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【事件の表示】
　特許第３１８８０９９号「二重床の欠床部閉塞装置」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１８８０９９号の請求項１〜４に係る特許を取り消す。
　同請求項５，６に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続の経緯
　特許３１８８０９９号は、平成６年５月２３日に出願され、平成１３年５月１１日に設定登録がなされた。
　これに対し、特許異議申立人は、証拠として甲第１〜６号証及び参考資料１を提出し、本件の請求項１〜６に係る発明の特許は、甲第１〜６号証に記載された発明及び参考資料１に記載された周知慣用手段に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないのものであり、また、本件特許明細書には記載不備があり、特許法第３６条に規定する要件を満たしていないものであり、各請求項に係る発明の特許を取り消すべき旨主張した。
　当審は、平成１４年４月１１日付けで、本件の請求項１〜４に係る発明の特許に対して取消理由を通知をし、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もなかった。
　
【２】本件特許
　本件特許の請求項１〜６に係る発明は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】二重床の欠床部を閉塞するための充填用パネルを有する、二重床の欠床部閉塞装置において、前記充填用パネルは、
全体として方形の平坦な天井部と、前記天井部から下方へ延在する４本の脚部と、前記脚部の間に端部を開口させた溝部とをそれぞれ有し、前記溝部は、前記天井部の下方で互いに交差する十字形を成して延在する、複数個のブロック部と、
隣り合う前記ブロック部を前記脚部の下端部で互いに連結する可撓性の薄肉部と、
隣り合う前記ブロック部の間にそれぞれ形成された間隙と、
を有し、前記複数個のブロック部と前記薄肉部とを、合成樹脂材料を使用して一体成型したことを特徴とする、二重床の欠床部閉塞装置。
　【請求項２】請求項１に記載の二重床の欠床部閉塞装置において、更に、前記ブロック部の天井部に一端を係合させ、かつ前記ブロック部が敷設された床面に他端を係合させる、一又は二以上の延長部材を設けたことを特徴とする、二重床の欠床部閉塞装置。
　【請求項３】請求項２に記載の二重床の欠床部閉塞装置において、前記延長部材は、金属材料で構成され、かつ、その長手方向に延在する屈曲線に沿ってほぼ直角に屈曲形成された、単一の部材からなり、前記屈曲線に関して一方の側片に前記屈曲線に直交する複数のスリットを形成したことを特徴とする、二重床の欠床部閉塞装置。
　【請求項４】請求項１又は２に記載の二重床の欠床部閉塞装置において、前記充填用パネルの前記ブロック部の前記天井部に開口を形成したことを特徴とする、二重床の欠床部閉塞装置。
　【請求項５】請求項４に記載の二重床の欠床部閉塞装置において、更に、間隔をおいて配置された少なくとも２つの前記充填用パネル間に架け渡される架橋部材を設け、前記架橋部材の下面に突起を形成し、前記架橋部材は、前記突起を一方の前記充填用パネルの前記天井部の前記開口に嵌合させると共に、接着手段によって他方の前記充填用パネルに固着されることを特徴とする、二重床の欠床部閉塞装置。
　【請求項６】請求項５に記載の二重床の欠床部閉塞装置において、前記接着手段が両面接着テープによって構成されることを特徴とする、二重床の欠床部閉塞装置。」
　
【３】請求項１〜４に係る発明の特許について
　上記のとおり、当審は、本件の請求項１〜４に係る発明の特許に対して取消理由を通知をし、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もなかった。
　そして、上記の取消理由は妥当なものと認められるので、本件の請求項１〜４に係る発明の特許は、この取消理由によって取り消すべきものである。
　
【４】請求項５，６に係る発明の特許について
　請求項５に係る発明（以下、「前者」という。）と請求人が提出した証拠（以下、「後者」という）とを対比すると、後者には、少なくとも前者の「間隔をおいて配置された少なくとも２つの充填用パネル間に架け渡される架橋部材を設け、前記架橋部材の下面に突起を形成し、前記架橋部材は、前記突起を一方の前記充填用パネルの前記天井部の前記開口に嵌合させると共に、接着手段によって他方の前記充填用パネルに固着される」点について何等記載されておらず、示唆もない。
　そして、前者は上記構成と他の構成とが相俟って明細書記載の「架橋部材の施工が容易である。また、架橋部材は複数の充填用パネルによって水平に支持されるから、施工後の姿勢が安定する。」（段落【００２０】）という、上記後者にはない作用効果を奏するものである。
　
　請求人は、甲第５号証の「カバー部材２」が、上記「架橋部材」に相当するものである旨主張する（請求書１５頁８〜１０行）。しかし、この「カバー部材２」は、補助パネル３と壁面との空隙を塞ぐものであり、間隔をおいて配置された充填用パネル間に架け渡されるものではない。
　さらに請求人は、甲第６号証の「覆い蓋部材４」が、上記「架橋部材」に相当するものである旨主張する（請求書１６頁下から２行〜１７頁３行）。しかし、この「覆い蓋部材４」は、各下地本体３上に１対１で対応して設置されるものであり、間隔をおいて配置された充填用パネル間に架け渡されるものではない。
　このように、甲第５，６号証には、本件の「架橋部材」に相当するものが記載されているとはいえないから、上記請求人の主張には理由がない。
　以上のとおりであるから、本件特許の請求項５に係る発明（前者）は、上記後者に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
　本件特許の請求項６に係る発明は、上記前者を更に限定したものであるから、上記前者についての判断と同様である。
　
【５】記載不備について
　請求人は、本件特許の各請求項に係る発明についての個々の効果が明細書に記載されていない旨主張する（請求書７頁下から７〜末行）。
　確かに、【発明の効果】の項には、本件特許の各請求項に係る発明の効果が包括的に記載されていて、個々の請求項に係る発明の効果が明確に記載されているとはいえない。しかし、【作用】の項（段落【００１２】〜【００２１】）に、各請求項毎にその構成とそれに伴う作用（効果）が記載されており、該記載から各請求項に係る発明の効果を容易に把握できるものであるから、本件特許明細書に記載不備があるとまではいえない。
　
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項５，６に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項５，６に係る発明の特許を取消すべき理由を発見しない。
