【事件の表示】
　特許第３１３２８２１号「対物レンズ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３２８２１号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
【1】手続の経緯
　本件の特許第3132821号は、平成2年5月15日に出願され、平成12年11月24日にその設定登録がなされ、その後、申立人株式会社ニコンより特許異議申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成13年12月4日に訂正請求がなされたものである。
　
【2】訂正の適否についての判断
《2-1》訂正の要旨
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のA〜Cのとおりである。
訂正事項A:
　特許請求の範囲の請求項1中の「よりなる対物レンズ。」を、『よりなり、前記第1群、第2群及び第3群が常時固定の対物レンズ。』と訂正する。
訂正事項B:
　特許請求の範囲の請求項2を、
『物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカスレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第1群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第2群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第3群とよりなり、300nmで光学材料厚が5mmとした時50%以上の内部透過率を持つ光学材料のみを有し、第2群の正レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第2群の負レンズは石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、前記第1群、前記第2群、前記第3群の焦点距離をfI、fII、fIIIとし、全系の焦点距離をfとする時、次の条件(1)、(2)、(3)を満足する対物レンズ。
(1)0.5≦fI/f≦3
(2)3≦fII/f≦6.8
(3)-fIII/f≧7』
と訂正する。
訂正事項C:
　特許掲載公報第3欄第20行乃至第33行の記載を、『本発明の対物レンズは、物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第1群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第2群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第3群とから構成されるレンズ系で光学材料厚5mmの時の内部透過率が波長300nmで50%以上の透過率を持つ光学材料のみからなることを特徴とするものである。
　更に本発明の対物レンズは、第2群の正レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第2群の負レンズが石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなることを特徴とする。
　ここで、本発明の対物レンズは、第1群、第2群及び第3群が常時固定になっている。
　あるいは、本発明の対物レンズは、前記第1群、前記第2群、前記第3群の焦点距離をfI、fII、fIIIとし、全系の焦点距離をfとする時、次の条件(1)、(2)、(3)を満足する。
(1)0.5≦fI/f≦3
(2)3≦fII/f≦6.8
(3)-fIII/f≧7』と訂正する。
　
《2-2》訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項Aは願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内で特許請求の範囲範囲の減縮を目的とするものであり、上記訂正事項Bは、請求項1の記載の訂正に伴い、引用形式の記載から独立形式の記載に形式を改めたものであり、技術事項の実質的な訂正はない。上記訂正事項Cは願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でする明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。そして、これらの訂正は実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
《2-3》むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第120条の4第2項及び同条第3項で規定する訂正について、平成6年法律第116号附則第6条第1項の規定により、なお従前の例によるとされる、改正前の特許法第126条第1項ただし書及び同条第2項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【3】特許異議の申立てについての判断
《3-1》申立ての理由の概要
