(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスとの間で信号を入出力する試験モジュールと、被試験デバイスを試験するための試験プログラムを実行して、試験モジュールが有する複数の機能のうち試験プログラムにより指定された機能の実行を試験モジュールに指示するテスタ制御部と、を備え、試験モジュールは、被試験デバイスとの間で信号を入出力する信号入出力部と、試験プログラムにより指定された機能に応じた機能プログラムを実行して、信号入出力部内のレジスタおよびメモリの少なくとも一方をアクセスするモジュール制御部と、を有する試験装置を提供する。
2011001462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスとの間で信号を入出力する試験モジュールと、
前記被試験デバイスを試験するための試験プログラムを実行して、前記試験モジュールが有する複数の機能のうち前記試験プログラムにより指定された機能の実行を前記試験モジュールに指示するテスタ制御部と、
を備え、
前記試験モジュールは、
前記被試験デバイスとの間で信号を入出力する信号入出力部と、
前記試験プログラムにより指定された機能に応じた機能プログラムを実行して、前記信号入出力部内のレジスタおよびメモリの少なくとも一方をアクセスするモジュール制御部と、
を有する試験装置。
【請求項２】
前記テスタ制御部は、前記モジュール制御部に対して実行すべき機能の種類および当該機能のパラメータを、複数のワードを含むバースト転送により前記モジュール制御部へと送信し、
前記モジュール制御部は、前記信号入出力部内のレジスタおよびメモリをワード単位でアクセスする
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記テスタ制御部は、前記モジュール制御部に対して実行すべき２以上の機能のそれぞれの種類および当該２以上の機能のそれぞれのパラメータを一のバースト転送により前記モジュール制御部へと送信する請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記モジュール制御部は、前記機能プログラムに応じて前記信号入出力部を設定し、または動作させるのに先立って、前記信号入出力部の状態を読み出して、前記信号入出力部が当該設定を受け付け、または当該動作を開始することができる状態であるか否かを確認する請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
【請求項５】
前記モジュール制御部は、前記テスタ制御部から２以上の機能の実行を指定されたことに応じて、当該２以上の機能に対応する２以上の前記機能プログラムにおける、前記信号入出力部に対して設定を行う設定部分を並行して実行し、前記信号入出力部と前記被試験デバイスとの間で信号を入出力する動作部分を逐次実行する請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
【請求項６】
複数の前記試験モジュールのうち少なくとも２以上の前記試験モジュールは、同期通信により互いに同期を取って、少なくとも１つの前記被試験デバイスの試験を実行する請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
【請求項７】
前記モジュール制御部は、
前記複数の機能に応じた複数の前記機能プログラムを記憶する機能プログラム記憶部と、
前記テスタ制御部から指定された機能に応じた前記機能プログラムを前記機能プログラム記憶部から読み出して実行する機能プログラム実行部と、
前記テスタ制御部から前記機能プログラムのコードを受信して、前記機能プログラム記憶部に書き込む機能プログラム書込部と、
