(57)【要約】  高い歩留まりで生産し得る弾性境界波装置を提供する。  弾性境界波装置１は、圧電体からなる第１の媒質１１と、誘電体からなる第２の媒質１２と、誘電体からなる第３の媒質１３と、第１の媒質１１と第２の媒質１２との境界に形成されているＩＤＴ電極２０とを備えている。第２の媒質１２の音速は、第１及び第３の媒質１１，１３の音速よりも遅い。ＩＤＴ電極２０は、第１の電極層２１と、第２の電極層２２と、第３の電極層２３とを有する。第２の電極層２２の密度は、第１及び第３の電極層２１，２３の密度よりも低い。弾性境界波装置１は、第１の電極層２１の厚みをｈ１、第３の電極層の厚み２３をｈ３としたときに、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５を満たす。
2010131736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体からなる第１の媒質と、
前記第１の媒質の上に形成されており、誘電体からなる第２の媒質と、
前記第２の媒質の上に形成されており、誘電体からなる第３の媒質と、
前記第１の媒質と、前記第２の媒質との境界に形成されているＩＤＴ電極とを備え、
前記第２の媒質の音速が、前記第１及び第３の媒質の音速よりも遅い弾性境界波装置であって、
前記ＩＤＴ電極は、前記第１の媒質の上に形成されている第１の電極層と、前記第１の電極層の上に形成されている第２の電極層と、前記第２の電極層の上に形成されている第３の電極層とを有し、
前記第２の電極層の密度は、前記第１及び第３の電極層の密度よりも低く、
前記第１の電極層の厚みをｈ１、前記第３の電極層の厚みをｈ３としたときに、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５を満たす、弾性境界波装置。
【請求項２】
０．７０＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５を満たす、請求項１に記載の弾性境界波装置。
【請求項３】
前記第２の電極層の厚みをｈ２、前記ＩＤＴ電極のピッチで定められる弾性境界波の波長をλとしたときに、０．０５＜ｈ２／λ＜０．２５を満たす、請求項１または２に記載の弾性境界波装置。
【請求項４】
前記第２の媒質の厚みをＨ、前記ＩＤＴ電極のピッチで定められる弾性境界波の波長をλとしたときに、０．３＜Ｈ／λ＜０．７を満たす、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項５】
前記第１及び第３の電極層のそれぞれが、Ａｕ，Ｐｔ，Ｗ，Ｔａ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた金属またはＡｕ，Ｐｔ，Ｗ，Ｔａ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項６】
前記第２の電極層が、Ａｌ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた金属またはＡｌ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなる、請求項１〜５のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項７】
前記第１及び第３の電極層のそれぞれがＰｔまたはＰｔを主成分とする合金からなり、前記第２の電極層がＡｌまたはＡｌを主成分とする合金からなる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項８】
前記第２の媒質が酸化ケイ素からなる、請求項１〜７のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項９】
前記第１の媒質がＬｉＮｂＯ３からなる、請求項１〜８のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項１０】
前記第１の媒質が、０°〜３７°回転ＹカットＬｉＮｂＯ３基板からなり、ＳＨ型の弾性境界波を用いる、請求項１〜９のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項１１】
前記第３の媒質が、ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウムまたは窒化アルミニウムからなる、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項１２】
前記第３の媒質が窒化ケイ素からなる、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項１３】
前記第１の媒質と前記ＩＤＴ電極との間に形成されている誘電体層をさらに備える、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の弾性境界波装置。
【請求項１４】
前記第１の媒質がＬｉＮｂＯ３基板からなり、
前記第１及び第３の電極層のそれぞれがＰｔからなり、前記第２の電極層がＡｌからなり、
前記第２の媒質がＳｉＯ２膜からなり、
（ｈ１＋ｈ３）、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）、ｈ２、Ｈ、及び前記ＬｉＮｂＯ３基板のカット角が、下記の第１〜第３のグループのいずれかの組み合わせとされている、請求項１に記載の弾性境界波装置。
（第１のグループ）
（ａ１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27°
（ａ２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30.5°
（ａ３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ａ４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
（ａ５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ａ７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
（ａ８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ１０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
（ａ１１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ａ１２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ａ１３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ａ１４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜31°
（ａ１５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ１６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ａ１７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ１８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
（ａ１９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ａ２０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31.5°
（ａ２１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ２２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ａ２３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ａ２４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ２５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ２６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ２７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
（第２のグループ）
（ｃ１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｃ２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
（ｃ４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｃ５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜26.5°
（ｃ７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29°
（ｃ９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26.5°
（ｃ１０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
（ｃ１１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ１２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
（ｃ１３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ１４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ１５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｃ１６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｃ１７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
（ｃ１８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26.5°
（ｃ１９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ２０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ２１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
（ｃ２２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｃ２３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｃ２４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26°
（ｃ２５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｃ２６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜27°
（ｃ２７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｃ２８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ２９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ３０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
（ｃ３１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ３３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
（ｃ３４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
（ｃ３６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
（ｃ３７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
（ｃ４０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ４１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ４２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜25.5°
（ｃ４３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ４４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27°
（ｃ４５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜26°
（ｃ４６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ４７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ４８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
（ｃ４９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ５０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
（ｃ５１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜25.5°
（ｃ５２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ５３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
（ｃ５４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
（ｃ５５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ５６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ５７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜27.5°
（ｃ５８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜3°
（ｃ５９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ６０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
（ｃ６１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ６２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27.5°
（ｃ６３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜25°
（ｃ６４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ６５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ６６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
（ｃ６７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ６８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
（ｃ６９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜25°
（ｃ７０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ７１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
（ｃ７２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
（ｃ７３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ７４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ７５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｃ７６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ７７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
（ｃ７８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜25°
（ｃ７９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
（ｃ８０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26°
（ｃ８１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、18°〜24.5°
（第３のグループ）
（ｄ１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25°
（ｄ２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28.5°
（ｄ４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
（ｄ５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28°
（ｄ７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、18.5°〜24°
（ｄ８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、27°〜29°
（ｄ１０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
（ｄ１１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ１２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27.5°
（ｄ１３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
（ｄ１４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
（ｄ１５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜29.5°
（ｄ１６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
（ｄ１７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
（ｄ１８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜31°
（ｄ１９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜21.5°
（ｄ２０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
（ｄ２１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
（ｄ２２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｄ２３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
（ｄ２４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30.5°
（ｄ２５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜26.5°