　
【５】むすび
　上記のとおり、本件の請求項１〜４に係る発明の特許は、取り消すべきものであり、請求項５，６に係る発明の特許は、維持すべきものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項に規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月１９日（２００２．７．１９）
【事件の表示】
　特許第３１０３９８０号「スチルビデオカメラ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１０３９８０号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　　本件特許３１０３９８０号の請求項１に係る発明についての出願は、平成１年７月６日に出願され、平成１２年９月１日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、異議申立人島田洋により、特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知（第１回平成１３年６月２７日付け、第２回平成１３年１０月２９日付け）されたものである。
　
第２　本件発明
　特許第３１０３９８０号の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】光学レンズにより得られる被写体の光学像を撮像素子により電気画像信号に変換し、該電気画像信号をＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換して得られるデジタル画像信号をメモリに記憶するように構成されたスチルビデオカメラにおいて、
　前記メモリをカメラ本体に対して着脱可能に設けると共に、前記デジタル画像信号と被写体の色温度情報を含む白バランス調整用の情報とを前記メモリの異なる領域にそれぞれ記録するよにしたことを特徴とするスチルビデオカメラ。」
　
第３　引用刊行物記載の発明
１　刊行物１：特開昭５９−１８３５９０号公報（甲第１号証）
　刊行物１には、
（１）「第１図はこの電子スチルカメラの基本回路構成を示しており、１は被写体の光学像を結像する光学レンズ、２は光学レンズ１により受光面上に結像された光学像（二次元画像情報）を光電変換してアナログ画像信号として出力する結像素子で、・・・撮像素子２はドライバ３からの駆動信号によってアナログ画像信号を出力し、この画像信号はＡ／Ｄコンバータ４により高速でデジタル信号に変換される。・・・Ａ／Ｄコンバータ４によってデジタル変換された画像信号はメモリ５に記憶される。」（第２頁左上欄第５行ないし右上欄第９行）、
（２）「メモリ５はたとえばカセット形式で、外部からカメラ本体の所定位置に着脱可能な交換式である。」（第２頁右上欄第１６行ないし第１８行）、
（３）「ところが、第１図に示した電子スチルカメラでは、撮像素子２から出力する画像信号をＡ／Ｄ変換するだけでメモリ５に記憶しているのでカメラ内部においてホワイトバランスの処理を行なうことはできない。本発明は上記の点にかんがみてなされたもので、カメラ部分にホワイトバランスのための情報を検出する回路を設け、これにより検出したホワイトバランス情報をメモリに記録し、再生装置ではメモリに記録されたホワイトバランス情報をもとにして再生装置内部でホワイトバランスの処理を行なうようにしたものである。以下本発明を図面に基づいて説明する。第３図はホワイトバランス処理を行なうための情報を得ることができるようにした電子スチルカメラの一実施例を示しており、図中第１図と同じ参照番号は同じ部分を示している。図中２２は撮影素子２の近傍に設けたホワイトバランス情報検出器であってたとえば３個のフォトダイオードにより構成されたものである。このフォトダイオードの表面にはＲ、Ｇ、Ｂの各光スペクトルのみを通過するフィル夕が貼られており、この出力はカメラが無彩色の被写体を撮影したときには、Ｒ、Ｇ、Ｂ各光の強さを示しており、これをホワイトバランスの情報としてコード発生器２０により所要の情報に変換する。コード発生器２０の出力は・・・、画像信号がメモリ５に記録される以外の時間にスイッチ２１を切り換えることによってメモリに記録する。この情報を記録する方法としては次の方法が考えられる。（１）メモリの空き部分の利用：たとえば・・・無駄なメモリ領域をホワイトバランス情報の記憶に利用することができる。（２）走査線一本分の利用：撮像素子・・・走査線部分に相当する領域にホワイトバランス情報を記憶することができる。（３）水平または垂直帰線区間の利用：電子スチルカメラの・・・帰線期間に相当するメモリ媒体部分にホワイトバランス情報を記憶することができる。」（第３頁左上欄第１４行ないし右下欄第５行）、
（４）「図中の２３は色温度変換フィルタターレットである。これは、入射光の色温度をフィルタにより変換して撮像素子に送るためのフィルタであり、・・・そこでこの若干の不完全さを取るためにこのときの画像信号の変調波形の一部分（たとえば１ライン分）をメモリに記録する。記録する場所等については前記の方法と同じである。・・・この計算方法は映像素子に張り付ける色フィルタ２ａの構成によって異なるが、一義的に決定することが可能である。」（第３頁右下欄第１７行ないし第４頁右上欄第６行）が記載されている。
　
２　刊行物２：特開昭６３−２４２０８３号公報
（１）刊行物２には、白バランス調整用の情報として被写体の色温度情報を用いることが記載されている。
　
３　刊行物３：特開昭６３−３０６７８１号公報
（１）刊行物３には、白バランス調整用の情報として被写体の色温度情報を用いることが記載されている。
　
第４　対比・判断
１　本件発明と刊行物１に記載された発明と対比すると、刊行物１に記載された発明の「アナログ画像信号」、「Ａ／Ｄコンバータ」、「電子スチルカメラ」、「ホワイトバランス情報」は、それぞれ本件発明の「電気画像信号」、「Ａ／Ｄ変換器」、「スチルビデオカメラ」、「白バランス調整用の情報」に相当するから、以下の一致点、相違点を有する。
　
一致点
「光学レンズにより得られる被写体の光学像を撮像素子により電気画像信号に変換し、該電気画像信号をＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換して得られるデジタル画像信号をメモリに記憶するように構成されたスチルビデオカメラにおいて、
　前記メモリをカメラ本体に対して着脱可能に設けると共に、前記デジタル画像信号と被写体の色温度情報を含む白バランス調整用の情報とを前記メモリの異なる領域にそれぞれ記録するよにしたことを特徴とするスチルビデオカメラ。」
　
相違点
　白バランス調整用の情報が、本件発明では「被写体の色温度情報を含む」のに対し、刊行物１に記載された発明は、「ホワイトバランス情報検出器からの情報、又は色温度変換フィルタターレットからの情報」である点
