(57)【要約】  本発明は、低温のみならず高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに搬送物の搬送時におけるダストを減少させる技術を提供する。本発明の搬送装置（５０）は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構（２０）と、リンク機構（２０）の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、基板（１０）を載置するための載置部（５）とを備える。載置部（５）には、基板（１０）の側部と当接して係止するための係止部（５ａ、５ｂ）が設けられるとともに、リンク機構（２０）の駆動リンク部にはカム機構による付勢手段（９）が設けられる。付勢手段（９）は、リンク機構（２０）の駆動リンク部に設けられたカム駆動面（３１Ｌ、３１Ｒ）と、カム駆動面（３１Ｌ、３１Ｒ）に当接して従動可能な従動ローラを有し当該従動ローラの移動に応じて載置部（５）の係止部（５ａ、５ｂ）に向って案内移動される凸状の付勢部（６ａ）を有する従動機構部（６）とを備える。
2010044440.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、
前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、
前記載置部には、当該搬送物の側部と当接して係止するための係止部が設けられるとともに、
前記リンク機構の駆動リンク部にはカム機構による付勢手段が設けられ、
前記付勢手段は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面に当接して従動可能な従動ローラを有し当該従動ローラの移動に応じて前記載置部の係止部に向かう方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えた搬送装置。
【請求項２】
前記付勢手段は、回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材にそれぞれ前記カム駆動面が形成され、かつ、前記従動機構部は、当該一対のカム駆動面に対応する一対の従動ローラと凸状の前記付勢部を有する請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記付勢手段の従動機構部は、前記カム駆動面に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有する請求項１又は２のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項４】
前記付勢手段の従動機構部の付勢部には、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する請求項１乃至３のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項５】
前記載置部の係止部は、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴って前記付勢手段に向かう方向に移動する駆動機構によって駆動され当該搬送物を付勢して前記付勢手段と共に当該搬送物を把持する把持機構を有する請求項１乃至４のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項６】
前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の把持部が設けられている請求項５記載の搬送装置。
【請求項７】
前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の把持部が設けられている請求項５記載の搬送装置。
【請求項８】
前記把持機構は、二つ設けられ、各把持機構の把持部が、前記第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている請求項５乃至７のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項９】
真空槽と、
請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の搬送装置とを有し、
前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基板等の搬送物を搬送する搬送装置に関し、特に、半導体製造装置等の複数のプロセスチャンバを備えた真空装置に好適な搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造等の分野においては、従来から図１４及び図１５に示すような基板搬送装置１０１が用いられている。
この基板搬送装置１０１は、駆動部１０２と、この駆動部１０２に連結され複数のアームからなるアーム部１０３と、このアーム部１０３の先端に連結されたエンドエフェクタ１０４とを有しており、エンドエフェクタ１０４の上面で基板Ｗの裏面を支持し、複数のプロセスチャンバ（図示せず）間で基板Ｗの受け渡しを行なうように構成されている。【０００３】
エンドエフェクタ１０４は、一般には、セラミックスやステンレス鋼などで製作されている。従って、アーム１０３を高速で伸縮動作や旋回動作させるとエンドエフェクタ１０４も高速で動作するので、基板Ｗに加わる加速度の影響で基板Ｗがエンドエフェクタ１０４上で滑ってしまい、基板Ｗを正しい位置に搬送できない問題がある。
加えて、従来技術では、基板Ｗがエンドエフェクタ１０４上を滑る際に発生するダストが、基板Ｗの表面を汚染してしまう問題がある。【０００４】
そこで、図１５に示すように、エンドエフェクタ１０４の上面に複数の保持部１０５を設け、基板Ｗ裏面の所定箇所で接触することも提案されている。
この保持部１０５は一般にゴムやエラストマー等の樹脂系弾性材料で形成されているので、基板Ｗの裏面の滑りを抑制し、滑り止めパッドとして機能している。これにより、エンドエフェクタ１０４の上面において基板Ｗは滑ることなく安定した搬送姿勢で保持される（例えば特許文献１参照）。【０００５】
ここで、エラストマー等の樹脂系弾性材料で形成された保持部１０５は、基板Ｗや周囲の雰囲気温度が比較的低い（例えば２００℃以下）場合には、効率よく基板Ｗの滑りは抑制されるが、当該温度が高い（例えば３００〜５００℃）場合には、保持部１０５が熱による変質や変形で、基板Ｗの滑りを抑制できなくなる問題がある。【０００６】
一方、当該温度が比較的低い（例えば２００℃以下）場合でも、基板Ｗが保持部１０５の粘着力で貼り付き、エンドエフェクタ１０４から基板Ｗが適正に離れなくなることがある。例えば、プロセスチャンバ内のステージに基板Ｗを受け渡す際、保持部１０５から基板Ｗが離れず割れてしまう問題や、正しい位置に基板Ｗが搬送できない問題がある。【０００７】
さらに、原理的に保持部１０５と基板Ｗ間の摩擦力により基板Ｗの滑りを抑制しているので、双方の物質で決まる最大静止摩擦力を超えるような加速度が基板Ｗに加わると、基板Ｗはエンドエフェクタ１０４上で滑ってしまう。従って、搬送装置１０１の動作速度は保持部１０５と基板Ｗ間の最大静止摩擦力を超えて大きくすることができないという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−３５３２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図ることにある。
また、本発明の他の目的は、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、前記載置部には、当該搬送物の側部と当接して係止するための係止部が設けられるとともに、前記リンク機構の駆動リンク部にはカム機構による付勢手段が設けられ、前記付勢手段は、前記リンク機構の駆動リンク部に設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面に当接して従動可能な従動ローラを有し当該従動ローラの移動に応じて前記載置部の係止部に向かう方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えた搬送装置である。
本発明では、前記付勢手段は、回転方向が反対方向である一対の隣接するリンク部材にそれぞれ前記カム駆動面が形成され、かつ、前記従動機構部は、当該一対のカム駆動面に対応する一対の従動ローラと凸状の前記付勢部を有することも効果的である。
本発明では、前記付勢手段の従動機構部は、前記カム駆動面に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有することもできる。
本発明では、前記付勢手段の従動機構部の付勢部には、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有することもできる。
本発明では、前記載置部の係止部は、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴って前記付勢手段に向かう方向に移動する駆動機構によって駆動され当該搬送物を付勢して前記付勢手段と共に当該搬送物を把持する把持機構を有することもできる。
本発明では、前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の把持部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の把持部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記把持機構は、二つ設けられ、各把持機構の把持部が、前記第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている場合にも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、上述したいずれかの搬送装置とを有し、前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にあっては、リンク機構の動作先端部にカム機構によって動作する付勢手段を設け、その従動機構部の付勢部と載置部の係止部によって搬送物を機械的に把持して保持するようにしたので、載置部上面での搬送物の滑りを抑制して（原理的には滑り無しで）、搬送物の高速搬送を実現することができる。【００１１】
また、付勢手段を含めて全ての部材を金属で作製することにより、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下のみならず、搬送時の温度が高い（例えば３００〜５００℃）場合であっても熱変質や変形無しに搬送物の滑りを抑制することができる。【００１２】
さらに、付勢手段は、カムとローラによって動力を伝達するように構成されているので、簡素な構成で小型の搬送装置を提供することができる。
さらにまた、搬送物を把持する部分には摺動する部分が無いので、搬送物を汚染するダストの発生を低減することができる。【００１３】
一方、本発明において、付勢手段の従動機構部が、前記カム駆動面に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有する場合には、従動機構部の従動ローラを適切な力でカム駆動面に押し付けて密着させることができるので、従動機構部をガイド部材に沿って確実に高精度で基板搬送方向下流側に移動させることができる。【００１４】
また、本発明において、付勢手段の従動機構部の付勢部に付勢力を減勢させるための減勢部材を有する場合には、装置構成や搬送物の大きさ等に応じて最適の力で搬送物を確実に保持することができる。【００１５】
他方、本発明において、載置部の係止部が、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴って前記付勢手段に向かう方向に移動する駆動機構によって駆動され当該搬送物を付勢して前記付勢手段と共に当該搬送物を把持する把持機構を有する場合には、搬送物を基板搬送方向の両側から確実に保持（把持）することができる。
また、本発明において、前記駆動機構にカム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の把持部が設けられている場合には、カム機構の摺動部を搬送物（ウエハ等の基板）の下側に配置することができるため、例えば摺動部で発生したダストによる搬送物表面の汚染を防止することができる。
また、本発明において、前記駆動機構にカム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構に前記カム方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の把持部が設けられている場合には、当該リンク機構の摺動部を搬送物（ウエハ等の基板）の側遠方に配置できるため、例えば摺動部で発生したダストによる搬送物表面の汚染を防止することができる。
