【事件の表示】
　特許第３１５１１００号「Ｆｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１５１１００号の訂正後の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３１５１１００号の手続きの経緯は次のとおりである。
　特許出願　　　平成　６年　１月１４日
　設定登録　　　平成１３年　１月１９日 　
　公報発行　　　平成１３年　４月　３日
　特許異議申立　平成１３年１０月　２日他２件
　取消理由通知　平成１４年　１月　７日付
　訂正請求　　　平成１４年　３月１９日
　異議意見書　　平成１４年　３月１９日
　
２．訂正の適否
２−１．訂正の要旨
・訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１中の不可避的不純物について、「Ｃ:０．０１ｗｔ％以下、Ｓi:０．０１ｗｔ％以下」を加入する。
・訂正事項ｂ：特許請求の範囲の請求項１中の「Ｍｎ含有量をＳ含有量の５倍以上とし」を「Ｍｎ含有量をＳ含有量の５倍以上で１５倍以下とし」と訂正する。
・訂正事項ｃ：特許請求の範囲の請求項１において「ＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０．０５％以下である」を加入する。
・訂正事項ｄ：特許請求の範囲の請求項２を削除する
・訂正事項ｅ：特許請求の範囲の請求項３を削除する
・訂正事項ｆ：明細書中の段落【０００７】第４行の「５ｗｔ％以下」の後に「、Ｃ:０．０ｌｗｔ％以下、Ｓi:０．０１ｗｔ％以下」を加入し、かつ段落【０００７】第５〜６行の「また、不可避的不純物において、Ｃ:０．０１ｗｔ％以下そしてＳi０．０１ｗｔ％以下とし、」を削除し、段落【０００８】第４〜５行の「一層好ましい態様において、」を削除する。
・訂正事項ｇ：明細書中の段落【０００６】下から第２行の「５倍以上」及び「することにより、」の後に、「で１５倍以下」及び「エッチファクターが大きく、」をそれぞれ加入する。
　また、明細書中の段落【０００７】第４行の「５倍以上」の後に「で１５倍以下」を加入する。更に、明細書中の段落【００１０】第９〜１０行の「５×Ｓ含有量≦Ｍｎ含有量≦０．０５ｗｔ％」を「５×Ｓ含有量≦Ｍｎ含有量≦１５×Ｓ含有量、かつＭｎ含有量≦０．０５ｗｔ％」と訂正し、なお更に、明細書中の段落【００１１】第３行の「５倍以上」の後に「で１５倍以下」を加入する。
・訂正事項ｈ：明細書中の段落【０００７】第４行の「とした」を「とし、ＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０．０５％以下である」と訂正し、かつ段落【０００７】第６〜８行の「またＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０.０５％以下であることが好ましい。」を削除する。
　
　２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否     
　訂正事項ａ及びｃは、旧請求項２及び３に記載されていた事項であり、訂正事項ｂの「１５倍以下」は、特許明細書段落【００１７】表１の「Ｍｎ含有量／Ｓ含有量」欄における本発明実施例の結果の数値に基づくもので、「１５」の数値は本発明実施例中もっとも高い値を示す試料Ｎｏ．５に拠るものである。
　そして、訂正事項ａ〜ｃは、特許請求の範囲の滅縮を目的とする訂正である。
　訂正事項ｄ、ｅは、旧請求項２，３を削除するもので、特許請求の範囲の滅縮を目的とする訂正である。
　訂正事項ｆは訂正事項ａに伴い、訂正事項ｇは訂正事項ｂに伴い、そして、訂正事項ｈは訂正事項ｃに伴い、各特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正である。
　そして、これら訂正事項ａ〜ｈは、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではなく、また、特許明細書に記載した事項の範囲内においてなされるものである。
　
２−３．訂正の適否についての結論
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
３−１．訂正後の本件請求項１に係る発明
　Ｎｉ:30〜50ｗｔ％を含有し、残部がＭｎとＦｅおよび不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎi系合金シャドウマスク用素材において、Ｍｎを0.05％ｗｔ以下そして不可避的不純物においてＳ:0.005ｗｔ％以下、Ｃ:0.01ｗｔ％以下、Ｓｉ:0.01ｗｔ％以下に規制し、かつＭｎ含有量をＳ含有量の５倍以上で１５倍以下とし、ＪＩＳ　Ｇ　0555に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が0.05％以下であることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材。
　
３−２．異議申立ての理由及び取消し理由
　本件請求項に記載の発明は、各特許異議申立人の提示した甲各号証に記載されている、或いは、甲各号証等に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項に記載の発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号或いは同第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　また、日立金属が提示した甲第２号証の先願明細書に記載された発明と同一であるから、本件請求項に記載の発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである。
