【事件の表示】
　特許第３０７７１０６号「多孔質ガラス母材原料液の供給装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０７７１０６号の請求項１〜５に係る発明についての出願は、平成１１年２月１９日に特許出願され、平成１２年６月１６日にその特許権の設定登録がなされたものである。
　これに対して、株式会社フジクラより請求項１、２に係る発明の特許について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年７月９日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
　本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
  本件特許明細書の特許請求の範囲を、
「【請求項１】酸水素火炎バーナに気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液貯蔵容器に不活性ガスの導入管が繋がれ、該貯蔵容器から原料液を送液する経路が、該バーナに接続した気化器への該原料液の供給経路と、原料液を該貯蔵容器に戻す環流経路とに分岐され、該送液経路途中に圧送補助ポンプが配置されている多孔質ガラス母材原料液供給装置。
【請求項２】酸水素火炎バーナに気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液が貯蔵され不活性ガスの導入管が繋がれた低圧な貯蔵容器から送液ポンプによって送液された原料液を圧送する不活性ガスの別な導入管の繋がれた少なくとも１つの原料液貯蔵高圧容器が配置され、該不活性ガスにより該原料液貯蔵高圧容器から原料液を圧送する送液経路が、該バーナに接続した気化器への該原料液の供給経路と、原料液を該貯蔵容器に戻す環流経路とに分岐されていることを特徴とする多孔質ガラス母材原料液供給装置。
【請求項３】該不活性ガスの圧力が大気圧以上０．２ＭＰａＧ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の多孔質ガラス母材原料液供給装置。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
  明細書中の「約０．２ＭＰａＧ（１．５ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第６行）を、「０．１５ＭＰａＧ（１．５ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書中の「約０．２ＭＰａＧ（１．７ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第１４、１５行）を、「０．１７ＭＰａＧ（１．７ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１、２を削除し、請求項３〜５を順次繰り上げ、それに伴い引用項を訂正したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　また、訂正事項ｂ、ｃは、「１．５ｋｇ／ｃｍ２Ｇ」、「１．７ｋｇ／ｃｍ２Ｇ」を小数点以下第１桁までの「約０．２ＭＰａＧ」と換算していたのを、小数点以下第２桁まで換算し、それぞれ「０．１５ＭＰａＧ」、「０．１７ＭＰａＧ」としたものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
２−３．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項乃至第３項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
　請求項１、２に係る発明は訂正の結果削除され、特許異議申立ての対象が存在しないので、この特許異議申立ては、不適法な申立てであって、その補正をすることができないものである。
　したがって、本件特許異議申立ては、特許法第１２０条の６第１項で準用する第１３５条の規定によって却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月１６日（２００１．８．１６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２９７１４６１号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、
（１）訂正事項ａ
　本件特許明細書の特許請求の範囲を、
