【事件の表示】
　特許第３１０７４６４号「キャンドモータ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１０７４６４号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本件特許第３１０７４６４号の請求項１，２に係る特許は、平成４年９月４日に出願され、平成１２年９月８日に設定の登録がなされた。これに対し、申立人坂本月彦より特許異議の申し立てがあり、平成１３年９月６日付けで取消理由が通知され、同年１１月１６日に訂正請求がなされ、更に同年１２月１９日付で再度の取消理由が通知されたところ、平成１４年３月４日に特許異議意見書が提出されたものである。
　
【２】訂正の適否についての判断
  上記平成１３年１１月１６日になされた訂正請求による訂正の適否につき、以下に検討する。
（１）訂正の内容
ア.訂正事項a
　特許第３１０７４６４号の明細書中、特許請求の範囲の請求項１において、「該誘導型センサをキャンで覆ったことを特徴とするキャンドモータ。」（以下、事項Ａという。）とあるのを、「該誘導型センサをキャンで覆い、前記主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで覆ったことを特徴とするキャンドモータ。」（以下、事項ａという。）と訂正する。
イ.訂正事項b
　明細書第３頁第７行（特許第３１０７４６４号公報第２頁第３欄第４３〜４４行）において、「該誘導型センサをキャンで覆ったことを特徴とするキャンドモータ。」とあるのを、「該誘導型センサをキャンで覆い、前記主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで覆ったことを特徴とするものである。」と訂正する。
ウ.訂正事項c
　特許第３１０７４６４号の図面の全部である図１および図２を、請求書に添付の図１および図２に差し替える。
(1)図１は出願当初の図面のとおりである。
(2)図２の符号５８の引き出し線がステータキャン１６を指していたのをロータキャンを指すように訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項aは発明を特定する事項であるＡを更に限定したものであって、その訂正された事項ａは願書に添付された明細書の段落【００１８】に記載されているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、上記訂正事項bは、上記訂正事項aとの整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、また、上記訂正事項cは、明らかに単なる誤記の訂正を目的とした明細書の訂正に該当し、いずれも、新規事項の追加に該当せず、又、実質的に特許請求の範囲を拡張・変更するものでもない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【３】特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　申立人は、下記甲第１乃至３号証を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証、甲第２号証および甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたため、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない　と主張している。
・甲第１号証：PROCEEDINGS OF THE 25th INTERSOCIETY ENERGY CONVER-
SION ENGINEERING CONFERENCE August 1990
・甲第２号証：world pumps SEPTEMBER 1989
・甲第３号証：特開平１−２７４９９１号公報
（２）本件の請求項１に係る発明（本件発明）
　上記【２】に示したように本件訂正は認められるから、本件の請求項１に係る発明（以下、本件発明という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「ラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャル用能動型磁気軸受を備え、モータロータ及び主軸と一体となる回転体が前記磁気軸受により回転自在に支持されたキャンドモータにおいて、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサの少なくとも一方に誘導型センサを用い、該誘導型センサをキャンで覆い、前記主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで覆ったことを特徴とするキャンドモータ。」
（３）引用刊行物
1.World Pomps September 1989 P.312-319 （異議申立人の提出した甲第２号証）
2.実願昭６３−８３５８８号（実開平２−６２３６号）のマイクロフィルム
（周知技術）：
3.特開平　１−２４５１０１号公報
