【事件の表示】
　特許第３１７８３６３号「強誘電体薄膜形成剤」の請求項１、２、４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１７８３６３号の請求項１、２、４に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］手続の経緯
　本件特許第３１７８３６３号の手続の経緯は、次のとおりである。
　出願日　　　　　平成　９年　１月１４日
　設定登録　　　　平成１３年　４月１３日
　公報発行　　　　平成１３年　６月１８日
　特許異議申立　　平成１３年１２月１７日
　取消理由通知　　平成１４年　３月１２日付
　訂正請求　　　　平成１４年　５月２０日
　特許異議意見書　平成１４年　５月２０日
［２］訂正の適否についての判断
　ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１，２中の「該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いた」の記載部分を、
「該有機溶媒として、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いた」と訂正する。
　訂正事項ｂ
　原明細書の【０００８】中の「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
　［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ｘＢｉ１−ｘ］Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０＜ｍ≦０．３、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
又は、
　｛（Ｓｒ１−ｎＲｎ）ｘＢｉ１−ｘ｝Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、ＲはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素を示し、０＜ｎ≦０．１、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。」の記載を
「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
［１］（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、又は
［２］［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ｘＢｉ１−ｘ］Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０＜ｍ≦０．３、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、
　（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
　（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
　（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。
　また、本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
［３］｛（Ｓｒ１−ｎＲｎ）ｘＢｉ１−ｘ｝Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、ＲはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素を示し、０＜ｎ≦０．１、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。」と訂正する。
　訂正事項ｃ
　原明細書【０００９】中の「本発明に従って、有機溶媒として１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いることにより、有機金属化合物の種類に関わりなく、ストリエーションのない均質な塗膜を形成して、高特性強誘電体薄膜を製造することができる。」の記載を、
「本発明に従って、有機溶媒として上記特定の溶媒を用いることにより、有機金属化合物の種類に関わりなく、ストリエーションのない均質な塗膜を形成して、高特性強誘電体薄膜を製造することができる。」と訂正する。
　訂正事項ｄ
　原明細書の【００１２】中の「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いることを特徴とする。」の記載を、
「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、前記［１］，［２］の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤にあっては、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、
　（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
　（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
　（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用い、前記［３］の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤にあっては、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いることを特徴とする。」と訂正する。
　訂正事項ｅ
　原明細書の【００２７】中の「実施例１〜１０２」の記載を、「実施例１〜８６」と訂正する。
　訂正事項ｆ
　原明細書の【００２８】中の「実施例１〜１７」の記載を、「実施例１〜１３』と訂正する。
　訂正事項ｇ
　原明細書の【００３２】中の【表１】の「実施例１〜４」を削除
し、「実施例５〜１７」の記載を、それぞれ「実施例１〜１３」と訂正する。
　訂正事項ｈ
　原明細書の【００３３】及び【００３７】中の「実施例１８〜３４」の記載を、それぞれ「実施例１４〜２６」と訂正する
　訂正事項ｉ
　原明細書の【００３８】中の【表２】の「実施例１８〜２１」を削除し、「実施例２２〜３４」の記載を、それぞれ「実施例１４〜２６」と訂正する。
　訂正事項ｊ
　原明細書の【００３９】中の「実施例３５〜５１」の記載を、「実施例２７〜３９」と訂正する。
　訂正事項ｋ
　原明細書の【００４３】中の【表３】の「実施例３５〜３８」を削除し、「実施例３９〜５１」をそれぞれ『実施例２７〜３９』と訂正する。
　訂正事項ｌ
