又は第２レール体４１）に沿って水平にカセットＣの中心の上方に移動させる。そして、第１移載ヘッド３６（又は第２移載ヘッド３７）を下降させ、ヘッドモータにより第１保持部３６ａ（又は第２保持部３７ａ）を閉じて、突起部Ｃ１を第１保持部３６ａ（又は第２保持部３７ａ）で保持する。これにより突起部Ｃ１が保持され、カセットＣを移載することができる。そして、最上段の棚２４からその下方の２段の棚２４のいずれかにカセットＣを移載する。また、移載命令によっては、受け渡しポート１４のカセット載置台１４ａに直接移載する。逆に、カセット載置台１４ａから搬出する場合は、逆の手順で各棚２４に移載される。
【００３２】
（６）特徴
（Ａ）自動倉庫１０は、複数の棚２４からなるラック２５と、水平レール３２と、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５と、第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７と、を備えている。ラック２５の複数の棚２４は、上下方向及び水平方向に配置された物品載置用のものである。水平レール３２は、ラック２５の幅に対応している水平レールであって、ラック２５の幅よりも短く、さらに上下方向および水平方向に位置を異ならせて配置される第１レール体４０及び第２レール体４１を有する。第１鉛直レール３４は第１レール体４０に、第２鉛直レール３５は第２レール体４１に、それぞれ設けられ、第１レール体４０及び第２レール体４１に沿って移動する。第１移載ヘッド３６は、第１鉛直レール３４に、第２移載ヘッド３７は、第２鉛直レール３５に、それぞれに設けられ、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５に沿ってそれぞれ移動し、カセットＣを複数の棚２４の間で移載可能である。
この自動倉庫１０では、第１レール体４０及び第２レール体４１に沿って第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５が水平方向に移動し、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５に沿って第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７が上下方向に移動する。これにより、自動倉庫内の二次元空間を第１移載ヘッド３６及び第２移載ヘッド３７が移動する。
ここでは、水平レール３２の第１レール体４０と第２レール体４１が上下方向位置を異ならせて配置されており、水平レール３２自体はラック２５の幅に対応しているので、第１レール体４０及び第２レール体４１の両端部にプーリ等の駆動部品を配置してもそれらによるデッドスペースの増加が生じない。また、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５が第１レール体４０及び第２レール体４１に沿って移動するので、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５の干渉が生じない。このため、デッドスペースの増加を抑えて搬送能力を向上させることができる。
【００３３】
（Ｂ）移載装置２６は、第１レール体４０及び第２レール体４１にそれぞれ配置され、第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５に連結されて第１鉛直レール３４及び第２鉛直レール３５を水平方向に移動させる第１上歯付きベルト５０ａの無端駆動部材と、第１上歯付きベルト５０ａが巻回された第１上駆動プーリ４６ａ及び第１下歯付きベルト５０ｂの巻回部材をさらに有している。
このため、チェーン、歯付きベルト等の無端駆動部材を巻回する巻回部材を第１レール体４０及び第２レール体４１の両端に配置すると、第１レール体４０及び第２レール体４１の両端部が突出する。しかし、第１レール体４０及び第２レール体４１の高さが異なっているので、突出部分が干渉しない。このため、デッドスペースが増加を最小限に抑えることができる。
【００３４】
（Ｃ）水平レール３２は、第１レール体４０及び第２レール体４１の間のみ延びて接続する接続部材４２をさらに有している。このため、上下方向位置が異なる第１レール体４０及び第２レール体４１がレール体の間のみ延びている接続部材４２で接続されているので、接続部材４２の上下のスペースを利用することができ、デッドスペースの増加を抑えることができる。
【００３５】
（７）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００３６】
（ａ）本発明は、半導体処理装置に移載する装置前自動倉庫に限定されず、水平レールと鉛直レールとにより物品を移載するすべての自動倉庫に適用できる。
【００３７】
（ｂ）第１レール体４０および第２レール体４１の間のみを接続する接続部材４２は、前記実施形態に限定されない。図４において、自動倉庫１１０の水平レール１３２の接続部材１４２は、第１上レール部材４０ａと第２上レール部材４１ａ及び第１下レール部材４０ｂと第２下レール部材４１ｂを接続するとともに、第１下レール部材４０ｂと第２上レール部材４１ａを接続している。
このような構成では、４本のレール部材４０ａ，４０ｂ，４１ａ，４１ｂが１本の接続部材１４２で接続されているので、水平レール１３２全体の剛性が高くなる。
【００３８】
（ｃ）前記実施形態では、水平レール３２を２本に分割したが、３本以上に分割してもよい。この場合には、鉛直レールも分割の数だけ必要になる。ただし、分割数が増加するとデッドスペースも増加するので、分割数は棚全体の左右方向の長さに応じて適宜設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、水平レールと鉛直レールとを有し、物品を保管する自動倉庫に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０    自動倉庫
１２    半導体処理装置
１４    受け渡しポート
２０    フレーム
２０ａ  柱部材
２０ｂ  連結部材
２２    外壁パネル
２４    棚
２５    ラック
２６    移載装置
３０ａ  鉛直通路
３０ｂ  水平通路
３２    水平レール
３４    第１鉛直レール
３５    第２鉛直レール
３６    第１移載ヘッド
３６ａ  第１保持部
３６ｂ  第１カセット識別センサ
３７    第２移載ヘッド
３７ａ  第２保持部
３７ｂ  第２カセット識別センサ
４０    第１レール体
４０ａ  第１上レール部材
４０ｂ  第１下レール部材
４１    第２レール体
４４    第１水平駆動モータ
４５    第２水平駆動モータ
４６ａ  第１上駆動プーリ
４６ｂ  第１下駆動プーリ
４７ａ  第２上駆動プーリ
４７ｂ  第２下駆動プーリ
４８ａ  第１上従動プーリ
４８ｂ  第１下従動プーリ
４９ａ  第２上従動プーリ
４９ｂ  第２下従動プーリ
５０ａ  第１上歯付きベルト
５０ｂ  第１下歯付きベルト
５１ａ  第２上歯付きベルト
５１ｂ  第２下歯付きベルト
５２ａ  第１上スライダ
５２ｂ  第１下スライダ
５３ａ  第２上スライダ
５３ｂ  第２下スライダ
５４    第１連結軸
５５    第２連結軸
６０    第１鉛直レール部材
６１    第２鉛直レール部材
６４    第１鉛直駆動モータ
６５    第２鉛直駆動モータ
６６    第１駆動プーリ
６７    第２駆動プーリ
６８    第１従動プーリ
６９    第２従動プーリ
７０    第１歯付きベルト
７１    第２歯付きベルト
７２    第１スライダ
７３    第２スライダ
１１０  自動倉庫
１３２  水平レール
１４２  接続部材
【図１】
2010146813.tif 000003
【図２】
2010146813.tif 000004
【図３】
2010146813.tif 000005
【図４】
2010146813.tif 000006
【国際調査報告】
2010146813.tif 000007
2010146813.tif 000008
2010146813.tif 000009
2010146813.tif 000010