【事件の表示】
　特許第２９８６３２５号「静電チャック」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９８６３２５号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
 １．手続の経緯
　特許第２９８６３２５号の請求項１ないし２に係る発明は、平成５年１２月２０日に特許出願され、平成１１年１０月１日にその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人　柴崎喜江により特許異議の申立がなされ、平成１２年８月２３日に取消しの理由の通知がされ、その指定期間内である平成１２年１１月１日に訂正請求がされた後、平成１３年４月４日に再度取消しの理由がされ、その指定期間内である平成１３年６月１２日に意見書が提出されたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲を、『【請求項１】電極の両側を焼結体および／または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、前記電極が、アルミニウム、鉄、銅、銀、金、チタン、タングステン、モリブデン、白金などの金属、グラファイト、カーボン、炭化けい素、窒化チタン、炭化チタンなどのセラミックスあるいはこれらの混合物からなり、前記絶縁性誘電体層の主成分が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化けい素、酸化けい素、酸化ジルコニウム、酸化チタニウム、サイアロン、窒化ほう素、炭化けい素からなる群から選ばれた２種または３種以上の混合物からなり、前記電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０14Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆してなることを特徴とする静電チャック。』と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　段落番号【０００４】（特許第２９８６３２５号公報第３欄第２２行以下）中の「ピンを孔部を通して電極に銀ロウ付けする構造」（同上欄第３０〜３１行）を『ピンを孔部に挿入し、電極とピンとはネジの力で電気的接続を図り、ピンとリ一ド線とを銀ロウ付けする構造』と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　段落番号【０００６】（同上欄第４７行以下）中の「シリコーン樹脂で被覆して」（同第４欄第３〜４行）を『シリコーンゴムで被覆して』と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　段落番号【０００７】（同上欄第５行以下）中の「電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆すれば、」（同上欄第７行）を『電極給電部の周囲を特定の体積固有抵抗値を有するシリコーンゴムで被覆すれば、』と、訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　段落番号【０００８】（同上欄第１３行以下）中の「電極給電部３の周囲をシリコーン樹脂で被覆してなる」（同上欄第１９〜２０行）を『電極給電部３の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０14Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆してなる』と、訂正する。
カ．訂正事項ｆ
　段落番号【００１０】（同上欄第３６行以下）中の「炭化けい素あるいはこれらの混合物」（同上欄第４２行）を『炭化けい素からなる群から選ばれた２種または３種以上の混合物』と、訂正する。
キ．訂正事項ｇ
　段落番号【００１３】（同第５欄第１８行以下）中の「ピンを孔部を通して電極に銀ロウ付けするなどの構造」（同上欄第２６〜２７行）を『ピンを孔部に挿入し、電極とピンとはネジの力で電気的接続を図り、ピンとリ一ド線とを銀ロウ付けするなどの構造』と、訂正する。
ケ．訂正事項ｈ
　段落番号【００１９】（同第６欄第２８行以下）中の「周囲をシリコーン樹脂で」（同上欄第３３〜３４行）を『周囲を特定の物性を有するシリコーンゴムで被覆』と、また、「シリコーン樹脂被覆」（同上欄第３５行）を『シリコーンゴム被覆』と、それぞれ訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
