【事件の表示】
　特許第３１９３０３４号「真空ピンセット」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１９３０３４号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３１９３０３４号は、平成２年５月３１日の出願であって、平成１３年５月２５日にその特許権の設定登録がなされ、その後、岩下由美子より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年７月８日に意見書が提出されたものである。
２．特許異議の申立ての理由及び取消しの理由の概要
　本件特許に対し異議申立人は、甲第１号証として特開平３−１６４２４３号を、甲第２号証として住友化学工業（株）発行の「アルミナ製品」についてのカタログ、第１６頁を、甲第３号証として、ファインセラミックス協会発行「ファインセラミックスカタログ集1984」（１９８３年１２月１５日）、第３７頁を提示し、本件特許の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、本件特許の出願前に出願され、本件特許の出願後に公開された甲第１号証に係る出願の明細書又は図面に記載された発明と同一であるから、当該出願に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである旨主張する。
　また、取消しの理由は、上記申立ての理由に沿うものである。
３．本件発明
　本件発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　板状体の先端側に形成した吸着面に開口部を有し、該開口部と連通する連通孔を内接してなる真空ピンセットにおいて、上記板状体が複数のシート状セラミック成形体を焼成一体化したセラミックスからなり、該セラッミクスがＡｌ２　Ｏ３　含有量９９．５重量％以上のアルミナセラッミクスであることを特徴とする真空ピンセット。」
４．先願明細書に記載された発明について
　先の取消しの理由において引用した甲第１号証に係る出願の明細書（以下「先願明細書」という。）には、以下の事項が記載されている。
ａ「　　　　［産業上の利用分野］
　本発明は、セラミック真空吸着ハンド、多層セラミック基板又は積層セラミックコンデンサ等として用いられるセラミック積層体の製造方法に関する。
　　　　　　［従来の技術］
　通常、この種のセラミック積層体は、セラミック粉末に有機結合剤（バインダー）および溶媒等を加えて混練し、この混練物をシート状に成形した、いわゆるグリーンシートを得、グリーンシートを切断して所望形状の複数の薄板成形体を作製し、かつこれらを接合して積み重ね、しかる後に乾燥、焼成して製造されている。
　従来、薄板成形体を接合してセラミック積層体を製造する方法としては、薄板成形体の接合面に、バインダーの溶媒を含浸させ、加熱圧着する方法（特公昭60−29601号公報参照）、バインダーの溶媒雰囲気中において薄板成形体を加熱圧着する方法（特開昭61−158406号公報参照）、又は感圧接着性の接着フィルムを介在させて薄板成形体を接合する方法（特開昭62−32046号公報参照）が知られている。
　　　　　　［発明が解決しようとする課題］
　しかしながら、上記従来のセラミック積層体の製造方法のうちの前二者によれば、薄板成形体の接合を加熱圧着によって行うために歪を生じ、圧電素子や積層セラミックコンデンサ等の電子部品の場合は、その大きさが比較的小さいのでさほど影響はないものの、例えばセラミック真空吸着ハンド等の半導体ウエハ処理用治具のように、その大きさが比較的大きい場合は、焼成後にクラックや変形を生じる問題がある。」（第１頁左欄第１３行−第２頁左上欄第５行）
ｂ「　　　　　　［実施例］
　以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。
　アルミナ粉末（住友化学ＡＥＳ−１１）１００重量部、炭酸マグネシウム（徳山曹達ＴＴ）０．３重量部、及びイオン交換水１００重量部をポットミルに入れ、４８時間混合解砕し、得られたスラリーを１２０℃の温度で２４時間かけて乾燥してアルミナと炭酸マグネシウムの混合乾燥粉末を得た。　
　更に、混合乾燥粉末１００重量部に、メチルセルロース（信越化学ＳＭ−４０００）５重量部とイオン交換水１２重量部を加え、高速混合機により２分間混合して練り土を得た。
