【事件の表示】
　特許第３０９８１４０号「複合分子ポンプ」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０９８１４０号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　
　特許第３０９８１４０号（特許出願日：平成５年６月１７日，特許権設定登録日：平成１２年８月１１日）の請求項１及び２に係る発明は、特許異議申立人　高橋　信男より特許異議の申立てがなされ、平成１３年８月７日（発送日：平成１３年８月１７日）に取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年１０月１０日に訂正請求がなされたものである。
　
　
II．訂正の適否についての判断
　
１．訂正の内容
（１）訂正事項ａ
　本件特許第３０９８１４０号に係る願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲について、
「【請求項１】吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定したことを特徴とする複合分子ポンプ。
　【請求項２】前記断熱材がセラミックスからなることを特徴とする請求項１に記載の複合分子ポンプ。」と記載されているのを、
「【請求項１】吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプ部（「複合分子ポンプ」の誤記と認める。）において、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定
し、該支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下である
  なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１６】の記載について、
「【００１６】【課題を解決するための手段】　上記の目的を達成するため、本発明は、吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定したことを特徴とする。」とされているのを、
「【００１６】【課題を解決するための手段】　上記の目的を達成するため、本発明は、吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定
し、該支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下である
  なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（３）訂正事項ｃ      
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３０】の記載について、
「【００３０】　そこで支持部材９ａ、９ｂ、９ｃのそれぞれの形状係数Ａａ／ｔａ、Ａｂ／ｔｂ及びＡｃ／ｔｃを考慮し、熱伝導率λにこの形状係数を乗算して得られた換算熱伝導率λ（Ａａ／ｔａ）、λ（Ａｂ／ｔｂ）、λ（Ａｃ／ｔｃ）が０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下であれば目的を達成することが判明した。」とされているのを、
「【００３０】　そこで支持部材９ａ、９ｂ、９ｃのそれぞれの形状係数Ａａ／ｔａ、Ａｂ／ｔｂ及びＡｃ／ｔｃを考慮し、熱伝導率λにこの形状係数を乗算して得られた換算熱伝導率λ（Ａａ／ｔａ）、λ（Ａｂ／ｔｂ）、λ（Ａｃ／ｔｃ）が０．２５（
Ｗ／Ｋ
  なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（４）訂正事項ｄ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３１】の記載について、
「【００３１】　尚、Ａａ、Ｂｂ、Ｃｃは各支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの断面積、ｔａ、ｔｂ、ｔｃは各支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの熱伝導方向の長さである。」とされているのを、
「【００３１】　尚、Ａａ、
Ａｂ、Ａｃ
  なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（５）訂正事項ｅ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３２】の記載について、
「【００３２】　そこで発明者はこれら支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用し、図１及び図２の形状にすることにより各支持部材において前記換算熱伝導率が０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下になる見込みを得た。」とされているのを、
