【事件の表示】
　特許第２７６３２７０号「洗浄方法、洗浄装置、洗浄組成物および蒸気乾燥組成物」の請求項１ないし３９、４１ないし４５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７６３２７０号の請求項１ないし３５に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続きの経緯
　本件特許第２７６３２７０号（特願平３−５０５８５５出願の分割、遡及出願日：平成３年３月１５日、国内優先権主張：平成２年３月１６日）は、平成１０年３月２７日にその特許権の設定登録（請求項の数４５）がなされ、その後、特許異議申立人：須子　豊、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社、株式会社ディスクより、異議申立人３者併せて、請求項１〜３９、４１〜４５に係る特許に対して異議の申立てがなされ、平成１１年１０月１５日付けで取消理由通知がなされ、平成１１年１２月１４日に訂正請求がなされたものである。
　その後、平成１２年１０月１０日付けで取消理由通知がなされたところ、平成１２年１２月１９日付けで上記平成１１年１２月１４日付けの訂正請求が取り下げられ、同日に新たな訂正請求がなされた。
　それに対し、平成１３年１０月２６日付けでさらに取消理由通知がなされたところ、平成１３年１１月２１日付けで上記平成１２年１２月１９日付けの訂正請求が取り下げられ、同日に新たな訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否について
（Ａ）訂正の内容
　本件に係る訂正請求は、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）について、訂正請求書に添付した訂正明細書に記載の以下のとおりに訂正しようとするものである。
　
訂正事項ａ：
　【特許請求の範囲】の請求項１の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤、および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｂ：
　【特許請求の範囲】の請求項２を削除する。
　
訂正事項ｃ：
　請求項２の削除に伴って、請求項３〜５の番号を「請求項２〜４」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
　
訂正事項ｄ：
　請求項２の削除に伴って、請求項６の番号を「請求項５」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項５の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤と、芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を、「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｅ：
　【特許請求の範囲】の請求項７を削除する。
　
訂正事項ｆ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項８の番号を「請求項６」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項６の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｇ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項９の番号を「請求項７」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
　
訂正事項ｈ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項１０の番号を「請求項８」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項８の記載において、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」と、
「少なくともペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤」を「少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｉ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項１１〜１６の番号を「請求項９〜１４」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
　
訂正事項ｊ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項１７の番号を「請求項１５」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項１５の記載において、
「被洗浄物を洗浄剤で洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、前記洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０℃である、前記洗浄剤とは異種の蒸気洗浄剤を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程とを有することを特徴とする洗浄方法。」を「請求項１記載の洗浄方法において、前記蒸気洗浄剤は、前記非水系基礎洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０℃であることを特徴とする洗浄方法。」
と訂正する。
　
訂正事項ｋ：
　【特許請求の範囲】の請求項１８、請求項１９を削除する。
　
訂正事項ｌ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２０〜２３の番号を「請求項１６〜１９」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
　
訂正事項ｍ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２４の番号を「請求項２０」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２０の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロビル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｎ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２５の番号を「請求項２１」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２１の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤と、芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の蒸気洗浄剤」を「蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｏ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２６の番号を「請求項２２」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２２の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤を含む洗浄剤」と、
「蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｐ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２７の番号を「請求項２３」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２３の記載において、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」と、
「少なくともペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤」を「少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ｑ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２８の番号を「請求項２４」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２４の記載において、
「洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、前記洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０°Ｃである、前記洗浄剤とは異種の蒸気洗浄剤により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段とを具備することを特徴とする洗浄装置。」を「請求項２２記載の洗浄装置において、前記蒸気洗浄剤は、前記非水系洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０°Ｃであることを特徴とする洗浄装置。」
と訂正する。
　
訂正事項ｒ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２９〜３０の番号を「請求項２５〜２６」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
　
訂正事項ｓ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項３１の番号を「請求項２７」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正し、かつ訂正後の請求項２７の記載において、
「前記非水系基礎洗浄剤に、洗浄性能向上剤を添加した洗浄組成物」を「前記非水系基礎洗浄剤に、前記界面活件剤および／または親水性溶剤を添加した洗浄組成物」
と訂正する。
　
訂正事項ｔ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項３２の番号を「請求項２８」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正し、かつ訂正後の請求項２８の記載において、
「前記非水系基礎洗浄剤に、洗浄性能向上剤を添加した洗浄組成物」を「前記非水系基礎洗浄剤に、前記界面活性剤および／または親水性溶剤を添加した洗浄組成物」
と訂正する。
　
訂正事項ｕ：
　【特許請求の範囲】の請求項３３を削除する。
　
訂正事項ｖ：
　請求項２、請求項７、請求項１８、請求項１９および請求項３３の削除に伴って、請求項３４〜３９の番号を「請求項２９〜３４」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
　
訂正事項ｗ：
　請求項２、請求項７、請求項１８、請求項１９および請求項３３の削除に伴って、請求項４０の番号を「請求項３５」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項３５の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」
と訂正する。
　
訂正事項ｘ：
　【特許請求の範囲】の請求項４１、請求項４２、請求項４３、請求項４４、請求項４５を削除する。
　
訂正事項ｙ：
　特許明細書の【発明の名称】において、「洗浄方法、洗浄装置、洗浄組成物および蒸気乾燥組成物」を「洗浄方法、洗浄装置および洗浄組成物」と訂正する。
　
訂正事項ｚ：
　特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【０００８】の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の芳香族を含まない脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　
訂正事項ａ−ａ：
　特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【０００９】の記載において、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「炭素数４〜３０の芳香族を含まない脂肪族炭化水素系洗浄剤」と、
「界面活性剤や親水性溶剤等」を「界面活性剤および／または親水性溶剤」と、
それぞれ訂正する。
　
　
　なお、以上の訂正により、特許明細書の【特許請求の範囲】の請求項と、訂正明細書の【特許請求の範囲】の請求項の対応関係は以下のとおりとなる。
　
特許明細書　　　訂正明細書
１　　　　　　　１　　              
２　　　　　　　削除　              
３　　　　　　　２　　              
４　　　　　　　３　　              
５　　　　　　　４　　              
６　　　　　　　５　　                
７　　　　　　　削除　                
８　　　　　　　６　　              
９　　　　　　　７　　              
１０　　　　　　８　　              
１１　　　　　　９　　                
１２　　　　　　１０　              
１３　　　　　　１１　              
１４　　　　　　１２　              
１５　　　　　　１３　              
１６　　　　　　１４　              
１７　　　　　　１５　              
１８　　　　　　削除　                
１９　　　　　　削除　              
２０　　　　　　１６　              
２１　　　　　　１７　              
２２　　　　　　１８　              
２３　　　　　　１９　              
２４　　　　　　２０　              
２５　　　　　　２１　                
２６　　　　　　２２　              
２７　　　　　　２３　              
２８　　　　　　２４　              
２９　　　　　　２５　              
３０　　　　　　２６　              
３１　　　　　　２７　              
３２　　　　　　２８　              
３３　　　　　　削除　              
３４　　　　　　２９　              
３５　　　　　　３０　              
３６　　　　　　３１　              
３７　　　　　　３２　              
３８　　　　　　３３　              
３９　　　　　　３４　              
４０　　　　　　３５　               
４１　　　　　　削除　              
４２　　　　　　削除　                
４３　　　　　　削除　                
４４　　　　　　削除　                
４５　　　　　　削除　              
　
　
（Ｂ）訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
イ）訂正事項ａ，ｆ，ｍ，ｏ，ｗについて
　訂正事項ａ，ｆ，ｍ，ｏ，ｗは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１、８、２４、２６、４０に記載された、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアレキル基」と技術的に限定し、
「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤、および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活件剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と技術的に限定し、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と技術的に限定するものである。
　
　また、これらの訂正事項に係る記載は、特許明細書の段落【００１１】の、「（２）式中のＲは、置換または非置換の１価の炭化水素基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基・・・」との記載、段落【００１４】の「脂肪族炭化水素系洗浄剤は、炭素数が４〜３０の範囲の分枝状や直鎖状の脂肪族炭化水素（以下に、単に脂肪族炭化水素系洗浄剤と記す）からなり」との記載、特許明細書の請求項２の「前記洗浄剤は界面活性剤および／または親水性溶剤を含有する」との記載、特許明細書の請求項７の「前記非水系洗浄剤に界面活性剤および／または親水性溶剤を添加して用いる」との記載、特許明細書の請求項３３の「前記洗浄性能向上剤が界面活性剤および／または親水性溶剤である」との記載、特許明細書の段落【０００９】の「洗浄性能向上剤としては、例えば上記非水系基礎洗浄剤に添加することによって、洗浄性能や水切り性能を付与・向上させる界面活性剤や親水性溶剤等が例示される」との記載、特許明細書の段落【０００６】〜【０００７】の「上述したように、水切り洗浄剤を含む従来の洗浄剤のうち、フロン系溶剤等の有機溶剤系洗浄剤は、環境破壊を引き起こすという重大な欠点を有していた。また、これら有機溶剤系の代替品として検討されている現状の洗浄剤は、十分な効果が得られないという問題を有していた。一方、従来の洗浄方法では、洗浄剤の再利用や、除去した水や汚れ物質の廃棄の点で難点があった。本発明は、上述したような従来の洗浄方法が抱えている課題に対処するためになされたものであり、フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とするものである」との記載からみて、特許明細書に記載されていた事項の範囲内のものである。
　
　さらに、これらの訂正により、特許明細書記載の、「フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供する」旨の発明の課題に変更をおよぼすものではない。
　
　したがって、訂正事項ａ，ｆ，ｍ，ｏ，ｗは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ロ）訂正事項ｄ，ｎについて
　訂正事項ｄ，ｎは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項６、２５に記載された（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチレン基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と技術的に限定し、
「有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤と、芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と技術的に限定し、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と技術的に限定するものである。
　
　また、これらの訂正事項に係る記載は、特許明細書の段落【００１１】の、「（２）式中のＲは、置換または非置換の１価の炭化水素基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基・・・」との記載、段落【００１４】の「脂肪族炭化水素系洗浄剤は、炭素数が４〜３０の範囲の分枝状や直鎖状の脂肪族炭化水素（以下に、単に脂肪族炭化水素系洗浄剤と記す）からなり」との記載、特許明細書の請求項２の「前記洗浄剤は界面活性剤および／または親水性溶剤を含有する」との記載、特許明細書の請求項７の「前記非水系洗浄剤に界面活性剤および／または親水性溶剤を添加して用いる」との記載、特許明細書の請求項３３の「前記洗浄性能向上剤が界面活性剤および／または親水性溶剤である」との記載、特許明細書の段落【０００９】の「洗浄性能向上剤としては、例えば上記非水系基礎洗浄剤に添加することによって、洗浄性能や水切り性能を付与・向上させる界面活性剤や親水性溶剤等が例示される」との記載、特許明細書の段落【０００６】〜【０００７】の「上述したように、水切り洗浄剤を含む従来の洗浄剤のうち、フロン系溶剤等の有機溶剤系洗浄剤は、環境破壊を引き起こすという重大な欠点を有していた。また、これら有機溶剤系の代替品として検討されている現状の洗浄剤は、十分な効果が得られないという問題を有していた。一方、従来の洗浄方法では、洗浄剤の再利用や、除去した水や汚れ物質の廃棄の点で難点があった。本発明は、上述したような従来の洗浄方法が抱えている課題に対処するためになされたものであり、フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とするものである」との記載からみて、特許明細書に記載されていた事項の範囲内のものである。
　
　さらに、これらの訂正により、特許明細書記載の、「フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供する」旨の発明の課題に変更をおよぼすものではない。
　
　したがって、訂正事項ｄ，ｎは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ハ）訂正事項ｓ，ｔについて
　訂正事項ｓ，ｔは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項３１、３２に記載された「洗浄性能向上剤」を「前記界面活性剤および／または親水性溶剤」と技術的に限定するものである。
　
　また、この訂正事項に係る記載は、特許明細書の請求項３３の「前記洗浄性能向上剤が界面活性剤および／または親水性溶剤である」との記載からみて、特許明細書に記載されていた事項の範囲内のものである。
　
　さらに、この訂正により、特許明細書記載の、「フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供する」旨の発明の課題に変更をおよぼすものではない。
　
