【事件の表示】
　特許第３０２９２４３号「クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０２９２４３号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続きの経緯
　本件特許第３０２９２４３号についての出願は、平成７年１１月２１日に特許出願されたものであって、その請求項１〜６に係る発明は、平成１２年２月４日にその特許権の設定登録がなされたものであるが、その後、本件の請求項１〜６に係る特許に対して、「ライボルト　ヴァークウム　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング」より特許異議の申立てがなされ、平成１３年５月２日付けの取消理由通知に対して、その指定期間内である平成１３年６月２５日に訂正請求がなされたものである。
　
【２】訂正の適否についての判断
ア．訂正の要旨
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の記載を、
　「【請求項１】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプの当該第二冷却ステージの凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させ、第一冷却ステージに熱伝達可能に接続された液溜め器に上記液化した材料を溜め、溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出することによって再生を行うことを特徴とするクライオポンプの再生方法。
　【請求項２】　前記第一の種類の材料は水であることを特徴とする請求項１記載のクライオポンプの再生方法。
　【請求項３】　前記液溜め器は、第二冷却ステージへの輻射熱を遮断する輻射シールドであることを特徴とする請求項１又は２記載のクライオポンプの再生方法。
　【請求項４】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させることを特徴とするクライオポンプの再生方法。
【請求項５】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、再生時に、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段とを有し、この液溜め器は、第一冷却ステージに対して熱伝達可能に接続されており、この結果、溜められた第二の種類の材料が液溜め器において気化した際に気化熱によって第一冷却ステージが冷却されて再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないよう構成されていることを特徴とするクライオポンプ。
【請求項６】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段とを備えたことを特徴とするクライオポンプ。」、
と訂正する。
（２）訂正事項２
　上記訂正事項１に伴って、願書に添付した明細書の段落【００２９】（特許公報第９欄第３３行〜第１１欄第７行参照）の記載を、
　「【課題を解決するための手段】上述した第１の目的を達成するため、本願の請求項１記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプの当該第二冷却ステージの凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させ、第一冷却ステージに熱伝達可能に接続された液溜め器に上記液化した材料を溜め、溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出することによって再生を行うという構成を有する。また、同様に第一の目的を達成するため、請求項２記載の発明は、上記請求項１の構成において、第一の種類の材料は水であるという構成を有する。また、同様に第一の目的を達成するため、請求項３記載の発明は、上記請求項１又は２の構成において、液溜め器は、第二冷却ステージを輻射熱から隔絶する輻射シールドであるという構成を有する。また上記第二の目的の達成のため、請求項４記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるという構成を有する。また、上記第一の目的を達成するため、請求項５記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプにおいて、クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、再生時に、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段とを有し、この液溜め器は、第一冷却ステージに対して熱伝達可能に接続されており、この結果、溜められた第二の種類の材料が液溜め器において気化した際に気化熱によって第一冷却ステージが冷却されて再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないよう構成されている。さらに、第二の目的の達成のため、請求項６記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段とを備えたという構成を有する。」、
に訂正する。
（３）訂正事項３
　上記訂正事項１に伴って、願書に添付した明細書の段落【００６５】（特許公報第１８欄第３０〜４９行参照）の記載を、
　「【発明の効果】　以上説明したように、本願の請求項１のクライオポンプの再生方法又は請求項５のクライオポンプによれば、溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出するので、輻射シールドとポンプ容器との間の空間を真空断熱構造にする必要がない。このため、ポンプ全体の構造が簡略化され、従来に比べ安価にポンプを製作できる。また、請求項２の再生方法によれば、上記請求項１の効果に加え、第二冷却ステージの再生中に第一冷却ステージから水が放出されないので、クライオソープションパネルに水が吸着して排気機能を損ねる問題が未然に防止される。また、請求項３の再生方法によれば、上記請求項１又は２の効果に加え、輻射シールドを液溜め器が兼ねているので、ポンプ全体の構造をさらに簡略化することが可能である。また、請求項４のクライオポンプの再生方法又は請求項６のクライオポンプによれば、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるので、終了判断の精度が高まり、再生動作を不必要に延長してしまうことがなくなる。このため、再生動作が必要最小限の時間で終了する他、起動に要する時間も短時間で済む。」、
に訂正する。
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び拡張・変更の存否
　（１）上記訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではなく、かつ、新規事項の追加に該当しない。
　（２）上記訂正事項２、３は、上記訂正事項１に伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、かつ、新規事項の追加に該当しない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【３】本件発明
　上述したように、訂正請求による訂正が認められたので、本件特許第３０２９２４３号の請求項１〜６に係る発明（以下、「訂正発明１」〜「訂正発明６」という。）は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される上記【２】ア．の「訂正事項１」の箇所に記載したとおりのものと認める。
　
【４】特許異議申立の概要
  特許異議申立人「ライボルト　ヴァークウム　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング」は、証拠として、甲第１号証（特表平５−５０９１４４号公報）を提出し、本件発明１〜６は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができないものである旨主張している。
　
【５】甲第１号証記載の発明
  甲第１号証には、
　（Ａ）排気缶３４（訂正発明１〜６の「真空容器」に相当。以下、括弧内は同様。なお、排気缶の「缶」は、原文では旧字。）から飛来するガス分子をポンプ面（「冷却ステージ」）に凝縮又は吸着して排気缶３４（「真空容器」）内の圧力を下げるとともに、再生時にポンプ面（「冷却ステージ」）を加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、