4.特開平　３−２１４００３号公報
5.特開昭５９−　９３９９２号公報
6.特開平　２−２１９４３１号公報
 
・当審で通知した取消の理由で引用した上記刊行物１には、「ラジアル用能動型磁気軸受(magnetic radial bearings)及びアキシャル用能動型磁気軸受(magnetic thrust bearings)を備え、モータロータ及び主軸と一体となる回転体が前記磁気軸受により回転自在に支持されたキャンドモータ(canned motor)において、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ(radial probe)及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサ(axial  probe)の少なくとも一方にinductance probeを用いたことを特徴とするキャンドモータ。」の発明が記載されているものと認める。
・同じく当審で通知した取消の理由で引用した上記刊行物２には、図面と共に以下の事項が記載されている。
a.「従来、この種の近接センサとしては、渦電流を利用したものなど数多くあり、また密封形と称するものもある。（考案が解決しようとする課題）しかし、従来のセンサは、大半が有機材料を使用して被覆されており、高い圧力あるいは特殊なガスまたは液に対して長期間、信頼性高く利用できるものがなかった。一方、これらのセンサは高圧あるいはガスまたは液の浸蝕から保護するため、金属製のキャンを使用すると、従来は、高周波の渦電流を利用しているので、キャンの影響を多少なりとも受けてしまい、精度高く回転軸のスラスト移動を検知できる適切なセンサが見当たらない。」（２頁１５行−３頁８行。）
b.「本考案は、〇１ 比較的肉厚の非磁性金属キャン２２の内部に検知部を納めたから、高い圧力および特殊なガスあるいは溶液によって検知部２６が影響を受けることがない。〇２ 一方、比較的低周波をセンサコイル２６aに加え、鉄製の回転軸１１がセンサコイル２６ａに接近するために生ずるインダクタンスの増加を利用するようにしたから、高周波の渦電流を利用する場合に見られる検知部２６がキャン２２の影響を受ける欠点がない。」（５頁３−１３行。）
　これらの記載から、上記刊行物２には、回転軸の移動を検知するスラストセンサに関する発明であって、少なくとも「（変位）センサをキャンで覆う構成によりそのセンサを使用液から保護することができるとともに異物の付着による感度低下を防ぐことができ、また、（比較的低周波をセンサコイルに加え、鉄製の回転軸がセンサコイルに接近するために生ずるインダクタンスの増加を利用して）回転軸の移動（変位）を検出することができ、高周波の渦電流を利用する場合に見られる検知部がキャンの影響を受ける欠点がないようにした」技術が記載されているものと認められる。
・また、上記刊行物３には、図面と共に以下の事項が記載されている。
c.「磁性体より成る層および良導体より成る層を有する遮蔽壁によって、被測定物と対向する面以外を包囲されていることを特徴とするインダクタンス形変位センサ。」（特許請求の範囲、１頁下段左欄５−８行。）
d.「本発明は磁気軸受等において被浮上物体、例えば軸の半径方向位置等を制御するための変位センサに関し、特に被浮上物体の基準位置からの変位に伴い生ずるインダクタンスの変化を検出することにより被測定物である被浮上物体の変位を検出するインダクタンス形変位センサに関する。」（１頁下段左欄１１−１６行。）
e.「しかし、磁気軸受においては、変位センサは、通常、制御コイルやモータ（図示せず）の近傍に配置される。そのため、これらのコイルやモータから発生する磁気的なノイズがインダクタンスの検出に悪影響を及ぼして、変位センサによる変位検出結果に誤差が発生してしまうという問題点があった。」（１頁下段右欄７−１３行。）
f.「本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案されたものであり、制御コイルやモータ等から発生する磁気ノイズの影響を減少させて、被測定物の変位を正確に検出することができるインダクタンス形変位センサを提供することを目的としている。」（２頁上段左欄４−９行。）
g.「なお、変位センサと被測定物との間には遮蔽壁を設けていないが、これは被測定物の変位に対応してインダクタンスが変化することを保証するためである。」（２頁下段左欄８−１１行。）
h.「第２Ａ図および第２Ｂ図は本発明の第２実施例の縦断面図および横断面図である。この第２実施例の場合、変位センサ１０だけでなく、被測定物２２も遮蔽壁１６Ａでシールドされている。被測定物２２側の遮蔽壁１６Ａは磁性体層１８Ａと、良導体層２０Ａと、非磁性体より成る層３２とを有している。この第２実施例によれば、被測定物２２側にも遮蔽壁１６Ａが設けられているので、磁気的ノイズをシールドする効果がより向上している。その他の作用については、第一実施例の場合と同一であるので説明を省略する。」（２頁下段右欄１５行−３頁上段左欄６行。）
