【事件の表示】
　特許第２９７０５２５号「中空パッケージの製造方法および中空パッケージ用製造装置」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９７０５２５号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
（Ｉ）手続きの経緯
　本件特許第２９７０５２５号の請求項１〜９に係る発明は、平成８年３月２８日に特許出願され、平成１４年８月２７日に設定登録され、請求項１〜９に係る発明の特許について、平成１２年０４月１８日に大和田　百合子（以下、申立人という。）から特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年４月３日付けで訂正請求（後日取り下げ）がなされ、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年５月２３日付けで訂正請求がなされたものである。
（ＩＩ）訂正請求について
（ＩＩ−１）訂正事項
（ａ）訂正前の請求項１を削除する。
（ｂ）訂正前の請求項２の記載を、「【請求項１】  凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に接着剤を付けるようにしたことを特徴とする中空パッケージの製造方法。」と訂正する。
（ｃ）訂正前の請求項３の記載を、「【請求項２】  凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、　前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたことを特徴とする中空パッケージの製造方法。」と訂正する。
（ｄ）訂正前の請求項４乃至５を削除する。
（ｅ）訂正前の請求項６の記載を、「【請求項３】　凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、を更に備えたことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。」と訂正する。
（ｆ）訂正前の請求項７乃至８を削除する。
（ｇ）訂正前の請求項９の記載を、「【請求項４】  凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行うことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。」と訂正する。
（ｈ）特許明細書中の段落番号【０００９】、【００１０】、【００１１】、【００１３】、【００１５】における「凹陥部側端面」を、「凹陥部端面」と訂正する。
（ｉ）特許明細書中の段落番号【００２０】、【００２１】、【００２３】、【００２７】、【００２８】、【００２９】、【００３２】および【００３３】の記載を削除する。
（ｊ）特許明細書中の段落番号【００２２】の記載を、「【００２０】【課題を解決するための手段】  第１の発明に係る中空パッケージの製造方法は、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの凹陥部端面に接着剤を付けるようにしたものである。この方法によれば、簡単な装置で正確な厚みに接着剤を塗り広げることができる。」と訂正する。
（ｋ）特許明細書中の段落番号【００２４】の記載を、「【００２１】　したがって、キャップに接着剤を付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップに形成されることがない。」と訂正する。　
（ｌ）特許明細書中の段落番号【００２５】の記載を、「【００２２】  第２の発明に係る中空パッケージの製造方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたものである。この方法によれば、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。」と訂正する。
（ｍ）特許明細書中の段落番号【００２６】および【００３０】の記載を、「【００２３】  第３の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、を更に備えたものである。」と訂正する。
（ｎ）特許明細書中の段落番号【００３１】の記載を、「【００２４】 したがって 、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ることができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップに付着する接着剤の量を変えることができる。」と訂正する。
（ｏ）特許明細書中の段落番号【００３４】の記載を、「【００２５】  第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行うものである。したがって、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。」と訂正する。
（ｐ）特許明細書中の段落番号【００６４】、【００７０】、【００７１】、【００７８】、【００８３】における「凹陥部側端面」を、「凹陥部端面」と訂正する。
（ｑ）特許明細書中の段落番号【００８６】、【００８７】、【００８８】、【００９２】、【００９３】、【００９４】、【００９５】、【００９８】および【００９９】を削除する。
（ｒ）特許明細書中の段落番号【００８９】の記載を、「【００８６】【発明の効果】　第１の発明に係る中空パッケージの製造方法は、キャップに接着剤を付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップの開口側に形成されることがない。」と訂正する。
（ｓ）特許明細書中の段落番号【００９０】の記載を、「【００８７】したがって、接着剤からなる膜を除去する工程を省くことができるから、製造時間の短縮を図ることができる。また、前記膜が形成されないことから、キャップをケースに接着するときに接着剤の余剰分がパッケージ内に流れ込むことがなく、高品質な中空パッケージを製造できる。」と訂正する。
（ｔ）特許明細書中の段落番号【００９１】の記載を「【００８８】  第２の発明に係る中空パッケージの製造方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたため、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。したがって、従来の方法を採る場合に比べて製造工程を大幅に短縮できる。」と訂正する。
（ｕ）特許明細書中の段落番号【００９６】の記載を、「【００８９】  第３の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、この構成としたため、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ることができるから、接着剤からなる膜がキャップに形成されるのを阻止して工程数削減を図ることができることと相俟って、高品質な中空パッケージを安価に製造できる。」と訂正する。
（ｖ）特許明細書中の段落番号【００９７】の記載を、「【００９０】　また、この中空パッケージ用製造装置は、接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップに付着する接着剤の量をキャップの形状・寸法に応じて変えることができるから、製造するパッケージの形状・寸法を変えてもキャップをケースに強固にかつ気密性よく接着できるという効果もある。」と訂正する。
（ｗ）特許明細書中の段落番号【０１００】の記載を、「【００９１】  第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、この構成としたため、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。したがって、従来に較べて製造装置を大幅に削減できる。すなわち、従来より小規模な装置で実現できる。」と訂正する。
（ＩＩ−２）訂正の適否            
　訂正事項（ａ）、（ｄ）、（ｆ）は、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
　訂正事項（ｂ）は、訂正前の請求項２における「凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、」の記載に基づいて、訂正前の請求項２の「キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付け付けて離間させることにより接着剤を付ける」の記載を、「キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に接着剤を付ける」と訂正したものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項（ｃ）は、特許明細書の段落番号【００５０】、【００５１】、【００６８】及び図１、図２に基づいて、訂正前の請求項３を、さらに限定するべく「前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行う」と減縮したものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項（ｅ）は、訂正前の請求項６を独立形式の表現に訂正するとともに、「凹陥部側端部」という表現を「凹陥部端面」と訂正し、さらに、訂正前の請求項６の発明を、特許明細書の段落番号【００７７】【００８０】【００８２】および図９に基づいて、「スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と」を備えるものに減縮したものであるから、この訂正は、特許請求の範囲の減縮および明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項（ｇ）は、特許明細書の段落番号【００５０】、【００５１】、【００６８】、【００７０】及び図１、図２に基づいて、訂正前の請求項９の発明を、さらに限定するべく、「前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行う」と減縮するとともに、「凹陥部側端部」という表現を「凹陥部端面」と訂正するものであるから、この訂正は、特許請求の範囲の減縮および明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項（ｈ）〜（ｗ）は、訂正事項（ａ）〜（ｇ）の訂正と整合させるべく、願書に添付された明細書を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、本件の訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２項および第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（ＩＩＩ）特許異議申立について
