【事件の表示】
　特許第３０５６１８９号「縦型拡散炉」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０５６１８９号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続きの経緯
　本件特許第３０５６１８９号の請求項１に係る発明についての特許は、平成１１年１月６日に特許出願がなされ、平成１２年４月１４日にその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議の申立てがなされたものである。
（２）本件発明
　本件発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「均熱管内に装着された縦型炉芯管が縦方向に設置され、前記均熱管の外側にこの均熱管と前記炉芯管内とを外側から加熱する主ヒータを設けている縦型拡散炉において、
　前記炉芯管の下方炉口部内に、昇降自在な下部均熱管を有し、
　前記下部均熱管の中に、下部ランプとこの下部ランプの上方に配置された光透過性の高い断熱材入り保温筒からなる下部加熱手段を有し、
　前記炉心管の内部の温度、前記主ヒータ付近の温度、この炉心管内に入れられたボードの最下部付近の温度及び前記下部ランプ付近の温度をモニターしながら、前記炉心管の内部温度をウエハ処理時の設定温度に制御することを特徴とする縦型拡散炉。（以下「本件発明」という）」
（３）特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人中野映子は、証拠として甲第１乃至第６号証を提出し、本件発明は、甲第１乃至６号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反して、特許を受けることができないものであると主張している。
（４）甲各号証記載の発明
　甲第１号証として提出された、特開平９−１４８３１５号公報には、「熱処理装置」が図面とともに開示されている。そして同公報の段落０００７〜段落０００８には、
「【発明が解決しようとする課題】
　しかしながらウエハＷが位置する熱処理領域を上部から下部に亘って均一な温度雰囲気とするためには、断熱基体１６をかなり大きくしなければならないが、断熱基体１６が大きいため断熱基体１６自体が温まるまでの時間が長く、また断熱基体１６を構成する石英自体の熱線の透過により熱損失が大きいことも加わって反応管１内の迅速な昇降温が難しく、スループット向上の妨げになっていた。ところでウエハは増々大口径化する傾向にあり、８インチサイズから１２インチサイズへ移行しようとしている。ウエハが１２インチにもなると、反応管１の口径も相当大きくなるため、熱処理雰囲気から炉口へ熱が逃げやすく、断熱基体１６を大きくしても熱処理雰囲気の下部を処理温度に維持すること自体が非常に難しくなっており、温度分布の均一な熱処理領域の長さを大きくとることが困難である。」と記載され、段落００２４〜００２７には、
「図１は本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態の全体構成を示す図であり、図１２と同一部分は同一符号を付してある。１は二重管構造の石英製の反応管であり、内管１１は上端が開口すると共に、外管１２は上端が閉じた構造になっている。この反応管１の周囲には、断熱体１３の内周に抵抗発熱線よりなるヒータ１４を設けて構成した加熱炉１５が反応管１を囲むように配置されている。反応管１の底部には筒状の金属製例えばステンレス製のマニホールド２が接合されており、外管１２の下端フランジ部とマニホールド２の上端フランジ部との間には、気密にシールするためのＯリング２０が介装されている。
　マニホールド２には、内管１１内へ処理ガスを供給するためのガス導入管２１と、内管１１及び外管１２の間から排気する排気管２２とが接続されている。マニホールド２の下端開口部は金属製例えばステンレス製の蓋体２３により開閉されるようになっており、この蓋体２３の上には断熱基体３を介してウエハ保持具であるウエハボート１７が載せられている。
