【事件の表示】
　特許第３１２３７４２号「静圧気体軸受」の請求項１乃至３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１２３７４２号の請求項１乃至３に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３１２３７４２号は、平成１年１１月２日の出願に係り、平成１２年１０月２７日に特許権の設定の登録がされ、特許公報が平成１３年１月１５日に発行され、その後、平成１３年７月２日付けで関啓より特許異議の申立てがあり、取消理由を通知したところ、平成１３年１１月２２日に特許異議意見書の提出と共に訂正請求（後日取り下げ）がされ、再度の取消理由通知に対して、その指定期間内である平成１３年１２月１３日に訂正請求がされたものである。
　
II．訂正の適否
１．訂正の内容
　本件訂正請求は訂正明細書のとおりに訂正することを請求するものであって、訂正の内容は次のとおりである。
(1)訂正事項ａ
　明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載中、次の箇所を以下のように訂正する。
[a-1]「前記ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と」とあるのを、「前記ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、これらの排気溝の内側の近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と」とする。
[a-2]「外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され」とあるのを、「外気に連通して穿設され先端側が前記一対の排気溝及び略中央部の排気溝に開口された排気孔とが具備され」とする。
[a-3]「前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面とは、互いに平行面形状であり」とあるのを、「互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され」とする。
[a-4]「ラジアル軸受隙間における気体の圧力状態はラジアル給気溝位置でピークとなり前記排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで減少するようにして」とあるのを、「ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態は前記軸方向両端位置に形成された前記排気溝から急激に立ち上がってラジアル給気溝位置でピークとなり前記略中央部の排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで漸減するようにして」とする。
[a-5]「一体のラジアル給気溝間」とあるのを「一対のラジアル給気溝間」とする。
　
(2)訂正事項ｂ
　明細書の特許請求の範囲の請求項２の記載中、次の箇所を以下のように訂正する。
[b-1]「両者の対接部の全域に亘って平行隙間が形成され」とあるのを、「互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され」とする。
[b-2]「前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体の圧力分布が前記アキシャル給気溝から前記排気溝に向かって漸減するように、その気体が前記排気溝から外気に排出されるようになっている」とあるのを、「前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置から前記排気溝に向かって漸減するように、アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体が前記排気溝から外気へ排出されるようになっている」とする。
[b-3]「を特徴とするラジアル気体軸受」を「を特徴とするアキシャル気体軸受」とする。
　
(3)訂正事項ｃ
　明細書の特許請求の範囲の請求項３の記載中、次の箇所をを以下のように訂正する。
[c-1]「前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面とは、互いに平行面形状であり、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、両者の対接部の全域に亘って平行隙間が形成され」とあるのを、「互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され」とする。
[c-2]「前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及び前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体が前記給気溝の各々の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで減少するようにして、前記排気溝から外気へ排出されるようになっている」とあるのを、「前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及び前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体は、前記ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が前記ラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がって前記ラジアル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記排気溝から外気へ排出されるようになっている」とする。
　
(4)訂正事項ｄ
　明細書４頁７行乃至６頁７行の記載「この発明による・・・漸減する。」を、「この発明による静圧気体軸受は、ラジアル気体軸受においては、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、これらの排気溝の内側の近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、給気源に連通して前記ラジアル軸受面に向かって穿設され先端側が一対の給気溝に開口されたラジアル給気孔と、ラジアル軸受面の軸方向の略中央部に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記一対の排気溝及び略中央部の排気溝に開口された排気孔とが具備され、互に平行な回転軸の外周面と一対のラジアル給気溝間のラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が軸方向両端位置に形成された排気溝から急激に立ち上がってラジアル給気溝位置でピークとなり略中央部の排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで漸減するようにして、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体がこの一対のラジアル給気溝間に設けられた前記排気溝から外気へ排出するようにしている。
　そして、フランジ部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受においては、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面とフランジ部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、給気源に連通し、アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する大径部端面との間には、互いに平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、アキシャル給気溝からアキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体をアキシャル軸受間隙における気体の圧力状態がアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置から排気溝に向かって漸減するように排気溝から外気へ排出するようにしている。
　上記のようなラジアル気体軸受とアキシャル気体軸受とが複合されたラジアル・アキシャル気体軸受もあり、そのラジアル・アキシャル気体軸受においては、大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通しラジアル軸受面及びアキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及びラジアル軸受面とアキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、互に平行な回転軸の外周面と一対のラジアル給気溝間のラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する大径部端面との間には、互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、ラジアル給気孔の先端側及びアキシャル給気孔の先端側が夫々前記ラジアル給気溝及び前記アキシャル給気溝に開口され、排気孔の先端側が排気溝に開口され、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及びアキシャル給気溝からアキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体は、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態がラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がってラジアル給気溝の位置でピークとなり排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態はアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなり排気溝の各々位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、排気溝から外気へ排出するようにしている。