（ｄ２６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26.5°〜30°
（ｄ２７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜32°
（ｄ２８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
（ｄ２９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ３０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜26.5°
（ｄ３１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
（ｄ３２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
（ｄ３３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
（ｄ３４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28°
（ｄ３５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
（ｄ３６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
（ｄ３７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｄ３８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
（ｄ３９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
（ｄ４０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
（ｄ４１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
（ｄ４２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
（ｄ４３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｄ４４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ４５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ４６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｄ４７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
（ｄ４８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
（ｄ４９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ｄ５０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ５１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｄ５２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ５３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
（ｄ５４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜30°
（ｄ５５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｄ５６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｄ５７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｄ５８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ５９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
（ｄ６０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜27°
（ｄ６１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ６３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27.5°
（ｄ６４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ６５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｄ６６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26.5°
（ｄ６７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｄ６９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｄ７０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｄ７１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
（ｄ７２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27.5°
（ｄ７３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ７４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ７５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜26.5°
（ｄ７６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ７７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
（ｄ７８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27°
（ｄ７９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29.5°
（ｄ８０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ｄ８１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜27.5°
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の弾性境界波装置の製造方法であって、
前記第２の媒質の厚みを調整することにより周波数特性を調整した後に前記第３の媒質を形成する、弾性境界波装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性境界波を利用する弾性境界波装置及びその製造方法に関し、詳細には、３媒質型の弾性境界波装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、携帯電話用のＲＦフィルタやＩＦフィルタ、ＶＣＯ用共振子、テレビジョン用ＶＩＦフィルタなどに弾性波装置が用いられている。弾性波装置としては、従来、弾性表面波を利用した弾性表面波装置が一般的に用いられていたが、近年、弾性表面波装置よりも小型化が可能であることより、弾性境界波を利用した弾性境界波装置が用いられるようになってきている。【０００３】
ところで、弾性表面波装置は、媒質の表面にエネルギーを集中させて伝搬する弾性表面波を利用するものであるため、媒質の表面上に誘電体膜を形成したり、表面をエッチングしたりすることにより比較的容易に、共振周波数や中心周波数などの周波数特性の製造ばらつきを調整することができる。それに対して、弾性境界波装置が利用する弾性境界波は、媒質間の境界にエネルギーを集中させて伝搬する弾性波である。このため、弾性境界波装置では、弾性境界波は、最上層に位置する媒質の表面の状態に影響されにくく、最上層に位置する媒質の表面上に誘電体膜を形成したり、表面をエッチングしたりしても、周波数特性を調整することができない。すなわち、弾性境界波装置には、周波数特性の製造ばらつきを抑制するのが困難であるという問題があった。【０００４】
このような問題に鑑み、例えば、下記の特許文献１では、圧電体からなる第１の媒質の上に、第２及び第３の媒質がこの順番で積層された３媒質型の弾性境界波装置の製造に際して、第２の媒質を形成した後に、第２の媒質の厚みを調整することにより周波数特性等を調整し、その後、第３の媒質を形成することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２００５／０９３９４９  Ａ１号公報
【特許文献２】ＷＯ２００６／１１４９３０  Ａ１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、第２の媒質の厚みは、上記の特許文献２に記載のように、高次モードの音速に影響を及ぼす。そして、高次モードの音速は、高次モードスプリアスの大きさに影響を及ぼす。このため、第２の媒質の厚みが異なると、高次モードスプリアスの大きさも異なることとなる。【０００７】
従って、第２の媒質の厚みを調整することにより周波数特性等を調整した場合、調整後の第２の媒質の厚みによっては、高次モードスプリアスの大きさが所望する大きさよりも大きくなってしまう場合がある。従って、弾性境界波装置の歩留まりが低下する場合があるという問題があった。【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い歩留まりで生産し得る弾性境界波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、鋭意研究の結果、ＩＤＴ電極の構成を所定の構成とすることにより、第２の媒質の厚みの変化に伴う高次モードの音速の変化を抑制できることを見出し、その結果、本発明をなすに至った。【００１０】
すなわち、本発明に係る弾性境界波装置は、第１の媒質と、第２の媒質と、第３の媒質と、ＩＤＴ電極とを備えている。第１の媒質は、圧電体からなる。第２の媒質は、第１の媒質の上に形成されている。第２の媒質は、誘電体からなる。第３の媒質は、第２の媒質の上に形成されている。第３の媒質は、誘電体からなる。ＩＤＴ電極は、第１の媒質と、第２の媒質との境界に形成されている。本発明に係る弾性境界波装置では、第２の媒質の音速が、第１及び第３の媒質の音速よりも遅い。ＩＤＴ電極は、第１の電極層と、第２の電極層と、第３の電極層とを有する。第１の電極層は、第１の媒質の上に形成されている。第２の電極層は、第１の電極層の上に形成されている。第３の電極層は、第２の電極層の上に形成されている。第２の電極層の密度は、第１及び第３の電極層の密度よりも低い。本発明に係る弾性境界波装置は、第１の電極層の厚みをｈ１、第３の電極層の厚みをｈ３としたときに、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５を満たす。【００１１】
本発明に係る弾性境界波装置のある特定の局面では、弾性境界波装置は、０．７０＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５を満たす。この構成によれば、高次モードスプリアスの大きさの第２の媒質の厚みに対する依存性をより効果的に低減することができる。【００１２】
本発明に係る弾性境界波装置の他の特定の局面では、弾性境界波装置は、第２の電極層の厚みをｈ２、ＩＤＴ電極のピッチで定められる弾性境界波の波長をλとしたときに、０．０５＜ｈ２／λ＜０．２５を満たす。この構成によれば、上記高次モードスプリアスの大きさの第２の媒質の厚みに対する依存性を低減できる効果がより好適に発現する。ｈ２／λが０．０５以下である場合は、上記高次モードスプリアスの大きさの第２の媒質の厚みに対する依存性を低減できる効果が得難くなる場合がある。一方、ｈ２／λが０．２５以上となると、電気機械結合係数が小さくなったり、ＩＤＴ電極の上に形成される、第２及び第３の媒質の形状精度が十分に得られなくなったりする場合がある。【００１３】
本発明に係る弾性境界波装置の別の特定の局面では、弾性境界波装置は、第２の媒質の厚みをＨ、ＩＤＴ電極のピッチで定められる弾性境界波の波長をλとしたときに、０．３＜Ｈ／λ＜０．７を満たす。この構成によれば、上記高次モードスプリアスの大きさの第２の媒質の厚みに対する依存性をより低減できる効果がさらに好適に発現する。【００１４】
本発明に係る弾性境界波装置のさらに他の特定の局面では、第１及び第３の電極層のそれぞれが、Ａｕ，Ｐｔ，Ｗ，Ｔａ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた金属またはＡｕ，Ｐｔ，Ｗ，Ｔａ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなる。【００１５】
本発明に係る弾性境界波装置のさらに別の特定の局面では、第２の電極層が、Ａｌ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた金属またはＡｌ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなる。【００１６】
本発明に係る弾性境界波装置のまた他の特定の局面では、第１及び第３の電極層のそれぞれがＰｔまたはＰｔを主成分とする合金からなり、第２の電極層がＡｌまたはＡｌを主成分とする合金からなる。この構成によれば、ＩＤＴ電極の低抵抗化と、高信頼性とを両立させることができる。【００１７】
本発明に係る弾性境界波装置のまた別の特定の局面では、第２の媒質が酸化ケイ素からなる。この構成によれば、周波数温度特性を改善することができる。【００１８】
本発明に係る弾性境界波装置のさらにまた他の特定の局面では、第１の媒質がＬｉＮｂＯ３からなる。【００１９】
本発明に係る弾性境界波装置のさらにまた別の特定の局面では、第１の媒質が、０°〜３７°回転ＹカットＬｉＮｂＯ３基板からなり、弾性境界波装置は、ＳＨ型の弾性境界波を用いる。この構成では、高次モードスプリアスが生じやすいため、本発明が特に好適である。【００２０】
本発明に係る弾性境界波装置のまたさらに他の特定の局面では、第３の媒質が、ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウムまたは窒化アルミニウムからなる。【００２１】
本発明に係る弾性境界波装置のまたさらに別の特定の局面では、第３の媒質が窒化ケイ素からなる。この構成では、第３の媒質の加工が容易である。【００２２】
本発明に係る弾性境界波装置のさらに異なる他の特定の局面では、弾性境界波装置は、第１の媒質とＩＤＴ電極との間に形成されている誘電体層をさらに備える。この構成によれば、耐サージ性を向上することができる。【００２３】
本発明に係る弾性境界波装置のさらに異なる別の特定の局面では、第１の媒質がＬｉＮｂＯ３基板からなり、第１及び第３の電極層のそれぞれがＰｔからなり、第２の電極層がＡｌからなり、第２の媒質がＳｉＯ２膜からなり、（ｈ１＋ｈ３）、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）、ｈ２、Ｈ、及びＬｉＮｂＯ３基板のカット角が、下記の第１〜第３のグループのいずれかの組み合わせとされている。【００２４】
（第１のグループ）
（ａ１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27°
（ａ２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30.5°
（ａ３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ａ４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
（ａ５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ａ７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
（ａ８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ１０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
（ａ１１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ａ１２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ａ１３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ａ１４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜31°
（ａ１５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ１６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ａ１７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ１８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
（ａ１９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ａ２０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31.5°
（ａ２１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ２２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ａ２３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ａ２４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ２５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ２６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ２７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.55〜0.575、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°【００２５】
（第２のグループ）
（ｃ１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｃ２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
（ｃ４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｃ５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜26.5°
（ｃ７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29°
（ｃ９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26.5°
（ｃ１０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
（ｃ１１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ１２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
（ｃ１３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ１４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ１５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｃ１６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｃ１７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
（ｃ１８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26.5°
