(57)【要約】  搬送物をハンドで支持し、２箇所以上の受渡し地点の間を搬送するロボットのティーチング方法であって、前記受渡し地点に載置された時の前記搬送物と同一の中心軸となるように、位置決め治具を前記受渡し地点に配する治具配置工程と；前記各受渡し地点において、前記ハンドの当接部が前記位置決め治具に当接する位置まで前記ハンドを動かし、コントローラに前記ハンドの位置をティーチングするティーチング工程と；を備える。
2011001675.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物をハンドで支持し、２箇所以上の受渡し地点の間を搬送するロボットのティーチング方法であって、
前記受渡し地点に載置された時の前記搬送物と同一の中心軸となるように、位置決め治具を前記受渡し地点に配する治具配置工程と；
前記各受渡し地点において、前記ハンドの当接部が前記位置決め治具に当接する位置まで前記ハンドを動かし、コントローラに前記ハンドの位置をティーチングするティーチング工程と；
を備えることを特徴とするロボットのティーチング方法。
【請求項２】
前記当接部は、前記位置決め治具の中心軸と、前記ハンドに支持された際の前記搬送物の中心軸とが重なる位置で、前記位置決め治具の周面に当接する面を利用することを特徴とする請求項１記載のロボットのティーチング方法。
【請求項３】
前記位置決め治具を前記受渡し地点に配する際には、前記位置決め治具の中心軸と前記搬送物の中心軸とが重なる位置に前記位置決め治具を誘導する指標を利用することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のロボットのティーチング方法。
【請求項４】
前記受渡し地点を、複数のロボット間で前記搬送物を授受する地点とすることを特徴とする請求項１ないし３の何れか１項に記載のロボットのティーチング方法。
【請求項５】
前記ロボットは、サーボモータによって駆動されることを特徴とする請求項１ないし４の何れか１項に記載のロボットのティーチング方法。
【請求項６】
前記ロボットは、同心２軸モータによって、伸縮運動及び旋回運動することを特徴とする請求項１ないし５の何れか１項に記載のロボットのティーチング方法。
【請求項７】
当接面を有するハンドで搬送物を支持して、２箇所以上の受渡し地点の間で前記搬送物を搬送するロボットと；
前記ロボットに接続されて、前記ロボットに関する情報を得るエンコーダと；
前記エンコーダによって得られた情報に基づいて、前記ハンドの位置を算出して、ロボットのティーチング・データを生成するコントローラと；
前記ハンドの前記当接面に当接した際に、前記受渡し地点に載置された時の前記搬送物と同一の中心軸となるように前記受渡し地点に配置された位置決め治具と；
を備えることを特徴とするロボットのティーチング装置。
【請求項８】
前記ロボットは、真空搬送ロボットであることを特徴とする請求項７に記載のロボットのティーチング装置。
【請求項９】
少なくとも一部の前記位置決め治具の周面は、曲面形状を有し；
前記ハンドの前記当接面は、少なくとも三点で前記位置決め治具の周面に当接することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載のロボットのティーチング装置。
【請求項１０】
前記ハンドの前記当接面は、前記位置決め治具の当接する周面と同じ曲率を有する曲面であることを特徴とする請求項７ないし９の何れか一項に記載のロボットのティーチング装置。
【請求項１１】
前記位置決め治具の一面には、突部が形成され；
前記受渡し地点の一面には、前記突部に結合される凹部が形成されていることを特徴とする請求項７ないし１１の何れか一項に記載のロボットのティーチング装置。
【請求項１２】
前記位置決め治具の一方の面には、突出した周壁面が形成され；
前記位置決め治具の他方の面には、前記ハンドの前記当接面に当接する周面を有する突出部が形成され；
前記位置決め治具を前記受渡し地点に配置した状態で、前記受渡し地点は前記周壁面により形成された凹部に収納されることを特徴とする請求項７ないし１１の何れか一項に記載のロボットのティーチング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送用ロボットに動作を教示するロボットのティーチング方法及びロボットのティーチング装置に係り、詳しくは、短時間で正確にロボットのティーチングを行う技術に関する。
本願は、２００９年０６月３０日に、日本に出願された特願２００９−１５５７２３号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
