【事件の表示】
　特許第３０７１１０８号「ワイヤソー装置」の請求項１、２、５、及び６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０７１１０８号の請求項１、２、５、及び６に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３０７１１０８号の請求項１、請求項２、請求項５、及び請求項６に係る発明についての出願は、平成６年９月３０日に特許出願され、平成１２年５月２６にその特許の設定登録がされ、その後、株式会社イーアンドイーにより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年６月２６日に訂正請求がなされたものである。
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正請求の内容
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載における「ワイヤに対して砥粒を含むスラリを供給しながら」を、「ワイヤに対してスラリタンクから砥粒を含むスラリを供給しながら」に限定し、また、「スラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段」を、「スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００６】欄の記載を、
「【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するために、請求項１に記載のワイヤソー装置の発明においては、ワークの切断時における切れ味の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出データに基づいてスラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段とを備えたものである。」と訂正する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１において、砥粒を含むスラリの供給を、スラリタンクから供給するように限定するものであり、また、スラリの配合を調合する調整手段を、スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を調合する調整手段に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　また、この限定は、段落【００１１】欄、【００２９】欄及び【００３０】欄の記載に基づくものであり、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでない。
　上記訂正事項ｂは、訂正事項ａによる特許請求の範囲の請求項１の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載をこれに整合するように訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
３　むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
第３　特許異議の申立てについての判断
１　申立ての理由の概要
　特許異議申立人株式会社イーアンドイーは、甲第１号証として特開平３−２０８５５５号公報を、甲第２号証として特開平５−１０４４３２号公報を、甲第３号証として「半導体製造装置実用便覧」、昭和５９年１２月２５日、株式会社サイエンスフォーラム発行、ｐ．７１−７３、甲第４号証として特開平５−１０４４３７号公報を、甲第５号証として特開平５−１５４８３３号公報、甲第６号証として特開平５−３２９７４９号公報、甲第７号証として特開平６−１５５２３７号公報、甲第８号証として特開平６−１３６４２４号公報、甲第９号証として実願平５−１５５７５号（実開平６−６６９５２号）のＣＤ−ＲＯＭ、甲第１０号証として特公昭６４−９１４３号公報、甲第１１号証として特開昭６１−２６６９４号公報、甲第１２号証として特開昭６３−２３０４１９号公報、甲第１３号証として特開平５−１８００２１号公報、甲第１４号証として特開平６−７０６５３号公報、甲第１５号証として「１９９３年度精密工学会春季大会　学術講演論文集　第２分冊」、平成５年３月５日、社団法人精密工学会発行、ｐ．６０１−６０２、甲第１６号証として特開昭５４−９５０９８号公報、甲第１７号証として特開昭５５−１１２１７６号公報、甲第１８号証として実願昭６１−１９２０９９号（実開昭６３−９７４４９号）のマイクロフィルム、甲第１９号証として特開昭５８−１６２８９８号公報、甲第２０号証として特開平６−１１９９５号公報、甲第２１号証として特開平６−１１９９６号公報、甲第２２号証として特開平６−１１９９７号公報、甲第２３号証として特開平６−１５６３８号公報を提出し、本件請求項１、２、５、及び６に係る発明は、甲第１号証ないし甲第２３号証に記載された発明であり、又は、甲第１号証ないし甲第２３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第１項又は第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきものである旨主張している。
