(57)【要約】本発明による電磁波測定装置は、電磁波出力器と、電磁波検出器と、相対位置変化部と、遅延時間記録部と、位相導出部と、遅延補正位相導出部と、画像導出部と、を備える。電磁波出力器は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する。電磁波検出器は、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する。相対位置変化部は、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる。遅延時間記録部は、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する。位相導出部は、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する。遅延補正位相導出部は、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する。そして、画像導出部が、前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する。
2011001922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出部と、
前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電磁波測定装置であって、
前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部を備え、
前記サイノグラム導出部が、前記群遅延についてのサイノグラムを導出する、
電磁波測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の電磁波測定装置であって、
前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出部を備え、
前記サイノグラム導出部が、前記分散についてのサイノグラムを導出する、
電磁波測定装置。
【請求項４】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出部と、
前記遅延補正位相導出部の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の電磁波測定装置であって、
前記第二被測定物の屈折率が既知であり、
前記サイノグラム導出部が、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムを導出する、
電磁波測定装置。
【請求項６】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出部と、
前記遅延補正位相導出部の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項７】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部と、
前記群遅延導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項８】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電磁波測定装置であって、
前記第二被測定物の屈折率が既知であり、
前記サイノグラム導出部が、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムを導出する、
電磁波測定装置。
【請求項１０】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、
前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項１１】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出部と、
前記分散導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項１２】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録部と、
前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出部と、
前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出部と、
前記減弱率導出部の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項１３】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正部と、
前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項１４】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正部と、
前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電磁波測定装置であって、
前記第二被測定物の屈折率が既知であり、
前記サイノグラム導出部が、前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムを導出する、
電磁波測定装置。
【請求項１６】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出部と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、
前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正部と、
前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
を備えた電磁波測定装置。
【請求項１７】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出工程と、
前記遅延補正位相導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項１８】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出工程と、
前記遅延補正位相導出工程の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項１９】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出工程と、
前記遅延補正位相導出工程の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２０】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出工程と、
前記群遅延導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２１】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２２】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、
前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２３】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出工程と、
前記分散導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２４】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録工程と、
前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出工程と、
前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出工程と、
前記減弱率導出工程の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２５】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正工程と、
前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２６】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正工程と、
前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２７】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出工程と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、
前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正工程と、
前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
を備えた測定方法。
【請求項２８】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、
前記遅延補正位相導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項２９】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、
前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３０】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、
前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３１】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、
前記群遅延導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３２】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３３】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３４】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、
前記分散導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３５】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録処理と、
前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出処理と、
前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出処理と、
前記減弱率導出処理の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３６】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、
前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３７】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、
前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３８】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正処理と、
前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項３９】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、
前記遅延補正位相導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４０】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、
前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４１】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、
前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４２】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、
前記群遅延導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４３】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４４】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４５】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、
前記分散導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、
前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４６】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録処理と、
