(57)【要約】  本発明は、半導体製造工程で発生する揮発性無機水素化物含有排ガスの除害処理において、高い除害能力を示す除害剤と除害方法を提供することを目的とする。  固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物に、ゼオライト類を添加することで、揮発性無機水素化物含有排ガスに対して優れた除害性能を有する。添加するゼオライトはＹ型ゼオライト、ＭＦＩ型ゼオライト、モルデンナイト型ゼオライト、ベータ型ゼオライト、Ａ型ゼオライト、Ｘ型ゼオライト、Ｌ型ゼオライトから選択される合成ゼオライトまたは天然ゼオライトである。【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物にゼオライト類を添加することを特徴とする金属水素化物含有排ガス除害剤。
【請求項２】
固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物の金属成分が、銅、鉄、コバルト、ニッケル、マンガン、亜鉛、クロムから選択されることを特徴とする請求項１に記載の金属水素化物含有排ガス除害剤。
【請求項３】
ゼオライト類の含有量が、除害剤全重量に対して１０〜９０重量％であることを特徴とする請求項１または２に記載の金属水素化物含有排ガス除害剤。
【請求項４】
固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物の前駆体である金属塩類とアルカリ化合物類との中和反応による沈殿中にゼオライト類を添加する又は固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物からなる金属粉体にゼオライト類を添加し混練後成型されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の金属水素化物含有排ガス除害剤。
【請求項５】
金属水素化物含有排ガスを、請求項記載１乃至４のいずれか一項に記載の除害剤に接触させることを特徴とする金属水素化物含有排ガスの除害方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は金属水素化物含有排ガスの除害剤及び除害方法に関し、詳しくは、半導体製造工場、もしくは液晶製造工場などで発生する金属水素化物含有排ガスの除害剤および除害方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場では、その製造中にシラン、ホスフィン、アルシンなどの各種金属水素化物ガス、ハロゲン化物ガス類が使用されている。これらのガスは可燃性及び／又は有害性であることから、これらを含有する排ガスを環境保全上、大気中にそのまま放出することはできず、その危険性、有害性をなくするための処理が必要である。【０００３】
排ガス処理には湿式法と乾式法があり、前者は薬液で排ガスを洗浄処理する方法である。湿式法は大量の水及び薬剤を使うため処理後大量の排水を処理しなければならないことと設備が大型で場所をとる短所がある。一方、後者は、粒状固体処理剤の充填塔に排ガスを流通させ、除害対象ガスと処理剤との化学的作用、即ち、吸着及び／又は化学反応により、危険性、有害性ガスを分離、除害する方法であり、金属水素化物含有排ガス或いはハロゲン化物ガス含有排ガスの処理で多く行われている。【０００４】
金属水素化物含有排ガス処理剤には多くの特許が見られ、金属酸化物からなる除害剤（特許文献１）、金属水酸化物、金属炭酸塩或いは塩基性金属炭酸塩からなる除害剤（特許文献２、３、４）、金属水酸化物、金属炭酸塩或いは塩基性金属炭酸塩などをアルカリ金属など塩基性化合物で修飾した除害剤（特許文献５、６）、ゼオライトを使用しモノシラン（ＳｉＨ４）中の微量のホスフィン（ＰＨ３）を除去する除害剤（特許文献７）などが開示されている。【０００５】
しかしながら、金属水酸化物、金属炭酸塩或いは塩基性金属炭酸塩からなる除害剤は、優れた除害能力を有するが、近年の技術進歩とともに特殊ガス使用量の増加と共により除害能力の高い剤が求められてきており、前記のような除害剤の容量当たりの排ガス処理量では十分ではなくなってきている。【０００６】
金属水酸化物、金属炭酸塩或いは塩基性金属炭酸塩などをアルカリ金属など塩基性化合物で修飾した除害剤についても、同様に除害剤の容量当たりの排ガス処理量が十分ではない。また、除害成分である粉体とアルカリ成分を混合して、成形する工程を有し、工業規模で、大量に生産する場合には、強アルカリを使用するために安全上の問題が発生する。また、安全対策を行うためには、閉鎖系にするなど、各種の設備投資が必要となり、生産コストが高くなるなど様々の問題があった。【０００７】
【特許文献１】特開平０５−２６９３３９号公報
【特許文献２】特開平０６−３１９９４５号公報
【特許文献３】特開平０８−１９２０２４号公報
【特許文献４】特許第２６０４９９１号公報
【特許文献５】特開平０８−１５５２５９号公報