　［作　用］
　給気源から供給孔に供給された圧縮空気は、ラジアル給気孔及び給気ノズルを介して、給気溝に供給されると共に、アキシャル給気孔及び給気ノズルを介して給気溝に供給される。そうして、圧縮空気は、回転軸の外周面と軸受本体のラジアル軸受面との間（軸受間隙）及びフランジ部の端面と軸受本体のアキシャル軸受面との間（軸受間隙）において、ラジアル荷重及びスラスト荷重に対して回転中の回転軸及びフランジ部を支承する。
　その際、ラジアル気体軸受においては、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体をこの一対のラジアル給気溝間に設けられた排気溝から外気へ排出され、アキシャル気体軸受においては、アキシャル給気溝からアキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体の圧力分布がアキシャル給気溝から前記排気溝に向かって漸減するように、その気体が排気溝から外気へ排出される。
　それで、夫々の軸受間隙における圧力状態は、第１図に示すように、ラジアル軸受においては両端の排気溝位置、アキシャル軸受では外周側開口位置から近接した給気溝位置にまで大気圧から急激に上昇し、給気溝位置でピークとなり、ラジアル軸受においては中央の排気溝位置、アキシャル軸受では内周側排気溝位置に向うにつれて大気圧にまで漸減する。」
と訂正する。
　
(5)訂正事項ｅ
   明細書１１頁１７〜２０行の記載「その際の・・・減少する。」を、「その際の夫々の軸受間隙における圧力状態は、第１図に示すように、ラジアル軸受においては両端の排気溝位置、アキシャル軸受では外周側開口位置から近接した給気溝位置にまで大気圧から急激に上昇し、給気溝位置でピークとなり、ラジアル軸受においては中央の排気溝位置、アキシャル軸受では内周側排気溝位置に向うにつれて大気圧にまで漸減する。」と訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否
(1)訂正の目的の適否
(a)訂正事項ａについて
　訂正事項[a-1]は、請求項１に係る発明の構成に、「ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝」を構成として付加するものであり、且つ、ラジアル給気溝が、新たに付加した構成に係る「一対の排気溝」の「内側の近接した位置」に形成されたものであることを特定するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。
　訂正事項[a-2]は、「略中央部の排気溝」及び「排気孔」の、[a-1]で付加した構成である「一対の排気溝」との位置関係を特定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。
　訂正事項[a-3]は、回転軸の外周面とラジアル軸受面との間に形成されるラジアル軸受間隙について不明りょうな部分があった記載を明りょうにしたものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　訂正事項[a-4]は、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態を、[a-1]で付加した構成である「一対の排気溝」の位置との関係も明らかにするものであって、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。
　訂正事項[a-5]は、明らかに「一対」の誤記と認められる「一体」の語を訂正するものであって、誤記の訂正を目的とするものに該当する。
　
(b)訂正事項ｂについて
　訂正事項[b-1]は、「アキシャル軸受間隙」について、不明りょうな部分があった記載を明りょうにしたものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　訂正事項[b-2]は、「アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態」について、[b-1]の訂正とも併せ、より明りょうな記載とするものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　訂正事項[b-3]については、訂正前の請求項２の冒頭に「大径が………アキシャル気体軸受において」と記載されていること、また、その記載内容からみて請求項２がアキシャル気体軸受に関するものであることは明らかであり、末尾の記載は「アキシャル気体軸受」の明らかな誤記と認められ、当該訂正事項は誤記の訂正を目的とするものに該当する。
　
(c)訂正事項ｃについて
　訂正事項[c-1]は、「ラジアル軸受間隙」及び「アキシャル軸受間隙」について、不明りょうな部分があった記載を明りょうにしたものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　訂正事項[c-2]は、「ラジアル軸受間隙」及び「アキシャル軸受間隙」における気体の圧力状態について、[c-2]の訂正とも併せ、より明りょうな記載とするものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
(d)訂正事項ｄについて
　訂正事項ｄは、訂正事項ａ〜ｃに係る特許請求の範囲の訂正に伴い、発明の詳細な説明の欄の対応する箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
(e)訂正事項ｅについて
　訂正事項ｅは、実施例における作用効果を、特許請求の範囲の訂正に整合させる表現に訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
(2)新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否
　いずれの訂正事項も、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、変更するものでもない。
　
３．結論
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．特許異議の申立てについて
１．本件特許発明
　上記訂正が認められたので、本件の請求項１乃至３に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」乃至「本件発明３」という。）は訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された次のとおりのものである。
「（１）
(Ａ)ラジアル気体軸受において、
(Ｂ)回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、
(Ｃ)前記ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、
(Ｄ)これらの排気溝の内側の近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、
(Ｅ)給気源に連通して前記ラジアル軸受面に向かって穿設され先端側が前記一対の給気溝に開口されたラジアル給気孔と、
(Ｆ)前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部に形成された円周溝である排気溝と、
(Ｇ)更に、外気に連通して穿設され先端側が前記一対の排気溝及び略中央部の排気溝に開口された排気孔とが具備され、
(Ｈ)互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、
(Ｉ)ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態は前記軸方向両端位置に形成された前記排気溝から急激に立ち上がってラジアル給気溝位置でピークとなり前記略中央部の排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで漸減するようにして、前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体がこの一対のラジアル給気溝間に設けられた前記排気溝から外気へ排出されるようになっている
ことを特徴とするラジアル気体軸受。」
「（２）
(Ｊ)大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受において、
(Ｋ)前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、
(Ｌ)前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、