（ＩＩＩ−１）本件発明
　本件の請求項１〜４に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明４」という。）は、訂正明細書の請求項１〜４に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に接着剤を付けるようにしたことを特徴とする中空パッケージの製造方法。
【請求項２】 凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、　前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたことを特徴とする中空パッケージの製造方法。
【請求項３】凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、を更に備えたことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。。
【請求項４】凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行うことを特徴とする中空パッケージ用製造装置
　
（ＩＩＩ−２）特許異議申立の理由
　申立人は、甲第１号証（特開平５−２６１３３６号公報）、甲第２号証（特開平１−１８３８２７号公報）、甲第３号証（特開昭６３−４８３７８号公報）、甲第４号証（特開昭６４−６６９９８号公報）、甲第５号証（特開平２−２３９６３６号公報）、甲第６号証（特開平３−１０９７９５号公報）、甲第７号証（特開平３−１２９９００号公報）、甲第８号証（実願平２−１６１６５号のマイクロフィルム：実開平３−１０９３３５号）、甲第９号証（特開平２−６９９４８号公報）、甲第１０号証（特開平３−４０４３５号公報）、甲第１１号証（特開平８−１９７５２号公報）、甲第１２号証（実願昭５８−１２４９６２号のマイクロフィルム：実開昭６０−３１３７６号）、甲第１３号証（実願平１−３５７３９号のマイクロフィルム：実開平２−１２６７９２号）、甲第１４号証（実願昭６２−１８７２８７号のマイクロフィルム：実開平１−９２２００号）、甲第１５号証（特開平２−６９９５２号公報）および甲第１６号証（特開平４−３７０９７号公報）を提示し、
（１）本件の訂正前の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、特許を受けることができないものである、
（２）本件の訂正前の請求項２に係る発明は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（３）本件の訂正前の請求項３に係る発明は、甲第３〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（４）本件の訂正前の請求項４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、特許を受けることができないものである、
（５）本件の訂正前の請求項５に係る発明は、甲第１、９〜１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（６）本件の訂正前の請求項６に係る発明は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（７）本件の訂正前の請求項７に係る発明は、甲第１、１２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（８）本件の訂正前の請求項８に係る発明は、甲第１、１３〜１６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（９）本件の訂正前の請求項９に係る発明は、甲第３〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
との理由で、本件の訂正前の請求項１〜９に係る発明の特許は取り消されるべきである旨を主張する。
　
（ＩＩＩ−３）甲各号証の記載
甲第１号証（特開平５−２６１３３６号公報）：
１ａ．従来の技術として「図４において従来の樹脂塗布装置は、適量の流動性樹脂１を載せた回転円盤２が回転すると、回転円盤２の上面に対し適当な間隔で固定したスクレーパ３によって、回転円盤２の上面には一定厚さの樹脂層４が形成される。そこで、キャップ（所望部品）５を吸着し上下動可能なピックアッパー６を降下せしめ、キャップ５の下面（樹脂塗布面）を樹脂層４に浸漬し、次いで、ピックアッパー６を上昇させると、キャップ５の下面には樹脂層４の一部が塗布され樹脂層７（図５参照）が形成される。」（第１欄第２８行〜第３８行、【０００３】、【０００４】）
１ｂ．課題として「樹脂層７の前記ばらつきに対し従来は、例えばキャップ５が電子素子を気密封止するパッケージに用いるものであり、樹脂１が接着剤であり樹脂層７の厚さを５０μｍ程度としたいときには、キャップ５に塗布した樹脂膜７の厚さが５０μｍ以上（例えば１００μｍ程度）となるようにし、余分の樹脂を取り除くという工程上の無駄と煩わしさがあり、尚かつ、余分の樹脂を取り除いた後における樹脂量のばらつきが避けられないという問題点があった。」（第２欄第３行〜第１１行、【０００７】）
１ｃ．課題を解決する手段として「所望部品（キャップ）５の所定面（下面）に塗布する樹脂量を安定化すると共に調整可能とすることを目的とした本発明方法は、その実施例を示す図１によれば、回転する回転円盤１１の上面に凹所１２を形成し、回転円盤１１の上面に流動性樹脂１を載せ、回転円盤１１の上面に当接するように固定したスクレーパ３によって凹所１２に樹脂１の一部を充填し、キャップ５の下面を回転円盤１１の上面に当接し、キャップ５の下面に凹所内充填樹脂１’の一部を被着させ、該下面に樹脂層１３を塗布形成させるものである。」（第２欄第１３行〜第２２行、【０００８】）
１ｄ．作用として「上記手段によれば、回転円盤１１の上面の凹所１２に流動性樹脂１を充填し、回転円盤１１の上面にキャップ５の下面を当接することによって、凹所内樹脂１’がキャップ５下面に転写され、該下面には流動性樹脂層１３が形成される。従って、キャップ５下面の樹脂層１３の樹脂量は定量化し、帯状凹所１２のピッチまたは深さを変えることによって該樹脂量の調整が可能となり、余分の樹脂を取り除く従来工程が不要になる。」（第２欄第２４行〜第３２行、【０００９】、【００１０】）
１ｅ．実施例として「図１（イ）において、本発明方法による樹脂塗布装置は、回転円盤１１の上面に断面Ｖ字形の多数の凹所１２を形成し、スクレーパ３は先端が回転円盤１１の上面に当接した状態で固定する。上面に樹脂１を止め置く回転円盤１１は、回転円盤１１と共に回転する軸１５が中心部に、側壁１６が外周部より突出する。そこで、回転円盤１１の上面に適量の流動性樹脂１をのせ、回転円盤１１を回転させると、その回転方向にスクレーパ３より先方の各凹所１２には、樹脂１の一部１’が充填され、ピックアッパー６に吸着したキャップ５の下面を回転円盤１１の上面に当接させたのち、キャップ５を引き上げると図１（ロ）に示す如く、キャップ５の下面には、凹所１２に充填された樹脂１’が転写され樹脂層１３が被着生成される。このような樹脂層１３は、その厚さ（量）が凹所１２の形状とその形成密度によって一定化し、例えば５０〜６０μｍの厚さとすることができた。」（第２欄第３８行〜第３欄第４行、【００１２】〜【００１４】）。
甲第２号証（特開平１−１８３８２７号公報）
２ａ．「ダイボンダーにおけるペースト塗布方法及び塗布装置」（発明の名称）、
２ｂ．ペーストをリードフレーム、基板等に塗布するダイボンダーにおけるペースト塗布方法の実施例として「回転テーブル１にはリング状に溝１ａが形成され、この溝１ａの底面には等間隔に複数個（実施例は８個）の凹部１ｂが形成されている。回転テーブル１の溝１ａ内には下面が回転テーブル１の凹部１ｂの上面に圧接するようにブレード２が配設されており、ブレード２はＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に位置調整可能なブレードホルダー３に取付けられている。前記回転テーブル１はモータ４によって間欠的に回転駆動される。・・・中略・・・次に作用について説明する。ブレード２のＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向の位置調整を行い、ブレード２の下面を凹部１ｂの上面に圧接させておき、ブレード２の手前の溝１ａ部分にペースト７を供給する。そして、モータ４を駆動して回転テーブル１を間欠的に回転させると、ブレード２の下面を通過した凹部１ｂには、該凹部１ｂの深さに相当する厚みのペーストが充填される。ペースト７ａが充填された凹部１ｂが転写パッド５の下方に位置して停止すると、転写パッド５が下降して凹部１ｂ内のペースト７ａに接触加圧し、ペースト７ａは転写パッド５の下面に付く。その後、転写パッド５は上昇、水平移動、下降させられてリードフレーム６のボンディング部に接触加圧して、転写パッド５の下面のペースト７ａをリードフレーム６のボンディング部に転写する。・・・中略・・・このように、ブレード２を回転テーブル１の凹部１ｂに圧接した状態で回転テーブル１を回転させると、凹部１ｂには常に一定厚さのペースト７ａが充填される。このペースト７ａを転写パッド５の下面に付けるので、転写パッド５の下面についたペースト７ａの形状は転写パッド５の下面形状によって一定形状となる。この転写パッド５の下面についたペースト７ａをリードフレーム６に転写するので、リードフレーム６には一定厚さ及び一定形状のペーストが塗布される。」（第２頁左下欄第１６行〜第３頁右上欄第９行）。
甲第３号証（特開昭６３−４８３７８号公報）
３ａ．部品実装基板とキャップとを用いて樹脂封止する接着方法の従来例として「部品実装基板とキャップとを用いて樹脂封止する接着方法を図面を参考しながら説明する。・・・中略・・・第５図（ａ）において、部品シール用キャップ２５はその開口端面２６が基板との樹脂接着面とされる。セラミック等基板３０には封止部品３１が実装される。浸漬法によって前記開口端面２６へ樹脂を塗着する方法を同図（ｂ）により説明する。浸漬槽３３内の樹脂溜３１は、予め、適宜形状のスキージで樹脂溜表面３２のレベル出しがされる。そして真空チャック２７で吸着させたキャップ２５を樹脂溜２１の上方から矢印２９にそって定位置まで降下させ、その開口端面２６を樹脂溜３１に浸漬する。浸漬法により樹脂が塗着されたキャップ２５は、基板３０と所定の位置決めをして圧接し熱による樹脂硬化をはかれば第６図の部品封じが完了する。」（第１頁右欄下から第７行〜第２頁左上欄第１２行）
