【事件の表示】
　特許第３００４０２２号「真空ポンプ用モータ制御装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３００４０２２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３００４０２２号の請求項１に係る発明は、平成１年８月２９日に特許出願され、平成１１年１１月１９日にその特許権の設定 登録がなされ、その後、岡田国男により特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年２月１３日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
１　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を出力するモータ設定回転数比較手段、」を、「前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を連続的に出力する第１の増幅器、」と訂正する。
２　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記モータ設定回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧をモータに供給するための周波数比較手段、」を、「前記第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器、」と訂正する。
３　訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記すべり周波数比較手段からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する手段を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」を、「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算して前記モータに供給する加算器を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」と訂正する。
４　訂正事項ｄ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第１３行〜第１４行）の「負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を出力するモータ設定回転数値と、」を、「負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を連続的に出力する第１の増幅器と、」と訂正する。
５　訂正事項ｅ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第１５行〜第１７行）の「モータ設定回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するためのすべり周波数比較手段と、」を、「第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器と、」と訂正する。
６　訂正事項ｆ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第１８行〜第２０行）の「回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、すべり周波数比較手段からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する手段とを備えて構成される。」を、「回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する加算器とを備えて構成される。」と訂正する。
７　訂正事項ｇ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第２２行〜第２４行）の「この発明に係る真空ポンプ用モータ制御装置は、ロータの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応じた電圧を出力し、」を、「この発明に係る真空ポンプ用モータ制御装置は、ロータの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応じた電圧を連続的に出力し、」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、発明を特定する事項である「前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を出力するモータ設定回転数比較手段、」を、「前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を連続的に出力する第１の増幅器、」という発明特定事項に減縮するものであり、しかも、これについては願書に添付された明細書の第４頁第１７行〜第２０行および第１図に記載されているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　上記訂正事項ｂは、発明を特定する事項である「前記モータ設定回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧をモータに供給するための周波数比較手段、」を、「前記第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器、」という発明特定事項に減縮するものであり、しかも、これについては願書に添付された明細書の第４頁第２０行〜第５頁第３行，第１図および第２図に記載されているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　