前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出処理と、
前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出処理と、
前記減弱率導出処理の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４７】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、
前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４８】
第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、
前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項４９】
被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、
前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、
前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正処理と、
前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波（周波数が０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下）（例えば、テラヘルツ波（例えば、周波数が０．０３［ＴＨｚ］以上１０［ＴＨｚ］以下））を使用した断層撮影に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定物の断層情報を得る方法としてコンピュータ断層撮影（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ：ＣＴ）法がある。Ｘ線の発生器と検出器を用いて、この方法を実行することをＸ線ＣＴという。Ｘ線ＣＴによれば、人体の断層情報を非破壊かつ非接触で得ることができる。
しかし、半導体、プラスチック、セラミック、木材および紙など（以下、「原材料」という）から構成される工業製品の内部状態（例えば、欠陥や歪み）を検出することは、Ｘ線ＣＴによれば困難である。Ｘ線が、あらゆる物質に対して透過性が高いためである。
一方、テラヘルツ波は、先に述べた工業製品の原材料をほどよく透過する。このため、テラヘルツ波の発生器と検出器を用いて、ＣＴ法を実行すれば（以下、「テラヘルツ波ＣＴ法」という）工業製品の内部状態を検出できる。テラヘルツ波ＣＴ法については、特許文献１（米国特許第７１１９３３９号明細書）、非特許文献１（Ｓ．Ｗａｎｇ  ｅｔ  ａｌ．，“Ｐｕｌｓｅｄ  ｔｅｒａｈｅｒｔｚ  ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ，”Ｊ．Ｐｈｙｓ．Ｄ，Ｖｏｌ  ３７（２００４）Ｒ１−Ｒ３６）に記載がある。
【発明の概要】
【０００３】
しかしながら、テラヘルツ波ＣＴ法においては、被測定物の屈折率および被測定物の周囲の屈折率によって、テラヘルツ波を検出した値に誤差が生じることがある。
そこで、本発明は、テラヘルツ波を含む電磁波（周波数が０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下）を被測定物に与えて測定する際に、テラヘルツ波を含む電磁波を検出した値の誤差を除去することを課題とする。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出部と、前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
なお、本発明は、前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部を備え、前記サイノグラム導出部が、前記群遅延についてのサイノグラムを導出するようにしてもよい。
なお、本発明は、前記遅延補正位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出部を備え、前記サイノグラム導出部が、前記分散についてのサイノグラムを導出するようにしてもよい。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出部と、前記遅延補正位相導出部の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
なお、本発明は、前記第二被測定物の屈折率が既知であり、前記サイノグラム導出部が、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムを導出するようにしてもよい。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出部と、前記遅延補正位相導出部の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部と、前記群遅延導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
なお、本発明は、前記第二被測定物の屈折率が既知であり、前記サイノグラム導出部が、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムを導出するようにしてもよい。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出部と、前記分散導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出部と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録部と、前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出部と、前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出部と、前記減弱率導出部の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正部と、前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正部と、前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
なお、本発明は、前記第二被測定物の屈折率が既知であり、前記サイノグラム導出部が、前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムを導出するようにしてもよい。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出部と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録部と、前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正部と、前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部とを備えた電磁波測定装置である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出工程と、前記遅延補正位相導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出工程と、前記遅延補正位相導出工程の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出工程と、前記遅延補正位相導出工程の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出工程と、前記群遅延導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出工程と、前記分散導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出工程と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録工程と、前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出工程と、前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出工程と、前記減弱率導出工程の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換工程とを備えた測定方法である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正工程と、前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正工程と、前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程とを備えた測定方法である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出工程と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録工程と、前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正工程と、前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、を備えた測定方法である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、前記遅延補正位相導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、前記群遅延導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、前記分散導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録処理と、前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出処理と、前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出処理と、前記減弱率導出処理の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正処理と、前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、前記遅延補正位相導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記遅延時間を周波数で積分した値を前記第一位相から減じることによって得られる遅延補正位相を導出する遅延補正位相導出処理と、前記遅延補正位相導出処理の導出結果および前記第二位相に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記第一サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、前記群遅延導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記第一群遅延に基づく第一サイノグラムおよび前記第二群遅延に基づく第二サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記第一サイノグラムから前記遅延時間を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づく前記第一被測定物の断面の画像および前記第二サイノグラムに基づく前記第二被測定物の断面の画像を導出し、前記第一被測定物の断面の画像および前記第二被測定物の断面の画像の差分として、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差を示す画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路を前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、前記分散導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記サイノグラムから、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた遅延補正サイノグラムを導出する遅延補正サイノグラム導出処理と、前記遅延補正サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記収容具において前記電磁波が透過する透過面における前記電磁波の反射を考慮したときの、前記電磁波のパワーが前記収容具を透過する透過率を示す値を記録する透過率記録処理と、前記電磁波検出器の検出した前記電磁波のパワーおよび前記透過率に基づき、前記透過率が１００％であるときに検出される前記電磁波のパワーである補正パワーを導出する補正パワー導出処理と、前記補正パワーに基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の減弱率を導出する減弱率導出処理と、前記減弱率導出処理の導出結果を逆ラドン変換する逆ラドン変換処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、前記補正群遅延に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、第一被測定物と、前記第一被