３ｂ．接着組立方法の実施例として「回転円盤１８の盤内にはドーナッツ状に前記縦横の細溝を刻入する格子４０が形成される。図中、２０は樹脂槽であり該槽底面とドーナッツ状の格子４０との接触面は、透窓２１（点線の窓）が設けられ、また槽底の一側面２２は、その下縁が格子４０と接触摺動するようにされ透窓２１から垂下する樹脂を格子溝に刷り込むと同時に余分な樹脂をぬぐい取るスキージが形成される。かくして回転円盤を反時計回りに駆動すれば、第３図の拡大平面図に示す如き樹脂湿潤面１２が形成される。そして前記湿潤面１２に対して樹脂塗着を必要とする所定部材を圧接すれば、部材面に樹脂を展着することが出来る。この場合、予め樹脂湿潤板１２に形成される溝幅ｌ、溝間ピッチＬ、あるいは溝の高さ寸法に対する樹脂補給量と塗着樹脂量との相関係数を求めておけば、湿潤板１２の湿潤量を容易に制御することが出来る。・・・中略・・・スクリーンメッシュ３０の樹脂塗着は謄写印刷式のローラとかあるいは第２図で説明した樹脂槽２０と併結するなりして樹脂を展着すればよい。前記所定部材面へ樹脂塗着をなす圧接転写の湿潤板形状は一例にすぎずここは各種の変形があり得る。」（第２頁左下欄第６行〜第３頁左上欄第６行）。
甲第４号証（特開昭６４−６６９９８号公報）
４ａ．ＬＳＩパッケージ表面に部品を搭載接着する装置及びその作動として「第１図において、ベースＢ上のガイド１４，１４’に沿ってモータ駆動によりＸ方向に移動可能な架台１３上においてモータ駆動によりＹ方向に移動可能な架台５には、Ｚ方向（上下方向）にモータ駆動により昇降可能な部品吸着ホルダ４が取り付けられている。従って、吸着ホルダ４はＸ、Ｙ、Ｚ方向にモータ駆動により移動可能である。１１は部品供給部、１２は回路基板設置部に置かれた回路基板であって、これらは吸着ホルダ４の移動範囲内にてベースＢ上に配置される。１はベースＢ上の台１６に取り付けたモータ３によって回転される容器であって、その中に接着剤１０が入っており、この接着剤１０の上面を平滑にするためのスキージ２が台１６に取り付けれれている（第２図参照）・・・中略・・・さて制御装置１５が作動し、吸着ホルダ４は部品供給部１１に移動し、ここで部品９を吸着した後、容器１の位置まで移動する。この動作中にモータ３が作動して容器１が回転し、スキージ２により接着剤１０の上面を平滑にした後、モータ３が停止し、容器１の回転は止まる。第２図のように容器１の上に来た吸着ホルダ４は、第３図（Ａ）に示すように下降して部品９が接着剤１０中に約１ｍｍ入り込んだ高さで停止する。その後、再び吸着ホルダ４が上昇して停止する。上記動作により、部品９の下面に接着剤１０が塗布される。スキージ２によって容器１内の接着剤１０の上面は一定であるが、接着剤１０の粘度のバラツキにより、接着剤の塗布状態１０ａは均一ではない。・・・中略・・・その後、吸着ホルダ４を基板１２まで移動し、吸着ホルダ４を下降させて基板１２上のＬＳＩパッケージ表面に該部品９を搭載する。なお以上の説明は、回路基板１２上に既に取り付けられているＬＳＩパッケージの表面に放熱フィンを接着する例について述べたが、回路基板１２上にＬＳＩパッケージまたは他の所要部品を接着剤で着ける場合にも本発明は実施し得ることは云うまでもない。」（第２頁左下欄第７行〜第３頁右欄第２行）。
甲第５号証（特開平２−２３９６３６号公報）
５ａ．半導体素子であるダイをパッケージに接着実装する方法として「先ず、第１図（ａ）に示すように、ダイコレット１は下に下がり、ダイトレー４の上にダイ３を真空で吸着する。次に、第１図（ｂ）に示すように、ダイコレット１は、ダイ３を吸着したまま、回転軸２を中心として、１８０度、上に回転し、スクリーン印刷機のスクリーンマスク５の面にダイ３を接触させる。続いて、スクリーンマスク５上の接着剤６をスキージ７で、ダイ３の背面に刷り込む。次に、第１図（ｃ）に示すように、ダイコレット１は、回転軸２を中心として、１８０℃、下に回転して、ダイ３をパッケージ８のダイ接合面の上にセットする。続いて、第１図（ｄ）に示すように、ダイコレット１を軽く荷重を懸けて、押し下げ、ダイ３をパッケージ８のダイ接着部に接着して、ダイボンディングする。」（第３頁左上欄第７行〜右上欄第３行）。
甲第６号証（特開平３−１０９７９５号公報）
６ａ．電子部品を回路基板に接着実装する方法として「第４図は、異方性導電接着剤２３を各電子部品２４の電極部に付着する工程を示している。まず、スタンプ台３１に、異方性導電接着剤２３を投入し、スキージ３２より異方性導電接着剤２３を均一にのばす（第４図（ａ）参照）。この時、異方性導電接着剤２３は、厚さ方向にのみ導電性を有している。次に、電子部品２４−１，２４−２，２４−３を吸着している熱圧着実装機２６がこのスタンプ台３１上に位置する（第４図（ｂ）参照）。そして、熱圧着実装機２６が下降して、電子部品２４−１，２４−２，２４−３に異方性導電接着剤２３を付着させる。第５図は、熱圧着工程を示している。基板２１は、ヒータプレート３４上に載置される。このヒータプレート３４も、ヒータ３５を内蔵している。前記熱圧着実装機２６は、ヒータプレート３４上に位置し、電子部品２４−１，２４−２，２４−３の電極部が配線導体２２に接するように、ヒータプレート３４に押圧される。そして、ヒータ２７，３５により、異方性導電接着剤２３が加熱されて硬化する。」（第３頁右上欄第１７行〜左下欄第１８行）。
甲第７号証（特開平３−１２９９００号公報）
「本実施例の実装装置１においては、パッケージ供給機構２に搬送されたＬＳＩパッケージ７が、パッケージ保持機構６の下端部に吸着保持された状態で半田ペースト定量供給機構３，次いでチップマウント機構４に順次搬送され、半田ペースト１２の塗布および基板１３へのマウントが一貫して行われる。」（３頁右上欄７〜１３行）。
甲第８号証（実願平２−１６１６５号のマイクロフィルム：実開平３−１０９３３５号）
「吸着コレット２８に半導体チップ１６を吸着保持したままで、・・・空気シリンダ３４を下降作動させ、半導体チップ１６を・・・接着剤２２に接触させ、・・・旧宅コレット２８が・・・基板２６の上方の位置にくる。そこで空気シリンダ３４を下降作動させ、・・・半導体チップ１６を基板２６に取りつける。」（９頁１７行〜１０頁１６行参照）。
甲第９〜１６号証は削除された請求項に係るものであるから、その内容の記載は省略する。
　
（ＩＩＩ−４）比較・検討
（ＩＩＩ−４−１）異議申立の理由について
　本件の訂正前の請求項１，４，５，７，８は削除され、訂正前の請求項２，３，６，９に係る発明は、それぞれ、本件発明１、２、３、４に訂正されたので、異議申立の理由は次のとおりのものであると認める。
（あ）本件発明１は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（い）本件発明２は、甲第３〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（う）本件発明３は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
（え）本件発明４は、甲第３〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、
との理由で、本件発明１〜４の特許は取り消されるべきである。
（ＩＩＩ−４−２）異議申立の理由（あ）、（う）について
　本件発明１および３は、「中空パッケージの製造方法において、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、前記凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に接着剤を付けるようにしたこと」（以下、構成Ａという）、および「中空パッケージ用製造装置において、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段とを備えたこと」（以下、構成Ｂという）を構成とするものであり、それにより、特許明細書の段落番号【００８９】および【００９０】に記載されたとおりの、キャップの凹陥部と対応する部分に接着剤からなる膜が形成されないようするという効果を奏したものである。
　これに対して、甲第１号証には、前記したように、パッケージの気密封止に際して、回転円盤の上面（接着剤用受け部材の接着剤塗布面に相当）の全面に凹所を形成し、前記凹所内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップの下面（キャップの凹陥部端面に相当）を前記凹所の接着剤に当接させ、キャップを引き上げて、キャップの下面に接着剤を付けるようにし、一定量の接着剤が付着するようにすることが記載され、甲第２号証には、ダイボンダーにおけるペーストの塗布に際して、回転テーブルの上面（接着剤用受け部材の接着剤塗布面に相当）に複数の凹部が形成され、該凹部にペースト（接着剤に相当）を充填し、このペーストを転写パッドの下面につけ、この転写パッドの下面形状のペーストをリードフレームに転写し、リードフレームに一定厚さ、一定形状のペーストを塗布することが記載されている。
　しかし、甲第１号証には、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成することについて記載も示唆もなく、したがって、甲第１号証が、本件発明１、３の構成Ａ、構成Ｂおよび、前記した効果を示唆しているとすることはできない。
　また、甲第２号証の記載は、封止技術に関するものでなく、リードフレームにペーストを塗布するに際して転写パッドに接着剤を塗布するというにすぎず、甲第２号証に、転写パッドに凹陥部端面を形成することや当該端面と略同じ形状の凹溝を接着剤用受け部材の接着剤塗布面に形成することを示唆する記載があるわけでもなく、そのような構成の採用により凹陥部に接着剤からなる膜が形成されないことを示唆する記載があるわけでもないから、甲第２号証が、本件発明１，２の前記構成Ａ、構成Ｂおよび効果を示しているとすることはできない。
　してみると、甲第１，２号証を総合しても、本件発明１，３が当業者に容易に発明をすることができたものであるとすることはできず、理由（あ）、（う）の主張は採用することができない。。
　
（ＩＩＩ−４−３）異議申立の理由（い）、（え）について