「【００３２】　そこで発明者はこれら支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用し、図１及び図２の形状にすることにより各支持部材において前記換算熱伝導率が０．２５（
Ｗ／Ｋ
  なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
　
２．訂正についての検討
（１）訂正事項ａについて
　訂正事項ａは、訂正前の特許明細書の「特許請求の範囲」の請求項１に記載されていた事項のうち「断熱材からなる支持体」について、さらに限定する事項を付加するものであって、同時に、同請求項２の記載を削除するものであるから、その点において特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、訂正前の願書に添付された図面（以下、「特許図面」という。）の図１、図２及び特許明細書の段落【００３０】、【００３２】（上記（３）訂正事項ｃ、（５）訂正事項ｅ参照）の記載をみると、具体的な支持部材の断面積や熱伝導方向の長さを開示することなく、支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用した場合に、各支持部材において換算熱伝導率が０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下になる見込みを得たとするものであるから、当該特許図面及び特許明細書の記載において、「支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用した場合」において、「各支持部材において換算熱伝導率が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下になる」ための具体的な態様を示すものではない。
　しかしながら、訂正後の特許明細書の「特許請求の範囲」の請求項１に記載された事項の限りでは、支持部材の熱伝導率及び形状を限定していないので、その材料自体の熱伝導率がλ＝０．２５（Ｗ／ｍＫ）の近傍又はそれより小さいものを含むことが明らかであり、その上で「支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下である」と限定する程度のことは、訂正前の特許図面及び特許明細書の記載に基づいて、当業者が直接的かつ一義的に導き出せる事項であるということができ、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項ｂについて
　該訂正事項ｂは、訂正事項ａと整合性を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当し、いわゆる新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）訂正事項ｃについて
　該訂正事項ｃは、形状係数及び換算熱伝導率の意味からみて、換算熱伝導率の単位が（Ｗ／Ｋ）であることが明らかであるから、誤記の訂正を目的とする明細書の訂正に該当し、いわゆる新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（４）訂正事項ｄについて
　訂正前の特許明細書の段落【００３０】の記載のうち「λ（Ａａ／ｔａ）、λ（Ａｂ／ｔｂ）、λ（Ａｃ／ｔｃ）」からみて、「Ｂｂ、Ｃｃ」が「Ａｂ、Ａｃ」の誤記であることが明らかであるから、該訂正事項ｄは、誤記の訂正を目的とする明細書の訂正に該当し、いわゆる新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（５）訂正事項ｅについて
　該訂正事項ｅは、形状係数及び換算熱伝導率の意味からみて、換算熱伝導率の単位が（Ｗ／Ｋ）であることが明らかであるから、誤記の訂正を目的とする明細書の訂正に該当し、いわゆる新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
３．訂正の適否についてのむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正は認めることができるものである。
　
　
III．特許異議の申立てについて
　
１．特許異議の申立ての概要
　特許異議の申立ての概要は、次のようなものである。
「訂正前の請求項１（訂正後の請求項１に対応）に係る発明について
　該発明は、甲第１号証の刊行物に記載された発明であるから、又は、甲第１号証及び甲第２号証の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項の規定に該当するものであるから、該発明に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものであり、取り消されるべきである。
＜証拠方法＞
　甲第１号証：特開昭６０−２１６０９６号公報（以下、「引用例１」という。）
　甲第２号証：特開平２−７０９９４号公報（以下、「引用例２」という。）
　甲第３号証：特開平２−２５９２９７号公報  」
　
２．本件発明
