【事件の表示】
　特許第３０８１６９９号「マクロレンズを備えた顕微鏡」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０８１６９９号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］手続の経緯
　本件特許第３０８１６９９号の発明は、平成４年２月２１日に特許出願され、平成１２年６月２３日にその特許の設定登録がなされたものであり、その後、株式会社ニコンより特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、特許異議意見書とともに訂正請求書が提出された。
［２］訂正の適否についての判断
［訂正の内容］
　訂正請求書による訂正事項は次のとおりである。
　ａ．特許請求の範囲の請求項１「前記巨視結像光学系と微視結像光学系との切換を行う切換手段と」とあるのを、「前記巨視結像光学系と前記微視結像光学系との切換を行う切換手段と」と訂正する。
　ｂ．特許請求の範囲の請求項１「前記切換手段によって切換えられた光学系の光軸に対して前記試料を移動可能で、前記試料が移動した光軸位置が前記切換手段によって切換えられた光学系の焦点位置近傍となるように構成されたステージと」とあるのを、「一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動するステージと」と訂正する。
　ｃ．特許請求の範囲の請求項２を削除する。
　ｄ．段落【０００８】の「このような目的を達成するために、本発明のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と微視結像光学系との切換を行う切換手段と、前記切換手段によって切換えられた光学系の光軸に対して前記試料を移動可能で、前記試料が移動した光軸位置が前記切換手段によって切換えられた光学系の焦点位置近傍となるように構成されたステージとを備える。また、本発明の別のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と微視結像光学系との切換を行う切換手段と、前記切換手段によって切換えられた光学系の光軸に対して前記試料を移動可能なステージと、前記試料が前記ステージによって移動した光軸位置が前記切換手段によって切換えられた光学系の焦点位置近傍となるように固定されている移動量に応じて上下に前記ステージを制御する制御手段とを備える。」を「このような目的を達成するために、本発明のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と前記微視結像光学系との切換を行う切換手段と、一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動するステージとを備える。」と訂正する。
　ｅ．段落【００３７】から【００４０】の全文を削除する。
　ｆ．段落【００４１】の全文を「本発明の第５の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡について、図６及び図７を参照して説明する。図６には、上述した各実施例に示された顕微鏡を電動制御するための制御機構のブロック図が示されている。」と訂正する。
　ｇ．段落【００４３】の「図７」を「図６」と訂正する。
　ｈ．段落【００４４】の「図７」及び「図８」をそれぞれ「図６」及び「図７」と訂正する。
　ｉ．段落【００４５】の「図７」及び「図８」をそれぞれ「図６」及び「図７」と訂正する。
　ｊ．【図面の簡単な説明】及び図面において、図６を削除する。
　ｋ．図６の削除に伴い、図面番号の「図７」を「図６」、「図８」を「図７」にそれぞれ訂正する。
　ｌ．訂正後の【図６】において、「第６の実施例」を「第５の実施例」と訂正する。
　ｍ．訂正後の【図７】において、「図７」を「図６」と訂正する。
［訂正の範囲の適否、拡張・変更の存否］ 
　上記訂正事項ａは、微視結像手段が、先に規定されたものであることを明確にしたものである。
　上記訂正事項ｂは、ステージが斜め方向に所定の傾斜角をもって移動することを明確に限定しようとするものであって、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。この限定は、図４及び特許明細書第【００２６】から【００２９】に記載されているものである。
　上記訂正事項ｃは、請求項２に記載された発明を削除するものであって、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
