【事件の表示】
　特許第２９８１５１２号「真空ポンプ」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９８１５１２号の請求項１ないし８に係る特許を取り消す。
【理　由】
１）手続の経緯
　特許第２９８１５１２号の請求項１〜８に係る発明は、平成２年１１月２８日に特許出願され、平成１１年９月２４日にその特許の設定登録がなされ、その後、中村孝子、スターリング　フルイド　システムズ　ゲーエムベーハーより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年４月１７日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断　
ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１〜８中の「真空ポンプ」を「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明、図面の簡単な説明の記載（本件特許公報第２頁左欄第９行、同第２頁右欄第３８〜３９行、同第３頁左欄第４９行、同第３頁右欄第１行、同第３頁右欄第５０行、同第４頁右欄第３１行、同第５頁右欄第２９行、及び同第５頁右欄第３８行参照）の「真空ポンプ」を「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
　
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
  上記の訂正事項に関連する記載として、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という）の発明の詳細な説明には「ドライ真空ポンプ」（本件特許公報第２頁左欄第２２行、同第２頁左欄第２５〜２６行、同第２頁右欄第７行、同第２頁右欄第１６行、及び同第２頁右欄第３１行）、及び「ドライポンプ」（本件特許公報第３頁左欄第１５行）と記載されており、上記訂正事項ａ、ｂは、願書に添付した明細書に記載されている事項の範囲内のものであり、新規事項の追加に該当しない。そして、上記訂正事項ａは、「真空ポンプ」を下位概念である「ドライ真空ポンプ」にするものであって、特許請求の範囲の減縮に該当する。また、上記訂正事項ｂは、訂正事項ａに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明、図面の簡単な説明の記載とを整合させるものであって、明りょうでない記載の釈明に該当する。また、上記訂正事項ａ、ｂは、実質上特許請求の範囲を拡張し、変更するものでもない。
　
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
（３）特許異議申立について
ア．本件発明
　平成１３年４月１７日付けで提出された訂正明細書の請求項１〜８に係る発明（以下、それぞれ、「本件請求項１に係る発明」〜「本件請求項８に係る発明」という。）は、明細書及び図面の記載からみてその特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された次のとおりのものと認める。
「(1)ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに締結された複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸気口及び吐出口と、前記ロータに対して前記軸の同一側の位置に並列配置され、かつ前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、前記複数個のモータを同期制御することにより、前記ロータ及び前記ハウジングで形成される密閉空間の移動を利用して流体の吸入・吐出を行うことを特徴としたドライ真空ポンプ。
(2)接触防止ギヤが前記複数個のロータのそれぞれに直接締結されて、前記流体移送室に配置されていることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
(3)流体移送室内で前記軸の端部に前記ロータが締結されており、かつ前記軸は片持ち支持構造であることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
(4)複数個のモータはロータに対して概略同一位置に配置されていることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
(5)複数個のモータの固定子であるモータステータがハウジング内に収納されて、かつ前記モータステータの外径はロータの外径よりも径小であることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
(6)ロータの内面において、ハウジングと前記軸の間にこの軸を支持する軸受の一部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
(7)モータの回転を検知する検出手段と、この検出手段からの信号によって複数個のモータの回転を電子制御により同期運転したことを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
(8)真空ポンプは、ねじ溝式であることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。」
　
イ．引用刊行物記載の発明
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１（特開昭６４−６３６８９号公報）には、第２頁右下欄第１２行〜第３頁左下欄第１８行「第１の回転体２Ａは、筒状のケーシング８ 内に複数の軸受９により回転自在に支持された第１の回転軸１０Ａと、該第１の回転軸１０Ａの中間部に固定された雄、雌スクリューロータ１１Ａ,１２Ａと、第１の回転軸１０Ａの雄スクリューロータ１１Ａ側の端部に固定された第１のモータロータ１５Ａとからなり、モータロータ１５Ａと該モータロータ１５Ａに対向してケーシング８内に配設された第１のステータ１６Ａとにより第１のモ一タ１３Ａを構成している。