　特許第３０９８１４０号の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、平成１３年１０月１０日付けの訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである（上記II．１．（１）訂正事項ａの欄参照）。
　
３．引用例に記載された発明
（１）引用例１：特開昭６０−２１６０９６号公報
  引用例１には、その記載全体からみて、次のような発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認めることができる。
「【引用発明】
　真空化されるべき排気鐘に接続されるフランジ１１のある箇所と前真空導管接続部２１を有する外側ケーシング１内に、吸気側からターボ分子ポンプ段及びねじ溝１３、３２を有する分子ポンプ段を順次配設した大気圧より低い圧力においてガスを搬送する装置において、該ねじ溝１３、３２を有する分子ポンプ段のステータ１４を熱伝導率の低い金属リング又はエラストマリングを介して支持されて固定した大気圧より低い圧力においてガスを搬送する装置。」
（２）引用例２：特開平　２−７０９９４号公報
　引用例２には、その記載全体からみて、次のような発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されていると認めることができる。
　「吸気口１と通路１１に連通した部分を有し、ステータ２とロータ３を含むターボ分子型式の真空ポンプであって、気体と接触するステータ２の部分を導入された気体の導入温度よりも高い温度に保持するための手段が備えられたものにおいて、ステータ２の第一の部分と第二の部分との間に熱障壁を形成するセラミックからなる熱インピーダンス手段１３を設け、ステータ２に供給された熱が直ちに消散するのを防ぐもの。」
　
４．本件発明と引用発明１の対比・判断
　本件発明と引用発明１を対比すると、引用発明１の「真空化されるべき排気鐘に接続されるフランジ１１のある箇所」は、その技術的意義において、本件発明の「吸気口」に相当し、同様に、「前真空導管接続部２１」は「排気口」に、「外側ケーシング１」は「筐体」に、「ターボ分子ポンプ段」は「ターボ分子ポンプ部」に、「ねじ溝１３、３２を有する分子ポンプ段」は「ねじ溝ポンプ部」に、「大気圧より低い圧力においてガスを搬送する装置」は「複合分子ポンプ」に、「ステータ１４」は「ステータ」に、それぞれ相当すると認められる。
　また、本件発明の「ステータを断熱材からなる支持体により固定」と引用発明１の「ステータ１４を熱伝導率の低い金属リング又はエラストマリングを介して支持されて固定」とは、「ステータを熱伝導率の低い材料を介して支持されて固定」の限度で一致していると認められる。
　してみると、本件発明と引用発明１の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
＜一致点＞
　吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを熱伝導率の低い材料を介して支持されて固定した複合分子ポンプ。
＜相違点＞
（１）ステータの固定の態様について、本件発明では、「ステータを断熱材からなる支持体により固定」となっているのに対し、引用発明１では、「ステータ１４（ステータ）を熱伝導率の低い金属リング又はエラストマリングを介して支持されて固定」となっている点（以下、「相違点イ」という。）。
（２）断熱材の構成について、本件発明では、「支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下である」となっているのに対し、引用発明１では、このような構成を具備しなく、支持に関与する部材の換算熱伝導率がいかほどか不明である点（以下、「相違点ロ」という。）。
　次いで、この相違点について検討する。
＜相違点の検討＞
（１）相違点イについて
　引用発明１では、「ステータを断熱材を介して支持されて固定」しているが、その例として、熱伝導率の低い金属リング又はエラストマリングが示されていて、これらにステータの支持体として機能できる材料が含まれることが明らかであるばかりでなく、発熱部材等を断熱的に固定する場合、その部材を断熱材からなる支持体により固定することが従来周知の技術的事項である。
　また、ステータを断熱材からなる支持体により固定することにより生じる効果も当業者の予測を超えるようなものでもない。
　してみると、相違点イに係る本件発明１の構成は、引用発明１の実施に際し、必要に応じて従来周知の技術的事項を適用して当業者が容易に想到できたものというべきである。
（２）相違点ロについて
　相違点ロに係る本件発明の構成のように、支持体を、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下とすること自体は、技術的に格別な困難性はないと解される。