【特許文献６】特開２００２−１３６８３４号公報
【特許文献７】特開昭６２−２１２２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、半導体製造工程で発生する金属水素化物含有排ガスの除害処理において、高い除害能力を示す除害剤と除害方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等が、上記課題を解決するために鋭意行った検討の中で、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物に、ゼオライト類を添加することで、金属水素化物含有排ガスに対して優れた除害性能を有することを見出し、本発明を完成した。【００１０】
すなわち、本発明は、
（１）固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物にゼオライト類を添加することを特徴とする金属水素化物含有排ガス除害剤である。
（２）固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物の金属成分が、銅、鉄、コバルト、ニッケル、マンガン、亜鉛、クロムから選択されることを特徴とする金属水素化物含有排ガス除害剤である。
（３）ゼオライトの含有量が、除害剤全重量に対して１０〜９０重量％であることを特徴とする金属水素化物含有排ガス除害剤である。
（４）固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物の前駆体である金属塩類とアルカリ化合物類との中和反応による沈殿中にゼオライト類を添加する又は固体金属塩基性炭酸塩、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩又はこれら化合物の混合物からなる金属粉体にゼオライト類を添加し混練後成型されることを特徴とする金属水素化物含有排ガス除害剤である。
（５）金属水素化物含有排ガスを、上記（１）〜（４）に記載される除害剤に接触させることを特徴とする金属水素化物含有排ガスの除害方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の除害剤は、半導体製造工場、もしくは液晶製造工場などで発生するシラン、ホスフィン、アルシンなどの各種金属水素化物含有排ガスの除害に適用され、効率良く金属水素化物ガスを吸収でき、吸収容量も大きいため、操業上の利用価値が高い。特に固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物にゼオライト類を組み合わせることにより、ゼオライト類の細孔および高表面積を利用して物理的吸着と化学反応を組み合わせることにより、より高濃度の金属水素化物でも高い除害能力を有することができ、吸収容量を大きくすることが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物に、ゼオライト類を添加させた除害剤に関するものである。ここで除害剤の主体をなす金属化合物類としては、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、或いは固体塩基性金属炭酸塩若しくはこれらの混合物で、安定に存在し得るものであればどのような金属でも使用することができるが、通常容易に入手できしかも安価な銅、鉄、コバルト、ニッケル、マンガン、亜鉛、クロムが有利に用いられる。【００１３】
固体金属化合物類は酸化物、水酸化物、炭酸塩、或いは塩基性炭酸塩を使用することができ、又固体金属化合物類の前駆体である金属塩類を水溶液となした後、アルカリ化合物類水溶液との中和反応によって製造することもできる。アルカリ化合物類としてはナトリウム、カリウムの水酸化物、炭酸塩、或いはアンモニア水、尿素等を使用するのが好ましい。中和反応によって得られた沈澱物は水洗した後、濾過、乾燥される。【００１４】
ここで、固体金属化合物類は沈澱法によるもの共に単一化合物での使用のみならず、混合物となして使用してもよい。沈殿法による化合物類の場合、混合物としての使用においては化合物を単独で沈澱させたものを混合してもよいが、共沈法によって複数成分を含む沈澱物を得ることによる方が好ましい。【００１５】
ゼオライトは、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３を構成成分に含み、化学組成はアルカリ金属、アルカリ土類金属または他の金属を含有するアルミノケイ酸塩である。ゼオライトの構造は、Ｓｉ又はＡｌを中心とするＳｉＯ４又はＡｌＯ４の四面体構造が三次元的に規則正しく配列した構造である。ＡｌＯ４の四面体構造は負に帯電しているので、アルカリ金属等の陽イオンを細孔や空洞内に保持している。陽イオンは、プロトン等の別の陽イオンと容易に交換することが可能である。【００１６】
