【事件の表示】
　特許第３０８１９７０号「高温熱処理炉」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０８１９７０号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０８１９７０号（請求項の数１）の発明は、平成３年２月２７日に特許出願され、平成１２年６月３０日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許につい東洋炭素株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年８月３日に訂正請求がなされたものである。 
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容 
（ａ）特許請求の範囲の
「【請求項１】　ピッチ系炭素繊維からなるカーボン構造材の一部又は全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部又は全部に用いて構成した高温熱処理炉において、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉。」を、
「【請求項１】　ピッチ系炭素繊維からなるカーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部又は全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部又は全部に用いて構成した高温熱処理炉において、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉。」と訂正する。 
（ｂ）明細書の段落【００１１】の
「またカーボン構造材とは高温熱処理炉の発熱体、反応容器、スリーブ、遮熱板、試料サポート、カーボンファイバーやカーボンフォームからなる断熱材など炉芯部を構成するものからなる。」を、
「またカーボン構造材とは高温熱処理炉の発熱体、反応容器、スリーブ、遮熱板、試料サポート、カーボンファイバーやカーボンフォームからなる断熱材など炉芯部を構成するものからなるのであるが、本発明ではこのカーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部または全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部または全部に用いて構成した高温熱処理炉において、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉である。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否 
　上記（ａ）の訂正は、特許請求の範囲の請求項１において、炭化珪素に転化するものに関し、「カーボン構造材の一部又は全部」を、「カーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部又は全部」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そして、この訂正は、特許明細書の段落【００１１】の「またカーボン構造材とは高温熱処理炉の発熱体、反応容器、スリーブ、遮熱板、試料サポート、カーボンファイバーやカーボンフォームからなる断熱材など炉芯部を構成するものからなる。」いう記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記（ｂ）の訂正は、上記（ａ）の訂正により特許請求の範囲が訂正されることに伴い、これに整合するように発明の詳細な説明の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、しかも、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
２−３．訂正の適否についての結論
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第１２０条の４第３項で準用する第１２６条第２、３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断 
