【事件の表示】
　特許第２８８９２０２号「高分散性二酸化珪素の製造法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８８９２０２号の訂正後の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  本件特許第２８８９２０２号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成９年２月１０日（パリ条約による優先権主張　１９９６年２月１５日、ドイツ）に特許出願されたものであって、平成１１年２月１９日にその発明について特許の設定登録がなされたものである。
　これに対して、田中矗人より特許異議の申立てがなされ、平成１２年２月２日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１２年８月１８日付けで訂正請求がなされ、その後平成１２年１２月１９日付けで訂正拒絶理由を兼ねる取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年７月４日付けで上記平成１２年８月１８日付け訂正請求が取り下げられ新たに訂正請求がなされ、その後平成１３年８月２０日付けで再度取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年８月２４日付けで上記平成１３年７月４日付け訂正請求が取り下げられ、再度新たに訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
  本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
　請求項１の「少なくとも１つの炭化水素化合物および少なくとも１つのオルガノクロル珪素化合物を含有する液体をバーナーの中に運搬し、かつ該バーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させる」を、「液体をノズルによってバーナーの中に噴入するが、その際、該液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有し、かつ該バーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させる」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　請求項２から５において、もとの請求頃２及び３を削除し、以下請求項４、５の項番を繰り上げ、「２、３」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　請求項４の「酸素含有ガスをバーナーの中に供給する前に該酸素含有ガスを乾燥させ、かつ予熱する、請求項１から３までのいずれか１項に記載の方法。」を、「酸素含有ガスをバーナーの中に供給する前に該酸素含有ガスを乾燥させ、かつ予熱する、請求項１に記載の方法。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　請求項５の「バーナーに、付加的に、酸素の存在下に水を形成しながら燃焼するガスを供給する、請求項１から４までのいずれか１項に記載の方法。」を、「バーナーに、付加的に、酸素の存在下に水を形成しながら燃焼するガスを供給する、請求項１または２に記載の方法。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
 明細書の段落【０００６】中の「後沸点後留物」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４０行）を、「高沸点後留物」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　明細書中の段落【００１２】中の「本発明の第一の実施態様」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第３７行）を、「参考例」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ
　明細書の段落【００１５】中の「本発明の第二の実施態様」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１１行）を、「実施態様」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ
　明細書の段落【００１７】中の「例１）」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３５行）並びに「本発明による方法」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３７行）を、それぞれ「例１）（参考例）」並びに「参考例による方法」と訂正する。
（９）訂正事項ｉ
　明細書の段落【００１９】中の「もう１つの方法の場合」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第１５行）を、「本発明の実施態様の場合」と訂正する。
（１０）訂正事項ｊ
　明細書の段落【００２１】中の「例３）」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第３２行）を、「例３）（参考例）」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａは、整理すると（ａ−１）「液体をバーナーの中に運搬し、」を、「液体をノズルによってバーナーの中に噴入」と限定し、（ａ−２）「少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有する液体」を「３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、この訂正事項（ａ−１）は、願書に添付した明細書に「液体は、ノズルによってバーナーの中に噴入され」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１２、１３行）と記載されており、同じく訂正事項（ａ−２）は、願書に添付した明細書に「液体中の炭化水素化合物の含量は、３０重量％までであってもよい。」