　よって、本件特許は取り消されるべきものである。
　
３−３．各甲号証及び参考資料に記載の事項
◎福島一郎甲第１号証（＝日立金属甲第１号証）：特開平５−１９５１６０号公報
　【特許請求の範囲】の【請求項１】に、「ｗｔ％で、Ni:３４〜３８％、H:１ｐｐｍ以下、Mn:０.３５％以下、Al:０.０２％以下、Ｓi:０.０５％以下、Ｃｒ:０.０５％以下、Ti:0.０２％以下であって、〔Ti〕＋〔Cr〕＋〔Al〕＋〔Si〕≦０.１０％であり、Mo:０.０５％以下、W:０.０２％以下、Ｎｂ:０.０２％以下、Ｖ:０.０２％以下、Ｃｕ:０.０２％以下を含有し、残部不可避不純物およびＦｅの成分組成からなり、しかもその合金鋼帯の黒化処理直前における合金板表面への｛２１０｝結晶面集積度が１６％以下であることを特徴とする黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎi合金。」が示され、
　段落００２１に、「Ｍｎは高い黒色度を有する黒化膜の形成のためには有害な元素であり、低減することが好ましい。・・Ｍｎ量は０．３５％以下で低ければ、低いほど黒色度は高まり、熱輻射率も高くすることができる。」、
　段落００３９〜００４１に、この発明の実施例として、「取鍋精錬によって、表１および表２に示した化学成分を有するＮｏ．ｌ〜２６からなる鋼塊をそれぞれ調整した」旨記載されている。
　そして、表１および２によれば、合金Ｎｏ．ｌは次の組成である。
Ｎi＝３５．７％、Ｍｎ＝０.０４％、Ｓi＝０．００５％、Ｃ＝０．００２０％、Ｓ＝０.０００３％
　
◎福島一郎甲第２号証（＝日新製鋼甲第１号証）：特開平５−２０２４９０号公報
　特許請求の範囲に「ＦｅおよびＮiを主成分とするＦｅ−Ｎi系インバ−合金からなり、しかも合金表面への｛３３１｝、｛２１０｝、｛２１１｝の各結晶面の集積度がそれぞれ下表の値を示し、かつそれらの比率｛２１０｝／［｛３３１｝＋｛２１１｝］が０．２〜１．０であることを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板。」が記載され、
　実施例として「取鋼精錬によって表２に示す化学成分を有する合金の鋼塊を得た。これらの鋼塊を手入れ後、分塊圧延、表面疵取り、熱間圧延（加熱は１１００℃×３ｈｒ）を経た熱延鋼帯を採用した。」（段落００２９）と記載され、
　表２に示されている合金の内、合金符号Ｃの組成はＮｉ：３６．４％，Ｍｎ：０．０５％、Ｓ:０．００１８％、Ｃ:０．００４７％、Ｓi:０.０５％であること（段落００３０の表２参照）が記載されている。
　
◎福島一郎甲第３号証:National　Technical　Report　vol.28　Nｏ.6　P.85〜95（昭和57年12月18日松下電器産業株式会社技術本部発行）
　シャドウマスク用材料新アルミキルド鋼という表題において、
　８８頁右欄３１行〜８９頁左欄２行に、「４）介在物が少ないこと　原板エッチング工程では、シャドウマスク用材料を、現像、バーニング処理後、塩化第二鉄液のスプレー噴射によってエッチングされる。このとき、介在物が穿孔部にあると、塩化第二鉄に対する腐食速度が地鉄のフェライト粒と異なることになり、原板エッチング後の孔の形状が第５図に示すようにひずんで致命的な欠陥となる。・・原板エッチングでの穿孔時にエッチングされにくい炭化物が穿孔後の孔の周囲に凸状に残存するが、このことは孔の寸法制度が厳しく要求されるシャドウマスクにとっては重大な品質欠陥になる。また、硫黄も少なくした方が望ましく、０．０２５％を越えるとＭｎＳ介在物が増えて穿孔品質が低下する。いずれにしても、介在物の少ない材料が必須である。」と記載されている。
　また、９３頁左欄４行〜同欄２４行に「４．１化学組成と介在物　従来のリムド鋼は、銑鋼工程で完全脱炭焼鈍をしていないために炭素が０．０６〜０．０８％と多い。・・・・清浄度が０．３０〜０．４０％と悪い。このため、シャドウマスクの原板エッチング工程での穿孔時に介在物が露出し、ガザ孔が生じて穿孔品質を低下させていた。．．．これに対して新アルミキルド鋼は、銑鋼工程で完全脱炭焼鈍しているために炭素が０．００３以下で従来のリムド鋼の約１／３０である。また、Ｓｏｌ．Ａｌを０．０１０〜０．１２０％と多くして出鋼時に完全脱酸しているので酸化物系の介在物が従来のリムド鋼の１／５〜１／１０と少なくなり、清浄度が０．０３〜０．１０％と従来のリムド鋼の１／４〜１／１０に良化した。このため、シャドウマスク材の原版エッチング工程での穿孔品質を大幅に向上することができた。」と記載されている。そして、欄外に註として清浄度はＪＩＳＧ０５５５の点算法により測定と記載されている。
　
◎福島一郎甲第４号証（＝日新製鋼甲第５号証）：特開昭６１−８４３５６号公報
　特許請求の範囲に、「冷間圧延によって製造される板厚０．０２０〜０．４０ｍｍの鉄−ニッケル−鉄合金よりなるエッチング加工用素材において、該素材中の炭素含有量が０．０１％以下であり、且つＪＩＳＧ０５５５によって規定される断面清浄度０．０１７％以下であることを特徴とする微細エッチング加工用素材。」が記載され、
　１頁左欄の産業上の利用分野には「本発明は微細エッチング加工用素材に係り、更に詳しくは高精細シャドウマスクなどの微細エッチング加工用素材に関する」と記載され、