　したがって、訂正事項ｓ，ｔは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ニ）訂正事項ｈ，ｐについて
　訂正事項ｈ，ｐは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１０、２７に記載された、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」と技術的に限定し、
「少なくともペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤」を「少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」と技術的に限定するものである。
　
　また、これらの訂正事項に係る記載は、特許明細書の段落【００１４】の「脂肪族炭化水素系洗浄剤は、炭素数が４〜３０の範囲の分枝状や直鎖状の脂肪族炭化水素（以下に、単に脂肪族炭化水素系洗浄剤と記す）からなり」との記載、特許明細書の段落【００４２】の「本発明で用いられる蒸気洗浄剤としては、基本的には上記１および２の条件を満足するものであればよく、より好ましくは３の条件をも満足するものである。このような条件を満足するものであれば、上記ＩＰＡ以外にも使用することが可能であり、例えば一般式：ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるようなベルフルオロ化合物・・・を用いることも可能である。」との記載からみて、特許明細書に記載されていた事項の範囲内のものである。
　
　さらに、これらの訂正により、特許明細書記載の、「フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供する」旨の発明の課題に変更をおよぼすものではない。
　
　したがって、訂正事項ｈ，ｐは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ホ）訂正事項ｊ、ｑについて
　訂正事項ｊ、ｑは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１７、２８（独立請求項）を、それぞれ訂正後の請求項１、２２の従属請求項として、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１７、２８の「前記洗浄剤とは異種の蒸気洗浄剤」をそれぞれ「請求項１記載の洗浄方法において、前記蒸気洗浄剤」、「請求項２２記載の洗浄方法において、前記蒸気洗浄剤」と技術的に限定するものである。
　
　したがって、この訂正は、明らかに特許明細書に記載されていた事項の範囲内のものである。
　
　さらに、これらの訂正により、特許明細書記載の、「フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供する」旨の発明の課題に変更をおよぼすものではない。
　
　したがって、訂正事項ｊ、ｑは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ヘ）訂正事項ｂ，ｅ，ｋ，ｕ，ｘについて
　訂正事項ｂ，ｅ，ｋ，ｕ，ｘは、特許明細書の特許請求の範囲から請求項２、７、１８、１９、３３、４１、４２、４３、４４、４５を削除するものである。
　
　したがって、訂正事項ｂ，ｅ，ｋ，ｕ，ｘは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ト）訂正事項ｃ，ｇ，ｉ，ｌ，ｒ，ｖについて
　訂正事項ｃ，ｇ，ｉ，ｌ，ｒ，ｖは、上記訂正事項ｂ，ｅ，ｋ，ｕ，ｘに示される特許明細書の特許請求の範囲の請求項の削除に伴って必要となった請求項数の訂正或いは引用する請求項数の訂正にすぎないものである。
　
　したがって、訂正事項ｃ，ｇ，ｉ，ｌ，ｒ，ｖは、明りょうでない記載の釈明を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
チ）訂正事項ｙ，ｚ，ａ−ａについて
　訂正事項ｙ，ｚ，ａ−ａは、上記訂正事項ａないしｘに示される特許明細書の特許請求の範囲についての訂正により必要となった特許明細書の発明の名称の欄及び発明の詳細な説明の欄の記載の訂正であって、特許請求の範囲の記載と発明の名称及び発明の詳細な説明の記載を整合させようとするものである。
　
　したがって、訂正事項ｙ，ｚ，ａ−ａは、明りょうでない記載の釈明を目的とし、特許明細書に記載した事項の範囲内（この点は、上記イ）ないしト）における判断を参照。）においてしたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更（この点は、上記イ）ないしト）における判断を参照。）するものではない。
　
　以上のとおりであるから、上記訂正事項ａないしａ−ａに係る訂正は、いずれも、特許明細書に記載された事項の範囲内においてしたものであって、特許請求の範囲の減縮又は明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、特許法第１２０条の４第２項の規定及び同条第３項で準用する平成６年改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び同条第２項の規定に適合するものである。
　
　
（Ｃ）独立特許要件の判断
イ）訂正発明
　本件に係る訂正後の発明（以下、請求項１〜３５に係る発明について、それぞれ「訂正発明１〜３５」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
　
【請求項１】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤、
　および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤で、被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
　前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項２】
　請求項１記載の洗浄方法において、
　前記脂肪族炭化水素系洗浄剤は、イソパラフィン系洗浄剤であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項３】
　請求項２記載の洗浄方法において、
　前記イソパラフィン系洗浄剤は、炭素数４〜３０の揮発性イソパラフィンから実質的になることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項４】
　請求項１記載の洗浄方法において、
　前記蒸気洗浄剤は、前記非水系基礎洗浄剤とは異種の洗浄剤であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項５】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤と、芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活件剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤で、被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
　前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項６】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤で、被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
　前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項７】
　請求項１、請求項５または請求項６記載の洗浄方法において、
　前記蒸気洗浄剤は、沸点が前記被洗浄物表面の温度より２０°Ｃ以上高いことを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項８】
　芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤を含む洗浄剤で被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
　少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項９】
　請求項８記載の洗浄方法において、
　前記洗浄剤は、界面活性剤および／または親水性溶剤を含有することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１０】
　請求項８記載の洗浄方法において、
　前記脂肪族炭化水素系洗浄剤は、イソパラフィン系洗浄剤であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１１】
　請求項１０記載の洗浄方法において、
　前記イソパラフィン系洗浄剤は、炭素数４〜３０の揮発性イソパラフィンから実質的になることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１２】
　請求項１、請求項５、請求項６または請求項８記載の洗浄方法において、
　前記洗浄工程は、前記被洗浄物表面に付着する液体を除去する工程であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１３】
　請求項１２記載の洗浄方法において、
　前記洗浄工程で除去する液体は、少なくとも水を含むことを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１４】
　請求項１、請求項５、請求項６または請求項８記載の洗浄方法において、
　前記洗浄工程は、前記被洗浄物表面に付着する油脂系汚れを除去する工程であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１５】
　請求項１記載の洗浄方法において、
　前記蒸気洗浄剤は、前記非水系基礎洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０°Ｃであることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１６】
　請求項１５記載の洗浄方法において、
　前記蒸気洗浄剤は、フルオロカーボン類を主成分とすることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１７】
　請求項１、請求項５、請求項６、請求項８または請求項１５記載の洗浄方法において、
　前記被洗浄物は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１８】
　請求項１、請求項５、請求項６、請求項８または請求項１５記載の洗浄方法において、
　前記洗浄対象物は、金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品および光学部品から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項１９】
　請求項１、請求項５、請求項６、請求項８または請求項１５記載の洗浄方法において、
　さらに、前記洗浄工程で用いられた洗浄剤を回収・再生して再利用する工程を有することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項２０】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
　蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２１】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤と、昔香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、
　被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
　前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２２】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤と界面活件剤および／または親水性溶剤を含む洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
　前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２３】
　芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤を含む洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
　少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）により蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２４】
　請求項２２記載の洗浄装置において、
　前記蒸気洗浄剤は、前記非水系洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０°Ｃであることを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２５】
　請求項２４記載の洗浄装置において、
　前記蒸気洗浄剤は、フルオロカーボン類を主成分とすることを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２６】
　請求項２０、請求項２１、請求項２２または請求項２３記載の洗浄装置において、
　さらに、前記洗浄手段で用いた洗浄剤を回収・再生して再利用する手段を有することを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２７】
　請求項１、請求項５または請求項６記載の洗浄方法において、
　前記洗浄工程は、前記非水系基礎洗浄剤に、前記界面活性剤および／または親水性溶剤を添加した洗浄組成物で被洗浄物を洗浄する第１の洗浄工程と、前記第１の洗浄工程を経た前記被洗浄物を、前記非水系基礎洗浄剤単独で洗浄する第２の洗浄工程とからなることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項２８】
　請求項２０、請求項２１または請求項２２記載の洗浄装置において、
　前記洗浄手段は、前記非水系基礎洗浄剤に、前記界面活性剤および／または親水性溶剤を添加した洗浄組成物を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する第１の洗浄手段と、前記非水系基礎洗浄剤を単独で用いた洗浄槽を有し、前記第１の洗浄手段を経た前記被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する第２の洗浄手段とからなることを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項２９】
　請求項２７記載の洗浄方法において、
　前記非水系基礎洗浄剤は、その比重Ｄｄｇが、水の比重をＷｄｇ、油脂系汚れの比重をＯｄｇとした場合に、Ｗｄｇ＞Ｄｄｇ＞Ｏｄｇを満足することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項３０】
　請求項２７記載の洗浄方法において、
前記第１の洗浄工程は、脱脂洗浄工程であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項３１】
　請求項２７記載の洗浄方法において、
　前記第１の洗浄工程は、水切り洗浄工程であることを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項３２】
　請求項２７記載の洗浄方法において、
　前記蒸気洗浄剤は、沸点が前記被洗浄物表面の温度より２０°Ｃ以上高いことを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項３３】
　請求項１、５、６、８、または１５記載の洗浄方法において、
　前記蒸気乾燥処理において、前記洗浄工程を経た前記被洗浄物が液体の前記蒸気洗浄剤に接触することを特徴とする洗浄方法。
　
【請求項３４】
　請求項２０、２１、２２または２３記載の洗浄装置において、
　前記蒸気乾燥処理を施す乾燥手段において、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物が液体の前記蒸気洗浄剤に接触することを特徴とする洗浄装置。
　
【請求項３５】
　ペルフルオロ化合物１００重量部と、
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および／または炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤０．０１〜１０００重量部と、
　有機溶剤０．０１〜１０００重量部と
　を含有することを特徴とする洗浄組成物。
　
　
ロ）引用する刊行物
刊行物ａ；「日石レビュー」第３１巻第３号（１９８９年７月１０日発行）第４０〜４４頁（異議申立人・須子　豊の提示した甲第１号証）
刊行物ｂ；特開昭６３−２０５１８７号公報（異議申立人、須子　豊の提示した甲第２号証）
刊行物ｃ；特開昭６２−１０２８８０号公報（異議申立人、須子　豊の提示した甲第３号証）
刊行物ｄ；「石油便覧」（日本石油株式会社編、平成６年３月１日燃料油脂新聞社発行）第１３９頁および第３４１頁（異議申立人、須子　豊の提示した甲第４号証）
刊行物ｅ；「ガラス表面設計−洗浄と表面処理−」近代編集社、昭和５８年１１月２５日発行、第２４６〜２６１頁（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１号証）
刊行物ｆ；特開昭５４−６４８６２号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第２号証）
刊行物ｇ；特開昭５４−１１２５６２号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第３号証）
刊行物ｈ；特開昭６２−２７００３号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第４号証）
刊行物ｉ；特公昭５８−３５１０８号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第５号証）
刊行物ｊ；特公昭５９−２７６０３号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第６号証）
刊行物ｋ；特公昭５９−３９１６２号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第７号証）
刊行物ｌ；特公昭６１−２８０３４号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第８号証）
刊行物ｍ；「揮発性シリコーンオイルのクリーナーへの応用」トーレ・シリコーン株式会社発行の技術資料（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第９号証）
刊行物ｎ；「Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　ａｂｏｕｔ　Ｓｉｌｉｃｏｎｅ　Ｆｌｕｉｄｓ」Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ発行（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１０号証）
刊行物ｏ；Ｓｏａｐ　Ｃｏｓｍｅｔｉｃｓ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｐｅｃｉａｌｔｉｅｓ、１９８６年１２月号、第４０、４２、４３頁（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１１号証，異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第１号証）
刊行物ｐ；特公昭６３−５０４６３号公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１２号証）
刊行物ｑ；米国特許第３，４９８，９２３号明細書（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１３号証）
刊行物ｒ；西独特許出願公開３７３９７１１公報（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１４号証）
刊行物ｓ；Ｃｈｅｍｏｓｐｈｅｒｅ、Ｖｏｌ．１６、Ｎｏｓ．１０−１２、ｐｐ２５６７−２５７７、１９８７年（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１５号証）
刊行物ｔ；「プラスチック材料講座けい素樹脂」日刊工業新聞社、昭和４５年４月２０日発行、第４７〜５１頁（異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の提示した甲第１６号証）
刊行物ｕ；特開昭５５−２０７３３号公報（異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第２号証）
刊行物ｖ；特開昭６２−１３５４０６号公報（異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第３号証）
刊行物ｗ；実願昭５８−１５６８８１号（実開昭６０−６７１８５号）のマイクロフィルム）（異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第４号証）
刊行物ｘ；特開昭４８−９０６号公報（異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第５号証）
刊行物ｙ；英国特許公開第２２２０９５１号明細書（異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第６号証）
刊行物ｚ；特開平１−２３６９０４号公報（異議申立人、株式会社　ディスクの提示した甲第７号証）
　
　
ハ）刊行物記載の発明
刊行物ａについて
　刊行物ａには、低芳香族炭化水素溶媒について、
「日石アイソゾールはＣ4留分から合成して得られる製品であり、飽和炭化水素分が９９．９％以上であり、不飽和炭化水素分は０．１％以下であり、芳香族炭化水素分は含まれていない。飽和炭化水素分は１００％イソパラフィンであり、硫黄、窒素、塩素および重金属類はほとんど含まれておらず、きわめて純度の高い製品である。」（第４１頁の３．２項）点、