２　本件発明
　本件特許第３０７１１０８号の請求項１、２、５、及び６に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１」、「本件発明２」、「本件発明５」、及び「本件発明６」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、５、及び６に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「　【請求項１】　複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイヤーを一方向または双方向に走行させ、そのワイヤに対してスラリタンクから砥粒を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断するようにしたワイヤーソー装置において、
　前記ワークの切断時における切れ味の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出データに基づいて前記スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段とを備えたワイヤソー装置。
　　【請求項２】　前記検出手段は、スラリの比重を測定するための比重測定装置により構成した請求項１に記載のワイヤソー装置。
　　【請求項５】　検出手段は、加工用ローラとワークとの間においてワイヤのたわみ量を検出する請求項１に記載のワイヤソー装置。
　　【請求項６】　検出手段は、加工用ローラの温度を検出する請求項１に記載のワイヤソー装置。」
３　甲号証記載の発明
　特許異議申立人の提示した甲第１号証ないし甲第２３号証には次の発明が記載されていると認められる。
　甲第１号証：
　複数の多溝ローラ群の外側にワイヤを多重並列状に巻付け、多溝ローラ群を正逆転させることによりワイヤを多溝ローラ間で往復動させ、多溝ローラ間を移動するワイヤでワークを切断するようにしたワイヤソー装置において、多溝ローラ群の外側で走行ワイヤの下部接近位置に長孔状の上部スリットから砥液を溢出させてワイヤの下面に供給するノズルを設け、このノズルに砥液タンクの砥液供給ポンプで砥液を供給するようにしたワイヤソソーの砥液循環供給装置。
　甲第２号証：
　複数の多溝ローラの外側にワイヤを多重並列状に巻付け、該多溝ローラ群を一方向または正逆方向に回転させることによりワイヤを供給側から多溝ローラ群を経て回収側へ移動させ、該多溝ローラ間を移動するワイヤ部分でワークを切断するようにし、多溝ローラ群を移動するワイヤ部分にワークを押し当てて、双方の接触部分に砥粒とラッピングオイルの混合液を供給するワイヤソー装置。
　甲第３号証：
　研磨剤とオイルを調合したスラリーを多溝滑車のある部分に供給しながら、往復運動しているワイヤーにワークを押し付けることにより切断が行われるワイヤーソー装置。
　甲第４号証：
　ブレードの変位を直接又は間接的に検出し、そのブレード変位の方向に基づいて切れ味の悪い側の刃面を判定し、当該切れ味の悪い側の刃面と対向する電極と他方の電極であるブレードとの間に電圧を引加して内周刃の電解ドレスを行い、内周刃の表側と裏側の刃面の切れ味の差を無くしてウェハの反りを制御するスライシング装置における反り制御方法。
　甲第５号証：
　ダイシングマシンにおいて、ワーク切断時に発生するＡＥ信号を検出し、ＡＥ信号の変動を監視し、砥石の切れ味を判断して、自動的にブレードの切断作業を停止し、それによってワークの不良品の発生を防止すること。
　甲第６号証：
　工具寿命予知機能を備えた工作機械において、工具が当接する工作物の加工面以外の面側に配置された工作物の加工時の変位量を検測する変位センサと、前記変位センサで検測した工作物の変位量と設定値とを比較して工具の交換を指令する工具交換指令装置とを備えた構成であるから、工具の切れ味を工作物の歪み量を指標として検出できること。
　甲第７号証：
　ワーク加工における制御装置において、検出手段が、刃具の切れ味の低下によるストロークの変化を検出し、補償手段が、前記ストロークの変化が検出されたとき、該ストロークを上記一定のストロークに近づけるよう補償すること。
　甲第８号証：
　スラリーに含有するダストの量やスラリー自身の発生量の変動に対応し、常に安定したスラリーの濃度及び量を保つ転炉ガス集塵廃水の処理方法。
　甲第９号証：
　被測定部の重量の変化を重量測定器で計測し、計測データを演算／表示装置で演算処理し、スラリーの濃度として表示する湿式ブラスト装置におけるスラリー濃度測定装置。
