【事件の表示】
　特許第３０１４４９９号「位置情報検出装置およびそれを用いた転写装置」の請求項１ないし１１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０１４４９９号の請求項１〜４に係る特許を取り消す。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本件特許第３０１４４９９号の請求項１乃至１１に係る発明についての出願は、平成３年７月５日（優先権主張日　平成２年７月９日）に特許出願され、平成１１年１２月１７日に設定登録され、その後、株式会社　ニコンより請求項１乃至請求項１１に係る特許に対して特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされたところ、その指定期間内である平成１３年６月１１日に訂正請求がなされたものである。
【２】訂正の適否
　１．訂正事項
ａ１．特許請求の範囲の請求項１における
「【請求項１】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転検出を行なう様に切り替えることを特徴とする位置情報検出装置。」を、
「【請求項１】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする位置情報検出装置。」
と訂正する。
ａ２．請求項２〜４項、７〜８項、１０〜１１項を削除する。
ａ３．特許請求の範囲の請求項５における
「【請求項５】前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの位置情報検出装置。」を、
「【請求項２】前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することを特徴とする請求項１に記載の位置情報検出装置。」と訂正する。
ａ４．特許請求の範囲の請求項６における
「【請求項６】　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転検出を行なう様に切り替えることを特徴とする転写装置。」を、
「【請求項３】　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする転写装置。」と訂正する。
ａ5．特許請求の範囲の請求項９における
  「【請求項９】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転検出を行なう様に切り替えることを特徴とする位置情報検出装置。」を、
「【請求項４】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする位置情報検出装置。」
ｂ．特許明細書の段落番号【０００７】〜【０００９】の記載を、次のように訂正する。
「【０００７】
【問題を解決するための手段】
　前記課題を解決するために、本発明の被測定物体の位置情報を検出する装置は、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一及び第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿ってい移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　ここで、前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することが出来る。
　【０００８】
　また、本発明の原版のパターンを感光体に転写するための装置は、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには、前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　【０００９】
　更に、本発明の被測定物体の位置情報を検出する装置は、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行う様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。」
　２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正ａ１について
　訂正ａ１は「被測定物体の回転検出を行なう様に切り替える」を「被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行う」とするものであるが、本件特許発明の位置情報検出装置において、回転情報の検出が、被測定物体の回転方向の制御を前提として行うものであることは明らかである以上、訂正ａ1は本件特許発明が前提としている構成を明示して限定したものと解され、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　また、訂正ａ１は訂正前の明細書に記載された事項に基づくものであり、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
（２）訂正ａ２について
　訂正ａ２は特許請求の範囲を削除する訂正であり、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　また、この訂正ａ２は特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
（３）訂正ａ３について
　訂正ａ３は、請求項１乃至３の従属請求項として記載されていたものを、上記訂正ａ２により引用する請求項が変更されたことに伴う訂正であり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。
　そして、訂正ａ３は訂正前の明細書に記載された事項に基づくものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
（４）訂正ａ4について
　訂正ａ4は「被測定物体の回転検出を行なう様に切り替える」を「被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行う」と限定するものであり、上記訂正ａ1についての項で述べたことと同様の理由により、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　また、この訂正ａ4は訂正前の明細書に記載された事項に基づくものであり、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
（５）訂正ａ5について、
　訂正ａ5は「被測定物体の回転検出を行なう様に切り替える」を「被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行う」と限定するものであり、上記訂正ａ1についての項で述べたことと同様の理由により、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　また、この訂正ａ5は訂正前の明細書に記載された事項に基づくものであり、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
（５）訂正ｂについて、
