【事件の表示】
　特許第３０４８７８９号「流体塗布装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０４８７８９号の請求項１に係る特許を取り消す。
　同請求項２に係る特許を維持する。
　特許異議申立人五島香里の特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０４８７８９号の請求項１ないし４に係る発明についての出願は、平成５年５月３１日に出願され、平成１２年３月２４日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、五島香里、井上博史、安井哲也より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年６月１９日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の【請求項１】について、
「塗布ヘッド内の流体を排出する手段とを備えたことを特徴とする流体塗布装置。」を、
「塗布ヘッド内の流体を排出する流体排出手段とを備え、前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされたことを特徴とする流体塗布装置。」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の【請求項３】を削除する。
ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の【請求項４】を削除する。
エ．訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明の記載について、段落【００１２】中の、
「塗布ヘッド内の流体を排出する手段とを備えたことを特徴としている。」を、
「塗布ヘッド内の流体を排出する流体排出手段とを備え、前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされたことを特徴としている。」と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明の段落【００１４】中の記載を全て削除する。
カ．訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明の段落【００１５】中の記載を全て削除する。
キ．訂正事項ｇ
　発明の詳細な説明の記載について、段落【００１６】中の、
「塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内の流体を排出させるようにしているので、」を、
「塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内に連通する排出通路に設けられた開閉弁を開にして、塗布ヘッド内の流体を排出させるようにしているので、」と訂正する。
ク．訂正事項ｈ
　発明の詳細な説明の段落【００１９】中の記載を全て削除する。
ケ．訂正事項ｉ
　発明の詳細な説明の段落【００２０】中の記載を全て削除する。
コ．訂正事項ｊ
　発明の詳細な説明の記載について、段落【００４４】中の６行目の「液吸着用部材１３５」を、「液吸着用線材１３５」と訂正する。
サ．訂正事項ｋ
　発明の詳細な説明の記載について、段落【００４５】中の、
「請求項１に記載した流体塗布装置によれば、塗布ヘッド内の流体を排出することにより、」を、
「請求項１に記載した流体塗布装置によれば、塗布ヘッド内に連通する排出通路に設けられた開閉弁を開にして、塗布ヘッド内の流体を排出することにより、」と訂正する。
シ．訂正事項ｌ
　発明の詳細な説明の段落【００４７】中の記載を全て削除する。
ス．訂正事項ｍ
　発明の詳細な説明の段落【００４８】中の記載を全て削除する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａに関連する記載として、願書に添付した明細書又は図面（以下、「特許明細書等」という。）の発明の詳細な説明の段落【００３１】及び【００３８】には、「塗布ヘッド内の流体を排出する手段」の具体例として、「塗布ヘッド５５に接続した液排出パイプ１２７ａ，１２７ｂ」及び「液排出パイプ１２７ａ，１２７ｂに設けられた開閉弁１２５ａ，１２５ｂ」が記載されており、「流体排出手段は、塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなる」という発明は、特許明細書等に記載されているものと認められる。
　そうすると、上記訂正事項ａは、特許明細書等に記載した事項の範囲内で、流体を排出する手段である「流体排出手段」の構成を具体的に限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、上記訂正事項ｂ及びｃも、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　次に、上記訂正事項ｄ、ｇ及びｋは、上記訂正事項ａに伴って、発明の詳細な説明の対応する記載が整合するように訂正するものであり、また、上記訂正事項ｅ、ｈ及びｌは、上記訂正事項ｂに伴って、発明の詳細な説明の対応する記載を削除して整合させるものであり、上記訂正事項ｆ、ｉ及びｍは、上記訂正事項ｃに伴って、発明の詳細な説明の対応する記載を削除して整合させるものであるから、上記訂正事項ｄ〜ｉ、ｋ〜ｍは、いずれも明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。
　さらに、上記訂正事項ｊは、誤記の訂正に該当する。
　そして、上記訂正事項ａ〜ｍは、いずれも、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立ての概要
（１）申立人五島香里は、下記の甲第１〜３号証を提出し、請求項４に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号又は同第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものに対してされたものであるから、請求項４に係る発明の特許を取り消すべきである旨、主張している。
　甲第１号証：特開平４−６１９５８号公報　　　　　　　（ａ）
　甲第２号証：国際公開第８５／０５００５号パンフレット（ｂ）
　甲第３号証：米国特許第４８１０５２７号明細書　　　　（ｃ）
（２）申立人井上博史は、下記の甲第１〜４号証を提出し、請求項１、３及び４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものに対してされたものであるから、請求項１、３及び４に係る発明の特許を取り消すべきであり、また、請求項１、３及び４に係る発明は、特許請求の範囲の記載が不明瞭であり、特許法第３６条第６項の規定により特許を受けることができないものであるから、請求項１、３及び４に係る発明の特許を取り消すべきである旨、主張している。
　甲第１号証：特開平４−６１９５８号公報　（ａ）
　甲第２号証：特開平２−２８０８７２号公報（ｄ）
　甲第３号証：特開平１−１６８３７８号公報（ｅ）
　甲第４号証：特開昭６３−１８６２７号公報（ｆ）
（３）申立人安井哲也は、下記の甲第１〜５号証を提出し、請求項１ないし４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものに対してされたものであるから、請求項１ないし４に係る発明の特許を取り消すべきである旨、主張している。
　甲第１号証：特開平４−６１９５８号公報　　（ａ）
　甲第２号証：特開平５−５５１３３号公報　　（ｇ）
　甲第３号証：特開平２−９０９５８号公報　　（ｈ）
　甲第４号証：特開平４−３６３１７０号公報　（ｉ）
　甲第５号証：特開昭５７−１４４０６１号公報（ｊ）
　
４．申立人五島香里による特許異議申立てについて
　申立人五島香里が取消しを求めた特許第３０４８７８９号の請求項４に係る発明の特許は、上記２．訂正の適否において示したように、訂正（削除）により、存在しないものとなった。
　してみると、申立人五島香里による特許異議の申立ては、不適法な申立てであって、その補正をすることができないものであるので、特許法第１２０条の６第１項で準用する第１３５条の規定によって却下すべきものである。
