【事件の表示】
　特許第３１３９３５８号「カラーフィルタ枚葉塗工装置およびその方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３９３５８号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　
（１）本件特許第３１３９３５８号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、特許法４１条に基づく優先権主張（出願日：平成６年１２月２８日、出願番号：特願平６−３２８２４２号）を伴って、平成７年１２月２８日に特許出願され、平成１２年１２月１５日にその発明について特許権の設定の登録がなされた。
（２）その後、上記請求項１ないし５に係る発明の特許について、異議申立人東京応化工業株式会社より特許異議の申立てがなされ、平成１３年１１月２日（発送日：平成１３年１１月２日）に取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１月１５日に訂正請求がなされたものである。
　
　
II．訂正の適否についての判断
　
１．訂正の内容
　権利者が求めた訂正の内容は、平成１４年１月１５日付けの訂正請求書及び該請求書に添付された訂正明細書の記載からみて、次の訂正事項ａ〜ｃのとおりであると認められる。
（１）訂正事項ａ
　本件特許第３１３９３５８号に係る願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１ないし５について、
　「【請求項１】　塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、塗料吐出装置（３）またはカラーフィルタ用基板（８）を保持するステージ（４）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置（３）に対するステージ（４）の相対位置を検出して、
ピストン型定量ポンプ（２）
【請求項２】  ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、カラーフィルタ用基板（８）をステージ（４）により保持して前記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージ（４）を移動させてカラーフィルタ用基板（８）を搬送し、このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を
塗料吐出装（３）
塗料吐出
吸引する
【請求項３】  前記カラーフィルタ用基板（８）の塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する請求項２に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
【請求項４】  前記塗料吐出装置（３）を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプ（２）をさらに反転動作させて塗料吐出装置（３）の塗料吐出経路に塗料を充填する請求項２または３に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
【請求項５】　請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ枚葉塗工装置またはカラーフィルタ枚葉塗工方法を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。」と記載されているのを、
　「【請求項１】　塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、塗料吐出装置（３）またはカラーフィルタ用基板（８）を保持するステージ（４）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置（３）に対するステージ（４）の相対位置を検出して、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布するピストン型定量ポンプ（２）
【請求項２】  ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、カラーフィルタ用基板（８）をステージ（４）により保持して前記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージ（４）を移動させてカラーフィルタ用基板（８）を搬送し、このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を
塗料吐出装置（３）
前記ピストン型定量ポンプ（２）吐出１ストローク内での塗料吐出
吸引し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布
【請求項３】  前記カラーフィルタ用基板（８）の塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する請求項２に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
【請求項４】  前記塗料吐出装置（３）を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプ（２）をさらに反転動作させて塗料吐出装置（３）の塗料吐出経路に塗料を充填する請求項２または３に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
【請求項５】　請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ枚葉塗工装置またはカラーフィルタ枚葉塗工方法を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。」と訂正する。
  なお、下線及び（以下、「訂正…」という。」）は、対比の便のため当審で追加したものである。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１７】及び【００２２】について、
　「…、
ピストン型定量ポンプ
　「…、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板を１枚塗布するピストン型定量ポンプ
  なお、下線は、対比の便のため当審で付したものである。
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１８】及び【００２３】について、
　「…
塗料吐出
吸引する
　「…
前記ピストン型定量ポンプ吐出１ストローク内での塗料吐出
吸引し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布
  なお、下線は、対比の便のため当審で付したものである。
　
２．訂正についての検討
（１）訂正事項ａについて
　該訂正事項ａは、訂正前請求項１に記載されていた事項のうち「ピストン型定量ポンプ（２）」、訂正前請求項２に記載されていた事項のうち「塗料吐出装置（３）からの塗料吐出」及び「塗料を吸引すること」について、さらに限定する事項を付加するものであるから、この点において特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、訂正前請求項１の「塗料吐出装（３）」が訂正後請求項１の「塗料吐出装置（３）」を意味することが明らかであるから、訂正後請求項１において「塗料吐出装置（３）」としたことは、誤記の訂正に該当する。
　そして、これらの訂正後請求項１、２に記載されている事項「吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布するピストン型定量ポンプ（２）」、「前記ピストン型定量ポンプ（２）吐出１ストローク内での塗料吐出を行いつつ」、「塗料を吸引し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布すること」及び「塗料吐出装置（３）」は、訂正前の特許明細書の段落【００１４】の記載「…枚葉塗工に当って１つの被塗工材の表面に塗布されるべき塗料の量がかなり少なくてよいことを考慮して…シリンジポンプに代表されるピストン型定量ポンプを採用することを考えた。ピストン型定量ポンプは…送液レスポンスに優れるうえ、吐出１ストローク内では送液速度のリニアリティにも優れているのであるから、精密な枚葉塗工の用途では非常に有用である…」及び訂正前の図面「図３」の記載等からみて、いわゆる新規事項に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）訂正事項ｂ及びｃについて
　該訂正事項ｂ及びｃは、訂正事項ａによる特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載の整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当し、いわゆる新規事項の追加に該当せず、実質上実用新案登録請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない
　
３．訂正の適否についてのむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正は認めることができるものである。
　
　
III．特許異議の申立てについて
　
１．特許異議の申立ての概要
　特許異議の申立ての概要は、次のようなものである。
「本件特許第３１３９３５８号の請求項１ないし５に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１ないし５」という。）は、甲第１号証ないし甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定に該当するものであるから、該本件発明１ないし５についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものであり、取り消されるべきである。
＜証拠方法＞
　甲第１号証：特開平４−３２４９２５号公報（以下、「引用例２」という。）
　甲第２号証：特開平４−６１９５８号公報（以下、「引用例１」という。）
　甲第３号証：特開平３−１１４５６５号公報（以下、「引用例７」という。）
　甲第４号証：特開平２−１８６２号公報（以下、「引用例８」という。）」
　また、平成１３年１１月２日付けで通知した取消しの理由では、上記引用例１、２に加え、下記の刊行物を引用した。
　刊行物３：特公平６−７３６５１号公報（以下、「引用例３」という。）  
　刊行物４：特開平６−２０６０３９号公報（以下、「引用例４」という。）
　刊行物５：米国特許第５，３２６，５９８号明細書（以下、「引用例５」という。）
　刊行物６：特開平６−２４６２０９号公報（以下、「引用例６」という。）」
　
２．本件発明１ないし５　
　本件発明１ないし５は、平成１４年１月１５日付けで請求した訂正が前示のとおり認められることより、該訂正請求書請求に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるとおりのものである（以下、それぞれ「本件特許発明１ないし５」という。上記II．１．（１）訂正事項ａの欄参照）。
　
３．引用例に記載された発明
（１）引用例１：特開平４−６１９５８号公報（甲第２号証）
　引用例１には、次のような事項が記載されている。