　訂正ｂは、誤記の訂正、あるいは上記訂正ａ１〜ａ5に合わせて発明の詳細な説明の対応箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。そして、訂正事項ｂは訂正前の明細書又は図面に記載された事項に基づくものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
　３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正（訂正ａ1〜ａ5、ｂ）は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
【３】特許異議の申立てについての判断（取消理由についての判断）
　１．本件特許発明
　訂正後の請求項１乃至４に係る発明は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、訂正された特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された次のとおりのものである。
　【請求項１】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする位置情報検出装置。
【請求項２】前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することを特徴とする請求項１に記載の位置情報検出装置。
【請求項３】　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする転写装置。
【請求項４】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする位置情報検出装置（以下、それぞれ、「本件特許発明１」、「本件特許発明２」、「本件特許発明３」、「本件特許発明４」という。）。
２．引用刊行物
　当審が通知した取消理由に引用した実願昭５７-１９２８８１号（実開昭５９-９８４４６号）のマイクロフィルム（以下、「引用例」と言う）は、原画面の回路パターンをウエハまたはマスクに縮小転写するための縮小投影露光装置に関するものであり、図面と共に以下の記載がある。
（１）「本考案は原画面の回路パターンをウエハまたはマスクに縮小転写するための縮小投影露光装置に関し、特にウエハ移動台の位置制御に関する。」（公報１頁下から３行〜末行）、
（２）「本考案の目的は、前記形状精度のうち平面度を自身で測定しうる機能を付加することにより、座標系の自己補正機能、自己監視機能を得んとするものである。
　本考案のもう１つの目的は、ウエハ移動台及び直角ミラーの回転方向の姿勢変化（以下ヨーと記す）を制御し、配列精度を向上し重ね合せ精度を向上することにある。」（２頁１３行〜末行）、
（３）「［考案の概要］
　本考案においては、Ｘ，Ｙ各軸方向移動量計測兼制御用測長計に平行に各々参照用測長計を設け、各軸の計測用及び参照用両測長計間の差分変動が直角ミラーの形状精度を反映すると考え、実装時における前記差分データをもとに理想座標に対する誤差を装置定数として中央処理装置に登録し、実露光時の停止目標座標を補正する。また装置定数としての前記差分データを実露光時の差分信号と比較せしめることにより自己監視機能を獲得し、必要に応じて前記装置定数を改定し得る。
［考案の実施例］
　以下本考案の実施例を第１〜３図により説明する。第１図において移動台１は内蔵されたＸ，Ｙ方向の各々の案内面（図示せず）に沿って移動可能であり、送りネジ機構２を介したサーボモータ３の回転駆動によりＸ，Ｙ方向に独立してステップ送りされる。移動台１の最上部にはウエハ４が吸着され、また直角ミラー５が固定されている。
直角ミラー５は、レーザ発振器６，ビームスプリッタ７ａ，７ｂ、干渉計８ａ，８ｂ、レシーバ９ａ〜９ｄによりレーザ干渉測長計を構成し、原点センサ（図示せず）をよぎる位置を基準とする移動台１の移動量に対応するディジタル信号をパルス変換器１０ａ，１０ｂに出力する。切換器１１を経て送られた前記信号は現在位置信号を意味し、中央処理装置１２よりインタフェース１３を経て送られる目標位置信号と比較され、減算器１４により差分信号に変換され、Ｄ／Ａ変換器１５、増幅器１６を経て前記サーボモータ３に印加され、移動台１を移動せしめることにより前記差分信号が小となって系が平衡状態に至ったのち、露光動作に移る。
　次に直角ミラー５の形状精度を知るために、例えばＹ方向を定位置に制御しつつ、Ｘ軸をステップ送りする場合について第２図により説明する。
ここで単純化のために第１図に示せる各１対のレーザビームを平均値として近似し得る中心の１本の光軸に置換する。制御用光軸ＹＭと参照用光軸ＹＲとのビーム間隔ＬＹを計測すべき直角ミラー５の表面曲率に対し十分小に設定し、同様に小なるピッチ間隔ＰＸで移動台１及び直角ミラー５を（光軸ＹＭの測長値を一定に制御しつつ）ステップ送りする時、移動平面内における姿勢変化を生じない場合は、（ｉ-１）番目のステップにおける光軸をＹＭ、ＹＲ、両測長値の差分をΔＹＭｉ、又ｉ番目のステップにおける光軸をＹＭ´、ＹＲ´、（ｉ-１）番目の状態より見たｉ番目における光軸ＹＭにおける形状変化予想値をΔＹｉとすると、
ΔＹｉ≒Ｐｘ・ΔθＩ≒Ｐｘ・ΔＹＭｉ/ＬＹ・・・マル１
Ｘ方向をパラメータとするＹ方向の形状誤差は累積されるため、Ｘ座標ＸＭｉ（＝Ｐｘ´ｉ）におけるＹ方向形状誤差ΔＹｉは、
ΔＹｉ＝ΣΔＹｉ・・・・・・・・・マル２
一般にヨーを伴って移動するため、制御用光軸ＸＭと参照用光軸ＸＲとの測長値の差分ΔＸｍｉと両者のビーム間隔Ｌｘからヨー成分を測定しマル１式を補正する。
Δθｙａｗｉ≒ΔＸｍｉ/Ｌｘ・・・・・マル３
ΔＹｉ≒Ｐｘ・（Δθｉ−Δθｙａｗｉ）≒Ｐｘ・（ΔＹＭｉ/ＬＹ−ΔＸＭｉ/Ｌｘ）・・・マル１´
　以上の方法により一軸移動制御と他軸の差分測長及びヨー測長とを、切換器１１による切換と処理装置１２における演算の繰り返しにより実行し、移動台１の移動範囲をカバーすべきｉ＝０〜ｎの範囲について、Ｘ座標ＸＭｉに対するＹ座標補正値ΔＹｉ、Ｙ座標ＹＭｉに対するＸ座標補正値ΔＸｉを収集し、処理装置１２の記憶部に装置定数として登録する。
　次に実露光時においては、露光されるべきデバイスのパラメータ即ちＸ、Ｙ方向デバイスサイズ、配列ピッチ、マトリックス等を基に処理装置１２において演算される移動台１の停止目標座標に対し、前記装置定数により補正を行ない、補正後の目標位置信号を前記減算器１４に発行し、停止位置制御を行なう。」（３頁１行〜６頁下から２行）、
（４）「なお、上記実施例においては、移動制御用測長信号と差分測長用参照信号を切換器１１により切換えて取込むこととしたが、別チャネルで常時接続することにより装置定数と比較して異常監視を行わしむることも可能である。この場合において、異常がない場合は差分データがヨー値を反映するため、ヨー補正手段を別途設けるならば、ヨーに起因するチップ回転の少ない配列を得ることができる。」（６頁末行〜７頁８行）
　以上の記載を図面と併せ勘案すると、引用例には次の発明が記載されていることになる。
（引用例に記載された発明１）