　したがって、以下では、申立人井上博史及び安井哲也による特許異議の申立てについての検討を行う。
　
５．本件発明
　本件特許第３０４８７８９号の請求項１、２に係る発明（以下、「本件発明１」、「本件発明２」という。）は、それぞれ、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、
　塗布動作開始時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置へ向けて移動させ、塗布動作終了時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布ヘッド昇降手段と、
　前記塗布ヘッドに対して流体の供給及び停止を行う手段と、
　前記塗布ヘッドへの流体の供給を停止し前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布終了時において、塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内の流体を排出する流体排出手段とを備え、
　前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされたことを特徴とする流体塗布装置。」
「【請求項２】　前記塗布ヘッドの塗布終了時において、前記流体排出手段が流体の排出動作を終了した後、前記塗布ヘッド内を減圧することによってスロット内の流体を内側へ引き込ませる手段をさらに備えた、請求項１に記載の流体塗布装置。」
　
６．本件発明１の特許について
（１）明細書の記載要件について
　申立人井上博史は、本件発明１は、「塗布ヘッド内の流体を排出する」という文言では周知技術との構成の差違が明確でなく、特許請求の範囲の記載が不明りょうであるから、特許法第３６条第５項（申立人井上博史は「第６項」としているが、「第５項」の誤記と認める。）の規定により特許を受けることができない旨、主張している。
　しかし、本件特許明細書等の記載は、上記訂正事項ａ（上記２．（１）ア．訂正事項ａを参照）により明確となったから、本件発明１は、特許法第３６条第５項第２号に規定する要件を満たしていないとすることはできない。
（２）刊行物
　当審が通知した取消しの理由において引用した刊行物（ａ）（特開平４−６１９５８号公報）には、以下の（イ）ないし（ヘ）の事項が記載されている。
（イ）「本発明は全体として液体被覆法および液体被覆装置に関するものであり、更に詳しくいえば、プリント回路板、集積回路等のような個別の増加する表面すなわち基板を予め測定された「パッチ」被覆する方法および装置に関するものであって、液体の単位面積当りの予め測定された体積を表面へ付着し、予め定めた形および所定の被覆厚さを液体層「パッチ」が有する。」（３頁右上欄１８行〜左下欄５行）
（ロ）「被覆装置１０は液体付着器１２を有する。この液体付着器１２は液体含有室１４と、位置ぎめピストン１８により支持される付着器スロット１６とを含む。位置ぎめピストン１８は間隙ストップ調節ねじ２０を有する。窒素ガスの覆いの下にある封じられた貯蔵器２４の中に含まれている被覆液体２２が、計量ポンプ２８とたわみ連結具３０を介して入口弁３２へ連結される。その入口弁は液体付着器１２に取付けられている。液体付着器には変位ピストン３６も取付けられる。この変位ピストンは変位棒３６へ連結される。その変位棒は液体付着器３８とＯリングシール４０を通つて付着器室１４の中に挿入される。」（５頁右上欄１９行〜左下欄１１行）
（ハ）「入口弁３２を閉じる前に被覆液体２２は封じられている貯蔵器２４からポンプ２８により被覆液体含有室１４へ送られ、そこから付着器スロット１６を伝わつて降下する。」（５頁右下欄１４行〜１７行）
（ニ）「位置ぎめピストン１８が間隙ストップ調節ねじ２０に対して下向し、被覆液体付着器１２を、付着器スロットの出口開口部５１と銅被覆ラミネート５０の間に形成された所定の被覆間隙「ｘ」へ向つて下方へ動かす。」（６頁右上欄８行〜１３行）
（ホ）「入口弁が開き、計量ポンプが回転を開始して、制御された体積流量の被覆液体を被覆流体付着器の中に入れたり、そこから出したりする。」（６頁左下欄１３行〜１６行）
（ヘ）「入口弁３２が閉じ、計量ポンプ２８は停止し、変位ピストン３４が変位棒３６を被覆液体含有室から抜き出す。変位棒が被覆液体含有室から抜き出されることによりその室の内部に一時的に真空が発生されて（中略）第６図に示すように、被覆液体はスロットの中に急激に上昇させられる。それと同時に、第６図の動き矢印により示されているように、位置ぎめピストンが被覆液体付着器を間隙ストップへ向つて引く。」（７頁右上欄１３行〜左下欄３行）
　上記摘記事項（イ）ないし（ヘ）及び刊行物（ａ）の第２図ないし第７図の記載からみて、刊行物（ａ）には、
「被覆液体を注入するための被覆液体注入口と、被覆液体含有室１４と、該被覆液体含有室１４内の被覆液体を一定の厚みにして流出させるためのスロット１６とを被覆液体付着器１２に形成された被覆装置１０において、
　被覆動作開始時に前記被覆液体付着器１２を被覆動作位置へ向けて移動させ、被覆動作終了時に前記被覆液体付着器１２を被覆動作位置から離間させる位置ぎめピストン１８と、
　入口弁３２及び計量ポンプ２８と、
　前記被覆液体付着器１２への被覆液体の供給を停止し前記被覆液体付着器１２を被覆動作位置から離間させる被覆終了時において、被覆液体付着器１２を被覆動作位置から離間させる動作の開始タイミングに被覆液体付着器１２内を減圧する変位ピストン３４とを備えた被覆装置１０。」
の発明が記載されているものと認められる。
　また、当審が通知した取消しの理由において引用した刊行物（ｉ）（特開平４−３６３１７０号公報）には、以下の（ト）及び（チ）の事項が記載されている。
（ト）「塗布終了後、気体供給ノズルを吸引装置に接続しノズルの内外壁に付着した液体をノズル内部に吸引してしまう。そのため、液滴となって被処理体上に滴下することなく」（２欄１１行〜１４行）
（チ）「ノズル１０からスピンチャック２４に載置された半導体ウェハ２３（図１）上に温度２３℃の現像液を霧状に噴出させ塗布する。図３に示すように時間ｔ１経時後例えば２〜５秒後、現像液供給系４を停止させ、さらにｔ２経時後例えば５〜１０秒後３方弁１４を切換えて吸引装置１８と気体供給ノズル１６を連結させ、気体供給体１１を停止させると同時に吸引装置１８を作動させる。吸引装置１８はエア供給体１９からエジェクタ２０に送風すると３方弁１４側の配管が負圧になってノズル１０から吸引される。この時ノズル１０の先端部の内外壁に付着した現像液は空気と共に吸引されエジェクタ２０からミストトラップ２１で現像液が除去され、除去された現像液はドレイン２２に排出される。ｔ３時間例えば５〜１０秒間吸引が行われた後停止する。」（２欄４８行〜３欄１１行）
（３）対比
　本件発明１と刊行物（ａ）に記載された発明とを対比すると、後者の「被覆液体」、「スロット１６」、「被覆液体付着器１２」、「被覆装置１０」、「被覆」、「位置ぎめピストン１８」は、その機能及び形状等からみて、それぞれ前者の「流体」、「スロット」、「塗布ヘッド」、「流体塗布装置」、「塗布」、「塗布ヘッド昇降手段」に相当するものと認められる。
　また、後者の「被覆液体含有室１４」は、被覆液体付着器１２に注入された被覆液体を幅方向に拡散させる機能を当然有するものと認められるので、前者の「空洞部」に相当する。
　さらに、後者の「入口弁３２及び計量ポンプ２８」は、被覆液体付着器１２に対して被覆液体の供給及び停止を行うものであるから、前者の「塗布ヘッドに対して流体の供給及び停止を行う手段」に相当するものである。
　また、前者の「流体排出手段」は、塗布終了時に塗布ヘッド内を減圧する作用を奏するものであり、後者の「変位ピストン３４」も被覆終了時に被覆液体付着器１２内を減圧させるものであるから、両者は、「塗布ヘッドへの流体の供給を停止し前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布終了時において、塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミングに塗布ヘッド内を減圧する手段」という限度において一致するものと認められる。
　したがって、両者は、
「流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、