　上記訂正事項ｄは、請求項１および請求項２に係る上記訂正事項ａ、上記訂正事項ｂ及び上記訂正事項ｃに適合させて訂正しようとするものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｅは、本件発明の請求項１に係る実施例以外の実施例である第５の実施例を削除したものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｆは、上記訂正事項ｅの第５の実施例の削除に適合して、訂正したものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｇは、上記訂正事項ｅの第５の実施例の削除により、図６が削除されたことに伴い、図面番号をそろえたものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｈは、上記訂正事項ｅの第５の実施例の削除により、図６が削除されたことに伴い、図面番号をそろえたものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｉは、上記訂正事項ｅの第５の実施例の削除により、図６が削除されたことに伴い、図面番号をそろえたものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｉは、上記訂正事項ｅの第５の実施例の削除に適合して、図６を削除したものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｋは、上記訂正事項ｊにより、図６が削除されたことに伴い、図面番号をそろえたものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｌは、上記訂正事項ｅの第５の実施例の削除に適合して、訂正したものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　上記訂正事項ｍは、上記訂正事項ｊにより、図６が削除されたことに伴い、図面番号をそろえたものであって、明瞭でない記載の釈明に相当するものである。
　したがって、本件訂正事項ａ〜ｍは特許明細書に記載した事項の範囲内においてするものであり、新規事項の追加に該当しない。
　また、本件訂正事項ａ〜ｍは、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　［結び］
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法１２６条第１項ただし書き、第２項の規定に適合するので、本件訂正を認める。
［３］特許異議の申立について
［申立の理由の概要］
　特許異議申立人株式会社ニコンは、甲第１号証（特開平３−１５０１５号公報）、甲第２号証（特開昭５８−２４１０６号公報）、甲第３号証（特開平２−１７８６０８号公報）、甲第４号証（特開昭６２−５０７１９号公報）、甲第５号証（特開昭５９−１０２３１号公報）を提出し、請求項１、２に係る発明の特許は特許法第２９条第１項または第２項の規定に違反してなされたものであり、特許を取り消すべき旨主張している。
［本件発明］
　特許第３０８１６９９号の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、平成１３年８月６日付けの訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　請求項１「試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と前記微視結像光学系との切換を行う切換手段と、一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動するステージとを具備するマクロレンズを備えた顕微鏡。」
［引用刊行物］
　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物は次のとおりである。
　刊行物１：特開昭６２−５０７１９号公報（甲第４号証）
　刊行物２：特開昭５９−１０２３１号公報（甲第５号証）
　刊行物３：特開平３−１５０１５号公報（甲第１号証）
　刊行物１には、
　「位置割り出しステージＳ１は本発明の特徴として適当な低倍率、例えば倍率５倍、の顕微鏡１０を備えており、この顕微鏡１０にはその視野を映像としてとらえるためのＴＶカメラ１１が組合されている。検査ステージＳ２には本来目的とする高倍率での画像測定を行うために、所定の倍率、例えば倍率２０倍、の顕微鏡２０を備えており、この顕微鏡２０にはその視野を映像としてとらえるためのＴＶカメラ２１および自動焦点機構２２が組合されている。また、位置割り出しステージＳ１および検査ステージＳ２は検体載置台３０を共有しており、この検体載置台３０はここでは検体を位置割り出しステージＳ１から検査ステージＳ２へと搬送できるような移動可能な載置台（所謂オートステージ）とされている。」（第２頁右下欄第１４行〜第３頁左上欄第８行）