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第２３、２４行）、「少なくとも１つの炭化水素化合物および少なくとも１つのオルガノクロル珪素化合物を含有する液体」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第３２〜３４行）、「クロルシラン合成の副生成物は、目的生成物の精留の際に、低沸点前留物および後（原文は「後」だが、訂正後「高」）沸点後留物」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第３９、４０行）、「クロルシラン合成の生成物の蒸留の前留分および後留分の混合によって取得されたオルガノクロル珪素化合物および炭化水素を含有する液体」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第１６〜１８行）と記載されているから、結局、上記訂正事項ａは願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｂは、請求項の削除であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。　また、訂正事項ｃ、ｄ、ｆ〜ｊは、特許請求の範囲の減縮を目的とする上記訂正事項ａ、ｂに伴って明細書の記載を整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｅは、「後沸点」を「高沸点」と訂正したものであるから、誤記の訂正を目的とする訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．独立特許要件
（ア）訂正後の請求項１〜３に係る発明
  本件訂正明細書の請求項１〜３に係る発明は、訂正明細書の記載からみて、それぞれその特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された次のとおりのものである（以下、本件訂正発明１〜３という）。
「【請求項１】オルガノクロル珪素化合物の燃焼によって高分散性二酸化珪素を製造するための方法において、液体をノズルによってバーナーの中に噴入するが、その際、該液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有し、かつ該バーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させることを特徴とする、高分散性二酸化珪素の製造法。
【請求項２】酸素含有ガスをバーナーの中に供給する前に該酸素含有ガスを乾燥させ、かつ予熱する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】バーナーに、付加的に、酸素の存在下に水を形成しながら燃焼するガスを供給する、請求項１または２に記載の方法。」
（イ）先の取消理由通知の概要
　当審の先の平成１２年２月２日付けと、平成１２年１２月１９日付け取消理由通知の概要は以下のとおりである。
（ｉ）本件請求項１、２、４、５に係る発明は刊行物２に記載された発明であるから、本件請求項１、２、４、５に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反し取り消されるべきものである。
（ｉｉ）本件請求項１〜５に係る発明は刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１〜５に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反し取り消されるべきものである。
（ｉｉｉ）本件請求項１、２、４、５に係る発明は先願明細書に記載された発明と同一であるから、本件請求項１、２、４、５に係る発明の特許は特許法第２９条の２の規定に違反し取り消されるべきものである。
（ウ）上記（ｉ）の理由について
（α）引用刊行物の記載内容
刊行物２（特公昭６１−５４７２４号公報：申立人の甲第２号証）
（ａ）「水素含有燃料の酸素含有ガスによる燃焼によって供給される炎の存在で、金属又は半金属ハロゲン化物仕込み原料の蒸気相加水分解によって微粉末の金属又は半金属酸化物を製造する方法において、仕込み原料蒸気をバーナー装置を通じて一つ又はそれ以上のバーナーによって包囲された気流として流し、且つそれを反応帯域中に放出し、且つ該バーナー装置からの放出中は、仕込み原料蒸気含有気流の各境界に沿って水素含有燃料ガス又は蒸気をバーナーの詰まり現象を防止する割合で発散させることから成る改良方法。」（特許請求の範囲第１項）
（ｂ）「ケイ素ハロゲン化物仕込み原料の蒸気相火炎加水分解によって微粉末シリカを製造する改良方法を提供する・・・」（第３頁第５欄第１７〜１９行）
（ｃ）「本発明の実施に有用な金属または半金属ハロゲン化物仕込み原料は加水分解火炎中で加えられる条件の下で加水分解を受けることができるどんな加水分解性蒸発性金属又は半金属ハロゲン化物をも実質的に包含する。・・・適切なケイ素ハロゲン化物に包含されるのは、・・・メチルトリクロロシラン、トリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、メチルジクロロシラン・・・である。」（第３頁第５欄第４２行〜第６欄第１２行）
（ｄ）「図面に示した特殊の具体例では、バーナー１を予備混合操作用に、換言すれば、加水分解反応体を単一導管３に入れる前に混合し、且つ蒸発金属又は半金属ハロゲン化物反応体から成る完成した反応体混合物を単一気流としてバーナーの口２から放出させる操作のために適用する。」（第４頁第７欄３５〜４１行）
（ｅ）「発散性燃料ガス又は蒸気は入口８を経て充満空間４の中に入れ・・・」（第４頁第８欄第２８、２９行）
（ｆ）「仕込み原料、約３２５°Ｆに予備加熱した四塩化ケイ素蒸気、水素含有燃料、約１６０°Ｆに予備加熱した水素」（第５頁第１０欄第１２〜１４行）
（ｇ）「使用仕込み原料は蒸気相でバーナー装置に仕込み・・・」（第６頁第１２欄第１８、１９行）
（β）対比・判断