基板の搬送に用いられる搬送用ロボットなどの産業用ロボットは、所定の動作プログラムによって駆動する。この動作プログラムの生成にあたって、ティーチングマンと称される技能者が、実際にロボットの可動部、例えばアーム、ハンド等を、所望の動作に沿って動かす（教示）。例えば、マルチチャンバ型の真空装置において、基板を搬送させるロボットでは、ハンドの停止位置までのストローク、停止位置におけるハンドの角度および高さを教示させる。【０００３】
そして、ロボットの可動部のストロークや角度を数値化して出力するエンコーダによって、ハンドの停止位置までのストロークと、停止位置におけるハンドの角度および高さとを検出し、その結果をコントローラに記録する。そして、記録したデータに基づいて、ロボットの動作プログラムが生成される。ロボットの動作時には、生成した動作プログラムに基づいて、可動部を動かす。【０００４】
従来、例えばウェーハなどの円盤状の基板を、複数の受渡し地点の間で移動させる搬送用ロボットのティーチングにあたって、基板を支持するハンドに、模擬基板を載置するとともに、ハンドに形成した開口等を利用して、各受渡し地点に円盤状の治具をピンなどで固定する。【０００５】
そして、この治具の中央に穴などの指標を設け、指標に対しレーザー光を照射するなどの手段で指標を検知することにより、各受渡し地点におけるハンドの停止位置、例えば受渡し位置をティーチングしていた（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−００４２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、レーザー光を用いてティーチングに使用する治具の設置位置を調整する方法では、レーザー光源や、レーザー光を検出する部品（手段）が必要となり、ティーチングに必要な設備のコストが大きくなるという課題があった。また、レーザー光の投光位置の調整が必要となり、実際にティーチングを行う前のセッティングに時間が掛かるという課題もあった。【０００８】
更に、ハンドに設けた指標、例えば穴や突起の位置に基づいて基板の中心軸を特定するため、ティーチングに用いる治具の設置位置の位置決め精度が落ちてしまうという課題があった。例えば、ハンドに載置する基板位置の中心を示す穴や突起などの位置決め指標を設けることが困難な場合、ハンドに対して複数の指標を形成し、これら複数の指標を基準として中心の指標を有する治具を設置する必要が生じる。このため、ティーチングに用いる治具の設置位置における位置決め精度が低下するという課題があった。【０００９】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、略円盤状の搬送物を搬送する搬送用ロボットを、簡易な構成で、短時間かつ高精度にティーチングすることが可能であるロボットのティーチング方法及びロボットのティーチング装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、次のようなロボットのティーチング方法及びロボットのティーチング装置を提供する。
本発明の一態様に係るロボットのティーチング方法は、搬送物をハンドで支持し、２箇所以上の受渡し地点の間を搬送するロボットのティーチング方法であって、前記受渡し地点に載置された時の前記搬送物と同一の中心軸となるように、位置決め治具を前記受渡し地点に配する治具配置工程と；前記各受渡し地点において、前記ハンドの当接部が前記位置決め治具に当接する位置まで前記ハンドを動かし、コントローラに前記ハンドの位置をティーチングするティーチング工程と；を備える。
（２）前記当接部は、前記位置決め治具の中心軸と、前記ハンドに支持された際の前記搬送物の中心軸とが重なる位置で、前記位置決め治具の周面に当接する面を利用してもよい。
（３）前記位置決め治具を前記受渡し地点に配する際には、前記位置決め治具の中心軸と前記搬送物の中心軸とが重なる位置に前記位置決め治具を誘導する指標を利用してもよい。
（４）前記受渡し地点を、複数のロボット間で前記搬送物を授受する地点としてもよい。
（５）前記ロボットは、サーボモータによって駆動されてもよい。
（６）前記ロボットは、同心２軸モータによって、伸縮運動及び旋回運動してもよい。
（７）本発明の一態様に係るロボットのティーチング装置は、当接面を有するハンドで搬送物を支持して、２箇所以上の受渡し地点の間で前記搬送物を搬送するロボットと；前記ロボットに接続されて、前記ロボットに関する情報を得るエンコーダと；前記エンコーダによって得られた情報に基づいて、前記ハンドの位置を算出して、ロボットのティーチング・データを生成するコントローラと；前記ハンドの前記当接面に当接した際に、前記受渡し地点に載置された時の前記搬送物と同一の中心軸となるように前記受渡し地点に配置された位置決め治具と；を備える。