「【請求項１】酸水素火炎バーナに気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液貯蔵容器に不活性ガスの導入管が繋がれ、該貯蔵容器から原料液を送液する経路が、該バーナに接続した気化器への該原料液の供給経路と、原料液を該貯蔵容器に戻す環流経路とに分岐され、該送液経路途中に圧送補助ポンプが配置されている多孔質ガラス母材原料液供給装置。
　【請求項２】酸水素火炎バーナに気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液が貯蔵され不活性ガスの導入管が繋がれた低圧な貯蔵容器から送液ポンプによって送液された原料液を圧送する不活性ガスの別な導入管の繋がれた少なくとも１つの原料液貯蔵高圧容器が配置され、該不活性ガスにより該原料液貯蔵高圧容器から原料液を圧送する送液経路が、該バーナに接続した気化器への該原料液の供給経路と、原料液を該貯蔵容器に戻す環流経路とに分岐されていることを特徴とする多孔質ガラス母材原料液供給装置。
　【請求項３】該不活性ガスの圧力が大気圧以上０．２ＭＰａＧ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の多孔質ガラス母材原料液供給装置。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の「約０．２ＭＰａＧ（１．５ｋ　ｇ／ｃｍ２Ｇ）」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第６行）を、「０．１５ＭＰａＧ（１．５ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書中の「約０．２ＭＰａＧ（１．７ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第１４、１５行）を、「０．１７ＭＰａＧ（１．７ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
多孔質ガラス母材原料液の供給装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　酸水素火炎バーナに気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液貯蔵容器に不活性ガスの導入管が繋がれ、該貯蔵容器から原料液を送液する経路が、該バーナに接続した気化器への該原料液の供給経路と、原料液を該貯蔵容器に戻す環流経路とに分岐され、該送液経路途中に圧送補助ポンプが配置されている多孔質ガラス母材原料液供給装置。
　【請求項２】　酸水素火炎バーナに気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液が貯蔵され不活性ガスの導入管が繋がれた低圧な貯蔵容器から送液ポンプによって送液された原料液を圧送する不活性ガスの別な導入管の繋がれた少なくとも１つの原料液貯蔵高圧容器が配置され、該不活性ガスにより該原料液貯蔵高圧容器から原料液を圧送する送液経路が、該バーナに接続した気化器への該原料液の供給経路と、原料液を該貯蔵容器に戻す環流経路とに分岐されていることを特徴とする多孔質ガラス母材原料液供給装置。
　【請求項３】　該不活性ガスの圧力が大気圧以上０．２ＭＰａＧ以下であることを特徴とする請求項
１または２
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、光ファイバの原材となる多孔質ガラス母材を製造する際に用いられる気化器に、原料液を供給するための装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　光ファイバは、テトラクロロシランやテトラクロロゲルマニウムを気化させ酸水素火炎中で加水分解して生成したガラス微粒子が堆積した多孔質ガラス母材を原材としている。これを焼結し、脱水および透明ガラス化した光ファイバプリフォーム母材を所定径に延伸したものは、光ファイバプリフォームロッドと呼ばれる。これを線引機で線引きすると光ファイバが得られる。
　【０００３】
　原料であるテトラクロロシランやテトラクロロゲルマニウムは、常温、常圧では液体であり、空気中の水分と反応してしまうほど不安定である。この原料液が水分と反応すると、塩化水素を放出し、さらに原料液中にゲルを生じるため、目的物である多孔質ガラス母材の品質を低下させてしまう。
　【０００４】