　第一の冷却温度「６０−１００Ｋ」まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）と、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度「２０Ｋ」まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）と、吸着によってガス分子を排気する第３のポンプ面１３（「クライオソープションパネル」）とを有するクライオポンプの当該第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）の凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）の温度を、第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）に凝縮された第二の種類の材料の三重点「１４０Ｋ」よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）上で液化させ、第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）に熱伝達可能に接続された放射遮蔽体６（「液溜め器」）に上記液化した材料を溜め、溜められた第二の種類の材料を放射遮蔽体６（「液溜め器」）において一部気化させ、その気化熱によって第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）を冷却することで再生時に第一の種類の材料が第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）から放出されないようにしながら、液化させた材料を液状のまま再生弁４７を介してポンプ外に排出することによって再生を行うクライオポンプの再生方法（以下、「刊行物１記載の発明Ａ」という。）、
　（Ｂ）排気缶３４（「真空容器」）から飛来するガス分子をポンプ面（「冷却ステージ」）に凝縮して排気缶３４（「真空容器」）内の圧力を下げるとともに、再生時にポンプ面（「冷却ステージ」）を加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することでポンプ面（「冷却ステージ」）の凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及びポンプ面（「冷却ステージ」）の温度を、ポンプ面（「冷却ステージ」）に凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料をポンプ面（「冷却ステージ」）上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した放射遮蔽体６（「液溜め器」）と接続した導管４６に設けた再生弁４７の温度変化を検出するとともに、放射遮蔽体６（「液溜め器」）に溜まった材料を液状のまま再生弁４７を介してポンプ外に排出し、さらに当該再生弁４７の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるクライオポンプの再生方法（以下、「刊行物１記載の発明Ｂ」という。）、
　（Ｃ）排気缶３４（「真空容器」）から飛来するガス分子をポンプ面（「冷却ステージ」）に凝縮又は吸着して排気缶３４（「真空容器」）内の圧力を下げるとともに、再生時にポンプ面（「冷却ステージ」）を加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）と、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）と、吸着によってガス分子を排気する第３のポンプ面１３（「クライオソープションパネル」）とを有するクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及びポンプ面（「冷却ステージ」）の温度を、再生時に、第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）に凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第２のポンプ面１２（「第二冷却ステージ」）上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された放射遮蔽体６（「液溜め器」）と、放射遮蔽体６（「液溜め器」）に溜められた第二の種類の材料を液状のままポンプ外に排出する再生弁４７とを有し、この放射遮蔽体６（「液溜め器」）は、第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）に対して熱伝達可能に接続されており、この結果、溜められた第二の種類の材料が放射遮蔽体６（「液溜め器」）において気化した際に気化熱によって第１のポンプ面６（「第一冷却ステージ」）が冷却されて再生時に第一の種類の材料が第１のポンプ面（「第一冷却ステージ」）から放出されないよう構成されているクライオポンプ（以下、「刊行物１記載の発明Ｃ」という。）、
　（Ｄ）排気缶３４（「真空容器」）から飛来するガス分子をポンプ面（「冷却ステージ」）に凝縮して排気缶３４（「真空容器」）内の圧力を下げるとともに、再生時にポンプ面（「冷却ステージ」）を加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することでポンプ面（「冷却ステージ」）の凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及びポンプ面（「冷却ステージ」）の温度を、ポンプ面（「冷却ステージ」）に凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料をポンプ面（「冷却ステージ」）上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された放射遮蔽体６（「液溜め器」）と、放射遮蔽体６（「液溜め器」）に溜められた材料を液状のままポンプ外に排出する再生弁４７と、再生時に当該再生弁４７の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段とを備えたクライオポンプ（以下、「刊行物１記載の発明Ｄ」という。）、
が記載されているものと認められる。
　
【６】対比・判断
（訂正発明１〜３）
　そこで、 訂正発明１〜３と刊行物１記載の発明Ａとを対比すると、訂正発明１〜３は、液化され液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出することによって再生を行うものであるが、刊行物１記載の発明Ａは、液溜め器に溜められた材料を液状のまま再生弁を介してポンプ外に排出することによって再生を行うものである。
　それゆえ、刊行物１記載の発明Ａは、訂正発明１〜３の発明を特定するための必要事項である「液化された第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出することによって再生を行う」点を備えていない。
　そして、訂正発明１〜３は、当該事項を備えることにより、明細書記載の「ポンプ全体の構造が簡略化され、従来に比べ安価にポンプを製作できる。」（特許公報第９頁第１８欄第３５〜３６行参照）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明１〜３は、刊行物１記載の発明Ａでないばかりでなく、刊行物１記載の発明Ａから当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。。
（訂正発明４）
　次に、訂正発明４と刊行物１記載の発明Ｂとを対比すると、訂正発明４は、液化した材料がたまるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるものであるが、刊行物１記載の発明Ｂは、液溜め器の温度変化ではなく、再生弁の温度変化を検出するものであり、また、液溜め器に溜まった液状の材料を液状のままポンプ外に排出するものである。
　それゆえ、刊行物１記載の発明Ｂは、訂正発明４の発明を特定するための必要事項である「液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後ポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させる」点を備えていない。
　そして、訂正発明４は、当該事項を備えることにより、明細書記載の「液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるので、終了判断の精度が高まり、再生動作を不必要に延長してしまうことがなくなる。このため、再生動作が必要最小限の時間で終了する他、起動に要する時間も短時間で済む。」（特許公報第９頁第１８欄第４５〜４９行、及び、上記「訂正事項３」参照）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明４は、刊行物１記載の発明Ｂでないばかりでなく、刊行物１記載の発明Ｂから当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。。
