【事件の表示】
　特許第３１００３４６号「ターボ分子ポンプ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１００３４６号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３１００３４６号の請求項１に係る発明についての出願は、平成８年１１月２８日に出願され、平成１２年８月１８日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング、高橋信男、丹羽佳和 より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年９月１９日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１における「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」（特許公報第１欄第１２〜１３行）とあるのを、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　段落【００１３】における「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」（特許公報第４欄第３６〜３８行）とあるのを、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部」と訂正し、
　段落【００１４】における「電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部をターボ分子ポンプ本体側に設けたので、前記電源装置内部の回路の一部または全て」（特許公報第４欄第４０〜４３行）とあるのを、「電源装置内の、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部をターボ分子ポンプ本体側に設けたので、前記電源装置内部の機種間の互換性を制限する回路の全て」と訂正し、
　段落【００２３】における「前記電源装置１内の機種間の互換性を制限する回路３の一部または全部」（特許公報第６欄第３１〜３２行）とあるのを、「前記電源装置１内の、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路３の全部」と訂正し、
　段落【００２４】における「前記電源装置１内の機種間の互換性を制限する回路３の一部または全部をターボ分子ポンプ本体２側に設けたので、前記電源装置１内部の回路の一部または全て」（特許公報第６欄第３５〜３７行）とあるのを、「前記電源装置１内の、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路３の全部をターボ分子ポンプ本体２側に設けたので、前記電源装置１内部の機種間の互換性を制限する回路の全て」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　段落【００１９】における「ターボ分子ポンプの機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する部分３、すなわち磁気軸受制御回路８、磁気軸受駆動回路９またはモータ駆動回路１２の一部または全部」（特許公報第５欄第３７〜４１行）とあるのを、「ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する部分３、すなわち磁気軸受制御回路８に接続された部分３（Ａ）、磁気軸受駆動回路９に接続された部分３（Ｂ）およびモータ駆動回路１２に接続された部分３（Ｃ）の全部」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１に係る発明を特定する事項である「電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」を、これに含まれる事項である「電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部」に変更するものである。そして、「電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路」については、特許明細書の段落【０００８】，【００１９】に記載され、「機種間の互換性を制限する回路の全部」については、特許明細書の段落【００１６】〜【００２１】、及び図１，図３に記載されている。したがって、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａと整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｃは、上記訂正事項ａと整合を図ると共に、明らかな誤記の訂正を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについて
（１）申立ての理由の概要
　特許異議申立人 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング は、請求項１に係る発明についての特許に対して、証拠として甲第１号証（ドイツ連邦共和国特許出願公開第４２３７９７１号明細書）、甲第２号証（特開昭６０−１９０６９７号公報）、甲第３号証（特開平４−２８７８９６号公報）を提出し、請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであるから、若しくは、その明細書が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから、
