(57)【要約】  スライド時の応力における割れを軽減できて、剥離すべきチップを容易に剥離して取り出すことが可能なチップ剥離方法、チップ剥離装置、及び半導体装置製造方法を提供する。  上面にチップ（１１）を貼り付けた粘着シート（１２）の直下にステージ（１６）を配設する。ステージ（１６）に、固定ステージ部（１６ｂ）と、傾動自在かつスライド自在な可動ステージ部（１６ａ）とを設ける。チップ（１１）の周縁部の一部を可動ステージ部（１６ａ）からはみ出させる。可動ステージ部（１６ａ）の反はみ出し側を固定ステージ部（１６ｂ）側に接触させつつ、可動ステージ部（１６ａ）のはみ出し側を上昇させ、はみ出し部（３１）の下方に空隙（１９）を設ける。傾動状態において、接触による空隙（１９）のシール状態を維持しつつ空隙（１９）に負圧を作用させてから、はみ出し側とは反対側に可動ステージ部（１６ａ）を水平方向にスライドさせる。
2010052758.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面にチップを貼り付けた粘着シートから前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、
固定ステージ部と可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、
可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させ、
その後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたことを特徴とするチップ剥離方法。
【請求項２】
上面にチップを貼り付けた粘着シートから前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、
固定ステージ部と可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、
可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させ、
その後、可動ステージ部の傾斜角度を減少させた後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたことを特徴とするチップ剥離方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のチップ剥離方法を用いて半導体装置を製造する半導体装置製造方法。
【請求項４】
上面にチップを貼り付けた粘着シートから前記チップを剥離させるチップ剥離装置において、
固定ステージ部と可動ステージ部とを備えたステージと、
剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すようにした状態で、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させる傾動手段と、
前記接触によるシール状態を維持しつつ、前記チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させる負圧供給手段と、
前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるスライド手段とを備えたことを特徴とするチップ剥離装置。
【請求項５】
傾動手段は、可動ステージ部の傾動角の変更が可能であることを特徴とする請求項４に記載のチップ剥離装置。
【請求項６】
前記固定ステージに前記可動ステージが嵌合する凹部を設け、固定ステージの凹部は、その底面に前記はみ出し状態乃至傾動状態で可動ステージ部の反はみ出し側が接触することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のチップ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ剥離方法、チップ剥離装置、および半導体装置製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体チップ（以下、単にチップという。）を粘着シートからピックアップする必要がある。従来のチップ剥離装置として、粘着シートを保持するステージと、このステージに対して進退する突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備えたものがある。すなわち、突き上げ台によって突き上げられたニードルによりステージの粘着シートを裏面側から突いて、チップを粘着シートから離脱させるように構成されている。【０００３】
しかしながら、ニードルを使用するチップ剥離装置では、ニードルがチップを突き上げて粘着シートから剥離する際に、粘着テープを突き破る場合があり、このような場合にはチップ裏面を傷付けるおそれがある。また、磨滅や破損によって各ニードルの長さが相違することになって、チップが傾いて突き上げられる状態になり、隣合うチップ同士が衝突して傷付け合うおそれがある。【０００４】
さらに、チップはコレットにて吸着されて取り出される。しかしながら、チップが傾いて突き上げられれば、コレットによるチップの吸着ミスが発生する。コレットのチップ吸着ミスが発生すると、その後の作業に支障を来たすことになる。また、ニードルの突き上げによって、チップが損傷する場合もあった。【０００５】
