【事件の表示】
　特許第３１２９９８０号「トラップ装置及びその再生方法」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１２９９８０号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３１２９９８０号の請求項１ないし４に係る発明についての出願は、平成８年１２月１６日に出願され、平成１２年１１月１７日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、申立人 渡辺一雄 より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年１２月２８日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられている」（特許公報第１頁第１欄第３〜８行参照）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられている」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項４において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える」（特許公報第１頁第２欄第２〜７行参照）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　明細書の段落【０００９】において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられている」（特許公報第２頁第４欄第１０〜１５行参照）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられている」と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　明細書の段落【００１５】において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える」（特許公報第３頁第５欄第８〜１３行参照）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える」と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　明細書の段落【００１７】において、「上側のトラップ室３４と下側の再洗浄室３６に仕切られており、トラップ室３４には排気経路１４への接続部３４ａが形成されている。」（特許公報第３頁第５欄第３３〜３５行参照）とあるのを、「上側のトラップ室３４と下側の洗浄室３６に仕切られており、トラップ室３４には排気経路１４への接続部３４ａが形成されている。」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１に係る発明を特定する事項である「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられている」を、これに含まれる事項である「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられている」に変更するものである。そして、当該事項については、願書に添付された明細書の段落【００１７】，【００１８】，【００２７】に記載されている。したがって、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂは、請求項４に係る発明を特定する事項である「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える」を、これに含まれる事項である「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える」に変更するものである。そして、当該事項については、願書に添付された明細書の段落【００１７】，【００１８】，【００２７】に記載されている。したがって、上記訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｃ、ｄは、上記訂正事項ａ、ｂと整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｅは、明らかな誤記の訂正を図るものであるから、誤記の訂正を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　申立人 渡辺一雄 は、証拠として甲第１号証（特開平３−１５６９１６号公報）、甲第２号証（特開平８−２９８２３４号公報）を提出し、請求項１ないし４に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号、若しくは同条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１ないし４に係る発明についての特許を取り消すべき旨主張している。
　
（２）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１ないし４に係る発明（以下、「本件発明１ないし４」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、
　前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられていることを特徴とするトラップ装置。