(Ｍ)給気源に連通し、前記アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が前記給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、
(Ｎ)前記アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、
(Ｏ)更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、
(Ｐ)前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、互いに平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、
(Ｑ)前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置から前記排気溝に向かって漸減するように、アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体が前記排気溝から外気へ排出されるようになっている
ことを特徴とするアキシャル気体軸受。」
「（３）
(Ｒ)大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、
(Ｓ)前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、
(Ｔ)給気源に連通し前記ラジアル軸受面及び前記アキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、
(Ｄ)前記ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、
(Ｌ)前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、
(Ｕ)前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及び前記ラジアル軸受面と前記アキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、
(Ｖ)更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、
(Ｈ)互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、
(Ｐ)前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、
(Ｗ)前記ラジアル給気孔の先端側及び前記アキシャル給気孔の先端側が夫々前記ラジアル給気溝及び前記アキシャル給気溝に開口され、
(Ｘ)前記排気孔の先端側が前記排気溝に開口され、
(Ｙ)前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及び前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体は、前記ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が前記ラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がって前記ラジアル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記排気溝から外気へ排出されるようになっている
ことを特徴とするラジアル・アキシャル気体軸受」
　なお、符号(Ａ)〜(Ｙ)は便宜上、分説し付したものである。
　
２．異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人関啓は、証拠として、甲第１号証：特開昭６３−１４０１１６号公報、甲第２号証：特公昭４６−１２６８２号公報、甲第３号証：実公昭５８−４６２６２号公報及び甲第４号証：実公昭６２−３５９４７号公報を提示し、本件の請求項１に係る発明は甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、請求項２に係る発明は甲第３号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて、請求項３に係る発明は甲第１号証乃至甲第４号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである旨主張する。
　
３．甲号証記載の発明
　上記異議申立人が提示した甲第１号証乃至甲第４号証（当審で通知した取消理由に引用した刊行物１乃至刊行物４に相当）には、図面と共に次の技術が記載されている。
　
・甲第１号証：特開昭６３−１４０１１６号公報
[1-a]「本発明は、軸受スリーブを設けた半径方向静的流体軸受と軸線方向静的流体軸受とを具え、前記軸受スリーブにシャフトを回転自在に配置するシャフト支持装置に関するものである。」（１頁下段右欄１４〜１７行）
[1-b]「第１乃至４図に示すシャフト支持装置は、中空のシャフト３を回転自在に支承する固定の金属製の軸受スリーブ１を有する。シャフト３は、半径方向に作用する静的流体軸受により半径方向の支承を行い、この静的流体軸受は、軸受スリーブ１の環状ダクト９、１１に接続した２個の流体供給路５，７と、軸受スリーブ１の環状ダクト１５に接続した流体ドレン１３とを有する。用語「静的流体軸受」はガスにより軸受作用及び液体による軸受作用の双方を意味するものとし、ガスまたは液体は圧力源から供給する。以下に圧縮空気で作動する静的流体軸受を説明する。リング１９を軸受スリーブ１にボルト１７により取付け（第１図参照）、このリング１９に圧縮空気の流入ダクト２１を設け、この流入ダクト２１は接続ダクト２３を経て流体供給路５，７に接続する。」（２頁下段左欄３〜１８行）
[1-c]「シャフト支持装置には更に軸方向に作用する静的流体軸受を設け、この軸方向作用静的流体軸受を補償部材３１に連結する。軸受スリーブ１には流入ダクト５９を設け、この流入ダクト５９を接続ダクト６１およびダクト６３、６５から２個の環状ダクト６７，６９にそれぞれ接続する。ダクト６７は軸受スリーブ１に形成し、ダクト６９はリング３７に形成する。軸受スリーブ１の描く円に沿って互いに等間隔に配列した軸線方向に指向する流体供給路７１を環状ダクト６７に接続し、これら流体供給路７１を（第２の）制限部７３から補償部材３１と軸受スリーブ１との間の軸線方向ギャップに連通させる。」（３頁上段左欄５〜１６行）　
[1-d]「補償室３１と軸受スリーブ１との間の軸線方向ギャップを環状ダクト８１に連通し、この環状ダクト８１を半径方向孔８３によりシャフト３の多数の軸線方向孔８５のうちの１個に接続し、この軸線方向孔では大気圧力が存在する。補償部材３１とリング３７との間の軸線方向ギャップを補償部材３１とリング３７との間の環状の半径方向ギャップ８７に連通する。この半径方向ギャップ８７にも大気圧が存在する。」（３頁上段右欄７〜１４行）
　以上の記載及び図面からみて、甲第１号証には次の発明（以下、「引用発明イ」及び「引用発明ハ」という。）が示されているものと認める。（なお、符号(ａ)〜(ｘ)は便宜上付したものである。）
[引用発明イ]
(ａ)半径方向の静的流体軸受を具えたシャフト支持装置において
(ｂ)シャフト３を回転自在に支承する軸受スリーブ１には
(ｄ)半径方向軸受面に形成された円周溝である一対の給気用の環状ダクト９，１１と
(ｅ)ガス源に連通して半径方向軸受面に向かって穿設され先端側が環状ダクト９，１１に開口した流体供給路５，７と
(ｆ)半径方向軸受面の軸方向略中央部に形成された円周溝である排気用の環状ダクト１５と
(ｇ)外気に連通して穿設され先端側が環状ダクト１５に開口された流体ドレン１３とが具備され
(ｈ)シャフト３の外周面と給気用環状ダクト９，１１間の半径方向軸受面との間には半径方向の軸受間隙が形成され
てなるシャフト支持装置
[引用発明ハ]
(ｒ)補償部材３１が形成されたシャフト３を回転自在に支承する、半径方向静的流体軸受と軸線方向静的流体軸受とを具えたシャフト支持装置において
(ｓ)シャフト３を回転自在に支承する半径方向軸受面と補償部材３１に対接する軸線方向軸受面とが形成された軸受スリーブ１には、
(ｔ)給気源に連通し半径方向軸受面及び軸線方向軸受面に向かって穿設された給気用流体供給路５，７及び給気用ダクト６３が形成されていて
(ｄ)半径方向軸受面に形成された円周溝である一対の給気用の環状ダクト９，１１と
(ｌ)軸線方向軸受面に開口する給気用流体供給路７１が形成され
(ｕ)半径方向軸受面の軸方向略中央部に形成された円周溝である排気用の環状ダクト１５と
(ｖ)外気に連通して穿設された流体ドレン１３とを具え
(ｈ)シャフト３の外周面と給気用環状ダクト９，１１間の半径方向軸受面との間には半径方向の軸受間隙が形成され
(ｐ)軸線方向軸受面とこの面に対接する補償部材３１との間には互いに平行な軸受間隙が形成され
(ｗ)流体供給路５，７の先端側及び給気用ダクト６３の先端側が夫々環状ダクト９，１１及び流体供給路７１に開口し
(ｘ)流体ドレン１３の先端側が環状ダクト１５に開口され
てなるシャフト支持装置
　
・甲第２号証：特公昭４６−１２６８２号公報
[2-a]「本発明は外的に与圧される複合ラジアル−スラストベアリング構造体に関し、特にスピンドル型のベアリング構造体に関するものである。」（１頁１欄３０〜３２行）
[2-b]「本実施例に関連して上記腔口の中心に図示され且その表面部分内に形成された排出装置１７は環状のみぞ又は排出通路を形成している。上記環状みぞはこのみぞ自体から外方に延びて外部への出口２１に終っている出口通路２０を有しているとして図示されている。」（２頁３欄８〜１３行）