及び、
日石アイソゾールの用途の一つとして、
「高純度の日石アイソゾールがＩＣ製造工程でシリコンウェハー脱脂用洗浄剤としてトリクレン、フロンの代替として使用され始めた。」（第４２頁左欄８〜１０行）点、
が記載されている。
　
刊行物ｂについて
　刊行物ｂには、
「プラスチック成形品を洗浄液中で超音波洗浄し、ついで洗浄液の蒸気による蒸気洗浄を行ったのち洗浄液中に浸潰し、その後引上げて乾燥することよりなるプラスチック成形品の精密洗浄方法。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）と記載され、
また、
「各工程で使用される洗浄液は同一であってもよいし、工程毎に異なるものを使用してもよい。洗浄液としては、水、炭化水素溶液、ハロゲン化炭化水素溶液等が例として挙げられ、・・・」（第２頁左上欄第７〜１０行）と、
記載されている。
　
刊行物ｃについて
　刊行物ｃには、「テープカセットに用いるテープと摺接する金属部材を機械加工の後に灯油に浸漬し、次いで超音波洗浄槽、冷却槽、蒸気洗浄槽の３槽から成るトリクロールエタンを溶剤として用いる洗浄機で洗浄した後、トリフッ化エチレンによる冷却と洗浄を２回以上繰り返すようにした磁気テープと摺接する金属部材の洗浄方法。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）と記載されている。
　
刊行物ｄについて
　刊行物ｄには、
「灯油は炭素数１１〜１３を中心とする炭化水素である。白灯油（ＪＩＳＫ２２０３の１号相当）および茶灯油（ＪＩＳ、２号相当）があり、白灯油は主に冷暖房に、茶灯油は石油発動機用、機械洗浄用等に使用される。」（第３４１頁第３〜６行）と、
「灯油の分留温度は１４５〜２７０℃ぐらい、」（第３４１頁下から第１３行）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｅについて
　刊行物ｅには、「ガラス表面設計−洗浄と表面処理−」に関して記載され、
「ガラスの洗浄方法として最も代表的なものは、１）．超音波洗浄、２）．噴射洗浄、３）．ブラシ洗浄の３つである」（第２４８頁中段）と、
「水や水性洗浄剤、場合によっては有機溶剤を５０〜７００ｋｇ／ｍ２の圧力で噴射することによって汚れを基板から剥離して除去しようとする洗浄方法で、・・・」（第２５０頁下段）と、
「リンスは、被洗浄物に付着した洗浄液自身とその中の汚れを除去する工程で、リンサーとして、洗浄液が・・有機溶剤系のときは純粋の有機溶剤が一般に用いられる」（第２５２頁下段〜２５４頁上段）と、
「乾燥方法のうち、揮発性有機溶剤を使った蒸気乾燥を除いて、乾燥工程は洗浄において不可欠である」（第２５５頁上段）と、
「溶剤による水置換乾燥法は、水分を水置換剤（水切り剤）で除去したのち、有機溶剤の蒸気乾燥を使って仕上げるものであり、ほとんど加熱せずに乾燥できるという特長をもっている。ここで水置換剤としては、（ａ）ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、（ｂ）フロン−アルコール混合物、（ｃ）フロン−界面活性剤が一般に用いられている。」（第２５６頁上段）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｆについて
　刊行物ｆには、はんだ付後のフラックスの付着したプリント基板等を洗浄する洗浄装置に関し、洗浄剤には、
「通常不燃性であるという利点から、フロオン、クロロセン等で代表される、フッ素化、あるいは塩素化された炭化水素誘導体が使用される。」（第１頁右下欄第１１〜１４行）と記載されている。
　
刊行物ｇについて
　刊行物ｇには、
「洗浄液を満たした超音波槽洗浄と、前記洗浄液と同じ洗浄液で乾燥を行う蒸気乾燥槽と、洗浄液の蒸気を凝縮するためのコンデンスパイプとからなる洗浄装置において、前記洗浄液として塩化メチレンを使用する」（第１頁の特許請求の範囲の欄）旨が記載されている。
　
刊行物ｈについて
　刊行物ｈには、
「水の付着している物品を塩化メチレンとメタノールとからなる混合溶剤中に浸潰し、前記物品に付着している水をこの混合溶剤中に移行させて水切りを行った後、塩化メチレンとメタノールとからなる混合溶剤の蒸気で前記物品を処理し、乾燥することを特徴とする水切り洗浄方法。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）と、
「水切り洗浄を精度よく実施でき、・・水のみならず、水と共存している油等の汚染物質も同時に除去できるものである。・・精密工業部品を良好に処理することができる。」（第９頁の上左欄第５〜１２行）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｉについて
　刊行物ｉには、
「表面に水が付着した被洗浄物品（ケイ素ウエハー、金メッキ製品、光学レンズ等）をトリクロロトリフロロエタン（フロン１１３）と水溶性有機溶剤（例、アルコール、アセトン）の混合液に浸漬して引き上げ、ついでフロン１１３液に浸潰し、ついでフロン１１３の加熱蒸気中を通し引き上げて洗浄乾燥する」旨（第１欄中段以下、第３欄中段以下、第５欄上段）が記載されている。
　
刊行物ｊについて
　刊行物ｊには、
「被洗浄物品を第１の洗液である水溶性有機液体を含むトリクロロトリフルオロエタンに浸潰して引き上げ、・・・水溶性有機液体からなる第２の洗液に浸潰して引き上げ、さらにクロロフルオロ炭化水素系有機溶剤の蒸気による蒸気洗浄に付することを特徴とする洗浄乾燥方法。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）と、
「水溶性液体としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン等が用いられる。」（第３欄第２６〜２８行）と、
「本発明方法は、付着水を有する物品に対し、洗浄後の物品表面にわずかなシミも残ることなく、精密な洗浄乾燥を達成できる。」（第１０欄第８〜１１行）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｋについて
　刊行物ｋには、
「少なくとも脱水槽、沸騰槽、蒸気槽ならびに凝縮器を有する本体部と、冷却脱水部とを備え、前記凝縮部で生成した凝縮液が、冷却脱水部に導かれて、冷却脱水ののち、沸騰槽に返還されるように結合していることを特徴とするエタノール含有トリクロロトリフルオロエタンを洗液とした物品の洗浄乾燥装置。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）と、
「本発明は、電子部品、ウエハー、レンズなどの高度の清浄な乾燥が要求される物品の洗浄乾燥装置に関する。」（第１欄第２３〜２５行）と、
記載されている。
　
刊行物ｌについて
　刊行物ｌには、
「被洗浄物品を第１の洗液である水溶性有機液体含有トリクロロトリフルオロエタン中に浸潰して引き上げ、ついで第２の洗液である水溶性有機液体２０〜５０％（重量）含有フロン系有機溶剤に浸漬して引き上げ、ついでフロン系有機溶剤の蒸気洗浄に付することを特徴とする洗浄乾燥方法。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）
と記載されている。
　
刊行物ｍについて
　刊行物ｍは、「揮発性シリコーンオイルのクリーナーへの応用」と題するトーレ・シリコーン株式会社発行の技術資料であり、
「従来クリーナー用溶剤としてはトリクレン、パークレンのような塩素系溶剤、ケロシン、ベンジンのような炭化水素系溶剤、インプルピルアルコールのようなアルコール溶剤などの揮発性有機溶剤が使用されてきたが、基材表面を損傷したり、再汚染したり、安全性の点で問題を有している。
　揮発性シリコーンオイルを使用したクリーナーは上記問題点がなく有機溶剤ベースのものと同程度の洗浄力を有し、かつ、固体表面の洗浄後、縞模様が発生しない、作業面、環境面で安全性が高いといった特長がある。
　揮発性シリコーンオイルは、安全性に優れる（人体に対して）、揮発性が高い、蒸発潜熱が高い，濡れ性と展延性に優れる、化学的に安定であるといった特長があり、家具、ガラス、樹脂、金属表面等向けクリーナー、ドライクリーニング用溶剤、油脂・グリース除去剤としての使用が考えられる。」旨（第１頁参照）が記載され、
　さらに、「沸点は、ＳＨ３４４が１７８℃であり、ＤＣ３４５が２１７℃」（３頁右欄の表）と、
「ＳＨ３４４およびＤＣ３４５は環状ジメチルポリシロキサン、ＳＨ２００／０．６５はへキサメチルジシロキサン」（第３頁右下欄）と、
「蒸発潜熱がＳＨ２００／０．６５は４６ｃａｌ／ｇ、ＳＨ３４４は３２ｃａｌ／ｇ、ＤＣ３４５は２８ｃａｌ／ｇ」（第４頁左欄）と、
それぞれ記載されている。
　なお、ＳＨ３４４はオクタメチルシクロテトラシロキサンであり、ＤＣ３４５はデカメチルシクロベンタシロキサンであると認められる。
　
刊行物ｎについて
　刊行物ｎには、
「Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４４　ＦＬＵＩＤはポリジメチルシクロシロキサン（４量体）であり、Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４５　ＦＬＵＩＤはポリジメチルシクロシロキサン（５量体）であり、Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　２００　ＦＬＵＩＤはへキサメチルジシロキサンであり、いずれも揮発性であり、低粘度であり、毒性がなく、刺激性がない。
　表面張力はそれぞれ１９．０ｄｙｎｅｓ／ｃｍ，２０．８０ｄｙｎｅｓ／ｃｍ，１５．９ｄｙｎｅｓ／ｃｍであり、沸点はそれぞれ１７８度Ｃ，２１７度Ｃ，１００度Ｃである。」（第１頁）旨記載され、
「パーソナル品以外のその用途はガラス洗浄剤や特殊洗浄剤である。
　Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇの揮発性フルイドは単独で使用してもよいし、相互に混合してもよいし、他の化粧品用フルイドと混合してもよい。
　Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４４　ＦＬＵＩＤとＤｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４５　ＦＬＵＩＤは測定可能な蒸気圧を持つ揮発性の液体である。
　Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４４　ＦＬＵＩＤとＤｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４５　ＦＬＵＩＤはアルコール、脂肪族および芳香族炭化水素等に溶解する。」（第２頁左欄）旨記載され、
「Ｄｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４４　ＦＬＵＩＤとＤｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　３４５　ＦＬｍＤは低い急性毒性を持ち、工業上の取り扱いに支障となる危険性を呈しない。低い急性経口毒性を持ち、ネズミのＬＤ５０は３５ｇ／ｋｇより大きい。
　本質的に皮膚刺激性がなく、急性毒性量となるほどは皮膚に吸収されない。」（第４頁左欄）旨記載されている。
　
刊行物ｏについて
　刊行物ｏには、
「多くの人は、洗浄剤が働くには溶剤を含まなければならないが、すべての溶剤は毒性があると思っている。
　政府は毒性のある物に注意しており、環境保護庁と食品医薬局は消費者製品への塩素化溶剤の使用を疑問視している。」（第４０頁中欄）旨記載され、
「揮発性環状シリコーンは、これらの懸念への安全で有効な回答である。
　良好な洗浄剤であり、表面仕上げを濁らさず、２次リングを残さず、織物を傷つけない。
　シリコーンは本質的に人間および動物に非毒性であり、環境に安全である。」（第４０頁右欄）と、
「図２の揮発性環状シリコーン（４量体および５量体）は、油とグリースの洗浄剤として特に興味がある。」（第４２頁左欄上段）と、
「揮発性環状シリコーンは、表面張力が非常に小さく、蒸発速度は脂肪族炭化水素並みであり、洗浄力が優れており、ワックスを除去できる。」（第４２頁左欄中段下段）と、
「揮発性環状シリコーンは、金属、ガラス、塗装金属のような硬質表面の洗浄剤となる。」（第４２頁中欄中段）と、
「揮発性環状シリコーンは、通常の有機溶剤以上に洗浄作用があり、その代わりになり、グリースや油汚れを除去できる。」（第４３頁右欄）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｐについて
　刊行物ｐには、
「オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロベンタシロキサン、およびドデカメチルシクロヘキサシロキサンからなる群から選択された環状シロキサンを汚れ除去助力に有効な量含有している液状組成物を油及び又は脂肪で汚れた編織物に適用して汚れを溶解し且つ又はほごし、そして汚れと環状シロキサンからなる結合物を編織物から除去することを特徴とする、編織物のクリーニング方法。」（第１頁の特許請求の範囲の欄）と、
「環状シロキサンとイソプロパノールやブタノールのようなアルコールの混合物はシミのクリーニングに有効である。」（第６欄３５行〜第７欄１０行）旨が、
「本発明の液状組成物は、環状シロキサンと非イオン性、アニオン性または両イオン性の界面活性剤を含有してもよい。」（第７欄３３行〜第８欄１７行）と、
「本発明の液状組成物はシミの上に浴びせるか、吹き付けても良い。」（第８欄３０行〜第８欄３９行）と、
「クリーニング組成物中に環状シロキサンと組み合わせて非揮発性界面活性剤が使用される場合は通常の家庭用洗濯が好ましい。
　環状シロキサンは油および脂肪の汚点すなわちシミを除去するのに有用であり、２次的なシミの輪の形成が解消される。
　環状シロキサンは本質的に無毒であり、かつ環境状無害である」（第９欄９〜２５行）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｑについて
　刊行物ｑには、
「ポリジアルキルシクロシロキサンは、その後の蒸留に適した沸点を有し、生理的に無害で、環境汚染を起こさないのでパークロルエチレンや他のハロゲン化炭化水素の代用品として化学洗浄に適している。
　分子中にハロゲン原子を持たず、発火点が高く、爆発の危険を回避でき、沸点が低いため、その後の蒸留が容易になり、水に似た密度を持つ。」（第２頁第２９〜４４行）旨が、
「特に、オタタメチルシクロテトラシロキサン（密度が０．９６、沸点が１７２℃、凝固点が１２℃、引火点が５５℃）は、優れた洗浄用溶媒である。」（第２頁第４７〜４９行）旨が、
「ポリジアルキルシクロシロキサンに、陰イオン性、非イオン性または陽イオン性の界面活性剤を０．１〜５重量％、特に、１〜３重量％かそれ以上添加すると有利である。
　洗浄に使用した不純物を含有した溶媒は、蒸留、櫨過、吸収によって再生し、洗浄に再利用する。」（第２頁第５４〜６２行）旨が記載され、
　３頁の実施例１には、オタタメチルシクロテトラシロキサンや、デカメチルシクロベンタシロキサンを使用して繊維製品を洗浄したことが記載され、実施例２にはオタタメチルシクロテトラシロキサンと陽イオン性／非イオン性洗浄補強剤とからなる洗浄液を使用して織物を洗浄したことが記載されている。
　
刊行物ｒについて
　刊行物ｒには、
「電気、電子または機械装置の固体表面から油性被膜を除去するのに現在通常使用されている方法は、個体表面に油性物質に対する溶剤、または揮発性溶剤、浸透性油および界面活性剤を含み、表面化学活性を通して油性フィルムを除去する機能を有する水性エマルジョンを噴霧することを含む。溶剤被膜除去方法は固体表面を単に溶剤で洗浄することであり、本質的には油性物質の溶剤への溶解性に依存している。」（第１欄第３３〜４３行）旨が、
「上記方法は多量の溶剤を使用するとか、水を使用するので時計、光学機器等の洗浄対象物を損傷するという問題があるので、本発明は、非水性界面活性液体組成物を使用して固体表面から油性被膜を除去するための改良された界面科学方法および固体表面から油性被膜を除去するための非水性界面活性液体組成物を提供することを目的とする。」（第１欄第５６行〜第２欄５行）旨が、
「上記目的は界面活性剤である溶質の揮発性溶剤への非水性有機溶液である新規な液状界面活性組成物の適用により固体表面から油性被膜を除去するという本発明の方法により達成される。新規な液状組成物は固体表面から物理的に吸着された水の被膜を除去するのに有用である。
　溶質は部分フッ素化脂肪族カルボン酸であり、通常０．１〜０．５％含有される。溶剤は線状の３量体から８量体である低分子量ジメチルシリコーンである。
　ジメチルシリコーン溶剤は組成物中の効果的な置換剤である」（第２欄第６〜３５行）旨が、
「新規な液状界面活性組成物は固体表面への噴霧、フラッシング、固体表面の浸漬などの種々の方法で適用され、超音波を適用してもしなくてもよい。
　本発明の方法は、金属、ガラス、樹脂、ポリマーのような固体表面から液状有機被膜、例えば、脂肪族もしくは芳香族炭化水素油、液状脂肪酸、液状アルコール、液状エステルとケトンを置換するのに効果的である。
　電気モータ、電子機器、時計、メーター、その他の精密機器のような固体表面から油性被膜を洗浄するのに有用である。」（第２欄第３６〜５５行）旨が、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｓについて
　刊行物ｓには、
「オリゴマー状の環状ジメチルシロキサンは、自然環境に準じた光照射下で速やかに酸化分解した。」（第２５６７頁、第２５７６頁参照。）旨が記載されている。
　
刊行物ｔについて
　刊行物ｔには、シリコーンオイルに関し、
「Ｒがメチル基のみのものをメチルシリコーンオイルといい・・・」（第４９頁中段）と記載されている。
　
刊行物ｕについて
　刊行物ｕには、
「化粧料の配合原料は種々の制約を受けるが特に揮発性油分については限定される。
　安全性等の点からは、現在主基剤として使用出来る揮発性油分は、低沸点炭化水素と低重合の鎖状及び環状ポリシロキサンくらいのものである」（第１頁左下欄第２０行〜右下欄第４行）と、
「低沸点イソパラフィン系炭化水素と低重合度鎖状ボリシロキサンを併用することによってそれぞれの上記欠点を補い、優れた化粧料を得ることができた。本発明において使用する低沸点イソパラフィン系炭化水素は例えばアイソパー、シェルソル、ソルトロール等である」（第１頁右下欄第１３行〜１９行）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｖについて
　刊行物ｖには、メーキャップに使用される油性物質の除去に有用な人体に悪影響を及ぼさない有機溶剤に関し、
「低沸点有機溶剤は、化粧料に許容されるものであればよいがとくに低沸点イソパラフィン系炭化水素、低沸点シリコーン油から選択され、好適に使用される。低沸点イソパラフィン系炭化水素は、アイソパー、シェルソル等の商品名で一般に知られている。
　この低沸点イソパラフィンは、沸点が望ましくは２００〜３００℃程度の範囲であれば本発明にとって好ましい。」（第２頁左下欄第９行〜１７行）と記載されている。
　
刊行物ｗについて
　刊行物ｗには、
「被洗浄物を有機溶媒中で浸漬洗浄し、次いでこの溶剤の蒸気中で蒸気洗浄するための洗浄装置」（実用新案登録請求の範囲の欄）と、
「溶剤として８０℃程度より低い沸点をもちかつ蒸発熱の比較的小さい、例えばフレオン１１３、アセトン、ヘキサンなどが使用されている」（第３頁第１行〜４行）と、
それぞれ記載されている。
　
刊行物ｘについて
　刊行物ｘには、
洗浄方法に関し、浸漬洗浄に使用する洗浄剤と洗浄工程で使用する洗浄剤が異なる洗浄方法が、その従来例を示す表（第１〜２頁）において記載されている。
　
刊行物ｙについて
　刊行物ｙには、部品を洗浄し乾燥する方法及び装置に関して、有機溶剤として（Ｃ１−Ｃ５）アルコールを用い、蒸気洗浄工程において高フツ素化化合物を用いること、及び、高フツ素化化合物がペルフルオロ化合物であることが記載されている。（第２１頁クレーム１、２、４参照。）
　ただし、刊行物ｙの課題等からみて、蒸気洗浄工程において用いられる高フツ素化化合物は上記（Ｃ１−Ｃ５）アルコールとは相溶させず、該アルコールに熱を伝達させるための熱媒体として用いられており、アルコールを当該高フツ素化化合物で完全に置換する、いわゆる蒸気洗浄のためのものではない。
　
刊行物ｚについて
　刊行物ｚには、実施例１および実施例２に関する記載において、浸漬温度２０℃、２５℃において浸漬洗浄した被洗浄物を塩化メチレン蒸気によって蒸気洗浄する旨が記載されている。（第５頁参照。）
　
　
ニ）対比・判断
（１）訂正発明１について
　訂正発明１は、訂正明細書の【０００３】欄の、
「しかし、最近、フロンの放出がオゾン層の破壊に繋がり、人体や生物系に深刻な影響を与えることが明らかとなってきたことから、オゾン破壊係数の高いフロン１２やフロン１１３等は、世界的な規模で段階的に使用を削減し、将来的には全廃する方向に進んでいる。
　また、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の塩素系有機溶剤も、土壌や地下水等の汚染を引起こす等の環境問題にからんで、使用規制が強化される方向に進んでいる。このような状況下にあって、現状のフロン系溶剤よりオゾン破壊係数の低いフロン系物質が開発されつつあり、既に工業的生産が一部で進められているが、これらとてもオゾン層の破壊が皆無ではないことから、好ましい代替洗浄剤とは目されていない。」
との記載等からみて、フロン系溶剤や塩素系有機溶剤を用いずに蒸気乾燥処理を含む洗浄を行おうとするものである。
　
　そして、訂正発明１は、上記「イ）訂正発明」の【請求項１】の欄に記載されたとおりのものであって、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」
および、
『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』
で被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」
を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と、
を有する点を要件とする洗浄方法である。
　
　そこで、まず、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」について開示のある刊行物を検討すると、上記刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに有機ケイ素系洗浄剤について記載ないし示唆がある。
　そして、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているが、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　