さらに、本発明において、前記把持機構が、二つ設けられ、各把持機構の把持部が、前記第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている場合には、二つの把持機構によってバランス良く基板を付勢して保持（把持）することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る搬送装置の実施の形態の構成を示す平面図
【図２】（ａ）：同実施の形態における付勢手段の従動機構部を示す構成図、（ｂ）：同実施の形態における付勢手段の全体を示す構成図
【図３】（ａ）（ｂ）：本発明の動作原理及び構成を詳細に示す説明図
【図４】（ａ）〜（ｃ）：本発明の実施の形態における搬送装置の動作を示す説明図
【図５】本発明の他の実施の形態の要部を示す構成図
【図６】本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す部分断面側面図
【図７】本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図
【図８】本発明の更なる他の実施の形態の付勢部及びクランプ係止機構を示す平面図
【図９】（ａ）：付勢部及びクランプ係止機構の要部を示す平面図、（ｂ）：クランプ係止機構の要部を示す部分断面図
【図１０】（ａ）：付勢部及びクランプ係止機構の要部を示す平面図、（ｂ）：クランプ係止機構の要部を示す部分断面図
【図１１】本発明の更なる他の実施の形態の付勢部及びクランプ係止機構を示す平面図
【図１２】（ａ）（ｂ）：クランプ係止機構の要部を示す平面図
【図１３】本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図
【図１４】従来技術に係る搬送装置の概略構成図
【図１５】従来技術に係る搬送装置の要部概略構成図
【符号の説明】
【００１７】
１Ｌ…第１の左アーム、１Ｒ…第１の右アーム、２Ｌ…第２の左アーム、２Ｒ…第２の右アーム、３Ｌ…第３の左アーム（駆動リンク部）、３Ｒ…第３の右アーム（駆動リンク部）、４…動力伝達機構、５…載置部、５ａ、５ｂ…係止部、６…従動機構部、７…搬送室、８…処理室、９…付勢手段、１０…基板（搬送物）、２０…リンク機構、３１Ｌ、３１Ｒ…カム駆動面、５０…搬送装置
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る搬送装置の実施の形態の構成を示す平面図である。
図１に示すように、本実施の形態の搬送装置５０は、例えば真空処理槽内において搬送物である基板１０の搬送を行う所謂フロッグレック方式のもので、以下に説明するリンク機構２０を駆動するための鉛直方向に同心状に配設した第１及び第２の駆動軸１１、１２を有している。
【００１９】
これら各駆動軸１１、１２は、独立した第１及び第２の駆動源Ｍ１、Ｍ２からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達されるように構成されている。
第１の駆動軸１１には第１の左アーム１Ｌの一方の端部（基端部）が固定され、第２の駆動軸１２の一方の端部（基端部）には、第１の右アーム１Ｒが固定されている。
【００２０】
第１の左アーム１Ｌの他方の端部（先端部）には、第２の左アーム２Ｌの一方の端部（基端部）が、支軸２１Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
第１の右アーム１Ｒの他方の端部（先端部）には、第２の右アーム２Ｒの一方の端部（基端部）が、支軸２１Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２１】
本実施の形態では、これら第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒは、直線状に形成され、同一の支点間距離を有するように構成されている。
第２の左アーム２Ｌは、直線状に形成され、その他方の端部（先端部）には、第３の左アーム３Ｌの一方の端部（基端部）が、固定ねじ２２Ｌで固定されている。
第２の右アーム２Ｒは、直線状に形成され、その他方の端部（先端部）には、第３の右アーム３Ｒの一方の端部（基端部）が、固定ねじ２２Ｒで固定されている。
【００２２】
ここで、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒは、駆動リンク部を構成するもので、ほぼ「く」字状に形成されており、それぞれの屈曲部分の凸部がリンク外方側に向けられて配置されている。
【００２３】
また、第３の左アーム３Ｌの他方の端部（先端部）は、後述する動力伝達機構４の表面に設けられた支軸２３Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２４】
一方、第３の右アーム３Ｒの他方の端部（先端部）は、後述する動力伝達機構４の例えば表面側に設けられた支軸２３Ｒを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２５】
本実施の形態においては、第２の左アーム２Ｌの支軸２１Ｌから第３の左アーム３Ｌの支軸２３Ｌの支点間距離と第２の右アーム２Ｒの支軸２１Ｒから第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｒの支点間距離は、同一の距離を有するように構成されている。
【００２６】
また、動力伝達機構４は、例えば矩形薄型箱形状のハウジング内に互いに噛み合う一対の歯車を有している（図示せず）。
これらの歯車は同一の歯数を有し、それぞれの回転軸が、上述した支軸２３Ｌ、２３Ｒに固定され、これにより、姿勢制御機構として作用すべく逆方向に同一速度で回転するように構成されている。
これら支軸２３Ｌ、２３Ｒは、基板の搬送方向に対して直交する方向に近接して配置されている。
【００２７】
本発明の場合、特に限定されることはないが、バランスよく搬送物を保持する観点からは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向（矢印Ｐ方向）に対して直交する位置に支軸２３Ｌ、２３Ｒを配置するように構成することが好ましい。
【００２８】
動力伝達機構４の基板搬送方向下流側には、所謂エンドエフェクタである載置部５が設けられている。
この載置部５は、所定の間隔をおいて設けた支持部材５Ｌ、５Ｒが設けられている。
ここで、支持部材５Ｌ、５Ｒの基板搬送方向下流側の端部には、基板１０の側部と当接可能な凸部形状の係止部５ａ、５ｂがそれぞれ設けられている。
ここで、係止部５ａ、５ｂは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように形成されている。
一方、本実施の形態においては、以下に説明するカム機構による付勢手段９が設けられている。
【００２９】
図２（ａ）は、本実施の形態における付勢手段の従動機構部を示す構成図、図２（ｂ）は、本実施の形態における付勢手段の全体を示す構成図である。
図２（ｂ）に示すように、本実施の形態においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒはその先端部がそれぞれ半円形状に形成され、各先端部の基板搬送方向下流側の部分に、円弧状のカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒが設けられている。そして、これら第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒと、図２（ａ）に示す従動機構部６とを有して付勢手段９が構成されている。
【００３０】
ここで、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの例えば上面側をそれぞれ段状に切り欠くことによって、基板搬送方向下流側方向に関して凸となる円弧状に形成されている。
【００３１】
そして、本実施の形態では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、各先端部側の変位量（支軸２３Ｌと内側当接面３１Ｌ1間の距離、支軸２３Ｒと内側当接面３１Ｒ1間の距離）ｒ1が、各基端部側の変位量（支軸２３Ｌと外側当接面３１Ｌ0間の距離、支軸２３Ｒと外側当接面３１Ｒ0間の距離）ｒ0より小さくなるように構成されている（ｒ1＜ｒ0）。
【００３２】
なお、本例では、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように形成されている。
【００３３】
一方、本実施の形態の従動機構部６は、好ましくはステンレス等の金属部材から構成されるもので、直線棒状の本体部６０を有している。
従動機構部６の本体部６０の一端部には、例えば台形形状の支持部材６１が取り付けられ、この支持部材６１の台形底辺の両端部には、例えば同一の径を有する真円形の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒがそれぞれ設けられている。
【００３４】
ここで、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒは、例えば、本体部６０の延びる方向の直線に対して線対称となるように配置され、当該本体部６０を含む平面に対して直交する方向の支軸６３Ｌ、６３Ｒを中心として回転するように構成されている。
【００３５】
従動機構部６の本体部６０の他端部には、例えば凸状（ここではピン形状）の付勢部６ａが取り付けられている。この付勢部６ａの先端部は、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
【００３６】
また、従動機構部６の本体部６０の中腹部と上述した支持部材６１との間には、当該本体部６０の周囲に圧縮コイルばね６４が装着されている。この圧縮コイルばね６４は、その先端部分が支持部材６１に固定されている。
【００３７】
そして、本実施の形態では、図２（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに、従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒをそれぞれ当接させた状態で、例えば載置部５の表面に設けたガイド部材６５によって案内されることにより、従動機構部６の本体部６０が第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に直線移動するように構成されている。
【００３８】
この場合、従動機構部６の本体部６０に装着された圧縮コイルばね６４は、その付勢部６ａ側の先端部分がガイド部材６５に当接して係止され、その弾性力によって従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒを第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに対して押圧するようになっている。
【００３９】
次に、図３（ａ）（ｂ）を用いて、本発明の動作原理及び構成を詳細に説明する。
本発明の実施の形態では、リンク機構２０が伸びた状態において、図３（ａ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が例えば１８０度より大きくなるように設定する。
【００４０】
一方、リンク機構２０が縮んだ状態においては、図３（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が例えば１８０度より小さくなるように設定する。
【００４１】
このような構成において、リンク機構２０が伸びた状態において、図３（ａ）に示すように、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さ（ここでは、付勢部６ａの先端部から従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの内側当接面３１Ｌ1、３１Ｒ1までの距離）を設定するとともに、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｌ、３０Ｒの角度、上記カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの変位量ｒ1を設定して、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒの各内側当接面３１Ｌ1、３１Ｒ1と基板１０の側部との距離を定めこれを距離Ｄとする。
【００４２】