　甲第１０号証：
　スラリー濃度を自動制御できる湿式ブラスト加工装置において、比較回路を作動して比較し、測定スラリー濃度が薄い場合は、スラリタンクのマグネットバルブに遅延リレーを介して信号を送ってこれを開いてスラリーホッパーへスラリータンク中の濃いスラリーの供給をおこなうようにし、測定スラリー濃度の濃い場合は前記マグネットバルブを閉じたままにしておくこと。
　甲第１１号証：
　湿式粉砕機で固体燃料を粉砕して得られた固体燃料−水スラリの比重または年度を連続的に検出し、該比重または粘度の値が所定値になるように該湿式粉砕機への給炭量または給水量を制御する湿式粉砕装置の制御方法。
　甲第１２号証：
　駆動液及びスラリーの少なくともいずれか一方の比重を検出し、この検出比重と許容設定比重に差が生じたときに自動的に調整する立形ハイドロホイストの運転方法。
　甲第１３号証：
　ＬＮＧを供給される内燃機関において、前記ＬＮＧの比重を検出する比重センサを設け、この比重センサの検出する前記ＬＮＧの比重に応じて前記内燃機関に供給されるＬＮＧの燃焼状態を補正すべく制御する制御手段を設けた内燃機関のＬＮＧ制御装置。
　甲第１４号証：
　植物の植えられる土壌の比重を検出する検出手段と、検出された比重に応じて灌水間隔を補正する補正手段とを備えた自動灌水装置。
　甲第１５号証：
　一方向走行マルチワイヤーソーによる石英の切断荷重に及ぼす砥粒の粒度及び砥液比重の影響について、粒度は速度比（ワーク押上速度／ワイヤ速度）、比重はワイヤ速度を介して切断荷重に影響を及ぼすこと。
　甲第１６号証：
　ワイヤ電極供給支腕及び／又は同回収支腕の撓みを検知する検知器と、ワイヤ電極に所望の制動力を与えるブレーキ装置と、上記検知器の出力が所望の一定値となるよう上記ブレーキ装置の制動力を制御する制御器とを備えたワイヤカット放電加工装置。
　甲第１７号証：
　ワイヤガイド管の自由端のその内部を通るワイヤの撓みによる直線運動量に応じてブッシュ送給器におけるワイヤ送給速度を制御するようにしたワイヤの送給制御方法及び装置。
　甲第１８号証：
　固定して設ける金属検出用近接スイッチによって、ワイヤー列に加工物を押圧する際に生じるワイヤー列の撓み量を検出し、ワイヤー列に加工物を押圧しながら直線方向に動作する加工物載置台の切込速度を、上記金属検出用近接スイッチの検出信号に従って変化させることができるワイヤーソー切込速度制御装置。
　甲第１９号証：
　乾燥粉体の温度を検出して、この検出温度と設定温度とが一致するように加熱状態及びスラリー供給量を調整する放射性廃棄物処理装置。
　甲第２０号証：
　検出された温度の変化率を比較して加熱ローラの加熱源への通電を制御する定着装置。
　甲第２１号証：
　加熱ロールの表面温度を検出し、表面温度が上昇中か下降中かを検出し、加熱源への通電を制御する定着装置の温度制御装置。
　甲第２２号証：
　加熱ロールの表面温度を検出し、この温度を制御温度と比較して加熱源をオンオフさせる制御手段を備えた定着装置。
　甲第２３号証：
　加熱ロールの加熱温度を測定し、加熱ロールの加熱温度を自動制御する制御手段を備えた自動混練装置。
４　対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と上記甲第１号証ないし甲第２３号証に記載された発明とを対比すると、上記甲各号証に記載された発明は、本件発明１と一部共通する事項が認められるものの、いずれも本件発明１を特定する事項である「スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段」を備えておらず、当該事項により本件発明１は、「スラリの成分変動による切れ味の変動を抑制して、ワークの切断を安定した状態で行うことが出来る。さらに、スラリを適正な配合比率に維持することができるとともに、装置を停止させる必要がなく、しかもスラリ調合のためのスペースが不要となる。」という明細書に記載の顕著な効果を奏するものであり、本件発明１が上記甲第１号証ないし甲第２３号証に記載された発明であるとすることはできず、また、上記甲第１号証ないし甲第２３号証記載された発明から容易に発明をすることができたものともいえない。
（２）本件発明２、本件発明５、及び本件発明６について
　本件発明２、本件発明５、及び本件発明６は、本件発明１を更に限定したものであるから、上記本件発明１についての判断と同様の理由により、上記甲第１号証ないし甲第２３号証に記載された発明であるとすることはできず、また、上記甲第１号証ないし甲第２３号証記載された発明から容易に発明をすることができたものともいえない。