　２頁右下欄には「次に本発明においてＪＩＳＧ０５５５によって規定される断面清浄度を０．０７％以下とすることにより、素材中の非金属介在物の存在が実質的に微細加工の障害とならない程度に迄、素材中の非金属介在物個数が減少せしめられるものである。」と記載されている。
　そして、第４表には実施例１としてＮｉが３５．７％、Ｃが０．００４％の断面清浄度が０．００４％のニッケル−鉄合金よりなる素材がエッチング速度１．２８でエッチング状態が良好で、不良率が０であることが示されている。
　
◎福島一郎甲第５号証（＝日立金属甲第３号証）：特開昭６２−２８４０４０号公報
　特許請求の範囲に、「ＪＩＳ　Ｇ　０５５５で規定する方法で測定した清浄度が０．０７％以下であることを特徴とするシャドウマスク用アンバー合金」と記載され、実施例では３６％Ｎi−Ｆｅ合金板につき、ＪＩＳ Ｇ０５５５に準拠した方法で清浄度を測定した値として０．０２％のものが示されている。
　
◎甲第６号証：特開昭６２−２８４０４１号公報
　特許請求の範囲第２項に、「原板表面における非金属介在物の存在量はＪＩＳＧ０５５５で規定する方法で測定した清浄度が０．０１％以下であり、原板中心部における清浄度が０．０３％以下である特許請求の範囲第１項記載のシャトウマスク用アンバー合金原板。」と記載されている。
　
◎福島一郎甲第７号証：特開昭５９−１１０７３１号公報
　特許請求の範囲に、「Ｃ:０．００３０重量％以下、Ｍｎ：０．ｌ〜０．２重量％、ｓｏｌＡｌ：０．０１〜０．１０重量％、Ｎ：０．００３０重量％以下および、Ｓ:０.０２重量％以下でかつＭｎ／Ｓ≧１０を満足する範囲において含有し、残部実質的にＦｅの組成になる極低炭Ａｌキルド鋼熱圧延を、常法に従って酸洗ついで一次冷間圧延したのち、再結晶温度以上、８００℃以下の温度範囲で連続焼鈍し、しかるのち圧下率３５％以下での二次冷間圧延を施すことを特徴とするシャドウマスク原板の製造方法」と記載され、
　３頁左上欄４〜５行に、Ｍｎは、Ｓによる脆化を防止するためＭｎ／Ｓ≧１０必要である」と記載されている。
　
◎福島一郎甲第８号証（＝日新製鋼甲第４号証）：特開昭６０−２５５９５３号公報
　特許請求の範囲第１項に、「Ｎi３８〜５５ｗｔ％、Ｓi ０．０５〜０．５０ｗｔ％、Ｃ０．０５ｗｔ％以下、Ｍｎ０．０５〜１．００ｗｔ％、Ｓ０．００３〜０.０２５ｗｔ％、但し、Ｍｎ／Ｓ≧１０、Ｏ１００ｐｐｍ以下、Ｎ５０ｐｐｍ以下、を含有し、残部はＦｅ及び不可避的不純物からなり、３μｍ以下の微細非金属介在物が、組織内に均一に分散することを特徴とする打抜性の良好なるＦｅ−Ｎｉ系封着合金」と記載され、
　３頁左上欄に、「Ｍｎ／Ｓは、組織内にＭｎと含有しないＳを残存させて熱間加工性を低下させ、かつ割れ疵等の欠陥が発生し易くなるのを防止するために限定する必要があり、Ｍｎ／Ｓ≧１０とする必要がある。」と記載されている。
　
◎福島一郎甲第９号証：特開昭６３一２３１８４４号公報
　高精細度シャドウマスクについての発明が開示されており、その中に、０.０１％以下の清浄度を有するＦｅ−Ｎｉ系合金鋼板から製造された穿孔ピッチ０.５ｍｍ以下の高精細度シャドウマスクが記載されている。（２頁右上欄１〜１０行参照）
　
◎福島参考資料１　ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ　ＯＮ　ＥＬＥＣＴＲＯＮ　ＤＥＶＩＣＥ、ＶＯＬ．３５、Ｎｏ.ｌ０．　ＯＣＴＯＢＥＲ　１７２１〜１７２９頁（１９８８年）
　圧延面に（１００）面が配列され、圧延面に集積した（１００）面がエッチングを容易にすると記載されいる。
　
◎福島参考資料２：特開平５−１４０６９８号公報
　圧延面の｛１００｝方位集積度が７０〜９５％である高精度シャドウマスク材料が記載されている。
　
◎日立金属甲第２号証：特願平５−６２４４３号（特開平６−５７３８３号公報参照）
　特許請求の範囲に、「wt%で、Ｎｉ：３４〜３８％、Ｍｎ：０．３５以下、Ｓｉ：０．０６％以下、・・を含有し、残部不可避不純物およびＦｅの成分組成からなり、しかも、黒化処理後の合金板表面への・・・結晶面の集積度が・・であることを特徴とする磁気特性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板。」が記載され、表７，表８［第６頁右欄第２７〜３０行，第７〜８頁］に合金の成分組成が示されている。
　
◎日立金属参考資料１：シャドウマスク［特殊鋼、第３９巻第５号（１９９０），ｐ２８〜３１］
　実際に使用されるアンバー（Ｆｅ−３６％Ｎi）合金シャドウマスク用素材に求められる条件が記載され、介在物については、エッチング（孔形状）に対して影響を及ぼすことから、極力少なくする必要があることが記載されている。
　
◎日立金属参考資料２：特開平５−１４０６９８号公報
　エッチング処理に供されるＦｅ−Ｎi系シャドウマスク用材料が示され、エッチングファクタの向上手段として、｛１１１｝，｛１００｝，｛１１０｝，｛３１１｝方位のＸ線回折での相対強度を用いて計算される圧延面の｛１００｝方位の集積度を７０〜９５％に調整する技術が記載されている。
　
◎日新製鋼甲第２号証：特開平５−１８６８５３号公報）
　熱膨張の小さいシャドウマスク用アンバー合金に関し、第３頁にＭｎは添加量が小さい場合にはほとんど熱膨張係数が増加しないが、０．２％を超えると大きく増加し始めるので、０．２％以下とすると記載され、４頁の表１には、Ｃ含有量が0.01％以下のもの，Ｓi含有量が0.01％のもの,Ｍｎ含有量が0.05％以下のものが種々示されている。
  　
◎日新製鋼甲第３号証：特開平２−４３３４５号公報