一方、リンク機構２０が縮んだ状態では、図３（ｂ）に示すように、第３の左アーム３Ｌの取付面３０Ｌと第３の右アーム３Ｒの取付面３０Ｒのなす角度が１８０度より小さくなり、従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒが、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに沿ってそれぞれ外側当接面３１Ｌ0、３１Ｒ0側に移動し、これにより、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの支軸２３Ｌ、２３Ｒと各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒ間の距離が大きくなる（ｒ0＞ｒ1）。
【００４３】
この場合、本実施の形態では、従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒと各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの接触部分と各支軸２３Ｌ、２３Ｒを結ぶ直線の基板搬送方向に対する角度が、リンク機構２０が伸びた状態に比べてリンク機構２０が縮んだ状態の方が小さいため（θ0＜θ1 ）、第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒの縮み方向への回転に伴い、従動機構部６が基板搬送方向下流側に移動して、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒの接触端部と搬送すべき基板１０の側部との距離が小さくなる（ｒ0・ｃｏｓθ0＞ｒ1・ｃｏｓθ1、すなわち、ｄ＜Ｄ）。
【００４４】
その結果、従動機構部６の基板搬送方向下流側の部分（付勢部６ａ）が、搬送すべき基板１０の側部と接触し、基板１０の側部に対し、載置部５の係止部５ａ、５ｂに向かう方向の力Ｆが作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が保持（把持）される。
【００４５】
本実施の形態では、上記動作の際に圧縮コイルばね６４の搬送方向下流側の部分がガイド部材６５に当接して圧縮されるため、圧縮コイルばね６４の弾性力によって従動機構部６の従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒが、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに押し付けられて密着し、これにより従動機構部６がガイド部材６５に沿って確実に高精度で基板搬送方向下流側に移動する。
【００４６】
このようなリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
【００４７】
図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態における搬送装置の動作を示す説明図である。
ここでは、搬送室７から処理室８内に基板１０を搬入する場合を例にとって説明する。なお、搬送室７及び処理室８は、図示しない真空排気系に接続されている。また、搬送室７と処理室８間には図示しないゲートバルブが接続されており、そのゲートバルブが開いた後、搬入、搬出動作を行う。
【００４８】
まず、図４（ａ）に示すように、上述した如くリンク機構２０を縮ませて基板１０を保持した状態で載置部５の係止部５ａ、５ｂを処理室８側に向ける。
【００４９】
この状態から第１の左アーム１Ｌを時計回り方向へ回転させるとともに、第１の右アーム１Ｒを反時計回り方向へ回転させることにより、リンク機構２０の伸び動作が開始され、図４（ｂ）に示すように、基板１０は処理室８に向って直進する。
さらに、リンク機構２０の伸び動作を継続することにより、図４（ｃ）に示すように、基板１０を処理室８内に搬入する。
【００５０】
この状態では、図３（ａ）を用いて説明したように、従動機構部６の付勢部６ａと基板１０の側部とが接触しない状態となるため、処理室８に設置されている図示しない昇降機構によって基板１０を支持して上昇させることにより、基板１０を搬送装置５０の載置部５から離脱させることができる。
【００５１】
なお、従動機構部６の付勢部６ａと基板１０の側部との接触を解除するタイミングは、リンク機構２０が伸び切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が伸び切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
【００５２】
その後、第１の左アーム１Ｌを反時計回り方向へ回転させるとともに、第１の右アーム１Ｒを時計回り方向へ回転させてリンク機構２０の縮み動作を行うことにより、載置部５を搬送室７内に戻すことができる。
【００５３】
以上述べたように本実施の形態にあっては、リンク機構２０の動作先端部にカム機構によって動作する付勢手段６を設け、基板搬送方向下流側に移動する従動機構部６の付勢部６ａと係止部５ａ、５ｂによって基板１０を機械的に把持して保持するようにしたので、載置部５上面での基板１０の滑りを抑制して（原理的には滑り無しで）、基板１０の高速搬送を実現することができる。
【００５４】
また、従動機構部６を含めて全ての部材を金属で作製することにより、搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下のみならず、搬送時の温度が高い（例えば３００〜５００℃）場合であっても熱変質や変形無しに基板１０の滑りを抑制することができる。
【００５５】
さらに、従動機構部６の付勢部６ａは凸状の部材であり、基板１０を把持する部分には摺動部が無いので、基板１０を汚染するダストの発生を低減することができる。
【００５６】
図５〜図７は、本発明の他の実施の形態を示すもので、以下、上述した実施の形態と対応する部分には共通の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図５は、付勢手段の従動機構部に、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する例を示すものである。
【００５７】
図５に示すように、本実施の形態では、付勢部６ａの支持部６６が本体部６０の延びる方向に沿って移動するように構成され、これら本体部６０の先端部と付勢部６ａとの間の支持部６６の周囲には、圧縮コイルばね（減勢部材）６７が装着されている。そして、付勢部６ａの先端部に本体部６０方向への力が作用した場合に圧縮コイルばね６７の弾性力に抗して付勢部６ａが本体部６０方向へ移動するように構成されている。
【００５８】
このような構成を有する本実施の形態によれば、基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができるので、種々の搬送物や装置構成に応じて設計の自由度が大きくなり汎用性が高くなるというメリットがある。
【００５９】
図６は、本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す部分断面側面図で、動力伝達機構４の下方に第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒが位置するように構成したものである。
図６に示すように、本実施の形態においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの先端部に、上述した構成の従動機構部６が配設され、その本体部６０が基板搬送方向に沿って直進移動するように構成されている。
【００６０】
従動機構部６の本体部６０の先端部には、減勢部材６ｂが取り付けられている。この減勢部材６ｂは、例えばステンレス等の金属からなる板状の弾性材料から構成され、本体部６０の先端部から上方に向けて配設されている。
【００６１】
そして、減勢部材６ｂの先端部には例えば凹部形状の付勢部６ｃが設けられ、この付勢部６ｃが、載置部６に設けた孔部５ａを介して載置部５上に突出して、従動機構部６の移動に伴い、基板１０の側部に対して付勢部６ｃの凹面部分が当接又は離間するように構成されている。
【００６２】
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記実施の形態同様基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができる。
加えて、本実施の形態によれば、例えば、米国特許６，３６４，５９９Ｂ１の図２２や図２３に示されている上側のエンドエフェクタと下側のエンドエフェクタの上下間隔を小さくしたアーム機構の下側アームのウエハ把持機構として使用することができる。なお、このアーム機構の上側アームのウエハ把持機構として前述した図２（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）（ｂ）の構成を使用できる。
【００６３】
図７は、本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図で、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する例を示すものである。
図７に示すように、本実施の形態は、図５に示す実施の形態の変形例であり、従動機構部６の本体部６０の先端部に、例えば本体部６０の延びる方向と直交する方向に延びる直線棒状の取付部材６７が固定され、この取付部材６７の両端部に、例えばステンレス等の金属からなる帯状リング状の二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅが、取付部材６８から基板搬送方向下流側に突出するように取り付けられている。
【００６４】
ここで、二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅは、同一の大きさ及び形状に形成され、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
【００６５】
このような構成を有する本実施の形態によれば、図５に示す実施の形態と同様基板１０を保持（把持）する際に基板１０に対する付勢力を調整することができることに加え、基板搬送方向に対して線対称に配置された二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅによって基板１０を付勢するため、バランス良く基板１０を保持（把持）することができるというメリットがある。
【００６６】
なお、本実施の形態では、図６に示す実施の形態のように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒ並びに従動機構部６を動力伝達機構４の下方に位置するように構成することも可能である。
【００６７】
この場合は、図６に示す実施の形態と同様に載置部５に孔部（図示せず）を設け、この孔部を介して取付部材６８及び減勢付勢部６ｄ、６ｅを載置部５の上方に位置させ、基板１０の側部に対して減勢付勢部６ｄ、６ｅが当接又は離間するように構成するとよい。
【００６８】
このような本実施の形態によれば、例えば、米国特許６，３６４，５９９Ｂ１の図２２や図２３に示されている上側のエンドエフェクタと下側のエンドエフェクタの上下間隔を小さくしたアーム機構の下側アームのウエハ把持機構として使用できるというメリットがある。なお、このアーム機構の上側アームのウエハ把持機構として前述した図７の構成そのものを使用することができる。
【００６９】
図８及び図９（ａ）（ｂ）は、本発明の更なる他の実施の形態を示すもので、図８は付勢部及びクランプ係止機構を示す平面図、図９（ａ）はクランプ係止機構の要部を示す平面図、図９（ｂ）はクランプ係止機構の要部を示す部分断面図である。以下、上記実施の形態と対応する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図８に示すように、本実施の形態は、後述するように、載置部５の左右の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に、左クランプ係止機構（把持機構）７０Ｌ、右クランプ係止機構（把持機構）７０Ｒが設けられているものである。
ここで、従動機構部６の本体部６０には、基板搬送方向（矢印Ｐ方向）と直交する方向に延びる直線棒状の基部７１が取付固定されている。
この基部７１は、載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒの間隔とほぼ等しい長さを有し、左支持部材５Ｌには、基板搬送方向に延びる直線棒状の左駆動部材７１Ｌが取付固定され、右支持部材５Ｒには、基板搬送方向に延びる直線棒状の左駆動部材７１Ｒが取付固定されている。
本実施の形態の場合、これら左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒは、それぞれ支持部材５Ｌ、５Ｒに沿ってそれぞれの下側に配置されている。
また、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒは、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
支持部材５Ｌの先端部分には、左クランプ係止機構７０Ｌが設けられ、支持部材５Ｒの先端部分には、右クランプ係止機構７０Ｒが設けられている。