イ．「液体含有室と出口開口部を有する液体付着器スロットとが液体で充されるように付着器スロットへ流体的に連結されている液体含有室へ液体源を流体的に連結する過程と、・・・・制御された液体流量の液体を液体源から液体含有室へ送り、それから付着器スロットへ送つて付着器スロットの出口開口部に沿う各点から出る液体の一様な体積流量を構成する過程と、」（第１頁特許請求の範囲の請求項１）
ロ．「液体の被覆の連結ビードの形成後に前記相対的な動きを開始することを特徴とする方法。」（第２頁左下欄第６〜８行）
ハ．「負パルスの発生後に、基板への液体被覆のビードを再び連結することなしに、付着器スロット内の液体を付着器スロットの出口開口部へ向かって流させる液体の正パルスを発生する過程を更に備えることを特徴とする方法。」（第３頁左上欄第８〜１３行）
ニ．「窒素ガスの覆いの下にある封じられた貯蔵器２４の中に含まれている被覆液体２２が、計量ポンプ２８とたわみ連結具３０を介して入口弁３２へ連結される。」（第５頁左下欄第３〜６行）
ホ．「被覆すべき銅被覆ラミネート５０が真空台５２の上にのせられる。この真空台の上方の液体付着器の近くを真空台が滑らかに動くことができるように、真空台は直線軸受５４の上にのせられる。・・・駆動組立体６２の１番上に、動作順序を合図するために用いられる４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄが設けられている。・・・・被覆サイクルが開始されると、取消しボタン（図示せず）を押して駆動モータを始動させ、駆動スプロケットを回転させる。それにより駆動チェーンが動かされ、連結リンクを介して真空台と、この真空台にのせられている銅被覆ラミネートとを右へ動かして、第３図に示すようにスイッチＡから離してそのスイッチを開く。・・・・第２に、位置ぎめピストン１８が間隙ストップ調節ねじ２０に対して下向し、被覆液体付着器１２を、付着器スロットの出口開口部５１と銅被覆ラミネート５０の間に形成された所定の被覆間隙「ｘ」へ向つて下方へ動かす。・・・・・・・真空台が第４図で見て右へ動き続けるとスイッチＢを押す。そうすると３種類の動作が開始される。・・・・その正パルスは被覆液体付着器スロットを急激に下降し、被覆液体付着器リップにより形成された被覆液体付着器スロットの出口開口部の表面から出て銅被覆ラミネートの表面に当り、被覆液体付着器のリップとラミネートの間に被覆液体の連結ビード６６を形成する。第４図に示すように、同時に、入口弁が開き、計量ポンプが回転を開始して、制御された体積流量の被覆液体を被覆流体付着器の中に入れたり、そこから出したりする。プリント回路板の表面を動かすことにより連結ビード６６が付着器リップから引き離された状態を保つことを助けるために、・・・・・一方の変位ピストン組立体の振動パルス動作が（正パルスが最初で、次に負パルス）から（負パルスが最初で、次に正パルス）へ逆にされたとすると、連結ビードを発生する代りに、液体をまず被覆液体スロットの中に吸込み、それから被覆液体を被覆液体付着器スロットの出口開口部へ向つて排出させることにより連結ビードが切離されるが、連結ビードをプリント回路板へ再び連結するために十分でない。このようにして、被覆液体付着器スロットの中には被覆液体が充されたままにされ、それにより、被覆液体付着器のスロット内を流れる被覆液体の流れが停止した時に、スロット内を上昇することがある気泡をなくす。・・・・真空台がスイッチＣを押すまで被覆液体の付着は続けられる。スイッチＣが閉じられると入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８は停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室から抜き出す。変位棒が被覆液体含有室から抜き出されることによりその室の内部に一時的に真空が発生されて負パルスが生じ、その負パルスによって、第６図に示すように被覆液体は被覆液体スロットの中に急激に上昇させられる。それと同時に、第６図の動き矢印により示されているように、位置ぎめピストンが被覆液体付着器を間隙ストップへ向つて引く。それらの動作により被覆液体の連結ビードが急に壊され、プリント回路板の表面（または基板表面）にきれいで鮮鋭な端部を残す。最後に、第７図において、真空台がスイッチＤを押すと駆動モータは回転を停止し、スロット封じピストン４６がスロット封じ器４２を被覆液体付着器リップ４８に接触するまで上昇させる。」（第５頁右下欄第２行〜第７頁左下欄第９行）
　これらの記載事項及び明細書の全記載から見て、引用例１には、次のとおりの発明（以下、それぞれ、「引用発明１及び１’」という。）が記載されているものと認められる。
「【引用発明１】　計量ポンプ２８及び入口弁３２を含む塗料を送る手段（塗料供給装置（２）（２ａ））により封じられた貯蔵器２４（塗料タンク（１））から付着器１２（塗料吐出装置（３））の付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））に塗料を供給し、付着器１２（塗料吐出装置（３））に対してプリント回路板５０を保持する真空台５２（ステージ（４））（の少なくとも一方）を相対的に移動させることにより、前記プリント回路板５０の表面に塗料を塗布する被覆装置１０（枚葉塗工装置）であって、前記真空台５２（ステージ（４））を動かす駆動組立体６２の１番上に設けられた作動順序を合図するために用いられる４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの作動状態によって（前記付着器１２（塗料吐出装置（３））に対する真空台５２（ステージ（４））の相対位置を検出して）、計量ポンプ２８と封じられた貯蔵器２４（塗料タンク（１））と付着器１２（塗料吐出装置（３））の間の入口弁３２と被覆液体含有室１４に抜き出し自在に設けられた変位棒３６に連結された変位ピストン３４を制御する制御手段と、前記真空台５２（ステージ（４））がスイッチＣを押すまで被覆液体の付着は続けられ、スイッチＣが閉じられると入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８は停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出し、該変位棒３６が抜き出されることによりその室１４の内部に一時的に真空が発生させられて負パルスが生じ、その負パルスによって、被覆液体である塗料が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））の中に急激に上昇させられるようになっているプリント回路板の表面に塗料を塗布する被覆装置。
　【引用発明１’】　計量ポンプ２８及び入口弁３２を含む塗料を送る手段により封じられた貯蔵器２４（塗料タンク（１））から付着器１２（塗料吐出装置（３））の付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））に塗料を供給し、プリント回路板５０を真空台５２（ステージ（４））により保持して前記付着器１２（塗料吐出装置（３））の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記プリント回路板５０を搬送し、前記真空台５２（ステージ（４））を動かす駆動組立体６２の１番上に作動順序を合図するために用いられる４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄが設けられていて、前記真空台５２（ステージ（４））がマイクロスイッチＢを押すと、被覆液体含有室１４に抜き出し自在に設けられた変位棒３６に連結された変位ピストン３４が動かされることにより、塗料が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））から急激に下降されて前記プリント回路板５０上に連結ビード６６を形成し、同時に計量ポンプ２８及び入口弁３２を動作させて制御された塗料の供給を開始し、前記連結ビード６６を形成後に付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））とプリント回路板５０の相対的な動きを開始し、前記プリント回路板５０上に付着させられる被覆液体（塗料）の一様な付着が続けられ、前記真空台５２（ステージ（４））がマイクロスイッチＣを押すと、入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８が停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出されることによりその部屋の内部に真空が発生されて、被覆液体（塗料）が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））の中に急激に上昇されるプリント回路板５０の１枚の表面に塗料を塗布する被覆方法（枚葉塗工方法）。」
（２）引用例２：特開平４−３２４９３５号公報（甲第１号証）
　引用例２には、「レジスト塗布装置」関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。
チ．「図３（ａ）及び（ｂ）は従来のレジスト塗布装置の例を示す系統図である。従来のレジスト塗布装置は、例えば、図３（ａ）に示すように、ホトレジスト１を貯える容器と、配管を介して接続されるとともにホトレジストを濾過する濾過器３と、濾過されるホトレジストを吸引するとともに半導体基板４にホトレジストを滴下するノズルにホトレジストを供給するベローズポンプ２とを有している。…次に、このレジスト塗布装置の動作を説明する。まず、ベローズポンプ２が伸延することにより容器からホトレジストが吸引され、濾過器３によりホトレジストが濾過され、ベローズポンプ２内に供給される。次に、ベローズポンプ２の収縮によりホトレジスト１は半導体基板４上のノズルに供給され、ノズルよりホトレジストが半導体基板４に滴下される。ここでベローズポンプ２の動作は、高圧空気によって作動する空圧シリンダによって行なわれるので、濾過器３前後の差圧は１気圧以内の不確定な圧力となっている。…また、他のレジスト塗布装置としては、例えば、図３（ｂ）に示すように、ホトレジストの供給用ポンプとしてダイアフラムポンプ５を用いた例である。…このダイアフラムポンプ５は、切換弁６を介して真空源により真空排気することによりホトレジスト１を吸引する。逆に、切換弁６を介して空圧源より高圧空気を供給することによりホトレジスト１を濾過器３を介して半導体基板４上のノズルに供給し、ノズルより半導体基板４にホトレジストを滴下させるものである。」（第２頁第１欄第２１〜４７行）
（３）引用例３：特公平６−７３６５１号公報
　引用例３には、「塗布剤供給装置」に関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。
ネ．「塗布剤供給源（２）から所定圧力で送給された塗布剤を一定の流量で連続的に塗布機（３）に供給する塗布剤供給装置であって、作動流体供給源（１２）から一定流量で供給される作動流体によりピストンもしくはダイヤフラム（４）が押圧されて該作動流体の流量に応じた流量の塗布剤を塗布機（３）に供給する一組の往復ポンプ（ＩＡ，ＩＢ）と、…（中略）…とを備えたことを特徴とする塗布剤供給装置。」（【請求項１】）
ナ．「実施例の説明では、往復ポンプとしてダイヤフラムを利用したものについて説明したが、本発明はこれに限らず、ベローズを利用したものその他ピストンポンプ、プランジャポンプ等を使用することができる。」（第５頁左欄第１６〜１９行）
（４）引用例４：特開平６−２０６０３９号公報
　引用例４には、「ウェブへの塗布方法」に関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。
ウ．「複数の塗布成分を塗布する方法において、…（中略）…塗布成分を前記スロットを通して流出させ、前記基板に適用可能に構成された塗布ホッパを準備する」（【請求項１】）
