【事件の表示】
　特許第３０７１３４８号「ペリクルおよびその剥離方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０７１３４８号の請求項に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０７１３４８号の請求項１、２に係る発明（以下「本件発明１」、「本件発明２」という））は、平成５年１０月２１日に特許出願され、平成１２年５月２６日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人日東電工株式会社により特許異議の申立てがなされ、取消の理由が通知され、その指定期間内である平成１３年８月１３日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は以下のａ乃至ｃのとおりである。
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項２の「加熱および／または光照射」を「加熱」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の訂正にともない、明細書の段落【０００６】以降に記載の「加熱および／または光照射」を「加熱」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項２の訂正にともない、光照射に関して記述している明細書の段落【００１２】、【００１５】、及び【００１６】の【図３】の項を削除する。
エ．訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項２の訂正にともない、図面から図３を削除する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、訂正前の請求項２に限定を加えるもので特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｂ乃至ｄは上記訂正事項ａの訂正に伴って、発明の詳細な説明、及び図面の記載を適合させるものであるから、明瞭でない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについての判断
（１）特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人日東電工株式会社は、本件発明１、２は、甲第１〜５号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件発明１、２の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、当該特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　
（２）本件発明
　上記２．で示したとおり、上記訂正は認められるから、本件発明１、２は、平成１３年８月１３日付けの訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
本件発明１「ペリクルを露光原版（レチクル）に固定するためにペリクル枠の下端面に設けられる粘着層を、加熱により粘着力が減少する粘着剤で形成してなることを特徴とするペリクル。」
本件発明２「露光原版（レチクル）に固定されたペリクルを剥離する方法において、該ペリクルの粘着層を加熱により粘着力が減少する粘着剤で形成し、該粘着層を加熱してペリクルを露光原版から剥離することを特徴とするペリクルの剥離方法。」
　
（３）刊行物記載の発明
　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物である甲第１号証（特公平３−６２２６１号公報）（以下、引用例１という。）には次の事項が記載されている。
ア．「透明のペリクル膜と、マスク基板に装着されるペリクル枠とを備えてなるペリクルにおいて、ペリクル枠が接着剤によりマスク基板に装着され、前記接着剤は、前記マスク基板と接着される面の接着力が前記ペリクル枠に接着される面の接着力よりも弱いことを特徴とするペリクル。」（特許請求の範囲第１項）
イ．「このようなペリクルはガラスマスクのパターン形成面側に接着剤で装着することが考えられる。その場合、接着剤の接着力は取扱い時にペリクルがガラスマスクから外れない程度以上でなければならない。しかし、接着剤の接着力をあまり強くしようとすると、ペリクルをガラスから剥がす際に無理な力が加わってガラスマスクを損傷したり、あるいは剥離後に接着剤またはその糊が異物としてガラスマスク上に残留してしまう結果、半導体装置の欠陥をひき起こしたり、製造歩留りを低下させる原因となるということを本発明者は見い出した。［発明の目的］本発明の目的は、ペリクルの接着剤がマスク基板に残留して異物化することを防止できる技術を提供することにある。」（公報第３欄３〜１９行）
　
　したがって、第１図、第２図も参照すれば、引用例１には、「ペリクルをマスク基板に装着するためにペリクル枠の下端面が接着剤によりマスク基板に装着され、前記接着剤は、前記マスク基板と接着される面の接着力が前記ペリクル枠に接着される面の接着力よりも弱いことを特徴とするペリクル。」（以下、「引用発明１という」）が記載されている。
　
　同様に甲第３号証（特開昭６３−３３４８７号公報）（以下、引用例２という。）には次の事項が記載されている。
ア．粘着シート２をその所定側の感圧性接着剤層３’を介して台座５に固着したのち、未焼結のセラミック板１を粘着シート２の発泡剤含有感圧性接着剤層３に貼着固定し（第１図）、・・・ついで、台座５より粘着シート２を剥がしたのち、切断片１’を貼着した状態の発泡剤含有感圧性接着剤層３を発泡処理する（第３図）。これにより、その表面が凹凸化されて有効接着面積が減少し、切断片１’に対する接着力が低下する。（公報第３頁右下欄から第４頁左上欄）
