(57)【要約】  ウエハの試験を無くすことができる。デバイスが有するデバイス端子の位置を検出する検出部と、基板におけるデバイス端子に応じた位置に、デバイス端子に接続する基板側端子を生成する生成部と、デバイスを基板に実装してデバイス端子と基板側端子とを接続させる実装部と、を備え、検出部は、デバイスを撮像して撮像画像からデバイス端子の位置を検出し、生成部は、基板におけるデバイス端子に応じた位置に、基板側端子のパターンをプリントする、製造装置を提供する。
2010109739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスが有するデバイス端子の位置を検出する検出部と、
基板における前記デバイス端子に応じた位置に、前記デバイス端子に接続する基板側端子を生成する生成部と、
前記デバイスを前記基板に実装して前記デバイス端子と前記基板側端子とを接続させる実装部と、
を備える製造装置。
【請求項２】
前記検出部は、前記デバイスを撮像して撮像画像から前記デバイス端子の位置を検出する請求項１に記載の製造装置。
【請求項３】
前記生成部は、前記基板における前記デバイス端子に応じた位置に、前記基板側端子のパターンをプリントする請求項１または２に記載の製造装置。
【請求項４】
前記生成部は、前記基板における前記デバイス端子に応じた位置に、前記基板側端子となる導電性の端子ボールを並べる請求項１から３のいずれかに記載の製造装置。
【請求項５】
前記生成部は、外部の装置を前記基板に接続する外部端子と前記基板側端子との間の配線のパターンをプリントする請求項１から４のいずれかに記載の製造装置。
【請求項６】
前記生成部は、前記外部端子を更にプリントする請求項５に記載の製造装置。
【請求項７】
前記生成部は、基板に予め設けられた前記外部端子と前記基板側端子との間の前記配線のパターンをプリントする請求項５に記載の製造装置。
【請求項８】
前記生成部は、第１基板における前記デバイスの第１デバイス端子に応じた位置に、前記第１デバイス端子に接続する第１基板側端子を生成し、第２基板における前記デバイスの第２デバイス端子に応じた位置に、前記第２デバイス端子に接続する第２基板側端子を生成し、
前記実装部は、前記第１基板および前記第２基板の間に前記デバイスを挟みこんで、前記デバイスを前記第１基板および前記第２基板に接続させる
請求項１から７のいずれかに記載の製造装置。
【請求項９】
前記第１基板および前記第２基板の少なくとも一方は、フレキシブル基板であり、
前記実装部は、前記第１基板および前記第２基板の間の気体を吸引して、前記第１基板および前記第２基板の間に前記デバイスを封止する
請求項８に記載の製造装置。
【請求項１０】
前記第１基板および前記第２基板の少なくとも一方は、フレキシブル基板であり、
前記実装部は、前記フレキシブル基板を他方の基板に対して張力により押し付けて、前記第１基板および前記第２基板の間に前記デバイスを挟みこむ
請求項８に記載の製造装置。
【請求項１１】
前記生成部は、前記第１基板における前記第１デバイス端子に応じた位置に、前記第１デバイス端子に接続する前記第１基板側端子を生成し、
前記実装部は、前記デバイスを前記第１基板に実装して前記第１デバイス端子と前記第１基板側端子とを接続させ、
前記検出部は、前記デバイスが前記第１基板に実装された状態で、前記第２デバイス端子の位置を検出し、
前記生成部は、前記第２基板における前記第２デバイス端子に応じた位置に、前記第２デバイス端子に接続する第２基板側端子を生成し、
前記実装部は、前記第１基板における前記デバイスが実装された面に前記第２基板を重ねることにより前記第１基板および前記第２基板の間に前記デバイスを挟みこんで、前記デバイスを前記第１基板および前記第２基板に接続させる
請求項８から１０のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１２】
前記実装部は、前記第１基板および前記第２基板の間に前記デバイスを封止することにより試験用パッケージにパッケージングし、
前記試験用パッケージにパッケージングした前記デバイスを試験した後に、前記第１基板および前記第２基板の間に気体を入れて前記試験用パッケージから前記デバイスを取り外す
請求項８から１１のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１３】
前記生成部は、外部の装置を前記第２基板に接続する外部端子に接続された第２基板上のパターンに、前記第１デバイス端子を接続するパターンの少なくとも一部を前記第１基板にプリントし、