　そこで原料液の貯蔵には、外気の混入を避けるために不活性ガス雰囲気下、内圧を外圧より高くした密閉容器が用いられている。原料液と接触した不活性ガスの一部は原料液に溶解し、平衡状態となっている。この原料液は、通常、貯蔵容器に不活性ガスを導入した圧力により送液管を通じて、バブラーと呼ばれる気化器や蒸発器に圧送される。このとき高圧力で圧送すると、一層多量の不活性ガスが溶存してしまい、これを気化させると、不活性ガスも同時に気化しガス状の原料に混入するので原料純度が低下する。そのため、酸水素火炎中での安定的な加水分解ができず、均質なガラス微粒子の生成を阻害してしまう。また、送液管内に圧力損失があると、原料液中の溶存不活性ガスが気化して蓄積し、流路を塞ぐため、気化器へ原料液の安定的な供給ができない。そのため、均質で高品質の多孔質ガラス母材が製造できないという問題があった。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は前記の課題を解決するためなされたもので、多孔質ガラス母材を製造する際、不活性ガスの混入が少ない原料液を気化器へ安定的に供給する装置を提供することを目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　前記の目的を達成するためになされた本発明の多孔質ガラス母材原料液供給装置は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、酸水素火炎バーナ１２に気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液貯蔵容器４に不活性ガスの導入管２が繋がれ、大気圧以上０．２ＭＰａＧ以下の圧力の不活性ガスにより貯蔵容器４から原料液１を圧送する送液経路５が、バーナ１２に接続した気化器１０への原料液の供給経路８へ接続している。
　【０００７】
　送液経路５途中に圧送補助ポンプ６が配置されていることが好ましい。圧送補助ポンプ６は、シール構造でないものが好ましく、例えばキャンドモーターポンプ、マグネットポンプ、ダイヤフラムポンプが挙げられる。
　【０００８】
　別な多孔質ガラス母材原料液供給装置は、図２に示すように、酸水素火炎バーナ１２に気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液貯蔵容器４に不活性ガスの導入管２が繋がれ、貯蔵容器４から原料液１を送液する経路５が、バーナ１２に接続した気化器１０への原料液の供給経路８と、原料液を貯蔵容器４に戻す環流経路１３とに分岐され、送液経路５途中に圧送補助ポンプ６が配置されている。この装置を用いると、送液経路５を流れ気化器１０に供給されなかった余剰の原料液は、送液経路５中で気化した不活性ガスと共に、環流経路１３を経て貯蔵容器４に戻される。
　【０００９】
　多孔質ガラス母材原料液供給装置は、図３に示すように、酸水素火炎バーナ１２に気化した原料を供給して得られる多孔質ガラス母材の原料液が貯蔵され不活性ガスの導入管２が繋がれた低圧な貯蔵容器４から送液ポンプ３６によって送液された原料液１を圧送する不活性ガスの別な導入管２２の繋がれた少なくとも１つの原料液貯蔵高圧容器２４が配置され、不活性ガスにより原料液貯蔵高圧容器２４から原料液１を圧送する送液経路が、バーナ１２に接続した気化器１０の原料液の供給経路８と、原料液を貯蔵容器４に戻す環流経路１３とに分岐されている。原料液貯蔵高圧容器２４が複数配置されているとき、原料液は、最も圧力の高い原料液貯蔵高圧容器２４から供給経路８と環流経路１３とに流れる。環流経路１３に流れた原料液は、最も圧力が低くなっている貯蔵容器４へ戻される。
　【００１０】
　図２または図３に示された多孔質ガラス母材原料液供給装置の不活性ガスの圧力を、大気圧以上０．２ＭＰａＧ以下にすることで好適に実施することができる。
　【００１１】
　不活性ガスの圧力が大気圧未満であると、空気や外界の水分が原料液に混入してしまう。０．２ＭＰａＧより大きいと溶存不活性ガスの量が多くなり、送液経路５内で不活性ガスが気化して原料液の流路を塞ぎ気化器１０への安定的な供給ができなかったり、気化器１０中で不活性ガスがガス状の原料に混入してしまう。
　【００１２】
　なお、貯蔵容器４、貯蔵高圧容器２４はステンレス製であることが好ましい。送液経路５、供給経路８、および環流経路１３はステンレス製配管であることが好ましい。多孔質ガラス母材の原料液は、例えばテトラクロロシラン、アルキルトリクロロシラン、テトラクロロゲルマニウムが挙げられる。不活性ガスは、例えばヘリウム、窒素、アルゴンが挙げられる。
　【００１３】
　本発明の多孔質ガラス母材原料液供給装置を用いると、不活性ガスが送液経路５に蓄積しない。また、気化器１０中で溶存不活性ガスが気化する量は、ガス状の原料に対し約２０００ｐｐｍ以下に抑制することができる。この量は微量であるため、ガス状の原料に混入しても安定して酸水素火炎中での原料の加水分解が起こり、高品質の多孔質ガラス母材を製造することができる。