上記訂正事項ｃは、発明を特定する事項である「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記すべり周波数比較手段からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する手段を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」を、「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算して前記モータに供給する加算器を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」という発明特定事項に減縮するものであり、しかも、これについては願書に添付された明細書の第４頁第１７行〜第５頁第３行および第１図に記載されているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　上記訂正事項ｄ〜ｇは、特許請求の範囲の上記訂正事項ａ〜ｃとの整合性を図るためのものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。
 上記訂正事項は、いずれも、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要 
　申立人岡田国男は、すべりに応じてモータ供給電圧を制御するのは特開昭６０−２０７４８４号公報（甲第２号証）および特開昭５８−１７５９８９号公報（甲第３号証）に記載のように慣用技術であるから、請求項１に係る発明は、本件特許出願の日前の特許出願であって、その出願後に出願公開がされた平成１年特許願第３４６０８号出願（特許出願公開平成２年第２１５９９６号；甲第１号証）の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、この出願の発明者がその出願前の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、またこの出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができず、取り消されるべきであると主張している。
（２）本件の請求項１に係る発明 
上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明（「本件発明」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものと認める。
「真空ポンプを駆動するモータの回転数を制御するための真空ポンプ用モータ制御装置であって、
　前記真空ポンプのロータの回転数に基づいて、前記モータの負荷を検出する負荷検出手段、
　前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を連続的に出力する第１の増幅器、
　前記第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器、
　前記負荷検出手段によって検出された回転数が定常回転数を越えたか否かを判別する回転数判別手段、および、
　前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算して前記モータに供給する加算器を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」
（３）刊行物等
　特許異議申立人が証拠として提出した刊行物には、それぞれ、以下のような発明が記載されている。
　甲第１号証
「ターボ分子ポンプ駆動用交流誘導モータに交流電力を供給するインバータ出力回路と、該インバータ出力回路に流れる電流又はインバータ出力回路から出力される電流を監視する電流検出回路と、前記インバータ出力回路の出力電圧を切換える電圧制御回路とを具備し、前記電流検出回路で検出する電流により前記電圧制御回路を介して前記インバータ出力回路の出力電圧を検出電流が大きいときは大きく、小さいときは小さく切替制御することを特徴とするターボ分子ポンプ駆動電源装置。」（特許請求の範囲）
　甲第２号証
　「すべり周波数制御回路」として、「インバータ駆動方式の三相誘導電動機のすべり周波数制御において、上記電動機の力行時は過負荷トルクを大きく取り始動電流を抑制するために、上記誘導電動機の回転数比例電圧と速度設定電圧との差すなわち「すべり」を検出し、「すべり」が一定値以上になるとそれ以上「すべり」が増えないように電圧／周波数設定値を保持すると共に、すべり値を増幅して電圧補償回路により電圧のみを上げ、過負荷トルクを増大したことを特徴としている。」（公報第３頁、発明の概要欄）と記載されている。
　また、電圧／周波数の値を設定する電圧−周波数変換器としては、第２図の直線Ａに示される通常使うＶ−ｆ変換器９と、第２図の直線Ｂに示されるよう電圧／周波数の値を上げるためのＶ−ｆ変換器１１を備え、これらを切り換えて使うことにより、電圧と周波数の比を変えることにより所定の周波数に対する電圧値を高低いずれかに切換るものが記載されている。
　甲第３号証
　「インバータ装置」として、以下の記載がある。
「交流電動機を負荷とするインバータ装置に於いて、負荷電動機のすべりを検出し、このすべりに応じて出力電圧を変化させることを特徴とするインバータ装置。」（特許請求の範囲）
「（１５）は電圧指令補正回路で、すべり信号Ｗｓが入力され、このＷｓの絶対値｜Ｗｓ｜の値に応じて電圧指令回路（１１）の出力Ｖｖｅｆを補正する様に構成されている。
　第５図はこのように補正された電圧指令回路（１１）の出力特性を例示したもので、実線が第３図に示した定格値に等しく、一点鎖線が無負荷の時の出力を示す。｜Ｗｓ｜が小さい領域、即ち負荷が軽い状態に於いては、定格値より出力Ｖｖｅｆを小さくし、｜Ｗｓ｜の増加に伴って次第に定格値に近づける様になっている。」（公報第２頁左下欄第１７行〜右下欄第７行）
（４）対比・判断
　本件発明と、上記甲第１号証の出願に係る発明（以下、「引用発明」という。）とを対比すると、引用発明は、本件発明を特定する事項である、
「前記第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器」、
