(57)【要約】  ２以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域に一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、前記発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された発色領域および青色の光を発する副画素が配列された発色領域が含まれ、前記副画素は、それぞれ、画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、前記壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、有機ＥＬディスプレイパネル。
2011001644.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行な２以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域に一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された発色領域および青色の光を発する副画素が配列された発色領域が含まれ、
前記副画素は、それぞれ、前記基板上に配置された画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、
前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、
前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】
前記副画素Ｘにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差は、前記副画素Ｘと同一の色の光を発し、かつ前記基板の中央部に位置する発色領域Ｙに配列された副画素Ｙにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差よりも大きい、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】
それぞれの前記副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、四方を前記バンクによって囲まれている、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項４】
前記発色領域内に一列に配列された２以上の副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、前記バンクによって規定された、１つのライン状の領域を構成する、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項５】
１の前記ライン状の発色領域において、前記ライン方向の中央部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度は、前記ライン方向の端部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度よりも大きい、請求項４に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項６】
前記有機機能層は、有機発光層および正孔輸送層を含む、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイパネルは、有機化合物の電界発光現象を利用した発光素子（有機ＥＬ素子）を有するディスプレイパネルである。【０００３】
有機ＥＬディスプレイパネルは、基板上にＲＧＢ三色の副画素（有機ＥＬ素子）をマトリクス状に配置して製造される。ＲＧＢ三色の有機ＥＬ素子は一つの画素を構成する。それぞれの有機ＥＬ素子は、基板上に、画素電極（例えば、陽極）、有機発光層、対向電極（例えば、陰極）を積層することで製造される。また、電子注入層や電子輸送層、正孔輸送層、正孔注入層などの機能層を積層することもある。【０００４】
有機発光素子は、赤色の光を発する有機発光素子Ｒと、緑色の光を発する有機発光素子Ｇと、青色の光を発する有機発光素子Ｂとに分類されうる。各有機発光素子に含まれる有機発光層の全てを白色発光する有機発光層として、白色光をカラーフィルターで着色することもあるが；有機発光素子毎に、赤色発光する有機発光層、緑色発光する有機発光層、または青色発光する有機発光層を配置してもよい。【０００５】
有機発光層や正孔注入層、正孔輸送層などの機能層は、例えば、機能層の材料液を基板上に塗布し、乾燥させることで形成される。より具体的には、樹脂などからなるバンクでＲＧＢ毎に機能層が形成される領域を規定し、バンクによって規定された領域内に、機能層の材料液を塗布し乾燥させることで、機能層が形成される。【０００６】
このように、塗布法で機能層を形成する場合、パネルの端部の形成領域（機能層が形成されれる領域）と、パネルの中央部の形成領域で、機能層の材料液の乾燥スピードが異なることがある。材料液の乾燥スピードは、乾燥後の機能層の形状に影響を及ぼす。このため材料液の乾燥スピードが異なると、形成される機能層の形状プロフィールや膜厚も異なる。画素間の機能層の膜厚のムラは、ディスプレイにおける輝度のムラに繋がる。【０００７】
このような問題を解決するため、パネルの端部の形成領域（機能層が形成される空間）を、パネルの中央部の形成領域よりも大きくする技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、パネルの端部の形成領域を、パネルの中央部の形成領域よりも大きくし；形成領域の大きさに応じて機能層の材料液を増やすことで、パネルの中央部とパネルの端部との間に生じる材料液の乾燥スピードのムラを補正している。【０００８】
また、パネルの端部の形成領域に塗布する材料液に含まれる溶媒の量を、パネルの中央部の形成領域に塗布する材料液に含まれる溶媒の量よりも多くすることで、パネルの中央部とパネルの端部との間に生じる材料液の乾燥スピードのムラを補正する技術も提案されている（例えば特許文献２参照）。【０００９】
また、パネルの中央部とパネルの端部との間の乾燥スピードのムラによるディスプレイの輝度ムラを防止するために、画素がマトリクス状に配置された発色領域の外周部に画素電極を有さない形成領域（ダミー領域）を設ける技術も提案されている（例えば特許文献３〜６参照）。【００１０】
このように発光領域の外周部にダミーの領域を設け、ダミー領域にも材料液を塗布すると、非発光領域であるダミー領域では膜厚が不均一な機能層が形成されてしまうが、パネル中央の発光領域では材料液の乾燥スピードのばらつきが低減され、画素間で機能層の膜厚が均一になる。このため、ディスプレイの輝度ムラを低減することができる。【００１１】
また、塗布形成される機能層の形状プロフィールは、溶液の溶質や溶媒の種類、およびそれらの含有割合によっても相違する。例えば、有機発光素子の各色のカラーフィルター膜を塗布形成しようとするときには、塗布する溶液の溶質が色毎に相違する。そのため、隔壁（バンク）の高さやテーパ角度が同じであると、カラーフィルター膜の形状が色毎に相違しやすい。そこで、カラーフィルター膜の色毎に、隔壁（バンク）の高さやテーパ角度を変えて、カラーフィルター膜の膜厚均一性を高める技術が報告されている（例えば特許文献７を参照）。【００１２】
また、有機ＥＬ素子からの光の取出し効率を高めるために、画素電極または対向電極のうちの一方を透明電極として、かつもう一方を反射電極とし；反射電極と有機発光層との間にスパッタリングなどで透明導電膜を配置する技術が知られている（例えば特許文献８参照）。さらに、反射電極と有機発光層との間に配置された透明導電膜で有機発光層から反射電極までの光学的距離を調整することで、反射電極によって反射された後に透明電極に向う光と、透明電極に直接向う光とが強め合い、光の取出し効率を高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００８−１６２０５号公報
【特許文献２】特開２００６−２６０７７９号公報
【特許文献３】特開２００７−１０３３４９号公報
【特許文献４】特開２００６−３８７０号公報
【特許文献５】米国特許出願公開第２００７／００５２１９９号明細書
【特許文献６】米国特許第７４５９１７７号明細書
【特許文献７】特願２００７−３１０１５６号公報
【特許文献８】特開２００３−２７２８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、特許文献１または特許文献２に開示された技術のように、有機ＥＬディスプレイの端部と中央部とで乾燥スピードのムラを補正したとしても、画素間で機能層の形状がばらつくといった問題を解消することはできなかった。このように、機能層の形状が画素間でばらつくと、有機ＥＬディスプレイパネルの輝度がばらつく。【００１５】
以下、図１Ａ〜Ｄを参照し、画素間で機能層の形状がばらつくメカニズムについて説明する。【００１６】
図１Ａは、機能層が形成される前の有機ＥＬディスプレイパネルの断面図である。図１Ａに示された有機ＥＬディスプレイパネルは、基板１１０上に配列された副画素（有機ＥＬ素子）１３０Ｒ、１３０Ｇ、１３０Ｂを有する。それぞれの副画素は基板１１０上に配置されたバンク１７０を有する。副画素１３０Ｒは、赤色発光する副画素であり；副画素１３０Ｇは、緑色発光する副画素であり；副画素１３０Ｂは、青色発光する副画素である。有機ＥＬディスプレイパネルは、パネルの端部に配置された副画素１３０ＲＸと、パネルの中央部に配置された副画素１３０ＲＹとを有する。【００１７】
図１Ｂは、バンク１７０によって規定された領域に、機能層の材料液１４０を塗布した様子を示し、図１Ｃは、バンク１７０によって規定された領域内の機能層の材料液１４０が乾燥する様子を示す。有機ＥＬディスプレイパネルの端部では材料液１４０の溶媒の蒸気濃度が低いので、機能層の材料液１４０の乾燥が促進される。塗布された材料液１４０は、乾燥速度の速い方へ対流するため、副画素１３０ＲＸ内の機能層１８０の材料液１４０は、パネルの端部側に引き寄せられる。【００１８】
図１Ｄは、形成された機能層１８０の形状を示す。また、図２Ａは図１Ｄに示された副画素１３０ＲＸの拡大図であり、図２Ｂは、図１Ｄに示された副画素１３０ＲＹの拡大図である。上述のように、材料液１４０の乾燥中、副画素１３０ＲＸ内の材料液１４０は、パネルの端部側に引き寄せられるので、形成された副画素１３０ＲＸの機能層１８０の基板の端部側のエッジ１８１は高くなり、基板中央部側のエッジ１８２は低くなる。このように機能層を塗布法で形成した場合、基板の端部に配置された副画素の機能層は基板の端部側に偏る。このため副画素１３０ＲＸの機能層１８０の膜厚Ｔは、副画素１３０ＲＹの機能層１８０の膜厚Ｔ’よりも薄くなる。【００１９】
本発明の目的は、ディスプレイパネル内の機能層の形状を一様にする手段を提供し、輝度ムラのない有機ＥＬディスプレイパネルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、基板の端部の副画素において、バンクによって規定された塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することで、画素間の有機機能層の形状および膜厚のばらつきを補正できることを見出し、さらに検討を加え発明を完成させた。【００２１】
すなわち本発明は、以下に示す有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
［１］平行な２以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域に一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、前記発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された発色領域および青色の光を発する副画素が配列された発色領域が含まれ、前記副画素は、それぞれ、前記基板上に配置された画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、有機ＥＬディスプレイパネル。
［２］前記副画素Ｘにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差は、前記副画素Ｘと同一の色の光を発し、かつ前記基板の中央部に位置する発色領域Ｙに配列された副画素Ｙにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差よりも大きい、［１］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［３］それぞれの前記副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、四方を前記バンクによって囲まれている、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［４］前記発色領域内に一列に配列された２以上の副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、前記バンクによって規定された、１つのライン状の領域を構成する、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［５］１の前記ライン状の発色領域において、前記ライン方向の中央部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度は、前記ライン方向の端部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度よりも大きい、［４］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［６］前記有機機能層は、有機発光層および正孔輸送層を含む、［１］〜［５］のいずれか一つに記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、基板端部の副画素で有機機能層が基板端部側に偏ることを防止し、画素間で有機機能層の形状および膜厚を一様にすることができ、輝度が均一な有機ＥＬディスプレイパネルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】機能層を塗布法で形成したときの機能層の材料液の挙動を示す図
【図２】塗布法によって形成された機能層を示す図
【図３】実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネルを示す図
【図４】実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネルに含まれる副画素の断面図
