(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、マスタ周期信号を発生するマスタ周期信号発生部を有し、マスタ周期信号に基づき動作するマスタドメインと、スレーブ周期信号を発生するスレーブ周期信号発生部を有し、スレーブ周期信号に基づき動作するスレーブドメインと、を備え、マスタ周期信号発生部は、制御信号を受けて、ホールドしているマスタ周期信号の発生を再開し、スレーブ周期信号発生部は、制御信号を受けて、スレーブ周期信号の位相データを初期化するとともに、ホールドしているスレーブ周期信号の発生を再開する試験装置を提供する。
2010032440.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
マスタ周期信号を発生するマスタ周期信号発生部を有し、前記マスタ周期信号に基づき動作するマスタドメインと、
スレーブ周期信号を発生するスレーブ周期信号発生部を有し、前記スレーブ周期信号に基づき動作するスレーブドメインと、を備え、
前記マスタ周期信号発生部は、制御信号を受けて、ホールドしている前記マスタ周期信号の発生を再開し、
前記スレーブ周期信号発生部は、前記制御信号を受けて、前記スレーブ周期信号の位相データを初期化するとともに、ホールドしている前記スレーブ周期信号の発生を再開する試験装置。
【請求項２】
前記スレーブ周期信号発生部は、
前記位相データをカウントする位相データカウンタと、
前記スレーブ周期信号の周期を示す周期データを格納する周期メモリと、
前記位相データが前記スレーブ周期信号発生部の動作クロック周期の１倍以上２倍未満である第１条件を満足するか否かを判定して、前記第１条件を満足する場合に周期パルス信号を生成するとともに前記周期データを前記位相データに加算する第１判定処理部と、
前記位相データが０でない第２条件を満足するか否かを判定して、前記第２条件を満足する場合に前記位相データから前記動作クロック周期を減算する第２判定処理部と、
前記位相データを前記動作クロック周期で除した余りを出力する余りデータ出力部と、
ホールド信号を受信して前記周期パルス信号の出力を停止し、前記制御信号を受信して前記周期パルス信号の出力を開始または再開するとともに前記位相データカウンタを初期化する停止再開制御部と、
を有する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記マスタ周期信号発生部は、前記制御信号を受けたとき、前記マスタ周期信号の位相データを初期化することなく、ホールドしている前記マスタ周期信号の発生を再開する、
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記マスタ周期信号発生部および前記スレーブ周期信号発生部は、前記マスタ周期信号発生部および前記スレーブ周期信号発生部の各動作クロックの公倍周期と、前記マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、前記制御信号を受信する、
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記マスタ周期信号発生部を複数備え、
複数の前記マスタ周期信号発生部および前記スレーブ周期信号発生部は、複数の前記マスタ周期信号発生部の各動作クロックおよび前記スレーブ周期信号発生部の動作クロックの公倍周期と、前記マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、前記制御信号を受信する、
請求項３に記載の試験装置。
【請求項６】
被試験デバイスを試験する試験装置におけるドメイン間同期方法であって、
前記試験装置は、マスタ周期信号を発生するマスタ周期信号発生部を有し、前記マスタ周期信号に基づき動作するマスタドメインと、スレーブ周期信号を発生するスレーブ周期信号発生部を有し、前記スレーブ周期信号に基づき動作するスレーブドメインと、を備え、
前記マスタ周期信号発生部および前記スレーブ周期信号発生部に制御信号を供給する段階と、