　特許異議申立人 高橋信男 は、請求項１に係る発明についての特許に対して、証拠として甲第１号証（特開平５−１４９３３７号公報）を提出し、請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、若しくは、その明細書が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから、
　特許異議申立人 丹羽佳和 は、請求項１に係る発明についての特許に対して、証拠として甲第１号証（特開平５−１４９３３７号公報）、甲第２号証（実公平７−２９２７８号公報）を提出し、請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、
　請求項１に係る発明についての特許を取り消すべき旨主張している。
　
（２）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明(以下、「本件発明」という。)は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「回転体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備えた電源装置とを具備したターボ分子ポンプにおいて、
　前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。」
　
（３）特許法第２９条第１項第３号、及び同条第２項違反との主張について
（３−１）刊行物記載の発明
　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物（特開平５−１４９３３７号公報；特許異議申立人 高橋信男、丹羽佳和 の提示した甲第１号証）には、次の事項が記載されている。
（ア）「一般に磁気軸受を有する機器は、回転体を有する構造物と回転体を浮上制御する磁気軸受制御装置との２つのユニットからなる。勿論、磁気軸受制御装置内には、回転体を高速回転させるためのインバータも含まれている。上記２つのユニットは、磁気軸受制御用ケーブルとモータ駆動用ケーブルとで接続されている。」（第２欄第１４〜１９行）
（イ）「磁気軸受制御装置内には、回転体を有する構造物の個性により調整または設定される部分を有する。例えば、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節器９、及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させるフィルタ１０とがそれに当たる。【０００８】これらの調節値及び設定値は、回転体を有する構造物一品毎に異なり、磁気軸受制御装置と回転体とを有する構造物は、一対一の組み合わせとなる。」（第２欄第２０〜３０行）
（ウ）「図１の１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石であり、以上の図１は、互換性を制限している部分３を、回転体を有する構造物（例えばケーシング）２内に組み込んだ場合のブロック線図を示している。」（第３欄第２３〜３１行）
（エ）「図２は、同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した適用例である。位置センサ７の出力を、中心位置（オフセット）調整器（位置センサ７の設置による回転体４の軸中心位置ずれを補正する中心位置調整器）８、及び位置センサ７自身が持つ出力値のバラツキを補正するフィードバックゲイン調節器９により調整し、これを回転体４の固有振動数にチューニングされたフィルタ１０を通過させた後、ＰＩＤと位相補償による制御回路１１により、電磁石１２の磁力を制御して、同磁力により回転体４を浮上、保持する。」（第３欄第３２〜４１行）
（オ）「このターボ分子ポンプ本体の特性により、調整または調節される互換性を制限する部分３、即ち、中心位置（オフセット）調整器８、フィードバックゲイン調節器９、フィルタ１０を１つのユニットにして、ターボ分子ポンプ本体に組み込む。。」（第３欄第４２〜４６行）
　これらの記載事項、及び図面の記載事項等によると、刊行物には、
「回転体４の位置を検出する位置センサ７及び該位置センサ７からの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体４を保持する電磁石１２とを備えた回転体を有する構造物２と、前記位置センサ７からの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体４を中心位置に保持するよう構成された制御回路１１と、前記回転体４に連結したモータを駆動するインバータとを備えた磁気軸受制御装置１とを具備したターボ分子ポンプにおいて、
　前記磁気軸受制御装置１内の、前記回転体を有する構造物２の個性に応じて調整または設定される前記位置センサ７と前記制御回路１１との間に介在される互換性を制限する部分３（中心位置(オフセット)調整器８，位置フィードバックゲイン調節器９，フィルタ１０）の全部を前記回転体を有する構造物２側に設けたターボ分子ポンプ。」
　の発明（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　
（３−２）対比・判断
　本件発明と刊行物記載の発明とを対比する。
　刊行物記載の発明の「回転体４」は、本件発明の「回転体」に相当する。以下同様に、「位置センサ７」は「位置センサ」に、「電磁石１２」は「磁気軸受」に、「回転体を有する構造物２」は「ターボ分子ポンプ本体」に、「制御回路１１」は「磁気軸受制御回路」に、「インバータ」は「モータ駆動回路」に、「磁気軸受制御装置１」は「電源装置」に、それぞれ相当する。
