(57)【要約】  多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる多層情報記録媒体製造方法、多層情報記録媒体製造装置及び多層情報記録媒体を提供する。多層情報記録媒体製造装置（１）は、少なくとも３つの情報記録層を形成するスパッタリング装置（３）と、スクリーン印刷により第１の中間層を形成するとともに、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層を形成するスクリーン印刷機（４）と、第２の中間層を形成した後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するスピンコート装置（５）とを備える。
2010103853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法であって、
基板上に第１の情報記録層を形成する第１の情報記録層形成ステップと、
前記第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層を形成する第１の中間層形成ステップと、
前記第１の中間層上に第２の情報記録層を形成する第２の情報記録層形成ステップと、
前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、前記第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層を形成する第２の中間層形成ステップと、
前記第２の中間層上に第３の情報記録層を形成する第３の情報記録層形成ステップと、
前記第３の情報記録層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成ステップとを含むことを特徴とする多層情報記録媒体製造方法。
【請求項２】
前記第２の中間層形成ステップは、
前記第２の中間層を形成する前に、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定する測定ステップと、
前記測定ステップにおいて測定された前記厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことを特徴とする請求項１記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項３】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布する塗布方向が、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とは異なることを特徴とする請求項１又は２記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項４】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルが、前記樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転することを特徴とする請求項３記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項５】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板保持テーブルが回転することを特徴とする請求項４記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項６】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板保持テーブルが回転することを特徴とする請求項５記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項７】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板保持テーブルが回転することを特徴とする請求項５記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項８】
前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して前記基板を載置する方向を、前記第１の中間層形成ステップと、前記第２の中間層形成ステップとで異ならせることを特徴とする請求項３記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項９】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることを特徴とする請求項８記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１０】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることを特徴とする請求項８記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１１】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることを特徴とする請求項５記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１２】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きが、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１３】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの移動速度が、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１４】
前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する前記多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成され、
前記第２の中間層形成ステップは、前記基準領域に基づいて、前記多層情報記録媒体の現在の配置位置を認識する認識ステップと、
前記認識ステップにおいて認識された前記多層情報記録媒体の現在の配置位置と、前記第１の中間層を形成した際の前記多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、前記多層情報記録媒体を回転させる配置位置変更ステップと、
前記配置位置変更ステップにおいて回転された前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことを特徴とする請求項１記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１５】
前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層が形成される領域よりも内周側に前記基準領域が形成されることを特徴とする請求項１４記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１６】
少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置であって、
少なくとも３つの情報記録層を形成する情報記録層形成部と、
スクリーン印刷により第１の中間層を形成するとともに、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層を形成する中間層形成部と、
前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成部とを備えることを特徴とする多層情報記録媒体製造装置。
【請求項１７】
少なくとも３つの情報記録層と、
前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、
光入射面を有するカバー層とを備え、
前記複数の中間層は、スクリーン印刷により形成された第１の中間層と、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により形成された第２の中間層とを含み、
前記カバー層は、前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法により形成されることを特徴とする多層情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも３つの情報記録層と、前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、光入射面を有するカバー層とを含む多層情報記録媒体、当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法及び当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器及び映像音響機器等が必要とされる情報量の拡大化に伴い、データアクセスの容易さ、大容量データの蓄積及び機器の小型化に優れている光ディスクなどの情報記録媒体が注目されている。このような光ディスクは、記録情報の高密度化がなされている。例えば、光ディスクの高密度化の手段として、２５ＧＢ程度の記録容量を有する単層の光記録媒体及び５０ＧＢ程度の記録容量を有する２層の光記録媒体が提案されている。これらの光記録媒体は、レーザ光の波長を約４００ｎｍとするとともに、レーザ光を絞り込むための集光レンズの開口数（以下、「ＮＡ」とも言う）を０．８５とした再生ヘッドによって情報が記録又は再生される。また、３つ以上の情報記録層を有する多層情報記録媒体も提案されている。【０００３】
図１９は、従来の多層情報記録媒体を示す断面図である。図１９に示す多層情報記録媒体は、片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が転写形成された信号基板２０１と、信号基板２０１の凹凸形状の情報面上に配置された第１薄膜層２０２と、第１薄膜層２０２と接着している面とは反対の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が転写形成された中間層２０３と、中間層２０３の凹凸形状の情報面上に配置された第２薄膜層２０４と、中間層２０３に対向配置された透明基板２０６と、第２薄膜層２０４と透明基板２０６とを貼り合わせるために設けられた透明層２０５とにより構成されている。【０００４】
信号基板２０１には、スタンパを用いた射出圧縮成形等により、片面にピット又は案内溝が転写形成されている。このように、情報面に薄膜層が形成されることで情報記録層が形成されている。信号基板２０１の厚みは１．１ｍｍ程度である。第１薄膜層２０２及び第２薄膜層２０４は、記録膜及び反射膜を含む。記録膜及び反射膜は、信号基板２０１及び中間層２０３のピット又は案内溝が形成された面側にスパッタリング又は蒸着等の方法により形成される。【０００５】
中間層２０３は、光硬化性樹脂を用いたスピンコート法によって形成される。すなわち、信号基板２０１のように片面にピット又は案内溝が形成された転写基板が、情報面が信号基板２０１と対向するように光硬化性樹脂を介して貼り合わされる。そして、光硬化性樹脂の光硬化後に転写基板が光硬化性樹脂との界面から剥離されることによって、中間層２０３が形成される。【０００６】
透明基板２０６は、記録再生光に対して透過性を有する透明な材料からなり、厚みが０．１ｍｍ程度である。透明層２０５は、２枚の基板２０６，２０７を互いに接着するために設けられており、光硬化性樹脂又は感圧接着剤等の接着剤から形成されている。透明基板２０６と透明層２０５とを合わせてカバー層ともいう。透明基板２０６を貼り付けることなく透明層２０５を硬化させることのみでカバー層を形成することもある。このような多層情報記録媒体への情報の記録又は再生は、透明基板２０６側から記録レーザ光又は再生レーザ光を入射することによって行われる。【０００７】
このような多層情報記録媒体においては、中間層及びカバー層は、紫外線硬化樹脂などを用いてスピンコート法により作製されることが多い（例えば、特許文献１参照）。【０００８】
しかしながら、隣接する情報面を分離するための透明な中間層及びカバー層をスピンコート法によって形成した場合、周方向の細かな膜厚変動、及び半径方向の大きな膜厚変動が発生する。特に、複数の情報記録層及び複数の中間層を積層する際には膜厚変動の足し合わせにより、膜厚変動が大きくなりやすいという課題がある。また、スピンコート法により紫外線硬化樹脂を塗布した場合、被塗布基板の外縁部まで樹脂が行き渡る。そのため、スピン回転を停止させて光照射によって樹脂を硬化させる時に被塗布基板の外縁部において、表面張力により樹脂が盛り上がり、膜厚が厚く構成されてしまう。【０００９】
この膜厚変動により、レーザを用いて多層情報記録媒体に信号を記録又は再生する際に、球面収差が発生し、光スポットの絞りの変動、情報面上に光スポットを集光させるフォーカス制御、及び信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御に影響を与えるおそれがある。また、スピンコート法では、塗布厚みの均一性を実現するための条件の制御が複雑であり、１層ずつスピンコートを実施するのでタクト時間の短縮が困難である。【００１０】
一方で、記録容量を増やすために情報記録層を多層化し、樹脂層を複数積層する場合には、高い厚み精度が要求される。これには、以下のような理由からである。すなわち、再生機が多層情報記録媒体の信号を再生するには、予め再生機本体が、多層情報記録媒体中の各層の位置を把握する必要がある。この各層の位置ずれは、樹脂層の厚み分布に起因する。また、樹脂層の層数が多いほど、高い精度での位置情報が必要になる。そのため、多層情報記録媒体では各樹脂層の厚み精度を高める必要がある。【００１１】
また、樹脂層を形成するプロセスに特有の厚み変動があると、樹脂層を形成するごとに厚み変動が加算される。そのため、多層情報記録媒体の表面から、最も奥の情報記録層までの厚みばらつきは大きくなり、フォーカス制御が困難になり、信号品質が劣化するおそれがある。【００１２】
図２０は、従来の光ディスク用信号基板を示す図であり、図２１は、図２０に示す光ディスク用信号基板の２１−２１線断面図であり、図２２は、樹脂層の厚み分布について説明するための図である。【００１３】
光ディスク用信号基板にスクリーン印刷で樹脂層を形成する場合、基板の形状に応じて厚み分布が発生するおそれがある。例えば、光ディスク用信号基板３００には、図２０に示すように、中心部に凸形状のリブ３０１が設けられている。リブ３０１は、光ディスクをテーブル又は床などの平らな面においた場合に、テーブル又は床と光ディスクとが面で接触し、手でとりにくくなる不具合を防止するために設けられている。光ディスクの内周部分に突起部があれば、テーブル面と光ディスク面との間に間隙ができ、手で光ディスクをとりやすくなる。【００１４】
このリブ３０１は光ディスクの表面よりも突出していることでその効果を発揮する。そのため、基板の状態では、リブ３０１は、形成する樹脂層の厚みよりも大きく突出している。このリブ３０１が、スクリーン印刷で樹脂層を形成する際に、大きな影響を及ぼす。【００１５】
図２１に示すリブ３０１は、光ディスク用信号基板３００の半径１８ｍｍ〜２０ｍｍの位置に、情報面３０２から高さ０．２ｍｍ突出させて形成される。この基板上の情報面３０２には０．１ｍｍの樹脂層が形成される。そのため、完成した光ディスクには、０．１ｍｍの突起が形成される。【００１６】
図２２に示すように、内周部にリブ３０１がある光ディスク用信号基板３００にスクリーン印刷を実施する場合には、スキージ４０１がリブ３０１に接触する範囲だけ、樹脂層の厚みが大きくなる現象が生じる。この現象はリブ３０１に近い内周部に特に、発生しやすくなる。【００１７】
したがって、図２２に示すように光ディスク用信号基板３００の内周部分の楕円形状の領域４０３が他の領域に比べて、樹脂層の厚みが大きくなる。なお、図２２において、スキージ４０１は、矢印４０２に示す方向へ摺動する。【００１８】
樹脂層に生じる厚み分布は、スキージ４０１が例えばゴムなどの柔らかい材質でできていることに起因する。図２３は、スキージが光ディスク用信号基板の中心部を通過する際のスキージ及び光ディスク用信号基板を示す図であり、図２４は、図２３に示すスキージ及び光ディスク用信号基板の２４−２４線断面図である。図２３において、スキージ４０１は、矢印４０２に示す方向へ摺動する。【００１９】
図２４に示すように、スキージ４０１がリブ３０１に接触する際に、スキージ４０１がリブ３０１に押し上げられる。そのため、リブ３０１の周辺部分のスキージ４０１と光ディスク用信号基板３００との間には、間隙４０４が形成される。このとき、リブ３０１の周辺部分のスキージ４０１と光ディスク用信号基板３００との間隔が他の部分よりも大きくなるため、形成される樹脂層の厚みが大きくなる。この現象は、当然ながら、リブ３０１に近い領域４０３で顕著になり、リブ３０１から遠い領域では、樹脂層の厚みは一定となる。また、樹脂層の厚みが厚くなる領域４０３は、スキージ４０１がリブ３０１と接触する範囲でのみ発生する。【００２０】
このように、スクリーン印刷により形成された樹脂層は、スキージの移動方向に沿って、ディスク端部では厚みが小さく、ディスク内周部では厚みが大きくなるという厚みばらつきが発生する。このため、特に、複数の情報記録層を有する多層情報記録媒体の複数の樹脂層をスクリーン印刷により形成する場合、厚みばらつきが大きくなるという課題が発生する。すなわち、ディスク内周部において、複数の樹脂層の厚みが最も厚くなる領域が重複した場合、全体として厚みばらつきが累積される。そして、樹脂層上にカバー層が形成されると、ディスク表面から最も奥の情報記録層までの厚みばらつきが大きくなり、多層情報記録媒体に情報を記録又は再生する際の信号品質に大きな影響を与えるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２１】
【特許文献１】特開２００５−２５９３３１号公報
【発明の概要】
【００２２】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる多層情報記録媒体製造方法、多層情報記録媒体製造装置及び多層情報記録媒体を提供することを目的とするものである。
【００２３】
本発明の一局面に係る多層情報記録媒体製造方法は、少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法であって、基板上に第１の情報記録層を形成する第１の情報記録層形成ステップと、前記第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層を形成する第１の中間層形成ステップと、前記第１の中間層上に第２の情報記録層を形成する第２の情報記録層形成ステップと、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、前記第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層を形成する第２の中間層形成ステップと、前記第２の中間層上に第３の情報記録層を形成する第３の情報記録層形成ステップと、前記第３の情報記録層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成ステップとを含む。
【００２４】
この構成によれば、基板上に第１の情報記録層が形成され、第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層が形成される。次に、第１の中間層上に第２の情報記録層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層上に第３の情報記録層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【００２５】
本発明によれば、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【００２６】
本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本実施の形態における樹脂層形成工程について説明するための図である。
【図２】本実施の形態における信号転写工程について説明するための図である。
【図３】本実施の形態におけるスピンコート工程について説明するための図である。
【図４】本実施の形態における４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を示断面図である。
【図５】本実施の形態における多層情報記録媒体の記録膜の構成を示す図である。
【図６】本実施の形態における光ディスク装置の概略構成を示す図である。
【図７】（Ａ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行っていない多層情報記録媒体の構成を示す図であり、（Ｂ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行った多層情報記録媒体の構成を示す図である。
【図８】実施の形態１における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。
【図９】実施の形態１における多層情報記録媒体製造処理の動作の一例を示す図である。
【図１０】実施の形態１における樹脂層形成工程の一例を示す図である。
【図１１】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図である。
【図１２】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図である。
【図１３】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図である。
【図１４】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図であり、（Ｃ）は、樹脂層が形成された信号基板を示す図である。
【図１５】実施の形態２における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。
【図１６】実施の形態２の変形例における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。
【図１７】実施の形態３における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。
【図１８】スクリーンのパターンと、当該スクリーンを用いて樹脂層を形成した信号基板とを示す図である。
【図１９】従来の多層情報記録媒体を示す断面図である。
【図２０】従来の光ディスク用信号基板を示す図である。
【図２１】図２０に示す光ディスク用信号基板の２１−２１線断面図である。
【図２２】樹脂層の厚み分布について説明するための図である。
【図２３】スキージが光ディスク用信号基板の中心部を通過する際のスキージ及び光ディスク用信号基板を示す図である。
【図２４】図２３に示すスキージ及び光ディスク用信号基板の２４−２４線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
【００２９】
本実施の形態では、ディスク形状の多層情報記録媒体の構造例について説明するが、製造される多層情報記録媒体としては、ディスク形状に限定されるものではなく、中間層（以下、「樹脂層」とも言う）を高速に形成することができ、かつ樹脂層の厚みを均一に形成することできる多層情報記録媒体製造方法及び多層情報記録媒体製造装置を提案するものである。
【００３０】
多層情報記録媒体を製造する工程及び多層情報記録媒体に情報を記録する工程は、複数のプロセスにまたがっているため、それぞれのプロセスについて、図を用いて説明する。
【００３１】
まず、図１を用いて樹脂を塗布する工程について説明する。図１は、本実施の形態における樹脂層形成工程について説明するための図である。
【００３２】
樹脂層の形成方法には、粘着性シートを貼り付ける方法、遠心力により樹脂を延伸するスピンコート法、ノズルで樹脂を押し出す方法、及びインクジェット工法等があげられるが、本実施の形態では、樹脂形成速度が早いスクリーン印刷工法により樹脂層が形成される。なお、スクリーン印刷工法は、樹脂層の形成方法の一例であり、本発明はこれに限定されない。
【００３３】
まず、表面に第１薄膜層１０２を有する信号基板１０１が、真空吸着などの手段によって、ターンテーブル１０３に固定される（図１の第１工程参照）。
【００３４】
次に、信号基板１０１の上方に、スクリーン枠１０６が固定され、紫外線硬化樹脂１０５がスクリーン１０４の穴が開いていない部分に供給される。そして、スクレッパー１０７が矢印Ｙ１の方向へ摺動されることにより、スクリーン１０４に形成された穴に紫外線硬化樹脂１０５が充填される（図１の第２工程参照）。
【００３５】
次に、スキージ固定治具１０８により固定されたスキージ１０９が、スクリーン１０４の上部に圧力を加えながら、矢印Ｙ２に示す方向へ摺動されることにより、孔板（スクリーン）１０４の開口部から紫外線硬化樹脂１０５が信号基板１０１へ押し出される（図１の第３工程参照）。
【００３６】
上記の動作、いわゆるスクリーン印刷によって、紫外線硬化樹脂１０５が塗布された信号基板１０１が得られる（図１の第４工程参照）。また、信号基板１０１を入れ替え、図１の第１工程から第４工程までを繰り返すことによって、表面に樹脂層を形成した信号基板１０１が複数作製される。信号基板１０１を設置する時間と、スクレッパー１０７がスクリーン１０４上を摺動する時間と、スキージ固定治具１０８がスクリーン１０４上を摺動する時間との和が、スクリーン印刷による樹脂形成のタクト時間に相当する。そのため、タクト時間の短縮は比較的容易である。
【００３７】
ここで、スキージ１０９には、例えば、ゴムのように弾力性に富んだ材質の材料が選択される。スキージ１０９の弾力性を高めることにより、信号基板１０１の厚み変動が存在していても、厚み変動に関係なく、紫外線硬化樹脂１０５を第１薄膜層１０２上に形成できる。また、スキージ１０９の弾力性を高めることにより、印刷時にスクリーン１０４が第１薄膜層１０２に与える物理的な負荷を吸収することができる。
【００３８】
ひきつづき、スクリーン印刷後の工程について図２を用いて説明する。図２は、本実施の形態における信号転写工程について説明するための図である。
【００３９】
まず、紫外線硬化樹脂１０５が形成された信号基板１０１がテーブル台１５１の上に載置される（図２の第１工程参照）。
【００４０】