　ウエハ移動台１上の直角ミラー５の位置情報を検出する装置で、ウエハ移動台１上の直角ミラー５の対向する第一部所のＸ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）と、前記ウエハ移動台１上の対向する第二部所の前記Ｘ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）と、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５の対向する第三部所の前記Ｘ方向と交差するＹ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）と、ウエハ移動台１上の直角ミラー５の対向する第四部所の前記Ｙ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）と、前記４つのレーザ干渉測長計の検出に基づいて位置情報を検出するパルス変換器、切換器及び中央処理装置１２とを有し、前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２は、前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）、レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の少なくとも一方の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のＸ方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）、（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の少なくとも一方の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のＹ方向に沿った位置情報を検出するとともに、前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）又は前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、且つ前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２は、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５がＸ方向に沿って移動するときには前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５がＹ方向に沿って移動するときには前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、前記検出したヨー成分に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５の回転方向の制御を行うようにした位置制御装置（以下、「引用例に記載された発明１」という。）。
　また、引用例のものは、「原画面の回路パターンをウエハまたはマスクに縮小転写するための縮小投影露光装置」である以上、そのための縮小投影露光手段を備えているものと解される。
　次に、引用例中の「直角ミラー５は、レーザ発振器６，ビームスプリッタ７ａ，７ｂ、干渉計８ａ，８ｂ、レシーバ９ａ〜９ｄによりレーザ干渉測長計を構成し、原点センサ（図示せず）をよぎる位置を基準とする移動台１の移動量に対応するディジタル信号をパルス変換器１０ａ，１０ｂに出力する。」との記載から、移動台１は原点センサを基準として位置を計測していると解され、一方、原画面は固定されている以上、原点センサとは一定の位置関係にあるのであるから、結局、引用例における移動台１、直角ミラー５は原点センサと組み合わせて原画面とウエハとの位置合わせのための基準手段として機能すると言うことができる。
　そして、ウエハ上には感光体を備えていることを併せ勘案すると、引用例には次の発明が記載されていることになる。
（引用例に記載された発明２）
　　原画面のパターンを感光体に転写するための装置で、原画面のパターンを感光体に転写するための縮小投影露光手段と、原画面と感光体の位置合わせのための基準を与える移動台１上の直角ミラー５と、前記移動台１上の直角ミラー５上の対向する第一部所のＸ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）と、前記移動台１上の直角ミラー５上の対向する第二部所の前記Ｘ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）と、前記移動台１上の直角ミラー５上の対向する第三部所の、前記Ｘ方向と交差するＹ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）と、前記移動台１上の直角ミラー５で対向する第四部所の前記Ｙ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）と、前記４つのレーザ干渉測長計の検出に基づいて位置情報検出を行なうパルス変換器、切換器及び中央処理装置１２と、前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２の検出に基づいて前記原画面と感光体の位置合わせのための駆動を行なうサーボモータ３と、を有し、前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２は、前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）、レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の少なくとも一方の検出に基づいて前記移動台１上の直角ミラー５の前記Ｘ方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）、レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の少なくとも一方の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のＹ方向に沿った位置情報を検出するとともに、前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）又は前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、且つ前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２は、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５がＸ方向に沿って移動するときには前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５がＹ方向に沿って移動するときには前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、前記検出したヨー成分に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５の回転方向の制御を行うようにした転写装置（以下、「引用例に記載された発明２」という。）。
　また、引用例には次の発明が記載されている。
（引用例に記載された発明３）
