【事件の表示】
　特許第３０６０５２６号「インクジェット記録ヘッド」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０６０５２６号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３０６０５２６号発明は、平成２年１１月９日に特許出願され、平成１２年４月２８日にその特許の設定登録がなされ、その後、関恵美子より請求項１乃至５に係る発明について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年８月２０日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の要旨
　１）訂正事項ａ
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１中の「単一の基板により形成され、かつ表面に撥水処理が施された凹部を有する」を「形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、前記凹部は、ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限する」に訂正すると共に、請求項４，５を削除する。
　２）訂正事項ｂ
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の課題を解決するための手段の項中の「単一の基板により形成され、・・・有する」（本件特許公報３欄３５〜３７行）を「形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、前記凹部は、ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限するように構成されている」に訂正すると共に、「また前記撥水処理が・・・２２≦ｄ１／ｄ２≦２０」（本件特許公報３欄４３〜４７行）を削除する。
　３）訂正事項ｃ
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の発明の効果の項中の「保護することができる。また、」（本件特許公報５欄１６〜１７行）を「保護することができる。また、凹部の径がノズル径の２倍以内であった場合には、撥水処理層上のインク接触角によっては凹部内にインクがメニスカスを形成することがある。凹部の毛細管力は凹部の径に依存しており、凹部の径が大きいほど毛細管力が弱くなり、結果として段差部にメニスカスを形成することが少なくなる。したがって、撥水処理が施された凹部の直径が前記ノズルの直径の２〜８倍とすることでより撥水処理が施された凹部の保護性能を維持しつつ、安定した吐出を実現できる。さらに、弾性部材によって構成されたブレードがノズル面に当接する力によって変形するため、撥水処理が施された凹部の直径ｄ１と前記凹部の深さｄ２が２≦ｄ１／ｄ２≦２０の関係を満たすことで、撥水処理層の保護をしつつ、凹部の異物除去が可能となる。また、」に訂正すると共に、「また、本発明特許請求の範囲・・・可能となる。」（本件特許公報５欄３０行〜６欄１３行）を削除する。
　
（２）訂正の目的、新規事項の有無、拡張変更の存否の各要件についての判断
　１）訂正事項ａについて
　本訂正は、請求項１について、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項（特に、本件特許公報４欄５〜１６行等参照）の範囲内で、撥水処理を施す範囲を限定し、かつ、請求項４及び５の構成を取り込んで、ノズルの直径と凹部の直径と凹部の深さとの関係を異物除去用ブレードの当接力との係わりで限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　２）訂正事項ｂ，ｃについて
　本訂正は、訂正事項ａによる特許請求の範囲の減縮に伴い、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲と整合させるための訂正であり、明りょうでない記載の釈明を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
（３）訂正の適否のまとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める
　
３．異議申立てについての判断
（１）本件請求項１乃至３に係る発明
　本件請求項１乃至３に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】インクを吐出するノズルと、該ノズル近傍に形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、前記凹部は、ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