次に、信号基板１０１の上方から、転写基板１５２が押し付けられ、紫外線硬化樹脂１０５に案内溝が形成される（図２の第２工程参照）。なお、転写基板１５２は、記録すべき情報に応じた凹凸部を有する。この後、転写基板１５２の上方から紫外線照射機１５３により紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂１０５が硬化される（図２の第３工程参照）。その後、転写基板１５２が紫外線硬化樹脂１０５から剥離される（図２の第４工程参照）。
【００４１】
図２の第１工程から第４工程を経ることによって、信号基板１０１上に、転写基板１５２の凹凸部を反転させた凹凸部を有する紫外線硬化樹脂１０５の層が形成される。また、この紫外線硬化樹脂１０５の特性は、あらかじめ、転写基板１５２と剥離性の高いものを選択することにより、良好な剥離性を維持することができる。
【００４２】
図２に示す信号転写工程の後、スパッタリング装置などの薄膜作成装置によって、信号記録層（情報記録層）が成膜される。
【００４３】
図１に示す樹脂塗布工程、図２に示す信号転写工程、及び成膜工程が繰り返されることによって、多層情報記録媒体の情報記録層が形成される。また、情報記録層の成膜後に透明層（カバー層）が作成されることによって、多層情報記録媒体が完成する。
【００４４】
ここで、図３を用いてスピンコート法により透明層を形成する工程について説明する。図３は、本実施の形態におけるスピンコート工程について説明するための図である。
【００４５】
多層情報記録媒体の光入射面側の樹脂層（透明層）は、表面に信号案内溝を形成する必要が無い。ただし、透明層は、表面に露出しているので、ユーザが手で触ったり、異物と接触したりすることが想定される。このため、透明層には、指紋などに含まれる油脂が付着しにくいような耐撥油性、及び擦っても傷が付きにくいような耐磨耗性が求められる。また、透明層は、信号を安定に再生するために、表面が平滑であることも必要である。これらの目的を満たすため、光入射面側の透明層は、スピンコート法で形成される。
【００４６】
まず、信号基板１０１が回転テーブル２１上に載置される（図３の第１工程参照）。なお、信号基板１０１上には、樹脂層及び薄膜層が形成されている。中心穴２２が円錐形状のキャップ２３で塞がれ、キャップ２３上に紫外線硬化樹脂２４がノズル２５から例えば１．５ｇ滴下される。
【００４７】
次に、信号基板１０１は、約２秒間で約３５００回転まで加速され、この回転数が約７秒間維持される。これにより、紫外線硬化樹脂２４が延伸される（図３の第２工程参照）。
【００４８】
なお、キャップ２３には取り付け及び取り外しが容易なように軸２３ａが設けられている。この軸２３ａに紫外線硬化樹脂２４が付着しないように、紫外線硬化樹脂２４が滴下されることによって、キャップ２３の取り外しが容易となる。また、紫外線硬化樹脂２４を吐出するノズル２５は、ディスク表面に対して９０度以内の角度で傾けて配置される。これにより、紫外線硬化樹脂２４をキャップ２３の近くで吐出させることが可能になり、紫外線硬化樹脂２４に気泡が混入することを防ぐことができる。
【００４９】
次に、キャップ２３が取り外された後、紫外線照射機（図示せず）により紫外線が照射される（図３の第３工程参照）。これにより、紫外線硬化樹脂２４が硬化され、透明層の形成が完了する。
【００５０】
スピンコート法は、半径方向及び周方向に均一な厚みの樹脂層を形成することができる。また、スピンコートの条件を変えることによって、周方向の厚み分布は均一なままで、径方向の厚み分布のみを変えることも可能である。
【００５１】
中間層（樹脂層）をスクリーン印刷で形成する場合には、リブ（図２１）などの影響により、内周部の厚みが大きくなる傾向にある。そのため、スピンコート法で透明層（カバー層）を形成する際には、内周部を薄く、外周部を厚くなるように透明層を形成することが好ましい。内周部が薄く、外周部が厚くなるような厚み分布を形成するための具体的なスピンコートの条件としては、図３のノズル２５の吐出口を軸２３ａから離し、軸２３ａから離れた地点から紫外線硬化樹脂２４を滴下する。これにより、外周部の厚みが大きくなる厚み分布を有する中間層を形成することが可能になる。
【００５２】
また、回転テーブル２１を回転する際のシーケンスを変えることでも、径方向の厚み分布を調整することができる。前述では、３５００回転で回転テーブル２１を回転させるまでに２秒間加速させたが、この加速時間を２秒から１秒に短縮することによって、外周部の厚みを、内周部の厚みより大きくすることができる。
【００５３】
径方向の厚み分布は、これらの条件を最適に組み合わせることによって、既に形成されている中間層との厚み分布を打ち消しあうような条件を選択することが好ましい。
【００５４】
例えば、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を作成する場合、上記の樹脂塗布工程、信号転写工程及び成膜工程が３回繰り返された後に、上記のスピンコート工程により透明層が形成される。図４は、本実施の形態における４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を示す断面図である。
【００５５】
４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体１０は、片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された信号基板１１と、信号基板１１の情報面上に形成された第１薄膜層１２と、信号基板１１と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第１中間層１３と、第１中間層１３の情報面上に形成された第２薄膜層１４と、第１中間層１３と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第２中間層１５と、第２中間層１５の情報面上に形成された第３薄膜層１６と、第２中間層１５と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第３中間層１７と、第３中間層１７の情報面上に形成された第４薄膜層１８と、第４薄膜層１８の上に配置された透明層１９とを含んでいる。なお、本実施の形態において、薄膜層が情報記録層の一例に相当し、透明層がカバー層の一例に相当する。
【００５６】
信号基板１１は、多層情報記録媒体の反りを防止し、剛性を良くし、さらにＣＤ、ＤＶＤ及びＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃなどの種類の異なる光ディスク同士の厚み互換性を有するように、直径が１２０ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネイト又はアクリル系樹脂の円板から形成されている。信号基板１１は、従来のスタンパを用いて、射出圧縮成形等の樹脂成形によって片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成されている。信号基板１１の中心部には、光ディスク装置が信号を記録又は再生する際に、光ディスクを保持して回転させるために用いる直径１５ｍｍの穴が設けられている（図示せず）。本実施の形態では、代表例として信号基板１１にポリカーボネイトを用いた場合について説明する。
【００５７】
また、信号基板１１は、内周側の所定の位置にリブを有している（図２０及び図２１参照）。
【００５８】
信号基板１１の上には、光硬化性樹脂で形成される中間層１３，１５，１７及び透明層１９が積層される。そのため、例えば情報面を上にした場合に、積層後の多層情報記録媒体の形状は、光硬化性樹脂特有の特徴である光硬化収縮によって、凹形状となってしまう。従って、信号基板１１は、情報面を上にした場合に予め凸形状となるように形成される。これにより、中間層１３，１５，１７及び透明層１９が積層された後の多層情報記録媒体は平坦になる。
【００５９】
第１薄膜層１２は、多層情報記録媒体がＲＯＭ型の光ディスクである場合、再生されるレーザ光に対して反射特性を有する。例えば、第１薄膜層１２は、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ又はＳｉＯ２などの金属、半導体又は誘電体をスパッタリング又は蒸着等により薄膜形成される。
【００６０】
多層情報記録媒体がＷｒｉｔｅ  Ｏｎｃｅ型の光ディスクである場合の記録膜の構成について図５を用いて以下に説明する。図５は、本実施の形態における多層情報記録媒体の記録膜の構成を示す図である。信号基板１１上に形成されたピット又は案内溝などの情報面３１に対して、スパッタリング又は蒸着等により、例えばＡｌＣｒからなる反射膜３２、ＺｎＳ膜３３、ＴｅＯＰｄ記録膜３４及びＺｎＳ膜３５が順次形成される。すなわち、第１薄膜層１２は、反射膜３２、ＺｎＳ膜３３、ＴｅＯＰｄ記録膜３４及びＺｎＳ膜３５で構成される。
【００６１】
なお、本実施の形態では、反射膜３２の一例としてＡｌを使用した場合について説明しているが、ＲＯＭ型の光ディスクと同様に、Ａｇ又はＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いてもよい。また、薄膜層は、色素膜等を含む構成を用いることでも実現できる。第２薄膜層１４、第３薄膜層１６及び第４薄膜層１８についても、上記第１薄膜層１２と同様に形成される。反射膜３２の厚みは、記録再生される際の光学特性に応じて調整してもよく、反射膜３２自体を除去してもよい。また、ＺｎＳ膜３３又はＴｅＯＰｄ記録膜３４の厚みも光学特性に応じて調整してもよい。
【００６２】
第１中間層１３は、記録再生光に対して透過性を有するほぼ透明な材料からなり、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。紫外線硬化樹脂は、硬化光波長を紫外線帯域に設けることにより、紫外線以外の波長に対して硬化を防ぐことができ、また任意の機会で紫外線を照射することにより硬化させることができる特徴を有している。そのため、樹脂層の形状制御において有効である。紫外線硬化樹脂の塗布は信号基板１１の外径よりも小さく、また信号基板１１の中心穴の径よりも大きく形成されている（図４参照）。第２中間層１５及び第３中間層１７についても、上記第１中間層１３と同様の方法及び形状で形成されている。
【００６３】
透明層１９は、記録再生光に対して透過性を有するほぼ透明な材料からなり、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。透明層１９には、液体状の紫外線硬化樹脂が使用される。透明層１９は、第４薄膜層１８の上に紫外線硬化樹脂が塗布されることによって形成される。形成された紫外線硬化樹脂は、各信号基板及び各薄膜層を覆うように形成され、内周部と外周部において信号基板１１と接着するように形成されている（図４参照）。
【００６４】
以上で、多層情報記録媒体の製造プロセスの概略説明を終了する。
【００６５】
ここで、多層情報記録媒体に情報を記録及び／又は再生する光ディスク装置の一例について説明する。図６は、本実施の形態における光ディスク装置の概略構成を示す図である。
【００６６】
図６では、多層情報記録媒体１０が装着された状態を示している。図６に示す光ディスク装置は、スピンドルモーター４２、コントローラ４３、変調器４４、光学ヘッド４５、レーザ駆動回路４６、プリアンプ４７、２値化回路４８、データ復調回路４９、信号品質判定器５０、記録条件格納部５１、パルス条件設定部５２、記録トラック情報格納部５３、フォーカス制御回路５４、トラッキング制御回路５５及び移動部５６を備えている。
【００６７】
スピンドルモーター４２は、装着された多層情報記録媒体１０を回転させる。コントローラ４３は、光ディスク装置全体を制御する。変調器４４は、記録するデータを記録信号に変換する。光学ヘッド４５は、半導体レーザ、対物レンズ及びディテクタなどを有し、レーザ光を多層情報記録媒体１０に集光することにより、情報を記録すると共に、多層情報記録媒体１０からの反射光に基づいて再生信号を得る。レーザ駆動回路４６は、記録信号に従って光学ヘッド４５が有する半導体レーザを駆動する。
【００６８】
プリアンプ４７は、光学ヘッド４５によって取得された再生信号を増幅し、情報再生信号４７Ｓ、フォーカスエラー信号４７Ｆ及びトラッキングエラー信号４７Ｔを生成する。２値化回路４８は、情報再生信号４７Ｓを２値化信号に変換する。データ復調回路４９は、２値化信号を復調する。信号品質判定器５０は、多層情報記録媒体１０のテスト記録領域において特定のデータを試験的に記録した信号の品質を判定する。記録条件格納部５１は、学習動作によって得られた最適な記録条件を格納する。
【００６９】
パルス条件設定部５２は、記録条件格納部５１に格納されている記録条件に従ってレーザパルスを制御する。記録トラック情報格納部５３は、多層情報記録媒体１０から読み出した記録トラック情報を格納する。フォーカス制御回路５４は、レーザ光が多層情報記録媒体１０の情報記録層に焦点を合わせるようにフォーカスエラー信号４７Ｆに基づいて光学ヘッド４５を制御する。トラッキング制御回路５５は、レーザ光が多層情報記録媒体１０のトラックを適切に走査するようにトラッキングエラー信号４７Ｔに基づいて光学ヘッド４５を制御する。移動部５６は、光学ヘッド４５を多層情報記録媒体１０の径方向に移動させる。
【００７０】
ここで、フォーカスエラー信号４７Ｆは、一般的な非点収差法により生成される。トラッキングエラー信号４７Ｔは、一般的なプッシュプル法により生成される。
【００７１】
最初に、起動工程において、スピンドルモーター４２は、装着した多層情報記録媒体１０を回転させ、その後、光学ヘッド４５は、多層情報記録媒体１０上に情報再生用のレーザ光を照射し、情報記録層にレーザ光の焦点を合わせる。
【００７２】
記録トラック情報等を再生する際、光学ヘッド４５は、多層情報記録媒体１０からの反射光に基づいて再生信号を取得し、プリアンプ４７は、光学ヘッド４５によって得られた再生信号に基づいて情報再生信号４７Ｓを生成する。２値化回路４８は、予め定められた２値化スライスレベルに設定されており、プリアンプ４７によって生成された情報再生信号４７Ｓを２値化する。その後、データ復調回路４９は、２値化回路４８によって２値化された信号を復調し、コントローラ４３へ出力する。このようにして、多層情報記録媒体１０に記録された記録トラック情報が再生される。
【００７３】
また、情報を記録する際、変調器４４は、コントローラ４３から出力された特定データをレーザ駆動信号に変換し、レーザ駆動回路４６は、レーザ駆動信号に従って光学ヘッド４５に設置された半導体レーザを駆動する。光学ヘッド４５は、半導体レーザから出射されたレーザ光を多層情報記録媒体１０に集光し、記録トラック情報に基づいてトラックのグルーブ部又はランド部にレーザ光をトラッキングして、多層情報記録媒体１０の記録領域に情報を記録する。
【００７４】
コントローラ４３は、テスト記録領域に記録されたデータの再生信号を２値化回路４８で２値化した信号と、テスト記録領域に記録する際にコントローラ４３から出力されたデータとを比べることにより、多層情報記録媒体１０に正しく信号を記録及び再生することができるかを判定する。
【００７５】
なお、再生専用の多層情報記録媒体では、多層情報記録媒体上に凹凸形状のピットが形成されている。この場合、一般的なディファレンシャルプッシュプル法によりトラッキングエラー信号４７Ｔが生成されることにより、レーザ光がピット列にトラッキングして、情報の再生のみが行われる。
【００７６】
次に、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を用いて、多層情報記録媒体の各中間層に厚みムラが生じ、厚みムラが生じた中間層が積層されることにより、再生信号特性に与える影響について説明する。
【００７７】
図７（Ａ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行っていない多層情報記録媒体の構成を示す図であり、図７（Ｂ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行った多層情報記録媒体の構成を示す図である。なお、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）では、３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体について説明するが、下記の現象は、３つ以上の情報記録層を有する多層情報記録媒体であれば、起こりえる。
【００７８】
図７（Ａ）及び図７（Ｂ）において、多層情報記録媒体６０は、片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された信号基板６１と、信号基板６１の情報面上に形成された第１薄膜層６２と、信号基板６１と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第１中間層６３と、第１中間層６３の情報面上に形成された第２薄膜層６４と、第１中間層６３と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第２中間層６５と、第２中間層６５の情報面上に形成された第３薄膜層６６と、第３薄膜層６６の上に形成された透明層６７とを含む。対物レンズ６８は、光学ヘッド４５（図６参照）内に配置されており、情報を再生又は記録するためのレーザ光６９を各薄膜層上に集光させる。また、光路長７０，７１，７２は、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの距離を表している。
【００７９】
以下は、多層情報記録媒体から情報を再生する際の厚みムラの影響について説明するが、多層情報記録媒体に情報を記録する際にも同様の影響が起こる。
【００８０】
多層情報記録媒体から情報を再生する際には、レーザ光６９のフォーカスが所望の情報記録層（薄膜層）に合わされる。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）では、レーザ光６９は第１薄膜層６２に集光している。
【００８１】
ここで、レーザ光６９の通過経路を追ってみると、まず、対物レンズ６８により集光されたレーザ光６９は、入射光量に透明層６７の透過率を乗じた光量だけ透明層６７を通過する。
【００８２】
なお、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに使用されているレーザ光の波長は４０５ｎｍ近傍であり、この波長のレーザ光に対する空気中での屈折率は、１．００であり、透明層６７中での屈折率は、一般的には１．４５以上１．７０以下程度である。
【００８３】
透明層６７を通過したレーザ光６９は、次に、入射光量に第３薄膜層６６の透過率を乗じた光量だけ第３薄膜層６６を透過し、透明層６７と第３薄膜層６６との屈折率の比に応じて屈折角度が傾斜する。
【００８４】
第１薄膜層６２にレーザ光６９が到達するまでには、第２中間層６５、第２薄膜層６４及び第１中間層６３の透過率に応じて光量が減少し、隣接する層同士の屈折率の比に応じた屈折が繰り返される。また、第１薄膜層６２に集光されたレーザ光６９は、照射された光量に第１薄膜層６２の反射率を乗じた光量だけ反射されて、各中間層及び各薄膜層の透過率に応じた光量の減少を繰り返しながら、入射光とは逆方向に出射する。透明層６７を出射したレーザ光６９は、光の強弱を電気信号に変換するディテクタ（図示せず）に入射し、変換された電気信号に基づいてデータが読み出される。
【００８５】
多層情報記録媒体への情報の再生及び記録では、より正確に、情報を記録及び再生するため、各種の収差が小さくなるようにレンズが設計される。また、フォーカス制御回路５４（図６参照）は、記録密度を高める目的で小さな記録マークでもばらつきが小さくなるように第１薄膜層６２上の光スポット径を小さくする。
【００８６】
レーザ光６９が上記光路を経由することで、所望の情報記録層から、情報が再生される。しかしながら、図７（Ａ）のように、樹脂層形成工程において厚み補正が行われない場合、レーザ光が多層情報記録媒体内のどの場所を通過するかによって光路長に差が生じやすくなる。たとえば、多層情報記録媒体の面内で、局部的に第１中間層６３及び第２中間層６５が薄い箇所が存在する場合、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの光路長７０は短くなる（図７（Ａ）参照）。逆に、多層情報記録媒体の面内で、局部的に第１中間層６３及び第２中間層６５が厚い箇所が存在する場合、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの光路長７１は長くなる（図７（Ａ）参照）。
【００８７】
このような光路長の変化は、レーザ光６９の焦度を狂わせ、信号品質を劣化させる。もちろん、光路長の変化に応じて、収差を補正する回路があれば、レーザ光６９のデフォーカスを防ぐことができる。しかしながら、光路長が変化する場所が多層情報記録媒体毎に異なる場合、これに対応する収差補正回路を具備することはきわめて困難である。
【００８８】
一方、図７（Ｂ）の場合、第１中間層６３は、図７（Ａ）と同様に厚みムラがあり、厚み分布が存在している。しかしながら、第２中間層６５が、第１中間層６３の厚み分布を補正するように形成されている。そのため、図７（Ｂ）において、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの光路長７２は、どの場所でも一定であることがわかる。
【００８９】
先に述べたとおり、多層情報記録媒体の製造プロセスでは、信号基板６１上に、順に薄膜層及び中間層が重ねて形成される。そのため、多層情報記録媒体製造装置は、第２中間層６５を形成する前に第１中間層６３の厚み分布を把握し、第１中間層６３の厚み分布を補正するように第２中間層６５を形成することが好ましい。
【００９０】
以上、多層情報記録媒体の製造方法の一例と、多層情報記録媒体に情報を記録又は再生する情報記録再生方法の一例とを説明した。以下の説明では、本実施の形態の具体例を更に詳細に説明するとともに、発明の効果について説明する。
【００９１】
（実施の形態１）
以下に、本実施の形態の多層情報記録媒体の製造方法について、図８、図９、図１０、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）を用いて説明する。
【００９２】
図８は、実施の形態１における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。図８に示す多層情報記録媒体製造装置１は、射出成形機２、スパッタリング装置３、スクリーン印刷機４及びスピンコート装置５を備える。
【００９３】
射出成形機２は、射出成形により、樹脂材料に例えばポリカーボネイトを用いた基板（信号基板１１）を作製する。信号基板１１の一方の面には、ピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成されている。
【００９４】
スパッタリング装置３は、例えばマグネトロンスパッタ方式により、情報を記録するための情報記録層（第１薄膜層１２、第２薄膜層１４、第３薄膜層１６及び第４薄膜層１８）を形成する。スパッタリング装置３は、信号基板１１の情報面上に第１薄膜層１２を形成し、第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７上に第２薄膜層１４、第３薄膜層１６及び第４薄膜層１８をそれぞれ形成する。
【００９５】
なお、本実施の形態では、マグネトロンスパッタ方式により薄膜層を形成しているが、本発明は特にこれに限定されず、他のスパッタ方式により薄膜層を形成してもよい。
【００９６】
スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、薄膜層上に樹脂層（第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７）を形成する。スクリーン印刷機４は、薄膜層上に紫外線硬化樹脂を塗布し、塗布した紫外線硬化樹脂にピット又は案内溝を形成し、紫外線を照射することにより、第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７をそれぞれ形成する。スクリーン印刷機４は、第１薄膜層１２、第２薄膜層１４及び第３薄膜層１６上に第１薄膜層１２、第２中間層１５及び第３中間層１７をそれぞれ形成する。
【００９７】
スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷により第１中間層を形成するとともに、第１中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２中間層を形成する。なお、第２中間層とは、第１中間層の次に形成される中間層を表している。すなわち、第２中間層が第２中間層１５である場合、第１中間層は第１薄膜層１２であり、第２中間層が第３中間層１７である場合、第１中間層は第２中間層１５である。
【００９８】
スクリーン印刷機４は、厚み分布測定部８１、厚み補正部８２及び印刷部８３を備える。厚み分布測定部８１は、第２中間層を形成する前に、第１中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定する。厚み分布測定部８１は、例えばレーザ干渉計で構成され、多層情報記録媒体（信号基板）の表面にレーザ光を照射することにより、多層情報記録媒体の表面全体の厚み分布を測定する。
【００９９】
厚み補正部８２は、スクリーン印刷により第２中間層を形成する際に樹脂を塗布する塗布方向を、第１中間層を形成する際の塗布方向とは異ならせる。また、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の基板を載置するためのターンテーブルを、樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転させる。また、厚み補正部８２は、樹脂を塗布するためのスキージの移動方向を固定し、多層情報記録媒体の基板を載置するためのターンテーブルを回転させる。また、厚み補正部８２は、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、ターンテーブルを回転させる。さらに、厚み補正部８２は、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、ターンテーブルを回転させる。
【０１００】
印刷部８３は、厚み分布測定部８１によって測定された厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２中間層を形成する。
【０１０１】
スピンコート装置５は、スピンコート法により、カバー層（透明層１９）を形成する。スピンコート装置５は、第４薄膜層１８上に透明層１９を形成する。スピンコート装置５は、第２中間層を形成した後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成する。
【０１０２】
なお、本実施の形態において、スパッタリング装置３が情報記録層形成部の一例に相当し、スクリーン印刷機４が中間層形成部の一例に相当し、スピンコート装置５がカバー層形成部の一例に相当する。
【０１０３】