【図５】バンクの形成方法を示す図
【図６】乾燥過程における有機機能層の材料液の挙動を示す図
【図７】乾燥過程における有機機能層の材料液の挙動を示す図
【図８】乾燥中心点を示す図
【図９】実施の形態２の有機ＥＬディスプレイパネルを示す図
【図１０】実施の形態２の有機ＥＬディスプレイパネルに含まれるライン状の塗布領域の断面図
【図１１】実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネルを示す図
【図１２】実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネルに含まれる副画素の断面図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルは、基板と、基板上に配置された複数の副画素（有機ＥＬ素子）とを有する。
【００２５】
［基板］
基板は、互いに平行な複数のライン状の発色領域を有する。ここで発色領域とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの副画素が１列に配列された領域を意味する。すなわち、基板上には、３種類の発色領域（Ｒ、Ｇ、Ｂ）が互いに平行に配置されている。例えば、赤発色領域の隣に緑発色領域を配置し、緑発色領域の隣に青発色領域を配置し、青発色領域の隣に赤発色領域を配置する。
【００２６】
また本発明では、基板の端部に位置する発色領域を「発色領域Ｘ」と称し、基板の中央部に位置し、発色領域Ｘに配列された副画素と、同色光を発する副画素が配列された発色領域を「発色領域Ｙ」と称する。ここで「基板の端部」とは、基板の周縁部のみを意味するのではなく、「基板の中央部」に対して相対的に外側の領域を意味する。同様に、「基板の中央部」とは、基板の中央のみを意味するのではなく、「基板の端部」に対して相対的に中央側の領域を意味する。すなわち、「基板の端部」および「基板の中央部」は、比較対象の２つの領域の相対的な位置関係を特定している。
【００２７】
基板の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型かトップエミッション型かによって異なる。本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、基板の材料は、透明かつ絶縁体であれば特に限定されない。このような材料の例には、ガラスや透明樹脂などが含まれる。一方、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがトップエミッション型の場合、基板の材料は、絶縁体であれば特に限定されない。基板の大きさおよび厚さは、製造する有機ＥＬディスプレイパネルの大きさや基板の材料などに応じて適宜設定すればよい。
【００２８】
基板は、有機ＥＬ素子を駆動するための薄膜トランジスタ（駆動ＴＦＴ）を有していてもよい。ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極は、後述する画素電極に接続される。
【００２９】
［副画素］
上述のように副画素（有機ＥＬ素子）には、赤色の光を発する副画素、緑色の光を発する副画素および青色の光を発する副画素が含まれる。これらの３つの色（ＲＧＢ）を発する副画素が一つの画素を構成する。
【００３０】
また本発明では、基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素を「副画素Ｘ」と称し、基板の中央部の発色領域Ｙに配列された副画素を「副画素Ｙ」と称する。副画素Ｘと副画素Ｙとは同色光を発する。
【００３１】
基板上に配置された副画素は、それぞれ、１）画素電極、２）バンク、３）有機機能層、および４）対向電極を有する。以下それぞれの構成部材について説明する。
【００３２】
１）画素電極
画素電極は、基板上に配置された導電性部材である。画素電極は、通常陽極として機能するが、陰極として機能してもよい。また、画素電極の表面には、遷移金属の酸化物からなる膜（例えば酸化タングステンや酸化モリブデンなど）が形成されていてもよい。画素電極の表面上の遷移金属の酸化物膜は正孔注入層として機能する。
【００３３】
画素電極の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型かトップエミッション型かによって異なる。本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、画素電極の材料は、透明かつ導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）やＩＺＯ（酸化インジウム・亜鉛）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などが含まれる。一方、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがトップエミッション型の場合、画素電極の材料は、光反射性を有し、かつ導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、銀を含む合金、より具体的には銀−パラジウム−銅合金（ＡＰＣ）や銀−ルテニウム−金合金（ＡＲＡ）、ＭｏＣｒ（モリブデンクロム）、ＮｉＣｒ（ニッケルクロム）、アルミニウム−ネオジム合金（Ａｌ−Ｎｄ）などが含まれる。また、光反射性の画素電極の表面には、ＩＴＯ膜またはＩＺＯ膜が形成されていてもよい。
【００３４】
２）バンク
バンクは、有機機能層が塗布形成される領域（以下「塗布領域」とも称する）の壁面を構成し、塗布領域を規定する。本発明では、バンクは、塗布領域をマトリクス状に規定してもよいし、ライン状に規定してもよい。
【００３５】
バンクが、塗布領域をマトリクス状に規定する場合、有機ＥＬディスプレイパネルは格子状のバンクを有し（図３Ａ参照）、各副画素が有する塗布領域は、四方をバンクに囲まれている。一方、バンクがライン状の塗布領域を規定する場合、有機ＥＬディスプレイパネルは複数のライン状バンクを有し、発色領域内に一列に配列された複数の副画素が有する塗布領域は、ライン状のバンクによって規定された１つのライン状の塗布領域を構成する（図９Ａ参照）。
【００３６】
バンクの基板の表面からの高さは０．１〜３μｍであることが好ましく、０．８μｍ〜１．２μｍであることが特に好ましい。バンクの高さが３μｍ超であった場合、後述する全ての有機ＥＬ素子が共有する一つの対向電極のステップカバレッジが低下する恐れがある。また、バンクの高さが０．１μｍ未満であった場合、バンクによって規定された塗布領域内に塗布されたインクがバンクから漏れ出すおそれがある。
【００３７】
また、バンクの形状は順テーパ状であることが好ましい。順テーパ状とは、バンクの側面が斜めになっており、バンクの底面の面積がバンクの上面の面積よりも大きい形状を意味する。バンクのテーパ角度は８０°以下であることが好ましい。バンクのテーパ角度が８０°超であった場合、後述する対向電極のステップカバレッジが低下する。
【００３８】
バンクの材料の例には、ポリイミドなどの絶縁性樹脂が含まれる。バンクの表面は、濡れ性が低いこと（例えば、撥液性であること）が好ましい。バンクの表面の濡れ性を低くするには、例えば、バンクの材料をフッ素化合物を含むフッ素含有樹脂としたり、フッ素系ガスプラズマでバンクの表面をフッ素化処理したりすればよい。
【００３９】
フッ素含有樹脂に含まれるフッ素化合物の例には、フッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エチレン、およびこれらの共重合体等のフッ化樹脂などが含まれる。またフッ素含有樹脂に含まれる樹脂の例には、フェノール−ノボラック樹脂、ポリビニルフェノール樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂およびこれらの組み合わせが含まれる。
【００４０】
フッ素含有樹脂のさらに具体的な例には、例えば特表２００２−５４３４６９号公報に記載されているフッ素含有ポリマー（フルオロエチレン）とビニルエーテルとの共重合体であるルミフロン（ＬＵＭＩＦＬＯＮ、登録商標、旭硝子）などが含まれる。
【００４１】
バンクは、例えばフォトリソグラフィ法で形成される。バンクをフォトリソグラフィ法で形成する方法は、例えば、ｉ）基板上に感光性樹脂膜を形成するステップと、ii）形成された感光性樹脂膜を露光するステップと、iii）露光された感光性樹脂膜を現像してパターニングするステップと、iv）パターニングされた樹脂膜をベークして、樹脂膜を基板に固定するステップと、を有する（図５Ａ〜図５Ｄ参照）。
【００４２】
本発明では、基板端部に位置する発色領域Ｘ内の副画素Ｘが有する塗布領域の壁面の傾斜角度に特徴とする。本発明では「塗布領域の壁面」とは、塗布領域の壁面のうち、発色領域のライン方向に平行な壁面を意味する。また、本発明では、発色領域のライン方向に平行な壁面のうち、基板端部側の壁面を「壁面Ｗ１」と称し、基板中央部側の壁面を「壁面Ｗ２」とも称する。また、壁面Ｗ１の傾斜角度を「傾斜角度α」と称し、壁面Ｗ２の傾斜角度を「傾斜角度β」とも称する。
【００４３】
また「副画素が有する塗布領域」とは、各副画素が四方をバンクに囲まれた塗布領域を有する場合、四方をバンクに囲まれた各塗布領域を意味し（図３Ａ参照）；発色領域内の複数の副画素が有する塗布領域が、１つのライン状の塗布領域を構成する場合、ライン状の塗布領域を発色領域内に配列された副画素の数で等分割したときの各領域を意味する（図９Ａ参照）。
【００４４】
具体的には、本発明では副画素Ｘにおいて、壁面Ｗ１傾斜角度αは、壁面Ｗ２の傾斜角度βよりも小さいことを特徴とする。副画素Ｘにおける傾斜角度αは、２０〜６０°であり、壁面Ｗ２の傾斜角度βは、４０〜７０°である。また、副画素Ｘにおいて、傾斜角度αと、傾斜角度βとの差の最大値は、１０〜５０°である。
【００４５】
また、本発明では、発色領域の位置に応じて、副画素の塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することを特徴とする。具体的には、基板の中央部に位置する発色領域Ｙ内の副画素Ｙでは傾斜角度αおよび傾斜角度βは、４０〜７０°である。すなわち、副画素Ｘでは、傾斜角度αと傾斜角度βとの差が大きいが、副画素Ｙでは、傾斜角度αと傾斜角度βとの差が小さいか、または差がない。
【００４６】
このように、塗布領域の壁面の傾斜角度を調節するには、塗布領域の壁面を構成するバンクのテーパ角度を調節すればよい。バンクのテーパ角度を調節するには、感光性樹脂膜を露光する際に、露光強度を調節すればよい。例えば、感光性樹脂膜の材料を光硬化性樹脂とし、テーパ角度を小さくしたい領域を、多階調マスク（グレイトーンマスクやハーフトーンマスク）を通した弱い光で露光すればよい（図５Ｂ参照）。
【００４７】
このように、副画素が有する塗布領域の壁面の傾斜角度を調整することで、乾燥ムラによって生じる画素間の有機機能層の形状および膜厚のばらつきを補正することができる。有機機能層の形状および膜厚のばらつきを補正するメカニズムについては、実施の形態１で図面を参照しながら詳細に説明する。
【００４８】
３）有機機能層
有機機能層は、画素電極上に配置された、少なくとも有機発光層を含む層である。本発明では、有機機能層は、バンクによって規定された塗布領域に有機機能層の材料液を塗布することで形成される。たとえば、有機機能層の材料液（有機機能層の材料をアニソールやシクロヘキシルベンゼンなどの有機溶媒に溶解させた溶液）を、塗布法（例えば、インクジェット法）によって塗布し、乾燥させることによって、有機機能層を形成することができる。有機機能層の厚さは、特に限定されないが、例えば５０〜２００ｎｍ程度であればよい。
【００４９】
有機機能層が有する有機発光層に含まれる有機ＥＬ材料は、副画素（有機ＥＬ素子）が発する光の色（ＲＧＢ）に応じて、副画素ごとに適宜選択される。有機ＥＬ材料は、高分子有機ＥＬ材料および低分子有機ＥＬ材料のいずれでもよいが、塗布法により形成する観点からは高分子有機ＥＬ材料が好ましい。高分子有機ＥＬ材料を用いることで、他の部材に損傷を与えることなく有機発光層を容易に形成することができるからである。高分子有機ＥＬ材料の例には、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリアセチレン（polyacetylene）およびその誘導体、ポリフェニレン（polyphenylene（ＰＰ））およびその誘導体、ポリパラフェニレンエチレン（polyparaphenylene ethylene）およびその誘導体、ポリ３−ヘキシルチオフェン（poly-3-hexylthiophene（Ｐ３ＨＴ））およびその誘導体、ポリフルオレン（polyfluorene（ＰＦ））およびその誘導体などが含まれる。低分子有機ＥＬ材料の例には、トリス（８−キノリノラート）アルミニウムなどが含まれる。
【００５０】
有機機能層は、有機発光層に加えて、正孔注入層や正孔輸送層（インターレイヤ）、電子注入層、電子輸送層などを有してもよい。
【００５１】
正孔注入層は、例えばポリエチレンスルホン酸をドープしたポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳと称される）や、その誘導体（共重合体など）を含む。このような正孔注入層は、例えば正孔注入層の材料液（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳと水を含むインク）を画素電極に塗布することで形成される。
【００５２】
正孔輸送層は、画素電極（または正孔注入層）と有機発光層との間に配置される。正孔輸送層は、有機発光層に正孔を効率よく運ぶ機能、および画素電極（または正孔注入層）への電子の侵入をブロックする機能を担う。正孔輸送層の材料は、ポリフルオレンとトリフェニルアミン誘導体とのコポリマーであることが好ましい。
【００５３】
正孔輸送層は、正孔輸送層の材料液（例えば、正孔輸送層の材料をアニソールやシクロベンゼンなどの有機溶媒に溶解させた溶液）を、画素電極（または正孔注入層）上に塗布することで形成されうる。正孔輸送層の厚さは、特に限定されないが、例えば１０〜４０ｎｍ程度であればよい。
【００５４】
有機機能層が正孔注入層や正孔輸送層などを有する場合、画素電極を反射電極とし、塗布形成される正孔注入層や正孔輸送層で有機発光層と反射陽極である画素電極との間の光学的距離を調節してもよい。特に正孔輸送層は、厚さが多少増減しても、有機ＥＬ素子の発光特性に大きな影響を与えないことから、光学的距離を調整するための層として好ましい。塗布形成される正孔注入層や正孔輸送層などで光学的距離を調整することで、有機ＥＬ素子の光の取出し効率を向上させることができる。正孔注入層や正孔輸送層で光学的距離を調節する場合、最適な光学的距離は光の波長によって異なることから、正孔注入層や正孔輸送層の膜厚はＲＧＢごとに異なり、有機機能層の膜厚がＲＧＢごとに異なる。
【００５５】