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力し、さらに第二被測定物に前記電磁波を出力する電磁波出力器と、前記第一被測定物を透過した前記電磁波および前記第二被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記第一被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記第一被測定物とが交差する第一交差部分の前記第一被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第一位相および前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相である第二位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記第一被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における第一群遅延と、前記第二被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延とを導出する群遅延導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記第一群遅延から前記遅延時間を減じた補正群遅延を導出する群遅延補正処理と、前記補正群遅延と前記第二群遅延との差分に基づき、前記第一被測定物と前記第二被測定物との群遅延差についてのサイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、被測定物と、前記被測定物の少なくとも一部を収容する収容具とに向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における分散を導出する分散導出処理と、前記収容具を前記電磁波が透過することによる前記電磁波の遅延時間を記録する遅延時間記録処理と、前記分散から、前記遅延時間を周波数で偏微分した値を減じた補正分散を導出する分散補正処理と、前記補正分散に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
第１図は、本発明の第一の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第２図は、走査用ステージ６をＸ方向に移動させたときの、被測定物１、電磁波出力器２および電磁波検出器４の平面図である。
第３図は、走査用ステージ６をθ方向に移動させないとき（第３図（ａ））、走査用ステージ６を＋θ方向に移動させたとき（第３図（ｂ））の、被測定物１、電磁波出力器２および電磁波検出器４の平面図である。
第４図は、第一の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第５図は、第二の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。
第６図は、第二の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第７図は、第三の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第８図は、第四の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第９図は、第五の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第１０図は、第六の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第１１図は、第七の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第１２図は、被測定物１の一部を収容している収容具５およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。
第１３図は、被測定物１の全部を収容している収容具５およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。
第１４図は、第四の実施形態の変形例にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第１５図は、第五の実施形態の変形例にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
第一の実施形態
第１図は、本発明の第一の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器２、電磁波検出器４、走査用ステージ（相対位置変化部）６、ディスプレイ８、画像導出装置１０を備える。電磁波測定装置は、被測定物１を測定するためのものである。
なお、収容具５は、テラヘルツ波測定装置により測定される被測定物１の少なくとも一部を収容する。第１図においては、被測定物１および収容具５の平面断面が図示されている。被測定物１は、例えば、円筒形である。
また、収容具５は、被測定物１の一部を収容している場合（第１２図参照）もあれば、被測定物１の全部を収容している場合（第１３図参照）もある。
さらに、収容具５と被測定物１との間には、わずかな隙間があるが、図示省略する。
電磁波出力器２は、被測定物１および収容具５に向けて、０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波を出力する。なお、被測定物１に向けて出力される電磁波の周波数は、テラヘルツ波帯（例えば、０．０３［ＴＨｚ］以上１０［ＴＨｚ］以下）を含むものである。そこで、本発明の実施形態においては、電磁波の一例として、テラヘルツ波を想定している。
被測定物１に向けて出力されたテラヘルツ波は被測定物１を透過する。電磁波検出器４は、被測定物１を透過した電磁波（例えば、テラヘルツ波）を検出する。
テラヘルツ波が被測定物１に入射する点をｍ、テラヘルツ波が被測定物１から出射する点をｎとする。すると、被測定物１を透過する電磁波の光路と、被測定物１とが交差する交差部分１００は、線分ｍｎとなる。また、被測定物１の平面断面形状が円形であり、その円の中心を点Ａとする。
さらに、テラヘルツ波が収容具５に入射する点をｍ’、テラヘルツ波が収容具５から出射する点をｎ’とする。
なお、第２図および第３図における点ｍａ、ｍｂ、ｍｃ、ｍｄは、全てテラヘルツ波が被測定物１に入射する点である。第２図および第３図における点ｎａ、ｎｂ、ｎｃ、ｎｄは、全てテラヘルツ波が被測定物１から出射する点である。
また、第２図および第３図における点ｍａ’、ｍｂ’、ｍｃ’、ｍｄ’は、全てテラヘルツ波が収容具５に入射する点である。第２図および第３図における点ｎａ’、ｎｂ’、ｎｃ’、ｎｄ’は、全てテラヘルツ波が収容具５から出射する点である。
収容具５は、第一曲面部分Ｓ１と第二曲面部分Ｓ２とを有する。第一曲面部分Ｓ１は、半径ｒ１の円筒面（底面が半径ｒ１の円である円筒の側面の一部分）である。第二曲面部分Ｓ２は、半径ｒ２の円筒面（底面が半径ｒ２の円である円筒の側面の一部分）である。なお、ｒ２＝ｒ１である。第一曲面部分Ｓ１と第二曲面部分Ｓ２とは、第１図において、互いに線対称の円弧として図示されている。
第一曲面部分Ｓ１と第二曲面部分Ｓ２との間に被測定物１が配置されている。ここで、被測定物１の屈折率をｎ１とし、収容具５の屈折率をｎ２とする。すると、ｎ１＜ｎ２である。しかも、第一曲面部分Ｓ１と第二曲面部分Ｓ２とが、共に凸面である。また、ｎ１およびｎ２は、収容具５の周囲の空気の屈折率（例えば、１）と等しくなくてもよい。
なお、収容具５の材料は、テフロン（登録商標）やポリエチレン等の樹脂材料でもよい。これらの樹脂材料は、可視光または赤外光領域の光線による測定では通常使用できない。しかし、これらの樹脂材料は、テラヘルツ波の光線の吸収や散乱が少ない為に、テラヘルツ波による測定では使用可能である。
走査用ステージ（相対位置変化部）６は、交差部分１００の被測定物１に対する相対位置を変化させる。例えば、走査用ステージ６には被測定物１が固定されており、走査用ステージ６がＸ方向、Ｚ方向（第１図の紙面に垂直な方向）に移動し、点Ａを通り、第１図の紙面に垂直な線分を回転中心として回転する（「θ方向への移動」という）。
第２図は、走査用ステージ６をＸ方向に移動させたときの、被測定物１、電磁波出力器２および電磁波検出器４の平面図である。なお、被測定物１が内容物１ａ、１ｂを有している。また、走査用ステージ６は図示省略する。
第２図（ａ）を参照して、第１図の状態から、走査用ステージ６を＋Ｘ方向に移動させると（または電磁波出力器２と電磁波検出器４とを−Ｘ方向に移動させてもよい）、交差部分１００は線分ｍａｎａとなる。交差部分１００の被測定物１に対する相対位置は、点Ａよりも下方となる。交差部分１００は、内容物１ｂを通る。
第２図（ｂ）を参照して、第１図の状態から、走査用ステージ６を−Ｘ方向に移動させると（または電磁波出力器２と電磁波検出器４とを＋Ｘ方向に移動させてもよい）、交差部分１００は線分ｍｂｎｂとなる。交差部分１００の被測定物１に対する相対位置は、点Ａよりも上方となる。交差部分１００は、内容物１ａを通る。
走査用ステージ６をＸ方向に移動させ、第２図（ａ）に示す状態から第２図（ｂ）に示す状態へ変化させると、交差部分１００の被測定物に対する相対位置が、点Ａよりも下方から上方へと変化していく。
なお、第２図（ｂ）を参照して、テラヘルツ波出力器２から出力されたテラヘルツ波の光路を説明する。
まず、テラヘルツ波出力器２から出力されたテラヘルツ波（光路Ｐ１）は、第一曲面部分Ｓ１に照射される。ここで、テラヘルツ波は屈折する。すなわち、収容具５（１＜ｎ２）が凸レンズの機能を果たし、光路が−Ｘ方向に曲がり、収容具５内の光路Ｐ２（線分ｍｂ’ｍｂ）を進行する。光路Ｐ２を進行したテラヘルツ波は、被測定物１に入射されて屈折する。すなわち、被測定物１（ｎ１＜ｎ２）により、光路Ｐ２の延長線よりも光路が＋Ｘ方向に曲がり、光路Ｐ３（線分ｍｂｎｂ）を進行する。光路Ｐ３は、光路Ｐ１および光軸ＯＡとほぼ平行である。
被測定物１内の光路Ｐ３を進行したテラヘルツ波は、収容具５に入射して屈折する。すなわち、収容具５により光路が＋Ｘ方向に曲がり、光路Ｐ４（線分ｎｂｎｂ’）を進行する。光路Ｐ４を進行したテラヘルツ波は、第二曲面部分Ｓ２に入射して屈折する。すなわち、収容具５（１＜ｎ２）が凸レンズの機能を果たし、光路Ｐ５を進行して、テラヘルツ波検出器４に入射される。
第２図（ｂ）において、第一曲面部分Ｓ１を表す円弧および第二曲面部分Ｓ２を表す円弧が線対称であることから、光路Ｐ２は光路Ｐ４とほぼ線対称、光路Ｐ１は光路Ｐ５とほぼ線対称となる。よって、光路Ｐ５は光路Ｐ１のほぼ延長線上にある。
第３図は、走査用ステージ６をθ方向に移動させないとき（第３図（ａ））、走査用ステージ６を＋θ方向に移動させたとき（第３図（ｂ））の、被測定物１、電磁波出力器２および電磁波検出器４の平面図である。なお、被測定物１が内容物１ａ、１ｂを有している。走査用ステージ６は図示省略する。また、走査用ステージ６の＋θ方向への回転に伴い、被測定物１が＋θ方向へ回転するが、収容具５は回転しない。
第３図（ａ）を参照して、走査用ステージ６をθ方向に移動させないときは、第２図（ａ）と同様であり、交差部分１００は線分ｍｃｎｃとなる。交差部分１００は、内容物１ｂを通る。
第３図（ｂ）を参照して、第３図（ａ）の状態から、走査用ステージ６を＋θ方向に移動させると（または電磁波出力器２と電磁波検出器４とを−θ方向に移動させてもよい）、交差部分１００は線分ｍｄｎｄとなる。交差部分１００は、内容物１ａも内容物１ｂも通らない。
走査用ステージ６をθ方向に移動させ、第３図（ａ）に示す状態から第３図（ｂ）に示す状態へ変化させると、交差部分１００の被測定物１に対する相対位置が変化していく。
第１２図は、被測定物１の一部を収容している収容具５およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。被測定物１は円筒形であり、被測定物１の一部が、収容具５に収容されている。なお、第１２図においては、光路Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４は図示省略する。
収容具５およびテラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５が、被測定物１に対して上下方向（第１２図における下側）に動く。すると、第１２図（ａ）に示すように、光路Ｐ５が、被測定物１の下方の部分と交差する。これにより、被測定物１の下方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。なお、テラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５を動かすためには、テラヘルツ波出力器２およびテラヘルツ波検出器４を動かせばよい。
収容具５およびテラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５が、被測定物１に対して上下方向（第１２図における上側）に動く。すると、第１２図（ｂ）に示すように、光路Ｐ５が、被測定物１の上方の部分と交差する。これにより、被測定物１の上方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。なお、テラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５を動かすためには、テラヘルツ波出力器２およびテラヘルツ波検出器４を動かせばよい。
なお、収容具５およびテラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５に対して、被測定物１が上下方向に動くようにしてもよい。