　「第１図に示すように、ＴＶカメラ１１および２１の出力信号はビデオ切換ユニット４０へ与えられ、何れかのＴＶカメラの出力信号を選択的に画像解析装置４１へ与えるようになされている。」（第３頁左上欄第１５行〜第１８行）
　刊行物２には、
　「目視または低倍顕微鏡で高感度検出する低倍検査手段と、この低倍検査手段により検出された欠陥をポインタビーム光の照射により位置データを記憶する手段とこの記憶された位置データに基づいて高倍率顕微鏡にその位置を自動的に順次設定する高倍検査手段」（特許請求の範囲）
　「検査すべきパターンが形成されたウエハ４はウエハ供給ラック２からウエハ移送装置３経由でチャックおよびステージ５に載る。ウエハ４とチャックおよびステージ５はこの位置で低倍検査（以下、マクロ検査と称す）し、その発見された欠陥をチャックおよびステージ５を移動させて５Ａの位置とし（この位置におけるウエハを４Ａとする）、顕微鏡８、９、１０で検査（以下、ミクロ検査と称する）する。」（第２頁左上欄第１９行〜右上欄第７行）
　刊行物３には、
　「本発明による顕微鏡は、複数の対物レンズを切換えて使用する顕微鏡において、前記各対物レンズ毎の同焦データを記憶する記憶手段と、切換え前後の二つの対物レンズの同焦データに基づいて結像状態を補正する補正手段を備えていることにより、切換え時に自動的に合焦位置が補正されるようにしたものである。」（第２頁左上欄第９行〜第１５行）
　「制御回路５は確認された新しいレボルバー位置に対応するステージ位置データ（以下データＢという）を記憶回路２のデータテーブル２０１より読み込む。かくして制御回路５においてデータＡとＢからステージ移動量Ｃの演算が行われ、その演算結果をモータ制御回路７へ出力して、ステージ８を移動量Ｃだけ移動させ、同焦ずれの補正を行う。」（第３頁右上欄第１７行〜左下欄第４行）
が記載されている。
［対比・判断］
　訂正後の本件発明と、上記刊行物１〜３記載の発明とを比較すると、刊行物１〜３記載の発明は、本件発明の具備する「一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動するステージ」という構成を具備していない。
　また、かかる点は、異議申立人の提出した他の証拠のいずれにも記載されていない。
　本件発明は、かかる点により、微視光学系と巨視光学系で焦点の高さ、即ち試料面に対する焦点位置がずれている場合においてもピント合わせの調節が不要となるという作用効果を生じるものと認められるから、本件発明は、刊行物１に記載された発明と同一であるとも、また刊行物２、３に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明することができたとも認めることはできない。
　したがって、本件発明は、異議申立人が提出した刊行物に記載された発明でなく、また異議申立人が提出した刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものでもないので、本件発明は、特許法第２９条第１項第３号又は同法第２９条第２項のいずれの規定にも違反してなされたものではない。
［結び］
　したがって、特許異議申立ての理由および証拠によっては、本件の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月１７日（２００１．８．１７）
【訂正の要旨】
［訂正の要旨］
　訂正請求書による訂正事項は次のとおりである。
　ａ．特許請求の範囲の請求項１「前記巨視結像光学系と微視結像光学系との切換を行う切換手段と」とあるのを、「前記巨視結像光学系と前記微視結像光学系との切換を行う切換手段と」と訂正する。
　ｂ．特許請求の範囲の請求項１「前記切換手段によって切換えられた光学系の光軸に対して前記試料を移動可能で、前記試料が移動した光軸位置が前記切換手段によって切換えられた光学系の焦点位置近傍となるように構成されたステージと」とあるのを、「一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動するステージと」と訂正する。
　ｃ．特許請求の範囲の請求項２を削除する。