　また、「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」は、例えば、刊行物ｄに灯油について記載があり、「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」は、刊行物ｑに界面活性剤が、刊行物ｊにメタノールが記載されており、結局、『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』は、それ自体は明らかに周知のものと認められる。
　
　さらに、蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法については、蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では、刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載があり、これも蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では周知の工程である。
　しかし、「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点については、各刊行物に明示の記載がない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明１は、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法である点で、基本的構成は刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載された発明と同一ではあるものの、その洗浄工程において有機ケイ素系洗浄剤を用いる点は、いずれの刊行物にも記載ないし示唆がなく、有機ケイ素系洗浄剤が刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載はされていても、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法の洗浄工程に用いることが容易と認めるに足る理由は見出すことができない。
　
　また、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法の乾燥工程において、「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点が容易と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　したがって、訂正発明１は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（２）訂正発明２ないし４について
　訂正発明２ないし４は、訂正発明１を引用し、それに技術的限定を加えたものである。
　
　したがって、訂正発明２ないし４は、上記（１）に述べた理由と同じ理由により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（３）訂正発明５について
　訂正発明５は、上記「イ）訂正発明」の【請求項５】の欄に記載されたとおりのものであって、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」
と、
『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』
で被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
「非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」
を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と、
を有する点を要件とする洗浄方法である。
　
　そこで、まず、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」について開示のある刊行物を検討すると、上記刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに有機ケイ素系洗浄剤について記載ないし示唆がある。
　そして、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているが、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　
　また、「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」は、例えば、刊行物ｄに灯油について記載があり、「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」は、刊行物ｑに界面活性剤が、刊行物ｊにメタノールが記載されており、結局、『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』は、それ自体は明らかに周知のものと認められる。
　
　さらに、蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法については、蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では、刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載があり、これも蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では周知の工程である。
　しかし、「非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点については、各刊行物に明示の記載がない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明５は、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法である点で、基本的構成は刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載された発明と同一ではあるものの、その洗浄工程において有機ケイ素系洗浄剤を用いる点は、いずれの刊行物にも記載ないし示唆がなく、有機ケイ素系洗浄剤が刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載はされていても、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法の洗浄工程に用いることが容易と認めるに足る理由は見出すことができない。
　
　また、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法の乾燥工程において、「非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点が容易と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　したがって、訂正発明５は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（４）訂正発明６について
　訂正発明６は、上記「イ）訂正発明」の【請求項６】の欄に記載されたとおりのものであって、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」
および、
『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』
で被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」
を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と、
を有する点を要件とする洗浄方法である。
　
　そこで、まず、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」について開示のある刊行物を検討すると、上記刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに有機ケイ素系洗浄剤について記載ないし示唆がある。
　そして、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているが、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　
　また、「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」は、例えば、刊行物ｄに灯油について記載があり、「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」は、刊行物ｑに界面活性剤が、刊行物ｊにメタノールが記載されており、結局、『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』は、それ自体は明らかに周知のものと認められる。
　
　さらに、蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法については、蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では、刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載があり、これも蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では周知の工程である。
　しかし、「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点については、各刊行物に明示の記載がない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明６は、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法である点で、基本的構成は刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載された発明と同一ではあるものの、その洗浄工程において有機ケイ素系洗浄剤を用いる点は、いずれの刊行物にも記載ないし示唆がなく、有機ケイ素系洗浄剤が刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載はされていても、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法の洗浄工程に用いることが容易と認めるに足る理由は見出すことができない。
　
　また、洗浄工程と蒸気乾燥処理を施す乾燥工程を有する洗浄方法の乾燥工程において、「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点が容易と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　したがって、訂正発明６は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（５）訂正発明７について
　訂正発明７は、訂正発明１、５、６のいずれかを引用し、それに技術的限定を加えたものと認められる。
　
　したがって、訂正発明７は、上記（１）（３）（４）に述べた理由と同じ理由により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（６）訂正発明８について
　訂正発明８は、上記「イ）訂正発明」の【請求項８】の欄に記載された次のとおりのものである。
「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤を含む洗浄剤で被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
　少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程と
　を有することを特徴とする洗浄方法。」
　
　これに対し、上記刊行物ｙには、部品を洗浄し乾燥する方法及び装置に関して、有機溶剤として（Ｃ１−Ｃ５）アルコールを用い、蒸気洗浄工程において高フツ素化化合物を用いること、及び、高フツ素化化合物がペルフルオロ化合物であることが記載されている。
　そして、刊行物ｙの「（Ｃ１−Ｃ５）アルコール」は、訂正発明８の「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」に相当（アルコールと炭化水素は異なるものではあるが対応関係があるとの趣旨）し、同じく、「高フツ素化化合物」は「ペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」に相当する。
　
　しかしながら、刊行物ｙの高フツ素化化合物は上記（Ｃ１−Ｃ５）アルコールとは相溶させず、該アルコールに熱を伝達させるための熱媒体として用いられており、アルコールを当該高フツ素化化合物で完全に置換する、いわゆる蒸気洗浄のためのものではない。
　
　したがって、訂正発明８は、確かに刊行物ｙ記載のアルコール、ペルフルオロ化合物と相当関係がある物を用いたものではあるものの、洗浄方法としては技術思想上異なったものであり、刊行物ｙから容易に想到し得たものと認めることはできない。
　また、その余の刊行物には訂正発明８について記載も示唆もない。
　
　したがって、訂正発明８は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（７）訂正発明９ないし１９について
　訂正発明９ないし１９は、訂正発明１、５、６、８のいずれかを引用し、それに技術的限定を加えたものと認められる。
　
　したがって、訂正発明９ないし１９は、上記（１）（３）（４）（６）に述べた理由と同じ理由により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（８）訂正発明２０について
　訂正発明２０は、上記「イ）訂正発明」の【請求項２０】の欄に記載されたとおりのものであって、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」
および、
『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」』
を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」
により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
を具備する点を要件とする洗浄装置である。
　
　そこで、まず、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」について開示のある刊行物を検討すると、上記刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに有機ケイ素系洗浄剤について記載ないし示唆がある。
　そして、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているが、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　
　また、「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」は、例えば、刊行物ｄに灯油について記載があり、「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」は、刊行物ｑに界面活性剤が、刊行物ｊにメタノールが記載されており、結局、『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』は、それ自体は明らかに周知のものと認められる。
　
　さらに、蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を有する洗浄装置については、蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では、刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載があり、これも蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では周知の洗浄装置である。
　しかし、「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点については、各刊行物に明示の記載がない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明２０は、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を用いる洗浄装置である点で、基本的構成は刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載された発明と実質上同一ではあるものの、その洗浄手段において有機ケイ素系洗浄剤を用いる点は、いずれの刊行物にも記載ないし示唆がなく、有機ケイ素系洗浄剤が刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載はされていても、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を有する洗浄装置に用いることが容易と認めるに足る理由は見出すことができない。
　
　また、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を用いる洗浄装置の乾燥手段において、「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点が容易と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　したがって、訂正発明２０は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（９）訂正発明２１について
　訂正発明２１は、上記「イ）訂正発明」の【請求項２１】の欄に記載されたとおりのものであって、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」
と、
『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」』
を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」
により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
を具備する点を要件とする洗浄装置である。
　
　そこで、まず、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」について開示のある刊行物を検討すると、上記刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに有機ケイ素系洗浄剤について記載ないし示唆がある。
　そして、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているが、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　
　また、「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」は、例えば、刊行物ｄに灯油について記載があり、「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」は、刊行物ｑに界面活性剤が、刊行物ｊにメタノール（親水性溶剤）が記載されており、結局、『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』は、それ自体は明らかに周知のものと認められる。
　
　さらに、蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を有する洗浄装置については、蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では、刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載があり、これも蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では周知の洗浄装置である。
　しかし、「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点については、各刊行物に明示の記載がない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明２１は、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を用いる洗浄装置である点で、基本的構成は刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載された発明と実質上同一ではあるものの、その洗浄手段において有機ケイ素系洗浄剤を用いる点は、いずれの刊行物にも記載ないし示唆がなく、有機ケイ素系洗浄剤が刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載はされていても、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を有する洗浄装置に用いることが容易と認めるに足る理由は見出すことができない。
　
　また、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を用いる洗浄装置の乾燥手段において、「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点が容易と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　したがって、訂正発明２１は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（１０）訂正発明２２について
　訂正発明２２は、上記「イ）訂正発明」の【請求項２２】の欄に記載されたとおりのものであって、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」
および、
『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」』
を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」