イ．台座より粘着シートを剥がして切断片を貼着したままの状態で１３０℃で１分間加熱発泡処理した。ついで、発泡処理した粘着シートを第４図に示した反転方式の剥離装置に供給し切断片を粘着シートより剥離させた。（公報第４頁左下欄）
　
（４）本件発明１の特許について
１）対比・判断
　上記認定事項から、引用発明１における「マスク基板」「接着剤」は、それぞれ本件発明１の「露光原版（レチクル）」「粘着剤」に相当する。
　そして、引用発明１における接着剤も層を形成していることは、第２図等の記載から明らかである。
　したがって、両者は、「ペリクルを露光原版（レチクル）に固定するためにペリクル枠の下端面に設けられる粘着層を、粘着剤で形成してなることを特徴とするペリクル。」で或点で一致し、本件発明１は、粘着剤が「加熱により粘着力が減少する」ものであるのに対し、引用発明１には、そのような限定がない点で相違する。
　ところが、引用例２には、加熱により接着力が低下する接着剤層３が記載されており、引用発明１も、引用例２のものも、仮固定したものを無理な力を掛けることなく剥離するという共通の課題を有するものであり、引用発明１における接着剤を引用例２に記載の加熱により接着力が低下する接着剤として、本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到できたものである。
　したがって、本件発明１は、引用例１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、本件発明１の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
（５）本件発明２の特許について
　本件発明２と引用発明１とを対比すると、「露光原版（レチクル）に固定されたペリクルの粘着層を粘着剤で形成し」た点で一致するが、本件発明２はペリクルの剥離方法であるのに対し、引用発明１はペリクルの発明である点、及び、本件発明２の粘着剤が加熱により粘着力が減少するもので、加熱してペリクルを露光原版から剥離するのに対し、引用発明１には、そのような限定がない点で相違する。
　ところが、引用例２には、加熱により接着力が低下する接着剤層３、及び加熱発泡処理して、被接着物を剥離した点が記載されており、引用発明１も、引用例２のものも、仮固定したものを無理な力を掛けることなく剥離するという共通の課題を有するものであり、引用発明１における接着剤を引用例２に記載の加熱により接着力が低下する接着剤とし、さらに、引用例２に記載のように加熱して剥離するようにして、本件発明２の構成とすることは、当業者が容易に想到できたものである。
　
　したがって、本件発明２は、引用例１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、本件発明２の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１及び２の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、同法１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１０月２５日（２００１．１０．２５）
【訂正の要旨】
　（訂正の要旨）
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項２の「加熱および／または光照射」を「加熱」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の訂正にともない、明細書の段落【０００６】以降に記載の「加熱および／または光照射」を「加熱」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項２の訂正にともない、光照射に関して記述している明細書の段落【００１２】、【００１５】、及び【００１６】の【図３】の項を削除する。
エ．訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項２の訂正にともない、図面から図３を削除する。
（５４）【発明の名称】
ペリクルおよびその剥離方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ペリクルを露光原版（レチクル）に固定するためにペリクル枠の下端面に設けられる粘着層を、加熱により粘着力が減少する粘着剤で形成してなることを特徴とするペリクル。
　【請求項２】　露光原版（レチクル）に固定されたペリクルを剥離する方法において、該ペリクルの粘着層を
加熱
を加熱
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明はペリクル、特にはＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的に５００ｎｍ以下の光を用いる露光方式におけるペリクルおよびその剥離方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原版に光を照射してパターニングされるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写したパターニングが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来たすという問題があった。
　【０００３】
　このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことが難しいので、これには露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリクルを貼着する方式が行なわれている。