ノ．「使用されるポンプＰ１、ＰＩ−Ａ、Ｐ３、Ｐ４は、フルード・メタリング社（Fluid 　Metering　Inc.）のピストンポンプである。」（第【００１３】欄）
（５）引用例５：米国特許第５，３２６，５９８号明細書
　引用例５には、「電子噴射被覆装置等」に関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。
ヤ．「本実施例ではスロットとワイヤを備えた電子噴射被覆工程により、粗面上に溶液を塗布し、６〜９マイクロメートルの被覆層を形成する方法について説明する。」（第１３欄第５１〜５４行）
マ．「この溶液を、マサチューセッツ州、ケンブリッジのセイジインスツルメンツ社より入手したシリンジボンプ「セイジモデル３５５」を用いた電子噴射被覆ヘッドシステムに導入した。」（第１４欄第１〜４行）
（６）引用例６：特開平６−２４６２０９号公報
　引用例６には、「塗布装置」に関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。　
フ．「５は液体を排出するためのシリンジポンプ」（第【０００９】欄）
（７）引用例７：特開平３−１１４５６５号公報（甲第３号証）
　引用例７には、「回転塗布装置および流動体供給装置」に関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。
コ．「…（ａ）液体ソースから塗布液を吸入して、吐出ノズルより回転ステージ上の前記板状物上に定量・定速で吐出滴下するためのダイアフラムポンプを有するディスペンサー手段、
（ｂ）前記ダイアフラムポンプを制御するためのマイクロコンピュータまたはミニコンピュータからなるディスペンサー中央制御装置。」（特許請求の範囲の請求項１）　
（８）引用例８：特開平２−１８６２号公報（甲第４号証）
　引用例８には、「塗布方法」に関する発明について記載されていて、次のような事項が記載されている。　
ヘ．「塗布液１５を吐出した後に、塗布液吐出ノズル１３先端から塗布液１５を拒理１（約５ｍｍ程度）分後退（吸引）させる手段としては、塗布液吐出ノズル１３に塗布液１５を供給するポンプ（図示せず）を所定量逆回転させる」（第２頁左下欄第７〜１１行）
　
４．本件特許発明と引用発明の対比・判断　
（１）本件特許発明１について
　本件特許発明１と引用発明１とを対比すると、引用発明１の「計量ポンプ２８及び入口弁３２を含む塗料を送る手段」は、その技術的意義において、本件発明１における「塗料供給装置」に相当し、以下同様に、「封じられた貯蔵器２４」は「塗料タンク」に、「付着器１２」は「塗料吐出装置」に、「付着器スロット１６」は「塗料吐出用のスリット」に、「被覆液体」は「塗料」に、「真空台５２」は「ステージ」に、「被覆装置１０」は「枚葉塗工装置」に、それぞれ相当するものと認められる。
　そして、引用発明１の「真空台５２を動かす駆動組立体６２の１番上に設けられた作動順序を合図するために用いられる４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの作動状態によって」は、４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと付着器１２の相対位置が固定であることから、そのマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの作動状態によって真空台５２の位置を知ることが可能であるので、技術的意義において、本件特許発明１の「塗料吐出装置に対するステージの相対位置を検出して」に相当するものと認められる。
　また、本件特許発明１の「カラーフィルタ用基板（８）」と引用発明１の「プリント回路板５０」は、「基板」の限度において一致し、本件特許発明１の「吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布するピストン型定量ポンプ（２）とピストン型定量ポンプ（２）を塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁（２ａ）を制御する制御手段（７）」と引用発明１の「計量ポンプ２８と封じられた貯蔵器２４と付着器１２の間の入口弁３２と被覆液体含有室１４に抜き出し自在に設けられた変位棒３６に連結された変位ピストン３４を制御する制御手段」は、「塗料供給系を制御する制御手段」の限度において一致し、本件特許発明１の「該塗工終了位置が前記塗料吐出装置（３）直下に位置したことを検出して」と引用発明１の「前記真空台５２がスイッチＣを押すまで被覆液体の付着は続けられ、スイッチＣが閉じられると」は、「塗工を終了させるべき位置を検出して」の限度において一致し、本件特許発明１の「この塗工終了位置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記塗料吐出装置（３）の直下に位置した状態でピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する吸引手段を有する」と引用発明１の「スイッチＣが閉じられると入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８は停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出し、該変位棒３６が抜き出されることによりその室１４の内部に一時的に真空が発生させられて負パルスが生じ、その負パルスによって、被覆液体である塗料が付着器スロット１６の中に急激に上昇させられるようになっている」は、「この塗工を終了させるべき位置で塗料供給系を動作させて塗料吐出装置と基板との間に存在する塗料を吸引する手段を有する」の限度において一致していると認めることができる。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりと認められる。
＜一致点＞
　塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、塗料吐出装置に対して基板を保持するステージを相対的に移動させることにより、前記基板の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置に対するステージの相対位置を検出して、塗料供給系を制御する制御手段と、塗工を終了させるべき位置を検出して、この塗工を終了させるべき位置で塗料供給系を動作させて塗料吐出装置と基板との間に存在する塗料を吸引する手段を有する基板の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置。
＜相違点＞
イ．基板の種類について、本件特許発明１では、「カラーフィルタ用基板（８）」であるのに対し、引用発明１では、「プリント回路板５０」である点（以下、「相違点イ」という。）。
ロ．塗料供給系を制御する制御手段について、本件特許発明１では、「吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布するピストン型定量ポンプ（２）とピストン型定量ポンプ（２）を塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁（２ａ）を制御する制御手段（７）」であるのに対し、引用発明１では、「計量ポンプ２８と封じられた貯蔵器２４（塗料タンク（１））と付着器１２（塗料吐出装置（３））の間の入口弁３２と被覆液体含有室１４に抜き出し自在に設けられた変位棒３６に連結された変位ピストン３４を制御する制御手段」である点（以下、「相違点ロ」という。）。
ハ．塗工を終了させるべき位置の検出について、本件特許発明１では、「該塗工終了位置が前記塗料吐出装置（３）直下に位置したことを検出して」であるのに対し、引用発明１では、「前記真空台５２がスイッチＣを押すまで被覆液体の付着は続けられ、スイッチＣが閉じられると」である点（以下、「相違点ハ」という。）。
ニ．塗料を吸引する手段について、本件特許発明１では、「この塗工終了位置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記塗料吐出装置（３）の直下に位置した状態でピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する吸引手段を有する」であるのに対し、引用発明１では、「スイッチＣが閉じられると入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８は停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出し、該変位棒３６が抜き出されることによりその室１４の内部に一時的に真空が発生させられて負パルスが生じ、その負パルスによって、被覆液体である塗料が付着器スロット１６の中に急激に上昇させられるようになっている」である点（以下、「相違点ニ」という。）。
　そこで、これらの相違点について検討する。
＜相違点の検討＞
イ．相違点イについて
　フォトマスク用フォトレジスト塗布、プリント基板用ソルダーレジスト塗布及びカラーフィルタガラス基板用塗布は、従来より、少なくとも非連続性基板の塗布の技術分野として、その技術が相互に利用されているものと認められる（例えば、特開平２−２５８０８１号公報参照）ので、引用発明１のプリント回路板をカラーフィルタ用基板とすることは、当業者にとって、容易に想到できたものというべきである。
ロ．相違点ロについて
　本件特許発明１は、該相違点ロに係る構成要件を具備することにより、「ピストン型定量ポンプ（２）の吐出１ストローク内で送液速度のリニアリティに優れた点を利用して、両位置の間において膜厚をほぼ均一に保持することができ、塗料供給装置により塗料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御することができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することができる」といった特許明細書の記載（段落【００１４】、【００４７】参照）から把握できる顕著な作用効果を奏するものと認めることができる。
　これに対し、引用例２には、本件特許発明１や引用発明１と同じ技術分野であるフォトレジスト塗布における塗布液の供給手段として往復動型のポンプの一種であるダイヤフラムポンプを用いる技術思想が記載されていて、この塗布液の供給手段であるダイヤフラムポンプは、液体の逆流を防ぐ弁操作手段としての逆止弁を具備していると認めることができ、さらに、引用例３〜６の記載からみて、塗布液の供給手段として往復動型のポンプを用いること自体は、従来周知の技術的事項にすぎないが、いずれも、本件特許発明１のように「ピストン型定量ポンプの吐出１ストローク内で送液速度のリニアリティに優れた点」を利用しようとするものでないばかりか、塗工終了時にピストン型定量ポンプを反転動作させ、塗料を吸引するために、塗料吐出装置側と連通する「切換弁（２ａ）」を有しておらず、また、ピストン型定量ポンプの吐出１ストローク内でカラーフィルタ用基板等の被塗布物の１枚の全てを塗布することを示唆するものでもない。
　確かに、ピストン型定量ポンプは、その吐出１ストローク内では、送液速度のリニアリティに優れていること自体は、当業者にとって容易に理解できることにすぎないが、このことと、この優れた点を特定の用途に利用することとは全く異なることである。
　してみると、相違点ロに係る構成要件は、引用発明１に引用例２に記載された技術思想を適用することにより当業者が容易に想到することができたものということができないばかりでなく、他に当業者が容易に想到することができたとする根拠も見当たらない。
ハ．相違点ハについて
　引用発明１において、真空台５２がスイッチＣを押すと塗工が終了することからみて、このスイッチＣが閉じられた時点において、プリント回路板５０の塗工すべき箇所の終了点が付着器スロット１６の真下に位置してと解される。