一方で、同色の光を発する副画素の有機機能層の膜厚は均一であることが好ましい。同色の光を発する副画素の有機機能層の膜厚がばらつくと、有機ＥＬディスプレイパネルの輝度ムラが生じるからである。特に上述したように有機機能層で光学的距離を調節した場合、同色の光を発する副画素の有機機能層の膜厚がばらつくと、副画素間で、光学的距離が適切に調整された副画素と、光学的距離が適切に調節されていない副画素とが発生し、有機ＥＬディスプレイパネルの輝度ムラが特に顕著になる。
ここで「有機機能層の厚さ」とはそれぞれの副画素が有する有機機能層のうち最も薄い箇所の膜厚を意味する（図４Ａ、図４Ｂ参照）。
【００５６】
４）対向電極
対向電極は、有機機能層上に配置される導電性部材である。対向電極は通常陰極として機能するが、陽極として機能してもよい。複数の副画素が、１つの対向電極を共有してもよい。例えば、有機ＥＬディスプレイパネルがアクティブマトリクス型である場合、１枚のパネルに含まれるすべての副画素が、１つの対向電極を共有していてもよい。
【００５７】
対向電極の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型かトップエミッション型かによって異なる。本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがトップエミッション型の場合、対向電極の材料は、透明かつ導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、ＩＴＯやＩＺＯ、ＺｎＯなどが含まれる。一方、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、画素電極の材料は、導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、バリウムや酸化バリウム、アルミニウムなどが含まれる。
【００５８】
対向電極上には、さらに封止膜が配置されていてもよい。封止膜は、有機機能層や画素電極などを、水分や熱、衝撃などから保護する機能を担う。封止膜の材料の例には、窒化シリコンや酸化窒化シリコンなどが含まれる。
【００５９】
以下、図面を参照しながら、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの実施の形態について説明する。しかし、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。
【００６０】
（実施の形態１）
図３Ａは、本発明の実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００の平面図である。また図３Ｂは、実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００のＡＡ線による断面図である。
【００６１】
図３Ａおよび図３Ｂに示されるように有機ディスプレイパネル１００は、複数の互いに平行なライン状の発色領域１２０を有する基板１１０と、発色領域１２０内に一列に配列された複数の副画素（有機ＥＬ素子）１３０と、を有する。
【００６２】
発色領域１２０には、赤色の光を発する副画素１３０Ｒが配列された発色領域１２０Ｒと、緑色の光を発する副画素１３０Ｇが配列された発色領域１２０Ｇと、青色の光を発する副画素１３０Ｂが配列された発色領域１２０Ｂと、が含まれる。副画素１３０Ｒ、副画素１３０Ｇおよび副画素１３０Ｂで一つの画素を構成する。
【００６３】
また、発色領域１２０には、基板１１０の端部に位置する発色領域１２０Ｘと（１２０ＲＸ、１２０ＧＸ、１２０ＢＸ）と、基板１１０の中央部に位置する発色領域１２０Ｙと（１２０ＲＹ、１２０ＧＹ、１２０ＢＹ）とが含まれる。発色領域１２０Ｘには、副画素１３０Ｘ（１３０ＲＸ、１３０ＧＸ、１３０ＢＸ）が配列され、発色領域１２０Ｙには副画素１３０Ｙ（１３０ＲＹ、１３０ＧＹ、１３０ＢＹ）が配列される（図３Ｂ参照）。
【００６４】
図３Ｂに示されるように、それぞれの副画素１３０は、基板１１０上に配置された画素電極１５０と、画素電極上に配置された金属酸化物膜１６０と、塗布領域１７５を規定するバンク１７０と、塗布領域１７５内に形成された有機機能層１８０と、有機機能層１８０上に配置された対向電極１９０（不図示）と、を有する。有機機能層１８０は、金属酸化物膜１６０上に配置される。
【００６５】
塗布領域１７５の壁面は、バンク１７０の側面によって構成される。また、本実施の形態では、バンク１７０は、格子状に形成され、各副画素１３０が四方をバンク１７０に囲まれた塗布領域１７５を有する。
【００６６】
金属酸化物膜１６０は、例えば酸化タングステンであり、正孔注入層として機能する。
【００６７】
副画素１３０Ｒが有する有機機能層１８０Ｒは、赤色の光を発する有機発光層を含み；副画素１３０Ｇが有する有機機能層１８０Ｇは、緑色の光を発する有機発光層を含み；副画素１３０Ｂが有する有機機能層１８０Ｂは、青色の光を発する有機発光層を含む。
【００６８】
図４Ａは、図３Ｂに示された副画素１３０ＲＸの拡大図であり、図４Ｂは図３Ｂに示された副画素１３０ＲＹの拡大図である。
【００６９】
図４Ａに示されるように、副画素１３０ＲＸでは、壁面Ｗ１の傾斜角度αは、壁面Ｗ２の傾斜角度βよりも小さい。一方、図４Ｂに示されるように、副画素１３０ＲＹでは、壁面Ｗ１の傾斜角度αと、壁面Ｗ２の傾斜角度βとは同程度である。
【００７０】
このため、副画素１３０ＲＸにおける傾斜角度αと、傾斜角度βとの差は、副画素１３０ＲＹにおける傾斜角度αと、傾斜角度βとの差よりも大きい。
【００７１】
次に塗布領域１７５の壁面を構成するバンク１７０をフォトリソグラフィ法で形成する方法について図を参照しながら説明する。図５Ａ〜図５Ｄは、基板１１０の端部に配置された副画素１３０ＲＸのバンク１７０の形成方法の工程を示す。
【００７２】
図５Ａ〜図５Ｄに示されるように、バンク１７０の形成方法は、１）基板１１０上に感光性樹脂膜１７１を形成する第１ステップ（図５Ａ）と、２）感光性樹脂膜１７１を露光する第２ステップと、３）露光された感光性樹脂膜１７１を現像し、感光性樹脂膜１７１をパターニングする第３ステップ（図５Ｃ）と、４）パターニングされた樹脂膜１７１をベークし、基板１１０上に固定する第４ステップ（図５Ｄ）とを有する。
【００７３】
１）図５Ａは第１ステップを示す。図５Ａに示されるように第１ステップでは、金属酸化物膜１６０によって覆われた画素電極１５０が配置された基板１１０上に感光性樹脂膜１７１を形成する。本実施の形態では、感光性樹脂が光硬化性樹脂（ネガ型のフォトレジスト）である例について説明するが、感光性樹脂は、ポジ型のフォトレジストであってもよい。
【００７４】
基板１１０上に感光性樹脂膜１７１を形成するには、感光性樹脂組成物を、スピンコート、ダイコート、スリットコートなどによって感光性樹脂組成物を基板１１０上に塗布し、塗布された膜をプリベークすればよい。プリベーク条件は特に限定されないが、８０〜１００℃（例えば１００℃）で２〜３分間放置すればよい。
【００７５】
２）図５Ｂは第２ステップを示す。図５Ｂに示されるように第２ステップでは、感光性樹脂膜１７１を露光する。より具体的には、感光性樹脂膜１７１のうち、バンク１７０となる領域に光を照射する。本実施の形態では、バンク１７０となる感光性樹脂膜１７１の領域のうち、壁面Ｗ１を構成する領域１７１ａにハーフトーンマスク１９０を通した弱い光を照射し、それ以外の領域１７１ｂにマスクを介さない強い光を照射する。
【００７６】
光照射によって感光性樹脂が硬化され、感光性樹脂の弾性およびガラス転移温度が上昇する。硬化の程度は、照射される光の強度に依存するので、弱い光が照射された領域１７１ａの樹脂では、硬化の度合いが比較的小さく、強い光が照射された領域１７１ｂの樹脂では、硬化の度合いが比較的大きい。
【００７７】
３）図５Ｃは第３ステップを示す。図５Ｃに示されるように第３ステップでは、露光された感光性樹脂膜１７１を現像する。感光性樹脂膜１７１を現像するには、露光された感光性樹脂膜１７１が配置された基板１１０を、例えば０．２％ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）液に６０秒間浸し、その後純水で６０秒間すすげばよい。
【００７８】
上述のように、弱い光が照射された領域１７１ａでは、硬化の度合いが小さいので、現像工程で、樹脂膜１７１のエッジが削られ、樹脂膜１７１の側面の傾斜角度αが小さくなる。一方、強い光が照射された領域１７１ｂでは、硬化の度合いが大きいので、現像工程で樹脂膜１７１のエッジが削られにくく、樹脂膜１７１の側面の傾斜角度βが比較的大きくなる。
【００７９】
４）図５Ｄは第４ステップを示す。図５Ｄに示されるように第４ステップでは、パターニングされた樹脂膜１７１を焼成（ポストベーク）して、基板１１０上に固定する。ポストベークの条件は特に限定されないが、例えば温度は約２００℃以上（例えば２２０℃）であり、時間は約１時間である。パターニングされた樹脂膜１７１をポストベークすることで、樹脂膜１７１内の溶剤および水分が除去され、樹脂膜１７１と基板との密着性が高められ、樹脂膜１７１が基板１１０上に固定される。基板１１０に固定された樹脂膜１７１は、バンク１７０を構成する。
【００８０】
このように、フォトリソグラフィ法でバンク１７０を形成する際に、露光条件を局所的に調節することで、バンク１７０のテーパ角度を調節することができ、塗布領域１７５の壁面の傾斜角度を調節することができる。
【００８１】
このように、副画素１３０Ｘにおいて、傾斜角度αを、傾斜角度βよりも小さくすることで、副画素１３０Ｘが有する有機機能層１８０Ｘの偏りを補正することができる。その結果、基板１１０の端部に配置された副画素１３０Ｘが有する有機機能層１８０の膜厚を均一にすることができ、有機機能層１８０の膜厚の画素間のばらつきを補正することができる。
【００８２】
以下、バンクによって規定された塗布領域内に塗布された有機機能層の材料液が乾燥する過程で示す挙動について説明しながら、塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することによって有機機能層の膜厚を均一にすることができるメカニズムについて説明する。
図６Ａ〜Ｃおよび図７Ａ〜Ｅは、材料液が乾燥する過程で示す基本的な挙動を示す模式図である。
【００８３】
図６Ａは、有機機能層の材料液１４０をバンク１７０によって規定された塗布領域１７５内に塗布した直後の状態を示す模式図である。図６Ａに示されるように、材料液１４０は、塗布領域１７５から溢れ出しバンク１７０の上面まで塗布される。塗布直後においては、液滴端部１４１における表面張力のつりあいによって、液滴端部１４１の接触角がθとなる。
【００８４】
材料液１４０が乾燥し始めると、表面張力のつりあいが保たれている間は、図６Ｂに示されるように、液滴端部１４１が固定された状態で、溶媒の蒸発により接触角がθから後退角θＲまで減少する。この乾燥様式は、液滴の径が一定であることから、ＣＣＲ（Constant Contact Radius）モードと称される。
【００８５】
また、後退角θＲは、材料液の性質（粘度など）や、バンク表面の物性（表面自由エネルギーなど）によって変化する。
【００８６】
液滴端部１４１の接触角が後退接触角θＲまで減少すると、液滴端部１４１における表面張力のつりあいが崩れ、材料液１４０を内部に引き込む力が発生する。その結果、図６Ｃに示されるように、接触角θＲが固定された状態で、溶媒の蒸発により液滴端部１４１が内側に向かって移動し、液滴の径が減少する。この乾燥様式は、バンク１７０の上面に対する接触角が一定であることから、ＣＣＡ（Constant Contact Angle）モードと称される。この液滴の径の減少は、液滴端部１４１がバンク１７０の角（バンクの上面と壁面との境界線）に到達するまで続く。
【００８７】
液滴端部１４１がバンク１７０の角に到達すると、図７Ａに示されるように、接触角の基準面がバンクの上面からバンクの側面（塗布領域の壁面）に変わるため、接触角がθ’に増大する。これにより、接触角が後退接触角よりも大きくなるため、液滴端部１４１における表面張力は再びつりあう。その結果、図７Ｂに示されるように、液滴端部１４１はバンク１７０の角に固定された状態で、溶媒の蒸発により接触角がθ’から後退接触角θＲ’まで減少する（ＣＣＲモード）。
【００８８】
接触角が後退接触角θＲ’まで減少すると、図７Ｃに示されるように、接触角θＲ’が固定された状態で、溶媒の蒸発により液滴端部１４１が移動して、液滴の体積が減少する（ＣＣＡモード）。
【００８９】
乾燥により液滴端部１４１近傍の溶質の濃度が臨界濃度に達すると、図７Ｄに示されるように、材料液１４０がゲル化し、液滴端部１４１は塗布領域の壁面上に固定される。このような液滴端部の位置が決定することを「ピンニング」という。特に、材料液の濃度の上昇（粘度の上昇）によるピンニングを「セルフピンニング」という。セルフピンニングの後は、図７Ｅに示されるように、液滴端部１４１が固定された状態で乾燥が進み、有機機能層１８０が形成される。
【００９０】
以上のように、塗布領域内では、溶液の乾燥は、ＣＣＲモードとＣＣＡモードとを交互に繰り返しながら進行する。
【００９１】
ここで、塗布領域の壁面の傾斜角度を小さくした場合、壁面を基準面としたときに液滴端部１４１の接触角が小さくなる。このため、溶媒が蒸発すると液滴端部１４１の接触角はすぐに後退接触角θＲ’に達し、液滴端部１４１が移動して、液滴の体積が減少する（ＣＣＡモード乾燥）時間が長くなる。ＣＣＡモードで乾燥する時間が長いと、液滴端部１４１近傍の溶質の濃度が臨界濃度に達するまでに、液滴端部１４１は塗布領域の壁面のより下部まで移動する。この結果、液滴端部１４１が塗布領域の壁面上に固定される位置の高さ（有機機能層のエッジの高さ）が低くなる。
【００９２】
上述したように、基板１１０の端部に配置された副画素１３０Ｘでは、乾燥スピードのムラによって、有機機能層１８０Ｘの基板１１０の端部側のエッジが、高くなり、有機機能層１８０Ｘが基板１１０の端部側に偏る（図２参照）。
【００９３】
しかし、本実施の形態のように、副画素１３０Ｘにおいて傾斜角度αを傾斜角度βよりも小さくすることで、塗布領域の壁面Ｗ１上の有機機能層１８０Ｘのエッジの高さを低くでき、有機機能層１８０Ｘの偏りを補正することができる（図４Ａ参照）。
【００９４】
一方、基板中央部の副画素１３０Ｙでは、有機機能層が偏ることはないので、傾斜角度αと傾斜角度βとが同じであっても、均一な膜厚を有する有機機能層１８０が得られる（図４Ｂ参照）。その結果、副画素１３０ＲＸが有する有機機能層１８０Ｘの膜厚Ｔと、副画素１３０ＲＹが有する有機機能層１８０Ｙの膜厚Ｔ’とが一様になる（図４Ａおよび図４Ｂ参照）。
【００９５】