前記実装部は、前記第１基板における前記第１デバイス端子に接続されたパターンと、前記第２基板における前記外部端子に接続されたパターンとを接触させて、前記第１デバイス端子を前記第２基板上の前記外部端子に接続させる
請求項８から１２のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１４】
前記実装部は、前記デバイスを前記基板に実装することにより、前記デバイスを試験するための試験用パッケージにパッケージングし、
試験済の前記デバイスを前記試験用パッケージから取り外す取外し部と、
前記試験用パッケージから取り外した前記デバイスを製品パッケージにパッケージングする製品パッケージング部と、
を更に備える請求項１から１３のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１５】
パッケージされたデバイスを製造する製造方法であって、
前記デバイスが有するデバイス端子の位置を検出する検出段階と、
パッケージ用の基板における前記デバイス端子に応じた位置に、前記デバイス端子に接続する基板側端子を生成する生成段階と、
前記デバイスを前記基板に実装して前記デバイス端子と前記基板側端子とを接続させることにより、外部の装置に接続される外部端子と前記デバイス端子とを前記基板側端子を介して導通させるパッケージング段階と、
を備える製造方法。
【請求項１６】
電子回路を有するデバイスと、
前記デバイスを搭載する第１基板と、
前記第１基板における前記デバイスが実装された面に重ねられて、前記第１基板との間に前記デバイスを挟みこむフレキシブルな第２基板と、
を備えるパッケージデバイス。
【請求項１７】
前記第２基板は、前記第１基板および前記デバイスに対して真空吸着または減圧吸着される請求項１６に記載のパッケージデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイスを製造する製造装置、製造方法およびパッケージデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハに形成された複数のデバイスを試験する装置として、ウエハ上の多数の電極に対して一括してコンタクトできるプローブカードを用いた装置が知られている（特許文献１）。当該装置は、被試験ウエハにプローブカードを接触させた状態で検査装置に投入して、高温中での検査等を行う。また、特許文献２には、製品パッケージと同一の形態のパッケージにチップを収納して試験する装置が記載されている。
特許文献１  日本国特許公開公報  特開２００６−１７３５０３号
特許文献２  日本国特許第４１２２１０２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述した装置では、プローブカードを製造するために膨大な数の配線を接続しなければならなく、コストが大きくなってしまっていた。また、上述した装置では、被試験ウエハおよびプローブカードと間の位置調整が難しかった。また、カッティング後のチップを製品パッケージと同一形態のパッケージに収納して試験する場合も、パッケージの構成が複雑となり、パッケージのコストが高くなってしまっていた。【０００４】
そこで本発明の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる製造装置、製造方法およびパッケージデバイスを提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、デバイスが有するデバイス端子の位置を検出する検出部と、基板における前記デバイス端子に応じた位置に、前記デバイス端子に接続する基板側端子を生成する生成部と、前記デバイスを前記基板に実装して前記デバイス端子と前記基板側端子とを接続させる実装部と、を備える製造装置および製造方法を提供する。【０００６】
また、本発明の第２の態様においては、電子回路を有するデバイスと、前記デバイスを搭載する第１基板と、前記第１基板における前記デバイスが実装された面に重ねられて、前記第１基板との間に前記デバイスを挟みこむフレキシブルな第２基板と、を備えるパッケージデバイスを提供する。【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本実施形態に係るデバイス製造システム１０の構成を示す。
【図２】図２は、本実施形態に係るデバイス製造システム１０において製造される試験用パッケージにパッケージングされたパッケージデバイスの一例を示す。
【図３】図３は、本実施形態に係るデバイス製造システム１０の処理フローを示す。
【図４】図４は、試験用パッケージング部１４の機能構成を示す。