　しかしながら、本件発明は、「ステータ加熱のためのヒータを用いず軸受等の精密機構部の昇温を抑制すると共に、温度制御のための付属装置の必要もなく簡単な構造によってＳＧＰロータ及びＳＧＰステータへの反応生成物の凝縮付着を防止して耐久性、信頼性を向上すること」（特許明細書【００１４】、【００４２】参照）を目的として、断熱材を用い、その目的達成のために特定の上記のような換算熱伝導率を選定しているのに対し、引用発明１は、「外気の急激な変化がステータに如何なる直接な影響も与えず、従って、互いに相対的な運動する面の始動の危険性を排除すること」（引用例１の第３頁右下欄第６〜１４行参照）を目的として、ステータと外側ケーシングとの間に熱の影響に対する高い抵抗性をえるものであって、両者の目的及びその達成のための具体的な手段が異なる。
　確かに、両者の目的及びその達成のための手段の間に、「熱による影響で回転体の回転が阻害されることを回避するために断熱材を利用している」限度において共通点がある。
　しかしながら、本件発明のように、反応生成物の凝縮付着を防止するために、その表面の温度を反応生成物の凝縮する温度を超えた温度にすることと、引用発明１のように、主としてステータ等の熱膨張に伴う変形の変化を防止するために、ステータ等の温度の変化を回避することとは、互いに別異の技術思想であるといわざるを得ない。
　そうすると、引用発明１において、相違点ロに係る本件発明の構成のようにすることを妨げる特段の事情があるというべきである。
　また、引用例２を参酌すると、分子及びターボ分子ポンプは、ある種の気体についてはこれらが低温でポンプ壁面上に凝縮しやすいので、このような凝縮を回避するためにステータ部をヒータで加熱することが従来周知の技術的事項であると認められるが、上記引用例１、２及び甲第３号証の刊行物の記載を検討しても、そのいずれにも、ステータ部において発生する熱を保持することにより、ステータ部の温度をポンプ壁面上に凝縮物が生じないまでに維持しようとする技術思想が記載されていないばかりか、示唆もされていない。
　してみると、たとい、引用発明２の「熱インピーダンス手段１３」が換算熱伝導率を調整するものであったとしても、引用発明２がヒータを有することを前提とするものであるから、このような技術思想をヒータを有さない引用発明１に適用する動機がないというべきである。
　なお、引用例１には、「さらに他方においては、ステータと外側のケーシングとの間に熱の影響に対する高い抵抗性がえられ、その結果ロータ及びステータは常に均一に一様に加熱され、互いに向かい合つた面間に温度の影響を受けない間隙がえられる。」（引用例１の第３頁右下欄第９〜１４行）との記載があって、一見、ステータ部において発生する熱を保持する構成を示すものとも解することができるが、引用例１の記載の全趣旨を参酌しても、ステータ部を加熱しなければならない必然性が見当たらないので、当該記載をもって、ステータ部において発生する熱を保持する技術思想が開示されているとか示唆されていることの根拠とすることができない。
　してみると、引用発明１において、断熱材として熱伝導率の低いものを選定することが当業者にとって容易に想到できたとしても、ステータ部において発生する熱を保持することにより、ステータ部の温度をポンプ壁面上に凝縮物が生じないまでに維持しようとして、相違点ロに係る本件発明の構成のようにすることは、当業者にとって容易に想到できるということができない。
　また、甲第３号証の刊行物を検討しても、上記認定を覆す根拠が見当たらない。
　したがって、本件発明は、甲第１号証の刊行物に記載された発明であるとも、また、甲第１号証ないし甲第３号証の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも認めることができないので、特許法第２９条第１項第３号及び特許法第２９条第２項のいずれの規定にも該当するものでなく、該発明に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものではない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１月７日（２００２．１．７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　本件特許第３０９８１４０号に係る願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲について、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「【請求項１】吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定したことを特徴とする複合分子ポンプ。
　【請求項２】前記断熱材がセラミックスからなることを特徴とする請求項１に記載の複合分子ポンプ。」と記載されているのを、