　また、引用発明１においては、このような関係が成り立つように、プリント回路板５０、真空台５２、付着器スロット１６及びスイッチＣの位置が設定されていると解される。
　してみると、相違点ハに係る構成要件は、引用発明１を採用するに際し、当業者が必要に応じて適宜実施できた設計的事項と認めることができる。
ニ．相違点ニについて　
　引用発明１は、計量ポンプ２８と共に被覆液体（塗料）の吐出に寄与する変位ピストン３４と変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出すことにより、被覆液体（塗料）を吸引するものであるから、この時点においては、少なくとも、変位ピストン３４と変位棒３６の機能は、被覆液体（塗料）の吐出におけるその機能と逆であると解されることからみて、引用発明１自体にピストン型定量ポンプを反転動作させることが示唆されていると解される。
　そうだとすると、引用発明１にピストン型定量ポンプを採用すること自体は、当業者にとって容易に想到できる程度のことであり、このようなピストン型定量ポンプを採用した引用発明１において、ピストン型定量ポンプを反転動作させても、被覆液体である塗料が付着器スロット１６の中に急激に上昇させられるようになることは、当業者にとって容易に予測できることにすぎないといえる。
　また、ピストン型定量ポンプ自体は、シリンジポンプにみられるように、そのピストンの往動又は復動の行程により、液体の供給又は排出の双方ができるものとして従来周知のものである。
　してみると、相違点ニに係る構成要件は、引用発明１に引用例２に記載された技術思想を適用することにより、当業者が容易に想到できたものというべきである。
　したがって、相違点イ、ハ、ニは格別なものではないが、相違点ロは、当業者が容易に想到し得ない相違であるので、本件特許発明１は、「引用例１ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない」とすることができないものである。
　
（２）本件特許発明２について
　本件特許発明２と引用発明１’とを対比すると、引用発明１’の「封じられた貯蔵器２４」は、その技術的意義において、本件特許発明２における「塗料タンク」に相当し、以下同様に、「付着器１２」は「塗料吐出装置」に、「付着器スロット１６」は「塗料吐出用のスリット」に、「被覆液体」は「塗料」に、「真空台５２」は「ステージ」に、「被覆方法」は「枚葉塗工方法」に、それぞれ相当するものと認められる。
　また、本件特許発明２の「カラーフィルタ用基板（８）」と引用発明１’の「プリント回路板５０」は、「基板」の限度において一致し、本件特許発明２の「ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）」と引用発明１’の「計量ポンプ２８及び入口弁３２を含む塗料を送る手段」は、「塗料を送る装置」の限度において一致し、本件特許発明２の「このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を塗料吐出装（３）の直下に位置させるべく前記ステージ（４）を停止させるとともに、前記ステージ（４）の位置を検出してピストン型定量ポンプ（２）とピストン型定量ポンプ（２）を塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁（２ａ）を動作させることにより前記塗料吐出装置（３）からの塗料の吐出を開始し」と引用発明１’の「前記真空台５２（ステージ（４））を動かす駆動組立体６２の１番上に作動順序を合図するために用いられる４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄが設けられていて、前記真空台５２（ステージ（４））がマイクロスイッチＢを押すと、被覆液体含有室１４に抜き出し自在に設けられた変位棒３６に連結された変位ピストン３４が動かされることにより、塗料が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））から急激に下降されて前記プリント回路板５０上に連結ビード６６を形成し、同時に計量ポンプ２８及び入口弁３２を動作させて制御された塗料の供給を開始し」は、「この基板の塗工開始位置を塗料吐出装の直下に位置させて、前記塗料吐出装置からの塗料の吐出を開始し」の限度において一致し、本件特許発明２の「塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前記ステージ（４）の移動を開始させ」と引用発明１’の「前記連結ビード６６を形成後に付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））とプリント回路板５０の相対的な動きを開始し」は「前記基板の移動を開始させ」の限度において一致し、本件特許発明２の「前記塗料吐出装置（３）からの前記ピストン型定量ポンプ（２）吐出１ストローク内での塗料吐出を行いつつ前記ステージ（４）を動作させてカラーフィルタ用基板（８）をその塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置するまで搬送し、該塗工終了位置が前記塗料吐出装置（３）直下に位置したことを検出して」と引用発明１’の「前記プリント回路板５０上に付着させられる被覆液体（塗料）の一様な付着が続けられ、前記真空台５２がマイクロスイッチＣを押すと」は、「前記塗料吐出装置からの塗料吐出を行いつつ前記ステージを動作させて基板をその塗工を終了させるに必要な位置であって、予め決められた位置を確認して」の限度において一致し、本件特許発明２の「この塗工終了位置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記塗料吐出装置（３）の直下に位置した状態でピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する」と引用発明１’の「入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８が停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出されることによりその部屋の内部に真空が発生されて、被覆液体（塗料）が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））の中に急激に上昇される」は、「この塗工を終了させるに必要な位置に基板を位置させた状態で塗料供給系の駆動により塗料を吸引する」の限度において一致すると認められる。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりと認められる。
＜一致点＞
　塗料を送る装置により封じられた塗料タンクから塗料吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、基板をステージにより保持して前記塗料吐出装置の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、基板の表面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージを移動させて基板を搬送し、この基板の塗工開始位置を塗料吐出装の直下に位置させて、前記塗料吐出装置からの塗料の吐出を開始し、前記基板の移動を開始させ、前記塗料吐出装置からの塗料吐出を行いつつ前記ステージを動作させて基板をその塗工を終了させるに必要な位置であって、予め決められた位置を確認して、この塗工を終了させるに必要な位置に基板を位置させた状態で塗料供給系の駆動により塗料を吸引する基板の表面に塗料を塗布する枚葉塗工方法。
＜相違点＞
チ．基板の種類について、本件特許発明２では、「カラーフィルタ用基板（８）」であるのに対し、引用発明１’では、「プリント回路板５０」である点（以下、「相違点チ」という。）。
リ．塗料を送る装置について、本件特許発明２では、「ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）」であるのに対し、引用発明１’では、「計量ポンプ２８及び入口弁３２を含む塗料を送る手段」である点（以下、「相違点リ」という。）。
ヌ．塗工開始について、本件特許発明２では、「このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を塗料吐出装置（３）の直下に位置させるべく前記ステージ（４）を停止させるとともに、前記ステージ（４）の位置を検出してピストン型定量ポンプ（２）とピストン型定量ポンプ（２）を塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁（２ａ）を動作させることにより前記塗料吐出装置（３）からの塗料の吐出を開始し」であるのに対し、引用発明１’では、「前記真空台５２（ステージ（４））を動かす駆動組立体６２の１番上に作動順序を合図するために用いられる４個のマイクロスイッチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄが設けられていて、前記真空台５２（ステージ（４））がマイクロスイッチＢを押すと、被覆液体含有室１４に抜き出し自在に設けられた変位棒３６に連結された変位ピストン３４が動かされることにより、塗料が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））から急激に下降されて前記プリント回路板５０上に連結ビード６６を形成し、同時に計量ポンプ２８及び入口弁３２を動作させて制御された塗料の供給を開始し」である点（以下、「相違点ヌ」という。）。
ル．基板の移動の開始について、本件特許発明２では、「塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前記ステージ（４）の移動を開始させ」であるのに対し、引用発明１’では、「前記連結ビード６６を形成後に付着器スロット１６とプリント回路板５０の相対的な動きを開始し」である点（以下、「相違点ル」という。）。
ヲ．塗料の吐出と吸引の態様について、本件特許発明２では、「前記塗料吐出装置（３）からの前記ピストン型定量ポンプ（２）吐出１ストローク内での塗料吐出を行いつつ前記ステージ（４）を動作させてカラーフィルタ用基板（８）をその塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置するまで搬送し、該塗工終了位置が前記塗料吐出装置（３）直下に位置したことを検出して、この塗工終了位置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記塗料吐出装置（３）の直下に位置した状態でピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布する」であるのに対し、引用発明１’では、「前記プリント回路板５０上に付着させられる被覆液体（塗料）の一様な付着が続けられ、前記真空台５２がマイクロスイッチＣを押すと、入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８が停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室１４から抜き出されることによりその部屋の内部に真空が発生されて、被覆液体（塗料）が付着器スロット１６（塗料吐出用のスリット（３ａ））の中に急激に上昇され、前記プリント回路板５０の１枚の表面に塗料を塗布する」である点（以下、「相違点ヲ」という。）。
　そこで、これらの相違点について検討する。
＜相違点の検討＞
チ．相違点チについて