（ｃ１９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ２０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ２１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
（ｃ２２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｃ２３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｃ２４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26°
（ｃ２５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｃ２６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜27°
（ｃ２７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｃ２８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ２９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ３０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
（ｃ３１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ３３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
（ｃ３４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
（ｃ３６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
（ｃ３７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
（ｃ４０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ４１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ４２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜25.5°
（ｃ４３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ４４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27°
（ｃ４５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜26°
（ｃ４６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ４７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ４８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
（ｃ４９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ５０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
（ｃ５１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜25.5°
（ｃ５２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ５３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
（ｃ５４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
（ｃ５５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ５６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ５７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜27.5°
（ｃ５８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜3°
（ｃ５９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ６０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
（ｃ６１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ６２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27.5°
（ｃ６３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.725〜0.775、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜25°
（ｃ６４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ６５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ６６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
（ｃ６７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ６８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
（ｃ６９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜25°
（ｃ７０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ７１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
（ｃ７２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
（ｃ７３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ７４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ７５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.05λ〜0.07λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｃ７６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ７７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
（ｃ７８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜25°
（ｃ７９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
（ｃ８０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26°
（ｃ８１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、18°〜24.5°【００２６】
（第３のグループ）
（ｄ１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25°
（ｄ２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28.5°
（ｄ４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
（ｄ５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28°
（ｄ７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、18.5°〜24°
（ｄ８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、27°〜29°
（ｄ１０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
（ｄ１１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ１２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27.5°
（ｄ１３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
（ｄ１４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
（ｄ１５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜29.5°
（ｄ１６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
（ｄ１７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
（ｄ１８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜31°
（ｄ１９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜21.5°
（ｄ２０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
（ｄ２１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
（ｄ２２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｄ２３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
（ｄ２４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30.5°
（ｄ２５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜26.5°
（ｄ２６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26.5°〜30°
（ｄ２７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜32°
（ｄ２８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
（ｄ２９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ３０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜26.5°
（ｄ３１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
（ｄ３２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
（ｄ３３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
（ｄ３４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28°
（ｄ３５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
（ｄ３６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
（ｄ３７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｄ３８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
（ｄ３９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
（ｄ４０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
（ｄ４１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
（ｄ４２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
（ｄ４３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｄ４４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ４５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ４６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｄ４７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
（ｄ４８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
（ｄ４９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ｄ５０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ５１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｄ５２）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ５３）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
（ｄ５４）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜30°
（ｄ５５）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｄ５６）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｄ５７）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｄ５８）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ５９）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
（ｄ６０）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜27°
（ｄ６１）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６２）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ６３）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.775〜0.825、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27.5°
（ｄ６４）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ６５）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｄ６６）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26.5°
（ｄ６７）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６８）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｄ６９）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｄ７０）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｄ７１）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
（ｄ７２）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.825〜0.875、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27.5°
（ｄ７３）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ７４）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ７５）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.07λ〜0.09λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜26.5°
（ｄ７６）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ７７）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
（ｄ７８）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.09λ〜0.11λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27°
（ｄ７９）h1+h3が、0.0175λ〜0.0225λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29.5°
（ｄ８０）h1+h3が、0.0225λ〜0.0275λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ｄ８１）h1+h3が、0.0275λ〜0.0325λ、h3/(h1+h3)が、0.875〜0.925、h2が、0.11λ〜0.13λ、Hが、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜27.5°【００２７】
本発明に係る弾性境界波装置の製造方法は、上記本発明に係る弾性境界波装置の製造方法であって、第２の媒質の厚みを調整することにより周波数特性を調整した後に第３の媒質を形成する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明では、弾性境界波装置が、第１〜第３の媒質を有する３媒質型の弾性境界波装置であり、ＩＤＴ電極が、第１及び第３の電極層と、第１及び第３の電極層の間に位置しており、第１及び第３の電極層よりも密度が低い第２の電極層とを有し、かつ、第１の電極層の厚みをｈ１、第３の電極層の厚みをｈ３としたときに、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５とされている。このため、第２の媒質の厚みに対する高次モードの音速の依存性が低い。すなわち、第２の媒質の厚みが変化しても高次モードの音速が変化しにくく、第２の媒質の厚みの変化にともなって高次モードスプリアスの大きさも変化しにくい。よって、周波数特性等を調整するために、第２の媒質の厚みを調整した場合であっても、高次モードスプリアスの大きさが所望の大きさよりも大きくなることが効果的に抑制される。従って、周波数特性等に関する不良が生じ難いと共に、高次モードスプリアスの大きさに関する不良も生じ難く、その結果、高い歩留まりで弾性境界波装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。
