【事件の表示】
　特許第２８７５４８０号「高純度臭化水素精製方法及び装置」の請求項１ないし１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７５４８０号の請求項１ないし１０に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　特許第２８７５４８０号の請求項１〜１０に係る発明は、平成６年９月１４日の出願であって、平成１１年１月１４日にその特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人　中野馥子により特許異議の申立がなされ、平成１２年２月４日に取消の理由が通知され、その指定期間内である平成１２年４月４日に訂正請求がなされ、この訂正請求について平成１３年２月２７日に訂正拒絶の理由が通知され、その指定期間内である平成１３年５月１日に意見書及び手続補正書（訂正請求書）が提出され、平成１３年１２月１４日に再度、取消の理由が通知され、その指定期間内である平成１３年１２月１４日に先の訂正請求を取り下げると共に、新たな訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　　ア．訂正事項ａ
　　　特許請求の範囲中、請求項１の「臭化水素とこれよりも低沸点の不純物を含む原料を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記中間部空間に導入し」を、「臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気体混合状態として前記中間部空間に導入し」と訂正する。
　　イ．訂正事項ｂ
　　　特許請求の範囲中、請求項５の「頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、臭化水素とこれより低沸点の不純物とを含む原料を、前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間に貯留された液体を加熱により気化させる第２の熱交換器と」を「臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間内に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との間の熱交換により前記液体を加熱して気化させる第２の熱交換器と、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と」と訂正する。
　　ウ．訂正事項ｃ
　　　発明の詳細な説明の段落【０００６】の「本発明に係る高純度臭化水素精製方法では、臭化水素とこれよりも低沸点の不純物を含む原料を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記中間部空間に導入し」を、「本発明に係る高純度臭化水素精製方法では、臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気体混合状態として前記中間部空間に導入し」と訂正する。
　　エ．訂正事項ｄ
　　　発明の詳細な説明の段落【０００９】の「また本発明に係る臭化水素精製装置は、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、臭化水素とこれより低沸点の不純物とを含む原料を、前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間に貯留された液体を加熱により気化させる第２の熱交換器と」を、「また本発明にかかる臭化水素精製装置は、臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間内に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との間の熱交換により前記液体を加熱して気化させる第２の熱交換器と、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　　ア．該訂正事項ａは、
　　　ａ−１．原料が「水分を含む」ことを付加する訂正
　　　ａ−２．原料が貯蔵されたシリンダを加熱することを付加する訂正
　　　ａ−３．原料中の気体部分を精溜塔の中間部空間に導入する前に、精溜塔の下部空間内に設けられた熱交換器で下部空間に貯留されている液体と熱交換させることを付加する訂正
　　　に細分することができる。
　　　訂正事項ａ−１は、精製すべき臭化水素の原料中に低沸点不純物の他に水分が含まれることを明確にするものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　　　そして、原料中に水分が含まれることは、本件明細書の段落【０００２】の【従来の技術】の欄に「シリンダ１に臭化水素の他に水分やその他の不純物を含む原料が充填され」という記載、段落【００２５】の「この実施例では、表１に示されるように、９７．９６ＶＯＬ％の臭化水素（ＨＢｒ）、２ＶＯＬ　ＰＰＭ以下の水（Ｈ２Ｏ）のほか二酸化炭素（ＣＯ２）、塩化水素（ＨＣｌ）、一酸化炭素（ＣＯ）、水素（Ｈ）等臭化水素より沸点が低いガスを含む原料を使用する。」に記載されている事項であるから、上記訂正事項ａ−１は新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　　　訂正事項ａ−２及び訂正事項ａ−３は、本件発明の高純度臭化水素精製方法において、精溜の前段で原料の加熱気化が行われること、及び前記気化された原料を精溜塔の下部空間に設けられた熱交換器で下部空間内に貯留された液体成分と熱交換させることをそれぞれ付加し、高純度臭化水素精製方法を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　　　そして、原料の加熱気化及び精溜塔下部空間での熱交換は、本件特許明細書の段落【００２５】の「この原料は、加熱器１１により加熱されて気化し、温度３５℃、圧力約２０ｋｇ／ｃｍ２Ｇの気体となり、導管５１を通って精溜塔２０の下部空間２６内に設置されたリボイラ７１に導入される」に記載される事項であるから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲の拡張又は変更するものでもない。