【図５】図５は、本実施形態に係る試験用パッケージング部１４の処理フローを示す。
【図６】図６は、図５のステップＳ２１からステップＳ２４までの試験用パッケージング部１４の動作の一例を示す。
【図７】図７は、図５のステップＳ２５における試験用パッケージング部１４の動作の一例を示す。
【図８】図８は、デバイス３０の第１デバイス端子４２と第１基板３２の第１基板側端子５２との接続の一例を示す。
【図９】図９は、図５のステップＳ２６からステップＳ３２までの試験用パッケージング部１４の動作の一例を示す。
【図１０】図１０は、図５のステップＳ３３における試験用パッケージング部１４の動作の一例を示す。
【図１１】図１１は、デバイス３０の第２デバイス端子４４と第２基板３４の第２基板側端子５６との接続の一例を示す。
【図１２】図１２は、第１基板３２の第１配線５４と第２基板３４の第３配線６２との接続の一例を示す。
【図１３】図１３は、デバイス３０と第１基板３２との間を端子ボール６６を介して接続する場合の接続例を示す。
【図１４】図１４は、試験用セル７０の一例を示す。
【図１５】図１５は、セルマトリックス８０の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１０】
図１は、本実施形態に係るデバイス製造システム１０の構成を示す。デバイス製造システム１０は、複数のデバイス３０が形成された円板状のウエハから、パッケージングがされたデバイスを製造する。デバイス製造システム１０は、切出部１２と、試験用パッケージング部１４と、試験部１６と、取外し部１８と、製品パッケージング部２０とを備える。
【００１１】
切出部１２は、電子回路を有する複数のデバイス３０が形成されたウエハから、チップ状のデバイス３０を切り出す。試験用パッケージング部１４は、切出部１２により切り出されたそれぞれのデバイス３０を試験用パッケージにパッケージングする。
【００１２】
試験部１６は、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０を、被試験デバイスとして試験する。試験部１６は、一例として、半導体回路等を試験する試験装置である。
【００１３】
取外し部１８は、試験済のデバイス３０を試験用パッケージから取り外す。製品パッケージング部２０は、試験用パッケージから取り外したデバイス３０を、製品パッケージにパッケージングする。
【００１４】
図２は、試験用のパッケージデバイス２８の一例を示す。試験用のパッケージデバイス２８は、チップ状のデバイス３０と、第１基板３２と、第２基板３４とを備える。
【００１５】
第１基板３２は、チップ状のデバイス３０を搭載する。第２基板３４は、フレキシブル基板である。第２基板３４は、第１基板３２におけるデバイス３０が実装された面に重ねられて、第１基板３２との間にデバイス３０を挟みこむ。
【００１６】
このようなパッケージデバイス２８は、２つの基板間にデバイス３０が収納されているので、チップ単体の場合と比較して取り扱いが容易である。例えば、パッケージデバイス２８は、製品パッケージ化されたデバイスを試験する試験装置等により取り扱うことができる。
【００１７】
図３は、本実施形態に係るデバイス製造システム１０の処理フローを示す。まず、ステップＳ１１において、切出部１２は、複数のデバイス３０が形成されたウエハから、それぞれのチップ状のデバイス３０を切り出す。
【００１８】
続いて、ステップＳ１２において、試験用パッケージング部１４は、ステップＳ１１で切り出されたそれぞれのチップ状のデバイス３０を、デバイス３０毎に生成された試験用パッケージに個別にパッケージングする。試験用パッケージング部１４は、一例として、デバイス３０を試験用パッケージ内に封止する。
【００１９】
例えば、試験用パッケージング部１４は、図２に示されたように、少なくとも一方がフレキシブル基板である第１基板３２および第２基板３４の間の気体を吸引して、第１基板３２および第２基板３４の間にデバイス３０を封止する。本実施形態においては、試験用パッケージング部１４は、フレキシブル基板である第２基板３４を、第１基板３２およびデバイス３０に対して真空吸着または減圧吸着させる。
【００２０】
これに代えて、試験用パッケージング部１４は、一例として、フレキシブル基板である第２基板３４を、第１基板３２に対して張力により押し付けて、第１基板３２および第２基板３４の間にデバイス３０を挟みこんでもよい。ステップＳ１２のパッケージング方法の詳細については、図４以降において更に説明する。
【００２１】