そこで、近年このようなニードルを使用しないチップ剥離装置（特許文献１）が提案されている。このチップ剥離装置は、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、チップ１が貼り付けられている粘着シート２を保持するステージ３を備える。また、ステージ３には、その上面４ａがステージ上面３ａより突出する可動ステージ部４が付設される。このため、可動ステージ部４の外周側には、粘着シート２との間に隙間６が形成される。さらに、ステージ３には、前記隙間６に連通される図示省略の吸引孔が設けられている。【０００６】
次に、前記チップ剥離装置を使用したチップ剥離方法を説明する。まず、上方から図示省略のコレット（吸着コレット）にてチップ１を吸着（保持）した状態で、吸引孔８を介して粘着シート２を下方に吸引する。これによって、空隙６のエアが吸引され、チップ１のはみ出し部の粘着シート２が吸引され、チップ１のはみ出し部において粘着シート２が剥離する。この場合、可動ステージ部４の上面４ａと、ステージ３の上面３ａとでＳ０の段差ができる。すなわち、可動ステージ部４の上面４ａは、ステージ３の上面３ａよりも鉛直方向にＳ０だけ上位に位置する。【０００７】
前記チップ剥離装置を使用した場合、剥離の初期段階においては、チップ１の周縁部の一部（図５に示す場合、チップ１のはみ出し部）の粘着シート２を剥がす必要がある。このチップ１のはみ出し部の粘着シート２は、ダイシング時の応力により貼り付きが強いため、剥離するためには他の箇所よりも大きな応力が必要となる。このため、可動ステージ部４の上面４ａを、ステージ上面３ａからＳ０だけ突出させている。これによって、粘着シート２を剥離する応力が大きくなって、チップ１のはみ出し部の粘着シート２を剥離することができる。【０００８】
その後、図５Ｂに示すように、可動ステージ部４を矢印の方向へ移動させる。これによって、可動ステージ部４にて受けられているチップ１の受け面積が減少していって、粘着シート２の吸着（吸引）面積が増加して、最終的にこのチップ１から粘着シート２を完全に剥離させることができる。【０００９】
ところで、前記したように、粘着シート２を剥離する際には、周縁部の一部（はみ出し部）が剥離できる大きな応力、すなわち高い段差によりチップに大きな曲げが与えられ、この段差を維持した状態でスライド動作が行われる。このように、剥離初期段階において周縁部一部（はみ出し部）を剥離する場合には、大きな剥離力が必要となる。しかしながら、周縁部の一部が剥離された後、可動ステージ部４をスライドさせて他の部位を剥離させる際には、剥離初期段階における大きな剥離力を必要としない。すなわち、剥離強度は剥離段階でチップの裏面で一様ではない。【００１０】
このため、可動ステージ部４の昇降を可能とすることが考えられる。この場合、剥離初期段階では、図６と図７に示すように、可動ステージ部４を上昇させて、可動ステージ部４の上面４ａとステージ３の上面３ａとの段差を大きくし、チップ１のはみ出し部の下方に空隙６を設け、この空隙６に負圧を作用させる。そして、可動ステージ部４のスライド時には、可動ステージ部４を下降させて、可動ステージ部４の上面４ａとステージ３の上面３ａとの段差を小さくする。【００１１】
これによって、剥離初期段階では、可動ステージ部と固定ステージ部とを高い段差として、粘着シートに対して大きな剥離力を作用させることができる。また、可動ステージ部のスライド時には、可動ステージ部と固定ステージ部とを低い段差として、隣設する他のチップに動的な捻るような応力が付与されるのを防止して、隣設する他のチップに与えられる曲げを小さくするようにできる。
【特許文献１】特許第３２０９７３６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、図６と図７に示すように、可動ステージ部４を上昇させた場合、チップ１の反はみ出し側において、凹部５の底面５ａとの間に隙間８が生じ、この隙間８の反はみ出し側の開口部８ａを介してエア漏れが発生するおそれがあった。このように反はみ出し側においてエア漏れが生じた場合、吸着力（剥離力）が弱くなって、チップ１の外周側において粘着シート２がうまく剥離できないことになる。これによって、剥離機能の低下を招くことになる。【００１３】
本発明は、上記課題に鑑みて、スライド時の応力における割れを軽減できて、剥離すべきチップを容易に剥離して取り出すことが可能なチップ剥離方法、チップ剥離装置、および半導体装置製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１のチップ剥離方法は、上面にチップを貼り付けた粘着シートから前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、固定ステージ部と可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させ、その後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたものである。【００１５】
本発明の第２のチップ剥離方法は、上面にチップを貼り付けた粘着シートから前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、固定ステージ部と可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させ、その後、可動ステージ部の傾斜角度を減少させた後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたものである。【００１６】