　異議申立人は、特許第3132821号の請求項1に係る発明は、甲第1号証として提示された特願平2-124319号(特開平3-188407号)の明細書及び図面に記載された発明と同一であるから、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものである旨主張している。
　
《3-2》本願発明
　本願の請求項1に係る発明は、平成13年12月4日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の、特許請求の範囲請求項1に記載されたとおりの
「物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第1群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第2群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第3群とよりない、波長300nmで光学材料厚5mmとした時50%以上の内部透過率を持つ光学材料のみを有し、第2群の正レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第2群の負レンズは石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、前記第1群、第2群及び第3群が常時固定の対物レンズ。」(以下、「本願発明」という。)
と認められる。
　
《3-3》先願発明
　当審の取消理由通知書において引用した特願平2-124319号(特開平3-188407号)は、本願の出願の日前の特許出願(優先日:平成1年5月16日)であり、本願の特許出願後に出願公開されたものである。以下特願平2-124319号の特許出願を「先願」という。なお、上記先願の願書に最初に添付された明細書及び図面は、異議申立人が提示した甲第1号証に対応し、上記先願の願書に最初に添付された明細書及び図面に記載された事項は以下のとおりである。
　
　(1)1頁右下欄6行〜2頁左上欄3行
　「(4) 対物レンズは、光の方向に見て、
　
　(2)2頁右下欄末行〜3頁左上欄6行
　「本発明の目的は、可視スベクトル領域で十分適切に補正されるのみならず、それを越えて、紫外線スペクトル領域の複数の波長に対しても、対物レンズから測定光線が回折を制限された状態で集束されるように、関口誤差に関して適切に補正されるような顕微鏡用のアパーチャの大きな紫外線適合対物レンズを提供することである。」
　
　(3)3頁右上欄8行〜10行
　「このようにして、紫外線スペクトル領域全体にわたる対物レンズの補正を、使用する、焦点合せすべき光源に適合させるのである。」
　
　(4)3頁右上欄下から4行〜右下欄下から5行
　「冒頭に挙げた、カバーガラス補正を伴なう公知の乾燥対物レンズにおいては、開口誤差の操作は、比較的大きな屈折力を有する部材を分離している対物レンズ中の空間を変化させることによつて行われる。なぜならば、これまては、固定レンズ群の平面荷重を一定に保持し、固定レンズ群に対して摺動されるレンズ群、たとえば後方レンズ群のみが開口誤差を変化させることは容易と認められていた。しかしながら、これは、1つのレンズ部材の補正調整後の焦点合せの際に対物レンズ全体の動作距離が変わらない場合にのみ当てはまる。開口光線が一般にまだ高い発散性をもつて走つている対物レンズの前方レンズ群で距離が変化すると、対物レンズ全体の動作距離も大きく変わつてしまう。その結果、前方の固定対物レンズ部分の入射角も変化し、それに伴なつて、像誤差の変化にも全体としてさらに影響が出る。
　従つて、可変間隙は、対物レンズの後方部分(b)の摺動によつて生じる開口誤差の変化と、その後に続く焦点合せの際に対物レンズの前方部分(a)が開口誤差に及ぼす影響とが同じ符号を有し、それにより、相殺するのではなく強め合うように選択されるのが好ましい。なぜならば、そのようにすることによって、対物レンズにおける間隙幅の変化が相対的に小さくても、開口誤差に対する所望の操作を実行できるようになり、また、対物レンズの基本補正、すなわち、残る像誤差はごくわずかしか変化しない。さらに、このような措置をとれば、そうでなくとも不足がちである場合の多い対物レンズの動作距離が補正の動きにより一層短くなることはない。
　本発明の方法によれば、アパーチャが少なくとも0.7 であり、結像倍率は6 0×を越える十分に補正された紫外線適合乾操対物レンズを11個から13個のレンズにより構成することができる。それらのレンズは、約650nmの波長の長い可視スペクトル領域から約240nmの紫外線領域までの範囲で対物レンズを使用できるように、ガラスの一種であるSuprasilやホタル石から製造されると好都合である。」
　
　(5)4頁左上欄12行〜右上欄14行
　「第1図の実施例は、凹凸前方レンズ(L1)と、その後に続く単独の凹凸レンズ(L2)とを有する。その後には、両凹レンズ(L3)と、両凸レンズ(L4)とから構成される接合レンズ部材が続いている。これら4つのレンズは、対物レンズの第1の固定された部分(a)を形成する。