　この相違点チは、本件特許発明１と引用発明１の対比における相違点イと実質的に同じであるので、相違点イと同じ理由により、引用発明１’のプリント回路板をカラーフィルタ用基板とすることは、当業者にとって、容易に想到できたものというべきである。
リ．相違点リについて
　液体の供給又は排出手段として、ピストン型定量ポンプ及びダイヤフラムポンプ等の往復動型のポンプを用いることは、従来より周知の技術的事項である。なお、塗布液の供給手段として往復動型のポンプを用いること自体は、従来周知の技術的事項にすぎない（例えば、引用例３〜６参照）。
　そして、引用例２には、本件特許発明１や引用発明１’と同じ技術分野であるフォトレジスト塗布における塗布液の供給手段として往復動型のポンプの一種であるダイヤフラムポンプを用いる技術思想が記載されている。
　また、引用発明１’において、塗料供給系に往復動型のポンプを採用すること、さらには、ピストン型定量ポンプを採用することを妨げる特段の事情も見当たらない。
　してみると、相違点リに係る構成要件は、引用発明１’に引用例２に記載された技術思想を適用することにより、当業者が容易に想到することができたものというべきである。
ヌ．相違点ヌについて
　引用発明１’において、真空台５２がスイッチBを押すことにより、プリント回路板５０上に連結ビード６６を形成することが開始されることからみて、このスイッチＢが閉じられた時点において、プリント回路板５０の塗工すべき箇所の開始点が付着器スロット１６の真下に位置していると解される。
　そして、引用発明１’において、連結ビード６６の形成後にプリント回路板５０の相対的な動きが開始されることからみて、この動き前においてプリント回路板５０が停止されていると解される。
　また、ピストン型定量ポンプとピストン型定量ポンプを塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁を動作させることにより前記塗料吐出装置からの塗料の吐出させるようにすることは、本件特許発明１と引用発明１の対比における相違点ロにおいて検討したと同じ理由により、当業者が容易に想到することができたものといえる。
　してみると、相違点ヌに係る構成要件は、引用発明１’、引用例２に記載された技術思想及び従来周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に想到することができたものというべきである。
ル．相違点ルについて　
　本件特許発明２の「所定時間」に格別の技術的意義があると認められなく、また、引用発明１’の「連結ビード６６を形成すること」にそれなりの時間を要すると解されることからみて、この相違点ルは、格別なものではない。
ヲ．相違点ヲについて
　本件特許発明２は、該相違点ヲに係る構成要件を具備することにより、「ピストン型定量ポンプ（２）の吐出１ストローク内で送液速度のリニアリティに優れた点を利用して、両位置の間において膜厚をほぼ均一に保持することができ、塗料供給装置により塗料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御することができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することができ、塗工終了位置よりも後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止することができる」といった特許明細書の記載（段落【００１４】、【００４８】参照）から把握できる顕著な作用効果を奏するものと認めることができる。
　これに対し、引用例２には、本件特許発明２や引用発明１’と同じ技術分野であるフォトレジスト塗布における塗布液の供給手段として往復動型のポンプの一種であるダイヤフラムポンプを用いる技術思想が記載されていて、この塗布液の供給手段であるダイヤフラムポンプは、液体の逆流を防ぐ弁操作手段としての逆止弁を具備していると認めることができ、さらに、引用例３〜６の記載からみて、塗布液の供給手段として往復動型のポンプを用いること自体は、従来周知の技術的事項にすぎないが、いずれも、本件特許発明１のように「ピストン型定量ポンプの吐出１ストローク内で送液速度のリニアリティに優れた点」を利用しようとするものでないばかりか、ピストン型定量ポンプの吐出１ストローク内でカラーフィルタ用基板等の被塗布物の１枚の全てを塗布することを示唆するものでもない。
　確かに、ピストン型定量ポンプは、その吐出１ストローク内では、送液速度のリニアリティに優れていること自体は、当業者にとって容易に理解できることにすぎないが、このことと、この優れた点を特定の用途に利用することとは全く異なることである。
　してみると、相違点ヲに係る構成要件は、引用発明１’に引用例２に記載された技術思想を適用することにより当業者が容易に想到することができたものということができないばかりでなく、他に当業者が容易に想到することができたとする根拠も見当たらない。
　したがって、相違点チ、リ、ヌ、ルは格別なものではないが、相違点ヲは、当業者が容易に想到し得ない相違であるので、本件特許発明２は、「引用例１ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない」とすることができないものである。
（３）本件特許発明３について
　本件特許発明３は、本件特許発明２の構成要件のうち選択的なものを一方に限定したものと認められる。
　してみると、本件特許発明３と引用発明１’の対比における一致点及び相違点は、本件特許発明２と引用発明１’の対比における一致点及び相違点と実質的に同じであると認められる。
　したがって、本件特許発明３は、本件特許発明２と同じ理由により、「引用例１ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない」とすることができないものである。
（４）本件特許発明４について
　本件特許発明４は、本件特許発明２の構成要件にさらに構成要件を付加したものと認められる。
　してみると、本件特許発明４は、本件特許発明２と同じ理由により、「引用例１ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない」とすることができないものである。
（５）本件特許発明５について
　本件特許発明５は、本件特許発明１ないし４の用途としてカラーフィルタを製造する方法を限定したものであるから、該本件特許発明１ないし４の構成要件を全て含むものと認められる。
　してみると、本件特許発明４は、本件特許発明１ないし４と同じ理由により、「引用例１ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない」とすることができないものである。
　
５．むすび　
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠並びに当審が通知した取消しの理由及び引用例によっては、本件特許発明１ないし５についての特許を取り消すことはできない。
  また、他に同特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月６日（２００２．６．６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　本件特許第３１３９３５８号に係る願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１ないし５について、特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正を目的として、
　「【請求項１】　塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、塗料吐出装置（３）またはカラーフィルタ用基板（８）を保持するステージ（４）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置（３）に対するステージ（４）の相対位置を検出して、
ピストン型定量ポンプ（２）
　【請求項２】　ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、カラーフィルタ用基板（８）をステージ（４）により保持して前記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージ（４）を移動させてカラーフィルタ用基板（８）を搬送し、このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を
塗料吐出装（３）
塗料吐出
吸引する
　【請求項３】　前記カラーフィルタ用基板（８）の塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する請求項２に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
　【請求項４】　前記塗料吐出装置（３）を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプ（２）をさらに反転動作させて塗料吐出装置（３）の塗料吐出経路に塗料を充填する請求項２または３に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
　【請求項５】　請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ枚葉塗工装置またはカラーフィルタ枚葉塗工方法を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。」と記載されているのを、
　「【請求項１】　塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、塗料吐出装置（３）またはカラーフィルタ用基板（８）を保持するステージ（４）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置（３）に対するステージ（４）の相対位置を検出して、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布するピストン型定量ポンプ（２）
　【請求項２】　ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、カラーフィルタ用基板（８）をステージ（４）により保持して前記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージ（４）を移動させてカラーフィルタ用基板（８）を搬送し、このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を
塗料吐出装置（３）
前記ピストン型定量ポンプ（２）吐出１ストローク内での塗料吐出
吸引し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布
　【請求項３】　前記カラーフィルタ用基板（８）の塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する請求項２に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
　【請求項４】　前記塗料吐出装置（３）を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプ（２）をさらに反転動作させて塗料吐出装置（３）の塗料吐出経路に塗料を充填する請求項２または３に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
　【請求項５】　請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ枚葉塗工装置またはカラーフィルタ枚葉塗工方法を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。」と訂正する。
　なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１７】及び【００２２】について、明りょうでない記載の釈明を目的として、
　「…、
ピストン型定量ポンプ
　「…、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板を１枚塗布するピストン型定量ポンプ
　なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落【００１８】及び【００２３】について、明りょうでない記載の釈明を目的として、
　「…
塗料吐出
吸引する
　「…
前記ピストン型定量ポンプ吐出１ストローク内での塗料吐出
吸引し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布
　なお、アンダーラインは、対比の便のため当審で付した。
（５４）【発明の名称】
カラーフィルタ枚葉塗工装置およびその方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、塗料吐出装置（３）またはカラーフィルタ用基板（８）を保持するステージ（４）の少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置（３）に対するステージ（４）の相対位置を検出して、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布する
　【請求項２】　ピストン型定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給し、カラーフィルタ用基板（８）をステージ（４）により保持して前記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージ（４）を移動させてカラーフィルタ用基板（８）を搬送し、このカラーフィルタ用基板（８）の塗工開始位置を塗料吐出装
置
前記ピストン型定量ポンプ（２）吐出１ストローク内での
し、前記カラーフィルタ用基板（８）を１枚塗布
　【請求項３】　前記カラーフィルタ用基板（８）の塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプ（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）とカラーフィルタ用基板（８）との間に存在する塗料を吸引する請求項２に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
　【請求項４】　前記塗料吐出装置（３）を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプ（２）をさらに反転動作させて塗料吐出装置（３）の塗料吐出経路に塗料を充填する請求項２または３に記載のカラーフィルタ枚葉塗工方法。
　【請求項５】　請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ枚葉塗工装置またはカラーフィルタ枚葉塗工方法を用いて、カラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】この発明は枚葉塗工装置およびその方法に関し、さらに詳細にいえば、精密塗工用のダイコータを用いて枚葉塗工を行うための装置およびその方法に関する。そして、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを作成するために基板上に塗膜を形成する場合の他、例えばレジスト塗工等の半導体製造分野、紫外線吸収層塗工等の光学フィルタ製造分野等の液体状の塗料を枚葉方式で供給される被塗工材の表面に薄く均一に塗工する分野に好適である。
　【０００２】
　【従来の技術】従来から液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを製造するための塗工工程を行うに当って、スピナー、バーコータ、ロールコータが用いられていたが、塗料の利用効率の向上が強く要求され、また得られる塗膜の物性を向上させることが強く要求されるようになってきたので、近年に至って、ダイコータを用いることが検討され始めてきた。
　【０００３】
　ダイコータは、従来から厚膜塗工や、高粘度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイコータを用いて被塗工材に塗膜を形成する場合には、米国特許第４，２３０，７９３号、米国特許第４，６９６，８８５号、米国特許第２，７６１，７９１号に見られるように、カーテンフロー法、押し出し法、ビード法などの塗工方法が知られる。中でも上記ビード法は、ダイコータの口金に設けられたスリットから塗料を吐出して、口金と一定の間隔を保って相対的に走行する被塗工材との間に塗料ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、この状態で被塗工材の走行に伴なって塗料を引き出して塗膜を形成する。そして、塗膜形成により消費される塗料と同量の塗料をスリットから供給することにより塗膜を連続的に形成するこの方法を採用すれば、形成された塗膜は膜厚の均一性をかなり高精度に達成できる。また、塗料の無駄が殆どなく、さらにスリットから吐出されるまで塗料送液経路が密閉されているのであるから、塗料の変質、異物の混入を防止でき、得られる塗膜の品質を高く維持できるという長所を有する。
　【０００４】
　一方、例えば特開平５−２８５４３６号公報には、ダイコータに塗料を送液するために定量ポンプとしてギアポンプが採用されている。このような構成を採用すれば、ギアポンプにより比較的脈流のない送液が可能である。また、特開平６−３３９６５６号公報においては、塗料の送液は塗料を保持した密閉容器を加圧して供給するいわゆる圧送法が開示されている。これらの方法によると送液の安定した領域を利用し長尺の被塗工材の表面にほぼ均一な塗膜を形成することができると思われる。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】しかし、枚葉方式で供給される被塗工材に対し、ダイコータにより上記ビード法を採用して塗膜を形成しようとすれば、被塗工材への塗工が必然的に断続的になってしまうのであるから、被塗工材の塗工開始位置、塗工終了位置で確実に塗膜形成開始・終了を確実に行うためには、被塗工材の塗工位置との関係で確実に送液を開始、終了を行う必要があり、定量ポンプには優れた即応答性が要求される。しかるに上記従来方法には、かかる配慮をした塗工方法が提案されていない。
　【０００６】
　また、ダイから塗料を連続的に吐出しているか間欠的に吐出しているかに拘らず、被塗工材の塗工開始位置、塗工終了位置では塗料ビードが乱れ、あるいは塗料ビードが消滅する。そして、塗工の全範囲にわたって塗工に適した安定な塗料ビードを保持することが困難になり、塗料ビードが安定状態になるまでは均一な塗膜が得られなくなってしまうという問題がある。このような不都合は短寸の被塗工材であっても、長尺の被塗工材であっても同様に発生するのであるが、短寸の被塗工材の場合には、全長に対して均一な膜厚の塗膜が得られる長さの割合が小さいのに対して、長尺の被塗工材の場合にはこの割合が大きくなるので、ビード法は、特公昭４３−２４１３３号公報に「ビードコーティングでは、断続した支持体では、安定したビードを保持することが不可能なので連続した支持体にのみ応用できる。」とあるように、一般には長尺の被塗工材に対してダイコータによる塗工が行われていた。
　【０００７】
　従って、上記の構成のダイコータを枚葉間欠塗工に適用しようとすれば、例えばギアポンプを採用した場合ギアポンプを構成するギアにトップクリアランス、サイドクリアランスと呼ばれるギャップがあり、そのシール性は液（塗料）によることが多いのであるから、比較的短いインターバルで塗工開始、塗工終了が反復される枚葉間欠塗工に適用すると、これらの動作に時間的な遅れを生じる可能性があるのみならず、送液の定量性を確保できない可能性がある。この結果、被塗工材の表面に形成される塗膜の均一性が損なわれてしまうことになる。
　【０００８】
　また、前述した特開平６−３３９６５６号公報に記載の技術は、塗料供給手段に加圧圧送を採用したために原理的に不可避な送液の時間的遅れが生じることになる。同公報ではこれを補償せんとして予め見込んだ時間だけ塗工に先立って加圧を開始する技術を提案しているが、現実問題として圧力上昇を見込んで送液開始のタイミングをコントロールするのは困難である。
　【０００９】
　しかし、単に優れた即応答性を示す定量ポンプを用いて塗料を塗料吐出装置に供給することにより塗料を吐出させるとともに、塗料が表面に供給される被塗工材を所定速度で走行させるだけでは、塗料吐出装置と被塗工材との間に形成される塗料ビードを安定させることが困難であり、この結果、塗料ビードが安定した状態で塗膜の形成が行われる領域（膜厚がほぼ均一な領域）が被塗工材の全範囲に対して著しく小さくなってしまう。また、膜厚が均一な領域における膜厚に対して、それ以外の領域における膜厚のばらつきが著しく大きくなってしまい、後に行われるフォトリソグラフィ工程などにおける加工精度が低下してしまい、所期の品質の製品を得ることができない可能性が高くなってしまう。さらに、被塗工材の全範囲に対する塗膜形成範囲の割合を余り大きくすることができなくなってしまう可能性が高い。
　【００１０】
　前述の特開平６−３３９６５６号公報においても、塗工開始時と実質的同時に塗料吐出を如何に行うかが述べられているだけで塗料ビードの形成や消滅を制御する方法や塗料ビードの乱れを抑制することについては全く記載されていないのであるから、これらの技術を採用するといずれの場合にも被塗工材のうち有効活用することができない長さの割合が大きいために被塗工材の無駄が著しく多くなる。言い換えれば被塗工材の全長に対して均一な膜厚の塗膜が得られる長さの割合が小さいために、被塗工材に対する有効利用可能割合が小さい状態での使用しかなされておらず、経済性、高精度薄膜塗工性、塗料の密閉性というダイコータの特徴を活かしきれない問題がある。
　【００１１】
　上以外の従来技術の中にはこれら塗工開始部に着目した技術の開示も見られる。例えば連続した支持体への塗布においても、特開平１−２１３６４１号公報には、塗布器にウエブを接近させる塗工開始時にビード前後に印加する圧力を一時的に増減させることで不安定な塗工先頭のビードの状態を安定化させることが述べられているし、特開昭６３−１４８２５１号公報には、塗料の吐出速度を一時的に大きくすることでビード形成を促す方法が述べられている。短寸の枚葉基材に関しても米国特許第４，９３８，９９４号には、パルスを発生させて接続ビードを形成する方法が開示されている。
　【００１２】
　しかしながら、上記いずれの塗工方法を採用しても、単尺の葉塗工体に対して塗工方向の膜厚分布と、これに直交する方向である幅方向の膜厚分布の両者を、塗工開始直後から均一の膜厚で、しかも次々に供給される枚葉塗工体に対しても膜厚が変化することなく安定して塗布できるように両立させることが困難であった。
　【００１３】
　この発明は、上記の問題点を解消せんとしてなされたものであり、塗工方向および幅方向における膜厚がほぼ均一な領域の全体に占める割合を大きくすることができるとともに、製品の均一な分光特性、平坦性、加工精度等の品質を高めることができる枚葉塗工装置およびその方法を提供することを目的とする。
　【００１４】