３−１．本件発明 
　本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という）は、平成１３年８月３日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである（上記「２−１．訂正の内容」参照）。 
３−２．取消理由の概要 
　当審において通知した取消理由の概要は、本件発明は、特許異議申立人が提出した甲第２号証の記載を参照すると、本件の出願日前の他の特許出願であって、その出願後に出願公開された特願平１−３１５８７５号（以下、「先願」という。その公開公報である特開平３−１７７３７１号公報（特許異議申立人が提出した甲第１号証）参照）の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書」という）に記載された発明と同一と認められ、しかも、本件発明の発明者が上記先願に係る発明の発明者と同一であるとも、また、本件の出願の時に、その出願人が上記先願の出願人と同一であるとも認められないので、本件発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである、というものである。 
３−３．先願明細書等の記載 
　先願明細書には、「高耐酸化性炭素質断熱材」に関して、
「（１）断熱材を構成する熱絶縁材料の表面に炭化珪素を析出せしめてなる高耐酸化性炭素質断熱材。
（２）熱絶縁材料が炭素質繊維からなるフェルト状のものである請求項（１）に記載の炭素質断熱材。」（特許請求の範囲：摘示ア）、
「チョコラルスキー法単結晶引上装置やＣＶＤ（化学蒸着）炉等には耐熱性、耐食性があり、且つ自体（炭素）の蒸気圧が低く、製品汚染が少ない性質を利用して、炉内の構造材料として、ルツボ、支持構造材料、サセプター（ヒーター）と共に断熱材としても炭素材料が一般的に用いられている。
　従来炭素質断熱材としては、炭素質フェルト、炭素質中空球を固めたもの、膨張黒鉛を樹脂で固めて焼成したもの等が用いられ、これ等熱絶縁材料をそのまま又は外側を炭素質セメント、炭素質のサヤ等で覆い、固め、適宜の寸法、形状に成形したものが普通に用いられている。
　これ等従来の断熱材はこれを使用するに際しては、これ等断熱材を適宜な手段で組み立てて断熱構造を形成するのが通常である。」（公開公報第１頁左下欄第１７行〜右下欄第１２行：摘示イ）、
「従来の断熱材に於いては次の様な難点がある。
（イ）断熱材を構成している熱絶縁材料がその使用により・・・圧縮、延伸を繰り返し、脆い炭素材が次第に細片乃至粉化し、断熱材としての断熱特性が低下するばかりでなく、発生する微細な炭塵が雰囲気中に放出され、製品の汚染原因となる。」（公開公報第１頁右下欄第１３行〜末行：摘示ウ）、
「本発明は耐酸化性が高く、炭塵及び無機質不純物による汚染の極めて少ない成形断熱材を提供することを目的とし、・・・経済的な断熱材を提供することである。」（公開公報第２頁左下欄第３行〜第７行：摘示エ）
「（イ）熱絶縁材料の選択
　本発明に於いて使用される熱絶縁材料としては炭素質のものであれば特殊なものでなくても良く、従来公知のもの例えば、炭素質フェルト、膨張黒鉛圧密体、中空黒鉛球成形体、発泡炭素等いずれも使用することができる。これ等は予め適用される部位の大きさ、形状に成形されておれば良い。
（ロ）熱絶縁材料の成形
　熱絶縁材料の成形方法としては上記に例示した材料をそのまま圧密させる方法、適当なバインダー・・・を用いて、気孔部を残した状態で部分的に固化せしめる方法等により行う。」（公開公報第２頁右下欄第４行〜第１７行：摘示オ）、
「（ハ）熱絶縁材料の高純度化
　上記（ロ）に記す方法によって得られた熱絶縁材料は黒鉛化及び高純度化が行われる。・・・第１表には高純度処理を全く行わない通常の材料と行ったものの不純物量を対比して示した。（中略）但し上記Ａ、Ｂ及びＣの各試料は夫々次のものである。
試料Ａ：供試熱絶縁材料は試料Ｃを用い、実施例１に記す方法で高純度化したもの。
試料Ｂ：試料Ｃを常圧高純度化処理を行ったもの。
試料Ｃ：市販品（コールタールピッチを原料にした炭素質フェルト）」（公開公報第３頁左上欄第３行〜左下欄第７行：摘示カ）、
「（ニ）炭化珪素層の形成
