【事件の表示】
　特許第３１１４７７１号「インクジェットヘッドおよびその製造方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１１４７７１号の請求項１および２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３１１４７７１号の請求項１乃至７に係る発明についての出願は、平成４年９月１６日に特許出願され、平成１２年９月２９日にその特許権の設定の登録がなされ、請求項１ないし３に係る特許について、林晴美より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年１２月２５日に訂正請求（後日取下げ）がなされた後、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年７月８日に訂正請求がなされたものである。
　　　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　特許権者の求めている訂正の内容は、以下のとおりである（訂正箇所にアンダーラインを付した。）。
　ａ．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の
「【請求項１】　複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように支持基板に固定し、前記駆動素子ブロックの少なくとも一側に位置決め部材を形成するように振動領域を前記駆動素子の配列方向に垂直に切断して構成された振動ユニットと、ノズル開口に連通する圧力室を封止する弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記流路ユニットの各圧力室に位置決めされているインクジェットヘッド。
【請求項２】　前記位置決め部材が、前記駆動素子の列設方向の両側に形成されている請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】　前記位置決め部材が、前記駆動素子よりも強度が大きくなるように構成されている請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】　前記駆動素子、及び位置決め部材の前記流路ユニットに対向する面に、同一厚さの駆動伝達材が固定されている請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】　前記駆動伝達材が圧電材料またはセラミック材により構成されている請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】　複数個の駆動素子分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように支持基板に固定し、前記振動領域の先端面を高平面度加工する工程、
　前記先端面に垂直で、かつ他端側で相互に連結するように分割して、前記駆動素子の列設方向の端部に位置決め部材を、また残部に前記駆動素子を形成する工程と、
　ノズル開口に連通する圧力室を封止する弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットの前記剛性領域に、前記駆動素子及び位置決め部材を当接させる工程と、
　からなるインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】　前記駆動素子と位置決め部材との先端面に、固定後の接着層の厚みよりも厚い接着剤の層を形成してから、前記駆動素子及び位置決め部材が前記流路ユニットに位置決めされている請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。」
を、
　「【請求項１】　複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の
の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面
前記
圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子が対向する領域にに第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ位置決め部材と対向する領域に第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されている
【請求項
２
１
【請求項
３
【請求項
４
３
【請求項
５
　前記先端面に垂直で、かつ他端側で相互に連結するように分割して、前記駆動素子の列設方向の端部に位置決め部材を、また残部に前記駆動素子を形成する工程と、
　ノズル開口に連通する圧力室を封止する弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットの前記剛性領域に、前記駆動素子及び位置決め部材を当接させる工程と、
　からなるインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項
６
と訂正する。
ｂ．訂正事項ｂ      
　段落【００１６】の
「【課題を解決するための手段】
　そこで本発明によるインクジェットヘッドは、・・・位置決めされている。」
を、
「【課題を解決するための手段】   
　そこで本発明によるインクジェットヘッドは、複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の
の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面
前記
圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子が対向する領域にに第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ位置決め部材と対向する領域に第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されている。
と訂正する。
ｃ．訂正事項ｃ
　段落【００２１】の
「圧力室プレート１１は、図２に示す様に、・・・フィルム厚３〜１５μｍの範囲から選ばれる。」
を、
「圧力室プレート１１は、図２に示す様に、圧力室２０、インク室１９をカバーしてインク漏れを防止すると共に、駆動素子自由端面２ａと接合する。プレート１１は剛性を高めた長方形で島状の厚肉部１１ａ
（第１の剛性領域）
（弾性変形領域）
（第２の剛性領域）
と訂正する。
ｄ．訂正事項ｄ
　段落【００７１】の
「【発明の効果】以上に説明したように本発明においては、・・・構成することができる。」
を、   
「【発明の効果】以上に説明したように本発明においては、複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の
の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面
前記
圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子が対向する領域にに第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ位置決め部材と対向する領域に第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されている