ア．上記訂正事項ａは、特許明細書記載の【請求項１】と【請求項２】とを合体させ、また、【００１４】の記載に基づいて体積固有抵抗値を付し、合わせて実施例に基づいて「シリコーン樹脂」を「シリコーンゴム」と特定して【請求項１】と訂正したものであるので、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。また、上記訂正事項ａは、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
イ．上記訂正事項ｂ及びｇは、従来技術に関して、不正確な記載を従来技術の実状に合わせて訂正したものであって、明りようでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当するものである。また、上記訂正事項ｂ及びｇは、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
ウ．上記訂正事項ｃないしｆ及びｈは、【請求項１】の記載の一部に合わせたものであって、明りようでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。また、上記訂正事項ｃないしｆ及びｈは、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、「本件特許発明は、本件特許出願前に頒布された特開昭６３−９９１４８号公報、特開昭５８−１０３７８９号公報及び特開昭６０−２６１３７７号公報（甲第１号証〜甲第３号証）に基づいて容易に想到できた発明であるから、本件特許は特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、取り消されるべき旨」主張する。
（２）本件発明
　上記２．に記載したように、上記訂正が認められるので、本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。
【請求項１】　電極の両側を焼結体および／または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、前記電極が、アルミニウム、鉄、銅、銀、金、チタン、タングステン、モリブデン、白金などの金属、グラファイト、カーボン、炭化けい素、窒化チタン、炭化チタンなどのセラミックスあるいはこれらの混合物からなり、前記絶縁性誘電体層の主成分が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化けい素、酸化けい素、酸化ジルコニウム、酸化チタニウム、サイアロン、窒化ほう素、炭化けい素からなる群から選ばれた２種または３種以上の混合物からなり、前記電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０14Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆してなることを特徴とする静電チャック。
（３）引用例に記載された発明
　当審が平成１３年４月４日付けで通知した取消しの理由で引用した引用例１ないし８には、以下のような事項が記載されている。
(3-1)引用例１：特開昭６３−９９１４８号公報
　引用例１には、従来技術に関し、(a)「被処理物のドライエッチング等の真空処理を行う場合に、強制冷却した支持台上に誘電体膜で覆われた薄膜状電極を密着させ、上記支持台と被処理物との間に電位差を付与して上記被処理物を上記支持台上に静電固定する静電チャック装置が多く用いられている。」（１頁右下欄３行ないし８行）との記載及び(b)「第２図は従来の静電チャック装置を示したもので、・・・この電極部材３（すなわち支持台としての電極部材３）の上面には、誘電体膜４で被覆された薄膜状電極５が固着されている。上記電極部材３には、・・・高周波電極７が接続され、上記電極５には、高周波遮断回路８を介して直流電源９が接続されており、この高周波遮断回路８と電極５との間には、絶縁スペーサ10が介設されている。また、上記電極部材3の内部には、・・・冷却水の水配管12が設けられて」（１頁右下欄９行ないし20行）いるとの記載がある。そして、引用例１における、上記(a)の「強制冷却した支持台」、(b)の「電極部材３の内部には、冷却水の水配管２が設けられて」いるとの記載及び２頁左上欄３行ないし17行の記載によれば、電極部材３（支持台）と絶縁スペーサ10は冷却水の水配管12によって強制冷却されることが開示されている。
(3-2-1)引用例２：特開平４−１７０３７１号公報
(3-2-2)引用例３：特開平４−３０４９４２号公報
(3-2-3)引用例４：特開平４−３７２１５２号公報
(3-2-4)引用例５：特開平４−３６７２４７号公報
(3-2-5)引用例６：特開平４−３０４９４１号公報
　引用例２には、「シリコーン樹脂はその一部がＳｉＯ2、ＳｉＣ、Ｂ2Ｏ3となり、続く加熱でこれらが接合バインダーとして働いてセラミックス同志強固に接合される。」との記載がある。