　
２　そこで、上記相違点を検討すると、白バランス調整用の情報として「被写体の色温度情報」を用いることは、例えば、刊行物１と同一技術分野に属する刊行物２ないし３に見られるように、周知な技術事項であり、刊行物１に記載された発明において、白バランス調整用の情報を「ホワイトバランス情報検出器からの情報、又は色温度変換フィルタターレットからの情報」とする代わりに、上記周知な技術事項である「被写体の色温度情報」を含む情報とすることは、当業者が、容易になし得たものである。
　
第５　むすび
　以上のとおり、本件請求項１に係る発明は、その出願前日本国内おいて頒布された上記の刊行物１ないし３に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年３月２９日（２００２．３．２９）
【事件の表示】
　特許第３２２３６５４号「画像記録装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
 本件審判は、特許第３２２３６５４号発明（平成５年８月５日出願、平成１３年８月２４日登録）に対する特許の異議申立審判である。
　その特許異議申立書の、「３．申立の理由」の欄には「全請求項に係る特許は、特許法第１１３条の規定により取り消されるべきである。」と記載があるものの、「詳細な理由は追って補充する」とのみ記載されているだけであり、証拠方法については何ら記載されていない。
　ところで、特許異議申立書の提出は、その理由補充書も含めて公報発行の日から六月以内であると定められているところ、本件異議申立理由補充書は、その期間内の平成１４年４月２９日までに提出されていない。
  特許法第１３１条２項には、「前項の規定により提出した請求書の補正は、その要旨を変更するものであってはならない。ただし、第１２３条第１項の審判以外の審判を請求する場合における前項第３号に掲げる請求の理由についてはこの限りではない。」と規定している。
　よって期間経過後の申立理由補充書の提出は、無の理由を有にするものであって、請求書の要旨を変更するものである。
　したがって、本件審判請求は、不適法な審判の請求であって、その補正をすることができないものに該当し、特許法第１２０条の６第１項の規定において準用する特許法第１３５条の規定によって却下すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。
【異議決定日】
平成１４年６月２６日（２００２．６．２６）
【事件の表示】
　特許第３２０７１０２号「引き戸用下枠への風止板の取付構造」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２０７１０２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３２０７１０２号は、平成８年３月１日に特許出願されたものであって、平成１３年７月６日にその特許の設定登録がなされ、その後、吉沢スエより請求項１に係る特許に対して特許異議の申立てがなされたものである。
２．本件特許に係る発明
　本件特許に係る発明は、特許明細書の特許請求の範囲に記載された事項により特定されるものであり、そのうち請求項１に係る発明は次の事項により特定されるものである。
「上部見込み片に見込み方向に並列する複数本の引き戸用のレールが形成された引き戸用下枠において、隣接する引き戸の召合せ部分に召合せ框間で気密性を確保する風止板を取り付けた取付構造であり、隣接するレール間にはレールの高さと同等の高さの立上り片が形成されており、立上り片の、引き戸の召合せ部分には切欠きが形成され、風止板はこの立上り片の切欠き内に納まり、隣接するレール間に亘って取り付けられている引き戸用下枠への風止板の取付構造。」
　
３．異議申立ての理由の概要
　異議申立人は、証拠として甲第１号証乃至甲第３号証を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に想到することが出来たものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、請求項１に係る特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　
４．証拠の記載事項
  異議申立人の提出した証拠には、次の事項が記載されている。
　甲第１号証（実願平４−４８７２３号（実開平６−４２９３号）のＣＤ−ＲＯＭの写し）には、「引き違い窓の下枠水密装置」に関して記載され、図面とともに、「本考案の第１実施例を図１乃至図２に基いて詳細に説明する。下枠１は図１に示すように室外壁２と室内壁３との上面を段差を設けた敷居皿４で接続し、下面を段差を有する傾斜面で形成した底板５で接続して空間部６を有する形状に形成している。そして、敷居皿４の段差部７，８の上面に内側用レール９と外側用レール１０を突出し、室外壁２の上面室外側に網戸敷居１１を設けて網戸レール１２を突設する。この網戸用敷居１１の室外端に設けた室外立上り片１３と室内壁３の上面の室内立上り片１４と高低差を小さくして車椅子が通過できるように形成する。前記敷居皿４の内側用レール９と外側用レール１０との中間上面に仕切り片１５を突設し」（段落【０００６】〜【０００８】）と記載されている。
　甲第２号証（実開昭５８−３９９９５号公報及び実願昭５６−１３４４７８号（実開昭５８−３９９９５号）のマイクロフイルムの写し）には、「引違い障子の召合わせ部の上端部及び下端部に接触する気密材をかもい及び敷居に取付けたことを特徴とする引違い障子の気密構造」（実用新案登録請求の範囲）が図面とともに記載され、「気密材１０を、敷居２及びかもい３の中央の凸条１２に形成された切欠部１３に嵌め込みビス１４で固着している。」（明細書３頁７〜９行）、「本考案によれば引違い障子の召合わせ部の上下部を気密材で塞いでいるため、召合わせ部の上下空間から気流が通過することがなくなり、冷暖房効果が向上すると共に既設の障子にも敷居に気密材を取付けるだけで容易に適用できるという効果がある。」（同３頁末行〜４頁５行）と記載されている。
　甲第３号証（実願平３−７５３６０号（実開平５−２８８９１号）のＣＤ−ＲＯＭの写し）には、「引き違い式で開閉せしめられる障子の召し合わせ框下部に磁石が固定されるとともに、窓枠の下枠部における、上記障子が閉状態にあるとき上記召し合わせ框の略真下に位置する部位に収納凹部が設けられ、この収納凹部に磁石付き風止板が上下動可能に配され、この磁石付き風止板が、上記障子が開状態にあるとき、上記召し合わせ框から離間し、上記障子が閉状態にあるとき、上記召し合わせ框の磁石に吸引されて該框の下端縁部に密着し、上記召し合わせ框と下枠部との間を封止するようにされていることを特徴とする障子の風止板構造。」（実用新案登録請求の範囲）が図面とともに記載されている。
　
５．対比・判断