　　イ．訂正事項ｂは、
　　　ｂ−１．特定成分の原料を貯蔵するシリンダを付加する訂正
　　　ｂ−２．該シリンダを加熱する加熱器を付加する訂正
　　　ｂ−３．前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分を前記第２熱交換器に導入してから耐圧容器の原料導入口を介して中間部空間に導入する手段を付加する訂正
　　　に細分することができる。
　　　訂正事項ｂ−１、訂正事項ｂ−２、訂正事項ｂ−３はいずれも、本件発明の係る高純度臭化水素精製装置に構成を付加し装置の構成を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　　そして、シリンダ、加熱器、熱交換器の構成は、本件特許明細書の段落【００２５】の「この実施例では、表１に示されるように、９７．９６ＶＯＬ％の臭化水素（ＨＢｒ）、２ＶＯＬ　ＰＰＭ以下の水（Ｈ２Ｏ）のほか二酸化炭素（ＣＯ２）、塩化水素（ＨＣｌ）、一酸化炭素（ＣＯ）、水素（Ｈ）等臭化水素より沸点が低いガスを含む原料を使用する。この原料は、液体状態でシリンダ１０に充填されている。この原料は、加熱器１１により加熱されて気化し、温度３５℃、圧力約２０ｋｇ／ｃｍ２Ｇの気体となり、導管５１を通って精溜塔２０の下部空間２６内に設置されたリボイラ７１に導入される」に記載される事項であるから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲の拡張又は変更するものでもない。
　　ウ．訂正事項ｃ及び訂正事項ｄは、訂正事項ａ及び訂正事項ｂの結果生じる、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を正すための訂正であり、明りょうでない記載の釈明に該当する。訂正事項ａ及び訂正事項ｂで検討したように、これらの訂正は新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲の拡張又は変更するものでもない。
（３）独立特許要件
　　後述するように、本件発明１ないし１０の特許は、本件特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
（４）むすび
　　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第第１項但し書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立の概要
（１）申立人は、甲第１〜４号証を提出し、請求項１及び請求項５に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであり、請求項１ないし１０に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから請求項１ないし１０に係る発明の特許を取り消すべきであると主張している。
　　甲第１号証：「化学工場における装置・機器取扱い法」（株）東京化学同人、1964年６月１日，ｐ．７〜１１
　　甲第２号証：「塔槽類」（社）化学工学協会編、丸善（株），昭和45年２月20日，２〜５頁
　　甲第３号証：「蒸留の理論と計算」工学図書（株）昭和56年６月５日，126〜129頁
　　甲第４号証：「新化学工学講座VI−Ｉ蒸留（下）」日刊工業新聞社，
　　　　　　　　昭和32年７月20日，79〜82頁
４．特許異議申立についての判断
【特許法第２９条違反について】
（１）本件発明
　　訂正明細書の請求項１〜１０に係る発明（以下、「本件発明１〜１２」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載された事項により特定される以下のとおりのものである（以下「本件発明１」ないし「本件発明１０」という）。
「【請求項１】 臭化水素と、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化し、当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換器に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気液混合状態として前記中間部空間に導入し、前記導入された原料中の気体部分を前記上部精留部を上昇させながら、気液接触に供しつつ、前記上部空間まで上昇させ、前記上部空間まで上昇した気体を、前記上部空間内で冷却することにより液化し、この液化した液体を前記上部精留部を流下させながら、気液接触に供しつつ、前記中間部空間まで流下させ、前記中間部空間まで流下した液体を、前記中間部空間に導入された前記原料の中に含まれ得る液体部分と共に、前記下部精留部を流下させながら、気液接触に供しつつ、前記下部空間まで流下させ、実質的に臭化水素から成る液体とし、前記下部空間まで流下した実質的に臭化水素から成る液体を、前記下部空間に貯留し、この貯留された液体を加熱により気化する、高純度臭化水素精製方法。
【請求項２】 前記上部空間まで上昇した気体を、前記上部空間内で−３０℃乃至−５０℃の温度範囲に冷却することにより液化し、前記下部空間に貯留された液体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に加熱することにより気化する、請求項１記載の高純度臭化水素精製方法。
【請求項３】 前記下部空間に貯留された液体を、前記精留塔から外部に抜き出し、前記精留塔の外部に貯留する、請求項１記載の高純度臭化水素精製方法。
【請求項４】 前記精溜塔の外部に貯留するに際して気化により発生した気体を、前記精留塔の外部で−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に冷却することにより液化する、請求項３記載の高純度臭化水素精製方法。