前記制御信号を受けて、前記マスタ周期信号発生部が前記マスタ周期信号の発生を再開し、前記スレーブ周期信号発生部が前記スレーブ周期信号の位相データを初期化するとともに前記スレーブ周期信号の発生を再開する段階と、
を備えるドメイン間同期方法。
【請求項７】
前記制御信号を供給する段階の前に、前記マスタ周期信号発生部および前記スレーブ周期信号発生部に、前記マスタ周期信号および前記スレーブ周期信号を停止するホールド信号を供給する段階、
をさらに備える請求項６に記載のドメイン間同期方法。
【請求項８】
前記ホールド信号を供給する段階の実行により前記マスタ周期信号および前記スレーブ周期信号が停止したことを確認する段階、
をさらに備える請求項７に記載のドメイン間同期方法。
【請求項９】
前記制御信号を供給する段階において、前記マスタ周期信号発生部および前記スレーブ周期信号発生部の各動作クロックの公倍周期と、前記マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、前記制御信号を供給する、
請求項８に記載のドメイン間同期方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置およびドメイン間同期方法に関する。本出願は、下記の日本出願に関連し、下記の日本出願からの優先権を主張する出願である。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
１．特願２００８−２３７４１４    出願日  ２００８年９月１７日
【背景技術】
【０００２】
たとえば特許文献１は、第１の周波数を有する基準クロックを生成する基準クロック生成部と、第１の周波数の略整数倍の周波数を有する第１の試験レートクロックを生成する第１の試験レート生成部と、第１の周波数の略整数倍の周波数であって、第１の試験レートクロックの周波数と異なる周波数を有する第２の試験レートクロックを生成する第２の試験レート生成部と、第１の試験レートクロックに応じて、試験パターンを電子デバイスに供給する第１のドライバ部と、第２の試験レートクロックに応じて、試験パターンを電子デバイスに供給する第２のドライバ部とを備える試験装置を開示する。当該試験装置において、スタート時にドメイン間の同期をとることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００３／０６２８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試験装置においてドメイン間の同期をスタート時にとることができる。しかし、各ドメインの動作中において同期をとるには、一定の制約がある。すなわち、各ドメインにおいて、動作クロックと周期信号との位相が揃う公倍数のタイミングである必要があり、同期しようとするドメイン間においても各ドメインの動作クロックおよび周期信号の位相が揃う公倍数のタイミングを見計らって同期をとる必要がある。このような要請はパターンプログラムの作成における制約条件となり、パターンプログラムの作成を複雑にする要因となる。よって、パターンプログラムの作成において制約の少ない同期方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、マスタ周期信号を発生するマスタ周期信号発生部を有し、マスタ周期信号に基づき動作するマスタドメインと、スレーブ周期信号を発生するスレーブ周期信号発生部を有し、スレーブ周期信号に基づき動作するスレーブドメインと、を備え、マスタ周期信号発生部は、制御信号を受けて、ホールドしているマスタ周期信号の発生を再開し、スレーブ周期信号発生部は、制御信号を受けて、スレーブ周期信号の位相データを初期化するとともに、ホールドしているスレーブ周期信号の発生を再開する試験装置を提供する。【０００６】