　本件発明２，４は、「 凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、　キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにした」（以下、構成Ｃという。）および「凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行う」（以下、構成Ｄという。）を構成とするものであり、それにより、特許明細書の段落番号【００２５】および【００３４】に記載されたとおりの、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できるという効果を奏したものである。
　これに対して、甲第３号証には、前記したように、真空チャックで吸着させたキャップを樹脂溜に浸漬し、樹脂が塗布されたキャップについて所定の位置決めをして部品封止を行うことが示され、甲第４〜８号証には、部品を保持して、この部品に接着剤を付け、かつこの接着剤を基板に接着することを同一の部品保持手段により行なうことが示されている。
　しかし、甲第３〜８号証には、「キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うように」することや、「キャップ保持手段を構成する手段として、キャップを保持するための吸着手段と、吸着手段で保持したキャップを接着剤に押付けて離間する手段と、吸着手段で保持したキャップをケースに接着する手段とを備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の動作を、異なる各キャップに対して略同時に行う」ようにすることについて、示唆する記載はない。
　してみると、甲第３〜８号証に記載された発明が、本件発明２，４の前記構成ＣおよびＤを示唆しているとすることはできず、甲第３〜８号証をみても、本件発明２，４の構成に想到することが当業者に容易であったとすることはできない。
　また、本件発明２，４は、前記構成を採用することにより、前記したとおりの効果を奏するものである。
　したがって、本件発明２，４が、甲第３〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるとすることはできず、理由（い）、（え）の主張は採用することができない。
　
（ＩＶ）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由および証拠によっては、本件発明１〜４に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月７日（２００２．６．７）
【訂正の要旨】
訂正事項
（ａ）訂正前の請求項１を削除する。
（ｂ）訂正前の請求項２の記載を、「【請求項１】　凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に接着剤を付けるようにしたことを特徴とする中空パッケージの製造方法。」と訂正する。
（ｃ）訂正前の請求項３の記載を、「【請求項２】　凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、　前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたことを特徴とする中空パッケージの製造方法。」と訂正する。
（ｄ）訂正前の請求項４乃至５を削除する。
（ｅ）訂正前の請求項６の記載を、「【請求項３】　凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、を更に備えたことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。」と訂正する。
（ｆ）訂正前の請求項７乃至８を削除する。
（ｇ）訂正前の請求項９の記載を、「【請求項４】　凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行うことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。」と訂正する。
（ｈ）特許明細書中の段落番号【０００９】、【００１０】、【００１１】、【００１３】、【００１５】における「凹陥部側端面」を、「凹陥部端面」と訂正する。
（ｉ）特許明細書中の段落番号【００２０】、【００２１】、【００２３】、【００２７】、【００２８】、【００２９】、【００３２】および【００３３】の記載を削除する。
（ｊ）特許明細書中の段落番号【００２２】の記載を、「【００２０】【課題を解決するための手段】　第１の発明に係る中空パッケージの製造方法は、接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの凹陥部端面に接着剤を付けるようにしたものである。この方法によれば、簡単な装置で正確な厚みに接着剤を塗り広げることができる。」と訂正する。
（ｋ）特許明細書中の段落番号【００２４】の記載を、「【００２１】　したがって、キャップに接着剤を付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップに形成されることがない。」と訂正する。
（ｌ）特許明細書中の段落番号【００２５】の記載を、「【００２２】　第２の発明に係る中空パッケージの製造方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたものである。この方法によれば、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。」と訂正する。
（ｍ）特許明細書中の段落番号【００２６】および【００３０】の記載を、「【００２３】　第３の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、を更に備えたものである。」と訂正する。
（ｎ）特許明細書中の段落番号【００３１】の記載を、「【００２４】　したがって、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ることができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップに付着する接着剤の量を変えることができる。」と訂正する。
（ｏ）特許明細書中の段落番号【００３４】の記載を、「【００２５】　第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、前記キャップ保持手段を構成する手段として、前記キャップを保持するための吸着手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行うものである。したがって、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。」と訂正する。
（ｐ）特許明細書中の段落番号【００６４】、【００７０】、【００７１】、【００７８】、【００８３】における「凹陥部側端面」を、「凹陥部端面」と訂正する。
（ｑ）特許明細書中の段落番号【００８６】、【００８７】、【００８８】、【００９２】、【００９３】、【００９４】、【００９５】、【００９８】および【００９９】を削除する。
（ｒ）特許明細書中の段落番号【００８９】の記載を、「【００８６】【発明の効果】　第１の発明に係る中空パッケージの製造方法は、キャップに接着剤を付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップの開口側に形成されることがない。」と訂正する。
（ｓ）特許明細書中の段落番号【００９０】の記載を、「【００８７】したがって、接着剤からなる膜を除去する工程を省くことができるから、製造時間の短縮を図ることができる。また、前記膜が形成されないことから、キャップをケースに接着するときに接着剤の余剰分がパッケージ内に流れ込むことがなく、高品質な中空パッケージを製造できる。」と訂正する。
（ｔ）特許明細書中の段落番号【００９１】の記載を「【００８８】　第２の発明に係る中空パッケージの製造方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたため、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。したがって、従来の方法を採る場合に比べて製造工程を大幅に短縮できる。」と訂正する。
（ｕ）特許明細書中の段落番号【００９６】の記載を、「【００８９】　第３の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、この構成としたため、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ることができるから、接着剤からなる膜がキャップに形成されるのを阻止して工程数削減を図ることができることと相侯って、高品質な中空パッケージを安価に製造できる。」と訂正する。
（ｖ）特許明細書中の段落番号【００９７】の記載を、「【００９０】　また、この中空パッケージ用製造装置は、接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップに付着する接着剤の量をキャップの形状・寸法に応じて変えることができるから、製造するパッケージの形状・寸法を変えてもキャップをケースに強固にかつ気密性よく接着できるという効果もある。」と訂正する。
（ｗ）特許明細書中の段落番号【０１００】の記載を、「【００９１】　第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、この構成としたため、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。したがって、従来に較べて製造装置を大幅に削減できる。すなわち、従来より小規模な装置で実現できる。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
中空パッケージの製造方法および中空パッケージ用製造装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージの製造方法において、
接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込ませ、
しかる後、キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に
　【請求項２】　
凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、
　
前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行う
　【請求項３】　
凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、
