【事件の表示】
　特許第３０８４６２２号「ターボ分子ポンプ」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０８４６２２号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第３０８４６２２号の請求項１〜６に係る発明は、平成９年８月１３日に特許出願され、平成１２年７月７日にその特許権の設定登録がなされ、その後、荒木弘子より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年８月２１日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断　
ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を削除する。
訂正事項ｂ
  特許請求の範囲の請求項２〜６を、項番を繰り上げて請求項１〜５と訂正する。
訂正事項ｃ
　訂正前の請求項２を繰り上げて新たな請求項１にする際に、「固定又は着脱可能に」を「着脱可能に」に限定して、訂正前の請求項２の「前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に外接させたことを特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプ。」を、新たな請求項１の「少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたことを特徴とするターボ分子ポンプ。」と訂正する
訂正事項ｄ
　明細書の段落【０００６】の「接触させたこと」を「接触させ、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたこと」と訂正する。
訂正事項ｅ
　明細書の段落【０００８】の「本発明は、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に外接させたことを特徴とする。このことにより」を「裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたことにより」と訂正する。
　
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
  上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という）の特許請求の範囲の請求項１を削除するものであり、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａにともなって、特許請求の範囲の請求項の項番を繰り上げるものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　上記訂正事項ｃは、二つの選択肢の一方を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　上記訂正事項ｄ、ｅは、上記訂正事項ａ、ｃと整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、上記訂正事項ａ〜ｅは、いずれも、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、変更するものでもない。
　
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
（３）特許異議申立について
ア．異議申立ての理由の概要
　申立人荒木弘子は、訂正前の請求項１〜６に係る発明は、以下の理由により特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
ａ．請求項１、６に係る発明は、甲第１号証（特開平８−９３６８７号公報）に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当するので特許を受けることができない。
ｂ．請求項１に係る発明は、甲第１号証、甲第２号証（実願平５−３６６４９号（実開平７−８５９０号）のＣＤ−ＲＯＭ）、甲第３号証（実願昭６１−８６８６６号（実開昭６２−１９７７９４号）のマイクロフィルム）、甲第４号証（実願平５−６０４８９号（実開平７−３０３９５号）のＣＤ−ＲＯＭ）をもとに容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
ｃ．請求項２に係る発明は、甲第１〜４号証及び甲第５号証（実願昭６３−７９４３１号（実開平２−３０９７号）のマイクロフィルム）をもとに容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
ｄ．請求項３に係る発明は、甲第２号証及び甲第６号証（特開平３−２９００９２号公報）をもとに容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
ｅ．請求項６に係る発明は、甲第１〜６号証をもとに容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
ｆ．特許請求の範囲の請求項１〜６の記載は、特許法第３６条第４項の要件を、また、発明の詳細な説明の記載は、特許法第３６条第６項第２号の要件を満たしていないから、請求項１〜６に係る発明は、特許を受けることができない。