続いて、ステップＳ１３において、試験用パッケージング部１４は、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０を、外部装置とデバイス３０とを接続するための試験用基板に取り付ける。なお、外部装置が、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０と信号を直接授受できれば、試験用基板に取り付けなくてもよい。
【００２２】
続いて、ステップＳ１４において、試験部１６は、試験用基板を介してデバイス３０と信号を授受して、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０を試験する。この場合において、試験部１６は、複数のデバイス３０を並行して試験してもよい。これにより、試験部１６は、試験のスループットを向上することができる。
【００２３】
続いて、ステップＳ１５において、取外し部１８は、試験済のデバイス３０を試験用パッケージから取り外す。第１基板３２および第２基板３４の間にデバイス３０が封止されていれば、取外し部１８は、一例として、第１基板３２および第２基板３４の間に気体を入れて試験用パッケージからデバイス３０を取り外す。
【００２４】
また、取外し部１８は、一例として、ステップＳ１４での試験の結果製品化すべきと判断されたデバイス３０を試験用パッケージから取り外す。更に、取外し部１８は、一例として、デバイス３０を取り外した試験用パッケージを廃棄する。
【００２５】
続いて、ステップＳ１６において、製品パッケージング部２０は、試験用パッケージから取り外したデバイス３０を製品パッケージにパッケージングする。製品パッケージング部２０は、一例として、試験の結果製品化すべきと判断されたデバイス３０を製品パッケージにパッケージングする。
【００２６】
また、製品パッケージング部２０は、一例として、個別に試験された２以上のデバイス３０を１つの製品パッケージにパッケージングしてもよい。この場合において、製品パッケージング部２０は、１または２以上のウエハから切り出された２以上のデバイス３０を、３次元実装してもよい。または、製品パッケージング部２０は、このような２以上のデバイス３０を、マルチチップモジュールに実装して製品パッケージにパッケージングしてもよい。
【００２７】
以上のように本実施形態に係るデバイス製造システム１０は、ウエハから切り出したそれぞれのデバイス３０を、試験用パッケージにパッケージングして試験する。従って、デバイス製造システム１０は、ウエハから切り出される前の状態のデバイス３０に対して行っていた試験を、チップ状態のデバイス３０に対して行うことができる。これにより、デバイス製造システム１０によれば、ウエハ試験を無くして、試験コストを小さくすることができる。
【００２８】
図４は、試験用パッケージング部１４の機能構成を示す。試験用パッケージング部１４は、検出部２２と、生成部２４と、実装部２６とを有する。
【００２９】
検出部２２は、チップ状のデバイス３０が有するデバイス端子の位置を検出する。検出部２２は、一例として、ハンドリング装置３６と、撮像装置３７と、データ処理装置３８とを含む。
【００３０】
ハンドリング装置３６は、デバイス３０を吸着してハンドリングする。撮像装置３７は、ハンドリング装置３６によりハンドリングされたデバイス３０の表面を撮像する。データ処理装置３８は、撮像装置３７により撮像された撮像画像から、デバイス３０の表面に形成されたデバイス端子の位置を検出する。
【００３１】
生成部２４は、試験用パッケージを形成する基板における、検出部２２により検出されたデバイス端子に応じた位置に、デバイス端子に接続する基板側端子を生成する。更に、生成部２４は、一例として、試験用パッケージを形成する基板に、外部の装置を当該基板に接続するための外部端子を生成する。また、更に、生成部２４は、外部端子と基板側端子とを接続する配線を生成する。
【００３２】
生成部２４は、一例として、プリント装置４０を含む。プリント装置４０は、導電性材料を基板に吹き付けて、基板上に指定されたパターンをプリントする。これにより、プリント装置４０は、基板に、基板側端子、外部端子および配線を生成することができる。実装部２６は、チップ状のデバイス３０を基板に実装してデバイス端子と基板側端子とを接続させる。
【００３３】
図５は、本実施形態に係る試験用パッケージング部１４の処理フローを示す。図６は、図５のステップＳ２１からＳ２４までの動作例、図７は、図５のステップＳ２５における動作例を示す。図８は、デバイス３０と第１基板３２との接続の一例を示す。図９は、図５のステップＳ２６からＳ３２までの動作例、図１０は、図５のステップＳ３３における動作例を示す。図１１および図１２は、デバイス３０、第１基板３２および第２基板３４の接続例を示す。