　引用例３には、静電チャック基板を構成する絶縁性誘電体層がアルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、石英、窒化ほう素、サイアロンの混合物からなるセラミックスの焼結体あるいはこれらのセラミックスのプラズマによる溶射により作られたものであることが記載されている。
　引用例４には、基板がジルコニアを含むアルミナから作成したセラミック基板であることが記載されている。
　引用例５には、「被覆層５は、・・・これらの複合物であるムライト・・・などを用いる。」【００１３】との記載がある。
(3-3-1)引用例７：特開昭５８−１０３７８９号公報
　電気機器におけるリード線取出部は電気絶縁性能の信頼性の高いことが要求され、特に電気絶縁性能を高めるために樹脂封止する方法が採用されることは従来周知である（１頁左下欄14行ないし18行参照）。封止する樹脂として硬化後に可撓性若しくは弾性を有するシリコーン樹脂が開示されている。
(3-3-2)引用例８：「新版電気工学ハンドブック」、社団法人電気学会（昭和６３年２月２８日）発行、２４１頁ないし２４５頁
　シリコーンゴムは耐熱性及び耐寒性に優れ、電気特性にも優れていること、その体積抵抗率が１０14〜１０15Ωｃｍであること、シリコーンゴムが端末用の絶縁材料として使用されることは従来周知である。
（４）対比・判断
　本件発明と引用例１ないし８に記載の発明とを対比すると、引用例１ないし８には、本件発明を特定する事項である、電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０14Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆してなることについて記載されていない。
　すなわち、引用例１には、絶縁スペーサ１０の材料について記載されていない。
　給電部の電気絶縁破壊に関して、引用例７には、水中や高湿度雰囲気下で高温と低温が繰返して使用される電気機器において、電気絶縁性能を高めるために電気機器におけるリード線取出部を樹脂封止すること、及び樹脂封止に使用する注型樹脂として可撓性もしくは弾性を有するシリコーン樹脂を用い、硬化後に硬化樹脂内に独立気泡を生じさせることにより、樹脂は亀裂や剥離を起こさず、高温と低温に繰返し曝される場合にも優れた電気絶縁性を保持することができることが開示されている。しかしながら、上記電気機器は水中や高湿度雰囲気下で高温と低温が繰返して使用されるものであるのに対して、静電チャックは真空中に配置され、高電圧を印加した場合、この電極給電部に放電が発生しやすい状態で使用されるものであるので、引用例７記載の電気機器と引用例１記載の静電チャックとは同一又は互いに関連する技術分野に属するものであるとはいえない。
　さらに、引用例７記載のリード取出部において用いられる樹脂の体積抵抗については何ら記載されていない。また、引用例８の上記記載によれば、シリコーンゴムは可撓性及び弾性を有し、耐熱性及び耐寒性に優れ、電気特性にも優れていて、機器絶縁、端末用の絶縁材料として使用され、その体積抵抗率が１０11〜１０15Ωｃｍであることは従来周知であることが認められるが、真空中に配置され、高電圧が印加され、高温に加熱された後に強制冷却されるような静電チャックにおいて、その電極給電部を被覆する絶縁スペーサに、特に、体積抵抗率が１０14Ωｃｍ以上のシリコーンゴムを用いることについては示唆さえされていない。
　そして、本件発明は、訂正明細書の記載によれば、上記電極給電部の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０14Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆することにより、熱膨張率差による応力が吸収され、耐電圧も高められ放電現象も起こらなくなり、長寿命で高性能となるという効果を奏することが認められる。
　したがって、引用例１記載の静電チャックに関する発明に引用例７記載の電気機器における電極給電部に関する事項及び引用例８記載のシリコーンゴムの性質及びその用途に関する一般的な記載事項を容易に適用しうることであるとはいえないので、本件発明が引用例１ないし８に記載のものに基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明に係る特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月３日（２００１．８．