　この場合、ゴミは露光原版の表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル上のゴミは転写に無関係となる。このペリクル膜は通常、光を良く通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、変性ポリビニルアルコール、フッ素系ポリマーなどからなる透明なペリクル膜をアルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクル枠の上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾して接着する（特開昭５８−２１９，０２３号公報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの接着剤で接着し（米国特許第４，８６１，４０２号明細書、特公昭６３−２７，７０７号公報参照）、さらにはペリクル枠の下部には露光原版が装着されるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂やポリウレタンなどのゴム発泡体にアクリル系、シリコーン系、ゴム系などの粘着剤を塗装したものなどからなる粘着層、および粘着層の保護を目的とした離型層（セパレーター）が構成されている（特開平２−６４５４０号参照）。
　【０００４】
　そして、このペリクルは通常は金属また樹脂製のペリクル枠の一端面にペリクル膜を接着剤で張設し、ペリクル枠の他の端面に粘着層を形成し、その粘着層を離型性を有するシート状材料（セパレーターと称する）で保護した構造体になっており、このペリクルを使用するときには離型性を有するシート状材料（セパレーター）を剥離して除去したのち、露出した粘着層をフォトマスク（レチクルとも称する）の所定位置に圧着してペリクルをフォトマスクに固定することが行なわれる。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、このようにレチクルに固定されたペリクルはレチクルを露光機に装着する際や露光機から脱着する際に、ハンドリングでしばしばペリクル膜の破損が発生し易く、したがって新しいペリクルと交換する必要がある。
　しかして、この交換には通常、ペリクルをレチクルに固定しているベタつく粘着状態の粘着層を機械的に取り除くか、これを溶剤で膨潤させて取り外すのが一般的とされているが、機械的方法では粘着剤を完全に除去することが難しく、レチクルを損傷し易いという不利があり、溶剤で膨潤除去する方法には溶剤の臭気と毒性に問題があった。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明はこのような不利、欠点、問題点を解決したペリクルに関するものであり、これはペリクルを露光原版（レチクル）に固定するためにペリクル枠の下端面に設けられる粘着層を、加熱により粘着力が減少する粘着剤で形成してなることを特徴とするものである。さらに、本発明による露光原版（レチクル）に固定されたペリクルを剥離する方法は、ペリクルの粘着層を
加熱
を加熱
　【０００７】
　すなわち、本発明者らは溶剤の臭気や毒性が無く、ペリクルを容易に、しかもレチクルを傷つけずに取り外す方法について種々検討した結果、これについてはペリクルをレチクルに固定する粘着層を
加熱
加熱
　以下にこれをさらに詳述する。
　【０００８】
　【作用】
　本発明はペリクル、特には取り外しが容易なペリクルおよびその剥離方法に関するものであり、これはペリクルをレチクルに固定する粘着層を、
加熱
を加熱
加熱すると
　【０００９】
　本発明は、ペリクルが不用または交換時には容易にレチクルから剥離することができ、したがって簡単にレチクルから取り外しができるようにしたものであるが、これはペリクルをレチクルに固定するために使用する粘着層を
加熱
　この
加熱
加熱すると
　【００１０】
　本発明のペリクルをレチクルに装着する粘着剤としては、従来から使用されているポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などの化学構造を、これを
加熱
加熱
　なお、これらの粘着剤はこれをそのままペリクルのフレームに塗布してもよいが、必要に応じてこれらをウレタン発泡体などのゴム発泡体に含浸または塗布して用いてもよく、これに充填剤、顔料などを添加することは任意とされる。
　【００１１】
　この粘着剤の粘着力を低下させる加熱温度としては、４０℃未満ではレチクルにつけたままで長期に保管しているときに粘着層が経時変化を起し易く、したがってしばしばペリクルが脱落するおそれがあり、３００℃以上とするとクリーンルーム内に高熱源を持ち込むことになり、温調してあるクリーンルームの熱負荷が高められ経済的でなくなるので、これは４０〜３００℃、特には７０〜１５０℃の範囲とするのがよい。
　【００１２】
　【実施例】
　つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例１
　非晶性フッ素系重合体・サイトップ［旭硝子（株）製商品名］から作られた膜厚８，１５０Åのペリクル膜を、フレームの大きさが１２０×９８ｍｍ、幅２ｍｍ、厚さ５．８ｍｍの表面をアルマイト処理したジュラルミン製のペリクル枠にサイトップ溶液で接着し、その反対の面に図１、図２に示した特性をもつ熱剥離粘着剤層・リバアルファＮｏ．３１９５［日東電工（株）製商品名］を取りつけたのち、このペリクルをＬＳＩ用レチクルに貼りつけた。
　【００１３】
　ついで、このペリクル付レチクルを１００℃で３秒間加熱したところ、この粘着層はベタつきが無くなり、粘着力がほぼゼロとなったので、このペリクルはレチクルから容易に取り外すことができたが、この場合加熱せずにペリクルを取り外ずそうとしたところ、フレームの変形なしでは無理であることが判った。
　【００１４】
　【発明の効果】
　本発明のペリクルおよびその剥離方法は、このような構成からなり、剥離の際に行なわれた
加熱
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の実施例１で使用された熱剥離粘着剤層のシート表面温度と接着力との関係を示すグラフである。
　【図２】　本発明の実施例１で使用された熱剥離粘着剤層の加熱時間と接着力との関係を示すグラフである。
【図面】