　刊行物２には、上記（ａ）〜（ｇ）から、特に上記（ｄ）〜（ｇ）から仕込み原料や燃料がバーナーの口から反応帯域に蒸気相で導入されるのは明らかであるから、「仕込み原料や燃料が反応帯域に蒸気相で導入されるケイ素ハロゲン化物仕込み原料の蒸気相火炎加水分解によって微粉末シリカを製造する方法において、ケイ素ハロゲン化物はメチルトリクロロシランであり、燃料は蒸発性可燃性水素含有燃料であり、燃料が酸素による燃焼生成物として水を生成する微粉末シリカを製造する方法。」という発明が記載されていると云える（以下、刊行物２発明という）。
  本件訂正発明１と刊行物２発明とを対比すると、刊行物２発明の「メチルトリクロロシラン」、「蒸発性可燃性水素含有燃料」、「反応帯域」は、本件訂正発明１の「オルガノクロル珪素化合物」、「炭化水素化合物」、「バーナー」にそれぞれ相当するから、
両者は「オルガノクロル珪素化合物の燃焼によって高分散性二酸化珪素を製造するための方法において、その際、炭化水素化合物及びオルガノ珪素化合物をバーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させる二酸化珪素の製造法。」で一致するが、
（あ）本件訂正発明１では、液体をノズルによってバーナーの中に噴入するのに対して、刊行物２発明では、バーナーの中に蒸気相で導入している点
（い）本件訂正発明１では、液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有しているのに対して、刊行物２発明では、その点が言及されていない点で相違している。
　してみると、本件訂正発明１は、刊行物２に記載された発明であるとすることはできない。
　また、本件訂正発明２は、本件訂正発明１を引用しさらに限定したものであり、本件訂正発明３は、本件訂正発明１または２を引用しさらに限定したものであるから、上述した理由と同じ理由で、それぞれ刊行物２に記載された発明であるとすることはできない。
（エ）上記（ｉｉ）の理由について
（α）引用刊行物の記載内容
刊行物１：特公昭５６−３８５２６号公報（申立人の甲第１号証）
（ｈ）「ガス状オルガノシランおよび場合によってはガス状オルガノシラン以外の水を生成しながら燃焼するガスを炎中で酸素含有ガスと反応させることによる高分散性二酸化ケイ素の製造法において、液状オルガノシランを一定状態に保った蒸発装置中で、オルガノシランの蒸気圧０．２〜１．２ｋｇ／ｃｍ２（ゲージ）、望ましくは０．４〜０．９ｋｇ／ｃｍ２（ゲージ）において、かつオルガノシランをその都度のオルガノシランの沸点以上最高４５℃、望ましくは２０〜３５℃の温度において蒸発させ、蒸気の温度を他のガスと混合するまで保持し、混合によって生ずる混合ガスを円錐状入口を通して燃焼室に供給し、該入口を中心に向って囲繞している環状掃気ノズルを通して酸素含有ガスを導入し、かつ該燃焼室を間接強制冷却によって冷却することを特徴とする二酸化ケイ素の製造法。」（特許請求の範囲）
（ｉ）「ガス状オルガノシラン以外の他の、水を発生しながら燃焼するガスとしては、本発明の方法においては、今まで公知の方法においてガス状ケイ素化合物と酸素との反応による二酸化ケイ素の製造に用いられ得た、ガス状オルガノシラン以外の、水を生成して燃焼する全てのガスを用いることができる。例えば、水素、水性ガス、石炭ガス、メタン、プロパンおよびガス状メタノールがこれに該当する。」（第２頁第４欄第２〜１０行）
（ｊ）「実施例１　１．５ｋｇ／ｃｍ２（ゲージ）の圧力を有する膜板ピストンポンプによって、メチルシラン２８ｋｇ／時間を蒸発装置中に送入する。蒸発装置は加熱面とも呼ばれる発熱面を有しており、これは０．５ｋｇ／ｃｍ２（ゲージ）の水蒸気によって熱せられる０．５ｍ２の広さを有している。水蒸気流は蒸発装置中のメチルトリクロロシランの蒸気圧により操縦される制御器（サムソン制御器）によって、液伏オルガノシランの一定の液面高さおよびメチルトリクロルシランの０．５ｋｇ／ｃｍ２（ゲージ）の圧が常に保持されるように調節される。温度は約７８℃になる。蒸発装置とバーナーとの間の管路は、０．５ｋｇ／ｃｍ２（ゲージ）の水蒸気が中を流れる被覆によって、熱せられ、更に温度が保持されるように、制御器を備えている。バーナーにおいては、メチルトリクロルシラン２８ｋｇ／時が、水素１５Ｎｍ３／時および空気１０５Ｎｍ３／時と混合され、円錐状吸気口を通って燃焼室に供給される。バーナーノズルは鋭角の縁を有する薄壁から成っている。この内径は５０ｍｍである。バーナーノズルに向けて空気流８Ｎｍ３／時がバーナーノズルを囲繞する０．５ｍｍの薄い幅の環状掃気ノズルから供給される。６０ｃｍの直径と３５０ｃｍの長さを有する反応室は５ｃｍの間隔おいて、固定された被覆によって囲繞されている。この間隙を通って、２０℃の空気が２００ｍ３／時吸収される。１ミクロン以下の粒度および、ＢＥＴ法で測定すると、２０７ｍ２／ｇの表面積を有し実質的に炭素を含有せず透明度の高い二酸化ケイ素が得られる。
実施例２　１５Ｎｍ３／時の水素の代りに、１．２Ｎｍ３／時のプロパン、および１０５Ｎｍ３／時の空気の代りに１２５Ｎｍ３／時の空気をバーナー中で、メチルトリクロルシラン２８ｋｇ／時と混合すること、およびバーナーノズルの内径が５０ｍｍではなく２７０ｍｍであること以外は、実施例１で記述した方法をくり返した。１ミクロン以下の粒度および１９６ｍ２／ｇの表面積（ＢＥＴ法で測定）をする実質的に炭素を含有しない二酸化ケイ素が得られた。
実施例３　２８ｋｇ／時のメチルトリクロルシランの代りに３０ｋｇ／時のジメチルジクロルシラン、１５Ｎｍ３の水素の代りに１．２Ｎｍ３／時のプロパン。および１０５Ｎｍ３／時の代りに１２５Ｎ／時の空気を、ガス伏ジメチルジクロルシランとバーナー中で混合すること、ならびにバーナーノズルの内径が５０ｍｍでなくて７０ｍｍであること以外は実施例１で述べた方法をくり返す。１ミクロン以下の粒度および１８９ｍ２／ｇの表面積（ＢＥＴ法で測定）を有する実質的に炭素を含有しない二酸化ケイ素が得られる。」（第３頁第５欄第２０行〜第６欄第３１行）
（β）対比・判断
　本件訂正発明１と刊行物２発明との相違点は、上記２−３．（ウ）（β）で述べたように、
（あ）本件訂正発明１では、液体をノズルによってバーナーの中に噴入するのに対して、刊行物２発明では、バーナーの中に蒸気相で導入している点
（い）本件訂正発明１では、液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有しているのに対して、刊行物２発明では、その点が言及されていない点の２点である。