　
イ．本件発明
　上記（２）で示したように上記訂正が認められるから、平成１３年８月２１日付けで提出された訂正明細書の請求項１〜５に係る発明（以下、それぞれ、「本件請求項１に係る発明」〜「本件請求項５に係る発明」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】　少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記電装部の周囲に配設したケーシング側筒を前記ベース部の底部に配設した裏蓋方向に延長し、かつ該裏蓋と前記ケーシング側筒及び電装部の底部に配設したケーシング底面にて形成された空間に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に配設したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】　前記冷却手段は、パージガスの流通路中に前記シャフト及び回転翼の回転によりステータ近傍の圧力を高めるため少なくとも１本以上の傾斜溝を配した少なくとも１段以上のパージガス昇圧部を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のターボ分子ポンプ。
【請求項４】　前記冷却手段は、パージガスの流通路中に前記シャフト及び回転翼の回転によりステータ近傍の圧力を高めるため少なくとも１本以上の傾斜溝を配した少なくとも１段以上のパージガス昇圧部と、プロセスガスの逆流を防止するため少なくとも１本以上の傾斜溝を配した少なくとも１段以上のプロセスガス逆流防止部を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のターボ分子ポンプ。
【請求項５】　前記電装部の周囲に配設したケーシング側筒と前記ベース部の間には断熱材を一部又は全周に渡り環装したことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のターボ分子ポンプ。」
　
ウ．新規性、進歩性に関して
ａ．特許異議申立人が証拠として提示した刊行物には、それぞれ、以下のような事項が記載されている。
　
刊行物１：特開平８−９３６８７号公報（甲第１号証）
　段落【００２２】及び図１の記載によれば、刊行物１には、モータ部１０を含む電装部と、外部ハウジング１７およびその下側に位置する内部ハウジング７下方部により構成されるベース部と、インナロータ（主軸）２と羽根車３と、図１のポンプ最下端にて、ベース部の底部に配設された裏蓋と推測される部材と、電装部の磁気軸受部１３底部に配設した板状部材とが示されているターボ分子ポンプ、及び段落【００２３】及び図１には、内部ハウジング７の外周面と外部ハウジング１７の内周面の間に筒状の熱絶縁体１９を設ける技術が記載されている。
　
刊行物２：実願平５−３６６４９号（実開平７−８５９０号）のＣＤ−ＲＯＭ（甲第２号証）
　段落【００１４】〜【００１７】及び図１の記載によれば、刊行物２には、非接触型駆動モータ１１を含む電装部と、モータを含む電装部を支持するベース部２と、軸８とロータ翼４を備えたロ一タ３を有するターボ分子ポンプが記載されている。
　
刊行物３：実願昭６１−８６８６６号（実開昭６２−１９７７９４号）のマイクロフィルム（甲第３号証）
　第７頁第８〜１１行「外部冷却器（２３）をケーシング（３）外に設けて球面型スパイラルみぞ軸受（１２）部分の冷却効果をさらに高めている。」及び第２〜４図の記載によれば、刊行物３にはポンプ内の電装部の下側からポンプ外面まで部材を連結して熱伝導経路を形成することにより電装部等を冷却する技術が記載されている。
　
刊行物４：実願平５−６０４８９号（実開平７−３０３９５号）のＣＤ−ＲＯＭ（甲第４号証）
　段落【０００２】〜【０００４】及び図２の記載によれば、刊行物４には、従来技術として、モータ８を含む電装部と、電装部を支持するベース部と、モータ８により回転されるロータシャフト６と、ロータシャフト６に取り付けられ、ロータ翼４を備えたロータ２を有し、ベース部の底部に配設した裏蓋と推測される部材と、電装部の底部の磁気軸受１０底面とが接触しているターボ分子ポンプが記載されている。
　
刊行物５：実願昭６３−７９４３１号（実開平２−３０９７号）のマイクロフィルム（甲第５号証）
　第６頁第１１〜１２行「この放熱側には放熱フィン１１１があり、ファン１１２にて冷却される」及び図１の記載によれば、刊行物５には、強制冷却を行う冷却ファン１１２が裏蓋に設けられているターボ分子ポンプが記載されている。
　
刊行物６：特開平３−２９００９２号公報（甲第６号証）
　段落【００１６】及び図１の記載によれば、刊行物６には、モータハウジング３内のモータを含む電装部と、べース２と、シヤフト６とシャフト６に取り付けられたロータ７と、電装部の下側に配置され、オイルタンク９および水冷パイプ２２ｃで構成される強制冷却手段を有し、この強制冷却手段は、オイルを電装部軸受に供給し、ベース部を冷却せずに電装部等を冷却するターボ分子ポンプが記載されている。
　
ｂ．対比・判断