　そして、特に上記記載d及び記載eによれば、そのインダクタンス形変位センサは、磁気軸受等における被浮上物体である軸の半径方向位置等を制御するためのものであり、通常、制御コイルやモータの近傍に配置されるものであるから、刊行物３の磁気軸受やその軸を制御する変位センサは、そのように制御コイルやモータを備えた何らかの機器に設けられたものであって、このような機器が、少なくとも「軸を備えた、モータで駆動される機器」（軸を備えたモータ駆動機器）の範疇に属することは明らかなことである。
　ところで、本件発明にいう「誘導型センサ」について、本件特許明細書中にそれを定義する記載は格別見当たらないが、例えば本件特許明細書の段落【００１８】の記載と図２の記載、及び、平成１４年３月４日付提出の意見書（４頁１０−１４行）における「引用例２に記載のセンサは、センサコイルを使用しているが、センサヨークを使用していないため、磁気閉鎖回路ではなく、従って、誘導型センサではなく、むしろ渦電流型センサを応用したものである。」との記載から見ても、少なくとも実施例の（センサコイルと）センサヨークを使用して被測定物との間に磁気閉鎖回路を形成する型式のセンサを「誘導型センサ」と表現しているものと解される。そうすると、上記刊行物３のインダクタンス形変位センサも、センサヨーク（コア１４）を使用して被測定物２２との間に磁気閉回路を形成する型式のものであることは明らかであるから、刊行物３の該インダクタンス形変位センサは「誘導型センサ」であるといえる。
・さらに、上記刊行物４には図面（第１図）とともに、以下の記載がある。
i.「近年、磁気吸引力を利用して回転軸を非接触状態で支持する磁気軸受が提案されており、超高速回転の・・（中略）・・このような磁気軸受等に利用される非接触変位センサとしては、インダクタンス変化検知型の変位センサが測定範囲が広く、出力が大きい等の特長を有することが広く知られている。このインダクタンス変化検知型の変位センサは、対象物を鉄心入りコイルの閉磁路の一部として利用し、対象物の変位により該コイルと対象物間の空隙が変化すると、閉磁路の磁気抵抗が変化してコイルのインダクタンスが変化するので、このインダクタンスの変化をコイルの所定の周波数の交流電流を供給してコイル両端の電圧を測定することにより検出して、対象物の変位を検出している。」（１頁下段右欄３行−２頁上段左欄２行。）
j.「・・超高速回転化のためには、磁気軸受のロータ長を短縮して回転軸の曲げ共振点を向上させる必要があるため、モータおよび軸受用電磁石と変位センサの距離が小さくなり、さらに大気中での高速回転時においては回転の上昇と共に回転軸の風損が増大するため大出力のモータが必要となることから、変位センサに対する電磁ノイズが非常に増大し、その対策が要求されている。」（２頁上段左欄６−１４行。）
k.「また対象物４は少なくともコア２と対向する部分が磁性体で構成されており、検出コイル１はコア２，対象物４との空隙εおよび対象物４を通る閉磁路を構成する。」（２頁下段右欄１５−１９行。）
　上記記載jから、刊行物４の非接触式センサが軸を備えたモータ駆動機器に設けられたものであることは明らかであり、また、記載i,kから、そのセンサがセンサヨーク（コア２）を使用して対象物４との間に磁気閉回路を形成する型式のものであることも明らかであるから、刊行物４の非接触式センサも「誘導型センサ」であるといえる。
　したがって、上記刊行物３及び４には、軸を備えたモータ駆動機器において、「誘導型センサを用いて」軸の変位を検知する技術が記載されている。
・なおまた、上記刊行物５および６には、軸を備えたモータ駆動機器において、少なくとも「軸にセンサターゲットを固定して」軸の変位を検出する技術が記載されていることは明らかである。
（４）対比
　上記刊行物１に記載された発明と本件発明とを対比すると、両者は、
「ラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャル用能動型磁気軸受を備え、モータロータ及び主軸と一体となる回転体が前記磁気軸受により回転自在に支持されたキャンドモータにおいて、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサを用いたことを特徴とするキャンドモータ。」
　の点で一致し、以下の点でのみ相違する。
・相違点：
　本件発明ではラジアル用能動型軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサの少なくとも一方に誘導型センサを用い、該誘導型センサをキャンで覆い、（前記）主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで覆った構成を備えるのに対し、刊行物１の発明では（上記変位センサの少なくとも一方にinductance probeを用いものであって）本件発明が備える上記相違点の構成は備えない点。
（５）判断