本発明のチップ剥離方法によれば、チップのはみ出し部の下方の空隙に、負圧通路を介して負圧を作用させることによって、はみ出し側の粘着シートに対して剥離力を作用させることができる。このため、可動ステージ部の周縁部の一部（はみ出し部）において、粘着シートが吸引されて粘着シートがチップから剥離する。しかも、はみ出し状態で可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させているので、反はみ出し側においてエア漏れを防止することができる。この状態で、可動ステージ部を、水平方向に沿って移動することによって、可動ステージ部によるチップの受け面積が減少し、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加して剥離範囲が広がって、最終的には、この剥離すべきチップから粘着シートを完全に剥離させることができる。【００１７】
前記傾動角を減少させてから可動ステージ部を水平方向にスライドさせるものであってもよい。このように、傾動角を減少させた場合、可動ステージ部のはみ出し側の固定ステージ部からの突出量を小さくすることができる。これによって、隣設する他のチップに動的な捻るような応力が付与されるのを防止して、隣設する他のチップに与えられる曲げを小さくすることができる。しかも、剥離するのに十分な小さな剥離力でもって粘着シートを剥離していくことができる。【００１８】
本発明の半導体装置製造方法は、前記チップ剥離方法を用いて半導体装置を製造するものである。【００１９】
本発明のチップ剥離装置は、上面にチップを貼り付けた粘着シートから前記チップを剥離させるチップ剥離装置において、固定ステージ部と可動ステージ部とを備えたステージと、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すようにした状態で、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させる傾動手段と、前記接触によるシール状態を維持しつつ、前記チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させる負圧供給手段と、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるスライド手段とを備えたものである。【００２０】
前記チップ剥離装置によれば、前記本発明にかかるチップ剥離方法を安定して行うことができる。【００２１】
傾動手段は、可動ステージ部の傾動角の変更が可能であるようにするのが好ましい。このように構成することによって、空隙に負圧を作用させる時の可動ステージ部の傾動角と、可動ステージ部のスライドさせる時の可動ステージ部の傾動角とを相違させることができる。【００２２】
前記固定ステージに前記可動ステージが嵌合する凹部を設け、固定ステージの凹部は、その底面に前記はみ出し状態乃至傾動状態で可動ステージ部の反はみ出し側が接触するようにできる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、反はみ出し側においてエア漏れを防止することができ、剥離初期段階におけるチップにはみ出し部の剥離を安定して行うことができ、剥離作業の信頼性が向上する。特に、エア漏れを防止できるので、負圧を作用させるエア吸引手段（負圧供給手段）の真空ポンプの小型化を図ることができ、しかも、エア漏れを防止するために別途シール機構を設ける必要がなく、装置全体のコンパクト化及び低コスト化を達成できる。【００２４】
また、傾動角を減少させた場合、隣設する他のチップにより一層動的な捻るような応力が付与されるのを防止して、隣設する他のチップに与えられる曲げを小さくすることができる。このため、スライド時の応力における隣設する他のチップ割れを軽減できて、剥離すべきチップを容易に剥離して取り出すことができる。【００２５】
前記固定ステージに可動ステージが嵌合する凹部を設けることによって、反はみ出し側におけるシール機能の向上を図ることができ、より安定した剥離作用を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１Ａ】本発明のチップ剥離装置を用いたチップ剥離方法を示し、可動ステージ部の傾動前を示す簡略図である。
【図１Ｂ】本発明のチップ剥離装置を用いたチップ剥離方法を示し、可動ステージ部の傾動状態を示す簡略図である。
【図１Ｃ】本発明のチップ剥離装置を用いたチップ剥離方法を示し、可動ステージ部のスライド状態を示す簡略図である。
【図１Ｄ】本発明のチップ剥離装置を用いたチップ剥離方法を示し、可動ステージ部のスライド状態を示す簡略図である
【図２】本発明のチップ剥離装置の簡略平面図である。
【図３】前記チップ剥離装置の簡略側面図である。
【図４】チップ剥離装置の粘着シートに貼り付けたチップを示す簡略平面図である。
【図５Ａ】従来のチップ剥離装置を使用したチップ剥離方法を示し、可動ステージ部のスライド前を示す簡略断面図である。
【図５Ｂ】従来のチップ剥離装置を使用したチップ剥離方法を示し、可動ステージ部のスライド状態を示す簡略断面図である。