　【請求項２】前記撥水処理が施された凹部の外周部がテーパー状の角度をもったテーパー面であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】前記テーパー面が前記ノズル近傍の面に対して１５〜７５度傾いていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。」（以下、請求項１，２，３に係る発明を、それぞれ、「本件発明１」、「本件発明２」、「本件発明３」という）。
　
（２）異議申立ての理由と証拠
　これに対し、異議申立人は、全請求項に係る発明の特許について、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるとし、証拠として甲第１乃至５号証を提出している。
　甲第１乃至５号証とそれらの記載事項は次のとおりである。
　１）甲第１号証：特開昭５９−１６２０５７号公報
　ａ．「インクジェットプリントヘッド」（発明の名称）
　ｂ．「従来・・・精度良くインクを噴射するためにノズル面を濡れにくくすることに注意が払われてきた。ノズル面が濡れ易いと第３図ａのようにノズル４の周囲の一部にインク１２が付着し、噴射粒子１３の尾が付着したインク１２に表面張力で引かれるためインクの方向が所定の方向からずれ、・・・また第３図ｂの如くインク１２の付着が多くなると噴射時にインク粒子１３は付着したインク層内での摩擦抵抗により噴射速度が低下し、遂には噴射不能に陥る。」（２頁左上欄２〜１３行）
　ｃ．「そこで従来はノズル面を濡れにくくするため、ノズル面を鏡面に仕上げた上にシリコン系やフッ素系のグリースを塗布する方法や、第４図の如くノズル４の周囲を窪ませる方法が行なわれている。」（２頁左上欄１４〜１７行）
　ｄ．「しかし前者のグリースを塗布する方法には次のような欠点がある。その第１はグリース類は摩擦で簡単にはがれる。そのため紙送りのミスによる記録用紙とノズルの接触等を考慮すると、グリースの塗布はしばしば行なう必要があり・・・第２は撥水表面は一般に電気伝導性が低いため、帯電し易く・・・浮遊している繊維くずや記録用紙から出るほこり等がノズル面に付着しやすくなる。・・・第３は何らかの原因でインクがノズル面に付着するとインクが乾き・・・新しい表面を形成し、その部分だけ濡れ易くなり・・・第４はノズル面を鏡面研磨するため製造コストが高くなる。」（２頁左上欄１８行〜右上欄１３行）
　ｅ．「また後者のノズル周囲を窪ませる方法は前者の欠点を軽減することはできるが完全ではなく、ノズル面の局部的な濡れによる噴射方向の乱れを生ずる。またノズル面（第４図１４，１５）を鏡面研磨する必要があると共に精度良くこの窪みを形成しなくてはならないという加工上の問題がある。即ちノズルの中心点と窪みの中心点が一致しないとその分、噴射方向がずれるし、また窪みの深さが異なるとインク噴射に必要なパルスエネルギ（圧電素子等に印加）が異なってしまうため高精度の加工が必要となる。従って製造コストが高くなる。」（２頁右上欄１４行〜左下欄５行）
等が記載され、第３図に従来のヘッドのノズル部における不具合を説明するための図が、第４図にその対策を施したノズル部を説明するための図が記載されている。
　
　２）甲第２号証：特開平２−１２１８４１号公報
　ａ．「インキ記録装置の記録ヘッドにおいては、インキ吐出流路から押し出されるインキ小滴をノズル表面から離す必要がある。これは例えば、インキ記録ヘッドのインキ吐出流路の出口側表面をインキで濡れないように形成することによって容易に行える。・・・インキ記録ヘッドのインキ出口側表面を水をはじくようにすることも既に知られている。その場合の疏水化は、表面をシラン化・・・することによって達成される。」（２頁左上欄１２行〜右上欄５行）
　ｂ．「ヘッド部分１の流出口４の側に、即ち作動中における紙面側に、シリル化剤による処置によって形成された固着し水をはじくシラン化層５がある。・・・ヘッド部分１は、・・・固形合成樹脂から成る外側保持体６の中に埋設される。・・・注型コンパウンド７にその注型工程（埋設工程）前に所定量のシリコーン油が添加され、・・・このシリコーン油はインキ記録ヘッドの作動中に後から徐々に注型コンパウンド７から拡散し、漏出によって伝播し、シラン化層５を完全に濡らす。・・・機械的にあるいはキャビテーションによってシリコーン油層８が除去されたときに、注型コンパウンド７の内部から自動的に補充され・・・水をはじく作用は確実に維持される。」（３頁右上欄１行〜左下欄５行）
等が図面と共に記載されている。
　
　３）甲第３号証：特開昭５７−５０１５２３号公報
　ａ．「この発明の目的は、ノズル内のインキの列がより安定状態に維持され、ノズル口の囲りのノズル板の前面にインキが付着又は乾燥しないようにして、高い正確性及び信頼性をもってインキ滴を発生するように改良したインキ・ジェット・プリント・ヘッド及びそのノズルを提供することである。」（２頁右上欄１４〜１９行）