【請求項５】臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱されて気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との熱交換により前記液体を加熱して気化させる前記第２の熱交換器と、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、前記第１の熱交換器により冷却され臭化水素が液化することにより前記不純物の濃度が高められた気体成分を、前記耐圧容器の不純物排出口を介して排出する手段と、前記下部空間に貯留された液体を、前記耐圧容器の製品導出口を介して導出する手段とを備える、高純度臭化水素精製装置。
【請求項６】 前記第２の熱交換器が、加熱源として前記原料をその入口から流入させその中を循環流通させその出口から流出させる構造を有しており、前記導入する手段が、前記原料を導通させる導通路を前記第２の熱交換器の出口と前記原料導入口との間に備える、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
【請求項７】 前記下部空間に貯留された液体を大気により加熱するために、前記耐圧容器の外部に設置され、前記液体を入口から流入させ中を循環流通させ出口から流出させる構造を有しており、その入口が前記下部空間の底部に、またその出口が前記下部空間の上部にそれぞれ接続されている第３の熱交換器を備える、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
【請求項８】 前記第１の熱交換器が前記上部空間内の気体を、−３０℃乃至−５０℃の温度範囲に冷却し液化する熱交換器であり、前記第２の熱交換器が、前記下部空間内に貯留された液体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に加熱し気化する熱交換器である、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
【請求項９】 前記導出する手段が、前記製品導出口と導管によって接続された低温貯槽と、その内部の気体を冷却し液化する第４の熱交換器とを備える、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
【請求項１０】 前記第４の熱交換器が、前記低温貯槽内部の気体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に冷却し液化する熱交換器である、請求項９記載の高純度臭化水素精製装置。」
（２）引用刊行物記載の発明
　　取消理由通知に引用された引用例１（「化学工場における装置・機器取扱い法」（株）東京化学同人、1964年６月１日，ｐ．７〜１１：甲第１号証）には、蒸留の原理と蒸留塔の機能について記載され（第７頁右欄１６行〜第１１頁末行）、図1・7には、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中に、それぞれ複数段の蒸留板を配設し、その中間部空間に原料を導入するようにした蒸留塔が、図1・11には、リボイラを塔底部の空間に配置した蒸留塔が、それぞれ記載されている。
　　同じく引用例２（「塔槽類」（社）化学工学協会編、丸善（株），昭和45年２月20日，２〜５頁：甲第２号証）には、蒸留塔の構造についての記載があり（第２頁１９行〜４頁２３行）、図1・2には、蒸留塔の概念図が示され、その説明として「原料は中央より下の方から所定の温度に加熱されて張り込まれる。・・・液−ガスの接触、一部液化、液の下部棚段への降下を繰り返しながら最低沸点成分は塔の最上部にがすのまま到達する。・・・塔に供給された原料中の液体は入口部から直ちに塔下部に設けられている棚段に落下し、下方からのガス（および塔底から複込まれるスチームなど）と接触して、液中の一部揮発分はガス化して塔を上昇し、棚段で精留される。一方、液は下方から逃すと接触しながら溢流管を経て塔最下部に達し、塔底液抜出し口から系外へ導かれる。」（第２頁２５行〜第４頁１３行）との記載がある。
　　同じく引用例３（「蒸留の理論と計算」工学図書（株）昭和56年６月５日，126〜129頁：甲第３号証）には、「大規模な蒸留は、今日ではすべて精留方式によって行われる。・・・（ｂ）図は最もふつうに行われている方式で、原料は適当な熱交換器で予熱するか、別に設けた管式加熱炉（pipe　still）で沸点まで加熱して、分留塔の中間部へフラッシュする。・・・塔頂へ注ぐ還流液としては、ふつう塔頂蒸気を凝縮したものの一部を利用する。・・・原料から発生した蒸気は、上から加工してくる液と接触しながら上昇し、しだいに低沸点成分の濃度を増し、最後に塔頂から出て凝縮器にはいり液化される。その一部を還流として塔頂へもどし、残りは製品として抜き出す。・・・一方、原料から分かれた液は、塔の上方からの高沸点成分に富む還流液とともに、塔底へ向かって下降する。これらの液にはなお多少の低沸点成分が含まれているから、リボイラによって加熱し、低沸点成分を追い出す。いわゆるストリッピングである（p.167）。リボイラはまた塔に不足な熱の補給にも役立つ。塔底から抜き出される液は、主として高沸点成分のみから成る。・・・同図（ｂ）の方式によれば、じゅうぶんに高い塔と多量の還流を用いれば、塔頂製品も塔底製品も、理論上限りなく純粋なものに近づけることが可能である２）。」（第１２６頁３行〜第１２８頁２１行）との記載がある。
　　同じく引用例４（「新化学工学講座VI−Ｉ蒸留（下）」日刊工業新聞社，昭和32年７月20日，79〜82頁：甲第４号証）には、「塩化ビニルの蒸留」についての記述があり、第８０頁の図24には、「塩化ビニル蒸留装置（練続法）」が記載されている。
（３）対比・判断
　【本件発明１について】
　　本件発明１と各引用例記載の発明とを対比すると、各引用例には本件発明１における「原料を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記中間部空間に導入し、前記導入された原料中の気体部分を前記上部精留部を上昇させながら、気液接触に供しつつ、前記上部空間まで上昇させ、前記上部空間まで上昇した気体を冷却することにより液化し、この液化した液体を前記上部精留部を流下させながら、気液接触に供しつつ、前記中間部空間まで流下させ、前記中間部空間まで流下した液体を、前記中間部空間に導入された前記原料の中に含まれ得る液体部分と共に、前記下部精留部を流下させながら、気液接触に供しつつ、前記下部空間まで流下させ、実質的に高沸点成分から成る液体とし、前記下部空間まで流下した実質的に高沸点成分から成る液体を、前記下部空間に貯留し、この貯留された液体を製品として抜き出す」という、精留塔の一般的な操作工程が記載されているにすぎず、本件発明１の構成要件である「臭化水素と、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化し、当該原料中の気体部分を、精留塔の下部空間内に設けられた熱交換器に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気液混合状態として精留塔の中間部空間に導入」する構成については記載されていないばかりか示唆もされていない。
