【事件の表示】
　特許第３０９１８９７号「走査型プローブ顕微鏡」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０９１８９７号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】本件発明
 本件特許第３０９１８９７号（平成５年３月１０日出願、平成１２年７月２８日設定登録）の請求項１乃至２に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至２に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　検出信号をＡ／Ｄ変換し該デジタル信号を演算処理する制御部を有し、試料表面像データ及び圧電素子の駆動信号に相当する信号を導出する走査型プローブ顕微鏡において、前記制御部は前記検出信号を入力し探針位置制御の為の前記圧電素子の駆動信号に相当する信号を導出する第１の制御部と、該第１の制御部とは別に、前記検出信号を入力し前記試料表面像信号を算出する為の第２の制御部とを具備し、前記試料表面像信号を増幅する為に、前記第２の制御部の前段に前記検出信号を増幅する可変ゲイン増幅器を具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】　検出信号に対し探針の目標位置を比較した結果である誤差信号をＡ／Ｄ変換し該デジタル信号を演算処理する制御部を有し、試料表面像データ及び圧電素子の駆動信号に相当する信号を導出する走査型プローブ顕微鏡において、前記制御部は前記誤差信号を入力し探針位置制御の為の前記圧電素子の駆動信号に相当する信号を導出する第１の制御部と、該第１の制御部とは別に、前記誤差信号を入力し前記試料表面像信号を算出する為の第２の制御部とを具備し、前記試料表面像信号を増幅する為に、前記第２の制御部の前段に、前記誤差信号を増幅する可変ゲイン増幅器を具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。」
【２】申立ての理由の概要　　
     特許異議申立人　小塚　浩は、請求項１乃至２に係る特許発明は、
甲第１号証（特開平３−１２２５０６号公報）、
甲第２号証（特開平２−２６５１５５号公報）、
に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきものと主張している。
【３】甲第１号証〜甲第２号証に記載の発明
イ）甲第１号証（特開平３−１２２５０６号公報）の記載事項 
・「探針と試料との間への電圧の印加によって流れるトンネル電流を検出し、このトンネル電流の検出信号にもとづいて、前記探針と前記試料との間の間隔距離を距離調整手段にて調整しながら前記探針を走査することにより、前記試料の表面状態を観察する走査型トンネル顕微鏡において」（１頁左下欄５行〜１０行）
・「この発明は、たとえば試料の表面を原子単位で観察することができる走査型トンネル顕微鏡に関する」（２頁左上欄３行〜５行）
・「以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明する。
　第１３図は、この発明のＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）の構成を示すものである。」（３頁左上欄２０行〜右上欄３行）
・「このサンプル１７に生じるトンネル電流は、トンネル電流増幅用プリアンプ１８を介してサーボ回路１９ …・に供給される。
　サーボ回路１９は、…・Ｚ電極電圧信号（Ｚサ−ボ電圧）を生成し、これを上記１２ビットＡ／Ｄ変換部７またはＺ電圧加算器（加算回路）３３に出力するものである。このサ−ボ回路１９は、Ｚサ−ボ電圧…・を生成するＰＩ制御回路と、このＺサ−ボ電圧の出力先を切換えるアナログスイッチ回路とから構成されている。」（３頁右下欄１６行〜４頁左上欄１０行）
・「１２ビットＡ/Ｄ変換部７は、入力信号をデジタル（バイナリ）データに変換して８ビットＣＰＵコントローラ１に出力するＡ/Ｄ変換器、このＡ/Ｄ変換器により変換されたデジタルデータをリアルタイム断層像としてモニタＴＶ３４にて表示するためのリアルタイムラインメモリ回路などから構成されている。」（４頁右上欄下から４行〜左下欄３行）
・「第３図は、この発明の第２の実施例における、距離調整手段としてのＺ方向の走査系を取出して示すものである。