　ｂ．「ノズル板１２はスタッド１６及び１８によってヘッド１０に固定され、板ばね１４はねじ２０及び２２によってかぶせるように該ヘッドに固定される。ノズル板１２は例えば９個の貫通するノズル２４を持つ基板材料を含み、板ばねはそこにノズルのための開口又はウインドウ２５を持つ。」（２頁右下欄１５〜２０行）
　ｃ．「外表面２８は水性インキの持つ特性に対して湿らない材料３０で被覆されるのが好ましい。湿らない材料層又は被覆３０のために適当な材料は、例えば、・・・ニッケルのような水反発性金属などがある。」（３頁左上欄１５〜２０行）
等が図面と共に記載されている。
　
　４）甲第４号証：特開昭６１−３７４３９号公報
　ａ．「飛翔的液滴を吐出形成する為に利用されるエネルギー発生体を設置した支持体に、インク吐出口を有し、該インク吐出口近傍のみを薄した構造であって、かつ樹脂により一体成形したプレートを積層して成るインクジェット記録ヘッド。」（特許請求の範囲第１項）
　ｂ．「インクジェット記録ヘッドにおいては記録品位言いかえれば吐出特性を重視し、インク吐出エネルギー発生体からインク吐出口までの距離を短かくする為にオリフイスプレートの厚さは極めて薄く設計される。」（２頁右下欄４〜８行）
　ｃ．「プレートのインク吐出口近傍以外は厚い構造にすることによりプレートの強度が増し、このプレートを使用した本発明のインクジェット記録ヘッドは十分実使用に耐えうるものである。」（３頁右上欄５〜９行）
　ｄ．「第１図，第８図に示したような形状にプレートを樹脂を一体成形する場合には、外枠インク流路を形成する２行程を、また少なくともインク流路を一体成形すれば少なくとも１行程を従来より短縮することができる。」（３頁左下欄１４〜１８行）
等が図面と共に記載されている。
　
　５）甲第５号証：特開昭６１−９４７６７号公報
　ａ．「ノズルとヘッド本体（液室）とを接合する仕方が信頼性を確保する上で大きな技術課題であった。」（２頁左上欄１９行〜右上欄１行）
　ｂ．「本発明は、・・・インクジェット記録ヘッドに於いて、インク滴を噴射する板状ノズルをインク液室側へ固定接合する方法及びその構造体を提供することを目的としてなされたものである。」（２頁右上欄１３〜１８行）
　ｃ．「第１図は、本発明の構成概念を説明するための要部断面構成図で、図中、１はノズル部材，２は該ノズル部材１に形成されたオリフィス，３は前記ノズル部材の一部を構成する平滑面であり、・・・４はインク液室・・・５は・・・インク液室部材・・・６はインク液室部材５の一部を構成する平滑面であり、この平滑面６上に金属質薄層７が密着形成され・・・金属質薄層７の最表面は８である」（３頁左上欄６行〜右上欄２行）
　ｄ．「第２図は、オリフィス形成部分の拡大断面図で、・・・１１はノズル基板として使用される薄板であり、・・・１２は、オリフィス形状をつくるためのニッケルメッキ層，１３はオリフィス形状をつくること、及び，部材１１がインク液に直接触れて腐食しないようにするためのニッケルメッキ層である。１４は、フォトエッチング及び２度目のニッケルメッキによって形成されるカップ状の凹み形状（カップ部），１５はフォトエッチング加工によって形成されるカップ形状，１６はオリフィスであり、その直径をφＤ０で表わしている。」（３頁左下欄９行〜右下欄１０行）
　ｅ．「部材５の上にノズル部材１を正しく置き、・・・インク液室部材５及びノズル部材１をしめつけるように加圧したあと通電することによって、・・・ジュール熱を発生させ、８の接合界面を得る。」（５頁右上欄３〜７行）
　ｆ．「ノズル部材１の詳細である第２図のノズル部材１１は、インク液室部材５に対して、どちらの向きでも接合が可能である。第９図及び第１０図は、その関係を示したものであるが、いずれを用いても、インク滴を安定して形成する為の連続型荷電制御インクジェットヘッドに用いる時のインク粒子粒子化領域に違いはなかった。」（５頁右下欄２〜９行）
等が図面と共に記載されている。
　
（３）対比・判断
　１）本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証の第４図に記載された従来例に係る発明（以下、「甲第１号証記載の発明」という）とを対比するに、甲第１号証記載の発明のノズル４の周囲の窪みはノズル近傍に形成された凹部といえるから、両者は、“インクを吐出するノズルと、該ノズル近傍に形成された凹部とを備えたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド”である点で一致し、次の点で相違する。
　＜相違点１＞本件発明１が単一の基板にノズルと凹部とを備えているのに対し、甲第１号証記載の発明では単一の基板であるか否か定かでない点。
　＜相違点２＞本件発明１が凹部を含む基板の表面に撥水処理を施しているのに対し、甲第１号証記載の発明では撥水処理を施しているか否か定かでない点。
