【事件の表示】
　特許第３１０１１３２号「熱処理装置」の請求項４、５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１０１１３２号の請求項４、５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　特許第３１０１１３２号（平成５年７月３０日出願、平成１２年８月１８日設定登録）の請求項４、５に係る発明（以下、「本件発明４、５」という）は、その特許請求の範囲の請求項４、５に記載された次のとおりのものである。
「【請求項４】被処理体を熱処理する処理容器と、この処理容器内で被処理体を支持するボートと、このボートを保持すると共に前記処理容器を密閉可能な蓋体と、前記処理容器内の温度を測定する温度測定手段とを備えた熱処理装置において、前記温度測定手段を収容した石英チューブを前記蓋体に形成された通孔を通して前記処理容器内でほぼ垂直に着脱可能に支持すると共に、前記処理容器内の気密性を保持する支持手段を設け、該支持手段は、前記通孔に固着されて一端にねじ山が形成されると共に、内部に前記石英チューブを挿通させる内孔を有するガイド部材と、前記内孔内に円筒状のワッシャーを介して所定距離離間させて装着した２つのリング状のシール部材と、前記内孔に前記石英チューブを挿通させた状態で前記ガイド部材のねじ山に螺合させて手回しにより締め付けることにより前記２つのシール部材を押し潰して前記石英チューブを弾性的に把持固定させるキャップねじとよりなることを特徴とする熱処理装置。
【請求項５】前記キャップねじと前記２つのシール部材の内の一方のシール部材との間には、押えワッシャーが介在されていることを特徴とする請求項４記載の熱処理装置。」
　
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人東京応化工業株式会社は、甲第１号証（特開平３−２２７０１８号公報）、甲第２号証（特開昭５０−７８７４３号公報）、甲第３号証（特開平２−１７３４９５号公報）を提示し、本件発明４、５は、甲第１号証１〜３号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件発明４、５は、特許法第１１３条第２項に該当すると認められるので、取り消されるべきものである旨主張している。
　
３．甲第各号証に記載の発明
（１）甲第１号証
（１ー１）第１頁右下欄２行〜１２行に
「本発明は、…中略…縦型熱処理炉に関する。…中略…この炉心管１に、基板ｍを配列支持する基板ボート２が収納される。」が記載されている。
（１ー２）第２頁左上欄２行〜右上欄３行に
「ボート昇降機構１０は、ボート支持部材６に連結する昇降アーム１１と、昇降アーム１１の基部に螺合するネジ棒１２と、このネジ棒１２を正逆回転駆動するモータ１３と、このモータ１３を回転制御する制御装置などから構成されている。…中略…第７図に示すように、小径の石英ガラス管７ａに熱電対７ｂを収納した温度検出手段８を、ボート支持部材６に形成された貫通孔９を通して炉芯管１内に挿入し、この温度検出手段８を管軸方向にスライドさせることにより、炉心管１内の温度分布を測定する。温度検出手段８を管軸方向にスライドさせる手法として、従来、以下のような手法が採られている。（１）オペレーターが手動によって、温度検出手段８をスライドさせる。（２）温度検出手段８をスライドさせるために、温度検出手段昇降機構を設け、この温度検出手段昇降機構の昇降動作によって、温度検出手段８を管軸方向にスライドさせる。」が記載されている。
（１ー３）第２頁右下欄１６行〜右下欄１８行に     
「温度検出手段を炉芯管の管軸方向に沿って移動させて管内の温度分布を測定する。」が記載されている。
（１ー４）第３頁左上欄１６行〜右上欄１１行に     
「炉芯管１内の基板ボート２を支持するとともに、炉口キャップとしての役目を担っているボート支持部材６は、…中略…ボート昇降機構１０の昇降アーム１１に着脱可能に連結されている。…中略…昇降アーム１１の一端部には、石英ガラス管７ａに熱電対７ｂを収納した温度検出手段８の基部が取付けられている。この温度検出手段８は、ボート支持部材６に形成された貫通孔９を通って炉芯管１内に挿入され、後述するように上下動することによって、炉芯管１内の温度分布を検出する。」が記載されている。
（１ー５）第４頁左上欄９行〜右上欄４行に     