　この断熱基体３は、図２にも示すように複数枚の円板状の反射板４１を例えば４本の石英製ロッド４２により上下に間隙をおいて並列に並べて固定すると共に、上端位置に補助加熱手段例えば円板状の石英ヒータ３１を設けて構成されている。石英ヒータ３１は、図３（ａ）に示すように透明な石英板３２の表面に、例えば白金（Ｐｔ）及び酸化物（ＳｉＯやＰｂＯなど）の混合物に有機物を加えてペースト状にしたものをスクリーン印刷により例えば図４（ａ）に示すようなパターンに塗布し、これを焼き固めることにより抵抗発熱体よりなる例えば厚さ５〜１０ミクロンの発熱面３３を形成する。この例では石英板３２の中央部に開口部３２ａが形成され、この開口部３２ａには垂直に断熱基体３の下端まで伸びる石英管３４が接合されている。発熱面３３には給電線３５が接続され、この給電線３５は石英管３４の中に挿通されている。
　石英板３２の上には、周縁部が若干突出している石英板３６が重ねられ、両石英板３２、３６の周縁部同士が例えば溶接により接合されている。石英板３２、３６の厚さには夫々例えば２〜５ミリメートルとされる。上側の石英板３６の内面中央には凹部３６ａが形成されており、石英管３４内に挿入された温度検出部である熱電対３７の先端部が前記凹部３６ａ内に収まっている。」と記載され、段落００３６には、
「このような実施の形態によれば、断熱基体３に石英ヒータ３１を設け、しかも反射面４２を有する反射板４１を重ねて配置して、輻射熱を熱処理領域側に反射させて下部側への透過を少なくしているため、熱処理領域から炉口側への放熱を抑えることができる。従って上下方向の温度分布が均一な熱処理領域を長くすることができると共に熱処理領域の昇温を短時間で行うことができる。」と記載されている。
　甲第２号証として提出された、特開平８−８８１９２号公報には、「縦型高速熱処理装置」が図面とともに開示されている。そして同公報の特許請求の範囲の請求項３には、
「前記保温筒内に、反射板を具備した赤外線若しくは遠赤外線ランプを配設し、該赤外線若しくは遠赤外線ランプを、放射エネルギ−が通過する断熱・耐熱性材料で形成したカバ−で前記反応管内と隔離してなる請求項１または２に記載の縦型高速熱処理装置。」と記載され、段落０００８〜００１２には、
「【実施例】
　次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１〜図３は、本発明の拡散炉の実施例を示す断面図であり、フレ−ム１１と反応管２との間に、昇温特性の非常に速い抵抗加熱ヒ−タ４が内装され、反応管２内には、多数の基板１を上下方向に搭載した石英ボ−ト３が図２の状態から図１の状態に移動するようになっている。
　ボ−ト３の下端には、保温筒５が連結され、保温筒５の上端１２は、ボ−ト３を載せる台の役割を有している。保温筒５としては、赤外線若しくは遠赤外線領域の波長の吸収率の良い耐熱性材料、例えば炭化ケイ素をコ−ティングしたカ−ボン若しくは炭化ケイ素（ＳｉＣ）で形成するのが良い。
　保温筒５の下端には、ハッチ１０が連結され、ハッチ１０の中央に形成した開口１４に赤外線ランプ６′と反射板７′が固定されている。赤外線ランプ６′は、石英カバ−１３によって、反応管２内と隔離されている。
　赤外線ランプ６′は、図２に示すように、エレベ−タ−ア−ム１５を上昇させることによって、ボ−ト３が上昇する過程及び上昇後に、保温筒５及びボ−ト３の下端部を加熱する作用をする。このように保温筒５を加熱することによって、図１の状態では、反応管２内の下部の温度は加熱されることになり、下部の基板の温度回復を速めることができる。・・・（中略）・・・
　反応管下端部の保温筒５内には、熱電対８が取着され、保温筒５内が平衡温度になることを検知し、赤外線ランプ６′の放射出力を停止させるように構成されている。」と記載されている。
　甲第３号証として提出された、実願平３−３５２４０号（実開平４−１２１７３１号）のマイクロフィルムには、「縦型拡散装置」が図面とともに開示されている。そして明細書の段落００１４には、