【図６】従来の他のチップ剥離装置を使用したチップ剥離方法を示す簡略断面図である。
【図７】従来の他のチップ剥離装置を使用したチップ剥離方法を示す簡略側面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１１    チップ
１２    粘着シート
１６    ステージ
１６ａ  可動ステージ部
１６ｂ  固定ステージ部
１９    空隙
３０    負圧通路
３１    はみ出し部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。【００２９】
図１〜図３に本発明のチップ剥離装置を示す。このチップ剥離装置は、粘着シート１２上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のチップ（半導体チップ）１１を、前記粘着シート１２から順次剥離して取り出す装置である。すなわち、半導体装置としての半導体チップ１１を製造する半導体装置製造装置に用いるものである。【００３０】
チップ１１は、ウェーハ１０(図４参照)を素材とし、この素材を矩形状に切断することによって最終製品となる。このため、チップ１１には正方形や短冊状のもの等がある。すなわち、図４に示すように、ウェーハ１０は全体として円形であり、ダイシングにより個々のチップ１１に分割され、このチップ１１が粘着シート１２に貼り付けられている。また、粘着シート１２の外周側にはリング体からなるフレーム１３が貼着されている。すなわち、このフレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている。そして、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態で、このチップ剥離装置にてチップ１１が取り出される。【００３１】
チップ剥離装置は、図１に示すように、剥離すべきチップ１１を上方から保持する保持手段１５と、粘着シート１２が載置されるステージ１６とを備える。ステージ１６は、固定ステージ部１６ｂと、傾動自在かつスライド自在な可動ステージ部１６ａとを備える。すなわち、固定ステージ部１６ｂの上面には凹所２２が設けられ、この凹所２２に矩形平板体である可動ステージ部１６ａが配置されている。また、図２に示すように、可動ステージ部１６ａの幅寸法Ｗは、正方形であるチップ１１の一辺の長さ（幅寸法）Ｗ１よりも小さく設定されている。この場合、可動ステージ部１６ａの一方の短辺１７ａが剥離すべきチップ１１の第１辺２３ａに対応し、チップ１１の第１辺２３ａが可動ステージ部１６ａの短辺１７ａよりもはみ出している。【００３２】
また、図２に示すように、ステージ１６に粘着シート１２との境界面に負圧を導入する負圧通路３０を設けている。負圧通路３０は、チップ１１の第１辺２３ａ側に開口する吸引口３０ａ、３０ｂを備えている。この場合、図２に示すように、各吸引口３０ａ、３０ｂは、平面視で分かるように、チップ１１のはみ出し部３１に対応している。【００３３】
負圧通路３０には、図示省略の真空ポンプが接続されてなる。すなわち、真空ポンプが駆動することによって、負圧通路３０の吸引口３０ａ、３０ｂからエアを吸引することができる。このように、負圧通路３０と真空ポンプ等で負圧供給手段（エア吸引手段）を構成することができる。【００３４】
保持手段１５は、チップ１１を吸着するヘッド２０を有する吸着部材（コレット）２１にて構成している。ヘッド２０は、その下端面２０ａに吸着孔が設けられ、この吸着孔を介してチップ１１が真空吸引され、このヘッド２０の下端面２０ａにチップ１１が吸着する。このため、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、ヘッド２０からチップ１１が外れる。【００３５】
可動ステージ部１６ａは、図１Ａに示すように、チップ１１のはみ出し側を上昇させるように傾動させることができるとともに、この傾動状態を維持しつつ前記空隙１９が拡大するようにスライドすることができる。この傾動及びスライドには、図示省略の駆動手段が用いられる。駆動手段には、可動ステージ部１６ａを傾動させる傾動機構部（傾動手段）と、可動ステージ部１６ａをスライドさせるスライド機構部（スライド手段）とを備える。傾動機構部は、例えば、固定ステージ部１６ｂ側に、可動ステージ部１６ａのはみ出し側を上昇させる押し上げピン（図示省略）を有し、この押し上げピンを往復動機構を介して上下動させるものである。傾動手段（傾動手段）は、可動ステージ部１６ａの傾動角の変更を可能としている。可動ステージ部１６ａの傾動角の変更は、押し上げピンの押し上げ量を変更することによって可能である。この場合、押し上げピンの押し上げ量を無段階に変更できるようにしても、有段階に変更できるようにしてもよい。【００３６】
また、スライド機構部（スライド手段）は、この傾動機構部を略水平方向にスライドさせる往復動機構を備える。なお、傾動機構部及びスライド機構部の往復動機構は、ボルト軸部材とこれに螺合するナット部材からなる往復動機構やシリンダ機構、リニアアクチュエータ等の種々の公知公用の機構を用いることができる。【００３７】