次に、図８に示す多層情報記録媒体製造装置により多層情報記録媒体を製造する工程について説明する。図９は、実施の形態１における多層情報記録媒体製造処理の動作の一例を示す図である。なお、図９では、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造処理について説明する。
【０１０４】
まず、ステップＳ１において、射出成形機２は、射出成形により信号基板１１を作製する。射出成形機２によって作製された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１０５】
次に、ステップＳ２において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、信号基板１１上に第１薄膜層１２を形成する。スパッタリング装置３によって第１薄膜層１２が形成された信号基板１１は、スクリーン印刷機４に搬送される。
【０１０６】
次に、ステップＳ３において、スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、第１薄膜層１２上に第１中間層１３を形成する。スクリーン印刷機４によって第１中間層１３が形成された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１０７】
次に、ステップＳ４において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、第１中間層１３上に第２薄膜層１４を形成する。スパッタリング装置３によって第２薄膜層１４が形成された信号基板１１は、スクリーン印刷機４に搬送される。
【０１０８】
次に、ステップＳ５において、スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、第２薄膜層１４上に第２中間層１５を形成する。スクリーン印刷機４によって第２中間層１５が形成された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１０９】
次に、ステップＳ６において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、第２中間層１５上に第３薄膜層１６を形成する。スパッタリング装置３によって第３薄膜層１６が形成された信号基板１１は、スクリーン印刷機４に搬送される。
【０１１０】
次に、ステップＳ７において、スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、第３薄膜層１６上に第３中間層１７を形成する。スクリーン印刷機４によって第３中間層１７が形成された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１１１】
次に、ステップＳ８において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、第３中間層１７上に第４薄膜層１８を形成する。スパッタリング装置３によって第４薄膜層１８が形成された信号基板１１は、スピンコート装置５に搬送される。
【０１１２】
次に、ステップＳ９において、スピンコート装置５は、スピンコート法により、第４薄膜層１８上に透明層１９を形成する。
【０１１３】
上記のステップＳ１〜Ｓ９の工程を経ることで、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造することができる。
【０１１４】
なお、図９では、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造処理について説明しているが、薄膜層の形成及び中間層の形成を繰り返すことにより、４つ以外の情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造することが可能である。すなわち、Ｎ層の多層情報記録媒体を製造する場合、薄膜層（情報記録層）を形成する工程をＮ回行い、中間層（樹脂層）を形成する工程を（Ｎ−１）回行う。例えば、３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する場合、図９におけるステップＳ７，Ｓ８の処理が省略されることになる。
【０１１５】
図１０は、実施の形態１における樹脂層形成工程の一例を示す図であり、図１１（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１１（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１２（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、図１２（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図である。
【０１１６】
図１０では、印刷前、印刷中及び印刷後のスクリーン印刷機を表している。図１０に示すスクリーン印刷機は、信号基板１０１を固定するターンテーブル１０３、スクリーン１０４、スクリーン枠１０６、スキージ固定治具１０８及びスキージ１０９を備える。
【０１１７】
スクリーン１０４の作成方法について説明する。まず、スクリーン枠１０６に、スクリーン材料となる紗を張り、その上を感光乳剤でコーティングする。次いで、コーティングされたスクリーン材料の所定の位置（複数の穴を形成する位置）以外を遮光マスクによりマスクし、スクリーン材料に露光装置を用いて紫外線を一定時間照射する。紫外線照射によって露光された感光乳剤を水噴射などによって水洗することにより現像する。このようにして、スクリーン１０４が作成される。
【０１１８】
本実施の形態の図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）において、領域１１１，１１２は、遮光マスクにより、感光乳剤を紗上に残した部分に該当し、領域１１３は、露光により紗が露出した部分に該当する。
【０１１９】
なお、スクリーン枠１０６には、例えば、木材、アルミニウム、ステンレス又はプラスチックなどの材料を用いることができるが、なかでも、軽量かつ剛性の高いアルミニウムを用いることが好ましい。スクリーン材料となる紗は、シルク、ナイロン（登録商標）、テトロン（登録商標）、Ｖスクリーン（登録商標）又はステンレスなどを用いることができるが、外圧に対する復元性の面から、Ｖスクリーンを用いることが好ましい。感光乳剤には、例えば、ジアゾニウム塩又は重クロム酸塩を、ＰＶＡ又は酢酸ビニルエマルジョンに混合し溶解させたものなどを用いることができる。スクリーン材料の所定の位置におけるメッシュ数（１インチあたりの線材の本数）は、１００〜６００であることが好ましい。メッシュ数が１００〜６００の範囲内にあれば、樹脂含有塗料の通過不良及び塗布ムラを生じさせることなく塗布することができる。なお、スクリーン材料の穴は網目に限定されない。
【０１２０】
なお、本実施の形態では、スクリーン枠１０６として軽量且つ剛性の高いアルミニウムを使用し、スクリーン１０４として信号基板１０１への負荷が小さくなるＶスクリーンを使用した場合について説明するが、他の材料を用いても実現することができる。
【０１２１】
紫外線硬化樹脂１０５の粘度が低い場合、塗布後に紫外線硬化樹脂１０５が流動し、信号基板１０１の端部から紫外線硬化樹脂１０５がはみ出したり、紫外線硬化樹脂１０５が盛り上がる。また、紫外線硬化樹脂１０５の粘度が高い場合、紫外線硬化樹脂１０５がスクリーン１０４を通り難くなり、信号基板１０１に紫外線硬化樹脂１０５が転移し難くなる。樹脂層形成工程中の温度変化及び湿度変化による紫外線硬化樹脂１０５の粘度の低下等を考慮すると、紫外線硬化樹脂１０５の粘度は３０ｃｐｓから１００００ｃｐｓの範囲内であることが好ましい。
【０１２２】
スクリーン１０４は、開口部を形成する領域１１３を設定することにより、紫外線硬化樹脂１０５の信号基板１０１上への塗布範囲を制限することが可能である。よって、本実施の形態においては、領域１１３と領域１１１との境界位置を変えることで、形成する樹脂層の端部位置を変えることができる。
【０１２３】
図１２（Ｂ）の領域１２１は、スクリーン１０４を用いたスクリーン印刷工法により、信号基板１０１上に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の範囲を示している。
【０１２４】
このスクリーン印刷工程によって形成される紫外線硬化樹脂１０５の厚み分布は、均一になることが好ましいが、実際には、樹脂層形成工程で使用される冶具の機械的精度により、局部的な厚みムラが生じる。
【０１２５】
厚みムラが生じる要因としては、複数の要因が考えられる。例えば、スキージ１０９がターンテーブル１０３に対して傾いている場合、スキージ１０９が部分的に欠損している場合、又はスキージ１０９が信号基板１０１へ与える圧力が一定でない場合、厚みムラが生じる。
【０１２６】
また、スクリーン１０４の紗の太さが場所によって違う場合、厚みムラを生じさせる要因となる。他にも、信号基板１０１の基材厚みの分布が均一でない場合、厚みムラを生じさせる要因となる。
【０１２７】
このように、厚みムラを生じさせる要因は多数存在し、厚みムラは、様々な部品及び部材の機械的精度及び寸法精度に依存している。また、スクリーン印刷機の各部材の経時劣化も考慮すると、全ての要因を排除し、厚みムラが全く無い樹脂層を形成することは現実的に不可能といってよい。
【０１２８】
ただし、これらの要因は、装置に固有、基板に固有又は冶具に固有であるため、再現性が非常に高く、印刷方向又は信号基板１０１の設置方向を定めることにより、厚み分布の方向性を制御することが可能である。
【０１２９】
以下に、ターンテーブル１０３がスキージ１０９の移動方向に対して傾いていることが原因で厚みムラが生じる場合について図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）、図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）及び図１４（Ｃ）を用いて説明する。
【０１３０】
図１３（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１３（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１４（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、図１４（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図であり、図１４（Ｃ）は、樹脂層が形成された信号基板を示す図である。
【０１３１】
図１３（Ａ）では、ターンテーブル１０３がスキージ１０９の移動方向に対して角度θ傾いているため、信号基板１０１もスキージ１０９の移動方向に対して角度θ傾いたまま固定される。図１３（Ａ）でも、明らかなように、スクリーン１０４の左側の塗布開始地点では、スキージ１０９と信号基板１０１との距離は近いが、スクリーン１０４の右側の塗布終了地点では、スキージ１０９と信号基板１０１との距離が塗布開始地点より大きくなっている。このため、塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚みには偏りが生じる。
【０１３２】
この場合、図１４（Ｃ）に示すように、信号基板１０１の９０°方向の端部に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚みが厚くなり、２７０°方向の端部に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚みが薄くなる。このように、厚みムラの要因が、図１３（Ａ）のように直線的にターンテーブル１０３が傾斜している場合のみであれば、次の樹脂層を形成する際に、次の樹脂層の厚みが最も大きい位置が、前の樹脂層の厚みが最も薄い位置に対応するように、信号基板１０１を１８０°回転させて設置することが好ましい。
【０１３３】
上記のように紫外線硬化樹脂１０５の厚みムラが、ターンテーブル１０３とスキージ１０９との距離の違いに起因している場合には、スキージ１０９の移動方向を逆方向（図１３（Ａ）の右から左に向かう方向）にしても厚みムラの分布は変わらない。
【０１３４】
このように、スクリーン印刷により第１の中間層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層を形成した後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０１３５】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０１３６】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０１３７】
なお、厚み補正部８２は、第２中間層を形成する際の塗布方向と、第１中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、ターンテーブル１０３を回転させてもよい。
【０１３８】
また、本実施の形態では、多層情報記録媒体が載置されたターンテーブル１０３を回転させることにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更しているが、本発明は特にこれに限定されず、多層情報記録媒体を固定されたテーブルに載置し、スキージ１０９の移動方向を回転させることにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。
【０１３９】
さらに、多層情報記録媒体が載置されるテーブルは固定されており、多層情報記録媒体を回転させてテーブルに載置することにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。この場合、ターンテーブル１０３は回転機構を備えるものであってもよいが、好ましくは回転機構を備えず、固定されているものであるのが望ましい。
【０１４０】
すなわち、多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して基板を載置する方向を、第１中間層を形成する工程と、第２中間層を形成する工程とで異ならせる。また、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、基板が基板保持テーブルに載置されてもよい。また、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、基板が基板保持テーブルに載置されてもよい。さらに、第２中間層を形成する際の塗布方向と、第１中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、基板が基板保持テーブルに載置されてもよい。
【０１４１】
このとき、厚み補正部８２は、基板を基板保持テーブルに載置する機構を有することが好ましい。また、より好ましくは、厚み補正部８２は、基板を回転させて基板保持テーブルに載置する機構を有することが好ましい。
【０１４２】
スクリーン印刷では、スキージの移動方向とテーブルとの平行度の精度を向上させることにより、均一な樹脂層を形成することができる。そのため、多層情報記録媒体を回転させて固定されたテーブルに載置する場合、テーブルに回転機構を備える構成よりも、樹脂層の膜厚誤差を低減することが可能となる。
【０１４３】
また、Ｎ（Ｎは４以上の整数）個の情報記録層と（Ｎ−１）個の中間層とを有する多層情報記録媒体を製造する場合、厚み補正部８２は、第（Ｎ−１）中間層を形成する際の樹脂が塗布される塗布方向を、第１中間層から第（Ｎ−２）中間層までの塗布方向と異ならせる。
【０１４４】
（実施の形態２）
実施の形態１では、厚みムラの要因が、ターンテーブル１０３が傾斜している場合について示しているが、厚みムラの要因は、ターンテーブル１０３とスキージ１０９との距離の差に加えて、スクリーン１０４の目の粗さのばらつき、及び信号基板１０１の厚みばらつきが要因として追加されるため、実際に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚み分布は非常に複雑な分布を形成する。
【０１４５】
図１５を用いて、紫外線硬化樹脂の厚み測定方法及び厚み補正方法について説明する。図１５は、実施の形態２における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。なお、実施の形態２における多層情報記録媒体製造装置の構成は、実施の形態１における多層情報記録媒体製造装置１と同じであるので説明を省略する。
【０１４６】
スクリーン印刷工法によって信号基板上に形成された樹脂層の厚みムラを測定するため、信号基板１０１の所定の半径方向を０°方向と定め、信号基板１０１の表面領域を０°方向から円周方向にｍ個の領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、・・・、Ａｍに分割する。このとき、０°方向と、スクリーン印刷機に設置した方向とを関連付けておくことが好ましい。また、信号基板１０１の表面領域を半径方向に向かって内周側から同心円状にｎ個の領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・、Ｂｎに分割する。これにより、信号基板１０１の表面領域は、ｍ×ｎ個の領域に分割することができ、円周方向及び半径方向に分割された各領域をＡｘＢｙ（ｘ＝１〜ｍ、ｙ＝１〜ｎ）と呼ぶことにする。厚み分布測定部８１は、分割された領域ＡｘＢｙの紫外線硬化樹脂（中間層）の厚みを測定する。また、中間層の厚みを測定した結果から、紫外線硬化樹脂の厚みが最も大きい領域をＡｍａｘＢｍａｘとし、紫外線硬化樹脂の厚みが最も小さい領域をＡｍｉｎＢｍｉｎとする。
【０１４７】
なお、領域ＡｘＢｙの厚みは、領域ＡｘＢｙ内の厚みの平均値であってもよく、また、領域ＡｘＢｙの中心部分の厚みであってもよい。
【０１４８】
この信号基板１０１に、情報記録層（薄膜層）をスパッタリング装置３で形成した後、スクリーン印刷機４によって、次の中間層を形成する。
【０１４９】
次の樹脂層を形成する際のスクリーン印刷機に対する信号基板１０１の設置方向が、前回樹脂層を形成した際の設置方向と同一であると、厚み分布が前回形成した樹脂層と同じになる。そのため、多層情報記録媒体は、図７（Ａ）に示す厚み分布を有し、光入射面７３から第１薄膜層８２までの間の厚みが最も薄い位置と厚みが最も厚い位置との差が大きくなりやすい。
【０１５０】
よって、図７（Ｂ）に示す厚み分布を実現するためには、領域ＡｍａｘＢｍａｘが存在する円周位置Ａｍａｘが、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎが存在する円周位置Ａｍｉｎと重なるように、スクリーン印刷機に対する信号基板１０１の設置角度を回転させることが望ましい。すなわち、図１５に示すように円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけ信号基板１０１を右方向に回転させて、ターンテーブル１０３に設置することが好ましい。厚み補正部８２は、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけターンテーブル１０３を回転させる。
【０１５１】
なお、上記の例では、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置（中心から領域ＡｍｉｎＢｍｉｎまでの距離）と領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置（中心から領域ＡｍａｘＢｍａｘまでの距離）とが比較的近い場合を例に説明しているが、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置と領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置とが常に近いとは限らない。
【０１５２】
図１６を用いて、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置と領域ＡｍａｘＢｍａｘ半径位置とが離れている場合について説明する。図１６は、実施の形態２の変形例における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。
【０１５３】
ここで、図１５と同様に、信号基板１０１の所定の半径方向を０°方向と定め、信号基板１０１の表面領域を０°方向から円周方向にｍ個の領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、・・・、Ａｍに分割する。また、信号基板１０１の表面領域を半径方向に向かって内周側から同心円状にｎ個の領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・、Ｂｎに分割する。円周方向及び半径方向に分割された各領域をＡｘＢｙ（ｘ＝１〜ｍ、ｙ＝１〜ｎ）と呼ぶ。また、全ての領域の中で紫外線硬化樹脂の厚みが最も小さい領域をＡｍｉｎＢｍｉｎとし、紫外線硬化樹脂の厚みが最も大きい領域をＡｍａｘＢｍａｘとする。
【０１５４】
図１６に示すように、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置と領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置とは、大きく離れている。そのため、前記のように、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけ信号基板１０１を回転させても、お互いの厚み分布を打ち消す効果は弱い。
【０１５５】
そこで、厚み補正部８２は、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置で最も厚みが大きくなる領域を周方向に検索する。領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置で最も厚みが大きくなる領域をＡｌａｒｇｅＢｍｉｎと規定する。また、厚み補正部８２は、領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置で最も厚みが小さくなる領域を周方向に検索する。領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置で最も厚みが小さくなる領域をＡｓｍａｌｌＢｍａｘと規定する。
【０１５６】
よって、領域ＡｍａｘＢｍａｘの厚みを打ち消すためには、領域ＡｍａｘＢｍａｘが存在する円周位置Ａｍａｘが、領域ＡｓｍａｌｌＢｍａｘが存在する円周位置Ａｓｍａｌｌと重なるように、信号基板１０１の設置角度を回転させることが好ましい。すなわち、厚み補正部８２は、円周位置Ａｓｍａｌｌと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけターンテーブル１０３を回転させて、印刷部８３は、次の樹脂層を形成する。
【０１５７】
また、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの厚みを打ち消すためには、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎが存在する円周位置Ａｍｉｎが、領域ＡｌａｒｇｅＢｍｉｎが存在する円周位置Ａｌａｒｇｅと重なるように、信号基板１０１の設置角度を回転させることが好ましい。すなわち、厚み補正部８２は、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｌａｒｇｅとがなす角度分だけターンテーブル１０３を回転させて、印刷部８３は、次の樹脂層を形成する。
【０１５８】
しかしながら、円周位置Ａｓｍａｌｌと円周位置Ａｍａｘとがなす角度と、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｌａｒｇｅとがなす角度とが、同一になるとは限らない。よって、厚み補正部８２は、それぞれの回転によって得られる効果を計算し、効果が大きいほうの角度を選択した上で、信号基板１０１（ターンテーブル１０３）の回転角度を決定することが好ましい。
【０１５９】
例えば、厚み補正部８２は、測定された各領域ＡｘＢｙの厚みに基づいて、円周位置Ａｓｍａｌｌと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけ回転させて樹脂層を積層した場合に得られる各領域ＡｘＢｙの厚みと、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｌａｒｇｅとがなす角度分だけ回転させて樹脂層を積層した場合に得られる各領域ＡｘＢｙの厚みとを計算する。そして、厚み補正部８２は、積層後の各領域ＡｘＢｙの厚みの平均値をそれぞれ算出し、算出したそれぞれの平均値と所定の値とを比較する。続いて、厚み補正部８２は、算出した平均値と所定の値との差が小さくなる角度でターンテーブル１０３を回転させる。なお、ここでの所定の値とは、予め規定されている厚みの最適値である。
【０１６０】
このため、スクリーン印刷工法により、複数の樹脂層を形成する場合は、既に形成した樹脂層の厚みムラの方向又は厚みムラの発生している位置を予め把握し、厚みムラを打ち消す方向に厚み分布が生じるように、次の樹脂層を形成することが望ましい。すなわち、次の樹脂層を形成する際に、スクリーン印刷機は、既に形成した樹脂層の厚み分布を把握した上で、信号基板１０１を適正な方向に設置することが好ましい。
【０１６１】
なお、厚み補正部８２は、スキージの移動方向を信号基板１０１の向きに応じて変えることで、スキージの移動方向に由来する厚み分布を補正することも可能である。
【０１６２】
また、Ｎ（Ｎは４以上の整数）個の情報記録層と（Ｎ−１）個の中間層とを有する多層情報記録媒体を製造する場合、厚み分布測定部８１は、直前に形成された中間層の厚みを測定し、厚み補正部８２は、測定した厚みに基づいて、次に形成される中間層の厚みを補正してもよい。また、厚み分布測定部８１は、既に形成された全ての中間層の合計厚みを測定し、厚み補正部８２は、測定した合計厚みに基づいて、次に形成される中間層の厚みを補正してもよい。
【０１６３】
また、紫外線硬化樹脂の厚みが最も小さい領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置（中心からの距離）と、紫外線硬化樹脂の厚みが最も大きい領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置とが異なる場合、厚み補正部８２は、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎと領域ＡｍａｘＢｍａｘとのうちの外周側に存在する領域に基づいて、ターンテーブル１０３を回転させる角度を決定してもよい。
【０１６４】