　この図において、７ａはＡ／Ｄ変換器、…・・７ｃは可変増幅器としての増幅切換回路であり、これらＡ／Ｄ変換器７ａ …増幅切換回路７ｃにより前記１２ビットＡ／Ｄ変換部７が構成されている。上記増幅切換回路７ｃは、たとえは第４図に示すように、数種類の抵抗を選択するアナログマルチプレクサ７１と反転増幅器７２とを主体に構成されており、サ−ボ回路１９より供給されるＺサーボ電圧を２ｎ乗（ｎ＝０〜４）倍に電圧増幅するものである。アナログマルチプレクサ７１の選択切換えは、ＣＰＵ１ａからの選択信号によって行われるようになっている。」（６頁左上欄７行〜右上欄３行）
・「また、１２ビットＡ／Ｄ変換部７は、Ａ／Ｄ変換器７ａ、リアルタイムラインメモリ回路７ｂ、増幅切換回路７ｃ、および信号選択回路７ｄにより構成されている。」（７頁右上欄１９行〜左下欄２行）
・「この後、サーボ回路１９からのＺサ−ボ電圧と１６ビットＤ／Ａ変換器３１からのＺＤ／Ａ出力とが加算器３３によって加算される。そして、この加算器３３の加算出力がＨ．Ｖ．Ｚ２０にて増幅されてチューブスキャナ１５に印加される。」（７頁右下欄１６行〜２０行）。
ロ）甲第２号証（特開平２−２６５１５５号公報）の記載事項
・「本発明は走査型トンネル顕微鏡などのフィードバック制御に関するものである。特に、本発明のフィードバック制御は、フィードバックループの応答性を向上するために格納したトポグラフィ情報を使用するものである。」（４頁左下欄末行〜右下欄４行）
・「第５図に示した如くデジタルフィードバックを使用してフィードバック制御を与えることも可能である。特に、サンプル１２とチップ１０との間のトンネル電流はＡ/Ｄ変換器３０によってデジタル化される。デジタル化されたトンネル電流は、次いで、コンピュータ３２へ印加され、コンピュータ３２はトンネル電流に対する所望のデジタル化した値に関する情報を有している。次いで、コンピュータ３２は、エラー信号をゼロとさせるためにチップの垂直位置はどうあるべきであるかを計算する。この計算結果はＤ/Ａ変換器３４を介して供給され、Ｚ駆動２４に対する適切な垂直位置決め信号を発生する。」（８頁右下欄１２行〜９頁左上欄４行）
【４】当審の判断 
（本件請求項１に係る発明 ）  
　そこで、本件請求項１に係る発明と甲第１号証〜甲第２号証に記載のものとを比較すると、甲第１号証〜甲第２号証のいずれにも、本件請求項１に係る発明の構成要件である「第１の制御部とは別に、前記検出信号を入力し前記試料表面像信号を算出する為の第２の制御部とを具備し、前記試料表面像信号を増幅する為に、前記第２の制御部の前段に前記検出信号を増幅する可変ゲイン増幅器を具備する」構成について記載も示唆もない。
　すなわち、甲第１号証のものには、請求項１に係る発明と同様、走査型トンネル顕微鏡において、増幅切換回路７ｃ（可変ゲイン増幅器に相当する）を有するものが記載されているものの、甲第１号証のものは、
１．制御系がアナログサーボである点、
２．サーボ回路（制御部に相当する）をひとつしか有しない点、
３．増幅切換回路７ｃはサーボ回路の後段に置かれており、請求項１に係る発明の如く制御部の前段に置いてはいない点、
で、請求項１に係る発明とは相違する。
　また、甲第２号証は、走査型トンネル顕微鏡において、デジタルサーボを行ったものを示すに止まる。
　そして、請求項１に係る発明は、探針位置を制御する第１の制御部とは別に第２の制御部を設け、第２の制御部の前段に前記検出信号を増幅する可変ゲイン増幅器を設け、検出信号を入力する構成とすることにより、「制御系の開ループゲインや制御系のパラメータが変化することなく試料表面像信号を演算処理し、最適な信号形態もしくは最適な信号レベルとなるような回路を構成することができる」という明細書に記載の作用効果を奏するものと認められる。
（本件請求項２に係る発明）
　本件請求項２に係る発明と甲第１号証〜甲第２号証に記載のものとを比較すると、甲第１号証〜甲第２号証のいずれにも、本件請求項２に係る発明の構成要件である「第１の制御部とは別に、前記誤差信号を入力し前記試料表面像信号を算出する為の第２の制御部とを具備し、前記試料表面像信号を増幅する為に、前記第２の制御部の前段に前記誤差信号を増幅する可変ゲイン増幅器を具備する」構成について記載も示唆もない。
　そして、該構成により本件請求項２に係る発明は、上記明細書に記載の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証乃至甲第２号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
【５】むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１及び２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月２日（２００２．７．２）