ゼオライトには結晶構造により分類される数多くの種類があり、本発明に用いる固体金属化合物類に添加されるゼオライトの種類は特に制限されるものではなく、例えばＹ型ゼオライト（ＦＡＵ）、ＭＦＩ型ゼオライト、モルデンナイト型ゼオライト、ベータ型ゼオライト（ＢＥＡ）、Ａ型ゼオライト、Ｘ型ゼオライト、Ｌ型ゼオライトなど合成ゼオライトまたは天然ゼオライトのいずれでもよい。また、ゼオライト類のＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３の比の制限はないが、望ましくは３〜１５０であり、特に好ましくは３〜５０の範囲である。またゼオライト類の比表面積は１００ｍ２／ｇ以上が望ましく、より望ましくは４００ｍ２／ｇ以上である。【００１７】
ゼオライト類の含有量は、処理剤全重量に対する金属量として示すと１０重量％〜９０重量％の範囲であり、好ましくは１０〜５０重量％であるが、その含有量が１０重量％以下では金属水素化物の除害能力の向上が不充分であり、又その量が９０重量％以上では活性金属の低下による処理性能向上効果が認められなくなる。【００１８】
これらのゼオライト類は、公知の方法で製造することができ、シリカ、シリカゾル、ケイ酸ナトリウム等のシリカ源、アルミナゲル、アルミナゾル、アルミン酸ナトリウム等のアルミナ源、水酸化ナトリウム、ケイ酸ナトリウム等のアルカリ源、水、そして必要に応じてアミン等の有機塩基を含む原料混合物を、水熱合成し、生成物を分離後、水洗、乾燥してイオン交換することにより、プロトン型ゼオライトとすることができる。例えば、上記の水熱合成にて調製したアルカリ金属型ゼオライトを、塩化アンモニウムあるいは硝酸アンモニウム水溶液等で処理してアンモニウム型ゼオライトとし、しかる後、約４００〜７００℃の温度範囲で焼成してプロトン型ゼオライトとすることができる。【００１９】
ゼオライト類を添加する固体金属化合物類として、粉状物、その成型物、或いは成型後破砕した顆粒が使用され、沈澱法により製造される固体金属化合物類の場合も同様に粉状物、粉末状の金属化合物類前駆体と混練終了後、押出し、或いは打錠によって成型物とされるその成型物、若しくは成型後の破砕物が使用される。【００２０】
このような金属化合物類に対してゼオライト類を添加して除害剤を製造する方法として、金属化合物類前駆体である金属塩類の水溶液とアルカリ化合物類との中和反応中にゼオライト類を添加し沈澱させ、濾過、乾燥後、あるいは金属化合物類にゼオライト類を添加し、物理的に混練後、更に押出し或いは打錠によって成型物とし、その後更に乾燥または焼成することによって最終的に除害剤を製造する。乾燥あるいは焼成する温度は特に制限されるものでないが、８０℃〜２００℃であることが好ましい。【００２１】
また製造される除害剤の形状についても特に制限はなく、使用に耐え得る機械的強度を確保するために、必要に応じてシリカ、アルミナ、マグネシア、若しくはその他の強度改善に有効な無機バインダー類を加えることができる。【００２２】
固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物にゼオライト類を添加させることによって得られた除害剤は、実際の使用にあたっては流通式の充填塔に詰められ、次いで金属水素化物を含有する排ガスと接触させることによって金属水素化物ガスは除害される。【００２３】
本発明の除害剤によって除害できる金属水素化物ガス類としては、シラン、アルシン、ホスフィン、ジシラン、ジボラン、セレン化水素、ゲルマン、ジクロルシラン等がある。【００２４】
本発明者等は一連の操作によって得られた除害剤を、ステンレス製流通式反応装置に充填し、金属水素化物ガスとして、シラン、ホスフィン、ゲルマンを含有する還元性ガスを反応器に流通させ、出口ガス中の金属水素化物ガス漏洩量をブレークモニター（バイオニクス社製）によって測定、監視することによって、常温における金属水素化物含有ガスの除害性能測定試験を行った。【００２５】
その結果、ゼオライト類を含有しない固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体塩基性金属炭酸塩系処理剤と比較して除害能力（Ｌ／ｋｇ）に優れ、しかも長時間にわたって出口ガス中に金属水素化物は検出されないことを確認して本発明を完成した。【００２６】
すなわち、本発明のゼオライト類における細孔および高表面積と、固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物との組み合わせが効果的な物理的吸着、化学反応を生じさせることにより従来よりも非常に高い除害能力を長時間発揮することができる。％オーダの高い濃度の金属水素化物ガスでも非常に優れた除害能力を発揮した。
【実施例】
【００２７】
次に本発明の内容を実施例によって更に詳細に説明する。ここで、本発明除害剤の性能評価は、窒素ガス中に含まれる金属水素化物ガスの除害性能を測定することによって行った。測定は常圧流通式の反応装置によって行い、その装置、条件、操作法は次ぎの通りである。【００２８】
（金属水素化物ガスの除害性能測定装置、及び測定条件）
