【事件の表示】
　特許第３０７３２３９号「ウェハ貼着用粘着シート」の請求項１及び請求項２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０７３２３９号の請求項１及び請求項２に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３０７３２３９号については、平成２年１２月２８日に特許出願され、同１２年６月２日に設定の登録がされ、その後、同１３年２月６日に日東電工株式会社より全請求項に係る特許について特許異議の申立てがされ、同１３年５月７日付で取消しの理由が通知され、同１３年７月１７日付で意見書が提出された。
第２　本件発明
　本件特許の請求項１及び請求項２に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」及び「本件発明２」という。）は、登録時の明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載されたとおりの次のものであると認める。
１　本件発明１
「【請求項１】　少なくとも２層以上の構成層を有する基材上に、粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、
　該基材を構成する層の内、少なくとも一層は、収縮率が０．５〜２０％の熱収縮性フィルムからなり、少なくとも一層が非収縮性フィルムからなり、かつ非収縮性フィルム上に粘着剤層が塗布されてなることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。」
２　本件発明２
「【請求項２】　前記熱収縮性フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、ウレタン、ポリ塩化ビニルから選ばれる少なくとも一種の化合物からなることを特徴とする請求項１に記載のウェハ貼着用粘着シート。」
第３　引用例
１　引用例１　
　上記取消しの理由で引用した本件特許の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭６３−１７９８０号公報（以下「引用例１」という。）には、「ウェハ貼着用粘着シート」に関して以下の事項が記載されている。
(1) 第１頁右欄第８〜１１行
「発明の技術分野
　本発明は粘着シートに関し、さらに詳しくは、半導体ウェハを小片に切断分離する際に用いられるウェハ貼着用粘着シートに関する。」
(2) 第２頁左下欄第８行〜同頁右下欄第１２行
「上記に例示されたような、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレンなどの汎用の重合体フィルムからなる基材上に、分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物からなる粘着剤層を塗布した粘着シートは、次のような問題点があることが本発明者らによって見出された。すなわち、粘着シート上にウエハを貼着する際あるいは貼着されたウエハをダイシングする際に該粘着シートに張力がかかるため、ウエハのダイシング工程終了後基材シートに伸びが生じて粘着シートにたわみが発生し、この粘着シートを次の工程に移送するためにウエハボックスに収納する際に収納できなかったり、あるいは収納されたウエハ同士が接したりするという問題点があることが見出された。また、粘着シート上に貼着されたウエハをダイシング工程終了後に、紫外線などの放射線照射を行なう際にも粘着シートに伸びまたはたわみが新たに生じたり、あるいは前述したようなウエハのダイシング工程で生じた粘着シートの伸びまたはたわみがそのまま保持されることがあるため、放射線照射後の粘着シートを次のピックアップ工程に移送するためのウエハボックスに粘着シートを収納できなかったり、あるいは収納されたウエハ同士が接したりするという問題点があることが見出された。」
(3) 第３頁左上欄第３〜１８行　
「発明の目的
　本発明は、上記のような従来技術に伴なう問題点を解決しようとりるものであり、粘着シートにウエハを粘着した後のウエハダイシング工程で基材シートに伸びまたはたわみが生ずることがなく、またダイシングされたウエハが貼着された粘着シートに放射線照射を行なう際にも新たな伸びまたはたわみが生ずることがなく、しかもたとえウエハのダイシング工程で基材シートにわずかな伸びまたはたわみが生じても放射線照射工程を経ることによってたわみが消滅し、粘着シートを収納ボックスに確実に収納でき、その上エキスパンディング時には基材シートが充分に伸びてチップ間の十分な間隔を提供し、チップのピックアップ時に誤動作が生じないようなウエハ貼着用粘着シートを提供することを目的としている。」
(4) 第３頁右下欄下から第３行〜第４頁左上欄第７行
「また本発明では、基材として、上記のような重合体構成単位としてカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルム２と、汎用重合体フィルム２ａとがラミネートされたフィルムを用いることができる。
　重合体構成単位としてカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムと、汎用重合体フィルムとをラミネートすることによって、基材フィルムの伸びあるいは強度を任意に設定することができる。」
(5) 第４頁左上欄第１６〜最下行
「上記のようなラミネート体を用いる場合には、粘着剤層３は、重合体構成単位としてカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルム２上に設けてもよく、また汎用重合体フィルム２ａ上に設けてもよい」
(6) 第８頁右上欄第２〜１８行
「発明の効果