　【課題を解決するための手段】このような不都合、および枚葉塗工に当って１つの被塗工材の表面に塗布されるべき塗料の量がかなり少なくてよいことを考慮して、本件発明者は定量ポンプとして、シリンジポンプに代表されるピストン型定量ポンプを採用することを考えた。ピストン型定量ポンプは、これ自体が良好なシール性を有しており、送液レスポンスに優れるうえ、吐出１ストローク内では送液速度のリニアリティにも優れているのであるから、精密な枚葉塗工の用途では非常に有用であると思われる。
　【００１５】
　前述のビード法による均一安定塗工に必要な塗料ビードの安定状態とは、塗料ビードを塗料吐出装置と被塗工材の間に留めようとする力と、持ち去ろうとする力が、拮抗し丁度バランスのとれた状態である。前者の力としてはメニスカスを形成する表面張力などが考えられるし、後者の力としては被塗工材の移動に伴なう剪断力が挙げられる。従って安定状態にあるビードの形状は塗料の吐出速度、塗工速度、口金仕様、クリアランスという塗工条件、粘度、比重、表面張力などの塗料の物性、温度などの塗工環境などにより一義的に決定するものであり、仮に外的要因などで一時的にビードが乱れたとしても自己修復的に前記安定状態を保もとうとする類のものである。
　【００１６】
　これらの解析を考慮し検討した結果出願人らは、塗工開始直後から塗工方向及びこれに直交する方向に均一安定な膜厚の塗膜を得るためには、塗工開始時に吐出装置と被塗工材を相対的に停止させて塗料を吐出し、スリット開口幅全域にわたる基板の濡れを確保し、安定塗工状態の塗料ビードを形成するのに過不足のない量の塗料を供給して、塗工開始に先立って塗料塗布装置と被塗工材の間にその塗工条件下で一義的に決定する安定塗工状態の塗料ビードとほぼ同じ形の塗料ビードを形成して後に、被塗工材の移動を開始するとよいことを見い出した。
　【００１７】
　請求項１のカラーフィルタ枚葉塗工装置は、塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、塗料吐出装置またはカラーフィルタ用基板を保持するステージの少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置に対するステージの相対位置を検出する相対位置検出手段と、前記塗料供給装置からの塗料の吐出状態を制御する制御手段と、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板を１枚塗布する
　【００１８】
　請求項２のカラーフィルタ枚葉塗工方法は、ピストン型定量ポンプを備えた塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、カラーフィルタ用基板をステージにより保持して前記塗料吐出装置の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージを移動させてカラーフィルタ用基板を搬送し、このカラーフィルタ用基板の塗工開始位置を塗料吐出装置の直下に位置させるべく前記ステージを停止させるとともに、前記ステージの位置を検出してピストン型定量ポンプと、このピストン型定量ポンプを塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁とを動作させることにより前記塗料吐出装置からの塗料の吐出を開始し、塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前記ステージの移動を開始させ、前記塗料吐出装置からの
前記ピストン型定量ポンプ吐出１ストローク内での
し、前記カラーフィルタ用基板を１枚塗布
　【００１９】
　請求項３のカラーフィルタ枚葉塗工方法は、前記カラーフィルタ用基板の塗工終了位置が塗料吐出装置の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプを反転動作させて塗料吐出装置とカラーフィルタ用基板との間に存在する塗料を吸引する方法である。
　【００２０】
　請求項４の枚葉塗工方法は、前記塗料吐出装置を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプをさらに反転動作させて塗料吐出装置の塗料吐出経路に塗料を充填する方法である。
　【００２１】
　請求項５のカラーフィルタの製造方法は、前記請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ枚葉塗工装置または枚葉塗工方法を用いる製造方法である。
　【００２２】
　請求項１のカラーフィルタ枚葉塗工装置であれば、塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、塗料吐出装置またはカラーフィルタ用基板を保持するステージの少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置に対するステージの相対位置を検出する相対位置検出手段と、前記塗料供給装置からの塗料の吐出状態を制御する制御手段と、
吐出１ストローク内で前記カラーフィルタ用基板を１枚塗布する
塗料供給装置により塗料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御することができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することができ、塗工終了位置よりも後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止することができる。
　【００２３】
　請求項２のカラーフィルタ枚葉塗工方法は、ピストン型定量ポンプを備えた塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、カラーフィルタ用基板をステージにより保持して前記塗料吐出装置の下方所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記カラーフィルタ用基板の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であって、前記ステージを移動させてカラーフィルタ用基板を搬送し、このカラーフィルタ用基板の塗工開始位置を塗料吐出装置の直下に位置させるべく前記ステージを停止させるとともに、前記ステージの位置を検出してピストン型定量ポンプと、このピストン型定量ポンプを塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に連通させる切換え弁とを動作させることにより前記塗料吐出装置からの塗料の吐出を開始し、塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前記ステージの移動を開始させ、前記塗料吐出装置からの
前記ピストン型定量ポンプ吐出１ストローク内での
し、前記カラーフィルタ用基板を１枚塗布
　【００２４】
　請求項３のカラーフィルタ枚葉塗工方法であれば、前記カラーフィルタ用基板の塗工終了位置が塗料吐出装置の直下に位置した時点において、前記ピストン型定量ポンプを反転動作させて塗料吐出装置とカラーフィルタ用基板との間に存在する塗料を吸引するのであるから、塗工終了位置よりも後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止することができる。
　【００２５】
　請求項４のカラーフィルタ枚葉塗工方法であれば、前記塗料吐出装置を通して塗料を吸引した後、前記ピストン型定量ポンプをさらに反転動作させて塗料吐出装置の塗料吐出経路に塗料を充填するのであるから、次のカラーフィルタ用基板に対する塗膜形成を開始するまでに、塗料吐出装置の塗料吐出経路における空隙を消滅させることができ、塗料供給装置により塗料供給の開始から塗料吐出装置による塗料の吐出開始までの時間遅れを解消することができる。
　【００２６】
　請求項５のカラーフィルタの製造方法であれば、前記請求項１から請求項５の何れかに記載の枚葉塗工方法を用いるので、塗工膜厚が均一なカラーフィルタを容易に得ることができる。
　【００２７】
　【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明の好ましい実施の形態を詳細に説明する。
　【００２８】
　図１はこの発明の枚葉塗工装置の一実施形態を概略的に示す図である。
　【００２９】
　この枚葉塗工装置は、塗料タンク１と、定量ポンプの一例としてのマイクロシリンジポンプ２と、塗料吐出用のスリット３ａを有する塗料吐出装置３と、ボールネジ機構４ａにより往復動されるステージ４と、ステージ４上の被塗工材８の位置を検出する光学センサなどからなる位置センサ５と、位置センサ５からの出力信号、ボールネジ機構４ａを駆動するＡＣサーボモータ（４ｂ）からの状態信号、塗料吐出装置３の状態信号を入力として塗料吐出装置３、ＡＣサーボモータ４ｂを制御するシーケンサ６と、シーケンサ６からの出力信号（マイクロシリンジポンプ制御用の信号など）およびマイクロシリンジポンプ２の状態信号を入力としてマイクロシリンジポンプ２を制御するコンピュータ７（制御手段に相当する）とを有している。なお、塗料タンク１とマイクロシリンジポンプ２との間を塗料吸引管路１ａ（第１送液管路に相当する）で連通しており、マイクロシリンジポンプ２と塗料吐出装置３との間を塗料吐出管路３ｇ（第２送液管路に相当する）で連通している。また、マイクロシリンジポンプ２は切換え弁２ａにより選択的に塗料吸引管路１ａ、塗料吐出管路３ｇに連通されている。そして、マイクロシリンジポンプ２および切換え弁２ａは１対ずつ設けられているとともに、塗料吸引管路１ａと塗料吐出管路３ｂとの間に互いに並列に接続されている。塗料吐出装置３は、ステージ４上に支承された被塗工材としてのカラーフィルタ基板８の上面に近接する位置と十分に離れた位置との間において昇降されるものであり、シーケンサ６からの塗工動作開始指令に応答して下降し、塗工動作終了指令に応答して上昇する。また、コンピュータ７は切換え弁２ａをも制御する。また、図１には特には図示していないが、塗料吸引管路１ａの所定位置に開閉弁、フィルタなどを設けることが好ましい。ただし、前記位置センサ５に代えて、ＡＣサーボモータに組み込まれたエンコーダからの出力パルス信号をカウントすることによりステージ４の位置を検出する構成を採用することが好ましい。
　【００３０】
　前記塗料吐出装置３は、塗料吐出用のスリット３ｂを有する口金３ａを主要構成部分とするものである。
　【００３１】
　上記の構成の塗工装置において、塗料吐出の即応答性を確保するためには、塗料配管系のシール性を十分に確保することが必要である。塗膜８´の膜厚は特に限定されるものではないが、塗布後・乾燥前の膜厚が１〜５００μｍの範囲の薄膜塗工に特に有利に用いられる。塗膜８´の膜厚が１μｍ未満の場合には、口金３ａの加工精度や被塗工材８の膜厚精度の制約から均一性の高い塗膜８´を得ることが難しく、５００μｍを越える場合にも当然応用できるが、本発明の有効性が特に発揮される塗工ではない。
　【００３２】
　塗膜８´の均一性は図２に拡大して示す口金３ａのスリット間隙３ｄや、口金３ａと被塗工材８との間隙であるクリアランス３ｃを調節することにより制御する。本発明においてスリット間隙３ｄやクリアランス３ｃは特に限定されるものではないが、スリット間隙３ｄを１０〜５００μｍの範囲に設定することが好ましい。なぜならば、１０μｍ未満のスリット間隙３ｄを精度よく保つように口金３ａを加工するのは困難であり、間隙のばらつきやうねりの影響が著しく大きくなるからである。また、スリット間隙３ｄが５００μｍを越える場合には、スリット間隙３ｄでの均一な塗料の流れを実現するのが難しく渡り方向の塗料吐出量にばらつきを生じ、この結果均一な塗膜を得ることが困難になるからである。さらに、クリアランス３ｃは１０μｍ〜１ｍｍの範囲に設定することが好ましい。なぜならば、１０μｍ未満のクリアランス３ｃを精度よく保つようにするのは、装置や被塗工材８の加工精度の制約などから難しいからである。またクリアランス３ｃが１ｍｍを越える場合には、塗料ビード３ｅを安定に保つことが困難だからである。また、塗料ビード３ｅを安定して形成し、均一性の高い塗膜８´を得るためには、クリアランス３ｃを塗膜膜厚のおよそ１．５〜数十倍程度に精度よく保持することが好ましい。また、加圧室または減圧室３ｆなどを設けて塗料ビード３ｅの前後の圧力を加減圧し、安定した塗料ビード３ｅ形成を促すようにすることが好ましい。