【００３４】
図５のフローは、両面（第１面および第２面）にデバイス端子を有するチップ状のデバイス３０を、試験用パッケージにパッケージングするフローを表す。まず、ステップＳ２１において、例えば図６に示されるように、検出部２２は、ハンドリング装置３６によりデバイス３０をハンドリングする。この場合に、ハンドリング装置３６は、第２面側からデバイス３０を吸着してハンドリングする。これにより、ハンドリング装置３６は、デバイス３０を第１面を露出させた状態でハンドリングすることができる。
【００３５】
続いて、ステップＳ２２において、例えば図６に示されるように、検出部２２は、デバイス３０をハンドリングした状態で、撮像装置３７によりデバイス３０の第１面を撮像する。そして、検出部２２は、データ処理装置３８により、撮像装置３７が撮像した撮像画面からデバイス３０の第１面に形成された第１デバイス端子４２の位置を検出する。
【００３６】
続いて、ステップＳ２３において、例えば図６に示されるように、生成部２４は、プリント装置４０により、第１基板３２におけるデバイス３０の第１デバイス端子４２に応じた位置に、第１デバイス端子４２に接続する第１基板側端子５２のパターンをプリントする。
【００３７】
続いて、ステップＳ２４において、例えば図６に示されるように、生成部２４は、プリント装置４０により、所定の位置と第１基板側端子５２との間を導通させる第１配線５４のパターンを、第１基板３２にプリントする。第１配線５４は、外部端子５８に接続された第２基板３４上の配線のパターンに、第１デバイス端子４２を接続するための配線である。
【００３８】
続いて、ステップＳ２５において、例えば図７に示されるように、実装部２６は、デバイス３０を第１基板３２に実装する。この場合において、実装部２６は、例えば図８に示されるように、デバイス３０の第１デバイス端子４２と、第１基板３２の第１基板側端子５２とを接触させて接続させる。これにより、実装部２６は、第１基板３２に形成された第１配線５４とデバイス３０の第１デバイス端子４２とを、第１基板側端子５２を介して電気的に導通させることができる。
【００３９】
また、このステップＳ２５において、実装部２６は、ステップＳ２１でのハンドリングを維持した状態で（即ち、ステップＳ２１でハンドリングしたデバイス３０を開放させずに）、デバイス３０を第１基板３２に実装する。これにより、デバイス３０の第１面のハンドリング装置３６に対する相対位置が、検出時と実装時との間でずれないので、実装部２６は、第１デバイス端子４２と第１基板側端子５２とを正確に接触させることができる。
【００４０】
また、ステップＳ２５において、実装部２６は、実装後にデバイス３０を取り外せるように、デバイス３０を第１基板３２に実装する。実装部２６は、一例として、第１基板３２からデバイス３０を引き外す場合に、デバイス３０が破損しない程度の接着力で接着する。
【００４１】
続いて、ステップＳ２６において、例えば図９に示されるように、検出部２２は、ハンドリング装置３６により、第１基板３２に実装された状態のデバイス３０をハンドリングする。この場合、ハンドリング装置３６は、第１基板３２をデバイス３０が実装されていない側から吸着してハンドリングする。これにより、ハンドリング装置３６は、デバイス３０の第２面を露出させた状態でデバイス３０をハンドリングすることができる。
【００４２】
続いて、ステップＳ２７において、例えば図９に示されるように、検出部２２は、撮像装置３７により、デバイス３０が第１基板３２に実装された状態で、ハンドリングされたデバイス３０の第２面側を撮像する。そして、検出部２２は、データ処理装置３８により、撮像装置３７による撮像画面からデバイス３０の第２面側に形成された第２デバイス端子４４の位置を検出する。続いて、ステップＳ２８において、検出部２２は、データ処理装置３８により、撮像装置３７による撮像画面から、第１基板３２にプリントされた第１配線５４の位置を検出する。
【００４３】
続いて、ステップＳ２９において、例えば図９に示されるように、生成部２４は、プリント装置４０により、第２基板３４におけるデバイス３０の第２デバイス端子４４に応じた位置に、第２デバイス端子４４に接続する第２基板側端子５６のパターンをプリントする。続いて、ステップＳ３０において、例えば図９に示されるように、生成部２４は、プリント装置４０により、外部の装置を第２基板３４に接続する外部端子５８のパターンをプリントする。
【００４４】