　ウエハ移動台１上の直角ミラー５の位置情報を検出する装置で、ウエハ移動台１上の直角ミラー５の第一面上の対向する部所の、Ｘ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）と、前記第一面上の対向する部所からＸ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）と、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５の第一面と異なる第二面上の対向する部所の前記Ｘ方向と交差するＹ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）と、前記第二面上の対向する部所から前記Ｙ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）と、パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２とを有し、前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２は、前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５の前記Ｘ方向に沿った位置情報を検出し、前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の検出に基づいて前記第一面のヨー成分の検出を行ない、且つレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記第二面のヨー成分の検出を行ない、且つ前記パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２は、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５が前記Ｘ方向に沿って移動するときには前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５がＹ方向に沿って移動するときには前記レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行ない、前記検出したヨー成分に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５の回転方向の制御を行うようにした位置制御装置（以下、「引用例に記載された発明３」という。）。
　
【４】対比
　本件特許発明１について、
　そこで、本件特許発明１と引用例に記載された発明１とを対比すると、引用例に記載された発明１における、
「ウエハ移動台１上の直角ミラー５」、「Ｘ方向」、「Ｙ方向」、「レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）」、「レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）」、「レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）」、「レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）」、「パルス変換器、切換器及び中央処理装置１２」、「ヨー成分」、「位置制御装置」は、それぞれ、本件特許発明１における、
「被測定物体」、「第一の方向」、「第二の方向」、「第一検出手段」、「第二検出手段」、「第三検出手段」、「第四検出手段」、「位置情報検出手段」、「回転情報」、「位置情報検出装置」に相当するから、本件特許発明１と引用例に記載された発明とは
　　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うようにした位置情報検出装置、
で一致し、次の点で相違する。
（相違点１）
１．本件特許発明１では、位置情報検出手段は、被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に「切り替え」る構成を有しているに対し、引用例に記載された発明では、被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なうものの、「切り替える」構成を備えていない点。
【５】当審の判断
　そこで、上記相違点１につき、以下に検討する。
　本件特許発明において何を「切り替える」のか、必ずしも明りょうではないが、位置情報検出手段が被測定物体の回転情報の検出も行うことから、位置情報検出手段中には演算手段が含まれることと解される。
　そうすると、位置情報検出手段が「被測定物体が 前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え」ることの中には、被測定物体の移動方向にしたがって回転情報の検出、すなわち演算部での演算を順次切り替えて行うことも含まれることになるが、被測定物体の移動方向に応じて、それぞれの方向のずれ量を順次演算部で演算することは周知であり（例えば、特開昭６０−８８３４２号公報参照）、そのことは、言い換えれば演算部をそれぞれの方向のずれ量の演算に応じて切り替えて使用することであるから、結局、それぞれの方向の回転情報を切り替えて検出することは、引用例の発明を実施する際、当業者が容易に採用し得る設計的事項の範囲を越えるものではない。
　そして、本件特許発明１の効果も、引用例及び周知事項から当業者が予測し得る範囲のものに過ぎない。
本件特許発明２について、
　引用例に記載された発明１において、第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザ干渉測長計、すなわちレーザー干渉計で構成されており、この点に本件特許発明２と引用例に記載された発明１との間に差異はなく、本件特許発明２に対する判断は本件特許発明１に対する判断と同様である。
本件特許発明３について、
　本件特許発明３と引用例に記載された発明２とを対比すると、引用例に記載された発明２における、
「原画面」、「縮小投影露光手段」、「移動台１上の直角ミラー５」、「サーボモータ３」は、それぞれ本件特許発明３における
「原版」、「転写手段」、「基準手段」、「駆動手段」
に相当し、両者は、
　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うようにした転写装置、
で一致し、上記【４】対比での（相違点１）と同じ点で相違するが、該相違点１に対する判断は、【５】当審の判断で述べた通りである。
そして、本件特許発明３の効果も、引用例及び周知事項から当業者が予測し得る範囲のものに過ぎない。
本件特許発明４について、
　本件特許発明４と引用例に記載された発明３とを比較すると、
・本件特許発明４における「第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段」も、引用例に記載された発明３における「移動台上の直角ミラー５上の対向する部所の前記Ｘ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）」も共に「第一面上の対向する部所から第一面に関連した情報を検出する第二検出手段」であり、同様に本件特許発明４における「第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段」も、引用例に記載された発明３における「移動台上の直角ミラー５上の対向する部所の前記Ｙ方向に沿った位置情報を検出するレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｂ）」も共に「第二面上の対向する部所から第二面に関連した情報を検出する第四検出手段」である。