　また、刊行物には、本件発明の「磁気軸受駆動回路」，「磁気軸受駆動電源」に相当する事項については記載されていないが、刊行物記載の発明の「磁気軸受制御装置１（電源装置）」が、「磁気軸受駆動回路」，「磁気軸受駆動電源」に相当する事項を備えることは、当該技術分野の技術常識である。
　してみると、両者は、「回転体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備えた電源装置とを具備したターボ分子ポンプ。」の点で一致するものの、刊行物記載の発明は、本件発明を特定する事項である「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けた」事項を備えていない。
　すなわち、刊行物記載の発明は、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の個性に応じて調整または設定される前記位置センサと前記磁気軸受制御回路との間に介在される互換性を制限する部分３（中心位置(オフセット)調整器８，位置フィードバックゲイン調節器９，フィルタ１０）の全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けた」事項により、同一機種間について、従来装置の課題を解決するのに対し、本件発明は、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けた」事項により、異なった機種間について、従来装置の課題を解決する点で、両者は、その技術思想を基本的に相違している。このことから、刊行物記載の発明の「互換性を制限する部分３」は、位置センサと磁気軸受制御回路との間に介在される中心位置（オフセット）調整器８，位置フィードバックゲイン調節器９，フィルタ１０であるのに対し、本件発明の「互換性を制限する回路」は、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路であり、実施例に記載されるように、センサと磁気軸受制御回路との間、磁気軸受駆動回路と電磁石との間、モータ駆動回路とモータとの間にそれぞれ介在される回路であることを要するものと認められる。
　そして、当該事項により、本件発明は、「量産性を向上できるとともにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、当該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置またはプラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安易化を図ることができるターボ分子ポンプを提供できる。」(特許公報第７欄第５〜１１行)という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、上記刊行物記載の発明であるとも、また、上記刊行物記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
　また、特許異議申立人 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング の提示した甲第１号証（ドイツ連邦共和国特許出願公開第４２３７９７１号明細書）、甲第２号証（特開昭６０−１９０６９７号公報）、甲第３号証（特開平４−２８７８９６号公報）記載のもの、及び特許異議申立人 丹羽佳和 の提示した甲第２号証（実公平７−２９２７８号公報）記載のものも、上記本件発明を特定する事項である「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けた」事項を備えていないことは、明白である。
　なお、特許異議申立人 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング は、甲第１号証について、『真空ポンプと変換器がこのように１つのユニットを構成する場合には、「このように構成された真空ポンプを運転するためには、真空ポンプを通常の電力供給網に接続するだけでよい。」（第１欄第４２〜４４行、翻訳文第２ぺージ第２８〜２９行）という作用効果を奏することになり、これは電力供給回路２２と制御回路２３と電源部３７とを備えた電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の全部が真空ポンプ、即ちターボ分子ポンプ本体側に設けられていることを必然的に意味するものである。』（特許異議申立書第７頁第１３〜１９行）旨主張する。しかしながら、甲第１号証記載のものは、本件発明のように、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設ける」もの、すなわち、「電源装置内の機種間の互換性を制限する回路についてのみ着目し、その回路の全部をターボ分子ポンプ本体側に設ける」ものとはいえない。
　
（４）特許法第３６条第６項第２号違反との主張について
　上記訂正事項ａにより、特許請求の範囲の請求項１の記載は、「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」から、「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の全部」へと訂正された。
　したがって、特許異議申立人 ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング、高橋信男 の＜請求項１における「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」の記載は不明確であり、請求項１に係る特許は、その明細書が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである。＞旨の主張の根拠は解消している。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１２月４日（２００１．１２．４）