　塗布動作開始時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置へ向けて移動させ、塗布動作終了時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布ヘッド昇降手段と、
　前記塗布ヘッドに対して流体の供給及び停止を行う手段と、
　前記塗布ヘッドへの流体の供給を停止し前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布終了時において、塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミングに塗布ヘッド内を減圧する手段を備えた流体塗布装置。」
である点で一致し、「塗布ヘッド内を減圧する手段」が、前者は、「塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内の流体を排出する流体排出手段を備え、前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなる」構成を有するのに対し、後者は「被覆液体付着器１２を被覆動作位置から離間させる動作の開始タイミングに被覆液体付着器１２内の被覆液体をスロットから排除する変位ピストン３４」である点で相違する。
（４）当審の判断
　上記相違点について検討すると、刊行物（ｉ）には、「ノズル１０の液滴排除のため、塗布終了後に所定時間、３方弁１４を切換えることにより、ノズル１０内を減圧してノズル１０内の流体を排出する配管を備えた液体塗布装置」の発明が記載されている。そして、ノズル１０は「塗布ヘッド」に、配管は「排出通路」にそれぞれ相当するものであり、また、３方弁１４は、切換えることによって排出用配管を開閉しているので、「排出通路の開閉弁」に相当するものと認められから、刊行物（ｉ）に記載された発明は、「塗布終了後の所定時間、塗布ヘッド内を減圧する手段」としての「塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられた流体排出手段」を有しているものと認められる。
　そして、刊行物（ａ）及び（ｉ）に記載された発明は、ともに「流体塗布装置」という同一技術分野に属するものであり、塗布終了時に塗布ヘッドを減圧させるという共通の課題を有するものであるから、刊行物（ａ）に記載された発明の「塗布ヘッド内を減圧する手段」として刊行物（ｉ）に記載された発明を適用して、本件発明１のように構成することは、当業者であれば容易に想到し得るものというべきである。
　また、本件発明１が奏する効果も、刊行物（ａ）及び（ｉ）に記載された発明から当業者であれば予測可能なものであって、格別なものとはいえない。
　したがって、本件発明１は、刊行物（ａ）及び（ｉ）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
７．本件発明２の特許について
　本件発明２の構成に欠くことができない事項である、「流体排出手段」に加えて「塗布ヘッド内を減圧することによってスロット内の流体を内側へ引き込ませる手段」をさらに備えた点については、申立人井上博史及び安井哲也が提出した証拠の刊行物（ａ）、（ｄ）〜（ｊ）のいずれにも、記載も示唆もされていない。
　申立人安井哲也は、刊行物（ｉ）には「塗布終了後、液体が被処理物に滴下しないようにするため、吸引装置により減圧してノズルの先端部の内外壁に付着した現像液を吸引してドレインに排出する」ことが記載されており、この記載から上記の点について容易に想到しうると主張している。しかし、刊行物（ｉ）の上記記載は、「流体排出手段」に相当するものであり、それに加えてさらに「スロット内の流体を内側へ引き込ませる手段」を備えることについては、刊行物（ｉ）には記載も示唆もされていないので、この主張は採用できない。
　そして、上記の点が当業者にとって容易に想到できるとする根拠も見当たらないから、本件発明２は、刊行物（ａ）、（ｄ）〜（ｊ）に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　したがって、本件発明２の特許は、申立人井上博史及び安井哲也による特許異議申立の理由及び証拠によっては取り消すことができない。
　なお、申立人五島香里が提出した証拠の刊行物（ｂ）及び（ｃ）についても、上記の点は記載も示唆もされていない。
　
８．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　また、本件発明２についての特許は、取り消すべき理由を発見しない。したがって、本件発明２についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　さらに、申立人五島香里による特許異議の申立ては、不適法な申立てであって、その補正をすることができないものであるので、特許法第１２０条の６第１項で準用する第１３５条の規定によって却下すべきものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月８日（２００１．８．８）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
ア．訂正事項ａ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書中の特許請求の範囲の請求項１について、「塗布ヘッド内の流体を排出する手段とを備えたことを特徴とする流体塗布装置。」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「塗布ヘッド内の流体を排出する流体排出手段とを備え、前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされたことを特徴とする流体塗布装置。」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書中の特許請求の範囲の請求項３を、特許請求の範囲の減縮を目的として、削除する。
ウ．訂正事項ｃ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書中の特許請求の範囲の請求項４を、特許請求の範囲の減縮を目的として、削除する。
エ．訂正事項ｄ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の記載について、段落【００１２】中の、「塗布ヘッド内の流体を排出する手段とを備えたことを特徴としている。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「塗布ヘッド内の流体を排出する流体排出手段とを備え、前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされたことを特徴としている。」と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の段落【００１４】中の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、全て削除する。
カ．訂正事項ｆ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の段落【００１５】中の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、全て削除する。
キ．訂正事項ｇ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の記載について、段落【００１６】中の、「塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内の流体を排出させるようにしているので、」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内に連通する排出通路に設けられた開閉弁を開にして、塗布ヘッド内の流体を排出させるようにしているので、」と訂正する。
ク．訂正事項ｈ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の段落【００１９】中の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、全て削除する。