　原明細書の【００４４】及び【００４８】中の「実施例５２〜６８」の記載を、それぞれ「実施例４０〜５２」と訂正する
　訂正事項ｍ
　原明細書の【００４９】中の【表４】の「実施例５２〜５５」を削除し、「実施例５６〜６８」の記載を、それぞれ「実施例４０〜５２」と訂正する。
　訂正事項ｎ
　原明細書の【００５０】及び【００５４】中の「実施例６９〜８５」の記載を、それぞれ「実施例５３〜６９」と訂正する。
　訂正事項ｏ
　原明細書の【００５５】中の【表５】の「実施例６９〜８５」の記載を、それぞれ「実施例５３〜６９」と訂正する。
　訂正事項ｐ
　原明細書の【００５６】及び【００６０】中の「実施例８６〜１０２」の記載を、それぞれ「実施例７０〜８６」と訂正する。
　訂正事項ｑ
　原明細書の【００６１】中の【表６】の「実施例８６〜１０２」の記載を、それぞれ「実施例７０〜８６」と訂正する。
（なお、上記訂正事項ｂ、ｄ中の○中に数字がある記載は、［］中に数字がある記載で表してある。）
　イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１，２において、有機溶媒として「１−アルコキシ−２−プロパノール」を単独で用いる場合を削除して、用いる有機溶媒が
「（１）１−アルコキシ−２−プロパノールの力ルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールの力ルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒」であることを明確にして限定するものであって、本件特許明細書の【００１６】中の「本発明において、有機溶媒として、これらの３種類の溶媒の２種以上の混合溶媒を用いる場合、その混合割合には特に制限はなく、任意の混合比を採用することができる。」の記載内容及び【００３２】の【表１】、【００３８】の【表２】、【００４３】の【表３】、【００４９】の【表４】における混合溶媒※１〜※３の記載内容に基づくものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、かつ新規事項を追加するものでも実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　上記訂正事項ｂ〜ｑは、上記訂正事項ａに整合させて明細書中の記載を訂正するものにすぎないから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、かつ新規事項を追加するものでも実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　ウ．訂正の適否についての結論
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項で準用する第１２６条第２項から第３項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
［３］特許異議申立についての判断
　ア．本件発明
　本件請求項１、２、４に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１、２、４（以下、「本件発明１、２、４」という）に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする強誘電体薄膜形成剤。
【請求項２】　有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ｘＢｉ１−ｘ］Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０＜ｍ≦０．３，０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする強誘電体薄膜形成剤。
【請求項４】　請求項１ないし３のいずれか１項において、１−アルコキシ−２−プロパノールが１−エトキシ−２−プロパノールであり、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステルが１−エトキシ−２−アセトキシプロパンであり、Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルがヘキサン酸エチルであることを特徴とする強誘電体薄膜形成剤。
　イ．特許異議申立理由及び取消理由の概要
　本件発明に対して、特許異議申立人東京応化工業（株）は、甲第１号証〜甲第３号証及び参考資料１（以下、「甲１」〜「甲３」及び「参１」という）を挙示し、本件発明１は、甲１：「Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．」Ｖｏｌ．３５，ｐｐ．４９４６−４９５１（１９９６年９月）に記載された発明であるから、本件発明１に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであり（以下、「取消理由１」という）、また、本件発明２は、上記甲１及び甲２：特表平７−５０２１４９号公報に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、本件発明２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり（以下、「取消理由２」という）、また、本件発明１及び４は、甲３：特願平８−１２２５６５号（特開平９−２８６６１９号）の願書に最初に添付した明細書に記載された発明（以下、「先願発明」という）と同一であり、両出願の出願人は互いに同一ではなく、また、両発明の発明者は互いに同一ではないから、本件発明１及び４に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり（以下、「取消理由３」という）、取り消されるべきものである。
　ウ．甲号証に記載の事項
　甲１には、「ＣＬＤ（＝Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｌｉｑｕｉｄ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法によるＳｒ０．７Ｂｉ２．３Ｔａ２Ｏ９＋α薄膜の結晶化」について記載されていて、
（１−１）「炭素数４以下のアルコキシドを含むＣＬＤ型溶液を原材料として用いることによって、結晶化温度を低温化し、表面モルホロジーが向上した、強誘電体メモリデバイス用のＳｒ０．７Ｂｉ２．３Ｔａ２Ｏ９＋α（ＳＢＴＯ）薄膜を製造した。」（第４９４６頁序言第１〜３行）、
（１−２）「我々は、炭素数４以下のアルコキシドを用い、ストロンチウム源としてエトキシエトキシドを、ビスマス源としてｎ−ブトキシドを、タンタル源としてエトキシドを用いた。」（第４９４６頁本文右欄第４〜７行）、
（１−３）「我々は、０．２５モル／ｌのＳＢＴＯ溶液を調製するために、溶媒主成分として１−メトキシ−２−プロパノールを用いた。」（第４９４６頁本文右欄第１０〜１１行）という記載があり、