「前記負荷検出手段によって検出された回転数が定常回転数を超えたか否かを判別する回転数判別手段」、および、
「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する加算器」
の構成を備えておらず、また、甲第２号証および甲第３号証によってもこれらの構成を備えることが自明の事項であるとも認められない。
　当該事項により本件発明は、「負荷変動に対してロータ回転数の変動を小さく抑えることができ、モータの発熱を抑えることができる。」という効果を奏するものであり、本件発明が引用発明と同一のものであるとすることはできない。
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る特許を取り消すことができない。また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年３月２６日（２００２．３．２６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を出力するモータ設定回転数比較手段、」を、「前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を連続的に出力する第１の増幅器、」と訂正する。
２　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記モータ設定回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧をモータに供給するための周波数比較手段、」を、「前記第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器、」と訂正する。
３　訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項１中の「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記すべり周波数比較手段からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する手段を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」を、「前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算して前記モータに供給する加算器を備えた、真空ポンプ用モータ制御装置。」と訂正する。
４　訂正事項ｄ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第１３行〜第１４行）の「負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を出力するモータ設定回転数値と、」を、「負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を連続的に出力する第１の増幅器と、」と訂正する。
５　訂正事項ｅ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第１５行〜第１７行）の「モータ設定回転数比較手段出力の電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するためのすべり周波数比較手段と、」を、「第１の増幅器の出力電圧と設定すべり周波数値とを比較し、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を連続的にモータに供給するための第２の増幅器と、」と訂正する。
６　訂正事項ｆ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第１８行〜第２０行）の「回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、すべり周波数比較手段からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する手段とを備えて構成される。」を、「回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、第２の増幅器からのモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給する加算器とを備えて構成される。」と訂正する。
７　訂正事項ｇ
　明細書（平成１０年１２月２１日付提出の手続補正書第２頁第２２行〜第２４行）の「この発明に係る真空ポンプ用モータ制御装置は、ロータの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応じた電圧を出力し、」を、「この発明に係る真空ポンプ用モータ制御装置は、ロータの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応じた電圧を連続的に出力し、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
真空ポンプ用モータ制御装置
（５７）【特許請求の範囲】
　真空ポンプを駆動するモータの回転数を制御するための真空ポンプ用モータ御御装置であって、
　前記真空ポンプのロータの回転数に基づいて、前記モータの負荷を検出する負荷検出手段、
　前記負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を
連続的に
第１の増幅器
　前記
第１の増幅器の出力
連続的に
第２の増幅器
　前記負荷検出手段によって検出された回転数が定常回転数を越えたか否かを判別する回転数判別手段、および
　前記回転数判別手段によって回転数が定常回転数を越えたことが判別されたことに応じて、前記
第２の増幅器
加算器
【発明の詳細な説明】
　［産業上の利用分野］
　この発明は真空ポンプ用モータ制御装置に関し、たとえばターボ分子ポンプやターボドラッグポンプなどの真空ポンプに用いられるモータの発熱を少なくするように制御する真空ポンプ用モータ制御装置に関する。