　第２の回転体２Ｂは、ケーシング８内に複数の軸受９により第１の回転軸１０Ａと平行に、かつ回転自在に支持された第２の回転軸１０Ｂと、該第２の回転軸１０Ｂの中間部に固定され第１の回転体２Ａの雄雌スクリューロータ１１Ａ、１２Ａと噛合する雌雄スクリューロータ１２Ｂ、１１Ｂと、第２の回転軸１０Ｂの雄スクリューロータ１１Ｂ側の端部に固定された第２のモータロータ１５Ｂとからなり、モータロータ１５Ｂと該モータロータ１５Ｂに対向してケーシング８内に配設さた第２のステータ１６Ｂとにより第２のモータ１３Ｂを構成している。第１、第２の回転軸１０Ａ ,１０Ｂの雄スクリューロータ１１Ａ,１１Ｂとモータロータ１５Ａ，１５Ｂとの間には角度センサの一例であるロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂがそれぞれ固定されている。第１、第２の回転軸１０Ａ,１０Ｂ、雄のスクリューロータ１１Ａ,１１Ｂ、雌のスクリューロータ１２Ａ,１２Ｂ、モータロータ１５Ａ,１５Ｂおよびロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂは、それそれ同一寸法、形状、材質であり、これにより第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂの慣性モーメント等が同一になるように設定されている。また第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂの流体の吸込口１９Ａ,１９Ｂおよび吐出口２０は、それぞれ対称する位置に形成されている。
　第１図においてスクリュー流体機械１は、第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂを矢印Ａ,Ｂの方向に回転させると圧縮機として作動し、また吸込口１９と吐出口２０の配設位置を逆にして第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂを図中の矢印と逆方向に回転させると真空ポンプとして作動する。
　検出回路３は、ロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂにそれぞれ接続された第１および第２の検出回路３Ａ,３Ｂからなっている。制御回路５は、第１、第２の検出回路３Ａ,３Ｂと指令回路２１にそれぞれ接続されている。駆動回路６は、制御回路５および第１、第２のモータ１３Ａ,１３Ｂにそれぞれ接続された第１および第２の駆動回路６Ａ,６Ｂからなっている。
　つぎに、本発明の第１実施例の作用を説明する。ロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂにより第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂの回転角度および回転速度が検出され、その検出信号は第１、第２の検出回路３Ａ,３Ｂに入力され、それぞれ電気的な信号に変換されて制御回路５に入力される。これらの入力信号から制御回路５は、第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂ間の回転位相差および回転速度差を求め、また指令回路２１にあらかじめ設定された具体的な回転速度を取入れて第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂへの回転速度指令値を決定する。この指令値に従って第１、第２の駆動回路６Ａ,６Ｂは、第１、第２のモータ１３Ａ,１３Ｂに電流を供給して駆動する。これにより回転速度の速いモータが遅く、回転速度の遅いモータが速くなり、第１、第２のモータ１３Ａ，１３Ｂが同期回転する。」、第４頁左上欄第１２〜１８行「第６図および第７図は本発明の第３実施例に係り、第１の回転軸１０Ａの雄雌スクリューロータ１１Ａ，１２Ａとの間および第２の回転軸１０Ｂの雄雌スクリューロータ１１Ｂ，１２Ｂとの間に互いに噛合し得る同一歯数の無給油式、例えばプラスチック製のタイミングギヤ２３Ａ，２３Ｂが固定されている。」、第４頁右上欄第１〜１１行「雄雌スクリューロータ１１，１２はもちろんタイミングギヤ２３Ａ，２３Ｂも定常状態では非接触で回転するが、停電、部品の破壊、緊急停止などを原因とする急激な加減速によって制御が不可能又は不十分となった場合、本実施例によれば、タイミングギヤ２３Ａ，２３Ｂが雄雌スクリューロータ１１，１２に先立って噛合して同期回転を維持するので、雄雌スクリューロータ１１，１２同志の接触を免れることができ、これにより雄雌スクリューロータ１１，１２の焼付きなどによる破損を防ぐことができる。」、同頁右上欄第１５行〜同頁左下欄第１行「上述のとおり、本発明によれば、雄雌スクリューロータをそれぞれ固定した１組の回転軸に取付けたモータの電気的な制御が容易となり、負荷変動に対しても十分対応することができるので、給油式タイミングギヤによらない同期回転が可能で潤滑油が不要となり、油を全く含まない清浄空気の圧縮が可能となる。」と記載されており、これらの記載と第１〜３、６、７図の記載によれば、刊行物１には、以下のとおりの発明が記載されているものと認められる。
「ケーシング８内に収納された複数個のスクリューロータ１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ及びこれらのスクリューロータのそれぞれに締結された複数個の回転軸１０Ａ、１０Ｂと、これらの回転軸の回転を支持する軸受９と、前記スクリューロータと前記ケーシングにより形成される流体移送室と、前記複数個の回転軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のスクリューロータ間の接触を防止するタイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂと、前記ケーシングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸込口１９Ａ、１９Ｂ及び吐出口２０と、前記複数個の回転軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータ１３Ａ、１３Ｂと、前記複数個のモータを同期制御することにより、前記スクリューロータ及び前記ケーシングで形成される密閉空間の移動を利用して流体の吸入・吐出を行う、油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプにおいて、該モータ１３Ａ、１３Ｂの回転を検知するロータリーエンコーダ１８Ａ、１８Ｂからの信号によって複数個のモータ１３Ａ、１３Ｂの回転を電子制御により同期回転した、油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプ。」
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物２（実願昭６１−８８６５７号（実開昭６２−２００１８８号）のマイクロフィルム）には、第５頁第１１行〜第７頁第１３行「第１図に示した本実施例に係るブロワは、従来と相違して各ロータ(１)，(２)の軸端に個別にモータ(１７)，(１８)を連結させて取付けるとともに、各モータ(１７)，(１８)の軸外端にそれぞれの回転角度を検出する検出器(１９)，(２０)を取付けている。そのため各口一夕(１)，(２)は独立して回転するため従来のようなギヤを必要とせず、ひいてはギヤオイルが不要となって、ギヤオイルのケーシング(３)側への漏れを防止するオイルシールも不要となる。このようにギヤが不要となることから、本実施例ではギヤケースに替えて、閉止坂(２１)によって内部保護を図っている。一方、検出器(１９)，(２０)はモータケース(１３)の端面を境界とした外側に取付けてあり、これら検出器(１９)，(２０)は、カバー(２２)をモータケース(１３)端面に取付けて保護されている。