【図２】図２は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３】図３は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４】図４は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図５】図５は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図６】図６は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図７】図７は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図８】図８は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図９】図９は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１０】図１０は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１１】図１１は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１２】図１２は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１３】図１３は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１４】図１４は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１５】図１５は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１６】図１６は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１７】図１７は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１８】図１８は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図１９】図１９は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２０】図２０は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２１】図２１は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚み（ｈ１＋ｈ３）の合計が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２２】図２２は、第１の電極層２１：Ａｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ａｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２３】図２３は、第１の電極層２１：Ａｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ａｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２４】図２４は、第１の電極層２１：Ａｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ａｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２５】図２５は、第１の電極層２１：Ａｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ａｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２６】図２６は、第１の電極層２１：Ａｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ａｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２７】図２７は、第１の電極層２１：Ｗ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｗであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２８】図２８は、第１の電極層２１：Ｗ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｗであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図２９】図２９は、第１の電極層２１：Ｗ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｗであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３０】図３０は、第１の電極層２１：Ｗ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｗであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３１】図３１は、第１の電極層２１：Ｗ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｗであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３２】図３２は、第１の電極層２１：Ｔａ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｔａであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３３】図３３は、第１の電極層２１：Ｔａ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｔａであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３４】図３４は、第１の電極層２１：Ｔａ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｔａであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３５】図３５は、第１の電極層２１：Ｔａ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｔａであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３６】図３６は、第１の電極層２１：Ｔａ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｔａであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３７】図３７は、第１の電極層２１：Ｃｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｃｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３８】図３８は、第１の電極層２１：Ｃｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｃｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図３９】図３９は、第１の電極層２１：Ｃｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｃｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４０】図４０は、第１の電極層２１：Ｃｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｃｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４１】図４１は、第１の電極層２１：Ｃｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｃｕであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４２】図４２は、第１の電極層２１：Ｐｔ／第２の電極層：Ｃｕ／第３の電極層：Ｐｔであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４３】図４３は、第１の電極層２１：Ｐｔ／第２の電極層：Ｃｕ／第３の電極層：Ｐｔであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４４】図４４は、第１の電極層２１：Ｐｔ／第２の電極層：Ｃｕ／第３の電極層：Ｐｔであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４５】図４５は、第１の電極層２１：Ｐｔ／第２の電極層：Ｃｕ／第３の電極層：Ｐｔであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４６】図４６は、第１の電極層２１：Ｐｔ／第２の電極層：Ｃｕ／第３の電極層：Ｐｔであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【図４７】図４７は、３７°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合のインピーダンス（Ｚ）特性を表すグラフである。
【図４８】図４８は、３７°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合の位相特性を表すグラフである。
【図４９】図４９は、０°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合のインピーダンス（Ｚ）特性を表すグラフである。
【図５０】図５０は、０°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合の位相特性を表すグラフである。
【図５１】図５１は、第２の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。
【図５２】図５２は、第３の実施形態に係る弾性境界波装置におけるＩＤＴ電極の略図的断面図である。
【図５３】図５３は、第４の実施形態に係る弾性境界波装置におけるＩＤＴ電極の略図的断面図である。
【図５４】図５４は、第５の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。
【図５５】図５５は、ＳｉＯ２膜の膜厚（Ｈ）が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比（ｈ３／（ｈ１＋ｈ３））が０．４５、Ａｌ膜の膜厚（ｈ２）が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図５６】図５６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図５７】図５７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図５８】図５８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図５９】図５９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６０】図６０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６１】図６１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６２】図６２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６３】図６３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６４】図６４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６５】図６５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６６】図６６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６７】図６７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６８】図６８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図６９】図６９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７０】図７０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７１】図７１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７２】図７２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７３】図７３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７４】図７４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７５】図７５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．４５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７６】図７６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７７】図７７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７８】図７８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図７９】図７９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８０】図８０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８１】図８１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．５５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８２】図８２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８３】図８３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８４】図８４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８５】図８５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８６】図８６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８７】図８７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８８】図８８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図８９】図８９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９０】図９０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９１】図９１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９２】図９２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９３】図９３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９４】図９４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９５】図９５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９６】図９６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９７】図９７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９８】図９８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図９９】図９９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１００】図１００は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合ののカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０１】図１０１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０２】図１０２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．７５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０３】図１０３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０４】図１０４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０５】図１０５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０６】図１０６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０７】図１０７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０８】図１０８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１０９】図１０９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１０】図１１０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１１】図１１１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１２】図１１２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１３】図１１３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１４】図１１４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１５】図１１５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１６】図１１６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１７】図１１７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１８】図１１８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１１９】図１１９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２０】図１２０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２１】図１２１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２２】図１２２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２３】図１２３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２４】図１２４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２５】図１２５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２６】図１２６は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３５λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２７】図１２７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２８】図１２８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１２９】図１２９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３０】図１３０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３１】図１３１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３２】図１３２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．８５、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３３】図１３３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３４】図１３４は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．１０λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３５】図１３５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λ、第１のＰｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比が０．９０、Ａｌ膜の膜厚が０．１２λであり、Ｐｔ膜厚合計が０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λの場合のＬｉＮｂＯ３のカット角とＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【図１３６】図１３６は、本発明の第７の実施形態において、第４の電極層であるＡｌ膜の膜厚と周波数温度係数ＴＣＦとの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