と訂正する。　　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａに関連する記載として、願書に添付した明細書（以下、特許明細書という。）には、「前記位置決め部材が、前記駆動素子の列設方向の両側に形成されている請求項１に記載のインクジェットヘッド」（【請求項２】）、「流路ユニット１０は、・・・ノズルプレート１３、流路形成部１２、圧力室プレート１１を液密に重ねたものである。・・・プレート１１は剛性を高めた長方形で島状の厚肉部１１ａと厚肉部１１ａを囲んで駆動素子２の変位を受けてたわみを起こす薄いフィルムである薄肉部１１ｂおよび周辺の厚肉部１１ｃから成り、駆動素子自由端面２ａは厚肉部１１ａと結合する。」（段落【００２０】〜【００２１】）及び「図１６は取り付け構造の断面図である。・・・流路ユニット１０の圧力室プレート１１と基台４は接着剤１０５で接合される。次に前述した駆動素子列２２の駆動素子自由端面２ａ及び位置決め素子２ｆ先端に・・・接着剤を塗布し、駆動素子列２２を基台４の案内５（図１参照）を使って、位置決め素子２ｆ先端が圧力室プレート１１に度当たるまで矢印方向（Ｚ方向）に挿入する。すなわち駆動素子列２２のＸ方向位置は支持基板３の両サイドと基台４の案内５（図１参照）で、Ｙ方向位置は位置決め素子２ｆ先端と基台４の端部に設けられた案内４ｂで決められ、Ｚ方向は位置決め素子２ｆ先端で決められる。・・・その後熱硬化接着剤で、即ち図２の接着剤１０６あるいは図１６の接着剤１０７のように本格的に固定する。基台４は支持基板３を強固に固定し、一方流路ユニットとも強固に結合されており、駆動時に駆動素子２が圧力室２０の反対方向へ逃げるのを防いでいる。」（段落【００４９】〜【００５１】）と記載され、図２に駆動素子が平板状の支持基板３の一方の面に固定され、該支持基板３の他方の面が基台４に固定されているインクジェットヘッドが記載され、また、第１６図に、駆動素子ブロックの両側に動作時にも変位しない位置決め素子２ｆを形成した駆動ユニットと流路ユニットの取り付け構造が記載されている。
　してみると、上記訂正事項ａは、特許明細書に記載されていた範囲内で、特許請求の範囲の請求項１において、振動ユニットの支持基板が平板状とすると共に該支持基板の圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面に振動ブロックを固定すると限定し、振動ユニットに形成される位置決め部材が両側にあると限定し、流路ユニットの弾性変形領域と剛性領域が形成される部材が圧力室プレートであると限定し、流路ユニット及び振動ユニットの支持基板を固定する基台を備えると共に、該基台へ固定される支持基板の面が他方の面と限定したものであり、また、当該請求項１の訂正により、請求項２に記載されてい位置決め部材が駆動素子の両側に形成されるという事項が請求項１に取り込まれたため、元の請求項２を削除し、それに伴い、請求項３乃至７は、一つずつ繰り上げて、新たに請求項２乃至６とし、新たな請求項４及び６が引用する請求項も新たな請求項に対応するように変更したものである。
　ゆえに、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　また、上記訂正事項ｂ、ｄは、上記訂正事項ａ伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、発明の詳細な説明の記載を訂正したものである。
　さらに、上記訂正事項ｃは、弾性変形領域と剛性領域がそれぞれ、図２の実施例の圧力室プレートに形成される薄肉部と厚肉部に相当することを明瞭にしたものである。
　したがって、上記訂正は、特許請求の範囲の減縮および不明瞭な記載の釈明に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　　　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　
３．特許異議申し立てについての判断
（１）申立の理由の概要
  特許異議申立人林晴美は、甲第１号証（特開平３−２２１４５７号公報）、甲第２号証（特開平４−１０５２号公報）及び甲第３号証（特開平３−１０８４６号公報）を提出し、請求項１ないし３に係る発明は、これらに記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであると主張している。
　　　
（２）本件請求項１および２に係る発明
　本件請求項１および２に係る発明（以下、「本件発明１および２」という。）は、上記訂正によって訂正された明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものである（上記訂正事項ａ参照。）。       
　　　　
（３）引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消理由に引用した刊行物１乃至３には、本件発明１および２に関連する事項として、以下のような事項が記載されている。
　ア．引用刊行物１（＝甲第１号証）    
ａ．「基板１の上面に圧電素子２を積層し、該圧電素子２に複数の平行なスリット３を形成して、該スリット３間の各圧電素子２の凸部４に対応して上面に複数の加圧室５を形成し、該加圧室５はノズル６と、インク供給部７に連結しており」（２頁左上欄１７行〜右上欄１行）
ｂ．「１は基板、２は圧電素子、３はスリット、４は圧電素子の凸部、５は加圧室、６はノズル、７はインク供給部、８は振動板、９は加圧室形成部材、１０は加圧室に対応しない部分の圧電素子である。振動板８は各加圧室５を分離している。」（２頁右上欄１４行〜１９行）
ｃ．インクジェットヘッドの構成図（第１図）
　　
　イ．引用刊行物２（＝甲第２号証）
ａ．「図中符号２により示される基台は一端部、図では下方に圧電振動体１２を固定するための側方に突出した突部２ａ、２ａが形成されており、上端面にはインク溜部と圧電振動体１２とを隔離する振動板４が固定されている。振動板４は、圧電振動体１２と当接する近傍に凹部４ａ、４ａを形成して圧電振動体１２の振動に応答しやすく形成されている。振動板４の表面には流路構成部材を兼ねたスベーサ部材６が固定されており、圧電振動体１２に対向する領域には振動板４と協同してインク溜部を形成する凹部６ａが設けられ、・・・インク溜部を形成する凹部６ａとノズル開口・・・は・・・通孔６ｃ、６ｄにより連通させられている。」（３頁右下欄３行〜１９行）
ｂ．「このようにして形成された圧電板２８を基台２の突部２ａに導電性接着剤で固定し（第３ｅ図）、所定幅でもって基台２の表面近傍までダイヤモンドカッタ等によりカットする（第３ｆ図）」（４頁右上欄１２行〜１６行）
ｃ．圧電振動体１２を振動領域が自由端となるように平板状の基台２の、振動板４に垂直な面と平行な面に固定すると共に、該基台２を、該基台２の前記振動板４と平行な面で、振動板４及び基台２（支持基板）を固定する断面横コ字状部材（符号なし）に固定しているインクジェットヘッドの構造を示す断面図（第２図）
　　　
　ウ．引用刊行物３（＝甲第３号証）