外部端子５８は、一例として、第２基板３４を貫通した貫通配線に接続される。これにより、外部端子５８は、外部の装置を、第２基板３４における第２基板側端子５６がプリントされた面とは反対の面側から、第２基板３４に接続することができる。
【００４５】
また、外部端子５８は、予め第２基板３４に設けられていてもよい。この場合、ステップＳ３０の処理は実施されない。本実施形態においては、外部端子５８は、予め、第２基板３４に設けられている。外部端子５８は、第２基板３４の上面および下面の両者から接続可能な貫通した端子である。
【００４６】
続いて、ステップＳ３１において、例えば図９に示されるように、生成部２４は、プリント装置４０により、外部端子５８と第２基板側端子５６との間の第２配線６０のパターンをプリントする。続いて、ステップＳ３２において、例えば図９に示されるように、生成部２４は、プリント装置４０により、第１基板３２における第１デバイス端子４２に接続された第１配線５４に応じた位置と、外部端子５８との間の第３配線６２のパターンを、第２基板３４にプリントする。プリント装置４０は、一例として、第１配線５４に応じた位置と、第２配線６０が接続されていない外部端子５８との間の第３配線６２のパターンをプリントする。
【００４７】
なお、複数の外部端子５８の配置間隔は、デバイス３０における第１デバイス端子４２および第２デバイス端子４４の配置間隔より広い。これにより、外部の装置は、容易に第２基板３４に接続することができる。
【００４８】
続いて、ステップＳ３３において、例えば図１０に示されるように、実装部２６は、デバイス３０が実装された第１基板３２に、第２基板３４に取り付ける。より詳しくは、実装部２６は、第１基板３２におけるデバイス３０が実装された面に第２基板３４を重ねることにより第１基板３２および第２基板３４の間にデバイス３０を挟みこんで、デバイス３０を第１基板３２および第２基板３４に接続させる。そして、実装部２６は、デバイス３０を第１基板３２と第２基板３４との間に封止する。
【００４９】
例えば、第１基板３２がフレキシブル基板であれば、実装部２６は、第１基板３２および第２基板３４の間の気体を吸引して、第１基板３２および第２基板３４の間にデバイス３０を封止する。また、例えば、実装部２６は、フレキシブル基板である第２基板３４を、他方の第１基板３２に対して張力により押し付けて、第１基板３２および第２基板３４の間にデバイス３０を挟みこんでもよい。
【００５０】
さらに、ステップＳ３３において、実装部２６は、例えば図１１に示されるように、デバイス３０の第２デバイス端子４４と、第２基板３４の第２基板側端子５６とを接触させて接続する。これにより、実装部２６は、第２基板３４に形成された外部端子５８とデバイス３０の第２デバイス端子４４とを、第２基板側端子５６および第２配線６０を介して電気的に導通させることができる。
【００５１】
また、さらに、ステップＳ３３において、実装部２６は、例えば図１２に示されるように、第１基板３２における第１配線５４と、第２基板３４における第３配線６２とを接触させて接続する。これにより、実装部２６は、第２基板３４に形成された外部端子５８とデバイス３０の第１デバイス端子４２とを、第３配線６２、第１配線５４および第１基板側端子５２を介して電気的に導通させることができる。
【００５２】
また、このステップＳ３３において、実装部２６は、ステップＳ２６でのハンドリングを維持した状態で（即ち、ステップＳ２６でハンドリングしたデバイス３０を開放させずに）、デバイス３０を第２基板３４に実装する。これにより、デバイス３０の第２面のハンドリング装置３６に対する相対位置が、検出時と実装時との間でずれないので、実装部２６は、第２デバイス端子４４および第２基板側端子５６、および、第１配線５４および第３配線６２を正確に接触させることができる。
【００５３】
また、ステップＳ３３において、実装部２６は、実装後にデバイス３０を取り外せるように、デバイス３０を第２基板３４に実装する。実装部２６は、一例として、第２基板３４からデバイス３０を引き外す場合に、デバイス３０が破損しない程度の接着力で接着する。
【００５４】
以上により、試験用パッケージング部１４は、デバイス３０と、デバイス３０を搭載する第１基板３２と、第１基板３２におけるデバイス３０が実装された面に重ねられて、第１基板３２との間にデバイス３０を挟みこむフレキシブルな第２基板３４と、を備えた試験用のパッケージデバイス２８を製造することができる。即ち、試験用パッケージング部１４は、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０を製造する製造装置として機能することができる。
【００５５】
