(57)【要約】  装置異常監視方法に係わり、精度良い異常検知が可能なモデル及びそれを用いた監視などを実現できる技術である。本装置異常監視システムでは、モデル作成モジュール（２）は、対象となる装置（１）から計測した複数の状態データ項目（ＤＳ）をもとに、回帰分析に基づき、説明変数（Ｘ）毎の目的変数（Ｙ）の予測モデルによる集団モデルを作成する。これを用いて、監視実行モジュール（３）は、装置（１）の状態を監視して異常を検知する。特に、説明変数（Ｘ）は、共線性項目（ＸＡ）と独立性項目（ＸＢ）とに分類され、共線性項目（ＸＡ）毎に、当該共線性項目（ＸＡ）と、独立性項目（ＸＢ）とを用いた個別のモデルが作成される。それらの集団モデルを用いて、目的変数（Ｙ）の予測値、予測値と実測値との乖離度、及び集団乖離度などが計算される。
2010082322.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータの情報処理を用いて、対象とする装置の状態を複数のセンサで計測して得られる前記装置の複数の状態データ項目に基づいて、前記装置の状態の異常を監視及び判定する処理を行う装置異常監視方法であって、
前記装置の正常時の前記複数の状態データ項目に基づき、前記監視及び判定のためのモデルを作成するモデル作成処理を行う第１のステップと、
所定時間単位で、前記装置の複数の状態データ項目を入力し、前記モデルを用いて、前記装置の状態の異常を監視及び判定し、異常を検知した場合には検知情報を出力する監視実行処理を行う第２のステップと、を有し、
前記第１のステップでは、
前記複数の状態データ項目を、回帰分析における、目的変数データ項目と、それ以外の２つ以上の説明変数データ項目とに分類するステップと、
前記モデルの集団を構成する２つ以上の個別のモデルとして、前記説明変数データ項目毎に、当該１つの説明変数データ項目から前記目的変数データ項目を予測する個別のモデルを作成することで前記モデルの集団を構成するステップと、を有し、
前記第２のステップでは、
前記複数の状態データ項目の入力に対して、
前記モデルの集団を構成する個別のモデル毎に、前記説明変数データ項目を入力として、前記目的変数データ項目の個別の予測値を計算するステップと、
前記個別の予測値毎に、前記目的変数データ項目の実測値と、当該予測値との間における個別の乖離度を計算するステップと、
前記説明変数データ項目毎に得られた前記複数の乖離度を組み合わせた集団乖離度を計算するステップと、
前記集団乖離度としきい値とを比較することで前記装置の異常を検知するステップと、を有すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項２】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記第１のステップでは、
前記２つ以上の説明変数データ項目を、相互相関強度の大きい共線性データ項目と、それ以外の独立性データ項目とに分類するステップを有し、
前記モデルの集団を構成する２つ以上の個別のモデルを作成するステップでは、前記共線性の説明変数データ項目毎に、当該１つの共線性の説明変数データ項目から前記目的変数データ項目を予測する個別のモデルを作成すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項３】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記第２のステップにより前記異常を検知した場合の前記検知情報に基づき、前記装置の異常の内容を診断する処理を行う第３のステップを有し、
前記第３のステップでは、前記集団乖離度が前記しきい値を超えた原因となった状態データ項目を順位付けて候補として特定し、当該原因の候補を表す情報を出力する処理を行うこと、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項４】
請求項３記載の装置異常監視方法において、
前記第３のステップにより得られた前記原因の候補を表す情報に基づいて、
前記原因のデータ項目に関連付けられる前記装置の部品の寿命を計算し、当該寿命の情報を出力する処理を行う第４のステップを有すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項５】
請求項４記載の装置異常監視方法において、
前記第４のステップにより得られる前記部品の寿命の情報を用いて、保守作業者による前記部品に関する前記装置を保守作業するためのスケジュールを含む保守計画情報を作成して保守作業指示として出力する第５のステップを有すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項６】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記集団乖離度を計算するステップでは、前記集団乖離度は、前記複数の個別の乖離度の最大値をとった集団最大値であること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項７】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記集団乖離度を計算するステップでは、前記集団乖離度は、前記複数の個別の乖離度の平均値をとった集団平均値であること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項８】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記集団乖離度を計算するステップでは、前記集団乖離度は、前記複数の個別の乖離度の集団の分布の形状あるいは統計的分位数であること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項９】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記集団乖離度を計算するステップでは、前記集団平均値は、前記複数の個別の乖離度の二乗平均平方根をとった実効値であること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１０】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記第２のステップでは、前記個別の乖離度毎に値の大きさを規格化することで規格化乖離度を計算し、その後、当該複数の規格化乖離度を組み合わせた前記集団乖離度を計算すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１１】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記第２のステップでは、
前記集団乖離度を計算するステップでは、前記集団乖離度として、前記複数の個別の乖離度の平均値をとった集団平均値と、前記複数の個別の乖離度の最大値をとった集団最大値とを計算し、
前記集団平均値と前記集団最大値との間の差分値を計算し、
前記差分値が所定のしきい値よりも小さい場合は、前記装置の複数の状態データ項目に跨る大域的な異常が発生していると判定し、大きい場合は、前記装置の一部の状態データ項目に限定された局所的な異常が発生していると判定すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１２】
請求項１記載の装置異常監視方法において、
前記モデルの集団を構成する複数の個別のモデルは、前記説明変数データ項目毎に、線形回帰モデルまたは非線形モデルのいずれか一方を用い、前記モデルの集団としては前記線形回帰モデルと非線形モデルの両方を混在させて用いること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１３】
請求項３記載の装置異常監視方法において、
前記第３のステップでは、前記集団乖離度が前記しきい値を超えた原因となった状態データ項目に関連付けられる前記装置の部品を、順位付けて候補として特定し、当該候補を表す情報を出力する処理を行うこと、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１４】
請求項３記載の装置異常監視方法において、
前記第３のステップでは、相互相関関数を用いて、前記複数の状態データ項目間における因果関係を解析することで、前記原因の状態データ項目を特定すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の装置異常監視方法において、
前記第３のステップでは、時間軸上での前記目的変数データ項目の変化点の周囲での各前記説明変数データ項目の変化発生順位を調べることで、前記原因の状態データ項目を特定すること、を特徴とする装置異常監視方法。
【請求項１６】
コンピュータの情報処理を用いて、対象とする装置の状態を複数のセンサで計測して得られる前記装置の複数の状態データ項目に基づいて、前記装置の状態の異常を監視及び判定する処理を行う装置異常監視システムであって、
前記装置の正常時の前記複数の状態データ項目に基づき、前記監視及び判定のためのモデルを作成するモデル作成処理を行う第１の手段と、
所定時間単位で、前記装置の複数の状態データ項目を入力し、前記モデルを用いて、前記装置の状態の異常を監視及び判定し、異常を検知した場合には検知情報を出力する監視実行処理を行う第２の手段と、を有し、
前記第１の手段では、
前記複数の状態データ項目を、回帰分析における、目的変数データ項目と、それ以外の２つ以上の説明変数データ項目とに分類する処理と、
前記モデルの集団を構成する２つ以上の個別のモデルとして、前記説明変数データ項目毎に、当該１つの説明変数データ項目から前記目的変数データ項目を予測する個別のモデルを作成することで前記モデルの集団を構成する処理と、を行い、
前記第２の手段では、
前記複数の状態データ項目の入力に対して、
前記モデルの集団を構成する個別のモデル毎に、前記説明変数データ項目を入力として、前記目的変数データ項目の個別の予測値を計算する処理と、
前記個別の予測値毎に、前記目的変数データ項目の実測値と、当該予測値との間における個別の乖離度を計算する処理と、
前記説明変数データ項目毎に得られた前記複数の乖離度を組み合わせた集団乖離度を計算する処理と、
前記集団乖離度としきい値とを比較することで前記装置の異常を検知する処理と、を行うこと、を特徴とする装置異常監視システム。
【請求項１７】
請求項１６記載の装置異常監視システムにおいて、
前記第１の手段では、
前記２つ以上の説明変数データ項目を、相互相関強度の大きい共線性データ項目と、それ以外の独立性データ項目とに分類する処理を行い、
前記モデルの集団を構成する２つ以上の個別のモデルを作成する処理では、前記共線性の説明変数データ項目毎に、当該１つの共線性の説明変数データ項目から前記目的変数データ項目を予測する個別のモデルを作成すること、を特徴とする装置異常監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象とする装置の状態の異常（異常兆候）や正常を監視及び判定する装置異常監視方法に関し、特に、装置状態計測データ（センサデータ）に基づき作成したモデルを用いて監視、判定、診断、及び保守作業指示等を行う方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱電併給（コジェネレーション）装置に代表される、燃料を少なくとも運動エネルギー、熱エネルギー、または電気エネルギーに変換する装置（設備）等に対して、状態を計測するための複数のセンサ（計測器）を備え付け、これにより装置の各状態を時々刻々と計測して把握し、そのデータ（装置状態計測データ（状態データ）、センサデータなどと称する）に基づいて装置の状態の正常や異常を判定し、異常状態を捉えて保守を行う、状態基準保全（ＣＢＭ：Condition Based Maintenance）の技術がある。これは、保守コストの削減に効果がある。【０００３】
特開２００２−１１０４９３号公報（特許文献１）、及び特開２０００−２５２１８０号公報（特許文献２）には、製造ラインの品質変動原因分析を対象に、複数の説明変数を一定少数に分割し、線形重回帰モデル作成（Ｙｉ＝Ａ・Ｘｉ）を全ての分割グループに適用して変数増減法により各分割グループ内で説明変数を絞り込み、絞り込まれた説明変数を合わせて再度重回帰モデル作成を適用することを多段階に繰り返す多段階多変量解析の方法に関して述べられている。【０００４】
米国特許第７２０９８４６号明細書（ＵＳ ７,２０９,８４６ Ｂ２）（特許文献３）には、グラフィカルモデルによって、製造ラインの製品品質と工程データの間の因果解析を行う方法が述べられている。【０００５】
非特許文献１には、統計モデルが述べられている。具体的には、ＧＬＭ（Generalized Linear Model）法、ＧＡＭ（Generalized Additive Model）法、および非線形モデル法が述べられている。【０００６】
非特許文献２には、説明変数の複数の要素が同時に変動することによって引き起こされる多重共線性（Multiple Co-linear）現象による計算不可能問題や精度不足を回避するための射影法（Projection Method）に基づく、目的変数（Ｙ）と説明変数（Ｘ）の縮退線形回帰モデル（Ｙ＝Ａ・Ｘ）の複数の作成方法が説明されている。具体的には、ＰＬＳ（Partial Least Squares）法、ＰＣＲ（Principal Component Regression）法、Ｒｉｄｇｅ法、およびＬａｓｓｏ法が述べられている。また、非線形関係のモデル作成方法として、非線形回帰法が述べられている。具体的には、ＧＬＭ（Generalized Linear Model）法、およびＭＡＲＳ（Multivariate Adaptive Regression Splines）法が述べられている。【０００７】
非特許文献３には、ＰＬＳ（Partial Least Squares）法によって共線性があるデータ項目を混在させて線形回帰予測モデルを構築する方法が述べられている。【０００８】
非特許文献４には、グラフィカルモデルによって因果解析を行う統計数理的な汎用アルゴリズムの方法が述べられている。【０００９】
非特許文献５には、比例ハザードモデルとＧＬＭの一種であるロジスティック回帰モデルを用いて部品の寿命を計算する方法が述べられている。
【特許文献１】特開２００２−１１０４９３号公報
【特許文献２】特開２０００−２５２１８０号公報
【特許文献３】米国特許第７２０９８４６号明細書（ＵＳ ７,２０９,８４６ Ｂ２）