これら左クランプ係止機構７０Ｌと右クランプ係止機構７０Ｒとは、同一の機構によって動作するように構成され、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
本実施の形態では、上述した基部７１、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒによって駆動機構が構成されている。
以下、図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）を用い、適宜右クランプ係止機構７０Ｒを例にとって本発明におけるカム方式の把持機構の構成及び動作を説明する。
図９（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態の右クランプ係止機構７０Ｒは、支持部材５Ｒの下部に取り付けた例えば箱状の保持部５０を有している。
この保持部５０の底部５０ａ上には、上述した右駆動部材７１Ｒが、水平方向に向けて支持されるようになっている。
そして、保持部５０の両側に設けられた側壁部５０ｂには、基板搬送方向に対して直角方向に延び且つ水平方向に向けられた支軸７２Ｒが回転可能に支持されている。
この支軸７２Ｒには、右クランプ係止機構７０Ｌを構成する右クランプ係止部材７３Ｒが取付固定されている。
この右クランプ係止部材７３Ｒは、ほぼ「Ｌ」字状に形成され、鉛直上方に延びる把持部７３０と、支軸７２Ｒに対して基板搬送方向下流側に延びるカム従動部７３１とから構成される。
ここで、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０は、支持部材５Ｒに設けられた開口部７４Ｒから先端部分が上方に突出するように構成されている。
そして、カム従動部７３１より長さ即ち支点間距離が長くなるように形成され、支持部材５Ｒに設けられた開口部７４Ｒから先端部分が上方に突出するように構成されている。
本実施の形態においては、図９（ｂ）に示すように、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の基板搬送方向下流側の部分には、弾性部材である例えば引張コイルばね７５の一端部が取り付けられ、さらに、この引張コイルばね７５の他端部は、支持部材５Ｒ上の基板搬送方向下流側の位置に設けられた取付部材７６に取り付けられている。
そして、図９（ｂ）に示すように、引張コイルばね７５が、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０を基板搬送方向下流側に引っ張るように構成されている。
また、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０には、基板搬送方向に対して所定の角度（例えば搬送すべき基板１０の内方側に４５°程度）傾斜させた例えば平面形状の把持面７３２が設けられている。
なお、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
一方、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１は、支軸７２Ｒに対して若干下方に向けて形成され、支軸７２Ｒの直下の部分とカム従動部７３１の下面７３４が駆動部材７１Ｒの上面７１０（及び以下に説明するカム駆動面７１１）に対して接触するように構成されている。
そして、カム従動部７３１は、その先端部の形状がアール形状に形成されている。
本実施の形態の場合、このカム駆動面７１１は、凹部状に形成され、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１の下面７３４に対してはまり合う凹曲面形状に形成されている。
なお、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１と駆動部材７１Ｒの上面７１０とが接触する部分には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
一方、左クランプ係止機構７０Ｌは、上述した右クランプ係止機構７０Ｒと同一構成で、基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置された支軸７２Ｌ、左クランプ係止部材７３、開口部７４Ｌを有し、左クランプ係止部材７３には、把持部７３０、カム従動部７３１及び把持面７３２が設けられている。
また、駆動部材７１Ｌは、上述した駆動部材７１Ｒと同一の構成を有し、図示はしないが、その上面には、左クランプ係止部材７３Ｌのカム従動部７３１の下面に対してはまり合う凹曲面形状のカム駆動面７１１が形成されている。
次に、図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）を用いて、本実施の形態の動作原理及び構成を詳細に説明する。
本実施の形態の場合、リンク機構２０が伸びた状態においては、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さが設定されている。
この状態では、従動機構部６の本体部６０に固定された基部７１が基板搬送方向上流側の所定位置に位置し、これにより左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒも、基板搬送方向上流側の所定位置に位置する。
そこで、このような位置関係において、例えば、図９（ａ）（ｂ）に示すように、右駆動部材７１Ｒに設けられたカム駆動面７１１の底部と右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１とが、基板搬送方向に関して重なる位置となるように、右駆動部材７１Ｒの長さ、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１の長さ、右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の長さ、位置及び形状を設定する。
この状態では、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が引張コイルばねによって基板搬送方向に引っ張られるため、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が支軸７２Ｒを中心として基板搬送方向に倒れる方向に回転し、これにより右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の底部に押し付けられ、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の底部分に当接して静止状態となる。
そして、図９（ａ）に示すように、この状態において、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が基板１０の縁部に対して離間するように、支軸７２Ｒの位置、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
一方、この状態からリンク機構２０を縮ませる方向に第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを回転させると、従動機構部６の本体部６０と共に基部７１と左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒが基板搬送方向へ移動する。
これにより、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１から脱出し、カム従動部７３１の下面７３４が駆動部材７１Ｒの上面７１０に当接することにより、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が、支軸７２Ｒを中心として基板搬送方向と反対方向、すなわち、起立する方向へ回転する。
そして、本実施の形態においては、図８に示すように、リンク機構２０が縮んだ状態において、図１０（ａ）に示すように、従動機構部６の付勢部６ａによって基板搬送方向へ付勢され移動する基板１０の縁部に対し、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が当接するように、上述した支軸７２Ｒの位置、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
この場合、左クランプ係止機構７０Ｌについても、右クランプ係止機構７０Ｒと同様に、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２が基板１０の縁部と当接するように、駆動部材７１のカム駆動面７１１に対し、支軸７２Ｌの位置、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
本発明の場合、特に限定されてされることはないが、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒの移動距離、即ち従動機構部６の移動距離に対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の移動距離（ストローク）が小さくなるように設定することが好ましい。
このような構成を有する本実施の形態によれば、リンク機構２０が縮んだ状態において、図８に示すように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力Ｆが作用するとともに、左クランプ係止機構７０Ｌの左クランプ係止部材７３Ｌ及び右クランプ係止機構７０Ｒの右クランプ係止部材７３Ｒから基板１０内方へ向かう力ｆ１、ｆ２が作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が確実に保持（把持）される。
このリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
なお、従動機構部６の付勢部６ａと、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２とが基板１０の縁部に接触するタイミングは、リンク機構２０が縮み切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が縮み切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
ただし、精度良く基板１０を把持する観点からは、従動機構部６の付勢部６ａが基板１０の縁部に接触した後に、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が基板１０の縁部に接触するように構成することが好ましい。
特に、本実施の形態においては、左クランプ係止機構７０Ｌ（左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２）及び右クランプ係止機構７０Ｒ（右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２）が、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されていることから、バランス良く基板１０を付勢して保持（把持）することができる。
さらにまた、本実施の形態においては、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の移動距離が小さくなるように設定することにより、従動機構部６の付勢部６ａによる基板１０への付勢のタイミングに対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２のタイミング及び時間を所定の範囲をもって設定することができ、これにより精度良く基板１０を把持することができる。
さらにまた、本実施の形態によれば、左クランプ係止機構７０Ｌ及び右クランプ係止機構７０Ｒにおけるカム機構の摺動部分を基板１０の下側に配置することができるため、例えばこの摺動部分で発生したダストによる基板１０表面の汚染を防止することができる。
図１１及び図１２（ａ）（ｂ）は、本発明の更なる他の実施の形態を示すもので、図１１は付勢部及びクランプ係止機構を示す平面図、図１２（ａ）（ｂ）はクランプ係止機構の要部を示す平面図である。以下、上記実施の形態と対応する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図１１に示すように、本実施の形態においては、載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に、リンク方式の把持機構である、後述するクランプ係止機構８１Ｌ、８１Ｒがそれぞれ設けられている。また、これらクランプ係止機構８１Ｌ、８１Ｒを駆動するための駆動部材８０を有している。