「この発明にかかる・・・ヘッド部は２つの凹部を備えた、ガラス容器１１と縦効果を示す圧電素子１３とを備えている。・・・圧電素子１３には紙面に垂直方向に溝１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄが設けられている。溝１６ａと１６ｂで形成される領域が第１の押圧部１７ａとなっている。・・・溝１６ｃと１６ｄで形成される領域が第２の押圧部１７ｂとなっている。・・・ガラス容器１１の２つの凹部の上にはガラス板１２が取ら付けられている。ガラス容器１１の一方の凹部とガラス板１２とで第１のインク室１８ａが形成されている。ガラス容器１１の他方の凹部とガラス板１２とで第２のインク室１８ｂが形成されている。第１のインク室１８ａは第１のノズル１９ａと連通している。第２のインク室１８ｂは第２のノズル１９ｂと連通している。」（２頁右下欄２行〜３頁左上欄３行）　　
　
（４）対比・判断 
　ア．本件発明１について、
　本件発明１と上記引用刊行物１乃至３に記載された発明とを対比する。
　刊行物１には、圧電素子２（駆動素子ブロック）を固定する基板１（支持基板）を備えているが、インクジェットヘッドを構成する際、該基板１（支持基板）がどのような部材にどう固定されるか何ら明示されておらず、また、刊行物３には、圧電素子１３（駆動素子ブロック）を固定するものさえも何も記載されていない（括弧内は、本件発明１の対応する構成を示している。以下同じ。）。
　刊行物２には、圧電振動体１２（駆動素子ブロック）を振動領域が自由端となるように平板状の基台２（支持基板）の、振動板４（圧力室プレート）に垂直な面と平行な面に固定すると共に、該基台２（支持基板）を、該基台２（支持基板）の前記振動板４（圧力室プレート）と平行な面で、振動板４及び基台２（支持基板）を固定する断面横コ字状部材（基台）に固定しているインクジェットヘッドについては記載されているものの、基台２（支持基板）が、圧電振動体１２（駆動素子ブロック）を固定した面と反対の面で、振動板４（圧力室プレート）及び基台２（支持基板）を固定する断面横コ字状部材（基台）に固定されていると共に圧電振動体１２（駆動素子ブロック）の両側に動作時にも変位しない位置決め部材を形成する点について、記載も示唆もない。
　ゆえに、上記刊行物１乃至３のいずれにも、本件発明１の構成要件である支持基板が、他方の面、すなわち、駆動素子ブロックを固定した面と反対の面で、圧力室プレート及び支持基板を固定する基台に固定されていると共に駆動素子ブロックの両側に動作時にも変位しない位置決め部材を形成するに点について、何ら記載されておらず、また、それを窺わせる示唆もなく、当該技術分野において自明な事項でもなく、さらに、上記刊行物１ないし３の記載事項を相互に適用しても本件発明１に到達することができたと認定することができない。
　そして、本件発明１は、この点を具備することにより、明細書に記載された「振動子ユニットを構成する駆動素子と同一のブロックを切り出して位置決め部材とすることにより、圧力室に無用な変形を与えることなく駆動素子を圧力室に位置決めすることができ、各駆動素子の自由端を流路ユニットに安定に、つまり流路ユニットに無理な張力を作用させることなく結合することができる。これにより、優れたインク吐出特性のインクジェットヘッドを、簡単かつ高い歩留まりで製造することができる。また、支持基板に比較して容易に切断できる駆動素子ブロックから位置決め部材を切り出すため、支持基板に位置決め部を形成する場合に比較して高い精度で位置決め部材を構成することができる。」という作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、上記刊行物１乃至３に記載されたものから、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。　
　　　
　イ．本件発明２について、
　本件発明２は、本件発明１の構成要件を全て具備するものであるから、本件発明１に対して示した理由と同様な理由で当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　　　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１および２に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１および２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１および２に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月１７日（２００２．７．１７）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　本件訂正は、、特許請求の範囲の減縮および明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の記載を下記のａ〜ｄのように訂正するものである（訂正箇所にアンダーラインを付した。）。
　ａ．訂正事項ａ
　特許請求の範囲を、
　「【請求項１】　複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の
の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面
前記
圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子が対向する領域にに第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ位置決め部材と対向する領域に第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されている
　【請求項
２
１
　【請求項
３
　【請求項
４
３
　【請求項
５
　前記先端面に垂直で、かつ他端側で相互に連結するように分割して、前記駆動素子の列設方向の端部に位置決め部材を、また残部に前記駆動素子を形成する工程と、
　ノズル開口に連通する圧力室を封止する弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットの前記剛性領域に、前記駆動素子及び位置決め部材を当接させる工程と、
　からなるインクジェットヘッドの製造方法。
　【請求項
６
と訂正する。
ｂ．訂正事項ｂ
　段落【００１６】の
「【課題を解決するための手段】
　そこで本発明によるインクジェットヘッドは、・・・位置決めされている。」
を、
「【課題を解決するための手段】
　そこで本発明によるインクジェットヘッドは、複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の
の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面
前記
圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子が対向する領域にに第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ位置決め部材と対向する領域に第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されている。」
と訂正する。
ｃ．訂正事項ｃ
　段落【００２１】の