  そして、上記（あ）の点については、上記刊行物１では上記（ｈ）の「混合ガスを円錐状入口を通して燃焼室に供給」とされているにすぎないから、液体をノズルによってバーナーの中に噴入することを示唆していないし、また、上記（い）の点については、刊行物１にはクロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物の利用について何も記載も示唆もされていない。
  そして、本件訂正発明１は、「副生成物に対して、経済的な使用可能性を明らかにしている」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４５、４６行）、「蒸発不可能であるかまたは困難にのみ蒸発可能である液体も使用することができる」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１５〜１７行）という明細書記載の効果を奏する。
  したがって、本件訂正発明１は刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　また、本件訂正発明２は本件訂正発明１を引用し、さらに限定した発明であるから上記理由と同じ理由で、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得るものであるとすることはできない。
　また、本件訂正発明３は本件訂正発明１または２を引用し、さらに限定した発明であるから上記理由と同じ理由で、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得るものであるとすることはできない。
（オ）上記（ｉｉｉ）の理由について
（α）先願明細書の記載内容
　先願明細書：特願平６−２７１７２２号（特開平８−１０９０１４号）の願書に最初に添付した明細書および図面：申立人の甲第６号証
（ｋ）「オルガノハロシラン又はジシランを燃焼して水蒸気を発生する可燃性ガス及び遊離酸素を含有するガスの拡散火炎中で火炎加水分解することを特徴とする微細シリカの製造方法。」（請求項１）
（ｌ）「【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、オルガノハロシランやジシラン、特に金属ケイ素とオルガノハライドによるジメチルジクロロシラン合成で副生されるメチルトリクロロシラン等のオルガノハロシランやジシランを水素ガス等の燃焼して水蒸気を発生する可燃性ガス及び空気等の遊離酸素含有ガスの拡散火炎中で火炎加水分解することにより、火炎の逆火や吹き飛びを回避し、しかもバーナーノズル部分にシリカを沈着させることなく、比表面積（ＢＥＴ法）１００〜４００ｍ２／ｇ、特に２００ｍ２／ｇ以上のヒュームドシリカを簡単かつ確実に合成でき、この方法が操作的にも、またジメチルジクロロシラン等の合成で副生するメチルトリクロロシラン、ジシランなどの副生物を使用できるので原料的にも、工業上有利であり、経済的効果も大きいことを知見し、本発明をなすに至ったものである。」（第２頁第１欄第４８行〜第２欄第１３行）
（ｍ）「この場合、オルガノハロシラン、オルガノハロジシランとしては特に制限はないが、ガス化してバーナーに供給する必要があるため・・・」（第２頁第２欄第１９〜２１行）
（ｎ）「また、燃焼して水蒸気（Ｈ２Ｏ）を生成する可燃性ガスとしては、水素ガスが好適に用いられるが、メタン、プロパン及びガス状メタノールなども用いられる。この可燃性ガスは、シランを加水分解すると共に、シリカ表面に活性なＯＨ基を持たせるために必要であり、また安定した火炎を継続させる火種ともなる。」（第２頁第２欄第３２〜３７行）
（ｏ）「〔実施例４〕図１に示す４重管バーナーを使用し、中心管１に金属ケイ素とメチルクロライドの直接法によって合成した粗生成物より主生成物であるジメチルジクロロシラン等のオルガノハロシランを除いたジシラン類（１，２−ジメチルテトラクロロジシラン等）を２．６ｋｇ／ｈ、空気供給管２に乾燥空気を２．８Ｎｍ３／ｈ、水素供給管３に水素ガスを０．８３Ｎｍ３／ｈ、外側の空気供給管４に乾燥空気を０．８３Ｎｍ３／ｈ供給した。またこのときジシラン類は２５０℃の熱媒で加熱し、ガスとして供給した。」（第３頁第４欄第１１〜２０行）
（β）対比・判断
　先願明細書には、上記（ｌ）〜（ｏ）から「オルガノハロシラン又はジシランを燃焼して水蒸気を発生する可燃性ガス及び遊離酸素を含有するガスの拡散火炎中て火炎加水分解することを特徴とする微細シリカの製造方法において、オルガノハロシラン又はジシランとして金属ケイ素とオルガノハライドによるジメチルジクロロシラン合成で副生されるメチルトリクロロシラン等のオルガノハロシランやジシランを利用し、その際、ジシラン類を熱媒で加熱しガス化して供給する微細シリカの製造方法。」という発明が記載されていると云える（以下、先願発明という）。
　そこで、本件訂正発明１と先願発明とを対比すると、両者は、
（あ）本件訂正発明１では、液体をノズルによってバーナーの中に噴入するのに対して、先願発明では、ガス化してバーナーに供給する点
（い）本件訂正発明１では、液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有しているのに対して、先願発明では、オルガノハロシラン又はジシランとして金属ケイ素とオルガノハライドによるジメチルジクロロシラン合成で副生されるメチルトリクロロシラン等のオルガノハロシランやジシランである点で相違している。
  したがって、本件訂正発明１は先願発明と実質的に同一とは云えない。
　また、本件訂正発明２は、本件訂正発明１を引用しさらに限定したものであり、本件訂正発明３は、本件訂正発明１または２を引用しさらに限定したものであるから、上述した理由と同じ理由で、それぞれ先願発明と実質的に同一とは云えない。
（カ）以上のとおり、訂正後の請求項１〜３に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
２−４．まとめ
　したがって、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立について
３−１．特許異議申立ての理由の概要