　以上の構成からも明らかなように、本実施例に係るブロワはギヤ、ギヤオイル及びオイルシールがないためブロワの定期点検の回数を少なくすることができる。そしてギヤに頼っていたロータ(１)，(２)の回転は独立したそれぞれのモータ(１７)，(１８)に依存しているため、これらモータ(１７)，(１８)の同期をとる必要がある。この同期をとる役割を果たすものが検出器(１９)，(２０)である。つまり、各検出器(１７)，(１８)の検出値は、第２図の構成図にも示したように、比較器(２３)に送信され、各信号を受けた比較器(２３)は両検出値を比較して、両者間に偏差があれば、これを一方のモータ、本実施例ではモータ(１７)に送信してこのモータ(１７)の回転数を他方のモータ(１８)の回転数に同期させるように補正する。これを第３図に基づいて具体的に説明すると、一方のロータ(２)が矢示Ｂ方向に回転すると他方のロータ(１)は矢示Ｃ方向に回転することになる。するとある時点でロータ(２)のＤ１点とロータ(１)のＤ２点とが一致しているとこれに続くロータ(２)のＥ１点とロータ(１)のＥ２点とも一致することになるはずであるが、このとき角度Δθだけロータ(１)が遅れていると仮定すれば、この遅れΔθを検出器(１９)，(２０)からの受信信号に基づいて比較器(２３)によって算出して、この角度Δθだけロータ(１)を進ませるように比較器(２３)が指令を出して両ロータ(１)，(２)を同期させるよう補正をする。」と記載されており、この記載と第１、３図の記載によれば、刊行物２には、以下のとおりの技術が記載されているものと認められる。
ａ．モータ１７、１８をロータ１、２に対して軸４、５の同一側の位置に並列配置する技術。
ｂ．モータの固定子であるモータステータをモータケース１３（ハウジングに相当する）内に収納し、かつ前記モータステータの外径はロータ１、２の外径よりも径小とする技術。
　
　刊行物３（米国特許第４，７４７，７６２号明細書）には、第３欄第１２〜１７行「The shafts 16 and 22 are constrained to rotate in a 1:1 relationship in opposite  directions by means of intermeshing gears 28 and 30 mounted on the shafts 16 and 22      respectively. In the illustrated arrangement the gears 28 and 30 are within the casing and are  bolted or screwed to the respective  rotors 8 and 10.」、第５欄第１９〜２３行「In  the embodiment shown in FIGS.8 and 9,the first rotor 8 is molded integrally with gear 28 as a unitary molding of a suitable plastics. The second rotor 10 is likewise molded integrally   with gear 30 as a unitary molding of a suitable  plastics.」と記載されており、これらの記載、及び第２、７、８図の記載によれば、刊行物３には、ギヤ２８、３０をロータ８、１０に直接締結して、作動室６内に配置する技術が記載されているものと認められる。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物４（特開平１−２７７６９８号公報）には、第２頁右下欄第１〜８行「上記ターボ分子ポンプ１は、本体ケーシング２内に配置したモータ３によってロータシャフト４を回転駆動し、これによってターボ翼５を回転駆動し、吸気口６からの吸気を排気口７から排気する構造のものである。上記ロータシャフト４は、その上下両部において磁気軸受８、９によって径方向支持がなされており、下端部近傍に設けた磁気軸受１０によって軸方向支持がなされている。」と記載されており、この記載と第１図の記載によれば、刊行物４には、以下のとおりの技術が記載されているものと認められる。
ａ．ロータシャフト４の端部にロータを締結するとともに、ロータシャフト４を片持ち支持構造とする技術。
ｂ．ロータの内面において、ケーシング２とロータシャフト４との間に、このロータシャフト４を支持する軸受けの一部を設ける技術。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物５（特開平２−２８３８９０号公報）には、第２頁左下欄第３〜７行「主軸１及び従軸２の右側の自由端側には樹脂で製造された右螺旋のスクリューロータ４と左螺旋のスクリューロータ５がキー６，７を介してナット１４により締付け固定されている。」と記載されており、この記載と第１図の記載によれば、刊行物５には、主軸１、従軸２の端部にスクリューロータ４、５を締結するとともに、両軸を片持ち支持構造とする技術が記載されているものと認められる。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物６（日本真空協会　昭和６２年２月研究例会　主題『ドライ真空ポンプの現状と将来』　予稿集（昭和６２年２月２７日）、ｐ．２５−３１）の「４−２．排気原理」の項、及び図５、６の記載によれば、刊行物６には、真空ポンプを、ねじ溝式とする技術が記載されているものと認められる。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物７（特開平２−２８３８９８号公報）には、第２頁左上欄第１５行〜同頁右上欄第１２行「回転筒Ａ４の回転軸Ａ９は、軸受１０、軸受１１で支持されている。また、前記回転軸Ａ９には、モータの回転子１２が設けられ、該回転子１２対向面には、ベース１３に組み込まれた固定子１４が、設置されている。回転軸Ｂ１５も回転軸Ａ９と同様に、軸受１６、軸受１７（図略）で支持されているが、回転筒Ｂ７側にはモータを備えていない。回転軸Ａ９の下端には、ギヤＡ１８を装着し、回転軸Ｂ１５下端にはギヤＣ２２を介して、ギヤＡ１８と同方向、同回転数となるギヤＢ１９を装着している。静止筒１の上端開口部は、吸込口２０で、この先に排気すべき装置が接続し、気体は、吸込口２０より下方に押出され吐出口２１より排気される。上記構成の分子ポンプにおいて、まず、吐出口２１に油回転ポンプ等の補助ポンプを接続して駆動し、ねじ溝分子ポンプ本体内の圧力が、分子流領域になるまで粗引きした後、本体を駆動する。」と記載されており、この記載と第１、５図の記載によれば、刊行物５には、以下のとおりの技術が記載されているものと認められる。