「断熱材９とキャップ６との間に保熱ヒータ１３を設け、該保熱ヒータ１３は電源１７に接続されている。又キャップ６の内部所要位置、例えばキャップ６の内壁面に沿って熱電対１４が設けてあり、該熱電対１４は温度検知器１５に接続されている。該温度検知器６の検知結果は、前記電源１７の給電を制御するコントローラ１６に入力される様になっている。」と記載されている。
　甲第４号証として提出された、特開平７−２７３０５７号公報には、「半導体製造装置」が図面とともに開示されている。そして同公報の段落０００６には、
「【実施例】図１（Ａ）は本発明装置の１実施例の構成を示す断面図、図１（Ｂ）は本発明における多点測温体の１例の取付け状態を示す断面図である。
　本実施例は、多数のウェーハ２を載置したボート３をキャップ１４に載せ、このキャップ１４を上下動機構１７に固定されたアーム１６上のシールキャップ１５に載せ、このシールキャップ１５上のボート３を上下動機構１７により反応管１内に挿入し、温度制御されるヒータ４によりウェーハ２を加熱処理する半導体製造装置において、ボート３の側方に、例えば４個の熱電対１２Ａ〜１２Ｄを石英製保護管１０に収め、かつ熱電対素線を多数のセラミック製保護管１３で保護してなる多点測温体９を設け、多点測温体９の石英製保護管１０にＳｉＣ製保護管１１を被着すると共にＳｉＣ製保護管１１のシール部１８側をシールキャップ１５に貫通して取付けてなる。１９は補償導線である。」と記載されている。
　甲第５号証として提出された、特開平９−７９６５号公報には、「加熱炉の温度を制御する装置」が図面とともに開示されている。そして同公報には、ヒータ熱電対３とボート熱電対１１の測定結果に基づいて反応炉４の温度を制御する技術が開示されている（段落００１０〜００１４参照）。
　甲第６号証として提出された、特開平１０−１４９９９８号公報には、「電気炉の温度制御方法」が図面とともに開示されている。そして同公報の段落０００６には、
「【発明の実施の形態】
　図１は本発明方法の１実施形態の説明図、図２は本発明における各部の温度センサで検知される温度が時間経過に対して変化する様子を示す図である。
　本実施方法は、縦型拡散・ＣＶＤ装置の電気炉１の炉壁の中に、それぞれ４個の外部温度センサ（例えば熱電対）３及び１個の炉口部温度センサ（例えば熱電対）４を設ける。外部温度センサ３は温度制御に用いる。又、温度制御用に図４に示す炉内温度センサ２のみ又は炉内，外部温度センサ２，３の両方を用いてもよい。この外部温度センサ３と炉口部温度センサ４の検知温度を比較し、その比較結果により電気炉１の出力を制御するようにする。」と記載されている。
（５）対比・判断
　本件発明と甲第１乃至６号証記載の発明とを対比すると、甲第１乃至６号証には、本件発明の必須の構成要件である「下部均熱管の中に、下部ランプとこの下部ランプの上方に配置された光透過性の高い断熱材入り保温筒からなる下部加熱手段」を有する点について記載も示唆もされていない。（甲第２号証における石英カバ−１３は、下部ランプの上方に配置され保温部材として機能するものではない）
　そして本件発明は、上記の点を備えることにより、「炉芯管の炉口部内から炉口部付近を加熱し、炉口部から放熱される熱量を、その場で補うことにより、炉口部付近の温度降下を防止することができる。」（段落００４３参照）という作用効果に加えて、「下部ランプ１７が炉口部１６付近を加熱すると共に、断熱材入り保温筒１８が炉口部１６からの放熱量を軽減するので、上述した図１の実施形態のように加熱するだけのものに比べて、昇温効率がより一層高くなる。」（段落００４１）という、明細書記載の作用効果を奏するものである。
　よって、本件発明が甲第１乃至第６号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
（６）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１月２５日（２００２．１．２５）