　Ｎiを３９〜４１％未満含有し、Ｓを５０ｐｐｍ（0.005％）以下に抑えたＦｅ−Ｎi系合金が記載され、３頁右上欄４〜６行に「Ｓ成分を５０ｐｐｍ以下としたのは、５０ｐｐｍを越えると熱間加工性改善のためにＭｎの添加量を増加させる必要が生じ、」と記載されている。
（以下、各異議申立人の甲各号証及び参考資料を、各福島甲１・・、日立甲１・・、日新甲１・・等という。）
　
３−４．判断
３−４−１．本件請求項１に記載の発明（以下、本件発明という。）は、これまでのＦｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ系合金に代表されるＦｅ−Ｎｉ系合金のエッチング穿孔性を高精度化に充分対応しうるまでに大幅に改善し得るシャドウマスク用素材を提供すること（本件明細書段落０００５）を目的とし、該合金中のＭｎ含有量が０．０５ｗｔ％を境にエッチファクターへのＭｎの影響度が大きく変化する（同段落０００６）という知見を基礎に、上記課題解決手段として具体的には上記請求項１に記載の構成を採用したものである。
　即ち、本件発明は、Ｍｎ含有量を従来よりも低め０．０５％以下に管理し、同時にＭｎ量とＳ量との相関関係Ｍｎ／Ｓの比を５〜１５に定め、更にＳ量、Ｃ量、Ｓｉ量を規制し、酸化物系介在物の断面清浄度を規定したものである。
　
３−４−２．特許法第２９条第１項及び第２項について
  福島甲１（日立甲１）には、Ｎｉを３４〜３８％含有するＦｅ−Ｎｉ系合金からなるシャドウマスク用素材が示されており、これは、本件発明と同様にＭｎ成分量の上限を規定しており、特に表１，２の合金Ｎｏ．１は、Ｍｎ量が本件で規定する０．０５％以下の０．０４％であり、Ｓ、Ｃ、Ｓｉの各量も本件規定値を満足しているが、該甲１の発明は黒化膜形成の点からＭｎ含有量を０．３５％以下に低減させるものであって、本件発明のようにエッチング穿孔性の点からＭｎ量が検討されたものではない。
　そして、本件発明は、エッチング穿孔性を改善するために、合金中の各成分の含有量を規定するだけでなく、上記のようにＭｎ含有量とＳ含有量との相関関係であるＭｎ／Ｓ比の値をも定めたのであるが、該甲１には、この点の技術上の認識がなく、甲１の合金Ｎｏ．１のＭｎ／Ｓ比の値は１３３であり、本件の比の規定の上限値１５をはるかに超えている。また、甲１の表１，２に示される具体例にも本件で規定する各成分含有量とＭｎ／Ｓ比の値を満足するものはみいだせない。
　したがって、甲１に本件発明が記載されているとも、また、甲１に記載の事項に基づいて当業者が容易に本件を発明することができたということもできない。
　
　次に、福島甲２（日新甲１）に記載のシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎi系インバ−合金金属薄板の発明は、本件発明と同様にエッチング穿孔性の向上を目的としており、実施例として示される表３にエッチング穿孔性を表すエッチングファクターの値が示されているが、甲２の技術は特定結晶面の集積度を規定することにより、エッチング穿孔性を向上させるものであり、本件発明のようにＦｅ−Ｎｉ合金中のＭｎ、Ｓ、Ｃ，Ｓｉ成分の規定と、酸化物系介在物の断面清浄度と、さらに合金中のＭｎとＳという特定成分の比の調整により上記目的を達成するものとは技術思想が異なる。
　そして、本件発明の合金の成分組成に一番近い甲２合金符号ＣのＭｎ／Ｓ比の値は２８程度であり、本件発明の比の上限規定１５を超えている。　したがって、両者は同一の発明ではなく、また、上記のように課題解決手段が異なるから、その技術的示唆のない甲２記載の事項に基づいて当業者が容易に本件発明を想到し得たとはいえない。
　
　福島甲３には、炭化物やＭｎＳ系介在物或いは酸化物系の介在物を少なくして清浄度を高めるとエッチング工程での穿孔品質が高まる旨記載され、材料の清浄度とエッチング性との関係について述べられているが、これは材料基体がアルミキルド鋼に関する記述であって、本件発明が対象とするＦｅ−Ｎｉ系合金とは異なる。
　しかして、材料基体が異なれば、そのエッチング特性も多少異なってくるものと考えられる。例えば、甲３では、エッチング性のためには、Ｓも少なくした方が望ましい（P.88右欄下１行）との示唆があるが、本件発明では、Ｓは含有量が増えるにつれてエッチングファクターを大きくする（第００１０段落の（４））と記載され、各元素の含有量とエッチファクターの変化率との関係を示す図１にも、その傾向が表されており、各成分の作用は材料基体により異なり、一律にいうことはできない。
　また、本件発明で規定する、該合金中の所定値以下のＭｎ量及びその場合のＭｎとＳという特定成分の比の調整に関しては何ら示唆するところはない。
　したがって、Ｆｅ−Ｎｉ系合金中のＭｎ量を本件程度に低くした場合におけるエッチング作用とＭｎ、Ｓとの関係を見出し、これを本件発明のように規定する構成を採用することは当業者といえども容易なことではない。
　
　次に、福島甲４（日新甲５）、福島甲５（日立甲３）、福島甲６及び福島甲９は、鉄−ニッケル合金よりなる高精細シャドウマスクなどの微細エッチング加工用素材に関し、清浄度を高めることによりエッチング特性が向上することが記載されているが、Ｆｅ−Ｎｉ合金中のＭｎ、Ｓ等の含有量、及び、ＭｎとＳという特定２成分の比の調整に関しては何ら示唆するところはない。
　福島甲７には、Ｍｎ０．ｌ〜０．２重量％含有するアルミキルド鋼シャドウマスク原板の製造において、Ｍｎ／Ｓ比を１０以上にすることが記載されているが、これはＳによる脆化防止のための下限の規定にとどまり、本件合金のエッチング特性の点からその上限の値を１５に定めることは何ら示唆していない。
　