  特許異議申立人は、証拠方法として甲第１〜６号証を提出し、（ア）請求項１、２、４、５に係る発明は、甲第２号証に記載された発明であるから、請求項１、２、４、５に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反したものであり、（イ）請求項１〜５に係る発明は、甲第１〜５号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、請求項１〜５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、（ウ）請求項１、２、４、５に係る発明は、甲第６号証に記載された発明と同一であるから、請求項１、２、４、５に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反したものであり、それぞれ取り消されるべきものである旨主張している。
３−２．本件発明
  訂正後の本件請求項１〜３に係る発明は、上記２−３．（ア）において摘記したとおりのものである。
３−３．上記（ア）の主張について
　上記２−３．（ウ）（β）で述べたとおり、本件訂正発明１、２、３は甲第２号証（刊行物２）に記載された発明であるとすることはできない。
３−４．上記（イ）の主張について
（α）甲各号証の記載内容
甲第１号証：特公昭５６−３８５２６号公報
　上記刊行物１と同じ。
甲第２号証：特公昭６１−５４７２４号公報
　上記刊行物２と同じ。
甲第３号証：特公昭５８−５４０８５号公報
（ｐ）「一定に保たれた蒸気圧および一定温度（これは次の段階の反応成分の混合まで保持される）で一定の液体ケイ素化合物含有状態でケイ素化合物を蒸発器内で蒸発し、遊離酸素含有ガスと混合し、このガス混合物を円錐伏の供給口を通して燃焼室に配量し、この供給口のまわりのリング状スプレーノズルから遊離酸素含有ガスを送入し、かつ燃焼室を間接的強制冷却によって冷却することから成る、ガス状可燃性ケイ素化合物と遊離酸素含有ガスとの火炎中における反応によって高分散性二酸化珪素を製造する方法において、ケイ素化合物を遊離酸素含有ガスおよび水蒸気と混合した後にケイ素化合物の燃焼を行なうこと、該遊離酸素含有ガスのうちの少くとも一部（これは燃焼室に供給される前に可燃性ガス状ケイ素化合物と混合される）をケイ素化合物との混合の前に１００〜７００℃に加熱すること、および少なくともその一部を遅くとも水蒸気と同時に該ケイ素化合物に混合することを特徴とする方法。」（特許請求の範囲）
（ｑ）「今回、高活性の微粒伏二酸化ケイ素を高純度で製造する方法が発見されたが、この方法は、ガス状または蒸発可能な、場合によってはＳｉに結合した有機基を含有する可燃性ケイ素化合物またはその混合物が、遊離の酸素を含有するガス特に空気と、他の可燃性ガスを添加することなく、火炎中で置換反応させるものである。」（第２頁第３欄第１〜７行）
（ｒ）「本発明による方法によって、燃焼して水を生成する可燃性物質の量を多量に節約できることは有利である。可燃性ガス状ケイ素化合物および遊離酸素含有ガスに対して、反応室に供給する前に水蒸気を添加することが生成物にも、装置の運転期間にも不利な作用を及ぼさないことは画期的なことであり、特にバーナー口に沈降する二酸化ケイ素によって円錐状供給口が阻害されないことも画期的なことである。」（第２頁第３欄第２９〜３８行）
（ｓ）「本発明による方法は特に、約２００℃（常圧で）まで−般に分解しないで沸とうし得るような、可燃性ケイ素化合物またはその混合物を高純度の高分散性二酸化珪素に転化させる可能性を提供するものである。本発明による方法に適した、このようなガス状および／または蒸発可能な可燃性ケイ素化合物は、例えばケイ素またはケイ素の合金と有機ハロケン化物、特に塩化メチルまたは塩化水素との反応（Ｍｉｉｌｌｅｒ−Ｒｏｃｈｏｗ合成）によって生成するようなものである。一般には、有機基および／または水素原子以外には他の置換基を有していないようなオルガノクロルシラン、水素化クロルシラン、シラン、および／または置換基と結合していないケイ素原子価が塩素、水素または有機基によって占められているようなシラノールまたはシロキサンが用いられる。これらのガス状または蒸発可能なケイ素化合物の１部は望ましいものでないかあるいは生成量において他では用いられないものである。今まではこれらは全くまたは過剰量が、環境に不利であり、経済的にも望ましくないとして除去されていた。これらのケイ素化合物は例えば、ケイ素またはケイ素合金と有機ハロケン化物または塩化水素との反応から生成物を蒸留分離する場合にも、一部の望ましくない副生成物として例えば初留物または留出物として発生する。この初留物または留出物はもはや分離する必要のないものであるとしても、本発明による方法に用いるためには、なるべく炭素のような固体物質を含まないものであるべきである。」（第２頁第４欄第３〜３３行）
（ｔ）「実施例５　メチルトリクロルシラン２５ｋｇ／時の代りに、塩化メチルから出発するＭｉｉｌｌｅｒ−Ｒｏｃｈｏｗ−合成の粗生成物の蒸留の際に初留出物として得られた種々のケイ素化合物の混合物２５ｋｇ／時を用いた点、蒸発器とそれに続く導管の温度が６０℃以上であり、１．８バール（絶対）の蒸気圧に調整し、蒸発器と導管の加熱を電気的に行なった点、空気１００ｍ３／時の代りに２００℃の温度を有する空気１１０ｍ３／時を用いてかつ１５０℃の温度を有する水蒸気約１０ｋｇ／時を用いた点、および空気８ｍ３／時と約１４０℃の温度を有する水蒸気約５ｋｇ／時から成る混合物をリング状スプレーノズルから送風した点以外は、実施例１で述べた作業方法をくり返した。可燃性ケイ素化合物の混合物は次のものからなる（ガスクロマトグラフィにより測定）：トリクロルシラン、メチルジクロルシラン、ジメチルクロルシラン、テトラメチルシラン、その他のシランならびに炭化水素。ＢＥＴ−面積１５４ｍ２／ｇを有する粒度１μｍの二酸化ケイ素が得られた。
実施例６　初留出混合物２５ｋｇ／時の代りに留出混合物２５ｋｇ／時を用いた点、蒸発器およびそれに接続する導管の温度を１４０℃以上にし、２．０バール（絶対）の蒸気圧に調節した点、空気１１０ｍ３／時の代りに２００℃の温度を有する空気１１０ｍ３／時を用いてかつ１５０℃の温度のＨ２Ｏ蒸気約２０ｋｇ／時を用いた点および空気８ｍ３／時と約１２０℃の温度を有するＨ２Ｏ蒸気約５ｋｇ／時との混合物をリング状スプレーノズルから送風する点以外は、実施例５で述べた作業方法をくり返した。可燃性ケイ素化合物から成る混合物は次のものから成っている（ガスクロマトグラフィにより測定）：ジメチルジクロルシラン、エチルメチルジクロルシラン、テトラメチルジクロルシロキサン、ジメチルテトラクロルジシラン、他の揮発性ケイ素化合物ならびに炭化水素。