「圧力室プレート１１は、図２に示す様に、・・・フィルム厚３〜１５μｍの範囲から選ばれる。」
を、
「圧力室プレート１１は、図２に示す様に、圧力室２０、インク室１９をカバーしてインク漏れを防止すると共に、駆動素子自由端面２ａと接合する。プレート１１は剛性を高めた長方形で島状の厚肉部１１ａ
（第１の剛性領域）
（弾性変形領域）
（第２の剛性領域）
と訂正する。
ｄ．訂正事項ｄ
　段落【００７１】の
「【発明の効果】以上に説明したように本発明においては、・・・構成することができる。」
を、
「【発明の効果】以上に説明したように本発明においては、複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の
の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面
前記
圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子が対向する領域にに第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ位置決め部材と対向する領域に第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットとを備え、前記位置決め部材が前記圧力室の周囲の剛性領域に当接した状態で、前記振動子ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されている
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
インクジェットヘッド及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように平板状の支持基板の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面に固定し、前記駆動素子ブロックの両側に動作時にも変位しない位置決め部材を形成するように振動領域を前記駆動素子の配列方向に垂直に切断して構成された振動ユニットと、ノズル開口に連通する圧力室を封止する前記圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子の対向する領域に第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ前記位置決め部材と対向する領域に前記第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された流路ユニットと、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台とを備え、前記位置決め部材が前記第２の剛性領域と対向する領域に当接した状態で、前記振動ユニットの各駆動素子が前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定されているインクジェットヘッド。
　【請求項２】　前記位置決め部材が、前記駆動素子よりも強度が大きくなるように構成されている請求項１に記載のインクジェットヘッド。
　【請求項３】　前記駆動素子、及び位置決め部材の前記流路ユニットに対向する面に、同一厚さの駆動伝達材が固定されている請求項１に記載のインクジェットヘッド。
　【請求項４】　前記駆動伝達材が圧電材料またはセラミック材により構成されている請求項３に記載のインクジェットヘッド。
　【請求項５】　複数個の駆動素子分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように支持基板に固定し、前記振動領域の先端面を高平面度加工する工程、前記先端面に垂直で、かつ他端側で相互に連結するように分割して、前記駆動素子の列設方向の端部に位置決め部材を、また残部に前記駆動素子を形成する工程と、ノズル開口に連通する圧力室を封止する弾性変形領域の前記駆動素子の変位を受ける領域と前記圧力室の周囲とに剛性領域を有する流路ユニットの前記剛性領域に、前記駆動素子及び位置決め部材を当接させる工程と、からなるインクジェットヘッドの製造方法。
　【請求項６】　前記駆動素子と位置決め部材との先端面に、固定後の接着層の厚みよりも厚い接着剤の層を形成してから、前記駆動素子及び位置決め部材が前記流路ユニットに位置決めされている請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明はインク滴の吐出によって記録を行うインクジェット記録装置に適したインクジェットヘッドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　駆動素子の一自由端の振動により圧力室内のインクを加圧し、圧力室に連通するノズルよりインク滴を吐出する、本発明の構成に近いインクジェットヘッドは特開昭５８ー１１９８７０号、特開平４ー１０５２号に開示されている。
　【０００３】
　この種のヘッドは低電圧駆動、高密度化、優れた吐出特性の可能性を持っているが、現段階ではまだ充分な競争力を持つに至っていない。すなわち高応答、高印字品質且つ高安定吐出を実現し、また高密度化しつつ高い量産性を実現するにはまだ重要な課題を抱えている。
　【０００４】
　駆動素子先端の変位量は１μｍ以下、多くて１．５μｍと非常に微小なため、構造、製造における非常に微妙な寸法が吐出特性に影響する。特に駆動素子先端を流路ユニット、たとえばダイアフラムに対し如何に離れず且つ過度に押し込まずにセッティングできるかはこの種のヘッドの安定吐出を得る上で重要な技術課題である。
　【０００５】
　駆動素子を流路ユニットに対し倒れを生じることなく、且つ高密度に如何に配置するか、また脆い振動子を欠けや折れから如何に保護するかも重要な技術課題である。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来例である特開昭５８ー１１９８７０号によれば、ブロックのスロットに個々の細長の駆動素子の一端を固定し、他端をプレートのホールに通している。また駆動素子の長さ方向にはセットのための位置決め手段がなく、一方ダイアフラムの位置についても特に工夫はされていない。
　【０００７】
　各駆動素子毎に設計された固定構造やガイド軸受構造や流路ユニットとの結合に関する構造は、複雑過ぎる。多数の駆動素子を用いる場合この問題は品質やコスト上から見て深刻である。
　【０００８】
　またこの構造では多数ノズルを高密度化させることに限界がある。
　【０００９】
　駆動素子先端部をプレートのホールでガイドしたために摺動抵抗によって振動子の動きが妨害される、特にブロックのスロットの位置がホールに対しずれるとその妨害は顕著となる。以上の問題を解消し、多数ノズルを高密度に配すことができ、構造や組立作業が簡単なインクジェットヘッドを本出願人は提案した（特開平４ー１０５２号）。
　【００１０】
　この発明によれば上述の大部分の問題が解決、または改善されることが確認できたが、しかしこの発明にあっても依然以下の一つの大きな問題が残った。
　【００１１】
　駆動素子を流路ユニットに安定して結合することは容易でない。ダイアフラムに届かなかったり、或はダイアフラムを駆動素子で過度に押し込んでダイアフラムの破損または駆動素子の曲がりや折れを起こす。流路ユニットの剛性が低いと振動子で過度に押し込むとき流路ユニットが変形することもある。