このように、本実施の形態によれば、副画素の塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することで、基板の端部に位置する副画素で生じる有機機能層の偏りを補正することができ、基板の端部に位置する副画素の有機機能層の膜厚を均一にすることができる。この結果、有機機能層の膜厚の画素間でのばらつきを補正することができる。これにより、画素間で膜厚が一様な有機ＥＬディスプレイパネルを提供することができる。
【００９６】
また、本実施の形態では、副画素における傾斜角度αと傾斜角度βとの差（以下、単に「角度差」とも称する）は、乾燥中心点に向って徐々に小さくなることが好ましい。ここで、「乾燥中心点」とは、有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程中、塗布した有機機能層の乾燥スピードが最も遅くなる仮想上の点である。乾燥中心点は、パネル内にある場合もあるが、パネル外にあることもある。
【００９７】
例えば図８Ａに示されるように１つの基板１１０から１つの有機ＥＬディスプレイパネル１００を製造する場合、乾燥中心点Ｃは、有機ＥＬディスプレイパネル１００の中央に位置する。この場合、有機ＥＬディスプレイパネル１００の四方の端部（１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ）に配置された副画素における角度差が最も大きく、乾燥中心点Ｃに近づくにしたがって、徐々に副画素における角度差が徐々に小さくなる。
【００９８】
一方、図８Ｂに示されるように１つの基板１１０から複数（例えば８つ）の有機ＥＬディスプレイパネル（１０１〜１０８）を製造する場合、乾燥中心点Ｃは、有機ＥＬディスプレイパネルの外に位置する場合がある。この場合、例えば有機ＥＬディスプレイパネル１０１に注目すると、有機ＥＬディスプレイパネル１０１の四方の端部（１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ）のうち、１０１ａおよび１０１ｄに配置された副画素における角度差が最も大きく、乾燥中心点Ｃに近づくにしたがって、徐々に副画素における角度差が徐々に小さくなる。この場合であっても、パネルの端部１０１ａおよび１０１ｄに配置された副画素における角度差は、パネル１０１の中央部に配置された同色の光を発する副画素における角度差よりも大きくなる。
【００９９】
（実施の形態２）
実施の形態１では、バンクがマトリクス状に塗布領域を規定する形態について説明した。実施の形態２では、バンクがライン状の塗布領域を規定する形態について説明する。
【０１００】
図９Ａは、実施の形態２の有機ＥＬディスプレイパネル２００の平面図である。図９Ｂは図９Ａに示された有機ＥＬディスプレイパネル２００のＡＡ線による断面図である。有機ＥＬディスプレイパネル１００と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図９Ａおよび図９Ｂに示されるように、有機ＥＬディスプレイパネル２００は、格子状のバンクを有する代わりに複数の互いに平行なライン状のバンク１７３を有する。
【０１０１】
ライン状バンク１７３は、ライン状の塗布領域１７６を規定する。ライン状バンク１７３によって規定されたライン状の塗布領域１７６は、発色領域１２０に配列された複数の副画素１３０によって共有される。また、ライン状バンク１７３によって規定されたライン状の塗布領域１７６には、有機機能層１８０がライン状に形成されている。したがって、配列された複数の副画素１３０は、１つのライン状の有機機能層１８０を共有する。
【０１０２】
図９Ｂに示されるように、有機ＥＬディスプレイパネル２００でも、有機ＥＬディスプレイパネル１００と同様に、副画素１３０Ｘでは、傾斜角度αが傾斜角度βよりも小さい。また、副画素１３０Ｘにおける傾斜角度αと傾斜角度βとの差は、副画素１３０Ｙにおける傾斜角度αと傾斜角度βとの差よりも大きい。このように、副画素の配置位置によって塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することで、基板の端部に配置された副画素で生じる有機機能層の偏りを補正することができ、有機機能層の膜厚の画素間でのばらつきを補正することができる。
【０１０３】
図１０Ａは、図９Ａに示されたライン状の塗布領域１７６ａのＡＡ線による断面図である。図１０Ｂは、図９Ａに示されたライン状の塗布領域１７６ａのＢＢ線による断面図である。
【０１０４】
図１０Ａおよび図１０Ｂに示されるように、本実施の形態では、一つライン状の発色領域１２０内で塗布領域１７６の壁面の傾斜角度が変化することを特徴とする。具体的には、発色領域１２０のライン方向の中央部の副画素１３０では、壁面の傾斜角度のテーパ角度は大きく（図１０Ａ参照）、塗布領域１７６のライン方向の端部の副画素１３０では、壁面の傾斜角度のテーパ角度が小さくなる（図１０Ｂ参照）。
【０１０５】
ライン状バンクによって規定されたライン状の塗布領域内に有機機能層の材料液を塗布し、ライン状の有機機能層を形成する場合、材料液が乾燥する過程で、材料液が塗布領域のライン方向の端部に引き寄せられ、有機機能層のライン方向の膜厚が不均一になることがある。しかし、本実施の形態のように、一つライン状の塗布領域において、ライン方向端部の壁面の傾斜角度を、ライン方向中央部の壁面よりも小さくすることで、材料液が塗布領域のライン方向の端部に引き寄せられることを防止することができる。
【０１０６】
このため、本実施の形態によれば、ライン状の塗布領域内に有機機能層の材料液を塗布し、ライン状の有機機能層を形成する場合であっても、有機機能層のライン方向の膜厚のバラツキを補正し、ライン方向に均一な膜厚を有する有機機能層を得ることができる。
【０１０７】
（実施の形態３）
実施の形態３では、副画素の位置によって画素電極の断面形状が異なる本発明の有機ＥＬディスプレイパネルについて説明する。
【０１０８】
図１１Ａは、実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００の平面図である。図１１Ｂは図１１Ａに示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＡＡ線による断面図である。
【０１０９】
実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００は、同色の光を発する副画素が有する塗布領域の壁面の傾斜角度が同じであり、同色の光を発する副画素が有する画素電極の断面形状が異なること以外は、実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００と同じである。有機ＥＬディスプレイパネル１００と同一の構成要素については同一の符号を付し説明を省略する。
【０１１０】
図１１Ｂに示されるように実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００では、それぞれの副画素１３０が、凹曲状の画素電極４５０を有する。ここで「画素電極が凹曲状」とは、画素電極の機能層側の表面が局面であり、中央部が基板側に窪んでいることを意味する。
【０１１１】
通常画素電極上に塗布形成される有機機能層の表面（対向電極と対向する面）は凹曲状になる（図２参照）。このため、有機機能層の底面（基板と対向する面）が平坦であると、副画素内における有機機能層の膜厚が不均一になる。一方、本実施の形態のように、画素電極４５０を凹曲状にすれば、画素電極４５０上に塗布形成される塗布形成される有機機能層１８０の底面の形状を凹曲状にすることができる。これにより、有機機能層の表面の形状と底面の形状とを合わせることができ、副画素内の有機機能層の膜厚を均一にすることができる。
【０１１２】
画素電極４５０を凹曲状にするには、例えば、基板１１０に凹曲部を形成し、凹曲部上に画素電極４５０を形成すればよい。基板１１０に凹曲部を形成するには、基板１１０を直接ウェットエッチングまたはドライエッチングしてもよいし、凹曲部が形成される面に感光性樹脂層を配置し、感光性樹脂層を露光し、現像して凹曲部をパターニングしてもよい。
【０１１３】
本実施の形態では、副画素の配置位置によって画素電極の断面形状が異なることを特徴とする。より具体的には、それぞれの副画素１３０は、それぞれの副画素１３０が有する有機機能層１８０の形状に合った断面形状の画素電極４５０を有する。例えば、有機機能層１８０が基板１１０の端部側に偏る副画素１３０Ｘでは、画素電極４５０も有機機能層１８０と同様に偏った形状を有する。一方で、有機機能層１８０が基板１１０の端部側に偏らない副画素１３０Ｙでは、画素電極４５０の形状も偏らない。以下、図面を参照し、画素電極４５０の具体的な形状について説明する。
【０１１４】
図１２Ａは、図１１Ｂに示された副画素１３０ＲＸの拡大図であり、図１２Ｂは図１１Ｂに示された副画素１３０ＲＹの拡大図である。図１２Ａに示されるように、副画素１３０ＲＸが有する画素電極４５０Ｘの底点Ｚは、画素電極４５０Ｘの中心Ｓよりも基板１１０の中心側に位置する。このように、画素電極４５０Ｘの定点を基板１１０の中心側にずらすことで、有機機能層１８０ＲＸが基板１１０の端部側に偏ったとしても、有機機能層１８０ＲＸの膜厚を均一にすることができる。その結果、副画素１３０ＲＸが有する有機機能層１８０ＲＸの膜厚Ｔと、副画素１３０ＲＹが有する有機機能層１８０ＲＹの膜厚Ｔ’とが一様になる。
【０１１５】
一方、図１２Ｂに示されるように副画素１３０ＲＹが有する画素電極４５０Ｙでは、画素電極４５０Ｙの底点Ｚ’は、画素電極４５０Ｙの中心に位置する。このように本実施の形態では、副画素１３０Ｘの画素電極４５０Ｘの底点Ｚは、画素電極１５０Ｘの中心Ｓよりも基板１１０の中心側に位置し、画素電極４５０Ｘの底点Ｚと画素電極４５０Ｘの中心Ｓとの間隔は、副画素１３０Ｙの画素電極４５０Ｙの底点Ｚ’と画素電極４５０Ｙの中心Ｓ’との間隔よりも大きい。
【０１１６】
このように、画素電極の断面形状を有機機能層の形状に合わせることで、基板の端部の副画素の有機機能層の膜厚を均一にすることができる。この結果、塗布法で形成される有機機能層１８０の画素間でのばらつきを補正することができる。
【０１１７】
また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、同色の光を発する副画素が有する画素電極の底点と中心点との距離は、基板の端部から乾燥中心点に向って徐々に小さくなることが好ましい。
【０１１８】
本出願は、２００９年６月２９日出願の特願２００９−１５４２４０に基づく優先権を主張する。当該出願明細書に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
本発明によれば輝度が高い有機ＥＬディスプレイパネルを提供することができる。
【符号の説明】
【０１２０】
１００、１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、２００、３００  有機ＥＬディスプレイパネル
１１０  基板
１２０  発色領域
１３０  副画素
１４０  有機機能層の材料液
１４１  液滴の端部
１５０、４５０  画素電極
１６０  金属酸化物膜
１７０  格子状バンク
１７１  感光性樹脂膜
１７３  ライン状バンク
１７５、１７６  塗布領域
１８０  有機機能層
１８１  有機機能層の基板端部側のエッジ
１８２  有機機能層の基板中央部側のエッジ
１９０  ハーフトーンマスク
【図１】
2011001644.tif 000003
【図２】
2011001644.tif 000004
【図３】
2011001644.tif 000005
【図４】
2011001644.tif 000006
【図５】
2011001644.tif 000007
【図６】
2011001644.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年8月5日(2010.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイパネルは、有機化合物の電界発光現象を利用した発光素子（有機ＥＬ素子）を有するディスプレイパネルである。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイパネルは、基板上にＲＧＢ三色の副画素（有機ＥＬ素子）をマトリクス状に配置して製造される。ＲＧＢ三色の有機ＥＬ素子は一つの画素を構成する。それぞれの有機ＥＬ素子は、基板上に、画素電極（例えば、陽極）、有機発光層、対向電極（例えば、陰極）を積層することで製造される。また、電子注入層や電子輸送層、正孔輸送層、正孔注入層などの機能層を積層することもある。
【０００４】
有機発光素子は、赤色の光を発する有機発光素子Ｒと、緑色の光を発する有機発光素子Ｇと、青色の光を発する有機発光素子Ｂとに分類されうる。各有機発光素子に含まれる有機発光層の全てを白色発光する有機発光層として、白色光をカラーフィルターで着色することもあるが；有機発光素子毎に、赤色発光する有機発光層、緑色発光する有機発光層、または青色発光する有機発光層を配置してもよい。
【０００５】
有機発光層や正孔注入層、正孔輸送層などの機能層は、例えば、機能層の材料液を基板上に塗布し、乾燥させることで形成される。より具体的には、樹脂などからなるバンクでＲＧＢ毎に機能層が形成される領域を規定し、バンクによって規定された領域内に、機能層の材料液を塗布し乾燥させることで、機能層が形成される。
【０００６】
このように、塗布法で機能層を形成する場合、パネルの端部の形成領域（機能層が形成されれる領域）と、パネルの中央部の形成領域で、機能層の材料液の乾燥スピードが異なることがある。材料液の乾燥スピードは、乾燥後の機能層の形状に影響を及ぼす。このため材料液の乾燥スピードが異なると、形成される機能層の形状プロフィールや膜厚も異なる。画素間の機能層の膜厚のムラは、ディスプレイにおける輝度のムラに繋がる。
【０００７】
このような問題を解決するため、パネルの端部の形成領域（機能層が形成される空間）を、パネルの中央部の形成領域よりも大きくする技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、パネルの端部の形成領域を、パネルの中央部の形成領域よりも大きくし；形成領域の大きさに応じて機能層の材料液を増やすことで、パネルの中央部とパネルの端部との間に生じる材料液の乾燥スピードのムラを補正している。
【０００８】
また、パネルの端部の形成領域に塗布する材料液に含まれる溶媒の量を、パネルの中央部の形成領域に塗布する材料液に含まれる溶媒の量よりも多くすることで、パネルの中央部とパネルの端部との間に生じる材料液の乾燥スピードのムラを補正する技術も提案されている（例えば特許文献２参照）。
【０００９】
また、パネルの中央部とパネルの端部との間の乾燥スピードのムラによるディスプレイの輝度ムラを防止するために、画素がマトリクス状に配置された発色領域の外周部に画素電極を有さない形成領域（ダミー領域）を設ける技術も提案されている（例えば特許文献３〜６参照）。
【００１０】
このように発光領域の外周部にダミーの領域を設け、ダミー領域にも材料液を塗布する