（訂正発明５）
　また、訂正発明５と刊行物１記載の発明Ｃとを対比すると、訂正発明５は、液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段を有するものであるが、刊行物１記載の発明Ｃは、液溜め器に溜まった液状の材料を液状のままポンプ外に排出する手段を有するものである。
　それゆえ、刊行物１記載の発明Ｃは、訂正発明５の発明を特定するための必要事項である「液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段」を備えていない。
　そして、訂正発明５は、当該事項を備えることにより、明細書記載の「ポンプ全体の構造が簡略化され、従来に比べ安価にポンプを製作できる。」（特許公報第９頁第１８欄第３５〜３６行参照）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明５は、刊行物１記載の発明Ｃでないばかりでなく、刊行物１記載の発明Ｃから当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。。
（訂正発明６）
　また、訂正発明６と刊行物１記載の発明Ｄとを対比すると、訂正発明６は、液溜め器に溜められた材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段とを備えたものであるが、刊行物１記載の発明Ｄは、液溜め器の温度変化ではなく、再生弁の温度変化を検出する温度センサを備えているものであり、また、液溜め器に溜まった液状の材料を液状のままポンプ外に排出する再生弁を備えるものである。
　それゆえ、刊行物１記載の発明Ｄは、訂正発明６の発明を特定するための必要事項である「液溜め器に溜められた材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段」を備えていない。
　そして、訂正発明６は、当該事項を備えることにより、明細書記載の「液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるので、終了判断の精度が高まり、再生動作を不必要に延長してしまうことがなくなる。このため、再生動作が必要最小限の時間で終了する他、起動に要する時間も短時間で済む。」（特許公報第９頁第１８欄第４５〜４９行、及び、上記「訂正事項３」参照）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明６は、刊行物１記載の発明Ｄでないばかりでなく、刊行物１記載の発明Ｄから当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。。
　
【７】むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由及び証拠方法によって、訂正発明１〜６の特許を取り消すことはできない。
  また、他に訂正発明１〜６の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年７月１７日（２００１．７．１７）
【訂正の要旨】
　【訂正の要旨】
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、次のように訂正する。
　「【請求項１】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプの当該第二冷却ステージの凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させ、第一冷却ステージに熱伝達可能に接続された液溜め器に上記液化した材料を溜め、溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出することによって再生を行うことを特徴とするクライオポンプの再生方法。
　【請求項２】　前記第一の種類の材料は水であることを特徴とする請求項１記載のクライオポンプの再生方法。
　【請求項３】　前記液溜め器は、第二冷却ステージヘの輻射熱を遮断する輻射シールドであることを特徴とする請求項１又は２記載のクライオポンプの再生方法。
　【請求項４】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させることを特徴とするクライオポンプの再生方法。
　【請求項５】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、再生時に、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段とを有し、この液溜め器は、第一冷却ステージに対して熱伝達可能に接続されており、この結果、溜められた第二の種類の材料が液溜め器において気化した際に気化熱によって第一冷却ステージが冷却されて再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないよう構成されていることを特徴とするクライオポンプ。
　【請求項６】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段とを備えたことを特徴とするクライオポンプ。」
（２）訂正事項２
　上記訂正事項１に伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるため、明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の段落【００２９】（特許公報第９欄第３３行〜第１１欄第７行参照）の記載を、次のように訂正する。
　「【課題を解決するための手段】上述した第１の目的を達成するため、本願の請求項１記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプの当該第二冷却ステージの凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させ、第一冷却ステージに熱伝達可能に接続された液溜め器に上記液化した材料を溜め、溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出することによって再生を行うという構成を有する。また、同様に第一の目的を達成するため、請求項２記載の発明は、上記請求項１の構成において、第一の種類の材料は水であるという構成を有する。また、同様に第一の目的を達成するため、請求項３記載の発明は、上記請求項１又は２の構成において、液溜め器は、第二冷却ステージを輻射熱から隔絶する輻射シールドであるという構成を有する。また上記第二の目的の達成のため、請求項４記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるという構成を有する。また、上記第一の目的を達成するため、請求項５記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプにおいて、クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、再生時に、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段とを有し、．この液溜め器は、第一冷却ステージに対して熱伝達可能に接続されており、この結果、溜められた第二の種類の材料が液溜め器において気化した際に気化熱によって第一冷却ステージが冷却されて再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないよう構成されている。さらに、第二の目的の達成のため、請求項６記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた材料を気化させた後にポンプ外に排出する手段と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段とを備えたという構成を有する。」
（３）訂正事項３
　上記訂正事項１に伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるため、明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の段落【００６５】（特許公報第１８欄第３０〜４９行参照）の記載を、次のように訂正する。