５　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１、２、５、及び６に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１、２、５、及び６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月１４日（２００１．８．１４）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　特許第３０７１１０８号発明の明細書を、訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり、すなわち、次の各訂正事項ａ及びｂのとおり訂正する。
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイヤーを一方向または双方向に走行させ、そのワイヤに対してスラリタンクから砥粒を含むスラリを供給しながらワークを押し付けて、そのワークを切断するようにしたワイヤーソー装置において、
　前記ワークの切断時における切れ味の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出データに基づいて前記スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段とを備えたワイヤソー装置。」と訂正をする。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００６】欄の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
「　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するために、請求項１に記載のワイヤソー装置の発明においては、ワークの切断時における切れ味の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出データに基づいてスラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することによりスラリの配合を同スラリの循環経路の一部において調合する調整手段とを備えたものである。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ワイヤソー装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　複数の加工用ローラ間に螺旋状に巻き付けられたワイヤを一方向または双方向に走行させ、そのワイヤに対して
スラリタンクか
　前記ワークの切断時における切れ味の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出データに基づいて
前記スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することにより
　【請求項２】　前記検出手段は、スラリの比重を測定するための比重測定装置により構成した請求項１に記載のワイヤソー装置。
　【請求項３】　前記比重測定装置は、測定用容器と、その測定用容器内にスラリを供給するために、測定用容器の上部に形成された供給口と、測定用容器内のスラリの液面を一定に保つために、測定用容器の側部に形成された排出口と、スラリの収容状態で測定用容器の重量を測定する重量計とより構成した請求項２に記載のワイヤソー装置。
　【請求項４】　測定用容器の供給口には切断加工部へスラリを供給するための供給路から分岐した分岐路が接続されている請求項３に記載のワイヤソー装置。
　【請求項５】　検出手段は、加工用ローラとワークとの間においてワイヤのたわみ量を検出する請求項１に記載のワイヤソー装置。
　【請求項６】　検出手段は、加工用ローラの温度を検出する請求項１に記載のワイヤソー装置。
　【請求項７】　前記調整手段は、スラリを収容するためのスラリタンクと、そのスラリタンクに付設されたオイルタンクと、スラリタンクに付設された砥粒タンクと、オイルタンクからスラリタンクへのオイルの供給量、砥粒タンクからスラリタンクヘの砥粒の供給量及びスラリの比重設定手段を制御する制御装置とより構成した請求項１に記載のワイヤソー装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、例えば半導体材料、磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断するワイヤソー装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ワイヤソー装置においては、複数の加工用ローラ間にワイヤが所定ピッチで螺旋状に巻き付けられ、このワイヤが一方向または双方向に走行されながら、そのワイヤ上に砥粒を含むスラリが供給される。そして、この状態でワイヤに対してワークが押し付けられて、ワークが切断されるようになっている。
　【０００３】