この駆動部材８０は、ほぼ「コ」字状の部材からなり、直線棒状の基部８０ａと、基部８０ａの両端部において基部８０ａと直交する方向にそれぞれ延びる直線棒状の左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒとから構成されている。
本実施の形態の場合、駆動部材８０は、基部８０ａが基板搬送方向と直交するように配置され、この基部８０ａを従動機構部６の本体部６０が貫通するように構成されている。そして、これにより従動機構部６の本体部６０と駆動部材８０とが、相対的に基板搬送方向及びその反対方向に移動できるように配置構成されている。
また、駆動部材８０の基部８０ａの長さは載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒのピッチより長くなるように設定され、これにより、駆動部材８０を搬送装置５０に装着した場合に、左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒがそれぞれ支持部材５Ｌ、５Ｒの外側に配置されるようになっている。
ここで、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
駆動部材８０は、以下に説明する動力伝達機構８２を介して、リンク機構２０の第３の右アーム３Ｒから力を受けるように構成されている。
この動力伝達機構８２は、直線棒状の本体部８２ａを有し、この本体部８２ａの一方の端部が、上述した駆動部材８０の基部８０ａと直交する方向に向けて取付固定されている。
この動力伝達機構８２の本体部８２ａの他端部には、真円形の従動ローラ８２ｂが水平面内において回転自在に支持されている。
一方、第３の右アーム３Ｒには、図８に示す実施の形態の場合と比べてカム駆動面３１Ｒが、第３の右アーム３Ｒの先端部から後端部に向って長さが長く形成されている。
そして、従動機構部６の右側に動力伝達機構８２を隣接配置し、その従動ローラ８２ｂをカム駆動面３１Ｒに当接させた状態で、例えば載置部５の表面に設けたガイド部材８２ｃによって案内されることにより、動力伝達機構８２の本体部８２ａが基板搬送方向又はその反対方向に直線移動するように構成されている。
さらに、本実施の形態では、動力伝達機構８２の本体部８２ａの基板搬送方向側の端部近傍に取付部材８２ｄが固定され、この取付部材８２ｄに棒状の固定ピン８２ｅを取り付け、さらに、この固定ピン８２ｅの一端部を駆動部材８０の基部８０ａに取付固定するとともに、固定ピン８２ｅの他方の端部分を例えばガイド部材８２ｃに固定することにより、動力伝達機構８２の本体部８２ａと駆動部材８０の基部８０ａとが回転しないような構成が採用されている。
一方、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌの先端部には、後述する左リンク部材８４Ｌの一端部が支軸８３Ｌを中心として水平面内において回転可能に支持され、また、駆動部材８０の右駆動部８０Ｒの先端部には、後述する右リンク部材８４Ｒの一端部が支軸８３Ｒを中心として水平面内において回転可能に支持されている。
また、本体部８２ａには、例えばコイルバネ８２ｆが取り付けられており、コイルバネ８２ｆの一方の端部は、本体部８２ａに固定されているとともに、他方の端部はガイド部材８２ｃの端部に当接している。このコイルバネ８２ｆの力により本体部８２ａには基板搬送方向上流側へ力が加わった状態となっているので、リンク機構２０が伸び状態にあるときに把持部８６Ｌ、８６Ｒによる基板１０の把持が解除される。
これら左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、共にほぼ「Ｌ」字状の同一形状の部材からなり、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌ又は右駆動部８０Ｒによって支持されない側の先端部に、例えばアール形状の把持部８６Ｌ、８６Ｒが、本体部分と直交する方向に延びるように設けられている。
さらに、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、それぞれの中腹部が、載置部５の各支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部に設けられた支軸８５Ｌ、８５Ｒを中心として水平面内において回転可能に支持されている。ここで、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、それぞれの把持部８６Ｌ、８６Ｒが、基板搬送方向と反対方向に向けて配置されている。
そして、このような構成により、左クランプ係止機構８１Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒの把持部８６Ｌ、８６Ｒが、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
なお、把持部８６Ｌ、８６Ｒの基板１０の縁部とが接触する部分には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
次に、図１１及び図１２（ａ）（ｂ）を用いて、本実施の形態の動作原理及び構成を詳細に説明する。
なお、本実施の形態の場合、左クランプ係止機構８１Ｌと右クランプ係止機構８１Ｒとは、同一の機構によって動作するように構成されており、以下、適宜右クランプ係止機構８１Ｒを例にとって本発明におけるリンク方式の把持機構の構成及び動作を説明する。
本実施の形態においては、図３（ａ）（ｂ）に示す実施の形態と同様に、リンク機構２０が伸びた状態においては、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さが設定されている。
そして、リンク機構２０が縮んだ状態では、従動機構部６が基板搬送方向下流側に移動して、従動機構部６の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触するように構成されている。
本実施の形態の動力伝達機構８２は、上述した従動機構部６と共に同一方向へ移動するように構成されている。
すなわち、リンク機構２０が伸びた状態においては、例えば、右リンク部材８４Ｒについて図１２（ａ）に示すように、把持部８６Ｒが基部１０の縁部に接触しないように、第３の右アームの第３のカム駆動面３１Ｒの形状、動力伝達機構８２の従動ローラ８２ｂ、本体部８２ａの長さ、駆動部材８０の基部８０ａ並びに右駆動部８０Ｒの長さ、右リンク部材８４Ｒ（把持部８６Ｒ）の長さ、支軸８３Ｒ、８５Ｒの位置をそれぞれ設定する。
左リンク部材８４Ｌについても、把持部８６Ｌが基部１０の縁部に接触しないように、駆動部材８０の基部８０ａ並びに左駆動部８０Ｌの長さ、左リンク部材８４Ｌ（把持部８６Ｌ）の長さ、支軸８３Ｌ、８５Ｌの位置をそれぞれ設定する。
なお、本発明においては、特に限定されることはないが、例えば、右リンク部材８４Ｒについて図１２（ａ）に示すように、把持部８６Ｒの基板１０との接触部分と支持部材５Ｒの支軸８５ＲのピッチＰ1が、支持部材５Ｒの支軸８５Ｒと右駆動部８０Ｒの支軸８３ＲのピッチＰ2より小さくなるように構成することが好ましい。
一方、左リンク部材８４Ｌについても、図示はしないが、同様に、把持部８６Ｌの基板１０との接触部分と支持部材５Ｌの支軸８５Ｌのピッチが、支持部材５Ｌの支軸８５Ｌと右駆動部８０Ｌの支軸８３Ｌのピッチより小さくなるように構成することが好ましい。
このような構成により、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒの移動距離が小さくなるように設定することができる。
本実施の形態において、リンク機構２０が伸びた状態からリンク機構２０を縮ませる方向に第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを回転させると、従動機構部６の本体部６０が基板搬送方向へ移動するとともに、第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｒからの力が動力伝達機構８２を介して駆動部材８０の基部８０ａに伝達され、これにより駆動部材８０が基板搬送方向へ移動する。
その結果、左リンク部材８４Ｌ、右リンク部材８４Ｒが、支軸８５Ｌ、８５Ｒを中心として把持部８６Ｌ、８６Ｒが基板搬送方向と反対方向へ移動するように回転する（図１２（ｂ）参照）。
そこで、本実施の形態においては、リンク機構２０が縮んだ状態において、従動機構部６の付勢部６ａによって基板搬送方向へ付勢され移動する基板１０の縁部に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒが当接するように、上述した第３の右アームの第３のカム駆動面３１Ｒの形状、動力伝達機構８２の従動ローラ８２ｂ、本体部８２ａの長さ、駆動部材８０の基部８０ａ並びに左駆動部８０Ｌ及び右駆動部８０Ｒの長さ、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４（把持部８６Ｌ、８６Ｒ）の長さ、支軸８３Ｌ、８５Ｌ、８３Ｒ、８５Ｒの位置をそれぞれ設定する。
このような構成を有する本実施の形態によれば、リンク機構２０が縮んだ状態において、図１１に示すように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力Ｆが作用するとともに、左クランプ係止機構８１Ｌの左リンク部材８４Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒの右リンク部材８４Ｒから基板１０内方へ向かう力ｆ3、ｆ4が作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が確実に保持（把持）される。
そして、このリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
なお、従動機構部６の付勢部６ａと、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒとが基板１０に接触するタイミングは、リンク機構２０が縮み切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が縮み切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
ただし、精度良く基板１０を把持する観点からは、従動機構部６の付勢部６ａが基板１０の縁部に接触した後に、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒが基板１０の縁部に接触するように構成することが好ましい。
さらに、本実施の形態においては、左クランプ係止機構８１Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒの把持部８６Ｒが、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されていることから、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒによってバランス良く基板１０を付勢して保持（把持）することができる。
さらにまた、本実施の形態においては、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒの移動距離が小さくなるように設定することにより、従動機構部６の付勢部６ａによる基板１０への付勢のタイミングに対し、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒのタイミング及び時間を所定の範囲をもって設定することができ、これにより精度良く基板１０を把持することができる。
また、本実施の形態においては、左クランプ係止機構８１Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒのリンク機構の摺動部分を基板１０の側方遠方に配置できるため、例えば当該摺動部分で発生したダストによる基板１０表面の汚染を防止することができる。
【００７０】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上述の実施の形態においては、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒは、各先端部側の変位量ｒ1が、各基端部側の変位量ｒ0より小さくなるように構成されている（ｒ1＜ｒ0）。
【００７１】
しかし、例えば図４（ａ）〜（ｃ）に示されたような処理室８を複数有する搬送装置では、処理室８の内部構成により、基板１０の受け渡し位置が必ずしも同じではなく、駆動軸１１，１２の中心軸から各処理室８の受け渡し位置までの距離が異なっている。
【００７２】
ここで、受け渡し位置までの距離、即ち受け渡し距離が短い場合には、基板１０を受け渡しするときの基板１０のエッジと付勢部６ａの間隔が小さくなってしまい、基板１０のエッジに付勢部６ａが当たり、ダスト発生や基板ずれの問題が発生する可能性も考えられる。