　【００１２】
　これらの問題例を図２７に示す。
　【００１３】
　ダイアフラムが所々でその張力を変えると、それがダイアフラムの変位量に、すなわち圧力室の体積変化量に影響し、吐出インク量にもばらつきを生じてしまう。
　【００１４】
　ダイアフラムを押し込みすぎると駆動素子にその反力が加わり駆動素子の変位量が落ち、吐出インク量が減る。
　【００１５】
　本発明は上記した従来の技術課題を解決して、駆動素子を高密度に、しかも流路ユニットに対して安定して配置でき、従って均一且つ優れた吐出特性を持ち、その上組立の簡単化をも実現したインクジェットヘッドを提供するものである。
　【００１６】
　【課題を解決するための手段】
　そこで本発明によるインクジェットヘッドは、複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の支持基板の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面に
両側に動作時にも変位しない
前記圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子の対向する領域に第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ前記位置決め部材と対向する領域に前記第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された
、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台と
前記第２の剛性領域と対向する領域
動ユ
前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定
　【００１７】
　【実施例】
　以下に本発明の実施例に沿って詳細に説明する。尚、以下の図面に於て同一または同種の部位には同符号を付けた。
　【００１８】
　図１に本発明によるインクジェットヘッドの一実施例を示す分解組み立て図を示した。図２はある流路に着目した断面図である。図中符号１は駆動ユニットで、縦振動モードで動作し、圧力室反対側の一端を支持基板３に取り付けた駆動素子２を複数個列状に並べた駆動素子列２２を２セット備え、さらに支持基板３は基台４に取り付けられて構成されている。そして基台４に結合した流路ユニット１０に各駆動素子の自由端面２ａが結合している。駆動素子２には支持基板３上の薄膜電極２６を介してリード２７が、また共通電極２８を介してリード２１が接続しており、電力を供給すれば駆動素子２は長手方向に、すなわち図に於ける矢印ｚ方向に縮み、放電すると伸びて流路ユニット１０内圧力室２０のインクを加圧し、ノズル開口１３ａからインクを飛翔させる。
　【００１９】
　インクは図示されないインクカートリッジからパイプ１５、圧力室プレート１１の穴１８を通ってインク室１９に供給される。尚、１４は回路基板であって、リード２７、２１に接続した駆動用集積回路を搭載する。
　【００２０】
　流路ユニット１０は、図１に分解斜視図で示した様にノズルプレート１３、流路形成部１２、圧力室プレート１１を液密に重ねたものである。この実施例ではノズルプレート１３は等ピッチで並んだインク滴吐出ノズル１３ａを２列備える。流路はノズル１３ａと同ピッチで並んだ長方形状の圧力室２０を２列と各圧力室２０に共通のインク室１９を備える。ノズルピッチ、圧力室ピッチ寸法は共に駆動素子２の配列ピッチ寸法と同じである。
　【００２１】
　圧力室プレート１１は、図２に示す様に、圧力室２０、インク室１９をカバーしてインク漏れを防止すると共に、駆動素子自由端面２ａと接合する。プレート１１は剛性を高めた長方形で島状の厚肉部１１ａ（第１の剛性領域）と厚肉部１１ａを囲んで駆動素子２の変位を受けてたわみを起こす薄いフィルムである薄肉部１１ｂ
（弾性変形領域）
駆動素子が位置する領域の外
（第２の剛性領域）
　【００２２】
　図３は本発明によるインクジェットヘッドに好適な流路ユニット１０の製造工程の一実施例を示したものである。図３（ａ）（ｂ）において、予め列状に設けられたノズル１３ａを有するノズルプレート１３に厚さ５０μｍのフォトレジスト８２を積層し、図３（ｃ）に示すように所要のパターンをもつマスク８７を介して露光する、そして現像処理すれば図３（ｄ）のように圧力室、各圧力室共通のインク室等のための流路壁８３、８４を得る。マスク８７をノズルプレート１３の基準穴に合わせて露光するので、流路壁はノズル１３ａとずれることなく形成される。一方予め高剛性部１１ａ等を設けた圧力室プレート１１側にも同様にしてノズルプレート１３側と相符合する流路壁９１を作る。そして図３（ｅ）に示すように、以上の２体を加熱、加圧下で圧着せしめれば、または接着剤にて接合せしめれば圧力室２０、各圧力室共通のインク室１９を備えた流路ユニット１０が完成する。
　【００２３】
　図４はノズルプレート１３上に形成された流路パターンの一例を示すもので、壁部１００により囲まれた内側には共通のインク室１９となる空所と、一端でインク室１９と連通する圧力室２０を形成する空所が設けられている。そして全体としては圧着時、または接合時、圧着部や接合部（図中ハッチングを施した領域）の印加圧が均一になるように、しかもハッチング領域の重心位置が全体のほぼ中心に位置するようにパターンを設計している。図４にあっては、インク室１９となる空所や位置決め用基準穴の配置が上下で異なるため、空所１０３等を設けて最適化した。重心位置を外形中心に対して外形寸法比プラスマイナス２０％以下、好ましくは図中符号１０４で囲んだ１０％内に入れることによって、全ての圧力室にわたって圧着つぶれ量を均一にでき（従って流路寸法を高精度にでき）、また安定した接合強度が得られることが分かった。
　【００２４】
　開発例によれば、ノズルプレート１３はステンレスプレートでその板厚は３０〜２００μｍ、ノズル１３ａはプレス加工で製作し、その径は３０〜４０μｍ、圧力室２０は幅０．１ｍｍ、深さ０．１ｍｍ、長さ１．０〜２ｍｍの範囲から吐出インク量０．０７〜０．０９μｇとなるよう最適化した。配列ピッチは１４１μｍ、１列当り３２個、２列で６４個形成した。
　【００２５】
　図５は流路ユニット１０の他の実施例で、圧力室４０やノズル４３、共通のインク室４９等の流路を射出成形により作ったプラスチック流路形成プレート４１と、プラスチックフィルム製圧力室プレート４４を示す。壁４６に囲まれた内側には共通のインク室４９となる空所と一端でインク室４９と連通し、他端でノズル開口４３に通ずる長方形の圧力室４０が設けられている。
　【００２６】
　図６は駆動素子ブロック５０の一実施例である圧電素子ブロックの断面図を示したもので、薄い圧電材５３と電極形成材５４、５７の印刷を交互に繰り返して所要の層数に仕上げた後、焼結したもので、圧電材料５３を間にして外部電極２５と接続する内部電極形成材料５４、外部電極２４と接続する内部電極形成材料５７が交互に積層された積層型圧電素子である。不活性領域５５と二つの電極面５４、５７が対向する活性領域５６を備える。
　【００２７】
　不活性領域５５には内部電極５４の間にさらに他方の内部電極５７に対向する位置に電極材５８を配して、素子ブロック５０のソリ等の変形や平坦度の向上を図っている。即ち電極材５８が無い場合、不活性領域５５は活性領域５６と内部電極材の積層構造が異なり、全体として焼成後の平坦度の低下やソリが生じ、本発明のインクジェットヘッドにとって必要な駆動特性が得られなくなる、よって内部電極材５８を配して特性向上を行った。