第１３図は、被測定物１の全部を収容している収容具５およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。ただし、被測定物１のみ断面をとってある。被測定物１は円筒形であり、被測定物１の全部が、収容具５に収容されている。なお、第１３図においては、光路Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４は図示省略する。
第１３図（ａ）を参照して、収容具５および被測定物１が、テラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５に対して上下方向（第１３図における上側）に動く。すると、被測定物１の下方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
第１３図（ｂ）を参照して、収容具５および被測定物１が、テラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５に対して上下方向（第１３図における下側）に動く。すると、被測定物１の上方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
なお、収容具５および被測定物１に対して、テラヘルツ波の光路Ｐ１、Ｐ５が上下方向に動くようにしてもよい。
上記のようにして、走査用ステージ６により、被測定物１を走査できる。
画像導出装置１０は、交差部分１００を含む平面（第１図、第２図および第３図の紙面）で被測定物１の断面をとったものの画像を導出する。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像Ｆ（ｘ，ｙ）（式（５）参照）を表示する。導出された画像は、被測定物１の２次元断面についての数値データであり、この数値データに所定の色を対応させて、被測定物１の２次元断層画像を表示する。なお、数値データから２次元断層画像を表示する方法については周知の方法を適宜採用すればよい。
第４図は、第一の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、分散導出部１５、サイノグラム導出部１６、積分部１７、断層像導出部（画像導出部）１８、遅延補正位相導出部１９を備える。
ＡＤ変換器１１は、アナログ信号である電磁波検出器４の検出結果を、デジタル信号に変換する。
位相導出部１２は、電磁波検出器４の検出結果に基づき、被測定物１を透過した電磁波（例えば、テラヘルツ波）の周波数領域における位相を導出する。
位相導出部１２は、ＡＤ変換器１１の出力を受ける。ＡＤ変換器１１の出力は、被測定物１を透過した電磁波のパルス波形データである。このパルス波形データは、ｘ（走査用ステージ６のＸ方向への移動量）、θ（走査用ステージ６のθ方向への移動量）、ｔ（時間）の関数である。
位相導出部１２は、このパルス波形データをフーリエ変換して、周波数領域におけるパルス波形のスペクトルデータを取得する。パルス波形のスペクトルデータは、Ｘ、θ、ｆ（周波数）の関数である。位相導出部１２は、パルス波形のスペクトルデータから位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。なお、第４図においては、関数Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）の引数（ｘ，θ，ｆ）を省略している。他の関数についても同様に引数を図示省略している。
遅延時間記録部１３は、収容具５を電磁波（例えば、テラヘルツ波）が透過することによる電磁波の遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を記録する。なお、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）は、位相導出部１２の導出した位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）の誤差の要因となる。
遅延時間Δｔ（ｘ，θ）は、第１図を参照して、以下のように表される。
Δｔ（ｘ，θ）＝（（（光路ｍｍ’の屈折率）−１）ｍｍ’
＋（（光路ｎｎ’の屈折率）−１）ｎｎ’）／ｃ
ただし、ｃは光速である。
なお、上記のように、収容具５の屈折率はｎ２なので、
Δｔ（ｘ，θ）＝（（ｎ２−１）ｍｍ’＋（ｎ２−１）ｎｎ’）／ｃ
となる。
積分部１７は、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を周波数ｆで積分する。
遅延補正位相導出部１９は、積分部１７の出力（遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を周波数ｆで積分した値）を、位相導出部１２の導出した位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から減じて、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）は、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）による誤差が除去された値となる。
群遅延導出部１４は、遅延補正位相導出部１９から遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を受け、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
ただし、群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）は以下のようにして、群遅延導出部１４により以下の式（１）にようにして導出される。
2011001922.tif 000003
分散導出部１５は、遅延補正位相導出部１９の導出結果に基づき、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における分散を導出する。
具体的には、分散導出部１５は、群遅延導出部１４から群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を受け、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
なお、分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）は、以下の式（２）のように表されるので、群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分すればよいことがわかる。
なお、分散導出部１５は、遅延補正位相導出部１９から遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を受け、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を式（２）に代入して、分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出するようにしてもよい。
2011001922.tif 000004
サイノグラム導出部１６は、遅延補正位相導出部１９の導出結果（遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ））に基づき、サイノグラムを導出する。
具体的には、サイノグラム導出部１６は、群遅延導出部１４から群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を受け、以下の式（３）のようにして、群遅延についてのサイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）を導出する。群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）は遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき導出されるので（式（１）参照）、サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）もまた遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき導出されることになる。
2011001922.tif 000005
または、サイノグラム導出部１６は、分散導出部１５から分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）を受け、以下の式（４）のようにして、分散についてのサイノグラムＳＣＤ１（ｘ，θ）を導出する。分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）は遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき導出されるので（式（２）参照）、サイノグラムＳＣＤ１（ｘ，θ）もまた遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき導出されることになる。
2011001922.tif 000006
断層像導出部（画像導出部）１８は、サイノグラム導出部１６からサイノグラムを受け、サイノグラムに基づき、交差部分１００を含む被測定物１の断面の画像を導出する。
サイノグラム導出部１６の導出したサイノグラムをＳ（ｘ，θ）とすると、断層像導出部１８は、以下の式（５）のようにして、画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。式（５）は、フィルタ補正逆投影法による画像の導出を意味する。
2011001922.tif 000007
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ６に被測定物１を固定する。そして、走査用ステージ６をＸ方向、Ｚ方向（第１図の紙面に垂直な方向）に移動させ、しかも、θ方向へ移動させながら、電磁波出力器２から０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波（例えば、テラヘルツ波）を被測定物１に向けて出力する。被測定物１に向けて出力されたテラヘルツ波は被測定物１を透過する。被測定物１を透過した電磁波は、電磁波検出器４により検出される。このようにして、被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）には、収容具５を電磁波（例えば、テラヘルツ波）が透過することによる電磁波の遅延による誤差が含まれている。
遅延補正位相導出部１９は、積分部１７の出力（遅延時間記録部１３に記録された遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を周波数ｆで積分した値）を、位相導出部１２の導出した位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から減じる。これにより、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差が除去された遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）が導出される。
遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき、群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）および分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）が導出され、サイノグラム導出部１６に与えられる。
サイノグラム導出部１６は、群遅延についてのサイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）または分散についてのサイノグラムＳＣＤ１（ｘ，θ）を導出する。導出されたサイノグラムから、断層像導出部１８が被測定物１の断面の画像を導出する。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第一の実施形態によれば、収容具５に収容された被測定物１を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき（具体的には、群遅延または分散に基づき）ＣＴ法を行った場合に、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から除去することができる。
第二の実施形態
第二の実施形態は、（第一）被測定物１および第二被測定物２０を用いる点が、第一の実施形態と異なる。なお、第一の実施形態における被測定物１を、第二の実施形態においては第一被測定物１という。
第５図は、第二の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第６図は、第二の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
第二の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器２、電磁波検出器４、走査用ステージ（相対位置変化部）６、ディスプレイ８、画像導出装置１０を備える。電磁波測定装置は、被測定物１を測定するためのものである。
また、第二の実施形態にかかる画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、サイノグラム導出部１６、積分部１７、断層像導出部（画像導出部）１８、遅延補正位相導出部１９を備える。
収容具５は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。（第一）被測定物１は、第一の実施形態にかかる被測定物１と同様であり、説明を省略する。
なお、第二被測定物２０（第５図（ａ）参照）は、収容具５に収容されていない。
電磁波出力器２は、第一の実施形態と同様である（第５図（ｂ）参照）。ただし、電磁波出力器２は、さらに、第二被測定物２０にも向けて、電磁波（第一被測定物１に向けて与えられる電磁波と同じ）を出力する（第５図（ａ）参照）。