・本件特許発明４における「第二検出手段に基づいて第一面の回転情報の検出を行な」うことも、引用例に記載された発明３における「レーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｃ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、８ｂ、９ｄ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行な」うことも共に「検出手段の検出に基づいて回転情報の検出を行な」うことである。
・本件特許発明４における「第四検出手段に基づいて第二面の回転情報の検出を行な」うことも、引用例に記載された発明３における「レーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ａ）及びレーザ干渉測長計（６、７ａ、７ｂ、８ａ、９ｂ）の検出に基づいて前記ウエハ移動台１上の直角ミラー５のヨー成分の検出を行な」うことも共に「検出手段の検出に基づいて回転情報の検出を行な」うことである。
　以上のことを勘案すると、両者は、
　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、第一面上の対向部所から第一面に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、第二面上の対向部所から第二面に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うようにした位置情報検出装置、
で一致し次の点で相違する。
上記相違点１、及び、
（相違点２）
　本件特許発明４では、角度に関連した情報を検出する第二検出手段を第一面上の対向部所に設け、同じく角度に関連した情報を検出する第四検出手段を第二面上の対向部所に設け、少なくとも第二検出手段の検出に基づいて第一面の回転情報を検出し、また、少なくとも第四検出手段の検出に基づいて第二面の回転情報を検出しているに対し、引用例に記載された発明３では、第一面上の対向部所に設けた位置情報を検出する２つの検出手段、及び第二面上の対向部所に設けた位置情報を検出する２つの検出手段の検出に基づいて回転情報を検出している点。
相違点１に対する判断は、【５】当審の判断に記載したとおりである。
（相違点２に対する判断）
　半導体集積回路の製造技術分野において、ウエハの回転角をレーザ干渉測長機により測定する代わりに、回転角測定用の検出手段を設けて測定することは周知である（例えば、特開昭６３−７８０１５号公報参照）から、引用例に記載された発明３において、被測定物体の回転情報の検出を２つの検出手段の検出に基づいて行う代わりに、そのうちのひとつを周知の回転角検出用の検出手段で置き換えて本件特許発明４の構成とすることは、当業者が容易に想到し得るところと認められる。
そして、本件特許発明４の効果も、引用例及び周知事項から当業者が予測し得る範囲のものに過ぎない。
　なお、特許権者は平成１３年６月１１日付意見書において、「一方、本件特許１、３及び４では、『被測定物体（基準手段）が第一の方向に沿って移動するときには第一の方向に沿って検出した位置情報に基づいて被測定物体（基準手段）の回転情報の検出を行ない、被測定物体（基準手段）が第二の方向に沿って移動するときには第二の方向に沿って検出した位置情報に基づいて被測定物体（基準手段）の回転情報の検出を行なう』こととなるのは、『検出した回転情報に基づいて前記被測定物体（基準手段）の回転方向の制御を行う』との要件により、被測定物体（基準手段）の制御時に特定されます。」と主張しているが、本件特許発明１〜４において、位置情報検出手段が回転情報の検出を行ないながら、検出した回転情報に基づいて被測定物体の回転方向の制御を行うのか、また、回転情報の検出を行なった後、回転方向の制御を行うのか、そのいずれであるのかを特定する何らの構成も記載されていない以上、本件特許発明１〜４には、位置情報検出手段が回転情報の検出を行った後、該回転情報に基づいて被測定物体の回転方向の制御を行う場合も含まれるものと解されるから、特許権者の上記主張は採用し得ない。
【６】むすび
　以上のとおりであるから、本件特許発明１〜４は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件特許発明１〜４についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年４月１８日（２００２．４．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　明細書（特許第３０１４４９９号明細書、以下同じ）を本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち特許請求の範囲の減縮を目的として下記のとおり、また、明瞭でない記載の釈明を目的として、下記のとおり訂正する。
訂正事項
ａ１．特許請求の範囲の請求項１における
「【請求項１】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転検出を行なう様に切り替えることを特徴とする位置情報検出装置。」を、
「【請求項１】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする位置情報検出装置。」
と訂正する。
ａ２．請求項２〜４項、７〜８項、１０〜１１項を削除する。
ａ３．特許請求の範囲の請求項５における
「【請求項５】前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの位置情報検出装置。」を、
「【請求項２】前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することを特徴とする請求項１に記載の位置情報検出装置。」と訂正する。
ａ４．特許請求の範囲の請求項６における
「【請求項６】　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転検出を行なう様に切り替えることを特徴とする転写装置。」を、
「【請求項３】　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする転写装置。」と訂正する。
ａ５．特許請求の範囲の請求項９における
「【請求項９】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転検出を行なう様に切り替えることを特徴とする位置情報検出装置。」を、
「【請求項４】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする位置情報検出装置。」
ｂ．特許明細書の段落番号【０００７】〜【０００９】の記載を、次のように訂正する。
「【０００７】
　【問題を解決するための手段】
　前記課題を解決するために、本発明の被測定物体の位置情報を検出する装置は、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一及び第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿ってい移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　ここで、前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することが出来る。
　【０００８】