　【請求項２】前記トラップ装置は、前記トラップ部を冷却して前記成分を析出させる低温トラップであることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置。
　【請求項３】前記トラップ装置には、トラップ部に付着した洗浄液を除去する洗浄液除去手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置。
　【請求項４】気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、
　前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替えることによりトラップ動作と再生動作を並行して行なうことを特徴とするトラップ装置の再生方法。」
　
（３）刊行物記載の発明
　申立人 渡辺一雄 の提示した甲第１号証（特開平３−１５６９１６号公報；当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物１）には、公報第３頁右下欄第４〜１０行の「第１図は・・・システムである。」なる記載、同第４頁右下欄第１６行〜第５頁右上欄第１３行の「以上説明した・・・ことができる。」なる記載、及び第１図の記載内容からみて、本件発明１ないし４の記載にそれぞれ対応させて記載すると、次の発明【１】ないし【４】（以下、「刊行物１記載の発明１ないし４」という。）が記載されていると認められる。
「【１】チャンバ１から減圧排気システム７により排気する排気パイプ１１，１４に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するパイプ１６を有するトラップ装置において、
　前記排気パイプ１１，１４に隣接して前記パイプ１６から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる流水パイプ２１，２１が設けられ、前記パイプ１６を前記排気パイプ１１，１４と前記流水パイプ２１，２１に切り替える歯車２５が設けられているトラップ装置。
　【２】前記トラップ装置は、前記パイプ１６を冷却して前記成分を析出させる低温トラップである前記【１】に記載のトラップ装置。
　【３】前記トラップ装置には、パイプ１６に付着した洗浄液の除去に用いる乾燥パイプ２２，２２が設けられている前記【１】に記載のトラップ装置。
　【４】チャンバ１から減圧排気システム７により排気する排気パイプ１１，１４に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するパイプ１６を有するトラップ装置を再生する方法において、
　前記排気パイプ１１，１４に隣接して前記パイプ１６から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる流水パイプ２１，２１を設け、前記パイプ１６を前記排気パイプ１１，１４と前記流水パイプ２１，２１に切り替えることによりトラップ動作と再生動作を並行して行なうトラップ装置の再生方法。」
　
　申立人 渡辺一雄 の提示した甲第２号証（特開平８−２９８２３４号公報；同じく引用された刊行物２）には、公報第４頁左欄の段落【００１６】の「図１中・・・設けられている。」なる記載、同第４頁右欄の段落【００２２】〜第５頁右欄の段落【００２９】の「次に・・・便利である。」なる記載、及び図１，図２の記載内容からみて、本件発明１ないし４の記載にそれぞれ対応させて記載すると、次の発明【１】ないし【４】（以下、「刊行物２記載の発明１ないし４」という。）が記載されていると認められる。
「【１】処理室２からターボ分子ポンプ４１，ドライポンプ４２により排気する排気管３１，３３に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去する第１のトラップ５，第２のトラップ６を有するトラップ装置において、
　前記排気管３１，３３に隣接して前記第１のトラップ５，第２のトラップ６から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる供給管７，８、排液管７２，８２が設けられ、前記第１のトラップ５，第２のトラップ６を前記排気管３１，３３と前記供給管７，８、排液管７２，８２に切り替えるバルブ５１，５２，５３，５４が設けられているトラップ装置。
　【２】前記トラップ装置は、前記第１のトラップ５，第２のトラップ６を冷却して前記成分を析出させる低温トラップである前記【１】に記載のトラップ装置。
　【３】前記トラップ装置には、第１のトラップ５，第２のトラップ６に付着した洗浄液の除去に用いる供給管７３，８３、排気管７４，８４が設けられている前記【１】に記載のトラップ装置。
　【４】処理室２からターボ分子ポンプ４１，ドライポンプ４２により排気する排気管３１，３３に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去する第１のトラップ５，第２のトラップ６を有するトラップ装置を再生する方法において、
　前記排気管３１，３３に隣接して前記第１のトラップ５，第２のトラップ６から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる供給管７，８、排液管７２，８２を設け、前記第１のトラップ５，第２のトラップ６を前記排気管３１，３３と前記供給管７，８、排液管７２，８２に切り替えることによりトラップ動作と再生動作を並行して行なうトラップ装置の再生方法。」
　
（４）対比・判断
＜本件発明１について＞