　＜相違点３＞本件発明１が、ノズルの直径をｄ０、凹部の直径をｄ１、凹部の深さをｄ２としたとき、ｄ１／ｄ０が２乃至８で２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように凹部を形成して異物除去用ブレードの凹部表面への当接力を制限するのに対し、甲第１号証記載の発明はこのような構成を備えていない点。
　
　相違点１について検討するに、甲第１号証の第４図の記載では、凹部やノズルやインクの流路などを形成する部分がヘッド本体と一体的に形成されているかのように描かれているのであるが、第４図が単にノズル部からのインクの吐出状態を説明するための図であって該形成する部分を厳密に示す必要のない図であること、及び第４図に係る説明記載（記載事項ｃ〜ｅ参照）からみて、凹部とノズルとを単一の基板で形成できないというものではなく、かつ、甲第４号証にインク吐出口２（ノズルに相当）とその吐出側近傍の凹部とを単一の基板で形成することが示されていることから、相違点１は当業者が容易になし得た設計の変更である。
　相違点２について検討するに、甲第１号証の第４図に係る記載には表面に撥水処理を施す旨の明瞭な記載はなく、第４図において凹部にインクが溜まった状態が描かれ、かつ、「ノズルの中心点と窪みの中心点が一致しないとその分、噴射方向がずれる」（記載事項ｅ参照）の記載に着目すれば、凹部はインクを積極的に保持しているようにもみれる。
　しかし、第４図の例は、ノズル面１５が濡れて描かれてはいるが、「ノズル面を濡れにくくするため」（記載事項ｃ参照）の方法として記載されているのであり、「前者の欠点を軽減することはできるが」（記載事項ｅ参照）と記載があることも、平坦なノズル面を撥水処理した前者の方法について窪みを持たせた分だけ前者の欠点（記載事項ｄ参照）である記録用紙との接触やほこり等の付着が少なくなることと理解することもでき、続けて「完全ではなく、ノズル面の局部的な濡れによる噴射方向の乱れを生ずる。」（記載事項ｅ参照）と記載があることも、前者の方法について窪みを持たせてもなお前者の方法に係る欠点が残ることを示しているとも受け取れて、そのようにみれば、第４図のインクの状態は、何らかの原因で濡れが生じた場合を想定して考慮すべきことを示しているともみれる。
　いずれにしても、従来においては「ノズル面を濡れにくくすることに注意が払われてきた」（記載事項ｂ参照）のであり、第４図はそのための従来例であって、かつ、ノズル面を濡れにくくするためにノズル面を撥水処理する考え方も示されていることから、第４図の例についても、そのノズル面１４，１５に、すなわち凹部を含めた表面に撥水処理を施す場合を想起することは容易なことと認められ、相違点２は当業者が容易になし得た設計の変更である。
　相違点３について検討するに、ノズルの直径をｄ０、凹部の直径をｄ１、凹部の深さをｄ２としたとき、ｄ１／ｄ０が２乃至８で２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように凹部を形成することも、凹部と異物除去用ブレードの凹部表面への当接力との関係に着目することも、甲第１乃至５号証には記載がなく示唆もない。
　異議申立人は、甲第１号証の第４図及び甲第５号証の第２図について、前記ｄ１／ｄ０が２乃至８で２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように描かれているとしている。
　しかし、甲第１号証の第４図は、単にノズル部からのインクの吐出状態を説明するための図であり、ノズルの直径や凹部の直径及び深さはインクの吐出状態を目視で理解し易いように描かれているのであって、実際の大きさを示しているとはいえず、かつ、それぞれの大きさの具体的比率関係を示しているともいえない。
　加えて、前記相違点２についての検討でも述べたように、第４図の凹部が撥水処理されているか否かは定かでないのであり、そのようなものについてのそれぞれの大きさをそのまま凹部が撥水処理されたものに適用してもよいとは限らない。
　また、甲第５号証の第２図は、単にオリフィス形成部分がノズル基板１１とニッケルメッキ層１２，１３とカップ部１４とカップ形状１５とオリフィス１６などからなることを説明するための図であり、ノズルの直径や凹部の直径及び深さはその形成構造を目視で理解し易いように描かれているのであって、実際の大きさを示しているとはいえず、かつ、それぞれの大きさの具体的比率関係を示しているともいえない。
　加えて、ニッケルメッキ層は液室側ではインクと接触していて撥水処理層といえるのか否か疑問であると共に、カップ部１４は液室側を向いていてもよいのであり（記載事項ｆ参照）、そのようなものについてのそれぞれの大きさをそのまま吐出側を向いた凹部が撥水処理されたものに適用してもよいとは限らない。