と、非発光領域であるダミー領域では膜厚が不均一な機能層が形成されてしまうが、パネル中央の発光領域では材料液の乾燥スピードのばらつきが低減され、画素間で機能層の膜厚が均一になる。このため、ディスプレイの輝度ムラを低減することができる。
【００１１】
また、塗布形成される機能層の形状プロフィールは、溶液の溶質や溶媒の種類、およびそれらの含有割合によっても相違する。例えば、有機発光素子の各色のカラーフィルター膜を塗布形成しようとするときには、塗布する溶液の溶質が色毎に相違する。そのため、隔壁（バンク）の高さやテーパ角度が同じであると、カラーフィルター膜の形状が色毎に相違しやすい。そこで、カラーフィルター膜の色毎に、隔壁（バンク）の高さやテーパ角度を変えて、カラーフィルター膜の膜厚均一性を高める技術が報告されている（例えば特許文献７を参照）。
【００１２】
また、有機ＥＬ素子からの光の取出し効率を高めるために、画素電極または対向電極のうちの一方を透明電極として、かつもう一方を反射電極とし；反射電極と有機発光層との間にスパッタリングなどで透明導電膜を配置する技術が知られている（例えば特許文献８参照）。さらに、反射電極と有機発光層との間に配置された透明導電膜で有機発光層から反射電極までの光学的距離を調整することで、反射電極によって反射された後に透明電極に向う光と、透明電極に直接向う光とが強め合い、光の取出し効率を高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００８−１６２０５号公報
【特許文献２】特開２００６−２６０７７９号公報
【特許文献３】特開２００７−１０３３４９号公報
【特許文献４】特開２００６−３８７０号公報
【特許文献５】米国特許出願公開第２００７／００５２１９９号明細書
【特許文献６】米国特許第７４５９１７７号明細書
【特許文献７】特願２００７−３１０１５６号公報
【特許文献８】特開２００３−２７２８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、特許文献１または特許文献２に開示された技術のように、有機ＥＬディスプレイの端部と中央部とで乾燥スピードのムラを補正したとしても、画素間で機能層の形状がばらつくといった問題を解消することはできなかった。このように、機能層の形状が画素間でばらつくと、有機ＥＬディスプレイパネルの輝度がばらつく。
【００１５】
以下、図１Ａ〜Ｄを参照し、画素間で機能層の形状がばらつくメカニズムについて説明する。
【００１６】
図１Ａは、機能層が形成される前の有機ＥＬディスプレイパネルの断面図である。図１Ａに示された有機ＥＬディスプレイパネルは、基板１１０上に配列された副画素（有機ＥＬ素子）１３０Ｒ、１３０Ｇ、１３０Ｂを有する。それぞれの副画素は基板１１０上に配置されたバンク１７０を有する。副画素１３０Ｒは、赤色発光する副画素であり；副画素１３０Ｇは、緑色発光する副画素であり；副画素１３０Ｂは、青色発光する副画素である。有機ＥＬディスプレイパネルは、パネルの端部に配置された副画素１３０ＲＸと、パネルの中央部に配置された副画素１３０ＲＹとを有する。
【００１７】
図１Ｂは、バンク１７０によって規定された領域に、機能層の材料液１４０を塗布した
様子を示し、図１Ｃは、バンク１７０によって規定された領域内の機能層の材料液１４０が乾燥する様子を示す。有機ＥＬディスプレイパネルの端部では材料液１４０の溶媒の蒸気濃度が低いので、機能層の材料液１４０の乾燥が促進される。塗布された材料液１４０は、乾燥速度の速い方へ対流するため、副画素１３０ＲＸ内の機能層１８０の材料液１４０は、パネルの端部側に引き寄せられる。
【００１８】
図１Ｄは、形成された機能層１８０の形状を示す。また、図２Ａは図１Ｄに示された副画素１３０ＲＸの拡大図であり、図２Ｂは、図１Ｄに示された副画素１３０ＲＹの拡大図である。上述のように、材料液１４０の乾燥中、副画素１３０ＲＸ内の材料液１４０は、パネルの端部側に引き寄せられるので、形成された副画素１３０ＲＸの機能層１８０の基板の端部側のエッジ１８１は高くなり、基板中央部側のエッジ１８２は低くなる。このように機能層を塗布法で形成した場合、基板の端部に配置された副画素の機能層は基板の端部側に偏る。このため副画素１３０ＲＸの機能層１８０の膜厚Ｔは、副画素１３０ＲＹの機能層１８０の膜厚Ｔ’よりも薄くなる。
【００１９】
本発明の目的は、ディスプレイパネル内の機能層の形状を一様にする手段を提供し、輝度ムラのない有機ＥＬディスプレイパネルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、基板の端部の副画素において、バンクによって規定された塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することで、画素間の有機機能層の形状および膜厚のばらつきを補正できることを見出し、さらに検討を加え発明を完成させた。
【００２１】
すなわち本発明は、以下に示す有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
［１］平行な２以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域に一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、前記発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された発色領域および青色の光を発する副画素が配列された発色領域が含まれ、前記副画素は、それぞれ、前記基板上に配置された画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、有機ＥＬディスプレイパネル。
［２］前記副画素Ｘにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差は、前記副画素Ｘと同一の色の光を発し、かつ前記基板の中央部に位置する発色領域Ｙに配列された副画素Ｙにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差よりも大きい、［１］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［３］それぞれの前記副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、四方を前記バンクによって囲まれている、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［４］前記発色領域内に一列に配列された２以上の副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、前記バンクによって規定された、１つのライン状の領域を構成する、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［５］１の前記ライン状の発色領域において、前記ライン方向の中央部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度は、前記ライン方向の端部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度よりも大きい、［４］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［６］前記有機機能層は、有機発光層および正孔輸送層を含む、［１］〜［５］のいず
れか一つに記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、基板端部の副画素で有機機能層が基板端部側に偏ることを防止し、画素間で有機機能層の形状および膜厚を一様にすることができ、輝度が均一な有機ＥＬディスプレイパネルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】機能層を塗布法で形成したときの機能層の材料液の挙動を示す図
【図２】塗布法によって形成された機能層を示す図
【図３】実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネルを示す図
【図４】実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネルに含まれる副画素の断面図
【図５】バンクの形成方法を示す図
【図６】乾燥過程における有機機能層の材料液の挙動を示す図
【図７】乾燥過程における有機機能層の材料液の挙動を示す図
【図８】乾燥中心点を示す図
【図９】実施の形態２の有機ＥＬディスプレイパネルを示す図
【図１０】実施の形態２の有機ＥＬディスプレイパネルに含まれるライン状の塗布領域の断面図
【図１１】実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネルを示す図
【図１２】実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネルに含まれる副画素の断面図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルは、基板と、基板上に配置された複数の副画素（有機ＥＬ素子）とを有する。
【００２５】
［基板］
基板は、互いに平行な複数のライン状の発色領域を有する。ここで発色領域とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの副画素が１列に配列された領域を意味する。すなわち、基板上には、３種類の発色領域（Ｒ、Ｇ、Ｂ）が互いに平行に配置されている。例えば、赤発色領域の隣に緑発色領域を配置し、緑発色領域の隣に青発色領域を配置し、青発色領域の隣に赤発色領域を配置する。
【００２６】
また本発明では、基板の端部に位置する発色領域を「発色領域Ｘ」と称し、基板の中央部に位置し、発色領域Ｘに配列された副画素と、同色光を発する副画素が配列された発色領域を「発色領域Ｙ」と称する。ここで「基板の端部」とは、基板の周縁部のみを意味するのではなく、「基板の中央部」に対して相対的に外側の領域を意味する。同様に、「基板の中央部」とは、基板の中央のみを意味するのではなく、「基板の端部」に対して相対的に中央側の領域を意味する。すなわち、「基板の端部」および「基板の中央部」は、比較対象の２つの領域の相対的な位置関係を特定している。
【００２７】
基板の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型かトップエミッション型かによって異なる。本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、基板の材料は、透明かつ絶縁体であれば特に限定されない。このような材料の例には、ガラスや透明樹脂などが含まれる。一方、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがトップエミッション型の場合、基板の材料は、絶縁体であれば特に限定されない。基板の大きさおよび厚さは、製造する有機ＥＬディスプレイパネルの大きさや基板の材料などに応じて適宜設定すればよい。
【００２８】
基板は、有機ＥＬ素子を駆動するための薄膜トランジスタ（駆動ＴＦＴ）を有していて
もよい。ＴＦＴのソース電極またはドレイン電極は、後述する画素電極に接続される。
【００２９】
［副画素］
上述のように副画素（有機ＥＬ素子）には、赤色の光を発する副画素、緑色の光を発する副画素および青色の光を発する副画素が含まれる。これらの３つの色（ＲＧＢ）を発する副画素が一つの画素を構成する。
【００３０】
また本発明では、基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素を「副画素Ｘ」と称し、基板の中央部の発色領域Ｙに配列された副画素を「副画素Ｙ」と称する。副画素Ｘと副画素Ｙとは同色光を発する。
【００３１】
基板上に配置された副画素は、それぞれ、１）画素電極、２）バンク、３）有機機能層、および４）対向電極を有する。以下それぞれの構成部材について説明する。
【００３２】
１）画素電極
画素電極は、基板上に配置された導電性部材である。画素電極は、通常陽極として機能するが、陰極として機能してもよい。また、画素電極の表面には、遷移金属の酸化物からなる膜（例えば酸化タングステンや酸化モリブデンなど）が形成されていてもよい。画素電極の表面上の遷移金属の酸化物膜は正孔注入層として機能する。
【００３３】
画素電極の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型かトップエミッション型かによって異なる。本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、画素電極の材料は、透明かつ導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）やＩＺＯ（酸化インジウム・亜鉛）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などが含まれる。一方、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがトップエミッション型の場合、画素電極の材料は、光反射性を有し、かつ導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、銀を含む合金、より具体的には銀−パラジウム−銅合金（ＡＰＣ）や銀−ルテニウム−金合金（ＡＲＡ）、ＭｏＣｒ（モリブデンクロム）、ＮｉＣｒ（ニッケルクロム）、アルミニウム−ネオジム合金（Ａｌ−Ｎｄ）などが含まれる。また、光反射性の画素電極の表面には、ＩＴＯ膜またはＩＺＯ膜が形成されていてもよい。
【００３４】
２）バンク
バンクは、有機機能層が塗布形成される領域（以下「塗布領域」とも称する）の壁面を構成し、塗布領域を規定する。本発明では、バンクは、塗布領域をマトリクス状に規定してもよいし、ライン状に規定してもよい。
【００３５】
バンクが、塗布領域をマトリクス状に規定する場合、有機ＥＬディスプレイパネルは格子状のバンクを有し（図３Ａ参照）、各副画素が有する塗布領域は、四方をバンクに囲まれている。一方、バンクがライン状の塗布領域を規定する場合、有機ＥＬディスプレイパネルは複数のライン状バンクを有し、発色領域内に一列に配列された複数の副画素が有する塗布領域は、ライン状のバンクによって規定された１つのライン状の塗布領域を構成する（図９Ａ参照）。
【００３６】
バンクの基板の表面からの高さは０．１〜３μｍであることが好ましく、０．８μｍ〜１．２μｍであることが特に好ましい。バンクの高さが３μｍ超であった場合、後述する全ての有機ＥＬ素子が共有する一つの対向電極のステップカバレッジが低下する恐れがある。また、バンクの高さが０．１μｍ未満であった場合、バンクによって規定された塗布領域内に塗布されたインクがバンクから漏れ出すおそれがある。