　この種のワイヤソー装置において、切断運転中にスラリ内へワークの切粉等が混入すると、スラリ中の砥粒の配合割合が変わって、切れ味が低下する。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　この場合、スラリ中の砥粒の配合割合を適正に維持することが加工精度を一定に保持するために必要である。このため、従来は装置をストップして、スラリの一部または全部を廃棄し、装置外で調合した新しいスラリを、廃棄した分だけ補充するようにしていた。ところが、この場合には、装置が停止するために運転効率が低下する。また、装置外でスラリを調合するためには、そのためのスペースが必要である上、新たなスラリを補給したとしても、スラリ全体の配合割合を適正な比率に維持することが難しい。
　【０００５】
この発明は、このような従来からの要望に対処するためになされたものである。その目的とするところは、スラリの成分変動による切れ味の変動を抑制して、ワークの切断を安定した状態で行うことができるワイヤソー装置を提供することにある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するために、請求項１に記載のワイヤソー装置の発明においては、ワークの切断時における切れ味の変動を検出する検出手段と、その検出手段の検出データに基づいて
スラリタンクへのオイルの供給量及び砥粒の供給量を制御することにより
　【０００７】
　請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のワイヤソー装置において、前記検出手段は、スラリの比重を測定するための比重測定装置により構成したものである。
　【０００８】
　請求項３に記載の発明では、請求項２に記載のワイヤソー装置において、前記比重測定装置は、測定用容器と、その測定用容器内にスラリを供給するために、測定用容器の上部に形成された供給口と、測定用容器内のスラリの液面を一定に保つために、測定用容器の側部に形成された排出口と、スラリの収容状態で測定用容器の重量を測定する重量計とより構成したものである。
　【０００９】
　請求項４に記載の発明では、請求項３に記載のワイヤソー装置において、測定用容器の供給口には切断加工部へスラリを供給するための供給路から分岐した分岐路が接続されている。
　【００１０】
　請求項５に記載の発明では、請求項１に記載のワイヤソー装置において、検出手段は、加工用ローラとワークとの間においてワイヤのたわみ量を検出するものである。
　【００１１】
　請求項６の発明では、請求項１に記載のワイヤソー装置において、検出手段は、加工用ローラの温度を検出するものである。
　請求項７に記載の発明では、請求項１に記載のワイヤソー装置において、前記調整手段は、スラリを収容するためのスラリタンクと、そのスラリタンクに付設されたオイルタンクと、スラリタンクに付設された砥粒タンクと、オイルタンクからスラリタンクへのオイルの供給量、砥粒タンクからスラリタンクへの砥粒の供給量及びスラリの比重設定手段を制御する制御装置とより構成したものである
　【００１２】
　【作用】
　請求項１に記載のワイヤソー装置においては、加工用ローラ間のワイヤにスラリを供給しながらワークを切断する際に、切れ味の変動が検出手段により検出される。そして、この検出値に応じて、スラリの循環途中においてスラリの配合が調整手段により調整される。
　【００１３】
　請求項２に記載の発明では、スラリの比重が比重測定装置により測定され、それに基づいて切れ味の変動が検出される。
　請求項３に記載の発明においては、装置の運転中にスラリの比重が比重測定装置により連続して自動的に検出される。
　【００１４】
　請求項４に記載の発明では、スラリが分岐路を介して測定用容器の供給口へ送られる。
　また、請求項５に記載のワイヤソー装置においては、加工用ローラ間のワイヤにワークを押付けて切断する際に、加工用ローラ間のワイヤの張力が切れ味の変動として検出される。そして、このワイヤ張力の検出値に応じて、スラリの配合割合が調整される。
　【００１５】
　さらに、請求項６に記載のワイヤソー装置においては、加工用ローラ間のワイヤにてワークを切断する際に、加工用ローラの温度が切れ味の変動として検出される。そして、このローラ温度の検出値に応じて、調整手段によりスラリの配合が調整される。
　【００１６】
　請求項７の発明においては、装置の運転中に切れ味の変動に応じて、調整手段によりスラリの調合が変更され、適正状態に調整される。
　【００１７】
　【実施例】
　以下、この発明を具体化したワイヤソー装置の第１実施例を、図１及び図２に基づいて詳細に説明する。
　【００１８】
　図１に示すように、３個の加工用ローラ１，２，３は所定間隔をおいて平行に配設され、それらの外周には多数の環状溝が所定ピッチで形成されている。鋼線よりなる１本の切断用ワイヤ４は加工用ローラ１，２，３の環状溝に連続して螺旋状に巻き付けられ、加工用ローラ１，２，３の回転に伴い、各加工用ローラ１，２，３間において一方向または双方向に走行される。また、このワイヤ４は走行時において、図示しない供給リールから加工用ローラ１，２，３上に供給されるとともに、図示しない巻取リールに巻き取られる。