　ｄ．段落【０００８】の「このような目的を達成するために、本発明のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と微視結像光学系との切換を行う切換手段と、前記切換手段によって切換えられた光学系の光軸に対して前記試料を移動可能で、前記試料が移動した光軸位置が前記切換手段によって切換えられた光学系の焦点位置近傍となるように構成されたステージとを備える。また、本発明の別のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と微視結像光学系との切換を行う切換手段と、前記切換手段によって切換えられた光学系の光軸に対して前記試料を移動可能なステージと、前記試料が前記ステージによって移動した光軸位置が前記切換手段によって切換えられた光学系の焦点位置近傍となるように固定されている移動量に応じて上下に前記ステージを制御する制御手段とを備える。」を「このような目的を達成するために、本発明のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と前記微視結像光学系との切換を行う切換手段と、一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動するステージとを備える。」と訂正する。
　ｅ．段落【００３７】から【００４０】の全文を削除する。
　ｆ．段落【００４１】の全文を「本発明の第５の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡について、図６及び図７を参照して説明する。図６には、上述した各実施例に示された顕微鏡を電動制御するための制御機構のブロック図が示されている。」と訂正する。
　ｇ．段落【００４３】の「図７」を「図６」と訂正する。
　ｈ．段落【００４４】の「図７」及び「図８」をそれぞれ「図６」及び「図７」と訂正する。
　ｉ．段落【００４５】の「図７」及び「図８」をそれぞれ「図６」及び「図７」と訂正する。
　ｊ．【図面の簡単な説明】及び図面において、図６を削除する。
　ｋ．図６の削除に伴い、図面番号の「図７」を「図６」、「図８」を「図７」にそれぞれ訂正する。
　ｌ．訂正後の【図６】において、「第６の実施例」を「第５の実施例」と訂正する。
　ｍ．訂正後の【図７】において、「図７」を「図６」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
マクロレンズを備えた顕微鏡
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と
前記
一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動する
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、巨視像及び微視像の観察が選択的に行えるマクロレンズを備えた顕微鏡に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、この種の顕微鏡として、特開昭４９−６０７４８号公報（以下、従来例１と称する）に開示された巨視鏡−顕微鏡組合せ体が知られている。
　【０００３】
　この巨視鏡−顕微鏡組合せ体は、ハウジングに固定された共通の観視管と、巨視系光学路を有する巨視結像光学系と、微視系光学路を有する微視結像光学系と、を備えており、可動の光偏向装置によって、観視管に対して巨視系光学路または微視系光学路が選択的に接続される。
　【０００４】
　また、特開平２−１４１６０１号公報（以下、従来例２と称する）に開示された標準試料及び位置補正方法を適用することによって、例えば、ＳＴＭ装置と光学顕微鏡との組合せ、あるいは、ＳＴＭ装置とＳＥＭとの組合せ等の複数の測定手段の相対位置が補正され、試料の多面的な観察、測定、分析が行われる。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来例１、２は、マクロレンズで観察する場合、ステージ上のプレパラートをマクロレンズの下のステージに乗せ変える手間がかかるため効率が悪いという問題がある。
　【０００６】
　また、従来例１、２では、マクロレンズで観察した画像と、顕微鏡対物レンズで観察した画像との位置関係の対応については、一切、考慮されていないという問題がある。
　【０００７】
　本発明は、このような問題点を解決するためになされ、その目的は、巨視像と微視像の観察を連続的且つ効率よく行うことができるマクロレンズを備えた顕微鏡を提供することにある。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　このような目的を達成するために、本発明のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料の巨視像が取得可能なマクロレンズを有する巨視結像光学系と、顕微鏡対物レンズを有する微視結像光学系と、前記巨視結像光学系と