「炉芯管１内の温度分布を測定する場合には、ロック機構３０をボート支持部材６の下空間に位置するように回動させ、ハンドル３９を回転させてネジ棒３５の先端をボート支持部材６の凹部６ａに係入させて、ボート支持部材６が炉口５から脱落しないようにロックしておく。この状態で、ボルト２２を取り外して、接合部２３ａ、２３ｂとを離間可能な状態にする。そして、ボート昇降機構１０を駆動して昇降アーム１１を昇降させると、ボート支持部材６が炉口５を閉塞したままで、昇降アーム１１だけが昇降し、この昇降アーム１１に取付けられた温度検出手段８を管軸方向に沿って移動させることができる。このとき、ボート昇降機構１０の制御部１４からモータ１３に制御信号を与えて、昇降アーム１１を一定の速度で降下させて炉芯管１内の温度分布を測定する。」が記載されている。
（１ー６）第４頁右下欄３行〜第５頁左上欄４行に
「上述した実施例では、温度検出手段８を昇降アーム１１の一端部に固定して、炉芯管１の内周面近傍の温度分布を検出しているが、昇降アーム１１の中央部に固定して、炉芯管１の中央部の温度分布を検出するようにしてもよい。なお、その場合には、温度分布の測定時にボート支持部材６に基板ボート２を支持させないか、あるいは、基板ボート２にも温度測定手段８を貫通させる孔を形成しておけばよい。…中略…また、前記実施例における温度検出手段８は、熱電対７ｂを上端の１箇所にだけ設けているが、中間の高さの所に熱電対をもう一つ設けてもよく、そのようにすれば、炉芯管１内の温度分布を測定するのに温度検出手段８を一定の温度で昇降するストロークを１／２にできる。なお、熱電対７ｂはもっと沢山、他の高さの所に設けてもよく、その数や、設ける所を限定しない。」が記載されている。
（２）甲第２号証
（２ー１）第１頁左下欄１６行〜末行に
「従来は、Ｏリング等によるシール方法…中略…は図１に示すようにパイプ（１）にＯリング（２）、金属リング（３）を交互に重ね、押え金具（４）でＯリング（２）をつぶすことによってシール本体（５）をシールする方法が用いられていた。」が記載されている。
（３）甲第３号証
（３ー１）第１頁右下欄１４〜１９行に
「第４図は、熱処理装置の反応容器とガス導入管との接続に用いられる配管接続部の構成を示す図で、反応容器下部を構成するマニホールド１壁に穿設された連通孔１ａには、一端がマニホールド１壁に固着された連通孔１ａと連通する円筒体２が突設されている。」が記載されている。
（３ー２）第２頁右下欄１４〜１７行に
「マニホールド１６外周壁には複数のＬ字形ソースガス導入管２１が夫々ガス吐出部を内筒１３内に突出させて配管接続装置２２により気密を保持して設けられている。」が記載されている。
（３ー３）第３頁右上欄６行〜右下欄９行に
「この筒体３１内にガスミキシング用導入管２１のたとえば外径１０ｍｍを有する導入管水平部２１ａが挿通されている。…中略…また筒体３１の段付部３１ｂの側面方向には、円盤状のフランジ部３６ａを有する筒体である連結アダプタ３６が嵌合されており、この連結アダプタ３６の一端部端面は、筒体段付部３１ｂの小Ｏリング３３と当接し、フランジ部３６ａ側面は大Ｏリング３５と夫々当接している。…中略…この底部に連結アダプタの円筒部を挿通させる挿通孔３８ａを有するステンレス等からなる袋ナット３８が取付けられており、この袋ナット３８は、上記筒体３１の捩子部３１ａと螺合するように構成されている。…中略…まず、マニホールド１６の挿通孔１６ａ、筒体３１ 、連結アダプタ３６内にマニホールド内側からガスミキシング用導入管２１の導入管水平部２１ａを挿通させた後、袋ナット３８を回してこれを筒体３１に締付ける。このとき、連結アダプタ３６のフランジ部３６ａが袋ナット３８により押圧されるため、連結アダプタ３６は筒体３１側に移動し、連結アダプタ３６端面が小Ｏリング３３をフランジ部３６ａが大Ｏリング３５を夫々押圧して筒体３１と連結アダプタ３６間が押圧された小Ｏリング３３および大Ｏリング３５により気密される。」が記載されている。
　
４．対比・判断
　記載事項（１ー１）〜（１ー６）を総合すれば、甲第１号証には