【非特許文献１】ISBN: 978-0412830402  J. M. Chambers, and T.J. Hastie, “Statistical Models in S”,  Chapman & Hall/CRC (1991)，  Chapter 6: Generalized Linear Models，  Chapter 7: Generalized Additive Models，  Chapter 10: Nonlinear Models
【非特許文献２】ISBN: 978-0387952840，  T. Hastie, R. Tibshirani, and J. H. Friedman,  “The Elements of Statistical Learning”,  Springer (2003)，  Chapter 3: Linear Methods for Regression
【非特許文献３】ISBN: 0-471-48978-6，  Richard G. Brereton,  “Chemometrics, Data Analysis for the Laboratory and Chemical Plant”,  WILEY (2003)，  Chapter 5: 5.5 Partial Least Squares
【非特許文献４】ISBN： 978-0387310732，  Christopher M. Bishop,  “Pattern Recognition and Machine Learning”,  Springer (2006)，  Chapter 8: Graphical Models
【非特許文献５】Haitao Liao, Wenbiao Zhao, and Huairui Guo,  “Predicting remaining useful life of an individual unit using proportional hazards model and logistic regression model”,  IEEE RAMS '06. Annual Reliability and Maintainability Symposium, 2006. pp. 127-132
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前記状態基準保全（ＣＢＭ）を有効に実施するためには、故障に至る前の異常の兆候を捉える必要がある。そのためには、複数のセンサのデータ項目を統計解析によって統合するモデルを作成し、装置の正常状態のモデルを基準にした乖離度を計算し、当該乖離度を状態判定基準にする方法が有効である。【００１１】
前記対象の装置を構成する各モジュールや個々のモジュールを構成する部品の多くは、装置がエネルギー変換等の目的を達成するために連動して動作する。よって、装置を構成する複数の部品に対して設置された複数のセンサの出力（データ項目）の多くも、連動して変化する。この場合、各センサのデータ項目を軸にとったパラメータ空間を考えると、装置正常状態は、局在した部分空間を構成する。この装置正常状態のパラメータ部分空間を、統計解析によってモデル化すれば、異常状態を判定するための乖離度を計算することができる。【００１２】
上述した技術に係わり、以下に示すような課題（課題１〜３）がある。【００１３】
（課題１）  第１に、共線性により回帰分析が難しいという課題がある。パラメータ空間の各軸に対応する状態データ項目（装置状態計測データ項目）を、目的変数（Ｙ）と説明変数（Ｘ）とに分類すると、回帰分析（Ｙ＝Ａ・Ｘ）によって、装置正常状態パラメータ部分空間をモデル化することができる。目的変数（Ｙ）には、装置の出力あるいは効率を設定すれば良い。この時、説明変数（Ｘ）の各データ項目の多くが連動して変動することから、数理統計的に多重共線性と称される現象を引き起こし、回帰分析を困難にする。具体的には、線形回帰分析における最小自乗法計算が発散してしまう。これを解決する方法として、大別すると、変数選択回帰法と縮退回帰法の２つがある。【００１４】
変数選択回帰法（変数選択法）では、説明変数（Ｘ）を取捨選択することにより、多重共線性の発生を防止する。前記特許文献１、特許文献２には、変数選択の精度を上げるために、変数群をグループに分割してグループ内で変数増減法により取捨選択し、その結果を合成して再び回帰分析を行う多段階回帰法が述べられている。しかし、変数選択法を装置監視（状態基準保全）に適用した場合、装置正常状態で取捨したデータ項目が監視の対象から外れてしまうという問題があった。装置正常状態において目的変数（Ｙ）の予測精度に対する貢献度が低いために取捨されたデータ項目でも、装置異常状態で変動する可能性は捨て切れない。装置状態の監視網が全てのデータ項目に及ぶ装置正常状態パラメータ部分空間モデルが求められていた。【００１５】
縮退回帰法では、全ての説明変数（Ｘ）を使って仮想的な潜在変数を合成してから回帰分析を行う。潜在変数は、互いに独立するように合成するため、回帰分析の計算が発散することは無い。前記非特許文献２、非特許文献３には、ＰＬＳ法を始めとした縮退回帰法が述べられている。縮退回帰法を装置監視（状態基準保全）に適用した場合には、全てのデータ項目を監視の対象とすることができる。しかし、潜在変数を合成する際に、多重共線性データ項目の平均化計算による合成が行われるため、縮退回帰モデルで監視を行った場合は、単独のデータ項目あるいは少数のデータ項目群の異常兆候を感度良く検知できないという問題があった。単独のデータ項目の異常変動も、複数のデータ項目群の異常変動も、精度良く検知することのできる装置正常状態パラメータ部分空間モデルが求められていた。【００１６】
また、複数のデータ項目を統合する統計モデルに対しては、異常検知精度を向上するために装置に関する設計知識や故障事例に基づく経験知識をフィードバックすることが難しい、という課題もあった。【００１７】
（課題２）  第２に、上記技術に係わり、装置異常の原因（モジュールや部品）が不明なことにより装置保守作業が非効率的になるという課題がある。即ち、装置正常状態パラメータ部分空間モデルからの乖離度から装置の異常兆候を検知することにより装置保守の必要性が判明したとしても、装置を構成するどのモジュールのどの部品を保守すれば良いか分からなかった。装置保守を短時間で効率的に行うためには、異常の原因まで推定できることが求められていた。【００１８】
（課題３）  第３に、上記技術に係わり、異常のモジュールや部品に関する寿命（耐用時間）などの詳細が不明であることにより、装置保守計画がうまく立てられず非効率的になるという課題がある。即ち、装置正常状態パラメータ部分空間モデルからの乖離度から装置の異常兆候を検知することにより装置保守の必要性が判明し、かつ、どのモジュールあるいは部品を保守するべきか判明したとしても、いつまでに保守すべきか（保守実施時期）が分からなかった。保守実施時期などを最適に確定して効率化するためには、異常部品の寿命などを推定でき、その推定値に基づいて最適な保守計画を立てて実施できることが求められていた。【００１９】
上述したような課題に対応して、本発明は、以下のような目的（目的１〜３）がある。【００２０】
（目的１）  第１に、複数のセンサによるデータ項目（装置状態計測データ項目）が連動して変動する対象の装置の監視において、全てのデータ項目を監視し、そのうち単独のデータ項目が異常変動した場合でも、また複数のデータ項目が異常変動した場合でも、精度良く異常（異常兆候）を検知することができるモデル及びそれを用いた技術を提供することを目的とする。【００２１】
（目的２）  第２に、装置の異常兆候の検知を起点に、異常原因の部品等を推定して候補の情報を出力することができ、装置保守を短時間で効率的に行うことができる技術を提供することを目的とする。【００２２】
（目的３）  第３に、装置の異常兆候の検知を起点に、異常原因の部品等における寿命等を計算して保守計画に供する情報を出力することができる技術を提供することを目的とする。【００２３】
本発明は以上のような問題に鑑みてなされたものであり、まとめると、本発明の主な目的は、上記装置異常監視方法及び状態基準保全の技術に係わり、（１）精度良い異常検知が可能なモデル及びそれを用いた監視、（２）更に異常原因の部品等の推定による保守の効率化、（３）更に推定された部品等の寿命等の把握による効率的な保守計画、などを実現できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
前記目的を達成するために、本発明の代表的な実施の形態は、装置異常監視方法及びそのシステムに係わり、以下に示す構成を有することを特徴とする。【００２５】
本形態は、基本として、コンピュータの情報処理を用いて、対象となる装置（設備、システム等）の状態を、複数（３つ以上）のセンサで計測したデータ（状態データ項目）を用いて監視し、それらのデータ（状態データ項目）を用いて予め回帰分析に基づくモデル（予測モデル、監視モデルなどと称する）を作成し、所定時間単位で収集したデータ（状態データ項目）と上記モデルに基づき、装置の異常（異常兆候）の検知（判定）を行い、更には異常の内容の診断（特に異常箇所の推定）、及びそれらの結果に基づいた保守作業指示等の処理を行う方法及びシステムである。本形態は、装置の複数の状態データ項目を分類し、それらの関係をモデル化して説明変数毎のモデルを作成し、それら複数のモデル（集団モデル）による複数の予測値及びそれらの集団関係に基づいて、上記監視、判定、診断、及び保守作業指示等を行うことを特徴とする。【００２６】
（１）  本形態は、例えば、コンピュータの情報処理を用いて、対象とする装置の状態を複数のセンサで計測して得られる前記装置の複数の状態データ項目に基づいて、前記装置の状態の異常を監視及び判定する処理を行う装置異常監視方法であって、前記装置の正常時の前記複数の状態データ項目に基づき、前記監視及び判定のためのモデルを作成するモデル作成処理を行う第１のステップと、所定時間単位で、前記装置の複数の状態データ項目を入力し、前記モデルを用いて、前記装置の状態の異常を監視及び判定し、異常を検知した場合には検知情報を出力する監視実行処理を行う第２のステップと、を有する。【００２７】
そして、前記第１のステップでは、前記複数の状態データ項目を、回帰分析における、目的変数データ項目（Ｙ）（１つ以上）と、それ以外の２つ以上の説明変数データ項目（Ｘ）とに（統計的に）分類するステップと、前記モデルの集団を構成する２つ以上の個別のモデルとして、前記説明変数データ項目（Ｘ）毎に、当該１つの説明変数データ項目（Ｘ）から前記目的変数データ項目（Ｙ）を予測する個別のモデルを作成することで前記モデルの集団を構成するステップと、を有する。【００２８】
そして、前記第２のステップでは、新規（最新）の前記複数の状態データ項目の入力に対して、前記モデルの集団を構成する個別のモデル毎に、前記説明変数データ項目（Ｘ）を入力として、前記目的変数データ項目（Ｙ）の個別の予測値を計算するステップと、前記個別の予測値毎に、前記目的変数データ項目（Ｙ）の実測値と、当該予測値との間における個別の乖離度（予測乖離度）を計算するステップと、前記説明変数データ項目（Ｘ）毎に得られた前記複数の乖離度を組み合わせた集団乖離度を計算するステップと、前記集団乖離度としきい値とを比較することで前記装置の異常を検知するステップと、を有する。【００２９】
特に、前記第１のステップでは、前記２つ以上の説明変数データ項目を、相互相関強度の大きい共線性データ項目と、それ以外の独立性データ項目（任意数）とに分類するステップを有し、前記モデルの集団を構成する２つ以上の個別のモデルを作成するステップでは、前記共線性の説明変数データ項目毎に、当該１つの共線性の説明変数データ項目から前記目的変数データ項目を予測する個別のモデルを作成する。【００３０】
（２）  更なる形態では、前記第２のステップにより前記異常を検知した場合の前記検知情報に基づき、前記装置の異常の内容を診断する処理を行う第３のステップを有し、前記第３のステップでは、前記集団乖離度が前記しきい値を超えた原因となった状態データ項目を順位付けて候補として特定し、当該原因の候補を表す情報を出力する処理を行う。【００３１】
（３）  更なる形態では、前記第３のステップにより得られた前記原因の候補を表す情報に基づいて、前記原因のデータ項目に関連付けられる前記装置の部品の寿命を計算し、当該寿命の情報を出力する処理を行う第４のステップを有する。【００３２】
（４）  更なる形態では、前記第４のステップにより得られる前記部品の寿命の情報を用いて、保守作業者による前記部品に関する前記装置を保守作業するためのスケジュールを含む保守計画情報を作成して保守作業指示として出力する第５のステップを有する。
【発明の効果】
【００３３】
本発明の代表的な実施の形態によれば、装置異常監視方法及び状態基準保全の技術に係わり、（１）精度良い異常検知が可能なモデル及びそれを用いた監視、（２）更に異常原因の部品等の推定による保守の効率化、（３）更に推定された部品等の寿命等の把握による効率的な保守計画、などを実現できる。【００３４】
上記（１）に関しては、特に、装置の異常兆候をセンサデータから検知するためのモデル（予測モデル）を、共線性のデータ項目毎の個別のモデルの集団とすることによって、常に安定に作成することができる。【００３５】
また、上記個別モデルの集団とすることによって、線形モデルと非線形モデルを混在させることもできる。より一般的には、複数の種類のモデルを混在させることができる。【００３６】
また、上記各モデルの予測値における実測値からの乖離度を計算し、その乖離度の集団の分布あるいは統計量を計算することにより、精度良く装置異常兆候を検知することができる。特に、集団平均値と集団最大値を組み合わせることにより、精度良く検知できると共に、異常変動が発生して波及している規模を同時に検知することができる。また集団最大値の代わりに統計分布分位数を用いることによって、異常判定の信頼性を上げることができる場合もある。また、個別の乖離度の規格化を個別に行うことで、装置知識を反映させた集団乖離度を計算し、異常検知の精度を上げることができる。【００３７】
上記（２）に関しては、特に、装置の異常兆候の検知を基点に、因果解析を行うことにより、迅速に異常検知データ項目を順位付けて異常原因現象の候補となる関連部品を特定でき、保守作業を効率化できる。【００３８】
上記（３）に関しては、特に、装置の異常兆候の検知を基点に、異常原因の候補部品の寿命計算を行うことで、過不足の無い最適な保守計画を立てることができ、保守作業を効率化できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施の形態である、装置異常監視方法を実現するシステム（装置異常監視システム）の主要部の構成を示す図である。
【図２】本装置異常監視システムを実装するコンピュータシステムの構成例を示す図である。
【図３】本装置異常監視システムにおけるモデル作成モジュールの詳細構成を示す図である。
【図４】本装置異常監視システムにおける監視実行モジュールの詳細構成を示す図である。
【図５】モデル作成モジュールの処理フローを示す図である。