　その後には、第1の部分(a)とは異なり摺動自在である対物レンズの第2 の部分(b)が、間隙d7により離間された状態で続いている。この第2 の部分は、単独の凹凸レンズ(L5)の後に、3つのレンズ、すなわち、2 つの両凸収束レンズ(L6及びL8)と、それらの間にはめ込まれている両凹発散レンズ(L7)とから成る接合レンズ部材が続くという構成を有する。
　第1の接合レンズ部材の後には、同様に3つのレンズから構成される第2の接合レンズ部材が続いている。この接合レンズ部材も、両凹レンズ(L1O )を間にはめ込んだ2つの両凸レンズ(L9及びL11)から構成される。さらに、相対的に広い間隙d17を経て、単独の凹凸レンズ(L12)が配置されている。この視野レンズは、ペッツヴァルの和と、その他の視野に従属するは像誤差とをほぼ補正する。」
　
　(6)5頁左下欄9行〜6頁右上欄末行
　「第4図に示す実施例は、3つのレンズ( L9・L1O及びL11)から構成される第2の接合レンズ部材において、この場合も、2つの曲面がその凹凸記号に関して入れ換わっており、従って、第1図の発散レンズ(L1O)の代わりに、収束レンズが2つの発散レンズによつて囲まれているという相違点はあるが、第1図による実施例にほぼ対応している。さらに、第4図の実施例では、視野レンズとして接合レンズ部材が選択されている。この措置によつて、確かに動作距離の点では不都合が出るのであるが、補正は第1図の実施例の場合より幾分か改善される。第4図に示す実施例に対応する補正曲線は第8図に示されており、構成パラメータは第4表に紀載されている。
　第12図に示すクラフから明らかであるように、この対物レンズの場合、紫外線領域で開口誤差を最適化するのに間隙d4及びd2が適している。間隙d7及びd9については、その箇所では、要求される変化が大きすぎる(d7)か、又は紫外線領域で必要な間隙幅の変化の方向が可視スペクトル領域(d10)での方向とは異なる(d9)ので、d4やd2ほど目的に適合していない。
　第1図から第4図のそれぞれに示す対物レンズの動作距離は、特許請求の範囲第5項に付随する第1表から第4表のそれぞれに、関連する全ての構成パラメータと共に記載されている。表に同様に記載されている、0.8から 0.88のアパーチャに関する範囲は、それらの対物レンズが補正されている広いスペクトル領域から取出されている。それらの範囲は、0.8のアパーチャが可視スペクトル領域に適用され、さらに大きな 0.86から0.88のアパーチャは紫外線領域に適用されるものとして理解されるべきである。また、レンズに関しては、下記の屈折率ndと、分散νdとを有する2種類のガラスSuprasil及びホタル石が例外なく使用されている。
　 Suprasil nd=1.4585  νd = 67.3
　 ホタル石 nd=1.4339  νd = 95.2
　第13 図と第14 図を比較してみると、本発明が提案している方法によってどのような利点を得ることができるかが非常に良くわかる。これらの図には、第1図による実施例の対物レンズのエアリーの円盤の空間強さ分布が示されている。エアリーの円盤の平均直径は、コリメート光線が対物レンズによつてどの程度十分に回折を制限されて集束されるかを表す良い尺度である。第1図に示す対物レンズの間隙d7の幅をd7=0.18mmに一定に保って、波長WL=302nmで、より鮮鋭で回折を制限された焦点が得られる。その他の波長、特に紫外線波長であるWL=237.8nm及びWL=248.2nmに対しては、開口誤差が最適に補正されないために、焦点は著しく大きく広がつている。このことは、第13図で、明確に認められる。
　これに対し、第9図に示した関係に基づいて間隙d7の幅を所望の波長、たとえば、WL=237.8nm又はWL=248.2nmに合わせて調整すると、それらの波長でも、ウェハ構造などの高分解能の測定を可能にする回折を制限された焦点が得られるのである。そこで、対物レンズには、自体公知の方法により対物レンズの2つの部分a及びbを互いに摺動させて所望の波長に対する調整を行うための補正用マウントが設けられている。補正用マウントの調整リングに波長目盛を付けると好都合である。
　さらに、補正のための動きの結果、焦点位置が万一変位してしまつた場合に、それを対物レンズ全体の摺動により補償させる手段を、上記のような補正用マウントと結合できることは明らかである。このような補正用マウントの機械的構成自体は知られているので、ここでは詳細な説明を省略する。」
　
　(7)以上のことから、先願明細書には、第4表及び第4図の対物レンズとして、
「光の方向に見て、すなわち、物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなるレンズ部材(L1〜L2)と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなるレンズ部材(L3〜L11)と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有するレンズ部材(L12〜L13)とよりなり、レンズ部材(L3〜L11)の正レンズはホタル石(FL)よりなり、レンズ部材(L3〜L11)の負レンズはガラスの一種であるSuprasilよりなり、レンズ部材(L12〜L13)の少なくとも一つの正レンズがガラスの一種であるSuprasilよりなり、レンズ部材(L12〜L13)の少なくとも一つの負レンズがホタル石よりなり、対物レンズに、自体公知の方法により対物レンズの2つの部分a及びbを互いに摺動させて所望の波長に対する調整を行うための補正用マウントが設けられている対物レンズ。」なる発明(以下、「先願発明」という。)が記載されている。