　「【発明の効果】　以上説明したように、本願の請求項１のクライオポンプの再生方法又は請求項５のクライオポンプによれば、溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出するので、輻射シールドとポンプ容器との間の空間を真空断熱構造にする必要がない。このため、ポンプ全体の構造が簡略化され、従来に比べ安価にポンプを製作できる。また、請求項２の再生方法によれば、上記請求項１の効果に加え、第二冷却ステージの再生中に第一冷却ステージから水が放出されないので、クライオソープションパネルに水が吸着して排気機能を損ねる問題が未然に防止される。また、請求項３の再生方法によれば、上記請求項１又は２の効果に加え、輻射シールドを液溜め器が兼ねているので、ポンプ全体の構造をさらに簡略化することが可能である。また、請求項４のクライオポンプの再生方法又は請求項６のクライオポンプによれば、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出し、さらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させるので、終了判断の精度が高まり、再生動作を不必要に延長してしまうことがなくなる。このため、再生動作が必要最小限の時間で終了する他、起動に要する時間も短時間で済む。」
（５４）【発明の名称】
クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプの当該第二冷却ステージの凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させ、第一冷却ステージに熱伝達可能に接続された液溜め器に上記液化した材料を溜め、
溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって
液化させた第二の種類の材料を気化させた後に
　【請求項２】　前記第一の種類の材料は水であることを特徴とする請求項１記載のクライオポンプの再生方法。
　【請求項３】　前記液溜め器は、第二冷却ステージヘの輻射熱を遮断する輻射シールドであることを特徴とする請求項１又は２記載のクライオポンプの再生方法。
　【請求項４】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料
を気化させた後に
　【請求項５】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、再生時に、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、
液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後に
溜められた第二の種類の材料が液溜め器において気化した際に気化熱によって
　【請求項６】　真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた材料
を気化させた後に
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本願の発明は、真空ポンプの一種であるクライオポンプに関するものであり、特に、冷却ステージの凝縮機能を再生させる再生動作に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　各種真空システムに採用されている真空ポンプには、大きく分けて移送型と溜込み型とがある。前者は油回転ポンプ等のように真空容器内のガス分子を真空容器外に移送して排気するものであり、後者は真空容器内のガス分子をポンプに溜込むことで圧力を下げるものである。
　クライオポンプは後者の溜込み型に属するものであり、極低温に冷却された冷却ステージに真空容器内のガス分子を凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるものである。
　【０００３】
　図６は、従来のこの種のクライオポンプの構成を説明する断面概略図である。図６のクライオポンプは、真空容器に対し気密に接続されるポンプ容器１と、このポンプ容器１内に配置されてガス分子を凝縮又は吸着する第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３と、第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３をそれぞれ所定の温度に冷却する冷凍機４とから主に構成されている。
　【０００４】
　冷凍機４としては、通常、多段式のギフォード・マクマホン式の冷凍機（以下、ＧＭ冷凍機）が用いられる。ＧＭ冷凍機は、容器内に高圧ガスを入れた後容器に接続された低圧側バルブを開くと容器内のガスが膨張して寒冷が発生するサイモン膨張を利用した冷凍機である。
　ＧＭ冷凍機からなる冷凍機４は、シリンダ４１と、シリンダ４１内に配置されたディスプレイサー４２と、ディスプレイサー４２をシリンダ４１内で上下動させる駆動機構４３と、ディスプレイサー４２の上下動に同期してシリンダ４１内に高圧ガスを供給するとともにガスを排出するガス給排機構４４とから主に構成されている。
　【０００５】
　また、ガス給排機構４４は、高圧側配管４４１上に配置された高圧側バルブ４４２と、低圧側配管４４３に接続された低圧側バルブ４４４と、低圧側配管４４３から送られた低圧のガスを圧縮して高圧ガスとして送り出すコンプレッサ４４５とから主に構成されている。
　【０００６】
　シリンダ４１は、図６に示すように、径が少し異なる二つの中空の円柱状の部材をつないだような形状である。シリンダ４１内に配置されたディスプレイサー４２も同様であって、シリンダ４１の径の大きな部分（以下、シリンダ第一段部４１１）内に位置する径の大きな中空の円柱状部材であるディスプレイサー第一段部４２１と、シリンダ４１の径の小さな部分（以下、シリンダ第二段部４１２）に位置する径の小さな中空の円柱状部材であるディスプレイサー第二段部４２２とから形成されている。
　【０００７】
　ディスプレイサー第一段部４２１及びディスプレイサー第二段部４２２の外径は、シリンダ第一段部４１１及びシリンダ第二段部４１２の内径にそれぞれ適合している。また、ディスプレイサー第二段部４２２の長さはシリンダ第二段部４１２の内部空間の長さとほぼ同じであるが、ディスプレイサー第一段部４２１の長さはシリンダ第一段部４１１の内部空間の長さよりも短くなっている。
　【０００８】
　そして、ディスプレイサー４２が下方に変位すると、ディスプレイサー第一段部４２１の上側に所定の空間４０１が形成されるとともに（以下、この空間を第一室という）、ディスプレイサー第二段部４２２の上側にも所定の空間４０２が形成される（以下、この空間を第二室という）。尚、ディスプレイサー４２が上方に変位すると、ディスプレイサー第一段部４２１の下側に空間４０３が形成される。この空間４０３は、室温の高圧ガスが供給される空間なので、以下、室温空間４０３と呼ぶ。
　【０００９】
　また、ディスプレイサー第一段部４２１及びディスプレイサー第二段部４２２の外面とシリンダ第一段部４１１及びシリンダ第二段部４１２の外面との間には上下動のための僅かな隙間が形成されているが、この隙間にはＯリングシール等のシール部材が配置されている。この結果、ディスプレイサー４２の上下動を許容しつつ、第一室４０１と第二室４０２及び第一室４０１と室温空間４０３をそれぞれ隔絶するようになっている。また尚、シリンダ４１のシリンダ第一段部４１１の側の端面には、ディスプレイサー４２に接続されたピストン４７を貫通させる貫通孔が中心に配置されるとともに、高圧側配管４４１及び低圧側配管４４３が接続されている。
　【００１０】
　一方、ディスプレイサー第一段部４２１の内部には、第一蓄冷器４５が配設され、ディスプレイサー第二段部４２２の内部には、第二蓄冷器４６が配設されている。蓄冷器４５，４６は、導入されたガスの膨張により発生した寒冷を蓄えるものであり、銅等でできた細かな網を多量に重ね合わせたり、鉛等の細かな粒を多量に充填したりすることで構成されている。
　【００１１】
　そして、ディスプレイサー第一段部４２１の内部と室温空間４０３、ディスプレイサー第一段部４２１の内部と第一室４０１、ディスプレイサー第二段部４２２の内部と第一室４０１、ディスプレイサー第二段部４２２の内部と第二室４０２とをそれぞれ連通させるようにしてガス通過口４２０が設けられている。
　そして、冷凍機４の負荷である第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３は、シリンダ４１の外面に接続されている。具体的には、シリンダ４１のうちの第一室４０１の器壁部分に第一冷却ステージ２が接続され、第二室４０２の器壁部分には第二冷却ステージ３が接続されている。
　【００１２】
　この冷凍機４は、ディスプレイサー４２が最も上方に位置した時点の付近で高圧側バルブ４４２が開き、ディスプレイサー４２が最も下方に位置した時点の付近で低圧側バルブ４４４が開くことで、極低温を作り出すようになっている。
　まず、高圧側バルブ４４２が開くと、高圧ガスはシンリダ４１の下部の室温となっている空間に充填される。そして、ディスプレイサー４２が下方に変位していく過程で、この室温空間にある高圧ガスは蓄冷器４５，４６を通り冷却されながら上方へ移動し、シリンダ４１の中腹部や上部の低温となっている空間に達する。このとき移動する高圧ガスは温度降下により体積が減少するので、新たな高圧ガスが高圧側バルブ４４２を通ってさらに供給される。
　【００１３】