　また、本発明の原版のパターンを感光体に転写するための装置は、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには、前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　【０００９】
　更に、本発明の被測定物体の位置情報を検出する装置は、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行う様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。」
（５４）【発明の名称】
位置情報検出装置およびそれを用いた転写装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転
情報の
、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行う
　【請求項２】　前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することを特徴とする請求項１
に記載
　【請求項３】　原版のパターンを感光体に転写するための装置で、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転
情報の
、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行う
　【請求項４】　被測定物体の位置情報を検出する装置で、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づい
て前
情報の
、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行う
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、位置情報検出装置およびそれを用いた転写装置に関する。本発明は、特に、半導体ウエハまたは液晶表示パネル等の平板状物体にパターンを形成するための露光装置等の転写装置、更に言うならば半導体メモリや演算装置等の高密度集積回路チップの製造の際に回路パターンの焼付を行なうべきウエハ等の被露光体の姿勢を適確に保持して高精度な露光を行なうことができる露光装置、およびその露光位置決めに好適に用いることが可能な位置情報検出装置に関する。
　【０００２】
　【従来技術】
　従来、ＸＹステージと称される装置の位置決めには、Ｘ，Ｙ軸に関し、それぞれの方向よりレーザー光を各々ステージの所定位置に入射し、反射光よりビーム入射位置のビーム入射方向に沿った位置変動情報を得て位置検出を行ない、この検出結果より位置決めを行なっていた。ヨーイング（回転）検出用としてステージの１軸（例えばＸ軸）側にもう１本レーザーを入射して二ケ所のビーム入射位置の１軸方向に沿った位置変動情報を得ていた。この１組（２本）のレーザー光より得られる２ケ所の位置変動値によってＸＹ平面移動時のヨーイング検出とそのヨーイングを補正する制御を行なっていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが、このようなＸＹ位置決め装置においては、測長ずる被測定面であるミラーの面精度の影響を受けるという問題があった。例えば、Ｘ方向から２本のレーザーをミラー面上の２ケ所に入射したと仮定した場合、ステージがＸ方向に移動する場合はこのミラー面上のビーム入射位置は変化しないので問題ないが、ステージがＹ方向に移動する際には、ミラー面内でレーザー光の当たる位置が例えばミラーの曲がりや面形状誤差等の影響を受けて変化するため、正しいヨーイングの計測や制御ができなかった。これを説明する。
　【０００４】
　例えばミラーに１ケ所面形状誤差がある場合、ステージのＹ方向移動の途中でＸ方向より入射するレーザー光の１本の入射位置がこの面形状誤差位置と一致した時には、このレーザー光の反射光からはＸ方向に位置変動があったという情報が得られてしまう。もう一本のレーザー光の反射光からは位置変動なしという情報が得られているとすると、ヨーイングが発生していないにもかかわらず、最終的にヨーイング発生と誤検知されてしまう。
　【０００５】
　本発明は上述従来例の欠点に鑑みてなされたものであり、ミラーの面形状精度の状態にかかわらずヨーイング誤検知を防止してより高精度な位置情報検出が可能な装置を提供することを第１の目的とする。
　【０００６】
　本発明の他の目的は後述する本発明の詳細な実施例の説明の中で明らかになっていくであろう。
　【０００７】
　【問題を解決するための手段】
　前記課題を解決するために、本発明の被測定物体の位置情報を検出する装置は、被測定物体上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記被測定物体上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記被測定物体上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報を検出する位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記被測定物体の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段又は前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　ここで、前記第一、第二、第三、第四検出手段はそれぞれレーザー干渉計を有することが出来る。
　【０００８】
　また、本発明の原版のパターンを感光体に転写するための装置は、原版のパターンを感光体に転写するための転写手段と、原版と感光体の位置合わせのための基準を与える基準手段と、前記基準手段上の対向する第一部所の第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記基準手段上の対向する第二部所の前記第一の方向に沿った位置情報を検出する第二検出手段と、前記基準手段上の対向する第三部所の、前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記基準手段上で対向する第四部所の前記第二の方向に沿った位置情報を検出する第四検出手段と、前記第一ないし第四検出手段の検出に基づいて位置情報検出を行なう位置情報検出手段と、前記位置情報検出手段の検出に基づいて前記原版と感光体の位置合わせのための駆動を行なう駆動手段と、を有し、前記位置情報検出手段は、前記第一、第二検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、かつ前記第三、第四検出手段の少なくとも一方の検出に基づいて前記基準手段の前記第二の方向に沿った位置情報を検出するとともに、少なくとも前記第一および第二検出手段または前記第三および第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記基準手段が前記第一の方向に沿って移動するときには前記第一および第二検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行ない、前記基準手段が前記第二の方向に沿って移動するときには前記第三及び第四検出手段の検出に基づいて前記基準手段の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　【０００９】