電磁波検出器４は、第一の実施形態と同様である（第５図（ｂ）参照）。ただし、電磁波検出器４は、第二被測定物２０を透過した電磁波（例えば、テラヘルツ波）をも検出する（第５図（ａ）参照）。
走査用ステージ（相対位置変化部）６は、第一の実施形態と同様である（第５図（ｂ）参照）。ただし、走査用ステージ６は、第二被測定物２０を透過する電磁波の光路と第二被測定物２０とが交差する交差部分の第二被測定物２０に対する相対位置をも変化させる。走査用ステージ６の動作は、（第一）被測定物１および収容具５を走査用ステージ６に固定した場合と同様である（第２図、第３図、第１２図、第１３図参照）。
位相導出部１２は、第一の実施形態と同様に、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における位相である第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。位相導出部１２は、さらに、第二被測定物２０を透過した電磁波（例えば、テラヘルツ波）の周波数領域における第二位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）をも導出する。
ＡＤ変換器１１、遅延時間記録部１３および積分部１７は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
遅延補正位相導出部１９は、第一の実施形態と同様に、積分部１７の出力（遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を周波数ｆで積分した値）を、位相導出部１２の導出した第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から減じて、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
群遅延導出部１４は、第一の実施形態と同様に、遅延補正位相導出部１９から遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を受け、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）に基づき、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。群遅延導出部１４は、さらに、第二位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を受け、第二位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）に基づき、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
サイノグラム導出部１６は、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）と第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）との差分に基づき、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差についてのサイノグラムを導出する。
ただし、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）は以下のようにして、サイノグラム導出部１６により以下の式（６）にようにして導出される。
2011001922.tif 000008
断層像導出部１８は、第一の実施形態と同様に、被測定物１の断面の画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。式（５）のＳ（ｘ，θ）をサイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）に置き換えれば画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出できる。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ６に第二被測定物２０を固定する（第５図（ａ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第二被測定物２０の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。第一の実施形態と同様に、群遅延導出部１４が、位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
次に、走査用ステージ６に第一被測定物１を固定する（第５図（ｂ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第一被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。第一の実施形態と同様に、遅延補正位相導出部１９は、積分部１７の出力を第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から減じて、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
群遅延導出部１４が、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
ここで、サイノグラム導出部１６は、群遅延導出部１４から第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を受け、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）の差分に基づき、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）を導出する（式（６）参照）。
断層像導出部１８は、第一の実施形態と同様に、被測定物１の断面の画像を導出する。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第二の実施形態によれば、収容具５に収容された被測定物１を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）および位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）に基づき（具体的には、第一群遅延および第二群遅延の差分に基づき）ＣＴ法を行った場合に、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から除去することができる。
なお、第二被測定物２０の屈折率が既知である場合は（例えば、第二被測定物２０が空気（窒素雰囲気中や真空も含む）である場合）、第一被測定物１の屈折率についての画像を表示させることができる。なお、第二被測定物２０が空気であれば、第二被測定物２０を走査用ステージ６に固定してＸ方向などに移動させる必要は無い。
この場合、サイノグラム導出部１６が、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）から、さらに以下の式（７）に基づき、第一被測定物１の屈折率についてのサイノグラムＳｎ（ｘ，θ）を導出する。ただし、ｃは光速、Δｘはサイノグラムの空間分解能である。また、第二被測定物２０の屈折率が１であるものとする。さらに、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）は、先に説明したように、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）の差分に基づき導出されている。
2011001922.tif 000009
第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムＳｎ（ｘ，θ）から、断層像導出部１８が、第一の実施形態と同様に（ただし、式（６）のＳｒｎ（ｘ，θ）をＳｎ（ｘ，θ）に置き換える）、被測定物１の断面の画像を導出する。ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第三の実施形態
第三の実施形態は、第二の実施形態と同様に第一被測定物１および第二被測定物２０を用いるものの、サイノグラム導出部１６によるサイノグラムの導出および断層像導出部１８による画像の導出が第二の実施形態と異なる。
第７図は、第三の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第三の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成は、第二の実施形態と同様であるため、説明を省略する。また、第三の実施形態にかかる画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、サイノグラム導出部１６、積分部１７、断層像導出部（画像導出部）１８、遅延補正位相導出部１９を備える。以下、第二の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、積分部１７および遅延補正位相導出部１９は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。
サイノグラム導出部１６は、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）に基づく第一サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）に基づく第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）を導出する（式（３）参照：ただし、第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）は、式（３）のＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）をＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）に置き換えれば求められる）。
断層像導出部（画像導出部）１８は、第一サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）に基づく第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）に基づく第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）を導出する。なお、画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）の導出法は、第一の実施形態と同様である。すなわち、式（５）のサイノグラムＳ（ｘ，θ）に、第一サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）および第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）を代入すれば、画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）を導出できる。
断層像導出部１８は、さらに、第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）の差分として、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差を示す画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。ただし、Ｆ（ｘ，ｙ）＝ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）−ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）である。なお、画像Ｆ（ｘ，ｙ）は、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差を示すとともに、第一被測定物１と第二被測定物２０との屈折率の差をも示す。
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）および第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出するまでの動作は、第二の実施形態と同様である。
まず、走査用ステージ６に第二被測定物２０を固定する（第５図（ａ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第二被測定物２０の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。第一の実施形態と同様に、群遅延導出部１４が、位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
次に、走査用ステージ６に第一被測定物１を固定する（第５図（ｂ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第一被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。第一の実施形態と同様に、遅延補正位相導出部１９は、積分部１７の出力を第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から減じて、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
群遅延導出部１４が、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
ここまでの動作は第二の実施形態と同様である。