　　本件発明１は、各引用例に記載される一般的な精留工程に、原料の加熱気化工程を組み合わせるという上記の構成により、臭化水素と、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料から高純度の臭化水素を大量に且つ連続的に精製することができるという、明細書記載の効果を奏するものである。
　　したがって、本件発明１は、各引用例に記載された発明と認めることができないばかりでなく、各引用例記載の発明を組み合わせて当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。
　【本件発明２ないし４について】
　　本件発明２ないし４は、本件発明１を引用する発明であるから、本件発明１で検討したのと同じ理由で、各引用例に記載された発明と認めることができないばかりでなく、各引用例記載の発明を組み合わせて当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。
　【本件発明５について】
　　本件発明５と各引用例記載の発明とを対比すると、各引用例には本件発明５における「頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、還流器（第１の熱交換器に相当）と、前記下部空間に貯留されている液体との熱交換により前記液体を加熱して気化させるリボイラ（第２の熱交換器に相当）と、原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、還流器により冷却され高沸点成分が液化することにより低沸点成分の濃度が高められた気体成分を、前記耐圧容器の排出口を介して排出する手段と、前記下部空間に貯留された液体を、前記耐圧容器の製品導出口を介して導出する手段とを備える」一般的な精留塔が記載されているにとどまり、本件発明５の構成要件である「臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器」を精留塔と組み合わせること、及び精留塔の下部空間内に配置された第２の熱交換器（リボイラ）により、シリンダ内で気化された原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体と熱交換させて前記液体を加熱気化させ、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入すること、については記載されていないばかりか示唆もされていない。
　　本件発明５は、上記の構成を採用することにより、臭化水素と、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料から高純度の臭化水素を大量に且つ連続的に精製することができるという、明細書記載の効果を奏するものである。
　　したがって、本件発明５は、各引用例に記載された発明と認めることができないばかりでなく、各引用例記載の発明を組み合わせて当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。
　【本件発明６〜１０】
　　本件発明６〜１０は、本件発明５を直接又は間接的に引用する発明である。
　　したがって、本件発明５で検討したのと同じ理由で、本件発明６〜１０は各引用例記載の発明を組み合わせて当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。
　　なお、申立人は平成１２年９月２２日付回答書において、参考文献として「Semiconductor　World　1993．12」（1993粘12月発行）第78〜81頁を提出し、シリンダから導出される原料（ＨＢｒ）の気体成分中には水分が殆ど混入しないことは、本件の特許出願前既に知られていたことであるから、本件発明は上記引用例１ないし４に記載される事項とを組み合わせることにより、当業者が容易に発明をすることができたものである旨主張している。
　　しかしながら、上記参考文献には、「ＨＢｒガス供給システムと腐食」と題する報文が掲載され、ＨＢｒ中の水分量と腐食との関係について考察したものであり、ＨＢｒの精製については何ら記載がないばかりか、ＨＢｒの原料を加熱して気化することも記載も示唆もされていないのであるから、「原料（ＨＢｒ）の気体成分中には水分が殆ど混入しない」という記載事項と上記各引用例の記載事項を組み合わせても、本件発明を容易に想到し得たということはできない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１〜１０の特許は、特許異議申立の理由及び証拠によっては取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。              　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１２月２０日（２００１．１２．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許第２８７５４８０号の明細書中特許請求の範囲請求項１の「臭化水素とこれよりも低沸点の不純物を含む原料を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記中間部空間に導入し」とあるのを、明りょうでない記載の釈明及び特許請求の範囲の減縮を目的として「臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気体混合状態として前記中間部空間に導入し」と訂正する。