　そして、ディスプレイサー４２が最も下方に位置した時点の付近で高圧側バルブが閉じて低圧側バルブ４４４が開くことにより、上記低温空間に蓄えられた高圧ガスは低圧側バルブ４４４を通って放出される。このとき高圧ガスは断熱膨張することになるので、寒冷が発生する。この寒冷は、第一及び第二の冷却ステージ２，３を冷却するとともに、蓄冷器４５，４６も冷却して（ガス自身は加熱される）低圧側バルブ４４４より排出され、ガス供給機構４４に戻される。
　さらに、ディスプレイサー４２が再び最も上方に位置する時点の付近で低圧側バルブ４４４が閉じて、その後高圧側バルブ４４２が開き、前述と同様の寒冷の発生と蓄冷を繰り返して極低温を作り出す。
　【００１４】
　尚、シリンダ第二段部４１２内では、シリンダ第一段部４１１内の第一蓄冷器４５により冷却されたガスが第二蓄冷器４６によりさらに冷却されて充満された状態から膨張過程に移行するので、シリンダ第二段部４１２内ではシリンダ第二段部４１１に比べてさらに低い温度の寒冷が発生する。一方、シリンダ４１自体は熱伝導性の悪いステンレス等の材料で形成されており、上記シリンダ第一段部４１１とシリンダ第二段部４１２の寒冷の差が維持されるよう構成されている。この結果、第二冷却ステージ３は、第一冷却ステージ２より低い所定の冷却温度まで冷却されるようになっている。
　【００１５】
　また、図６に示すように、第一冷却ステージ２は、シリンダ４１の外面に直接接するステージ本体２１と、ステージ本体に接続する輻射シールド２２と、輻射シールド２２に接続したルーバー保持体２３と、ルーバー保持体２３に保持されたルーバー２４とから構成されている。
　ステージ本体２１はリング状の部材であり、シリンダ第一段部４１１とシリンダ第二段部４１２との境界部分においてシリンダ４１に嵌め込むようにして接続されている。これによって、シリンダ４１内でのガス膨張により発生した寒冷がステージ本体２１に伝えられるようになっている。
　【００１６】
　また、輻射シールド２２は、断面Ｕ字状の略円筒状の形状である。輻射シールド２２の底面中央には開口が設けられ、この開口にステージ本体２１を嵌め込むようにしてステージ本体２１に対して良好な熱伝達状態で接続されている。
　輻射シールド２２の目的は、内側に存在する第二冷却ステージ３等への輻射熱を遮断するとともに、第一の冷却温度でガス分子を凝縮させるルーバー２４を保持することである。即ち、輻射シールド２２の上側開口を塞ぐようにしてルーバー保持体２３が設けられ、ルーバー保持体２３に係止させるようにしてルーバー２４が配設されている。
　【００１７】
　ルーバー２４は、例えば所定角度傾斜した断面のリング状の部材であり、径の異なるものが同心状に複数配置されている。ルーバー２４は、真空容器からのガス分子及び輻射線の進入経路を屈折させるため、図６に示すようにルーバー保持体２３の上下に互い違いになるように配置される場合がある。これ以外のルーバー２４の構成としては、帯板状の部材を斜めの姿勢で所定間隔で並べたもの等がある。このルーバー２４は、輻射シールド２２を介して第一冷却ステージ２に熱的に接続され、例えば５０〜７０Ｋ程度に冷却される。真空容器内に存在するガス分子はルーバー２４の間を通過してポンプ内に達するが、このうち水蒸気等のガス分子は、ルーバー２４に接触すると表面で凝縮して捕集される。
　【００１８】
　次に、第二冷却ステージ３は、シリンダ４１の外面に直接接するステージ本体３１と、ステージ本体３１に接続されたクライオコンデンセーションパネル３２及びクライオソープションパネル３３とから構成されている。
　まず、ステージ本体３１は円板状の部材であり、シリンダ第二段部４１２の側の端部に接触して配置されている。これによって、シリンダ第二段部４１２内でのガス膨張により発生した寒冷がステージ本体３１に伝えられるようになっている。
　【００１９】
　クライオコンデンセーションパネル３２は例えば有底円筒状の部材であり、開口を下方に向けて配置され、上側に位置する底の部分がステージ本体３１に接続されている。このクライオコンデンセーションパネル３２は、上記第一の冷却温度よりも低い第二の冷却温度（例えば、１０〜１５Ｋ）でガス分子を凝縮捕集するものである。
　【００２０】
　また、クライオソープションパネル３３は、上記クライオコンデンセーションパネル３２の内側に配置された径の小さな例えば有底円筒状の部材である。クライオソープションパネル３３は、上記第二の冷却温度でも凝縮しないガス分子を吸着によって捕集するものであり、複雑な孔構造を表面に有したチャコール（活性炭）等の部材で形成されている。吸着による捕集の場合は、凝縮と異なり、表面に分子が付着するだけで結晶が形成されず、ある時間経過すると拡散してしまう。従って、複雑な孔構造をパネル表面に形成し、拡散するガス分子をその孔の中に閉じ込めて捕集する。
　【００２１】
　尚、これらの部材を収納したポンプ容器１は、主排気管１２を介して不図示の真空容器に取り付けられる。具体的には、ポンプ容器１の上端開口には容器フランジ１１が設けられており、容器フランジ１１を主排気管１２に対して気密に接続する。また、ポンプ容器１には、再生動作の際に内部にガスを導入する再生用ガス導入管５２や、再生動作や起動の際に内部を排気するための粗引排気管７が設けられている。
　【００２２】
　上記構成に係るクライオポンプは、溜込み型のポンプであり、長時間運転を行うとクライオコンデンセーションパネル３２の凝縮能力等が低下するため、再生動作が必要になる。再生動作は、再生用ガス導入管５２からポンプ容器１内に所定のガスを導入して各冷却ステージ２，３を昇温させたり、あるいはヒータ等によってパネルを加熱したりして、凝縮又は吸着したガス分子を再度気化させることにより行う。気化させたガス分子は、殆どが開放弁５０から放出され、残りの少量が粗引排気ポンプ７１で粗引排気管７から排出される。
　【００２３】
　開放弁５０は、凝縮していたガスが再生時に急激に気化し、ポンプ容器１内の圧力が異常に上昇することがないよう、大気圧より僅かに高い圧力（ポンプ容器１内との差圧で約０．０１から０．１気圧程度）で開放するような構成となっている。ポンプ容器１内の圧力が大気圧以上になると、開放弁５０が開き、ポンプ容器１内のガスを放出して大気圧程度に下げる。
　【００２４】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記構成に係るクライオポンプでは、再生動作に長時間を要することが問題となっていた。例えば、クライオコンデンセーションパネルについては、約１０Ｋの温度から常温まで昇温させることにより、凝縮したガス分子をパネル表面から放出させて再生し、その後冷凍機を起動して再び約１０Ｋまで冷却して起動する動作が必要になる。このため、再生及び起動に例えば４時間以上もの長時間を要する場合があった。
　【００２５】
　このような問題を解決するため、平成５年特許出願公表第５０９１４４号公報所載の発明では、凝縮したガス分子の三重点を上回るようにパネルの温度及びポンプ内の圧力を維持することでガス分子の蒸発率を高くし、これによって短時間に再生を終了するようにしている。
　しかしながら、ポンプ内の圧力が高くなると、ポンプ容器の器壁と輻射シールドとの間で対流ガスによる熱交換が行われるようになる。このような熱交換が生じると、第二冷却ステージの再生中に第一冷却ステージの温度が不用意に上昇し、第一冷却ステージに凝縮されていたガス分子を不必要に放出してしまう恐れがある。
　【００２６】
　これを防止するため、上記公報所載の発明では、ポンプ容器と輻射シールドとの間を真空断熱構造とし、再生中に熱交換が生じないようにしているが、このような真空断熱構造を用いることは、ポンプ全体の構造が複雑になり、高価となる欠点がある。
　本願発明の第一の目的は、上記課題を解決することであり、再生及び起動に要する時間の短縮化を可能にしつつも、真空断熱構造の採用を不要にすることを目的としている。
　【００２７】
　また、再生及び起動に要する時間を短縮するためには、再生終了の判断を精度良く行う必要がある。というのは、ガス分子の放出完了後も不必要に加熱を続けるとその分だけ起動完了までの時間が長くなるし、不必要な加熱によってパネルの温度が不必要に上昇すると、起動時の熱負荷が大きくなるので、その点でも起動完了までの時間が長くなってしまうからである。
　【００２８】
　ここで、上記公報の発明では、再生動作の終了をポンプ容器から流出するガス又は液体を排出する弁の温度を検出する温度センサによって判断しているので、終了判断の精度が悪いという問題があった。即ち、弁４７からは少量のガス又は液体が少しずつ流出するので、弁４７が閉鎖してガス又は液体の流出が止まることによって生ずる温度変化はそれほど大きくなく、どの時点で再生動作が終了したかどうか明確に分からない。このため、凝縮したガス分子をすべて放出した後も不必要に加熱してしまう可能性がある。
　本願発明の第二の目的は、係る問題を解決することであり、短時間に終了するクライオポンプの再生方法であって、再生動作の終了を精度良く判断して不必要にパネルを加熱してしまうことのない再生方法を提供することである。
　【００２９】
　【課題を解決するための手段】