　甲２には、「層状超格子材料の製造方法」について記載されていて、
（２−１）「本発明は、一般に層状超格子材料の製造方法に関し、またより詳細には、耐崩壊性が非常に高い低疲労性の強誘電体や信頼性の高い高誘電率集積回路デバイスを提供する製造方法に関する。」（第２頁左下欄５〜７行）、
（２−２）第７頁右上欄８〜同頁左下欄１４行には、概略すると、本発明の材料の種類には、層状ペロブスカイト様構造を有するものとして開示しているものが含まれ、（ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９）は、式Ｂｉ２Ｏ３で示される物質と式ＳｒＴａ２Ｏ６で示される物質との組合せであるとみなすことができ、これらの材料を「層状超格子」材料と称すること。また、強誘電体である本発明の層状超格子材料は、下記式（１）
　
　Ａ１＋ａ１ ｗ１Ａ２＋ａ２ ｗ２…Ａｊ＋ａｊ ｗｊ　Ｓ１＋ｓ１ ｘ１　　　
　
　Ｓ２＋ｓ２ ｘ２…Ｓｋ＋ｓｋ ｘｋ　Ｂ１＋ｂ１ｙ１Ｂ２＋ｂ２ ｙ２…　　
　
Ｂｌ＋ｂｌｙｌ　Ｑ−２ｚ　
　
（式中、Ａ１、Ａ２、…Ａｊはペロブスカイト様構造におけるＡ部位元素を表し、例えばＳｒ、Ｂａ、Ｐｂ等の元素。Ｓ１、Ｓ２、…Ｓｋは超格子発生元素を表し、通常はＢｉ。Ｂ１、Ｂ２、…Ｂｌはペロブスカイト様構造におけるＢ部位元素を表し、例えばＴａ、Ｎｂ等の元素。Ｑはアニオン（一般には酸素）。上付文字は各元素の原子価数。下付文字は１モルの化合物における物質のモル数、あるいは単位格子における元素の平均原子数であり、整数でも小数でもよい。）でまとめることができ、式（１）は、単位格子が材料全体で変化しうる場合を含み、例えば、このＡ部位元素であるＳｒの一部（２５％）がＢａで置換されたＳｒ０．７５Ｂａ０．２５Ｂｉ２Ｔａ２Ｏ９で示される材料が、層状超格子材料に含まれる旨、記載され、
（２−３）第４頁右下欄下から２行目〜同第５頁左上欄８行には、「３種類の金属元素が含まれる層状超格子材料の好ましい製造方法を第１Ａ図に示す。この方法は液体前駆体の形成から始まる。Ｐ１〜Ｐ３の各工程において、…金属カルボキシレートを形成させ、これを溶剤に溶解させる。・・・好ましい溶剤は、アルコール類、例えば２−メトキシエタノール、…エステル類、例えばｎ−ブチルアセテートである…」ことが記載されている。
　甲３には、「Ｂｉ系誘電体薄膜形成用塗布液及びこれを用いて形成した誘電体薄膜」について記載されていて、
（３−１）第７頁【００４８】には、Ｓｒ化合物１の溶液、Ｂｉ化合物１の溶液、Ｔａ化合物１の溶液を用いてＳｒ０．７Ｂｉ２．３Ｔａ２．０Ｏ９．１５誘電体薄膜形成用塗布液を調製したことが記載され、また、第６頁【００４６】には、上記Ｂｉ化合物１の溶液として、２１．４１ｗｔ％Ｂｉ（ｎ−Ｃ４Ｈ９Ｏ）３メトキシプロパノール溶液を用いていることが記載されている。
（３−２）第２頁第１欄第２〜２３行（請求項１）には、
　下記一般式（Ｉ）
　　ＡａＢｉｘＢｂＯｙ　　　　（Ｉ）
｛式中、ＡはＣａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｐｂ、及びＢｉの中から選ばれる少なくとも１種の金属元素であり；ＢはＴｉ、Ｎｂ及びＴａの中から選ばれる少なくとも１種の金属元素であり；１≦ｘ≦４、０．５≦ａ≦２、２≦ｂ≦５、ｙ＝〔３ｘ＋ａ（Ａ金属元素の価数）＋ｂ（Ｂ金属元素の価数）〕／２である｝で表されるＢｉ系誘電体薄膜形成用塗布液が、記載されていて、
（３−３）第５頁【００２８】には、Ｂｉ系誘電体薄膜形成用塗布液の調製に用いられる溶媒として、プロピレングリコールモノエチルエーテルが明示されている。
　（なお、プロピレングリコールモノエチルエーテルは、別名が１−エトキシ−２−プロパノールであることは、参１：浅原照三外４名編「溶剤ハンドブック」（株）講談社　１９９１年８月１０日　第１１刷発行　ｐ．７９３の記載から明らかである。）
　エ．対比・判断
（１）取消理由１について
  本件発明１と甲１発明とを対比する。
　強誘電体薄膜形成剤に用いる有機溶媒と金属アルコキシド及び／又は金属カルボン酸塩の種類によっては、スピンコート法により得られる塗膜には、ストリエーションと呼ばれる不均質な部分が観察される。このように、従来においては、使用する有機溶媒に対して、適用可能な有機金属化合物が制約を受けるため、任意の有機金属化合物を選定使用することはできないという問題点があることに鑑みて、本件発明１、２、４はなされたものであって、有機金属化合物の種類に影響されることなく、ストリエーションのない均質な塗膜を確実に形成することができる強誘電体薄膜形成剤を提供することを目的として、上記請求項１、２、４の構成を採用するものである。
　一方、甲１発明では、上記（１−１）〜（１−３）の記載を含む全記載から明らかなように、ＳＢＴＯ薄膜は、強誘電体メモリデバイス用であるところから強誘電体薄膜であることは明らかであり、また、このＳＢＴＯ薄膜の組成がＳｒ０．７Ｂｉ２．３Ｔａ２Ｏ９＋αであるところから、本件発明１における（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜において、Ｘ＝０．７、Ｙ＝１である場合に相当しているし、さらに、ＳＢＴＯ薄膜を形成する原料のストロンチウムエトキシエトキシド、ビスマスｎ−ブトキシド、タンタルエトキシド等は、有機金属化合物であることは自明であり、ＳＢＴＯ薄膜を製造するＳＢＴＯ溶液は、薄膜形成剤であるところから、結局、甲１には、「ストロンチウムエトキシエトキシド、ビスマスｎ−ブトキシド、タンタルエトキシド等々の有機金属化合物を１−メトキシ−２−プロパノールからなる有機溶媒に溶解してなる、（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、Ｘ＝０．７、Ｙ＝１である。Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤。」に係る発明が記載されていると認められる。
　両者の構成を比較すると、両者は、「有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、Ｘ＝０．７、Ｙ＝１である。Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤。」である点で一致しているが、有機溶媒として、本件発明１では、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いているのに対して、甲１発明では、１−メトキシ−２−プロパノールからなる有機溶媒が記載されているにすぎない。（以下、「相違点１」という）
　そして、甲１発明における１−メトキシ−２−プロパノールは、１−アルコキシ−２−プロパノールの下位概念に相当するものであるが、本件発明１の有機溶媒としての（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を、記載も示唆もするものではない。