　【００１９】
　スラリ供給ノズル５は前記加工用ローラ１，２，３より上方でワーク７の近傍に配設され、このスラリ供給ノズル５から加工用ローラ１，２間のワイヤ４に対して、砥粒を含むスラリが供給される。サドル６は加工用ローラ１，２，３の上方に上下動可能に配設され、その下面にはワーク取付治具６ａを介してワーク７が接着固定される。そして、このサドル６の下降に伴いワーク７が加工用ローラ１，２間のワイヤ４に押し付けられて、ラッピング作用によりウエハー状に切断される。
　【００２０】
　調整手段を構成するスラリ調整装置８は、切断加工に供するスラリの配合を調整するために装備されている。このスラリ調整装置８のスラリタンク９の外周壁及び底部は二重構造となり、冷媒通路９ａにスラリ冷却用の冷媒が通されることにより、加工熱が除去される。また、その側壁にはスラリ１０の収容量を一定に保つためのオーバフロー口１１が形成されている。排出通路１２はスラリタンク９の底部に接続され、排出バルブ１３が開放されたとき、スラリタンク９内のスラリ１０が、この排出通路１２を通して排出される。
　【００２１】
　撹拌翼１４は前記スラリタンク９の内底部に回転可能に配設され、この撹拌翼１４がモータ１５にて常時回転されることにより、スラリ１０がオイルと砥粒とに分離しないように撹拌される。熱交換器１６はスラリタンク９上に付設され、循環ポンプ１７の回転により、スラリタンク９内のスラリ１０が、この熱交換器１６を通して循環されて所定温度に冷却される。
　【００２２】
　前記スラリ調整装置８のオイルタンク１８はスラリタンク９上に付設され、オイル供給バルブ１９が開放されたとき、このオイルタンク１８内のオイル２０がスラリタンク９内に供給される。砥粒タンク２１はスラリタンク９上に付設され、砥粒供給バルブ２２が開放されたとき、この砥粒タンク２１内の砥粒２３がスラリタンク９内に供給される。
　【００２３】
　スラリ供給通路２４は前記スラリタンク９とスラリ供給ノズル５との間に配設され、供給ポンプ２５が回転されたとき、スラリタンク９内のスラリ１０が、このスラリ供給通路２４を通してスラリ供給ノズル５に供給される。スラリ供給ノズル５からワイヤ４に供給されたスラリ１０はスラリ受け３４を介してスラリタンク９に回収される。スラリタンク９、スラリ供給通路２４、スラリ供給ノズル５、スラリ受け３４はスラリの循環路を構成している。スラリバイパス２６はスラリ供給通路２４の途中に接続され、このスラリバイパス２６とスラリタンク９との間には、検出手段を構成する比重測定装置２７が装設されている。そして、スラリ供給通路２４を流れるスラリ１０の一部が、この比重測定装置２７に分岐導入されるようになっている。
　【００２４】
　図１及び図２に示すように、前記比重測定装置２７の測定用容器２８は四角筒状に形成され、支持台２９により傾斜状態に配設されている。供給口としての開口部３０は測定用容器２８の上部に形成され、この開口部３０から測定用容器２８内にスラリ１０が供給される。排出口としての排出縁３１は傾斜状に配置された測定用容器２８の側部に形成され、ここから溢れ出たスラリ１０が下方に位置するスラリタンク９に戻される。これにより、測定用容器２８内のスラリ１０の液面が常に一定に保たれる。
　【００２５】
　重量計３２は前記支持台２９の下部に配設され、測定用容器２８内にスラリ１０を収容した状態で、その測定用容器２８全体の重量を測定する。制御装置３３は重量計３２からの測定データを入力し、その測定データより測定用容器２８及び支持台２９の重量を差し引いて、スラリ１０の実質重量を算出するとともに、そのスラリ１０の実質重量及び測定用容器２８の水面下容積に基づいて、スラリ１０の比重を算出する。
　【００２６】
　そして、制御装置３３は、スラリ１０の比重がワークの切粉等の混入により予め設定された所定値（例えば１．５〜１．５５の範囲）から外れて低くなったときには、砥粒２３を砥粒タンク２１からスラリタンク９内に供給して、スラリの比重が所定値になるように調整する。また、スラリ１０を自動交換する際には、スラリタンク９内のスラリ１０を所定量（実施例では収容量の３分の１）だけ排出して、スラリ比重が所定値になるように、オイルタンク１８内のオイル２０と砥粒タンク２１内の砥粒２３をそれぞれ、オイル供給バルブ１９及び砥粒供給バルブ２２を開放して、測定したスラリ比重に応じて開放量を調整する。
　【００２７】
　次に、前記のように構成されたワイヤソー装置について動作を説明する。
　さて、このワイヤソー装置の運転時には、加工用ローラ１，２，３間においてワイヤ４が一方向または双方向に走行される。このとき、制御装置３３により供給ポンプ２５が駆動され、スラリタンク９内のスラリ１０が装置内を循環してスラリ供給通路２４を通してスラリ供給ノズル５に給送され、そのスラリ供給ノズル５からワイヤ４上に供給される。この状態で、サドル６の下降によりワーク７がワイヤ４に対して押し付けられ、ラッピング作用によりワーク７が所定の厚さに切断される。