[2-c]「上記腔口の各周界に形成されて上記固定子の端壁２８及び２９内に引込まされた比較的に浅く、制限されない環状の供給みぞ又は通路３２及び３３が設けられ、本発明の構造体のラジアルベアリングとスラストベアリングとの両方に直接充分な管路圧力の下に流体を供給する。」（２頁３欄２５〜３０行）
　
・甲第３号証：実公昭５８−４６２６２号公報
[3-a]「本考案は軸受体に圧力流体を介して被支持体を非接触状態で支持する静圧流体軸受装置に関する。」（１頁１欄３６〜３７行）
[3-b]「以下、本考案の一実施例を第２図と第３図にもとづいて説明する。図中１１は支持孔１２が設けられた軸受体である。この軸受体１１には、その支持孔１２の内周面、すなわちラジアル面１１ａに等間隔で複数の第１のノズル１３…が穿設され、一方の端面、すなわちスラスト面１１ｂには同じく等間隔で複数の第２のノズル１４…が穿設されている。これらノズル１３…，１４…には図示せぬ供給源から高圧空気が供給されるようになっている。また、軸受体１１のラジアル面１１ａとスラスト面１１ｂとがなす隅角部近傍には、上記ラジアル面１１ａとスラスト面１１ｂにそれぞれ環状溝からなる排出部としての排気路１５，１６が穿設されている。さらに、軸受体１１の隅角部にはセパレータ１７が設けられている。このセパレータ１７は比較的硬質な環状部１８と、この環状部１８から直角に延出された比較的軟質な第１の遮へい部１９と第２の遮へい部２０とからなる。なお、このセパレータ１７は、フレキシブルなベローズまたはテフロンなどの潤滑性樹脂またはホワイトメタルなどのような軟質金属などによって形成されている。
　一方、上記軸受体１１には、被支持体２１がその軸部２２を支持孔１２に非接触状態で挿入し、この軸部２２の一端に設けられたスラスト円板２３をスラスト面１１ｂに離間対向させて支持されている。」（２頁３欄６〜３２行）
　上記記載及び図面からみて、甲第３号証には次の発明（以下、「引用発明ロ」という。）が記載されているものと認める。（なお、符号は前出のように、便宜上付したものである。）
[引用発明ロ]
(ｊ)軸部２２の一端にスラスト円板２３が設けられた被支持体２１を回転自在に支承する静圧流体軸受装置において
(ｋ)軸部２２を回転自在に支承するラジアル面１１ａとスラスト円板２３に対接するスラスト面１１ｂとが形成された軸受体１１には
(ｍ)給気源に連通し、スラスト面に向かって穿設された複数の給気用の第２のノズル１４…と
(ｎ)ラジアル面１１ａとスラスト面１１ｂとがなす隅角部近傍に形成された環状溝である排気路１５，１６が穿設され
(ｐ')スラスト面１１ｂとこの面に対接するスラスト円板２３との間には、互いに平行なスラスト軸受間隙が形成され
ている静圧流体軸受装置
　
・甲第４号証：実公昭６２−３５９４７号公報
[4-ａ]「本考案は、外部から加圧気体を微小な給気孔を通して軸受隙間内に供給し、回転軸をラジアル方向及びスラスト方向に支える静圧気体軸受に関する。」（１頁１欄１８〜２１行）
[4-ｂ]「前記二つのスラスト軸受面２ｂにおいてはその外周面近傍及び前記排気通路４近傍にスラスト環状溝１０が形成され、それぞれの環状溝１０内には第４図に示すように等間隔に三つの給気孔１１が開口されている。」（２頁４欄３４〜３８行）
　
４．対比・判断
(1)本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証に記載された引用発明イとを対比する。
　後者の「環状ダクト９，１１」は前者の「ラジアル給気溝」に相当し、以下同様に、「流体供給路５，７」は「ラジアル給気孔」に、「環状ダクト１５」は「排気溝」に、「流体ドレン１３」は「排気孔」に、それぞれ相当する。
　そうすると、後者の構成ａ、ｂ、ｅ〜ｈは前者の構成Ａ、Ｂ、Ｅ〜Ｈに相当し、その点で一致し、その余の点では相違することになり、本件発明１の用語を用いれば、両者間には以下の一致点、相違点が存在する。
[一致点]：
「ラジアル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、前記ラジアル軸受面に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、給気源に連通して前記ラジアル軸受面に向かって穿設され先端が前記一対の給気溝に開口されたラジアル給気孔と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され」ている点
[相違点1-1]：
　本件発明１の軸受本体には、「ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝」が設けられているのに対し、引用発明イにはそのような排気溝は具えていない点
[相違点1-2]：
　本件発明１の「一対のラジアル給気溝」が、「ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝の内側の近接した位置」に形成されているのに対し、引用発明イの「環状ダクト９，１１」の位置は軸方向両端に近接しているとはいえない点
[相違点1-3]：
　本件発明１においては、「ラジアル軸受隙間における気体の圧力状態は前記軸方向両端位置に形成された排気溝から急激に立ち上がってラジアル給気溝位置でピークとなり略中央部の排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで漸減するようにして、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体がこの一対のラジアル給気溝間に設けられた排気溝から外気へ排出されるようになっている」のに対し、引用発明イにはそのような説明がされていない点
　
　そこで上記相違点について検討するに、「ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝」に相当する排気溝と、その内側の近接した位置に形成された円周溝である「一対のラジアル給気溝」に相当する給気溝とを共に具備した構成は、甲第１号証のみならず甲第２号証乃至甲第４号証にも開示されていない。
　それに対し、本件発明１は、ラジアル軸受面に、一対の排気溝及び一対の給気溝を上記構成すなわち相違点1-1及び1-2に係る如く形成することにより、はじめて、相違点1-3に係るような圧力状態を形成し、一対の給気溝間に滞留する気体量が減少し、軸受剛性を高めるべく一対の給気溝から噴出する気体の量を増加させた場合でも、回転軸の不安定振動がなくなり、ラジアル軸受間隙を小さくして一層の剛性の向上を図ることができるという効果のみならず、給気溝と排気溝との間の圧力勾配が大きいので、供給気体と共に軸受面に侵入した塵埃やミストが排気溝に円滑に排出され、軸受の損傷が防止されるという効果も奏せられるものと解される（本件明細書の〔発明の効果〕の欄参照）。
　してみれば、相違点1-1及び1-2に係る構成を想定することは、当業者といえども容易になし得たこととはいえず、まして上記の顕著な作用効果まで容易に想到し得たものとは認め難い。
　したがって、本件発明１が甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
(2)本件発明２について
　本件発明２と甲第３号証に記載された引用発明ロとを対比する。
　後者の「第２のノズル１４」は、前者の「アキシャル給気溝６」に対応したものであり、後者の「排気路１６」は前者の「排気溝９」に、同様に「スラスト円板」は「大径部」に、それぞれ相当する。
　そうすると、後者の構成ｊ、ｋ、ｎ、ｐ’は前者の構成Ｊ、Ｋ、Ｎ、Ｐに相当し、その点で一致し、その余の点では相違することになり、本件発明２の用語を用いれば、両者間には以下の一致点、相違点が存在する。
[一致点]：
「大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通し、アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する大径部端面との間には、互いに平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され」ている点
[相違点2-1]：
　本件発明２においては、「アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝」から給気されるものであるのに対し、引用発明ロにおいては、スラスト面１１ｂに等間隔で穿設された複数のノズル１４から供給されるものであり、その位置も外周に近接した位置とはいえない点
[相違点2-2]：
　本件発明２においては、「アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が給気溝に開口されたアキシャル給気孔」を備えるものであるのに対し、引用発明ロにはそのような構成が開示されていない点
[相違点2-3]：
　本件発明２においては、「外気に連通して穿設され先端側が排気溝に開口された排気孔」が具備されているのに対し、引用発明ロにおいては、排気路１６と外気との連通状態が明示されていない点
[相違点2-4]：
　本件発明２においては、「アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置から前記排気溝に向かって漸減するように、アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体が前記排気溝から外気へ排出されるようになっている」のに対し、引用発明ロにはそのような説明がされていない点
　そこで上記相違点について検討するに、「アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝」と、「アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝」（その排気溝には外気に連通して穿設された排気孔が開口している）とを共に具備した構成は、甲第３号証のみならず甲第１、２号証あるいは甲第４号証にも開示されていない。