　
《3-4》対比・判断
　本願発明と先願発明とを対比すると、先願発明における
(1)「レンズ部材(L1〜L2)」、
(2)「レンズ部材(L3〜L11)」、
(3)「レンズ部材(L12〜L13)」及び
(4)「ホタル石」
は、本願発明の
(1)「第1群」、
(2)「第2群」、
(3)「第3群」及び
(4) 「フッ化カルシウム」
に相当する。
　また、特許異議申立人が提示した、甲第3号証によれば、ヘラウス社は石英ガラスの製造技術を開発しており、「Suprasil」はヘラウス社の石英ガラスの製品名であるものと認められる。さらに、特許異議申立人が提示した、甲第2号証(Heraeus Quartz Glass for Optics Data and Properties)によれば、ヘラウス社の石英ガラスの製品「Suprasil」は、登録商標であり、甲第2号証第3頁の「Suprasil 300、311/312」の10mmの厚さにおける透過率の曲線から、波長300nmで光学材料厚5mmとした時50%以上の内部透過率を持つ光学材料であるものと認められる。ここで、甲第2号証及び甲第3号証は、本願の出願後に頒布されたものと推測されるが、経験則によれば、特段の事情がない限り同一の製品名が付された製品間で性質の大きな相違はなく、また、異なる性質の製品に同一の製品名が付されることもない。してみると、先願発明における「ガラスの一種であるSuprasil」は、甲第2号証に示される内部透過率を有するものと認めるのが相当である。
　さらに、先願発明における「ホタル石」は、フッ化カルシウムを意味し、これが本願発明と同様の内部透過率を有することは明らかである。
　
　したがって、両者は
　「物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第1群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第2群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第3群とよりない、波長300nmで光学材料厚5mmとした時50%以上の内部透過率を持つ光学材料のみを有し、第2群の正レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第2群の負レンズは石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第3群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなる対物レンズ。」の点で一致する。
　そして、本願発明の対物レンズは「第1群、第2群及び第3群が常時固定」であるのに対し、先願発明の対物レンズは「対物レンズに、自体公知の方法により対物レンズの2つの部分a及びbを互いに摺動させて所望の波長に対する調整を行うための補正用マウントが設けられ」、波長に応じて第1群、第2群及び第3群が可動である点で記載上の相違が存在する。
　
《3-5》判断
　本願発明において、「第1群、第2群及び第3群が常時固定」という態様は、対物レンズを特定の波長範囲において使用するという前提で成り立つものである。この点は、本願の明細書(特許掲載公報10欄16行〜8行)の、「上記各実施例1乃至実施例5は夫々第1図乃至第5図に示すもので、いずれも250nmで±20nmの波長範囲で色収差が補正されている。」という記載から明らかである。
　一方、先願発明は、「第1図に示す対物レンズの間隙d7の幅をd7=0.18mmに一定に保って、波長WL=302nmで、より鮮鋭で回折を制限された焦点が得られる。その他の波長、特に紫外線波長であるWL=237.8nm及びWL=248.2nmに対しては、開口誤差が最適に補正されないために、焦点は著しく大きく広がつている。このことは、第13図で、明確に認められる。これに対し、第9図に示した関係に基づいて間隙d7の幅を所望の波長、たとえば、WL=237.8nm又はWL=248.2nmに合わせて調整すると、それらの波長でも、ウェハ構造などの高分解能の測定を可能にする回折を制限された焦点が得られるのである。そこで、対物レンズには、自体公知の方法により対物レンズの2つの部分a及びbを互いに摺動させて所望の波長に対する調整を行うための補正用マウントが設けられている。補正用マウントの調整リングに波長目盛を付けると好都合である。」(「《3-3》先願発明(6)」参照)というものであり、使用波長が302nmから248.2nmに変化したときに、対物レンズの2つの部分a及びbを互いに摺動させるのである。したがって、先願発明は、本願発明と同一の条件である±20nmの波長変化があったときには、必ずしも対物レンズの2つの部分a及びbを互いに摺動させずとも、所望の性能を発揮することが当業者に明らかである。
　したがって、前記記載上の相違は、両者の構成についての技術上の相違とは認められず、両者の発明は同一である。