　しかも、前記ｄ１／ｄ０が２乃至８で２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係は、異物除去用ブレードが凹部に侵入当接してその役割を果たしながらも凹部表面への当接力を軽減できる関係で見出されたものであるところ、凹部と異物除去用ブレードの凹部表面への当接力との関係に着目することについて、甲第１乃至５号証のいずれにも記載も示唆もないことから、相違点３を当業者が容易に想到できたものとはいえない。
　そして、本件発明１は、相違点３に係る構成と相違点１，２に係る構成とが相俟って、撥水処理層を保護しつつ凹部の異物除去が容易となって、安定したインクの吐出ができるものであるから、甲第１乃至５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
　２）本件発明２，３について
　本件発明２，３は、本件発明１に係る構成要件の全てを構成要件の一部とするから、上記本件発明１についての検討・判断と同様の理由により、甲第１乃至５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明１乃至３についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１乃至３についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１乃至３についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月２４日（２００１．８．２４）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　１）訂正事項ａ
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１中の「単一の基板により形成され、かつ表面に撥水処理が施された凹部を有する」を「形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、前記凹部は、ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限する］に訂正すると共に、請求項４，５を削除する。
　２）訂正事項ｂ
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の課題を解決するための手段の項中の「単一の基板により形成され、・・・有する」（本件特許公報３欄３５〜３７行）を「形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、前記凹部は、ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限するように構成されている」に訂正すると共に、「また前記撥水処理が・・・２２≦ｄ１／ｄ２≦２０」（本件特許公報３欄４３〜４７行）を削除する。
　３）訂正事項ｃ
　本件特許明細書の発明の詳細な説明の発明の効果の項中の「保護することができる。また、」（本件特許公報５欄１６〜１７行）を「保護することができる。また、凹部の径がノズル径の２倍以内であった場合には、撥水処理層上のインク接触角によっては凹部内にインクがメニスカスを形成することがある。凹部の毛細管力は凹部の径に依存しており、凹部の径が大きいほど毛細管力が弱くなり、結果として段差部にメニスカスを形成することが少なくなる。したがって、撥水処理が施された凹部の直径が前記ノズルの直径の２〜８倍とすることでより撥水処理が施された凹部の保護性能を維持しつつ、安定した吐出を実現できる。さらに、弾性部材によって構成されたブレードがノズル面に当接する力によって変形するため、撥水処理が施された凹部の直径ｄ１と前記凹部の深さｄ２が２≦ｄ１／ｄ２≦２０の関係を満たすことで、撥水処理層の保護をしつつ、凹部の異物除去が可能となる。また、」に訂正すると共に、「また、本発明特許請求の範囲・・・可能となる。」（本件特許公報５欄３０行〜６欄１３行）を削除する。
（５４）【発明の名称】
インクジェット記録ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　インクを吐出するノズルと、該ノズル近傍に形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、
　前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、前記凹部は、
　ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０
　なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