　本件請求項１に係る発明と上記刊行物１〜５に記載の発明とを対比すると、上記刊行物１〜５に記載の発明は、本件請求項１に係る発明を特定する事項である、「冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させた事項」（以下、「発明特定事項１」という。）を備えておらず、すなわち、刊行物１〜５は、一般に冷却しないベース部と接触される裏蓋をあえて強制的に冷却することを開示するものでも、示唆するものでもなく、当該事項により本件請求項１に係る発明は、冷却手段として、裏蓋とケーシング底面とを接触させたので、電装部内の熱を放射により外部に放熱出来、また、裏蓋に強制冷却部を外接させたので、電装部内部の熱を外部で吸収し易く出来、さらに、強制冷却部はターボ分子ポンプの外部に配設されるため、着脱を容易とすることが出来るという、特有の効果（以下、「効果１」という。）を奏するものであるので、本件請求項１に係る発明が、刊行物１〜５に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　本件請求項２に係る発明と上記刊行物２、６に記載の発明とを対比すると、上記刊行物２、６に記載の発明は、本件請求項２に係る発明を特定する事項である、「冷却手段は、電装部の周囲に配設したケーシング側筒をベース部の底部に配設した裏蓋方向に延長し、かつ該裏蓋と前記ケーシング側筒及び電装部の底部に配設したケーシング底面にて形成された空間に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に配設した事項」（以下、「発明特定事項２」という。）を備えておらず、当該事項により本件請求項２に係る発明は、ターボ分子ポンプに大幅な構造上の変更を加えること無く電装部を冷却できるという、特有の効果（以下、「効果２」という。）を奏するものであり、本件請求項２に係る発明が、刊行物２、６に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　本件請求項５に係る発明は、本件請求項１又は２を、直接的又は間接的に引用しているので、本件請求項１又は２を特定する事項を全て包含している。そして、刊行物１〜６に記載の発明は、上記発明特定事項１、２を備えておらず、本件請求項５に係る発明は、上記発明特定事項１又は２により、上記効果１又は２を奏するものであるから、上記刊行物１〜６に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
エ．明細書の記載要件に関して
　異議申立人は、「訂正前の請求項１の記載に従えば、回転翼の冷却については、回転翼の熱がシャフト及び電装部を経由して、電装部の底部の冷却手段へ伝わるが、同時にベース部の熱も、ベース部が支持する電装部を通って、電装部の底部の冷却手段へと伝わることになるので、訂正前の請求項１には、ベース部を冷却せずに電装部、回転翼およびシャフトを冷却することは不可能な構成が記載されている。したがって、請求項１には発明が明確に記載されていない。訂正前の請求項３の発明についても同様のことが当てはまる。また、訂正前の請求項１、３に従属する残りの全請求項の発明にも同様のことが当てはまる。同様のことは、発明の詳細な説明にも当てはまる。発明の詳細な説明に記載された発明に従うと、回転翼の熱は、シャフト、浮上式の磁気軸受および電装部を介して、電装部下端の冷却手段に至るが、ベース部の熱は、電装部の下半部のみを経由して、すなわち、回転翼と較べて短く、熱伝導のよい経路（浮上式磁気軸受を介さないから）を通って冷却手段に至る。したがって、発明の詳細な説明は、ベース部を冷却せずに電装部、回転翼及びシャフトを冷却するという点に関して、発明の目的を達成するための技術的手段に関する記載内容が不明瞭であるから、当業者が発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されていない。」旨主張している。
　たしかに、周知の技術的事項と対比したときの特徴点が実施例として明確に開示されていないということにおいて不適切な記載であるといえる。
　しかしながら、二つの部材間の熱伝達を防止するために断熱材（熱絶縁体）を設けて一方のみを加熱又は冷却することが当該技術分野において慣用手段（例えば、刊行物１の熱絶縁体１９、刊行物４の断熱部１２参照）であることからすると、「ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ」る記載は、特許法で規定される要件を欠くほど不明りょうとまではいえない。また、発明の詳細な説明の欄が、当業者が発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されていないともいえない。　
　
オ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１〜５に係る発明についての特許を取り消すことことができない。　
　また、他に本件請求項１〜５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１１月１４日（２００１．１１．１４）
【訂正の要旨】
　（訂正の要旨）