により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
を具備する点を要件とする洗浄装置である。
　
　そこで、まず、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」について開示のある刊行物を検討すると、上記刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに有機ケイ素系洗浄剤について記載ないし示唆がある。
　そして、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているが、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　
　また、「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」は、例えば、刊行物ｄに灯油について記載があり、「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」は、刊行物ｑに界面活性剤が、刊行物ｊにメタノール（親水性溶剤）が記載されており、結局、『「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤」と「界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」とを含む洗浄剤』は、それ自体は明らかに周知のものと認められる。
　
　さらに、蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を有する洗浄装置については、蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では、刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載があり、これも蒸気洗浄剤の種類を問わない前提の下では周知の洗浄装置である。
　しかし、「非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点については、各刊行物に明示の記載がない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明２２は、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を用いる洗浄装置である点で、基本的構成は刊行物ｂ、ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌ、ｗ、ｙ、ｚに記載された発明と実質上同一ではあるものの、その洗浄手段において有機ケイ素系洗浄剤を用いる点は、いずれの刊行物にも記載ないし示唆がなく、有機ケイ素系洗浄剤が刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載はされていても、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を有する洗浄装置に用いることが容易と認めるに足る理由は見出すことができない。
　
　また、洗浄手段と蒸気乾燥処理を施す乾燥手段を用いる洗浄装置の乾燥手段において、「蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」を用いる点が容易と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　したがって、訂正発明２２は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（１１）訂正発明２３について
　訂正発明２３は、上記「イ）訂正発明」の【請求項２３】の欄に記載された次のとおりのものである。
「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤を含む洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、
　少なくとも一般式ＣｎＥ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）により蒸気乾燥処理を施す乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。」
　
　これに対し、上記刊行物ｙには、部品を洗浄し乾燥する方法及び装置に関して、有機溶剤として（Ｃ１−Ｃ５）アルコールを用い、蒸気洗浄工程において高フツ素化化合物を用いること、及び、高フツ素化化合物がペルフルオロ化合物であることが記載されている。
　そして、刊行物ｙの「（Ｃ１−Ｃ５）アルコール」は、訂正発明８の「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」に相当（アルコールと炭化水素は異なるものではあるが対応関係があるとの趣旨）し、同じく、「高フツ素化化合物」は「ペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」に相当する。
　
　しかしながら、刊行物ｙの高フツ素化化合物は上記（Ｃ１−Ｃ５）アルコールとは相溶させず、該アルコールに熱を伝達させるための熱媒体として用いられており、アルコールを当該高フツ素化化合物で完全に置換する、いわゆる蒸気洗浄のためのものではない。
　
　したがって、訂正発明２３は、確かに刊行物ｙ記載のアルコール、ペルフルオロ化合物と相当関係がある手段を用いた装置ではあるものの、洗浄装置としては技術思想上異なったものであり、刊行物ｙから容易に想到し得たものと認めることはできない。
　また、その余の刊行物には訂正発明２３について記載も示唆もない。
　
　したがって、訂正発明２３は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（１２）訂正発明２４ないし３４について
　訂正発明２４ないし３４は、訂正発明２０、２１、２２、２３或いは訂正発明１、５、６、８のいずれかを引用し、それに技術的限定を加えたものと認められる。
　
　したがって、訂正発明２４ないし３４は、上記（８）（９）（１０）（１１）或いは（１）（３）（４）（６）に述べた理由と同じ理由により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
（１３）訂正発明３５について
　訂正発明３５は、上記「イ）訂正発明」の【請求項３５】の欄に記載されたとおりのものであって、
「ペルフルオロ化合物１００重量部」
と、
「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」および／または「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤０．０１〜１０００重量部」
と、
「有機溶剤０．０１〜１０００重量部」
とを含有する点を要件とする洗浄組成物である。
　
　ここで、「ペルフルオロ化合物」については、刊行物ｙに記載があり、かつ周知の物質であると認められる。
　
　また、「直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤」については、刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載があり、かつ周知の物質であると認められる。
　しかしながら、これらの刊行物には、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤が、安全な洗浄剤や化粧料基材として用いられ得る点が記載されているのみであって、いずれも、有機ケイ素系洗浄剤のみで溶剤として用いられる点が記載されているものにすぎない。
　さらに、「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」については、各刊行物の記載をまつまでもなく周知であると認められる。
　
　以上のとおり、訂正発明３５に係る洗浄組成物の構成要素たるペルフルオロ化合物、有機ケイ素系洗浄剤、脂肪族炭化水素系洗浄剤および有機溶剤は、それぞれが周知の物質ではあるが、それを請求項３５記載の重量部割合で含有させ洗浄組成物とする点については各刊行物のいずれにも記載がなく、容易に想到可能と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　また、有機ケイ素系洗浄剤を単体で洗浄用溶剤として用いられる点は刊行物ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖに記載があるが、洗浄組成物の一の成分とする点については、各刊行物のいずれにも記載がなく、容易に想到可能と認めるに足る理由も見出すことができない。
　
　以上のとおりであるから、訂正発明３５は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできない。
　
ホ）独立特許要件の判断についてのむすび
　よって、上記訂正発明１ないし３５は、いずれも、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により構成される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるから、本件訂正は、特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年改正前の特許法第１２６条第３項の規定に適合するものである。
　
（Ｄ）訂正の適否についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件に係る訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項の規定及び同条第３項で準用する平成６年改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び同条第２、３項の規定に適合するものである。
　
　
　
（３）特許異議の申立てについての判断
（Ａ）異議申立ての理由
　特許異議申立人、須子　豊、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社、株式会社ディスクは、それぞれ、以下のとおりの異議申立をしている。
（但し、訂正が認められるので、異議申立に係る請求項の項数は、上記「（２）訂正に適否について」の「（Ａ）訂正の内容」の欄の末尾のなお書きに示す対応関係で読み替えられる。）
　
ａ）異議申立人、須子　豊は、甲第１号証として「日石レビュー」第３１巻第３号（１９８９年７月１０日発行）第４０〜４４頁、甲第２号証として特開昭６３−２０５１８７号公報、甲第３号証として特開昭６２−１０２８８０号公報、甲第４号証として「石油便覧」（日本石油株式会社編、平成６年３月１日燃料油脂新聞社発行）第１３９頁および第３４１頁、甲第５号証として国際公開公報ＷＯ９１／１３６９７号（本件発明の分割前の原出願（ＰＣＴ出願）である特願平３−５０５８５５号の国際公開公報）を提出して、
イ）本件請求項１、３〜５、８〜１０、１２〜２４、および２６〜３０に係る発明は、甲第１号証ないし甲第４号証に記載された内容から当業者が容易に発明しうる程度のものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
ロ）本件は不適正な分割出願であるので、出願日が遡及しないから、本件請求項１、３〜５、８〜１０、１２〜２４、および２６〜３０に係る発明は、甲第５号証に記載された発明と同一であるかこれに基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第第１項第３号および特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
旨主張している。
　
ｂ）異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社は、甲第１号証として昭和５８年１１月２５日、近代編集者発行「ガラス表面設計−洗浄と表面処理−」第２４６〜２６１頁、甲第２号証として特開昭５４−６４８６２号公報、甲第３号証として特開昭５４−１１２５６２号公報、甲第４号証として特開昭６２−２７００３号公報、甲第５号証として特公昭５８−３５１０８号公報、甲第６号証として特公昭５９−２７６０３号公報、甲第７号証として特公昭５９−３９１６２号公報、甲第８号証として特公昭６１−２８０３４号公報、甲第９号証としてトーレ・シリコーン株式会社発行の技術資料「揮発性シリコーンオイルのクリーナーへの応用、甲第９号証の１として１９８９年３月２５日、薬事日報社発行「日本汎用化粧品原料集第二版第５４、１７９、１８０頁、甲第１０号証としてＤｏｗ　Ｃｏｒｎｉｎｇ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ発行「Ｉｎｆｏｒｍａｔｌｏｎ　ａｂｏｕｔ　Ｓｉｌｉｃｏｎｅ　Ｆｌｕｉｄｓ」、甲第１１号証としてＳｏａｐ　Ｃｏｓｍｅｔｉｃｓ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｐｅｃｉａｌｔｉｅｓ、１９８６年１２月号、第４０、４２、４３頁、甲第１２号証として時公昭６３−５０４６３号公報、甲第１３号証として西独特許出願公開Ｎｏ．３７３９７１１公報、甲第１４号証として米国特許第３，４９８，９２３号明細書、甲第１５号証としてＣｈｅｍｏｓｐｈｅｒｅ、Ｖｏｌ．１６、Ｎｏｓ．１０−１２、ｐｐ２５６７−２５７７、１９８７、甲第１６号証として昭和４５年４月２０日、日刊工業新聞社発行「プラスチック材料講座けい素樹脂」第４７〜５１頁を提出して、
イ）本件請求項１、２、８，９，１４〜１６、２１〜２４、３１〜３９に係る発明は、甲第１〜８号証の発明と甲第９〜１６号証の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるので、特許法第２９条第２項の規定によって特許を受けることができない。
ロ）本件請求項８およびそれを引用した請求項に係る発明は、請求項８の一般式において置換基Ｒは限定されていないので、洗浄に不適となる場合を含むために、本件発明は実施不可能、あるいは目的の達成が不可能であるから、産業上利用できる発明に該当せず、特許法２９条柱書きの規定に違反している。
ハ）本件特許明細書は記載不備であり、特許法第３６条第３項、第４項の規定に違反している。
旨主張している。
　
ｃ）異議申立人、株式会社ディスクは、甲第１号証としてＳｏａｐ　Ｃｏｓｍｅｔｉｃｓ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｓｐｅｃｉａｌｔｉｅｓ、Ｖｏｌ．６２、Ｎｏ．１２（１９６８）、第４２〜４３頁、甲第２号証として特開昭５５−２０７３３号公報、甲第３号証として特開昭６２−１３５４０６号公報、甲第４号証として実開昭６０−６７１８５号公報（実願昭５８−１５６８８１号の明細書を撮影したマイクロフィルム）、甲第５号証として特開昭４８−９０６号公報、甲第６号証として英国特許公開明細書第２２２０９５１号、甲第７号証として特開平１−２３６９０４号公報、参考資料１として出願人が平成９年２月２０日付で提出した補正案の補足説明資料の表、参考資料２として甲第６号証のパテントファミリーに相当する特開平２−１９１５８１号公報を提出して、
イ）本件請求項１〜３９、および４１〜４５に係る発明は、甲第１ないし７号証の記載に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
ロ）本件特許明細書は記載不備であり、特許法第３６条第４項および第６項の規定に違反している。
旨主張している。
　
（Ｂ）当審の判断
イ）本件特許発明
　本件に係る訂正請求は、上記「（２）訂正に適否について」で検討した理由により認容できるものであるから、本件に係る特許発明は、訂正請求書に添付した訂正明細書の請求項１ないし３５に記載されたとおりのものである。（以下、訂正明細書の請求項１ないし３５に係る特許発明を、それぞれ、「本件特許発明１ないし３５」という。なお、これは上記「訂正発明１ないし３５」に対応する。）
　
ロ）進歩性について
　特許異議申立人がした本件特許発明１ないし３５に対する異議申立のうちの進歩性に係る申立てについては、各異議申立人の提示した甲号証のうちの本件に係る優先権主張の日前に頒布された甲号証を、上記「（２）訂正に適否について」の「（Ｃ）独立特許要件の判断」の「ロ）引用する刊行物」の欄において、刊行物ａないしｚとして全て掲げ、対比・判断したところである。
　
　その結果、本件特許発明１ないし３５は、いずれも、刊行物ａないしｚ記載の発明の存在に拘わらず、特許出願の際独立して特許を受けることができないものとすることはできないと判断されたものである。
　
　したがって、本件特許発明１ないし３５は、いずれも、上記「（２）訂正に適否について」の「（Ｃ）独立特許要件の判断」について述べた理由と同じ理由により、各異議申立人の提示した甲号証のうちの本件に係る優先権主張の日前に頒布された甲号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない。
　
ハ）本件に係る出願の出願日について
　異議申立人、須子豊は、甲第５号証として国際公開パンフレットＷＯ９１／１３６９７号（本件発明の分割前の原出願（ＰＣＴ出願）である特願平３−５０５８５５号に係る国際公開パンフレット）を提出して、本件に係る出願は不適法な分割出願であり、その出願日は現実に願書が提出された平成７年２月１３日となる旨主張している。
　
　その具体的理由は、本件発明の分割前の原出願である特願平３−５０５８５５号の明細書および図面（甲第５号証）には、低分子量直鎖状ポリジオルガノシロキサンまたは低分子量環状ポリジオルガノシロキサンを単独で使用することの記載はないから、本件に係る出願は不適法な分割出願であるというものである。
　
　しかし、甲第５号証に係る明細書の第３頁第１５行〜第４頁第１行、第３５頁の請求の範囲４などには、低分子量直鎖状ポリジオルガノシロキサンまたは低分子量環状ポリジオルガノシロキサンを単独で使用することが明白に記載してあるから、本件に係る出願は不適法な分割出願であるとすることはできない。
　また、その結果、当然に、本件発明は、甲第５号証に記載された発明と同一であるかこれに基づいて容易に発明をすることができたものということはできない。
　
ニ）産業上の利用性及び記載不備について
　異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社は、本件請求項８（訂正後の請求項６）およびそれを引用した請求項に係る発明は、請求項８（訂正後の請求項６）の一般式において置換基Ｒは限定されていないので、洗浄に不適となる場合を含むために、本件発明は実施不可能、あるいは目的の達成が不可能であるから、産業上利用できる発明に該当せず、特許法２９条柱書きの規定に違反し、かつ、本件特許明細書は記載不備であり、特許法第３６条第３項、第４項（正しくは第４項及び第５、６項）の規定に違反している。
旨主張している。
　
　また、異議申立人、株式会社ディスクは、記載不備の点について、明細書中の段落番号００３８等においては、
「この系において次の点がとくに有効であることにきづいた。すなわち、１．蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液との相溶性」
があることが重要であることが記載されており、本件特許においては、蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液とは、相溶性を有することを要件としている。
　相溶性は、相互に異なる物質が相互に溶解する現象を示す語であり、本件の発明は、蒸気洗浄剤と前工程での洗浄剤が異なるものに限定されるべきものである。
　また、段落番号００４４には、
「さらに、上記ペルフルオロ化合物に、前述した有機ケイ素系洗浄剤および／またはイソパラフィン系洗浄剤等の炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤と、ＩＰＡ、エタノール、メタノール、アセトン、ジオキサン等の有機溶剤とを配合した組成物は、一液にて脱脂洗浄から乾燥まで行うことが可能な、非常に有用な一液型洗浄組成物である。
　この一液型洗浄組成物の配合比としては、上記ペルフルオロ化合物１００重量部に対して、有機ケイ素系洗浄剤および／または脂肪族炭化水素系洗浄剤を０．０１〜１０００重量部、他の有機溶剤を０．０１〜１０００重量部とすることが好ましい。
　これらのより好ましい配合比は、それぞれ０．１〜１００重量部の範囲である。
　この一液型洗浄組成物は、脱脂洗浄力および水切り性を示し、かつ同一組成で蒸気洗浄も可能であるため、一液にて脱脂洗浄から乾燥まで行うことができる。」
との記載があるものの、そのような組成の物質の効果を裏づける実施例等は記載されていない。
　したがって、一液にて脱脂洗浄から乾燥まで行うことができる洗浄組成物を記載した請求項４０（訂正後の請求項３５）および段落番号００４４の記載は発明を明確に記載したものということできない。
　してみれば、本件特許明細書には記載不備があり、特許法第３６条第４項および第６項（正しくは第４項及び第５、６項）の規定に違反している。
旨主張している。
　
　そこで、異議申立人、東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社の、「請求項８（訂正後の請求項６）の一般式において置換基Ｒは限定されていない」旨の主張について検討すると、訂正後の請求項６においては、置換基Ｒは、「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と訂正された。
　したがって、置換基Ｒは限定されておらず、洗浄に不適となる場合を含むために、本件発明は実施不可能、あるいは目的の達成が不可能であるから、産業上利用できる発明に該当せず、かつ、本件特許明細書は記載不備がある旨の主張は理由がなくなったものと認められる。
　
　また、異議申立人、株式会社ディスクは、上記のとおりの主張をしており、この主張は、結局、『「一液型洗浄組成物は、脱脂洗浄力および水切り性を示し、かつ同一組成で蒸気洗浄も可能であるため、一液にて脱脂洗浄から乾燥まで行うことができる。」との記載があるものの、そのような組成の物質の効果を裏づける実施例等は記載されていないから、請求項４０（訂正後の請求項３５）および段落番号００４４の記載は、発明を明確に記載したものということできない。』というものと認められる。
　しかし、実施例は必要により記載するものであって、実施例が記載されていないから発明を明確に記載したものということできないということは、法令の規定上存在せず、しかも請求項４０（訂正後の請求項３５）に係る組成物は、少なくとも請求項１に係る洗浄方法に用いうることは当業者において明らかであると解する以外の理解は到底あり得ないものである。
　したがって、実施例等は記載されていないから、発明を明確に記載したものということできない旨の主張は理由がない。