【００３７】
また、バンクの形状は順テーパ状であることが好ましい。順テーパ状とは、バンクの側面が斜めになっており、バンクの底面の面積がバンクの上面の面積よりも大きい形状を意味する。バンクのテーパ角度は８０°以下であることが好ましい。バンクのテーパ角度が８０°超であった場合、後述する対向電極のステップカバレッジが低下する。
【００３８】
バンクの材料の例には、ポリイミドなどの絶縁性樹脂が含まれる。バンクの表面は、濡れ性が低いこと（例えば、撥液性であること）が好ましい。バンクの表面の濡れ性を低くするには、例えば、バンクの材料をフッ素化合物を含むフッ素含有樹脂としたり、フッ素系ガスプラズマでバンクの表面をフッ素化処理したりすればよい。
【００３９】
フッ素含有樹脂に含まれるフッ素化合物の例には、フッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エチレン、およびこれらの共重合体等のフッ化樹脂などが含まれる。またフッ素含有樹脂に含まれる樹脂の例には、フェノール−ノボラック樹脂、ポリビニルフェノール樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂およびこれらの組み合わせが含まれる。
【００４０】
フッ素含有樹脂のさらに具体的な例には、例えば特表２００２−５４３４６９号公報に記載されているフッ素含有ポリマー（フルオロエチレン）とビニルエーテルとの共重合体であるルミフロン（ＬＵＭＩＦＬＯＮ、登録商標、旭硝子）などが含まれる。
【００４１】
バンクは、例えばフォトリソグラフィ法で形成される。バンクをフォトリソグラフィ法で形成する方法は、例えば、ｉ）基板上に感光性樹脂膜を形成するステップと、ii）形成された感光性樹脂膜を露光するステップと、iii）露光された感光性樹脂膜を現像してパターニングするステップと、iv）パターニングされた樹脂膜をベークして、樹脂膜を基板に固定するステップと、を有する（図５Ａ〜図５Ｄ参照）。
【００４２】
本発明では、基板端部に位置する発色領域Ｘ内の副画素Ｘが有する塗布領域の壁面の傾斜角度に特徴とする。本発明では「塗布領域の壁面」とは、塗布領域の壁面のうち、発色領域のライン方向に平行な壁面を意味する。また、本発明では、発色領域のライン方向に平行な壁面のうち、基板端部側の壁面を「壁面Ｗ１」と称し、基板中央部側の壁面を「壁面Ｗ２」とも称する。また、壁面Ｗ１の傾斜角度を「傾斜角度α」と称し、壁面Ｗ２の傾斜角度を「傾斜角度β」とも称する。
【００４３】
また「副画素が有する塗布領域」とは、各副画素が四方をバンクに囲まれた塗布領域を有する場合、四方をバンクに囲まれた各塗布領域を意味し（図３Ａ参照）；発色領域内の複数の副画素が有する塗布領域が、１つのライン状の塗布領域を構成する場合、ライン状の塗布領域を発色領域内に配列された副画素の数で等分割したときの各領域を意味する（図９Ａ参照）。
【００４４】
具体的には、本発明では副画素Ｘにおいて、壁面Ｗ１傾斜角度αは、壁面Ｗ２の傾斜角度βよりも小さいことを特徴とする。副画素Ｘにおける傾斜角度αは、２０〜６０°であり、壁面Ｗ２の傾斜角度βは、４０〜７０°である。また、副画素Ｘにおいて、傾斜角度αと、傾斜角度βとの差の最大値は、１０〜５０°である。
【００４５】
また、本発明では、発色領域の位置に応じて、副画素の塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することを特徴とする。具体的には、基板の中央部に位置する発色領域Ｙ内の副画素Ｙでは傾斜角度αおよび傾斜角度βは、４０〜７０°である。すなわち、副画素Ｘでは、傾斜角度αと傾斜角度βとの差が大きいが、副画素Ｙでは、傾斜角度αと傾斜角度βとの差が小さいか、または差がない。
【００４６】
このように、塗布領域の壁面の傾斜角度を調節するには、塗布領域の壁面を構成するバ
ンクのテーパ角度を調節すればよい。バンクのテーパ角度を調節するには、感光性樹脂膜を露光する際に、露光強度を調節すればよい。例えば、感光性樹脂膜の材料を光硬化性樹脂とし、テーパ角度を小さくしたい領域を、多階調マスク（グレイトーンマスクやハーフトーンマスク）を通した弱い光で露光すればよい（図５Ｂ参照）。
【００４７】
このように、副画素が有する塗布領域の壁面の傾斜角度を調整することで、乾燥ムラによって生じる画素間の有機機能層の形状および膜厚のばらつきを補正することができる。有機機能層の形状および膜厚のばらつきを補正するメカニズムについては、実施の形態１で図面を参照しながら詳細に説明する。
【００４８】
３）有機機能層
有機機能層は、画素電極上に配置された、少なくとも有機発光層を含む層である。本発明では、有機機能層は、バンクによって規定された塗布領域に有機機能層の材料液を塗布することで形成される。たとえば、有機機能層の材料液（有機機能層の材料をアニソールやシクロヘキシルベンゼンなどの有機溶媒に溶解させた溶液）を、塗布法（例えば、インクジェット法）によって塗布し、乾燥させることによって、有機機能層を形成することができる。有機機能層の厚さは、特に限定されないが、例えば５０〜２００ｎｍ程度であればよい。
【００４９】
有機機能層が有する有機発光層に含まれる有機ＥＬ材料は、副画素（有機ＥＬ素子）が発する光の色（ＲＧＢ）に応じて、副画素ごとに適宜選択される。有機ＥＬ材料は、高分子有機ＥＬ材料および低分子有機ＥＬ材料のいずれでもよいが、塗布法により形成する観点からは高分子有機ＥＬ材料が好ましい。高分子有機ＥＬ材料を用いることで、他の部材に損傷を与えることなく有機発光層を容易に形成することができるからである。高分子有機ＥＬ材料の例には、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリアセチレン（polyacetylene）およびその誘導体、ポリフェニレン（polyphenylene（ＰＰ））およびその誘導体、ポリパラフェニレンエチレン（polyparaphenylene ethylene）およびその誘導体、ポリ３−ヘキシルチオフェン（poly-3-hexylthiophene（Ｐ３ＨＴ））およびその誘導体、ポリフルオレン（polyfluorene（ＰＦ））およびその誘導体などが含まれる。低分子有機ＥＬ材料の例には、トリス（８−キノリノラート）アルミニウムなどが含まれる。
【００５０】
有機機能層は、有機発光層に加えて、正孔注入層や正孔輸送層（インターレイヤ）、電子注入層、電子輸送層などを有してもよい。
【００５１】
正孔注入層は、例えばポリエチレンスルホン酸をドープしたポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳと称される）や、その誘導体（共重合体など）を含む。このような正孔注入層は、例えば正孔注入層の材料液（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳと水を含むインク）を画素電極に塗布することで形成される。
【００５２】
正孔輸送層は、画素電極（または正孔注入層）と有機発光層との間に配置される。正孔輸送層は、有機発光層に正孔を効率よく運ぶ機能、および画素電極（または正孔注入層）への電子の侵入をブロックする機能を担う。正孔輸送層の材料は、ポリフルオレンとトリフェニルアミン誘導体とのコポリマーであることが好ましい。
【００５３】
正孔輸送層は、正孔輸送層の材料液（例えば、正孔輸送層の材料をアニソールやシクロベンゼンなどの有機溶媒に溶解させた溶液）を、画素電極（または正孔注入層）上に塗布することで形成されうる。正孔輸送層の厚さは、特に限定されないが、例えば１０〜４０ｎｍ程度であればよい。
【００５４】
有機機能層が正孔注入層や正孔輸送層などを有する場合、画素電極を反射電極とし、塗
布形成される正孔注入層や正孔輸送層で有機発光層と反射陽極である画素電極との間の光学的距離を調節してもよい。特に正孔輸送層は、厚さが多少増減しても、有機ＥＬ素子の発光特性に大きな影響を与えないことから、光学的距離を調整するための層として好ましい。塗布形成される正孔注入層や正孔輸送層などで光学的距離を調整することで、有機ＥＬ素子の光の取出し効率を向上させることができる。正孔注入層や正孔輸送層で光学的距離を調節する場合、最適な光学的距離は光の波長によって異なることから、正孔注入層や正孔輸送層の膜厚はＲＧＢごとに異なり、有機機能層の膜厚がＲＧＢごとに異なる。
【００５５】
一方で、同色の光を発する副画素の有機機能層の膜厚は均一であることが好ましい。同色の光を発する副画素の有機機能層の膜厚がばらつくと、有機ＥＬディスプレイパネルの輝度ムラが生じるからである。特に上述したように有機機能層で光学的距離を調節した場合、同色の光を発する副画素の有機機能層の膜厚がばらつくと、副画素間で、光学的距離が適切に調整された副画素と、光学的距離が適切に調節されていない副画素とが発生し、有機ＥＬディスプレイパネルの輝度ムラが特に顕著になる。
ここで「有機機能層の厚さ」とはそれぞれの副画素が有する有機機能層のうち最も薄い箇所の膜厚を意味する（図４Ａ、図４Ｂ参照）。
【００５６】
４）対向電極
対向電極は、有機機能層上に配置される導電性部材である。対向電極は通常陰極として機能するが、陽極として機能してもよい。複数の副画素が、１つの対向電極を共有してもよい。例えば、有機ＥＬディスプレイパネルがアクティブマトリクス型である場合、１枚のパネルに含まれるすべての副画素が、１つの対向電極を共有していてもよい。
【００５７】
対向電極の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型かトップエミッション型かによって異なる。本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがトップエミッション型の場合、対向電極の材料は、透明かつ導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、ＩＴＯやＩＺＯ、ＺｎＯなどが含まれる。一方、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型の場合、画素電極の材料は、導電体であれば特に限定されない。このような材料の例には、バリウムや酸化バリウム、アルミニウムなどが含まれる。
【００５８】
対向電極上には、さらに封止膜が配置されていてもよい。封止膜は、有機機能層や画素電極などを、水分や熱、衝撃などから保護する機能を担う。封止膜の材料の例には、窒化シリコンや酸化窒化シリコンなどが含まれる。
【００５９】
以下、図面を参照しながら、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの実施の形態について説明する。しかし、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。
【００６０】
（実施の形態１）
図３Ａは、本発明の実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００の平面図である。また図３Ｂは、実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００のＡＡ線による断面図である。
【００６１】
図３Ａおよび図３Ｂに示されるように有機ディスプレイパネル１００は、複数の互いに平行なライン状の発色領域１２０を有する基板１１０と、発色領域１２０内に一列に配列された複数の副画素（有機ＥＬ素子）１３０と、を有する。
【００６２】
発色領域１２０には、赤色の光を発する副画素１３０Ｒが配列された発色領域１２０Ｒと、緑色の光を発する副画素１３０Ｇが配列された発色領域１２０Ｇと、青色の光を発する副画素１３０Ｂが配列された発色領域１２０Ｂと、が含まれる。副画素１３０Ｒ、副画
素１３０Ｇおよび副画素１３０Ｂで一つの画素を構成する。
【００６３】
また、発色領域１２０には、基板１１０の端部に位置する発色領域１２０Ｘと（１２０ＲＸ、１２０ＧＸ、１２０ＢＸ）と、基板１１０の中央部に位置する発色領域１２０Ｙと（１２０ＲＹ、１２０ＧＹ、１２０ＢＹ）とが含まれる。発色領域１２０Ｘには、副画素１３０Ｘ（１３０ＲＸ、１３０ＧＸ、１３０ＢＸ）が配列され、発色領域１２０Ｙには副画素１３０Ｙ（１３０ＲＹ、１３０ＧＹ、１３０ＢＹ）が配列される（図３Ｂ参照）。
【００６４】
図３Ｂに示されるように、それぞれの副画素１３０は、基板１１０上に配置された画素電極１５０と、画素電極上に配置された金属酸化物膜１６０と、塗布領域１７５を規定するバンク１７０と、塗布領域１７５内に形成された有機機能層１８０と、有機機能層１８０上に配置された対向電極１９０（不図示）と、を有する。有機機能層１８０は、金属酸化物膜１６０上に配置される。
【００６５】
塗布領域１７５の壁面は、バンク１７０の側面によって構成される。また、本実施の形態では、バンク１７０は、格子状に形成され、各副画素１３０が四方をバンク１７０に囲まれた塗布領域１７５を有する。
【００６６】
金属酸化物膜１６０は、例えば酸化タングステンであり、正孔注入層として機能する。
【００６７】
副画素１３０Ｒが有する有機機能層１８０Ｒは、赤色の光を発する有機発光層を含み；副画素１３０Ｇが有する有機機能層１８０Ｇは、緑色の光を発する有機発光層を含み；副画素１３０Ｂが有する有機機能層１８０Ｂは、青色の光を発する有機発光層を含む。
【００６８】
図４Ａは、図３Ｂに示された副画素１３０ＲＸの拡大図であり、図４Ｂは図３Ｂに示された副画素１３０ＲＹの拡大図である。
【００６９】
図４Ａに示されるように、副画素１３０ＲＸでは、壁面Ｗ１の傾斜角度αは、壁面Ｗ２の傾斜角度βよりも小さい。一方、図４Ｂに示されるように、副画素１３０ＲＹでは、壁面Ｗ１の傾斜角度αと、壁面Ｗ２の傾斜角度βとは同程度である。
【００７０】
このため、副画素１３０ＲＸにおける傾斜角度αと、傾斜角度βとの差は、副画素１３０ＲＹにおける傾斜角度αと、傾斜角度βとの差よりも大きい。
【００７１】
次に塗布領域１７５の壁面を構成するバンク１７０をフォトリソグラフィ法で形成する方法について図を参照しながら説明する。図５Ａ〜図５Ｄは、基板１１０の端部に配置された副画素１３０ＲＸのバンク１７０の形成方法の工程を示す。
【００７２】
図５Ａ〜図５Ｄに示されるように、バンク１７０の形成方法は、１）基板１１０上に感光性樹脂膜１７１を形成する第１ステップ（図５Ａ）と、２）感光性樹脂膜１７１を露光する第２ステップと、３）露光された感光性樹脂膜１７１を現像し、感光性樹脂膜１７１をパターニングする第３ステップ（図５Ｃ）と、４）パターニングされた樹脂膜１７１をベークし、基板１１０上に固定する第４ステップ（図５Ｄ）とを有する。
【００７３】
１）図５Ａは第１ステップを示す。図５Ａに示されるように第１ステップでは、金属酸化物膜１６０によって覆われた画素電極１５０が配置された基板１１０上に感光性樹脂膜１７１を形成する。本実施の形態では、感光性樹脂が光硬化性樹脂（ネガ型のフォトレジスト）である例について説明するが、感光性樹脂は、ポジ型のフォトレジストであってもよい。
【００７４】