【図６】監視実行モジュールの処理フローを示す図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、正常時の装置状態計測データの分類における装置運転時間（ｔ）に対する推移を示す図であり、（ａ）は目的変数データ項目（Ｙ）、（ｂ）は第１の説明変数共線性データ項目（ＸＡ１）、（ｃ）は第２の説明変数共線性データ項目（ＸＡ２）、（ｄ）は説明変数独立性データ項目（ＸＢ）に関する推移を示す。
【図８】（ａ），（ｂ）は、説明変数共線性データ項目（ＸＡ）に対応した２つの予測モデルによる、目的変数データ項目（Ｙ）の予測値（ＰＹ）における、装置運転時間（ｔ）に対する推移を示す図であり、（ａ）は、第１の共線性説明変数（ＸＡ１）を用いた第１の予測モデル（Ｍ１）による第１の予測値（ＰＹ１）、（ｂ）は、第２の共線性説明変数（ＸＡ２）を用いた第２の予測モデル（Ｍ２）による第２の予測値（ＰＹ２）を示す。
【図９】（ａ），（ｂ）は、目的変数データ項目（Ｙ）の予測値（ＰＹ）の実測値（ＲＹ）に対する予測乖離度（ＥＹ）における装置運転時間（ｔ）に対する推移を示す図であり、（ａ）は、第１の予測値（ＰＹ１）の予測乖離度（ＥＹ１）、（ｂ）は、第２の予測値（ＰＹ２）の予測乖離度（ＥＹ２）を示す。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、規格化した予測乖離度（規格化予測乖離度）における装置運転時間（ｔ）に対する推移を示す図であり、（ａ）は、第１の予測値（ＰＹ１）の規格化予測乖離度（ＥＹ１’）、（ｂ）は、第２の予測値（ＰＹ２）の規格化予測乖離度（ＥＹ２’）を示す。
【図１１】（ａ），（ｂ）は、個別の予測乖離度（ＥＹ）を組み合わせた集団予測乖離度（ＥＧ）における装置運転時間（ｔ）に対する推移を示す図であり、（ａ）は、集団平均値（ＧＡ）、（ｂ）は、集団最大値（ＧＢ）を示す。
【図１２】装置の状態計測データのデータ項目の分類（表）を示す図である。
【図１３】予測モデルの表を示す図である。
【図１４】データ項目間における相互相関行列の例を示す図である。
【図１５】（ａ）〜（ｄ）は、異常兆候を含む時の装置状態計測データ項目の推移の例を示す図であり、（ａ）は目的変数、（ｂ）は第１の共線性説明変数（異常兆候あり）、（ｃ）は第２の共線性説明変数、（ｄ）は独立性説明変数に関する推移を示す。
【図１６】（ａ），（ｂ）は、異常兆候を含む時のデータ項目による予測値（ＰＹ）の推移の例を示す図であり、（ａ）は、第１の予測モデル（Ｍ１）からの第１の予測値（ＰＹ１）（異常兆候あり）、（ｂ）は、第２の予測モデル（Ｍ２）からの第２の予測値（ＰＹ２）を示す。
【図１７】（ａ），（ｂ）は、異常兆候を含む時のデータ項目による予測乖離度（ＥＹ）の推移の例を示す図であり、（ａ）は、第１の予測値（ＰＹ１）の予測乖離度（ＥＹ１）（異常兆候あり）、（ｂ）は、第２の予測値（ＰＹ２）の予測乖離度（ＥＹ２）を示す。
【図１８】（ａ），（ｂ）は、異常兆候を含む時のデータ項目による予測乖離度（ＥＹ）を組み合わせた集団予測乖離度（ＥＧ）の推移の例を示す図であり、（ａ）は、予測乖離度（ＥＹ１，ＥＹ２）の集団平均値（ＧＡ）（異常兆候あり）、（ｂ）は、予測乖離度（ＥＹ１，ＥＹ２）の集団最大値（ＧＢ）（異常兆候あり）を示す。
【図１９】装置状態データ項目間のグラフィカル因果モデルを示す図である。
【図２０】本発明の実施の形態２の装置異常監視システムにおける、異常兆候判定モジュールの詳細構成を示す図である。
【図２１】実施の形態２の異常兆候判定モジュールの処理フローを示す図である。
【図２２】本発明の実施の形態３の装置異常監視システムにおける、因果モデルを得る処理フローを示す図である。
【図２３】（ａ）〜（ｄ）は、実施の形態３における、異常兆候を含む時の装置状態計測データ項目の推移の例を示す図であり、（ａ）は目的変数、（ｂ）は第１の共線性説明変数、（ｃ）は第２の共線性説明変数、（ｄ）は独立性説明変数に関する推移を示す。
【図２４】（ａ），（ｂ）は、実施の形態３における、相互相関関数の計算結果を示す図であり、（ａ）は、ＸＡ１−Ｙに関する第１の相互相関関数（Ｆ１）、（ｂ）は、ＸＡ２−Ｙに関する第２の相互相関関数（Ｆ２）を示す。
【図２５】実施の形態３における、装置状態データ項目間のグラフィカル因果モデルを示す図である。
【図２６】実施の形態５のシステム（遠隔装置保守システム）を実装するコンピュータシステムの構成例を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明の実施の形態（装置異常監視方法及びシステム）を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部には原則として同一符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。なお、本実施の形態の装置異常監視方法及びシステムは、監視及び判定のみならず、それらの結果に基づいて装置を保守する装置保守方法及びシステムを含んでいる。また、特に明示していない場合、各動作主体は、主にコンピュータの情報処理（プログラムやプロセッサ等）である。【００４１】
＜概要＞
まず、本形態の概要は以下である。本形態において、装置の所定の状態を計測する複数のセンサの出力（状態データ項目）を、所定時間単位でサンプリング、収集して、履歴として保存する。センサ毎に所定の状態データ項目（例えば温度、電力など）が対応付けられる。これら複数の状態データ項目を用いて、以下に示すような各手段及び対応ステップの処理を行う。【００４２】
（１）  本形態の方法及びシステムにおいて、下記のようにモデルを作成する処理を行う第１の手段及びステップを有する。所定時間単位（指示されたタイミング、あるいは所定サイクルなど）で、装置の複数の状態データ（履歴）を用いて、それらの各データ項目を軸にとったパラメータ空間における装置正常状態が局在した部分空間モデル（装置正常状態パラメータ部分空間モデル）を作成する。具体的には、まず、各データ項目を、回帰分析（Ｙ＝Ａ・Ｘ）における、目的変数（Ｙ）と説明変数（Ｘ）に分類する。目的変数（Ｙ）には、例えば、装置の出力あるいは効率などを設定すれば良い。次に、複数の説明変数（Ｘ）を、共線性（共線性モード）のデータ項目（ＸＡとする）と、独立性（独立性モード）のデータ項目（ＸＢとする）とに分類する。共線性データ項目（共線性説明変数データ項目）（ＸＡ）は、相互相関（相互相関強度）が高いデータ項目であり、独立性データ項目（独立性説明変数データ項目）（ＸＢ）は、共線性データ項目（ＸＡ）以外のデータ項目とする。【００４３】
次に、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）毎に、当該１つの共線性データ項目（ＸＡ）と、１つ以上の独立性データ項目（ＸＢ）とを組み合わせて説明変数（Ｘ）とし、この説明変数（Ｘ：ＸＡ，ＸＢ）と目的変数（Ｙ）との間における回帰モデルを作成する。即ち、少なくとも共線性説明変数データ項目（ＸＡ）の数（２つ以上）の分、個別の回帰モデル（予測モデル）が作成され、これらの回帰モデルの集団（集団回帰モデル）ができる。予め装置正常状態での状態データ項目を用いて上記回帰モデルの集団を作成する。【００４４】
本形態では、上記共線性説明変数データ項目（ＸＡ）毎に作成した複数のモデル（集団回帰モデル）を用いて、当該集団回帰モデルに関する特定の計算、例えば集団予測乖離度などの計算を行い、監視及び判定等に用いることを特徴とする。【００４５】
上記回帰モデルについては、汎用性のある線形重回帰モデルを標準とするが、共線性データ項目（ＸＡ）の特性に応じて非線形モデルを選択し、線形モデルと非線形モデルとを混在させる形態とすることもできる。１つの共線性データ項目（ＸＡ）に対して、線形モデルと非線形モデルの両方を同時に作成して混在させても良い。個々のモデルを自由に組み合わせることができる柔軟性が、集団モデルを使う利点の１つである。【００４６】
（２）  本形態の方法及びシステムにおいて、上記作成したモデル（集団回帰モデル）を監視モデルとして用いて、下記のように装置状態の監視（異常検知）を実行する処理を行う第２の手段及びステップを有する。この監視実行の際、所定時間単位で、前記複数のセンサによる複数のデータ項目を収集する。そして、それらのデータ項目における共線性データ項目（ＸＡ）毎に、当該１つの共線性データ項目（ＸＡ）と、１つ以上の独立性データ項目（ＸＢ）とを組み合わせた説明変数（Ｘ）グループを作成し、これらを前記モデルの入力として、目的変数（Ｙ）を予測、即ちＹ予測値（ＰＹ）を出力する。【００４７】
次に、上記監視で収集したデータ項目に含まれる実計測した目的変数値（Ｙ実測値：ＲＹ）と、上記モデルにより予測した目的変数値（Ｙ予測値：ＰＹ）との差を乖離度（予測乖離度）（ＥＹとする）として計算する。【００４８】
次に、共線性データ項目（ＸＡ）毎の乖離度（ＥＹ）の大きさを規格化して、基準を揃える（規格化乖離度（ＥＹ’）群を得る）。この規格化の係数には、正常時の乖離度の正常変動の大きさの逆数を用いれば良い。あるいは、装置のデータ項目に関する経験知識などから、データ項目毎に重要度の優劣を付けて規格化しても良い。このように、データ項目に対応したモデル毎に装置知識を組み込むことができる点が、個別モデルを組み合わせた集団モデルを採用することの利点である。【００４９】
次に、共線性データ項目（ＸＡ）の数に対応して得られた複数の規格化乖離度（ＥＹ’）の分布あるいは集団指標を計算する。即ち、共線性データ項目（ＸＡ）毎のＹ予測値（ＰＹ）の乖離度（ＥＹ）及び規格化乖離度（ＥＹ’）をもとに、集団予測乖離度（ＥＧとする）を計算する。具体的には、ＥＧの例として、集団平均値（ＧＡとする）を計算する。その場合、装置の複数のデータ項目に跨る規模の大きな装置異常兆候（大域異常）を検知できる。またＥＧの別の例として、集団最大値（ＧＢとする）を計算する。その場合、装置の任意の単独のデータ項目に発生した装置異常兆候（局所異常）を精度良く検知できる。【００５０】
また、ＧＡとＧＢの差をとってもよく、その場合、局所異常か大域異常か等を判定する指標とすることができる。また、ＧＢの代わりに、集団個別乖離度（ＥＹ群）の分布の統計的分位数としても良い。なお、統計的ｑ分位数とは、集団個別乖離度（ＥＹ群）の分布を、ｑ：（１−ｑ）に分割する値である。また、ＧＡの代わりに、集団個別乖離度（ＥＹ群）の二乗平均平方根をとった実効値としても良い。【００５１】
上記のように、装置の複数の状態データ項目に関してすべてのデータ項目を網羅した予測値（ＰＹ）と実測値（ＲＹ）との乖離度（ＥＹ）の集団（集団予測乖離度：ＥＧ）を計算する。ＥＧの分布、あるいは個別予測乖離度（ＥＹ）を組み合わせた集団指標に基づいて、異常を検知する。また、ＥＧを計算する前に、装置に関する設計知識や故障事例などに基づく経験知識をフィードバックした個々の乖離度（ＥＹ）の規格化をデータ項目毎に行うことで、異常検知精度を向上する。【００５２】
（３）  本形態の方法及びシステムにおいて、上記監視（異常検知）の結果を用いて下記のように異常診断の処理を行う第３の手段及びステップを有する。装置異常兆候を検知した後、当該異常兆候を検知した時点（サンプリング点）における前記規格化乖離度（ＥＹ’）を、降順に並べることで、異常検知したデータ項目の重要度の優先順位を付け、この情報を異常発生原因現象の候補（異常候補情報）として出力する。【００５３】
各データ項目に対しては、装置の所定の箇所のモジュールや部品等が関連付けられているので、上記異常候補情報は、異常部品候補情報などの形で出力することができる。この処理では、例えば、装置設計データ（装置を構成するモジュールや部品等の情報を含む）を用いて、当該異常検知したデータ項目に関連付けられるモジュールや部品等を特定、抽出し、これを上記異常発生原因現象の候補とする。当該異常部品候補情報を、例えば保守作業用の保守装置に送信することで保守作業に役立てる。【００５４】
また、異常兆候を検知した後の装置データ（状態データ項目）を収集して、前記特許文献３、非特許文献４に記載されたグラフィカルモデリングを用いた因果解析を行うことで、上記異常原因現象の候補（状態データ項目、部品等）を特定する精度を向上することができる。具体的には、グラフィカルモデリングでは、通常の相互相関係数だけでなく、グラフネットワークにおける偏相関係数を計算することにより、交絡変数によって生じた疑似相関を見つけて排除し、原因を特定する。【００５５】
また、時間軸上で目的変数（Ｙ）に明確な変化点がある場合には、変化点の周囲で各説明変数データ項目（Ｘ）における変化発生順位を調べることで、最初に変化が発生した原因を特定する因果解析を行うことができる。具体的には、データ（状態データ項目）のサンプリング時間に対する微分値を計算することにより、変化点を見つけると共に、変化点の順番を決める。あるいは、目的変数（Ｙ）と各説明変数（Ｘ）の間の相互相関関数を計算しても良い。相互相関関数とは、各説明変数（Ｘ）が、目的変数（Ｙ）を時間シフトした信号とどれだけ良く整合するかを測る尺度であり、時間シフトの大きさの関数として表される。時間軸上の目的変数（Ｙ）の変化点の周囲で相互相関関数が最大になる最大値の変化量を調べ、目的変数（Ｙ）の変化点に対応した説明変数（Ｘ）の変化点があるかどうかが分かる。また、時間軸上の変化点の周囲で相互相関関数が最大になる時間シフト量を調べ、時間シフト量がプラスかマイナスかで目的変数（Ｙ）の変化点に対して説明変数（Ｘ）の変化点が過去か未来かが分かり、時間シフト量の大きさから、目的変数（Ｙ）の変化点から説明変数（Ｘ）の変化点がどれだけ離れているかが分かる。説明変数（Ｘ）毎に変化点の有無と時間シフト量を調べることで、目的変数（Ｙ）の変化点に対する因果の順番を知ることができる。【００５６】
（４）  本形態の方法及びシステムにおいて、上記異常診断の結果を用いて下記のように部品寿命等の計算及び保守計画（保守作業指示）の処理を行う第４の手段及びステップを有する。上記異常診断により異常原因現象の候補となる箇所の関連部品等を特定することができた場合、その部品等の寿命を計算する。この計算には、例えば、データ項目の履歴から予め作成しておいた、前記非特許文献５に述べられている比例ハザードモデルを使用する。そして、計算した寿命に基づいて、装置の保守対象のモジュールや部品の手配計画、作業計画、実施計画といった、時間的なスケジュールを含んだ保守計画の情報を作成し、当該保守計画を実行する。例えば当該保守計画の情報を保守作業者が使用する保守装置へ送信して表示させる。【００５７】
（実施の形態１）
図１〜図６、図７〜図１４、図１５〜図１８、図１９等を用いて、本発明の実施の形態１の装置異常監視方法及びそのシステムについて説明する。実施の形態１では、モデルを作成し監視及び判定を実行する処理までを行うものである。なお、図１等に示す構成では、実施の形態１のみでなく、実施の形態２以降で説明する要素を含む構成をまとめて示している。【００５８】
＜システム（１）＞