　福島甲８（日新甲４）はリードフレーム用のＦｅ−Ｎｉ合金に関するものであり、熱間加工性の観点からＭｎ／Ｓ比の下限を定めたことは本件と共通するが、エッチング特性の点からＭｎ／Ｓ比の上限値を定める必要があることの技術的示唆はみいだせない。
　
　日新甲２には、シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉアンバー合金において、Ｍｎ、Ｃ、Ｓｉの含有量が本件規定を満足するものがみられ、また、日新甲３には、Ｆｅ−Ｎi系合金をリードフレーム材に使用する場合のＳ含有量を熱間加工性の観点から低く規定した記載が認められるが、該甲２、甲３には、本件発明が特徴とするＳ含有量と並んで適正な数値範囲のＭｎ／Ｓの比については何ら述べられておらず、その技術的示唆もみいだせない。
　
　なお、福島参考資料１，２には、特定結晶面の集積度とエッチング特性に関する記載がみられるのみで、本件特定成分の比に関する記載はみいだせない。
　日立参考１は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金がマスク材に使用され、エッチング性に対しては介在物を極力少なくすることが、そして、日立参考２には、良好なエッチングファクターのために特定面の集積度を定め、成分に関しては、Ｓの含有量を特定値以下にして熱間加工性とエッチング性を両立させることが記載されるのみであり、本件発明のように、所定量のＭｎ含有量及びＭｎ、Ｓ特定元素の量的関係については何ら示唆するところがない。
　
　以上要するに、通常、Ｓは熱間加工性の点から敬遠される成分であり、Ｓの害を無くするためにＭｎ／Ｓ比の下限値は甲各号証に示されるように規定されているが、本件発明では、該Ｆｅ−Ｎｉ系合金においてはＳがエッチング特性に有効（段落００１０と図１参照）という認識も含めて、Ｍｎ量低減域でのＭｎ／Ｓの比の上限値を規定したものである。
　このＭｎ／Ｓの比の上限規定に技術的意義があることは、本件明細書に記載の実施例表１に示されるＭｎ／Ｓ比の値とエッチングファクターの数値を示す実績データから裏付けられている。
　したがって、該系合金中のＭｎ量を本件発明程度に低くした場合における、エッチング作用と、Ｍｎ、Ｓとの量的関係を見出し、これを本件発明のように規定することは有意な構成である。
　しかして、各異議申立人が提示した各刊行物には、該系合金におけるエッチング性改善技術及び種々の成分組成からなる合金が例示されてはいるが、エッチング性と、該系合金中のＭｎ及びＳの含有量との関係は記載されおらず、これを示唆するところもないから、各刊行物の記載に基づいて本件発明の構成、即ち、合金中の成分と含有量等の規定に加えて、さらに、Ｍｎ／Ｓ比の適正範囲、特にその上限値を１５と規定することの技術的意義を各刊行物記載の事項から予測することは困難なことと認められる。
　したがって、異議申立人が提示した各刊行物に記載される事項を併せ考慮しても、本件発明を容易に想到できるものではない。
  また、上記各刊行物に本件発明の構成を満足するＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材もみあたらないから、各刊行物に本件発明が記載されているということもできない。
　
３−４−３．特許法第２９条の２について
　日立金属の甲第２号証である特願平５−６２４４３号（特開平０６−０５７３８３号公報参照。以下、これを先願明細書という。）に記載の発明は、磁気特性、特に５０Ｈｚ以上の周波数帯域での透磁率に優れ、迷走磁場遮蔽（シールド）を十分に行うことができるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎi合金薄板を提供するもので、合金中のＭｎ量について、Ｍｎは熱間加工性を向上させるが、含有量が多くなると、５０Ｈｚ以上の周波数での透磁率が低下するので、その上限を０．３５％以下とすると記載されるのみで、ＭｎとＳの相関関係について下限だけでなく上限も定める必要があることは何ら述べられていない。
  そして、先願発明の具体例を示す表７、表８の材料についても本件規定を満足するものはみいだせない。例えば、合金の化学組成について、先願発明のＮｏ．９やＮｏ．２０中のＭｎ量は各０．０５％、０．０１％であり、他のＳ、Ｃ、Ｓｉ等の成分についても本件の規定を満足するものの、Ｍｎ／Ｓの比が各４５，３３程度であり、本件発明の規定値範囲５〜１５を超えている。
　よって、本件発明と先願明細書に記載された発明は同一とはいえない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由によっては、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件上記請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年５月１７日（２００２．５．１７）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
・訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１中の不可避的不純物について、「Ｃ：０．０１ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０１ｗｔ％以下」を加入する。
・訂正事項ｂ：特許請求の範囲の請求項１中の「Ｍｎ含有量をＳ含有量の５倍以上とし」を「Ｍｎ含有量をＳ含有量の５倍以上で１５倍以下とし」と訂正する。
