【事件の表示】
　特許第３０６１９８０号「半導体露光装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０６１９８０号の請求項１ないし３に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第３０６１９８０号に係る発明は、平成５年６月２８日に特許出願され、平成１２年４月２８日にその特許の設定登録がされ、その後、株式会社ニコンより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年５月２８日に意見書が提出されたものである。
２．異議申立ての概要  
　異議申立人株式会社ニコンは、甲第１号証（特願平５−２９５６号（特開平６−７７１１４号公報参照）を提示し、本件請求項１ないし３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであるので、本件特許を取り消すべき旨主張している。
２．１　甲第１号証の記載内容
　甲第１号証の第４頁【００１５】段落第２行ないし第１８行には、「図１は…露光装置の概略を示す…。投影光学系ＰＬとウエハＷとＸＹステージ１５と…駆動系はチャンバ６ａ内に設けられている。本体チャンバ６ａは装置本体を一定の環境（清浄度、温度、圧力、湿度等）に維持している。」（以下、「記載１」という。）と記載されている。
　甲第１号証の第４頁【００１６】段落第１行から第６行には、「本体チャンバ６ａの外気取り込み口Ａ２や照明系部４の外気取り込み口Ａ１や空調システム７（図２）の空気循環路中にはイオン、ガス、有機シラノール等の不純物除去用のフィルターＦＬ（以下「不純物除去用のフィルターＦＬ」という）が設けられている。」（以下、「記載２」という。）と記載されている。
　甲第１号証の第４頁【００２０】段落第１行から【００２１】段落第３０行には、「【００２０】次に不純物除去用フィルターＦＬについて詳細に説明する。イオン除去用のフィルターＦＬとしてはイオン交換樹脂・イオン交換繊維等がある…
【００２１】イオン交換繊維には酸性カチオン交換繊維と塩基性アニオン交換繊維の２種類があり、目的とするイオンの極性によって使い分ける。本実施例では両方のフィルターを用いて、ＮＨ４+ やアミンなどの+イオンや塩基性ガスは前者で、Ｓ０４２-又はＮＯＸ などの-イオンや酸性ガスは後者で吸着することができる。…活性炭フィルターは殆どの不純物（イオン、ガス、有機シラノール等）に対して基本的に有効である…。活性炭に酸性物質あるいは弱アルカリ物質を添着したものはイオン性の不純物の除去にも特に有効である。」（以下、「記載３」という。）と記載されている。
３．異議申立に対する判断
３．１　本件特許の請求項１ないし３に係る発明
請求項１
　露光装置本体と、これを内部に配置したチャンバと、このチャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置において、前記空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去するための、粒状の活性炭、活性アルミナおよび活性炭微粒子から選ばれる少なくとも一種に中和剤を添着させた化学吸着剤を有する化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする半導体露光装置。
請求項２
　露光装置本体と、これを内部に配置しチャンバと、導入口を経て外気を導入しつつ前記チャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置において、前記導入口に、導入される外気に含まれるガス状化学物質を除去するための、粒状の活性炭、活性アルミナおよび活性炭微粒子から選ばれる少なくとも一種に中和剤を添着させた化学吸着剤を有する化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする半導体露光装置。
請求項３
　ガス状化学物質は少なくともＮＨ４+またはＳＯ４２-を含むものであることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体露光装置。
３．２　取消理由通知の概要
　本件請求項１〜３に係る発明は、特許異議申立人株式会社ニコンが提出した特許異議申立書に記載された理由により、その出願の日前の他の出願であって、その出願後に出願公開された下記の出願（以下「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書（以下「先願明細書」という。）又は図面（以下「先願図面」という。）に記載された発明と同一であると認められる。
　そして、本件請求項１〜３に係る発明の発明者が先願明細書又は図面に記載された発明の発明者と同一であるとも、またこの出願の時において、その出願人が先願の出願人と同一であるとも認められないので、本件請求項１〜３に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである。
　　　             記                      
特願平５−２９５６号（特開平６−７７１１４号公報参照。）
３．３　引用例の内容
　上記２．１に記載のとおり。
３．４　本件請求項１ないし３に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
３．４．１　本件請求項１に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明とを対比する。
　甲第１号証の上記記載１を参照すると、甲第１号証記載の発明は、明らかに、本件請求項１に係る発明の、「露光装置本体と、これを内部に配置したチャンバと、このチャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置」の構成を有している。
　また、甲第１号証の上記記載２を参照すると、甲第１号証記載の発明は、明らかに、本件請求項１に係る発明の、「空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去するための、フィルタを設けた」構成を有している。
　さらに、甲第１号証の上記記載３を参照すると、甲第１号証記載の発明は、明らかに、本件請求項１に係る発明の、「ガス状化学物質を除去するための、活性炭に中和剤を添着させた化学吸着剤を有する化学吸着フィルタを設けた」構成を有している。