（第１の実施形態）
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について、図１に示す弾性境界波装置１を例に挙げて説明する。なお、弾性境界波装置１の種類は特に限定されず、弾性境界波装置１は、例えば、弾性境界波共振子であってもよいし、弾性境界波フィルタ装置であってもよい。
【００３１】
図１に示すように、弾性境界波装置１は、第１の媒質１１と、第２の媒質１２と、第３の媒質１３とを備えている。第１の媒質１１は、圧電体からなる。第１の媒質１１を構成する圧電体の種類は特に限定されない。第１の媒質１１は、例えば、例えば、０°〜３７°回転ＹカットＬｉＮｂＯ３基板などのＬｉＮｂＯ３基板やＬｉＴａＯ３基板などにより構成することができる。
【００３２】
第１の媒質１１の上には、第２の媒質１２が形成されている。さらに、第２の媒質１２の上には、第３の媒質１３が形成されている。第２及び第３の媒質１２，１３のそれぞれは、誘電体からなる。第２及び第３の媒質１２，１３の形成材料は、第２の媒質１２の音速が第１及び第３の媒質１１，１３の音速よりも遅くなるように選択されている。例えば、第２の媒質１２をＳｉＯ２などの酸化ケイ素からなるものとし、第３の媒質１３を、ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）などからなるものとすることができる。このように、第２の媒質１２を酸化ケイ素からなるものとした場合、周波数温度特性を改善することができる。また、第３の媒質１３は、ＳｉＮなどの窒化ケイ素からなることがより好ましい。この場合、加工が容易となるためである。
【００３３】
第２及び第３の媒質１２，１３の厚みは特に限定されない。例えば、第２の媒質１２の厚みは、後述するＩＤＴ電極２０において発生する弾性境界波の波長をλとした場合に、０．３λ〜０．７λの範囲内にあることが好ましい。換言すれば、第２の媒質１２の厚みをＨとすれば、０．３＜Ｈ／λ＜０．７が満たされることが好ましい。一方、第３の媒質１３の厚みは、第３の媒質１３の表面における弾性波の変位量が実質的にゼロとなるような厚みであることが好ましい。具体的には、第３の媒質１３の厚みは、例えば、０．６λ〜２λの範囲内にあることが好ましい。同様に、第１の媒質１１の厚みも、第１の媒質１１の表面における弾性波の変位量が実質的にゼロとなるような厚みであることが好ましい。
【００３４】
なお、第２及び第３の媒質１２，１３の形成方法は特に限定されず、例えば、スパッタ法、蒸着法、ＣＶＤ法、スピンコート法、貼り合わせ法などを用いて第２及び第３の媒質１２，１３を形成することができる。
【００３５】
第１の媒質１１と第２の媒質１２との境界には、ＩＤＴ電極２０が形成されている。ＩＤＴ電極２０と、第１の媒質１１との間には、例えば、Ｔａ２Ｏ５などの酸化タンタルからなる誘電体層１４が形成されている。この誘電体層１４を形成しておくことにより、耐サージ性を向上することができる。ただし、本発明において、誘電体層１４は必須ではなく、ＩＤＴ電極２０が第１の媒質１１の上に直接形成されていてもよい。
【００３６】
ＩＤＴ電極２０は、積層された少なくとも３つの電極層を有する。具体的には、ＩＤＴ電極２０は、第１の媒質１１の上に形成されている第１の電極層２１と、第１の電極層２１の上に形成されている第２の電極層２２と、第２の電極層２２の上に形成されている第３の電極層２３とを有する。これら第１〜第３の電極層２１〜２３のうち、上下の第１及び第３の電極層２１，２３は、比較的高い密度を有する。一方、第１及び第３の電極層２１，２３の間に位置する第２の電極層２２は、第１及び第３の電極層２１，２３のそれぞれよりも密度が低い。
【００３７】
第１〜第３の電極層２１〜２３の形成材料は、第２の電極層２２の密度が第１及び第３の電極層２１，２３の密度より低くなる限りにおいて特に限定されない。第１及び第３の電極層２１，２３のそれぞれは、例えば、Ａｕ，Ｐｔ，Ｗ，Ｔａ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた金属またはＡｕ，Ｐｔ，Ｗ，Ｔａ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなるものであってもよい。第２の電極層２２は、Ａｌ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた金属またはＡｌ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ａｇ及びＣｕからなる群から選ばれた一種以上の金属を主成分とする合金からなるものであってもよい。なかでも、例えば、第１及び第３の電極層２１，２３のそれぞれがＰｔまたはＰｔを主成分とする合金からなり、第２の電極層２２がＡｌまたはＡｌを主成分とする合金からなることが好ましい。この場合、ＩＤＴ電極２０の低抵抗化と高信頼性とを両立させることができるからである。
【００３８】
ところで、弾性境界波装置１の製造に際しては、第２の媒質１２の厚みを調整した後に、第３の媒質１３を形成することにより、周波数特性などの諸特性が調整される。この場合、第２の媒質１２の形成時に、周波数特性がねらいの周波数特性から大きくずれていた場合には、第２の媒質１２の厚みを大きく変更する必要がある。
【００３９】
ここで、第２の媒質１２の厚みは、通常、高次モードの音速と相関するため、第２の媒質１２の厚みが変化すると、高次モードの音速も変化することとなる。高次モードの音速が変化すると、高次モードの第１及び第３の媒質１１，１３への漏洩しやすさも変化する。このため、高次モードスプリアスの大きさも変化する。具体的には、高次モードの音速が速くなると、高次モードが第１及び第３の媒質１１，１３に漏洩しやすくなり、高次モードスプリアスの大きさが小さくなる。一方、高次モードの音速が遅くなると、高次モードが第２の媒質に閉じこもって第１及び第３の媒質１１，１３に漏洩しにくくなり、高次モードスプリアスの大きさが大きくなる。従って、第２の媒質１２の厚みを調整することにより周波数特性等を調整した場合、高次モードスプリアスの大きさが所望の大きさより大きくなり、得られる弾性境界波装置が不良となる場合がある。その結果、弾性境界波装置の歩留まりが低下する場合がある。
【００４０】
このような問題に鑑み、本発明者は、鋭意研究の結果、ＩＤＴ電極２０の膜構成を工夫することにより、第２の媒質１２の厚みの変化に伴う高次モードの音速の変化を抑制できることを見出した。その結果、高次モードスプリアスの大きさを大きく変化させることなく、第２の媒質１２の厚みを調整して周波数特性等の調整を行い得る本実施形態の弾性境界波装置を想到するに至った。以下、このことについて、具体例に基づいてより詳細に説明する。
【００４１】
まず、本発明者は、下記の設計パラメータの弾性境界波装置において、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を種々変化させて第２の媒質１２の厚みと高次モードの音速との関係を調べた。その結果を、図２〜図６に示す。
【００４２】
（図２〜図６における設計パラメータ）
第１の媒質１１：２０°ＹカットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３基板
第２の媒質：ＳｉＯ２膜
第３の媒質：ＳｉＮ膜
第３の媒質の厚み：１．０λ
ＩＤＴ電極２０の電極指ピッチで定められる波長（λ）：１．９μｍ
第１及び第３の電極層２１，２３の材料：Ｐｔ
第２の電極層２２の材料：Ａｌ
第１の電極層２１の厚みと第３の電極層２３の厚みとの合計（ｈ１＋ｈ３）：０．０６λ
第２の電極層２２の厚み（ｈ２）：０．１４λ
【００４３】
図２は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００４４】
図３は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００４５】
図４は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００４６】
図５は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００４７】
図６は、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００４８】
図２に示す結果から、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０と小さい場合は、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）の変化にともなって、高次モードの音速が大きく変化することが分かる。具体的には、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）が厚くなるに伴って、高次モードの音速が急激に低下することが分かる。この結果から、例えば、周波数特性等を調整するために、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を薄くした場合には、高次モードスプリアスの大きさが小さくなるものの、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を厚くした場合には、高次モードスプリアスの大きさが大きくなることが分かる。従って、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０と小さい場合は、周波数特性等の調整のために調整できる第２の媒質１２の厚み（Ｈ）の範囲が狭く、場合によっては、周波数特性等が好適となるように調整できない場合がある。また、周波数特性等の調整のために第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を大きく調整した場合は、高次モードスプリアスの大きさが大きくなりすぎ、不良となる場合がある。従って、弾性境界波装置の歩留まりが低くなる。
【００４９】
それに対して、図３〜図６に示す結果から、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が大きい場合は、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）に対する高次モードの音速の依存性が低いことが分かる。また、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が大きくなるにつれて、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）に対する高次モードの音速の依存性が低下することが分かる。具体的には、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５以下である場合には、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）に対する高次モードの音速の依存性が大きい。これに対して、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を０．５５より大きくすることによって、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）に対する高次モードの音速の依存性を十分に小さくできることが分かる。すなわち、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を０．５５より大きくした場合は、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を変化に伴って高次モードの音速が変化することを効果的に抑制することができる。よって、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を０．５５より大きく０．９５未満とすることにより、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）の変化に伴って高次モードスプリアスの大きさが変化することを効果的に抑制することができる。このため、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５とした場合は、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を自由に変化させて周波数特性等の調整を行うことができる。よって、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を大きく変化させた場合であっても、高次モードスプリアスの大きさが大きくなりすぎることを効果的に抑制することができる。従って、高い歩留まりで弾性境界波装置１を製造することができる。
【００５０】
また、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を０．７より大きくした場合は、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を変化に伴って高次モードの音速が変化することをさらに効果的に抑制できる。従って、０．７＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５とすることにより、より高い歩留まりで弾性境界波装置１を製造することができる。
【００５１】
さらに、図２〜図６に示す結果から、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を所定の範囲としつつ、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を、０．３＜Ｈ／λ＜０．７とすることにより、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）の変化に伴って高次モードの音速が変化することを特に効果的に抑制できる。従って、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）は、０．３λ〜０．７λであることが好ましい。
【００５２】
次に、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λまたは０．２０λである場合についても同様に、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を種々変化させて第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を調べた。その結果を、図７〜図１６に示す。また、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）を０．０４λとした場合についても同様に、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を種々変化させて第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を調べた。その結果を、図１７〜図２１に示す。
【００５３】
図７は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００５４】
図８は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００５５】
図９は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００５６】
図１０は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００５７】
図１１は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．０７λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００５８】
図１２は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００５９】
図１３は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６０】
図１４は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６１】
図１５は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６２】
図１６は、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．２０λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６３】
図１７は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．３０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６４】
図１８は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．５５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６５】
図１９は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．７０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６６】
図２０は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９０のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６７】
図２１は、第１及び第３の電極層２１，２３の厚み（ｈ１＋ｈ３）の合計が０．０４λ、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が０．１４λであり、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が０．９５のときの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を表すグラフである。
【００６８】
図２〜図６に示す結果と共に、図７〜図１６に示す結果を参照する。その結果、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）に関わらず、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が大きくなるほど第２の媒質１２の厚み（Ｈ）の変化に対する高次モードの音速の依存性が低くなることが分かる。また、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を０．５５〜０．９５、好ましくは０．７〜０．９５とすることにより、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）に関わらず、高次モードの音速を安定させることができる。従って、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を調整したときに、高次モードスプリアスの大きさが大きくなりすぎることを効果的に抑制できることが分かる。
【００６９】