・訂正事項ｃ：特許請求の範囲の請求項１において「ＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０．０５％以下である」を加入する。
・訂正事項ｄ：特許請求の範囲の請求項２を削除する
・訂正事項ｅ：特許請求の範囲の請求項３を削除する
・訂正事項ｆ：明細書中の段落【０００７】第４行の「５ｗｔ％以下」の後に「、Ｃ：０．０ｌｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０１ｗｔ％以下」を加入し、かつ段落【０００７】第５〜６行の「また、不可避的不純物において、Ｃ：０．０１ｗｔ％以下そしてＳｉ０．０１ｗｔ％以下とし、」を削除し、段落【０００８】第４〜５行の「一層好ましい態様において、」を削除する。
・訂正事項ｇ：明細書中の段落【０００６】下から第２行の「５倍以上」及び「することにより、」の後に、「で１５倍以下」及び「エッチファクターが大きく、」をそれぞれ加入する。
　また、明細書中の段落【０００７】第４行の「５倍以上」の後に「で１５倍以下」を加入する。更に、明細書中の段落【００１０】第９〜１０行の「５×Ｓ含有量≦Ｍｎ含有量≦０．０５ｗｔ％」を「５×Ｓ含有量≦Ｍｎ含有量≦１５×Ｓ含有量、かつＭｎ含有量≦０．０５ｗｔ％」と訂正し、なお更に、明細書中の段落【００１１】第３行の「５倍以上」の後に「で１５倍以下」を加入する。
・訂正事項ｈ：明細書中の段落【０００７】第４行の「とした」を「とし、ＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０．０５％以下である」と訂正し、かつ段落【０００７】第６〜８行の「またＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０．０５％以下であることが好ましい。」を削除する。
（５４）【発明の名称】
Ｆｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項
１
ｗｔ
以下、Ｃ：０．０１ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０１ｗｔ％
で１５倍以下とし、ＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される方法で測定した酸化物系介在物の断面清浄度が０．０５％以下である
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、カラーテレビブラウン管に用いられるＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材に関するものであり、特にはエッチング穿孔性に優れるＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　カラーテレビジョン受像管には色選別用電極としてシャドウマスクが使用されている。このシャドウマスク用材料として、最近では低熱膨張特性を有する３０〜５０ｗｔ％Ｎｉを含有するＦｅ−Ｎｉ系合金、特にはＦｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ系合金が使用されることが多くなっている。これは、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の場合、従来用いられていた低炭素アルミキルド鋼に比べて、電子ビームがシャドウマスクの開孔部以外の表面に射突することによるシャドウマスクの温度上昇にともなう熱膨張が小さいため、色純度の低下が小さいためである。
　【０００３】
　しかしながら、このＦｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ系合金に代表されるＦｅ−Ｎｉ系合金は、低炭素アルミキルド鋼に比べてエッチング穿孔性に劣るということが問題となっている。特に、シャドウマスクの開孔部が高精細化するほど、シャドウマスクの板厚方向のエッチング速度と圧延面に平行なエッチング速度の比を表すエッチファクターと呼ばれる値の大きな素材が必要となり、エッチング穿孔性の一層良好な素材の開発が望まれている。なお、上述のエッチファクターＥＦは、図３に示されるように、ＥＦ＝ｄ／ＳＥで定義される。ここでｄはエッチング深さでありそしてＳＥはサイドエッチ量で、実際に形成されたエッチング加工孔径をＲそしてレジスト開口径をｒとすると、（Ｒ−ｒ）／２で表され、レジスト開口縁辺を超え板面方向に余剰にエッチングされた量を表す。
　【０００４】
　これに対して、従来から非金属介在物や微量不純物の低減によってエッチング穿孔性を改善する方法が提案されているが、エッチング穿孔性の向上は充分に満足できるものではなかった。また、特公平２−９６５４号や特開平５−１４０６９８号などでは、強加工を施し、圧延面への｛１００｝結晶面の集合度を高めることでエッチング穿孔性の改善を図っているが、エッチング面の荒れやスジ模様の原因となるうえに、エッチング加工孔の形状が真円度を失ってしまうといった弊害が生じていた。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　シャドウマスクの高精細化に充分対応しうる高品質なシャドウマスク素材の提供が要望されている。本発明の課題は、上述した弊害を生じることなく、これまでのＦｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ系合金に代表されるＦｅ−Ｎｉ系合金のエッチング穿孔性を高精細化に充分対応しうるまでに大幅に改善し得るシャドウマスク用素材を開発することである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、上記の実情に鑑み種々の検討を重ねた結果、Ｍｎ含有量＝０．