そして、試験用パッケージング部１４は、試験装置等に容易にデバイス３０を取り扱わせることができるようにデバイス３０をパッケージングすることができる。さらに、試験用パッケージング部１４は、試験装置から、試験用パッケージを形成する第１基板３２および第２基板３４を介して、デバイス３０に対して信号を授受させることができる。これにより、試験用パッケージング部１４によれば、ウエハから切り出された後のデバイスを、試験装置により、製品パッケージングをする前に試験させることができる。
【００５６】
図１３は、デバイス３０と第１基板３２との間を端子ボール６６を介して接続する場合の接続例を示す。第１基板側端子５２を生成する場合において、生成部２４は、第１基板３２における第１デバイス端子４２に応じた位置に、第１基板側端子５２となる導電性の端子ボール６６を並べてもよい。
【００５７】
このような端子ボール６６は、デバイス３０を第１基板３２に実装した場合に、デバイス３０と第１基板３２との間に挟まれて、第１基板側端子５２として機能する。端子ボール６６は、一例として、特許３１４０９９５号に示されるような球状のスペーサであってよい。生成部２４は、このような端子ボール６６により第１基板側端子５２を生成することにより、デバイス３０と第１基板３２との間を確実に導通させることができる。
【００５８】
また、同様に、実装部２６は、第２基板３４における第２デバイス端子４４に応じた位置に、第２基板側端子５６となる端子ボール６６を並べてもよい。これにより、生成部２４は、デバイス３０が第２基板３４に実装されたことによって、第２基板３４上に第２基板側端子５６を形成することができる。
【００５９】
図１４は、試験用セル７０の一例を示す。試験用パッケージング部１４は、デバイス３０を試験用パッケージにパッケージングした後に、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０を試験用ボード７２に取り付けて試験用セル７０を生成する。試験用セル７０は、一例として、試験用パッケージにパッケージングされたデバイス３０と、試験用ボード７２と、少なくとも１つの温度制御部７４とを有する。
【００６０】
試験用ボード７２は、試験用パッケージの外部端子５８（本例においては、第２基板３４が有する外部端子５８）に電気的に接続される。試験用ボード７２は、外部の試験装置とデバイス３０との間で信号を授受するための基板である。試験用ボード７２には、一例として、デバイス３０に対して信号を入出力する回路および外部の試験装置と信号を入出力する回路等の試験回路７６が設けられている。
【００６１】
温度制御部７４は、試験用パッケージ内のデバイス３０を所定の温度に制御するための過熱または冷却部材である。試験用セル７０は、一例として、デバイス３０を挟むように設けられた２つの温度制御部７４を有する。これにより、温度制御部７４は、デバイス３０の全体を指定された温度に維持することができる。このような試験用セル７０は、試験装置とデバイス３０との接続等をより容易にすることができる。
【００６２】
図１５は、セルマトリックス８０の一例を示す。セルマトリックス８０は、３次元のマトリクス状に組み合わされた複数の試験用セル７０を備える。このように複数の試験用セル７０を組み合わせたセルマトリックス８０毎に、搬送、バーンイン処理、試験を行うことにより、デバイス３０の取り扱いを容易とし、更に、試験のスループットを向上することができる。
【００６３】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００６４】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００６５】
１０  デバイス製造システム、１２  切出部、１４  試験用パッケージング部、１６  試験部、１８  取外し部、２０  製品パッケージング部、２２  検出部、２４  生成部、２６  実装部、２８  パッケージデバイス、３０  デバイス、３２  第１基板、３４  第２基板、３６  ハンドリング装置、３７  撮像装置、３８  データ処理装置、４０  プリント装置、４２  第１デバイス端子、４４  第２デバイス端子、５２  第１基板側端子、５４  第１配線、５６  第２基板側端子、５８  外部端子、６０  第２配線、６２  第３配線、６６  端子ボール、７０  試験用セル、７２  試験用ボード、７４  温度制御部、７６  試験回路、８０  セルマトリックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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