　したがって、本件発明１は、甲１に記載された発明と同一であるとすることはできない。
（２）取消理由２について
  本件発明２と甲２発明とを対比すると
　上記（２−１）、（２−２）の記載から明らかなように、甲２には、強誘電体である層状超格子材料としてＳｒ０．７５Ｂａ０．２５Ｂｉ２Ｔａ２Ｏ９が記載されているが、これは、本件発明２における［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ｘＢｉ１−ｘ］Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０＜ｍ≦０．３、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜において、ｍ＝０．２５、Ｘ＝１、Ｙ＝１である場合に相当しているため、Ｘが範囲外のものとなっている点（以下、「相違点２」という）で相違し、
　また、上記（２−３）の記載から明らかなように、甲２発明におけるＳｒ０．７５Ｂａ０．２５Ｂｉ２Ｔａ２Ｏ９を形成する前駆体溶液｛塗膜形成剤自体ではないが、塗膜形成剤と成分（溶剤を含む）的には同じ場合がある。｝の溶剤として、例えば２−メトキシエタノール等のアルコール類、ｎ−ブチルアセテート等のエステル類が開示されているにすぎず、このような溶剤は、本件発明２の有機溶媒としての（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒といった特定の有機溶媒を、記載も示唆もするものではない点（以下、「相違点３」という）で相違する。
　上記相違点２及び３が甲１に記載された発明から容易であるか否かについて検討する。
　上記した取消理由１において記載した上記相違点１から明らかなように、甲１発明においては、強誘電体薄膜形成剤の有機溶媒としては１−メトキシ−２−プロパノールからなる有機溶媒が記載されているにすぎず、本件発明２で規定している、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いることに関しては記載も示唆もない以上、結局、上記相違点３に対しては、甲１に記載も示唆もない。
　そして、本件発明２では、強誘電体薄膜形成剤の有機溶媒として上記した特定の有機溶媒を用いることにより、有機金属化合物の種類に影響されることなく、ストリエーションのない均質な塗膜を確実に形成することができる強誘電体薄膜形成剤を提供できるという特有の効果を達成したものである。
　したがって、本件発明２は、上記相違点３について、甲１〜２に記載も示唆もなく、しかも、その奏する効果も顕著なものである以上、上記相違点２について検討するまでもなく、甲１〜２に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
（３）取消理由３について
  本件発明１と甲３発明とを対比すると
　上記（３−１）〜（３−３）の記載を含む全記載から明らかなように、甲３発明におけるＳｒ０．７Ｂｉ２．３Ｔａ２．０Ｏ９．１５誘電体薄膜は、本件発明１における（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａyＮｂ1−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜において、Ｘ＝０．７、Ｙ＝１である場合に相当しているが、該Ｂｉ系誘電体薄膜形成用塗布液の調製に用いられる溶媒としては、プロピレングリコールモノエチルエーテル（＝１−エトキシ−２−プロパノール）が明示されているにすぎないから、本件発明１で強誘電体薄膜形成剤の有機溶媒として用いる、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒については、記載も示唆もするものではない。
　したがって、本件発明１は、甲３に記載された先願発明と同一であるとすることはできない。
　また、本件発明４は、本件発明１〜２を引用した発明であるから、本件発明１と同様に判断される結果、本件発明４は、本件発明１について上記したとおり、甲３に記載された先願発明と同一であるとすることはできない。
。
　オ．むすび
　以上のとおりであるから、本件特許異議の申立の理由及び証拠方法によっては、本件請求項１、２、４の発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１、２、４の発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。　
　よって、結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１４年７月１１日（２００２．７．１１）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　本件訂正請求の要旨は、特許第３１７８３６３号の明細書を、下記のように訂正するものである。
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１，２中の「該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いた」の記載部分を、
「該有機溶媒として、
（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いた」と訂正する。
　訂正事項ｂ
　原明細書の【０００８】中の「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
　　（ＳｒＸＢｉ１−Ｘ）Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
　　［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ｘＢｉ１−ｘ］Ｂｉ２（ＴａｙＮｂ１−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０＜ｍ≦０．３、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
又は、
　　｛（Ｓｒ１−ｎＲｎ）ｘＢｉ１−ｘ｝Ｂｉ２（ＴａｙＮｂ１−ｙ）２Ｏｚ（ただし、ＲはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素を示し、０＜ｎ≦０．１、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。」の記載を
「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
［１］（ＳｒｘＢｉ１−ｘ）Ｂｉ２（ＴａｙＮｂ１−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
又は
［２］［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ｘＢｉ１−ｘ］Ｂｉ２（ＴａｙＮｂ１−ｙ）２Ｏｚ（ただし、０＜ｍ≦０．３、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）、