　本件発明１と刊行物１記載の発明１とを対比すると、刊行物１記載の発明１の「チャンバ１」は、本件発明１の「気密チャンバ」に、以下同様に、「減圧排気システム７」は「真空ポンプ」に、「排気パイプ１１，１４」は「排気経路」に、「パイプ１６」は「トラップ部」に、「流水パイプ２１，２１」は「洗浄経路」に、「歯車２５」は「切替手段」に、それぞれ相当する。
　また、本件発明１と刊行物２記載の発明１とを対比すると、刊行物２記載の発明１の「処理室２」は、本件発明１の「気密チャンバ」に、以下同様に、「ターボ分子ポンプ４１，ドライポンプ４２」は「真空ポンプ」に、「排気管３１，３３」は「排気経路」に、「第１のトラップ５，第２のトラップ６」は「トラップ部」に、「供給管７，８、排液管７２，８２」は「洗浄経路」に、「バルブ５１，５２，５３，５４」は「切替手段」に、それぞれ相当する。
　してみると、本件発明１と刊行物１記載の発明１及び刊行物２記載の発明１とは、「気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられているトラップ装置。」の点で一致するものの、刊行物１記載の発明１及び刊行物２記載の発明１は、本件発明１を特定する事項である「この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられている」点を具備していない。
　そして、当該事項により、本件発明１は、「再生処理を促進するのでトラップ処理と再生処理の時間を均衡させ、装置の停止やトラップ部の交換作業を伴うことなく排気処理を連続的に継続させることができる。また、再生作業を高温にすることなく行なうことができるので、装置の規模を簡略化することができ、設備コストを抑えることができ、排気系の真空ポンプや排ガス処理装置の長寿命化及び運転の信頼性と安全性の向上、さらには、設備や運転コストの低減を図ることができる。」（特許公報第５頁第１０欄第１４〜２２行）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、刊行物１記載の発明１及び刊行物２記載の発明１であるとも、また、刊行物１記載の発明１及び刊行物２記載の発明１から当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
＜本件発明２、３について＞
  本件発明２、３は、本件発明１を更に限定したものであるから、上記本件発明１についての判断と同様の理由により、刊行物１記載の発明２、３及び刊行物２記載の発明２、３であるとも、また、刊行物１記載の発明２、３及び刊行物２記載の発明２、３から当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
＜本件発明４について＞
　本件発明４と刊行物１記載の発明４とを対比すると、刊行物１記載の発明４の「チャンバ１」は、本件発明４の「気密チャンバ」に、以下同様に、「減圧排気システム７」は「真空ポンプ」に、「排気パイプ１１，１４」は「排気経路」に、「パイプ１６」は「トラップ部」に、「流水パイプ２１，２１」は「洗浄経路」に、それぞれ相当する。
　また、本件発明４と刊行物２記載の発明４とを対比すると、刊行物２記載の発明４の「処理室２」は、本件発明４の「気密チャンバ」に、以下同様に、「ターボ分子ポンプ４１，ドライポンプ４２」は「真空ポンプ」に、「排気管３１，３３」は「排気経路」に、「第１のトラップ５，第２のトラップ６」は「トラップ部」に、「供給管７，８、排液管７２，８２」は「洗浄経路」に、それぞれ相当する。
　してみると、本件発明４と刊行物１記載の発明４及び刊行物２記載の発明４とは、「気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替えることによりトラップ動作と再生動作を並行して行なうトラップ装置の再生方法。」の点で一致するものの、刊行物１記載の発明４及び刊行物２記載の発明４は、本件発明４を特定する事項である「この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える」点を具備していない。
　そして、当該事項により、本件発明４は、「再生処理を促進するのでトラップ処理と再生処理の時間を均衡させ、装置の停止やトラップ部の交換作業を伴うことなく排気処理を連続的に継続させることができる。また、再生作業を高温にすることなく行なうことができるので、装置の規模を簡略化することができ、設備コストを抑えることができ、排気系の真空ポンプや排ガス処理装置の長寿命化及び運転の信頼性と安全性の向上、さらには、設備や運転コストの低減を図ることができる。」（特許公報第５頁第１０欄第１４〜２２行）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明４は、刊行物１記載の発明４及び刊行物２記載の発明４であるとも、また、刊行物１記載の発明４及び刊行物２記載の発明４から当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明１ないし４についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１ないし４についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１月２４日（２００２．１．２４）
【訂正の要旨】