　（ロ）に記す方法で成形された熱絶縁材料は高純度化がなされた後常法により、その表面に炭化珪素層を形成せしめる。炭化珪素層の析出方法は、特に限定されるものではなく、公知の方法が適宜採用される。例えば、
（Ａ）別途発生させた金属珪素蒸気と熱絶縁材料とを高温下にて接触させ表面炭素材と反応を起こさしめる方法。
　・・・（中略）・・・
（Ｃ）ＳｉＯガスと炭化表面との反応による炭化珪素の形成方法（例えば特願昭６３−７２４０８号）による方法。
　ＳｉＯ２　＋　Ｃ　→　ＳｉＯ　＋　ＣＯ
　２Ｃ　＋　ＳｉＯ　→　ＳｉＣ　＋　ＣＯ
（Ｄ）珪素源として金属珪素の代わりに・・・ハロゲン化珪素や、・・・水素化珪素を用い、炭素源として炭化水素ガスを用い、・・・熱絶縁材料上にＣＶＤ法により炭化珪素層を形成せしめる手段・・・も採用出来る。」（公開公報第３頁左下欄第１１行〜右下欄下から第３行：摘示キ）、
「実施例１
（Ａ）コールタールピッチを溶融、引き延ばし炭化して繊維状炭素（太さ１２〜１８μｍ）を製造した。これを絡めて得たフェルト状のものを常法によって不融化、炭化し、炭素質熱絶縁材料を得た（比重１．６３〜１．６５）。・・・
（Ｂ）これを・・・高純度化した。・・・更に３０００℃にて２０時間保持し、黒鉛化反応を完結せしめた。・・・
（Ｃ）この高純度化された筒状体をＣＶＤ反応炉中に支持し・・・、ＳｉＣ層が平均１５０ミクロンの厚さに達するまで炭化珪素層を析出せしめた。
（Ｄ）炭化珪素層の析出工程は、・・・。尚炭化珪素によって被覆された断熱材はシリコン単結晶引上装置内部サセプター等内部構造部材として高温、高減圧下の厳しい条件下でも使用されており、珪素成分自体の存在は悪影響を及ぼさないことが既に知られている。・・・
（Ｅ）析出した炭化珪素層の物性としては第３表の通りであった。」（公開公報第４頁左上欄第１３行〜左下欄末行：摘示ク）と記載され、また、第３表（公開公報第４頁右下欄）には、析出した炭化珪素層の物性として、構造がβ（３Ｃ）であることが記載されている（摘示ケ）。
　また、特許異議申立人が甲第２号証として提出した、特願昭６３−７２４０８号の公開公報である特開平１−２６４９６９号公報には、β−炭化珪素成形体及びその製造方法に関して、
「（１）β−炭化珪素から成ることを特徴とするβ−炭化珪素成形体。
　・・・（中略）・・・
（４）嵩密度１．５０ｇ／ｃｍ３以下・・・の黒鉛基材に、珪酸、またはこれに更に炭素、Ｓｉ及び炭化珪素の少なくとも１種を共存させて加熱してＳｉＯガスを発生せしめ、このＳｉＯガスと上記黒鉛基材とを反応せしめることを特徴とするβ−炭化珪素成形体の製造法。」（特許請求の範囲）、
「本発明に於いては、黒鉛成形体をＳｉＯガスと反応せしめるが、その代表的な具体的な方法を挙げると次の通りである。
（イ）珪酸と炭素との反応
　　ＳｉＯ２　＋　Ｃ（原料）　→　ＳｉＯ　＋　ＣＯ
　　２Ｃ（基材）　＋　ＳｉＯ　→　ＳｉＣ　＋　ＣＯ　」（第２頁左下欄下から第５行〜右下欄第１行）と記載されている。
　
３−４．本件発明と先願明細書に記載された発明との対比・判断 
　本件発明は、「高温加熱炉のカーボン構造部材を珪素あるいは珪素を含むガスと反応させ、その表層を炭化珪素に転化させることによりカーボン構造材に耐酸化性を付与し、炉内雰囲気のカーボン及びカーボン化合物のガス分圧を下げ、カーボン微粉の浮遊をなくして、炉内の製品への浸炭及びカーボンとの反応を防止し高品質の製品を安定して生産し得るクリーンな高温加熱炉」（段落【０００４】）を対象とし、「高温熱処理炉の作動温度が１３００℃以上になると、その使用回数が２００回を越える頃からクラックが入り始めるものがあり、クラックのすき間からカーボン微粉がとび散ることがあった。」（段落【０００５】）という問題点の解決を課題として、請求項１に記載された事項を構成要件とするものである。
　これに対し、先願明細書には、「炭素質繊維からなるフェルト状の熱絶縁材料の表面に炭化珪素を析出せしめてなる高耐酸化性炭素質断熱材」が記載され（摘示ア参照）、また、炭素材料製の断熱材は、「炉内の構造材料」として「チョコラルスキー法単結晶引上装置やＣＶＤ（化学蒸着）炉等」の炉に一般的に用いられていること（摘示イ参照）、炭素材料としては、コールタールピッチを原料にした炭素質フェルトが用いられること（摘示カ、摘示クの（Ａ）参照）も記載されており、この炭素材料製の「炉内の構造材料」は、本件発明における「炉芯部に用いるカーボン構造材」に相当するから、「ピッチ系炭素繊維からなるカーボン構造材の一部又は全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部に用いて構成した高温熱処理炉」を対象とする点で、本件発明と先願明細書に記載された発明とが相違するとはいえない。