なお、実施の形態２においても、実施の形態１と同様に、多層情報記録媒体が載置されるテーブルは固定されており、多層情報記録媒体を回転させてテーブルに載置することにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。
【０１６５】
（実施の形態３）
実施の形態３では、より少ないプロセスで樹脂層の厚みムラを低減することができる厚み補正方法について説明する。先に述べたように、樹脂層の厚みは、スキージの移動方向、すなわち、スクリーン印刷機における信号基板の設置方向に依存しやすい。そのため、既に形成した樹脂層の厚みムラは、スクリーン印刷時のスクリーン印刷機に対する設置方向を表す情報と、スクリーン印刷機に特有の厚みムラとが把握できていれば、予想することができる。ただし、１つ目の中間層（樹脂層）を形成した後、情報記録層（薄膜層）を形成する工程に移行する。情報記録層を作成する成膜工程では、スパッタリング又は蒸着などによって、金属及び誘電体薄膜が形成される。このとき、周方向の反射膜の厚み分布を一定にするために、信号基板を回転させることが一般的に行われる。
【０１６６】
よって、複数の樹脂層を形成する場合、複数の樹脂層形成工程の間に成膜工程が入り、成膜工程では信号基板が回転されることがあるので、既に形成した樹脂層の印刷方向が、わからなくなってしまう。
【０１６７】
そこで、実施の形態３では、樹脂層を形成したときの印刷方向がわかるように、信号基板の内周部に基準領域を形成する。なお、基準領域は、スクリーン印刷により形成可能である。
【０１６８】
図１７は、実施の形態３における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。図１７に示す多層情報記録媒体製造装置１は、射出成形機２、スパッタリング装置３、スクリーン印刷機４及びスピンコート装置５を備える。なお、図１７において、図８に示す多層情報記録媒体製造装置と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【０１６９】
実施の形態３におけるスクリーン印刷機４は、基準領域検出部８４、厚み補正部８２及び印刷部８３を備える。印刷部８３は、第１中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域を形成する。なお、印刷部８３は、第１中間層が形成される領域よりも内周側に基準領域を形成する。
【０１７０】
基準領域検出部８４は、基準領域に基づいて、多層情報記録媒体の現在の配置位置を認識する。厚み補正部８２は、基準領域検出部８４によって認識された多層情報記録媒体の現在の配置位置と、第１中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、多層情報記録媒体を回転させる。印刷部８３は、厚み補正部８２によって回転された多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２中間層を形成する。
【０１７１】
図１８は、スクリーンのパターンと、当該スクリーンを用いて樹脂層を形成した信号基板とを示す図である。図１８に示すように、本来、内周部の領域１１２は、感光乳剤でコーティングされ、樹脂が塗布されない。しかしながら、実施の形態３では、内周部の領域１１２の一部の領域１３１から感光乳剤を取り除いたスクリーン１０４が作製される。このスクリーン１０４を使用してスクリーン印刷が行われることにより、領域１３１は、感光乳剤でコーティングされていないため、樹脂が通過する。これにより、信号基板１０１の内周部の領域１３１に対応する位置に樹脂が塗布され、基準領域１３２が形成される。
【０１７２】
このように、信号基板１０１の内周部に基準領域１３２が形成され、基準領域１３２の位置が検出されることにより、信号基板１０１がスクリーン１０４に対してどの方向を向いているか、及び信号基板１０１がスクリーン印刷機に対してどの方向を向いているかが把握できる。
【０１７３】
よって、基準領域検出部８４は、信号基板１０１に形成された基準領域１３２を検出し、厚み補正部８２は、検出した基準領域１３２が、予め定められた基準位置と一致するように、ターンテーブル１０３を回転させ、信号基板１０１を所定の位置に配置する。その後、厚み補正部８２は、内部のメモリに予め記憶されている回転角度だけターンテーブル１０３を回転させ、印刷部８３は、樹脂層を形成する。
【０１７４】
例えば、スクリーン印刷機４に固有の厚みムラが予め測定され、測定された厚みムラを補正するようなターンテーブル１０３の回転角度が算出され、算出された回転角度が内部のメモリに記憶される。なお、当該回転角度は、上記実施の形態１及び実施の形態２と同様にして決定される。そして、最初の樹脂層が形成される際に、基準領域１３２の位置が検出され、検出された基準領域１３２の位置に基づいて、信号基板１０１が基準位置に配置される。そして、次の樹脂層が形成される際に、基準領域１３２の位置が検出され、検出された基準領域１３２の位置に基づいて、信号基板１０１が基準位置に配置される。そして、信号基板１０１は、メモリに予め記憶されている回転角度に応じて回転され、紫外線硬化樹脂が塗布される。
【０１７５】
これにより、樹脂層の厚み分布を測定することなく、スクリーン印刷機に対して特有の厚みムラを検出することができる。
【０１７６】
また、この方向を把握することによって、次の樹脂層を形成する際に、信号基板１０１の設置位置を最適化することが可能である。
【０１７７】
なお、本実施の形態３では、信号基板１０１の内周部に樹脂の塗布量を増加させるようにして基準領域１３２が形成されているが、本発明は特にこれに限定されず、信号基板１０１の位置がセンサで特定できる大きさであればよく、形状及び形成位置を限定するものではない。また、本実施の形態３では、本来樹脂を形成しない内周部に付加的に樹脂を形成することにより基準領域１３２を設けたが、反対に、内周部全体に樹脂を形成し、内周部の一部分に樹脂を形成しないことにより基準領域を設けてもよく、配置方向を指し示す印として代用することができる。
【０１７８】
また、実施の形態３における多層情報記録媒体製造装置１は、実施の形態１及び実施の形態２における厚み分布測定部８１を備えてもよい。
【０１７９】
なお、信号基板上をスキージが通過する際に、スキージと信号基板との間にはスクリーンが挟まっている。このスキージと信号基板との距離が近いと、樹脂がスクリーン上を滑る量が多くなり、信号基板上に塗布される樹脂量が減る。そのため、信号基板とスキージとの距離は、常に同じであることが好ましい。すなわち、信号基板の厚みが薄い場合、又はターンテーブル自体が下がっている場合、スキージと信号基板との距離が長くなり、樹脂層は厚くなる。すなわち、信号基板の厚みが薄いほうが樹脂層の厚みは厚くなり、スキージと信号基板との距離が大きいほうが樹脂層は厚くなる。
【０１８０】
また、厚み補正部８２は、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの速度を、信号基板上の樹脂を塗布する場所に応じて変更してもよい。スキージがスクリーン上を移動する速度が大きい場合は、樹脂が移動するスキージに追随しにくくなる。そのため、樹脂は、スクリーン上に残留しにくくなり、スクリーンの網目から下に落ち、信号基板上に塗布される樹脂量が多くなる。つまり、スキージの移動速度が速くなるほど、形成される中間層の厚みは大きくなる。そのため、例えば、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの移動速度を変更する。特に、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合のスキージの移動速度を、外周部分に中間層を形成する場合のスキージの移動速度よりも大きくする。これにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１８１】
また、厚み補正部８２は、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きを、樹脂を塗布する場所に応じて変更してもよい。スクリーンに対するスキージの傾きが大きくなるほど、形成される中間層の厚みは小さくなる。そのため、例えば、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの傾きを変更する。特に、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合のスキージの傾きを、外周部分に中間層を形成する場合のスキージの傾きよりも小さくする。これにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１８２】
このように、スキージの移動速度及び／又はスキージの傾きが、樹脂を塗布する場所に応じて変更されることによって、より良好な信号特性を有する多層情報記録媒体を形成することが可能となる。
【０１８３】
なお、実施の形態３においても、実施の形態１と同様に、多層情報記録媒体が載置されるテーブルは固定されており、多層情報記録媒体を回転させてテーブルに載置することにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。
【０１８４】
また、上記の実施の形態１〜３をそれぞれ単独に実施してもよいが、実施の形態１〜３を組み合わせて実施することによって、より良好な信号特性を有する多層情報記録媒体を形成することが可能となる。
【０１８５】
なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。
【０１８６】
本発明の一局面に係る多層情報記録媒体製造方法は、少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法であって、基板上に第１の情報記録層を形成する第１の情報記録層形成ステップと、前記第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層を形成する第１の中間層形成ステップと、前記第１の中間層上に第２の情報記録層を形成する第２の情報記録層形成ステップと、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、前記第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層を形成する第２の中間層形成ステップと、前記第２の中間層上に第３の情報記録層を形成する第３の情報記録層形成ステップと、前記第３の情報記録層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成ステップとを含む。
【０１８７】
この構成によれば、基板上に第１の情報記録層が形成され、第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層が形成される。次に、第１の中間層上に第２の情報記録層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層上に第３の情報記録層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０１８８】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０１８９】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０１９０】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップは、前記第２の中間層を形成する前に、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定する測定ステップと、前記測定ステップにおいて測定された前記厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことが好ましい。
【０１９１】
この構成によれば、第２の中間層を形成する前に、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきが測定され、測定された厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２の中間層が形成されるので、第１の中間層の厚みばらつきを把握した上で、第２の中間層を形成することができる。
【０１９２】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布する塗布方向が、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とは異なることが好ましい。
【０１９３】
この構成によれば、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布する塗布方向が、第１の中間層を形成する際の塗布方向と異なるように第２の中間層が形成されるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１９４】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルが、前記樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転することが好ましい。
【０１９５】
この構成によれば、多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルが、樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転することにより、第２の中間層形成時における樹脂の塗布方向が変更される。したがって、第２の中間層形成時において、スキージの移動方向を変更する場合に比べて、樹脂の塗布方向を容易に変更することができる。
【０１９６】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板保持テーブルが回転することが好ましい。
【０１９７】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる領位置と、第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、基板保持テーブルが回転するので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１９８】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板保持テーブルが回転することが好ましい。
【０１９９】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、基板保持テーブルが回転するので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２００】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板保持テーブルが回転することが好ましい。
【０２０１】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際の塗布方向と、第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、基板保持テーブルが回転するので、スキージの移動方向に応じて発生する厚みばらつきを低減することができる。
【０２０２】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して前記基板を載置する方向を、前記第１の中間層形成ステップと、前記第２の中間層形成ステップとで異ならせることが好ましい。
【０２０３】
この構成によれば、多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して基板を載置する方向が、前記第１の中間層形成ステップと、前記第２の中間層形成ステップとで異なるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２０４】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることが好ましい。
【０２０５】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、基板が基板保持テーブルに載置されるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２０６】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることが好ましい。
【０２０７】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、基板が基板保持テーブルに載置されるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２０８】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることが好ましい。
【０２０９】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際の塗布方向と、第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、基板が基板保持テーブルに載置されるので、スキージの移動方向に応じて発生する厚みばらつきを低減することができる。
【０２１０】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きが、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることが好ましい。
【０２１１】
この構成によれば、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きが、樹脂を塗布する場所に応じて変更される。スクリーンに対するスキージの傾きが大きくなるほど、形成される中間層の厚みは小さくなる。そのため、例えば、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの傾きを変更することにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２１２】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの移動速度が、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることが好ましい。
【０２１３】
この構成によれば、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの移動速度が、樹脂を塗布する場所に応じて変更される。スキージの移動速度が速くなるほど、形成される中間層の厚みは大きくなる。そのため、例えば、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの移動速度を変更することにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２１４】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する前記多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成され、前記第２の中間層形成ステップは、前記基準領域に基づいて、前記多層情報記録媒体の現在の配置位置を認識する認識ステップと、前記認識ステップにおいて認識された前記多層情報記録媒体の現在の配置位置と、前記第１の中間層を形成した際の前記多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、前記多層情報記録媒体を回転させる配置位置変更ステップと前記配置位置変更ステップにおいて回転された前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことが好ましい。
【０２１５】
この構成によれば、第１の中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成される。そして、基準領域に基づいて、多層情報記録媒体の現在の配置位置が認識され、認識された多層情報記録媒体の現在の配置位置と、第１の中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、多層情報記録媒体が回転される。その後、回転された多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２の中間層が形成される。
【０２１６】
一般的に、情報記録層を形成する処理と、中間層を形成する処理とは、異なる装置によって行われる。そのため、第１の中間層が形成された際の多層情報記録媒体の配置位置と、第２の中間層が形成される際の多層情報記録媒体の配置位置とが異なるおそれがある。そこで、第１の中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成され、基準領域に基づいて認識された多層情報記録媒体の現在の配置位置と、第１の中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、多層情報記録媒体が回転される。
【０２１７】
したがって、第１の中間層が形成された際の多層情報記録媒体の配置位置と、第２の中間層が形成される際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するので、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定することなく、スクリーン印刷機に固有の厚みばらつきを低減することができる。
【０２１８】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層が形成される領域よりも内周側に前記基準領域が形成されることが好ましい。
【０２１９】
この構成によれば、第１の中間層が形成される領域よりも内周側に基準領域が形成されるので、第１の中間層を形成する際に同時に基準領域を形成することができ、基準領域を容易に形成することができる。
【０２２０】
本発明の他の局面に係る多層情報記録媒体製造装置は、少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置であって、少なくとも３つの情報記録層を形成する情報記録層形成部と、スクリーン印刷により第１の中間層を形成するとともに、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層を形成する中間層形成部と、前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成部とを備える。
【０２２１】
この構成によれば、少なくとも３つの情報記録層が形成され、スクリーン印刷により第１の中間層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０２２２】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０２２３】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０２２４】
本発明の他の局面に係る多層情報記録媒体は、少なくとも３つの情報記録層と、前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、光入射面を有するカバー層とを備え、前記複数の中間層は、スクリーン印刷により形成された第１の中間層と、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により形成された第２の中間層とを含み、前記カバー層は、前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法により形成される。
【０２２５】
この構成によれば、少なくとも３つの情報記録層が形成され、スクリーン印刷により第１の中間層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０２２６】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０２２７】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０２２８】
なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様または実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と特許請求事項との範囲内で、種々変更して実施することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【０２２９】
本発明に係る多層記録媒体製造方法、多層情報記録媒体製造装置及び多層情報記録媒体は、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができ、少なくとも３つの情報記録層と、前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、光入射面を有するカバー層とを含む多層情報記録媒体、当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法及び当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置として有用である。また、大容量メモリの製造等の用途にも応用できる。
【図１】
2010103853.tif 000003
【図２】
2010103853.tif 000004
【図３】
2010103853.tif 000005
【図４】
2010103853.tif 000006
【図５】
2010103853.tif 000007
【図６】
2010103853.tif 000008
【図７】
2010103853.tif 000009
【図８】
2010103853.tif 000010
【図９】
2010103853.tif 000011
【図１０】
2010103853.tif 000012
【図１１】
2010103853.tif 000013
【図１２】
2010103853.tif 000014
【図１３】
2010103853.tif 000015
【図１４】
2010103853.tif 000016
【図１５】
2010103853.tif 000017
【図１６】
2010103853.tif 000018
【図１７】
2010103853.tif 000019
【図１８】