　本件請求項１に係る発明と甲第１号証乃至甲第３号証に記載の発明を比較すると、甲第１号証乃至甲第３号証には、本件請求項１に係る発明を特定する事項である「立上り片の、引き戸の召合せ部分には切欠きが形成され、風止板はこの立上り片の切欠き内に納まり、隣接するレール間に亘って取り付けられている引き戸用下枠への風止板の取付構造」について記載も示唆もない。
　すなわち、甲第１号証には、「上部見込み片に見込み方向に並列する複数本の引き戸用のレール（内側用レール９及び外側用レール１０）が形成され、隣接するレール間には立上り片（仕切り片１５）が形成された引き戸用下枠」が記載されていると認められるが、引き戸用下枠へ風止板を取り付けることは何ら記載されていない。
　甲第２号証には、「隣接する引き戸（引違い障子）の召合わせ部分の召合せ框間で気密性を確保する風止板（気密材）を取り付ける取付構造」が記載されており、下枠（敷居）中央の凸条に形成された切欠部に風止板を取り付けることが記載されているが、下枠（敷居）は、隣接するレール間にレールの高さと同等の高さの立上り片が形成されたものではなく、風止板が、レール間の立上り片の切欠き内に納まり、隣接するレール間に亘って取り付けられることは示されていない。
　また、甲第３号証には、「上部見込み片に見込み方向に並列する複数本の引き戸用のレールが形成された引き戸用下枠において、隣接する引き戸の召合せ部分に召合せ框間で気密性を確保する風止板を取り付けた取付構造」が記載されているが、隣接するレール間に立上り片を有するものではなく、風止板は召し合わせ框の略真下に位置する収納凹部に配されるものである。
　そうすると、甲第１号証記載の発明において、召合わせ部分の召合せ框間に風止板を取り付けることが、甲第２号証又は甲第３号証記載の発明に基づき当業者が容易になしうるとしても、風止板を取付構造を、上記の特定の取付構造とすることは、当業者が容易になしうるとすることはできない。
　そして、本件請求項１に係る発明は、上記特定事項により、「立上り片を利用して風止板を固定するため、風止板を下枠に対して着脱自在に固定でき、レールに対しては風止板を固定するための細かな加工を必要とせず、風止板に対してもレールに係合させるための加工を要しない。」等の特許明細書記載の特有の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおり、異議申立ての理由及び証拠方法によっては本件請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由は発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月１日（２００２．７．１）
【事件の表示】
　特許第３０９９７１４号「クロスフィン熱交換器」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０９９７１４号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
〔１〕本件特許第３０９９７１４号（以下「本件特許」という。）は、平成８年１月１７日に出願され、平成１２年８月１８日に設定登録がされ、同年１０月１６日に特許掲載公報に掲載され、これに対して、特許異議申立人東芝キヤリア株式会社より平成１３年４月１３日付けで、請求項１〜２（全請求項）に係る特許に対して特許異議の申立てがされたものである。
　
〔２〕そして、本件特許の請求項１〜２に係る発明は、以下のとおりである。
「請求項１
  所定のフィンピッチで複数枚並設されたフィンプレートの直交する複数本の伝熱管相互の間に空気流上流側から下流側にかけて多段構造のスリットを備えてなるクロスフィン熱交換器において、２段スリット構造を採用し、そのフィンピッチを０.６ｍｍ〜１.２ｍｍに形成したことを特徴とするクロスフィン熱交換器。
  請求項２
  クロスフィン熱交換器が、ヒートポンプ式空気調和機の室内機用熱交換器であることを特徴とする請求項１記載のクロスフィン熱交換器。」
　
〔３〕これに対して、異議申立人の申立ての理由は、「本件請求項１および２に係る各特許発明は、甲第１号証および甲第２号証に記載された発明などに基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。」というにある。
（証拠方法）
甲第１号証：特開平２−１６９９９１号公報
甲第２号証：「コンパクト熱交換器」日刊工業新聞社１９９２年８月２８日発行
　
〔４〕そこで、異議申立ての理由について検討する。
１．甲第１号証には、「複数の熱交換パイプをフィンに挿通させてなる熱交換器において、前記熱交換パイプで挟まれるフィン部分に、熱交換パイプ側に脚を形成して帯状に切起し、かつ切起し方向を正逆交互にして並列に連ねてなる切起し列を通風方向に沿って並設し、さらに当該切起し列は前記交換パイプの通風方向下流側の切起し部の長さ寸法を長くするとともに、この長くした切起し部の脚を熱交換パイプ側に斜めにしてなることを特徴とする熱交換器」が、第１〜７図とともに記載されており、甲第２号証には、「コンパクト熱交換器」について記載されている。
　
２．異議申立人は、甲第２号証には、「ルームエアコン（空気調和機）に使用されるクロスフィン熱交換器のフィンピッチが１〜２ｍｍであり、伝熱促進のために２段スリット構造を採用すること」が記載されている（異議申立書第６頁第１０〜１２行）というが、甲第２号証のフィンピッチの数値について記載されている第１３５頁末行〜第１３６頁第１９行の記載は、その記載全体からみれば、コンパクト熱交換器の一般について記述されたものというべきであって、第１３６頁図９・２に示されるような「中断フィン」について述べられたものではなく、２段スリット構造を採用した空気調和機のクロスフィン熱交換器のフィンピッチを０.６〜１.２ｍｍに形成することが記載されているものとは認められない。
　甲第１号証にも、２段スリット構造を採用した空気調和機のクロスフィン熱交換器において、フィンピッチを０.６〜１.２ｍｍに形成することは、何ら記載されていない。
　そして、本件各発明は、その点の構成によって、明細書に記載された効果を奏するものと認められる。
　
３．そうすると、その余について検討するまでもなく、本件各発明が、異議申立人の提出した甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
〔５〕以上のとおりであるから、異議申立人の主張する申立ての理由及び提出した証拠方法によっては、本件請求項１および２に係る特許を取り消すことはできない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年５月８日（２００２．５．８）
【事件の表示】
　特許第３２１５１５３号「光増幅中継器」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２１５１５３号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
（本件発明）