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、
　（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
　（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
　（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。
　また、本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
［３］｛（Ｓｒ１−ｎＲｎ）ｘＢｉ１−ｘ｝Ｂｉ２（ＴａｙＮｂ１−ｙ）２Ｏｚ（ただし、ＲはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素を示し、０＜ｎ≦０．１、０．４≦Ｘ＜１、０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。」と訂正する。
　訂正事項ｃ
　原明細書【０００９】中の「本発明に従って、有機溶媒として１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いることにより、有機金属化合物の種類に関わりなく、ストリエーションのない均質な塗膜を形成して、高特性強誘電体薄膜を製造することができる。」の記載を、
「本発明に従って、有機溶媒として上記特定の溶媒を用いることにより、有機金属化合物の種類に関わりなく、ストリエーションのない均質な塗膜を形成して、高特性強誘電体薄膜を製造することができる。」と訂正する。
　訂正事項ｄ
　原明細書の【００１２】中の「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いることを特徴とする。」の記載を、
「本発明の強誘電体薄膜形成剤は、前記［１］，［２］の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤にあっては、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、
　（１）１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
　（２）Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル、又は
　（３）１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用い、前記［３］の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤にあっては、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いることを特徴とする。」と訂正する。
　訂正事項ｅ
　原明細書の【００２７】中の「実施例１〜１０２」の記載を、「実施例１〜８６」と訂正する。
　訂正事項ｆ
　原明細書の【００２８】中の「実施例１〜１７」の記載を、「実施例１〜１３』と訂正する。
　訂正事項ｇ
　原明細書の【００３２】中の【表１】の「実施例１〜４」を削除
し、「実施例５〜１７」の記載を、それぞれ「実施例１〜１３」と訂正する。
　訂正事項ｈ
　原明細書の【００３３】及び【００３７】中の「実施例１８〜３４」の記載を、それぞれ「実施例１４〜２６」と訂正する。
　訂正事項ｉ
　原明細書の【００３８】中の【表２】の「実施例１８〜２１」を削除し、「実施例２２〜３４」の記載を、それぞれ「実施例１４〜２６」と訂正する。
　訂正事項ｊ
　原明細書の【００３９】中の「実施例３５〜５１」の記載を、「実施例２７〜３９」と訂正する。
　訂正事項ｋ
　原明細書の【００４３】中の【表３】の「実施例３５〜３８」を削除し、「実施例３９〜５１」をそれぞれ『実施例２７〜３９』と訂正する。
　訂正事項ｌ
　原明細書の【００４４】及び【００４８】中の「実施例５２〜６８」の記載を、それぞれ「実施例４０〜５２」と訂正する
　訂正事項ｍ
　原明細書の【００４９】中の【表４】の「実施例５２〜５５」を削除し、「実施例５６〜６８」の記載を、それぞれ「実施例４０〜５２」と訂正する。
　訂正事項ｎ
　原明細書の【００５０】及び【００５４】中の「実施例６９〜８５」の記載を、それぞれ「実施例５３〜６９」と訂正する。
　訂正事項ｏ
　原明細書の【００５５】中の【表５】の「実施例６９〜８５」の記載を、それぞれ「実施例５３〜６９」と訂正する。
　訂正事項ｐ
　原明細書の【００５６】及び【００６０】中の「実施例８６〜１０２」の記載を、それぞれ「実施例７０〜８６」と訂正する。
　訂正事項ｑ
　原明細書の【００６１】中の【表６】の「実施例８６〜１０２」の記載を、それぞれ「実施例７０〜８６」と訂正する。
（なお、上記訂正事項ｂ、ｄ中の○中に数字がある記載は、［］中に数字がある記載で表してある。）
（５４）【発明の名称】
強誘電体薄膜形成剤
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、（ＳｒＸＢｉ１−Ｘ）Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、
　
（１）
ルの
、
　
（２）
、
又は
　
（３）
１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル
る２
　【請求項２】　有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ＸＢｉ１−Ｘ］Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、０＜ｍ≦０．３，０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、
　
（１）
ルの
、
　
（２）
、
又は
　
（３）
１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステル
る２
　【請求項３】　有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、｛（Ｓｒ１−ｎＲｎ）ＸＢｉ１−Ｘ｝Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、ＲはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素を示し、０＜ｎ≦０．１，０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、
　該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする強誘電体薄膜形成剤。