接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、
接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、
スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、
　キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、
を更に備えたことを特徴とする中空パッケージ用製造装置。
　【請求項４】　
凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、
前記キャップ保持手段を構成する手段として、
前記キャップを保持するための吸着手段と、
前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、
前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、
前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行う
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】本発明は、中空パッケージ用キャップをケースに接着するための接着剤をキャップに付着させる中空パッケージの製造方法および中空パッケージ用製造装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】超高周波用デバイスには、トランジスタ、ＩＣ、光素子、表面弾性波素子、あるいは共振子などがある。従来、これらのデバイスは商用の通信機器や衛星などに使われていたので、多少高価であっても信頼性が高く、寿命が長いことが必要不可欠な条件であった。最近では、衛星放送の受信機や携帯電話などのように、一般家庭で使う民生機器にも超高周波用デバイスが数多く使われるようになった。民生機器に使うデバイスは商用通信機器ほど高信頼性や長寿命はいらないものの、いかに安く作るかが大きな課題である。その一つの動きとして、セラミック・パッケージで封止していた超高周波用チップを合成樹脂製の中空パッケージに組み込み、コストダウンを図っている。
　【０００３】この種の樹脂モールドパッケージは、半導体チップなどを実装したケースにキャップを接着することによって形成している。ケースにキャップを接着する接着剤は、シート状のものや液状のものを使用している。液状の接着剤を用いて中空パッケージを形成する従来の方法を図１０によって説明する。
　【０００４】図１０は従来の中空パッケージの製造方法を説明するための図で、同図（ａ）は接着剤塗布工程での平面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図、同図（ｃ）は接着剤塗布後の状態を示す断面図、同図（ｄ）はキャップをケースの上方に搬送した状態を示す断面図、同図（ｅ）は接着工程での状態を示す断面図である。
　【０００５】図１０（ａ），（ｂ）中に符号１で示すものは接着剤塗布装置で、この接着剤塗布装置１は、粘性を有する液状の接着剤２をマスク３の上面にスキージ４によって塗り広げるように構成している。前記マスク３は、接着面に相当するマスク開口部３ａを複数開口させ、後述する中空パッケージ用キャップ５の上方に位置づけられている。
　【０００６】中空パッケージ用キャップ５は、合成樹脂によって凹陥部５ａを有する有底円筒形に形成し、凹陥部５ａが開口する端面を上側にしてトレー６に保持させている。このトレー６は前記マスク３のマスク開口部３ａと対応する位置にキャップ５を保持するような構造である。なお、前記マスク開口部３ａは、穴径がキャップ５の外径と略同じ寸法になるように形成している。
　【０００７】図１０（ｃ）において符号７は加熱炉を示し、図１０（ｄ）において符号８はキャップ５を搬送するための真空式吸着ノズルを示す。また、同図中に符号９で示すものは中空パッケージ用ケースで、このケース９は、リードフレーム９ａに合成樹脂をモールド成形することによって形成し、超高周波用半導体チップ９ｂを搭載しかつワイヤボンディングを実施してある。図１０（ｃ），（ｄ）において符号１０で示すものはヒータープレートである。
　【０００８】なお、前記キャップ５およびケース９を形成する合成樹脂はエポキシ樹脂を採用し、接着剤２はエポキシ樹脂を主成分とするものを使用している。
　【０００９】上述したケース９にキャップ５を接着するには、先ず、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すようにキャップ５に接着剤２を付着させる。すなわち、キャップ５をトレー６に保持させて接着剤塗布装置１の下方に位置づけ、スキージ４で接着剤２をマスク３上に塗り広げる。
このよう接着剤２を塗り広げると、接着剤２はマスク３のマスク開口部３ａに埋め込まれてキャップ５の
凹陥部端面
　【００１０】その後、トレー６を接着剤塗布装置１から下方に離間させる。このとき、キャップ５の
凹陥部端面
凹陥部端面
　【００１１】次に、図１０（ｃ）に示すようにキャップ５をトレー６とともに加熱炉７内に供給し加熱することによって、接着剤２を半硬化状態にする。これは、キャップ５を後工程に移送するとき、キャップどうしが接着したり、キャップ５が図示してない移送容器に接着するのを防止するためである。加熱炉７からキャップ５を取り出した後、前記移送容器に入れ、図１０（ｄ）に示すキャップ接着装置へ移送する。そして、図示していないハンドリング装置によって前記移送容器から取り出し、キャップ５を整列させ、上下や左右を判別し、このキャップ５の底面（接着剤２が付着している
凹陥部端面
　【００１２】しかる後、図１０（ｄ）に示すように、このキャップ５を吸着ノズル８によってケース９の上方に搬送し、図１０（ｅ）に示すように、ヒータープレート１０上に載置して加熱されたケース９の上面に押し付ける。そして、ケース９の熱で接着剤２が加熱されて溶融した後に硬化することによって、ケース９にキャップ５が接着剤２を介して接着される。
　【００１３】なお、接着剤２としてシート状のものを使用する場合には、キャップ５の
凹陥部端面
　【００１４】
　【発明が解決しようとする課題】接着剤塗布工程において、最も重要な要素は、接着剤の厚さをいかに所望の厚さに塗布するかである。例えば、キャップ５に付着する接着剤２が規定量より少ないと、キャップ５をケース９に強固に接着することができないばかりか、接着部での気密性が低下してしまう。逆に、規定量より多くなると、余分な接着剤２がパッケージの内外に流出して外観不良になったり、チップやワイヤに付着して電気的特性を劣化させたりする原因となる。したがって、従来は、マスクの厚さやシート状の接着膜の厚さで、接着剤２の厚さを２０〜５０μｍの範囲内に収まるよう厳重に管理していた。
　【００１５】しかしながら、図１０に示した方法を採るに当たっては、マスク開口部３ａおよびキャップ５の
凹陥部端面
凹陥部端面
　【００１６】このように、マスクを用いた接着剤塗布装置１はその構成が複雑となるため、必然的にキャップ接着装置とは分離せざるを得なかった。このため、キャップ５を接着剤塗布装置１からキャップ接着装置に移し替えるとき、キャップどうしが接着したり、移送容器に接着しないようにする対策が必要であった。従来は接着剤塗布装置１で塗布した接着剤２を一旦加熱炉に入れ、半硬化状態にして、粘着性を低下させてから移送していた。
　【００１７】このため、半硬化状態にするための加熱装置や、工程間の移送容器、キャップ接着装置にキャップを渡すハンドリング装置などが必要であり、また、ハンドリング時にキャップを整列し直して上下方向や基準方向を判定することも必要になる。さらに、キャップ接着時に接着剤２を予熱し、半硬化状態から溶融状態に戻すという処理も必要になる。このように、マスクを使った方法では、接着剤の厚さは比較的容易に均一化できるものの、位置合わせやハンドリングに高価な装置と多大な工数が必要であった。
　【００１８】シート状の接着剤を使用する場合には、半硬化するための加熱炉は不要になるものの、位置合わせについては、マスクと同じように高精度が要求される。
さらに、シート状の接着剤は、取り扱いがし易いように片面に離型紙などを付着させなければならないので、それ自体が高価になってしまう。また、超高周波用デバイスの中空パッケージでは、シートの直径が２ｍｍ、幅が０．２５ｍｍと小径なため、金型で円形に切断してもシートをキャップに貼り付けるときに形が歪んで接着位置がずれてしまうことがあった。このため、接着強度が低下したり、気密性が低下することがあった。
　【００１９】本発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、キャップに付着する接着剤の量を一定にすることを第１の目的とし、キャップに接着剤からなる膜が形成されないようにすることを第２の目的とし、上述した二つの目的を達成できるとともに小型の中空パッケージを安価に製造できる中空パッケージ用製造装置を得ることを第３の目的とする。
　【００２０】
　【課題を解決するための手段】　第１の発明に係る中空パッケージの製造方法は、
接着剤用受け部材として、接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成したものを用い、この接着剤用受け部材にスキージによって接着剤を塗り広げることにより凹溝内に接着剤を埋め込ませ、しかる後、キャップを凹溝内の接着剤に押し付けて離間させることによりキャップの前記凹陥部端面に
この方法によれば、簡単な装置で正確な厚みに接着剤を塗り広げることができる。
　【００２１】　
したがって、キャップに接着剤を付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップに形成されることがない。
　【００２２】　第２の発明に係る中空パッケージの製造方法は、
凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行う
この方法によれば、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。
　【００２３】　
第３の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面に接着剤を付ける中空パッケージ用製造装置において、
接着剤を塗布する接着剤用受け部材と、この接着剤用受け部材に接着剤を厚さが均一になるよう塗り広げる手段と、前記キャップを保持し、その凹陥部端面を接着剤用受け部材の接着剤に押付けるキャップ保持手段とを備えたものであって、
