【事件の表示】
　特許第２９０８１００号「投影露光装置及び半導体装置の製造方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、平成１２年１０月１９日にした決定に対し、東京高等裁判所において決定の取り消しの判決（平成１２年（行ケ）第４７７号、平成１３年１０月３０日判決言い渡しにより確定。）があったので、さらに審理した結果、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９０８１００号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．経緯
　本件特許２９０８１００号は、平成４年２月１３日に出願され、平成１１年４月２日に設定登録され、その後、特許異議申立され、平成１２年４月２０日に訂正請求がなされ、その後、平成１２年１０月１９日に取消決定され、平成１２年１２月１４日に取消決定の取消を求める訴えが東京高等裁判所にされ、平成１３年１月２５日に訂正審判請求がされ、平成１３年８月１７日に訂正を認める審決がされ、その後、当該審決が確定し、平成１３年１０月３０日に、平成１２年１０月１９日にした取消決定に対し、東京高等裁判所において上記取消決定の取消の判決があった。
２．本件特許発明
　本件特許発明は、平成１３年１月２５日に訂正審判請求され、その後確定した訂正特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認める。
　なお、平成１２年４月２０日付訂正請求書については、その後、訂正審判が請求され、訂正を認める審決がされた後、当該審決が確定したので、上記平成１２年４月２０日付訂正請求書については取り下げられたものとみなす。
請求項１
「光源と、前記光源から発した光を回路パターンが形成されたマスク上に照射させる集光レンズと、
　マスクを通過した光をウエハ表面に集光させる投影レンズと、
　前記光源と前記集光レンズとの間に配置されると共に前記光源から発した光を成形するための透過領域とこの透過領域内の中央部に形成された遮光領域とを有するアパーチャー部材とを備え、
　有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合には、前記アパーチャー部材の透過領域の外径を前記投影レンズの瞳径に対する有効光源の外径の比σが０．６±０．３となるように設定すると共に有効光源の外径により決定される面積に対する有効光源内部の遮光領域の面積の比により定義される遮光率を６０±３５％とし、有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には、上記σが０．６となるように設定すると共に上記遮光率を６４％とすることを特徴とする投影露光装置。」
請求項２
「請求項１に記載の投影露光装置を用いてウエハへの回路パターンの焼き付けを行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。」
３．異議申立ての理由の概要
　異議申立人キャノン株式会社は、甲第１号証（１９９１年(平成３年)秋季「第５２回応用物理学会学術講演会」講演予稿集NO.２　６０１頁下から第１３行〜末行）、甲第２号証（実願昭５９−８３６８８号（実開昭６１−１５１号）のマイクロフィルム）及び参考資料（特開平５−１７５１０１号公報）を提出し、本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許法第２９条第１項の規定により特許を受けることができないものであるので、本件請求項１及び２に係る特許を取り消すべき旨主張している。
　また、本件請求項１及び２に係る発明は、その発明の詳細な説明の記載が不備であるから、本件請求項１及び２に係る特許を取り消すべき旨主張している。
４．申立人が提出した甲第各号証に記載の内容
４．１　甲第１号証の記載内容
実験
　そして、同号証の図2には、解像度とDOFの向上に関し、コヒーレンス因子σｏとσiの値として、
σｏ=0.8,σi=0.7σｏの計算例と、σｏ=0.5,σi=0.9σｏ及びσｏ=0.65，σi=0.9σｏの計算例が示されている。
４．２　甲第２号証の記載内容