　【００２８】
　図７（ａ）〜（ｆ）は本発明のインクジェットヘッドに用いる駆動ユニットの製造工程の一部を示すものであって、先ず同図（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、素子ブロック５０の一端をダイサー５２で切断加工して１５μｍ以下、平均的には５μｍ前後以下の平面度から成る端面５０ｃを形成する。ダイサー５２に替えてワイヤーソー、あるいは研磨によっても端面５０ｃを高平面度に形成することができる。次に端面５０ｃに外部電極２４と接続する外部電極５９をスパッタリングや蒸着またはメッキによって付ける。
　【００２９】
　今の説明では駆動素子ブロック５０に予め電極２４、２５を形成し、端面５０ｃ形成後に改めて電極５９を形成したが、替えて、予め駆動素子ブロック５０には外部電極を付けず、端面５０ｃ形成後に初めて電極２４、２５、５９を同時形成してもよい。
　【００３０】
　図７（ｄ）（ｅ）において、支持基板３の片面には薄膜電極３２が付けられていて、その支持基板３の薄膜電極３２面に駆動素子ブロック５０を接着剤または半田等ろう付けにより接合する。この際治具を用いて支持基板３のエッジ３ｂと端面５０ｃを平行に、また活性領域５６の端をエッジ３ｂに正確に合わせることが肝要である。図８に接合した素子ブロック５０と支持基板３の断面図を示す。次に図７（ｅ）のようにダイサー６２またはワイヤソーを使って、端面５０ｃに垂直に駆動素子ブロック５０と支持基板３上の薄膜電極３２を同時に切断し、等ピッチで並ぶ駆動素子２および両サイドの位置決め素子２ｆを形成する、と共に薄膜電極３２をも分割して各駆動素子毎の引出し電極２６を作る。このとき支持基板３には約８０μｍ切り込む。
　【００３１】
　次に図７（ｆ）に示すようにフレキシブルな共通電極板２８をロウ接続し、各薄膜電極にはリード（ここではフレキシブルプリント基板２９）を接続する。
　【００３２】
　各駆動素子２のピッチ精度はダイサーの送り精度またはワイヤーソーのピッチ精度で決まり、５μｍ前後かそれ以下に加工可能である。
　【００３３】
　以上の工程によって、各駆動素子自由端面２ａと位置決め素子２ｆ先端面は平面度１５μｍ以下の精度が可能となった。
　【００３４】
　位置決め素子２ｆは後述の位置決め機能を有する他、製造工程における接触事故や組み込み圧に対し細い駆動素子を両側から保護する。
　【００３５】
　図７（ｂ）の圧電素子ブロック５０に示すように、内部電極５７は外に露出させず、加工によって初めて露出するようにした。その結果素子ブロックの長期保管信頼性や輸送時の内部電極破断を防止できた。
　【００３６】
　開発ヘッドによれば駆動素子列２２は１／１８０インチ（１４１μｍ）のピッチで３２本並び、その駆動素子２の寸法は幅７０μｍ、厚さｄは約５００μｍ、自由端長さＬは５ｍｍであった。また位置決め素子２ｆは幅５００μｍとして後述の組み込みや流路ユニットとの接合に耐える強度を確保した。駆動素子としての積層型圧電材には圧電材料層５３の厚さ３０μｍ、内部電極材５４、５７、５８の厚さ３μｍ、１６層数を積層したものを用いた。
　【００３７】
　支持基板３は駆動素子２を強固に固定し、且つ駆動素子にソリや曲げを発生させないこと、また各駆動素子間にクロストークを起こさないこと、電極３２の形成が可能なこと、接合部では電気的接続が可能なこと、等の諸機能を担う。従って支持基板３は平坦性を有し、高ヤング率、また振動子に近い熱膨張係数の材料が適す。材料としてプラスチック、金属、も可能であるが、望ましくはセラミック材が最も良い結果であったためアルミナ、または快削性セラミックを用いた。図９は駆動素子の自由端面を形成する多数個同時高平面度加工の他の実施例を示すもので、ベース６１に複数の駆動素子ブロック５０をセットし、二つの滑車６４間に張られたワイヤソー６５により自由端面を作る。
　【００３８】
　この実施例によれば、工程を合理化できるのみならずワイヤソー６５の直線性とその長さを生かして、多数の素子ブロック端面をばらつきなく１５μｍ以下、平均的には５μｍ前後以下の高平面度化ができる。
　【００３９】
　図１０は本発明のインクジェットヘッドに用いる駆動ユニットの他の製造方法の実施例を示すものであって、図１０（ａ）に示すように、複数個分の駆動素子列に相当するサイズを持った１枚の駆動素子ブロック５１を用意し、先の説明同様駆動素子ブロック５１の端面を高平面度に仕上げる。次に外部電極６９を形成する。または端面を高平面度に仕上げた後外部電極６９、２５、２４を形成する。次に図１０（ｂ）に示すように、高平面度加工面５１ｃに垂直に等ピッチで分割して駆動素子を列状に形成する。符号６６はワイヤーソーで、等切り出しピッチで不図示の滑車間に多数張ってあり、矢印の方向に移動させて、支持基板３１上の電極と駆動素子ブロックを複数箇所同時分割する。
　【００４０】
　次に図１０（ｃ）のように各素子の連結部である支持基板３１を所定の、例えば３２個の素子から成る駆動素子列２２に分割し、さらに好ましくは同一ヘッドには同一素子ブロックから切り出された駆動素子列２２を搭載する。
　【００４１】
　図１０に示した実施例によれば、全ての駆動素子を等ピッチで切り出すので、ピッチ変化部（例えば図６の位置決め素子２ｆ部）に隣接した駆動素子で生じ易いピッチ寸法不良や素子幅寸法の不良を防ぐことができる。また全ての素子が等ピッチで形成されることは加工の自動化にとって好都合である。
　【００４２】
　ワイヤーソー加工ではワイヤーソーのピッチ幅が変化するとその部分で駆動素子幅の精度が顕著に低下するのみならず、滑車の摩耗が促進する。しかしこの実施例によれば全て等ピッチでワイヤーを張ることができるのでワイヤーソー加工にとって非常に好都合である。
　【００４３】
　複数個の駆動素子列を搭載するヘッドには同一素子ブロックから切り出された素子列を用いる、即ち先の実施例で図示したような２個の素子列を用いたインクジェットヘッドでは、その２個は同一素子ブロックから切り出された素子列とする。その結果、その２個の駆動素子列の間には自由端面２ａの平面度と、材料特性の差が非常に小さく、各ノズルからのインク吐出特性がばらつかない。個々のインクジェットヘッド間のばらつきは電圧等の調整により補正可能であるが、各ノズルからの吐出特性ばらつきは補正方法が無いだけに同一ヘッドには同一ブロックから切り出された駆動素子を用いる事は各ノズルからの均一な吐出特性を得、優れた印字品質を得る上でその効果は大きい。
　【００４４】
　図１１〜図１４は端部に駆動伝達材を連結した駆動素子の製造実施例を示したもので、図１１において、符号４２は駆動伝達材であって、ダイサー５２またはワイヤーソーまたは研磨によって自由端面となる平面４２ｄを形成する。駆動伝達材４２は図１２のように凹部４２ａを有し、圧電材またはセラミック材より成る。図１３に示すように、駆動伝達材４２の凹部４２ａに駆動素子ブロック５１を合わせ、支持基板３の下面と駆動伝達材４２の平面４２ｄを直角ブロックゲージ４５に当接させて、これら三つの部材を接合する。
　【００４５】
　図１２（ａ）（ｂ）は駆動伝達材４２と素子ブロック５１の接合図であり、同図（ａ）はその断面図、（ｂ）は平面図である。
　【００４６】
　図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は図６で説明した製造工程と同様のためその詳細は省略する。