　【請求項４】　請求項１ないし３のいずれか１項において、１−アルコキシ−２−プロパノールが１−エトキシ−２−プロパノールであり、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステルが１−エトキシ−２−アセトキシプロパンであり、Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルがヘキサン酸エチルであることを特徴とする強誘電体薄膜形成剤。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は赤外線センサー、圧電フィルター、振動子、レーザーの変調素子、光シャッター、キャパシタ膜、不揮発性のメモリー等に適用される高純度の層状ペロブスカイト型化合物からなる強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　強誘電体薄膜の成膜方法として、金属アルコキシド及び／又は金属カルボン酸塩を有機溶媒に溶かして調製された強誘電体薄膜形成剤を、スピンコート法により基板上に塗布し、所望の厚さの塗膜を形成し、これを焼成する方法がある。
　【０００３】
　この方法は、スパッタリング法による成膜法に比べて、容易に目的とする組成の強誘電体薄膜を形成することができ、しかもその設備が低コストであるなどの利点を有する。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、強誘電体薄膜形成剤に用いる有機溶媒と金属アルコキシド及び／又は金属カルボン酸塩の種類によっては、スピンコート法により得られる塗膜には、ストリエーションと呼ばれる不均質な部分が観察される。このストリエーションのある不均質な塗膜を焼成して得られる強誘電体薄膜では、誘電特性に関して再現性のある薄膜を得ることが困難である。このため、有機溶媒に対して、使用できる金属アルコキシド及び／又は金属カルボン酸塩等に制約が生じる。
　【０００５】
　例えば、従来、Ｓｒ−Ｂｉ−Ｔａ−Ｎｂ系強誘電体薄膜形成剤として、Ｓｒ及びＢｉの２−エチルヘキサン酸塩とＴａ及びＮｂの２−メトキシエトキシドを酢酸イソアミルに溶解してなるものが提供されているが、この強誘電体薄膜形成剤において、水に対する安定性を付与するために、Ｔａ及びＮｂの２−メトキシエトキシドの代わりにＴａ及びＮｂの２−エチルヘキサン酸塩を用いた場合には、形成される塗膜はストリエーションが観察されるものとなる。このため、この組み合せば好ましくない。
　【０００６】
　このように、従来においては、使用する有機溶媒に対して、適用可能な有機金属化合物が制約を受けるため、強誘電体薄膜形成剤の安定性や取扱性、有機金属化合物の価格や入手し易さ等の面から任意の有機金属化合物を選定使用することはできないという不具合があった。
　【０００７】
　本発明は上記従来の問題点を解決し、有機金属化合物の種類に影響されることなく、ストリエーションのない均質な塗膜を確実に形成することができる強誘電体薄膜形成剤を提供することを目的とする。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
　　
▲１▼
又は
　　
▲２▼
の組織を有する強誘導体薄膜を形成する強誘導体薄膜形成剤において、
　
該有機溶媒として、
　
（１）　１−アレコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
　
（２）　Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸エタノールとのエステル、
又は
　
（３）　１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。
　
また、本発明の強誘電体薄膜形成剤は、有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、
　　
▲３▼
の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、該有機溶媒として、１−アルコキシ−２−プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする。
　【０００９】
　入発明に従って、有機溶媒として
上記特定の
　【００１０】
　本発明において、１−アルコキシ−２−プロパノールとしては１−エトキシ−２−プロパノールが好ましく、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステルとしては、１−エトキシ−２−アセトキシプロパンが好ましく、Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルとしてはヘキサン酸エチルが好ましい。
　【００１１】
　【発明の実施の形態】
　以下に本発明の実施の形態を説明する。
　【００１２】
　本発明の強誘電体薄膜形成剤は、
前記▲１▼，▲２▼の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤にあっては、有機金属化合物を溶解する有機溶媒として、
　
（１）　１−アレコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、
　
（２）　Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸エタノールとのエステル、
又は
　
（３）　１−アルコキシ−２−プロパノール、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステル、並びにＣ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールのエステルよりなる群から選ばれる２種以上の混合溶媒
を用い、前記▲３▼の組織を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤にあっては、
　【００１３】
　本発明において、１−アルコキシ−２−プロパノールとしては、１−メトキシ−２−プロパノール、１−プロポキシ−２−プロパノール、１−ブトキシ−２−プロパノール等が挙げられ、これらのうち、特に、１−エトキシ−２−プロパノールが好ましい。
　【００１４】
　また、１−アルコキシ−２−プロパノールのカルボン酸エステルとしては、１−メトキシ−２−アセトキシプロパン、１−プロポキシ−２−アセトキシプロパン、１−ブトキシ−２−アセトキシプロパン等の酢酸エステル、１−メトキシ−２−プロピオニルオキシプロパン、１−エトキシ−２−プロピオニルオキシプロパン、１−プロポキシ−２−プロピオニルオキシプロパン、１−ブトキシ−２−プロピオニルオキシプロパン等のプロピオン酸エステル等が挙げられる。これらのうち、特に、１−エトキシ−２−アセトキシプロパンが好ましい。
　【００１５】