ａ．回転軸Ａ９の端部に回転筒Ａ４を締結するとともに、回転軸Ａ９を片持ち支持構造とする技術。
ｂ．回転筒Ａ４の内面において、ベース１３と回転軸Ａ９との間に、この回転軸Ａ９を支持する軸受１１を設ける技術。
ｃ．真空ポンプをねじ溝式とする技術。
　
ウ．請求項７に関して
  本件請求項７に係る発明と、上記刊行物１記載の発明とを対比すると、上記刊行物１記載の発明における「ケーシング８」、「スクリューロータ１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ」、「回転軸１０Ａ、１０Ｂ」、「タイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂ」、「吸込口１９Ａ、１９Ｂ」、「モータ１３Ａ、１３Ｂの回転を検知するロータリーエンコーダ１８Ａ、１８Ｂ」、「同期回転」は、それぞれ本件請求項７に係る発明における「ハウジング」、「ロータ」、「軸」、「接触防止ギヤ」、「吸気口」、「モータの回転を検知する検出手段」、「同期運転」に相当する。また、真空ポンプの技術分野において、一般に「ドライ」という用語は、油等のシールあるいは潤滑用の液を用いないことを意味することは周知である。そして、刊行物１の第４頁右上欄第２０行〜同頁左下欄第１行に「油を全く含まない清浄空気の圧縮が可能となる。」の記載からみて、刊行物１記載の発明においても、油等のシールあるいは潤滑用の液を用いていないことは、当業者にとって明らかである。してみると、刊行物１記載の発明における「油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプ」は、本件請求項７に係る発明における「ドライ真空ポンプ」に相当する。
　したがって、本件請求項７に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は、「ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに締結された複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸気口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、前記複数個のモータを同期制御することにより、前記ロータ及び前記ハウジングで形成される密閉空間の移動を利用して流体の吸入・吐出を行うドライ真空ポンプにおいて、モータの回転を検知する検出手段と、この検出手段からの信号によって複数個のモータの回転を電子制御により同期運転したドライ真空ポンプ。」である点で一致し、本件請求項７に係る発明では、前記複数個のモータが「前記ロータに対して前記軸の同一側の位置に並列配置され」ているのに対し、上記刊行物１記載の発明では、複数個のモータは、そのように配置されていない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物２には、モータ１７、１８をロータ１、２に対して軸４、５の同一側の位置に並列配置する技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物２に記載される技術とは、回転式気体ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物２に記載される技術を適用して、本件請求項７に係る発明のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項７に係る発明は上記刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項７に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
エ．請求項１に関して
　本件請求項１に係る発明は、本件請求項７に係る発明の上位概念に相当するので、上記「ウ．請求項７に関して」の項で検討した理由と同様の理由で、上記刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
オ．請求項２に関して
　本件請求項２に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項７に関して」において検討した相違点の他、本件請求項２に係る発明において、接触防止ギヤが複数個のロータのそれぞれに直接締結されて、流体移送室に配置されているのに対し、上記刊行物１記載の発明では、複数個のスクリューロータ間の接触を防止するタイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂは、流体移送室には配置されていない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物３には、ギヤ２８、３０をロータ８、１０に直接締結して、作動室６内に配置する技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物３に記載される技術とは、回転式流体機械という同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物３に記載される技術を適用して、本件請求項２に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項２に係る発明は上記刊行物１、２、３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
カ．請求項３に関して
  本件請求項３に係る発明における「軸は片持ち支持構造である」構成は、本件特許公報第５欄第２８〜３０行「また前記ロータを回転軸の端面で締結し、かつこのロータの吸気口側に軸受（前記回転軸の支持部）を有しない片持ち構造にすれば、ポンプ内で移送される気体が軸受部に晒されないため、クリーン排気ができポンプのドライ化が容易となる。」の記載によれば、ロータの吸気口側に軸受を有しない構成を意味しているものと認められる。