【訂正の要旨】
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１における「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」（特許公報第１欄第１２〜１３行）とあるのを、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　段落【００１３】における「前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部」（特許公報第４欄第３６〜３８行）とあるのを、「前記電源装置内の、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部」と訂正し、
　段落【００１４】における「電源装置内の機種問の互換性を制限する回路の一部または全部をターボ分子ポンプ本体側に設けたので、前記電源装置内部の回路の一部または全て」（特許公報第４欄第４０〜４３行）とあるのを、「電源装置内の、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路の全部をターボ分子ポンプ本体側に設けたので、前記電源装置内部の機種間の互換性を制限する回路の全て」と訂正し、
　段落【００２３】における「前記電源装置１内の機種間の互換性を制限する回路３の一部または全部」（特許公報第６欄第３１〜３２行）とあるのを、「前記電源装置１内の、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路３の全部」と訂正し、
　段落【００２４】における「前記電源装置１内の機種間の互換性を制限する回路３の一部または全部をターボ分子ポンプ本体２側に設けたので、前記電源装置１内部の回路の一部または全て」（特許公報第６欄第３５〜３７行）とあるのを、「前記電源装置１内の、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する回路３の全部をターボ分子ポンプ本体２側に設けたので、前記電源装置１内部の機種間の互換性を制限する回路の全て」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　段落【００１９】における「ターボ分子ポンプの機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する部分３、すなわち磁気軸受制御回路８、磁気軸受駆動回路９またはモータ駆動回路１２の一部または全部」（特許公報第５欄第３７〜４１行）とあるのを、「ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され機種間の互換性を制限する部分３、すなわち磁気軸受制御回路８に接続された部分３（Ａ）、磁気軸受駆動回路９に接続された部分３（Ｂ）およびモータ駆動回路１２に接続された部分３（Ｃ）の全部」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ターボ分子ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　回転体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備えた電源装置とを具備したターボ分子ポンプにおいて、
　前記電源装置内の
、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され
の全
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、制御磁気軸受形のターボ分子ポンプに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　図５は、従来の回転体を浮上保持する手段である電磁石を用いた磁気軸受部分の構成を示す側面図である。図５において、４は回転体であり、一対の磁気軸受（ジャーナル軸受）５ａ，５ｂは回転体４を回転可能に支持し、位置センサ６ａ，６ｂは回転体４の浮上位置を検出する。
　【０００３】
　このような構成により、回転体４の浮上位置を位置センサ６ａ，６ｂにより検出する。そのとき得られる検出信号に基づいて磁気軸受５ａ，５ｂに設けられた電磁石（不図示）に流す電流値を決め、前記電磁石から発生する磁力の大きさを制御して回転体４の浮上位置を中心に保持するようにしている。
　【０００４】
　図６は、上記した磁気軸受の制御回路を示すブロック図である。図６において、１が電源装置、２がポンプ本体である。電源装置１内における８が磁気軸受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆動電源、１２がモータ駆動回路、３が機種間の互換性を制限する部分（回路）である。また、ポンプ本体２内における７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータである。
　【０００５】
　上記機種間の互換性を制限する部分３の構成要素である磁気軸受制御回路８のＡ、磁気軸受駆動回路９のＢは、回転体の浮上位置を中心に保持するための制御回路（例えば、比例要素、積分要素、微分要素であるＰＩＤ制御回路で構成されている）や、数次の回転体固有振動数を安定化するための位相補償回路や、磁気軸受の静的剛性を付加するためのバイアス電流印加回路、等である。これらはポンプ本体の機種により回転体の構造、体格、磁気軸受の仕様が異なるため、機種毎に調整及び設定される。