また、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）に関わらず、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を所定の範囲としつつ、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を、０．３＜Ｈ／λ＜０．７とすることにより、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を変化に伴って高次モードの音速が変化することを特に効果的に抑制できる。従って、第２の電極層２２の厚みに関わらず、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）は、０．３λ〜０．７λであることが好ましいことが分かる。
【００７０】
なお、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）は、０．０５λ〜０．２５λの範囲内にあることが好ましい。第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が小さすぎると、高次モードスプリアスの大きさの第２の媒質１２の厚み（Ｈ）に対する依存性を十分に低減できない場合がある。また、周波数温度特性が劣悪になる場合がある。一方、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）が大きすぎると、電気機械結合係数が小さくなりすぎる場合や、ＩＤＴ電極２０の厚みが厚くなりすぎ、第３の媒質１３の形状が劣悪になる場合がある。
【００７１】
次に、第１〜第３の電極層２１〜２３の材質を種々変更して、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）と高次モードの音速との関係を調べた。その結果を、図２２〜図４６に示す。なお、図２２〜図４６において、第１及び第３の電極層２１，２３の厚みの合計（ｈ１＋ｈ３）は０．０６λであり、第２の電極層２２の厚み（ｈ２）は、０．１４λである。
【００７２】
図２２〜図２６：第１の電極層２１：Ａｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ａｕ
図２７〜図３１：第１の電極層２１：Ｗ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｗ
図３２〜図３６：第１の電極層２１：Ｔａ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｔａ
図３７〜図４１：第１の電極層２１：Ｃｕ／第２の電極層：Ａｌ／第３の電極層：Ｃｕ  図４２〜図４６：第１の電極層２１：Ｐｔ／第２の電極層：Ｃｕ／第３の電極層：Ｐｔ
図２２，図２７，図３２，図３７及び図４２におけるｈ３／（ｈ１＋ｈ３）：０．３０
図２３，図２８，図３３，図３８及び図４３におけるｈ３／（ｈ１＋ｈ３）：０．５５
図２４，図２９，図３４，図３９及び図４４におけるｈ３／（ｈ１＋ｈ３）：０．７０
図２５，図３０，図３５，図４０及び図４５におけるｈ３／（ｈ１＋ｈ３）：０．９０
図２６，図３１，図３６，図４１及び図４６におけるｈ３／（ｈ１＋ｈ３）：０．９５
【００７３】
図２〜図６に示す結果と共に、図２２〜図４６に示す結果を参照する。これらの結果より、第１〜第３の電極層２１，２３の材質に関わらず、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）が大きくなるほど第２の媒質１２の厚み（Ｈ）の変化に対する高次モードの音速の依存性が低くなることが分かる。また、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を０．５５〜０．９５、好ましくは０．７〜０．９５とすることにより、第１〜第３の電極層２１，２３の材質に関わらず、高次モードの音速を安定させることができる。従って、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を調整したときに、高次モードスプリアスの大きさが大きくなりすぎることを効果的に抑制できることが分かる。
【００７４】
また、第１〜第３の電極層２１，２３の材質に関わらず、ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）を所定の範囲としつつ、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を、０．３＜Ｈ／λ＜０．７とすることにより、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）を変化に伴って高次モードの音速が変化することを特に効果的に抑制できる。従って、第１〜第３の電極層２１，２３の材質に関わらず、第２の媒質１２の厚み（Ｈ）は、０．３λ〜０．７λであることが好ましいことが分かる。
【００７５】
次に、第１の媒質１１のカット角について検討した。図４７は、３７°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合のインピーダンス（Ｚ）特性を表すグラフである。図４８は、３７°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合の位相特性を表すグラフである。図４９は、０°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合のインピーダンス（Ｚ）特性を表すグラフである。図５０は、０°ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質として用いた場合の位相特性を表すグラフである。
【００７６】
図４７〜図５０に示す結果から、０°〜３７°回転ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質１１として用いた場合には、ＳＨ波の高次モードに起因するスプリアスが生じやすいことが分かる。従って、本実施形態の技術は、０°〜３７°回転ＹカットＬｉＮｂＯ３基板を第１の媒質１１として用い、ＳＨ型の弾性境界波を用いる弾性境界波装置に特に有効であることが分かる。
【００７７】
（第２の実施形態）
図５１は、第２の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。図５１に示すように、本実施形態では、ＩＤＴ電極２０は、第１〜第３の電極層２１〜２３の上に形成されている第４の電極層２４をさらに備えている。このように、第４の電極層２４をさらに設けることにより、ＩＤＴ電極２０の抵抗をより低くすることができる。従って、弾性境界波装置の損失をより小さくすることができる。
【００７８】
第４の電極層２４は、電気抵抗の低い材料、より具体的には、第１〜第３の電極層２１〜２３の材料の電気抵抗以下の電気抵抗を有する材料により形成されていることが好ましい。例えば、第４の電極層２４をＡｌまたはＡｌを主成分とする合金により形成することが好ましい。そうすることにより、ＩＤＴ電極２０の抵抗をさらに小さくでき、よって、弾性境界波装置の損失をさらに小さくすることができる。
【００７９】
また、第４の電極層２４をＡｌにより形成した場合、第２の媒質１２を、ＳｉＯ２などの酸化ケイ素からなるものとすることが好ましい。Ａｌと酸化ケイ素とは、弾性定数及び密度のそれぞれが相互に近いため、第４の電極層２４を追加しても、基本モードの音速や電気機械結合係数、高次モードの音速などのような音響的な特性が変化しにくい。このため、音響的な特性を変化させずに、ＩＤＴ電極２０の抵抗を効果的に低減できる。
【００８０】
（第３の実施形態）
図５２は、第３の実施形態に係る弾性境界波装置におけるＩＤＴ電極の略図的断面図である。図５２に示すように、第１の媒質１１と、第１の電極層２１との間、第１〜第３の電極層２１〜２３間、及び第３の電極層２３と第２の媒質１２との間に密着性の向上や拡散の抑制を図るための層２５ａ〜２５ｄをさらに設けてもよい。なお、層２５ａ〜２５ｄのそれぞれは、例えば、Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒなどの金属またはＴｉ，Ｎｉ及びＣｒからなる群から選ばれた１種以上の金属を主成分とする合金などにより形成することができる。
【００８１】
（第４の実施形態）
図５３は、第４の実施形態に係る弾性境界波装置におけるＩＤＴ電極の略図的断面図である。
【００８２】
上記第１の実施形態では、第１〜第３の電極層２１〜２３のそれぞれが単一の電極層により形成されている場合について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、第１〜第３の電極層２１〜２３の少なくともひとつが複数の層により構成されていてもよい。また、その場合において、電極層を構成する複数の層の間に他の層が介在していてもよい。すなわち、第１〜第３の電極層２１〜２３の少なくともひとつは、例えば、他の層により複数の層に分割されていてもよい。例えば、図５３に示す例では、第２の電極層２２が、ＴｉやＣｕからなる層２２ａ、２２ｂにより３つの層に分割されている。
【００８３】
（第５の実施形態）
図５４は、第５の実施形態に係る弾性境界波装置の略図的断面図である。
【００８４】
上記第１の実施形態では、第２の媒質１２の表面が平坦である場合について説明したが、図５４に示すように、第２の媒質１２の表面は、ＩＤＴ電極２０の形状に即した形状とされていてもよい。同様に、第３の媒質１３の表面もＩＤＴ電極２０の形状に即した形状とされていてもよい。
【００８５】
（第６の実施形態）
第６の実施形態は、第１の実施形態において、第１の媒質がＬｉＮｂＯ３基板、第２の媒質がＳｉＯ２膜であり、ＬｉＮｂＯ３のカット角、ＩＤＴ電極における各金属膜の厚み、ＳｉＯ２膜の厚み等が特定の範囲とされている点で第１の実施形態と異なる。本実施形態では、ストンリー波の応答によるスプリアスを効果的に抑圧することができる。これを、具体的な実験例に基づき説明する。
【００８６】
結果を図５５〜図１３５に示す。なお、図５５〜図１３５は、以下の第１のグループ〜第３のグループに分けて説明する。
【００８７】
第１のグループ〜第３のグループは、それぞれ、特定のフィルタに用いるのに適しているＬｉＮｂＯ３のカット角、Ｐｔ膜厚合計（ｈ１＋ｈ３）、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計（ｈ３／（ｈ１＋ｈ３））、Ａｌ膜の膜厚（ｈ２）、及びＳｉＯ２膜の膜厚（Ｈ）の各パラメータの中心値を決定した。第１のグループ〜第３のグループは、この中心値のまわりのパラメータを有するグループである。グループごとに詳細を説明することとする。
【００８８】
なお、本願におけるＳＶ波比帯域は、ＳＶ波を主体とする境界波であるストンリー波の比帯域の意で用いている。ストンリー波の電気機械結合係数をＫとすると、およそ比帯域＝Ｋ２／２の関係にある。
【００８９】
（第１のグループ）
図５５〜図８１は、ＬｉＮｂＯ３のカット角２５°、Ｐｔ膜厚合計２．４２％（対波長比）、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計０．５０、Ａｌ膜の膜厚９．２％（対波長比）、及びＳｉＯ２膜の膜厚４４．５％（対波長比）を中心とする、上記各パラメータとＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【００９０】
より具体的には、図５５〜図６３は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λの場合の結果を示す。ここで、図５５〜図５７では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．４５、図５８〜図６０では０．５０、図６１〜図６３では０．５５の場合の結果が示されている。そして、図５５〜図５７では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図５８〜図６０においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図６１〜図６３においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされている。
【００９１】
そして、図５５〜図６３においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λに変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【００９２】
なお、図５５〜図１３５において、図中のＰｔ＝０．０２λのような「Ｐｔ＝」で表される膜厚は、上記Ｐｔ膜厚合計を示すものとする。
【００９３】
図５５〜図６３から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【００９４】
図６４〜図７２は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λの場合の結果を示す。ここで、図６４〜図６６では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．４５、図６７〜図６９では０．５０、図７０〜図７２では０．５５の場合の結果が示されている。そして、図６４〜図６６では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図６７〜図６９においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図７０〜図７２においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされている。
【００９５】
そして、図６４〜図７２においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【００９６】
図６４〜図７２から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【００９７】
図７３〜図８１は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λの場合の結果を示す。ここで、図７３〜図７５では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．４５、図７６〜図７８では０．５０、図７９〜図８１では０．５５の場合の結果が示されている。そして、図７３〜図７５では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図７６〜図７８においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図７９〜図８１においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされている。
【００９８】
そして、図７３〜図８１においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【００９９】
図７３〜図８１から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１００】
従って、図５５〜図８１の結果をまとめると、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５である場合において、ＳＶ波比帯域が０．０３％以下となる範囲、すなわちストンリー波によるスプリアスを抑圧し得る範囲は、下記の（ａ１）〜（ａ２７）のいずれかの組み合わせであることがわかる。
【０１０１】
（ａ１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27°
（ａ２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30.5°
（ａ３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ａ４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
（ａ５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ａ７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜27.5°
（ａ８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ１０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
（ａ１１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ａ１２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ａ１３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ａ１４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜31°
（ａ１５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ１６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ａ１７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ１８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
（ａ１９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ａ２０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31.5°
（ａ２１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜30°
（ａ２２）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ａ２３）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ａ２４）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ａ２５）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ２６）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30.5°
（ａ２７）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.525〜0.55、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
【０１０２】
（第２のグループ）
図８２〜図１０８は、ＬｉＮｂＯ３のカット角２５°、Ｐｔ膜厚合計２．７２％（対波長比）、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計０．７８、Ａｌ膜の膜厚７．９％（対波長比）、及びＳｉＯ２膜の膜厚４５．６％（対波長比）を中心とする、上記各パラメータとＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【０１０３】
より具体的には、図８２〜図９０は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λの場合の結果を示す。ここで、図８２〜図８４では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．７５、図８５〜図８７では０．８０、図８８〜図９０では０．８５の場合の結果が示されている。そして、図８２〜図８４では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされており、図８５〜図８７においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされており、図８８〜図９０においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされている。
【０１０４】
そして、図８２〜図９０においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λに変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【０１０５】
図８２〜図９０から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１０６】
図９１〜図９９は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４５λの場合の結果を示す。ここで、図９１〜図９３では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．７５、図９４〜図９６では０．８０、図９７〜図９９では０．８５の場合の結果が示されている。そして、図９１〜図９３では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされており、図９４〜図９６においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされており、図９７〜図９９においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされている。