図１は、実施の形態１の装置異常監視方法を実現するシステム（装置異常監視システム）の主要部の構成を示している。本システムは、監視等の対象となる装置（設備）１に対し、モデル作成モジュール２、監視実行モジュール３（換言すれば異常検知モジュール）、異常診断モジュール４（換言すれば異常部品推定モジュール）、部品寿命予測モジュール５、保守計画モジュール６、保守作業指示モジュール７、及び保守履歴記録モジュール８を有する構成である。各モジュール・サブモジュール（処理部）は、所定のハードウェア及びソフトウェアを用いて一般的なコンピュータの情報処理により実現される。そのコンピュータシステムとしての構成は図２に示される。【００５９】
対象の装置１は、例えば、燃料を少なくとも運動エネルギー、熱エネルギー、または電気エネルギーに変換するエネルギー変換装置（熱電併給装置、電気装置、動力装置、あるいは熱源装置など）である。なお、装置１は、複数の装置から成るシステム等であっても構わない。装置１に対して、所定の部位や種類の状態を計測する複数のセンサが内蔵または外部近隣に具備される（図２、Ｓ）。複数のセンサは、それぞれ、対応するセンサデータ（状態計測データ）ＤＳを出力する。【００６０】
モデル作成モジュール２は、装置１からのセンサデータＤＳや、保守履歴データＤ０などを用いて、監視等のためのモデルを作成及び更新等する処理を行う。モデルとしては、監視モデル（予測モデル）ＤＭ１と、寿命予測モデルＤＭ２とを含む。【００６１】
監視実行モジュール３は、装置１からのセンサデータＤＳや、モデル作成モジュール２からの監視モデルＤＭ１のデータを用いて、装置１の監視（異常検知）の処理を行い、その結果、装置１の異常（異常兆候）の検知の場合に、その事を表す検知情報Ｄ１などを出力する。また例えば、監視実行モジュール３から装置１へ、必要に応じて、停止信号Ｄ５を出力することで、装置１の稼働を停止させることができる。【００６２】
異常診断モジュール４は、監視実行モジュール３の監視による検知情報Ｄ１を用いて、異常診断、特に異常部品推定の処理を行い、その結果、異常部品情報（候補情報）Ｄ２などを出力する。また例えば、異常診断モジュール４から保守作業指示モジュール７へ異常部品情報（候補情報）Ｄ２を直接に出力する。【００６３】
部品寿命予測モジュール５は、モデル作成モジュール２からの寿命予測モデルＤＭ２のデータ、及び異常診断モジュール４からの結果（異常部品情報Ｄ２）を用いて、部品寿命の予測計算の処理を行い、その結果、異常部品寿命情報Ｄ３を出力する。【００６４】
保守計画モジュール６は、部品寿命予測モジュール５からの結果（異常部品寿命情報Ｄ３）を用いて、保守計画の処理を行い、保守計画情報Ｄ４を出力する。【００６５】
保守作業指示モジュール７は、監視実行モジュール３からの直接の検知情報Ｄ１や、保守計画モジュール６からの保守計画情報Ｄ４等に基づき、保守作業を指示する処理を行う。保守作業の指示は、保守作業者（図２、Ｕ１）が使用する保守装置（図２、５４）に対して保守作業を指示する情報を出力することを含む。保守作業者（Ｕ１）は、この指示に従って、装置１に対する保守作業、例えば所定のモジュールの部品を交換すること等を行う。【００６６】
保守履歴記録モジュール８は、保守作業の結果を履歴データとして記録する処理を行い、必要に応じてこの保守履歴データＤ０を外部に提供する。例えば、保守履歴記録モジュール８は、装置１から、あるいは保守装置（５４）から、保守作業の結果（内容）の情報を入力する。【００６７】
＜システム（２）＞
図２は、図１のシステムを実装するコンピュータシステムの構成例を示している。図１の各モジュール等の要素は、本コンピュータシステムにおいて、主にコンピュータで動作するプログラムの形で実現されている。各モジュールとコンピュータとの対応付けは図２の通りである。各コンピュータは、図示しないプロセッサ、メモリ、通信インタフェース、入出力装置等を備える。コンピュータ間の接続は例えば専用線や通信ネットワークなどによる。【００６８】
本コンピュータシステムにおいて、センサ情報管理コンピュータ５１と、装置監視コンピュータ５２と、保守管理コンピュータ５３と、保守装置（保守作業端末）５４とを有する。保守装置５４は、例えば保守作業者（Ｕ１）が使用する。【００６９】
センサ情報管理コンピュータ５１は、装置１の複数（ｎ）のセンサＳ（Ｓ１〜Ｓｎ）と接続されており、複数のセンサＳを通じて装置１の状態計測データＤＳのインターフェース（Ｉ/Ｆ）となって当該データ（ＤＳ）をサンプリング、収集する装置状態計測Ｉ/Ｆ６１の機能を備える。【００７０】
装置監視コンピュータ５２は、センサ情報管理コンピュータ５１及び保守管理コンピュータ５３と接続されており、モデル作成モジュール２、監視実行モジュール３、異常診断モジュール４、部品寿命予測モジュール５、及び保守計画モジュール６をプログラムの処理により実現する。例えば、装置監視コンピュータ５２は、プロセッサがメモリ上のプログラムやデータを実行することにより、モデル作成モジュール２等の処理機能を実現する。【００７１】
保守管理コンピュータ５３は、装置監視コンピュータ５２及び保守装置５４と接続されており、保守作業指示モジュール７、及び保守履歴記録モジュール８をプログラムの処理により実現する。【００７２】
保守装置５４は、保守作業処理９１、履歴収集Ｉ/Ｆ９２、表示処理９３などの機能をプログラムの処理により実現する。保守作業処理９１は、例えば、保守作業者（Ｕ１）による保守作業データ入力による保守履歴データＤ０の保存の処理を含む。表示処理９３は、例えば、保守作業指示モジュール７からの保守作業指示の情報に従って、当該情報を表示装置画面に表示する処理である。履歴収集Ｉ/Ｆ９２の機能は、保守履歴データＤ０を収集する処理である。【００７３】
システム管理者（Ｕ２）は、本システムのコンピュータに対し、本システムの管理や設定の操作、例えば、使用する方式や、目的変数（Ｙ）の設定などを行う。各しきい値などの必要な数値や情報は、本システムに対し予め設定されているか、またはシステム管理者（Ｕ２）などにより適宜設定されるようになっている。【００７４】
＜モデル作成モジュール＞
図３において、モデル作成モジュール２の詳細構成を示している。モデル作成モジュール２は、各サブモジュール（処理部）として、データ洗浄２１、データ項目分類２２、予測モデル構築２３、集団予測乖離度計算モデル構築２４、及び記憶２５などを有する。【００７５】
モデル作成モジュール２は、装置１の複数のセンサＳからの状態計測データＤＳを入力し、記憶手段に履歴として格納する（履歴２０１）。この格納手段は、例えば記憶２５のサブモジュールを利用する。【００７６】
データ洗浄２１では、保守履歴データ（Ｄ０）に基づき、状態計測データＤＳ（履歴２０１）を洗浄し、データ項目分類２２では、各種データ項目に分類する。本例では、状態計測データ項目の分類として、目的変数データ項目（Ｙ）２２０と、第１の共線性説明変数データ項目（ＸＡ１）２２１と、第２の共線性説明変数データ項目（ＸＡ２）２２２と、独立性説明変数データ項目（ＸＢ）２２３とを有する。これらのデータ項目分類２５０は、記憶２５のサブモジュールに記憶される。【００７７】
データ項目分類２２に基づき、予測モデル構築２３では、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）毎に作成される複数の予測モデルが構築される。予測モデルとして、本例では、２つの共線性説明変数データ項目（ＸＡ１，ＸＡ２）に対応して、第１の予測モデル（Ｍ１）、第２の予測モデル（Ｍ２）を有する。第１の予測モデル（Ｍ１）は、目的変数データ項目（Ｙ）２２０と、第１の共線性説明変数データ項目（ＸＡ１）２２１と、独立性説明変数データ項目（ＸＢ）２２３とを用いて構築される。第２の予測モデル（Ｍ１）は、目的変数データ項目（Ｙ）２２０と、第２の共線性説明変数データ項目（ＸＡ２）２２２と、独立性説明変数データ項目（ＸＢ）２２３とを用いて構築される。これらの予測モデルのデータは、記憶２５のサブモジュールに記憶される。【００７８】
上記構築された予測モデル（Ｍ１，Ｍ２）を用いて、集団予測乖離度計算モデル構築２４では、集団予測モデル群２５１（集団予測乖離度計算モデルＭＧを含む）を構築し、記憶２５のサブモジュールに記憶する。構築されたモデルは、監視モデル（ＤＭ１）等として利用される。【００７９】
なお、予測の対象となる目的変数（Ｙ）２２０は、システム管理者（Ｕ２）等による指定（設定）、またはコンピュータによる自動計算などにより決定される。目的変数（Ｙ）の設定の例は、装置１の出力として例えば電力（[Ｗ]）である。【００８０】
＜監視実行モジュール＞
図４において、監視実行モジュール３の詳細構成を示している。監視実行モジュール３は、各サブモジュールとして、データ洗浄３１、データ項目選択（装置状態監視パラメータ選択）３２、及び異常兆候判定３３を有する。データ項目選択３２及び異常兆候判定３３では、モデル作成モジュール２からの監視モデル（ＤＭ１）のデータを利用する。【００８１】
監視実行モジュール３は、装置１の複数のセンサＳからのデータ（ＤＳ）を記憶手段に履歴３０１として格納する。データ洗浄３１では、状態計測データＤＳ（履歴３０１）を洗浄する。データ項目選択３２では、モデル作成モジュール２からの監視モデル（ＤＭ１）のデータに基づき、データ項目を選択する。このデータ項目は、目的変数データ項目（Ｙ）３２０と、第１の共線性説明変数データ項目（ＸＡ１）３２１と、第２の共線性説明変数データ項目（ＸＡ２）３２２と、独立性説明変数データ項目（ＸＢ）３２３とを有する。【００８２】
異常兆候判定３３では、第１の予測モデル予測値計算３３１、第２の予測モデル予測値計算３３２、第１の予測値乖離度計算３３３、第２の予測値乖離度計算３３４、集団予測乖離度計算３３５、しきい値照合・異常判定３３６を有する。【００８３】
第１の予測モデル予測値計算３３１では、ＸＡ１（３２１）とＸＢ（３２３）から、第１の予測モデル（Ｍ１）により第１の予測値（ＰＹ１）を計算する。第２の予測モデル予測値計算３３２では、ＸＡ２（３２２）とＸＢ（３２３）から、第２の予測モデル（Ｍ２）により第２の予測値（ＰＹ２）を計算する。【００８４】
第１の予測値乖離度計算３３３では、Ｙ（３２０）と第１の予測値（ＰＹ１）とから、第１の予測値（ＰＹ１）の乖離度（第１の予測乖離度：ＥＹ１）を計算する。第２の予測値乖離度計算３３４では、Ｙ（３２０）と第２の予測値（ＰＹ２）とから、第２の予測値（ＰＹ２）の乖離度（第２の予測乖離度：ＥＹ２）を計算する。【００８５】
集団予測乖離度計算３３５では、第１と第２の予測乖離度（ＥＹ１，ＥＹ２）から、集団予測乖離度（ＥＧ）を計算する。【００８６】
しきい値照合・異常判定３３６では、集団予測乖離度（ＥＧ）を、しきい値（Ｈ）と比較照合して、異常判定を行う。そして、その異常判定の結果（異常の有無）と、第１及び第２の予測乖離度（ＥＹ１，ＥＹ２）とを含む情報を、検知情報３４（Ｄ１）として出力する。【００８７】
＜モデル作成処理＞
図５において、モデル作成モジュール２によるモデル作成実行の処理フローを示している。各処理ステップの主体は、モデル作成モジュール２（プログラム）である。【００８８】
Ｓ１０１では、装置１の状態計測データＤＳの履歴２０１のデータを収集し、また、装置１の保守履歴データ（Ｄ０）を収集する。Ｓ１０２では、データ洗浄２１により、装置１の正常稼働時の状態計測データＤＳを洗浄し、抽出する。【００８９】
Ｓ１０３では、データ項目分類２２により、装置１の複数の状態計測データＤＳの中から、目的変数データ項目（Ｙ）と説明変数データ項目（Ｘ）を指定する。Ｓ１０４では、データ項目分類２２により、複数の状態計測データＤＳのデータ項目における複数の説明変数データ項目（Ｘ）の各々について、説明変数データ項目（Ｘ）の目的変数データ項目（Ｙ）に対する共線性モードと独立性モードを分類する。即ち、前述の共線性説明変数データ項目（ＸＡ：ＸＡ１，ＸＡ２）と独立性説明変数データ項目（ＸＢ）に分類する。【００９０】
Ｓ１０５では、予測モデル構築２３により、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）と独立性データ説明変数項目（ＸＢ）とを組み合わせて、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）の数（本例では２つ）の分、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）毎の目的変数データ項目（Ｙ）に対する予測モデルを作成する。即ち例えば、前述のＸＡ１とＸＢの組み合わせに対応する第１の予測モデル（Ｍ１）、及び、ＸＡ２とＸＢの組み合わせに対応する第２の予測モデル（Ｍ２）を作成する。【００９１】
Ｓ１０６では、集団予測乖離度計算モデル構築２５により、上記複数の予測モデル（Ｍ１，Ｍ２）の予測値乖離度（予測乖離度：ＥＹ）を組み合わせた、集団予測乖離度（ＥＧ）を計算するための集団予測乖離度計算モデル（ＭＧ）を構築する。構築されたモデルは、記憶２５のサブモジュールへ格納される。【００９２】
＜監視実行処理＞
図６において、監視実行モジュール３による監視実行の処理フローを示している。【００９３】
Ｓ１１１では、装置１の複数の状態計測データＤＳを収集し、データ洗浄３１により、洗浄する。Ｓ１１２では、データ項目選択３２により、装置１の複数の状態計測データ項目の中から、目的変数データ項目（Ｙ）と説明変数データ項目（Ｘ）を選択する。Ｓ１１３では、データ項目選択３２により、複数の説明変数データ項目（Ｘ）の中から、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）と独立性説明変数データ項目（ＸＢ）を選択する。【００９４】
Ｓ１１４では、異常兆候判定３３により、共線性説明変数データ項目（ＸＡ）の数の分の複数の予測モデルを用いて、目的変数データ項目（Ｙ）に対する複数の予測値（ＰＹ）を計算する。Ｓ１１５では、各予測値（ＰＹ）の乖離度（ＥＹ）を計算する。【００９５】
Ｓ１１６では、集団予測乖離度計算３３５により、各乖離度（ＥＹ）を組み合わせて集団予測乖離度（ＥＧ）を計算する。Ｓ１１７では、集団予測乖離度（ＥＧ）としきい値（Ｈ）とを比較照合する。比較の結果、Ｓ１１８では、異常兆候の検知の有無を判断し、検知有り（Ｙ）の場合、Ｓ１１９では、検知情報３４（Ｄ１）及び保守指示を出力する。【００９６】
以下、装置態計測データ（ＤＳ）、予測モデル（Ｍ）、予測値（ＰＹ）、予測乖離度（ＥＹ）、規格化予測乖離度（ＥＹ’）、集団予測乖離度（ＥＧ）などについて例を挙げながら説明する。【００９７】
＜正常時の状態データ＞
図７において、装置１の状態が正常の時における状態計測データＤＳのデータ項目の例を示している。順に、（ａ）装置状態パラメータＰ１−目的変数データ項目値（Ｙ）２２０ｙ、（ｂ）装置状態パラメータＰ２−第１の説明変数共線性データ項目値（ＸＡ１）２２１ｘ、（ｃ）装置状態パラメータＰ３−第２の説明変数共線性データ項目値（ＸＡ２）２２２ｘ、（ｄ）装置状態パラメータＰ４−説明変数独立性データ項目値（ＸＢ）２２３ｘを示す。横軸（ｔ）は、装置１の運転時間、縦軸は各データ項目値である。【００９８】