基板１１０上に感光性樹脂膜１７１を形成するには、感光性樹脂組成物を、スピンコート、ダイコート、スリットコートなどによって感光性樹脂組成物を基板１１０上に塗布し、塗布された膜をプリベークすればよい。プリベーク条件は特に限定されないが、８０〜１００℃（例えば１００℃）で２〜３分間放置すればよい。
【００７５】
２）図５Ｂは第２ステップを示す。図５Ｂに示されるように第２ステップでは、感光性樹脂膜１７１を露光する。より具体的には、感光性樹脂膜１７１のうち、バンク１７０となる領域に光を照射する。本実施の形態では、バンク１７０となる感光性樹脂膜１７１の領域のうち、壁面Ｗ１を構成する領域１７１ａにハーフトーンマスク１９０を通した弱い光を照射し、それ以外の領域１７１ｂにマスクを介さない強い光を照射する。
【００７６】
光照射によって感光性樹脂が硬化され、感光性樹脂の弾性およびガラス転移温度が上昇する。硬化の程度は、照射される光の強度に依存するので、弱い光が照射された領域１７１ａの樹脂では、硬化の度合いが比較的小さく、強い光が照射された領域１７１ｂの樹脂では、硬化の度合いが比較的大きい。
【００７７】
３）図５Ｃは第３ステップを示す。図５Ｃに示されるように第３ステップでは、露光された感光性樹脂膜１７１を現像する。感光性樹脂膜１７１を現像するには、露光された感光性樹脂膜１７１が配置された基板１１０を、例えば０．２％ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）液に６０秒間浸し、その後純水で６０秒間すすげばよい。
【００７８】
上述のように、弱い光が照射された領域１７１ａでは、硬化の度合いが小さいので、現像工程で、樹脂膜１７１のエッジが削られ、樹脂膜１７１の側面の傾斜角度αが小さくなる。一方、強い光が照射された領域１７１ｂでは、硬化の度合いが大きいので、現像工程で樹脂膜１７１のエッジが削られにくく、樹脂膜１７１の側面の傾斜角度βが比較的大きくなる。
【００７９】
４）図５Ｄは第４ステップを示す。図５Ｄに示されるように第４ステップでは、パターニングされた樹脂膜１７１を焼成（ポストベーク）して、基板１１０上に固定する。ポストベークの条件は特に限定されないが、例えば温度は約２００℃以上（例えば２２０℃）であり、時間は約１時間である。パターニングされた樹脂膜１７１をポストベークすることで、樹脂膜１７１内の溶剤および水分が除去され、樹脂膜１７１と基板との密着性が高められ、樹脂膜１７１が基板１１０上に固定される。基板１１０に固定された樹脂膜１７１は、バンク１７０を構成する。
【００８０】
このように、フォトリソグラフィ法でバンク１７０を形成する際に、露光条件を局所的に調節することで、バンク１７０のテーパ角度を調節することができ、塗布領域１７５の壁面の傾斜角度を調節することができる。
【００８１】
このように、副画素１３０Ｘにおいて、傾斜角度αを、傾斜角度βよりも小さくすることで、副画素１３０Ｘが有する有機機能層１８０Ｘの偏りを補正することができる。その結果、基板１１０の端部に配置された副画素１３０Ｘが有する有機機能層１８０の膜厚を均一にすることができ、有機機能層１８０の膜厚の画素間のばらつきを補正することができる。
【００８２】
以下、バンクによって規定された塗布領域内に塗布された有機機能層の材料液が乾燥する過程で示す挙動について説明しながら、塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することによって有機機能層の膜厚を均一にすることができるメカニズムについて説明する。
図６Ａ〜Ｃおよび図７Ａ〜Ｅは、材料液が乾燥する過程で示す基本的な挙動を示す模式
図である。
【００８３】
図６Ａは、有機機能層の材料液１４０をバンク１７０によって規定された塗布領域１７５内に塗布した直後の状態を示す模式図である。図６Ａに示されるように、材料液１４０は、塗布領域１７５から溢れ出しバンク１７０の上面まで塗布される。塗布直後においては、液滴端部１４１における表面張力のつりあいによって、液滴端部１４１の接触角がθとなる。
【００８４】
材料液１４０が乾燥し始めると、表面張力のつりあいが保たれている間は、図６Ｂに示されるように、液滴端部１４１が固定された状態で、溶媒の蒸発により接触角がθから後退角θＲまで減少する。この乾燥様式は、液滴の径が一定であることから、ＣＣＲ（Constant Contact Radius）モードと称される。
【００８５】
また、後退角θＲは、材料液の性質（粘度など）や、バンク表面の物性（表面自由エネルギーなど）によって変化する。
【００８６】
液滴端部１４１の接触角が後退接触角θＲまで減少すると、液滴端部１４１における表面張力のつりあいが崩れ、材料液１４０を内部に引き込む力が発生する。その結果、図６Ｃに示されるように、接触角θＲが固定された状態で、溶媒の蒸発により液滴端部１４１が内側に向かって移動し、液滴の径が減少する。この乾燥様式は、バンク１７０の上面に対する接触角が一定であることから、ＣＣＡ（Constant Contact Angle）モードと称される。この液滴の径の減少は、液滴端部１４１がバンク１７０の角（バンクの上面と壁面との境界線）に到達するまで続く。
【００８７】
液滴端部１４１がバンク１７０の角に到達すると、図７Ａに示されるように、接触角の基準面がバンクの上面からバンクの側面（塗布領域の壁面）に変わるため、接触角がθ’に増大する。これにより、接触角が後退接触角よりも大きくなるため、液滴端部１４１における表面張力は再びつりあう。その結果、図７Ｂに示されるように、液滴端部１４１はバンク１７０の角に固定された状態で、溶媒の蒸発により接触角がθ’から後退接触角θＲ’まで減少する（ＣＣＲモード）。
【００８８】
接触角が後退接触角θＲ’まで減少すると、図７Ｃに示されるように、接触角θＲ’が固定された状態で、溶媒の蒸発により液滴端部１４１が移動して、液滴の体積が減少する（ＣＣＡモード）。
【００８９】
乾燥により液滴端部１４１近傍の溶質の濃度が臨界濃度に達すると、図７Ｄに示されるように、材料液１４０がゲル化し、液滴端部１４１は塗布領域の壁面上に固定される。このような液滴端部の位置が決定することを「ピンニング」という。特に、材料液の濃度の上昇（粘度の上昇）によるピンニングを「セルフピンニング」という。セルフピンニングの後は、図７Ｅに示されるように、液滴端部１４１が固定された状態で乾燥が進み、有機機能層１８０が形成される。
【００９０】
以上のように、塗布領域内では、溶液の乾燥は、ＣＣＲモードとＣＣＡモードとを交互に繰り返しながら進行する。
【００９１】
ここで、塗布領域の壁面の傾斜角度を小さくした場合、壁面を基準面としたときに液滴端部１４１の接触角が小さくなる。このため、溶媒が蒸発すると液滴端部１４１の接触角はすぐに後退接触角θＲ’に達し、液滴端部１４１が移動して、液滴の体積が減少する（ＣＣＡモード乾燥）時間が長くなる。ＣＣＡモードで乾燥する時間が長いと、液滴端部１４１近傍の溶質の濃度が臨界濃度に達するまでに、液滴端部１４１は塗布領域の壁面のよ
り下部まで移動する。この結果、液滴端部１４１が塗布領域の壁面上に固定される位置の高さ（有機機能層のエッジの高さ）が低くなる。
【００９２】
上述したように、基板１１０の端部に配置された副画素１３０Ｘでは、乾燥スピードのムラによって、有機機能層１８０Ｘの基板１１０の端部側のエッジが、高くなり、有機機能層１８０Ｘが基板１１０の端部側に偏る（図２参照）。
【００９３】
しかし、本実施の形態のように、副画素１３０Ｘにおいて傾斜角度αを傾斜角度βよりも小さくすることで、塗布領域の壁面Ｗ１上の有機機能層１８０Ｘのエッジの高さを低くでき、有機機能層１８０Ｘの偏りを補正することができる（図４Ａ参照）。
【００９４】
一方、基板中央部の副画素１３０Ｙでは、有機機能層が偏ることはないので、傾斜角度αと傾斜角度βとが同じであっても、均一な膜厚を有する有機機能層１８０が得られる（図４Ｂ参照）。その結果、副画素１３０ＲＸが有する有機機能層１８０Ｘの膜厚Ｔと、副画素１３０ＲＹが有する有機機能層１８０Ｙの膜厚Ｔ’とが一様になる（図４Ａおよび図４Ｂ参照）。
【００９５】
このように、本実施の形態によれば、副画素の塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することで、基板の端部に位置する副画素で生じる有機機能層の偏りを補正することができ、基板の端部に位置する副画素の有機機能層の膜厚を均一にすることができる。この結果、有機機能層の膜厚の画素間でのばらつきを補正することができる。これにより、画素間で膜厚が一様な有機ＥＬディスプレイパネルを提供することができる。
【００９６】
また、本実施の形態では、副画素における傾斜角度αと傾斜角度βとの差（以下、単に「角度差」とも称する）は、乾燥中心点に向って徐々に小さくなることが好ましい。ここで、「乾燥中心点」とは、有機ＥＬディスプレイパネルの製造工程中、塗布した有機機能層の乾燥スピードが最も遅くなる仮想上の点である。乾燥中心点は、パネル内にある場合もあるが、パネル外にあることもある。
【００９７】
例えば図８Ａに示されるように１つの基板１１０から１つの有機ＥＬディスプレイパネル１００を製造する場合、乾燥中心点Ｃは、有機ＥＬディスプレイパネル１００の中央に位置する。この場合、有機ＥＬディスプレイパネル１００の四方の端部（１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ）に配置された副画素における角度差が最も大きく、乾燥中心点Ｃに近づくにしたがって、徐々に副画素における角度差が徐々に小さくなる。
【００９８】
一方、図８Ｂに示されるように１つの基板１１０から複数（例えば８つ）の有機ＥＬディスプレイパネル（１０１〜１０８）を製造する場合、乾燥中心点Ｃは、有機ＥＬディスプレイパネルの外に位置する場合がある。この場合、例えば有機ＥＬディスプレイパネル１０１に注目すると、有機ＥＬディスプレイパネル１０１の四方の端部（１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ）のうち、１０１ａおよび１０１ｄに配置された副画素における角度差が最も大きく、乾燥中心点Ｃに近づくにしたがって、徐々に副画素における角度差が徐々に小さくなる。この場合であっても、パネルの端部１０１ａおよび１０１ｄに配置された副画素における角度差は、パネル１０１の中央部に配置された同色の光を発する副画素における角度差よりも大きくなる。
【００９９】
（実施の形態２）
実施の形態１では、バンクがマトリクス状に塗布領域を規定する形態について説明した。実施の形態２では、バンクがライン状の塗布領域を規定する形態について説明する。
【０１００】
図９Ａは、実施の形態２の有機ＥＬディスプレイパネル２００の平面図である。図９Ｂ
は図９Ａに示された有機ＥＬディスプレイパネル２００のＡＡ線による断面図である。有機ＥＬディスプレイパネル１００と同一の構成要素については、同一の符号を付し説明を省略する。図９Ａおよび図９Ｂに示されるように、有機ＥＬディスプレイパネル２００は、格子状のバンクを有する代わりに複数の互いに平行なライン状のバンク１７３を有する。
【０１０１】
ライン状バンク１７３は、ライン状の塗布領域１７６を規定する。ライン状バンク１７３によって規定されたライン状の塗布領域１７６は、発色領域１２０に配列された複数の副画素１３０によって共有される。また、ライン状バンク１７３によって規定されたライン状の塗布領域１７６には、有機機能層１８０がライン状に形成されている。したがって、配列された複数の副画素１３０は、１つのライン状の有機機能層１８０を共有する。
【０１０２】
図９Ｂに示されるように、有機ＥＬディスプレイパネル２００でも、有機ＥＬディスプレイパネル１００と同様に、副画素１３０Ｘでは、傾斜角度αが傾斜角度βよりも小さい。また、副画素１３０Ｘにおける傾斜角度αと傾斜角度βとの差は、副画素１３０Ｙにおける傾斜角度αと傾斜角度βとの差よりも大きい。このように、副画素の配置位置によって塗布領域の壁面の傾斜角度を調節することで、基板の端部に配置された副画素で生じる有機機能層の偏りを補正することができ、有機機能層の膜厚の画素間でのばらつきを補正することができる。
【０１０３】
図１０Ａは、図９Ａに示されたライン状の塗布領域１７６ａのＡＡ線による断面図である。図１０Ｂは、図９Ａに示されたライン状の塗布領域１７６ａのＢＢ線による断面図である。
【０１０４】
図１０Ａおよび図１０Ｂに示されるように、本実施の形態では、一つライン状の発色領域１２０内で塗布領域１７６の壁面の傾斜角度が変化することを特徴とする。具体的には、発色領域１２０のライン方向の中央部の副画素１３０では、壁面の傾斜角度のテーパ角度は大きく（図１０Ａ参照）、塗布領域１７６のライン方向の端部の副画素１３０では、壁面の傾斜角度のテーパ角度が小さくなる（図１０Ｂ参照）。
【０１０５】
ライン状バンクによって規定されたライン状の塗布領域内に有機機能層の材料液を塗布し、ライン状の有機機能層を形成する場合、材料液が乾燥する過程で、材料液が塗布領域のライン方向の端部に引き寄せられ、有機機能層のライン方向の膜厚が不均一になることがある。しかし、本実施の形態のように、一つライン状の塗布領域において、ライン方向端部の壁面の傾斜角度を、ライン方向中央部の壁面よりも小さくすることで、材料液が塗布領域のライン方向の端部に引き寄せられることを防止することができる。
【０１０６】
このため、本実施の形態によれば、ライン状の塗布領域内に有機機能層の材料液を塗布し、ライン状の有機機能層を形成する場合であっても、有機機能層のライン方向の膜厚のバラツキを補正し、ライン方向に均一な膜厚を有する有機機能層を得ることができる。
【０１０７】
（実施の形態３）
実施の形態３では、副画素の位置によって画素電極の断面形状が異なる本発明の有機ＥＬディスプレイパネルについて説明する。
【０１０８】
図１１Ａは、実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００の平面図である。図１１Ｂは図１１Ａに示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＡＡ線による断面図である。
【０１０９】
実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００は、同色の光を発する副画素が有す
る塗布領域の壁面の傾斜角度が同じであり、同色の光を発する副画素が有する画素電極の断面形状が異なること以外は、実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００と同じである。有機ＥＬディスプレイパネル１００と同一の構成要素については同一の符号を付し説明を省略する。
【０１１０】
図１１Ｂに示されるように実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００では、それぞれの副画素１３０が、凹曲状の画素電極４５０を有する。ここで「画素電極が凹曲状」とは、画素電極の機能層側の表面が局面であり、中央部が基板側に窪んでいることを意味する。