２．特許第２８７５４８０号の明細書中特許請求の範囲請求項５の「頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、臭化水素とこれより低沸点の不純物とを含む原料を、前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間に貯留された液体を加熱により気化させる第２の熱交換器と」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として「臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間内に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との間の熱交換により前記液体を加熱して気化させる第２の熱交換器と、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と」と訂正する。
３．特許第２８７５４８０号の明細書中発明の詳細な説明の段落【０００６】の「本発明に係る高純度臭化水素精製方法では、臭化水素とこれよりも低沸点の不純物を含む原料を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記中間部空間に導入し」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「本発明に係る高純度臭化水素精製方法では、臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気体混合状態として前記中間部空間に導入し」と訂正する。
４．特許第２８７５４８０号の明細書中発明の詳細な説明の段落【０００９】の「また本発明に係る臭化水素精製装置は、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、臭化水素とこれより低沸点の不純物とを含む原料を、前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間に貯留された液体を加熱により気化させる第２の熱交換器と」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「また本発明にかかる臭化水素精製装置は、臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間内に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との間の熱交換により前記液体を加熱して気化させる第２の熱交換器と、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
高純度臭化水素精製方法及び装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化し、
　当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換器に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気液混合状態として前記中間部空間に導入し、
　前記導入された原料中の気体部分を前記上部精留部を上昇させながら、気液接触に供しつつ、前記上部空間まで上昇させ、
　前記上部空間まで上昇した気体を、前記上部空間内で冷却することにより液化し、
　この液化した液体を前記上部精留部を流下させながら、気液接触に供しつつ、前記中間部空間まで流下させ、
　前記中間部空間まで流下した液体を、前記中間部空間に導入された前記原料の中に含まれ得る液体部分と共に、前記下部精留部を流下させながら、気液接触に供しつつ、前記下部空間まで流下させ、実質的に臭化水素から成る液体とし、
　前記下部空間まで流下した実質的に臭化水素から成る液体を、前記下部空間に貯留し、
　この貯留された液体を加熱により気化する、
　高純度臭化水素精製方法。
　【請求項２】　前記上部空間まで上昇した気体を、前記上部空間内で−３０℃乃至−５０℃の温度範囲に冷却することにより液化し、前記下部空間に貯留された液体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に加熱することにより気化する、請求項１記載の高純度臭化水素精製方法。
　【請求項３】　前記下部空間に貯留された液体を、前記精留塔から外部に抜き出し、前記精留塔の外部に貯留する、請求項１記載の高純度臭化水素精製方法。
　【請求項４】　前記精溜塔の外部に貯留するに際して気化により発生した気体を、前記精留塔の外部で−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に冷却することにより液化する、請求項３記載の高純度臭化水素精製方法。
　【請求項５】　
臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、
　前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、
　頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、
　前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、
　前記下部空間内に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との間の熱交換により前記液体を加熱して気化させる前記第２の熱交換器と、
　
前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、
　前記第１の熱交換器により冷却され臭化水素が液化することにより前記不純物の濃度が高められた気体成分を、前記耐圧容器の不純物排出口を介して排出する手段と、
　前記下部空間に貯留された液体を、前記耐圧容器の製品導出口を介して導出する手段と
を備える高純度臭化水素精製装置。
　【請求項６】　前記第２の熱交換器が、加熱源として前記原料をその入口から流入させその中を循環流通させその出口から流出させる構造を有しており、前記導入する手段が、前記原料を導通させる導通路を前記第２の熱交換器の出口と前記原料導入口との間に備える、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