＜予測値＞
図８において、予測モデル（Ｍ１，Ｍ２）による目的変数データ項目（Ｙ）２２０ｙの予測値データ（ＰＹ）の例を示している。（ａ）は、図７（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１及び（ｄ）Ｐ４−ＸＢに対応した、Ｙの第１の予測モデル（Ｍ１）に基づく、第１の予測値（ＰＹ１）３３１ｐを示し、（ｂ）は、図７（ｃ）Ｐ３−ＸＡ２及び（ｄ）Ｐ４−ＸＢに対応した、Ｙの第２の予測モデル（Ｍ２）に基づく、第２の予測値（ＰＹ２）３３２ｐを示す。【００９９】
＜予測乖離度＞
図９において、各予測値（ＰＹ１，ＰＹ２）の目的変数データ項目（Ｙ）に対する乖離度データ（予測乖離度：ＥＹ）の例を示している。（ａ）は、図８（ａ）ＰＹ１に対応した、ＰＹ１（第１）の予測乖離度３３３ｅ（ＥＹ１）を示す。（ｂ）は、図８（ｂ）ＰＹ２に対応した、ＰＹ２（第２）の予測乖離度３３４ｅ（ＥＹ２）を示す。【０１００】
乖離度（ＥＹ）における大きい矢印で示す３３３ｖ，３３４ｖは、それぞれ基準値に対する変動幅の大きさを示す。【０１０１】
＜規格化予測乖離度＞
図１０において、予測値（ＰＹ）の目的変数データ項目（Ｙ）に対する規格化した乖離度データ（規格化予測乖離度：ＥＹ’）の例を示している。（ａ）は、図９（ａ）ＥＹ１に対応した、ＰＹ１（第１）の規格化予測乖離度３３３ｅｋ（ＥＹ１’）を示す。（ｂ）は、図９（ｂ）ＥＹ２に対応した、ＰＹ２（第２）の規格化予測乖離度３３４ｅｋ（ＥＹ２’）を示す。３３３ｖｋ，３３４ｖｋは、前述同様に変動幅である。【０１０２】
＜集団乖離度＞
図１１において、規格化予測乖離度（ＥＹ’）に基づく、集団乖離度データ（ＥＧ）、特に、集団平均値（ＧＡ）、及び集団最大値（ＧＢ）の例を示している。（ａ）は、図１０（ａ）ＥＹ１’と（ｂ）ＥＹ２’とを組み合わせた、第１の集団乖離度（ＥＧ１）である、集団平均値（ＧＡ）３３５ｅを示す。（ｂ）は、同様に図１０（ａ）ＥＹ１’と（ｂ）ＥＹ２’とを組み合わせた、第２の集団乖離度（ＥＧ２）である、集団最大値（ＧＢ）３３６ｅを示す。３３５ｖ，３３６ｖは、前述同様に変動幅である。３３５ｓ１，３３６ｓ１は、変動幅３３５ｖ，３３６ｖの上限値である。３３５ｓ２，３３６ｓ２は、変動幅３３５ｖ，３３６ｖの下限値である。【０１０３】
＜データ項目分類＞
図１２において、装置１の状態計測データＤＳのデータ項目を分類した情報データである、データ項目分類（表）２５０を示している。データ項目の分類（種類）として、前述した、目的変数（Ｙ），説明変数（Ｘ），共線性，独立性を有する。装置状態パラメータＰ（例えばＰ１〜Ｐ４）において、Ｐ１に対しては、目的変数（Ｙ）がフラグのオン（１）によって対応付けられ、即ち、Ｐ１は、目的変数データ項目（Ｙ）に指定されている。同様に、Ｐ２に対しては、説明変数（Ｘ）及び共線性がオンされており、即ち、Ｐ２は、第１の共線性説明変数データ項目ＸＡ１に指定されている。Ｐ３に対しては、説明変数（Ｘ）及び共線性がオンされており、即ち、Ｐ３は、第２の共線性説明変数データ項目ＸＡ２が指定されている。Ｐ４に対しては、説明変数（Ｘ）及び独立性がオンされており、即ち、Ｐ４は、独立性説明変数データ項目ＸＢが指定されている。【０１０４】
＜予測モデル＞
図１３において、装置１の状態計測データ項目の中の目的変数データ項目（Ｙ）を予測するための予測モデルに関する情報データ（表）を示している。モデル名の各モデルに対し、切片及び各パラメータ（例えばＰ１〜Ｐ４）が対応付けられる。例えば、モデル名がモデル１である第１の予測モデル（Ｍ１）では、切片が０．１、パラメータＰ２（ＸＡ１）が１．２、パラメータＰ４（ＸＢ）が０．９である。モデル名がモデル２である第２の予測モデル（Ｍ２）では、切片が０．０、パラメータＰ３（ＸＡ２）が１．１、パラメータＰ４（ＸＢ）が１．０である。【０１０５】
＜相互相関行列＞
図１４において、データ項目分類２２のサブモジュールが分類の根拠にする、データ項目間の相互相関行列を示している。前記パラメータＰ１（Ｙ），Ｐ２（ＸＡ１），Ｐ３（ＸＡ２），Ｐ４（ＸＢ）に関する行列である。例えば、Ｐ１（Ｙ）とＰ２（ＸＡ１）の相関の値が０．９である。【０１０６】
＜異常兆候時の状態データ＞
図１５において、図７の装置１の正常状態での状態データに対して、装置１に異常兆候がある場合の状態計測データ項目（パラメータ値）を示している。（ａ）は、正常な目的変数データ項目値（Ｙ）２２０ｙ、（ｂ）は、異常兆候がある第１の共線性説明変数データ項目値（ＸＡ１）２２１ｘ、（ｃ）は、正常な第２の共線性説明変数データ項目値（ＸＡ２）２２２ｘ、（ｄ）は、正常な独立性説明変数データ項目値（ＸＢ）２２３ｘを示している。（ｂ）の異常兆候があるＸＡ１（２２１ｘ）において、２２１ｆは、異常兆候としての時間遅れを示す。【０１０７】
図１６において、図８の装置１の正常状態での予測値データ（ＰＹ１，ＰＹ２）に対して、装置１に異常兆候がある場合の予測値データ（ＰＹ１，ＰＹ２）を示している。（ａ）は、第１の予測モデル（Ｍ１）に基づくＹの第１の予測値３３１ｐ（ＰＹ１）を示し、３３１ｆで示す異常兆候としての時間遅れを含む。（ｂ）は、第２の予測モデル（Ｍ２）に基づくＹの正常な予測値３３２ｐ（ＰＹ２）を示している。【０１０８】
図１７において、図９の装置１が正常状態での予測乖離度データ（ＥＹ１，ＥＹ２）に対して、装置１に異常兆候がある場合の予測乖離度データ（ＥＹ１，ＥＹ２）を示している。（ａ）は、第１の予測値（ＰＹ１）に関する第１の予測乖離度３３３ｅ（ＥＹ１）を示し、３３３ｆで示す異常変動を含む。（ｂ）は、第２の予測値（ＰＹ２）に関する正常な第２の予測乖離度３３４ｅ（ＥＹ２）を示す。異常変動３３３ｆは、変動幅３３３ｖを超える大きさの変動である。【０１０９】
図１８において、図１１の装置１が正常状態での集団予測乖離度（ＥＧ）に対して、装置１に異常兆候がある場合における第１の集団予測乖離度３３５ｅ及び第２の集団予測乖離度３３６ｅを示している。（ａ）は、集団平均値３３５ｅ（ＧＡ）、（ｂ）は、集団最大値３３６ｅ（ＧＢ）を示す。異常変動３３５ｆ，３３６ｆは、変動幅３３５ｖ，３３６ｖを超える大きさの変動である。【０１１０】
＜モデル作成＞
次に、モデル作成処理について説明する。本構成では、装置１の異常兆候を監視するために、以下に説明する手順で監視モデル（予測モデル）を予め作成する。【０１１１】
装置１（熱電併給装置など、エネルギー変換装置）の３項目以上の状態計測データＤＳは、収集サイクル毎に随時にモデル作成モジュール２に送致される（図１）。モデル作成モジュール２（図３）は、状態計測データＤＳの履歴（２０１）を蓄積する。また、保守作業者（保守装置５４）により装置１に対して施された保守作業の実施情報は、保守作業履歴記録モジュール８に保守履歴データＤ０として記録、蓄積される。モデル作成モジュール２は、保守履歴データＤ０を参照する。【０１１２】
モデル作成モジュール２が、指示されたタイミングで集団予測乖離度計算モデルを構築するに当たって、データ洗浄２１のサブモジュールが、まず、図５のＳ１０１で、装置１の状態（状態計測データＤＳ）の履歴２０１の収集、及び装置１の保守履歴データＤ０の収集を行う。続いて、Ｓ１０２で、同サブモジュールが当該データの洗浄を行うことで、装置１の正常稼動時の状態計測データＤＳを抽出する。具体的には、保守履歴データＤ０から装置１の正常稼働時間区間情報を抽出し、その時間区間における状態計測データＤＳのデータ項目（状態データ項目）を抽出する。【０１１３】
次に、Ｓ１０３で、モデル作成モジュール２のデータ項目分類２２のサブモジュールが、装置１の複数の状態データ項目を、目的変数データ項目（Ｙ）と説明変数データ項目（Ｘ）に分類（指定）する。この分類（指定）は、記憶２５のサブモジュールのデータ項目分類（表）２５０に予め記録されたフラグ指定（図１２）に基づいて実施される。目的変数（Ｙ）が決定されると、そのＹから自動的に説明変数（Ｘ）が決定される。目的変数データ項目（Ｙ）の指定に制限は無いが、少なくとも、装置１における運動出力、熱出力、電力出力、またはエネルギー変換効率のいずれか１つを予め指定すると良い。【０１１４】
データ項目分類２２は、その他の残りの状態データ項目を、説明変数データ項目（Ｘ）に予め指定する。説明変数データ項目（Ｘ）の指定に制限は無いが、少なくとも、以下のいずれか１つを含む。即ち、燃料供給量、燃料燃焼温度、燃料燃焼圧力、機械部品の運動速度、機械部品の振動、機械部品の加速度、機械部品の歪み、機械部品の音響、機械部品の摩耗量、潤滑油の成分、潤滑油の圧力、潤滑油の温度、電気部品の電圧、電気部品の電流、電気部品の周波数、環境の温度、環境の湿度、環境の気圧、電力系統の電圧、電力系統の電流、装置の稼働時間、または部品の稼働時間である。【０１１５】
目的変数データ項目（Ｙ）については、１個以上の任意の個数を指定して良く、説明変数データ項目（Ｘ）については、２個以上の任意の個数を指定して良い。【０１１６】
Ｓ１０３の指定（分類）では、本例では、人（システム管理者Ｕ２）による設定に基づいて本システムのコンピュータが自動的に目的変数データ項目（Ｙ）を指定し、指定された目的変数データ項目（Ｙ）から説明変数データ項目（Ｘ）も決定される。【０１１７】
前記図１２に、上記データ項目分類（表）２５０の例を示している。本例では、４個のパラメータＰ１（Ｙ）、Ｐ２（ＸＡ１）、Ｐ３（ＸＡ２）、Ｐ４（ＸＢ）の通りである。本例では、目的変数データ項目（Ｙ）が１個であり、説明変数データ項目が３個（ＸＡ１，ＸＡ２，ＸＢ）の場合を説明するが、一般性を失うものではない。【０１１８】
続いて、Ｓ１０４では、データ項目分類２２のサブモジュールは、上記説明変数データ項目（Ｘ）を上記目的変数データ項目（Ｙ）に対する共線性モードと独立性モードに分類する。分類は、データ項目分類２２のサブモジュールが計算するデータ項目間の相互相関係数行列（図１４）に基づいて自動的に実施される。【０１１９】
図１４の例で、具体的には、相関係数の大小を判定するしきい値（本例では０．６）を予め定めておき、しきい値との大小により分類する。即ち、上記目的変数データ項目（Ｙ）であるＰ１に対して相関係数が大きな上記説明変数データ項目であるＰ２（相関係数０．９＞０．６）と、Ｐ３（相関係数０．８＞０．６）とを、共線性データ項目（ＸＡ１，ＸＡ２）に分類し、相関係数が小さな上記説明変数データ項目であるＰ４（相関係数０．３＜０．６）を、独立性データ項目（ＸＢ）に分類する。上記説明変数データ項目であるＰ２（ＸＡ１）とＰ３（ＸＡ２）の相互相関係数（０．７＞０．６）からも、共線性モードを確認できる。分類した結果は、記憶２５のサブモジュールにデータ項目分類（表）２５０として記録される。【０１２０】
＜分類方法＞
図１９において、別の例によるデータ項目分類方法（Ｓ１０４）を示す。この例では、前記特許文献３、非特許文献４に説明されている偏相関係数に基づくグラフィカル因果モデルによって分類する。図１９のグラフ（グラフィカル因果モデル）の頂点（ノード）には、目的変数データ項目（Ｙ）（２２０）のパラメータＰ１、第１の説明変数データ項目（共線性説明変数データ項目ＸＡ１）（２２１）のパラメータＰ２、第２の説明変数データ項目（共線性説明変数データ項目ＸＡ２）（２２２）のパラメータＰ３、第３の説明変数データ項目（独立性説明変数データ項目ＸＢ）（２２３）のパラメータＰ４が配置されている。各頂点を結ぶリンク（相互相関係数）は、因果の大きさと方向を示している。【０１２１】
例えば、説明変数データ項目（Ｘ）であるＰ２（ＸＡ１）とＰ３（ＸＡ２）は、互いに強い偏相関関係（偏相関係数＝０．８）を持っていて、共に、目的変数データ項目（Ｙ）であるＰ１（Ｙ）の原因となっている（偏相関係数＝０．７）。そのため、これら（Ｐ２，Ｐ３）は、共線性データ項目（共線性モード）と判定される。一方、他の説明変数データ項目であるＰ４（ＸＢ）は、目的変数データ項目（Ｙ）であるＰ１の原因となっているが（偏相関係数＝０．６）、Ｐ２（ＸＡ１）とＰ３（ＸＡ２）に対しては弱い偏相関関係（偏相関係数＝０．１）しか無く、因果関係が無いため、独立性データ項目（独立性モード）と判定される。上述した分類は、データ項目分類２２のサブモジュールによって自動的に実施することが可能である。【０１２２】
前記図７の正常時の推移チャートの例において、（ａ）に、目的変数データ項目（Ｙ）であるＰ１（２２０ｙ）の例、（ｂ）に、説明変数共線性データ項目（ＸＡ１）であるＰ２（２２１ｘ）の例、（ｃ）に、説明変数共線性データ項目（ＸＡ２）であるＰ３（２２２ｘ）の例、（ｄ）に、説明変数独立性データ項目（ＸＢ）であるＰ４（２２３ｘ）の例をそれぞれ示している。【０１２３】
次に、Ｓ１０５では、モデル作成モジュール２の予測モデル構築モジュール２３が、上記共線性データ項目（ＸＡ１，ＸＡ２）に個別に対応した２つの予測モデル（Ｍ１，Ｍ２）を構築する。第１の予測モデル（Ｍ１）（２３１）は、第１の共線性データ項目（ＸＡ１）であるＰ２と、独立性データ項目（ＸＢ）であるＰ４とを入力として、目的変数データ項目（Ｙ）であるＰ１の第１の予測値（ＰＹ１）を出力する線形回帰式として、回帰分析に基づき下記式（１）に示すように構築される。Ｐの上に付いた波線は、予測値であることを表す。【０１２４】
【数１】
2010082322.tif 000003
【０１２５】
一方、第２の予測モデル（Ｍ２）（２３２）は、第２の共線性データ項目（ＸＡ２）であるＰ３（２２２）と独立性データ項目（ＸＢ）であるＰ４（２２３）とを入力として、目的変数データ項目（Ｙ）であるＰ１の第２の予測値（ＰＹ２）を出力する線形回帰式として、回帰分析に基づき式（２）に示すように構築される。【０１２６】
【数２】
2010082322.tif 000004
【０１２７】
式（１）及び式（２）の各ａは、線形回帰式の係数であり、二桁の添え字の中の左の添え字は、予測モデルに対応した説明変数共線性データ項目（ＸＡ）の種別を表し、右の添え字は、説明変数データ項目（Ｘ）の種別を表す。ただし、右の添え字が０のａは、回帰式の切片を表す。また、式（１）及び式（２）の各データ項目の括弧内のパラメータのｔは、装置１の運転時間を表し、パラメータの２と３は、それぞれ上記予測モデルに対応した上記説明変数共線性データ項目（ＸＡ）の種別を表す。【０１２８】
前記図８の（ａ）ＰＹ１（３３１ｐ）の推移チャートには、前記図７の（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）、及び（ｄ）Ｐ４−ＸＢ（２２３ｘ）を入力として作成した第１の予測モデル（Ｍ１）（図３の２３１）の出力としてのＰ１（Ｙ）（２２０）の第１の予測値（ＰＹ１）の推移チャートを示している。また、前記図８の（ｂ）ＰＹ２（３３２ｐ）の推移チャートには、前記図７の（ｃ）Ｐ３−ＸＡ２（２２２ｘ）、及び（ｄ）Ｐ４−ＸＢ（２２３ｘ）を入力として作成した第２の予測モデル（Ｍ２）（図３の２３２）の出力としてのＰ１（Ｙ）（２２０）の第２の予測値（ＰＹ２）の推移チャートを示している。【０１２９】