【０１１１】
通常画素電極上に塗布形成される有機機能層の表面（対向電極と対向する面）は凹曲状になる（図２参照）。このため、有機機能層の底面（基板と対向する面）が平坦であると、副画素内における有機機能層の膜厚が不均一になる。一方、本実施の形態のように、画素電極４５０を凹曲状にすれば、画素電極４５０上に塗布形成される塗布形成される有機機能層１８０の底面の形状を凹曲状にすることができる。これにより、有機機能層の表面の形状と底面の形状とを合わせることができ、副画素内の有機機能層の膜厚を均一にすることができる。
【０１１２】
画素電極４５０を凹曲状にするには、例えば、基板１１０に凹曲部を形成し、凹曲部上に画素電極４５０を形成すればよい。基板１１０に凹曲部を形成するには、基板１１０を直接ウェットエッチングまたはドライエッチングしてもよいし、凹曲部が形成される面に感光性樹脂層を配置し、感光性樹脂層を露光し、現像して凹曲部をパターニングしてもよい。
【０１１３】
本実施の形態では、副画素の配置位置によって画素電極の断面形状が異なることを特徴とする。より具体的には、それぞれの副画素１３０は、それぞれの副画素１３０が有する有機機能層１８０の形状に合った断面形状の画素電極４５０を有する。例えば、有機機能層１８０が基板１１０の端部側に偏る副画素１３０Ｘでは、画素電極４５０も有機機能層１８０と同様に偏った形状を有する。一方で、有機機能層１８０が基板１１０の端部側に偏らない副画素１３０Ｙでは、画素電極４５０の形状も偏らない。以下、図面を参照し、画素電極４５０の具体的な形状について説明する。
【０１１４】
図１２Ａは、図１１Ｂに示された副画素１３０ＲＸの拡大図であり、図１２Ｂは図１１Ｂに示された副画素１３０ＲＹの拡大図である。図１２Ａに示されるように、副画素１３０ＲＸが有する画素電極４５０Ｘの底点Ｚは、画素電極４５０Ｘの中心Ｓよりも基板１１０の中心側に位置する。このように、画素電極４５０Ｘの定点を基板１１０の中心側にずらすことで、有機機能層１８０ＲＸが基板１１０の端部側に偏ったとしても、有機機能層１８０ＲＸの膜厚を均一にすることができる。その結果、副画素１３０ＲＸが有する有機機能層１８０ＲＸの膜厚Ｔと、副画素１３０ＲＹが有する有機機能層１８０ＲＹの膜厚Ｔ’とが一様になる。
【０１１５】
一方、図１２Ｂに示されるように副画素１３０ＲＹが有する画素電極４５０Ｙでは、画素電極４５０Ｙの底点Ｚ’は、画素電極４５０Ｙの中心に位置する。このように本実施の形態では、副画素１３０Ｘの画素電極４５０Ｘの底点Ｚは、画素電極１５０Ｘの中心Ｓよりも基板１１０の中心側に位置し、画素電極４５０Ｘの底点Ｚと画素電極４５０Ｘの中心Ｓとの間隔は、副画素１３０Ｙの画素電極４５０Ｙの底点Ｚ’と画素電極４５０Ｙの中心Ｓ’との間隔よりも大きい。
【０１１６】
このように、画素電極の断面形状を有機機能層の形状に合わせることで、基板の端部の副画素の有機機能層の膜厚を均一にすることができる。この結果、塗布法で形成される有
機機能層１８０の画素間でのばらつきを補正することができる。
【０１１７】
また、本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、同色の光を発する副画素が有する画素電極の底点と中心点との距離は、基板の端部から乾燥中心点に向って徐々に小さくなることが好ましい。
【０１１８】
本出願は、２００９年６月２９日出願の特願２００９−１５４２４０に基づく優先権を主張する。当該出願明細書に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
本発明によれば輝度が高い有機ＥＬディスプレイパネルを提供することができる。
【符号の説明】
【０１２０】
１００、１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、２００、３００  有機ＥＬディスプレイパネル
１１０  基板
１２０  発色領域
１３０  副画素
１４０  有機機能層の材料液
１４１  液滴の端部
１５０、４５０  画素電極
１６０  金属酸化物膜
１７０  格子状バンク
１７１  感光性樹脂膜
１７３  ライン状バンク
１７５、１７６  塗布領域
１８０  有機機能層
１８１  有機機能層の基板端部側のエッジ
１８２  有機機能層の基板中央部側のエッジ
１９０  ハーフトーンマスク
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行な２以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域に一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された発色領域および青色の光を発する副画素が配列された発色領域が含まれ、
前記副画素は、それぞれ、前記基板上に配置された画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、
前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、
前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】
前記副画素Ｘにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差は、前記副画素Ｘと同一の色の光を発し、かつ前記基板の中央部に位置する発色領域Ｙに配列された副画素Ｙにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差よりも大きい、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】
それぞれの前記副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、四方を前記バンクによって囲まれている、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項４】
前記発色領域内に一列に配列された２以上の副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、前記バンクによって規定された、１つのライン状の領域を構成する、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項５】
１の前記ライン状の発色領域において、前記ライン方向の中央部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度は、前記ライン方向の端部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度よりも大きい、請求項４に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項６】
前記有機機能層は、有機発光層および正孔輸送層を含む、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2011001644.tif 000015
【図２】
2011001644.tif 000016
【図３】
2011001644.tif 000017
【図４】
2011001644.tif 000018
【図５】
2011001644.tif 000019
【図６】
2011001644.tif 000020
【図７】
2011001644.tif 000021
【図８】
2011001644.tif 000022
【図９】
2011001644.tif 000023
【図１０】
2011001644.tif 000024
【図１１】
2011001644.tif 000025
【図１２】
2011001644.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月2日(2010.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
すなわち本発明は、以下に示す有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
［１］平行な３以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域のそれぞれに一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、前記３以上の発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された赤色発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された緑色発色領域および青色の光を発する副画素が配列された青色発色領域が含まれ、前記副画素は、それぞれ、前記基板上に配置された画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、前記有機機能層が形成される領域の全ての壁面は順テーパ面であり、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、アクティブマトリクス型の有機ＥＬディスプレイパネル。
［２］前記副画素Ｘにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差は、前記副画素Ｘと同一の色の光を発し、かつ前記基板の中央部に位置する発色領域Ｙに配列された副画素Ｙにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差よりも大きい、［１］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［３］それぞれの前記副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、四方を前記バンクによって囲まれている、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［４］前記発色領域内に一列に配列された２以上の副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、前記バンクによって規定された、１つのライン状の領域を構成する、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［５］１の前記ライン状の発色領域において、前記ライン方向の中央部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度は、前記ライン方向の端部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度よりも大きい、［４］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［６］前記有機機能層は、有機発光層および正孔輸送層を含む、［１］〜［５］のいずれか一つに記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
また、発色領域１２０には、基板１１０の端部に位置する発色領域１２０Ｘ（１２０ＲＸ、１２０ＧＸ、または１２０ＢＸ）と、基板１１０の中央部に位置する発色領域１２０Ｙ（１２０ＲＹ、１２０ＧＹ、または１２０ＢＹ）とが含まれる。発色領域１２０Ｘには、副画素１３０Ｘ（１３０ＲＸ、１３０ＧＸ、または１３０ＢＸ）が配列され、発色領域１２０Ｙには副画素１３０Ｙ（１３０ＲＹ、１３０ＧＹ、または１３０ＢＹ）が配列される（図３Ｂ参照）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行な３以上のライン状の発色領域を有する基板と、前記発色領域のそれぞれに一列に配列された２以上の副画素と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
前記３以上の発色領域には、赤色の光を発する副画素が配列された赤色発色領域、緑色の光を発する副画素が配列された緑色発色領域および青色の光を発する副画素が配列された青色発色領域が含まれ、
前記副画素は、それぞれ、前記基板上に配置された画素電極と、前記画素電極上に塗布形成された有機機能層と、前記有機機能層上に配置された対向電極と、前記有機機能層が形成される領域の壁面を構成する順テーパ状のバンクと、を有し、
前記有機機能層が形成される領域の全ての壁面は順テーパ面であり、
前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の端部側の壁面の傾斜角度を傾斜角度αとし、前記有機機能層が形成される領域の壁面のうち、前記基板の中央側の壁面の傾斜角度を傾斜角度βとしたとき、
前記基板の端部に位置する発色領域Ｘに配列された副画素Ｘでは、前記傾斜角度αは前記傾斜角度βよりも小さい、アクティブマトリクス型の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】
前記副画素Ｘにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差は、前記副画素Ｘと同一の色の光を発し、かつ前記基板の中央部に位置する発色領域Ｙに配列された副画素Ｙにおける前記傾斜角度αと前記傾斜角度βとの差よりも大きい、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】
それぞれの前記副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、四方を前記バンクによって囲まれている、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項４】
前記発色領域内に一列に配列された２以上の副画素が有する前記有機機能層が形成される領域は、前記バンクによって規定された、１つのライン状の領域を構成する、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項５】
１の前記ライン状の発色領域において、前記ライン方向の中央部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度は、前記ライン方向の端部に位置する副画素が有する前記有機機能層が形成される領域の壁面の傾斜角度よりも大きい、請求項４に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項６】
前記有機機能層は、有機発光層および正孔輸送層を含む、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【国際調査報告】
2011001644.tif 000027
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