前記
一方の光学系の光軸から、前記切換手段によって切換えられた他方の光学系の光軸に移動するとき、前記試料に対する光学系の焦点が相互に調整されるように、前記試料を斜め方向に所定の傾斜角度をもって移動する
　【０００９】
　【作用】
　本発明は、切換手段によって光学系を巨視結像光学系又は微視結像光学系に切換えると共に、ステージを切換手段によって切換えた光学系の光軸に移動させると、ステージ上の試料は、切換えられた光学系の焦点位置近傍にセットされる。
　【００１０】
　【実施例】
　以下、本発明の第１の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡について、図１及び図２を参照して説明する。
　【００１１】
　図１に示すように、本実施例の顕微鏡は、基台１と、この基台１から垂直に延出された支柱３と、この支柱３上に設けられ、巨視系と微視系との切換えを行う巨視光学装置５と、この巨視光学装置５上に設けられた接眼レンズ装置７と、を備えている。
　【００１２】
　また、基台１には、ピント合わせ用ハンドル９が設けられており、このハンドル９を操作することによって、ステージ１１が光軸方向に上下動可能に構成されている。
　【００１３】
　巨視光学装置５は、光路切換装置１３と、巨視系対物レンズ１５と、巨視系レンズ１７と、を備えている。なお、巨視系レンズ１７は、レンズ交換可能に構成することができると共に、ズーム機能を備えて構成させることもできる。
　【００１４】
　光路切換装置１３には、光路切換つまみ１９が設けられており、この光路切換つまみ１９を操作することによって、微視系光路と巨視系光路との切換えが行われる。
　【００１５】
　図１及び図２に示すように、本実施例に適用されたステージ１１は、ステージ基底部２１と、このステージ基底部２１に沿って図中矢印Ｙ方向に摺動可能に構成され、スライドガラス等の試料（図示しない）が載置可能なステージ本体２３と、を備えている。
　【００１６】
　このステージ本体２３は、Ｙ方向のステージ調節ハンドル２５を備えていると共に、レボルバ２に装着された微視系対物レンズ４を介して形成される微視光学系の光軸Ａから巨視光学系の光軸Ｂにまで亘って延出されており、ステージ調節ハンドル２５を操作することによって、試料を載置させたままで、巨視系と微視系との観察の切換えが行えるように構成されている。以下、本実施例のマクロレンズを備えた顕微鏡の動作について図１及び図２を参照して説明する。
　【００１７】
　微視系の観察から巨視系へ切換える場合、光路切換つまみ１９を操作して、巨視系光路に切換える。次に、ステージ調節ハンドル２５を介してステージ本体２３上に載置された試料を巨視系光路上に移動させる。このとき双方の光学系で焦点の高さが異なる場合には、ピント合わせ用ハンドル９を操作して、焦点合わせを行うことができる。
　【００１８】
　また、巨視系の観察から微視系へ切換える場合、光路切換つまみ１９を操作して、微視系光路に切換える。次に、ステージ調節ハンドル２５を介してステージ本体２３上に載置された試料を微視系光路上に移動させる。この場合も、双方の光学系で焦点の高さが異なる場合には、ピント合わせ用ハンドル９を操作して、焦点合わせを行うことができる。
　【００１９】
　このように本実施例のマクロレンズを備えた顕微鏡は、試料をステージ本体２３に載置させたままで、巨視系及び微視系の双方の光学系での観察を行うことができる。この結果、巨視光学系によるスライドガラス全体に亘る極低倍率の観察から、微視光学系による対物レンズ４０倍といった高倍率の観察まで、連続的且つ効率よく行うことができる。次に、本発明の第２の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡について、図３を参照して説明する。本実施例の場合、ステージ１１の構成であるステージ本体２３には、ステージ調節ハンドル２５とは別に、更に、ステージ移動レバー２７が設けられている。
　【００２０】
　また、ステージ本体２３には、ステージ基底部２１に対する相対的な移動距離を規定する移動部２９が設けられている。なお、この移動距離は、微視光学系の光軸Ａと巨視光学系の光軸Ｂとの間の距離に一致している。
　【００２１】
　このため、ステージ移動レバー２７を介してステージ本体２３をステージ基底部２１に対して図中矢印Ｓ方向にいっぱいに引けば、ステージ本体２３上に載置された試料は、巨視光学系の光軸Ｂ上に位置付けられ、また、ステージ移動レバー２７を介してステージ本体２３をステージ基底部２１に対して図中矢印Ｓ方向とは反対方向にいっぱいに押せば、ステージ本体２３上に載置された試料は、微視光学系の光軸Ａ上に位置付けられる。
　【００２２】