ケ．訂正事項ｉ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の段落【００２０】中の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、全て削除する。
コ．訂正事項ｊ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の記載について、段落【００４４】中の６行目の「液吸着用部材１３５」を、誤記の訂正を目的として、「液吸着用線材１３５」と訂正する。
サ．訂正事項ｋ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の記載について、段落【００４５】中の、「請求項１に記載した流体塗布装置によれば、塗布ヘッド内の流体を排出することにより、」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「請求項１に記載した流体塗布装置によれば、塗布ヘッド内に連通する排出通路に設けられた開閉弁を開にして、塗布ヘッド内の流体を排出することにより、」と訂正する。
シ．訂正事項ｌ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の段落【００４７】中の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、全て削除する。
ス．訂正事項ｍ
　特許第３０４８７８９号発明の明細書の発明の詳細な説明の段落【００４８】中の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、全て削除する。
（５４）【発明の名称】
流体塗布装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、
　塗布動作開始時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置へ向けて移動させ、塗布動作終了時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布ヘッド昇降手段と、
　前記塗布ヘッドに対して流体の供給及び停止を行う手段と、
　前記塗布ヘッドへの流体の供給を停止し前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布終了時において、塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内の流体を排出する
流体排出
、
　
前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされた
　【請求項２】　前記塗布ヘッドの塗布終了時において、前記流体排出手段が流体の排出動作を終了した後、前記塗布ヘッド内を減圧することによってスロット内の流体を内側へ引き込ませる手段をさらに備えた、請求項１に記載の流体塗布装置。
　【請求項３】
　削除
　【請求項４】
　削除
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は流体塗布装置に関する。具体的にいうと、本発明は、塗布対象物の表面に均一な膜厚で流体を塗布するためのスロット型の流体塗布装置において、流体塗膜の端部の膜厚を均一にするための技術に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や半導体光学素子、半導体素子、半導体集積回路、プリント配線基板等の製造工程においては、フォトレジストや絶縁材料、はんだレジスト等の各種塗布液を塗布対象物（例えば、ガラス基板や半導体ウエハ等）の表面に塗布し、数ミクロン程度の非常に薄い塗膜を形成する必要がある。例えば、液晶ディスプレイの製造工程においては、ガラス基板の表面に、乾燥時の厚みが約１〜３ミクロンの均一なフォトレジストをコーティングする必要がある。
　【０００３】
　このような場合、極めて均一な膜厚の塗膜を形成する必要があり、しかも、高精度に膜厚を制御する必要があるため、従来においては、塗布装置としてスピンコータが一般に用いられている。
　【０００４】
　スピンコータを用いたスピンコート法は、塗布対象物を一定の回転数で回転させながら基層の上に塗布液を滴下し、遠心力によって塗布液を薄く延ばし、塗布液の粘度や回転数等によって決まる膜厚の塗膜を塗布対象物の表面に形成する方法である。
　【０００５】
　しかしながら、このようなスピンコート法によれば、塗布対象物の一部にのみ選択的に塗布液を塗布することができず、塗布対象物の全面に塗布することしかできなかった。また、塗布対象物の上に滴下した塗布液のうち塗布対象物の表面に塗布されるのは数％に過ぎず、残りの９０数％の余剰の塗布液は塗布対象物から排出される。しかも、この排出された塗布液は空気に触れるため、回収して再利用することができず、塗布液の浪費が激しいという問題があった。さらに、排出された余剰の塗布液の清掃処理を要求されていた。また、スピンコート法によって塗布した場合、塗布対象物の表面ばかりでなく、塗布対象物の端面（外周面）にも塗布液が付着するため、乾燥後、塗布対象物の端面に付着した塗膜が剥離し、剥離した塗膜が塗布対象物の表面に付着し、後工程においてトラブルを発生させることがあり、製品の歩留りを低下させる原因となっていた。また、その歩留り低下を避けるためには、塗布対象物の端面や裏面をクリーニングしなければならず、そのための付加工程を必要としていた。
　【０００６】
　このようなスピンコート法の欠点を解決する方法として、本発明の出願人はスロット型の流体塗布装置（スロット式粘液噴出塗布装置）に着目し、その開発と改良を進めている。図１８に示すものは、本発明の出願人が開発したスロット型の流体塗布装置２００の構造を示す概略図である。２０１は塗布ヘッドであって、内壁面に空洞状の流体リザーバ２０２を凹設された第１の分割ヘッド２０３と平らな内壁面の第２の分割ヘッド２０４との間にシム２０５を挟み込むことにより、シム２０５の切欠状凹部２０６によって第１及び第２の分割ヘッド２０３、２０４間にスロット２０７を形成し、第１及び第２の分割ヘッド２０３，２０４同志をボルト（図示せず）によって締結させたものである。また、塗布ヘッド２０１の上面には流体リザーバ２０２と連通した液注入口２０８が開口されている。２０９は塗布液２１０を留めたタンクであって、タンク２０９内の液面はエア圧によって加圧されている。塗布ヘッド２０１の液注入口２０８とタンク２０９とは開閉弁２１１を備えた液供給チューブ２１２を介して接続されている。しかして、開閉弁２１１を開いて液注入口２０８から液状リザーバ２０２内に塗布液２１０を注入すると、塗布液２１０は流体リザーバ２０２内の全幅にわたって均一に拡散し、さらに流体リザーバ２０２と連通しているスロット２０７に流れてスロット２０７のギャップにより一定の膜厚に整えられ、スロット２０７下端の開口部から塗布対象物の表面に塗布される。
　【０００７】
　このようなスロット型の流体塗布装置によれば、過剰な塗布液を供給することなく、塗布ヘッドから塗布対象物上の必要な領域へのみ塗布液を供給することができ、塗布液の歩留りを向上させて塗布液を節約することができる。また、このため塗布対象物の側面に付着した塗膜が剥離して塗布対象物の塗布面に付着したりすることも防止できる。さらに、塗布液を外気にさらすことなく塗布対象物へ塗布することができるクローズド方式の流体塗布装置を製作することができる。また、塗布ヘッドの清掃も簡単にできるといった利点がある。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、このような流体塗布装置２００にあっては、塗布時、塗布ヘッド２０１内に大きな液供給圧が掛かっており、また、スロット２０７において圧力損失が存在するので、開閉弁２１１を閉じて塗布を終了しても直ちに塗布ヘッド２０１内の圧力が大気圧まで下がらず、当分の間塗布ヘッド２０１内の塗布液２１０は残圧が掛かった状態に保たれる。このため、開閉弁２１１を閉じて塗布終了した後も、塗布液２１０がスロット２０７から押し出され、図１８に示すようにスロット２０７の開口部に液垂れが生じる。このままで開閉弁２１１を開き、再び塗布対象物２１３に塗布を開始すると、図１９に示すように、液垂れのために塗布液２１０の塗布開始端において塗膜の膜厚が厚くなり、均一な膜厚の塗膜を得ることができなかった。