　また、先願明細書に記載された発明は、「脆い炭素材が次第に細片乃至粉化し、断熱材としての断熱特性が低下するばかりでなく、発生する微細な炭塵が雰囲気中に放出され、製品の汚染原因となる。」（摘示ウ）という問題点を解決し、「本発明は耐酸化性が高く、炭塵及び無機質不純物による汚染の極めて少ない成形断熱材を提供することを目的」（摘示エ）とするものであるから、その課題も、本件発明と格別に相違するとはいえない。
　そして、先願明細書には、「ＳｉＯガスと炭化表面との反応による炭化珪素の形成方法（例えば特願昭６３−７２４０８号）による方法」（摘示キの（Ｃ））によって、コールタールピッチを原料にした炭素質フェルトに炭化珪素層を形成することが記載されており（摘示カ、キ参照）、該形成方法により形成される炭化珪素は、該先願の出願時に既に国内で頒布されていた特願昭６３−７２４０８号の公開公報（特開平１−２６４９６９号公報：甲第２号証）の記載からみて、β型であると認められるし、また、先願明細書には、コールタールピッチを溶融、引き延ばし炭化して繊維状炭素から製造された炭素質熱絶縁材料に炭化珪素層をＣＶＤにより析出せしめ、「β（３Ｃ）構造」の炭化珪素層を形成することが記載されているから（摘示ク、ケ参照）、「炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなる」ものである点で、本件発明と先願明細書に記載された発明とが相違するとはいえない。
　さらに、先願明細書には、炭素材料製の「断熱材」は、「ルツボ、支持構造材料、サセプター（ヒーター）」と同様の炭素材料製の「炉内の構造材料」として記載されており（摘示イ参照）、また、炭化珪素によって被覆された断熱材は、サセプター（ヒーター、すなわち、本件発明における「発熱体」に相当するもの）等内部構造部材として高温等の厳しい条件下で使用することも記載されているから（摘示クの（Ｄ）参照）、「カーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部又は全部を炭化珪素に転化」する点でも、本件発明と先願明細書に記載された発明とが相違するとはいえない。
　したがって、本件発明は、先願明細書に記載された発明と同一ということができ、しかも、本件発明の発明者が上記先願に係る発明の発明者と同一であるとも、また、本件の出願の時に、その出願人が上記先願の出願人と同一であるとも認められない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月２８日（２００１．８．２８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（ａ）特許請求の範囲を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「【請求項１】　ピッチ系炭素繊維からなるカーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部又は全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部又は全部に用いて構成した高温熱処理炉において、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉。」と訂正する。
（ｂ）明細書の段落【００１１】の
「またカーボン構造材とは高温熱処理炉の発熱体、反応容器、スリーブ、遮熱板、試料サポート、カーボンファイバーやカーボンフォームからなる断熱材など炉芯部を構成するものからなる。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「またカーボン構造材とは高温熱処理炉の発熱体、反応容器、スリーブ、遮熱板、試料サポート、カーボンファイバーやカーボンフォームからなる断熱材など炉芯部を構成するものからなるのであるが、本発明ではこのカーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部または全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部または全部に用いて構成した高温熱処理炉において、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉である。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