　
　
（４）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申し立ての理由及び証拠によっては本件特許発明１ないし３５に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許発明１ないし３５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１２月７日（２００１．１２．７）
【訂正の要旨】
（Ａ）訂正の内容
　本件に係る訂正請求は、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）について、訂正請求書に添付した訂正明細書に記載の以下のとおりに訂正しようとするものである。
訂正事項ａ：
　【特許請求の範囲】の請求項１の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤、および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｂ：
　【特許請求の範囲】の請求項２を削除する。
訂正事項ｃ：
　請求項２の削除に伴って、請求項３〜５の番号を「請求項２〜４」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
訂正事項ｄ：
　請求項２の削除に伴って、請求項６の番号を「請求項５」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項５の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤と、芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を、「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｅ：
　【特許請求の範囲】の請求項７を削除する。
訂正事項ｆ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項８の番号を「請求項６」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項６の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｇ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項９の番号を「請求項７」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
訂正事項ｈ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項１０の番号を「請求項８」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項８の記載において、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」と、
「少なくともペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤」を「少なくとも一般式ＣｎＥ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｉ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項１１〜１６の番号を「請求項９〜１４」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
訂正事項ｊ：
　請求項２および請求項７の削除に伴って、請求項１７の番号を「請求項１５」と繰り上げ、かっ訂正後の請求項１５の記載において、
「被洗浄物を洗浄剤で洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、前記洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０℃である、前記洗浄剤とは異種の蒸気洗浄剤を用いて蒸気乾燥処理を施す乾燥工程とを有することを特徴とする洗浄方法。」を「請求項１記載の洗浄方法において、前記蒸気洗浄剤は、前記非水系基礎洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０℃であることを特徴とする洗浄方法。」
と訂正する。
訂正事項ｋ：
　【特許請求の範囲】の請求項１８、請求項１９を削除する。
訂正事項ｌ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２０〜２３の番号を「請求項１６〜１９」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
訂正事項ｍ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２４の番号を「請求項２０」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２０の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｎ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２５の番号を「請求項２１」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２１の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤と、炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤と、芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤とを少なくとも含む非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の蒸気洗浄剤」を「蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
　訂正事項ｏ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２６の番号を「請求項２２」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２２の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤および芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤を含む洗浄剤」と、
「蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｐ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２７の番号を「請求項２３」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２３の記載において、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「芳香族を含まない炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」と、
「少なくともペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤」を「少なくとも一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表されるペルフルオロ化合物を含む蒸気洗浄剤（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ｑ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２８の番号を「請求項２４」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項２４の記載において、
「洗浄剤を用いた洗浄槽を有し、被洗浄物を前記洗浄槽で洗浄する洗浄手段と、前記洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０°Ｃである、前記洗浄剤とは異種の蒸気洗浄剤により、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物に蒸気乾燥処理を施す乾燥手段とを具備することを特徴とする洗浄装置。」を「請求項２２記載の洗浄装置において、前記蒸気洗浄剤は、前記非水系洗浄剤と相溶性を有し、かつ蒸発潜熱が５０ｃａｌ／ｇ以下であると共に、沸点が５０〜１５０°Ｃであることを特徴とする洗浄装置。」
と訂正する。
訂正事項ｒ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項２９〜３０の番号を「請求項２５〜２６」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
訂正事項ｓ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項３１の番号を「請求項２７」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正し、かつ訂正後の請求項２７の記載において、
「前記非水系基礎洗浄剤に、洗浄性能向上剤を添加した洗浄組成物」を「前記非水系基礎洗浄剤に、前記界面活件剤および／または親水性溶剤を添加した洗浄組成物」
と訂正する。
訂正事項ｔ：
　請求項２、請求項７、請求項１８および請求項１９の削除に伴って、請求項３２の番号を「請求項２８」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正し、かつ訂正後の請求項２８の記載において、
「前記非水系基礎洗浄剤に、洗浄性能向上剤を添加した洗浄組成物」を「前記非水系基礎洗浄剤に、前記界面活性剤および／または親水性溶剤を添加した洗浄組成物」
と訂正する。
訂正事項ｕ：
　【特許請求の範囲】の請求項３３を削除する。
訂正事項ｖ：
　請求項２、請求項７、請求項１８、請求項１９および請求項３３の削除に伴って、請求項３４〜３９の番号を「請求項２９〜３４」と繰り上げると共に、引用する請求項数を訂正する。
訂正事項ｗ：
　請求項２、請求項７、請求項１８、請求項１９および請求項３３の削除に伴って、請求項４０の番号を「請求項３５」と繰り上げ、かつ訂正後の請求項３５の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」
と訂正する。
訂正事項ｘ：
　【特許請求の範囲】の請求項４１、請求項４２、請求項４３、請求項４４、請求項４５を削除する。
訂正事項ｙ：
　特許明細書の【発明の名称】において、「洗浄方法、洗浄装置、洗浄組成物および蒸気乾燥組成物」を「洗浄方法、洗浄装置および洗浄組成物」と訂正する。
訂正事項ｚ：
　特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【０００８】の記載において、（２）式の説明の、
「Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基」を「Ｒはメチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基」と、
「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤を含む洗浄剤」を「有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の芳香族を含まない脂肪族炭化水素系洗浄剤から選ばれる少なくとも１種の非水系基礎洗浄剤と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤」と、
「塩素化炭化水素を除く蒸気洗浄剤」を「塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く蒸気洗浄剤」と、
それぞれ訂正する。
訂正事項ａ−ａ：
　特許明細書の【発明の詳細な説明】の段落【０００９】の記載において、
「炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤」を「炭素数４〜３０の芳香族を含まない脂肪族炭化水素系洗浄剤」と、
「界面活性剤や親水性溶剤等」を「界面活性剤および／または親水性溶剤」と、
それぞれ訂正する。
（５４）【発明の名称】
洗浄方法、洗浄装置
および
物
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤、
　および
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水性溶剤と
　前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素
およびクロロフルオロカーボン
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
２
　前記脂肪族炭化水素系洗浄剤は、イソパラフィン系洗浄剤であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３
２
　前記イソパラフィン系洗浄剤は、炭素数４〜３０の揮発性イソパラフィンから実質的になることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
４
　前記蒸気洗浄剤は、前記非水系基礎洗浄剤とは異種の洗浄剤であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
５
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤と、
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水生溶剤とを含む洗浄剤
　前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の塩素化炭化水素
およびクロロフルカーボン
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
６
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤
　前記洗浄工程を経た前記被洗浄物に、前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ直）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水
系洗
およびクロロフルオロカーボン
　を有することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
７
５
６
　前記蒸気洗浄剤は、沸点が前記被洗浄物表面の温度より２０℃以上高いことを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
８
芳香族を含まない
　少なくとも
一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表される
（塩素化炭素水素およびクロロフルオロカーボンを除く）
　【請求項
９
８
　前記洗浄剤は、界面活性剤および／または親水性溶剤を含有することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１０
８
　前記脂肪族炭化水素系洗浄剤は、イソパラフィン系洗浄剤であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１１
１０
　前記イソパラフィン系洗浄剤は、炭素数４〜３０の揮発性イソパラフィンから実質的になることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１２
５
６
８
　前記洗浄工程は、前記被洗浄物表面に付着する液体を除去する工程であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１３
１２
　前記洗浄工程で除去する液体は、少なくとも水を含むことを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１４
５
６
８
　前記洗浄工程は、前記被洗浄物表面に付着する油脂系汚れを除去する工程であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１５
請求項１記載の洗浄方法において、
　
前記蒸気洗浄剤は、前記非水系基礎
るこ
　【請求項
１６
１５
　前記蒸気洗浄剤は、フルオロカーボン類を主成分とすることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１７
５
６
８
１５
　前記被洗浄物は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１８
５
６
８
１５
　前記洗浄対象物は、金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品および光学部品から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
１９
５
６
８
１５
　さらに、前記洗浄工程で用いられた洗浄剤を回収・再生して再利用する工程を有することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
２０
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水性溶剤と
　蒸発潜熱が１００ｃａｌ／ｇ以下であり、かつ前記非水系基礎洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系基礎洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の
塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
２１
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤と、
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水性溶剤とを含む洗浄剤
　前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水
系洗
塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
２２
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水性溶剤を含む洗浄剤
　前記非水系洗浄剤との溶解度因子（ＳＰ値）の差が４以下であると共に、蒸発潜熱が前記非水系洗浄剤の蒸発潜熱の５倍以下の
塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
２３
芳香族を含まない
　少なくとも
一般式ＣｎＦ２ｎ＋２（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）で表される
（塩素化炭化水素およびクロロフルオロカーボンを除く）
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
２４
請求項２２記載の洗浄装置において、
　
前記蒸気洗浄剤は、前記非水系
るこ
　【請求項
２５
請求項２４記載の洗浄装置において、
　前記蒸気洗浄剤は、フルオロカーボン類を主成分とすることを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
２６
２０
２１
２２または
２３
　さらに、前記洗浄手段で用いた洗浄剤を回収・再生して再利用する手段を有することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
２７
５または
６記
　前記洗浄工程は、前記非水系基礎洗浄剤に、
前記界面活性剤および／または親水性溶剤
　【請求項
２８
２０
２１または
２２記
　前記洗浄手段は、前記非水系基礎洗浄剤に、
前記塁面活性剤および／または親水性溶剤
　【請求項
２９
２７
　前記非水系基礎洗浄剤は、その比重Ｄｄｇが、水の比重をＷｄｇ、油脂系汚れの比重をＯｄｇとした場合に、Ｗｄｇ＞Ｄｄｇ＞Ｏｄｇを満足することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３０
２７
　前記第１の洗浄工程は、脱脂洗浄工程であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３１
２７
　前記第１の洗浄工程は、水切り洗浄工程であることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３２
２７
　前記蒸気洗浄剤は、沸点が前記被洗浄物表面の温度より２０℃以上高いことを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３３
５
６
８
１５
　前記蒸気乾燥処理において、前記洗浄工程を経た前記被洗浄物が液体の前記蒸気洗浄剤に接触することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３４
２０
２１
２２または２３
　前記蒸気乾燥処理を施す乾燥手段において、前記洗浄手段を経た前記被洗浄物が液体の前記蒸気洗浄剤に接触することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
３５
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ボリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤
　および／または炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤０．０１〜１０００重量部と、
　有機溶剤０．０１〜１０００重量部と
　を含有することを特徴とする洗浄組成物。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、フロン１１３のようなフロン系溶剤、塩素系溶剤、低級アルコール類に代る非水系洗浄剤を用いた洗浄方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　金属部品、メッキ部品、塗装部品、電子部品、半導体部品等の水洗後の乾燥方法としては、フロン１１３に代表されるフロン系溶剤を水切り洗浄剤として用いる方法が一般的である。また、上記したフロン系溶剤や、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、四塩化炭素等の有機溶剤は、油汚れ等を除去するための洗浄剤としても幅広く使用されている。