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられている」（特許公報第１頁第１欄第３〜８行）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられている」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項４において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える」（特許公報第１頁第２欄第２〜７行）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　明細書の段落番号【０００９】において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える切替手段が設けられている」（特許公報第２頁第４欄第１０〜１５行）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える切替手段が設けられている」と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　明細書の段落番号【００１５】において、「排ガス中の成分を付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、前記トラップ部を前記排気経路と前記洗浄経路に切り替える」（特許公報第３頁第５欄第８〜１３行）とあるのを、「排ガス中の成分をトラップ室内で付着させて除去するトラップ部を有するトラップ装置を再生する方法において、前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、前記トラップ部の位置を前記排気経路の前記トラップ室の内部と前記洗浄経路の前記洗浄室の内部との間で自動的に切り替える」と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　明細書の段落番号【００１７】において、「上側のトラップ室３４と下側の再洗浄室３６に仕切られており、トラップ室３４には排気経路１４への接続部３４ａが形成されている。」（特許公報第３頁第５欄第３３〜３５行）とあるのを、「上側のトラップ室３４と下側の洗浄室３６に仕切られており、トラップ室３４には排気経路１４への接続部３４ａが形成されている。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
トラップ装置及びその再生方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を
トラップ室内で
　前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路が設けられ、
この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、
の位置
前記トラップ室の内部
の前記洗浄室の内部との間
自動的に
　【請求項２】　前記トラップ装置は、前記トラップ部を冷却して前記成分を析出させる低温トラップであることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置。
　【請求項３】　前記トラップ装置には、トラップ部に付着した洗浄液を除去する洗浄液除去手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置。
　【請求項４】気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を
トラップ室内で
　前記排気経路に隣接して前記トラップ部から付着物を洗浄するための洗浄液を流通させる洗浄経路を設け、
この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、
の位置
前記トラップ室の内部
の前記洗浄室の内部との間で自動的
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、例えば半導体の真空チャンバを真空にするために用いる真空排気システムにおいて、排気中の成分をトラップするトラップ装置及びその再生方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の真空排気システムを、図７を参照して説明する。ここにおいて、真空チャンバ１０１は、例えばエッチング装置や化学気相成長装置（ＣＶＤ）等の半導体製造工程に用いるプロセスチャンバであり、この真空チャンバ１０１は、配管１０２を通じて真空ポンプ１０３に接続されている。真空ポンプ１０３は、真空チャンバ１０１からのプロセスの排ガスを大気圧まで昇圧するためのもので、従来は油回転式ポンプが、現在はドライポンプが主に使用されている。
　【０００３】
　真空チャンバ１０１が必要とする真空度がドライポンプ１０３の到達真空度よりも高い場合には、ドライポンプの上流側にさらにターボ分子ポンプ等の超高真空ポンプが配置される。真空ポンプ１０３の下流には排ガス処理装置１０４が配備されており、プロセスの種類により毒性や爆発性があってそのまま大気に放出できないガス成分は、ここで吸着、分類、吸収等の処理が行われて無害なガスのみが大気に放出される。なお、配管１０２には必要に応じて適所にバルブが設けられている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　以上のような従来の真空排気システムにおいては、反応副生成物の中に昇華温度の高い物質がある場合、昇圧途中でガスが固形化し、真空ポンプ内に析出して真空ポンプの故障の原因になる欠点がある。従って、例えば排気経路の真空ポンプの上流（吸気側）にトラップを設けて、析出物をトラップする方法が考えられる。