　炉芯管１、基板支持ボート２、ボート支持部材６、温度検出手段８、前記ボート支持部材６に設け、前記温度検出手段８を管軸方向にスライドさせる貫通孔９、および、ボート支持部材６に連結する昇降アーム１１、前記昇降アーム１１の基部に螺合するネジ棒１２、このネジ棒１２を正逆回転駆動するモータ１３、このモータ１３を回転制御する制御装置などから構成されているボート昇降機構１０、ならびに、炉芯管１内の温度分布を測定する場合に設けられたロック機構３０などからなる縦型熱処理炉であって、温度検出手段８は昇降アーム１１の一端部に取付け、温度分布の測定時に、ボート支持部材と昇降アームの係合を解いて温度検出手段が貫通孔内を管軸方向にスライド可能とし、また、小径のガラス管７ａ内にｎ個（ｎは、０を含まない自然数）の熱電対を収納しており、１／ｎのストロークで移動させることにより温度分布を測定することが記載されているといえる。
４ー１　そこで、本件発明４（以下、「前者」という）と、甲第１号証に記載の発明（以下、「後者」という）とを対比すると、後者の「基板」、「炉芯管」、「基板支持ボート」、「ボート支持部材」、「貫通孔」、「温度検出手段 」、「縦型熱処理炉」、「熱電対を収納した小径のガラス管」は、前者の、「被処理体」、「処理容器」、「ボート」、「蓋体」、「通孔」、「温度測定手段 」、「熱処理装置」、「温度測定手段を収容した石英チューブ」にそれぞれ相当するから、両者は、「被処理体を熱処理する処理容器と、この処理容器内で被処理体を支持するボートと、このボートを保持すると共に前記処理容器を密閉可能な蓋体と、前記処理容器内の温度を測定する温度測定手段とを備えた熱処理装置において、前記温度測定手段を収容した石英チューブを前記蓋体に形成された通孔を通して前記処理容器内でほぼ垂直に支持する」点で一致しており、以下の点で相違している。    　
　相違点
　前者では、石英チューブを蓋体に着脱可能に支持すると共に前記処理容器内の気密性を保持する支持手段が、通孔に固着されて一端にねじ山が形成されると共に、内部に石英チューブを挿通させる内孔を有するガイド部材と、前記内孔内に円筒状のワッシャーを介して所定距離離間させて装着した２つのリング状のシール部材と、前記内孔に前記石英チューブを挿通させた状態で前記ガイド部材のねじ山に螺合させて手回しにより締め付けることにより前記２つのシール部材を押し潰して前記石英チューブを弾性的に把持固定させるキャップねじとよりなる点を有しているのに対して、後者では、温度分布を測定する温度検出手段は昇降アームに取り付けられており、温度検出手段を管軸方向にスライドさせることにより前記温度分布測定を行う点、および、支持手段に相当するものがない点。
　そこで、上記相違点について検討する。
　甲第２号証には、本件発明４の２つのリング状のシール部材、キャップねじに相当する２つのＯリング（２）と２枚の金属リング（３）、押さえ金具（４）が記載され、甲第３号証には、本件発明４のガイド部材、２つのリング状のシール部材、キャップねじに相当する筒体３１、Ｏリング、袋ナット３８が記載され、いわゆるシール構造が記載されているものの、後者に記載のものは、熱電対を収納した石英ガラス管からなる温度検出手段を単にボート支持部材に設けた貫通孔に通して炉芯管に挿入するだけであって、貫通孔にシール部材を設けるものではないし、ましてや後者には、温度検出手段の取付け取外しを手回しで行うことにより、石英ガラス管の洗浄や交換を容易に行うことを技術的課題とすることは何も示唆するところがないから、甲第２、３号証に記載されたものを適用するための動機付けとなるものは存在しない。
　したがって、本件発明４は、上記甲第１〜３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。   
４ー２　本件発明５と、甲第１号証に記載の発明とを対比すると、
　本件発明５は、実質的に本件発明４を引用して記載されたものであるところ、前記「４ー１」で認定したとおり本件発明４に記載された点の構成が、甲第１〜３号証の記載から容易になしえたものと認められない以上、たとえ、甲第２、３号証に、キャップねじと２つのシール部材の内の一方のシール部材との間に、押えワッシャーが介在されていることが示されていたとしても、本件発明５は、上記甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。　　
　
５．むすび
　したがって、特許異議の申立ての理由および証拠によっては、本件発明４、５に係る特許を取消すことはできない。
　また、他に本件発明４、５の特許を取消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１４年６月１０日（２００２．６．１０）