　本件特許第３２１５１５３号の請求項１乃至２に係るそれぞれの発明（平成４年４月９日出願、平成１３年７月２７日設定登録）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　光伝送路中に介在される光増幅中継器において、光入出射端間に縦続接続される複数の光増幅器と、前記複数の光増幅器とは別体で構成され、前記複数の光増幅器の各間の少なくとも１箇所に介在され、前記光伝送路の群遅延分散量を所用の群遅延分散量に補償する群遅延分散等化光回路とを具備し、前記複数の光増幅器のうち前記等化光回路の後置光増幅器は出力飽和特性を有することを特徴とする光増幅中継器。
【請求項２】　前記群遅延分散等化光回路は入射側光伝送路の群遅延分散と逆特性の群遅延分散を持つ光ファイバであることを特徴とする請求項１記載の光増幅中継器。」
（特許異議の申立ての理由）
　 特許異議申立人斉藤万里子は、証拠として甲第１号証（″All‐Optical,Fiber‐Based 1550nm Dispersion Compensation in a 10Gbit/s,150km Transmission Experiment over 1310nm optimized Fiber″,Conference on Optical Fiber Communication l992(OFC′92)PD14,pp367‐370,San Jose,USA,February2‐7,1992）を提出し、本件請求項１乃至２に係るそれぞれの発明の特許は、特許法第２９条第２号の規定に違反してなされたものであるから取り消すべき旨主張している。
（甲第１号証記載の発明）
　甲第１号証には、Experimental setupとして、ブロックダイアグラム及びその説明が記載されているところ、その記載によれば、１５０km standard fiberの波長分散を補償するため、必要な３９kmのDC fiberを６．４km、２２km、１１kmに３分割して適宜位置に配置し、また、DC fiberによる損失を補償するために、３個のEribium-doped fiber amplifier(EDFA)を適宜配置するとするものであり、適宜位置として、送信端及び受信端にそれらFibersを分散配置するものが記載されている。
（対比、判断）
　本件の請求項１に係る発明と上記甲第１号証記載の発明とを対比、検討すると、
(ア)甲第１号証には、本件の請求項１に係る発明の基本的な構成要件である光伝送路中に介在される光増幅中継器に関する記載がない。
　この点に関し、異議申立人は異議申立書において、甲第１号証のFigure.2に開示されたEDFA-2、DC fiber及びEDFA-3による構成が、伝送路の受信端に配置されていることから、当該構成を“中継器″とみなすことに疑問をもつかもしれないが、参考文献５（特開平３−４２９２７号公報）、６（特開平３−５４５３０号公報）に開示されているように、伝送路の受信端に配置された構成であっても、当業者は、通常、光増幅中継器とみなしている旨の主張をしているが、上記参考文献５，６のどこにも、伝送路の受信端に配置された構成を中継器と称する旨の記載はなく、また、当業者が、通常、中継器とみなしているとする証拠も見あたらない。
(イ)甲第１号証のEDFA-2、DC fiber（２２km）及びEDFA-3からなる構成は、本件の請求項１に係る発明の「複数の光増幅器の各間の少なくとも１箇所に介在され、前記光伝送路の群遅延分散量を所用の群遅延分散量に補償する群遅延分散等化光回路」とする構成と類似するものの、本件の請求項１に係る発明の光増幅中継器においては、送信端と受信端との間に複数設けられ、送信端と光増幅中継器との間に配された光ファイバーによる波長分散を光増幅中継器により等化し、また、光増幅中継器と光増幅中継器との間に配設された光ファイバーによる波長分散を後段の光増幅中継器により等化するというように、送信端と受信端との間で、光中継器毎に順次等化を行うとするものであり、これに対し、甲第１号証の前記構成は、波長分散全体の一部を補償するに留まるもの（甲第１号証においては、１５０km standard fiberによる波長分散の補償に必要な３９kmのDC fiberを、６．４km、２２km、１１kmに３分割し、それぞれのDC fiberによる補償の合計が全体の波長分散を補償する量になるようにしている）であって、本件の請求項１に係る発明の光増幅中継器のように、光中継器毎に順次等化するというものではない。したがって、本件の請求項１に係る発明の光増幅中継器と甲第１号証記載の上記構成とは、その技術内容が異なる。
(ウ)甲第１号証には、EDFA-2、DC fiber（２２km）及びEDFA-3からなる構成だけを取り出し、これを光増幅中継器として用いるとする記載はない。また、甲第１号証においては、EDFA-2、DC fiber（２２km）及びEDFA-3からなる構成に続けてDC fiber（３km）を設けている（これ以外のDC fiber（６．４km）も含めて初めて１５０km fiberの分散補償がなされる）のに対し、本件の請求項１に係る発明においては、中継距離の拡大のために、分散等化光回路を出射端に設けていない。
(エ)甲第１号証には、３個のEribium-doped fiber amplifier(EDFA)によりDC fiberの損失を補填すると記載されているところ、本件の請求項１に係る発明の後置光増幅器のように、中継距離の拡大のために、飽和状態になるまで増幅するとするものとは、その使い方（その設置目的）が異なる。
　以上のとおりであるから、その余を検討するまでもなく、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　さらに、本件の請求項２は、本件の請求項１を引用するものであるから、本件の請求項１に係る発明について述べたと同様な理由で、本件の請求項２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
（むすび）
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によって、本件の請求項１乃至２に係る各発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１乃至２に係る各発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。      
【異議決定日】
平成１４年６月２４日（２００２．６．２４）
【事件の表示】
　特許第３１７５８２３号「高周波増幅装置」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１７５８２３号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　　特許第３１７５８２３号（平成１０年４月２４日出願、平成１３年４月６日設定登録）の請求項１〜５に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載されたとおりのものである。