　また、本件発明の発明者が上記先願の明細書に記載された発明の発明者と同一であるとも、また、本願の出願の時に、その出願人が上記先願の出願の出願人と同一であるとも認められない。
　よって、本願発明は、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものである。
　
《3-6》むすび
　以上のとおり、本件の請求項1に係る発明は、特許法第29条の2の規定により特許を受けることができないものに対して特許されたものである。
　従って、本件の請求項1に係る発明の特許は特許法等の一部を改正する法律(平成6年法律第116号)附則第14条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令(平成7年政令第205号)第4条第2項の規定により取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年２月２７日（２００２．２．２７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のＡ〜Ｃのとおりである。
訂正事項Ａ：
　特許請求の範囲の請求項１中の「よりなる対物レンズ。」を、『よりなり、前記第１群、第２群及び第３群が常時固定の対物レンズ。』と訂正する。
訂正事項Ｂ：
　特許請求の範囲の請求項２を、
『物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカスレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第１群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第２群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第３群とよりなり、３００ｎｍで光学材料厚が５ｍｍとした時５０％以上の内部透過率を持つ光学材料のみを有し、第２群の正レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第２群の負レンズは石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、前記第１群、前記第２群、前記第３群の焦点距離をｆＩ、ｆＩＩ、ｆＩＩＩとし、全系の焦点距離をｆとする時、次の条件（１）、（２）、（３）満足する対物レンズ。
（１）０．５≦ｆＩ／ｆ≦３
（２）３≦ｆＩＩ／ｆ≦６．８
（３）‐ｆＩＩＩ／ｆ≧７』
と訂正する。
訂正事項Ｃ：
　特許掲載公報第３欄第２０行乃至第３３行の記載を、『本発明の対物レンズは、物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第１群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第２群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第３群とから構成されるレンズ系で光学材料厚５ｍｍの時の内部透過率が波長３００ｎｍで５０％以上の透過率を持つ光学材料のみからなることを特徴とするものである。
　更に本発明の対物レンズは、第２群の正レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第２群の負レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなることを特徴とする。
　ここで、本発明の対物レンズは、第１群、第２群及び第３群が常時固定になっている。
　あるいは、本発明の対物レンズは、前記第１群、前記第２群、前記第３群の焦点距離をｆＩ、ｆＩＩ、ｆＩＩＩとし、全系の焦点距離をｆとする時、次の条件（１）、（２）、（３）を満足する。
（１）０．５≦ｆＩ／ｆ≦３
（２）３≦ｆＩＩ／ｆ≦６．８
（３）‐ｆＩＩＩ／ｆ≧７』と訂正する。
（５４）【発明の名称】
対物レンズ
（５７）【特許請求の範囲】
（１）　物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカスレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第１群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第２群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第３群とよりなり、３００ｎｍで光学材料厚が５ｍｍとした時５０％以上の内部透過率を持つ光学材料のみを有し、第２群の正レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第２群の負レンズは石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムより
なり、前記第１群、第２群及び第３群が常時固定の対
（２）　