高温熱処理炉
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ピッチ系炭素繊維からなるカーボン構造材の
内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は炉内のカーボン及びカーボン化合物のガス分圧を下げ、同時にカーボン微粉の浮遊を抑制することによって製品の品質を向上させることのできる高温処理炉に関し、更に詳しくは、カーボン構造材の一部又は全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部又は全部に用いて構成した高温熱処理炉において、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、高温熱処理炉の高温にさらされる炉芯部は炭素、黒鉛材料で構築されているものが大部分であった。また、その使用方法断熱材としてカーボンファイバー等の加工品である成形体を設け、その内側ば黒鉛スリーブなどの容器や黒鉛遮熱板等を配置していた。
　【０００３】
　しかしながら、７００℃以上の高温にさらされる炉の箇所にカーボン構造材を使うと炉内雰囲気にカーボン蒸気、ＣＯ２，ＣＯなどのガス、カーボン微粉等が混入し、高温熱処理炉内の製品に浸透拡散したり、反応を起こしたりして製品の品質に著しい悪影響を及ぼす欠点を有していた。また、カーボンは耐火物の中では酸化され易くかつ酸化による粉塵の発生と強度劣化が急激に進行するという欠点も有していた。
　【０００４】
　本発明者はこれら従来の欠点に鑑みて、特開昭６３−２１４８４号公報において従来技術の欠点を除去・解決することを目的として、従来の高温加熱炉のカーボン構造部材を珪素あるいは珪素を含むガスと反応させ、その表層を炭化珪素に転化させることによりカーボン構造材に耐酸化性を付与し、炉内雰囲気のカーボン及びカーボン化合物のガス分圧を下げカーボン微粉の浮遊をなくして、炉内の製品への浸炭及びカーボンとの反応を防止し高品質の製品を安定して生産し得るクリーンな高温加熱炉を開示した。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、高温熱処理炉の作動温度が１３００℃以上になると、その使用回数が２００回を越える頃からクラックが入り始めるものがあり、クラックのすき間からカーボン微粉がとび散ることがあった。本発明は、このような１３００℃以上の処理温度でも確実に２００回以上くり返し使えるカーボンフリーの高温熱処理炉を得ることを目的として完成するに至ったものである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段及び作用】
　本発明において、カーボン構造材の表面を炭化珪素化する主な方法としては、ＣＶＤ法と転化法とがある。
　【０００７】
　このうち、ＣＶＤ法を用いてカーボンの表面に炭化珪素を沈積被膜化した場合はカーボンと炭化珪素膜の接着強度は十分に強固でなく、十数回のヒートサイクルによって熱膨張差が生じ炭化珪素層が簡単にはがれるという欠点がある。
　【０００８】
　一方、転化法はＳｉあるいはＳｉＯガスをカーボン構造材と次式に示すように反応させてカーボン構造材の表層を炭化珪素に転化させる方法であり、炭化珪素層はカーボン構造材そのものが転化したものであることから、両組織の結合はきわめて強固でヒートサイクルによる表層の剥離は起こりにくいという特徴がある。
　ＳｉＯ（ｇ）＋２Ｃ＝ＳｉＣ＋ＣＯ（ｇ）
　【０００９】
　特にβ型炭化珪素を主成分とする炭化珪素層を得るにはＳｉＯなどの珪素を含むガスとカーボン構造材とを１３００℃〜１９５０℃の温度範囲で転化反応させればよい。β型炭化珪素は一般のα型炭化珪素にくらべ、１２００℃以上の温度域において強度が増すという特異な性質があるため、１３００℃以上でのくり返し使用では、それ以下の温度域より耐熱衝撃性がよくなり表層クラックが発生せず、安定性も増す。