　
２．特許異議申立ての理由の概要
　申立人雨山範子は、甲第１号証（「ＧａＡｓＦＥＴ増幅器の設計」（市坪　幾郎、ＭＷＥ９２　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｗｏｒｋｓｈｏｐ　Ｄｉｇｅｓｔ）　Ｐ．１１５〜１２４）、甲第２号証（「モノリシックマイクロ波集積回路」（相川　正義、大平　孝、徳満恒雄、広田　哲夫、村口　正弘　共著、社団法人　電子情報通信学会、平成９年１月２５日初版第１冊発行）Ｐ．４４−４７、Ｐ．７１、Ｐ９１−９２）、甲第３号証（特開平６−５３７６１号公報）、甲第４号証（「Ｆｉｒｓｔ　Ｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｈｉｇｈ　Ｐｏｗｅｒ　ＧａＩｎＰ／ＧａＡｓ　ＨＢＴ　ＭＭＩＣ　Ｐｏｗｅｒ　Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ　Ｗｉｔｈ　９．９Ｗ　Ｏｕｔｐｕｔ　Ｐｏｗｅｒ　ａｔ　Ｘ　Ｂａｎｄ」（ＩＥＥＥ　ＭＩＣＲＯＷＡＶＥ　ＡＮＤ　ＧＵＩＤＥＤ　ＷＡＶＥ　ＬＥＴＴＥＲＳ，　Ｖｏｌ．４，Ｎｏ．９，　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ　１９９４　Ｐ．９３−２９５）を提出し、特許第３１７５８２３号の請求項１，５に係る特許発明は、甲第１号証に記載されたものであり、請求項４に係る発明は、甲第３号証に記載れたものであり、いずれも特許法第２９条第１項３号に規定する発明に該当し、当該発明の特許は取り消されるべきであり、また、請求項１〜５に係る発明は、甲第１〜４号証で示す各刊行物に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条に第２項の規定に違反して特許されたものであり、その特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　
３．引用刊行物に記載された発明
　当審が平成１４年３月２０日付けで通知した取消しの理由において引用した刊行物１〜４にはそれぞれ次のとおりの発明が記載されている。
　ア．刊行物１：「ＧａＡｓＦＥＴ増幅器の設計」（市坪　幾郎、ＭＷＥ９２　Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ　Ｗｏｒｋｓｈｏｐ　Ｄｉｇｅｓｔ）　Ｐ．１１５−１２４
　能動素子単体ではｋが１以下であるものを用い、損失利用して安定動作（装置全体ではｋが１以上）を実現し、そのための損失として、ＦＥＴに対してシャント抵抗または負帰還抵抗を設置するものが記載されている。　
　イ．刊行物２：「モノリシックマイクロ波集積回路」（相川　正義、大平　孝、徳満恒雄、広田　哲夫、村口　正弘　共著、社団法人　電子情報通信学会、平成９年１月２５日初版第１冊発行）Ｐ．４４−４７、Ｐ．７１、Ｐ９１−９２
　整合回路として、スパイラルインダクタ、ミアンダ型インダクタ、ＭＩＭキャパシタを用いることが記載されている。
　ウ．刊行物３：特開平６−５３７６１号公報
　高周波トランジスタの安定指数Ｋが１より小さい場合にも、入力整合及び出力整合を取りやすく、且つ充分に安定動作の可能な高周波増幅器を提供すべく、バイアス回路に抵抗を入れることによって、行っているものが記載されている。　
　エ．刊行物４：「Ｆｉｒｓｔ　Ｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｈｉｇｈ　Ｐｏｗｅｒ　ＧａＩｎＰ／ＧａＡｓ　ＨＢＴ　ＭＭＩＣ　Ｐｏｗｅｒ　Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ　Ｗｉｔｈ　９．９Ｗ　Ｏｕｔｐｕｔ　Ｐｏｗｅｒ　ａｔ　Ｘ−Ｂａｎｄ」（ＩＥＥＥ　ＭＩＣＲＯＷＡＶＥ　ＡＮＤ　ＧＵＩＤＥＤ　ＷＡＶＥ　ＬＥＴＴＥＲＳ，　Ｖｏｌ．４，Ｎｏ．９，　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ　１９９４　Ｐ．９３−２９５
　ＨＢＴを用いたＭＭＩＣが記載されている。
　
４．対比及び判断
　そこで、本件請求項１に係る発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は、「能動素子を有する高周波増幅装置において、増幅装置を使用する周波数における、能動素子単体での安定指数ｋ値が１以下となるように、入力インピーダンスの抵抗成分を充分小さくした能動素子を用い回路の損失を利用して、増幅装置としての安定指数ｋ値を１以上とした」点において一致し、以下の点で相違する。
（相違点）
　本件請求項１に係る発明は、増幅装置を安定化させるための損失として「整合回路の損失」を利用しているのに対して、刊行物１記載の発明は、「シャント抵抗または負帰還抵抗」を用いている点において相違する。
　そして、かかる相違点により、本件請求項１にかかる発明は、整合回路の損失を積極的に利用するために増幅装置の安定化とともに増幅器の小型化を図るという作用効果を生じるものと認める。
　なお、刊行物２，３，４にも、整合回路の損失を積極的に利用して増幅装置を安定化させるという技術思想はなく、これらを刊行物１に記載の発明に適用しても、本件請求項１にかかる発明が容易であるとは認められない。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、上記刊行物１に記載されたものでもなく、また、刊行物１〜４に記載された発明から容易に発明することができたものではない。
　また、請求項１を引用している請求項２，３，５に係る発明も当然、刊行物１〜４に記載された発明から容易に発明することができたものではない。
　そして、刊行物３に記載の発明は、増幅装置を安定化させるため整合回路の損失を利用していないので、本件請求項４に係る発明は、刊行物３に記載されたものでもなく、また、刊行物１〜４に記載された発明から容易に発明することができたものではない。
　
５．まとめ
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月２４日（２００２．６．２４）
【事件の表示】
　特許第３２１７５７１号「はんだボールの搬送供給装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２１７５７１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．[事件の経緯と本件発明]
　本件特許第３２１７５７１号（以下、「本件特許」という）は、平成５年１２月３１日に出願された特願平５−３５３５５３号の特許出願に係り、平成１３年８月３日に設定登録されたところ（請求項の数２、特許公報発行日平成１３年１０月９日）、平成１４年４月４日に、請求項１に関して特許異議の申立があったもので、当該特許異議の申立てに係る本件特許発明は、本件特許設定登録時の明細書における特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