「【請求項１】吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプ部において、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定し、該支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下であることを特徴とする複合分子ポンプ。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１６】の記載について、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「【００１６】【課題を解決するための手段】　上記の目的を達成するため、本発明は、吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定したことを特徴とする。」とされているのを、
「【００１６】【課題を解決するための手段】　上記の目的を達成するため、本発明は、吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定し、該支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下であることを特徴とする。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３０】の記載について、誤記の訂正を目的として、
「【００３０】　そこで支持部材９ａ、９ｂ、９ｃのそれぞれの形状係数Ａａ／ｔａ、Ａｂ／ｔｂ及びＡｃ／ｔｃを考慮し、熱伝導率λにこの形状係数を乗算して得られた換算熱伝導率λ（Ａａ／ｔａ）、λ（Ａｂ／ｔｂ）、λ（Ａｃ／ｔｃ）が０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下であれば目的を達成することが判明した。」とされているのを、
「【００３０】　そこで支持部材９ａ、９ｂ、９ｃのそれぞれの形状係数Ａａ／ｔａ、Ａｂ／ｔｂ及びＡｃ／ｔｃを考慮し、熱伝導率λにこの形状係数を乗算して得られた換算熱伝導率λ（Ａａ／ｔａ）、λ（Ａｂ／ｔｂ）、λ（Ａｃ／ｔｃ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下であれば目的を達成することが判明した。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３１】の記載について、誤記の訂正を目的として、
「【００３１】　尚、Ａａ、Ｂｂ、Ｃｃは各支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの断面積、ｔａ、ｔｂ、ｔｃは各支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの熱伝導方向の長さである。」とされているのを、
「【００３１】　尚、Ａａ、Ａｂ、Ａｃは各支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの断面積、ｔａ、ｔｂ、ｔｃは各支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの熱伝導方向の長さである。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００３２】の記載について、誤記の訂正を目的として、
「【００３２】　そこで発明者はこれら支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用し、図１及び図２の形状にすることにより各支持部材において前記換算熱伝導率が０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下になる見込みを得た。」とされているのを、
「【００３２】　そこで発明者はこれら支持部材９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用し、図１及び図２の形状にすることにより各支持部材において前記換算熱伝導率が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下になる見込みを得た。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
複合分子ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプ部において、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定し
、該支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向のの長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下である
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は実験研究装置、分析計測装置、及び半導体製造工業における成膜分野等における工業用真空装置において、中真空から超高真空にわたる圧力範囲で使用される複合分子ポンプに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来エッチング装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の排気用として使用する複合分子ポンプにおいては図５の如く構成されている。