　そして、本件請求項３に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項７に関して」において検討した相違点の他、本件請求項３に係る発明において、流体移送室内で軸の端部にロータが締結されており、かつ前記軸は片持ち支持構造であるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、回転軸１０Ａ、１０Ｂは、片持ち支持構造ではない点で相違する。この相違点について検討すると、上記刊行物４、５、７には、流体移送室内で軸の端部にロータを締結するとともに、前記軸を片持ち支持構造とする技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物４、５、７に記載される技術とは、真空ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物４、５、７に記載される技術を適用して、本件請求項３に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項３に係る発明は上記刊行物１、２、４、５、７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項３に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
キ．請求項４に関して
　本件請求項４に係る発明における「複数個のモータはロータに対して概略同一位置に配置され」る構成は、本件公報第９欄第３０〜３２行「各モータを各ロータに対して同一位置に配置すれば、いずれの回転軸も軸長を同一にしてかつ短く出来るため高速化に有利となる。」の記載、及び第１図の記載によれば、複数個のモータと各モータに対応するロータとの相対的位置関係を概略同一とする構成を意味しているものと認められる。
　そして、本件請求項４に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項７に関して」において検討した相違点の他、本件請求項４に係る発明において、複数個のモータはロータに対して概略同一位置に配置されているのに対し、上記刊行物１記載の発明では、複数個のモータは、そのように配置されているかどうか明らかでない点で相違する。
  この相違点について検討すると、上記刊行物２には、モータ１７、１８をロータ１、２に対して軸４、５の同一側の位置に並列配置する技術、換言すれば、２個のモータ１７、１８をロータ１、２に対して概略同一位置に配置する技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物２に記載される技術とは、回転式気体ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物２に記載される技術を適用して、本件請求項４に係る発明のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項４に係る発明は上記刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
ク．請求項５に関して
　本件請求項５に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項７に関して」において検討した相違点の他、本件請求項５に係る発明において、モータの固定子であるモータステータがハウジング内に収納されて、かつ前記モータステータの外径はロータの外径よりも径小であるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、そのようには構成されていない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物２には、モータの固定子であるモータステータをハウジング内に収納し、かつ前記モータステータの外径はロータの外径よりも径小とする技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物２に記載される技術とは、回転式気体ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物２に記載される技術を適用して、本件請求項５に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項５に係る発明は上記刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
ケ．請求項６に関して
　本件請求項６に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項７に関して」において検討した相違点の他、本件請求項６に係る発明において、ロータの内面において、ハウジングと軸との間にこの軸を支持する軸受けの一部が設けられているのに対し、上記刊行物１記載の発明では、軸受９は、そのように配置されていない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物４、７には、ロータの内面において、ハウジングと軸との間にこの軸を支持する軸受けの一部を設ける技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物４、７に記載される技術とは、真空ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物４、７に記載される技術を適用して、本件請求項６に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項６に係る発明は上記刊行物１、２、４、７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項６に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
コ．請求項８に関して
　本件請求項８に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項７に関して」において検討した相違点の他、本件請求項８に係る発明において、真空ポンプはねじ溝式であるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、スクリュー式であり、ねじ溝式と認められるものの、表現上で相違する。この点についてさらに検討するに、上記刊行物６、７には、真空ポンプを、ねじ溝式とする技術が明記されているので、上記刊行物１に記載される発明における真空ポンプをねじ溝式とすることは、当業者が設計において適宜行う程度のことであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項８に係る発明は上記刊行物１、２、６、７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項８に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
サ．むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１〜８に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月２８日（２００１．５．２８）
【訂正の要旨】
　（訂正の要旨）