　［従来の技術および発明が解決しようとする課題］
　ターボ分子ポンプなどの軸流ポンプ用のモータは真空中に配置されるため、モータの発熱対策が問題となる。このような発熱対策の一例として、特開昭６０−１９０６９６号公報において提案されたターボ分子ポンプのモータ制御方式がある。この提案された方式では、ターボ分子ポンプ内の圧力，モータの駆動時間またはロータの回転数を検出し、その検出出力と設定値とを比較し、検知出力が設定値以上のときにモータを停止し、設定値以下でモータの起動を行なうように制御している。
　さらに、他の方法として、モータ定常運転時にモータの印加電圧を下げ、定常回転時のモータの入力電力を減らす方法も提案されている。
　しかしながら、上述の提案されたいずれの方法も、ポンプ内の圧力変動によりモータの回転数も変動し、一定のポンプ排気性能を維持できないという欠点があった。
　それゆえに、この発明の主たる目的は、モータの定常運転時に印加電圧を下げてモータ入力電力を低減し、モータの発熱を抑えるとともに負荷が変動しても回転数が変動しないように負荷に応じて印加電圧を制御するようにした真空ポンプ用モータ制御装置を提供することである。
　［課題を解決するための手段］
　この発明は真空ポンプを駆動するモータの回転数を制御するための真空ポンプ用モータ御御装置であって、真空ポンプのロータの回転数に基づいて、モータの負荷を検出する負荷検出手段と、負荷検出手段の検出信号とモータ設定回転数値とを比較し、すべり周波数に応じた電圧を
連続的に
第１の増幅器と、第１の増幅器の出力
連続的に
第２の増幅器と
第２の増幅器
加算器と
　［作用］
　この発明に係る真空ポンプ用モータ制御装置は、ロータの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力とモータ設定回転数とを比較してすべり周波数に応じた電圧を
連続的に
　［発明の実施例］
　第１図はこの発明の一実施例のブロック図である。第１図を参照して、ポンプ１はモータ２と、このモータ２の回転数を検出する回転数検出器３とを含む。回転数検出器３の検出出力は比較器４と増幅器６とに与えられる。比較器４は回転数検出器３の検出出力と定常回転数設定値とを比較し、回転数検出器３の検出出力が定常回転数設定値を越えたときリレー接点８を閉じ、定常回転数設定値以下のときリレー接点８を開くようにリレー５を制御する。
　増幅器６は回転数検出器３の検出出力とモータ設定回転数値とを比較するために設けられ、それぞれの差である滑り周波数に応じた電圧Ｅ１を増幅器７に与える。増幅器７は滑り周波数と設定滑り周波数とを比較するために設けられ、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷印加電圧Ｅ２を出力する。この電圧Ｅ２はリレー接点８を介して加算器９に与えられる。加算器９には定常回転時設定電圧が与えられていて、通常回転時にはこの定常回転時設定電圧をモータ印加電圧指令値としてモータ制御回路１０に与える。モータ制御回路１０はその電圧をモータ２に与える。
　第２図は第１図に示した実施例において、モータ負荷が変動したときのモータ印加電圧とモータ回転数の変化を示す図である。
　次に、第１図に示した実施例の動作について説明する。回転数検出器３はモータ２の回転数を検出し、比較器４は回転数検出器３の検出出力である回転数が定常回転数設定値以上であるか否かを判別し、定常回転数設定値以下であればリレー５を駆動しない。このため、モータ２の回転数が定常回転数設定値以上であれば、リレー接点８が閉じられ、加算器９は定常回転時設定電圧をモータ印加電圧指令値としてモータ制御回路１０に与える。モータ制御回路１０はその電圧をモータ２に与え、定常回転数で回転させる。
　次に、第２図に示すように、負荷が増大すると、モータ２の回転数が低下し、このとき、増幅器６はモータ２の回転数とモータ設定回転数とを比較し、それぞれの差である滑り周波数に応じた電圧Ｅ１を増幅器７に与える。増幅器７は滑り周波数に応じた電圧Ｅ１と設定滑り周波数値とを比較し、その差の周波数に相当するモータ負荷印加電圧Ｅ２を、リレー接点８を介して加算器９に与える。加算器９は与えられたモータ負荷電圧Ｅ２を定常回転時設定電圧に加算してモータ制御回路１０に与える。応じて、モータ制御回路１０はその電圧をモータ２に与える。すなわち、第２図に示すように、モータ負荷が大きくなって回転数が低下すると、モータ２に印加する電圧が高くなり、モータ駆動トルクを高める。
　なお、上述の第１図のモータの負荷検出器として、軸流ポンプ軸方向力を検出する検出器であってもよい。すなわち、モータ負荷が主にポンプ用気体−ロータ間力によるため、ポンプ内の圧力の上昇に伴なってモータ２の負荷が上昇し、ロータ翼−ポンプ内気体分子間力によりロータに推力が発生することを利用し、ロータ軸方向力を検出する力検出器をスピンドル内に設け、この検出出力をモータ負荷量として用いてもよい。ロータの軸方向力はロータのアキシャル方向支持として制御式磁気軸受を使用した軸流ポンプの場合、磁気軸受電流を測定することにより得ることができるため、容易に検出できるという利点がある。
　［発明の効果］
　以上のように、この発明によれば、ロータの回転数に基づいてモータの負荷を検出し、その検出出力と設定回転数値とを比較してすべり周波数に応じた電圧を出力し、そのすべり周波数の電圧値と設定されたすべり周波数値とを比較し、回転数が定常回転数を越えていれば、それぞれの差である周波数に相当するモータ負荷電圧を定常回転時設定電圧に加算してモータに供給するように制御するようにしたので、負荷変動に対してロータ回転数の変動を小さく抑えることができ、モータの発熱を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図はこの発明の一実施例のブロック図である。第２図は第１図に示した実施例におけるモータの負荷の変動に対するモータ印加電圧およびモータ回転数の変化を示す図である。
　図において、１は真空ポンプ、２はモータ、３は回転数検出器、４は比較器、５はリレー、８はリレー接点、９は加算器、１０はモータ制御回路、６，７は増幅器を示す。