　本発明に係るウエハ粘着シートでは、基材として、重合体構成単位としてカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルム、またはこの重合体フィルムと汎用重合体フィルムとのラミネート体を用いているため、粘着シートにウエハを貼着してダイシングする際に粘着シートに伸びによるたわみが生ずることがなく、また粘着シートに放射線照射を行なう際に粘着シートに新たなにわみが生ずることがなく、しかもたとえダイシング工程で粘着シートにたわみがわずかに生じていてもフィルムに放射線を照射すると粘着シートに生じたわずかなたわみが消滅し、したがってウエハが貼着された粘着シートを収納ボックスに確実に収納できるとともに、収納された粘着シートが互いに接触することがないという大きな効果が得られる。」
　このように、引用例１記載のウェハ貼着用粘着シートは、基材として、重合体構成単位としてカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルム２と汎用重合体フィルム２ａとのラミネート体を用いており、また、粘着剤層は、重合体構成単位としてカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルム２上に設けてもよく、汎用重合体フィルム２ａ上に設けてもよいことから、引用例１には、次の発明が記載されていると認める。
　２層の構成層を有する基材上に、粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、
　該基材を構成する層の内、一層は、カルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルム２からなり、他の一層は、汎用重合体フィルム２ａからなり、かつこの汎用重合体フィルム２ａ上に粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シート。
２　引用例２
　同じく、上記取消しの理由で引用した本件特許の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平１−１０４６８２号公報（以下「引用例２」という。）には、「熱収縮性粘着シート」に関して以下の事項が記載されている。
(1) 第１頁左欄特許請求の範囲
「基材、およびその片面に塗工され紫外線照射によって硬化する粘着剤とからなる半導体ウェハーダイシング加工用粘着シートにおいて、基材が紫外線の照射またはそれに付随して５０℃以上の温度に加熱されることにより、少くとも縦あるいは横の一方向に０．３％以上の収縮を生じることを特徴とするプラスチックを基材とする粘着シート。」
(2) 第１頁左欄下から５行〜最下行
「産業上の利用分野
　本発明は、シリコンウェハー、ガリウム砒素ウェハーなどの半導体ウェハーを小片に切断するダインング加工に好都合に使用される粘着シートに関する。」
(3) 第１頁右欄第１行〜第２頁左上欄第１行
「従来の技術
　従来、例えば半導体ウェハーをダイシシグ、洗浄、乾燥、エキスパンデイング、ピックアップ、マウンティング等の一連の工程を行なう場合、半導体ウェハーにあらかじめ粘着シートを貼着した状態でダイシング、エキスパンデイングなどを行ったのち、該粘着シートからピックアップしてマウンティングを行っている。この場合にチップの表面に粘着シートの粘着剤が残存してチップが汚染されるという問題点があり、これを解決するために従来から種々の工夫がなされてきた。
　この解決法として、粘着剤を放射線の照射によって粘着力が低下する特定の成分に限定し、ピックアップ工程を支障なく行う方法が考えられている。（・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・）
　しかし、これらの方法は照射時に受ける熱によって基材のプラスチックフィルムが変型するので、各々のチップがダイシング前の水平な状態を保つことが困難となり、チップをピックアップできない場合も少なくない。」　　
(4) 第２頁左上欄第７〜１９行
「問題を解決するための手段
　本発明の粘着シートは粘着剤として照射硬化性の材料を使用する以外に、照射あるいは加熱により少くとも一方向に収縮するものをプラスチックフィルムの基材として使用したことを特徴とする。
　紫外線の照射またはそれに付随する加熱によって収縮する基材としては、各種の商品が市販されている。例えば三菱樹脂（株）製「ヒシレックス」Ｌは延伸加工になる塩化ビニル製の材料であって１２０℃の加熱により最大５０％の収縮が可能である。同様に呉羽化学工業（株）製「クレハロン」は塩化ビニリデン製の材料であって、８０℃の加熱により２５％程度の収縮が可能である。」
(5) 第２頁右上欄第１６行〜同頁左下欄第１行
「発明の効果
　本発明の熱収縮性粘着シートは、熱収縮性のプラスチック基材に照射硬化性の粘着剤を塗布して使用することにより、半導体ウェハーのダイシング加工においてチップの汚染がなく、かつピックアップが支障なく出来るようになった。」
　これらの記載事項から、引用例２には、次の発明が記載されていると認める。
　基材上に、粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、
　基材は、収縮率が０．３％以上の熱収縮性フィルムからなるウェハ貼着用粘着シート。
　前記熱収縮性フィルムが、塩化ビニル製の材料であること。
第４　対比
１　本件発明１について　
　本件発明１と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「汎用重合体フィルム２ａ」は、第３の１(2)にその旨示されているように、それ単独では放射線照射の際に熱により伸び又はたわみが生じるものであって熱収縮性フィルムでないことは明らかであり、本件特許の登録時の明細書段落【００１７】によると、熱収縮性フィルム以外の層を非収縮性フィルムということから、本件発明１の「非収縮性フィルム」に相当する。