０５ｗｔ％を境にエッチファクターへのＭｎの影響度が大きく変化することを見いだしたことを基礎とするものである。詳しくは、Ｍｎは、エッチング穿孔性を妨げることが周知であるＣ、Ｓｉと同様に、含有量が増えるとエッチング穿孔性を悪化する傾向にある。これらの含有量の対数とエッチファクターとの間には反比例関係があり、Ｍｎ含有量が０．０５ｗｔ％以上の領域では、ＣやＳｉと同様にＭｎ含有量が１桁減少するとともに、エッチファクターは１．５〜２％増加するだけである。しかしながら、Ｍｎ含有量が０．０５ｗｔ％以下の領域では、Ｍｎ含有量が１桁低減したときのエッチファクターの増加率は５％以上にもなり、Ｍｎ含有量が０．０５ｗｔ％以上の領域におけるよりエッチファクターの増大率が大幅であることが判明した。Ｆｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ系合金に代表されるＦｅ−Ｎｉ系合金のＭｎの標準含有量はこれまで０．２〜０．３ｗｔ％であり、従ってエッチング穿孔性を大幅に改善するにはＭｎ含有量を０．０５ｗｔ％以下に下げることが必要である。Ｍｎは不可避的不純物として存在するＳの熱間加工性を損なう等の悪影響を無害化するためにも添加されるが、Ｍｎ量とＳ量との関係を規制することによって、即ちＭｎ含有量をＳ含有量の５倍以上
で１５倍以下
エッチングファクターが大きく、
　【０００７】
　以上の知見に基づいて、本発明は、Ｎｉ：３０〜５０ｗｔ％を含有し、残部がＭｎとＦｅおよび不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材において、Ｍｎを０．０５％以下そして不可避的不純物においてＳ：０．００５ｗｔ％
以下、Ｃ：０．０１ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０１ｗｔ％
で１５倍以下とし、
ことを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材を提供する。
　【０００８】
　【作用】
　本発明のシャドウマスク用素材の特徴は、Ｓの含有量と併せてＭｎの含有量を限定し、さらにＭｎ含有量とＳ含有量の関係を規定することでＳに起因する熱間加工性等の問題を回避しつつエッチング穿孔性を高めたものである。更に
、不
Ｍｎ：（０．０５ｗｔ％以下の場合）
　　　　ΔＥＦ＝−５．５２−５．７５×ｌｏｇ（Ｘ）
　　　（０．０５ｗｔ％以上の場合）
　　　　ΔＥＦ＝−０．９１−１．４８×ｌｏｇ（Ｘ）
Ｃ　：　ΔＥＦ＝−３．８０−１．９０×ｌｏｇ（Ｘ）
Ｓｉ：　ΔＥＦ＝−３．４８−１．７４×ｌｏｇ（Ｘ）
Ｓ　：　ΔＥＦ＝８．７１＋３．７９×ｌｏｇ（Ｘ）
図１において、Ｃ及びＳｉの場合は含有量Ｘとエッチファクター変化率ΔＥＦとは一定の勾配の直線関係にあるが、Ｍｎの場合には、０．０５ｗｔ％を境として直線の勾配が急激に変化していることがわかる。即ち、Ｍｎ含有量が０．０５ｗｔ％以上の領域では、ＣやＳｉと同様にＭｎ含有量が１桁減少するとともに、エッチファクターは１．５〜２％増加するだけである。しかしながら、Ｍｎ含有量が０．０５ｗｔ％以下の領域では、Ｍｎ含有量が１桁低減したときのエッチファクターの増加率は５％以上にもなり、Ｍｎ含有量が０．０５ｗｔ％以上の領域におけるよりエッチファクターの増大率が大幅に増大することがわかる。Ｃ：０．０１ｗｔ％以下そしてＳｉ：０．０１ｗｔ％以下とすることにより、エッチファクターを一層改善することができる。
　【０００９】
　次に、図２に酸化物系介在物の断面清浄度とエッチファクター変化率ΔＥＦとの関係を示す。断面清浄度が０．０５％のときのエッチファクターを基準としている（ΔＥＦ＝０％）。断面清浄度Ｚとエッチファクター変化率ΔＥＦとの間には次の関係が成り立つ：
ΔＥＦ＝−０．３３−０．２６×ｌｏｇ（Ｚ）
酸化物系介在物の断面清浄度がエッチファクター変化率に及ぼす影響は、図１の元素の含有量がエッチファクター変化率に及ぼす影響に比べて１桁小さいことがわかる。即ち、Ｍｎ含有量を０．０５ｗｔ％から０．０１ｗｔ％に低減したときと断面清浄度を０．０５ｗｔ％から０．０１ｗｔ％に低減したときのエッチファクター変化率を比較すると、Ｍｎ含有量の場合の方が２０倍以上大きくなる。
　【００１０】
　３０〜５０ｗｔ％Ｎｉを含有するＦｅ−Ｎｉ系合金は高強度、適度の耐熱性、耐食性に加えて低熱膨張特性を有する。Ｎｉが３０ｗｔ％未満の場合こうした優れた特性が充分に発現しない。また５０ｗｔ％を超える場合には低熱膨張特性が失われまた高価となる。以下に、関与する各元素の限定理由について述べる：
（１）Ｍｎ：
Ｍｎは、０．０５ｗｔ％以下において、少なければ少ないほどエッチファクターを著しく向上させることができる。しかしながら、不可避的不純物のＳが存在するために、熱間加工性を損なわないようにするべくＳを無害化するにはＳ含有量の５倍以上の量が必要である。このため、Ｍｎの含有量は、５×Ｓ含有量≦Ｍｎ含有量
≦１５×Ｓ含有量、かつＭｎ含有量
（２）Ｃ：
Ｃはエッチング穿孔性を阻害するために、少ないほど好ましいが、Ｃを工業的規模で大幅に低減させることは経済性の観点から困難である。よって、Ｃ含有量の上限を０．０１ｗｔ％、好ましくは０．００５ｗｔ％にする。
（３）Ｓｉ：
Ｓｉはエッチング穿孔性を阻害するために、少ないほど好ましいが、Ｓｉを工業的規模で大幅に低減させることは経済性の観点から困難である。よって、Ｓｉ含有量の上限を０．０１ｗｔ％、好ましくは０．００５ｗｔ％にする。