　【０００３】
　しかし、最近、フロンの放出がオゾン層の破壊に繋がり、人体や生物系に深刻な影響を与えることが明らかとなってきたことから、オゾン破壊係数の高いフロン１２やフロン１１３等は、世界的な規模で段階的に使用を削減し、将来的には全廃する方向に進んでいる。また、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の塩素系有機溶剤も、土壌や地下水等の汚染を引起こす等の環境問題にからんで、使用規制が強化される方向に進んでいる。このような状況下にあって、現状のフロン系溶剤よりオゾン破壊係数の低いフロン系物質が開発されつつあり、既に工業的生産が一部で進められているが、これらとてもオゾン層の破壊が皆無ではないことから、好ましい代替洗浄剤とは目されていない。
　【０００４】
　そこで、上述したような有機溶剤系による脱脂洗浄剤の代替品として、環境破壊や環境汚染を引起こすことがない、界面活性剤や親水性溶剤等を用いた水系の洗浄剤が見直され始めている。しかし、このような洗浄剤では、浸透力が弱く、例えば部品細部へ侵入した汚れや中粘度から高粘度のこびりついた油汚れに対しては充分な洗浄力を発揮することができないという問題がある。
　【０００５】
　また、有機溶剤系による水切り洗浄剤の代替品として、各種界面活性剤を用いた洗浄剤等が検討されているが、フロン系溶剤に匹敵するような水切り効果は得られていないのが現状である。また、上述した有機溶剤系洗浄剤を水切り洗浄剤として使用した場合、洗浄剤の比重が大きくなり、油脂はもちろんのこと水も洗浄剤の上に浮上してしまい、油と水とは互いに接触した形で洗浄剤から分離される。このように互いに接触している油と水については、これらを別々に取り出すことが困難であり、また油と水それぞれの廃棄方法が異なることから、廃液処理の点で問題が生じている。また、界面活性剤等を用いた洗浄剤は、水との相溶性が高いために、これら洗浄剤を分離精製して、再使用することは非常に困難である。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述したように、水切り洗浄剤を含む従来の洗浄剤のうち、フロン系溶剤等の有機溶剤系洗浄剤は、環境破壊を引き起こすという重大な欠点を有していた。また、これら有機溶剤系の代替品として検討されている現状の洗浄剤は、十分な効果が得られないという問題を有していた。一方、従来の洗浄方法では、洗浄剤の再利用や、除去した水や汚れ物質の廃棄の点で難点があった。
　【０００７】
　本発明は、上述したような従来の洗浄方法が抱えている課題に対処するためになされたものであり、フロン系溶剤等を使用した洗浄に匹敵する、洗浄性、水置換性、乾燥性等が得られる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とするものである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段と作用】
　すなわち、本発明の洗浄方法は、
（式中、Ｒは同一または相異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｌは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および
（式中、Ｒは
メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基からなる群より選択されるアルキル基
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の
芳香族を含まない
と界面活性剤および／または親水性溶剤と
およびクロロフルオロカーボン
　【０００９】
　本発明の洗浄工程に使用される洗浄剤としては、例えば水分の分離を可能とするような水切り洗浄剤、油脂汚れの除去に使用される脱脂洗浄剤、仕上げ洗浄剤等が例示される。ここで用いられる基礎洗浄剤は、上述したように（１）式や（２）式で表される低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる有機ケイ素系洗浄剤、および炭素数４〜３０の
芳香族を含まない
剤が
　【００１０】
　上述した低分子量ポリオルガノシロキサンは、これら単独で、金属部品、電子部品、半導体部品、塗装部品等の各種被洗浄物の細部に対する優れた浸透力や揮発性を有し、かつ防錆性を付与すると共に、水との良好な置換性を示し、かつ６０℃以下の温風での揮散、乾燥性を有するものである。なお、上記（１）式で表される直鎖状構造を有するポリジオルガノシロキサンと、上記（２）式で表される環状構造を有するポリジオルガノシロキサンとは、共用することも可能である。
　【００１１】
　上記（１）式および（２）式中のＲは、置換または非置換の１価の炭化水素基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、フェニル基等の１価の非置換炭化水素基や、トリフルオロメチル基等の１価の置換炭化水素基等が例示されるが、系の安定性、揮発性の維持等からメチル基が最も好ましい。上記低分子量ポリオルガノシロキサンとしては、環状構造を有するものが好ましく、さらにオクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンおよびこれらの混合物が好適である。
　【００１２】
　また、上記した低分子量ポリオルガノシロキサンは、分子構造を適当に選択することによって、その洗浄剤の比重Ｄｄｇを下記の（Ａ）式もしくは（Ｂ）式を満足させることができる。
　【００１３】
　Ｗｄｇ＞Ｄｄｇ　　　　　　　　　……（Ａ）
　Ｗｄｇ＞Ｄｄｇ＞Ｏｄｇ　　　　　……（Ｂ）
（式中、Ｄｄｇは非水系基礎洗浄剤の比重を、Ｗｄｇは水の比重を、Ｏｄｇは対象とする油脂系汚れの比重を示す）
　例えば、（Ｂ）式を満足させることによって、水と油脂系汚れとを分離することが可能となり、洗浄剤の浄化および廃液処理が容易となる。
　【００１４】
　上記した脂肪族炭化水素系洗浄剤は、炭素数が４〜３０の範囲の分枝状や直鎖状の脂肪族炭化水素（以下に、単に脂肪族炭化水素系洗浄剤と記す）からなり、例えば炭素数が４〜３０のイソパラフィン系洗浄剤が挙げられる。このイソパラフィン系洗浄剤としては、揮発性イソパラフィンから実質的になるものが挙げられ、特にＣ４〜Ｃ１５の留分を主体とするイソパラフィンが洗浄性能の点から好ましい。イソパラフィン系洗浄剤は、上記揮発性イソパラフィンの１種または２種以上の混合物として使用される。このような脂肪族炭化水素系洗浄剤は、揮発性を有すると共に、無害、無臭であり、上記した有機ケイ素系洗浄剤と同様な効果を示すものである。
　【００１５】
　なお、上記非水系基礎洗浄剤として掲げた有機ケイ素系洗浄剤と脂肪族炭化水素系洗浄剤とは、それぞれ単独で使用可能であることはもちろんのこと、これらを混合して非水系基礎洗浄剤として用いることも可能である。例えば、有機ケイ素系洗浄剤にイソパラフィン系洗浄剤を配合すると、凝固点を大幅に低下させるという効果が得られ、寒冷地での使用を容易にすると共に、洗浄性能の向上も図れる。
　【００１６】
　上記したような非水系基礎洗浄剤に添加配合する洗浄性能向上剤としては、前述したように界面活性剤や親水性溶剤等が例示される。界面活性剤は、活性を発揮する化学構造により、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性系およびこれらの複合系に分類されるが、本発明においてはそれらのいずれをも使用することが可能である。これら界面活性剤は特に洗浄性の向上に寄与するものである。これら界面活性剤のうち、本発明において好ましく用いられるものとしては、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルスルホン酸塩、リン酸エステル等のアニオン系界面活性剤、多価アルコール脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル等のノニオン系界面活性剤、イミダゾリン誘導体等の両性界面活性剤、アルキルアミン塩、アルキル第４級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤等が例示され、その他には単一物質で存在することは少ないが、天然物から抽出されるテルペン系化合物や高級脂肪酸エステル等が挙げられる。また、上述したような各種化合物の化学構造の一部をフッ素原子やケイ素原子で置き換えた合成化合物を用いることも可能である。
　【００１７】
　また、親水性溶剤としては、上記非水系基礎洗浄剤に対して相溶性を有するものが用いられ、特に引火点が４０℃以上のものが実用上好適である。このような親水性溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等の多価アルコールとその誘導体等が例示され、非水系基礎洗浄剤との相溶性、人体への安全性等の点からジエチレングリコールモノブチルエーテルが特に好ましい。これら化合物は、低分子量ポリオルガノシロキサン等との共存下で揮発性が向上するために、この配合品のみでの水置換、乾燥も可能である。また、非水系基礎洗浄剤の種類や用途によっては、エチルアルコールのような低級アルコールやアセトン等を使用することも可能である。さらに、
（式中、Ｒは炭素数１〜１２の１価の炭化水素基を示し、ｎおよびｐはそれぞれ０〜１０の整数で、かつｎ＋ｐ≧１を満足する）
　で表されるポリオキシアルキレンアルキルエーテルは、非水系基礎洗浄剤としてイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤を使用する際に好適である。
　【００１８】
　上述した非水系基礎洗浄剤および洗浄性能向上剤は、非水系基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加したものとして、また非水系基礎洗浄剤単独で使用するものとする。上記非水系基礎洗浄剤と洗浄性能向上剤とは、用途に応じて各種の組み合せによって使用することが可能であり、例えば脱脂洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗浄剤に界面活性剤または親水性溶剤、あるいはこれら両者を配合したものが好適である。非水系基礎洗浄剤としてイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤を使用する場合には、それ単独で使用することも可能である。また、有機ケイ素系洗浄剤と脂肪族炭化水素系洗浄剤との混合物を非水系基礎洗浄剤として用い、これに上記したような洗浄性能向上剤を配合して用いることも可能である。水切り洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗浄剤単独で使用することも可能であるが、界面活性剤や親水性溶剤を添加したものが好ましい。特に、親水性溶剤が好適である。また、すすぎ洗浄剤として用いる場合には、基本的には非水系基礎洗浄剤単独で用いるが、親水性溶剤を添加することも可能である。後工程によっては、微量の界面活性剤を添加することが可能である。
　【００１９】
　また、非水系基礎洗浄剤と洗浄性能向上剤とは、上述したような各種の組み合せによって使用することが可能であるが、それぞれの溶解性を考慮して混合することが好ましい。例えば、溶解度因子（以下、ＳＰ値と称する）の差が４以下となるように組み合せることが好ましい。また、ＳＰ値の差が大きい液体どおしを混合する際には、中間的なＳＰ値を有する液体を混合媒体として配合してもよい。
　【００２０】
　上述した界面活性剤の配合比は、特に限定されるものではないが、脱脂洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗浄剤１００重量部に対して５０重量部以下が好ましく、さらに好ましくは２０重量部以下である。また、水切り洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗浄剤１００重量部に対して２０重量部以下が好ましく、さらに好ましくは３重量部以下である。一方、親水性溶剤の配合比も特に限定されるものではないが、脱脂洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗浄剤１００重量部に対して５００００重量部以下が好ましく、さらに好ましくは１００００重量部以下である。また、水切り洗浄剤として使用する際には、非水系基礎洗浄剤１００重量部に対して１００重量部以下が好ましく、さらに好ましくは５０重量部以下である。本発明の洗浄方法においては、上述したような洗浄工程の後に、乾燥処理を施すことによって洗浄工程が終了する。この乾燥工程は、イソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡと記す）等の蒸気洗浄剤を用いた蒸気乾燥工程である。蒸気乾燥によれば、乾燥仕上げをより良好にすることができ、精密洗浄等に好適である。また、本発明の対象となる被洗浄物としては、金属、セラミックス、プラスチック等であり、さらに具体的には金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品等である。本発明の洗浄方法においては、前述したような脱脂洗浄剤もしくは水切り洗浄剤による洗浄工程の後に、すすぎ洗浄を行うことなく、直接蒸気洗浄を施すことも可能である。すなわち、非水系基礎洗浄剤に洗浄性能向上剤を添加した洗浄剤で被洗浄物を洗浄する工程と、この洗浄工程を経た被洗浄物を蒸気乾燥する工程とで、全洗浄工程を構成することができる。また、蒸気洗浄と組み合わせて使用することを前提として、被洗浄物表面の除去対象によっては、非水系基礎洗浄剤単独による洗浄のみとすることも可能である。これらによる非水系基礎洗浄剤と洗浄性能向上剤との組み合わせ、あるいは非水系基礎洗浄剤の使用例は上述したとおりである。
　【００２１】
　【実施例】
　以下、本発明を実施例によってより詳細に説明する。
　【００２２】
　図１は、本発明の一実施例の洗浄装置の構成を示す図である。同図に示す洗浄装置は、大別して洗浄・水置換工程Ａと、清浄化・水切り工程Ｂと、洗浄剤再生機構Ｃとから構成されている。第１の工程となる洗浄・水置換工程Ａには、沈降分離機能とオーバーフロー分離機能とを合せ持つ第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２と液切り槽３とが設けられている。
　【００２３】
　上記第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２は、沈降分離機能とオーバーフロー分離機能とを合せ持つものであるが、これは被洗浄物Ｘに付着しているものの種類によって選択すればよく、沈降分離機能単独、オーバーフロー分離機能単独でも被洗浄物によっては十分に機能する。また、第１の工程における洗浄槽は、洗浄時間や洗浄品質等によって、単槽や多槽連結槽から選択すればよく、多槽連結槽における槽数等も同様である。
　【００２４】
　この実施例においては、２槽の多槽連結槽を使用しており、第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２間は、ドレン配管２ａとオーバーフロー管２ｂとにより連結されている。また、第１の洗浄槽１や第２の洗浄槽には、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用され、これらにより洗浄性能がより向上される。
　【００２５】
　上記第１および第２の洗浄槽１、２には、前述した有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤、およびこれらの混合物等からなる非水系基礎洗浄剤に、界面活性剤を添加した水切り洗浄剤Ｄ１がそれぞれ収容されている。この界面活性剤を含む水切り洗浄剤Ｄ１は、その比重が水より小さく、かつ油脂系汚れより大きく設定されている。したがって、被洗浄物Ｘにより持ち込まれた水Ｙは、第１および第２の洗浄槽１、２に収容された洗浄剤Ｄ１の下方にそれぞれ沈降分離される。また、油脂系汚れＺは、第１および第２の洗浄槽１、２に収容された洗浄剤Ｄ１の上方にそれぞれ浮上分離される。
　【００２６】
　第２の洗浄槽２で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管２ａによって間欠的に第１の洗浄槽１側に排出される。また、第１の洗浄槽１で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管４によって間欠的に後述する洗浄剤再生機構Ｃへと排出される。また、液切り槽３に設けられたドレン配管３ａも、洗浄剤再生機構Ｃと接続されている。また、第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２で浮上分離された油脂系の汚れＺは、順次オーバーフローし、第１の洗浄槽１に設けられたオーバーフロー管５から系外に排出される。
　【００２７】
　第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２に収容された水切り洗浄剤Ｄ１は、循環用配管６ａによって第１の洗浄槽１から抜き取られ、フィルタ６によって洗浄剤Ｄ１中の固体物、水粒子、未溶解物質等が除去された後、第２の洗浄槽２内に還流される。このフィルタ６を介した循環によって、洗浄剤Ｄ１は常時浄化されており、洗浄工程上での下流側となる洗浄槽２の洗浄剤Ｄ１がより清浄な状態を維持することが可能とされている。
　【００２８】
　例えば、洗浄剤Ｄ１中に水滴として混入している水分は、上記フィルタ６によって容易に分離除去される。上記フィルタ６は、洗浄・水切り対象の材料や内容によって種々選択されるが、例えば０．１〜２０μｍ程度のボアサイズを有するミクロポーラスなセラミックスフィルタ、ガラスフィルタ、有機高分子系のフィルタ、さらにはこれらの複合系フィルタ等が好ましく使用される。
　【００２９】
　また、第２の工程となる清浄化・水切り工程Ｂには、第３の洗浄槽７とシャワーリンス槽８とが設けられている。シャワーリンス槽８の下方には、バッファタンク９が設けられており、このバッファタンク９および第３の洗浄槽７間は、ドレン配管９ａとオーバーフロー管９ｂとにより連結されている。この第３の洗浄槽７にも、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用される。
　【００３０】
　上記第３の洗浄槽７には、上記第１の工程Ａで使用した非水系基礎洗浄剤のみの洗浄剤Ｄ２が収容されている。なお、非水系基礎洗浄剤の具体的な種類は、上記第１の工程Ａで使用した非水系洗浄剤と同一とされている。この洗浄剤Ｄ２は、その比重が水より小さく、かつ油脂系の汚れより大きく設定されている。したがって、第１の工程Ａにおける洗浄槽と同様に、水Ｙは洗浄剤Ｄ２の下方に沈降分離され、また油脂系の汚れＺは洗浄剤Ｄ２の上方に浮上分離される。第３の洗浄槽７で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管１０によって間欠的に洗浄剤再生機構Ｃへと排出される。また、第３の洗浄槽７で浮上分離された油脂系の汚れＺは、オーバーフロー管１１から系外に排出される。
　【００３１】
　また、第３の洗浄槽７内に収容された洗浄剤Ｄ２は、常時フィルタ１２を介して循環されており、このフィルタ１２によって洗浄剤Ｄ２中の固体物、水粒子、未溶解物質等が除去される。
　【００３２】
　次に、上記洗浄装置における洗浄剤の回収・再使用について説明する。
　【００３３】
　上述したように、第１、第２、第３の洗浄槽１、２、７および液切り槽３に設けられた各ドレン配管４、３ａ、１０は洗浄剤再生機構Ｃに接続されている。各洗浄槽に収容された洗浄剤Ｄ１またはＤ２は、フィルタ６、１２によって常時浄化されているが、洗浄剤の汚れがひどくなった際には、各ドレン配管４、１０によって洗浄剤再生機構Ｃに送水ポンプ１３によって送られて分溜精製される。また、液切り槽３に溜まった洗浄剤Ｄ１も間欠的に洗浄剤再生機構Ｃに送られる。洗浄剤再生機構Ｃでは、まず濾過器１４により液体と固体との分離が行われ、固体分は廃棄され、液体のみ蒸留器１５へ送られる。この蒸留器１５では洗浄剤中の各成分、水、油脂系汚れ等の沸点の差を利用して分離が行われる。また、蒸留器１５にて残留した水分等はデカンタ１６によりさらに分離される。なお、蒸留器１５に導入する前に、予めコアレッサ等で水分の分離除去を行ってもよい。ここで、上記洗浄装置で使用している洗浄剤において、水切り洗浄剤Ｄ１は、非水系基礎洗浄剤のみの洗浄剤Ｄ２に界面活性剤を添加したものであるため、洗浄剤Ｄ１および洗浄剤Ｄ２それぞれから非水系基礎洗浄剤、すなわち洗浄剤Ｄ２を分離抽出することができ、洗浄剤Ｄ２が再生される。また、この再生された洗浄剤Ｄ２以外の成分、すなわち界面活性剤や水分等は廃棄される。この再生された洗浄剤Ｄ２は、配管１７によりシャワーリンス槽８、第３の洗浄槽７、もしくは第２の洗浄槽２に洗浄剤Ｄ１を供給する配合器１８へと送られる。
　【００３４】
　シャワーリンス槽８では、上記再生洗浄剤Ｄ２もしくは洗浄剤供給配管１９から送られてきた新規な洗浄剤Ｄ２によって、不純物を含まない洗浄剤Ｄ２のみでシャワー洗浄が行われる。また、配合器１８では、再生もしくは新規の洗浄剤Ｄ２と、界面活性剤供給配管２０から送られてきた新規な界面活性剤、もしくは界面活性剤が事前に濃厚に配合された洗浄剤とが混合され、新たに洗浄剤Ｄ１が調合される。この洗浄剤Ｄ１は、必要に応じて第２の洗浄槽２に供給される。
　【００３５】
　上記構成を有する洗浄装置における洗浄工程は、例えば以下に示す通りである。被洗浄物Ｘに水分Ｙおよび油脂系汚れＺが付着している場合、まず第１の工程Ａの第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２に順に浸漬され、油脂系汚れＺの除去と水分Ｙと水切り洗浄剤との置換が行われる。この後、液切り槽３上で被洗浄物Ｘ表面に付着している洗浄剤Ｄ１が除去される。
　【００３６】
　次に、第２の工程Ｂへと送られて、第３の洗浄槽７で被洗浄物Ｘ表面に残存している界面活性剤が除去されると共に、水切りが行われた後、シャワーリンス槽８により不純物を含まない洗浄剤Ｄ２のみでシャワー洗浄が行われて、表面の最終的な浄化と水切りが行われる。
　【００３７】
　この後、図示を省略したＩＰＡ等による蒸気乾燥（洗浄）器により乾燥処理が施されて洗浄工程が終了する。
　【００３８】