スレーブ周期信号発生部は、位相データをカウントする位相データカウンタと、スレーブ周期信号の周期を示す周期データを格納する周期メモリと、位相データがスレーブ周期信号発生部の動作クロック周期の１倍以上２倍未満である第１条件を満足するか否かを判定して、第１条件を満足する場合に周期パルス信号を生成するとともに周期データを位相データに加算する第１判定処理部と、位相データが０でない第２条件を満足するか否かを判定して、第２条件を満足する場合に位相データから動作クロック周期を減算する第２判定処理部と、位相データを動作クロック周期で除した余りを出力する余りデータ出力部と、ホールド信号を受信して周期パルス信号の出力を停止し、制御信号を受信して周期パルス信号の出力を開始または再開するとともに位相データカウンタを初期化する停止再開制御部と、を有してよい。マスタ周期信号発生部は、制御信号を受けたとき、マスタ周期信号の位相データを初期化することなく、ホールドしているマスタ周期信号の発生を再開してよい。マスタ周期信号発生部およびスレーブ周期信号発生部は、マスタ周期信号発生部およびスレーブ周期信号発生部の各動作クロックの公倍周期と、マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、制御信号を受信してよい。マスタ周期信号発生部を複数備え、複数のマスタ周期信号発生部およびスレーブ周期信号発生部は、複数のマスタ周期信号発生部の各動作クロックおよびスレーブ周期信号発生部の動作クロックの公倍周期と、マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、制御信号を受信してよい。【０００７】
本発明の第２の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置におけるドメイン間同期方法であって、試験装置は、マスタ周期信号を発生するマスタ周期信号発生部を有し、マスタ周期信号に基づき動作するマスタドメインと、スレーブ周期信号を発生するスレーブ周期信号発生部を有し、スレーブ周期信号に基づき動作するスレーブドメインと、を備え、マスタ周期信号発生部およびスレーブ周期信号発生部に制御信号を供給する段階と、制御信号を受けて、マスタ周期信号発生部がマスタ周期信号の発生を再開し、スレーブ周期信号発生部がスレーブ周期信号の位相データを初期化するとともにスレーブ周期信号の発生を再開する段階と、を備えるドメイン間同期方法を提供する。【０００８】
制御信号を供給する段階の前に、マスタ周期信号発生部およびスレーブ周期信号発生部に、マスタ周期信号およびスレーブ周期信号を停止するホールド信号を供給する段階、をさらに備えてよい。ホールド信号を供給する段階の実行によりマスタ周期信号およびスレーブ周期信号が停止したことを確認する段階、をさらに備えてよい。制御信号を供給する段階において、マスタ周期信号発生部およびスレーブ周期信号発生部の各動作クロックの公倍周期と、マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、制御信号を供給してよい。【０００９】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態の試験装置１００の機能フロックの一例を被試験デバイス（ＤＵＴ）２００と共に示す。
【図２】スレーブ周期信号発生部１２２の機能フロックの一例を示す。
【図３】スレーブ周期信号発生部１２２およびマスタ周期信号発生部１１２の出力例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
図１は、本実施形態の試験装置１００の機能フロックの一例を被試験デバイス（ＤＵＴ）２００と共に示す。試験装置１００は、被試験デバイス２００を試験する。試験装置１００は、マスタドメイン１１０と、複数のスレーブドメイン１２０とを備える。マスタドメイン１１０は、マスタ周期信号発生部１１２および試験部１１４を有し、マスタ周期信号に基づき動作する。スレーブドメイン１２０は、スレーブ周期信号発生部１２２および試験部１２４を有し、スレーブ周期信号に基づき動作する。
【００１３】
マスタ周期信号発生部１１２は、マスタ周期信号を発生する。マスタ周期信号発生部１１２は、制御信号の一例であってよい継続信号ＣＯＮＴを受けて、ホールドしているマスタ周期信号の発生を再開する。マスタ周期信号発生部１１２は、複数備えてよい。スレーブ周期信号発生部１２２は、スレーブ周期信号を発生する。スレーブ周期信号発生部１２２は、制御信号の一例であってよい継続信号ＣＯＮＴを受けて、スレーブ周期信号の位相データを初期化するとともに、ホールドしているスレーブ周期信号の発生を再開する。