　【００４７】
　図１２（ａ）（ｂ）からわかるように、駆動伝達材４２を用いることによって、素子ブロック５１端面と駆動伝達材４２の間隙は接合材４４で埋められるので、素子ブロック５１には高平面度加工が不用となる。従って加工による脆い素子材５１の欠け、内部電極材の曳ずりとそれに伴う短絡、外部電極の再形成といった課題を改善できる。
　【００４８】
　図１５は本発明によるインクジェットヘッドの他の実施例を示す断面図である。駆動素子２は圧電材と電極材を交互に積層した積層型圧電駆動素子であって、リード２１、２７に電力を与えると、積層方向（Ｚ方向）に伸びてノズル開口１３ａからインク滴を吐出させる。駆動素子２の自由端面２ａには予め研磨を施して高平面度に仕上げ、高平面度面に垂直に分割して素子列とすることは今までの実施例と同様である。
　【００４９】
　駆動ユニット１と流路ユニット１０の取り付け構造の実施例について以下に説明する。図１６は取り付け構造の断面図である。流路ユニット１０に設けられた穴と基台４に設けた穴にピンを通して流路ユニットと基台４の相互位置を合わせた後、流路ユニット１０の圧力室プレート１１と基台４は接着剤１０５で接合される。次に前述した駆動素子列２２の駆動素子自由端面２ａ及び位置決め素子２ｆ先端に転写法で薄く、望ましくは後述するように、１５μｍ以下の厚さで接着剤を塗布し、駆動素子列２２を基台４の案内５（図１参照）を使って、位置決め素子２ｆ先端が圧力室プレート１１に度当たるまで矢印方向（Ｚ方向）に挿入する。すなわち駆動素子列２２のＸ方向位置は支持基板３の両サイドと基台４の案内５（図１参照）で、Ｙ方向位置は位置決め素子２ｆ先端と基台４の端部に設けられた案内４ｂで決められ、Ｚ方向は位置決め素子２ｆ先端で決められる。
　【００５０】
　位置決め素子２ｆ先端が圧力室プレート１１に当たれば、その状態を治具で保持したまま仮止め接着剤、例えば紫外線硬化型接着剤で基台４に仮止めを行う。仮止めは基台４との任意の間隙で可能である。仮止めすれば治具からの開放が可能となる。その後熱硬化接着剤で、即ち図２の接着剤１０６あるいは図１６の接着剤１０７のように本格的に固定する。基台４は支持基板３を強固に固定し、一方流路ユニットとも強固に結合されており、駆動時に駆動素子２が圧力室２０の反対方向へ逃げるのを防いでいる。図１６の符号１０８で示すように、位置決め素子２ｆ先端が当たる部分には流路等の空洞部は避けて、硬くする。その結果、位置決め素子２ｆ先端は組立時の矢印方向の加圧力に左右されることなく常に安定したＺ方向位置を維持する。
　【００５１】
　尚、流路ユニット側に薄く接着剤を塗布し、次いで基台４および駆動素子列２２をセットし、同時接合してもよい。
　【００５２】
　図１７は、図１０にて製造された等ピッチで並んだ駆動素子列２２を用いた実施例を示すもので、圧力室２０に結合する駆動素子２の両側の二つの素子を位置決め素子２ｅとして用いた。駆動素子列２２は基台４の両側のガイド部４ｂに挟まれてＹ方向位置が決められ、位置決め素子２ｅが流路ユニットに当たることによってＺ方向位置が決められる。位置決め素子としてその強度アップを確保するため両側の２本の素子を位置決め素子２ｅとした。
　【００５３】
　図１８は駆動素子列の両側に張り出した支持基板３を位置決め素子３ｄとした他の実施例を示したものである。Ｕ字型の支持基板３のそのＵ字部に駆動素子ブロックを接合した後、駆動素子ブロックと支持基板の張り出し部３ｄを同時加工して高平面度化し、次に各駆動素子２に分割したものである。従って位置決め素子３ｄ先端面は駆動素子自由端面２ａと共に高平面度を有する。位置決め部３ｄは材質、寸法の自由度によって強度的に優れるという利点がある。
　【００５４】
　図１９は基台４に駆動素子列２２を組み込んだ駆動ユニット１の実施例を示したもので、その製造方法は、高平坦度な平面に仕上げた基台４の平面７と駆動素子自由端面２ａを高平坦度のガラス面に押し当てた状態で、駆動素子列２２と基台４を固定したものである。従って基台４の平面７と自由端面２ａは同一平面上にある。駆動ユニット１は平面７及び自由端面２ａで一体となって流路ユニットと接合される。
　【００５５】
　基台４は３ｍｍ以上の厚さを有し、材質にはステンレス等の金属、セラミック、樹脂が使用可能であるが、いずれにおいても剛性が高いほうが望ましい。樹脂成形であれば収縮率が小さくヒケ、ねじれ等を生じない熱硬化性樹脂がすぐれることが解っている。
　【００５６】
　以上に説明したように、本発明のインクジェットヘッドによれば、駆動素子自由端面の平面度を向上させることができ、また駆動素子の両サイドに位置決め素子を備えてＺ方向位置を決めた。そのため複数の駆動素子を同時に高精度に位置決めでき、各ノズルからの吐出特性を均一化できた。また組立を簡単化できた。また位置決め素子２ｆや支持基板３を基台４でガイドして位置を決め、またＺ方向も位置決め素子で位置を決めるので、駆動素子２を直接ガイドせず駆動素子の破損を防止できた。
　【００５７】
　また駆動素子を高密度配置できたのみか、従来例のような摺動抵抗による駆動素子の変位動作の阻害がない、などインク吐出特性の一層の安定化が可能となった。
　【００５８】
　図２０は、上述の工程により製造された本発明によるインクジェットヘッドの圧力室近傍の階層構造をノズル開口１３ａ側から示すものであって、図２１には圧力室プレート１１上に結合した駆動素子２を示した。
　【００５９】
　圧力室２０の幅Ｄ、長さｌ、圧力室プレート１１の矩形状の厚肉部１１ａの幅ａ、長さｂ、駆動素子２の自由端２ａの幅ｃ、厚さ（長さ）ｄとするとき、ａ＜Ｄ、ａ＜ｃ、ｄ＜ｂ＜ｌの関係がある。
　【００６０】
　図２２、２３は複数並んだ駆動素子２の自由端面２ａの平面度ｈを示したものである。図２２に於て平面度ｈは最も短い素子２ーｓと最長素子２ーｌの両端面で規定される二つの平行平面間距離で表され、好ましくはｈ＜１５μｍである。図２３は駆動素子列の両側に配した位置決め素子２ｆの先端面で規定する平面３８を基準に平面度を表したもので、平面３８に平行で最短素子２ーｓで決まる平面を符号３６、平面３８に平行で最長素子２ーｌで決まる平面を符号３７とすると、両平面３８、３６間距離をｈ１、平面３８、３７間距離をｈ２とし、その合計を平面度ｈで表したもので、好ましくはｈ１＜５μｍ、ｈ２＜１０μｍ、ｈ＜１５μｍであった。
　【００６１】
　図２４は流路ユニット１０と駆動素子自由端面２ａの結合の実施例を表したものである。右端の駆動素子にあっては、自由端面２ａと圧力室上に配置された高剛性厚肉部１１ａはやや厚い接合材３５ａを介して結合され、また薄肉部１１ｂはたわみを生じていない。中央の駆動素子にあっては前記接合材３５ａより薄い接合材３５ｂを介し、また薄肉部１１ｂにたわみを起こさず結合されている。左端の駆動素子にあっては前記接合材３５ｂよりさらに薄い接合材３５ｃを介し、また薄肉部１１ｂには微小のたわみを生じている。
　【００６２】
　すなわち、本発明のインクジェットヘッドにおいて、流路ユニット１０に対し駆動ユニットを取り付けたときの圧力室プレート１１と駆動素子自由端面２ａ間の間隙量に応じて、接合材３５の厚さが変わり、場合によっては（ｈ２＞０のとき）薄肉部１１ｂに微少なたわみを生じる。間隙量がプラス値のとき薄肉部１１ｂはたわみを生じず、マイナス値のとき薄肉部１１ｂはマイナス値相当量たわむ。
　【００６３】