　【０００６】
　また、モータ駆動回路１２のＣは、機種毎に回転数、容量、出力電圧、等が異なる。通常、これらの機種間の互換性を制限する部分３は電源装置１内に組み込まれ、また位置センサ７、電磁石１１及びモータ１３はポンプ本体２に組み込まれている。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　一般に磁気軸受を有するターボ分子ポンプは、上述したようにポンプ本体２と、回転体４を浮上制御する磁気軸受制御回路９及び回転体４に直結されたモータ１３を高速駆動するモータ駆動回路（例えばインバータ回路）１２を有する電源装置１の二つのユニットからなる。これら二つのユニットは磁気軸受制御用のケーブル３１とモータ駆動用のケーブル３２とで接続されている。
　【０００８】
　電源装置１は、ポンプ本体２の機種に応じて調整または設定される部分を有する。例えば、回転体４の浮上位置を中心に保持するための制御回路（例えば比例要素、積分要素、微分要素であるＰＩＤ制御回路で構成されている）や、回転体４の構造による数次の固有振動数を安定化するための位相補償回路及びフィルタ回路（例えばノッチフィルタ、ローパスノッチフィルタ、ローパスフィルタ、位相フィルタ等）や、磁気軸受の静的剛性を付加するためのバイアス電流印加回路や、回転数に関する補償回路、モータ駆動に関する回路、等がそれに当たる。
　【０００９】
　これらの調整値及び設定値はポンプ本体２の体格、寸法、磁気軸受（電磁石）の仕様、モータの仕様毎に異なるため、各機種毎にポンプ本体２とそれに適合した電源装置１を有し、これらは一対一の組合せとなる。例えばターボ分子ポンプの場合、ポンプの排気速度で機種（型式）を分けると、３００Ｌ／ｓ（ターボ分子ポンプの排気速度は１秒間［ｓ］に窒素ガス等を排気できる容量［Ｌ］で表現される）、７００Ｌ／ｓ、１２００Ｌ／ｓ、２２００Ｌ／ｓ、３３００Ｌ／ｓ、等の機種があり、それぞれに専用の電源装置を有している。
　【００１０】
　このように電源装置１の機種とポンプ本体２の機種とは一対一の組合せとなるため、その組合せを変えると磁気軸受及びモータが正規の機能を失い、安定した回転が行なえなくなる。
　【００１１】
　前述した機種間一対一の組合せを変更できないこと、すなわち電源装置１とポンプ本体２の機種との間に互換性がないことは、ターボ分子ポンプの量産性を著しく低下させる。また、アフターサービス上の管理及びトラブル対応等に対して好ましくない。さらに、複数機種のターボ分子ポンプを使用する場合、これを取り付けて使用する装置またはプラント等の設備設計が複雑化し、設備が大型となり、メンテナンスが困難になる。
　【００１２】
　本発明の目的は、量産性を向上できるとともにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、当該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置またはプラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安易化を図ることができるターボ分子ポンプを提供することにある。
　【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決し目的を達成するために、本発明のターボ分子ポンプは以下の如く構成されている。本発明のターボ分子ポンプは、回転体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備えた電源装置とを具備したターボ分子ポンプにおいて、前記電源装置内の
、前記ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され
の全
　【００１４】
　上記手段を講じた結果、次のような作用が生じる。本発明のターボ分子ポンプによれば、電源装置内の
、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され
の全
機種間の互換性を制限する
の全
　【００１５】
　また、電源装置またはポンプ本体が故障した際、いずれか故障した方の交換または修理を行なうのみで済むので、ターボ分子ポンプのアフターサービスが簡略化される。さらに、一種類の電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、複数種のポンプ本体を取り付けて使用する場合、その装置またはプラント等の設計が簡略化し、前記装置またはプラント等が小型化するとともにメンテナンスが安易化される。
　【００１６】
　【発明の実施の形態】
　（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示すブロック図である。図１において図６と同一な部分には同一符号を付してある。図１において、１が電源装置、２がポンプ本体である。電源装置１内における８が磁気軸受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆動電源、１２がモータ駆動回路である。また、ポンプ本体２内における７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータ、３が機種間の互換性を制限している部分である。以上のように図１は、機種間の互換性を制限している部分３を、ポンプ本体２内に組み込んだ構成を示している。
　【００１７】
　ポンプ本体２の位置センサ７は、部分３（Ａ）を介して電源装置１の磁気軸受制御回路８に接続されている。磁気軸受制御回路８は磁気軸受駆動回路９を介して磁気軸受駆動電源１０に接続されている。また、磁気軸受駆動回路９はポンプ本体２の部分３（Ｂ）を介して電磁石１１に接続されている。電源装置１のモータ駆動回路１２は、ポンプ本体２の部分３（Ｃ）を介してモータ１３に接続されている。