　上述した第一の目的を達成するため、本願の請求項１記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着したガス分子を放出させて排出するクライオポンプのその再生方法であって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気するための第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気するための第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプの当該第二冷却ステー’ジの凝縮機能を再生するクライオポンプの再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させ、第一冷却ステージに熱伝達可能に接続された液溜め器に上記液化した材料を溜め、
溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって
液化させた第二の種類の材料を気化させた後に
　また、上記第一の目的を達成するため、請求項２記載の発明は、上記請求項１の構成において、第一の種類の材料は水であるという構成を有する。
　また、同様に第一の目的を達成するため、請求項３記載の発明は、上記請求項１又は２の構成において、液溜め器は、第二冷却ステージを輻射熱から隔絶する輻射シールドであるという構成を有する。
　また上記第二の目的の達成のため、請求項４記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプのその再生方法において、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にすることで、当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに、液溜め器に溜まった材料
を気化させた後に
　また、上記第一の目的を達成するため、請求項５記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮又は吸着して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮又は吸着した材料を放出させて排出するクライオポンプであって、
　第一の冷却温度まで冷却されて当該第一の冷却温度で凝縮する第一の種類の材料のガス分子を排気する第一冷却ステージと、第一の冷却温度より低い第二の冷却温度まで冷却されて当該第二の冷却温度で凝縮する第二の種類の材料のガス分子を排気する第二冷却ステージと、吸着によってガス分子を排気するクライオソープションパネルとを有するクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び第二冷却ステージの温度を、再生時に、第二冷却ステージに凝縮された第二の種類の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮された第二の種類の材料を第二冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、
液溜め器に溜められた第二の種類の材料を気化させた後に
溜められた第二の種類の材料が液溜め器において気化した際に気化熱によって
　さらに、上記第二の目的の達成のため、請求項６記載の発明は、真空容器から飛来するガス分子を冷却ステージに凝縮して真空容器内の圧力を下げるとともに、再生時に冷却ステージを加熱して凝縮したガス分子を放出させて排出することで冷却ステージの凝縮機能を再生させるクライオポンプにおいて、
　クライオポンプ内の圧力及び冷却ステージの温度を、冷却ステージに凝縮したガス分子の材料の三重点よりも高い値にして当該凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させる手段と、液化した材料が溜まるようにしてクライオポンプ内に配置された液溜め器と、液溜め器に溜められた材料
を気化させた後に
　【００３０】
　尚、上記請求項１乃至６記載の各発明は、「産業上の利用分野が同一」であるとともに、「凝縮した材料を冷却ステージ上で液化させ、液化した材料が溜まるように配置した液溜め器」を有するという点で、「発明の構成に欠くことのできない事項の主要部が同一」である。
　【００３１】
　【発明の実施の形態】
　以下、本願発明の実施の形態を説明する。
　図１は、本願発明の実施形態のクライオポンプをその周辺部分の構成とともに示した概略図である。
　図１に示すクライオポンプは、図６に示す従来のものと同様、真空容器に対し気密に接続されるポンプ容器１と、真空容器から飛来するガス分子を凝縮するようにしてポンプ容器１内に配置された第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３と、第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３をそれぞれ所定の温度に冷却する冷凍機４とを有している。
　【００３２】
　そして、さらに、図１のクライオポンプは、第二冷却ステージ３で凝縮した材料を当該第二冷却ステージ３上で液化させるため、クライオポンプ内の圧力を当該凝縮した材料の三重点圧力よりも高い圧力にする昇圧手段を有しており、また、液化した材料が溜まるようクライオポンプ内に配置された液溜め器と、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサ２５と、ポンプ全体の動作を制御する制御部８とを備えている。また、温度センサ２５の検出信号によって再生動作の終了を判断する判断手段は、制御部８内に設けられている。
　【００３３】
　まず、冷凍機４としては、図６の従来のものと同様のＧＭ冷凍機が使用されている。従って、その構成や動作についての詳しい説明は省略する。
　また、第一冷却ステージ２は、シリンダ４１の外面に直接接するステージ本体２１と、ステージ本体２１に接続する輻射シールド２２と、輻射シールド２２に接続したルーバー保持体２３と、ルーバー保持体２３に保持されたルーバー２４と、第一冷却ステージ２の温度を検出するためにステージ本体２１に接続された温度センサ２５とから構成されている。尚、この温度センサ２５は、特許請求の範囲にいう「再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサ」にも該当する。
　第二冷却ステージ３は、シリンダ４１の外面に直接接するステージ本体３１と、ステージ本体３１に接続されたクライオコンデンセーションパネル３２及びクライオソープションパネル３３と、第二冷却ステージ３の温度を検出するためにステージ本体３１に接続された温度センサ３４とから構成されている。
　【００３４】
　第一冷却ステージ２の輻射シールド２２は、断面Ｕ字状の有底ほぼ円筒状の形状である点、上側開口に接続したルーバー保持体２３を介してルーバー２４を保持している点等では、前述した図６の場合と同様である。
　本実施形態の輻射シールド２２が図６のものと大きく異なるのは、液溜め器を構成していることである。即ち、実施形態のクライオポンプの再生方法では、第二冷却ステージ３のクライオコンデンセーションパネル３２上で、凝縮したガスを液化するようにする。この液化したガスが、輻射シールド２２の底面に溜まるように構成されているのである。
　【００３５】
　具体的には、再生用ガス導入管５２を挿入させるために輻射シールド２２に形成されたガス導入口２２１の周りに、円筒状のガス漏出防止管２２２を上方に突出して設けている。また、輻射シールド２２には、温度センサ２５，３４のための配線を通過させる配線用開口が形成されているが、この配線用開口も、封止部材２２３で封止されている。
　【００３６】
　また、再生時に液溜め器の温度を検出する温度センサ２５や第二冷却ステージ３の温度を検出する温度センサ３４は、ステージ本体２１，３１の裏面に熱電対を接触して設けることなどで構成されている。温度センサ２５，３４の検出信号は、制御部８内に設けられた判断手段に送られるようになっている。尚、輻射シールド２２の材質は銅等であり、厚さは１〜２ｍｍ程度である。
　【００３７】
　一方、第二冷却ステージ３のクライオコンデンセーションパネル３２及びクライオソープションパネル３３は、図６のものとほぼ同様である。
　前記昇圧手段は、ポンプ容器１と真空容器とをつなぐ主排気管１２に設けられた主バルブ５１と、輻射シールド２２のガス導入口２２１に挿入した再生用ガス導入管５２と、再生用ガス導入管５２に再生用ガスを供給するガス供給系５３とから主に構成されている。
　【００３８】
　この昇圧手段は、主バルブ５１を閉じてポンプ容器１内を真空容器から隔絶した空間とし、ガス供給系５３を作動させて再生用ガス導入管５２を通して輻射シールド２２内に再生用ガスを導入するようにする。同時に、後述するように第二冷却ステージ３を加熱し、圧力及び温度ともに三重点を越えるようにして凝縮材料を液化させる。尚、再生用ガスは、後述する再生動作の終了まで一定流量で終始導入される。
　【００３９】