2010103853.tif 000020
【図１９】
2010103853.tif 000021
【図２０】
2010103853.tif 000022
【図２１】
2010103853.tif 000023
【図２２】
2010103853.tif 000024
【図２３】
2010103853.tif 000025
【図２４】
2010103853.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月4日(2010.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法であって、
基板上に第１の情報記録層を形成する第１の情報記録層形成ステップと、
前記第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層を形成する第１の中間層形成ステップと、
前記第１の中間層上に第２の情報記録層を形成する第２の情報記録層形成ステップと、
前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、前記第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層を形成する第２の中間層形成ステップと、
前記第２の中間層上に第３の情報記録層を形成する第３の情報記録層形成ステップと、
前記第３の情報記録層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成ステップとを含むことを特徴とする多層情報記録媒体製造方法。
【請求項２】
前記第２の中間層形成ステップは、
前記第２の中間層を形成する前に、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定する測定ステップと、
前記測定ステップにおいて測定された前記厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことを特徴とする請求項１記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項３】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布する塗布方向が、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とは異なることを特徴とする請求項１又は２記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項４】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルが、前記樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転することを特徴とする請求項３記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項５】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板保持テーブルが回転することを特徴とする請求項４記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項６】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板保持テーブルが回転することを特徴とする請求項５記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項７】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板保持テーブルが回転することを特徴とする請求項５記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項８】
前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して前記基板を載置する方向を、前記第１の中間層形成ステップと、前記第２の中間層形成ステップとで異ならせることを特徴とする請求項３記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項９】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることを特徴とする請求項８記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１０】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることを特徴とする請求項８記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１１】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることを特徴とする請求項５記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１２】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きが、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１３】
前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの移動速度が、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１４】
前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する前記多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成され、
前記第２の中間層形成ステップは、前記基準領域に基づいて、前記多層情報記録媒体の現在の配置位置を認識する認識ステップと、
前記認識ステップにおいて認識された前記多層情報記録媒体の現在の配置位置と、前記第１の中間層を形成した際の前記多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、前記多層情報記録媒体を回転させる配置位置変更ステップと、
前記配置位置変更ステップにおいて回転された前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことを特徴とする請求項１記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１５】
前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層が形成される領域よりも内周側に前記基準領域が形成されることを特徴とする請求項１４記載の多層情報記録媒体製造方法。
【請求項１６】
少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置であって、
少なくとも３つの情報記録層を形成する情報記録層形成部と、
スクリーン印刷により第１の中間層を形成するとともに、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層を形成する中間層形成部と、
前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成部とを備えることを特徴とする多層情報記録媒体製造装置。
【請求項１７】
少なくとも３つの情報記録層と、
前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、
光入射面を有するカバー層とを備え、
前記複数の中間層は、スクリーン印刷により形成された第１の中間層と、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により形成された第２の中間層とを含み、
前記カバー層は、前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法により形成されることを特徴とする多層情報記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも３つの情報記録層と、前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、光入射面を有するカバー層とを含む多層情報記録媒体、当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法及び当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器及び映像音響機器等が必要とされる情報量の拡大化に伴い、データアクセスの容易さ、大容量データの蓄積及び機器の小型化に優れている光ディスクなどの情報記録媒体が注目されている。このような光ディスクは、記録情報の高密度化がなされている。例えば、光ディスクの高密度化の手段として、２５ＧＢ程度の記録容量を有する単層の光記録媒体及び５０ＧＢ程度の記録容量を有する２層の光記録媒体が提案されている。これらの光記録媒体は、レーザ光の波長を約４００ｎｍとするとともに、レーザ光を絞り込むための集光レンズの開口数（以下、「ＮＡ」とも言う）を０．８５とした再生ヘッドによって情報が記録又は再生される。また、３つ以上の情報記録層を有する多層情報記録媒体も提案されている。
【０００３】
図１９は、従来の多層情報記録媒体を示す断面図である。図１９に示す多層情報記録媒体は、片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が転写形成された信号基板２０１と、信号基板２０１の凹凸形状の情報面上に配置された第１薄膜層２０２と、第１薄膜層２０２と接着している面とは反対の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が転写形成された中間層２０３と、中間層２０３の凹凸形状の情報面上に配置された第２薄膜層２０４と、中間層２０３に対向配置された透明基板２０６と、第２薄膜層２０４と透明基板２０６とを貼り合わせるために設けられた透明層２０５とにより構成されている。
【０００４】
信号基板２０１には、スタンパを用いた射出圧縮成形等により、片面にピット又は案内溝が転写形成されている。このように、情報面に薄膜層が形成されることで情報記録層が形成されている。信号基板２０１の厚みは１．１ｍｍ程度である。第１薄膜層２０２及び第２薄膜層２０４は、記録膜及び反射膜を含む。記録膜及び反射膜は、信号基板２０１及び中間層２０３のピット又は案内溝が形成された面側にスパッタリング又は蒸着等の方法により形成される。
【０００５】
中間層２０３は、光硬化性樹脂を用いたスピンコート法によって形成される。すなわち、信号基板２０１のように片面にピット又は案内溝が形成された転写基板が、情報面が信号基板２０１と対向するように光硬化性樹脂を介して貼り合わされる。そして、光硬化性樹脂の光硬化後に転写基板が光硬化性樹脂との界面から剥離されることによって、中間層２０３が形成される。
【０００６】
透明基板２０６は、記録再生光に対して透過性を有する透明な材料からなり、厚みが０．１ｍｍ程度である。透明層２０５は、２枚の基板２０６，２０７を互いに接着するために設けられており、光硬化性樹脂又は感圧接着剤等の接着剤から形成されている。透明基板２０６と透明層２０５とを合わせてカバー層ともいう。透明基板２０６を貼り付けることなく透明層２０５を硬化させることのみでカバー層を形成することもある。このような多層情報記録媒体への情報の記録又は再生は、透明基板２０６側から記録レーザ光又は再生レーザ光を入射することによって行われる。
【０００７】
このような多層情報記録媒体においては、中間層及びカバー層は、紫外線硬化樹脂などを用いてスピンコート法により作製されることが多い（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−２５９３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、隣接する情報面を分離するための透明な中間層及びカバー層をスピンコート法によって形成した場合、周方向の細かな膜厚変動、及び半径方向の大きな膜厚変動が発生する。特に、複数の情報記録層及び複数の中間層を積層する際には膜厚変動の足し合わせにより、膜厚変動が大きくなりやすいという課題がある。また、スピンコート法により紫外線硬化樹脂を塗布した場合、被塗布基板の外縁部まで樹脂が行き渡る。そのため、スピン回転を停止させて光照射によって樹脂を硬化させる時に被塗布基板の外縁部において、表面張力により樹脂が盛り上がり、膜厚が厚く構成されてしまう。
【００１０】
この膜厚変動により、レーザを用いて多層情報記録媒体に信号を記録又は再生する際に、球面収差が発生し、光スポットの絞りの変動、情報面上に光スポットを集光させるフォーカス制御、及び信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御に影響を与えるおそれがある。また、スピンコート法では、塗布厚みの均一性を実現するための条件の制御が複雑であり、１層ずつスピンコートを実施するのでタクト時間の短縮が困難である。
【００１１】
一方で、記録容量を増やすために情報記録層を多層化し、樹脂層を複数積層する場合には、高い厚み精度が要求される。これには、以下のような理由からである。すなわち、再生機が多層情報記録媒体の信号を再生するには、予め再生機本体が、多層情報記録媒体中の各層の位置を把握する必要がある。この各層の位置ずれは、樹脂層の厚み分布に起因する。また、樹脂層の層数が多いほど、高い精度での位置情報が必要になる。そのため、多層情報記録媒体では各樹脂層の厚み精度を高める必要がある。
【００１２】
また、樹脂層を形成するプロセスに特有の厚み変動があると、樹脂層を形成するごとに厚み変動が加算される。そのため、多層情報記録媒体の表面から、最も奥の情報記録層までの厚みばらつきは大きくなり、フォーカス制御が困難になり、信号品質が劣化するおそれがある。
【００１３】
図２０は、従来の光ディスク用信号基板を示す図であり、図２１は、図２０に示す光ディスク用信号基板の２１−２１線断面図であり、図２２は、樹脂層の厚み分布について説明するための図である。
【００１４】
光ディスク用信号基板にスクリーン印刷で樹脂層を形成する場合、基板の形状に応じて厚み分布が発生するおそれがある。例えば、光ディスク用信号基板３００には、図２０に示すように、中心部に凸形状のリブ３０１が設けられている。リブ３０１は、光ディスクをテーブル又は床などの平らな面においた場合に、テーブル又は床と光ディスクとが面で接触し、手でとりにくくなる不具合を防止するために設けられている。光ディスクの内周部分に突起部があれば、テーブル面と光ディスク面との間に間隙ができ、手で光ディスクをとりやすくなる。
【００１５】
このリブ３０１は光ディスクの表面よりも突出していることでその効果を発揮する。そのため、基板の状態では、リブ３０１は、形成する樹脂層の厚みよりも大きく突出している。このリブ３０１が、スクリーン印刷で樹脂層を形成する際に、大きな影響を及ぼす。
【００１６】
図２１に示すリブ３０１は、光ディスク用信号基板３００の半径１８ｍｍ〜２０ｍｍの位置に、情報面３０２から高さ０．２ｍｍ突出させて形成される。この基板上の情報面３０２には０．１ｍｍの樹脂層が形成される。そのため、完成した光ディスクには、０．１ｍｍの突起が形成される。
【００１７】
図２２に示すように、内周部にリブ３０１がある光ディスク用信号基板３００にスクリーン印刷を実施する場合には、スキージ４０１がリブ３０１に接触する範囲だけ、樹脂層の厚みが大きくなる現象が生じる。この現象はリブ３０１に近い内周部に特に、発生しやすくなる。
【００１８】
したがって、図２２に示すように光ディスク用信号基板３００の内周部分の楕円形状の領域４０３が他の領域に比べて、樹脂層の厚みが大きくなる。なお、図２２において、スキージ４０１は、矢印４０２に示す方向へ摺動する。
【００１９】
樹脂層に生じる厚み分布は、スキージ４０１が例えばゴムなどの柔らかい材質でできていることに起因する。図２３は、スキージが光ディスク用信号基板の中心部を通過する際のスキージ及び光ディスク用信号基板を示す図であり、図２４は、図２３に示すスキージ及び光ディスク用信号基板の２４−２４線断面図である。図２３において、スキージ４０１は、矢印４０２に示す方向へ摺動する。
【００２０】
図２４に示すように、スキージ４０１がリブ３０１に接触する際に、スキージ４０１がリブ３０１に押し上げられる。そのため、リブ３０１の周辺部分のスキージ４０１と光ディスク用信号基板３００との間には、間隙４０４が形成される。このとき、リブ３０１の周辺部分のスキージ４０１と光ディスク用信号基板３００との間隔が他の部分よりも大きくなるため、形成される樹脂層の厚みが大きくなる。この現象は、当然ながら、リブ３０１に近い領域４０３で顕著になり、リブ３０１から遠い領域では、樹脂層の厚みは一定となる。また、樹脂層の厚みが厚くなる領域４０３は、スキージ４０１がリブ３０１と接触する範囲でのみ発生する。
【００２１】
このように、スクリーン印刷により形成された樹脂層は、スキージの移動方向に沿って、ディスク端部では厚みが小さく、ディスク内周部では厚みが大きくなるという厚みばらつきが発生する。このため、特に、複数の情報記録層を有する多層情報記録媒体の複数の樹脂層をスクリーン印刷により形成する場合、厚みばらつきが大きくなるという課題が発生する。すなわち、ディスク内周部において、複数の樹脂層の厚みが最も厚くなる領域が重複した場合、全体として厚みばらつきが累積される。そして、樹脂層上にカバー層が形成されると、ディスク表面から最も奥の情報記録層までの厚みばらつきが大きくなり、多層情報記録媒体に情報を記録又は再生する際の信号品質に大きな影響を与えるおそれがある。
【００２２】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる多層情報記録媒体製造方法、多層情報記録媒体製造装置及び多層情報記録媒体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の一局面に係る多層情報記録媒体製造方法は、少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法であって、基板上に第１の情報記録層を形成する第１の情報記録層形成ステップと、前記第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層を形成する第１の中間層形成ステップと、前記第１の中間層上に第２の情報記録層を形成する第２の情報記録層形成ステップと、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、前記第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層を形成する第２の中間層形成ステップと、前記第２の中間層上に第３の情報記録層を形成する第３の情報記録層形成ステップと、前記第３の情報記録層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成ステップとを含む。
【００２４】
この構成によれば、基板上に第１の情報記録層が形成され、第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層が形成される。次に、第１の中間層上に第２の情報記録層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層上に第３の情報記録層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本実施の形態における樹脂層形成工程について説明するための図である。
【図２】本実施の形態における信号転写工程について説明するための図である。
【図３】本実施の形態におけるスピンコート工程について説明するための図である。
【図４】本実施の形態における４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を示断面図である。
【図５】本実施の形態における多層情報記録媒体の記録膜の構成を示す図である。
【図６】本実施の形態における光ディスク装置の概略構成を示す図である。
【図７】（Ａ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行っていない多層情報記録媒体の構成を示す図であり、（Ｂ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行った多層情報記録媒体の構成を示す図である。
【図８】実施の形態１における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。
【図９】実施の形態１における多層情報記録媒体製造処理の動作の一例を示す図である。
【図１０】実施の形態１における樹脂層形成工程の一例を示す図である。
【図１１】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図である。
【図１２】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図である。
【図１３】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図である。
【図１４】（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図であり、（Ｃ）は、樹脂層が形成された信号基板を示す図である。
【図１５】実施の形態２における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。
【図１６】実施の形態２の変形例における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。
【図１７】実施の形態３における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。
【図１８】スクリーンのパターンと、当該スクリーンを用いて樹脂層を形成した信号基板とを示す図である。
【図１９】従来の多層情報記録媒体を示す断面図である。
【図２０】従来の光ディスク用信号基板を示す図である。
【図２１】図２０に示す光ディスク用信号基板の２１−２１線断面図である。
【図２２】樹脂層の厚み分布について説明するための図である。
【図２３】スキージが光ディスク用信号基板の中心部を通過する際のスキージ及び光ディスク用信号基板を示す図である。
【図２４】図２３に示すスキージ及び光ディスク用信号基板の２４−２４線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
【００２８】
本実施の形態では、ディスク形状の多層情報記録媒体の構造例について説明するが、製造される多層情報記録媒体としては、ディスク形状に限定されるものではなく、中間層（以下、「樹脂層」とも言う）を高速に形成することができ、かつ樹脂層の厚みを均一に形成することできる多層情報記録媒体製造方法及び多層情報記録媒体製造装置を提案するものである。
【００２９】
多層情報記録媒体を製造する工程及び多層情報記録媒体に情報を記録する工程は、複数のプロセスにまたがっているため、それぞれのプロセスについて、図を用いて説明する。
【００３０】
まず、図１を用いて樹脂を塗布する工程について説明する。図１は、本実施の形態における樹脂層形成工程について説明するための図である。
【００３１】
樹脂層の形成方法には、粘着性シートを貼り付ける方法、遠心力により樹脂を延伸するスピンコート法、ノズルで樹脂を押し出す方法、及びインクジェット工法等があげられるが、本実施の形態では、樹脂形成速度が早いスクリーン印刷工法により樹脂層が形成される。なお、スクリーン印刷工法は、樹脂層の形成方法の一例であり、本発明はこれに限定されない。
【００３２】
まず、表面に第１薄膜層１０２を有する信号基板１０１が、真空吸着などの手段によって、ターンテーブル１０３に固定される（図１の第１工程参照）。
【００３３】
次に、信号基板１０１の上方に、スクリーン枠１０６が固定され、紫外線硬化樹脂１０５がスクリーン１０４の穴が開いていない部分に供給される。そして、スクレッパー１０７が矢印Ｙ１の方向へ摺動されることにより、スクリーン１０４に形成された穴に紫外線硬化樹脂１０５が充填される（図１の第２工程参照）。
【００３４】
次に、スキージ固定治具１０８により固定されたスキージ１０９が、スクリーン１０４の上部に圧力を加えながら、矢印Ｙ２に示す方向へ摺動されることにより、孔板（スクリーン）１０４の開口部から紫外線硬化樹脂１０５が信号基板１０１へ押し出される（図１の第３工程参照）。
【００３５】
上記の動作、いわゆるスクリーン印刷によって、紫外線硬化樹脂１０５が塗布された信号基板１０１が得られる（図１の第４工程参照）。また、信号基板１０１を入れ替え、図１の第１工程から第４工程までを繰り返すことによって、表面に樹脂層を形成した信号基板１０１が複数作製される。信号基板１０１を設置する時間と、スクレッパー１０７がスクリーン１０４上を摺動する時間と、スキージ固定治具１０８がスクリーン１０４上を摺動する時間との和が、スクリーン印刷による樹脂形成のタクト時間に相当する。そのため、タクト時間の短縮は比較的容易である。
【００３６】
ここで、スキージ１０９には、例えば、ゴムのように弾力性に富んだ材質の材料が選択される。スキージ１０９の弾力性を高めることにより、信号基板１０１の厚み変動が存在していても、厚み変動に関係なく、紫外線硬化樹脂１０５を第１薄膜層１０２上に形成できる。また、スキージ１０９の弾力性を高めることにより、印刷時にスクリーン１０４が第１薄膜層１０２に与える物理的な負荷を吸収することができる。
【００３７】
ひきつづき、スクリーン印刷後の工程について図２を用いて説明する。図２は、本実施の形態における信号転写工程について説明するための図である。
【００３８】
まず、紫外線硬化樹脂１０５が形成された信号基板１０１がテーブル台１５１の上に載置される（図２の第１工程参照）。
【００３９】
次に、信号基板１０１の上方から、転写基板１５２が押し付けられ、紫外線硬化樹脂１０５に案内溝が形成される（図２の第２工程参照）。なお、転写基板１５２は、記録すべき情報に応じた凹凸部を有する。この後、転写基板１５２の上方から紫外線照射機１５３により紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂１０５が硬化される（図２の第３工程参照）。その後、転写基板１５２が紫外線硬化樹脂１０５から剥離される（図２の第４工程参照）。
【００４０】
図２の第１工程から第４工程を経ることによって、信号基板１０１上に、転写基板１５２の凹凸部を反転させた凹凸部を有する紫外線硬化樹脂１０５の層が形成される。また、この紫外線硬化樹脂１０５の特性は、あらかじめ、転写基板１５２と剥離性の高いものを選択することにより、良好な剥離性を維持することができる。