を有する請求項１から５のいずれかに記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アナログ回路、デジタル回路、メモリ、およびシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）等の被試験デバイスを試験する試験装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００７／０１８０２０号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような試験装置において、ワークステーション等のコンピュータは、試験装置の設定および機能試験等の一連の試験動作等を制御するとともに、ユーザとのインターフェースを実現する。こうしたコンピュータ等による制御装置は、試験装置本体の多くのレジスタに対して適切な値をセットすることと、試験動作において様々なタイミングで指示を与えることが求められる。したがって試験装置は、制御装置と試験装置本体との間で、これらを効率良く行うことが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスとの間で信号を入出力する試験モジュールと、被試験デバイスを試験するための試験プログラムを実行して、試験モジュールが有する複数の機能のうち試験プログラムにより指定された機能の実行を試験モジュールに指示するテスタ制御部と、を備え、試験モジュールは、被試験デバイスとの間で信号を入出力する信号入出力部と、試験プログラムにより指定された機能に応じた機能プログラムを実行して、信号入出力部内のレジスタおよびメモリの少なくとも一方をアクセスするモジュール制御部と、を有する試験装置を提供する。【０００６】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施形態に係る試験装置１００の構成を、被試験デバイス１０とともに示す。
【図２】本実施形態に係る試験装置１００の制御処理の概略内容を、時間軸を横軸にして相対的に示す。
【図３】本実施形態に係る試験装置１００の機能処理の概略内容を、時間軸を縦軸にして相対的に示す。
【図４】本実施形態に係る試験装置１００の動作フローを示す。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成を、被試験デバイス１０とともに示す。試験装置１００は、アナログ回路、デジタル回路、メモリ、およびシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）等の被試験デバイス１０を試験する。試験装置１００は、被試験デバイス１０を試験するための試験パターンに基づく試験信号を被試験デバイス１０に入力して、試験信号に応じて被試験デバイス１０が出力する出力信号に基づいて被試験デバイス１０の良否を判定する。
【００１０】
試験装置１００は、制御装置と試験装置本体との間で送受信される制御信号およびデータ信号等について、効率の良い転送タイミングおよび適切なバスによる転送で、デバイス試験のスループットを向上させる。試験装置１００は、テスタ制御部１１０と、試験モジュール１２０と、ハブ１３０とを備える。
【００１１】
テスタ制御部１１０は、被試験デバイス１０を試験するための試験プログラムを実行して、試験モジュール１２０が有する複数の機能のうち試験プログラムにより指定された機能の実行を試験モジュール１２０に指示する。テスタ制御部１１０は、少なくとも１つ以上の汎用のまたは専用の高速シリアルバス等を介してハブ１３０に接続される。汎用の高速シリアルバスとしては、一例として、Ethernet（登録商標）、ＵＳＢ、Serial RapidIO等を用いることができる。
【００１２】
テスタ制御部１１０は、試験プログラムにより指定された機能の実行を、複数のワードを含むバースト転送で試験モジュール１２０に指示することが望ましい。テスタ制御部１１０は、バースト転送として、テストパターン、試験結果のフェイルアドレス、フェイルデータといった大量のデータを転送する目的に適した、ＤＭＡ（Direct Memory Access）転送、パケット転送等を用いてよい。
【００１３】
試験モジュール１２０は、被試験デバイス１０との間で信号を入出力する。試験モジュール１２０は、被試験デバイス１０を試験する目的で、条件設定、試験信号出力、被試験デバイス１０からの応答信号の受信等といった複数の機能を持つ。試験モジュール１２０は、信号入出力部１４０と、モジュール制御部１５０とを有する。
【００１４】
信号入出力部１４０は、被試験デバイス１０との間で信号を入出力する。信号入出力部１４０は、被試験デバイス１０を試験するための試験パターンに基づく試験信号を被試験デバイス１０に送信して、試験信号に応じて被試験デバイス１０が出力する出力信号を期待値と比較する。信号入出力部１４０は、レジスタと、入出力するデータを保持するメモリを含む。