（４）Ｓ：
Ｓはその含有量が増えるにつれてエッチファクターを大きくする作用がある。しかしながら、熱間加工性を阻害するために、Ｍｎ等Ｓを無害化する元素がない場合は少ないほうが好ましい。ただし、Ｓを工業的規模で大幅に低減させることは経済性の観点から困難である。よって、Ｓ含有量の上限を０．００５ｗｔ％にする。
（５）酸化物系介在物：
酸化物系介在物はエッチング穿孔性を阻害するために、少ないほど好ましいが、上述の元素に比べてエッチファクター向上への寄与度は小さいために、その存在が実質的にエッチングの障害とならない程度まで減じれば良い。この上限をＪＩＳ　Ｇ　０５５５に規定される測定方法で求めた断面清浄度で表すと０．０５％になる。
　【００１１】
　次に製造方法について述べる。本発明は、Ｍｎ含有量を０．０５ｗｔ％以下にするものであり、これはＦｅ−Ｎｉ系合金を溶解する際のＭｎの添加量をＳ含有量の５倍以上
で１５倍以下
　【００１２】
　最終冷間加工後の圧延面における｛１００｝結晶面の集積度を数式１で計算される値に基づいて、６０〜８５％になるように中間加工度を調整することが好ましい。エッチング穿孔性の一層の改善を図ることができる。
　【００１３】
　【数１】
　【００１４】
　このように、本発明によれば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のＳ及びＭｎの含有量をそれぞれ特定量以下に限定しかつＭｎ含有量とＳ含有量との関係を規定することではじめてエッチング時のエッチング穿孔性、特にエッチファクターを大幅に向上したシャドウマスク用素材を製造することができるのである。なお、ＣとＳｉの含有量及び／或いは断面清浄度を減じることで一層良好なエッチング穿孔性が得られる。
　【００１５】
　【実施例】
　以下に、実施例と比較例とを示す。試料Ｎｏ．１〜８は本発明の要件を満たす実施例でありそして試料Ｎｏ．９〜１８は比較例である。比較例のうち、試料Ｎｏ．９〜１０はＭｎ含有量は少ないが、Ｍｎ含有量がＳ含有量の５倍未満のものであり、試料Ｎｏ．１１〜１５のＭｎ含有量が０．０５ｗｔ％を超えるものであり、試料Ｎｏ．１６〜１７のＣとＳｉのいずれかの含有量が０．０１ｗｔ％を超えるものであり、そして試料Ｎｏ．１８はＳ含有量が０．００５ｗｔ％を超えるものである。
　【００１６】
　真空溶解法でＦｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ合金のＭｎ、Ｃ、Ｓ、Ｓｉの含有量および酸化物系介在物の断面清浄度を調整した鋳塊を得た。次に鍛造圧延し、冷間圧延と焼鈍を繰り返して０．１５ｍｍ厚さの合金帯を製造した。この時最終冷間加工後の圧延面における｛１００｝結晶面の集積度を数式１で表される値で、６０〜８５％になるように中間加工度を調整した。これらの合金帯のエッチング穿孔性を比較するために、周知のフォトリソグラフィー技術を用いて、合金帯の片側の表面に直径が８０μｍの真円上の開口部を多数有するレジストマスクを形成し、塩化第２鉄溶液をスプレー状に吹き付けて図３に示すサイドエッチ量が１５μｍになった時のエッチファクターを調査した。また、熱間加工性として熱間加工時の割れの発生を評価した。実施例及び比較例におけるこれら結果をまとめて表１に示す。
　【００１７】
　【表１】
　【００１８】
　表１の結果から、本発明の試料Ｎｏ．１〜８のＭｎ含有量が０．０５ｗｔ％以下のものは、試料Ｎｏ．１１〜１３のＭｎ含有量が０．０５ｗｔ％を超えるものに比べてエッチファクターは０．１以上大きくなっていることがわかる。試料Ｎｏ．９〜１０はＭｎ含有量は少ないが、Ｍｎ含有量がＳ含有量の５倍未満であるために、熱間加工時の割れを生じている。さらに、試料Ｎｏ．１６〜１８のＣ、Ｓｉ、Ｓのいずれかを特定量を超えて含有するもののエッチファクターの低下がほとんど無いことから、Ｍｎ含有量を低減することによってはじめてエッチファクターを大幅に向上できることがわかる。ここで、Ｓ含有量を多くするとエッチファクターは大きくなるが、熱間加工性の悪化とエッチング加工孔の形状不良を生じるためにシャドウマスク用素材として不適である。また、Ｍｎ含有量がＳ含有量の５倍以上にすることで熱間加工時の割れを生じることなく、０．１５ｍｍ厚さまで加工することができる。
　【００１９】
　【発明の効果】
　以上に述べた如く、本発明によれば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材において、Ｍｎ並びにＳを所定の値以下に限定しかつＭｎ含有量とＳ含有量との関係を規定し、更に望ましくはＣとＳｉの含有量及び／または酸化物系介在物の断面清浄度を所定の値以下に限定することで、エッチング穿孔性に優れたシャドウマスク用素材を提供することを可能とした。これにより、シャドウマスクの高精細化に充分対応する高品質なシャドウマスク素材の提供が可能となり、その工業的意義は非常に大きい。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　Ｃ、Ｓｉ、Ｓ並びにＭｎ各元素の含有量Ｘとエッチファクターの変化率ΔＥＦとの関係を示すグラフである。
　【図２】
　酸化物系介在物の断面清浄度Ｚとエッチファクター変化率ΔＥＦとの関係を示すグラフである。
　【図３】
　エッチファクターＥＦ＝ｄ／ＳＥ（ｄ：エッチング深さ、ＳＥ：サイドエッチ量）の定義またエッチング加工孔径Ｒとレジスト開口径ｒとの関係を説明する説明図である。
　【符号の説明】
　ｄ：エッチング深さ、
　ＳＥ：サイドエッチ量
　Ｒ：エッチング加工孔径
　ｒ：レジスト開口径