　【００１０】
　また炭化珪素焼結体のように複雑な精密加工が非常に困難であるセラミック部材に比べると、転化法は柔らかくて加工し易い炭素黒鉛の段階で複雑な精密加工が容易にでき、その後の炭化珪素転化によっても炭素黒鉛の時の形状をそのまま保ち寸法変化はほとんどないため、どのような形状にでも後加工を要することなく簡単につくり出すことができる利点がある。高温熱処理炉はバッチ炉から半連続式炉、連続式炉をさすもので、ホットプレス、熱間等方圧プレス（ＨＩＰ）、ＣＶＤ処理炉、核融合炉等についてもその範囲に入る。
　【００１１】
　またカーボン構造材とは高温熱処理炉の発熱体、反応容器、スリーブ、遮熱板、試料サポート、カーボンファイバーやカーボンフォームからなる断熱材など炉芯部を構成するものからなる
のであるが、本発明ではこのカーボン構造材の内、発熱体、反応容器、スリーブ、試料サポートの一部または全部を炭化珪素に転化した部品を炉芯部の一部または全部に用いて構成した高温熱処理炉のおいて、該炭化珪素がβ型炭化珪素を主成分としてなることを特徴とする高温熱処理炉である。
　【００１２】
　これらの炉芯部部品の炭化珪素転化については各部品の全体を炭化珪素に転化することもできるし、ＳｉあるいはＳｉＯガスがあたらないように部分的にマスクをして、その部分だけカーボン表面を残すこともできる。
　【００１３】
　一方、本発明のカーボン構造材の材質については制限はないが、転化反応のしやすさの点からはピッチ系炭素繊維が好ましく、熱膨張係数のマッチングの点からは等方性黒鉛材料をそれぞれ用いることが望ましい。
　【００１４】
　以下図面により本発明の実施例を説明する。
　【００１５】
　【実施例】
　図１は本発明の一実施例になる抵抗過熱式高温熱処理炉の縦断面図である。この図面において高温加熱容器１、サポート２、発熱体３、スリーブ４、遮熱板５を等方性黒鉛材料で加工作成したのち、転化処理（珪石粉と珪素粉を重量比で２：１で混合した粉末をＡｒ雰囲気で１９００℃、６０分間加熱）を行ない、表層をβ型炭化珪素に転化した。このようにして得られた炉芯部材からなる図１に示すような抵抗過熱式高温熱処理炉を用いてＡｌ２Ｏ３の成形体を１７００℃で常圧焼結した。この試料を分析した結果、カーボンは全く検出されなかった。
　【００１６】
　また、上記焼結作業を２５０回くり返し行ったが、クラック等の発生によるトラブルは認められなかった。
　【００１７】
　一方、図１に示す炉と同一寸法で黒鉛の炉芯部材からなる抵抗加熱高温熱処理炉を用いて同じ条件で得られたＡｌ２Ｏ３焼結体の分析を行なった結果、表層には０．２％のカーボンが検出された。また試料全体が灰色に変色していた。
　【００１８】
　図２は本発明の他の実施例である誘導加熱式高温熱処理炉の縦断面図である。高温加熱容器１、サポート２、遮熱板５を等方性黒鉛材料で断熱材６をピッチ系炭素繊維で加工したのち、転化処理を行なし表層をβ型炭化珪素に転化した。このようにして得られた炉芯部材からなる図２に示すような誘導加熱式高温熱処理炉を用いてＳｉ３Ｎ４の成形体を１８５０℃で常圧焼結した。この焼結体を分析した結果、カーボンは全く検出されなかった。
　【００１９】
　また、上記焼結作業を２７０回くり返し行ったが、クラック等の発生によるトラブルは認められなかった。
　【００２０】
　一方、図２に示す炉と同一寸法で未処理の炉芯部材からなる誘導加熱式高温熱処理炉を用いて同じ条件で得たＳｉ３Ｎ４焼結体の分析を行なった結果、０．０９％のカーボンが検出された。
　【００２１】
　【発明の効果】
　以上の説明からも明らかな如く、本発明の高温熱処理炉はカーボン雰囲気をつくらず、そのために焼結物質へのカーボンの混入を防止し、特にβ型炭化珪素の高温強度特性を生かし高品質の製品を長時間安定して生産することを可能にした産業上有用なものである。
【図面の簡単な説明】
　【図１】炉芯部をβ型炭化珪素に表層転化した部材で構築した抵抗加熱式高温熱処理炉を示す縦断面図である。
　【図２】炉芯部をβ型炭化珪素に表層転化した部材で構築した誘導加熱式高温熱処理炉を示す縦断面図である。
　【符号の説明】
　１　高温加熱容器　　　２　サポート　　　３　抵抗発熱体
　４　スリーブ　　　５　遮熱板　　　６　断熱材　　　７　誘導コイル