【００１５】
信号入出力部１４０のレジスタは、動作モード、タイミング遅延量、電流、および電圧等の設定値を設定するための演算および実行状態の保持に用いられる。信号入出力部１４０のメモリは、試験パターン、期待値データ、フェイルデータ、ログデータ、およびモジュールの状態等を記憶する。
【００１６】
モジュール制御部１５０は、試験プログラムにより指定された機能に応じた機能プログラムを実行して、信号入出力部１４０内のレジスタおよびメモリの少なくとも一方をアクセスする。モジュール制御部１５０は、信号入出力部１４０内のレジスタを個別に設定すべく、ワード単位でアクセスしてよい。ワード単位の転送は、例えばＣＰＵ自身のＩ／Ｏポートを利用してデータを入出力するＰＩＯ（Programmed Input / Output）転送等を含む。モジュール制御部１５０は、機能プログラム記憶部１６０と、機能プログラム実行部１７０と、機能プログラム書込部１８０とを含む。
【００１７】
機能プログラム記憶部１６０は、複数の機能に応じた複数の機能プログラムを記憶する。機能プログラム記憶部１６０が記憶する機能プログラムは、一例として試験モジュール１２０が持つ、少なくとも１つ以上のレジスタおよび／またはメモリに対する試験に応じた条件設定、試験信号出力、被試験デバイス１０からの応答信号の受信等といった複数の機能を実行させるプログラムを含む。
【００１８】
機能プログラム実行部１７０は、テスタ制御部１１０から指定された機能に応じた機能プログラムを機能プログラム記憶部１６０から読み出して実行する。機能プログラム実行部１７０は、読み出した機能プログラムに記述された少なくとも１つ以上の命令を、例えば信号入出力部１４０の内のレジスタおよびメモリにワード単位で転送して順次実行する。
【００１９】
機能プログラム書込部１８０は、試験に先立って、テスタ制御部１１０から機能プログラムのコードを受信して、機能プログラム記憶部１６０に書き込む。ここで機能プログラム書込部１８０は、テスタ制御部１１０から機能プログラムをバースト転送により受け取ることが望ましく、これより機能プログラムが書き換えできることが望ましい。
【００２０】
ハブ１３０は、複数のテスタ制御部１１０および／または複数の試験モジュール１２０を互いにケーブルで接続して、それぞれの伝送信号を中継する。ハブ１３０は、複数のテスタ制御部１１０および／または複数の試験モジュール１２０のそれぞれと、汎用もしくは専用の高速シリアルバスで接続されることが望ましい。
【００２１】
図２は、本実施形態に係る試験装置１００の制御処理の概要を、時間軸を横軸にして相対的に示す。試験装置１００の制御処理は、主にテスタ制御部１１０による制御と、モジュール制御部１５０による制御に分割されることが望ましい。テスタ制御部１１０は、少なくとも１つ以上の試験モジュール１２０に対して、試験プログラムにより指定された機能の実行を指示する。
【００２２】
例えばテスタ制御部１１０は、意図した試験モジュール１２０に対して、それぞれの機能に割り当てられた機能ＩＤと、機能の実行に用いるパラメータ、および試験パターン等をバースト転送により送信する。これに代えて、テスタ制御部１１０は、複数ワードを含む複数のパケット送信により送信してもよい。図中の例では、「前処理」として示した制御処理に相当する。またテスタ制御部１１０は、意図した試験モジュール１２０からの測定結果のデータをバースト転送により受信する。図中の例では、「後処理」として示した制御処理に相当する。
【００２３】
複数の試験モジュール１２０に有するそれぞれのモジュール制御部１５０は、それぞれ指定された機能を実行する。例えば、モジュール制御部１５０は、機能ＩＤを基に機能プログラムを呼び出して、指定されたパラメータを用いて動作および設定値を変える。モジュール制御部１５０は、指定された機能に応じた機能プログラムを信号入出力部１４０に対して１ワード単位のマシンワードアクセスを用いて実行しうる。
【００２４】
一例として、モジュール制御部１５０は、図中の例において、「条件設定」、「測定開始」、「終了待ち」、および「結果取得」と示した動作を、機能プログラムによって実行する。以上より、テスタ制御部１１０から試験モジュール１２０への制御処理はワード単位の転送を減らしたバースト転送で実行でき、試験モジュール１２０内部で実行される制御処理はワード単位のデータ転送で実行できる。