　また、Ｃ６Ｈ１２Ｏ２の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルとしては、ヘキサン酸エチル、２−エチルブタン酸エチル等が挙げられ、これらのうち、特に、ヘキサン酸エチルが好ましい。
　【００１６】
　本発明において、有機溶媒として、これらの３種類の溶媒の２種以上の混合溶媒を用いる場合、その混合割合には特に制限はなく、任意の混合比を採用することができる。
　【００１７】
　本発明においては、上記特定の有機溶媒を用いることから、有機金属化合物には特に制限を受けず、強誘電体薄膜を構成する金属元素の金属アルコキシド、例えば、ブトキシド、エトキシド、プロポキシド、イソプロポキシド、２−メトキシエトキシド、１−エトキシ−２−プロポキシド、イソアミルアルコキシド等、及び、金属カルボン酸塩、例えば、２−エチルヘキサン酸塩、オクチル酸塩、ｎ−ヘキサン酸塩、２−エチル酪酸塩、ｉ−吉草酸塩、２，２−ジメチル酪酸塩、３，３−ジメチル−酪酸塩、２，３−ジメチル−酪酸塩、３−メチルペンタン酸塩、４−メチルペンタン酸塩、２−エチルペンタン酸塩、３−エチルペンタン酸塩、２，２−ジメチルペンタン酸塩、３，３−ジメチルペンタン酸塩、２，３−ジメチルペンタン酸塩、３−エチルヘキサン酸塩等その他、アセチルアセトン金属錯体、ヒドロキシアセトン金属錯体等の有機金属化合物のなかから任意の組み合せで用いることができる。
　【００１８】
　本発明の強誘電体薄膜形成剤は、前記特定の有機溶媒に対して、このような有機金属化合物を、所定の組成比で、強誘電体薄膜形成剤中の金属の酸化物換算の合計濃度が５〜１５重量％となるように溶解させることにより調製することができる。
　【００１９】
　このような本発明の強誘電体薄膜形成剤により強誘電体薄膜を形成するには、スピンコート法により、Ｐｔ，Ｓｉ，Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ，Ｐｔ／Ｔａ／ＳｉＯ２／Ｓｉ，Ｐｔ／ＳｉＯ２／Ｓｉ，Ｒｕ／ＲｕＯ２／ＳｉＯ２／Ｓｉ，ＲｕＯ２／Ｓｉ，ＲｕＯ２／Ｒｕ／ＳｉＯ２／Ｓｉ，Ｉｒ／ＩｒＯ２／Ｓｉ，Ｐｔ／Ｉｒ／ＩｒＯ２／Ｓｉ，Ｐｔ／ＩｒＯ２／Ｓｉ等の基板上に本発明の強誘電体薄膜形成剤を塗布し、乾燥（仮焼成）及び本焼成を行う。なお、１回の塗布では、所望の膜厚が得られない場合には、塗布、乾燥の工程を複数回繰り返し行った後、本焼成を行う。ここで、乾燥は、１５０〜４００℃で行われ、本焼成は４５０〜８００℃で３０分〜２時間程度行われる。
　【００２０】
　このようにして形成される強誘電体薄膜の厚さは、通常の場合、３００〜５０００Å程度である。
　【００２１】
なお、本発明の強誘電体薄膜の組成は下記▲１▼〜▲３▼である。
　【００２２】
　　▲１▼　（ＳｒＸＢｉ１−Ｘ）Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
　　▲２▼　［｛Ｓｒ１−ｍ（Ｐｂ及び／又はＢａ）ｍ｝ＸＢｉ１−Ｘ］Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、０＜ｍ≦０．３，０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
　　▲３▼　｛（Ｓｒ１−ｎＲｎ）ＸＢｉ１−Ｘ｝Ｂｉ２（ＴａＹＮｂ１−Ｙ）２ＯＺ（ただし、ＰはＬａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素を示し、０＜ｎ≦０．１，０．４≦Ｘ＜１，０≦Ｙ≦１で、Ｚは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。）
　上記▲１▼〜▲３▼の組成において、Ｘが０．４以上１未満であるため、残留分極が大きく、膜疲労の少ない強誘電体薄膜が得られる。Ｘが０．４未満であると残留分極が著しく低下する。
　【００２３】
　Ｔａの一部又は全部をＮｂで置換することにより残留分極を大きくすることができる。この置換割合は、０≦Ｙ≦０．７の範囲であることが好ましい。
　【００２４】
　上記▲２▼の組成において、Ｓｒの一部をＢａで置換することにより、抗電界を小さくする作用が得られるが、この置換割合が過度に多いと残留分極の低下を引き起こす。また、Ｓｒの一部をＰｂで置換することにより、残留分極の増大が図れるが、この置換割合が過度に大きいと抗電界も増大する。このため、Ｂａ及び／又はＰｂの置換割合は、０＜ｍ≦０．３とする。
　【００２５】
　また、上記▲３▼の組成において、Ｓｒの一部をＬａ，Ｃｅ，Ｒｒ，Ｎｂ，Ｅｕ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｇｄ及びＥｒよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の元素で置換することにより残留分極を大きくすることができるが、この割合が過度に大きいと強誘電性が損なわれるため、０＜ｎ≦０．１とする。
　【００２６】
　【実施例】
　以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
　【００２７】
　薄膜形成の熱処理時に、鉛、ビスマスは蒸発することを考慮して、以下の実施例１〜
８６
　【００２８】
実施例１〜１
３
　有機金属化合物として、Ｓｒ，Ｂｉ，Ｔａ及びＮｂの２−エチルヘキサン酸塩を用い、これらをＳｒ：Ｂｉ：Ｔａ：Ｎｂ＝０．８：２．４：１．３：０．７のモル比となるように、かつ、金属の酸化物換算の合計濃度が１０重量％となるように、表１に示す有機溶媒に溶解して強誘電体薄膜形成剤を調製した。
　【００２９】
　得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で４インチＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。
　【００３０】
　得られた塗膜表面を光学顕微鏡により観察し、ストリエーションの有無を調べ、結果を表１に示した。
　【００３１】
　また、得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で、４インチのＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。その後、４００℃で１０分間乾燥させた。この工程を３回行った。その後、８００℃の酸素雰囲気中で１時間焼成した。得られた強誘電体薄膜の膜厚と、印加電圧３Ｖにおける、その強誘電体薄膜の誘電特性を調べ、結果を表１に示した。
　【００３２】
　【表１】
　【００３３】
実施例１
４
２６
　有機金属化合物として、Ｓｒ及びＢｉの２−エチルヘキサン酸塩とＴａ及びＮｂのエトキシドを用い、これらをＳｒ：Ｂｉ：Ｔａ：Ｎｂ＝０．８：２．４：１．３：０．７のモル比となるように、かつ、金属の酸化物換算の合計濃度が１０重量％となるように、表２に示す有機溶媒に溶解して強誘電体薄膜形成剤を調製した。
　【００３４】