【０１０７】
そして、図９１〜図９９においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【０１０８】
図９１〜図９９から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１０９】
図１００〜図１０８は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．５０λの場合の結果を示す。ここで、図１００〜図１０２では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．７５、図１０３〜図１０５では０．８０、図１０６〜図１０８では０．８５の場合の結果が示されている。そして、図１００〜図１０２では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされており、図１０３〜図１０５においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされており、図１０６〜図１０８においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０６λ、０．０８λまたは０．１０λとされている。
【０１１０】
そして、図１００〜図１０８においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【０１１１】
図１００〜図１０８から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１１２】
従って、図８２〜図１０８の結果をまとめると、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５である場合において、ＳＶ波比帯域が０．０３％以下となる範囲、すなわちストンリー波によるスプリアスを抑圧し得る範囲は、下記の（ｃ１）〜（ｃ８１）のいずれかの組み合わせであることがわかる。
【０１１３】
（ｃ１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｃ２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
（ｃ４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｃ５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜26.5°
（ｃ７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29°
（ｃ９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26.5°
（ｃ１０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
（ｃ１１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ１２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
（ｃ１３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ１４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ１５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｃ１６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｃ１７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
（ｃ１８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26.5°
（ｃ１９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｃ２０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ２１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
（ｃ２２）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｃ２３）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｃ２４）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26°
（ｃ２５）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｃ２６）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜27°
（ｃ２７）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｃ２８）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ２９）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ３０）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28°
（ｃ３１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ３３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
（ｃ３４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
（ｃ３６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
（ｃ３７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ３９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜27°
（ｃ４０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ４１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ４２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜25.5°
（ｃ４３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ４４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27°
（ｃ４５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜26°
（ｃ４６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ４７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ４８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜25.5°
（ｃ４９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜30°
（ｃ５０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
（ｃ５１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜25.5°
（ｃ５２）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ５３）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜26.5°
（ｃ５４）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.425λ〜0.475λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
（ｃ５５）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ５６）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ５７）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜27.5°
（ｃ５８）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜3°
（ｃ５９）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｃ６０）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
（ｃ６１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ６２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27.5°
（ｃ６３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.725〜0.775、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜25°
（ｃ６４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ６５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ６６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26.5°
（ｃ６７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ６８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28.5°
（ｃ６９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜25°
（ｃ７０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｃ７１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜26°
（ｃ７２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
（ｃ７３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜31°
（ｃ７４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｃ７５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.05λ〜0.07λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｃ７６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30.5°
（ｃ７７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
（ｃ７８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜25°
（ｃ７９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
（ｃ８０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜26°
（ｃ８１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.475λ〜0.525λのとき、LiNbO3のカット角が、18°〜24.5°
【０１１４】
（第３のグループ）
図１０９〜図１３５は、ＬｉＮｂＯ３のカット角２５°、Ｐｔ膜厚合計２．５３％（対波長比）、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計０．８６、Ａｌ膜の膜厚９．０％（対波長比）、及びＳｉＯ２膜の膜厚３６．３％（対波長比）を中心とする、上記各パラメータとＳＶ波比帯域との関係を示す図である。
【０１１５】
より具体的には、図１０９〜図１１７は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．３０λの場合の結果を示す。ここで、図１０９〜図１１１では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．８０、図１１２〜図１１４では０．８５、図１１５〜図１１７では０．９０の場合の結果が示されている。そして、図１０９〜図１１１では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図１１２〜図１１４においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図１１５〜図１１７においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされている。
【０１１６】
そして、図１０９〜図１１７においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を０．０２λ、０．０２５λまたは０．０３λに変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【０１１７】
図１０９〜図１１７から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１１８】
図１１８〜図１２６は、ＳｉＯ２膜の膜厚は０．３５λの場合の結果を示す。ここで、図１１８〜図１２０では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．８０、図１２１〜図１２３では０．８５、図１２４〜図１２６では０．９０の場合の結果が示されている。そして、図１１８〜図１２０では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図１２１〜図１２３においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図１２４〜図１２６においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされている。
【０１１９】
そして、図１１８〜図１２６においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【０１２０】
図１１８〜図１２６から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１２１】
図１２７〜図１３５は、ＳｉＯ２膜の膜厚が０．４０λの場合の結果を示す。ここで、図１２７〜図１２９では、上Ｐｔ膜厚／Ｐｔ膜厚合計が０．８０、図１３０〜図１３２では０．８５、図１３３〜図１３５では０．９０の場合の結果が示されている。そして、図１２７〜図１２９では、Ａｌ膜の膜厚が、０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図１３０〜図１３２においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされており、図１３３〜図１３５においても、Ａｌ膜の膜厚が０．０８λ、０．１０λまたは０．１２λとされている。
【０１２２】
そして、図１２７〜図１３５においては、さらに、Ｐｔ膜厚合計を変化させた場合のＬｉＮｂＯ３のカット角と、ＳＶ波比帯域との関係が示されている。
【０１２３】
図１２７〜図１３５から明らかなように、ＬｉＮｂＯ３のカット角が２５°近辺の場合、ＳＶ波比帯域が非常に小さくなり、極小値となることがわかる。カット角が２５°から遠ざかるにつれ、いずれの場合においても、ＳＶ波比帯域が大きくなっていくことがわかる。
【０１２４】
従って、図１０９〜図１３５の結果をまとめると、０．５５＜ｈ３／（ｈ１＋ｈ３）＜０．９５である場合において、ＳＶ波比帯域が０．０３％以下となる範囲、すなわちストンリー波によるスプリアスを抑圧し得る範囲は、下記の（ｄ１）〜（ｄ８１）のいずれかの組み合わせであることがわかる。
【０１２５】
（ｄ１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25°
（ｄ２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28.5°
（ｄ４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜25°
（ｄ５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜28°
（ｄ７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、18.5°〜24°
（ｄ８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、27°〜29°
（ｄ１０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
（ｄ１１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ１２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜27.5°
（ｄ１３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜26°
（ｄ１４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜30°
（ｄ１５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜29.5°
（ｄ１６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、19.5°〜25.5°
（ｄ１７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
（ｄ１８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜31°
（ｄ１９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、20.5°〜21.5°
（ｄ２０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30°
（ｄ２１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
（ｄ２２）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｄ２３）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
（ｄ２４）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜30.5°
（ｄ２５）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜26.5°
（ｄ２６）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、26.5°〜30°
（ｄ２７）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.275λ〜0.325λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜32°
（ｄ２８）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
（ｄ２９）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ３０）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜26.5°
（ｄ３１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜28°