（８）前記ロボットは、真空搬送ロボットであってもよい。
（９）少なくとも一部の前記位置決め治具の周面は、曲面形状を有し；前記ハンドの前記当接面は、少なくとも三点で前記位置決め治具の周面に当接してもよい。
（１０）前記ハンドの前記当接面は、前記位置決め治具の当接する周面と同じ曲率を有する曲面であってもよい。
（１１）前記位置決め治具の一面には、突部が形成され；前記受渡し地点の一面には、前記突部に結合される凹部が形成されてもよい。
（１２）前記位置決め治具の一方の面には、突出した周壁面が形成され；前記位置決め治具の他方の面には、前記ハンドの前記当接面に当接する周面を有する突出部が形成され；前記位置決め治具を前記受渡し地点に配置した状態で、前記受渡し地点は前記周壁面により形成された凹部に収納されてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様にかかるロボットのティーチング方法及びロボットのティーチング装置によれば、誤差なく正確に搬送物を搬送可能なロボットの駆動プログラムを生成することができる。【００１２】
しかも、こうしたティーチングの際に、従来のようにレーザー光を使用してハンドの停止位置を示す指標受渡し位置に配置するなど、手間と時間の掛かる方法を用いなくても、位置決め治具を受渡し地点に配するだけで、位置決め治具を受渡し地点の中心に容易に設置できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】搬送用ロボットの第１構成例を示す平面図である。
【図２Ａ】搬送用ロボットの動作を示す側面図である。
【図２Ｂ】搬送用ロボットの動作を示す平面図である。
【図２Ｃ】搬送用ロボットの動作を示す平面図である。
【図３】ロボットを構成するハンドを示す拡大平面図である。
【図４】位置決め治具を受渡し地点に配した状態を示す断面図である。
【図５Ａ】本発明の第１実施形態に係るロボットのティーチング方法を示した説明図である。
【図５Ｂ】図５Ａの中心線に沿った断面図である。
【図５Ｃ】同実施形態に係るロボットのティーチング方法を示した説明図である。
【図５Ｄ】同実施形態に係るロボットのティーチング方法を示した説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るロボットのティーチング方法の構成例を示す平面図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係るロボットのティーチング方法の構成例を示す平面図である。
【図８Ａ】本発明の第４実施形態に係るロボットのティーチング方法の構成例を示す平面図である。
【図８Ｂ】図８Ａの断面図である。
【図９Ａ】本発明の第５実施形態に係るロボットのティーチング方法の構成例を示す平面図である。
【図９Ｂ】図９Ａの断面図である。
【図１０】本発明の第６実施形態に係るロボットのティーチング方法の構成例を示す断面図である。
【図１１】本発明のロボットのティーチング方法を適用することが可能であるロボットの第２構成例を示す平面図である。
【図１２】本発明のロボットのティーチング方法を適用することが可能であるロボットの第３構成例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係る搬送用ロボットのティーチング方法及びロボットのティーチング装置について、図面に基づき説明する。なお、これらの実施形態は発明の趣旨をより良く理解させるために、例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１５】
図１は、ティーチングを行う搬送用ロボットを備えた真空装置の第１構成例を示す平面図である。
マルチチャンバ型の真空装置１０は、搬送室１１を有し、この搬送室１１の内部に搬送用ロボット２０が配置されている。この搬送用ロボット２０は、例えば、真空装置１０で処理を行う略円盤状の基板１５を搬送する。
【００１６】
搬送室１１の周囲には、搬入室１２と、搬出室１３と、複数の処理室１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが接続されている。搬送用ロボット２０によって、搬送物である基板１５を、各室１１〜１３、１４ａ〜１４ｄの間で移動させることができる。
【００１７】
図２Ａは、搬送用ロボット２０の側面図である。図２Ｂ及び図２Ｃは、搬送室１１の天井側から俯瞰した平面図である。搬送用ロボット２０は、回転軸３０と、第一、第二の能動アーム２１ａ，２１ｂと、第一、第二の従動アーム２２ａ，２２ｂと、ハンド２３と、上下動装置２４とを有している。
【００１８】