【００２５】
図３は、本実施形態に係る試験装置１００の機能処理の概要を、時間軸を縦軸にして相対的に示す。試験プログラムにより指定された機能が複数ある場合、テスタ制御部１１０は複数の機能の実行をモジュール制御部１５０に順次指示して、モジュール制御部１５０は、指示された機能に基づく機能プログラムを逐次的に実行してもよい。図中において、試験装置１００は、機能Ａと、機能Ｂと、および機能Ｃとを、逐次処理する例を示した。
【００２６】
これに代えて、テスタ制御部１１０は、モジュール制御部１５０に対して実行すべき２以上の機能のそれぞれの種類および２以上の機能のそれぞれのパラメータを一のバースト転送によりモジュール制御部１５０へと送信してもよい。モジュール制御部１５０は、バースト転送に含まれる複数の機能に応じた機能プログラムを、逐次的に実行してもよい。
【００２７】
また、これに代えてモジュール制御部１５０は、複数の機能プログラムを並行して実行してもよい。この場合、モジュール制御部１５０は、テスタ制御部１１０から２以上の機能の実行を指定されたことに応じて、２以上の機能に対応する２以上の機能プログラムにおける、信号入出力部１４０に対して設定を行う設定部分を並行して実行し、信号入出力部１４０と被試験デバイス１０との間で信号を入出力する動作部分を逐次実行することが望ましい。モジュール制御部１５０は、機能プログラムのうち、実行順序が決まっているルーチンおよび実行順序に指定があるルーチン等を並行して実行してよい。
【００２８】
信号入出力部１４０は、被試験デバイス１０との間で信号を入出力する動作においては、並行して行えない動作がありうる。例えば、所定時間以内のレスポンスが求められるルーチンといったリアルタイム性のある動作は、他の動作と並行して実行することは困難である。したがって、図中で一例として斜線で示した並行して実行できない動作については、モジュール制御部１５０は、逐次処理をする。
【００２９】
例えば、モジュール制御部１５０は、図中の機能Ａ〜Ｃを並行処理させる例の場合、機能Ａおよび機能Ｂについては並行に実行できない処理が時間的に重なる部分が存在するので、重なっている動作を逐次処理する。モジュール制御部１５０は、機能Ａ〜Ｃの機能プログラムをそれぞれ読み出して、並行に実行できる部分について機能Ａ〜Ｃを並行に処理する。次に、並行に実行できない部分である機能Ａおよび機能Ｂを実行する段階で、モジュール制御部１５０は、機能Ａを選択して逐次的に処理する。
【００３０】
ここでモジュール制御部１５０は、並行に実行できない機能のうち、先に実行する機能を選択する方法として、試験プログラムに記述されていればそれに従い、記述されていなければ機能プログラムを読み出した順番にしてもよく、またこれに代えて、予め優先順位を登録して、登録した順番に従って選択しても良い。また、機能Ｃの処理が機能Ａと並行処理できる場合、モジュール制御部１５０は、機能Ａおよび機能Ｃを同時に実行してよい。
【００３１】
機能Ａの逐次処理が終了した後に、モジュール制御部１５０は、機能Ａ〜Ｃの並行処理ができるかどうかを確認してから並行処理を再開させる。モジュール制御部１５０は、全ての機能プログラムの処理が終了するまで、並行処理と逐次処理を適切に切り換えて実行させ、実行すべき試験モジュール１２０の複数の機能の総合的な処理速度を向上させる。
【００３２】
図４は、本実施形態に係る試験装置１００の動作フローを示す。試験装置１００は、図中の試験についてのループであるステップＳ４００からステップＳ４５０をそれぞれ繰り返して、試験に応じた試験プログラムを逐次的に処理する。
【００３３】
テスタ制御部１１０は、試験プログラムにより指定された少なくとも１または複数の機能の実行を、複数のワードを含むバースト転送で試験モジュール１２０内のモジュール制御部１５０に指示する（Ｓ４１０）。ここでテスタ制御部１１０は、モジュール制御部１５０に対して実行すべき２以上の機能のそれぞれの種類および２以上の機能のそれぞれのパラメータを一のバースト転送によりモジュール制御部１５０へと送信してもよい。
【００３４】