　【００１８】
　図２は、上記電源装置を適用したターボ分子ポンプの縦断側面図である。図２において図１と同一な部分には同一符号を付してある。位置センサ７からの出力を基に、ＰＩＤと位相補償の機能を有する磁気軸受制御回路８及び磁気軸受駆動回路９により電磁石１１の磁力を制御し、この磁力により回転体４を浮上、保持する。
　【００１９】
　このように本第１の実施の形態では、ターボ分子ポンプ
本体
に接続された部分３（Ａ）
に接続された部分３（Ｂ）および
に接続された部分３（Ｃ）の全
　【００２０】
　（第２の実施の形態）図３は、本発明の第２の実施の形態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示すブロック図である。図３において図１と同一な部分には同一符号を付してある。図３において、１が電源装置、２がポンプ本体である。電源装置１内における８が磁気軸受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆動電源、１２がモータ駆動回路である。また、ポンプ本体２内における７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータである。さらに、互換性を制限している部分３は、一つのユニット３０として電源装置１から切り離され、ポンプ本体２外におけるポンプ本体２近傍に設置されている。
　【００２１】
　図４は、上記電源装置を適用したターボ分子ポンプの縦断側面図である。図４において図２と同一な部分には同一符号を付してある。図４では、互換性を制限している部分３が電源装置１から切り離され、ポンプ本体２外に設置されており、ポンプ本体２と制限している部分３とはケーブル３１，３２で接続されている。このターボ分子ポンプの作用は、上記第１の実施の形態にて図２に示したターボ分子ポンプと同様である。
　【００２２】
　なお、本発明は上記各実施の形態のみに限定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施できる。例えば本発明の構成は、コンプレッサ、タービン、工作機械用スピンドル、ポリゴンミラー等の制御磁気軸受を有する高速回転体とその電源装置で構成される装置にも適用できる。
　【００２３】
　（実施の形態のまとめ）実施の形態に示された構成及び作用効果をまとめると次の通りである。実施の形態に示されたターボ分子ポンプは、回転体４の位置を検出する位置センサ７及び該位置センサ７からの信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体４を保持する磁気軸受５ａ，５ｂとを備えたターボ分子ポンプ本体２と、前記位置センサ７からの信号を用いたフィードバック制御により前記回転体４を中心位置に保持するよう構成された磁気軸受制御回路８と磁気軸受駆動回路９、前記回転体４に連結したモータ１３を駆動するモータ駆動回路１２及び前記磁気軸受駆動回路９に電源を供給する磁気軸受駆動電源１０とを備えた電源装置１とを具備したターボ分子ポンプにおいて、前記電源装置１内の
、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され
の全
　【００２４】
　このように上記ターボ分子ポンプにおいては、前記電源装置１内の
、ターボ分子ポンプ本体の機種に応じて調整または設定され
の全
機種間の互換性を制限する
の全
　【００２５】
　また、電源装置１またはポンプ本体２が故障した際、いずれか故障した方の交換または修理を行なうのみで済むので、ターボ分子ポンプのアフターサービスが簡略化される。さらに、一種類の電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、複数種のポンプ本体を取り付けて使用する場合、その装置またはプラント等の設計が簡略化し、前記装置またはプラント等が小型化するとともにメンテナンスが安易化される。
　【００２６】
　【発明の効果】
　本発明によれば、量産性を向上できるとともにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、当該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置またはプラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安易化を図ることができるターボ分子ポンプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の第１の実施の形態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示すブロック図。
　【図２】本発明の第１の実施の形態に係る電源装置を適用したターボ分子ポンプの縦断側面図。
　【図３】本発明の第２の実施の形態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示すブロック図。
　【図４】本発明の第２の実施の形態に係る電源装置を適用したターボ分子ポンプの縦断側面図。
　【図５】従来の回転体を浮上保持する手段である電磁石を用いた磁気軸受部分の構成を示す側面図。
　【図６】従来の磁気軸受の制御回路を示すブロック図。
　【符号の説明】
１…電源装置
２…ポンプ本体
３…機種間の互換性を制限する部分（回路）
４…回転体
５ａ，５ｂ…磁気軸受
６ａ，６ｂ…位置センサ
７…位置センサ
８…磁気軸受制御回路
９…磁気軸受駆動回路
１０…磁気軸受駆動電源
１１…電磁石
１２…モータ駆動回路
１３…モータ
３０…ユニット
３１…ケーブル
３２…ケーブル