【００４１】
図２に示す信号転写工程の後、スパッタリング装置などの薄膜作成装置によって、信号記録層（情報記録層）が成膜される。
【００４２】
図１に示す樹脂塗布工程、図２に示す信号転写工程、及び成膜工程が繰り返されることによって、多層情報記録媒体の情報記録層が形成される。また、情報記録層の成膜後に透明層（カバー層）が作成されることによって、多層情報記録媒体が完成する。
【００４３】
ここで、図３を用いてスピンコート法により透明層を形成する工程について説明する。図３は、本実施の形態におけるスピンコート工程について説明するための図である。
【００４４】
多層情報記録媒体の光入射面側の樹脂層（透明層）は、表面に信号案内溝を形成する必要が無い。ただし、透明層は、表面に露出しているので、ユーザが手で触ったり、異物と接触したりすることが想定される。このため、透明層には、指紋などに含まれる油脂が付着しにくいような耐撥油性、及び擦っても傷が付きにくいような耐磨耗性が求められる。また、透明層は、信号を安定に再生するために、表面が平滑であることも必要である。これらの目的を満たすため、光入射面側の透明層は、スピンコート法で形成される。
【００４５】
まず、信号基板１０１が回転テーブル２１上に載置される（図３の第１工程参照）。なお、信号基板１０１上には、樹脂層及び薄膜層が形成されている。中心穴２２が円錐形状のキャップ２３で塞がれ、キャップ２３上に紫外線硬化樹脂２４がノズル２５から例えば１．５ｇ滴下される。
【００４６】
次に、信号基板１０１は、約２秒間で約３５００回転まで加速され、この回転数が約７秒間維持される。これにより、紫外線硬化樹脂２４が延伸される（図３の第２工程参照）。
【００４７】
なお、キャップ２３には取り付け及び取り外しが容易なように軸２３ａが設けられている。この軸２３ａに紫外線硬化樹脂２４が付着しないように、紫外線硬化樹脂２４が滴下されることによって、キャップ２３の取り外しが容易となる。また、紫外線硬化樹脂２４を吐出するノズル２５は、ディスク表面に対して９０度以内の角度で傾けて配置される。これにより、紫外線硬化樹脂２４をキャップ２３の近くで吐出させることが可能になり、紫外線硬化樹脂２４に気泡が混入することを防ぐことができる。
【００４８】
次に、キャップ２３が取り外された後、紫外線照射機（図示せず）により紫外線が照射される（図３の第３工程参照）。これにより、紫外線硬化樹脂２４が硬化され、透明層の形成が完了する。
【００４９】
スピンコート法は、半径方向及び周方向に均一な厚みの樹脂層を形成することができる。また、スピンコートの条件を変えることによって、周方向の厚み分布は均一なままで、径方向の厚み分布のみを変えることも可能である。
【００５０】
中間層（樹脂層）をスクリーン印刷で形成する場合には、リブ（図２１）などの影響により、内周部の厚みが大きくなる傾向にある。そのため、スピンコート法で透明層（カバー層）を形成する際には、内周部を薄く、外周部を厚くなるように透明層を形成することが好ましい。内周部が薄く、外周部が厚くなるような厚み分布を形成するための具体的なスピンコートの条件としては、図３のノズル２５の吐出口を軸２３ａから離し、軸２３ａから離れた地点から紫外線硬化樹脂２４を滴下する。これにより、外周部の厚みが大きくなる厚み分布を有する中間層を形成することが可能になる。
【００５１】
また、回転テーブル２１を回転する際のシーケンスを変えることでも、径方向の厚み分布を調整することができる。前述では、３５００回転で回転テーブル２１を回転させるまでに２秒間加速させたが、この加速時間を２秒から１秒に短縮することによって、外周部の厚みを、内周部の厚みより大きくすることができる。
【００５２】
径方向の厚み分布は、これらの条件を最適に組み合わせることによって、既に形成されている中間層との厚み分布を打ち消しあうような条件を選択することが好ましい。
【００５３】
例えば、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を作成する場合、上記の樹脂塗布工程、信号転写工程及び成膜工程が３回繰り返された後に、上記のスピンコート工程により透明層が形成される。図４は、本実施の形態における４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を示す断面図である。
【００５４】
４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体１０は、片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された信号基板１１と、信号基板１１の情報面上に形成された第１薄膜層１２と、信号基板１１と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第１中間層１３と、第１中間層１３の情報面上に形成された第２薄膜層１４と、第１中間層１３と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第２中間層１５と、第２中間層１５の情報面上に形成された第３薄膜層１６と、第２中間層１５と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第３中間層１７と、第３中間層１７の情報面上に形成された第４薄膜層１８と、第４薄膜層１８の上に配置された透明層１９とを含んでいる。なお、本実施の形態において、薄膜層が情報記録層の一例に相当し、透明層がカバー層の一例に相当する。
【００５５】
信号基板１１は、多層情報記録媒体の反りを防止し、剛性を良くし、さらにＣＤ、ＤＶＤ及びＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃなどの種類の異なる光ディスク同士の厚み互換性を有するように、直径が１２０ｍｍ、厚さが１．０〜１．１ｍｍ程度のポリカーボネイト又はアクリル系樹脂の円板から形成されている。信号基板１１は、従来のスタンパを用いて、射出圧縮成形等の樹脂成形によって片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成されている。信号基板１１の中心部には、光ディスク装置が信号を記録又は再生する際に、光ディスクを保持して回転させるために用いる直径１５ｍｍの穴が設けられている（図示せず）。本実施の形態では、代表例として信号基板１１にポリカーボネイトを用いた場合について説明する。
【００５６】
また、信号基板１１は、内周側の所定の位置にリブを有している（図２０及び図２１参照）。
【００５７】
信号基板１１の上には、光硬化性樹脂で形成される中間層１３，１５，１７及び透明層１９が積層される。そのため、例えば情報面を上にした場合に、積層後の多層情報記録媒体の形状は、光硬化性樹脂特有の特徴である光硬化収縮によって、凹形状となってしまう。従って、信号基板１１は、情報面を上にした場合に予め凸形状となるように形成される。これにより、中間層１３，１５，１７及び透明層１９が積層された後の多層情報記録媒体は平坦になる。
【００５８】
第１薄膜層１２は、多層情報記録媒体がＲＯＭ型の光ディスクである場合、再生されるレーザ光に対して反射特性を有する。例えば、第１薄膜層１２は、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ又はＳｉＯ２などの金属、半導体又は誘電体をスパッタリング又は蒸着等により薄膜形成される。
【００５９】
多層情報記録媒体がＷｒｉｔｅ  Ｏｎｃｅ型の光ディスクである場合の記録膜の構成について図５を用いて以下に説明する。図５は、本実施の形態における多層情報記録媒体の記録膜の構成を示す図である。信号基板１１上に形成されたピット又は案内溝などの情報面３１に対して、スパッタリング又は蒸着等により、例えばＡｌＣｒからなる反射膜３２、ＺｎＳ膜３３、ＴｅＯＰｄ記録膜３４及びＺｎＳ膜３５が順次形成される。すなわち、第１薄膜層１２は、反射膜３２、ＺｎＳ膜３３、ＴｅＯＰｄ記録膜３４及びＺｎＳ膜３５で構成される。
【００６０】
なお、本実施の形態では、反射膜３２の一例としてＡｌを使用した場合について説明しているが、ＲＯＭ型の光ディスクと同様に、Ａｇ又はＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いてもよい。また、薄膜層は、色素膜等を含む構成を用いることでも実現できる。第２薄膜層１４、第３薄膜層１６及び第４薄膜層１８についても、上記第１薄膜層１２と同様に形成される。反射膜３２の厚みは、記録再生される際の光学特性に応じて調整してもよく、反射膜３２自体を除去してもよい。また、ＺｎＳ膜３３又はＴｅＯＰｄ記録膜３４の厚みも光学特性に応じて調整してもよい。
【００６１】
第１中間層１３は、記録再生光に対して透過性を有するほぼ透明な材料からなり、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。紫外線硬化樹脂は、硬化光波長を紫外線帯域に設けることにより、紫外線以外の波長に対して硬化を防ぐことができ、また任意の機会で紫外線を照射することにより硬化させることができる特徴を有している。そのため、樹脂層の形状制御において有効である。紫外線硬化樹脂の塗布は信号基板１１の外径よりも小さく、また信号基板１１の中心穴の径よりも大きく形成されている（図４参照）。第２中間層１５及び第３中間層１７についても、上記第１中間層１３と同様の方法及び形状で形成されている。
【００６２】
透明層１９は、記録再生光に対して透過性を有するほぼ透明な材料からなり、例えばアクリルを主成分とした紫外線硬化樹脂から形成されている。透明層１９には、液体状の紫外線硬化樹脂が使用される。透明層１９は、第４薄膜層１８の上に紫外線硬化樹脂が塗布されることによって形成される。形成された紫外線硬化樹脂は、各信号基板及び各薄膜層を覆うように形成され、内周部と外周部において信号基板１１と接着するように形成されている（図４参照）。
【００６３】
以上で、多層情報記録媒体の製造プロセスの概略説明を終了する。
【００６４】
ここで、多層情報記録媒体に情報を記録及び／又は再生する光ディスク装置の一例について説明する。図６は、本実施の形態における光ディスク装置の概略構成を示す図である。
【００６５】
図６では、多層情報記録媒体１０が装着された状態を示している。図６に示す光ディスク装置は、スピンドルモーター４２、コントローラ４３、変調器４４、光学ヘッド４５、レーザ駆動回路４６、プリアンプ４７、２値化回路４８、データ復調回路４９、信号品質判定器５０、記録条件格納部５１、パルス条件設定部５２、記録トラック情報格納部５３、フォーカス制御回路５４、トラッキング制御回路５５及び移動部５６を備えている。
【００６６】
スピンドルモーター４２は、装着された多層情報記録媒体１０を回転させる。コントローラ４３は、光ディスク装置全体を制御する。変調器４４は、記録するデータを記録信号に変換する。光学ヘッド４５は、半導体レーザ、対物レンズ及びディテクタなどを有し、レーザ光を多層情報記録媒体１０に集光することにより、情報を記録すると共に、多層情報記録媒体１０からの反射光に基づいて再生信号を得る。レーザ駆動回路４６は、記録信号に従って光学ヘッド４５が有する半導体レーザを駆動する。
【００６７】
プリアンプ４７は、光学ヘッド４５によって取得された再生信号を増幅し、情報再生信号４７Ｓ、フォーカスエラー信号４７Ｆ及びトラッキングエラー信号４７Ｔを生成する。２値化回路４８は、情報再生信号４７Ｓを２値化信号に変換する。データ復調回路４９は、２値化信号を復調する。信号品質判定器５０は、多層情報記録媒体１０のテスト記録領域において特定のデータを試験的に記録した信号の品質を判定する。記録条件格納部５１は、学習動作によって得られた最適な記録条件を格納する。
【００６８】
パルス条件設定部５２は、記録条件格納部５１に格納されている記録条件に従ってレーザパルスを制御する。記録トラック情報格納部５３は、多層情報記録媒体１０から読み出した記録トラック情報を格納する。フォーカス制御回路５４は、レーザ光が多層情報記録媒体１０の情報記録層に焦点を合わせるようにフォーカスエラー信号４７Ｆに基づいて光学ヘッド４５を制御する。トラッキング制御回路５５は、レーザ光が多層情報記録媒体１０のトラックを適切に走査するようにトラッキングエラー信号４７Ｔに基づいて光学ヘッド４５を制御する。移動部５６は、光学ヘッド４５を多層情報記録媒体１０の径方向に移動させる。
【００６９】
ここで、フォーカスエラー信号４７Ｆは、一般的な非点収差法により生成される。トラッキングエラー信号４７Ｔは、一般的なプッシュプル法により生成される。
【００７０】
最初に、起動工程において、スピンドルモーター４２は、装着した多層情報記録媒体１０を回転させ、その後、光学ヘッド４５は、多層情報記録媒体１０上に情報再生用のレーザ光を照射し、情報記録層にレーザ光の焦点を合わせる。
【００７１】
記録トラック情報等を再生する際、光学ヘッド４５は、多層情報記録媒体１０からの反射光に基づいて再生信号を取得し、プリアンプ４７は、光学ヘッド４５によって得られた再生信号に基づいて情報再生信号４７Ｓを生成する。２値化回路４８は、予め定められた２値化スライスレベルに設定されており、プリアンプ４７によって生成された情報再生信号４７Ｓを２値化する。その後、データ復調回路４９は、２値化回路４８によって２値化された信号を復調し、コントローラ４３へ出力する。このようにして、多層情報記録媒体１０に記録された記録トラック情報が再生される。
【００７２】
また、情報を記録する際、変調器４４は、コントローラ４３から出力された特定データをレーザ駆動信号に変換し、レーザ駆動回路４６は、レーザ駆動信号に従って光学ヘッド４５に設置された半導体レーザを駆動する。光学ヘッド４５は、半導体レーザから出射されたレーザ光を多層情報記録媒体１０に集光し、記録トラック情報に基づいてトラックのグルーブ部又はランド部にレーザ光をトラッキングして、多層情報記録媒体１０の記録領域に情報を記録する。
【００７３】
コントローラ４３は、テスト記録領域に記録されたデータの再生信号を２値化回路４８で２値化した信号と、テスト記録領域に記録する際にコントローラ４３から出力されたデータとを比べることにより、多層情報記録媒体１０に正しく信号を記録及び再生することができるかを判定する。
【００７４】
なお、再生専用の多層情報記録媒体では、多層情報記録媒体上に凹凸形状のピットが形成されている。この場合、一般的なディファレンシャルプッシュプル法によりトラッキングエラー信号４７Ｔが生成されることにより、レーザ光がピット列にトラッキングして、情報の再生のみが行われる。
【００７５】
次に、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を用いて、多層情報記録媒体の各中間層に厚みムラが生じ、厚みムラが生じた中間層が積層されることにより、再生信号特性に与える影響について説明する。
【００７６】
図７（Ａ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行っていない多層情報記録媒体の構成を示す図であり、図７（Ｂ）は、樹脂層形成工程において厚み補正を行った多層情報記録媒体の構成を示す図である。なお、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）では、３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体について説明するが、下記の現象は、３つ以上の情報記録層を有する多層情報記録媒体であれば、起こりえる。
【００７７】
図７（Ａ）及び図７（Ｂ）において、多層情報記録媒体６０は、片面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された信号基板６１と、信号基板６１の情報面上に形成された第１薄膜層６２と、信号基板６１と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第１中間層６３と、第１中間層６３の情報面上に形成された第２薄膜層６４と、第１中間層６３と反対側の面にピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成された第２中間層６５と、第２中間層６５の情報面上に形成された第３薄膜層６６と、第３薄膜層６６の上に形成された透明層６７とを含む。対物レンズ６８は、光学ヘッド４５（図６参照）内に配置されており、情報を再生又は記録するためのレーザ光６９を各薄膜層上に集光させる。また、光路長７０，７１，７２は、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの距離を表している。
【００７８】
以下は、多層情報記録媒体から情報を再生する際の厚みムラの影響について説明するが、多層情報記録媒体に情報を記録する際にも同様の影響が起こる。
【００７９】
多層情報記録媒体から情報を再生する際には、レーザ光６９のフォーカスが所望の情報記録層（薄膜層）に合わされる。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）では、レーザ光６９は第１薄膜層６２に集光している。
【００８０】
ここで、レーザ光６９の通過経路を追ってみると、まず、対物レンズ６８により集光されたレーザ光６９は、入射光量に透明層６７の透過率を乗じた光量だけ透明層６７を通過する。
【００８１】
なお、Ｂｌｕ−ｒａｙディスクに使用されているレーザ光の波長は４０５ｎｍ近傍であり、この波長のレーザ光に対する空気中での屈折率は、１．００であり、透明層６７中での屈折率は、一般的には１．４５以上１．７０以下程度である。
【００８２】
透明層６７を通過したレーザ光６９は、次に、入射光量に第３薄膜層６６の透過率を乗じた光量だけ第３薄膜層６６を透過し、透明層６７と第３薄膜層６６との屈折率の比に応じて屈折角度が傾斜する。
【００８３】
第１薄膜層６２にレーザ光６９が到達するまでには、第２中間層６５、第２薄膜層６４及び第１中間層６３の透過率に応じて光量が減少し、隣接する層同士の屈折率の比に応じた屈折が繰り返される。また、第１薄膜層６２に集光されたレーザ光６９は、照射された光量に第１薄膜層６２の反射率を乗じた光量だけ反射されて、各中間層及び各薄膜層の透過率に応じた光量の減少を繰り返しながら、入射光とは逆方向に出射する。透明層６７を出射したレーザ光６９は、光の強弱を電気信号に変換するディテクタ（図示せず）に入射し、変換された電気信号に基づいてデータが読み出される。
【００８４】
多層情報記録媒体への情報の再生及び記録では、より正確に、情報を記録及び再生するため、各種の収差が小さくなるようにレンズが設計される。また、フォーカス制御回路５４（図６参照）は、記録密度を高める目的で小さな記録マークでもばらつきが小さくなるように第１薄膜層６２上の光スポット径を小さくする。
【００８５】
レーザ光６９が上記光路を経由することで、所望の情報記録層から、情報が再生される。しかしながら、図７（Ａ）のように、樹脂層形成工程において厚み補正が行われない場合、レーザ光が多層情報記録媒体内のどの場所を通過するかによって光路長に差が生じやすくなる。たとえば、多層情報記録媒体の面内で、局部的に第１中間層６３及び第２中間層６５が薄い箇所が存在する場合、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの光路長７０は短くなる（図７（Ａ）参照）。逆に、多層情報記録媒体の面内で、局部的に第１中間層６３及び第２中間層６５が厚い箇所が存在する場合、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの光路長７１は長くなる（図７（Ａ）参照）。
【００８６】
このような光路長の変化は、レーザ光６９の焦度を狂わせ、信号品質を劣化させる。もちろん、光路長の変化に応じて、収差を補正する回路があれば、レーザ光６９のデフォーカスを防ぐことができる。しかしながら、光路長が変化する場所が多層情報記録媒体毎に異なる場合、これに対応する収差補正回路を具備することはきわめて困難である。
【００８７】
一方、図７（Ｂ）の場合、第１中間層６３は、図７（Ａ）と同様に厚みムラがあり、厚み分布が存在している。しかしながら、第２中間層６５が、第１中間層６３の厚み分布を補正するように形成されている。そのため、図７（Ｂ）において、透明層６７の光入射面７３から第１薄膜層６２までの光路長７２は、どの場所でも一定であることがわかる。
【００８８】
先に述べたとおり、多層情報記録媒体の製造プロセスでは、信号基板６１上に、順に薄膜層及び中間層が重ねて形成される。そのため、多層情報記録媒体製造装置は、第２中間層６５を形成する前に第１中間層６３の厚み分布を把握し、第１中間層６３の厚み分布を補正するように第２中間層６５を形成することが好ましい。
【００８９】
以上、多層情報記録媒体の製造方法の一例と、多層情報記録媒体に情報を記録又は再生する情報記録再生方法の一例とを説明した。以下の説明では、本実施の形態の具体例を更に詳細に説明するとともに、発明の効果について説明する。
【００９０】
（実施の形態１）
以下に、本実施の形態の多層情報記録媒体の製造方法について、図８、図９、図１０、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）を用いて説明する。
【００９１】
図８は、実施の形態１における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。図８に示す多層情報記録媒体製造装置１は、射出成形機２、スパッタリング装置３、スクリーン印刷機４及びスピンコート装置５を備える。
【００９２】
射出成形機２は、射出成形により、樹脂材料に例えばポリカーボネイトを用いた基板（信号基板１１）を作製する。信号基板１１の一方の面には、ピット又は案内溝を有する凹凸形状の情報面が形成されている。
【００９３】
スパッタリング装置３は、例えばマグネトロンスパッタ方式により、情報を記録するための情報記録層（第１薄膜層１２、第２薄膜層１４、第３薄膜層１６及び第４薄膜層１８）を形成する。スパッタリング装置３は、信号基板１１の情報面上に第１薄膜層１２を形成し、第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７上に第２薄膜層１４、第３薄膜層１６及び第４薄膜層１８をそれぞれ形成する。
【００９４】
なお、本実施の形態では、マグネトロンスパッタ方式により薄膜層を形成しているが、本発明は特にこれに限定されず、他のスパッタ方式により薄膜層を形成してもよい。
【００９５】
スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、薄膜層上に樹脂層（第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７）を形成する。スクリーン印刷機４は、薄膜層上に紫外線硬化樹脂を塗布し、塗布した紫外線硬化樹脂にピット又は案内溝を形成し、紫外線を照射することにより、第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７をそれぞれ形成する。スクリーン印刷機４は、第１薄膜層１２、第２薄膜層１４及び第３薄膜層１６上に第１中間層１３、第２中間層１５及び第３中間層１７をそれぞれ形成する。
【００９６】
スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷により第１中間層を形成するとともに、第１中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２中間層を形成する。なお、第２中間層とは、第１中間層の次に形成される中間層を表している。すなわち、第２中間層が第２中間層１５である場合、第１中間層は第１薄膜層１２であり、第２中間層が第３中間層１７である場合、第１中間層は第２中間層１５である。
【００９７】
スクリーン印刷機４は、厚み分布測定部８１、厚み補正部８２及び印刷部８３を備える。厚み分布測定部８１は、第２中間層を形成する前に、第１中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定する。厚み分布測定部８１は、例えばレーザ干渉計で構成され、多層情報記録媒体（信号基板）の表面にレーザ光を照射することにより、多層情報記録媒体の表面全体の厚み分布を測定する。
【００９８】
厚み補正部８２は、スクリーン印刷により第２中間層を形成する際に樹脂を塗布する塗布方向を、第１中間層を形成する際の塗布方向とは異ならせる。また、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の基板を載置するためのターンテーブルを、樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転させる。また、厚み補正部８２は、樹脂を塗布するためのスキージの移動方向を固定し、多層情報記録媒体の基板を載置するためのターンテーブルを回転させる。また、厚み補正部８２は、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、ターンテーブルを回転させる。さらに、厚み補正部８２は、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、ターンテーブルを回転させる。
【００９９】
印刷部８３は、厚み分布測定部８１によって測定された厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２中間層を形成する。
【０１００】
スピンコート装置５は、スピンコート法により、カバー層（透明層１９）を形成する。スピンコート装置５は、第４薄膜層１８上に透明層１９を形成する。スピンコート装置５は、第２中間層を形成した後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成する。
【０１０１】
なお、本実施の形態において、スパッタリング装置３が情報記録層形成部の一例に相当し、スクリーン印刷機４が中間層形成部の一例に相当し、スピンコート装置５がカバー層形成部の一例に相当する。
【０１０２】
次に、図８に示す多層情報記録媒体製造装置により多層情報記録媒体を製造する工程について説明する。図９は、実施の形態１における多層情報記録媒体製造処理の動作の一例を示す図である。なお、図９では、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造処理について説明する。
【０１０３】
まず、ステップＳ１において、射出成形機２は、射出成形により信号基板１１を作製する。射出成形機２によって作製された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１０４】
次に、ステップＳ２において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、信号基板１１上に第１薄膜層１２を形成する。スパッタリング装置３によって第１薄膜層１２が形成された信号基板１１は、スクリーン印刷機４に搬送される。