　得られた練り土から押出成形により、厚さ０．２ｍｍ、幅２００ｍｍ及び厚さ０．４ｍｍ、幅２００ｍｍのグリーンシートを成形した。厚さ０．４ｍｍのグリーンシートを切断して縦４０ｍｍ、横１００ｍｍ、厚さ０．４ｍｍの２枚の薄板成形体１，２を作製し、第１図に示すように、一方の薄板成形体１の所要位置に直径１５ｍｍの孔３を貫設して第１層目とし、かつ他方の薄板成形体２の所要位置に直径５ｍｍの孔４を貫設して第３層目とした。又、厚さ０．２ｍｍのグリーンシートを切断して縦４０ｍｍ、横１００ｍｍ、厚さ０．２ｍｍの薄板成形体５を作製し、その中央部を縦２０ｍｍ、横６０ｍｍの矩形の孔６に打ち抜いて第２層目とした。
　上記各薄板成形体１，２，５を形くずれしないように表面だけ乾燥させた後、それぞれの接合面となる第１層目の下面、第２層目の上下両面及び第３層目の上面にイオン交換水を塗布した後、第２図に示すように積み重ね、かつ約５０ｇ／ｃｍ２　の圧力を加えて積層すると共に、この積層体７を１０℃の低温状態中に24時間静置（エージング）した。
　エージング後、積層体７を１１０℃の温度で４時間乾燥し、乾燥積層体を酸化雰囲気中において１５００℃の温度で４時間焼成して、第３図に示すように、内部に中空部８を有すると共に、この中空部８が上部の比較的大きな孔９及び下部の比較的小さな孔10を介して外部と連通しているセラミック積層体１１を得た。このセラミック積層体１１は、焼成による変形及び外表面におけるクラックを生じなかった。
　上記セラミック積層体１１の表面等にダイヤモンド砥粒による研摩加工を施して所要の寸法とし、比較的大きな孔９のある面を吸着面として半導体ウエハの搬送及び移載等を行うハンドリング装置のセラミック真空吸着ハンドとして用いたところ、半導体ウエハと直接接触してもこれを何等汚染することがないと共に、耐熱性及び耐摩性に優れ、真空吸着ハンドとしての機能を十分に発揮することができた。」（第２頁左下欄第１５行目〜第３頁右上欄第７行目）
ｃ「水は、不純物の混入を避けるため、イオン交換水を用いることが好ましい。」（第２頁左下欄第４−５行）
　また、甲第１号証に記載された「住友化学ＡＥＳ−１１」のアルミナ純度を裏付けるための証拠として、同じく引用した甲第２号証（住友化学工業（株）発行の「アルミナ製品」についてのカタログ、第１６頁）には、低ソーダ易焼結アルミナの化学分析例（アルミナの分析方法としてＪＩＳ　Ｈ　１９０１の数値は重量％である。）としてＡＥＳ−１１のアルミナＡｌ２　Ｏ３　の純度は、９９．９％であり、また、ＭｇＯは０．１％であって、ＭｇＯは添加剤のためＡｌ２　Ｏ３　の計算式には含まないことが記載されており、同じく引用した甲第３号証（ファインセラミックス協会発行「ファインセラミックスカタログ集1984」（１９８３年１２月１５日）、第３７頁）には、低ソーダ易焼結アルミナの化学分析例としてＡＥＳ−１１のアルミナＡｌ２　Ｏ３　の純度は、９９．８％超であり、ＭｇＯは０．１％であること、ＡＥＳ−１１は，粘結性のすぐれた均一な微粉であること（第３７頁左欄第２１−２５行参照）が記載されている。
　なお、甲第３号証は、住友アルミニウム精錬株式会社のカタログとなっているが、本事業は住友化学工業株式会社に引き継がれ、甲第２号証のカタログに至ったものであり、甲第３号証の発行日である１９８３年１２月１５日から、甲第２号証の発行日として推認できる１９９８年９月に至る間、アルミナ粉末製品ＡＥＳ−１１の分析結果にほぼ変化がなかったことが認められる。
　そして、甲第２号証のＡＥＳ−１１のアルミナの純度から、ＭｇＯについての注意書きを考慮して、先願明細書に記載されたセラミック積層体１１のアルミナの含有量を計算すると、９９．８％／（１００＋０．３）×１００＝９９．５％となり、また、甲第３号証のＡＥＳ−１１のアルミナの純度から、同じくセラミック積層体１１のアルミナの含有量を計算すると、９９．８％超／（１００＋０．３）×１００＝９９．５％超となる。
　以上のことより、先願明細書には、板状体に形成した吸着面に比較的大きな孔９を有し、該比較的大きな孔９と連通する中空部８を内設してなる真空吸着ハンドにおいて、上記板状体が複数の薄板成形体１，５，２を焼成一体化したセラミック積層体１１からなり、該セラミック積層体１１がＡｌ２　Ｏ３　含有量９９．５重量％、又は、Ａｌ２　Ｏ３　含有量９９．５重量％以上のアルミナセラッミクスである真空吸着ハンドの発明（以下「先願発明」という。）が記載されていると認める。