　【００２８】
　このワーク７の切断運転時には、スラリタンク９からスラリ供給ノズル５に給送されるスラリ１０の一部が、スラリ供給通路２４の途中からスラリバイパス２６を通して比重測定装置２７に分岐導入される。そして、この比重測定装置２７において、スラリ１０が測定用容器２８内に定量収容され、この状態で重量計３２により測定用容器２８全体の重量が測定されて、その測定データが制御装置３３に入力される。
　【００２９】
　制御装置３３においては、重量計３２からの測定データによりスラリ１０の実質重量が算出されるとともに、そのスラリ１０の実質重量及び測定用容器２８の容積に基づいて、スラリ１０の比重が算出される。そして、このスラリ１０の比重が切粉等の混入により所定値から外れているときには、制御装置３３により所定値より低い場合には、砥粒２３の補給量が演算され、その演算結果に基づいて砥粒供給バルブ２２が開放される。また、所定値より測定したスラリ比重が高い場合には、オイル２０の補給量が演算され、その演算結果に基づいてオイル供給バルブ１９が開放される。これにより、オイルタンク１８内のオイル２０及び砥粒タンク２１内の砥粒２３がスラリタンク９内に補給され、スラリタンク９内のスラリ１０の比重が所定値となるように配合調整される。
　【００３０】
　すなわち、前記制御装置３３においてオイル２０及び砥粒２３の補給量が演算される際には、測定されたスラリ１０の比重に応じて、オイル２０及び砥粒２３の補給量が調節されて、スラリ１０の比重が所定値（例えば１．５〜１．５５）の範囲内で調合される。スラリ１０の比重は切れ味、すなわち切れ味と対応し、比重が小さくなると切れ味が低下する。従って、切粉等の混入によりスラリ１０の比重測定値が小さくなって、切れ味が低下しているほど、砥粒２３の補給が行われるように調整される。従って、スラリ１０内への切粉等の混入に伴う切れ味の変動を抑制して、ワーク７の切断を安定した状態で行うことができ、一定の切断精度を維持できる。
　【００３１】
　以上のように、この実施例のワイヤソー装置においては、切断運転中にスラリタンク９からスラリ供給ノズル５に供給されるスラリ１０の一部を比重測定装置２７に導いて、スラリ１０の比重を計測している。従って、ワイヤソー装置の切断運転中にスラリ１０の比重を連続して自動的に検出することができる。そして、それに基づいて、スラリ１０の排出、オイル２０及び砥粒２３の配合を自動的に行うことができる。このため、スラリ１０の調合や交換のために、装置を停止する必要がなく、切断加工の能率が向上する。しかも、装置外でスラリの調合を行う必要がないため、そのためのスペースも不要である。
　【００３２】
　加えて、オイルタンク１８及び砥粒タンク２１が別々に設けられていて、それらから各別にオイル２０及び砥粒２３が供給されるため、スラリ１０の配合を任意にかつ正確に行うことができる。
　【００３３】
　しかも、スラリ比重測定装置２７はタンク２８と重量計３２とを設けているのみであるから、構造が簡単である。また、比重測定装置２７へスラリ１０を送るための構成は、スラリバイパス２６のみを設けるとともに、スラリ供給ポンプ２５と共用しているため、構成が簡単である。
　【００３４】
　【別の実施例】
　次に、この発明のワイヤソー装置の切れ味を検出する検出手段の別の実施例を、図３〜図５に基づいて説明する。以下の各実施例においては、前記図１，図２の構成を備えて、切れ味に応じてスラリの配合調整及び交換を行うが、その説明は省略する。
　【００３５】
　まず、図３及び図４に示す第２実施例においては、検出手段を構成する歪み計３６が１つの加工用ローラ２の軸受部上に装着され、その検出部にはアーム３７が突設されている。検出ローラ３８はアーム３７の先端に回転自在に支持され、加工用ローラ１，２間のワイヤ４に対して下方から接触するように配置されている。そして、ワーク７がワイヤ４に押し付けられて切断される際に、切れ味に応じたワイヤ４の張力変動（撓み量）が歪み計３６により検出され、その検出信号が制御装置３３に出力される。
　【００３６】
　制御装置３３は、歪み計３６からの検出信号に基づいて、スラリ１０の配合調整を実施する。すなわち、切れ味が低下すると、歪み計３６から検出信号が出力され、それに基づいて砥粒２３が追加されるように砥粒供給バルブ２２が開放される。さらに、歪み計３６からの検出信号に基づいて、ワーク７用のサドル６を下降させるためのモータ３９の回転速度を制御することもできる。すなわち、切断負荷が大きくてワイヤ４の撓み検出量が大きい場合には、モータ３９の回転速度を低下させて、ワイヤ４に対するワーク７の押し付け力を弱くする。それに対して、切れ味が小さくてワイヤの撓み検出量が小さい場合には、モータ３９の回転速度を速くして、ワーク７の押し付け力を大きくする。
　【００３７】