　【０００９】
　また、塗布液２１０の塗布終了時においても、塗布液２１０の塗布終了と同時に、塗布ヘッドへの流体の供給を停止させると、塗布液２１０の塗布終了端においても塗膜の膜厚が厚くなり、塗膜の塗布終了側の端を均一にすることができなかった。
　【００１０】
　さらに、塗布開始時には、図２０（ａ）（ｂ）に示すように塗布ヘッド２０１を下降させて塗布ヘッド２０１の下端と塗布対象物２１３とが所定間隔となった時（時間ｔ０）に開閉弁２１１を開いて塗布を開始しているが、開閉弁２１１を開くタイミングと塗布液２１０が流出するタイミングとの間に時間的な遅れが生じるため、液垂れを完全に拭った直後に塗布を開始した場合には、塗膜の始端２１４が開閉弁２１１を開いた位置αからずれると共に、塗布開始時において塗布液２１０に薄い個所やカスレが発生し、図２１に示すように塗膜の始端２１４をまっすぐに揃えることができなかった。
　【００１１】
　本発明は叙上の技術的背景に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、スロット型の流体塗布装置において、塗布された流体塗膜の端部の膜厚を均一にすることにある。
　【００１２】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１に記載の流体塗布装置は、流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、塗布動作開始時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置へ向けて移動させ、塗布動作終了時に前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布ヘッド昇降手段と、前記塗布ヘッドに対して流体の供給及び停止を行う手段と、前記塗布ヘッドへの流体の供給を停止し前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布終了時において、塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、塗布ヘッド内の流体を排出する
流体排出
、前記流体排出手段は、前記塗布ヘッド内に連通する排出通路に開閉弁が設けられてなるものとされた
　【００１３】
　また、請求項２に記載の流体塗布装置は、請求項１に記載した流体塗布装置における前記塗布ヘッドの塗布終了時において、前記流体排出手段が流体の排出動作を終了した後、前記塗布ヘッド内を減圧することによってスロット内の流体を内側へ引き込ませる手段をさらに備えたことを特徴としている。
　【００１４】
　削除
　【００１５】
　削除
　【００１６】
　【作用】
　請求項１の流体塗布装置にあっては、塗布ヘッドへの流体の供給を停止し前記塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる塗布終了時において、塗布ヘッドを塗布動作位置から離間させる動作の開始タイミング後の所定時間、
塗布ヘッド内に連通する排出通路に設けられた開閉弁を開にして、
　【００１７】
　また、請求項２に記載の流体塗布装置にあっては、塗布ヘッドの塗布終了時において、流体排出手段が流体の排出動作を終了した後、前記塗布ヘッド内を減圧することによってスロット内の流体を内側へ引き込ませているから、塗布終了後に直ちにスロット内の塗布液を引き気味にすることができ、塗布終了後もしくは塗布休止中における塗布ヘッドの液垂れをより一層防止することができる。
　【００１８】
　従って、請求項１及び２に記載の流体塗布装置にあっては、再度塗布動作を開始した場合に、塗布された塗膜の塗布開始端における膜厚が厚くなることを防止でき、均一な厚みの塗膜を得ることができる。
　【００１９】
　削除
　【００２０】
　削除
　【００２１】
　【実施例】
　図１は本発明の一実施例による流体塗布装置Ａの外観を示す斜視図である。この流体塗布装置Ａは、扉３を有するキャビネット部２と装置本体１とからなり、キャビネット部２内には塗布液を留めたタンクやコントローラが収納されており、装置本体１はキャビネット部２の上に設置されている。装置本体１は、主として、塗布対象物を水平に送る送り機構部２１と、送り機構部２１によって送られる塗布対象物の表面に塗布液をコーティングする塗布機構部５１と、塗布対象物の板厚を塗布直前に計測する測定ヘッド８１とから構成されている。また、装置本体１の前面には表示パネルやダイアル、メータ、各種スイッチ等を集中させた操作部４が設けられている。装置本体１の上方は開閉可能なカバー５によって覆うことができるようになっている。
　【００２２】
　上記送り機構部２１は、ガラス基板のような塗布対象物１１を吸着して一定速度で水平に搬送するものであって、その構造を図２の断面図により詳細に説明する。ペース２２の上面には１対の水平なガイドレール２３が設けられ、テーブル２４の下面に設けられた４つのスライダー２５がガイドレール２３によってスライド自在に支持されており、テーブル２４はガイドレール２３に沿って滑らかに走行する。また、ベース２２内の中央部には、雄ねじシャフト２６がガイドレール２３と並行に配設されており、雄ねじシャフト２６の両端部はアンギュラベアリング２７を介してベース２２に回転自在に支持され、テーブル２４の下面部分に固定された雌ねじ管２８と雄ねじシャフト２６とを互いに螺合させてボールねじ機構を構成している。ベース２２の端部にはサーボモータ２９が固定されており、サーボモータ２９の出力軸は継手３０を介して雄ねじシャフト２６と連結されている。従って、サーボモータ２９によって雄ねじシャフト２６を一定の回転数で回転させることによりテーブル２４をガイドレール２３に沿って定速で移動させることができる。なお、この実施例では、テーブル２４を移動させるための動力としてサーボモータ２９を用いたが、可燃性の塗布液を用いる場合には、エア機構等の非電気的な手段によってテーブル２４を移動させるようにしてもよい。
　【００２３】
　上記テーブル２４は、多数の真空吸引孔３１を穿孔された吸着盤３２をテーブル本体３３の上に載置したものであって、吸着盤３２とテーブル本体３３との間にはバキュームチャンバ３４が形成されている。しかして、バキュームチャンバ３４内のエアを排出してバキュームチャンバ３４内を真空ないし負圧にすることにより、吸着盤３２の上に置かれたガラス基板等の塗布対象物１１の下面を吸着することができ、テーブル２４と共に塗布対象物１１を定速送りすることができる。このときテーブル２４は塗布対象物１１を吸着することにより塗布対象物１１の反りを矯正する効果もある。また、テーブル２４内には脱着ピンとアライメントピン（案内ピン）［いずれも図示せず］が納められており、バキュームチャンバ３４内を常圧に開放した後、吸着盤３２のピン突出し孔３５から脱着ピンを突出させることにより、塗布対象物１１の下面を押し上げ、塗布対象物１１をテーブル２４から強制的に剥離することができる。
　【００２４】
　塗布機構部５１は図１に示すように、塗布対象物１１の搬送経路を跨ぐようにして送り機構部２１の上方に設けられている。図３はこの塗布機構部５１を側面から詳細に示す図である。この塗布機構部５１においては、昇降ホルダー５２によって上下スライド自在に保持された１対の昇降ロッド５３の上端間に塗布アーム５４が横架されており、塗布アーム５４の前面もしくは背面に塗布ヘッド５５が固定されている。昇降ホルダー５２はベース２２から側方へ張り出した棚部５６に固定されており、昇降ロッド５３の真下にはエアシリンダ５７が設置され、エアシリンダ５７の出力軸５８の上端面が昇降ロッド５３の下端面と対向している。６０は昇降ロッド５３を覆うベローズである。従って、エアシリンダ５７の出力軸５８を上方へ突出させ、昇降ロッド５３の下端面を押し上げると、塗布アーム５４と共に塗布ヘッド５５が上昇する。また、エアシリンダ５７の出力軸５８を下方へ後退させると、塗布ヘッド５５は自重によって出力軸５８と共に下降する。
　【００２５】