　【０００５】
　この場合、トラップには排気処理量に応じた量の析出物が堆積し、この析出物中には、気化すると有害であるような物質や、高価であるために再利用した方が良いものが混在する。従って、トラップ自体の再使用及び、析出物の無毒化処理や、回収して再使用するために、トラップの析出物を分離したり除去する再生処理を行なう必要が生じる。
　【０００６】
　このような再処理を含め、生成物対策においては、従来、ポンプ及び配管を高温にしてそれらに排ガス中の物質を析出させないで排出するか、トラップを移動して別の場所で中和洗浄をしていた。しかし前者の場合、高温にし排ガス処理装置で除害し除却するだけでそれら排気ガスシステムの各種機器の保護には十分ではなく、再利用についても考慮されていなかった。又排ガス中には、多種の物質が混在しているため、現状の生成物から特定物質を再利用するには複雑な後工程を必要とするため困難である。
　【０００７】
　一方、洗浄する方法は、トラップの取り外し、洗浄位置への移動、取り外したトラップの保管等の作業が必要となり、作業性が悪い。また、トラップの数も多くのものが必要となるとういう不具合を有していた。
　【０００８】
　本発明は、以上の欠点に鑑みて成されたものであり、トラップの再生処理を能率良くかつ迅速に行って、排気系の真空ポンプや排ガス処理装置の長寿命化及び運転の信頼性と安全性の向上、さらには、設備や運転コストの低減を図ることができるトラップ装置及びその再生方法を提供することを目的としている。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１に記載の発明は、気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を
トラップ室内で
この洗浄経路には、前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室が前記トラップ室に隣接して設けられ、
の位置
前記トラップ室の内部
の前記洗浄室の内部との間
自動的に
　【００１０】
　洗浄液としては、トラップされた付着物を除去するのに好適な適宜のものが選ばれ、酸、アルカリ、純水等の水を主成分とするものの他、適宜の有機又は無機の溶剤を用いることができる。また、このような洗浄液にトラップを浸漬させるようにしてもよく、あるいはトラップ部に向けて単に流す、所定圧力で噴射する、さらには噴霧する等の方法が採用可能である。トラップする方法としては、化学反応を利用するもの、物理的な吸着等を用いた方法、低温を用いるいわゆる低温トラップ等があり、本発明は、いずれにも適用できる。低温トラップは中でも効率が高い。
　【００１１】
　このような本発明では、洗浄液を使用して再生を行なうので、再生処理を迅速に行なうことができ、従って、トラップ部を２つ以上設けて切り替えることで、トラップ処理と再生処理の時間の均衡を確保して、装置の停止やトラップ部の交換作業を伴うことなく排気系での処理を連続的に継続させることができる。また、再生作業を高温にすることなく行なうことができるので、装置の規模を簡略化することができ、設備コストをおさえることができるとともに、処理費が安価であるとともに、安全性も高い。さらに、洗浄経路をトラップ処理位置の近くに設けることで移動やストックのためのロスを削減することができる。
　【００１２】
　請求項２に記載の発明は、前記トラップ装置が、前記トラップ部を冷却して前記成分を析出させる低温トラップであることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。
　【００１３】
　請求項３に記載の発明は、前記トラップ装置に、トラップ部に付着した洗浄液を除去する洗浄液除去手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置である。洗浄液除去手段としては、一般的には、例えば、高温のドライエア等を用いる乾燥処理が用いられるが、その前にゆすぎ処理を挟む等適宜の手段が採用可能である。
　【００１４】
　前記切替手段を、トラップ部を移動することにより切り替えを行なうものとしてもよく、これにより、トラップと洗浄の切替が迅速に行われる。また、前記切替手段を、排気経路と洗浄経路の弁の操作によって切り替えを行なうものとすれば、機械的な駆動部分がなく、装置構成が簡単にかつコンパクトになる。
　【００１５】
　請求項４に記載の発明は、気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガス中の成分を
トラップ室内で
この洗浄経路に前記トラップ部を内部に位置させて該トラップ部を洗浄する洗浄室を前記トラップ室に隣接して設け、
の位置
前記トラップ室の内部
の前記洗浄室の内部との間で自動的
　【００１６】
　【発明の実施の形態】
　以下、図面を用いて本発明の実施例について説明する。
　図１ないし図４に示すのは、気密チャンバ１０を真空ポンプ１２により排気する排気経路１４の下側に隣接して洗浄経路１６が配置され、この排気経路１４及び洗浄経路１６に交差する方向（以下、交差方向という）に直進移動して切替可能に配置された２つのトラップ部１８が設けられているものである。真空ポンプ１２は、この例では一段であるが多段としてもよい。真空ポンプ１２の後段には排ガスを除害するための排ガス処理装置２０が設けられている。
　【００１７】
　この、切替式のトラップ装置は、排気経路１４と洗浄経路１６に跨って配置された直方体状のケーシング２６と、このケーシング２６を交差方向に貫通する２本の軸体２８と、この軸体２８を軸方向に往復移動させる駆動手段であるエアシリンダ３０を備えている。ケーシング２６は、仕切壁３２によって交差方向に２つの部屋、すなわち、上側のトラップ室３４と下側