ここで、サイノグラム導出部１６は、群遅延導出部１４から第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を受け、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）に基づく第一サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）に基づく第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）を導出する。
ただし、第一サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）は、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を周波数で積分したものである。第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）は、第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を周波数で積分したものである。
断層像導出部１８は、第一サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）に基づく第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）に基づく第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）を導出する。
断層像導出部１８は、さらに、第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）の差分として、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差を示す画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第三の実施形態によれば、被測定物１の電磁波の吸収率ではなく、位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）および位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）に基づき（具体的には、第一群遅延および第二群遅延に基づき）ＣＴ法を行った場合に、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）から除去することができる。
第四の実施形態
第四の実施形態にかかる電磁波測定装置は、画像導出装置１０が、位相を補正するかわりに、群遅延（または分散）についてのサイノグラムを補正する点が第一の実施形態と異なる。
第８図は、第四の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第四の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成は、第一の実施形態（第１図参照）と同様であるため、説明を省略する。収容具５は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
また、第四の実施形態にかかる画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、分散導出部１５、サイノグラム導出部１６ａ、１６ｂ、遅延補正サイノグラム導出部１６２ａ、１６２ｂ、偏微分部１７２、断層像導出部（画像導出部）１８を備える。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
ＡＤ変換器１１、位相導出部１２および遅延時間記録部１３は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
群遅延導出部１４は、位相導出部１２から位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を受け、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）の導出法は、第一の実施形態と同様である。すなわち、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分すれば、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出できる。
分散導出部１５は、位相導出部１２の導出結果に基づき、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）の導出法は、第一の実施形態と同様である。
具体的には、分散導出部１５は、群遅延導出部１４から群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を受け、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
なお、分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）は、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分すればよい。
また、分散導出部１５は、位相導出部１２から位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を受け、式（２）のＰｈ１（ｘ，θ，ｆ）を位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）に置き換えて、分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出するようにしてもよい。
サイノグラム導出部１６ａは、群遅延導出部１４から群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を受け、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき、第一の実施形態と同様に（ただし、式（３）のＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）をＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に置き換える）サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）を導出する。サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）には誤差すなわち遅延時間Δｔ（ｘ，θ）が含まれている。
サイノグラム導出部１６ｂは、分散導出部１５から分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を受け、分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき、第一の実施形態と同様に（ただし、式（４）のＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）をＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に置き換える）サイノグラムＳＣＤ１’（ｘ，θ）を導出する。サイノグラムＳＣＤ１’（ｘ，θ）には、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）による誤差が含まれている。
遅延補正サイノグラム導出部１６２ａは、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を遅延時間記録部１３から読み出し、サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じた遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）を導出する。遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）は、サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）から誤差である遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じて除去したサイノグラムである。
偏微分部１７２は、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を周波数ｆで偏微分する。
遅延補正サイノグラム導出部１６２ｂは、サイノグラムＳＣＤ１’（ｘ，θ）から、偏微分部１７２の出力（遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を周波数ｆで偏微分した値）を減じた遅延補正サイノグラムＳＣＤ１（ｘ，θ）を導出する。遅延補正サイノグラムＳＣＤ１（ｘ，θ）は、サイノグラムＳＣＤ１’（ｘ，θ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）による誤差を減じて除去したサイノグラムである。
断層像導出部（画像導出部）１８は、遅延補正サイノグラム導出部１６２ａ、１６２ｂから遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）またはＳＣＤ１（ｘ，θ）を受け、これらのサイノグラムに基づき、第一の実施形態と同様に、交差部分１００を含む被測定物１の断面の画像を導出する（式（５）参照：式（５）のＳ（ｘ，θ）に、ＳＧＤ１（ｘ，θ）またはＳＣＤ１（ｘ，θ）を代入する）。
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ６に被測定物１を固定する。そして、走査用ステージ６をＸ方向、Ｚ方向（第１図の紙面に垂直な方向）に移動させ、しかも、θ方向へ移動させながら、電磁波出力器２から０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波（例えば、テラヘルツ波）を被測定物１に向けて出力する。被測定物１に向けて出力されたテラヘルツ波は被測定物１を透過する。被測定物１を透過した電磁波は、電磁波検出器４により検出される。このようにして、被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）には、収容具５を電磁波（例えば、テラヘルツ波）が透過することによる電磁波の遅延による誤差が含まれている。
位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）および分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）が導出され、サイノグラム導出部１６に与えられる。
サイノグラム導出部１６は、群遅延についてのサイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）または分散についてのサイノグラムＳＣＤ１’（ｘ，θ）を導出する。導出されたこれらのサイノグラムは、遅延補正サイノグラム導出部１６２ａ、１６２ｂによって、誤差が除去されて、遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）およびＳＣＤ１（ｘ，θ）が得られる。
断層像導出部１８が、遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）またはＳＣＤ１（ｘ，θ）に基づき、被測定物１の断面の画像を導出する。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第四の実施形態によれば、収容具５に収容された被測定物１を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき（具体的には、群遅延または分散に基づき）ＣＴ法を行った場合に、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差を、群遅延についてのサイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）および分散についてのサイノグラムＳＣＤ１’（ｘ，θ）から除去することができる。
なお、第四の実施形態の変形例として、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）および分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を補正することも考えられる。
第１４図は、第四の実施形態の変形例にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。第四の実施形態の変形例にかかる画像導出装置１０におけるＡＤ変換器１１、位相導出部１２、群遅延導出部１４、分散導出部１５、偏微分部１７２は第四の実施形態と同様である。
遅延時間記録部１３は、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）が導出された周波数帯域における全てのｆにおいて、Δｔ（ｘ，θ，ｆ）＝Δｔ（ｘ，θ）として、遅延時間Δｔ（ｘ，θ，ｆ）を記録する。すなわち、Δｔは、ｆにかかわらず一定とみなす。
群遅延補正部１４ａは、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ，ｆ）を減じた補正群遅延を導出する。補正群遅延はＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）となる。
分散補正部１５ａは、分散ＣＤ１’（ｘ，θ，ｆ）から、遅延時間Δｔ（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分した値を減じた補正分散を導出する。補正分散はＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）となる。