　上記相違点につき検討するに、一般に刊行物１の発明（及び本件発明）が属する軸を備えたモータ駆動機器において、変位センサとして「誘導型センサ」を用いて軸の変位を検出する技術は例えば上記刊行物３及び４に、また、「軸に（センサと対向する）センサターゲットを固定して」軸の変位を検出する技術は例えば上記刊行物５及び６に開示されているように、ともに本件出願前きわめて周知の技術であると認められるから、上記刊行物１の発明のキャンドモータにおいて、制御用変位センサ（inductance probe）として誘導型センサを用い、かつ、その主軸にセンサターゲットを固定するという構成自体は、当業者が前記各周知技術に基づく設計的事項として適宜付加し得る構成にすぎないというべきである。
　そして、本件発明が上記相違点の構成を採る意義（課題及び効果）は、本件特許明細書中に「本発明は上記事情に鑑みなされたもので、変位センサをキャンで覆い使用液から保護することができるとともに検出感度が良好で誤動作のない信頼性が高い変位センサを備えたキャンドモータを提供することを目的とする」（【０００６）】）、及び「以上説明したように本発明によれば、変位センサをキャンで覆うことにより変位センサを使用液から保護することができる。また、変位センサに誘導型センサを用いているため、インダクタンスの変化を利用して回転体の変位を検出することができ、キャンで渦電流型センサを覆った場合の渦電流の発生に伴う誤動作の弊害を除去することができる」（【００２０】【発明の効果】）と記載され、又、特許権者が提出した平成１４年３月４日付意見書中に「センサターゲットをキャンで覆うことによりセンサターゲットを使用液から保護することができるとともに異物の付着による感度低下を防ぐことができる。」（２頁２６−２８行）と記載されているとおりのものと認められるところ、刊行物２には前記（３）に示したとおりの「変位センサをキャンで覆う構成によりそのセンサを使用液から保護することができるとともに異物の付着による感度低下を防ぐことができ、また、回転軸の移動（変位）を検出することができ、高周波の渦電流を利用する場合に見られる検知部がキャンの影響を受ける欠点がないようにした」技術が開示されていることが明らかであるから、刊行物１の発明のようなキャンドモータの磁気軸受の制御に係わる者であって上記刊行物２に接した当業者であれば、磁気軸受の制御用変位センサのみならず軸に固定したセンサターゲットをもその使用液や異物から保護するという課題自体はきわめて容易に想起しうるところであって、該刊行物２に開示された「センサをキャンで覆う」という技術を刊行物１の発明において設計的事項として付加した前記の誘導型センサ及び軸に固定したセンサターゲットにも適用することにより、「（制御用ラジアル変位センサ及び制御用アキシャル変位センサの少なくとも一方のセンサとして）誘導型センサを用い、該誘導型センサをキャンで覆い、主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで覆った」構成、即ち、本件発明の前記相違点の構成を想到することは適宜容易になし得た程度のものというべきである。そして、それにより奏する上記本件発明の効果も、当業者が容易に予測できる程度のものであって格別顕著なものともいえない。
　
【４】むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１に係る発明は、上記刊行物１及び２に記載された発明と上記各周知技術とに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、平成６年法律第１１６号附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年５月１７日（２００２．５．１７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨：
特許第３１０７４６４号の明細書中、特許請求の範囲の請求項１において、「該誘導型センサをキャンで
覆った
覆い、前記主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで覆った
（５４）【発明の名称】
キャンドモータ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャル用能動型磁気軸受を備え、モータロータ及び主軸と一体となる回転体が前記磁気軸受により回転自在に支持されたキャンドモータにおいて、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサの少なくとも一方に誘導型センサを用い、該誘導型センサをキャンで
覆い、前記主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで
　【請求項２】　前記ラジアル変位センサ及びアキシャル変位センサの少なくとも一方に電磁シールドを施したことを特徴とする請求項１記載のキャンドモータ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明はキャンドモータに係り、特にロータを支承する磁気軸受を搭載したキャンドモータに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来からキャンドモータの軸受には、すべり軸受が使われてきている。このすべり軸受の材料には、通常は、回転側には金属、固定側にはカーボンが使用されている。キャンドモータポンプなどに使用した場合、そのポンプから発生するスラストは、その方向によりラジアルスラストとアキシャルスラストとに分けられる。ラジアルスラストは軸受と軸スリーブとで受け、アキシャルスラストは軸受とスラスト板とで受けている。しかしながら、キャンドモータの運転中には、回転部品である軸スリーブとスラスト板が固定側である軸受にそれぞれ接触し合いながら回転するために、軸受等が摩耗するという欠点がある。また、軸受の潤滑とキャンドモータの冷却を目的として、ポンプ内を流れる液の一部をキャンドモータ部及び軸受部に循環させているために、液中に軸受等の摩耗によって発生した摩耗粉等が混じって、液の純度を下げるという欠点がある。