　本件発明２は、相違点2-1乃至2-3に係る構成を採用することにより、相違点2-4に係るような圧力状態を形成し、給気溝より径方向内方に滞留する気体量が減少し、軸受剛性を高めるべく給気溝から噴出する気体の量を増加させた場合でも、回転軸の不安定振動がなくなり、アキシャル軸受間隙を小さくして一層の剛性の向上を図ることができるという効果のみならず、前出(1)欄で述べたものと同様、給気溝と排気溝との間の圧力勾配が大きいので、供給気体と共に軸受面に侵入した塵埃やミストが排気溝に円滑に排出され、軸受の損傷が防止されるという効果も併せ奏されるものと解される（本件明細書の〔発明の効果〕の欄参照）。
　してみれば、相違点2-1乃至2-3に係る構成を想定することは、当業者といえども容易になし得たこととはいえず、まして上記の顕著な作用効果まで容易に想到し得たものとは認め難い。
　したがって、本件発明２が甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
(3)本件発明３について
　本件発明３と引用発明ハとを対比すると、後者の「フランジ（補償部材）３１」が配置された「シャフト３」は前者の「大径部が形成された回転軸」に相当し、以下同様に、「流体供給路５，７」は「ラジアル給気孔」に、「ダクト６３」は「アキシャル給気孔」に、「環状ダクト９，１１」は「ラジアル給気溝」に、「流体供給路７１」は「アキシャル給気溝」に、「環状ダクト１５」及び「環状ダクト８１」は少くとも２つの「排気溝」に、「流体ドレン１３」は「排気孔」に、それぞれ相当する。
　また、引用発明ハにおいて、シャフト３の外周面と環状ダクト９，１１間の半径方向軸受面とは互いに平行面形状であり、軸線方向の軸受面とフランジ３１の端面との間には両者の対接部の全域に亘って平行間隙が形成されており、「流体供給路５，７」及び「ダクト６３」の先端側はそれぞれ「環状ダクト９．１１」及び「流体供給路５，７」に開口している。
　そうすると、後者の構成ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖ、ｈ、ｐ、ｗ、ｘは前者の構成Ｒ、Ｓ、Ｔ、Ｕ、Ｖ、Ｈ、Ｐ、Ｗ、Ｘに相当し、その点で一致し、その余の点では相違することになり、本件発明３の用語を用いれば、両者間には以下の一致点、相違点が存在する。
[一致点]：
「大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通し前記ラジアル軸受面及び前記アキシャル軸受面に向かって穿設された給気孔と、ラジアル軸受面に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、アキシャル軸受面に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及び前記ラジアル軸受面と前記アキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、前記ラジアル給気孔の先端側及び前記アキシャル給気孔の先端側が夫々前記ラジアル給気溝及び前記アキシャル給気溝に開口され、前記排気孔の先端側が前記排気溝に開口され、互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され」ている点
[相違点3-1]：
　本件発明３が「給気源に連通しラジアル軸受面及びアキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔」を有するものであるのに対し、引用発明ハでは一本の給気孔から分岐したものではない点
[相違点3-2]：
　本件発明３の「ラジアル給気溝」が「ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成され」たものであるのに対し、引用発明ハの「環状ダクト９，１１」の位置が軸方向両端に近接しているとはいえない点
[相違点3-3]：
　本件発明３の「アキシャル給気溝」が「アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成され」たものであるのに対し、引用発明ハの「流体供給路７１」の位置が軸受面外周に近接しているとはいえない点
[相違点3-4]：
　本件発明３においては、「一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及びアキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体は、前記ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が前記ラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がって前記ラジアル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態がアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記排気溝から外気へ排出されるようになっている」のに対し、引用発明ハにはそのような説明がされていない点
　
　そこで上記相違点について検討するに、流体供給管の配置において、２つの方向に給気するために分岐孔を設けることは甲第４号証に開示されるように、相違点3-1に係る構成については当業者であれば適宜なし得たものといえるものではあるものの、「ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝」に相当する排気溝と、その内側の近接した位置に形成された円周溝である「一対のラジアル給気溝」とを共に具備した構成、及び「アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝」と、「アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝」とを共に具備した構成は、甲第１号証のみならず甲第２号証乃至甲第４号証にも開示されておらず、当業者といえども容易に想到できたものとはいえない。
　本件発明３にあっては、相違点3-2乃至3-3に係る構成を採用することにより、相違点3-4に係るような圧力状態を形成し、前出(1)(2)で述べたような、本件発明イ及びロが有する作用効果と同様の作用効果を奏するものと解され（本件明細書の〔発明の効果〕の欄参照）、そのような作用効果まで当業者が容易に想到し得たものとは認められない。
　したがって、本件発明３が甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１乃至３を特許を受けることができないものとすることはできず、また他に本件発明１乃至３を特許を受けることができない発明とする理由も発見しない。
　したがって、本件請求項１乃至３に係る特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めることができない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１月１０日（２００２．１．１０）
【訂正の要旨】
１．訂正事項ａ
　明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載、
「（１）ラジアル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、前記ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、給気源に連通して前記ラジアル軸受面に向かって穿設され先端が前記一対の給気溝に開口されたラジアル給気孔と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面とは、互いに平行面形状であり、ラジアル軸受隙間における気体の圧力状態はラジアル給気溝位置でピークとなり前記排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで減少するようにして、前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体がこの一体のラジアル給気溝間に設けられた前記排気溝から外気へ排出されるようになっていることを特徴とするラジアル気体軸受」
を、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、
「（１）ラジアル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、前記ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、これらの排気溝の内側の近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、給気源に連通して前記ラジアル軸受面に向かって穿設され先端が前記一対の給気溝に開口されたラジアル給気孔と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記一対の排気溝及び略中央部の排気溝に開口された排気孔とが具備され、互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態は前記軸方向両端位置に形成された前記排気溝から急激に立ち上がってラジアル給気溝位置でピークとなり前記略中央部の排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで漸減するようにして、前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体がこの一対のラジアル給気溝間に設けられた前記排気溝から外気へ排出されるようになっていることを特徴とするラジアル気体軸受。」