【００１４】
試験部１１４および試験部１２４は、各ドメインにおいて被試験デバイス２００を試験する。なお、ここでは各ドメインの機能として試験部１１４および試験部１２４による試験機能を例示しているが、各ドメインの機能は試験機能に限られない。たとえば各ドメインは、被試験デバイス２００に試験周期を供給する機能を有してよく、あるいは、各ドメイン間の同期をとることを目的とした同期信号を発生する機能を備えてもよい。試験部１１４と試験部１２４とは、同様の構成を有するので、以下試験部１１４についてのみ説明する。試験部１１４は、パターン発生部１４０、波形生成部１４２、ドライバ１４４、コンパレータ１４６、論理比較部１４８および結果記録部１５０を含む。
【００１５】
パターン発生部１４０は、マスタ周期信号発生部１１２から周期パルス信号ＰＧＲＡＴＥを受けて、試験パターンＰＡＴおよび期待値パターンＥＸＰを生成する。生成した試験パターンＰＡＴおよび期待値パターンＥＸＰは、各々波形生成部１４２および論理比較部１４８に供給する。パターン発生部１４０は、また、マスタ周期信号発生部１１２にタイミングセットＴＳを供給する。
【００１６】
波形生成部１４２は、パターン発生部１４０からの試験パターンＰＡＴに基づき、マスタ周期信号発生部１１２からの周期パルス信号ＯＲＡＴＥおよび余りデータＰＡＤに従って試験波形を生成する。ドライバ１４４は、波形生成部１４２が生成した試験波形を被試験デバイス２００に供給する。
【００１７】
コンパレータ１４６は、被試験デバイス２００からの出力信号を所定の閾値と比較して論理値レベルに変換する。論理比較部１４８は、コンパレータ１４６が出力する論理値信号を、期待値パターンＥＸＰと比較する。比較の結果は、結果記録部１５０に格納する。
【００１８】
図２は、スレーブ周期信号発生部１２２の機能フロックの一例を示す。スレーブ周期信号発生部１２２は、周期メモリ１５２、加算器１５４、マルチプレクサ１５６、位相データカウンタ１５８、第１判定処理部１６０、第２判定処理部１６２、余りデータ出力部１６４、ＡＮＤ回路１６６、ＯＲ回路１６８、ＳＲフリップフロップ回路１７０、ＡＮＤ回路１７２およびスレーブフラグ１７４を有する。
【００１９】
周期メモリ１５２は、タイミングセットＴＳを受けて、スレーブ周期信号の周期を示す周期データを格納する。加算器１５４は、第２判定処理部１６２の出力と周期メモリ１５２に格納された周期データとを加算する。マルチプレクサ１５６は、第１判定処理部１６０からの信号に従い、加算器１５４からの出力と第２判定処理部１６２の出力との何れかを選択して出力する。マルチプレクサ１５６の出力は位相データカウンタ１５８に供給され、位相データをカウントアップする。
【００２０】
位相データカウンタ１５８は、位相データをカウントする。位相データカウンタ１５８の出力は位相データとして第１判定処理部１６０、第２判定処理部１６２、余りデータ出力部１６４に供給される。
【００２１】
第１判定処理部１６０は、位相データがスレーブ周期信号発生部１２２の動作クロック周期の１倍以上２倍未満である第１条件を満足するか否かを判定する。たとえば動作クロック周期が４ｎｓである場合、位相データが４ｎｓ以上８ｎｓ未満であるかを判定する。判定の結果、当該条件を満足する場合には、第１判定処理部１６０は周期パルス信号ＯＲＡＴＥを生成するとともに周期データを位相データに加算する。なお、周期データの位相データへの加算機能は、加算器１５４およびマルチプレクサ１５６により実現されるので、加算器１５４およびマルチプレクサ１５６を第１判定処理部に含んで良い。
【００２２】
第２判定処理部１６２は、位相データが０でない第２条件を満足するか否かを判定する。第２条件を満足する場合、すなわち位相データが０でない場合には、第２判定処理部１６２は、位相データから動作クロック周期を減算する。余りデータ出力部１６４は、位相データを動作クロック周期で除した余りを出力する。たとえば動作クロック周期が４ｎｓの場合に位相データが６ｎｓであって場合には、余りデータ出力部１６４は、２ｎｓを出力する。