　また、塗布ヘッド５５もしくは塗布アーム５４の真下には、数値制御形のリニアアクチュエータ６１が設置されている。このリニアアクチュエータ６１は、ジョイント６２を介してサーボモータ、パルスモータ等のモータ６３と接続されており、モータ６３によって底面の入力軸６４を回転させると、上面のストッパーロッド６５が上方へ突出する。しかも、このリニアアクチュエータ６１は内部にねじ機構を有していて、入力軸６４の回転数に比例した距離だけストッパーロッド６５が突出する。しかして、リニアアクチュエータ６１のストッパーロッド６５が突出すると、エアシリンダ５７の出力軸５８を後退させて塗布ヘッド５５を下降させたとき、塗布ヘッド５５もしくは塗布アーム５４の下面がストッパーロッド６５の上端に当接した瞬間、昇降ロッド５３の下端面がエアシリンダ５７の出力軸５８から離れ、その位置で塗布ヘッド５５がリニアアクチュエータ６１により支持され、位置決めされる。
　【００２６】
　上記リニアアクチュエータ６１のストッパーロッド６５の突出距離は、測定ヘッド８１の出力によって制御される。すなわち、測定ヘッド８１が塗布対象物１１の板厚を計測すると、塗布ヘッド５５と塗布対象物１１とのギャップが最適距離（例えば、数１０ミクロン〜数１００ミクロン）となる位置に塗布ヘッド５５を支持及び位置決めするよう、リニアアクチュエータ６１のストッパーロッド６５の突出長が決められる。
　【００２７】
　また、塗布対象物１１の板厚を検出するための測定ヘッド８１は、塗布アーム５４と平行に配設された測定アーム８２の中央部に設けられている。図示例では、測定ヘッド８１としては、エアーマイクロメータ等の非接触式で非電気的な測定手段が好ましいが、リニアスケールでもよく、引火性でない塗布液を用いる場合などには電気的なセンサを用いてもよく、また、塗布対象物１１によっては光学式センサや接触式のセンサ等を用いても差し支えない。なお、９１は塗布ヘッド５５の乾燥を防止するための乾燥防止器である。
　【００２８】
　図４には上記塗布ヘッド５５の断面図を示す。この塗布ヘッド５５は、２つの分割ヘッド１０１、１０２と１枚のシム１０３とから構成されており、これらの内面側からの正面図及び分解斜視図を図５及び図６に示している。一方の分割ヘッド１０１の内壁面には、図５に示すように、左右にわたって空洞状をした流体リザーバ１０４が設けられている。流体リザーバ１０４は、分割ヘッド１０１の内壁面から内方へ向けて水平に凹設されており、分割ヘッド１０１の上面から流体リザーバ１０４の中央部に向けて塗布液注入口１０５が穿設されており、また、分割ヘッド１０１の上面から流体リザーバ１０４の両端部に向けて塗布液排出口１０６が穿設されている。他方の分割ヘッド１０２は、内壁面の上端縁から位置決め用の突部１０７が突設されており、この突部１０７を対向する分割ヘッド１０１の上面に当設させることにより、塗布ヘッド５５の組立時に両分割ヘッド１０１、１０２同志を位置合わせできるようにしている。この分割ヘッド１０２の内壁面は、通孔１０８を除いて平らに形成されている。また、両分割ヘッド１０１、１０２の下面の内壁面側の縁には左右全幅にわたって断面三角形状のテーパ部１０９を突出させてあり、下面全体にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂１１０をコーティングしてある。シム１０３は、金属製の薄板であって、両側端に脚片１１１を有していて脚片１１１間に切欠状凹部１１２を形成されている。
　【００２９】
　しかして、図６に示すように、内壁面間にシム１０３を挟み込むようにして両分割ヘッド１０１、１０２を組み合わせ、分割ヘッド１０２及びシム１０３の通孔１０８、１１３に挿通させたボルト１１４を分割ヘッド１０１のねじ孔１１５に螺合させ、ボルト１１４を強く締め付けることによって図４のような塗布ヘッド５５が構成されている。こうして組み立てられた塗布ヘッド５５においては、シム１０３の切欠状凹部１１２によって分割ヘッド１０１、１０２の内壁面間に塗布液整形用のスロット１１６が形成され、スロット１１６の下端は塗布ヘッド５５下面でノズルロ１１７として開口し、流体リザーバ１０４の開口はスロット１１６の上端部に臨み、スロット１１６の内部と連通している。
　【００３０】
　図７は上記塗布ヘッド５５に塗布液１２を供給するための塗布液供給手段を示す図である。塗布液１２は気密型のタンク１１９内に溜められており、塗布ヘッド５５の塗布液注入口１０５とタンク１１９内下部との間は液供給パイプ１２１によって接続されており、液供給パイプ１２１にはサックバックバルブ１２０と開閉弁１２２と流量調整バルブ１２３が設けられている。あるいは、流量調整バルブ１２３に代えて、タンク１１９へのエア供給用の管路にエアーレギュレータ１２４を設けてもよい。タンク１１９内はエアによって加圧されているので、開閉弁１２２を開閉することにより、塗布を開始させ、あるいは、停止させることができる。また、塗布液１２の塗布ヘッド５５への供給量は、流量調整バルブ１２３もしくはエアーレギュレータ１２４によって調整することができる。しかして、開閉弁１２２を開成すると、タンク１１９内の塗布液１２が塗布液注入口１０５から流体リザーバ１０４内に供給され、塗布液１２が流体リザーバ１０４内に充満して流体リザーバ１０４内の全幅に広がる。さらに、塗布液１２は供給圧によって流体リザーバ１０４からスロット１１６内へ流れ出し、スロット１１６で均一な膜厚に整えられて下端のノズル口１１７から均一な膜厚の塗布液１２として流出し、塗布対象物１１の表面に成膜される。ここで、塗布液１２の流量と塗布対象物１１の送り速度との間には一定の関係があり、塗布対象物１１の送り速度は塗布液１２の流量（吐出速度）よりも大きくなっている。このため、ノズル口１１７から吐出された均一な膜厚の塗布液１２は塗布対象物１１の表面へ塗布される際に薄く引き延され、スロット１１６で付与された膜厚よりもさらに薄い膜厚の塗膜が塗布対象物１１の表面に形成される。
　【００３１】
　また、塗布ヘッド５５の塗布液排出口１０６ａ、１０６ｂは、液排出パイプ１２７ａ、１２７ｂにより回収用タンク１２９に接続されており、液排出パイプ１２７ａ、１２７ｂには各々サックバックバルブ１２８ａ、１２８ｂと開閉弁１２５ａ、１２５ｂと流量調整バルブ１２６ａ、１２６ｂが設けられている。しかして、ポンプ１２４を稼動させた状態で開閉弁１２５ａ、１２５ｂを開くと、塗布液排出口１０６ａ、１０６ｂから流体リザーバ１０４内の塗布液１２が強制的に排出され、流体リザーバ１０４から排出された塗布液１２は回収用タンク１２９内に回収される。また、塗布液１２の排出速度は流量調整バルブ１２６ａ、１２６ｂによって調整することができる。これによって、流体リザーバ１０４内の両端部における塗布液１２の液圧が低くなるので、スロット１１６の中央部における圧力損失と相俟って実質的に液圧の分布はほぼ均一となり、塗布液１２の排出速度を調整することにより、塗布ヘッド５５から塗布対象物１１の表面に塗布される塗膜の膜厚を幅方向にわたって均一にすることができる。
　【００３２】
　図８（ａ）（ｂ）は上記サックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂの構造及び動作を示す断面図である。このサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂにおいては、シリンダ４１内にピストン４２ａ、４２ｂが上下に摺動自在に納められており、ピストン４２ａ、４２ｂはスプリング４３によって上方へ弾性的に付勢されている。シリンダ４１の下面には、液供給パイプ１２１もしくは液排出パイプ１２７ａ、１２７ｂに接続されて塗布液１２を流通させるための流体通路４４を開口されたボディ部４５が一体的に取り付けられている。ボディ部４５には流体通路４４に臨ませるようにしてダイアフラム弁４６が配設されており、ダイアフラム弁４６の外周部分はボディ部４５に固定され、ダイアフラム弁４６の中央部は連結用ピース４７によってピストン４２ｂに固定されている。また、シリンダ４１の上面にはカバー部４８が一体的に取り付けられており、ピストン４２ａの上面とカバー部４８との間には加圧室４９が形成され、カバー部４８には加圧室４９と連通する操作ポート５０が開口されている。
　【００３３】