と訂正する。
２．訂正事項ｂ
　明細書の特許請求の範囲の請求項２の記載、
「（２）大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、給気源に連通し、前記アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が前記給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、前記アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、両者の対接部の全域に亘って平行隙間が形成され、前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体の圧力分布が前記アキシャル給気溝から前記排気溝に向かって漸減するように、その気体が前記排気溝から外気に排出されるようになっていることを特徴とするラジアル気体軸受。」
を、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、
「（２）大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、給気源に連通し、前記アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が前記給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、前記アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、互いに平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置から前記排気溝に向かって漸減するように、アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体が前記排気溝から外気へ排出されるようになっていることを特徴とするアキシャル気体軸受。」
と訂正する。
３．訂正事項ｃ
　明細書の特許請求の範囲の請求項３の記載、
「（３）大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通し前記ラジアル軸受面及び前記アキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、前記ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及び前記ラジアル軸受面と前記アキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面とは、互いに平行面形状であり、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、両者の対接部の全域に亘って平行隙間が形成され、前記ラジアル給気孔の先端側及び前記アキシャル給気孔の先端側が夫々前記ラジアル給気溝及び前記アキシャル給気溝に開口され、前記排気孔の先端側が前記排気溝に開口され、前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及び前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体が前記給気溝の各々の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで減少するようにして、前記排気溝から外気へ排出されるようになっていることを特徴とするラジアル・アキシャル気体軸受」
を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「（３）大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通し前記ラジアル軸受面及び前記アキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、前記ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及び前記ラジアル軸受面と前記アキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、互に平行な前記回転軸の外周面と前記一対のラジアル給気溝間の前記ラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、前記ラジアル給気孔の先端側及び前記アキシャル給気孔の先端側が夫々前記ラジアル給気溝及び前記アキシャル給気溝に開口され、前記排気孔の先端側が前記排気溝に開口され、前記一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及び前記アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体は、前記ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が前記ラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がって前記ラジアル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態がアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記排気溝から外気へ排出されるようになっていることを特徴とするラジアル・アキシャル気体軸受」
と訂正する。
４．訂正事項ｄ
　明細書４頁７行乃至６頁７行の記載「この発明による・・・漸減する。」を、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、
「この発明による静圧気体軸受は、ラジアル気体軸受においては、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、ラジアル軸受面の軸方向両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、これらの排気溝の内側の近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、給気源に連通してラジアル軸受面に向かって穿設され先端側が一対の給気溝に開口されたラジアル給気孔と、ラジアル軸受面の軸方向の略中央部に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記一対の排気溝及び略中央部の排気溝に開口された排気孔とが具備され、互に平行な回転軸の外周面と一対のラジアル給気溝間のラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が軸方向両端位置に形成された排気溝から急激に立ち上がってラジアル給気溝位置でピークとなり略中央部の排気溝位置に向かうにつれて略大気圧にまで漸減するようにして、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体がこの一対のラジアル給気溝間に設けられた前記排気溝から外気へ排出するようにしている。
　そして、フランジ部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受においては、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面とフランジ部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、給気源に連通し、アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する大径部端面との間には、互いに平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、アキシャル給気溝からアキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体をアキシャル軸受間隙における気体の圧力状態がアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置から排気溝に向かって漸減するように排気溝から外気へ排出するようにしている。