次に、前記チップ剥離装置を使用した剥離方法を説明する。可動ステージ部１６ａでチップ１１を支持した状態で、チップ１１の周縁部の少なくとも一部（つまり第１辺２３ａ側）を可動ステージ部１６ａからはみ出させる。そして、このはみ出し状態において可動ステージ部１６ａの反はみ出し側を固定ステージ部側（つまり凹所２２の底面２２ａ）に接触させつつ、前記可動ステージ部１６ａの前記はみ出し側を矢印Ａのように上昇させて傾動させ、このはみ出し部３１の下方に空隙１９を設ける。この場合、可動ステージ部１６ａによって、凹所２２の反はみ出し側をシールしている。また、可動ステージ部１６ａを傾動させることによって、可動ステージ部１６ａと凹所２２とで空所１８が形成され、この空所１８と前記空隙１９とが連通される。そして、空隙１９は吸引口３０ａ、３０ｂに連通されている。【００３８】
この状態で、保持手段１５のコレット２１を、ヘッド２０をチップ１の上面に当接するとともに、吸着孔を介してチップ１１を真空吸引して、このヘッド２０の下端面２０ａにチップ１１を吸着させる。このため、このコレット２１は首振自在となっている。【００３９】
前記空隙１９は、前記したように、吸引口３０ａ、３０ｂに連通されている。そこで、吸引手段（負圧供給手段）を駆動することによって、吸引口３０ａ、３０ｂを介して空隙１９のエアを吸引して負圧を作用させる。これによって、チップ周縁部の粘着シート１２の一部、つまりはみ出し側が吸引され、図１Ｂの仮想線に示すように、粘着シート１２をチップ１１から剥離する。【００４０】
その後は、図１Ｃに示すように、可動ステージ部１６ａを、はみ出し側と反対方向である矢印Ｂ方向にスライドさせる。この際、可動ステージ部１６ａを凹所２２の底面２２ａの反はみ出し側に接触させつつスライドさせることによって、反はみ出し側のシール状態を維持しつつスライドさせる。【００４１】
このスライドによって、可動ステージ部１６ａによるチップ１の受け面積が順次減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、チップ１１はコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次チップ１１から剥離していく。このため、図１Ｄに示すように、可動ステージ部１６ａの短辺１７ａが、チップ１１の第１辺２３ａから外れたときに、この剥離すべきチップ１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。【００４２】
そして、剥離後は、コレット２１を上昇させてステージ１６から離すことによって、チップ１１を粘着シート１２から取り出す（ピックアップする）ことができる。その後は、前記負圧状態を解除して、可動ステージ部１６ａを前記矢印Ｂと反対方向にスライドさせて図１Ｂに示す状態とした後、可動ステージ部１６ａの傾動状態を解除する。【００４３】
その後は、順次他のチップ１１にこのチップ剥離装置を対応させて行けば、粘着シート１２上のすべてのチップ１１を粘着シート１２から剥離して取り出すことができる。このように、このチップ剥離装置を半導体装置を製造する際に用いることができる。ここで、半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指し、電気光学装置、半導体回路および電子機器は全て半導体装置である。また、回路が形成されたウエハ状態のものであっても、、ウエハから切り出された個別の半導体チップであっても、ウエハを複数に分割したものであっても、ウエハ状態でパッケージされたものであっても、ウエハ状態でパッケージされたものを複数に分割したものであっても、ウエハ状態でパッケージされたものを切り出して個別の半導体素子にしたものであっても構わない。【００４４】
本発明では、可動ステージ部１６ａを傾動させて形成される空隙１９に、負圧通路３０を介して負圧を作用させることによって、はみ出し側の粘着シート１２に対して剥離力を作用させることができる。このため、チップ１１はみ出し部３１において、粘着シート１２が吸引されて粘着シート１２がチップ１１から剥離する。しかも、はみ出し状態で可動ステージ部１６ａの反はみ出し側を固定ステージ部１６ｂ側に接触させているので、反はみ出し側においてエア漏れを防止することができる。この状態で、可動ステージ部１６ａを、水平方向に沿って移動することによって、可動ステージ部１６ａによるチップ１１の受け面積が減少し、粘着シート１２の吸着（吸引）面積が増加して剥離範囲が広がって、最終的には、この剥離すべきチップ１１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。【００４５】
このように、本発明では、反はみ出し側においてエア漏れを防止することができ、剥離初期段階におけるチップ１１のはみ出し部３１の剥離を安定して行うことができ、全剥離作業の信頼性が向上する。【００４６】
特に、エア漏れを防止できるので、負圧を作用させるエア吸引手段（負圧供給手段）の真空ポンプの小型化を図ることができ、しかも、エア漏れを防止するために別途シール機構を設ける必要がなく、装置全体のコンパクト化及び低コスト化を達成できる。【００４７】
ところで、前記実施形態では、可動ステージ部１６ａの傾動角度を変更することなく、スライドさせていたが、この傾動角度θを変化させてもよい。すなわち、図１Ｂに示すように、傾動させた後、仮想線で示すように、この傾動角度θを小さくする。【００４８】