　ところで、本発明者らは、蒸気洗浄（乾燥）を行う場合、この系において次の点が特に有効であることにきづいた。すなわち、▲１▼蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液との相溶性、▲２▼蒸気洗浄剤の蒸発潜熱および蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液との蒸発潜熱の差、▲３▼沸点を考慮しなければならない点である。上記▲１▼については、分子どうしの水素結合や極性基の相互作用をさらに考慮しなければならない場合もあるが、しかしながら前工程から持ち込まれる液とのＳＰ値の差が４以下の蒸気洗浄剤を用いることが特に有効な要因となることが分かった。これは、蒸気洗浄は被洗浄物表面で結露した蒸気洗浄剤中に、被洗浄物に付着している液体を溶かし、洗い流すことによって行われるためであり、蒸気洗浄剤と前工程から持ち込まれる液とのＳＰ値の差が４を超えると、十分な置換性が得られなくなる。より好ましいＳＰ値の差は３以下であり、さらに好ましくは２以下である。
　【００３９】
　また、▲２▼については、前工程から持ち込まれる液との蒸発潜熱の差が５倍以下の蒸気洗浄剤を用いることが好ましい。つまり、蒸発潜熱の差が５倍を超えると、蒸発速度が大きく異なることから、蒸発潜熱の大きい液体が被洗浄物上に残り、シミ等として残存する可能性が大きくなる。より好ましい蒸発潜熱の差は３倍以下であり、さらに好ましくは２倍以下である。なお、上記蒸発潜熱の差を満足する際には、蒸気洗浄剤の蒸発潜熱はより小さいことが好ましい。この蒸発潜熱の値自体としては、２００ｃａｌ／ｇ以下が好ましく、より好ましくは１００ｃａｌ／ｇ以下であり、さらに好ましくは５０ｃａｌ／ｇ以下である。本発明の系においては、上記▲１▼および▲２▼を満足させることが特に重要である。
　【００４０】
　また、▲３▼については、蒸気洗浄剤の沸点は、蒸気洗浄時の被洗浄物表面の温度より高いことが必要ある。好ましい沸点の値としては、被洗浄物表面の温度より２０℃以上高い値であり、より好ましくは被洗浄物表面の温度より３０℃以上高い値であり、さらに好ましくは５０℃以上高い値である。ただし、この沸点と被洗浄物表面の温度との差は、被洗浄物表面の温度によって制御することも可能である。すなわち、蒸気洗浄工程の前に被洗浄物表面の温度を低下させればよい。この▲３▼の条件を満足させることにより、より良好な状態が得られる。
　【００４１】
　ここで、本発明におけるすすぎ洗浄工程においては、有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤が用いられる。有機ケイ素系洗浄剤は、ＳＰ値が約７、蒸発潜熱が約３５ｃａｌ／ｇ程度である。イソパラフィン系洗浄剤は、ＳＰ値が約６〜８、蒸発潜熱が約５０〜９０ｃａｌ／ｇ程度である。これらの値を考慮すると、上述したＩＰＡ（ＳＰ値＝１１、蒸発潜熱：１６１ｃａｌ／ｇ、沸点＝８２℃）は、上記▲１▼〜▲３▼の条件を全て満足しており、本発明の洗浄工程後における蒸気洗浄剤として適していることが分かる。
　【００４２】
　なお、本発明で用いられる蒸気洗浄剤としては、基本的には上記▲１▼および▲２▼の条件を満足するものであればよく、より好ましくは▲３▼の条件をも満足するものである。このような条件を満足するものであれば、上記ＩＰＡ以外にも使用することが可能であり、例えば
　一般式：ＣｎＦ２ｎ＋２
（式中、ｎは４〜１２の整数を示す）
　で表されるようなペルフルオロ化合物や、さらに
　（式中、ｑおよびｓは任意の整数を示す）
　等で表されるペルフルオロ化合物を用いることも可能である。これらペルフルオロ化合物は、ＳＰ値が５〜６程度、蒸発潜熱が２０ｃａｌ／ｇ程度であり、また沸点は５０℃〜２００℃程度まで各種のものがあり、上記▲１▼〜▲３▼の条件を全て満足するものである。実際の洗浄にあたっては、５０℃〜１５０℃程度の沸点を有するものが好ましい。なお、ペルフルオロ化合物は、ほとんどの有機溶剤と相溶性を示さないため、従来はパーティクルを除去するため以外の蒸気洗浄剤として使用することができなかったが、本発明においては、有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤をすすぎ洗浄剤として使用しており、これらと相溶性を示す（ＳＰ値の差が４以下）ため、蒸気洗浄剤として使用することができる。
　【００４３】
　また、上述したＩＰＡやペルフルオロ化合物等の蒸気洗浄剤は、それ単独で用いなければならないものではなく、例えばこれらの混合物として、あるいは前述した有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤、さらにはアセトン等の他の有機溶剤を配合した組成物として用いることも可能である。なお、配合する有機溶剤として、フロン系溶剤や塩素系溶剤等を必ずしも排除するものでない。これは、もちろん環境汚染の点からいえば用いない方がよいが、その全廃の途中過程としては有用である。このように、混合物を蒸気洗浄剤として使用する際には、混合するものどうしのＳＰ値や蒸発潜熱を、上記▲１▼および▲２▼の条件を満足させることが好ましい。それぞれの数値は、上述した値と同様である。また、中間的なＳＰ値や蒸発潜熱を有する有機溶剤を介在させることも有効である。
　【００４４】
　さらに、上記ペルフルオロ化合物に、前述した有機ケイ素系洗浄剤および／またはイソパラフィン系洗浄剤等の炭素数４〜３０の脂肪族炭化水素系洗浄剤と、ＩＰＡ、エタノール、メタノール、アセトン、ジオキサン等の有機溶剤とを配合した組成物は、一液にて脱脂洗浄から乾燥まで行うことが可能な、非常に有用な一液型洗浄組成物である。この一液型洗浄組成物の配合比としては、上記ペルフルオロ化合物１００重量部に対して、有機ケイ素系洗浄剤および／または脂肪族炭化水素系洗浄剤を０．０１〜１０００重量部、他の有機溶剤を０．０１〜１０００重量部とすることが好ましい。これらのより好ましい配合比は、それぞれ０．１〜１００重量部の範囲である。この一液型洗浄組成物は、脱脂洗浄力および水切り性を示し、かつ同一組成で蒸気洗浄も可能であるため、一液にて脱脂洗浄から乾燥まで行うことができる。
　【００４５】
　なお、上記洗浄装置では、水切り洗浄を対象として説明したが、使用する洗浄剤の種類を変更することによって、脱脂洗浄に使用することも可能である。
　【００４６】
　上記した洗浄装置によれば、乾燥後のワーク冷却用スペースおよび冷却時間が不必要となり、大幅な生産性の向上が達成される。また、乾燥時間を短縮できるだけではなく、一度に洗浄処理するロット内の水切り乾燥ムラもなくなり、品質も大幅に向上する。さらに、被洗浄物の洗浄ムラに起因するクラック発生による不良も皆無となり、品質水準を大幅に向上することができる。
　【００４７】
　また、上記構成の洗浄装置においては、洗浄剤として、その比重が水より小さくかつ油脂系汚れより大きいものを使用していることから、油脂層と水層の間に比重差により洗浄剤の層が入り、油脂層と水層とが直接接触することが避けられ、油脂と水とを完全に分離することが可能となり、それぞれに応じた廃棄処理を効率よく行うことが可能となる。なお、油水完全分離後、油と水をそれぞれ洗浄剤より除去するが、除去された油脂および水中に微量の洗浄剤が混入する可能性が残る。しかし、油脂中に混入した洗浄剤は、廃油焼却時に洗浄剤も容易に燃焼し、焼却することに問題は生じない。また、水中に混入した洗浄剤については、フィルタや蒸溜器等により容易に水と分離するので問題とならない。
　【００４８】
　そして、上記構成を有する洗浄装置を用いることにより、洗浄剤を効率よく、かつ有効に使用することができると共に、複数の洗浄剤の使用も可能となる。これは、洗浄剤の使用量を大幅に削減することに繋がり、ランニングコストの大幅な低減に寄与する。また、ＩＰＡ蒸気乾燥を行う場合、再生ＩＰＡ内に水分が混入することが防止され、またＩＰＡと上記水切り洗浄剤との沸点の差が大きいことから、ＩＰＡのみの蒸気洗浄が可能となる。なお、水とＩＰＡとは沸点が近いために、水分を除去することが困難であり、ウォーターマーク等の原因となっている。
　【００４９】
　次に、本発明の他の実施例について説明する。図２は、本発明の他の実施例の洗浄装置の構成を示す図である。同図に示す洗浄装置は、大別して洗浄工程Ｄと、すすぎ洗浄工程Ｅと、乾燥工程Ｆと、洗浄剤再生機構Ｇとから構成されている。第１の工程となる洗浄工程Ｄには、第１の洗浄槽２１および第２の洗浄槽２２と、液切り槽２３とが設けられている。なお、洗浄工程Ｄにおける洗浄槽は、洗浄時間や洗浄品質等によって、単槽や多槽連結槽から選択すればよく、多槽連結槽における槽数等も同様である。また、第１の洗浄槽２１や第２の洗浄槽２２には、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用され、これらにより洗浄性能がより向上される。
　【００５０】
　上記第１および第２の洗浄槽２１、２２には、前述した有機ケイ素系洗浄剤やイソパラフィン系洗浄剤等の脂肪族炭化水素系洗浄剤、およびこれらの混合物等からなる非水系基礎洗浄剤に、親水性溶剤を添加した脱脂洗浄剤Ｄ３がそれぞれ収容されている。この親水性溶剤を含む洗浄剤Ｄ３は、親水性溶剤により付与された洗浄能力によって、被洗浄物Ｘにより持ち込まれた油脂系汚れを洗浄剤Ｄ３中に溶解するものである。なお、第１の洗浄槽２１だけでは、被洗浄物Ｘに付着した汚れの溶解除去が不十分な場合に、第２の洗浄槽２２でさらに洗浄を行うようにしてもよい。
　【００５１】
　また、第１の洗浄槽２１と第２の洗浄槽２２に収容された洗浄剤Ｄ３、および液切り槽２３に持ち込まれた洗浄剤Ｄ３は、それぞれの槽に接続されたドレン配管２１ａ、２２ａ、２３ａによって、洗浄剤再生機構Ｇに送られる。また、第１の洗浄槽２１および第２の洗浄槽２２には、それぞれフィルタ２４、２５が接続されており、洗浄剤Ｄ３中の固体物、未溶解物質等が除去された後に、それぞれの槽内に還流される。上記フィルタ２４、２５は、洗浄対象の材料や内容によって種々選択されるが、例えば０．１〜２０μｍ程度のポアサイズを有するミクロポーラスなセラミックスフィルタ、ガラスフィルタ、有機高分子系のフィルタ、さらにはこれらの複合系フィルタ等が好ましく使用される。
　【００５２】
　また、第２の工程となるすすぎ洗浄工程Ｅには、第３の洗浄槽２６とシャワーリンス槽２７とが設けられている。第３の洗浄槽２６には、上記第１の工程Ｄで使用した非水系基礎洗浄剤のみの洗浄剤Ｄ４が収容されている。シャワーリンス槽２７の下方には、バッファタンク２８が設けられており、これらバッファタンク２８および第３の洗浄槽２６は、それぞれドレン配管２８ａ、２６ａにより洗浄剤再生機構Ｇと接続されている。この第３の洗浄槽２６にも、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用される。第３の洗浄槽２６内に収容された洗浄剤Ｄ４は、常時フィルタ２９を介して循環されており、このフィルタ２９によって洗浄剤Ｄ４中の固体物、未溶解物質等が除去される。
　【００５３】
　さらに、第３の工程となる乾燥工程Ｆには、蒸気洗浄（乾燥）槽３０が設けられている。この蒸気洗浄槽３０内には、蒸気洗浄剤３１例えば前述したＩＰＡやペルフルオロ化合物、さらにはこれらの混合物等の液体が収容されており、これらがヒータ３２によって加熱されて蒸気３３となる。このような蒸気洗浄槽３０においては、被洗浄物Ｘの表面で蒸気３３が結露し、液化した蒸気洗浄剤３１中に、すすぎ洗浄工程Ｅから持ち込まれた洗浄剤Ｄ４が溶け込んで洗い流される。さらに、被洗浄物Ｘは、上部の冷却チラー３４の近傍にて必要時間保持され、表面に残留付着した蒸気洗浄剤３１を揮散させ、被洗浄物Ｘの乾燥が終了する。
　【００５４】
　なお、上記洗浄装置における洗浄剤の回収・再使用の機構については、前述した実施例と同様である。
　【００５５】
　次に、前述したような洗浄装置を用いた具体的な洗浄例およびその評価結果について説明する。
　【００５６】
実施例１〜７
　まず、脱脂洗浄の例について述べる。第１の洗浄工程における洗浄剤として、オクタメチルシクロチトラシロキサン（ＳＰ値＝７）５０重量部とジエチレングリコールモノブチルエーテル（ＳＰ値＝８）５０重量部との混合物、および揮発性イソパラフィン（ＳＰ値＝７）５０重量部とジエチレングリコールモノブチルエーテル５０重量部との混合物を、また第２の洗浄工程におけるすすき洗浄剤として、オクタメチルシクロテトラシロキサンを用意した。また、蒸気洗浄剤としては、表２に示す各種のものをそれぞれ用意した。なお、表２に示した蒸気洗浄剤（比較例を含む）中の組成分のＳＰ値、蒸発潜熱および沸点は、以下の表１に示す通りである。実施例による蒸気洗浄剤は、オクタメチルシクロテトラシロキサンのＳＰ値および蒸発潜熱を考慮して選択したものである。
　【００５７】
　【表１】
　これらの洗浄剤を使用して、ロジン系フラックス・スパークルフラックスＰＯ‐Ｆ‐４６００（商品名、千住金属工業（株）製：チップ混載基板用、ＳＰ値＝約１０）を用いたプリント基板の洗浄を行った。洗浄条件は、第１の洗浄工程では４５℃、３分間超音波洗浄とし、すすぎ洗浄は２分間とした。そして、このようにして洗浄した後のプリント基板を各蒸気洗浄剤によって蒸気洗浄し、乾燥に要した時間を測定した。同様に５０℃による温風乾燥についても、乾燥時間を測定した。また、乾燥後のプリント基板表面のイオン残渣量（μｇＮａＣｌ／ｉｎｃｈ２）を、ＭＩＬ‐Ｐ‐５５１１０ＣおよびＭＩＬ‐Ｐ‐２８８０９Ａに準拠して、オメガメーター（日本アルファメタルズ（株）製）を用いて測定した。さらに、フラックスの残渣を肉眼および顕微鏡下で観察し、長径０．０５ｍｍ以上の汚れの有無を確認した。また、実用性能を総合的に判断し、極めて良好なものに◎、良好なものに○、やや甘いものに△、不良なものに×を付した。これらの結果を表２に各洗浄剤の組成比と併せて示す。
　【００５８】
　【表２】
　表２の結果から明らかなように、実施例１〜７では十分な脱脂洗浄力が得られていると共に、蒸気洗浄（乾燥）においても極めて良好な結果が得られている。これは、すすぎ洗浄剤と蒸気洗浄剤のＳＰ値の差を４〜２としたためである。これに対して、ＳＰ値の差が５以上ある各比較例では、満足な洗浄力が得られないことが分かる。
　【００５９】
実施例８〜１１
　次に、水切り洗浄の例について述べる。水切り洗浄剤として、オクタメチルシクロテトラシロキサン９９．５重量部とポリオキシエチレンオレイルエーテル（ＳＰ値＝８）０．５重量部との混合物、および揮発性イソパラフィン（ＳＰ値＝７）９９．０重量部とステアリン酸ナトリウム１．０重量部との混合物を用意した。また、蒸気洗浄剤としては、表３に示す各種のものをそれぞれ用意した。
　【００６０】
　これらの洗浄剤を使用して、ミニチュアベアリング（ステンレス製）の水切り洗浄を行った。洗浄試験は、２個のミニチュアベアリングを水に浸漬した後、常温の水切り洗浄剤中に１分間浸漬（含む揺動）し、次いで蒸気洗浄を行うことにより実施した。この後、所定量の脱水エタノール中にベアリングを移し、残留水分を吸収させ、カールフィッシャー法により定量した。そして、水分除去率を以下の式から算出した。
　【００６１】水分除去率＝（Ｂ−Ａ）／Ｂ×１００
（式中、Ａは上記カールフィッシャー法により定量した値（ｇ）、Ｂはブランク試験（水中への投入工程を除く）後の定量値（ｇ）である）
　また、乾燥後の外観を以下の基準により評価した。
　【００６２】×：目視で乾燥ジミが観察された場合。
　【００６３】○：目視で乾燥ジミが観察されなかった場合。
　【００６４】◎：さらに、走査型電子顕微鏡により５０μｍ以上のシミが観察されなかった場合。
　【００６５】
　以上の測定結果を表３に示す。
　【００６６】
　【表３】
　表３に示す測定結果から明らかなように、各実施例によれば特にすすぎ洗浄を行わなくとも、十分な水切り性が得られている。
　【００６７】
実施例１２〜１４
　次に、仕上げ洗浄（パーティクルの除去）の例について述べる。仕上げ洗浄剤として、オクタメチルシクロテトラシロキサンおよび揮発性イソパラフィンを用意した。また、蒸気洗浄剤としては表４に示す各種のものをそれぞれ用意した。これらの洗浄剤を使用して、ＣＣＤカバーガラスの仕上げ洗浄を行った。洗浄試験は、４５℃の仕上げ洗浄剤中でＣＣＤカバーガラスを超音波洗浄した後、蒸気洗浄によって乾燥仕上げを行うことにより実施した。そして、乾燥後の外観評価および表面ダスト量の測定を行った。乾燥後の外観は、上記実施例８と同様にして評価した。また、表面のダスト量（０．５μｍ以上）は、レーザー法によるパーティクルチェッカ・ＷＭ−１０００（東京光学機械（株）製）を用いて測定した。以上の測定結果を表４に示す。
　【００６８】
　【表４】
　表４に示す測定結果から明らかなように、各実施例においては十分なパーティクルコントロールが成されていることが分かる。
　【００６９】
実施例１５〜２０
　表５に示すように、揮発性イソパラフィンに各種の有機溶剤を添加して脱脂洗浄剤を調製した。また、すすぎ洗浄剤として揮発性イソパラフィンを用意した。これらの洗浄剤を用いて、実施例１と同様にしてフラックス付きプリント基板の洗浄を行い、５０℃の温風乾燥による乾燥評価を実施例１と同様にして行った。また、鋼板上にスピンドル油を塗布し、１５０℃の加熱炉で４８時間の焼き付けを行って、試験片を作製した。この試験片に付着した油脂の洗浄（超音波洗浄）を、上記脱脂洗浄剤を用いて行い、その洗浄に要した時間を測定した。数値が小さいほど、洗浄力が高いことを示す。それらの結果を表５に示す。
　【００７０】
　【表５】
　表５から明らかなように、イソパラフィンを主成分とする洗浄剤で洗浄した後、揮発性イソパラフィンによりリンスした場合（実施例１５〜１８）には、温風により短時間で乾燥を行うことができた。また、イオン残渣も低く、白色残渣も見られなかった。さらに、油脂洗浄速度も速く、洗浄性能の点ではフロン１１３／エタン共沸系と同等以上の性能を示した。また、ケロシンやｎ‐デカン等の直鎖状パラフィンを用いて、洗浄、リンスを行った場合（実施例１９，２０）、温風による乾燥性はアルキルベンゼンを用いた例より良好であった。これに対し、イソプロピルベンゼン、ジアミルベンゼン等のアルキルベンゼンを用いて、洗浄、リンスを行った場合（比較例７，８）では、温風による乾燥性が悪く、あるいは３０分での乾燥は不可であった。このため、イオン残渣も多く、洗浄しきれずに残留したフラックス成分（白色残渣）も多く見られた。
　【００７１】
実施例２１〜２２
　揮発性イソパラフィンを仕上げ洗浄剤として用いて、実施例１２と同様にしてＣＣＤカバーガラスの仕上げ洗浄を行い、実施例１２と同様にして洗浄特性および乾燥特性を評価した。なお、乾燥は５０℃の温風乾燥とした。その結果を表６に示す。
　【００７２】
　【表６】
　表６から明らかなように、揮発性イソパラフィンやｎ‐デカンを用いた仕上げ洗浄では、洗浄後に乾燥ジミもなく、ダストに関してもフロン１１３と同等の洗浄性を示した。これに対し、各比較例では乾燥性が低いために、乾燥ジミが多く見られ、また乾燥中に付着したダスト量も非常に多くなっていた。
　【００７３】
実施例２３〜２８
　表７に示す脱脂洗浄剤、すすぎ洗浄剤、蒸気洗浄剤をそれぞれ用いて、実施例１と同様にしてフラックス付きプリント基板の洗浄を行い、実施例１と同様にして洗浄特性および乾燥特性を評価した。なお、脱脂洗浄およびすすぎ洗浄の条件は、４５℃、５分間超音波洗浄とした。その結果を表７に示す。
　【００７４】
　【表７】
　表７から明らかなように、イソパラフィンを主成分とする洗浄剤と蒸気洗浄剤を用いて基板洗浄を行った結果、１５秒〜２０秒で乾燥可能で、イオン残渣も少なく、残留フラックス（白色残渣）も見られなかった。そして、フロン１１３／エタノール共沸系と同等もしくはそれ以上の性能を示した。また、ケロシンやｎ‐デカンを主成分とする洗浄剤と蒸気洗浄剤を用いて基板洗浄を行った場合には、比較例に比べて良好な乾燥特性や乾燥時間の短縮等の効果が得られた。
　【００７５】
実施例２９〜３２
　表８に示す水切り洗浄剤および蒸気洗浄剤を用いて、実施例８と同様にしてミニチュアベアリングの水切り洗浄を行い、実施例８と同様にして洗浄特性および乾燥特性を評価した。なお、水切り洗浄は、４５℃での浸漬揺動を１分間行った。その結果を表８に示す。
　【００７６】
　【表８】
　表８から明らかなように、揮発性イソパラフィンを主成分とする水切り洗浄剤を用いた水切りでは、蒸気乾燥後の外観に問題はなく、水分除去率もフロン１１３／界面活性剤系と同等以上の値を示した。また、ｎ‐デカンを主成分とする水切り洗浄剤を用いた場合には、比較例より良好な水分除去率が得られた。これに対して、アルキルベンゼンを用いた場合には、十分に水分を除去することができず、このため、水分残留、乾燥ジミが多く見られた。
　【００７７】
実施例３３〜３６
　表９に示す仕上げ洗浄剤および蒸気洗浄剤を用いて、実施例１２と同様にしてＣＣＤカバーガラスの仕上げ洗浄を行い、実施例１２と同様にして洗浄特性および乾燥特性を評価した。その結果を表９に示す。
　【００７８】
　【表９】
実施例３７
　第１の洗浄工程における洗浄剤として、ヘキサメチルジシロキサン（ＳＰ値＝７）５０重量部とエタノール（ＳＰ値＝１３）５０重量部との混合物を、また第２の洗浄工程におけるすすぎ洗浄剤として、オクタメチルシクロテトラシロキサンを用意した。また、蒸気洗浄剤としては、Ｃ８Ｆ１８を用意した。これらを用いて、実施例１と同様にして洗浄特性および乾燥特性を評価したところ、実施例１と同様な良好な結果が得られた。
　【００７９】
　この実施例における洗浄剤、すなわちヘキサメチルジシロキサンとエタノールとは、ＳＰ値が５以上であるが、極性基の相互作用によって相溶性を示すために、上記したような結果が得られたものである。
　【００８０】
実施例３８
　ペルフルオロ化合物としてＣ６Ｆ１４１００重量部に、有機ケイ素系洗浄剤としてヘキサメチルジシロキサンを２５重量部、および有機溶剤としてアセトンを３重量部配合し、一液型洗浄剤を調製した。一方、鋼板にシリコーン系プレス油ＹＦ３３（商品名、東芝シリコーン（株）製）を塗布し、１００℃で焼き付けたものを試料片として用意した。そして、この試料片を上記一液型洗浄剤を用いて洗浄した。洗浄条件は、４０℃、３分間超音波洗浄とし、この後、同一洗浄剤で蒸気洗浄を施した。
　【００８１】
　このようにして洗浄した鋼板表面をＡＴＩＲで分析したところ、シリコーンに相当するピークは出現せず、シリコーン残渣は存在しないことを確認した。
　【００８２】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の洗浄方法によれば、従来から使用されているフロン系に匹敵する脱脂洗浄性や水置換性、さらには乾燥性が得られると共に、環境破壊や環境汚染の心配がないことから、各種の問題を抱えるフロン系溶剤等を用いた洗浄方法の代替洗浄法として有用である。また、被洗浄物から除去した水や汚れ物質を効率よく廃棄することが可能となるため、洗浄の省資源化等にも大きく寄与する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の一実施例の洗浄装置の構成を模式的に示す図である。
　【図２】　本発明の他の実施例の洗浄装置の構成を模式的に示す図である。
　【符号の説明】
　Ａ……洗浄・水置換工程
　Ｂ……清浄化・水切り工程
　Ｃ、Ｇ……洗浄剤再生機構
　Ｄ……洗浄工程
　Ｅ……すすぎ洗浄工程
　Ｆ……乾燥工程
　１、２、７、２１、２２、２６……洗浄槽
　８、２７……シャワーリンス槽
　３０……蒸気洗浄（乾燥）槽
　３１……蒸気洗浄剤
　Ｄ１……水切り洗浄剤
　Ｄ２、Ｄ４……非水系基礎洗浄剤のみの洗浄剤
　Ｄ３……脱脂洗浄剤