　従って、この第２実施例においても、切れ味の変動を抑制して、ワーク７の切断を安定した状態で行うことができる。しかも、切れ味の検出が、切断加工部に極めて近接した部分で、ワイヤ４のたわみを直接検出して行われるため、その検出を正確に行うことができる。
　【００３８】
　次に、図５に示す第３実施例においては、検出手段を構成する一対の温度センサ４０が加工用ローラ１，２の軸受部に配設されている。そして、ワーク７の切断時に、これらの温度センサ４０により、加工用ローラ１，２の温度が、切れ味が低下すると温度が上昇するといった具合に検出され、その検出データが制御装置３３に出力される。
　【００３９】
　この切れ味の検出において制御装置３３は、温度センサ４０により検出された温度と予め設定された温度とを比較して切れ味を判断する。切断負荷が大きくなると、加工用ローラ１，２の温度が上昇する。
　【００４０】
　さらに、前記各実施例のワイヤソー装置において、複数のワーク７を切断加工する際には、図６及び図７に示すように、各ワーク７を加工用ローラ１，２間のワイヤ４に対し、その走行方向へラップしないように配列するのが望ましい。このように配列すれば、所定ピッチで配列されたワイヤ４の１本当たりの切削抵抗を均一にすることができ、装置の運転を安定にできるとともに、加工精度を向上させることができる。
　【００４１】
　なお、この発明は以下のように構成できる。
（ａ）温度センサ４０によって加工用ローラ１，２の温度を検出し、その検出温度に応じて、第２実施例のようにモータ３９の速度を制御して、ワイヤ４に対するワーク７の押し付け力を変更するように構成すること。
　（ｂ）測定用容器２８の底部にスラリ排出用の排出口を設けること。
　【００４２】
　ちなみに、前記実施例より把握される請求項以外の技術的思想について、以下にその効果とともに記載する。
（１）比重測定装置の測定用容器を四角筒状に形成するとともに、支持台により傾斜状態に配設した請求項３に記載のワイヤソー装置。この構成により、測定用容器内のスラリ量を制限できるとともに、液面精度を高めることができる。
（２）測定用容器の底部にはスラリ排出用の排出口が設けられている請求項３に記載のワイヤソー装置。この構成によれば、タンク内の清掃を簡単に行うことができることから、沈澱した砥粒などを除去できて、より正確な比重測定を行うことができる。
（３）検出手段は、ワイヤのたわみ量を検出する請求項１に記載のワイヤソー装置。この構成により、ワイヤによるワークの切れ味を直接検出することができる。
　【００４３】
　【発明の効果】
　この発明は、以上説明したように構成されているため、次のような効果を奏する。
　【００４４】
　請求項１に記載の発明によれば、スラリの成分変動による切れ味の変動を抑制して、ワークの切断を安定した状態で行うことができる。さらに、スラリを適正な配合比率に維持することができるとともに、装置を停止させる必要がなく、しかもスラリ調合のためのスペースが不要となる。
　【００４５】
　請求項２に記載の発明によれば、スラリの比重を比重測定装置にて測定することにより、切れ味の変動を容易に検出することができる。
　請求項３に記載の発明によれば、比重測定装置の構造が簡単で故障が少ないにも拘らず、装置の運転中にスラリの比重を連続して自動的に検出することができる。
　【００４６】
　請求項４の発明によれば、測定用容器へスラリを送るための専用機構が不要となる。
　請求項５の発明によれば、切れ味を直接検出することができるとともに、検出手段がワークに近いため、切れ味の検出を正確に行うことができる。
　【００４７】
　請求項６に記載の発明によれば、加工用ローラの温度を温度センサにて検出することにより、切れ味の変動を容易に検出することができる。
　請求項７に記載の発明によれば、装置の運転中に切れ味の変動に応じて、スラリの調合を随時変更して、適正状態に調整することができる。さらに、加工物の違いや要求加工精度によって切れ味を変更すべく、比重を任意に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　ワイヤソー装置の第１実施例を示す概要構成図。
　【図２】　スラリの比重測定装置を拡大して示す部分断面図。
　【図３】　ワイヤソー装置の第２実施例を示す要部縦断面図。
　【図４】　そのワイヤソー装置の部分破断正面図。
　【図５】　ワイヤソー装置の第３実施例を示す概要構成図。
　【図６】　加工用ローラ間のワイヤに対するワークの配列を示す斜視図。
　【図７】　同じくワイヤに対するワークの配列を説明するための平面図。
　【符号の説明】
　１，２，３…加工用ローラ、４…切断用ワイヤ、５…スラリ供給ノズル、７…ワーク、８…調整手段としてのスラリ調整装置、９…スラリタンク、１０…スラリ、１８…オイルタンク、２０…オイル、２１…砥粒タンク、２３…砥粒、２７…検出手段としての比重測定装置、２８…測定用容器、３０…供給口としての開口部、３１…排出口としての排出縁、３２…重量計、３３…制御装置、３６…検出手段としての歪み計、３９…モータ、４０…検出手段としての温度センサ。