　このような構造のサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂにあっては、加圧室４９にエア圧が掛かっていない場合（以下、サックバックバルブのオフ状態という。）には、図８（ａ）に示すように、ピストン４２ａ、４２ｂはスプリング４３によって上方へ押し上げられているので、ダイアフラム弁４６の中央部はピストン４２ａ、４２ｂによって上方へ引っ込められ、流体通路４４の容積が大きくなっている。これに対し、操作ポート５０からエアを送り込んで加圧室４９にエア圧を掛ける（以下、この状態をサックバックバルブのオン状態という。）と、ピストン４２ａ、４２ｂがエアによって押し下げられ、図８（ｂ）に示すように、ダイアフラム弁４６の中央部がピストン４２ａ、４２ｂによって下方へ突き出され、流体通路４４の容積が小さくなる。
　【００３４】
　したがって、塗布動作中においてはサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂをオン状態で使用していると、開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂを閉じて塗布動作を完了した後、サックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂをオフにすると、サックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂ内の流体通路４４の容積が大きくなるので、塗布ヘッド５５内の塗布液１２が若干サックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂ内へ引き込まれて塗布ヘッド５５内が減圧され、スロット１１６のノズル口１１７から液垂れするのを防止できる。
　【００３５】
　図９（ａ）（ｂ）（ｃ）は上記流体塗布装置Ａによる塗布動作を示す説明図である。まず、ローディング装置（図示せず）によって塗布対象物１１がテーブル２４上に供給されると、塗布対象物１１はテーブル２４に吸着され、テーブル２４の上面に固定される。図９（ａ）に示すように、テーブル２４に固定された塗布対象物１１が送り機構部２１によって測定ヘッド８１の下方へ送られてくると、測定ヘッド８１によって塗布対象物１１の板厚（あるいは、板厚のばらつき）が計測される。板厚が計測されると、塗布ヘッド５５の下降位置が決められ、塗布ヘッド５５を当該位置に停止させるためのストッパーロッド６５の突出長が演算される。ついで、リニアアクチュエータ６１のストッパーロッド６５が演算量だけ突出すると共に、エアシリンダ５７の出力軸５８が引っ込んで塗布ヘッド５５が下降し、下降した塗布ヘッド５５がストッパーロッド６５によって静止させられ、図９（ｂ）に示すように、塗布ヘッド５５のノズル口１１７が塗布対象物１１の表面と微小距離を隔てて対向する位置で位置決めされる。塗布対象物１１の塗布開始点がノズル口１１７に達すると、両開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂを開いて流体リザーバ１０４内に塗布液１２を供給すると同時に流体リザーバ１０４内の塗布液１２の一部を塗布液排出口１０６ａ、１０６ｂから回収し、スロット１１６により一定の膜厚に整えられた塗布液１２をノズル口１１７から流出させ、定速で送られている塗布対象物１１の表面に塗布液１２をコーティングする。このとき、塗布液１２は塗布対象物１１の全面に塗布することもできるが、塗布対象物１１の一部に部分的に塗布することもでき、また、連続的に塗布できるだけでなく、断続的に塗布することもできる。こうして、塗布終了すると、図９（ｃ）に示すように、再び塗布ヘッド５５がエアシリンダ５７によって上昇させられ、テーブル２４上の塗布対象物１１は着脱ピンによってテーブル２４から剥離され、アンローディング装置（図示せず）によって搬出される。
　【００３６】
　図１０は上記塗布動作時における開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂ及びサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂの動作タイミングを示す図であって、図１０（ａ）は塗布ヘッド５５の昇降を示し、図１０（ｂ）は液供給側の開閉弁１２２の開閉のタイミングを示し、図１０（ｃ）は液排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂの開閉のタイミングを示し、図１０（ｄ）はサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂのオン、オフのタイミングを示し、図１０（ｅ）は塗布ヘッド５５内の液圧の変化を示している。塗布ヘッド５５は、塗布前の待機時には上記のようにサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂの働きにより減圧され、液垂れのない状態で待機している。塗布対象物１１が送られてくると、時間ｔ１に塗布ヘッド５５が降下を開始し、塗布開始高さｈに達して塗布対象物１１との間隔が一定間隔δになると、時間ｔ３より塗布を開始するが、この塗布開始時ｔ３よりも早く時間ｔ２に開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂが開かれると共にサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂがオンされる。開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂが開かれても、図１０（ｅ）に示すように塗布ヘッド５５内の液圧が高くなるまでには時間的な遅れがあるが、開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂをＴ１＝（ｔ３−ｔ２）だけ早く開くことにより塗布開始時には塗布ヘッド５５内を十分な液圧に保つことができ、所望の塗布開始点より一定の膜厚の塗膜を得ることができる。すなわち、塗膜の塗布開始端を精度よくコントロールできるようになると共に塗布開始端を真っ直ぐに揃えることができ、さらに、塗布開始端において塗膜の膜厚が薄くなったり、かすれたりするのを防止することができ、始端より良好な品質の塗膜を得ることができ、塗膜の歩留りが向上する。
　【００３７】
　この時間Ｔ１は実験的に決めることができる。例えば、図１１に示すように、塗布ヘッド５５が塗布開始高さｈに達した瞬間に開閉弁１２２、１２５ａ、１２５ｂを開き、その瞬間のスロット１１６の位置αと実際に塗布対象物１１に塗布された塗膜の塗布開始端との距離（塗布の遅れる距離）Ｓを求めれば、塗布対象物１１の搬送速度をＶとして、Ｔ１＝Ｓ／Ｖより決めることができる。
　【００３８】
　また、時間ｔ４に塗布液１２が塗布終了位置まで塗布されると、液供給側の開閉弁１２２を閉じると共に塗布ヘッド５５を上昇させ、塗布液１２の塗布を終了する。このとき、開閉弁１２２の閉成動作から遅延させて時間ｔ５に液排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂを閉じると共に全てのサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂをオフにする。液排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂを液供給側の開閉弁１２２と同時に閉じた場合には、図１０（ｅ）に破線で示すように、塗布ヘッド５５内の液圧が大気圧まで低下するのに時間が掛かるが、液排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂの閉成動作をＴ２＝（ｔ５−ｔ４）だけ遅延させると、塗布液１２の供給が止った後でＴ２の間だけ液排出用パイプ１２７ａ、１２７ｂから塗布液１２が排出されるので、塗布ヘッド５５内の液圧が急激に低下し、塗布終了後の液垂れが防止される。さらに、液排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂが閉じると同時にサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂがオフになると、塗布ヘッド５５内の塗布液１２がサックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂ内へ引かれるので、塗布ヘッド５５内が大気圧ないし負圧となり、より確実に塗布ヘッド５５からの液垂れが防止される。従って、再度塗布動作を開始した場合に、塗布された塗膜の塗布開始端の膜厚が厚くなることを防止でき、均一な厚みの塗膜を得ることができる。