　また尚、ポンプ容器１には、従来と同様、ポンプ容器１内が異常に高圧になるのを防止する開放弁５０やクライオポンプの起動前にポンプ容器１内を排気する粗引排気管７が設けられている。粗引排気管７には、ロータリーポンプ等の粗引排気ポンプ７１を備えた粗引排気系７０が接続されており、粗引排気系７０には粗引バルブ７２が設けられている。また、ポンプ容器１には温度センサ２５，３４の配線が通過するための開口が設けられているが、この開口は気密な導入端子１３によって塞がれている。
　【００４０】
　また、冷凍機４は、再生動作の際に動作する加熱手段４８１を具備している。本実施形態のクライオポンプにおける加熱手段４８１は、例えば国際公開番号ＷＯ９３／１０４０７号の出願に開示されているのと同様のものであり、駆動機構４４を構成する不図示のモータの回転に対してガス導入のタイミングを制御することで加熱を行う構成が採用されている。これ以外の加熱手段４８１の構成としては、例えば第一冷却ステージ２のステージ本体２１と第二冷却ステージ３のステージ本体３１のそれぞれの表面に接触させてヒータを付設して加熱する構成等が考えられる。
　【００４１】
　尚、本実施形態のクライオポンプには、ポンプ容器１内の圧力を測定する真空計が必要に応じて設けられる場合がある。真空計は、再生終了後の起動動作を行う際にポンプ容器１内の圧力検出用として使用されると好適である。また、再生動作の際にもポンプ容器１内の圧力コントロール用として用いても良い。
　【００４２】
　次に、上記構成に係る本実施形態のクライオポンプの作用について、実施形態のクライオポンプの再生方法の説明を兼ねて以下に述べる。
　まず、冷却動作は、前述した従来の場合とほぼ同様である。即ち、冷凍機４を動作させ、第一冷却ステージ２と第二冷却ステージ３に寒冷を発生させる。前述と同様、第一冷却ステージ２の温度即ち第一の冷却温度は５０〜７０Ｋ程度であり、第二冷却ステージ３の温度即ち第二の冷却温度は１０〜１５Ｋ程度である。第一の冷却温度で凝縮捕集されるガス分子は水や二酸化炭素であるが、後述するクライオソープションパネル３３の目詰まりを防止する意味から、水の凝縮捕集が重要である。また、第二の冷却温度で凝縮捕集されるガス分子は、窒素、酸素、アルゴン等である。さらに、クライオソープションパネル３３で吸着捕集される主なガス分子は、水素等である。
　【００４３】
　次に、再生動作について説明する。
　再生動作を行う場合には、ポンプ容器１と真空容器とをつなぐ主排気管１２上の主バルブ５１を閉じるとともに、上記冷凍機４の稼動を停止させる。そして、加熱手段４８１を動作させて第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３を加熱する。これと並行して、ガス供給系５３を動作させて再生用ガスを輻射シールド２２内に導入する。導入するガスは、例えば窒素などの化学的に安定なガスである。ガス導入によってポンプ容器１内の圧力は徐々に上昇する。
　【００４４】
　本実施形態の再生方法の特徴点の一つは、ポンプ容器１内の圧力を、「冷却ステージに凝縮した材料の三重点圧力よりも高い圧力」とするとともに、第二冷却ステージ３の温度を凝縮材料の三重点温度よりも高い温度にすることである。以下、クライオコンデンセーションパネル３２上にアルゴンが凝縮されている場合を例にとって、この構成をさらに詳しく説明する。
　【００４５】
　図２は、アルゴンの三重点を説明する状態図である。図２に示すように、アルゴンの三重点は５１６Ｔｏｒｒ８７Ｋであり、５１６Ｔｏｒｒ以上の圧力且つ８７Ｋ以上の温度では、凝縮したアルゴンは液相を経てから気相に変化する。本実施形態では、前記昇圧手段によって、ポンプ容器１内の圧力を５１６Ｔｏｒｒよりも高い所定の圧力にするとともに、加熱手段４８１によって８７Ｋよりも高い温度に加熱する。具体的には、開放弁５０が大気圧より０．０１〜０．１気圧以上の圧力になると開放されるよう構成されており、三重点圧力よりも高い所定の圧力は、大気圧より僅かに高い圧力に設定されている。また、開放弁５０はポンプ容器１内の異常な圧力上昇を未然に防止する作用も有する。
　【００４６】
　このようにポンプ容器１内の圧力が三重点圧力よりも高くなるとともに、加熱手段４８１によってクライオコンデンセーションパネル３２の温度が三重点温度（アルゴンの場合８７Ｋ）より高くなると、当該クライオコンデンセーションパネル３２上では、凝縮していたアルゴンが融解して液化する。液化したアルゴンは、クライオコンデンセーションパネル３２から落下し、液溜め器を兼ねる輻射シールド２２の底面に溜まる。
　【００４７】
　加熱手段４８１は第一冷却ステージ２も加熱しているから、輻射シールド２２の底面に溜まった液化アルゴンは徐々に加熱され、次第に気化する。そして、クライオコンデンセーションパネル３２に凝縮していたアルゴンがすべて液化し（昇華する分子も一部ある）、輻射シールド２２に溜まった液化アルゴンがすべて気化すると、再生動作の終了である。また尚、クライオソープションパネル３３に吸着されていたすべての種類の材料（例えば水素等）も、上記加熱によって殆ど放出される。
　【００４８】
　本実施形態の再生動作の大きな特徴の一つは、上記終了の時点の判断を輻射シールド２２の温度変化によって行う点である。即ち、輻射シールド２２に溜められた液化アルゴンが気化する過程では、アルゴンは輻射シールド２２から気化熱を奪う。従って、加熱手段４８１により加熱されているにもかかわらず昇温せず、アルゴンの沸点付近の温度となっている。しかしながら、アルゴンがすべて気化してしまうと、気化熱を奪われることがなくなるので、加熱手段４８１による加熱によって昇温が始まる。
　本実施形態の再生方法は、輻射シールド２２に設けられた温度センサ２５によってこの昇温を検出し、この検出の時点を再生動作の終了とするのである。例えば、アルゴンの標準沸点は８７Ｋであるので、例えば１００Ｋを目安とし、検出温度が１００Ｋ以上となったところで、再生動作の終了を判断するのである。具体的には、制御部８内に設けられた判断手段が、１００Ｋ等の設定温度と温度センサ２５の検出温度とを比較する比較器等から構成される。
　【００４９】
　再生動作の終了が判断されると、クライオポンプは直ちに起動動作に移る。まず、制御部８は加熱手段４８１に信号を送って加熱を中止するとともに、粗引排気系７０に設けられた粗引バルブ７２を開いてポンプ容器１内の排気を行う。ポンプ容器１内の圧力が２０Ｐａ程度に達すると、粗引バルブ７２を閉じて排気を停止する。並行して冷凍機４が動作を再開し、前述の如く第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３をそれぞれ所定の温度まで冷却する。これによって、起動動作が終了する。
　【００５０】
　上記再生起動の動作を、各冷却ステージ２，３の実際の温度変化等に即してさらに具体的に説明する。図３は、再生起動の動作時の第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３それぞれの温度変化とポンプ容器１内の圧力変化を示したものである。
　まず、バルブ５５を開いて窒素等の再生用ガスを導入するとともに冷凍機４の加熱が始まると、第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３の温度が図３のように上昇する。尚、加熱手段４８１による加熱量が第二冷却ステージ２に比べ第一冷却ステージ２の方が大きいことや、第二冷却ステージ３には多量のアルゴン等が凝縮していて昇温に相当量のエネルギーを要することから、加熱後の温度上昇は、第一冷却ステージ２より第二冷却ステージ３の方が低い。そして、ポンプ容器１内の圧力は徐々に上昇して大気圧より０．１〜０．０１気圧程度高くなったところで開放弁５０が開き、この圧力が保持される。
　【００５１】
　第二冷却ステージ３の温度及びポンプ容器１内の圧力が、ともにアルゴンの三重点（８７Ｋ，５１６Ｔｏｒｒ）を越えると、クライオコンデンセーションパネル３２上でアルゴンが液化する。この液化の際、潜熱が生じて第二冷却ステージ３の温度は一時的に低下する。アルゴンの液化は比較的短時間に終了し、第二冷却ステージ３の温度は図３に示すようにその後次第に上昇していく。
　【００５２】
　一方、液化したアルゴンが輻射シールド２２に落下して溜まると、液化アルゴンの温度は８７Ｋ程度であって第一冷却ステージ２の温度より低いため、液化アルゴンによって第一冷却ステージ２が冷却される。この結果、図３に示すように第一冷却ステージ２の温度が急激に低下する。その後も加熱手段４８１によって輻射シールド２２に熱が加えられるため、輻射シールド２２内でアルゴンが気化し、前述のように気化熱によって第一冷却ステージ２の温度はほぼ一定に維持される。
　【００５３】
　そして、全ての液化アルゴンが気化すると、第一冷却ステージ２の温度は再び上昇し、例えば１００Ｋ以上となった時点が再生終了である。再生が終了すると、前述の通り直ちに起動動作に移る。即ち、加熱手段４８１による加熱が停止されるとともに粗引バルブ７２が開いて粗引排気ポンプ７１による排気が行われ、また並行して冷凍機４が動作を再開する。この結果、図３に示すように、第一冷却ステージ２及び第二冷却ステージ３の温度が低下するとともに、ポンプ容器１内の圧力が低下する。
　【００５４】