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を削除する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２〜６を、項番を繰り上げて請求項１〜５と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　訂正前の請求項２を繰り上げて新たな請求項１にする際に特許請求の範囲の減縮を目的として、「固定又は着脱可能に」を「着脱可能に」とし、訂正前の請求項２の「前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に外接させたことを特徴とする請求項１記載のターボ分子ポンプ。」を、新たな請求項１の「少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたことを特長とするターボ分子ポンプ。」と訂正する
（４）訂正事項ｄ
　上記訂正事項ｃに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の「接触させたこと」（同公報第４欄第３０行参照）を、「接触させ、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたこと」に訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　上記訂正事項ｃに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の「本発明は、前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に外接させたことを特徴とする。このことにより」（同公報第４欄第４４〜４６行参照）を、「裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させたことにより」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
ターボ分子ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ
を着
るタ
　【
請求項２
　【
請求項３
又は２
　【
請求項４
又は２
　【
請求項５
又は４
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明はターボ分子ポンプに係わり、特に回転翼で発生する熱をベース部を冷却することなく放出するターボ分子ポンプに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、ターボ分子ポンプで例えば塩化アルミニウム等を排気する場合、ターボ分子ポンプ内部で飽和蒸気圧を越えてしまい、生成物の凝固や付着を生じる場合があった。図６にターボ分子ポンプの全体構成図を示す。図６において、回転翼２は磁気軸受により浮上しながら回転する様になっている。半径方向電磁石２０、２１と半径方向位置検出器２２、２３とモータ３０を含み電装部が構成されている。ここに、前述した生成物は排気口２６付近にある回転翼２及びネジ付きスペーサ４で特に凝固、付着し易い状況にあった。そして、この生成物の凝固や付着を防止するため、従来は図７に示す様にベース部１０の外周にヒータ８を巻着させている。一方、ヒータ８による加熱は加熱しすぎると逆に回転翼２の塑性変形等を招く。このため、ベース部１０に水冷管１２を密接する方法が採られている。なお、図７（Ａ）はヒータと水冷管を配設したターボ分子ポンプの縦断面図（部分簡略図）を示し、図７（Ｂ）は図７（Ａ）中の矢視線Ａ−Ａによる断面図を示している。ヒータ８と水冷管１２に関しては、ベース部１０に内蔵された温度センサ１６の温度が温度制御回路１８で設定した温度になるように、ヒータ８のＯＮ／ＯＦＦ及び水冷管１２の流量を決める電磁バルブ１４のＯＮ／ＯＦＦが制御される。かかる制御により、ターボ分子ポンプの性能を維持しつつ生成物の凝固や付着を防止することが出来ると考えられている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来のヒータ８及び水冷管１２の電磁バルブ１４制御では、温度センサ１６の温度が温度制御回路１８で設定した温度のとき、回転翼２の温度は排気気体流量を大きくすると温度制御回路１８の設定温度の倍以上の温度にまで達することがあった。例えば、排気気体流量が許容値を万一越えた状態で、ベース部１０の温度を６０度から８０度に保とうとすると、このときの回転翼２の温度は材料の耐熱温度を越える場合がある。この状態が長時間続くと、回転翼２等の応力低下等を生じ、ひいては破壊を招く恐れがあった。従って、回転翼２の異常高温を避けるため、モータ３０のパワーを落としたり、排気気体流量を制限した使い方をしていた。
　【０００４】
　また、回転翼２の冷却は主に以下の２形態により行われていた。第１の形態は排気気体流量が少ない場合であり、回転翼２からベース部１０又は外筒１１に放射（輻射）による熱移動がある。また、第２の形態は排気気体流量が多い場合であり、回転翼２からベース部１０又は外筒１１に排気気体を介した熱伝達による熱移動がある。これらの放射熱や伝達熱は、ベース部１０又は外筒１１を冷却することにより、冷却されている。
　【０００５】
　しかしながら、排気気体流量が少なく回転翼２の発熱が大きい場合、例えば無負荷で磁場があるとき等には放射では十分な熱移動が出来ず、回転翼２が高温になる恐れがあった。