　【０００３】
　これらの欠点を克服するために、近年キャンドモータの軸受に、能動型の磁気軸受が使用されるようになった。この方式は、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサにより回転体の位置を検出し、その変位量に応じてラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャル用能動型磁気軸受で回転体に力を与えて、非接触の状態で回転自在に支持するものである。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来の磁気軸受を搭載したキャンドモータにおいては、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサは、それぞれの変位センサが直接ポンプ使用液に接する為、異物の付着による感度低下やセンサの腐食で故障するなど実用化には大きな問題があった。その対策としてはセンサをキャンで覆うことにより解決できるが、通常キャンの材料はステンレス等の金属が使用されるため、変位センサとして一般的に用いる渦電流型センサを使用するとキャンに発生する渦電流の影響で感度が悪く、また、誤動作を起こす原因となる欠点があった。
　【０００５】
　また、センサ自体の問題点として、モータステータ、能動型磁気軸受のステータ磁極からの電波ノイズや漏れ磁束によるノイズによりラジアル変位センサに誤動作が発生しやすいという欠点があった。
　【０００６】
　本発明は上述の事情に鑑みなされたもので、変位センサをキャンで覆い使用液から保護することができるとともに検出感度が良好で誤動作のない信頼性が高い変位センサを備えたキャンドモータを提供することを目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　前述した目的を達成するため本発明のキャンドモータは、ラジアル用能動型磁気軸受及びアキシャル用能動型磁気軸受を備え、モータロータ及び主軸と一体となる回転体が前記磁気軸受により回転自在に支持されたキャンドモータにおいて、ラジアル用能動型磁気軸受の制御用ラジアル変位センサ及びアキシャル用能動型磁気軸受の制御用アキシャル変位センサの少なくとも一方に誘導型センサを用い、該誘導型センサをキャンで
覆い、前記主軸にセンサターゲットを固定し、該センサターゲットをキャンで
　【０００８】
　また本発明のキャンドモータは、前記ラジアル変位センサ及びアキシャル変位センサの少なくとも一方に電磁シールドを施したことを特徴とするものである。
　【０００９】
　【作用】
　前述した構成からなる本発明によれば、変位センサをキャンで覆うことにより変位センサを使用液から保護することができるとともに異物の付着による感度低下を防ぐことができる。また、変位センサに誘導型センサを用いるため、インダクタンスの変化を利用して回転体の変位を検出することができ、キャンで渦電流型センサを覆った場合の渦電流の発生に伴う誤動作の弊害を除去することができる。
　【００１０】
　また本発明によれば、変位センサを電磁シールドしたため、能動型磁気軸受のステータ磁極からの電波ノイズや漏れ磁束によるノイズによって変位センサが誤動作を起こす恐れがなく、磁気軸受の制御の信頼性を高めることができる。
　【００１１】
　【実施例】
　以下、本発明に係るキャンドモータの一実施例を添付図面を参照して説明する。
　図１に示されるように略円筒容器状のポンプケーシング１には吸込フランジ２と吐出フランジ３とが設けられており、吸込フランジ２には吸込口２ａが形成され吐出フランジ３には吐出し口３ａが形成されている。ポンプケーシング１内には羽根車５が収容されており、この羽根車５は主軸６の自由端に固定され支持されている。ポンプケーシング１は羽根車側ブラケット７を介してモータフレーム１０に接続されている。モータフレーム１０は円筒状のフレーム本体１１とフレーム本体１１の開口部を閉塞するフレーム側板１２とからなり、フレーム本体１１の反羽根車側には中間カバー１３及びエンドカバー１４が固定されている。
　【００１２】
　また、フレーム本体１１の反羽根車側の内周端とフレーム側板１２の内周端にはステータキャン１６が溶接によって固着され、ステータ室Ｒｓが形成されており、ステータ室Ｒｓ内にラジアル磁気軸受のステータ磁極２１，２２とラジアル変位センサ２３，２４とモータステータ２５とが格納されている。そして、磁極２１，２２、変位センサ２３，２４及びモータステータ２５には、相隣接する部材間に円筒状のディスタンスピース２７，２８，２９，３０が配設されている。前記ラジアル変位センサ２３，２４はステータ磁極２１，２２に隣接して設けられ、該変位センサ２３，２４にはインダクタンスの変化を利用して回転体の変位を検出する誘導型センサが用いられている。