【０１０５】
次に、ステップＳ３において、スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、第１薄膜層１２上に第１中間層１３を形成する。スクリーン印刷機４によって第１中間層１３が形成された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１０６】
次に、ステップＳ４において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、第１中間層１３上に第２薄膜層１４を形成する。スパッタリング装置３によって第２薄膜層１４が形成された信号基板１１は、スクリーン印刷機４に搬送される。
【０１０７】
次に、ステップＳ５において、スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、第２薄膜層１４上に第２中間層１５を形成する。スクリーン印刷機４によって第２中間層１５が形成された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１０８】
次に、ステップＳ６において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、第２中間層１５上に第３薄膜層１６を形成する。スパッタリング装置３によって第３薄膜層１６が形成された信号基板１１は、スクリーン印刷機４に搬送される。
【０１０９】
次に、ステップＳ７において、スクリーン印刷機４は、スクリーン印刷工法により、第３薄膜層１６上に第３中間層１７を形成する。スクリーン印刷機４によって第３中間層１７が形成された信号基板１１は、スパッタリング装置３に搬送される。
【０１１０】
次に、ステップＳ８において、スパッタリング装置３は、マグネトロンスパッタ方式により、第３中間層１７上に第４薄膜層１８を形成する。スパッタリング装置３によって第４薄膜層１８が形成された信号基板１１は、スピンコート装置５に搬送される。
【０１１１】
次に、ステップＳ９において、スピンコート装置５は、スピンコート法により、第４薄膜層１８上に透明層１９を形成する。
【０１１２】
上記のステップＳ１〜Ｓ９の工程を経ることで、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造することができる。
【０１１３】
なお、図９では、４つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造処理について説明しているが、薄膜層の形成及び中間層の形成を繰り返すことにより、４つ以外の情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造することが可能である。すなわち、Ｎ層の多層情報記録媒体を製造する場合、薄膜層（情報記録層）を形成する工程をＮ回行い、中間層（樹脂層）を形成する工程を（Ｎ−１）回行う。例えば、３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する場合、図９におけるステップＳ７，Ｓ８の処理が省略されることになる。
【０１１４】
図１０は、実施の形態１における樹脂層形成工程の一例を示す図であり、図１１（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１１（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１２（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、図１２（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図である。
【０１１５】
図１０では、印刷前、印刷中及び印刷後のスクリーン印刷機を表している。図１０に示すスクリーン印刷機は、信号基板１０１を固定するターンテーブル１０３、スクリーン１０４、スクリーン枠１０６、スキージ固定治具１０８及びスキージ１０９を備える。
【０１１６】
スクリーン１０４の作成方法について説明する。まず、スクリーン枠１０６に、スクリーン材料となる紗を張り、その上を感光乳剤でコーティングする。次いで、コーティングされたスクリーン材料の所定の位置（複数の穴を形成する位置）以外を遮光マスクによりマスクし、スクリーン材料に露光装置を用いて紫外線を一定時間照射する。紫外線照射によって露光された感光乳剤を水噴射などによって水洗することにより現像する。このようにして、スクリーン１０４が作成される。
【０１１７】
本実施の形態の図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）において、領域１１１，１１２は、遮光マスクにより、感光乳剤を紗上に残した部分に該当し、領域１１３は、露光により紗が露出した部分に該当する。
【０１１８】
なお、スクリーン枠１０６には、例えば、木材、アルミニウム、ステンレス又はプラスチックなどの材料を用いることができるが、なかでも、軽量かつ剛性の高いアルミニウムを用いることが好ましい。スクリーン材料となる紗は、シルク、ナイロン（登録商標）、テトロン（登録商標）、Ｖスクリーン（登録商標）又はステンレスなどを用いることができるが、外圧に対する復元性の面から、Ｖスクリーンを用いることが好ましい。感光乳剤には、例えば、ジアゾニウム塩又は重クロム酸塩を、ＰＶＡ又は酢酸ビニルエマルジョンに混合し溶解させたものなどを用いることができる。スクリーン材料の所定の位置におけるメッシュ数（１インチあたりの線材の本数）は、１００〜６００であることが好ましい。メッシュ数が１００〜６００の範囲内にあれば、樹脂含有塗料の通過不良及び塗布ムラを生じさせることなく塗布することができる。なお、スクリーン材料の穴は網目に限定されない。
【０１１９】
なお、本実施の形態では、スクリーン枠１０６として軽量且つ剛性の高いアルミニウムを使用し、スクリーン１０４として信号基板１０１への負荷が小さくなるＶスクリーンを使用した場合について説明するが、他の材料を用いても実現することができる。
【０１２０】
紫外線硬化樹脂１０５の粘度が低い場合、塗布後に紫外線硬化樹脂１０５が流動し、信号基板１０１の端部から紫外線硬化樹脂１０５がはみ出したり、紫外線硬化樹脂１０５が盛り上がる。また、紫外線硬化樹脂１０５の粘度が高い場合、紫外線硬化樹脂１０５がスクリーン１０４を通り難くなり、信号基板１０１に紫外線硬化樹脂１０５が転移し難くなる。樹脂層形成工程中の温度変化及び湿度変化による紫外線硬化樹脂１０５の粘度の低下等を考慮すると、紫外線硬化樹脂１０５の粘度は３０ｃｐｓから１００００ｃｐｓの範囲内であることが好ましい。
【０１２１】
スクリーン１０４は、開口部を形成する領域１１３を設定することにより、紫外線硬化樹脂１０５の信号基板１０１上への塗布範囲を制限することが可能である。よって、本実施の形態においては、領域１１３と領域１１１との境界位置を変えることで、形成する樹脂層の端部位置を変えることができる。
【０１２２】
図１２（Ｂ）の領域１２１は、スクリーン１０４を用いたスクリーン印刷工法により、信号基板１０１上に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の範囲を示している。
【０１２３】
このスクリーン印刷工程によって形成される紫外線硬化樹脂１０５の厚み分布は、均一になることが好ましいが、実際には、樹脂層形成工程で使用される冶具の機械的精度により、局部的な厚みムラが生じる。
【０１２４】
厚みムラが生じる要因としては、複数の要因が考えられる。例えば、スキージ１０９がターンテーブル１０３に対して傾いている場合、スキージ１０９が部分的に欠損している場合、又はスキージ１０９が信号基板１０１へ与える圧力が一定でない場合、厚みムラが生じる。
【０１２５】
また、スクリーン１０４の紗の太さが場所によって違う場合、厚みムラを生じさせる要因となる。他にも、信号基板１０１の基材厚みの分布が均一でない場合、厚みムラを生じさせる要因となる。
【０１２６】
このように、厚みムラを生じさせる要因は多数存在し、厚みムラは、様々な部品及び部材の機械的精度及び寸法精度に依存している。また、スクリーン印刷機の各部材の経時劣化も考慮すると、全ての要因を排除し、厚みムラが全く無い樹脂層を形成することは現実的に不可能といってよい。
【０１２７】
ただし、これらの要因は、装置に固有、基板に固有又は冶具に固有であるため、再現性が非常に高く、印刷方向又は信号基板１０１の設置方向を定めることにより、厚み分布の方向性を制御することが可能である。
【０１２８】
以下に、ターンテーブル１０３がスキージ１０９の移動方向に対して傾いていることが原因で厚みムラが生じる場合について図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）、図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）及び図１４（Ｃ）を用いて説明する。
【０１２９】
図１３（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１３（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す断面図であり、図１４（Ａ）は、樹脂層を形成する前のスクリーン印刷機を示す上面図であり、図１４（Ｂ）は、樹脂層を形成した後のスクリーン印刷機を示す上面図であり、図１４（Ｃ）は、樹脂層が形成された信号基板を示す図である。
【０１３０】
図１３（Ａ）では、ターンテーブル１０３がスキージ１０９の移動方向に対して角度θ傾いているため、信号基板１０１もスキージ１０９の移動方向に対して角度θ傾いたまま固定される。図１３（Ａ）でも、明らかなように、スクリーン１０４の左側の塗布開始地点では、スキージ１０９と信号基板１０１との距離は近いが、スクリーン１０４の右側の塗布終了地点では、スキージ１０９と信号基板１０１との距離が塗布開始地点より大きくなっている。このため、塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚みには偏りが生じる。
【０１３１】
この場合、図１４（Ｃ）に示すように、信号基板１０１の９０°方向の端部に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚みが厚くなり、２７０°方向の端部に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚みが薄くなる。このように、厚みムラの要因が、図１３（Ａ）のように直線的にターンテーブル１０３が傾斜している場合のみであれば、次の樹脂層を形成する際に、次の樹脂層の厚みが最も大きい位置が、前の樹脂層の厚みが最も薄い位置に対応するように、信号基板１０１を１８０°回転させて設置することが好ましい。
【０１３２】
上記のように紫外線硬化樹脂１０５の厚みムラが、ターンテーブル１０３とスキージ１０９との距離の違いに起因している場合には、スキージ１０９の移動方向を逆方向（図１３（Ａ）の右から左に向かう方向）にしても厚みムラの分布は変わらない。
【０１３３】
このように、スクリーン印刷により第１の中間層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層を形成した後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０１３４】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０１３５】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０１３６】
なお、厚み補正部８２は、第２中間層を形成する際の塗布方向と、第１中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、ターンテーブル１０３を回転させてもよい。
【０１３７】
また、本実施の形態では、多層情報記録媒体が載置されたターンテーブル１０３を回転させることにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更しているが、本発明は特にこれに限定されず、多層情報記録媒体を固定されたテーブルに載置し、スキージ１０９の移動方向を回転させることにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。
【０１３８】
さらに、多層情報記録媒体が載置されるテーブルは固定されており、多層情報記録媒体を回転させてテーブルに載置することにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。この場合、ターンテーブル１０３は回転機構を備えるものであってもよいが、好ましくは回転機構を備えず、固定されているものであるのが望ましい。
【０１３９】
すなわち、多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して基板を載置する方向を、第１中間層を形成する工程と、第２中間層を形成する工程とで異ならせる。また、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、基板が基板保持テーブルに載置されてもよい。また、第２中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、基板が基板保持テーブルに載置されてもよい。さらに、第２中間層を形成する際の塗布方向と、第１中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、基板が基板保持テーブルに載置されてもよい。
【０１４０】
このとき、厚み補正部８２は、基板を基板保持テーブルに載置する機構を有することが好ましい。また、より好ましくは、厚み補正部８２は、基板を回転させて基板保持テーブルに載置する機構を有することが好ましい。
【０１４１】
スクリーン印刷では、スキージの移動方向とテーブルとの平行度の精度を向上させることにより、均一な樹脂層を形成することができる。そのため、多層情報記録媒体を回転させて固定されたテーブルに載置する場合、テーブルに回転機構を備える構成よりも、樹脂層の膜厚誤差を低減することが可能となる。
【０１４２】
また、Ｎ（Ｎは４以上の整数）個の情報記録層と（Ｎ−１）個の中間層とを有する多層情報記録媒体を製造する場合、厚み補正部８２は、第（Ｎ−１）中間層を形成する際の樹脂が塗布される塗布方向を、第１中間層から第（Ｎ−２）中間層までの塗布方向と異ならせる。
【０１４３】
（実施の形態２）
実施の形態１では、厚みムラの要因が、ターンテーブル１０３が傾斜している場合について示しているが、厚みムラの要因は、ターンテーブル１０３とスキージ１０９との距離の差に加えて、スクリーン１０４の目の粗さのばらつき、及び信号基板１０１の厚みばらつきが要因として追加されるため、実際に塗布される紫外線硬化樹脂１０５の厚み分布は非常に複雑な分布を形成する。
【０１４４】
図１５を用いて、紫外線硬化樹脂の厚み測定方法及び厚み補正方法について説明する。図１５は、実施の形態２における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。なお、実施の形態２における多層情報記録媒体製造装置の構成は、実施の形態１における多層情報記録媒体製造装置１と同じであるので説明を省略する。
【０１４５】
スクリーン印刷工法によって信号基板上に形成された樹脂層の厚みムラを測定するため、信号基板１０１の所定の半径方向を０°方向と定め、信号基板１０１の表面領域を０°方向から円周方向にｍ個の領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、・・・、Ａｍに分割する。このとき、０°方向と、スクリーン印刷機に設置した方向とを関連付けておくことが好ましい。また、信号基板１０１の表面領域を半径方向に向かって内周側から同心円状にｎ個の領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・、Ｂｎに分割する。これにより、信号基板１０１の表面領域は、ｍ×ｎ個の領域に分割することができ、円周方向及び半径方向に分割された各領域をＡｘＢｙ（ｘ＝１〜ｍ、ｙ＝１〜ｎ）と呼ぶことにする。厚み分布測定部８１は、分割された領域ＡｘＢｙの紫外線硬化樹脂（中間層）の厚みを測定する。また、中間層の厚みを測定した結果から、紫外線硬化樹脂の厚みが最も大きい領域をＡｍａｘＢｍａｘとし、紫外線硬化樹脂の厚みが最も小さい領域をＡｍｉｎＢｍｉｎとする。
【０１４６】
なお、領域ＡｘＢｙの厚みは、領域ＡｘＢｙ内の厚みの平均値であってもよく、また、領域ＡｘＢｙの中心部分の厚みであってもよい。
【０１４７】
この信号基板１０１に、情報記録層（薄膜層）をスパッタリング装置３で形成した後、スクリーン印刷機４によって、次の中間層を形成する。
【０１４８】
次の樹脂層を形成する際のスクリーン印刷機に対する信号基板１０１の設置方向が、前回樹脂層を形成した際の設置方向と同一であると、厚み分布が前回形成した樹脂層と同じになる。そのため、多層情報記録媒体は、図７（Ａ）に示す厚み分布を有し、光入射面７３から第１薄膜層８２までの間の厚みが最も薄い位置と厚みが最も厚い位置との差が大きくなりやすい。
【０１４９】
よって、図７（Ｂ）に示す厚み分布を実現するためには、領域ＡｍａｘＢｍａｘが存在する円周位置Ａｍａｘが、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎが存在する円周位置Ａｍｉｎと重なるように、スクリーン印刷機に対する信号基板１０１の設置角度を回転させることが望ましい。すなわち、図１５に示すように円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけ信号基板１０１を右方向に回転させて、ターンテーブル１０３に設置することが好ましい。厚み補正部８２は、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけターンテーブル１０３を回転させる。
【０１５０】
なお、上記の例では、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置（中心から領域ＡｍｉｎＢｍｉｎまでの距離）と領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置（中心から領域ＡｍａｘＢｍａｘまでの距離）とが比較的近い場合を例に説明しているが、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置と領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置とが常に近いとは限らない。
【０１５１】
図１６を用いて、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置と領域ＡｍａｘＢｍａｘ半径位置とが離れている場合について説明する。図１６は、実施の形態２の変形例における樹脂層の厚みムラ測定方法及び厚みムラ補正方法を説明するための図である。
【０１５２】
ここで、図１５と同様に、信号基板１０１の所定の半径方向を０°方向と定め、信号基板１０１の表面領域を０°方向から円周方向にｍ個の領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、・・・、Ａｍに分割する。また、信号基板１０１の表面領域を半径方向に向かって内周側から同心円状にｎ個の領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、・・・、Ｂｎに分割する。円周方向及び半径方向に分割された各領域をＡｘＢｙ（ｘ＝１〜ｍ、ｙ＝１〜ｎ）と呼ぶ。また、全ての領域の中で紫外線硬化樹脂の厚みが最も小さい領域をＡｍｉｎＢｍｉｎとし、紫外線硬化樹脂の厚みが最も大きい領域をＡｍａｘＢｍａｘとする。
【０１５３】
図１６に示すように、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置と領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置とは、大きく離れている。そのため、前記のように、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけ信号基板１０１を回転させても、お互いの厚み分布を打ち消す効果は弱い。
【０１５４】
そこで、厚み補正部８２は、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置で最も厚みが大きくなる領域を周方向に検索する。領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置で最も厚みが大きくなる領域をＡｌａｒｇｅＢｍｉｎと規定する。また、厚み補正部８２は、領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置で最も厚みが小さくなる領域を周方向に検索する。領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置で最も厚みが小さくなる領域をＡｓｍａｌｌＢｍａｘと規定する。
【０１５５】
よって、領域ＡｍａｘＢｍａｘの厚みを打ち消すためには、領域ＡｍａｘＢｍａｘが存在する円周位置Ａｍａｘが、領域ＡｓｍａｌｌＢｍａｘが存在する円周位置Ａｓｍａｌｌと重なるように、信号基板１０１の設置角度を回転させることが好ましい。すなわち、厚み補正部８２は、円周位置Ａｓｍａｌｌと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけターンテーブル１０３を回転させて、印刷部８３は、次の樹脂層を形成する。
【０１５６】
また、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの厚みを打ち消すためには、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎが存在する円周位置Ａｍｉｎが、領域ＡｌａｒｇｅＢｍｉｎが存在する円周位置Ａｌａｒｇｅと重なるように、信号基板１０１の設置角度を回転させることが好ましい。すなわち、厚み補正部８２は、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｌａｒｇｅとがなす角度分だけターンテーブル１０３を回転させて、印刷部８３は、次の樹脂層を形成する。
【０１５７】
しかしながら、円周位置Ａｓｍａｌｌと円周位置Ａｍａｘとがなす角度と、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｌａｒｇｅとがなす角度とが、同一になるとは限らない。よって、厚み補正部８２は、それぞれの回転によって得られる効果を計算し、効果が大きいほうの角度を選択した上で、信号基板１０１（ターンテーブル１０３）の回転角度を決定することが好ましい。
【０１５８】
例えば、厚み補正部８２は、測定された各領域ＡｘＢｙの厚みに基づいて、円周位置Ａｓｍａｌｌと円周位置Ａｍａｘとがなす角度分だけ回転させて樹脂層を積層した場合に得られる各領域ＡｘＢｙの厚みと、円周位置Ａｍｉｎと円周位置Ａｌａｒｇｅとがなす角度分だけ回転させて樹脂層を積層した場合に得られる各領域ＡｘＢｙの厚みとを計算する。そして、厚み補正部８２は、積層後の各領域ＡｘＢｙの厚みの平均値をそれぞれ算出し、算出したそれぞれの平均値と所定の値とを比較する。続いて、厚み補正部８２は、算出した平均値と所定の値との差が小さくなる角度でターンテーブル１０３を回転させる。なお、ここでの所定の値とは、予め規定されている厚みの最適値である。
【０１５９】
このため、スクリーン印刷工法により、複数の樹脂層を形成する場合は、既に形成した樹脂層の厚みムラの方向又は厚みムラの発生している位置を予め把握し、厚みムラを打ち消す方向に厚み分布が生じるように、次の樹脂層を形成することが望ましい。すなわち、次の樹脂層を形成する際に、スクリーン印刷機は、既に形成した樹脂層の厚み分布を把握した上で、信号基板１０１を適正な方向に設置することが好ましい。
【０１６０】
なお、厚み補正部８２は、スキージの移動方向を信号基板１０１の向きに応じて変えることで、スキージの移動方向に由来する厚み分布を補正することも可能である。
【０１６１】
また、Ｎ（Ｎは４以上の整数）個の情報記録層と（Ｎ−１）個の中間層とを有する多層情報記録媒体を製造する場合、厚み分布測定部８１は、直前に形成された中間層の厚みを測定し、厚み補正部８２は、測定した厚みに基づいて、次に形成される中間層の厚みを補正してもよい。また、厚み分布測定部８１は、既に形成された全ての中間層の合計厚みを測定し、厚み補正部８２は、測定した合計厚みに基づいて、次に形成される中間層の厚みを補正してもよい。
【０１６２】
また、紫外線硬化樹脂の厚みが最も小さい領域ＡｍｉｎＢｍｉｎの半径位置（中心からの距離）と、紫外線硬化樹脂の厚みが最も大きい領域ＡｍａｘＢｍａｘの半径位置とが異なる場合、厚み補正部８２は、領域ＡｍｉｎＢｍｉｎと領域ＡｍａｘＢｍａｘとのうちの外周側に存在する領域に基づいて、ターンテーブル１０３を回転させる角度を決定してもよい。
【０１６３】
なお、実施の形態２においても、実施の形態１と同様に、多層情報記録媒体が載置されるテーブルは固定されており、多層情報記録媒体を回転させてテーブルに載置することにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。
【０１６４】
（実施の形態３）
実施の形態３では、より少ないプロセスで樹脂層の厚みムラを低減することができる厚み補正方法について説明する。先に述べたように、樹脂層の厚みは、スキージの移動方向、すなわち、スクリーン印刷機における信号基板の設置方向に依存しやすい。そのため、既に形成した樹脂層の厚みムラは、スクリーン印刷時のスクリーン印刷機に対する設置方向を表す情報と、スクリーン印刷機に特有の厚みムラとが把握できていれば、予想することができる。ただし、１つ目の中間層（樹脂層）を形成した後、情報記録層（薄膜層）を形成する工程に移行する。情報記録層を作成する成膜工程では、スパッタリング又は蒸着などによって、金属及び誘電体薄膜が形成される。このとき、周方向の反射膜の厚み分布を一定にするために、信号基板を回転させることが一般的に行われる。
【０１６５】
よって、複数の樹脂層を形成する場合、複数の樹脂層形成工程の間に成膜工程が入り、成膜工程では信号基板が回転されることがあるので、既に形成した樹脂層の印刷方向が、わからなくなってしまう。
【０１６６】
そこで、実施の形態３では、樹脂層を形成したときの印刷方向がわかるように、信号基板の内周部に基準領域を形成する。なお、基準領域は、スクリーン印刷により形成可能である。
【０１６７】