　【請求項７】前記下部空間に貯留された液体を大気により加熱するために、前記耐圧容器の外部に設置され、前記液体を入口から流入させ中を循環流通させ出口から流出させる構造を有しており、その入口が前記下部空間の底部に、またその出口が前記下部空間の上部にそれぞれ接続されている第３の熱交換器を備える、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
　【請求項８】　前記第１の熱交換器が前記上部空間内の気体を、−３０℃乃至−５０℃の温度範囲に冷却し液化する熱交換器であり、前記第２の熱交換器が、前記下部空間内に貯留された液体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に加熱し気化する熱交換器である、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
　【請求項９】　前記導出する手段が、前記製品導出口と導管によって接続された低温貯槽と、その内部の気体を冷却し液化する第４の熱交換器とを備える、請求項５記載の高純度臭化水素精製装置。
　【請求項１０】　前記第４の熱交換器が、前記低温貯槽内部の気体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に冷却し液化する熱交換器である、請求項９記載の高純度臭化水素精製装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、高純度の臭化水素（ＨＢｒ）を精製するための方法及び装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　高純度の臭化水素を精製する方法としては、従来から、図２に示すような装置を使用するものが知られている。即ち、シリンダ１に臭化水素の他に水分やその他の不純物を含む液体状の原料が充填され、加熱されることにより気化した原料は、圧力調整弁２で一定の圧力に調整され、モレキュラシーブズが充填された吸着器３に導かれる。吸着器３では、気体状の原料中の水分以外の不純物が除去され、その後、Ａｌ２Ｏ３等の乾燥剤が充填された乾燥器４に送られて水分が除去される。このようにして精製された気体状臭化水素は製品充填シリンダ５に導入され、ドライアイスを入れたエチルアルコール液６で−７０℃以下に冷却され、液化することにより補集され、製品である液体臭化水素とされていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　臭化水素は、オゾン層破壊の原因になるとして使用が控えられつつあるフッ素系ガスに代わるものとして、半導体製造プロセスにおけるエッチング等に用いることができる。そのような目的で使用するためには、高純度の臭化水素を大量に精製しなければならない。
　【０００４】
　しかしながら、上述した従来の臭化水素精製方法では、モレキュラシーブズの劣化により処理開始時と終了時では製品の純度が異なり、これを所定の高純度に保つためには、モレキュラシーブズを頻繁に交換しなければならず、高純度の臭化水素を大量に精製するのに適していなかった。
　【０００５】
　したがって、本発明は、高純度の臭化水素を、連続的に大量に精製することのできる精製方法及び精製装置を提供することを目的としている。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、
本発明に係る高純度臭化水素精製方法では、臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料が貯蔵されたシリンダを加熱して、当該原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化し、当該原料中の気体部分を、内部が頂部から底部に向かって順次、上部空間、上部精留部、中間部空間、下部精留部、及び下部空間に区画された精留塔の前記下部空間内に設けられた熱交換器に導入して、当該下部空間に貯留されている液体と熱交換し、気液混合状態として前記中間部空間に導入し、
　【０００７】
　また、前記上部空間まで上昇した気体を、前記上部空間内で約−３０℃から約−５０℃の温度範囲に冷却することにより液化し、前記貯留された液体を、約−１５℃から約−２０℃の温度範囲に加熱することにより気化してもよい。
　【０００８】
　また、前記下部空間に貯留された液体を、前記精留塔から外部に抜き出し、前記精留塔の外部に貯留してもよいし、前記精溜塔の外部に貯留するに際して気化により発生した気体を、前記精留塔の外部で−１５℃から−２０℃の温度範囲に冷却することにより液化してもよい。
　【０００９】
　
また本発明に係る臭化水素精製装置は、臭化水素、これよりも低沸点の不純物及び水分を含む原料を貯蔵するシリンダと、前記シリンダ内に貯蔵された前記原料のうち前記臭化水素及び前記低沸点の不純物を気化するよう該シリンダを加熱する加熱器と、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器中の上部及び下部に、それぞれ複数段の精留板を配設して上部精留部及び下部精留部を構成することにより、前記耐圧容器の内部を前記頂部から前記底部に向かって上部空間、中間部空間及び下部空間に区画した精留塔と、前記上部空間の内部の気体を冷却により液化させる、上記上部空間に設けられた第１の熱交換器と、前記下部空間内に配置された第２の熱交換器であって、前記加熱器により前記シリンダ内で加熱され気化された前記原料中の気体部分が導入され、当該原料中の気体部分と前記下部空間に貯留されている液体との間の熱交換により前記液体を加熱して気化させる前記第２の熱交換器と、前記第２の熱交換器から排出される気液混合状態の前記原料を前記耐圧容器の原料導入口を介して前記中間部空間に導入する手段と、
　【００１０】
　また、前記第２の熱交換器が、加熱源として前記原料をその入口から流入させその中を循環流通させその出口から流出させる構造を有しており、前記導入する手段が、前記原料を導通させる導通路を前記第２の熱交換器の出口と前記原料導入口との間に備えてもよい。
　【００１１】