接着剤用受け部材の接着剤塗布面にキャップの凹陥部端面と略同じ形状の凹溝を形成し、
スキージによって前記接着剤用受け部材に接着剤を塗り広げることにより前記凹溝内に接着剤を埋め込む手段と、
　キャップを保持し、前記キャップを前記凹溝内の接着剤に押し付けた後離間させる手段と、
を更に備えたものである。
　【００２４】　したがって
、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ることができる。また、この中空パッケージ用製造装置は、接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップに付着する接着剤の量を変えることができる。
　【００２５】　
第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、凹陥部を有するキャップを保持するキャップ保持手段によって前記キャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージ用製造装置において、
前記キャップ保持手段を構成する手段として、
前記キャップを保持するための吸着手段と、
前記吸着手段で保持した前記キャップを接着剤に押付けて離間する手段と、
前記吸着手段で保持した前記キャップを前記ケースに接着する手段と、を備え、
前記キャップ保持手段を構成する各手段の前記動作を、異なる各キャップに対して略同時に行うものである。
したがって、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。
　【００２６】
　【００２７】
　【００２８】
　【００２９】
　【００３０】
　【００３１】
　【００３２】
　【００３３】
　【００３４】
　【００３５】
　【発明の実施の形態】
第１の実施の形態
以下、本発明の一実施の形態を図１ないし図７によって詳細に説明する。ここでは、第１ないし第３の発明および第５の発明に係る中空パッケージの製造方法と、第６、第７、第１０および第１１の発明に係る中空パッケージ用製造装置について説明する。
　【００３６】図１は本発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たり使用する中空パッケージ用製造装置の概略構成を示す平面図、図２は中空パッケージ用製造装置の要部の構成を示す斜視図、図３はスキージを示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。
　【００３７】図４はキャップ移載装置のキャップ吸着部を示す側面図で、同図はキャップを搬送している状態で描いてある。図５はキャップをケースに押し付けている状態でのキャップ移載装置のキャップ吸着部の側面図である。図６は中空パッケージ用製造装置の要部の構成を示す側面図、図７は本発明に係る中空パッケージの製造方法を説明するための図で、同図（ａ）はキャップを接着剤に押し付けている状態を示す断面図、同図（ｂ）はキャップを搬送している状態を示す断面図、同図（ｃ）はキャップをケースに接着している状態を示す断面図である。これらの図において前記図１０で説明したものと同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
　【００３８】図１において、符号１１はこの実施の形態による中空パッケージ用製造装置を示す。この中空パッケージ用製造装置１１は、本発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するためのもので、図１において一側方に配設したキャップ供給装置１２と、他側方に配設したケース搬送装置１３と、これら両装置の間に配設した接着剤塗布装置１４およびキャップ移載装置１５などから構成している。
　【００３９】前記キャップ供給装置１２は、キャップ５を多数モールド成形した金属製薄板からなるキャップ用フレーム１６を、搬送レール１７によって図１において右方へ間欠的に送るように構成している。前記フレーム１６は、丸穴１６ａを多数穿設し、この丸穴１６ａ内に一部を臨ませるようにしてキャップ５をモールド成形している。なお、フレーム１６は、キャップ５の底面｛凹陥部５ａ（図１０参照）が開口する面とは反対側の面｝が上側になるように搬送レール１７に供給する。
　【００４０】前記搬送レール１７の上流側端部（図１において左側の端部）の近傍に設けた符号１８で示すものは、前記フレーム１６を図示してないストッカから搬送レール１７に移載するためのローダであり、搬送レール１７の下流側端部に設けた符号１９で示すものはアンローダである。また、搬送レール１７の中央部に配設した符号２０で示すものは、フレーム１６からキャップ５を打ち抜くための打ち抜き装置である。
　【００４１】この打ち抜き装置２０は、キャップ５をフレーム１６の下方へ打ち抜き、フレーム１６の下方に位置づけたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａに載置させるように構成している。このキャップ受け渡し装置２１は、フレーム１６から打ち抜かれたキャップ５を後述するキャップ移載装置１５の吸着位置へ送るためのもので、前記アーム２１ａを４本備えてこれらのアーム２１ａを鉛直方向の軸線回りに回転させるように構成している。前記吸着位置は、アーム２１ａを図１において下側に移動させた位置である。この吸着位置を図１中に符号Ａで示す。
　【００４２】前記ケース搬送装置１３は、ケース９をモールド成形したリードフレーム９ａを搬送レール２２によって図１において右方へ間欠的に送るように構成している。なお、リードフレーム９ａは、ケース９におけるキャップ接着面が上側になるように搬送レール２２に供給する。この中空パッケージ用製造装置１１は、リードフレーム９ａをこのように搬送する途中でキャップ５を後述するキャップ移載装置１５によってケース９に接着する。接着位置を図１中に符号Ｂで示す。なお、このリードフレーム９ａは、前記図１０（ｄ）で示したように、半導体チップ９ｂを実装してワイヤボンディングを行った状態のものである。
　【００４３】前記搬送レール２２の上流側端部にはリードフレーム９ａを搬送レール２２に供給するためのローダ２２ａを連結している。また、搬送レール２２の下流側端部の近傍にはキュア装置２２ｂと、リードフレーム用ストッカ２３とをこの順に並べて配設している。リードフレーム９ａをキュア装置２２ｂやストッカ２３に移載するに当たっては、図示してない爪送り式あるいは吸着式の移載装置を用いている。また、前記搬送レール２２の中途部であって前記接着位置Ｂとなる部位にヒータープレート１０を配設している。
　【００４４】前記接着剤塗布装置１４は、図２に示すように、円形テーブル２４上に粘性を有する液状の接着剤２をスキージ２５によって塗り広げる構造を採っている。前記円形テーブル２４が本発明に係る接着剤用受け部材を構成している。なお、接着剤２は、熱硬化型エポキシ樹脂、熱可塑性エポキシ樹脂、フェノール系樹脂またはシーラ材などが使用でき、図示してない接着剤供給装置によって円形テーブル２４上に供給する。前記円形テーブル２４は、円盤状に形成してこれを回転させる駆動モータ２４ａに支持させている。
　【００４５】この駆動モータ２４ａは、この実施の形態ではステッピング・モータを使用し、接着剤２を塗り広げるときには円形テーブル２４を図２中に矢印で示す方向に回転させ、接着剤２に後述するキャップ移載装置１５によってキャップ５を押し付けるときには円形テーブル２４を停止させるように構成している。なお、この実施の形態では、キャップ５を接着剤２に押し付けた後に円形テーブル２４を予め定めた角度だけ回転させ、円形テーブル２４が１回転した後に接着剤２の塗り広げ動作を行うように構成している。キャップ５を押付ける動作を連続的に行う場合には、スキージ２５から常に一定厚の接着剤２が供給されているので、テーブル２４を改めて１回転させなくてもよい。すなわち、接着剤の塗り広げとキャップを接着剤に付ける動作が連続的に処理できる。
　【００４６】前記スキージ２５は、この中空パッケージ用製造装置１１の基台１１ａ（図１参照）に固定したホルダー２６に、図３（ｂ）に示すようにスライドガイド２７を介して上下方向に移動自在に支持させ、両側の下端部に回転自在に取付けたローラ２８を前記円形テーブル２４に支承させている。また、このスキージ２５と前記ホルダー２６との間には、スキージ２５の全体を円形テーブル２４側へ付勢するための引張りコイルばね２９を弾装している。キャップ５を接着剤２に押付ける力は２００ｇ、押付けている時間は０．５秒とした。
　【００４７】さらに、このスキージ２５は、円形テーブル２４上に塗り広げられる接着剤２の厚みを調整するための接着剤厚み調整機構が設けてある。この接着剤厚み調整機構は、接着剤２に触れるへら３０を有するスライダ３１と、マイクロメータ３２とから構成している。前記スライダ３１は、前記ローラ２８を支持するスキージ本体３３に図３（ｂ）に示すようにスライドガイド３４を介して上下方向に移動自在に連結している。また、このスライダ３１とスキージ本体３３の上部のマイクロメータ支持プレート３５との間には、図３（ａ）に示すように、このスライダ３１を上方へ付勢して後述するマイクロメータ３２に押し付けるための引張りコイルばね３６を弾装している。
　【００４８】前記スライダ３１のへら３０は、正面から見て長方形の金属板からなり、位置決めピン３０ａおよび偏心ピン３０ｂによってスライダ３１に固定している。すなわち、偏心ピン３ｂを回転させることによって、へら３０が位置決めピン３０ａを中心として回り、下端縁を前記円形テーブル２４の接着剤塗布面と平行にすることができる。前記偏心ピン３ｂは、へら３０に設けた長穴３０ｃに嵌合させている。なお、図３（ａ）において円形テーブル２４上のへら３０の両側に設けた符号２４ｂで示すものは、円形テーブル２４上で接着剤２が前記ローラ２８側へ流れるのを阻止する凸壁である。
この凸壁２４ｂは、円形テーブル２４の周方向に全周にわたって途切れることなく一連に設けている。
　【００４９】前記マイクロメータ３２は、マイクロメータ支持プレート３５にスピンドル３２ａを貫通させた状態で支持させてあり、スピンドル３２ａの下端を前記スライダ３１の上面に対接させている。すなわち、このスピンドル３２ａの下端にはスライダ３１が前記引張りコイルばね３６の弾発力によって押し付けられるので、このマイクロメータ３２を操作してスピンドル３２ａの突出量を増減させることによって、へら３０の下端縁と円形テーブル２４の上面との隙間ｔを調整することができる。このスキージ２５によって塗り広げられた接着剤２は、前記隙間ｔに相当する厚みになる。なお、この実施の形態では、スキージ２５で円形テーブル２４上に塗り広げられる接着剤２の厚さが２０〜５０μｍになるように設定している。