図１７は、実施の形態３における多層情報記録媒体製造装置の構成を示すブロック図である。図１７に示す多層情報記録媒体製造装置１は、射出成形機２、スパッタリング装置３、スクリーン印刷機４及びスピンコート装置５を備える。なお、図１７において、図８に示す多層情報記録媒体製造装置と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【０１６８】
実施の形態３におけるスクリーン印刷機４は、基準領域検出部８４、厚み補正部８２及び印刷部８３を備える。印刷部８３は、第１中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域を形成する。なお、印刷部８３は、第１中間層が形成される領域よりも内周側に基準領域を形成する。
【０１６９】
基準領域検出部８４は、基準領域に基づいて、多層情報記録媒体の現在の配置位置を認識する。厚み補正部８２は、基準領域検出部８４によって認識された多層情報記録媒体の現在の配置位置と、第１中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、多層情報記録媒体を回転させる。印刷部８３は、厚み補正部８２によって回転された多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２中間層を形成する。
【０１７０】
図１８は、スクリーンのパターンと、当該スクリーンを用いて樹脂層を形成した信号基板とを示す図である。図１８に示すように、本来、内周部の領域１１２は、感光乳剤でコーティングされ、樹脂が塗布されない。しかしながら、実施の形態３では、内周部の領域１１２の一部の領域１３１から感光乳剤を取り除いたスクリーン１０４が作製される。このスクリーン１０４を使用してスクリーン印刷が行われることにより、領域１３１は、感光乳剤でコーティングされていないため、樹脂が通過する。これにより、信号基板１０１の内周部の領域１３１に対応する位置に樹脂が塗布され、基準領域１３２が形成される。
【０１７１】
このように、信号基板１０１の内周部に基準領域１３２が形成され、基準領域１３２の位置が検出されることにより、信号基板１０１がスクリーン１０４に対してどの方向を向いているか、及び信号基板１０１がスクリーン印刷機に対してどの方向を向いているかが把握できる。
【０１７２】
よって、基準領域検出部８４は、信号基板１０１に形成された基準領域１３２を検出し、厚み補正部８２は、検出した基準領域１３２が、予め定められた基準位置と一致するように、ターンテーブル１０３を回転させ、信号基板１０１を所定の位置に配置する。その後、厚み補正部８２は、内部のメモリに予め記憶されている回転角度だけターンテーブル１０３を回転させ、印刷部８３は、樹脂層を形成する。
【０１７３】
例えば、スクリーン印刷機４に固有の厚みムラが予め測定され、測定された厚みムラを補正するようなターンテーブル１０３の回転角度が算出され、算出された回転角度が内部のメモリに記憶される。なお、当該回転角度は、上記実施の形態１及び実施の形態２と同様にして決定される。そして、最初の樹脂層が形成される際に、基準領域１３２の位置が検出され、検出された基準領域１３２の位置に基づいて、信号基板１０１が基準位置に配置される。そして、次の樹脂層が形成される際に、基準領域１３２の位置が検出され、検出された基準領域１３２の位置に基づいて、信号基板１０１が基準位置に配置される。そして、信号基板１０１は、メモリに予め記憶されている回転角度に応じて回転され、紫外線硬化樹脂が塗布される。
【０１７４】
これにより、樹脂層の厚み分布を測定することなく、スクリーン印刷機に対して特有の厚みムラを検出することができる。
【０１７５】
また、この方向を把握することによって、次の樹脂層を形成する際に、信号基板１０１の設置位置を最適化することが可能である。
【０１７６】
なお、本実施の形態３では、信号基板１０１の内周部に樹脂の塗布量を増加させるようにして基準領域１３２が形成されているが、本発明は特にこれに限定されず、信号基板１０１の位置がセンサで特定できる大きさであればよく、形状及び形成位置を限定するものではない。また、本実施の形態３では、本来樹脂を形成しない内周部に付加的に樹脂を形成することにより基準領域１３２を設けたが、反対に、内周部全体に樹脂を形成し、内周部の一部分に樹脂を形成しないことにより基準領域を設けてもよく、配置方向を指し示す印として代用することができる。
【０１７７】
また、実施の形態３における多層情報記録媒体製造装置１は、実施の形態１及び実施の形態２における厚み分布測定部８１を備えてもよい。
【０１７８】
なお、信号基板上をスキージが通過する際に、スキージと信号基板との間にはスクリーンが挟まっている。このスキージと信号基板との距離が近いと、樹脂がスクリーン上を滑る量が多くなり、信号基板上に塗布される樹脂量が減る。そのため、信号基板とスキージとの距離は、常に同じであることが好ましい。すなわち、信号基板の厚みが薄い場合、又はターンテーブル自体が下がっている場合、スキージと信号基板との距離が長くなり、樹脂層は厚くなる。すなわち、信号基板の厚みが薄いほうが樹脂層の厚みは厚くなり、スキージと信号基板との距離が大きいほうが樹脂層は厚くなる。
【０１７９】
また、厚み補正部８２は、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの速度を、信号基板上の樹脂を塗布する場所に応じて変更してもよい。スキージがスクリーン上を移動する速度が大きい場合は、樹脂が移動するスキージに追随しにくくなる。そのため、樹脂は、スクリーン上に残留しにくくなり、スクリーンの網目から下に落ち、信号基板上に塗布される樹脂量が多くなる。つまり、スキージの移動速度が速くなるほど、形成される中間層の厚みは大きくなる。そのため、例えば、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの移動速度を変更する。特に、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合のスキージの移動速度を、外周部分に中間層を形成する場合のスキージの移動速度よりも大きくする。これにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１８０】
また、厚み補正部８２は、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きを、樹脂を塗布する場所に応じて変更してもよい。スクリーンに対するスキージの傾きが大きくなるほど、形成される中間層の厚みは小さくなる。そのため、例えば、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの傾きを変更する。特に、厚み補正部８２は、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合のスキージの傾きを、外周部分に中間層を形成する場合のスキージの傾きよりも小さくする。これにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１８１】
このように、スキージの移動速度及び／又はスキージの傾きが、樹脂を塗布する場所に応じて変更されることによって、より良好な信号特性を有する多層情報記録媒体を形成することが可能となる。
【０１８２】
なお、実施の形態３においても、実施の形態１と同様に、多層情報記録媒体が載置されるテーブルは固定されており、多層情報記録媒体を回転させてテーブルに載置することにより、樹脂が塗布される塗布方向を変更してもよい。
【０１８３】
また、上記の実施の形態１〜３をそれぞれ単独に実施してもよいが、実施の形態１〜３を組み合わせて実施することによって、より良好な信号特性を有する多層情報記録媒体を形成することが可能となる。
【０１８４】
なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。
【０１８５】
本発明の一局面に係る多層情報記録媒体製造方法は、少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法であって、基板上に第１の情報記録層を形成する第１の情報記録層形成ステップと、前記第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層を形成する第１の中間層形成ステップと、前記第１の中間層上に第２の情報記録層を形成する第２の情報記録層形成ステップと、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、前記第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層を形成する第２の中間層形成ステップと、前記第２の中間層上に第３の情報記録層を形成する第３の情報記録層形成ステップと、前記第３の情報記録層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成ステップとを含む。
【０１８６】
この構成によれば、基板上に第１の情報記録層が形成され、第１の情報記録層上にスクリーン印刷により第１の中間層が形成される。次に、第１の中間層上に第２の情報記録層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、第２の情報記録層上にスクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層上に第３の情報記録層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０１８７】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０１８８】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０１８９】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップは、前記第２の中間層を形成する前に、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定する測定ステップと、前記測定ステップにおいて測定された前記厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことが好ましい。
【０１９０】
この構成によれば、第２の中間層を形成する前に、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきが測定され、測定された厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２の中間層が形成されるので、第１の中間層の厚みばらつきを把握した上で、第２の中間層を形成することができる。
【０１９１】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布する塗布方向が、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とは異なることが好ましい。
【０１９２】
この構成によれば、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布する塗布方向が、第１の中間層を形成する際の塗布方向と異なるように第２の中間層が形成されるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１９３】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルが、前記樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転することが好ましい。
【０１９４】
この構成によれば、多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルが、樹脂を塗布するためのスキージの移動方向に対して相対的に回転することにより、第２の中間層形成時における樹脂の塗布方向が変更される。したがって、第２の中間層形成時において、スキージの移動方向を変更する場合に比べて、樹脂の塗布方向を容易に変更することができる。
【０１９５】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板保持テーブルが回転することが好ましい。
【０１９６】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、基板保持テーブルが回転するので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１９７】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板保持テーブルが回転することが好ましい。
【０１９８】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、基板保持テーブルが回転するので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０１９９】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板保持テーブルが回転することが好ましい。
【０２００】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際の塗布方向と、第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、基板保持テーブルが回転するので、スキージの移動方向に応じて発生する厚みばらつきを低減することができる。
【０２０１】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して前記基板を載置する方向を、前記第１の中間層形成ステップと、前記第２の中間層形成ステップとで異ならせることが好ましい。
【０２０２】
この構成によれば、多層情報記録媒体の基板を載置するための基板保持テーブルに対して基板を載置する方向が、前記第１の中間層形成ステップと、前記第２の中間層形成ステップとで異なるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２０３】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることが好ましい。
【０２０４】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの大きい位置とが重ならないように、基板が基板保持テーブルに載置されるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２０５】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、前記第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることが好ましい。
【０２０６】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際に最も厚みが大きくなる位置と、第１の中間層の最も厚みの小さい位置とが重なるように、基板が基板保持テーブルに載置されるので、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２０７】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記第２の中間層を形成する際の塗布方向と、前記第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、前記基板が前記基板保持テーブルに載置されることが好ましい。
【０２０８】
この構成によれば、第２の中間層を形成する際の塗布方向と、第１の中間層を形成する際の塗布方向とが垂直に交わるように、基板が基板保持テーブルに載置されるので、スキージの移動方向に応じて発生する厚みばらつきを低減することができる。
【０２０９】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きが、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることが好ましい。
【０２１０】
この構成によれば、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの傾きが、樹脂を塗布する場所に応じて変更される。スクリーンに対するスキージの傾きが大きくなるほど、形成される中間層の厚みは小さくなる。そのため、例えば、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの傾きを変更することにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２１１】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第２の中間層形成ステップにおいて、前記スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの移動速度が、前記樹脂を塗布する場所に応じて変更されることが好ましい。
【０２１２】
この構成によれば、スクリーン印刷を行う際に樹脂を塗布するためのスキージの移動速度が、樹脂を塗布する場所に応じて変更される。スキージの移動速度が速くなるほど、形成される中間層の厚みは大きくなる。そのため、例えば、多層情報記録媒体の内周部分に中間層を形成する場合と、外周部分に中間層を形成する場合とで、スキージの移動速度を変更することにより、スクリーン印刷による周方向の厚みばらつきを低減することができる。
【０２１３】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する前記多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成され、前記第２の中間層形成ステップは、前記基準領域に基づいて、前記多層情報記録媒体の現在の配置位置を認識する認識ステップと、前記認識ステップにおいて認識された前記多層情報記録媒体の現在の配置位置と、前記第１の中間層を形成した際の前記多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、前記多層情報記録媒体を回転させる配置位置変更ステップと前記配置位置変更ステップにおいて回転された前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように前記第２の中間層を形成する形成ステップとを含むことが好ましい。
【０２１４】
この構成によれば、第１の中間層を形成した際の樹脂が塗布される塗布方向に対する多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成される。そして、基準領域に基づいて、多層情報記録媒体の現在の配置位置が認識され、認識された多層情報記録媒体の現在の配置位置と、第１の中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、多層情報記録媒体が回転される。その後、回転された多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように第２の中間層が形成される。
【０２１５】
一般的に、情報記録層を形成する処理と、中間層を形成する処理とは、異なる装置によって行われる。そのため、第１の中間層が形成された際の多層情報記録媒体の配置位置と、第２の中間層が形成される際の多層情報記録媒体の配置位置とが異なるおそれがある。そこで、第１の中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置を認識するための基準領域が形成され、基準領域に基づいて認識された多層情報記録媒体の現在の配置位置と、第１の中間層を形成した際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するように、多層情報記録媒体が回転される。
【０２１６】
したがって、第１の中間層が形成された際の多層情報記録媒体の配置位置と、第２の中間層が形成される際の多層情報記録媒体の配置位置とが一致するので、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきを測定することなく、スクリーン印刷機に固有の厚みばらつきを低減することができる。
【０２１７】
また、上記の多層情報記録媒体製造方法において、前記第１の中間層形成ステップにおいて、前記第１の中間層が形成される領域よりも内周側に前記基準領域が形成されることが好ましい。
【０２１８】
この構成によれば、第１の中間層が形成される領域よりも内周側に基準領域が形成されるので、第１の中間層を形成する際に同時に基準領域を形成することができ、基準領域を容易に形成することができる。
【０２１９】
本発明の他の局面に係る多層情報記録媒体製造装置は、少なくとも３つの情報記録層を有する多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置であって、少なくとも３つの情報記録層を形成する情報記録層形成部と、スクリーン印刷により第１の中間層を形成するとともに、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層を形成する中間層形成部と、前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層を形成するカバー層形成部とを備える。
【０２２０】
この構成によれば、少なくとも３つの情報記録層が形成され、スクリーン印刷により第１の中間層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０２２１】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０２２２】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０２２３】
本発明の他の局面に係る多層情報記録媒体は、少なくとも３つの情報記録層と、前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、光入射面を有するカバー層とを備え、前記複数の中間層は、スクリーン印刷により形成された第１の中間層と、前記第１の中間層を形成した後の前記多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により形成された第２の中間層とを含み、前記カバー層は、前記第２の中間層を形成した後、前記多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法により形成される。
【０２２４】
この構成によれば、少なくとも３つの情報記録層が形成され、スクリーン印刷により第１の中間層が形成され、第１の中間層を形成した後の多層情報記録媒体の厚みばらつきの大きさが小さくなるように、スクリーン印刷により第２の中間層が形成される。そして、第２の中間層が形成された後、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みよりも薄くなるように、スピンコート法によりカバー層が形成される。
【０２２５】
多層情報記録媒体の半径方向の厚み分布はスピンコート法により制御することが可能であるので、多層情報記録媒体の半径方向の厚みばらつきはスピンコート法により低減することができる。一方、スピンコート法では、多層情報記録媒体の周方向の厚みばらつきを低減することが困難である。また、上記のように、スクリーン印刷では、多層情報記録媒体の内周部分の厚みが外周部分の厚みより大きくなる傾向にあり、複数の中間層を積層することにより、多層情報記録媒体の内周部分が厚くなる。
【０２２６】
そこで、スクリーン印刷による各中間層の形成時に周方向の厚みばらつきを低減し、スピンコート法によるカバー層の形成時に半径方向の厚みばらつきを低減することにより、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができる。
【０２２７】
なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様または実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と特許請求事項との範囲内で、種々変更して実施することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【０２２８】
本発明に係る多層記録媒体製造方法、多層情報記録媒体製造装置及び多層情報記録媒体は、多層情報記録媒体の光入射面から最も奥の情報記録層までの距離を面内で均一にすることができ、少なくとも３つの情報記録層と、前記情報記録層の間に形成される複数の中間層と、光入射面を有するカバー層とを含む多層情報記録媒体、当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造方法及び当該多層情報記録媒体を製造する多層情報記録媒体製造装置として有用である。また、大容量メモリの製造等の用途にも応用できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2010103853.tif 000027
【図２】
2010103853.tif 000028
【図３】
2010103853.tif 000029
【図４】
2010103853.tif 000030
【図５】
2010103853.tif 000031
【図６】
2010103853.tif 000032
【図７】
2010103853.tif 000033
【図８】
2010103853.tif 000034
【図９】
2010103853.tif 000035
【図１０】
2010103853.tif 000036
【図１１】
2010103853.tif 000037
【図１２】
2010103853.tif 000038
【図１３】
2010103853.tif 000039
【図１４】
2010103853.tif 000040
【図１５】
2010103853.tif 000041
【図１６】
2010103853.tif 000042
【図１７】
2010103853.tif 000043
【図１８】
2010103853.tif 000044
【図１９】
2010103853.tif 000045
【図２０】
2010103853.tif 000046
【図２１】
2010103853.tif 000047
【図２２】
2010103853.tif 000048
【図２３】
2010103853.tif 000049
【図２４】
2010103853.tif 000050
【国際調査報告】
2010103853.tif 000051
2010103853.tif 000052
2010103853.tif 000053
2010103853.tif 000054