【００２３】
ＡＮＤ回路１６６は、第１判定処理部１６０の出力とＳＲフリップフロップ回路１７０の出力とのＡＮＤを出力する。ＯＲ回路１６８は、ＡＮＤ回路１６６の出力とＣＯＮＴ信号またはＳＴＡＲＴ信号のＯＲを出力する。ＯＲ回路１６８の出力は周期パルス信号ＰＧＲＡＴＥとなる。
【００２４】
ＳＲフリップフロップ回路１７０は、ＡＮＤ回路１６６と協働して、ホールド信号を受信して周期パルス信号ＰＧＲＡＴＥの出力を停止する。ＳＲフリップフロップ回路１７０は、制御信号の一例であってよいＣＯＮＴ信号またはＳＴＡＲＴ信号を受信して、ＡＮＤ回路１６６と協働して、周期パルス信号ＰＧＲＡＴＥの出力を開始または再開する。ＡＮＤ回路１７２は、スレーブフラグ１７４が立っているとき、制御信号の一例であってよいＣＯＮＴ信号またはＳＴＡＲＴ信号を受信して、位相データカウンタ１５８を初期化する。なお、ＳＲフリップフロップ回路１７０およびＡＮＤ回路１７２は、停止再開制御部の一例であってよい。
【００２５】
上記した構成により、スレーブ周期信号発生部１２２は、タイミングセットＴＳ、ＨＯＬＤ信号、ＣＯＮＴ信号またはＳＴＡＲＴ信号を受けて、周期パルス信号ＯＲＡＴＥ、周期パルス信号ＰＧＲＡＴＥおよび余りデータＰＡＤを含むスレーブ周期信号を生成できる。なお、マスタ周期信号発生部１１２は、スレーブ周期信号発生部１２２のスレーブフラグ１７４が立っていない場合、あるいはスレーブフラグ１７４およびＡＮＤ回路１７２がない場合に相当する。すなわち、マスタ周期信号発生部１１２は、制御信号の一例であってよいＣＯＮＴ信号またはＳＴＡＲＴ信号を受けたとき、マスタ周期信号の位相データを初期化することなく、ホールドしているマスタ周期信号の発生を再開できる。
【００２６】
図３は、スレーブ周期信号発生部１２２およびマスタ周期信号発生部１１２の出力例を示す。図３において横軸は、ｎｓ単位の時間を示す。（１）は動作クロックを、（２）はスレーブドメインの位相データを、（３）はスレーブドメインの周期パルス信号ＯＲＡＴＥを、（４）はスレーブドメインの余りデータＰＡＤを、（５）はスレーブドメインの出力波形を示す。（６）はマスタドメインの位相データを、（７）はマスタドメインの周期パルス信号ＯＲＡＴＥを、（８）はマスタドメインの余りデータＰＡＤを、（９）はマスタドメインの出力波形を示す。
【００２７】
ここで、マスタドメインおよびスレーブドメインの動作クロック周期は共に４ｎｓ、マスタドメインの周期信号は６ｎｓ周期、スレーブドメインの周期信号は５ｎｓ周期であるとし、マスタドメインおよびスレーブドメインの何れのドメインも周期パルス信号ＯＲＡＴＥの先頭で立ち上がり１ｎｓ後に立ち下がる周期波形が出力されるとした。
【００２８】
０ｎｓでスレーブおよびマスタの両ドメインがスタートすると、各ドメインにおいて動作クロック（１）ごとの処理が実行される。すなわち、０ｎｓのサイクルで位相データおよび余りデータ（２）（４）（６）（８）が０に初期化され、スレーブおよびマスタの位相データ（２）（６）に各々５ｎｓおよび６ｎｓずつ加算される。このとき、位相データが４ｎｓ以上８ｎｓ未満であれば周期パルス信号ＯＲＡＴＥ（３）（７）がアサートされる。なお、開始（ＳＴＡＲＴ）または継続（ＣＯＮＴ）時には無条件に周期パルス信号ＯＲＡＴＥ（３）（７）がアサートされる。
【００２９】
また、位相データが０でないなら、４ｎｓが減算され、位相データの４ｎｓより小さな余りは余りデータＰＡＤ（４）（８）として出力される。各ドメインは、周期パルス信号ＯＲＡＴＥおよび余りデータＰＡＤから出力波形（５）（９）を合成して出力する。
【００３０】
ここで、各ドメインを同期する場合について説明する。ドメイン間の同期は、マスタドメインの周期信号を基準に実施できる。すなわち、マスタとなるドメインとして、たとえば被試験デバイス２００に試験用クロック信号を供給するような、試験の途中で停止したくない信号を生成しているドメインを選択する。そして、マスタドメインの周期信号と動作クロックの周期が公倍数になるタイミング、たとえば図３においては２４ｎｓの矢印Ａで示したタイミング、を選択して同期をとるための継続（ＣＯＮＴ）信号を印加する。このようなタイミングを選択することにより、マスタドメインについては動作を停止しなくてよい。