３）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲を、『【請求項１】電極の両側を焼結体および／または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、前記電極が、アルミニウム、鉄、銅、銀、金、チタン、タングステン、モリブデン、白金などの金属、グラファイト、カーボン、炭化けい素、窒化チタン、炭化チタンなどのセラミックスあるいはこれらの混合物からなり、前記絶縁性誘電体層の主成分が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化けい素、酸化けい素、酸化ジルコニウム、酸化チタニウム、サイアロン、窒化ほう素、炭化けい素からなる群から選ばれた２種または３種以上の混合物からなり、前記電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０１４Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆してなることを特徴とする静電チャック。』と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　段落番号【０００４】（特許第２９８６３２５号公報第３欄第２２行以下）中の「ピンを孔部を通して電極に銀ロウ付けする構造」（同上欄第３０〜３１行）を『ピンを孔部に挿入し、電極とピンとはネジの力で電気的接続を図り、ピンとリ一ド線とを銀ロウ付けする構造』と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　段落番号【０００６】（同上欄第４７行以下）中の「シリコーン樹脂で被覆して」（同第４欄第３〜４行）を『シリコーンゴムで被覆して』と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　段落番号【０００７】（同上欄第５行以下）中の「電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆すれば、」（同上欄第７行）を『電極給電部の周囲を特定の体積固有抵抗値を有するシリコーンゴムで被覆すれば、』と、訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　段落番号【０００８】（同上欄第１３行以下）中の「電極給電部３の周囲をシリコーン樹脂で被覆してなる」（同上欄第１９〜２０行）を『電極給電部３の周囲を常温における体積固有抵抗が１×１０１４Ωｃｍ以上のシリコーンゴムで被覆してなる』と、訂正する。
カ．訂正事項ｆ
　段落番号【００１０】（同上欄第３６行以下）中の「炭化けい素あるいはこれらの混合物」（同上欄第４２行）を『炭化けい素からなる群から選ばれた２種または３種以上の混合物』と、訂正する。
キ．訂正事項ｇ
　段落番号【００１３】（同第５欄第１８行以下）中の「ピンを孔部を通して電極に銀ロウ付けするなどの構造」（同上欄第２６〜２７行）を『ピンを孔部に挿入し、電極とピンとはネジの力で電気的接続を図り、ピンとリ一ド線とを銀ロウ付けするなどの構造』と、訂正する。
ケ．訂正事項ｈ
　段落番号【００１９】（同第６欄第２８行以下）中の「周囲をシリコーン樹脂で」（同上欄第３３〜３４行）を『周囲を特定の物性を有するシリコーンゴムで被覆』と、また、「シリコーン樹脂被覆」（同上欄第３５行）を『シリコーンゴム被覆』と、それぞれ訂正する。
（５４）【発明の名称】
静電チャック
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　電極の両側を焼結体および／または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおい
て、前記電極が、アルミニウム、鉄、銅、銀、金、チタン、タングステン、モリブデン、白金などの金属、グラファイト、カーボン、炭化けい素、窒化チタン、炭化チタンなどのセラミックスあるいはこれらの混合物からなり、前記絶縁性誘電体層の主成分が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化けい素、酸化けい素、酸化ジルコニウム、酸化チタニウム、サイアロン、窒化ほう素、炭化けい素からなる群から選ばれた２種または３種以上の混合物からなり、前記電
を常温における体積固有抵抗が１×１０１４Ωｃｍ以上のシ
ンゴムで
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本願発明は静電チャック、特には導電性、半導電性または絶縁性の対象物を強く静電的に吸着保持し、容易に脱着することができることから、半導体や液晶の製造プロセスなどに有用とされる静電チャックに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体や液晶の製造プロセス、半導体装置のドライエッチング、イオン注入、蒸着などの工程については近年その自動化、ドライ化が進んでおり、したがって真空条件下で用いられる製造も増加してきている。また、基板としてのシリコンウェハーやガラスなどはその大口径化が進み、回路の高集積化、微細化に伴ってパターニング時の位置精度も益々重要視されてきている。そのため、基板の搬送や吸着固定には真空チャックが使用されているが、このものは真空条件下では圧力差がないために使用できず、これはまた非真空下で基板を吸着できたとしても吸着部分が局部的に吸引されるために、基板に部分的な歪が生じ、高精度な位置合わせができないという不利があり、したがってこの真空チャックは最近の半導体、液晶の製造プロセスには不適なものとされている。