物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカスレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第１群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第２群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第３群とよりなり、３００ｎｍで光学材料厚が５ｍｍとした時５０％以上の内部透過率を持つ光学材料のみを有し、第２群の正レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第２群の負レンズは石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、
る対
（１）０．５≦ｆＩ／ｆ≦３
（２）３≦ｆＩＩ／ｆ≦６．８
（３）−ｆＩＩＩ／ｆ≧７
【発明の詳細な説明】
　［産業上の利用分野］
　本発明は、波長２５０ｎｍ付近の近紫外域の光を使った対物レンズに関するものである。
　［従来の技術］
　波長２５０ｎｍ付近の近紫外域の光を使った対物レンズは、高解像結像レンズ、紫外域における生体の研究、レーザーの研究応用等に用いられる。このような用途には、反射対物レンズも多く用いられているが、高解像が要求される紫外域での生体研究や、レーザーの研究等においては、屈折系の方が有利である。屈折系の紫外線対物レンズは、ＪＯＳＡ３８巻６８９頁に記載されている。この対物レンズは、高倍率で、グリセリン油浸ならびに高ＮＡで球面収差が良好に補正されている。
　また特開平１−３１９７１９号、特開平１−３１９７２０号公報に記載されている紫外線対物レンズは、低倍率，低ＮＡではあるが少ないレンズ枚数で球面収差が比較的良好に補正されている。
　［発明が解決しようとする課題］
　前記のＪＯＳＡに記載されている対物レンズは、像面湾曲が大きく、有効視野が極めて小さく、またグリセリン油浸のために半導体分野やレーザーの応用には使用できない。
　又前記両公開公報に記載された対物レンズは、構成枚数が少ないために低倍率，低ＮＡであるにもかかわらず色収差，像面湾曲が十分に補正されていない。
　本発明は、２５０ｎｍ付近の波長で色収差が良好に補正され視野周辺まで性能劣化の少ない屈折系の高解像対物レンズを提供することを目的とするものである。
　［課題を解決するための手段］
　本発明の対物レンズは、物体側から順に、物体側に強い凹面を向けたメニスカレンズと射出側に凸面を向けた正レンズからなる第１群と、少なくとも二つ以上の接合レンズからなる第２群と、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有する第３群とから構成されるレンズ系で光学材料厚５ｍｍの時の内部透過率が波長３００ｎｍで５０％以上の透過率を持つ光学材料のみからなることを特徴とするものである。
　更に本発明の対物レンズは、第２群の正レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなり、第２群の負レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの正レンズが石英材料よりなり、第３群の少なくとも一つの負レンズがフッ化カルシウム又はフッ化リチウムよりなることを特徴とする。
　
ここで、本発明の対物レンズは、第１群、第２群及び第３群が常時固定になっている。
あるいは、本発明の対物レンズは、前記第１群、前記第２群、前記第３群の焦点距離をｆＩ、ｆＩＩ、ｆＩＩＩとし、全系の焦点距離をｆとする時、次の条件（１）、（２）、（３）を満足する。
（１）０．５≦ｆＩ／ｆ≦３
（２）３≦ｆＩＩ／ｆ≦６．８
（３）−ｆＩＩＩ／ｆ≧７
　本発明のように波長２５０ｎｍ付近で使用する光学系では、光学材料の透過特性が大でなければならず、通常はフッ化カルシウム（ＣａＦ２）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、溶融石英（又は合成石英）程度に限られる。
　これらの材料は、いずれも上記波長域で１．４２〜１．５１の屈折率で、また分散も広い範囲に分布していない。そのために、像面平坦性が良く、前記の波長域の一定範囲で色収差が補正された高倍対物レンズを設計することは困難である。
　前記のような構成の本発明のレンズ系は、高倍，高開口数の対物レンズで上記の困難性を克服して数１０ｎｍの波長範囲にわたり高解像が得られるようにしたものである。
　本発明では、上記のように第１群の第１レンズを物体側に強い凹面を向けたメニスカスレンズにしたことにより高開口数に対しても球面収差の補正を可能にし更に広い視野にわたって像面平坦性とを確保するようにした。
　このレンズを接合レンズにすれば、軸上色収差および倍率色収差を一層良好に補正し得る。この場合物体側のレンズを石英系材料の負レンズにし、射出側のレンズをフッ化カルシウム又はフッ化リチウムの正レンズにすることが好ましい。又第１群の第２レンズに射出側に凸面を向けた正の屈折力のレンズを配置すれば、球面収差の補正にとって有効である。
　対物レンズの倍率が８０×〜１００×程度のときは、第１群を焦点距離ｆＩが次の条件（１）を満足することが望ましい。
　（１）　０．５≦ｆＩ／ｆ≦３
　ただしｆは全系の焦点距離である。