上記式（１）及び式（２）の予測モデルを、任意の数のモデルに拡張した一般式は、下記式（３）となる。【０１３０】
【数３】
2010082322.tif 000005
【０１３１】
上記式（３）において、Ｐｋは、ｋを識別番号とする目的変数データ項目（Ｙ）であり、Ｐｍは、ｍを識別番号とする説明変数共線性データ項目（ＸＡ）であり、Ｐｎは、ｎを識別番号とする説明変数独立性データ項目（ＸＢ）である。上記式（１）及び式（２）では、Ｐｎ＝Ｐ４である１つの独立性データ項目（ＸＢ）が存在する場合を説明しているが、Ｐｎは１つの予測モデルに複数存在しても良い。【０１３２】
なお、本実施の形態では、上述のように予測モデルを線形回帰式の形式としたが、これに限定されるものではなく、前記非特許文献１、非特許文献２に述べられているＧＬＭ法、ＭＡＲＳ法、ＧＡＭ法、あるいは非線形モデル法を用いて、非線形モデルを作成することもできる。【０１３３】
また、状態データ項目の種別毎に線形モデルと非線形モデルを使い分けて、前述の集団予測モデル群（図３の２５１）の中にそれら両モデルを混在させても良い。これにより、非線形関係にある状態データ項目に対しては予測モデルの精度を上げて、異常兆候の検知精度を向上できる効果がある。【０１３４】
例えば、目的変数（Ｙ）がエンジン出力であり、説明変数（Ｘ）が燃料バルブ開閉度（Ｘ１）及び過給機圧力（Ｘ２）である場合は、エンジン出力（Ｙ）を燃料バルブ開閉度（Ｘ１）から予測するモデルについては線形モデルとし、エンジン出力（Ｙ）を過給機圧力（Ｘ２）から予測するモデルについては、圧力をＬｏｇ変換したり排気圧に応答する遅れ無駄時間を加えた非線形モデルにすると良い。【０１３５】
次に、Ｓ１０６で、モデル作成モジュール２の集団予測乖離度計算モデル構築モジュール２４が、前記複数の予測モデル（Ｍ１，Ｍ２）の予測乖離度（ＥＹ１，ＥＹ２）を組み合わせた集団予測乖離度（ＥＧ）を計算するモデル（集団予測乖離度計算モデル）を構築する。第１の予測モデル（Ｍ１）２３１及び第２の予測モデル（Ｍ２）２３２の各予測値（ＰＹ：ＰＹ１，ＰＹ２）の乖離度（予測乖離度）（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）の定義を、前記式（１）及び式（２）のＰ１（Ｙ）の予測値（ＰＹ：ＰＹ１，ＰＹ２）を用いて、式（４）及び式（５）に示す。【０１３６】
【数４】
2010082322.tif 000006
【０１３７】
【数５】
2010082322.tif 000007
【０１３８】
上記式（４）及び式（５）の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）の定義を、任意のモデルに拡張した一般式を、下記式（６）のように定義する。【０１３９】
【数６】
2010082322.tif 000008
【０１４０】
前記図９の（ａ）ＥＹ１（３３３ｅ）の推移チャートには、図７の（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）と、図８の（ａ）Ｍ１（２３１）に基づく第１の予測値（ＰＹ１）（３３１ｐ）との間における、式（４）に基づく第１の乖離度（ＥＹ１）の推移チャートを示している。また、前記図９の（ｂ）ＥＹ２（３３４ｅ）の推移チャートには、図７の（ｃ）Ｐ３−ＸＡ２（２２１ｘ）と、図８の（ｂ）Ｍ２（２３２）に基づく第２の予測値（ＰＹ２）（３３２ｐ）との間における、式（５）に基づく第２の乖離度（ＥＹ２）の推移チャートを示している。【０１４１】
上記式（４）及び式（５）の複数の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）を組み合わせた集団予測乖離度（ＥＧ）を計算するモデルの組み合わせの方式を、前記集団平均値（ＧＡ）にした場合（第１の集団予測乖離度ＥＧ１）の計算式を、下記式（７）のように定義する。【０１４２】
【数７】
2010082322.tif 000009
【０１４３】
また、別の例として、上記式（４）及び式（５）の複数の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）を組み合わせた集団予測乖離度（ＥＧ）を計算するモデルの組み合わせの方式を、前記集団最大値（ＧＢ）にした場合（第２の集団予測乖離度ＥＧ２）の計算式を、下記式（８）のように定義する。【０１４４】
【数８】
2010082322.tif 000010
【０１４５】
上記式（７）及び式（８）の右辺第一項の分母にあるΔ２は、上記第１の予測モデル（Ｍ１）（２３１）の予測値（ＰＹ１）の予測乖離度（ＥＹ１）の式（４）（図９のＥＹ１（３３３ｅ））の変動幅（３３３ｖ）を表し、他の予測乖離度と正常状態の変動の大きさを揃えて組み合わせるために右辺第一項を規格化している。また、上記式（７）及び式（８）の右辺第二項の分母にあるΔ３は、上記第２の予測モデル（Ｍ２）（２３２）の予測値（ＰＹ２）の予測乖離度（ＥＹ２）の式（５）（図９のＥＹ２（３３４ｅ））の変動幅（３３４ｖ）を表し、他の予測乖離度と正常状態の変動の大きさを揃えて組み合わせるために右辺第二項を規格化している。【０１４６】
また、これらの規格化係数（Δ２，Δ３）を、単純に正常状態の変動の大きさにするのではなく、そのデータ項目の重要度を当該装置１に関する設計知識あるいは故障の経験知識から判断して、値の大きさを変更しても良い。任意のデータ項目の乖離度の規格化を操作しても、他のデータ項目の乖離度に干渉することは無い。この特徴によって、装置１に関する設計知識あるいは故障の経験知識をフィードバックして、異常検知の精度を上げることができる。【０１４７】
図１０の（ａ）ＥＹ１’（３３３ｅｋ）には、上記第１の予測乖離度（図９のＥＹ１（３３３ｅ））を規格化した値（第１の規格化予測乖離度）を示し、同様に、（ｂ）ＥＹ２’（３３４ｅｋ）には、上記第２の予測乖離度（図９のＥＹ２（３３４ｅ））を規格化した値（第２の規格化予測乖離度）を示す。【０１４８】
図１１の（ａ）ＧＡ（３３５ｅ）には、上記式（７）の予測乖離度（規格化予測乖離度）の集団平均値（ＧＡ）に基づく第１の集団予測乖離度（ＥＧ１）の推移チャートを示し、図１１の（ｂ）ＧＢ（３３６ｅ）には、上記式（８）の予測乖離度（規格化予測乖離度）の集団最大値（ＧＢ）に基づく第２の集団予測乖離度（ＥＧ２）の推移チャートを示す。【０１４９】
なお、上記式（７）及び式（８）の予測乖離度計算モデルを、任意の数のモデルに拡張した一般式は、それぞれ下記式（９）及び式（１０）となる。【０１５０】
【数９】
2010082322.tif 000011
【０１５１】
【数１０】
2010082322.tif 000012
【０１５２】
上記式（９）において、Ｍは、予測乖離度計算モデルの数、すなわち説明変数共線性データ項目（ＸＡ）の数を表す。【０１５３】
図５のモデル作成処理ステップの最後に、モデル作成モジュール２は、上記構築された目的変数データ項目（Ｙ）の予測モデル（式（３））、及び上記集団予測乖離度計算モデル（式（９），式（１０））を、集団予測モデル群２５１として、記憶２５のサブモジュールに格納する。【０１５４】
＜監視実行＞
本実施の形態では、装置１の異常兆候を監視するために、上記作成したモデルに基づき、監視実行モジュール３により、以下に説明する手順で監視を実行する。【０１５５】
装置１の状態計測データＤＳは、収集サイクル毎に随時にモデル作成モジュール２に送致される（図１）。監視実行モジュール３（図４）は、記憶２５のサブモジュールに格納されたデータ項目分類（表）２５０と集団予測モデル群２５１に基づき、監視を実行する。【０１５６】
監視実行モジュール３が収集サイクル毎に監視を実行するに当たり、データ洗浄３１のサブモジュールが、まず図６のＳ１１１で、装置１の状態（ＤＳ）の履歴３０１の収集と洗浄とを行う。洗浄としては、欠損データの除去あるいは補間を行う。【０１５７】
続いて、Ｓ１１２で、監視実行モジュール３のデータ項目選択３２のサブモジュールが、装置状態（ＤＳ）の履歴３０１の複数のデータ項目の中から目的変数（Ｙ）と説明変数（Ｘ）を選択し、続いて、Ｓ１１３で、複数の説明変数データ項目（Ｘ）の中から共線性データ項目（ＸＡ）と独立性データ項目（ＸＢ）を選択する。具体的には、前記モデル作成モジュール２の記憶２５サブモジュールに格納されたデータ項目分類表２５０（図１２）に基づき選択を行う。【０１５８】
続いて、監視実行モジュール３の異常兆候判定３３サブモジュールが、Ｓ１１４で、複数の説明変数共線性データ項目（ＸＡ）の数の分の予測モデル（Ｍ１，Ｍ２）を用いて、目的変数データ項目（Ｙ）に対する複数の予測値（ＰＹ：ＰＹ１，ＰＹ２）を計算する。具体的には、予測値計算手段であるＭ１−ＰＹ１計算３３１、及びＭ２−ＰＹ２計算３３２が、前記モデル作成モジュール２の記憶２５サブモジュールに格納された集団予測モデル群２５１の一部を構成する前記式（３）に基づき、目的変数データ項目（Ｙ）の複数の予測値（ＰＹ：ＰＹ１，ＰＹ２）を計算する。【０１５９】
図１５において、異常兆候を含むデータ項目の推移チャートの例を示す。本例では、（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）において時間遅れ（２２１ｆ）が異常兆候として発生しており、他のデータ項目（Ｐ１，Ｐ３，Ｐ４）には異常兆候は発生していない。【０１６０】
図１６において、（ａ）ＰＹ１（３３１ｐ）、及び（ｂ）ＰＹ２（３３２ｐ）には、前述した例において前記式（３）を具体化した前記式（１）及び式（２）に基づき、異常兆候を含む図１５（ｂ）のデータ項目（Ｐ２−ＸＡ１）から計算した図１５（ａ）の目的変数データ項目Ｐ１（Ｙ）（２２０ｙ）の予測値（ＰＹ：ＰＹ１，ＰＹ２）を、それぞれ示している。【０１６１】
前記図１５の（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）（異常兆候あり）と（ｄ）Ｐ４−ＸＢ（２２３ｘ）を組み合わせて予測した、図１６（ａ）のＰ１（Ｙ）の第１の予測値（ＰＹ１）（３３１ｐ）には、Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）の時間遅れ（２２１ｆ）に起因する時間遅れ（３３１ｆ）が反映される。【０１６２】
一方、前記図１５の（ｃ）Ｐ３−ＸＡ２（２２２ｘ）と（ｄ）Ｐ４−ＸＢ（２２３ｘ）を組み合わせて予測した、図１６（ｂ）のＰ１（Ｙ）の第２の予測値（ＰＹ２）（３３２ｐ）は、前記図８（ｂ）の装置１の正常状態のＰ１（Ｙ）の第２の予測値（ＰＹ２）（３３２ｐ）と同様の推移を示す。【０１６３】
続いて、Ｓ１１５で、異常兆候判定３３サブモジュールは、目的変数データ項目（Ｙ）に対する複数の予測値（ＰＹ１，ＰＹ２）の乖離度（ＥＹ１，ＥＹ２）を計算する。具体的には、予測乖離度計算手段である、ＰＹ１−ＥＹ１計算３３３、及びＰＹ２−ＥＹ２計算３３４が、前記モデル作成モジュール２の記憶２５サブモジュールに格納された集団予測モデル群２５１の一部を構成する前記式（６）に基づき、目的変数データ項目（Ｙ）の複数の予測乖離度（ＥＹ）を計算する。【０１６４】
図１７（ａ）ＥＹ１（３３３ｅ）、及び（ｂ）ＥＹ２（３３４ｅ）には、前述した例において前記式（６）を具体化した前記式（４）及び式（５）に基づき、時間遅れ（３３１ｆ）を含む図１６の予測値（ＰＹ）から計算したＰ１（Ｙ）（２２０ｙ）の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）を、それぞれ示す。【０１６５】
前記図１６（ａ）のＰＹ１（３３１ｐ）｛Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）とＰ４−ＸＢ（２２３ｘ）の組み合わせによる予測値｝の予測乖離度である、図１７（ａ）ＥＹ１（３３３ｅ）には、前記第１の予測値（ＰＹ１）（３３１ｐ）の時間遅れ（３３１ｆ）が反映した異常変動（３３３ｆ）が発生する。【０１６６】
一方、前記図１６（ｂ）のＰＹ２（３３２ｐ）｛Ｐ３（ＸＡ２）（２２２ｘ）とＰ４（ＸＢ）（２２３ｘ）の組み合わせによる予測値｝の予測乖離度である、図１７（ｂ）ＥＹ２（３３４ｅ）は、前記図９（ｂ）の装置１の正常状態の予測乖離度（ＥＹ２（３３４ｅ））と同様の推移を示す。【０１６７】
続いて、Ｓ１１６で、異常兆候判定３３サブモジュールは、目的変数データ項目（Ｙ）に対する複数の予測値（ＰＹ）の乖離度（ＥＹ）を組み合わせて集団予測乖離度（ＥＧ）を計算する。具体的には、集団予測乖離度（ＥＧ）計算３３５が、前記モデル作成モジュール２の記憶２５サブモジュールに格納された集団予測モデル群２５１の一部を構成する前記式（９）あるいは式（１０）に基づき、目的変数データ項目（Ｙ）の複数の予測乖離度（ＥＹ）を組み合わせた集団予測乖離度である、予測乖離度集団平均値（ＧＡ）あるいは予測乖離度集団最大値（ＧＢ）を計算する。【０１６８】
図１８（ａ）ＧＡ（３３５ｅ）には、前述した例において前記集団平均値（ＧＡ）の計算式（式（９））を具体化した前記式（７）に基づき、前記異常変動（３３３ｆ）を含む図１７の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）から計算したＰ１（Ｙ）（２２０ｙ）の予測乖離度集団平均値（ＧＡ）を示す。また、図１８（ｂ）ＧＢ（３３６ｅ）には、前述した例において前記集団最大値（ＧＢ）の計算式（式（１０））を具体化した前記式（８）に基づき、前記異常変動（３３３ｆ）を含む図１７の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）から計算したＰ１（Ｙ）（２２０ｙ）の予測乖離度集団最大値（ＧＢ）を示す。【０１６９】
上記集団平均値（ＧＡ）（３３５ｅ）あるいは集団最大値（ＧＢ）（３３６ｅ）には、共に、図１５（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）の時間遅れ（２２１ｆ）が反映した異常変動（３３５ｆ）あるいは異常変動（３３６ｆ）が発生する。【０１７０】
続いて、Ｓ１１７で、異常兆候判定３３サブモジュールは、上記集団予測乖離度（ＥＧ：ＥＧ１（ＧＡ）またはＥＧ２（ＧＢ））をしきい値（Ｈ）と照合して、装置１の異常兆候を判定する。具体的には、しきい値照合・異常判定３３６が、前記モデル作成モジュール２の記憶２５サブモジュールに格納されたしきい値（Ｈ）と前記計算した集団予測乖離度（ＥＧ）とを比較する。【０１７１】
上記しきい値（Ｈ）については、予め指定値を格納しておいても良いし、モデルを作成する際に正常データから計算した前記集団予測乖離度（ＥＧ）の正常変動幅（図１１の３３５ｖ、３３６ｖ）をしきい値（図１１の３３５ｓ１，３３５ｓ２，３３６ｓ１，３３６ｓ２）として格納しても良い。なお、前述の予測乖離度の規格化を、全データ項目に適用すれば、当該しきい値＝１と単位量にすることもできる。【０１７２】