ところで、可動ステージ部１６ａを傾動させるのは、初期段階におけるチップ１１のはみ出し部３１の剥離のためである。すなわち、チップ１の周縁部の粘着シート２は、ダイシング時の応力により貼り付きが強いため、剥離するためには他の箇所よりも大きな応力が必要となる。このため、傾斜角度θ（図１Ｂ参照）を大きくして、空隙１９を大きくとる必要がある。しかしながら、可動ステージ部１６ａをスライドさせて、他の部位を剥離する場合、初期段階のままの傾動角度θでは、隣設する他のチップ１１に動的な捻るような応力が付与されるおそれがある。そこで、傾動角度θを小さくして、隣設する他のチップ１１に動的な捻るような応力が付与されるの防止するようにしている。しかも、このスライド状態では、剥離するチップ１１の一部がすでに剥離しているため、大きな剥離力を必要とせず、小さな傾動角度θであっても、粘着シート２を安定して剥離していくことができきる。【００４９】
ところで、前記実施形態では、図１Ｂに示すように、可動ステージ部１６ａを傾動させた後、負圧を作用させているが、傾動と同時、つまり傾動させながら負圧を作用させてもよい。また、先に負圧を作用させた後、傾動させるようにしてもよい。この場合、図１Ａの状態で負圧を作用することになるので、負圧作用開始時には空隙１９が形成されていないが、傾動によって、順次空隙１９が形成される。【００５０】
このように、傾動と同時に負圧を作用させても、負圧を作用させた後傾動させても、前記実施形態と同様、可動ステージ部１６ａを、水平方向に沿って移動することによって、可動ステージ部１６ａによるチップ１１の受け面積が減少し、粘着シート１２の吸着（吸引）面積が増加して剥離範囲が広がって、最終的には、この剥離すべきチップ１１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。【００５１】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ステージ１６に設けられる吸引口としては、大きさ、数、形状等を、空隙１９のエアの吸引可能範囲で任意に設定できる。このため、吸引口は１個であってもよい。また、剥離すべきチップ１１として、正方形に限るものではなく、短辺と長辺とを有する長方形であっても、さらには、短辺に比べて長辺が極めて長い短冊状であってもよい。粘着シート１２の厚さとしても、吸引力等によって相違するが、吸引手段（負圧供給手段）にて空隙１９のエアを吸引した際に、チップ１１から剥離できるように、湾曲変形できるものであればよい。【００５２】
可動ステージ部１６ａの傾動角度（初期傾動角度）θは、空隙１９のエアを吸引した際に、チップ１１からそのはみ出し側が剥離できる範囲において任意に設定できる。また、傾動角度θを変更する場合、その変更後の傾動角度としては、可動ステージ部１６ａをスライドさせて、粘着シート１２をチップ１１から剥離できる範囲で任意に設定できる。粘着シート１２上に貼り付けられているチップ１１の数としても任意であり、本発明では、数に影響されることなく、粘着シート１２上の全てのチップ１１を順次剥離して行くことができる。【００５３】
チップ１１のはみ出し部３１のはみ出し量としては、チップ１１の大きさ、厚さ、材質等に応じて、剥離初期段階で、負圧の作用で粘着シート１２が剥離可能な範囲で任意に設定できる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のチップ（半導体チップ）を、粘着シートから順次剥離してピックアップするピックアップ装置に用いることができる。チップは、を素材とし、この素材を矩形状に切断することによって最終製品となる。このため、チップには正方形や短冊状のもの等がある。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年2月8日(2011.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面にチップを貼り付けた粘着シートから、粘着シートと反対側に配設されるコレットにてチップを吸着した状態で前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、
固定ステージ部と、矩形平板体からなる可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、
可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させることにより、矩形平板体の可動ステージ部にて粘着シートを介して剥離すべきチップを支持しつつこのチップを斜めに持ち上げた状態として、はみ出し側の粘着シートの一部をチップから剥離させ、
その後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたことを特徴とするチップ剥離方法。
【請求項２】
上面にチップを貼り付けた粘着シートから、粘着シートと反対側に配設されるコレットにてチップを吸着した状態で前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、
固定ステージ部と、矩形平板体からなる可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、
可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させることにより、矩形平板体の可動ステージ部にて粘着シートを介して剥離すべきチップを支持しつつこのチップを斜めに持ち上げた状態として、はみ出し側の粘着シートの一部をチップから剥離させ、