　更に、本発明の被測定物体の位置情報を検出する装置は、被測定物体の第一面上の対向部所の、第一の方向に沿った位置情報を検出する第一検出手段と、前記第一面上の対向部所から前記第一面の角度に関連した情報を検出する第二検出手段と、前記被測定物体の第一面と異なる第二面上の対向部所の前記第一方向と交差する第二の方向に沿った位置情報を検出する第三検出手段と、前記第二面上の対向部所から前記第二面の角度に関連した情報を検出する第四検出手段と、位置情報検出手段とを有し、前記位置情報検出手段は少なくとも前記第一検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の前記第一の方向に沿った位置情報を検出し、少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記第一面の回転情報の検出を行ない且つ少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記第二面の回転情報の検出を行ない、且つ前記位置情報検出手段は、前記被測定物体が前記第一の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第二検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行ない、前記被測定物体が前記第二の方向に沿って移動するときには少なくとも前記第四検出手段の検出に基づいて前記被測定物体の回転情報の検出を行なう様に切り替え、前記検出した回転情報に基づいて前記被測定物体の回転方向の制御を行うことを特徴とする。
　【００１０】
　【００１１】
　【参考例及び実施例】
　図１は、本発明の前提となる参考例の概念を表わす構成説明図であり、縮小投影露光装置（ステッパ）を示している。図において、８はレンズ系、９はレチクル、１１がウエハであり、この部材以外がウエハステージ系となる。ウエハステージ系はウエハ１１をレチクル９に対して位置合わせするのに用いられる。パターン転写の際には、位置合わせの終ったウエハ１１上の感光剤上に、不図示の光源により照明されたレチクル９のパターンがレンズ８で投影される。１Ｘ，２Ｘおよび１Ｙ，２Ｙはレーザー干渉計、３はｘ，ｙ軸をそれぞれ面法線とする２つのミラー面を有するＬ形のミラー（被測定面）、４はＸＹテーブル（ＸＹステージ）、５はθ回転テーブル、６はＸＹテーブル４に対し回転テーブル５を回転駆動するための、圧電素子からなる回転駆動機構、７はＸＹ駆動部（ＤＣモーター）、１０は演算回路および駆動回路等を含む制御ボックス、Ｌはレーザー光である。レーザー干渉計１Ｘ，２Ｘの組および１Ｙ，２Ｙの組はそれぞれＸ，Ｙ各方向に沿ったミラー３の位置変動を計測するために設けられている。レーザー干渉計１Ｘ，２ＸはＸ方向より、またレーザー干渉計１Ｙ，２ＹはＹ方向よりレーザー光を入射させる。
　【００１２】
　これらのレーザー干渉計は反射面に面の法線方向からレーザー光を入射させ逆方向に反射してきたレーザー光の、レーザー光進行方向に沿った反射面位置変動に伴なう位相シフトを検出して反射面上レーザー入射位置のレーザー光進行方向に沿った位置変化情報（変位量、速度等）を検出する装置であり、構成の詳細は周知なので説明は省略する。
　【００１３】
　ミラー３の位置、すなわち回転テーブル５の最初の位置は制御ボックス１０に記憶されており、回転テーブル５の現在の位置はこの最初の位置に、レーザー干渉計によるミラー３のＸ，Ｙ両方向の現在までの変位量の積分値を加算することで得られる。ウエハ１１がこの回転テーブル５上に正しく設置された時、テーブル５をどこへ移動させればウエハ１１が適正な被露光位置に配置されるかのデータは制御ボックス１０に記憶されており、制御ボックスはこのデータと検出された回転テーブル５の現在の位置のデータとに基づいて、ＸＹ駆動部７を介してＸＹテーブルを移動させることによりレチクル９とウエハ１１とを位置合わせする。
　【００１４】
　Ｘ，Ｙ方向の位置計測は、それぞれレーザー干渉計１Ｘ，１Ｙで行ない、移動時のヨーイング計測をＸ，Ｙ各方向についてそれぞれレーザー干渉計１Ｘと２Ｘ（Ｘ方向）、１Ｙと２Ｙ（Ｙ方向）の検出値差を検出することで行ない、制御ボックス１０内で演算処理し、位置制御およびヨーイング制御（回転駆動機構６を作動させてヨーイングを０にする制御）を行なう。
　【００１５】
　次に本発明の第１実施例について説明する。装置構成、位置決めの仕方等は参考例と同じであり説明を省略する。第１実施例におけるヨーイングの計測および制御の仕方について、制御ボックス１０の計測フローを示す図２を用いて説明する。まず制御状態よりテーブル５をＸ方向、Ｙ方向のいずれに駆動させている状態かを判断し、Ｘ方向のみに駆動させている場合には、Ｘ方向よりレーザー光を入射させているレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘの検出する変位量の差よりヨーイングの発生とその方向を検出する。またはこの差よりヨーイング角を算出する。Ｘ方向にのみ駆動している間、このレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘによるミラー３上でのビーム入射位置は実質的に変化しないと考えられる。したがって従来技術の説明中で述べたような、ミラー上でのビーム入射位置の変化中におこるミラー面形状に依存するヨーイングの誤検知は発生せず、高精度なヨーイング計測が維持される。この計測値に基づいてヨーイングを０にすべく回転駆動機構６を作動させる（ヨーイング処理）。Ｘ方向駆動が終了し、この時レーザー干渉計１Ｘ，２Ｘによってヨーイングが計測されていないにもかかわらずレーザー干渉計１Ｙ，２Ｙに検出変移量の差が発生している場合には、この差はヨーイングによるものではなく、ミラーの面形状誤差によるものであると判断される。そこでこの時の差を、次にＹ方向駆動が行なわれる際にヨーイング検出のために検出されるレーザー干渉計１Ｙ，２Ｙの検出変位量差から差し引かれるためのオフセット量として使用するために、記憶しておく。
　【００１６】
　Ｙ方向にのみ駆動する場合には上述とはＸとＹに関して全く逆転した形で計測を行なう。
　【００１７】
　ＸとＹの両方に駆動する場合にはレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘの検出変位量差とレーザー干渉計１Ｙ，２Ｙの検出変位量差の平均値を出し、この値よりヨーイングの発生とその方向、またはヨーイング角そのものを算出し、これに基づいてヨーイング制御を行なう。
　【００１８】
　更に別の実施例として前記ヨーイング計測手段において、１軸例えばＸ軸駆動時にＸ軸のヨーイング計測値とともにＹ軸のヨーイング計測値を求め、Ｙ軸側の計測値をＸ軸のヨーイング計測値で補正すれば、Ｙ軸ミラー面の面精度すなわちミラー面各位置におけるヨーイング検出誤差成分を計測できる。
　【００１９】
　さらに、前記計測した値を記憶し、ソフトの補正値として使用すれば、この後は１軸（例えばＸ軸）用のレーザー干渉計のみを用いたヨーイング制御でも面精度の影響を排除して制御できる。
　【００２０】
　以下に更に別の実施例を説明する。装置構成等は同様なので、ヨーイング制御に関する制御ボックス１０の計測制御フローである図３，４でのみ示す。
　【００２１】
　図３はミラー３の面精度を計測するためのフローチャートである。このような面精度計測は、１日の動作の始まり毎に行なうようにしても、またはもっと長期で定期的に行なうようにしても、さらにはこの装置を初めて作動させる時１回だけ行なうようにしても良い。