　また、前記下部空間に貯留された液体を大気により加熱するために、前記耐圧容器の外部に設置され、前記液体を入口から流入させ中を循環流通させ出口から流出させる構造を有しており、その入口が前記下部空間の底部に、またその出口が前記下部空間の上部にそれぞれ接続されている第３の熱交換器を備えてもよい。
　【００１２】
　また、前記第１の熱交換器が前記上部空間内の気体を、−３０℃乃至−５０℃の温度範囲に冷却し液化する熱交換器であり、前記第２の熱交換器が、前記下部空間内に貯留された液体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に加熱し気化する熱交換器であってもよい。
　【００１３】
　また、前記導出する手段が、前記製品導出口と導管によって接続された低温貯槽と、その内部の気体を冷却し液化する第４の熱交換器とを備えてもよいし、前記第４の熱交換器が、前記低温貯槽内部の気体を、−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に冷却し液化する熱交換器であってもよい。
　【００１４】
　【作用】
　本発明に係る高純度臭化水素精製方法及び装置によれば、気液接触による精留を行うので、原料から、臭化水素より沸点の低い不純物が、連続的に且つ確実に除去される。また、上部空間部での冷却温度が−３０℃乃至−５０℃の温度範囲であるので、臭化水素を無理のない構造の耐圧容器中で約８ｋｇ／ｃｍ２においてほとんどすべて回収できるし、貯留された液体を−１５℃乃至−２０℃の温度範囲に加熱するので高純度の気体状臭化水素を得られる。
　【００１５】
　また、臭化水素を低温貯槽に液体状態で導入し、その際減圧や外部からの入熱による気化で発生した気体を冷却液化して貯留するので、高純度の臭化水素を必要に応じて利用できる。さらに、その温度が−１５℃乃至−２０℃であるので、適切な耐圧容器構造の貯槽に液体状臭化水素を蓄えることができる。
　【００１６】
　【実施例】
　図１は、本発明による高純度臭化水素（ＨＢｒ）精製方法を実施できる高純度臭化水素精製装置の一実施例を示すシステム構成図である。
　【００１７】
　本実施例の装置は主として３つの部分、即ち原料供給部、精留塔、貯槽を備えており、その他の付属装置、即ち冷凍機、除害装置等が導管により接続されている。
　【００１８】
　原料供給部は、臭化水素を含む原料が液体状態で充填されたシリンダ１０と、このシリンダ１０を収納し原料液を加熱する加熱器１１とを備え、シリンダ１０の頂部から弁８０を介して導管５１が精留塔２０に導かれている。
　【００１９】
　精留塔２０は、頂部から底部に向かって縦長の耐圧容器２１内に、それぞれ多数段の精留板から成る上部精留部２３と下部精留部２５が設けられており、耐圧容器２１の頂部及びその近傍の内壁面と上部精留部２３の上面とにより上部空間２２が画成され、耐圧容器２１の中間部の内壁面と上部精留部２３の下面及び下部精留部２５の上面とにより中間部空間２４が画成され、耐圧容器２１の底部及びその近傍の内壁面と下部精留部２５の下面とにより下部空間２６が画成されている。
　【００２０】
　下部空間２６内の下部には、リボイラ７１が設けられており、その熱源の入口は導管５１を介してシリンダ１０に、熱源の出口は導管５２及び膨張弁８１を介して中間部空間２１の原料導入口にそれぞれ接続されている。また、下部空間２６の外部には、下部空間に貯留された液体を大気を熱源として加熱し気化するための蒸発器７３が設けられており、蒸発器７３の液体入口と下部空間２６の底部とは導管５４により、蒸発器７３の出口と下部空間２６の上部とは圧力調整弁８２を介して導管５５により接続されている。ここで蒸発器７３は、実質的に下部空間２６に貯留される液体の予定液面より下に据付けられている。また、下部空間２６には液面計２７が取り付けられており、貯留した液体の液面を監視できるようになっている。さらに、下部空間２６の予定液面より下方の部分には、導管５３が接続され貯槽３０に導かれている。
　【００２１】
　上部空間２２の内部には、凝縮器７２が設けられており、この凝縮器７２の冷熱源の入口は、導管６３及び弁８７を介して、冷熱源の出口は導管６４を介して冷凍機４０と接続されている。さらに、上部空間２２の頂部には、ガスを排出するための導管５６が接続されており、減圧弁８３を介して排ガス加熱器７６の入口に接続されており、さらにその排ガス加熱器７６の出口は、導管５７により除害装置４５に接続されている。除害装置４５には、除害されたガスを排出するための導管６２が接続されている。
　【００２２】
　貯槽３０は、外側が断熱層で覆われた耐圧容器から成っており、減圧弁８４を介して導管５３により、精留塔２０の下部空間２６と接続されている。貯槽３０内の上部には、凝縮器７４が設けられており、その冷熱源の入口は膨張弁８８と導管６５を介して、その出口は導管６６を介して、冷凍機４０と接続されている。貯槽３０の外部には蒸発器７５が設けられており、貯槽底部とは導管５９により、その上部とは圧力調整弁８５を介して導管６０により接続されている。さらに、貯槽３０の底部には、製品である液体状の臭化水素を取り出すための導管５８が接続されている。また、貯槽３０の頂部は、減圧弁８６を介して導管６１により除害装置４５に接続されている。さらに、導管６１にはガス加熱器７７が設けられている。
　【００２３】
　精留塔２０全体及びそれに接続された導管の精留塔２０に近接する部分は、これらを低温に維持するためコールドボックス２８内に収納されている。
　【００２４】
　次に、やはり図１を参照しながら、本発明の高純度臭化水素精製方法の実施例を説明する。
　【００２５】
　この実施例では、表１に示すように、９７．９６ＶＯＬ％の臭化水素（ＨＢｒ）、２ＶＯＬ　ＰＰＭ以下の水（Ｈ２Ｏ）のほか二酸化炭素（ＣＯ２）、塩化水素（ＨＣｌ）、一酸化炭素（ＣＯ）、水素（Ｈ２）等臭化水素より沸点が低いガスを含む原料を使用する。この原料は、液体状態でシリンダ１０に充填されている。この原料は、加熱器１１により加熱されて気化し、温度約３５℃、圧力約２０ｋｇ／ｃｍ２Ｇの気体となり、導管５１を通って精留塔２０の下部空間２６内に設置されたりボイラ７１に導入される。本実施例では、原料の流量を約１０００Ｎｍ３／ｈとする。
　【００２６】