（ｄ３２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
（ｄ３３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
（ｄ３４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28°
（ｄ３５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25.5°〜29°
（ｄ３６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜28.5°
（ｄ３７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｄ３８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜29.5°
（ｄ３９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜27°
（ｄ４０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜28.5°
（ｄ４１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
（ｄ４２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28.5°
（ｄ４３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29°
（ｄ４４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ４５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ４６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｄ４７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29°
（ｄ４８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜28°
（ｄ４９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ｄ５０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ５１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜28.5°
（ｄ５２）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ５３）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、26°〜30°
（ｄ５４）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.325λ〜0.375λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜30°
（ｄ５５）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜29°
（ｄ５６）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29°
（ｄ５７）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜26°
（ｄ５８）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ５９）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28.5°
（ｄ６０）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22°〜27°
（ｄ６１）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６２）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ６３）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.775〜0.825、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27.5°
（ｄ６４）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23°〜29.5°
（ｄ６５）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｄ６６）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、22.5°〜26.5°
（ｄ６７）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ６８）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28.5°
（ｄ６９）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21°〜27°
（ｄ７０）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜30°
（ｄ７１）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜28°
（ｄ７２）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.825〜0.875、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27.5°
（ｄ７３）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29.5°
（ｄ７４）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜28°
（ｄ７５）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.07λ〜0.09λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、21.5°〜26.5°
（ｄ７６）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24°〜29.5°
（ｄ７７）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、24.5°〜28°
（ｄ７８）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.09λ〜0.11λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、20°〜27°
（ｄ７９）Pt膜厚合計が、0.0175λ〜0.0225λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、25°〜29.5°
（ｄ８０）Pt膜厚合計が、0.0225λ〜0.0275λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、23.5°〜29°
（ｄ８１）Pt膜厚合計が、0.0275λ〜0.0325λ、上Pt膜厚/Pt膜厚合計が、0.875〜0.925、Al膜厚が、0.11λ〜0.13λ、SiO2膜厚が、0.375λ〜0.425λのとき、LiNbO3のカット角が、19°〜27.5°
【０１２６】
（第７の実施形態）
第７の実施形態は、第２の実施形態と同様に、第１〜第３の電極層２１〜２３の上に第４の電極層２４が形成されている点で、上記第６の実施形態と異なる。
【０１２７】
図１３６は、第７の実施形態において、第４の電極層２４であるＡｌ膜の膜厚を変化させた場合の周波数温度係数ＴＣＦの変化を示す図である。ＳｉＯ２は正の周波数温度係数ＴＣＦを有する。ＬｉＮｂＯ３は負の周波数温度係数を有する。ＬｉＮｂＯ３基板にＳｉＯ２を積層した弾性境界波装置の周波数温度係数ＴＣＦは、ＳｉＯ２膜とＬｉＮｂＯ３基板の中間の負の値を示している。図１３６から明らかなように、第４の電極層２４であるＡｌ膜の膜厚を大きくしていくと、周波数温度係数ＴＣＦの絶対値が大きくなる傾向がわかる。ＳｉＯ２などの一部がＡｌに置き換わることにより、周波数温度係数ＴＣＦの絶対値は大きくなっている。なお、図１３６の結果は、カット角２４°回転ＹカットのＬｉＮｂＯ３基板上に、Ｐｔ膜厚合計０．０３λ、上Ｐｔ膜のＰｔ膜厚合計に対する比＝１、Ａｌ膜の膜厚＝０．１０λ、ＳｉＯ２膜の膜厚＝０．５０λ、ＳｉＮ膜の膜厚＝１．７λとした場合の結果を示す。
【０１２８】
図１３６に示すように、第４の電極層２４であるＡｌ膜の厚みを厚くしていくと、周波数温度係数ＴＣＦが若干劣化することがわかる。例えば、第４の電極層２４であるＡｌ膜の膜厚が０．１λの場合、周波数温度係数ＴＣＦが第４の電極層２４であるＡｌ膜を形成しなかった場合に比べて約２ｐｐｍ／℃劣化していることがわかる。もっとも、表現を代えると、第４の電極層２４であるＡｌ膜の膜厚が０．１λ以下であれば、周波数温度係数ＴＣＦの劣化は２ｐｐｍ／℃以内とすることができる。従って、周波数温度係数ＴＣＦをさほど劣化させることなく、電気機械結合係数などの他の特性を高め、さらにストンリー波スプリアスを効果的に抑圧し得ることがわかる。よって、より好ましくは、第４の電極層２４であるＡｌ膜の膜厚は、０．１λ以下とすることが望ましい。
【０１２９】
また、第６の実施形態において、ＩＤＴ電極２０と、第１の媒質１１との間に、例えば、Ｔａ２Ｏ５などの酸化タンタルからなる誘電体層１４が形成されていてもよい。
【０１３０】
誘電体層１４の厚みは、耐サージ性を高める上では、ある程度厚い方が望ましいが、誘電体層１４の厚みが厚すぎると、電気機械結合係数が低下するおそれがある。従って、誘電体層１４の厚みは、０．０３λ以下程度とすることが好ましい。また、誘電体層１４の誘電率が大きいほど電気機械結合係数の低下は抑えられる。従って、誘電体層１４としては、誘電率の高い材料が望ましい。
【０１３１】
このような耐サージ性を高めるための誘電体層１４を構成する材料としては、酸化タンタルに限らず、誘電率が１０程度以上の様々な誘電体材料を用いることができる。すなわち、好ましくは、誘電体層１４は、このような誘電率を有する、酸化タンタル、酸化チタン、酸化アルミニウムからなる群から選択された１種の誘電体材料により形成することが望ましい。特に好ましくは、誘電率が高く、絶縁抵抗が高められるため、酸化タンタルを用いることが望ましい。
【０１３２】
第４の電極層２４であるＡｌ膜を最上部に積層する構造においても、第４の電極層２４であるＡｌ膜の下面側にＴｉ膜やＮｉＣｒ膜を積層し、金属の拡散を防止したり、金属膜間の密着性を高めたりしてもよい。なお、これらの他の金属膜の厚みは、電気的特性に影響を与えないためには、さほど厚くないことが好ましく、例えば２０ｎｍ以下程度のごく薄い厚みとすることが望ましい。
【０１３３】
さらに、積層金属膜内において、Ａｌ膜は複数のＡｌ膜に分割されていてもよい。例えば、Ａｌ膜自体が複数のＡｌ膜を積層した構造を有していてもよい。
【０１３４】
また、Ａｌ膜及びＰｔ膜は、ＡｌやＰｔを主体とする合金により形成されていてもよい。
【符号の説明】
【０１３５】
１…弾性境界波装置
１１…第１の媒質
１２…第２の媒質
１３…第３の媒質
１４…誘電体層
２０…ＩＤＴ電極
２１…第１の電極層
２２…第２の電極層
２３…第３の電極層
２４…第４の電極層
２２ａ、２２ｂ、２５ａ〜２５ｄ…層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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【図７０】
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【図７１】
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【図７２】
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【図７３】
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【図７４】
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【図７５】
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【図７６】
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【図７７】
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【図７８】
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【図７９】
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【図８０】
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【図８１】
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【図８２】
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【図８３】
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【図８４】
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【図８５】
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【図８６】
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【図８７】
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【図８８】
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【図８９】
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【図９０】
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【図９１】
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【図９２】
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【図９３】
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【図９４】
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【図９５】
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【図９６】
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【図９７】
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【図９８】
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【図９９】
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【図１００】
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【図１０１】
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【図１０２】
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【図１０３】
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【図１０４】
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【図１０５】
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【図１０６】
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【図１０７】
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【図１０８】
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【図１０９】
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【図１１０】
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【図１１１】
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【図１１２】
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【図１１３】
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【図１１４】
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【図１１５】
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【図１１６】
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【図１１７】
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【図１１８】
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【図１１９】
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【図１２０】
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【図１２１】
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【図１２２】
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【図１２３】
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【図１２４】
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【図１２５】
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【図１２６】
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【図１２７】
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【図１２８】
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【図１２９】
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【図１３０】
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【図１３１】
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【図１３２】
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【図１３３】
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【図１３４】
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【図１３５】
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【図１３６】
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【国際調査報告】
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