　【００３３】
　次いで、図３に示すタイムチャートを参照しながら枚葉塗工方法を説明する。ただし、図３中Ａがステージ走行のタイムチャートを示し、上側が順走行を、下側が逆走行をそれぞれ示している。Ｂは被塗工材の、例えば吸着固定などの固定動作を示している。Ｃはステージ４に設けたリフトピン（図示せず）の動作を示している。Ｄは口金３ａの減圧動作を示している。Ｅは口金３ａの拭き取り動作を示している。Ｆは口金３ａの昇降を示している。Ｇは切換え弁２ａの動作を示し、上側が口金側への切換えを、下側が塗料タンク側への切換えをそれぞれ示している。Ｈは定量ポンプ５の動作を示し、上側が吐出動作を、下側が吸引動作をそれぞれ示している。Ｉは一連の動作を概略的に説明する図である。
　【００３４】
　先ず、塗工装置の各部の原点復帰を行った後、切換え弁２ａを塗料タンク側に切換えるとともに、マイクロシリンジポンプ２による吸引動作を行う。そして、リフトピンを上昇させた状態で図示しない移載機から被塗工材８を受け取り、リフトピンを加工させて被塗工材８をステージ４上の所定位置に納め、さらに被塗工材８を真空吸引することにより被塗工材８をステージ４上に固定する。尚、被塗工材８のステージ４上への固定（保持）手段としては、上記真空吸引の他、リンク機構を応用したレバーによる挾み込みや、吸盤、粘着シート等による保持手段を用いてもよく、このような手段も本発明でいう「保持」に含まれる。
　【００３５】
　そして、塗料タンク１からマイクロシリンジポンプ２に所定量の塗料が吸引された後に、切換え弁２ａを口金側に切換えるとともに、ステージ４を順走行させて被塗工材８を口金３ａの直下まで移動させ、ステージ４の順走行を停止させる。次いで、口金３ａを下降させ、下降動作時間を制御することにより所定のクリアランス３ｃを確保する。ただし、口金３ａを下降させた後に被塗工材８を移動させるようにしてもよい。そして、口金３ａの下降動作と実質的に同時にマイクロシリンジポンプ２を動作させることにより塗料を口金３ａに供給して塗料の吐出を開始し、塗料の吐出開始後、所定時間だけステージ４を停止状態に維持することにより、口金３ａと被塗工材８との間に所定の渡り方向の全域にわたる塗料ビード３ｅを形成させる。
　【００３６】
　以上のようにして塗料ビード３ｅが形成された後に、ステージ４を所定速度で順走行させることにより塗工を開始する。また、塗工開始と実質的に同時に加圧室または減圧室３ｆの気圧を所定圧力に保つことにより加減圧を行い、塗料ビード３ｅを安定化する。したがって、塗料ビード３ｅの安定化により塗膜形成に消費される塗料と口金３ａのスリット３ｂから吐出される塗料とが平衡し、塗工開始後、短時間が経過した時点で安定な塗膜の形成を行うことができる定常塗工状態になる。
　【００３７】
　被塗工材８が塗工終了位置よりも所定距離だけ手前の位置に到達した時点でマイクロシリンジポンプ２による塗料の供給を停止し、ほぼ同時に口金３ａの加減圧を停止することにより、塗料ビード３ｅを消費しながらいわゆるスキージ塗工により塗膜を形成する。ただし、被塗工材８が塗工終了位置に到達した時点で塗料の供給を停止してもよい。そして、被塗工材８が塗工終了位置に到達すれば、マイクロシリンジポンプ２を逆動作させることにより口金３ａのスリット３ｂを通して所定量の塗料を吸引回収する。ただし、被塗工材８が塗工終了位置に到達した時点で塗料の供給を停止する場合には、被塗工材８が塗工終了位置を通りすぎた時点で塗料の吸引回収を行えばよい。その後、口金３ａを上昇させて被塗工材８から遠ざけることにより塗工を終了する。その後、塗料の吸引回収によりスリット３ｂに形成されている可能性がある空隙を解消させるためにマイクロシリンジポンプ２を動作させて塗料を吐出させる。ステージ４はその後も順走行を行って、被塗工材８を次工程に移載するための所定位置まで搬送して停止し、真空吸着を解除するとともに、リフトピンを上昇させて被塗工材８を持ち上げ、その位置で被塗工材８を被塗工材移載機（図示せず）に渡す。そして、同時にマイクロシリンジポンプ２による塗料の吐出および口金３ａの拭き取りを行って口金３ａの先端部に残留する塗料を除去する。次いで、ステージ４を逆走行させ、次の被塗工材８を受け取るべく所定位置まで復帰することにより一連の処理を終了し、次の被塗工材８の塗工に備える。
　【００３８】
　以上の一連の処理を行うことにより、塗工開始部および塗工終了部における膜厚の定常塗工により得られた定常部の膜厚に対するばらつきを大幅に抑制することができる。また、塗料ビード３ｅが形成された後にステージ４を走行させて塗膜を形成するのであるから、被塗工材８の端部から対応する塗膜端部までの距離を著しく小さくすることができ（３ｍｍ以下にすることができ）、被塗工材８の全長範囲に対する塗膜形成範囲の割合を大きくすることができる。さらに、定常部における膜厚のばらつきを著しく小さくすることができる。
　【００３９】
　また、塗料吐出装置３からの塗料吐出のタイミングまたはこれよりも前のタイミングにおいて塗料吐出装置３を下降させることにより、ステージ４上に支承されたカラーフィルタ基板８との距離を所定距離に設定する。そして、塗料吐出装置３から塗料が吐出され、スリット３ａの全幅にわたって塗料ビード３ｅが形成された後にボールネジ機構４ａを動作させることによりステージ４を走行させてカラーフィルタ基板８を所定速度で搬送し、カラーフィルタ基板８上に所定厚みの塗膜８´を形成することができる。
　【００４０】
　ステージ４上の被塗工材８が塗工終了位置まで移動した場合には、位置センサ５によりこの状態を検出し、切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換えて再び塗料吸引動作を行わせるとともに、塗料吐出装置３を上昇させ、次工程に被塗工材８を渡した後にステージ４を復動させ、次のカラーフィルタ基板８に対する塗工に備える。
　【００４１】
　【実施例】ポリアミド酸とＮ−メチル−２−ピロリドンと塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６）を混合・分散して緑色着色塗膜形成用塗料を得る。無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子（株）製）を被塗工材８として選択し、図１に示す枚葉塗工装置を用いて枚葉塗工を行った。ただし、前記着色塗膜形成用塗料を塗料タンク１に仕込み、予め塗料吐出装置３に至るまでの送液経路内を塗料で充填しておいた。
　【００４２】
　切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換え、マイクロシリンジポンプ２を５００μｌ／秒の速度で吸引側に駆動して塗料を３４８８μｌ充填し、切換え弁２ａを塗料吐出管路側に切換えて塗工に備える。
　【００４３】
　この状態において、ステージ４を動作させて被塗工材８を搬送し、塗料吐出装置３を所定位置まで下降させ、塗料吐出装置３の下降と実質的に同時にマイクロシリンジポンプ２を吐出側に駆動して塗料の吐出を開始し、スリット３ａの全幅にわたる塗料ビードが形成された後にステージ４を動作させて被塗工材８を搬送することにより塗工を行わせた。この場合に、塗膜形成に消費される塗料と塗料吐出装置３のスリット３ａから供給される塗料とを平衡させることにより連続して安定な塗膜を形成することができる。そして、被塗工材８が塗工終了位置に到達すれば、マイクロシリンジポンプ２の塗料吐出動作を停止し、次いで塗料吐出装置３を上昇させて被塗工材８から遠ざけることにより塗工を終了した。
　【００４４】
　以上の動作を順次繰り返して１００枚の被塗工材８に塗膜を形成した。
　【００４５】
　このようにして得られた塗膜は平坦化膜厚が１．２μｍであり、この塗膜の典型的な膜厚プロフィールは図４に示すとおりであり、塗工開始位置から８ｍｍの範囲および塗工終了位置の前の１０ｍｍの範囲を除いて膜厚が均一な定常部を得ることができた。また、塗工開始部の膜厚、塗工終了部の膜厚の何れも、定常部の膜厚の８７％から１３４％の範囲であった。
　【００４６】
　なお、以上には定量ポンプとしてマイクロシリンジポンプ２を例示しているが、プランジャー型定量ポンプ、ダイヤフラム型定量ポンプなどの容積式の定量ポンプを採用することが可能である。また、ステージ４としては種々の構成のものを採用することができるが、ボールネジ機構部の上方を覆うとともに、配線、配管などを内部において折り曲げ状に支持する構成のステージを採用することが好ましい。
　【００４７】
　【発明の効果】請求項１の発明は、塗工開始位置、塗工終了位置における膜厚のばらつきを大幅に抑制することができるとともに、両位置の間において膜厚をほぼ均一に保持することができ、塗料供給装置により塗料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御することができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することができ、塗工終了位置よりも後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止することができるという特有の効果を奏する。
　【００４８】
　請求項２の発明は、カラーフィルタ用基板の塗工開始位置において確実に塗料ビードを形成することができ、塗料ビードが形成された後にカラーフィルタ用基板を搬送させることにより広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成することができ、塗料供給装置により塗料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御することができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することができ、塗工終了位置よりも後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止することができるという特有の効果を奏する。
　【００４９】
　請求項３の発明は、塗工終了位置よりも後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止することができるという特有の効果を奏する。
　【００５０】
　請求項４の発明は、次のカラーフィルタ用基板に対する塗膜形成を開始するまでに、塗料吐出装置の塗料吐出経路における空隙を消滅させることができ、塗料供給装置により塗料供給の開始から塗料吐出装置による塗料の吐出開始までの時間遅れを解消することができるという特有の効果を奏する。
　【００５１】
　請求項５の発明は、前記請求項１から請求項４の何れかに記載の枚葉塗工装置または枚葉塗工方法を用いるので、塗工膜厚が均一なカラーフィルタを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】この発明の枚葉塗工装置の一実施例を概略的に示す図である。
　【図２】口金と被塗工材との関係を詳細に示す拡大概略図である。
　【図３】枚葉塗工方法の一実施例を概略的に示すタイムチャートである。
　【図４】図３の枚葉塗工方法により得られた塗膜の膜厚プロフィールを示す図である。
　【符号の説明】
２……マイクロシリンジポンプ
２ａ……切換え弁
３……塗料吐出装置
３ａ……スリット
４……ステージ
５……位置センサ
７……制御装置
８……被塗工材
１５……加減圧室