　【０００３】
　１は筐体を示し、該筐体１は筐体円筒部１ｃ及び底蓋を有する筐体基部１ｄによりなり、該筐体１の上部には吸気口１ａが、下部に排気口１ｂが形成されると共に、該吸気口１ａ側からターボ分子ポンプ部２、及びねじ溝ポンプ部即ちＳＧＰ部３とが順次配設されている。
　【０００４】
　４は回転軸を示し、該回転軸４は磁気軸受５ａ、５ｂにより回転自在に軸支されている。又玉軸受５ｃ、５ｄは非常用軸受であり、１０はモータを示す。
　【０００５】
　６は複合分子ポンプのロータを示し、該ロータ６は前記回転軸４の上部に固定されており、ターボ分子ポンプ部２の動翼２ａと、ＳＧＰ部３の円筒状ロータ３ａとを有する。
　【０００６】
　７ａはＳＧＰ部３の外側ステータ、７は内側ステータを示し、それらステータ７ａ、７ｂにはねじ溝８ａ、８ｂが形成されている。
　【０００７】
　又、該外側ステータ７ａは前記筐体円筒部１ｃの内側に静翼固定リングを介して前記筐体基部１ｄ上に固定され、更に前記内側ステータ７ｂも該筐体基部１ｄ上に固定されている。
　【０００８】
　ここでこれら部品は前記筐体円筒部１ｃを除いて全てアルミニウム合金製である。
　【０００９】
　かくて、この従来例の複合分子ポンプが作動する時には、ロータ６が回転して吸気口１ａから気体が吸引され、ターボ分子ポンプ部２により圧縮排気され、さらにＳＧＰ部３において昇圧されて、排気口１ｂから排出される。
　【００１０】
　このときロータ３ａは流下する気体との摩擦熱で昇温し、この熱は対向する７ａ、７ｂに伝達される。
　【００１１】
　しかしステータ７ａ、７ｂの熱は筐体１に伝わり易く、結局ステータ７ａ、７ｂの温度は余り上がらない。
　【００１２】
　したがってステータ７ａ、７ｂのロータ対向面には反応生成物が凝結付着し、これが蓄積して、ロータの回転を阻害し、故障の原因となる問題があった。
　【００１３】
　そのため該ＳＧＰ部のステータをヒータにより加熱昇温させて間隙への凝着を防止していた。
　【００１４】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来の複合分子ポンプはヒータにより加熱昇温させているため、高速回転する軸受（特に磁気軸受）や、モータ等の精密機溝部分が温度上昇し、該部分の信頼性、耐久性を劣化させると共に、ロータがアルミ合金製であり熱膨張や高温での強度劣化を招く問題点を有し、又ポンプ内部にあるＳＧＰステータを加熱する場合には大きなヒータ容量を必要とし、前記精密機溝部の温度上昇を最小限に抑制し、且つＳＧＰステータをより高く昇温させるために煩雑な温度検出及び制御を必要とする等の問題点を有していた。
　【００１５】
　本発明はこれらの問題点を解決し、軸受等の精密機溝部の昇温を抑制すると共に、ＳＧＰロータとＳＧＰステータとを昇温して反応生成物の凝縮付着を防止することにより、耐久性、信頼性を向上した複合分子ポンプを提供することを目的とする。
　【００１６】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目標を達成するため、本発明は、吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定し、該支持体は、その断面積をＡ、該支持体の熱伝導方向の長さをｔ、該支持体の熱伝導率をλとして換算熱伝導率λ（Ａ／ｔ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下であることを特徴とする。
　【００１７】
　【作用】
　高速回転するロータはモータ、軸受からの発熱及び吸引する気体との摩擦により発生する摩擦熱により温度が上昇し、対向するＳＧＰステータを昇温させると共に、昇温したＳＧＰステータの熱は断熱材からなる支持体により熱伝達が抑止され、該ＳＧＰステータは高温に保持される。
　【００１８】
　従って該ＳＧＰステータに対する反応生成物の凝縮付着が防止されると共にＳＧＰステータの熱が軸受、モータ側に伝わらないから軸受等の精密機溝部の昇温による障害が回避される。
　【００１９】
　又ポンプ外面が高温にならないから、作業者の火傷を防ぎ安全性が向上する。
　【００２０】
　【実施例】
　本発明の実施例を図１及び図２により説明する。
　【００２１】
　ここでポンプの全体的構成は従来のポンプと略同様であるので、以下において相違する構成を説明する。
　【００２２】
　９ａ、９ｂは前記外側ステータ７ａを固定する支持体、９ｃは前記内側ステータ７ｂを固定する支持体を示し、それら支持体９ａ、９ｂ、９ｃは熱伝導率の小さいセラミックス例えばイビデン製セラミック複合体商品名「セラコム」からなり、一方の端面が外側ステータ７ａ及び内側ステータ７ｂに、他方の端面がそれぞれ筐体１等に固定されている。
　【００２３】
　次に本実施例の作動を説明する。
　【００２４】
　モータ１０に入力するとロータ６が回転して吸気口１ａから気体が吸引され、ターボ分子ポンプ部２により圧縮排気され、さらにＳＧＰ部３において昇圧されて排気口１ｂから排出される。
　【００２５】