　【００５０】前記キャップ移載装置１５は、その概略構成を図２に示すように、モータ３７が駆動して間欠的に回転するアーム付きインデックステーブル３８と、このインデックステーブル３８のアーム３８ａの先端に上下方向へ移動自在に連結した吸着ヘッド３９と、この吸着ヘッド３９を駆動するプッシャ４０とから構成している。なお、このキャップ移載装置１５が本発明に係るキャップ保持手段を構成している。前記インデックステーブル３８のアーム３８ａは、図１に示すように、インデックステーブル３８の径方向に放射状に複数設けている。このアーム３８ａは、この実施の形態ではインデックステーブル３８の回転方向に同じ間隔を隔てて８本設けている。
　【００５１】前記吸着ヘッド３９は、図４および図５に示すように、キャップ５を真空吸着により吸着して保持する吸着ノズル４１を備え、前記アーム３８ａの先端に設けたスライドガイド３８ｂに上下方向へ移動自在に連結している。なお、前記吸着ノズル４１が第６の発明に係るキャップ吸着部を構成している。また、吸着ヘッド３９とスライドガイド３８ｂとの間には、吸着ヘッド３９を上方へ付勢して図４に示す初期位置に止めておくための復帰ばね（図示せず）を弾装している。
　【００５２】前記吸着ノズル４１は、吸着ヘッド３９に上下方向へ移動自在に貫通支持させた円筒からなるノズル本体４１ａと、このノズル本体４１ａの上端に設けたガイドロッド４１ｂとから構成している。前記ノズル本体４１ａは、中空部を吸着ヘッド３９の真空室３９ａに連通させ、この真空室３９ａにホース４２を介して接続した真空ポンプ（図示せず）が空気を吸引することによって、下端にキャップ５を真空吸着する構造を採っている。なお、この吸引系は、途中に開閉弁（図示せず）が介装してあり、選択的にキャップ５を吸着できるように構成している。
　【００５３】この吸着ノズル４１の前記ガイドロッド４１ｂは、ノズル本体４１ａとの接続部に吸着ヘッド３９の上面と対接する鍔４１ｃが設けてあり、上部を吸着ヘッド３９のスプリングストッパ３９ｂに上下方向へ移動自在に貫通させている。また、このスプリングストッパ３９ｂと前記鍔４１ｃとの間に、吸着ノズル４１を下方へ付勢する圧縮コイルばね４３を弾装している。
　【００５４】そして、この中空パッケージ用製造装置１１は、図１に示すように、インデックステーブル３８が回転することによって、吸着ヘッド３９の吸着ノズル４１が、前記キャップ受け渡し装置２１における吸着位置Ａに移動したアーム２１ａの上方と、前記接着剤塗布装置１４の円形テーブル２４の上方と、前記搬送レール２２上で接着位置Ｂに位置づけられたキャップ９の上方を通るように構成している。また、吸着ヘッド３９を円形テーブル２４の上方に位置づけたとき（このときの吸着ヘッド３９の位置を以下において接着剤付着位置Ｃという）には、前記吸着位置Ａに位置づけられたアーム２１ａの上方と、接着位置Ｂに位置づけられたケース９の上方とに別の吸着ヘッド３９がそれぞれ位置づけられるような構造を採っている。
　【００５５】なお、吸着ヘッド３９がアーム３８ａに対して上下方向へ移動できる距離は、吸着ノズル４１に吸着させたキャップ５と、前記吸着位置Ａに位置づけられたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａ、円形テーブル２４および接着位置Ｂに位置づけられたケース９との間隔より大きくなるように設定している。
　【００５６】前記プッシャ４０は、図２に示すように、プッシュロッド４０ａをサーボモータ４０ｂによって上下方向に移動させる構造を採り、フレーム４０ｃを図示してないブラケットを介して前記インデックステーブル３８のアーム３８ａに取付けている。そして、このプッシャ４０は、プッシュロッド４０ａを下方へ移動させることによって、このプッシュロッド４０ａが前記吸着ヘッド３９を図示してない復帰ばねおよび吸着ノズル４１側の圧縮コイルばね４３の弾発力に抗して下方へ押し下げるように構成している。
　【００５７】すなわち、吸着ヘッド３９は、プッシュロッド４０ａが押さない状態では、図４に示すように、前記復帰ばねによって上方へ付勢されて初期位置に位置づけられ、プッシュロッド４０ａが下方へ移動することによって、前記復帰ばねの弾発力に抗して図５に示すように下方へ移動する。このとき、吸着ノズル４１の下方への移動が規制されると、吸着ノズル４１はこれを下方へ付勢する圧縮コイルばね４３の弾発力に抗して吸着ヘッド３９に対して上側へ移動する。
　【００５８】なお、このプッシャ４０は、この実施の形態では８本のアーム３８ａの全てに設けているが、この中空パッケージ用製造装置１１の基台１１ａに固定してもよい。この構成を採る場合には、プッシャ４０を前記吸着位置Ａ、接着位置Ｂおよび接着剤付着位置Ｃのそれぞれに配設する。
　【００５９】次に、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を上述した中空パッケージ用製造装置１１の動作説明と合わせて詳細に説明する。先ず、図１に示すキャップ供給装置１２の搬送レール１７にフレーム１６を供給し、キャップ５を打ち抜き装置２０の下方へ搬送する。次に、キャップ５をこのフレーム１６から打ち抜き装置２０によって打ち抜き、フレーム１６の下方に位置づけたキャップ受け渡し装置２１のアーム２１ａに載置させる。このとき、キャップ５は、底面（凹陥部５ａが開口する面とは反対側の面）が上方を指向するようにアーム２１ａに載置する。
　【００６０】しかる後、このアーム２１ａを前記吸着位置Ａに移動させ、ここでキャップ移載装置１５にキャップ５を吸着させる。なお、キャップ移載装置１５の吸着ノズル４１に接続した真空ポンプは、この中空パッケージ用製造装置が稼働しているときには常に運転状態にしておき、吸着ノズル４１からキャップ５を外すときのみに吸気系の開閉弁を閉動作させる。
　【００６１】キャップ移載装置１５にキャップ５を吸着させるには、吸着ヘッド３９を吸着位置Ａに位置決めし、プッシャ４０で下方へ移動させて吸着ノズル４１のノズル本体４１ａをキャップ５の底面（上面）に上方から押し付けることによって行う。ノズル本体４１ａがキャップ５に当たると、吸着ノズル４１は、吸着ヘッド３９が継続して下方へ移動しても圧縮コイルばね４３が圧縮されることによってその位置に止まる。すなわち、吸着ノズル４１は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力をもってキャップ５に押し付けられる。
　【００６２】このように吸着ノズル４１にキャップ５を吸着させた後、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを上昇させる。このようにすると、吸着ヘッド３９が復帰ばねの弾発力によって初期位置に復帰する。次いで、インデックステーブル３８を図１において反時計方向へ回転させ、図２および図６に示すように、接着剤塗布装置１４の円形テーブル２４の上方（接着剤付着位置Ｃ）に前記吸着ヘッド３９を位置決めする。
　【００６３】接着剤塗布装置１４は、接着剤２を供給した円形テーブル２４を回転させることによって、予め接着剤２を円形テーブル２４上に塗り広げておく。接着剤２を塗り広げるときには、前記マイクロメータ３２によって前記隙間ｔを予め定めた値に調整した状態で行う。
このようにすることによって、円形テーブル２４上に接着剤２が前記隙間ｔに相当する均一な厚みに塗り広げられる。
　【００６４】吸着ヘッド３９を前記接着剤付着位置Ｃに位置決めした後、プッシャ４０によって吸着ヘッド３９を下方へ押し下げ、キャップ５の
凹陥部端面
　【００６５】キャップ５を接着剤２に一定時間押し付けた後、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを上昇させて図４および図７（ｂ）に示すように吸着ヘッド３９を初期位置に復帰させる。このとき、吸着ヘッド３９とともにキャップ５も上昇し、これに接触していた接着剤２が円形テーブル２４側の接着剤２から分離してキャップ５に付着する。
　【００６６】次に、インデックステーブル３８を回転させて前記吸着ヘッド３９を前記接着位置Ｂに位置決めする。なお、ここまでの工程が終了する以前に、ケース搬送装置１３によってケース９を前記接着位置Ｂに搬送しておく。そして、ヒータープレート１０によりケース９を加熱しておき、プッシャ４０により吸着ヘッド３９を押し下げることによって、図５および図７（ｃ）に示すように、キャップ５が接着剤２を介してケース９に接着する。このときにも、キャップ５は圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力をもってキャップ９に押し付けられる。この実施の形態では、押圧力は２００ｇ、押圧時間は０．６秒、加熱温度は２５０℃で行ったが、接着剤２の種類でこれらの条件は異なってくる。ヒータープレート１０でケース９を加熱することにより、接着剤２を硬化させる。
　【００６７】このようにキャップ５をケース９に接着した後、吸着ノズル４１での吸引を停止させ、プッシャ４０のプッシュロッド４０ａを上昇させて吸着ヘッド３９を初期位置に復帰させる。このとき、キャップ５は吸着ノズル４１から離れてケース９に接着した状態に保たれる。
　【００６８】上述した一連のキャップ接着工程は、インデックステーブル３８の全ての吸着ヘッド３９で同様に行う。このとき、接着剤塗布装置１４は、キャップ５を接着剤２に押し付ける工程が終了した後に円形テーブル２４を予め定めた角度だけ回転させ、円形テーブル２４が１回転した後に接着剤２の塗り広げ動作を行う。また、吸着位置Ａでキャップ５を吸着する動作、接着位置Ｂでキャップ５をケース９に接着する動作および接着剤付着位置Ｃでキャップ５に接着剤を付着させる動作は、図１に示すように、それぞれの位置に位置づけられた吸着ヘッド３９で略同時に行われる。
　【００６９】そして、接着位置Ｂにおいてリードフレーム９ａの全てのケース９にキャップ５を接着した後、このリードフレーム９ａを図示してない爪送り式あるいは吸着式の移載装置によってキュア装置２２ｂに移載し、ケース９をヒータープレート１０よりも低い温度、例えば１６５℃で加熱することによってキュアし、エポキシ樹脂を完全に硬化させる。このように接着剤２を硬化させた後、このリードフレーム９ａをストッカ２３に移載する。このようにリードフレーム９ａをストッカ２３に移載することによって、この中空パッケージ用製造装置１１での全工程が終了する。
　【００７０】したがって、この中空パッケージ用製造装置１１を使用した中空パッケージの製造方法は、円形テーブル２４に接着剤２をスキージ２５によって厚みが均一になるように塗り広げ、次に、前記接着剤２にキャップ５の
凹陥部端面
　【００７１】また、この中空パッケージ用製造装置１１は、接着剤２を塗布する円形テーブル２４と、この円形テーブル２４に接着剤２を厚みが均一になるように塗り広げるスキージ２５と、キャップ５を吸着保持し、その