　その気体状の原料は、リボイラ７１において、下部空間２６に貯留されている液体臭化水素により冷却された後、導管５２を通り膨張弁８１で減圧され膨張し、圧力約８ｋｇ／ｃｍ２Ｇ、温度約−２０℃で精留塔２０の中間部空間２４に流入する。このとき、この原料は通常は気液混合状態で流入する。
　【００２７】
　一方、下部空間２６に貯留されている液体状の臭化水素は、リボイラ７１における原料との熱交換により加熱され、その中に僅かに溶解している臭化水素より沸点の低い成分である低沸点成分と共に気化される。
　【００２８】
　中間部空間２４に流入した原料の中、液体は下部精留部２５を流下し、ここを上昇してくる低沸点成分及び臭化水素ガスと気液接触し、臭化水素は液化され再び下部精留部２５を流下し、下部空間２６に貯留される。
　【００２９】
　下部精留部２５を中間部空間２４まで上昇してきた低沸点成分は、中間部空間２４に導入された原料の中で気体として残った原料部分と一緒になり、上部精留部２３を上昇する。
　【００３０】
　上部精留部２３を気液接触しながら上昇した気体は、上部空間２２内で凝縮器７２により冷却される。この凝縮器７２には、冷凍機４０から導管６３を通して冷媒が供給される。その冷媒は導管６３を流れる間に膨張弁８７で膨張し、低温で凝縮器７２に流入し、上部空間２２内の気体を冷却した後導管６４を通して冷凍機４０に還流する。
　【００３１】
　このようにして、上部空間２２内で前記気体は約−３０℃乃至約−５０℃の温度範囲に冷却され、この気体中の低沸点成分の一部と臭化水素のほとんどが凝縮液化される。こうして凝縮された液体は、上部精留部２３を流下し、ここを上昇してくる気体と気液接触し精留される。即ち、上昇する気体中に含まれる臭化水素は液化され、流下する液体中に含まれる低沸点成分は気化され、それぞれの濃度を高める。
　【００３２】
　こうして原料臭化水素に比べて低沸点成分の割合が大幅に増大された排気ガスは、上部空間２２の頂部の低沸点気体出口に接続された導管５６により導出され、圧力調整弁８３で減圧され、さらに排ガス加熱器７６で大気との熱交換により常温となり、導管５７を通して除害装置４５に導かれる。ここで、僅かに含まれる臭化水素と塩化水素及び一酸化炭素が除去された後、導管６２を通して排出される。表１に示すような組成の前記原料、約１，０００Ｎｍ３／ｈを、本実施例の方法で処理した場合、最後に排出される気体の量は、約６９Ｎｍ３／ｈである。
　【００３３】
　以上の処理により、精留塔２０の下部空間２６に貯留される臭化水素液およびガスは、９９．９９９９％レベルの高純度臭化水素となる。貯留された液の量は、液面計２７により監視することができる。また、この液の一部が導管５４を通して導出され、蒸発器７３で大気と熱交換し加熱され蒸発気化した後、導管５５を通して圧力調整弁８２を経て下部空間２６に戻され、ここの圧力を維持するのを助ける。
　【００３４】
　また、下部空間２６に貯留された液体臭化水素は、導管５３を通して取り出され、圧力調整弁８４を経て、温度約−２０℃、圧力約８ｋｇ／ｃｍ２Ｇで低温貯槽３０にその頂部から導入される。その高純度臭化水素の量は、約９３１Ｎｍ３／ｈである。なお一実施例におけるこの間の圧力関係を示せば、下部空間２６内の圧力は中間部空間の圧力よりおよそ０．３ｋｇ／ｃｍ２Ｇ程度高く、低温貯槽３０内の圧力は導管５３及び圧力調整弁８４を経て下部空間２６内の圧力よりおよそ０．５ｋｇ／ｃｍ２Ｇ程度低い。
　【００３５】
　ここで、低温貯槽３０に導入された一部気体状態の臭化水素は、貯槽凝縮器７４により冷却され凝縮液化され貯留される。この貯槽凝縮器７４には、冷媒が冷凍機４０から導管６５を通して膨張弁８８を経て供給され、冷熱として使われ、気化した冷媒は導管６６を通して冷凍機４０に戻され、循還使用される。
　【００３６】
　製品である高純度臭化水素は、低温貯槽３０の底部から導管５８を通して液体状態で取り出される。この製品取り出しに伴って、貯槽３０内の圧力が下がるが、圧力調整弁８５を開くと、液体状の臭化水素が導管５９を通って貯槽外部蒸発器７５に至り、ここで大気との熱交換により加熱され気化し、導管６０を通り圧力調整弁８５を経て低温貯槽３０に戻り、この内部圧力を圧力調整弁８５の設定圧に戻させる。
　【００３７】
　更に、低温貯槽３０内の圧力が異常に上昇した場合は、弁８６を開き気体を導管６１を通して除害装置４５に導き、導管６２を通して排気する。いわば、弁８６は安全弁として作動する。このとき、該気体はガス加熱器７７によりほぼ大気温度まで加熱された後、除害装置４５に入る。
　【００３８】
　以上説明した実施例では、リボイラ７１の熱源として、シリンダ１０から供給される気化した原料臭化水素を使用しているが、必ずしもこれに限らない。例えば、蒸発器７３の容量を大きくしてリボイラ７１の代りに液体を気化させてもよい。原料臭化水素は、リボイラ７１の熱源として使用されない場合は、直接精留塔２０の中間部空間２４に導入される。
　【００３９】
　また以上の実施例では、蒸発器７３は下部空間２６に貯留された液の液面より下方に設置されているため、蒸発器７３で加熱される流体の循環は、重力によって行われる。即ち、液がこの蒸発器で加熱されると、一部または全部が気化し、気化する前の液との密度差で自然循環する。
　【００４０】
　【表１】
　【００４１】
　【発明の効果】
　以上のように本発明では、気液接触による精留を行うので、原料から、臭化水素より沸点の低い不純物を確実に除去でき、純度が９９．９９９９％レベルの臭化水素を、大量に且つ連続的に精製することができる。また、臭化水素を低温貯槽に液体状態で導入し、さらにここで気化した臭化水素は冷却液化して貯留するので、上記高純度の臭化水素を必要に応じて取り出し利用することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例を示すシステム構成図である。
　【図２】
　従来技術を示すシステム構成図である。
　【符号の説明】
　１０…シリンダ、１１…加熱器、２０…精留塔、２１…耐圧容器、２２…上部空間、２３…上部精留部、２４…中間部空間、２５…下部精留部、２６…下部空間、２７…液面計、２８…コールドボックス、３０…低温貯槽、４０…冷凍機、４５…除害装置、５１、６６…導管、７１…リボイラ、７２…凝縮器、７３…製品臭化水素蒸発器、７４…貯槽凝縮器、７５…貯槽外部蒸発器、７６…排ガス加熱器、８１…膨張弁、８２、８３、８４、８５…圧力調整弁、８６…弁。
【図面】