　上記再生及び起動の動作において、起動終了時点を例えば第二冷却ステージ３の温度が２０Ｋ程度まで冷却された時点とすると、再生開始から起動終了まで時間は、４５分程度である。従来のクライオポンプでは２〜４時間程度要していたことを考えると、かなりの時間短縮が図られている。
　【００５５】
　次に、上記実施形態の再生方法の別の特徴点である第一冷却ステージ２の温度について説明する。
　本実施形態の再生方法の特徴点の一つは、クライオポンプの通常の再生動作において、第一冷却ステージ２の温度を所定の温度以下に維持し、第二冷却ステージ３の再生のみを行うようにする点である。即ち、クライオコンデンセーションパネル３２やクライオソープションパネル３３の再生のみを行い、ルーバー２４については再生を行わないようにする。
　【００５６】
　これは次のような事情に基づく。即ち、冷却温度が第二冷却ステージ３より高い第一冷却ステージ２で凝縮捕集されるガス分子は、水や二酸化炭素等である。これらのガス分子は、ロータリーポンプや拡散ポンプ等の第一段のポンプで大半が排気され、クライオポンプが排気するのは残留した僅かな量である。一方、第二の冷却温度で凝縮又は吸着するアルゴン等は、スパッタ装置等の真空処理装置では処理用ガスとして導入されるものであり、クライオポンプが排気すべき量は水や二酸化炭素等に比べると非常に多い。従って、第二冷却ステージ３の再生は第一冷却ステージ２に比べて頻繁に行う必要がある。
　【００５７】
　ここで、第二冷却ステージ３の再生において第一冷却ステージ２を例えば２００Ｋ以上に昇温してしまうと、第一冷却ステージ２のルーバー２４から一部の水が蒸発（又は昇華）して放出されてしまう。一方、再生中、クライオソープションパネル３３は、水素等を吸着する寒冷はないものの、水を吸着捕集する能力は残している。従って、上記のようにルーバー２４から水が放出されると、放出された水の分子はクライオソープションパネル３３に吸着されてその孔を塞いでしまう。この状態で再生を終了しクライオポンプを起動してしまうと、クライオソープションパネル３３の孔が水分子で塞がれてしまうため、クライオソープションパネル３３の機能が充分に発揮できず、従って水素やヘリウムに対する排気能力が低下してしまう。
　【００５８】
　そこで本実施形態の再生方法では、第二冷却ステージ３の再生中も第一冷却ステージ２が所定の温度に維持されるように冷却し、水等の凝縮物が再放出されないようにすることが重要である。そして、この第一冷却ステージ２の冷却を、第二冷却ステージ３上で融解したアルゴン等の液化材料によって行うのである。例えば液化アルゴンの温度は８４〜８９Ｋ程度であり、従ってルーバー２４の温度もこれに近い値となる。水の蒸気圧は１６０Ｋ以下の温度では１０−４Ｐａ以下であり、ルーバー２４が１６０Ｋ程度以下であれば、クライオソープションパネル３３の排気性能に影響を与えるほどの水蒸気はポンプ容器１内に放出されない。このため、再生後のクライオソープションパネル３３の性能は充分なものとなるのである。
　【００５９】
　上述した本実施形態のクライオポンプ及びクライオポンプの再生方法では、液溜め器の温度変化を検出して再生動作の終了を判断しているので、終了判断の精度が向上し、不必要な再生動作の延長を未然に防止することができる。
　また、輻射シールド２２が液溜め器を兼用しているのでポンプの構造が簡略化される他、再生中に液化した材料により第一冷却ステージ２全体が冷却される。このため、従来の前掲の公報の発明のように輻射シールド２２とポンプ容器１との間の空間を真空断熱構造にする必要もなく、さらに構造が簡略化される。
　【００６０】
　次に、本願発明のクライオポンプの他の実施形態について説明する。
　図４及び図５は、本願発明のクライオポンプの他の実施形態の構成をそれぞれ説明した断面概略図である。図４は、図１の実施形態とは上下を逆にして設置するクライオポンプの実施形態の図であり、図５は、横向きにして設置するクライオポンプの実施形態の図である。
　【００６１】
　まず、図４に示す実施形態のクライオポンプでは、クライオコンデンセーションパネル３２とその下方に位置するルーバー２４との間に、液溜め器６を設けている。液溜め器６は、図４に示すような断面の丸い皿状の部材であり、その周縁を輻射シールド２２の内側面に接続することで取り付けられている。尚、液溜め器６は、ルーバー２４を完全に覆ってしまうと、ルーバー２４を通過したアルゴン等の第二の材料が第二冷却ステージ３に達しなくなってしまうので、周辺のつば部の部分に開口６０を有しており、この開口６０を通ってアルゴン等が第二冷却ステージ３に達するよう構成されている。
　【００６２】
　この図４の実施形態においても、上記実施形態と同様、再生時にクライオコンデンセーションパネル３２上で凝縮材料が液化し、それが下方の液溜め器６に溜まる。そして液溜め器６の温度変化を温度センサ２５が検出することで、再生終了の判断が行われる。
　上記以外の構成及び作用については、図１〜図３に示す実施形態とほぼ同様なので、説明を省略する。また、クライオポンプの周辺部分の構成については、図示を省略する。
　【００６３】
　また、図５に示す実施形態のクライオポンプでは、図１の実施形態のクライオポンプにおける輻射シールド２２の内側面部分に液化材料が溜まるように構成している。従って、この実施形態も、輻射シールド２２が液溜め器を兼ねた例であるといえる。但し、ルーバー２４の部分を通過して液化材料が漏れ出てしまうのを防止するため、図５に示すように、液止め板６１が設けられている。液止め板６１は、輻射シールド２２の内側面から内側に立てて設けられている。
　この実施形態においても、輻射シールド２２には温度センサ２５が設けられ、輻射シールド２２の温度変化を検出することで再生動作の終了が判断される。その他の構成及び作用は図１から図３に示すものとほぼ同様なので、説明を省略する。また図４と同様に、周辺部分の図示も省略する。
　【００６４】
　以上説明した各実施形態のクライオポンプにおいて、冷凍機４の第一第二の二つの冷却ステージ２，３を有する二段式のものであったが、請求項１の再生方法の実施に際しては、冷却ステージが一つである一段式のものであってもよい。また、すべての請求項の発明について、冷凍機４は三段以上の複数段のものであってもよい。
　また、クライオソープションパネル３３は、コンデンンセーションパネル３２とともに第二冷却ステージ３に接続されていたが、他の冷却ステージに接続してもよい。特に、クライオコンデンセーションパネル３２の冷却温度と異なる温度にクライオソープションパネル３３を冷却する必要がある場合、専用の冷却ステージに接続すると好適である。
　さらに、冷凍機４としては、前述したＧＭ冷凍機の他、ＪＴ（ジュール・トムソン）方式の冷凍機やスターリング方式の冷凍機等を使用しても良い。
　【００６５】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本願の請求項１のクライオポンプの再生方法又は請求項５のクライオポンプによれば、
溜められた第二の種類の材料を液溜め器において気化させて気化熱によって第一冷却ステージを冷却することで再生時に第一の種類の材料が第一冷却ステージから放出されないようにしながら、液化させた第二の種類の材料を気化させた後にポンプ外に排出する
　また、請求項２の再生方法によれば、上記請求項１の効果に加え、第二冷却ステージの再生中に第一冷却ステージから水が放出されないので、クライオソープションパネルに水が吸着して排気機能を損ねる問題が未然に防止される。
　また、請求項３の再生方法によれば、上記請求項１又は２の効果に加え、輻射シールドを液溜め器が兼ねているので、ポンプ全体の構造をさらに簡略化することが可能である。
　また、請求項４のクライオポンプの再生方法又は請求項６のクライオポンプによれば、
液化した材料が溜まるように配置した液溜め器の温度変化を検出するとともに液溜め器に溜まった材料を気化させた後にポンプ外に排出しさらに当該液溜め器の温度変化の検出結果によって再生動作を終了させる
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本願発明の実施形態のクライオポンプをその周辺部分の構成とともに示した概略図である。
　【図２】
　アルゴンの三重点を説明する状態図である。
　【図３】
　再生起動の動作時の第一冷却ステージ及び第二冷却ステージそれぞれの温度変化とポンプ容器内の圧力変化を示したものである。
　【図４】
　本願発明のクライオポンプの他の実施形態の構成を説明した断面概略図であって、図１の実施形態とは上下を逆にして設置するクライオポンプの実施形態の図である。
　【図５】
　本願発明のクライオポンプの他の実施形態の構成を説明した断面概略図であって、横向きにして設置するクライオポンプの実施形態の図である。
　【図６】
　従来のクライオポンプの構成を説明する断面概略図である。
　【符号の説明】
１　ポンプ容器
２　第一冷却ステージ
２２　輻射シールド
２４　ルーバー
３　第二冷却ステージ
３２　クライオコンデンセーションパネル
３３　クライオソープションパネル
４　冷凍機
６　液溜め器
７０　粗引排気系
８　制御部