粒度１μｍ以下およびＢＥＴ−面積１９６ｍ２／ｇを有する二酸化ケイ素が得られた。」（第５頁第９欄第１１行〜第１０欄第１３行）
　甲第４号証：伊藤邦雄編「シリコーンハンドブック」日刊工業新聞社　第１８〜２３、６３０〜６３７頁、（１９９０年８月３１日発行）
（ｕ）「金属ケイ素と有機ハロゲン化物との反応（直接法）・・・塩化メチルとの反応によるジメチルクロロシランの製造，・・・しかし直接法ではジメチルジクロロシランのほかに各種のメチルクロロシランに導かれる次のような副反応が起こるのが普通である。・・・そのほか，高沸点物としてＳｉ−Ｓｉ結合をもったポリシラン類、各種の炭化水素類が得られる。したがって，これらの反応によって得られるメチルクロロシランには，・・・精留分離して利用される。」（第１８〜２２頁）
（ｖ）第６３２頁図１７．１　ケイ素樹脂製造系統図（直接法）には、得られた粗メチルクロロシランを精留塔で分離精製すること、この場合、高留分が排出されることが示されている。
　甲第５号証：ＷＡＬＴＥＲ　ＮＯＬＬ著「Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｏｆ　Ｓｉｌｉｃｏｎｅｓ」ＡＣＡＤＥＭＩＣ　ＰＲＥＳＳ　第２６〜２９、６７７〜６８１頁（１９６８）
（ｗ）第２８頁ＴＡＢＬＥ５には、塩化メチルとケイ素との反応（直接法）の生成物が記載されているが、２−及び３−メチルヘキサン、２−及び３−メチルペンタンが生成することが記載されている。また、第６８０頁のＦＩＧ．１２３には、シラン混合物（直接法の反応生成物）のガスクロマトグラムが示されているが、これにイソヘキサンが存在していることか示されている。
（β）対比・判断
　上記２−３．（ウ）（β）で述べたように、本件訂正発明１と甲第２号証（刊行物２）に記載された発明（以下、甲２発明という）とを対比すると、
（あ）本件訂正発明１では、液体をノズルによってバーナーの中に噴入するのに対して、甲２発明では、バーナーの中に蒸気相で導入している点
（い）本件訂正発明１では、液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有しているのに対して、甲２発明では、その点が言及されていない点の２点で相違している。
  これら相違点と甲第１号証（刊行物１）については上記２−３．（エ）（β）で述べたとおりである。
　甲第３号証には、高分散性二酸化ケイ素の製造方法が記載されているが、蒸発器で蒸発させてから燃焼室に配量しているから、甲第３号証には「液体をノズルによってバーナーの中に噴入する」点については記載も示唆もされていない。何よりも、甲第３号証では必ず燃焼室に「水蒸気」を混合していおり、この点は「水を供給せずに」としている本件訂正発明１と大きく相違している。
　また、甲第４、５号証は、金属ケイ素と有機ハロゲン化物との直接法による反応について述べた文献にすぎない。
　以上のとおり、本件訂正発明１は、甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
  また、本件訂正発明２は本件訂正発明１を引用し、さらに限定した発明であるから上記理由と同じ理由で、甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得るものであるとすることもできない。
　また、本件訂正発明３は本件訂正発明１または２を引用し、さらに限定した発明であるから上記理由と同じ理由で、甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得るものであるとすることもできない。
３−５．上記（ウ）の主張について
  上記２−３．（オ）（β）で述べたとおり、本件訂正発明１、２、３は甲第６号証（先願明細書）に記載された発明と実質的に同一であるとは云えない。
４．むすび
  以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、訂正後の本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すことはできない。
  また、他に訂正後の本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年９月２０日（２００１．９．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２８８９２０２号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、
（１）訂正事項ａ
　請求項１の「液体をバーナーの中に運搬し、かつ該バーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させる」を、「液体をノズルによってバーナーの中に噴入するが、その際、該液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有し、かつ該バーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させる」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　請求項２から５において、もとの請求頃２及び３を削除し、以下請求項４、５の項番を繰り上げ、「２、３」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　請求項４の「酸素含有ガスをバーナーの中に供給する前に該酸素含有ガスを乾燥させ、かつ予熱する、請求項１から３までのいずれか１項に記載の方法。」を、「酸素含有ガスをバーナーの中に供給する前に該酸素含有ガスを乾燥させ、かつ予熱する、請求項１に記載の方法。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　請求項５の「バーナーに、付加的に、酸素の存在下に水を形成しながら燃焼するガスを供給する、請求項１から４までのいずれか１項に記載の方法。」を、「バーナーに、付加的に、酸素の存在下に水を形成しながら燃焼するガスを供給する、請求項１または２に記載の方法。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　明細書中の「後沸点後留物」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４０行）を、「高沸点後留物」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　明細書中の「本発明の第一の実施態様」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第３７行）を、「参考例」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ
　明細書中の「本発明の第二の実施態様」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１１行）を、「実施態様」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ
　明細書中の「例１）」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３５行）並びに「本発明による方法」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３７行）を、それぞれ「例１）（参考例）」並びに「参考例による方法」と訂正する。
（９）訂正事項ｉ
　明細書中の「もう１つの方法の場合」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第１５行）を、「本発明の実施態様の場合」と訂正する。
（１０）訂正事項ｊ
　明細書中の「例３）」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第３２行）を、「例３）（参考例）」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
高分散性二酸化珪素の製造法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　オルガノクロル珪素化合物の燃焼によって高分散性二酸化珪素を製造するための方法において、
液体をノズルによってバーナーの中に噴入するが、その際、該液体が、３０重量％までの量での少なくとも１つの炭化水素化合物及び少なくとも１つのオルガノ珪素化合物を含有し、その液体は、クロルシラン合成の生成物の精留の際に副生成物として低沸点前留物または高沸点後留物の形で生じるものを含有し、
　【請求項
２
１に
　【請求項
３
または２
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、オルガノクロル珪素化合物の燃焼によって高分散性二酸化珪素を製造するための方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ドイツ連邦共和国特許第２６２０７３７Ｃ２号明細書中には、高度に化学的に純粋な高分散性二酸化珪素を、空気酸素および燃焼可能なガスの存在下にオルガノクロルシラン化合物の燃焼によって製造することができる方法が記載されている。使用されたオルガノクロルシランは、１つまたはそれ以上の純粋なオルガノクロルシラン化合物を含有する蒸発可能な液体の形で存在している。オルガノクロルシラン化合物とともに炭化水素も含有している液体の使用は、前記特許明細書中には記載されていない。このような使用は、前記特許明細書によれば、“オルガノシランを用いて、一般に、暗色で炭素によって汚染された生成物だけが得られる”ので、容易に想到されるものでもない。燃焼工程のために、液体は、蒸発させられ、かつ蒸気は、燃焼に関与する他のガスと混合される。
　【０００３】
　また、ドイツ連邦共和国特許出願公開第２９０９８１５号明細書によれば、ガス状もしくは蒸発可能な珪素化合物を燃焼させて高分散性二酸化珪素にすることも可能であるが、これはこれまで経済的に使用することができなかった。例として、珪素もしくは珪素合金とオルガノハロゲン化物もしくは塩化水素との反応からの生成物の留去の際に、前留物および後留物として生じる炭化水素含有の副生成物が挙げられる。燃焼の際に、燃焼可能なガスの添加が不要にされ、その代わりに、水蒸気が燃焼のために用意されたガス混合物に供給される。しかしながら、前記の方法は、オルガノクロルシランの一部分が、早期に水蒸気と反応して、短時間で燃焼室への供給管を閉塞させかつ除去するのに著しい安全性の問題を伴う加水分解珪酸になるので、工業的な使用にはほとんど適していないことが明らかであった。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明の課題は、クロルシラン合成の炭化水素含有副生成物から工業的に使用可能な高分散性二酸化珪素を製造することができるようにするための満足のいく解決策を見出すことである。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　前記課題は、少なくとも１つの炭化水素化合物および少なくとも１つのオルガノクロル珪素化合物を含有する液体をバーナーの中に運搬し、かつ該バーナーの中で酸素含有ガスの存在下に、水を供給せずに燃焼させることによって特徴付けられる、オルガノクロル珪素化合物の燃焼による高分散性二酸化珪素の製造法によって解決される。
　【０００６】
　クロルシラン合成の副生成物は、目的生成物の精留の際に、低沸点前留物および高沸点後留物として大量に生じ、かつこれまで主として加水分解され、貯蔵されるかまたは廃棄物燃焼装置中で燃焼され、この場合、この後で、燃焼残分が貯蔵されなければならなかった。
　【０００７】
　本発明は、前記副生成物に対して、経済的な使用可能性を明らかにしている。
　【０００８】
　本発明による方法の１つの詳細な利点は、後留物および前留物並びに前留物と後留物との任意の混合物を、高分散性二酸化珪素の製造に使用できることから明らかである。この場合、通常、種々の炭化水素およびオルガノクロルシラン並びに場合によってはクロルシラン、クロルシロキサン、オルガノクロルシロキサン、オルガノシランおよびオルガノシロキサンも含有している液体が重要である。しかしながら、本発明の実施のためには、少なくとも１つの炭化水素化合物および少なくとも１つのオルガノクロル珪素化合物を含有している液体を使用することが必然的に必要であるだけである。
　【０００９】
　オルガノクロル珪素化合物としては、有利に、以下に記載された式の１つを有する化合物が該当する：