　なお、特許権者は、出発原料を調合して成形、焼成に至るまでの間に、必ず不純物が入り込むために、出発原料のＡｌ２　Ｏ３　含有量がそのまま最終焼結体であるアルミナセラミックのＡｌ２　Ｏ３　含有量とはならず、例えば、甲第１号証の「アルミナ粉末（住友化学ＡＥＳ−１１）１００重量部、炭酸マグネシウム（徳山曹達ＴＴ）０．３重量部、及びイオン交換水１００重量部をポットミルに入れ、４８時間混合解砕し、得られたスラリーを１２０℃温度で２４時間かけて乾燥してアルミナと炭酸マグネシウムの混合乾燥粉末を得た　」（第２頁左下欄第２０行−右下欄第３行）際に、粉砕媒体の不純物が入り込み、また、「更に、混合乾燥粉末１００重量部に、メチルセルロース（信越化学ＳＭ−４０００）５重量部とイオン交換水１２重量部を加え、高速混合機により２分間混合して練り土を得た」（第２頁右下欄第４−７行）際に、高速混合機を構成する部材からも不純物が入り込み、この不純物が存在することで焼成後のセラミックの含有量が低下することは自明事項であるとして、参考資料（特開昭６１−２０１６１９号公報）の「これらのアルミナ粉体は比較的強固な二次凝集体を形成しているために高い粉砕エネルギーが必要であり、従って粉砕の際に不純物が混入しやすく粉体の純度を低下させるという欠点もある。」（第２頁右上欄第１３−１６行）、及び「粉体の粉砕方法としては従来から２０φmm程度の粉砕媒体を用いたボールミル粉砕が一般的であるが、一次粒子が０．２ミクロン以下の微粉砕を単粒子化するには長時間が必要であって、これにより十分な粉砕を行うことは工業的にはほとんど不可能である。」（第３頁左下欄第１９−右上欄第４行）の記載を示して、出発原料のＡｌ２　Ｏ２　含有量が９９．５％の材料を用いていることから、セラミックスの製造工程においても不純物が含まれ、確実に焼成した後のＡｌ２　Ｏ２　含有量は９９．５％よりも低くなって、本件特許発明の範囲外になることは明かである旨主張しているが、先願明細書の上記記載事項ｃから、先願発明の薄板成形体を焼成一体化したセラミック積層体１１の製造過程では、不純物の混入を避けることが示唆されているので、上記ポットミルや高速混合機での混合の際に不純物が混入したとしても、当該不純物の混入を避けるようにすることは技術常識であるし、また、本件発明が真空ピンセットの製造方法を特定したものでなく、先願明細書に記載された製造方法を排除するものでもないことから、前記主張は採用することができない。
５．対比・判断
　本件発明と先願発明とを対比すると、先願発明の「比較的大きな孔９」、「中空部８」、「真空吸着ハンド」、「セラミック積層体１１」、及び「薄板成形体１，５，２」は、本件発明の「開口部」、「連通孔」、「真空ピンセット」、「セラッミクス」、及び「シート状セラミック成形体」にそれぞれ対応するので、両者は、板状体に形成した吸着面に開口部を有し、該開口部と連通する連通孔を内接してなる真空ピンセットにおいて、上記板状体が複数のシート状セラミック成形体を焼成一体化したセラミックスからなる真空ピンセットで一致し、次の点で一応相違している。
（１）セラミックスのＡｌ２　Ｏ３　の含有量について、本件発明では９９．５重量％以上であるのに対して、先願発明では９９．５重量％、又は９９．５重量％以上である点。
（２）吸着面に有する開口部について、本件発明では、板状体の先端側に形成したのに対して、先願発明では、板状体の先端側に形成したことが不明である点。
　上記相違点について検討すると、（１）については、数値範囲が重複しており、また、（２）についても、真空ピンセットにおいて、吸着のための開口部は板状体の先端側に形成することは例示するまでもなく周知であるので、前記各相違点は、いずれも実質的なものとは認められない。
６．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明は、先願発明と同一であると認められ、しかも、本件発明の発明者が上記先願発明の発明者と同一であるとも、また、本件特許に係る出願の出願時に、その出願人が上記先願の出願人と同一であるとも認められないので、本件特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年８月６日（２００２．８．６）