　上記のようなラジアル気体軸受とアキシャル気体軸受とが複合されたラジアル・アキシャル気体軸受もあり、そのラジアル・アキシャル気体軸受においては、大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通しラジアル軸受面及びアキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及びラジアル軸受面とアキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、互に平行な回転軸の外周面と一対のラジアル給気溝間のラジアル軸受面との間にはラジアル軸受間隙が形成され、アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する大径部端面との間には、互に平行な両者の対接部の全域に亘ってアキシャル軸受間隙が形成され、ラジアル給気孔の先端側及びアキシャル給気孔の先端側が夫々前記ラジアル給気溝及び前記アキシャル給気溝に開口され、排気孔の先端側が排気溝に開口され、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体及びアキシャル給気溝からアキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体は、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態がラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がってラジアル給気溝の位置でピークとなり排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態はアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなり排気溝の各々位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、排気溝から外気へ排出するようにしている。
　［作　用］
　給気源から供給孔に供給された圧縮空気は、ラジアル給気孔及び給気ノズルを介して、給気溝に供給されると共に、アキシャル給気孔及び給気ノズルを介して給気溝に供給される。そうして、圧縮空気は、回転軸の外周面と軸受本体のラジアル軸受面との間（軸受間隙）及びフランジ部の端面と軸受本体のアキシャル軸受面との間（軸受間隙）において、ラジアル荷重及びスラスト荷重に対して回転中の回転軸及びフランジ部を支承する。
　その際、ラジアル気体軸受においては、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体をこの一対のラジアル給気溝間に設けられた排気溝から外気へ排出され、アキシャル気体軸受においては、アキシャル給気溝からアキシャル軸受面の径方向内方に滞留する気体の圧力分布がアキシャル給気溝から前記排気溝に向かって漸減するように、その気体が排気溝から外気へ排出される。
　それで、夫々の軸受間隙における圧力状態は、第１図に示すように、ラジアル軸受においては両端の排気溝位置、アキシャル軸受では外周側開口位置から近接した給気溝位置にまで大気圧から急激に上昇し、給気溝位置でピークとなり、ラジアル軸受においては中央の排気溝位置、アキシャル軸受では内周側排気溝位置に向うにつれて大気圧にまで漸減する。」
と訂正する。
５．訂正事項ｅ
　明細書１１頁１７〜２０行の記載「その際の・・・減少する。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「その際の夫々の軸受間隙における圧力状態は、第１図に示すように、ラジアル軸受においては両端の排気溝位置、アキシャル軸受では外周側開口位置から近接した給気溝位置にまで大気圧から急激に上昇し、給気溝位置でピークとなり、ラジアル軸受においては中央の排気溝位置、アキシャル軸受では内周側排気溝位置に向うにつれて大気圧にまで漸減する。」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
静圧気体軸受
（５７）【特許請求の範囲】
（１）ラジアル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、前記ラジアル軸受面の軸方向
両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、これらの排気溝の内側の近接
一対の排気溝及び略中央部の
互に平行な
との間にはラジアル軸受間隙が形成され、
前記軸方向両端位置に形成された前記排気溝から急激に立ち上がって
略中央部の
漸減
一対
（２）大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、給気源に連通し、前記アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が前記給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、前記アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、前記アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する前記大径部端面との間には、
互に平行な
アキシャル軸受間隙
前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置
アキシャル給気溝から前記アキシャル軸受面の径方向内方に滞留する
アキシャル
（３）大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、前記回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と前記大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通し前記ラジアル軸受面及び前記アキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、前記ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、前記アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、前記ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及び前記ラジアル軸受面と前記アキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、
互に平行な
の間にはラジアル軸受間隙が形成され、
互に平行な
アキシャル軸受間隙
は、前記ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態が前記ラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がって前記ラジアル給気溝の位置でピークとなり前記排気溝の各々の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、前記アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態が前記アキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がって前記アキシャル給気溝の位置でピークとなり
漸減
【発明の詳細な説明】
　〔産業上の利用分野〕
　この発明は、静圧気体軸受に関する。
　〔従来の技術〕
　従来の技術による静圧気体軸受の代表的なものには、第４図に示すような所謂、２列周溝付き静圧気体軸受がある。それは、軸受本体１のラジアル・アキシャル軸受面（２，３）の両端近傍に円周方向に浅い周溝（２１，２１；２２，２２）が形成され、各周溝に少数個の絞り給気孔が開口されている。
　〔発明が解決しようとする課題〕
　従来の技術による上記のような静圧気体軸受は、軸線方向に台形圧力分布をもたせているため、軸受内部にトラップされる気体が多量となり、軸受の剛性を保持するべく、供給気体を高圧にすると、不安定振動が発生し易い。
　更に、２本の周溝の内側では、圧力勾配が小さいため、侵入した塵埃が排出され難いので、軸受内部に塵が溜り易く、軸受損傷を起し易い。
　この発明は、上記のような従来の技術における静圧気体軸受の諸欠点を解消することを解決しようとする課題としている。
　〔課題を解決するための手段〕
　この発明による静圧気体軸受は、ラジアル気体軸受においては、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面が形成された軸受本体には、ラジアル軸受面の軸方向
両端位置に形成された円周溝である一対の排気溝と、これらの排気溝の内側の近接
一対の排気溝及び略中央部の
互に平行な
との間にはラジアル軸受間隙が形成され、
間隙
が軸方向両端位置に形成された排気溝から急激に立ち上がって
略中央部の
漸減
一対
　そして、フランジ部が形成された回転軸を回転自在に支承するアキシャル気体軸受においては、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面とフランジ部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、給気源に連通し、アキシャル軸受面に向かって穿設され先端側が給気溝に開口されたアキシャル給気孔と、アキシャル軸受面の内周乃至近接した位置に形成された円周溝である排気溝と、更に、外気に連通して穿設され先端側が前記排気溝に開口された排気孔とが具備され、アキシャル軸受面とこの軸受面に対接する大径部端面との間には、
互に平行な
アキシャル軸受間隙
アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態がアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝の位置でピークとなりこの位置
　上記のようなラジアル気体軸受とアキシャル気体軸受とが複合されたラジアル・アキシャル気体軸受もあり、そのラジアル・アキシャル気体軸受においては、大径部が形成された回転軸を回転自在に支承するラジアル・アキシャル気体軸受において、回転軸を回転自在に支承するラジアル軸受面と大径部に対接するアキシャル軸受面とが形成された軸受本体には、給気源に連通しラジアル軸受面及びアキシャル軸受面に向かってラジアル給気孔及びアキシャル給気孔に分岐して穿設された給気孔と、ラジアル軸受面の軸方向両端に近接した位置に形成された円周溝である一対のラジアル給気溝と、アキシャル軸受面の外周に近接した位置に形成された円周溝であるアキシャル給気溝と、ラジアル軸受面の軸方向の略中央部及びラジアル軸受面とアキシャル軸受面との境界部に形成された各々が円周溝である少なくとも２つの排気溝と、更に、外気に連通して穿設された排気孔とが具備されており、