　【００２２】
　まず、ミラー３のＹミラー面、すなわちレーザー干渉計１Ｙ，２Ｙに対向するミラー面に関して計測する場合について説明する。最初にテーブル５を、レーザー干渉計１Ｙ，２Ｙのいずれか一方がＹミラーの実効部分の端にレーザー入射させるような所定位置に移動させる。ここでヨーイング計測系をリセット、すなわちこの時のヨーイング計測値を基準として以後のヨーイング変動を計測するようにし、この後テーブルを、レーザー干渉計１Ｙ，２Ｙの他方がＹミラーの実効部分の他方の端にレーザー入射させるような位置に達するまで、Ｘ方向にのみ駆動する。この間のテーブル５（すなわちミラー３）のＸ方向位置（第ｎ番目位置）はレーザー干渉計１Ｘによって常時モニタされており、同時に各位置におけるＸ方向からのヨーイング計測値すなわちレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘで計測されるヨーイング値Ｑｘ（ｎ）とＹ方向からのヨーイング計測値すなわちレーザー干渉計１Ｙ，２Ｙで計測されるヨーイング値Ｑｙ（ｎ）もモニターされ、記憶される。この時のヨーイング値Ｑｘ（ｎ）は前述したように誤差のないヨーイング値と考えられるので両者の差Ｈｙ（ｎ）＝Ｑｙ（ｎ）−Ｑｘ（ｎ）はテーブル５のＸ方向第ｎ番目位置におけるＹミラーの面形状に起因する誤差成分と判断できる。このＨｙ［ｎ］を補正値として前述のようにしてＹミラーのＸ方向全域にわたって求め、これを記憶する。
　【００２３】
　ミラー３のＸミラー、すなわちレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘと対向するミラー面に関する計測は、上述の計測とはＸとＹに関して全く逆転した形で行ない、同様に第ｍ番目位置におけるＨｘ［ｍ］＝Ｑｘ（ｍ）−Ｑｙ（ｍ）を補正値としてＸミラーのＹ方向全域にわたって求め記憶する。
　【００２４】
　次に、この計測された面精度を用いたヨーイング制御について、この制御フローチャートを示す図４を用いて説明する。
　【００２５】
　まず、テーブル５を所定の位置（ホームポジション）に配置し、ここでヨーイング計測系をリセットする。次にヨーイング計測にレーザー干渉計１Ｙ，２Ｙを使うのか、レーザー干渉計１Ｘ，２Ｘを使うのか、両方使用するのかを決定する。これはオペレータが選択できるようにすればよい。レーザー干渉計１Ｙ，２Ｙを使用する場合はテーブル５を位置決めする各目標地点のＸ座標に最も近い第ｎ番目位置をそれぞれ割りだす。そして各目標地点にテーブルが位置決めされる際に、各目標地点のＸ座標に最も近い第ｎ番目位置における補正値Ｈｙ（ｎ）がヨーイング値として計測されるように回転駆動機構６を制御する。レーザー干渉計１Ｘ，２Ｘを使用する場合はこれとＸ，Ｙについて逆転させた形で行なわれる。また両方のレーザー干渉計組を使用する場合は、目標地点毎にＨｙ［ｎ］とＨｘ［ｍ］がヨーイングとしてそれぞれのレーザー干渉計組によって計測されるように回転駆動機構６を制御する。Ｈｙ［ｎ］とＨｘ［ｍ］が一緒に計測されない場合はそれぞれの計測値とＨｙ［ｎ］，Ｈｘ［ｍ］との差分が一致する所で止める。他の例として、例えばＨｙ［ｎ］が計測されている時にＨｘ［ｍ］が計測されないようなことがあれば何かトラブルがあったものとして警告を発するようにしてもよい。
　【００２６】
　図３において例えばＸミラーの面精度のみ計測し、すなわち補正値Ｈｘ［ｍ］のみを求め、図４のフローの中でレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘの組のみでヨーイング制御を行なえば、補正値計測後Ｙ方向計測用のレーザー干渉計は１Ｙの１本で済む。
　【００２７】
　また、図３の中でＸミラーおよびＹミラーともに面精度を計測し、補正値として記憶し、図４の両方のレーザー干渉計組を用いたヨーイング制御のフローで制御を行なえば、平均化効果も含めてより正確なヨーイング制御を行なうことが可能となる。
　【００２８】
　以上述べてきたように、第１実施例の如く、駆動方向に応じてレーザー干渉計１Ｘ，２Ｘと１Ｙ，２Ｙで交互に、または両方を用いてヨーイング制御を行なうことにより被計測面（ミラー面）の影響を無くすことができる。
　【００２９】
　したがって、高精度な位置決め制御が可能になり、半導体露光装置（ステッパー）等において特に有効である。
　【００３０】
　また、別の実施例の如く予め一軸（例えばＸ軸）のみ移動制御した際に一軸（Ｘ軸）のヨーイング計測値とともにもう一軸（Ｙ軸）のヨーイング計測値を計っておき、もう一軸（Ｙ軸）の計測値から一軸（Ｘ軸）のヨーイング計測値を差し引いておけば、ミラー面の平面精度も計測することができる。この値を記憶して位置に対する補正値として用いれば、片側（例えばＸ軸側）だけの通常のヨーイング計測制御に加えて補正値によってもう片方（Ｙ方向）についてもヨーイング制御を行なうことが可能となる。両方向とも補正値を使うこともできる。
　【００３１】
　以上のことから極めて重ね合わせ精度の高い、高生産性および高融通性を有するステッパーのような高精度位置決め装置を提供することができる。
　【００３２】
　上述の実施例においてＸおよびＹ方向の位置計測をそれぞれレーザー干渉計１Ｘと２Ｘの計測値の平均値およびレーザー干渉計１Ｙと２Ｙの計測値の平均値より出すようにしてもよい。
　【００３３】
　ヨーイングの計測手段としてのレーザー干渉計２Ｘ，２Ｙは、Ｘ軸、Ｙ軸独立に設けたコリメータ等に置き換えることも可能である。
　【００３４】
　以下にこの例を説明する。図５はＸミラーに対向するコリメータの様子を示す図である。Ｙミラー側にもこのような形でコリメータがレーザー干渉計２Ｙの代わりに配置されている。コリメータの構成を説明する。
　【００３５】
　光源ＬＳより出た光をコリメータレンズＣＬ１によって平行光にし、ハーフミラーＨＭを通ってミラー３に当たる（ハーフミラーＨＭで反射した光は捨てる）。ミラー３より反射した光のうちハーフミラーＨＭ面で反射する光をコリメータレンズＣＬ２により集光し、集光部に置いたディテクタＤＴ（ＰＳＤセンサー等）で受光する。ミラー３に角度変化が生じると、このディテクタＤＴに入射する光束の入射位置が変化するので、ディテクタＤＴでこの光束入射位置を検出することによって角度変化を算出する。
　【００３６】
　この例においては、制御ボックス１０はヨーイングを、レーザー干渉計１Ｘ，１Ｙの出力は使わずこのＸ，Ｙ両方向に設けたコリメータの計測結果（ディテクタＤＴの出力）で検出する。本例においても、ヨーイング計測にレーザー干渉計１Ｘ，１Ｙを使わない点を除いてヨーイングの計測を、前述の実施例と同様な形で行なえば、同様の効果が得られるものである。
　【００３７】
　【発明の効果】
　本発明によりミラー面精度等にかかわらずヨーイング誤検知を防止した位置情報検出が可能になった。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の参考例に係る露光装置構成説明図である。
　【図２】　本発明の第１実施例の計測・制御フローチャートである。
　【図３】　本発明の別の実施例における計測用フローチャートである。
　【図４】　同実施例におけるヨーイング制御フローチャートである。
　【図５】　本発明の更に他の実施例の部分説明図である。
　【符号の説明】
　１Ｘ，２Ｘ，１Ｙ，２Ｙ：レーザー干渉計、３：ミラー、４：ＸＹテーブル、５：θ回転テーブル、６：θ駆動部、７：ＸＹ駆動部、８：レンズ、９：レチクル、１０：制御ボックス、１１：ウエハ。