回転軸３０は、外筒３０ａと、この外筒３０ａの内部に配置された内筒３０ｂとを備える。外筒３０ａと内筒３０ｂとは、同心２軸モータ２５に接続され、同一の回転軸線Ｐを中心として独立に回転することができる。なお、図２Ｃに示すように、この同心２軸モータ２５には後述するエンコーダ２６が接続されている。エンコーダ２６は、ロボットティーチングの際に、能動アーム２１ａ，２１ｂや従動アーム２２ａ，２２ｂの動き、例えば、これらアームのストロークや角度を検出する。
上下動装置２４は、能動アーム２１ａ，２１ｂ、従動アーム２２ａ，２２ｂ、ハンド２３などの可動部を高さ方向ｈ（図２Ａ）に沿って上下動させる。
【００１９】
第一、第二の能動アーム２１ａ，２１ｂのうちの一方が外筒３０ａに固定され、他方が内筒３０ｂに固定されている。本実施形態では、第一の能動アーム２１ａが外筒３０ａに固定され、第二の能動アーム２１ｂが内筒３０ｂに固定されている。第一、第二の従動アーム２２ａ，２２ｂは第一、第二の能動アーム２１ａ，２１ｂの先端部分に、それぞれ回動可能に取り付けられている。本実施形態では、第一の従動アーム２２ａが第一の能動アーム２１ａの先端部分に回動可能に取り付けられ、第二の従動アーム２２ｂが第二の能動アーム２１ｂの先端部分に回動可能に取り付けられている。
【００２０】
回転軸線Ｐが鉛直になるように回転軸３０は鉛直に配置されており、第一、第二の能動アーム２１ａ，２１ｂと第一、第二の従動アーム２２ａ，２２ｂは水平に配置されている。従って、第一、第二の能動アーム２１ａ，２１ｂと第一、第二の従動アーム２２ａ，２２ｂは水平面内で移動することができる。
【００２１】
第一、第二の回動軸線Ｑａ，Ｑｂは、夫々第一、第二の従動アーム２２ａ，２２ｂの第一、第二の能動アーム２１ａ，２１ｂに対する回動中心である。第一の回動軸線Ｑａと回転軸線Ｐの間の距離と、第二の回動軸線Ｑｂと回転軸線Ｐの間の距離は等しくなっている。
【００２２】
以上のような構成によって、基板１５を支持するハンド２３は、回転軸線Ｐを中心に回転することが可能であると共に、図２Ｂに示す方向ｋ（ハンドの水平移動方向）に沿って水平移動することが可能である。すなわち、図２Ｂ及び図２Ｃにおける方向ｋが示すように、ハンド２３は回転軸線Ｐから遠ざかる方向に向けて水平移動するか、回転軸線Ｐに近づく方向に向けて水平移動することができる。また、ハンド２３は、上下動装置２４によって、水平方向に直交する高さ方向ｈに沿って上下動可能にされる。即ち、ハンド２３は、所定の範囲内でのＸＹＺの３次元方向に自在に移動することが可能である。これによって、搬送物である基板１５を各室１１〜１３、１４ａ〜１４ｄ間（図１参照）で自在に移動させることができる。
【００２３】
図３は、基板１５を支持する第１例に係るハンド２３を示す拡大平面図である。
ハンド２３には、基板１５を載置するフォーク２７と、基板１５の周面と同様の曲率で形成され、基板１５を支持した際に基板１５の周縁と当接する支持端２８とが形成されている。本実施形態において、この支持端２８の形状は、支持する基板１５の形状に対応して形成することができる。そして、フォーク２７の中央付近には、当接部２９が形成されている。この当接部２９は、例えば、後述するロボットティーチングの際に使用する、略円筒形の位置決め治具４１の周面と同様の曲率の面を構成していればよい。本実施形態において、この当接部２９の形状は、位置決め治具４１の周面形状に対応して形成することができる。
【００２４】
図４は、位置決め治具４１を受渡し地点に配した状態を示す側面断面図であって、ロボットのティーチングを行う際に使用する位置決め治具４１の一例を示している。ティーチングを行う際に使用する位置決め治具４１は、例えば、搬送物である基板１５を授受する複数の受渡し地点（以下、ステージと称する）に設置される。位置決め治具４１は、例えば円筒形を成す部材からなり、一面（底面）の中心Ｔに位置決め突起（指標）４２が形成されている。
【００２５】
そして、ロボットティーチングの際に、予め位置決め治具４１をステージ５１に設置する際には、ステージ５１の中心、即ち基板を載置する領域の中心Ｓに形成された凹部（指標）５２に対して、位置決め突起（指標）４２を差し込むように位置決め治具４１を設置する。これによって、位置決め治具４１の中心Ｔがステージ５１の中心Ｓに合致するように、容易に位置決め治具４１をステージ５１に設置することができる。
【００２６】
次に、上述したような構成の搬送用ロボットを用いた、ロボットのティーチング方法について説明する。
搬送用ロボットの使用にあたっては、真空装置１０の各室１１〜１３、１４ａ〜１４ｄにおける基板１５の受渡し位置（載置位置）に、正確にハンド２３を誘導する必要がある。例えば、受渡し位置における基板１５の設置許容誤差は±１ｍｍ以下、好ましくは±０．２ｍｍ以下である。