その後、可動ステージ部の傾動角度を減少させた後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたことを特徴とするチップ剥離方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のチップ剥離方法を用いて半導体装置を製造する半導体装置製造方法。
【請求項４】
上面にチップを貼り付けた粘着シートから、粘着シートと反対側に配設されるコレットにてチップを吸着した状態で前記チップを剥離させるチップ剥離装置において、
固定ステージ部と、矩形平板体からなる可動ステージ部とを備えたステージと、
剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すようにした状態で、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、矩形平板体の可動ステージ部にて粘着シートを介して剥離すべきチップを支持した状態で可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させる傾動手段と、
前記接触によるシール状態を維持しつつ、前記チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させる負圧供給手段と、
前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるスライド手段とを備えたことを特徴とするチップ剥離装置。
【請求項５】
傾動手段は、可動ステージ部の傾動角の変更が可能であることを特徴とする請求項４に記載のチップ剥離装置。
【請求項６】
前記固定ステージに前記可動ステージが嵌合する凹部を設け、固定ステージの凹部は、その底面に前記はみ出し状態乃至傾動状態で可動ステージ部の反はみ出し側が接触することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のチップ剥離装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第１のチップ剥離方法は、上面にチップを貼り付けた粘着シートから、粘着シートと反対側に配設されるコレットにてチップを吸着した状態で前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、固定ステージ部と、矩形平板体からなる可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させることにより、矩形平板体の可動ステージ部にて粘着シートを介して剥離すべきチップを支持しつつこのチップを斜めに持ち上げた状態として、はみ出し側の粘着シートの一部をチップから剥離させ、その後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第２のチップ剥離方法は、上面にチップを貼り付けた粘着シートから、粘着シートと反対側に配設されるコレットにてチップを吸着した状態で前記チップを剥離させるチップ剥離方法において、固定ステージ部と、矩形平板体からなる可動ステージ部とを備えたステージ上に、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すように設置した後、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、この接触によるシール状態を維持して、可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させると同時、又は傾動前、又は傾動後に、チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させることにより、矩形平板体の可動ステージ部にて粘着シートを介して剥離すべきチップを支持しつつこのチップを斜めに持ち上げた状態として、はみ出し側の粘着シートの一部をチップから剥離させ、その後、可動ステージ部の傾動角度を減少させた後、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明のチップ剥離装置は、上面にチップを貼り付けた粘着シートから、粘着シートと反対側に配設されるコレットにてチップを吸着した状態で前記チップを剥離させるチップ剥離装置において、固定ステージ部と、矩形平板体からなる可動ステージ部とを備えたステージと、剥離すべきチップを可動ステージ部に対応させかつこのチップの周縁部の少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出すようにした状態で、可動ステージ部の反はみ出し側を固定ステージ部側に接触させつつ、矩形平板体の可動ステージ部にて粘着シートを介して剥離すべきチップを支持した状態で可動ステージ部のはみ出し側を上昇させるように傾動させる傾動手段と、前記接触によるシール状態を維持しつつ、前記チップのはみ出し部の下方に負圧通路を介して負圧を作用させる負圧供給手段と、前記はみ出し側とは反対側に前記可動ステージ部を水平方向にスライドさせるスライド手段とを備えたものである。
【国際調査報告】
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