　図２５は流路ユニット１０と駆動素子２の結合に関する一製造過程を図示したもので、同図（ａ）に示すように、自由端面２ａに接合材３５を厚さｔ塗布した後、同図（ｂ）の通り矢印方向へ移動させると薄肉部１１ｂをたわませることなく接合材３５はつぶれ、左右に広がり、接合材がその間隙部を埋める。また広がった接合材は図２４のようにコーナーにてメニスカスを作ってさらに接合力を高める。
　【００６４】
　圧力室プレート１１の薄肉部１１ｂは数グラム〜１０グラム以下の弱い荷重によってたわむよう設計されるが、しかし接合材厚さによって薄肉部を深くたわませると応力破壊等の問題を起こす。そこで少なくとも接合材自身によっては薄肉部１１ｂがたわまないよう、薄肉部１１ｂのたわみ変形力に比較して弱い力で流動する接合材を用いることが重要である。
　【００６５】
　図２７は駆動素子自由端面２ａの平面度が悪いために生じた流路ユニット１０と駆動素子２の結合不良例を示したもので、右端の駆動素子にあっては前記間隙量が大きくて（図２３のｈ１が大きい）結合されないものを、また左端の駆動素子にあっては間隙量のマイナス値が大きすぎて（図２３のｈ２が大きい）過度に薄肉部をたわめ、流路ユニットまでもが変形した例である。
　【００６６】
　図２６は接合材３５の塗布厚さｔと駆動素子自由端面の平面度ｈの最適化のために行った開発結果の実施例である。横軸は接合材３５の塗布厚さｔを、縦軸は駆動素子自由端面の平面度ｈを表す。一点鎖線７７は図２３における平面３８に対応し、ｈ１は流路ユニットと自由端面が離れる方向、ｈ２は薄肉部をたわませる方向を意味する。
　【００６７】
　駆動素子自由端面上の接合材塗布量が多いと、結合時圧力室プレート１１の薄肉部１１ｂに接合材がはみ出し、駆動時の薄肉部のたわみ変位量に悪影響することが解っている。即ち、接合材３５の塗布厚さｔの上限値は、自由端面２ａが圧力室プレートの厚肉部に当接した時、流動した接合材が薄肉部１１ｂに流出し始める塗布厚さｔで決まり、図に於て実線７１がこれを表し、その右領域では接合材が薄肉部に流出する。塗布厚さｔの下限は図２７の右側駆動素子のように、自由端面２ａ上の接合材が厚肉部に到達しなくなる値で決まり、図に於て実線７０がこれを表し、この上部領域では接合されない。一方駆動素子の自由端面２ａの平面度ｈの上限値（ｈ１）は接合材の塗布厚さｔの下限値で決まり、図に於て２点鎖線７５がこれを表し、鎖線７５より上部領域では接合されない。
　【００６８】
　薄肉部１１ｂを過度にたわめると先の説明のように流路ユニットまでをも変形させたり、或は駆動素子２の折れ、など重大な問題を生じてしまうが、特に薄肉部１１ｂの破壊が起こり易い。平面度ｈの下限値（ｈ２）はこのように薄肉部１１ｂがたわんだ時の、その限界値で決まり、図に於て２点鎖線７６がこれを表し、その下の領域ではたわみ限界を越える。
　【００６９】
　以上より、駆動素子２と流路ユニット１０との結合のための最適領域は斜線部であって、接合材塗布厚さの最適範囲は５〜１５μｍ、駆動素子自由端面の平面度の許容範囲はｈ１＜５μｍ、ｈ２＜１０μｍでｈ＜１５μｍである。
　【００７０】
　尚、流路ユニットの平坦度も平面度及び塗布厚さを決める重要なファクターであるが、この場合平面度はその値を差し引いたより厳しい平面度が要求平面度となる。
　【００７１】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明においては、複数個の駆動素子列分以上のサイズを有する駆動素子ブロックを、振動領域が自由端となるように
平板状の支持基板の、圧力室プレートに垂直な面と平行な一方の面に
前記
両側に動作時にも変位しない
前記
前記圧力室プレートに、前記圧力室に対向する領域に弾性変形領域が、前記駆動素子の対向する領域に第１の剛性領域が、さらに前記駆動素子の配列方向の外側で、かつ前記位置決め部材と対向する領域に前記第１の剛性領域と同一の厚さの第２の剛性領域が形成された
と、前記流路ユニット及び前記振動ユニットの前記支持基板を固定する基台と
前記位置決め部材が前期第２の剛性領域と対向する領域
動ユ
前記第１の剛性領域に位置決めされて、前記支持基板が他方の面で前記基台に固定
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示す組立分解図である。
　【図２】本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示す図である。
　【図３】本発明のインクジェットヘッドの流路ユニットの製造工程の一部を示す図である。
　【図４】本発明のインクジェットヘッドの流路パターンの実施例を示す図である。
　【図５】本発明のインクジェットヘッドの流路ユニットの他の実施例を示す図である。
　【図６】本発明のインクジェットヘッドに使用する駆動素子を拡大して示す断面図である。
　【図７】本発明のインクジェットヘッドに使用する駆動ユニットの製造工程の一部を示す図である。
　【図８】本発明のインクジェットヘッドに使用する駆動素子を支持基板に接合した断面図である。
　【図９】本発明のインクジェットヘッドに使用する駆動素子の高平面度加工工程の一部を示す図である。
　【図１０】本発明のインクジェットヘッドに使用する駆動ユニットの他の製造工程の一部を示す図である。
　【図１１】駆動伝達材の実施例を示す斜視図である。
　【図１２】駆動伝達材と駆動素子の接合実施例を示す断面図である。
　【図１３】駆動素子、駆動伝達材、及び支持基板の取り付け方法の一実施例を示す図である。
　【図１４】駆動ユニットの製造工程の一部を示す図である。
　【図１５】本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示す図である。
　【図１６】駆動ユニットと流路ユニットの取り付け構造を示す断面図である。
　【図１７】駆動ユニットと流路ユニットの取り付け構造を示す断面図である。
　【図１８】駆動ユニットと流路ユニットの取り付け構造を示す断面図である。
　【図１９】駆動ユニットと基台の取り付け構造を示す斜視図である。
　【図２０】圧力室近傍の階層構造を拡大して示す図である。
　【図２１】駆動素子自由端面と流路ユニットの接合を示す斜視図である。
　【図２２】駆動素子自由端面の平面度を示す図である。
　【図２３】駆動素子自由端面の平面度を示す図である。
　【図２４】駆動素子自由端面と流路ユニットの接合を示す断面図である。
　【図２５】駆動素子自由端面と流路ユニットの接合工程の一部を示す図である。
　【図２６】駆動素子自由端面の平面度の最適範囲の実施例を示す図である。
　【図２７】駆動素子自由端面と流路ユニットの接合不良を示す断面図である。
　【符号の説明】
　１　駆動ユニット
　２　駆動素子
　２ａ　駆動素子自由端面
　２ｃ　駆動素子自由端面
　２ｆ　位置決め素子
　２ｅ　位置決め素子
　３　支持基板
　４　基台
　７　基台の流路ユニットとの結合面
　１０　流路ユニット
　１１　圧力室プレート
　１１ａ　圧力室に配置される圧力室プレートの剛性を高めた厚肉部
　１１ｂ　圧力室プレートの薄肉部
　１２　流路形成部材
　１３　ノズルプレート
　１９　共通のインク室
　２０　圧力室
　２２　駆動素子列
　２８　共通電極材
　３５　接合材
　４１　プラスチック流路形成基板
　４２　駆動伝達材
　５０　駆動素子ブロック
　５１　駆動素子ブロック
　５２　ダイサー
　６５　ワイヤソー
　１０７　接合材