　【０００３】
　この欠点を改善したものとして静電気力を利用して、基板を搬送したり、これを吸着固定する静電チャックが注目され、使用されはじめているが、最近の半導体や液晶の製造プロセスでは微細化に伴って基板であるウェハーやガラス板の平坦度が重要となってきていることから、その矯正に静電チャックの吸着力を利用する事も検討されてきている。この静電チャックは一般に電極の両側を焼結体などのセラミックスで被覆してつくられており、静電チャックに静電力を発揮させるにはこの内部の電極に電圧を印加する手段が必要であるが、これは被覆するセラミックスの一部に外部から電極まで通じる電極給電部を設け、この電極給電部へ外部の電源からリード線等を配設することにより実現している。
　【０００４】
　そして、この電極給電部は、銅、白金、ニッケルメッキや金メッキを施したタングステンなどのように半田付けが可能な材料を電極とした場合には、セラミックスに電極まで開孔した孔部を通して静電チャック使用温度以上の融点をもつ半田により電極にリード線を半田付けし、この電極がグラファイト、タングステン、窒化チタンなどのように半田付けができないものであるときには、セラミックスの熱膨張率にあった合金などでネジ部をもつピンを孔
部に挿入し、電極とピンとはネジの力で電気的接続を図り、ピンとリード線とを銀
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、この静電チャックを半導体のドライエッチングプロセスなどに使用すると、この使用温度が−１００℃から２００℃の範囲が一般的であるために、この静電チャックには常温と使用温度との温度サイクルが頻繁にかかり、この温度サイクルは上記した半田付け、銀ロウ付けをした電極給電部にもかかるので、静電チャックの電極と半田、銀ロウとの熱膨張率の違いや、ピンとセラミックスとの熱膨張率の違いによって熱応力が発生するために、ここにクラックが生じ易く、安定性にかけるものになるという問題点が発生し、これにはまた静電チャックに静電気をかけるにはＤＣ５００ＶからＤＣ２ＫＶ位の高電圧を印加するのであるが、真空中にこの静電チャックを配置すると、この電極給電部に放電が発生するという問題点が発生する。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明はこのような不利、問題点を解決した静電チャックに関するものであり、これは電極の両側を焼結体および／または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコー
ンゴム
　【０００７】
　すなわち、本発明者らは前記したような不利を伴わない静電チャックを開発すべく検討した結果、電極給電部の周囲
を特定の体積固有抵抗値を有するシ
ンゴムで
　【０００８】
　【作用】
　本発明は静電チャックに関するものであり、これはその縦断面図としての図１に示したように電極１の両面を焼結体および／または溶射セラミックスからなる絶縁性誘電体層２で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部３の周囲
を常温における体積固有抵抗が１×１０１４Ωｃｍ以上のシ
ンゴムで
　【０００９】
　本発明の静電チャックを構成する電極は、アルミニウム、鉄、銅、銀、金、チタン、タングステン、モリブデン、白金などの金属、グラファイト、カーボン、炭化けい素、窒化チタン、炭化チタンなどのセラミックスあるいはこれらの混合物で作られたものとすればよいが、この形成はスクリーン印刷法、溶射法、フォトリソグラフィーあるいはメッキなどで行えばよい。また、この電極の形式は電極の一方を吸着される基板にとり、もう一方を静電チャック内に構成する単極型のものとすればよいが、これは内部に二つの電極を対向させる双極式のものであってもよい。
　【００１０】
　また、このチャック機能部の絶縁性誘電体層はセラミックスであり、これは焼結体またはプラズマによる溶射により作製した混合物であればよいが、具体的には主成分のセラミックスとして酸化アルミニウム（アルミナ）、窒化アルミニウム、窒化けい素、酸化けい素、酸化ジルコニウム、酸化チタニウム、サイアロン、窒化ほう素、炭化けい
素からなる群から選ばれた２種または３種以上の
　【００１１】