　【００３９】
　なお、塗布終了後に塗布ヘッド５５内を減圧する手段として、上記実施例では、サックバックバルブ１２０、１２８ａ、１２８ｂを用いる方法と、液排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂを液供給用の開閉弁１２２よりも遅らせて閉じる方法とを併用したが、いずれか一方の方法だけでも差し支えない。
　【００４０】
　図１２は本発明の別な実施例を示す図である。これは図７に示したような塗布液供給手段を有する流体塗布装置における、別な制御方法を示すものである。この実施例においては、塗布液１２の塗布を終了して塗布ヘッド５５を上昇させる時間ｔ４よりも早い時期、すなわち図１２における時間ｔ６（＜ｔ４）に開閉弁１２２を閉じている。塗布ヘッド５５を上昇させると同時に開閉弁１２２を閉じた場合には、塗布ヘッド５５内に残っている塗布液１２によって塗膜の終端部が図１３（ａ）に示すように盛り上がって膜厚が厚くなる恐れがあるが、少し前に開閉弁１２２を閉じて塗布ヘッド５５へ塗布液１２を供給しないようにすることにより、図１３（ｂ）に示すように塗膜の終端部を薄くすることができ、塗膜の膜厚を均一にすることができる。
　【００４１】
　図１４は本発明のさらに別な実施例を示す図である。この実施例においては、塗布ヘッド５５をδの高さまで下降させ、開閉弁１２２を開いて塗布液１２の塗布を開始するよりも早く排出側の開閉弁１２５ａ、１２５ｂを開いている。すなわち、時間ｔ３に塗布を開始するよりも早い時間ｔ２に開閉弁１２５ａ、１２５ｂを開いて塗布ヘッド５５内を減圧しているので、塗膜の始端部が盛り上がって厚くなるのを防止し、塗膜の膜厚を均一にすることができる。
　【００４２】
　図１５及び図１６に示すものは本発明のさらに別な実施例による流体塗布装置Ｂの一部を示す概略図である。図１６に示すものは液垂れ除去装置１３１であって、箱形をした容器１３２の両側面にそれぞれ支持片１３３を設けると共に容器１３２の上端部後縁から後方へ向けて斜め上がりに傾斜片１３４を設け、傾斜片１３４の上方において両支持片１３３間にワイヤーやピアノ線等の線状をした液吸着用線材１３５を張ってある。この液垂れ除去装置１３１は、図１５に示すように、テーブル２４の前端部に取り付けられており、テーブル２４と共に移動する。実際には、塗布ヘッド５５が昇降し、テーブル２４が水平に移動するが、図１５ではテーブル２４が静止するものとし、テーブル２４に対する塗布ヘッド５５のノズル口１１７の相対的な動きを１点鎖線によって示している。この図１５に従って説明すると、塗布対象物１１を載置したテーブル２４が送られてくると、塗布ヘッド５５は液垂れ除去装置１３１の液吸着用線材１３５に向けて下降し、下端のノズル口１１７が液吸着用線材１３５と小さな間隙を隔てる高さで一旦停止する。この高さを保った状態でノズル口１１７と液吸着用線材１３５とが水平にすれ違うと、ノズル口１１７から垂れ下がっている塗布液１２が液吸着用線材１３５に触れることによって余分な塗布液１２が表面張力によって液吸着用線材１３５に吸着され、液吸着用線材１３５に吸着された塗布液１２は自重によって傾斜片１３４の上に落ち、傾斜片１３４に沿って容器１３２内に集められる。一方、余分な塗布液１２を除去された塗布ヘッド５５は、幅方向の全長にわたってノズル口１１７における塗布液１２の界面を平に揃えられる。ついで、再び塗布ヘッド５５を降下させ、塗布対象物１１と一定の間隔をおいて対向する位置で静止させると共に塗布液１２の塗布を開始する。従って、液垂れを除去された状態で塗布液１２の塗布を開始するので、塗布開始点における塗膜の膜厚を均一にすることができる。
　【００４３】
　図１７に示すものは本発明のさらに別な実施例を示す概略断面図であって、液吸着用線材１３５に代えて、ノズル口１１７と対向するようなスリット１３６を開口された帯板状の液吸着用部材１３７を用いている。この実施例においても、液吸着用部材１３７の上面を小さな間隔をあけてノズル口１１７の下を水平に移動させると、ノズル口１１７から垂れている塗布液１２は表面張力によってスリット１３６内に吸収され、さらに自重によって下方の容器１３２内へ落下する。
　【００４４】
　なお、図１６や図１７に示したような液吸着用線材１３５や液吸着用部材１３７は、ノズル口１１７と接触することなく液垂れを除去するようにしている。もちろん、液吸着用線材１３５や液吸着用部材１３７によってノズル口１１７をこするようにして液垂れを除去しても差し支えないが、液吸着用線材１３５や液吸着用部材１３７によってノズル口１１７をこするようにすると、摩擦によって粉塵が発生して塗膜を汚染したり、あるいはノズル口１１７や液吸着用線材１３５、液吸着用部材１３７の摩耗の問題が起きるので、上記のような非接触方式が好ましい。また、吸着方法としても、塗布液１２の表面張力によらず、強制的に真空吸引する方法でもよい。
　【００４５】
　【発明の効果】
　請求項１に記載した流体塗布装置によれば、
塗布ヘッド内に連通する排出通路に設けられた開閉弁を開にして、
　【００４６】
　また、請求項２に記載した流体塗布装置によれば、さらに塗布終了時に塗布ヘッドのスロット内の流体を引き込むことができるので、塗布終了後もしくは塗布休止中における塗布ヘッドの液垂れを防止することができる。この結果、塗膜の塗布終了端を薄くすることができ、塗膜の膜厚を均一化することができる。
　【００４７】
　削除
　【００４８】
　削除
　【００４９】
　従って、本発明によれば、塗膜の膜厚を始端から終端まで、あるいは幅方向にわたって均一に整えることができ、良好な品質の塗膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例による流体塗布装置を示す外観斜視図である。
　【図２】
　同上の流体塗布装置における送り機構部を示す断面図である。
　【図３】
　同上の流体塗布装置における塗布機構部及び測定ヘッドを示す側面図である。
　【図４】
　同上の塗布機構部における塗布ヘッドの断面図である。
　【図５】
　同上の塗布ヘッドの各構成部品を示す正面図である。
　【図６】
　同上の塗布ヘッドの分解斜視図である。
　【図７】
　同上の塗布ヘッドに塗布液を供給するための構成を示す概略図である。
　【図８】
　（ａ）（ｂ）はサックバックバルブの構造及び動作を示す断面図である。
　【図９】
　（ａ）（ｂ）（ｃ）は同上の流体塗布装置の動作説明図である。
　【図１０】
　塗布ヘッドの昇降動作、各開閉弁の開閉動作、サックバックバルブのオン・オフ動作及び塗布ヘッド内の液圧との関係を示す図である。
　【図１１】
　開閉弁の開成タイミングを決める方法を説明するための図である。
　【図１２】
　本発明の別な実施例における、塗布ヘッドの昇降動作、各開閉弁の開閉動作、サックバックバルブのオン・オフ動作及び塗布ヘッド内の液圧との関係を示す図である。
　【図１３】
　（ａ）（ｂ）は同上の作用説明図である。
　【図１４】
　本発明のさらに別な実施例における、塗布ヘッドの昇降動作、各開閉弁の開閉動作、サックバックバルブのオン・オフ動作及び塗布ヘッド内の液圧との関係を示す図である。
　【図１５】
　本発明のさらに別な実施例による流体塗布装置の一部を示す概略図である。
　【図１６】
　同上の液垂れ除去装置を示す斜視図である。
　【図１７】
　液垂れ除去装置に用いる別な液吸着用部材を示す概略断面図である。
　【図１８】
　従来の流体塗布装置を示す概略構成図である。
　【図１９】
　同上の流体塗布装置により塗布したときの塗膜の状態を示す一部破断した拡大断面図である。
　【図２０】
　同上の流体塗布装置における昇降ヘッドの昇降動作と開閉弁の開動作とのタイミングを示す図である。
　【図２１】
　図２０のタイミングで塗布液を塗布した場合の塗膜の状態を示す一部破断した平面図である。
　【符号の説明】
　５５　　塗布ヘッド
　１０４　流体リザーバ（空洞部）
　１０５　塗布液注入口（流体注入口）
　１０６　塗布液排出口（流体排出口）
　１１６　スロット
　１２０　サックバックバルブ
　１２２　開閉弁
　１２５ａ、１２５ｂ　開閉弁
　１２８ａ、１２８ｂ　サックバックバルブ
　１３１　液垂れ除去装置
　１３５　液吸着用線材
　１３７　液吸着用部材