モデルを作成する際の正常データから計算した前記集団予測乖離度（ＥＧ）（図１１のＧＡ（３３５ｅ），ＧＢ（３３６ｅ））は、上記しきい値（Ｈ）（３３５ｓ１，３３６ｓ１）を超えることはない。本例の時間遅れに伴う異常変動を含む前記集団予測乖離度（図１８のＧＡ（３３５ｅ），ＧＢ（３３６ｅ））は、上記異常変動（３３５ｆ，３３６ｆ）の発生時間に上記しきい値（Ｈ）（３３５ｓ１，３３６ｓ１）を超えるため、異常兆候を検知できる。【０１７３】
Ｓ１１８で、上記しきい値照合・異常判定３３６は、上記しきい値（Ｈ）と集団予測乖離度（ＥＧ）とを照合した結果に基づき分岐判断を行う。異常検知しない場合（Ｎ）には、Ｓ１１１に戻り、異常検知した場合（Ｙ）には、Ｓ１１９に進み、検知情報３４（Ｄ１）を出力し、及び装置１の保守の実施を指示する。具体的には、監視実行モジュール３は、検知情報３４（Ｄ１）を、保守管理コンピュータ５３の保守作業指示モジュール７に送信し、保守作業の指示を、保守作業を行うための保守装置５４に表示する。この時、検知情報３４（Ｄ１）を装置１に送信して（図１、停止信号Ｄ５）、装置１に予め組み込まれている運転停止シーケンスを起動するようにしても良い。【０１７４】
実施の形態１では、集団予測乖離度（ＥＧ）として、集団平均値（ＧＡ）（式（９））と集団最大値（ＧＢ）（式（１０））とのいずれか一方を使用する例を示した。【０１７５】
以上のように、実施の形態１によれば、精度良い異常検知が可能なモデル及びそれを用いた監視が実現できる。【０１７６】
（実施の形態２）
次に、図２０、図２１等を用いて、本発明の実施の形態２について説明する。【０１７７】
＜集団平均値と集団最大値の組み合わせ＞
実施の形態２では、実施の形態１とは異なり、集団乖離度（ＥＧ）として、予測乖離度（ＥＹ）の集団平均値（ＧＡ：ＥＧ１）（式（９））と集団最大値（ＧＢ：ＥＧ２）（式（１０））との両方を混在させて使用する例である。【０１７８】
前記図１８（ａ）に示したように、集団平均値（ＧＡ）による異常変動（３３５ｆ）は、平均をとることによって元の異常変動の幅（図１７（ａ）の３３３ｆ）よりも縮小してしまう。全ての状態データ項目に同時発生した異常変動は、平均をとることによっても縮小しないが、１つの状態データ項目に孤立発生した異常変動は、平均をとることによって、データ項目の数に反比例して縮小する。よって、集団平均値（ＧＡ）は、異常検知の感度は低いが、異常発生データ項目数への感度は高いと言える。【０１７９】
一方、集団最大値（ＧＢ）による異常変動（図１８（ｂ）の３３６ｆ）は、最大値をデータ項目間でトレースすることによって元の異常変動の幅（図１７（ａ）の３３３ｆ）を維持する。全ての状態データ項目に同時発生した異常変動も、１つの状態データ項目に孤立発生した異常変動も、変動幅に違いが無い。よって、集団最大値（ＧＢ）は、異常検知の感度は高いが、異常発生データ項目数への感度は低いと言える。【０１８０】
そこで、本実施の形態２では、図２０と図２１に示すように、集団平均値（ＧＡ）と集団最大値（ＧＢ）を組み合わせて混在させることによって、装置１の異常の規模までも判定する方法を示す。【０１８１】
図２０において、異常兆候判定３３Ｂモジュールは、前記図４の異常兆候判定３３モジュールの機能を拡張した形態である。図２１は、その異常兆候判定３３Ｂモジュールの処理フローを示している。【０１８２】
図２０で、Ｍ１−ＰＹ１計算３３１では、式（１）、Ｍ１に基づき、ＰＹ１を計算して出力する。３４１は回帰係数掛算器、３４２は加算器である。ＰＹ１−ＥＹ１計算３３３では、式（４）に基づき、ＰＹ１からＥＹ１を計算して出力する。３４３は加算器、３４４は規格化係数掛算器である。同様に、Ｍ２−ＰＹ２計算３３２では、式（２）、Ｍ２に基づき、ＰＹ２を計算して出力する。ＰＹ２−ＥＹ２計算３３４では、式（５）に基づき、ＰＹ２からＥＹ２を計算して出力する。【０１８３】
図２１で、Ｓ１１１からＳ１１５までは、前記図６で説明した処理と同じである。前記Ｓ１１６に関して、本実施の形態では、ＥＧ計算３３５により、ＥＹ（ＥＹ１，ＥＹ２）から、ＧＡとＧＢを計算する。Ｓ１１６ａでは、ＧＡ計算３３５ａにより、予測乖離度集団平均値（ＧＡ）を計算し、また、並行して、Ｓ１１６ｂでは、ＧＢ計算３３５ｂにより予測乖離度集団最大値（ＧＢ）を計算する。【０１８４】
Ｓ１１７では、しきい値照合・異常判定３３６により、集団予測乖離度（ＥＧ）として、常に装置異常兆候の検知感度の高い集団最大値（ＧＢ）の方を用い、集団最大値（ＧＢ）と所定のしきい値とを照合する。そして、Ｓ１１８では、異常兆候を検知したかどうかの分岐判定を行う。検知した場合（Ｙ）は、Ｓ１２０へ進む。【０１８５】
Ｓ１２０では、集団統計値の偏差の計算及び異常規模の判定３３７を行うサブモジュールにより、上記集団最大値（ＧＢ）と集団平均値（ＧＡ）についての偏差を計算（具体的には両者の差分値を計算）して相互比較する。【０１８６】
Ｓ１２１では、上記計算した偏差の大小による分岐判定を行う。具体的には、上記偏差が予め定めた所定の判定用しきい値よりも小さい場合（「小」）は、装置１全体の大域的な異常が起こっていると判定し、Ｓ１１９ａに進む。Ｓ１１９ａでは、前記検知情報３４（Ｄ１）の中に、装置大域異常の情報（３４ａ）を含めて、前記保守作業指示モジュール７に送信することにより、装置大域保守（例えば装置交換）を指示する。逆に、上記偏差が予め定めた所定の判定用しきい値よりも大きい場合（「大」）は、装置１の一部分の局所的な異常が起こっていると判定し、Ｓ１１９ｂに進む。Ｓ１１９ｂでは、前記検知情報３４（Ｄ１）の中に、装置局所異常の情報（３４ｂ）を含めて、前記保守作業指示モジュール７に送信することにより、装置局所保守（例えば部品交換）を指示する。【０１８７】
このように、実施の形態２では、集団平均値（ＧＡ）と集団最大値（ＧＢ）を組み合わせることによって、実施する保守作業の内容や規模を決定することができる効果がある。【０１８８】
なお、上記集団最大値（ＧＢ）の代わりに、前記個別乖離度の分位数を用いても良い。また、上記集団平均値（ＧＡ）の代わりに、前記個別乖離度の二乗平均平方根を計算した実効値を用いても良い。また、実施の形態２で説明した方式を一般化して、前記説明変数共線性データ項目（ＸＡ）毎の予測乖離度（ＥＹ）の集団の分布形状を判定するようにしても良い。【０１８９】
＜時間遅れ以外の異常兆候＞
本実施の形態２では、装置１の状態計測データＤＳに発生した異常兆候の例として、前記図１５（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１（２２１ｘ）の時間遅れ（２２１ｆ）で説明した。しかしながら、本実施の形態２では、その他に、目的変数データ項目（Ｙ）と説明変数データ項目（Ｘ）との間で正常状態よりも大きな予測乖離を発生する任意の異常兆候を検知することができる。例えば、状態計測データＤＳの過大値や過小値の発生の場合も、異常兆候として検知できる。また、状態計測データＤＳの振動波形の発生の場合についても、前処理として周波数スペクトル変換を施したデータを状態計測データとすれば、異常兆候として検知できる。【０１９０】
（実施の形態３）
次に、図２２〜図２５を用いて、本発明の実施の形態３について説明する。実施の形態３は、実施の形態１（図１）のモデル作成モジュール２及び監視実行モジュール３の処理に加えて、異常診断モジュール４の処理（異常診断による異常部品（候補）推定）を行う。異常部品の推定の処理では、異常原因のセンサＳ（対応データ項目）が特定されることで、当該センサＳ（対応データ項目）に対応付けられるモジュールや部品を抽出することができる。【０１９１】
＜異常診断＞
前記実施の形態２では、監視実行モジュール３から、装置１の大域異常や局所異常に関する情報を含む検知情報３４（Ｄ１）を、保守作業指示モジュール７に送信することで、装置保守対象規模を指示している（図１）。さらに、異常変動した状態データ項目の名称と、その異常変動の大きさの降順のランキングなどの異常候補推定情報を、検知情報３４（Ｄ１）に含めて送信するようにすれば、保守作業内容が事前に定まる効果がある。そこで、実施の形態３では、そのような処理を行う異常診断モジュール４を含む構成とした。【０１９２】
前記実施の形態１において、前記しきい値照合・異常判定３３６のサブモジュールが集団乖離度（ＥＧ）としきい値（Ｈ）とを照合して異常判定し（図６、Ｓ１１７）、異常兆候を検知した際には（Ｓ１１８−Ｙ）、前記検知情報３４（Ｄ１）を保守作業指示モジュール７に送信している（Ｓ１１９）。【０１９３】
それに代わり、実施の形態３では、前記図６のＳ１１５で計算した複数の各予測値（ＰＹ：ＰＹ１，ＰＹ２）の予測乖離度（ＥＹ：ＥＹ１，ＥＹ２）も全て検知情報３４（Ｄ１）の中に含めて、異常診断モジュール４に送信するようにする。異常診断モジュール４は、各データ項目に対応した予測乖離度（ＥＹ）の大きさを降順にランキングした後に、当該情報（異常と関連のある状態データ項目をランキング付きで列挙した情報）を、保守作業指示モジュール７に送信する。保守作業指示モジュール７は、上記各データ項目の予測乖離度（ＥＹ）の降順ランキングなどの異常候補推定情報を、保守装置５４を用いる保守作業者（Ｕ１）に提示する。例えば保守装置５４の表示装置画面に表示する。これにより、保守作業者（Ｕ１）が保守作業を行う対象となる装置１の箇所（モジュールや部品など）などを的確に指示することができる効果がある。【０１９４】
例えば、熱電併給装置において、異常候補推定情報として発電機側の電流、電圧、電力等の項目が上位のランキングに挙がって来た場合には、保守作業者（Ｕ１）が保守作業を行う対象となる装置１の箇所として、発電制御モジュールを指示する。また、異常候補推定情報として回転速度、振動等の項目が上位のランキングに挙がって来た場合には、保守作業者（Ｕ１）が保守作業を行う対象となる装置１の箇所として、エンジンモジュールを指示する。また、異常候補推定情報として冷却水温度、潤滑油温度等の項目が上位のランキングに挙がって来た場合には、保守作業者（Ｕ１）が保守作業を行う対象となる装置１の箇所として、冷却モジュールを指示する。【０１９５】
また、前記特許文献３、非特許文献４に開示されているグラフィカルモデリングによる因果解析を実行する機能を、異常診断モジュール４が備えるようにしてもよい。その場合、上記異常と関連のある状態データ項目をランキング付きで列挙した情報だけでなく、推定した因果関係、すなわち推定根本原因を、異常診断モジュール４から保守作業指示モジュール７へ送り、保守作業者（Ｕ１）に提示する。これにより、同様に、保守作業対象となる装置１の箇所を的確に指示できる効果がある。グラフィカルモデリングでは、状態データ項目間の偏相関係数を計算して条件独立を判定し、条件独立が成り立つ場合には、グラフのリンクを切断することで、因果モデルを得る。【０１９６】
また、装置１の緊急自動停止の場合のように、異常に伴う明確な装置状態の変化点を抽出できた場合には、状態データ項目間の相互相関関数を変化点周辺で計算して、時間の前後関係を確定し因果モデルを得る方法が有効である。相互相関関数（Cross correlation function）とは、１つ目の信号ｆが２つ目の時間シフトした信号ｇとどれだけ良く整合するかを測る尺度であり、時間シフトｓの大きさの関数として下記式（１１）で表される。【０１９７】
【数１１】
2010082322.tif 000013
【０１９８】
相互相関関数は、ノイズに埋もれた信号間の遅延時間を検出するのに有用である。上記式（１１）において、信号ｆを説明変数（Ｘ）とし、信号ｇを目的変数（Ｙ）とすると、時間シフトｓから説明変数（Ｘ）の変化点が目的変数（Ｙ）の変化点よりも過去か未来か、及びどれだけの時間離れているかを調べることができる。勿論、説明変数（Ｘ）同士の変化時間順序を直接調べることもできる。【０１９９】
＜相互相関関数＞
次に、図２２〜図２５を用いて、実施の形態３における相互相関関数から因果モデルを得る方法を説明する。図２２は、異常診断モジュール４による相互相関関数から因果モデルを得る処理フローを示している。図２３は、装置１の各状態データ項目（（ａ）Ｐ１−Ｙ，（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１，（ｃ）Ｐ３−ＸＡ２，（ｄ）Ｐ４−ＸＢ）の時系列推移の例を前述同様に示している。図２３（ｂ）Ｐ２−ＸＡ１では、異常兆候があり、時間遅れ２２１ｆを含んでいる。図２４は、状態データ項目に基づき相互相関関数を計算した結果を示している。（ａ）は、Ｐ２（ＸＡ１）とＰ１（Ｙ）の相互相関関数（２２１ｃ）を示し、（ｂ）は、Ｐ３（ＸＡ２）とＰ１（Ｙ）の相互相関関数（２２２ｃ）を示す。横軸は時間シフト量（右が未来方向、左が過去方向）で、縦軸は相互相関関数の値である。図２５は、上記相互相関関数の計算結果から導いた因果モデル（グラフィカル因果モデル）を示している。【０２００】
＜因果モデルを得る処理＞
図２２の処理フロー（処理主体は異常診断モジュール４）において、まずＳ４０１では、目的変数（Ｙ）に選んだ状態データ項目Ｐ１（図２３（ａ）Ｐ１−Ｙ（２２０ｙ））の変化点を検出する。この検出方法は、複数考えられるが、一般的によく知られている方法として微分偏算を用いることができる。【０２０１】
次に、Ｓ４０２では、変化点の有無を判定する。上記状態データ項目Ｐ１（Ｙ）には、２つの立ち上がりの変化点（図２３（ａ）の第１の変化点２２０ｖ１、第２の変化点２２０ｖ２）と、２つの立ち下がりの変化点（図示せず）とが存在する。ここでは、２つの立ち上がりの変化点（２２０ｖ１，２２０ｖ２）の中で、２つ目（後）の立ち上がりの変化点（２２０ｖ２）を対象にして説明するが、他の変化点についても同じ手順を適用すれば良い。【０２０２】
Ｓ４０２で変化点が無い場合（Ｎ）は、精度の良い相互相関関数計算を行うことができないため、Ｓ４０３に分岐して、前記グラフィカルモデリングを利用して因果モデルを得る。グラフィカルモデリングでは、状態データ項目間の偏相関係数を計算して条件独立を判定し、条件独立が成り立つ場合にはグラフのリンクを切断することで因果モデルを得るため、必ずしも明確な変化点が無くても計算を続行できる利点がある。【０２０３】
Ｓ４０２で変化点がある場合（Ｙ）は、精度の良い相互相関関数計算を行うことができるため、Ｓ４０４に分岐する。Ｓ４０４では、変化点近傍のデータを切り出す。上記例のＰ１−Ｙ（２２０ｙ）の変化点（２２０ｖ２）に対しては、変化点近傍（図２３（ａ）の２２０ｎ）のデータが切り出される。【０２０４】
次に、Ｓ４０５では、目的変数（Ｙ）に選択した状態データ項目Ｐ１（２２０ｙ）と、各説明変数（Ｘ）に選択した状態データ項目（Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４）との相互相関係数を計算する。即ち、Ｐ１（Ｙ）（２２０ｙ）に対し、ＸＡ１に選択したＰ２（２２１ｘ）から切り出した変化点近傍（図２３（ｂ）の２２１ｎ）のデータ、及びＸＡ２に選択したＰ３（２２２ｘ）から切り出した変化点近傍（図２３（ｃ）の２２２ｎ）のデータ、及びＸＢに選択したＰ４（２２３ｘ）から切り出した変化点近傍（図２３（ｄ）の２２３ｎ）のデータにおける相互相関関数を、前記式（１１）を用いてそれぞれ計算する。【０２０５】