の洗
　【００１８】
　洗浄経路１６には、後述するような洗浄液を貯留する貯液槽２００と、これを圧送するコンプレッサまたはポンプ２０２が設けられ、トラップ装置の下流側には洗浄済みの洗浄液を貯留する回収槽２０４が設けられている。洗浄経路１６の配管は、この実施の形態においては、洗浄室３６の上部の２ヶ所の流入口３６ａに接続されており、図示しない切替弁により、洗浄位置にあるトラップ部に近い方から流入させることができるようになっている。また、下部に設けた流出口３６ｂから排出させられる。洗浄後乾燥処理するためのガス流入口として３７ａが左右２ヶ所、排出口が対面に各々２ヶ所設けられている。
　【００１９】
　軸体２８には、図２に示すように、２枚の断熱性を有する素材からなる仕切板４０が等間隔に配置され、その間に複数のバッフル板４２が溶接等により軸体２８に一体に取り付けられている。ケーシング２６の仕切壁３２には中央に開口部３３が形成されており、これはバッフル板４２は通過できるが仕切板４０は通過できないような大きさになっている。上側の仕切板４０とケーシング２６の上側の壁の内面の間にはベローズ４４が設けられており、洗浄経路１６と外部環境との間の気密性を維持している。また、仕切壁３２の仕切板４０に接する箇所にはＯリング４６（図４参照）が配置されて、トラップ室３４と洗浄室３６の間の気密性を維持している。仕切板４０は断熱性の高い素材で形成されて、トラップ室３４と洗浄室３６の間の熱移動を阻止するようにしている。
　【００２０】
　軸体２８は、図３（ａ）に示すように、金属等の熱伝導性の良い材料により形成された円筒体として形成され、その内部空間は中央の仕切板４０により遮断されている。そして、この軸体２８には両端から内筒４６がその内端を図３（ｂ）に示すように中央の仕切板４０に近接させて挿入され、これにより内筒４６の外端から内端に向かい、反転して軸体２８の外端へと向かう熱媒体流路４８が形成されている。
　【００２１】
　この熱媒体流路４８には、液体窒素のような液体又は冷却された空気等の冷却用熱媒体が、軸体２８の両端部に接続した冷却媒体供給ホース５０及び排出ホース５２から供給され、排出される。三方切替弁５４の切替により、軸体２８の両側の２つの熱媒体流路４８のうち、トラップ室３４に位置しているバッフル４２に通じるもののみに冷却媒体が流通させられるようになっている。洗浄室３６に位置する側には冷却媒体を止めるかあるいは替わりに再生用の加熱媒体を流通させる。なお、この例では、これらのホース５０，５２をエアシリンダ３０を貫通した端部に接続しているので、エアシリンダ３０とケーシング２６の間に接続するよりもスペースが少なくてすむ利点がある。
　【００２２】
　エアシリンダ３０には、エアー源からのエアーがレギュレータで減圧され、ソレノイドバルブの開閉の切替によって制御されてシリンダ３０に送られ、ピストンが前進又は後退をする。ソレノイドバルブは、例えば、シーケンサ、リレー等からの制御信号により、この例では一定時間毎に切替動作が行われるように制御される。なお、トラップ部１８のバッフル４２等の所定位置に温度センサ５８が、また、排気経路１４のトラップ部１８の前後に圧力センサ６０が設けられ、これにより温度や差圧を検知することができるようになっている。
　【００２３】
　次に、前記のような構成の発明の実施の形態のトラップ装置の作用を説明する。図２に示す位置において、トラップ室３４に位置するトラップ部１８には供給ホース５０から熱媒体流路４８に液体窒素や冷却空気等の冷却媒体が流され、これは軸体２８と、これを介してバッフル４２を冷却する。従って、これに接触した排ガス中の特定の成分はここで析出してこれらに付着し、トラップされる。
　【００２４】
　一方、洗浄室３６においては、流入口３６ａから付着物を溶解させる適当な洗浄液（一例を、表１に示す）を流出させ、これを流出口３６ｂより排出する。必要に応じてこの過程を繰り返したり、洗浄液を噴霧させたり、洗浄液で洗浄室３６を満たすようにしてもよい。また、洗浄液を変えて前記工程を行ったり、すすぎ工程を行ってもよい。洗浄後真空ポンプ前後の機器に洗浄液が侵入することを防ぐため乾燥気体を供給して乾燥工程を行う。
　【表１】
　【００２５】
　このような洗浄液を用いる再生処理では、洗浄室３６を高温にする必要がないので、トラップ室３４への熱影響阻止のための措置を軽減することができる。また、析出物を気化させてトラップを再生する場合に比べて再生能力が高く、処理速度も速い。さらに、気体として再生する場合よりも一般に後処理が容易であり、特に、再生した成分の再利用や貯蔵の場合に便利である。
　【００２６】
　また、図２の構成では、洗浄室３６がトラップ室３４の下側にのみあるので、洗浄液が重力の作用によりトラップ室３４に流れるおそれが無く、従って、この実施の形態の装置は洗浄液を用いる再生に好適である。しかしながら、シール構造を確実なものとしておけば、勿論トラップ室３４と洗浄室３６を並列する構成としてもよい。例えば、洗浄経路を左右に２系統設けて、２つのトラップ部を並列し、これを１つのエアシリンダの動作で切り替えるようにすれば、トラップ装置をコンパクトに構成することができる。
　【００２７】