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１〜８の「真空ポンプ」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　上記訂正事項ａに伴って、発明の詳細な説明及び図面の簡単な説明の記載を、特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の「真空ポンプ」（同公報第２頁左欄第９行、同第２頁右欄第３８〜３９行、同第３頁左欄第４９行、同第３頁右欄第１行、同第３頁右欄第５０行、同第４頁右欄第３１行、同第５頁右欄第２９行、及び同第５頁右欄第３８行参照）を、「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
真空ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
（１）ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに締結された複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸気口及び吐出口と、前記ロータに対して前記軸の同一側の位置に並列配置され、かつ前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、前記複数個のモータを同期制御することにより、前記ロータ及び前記ハウジングで形成される密閉空間の移動を利用して流体の吸入・吐出を行うことを特徴とした
ドライ真空ポンプ
（２）接触防止ギヤが前記複数個のロータのそれぞれに直接締結されて、前記流体移送室に配置されていることを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ
（３）流体移送室内で前記軸の端部に前記ロータが締結されており、かつ前記軸は片持ち支持構造であることを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ
（４）複数個のモータはロータに対して概略同一位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ
（５）複数個のモータの固定子であるモータステータがハウジング内に収納されて、かつ前記モータステータの外径はロータの外径よりも径小であることを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ
（６）ロータの内面において、ハウジングと前記軸の間にこの軸を支持する軸受の一部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ
（７）モータの回転を検知する検出手段と、この検出手段からの信号によって複数個のモータの回転を電子制御により同期運転したことを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ
（８）真空ポンプは、ねじ溝式であることを特徴とする請求項１記載の
ドライ真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
　産業上の利用分野
　本発明は、半導体製造設備等に用いられる
ドライ真空ポンプ
　従来の技術
　半導体の製造プロセスにおけるＣＶＤ装置、ドライエッチング装置、スパッタ装置などには、真空環境を作り出すための真空ポンプが不可欠である。この真空ポンプに対する要望は、半導体プロセスの高集積化、微細化に対応するため、近年ますます高度になってきており、その主な内容は、高い真空到達圧が得られること、クリーンであること、メンテナンスが容易なこと、小型・コンパクトであること等である。以上の半導体設備の真空排気系の要請に応えるため、従来から用いられていた油回転ポンプに代わり、より清浄な真空を得ることを目的として、粗引き用のドライ真空ポンプが広く用いられるようになっている。
　第１１図は、従来の容積型真空ポンプ（粗引きポンプ）の一種であるねじ溝式（スクリュー式の一種）のドライ真空ポンプを示すものである。同図において、１０１はハウジング、１０２は第１回転軸、１０３は第２回転軸、１０４と１０５はそれぞれ回転軸１０２、１０３に締結された筒型ロータである。この真空ポンプは、ハウジング１０１内に第１回転軸１０２と第２回転軸１０３が平行に配置され、その軸上に前記ロータ１０４と１０５を備えている。それぞれのロータ１０４と１０５の外周部には、ねじ溝１０６と１０７が形成されていて、自ら（１０６または１０７）の凹部（溝）を相手（１０７または１０６）の凸部（山）と噛み合わせることにより、両者の間で密閉空間を作り出している。ロータ１０４と１０５が回転すると、その回転に伴い、前記密閉空間が吸入側から吐出側へ移動して吸入作用と吐出作用を行うのである。
　さて、同図のねじ溝式の真空ポンプでは、２個のロータ１０４、１０５の同期回転はタイミングギヤ１１０ａ、１１０ｂの働きによっている。すなわち、モータ１０８の回転は、駆動ギヤ１０９ａから中間ギヤ１０９ｂに伝達され、両ロータ１０４、１０５の軸に設けられて互いに噛み合っているタイミングギヤの一方１１０ｂに伝達される。両ロータ１０４、１０５の回転角の位相は、これら２個のタイミングギヤ１１０ａ、１１０ｂの噛み合いにより調節されている。また１１３ａ、ｂ及び１１４ａ、ｂは、第１回転軸１０２、第２回転軸１０３を支持するころがり軸受である。
　駆動ギヤ１０９ｂの端部にはオイルポンプ１１５が組み込まれている。潤滑のためのオイル１１７は、ポンプ最下部のオイルパン１１６からオイルポンプ１１５により吸い込まれ、オイルフィルターを経由して、前記軸受と前記ギヤに供給されている。このオイルがねじ溝ロータ１０４、１０５を収納する流体移送室１２０に侵入しないように、両室間にメカニカルシールが設けられている。
　発明が解決しようとする課題
　しかしながら前述した粗引き用のドライ真空ポンプには、▲１▼動力伝達と同期回転のために多数のギヤを必要とし、部品点数が多く構成が複雑である。▲２▼ギヤを用いた接触型の同期回転であるため、モータの高速化ができず、装置が大型化する、等の問題があった。
　近年の半導体プロセスの複合化に伴い、複数個の真空チャンバーを独立させて真空排気する、いわゆるマルチチャンバー方式が半導体加工設備の主流を占めるようになっている。このマルチチャンバー化に対応するためには、チャンバー１つ１つにドライ真空ポンプを中心に据えた真空排気システムを必要とする。しかしこのような真空排気システムをすべてのチャンバーに対して適用すると、真空排気系の装置全体が大型化・複雑化してしまうという問題点があった。
　半導体工場では、通常１ライン当たりに２００〜３００台の真空ポンプを必要とする。
　昨今のドライ化の要請に応えるために、従来の油回転ポンプと比べて、寸法・形状が大型化したドライ真空ポンプを採用した場合、新工場全体での設置スペースの増大が大きな課題となった。