【００２７】
このような設置許容誤差について、ハンド２３によって中間室を介して基板１５を受渡しする場合に、ハンド２３と基板１５が予期しない箇所で接触し、ダストが生じることは好ましくない。例えば、±１．５ｍｍ以上のズレが生じると、基板１５の側面がハンド２３の周縁部に接触する懸念がある。一方、ハンド２３の停止位置精度が±０．１５ｍｍである場合、設置許容誤差が±０．２ｍｍ以下であるのが好ましい。
【００２８】
一方、中間室以外において、基板１５を載置する場合、基板１５が、例えば、３００ｍｍの円盤状の基板に対して、静電チャックの直径が２９４ｍｍであった場合、この円盤状の基板が３ｍｍ以上ずれると、ステージ５１の静電チャック表面が露出するために、静電チャックまで成膜やエッチングなどの処理がされてしまう。基板１５の側面や裏面に膜の回り込み形成が許容されない場合、例えば、±０．５ｍｍ以下の設置許容誤差の範囲に収めることが求められる。
【００２９】
このため、搬送用ロボットの稼動に先立って、まず最初にティーチングマンと称される作業者が、ハンド２３を所望の動作で実際に動かし、この動きをエンコーダ２６によって検出することで、動作プログラムを生成する（ロボットティーチング）。すなわち、このエンコーダ２６によって得られた情報に基づき、例えばコントローラによって、ハンドの位置を算出して、ロボットのティーチング・データを生成する。
【００３０】
図５Ａ、図５Ｃ、図５Ｄは、第１実施形態に係るロボットのティーチング方法を段階的に図示した説明図である。
図５Ａに示すように、搬送用ロボットのティーチングを行う際には、まず、搬送用ロボットによって基板の授受を行う全てのステージ（受渡し地点）５１，５１…に、略円筒形の位置決め治具４１を設置する（治具配置工程）。
【００３１】
位置決め治具４１の設置にあたっては、図５Ｂに示すように、ステージ５１の中心、即ち基板を載置する領域の中心Ｓに形成された凹部５２に対して、位置決め突起（指標）４２を差し込むように位置決め治具４１を設置する。これによって、位置決め治具４１の中心Ｔがステージ５１の中心Ｓに合致するように、容易に位置決め治具４１をステージ５１に設置することができる。
【００３２】
次に、エンコーダ２６（図２Ｃ参照）を記録状態にした上で、ハンド２３を実際にステージ５１に向けて動かす（図５Ｃ参照）。
そして、ステージ５１に配された位置決め治具４１をハンド２３のフォーク２７で挟むように、ハンド２３を挿入する。そして、ハンド２３の当接部２９に対して、位置決め治具４１の周面４１ａが当接する位置までハンド２３を移動させ、この当接した状態の位置をこのステージ５１でのハンド２３の停止位置（受渡し位置）として記録する（教示工程）。
【００３３】
この時、位置決め治具４１の中心軸Ｔは、ステージ５１に基板１５を載置した時の基板１５と同一の中心軸となるように配置されている。そして、ハンド２３が基板１５を支持した際の基板１５の中心軸Ｗと同軸の湾曲面からなる当接部２９と、位置決め治具４１の周面４１ａとが当接した位置までハンド２３を動かし、このステージ５１でのハンド２３の停止位置として記録することによって、ステージ５１の中心に、誤差なく正確に基板１５を搬送することが可能となる。
すなわち、位置決め治具の中心軸は受渡し地点に搬送物を載置した時の搬送物と同一の中心軸となるように配置されている。そして、ハンドが搬送物を支持した際の中心軸と同軸の面からなる当接部と、位置決め治具の周面とが当接した位置までハンドを動かし、ハンドの受渡し位置として記録することによって、受渡し地点の中心に、誤差なく正確に搬送物を搬送可能なロボットの駆動プログラムを生成することができる。
【００３４】
しかも、このようなティーチングの際に、従来のようにレーザー光を使用してハンド２３の停止位置を示す指標を受渡し位置に配置するなど、手間と時間の掛かる方法を用いなくても、位置決め治具４１に形成された位置決め突起４２を、ステージ５１の中心に形成された凹部５２に係合させるように設置するだけで、位置決め治具４１をステージ５１の中心に容易に設置できる。
【００３５】
この後、同様に、複数のステージ（受渡し地点）５１，５１…に向けてハンド２３を所望の動作で動かし、それぞれのステージ５１においてハンド２３の当接部２９と、位置決め治具４１の周面４１ａとが当接した位置を、ハンド２３の停止位置として記録することによって、容易に、かつ短時間で搬送用ロボット２０のティーチングを行うことができる。
【００３６】
なお、位置決め治具４１に当接させる当接部２９の当接面は、必ずしも位置決め治具４１の周面４１ａと同じ曲率の湾曲面である必要はない。例えば、図６に示すように、ステージ（受渡し地点）に設置した略円筒形の位置決め治具４１の周面４１ａに対して、少なくとも３点Ｆ１〜Ｆ３で当接するように、ハンド７１の当接部７２を形成すればよい。