　なお、特許権者も平成１３年７月１７日付意見書の第４頁最下行〜第５頁第３行で上記「汎用重合体フィルム２ａ」は、「非収縮性フィルム」と解するべきであると述べている。
　したがって、本件発明１と引用例１記載の発明とは、
「２層の構成層を有する基材上に、粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、
　該基材を構成する層の内、一層が非収縮性フィルムからなり、かつ非収縮性フィルム上に粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シート。」
である点で一致し、以下の点Ａで相違している。
相違点Ａ：
　基材を構成する層の内、他の一層は、本件発明１では、収縮率が０．５〜２０％の熱収縮性フィルムであるのに対して、引用例１記載の発明では、カルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムであって熱収縮性であるか否か明らかでない点。
２　本件発明２について 
　本件発明２と引用例１記載の発明とを対比すると、本件発明２は、本件発明１を引用するものであることから、本件発明２と引用例１記載の発明とは、上記１記載の一致点及び相違点Ａを有す外、下記の点Ｂでさらに相違している。
相違点Ｂ：
  本件発明２では、熱収縮性フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、ウレタン、ポリ塩化ビニルから選ばれる少なくとも一種の化合物からなるのに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
第５　判断
１　本件発明１について
　相違点Ａについて検討すると、引用例１記載の発明の非収縮性フィルム、すなわち、汎用重合体フィルムは、上記したように、それ単独では放射線照射の際に熱により伸び又はたわみが生じるものであることから、他の一層をなすカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムも熱により伸びるものであるとすると、第３の１(3)及び(6)に示す引用例１記載の発明の目的乃至効果、すなわち、粘着シートに放射線照射を行なう際に粘着シートに伸びやたわみが生ずることがないようにすることを達成し得ないことは明らかであり、この目的乃至効果を達成するためには、カルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムは、汎用重合体フィルムの熱による伸びを抑える働きを有するものであることが必要であって、少なくとも熱によって伸びるものではないこと、望ましくは熱によって縮むもの、すなわち、熱収縮性をもつものでなければならないことは当業者が容易に想到するところである。
　また、先にその旨認定したように引用例２には、基材上に、粘着剤層が塗布されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、基材として収縮率が０．３％以上の熱収縮性フィルムを用いることが記載されており、この収縮率は、０．５〜２０％の範囲内で本件発明１の熱収縮性フィルムと一致している。
　そうしてみると、引用例２記載の発明を引用例１記載の発明に適用してそのカルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムを収縮率が０．５〜２０％の熱収縮性フィルムとすることに格別の困難性が見当たらない。
　なお、本件特許の上記明細書段落【００１８】には、カルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムが、非収縮性フィルムの一例として挙げられており、カルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムを熱収縮性フィルムとすることと一見両立し得ないようにみえるが、特許権者が上記意見書の第４頁第２０〜２７行でその旨述べているように、フィルムの収縮性、非収縮性は、重合体の構成成分（モノマー）に依存するものではなく製法に依存するものであることから、カルボキシル基を有する化合物を含む重合体フィルムを非収縮性又は熱収縮性とすることに矛盾はない。
２　本件発明２について
　相違点Ａについては上記のとおりである。
　相違点Ｂについてについて検討すると、引用例２には、熱収縮性フィルムとして塩化ビニル製の材料を採用することが、また、例えば、上記取り消しの理由で引用した、特開昭６４ー６１２０８号公報には、熱収縮性フィルムとしてポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニルを採用することが記載されており、本件発明２において熱収縮性フィルムをポリエチレン、ポリプロピレン又はポリ塩化ビニルとする点にも格別の困難性がない。
３　本件発明１及び本件発明２の効果について
　そして、本件発明１及び本件発明２の採用する構成によって齎される効果も、引用例１及び引用例２記載の発明から予期できる程度のものであって格別のものではない。
第６　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１及び本件発明２は、いずれも引用例１及び引用例２記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件の請求項１及び請求項２に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１１月５日（２００１．１１．５）