モジュール制御部１５０は、テスタ制御部１１０から少なくとも２以上の機能の実行を指定されたことに応じて、２以上の機能に対応する全ての機能プログラムが、信号入出力部１４０に対して並行に実行できるかどうかを判断する（Ｓ４２０）。一例として、モジュール制御部１５０は、全ての機能プログラムのうち、並行して実行できない動作が含まれるプログラムの数で判断して良い。
【００３５】
例えば、モジュール制御部１５０は、並行して実行できない動作が含まれるプログラムが１つ以下の場合は、全てのプログラムが並行実行できると判断してステップＳ４３０に進む。ここで、モジュール制御部１５０は、テスタ制御部１１０から１つの機能の実行を指定された場合、並行に実行する処理がないのでこの場合もステップＳ４３０に進む。モジュール制御部１５０は、信号入出力部１４０に対して全ての機能プログラムを並行して実行させる（Ｓ４３０）。ここでモジュール制御部１５０は、信号入出力部１４０に供給する制御信号はワード単位で転送してよい。
【００３６】
モジュール制御部１５０は、指定された機能プログラムが並行実行できない場合、機能プログラムについてのループであるステップＳ４６０からステップＳ４８０の処理を繰り返す。モジュール制御部１５０は、全ての機能プログラムについて、先頭から並行に実行が可能な部分を並行実行する（Ｓ４６０）。例えば、モジュール制御部１５０は、パラメータの設定であったり、設定値の確認であったり、実行順序が決まっているルーチンおよび／または実行順序に指定があるルーチンについて並行実行する。
【００３７】
次に、モジュール制御部１５０は、並行実行できない機能プログラムの部分について、逐次実行する（Ｓ４７０）。例えば、モジュール制御部１５０は、被試験デバイス１０の応答待ちの機能、あるいは被試験デバイス１０にロックをかけて試験する機能等を実行する場合、当該プログラムの排他権を取って逐次実行する。
【００３８】
次に、モジュール制御部１５０は、並行実行できない部分の先頭において、先に実行すべき各機能における並行実行できない箇所が実行済みであることを確認する。モジュール制御部１５０は、先に実行すべき箇所が実行済みであることを確認した後に、次の並行実行できない箇所を実行する。モジュール制御部１５０は、並行実行できない箇所が実行終了するまで、逐次実行を続ける。
【００３９】
モジュール制御部１５０は、指定された機能プログラムの実行が終了していなければ、ステップＳ４６０に戻り、並行実行に切り換える（Ｓ４８０）。こうしてモジュール制御部１５０は、並行実行と逐次実行を適切に切り換えて、指定された機能プログラムを実行する。モジュール制御部１５０は、実行すべき機能プログラムが全て終了した場合、ステップＳ４４０に移行する（Ｓ４８０）。
【００４０】
モジュール制御部１５０は、試験信号に応じて被試験デバイス１０が出力する出力信号を、機能プログラムの実行結果として、信号入出力部１４０より必要によりワード単位で取得する（Ｓ４４０）。これに代えて、モジュール制御部１５０は、機能プログラムを実行中であるステップＳ４３０もしくはステップＳ４６０およびＳ４７０において、信号入出力部１４０より必要によりワード単位で取得してもよい。モジュール制御部１５０は、被試験デバイス１０の出力信号をテスタ制御部１１０にバースト転送する。ここでモジュール制御部１５０は、ステップＳ４００からＳ４５０の試験プログラムのループ内においてバースト転送してもよく、これに代えて全ての試験が終了してから全てのデータをまとめてバースト転送してもよい。
【００４１】
試験モジュール１２０は、ステップＳ４００からステップＳ４５０のループを繰り返して、試験プログラムが終了するまで指定された機能を順次実行させる。試験装置１００は、試験プログラムが終了したことに応じて試験を終了させ、テスタ制御部１１０がバースト転送で受け取った少なくとも１つ以上の測定結果に基づく試験結果を表示および／または記録する。
【００４２】
以上の本実施形態に係る試験装置１００の動作によれば、試験装置１００は、テスタ制御部１１０とモジュール制御部１５０との間の送受信はバースト転送で、モジュール制御部１５０と信号入出力部１４０との間の送受信はワード単位の転送で、試験を実行することができる。したがって、テスタ制御部１１０とモジュール制御部１５０との間の送受信には、少量データの転送によるレイテンシーの増加を防ぐことができ、試験装置１００は、汎用の高速シリアルバスを用いて、高速転送の性能を効果的に利用できる。また、試験装置１００は、モジュール制御部１５０と信号入出力部１４０との間の送受信を、パラレル・シリアル変換および符号化のオーバーヘッドを発生させない、低レイテンシーのパラレルバスで効果的にデータ転送することができる。