【００７３】
この問題を回避する方法として、例えば、図１３に示すように、第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒの各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの先端部側の形状を、図中斜線部分で示すように所定の角度に亘って変位量が一定の形状、すなわち、例えば各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒの先端部側の変位量ｒ1と同一の半径の円弧形状に形成することもできる。
【００７４】
このような構成にすれば、従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒが図中斜線で示した半径ｒ1の範囲で各カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒに接しているときには、従動機構部６の本体部６０は基板搬送方向に直線運動しないので、受け渡し距離が短い場合でも長い場合でも、基板１０を受け渡しするときの基板１０のエッジと付勢部６ａを互いに接触することのない間隔に保つことができ、ダスト発生や基板ずれの問題を回避することができる。
【００７５】
また、上述の実施の形態においては、隣接する二つのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒとこれらに対応する二つの従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒを組み合わせて付勢手段６のカム機構を構成するようにしたが、本発明はこれに限られず、一つのカム駆動面とこれに対応する一つの従動ローラを組み合わせて付勢手段のカム機構を構成することもでき、また三つ以上のカム駆動面とこれらに対応する三つ以上の従動ローラを組み合わせて付勢手段のカム機構を構成することもできる。
【００７６】
ただし、バランス良く基板１０を保持（把持）する観点からは、上記実施の形態のように、隣接する二つのカム駆動面３１Ｌ、３１Ｒとこれらに対応する二つの従動ローラ６２Ｌ、６２Ｒを組み合わせて付勢手段６のカム機構を構成することが好ましい。
【００７７】
なお、付勢手段のカム機構に関し、カム駆動面の形状、従動ローラの大きさ等については、本発明を適用する搬送装置に応じて適宜変更をすることができる。
さらに、本発明は種々のリンク機構を有する搬送装置に適用することができるものである。
【００７８】
例えば、上述した実施の形態では、カム駆動面３１Ｌ、３１Ｒが形成された第３の左アーム３Ｌと第３の右アーム３Ｒとを回転させカム機構によって従動機構部６を動作させるようにしたが、本発明はこれに限られず、第２の左アーム２Ｌと第２の右アーム２Ｒにカム駆動面を形成して上述した動作を行うことも可能である。
【００７９】
さらに、平行リンクアーム機構のようなそれぞれ相対的に平行移動する複数の隣接リンク部にカム駆動面を形成し、当該カム駆動面に沿って従動機構部を移動させ上述した動作によって搬送物を保持するように構成することも可能である。
【００８０】
一方、図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）に示す実施の形態においては、左クランプ係止機構７０Ｌ、右クランプ係止機構７０Ｒについて、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒ（特に各把持面７３２）を、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置したが、本発明はこれに限られず、同直線に対して非対称となるように配置することも可能である。
また、図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）に示す実施の形態においては、カム方式の把持機構を二つ設けるようにしたが（左クランプ係止機構７０Ｌ、右クランプ係止機構）、基板１０の形状や大きさ、また装置構成等に応じてカム式把持機構を一つ又は三つ以上設けることもできる。
他方、図１１及び図１２（ａ）（ｂ）に示す実施の形態においては、左クランプ係止機構８１Ｌの把持部８６Ｌ、右クランプ係止機構８１Ｒの把持部８６Ｒを、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置したが、本発明はこれに限られず、同直線に対して非対称となるように配置することも可能である。
また、図１１及び図１２（ａ）（ｂ）に示す実施の形態においては、リンク方式の把持機構を二つ設けるようにしたが（左クランプ係止機構８１Ｌ、右クランプ係止機構８１Ｒ）、基板１０の形状や大きさ、また装置構成等に応じてリンク式把持機構を一つ又は三つ以上設けることもできる。
さらにまた、上述した図５〜図７に示す実施の形態と、上述した図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）又は図１１及び図１２（ａ）（ｂ）に示す実施の形態とを任意に組み合わせることも可能である。
加えて、本発明は、例えばＳｉウェハ等の円板形状の基板のみならず、例えばガラス基板等の矩形形状の基板や、楕円形状、多角形形状等の種々の基板の搬送に用いることができるものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年4月7日(2011.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、前記載置部には、当該搬送物の側部と当接して係止するための係止部が設けられるとともに、前記リンク機構の駆動リンク部にはカム機構による付勢手段が設けられ、前記付勢手段は、前記リンク機構の駆動リンク部の一対の隣接するリンク部材にそれぞれ設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面にそれぞれ当接して従動可能な一対の従動ローラを有し当該一対の従動ローラの移動に応じて前記載置部の係止部に向かう方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えた搬送装置である。
本発明では、前記付勢手段の従動機構部は、前記カム駆動面に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有することもできる。
本発明では、前記付勢手段の従動機構部の付勢部には、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有することもできる。
本発明では、前記載置部の係止部は、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴って前記付勢手段に向かう方向に移動する駆動機構によって駆動され当該搬送物を付勢して前記付勢手段と共に当該搬送物を把持する把持機構を有することもできる。
本発明では、前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の把持部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の把持部が設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記把持機構は、二つ設けられ、各把持機構の把持部が、前記第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている場合にも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、上述したいずれかの搬送装置とを有し、前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の場合、特に限定されることはないが、バランスよく搬送物を保持する観点からは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通る基板搬送方向（矢印Ｐ方向）に対して直交する位置に支軸２３Ｌ、２３Ｒを配置するように構成することが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
そして、減勢部材６ｂの先端部には例えば凹部形状の付勢部６ｃが設けられ、この付勢部６ｃが、載置部５に設けた孔部５ａを介して載置部５上に突出して、従動機構部６の移動に伴い、基板１０の側部に対して付勢部６ｃの凹面部分が当接又は離間するように構成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図７は、本発明の更なる他の実施の形態の要部を示す構成図で、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する例を示すものである。
図７に示すように、本実施の形態は、図５に示す実施の形態の変形例であり、従動機構部６の本体部６０の先端部に、例えば本体部６０の延びる方向と直交する方向に延びる直線棒状の取付部材６８が固定され、この取付部材６８の両端部に、例えばステンレス等の金属からなる帯状リング状の二つの減勢付勢部６ｄ、６ｅが、取付部材６８から基板搬送方向下流側に突出するように取り付けられている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図８及び図９（ａ）（ｂ）は、本発明の更なる他の実施の形態を示すもので、図８は付勢部及びクランプ係止機構を示す平面図、図９（ａ）はクランプ係止機構の要部を示す平面図、図９（ｂ）はクランプ係止機構の要部を示す部分断面図である。以下、上記実施の形態と対応する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図８に示すように、本実施の形態は、後述するように、載置部５の左右の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に、左クランプ係止機構（把持機構）７０Ｌ、右クランプ係止機構（把持機構）７０Ｒが設けられているものである。
ここで、従動機構部６の本体部６０には、基板搬送方向（矢印Ｐ方向）と直交する方向に延びる直線棒状の基部７１が取付固定されている。
この基部７１は、載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒの間隔とほぼ等しい長さを有し、左支持部材５Ｌには、基板搬送方向に延びる直線棒状の左駆動部材７１Ｌが取付固定され、右支持部材５Ｒには、基板搬送方向に延びる直線棒状の右駆動部材７１Ｒが取付固定されている。
本実施の形態の場合、これら左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒは、それぞれ支持部材５Ｌ、５Ｒに沿ってそれぞれの下側に配置されている。
また、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒは、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
支持部材５Ｌの先端部分には、左クランプ係止機構７０Ｌが設けられ、支持部材５Ｒの先端部分には、右クランプ係止機構７０Ｒが設けられている。
これら左クランプ係止機構７０Ｌと右クランプ係止機構７０Ｒとは、同一の機構によって動作するように構成され、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
本実施の形態では、上述した基部７１、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒによって駆動機構が構成されている。
以下、図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）を用い、適宜右クランプ係止機構７０Ｒを例にとって本発明におけるカム方式の把持機構の構成及び動作を説明する。
図９（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態の右クランプ係止機構７０Ｒは、支持部材５Ｒの下部に取り付けた例えば箱状の保持部５０を有している。
この保持部５０の底部５０ａ上には、上述した右駆動部材７１Ｒが、水平方向に向けて支持されるようになっている。
そして、保持部５０の両側に設けられた側壁部５０ｂには、基板搬送方向に対して直角方向に延び且つ水平方向に向けられた支軸７２Ｒが回転可能に支持されている。
この支軸７２Ｒには、右クランプ係止機構７０Ｌを構成する右クランプ係止部材７３Ｒが取付固定されている。
この右クランプ係止部材７３Ｒは、ほぼ「Ｌ」字状に形成され、鉛直上方に延びる把持部７３０と、支軸７２Ｒに対して基板搬送方向下流側に延びるカム従動部７３１とから構成される。
ここで、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０は、支持部材５Ｒに設けられた開口部７４Ｒから先端部分が上方に突出するように構成されている。