　甲第2号証の第2頁7行〜第4頁2行には、「第6図に従来の縮小投影露光装置の構成を示す。1は紫外線発光ランプ、2は楕円反射鏡、3は平面反射鏡、4は楕円反射鏡2の見掛け上の焦点、5はインプットレンズ、6は蝿の目レンズ、7はアウトプットレンズ、8はコリメーションレンズ、9はレチクル、10は平面反射鏡、11は縮小レンズ、12はウエハ、13はランプハウス、14は縮小レンズの開口絞り、15は蝿の目レンズから出る光束に対する絞り(照明光学系のコヒーレンシイ絞り)、16は露光領域限定絞りである。
　水銀ランプ、キセノン水銀ランプ等の紫外線発光ランプ1の発光点を楕円反射鏡2の焦点に置き、光束を楕円反射鏡2のもう一方の焦点に集める。平面反射鏡3は光路を90ｏ曲げると共に、露光に不要な長波長光を透過させるものである。平面反射鏡3により光路を曲げるため、楕円反射鏡2の見掛け上の焦点は4となる。焦点4に集光した光束はインプットレンズ5によりほぼ光軸と平行になり、蝿の目レンズ6に入る。蝿の目レンズ6を出た光は、アウトプットレンズ7およびコリメーションレンズ8により集光されレチクル9を照射する。平面反射鏡10は平面反射鏡3と同様、光路を90ｏ曲げると共に、長波長光を透過させるものであり、平面反射鏡3で透過残りとなった長波長熱線を取除く。インプットレンズ5は、焦点4より平面反射鏡3寄りに凹レンズが置かれる場合、あるいは挿入しない場合もある。また、アウトプットレンズ7もコリメーションレンズ8の焦点距離によって挿入しない場合もある。レチクル9上のパタンは、前記の照明光により照射されると縮小レンズ11を通してウエハ12上に縮小投影露光される。すなわち、レチクル9上のパタンの縮小像がウエハ12上に結像する。なお、13は照明光学系全体をおおうランプハウスである。」と記載されている。
　甲第2号証の第11頁15行〜19行には、「コヒーレンシイ絞り28,30の開口形状を円形以外の任意の形状とすることもできる。露光所要時間、露光領域の大きさを譲歩すれば、ドーナツ状の開口により超解像現象による高解像化が可能であり、」と記載されている。
４．３　参考資料の記載内容
　第3頁右欄13行〜34行には、「【0016】投影光学系10の瞳(入射瞳)位置には、開口絞り10aが設けられており、この開口絞り10aは、開口絞り6と共役に設けられている。図3は開口絞り10aの円形状の開口部Pの様子を示したものであり、図示の如く、開口絞り10aの開口部Aの内側には、輪帯状の2次光源の像Ｉが形成されており、この2次光源の像Ｉの輪帯比(2次光源の像の内径D１/2次光源の像の外径D 2)は上述の開口絞り6の輪帯比と等しくなっている。
【0017】ここで、開口絞り10aの開口部の径をD3とするとき、2次光源の像の外径と開口絞り10aの開口部Aの径との比率(D2/D3)は、コヒーレンスファクタ一、即ちσ値と呼ばれ、このとき、輪帯状2次光源の像Ｉは、図3に示す如く、0.45乃至0.8のσ値の範囲で形成されている。なお、σ値は、図1に示す如く、開口絞り10aの最周縁からの光軸Axに平行な光線R１により決定される投影光学系10のレチクル側の開口数をNA１(=sinθ１)とし、開口絞り6の最周縁(最外径)からの光軸Axに平行な光線R2により決定される照明光学系(1〜8)の開口数NA2(=sinθ２)とするとき、σ値は、次式でも定義される。
【0018】σ=NA2/NA１」
と記載されている。
５．本件特許発明と異議申立人キャノン株式会社が提出した甲各号証記載の発明との対比・判断
　甲第１号証には、有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合について記載されておらず、また、有効光源及び遮光領域が共に円形である場合は、遮光率が４９％と８１％の例のみ示唆されている。
　そうすると、甲第１号証には、「有効光源が円形であってかつ遮光領域が円形でない場合」及び「有効光源及び遮光領域が共に円形である場合には上記遮光率を６４％とする」点についての記載及び当該記載を示唆する記載がない。
　従って、訂正後の本件請求項１及び２に係る発明は、甲第２号証及び参考資料を参照しても、上記甲第１号証に記載の発明と同一ではなく、特許法第２９条第１項第３号に該当するものではない。
６．記載不備について
　記載不備については、本件訂正審判により確定した訂正により、解消した。
７．むすび
　上記のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　従って、本件請求項１及び２に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月１９日（２０００．１０．１９）