除害性能測定装置：常圧流通式反応装置
反応管のサイズ  ：内径２８ｍｍ、長さ７００ｍｍ
測定条件
使用除害剤量：６０ｃｃ（充填高さ１００ｍｍ）            
ＧＨＳＶ    ：３００ｈｒ−１
圧力        ：常圧
反応温度    ：常温
反応ガス組成：ＳｉＨ４（シラン）１％
Ｎ２                  バランス【００２９】
（金属水素化物ガスの除害性能測定操作方法及び除害性能計算法）
除害剤６０ｃｃを充填高が１００ｍｍになるように反応管内に詰めて測定装置に設置し、次いで窒素で希釈した金属水素化物ガスを除害剤充填層に流通する。ガス流通開始後、反応管出口ガス中への金属水素化物ガス漏洩をブレークモニター（日本バイオニクス製）で測定、監視し、その出口濃度が５ｐｐｍに達するまでに流入したシランの積算量を求め、その量を処理剤１ｋｇ当りに換算する。具体的には測定結果から次の式によって金属水素化物ガスの除害性能は計算される。【００３０】
（処理剤の金属水素化物ガス除害性能計算法）
除害性能（Ｌ／ｋｇ）＝Ａ×（Ｂ／１００）×（Ｃ／Ｅ）
ここで、Ａ：測定ガス流量（Ｌ／ｍｉｎ．）
Ｂ：金属水素化物ガス濃度（容積％）
Ｃ：金属水素化物ガスの出口濃度が所定の濃度に達するまでの累積ガス流通時間（ｍｉｎ．）
Ｅ：処理剤充填量（ｋｇ）【００３１】
（実施例１）
硫酸銅の水溶液に中和反応で得られる生成物の酸化物ベースで５０重量％のＹ型ゼオライトを添加し硫酸銅／ゼオライト水溶液となし、これに合わせて準備した炭酸ナトリウムとの中和反応により塩基性炭酸銅の沈殿物を得た。次いで水洗することによって不純物類を充分除去した後濾過、１１０℃で乾燥し、塩性炭酸銅／ゼオライトを得た。得られた塩性炭酸銅／ゼオライトを用い、ニーダー中で塩基性炭酸銅／ゼオライト２００ｇに対して純水１２０ｇを加えて充分混合した後、直径３ｍｍのサイズに押出し成型し、１１０℃で乾燥した。得られた成型体を反応管に充填させた。このように調製した除害剤のシラン除害性能結果を表１に示した。【００３２】
（実施例２）
金属化合物として市販の塩基性炭酸銅を用い、ニーダー中で塩基性炭酸銅１６０ｇとＹ型ゼオライト４０ｇに純水１００ｇを加えて充分混合した後、直径３ｍｍのサイズに押出し成型し、１１０℃で乾燥した。得られた成型体を反応管に充填させた。このように調製した除害剤のシラン除害性能結果を表１に示した。【００３３】
（実施例３）
Ｙ型ゼオライトの添加量が５０重量％以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００３４】
（実施例４）
Ｙ型ゼオライトの添加量が８０重量％以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００３５】
（実施例５）
添加したゼオライト種類がＢＥＡ２５以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００３６】
（実施例６）
添加したゼオライト種類がＢＥＡ１５０以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００３７】
（実施例７）
添加したゼオライト種類がＭＯＲ２０以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００３８】
（実施例８）
添加したゼオライト種類がＭＦＩ２７（プロトン型）以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００３９】
（実施例９）
添加したゼオライト種類がＭＦＩ２７（アンモニウム型）以外は実施例２と同様に行い、その結果を表１に示した。【００４０】
（実施例１０）
硫酸銅２８０ｇと硫酸亜鉛１６０ｇを純水０．８Ｌに溶解した水溶液と、これに合わせて準備した炭酸ナトリウム２４０ｇを純水３Ｌに溶解したアルカリ水溶液との中和反応により、銅と亜鉛の複合化合物の沈殿物を得た。次いで水洗することによって不純物類を十分除去した後濾過、１２０℃で乾燥し、３００℃で焼成し、酸化銅と酸化亜鉛を得た。得られた酸化銅と酸化亜鉛の複合酸化物を用いた以外は、実施例３と同様に行った。この結果を表１に示した。【００４１】
（実施例１１）
硫酸鉄４８０ｇと硫酸マンガン１６０ｇを純水２Ｌに溶解した水溶液と、これに合わせて準備した炭酸ナトリウム３５０ｇを純水１．７Ｌに溶解したアルカリ水溶液との中和反応により、鉄とマンガンの複合化合物の沈殿物を得た。次いで水洗することによって不純物類を十分除去した後濾過、１２０℃で乾燥し、５００℃で焼成し、酸化鉄と酸化マンガンを得た。得られた酸化鉄と酸化マンガンの複合酸化物を用いた以外は、実施例３と同様に行った。この結果を表１に示した。【００４２】
（比較例１）
実施例１において、ゼオライトを加えないこと以外は、実施例１と全く同様にして、実験を行った。この結果を表１に示した。【００４３】
（比較例２）