サイノグラム導出部１６ａは、補正群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）に基づきサイノグラム（ＳＧＤ１（ｘ，θ）となる）を導出する。サイノグラム導出部１６ｂは、補正分散ＣＤ１（ｘ，θ，ｆ）に基づきサイノグラム（ＳＣＤ１（ｘ，θ）となる）を導出する。
断層像導出部１８が、サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）またはサイノグラムＳＣＤ１（ｘ，θ）に基づき、被測定物１の断面の画像を導出する。
第五の実施形態
第五の実施形態は、（第一）被測定物１および第二被測定物２０を用いる点が、第四の実施形態と異なる。なお、第四の実施形態における被測定物１を、第五の実施形態においては第一被測定物１という。
第五の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。第９図は、第五の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。以下、第四の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
第五の実施形態にかかる画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、サイノグラム導出部１６、遅延補正サイノグラム導出部１６２ａ、断層像導出部（画像導出部）１８を備える。
収容具５は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。（第一）被測定物１は、第一の実施形態にかかる被測定物１と同様であり、説明を省略する。
なお、第二被測定物２０（第５図（ａ）参照）は、収容具５に収容されていない。
電磁波出力器２、電磁波検出器４および走査用ステージ６は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。
ＡＤ変換器１１、位相導出部１２および遅延時間記録部１３は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。
群遅延導出部１４は、第四の実施形態と同様に、位相導出部１２から第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を受け、第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づき、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。群遅延導出部１４は、さらに、第二の実施形態と同様に、第二位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を受け、第二位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）に基づき、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
サイノグラム導出部１６は、第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）と第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）との差分に基づき、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差についてのサイノグラムを導出する。
ただし、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）は、式（６）のＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）をＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に置き換えて導出される。
遅延補正サイノグラム導出部１６２ａは、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を遅延時間記録部１３から読み出し、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じた遅延補正サイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）を導出する。遅延補正サイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）は、サイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）から誤差である遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じて除去したサイノグラムである。
断層像導出部１８は、第一の実施形態と同様に、被測定物１の断面の画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。なお、式（５）のＳ（ｘ，θ）をＳｒｎ（ｘ，θ）に置き換えれば画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出できる。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
次に、第五の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ６に第二被測定物２０を固定する（第５図（ａ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第二被測定物２０の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。第一の実施形態と同様に、群遅延導出部１４が、位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
次に、走査用ステージ６に第一被測定物１を固定する（第５図（ｂ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第一被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
群遅延導出部１４が、第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
ここで、サイノグラム導出部１６は、群遅延導出部１４から第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を受け、第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）の差分に基づき、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）を導出する（式（６）参照：ただし、ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）をＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に置き換える）。
さらに、遅延補正サイノグラム導出部１６２ａは、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じた遅延補正サイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）を導出する。遅延補正サイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）は、サイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）から誤差である遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じて除去したサイノグラムである。
断層像導出部１８は、第一の実施形態と同様に、被測定物１の断面の画像を導出する。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第五の実施形態によれば、収容具５に収容された被測定物１を、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）および位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）に基づき（具体的には、第一群遅延および第二群遅延の差分に基づき）ＣＴ法を行った場合に、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差を、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）から除去することができる。
なお、第二の実施形態で説明したように、第二被測定物２０の屈折率が既知である場合は（例えば、第二被測定物２０が空気（窒素雰囲気中や真空も含む）である場合）、第一被測定物１の屈折率についての画像を表示させることができる。なお、第二被測定物２０が空気であれば、第二被測定物２０を走査用ステージ６に固定してＸ方向などに移動させる必要は無い。
この場合、サイノグラム導出部１６が、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）から、さらに上記の式（７）（ただし、Ｓｒｎ（ｘ，θ）をＳｒｎ’（ｘ，θ）に置き換える）に基づき、第一被測定物１の屈折率についてのサイノグラムＳｎ’（ｘ，θ）を導出する。ただし、ｃは光速、Δｘはサイノグラムの空間分解能である。また、第二被測定物２０の屈折率が１であるものとする。さらに、群遅延差についてのサイノグラムＳｒｎ’（ｘ，θ）は、先に説明したように、第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）の差分に基づき導出されている。
第一被測定物１の屈折率についてのサイノグラムＳｎ（ｘ，θ）（遅延補正サイノグラム導出部１６２ａが、サイノグラムＳｎ’（ｘ，θ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じてサイノグラムＳｎ（ｘ，θ）を求める）から、断層像導出部１８が、第一の実施形態と同様に、被測定物１の断面の画像を導出する。ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
なお、第五の実施形態の変形例として、群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を補正することも考えられる。
第１５図は、第五の実施形態の変形例にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。第五の実施形態の変形例にかかる画像導出装置１０におけるＡＤ変換器１１、位相導出部１２、群遅延導出部１４は第五の実施形態と同様である。
遅延時間記録部１３は、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）が導出された周波数帯域における全てのｆにおいて、Δｔ（ｘ，θ，ｆ）＝Δｔ（ｘ，θ）として、遅延時間Δｔ（ｘ，θ，ｆ）を記録する。すなわち、Δｔは、ｆにかかわらず一定とみなす。
群遅延補正部１４２は、第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ，ｆ）を減じた補正群遅延を導出する。補正群遅延はＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）となる。
サイノグラム導出部１６は、補正群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）と第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）との差分に基づき（式（６）参照）、サイノグラム（Ｓｒｎ（ｘ，θ）となる）を導出する。
断層像導出部１８が、サイノグラムＳｒｎ（ｘ，θ）に基づき、被測定物１の断面の画像を導出する。
第二被測定物２０の屈折率が既知である場合は（例えば、第二被測定物２０が空気（窒素雰囲気中や真空も含む）である場合）、第一被測定物１の屈折率についての画像を表示させることができることも、先に説明したとおりである。
第六の実施形態
第六の実施形態は、第五の実施形態と同様に第一被測定物１および第二被測定物２０を用いるものの、サイノグラム導出部１６によるサイノグラムの導出および断層像導出部１８による画像の導出が第五の実施形態と異なる。
第１０図は、第六の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。
第六の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成は、第五の実施形態と同様であるため、説明を省略する。また、第六の実施形態にかかる画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３、群遅延導出部１４、サイノグラム導出部１６、遅延補正サイノグラム導出部１６２ａ、断層像導出部（画像導出部）１８を備える。以下、第五の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
ＡＤ変換器１１、位相導出部１２、遅延時間記録部１３および群遅延導出部１４は、第五の実施形態と同様であり、説明を省略する。