　【請求項２】　前記撥水処理が施された凹部の外周部がテーパー状の角度をもったテーパー面であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】　前記テーパー面が前記ノズル近傍の面に対して１５〜７５度傾いていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明はインクジェット記録ヘッドの構造に関する。
〔従来の技術〕
　インクジェット記録ヘッドにおいて、高印字品質を実現し常に安定した印字効果を得るためには、ノズルから吐出するインクが常にノズル面に対して垂直に吐出する必要がある。これにはノズル周縁部にインクが付着しないか、またはインクがノズル周縁部に均一に付着する、つまりインクの濡れが均一であることが必要となる。
　このため従来、ノズル面はインクの濡れを均一にするために鏡面研磨や撥水処理が施されている。しかしこのような撥水処理は、酸化等による破壊や、紙こすれ、および紙ジャム等のノズル周縁部の機械的な破壊に対する耐久性が悪い。このためノズル本体のみならず、ノズル周辺の処理層が破壊される。この結果、ノズル周縁部のインク溜りや、ノズル面の不均一な濡れによるインクの飛行曲がりなどのインク吐出に悪影響を及ぼす現象が発生し、高印字能力が得られなくなることがあった。
　この様な現象の発生を防ぐ対策として、従来、実開昭５９−１５３１２８号公報に開示されたようなノズル面の構造が知られている。第５図（ａ）はその正面図、第５図（ｂ）は第５図（ａ）のＡ−Ａ線における断面図を示す。図においてインクジェット記録ヘッド基板７の前面に、ノズル２の直径の数倍を有し、且つノズル２と同心に設けた穴９を有するガイド板８を付着させてある。上記の構造によれば第６図（ａ）に示すように、ノズル２を通りノズル面に達したインク４はノズル前面に薄いインク層１０を形成し、第６図（ｂ）に示すようにインク柱５が吐出する。
〔発明が解決しようとする課題〕
　しかし、従来の上記のような構造では段差部を形成するために、インクジェット記録ヘッド基板７とは別体のガイド板８を付着させていたので、インクジェット記録ヘッド基板７とガイド板８との間にほこり、ゴミ等の異物が付着した場合、その除去を充分に行なうことはできない。この結果、異物がインク層の中に入り込み、ノズル周縁部のインクの濡れが不均一となり、インクの飛行曲がりを引き起こすという問題点を有していた。
　そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するもので、その目的とするところは、段差部の内部に付着した異物の除去が容易で、ノズル面の物理的破壊がされにくい形状の段差部をもったインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
　上記問題を解決するため、本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルと、該ノズル近傍に形成された凹部とを備えた単一の基板に、前記凹部を含む表面に撥水処理を施すとともに、前記ノズルの直径をｄ０、前記凹部の直径をｄ１、及び前記凹部の深さをｄ２としたとき、
　前記凹部は、
　ｄ１／ｄ０が２乃至８で、かつ２≦ｄ１／ｄ２≦２０
　なる関係を満足するように形成されていて、前記凹部により異物除去用ブレードの前記凹部の表面への当接力を制限するように構成されている。
　また、前記撥水処理が施された凹部の外周部がテーパー状の角度をもったテーパー面であることを特徴とする。
　また、前記テーパー面が前記ノズル近傍の面に対して１５〜７５度傾いていることを特徴とする。
〔実施例〕
　以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。
　第１図は本発明の実施例を示すインクジェット記録ヘッドのノズル面の段差部を示す構造図である。第１図（ａ）は正面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図を示す。
　本実施例は、段差部３をインクジェット記録ヘッド基板１と一体に形成し、段差部３の表面及びインクジェット記録ヘッド基板１の表面に撥水処理層６を施したものである。
　第１図における段差部３の直径ｄ１はノズル２の直径の２〜８倍、深さｄ２は５０μｍ以下程度が望ましい。また、直径ｄ１と深さｄ２の関係が２≦ｄ１／ｄ２≦２０であることが必要である。ｄ１／ｄ２が小さすぎると、ゴム板、発泡樹脂等の異物除去用ブレードでこの面をこすった場合、ブレードが段差内部まで侵入せず、異物除去が完全には行われない。また、ｄ１／ｄ２＞２０では、ブレードが直接段差内部の撥水処理層６に対して強い力で当たるため撥水処理層６が劣化しやすくなる。
　第２図はインクジェット記録ヘッドのインクの吐出状態を示す断面図である。