　そうすると、本件請求項１に係る発明及び甲第１号証記載の発明は、「露光装置本体と、これを内部に配置したチャンバと、このチャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置において、前記空調機室を経てチャンバに供給される空気の通る経路上に、その空気に含まれるガス状化学物質を除去するための、活性炭に中和剤を添着させた化学吸着剤を有する化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする半導体露光装置」である点において一致し、本件請求項１に係る発明は、活性炭が、粒状の活性炭または活性炭微粒子であるのに対し、甲第１号証記載の発明は、活性炭について、粒状の活性炭または活性炭微粒子であることを特定していない点で、両者は一応文言上相違する。
　そこで、「活性炭」の概念について、「マグローヒル科学技術用語大辞典」（昭和５４年４月３０日　第１版第２刷）を参照すると、「活性炭…粉末状、顆粒状またはペレット状の無定形炭素．」と記載されている。
　また、「ファインケミカル」１９８７年１２月１５日号の第５頁左欄第８行から右欄第４行には、「吸着性能では活性炭本来の物理吸着では不可能であった、酸性ガス、アルカリ性ガス、金属水銀などに対する除去能が、一方形態面では、従来は粒状および粉状活性炭しかなかった」と記載され、また第１２頁から第１３頁には、シート状活性炭がヤシ殻粉末活性炭をポリウレタンに接着させて形成することが記載され、また、第１４頁の「５．ファインミクロン活性炭」の項には、「微粒子の粉末活性炭」と記載されている。
　さらに、「化学工学会第５７年会（１９９２）研究発表講演要旨集の第６頁右欄の中段には、　「４．形態面からの高機能化　活性炭の形状としては、粒状、粉末状の他に繊維状、ハニカム状などが開発されているが、これらはいづれも高価であり用途が限定されている。最近特に脱臭フィルターの分野で安価な素材が要求され、シート状活性炭（網状ウレタン、メッシュなどに接着加工）、パイプ（粒状炭を成型）、３Ｄフィルター（粉末活性炭をハニカム状に加圧成型）などが開発されている。」と記載されている。
　これらの記載を参照すると、活性炭として、粒状の活性炭または活性炭微粒子を用いることは当業者が通常用いるものであると認められる。
　従って、甲第１号証記載の「活性炭」は、「粒状の活性炭または活性炭微粒子」を当然含むものであるから、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一である。
３．４．２　本件請求項２に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項２に係る発明と甲第１号証に記載された発明とを対比する。
　甲第１号証の上記記載１及び記載２を参照すると、甲第１号証記載の発明は、明らかに、本件請求項２に係る発明の、「露光装置本体と、これを内部に配置しチャンバと、導入口を経て外気を導入しつつ前記チャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置」の構成を有している。
　また、甲第１号証の上記記載２及び記載３を参照すると、甲第１号証記載の発明は、明らかに、本件請求項１に係る発明の、「前記導入口に、導入される外気に含まれるガス状化学物質を除去するための、フィルタを設けた」構成を有している。　さらに、甲第１号証の上記記載３を参照すると、甲第１号証記載の発明は、明らかに、本件請求項２に係る発明の、「ガス状化学物質を除去するための、活性炭に中和剤を添着させた化学吸着剤を有する化学吸着フィルタを設けた」構成を有している。
　そうすると、本件請求項２に係る発明及び甲第１号証記載の発明は、「露光装置本体と、これを内部に配置しチャンバと、導入口を経て外気を導入しつつ前記チャンバの空調を行う空調機室とを備えた半導体露光装置において、前記導入口に、導入される外気に含まれるガス状化学物質を除去するための、活性炭に中和剤を添着させた化学吸着剤を有する化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする半導体露光装置」である点において一致し、本件請求項２に係る発明は、活性炭が、粒状の活性炭または活性炭微粒子であるのに対し、甲第１号証記載の発明は、活性炭について、粒状の活性炭または活性炭微粒子であることを特定していない点で、両者は一応文言上相違する。
　そこで、「活性炭」の概念について、「マグローヒル科学技術用語大辞典」（昭和５４年４月３０日　第１版第２刷）を参照すると、「活性炭…粉末状、顆粒状またはペレット状の無定形炭素．」と記載されている。
　また、「ファインケミカル」１９８７年１２月１５日号の第５頁左欄第８行から右欄第４行には、「吸着性能では活性炭本来の物理吸着では不可能であった、酸性ガス、アルカリ性ガス、金属水銀などに対する除去能が、一方形態面では、従来は粒状および粉状活性炭しかなかった」と記載され、また第１２頁から第１３頁には、シート状活性炭がヤシ殻粉末活性炭をポリウレタンに接着させて形成することが記載され、また、第１４頁の「５．ファインミクロン活性炭」の項には、「微粒子の粉末活性炭」と記載されている。
　さらに、「化学工学会第５７年会（１９９２）研究発表講演要旨集の第６頁右欄の中段には、　「４．形態面からの高機能化　活性炭の形状としては、粒状、粉末状の他に繊維状、ハニカム状などが開発されているが、これらはいづれも高価であり用途が限定されている。最近特に脱臭フィルターの分野で安価な素材が要求され、シート状活性炭（網状ウレタン、メッシュなどに接着加工）、パイプ（粒状炭を成型）、３Ｄフィルター（粉末活性炭をハニカム状に加圧成型）などが開発されている。」と記載されている。
　これらの記載を参照すると、活性炭として、粒状の活性炭または活性炭微粒子を用いることは当業者が通常用いるものであると認められる。
　従って、甲第１号証記載の「活性炭」は、「粒状の活性炭または活性炭微粒子」を当然含むものであるから、本件請求項２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一である。
３．４．３　本件請求項３に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　請求項３の付加事項は、明らかに、甲第１号証の記載３中に記載されているから、本件請求項３に係る発明は、本件請求項１及び２に係る発明と同様に、甲第１号証に記載された発明と同一である。
５．むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１ないし３に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができない。
　したがって、本件請求項１ないし３に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
  よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第１及び２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年９月１８日（２００１．９．１８）