【００３１】
スレーブドメインにおいては、継続（ＣＯＮＴ）信号を受信すると、位相データ（２）を０に初期化する。これにより出力波形（５）の周期性が崩れるものの、簡便にマスタドメインと同期がとれる。スレーブドメインが同期をとる前後で周期性を保持する必要が無い場合には、何らのデメリットなしスレーブドメインをマスタドメインに同期させることができる。なお、この場合。周期性を維持する要請の高いマスタドメインについては周期性が保持されることに注意されたい。
【００３２】
以上のとおり、周期信号の周期性維持の要請が高いマスタドメインについては周期性を維持しつつ、スレーブドメインについてはほとんど制約なくマスタドメインと同期させることができる。なお、前記した実施形態ではマスタドメインとスレーブドメインとの動作クロックが同じ場合を説明したが、マスタドメインの動作クロックとスレーブドメインの動作クロックが相違してもよい。この場合、継続（ＣＯＮＴ）信号を受信できるタイミングは、マスタとスレーブの各ドメインの動作クロックの公倍数である必要がある。
【００３３】
すなわち、マスタ周期信号発生部１１２およびスレーブ周期信号発生部１２２は、マスタ周期信号発生部１１２およびスレーブ周期信号発生部１２２の各動作クロックの公倍周期と、マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、制御信号たとえば継続（ＣＯＮＴ）信号を受信できる。マスタ周期信号発生部１１２を複数備える場合、複数のマスタ周期信号発生部１１２およびスレーブ周期信号発生部１２２は、複数のマスタ周期信号発生部１１２の各動作クロックおよびスレーブ周期信号発生部１２２の動作クロックの公倍周期と、マスタ周期信号の周期との公倍数タイミングで、制御信号たとえば継続(ＣＯＮＴ)信号を受信できる。
【００３４】
なお、制御信号たとえば継続（ＣＯＮＴ）信号を供給する前に、マスタ周期信号発生部１１２およびスレーブ周期信号発生部１２２に、マスタ周期信号およびスレーブ周期信号を停止するホールド信号を供給してよい。また、ホールド信号を供給してマスタ周期信号およびスレーブ周期信号が停止されたことを確認し、その後、継続（ＣＯＮＴ）信号を供給してもよい。継続（ＣＯＮＴ）信号は開始（ＳＴＡＲＴ）信号に代えてもよい。
【００３５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００３６】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００３７】
１００  試験装置
１１０  マスタドメイン
１１２  マスタ周期信号発生部
１１４  試験部
１２０  スレーブドメイン
１２２  スレーブ周期信号発生部
１２４  試験部
１４０  パターン発生部
１４２  波形生成部
１４４  ドライバ
１４６  コンパレータ
１４８  論理比較部
１５０  結果記録部
１５２  周期メモリ
１５４  加算器
１５６  マルチプレクサ
１５８  位相データカウンタ
１６０  第１判定処理部
１６２  第２判定処理部
１６４  余りデータ出力部
１６６  ＡＮＤ回路
１６８  ＯＲ回路
１７０  ＳＲフリップフロップ回路
１７２  ＡＮＤ回路
１７４  スレーブフラグ
２００  被試験デバイス
ＣＯＮＴ  継続信号
ＥＸＰ  期待値パターン
ＯＲＡＴＥ  周期パルス信号
ＰＡＤ  余りデータ
ＰＡＴ  試験パターン
ＰＧＲＡＴＥ  周期パルス信号
ＴＳ  タイミングセット
【図１】
2010032440.tif 000003
【図２】
2010032440.tif 000004
【図３】
2010032440.tif 000005
【国際調査報告】
2010032440.tif 000006
2010032440.tif 000007
2010032440.tif 000008
2010032440.tif 000009