互に平行な
の間にはラジアル軸受間隙が形成され、
互に平行な
アキシャル軸受間隙
は、ラジアル軸受間隙における気体の圧力状態がラジアル軸受面の両端から急激に立ち上がってラジアル給気溝の位置でピークとなり排気溝の位置に向かうにつれて略大気圧まで漸減するようにして、アキシャル軸受間隙における気体の圧力状態はアキシャル軸受面の外周から急激に立ち上がってアキシャル給気溝
漸減
　〔作　用〕
　給気源から供給孔に供給された圧縮空気は、ラジアル給気孔及び給気ノズルを介して、給気溝に供給されると共に、アキシャル給気孔及び給気ノズルを介して給気溝に供給される。そうして、圧縮空気は、回転軸の外周面と軸受本体のラジアル軸受面との間（軸受間隙）及びフランジ部の端面と軸受本体のアキシャル軸受面との間（軸受間隙）において、ラジアル荷重及びスラスト荷重に対して回転中の回転軸及びフランジ部を支承する。
　その際、ラジアル気体軸受においては、一対のラジアル給気溝間に滞留する気体をこの
一対
　それで、夫々の軸受間隙における圧力状態は、第１図に示すように、
ラジアル軸受においては両端の排気溝位置、アキシャル軸受では外周側開口位置から近接した給気溝位置にまで大気圧から急激に上昇し、給気溝位置でピークとなり、ラジアル軸受においては中央の排気溝位置、アキシャル軸受では内周側排気溝
　〔実　施　例〕
　この発明の実施例を図面に従って説明する。
　各図には、静圧気体軸受としてラジアル・アキシャル気体軸受が示されている。
　第１図に示す第１実施例のラジアル・アキシャル気体軸受は、間隔をあけてフランジ部Ｆ，Ｆが形成された回転軸Ｓを回転自在に支承する形式であり、回転軸Ｓは、軸受本体１のラジアル軸受面２に回転自在に支承され、フランジ部Ｆ，Ｆは、軸受本体１の両端面でアキシャル軸受面３，３に対接している。
　ラジアル・アキシャル気体軸受の軸受本体１には、図示しない給気源に連通し、軸受本体１の軸受孔のラジアル軸受面２及びアキシャル軸受面３，３に向ってラジアル給気分岐孔４１，４１・・・及びアキシャル給気分岐孔４２，４２・・・に分岐した給気孔４がが穿設されており、ラジアル軸受面２の両端に近接した位置及びアキシャル軸受面３，３の外周に近接した位置に夫々浅い円周溝であるラジアル給気溝５，５・アキシャル給気溝６，６が形成されている。
　そうして、軸受本体１には、外気に連通し、ラジアル軸受面２に向って分岐した排気孔７，７が穿設されており、ラジアル軸受面２の中央部及び両端縁に夫々浅い円周溝である排気溝８；９，９が夫々形成されている。
　ラジアル給気分岐孔４１，４１・・・の先端側は、ラジアル給気溝５，５の溝底に円周等配に開口した給気ノズル１０，１０・・・を介して開口されている。
　アキシャル給気分岐孔４２，４２・・・の先端側は、アキシャル給気溝６，６の溝底に円周等配に開口した給気ノズル１１，１１・・・を介して開口されている。
　排気孔７，７の先端側は、排気溝８；９，９の溝底に分岐孔１２，１２・・・を介して開口されている。
　第２図に示す第２実施例のラジアル・アキシャル気体軸受は、単一のフランジ部Ｆが形成された回転軸Ｓを回転自在に支承する形式であり、回転軸Ｓは、軸受本体１の軸受孔に回転自在に支承され、フランジ部Ｆは、軸受本体１の内部に形成されたアキシャル軸受面３，３に対接している。
　ラジアル・アキシャル気体軸受の軸受本体１には、ラジアル軸受面２を成す円筒孔部分と一側端に近くラジアル軸受面２に隣接し、フランジ部Ｆの両端面に対接するアキシャル軸受面３，３を成す大径円筒孔部分３ａとが形成されている。
　図示しない給気源に連通し、軸受本体１の軸受孔のラジアル軸受面２及びアキシャル軸受面３，３に向ってラジアル給気分岐孔４１，４１・・・及びアキシャル給気分岐孔４２，４２・・・に分岐した給気孔４がが穿設されており、ラジアル軸受面２の両端に近接した位置及びアキシャル軸受面３，３の外周に近接した位置に夫々浅い円周溝であるラジアル給気溝５，５；６，６が形成されている。
　そうして、軸受本体１には、外気に連通し、ラジアル軸受面２に向って分岐した排気孔７が穿設されており、ラジアル軸受面２の中央部及び大径円筒孔部分３ａとの境界部に夫々円周溝である排気溝８，９が夫々形成されている。
　ラジアル給気分岐孔４１，４１・・・の先端側は、ラジアル給気溝５，５の溝底に円周等配に開口した給気ノズル１０，１０・・・を介して開口されている。
　アキシャル給気分岐孔４２，４２・・・の先端側は、アキシャル給気溝６，６の溝底に円周等配に開口した給気ノズル１１，１１・・・を介して開口されている。
　排気孔７，７の先端側は、排気溝８，９の溝底に分岐孔１２，１２・・・を介して開口されている。
　第３図に示す第３実施例のラジアル・アキシャル気体軸受は、第２実施例と同様の単一のフランジ部Ｆが形成された回転軸Ｓを回転自在に支承する形式であり、回転軸Ｓは、軸受本体１の軸受孔に回転自在に支承され、フランジ部Ｆは、軸受本体１の内部に形成されたアキシャル軸受面３，３に対接している。
　ラジアル・アキシャル気体軸受の軸受本体１には、ラジアル軸受面２を成す円筒孔部分とラジアル軸受面２の中央部のフランジ部Ｆの両端面に対接するアキシャル軸受面３，３を成す大径円筒孔部分３ａとが形成されている。
　図示しない給気源に連通し、軸受本体１の軸受孔のラジアル軸受面２及びアキシャル軸受面３，３に向ってラジアル給気分岐孔４１，４１・・・及びアキシャル給気分岐孔４２，４２・・・に分岐した給気孔４がが穿設されており、ラジアル軸受面２の両端に近接した位置及びアキシャル軸受面３，３の外周に近接した位置に夫々浅い円周溝であるラジアル給気溝５，５；６，６が形成されている。
　そうして、軸受本体１には、外気に連通し、排気孔７，７が穿設されており、ラジアル軸受面２，２とアキシャル軸受面３，３との境界部に夫々円周溝である排気溝９，９が夫々形成されている。
　ラジアル給気分岐孔４１，４１・・・の先端側は、ラジアル給気溝５，５の溝底に円周等配に開口した給気ノズル１０，１０・・・を介して開口されている。
　アキシャル給気分岐孔４２，４２・・・の先端側は、アキシャル給気溝６，６の溝底に円周等配に開口した給気ノズル１１，１１・・・を介して開口されている。
　排気孔７，７の先端側は、排気溝９，９の溝底に分岐孔１２，１２・・・を介して開口されている。
　上記の静圧気体軸受の操作・作用について説明する。
　第１実施例において、図示しない給気源から供給孔４に供給された圧縮空気は、ラジアル給気分岐孔４１，４１・・・及び給気ノズル１０，１０・・・を介して、ラジアル給気溝５，５に供給されると共に、アキシャル給気分岐孔４２，４２・・・及び給気ノズル１１，１１・・を介してアキシャル給気溝６，６に供給される。
　そうして、圧縮空気は、回転軸Ｓの外周面と軸受本体１のラジアル軸受面２との間（軸受間隙）及びフランジ部Ｆ，Ｆの両端面と軸受本体１のアキシャル軸受面３，３との間（軸受間隙）において、ラジアル荷重及びスラスト荷重に対して回転中の回転軸Ｓ及びフランジ部Ｆ，Ｆを支承する。
　その際の夫々の軸受間隙における圧力状態は、第１図に示すように、
ラジアル軸受においては両端の排気溝位置、アキシャル軸受では外周側開口位置から近接した給気溝位置にまで大気圧から急激に上昇し、給気溝位置でピークとなり、ラジアル軸受においては中央の排気溝位置、アキシャル軸受では内周側排気溝位置に向うにつれて大気圧にまで漸減する。
　このことは、第２実施例及び第３実施例においても実質的に同様である。
　〔発　明　の　効　果〕
　特許請求の範囲第１項に記載の発明においては、回転軸とラジアル軸受面との間に各給気溝から供給する気体の圧力勾配は、軸受面の中央部に存る排気溝までなだらかに下降し、一対の給気溝間に滞留する気体量が減少する。
　このため、軸受剛性を高めるべく一対の給気溝から噴出する気体の量を増加させた場合でも、回転軸の不安定振動がなくなり、ラジアル軸受間隙を小さくして一層の剛性の向上を図ることができる。
　特許請求の範囲第２項に記載の発明においては、大径部とアキシャル軸受面との間に給気溝から供給する気体の圧力勾配は、径方向内方に形成された排気溝までなだらかに下降し、給気溝よリ径方向内方に滞留する気体量が減少する。
　このため、軸受剛性を高めるべく給気溝から噴出する気体の量を増加させた場合でも、回転軸の不安定振動がなくなり、アキシャル軸受間隙を小さくして一層の剛性の向上を図ることができる。
　又、上記の両発明においては、給気溝と排気溝との間の圧力勾配が大きいので、供給気体と共に軸受面に侵入した塵埃やミストが排気溝に円滑に排出され、軸受の損傷が防止される効果が奏せられる。
　特許請求の範囲第３項に記載の発明においては、第１発明の構成と第２発明の構成とが兼備されているので、第１発明の効果と第２発明の効果との両方が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は、この発明の第１実施例における静圧気体軸受の断面図、
　第２図は、この発明の第２実施例における静圧気体軸受の断面図、
　第３図は、この発明の第３実施例における静圧気体軸受の断面図、
　第４図は、従来の技術における静圧気体軸受の断面図である。
　１：軸受本体　　　　　　　　２：ラジアル軸受面　３：アキシャル軸受面
　３ａ：大径円筒孔部分　　　　４：給気孔　　　　　４１：ラジアル給気分岐孔
　４２：アキシャル給気分岐孔　５：ラジアル給気溝　６：アキシャル給気溝
　７：排気孔　　　　　　　　　８，９：排気溝　　　１０，１１：給気ノズル
　１２：分岐孔　　　　　　　　Ｆ：フランジ部　　　Ｓ：回転軸