　本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、回転翼で発生する熱をベース部を冷却することなく放出するターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明は、少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記ベース部の底部に配設した裏蓋と前記電装部の底部に配設したケーシング底面とを接触させ、
前記裏蓋に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を着脱可能に外接させた
　このように形成すると、生成物の凝固や付着を防止しつつ電装部内部で発生した熱を外部に放熱出来るため許容流量等を向上させることが出来る。
　【０００７】
　【０００８】
　また
、裏
を着
とに
　【０００９】
　ここで、電装部の上部若しくは周囲を水冷により冷却することも可能であるが、本発明は、少なくともモータを含む電装部と、該電装部を支持するベース部と、前記モータにより回転されるシャフトと、該シャフトに固定された回転翼と、前記ベース部を冷却せずに前記電装部、回転翼及びシャフトを冷却する冷却手段を備え、該冷却手段は、前記電装部の周囲に配設したケーシング側筒を前記ベース部の底部に配設した裏蓋方向に延長し、かつ該裏蓋と前記ケーシング側筒及び電装部の底部に配設したケーシング底面にて形成された空間に水冷、油冷又は強制空冷による強制冷却部を固定又は着脱可能に配設することも出来る。
　このように形成すると、従来のターボ分子ポンプの構造上の変更を最小限に止めることが出来る。
　なおここで、強制冷却部とは、電装部にて発生した熱を吸収し、外部に放熱出来れば足り、例えば水冷管をケーシング底面に接触若しくは近接する様に配設したり、形成された空間全体を水で満たしたりしても良い。水冷管の形状や長さは限定するものではないが、ケーシング底面に対し接触面積の大きくなる構造のものが望ましい。また、媒体は水に限定するものではなく他の熱交換作用の大きい液体や気体を採用してもよい。
　【００１０】
　更に、本発明は、前記冷却手段は、パージガスの流通路中に前記シャフト及び回転翼の回転によりステータ近傍の圧力を高めるため少なくとも１本以上の傾斜溝を配した少なくとも１段以上のパージガス昇圧部を備えて構成した。パージガス昇圧部は、少なくとも１本以上の傾斜溝が配されている。この傾斜溝は、シャフト及び回転翼が回転すると、パージガスの排気が抑制される方向に働き、ステータ近傍の圧力が高められる。パージガス昇圧部は、パージガスの流通路中のいずれの箇所にも構成可能である。そして、パージガスの流通路中に沿って、パージガス昇圧部を少なくとも１段以上配設することが可能である。ステータ近傍の圧力を高めることにより、回転翼及びシャフトと電装部間の熱交換効率を上げることが出来る。
　【００１１】
　更に、本発明は、前記冷却手段は、パージガスの流通路中に前記シャフト及び回転翼の回転によりステータ近傍の圧力を高めるため少なくとも１本以上の傾斜溝を配した少なくとも１段以上のパージガス昇圧部と、プロセスガスの逆流を防止するため少なくとも１本以上の傾斜溝を配した少なくとも１段以上のプロセスガス逆流防止部を備えて構成した。パージガスの流通路中に、パージガス昇圧部の他にプロセスガス逆流防止部を備えた。プロセスガス逆流防止部には、少なくとも１本以上の傾斜溝が配されている。この傾斜溝は、シャフト及び回転翼が回転すると、プロセスガスの逆流を防止する方向に働く。プロセスガスの電装部内部への侵入を防止することによりプロセスガスによる電装部での腐食を防止出来る。傾斜溝は回転翼が回転することによりステータ近傍の圧力を高めるのに必要な傾斜と、プロセスガスの逆流を防止するのに必要な傾斜を含めばよい。傾斜溝の形状や大きさ、長さ、個数を限定しなくても構成が可能である。
　【００１２】
　更に、本発明は、前記電装部の周囲に配設したケーシング側筒と前記ベース部の間には断熱材を一部又は全周に渡り環装した。断熱材を配することにより、電装部の冷却がベース部に影響しない様にする。ベース部が冷却されないため、ヒータやプロセスガスからベース部により放射熱が奪われることも無く、生成物の凝固や付着を一層防止出来る。
　【００１３】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本発明の第１実施形態を示す図１は、図６中のＡで示した領域を拡大したものである。ケーシング側筒３２は従来より下方に延長されている。ケーシング側筒３２とケーシング底面３４と裏蓋６で形成された空間には水冷管３６がスプリング状にケーシング底面３４に接する様に配設されている。
　【００１４】
　次に動作を説明する。
　かかる構成によれば、水冷管３６に流水をすることにより電装部内で発生した熱を水で吸収し、外部に放出することが出来る。一方、ケーシング側筒３２は延長されたことにより、ベース部１０を直接冷却することは無く、ベース部１０が冷却されることによる生成物の凝固や付着を防止出来る。この結果、回転翼２の発熱を抑えられ、寿命や信頼性を向上出来る。また、回転翼２の異常高温を回避出来るためポンプ流量等の制約を解消出来る。更に、水冷管３６は取り付け、取り外しが容易で、かつ熱交換効率が高い。