　図において、インク吐出時にインク４はノズル２から段差部３に達するが、段差部３の表面は撥水処理層６を施してあるため、段差部３内部にインク層を形成することはない。インク柱５はノズル面（段差部の底部）３ｄの撥水処理によりノズル周囲ではインク４が濡れることがないため、濡れの不均一によるインク４の飛行曲がりを起こすことはなくノズル面３ｄに対して垂直に吐出する。
　上記の構造によれば、段差部３の内部にインク層を形成することがないため、段差部３の内部に異物が付着してもインク４の濡れの不均一による飛行曲がりは発生しない。さらに、段差部３が従来のものよりも充分浅いため、吸引ポンプ等によるインク吸引や、ノズル面３ｄをゴムあるいは発泡樹脂等で掃くワイピング等の除去方法によって簡単に異物は除去できる。
　このような段差構造においては、段差部３が浅いため、紙こすり、紙ジャムリ等によってノズル面３ｄの機械的破壊が起こり易いとも考えられる。しかし、紙こすり、紙ジャムリ等によって段差部３内はインクの濡れに対し影響を及ぼすほどの破壊がされることはない。発明者の実験によれば、直径２００μｍ、深さが２０μｍ以上の段差部内に、フッ素系の化合物を蒸着させ撥水処理層を施したところ、紙ジャムリ試験による発水処理層の破壊はなかった。
　第３図は段差部の外周部３ａが角度θを持つテーパ面で形成された実施例を示す図である。図においてテーパの角度θは１５°≦θ≦７５°が望ましく、θが小さいほど異物の除去能力は上がる。これにより段差部３の内部に付着した異物はワイピング等の除去方法によって段差部に残ることなく容易に除去できるようになる。
　第４図は段差部３の角部に丸みを施した実施例を示す図である。第４図（ａ）は第３図における段差部３の凹角部３ｂに丸みを持たせた実施例、第４図（ｂ）は段差部３の凸角部３ｃに丸みを持たせた実施例、第４図（ｃ）はその両角部に丸みを持たせた実施例である。上記の構造によれば、ワイピング等の異物除去の際に、段差部の角部の丸みによって角部に異物が引っかかることがない。よって、さらに異物除去能力を向上することができる。また、異物除去用ブレードの耐久性を高めることができる。
　以上の構成は単なる一例に過ぎず、段差部の形状を円形以外の例えば長方形や正方形または楕円形にして異物の除去をより容易にしたり、加工性を向上させることも考えられる。
〔発明の効果〕
　本発明特許請求の範囲第１項に記載のインクジェット記録ヘッドによれば、撥水処理が施された凹部を異物除去用のブレードや、紙づまり、紙こすり等の機械的な破壊から保護することができる。
　また、凹部の径がノズル径の２倍以内であった場合には、撥水処理層上のインク接触角によっては凹部内にインクがメニスカスを形成することがある。凹部の毛細管力は凹部の径に依存しており、凹部の径が大きいほど毛細管力が弱くなり、結果として段差部にメニスカスを形成することが少なくなる。したがって、撥水処理が施された凹部の直径が前記ノズルの直径の２〜８倍とすることでより撥水処理が施された凹部の保護性能を維持しつつ、安定した吐出を実現できる。
　さらに、弾性部材によって構成されたブレードがノズル面に当接する力によって変形するため、撥水処理が施された凹部の直径ｄ１と前記凹部の深さｄ２が２≦ｄ１／ｄ２≦２０の関係を満たすことで、撥水処理層の保護をしつつ、凹部の異物除去が可能となる。
　また、本発明特許請求の範囲第２項及び第３項に記載のインクジェット記録ヘッドによれば、異物の除去能力、すなわち凹部底面からの異物除去を確実に行うために、凹部の外周をテーパー状にしたものである。ブレードへの加重が小さいときにはテーパー角θは小さい方が異物の除去能力は高くなる。ブレードへの加重が大きいときにはテーパー角θが大きくても凹部底面にブレードが接触しやすくなり撥水処理が施された凹部の保護性能を維持しつつ、異物を除去できる。ブレードの当接加重についてはヘッドを搭載する装置の構成やインクの特性等によって種々選択できるものであり、従ってテーパー角１５度≦θ≦７５度の任意の角度から最適なテーパー角を選択、採用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ），（ｂ）は本発明の実施例を示すインクジェット記録へッドのノズル面の段差部を示す正面図とＢ−Ｂ断面図。第２図はインクジェット記録ヘッドのインク吐出状態を示す断面図。第３図はインクジェット記録ヘッドの段差構造を例を示す断面図。第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ段差部の角部の形状の例を示す断面図、第５図（ａ），（ｂ）は従来のインクジェット記録ヘッドのノズル面の段差を示す正面図とＡ−Ａ断面図。第６図（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来のインクジェット記録ヘッドのインク吐出状態を示す断面図。
１……インクジェット記録ヘッド基板
２……ノズル
３……段差部
３ａ……段差部の外周部
３ｂ……段差部の凹角部
３ｃ……段差部の凸角部
４……インク
５……インク柱
６……撥水処理層