ａ）　ＲｎＳｉＣｌ４−ｎ（式中、ｎは、１〜３の整数である）；
ｂ）　ＲｎＣｌ３−ｎＳｉＳｉＲｍＣｌ３−ｍ（式中、ｎは、０〜３の整数であり、ｍは、０から３の整数であり、但し、ｍ＝ｎ＝０またはｍ＝ｎ＝３であることは除く）；
ｃ）　ＲｎＣｌ３−ｎＳｉＯＳｉＲｍＣｌ３−ｍ（式中、ｎは、０〜３の整数であり、ｍは、０〜３の整数であり、但し、ｍ＝ｎ＝０またはｍ＝ｎ＝３であることは除く）。
　【００１０】
　前記式中、Ｒは、水素原子または脂肪族もしくは芳香族炭化水素基、有利に水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ビニル基、イソオクチル基およびフェニル基を包含する群からなる基を表す。
　【００１１】
　液体中の炭化水素化合物の含量は、３０重量％までであってもよい。
　【００１２】
　有利に、１３０〜１８０℃の沸点範囲を有するオルガノクロル珪素化合物を含有する液体の場合に使用される参考例によれば、液体は、蒸発器中で蒸発させられ、生じた蒸気を、酸素含有ガスおよび場合によっては、水素、メタン、プロパンまたは酸素の存在下に水素を形成しながら燃焼する別のガスと混合し、かつバーナーの中で燃焼させられる。水の添加は、行われない。液体を、有利に、蒸発器の調節された充填状態で、一定に保持された蒸気圧および一定に保持された蒸気温度で蒸発させる。燃焼の際に生じる熱を、強制冷却によって導出する。生じた蒸気の温度は、バーナーの中に入る際に、有利に液体の沸点を上回っていなければならないが、しかし、本質的には下回っていてはならない。オルガノクロル珪素化合物を含有する蒸気に燃焼の前に混合されるガスは、蒸気の凝縮が防がれている限り、予熱されることが好ましい。本発明の範囲内での酸素含有ガスとしては、分子状の酸素を少なくとも１５用量％の含量で含有しているガス、殊に酸素および空気が適している。特に有利に、オルガノクロル珪素化合物を含有する蒸気および酸素含有ガスを燃焼の前に、例えば特殊な構造を有する混合区間中で強力に混合する場合に、生じた二酸化珪素の品質に影響が及ぼされる。酸素含有ガスは、オルガノクロル珪素化合物を含有する蒸気に混合される前に入念に乾燥させられていなければならない。前記の措置は、バーナーへのガス供給管中およびバーナーノズルの領域中で、支障となる付着物の形成を阻止する。
　【００１３】
　ガス混合物の燃焼は、有利に、ドイツ連邦共和国特許第２６２０７３７Ｃ２号明細書中に記載された方法で、および前記文献中に記載された円錐形の出口開口部および環状洗浄ノズルを有する強制冷却されたバーナーを使用しながら行われる。
　【００１４】
　生成物として得られた二酸化珪素は、５０〜５００ｍ２／ｇの高いＢＥＴ−表面積を有し、かつ着色する汚染物質を含有していない。
　【００１５】
　液体の沸点範囲が１３０℃を上回っている場合に使用することができる実施態様によれば、液体は、ノズルによってバーナーの中に噴入され、かつ同時に酸素含有ガスおよび場合によっては、酸素の存在下に水を形成しながら燃焼するガスがバーナーに供給される。前記方法には、蒸発不可能であるかまたは困難にのみ蒸発可能である液体も使用することができるという利点がある。
　【００１６】
　燃焼すべき成分の供給のために、有利に制御回路が備えられており、この場合、煙道ガス中の測定された残留酸素含量は、制御変数（Ｌｅｉｔｇｒｏｅｓｓｅ）として使用される。測定された値が、所定の許容範囲から移動する場合には、“オルガノクロル珪素化合物−炭化水素エダクト／酸素含有ガス／水素を形成しながら燃焼するガス”の混合比を、測定値が再度許容範囲に収まるまで変動させる。こうして、この方法が、一定の生成物品質を有する二酸化珪素を生じることは保証されている。前記方法の他の展開の場合、付加的に、液体中の“シラン化合物／炭化水素”の濃度比を確認し、かつ場合によっては、他の炭化水素またはオルガノクロル珪素化合物を含有する残分の供給によって変化させることが考えられる。同様に、前記のエダクト条件調節の目的は、一定の生成物品質の保持である。
　【００１７】
　【実施例】
例　１）（参考例）
　約１３０℃で沸騰しているオルガノクロル珪素化合物を含有する混合物の蒸気（運転圧力１．８バール）２１ｔの量を、参考例による方法により、ドイツ連邦共和国特許第２６２０７３７Ｃ２号明細書の記載から公知のバーナー中で、空気および水素の存在下に燃焼させて高分散性二酸化珪素にした。液状混合物とは、クロルシラン合成の生成物の蒸留の後留物のことである。この液体は、以下の組成を有している：
ＣＨ３ＨＳｉＣｌ２　５５重量％
ＣＨ３ＳｉＣｌ３および（ＣＨ３）２ＳｉＣｌ２の混合物　５重量％
トリメチルクロルジシランおよびジメチルクロルジシランの混合物　３０重量％。残分は、炭化水素、種々の別のオルガノシランおよびオルガノシロキサンからなっていた。
　【００１８】
　空気１４８０Ｎｍ３／ｈおよび水素１００Ｎｍ３／ｈの存在下での蒸気２３５ｋｇ／ｈの燃焼の際に、３７０ｍ２／ｇのＢＥＴ−表面積を有する二酸化珪素が生じた。
　【００１９】
例　２）
　本発明の実施態様の場合、約１２０℃で沸騰し、かつクロルシラン合成の生成物の蒸留の前留分および後留分の混合によって取得されたオルガノクロル珪素化合物および炭化水素を含有する液体を使用した。この混合物は、（ＣＨ３）４Ｓｉ、（ＣＨ３）２ＨＳｉＣｌ、ＨＳｉＣｌ３、（ＣＨ３）３ＳｉＣｌ、ＳｉＣｌ４、（ＣＨ３）２ＳｉＣｌ２、ＣＨ３ＳｉＣｌ３、ＣＨ３Ｃ２Ｈ５ＳｉＣｌ２、式Ｒ２Ｃｌ３−ｎＳｉＳｉＲｍＣｌ３−ｍ（式中、Ｒは、メチル基であり、ｎ＋ｍの総和は、２〜６の整数に相応する）を有するジシランをそれぞれ５〜１５重量％と、炭化水素および種々の別のシラン化合物を約１５重量％の量で含有していた。生じた蒸気の圧力は１．８バールであった。
　【００２０】
　空気１４９０Ｎｍ３／ｈおよび水素１５０Ｎｍ３／ｈの存在下での液体の蒸発によって生じた蒸気１６５ｋｇ／ｈの混合物の燃焼の際に、２３０ｍ２／ｇのＢＥＴ−表面積を有する二酸化珪素が生じた。
　【００２１】
例　３）（参考例）
　もう１つの試験の場合、燃焼を、例１と同じ条件下で、液体中のＣＨ３ＨＳｉＣｌ２をＣＨ３ＳｉＣｌ３によって代替したことを変更して行った。
　【００２２】
　空気１６００Ｎｍ３／ｈおよび水素２００Ｎｍ３／ｈの存在下での液体の蒸発によって生じた蒸気６００ｋｇ／ｈの混合物の燃焼の際に、１９１ｍ２／ｇのＢＥＴ−表面積を有する二酸化珪素が生じた。