　また、図示しないが、ケーシング底面３４と裏蓋６間を接触又は近づけることにより、電装部内の発生熱を裏蓋６を介し外部に放射され易く出来る。ケーシング底面３４からの放射熱又は伝導熱は、直接裏蓋６に届くためベース部１０を冷却することは無い。このとき水冷管３６を省略してもよいが、水冷管３６と組み合わせることで一層の電装部に対する冷却効果を期待出来る。
　更に、図示しないが、水冷管３６に替えて、裏蓋６の外側に水冷管３７を外接させてもよい。このとき、電装部内部の熱は水冷管３７に吸収される。水冷管３７は固定としてもよいが、ターボ分子ポンプの外部に配設されるため着脱可能とすることも出来る。
　【００１５】
　次に、本発明の第２実施形態について説明する。本発明の第２実施形態を示す図２は、図６中のＢで示した領域を拡大した斜視断面図を示すものである。ネジ付きスペーサ４は回転翼２に対する面がネジ状に螺刻されている。一方、回転翼２を挟んで対峙するベース部１０には、回転翼２に対する面に図３（Ａ）のように溝４８が形成されている。図３（Ａ）は図２中の矢視線Ｄ−Ｅによる部分を図示している。
　【００１６】
　次に動作を説明する。
　まず、図４には図３（Ａ）との対比を容易にするため、従来通りに溝３８が形成されたベース部１０を示す。回転翼２の矢印方向への回転に連れベース部１０に螺旋状に刻設された溝３８により、パージガスは下方に押し出される。一方、上方は電装部を内包したケーシングに連通しているため、プロセスガスが電装部に逆流しにくくなっている。プロセスガスは例えば塩素系の場合、腐食性が強いため電装部に侵入するのを防ぐ必要がある。しかし、一方で電装部内部のパージガス圧力は低くなった状態にある。かかるパージガスの圧力の低い状態は、結局パージガスの分子数が少ないことより熱交換効率も低下した状態である。これに対し、本実施形態では図３（Ａ）の様にベース部１０に回転翼２の回転方向と逆方向に矛先を有する複数個のＶ字型溝４８を螺刻した。その結果、Ｖ字型溝４８の下側半分は図４と同方向に溝が刻設されているため、回転翼２の回転に連れプロセスガスが電装部に逆流するのを防止出来る。また、Ｖ字型溝４８の上側半分は図４と反対方向に溝が刻設されているため、パージガスの電装部内部の圧力を高めることが出来る。更に、図３（Ａ）の別実施形態として、図３（Ｂ）に示すように回転翼２のベース部１０に対する面にＶ字型溝５８を螺刻することも可能である。このとき、Ｖ字型溝５８の矛先は回転翼２の回転方向と同方向とする。機能的には図３（Ａ）と同様になる。このことにより、プロセスガスの逆流を防止しつつパージガスによる熱交換効率を高めることが出来、電装部を冷却することが出来る。
　【００１７】
　次に、本発明の第３実施形態について説明する。本発明の第３実施形態を示す図５は、図６中のＣで示した領域を拡大した部分断面図を示すものである。図５において、ベース部１０とケーシング側筒３２間には断熱材４０が環装されている。断熱材４０は例えばステンレス材等の様に耐腐食性が強く、かつ熱伝導率の低い材質を用いる。
　かかる構成により、電装部のみを冷却し、ベース部１０をも冷却することを防止出来る。
　なお、第１実施形態乃至第３実施形態は各々独立して構成してもよいが、組み合わせることによりベース部１０を冷却すること無く電装部のみを一層冷却することが可能となる。
　【００１８】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明によれば、冷却手段を備えたことにより、回転翼で発生する熱をベース部を冷却することなく冷却出来るため、回転翼の寿命や信頼性を向上出来る。そして、この冷却手段として、裏蓋とケーシング底面とを接触させたので、電装部内の熱を放射により外部に放熱出来る。
　【００１９】
　【００２０】
　また、本発明によれば、裏蓋に強制冷却部を外接させたので、電装部内部の熱を外部で吸収し易く出来る。強制冷却部はターボ分子ポンプの外部に配設されるため、着脱を容易とすることが出来る。
　【００２１】
　更に、本発明によれば、ケーシング側筒を延長し、かつ強制冷却部を配設したことにより、ターボ分子ポンプに大幅な構造上の変更を加えること無く電装部を冷却出来る。
　【００２２】
　更に、本発明によれば、パージガスの流通路中にパージガス昇圧部を備えたことにより、パージガスを冷却にも利用出来、省力性に優れる。
　【００２３】
　更に、本発明によれば、パージガスの流通路中にパージガス昇圧部と、プロセスガス逆流防止部を備えたことにより、プロセスガスの逆流を防止しつつ熱交換効率を最大限に大きく出来る。
　【００２４】
　更に、本発明によれば、上述の各発明に加えケーシング側筒とベース部の間には断熱材を環装したので、電装部のみを一層効率よく冷却出来る。
　【００２５】
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の第１実施形態を示す部分拡大図
　【図２】　本発明の第２実施形態を示す部分拡大図
　【図３】　図２中の矢視線Ｄ−Ｅによる部分を示した図
　【図４】　従来通りに溝が形成されたベース部の図
　【図５】　本発明の第３実施形態を示す部分拡大図
　【図６】　ターボ分子ポンプの全体構成図
　【図７】　ヒータ及び水冷管を配設したターボ分子ポンプ
　【符号の説明】
　２　回転翼
　４　ネジ付きスペーサ
　６　裏蓋
　１０　ベース部
　３０　モータ
　３２　ケーシング側筒
　３４　ケーシング底面
　３６、３７　水冷管
　４０　断熱材
　４８、５８　Ｖ字型溝