　【００１３】
　一方、主軸６には、ラジアル磁気軸受のステータ磁極２１，２２に対応する位置にラジアル磁気軸受のロータ磁極３１，３２、ラジアル変位センサ２３，２４に対応する位置にラジアル変位センサのターゲット３３，３４、モータステータ２５に対応する位置にモータロータ３５がそれぞれ固定されている。
　【００１４】
　前記中間カバー１３及びエンドカバー１４には、アキシャル磁気軸受のステータ磁極３６及び３７が相対向して配設されている。そして、ステータ磁極３６及び３７間には、主軸６に固定されたディスク３８が配置されており、このディスク３８に前記磁極３６，３７にそれぞれ対向するようにアキシャル磁気軸受のロータ磁極３９，４０が固定されている。
　【００１５】
　また、エンドカバー１４には誘導型のアキシャル変位センサ４１が配設されており、この変位センサ４１に対向するように主軸６の軸端にアキシャル変位センサのターゲット４２が固定されている。
　【００１６】
　主軸６に取り付けられたディスク３８は中間カバー１３とエンドカバー１４で形成された空間内で、ディスク３８に取り付けられたアキシャル磁気軸受のロータ磁極３９，４０及びそれぞれに対面して中間カバー１３とエンドカバー１４に取り付けられたアキシャル磁気軸受のステータ磁極３６，３７とにより軸方向に接触することなく回転し、モータロータ３５を軸方向に安定させ回転自在となるようにしている。
　【００１７】
　また、羽根車側ブラケット７及び中間カバー１３には、ラジアル用タッチダウン軸受４６及び４７がそれぞれ設けられている。中間カバー１３及びエンドカバー１４には、アキシャル用タッチダウン軸受４８及び４９がそれぞれ設けられている。
　【００１８】
　図２はラジアル変位センサ２３（又は２４）及びターゲット３３（又は３４）の詳細構造を示す断面図である。ラジアル変位センサ２３（又は２４）を構成するセンサヨーク５１、センサコイル５２は非磁性金属ケース５３で覆われ、その外側は磁性金属ケース５４で覆われている。そして、センサヨーク５１の内径側はステータキャン１６に接しており、非磁性金属ケース５３と磁性金属ケース５４の内径側は開放状態でステータキャン１６と接している。一方、ラジアル変位センサ２３（又は２４）のターゲットにおいては、センサターゲット３３（又は３４）は非磁性金属ケース５５で覆われ、その外側は磁性金属ケース５６で覆われている。センサターゲット３３（又は３４）の外径側はロータキャン５８に接しており、非磁性金属ケース５５と磁性金属ケース５６の外径側は開放状態でロータキャン５８に接している。
　【００１９】
　しかして、本実施例によれば、ラジアル変位センサ２３（又は２４）及びセンサターゲット３３（又は３４）を非磁性金属が内側、磁性金属が外側となるように、キャン１６，５８に接する側は開放状態に覆い電磁シールドをしている。したがって、変位センサのノイズによる誤動作を防止することができる。また、アキシャル変位センサ４１及びセンサターゲット４２も図２と同様に電磁シールドがなされている。なお、電磁シールドの具体的構成は図２と略同一であるため説明は省略する。
　【００２０】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明によれば、変位センサをキャンで覆うことにより変位センサを使用液から保護することができるとともに異物の付着による感度低下を防ぐことができる。また、変位センサに誘導型センサを用いているため、インダクタンスの変化を利用して回転体の変位を検出することができ、キャンで渦電流型センサを覆った場合の渦電流の発生に伴う誤動作の弊害を除去することができる。
　【００２１】
　また本発明によれば、変位センサを電磁シールドしたため、能動型磁気軸受のステータ磁極からの電波ノイズや漏れ磁束によるノイズによって変位センサが誤動作を起こす恐れがなく、磁気軸受の制御の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に係るキャンドモータの一実施例を示す断面図である。
　【図２】
　本発明に係るキャンドモータにおけるラジアル変位センサの詳細構造を示す断面図である。
　【符号の説明】
　１　　ポンプケーシング
　５　　羽根車
　６　　主軸
　１０　　モータフレーム
　１１　　フレーム本体
　１２　　フレーム側板
　１３　　中間カバー
　１４　　エンドカバー
　１６　　ステータキャン
　２１，２２　ステータ磁極
　２３，２４　ラジアル変位センサ
　２５　　　　モータステータ
　３１，３２　ロータ磁極
　３３，３４　ターゲット
　３５　　　　モータロータ
　３６，３７　ステータ磁極
　３８　　　　ディスク
　３９，４０　ロータ磁極
　４１　　　　アキシャル変位センサ
　４２　　　　ターゲット
　５３，５５　非磁性金属ケース
　５４，５６　磁性金属ケース
【図面】