　得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で４インチＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。
　【００３５】
　得られた塗膜表面を光学顕微鏡により観察し、ストリエーションの有無を調べ、結果を表２に示した。
　【００３６】
　また、得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で、４インチのＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。その後、４００℃で１０分間乾燥させた。この工程を３回行った。その後、８００℃の酸素雰囲気中で１時間焼成した。得られた強誘電体薄膜の膜厚と、印加電圧３Ｖにおける、その強誘電体薄膜の誘電特性を調べ、結果を表２に示した。
　【００３７】
　なお、実施例１
４
２６
　【００３８】
　【表２】
　【００３９】
実施例
２７
３９
　有機金属化合物として、Ｓｒ，Ｐｂ，Ｂａ，Ｂｉ，Ｔａ及びＮｂの２−エチルヘキサン酸塩を用い、これらをＳｒ：Ｐｂ：Ｂａ：Ｂｉ：Ｔａ：Ｎｂ＝０．７：０．１：０．０５：２．４：１．３０：０．７０のモル比となるように、かつ、金属の酸化物換算の合計濃度が１０重量％となるように、表３に示す有機溶媒に溶解して強誘電体薄膜形成剤を調製した。
　【００４０】
　得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で４インチＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。
　【００４１】
　得られた塗膜表面を光学顕微鏡により観察し、ストリエーションの有無を調べ、結果を表３に示した。
　【００４２】
　また、得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で、４インチのＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。その後、４００℃で１０分間乾燥させた。この工程を３回行った。その後、８００℃の酸素雰囲気中で１時間焼成した。得られた強誘電体薄膜の膜厚と、印加電圧３Ｖにおける、その強誘電体薄膜の誘電特性を調べ、結果を表３に示した。
　【００４３】
　【表３】
　【００４４】
実施例
４０
５２
　有機金属化合物として、Ｓｒ，Ｐｂ，Ｂａ及びＢｉの２−エチルヘキサン酸塩とＴａ及びＮｂのエトキシドを用い、これらをＳｒ：Ｐｂ：Ｂａ：Ｂｉ：Ｔａ：Ｎｂ＝０．７：０．１：０．０５：２．４：１．３０：０．７０のモル比となるように、かつ、金属の酸化物換算の合計濃度が１０重量％となるように、表４に示す有機溶媒に溶解して強誘電体薄膜形成剤を調製した。
　【００４５】
　得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で４インチＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。
　【００４６】
　得られた塗膜表面を光学顕微鏡により観察し、ストリエーションの有無を調べ、結果を表４に示した。
　【００４７】
　また、得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で、４インチのＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。その後、４００℃で１０分間乾燥させた。この工程を３回行った。その後、８００℃の酸素雰囲気中で１時間焼成した。得られた強誘電体薄膜の膜厚と、印加電圧３Ｖにおける、その強誘電体薄膜の誘電特性を調べ、結果を表４に示した。
　【００４８】
　なお、実施例
４０
５２
　【００４９】
　【表４】
　【００５０】
実施例
５３
６９
　有機金属化合物として、Ｓｒ，Ｌａ，Ｂｉ，Ｔａ及びＮｂの２−エチルヘキサン酸塩を用い、これらをＳｒ：Ｌａ：Ｂｉ：Ｔａ：Ｎｂ＝０．７６：０．０４：２．４：１．３０：０．７０のモル比となるように、かつ、金属の酸化物換算の合計濃度が１０重量％となるように、表５に示す有機溶媒に溶解して強誘電体薄膜形成剤を調製した。
　【００５１】
　得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で４インチＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。
　【００５２】
　得られた塗膜表面を光学顕微鏡により観察し、ストリエーションの有無を調べ、結果を表５に示した。
　【００５３】
　また、得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で、４インチのＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。その後、４００℃で１０分間乾燥させた。この工程を３回行った。その後、８００℃の酸素雰囲気中で１時間焼成した。得られた強誘電体薄膜の膜厚と、印加電圧３Ｖにおける、その強誘電体薄膜の誘電特性を調べ、結果を表５に示した。
　【００５４】
　なお、実施例
５３
６９
　【００５５】
　【表５】
　【００５６】
実施例
７０
８６
　有機金属化合物として、Ｓｒ，Ｌａ，及びＢｉの２−エチルヘキサン酸塩とＴａ及びＮｂのエトキシドを用い、これらをＳｒ：Ｌａ：Ｂｉ：Ｔａ：Ｎｂ＝０．７６：０．０４：２．４：１．３０：０．７０のモル比となるように、かつ、金属の酸化物換算の合計濃度が１０重量％となるように、表６に示す有機溶媒に溶解して強誘電体薄膜形成剤を調製した。
　【００５７】
　得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で４インチＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。
　【００５８】
　得られた塗膜表面を光学顕微鏡により観察し、ストリエーションの有無を調べ、結果を表６に示した。
　【００５９】
　また、得られた強誘電体薄膜形成剤をスピンコート法により３０００ｒｐｍで１５秒間の条件で、４インチのＰｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基板上に塗布した。その後、４００℃で１０分間乾燥させた。この工程を３回行った。その後、８００℃の酸素雰囲気中で１時間焼成した。得られた強誘電体薄膜の膜厚と、印加電圧３Ｖにおける、その強誘電体薄膜の誘電特性を調べ、結果を表６に示した。
　【００６０】
　なお、実施例
７０
８６
　【００６１】
　【表６】
　【００６２】
　【発明の効果】
　以上詳述した通り、本発明の強誘電体薄膜形成剤によれば、スピンコート法により基板上にストリエーションのない均質な塗膜を形成することができ、この塗膜を焼成することで、誘電特性に関して再現性のある強誘電体薄膜を形成することができる。