　「【請求項１】　表面に印刷形成された複数のクリームはんだ塗布領域にはんだボールを一括して搬送供給するはんだボールの搬送供給装置であって、はんだボールを保持して搬送する搬送ヘッドの表面にはボール保持面が形成され、このボール保持面には前記クリームはんだの印刷塗布領域位置に対応させた複数のボール吸着孔が形成され、これらの各ボール吸着孔は搬送ヘッド内部に形成した真空駆動室に連通され、この真空駆動室側の真空吸引によってはんだボールを各ボール吸着孔で吸着保持し、押し付け力付与手段によってはんだボールをクリームはんだ塗布領域に押し付けた後、真空吸引停止によって前記各吸着孔で吸着保持したはんだボールを離す構成としたはんだボールの搬送供給装置。」（この請求項１記載の発明を、以下、「本件発明」という）
　
２．[特許異議申立に係る証拠と申立理由の概要]
（１）＜証拠方法＞
　甲第１号証：特公昭６４−８１９号公報
　甲第２号証：特開平４−６５１３０号公報
　甲第３号証：特開平３−２３０５３３号公報
（２）＜申立理由の概要＞
　特許異議申立人は、上記の証拠をもとに、次のような主張をしている。
　甲第１号証の第４Ｂ図及び第６欄第１７〜３２行には、「吸着装置２８」は「真空装置（図示せず）へ管３１により連結されている吸着チエンバ３０を限定し」、吸着チエンバ３０下面の「マスク３３」は、はんだボールを吸着する「開孔を有する」旨が記載され、更に、第７欄第１０〜１６行に「この様にして、はんだボールが対応するフラックスの小滴に接触される。それから、真空装置がターン・オフされ、・・・その結果、はんだボールはマスクより容易に離れるが、ピンの頭部上のフラックスによって該当部に付着されている。」と記載されており、且つ第５図には、はんだボール２５がフラックスの小滴２４に没入している状態が示されている。
　また、甲第２号証にも、第４頁右上欄第１３行〜同左下欄第１５行に「半田フラックス２３に半田ボール８を搭載すると、半田ボール８は半田フラックス２３の粘着力によって保持されるようになる。
　半田ボール８の搭載に使用する半田ボールキャリア２６は、例えば第３図に示す如く、真空室（減圧室）２７の下部開口面を半田ボールマスク２８，網板２９、吸気板３０にて覆った構成である。・・・透孔３１に嵌合した半田ボール８は、・・・吸気力によって透孔３１内に保持され、真空装置を停止し加振することによって透孔３１より脱落する。」と記載されているし、第１図（ホ）には半田ボール８が半田フラックス２３に押し込まれて没入した状態が図示してある。
　そして、甲第３号証の第２頁右上欄第１５〜１９行には「本実施例では、塗布された導電ペースト１２、１３が乾燥する前に、矢印Ａで示すように、金属ボール１４，１５を導電ペースト１２，１３上に押し込み、導電ペースト１２、１３の粘着性を利用して付着させる」という記載があるし、クリームはんだは導電ペーストの一種である。
　したがって、本件発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
３．[当審の判断］
　甲第１、２号証には、特許異議申立人が主張する上記のとおりの記載があるから、「はんだボールを保持して搬送する搬送ヘッドの表面にはボール保持面が形成され、このボール保持面には所定領域の位置に対応させた複数のボール吸着孔が形成され、これらの各ボール吸着孔は搬送ヘッド内部に形成した真空駆動室に連通され、この真空駆動室側の真空吸引によってはんだボールを各ボール吸着孔で吸着保持する構成としたはんだボールの搬送供給装置」については、本件発明と共通する事項として、甲第１号証または甲第２号証に実質上の開示があるといえる。
　次に、本件発明の「押し付け力付与手段によってはんだボールをクリームはんだ塗布領域に押し付けた後、真空吸引停止によって前記各吸着孔で吸着保持したはんだボールを離す構成」（以下、「相違点の構成」という）について、特許異議申立人は、甲第３号証に当該相違点の構成を示唆する記載がある旨を主張しているので、この主張の適否について検討する。
　たしかに、甲第３号証には、上記の「金属ボール１４、１５を導電ペースト１２、１３上に押し込み」という記載に加えて、更に「金属ボール１４、１５を金属ボール１４、１５が導電ペースト１８、１９の上面と当接されるまで埋め込み」（第２頁右下欄第１７〜２０行）という記載もある。
　しかし、甲第３号証では、「金属ボール１４、１５を導電ペースト１２、１３に固着させる方法」について、「金属ボール１４、１５の径に応じた孔が形成された治具を導電ペースト１２、１３上に配置し、該孔を通して金属ボール１４、１５を落下させる方法、あるいは金属ボール１４、１５に予め導電ペーストを塗布しておき、しかる後基板上に塗布された導電ペースト１２、１３に付着させてもよい」としており（第３頁左上欄第１７行〜同右上欄第５行参照）、真空吸引を利用するはんだボール等の搬送手段については全く言及がなく、また、甲第３号証記載の上記「押し込み」や「埋め込み」の目的とするところは「回路基板１の裏面１ａから突出している部分の高さを揃えること」にあると考えられる（第１頁右下欄第１３〜１６行参照）。
　しかも、はんだボール等を付着させる対象が、甲第１、２号証に記載されたものでは「フラックス」であるのに対して、甲第３号証に記載されたものでは「導電ペースト」であることから、甲第３号証に記載された事項を、甲第１号証や甲第２号証に開示されているはんだボール等の搬送供給装置に直ちに適用できるというものではない。
　そうすると、甲第３号証の上記の「押し込み」や「埋め込み」に係る記載は、本件発明における上記相違点の構成を示唆するものとはいえず、一方、本件発明は、上記相違点の構成を備えることによって、「クリームはんだ塗布領域に位置ずれなく正しい位置に確実に粘着載置されてその状態を維持することができる」という、独自の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明を、上記の甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
４．[むすび]
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由と提出した証拠によっては、本件特許を取り消すべきものとすることはできない。
　また、他に本件特許を取り消すべき理由も発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月１７日（２００２．６．１７）
【事件の表示】
特許第３２０５０９１号「電極の冷却方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
特許第３２０５０９１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】本件特許発明