　この条件（１）の上限を越えると第２群のパワーが強くなり色収差の補正が困難になる。又条件（１）の下限を越えると第１群における球面収差の補正が充分でなく第２群以降での補正が困難になる。
　前記のように第２群は、少なくとも二つ以上の接合レンズからなるもので、特に色収差を重点的に補正する役割を担っている。又各接合レンズは、フッ化カルシウム又はフッ化リチウムからなる正レンズと、石英系材料からなる負レンズとの組合わせで構成されることが好ましい。又３枚接合レンズを用いれば少ないレンズ成分で色収差を補正するのに有効である。このようにレンズ成分を少なくすることは、上記波長域において広帯域の反射防止コートが使われない場合、レンズの空気接触面を減らし分光透過特性を向上させてフレア等の有害光を少しでも減少させ得るので有効である。
　対物レンズの倍率が８０×〜１００×程度であるときは、第２群の焦点距離ｆＩＩが次の条件（２）を満足することが望ましい。
　（２）　３≦ｆＩＩ／ｆ≦６．８
　条件（２）の上限を越えると、全系の倍率を確保する上で第１群のパワーが強くなり、球面収差および像面平坦性の補正が困難になり又下限を越えると色収差の補正が不可能になる。
　第３群は、第２群から比較的大きな空気間隔を持って配置され、接合負レンズを含み全体として負の屈折力を有している。このようにこの第３群に負のパワーを持たせることにより、高倍率でありながら一定の作動距離を保ち、又全系の球面収差，色収差，像面平坦性などの諸収差を補正するようにしている。この場合、接合レンズがメニスカス形状であれば全系の像面平坦性を確保する上で有利である。また第３群を構成する少なくとも一つの正レンズは石英レンズからなり、少なくとも一つの負レンズはフッ化カルシウム又はフッ化リチウムにて構成することが望ましい。これによって全系の倍率色収差の補正に効果的になる。
　対物レンズの倍率が８０×〜１００×程度の場合、第３群は、次の条件（３）を満足することが好ましい。
　（３）−ｆＩＩＩ／ｆ≧７
　ただしｆＩＩＩは第３群の焦点距離である。
　この条件（３）の下限を越えると各群のパワーが強くなり球面収差の補正が困難になり、製作上のエラーの効きが大きくなるため組立時に大きな問題になる。
　更に第２群と第３群との空気間隔Ｄが次の条件（４）を満足することが、少ないレンズで収差を良好に補正し得るので望ましい。
　（４）　Ｄ／ｆ≧４
　この条件（４）の下限を越えると特に倍率色収差と像面平坦性の補正が難しくなる。
　以上述べた本発明の対物レンズは使用波長が２５０ｎｍ付近と短いために、一般の可視光を利用した光学顕微鏡対物レンズと比較して同じＮＡながら約２倍強の分解能を持っている。また更に高い分解能が得られる高倍率，高ＮＡの紫外線対物レンズの走査用として用いることが出来る。又超ＬＳＩの研究，検査，測定への応用，染色体や生体組織の研究等幅広い分野への応用が考えられる。
尚２５０ｎｍ付近の光源として、エキシマレーザーＫｒＦ（２４９ｎｍ）、Ａｒ＋レーザーの２倍高調波（２５７ｎｍ）、ＹＡＧレーザーの４倍高調波（２６６ｎｍ）があり、これらレーザーの研究にも応用できる。又一般光源としては超高圧水銀灯（２５４ｎｍ）やキセノンランプ等の利用が可能である。
　［実施例］
　次に本発明の対物レンズの各実施例を示す。
実施例１
ｆ＝１，β＝−１００，ＮＡ＝０．８
　　　ｄ０＝０．０６３
ｒ１＝−０．６０４
　　　ｄ１＝０．２４８　　　石英
ｒ２＝∞
　　　ｄ２＝０．９５６　　　ＣａＦ２
ｒ３＝−０．８０２
　　　ｄ３＝０．０３０
ｒ４＝−１４．０５
　　　ｄ４＝０．９５２　　　ＣａＦ２
ｒ５＝−１．７１
　　　ｄ５＝０．０４２
ｒ６＝９１．４
　　　ｄ６＝０．３１６　　　石英
ｒ７＝１．８４
　　　ｄ７＝１．３３　　　　ＣａＦ２
ｒ８＝−３．６８
　　　ｄ８＝０．０４２
ｒ９＝９．０２
　　　ｄ９＝１．０３　　　　ＣａＦ２
ｒ１０＝−２．３８
　　　ｄ１０＝０．３３３　　石英
ｒ１１＝２．４４
　　　ｄ１１＝０．９１４　　ＣａＦ２
ｒ１２＝−１２．７
　　　ｄ１２＝０．０３０
ｒ１３＝７．０３
　　　ｄ１３＝０．３４５　　石英
ｒ１４＝１．７０
　　　ｄ１４＝１．５６　　　ＣａＦ２
ｒ１５＝−２．０２
　　　ｄ１５＝０．６９９　　石英
ｒ１６＝９．００
　　　ｄ１６＝１３．４
ｒ１７＝−２．６５
　　　ｄ１７＝１．４３　　　ＣａＦ２
ｒ１８＝７．９７
　　　ｄ１８＝１．３８　　　石英
ｒ１９＝−３．１６
　　　ｄ１９＝０．３５８　　ＣａＦ２
ｒ２０＝−５．３８
　　　ｆＩ＝１．８９，ｆＩＩ＝５．９１，ｆＩＩＩ＝−２８．７
　　　　　　　Ｄ＝１３．４（＝ｄ１６）
実施例２
ｆ＝１，β＝−８０，ＮＡ＝０．８０
　　　ｄ０＝０．０５３
ｒ１＝−０．５４４
　　　ｄ１＝０．３１５　　　石英
ｒ２＝−５．６２
　　　ｄ２＝０．５８９　　　ＣａＦ２
ｒ３＝−０．６０５
　　　ｄ３＝０．０２６
ｒ４＝−６．１４
　　　ｄ４＝０．２０３　　　石英
ｒ５＝８．２１
　　　ｄ５＝０．９３４　　　ＣａＦ２
ｒ６＝−１．３２
　　　ｄ６＝０．１２５
ｒ７＝１７９
　　　ｄ７＝１．１８　　　　ＣａＦ２
ｒ８＝−１．２３
　　　ｄ８＝０．３８７　　　石英
ｒ９＝２．４３
　　　ｄ９＝１．０４　　　　ＣａＦ２
ｒ１０＝−４．１６
　　　ｄ１０＝０．０７４
ｒ１１＝９．２２
　　　ｄ１１＝１．１６　　　ＣａＦ２
ｒ１２＝−２．０７