サイノグラム導出部１６は、第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づく第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）に基づく第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）を導出する（式（３）参照：ただし、ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）に、ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）またはＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を代入する）。
遅延補正サイノグラム導出部１６２ａは、遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を遅延時間記録部１３から読み出し、第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じた遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）を導出する。遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）は、第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）から誤差である遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じて除去したサイノグラムである。
断層像導出部（画像導出部）１８は、遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）に基づく第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）に基づく第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）を導出する。なお、画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）の導出法は、第一の実施形態と同様である。すなわち、式（５）のサイノグラムＳ（ｘ，θ）に、遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）および第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）を代入すれば、画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）を導出できる。
断層像導出部１８は、さらに、第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）の差分として、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差を示す画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。ただし、Ｆ（ｘ，ｙ）＝ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）−ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）である。なお、画像Ｆ（ｘ，ｙ）は、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差を示すとともに、第一被測定物１と第二被測定物２０との屈折率の差をも示す。
ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
次に、第六の実施形態の動作を説明する。
第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）および第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を導出するまでの動作は、第五の実施形態と同様である。
まず、走査用ステージ６に第二被測定物２０を固定する（第５図（ａ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第二被測定物２０の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。第一の実施形態と同様に、群遅延導出部１４が、位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第二被測定物２０を透過した電磁波の周波数領域における群遅延である第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
次に、走査用ステージ６に第一被測定物１を固定する（第５図（ｂ）参照）。そして、第一の実施形態と同様に、第一被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、位相導出部１２に与えられる。
位相導出部１２は、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
群遅延導出部１４が、遅延補正位相Ｐｈ１（ｘ，θ，ｆ）を周波数ｆで偏微分して、第一被測定物１を透過した電磁波の周波数領域における第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）を導出する。
ここまでの動作は第五の実施形態と同様である。
ここで、サイノグラム導出部１６は、群遅延導出部１４から第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を受け、第一群遅延ＧＤ１’（ｘ，θ，ｆ）に基づく第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）および第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）に基づく第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）を導出する。
ただし、第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）は、第一群遅延ＧＤ１（ｘ，θ，ｆ）を周波数で積分したものである。第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）は、第二群遅延ＧＤ２（ｘ，θ，ｆ）を周波数で積分したものである。
遅延補正サイノグラム導出部１６２ａは、第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘθ）から遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じた遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）を導出する。遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）は、第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）から誤差である遅延時間Δｔ（ｘ，θ）を減じて除去したサイノグラムである。
断層像導出部１８は、遅延補正サイノグラムＳＧＤ１（ｘ，θ）に基づく第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二サイノグラムＳＧＤ２（ｘ，θ）に基づく第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）を導出する。
断層像導出部１８は、さらに、第一被測定物１の断面の画像ＦＧＤ１（ｘ，ｙ）および第二被測定物２０の断面の画像ＦＧＤ２（ｘ，ｙ）の差分として、第一被測定物１と第二被測定物２０との群遅延差を示す画像Ｆ（ｘ，ｙ）を導出する。ディスプレイ８は、画像導出装置１０により導出された画像を表示する。
第六の実施形態によれば、被測定物１の電磁波の吸収率ではなく、位相Ｐｈ１’（ｘ，θ，ｆ）および位相Ｐｈ２（ｘ，θ，ｆ）に基づき（具体的には、第一群遅延および第二群遅延に基づき）ＣＴ法を行った場合に、収容具５を電磁波が透過することによる電磁波の遅延による誤差を、第一サイノグラムＳＧＤ１’（ｘ，θ）から除去することができる。
第七の実施形態
第七の実施形態にかかる電磁波測定装置は、被測定物１の電磁波の減弱率に基づき、被測定物１を測定するものである。
第七の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成は、第一の実施形態と同様であるため（第１図参照）、説明を省略する。収容具５は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
第１１図は、第七の実施形態にかかる画像導出装置１０の構成を示す機能ブロック図である。第七の実施形態にかかる画像導出装置１０は、ＡＤ変換器１１、透過率記録部１２０、補正パワー導出部１３０、減弱率導出部１４０、逆ラドン変換部１８０を備える。
ＡＤ変換器１１は、第一の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
透過率記録部１２０は、収容具５において電磁波が透過する透過面（第一曲面部分Ｓ１および第二曲面部分Ｓ２）における電磁波の反射を考慮したときの、電磁波のパワーが収容具５を透過する透過率Ｔを示す値を記録する。なお、「透過率を示す値」とは、透過率そのものでもよいし、透過率の関数（例えば、透過率の対数をとったもの）でもよいし、反射率（１００％−（透過率））でもよい。ここでは、透過率記録部１２０は、透過率Ｔそのものを記録しているとする。
屈折率ｎ０の媒質を進んだ光が、入射角θｉｎ１で屈折率ｎ１の媒質に入射したとする。このときのｐ偏光のパワー反射率Ｒｐ１は式（８）のように表され、ｓ偏光のパワー反射率Ｒｓ１は式（９）のように表される。
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よって、式（８）、式（９）により、点ｍ、点ｍ’、点ｎ、点ｎ’におけるｐ偏光（ｓ偏光）のパワー反射率を求めることができる。
ここで、点ｍにおけるｐ偏光（ｓ偏光）のパワー反射率をＲｐｍ（Ｒｓｍ）、点ｍ’におけるｐ偏光（ｓ偏光）のパワー反射率をＲｐｍ’（Ｒｓｍ’）、点ｎにおけるｐ偏光（ｓ偏光）のパワー反射率をＲｐｎ（Ｒｓｎ）、点ｎ’におけるｐ偏光（ｓ偏光）のパワー反射率をＲｐｎ’（Ｒｓｎ’）とする。
すると、電磁波（例えば、テラヘルツ波）がｐ偏光であるときの透過率ＴをＴｐとすると、
Ｔｐ＝（１−Ｒｐｍ’）（１−Ｒｐｍ）（１−Ｒｐｎ）（１−Ｒｐｎ’）
となる。
電磁波（例えば、テラヘルツ波）がｓ偏光であるときの透過率ＴをＴｓとすると、
Ｔｓ＝（１−Ｒｓｍ’）（１−Ｒｓｍ）（１−Ｒｓｎ）（１−Ｒｓｎ’）
となる。
電磁波が、例えば楕円偏光であり、ｐ方向成分とｓ方向成分とをパワー比率ａ：１−ａで含む場合の透過率Ｔは（ただし、０＜ａ＜１）、
Ｔ＝ａＴｐ＋（１−ａ）Ｔｓ
となる。
補正パワー導出部１３０は、電磁波検出器４の検出した電磁波のパワー（Ｉ’（Ｘ，θ）とする）および透過率Ｔに基づき、透過率Ｔが１００％であるときに検出される電磁波のパワーである補正パワーＩ（Ｘ，θ）を導出する。ただし、Ｘは、交差部分１００のＸ軸切片である。すなわち、Ｘは、Ｘ軸（Ｘ方向に延伸する軸）と交差部分１００との交点のＸ軸座標である。また、θは、交差部分１００と、Ｘ軸に直交する水平軸とがなす角度である。
補正パワー導出部１３０は、例えば、Ｉ＝Ｉ’／Ｔとして、補正パワーＩを導出する。
減弱率導出部１４０は、補正パワーＩ（Ｘ，θ）に基づき、被測定物１を透過した電磁波の減弱率ｇ（Ｘ，θ）を導出する。
被測定物１に向かって進行する電磁波のパワー（強度）をＩ０とする。すると、電磁波の減弱率ｇ（Ｘ，θ）は、ｌｎ（Ｉ０／Ｉ（Ｘ，θ））である。
逆ラドン変換部１８０は、減弱率導出部１４０から減弱率ｇ（Ｘ，θ）を受けて、逆ラドン変換を行い、断面像を得る。断面像は、ディスプレイ８に与えられる。なお、逆ラドン変換部１８において、断面像に対応させる所定の色を決定し、決定された色をディスプレイ８に与えてもよい。
次に、第七の実施形態の動作を説明する。
まず、走査用ステージ６に被測定物１を固定する。そして、走査用ステージ６をＸ方向、Ｚ方向（第１図の紙面に垂直な方向）に移動させ、しかも、θ方向へ移動させながら、電磁波出力器２から０．０１［ＴＨｚ］以上１００［ＴＨｚ］以下の周波数の電磁波（例えば、テラヘルツ波）を被測定物１に向けて出力する。被測定物１に向けて出力されたテラヘルツ波は被測定物１を透過する。被測定物１を透過した電磁波は、電磁波検出器４により検出される。このようにして、被測定物１の走査が行われる。
電磁波検出器４の検出結果（パワーＩ’（Ｘ，θ））は、画像導出装置１０のＡＤ変換器１１に与えられる。電磁波検出器４の検出結果は、ＡＤ変換器１１により、デジタル信号に変換され、補正パワー導出部１３０に与えられる。パワーＩ’（Ｘ，θ）は、収容具５による反射に起因する誤差を含んでいる。
補正パワー導出部１３０は、電磁波のパワーが収容具５を透過する透過率Ｔで、パワーＩ’（Ｘ，θ）を割って、補正パワーＩ（Ｘ，θ）を導出する。これにより、収容具５による反射に起因する誤差がパワーＩ’から除去されて補正パワーＩとなる。
減弱率導出部１４０は、補正パワーＩ（Ｘ，θ）から、減弱率ｇ（Ｘ，θ）（＝ｌｎ（Ｉ０／Ｉ（Ｘ，θ）））を導出する。
逆ラドン変換部１８０は、減弱率導出部１４０から減弱率ｇ（Ｘ，θ）を受けて、逆ラドン変換を行い、断面像を得る。
断面像がディスプレイ８に与えられ、表示される。
第七の実施形態によれば、収容具５に収容された被測定物１を、パワーＩ’（Ｘ，θ）に基づきＣＴ法を行った場合に、収容具５による反射に起因する誤差を、パワーＩ’（Ｘ，θ）から除去することができる。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、上記の各部分、例えば画像導出装置１０を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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