　さらにウェハーの温度が２０℃以上の時の混合物の体積固有抵抗値は１×１０１２Ωｃｍ以上程度であればウェハーに流れるリーク電流も小さく、ウェハー上に描かれた回路を破壊することもない。以上のように最適な体積固有抵抗値を採用すれば、微少なリーク電流が絶縁体とウェハー間に流れ、ジョンセン・ラーベック効果により静電力が強く発生し、良好な吸着保持状態となり、応答特性の良好なチャック機能部が得られる。
　【００１２】
　また、このものの静電力は一般にｆ＝Ａε（Ｅ／ｔ）２（ここでｆ：静電力、ε：誘電率、Ｅ：電圧、ｔ：厚さ、Ａ：定数）で表されるので、この絶縁体中には高誘電体のセラミックス粉末、例えばチタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコニウム、ＰＬＺＴなどを半導体デバイスに影響しない程度であれば混入してもかまわない。しかし、この静電チャックに静電力を発揮させるには内部の電極に電圧を印加する手段が必要であるため、被覆するセラミックスの一部に外部から電極まで通じる電極給電部を設け、この電極給電部へ外部の電源からリード線等を配設することが必要とされる。
　【００１３】
　この電極給電部の構造は電極を銅、白金、タングステンにニッケルメッキや金メッキをほどこしたような半田付け可能な材質のものとした場合には、セラミックスに電極まで開孔した孔部を通して静電チャック使用温度以上の融点をもつ半田により電極にリード線を半田付けすればよく、またこれをグラファイトやタングステン、窒化チタンなど半田付け不可能な電極材質のものとした場合には、セラミックスの熱膨張率にあった合金等でネジ部を持つピンを孔
部に挿入し、電極とピンとはネジの力で電気的接続を図り、ピンとリード線とを銀
　【００１４】
　本発明の静電チャックではこの電極給電部の周辺がシリコーン樹脂で被覆され、これによって温度差が吸収され、放電を起さないようにされる。このシリコーン樹脂はゴム状、ワニス状のいずれも採用することができるが、熱膨張率を緩和することからはシリコーンゴムを採用することがよく、このシリコーンゴムとしては一液性または二液性の室温硬化性ゴムとすることが好ましい。なお、このシリコーンゴムの被覆で放電の発生を防止するためには、このものを常温における体積固有抵抗が１×１０１４Ωｃｍ以上のものとすることがよい。
　【００１５】
　【実施例】
　つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例
　酸化アルミニウム粉末９６重量％とシリカ粉末３重量％およびマグネシア１重量％からなる混合物１００重量部に、ブチラール樹脂８重量部、エタノール６０重量部およびフタル酸ジオクチル１２重量部を添加した後、ボールミル中で５０時間混練してスラリーを作製した。
　【００１６】
　ついで、このスラリーを真空脱泡機で処理してその溶剤の一部を飛散させ、粘度３０，０００センチポイズのものとし、このスラリーからドクターブレードを用いて厚さ０．７ｍｍのグリーンシートを作り、このグリーンシートから直径が１８０ｍｍφの円盤を２枚切り出し、このグリーンシート円盤１枚にタングステンペーストを用いてスクリーン印刷で双極型電極を２．５ｍｍの間隔で同心円状に印刷した。また残る１枚のグリーンシート中心部に２カ所φ２ｍｍの孔をあけ電極給電部とした。
　【００１７】
　また、この印刷したグリーンシートの印刷面上に電極給電部を設けたもう一枚のグリーンシートを重ね合わせ、１００℃に加熱したプレスで８０ｋｇ／ｃｍ２の圧力をかけて一体化し、その後、水素２５％、窒素７５％の雰囲気ガス中で、１，６３０℃の温度で焼結したところ、焼結体が得られたので、この焼結体の両面を研磨して厚さ１ｍｍのものを作製し、この電極給電部から覗いているタングステン電極にニッケルメッキおよび金メッキをほどこし、これにリード線を２本融点３００度の半田で半田付けした。
　【００１８】
　つぎに、この電極給電部の半田付け部分のまわりに、常温での体積固有抵抗が１×１０１５Ωｃｍである二液性のシリコーンゴム・ＫＥ１２０４［信越化学工業（株）製商品名］を注ぎ込み、１５０℃で１０分間キュアーして静電チャックを作成し、これをドライエッチング装置に取り付け、常温と１５０℃との温度サイクルがあるドライエッチング工程での耐久性をしらべたところ、このものは１，０００時間を超えても電極給電部にはクラックが発生せず、ここには放電現象も発生しない良好なものであった。
　【００１９】
　【発明の効果】
　本発明は静電チャックに関するものであり、これは前記したように、電極の両側を焼結体および／または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲
を特定の物性を有するシ
ンゴムで
ンゴム被
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の静電チャックの一例の縦断面図を示したものである。
　【符号の説明】
１　電極
２　絶縁性誘電体層
３　電極給電部
４　シリコーン樹脂層