凹陥部端面
　【００７２】さらに、この中空パッケージ用製造装置１１は、円形テーブル２４をスキージ２５に対して回転する構成とするとともに、前記スキージ２５に円形テーブル２４の接着剤塗布面との距離を変える接着剤厚み調整機構を設けたため、接着剤２を塗り広げるための駆動系と、接着剤２の厚みを調整するための接着剤厚み調整機構とを分けて構成することができる。このため、円形テーブル２４を回転させる駆動モータ２４およびスキージ２５は、それぞれ単純な構成でよい。
　【００７３】さらにまた、キャップ移載装置１５の吸着ノズル４１を、圧縮コイルばね４３によってキャップ押付け側へ付勢する構成を採っているから、キャップ５は、圧縮コイルばね４３の弾発力に相当する押圧力をもって接着剤２に押し付けられる。このため、簡単な構成であっても接着剤付着時の荷重を最適な値に設定できる。しかも、この構成を採ると、吸着ノズル４１にキャップ５を吸着させるときや、キャップ５をケース９に接着させるときに、圧縮コイルばね４３が緩衝体になって過大な荷重が加えられることがない。
　【００７４】第２の実施の形態
スキージは図８に示すように構成することもできる。図８はスキージの他の実施の形態を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図である。図８において前記図１ないし図７で説明したものと同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
なお、図８に示すスキージが第９の発明に係る中空パッケージ用製造装置のスキージを構成している。
　【００７５】図８中に符号５１で示すスキージは、金属製ブロックによって形成し、下端に幅Ｗ、深さｔの凹溝５１ａを形成している。凹溝５１ａの代わりに、高さｔの凸部を下端に少なくとも２箇所設けてもよい。前記深さｔ、あるいは高さｔは２０μｍ〜５０μｍとした。また、このスキージ５１は、図１〜図７で示した中空パッケージ用製造装置のスキージ２５と同様に基台（図示せず）に固定している。
　【００７６】このスキージ５１を円形テーブル２４の接着剤塗布面に接触させた状態で接着剤２を円形テーブル２４上に供給し、この円形テーブル２４を回転させることによって、凹溝５１ａの深さｔに相当する厚みをもって接着剤２が円形テーブル２４上に塗り広げられる。このスキージ５１を図１〜図７で示す中空パッケージ用製造装置に採用すると、前記実施の形態より簡単な機構で同等の効果が得られる。
　【００７７】第３の実施の形態
第４の発明に係る中空パッケージの製造方法および第８の発明に係る中空パッケージ用製造装置の一実施の形態を図９によって詳細に説明する。図９は凹溝に埋め込んだ接着剤をキャップに付着させる製造方法を説明するための図で、同図（ａ）は凹溝を形成した回転テーブルに接着剤をスキージによって塗り広げている状態を示す平面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図、同図（ｃ）はキャップを凹溝内の接着剤に接触させた状態を示す断面図、同図（ｄ）はキャップを凹溝内の接着剤に押し付けた状態を示す断面図である。図９において前記図１ないし図７で説明したものと同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
　【００７８】図９に示す円形テーブル２４は、接着剤２が塗布される上面の３箇所に環状の凹溝５２を形成している。この凹溝５２は、キャップ５の
凹陥部端面
　【００７９】図９中に符号５６で示すスキージは、下端を平坦に形成し、円形テーブル２４の接着剤塗布面に下端の全域を接触させている。なお、このスキージ５６も、図１〜図７で示した中空パッケージ用製造装置のスキージ２５と同様に基台（図示せず）に固定している。
　【００８０】次に、上述したように凹溝５２を形成した円形テーブル２４を使用してキャップに接着剤２を付着させる手順を説明する。先ず、円形テーブル２４に接着剤２を図示してない接着剤供給装置によって供給し、図９（ａ），（ｂ）に示すように、この円形テーブル２４をステッピング・モータ５５によって時計方向へ回転させる。このようにすると、スキージ５６の下方を凹溝５２が通るときに接着剤２が凹溝５２内に埋め込まれる。
　【００８１】全ての凹溝５２に接着剤２が埋め込まれた後、凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに位置決めし、次いで、キャップ５を図９（ｃ）に示すように上方から凹溝５２内の接着剤２に当て、図９（ｄ）に示すように、この接着剤２に押し付ける。このとき、キャップ５には前記図４に示した圧縮コイルばね４３の弾発力からなる押圧力が加えられる。これにより、凹部の深さｔに相当する厚さの接着剤２がキャップ５に付着する。また、凹部の深さｔを所望の接着剤２の厚さより深くしておき、キャップ５の沈み込み量を制御することにより、接着剤２への付着厚さを調整することもできる。
　【００８２】このようにキャップ５を接着剤２に押し付けた後、円形テーブル２４から上方へ離間させ、第１の実施の形態を採るときと同じ手順によってケース９に接着する。なお、接着剤塗り広げ動作の初期は、接着剤２を充填して円形テーブル２４を１回転ないしそれ以上回転させ、凹溝５２内に接着剤２を均一に埋め込む。前記キャップ５の押し付け工程が終了した後、接着剤２を埋め込みながら円形テーブル２４を１／３回転だけ回転させて隣の凹溝５２を接着剤付着位置Ｃに位置決めし、この凹溝５２内の接着剤２に次のキャップ５を押し付ける。以降、この動作を連続的に繰り返す。また、全ての凹溝５２に対してキャップ５を押し付け終わるたびに、接着剤２を充填して円形テーブル２４を１回転ないしそれ以上に回転させ、再び凹溝内に接着剤２を埋め込むようにしてもよい。
　【００８３】第１、第２の実施の形態では、キャップ５の外形が小さくなると、接着剤２の表面張力で
凹陥部端面
　【００８４】また、キャップ５に付着する接着剤２は凹溝５２の形状と対応する形状になるから、回転テーブル２４を凹溝５２の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップ５に付着する接着剤２の量を変えることができる。また、キャップ５の沈み込み量を制御することによって、接着剤２の量を変えることもできる。
　【００８５】なお、上述した各実施形態では、円形テーブル２４に接着剤２を塗り広げるに当たって円形テーブル２４を回転させる構成を採っているが、円形テーブル２４を固定としてスキージ２４，５１，５６を回転させる構成を採ることもできる。この構成を採る場合には、接着剤を塗り広げるテーブルを直線状に形成し、スキージをこのテーブル上で往復移動させてもよい。さらに、上述した各実施形態では、合成樹脂製のキャップを例に説明したが、セラミック製キャップ、メタル製キャップあるいはガラス製透明キャップなどにも幅広く応用できる。
　【００８６】
　【発明の効果】第１の発明に係る中空パッケージの製造方法は、
キャップに接着剤を付着させるときにキャップの凹陥部と対応する部位には接着剤が存在しないので、接着剤からなる膜がキャップの開口側に形成されることがない。
　【００８７】
したがって、接着剤からなる膜を除去する工程を省くことができるから、製造時間の短縮を図ることができる。また、前記膜が形成されないことから、キャップをケースに接着するときに接着剤の余剰分がパッケージ内に流れ込むことがなく、高品質な中空パッケージを製造できる。
　【００８８】　
第２の発明に係る中空パッケージの製造方法は、凹陥部を有するキャップの凹陥部端面をケースに接着する中空パッケージの製造方法において、前記キャップを保持する工程と、前記キャップを接着剤に付ける工程と、前記キャップを前記ケースに接着する工程とを同一のキャップ保持手段で行うものであって、それぞれの工程位置に位置付けられた各々の前記キャップに対して、前記各工程を略同時に行うようにしたため、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。したがって、従来の方法を採る場合に比べて製造工程を大幅に短縮できる。
　【００８９】　
第３の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、この構成としたため、第１の発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たって自動化を図ることができるから、接着剤からなる膜がキャップに形成されるのを阻止して工程数削減を図ることができることと相俟って、高品質な中空パッケージを安価に製造できる。
　【００９０】　
また、この中空パッケージ用製造装置は、接着剤用受け部材を凹溝の溝幅、深さが異なるものに交換することによって、キャップに付着する接着剤の量をキャップの形状・寸法に応じて変えることができるから、製造するパッケージの形状・寸法を変えてもキャップをケースに強固にかつ気密性よく接着できるという効果もある。
　【００９１】　
第４の発明に係る中空パッケージ用製造装置は、この構成としたため、同一ハンドリング装置でキャップに接着剤を付けてケースに接着できる。したがって、従来に較べて製造装置を大幅に削減できる。すなわち、従来より小規模な装置で実現できる。
　【００９２】
　【００９３】
　【００９４】
　【００９５】
　【００９６】
　【００９７】
　【００９８】
　【００９９】
　【０１００】
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明に係る中空パッケージの製造方法を実施するに当たり使用する中空パッケージ用製造装置の概略構成を示す平面図である。
　【図２】　中空パッケージ用製造装置の要部の構成を示す斜視図である。
　【図３】　スキージを示す図である。
　【図４】　キャップ移載装置のキャップ吸着部を示す側面図である。
　【図５】　キャップをケースに押し付けている状態でのキャップ移載装置のキャップ吸着部の側面図である。
　【図６】　中空パッケージ用製造装置の要部の構成を示す側面図である。
　【図７】　本発明に係る中空パッケージの製造方法を説明するための図である。
　【図８】　スキージの他の実施の形態を示す図である。
　【図９】　凹溝に埋め込んだ接着剤をキャップに付着させる製造方法を説明するための図である。
　【図１０】　従来の中空パッケージの製造方法を説明するための図である。
　【符号の説明】
２…接着剤、５…キャップ、５ａ…凹陥部、９…ケース、１１…中空パッケージ用製造装置、１４…接着剤塗布装置、１５…キャップ移載装置、２４…円形テーブル、２５…スキージ、４１…吸着ノズル、５１，５６…スキージ、５２…凹溝。