　所定時間の経過後にエアシリンダ３０が動作し、トラップ室３４に有ったトラップ部１８が洗浄室３６に、他の洗浄室３６に有ったトラップ部１８がトラップ室３４に位置するように切り替えられ、そこでそれぞれ洗浄とトラップが行われる。ここで、仕切板４０が断熱性を持っていてトラップ室３４と洗浄室３６が相互にシールされ、断熱されているので、熱エネルギーのロスがなく、それぞれトラップと洗浄が効率的に行われる。また、洗浄室３６とエアシリンダ３０の間は伸縮するベローズ４４により気密を維持されているので、外部との間の熱移動によるエネルギーロスや処理の効率低下が抑えられ、安定したトラップと再生処理が行われるとともに、外部からの汚染要素が排気経路１４に侵入することも防止される。
　【００２８】
　図４（ａ）及び（ｂ）は、仕切壁３２と仕切板４０の間のシール構造の他の実施の形態を示すもので、洗浄液の排気経路への流入を防ぐために気密性を高めることを目的としている。すなわち、同図（ａ）は、仕切壁３２の開口部３３の縁部をテーパ面７６に形成し、仕切板４０にはテーパ面７６に嵌合する形状でかつ弾性力のある材質からなるパッキン７８を形成したものである。これにより、パッキン７８がテーパ面７６に密着して気密性を高めることができる。この時、シール材の耐久性を重視する場合は、硬質の物、例えば、メタルタイプを使用してもよい。同図（ｂ）は、開口部３３の縁部に段差面８０を形成し、そこにもＯリング４６を配置して気密性を高めたものである。
　【００２９】
　なお、これらの実施の形態では、トラップ部１８に設けた温度センサ５８や排気経路１６に設けた圧力センサ６０の検出値をモニターすることができ、これによりトラップの状態を把握して、異常値が出れば警報を発して必要な処置を採ることができる。すなわち、トラップ部１８の温度が異常に上昇したら、析出物が付着して熱負荷が増えたためと判断され、差圧が上昇した場合も同様である。これらの異常上昇の際は、例えば、設定時間前でもトラップを切り替えるように操作する。勿論、これらのセンサの検出値を基準として、所定の値になったら切替を行なうようにしてもよい。
　【００３０】
　図２の実施の形態では、複数のトラップ部１８を排気方向に直列に配置しており、状況に応じて稼働するトラップ部１８の数を変えることができる柔軟性がある。例えば、突然排気量や析出量が増加した場合には、一時的に再生を中止して２つのトラップともトラップ位置に置くことにより対処することができる。このような利点は、配置するトラップ部の数を３つ以上にすることによりさらに増幅される。トラップ部をトラップ位置と洗浄位置へ配分する数を状況に応じて適宜変えることができるからである。ここで、停電等の事故発生時、バッフルは全て洗浄室に入り、洗浄液をプロセスガス経路に侵入させないことが必要である。
　【００３１】
　図５及び図６に示す実施の形態では、チャンバ１０と真空ポンプ１２を結ぶ排気経路１４に隣接して洗浄経路１６が設けられ、それぞれにトラップ部１８を内蔵するケーシング８２が三方切替弁８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄによってそれぞれ排気経路１４と洗浄経路１６に切り替え可能に設けられている。洗浄経路１６には、上下流に三方切替弁８６ａ，８６ｂが設けられてそれぞれ洗浄液を流す経路１６ａとブロワ８８からの乾燥用気体を流す経路１６ｂに分岐している。
　【００３２】
　各トラップ部１８は、図６に示すように、それぞれ気密のケーシング８２の内部に軸体２８が流れに交差するように設けられ、この軸体２８にフィン状のバッフル（邪魔板）４２が取り付けられて構成されている。ケーシング８２には、排気経路１４の入口９２ａ及び出口９２ｂと、洗浄経路１６の入口９４ａ、出口９４ｂとが設けられている。なお、軸体２８、バッフル４２の構造は先の実施の形態と基本的に同じであるので説明を省略する。
　【００３３】
　この実施の形態では、トラップと洗浄処理の切替を三方切替弁８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄを連動して操作し、同時に、熱媒体供給配管５０，５２に流す冷却媒体を選択することにより行なう。洗浄工程は、三方切替弁８６ａ，８６ｂを最初に洗浄液を流す経路１６ａ切り替えて貯液槽２００から洗浄液を流して洗浄を行い、次に、乾燥用の経路１６ｂに切り替えてブロワ８８からの乾燥気体を流して乾燥を行なう。なお、洗浄液がチャンバ１０や真空ポンプ１２に有害な影響を与えない場合には、乾燥工程は不要である。
　【００３４】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明では、再生処理を促進するのでトラップ処理と再生処理の時間を均衡させ、装置の停止やトラップ部の交換作業を伴うことなく排気処理を連続的に継続させることができる。また、再生作業を高温にすることなく行なうことができるので、装置の規模を簡略化することができ、設備コストを抑えることができ、排気系の真空ポンプや排ガス処理装置の長寿命化及び運転の信頼性と安全性の向上、さらには、設備や運転コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明の第１の実施の形態のトラップ装置の全体の構成を示す図である。
　【図２】
　図１のトラップ装置の要部の構造を示す断面図を示す図である。
　【図３】
　図２のトラップ装置のトラップ部を示す図である。
　【図４】
　図２のトラップ装置のシール部の構造の他の例を示す断面図である。
　【図５】
　この発明のトラップ装置の第２の実施の形態の全体の構成を示す図である。
　【図６】
　図５のトラップ装置の要部の構造を示す図である。
　【図７】
　従来の真空排気装置を示す図である。
　【符号の説明】
　１０　気密チャンバ
　１２　真空ポンプ
　１４　排気経路
　１６　洗浄経路
　１６ｂ　乾燥用経路
　１８　トラップ部
　３０　エアシリンダ