　本実施例の場合、ステージ移動レバー２７を操作して、微視光学系又は巨視光学系に試料をセットし、ピント合わせ用ハンドル９を介して焦点合わせを行った後、ステージ調節ハンドル２５を操作することによって、双方の光学系で連続的且つ効率よく試料の観察を行うことができる。更に、ステージ調節ハンドル２５を操作しなければ、双方の光学系で試料の同一箇所の観察が、試料の位置合わせを行うことなく連続的且つ効率よく行うことができる。
　【００２３】
　次に、本発明の第３の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡について、図４を参照して説明する。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一の構成には、同一符号を付してその説明を省略する。
　【００２４】
　本実施例の顕微鏡の特徴は、微視光学系と巨視光学系で焦点の高さ、即ち試料面に対する焦点位置がずれている場合、簡単にピント合わせが行えるように構成されたステージ１１を備えている点にある。他の構成は、上述した実施例と同様であるため、以下の説明では、このステージ１１の構成・作用・効果についてのみ説明する。
　【００２５】
　図４の（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施例の顕微鏡に設けられたステージ１１は、支柱３から延出したステージ支持部３１上を、図中矢印Ｐ方向に移動可能に構成されている。
　【００２６】
　特に、図４の（ｂ）に示すように、ステージ支持部３１上には、ステージ１１の移動方向を規制する一対のレール３３が、図中矢印Ｐ方向に沿って設けられており、これら一対のレール３３上にステージ１１が移動可能に設けられている。
　【００２７】
　これら一対のレール３３は、ステージ１１の水平移動距離が微視光学系の光軸Ａと巨視光学系の光軸Ｂとの間の距離に一致するように、その長さが規定されて構成されている。また、一対のレール３３の傾斜角度は、ステージ１１を微視光学系側に移動させたとき、ステージ１１上の試料に対して微視光学系の焦点が整合され、且つ、ステージ１１を巨視光学系側に移動させたとき、ステージ１１上の試料に対して巨視光学系の焦点が整合されるように規定されて構成されている。
　【００２８】
　また、ステージ１１には、ステージ移動つまみ３５が設けられており、このステージ移動つまみ３５を操作することによって、ステージ１１は、図中矢印Ｐ方向に光軸Ａ、Ｂの間を移動される。
　【００２９】
　なお、ピント合わせは、ピント合わせ用ハンドル９を操作して、ステージ支持部３１を図中矢印Ｔ方向に上下させることによって、ステージ１１を移動させて行われる。以下、本実施例の顕微鏡の動作について図４を参照して説明する。
　【００３０】
　微視系の観察から巨視系の観察へ切換える場合、光路切換つまみ１９を操作して、巨視系光路に切換える。次に、ステージ移動つまみ３５を操作して、ステージ１１を巨視光学系側まで移動させる。この段階では、ピントはほぼ合っている。ピントの微調節は、ピント合わせ用ハンドル９を操作し、ステージ支持部３１を上下に微動させて行われる。
　【００３１】
　巨視系の観察から微視系の観察へ切換える場合、光路切換つまみ１９を操作して、微視系光路に切換える。次に、ステージ移動つまみ３５を操作して、ステージ１１を微視光学系側まで移動させる。この段階では、ピントはほぼ合っている。ピントの微調節は、ピント合わせ用ハンドル９を操作し、ステージ支持部３１を上下に微動させて行われる。なお、このときの微調節は、微視光学系で対物レンズ４を交換した際の微調節程度で足りる。
　【００３２】
　本実施例の顕微鏡は、上述した各実施例の効果に加えて、更に、巨視光学系と微視光学系とでのピント合わせの調節が不要となると共に、双方の光学系で試料の同一箇所の観察が、試料の位置合わせを行うことなく連続的且つ効率よく行うことができる。
　【００３３】
　次に、本発明の第４の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡について、図５を参照して説明する。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一の構成には、同一符号を付してその説明を省略する。
　【００３４】
　通常の透過光式顕微鏡では、コンデンサ４１を用いて下から光を照射している。しかし、巨視光学系にコンデンサを適用することは難しく、別の光源が必要であった。
　【００３５】