【００３７】
また、位置決め治具４１は必ずしも円筒形である必要はない。例えば、図７に示すように、位置決め治具７５の形状を、両側面が平坦面７５ａで、かつハンド７６に挿入する方向の前後面が曲面７５ｂを成すように形成しても良い。これによって、位置決め治具７５をハンド７６に挿入した際のブレが少なく、かつティーチング時の位置決め治具７５への挿入も容易となる。
【００３８】
ステージに対する位置決め治具の設置方法は、上述したような突起と凹部との係合に限定されない。例えば、図８Ａ〜図８Ｂに示すように、位置決め治具８１の形状として、ロボットを構成するハンド８３に当接（係合）する上部体８１ａと、ステージ８２に係合する下部体８１ｂとから構成しても良い。
【００３９】
このような構成では、ティーチング時に位置決め治具８１をステージ８２に配する際に、ステージ８２を下部体８１ｂに被せるようにするだけで、位置決め治具８１をステージ８２の中心に正確に配置できる。また、ステージ８２に穴（開口）などを設ける必要がないので、既存のステージなど、新たに開口を形成することが困難な搬送用ロボットに対しても、本発明のロボットのティーチング方法を適用できる。
【００４０】
また、例えば、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、位置決め治具１０１の形状を、円形の一部を切り欠いた平坦面１０１ａを有し、かつ、この平坦面１０１ａどうしの幅がハンド１０３の幅よりも小さくなるように形成しても良い。これによって、位置決め治具１０１をハンド１０３に挿入する際の摩擦が低減し、治具の磨耗による位置決め精度の低下を防止することができる。
【００４１】
また、図１０に示すように、ステージ８５の周囲に位置決め治具８６を誘導する指標８７を設け、この指標８７に係合させるようにステージ８５に対して位置決め治具８６を配する構造であっても良い。
【００４２】
位置決め治具を設置する際に、複数の異なる角度からハンドを当接させて教示するために、例えば、ネジなどの固定手段を用いて位置決め治具を固定することも好ましい。これによって、位置決め治具と設置位置とのガタツキにより、ハンドを押し当てる際の押し当て方向によって記録される位置がずれてしまうことを防止できる。
【００４３】
更に、ハンドを位置決め治具に押し当てた際に、位置決め治具の頂部とハンドの上面との位置が合致する高さとなるように、位置決め治具を形成することも好ましい。これによって、受渡し位置の高さに余裕がない場合でも、本発明を適用することが可能になる。
【００４４】
本発明の実施形態に係るロボットのティーチング方法を適用可能なロボットは、図１に示す構成のロボットに限定されない。例えば、図１１に示すように、１つの可動軸９１を中心に対称に配された２つのハンド９２ａ，９２ｂをもつ搬送用ロボット９０のティーチングにも好適に使用できる。
【００４５】
また、例えば、図１２に示すように、２つの真空装置９５，９６と、この間に設けられた受渡し室９７のそれぞれの間で、搬送物（基板）を搬送する２つのハンド９８ａ，９８ｂをもつ搬送用ロボット９９のティーチングにも好適に使用できる。
以上の説明で、略円盤状の基板を搬送物として説明したが、これのみに限定されず、四角状の基板を搬送することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の実施形態に係るロボットのティーチング方法によれば、誤差なく正確に搬送物を搬送することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１０        搬送用ロボット（ロボット）
１５        基板（搬送物）
２３        ハンド
２９        当接部
４１        位置決め治具
５１        ステージ（受渡し地点）
【図１】
2011001675.tif 000003
【図２Ａ】
2011001675.tif 000004
【図２Ｂ】
2011001675.tif 000005
【図２Ｃ】
2011001675.tif 000006
【図３】
2011001675.tif 000007
【図４】
2011001675.tif 000008
【図５Ａ】
2011001675.tif 000009
【図５Ｂ】
2011001675.tif 000010
【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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