　　　ｄ１２＝０．２６１　　石英
ｒ１３＝２．１４
　　　ｄ１３＝１．０３　　　ＣａＦ２
ｒ１４＝−９．３１
　　　ｄ１４＝８．３０
ｒ１５＝４．５０
　　　ｄ１５＝１．９８　　　石英
ｒ１６＝−２．０６
　　　ｄ１６＝０．６００　　ＣａＦ２
ｒ１７＝２．３６
　　　ｆＩ＝１．５２，ｆＩＩ＝７．６９，ｆＩＩＩ＝−３４．６
　　　　　　　Ｄ＝８．３（＝ｄ１４）
実施例３
ｆ＝１，β＝−８０，ＮＡ＝０．８０
　　　ｄ０＝０．０６３
ｒ１＝−０．５７３
　　　ｄ１＝１．２１　　　　石英
ｒ２＝−０．９２７
　　　ｄ２＝０．０３５
ｒ３＝−４３．２
　　　ｄ３＝１．００　　　　ＣａＦ２
ｒ４＝−１．７６
　　　ｄ４＝０．０３５
ｒ５＝−８．２８
　　　ｄ５＝０．３５０　　　石英
ｒ６＝２．４９
　　　ｄ６＝１．２２　　　　ＣａＦ２
ｒ７＝−２．９２
　　　ｄ７＝０．０６０
ｒ８＝１３．９
　　　ｄ８＝１．１６　　　　ＣａＦ２
ｒ９＝−１．８４
　　　ｄ９＝０．２４４　　　石英
ｒ１０＝２．４３
　　　ｄ１０＝０．９７７　　ＣａＦ２
ｒ１１＝７．０１
　　　ｄ１１＝０．０４６
ｒ１２＝７．００
　　　ｄ１２＝０．２７９　　石英
ｒ１３＝２．０２
　　　ｄ１３＝１．４８　　　ＣａＦ２
ｒ１４＝−２．４４
　　　ｄ１４＝０．３６０　　石英
ｒ１５＝１７．８
　　　ｄ１５＝１０．７
ｒ１６＝−２．０３
　　　ｄ１６＝０．３８３　　ＣａＦ２
ｒ１７＝２．６４
　　　ｄ１７＝１．５８　　　石英
ｒ１８＝−１．７８
　　　ｄ１８＝０．４４２　　ＣａＦ２
ｒ１９＝−５．２０
　　　ｆＩ＝２．０８，ｆＩＩ＝５．７７，ｆＩＩＩ＝−１５．４
　　　　　　　Ｄ＝１０．７（＝ｄ１５）
実施例４
ｆ＝１，β＝−１００，ＮＡ＝０．８０
　　　ｄ０＝０．０６７
ｒ１＝−０．７０７
　　　ｄ１＝０．２４２　　　石英
ｒ２＝１．３２
　　　ｄ２＝０．９７７　　　ＣａＦ２
ｒ３＝−０．８６３
　　　ｄ３＝０．０３１
ｒ４＝−３６．９
　　　ｄ４＝０．９９０　　　ＣａＦ２
ｒ５＝−１．７６
　　　ｄ５＝０．０４４
ｒ６＝２３．３
　　　ｄ６＝０．３２９　　　石英
ｒ７＝２．１０
　　　ｄ７＝１．４３　　　　ＣａＦ２
ｒ８＝−３．６５
　　　ｄ８＝０．０４３
ｒ９＝−１１．４
　　　ｄ９＝０．３３１　　　石英
ｒ１０＝２．１４
　　　ｄ１０＝１．３６　　　ＣａＦ２
ｒ１１＝−７．４７
　　　ｄ１１＝０．０６５
ｒ１２＝−１４０
　　　ｄ１２＝０．３６９　　石英
ｒ１３＝２．１０
　　　ｄ１３＝１．１０　　　ＣａＦ２
ｒ１４＝−１１．９
　　　ｄ１４＝０．０８７
ｒ１５＝８．０１
　　　ｄ１５＝１．３２　　　ＣａＦ２
ｒ１６＝−２．１９
　　　ｄ１６＝１．２２　　　石英
ｒ１７＝１５．０
　　　ｄ１７＝１４．１
ｒ１８＝−２．９１
　　　ｄ１８＝１．０２　　　ＣａＦ２
ｒ１９＝４．７１
　　　ｄ１９＝１．４１　　　石英
ｒ２０＝−２．４８
　　　ｄ２０＝０．３４８　　ＣａＦ２
ｒ２１＝−７．２２
　　　ｆＩ＝１．９５，ｆＩＩ＝６．５１，ｆＩＩＩ＝−２１．０
　　　　　　　Ｄ＝１４．１（＝ｄ１７）
実施例５
ｆ＝１，β＝−１００，ＮＡ＝０．８
　　　ｄ０＝０．０６８
ｒ１＝−０．６２８
　　　ｄ１＝０．２６４　　　石英
ｒ２＝∞
　　　ｄ２＝０．９６９　　　ＣａＦ２
ｒ３＝−０．８３１
　　　ｄ３＝０．０２９
ｒ４＝−１３．３
　　　ｄ４＝０．９５３　　　ＣａＦ２
ｒ５＝−１．７１
　　　ｄ５＝０．０４２
ｒ６＝∞
　　　ｄ６＝０．３１６　　　石英
ｒ７＝１．８７
　　　ｄ７＝１．２７　　　　ＣａＦ２
ｒ８＝−３．６０
　　　ｄ８＝０．０４２
ｒ９＝９．１８
　　　ｄ９＝０．９９９　　　ＣａＦ２
ｒ１０＝−２．３５
　　　ｄ１０＝０．３３３　　石英
ｒ１１＝２．２５
　　　ｄ１１＝０．９０７　　ＣａＦ２
ｒ１２＝−１１．９
　　　ｄ１２＝０．０３０
ｒ１３＝７．０６
　　　ｄ１３＝０．３３９
ｒ１４＝１．７５
　　　ｄ１４＝１．５５　　　ＣａＦ２
ｒ５＝−２．２１
　　　ｄ１５＝０．７０６　　石英
ｒ１６＝８．７６
　　　ｄ１６＝１０．０
ｒ１７＝８．０３
　　　ｄ１７＝１．０６　　　石英
ｒ１８＝−３４．４
　　　ｄ１８＝０．５８３　　ＣａＦ２
ｒ１９＝５．５５
　　　ｄ１９＝２．１８
ｒ２０＝−２．１５
　　　ｄ２０＝１．４８　　　ＣａＦ２
ｒ２１＝１０．４
　　　ｄ２１＝１．３８　　　石英
ｒ２２＝−３．８７
　　　ｆＩ＝１．９３，ｆＩＩ＝５．９５，ｆＩＩＩ＝−２７．１
　　　　　　　Ｄ＝１０（＝ｄ１６）
　ただしｒ１，ｒ２，…はレンズ各面の焦点距離、ｄ１，ｄ２，…は各レンズの肉厚およびレンズ間隔である。
　上記各実施例１乃至実施例５は夫々第１図乃至第５図に示すもので、いずれも２５０ｎｍで±２０ｎｍの波長範囲で色収差が補正されている。
これら実施例１〜５の収差状況は、夫々第６図乃至第１０図に示す通りである。
［発明の効果］
　本発明の対物レンズは、３００ｎｍ以下の波長域で使用可能な高倍，高ＮＡで像面平坦性が良好に補正されたものでかつ一定の波長範囲で色収差が良好に補正された高解像紫外線用の対物レンズとして好適である。
【図面の簡単な説明】
　第１図乃至第５図は夫々実施例１乃至実施例５の断面図、第６図乃至第１０図は夫々実施例１乃至実施例５の収差曲線図である。