　本実施例の特徴は、上述した通常の顕微鏡の構成に加えて、巨視光学系で観察する位置、即ち、巨視光学系の光軸Ｂ上に高周波光源３７が内蔵されたステージ１１が適用されている点にある。なお、ステージ１１は、このステージ上に載置された試料４３が巨視光学系の光軸Ｂと微視光学系の光軸Ａとの間を移動できるように構成されている。高周波光源３７が内蔵されているステージ１１の部分には、半透明のアクリル板又はすりガラス等で構成された透過部材３９が設けられている。
　【００３６】
　巨視系の観察では、高周波光源３７から透過部材３９を介して透過光を試料に照射させることによって、通常の蛍光灯に比べてちらつきのない均一の光を試料４３に照射させることができる。なお、微視系の観察は、通常の顕微鏡と同様に、コンデンサ４１を用いて行われる。本実施例の場合も、その効果は、上述した実施例と同様であるため、説明は省略する。
　【００３７】
　【００３８】
　【００３９】
　【００４０】
　【００４１】
　本発明の
第５の実施例
図６
図７
図６
　【００４２】
　なお、制御機構は、顕微鏡本体内に組込みあるいは外部に設けることができ、ＣＰＵからの指令によって、顕微鏡の各動作系を制御できるように構成されている。なお、本実施の場合、制御機構が適用された顕微鏡としては、例えば、図１に示された顕微鏡を基に、以下、説明する。
　【００４３】
　
図６
　【００４４】
　特に、本実施例の制御機構が適用された顕微鏡では、光路切換時におけるステージ１１の移動及び上下動の制御に特徴を有しており、上下動については、巨視光学系及び微視光学系相互の焦点位置の高さの違いに合わせて制御され、その移動量は固定されている。つまりオートフォーカス機能による微調節とは意味合いが異なる。以下、本実施例の顕微鏡の動作について
図６
図７
　【００４５】
　
図６
図７
　【００４６】
　このような微視系の観察が行われている際に、巨視系の観察に切換える場合、光路切換スイッチをＯＮする（Ｓ１）。このときのＯＮ信号は入力装置５３を介してＣＰＵ５７に出力され、巨視光学系への切換か否かが判断される（Ｓ２）。この場合、巨視光学系への切換であるため、メモリ５５からＣＰＵ５７に巨視光学系への移動データが出力される（Ｓ６）。ＣＰＵ５７は、出力された移動データを基に、ステージ１１（図１参照）のＹ方向移動（Ｓ４）及びピント合わせのためのステージ１１のＺ方向移動（Ｓ５）を制御する。
　【００４７】
　なお、本実施例において、光路切換は手動によって行うことも可能であり、手動による切換終了後、ＣＰＵ５７へ移動データを出力させるように構成することもできる。
　【００４８】
　本実施例の顕微鏡では、光学系の切換に対応してステージ１１の移動及び上下動が自動制御されているため、巨視像と微視像の観察の連続性及び効率性が更に助長される。また、図１に示された顕微鏡に用いられたステージ１１でも、高精度な移動及び上下動が達成できる。
　【００４９】
　【発明の効果】
　本発明は、切換手段によって切換えられた光学系に対して、試料をステージに載置させたままで移動させて、巨視像と微視像の観察を連続的且つ効率よく行うことができる。この結果、巨視光学系によるスライドガラス全体に亘る極低倍率の観察から、微視光学系による高倍率の観察まで、連続的且つ効率よく行うことができる。更に、双方の光学系で試料の同一箇所の観察が、試料の位置合わせを行うことなく連続的且つ効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の第１の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡の全体の構成を概略的に示す側面図。
　【図２】
　図１に示す顕微鏡に設けられたステージを拡大して示す斜視図。
　【図３】
　本発明の第２の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡の構成であるステージを拡大して示す斜視図であって、（ａ）は、ステージ本体がステージ基底部に対していっぱいに押された状態を示す図、（ｂ）は、ステージ本体がステージ基底部に対していっぱいに引かれた状態を示す図。
　【図４】
　（ａ）は、本発明の第３の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡の全体の構成を概略的に示す側面図、（ｂ）は、その上面図。
　【図５】
　本発明の第４の実施例に係るマクロレンズを備えた顕微鏡に適用されたステージの部分の構成を拡大して示す図。
　【
図６
　本発明の
第５の実施例
　【
図７
　
図６
　【符号の説明】
１．．．基台、３．．．支柱、５．．．巨視光学装置、７．．．接眼レンズ装置、９．．．ピント合わせ用ハンドル、１１．．．ステージ、１３．．．光路切換装置、１５．．．巨視系対物レンズ、１７．．．巨視系レンズ、１９．．．光路切換つまみ。
【図面】