そして、カム従動部７３１より長さ即ち支点間距離が長くなるように形成され、支持部材５Ｒに設けられた開口部７４Ｒから把持部７３０の先端部分が上方に突出するように構成されている。
本実施の形態においては、図９（ｂ）に示すように、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の基板搬送方向下流側の部分には、弾性部材である例えば引張コイルばね７５の一端部が取り付けられ、さらに、この引張コイルばね７５の他端部は、支持部材５Ｒ上の基板搬送方向下流側の位置に設けられた取付部材７６に取り付けられている。
そして、図９（ｂ）に示すように、引張コイルばね７５が、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０を基板搬送方向下流側に引っ張るように構成されている。
また、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０には、基板搬送方向に対して所定の角度（例えば搬送すべき基板１０の内方側に４５°程度）傾斜させた例えば平面形状の把持面７３２が設けられている。
なお、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
一方、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１は、支軸７２Ｒに対して若干下方に向けて形成され、支軸７２Ｒの直下の部分とカム従動部７３１の下面７３４が駆動部材７１Ｒの上面７１０（及び以下に説明するカム駆動面７１１）に対して接触するように構成されている。
そして、カム従動部７３１は、その先端部の形状がアール形状に形成されている。
本実施の形態の場合、このカム駆動面７１１は、凹部状に形成され、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１の下面７３４に対してはまり合う凹曲面形状に形成されている。
なお、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１と駆動部材７１Ｒの上面７１０とが接触する部分には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
一方、左クランプ係止機構７０Ｌは、上述した右クランプ係止機構７０Ｒと同一構成で、基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置された支軸７２Ｌ、左クランプ係止部材７３、開口部７４Ｌを有し、左クランプ係止部材７３には、把持部７３０、カム従動部７３１及び把持面７３２が設けられている。
また、駆動部材７１Ｌは、上述した駆動部材７１Ｒと同一の構成を有し、図示はしないが、その上面には、左クランプ係止部材７３Ｌのカム従動部７３１の下面に対してはまり合う凹曲面形状のカム駆動面７１１が形成されている。
次に、図８、図９（ａ）（ｂ）及び図１０（ａ）（ｂ）を用いて、本実施の形態の動作原理及び構成を詳細に説明する。
本実施の形態の場合、リンク機構２０が伸びた状態においては、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さが設定されている。
この状態では、従動機構部６の本体部６０に固定された基部７１が基板搬送方向上流側の所定位置に位置し、これにより左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒも、基板搬送方向上流側の所定位置に位置する。
そこで、このような位置関係において、例えば、図９（ａ）（ｂ）に示すように、右駆動部材７１Ｒに設けられたカム駆動面７１１の底部と右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１とが、基板搬送方向に関して重なる位置となるように、右駆動部材７１Ｒの長さ、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１の長さ、右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の長さ、位置及び形状を設定する。
この状態では、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が引張コイルばねによって基板搬送方向に引っ張られるため、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が支軸７２Ｒを中心として基板搬送方向に倒れる方向に回転し、これにより右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の底部に押し付けられ、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１の底部分に当接して静止状態となる。
そして、図９（ａ）に示すように、この状態において、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が基板１０の縁部に対して離間するように、支軸７２Ｒの位置、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
一方、この状態からリンク機構２０を縮ませる方向に第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを回転させると、従動機構部６の本体部６０と共に基部７１と左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒが基板搬送方向へ移動する。
これにより、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、右クランプ係止部材７３Ｒのカム従動部７３１が右駆動部材７１Ｒのカム駆動面７１１から脱出し、カム従動部７３１の下面７３４が駆動部材７１Ｒの上面７１０に当接することにより、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０が、支軸７２Ｒを中心として基板搬送方向と反対方向、すなわち、起立する方向へ回転する。
そして、本実施の形態においては、図８に示すように、リンク機構２０が縮んだ状態において、図１０（ａ）に示すように、従動機構部６の付勢部６ａによって基板搬送方向へ付勢され移動する基板１０の縁部に対し、右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が当接するように、上述した支軸７２Ｒの位置、右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
この場合、左クランプ係止機構７０Ｌについても、右クランプ係止機構７０Ｒと同様に、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２が基板１０の縁部と当接するように、駆動部材７１のカム駆動面７１１に対し、支軸７２Ｌの位置、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０の長さ及び形状並びに把持面７３２の位置及び形状を設定する。
本発明の場合、特に限定されることはないが、左駆動部材７１Ｌ及び右駆動部材７１Ｒの移動距離、即ち従動機構部６の移動距離に対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の移動距離（ストローク）が小さくなるように設定することが好ましい。
このような構成を有する本実施の形態によれば、リンク機構２０が縮んだ状態において、図８に示すように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力Ｆが作用するとともに、左クランプ係止機構７０Ｌの左クランプ係止部材７３Ｌ及び右クランプ係止機構７０Ｒの右クランプ係止部材７３Ｒから基板１０内方へ向かう力ｆ１、ｆ２が作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が確実に保持（把持）される。
このリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
なお、従動機構部６の付勢部６ａと、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２とが基板１０の縁部に接触するタイミングは、リンク機構２０が縮み切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が縮み切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
ただし、精度良く基板１０を把持する観点からは、従動機構部６の付勢部６ａが基板１０の縁部に接触した後に、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２が基板１０の縁部に接触するように構成することが好ましい。
特に、本実施の形態においては、左クランプ係止機構７０Ｌ（左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２）及び右クランプ係止機構７０Ｒ（右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２）が、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されていることから、バランス良く基板１０を付勢して保持（把持）することができる。
さらにまた、本実施の形態においては、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持部７３０及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持部７３０の移動距離が小さくなるように設定することにより、従動機構部６の付勢部６ａによる基板１０への付勢のタイミングに対し、左クランプ係止部材７３Ｌの把持面７３２及び右クランプ係止部材７３Ｒの把持面７３２のタイミング及び時間を所定の範囲をもって設定することができ、これにより精度良く基板１０を把持することができる。
さらにまた、本実施の形態によれば、左クランプ係止機構７０Ｌ及び右クランプ係止機構７０Ｒにおけるカム機構の摺動部分を基板１０の下側に配置することができるため、例えばこの摺動部分で発生したダストによる基板１０表面の汚染を防止することができる。
図１１及び図１２（ａ）（ｂ）は、本発明の更なる他の実施の形態を示すもので、図１１は付勢部及びクランプ係止機構を示す平面図、図１２（ａ）（ｂ）はクランプ係止機構の要部を示す平面図である。以下、上記実施の形態と対応する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図１１に示すように、本実施の形態においては、載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部分に、リンク方式の把持機構である、後述するクランプ係止機構８１Ｌ、８１Ｒがそれぞれ設けられている。また、これらクランプ係止機構８１Ｌ、８１Ｒを駆動するための駆動部材８０を有している。
この駆動部材８０は、ほぼ「コ」字状の部材からなり、直線棒状の基部８０ａと、基部８０ａの両端部において基部８０ａと直交する方向にそれぞれ延びる直線棒状の左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒとから構成されている。
本実施の形態の場合、駆動部材８０は、基部８０ａが基板搬送方向と直交するように配置され、この基部８０ａを従動機構部６の本体部６０が貫通するように構成されている。そして、これにより従動機構部６の本体部６０と駆動部材８０とが、相対的に基板搬送方向及びその反対方向に移動できるように配置構成されている。
また、駆動部材８０の基部８０ａの長さは載置部５の支持部材５Ｌ、５Ｒのピッチより長くなるように設定され、これにより、駆動部材８０を搬送装置５０に装着した場合に、左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒがそれぞれ支持部材５Ｌ、５Ｒの外側に配置されるようになっている。
ここで、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌ、右駆動部８０Ｒは、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
駆動部材８０は、以下に説明する動力伝達機構８２を介して、リンク機構２０の第３の右アーム３Ｒから力を受けるように構成されている。
この動力伝達機構８２は、直線棒状の本体部８２ａを有し、この本体部８２ａの一方の端部が、上述した駆動部材８０の基部８０ａと直交する方向に向けて取付固定されている。