【００４３】
また、試験装置１００は、テスタ制御部１１０とモジュール制御部１５０との間を汎用の高速シリアルバスを用いることで、両者の物理的な距離を離すことができるので、モジュール制御部１５０を信号入出力部１４０の直近に実装させることができる。即ち、試験装置１００は、モジュール制御部１５０と信号入出力部１４０との間のパラレルバスのクロックをより高速にすることができる。以上により試験装置１００は、試験実行において、大量データの送受信に適した汎用の高速シリアルバスを用いて大量データを送受信して、ワード単位のデータの送受信に適したパラレルバスを用いてワード単位のデータを送受信することで、デバイス試験のスループットを向上させることができる。
【００４４】
また、試験装置１００は、試験モジュール１２０の機能を実行する場合に、時間的に並行に実行できる動作とできない動作を分け、並行処理と逐次処理とを適切に切り換えて実行させることができる。これにより、試験装置１００は、デバイス測定のスループットを向上させることができる。
【００４５】
以上の本実施形態に係る試験装置１００において、１つのテスタ制御部１１０および２つの試験モジュール１２０がそれぞれ試験装置１００内に備わって、１つの被試験デバイス１０について試験することを例として説明した。しかしながら試験装置１００は、複数の試験モジュール１２０がそれぞれ複数の被試験デバイス１０を独立に試験してもよく、および／または、複数の試験モジュール１２０で１つの被試験デバイス１０を試験してもよい。
【００４６】
また、複数の試験モジュール１２０がそれぞれ並列に試験を実行する場合、少なくとも２つ以上の試験モジュール１２０は、同期を取りながら試験を実行してもよい。例えば、複数の試験モジュール１２０内のそれぞれの機能プログラム実行部１７０は、ハブ１３０を介して情報交換してよい。これにより、複数の試験モジュール１２０は、テスタ制御部１１０の経由を省いて直接通信でき、精度良く同期動作を実行できる。
【００４７】
また、少なくとも２つ以上の試験モジュール１２０が同期を取りながら試験を実行する場合、少なくとも２つ以上の機能プログラム実行部１７０は、同期用の同期ネットワークを別に設けてもよい。これにより、複数の試験モジュール１２０は、同期信号を直接送受信できるので、さらに精度良く同期動作を実行することができる。
【００４８】
以上の本実施形態に係る試験装置１００において、モジュール制御部１５０は、機能プログラムを実行して、信号入出力部１４０にアクセスすることを例として説明した。そこでさらに、モジュール制御部１５０は、機能プログラムに応じて信号入出力部１４０を設定し、または動作させるのに先立って、信号入出力部１４０の状態を読み出して、信号入出力部１４０が設定を受け付け、または動作を開始することができる状態であるか否かを確認してもよい。信号入出力部１４０が被試験デバイス１０に対して設定の受け付け等をできない状態の場合、受け付け可能となるまで待ってから設定することにより、試験装置１００は、被試験デバイス１０に対して実行すべき機能を常に動作可能な状態で実行させ、安定な動作をさせることができる。
【００４９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００５０】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００５１】
１０  被試験デバイス
１００  試験装置
１１０  テスタ制御部
１２０  試験モジュール
１３０  ハブ
１４０  信号入出力部
１５０  モジュール制御部
１６０  機能プログラム記憶部
１７０  機能プログラム実行部
１８０  機能プログラム書込部
【図１】
2011001462.tif 000003
【図２】
2011001462.tif 000004
【図３】
2011001462.tif 000005
【図４】
2011001462.tif 000006
【国際調査報告】
2011001462.tif 000007
2011001462.tif 000008
2011001462.tif 000009
2011001462.tif 000010