　【００１４】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
　図２には、本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液供給装置の実施例のブロック図が示されている。
　【００１５】
　図２に示すように、多孔質ガラス母材原料液供給装置は、貯蔵容器４に繋がれた不活性ガス導入管２と、不活性ガスにより貯蔵容器４から原料液１が圧送される送液経路５とを有している。送液経路５は、気化器１０への原料液１の供給経路８と、余剰の原料液を貯蔵容器４に戻す環流経路１３とに分岐している。
　【００１６】
　送液経路５途中には、圧送補助ポンプであるマグネットポンプ６、圧力計７が配置されている。環流経路１３途中には、戻り液量調整弁１４と逆止弁１５とが配置され、環流経路１３の先端は貯蔵容器４に挿入されている。供給経路８は気化器用弁９を介して、熱源１１を持つ気化器１０に接続され、水素ガスと酸素ガスが供給されている酸水素火炎バーナ１２に繋がっている。不活性ガス導入管２は、ガス流量調整弁３を有し、不活性ガス源である窒素ガスボンベ（不図示）に接続されている。貯蔵容器４には圧力計１６が設置されている。
　なお、気化器１０は複数であってもよい。
　【００１７】
　多孔質ガラス母材原料液供給装置は、以下のように動作する。
　貯蔵容器４に、窒素ガス雰囲気下、原料液１を充填する。貯蔵容器４を密閉し、ガス流量調整弁３を開放することにより不活性ガス導入管２から窒素ガスを導入し、貯蔵容器４内の圧力を０．２ＭＰａＧに調整する。するとその圧力により、原料液１は送液経路５に流れ込む。同時に圧送補助ポンプ６を駆動させる。気化器用弁９を開放すると、原料液１は供給経路８を経て気化器１０に流れ、熱源１１によって加熱されて気化する。気化した原料はバーナ１２の酸水素火炎中で加水分解反応を起こしてガラス微粒子となり、これを堆積させて多孔質ガラス母材を得る。送液経路５を流れ、気化器１０に供給されなかった余剰の原料液は、戻り量調整弁１４で流量を制御されて環流経路１３を流れ、逆止弁１５を経て貯蔵容器４内に至る。送液経路５途中で、原料液１から気化した不活性ガスは、余剰の原料液１とともに貯蔵容器４内に戻る。
　【００１８】
　なお、不活性ガスの圧力が大気圧以上０．２ＭＰａＧ以下の範囲内であり、原料液１が気化器１０へ十分量供給されているときは、圧送補助ポンプ６がなくてもよい。
　【００１９】
　前記実施例に従って、多孔質ガラス母材原料液供給装置を用い、多孔質ガラス母材を製造した。
　内容量１ｍ３で複数のステンレス製貯蔵容器４にテトラクロロシラン１０００ｋｇを充填した。貯蔵容器４に窒素ガスを導入し、
０．１５ＭＰａＧ
　【００２０】
　また、本発明の別な実施例として圧送補助ポンプ６を使用せず、窒素ガス
０．１７ＭＰａＧ
　【００２１】
　比較のため、本発明を適用外の例として、圧送補助ポンプを使用せず、窒素ガス０．３ＭＰａＧの圧力のみにより１５台の気化器にテトラクロロシランを供給したことと、戻り液量調整弁を閉鎖したこと以外は本発明の実施例と同様にして多孔質ガラス母材を製造した。窒素ガスの圧力が高かったため原料液中に多量に溶存していた不活性ガスが、気化し蓄積して送液管を塞いで原料液が滞留し、６時間後に原料液が気化器に供給されなくなった。
　【００２２】
　【発明の効果】
　以上、詳細に説明したように本発明の多孔質ガラス母材原料液供給装置によれば、不活性ガスが、送液経路に蓄積することがなく、ガス状の原料に混入する量が少ないので、安定して高品質の多孔質ガラス母材を製造できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液供給装置の実施例のブロック図である。
　【図２】
　本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液供給装置の別な実施例のブロック図である。
　【図３】
　本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液供給装置の別な実施例のブロック図である。
　【符号の説明】
　１は原料液、２・２２は不活性ガス導入管、３・２３はガス流量調整弁、４は貯蔵容器、５は送液経路、６は圧送補助ポンプ、７は圧力計、８は供給経路、９は気化器用弁、１０は気化器、１１は熱源、１２は酸水素火炎バーナ、１３は環流経路、１４は戻り量調整弁、１５は逆止弁、１６・２６は圧力計、２４は貯蔵高圧容器、３６は送液ポンプである。