この動力伝達機構８２の本体部８２ａの他端部には、真円形の従動ローラ８２ｂが水平面内において回転自在に支持されている。
一方、第３の右アーム３Ｒには、図８に示す実施の形態の場合と比べてカム駆動面３１Ｒが、第３の右アーム３Ｒの先端部から後端部に向って長さが長く形成されている。
そして、従動機構部６の右側に動力伝達機構８２を隣接配置し、その従動ローラ８２ｂをカム駆動面３１Ｒに当接させた状態で、例えば載置部５の表面に設けたガイド部材８２ｃによって案内されることにより、動力伝達機構８２の本体部８２ａが基板搬送方向又はその反対方向に直線移動するように構成されている。
さらに、本実施の形態では、動力伝達機構８２の本体部８２ａの基板搬送方向側の端部近傍に取付部材８２ｄが固定され、この取付部材８２ｄに棒状の固定ピン８２ｅを取り付け、さらに、この固定ピン８２ｅの一端部を駆動部材８０の基部８０ａに取付固定するとともに、固定ピン８２ｅの他方の端部分を例えばガイド部材８２ｃに固定することにより、動力伝達機構８２の本体部８２ａと駆動部材８０の基部８０ａとが回転しないような構成が採用されている。
一方、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌの先端部には、後述する左リンク部材８４Ｌの一端部が支軸８３Ｌを中心として水平面内において回転可能に支持され、また、駆動部材８０の右駆動部８０Ｒの先端部には、後述する右リンク部材８４Ｒの一端部が支軸８３Ｒを中心として水平面内において回転可能に支持されている。
また、本体部８２ａには、例えばコイルバネ８２ｆが取り付けられており、コイルバネ８２ｆの一方の端部は、本体部８２ａに固定されているとともに、他方の端部はガイド部材８２ｃの端部に当接している。このコイルバネ８２ｆの力により本体部８２ａには基板搬送方向上流側へ力が加わった状態となっているので、リンク機構２０が伸び状態にあるときに把持部８６Ｌ、８６Ｒによる基板１０の把持が解除される。
これら左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、共にほぼ「Ｌ」字状の同一形状の部材からなり、駆動部材８０の左駆動部８０Ｌ又は右駆動部８０Ｒによって支持されない側の先端部に、例えばアール形状の把持部８６Ｌ、８６Ｒが、本体部分と直交する方向に延びるように設けられている。
さらに、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、それぞれの中腹部が、載置部５の各支持部材５Ｌ、５Ｒの先端部に設けられた支軸８５Ｌ、８５Ｒを中心として水平面内において回転可能に支持されている。ここで、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４Ｒは、それぞれの把持部８６Ｌ、８６Ｒが、基板搬送方向と反対方向に向けて配置されている。
そして、このような構成により、左クランプ係止機構８１Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒの把持部８６Ｌ、８６Ｒが、上述した第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている。
なお、把持部８６Ｌ、８６Ｒの基板１０の縁部とが接触する部分には、ダストの発生を防止するための例えばＰＴＦＥ（ポリ４フッ化エチレン樹脂）等の耐熱性の樹脂材料からなるコーティングを施すこともできる。
次に、図１１及び図１２（ａ）（ｂ）を用いて、本実施の形態の動作原理及び構成を詳細に説明する。
なお、本実施の形態の場合、左クランプ係止機構８１Ｌと右クランプ係止機構８１Ｒとは、同一の機構によって動作するように構成されており、以下、適宜右クランプ係止機構８１Ｒを例にとって本発明におけるリンク方式の把持機構の構成及び動作を説明する。
本実施の形態においては、図３（ａ）（ｂ）に示す実施の形態と同様に、リンク機構２０が伸びた状態においては、従動機構部６の基板搬送方向下流側の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触しないように、従動機構部６の長さが設定されている。
そして、リンク機構２０が縮んだ状態では、従動機構部６が基板搬送方向下流側に移動して、従動機構部６の付勢部６ａが、搬送すべき基板１０の側部と接触するように構成されている。
本実施の形態の動力伝達機構８２は、上述した従動機構部６と共に同一方向へ移動するように構成されている。
すなわち、リンク機構２０が伸びた状態においては、例えば、右リンク部材８４Ｒについて図１２（ａ）に示すように、把持部８６Ｒが基部１０の縁部に接触しないように、第３の右アームの第３のカム駆動面３１Ｒの形状、動力伝達機構８２の従動ローラ８２ｂ、本体部８２ａの長さ、駆動部材８０の基部８０ａ並びに右駆動部８０Ｒの長さ、右リンク部材８４Ｒ（把持部８６Ｒ）の長さ、支軸８３Ｒ、８５Ｒの位置をそれぞれ設定する。
左リンク部材８４Ｌについても、把持部８６Ｌが基部１０の縁部に接触しないように、駆動部材８０の基部８０ａ並びに左駆動部８０Ｌの長さ、左リンク部材８４Ｌ（把持部８６Ｌ）の長さ、支軸８３Ｌ、８５Ｌの位置をそれぞれ設定する。
なお、本発明においては、特に限定されることはないが、例えば、右リンク部材８４Ｒについて図１２（ａ）に示すように、把持部８６Ｒの基板１０との接触部分と支持部材５Ｒの支軸８５ＲのピッチＰ1が、支持部材５Ｒの支軸８５Ｒと右駆動部８０Ｒの支軸８３ＲのピッチＰ2より小さくなるように構成することが好ましい。
一方、左リンク部材８４Ｌについても、図示はしないが、同様に、把持部８６Ｌの基板１０との接触部分と支持部材５Ｌの支軸８５Ｌのピッチが、支持部材５Ｌの支軸８５Ｌと右駆動部８０Ｌの支軸８３Ｌのピッチより小さくなるように構成することが好ましい。
このような構成により、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒの移動距離が小さくなるように設定することができる。
本実施の形態において、リンク機構２０が伸びた状態からリンク機構２０を縮ませる方向に第３の左アーム３Ｌ及び第３の右アーム３Ｒを回転させると、従動機構部６の本体部６０が基板搬送方向へ移動するとともに、第３の右アーム３Ｒのカム駆動面３１Ｒからの力が動力伝達機構８２を介して駆動部材８０の基部８０ａに伝達され、これにより駆動部材８０が基板搬送方向へ移動する。
その結果、左リンク部材８４Ｌ、右リンク部材８４Ｒが、支軸８５Ｌ、８５Ｒを中心として把持部８６Ｌ、８６Ｒが基板搬送方向と反対方向へ移動するように回転する（図１２（ｂ）参照）。
そこで、本実施の形態においては、リンク機構２０が縮んだ状態において、従動機構部６の付勢部６ａによって基板搬送方向へ付勢され移動する基板１０の縁部に対し、左リンク部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右リンク部材８４Ｒの把持部８６Ｒが当接するように、上述した第３の右アームの第３のカム駆動面３１Ｒの形状、動力伝達機構８２の従動ローラ８２ｂ、本体部８２ａの長さ、駆動部材８０の基部８０ａ並びに左駆動部８０Ｌ及び右駆動部８０Ｒの長さ、左リンク部材８４Ｌ及び右リンク部材８４（把持部８６Ｌ、８６Ｒ）の長さ、支軸８３Ｌ、８５Ｌ、８３Ｒ、８５Ｒの位置をそれぞれ設定する。
このような構成を有する本実施の形態によれば、リンク機構２０が縮んだ状態において、図１１に示すように、従動機構部６の付勢部６ａから基板搬送方向の力Ｆが作用するとともに、左クランプ係止機構８１Ｌの左リンク部材８４Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒの右リンク部材８４Ｒから基板１０内方へ向かう力ｆ3、ｆ4が作用し、これにより、当該基板１０に対して基板搬送方向に関して上流及び下流側から押圧力が働き、載置部５上において基板１０が確実に保持（把持）される。
そして、このリンク機構２０の縮み状態においては、第１の左アーム１Ｌ及び第１の右アーム１Ｒを同一の方向へ回転させることにより、基板１０を保持した状態で旋回動作を行うことができる。
なお、従動機構部６の付勢部６ａと、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒとが基板１０に接触するタイミングは、リンク機構２０が縮み切った状態と同時でもよいし、リンク機構２０が縮み切る前（直前）であってもよく、本発明が適用される搬送装置及び真空装置の大きさや配置構成に応じて適宜変更することができる。
ただし、精度良く基板１０を把持する観点からは、従動機構部６の付勢部６ａが基板１０の縁部に接触した後に、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒが基板１０の縁部に接触するように構成することが好ましい。
さらに、本実施の形態においては、左クランプ係止機構８１Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒの把持部８６Ｒが、第１及び第２の駆動軸１１、１２の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されていることから、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒによってバランス良く基板１０を付勢して保持（把持）することができる。
さらにまた、本実施の形態においては、従動機構部６の基板搬送方向への移動距離に対し、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒの移動距離が小さくなるように設定することにより、従動機構部６の付勢部６ａによる基板１０への付勢のタイミングに対し、左クランプ係止部材８４Ｌの把持部８６Ｌ及び右クランプ係止部材８４Ｒの把持部８６Ｒのタイミング及び時間を所定の範囲をもって設定することができ、これにより精度良く基板１０を把持することができる。
また、本実施の形態においては、左クランプ係止機構８１Ｌ及び右クランプ係止機構８１Ｒのリンク機構の摺動部分を基板１０の側方遠方に配置できるため、例えば当該摺動部分で発生したダストによる基板１０表面の汚染を防止することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構と、
前記リンク機構の動作先端部において駆動リンク部を介して連結され、搬送物を載置するための載置部とを備え、
前記載置部には、当該搬送物の側部と当接して係止するための係止部が設けられるとともに、
前記リンク機構の駆動リンク部にはカム機構による付勢手段が設けられ、
前記付勢手段は、前記リンク機構の駆動リンク部の一対の隣接するリンク部材にそれぞれ設けられたカム駆動面と、当該カム駆動面にそれぞれ当接して従動可能な一対の従動ローラを有し当該一対の従動ローラの移動に応じて前記載置部の係止部に向かう方向に沿って案内移動される付勢部を有する従動機構部とを備えた搬送装置。
【請求項２】
前記付勢手段の従動機構部は、前記カム駆動面に対する付勢力を調整するための付勢力調整部材を有する請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記付勢手段の従動機構部の付勢部には、当該付勢部の付勢力を減勢させるための減勢部材を有する請求項１又は２のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項４】
前記載置部の係止部は、前記リンク機構の駆動リンク部の動作に伴って前記付勢手段に向かう方向に移動する駆動機構によって駆動され当該搬送物を付勢して前記付勢手段と共に当該搬送物を把持する把持機構を有する請求項１乃至３のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項５】
前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部によって駆動されるカム方式の把持部が設けられている請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】
前記駆動機構には、カム方式の駆動部が設けられ、前記把持機構には、前記カム方式の駆動部と係合して駆動されるリンク方式の把持部が設けられている請求項４記載の搬送装置。
【請求項７】
前記把持機構は、二つ設けられ、各把持機構の把持部が、前記第１及び第２の駆動軸の回転中心軸線を通り基板搬送方向に延びる直線に対して線対称となるように配置されている請求項４乃至６のいずれか１項記載の搬送装置。
【請求項８】
真空槽と、
請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の搬送装置とを有し、
前記搬送装置の載置部が前記真空槽内に対して搬入及び搬出するように構成されている真空装置。
【国際調査報告】
2010044440.tif 000018
2010044440.tif 000019
2010044440.tif 000020
2010044440.tif 000021