　また新工場にドライ真空ポンプを採用するのではなく、従来の工場現場でのメンテナンス性を改善するために、以前から用いていた油ポンプをドライポンプに置き換えようとした場合、従来の油ポンプ用に設計された設備では、ドライ真空ポンプは搭載できないという問題が生じた。
　これらの要請に応えるために、本発明は、構成がシンプルで、クリーンかつ高い基本性能を持つと共に、大幅な小型化・省スペース化が図れる真空ポンプを提供することを目的とする。
　課題を解決するための手段
　上記目的を達成するため、この発明にかかる
ドライ真空ポンプは
　作用
　容積式ポンプを構成する各ロータを、それぞれ独立したモータで同期運転することにより、従来のタイミングギヤを用いたロータ間の大きなトルク伝達が不要となる。その結果、ポンプの高速化を妨げていた課題の一つが解消される。
　さて真空ポンプの動力はトルクと回転数の積であり、回転数が上がるとトルクが小さくて済む。したがってポンプの高速化が図れれば、トルクの低減によりモータを小型化できる。さらに個々のロータ（気体を輸送するポンプ部分）を互いに独立したモータで駆動すれば、個々のモータに必要なトルクはさらに小さくなる。
　ここで複数個のモータを用いた同期運転により、従来数千回転ｒｐｍが限界だったドライポンプの回転数を、たとえば１万〜数万ｒｐｍまで上げれば、前記モータの外径を前記ロータ（気体を輸送するポンプ部分）よりも径小にできることに着目する。この径小のモータを、前記複数個のロータの同一側（真下）に並列配置することにより、従来のモータの設置に必要だったスペースが不要となるため、真空ポンプ全体の大幅なコンパクト化とスペース化が可能となる。
　また、接触防止ギヤを複数個の軸にそれぞれ設けているため、両軸の同期がずれた場合でも、ロータのネジ溝同士の接触に先立って、接触防止ギヤ同士が接触する事により、ロータのネジ溝同士の接触、衝突を防止できる。
　また前記ロータを回転軸の端面で締結し、かつこのロータの吸気口側に軸受（前記回転軸の支持部）を有しない片持ち構造にすれば、ポンプ内で移送される気体が軸受部に晒されないため、クリーン排気ができポンプのドライ化が容易となる。
　前記ロータの内面に位置する個所に、ラジアル軸受の一部が設けられた構造にすれば、片持ち支持におけるオーバーハングの距離が短くなるため、高速時の動的安定性はさらに向上する。
　また各ロータの回転数、回転角を検知する検出手段を設け、この検出手段からの信号によって各ロータを電子制御を用いて非接触で同期回転させれば、従来のタイミングギヤを用いた機械的摺動を伴うトルク伝達が不要となる。その結果、オイル潤滑が必要だったタイミングギヤ部を省略できるため、さらなる高速化がはかれる。
　上記電子制御を用いた非接触同期運転により、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤを、ロータが収納されている流体移送室内でそれぞれのロータに直接締結すれば、回転軸の軸長を短くできるため、高速化を図る上で一層有利となる。
　実施例
　第１図は、この発明にかかる容積式
ドライ真空ポンプ
　この
ドライ真空ポンプ
　第１回転軸２と第２回転軸３は、非接触の静圧軸受で支持されている。両回転軸に設けられた円盤状のスラスト軸受１２、１３と対向する固定側に、オリフィス１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂが設けられている。１６、１７は上部ラジアル軸受の回転側、１８、１９は下部ラジアル軸受の回転側である。前記スラスト軸受同様に、これらのラジアル軸受面と対向する固定側にも、それぞれにオリフィス２０〜２３が設けられている。
　なお前記上部ラジアル軸受１６及び１７は、筒状に形成された前記ロータの内部空間を利用して配置されており、大きな慣性負荷を有する前記ロータ６、７を支持する上で有利な構成となっている。
　上述したオリフィスには、外部から高圧の圧縮気体が吸気孔２４を経て供給される。ここで圧縮気体として、半導体工場等で常備されているクリーンな窒素ガスを用いれば、前記モータ等が収納された前記第１、第２軸受室４、５に繋がる内部空間２５、２６内の圧力を大気圧よりも高くすることができる。そのため、腐食性があり堆積物を生じ易い反応性ガスの内部空間２５、２６内への侵入を防止することができる。
　回転軸を支持する軸受は、前記静圧軸受以外では、たとえば磁気軸受でもよい。この場合でも、前記静圧軸受同様に高速回転が容易で、完全オイルフリーな構成となる。軸受に玉軸受を用いて、かつその潤滑のために潤滑油を用いる場合は、窒素ガスを用いたガスパージ機構により、前記流体作動室への潤滑油の侵入を防ぐことができる。
　２７ａ、２８ａはＡＣサーボモータの回転軸であるモータロータ、２７ｂ、２８ｂは固定側であるモータステータである。本真空ポンプでは、モータステータ２７ｂ、２８ｂの外径：Ｄｍをロータ６、７の外径：Ｄｒよりも十分小さくして、ロータ６、７の同一側（共に真下）に並列配置している。モータとロータを同軸上に配置したこの構成により、従来のドライ真空ポンプ（第１１図）の場合と比べて、大幅な省スペース化が実現できる。
　また実施例の
ドライ真空ポンプ
　第１回転軸２、第２回転軸３は、ＡＣサーボモータ２７、２８により、実施例では数万ｒｐｍの高速で回転する。両軸の回転信号は、前記吸気口側とは反対側の各回転軸２、３の下端部に設けられたロータリエンコーダ３１、３２により検出される。
　さて本実施例における２つの回転軸の同期制御は、第３図のブロック図で示す方法を用いた。すなわち、ロータリエンコーダ３１、３２からの出力パルスは、仮想の回転ロータを想定して設定された設定司令パルス（目標値）と照合される。目標値と各エンコーダー３１、３２からの出力値（回転数、回転角度）との間の偏差は、位相差カウンターにより演算処理され、この偏差を消去するように各軸の前記サーボモータの回転が制御される。
　ロータリエンコーダとしては、磁気式エンコーダや一般的な光学式エンコーダでもよいが、実施例ではレーザ光の回折・干渉を利用した高分解能でかつ高速の応答性を持つレーザ式エンコーダを用いた。第４図にそのレーザ式エンコーダの一例を示す。
　同図において、９１は多数のスリットが円周上に沿って形成された移動スリット盤であって、回転軸２、３とともに回転する。９３は移動スリット盤９１に対面する個所に配置された扇形の固定スリット盤である。レーザダイオード９４から出たレーザ光は、コリメータレンズ９５を経て、前記両スリット盤９１、９３の各スリットを通過して、受光素子９６に受光される。
　なお、実施例では、ロータ６、７は回転軸２、３の端面で締結されており、かつこのロータの吸気口側に軸受を有しない片持ち構造になっている。そのため吸気口１０から流入した気体は、ポンプ外に吐出されるまで前記軸受部に晒されないため、ドライポンプとしてクリーン排気ができる。