　このとき該ＳＧＰ部３の円筒状ロータ３ａは流下する気体との摩擦により発生する摩擦熱で昇温し、高温（１００℃前後）になり対向するステータ７ａ、７ｂの熱は断熱材からなる支持体９ａ、９ｂ、９ｃにより伝導が遮断されて、高温に保持されると共に離隔された軸受５ａ、５ｂ、５ｄ等への熱伝導が阻止される。
　【００２６】
　ここでＳＧＰ部３のステータ７ａ、７ｂは該ＳＧＰ部３に流れる気体の摩擦による発熱とロータ３ａからの放射熱により加熱され、筐体９等への熱放射と接触部材への熱伝導で放熱され、この熱収支の関係式より、気体流量を５００ＳＣＣＭとした場合に、支持体９ａ、９ｂ、９ｃの熱伝導率λに対してステータ７ａの温度Ｔａとステータ７ｂの温度Ｔｂの関係は図３のグラフの如くなる。
　【００２７】
　尚、ロータ３ａの温度は気体負荷時の通常の温度として１００℃とした。
　【００２８】
　ポンプに吸引された凝縮性気体が前記ステータ７ａ、７ｂに凝着するのを防ぐにはこれらステータ７ａ、７ｂの温度を８０℃以上にする必要があるので、図３のグラフよりλが０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下にする必要がある。
　【００２９】
　ところがλが０．２５（Ｗ／ｍＫ）以下の材質は現実に入手不可能である。
　【００３０】
　そこで支持体９ａ、９ｂ、９ｃのそれぞれの形状係数Ａａ／ｔａ、Ａｂ／ｔｂ及びＡｃ／ｔｃを考慮し、熱伝導率λにこの形状係数を乗算して得られた換算熱伝導率λ（Ａａ／ｔａ）、λ（Ａｂ／ｔｂ）、λ（Ａｃ／ｔｃ）が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下であれば目的を達成することが判明した。
　【００３１】
　尚、Ａａ、Ａｂ、Ａｃは各支持体９ａ、９ｂ、９ｃの断面積、ｔａ、ｔｂ、ｔｃは各支持体９ａ、９ｂ、９ｃの熱伝導方向の長さである。
　【００３２】
　そこで発明者はこれら支持体９ａ、９ｂ、９ｃの材料をλ＝０．９６（Ｗ／ｍＫ）の低熱伝導率セラミックスを採用し、図１及び図２の形状にすることにより各支持体において前記換算熱伝導率が０．２５（Ｗ／Ｋ）以下になる見込みを得た。
　【００３３】
　ここで運転中の気体流量と、外側ステータ７ａの温度Ｔａ及び内側ステータ７ｂの温度Ｔｂとの関係を示したのが図４である。
　【００３４】
　図４において横軸はステータ７ａ及び７ｂの気体の摩擦による動力Ｌａ及びＬｂである。
　【００３５】
　縦軸はＴａ及びＴｂであり、流量を変化させた時のＴａ、Ｔｂの曲線を示す。
　【００３６】
　気体がＮ２で流量５００ＳＣＣＭの時のＬａは１７Ｗ、Ｌｂは５６．５Ｗであり、その時にＴａは９２℃、Ｔｂは１２４℃に保たれる。
　【００３７】
　図４により気体流量が変化しても、特に気体流量が減少し零になってもステータ７ａ、７ｂの温度７ａ、７ｂは８０℃以上であり、これらステータ７ａ、７ｂ、ロータ３ａへの反応生成物の凝縮付着が生じないことが確認された。
　【００３８】
　かくて昇温したステータ７ａ、７ｂにより排気中の反応生成物の凝縮付着が防止されると共にステータ加熱のためのヒータを用いないから軸受が高温となることがなく、温度制御のための付属装置の必要もない。
　【００３９】
　尚前記ロータ３ａ、及びステータ７ａ、７ｂとの熱の授受を良好にするため、該ロータ３ａをアルミニウム合金等とし、ステータ７ａ、７ｂを炭素鋼又はステンレス鋼等を用いるか、適宜の表面処理を施して対向面の放射率を上げることができる。
　【００４０】
　本実施例では磁気軸受型複合分子ポンプに適用しているが玉軸受型複合分子ポンプにも適用できる。
　【００４１】
　又、ねじ溝ポンプの代わりに円板形ロータを用いたスパイラル溝ポンプとした複合分子ポンプにおいても、円板形ロータに対向するステータの支持構造に本発明による断熱材支持法を適用できる。
　【００４２】
　【発明の効果】
　上記のように、本発明によれば吸気口と排気口を有する筐体内に、吸気側からターボ分子ポンプ部、及びねじ溝ポンプ部を順次配設した複合分子ポンプにおいて、該ねじ溝ポンプ部のステータを断熱材からなる支持体により固定したので、ステータ加熱のためのヒータを用いず軸受等の精密機構部の昇温を抑制すると共に温度制御のための付属装置の必要もなく簡単な構造によってＳＧＰロータ及びＳＧＰステータヘの反応生成物の凝縮付着を防止して耐久性、信頼性を向上することができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の第１実施例の全体の半截断正面図である。
　【図２】
　その要部の拡大断面図である。
　【図３】
　支持体の熱伝導率λと内外のステータの温度Ｔａ、Ｔｂとの関係を示すグラフである。
　【図４】
　内外のステータの気体の摩擦による動力Ｌａ、Ｌｂと温度Ｔａ、Ｔｂとの関係を示すグラフである。
　【図５】
　従来の複合分子ポンプの断面図である。
　【符号の説明】
　１　　　　　　　　筐体
　１ａ　　　　　　　吸気口
　１ｂ　　　　　　　排気口
　２　　　　　　　　ターボ分子ポンプ部
　３　　　　　　　　ねじ溝ポンプ部
　７ａ、７ｂ　　　　ステータ
　９ａ、９ｂ、９ｃ　支持体