これらの中で、Ｐ２（ＸＡ１）、及びＰ３（ＸＡ２）との間の相互相関関数の計算結果を、それぞれ図２４の（ａ）Ｆ１（２２１ｃ）、及び（ｂ）Ｆ２（２２２ｃ）に示している。なお、上記Ｐ４（ＸＢ）（２２３ｘ）から切り出した変化点近傍（２２３ｎ）のデータとの間の相互相関関数の計算結果（図示せず）については、最大値の存在しない一定値となる。【０２０６】
図２４（ａ）相互相関関数Ｆ１（２２１ｃ）において、時間の遅れ２２１ｆは、時間シフト原点（２２１ｏ）から未来方向に時間シフトした位置に、最大値（２２１ｍ）が存在する。また図２４（ｂ）相互相関関数Ｆ１（２２２ｃ）において、時間の進み２２２ｆは、時間シフト原点（２２２ｏ）から過去方向に時間シフトした位置に、最大値（２２２ｍ）が存在する。【０２０７】
次に、Ｓ４０６では、上記相互相関関数の計算結果から最大値を探索する。その結果、上記Ｐ２（ＸＡ１）とＰ１（Ｙ）の相互相関関数Ｆ１（２２１ｃ）からは最大値２２１ｍが抽出され、上記Ｐ３（ＸＡ２）とＰ１（Ｙ）の相互相関関数Ｆ２（２２２ｃ）からは最大値２２２ｍが抽出される。【０２０８】
次に、Ｓ４０７では、上記最大値をとる時間シフトの順番で過去から未来に順位付ける。その結果、上記Ｐ２（ＸＡ１）とＰ１（Ｙ）の相互相関関数Ｆ１（２２１ｃ）の最大値（２２１ｍ）は、上記Ｐ１（Ｙ）の変化点（２２０ｖ２）に対する遅れ（２２１ｆ）に対応して、時間シフト原点（２２１ｏ）から未来方向にシフトしていることが分かる。一方、上記Ｐ３（ＸＡ２）とＰ１（Ｙ）の相互相関関数Ｆ２（２２２ｃ）の最大値（２２２ｍ）は、上記Ｐ１（Ｙ）の変化点（２２０ｖ２）に対する進み（２２２ｆ）に対応して、時間シフト原点（２２２ｏ）から過去方向にシフトしていることが分かる。【０２０９】
次に、Ｓ４０８では、時間シフト量から変化の遷移の順番を並べ直してグラフィカル因果モデルを作成する。得られたグラフィカル因果モデルを図２５に示している。図２５において、説明変数共線性データ項目Ｐ３（ＸＡ２）（２２２）が原因で、目的変数データ項目Ｐ１（Ｙ）（２２０）が変動し、その次に、説明変数共線性データ項目Ｐ２（ＸＡ１）（２２１）が変動したこと、がグラフィカルモデルに示される。【０２１０】
なお、前記Ｓ４０２で変化点の有無によってグラフィカルモデルを作成する方法を分岐したが、まずＳ４０３で状態データ項目間の偏相関係数から条件独立を判定して得たグラフィカル因果モデルを、相互相関関数に基づく時間因果関係から修正するようにしてもよい。十分な装置知識が無い場合には、相互相関関数に基づく時間因果関係から矢印の向きが決まる。【０２１１】
上記作成したグラフィカルモデルから、説明変数（Ｘ）として選択していたデータ項目が本当に原因を説明するデータ項目であったのか、それとも本来は目的変数（Ｙ）として選択すべきデータ項目であったのか、を明らかにできる。また、複数の説明変数データ項目（Ｘ）が変動した場合には、その中から真の変動原因となったデータ項目を特定することができる。【０２１２】
例えば、熱電併給装置において、異常候補推定情報として発電機側の電流、電圧、電力等の項目が上位のランキングに挙がって来た場合に、上記の相互相関関数に基づく時間因果関係が電流から電力の向きに取られれば、保守作業者（Ｕ１）が保守作業を行う対象となる装置１の箇所として、電流制御系を根本原因として指示する。また、異常候補推定情報として冷却水温度、潤滑油温度等の項目が上位のランキングに挙がって来た場合に、上記の相互相関関数に基づく時間因果関係が冷却水温度から潤滑油温度の向きに取られれば、保守作業者（Ｕ１）が保守作業を行う対象となる装置１の箇所として、冷却系を根本原因として指示する。逆に、潤滑油温度から冷却水温度の向きに取られれば、潤滑油に直接作用するエンジン燃焼系を根本原因として指示する。【０２１３】
以上のように、実施の形態３によれば、異常診断モジュール４が異常診断に基づき異常部品情報Ｄ２を出力し、異常原因と推定されるデータ項目に対応付けられる装置１の箇所（モジュールや部品）が候補として保守作業者（Ｕ１）に提示されるので、保守作業を効率化できる。【０２１４】
（実施の形態４）
次に、前記図１等を用いて、本発明の実施の形態４について説明する。実施の形態４では、前述した実施の形態の構成に加えて、更に、部品寿命予測モジュール５により部品寿命予測の処理を行い、また、保守計画モジュール６により保守計画の処理を行う。【０２１５】
＜寿命予測及び保守計画＞
前述した構成によって異常兆候を捉えたとしても、いつ保守作業を行う必要があるか等については従来必ずしも明確ではない。そこで、本実施の形態４では、前記非特許文献５に述べられている方法を使って、寿命予測モデル（ＤＭ２）を予め前記モデル作成モジュール２が作成しておく。そして、異常診断モジュール４から、異常診断後に、異常（原因）部品情報Ｄ２を、部品寿命予測モジュール５に送信する。それを受けて、部品寿命予測モジュール５が、上記寿命予測モデル（ＤＭ２）を使って、異常部品の寿命を予測する処理を行う。その結果（異常部品寿命情報Ｄ３）を、部品寿命予測モジュール５から保守計画モジュール６に送信するようにする。【０２１６】
例えば、熱電併給装置において、電流制御系を電力瞬時変動の根本原因として推定した場合には、一定期間における発生頻度から電流制御系を構成する電子部品の寿命予測を行う。また、冷却系を燃焼温度異常の根本原因として推定した場合には、その冷却水の温度変化から冷却器（熱交換器）の寿命予測を行う。【０２１７】
そして、保守計画モジュール６は、上記異常部品の寿命予測結果（Ｄ３）に基づいて、時間情報（スケジュール情報）を含む保守計画情報を計算により作成し、この作成した保守計画情報Ｄ４を、保守作業指示モジュール７へ送る。保守計画情報Ｄ４は、言い換えれば、保守作業手順計画と、作業者配置計画、及び交換部品手配計画などの情報である。【０２１８】
例えば、電流制御系を構成する電子部品の交換手順計画、交換作業者の配置計画、交換電子部品の手配計画などの情報である。あるいは、冷却器の交換手順計画あるいは洗浄手順計画、交換作業者あるいは洗浄作業者の配置計画、交換の場合の冷却器の手配計画などの情報である。【０２１９】
保守作業指示モジュール７では、受信した保守計画情報Ｄ４に従い、例えば図２の保守装置５４の表示装置画面に、前述した保守指示情報と合わせて、保守計画の情報を表示する。これによって、保守作業者（Ｕ１）は、画面の情報を見ながら、装置１の対象箇所に対して、いつ保守作業を行う必要があるか等を把握することができる。即ち装置１に関する保守が必要な時に無駄無く効率的に保守作業を行うことができる効果がある。【０２２０】
（実施の形態５）
次に、図２６を用いて、本発明の実施の形態５について説明する。実施の形態５では、複数の装置１を対象として、遠隔診断を行う。【０２２１】
＜遠隔診断及び機差解析＞
前述した実施の形態（図１）では１台の装置１を対象とした異常監視等の例を説明したが、図２６のように、複数台の同種の装置１を同時に監視すると、装置１間の比較（機差解析）によって異常兆候を検知することができる。【０２２２】
図２６において、本装置保守方法を実現するシステム（装置遠隔保守システム）を実装するコンピュータシステムの構成例を示している。それぞれ遠隔地に存在する複数台（例えば３つ）の同種の装置１｛１ａ，１ｂ，１ｃ｝を有する。各装置１に対しては前述同様に複数のセンサＳが備えられる。また、各装置１ａ，１ｂ，１ｃの状態計測データＤＳのインターフェースとなってデータを収集する、それぞれのセンサ情報管理コンピュータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃを有する。また、装置遠隔監視コンピュータ５２Ｂは、前記図１、図２と同様に、モデル作成モジュール２、監視実行モジュール３、異常診断モジュール４、部品寿命予測モジュール５、及び保守計画モジュール６等のモジュールをハードウェア及びソフトウェアにより実装し、ネットワーク９９等を経由で、各センサ情報管理コンピュータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃから収集したデータ（ＤＳ）に対して処理を実行する。また、保守管理コンピュータ５３Ｂは、装置遠隔監視コンピュータ５２Ｂに接続され、前述同様の保守作業指示モジュール７及び保守履歴記録モジュール８をハードウェア及びソフトウェアにより実装し、保守に係わる処理を実行する。また、各装置１に対応して、保守作業者が使用する保守装置５４ａ，５４ｂ，５４ｃを有し、保守管理コンピュータ５３とネットワーク９９等を介して接続し、図２と同様に、保守作業と保守履歴収集などのインターフェースとなる。【０２２３】
前述した共線性データ項目（ＸＡ）に対応した予測モデル（前記予測値（ＰＹ）に関する式（３））を、本実施の形態５における複数台の同種の装置１に拡張すると、下記式（１２）となる。【０２２４】
【数１２】
2010082322.tif 000014
【０２２５】
前記式（３）において、Ｐｋは、ｋを識別番号とする目標変数データ項目（Ｙ）であり、Ｐｍは、ｍを識別番号とする説明変数共線性データ項目（ＸＡ）であり、Ｐｎは、ｎを識別番号とする説明変数独立性データ項目（ＸＢ）である。各データ項目の括弧内のパラメータの中のｔは上記各装置１の運転時間を表す。各ａは各装置１間で共通の線形回帰式の係数であり、二桁の添え字の中の左の添え字は上記予測モデルに対応した前記説明変数共線性データ項目（ＸＡ）の種別を表し、右の添え字は前記説明変数データ項目（Ｘ）の種別を表す。ただし、右の添え字が０のａは各装置１間で共通の回帰式切片を表す。各ｂは各装置１間の違いを表す線形回帰式の係数（回帰係数装置間偏差パラメータ）であり、二桁の添え字の中の左の添え字は上記予測モデルに対応した前記説明変数共線性データ項目（ＸＡ）の種別を表し、右の添え字は前記説明変数データ項目（Ｘ）の種別を表す。ただし、右の添え字が０のｂは各装置１間の違いを表す回帰式切片を表す。ξは装置番号である。【０２２６】
複数台の装置１が全て正常状態にあっても、全ての上記回帰係数が一致してｂ＝０となることは一般に無い。そこで、予め所定のモデル係数偏差しきい値を設定し、所定のサイクルで繰り返すモデル作成毎に、上記回帰係数装置間偏差パラメータｂの大きさを判定し、上記モデル係数偏差しきい値を超えていた場合には異常兆候の検知とすれば良い。上記モデル係数偏差しきい値は、正常状態の各装置１の上記回帰係数装置間偏差パラメータｂのばらつきの大きさあるいは標準偏差から定めることができる。【０２２７】
これにより、単一の装置１の状態データ項目間の比較だけでなく、複数装置１間の比較も行うことができることから、本実施の形態５では異常兆候を検知し易くなる効果がある。【０２２８】
＜対象装置＞
上述した実施の形態では、装置１として、前記熱電併給装置に代表されるエネルギー変換装置を対象に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、本発明は、燃料を燃焼させる代わりに、風力あるいは波力を運動エネルギーまたは電気エネルギーの少なくとも１つに変換する装置に適用できる。この場合、目的変数データ項目（Ｙ）には、エネルギー変換装置の運動出力、電力出力、あるいはエネルギー変換効率の少なくとも１つを選べば良い。説明変数データ項目（Ｘ）には、風速、機械部品の運動速度、機械部品の振動、機械部品の加速度、機械部品の歪み、機械部品の音響、機械部品の摩耗量、潤滑油の成分、潤滑油の圧力、潤滑油の温度、電気部品の電圧、電気部品の電流、電気部品の周波数、環境の温度、環境の湿度、環境の気圧、電力系統の電圧、電力系統の電流、装置の稼働時間、あるいは部品の稼働時間の少なくとも１つを含む。【０２２９】
また、本発明は、地熱を運動エネルギー、熱エネルギー、または電気エネルギーの少なくとも１つに変換する装置に適用できる。この場合、目的変数データ項目（Ｙ）には、少なくともエネルギー変換装置における、運動出力、熱出力、電力出力、あるいはエネルギー変換効率の少なくとも１つを選べば良い。説明変数データ項目（Ｘ）には、上記目的変数（Ｙ）と重複しない、水蒸気供給量、水蒸気温度、水蒸気圧力、機械部品の運動速度、機械部品の振動、機械部品の加速度、機械部品の歪み、機械部品の音響、機械部品の摩耗量、潤滑油の成分、潤滑油の圧力、潤滑油の温度、電気部品の電力、電気部品の無効電力、電気部品の電圧、電気部品の電流、電気部品の周波数、環境の温度、環境の湿度、環境の気圧、電力系統の電圧、電力系統の電流、装置の稼働時間、あるいは部品の稼働時間の少なくとも１つを含む。【０２３０】
また、本発明は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電動機装置に適用できる。電動機装置の例として、エレベータやエスカレータを代表とする昇降機、あるいはポンプや圧縮機を代表とするプラント機器、あるいは旋盤やボール盤やフライス盤や研削盤を代表とする工作機械がある。この場合、目的変数データ項目（Ｙ）には、機械部品の仕事量、機械部品の運動速度、機械部品の振動、機械部品の加速度、機械部品の歪み、機械部品の音響、機械部品の摩耗量、あるいはエネルギー変換効率の少なくとも１つを選べば良い。説明変数データ項目（Ｘ）には、少なくとも上記目的変数（Ｙ）と重複しない、機械部品の運動速度、機械部品の振動、機械部品の加速度、機械部品の歪み、機械部品の音響、機械部品の摩耗量、潤滑油の成分、潤滑油の圧力、潤滑油の温度、電気部品の電力、電気部品の無効電力、電気部品の電圧、電気部品の電流、電気部品の周波数、環境の温度、環境の湿度、環境の気圧、装置の稼働時間、あるいは部品の稼働時間の少なくとも１つを含む。【０２３１】
また、本発明は、電気エネルギーをプラズマエネルギーに変換するプラズマ加工装置に適用できる。プラズマ加工装置の例として、半導体エッチング装置や半導体成膜装置を代表とする半導体加工装置がある。この場合、目的変数データ項目（Ｙ）には、少なくとも半導体の加工量あるいは成膜量、半導体ウェハ面内の加工均一性あるいは成膜均一性、あるいはエネルギー変換効率を選べば良い。説明変数データ項目（Ｘ）には、機械部品の摩耗量、電気部品の電力、電気部品の無効電力、電気部品の電圧、電気部品の電流、電気部品の周波数、電気部品のインピーダンス、処理室内環境の温度、処理室内環境の圧力、処理室内環境の発光、装置の稼働時間、あるいは部品の稼働時間の少なくとも１つを含む。【０２３２】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０２３３】
本発明は、装置異常監視システム、装置保守システムなどに利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【国際調査報告】
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