　慣性負荷の大きな前記ロータを端部に有する回転軸を、ドライ化のために片持ち支持したときの高速回転時の動的安定性（振れ回りに対する安定性）が懸念される。しかし本発明では、径小モータが回転軸にダイレクトにビルトインされた形で、回転軸を直接駆動できるため、動的安定性の点で有利である。すなわち実施例の真空ポンプは、互いに機械的に干渉しない２つの単軸スピンドルが並列に配置されたものと考えてよく、従来の単軸で片持ち支持構造のターボ分子ポンプが数万回転の高速化を図ることができるように、基本的に高速化に有利である。
　なお、実施例の真空ポンプでは、ロータの外周部にねじ溝を備えたスクリュー式の一種であるねじ溝式を採用した。ねじ溝型ロータは、回転中心軸に垂直な断面が比較的円形に近く、外周部の近くまで空洞にすることができ、そのためロータの内部空間が大きくとれる。この内部空間を実施例のごとく軸受部を収納する等の利用をすれば、片持ち支持構造であっても回転軸の軸長を短くできるためポンプの高速化に有利となる。すなわち複数モータによる同期制御の特徴（高速化）を活かし、かつクリーン化を図る上で有利な構成となる。
　接触防止ギヤ２９、３０の互いに噛み合う部分の隙間（バックラッシュ）δ２は、両ロータ６、７に形成されたねじ溝８、９同士が噛み合う部分の隙間（バックラッシュ）δ１よりも小さくなるように設計されている。そのため、接触防止ギヤ２９、３０は、両回転軸２、３の同期回転が円滑に行われているときは互いに接触することはない。万一、この同期がずれたときは、ねじ溝８、９同士の接触に先立って、ギヤ２９、３０同士が接触することにより、ねじ溝８、９の接触・衝突を防止する働きをする。このとき、バックラッシュδ１、δ２が微小であると、部材の加工精度が実用的なレベルで得られないという点が懸念される。しかし、ポンプの一行程中の流体の漏れ総量は、ポンプの一行程に要する時間に比例するため、非接触同期制御により高速回転が図れる実施例の真空ポンプでは、ねじ溝８、９間のバックラッシュδ１を少々大きくしても充分に真空ポンプの性能（到達真空圧など）を維持できる。そのため、実用レベルの通常の加工精度で、ねじ溝８、９の衝突防止に必要なバックラッシュδ１、δ２の寸法を確保できる。
　第５図は、この発明にかかる
ドライ真空ポンプ
　また、ロータ６２の同軸上で、前記容積式真空ポンプ構造部分Ａから離れた上流側のロータ外周面に、ねじ溝６５が形成されており、このねじ溝６５とハウジング６４により、運動量移送式構造部分Ｂを構成している。ねじ溝６５とハウジング６４の微小な間隙部にある気体分子は、ロータ６２の高速回転により回転運動量を与えられて、前記構造部分Ａに輸送される。
　前記運動量移送式構造部分Ｂに形成したねじ溝６５の代わりに、タービン翼を形成しハウジング１の内周部にも形成したタービン翼と噛み合う構成でもよい。真空ポンプを上述したように構成すれば、真空圧の作動領域をさらに広げることができる。
　本発明は流体回転装置として、たとえば、空調用のコンプレッサ等にも適用できる。また回転部のロータ２００の形態としては、ルーツ型（第６図）、歯車型（第７図）、単ローベ型（第８図（ａ））、複ローベ型（第８図（ｂ））、ネジ型（第９図）、外円周ピストン型（第１０図）等であってもよい。
　発明の効果
　容積式真空ポンプを構成する各ロータを、それぞれ独立したモータで高速同期運転させる。モータの高速化（たとえば１万ｒｐｍ以上）を図れば、同一動力のままでモータの外径を径小化できることに注目し、ロータに対して同一軸（各ロータの真下）に各モータを並列配置する。その結果、大幅な省スペース化（たとえば従来比１／２以下）を図った容積式真空ポンプが実現できる。
　従来の真空ポンプ（第１１図）の場合、回転数はせいぜい数千ｒｐｍの低速回転のために、モータの外径：Ｄｍは各ロータの外径：Ｄｒよりもはるかに大きく、たとえモータを２個用いても、各ロータの同一方向（共に真下）にモータを配置することは困難であった。本発明では、従来必要だったモータの設置スペースが不要となり、ポンプ本体の大幅なコンパクト化が図れる。
　また、接触防止ギヤを複数個の軸にそれぞれ設けているため、両軸の同期がずれた場合でも、ロータのネジ溝同士の接触に先立って、接触防止ギヤ同士が接触する事により、ロータのネジ溝同士の接触、衝突を防止できる。
　また前記ロータを流体移送室内で回転軸の端面で締結し、かつこのロータの吸気口側に軸受を有しない片持ち構造にすれば、吸入口から流入した気体がポンプ外に吐出されるまで軸受に晒されないため、クリーン排気ができポンプのドライ化が容易となる。
　さらに以下述べるような工夫を施せば、真空ポンプのさらなる高速化が図れる。各モータを各ロータに対して同一位置に配置すれば、いずれの回転軸も軸長を同一にしてかつ短く出来るため高速化に有利となる。
　前記ロータの内面に位置する個所に、ラジアル軸受の一部が設けられた構造にすれば、片持ち支持におけるオーバーハング（支持点とロータ重心までの距離）が短くなるため、高速時の動的安定性はさらに向上する。
　また各ロータの回転数、回転角を検知する検出手段を設け、この検出手段からの信号によって各ロータを電子制御を用いて非接触で同期運転させれば、従来のタイミングギヤを用いた機械的摺動を伴うトルク伝達が不要となる。その結果、オイル潤滑が必要だったタイミングギヤ部を省略できるため、さらなる高速化がはかれる。
　この場合、ロータ間の接触を防止する接触防止ギヤの油潤滑が不要であることを利用して、前記ロータが収納されている流体移送室内で、上記ギヤをそれぞれのロータに直接締結する。従来真空ポンプ（第１１図）のように、タイミングギヤを各ロータと分離して配置した場合、前記ギヤと回転軸の締結強度を得るために、ギヤの厚み：ｈを十分に大きくとらねばならないが、本真空ポンプでは必要最低限の厚み（第１図ｂのｈ）でよい。その効果として回転軸の軸長を短くできるため、高速化を図る上で一層有利となる。
　本発明によって前記ロータの高速化が図れる効果は、ポンプ本体のコンパクト化だけではない。ポンプ内部の気体の内部リークの大きさは、ポンプの一行程に要する時間に比例する。回転数が高い程、一行程に要する時間が短くなるために内部リークによる損失が低減する。すなわち本発明の適用によりコンパクト化の特徴に加えて、真空ポンプの基本性能（真空到達圧等）の飛躍的な向上が図れるのである。
　この発明を適用する真空ポンプとして、ロータの外周部にねじ溝を備えたものにすると、ねじ溝型ロータは、ギヤ型、ルーツ型、ローべ型のような凹凸の振幅が大きい異形ロータとは異なり、回転中心軸に垂直な断面が比較的円形に近く、外周部の近くまで空洞にすることができる。そのため内部空間が大きくとれて、ここを実施例のごとく軸受部を収納する等の利用ができ、ポンプの高速化と小型化を大いに図ることができるようになる
【図面の簡単な説明】
　第１図（ａ）はこの発明にかかる容積式
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
　１…ハウジング、２、３…軸、６、７…ロータ、１０…吸気口、１１…吐出口、２７、２８…モータ、５０…流体移送室