市販のべマイトにＹ形ゼオライトを加えニーダー中でベマイト／ゼオライト２００ｇに対して酢酸２ｇと純水１６０ｇを加えて充分混合した後、直径３ｍｍのサイズに押出し成型し、１１０℃で乾燥した。得られた成型体を反応管に充填させた。このように調製した除害剤の性能結果を表１に示した。【００４４】
（比較例３）
実施例１０において、ゼオライトを加えないこと以外は、実施例１０と全く同様にして、実験を行った。この結果を表１に示した。【００４５】
（比較例４）
実施例１１において、ゼオライトを加えないこと以外は、実施例１１と全く同様にして、実験を行った。この結果を表１に示した。【００４６】
【表１】
2010109671.tif 000002
【００４７】
表１の結果より、実施例１〜９における活性成分塩基性炭酸銅にゼオライト類を添加すると、同一活性成分にゼオライト類を添加しない比較例１に対して金属水素化物ガス除害性能が顕著に高いものであった。【００４８】
さらに、実施例１０および１１における活性成分金属酸化物混合物にゼオライト類を添加すると、同一活性成分の金属酸化物混合物にゼオライト類を添加しない比較例３および４に対して、金属水素化物ガス除害性能が顕著に高いものであった。なお、実施例１０および１１は異なる活性成分塩基性炭酸銅を使用した実施例１〜９および比較例１に比較して除害性能がやや劣り、活性成分が異なる場合には除害能力を比較することは困難であるが、同一活性成分においてゼオライト類を添加した場合に除害性能が顕著に向上することが示された。【００４９】
また、本発明の活性成分を含まない担体にゼオライト類を添加した比較例２の除害能力が非常に低いことから、活性成分として金属酸化物、金属水酸化物、金属炭酸塩、塩基性金属炭酸塩系化合物に各種ゼオライトを添加する組み合わせにより金属水素化物ガス除害性能が顕著に高くなることが明らかとなった。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明の除害剤は、半導体製造工場、もしくは液晶製造工場などで発生するシラン、ホスフィン、アルシンなどの各種金属水素化物含有排ガスの除害に適用することができ、本発明により初めて固体金属酸化物、固体金属水酸化物、固体金属炭酸塩、固体金属塩基性炭酸塩又はこれら化合物の混合物にゼオライト類を組み合わせることに着目し、ゼオライト類の細孔および高表面積を利用して物理的吸着と化学反応を組み合わせることにより、高濃度の金属水素化物でも高い除害能力を有することができ、従来になく効率良く金属水素化物ガスを吸収でき、吸収容量も大きいため、操業上の利用価値が高い。
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月26日(2011.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
ここで、固体金属化合物類は沈澱法による単一化合物での使用のみならず、混合物となして使用してもよい。沈殿法による化合物類の場合、混合物としての使用においては化合物を単独で沈澱させたものを混合してもよいが、共沈法によって複数成分を含む沈澱物を得ることによる方が好ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
ゼオライト類の含有量は、除害剤全重量に対する金属量として示すと１０重量％〜９０重量％の範囲であり、好ましくは１０〜５０重量％であるが、その含有量が１０重量％以下では金属水素化物の除害能力の向上が不充分であり、又その量が９０重量％以上では活性金属の低下による処理性能向上効果が認められなくなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
（実施例１）
硫酸銅の水溶液に中和反応で得られる生成物の酸化物ベースで５０重量％のＹ型ゼオライトを添加し硫酸銅／ゼオライト水溶液となし、これに合わせて準備した炭酸ナトリウムとの中和反応により塩基性炭酸銅の沈殿物を得た。次いで水洗することによって不純物類を充分除去した後濾過、１１０℃で乾燥し、塩基性炭酸銅／ゼオライトを得た。得られた塩基性炭酸銅／ゼオライトを用い、ニーダー中で塩基性炭酸銅／ゼオライト２００ｇに対して純水１２０ｇを加えて充分混合した後、直径３ｍｍのサイズに押出し成型し、１１０℃で乾燥した。得られた成型体を反応管に充填させた。このように調製した除害剤のシラン除害性能結果を表１に示した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
（比較例２）
市販のべーマイトにＹ形ゼオライトを加えニーダー中でベーマイト／ゼオライト２００ｇに対して酢酸２ｇと純水１６０ｇを加えて充分混合した後、直径３ｍｍのサイズに押出し成型し、１１０℃で乾燥した。得られた成型体を反応管に充填させた。このように調製した除害剤の性能結果を表１に示した。
【国際調査報告】
2010109671.tif 000003
2010109671.tif 000004
2010109671.tif 000005
2010109671.tif 000006