特許第３２０５０９１号（平成４年１１月２０日出願、平成１３年６月２９日設定登録。）の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの、
「【請求項１】
冷媒循環により電極を昇温又は冷却する手段と、静電吸着によりウェハを支持する手段と、ウェハ裏面に冷却ガスを導入する手段等とからなるウェハ冷却手段を有するプラズマ処理装置の静電吸着電極の冷却方法において、
大気開放後のプラズマ処理室内を真空排気後、ウェハ処理前に前記電極を昇温して一定時間高温に保持した後、所定の処理温度に冷却することを特徴とする静電吸着電極の冷却方法。」である。
【２】申立ての理由の概要
特許異議申立人「高橋　学」は、甲第１号証および参考資料１を提示し、本件発明は、本件特許出願前に特許出願され、本件特許出願後に出願公開された特願平３−１８６２４１号の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書」という。）に記載された発明と同一であるから、本件特許は、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものであり、取り消されるべきであると主張している。
【３】先願明細書（特許異議申立人が甲第１号証として提示した特開平５−２９４４８号公報参照）の記載事項
段落【0005】〜【0007】に、
（３．１）「以上説明したような真空処理を行う半導体処理装置では、被処理体を真空容器に搬入する際、真空容器が大気圧に戻され、真空容器内壁が大気に接触した際、極めて短時間のうちに真空容器内壁表面への水分を主体とする気体分子の吸着が起こる。また室温状態で粗排気が行われた真空容器内では、真空容器内壁に付着した大気中の水分の凝縮・結露が発生する。
初期の排気過程では、こうした容器内壁へ吸着あるいは付着した水分が徐々に蒸発し、主な残留気体として圧力の減少を妨げ、所定の真空度に達する所要時間を長くし、処理効率を低下させる要因になっている。特に外部雰囲気の湿度が高い場合や、真空容器が冷却されている場合には、結露の発生が著しく、真空引きに時間がかかっている。
本発明は上記の欠点を改善するためになされたもので、気密容器付着物を除去し大気に解放される気密容器の排気を短時間で実行できる排気方法を提供するものである。」と記載され、
段落【0019】に、
（３．２）「真空容器１内に複数枚の処理済み被処理体たとえば半導体ウェハが収納されたカセット１０が載置されており、上記半導体ウェハをカセット１０と共に搬出する場合について以下説明する。大気中の水分が真空容器１の内壁に付着することを防ぐため、真空状態でヒータ４に電流を流すことにより真空容器１内を所定時間たとえば 5分間、所定の温度たとえば 140℃に加熱する。その後、真空容器１内にガス供給管８から窒素ガスを大気圧になるまで導入し大気圧になった後、上記カセット１０を搬出するため、大気側ゲートバルブＧ１を開く。次に搬送機構３４を駆動させることによって真空容器１内の処理済みウェハの入ったカセット１０を搬出し、処理前の半導体ウェハの入ったカセット３６を真空容器１内に搬入する。すなわちカセット１０の入れ替えを行う。その後、大気側のゲートバルブＧ１を閉じ、真空容器１内を排気装置２０により所定の真空度まで排気する。この排気処理と同時に、大気に露出されたことにより真空容器１の内壁面上など大気中で付着した水分を速やかに蒸発せしめ、排気処理を促進するために被処理体である半導体ウェハは真空容器１の外周に設けたヒータ４および真空容器１内に設けたハロゲンランプ６を動作させることにより所定の温度たとえば 140℃に上記１（内）壁を加熱し、所定の時間たとえば 5分間加熱状態を保持する。その後、冷却循環用配管２に冷却媒体を循環させ速度たとえば50℃／分から100℃／分で所定の温度たとえば20℃に冷却する。」と記載され、
段落【0033】に、
（３．３）「上記の実施例は本発明方法の一実施例の説明であって、必ずしもイオン注入装置に適用するに限らず酸化や拡散等の熱処理装置およびＣＶＤ装置、エッチング装置等の真空容器、低圧容器またはそれらのロードロック室等気密容器の排気方法であればいずれに適用することも可能である。」と記載されている。
【４】先願明細書に記載された発明（以下、「先願発明」という。）の認定
前記（３．１）〜（３．３）の記載事項から、先願明細書には、
（４．１）「半導体ウェハの処理装置における真空、低圧または気密容器の排気方法であって、容器内壁への水分を主体とする気体分子の吸着さらには水分の凝縮・結露を防止するため、前記容器内壁を加熱・昇温して一定時間高温に保持した後、所定の温度に冷却して容器の排気を短時間で実行できる排気方法」の発明が記載されているといえる。
【５】本件発明と先願発明との対比・判断
本件発明と前記（４．１）に摘記した先願発明とを対比すると、
先願発明は、本件発明を特定する事項である、（５．１）「静電吸着電極の冷却方法において、大気開放後のプラズマ処理室内を真空排気後、ウェハ処理前に前記電極を昇温して一定時間高温に保持した後、所定の処理温度に冷却する静電吸着電極の冷却」に関する事項を備えていない。
そして、前記（５．１）に摘記した事項により本件発明は、その明細書記載の、「表面または内部に吸着されている水分は電極を０℃以下に冷却した場合には氷となって除去できなくなり、この氷によって絶縁膜の静電容量が見かけ上小さくなるため静電吸着力にばらつきを生じ、ウエハを安定して支持できないという問題がある」（段落【0003】参照）ところ、「静電吸着電極を真空中で昇温して一定時間保持することにより、絶縁膜の表面または内部に吸着されている水分を短時間で確実に蒸発させて除去し、その後０℃以下の所定の処理温度まで冷却するので、絶縁膜の表面あるいは内部に氷を生じることがなく、吸着力の安定化を図ることができる」（段落【0006】参照）から、「所定温度以下の処理温度において静電吸着力の安定化を図ることができる」（段落【0013】参照）という作用および効果を有するものである。
一方、前記（５．１）に摘記した事項は、先願明細書には記載も示唆もない。
また、特許異議申立人が提示した参考資料１（特開平２−１３５７５３号公報）に記載された「冷媒循環により電極を冷却する手段と、静電吸着によりウェハを支持する手段と、ウェハ裏面にガスを導入する手段等とからなるウェハ冷却手段を有するプラズマ処理装置及びウェハ冷却方法」が周知事項であって、かかる周知事項を参酌したにしても、前記（５．１）に摘記した事項が先願明細書から自明であるとは認められない。
したがって、本件発明が、先願明細書に記載された発明と同一であるということはできない。
【６】むすび
以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由および証拠によっては、本件請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月３日（２００２．６．３）