(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに供給する電源電力を生成する電源と、電源が生成した電源電力を、被試験デバイスに伝送する伝送路と、伝送路を介して被試験デバイスに供給される電流において、電源から被試験デバイスの間の誘導成分、および、伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定する電流測定部と、電流測定部が測定したピークに基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。
2011010410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給する電源電力を生成する電源と、
前記電源が生成した前記電源電力を、前記被試験デバイスに伝送する伝送路と、
前記伝送路を介して前記被試験デバイスに供給される電流において、前記電源から前記被試験デバイスの間の誘導成分、および、前記伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定する電流測定部と、
前記電流測定部が測定した前記ピークに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記電流測定部は、
前記伝送路および前記接地電位の間に設けられた中間コンデンサと、
前記中間コンデンサの充放電電流を測定する充放電電流測定部と、
前記充放電電流測定部が測定した前記充放電電流に基づいて、前記被試験デバイスに供給される電流を算出する負荷電流算出部と
を有する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記電流測定部は、
前記中間コンデンサよりも前記電源側の前記伝送路に流れる電流を測定する電源電流測定部を更に有し、
前記負荷電流算出部は、前記電源電流測定部が測定した電流、および、前記充放電電流測定部が測定した電流の和に基づいて前記被試験デバイスに供給される電流を算出する
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記電流測定部は、前記電源電流測定部が測定した電流、および、前記充放電電流測定部が測定した電流の和が、予め定められた閾値を超えたか否かにより前記ピークを検出するピーク検出部を有する
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記判定部は、予め定められた測定期間内において前記ピーク検出部が検出した前記ピークの個数に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記判定部は、前記ピーク検出部が検出した前記ピークのレベルのうち、最大のレベルに更に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記判定部は、前記ピーク検出部が検出した前記ピークの時間間隔に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項８】
前記ピーク検出部は、前記電源電流測定部が測定した電流、および、前記充放電電流測定部が測定した電流の和の、予め定められた期間における平均値に応じて、前記閾値を決定する
請求項４から７のいずれか１項に記載の試験装置。
【請求項９】
前記電流測定部は、
予め定められた複数種類の閾値を生成する閾値生成部と、
前記閾値生成部が生成した前記複数種類の閾値のそれぞれにオフセット値を加算するオフセット加算部と、
前記オフセット加算部により前記オフセット値が加算された前記複数種類の閾値と、前記ピークとを比較するレベル比較部と、
前記オフセット加算部における前記オフセット値を制御することで、前記ピークのレベルを測定する測定レンジを制御するレンジ制御部と
を有する請求項６に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記中間コンデンサよりも前記電源に近い位置で、前記伝送路および接地電位の間に設けられ、前記中間コンデンサよりも容量の大きい大容量コンデンサを更に備える
請求項３に記載の試験装置。
【請求項１１】
前記中間コンデンサよりも前記被試験デバイスに近い位置で、前記伝送路および接地電位の間に設けられ、前記中間コンデンサよりも容量の小さい小容量コンデンサを更に備える
請求項１０に記載の試験装置。
【請求項１２】
前記負荷電流算出部は、前記電源電流測定部が測定した電流、および、前記充放電電流測定部が測定した電流の和に基づいて、前記被試験デバイスおよび前記小容量コンデンサに流れる電流を算出する
請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１３】
前記中間コンデンサは、前記小容量コンデンサとの距離が、前記大容量コンデンサとの距離より小さくなる位置で、前記伝送路に接続される
請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１４】
前記伝送路および前記接地電位の間に前記中間コンデンサと直列に設けられ、前記伝送路および前記接地電位の間における前記小容量コンデンサと直列な抵抗成分よりも抵抗値の大きいダンピング抵抗を更に備える
請求項１１に記載の試験装置。
【請求項１５】
前記被試験デバイスと接触する試験用ボードを更に備え、
前記小容量コンデンサおよび前記中間コンデンサは、前記試験用ボードに設けられる
請求項１３に記載の試験装置。
【請求項１６】
前記伝送路上に設けられ、前記試験用ボードと前記電源とを電気的に接続する接続コネクタを更に備え、
前記大容量コンデンサは、前記接続コネクタに対して、前記電源側の前記伝送路に接続される
請求項１５に記載の試験装置。
【請求項１７】
前記電源電流測定部は、
前記接続コネクタに対して、前記電源側の前記伝送路上に設けられた第１検出抵抗と、
前記第１検出抵抗の両端の電位差を検出する第１電位差検出部と
を有し、
前記充放電電流測定部は、
前記中間コンデンサおよび接地電位の間に設けられた第２検出抵抗と、
前記第２検出抵抗の両端の電位差を検出する第２電位差検出部と
を有する
請求項１６に記載の試験装置。
【請求項１８】
前記第２電位差検出部は、前記電位差を、設定される利得で増幅する増幅器であり、
前記試験装置は、前記第２電位差検出部における前記利得の設定を複数種類の値に順次変更し、検出される前記ピークのレベルが最大となる前記利得の値に、前記増幅器の値を設定する設定部を更に備える
請求項１７に記載の試験装置。
【請求項１９】
被試験デバイスを試験する試験装置に用いられる付加回路であって、
前記試験装置は、
前記被試験デバイスに供給する電源電力を生成する電源と、
前記電源が生成した前記電源電力を、前記被試験デバイスに伝送する伝送路と、
前記被試験デバイスに供給される電流のピークに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記付加回路は、前記伝送路を介して前記被試験デバイスに供給される電流において、前記電源から前記被試験デバイスの間の誘導成分、および、前記伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定し、前記判定部に通知するピーク測定部を備える付加回路。
【請求項２０】
被試験デバイスを試験する試験装置に用いられる試験用ボードであって、
前記試験装置に設けられた電源が生成した電源電力を、前記被試験デバイスに伝送する伝送路と、
前記伝送路を介して前記被試験デバイスに供給される電流において、前記電源から前記被試験デバイスの間の誘導成分、および、前記伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定し、前記試験装置に設けられた判定部に通知するピーク測定部と
を備える試験用ボード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置、付加回路および試験用ボードに関する。米国において本出願は、国際出願ＰＣＴ／ＪＰ２００９／００３４８２（出願日：２００９年７月２３日）の一部継続出願であり、且つ、米国出願１２／６０３，３５０（出願日：２００９年１０月２１日）の一部継続出願である。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路等の被試験デバイスを試験する場合において、被試験デバイスに電源電流を供給する電源装置が、被試験デバイスの消費電流の変動に高速に追従できないことがある。このような課題に対して、被試験デバイスの近傍における電源ラインにバイパスコンデンサを設ける技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１  特開２００１−１９５１３９号公報
特許文献２  米国特許第６０８７８４３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
電源電流の変動が大きい場合、当該変動に追従できる大容量（例えば数十μＦ）のバイパスコンデンサが設けられる。また、スタンバイ電流等の微小な電流を測定すべく、電源装置の微小な出力電流を測定する場合がある。この場合、電源装置に接続される負荷容量が制限されるので、大容量のバイパスコンデンサを電源ラインから切り離すリードリレーが設けられる。【０００４】
しかし、被試験デバイスの近傍には構造上の制限があるので、リードリレーを設けることができない。このため、大容量のバイパスコンデンサは、被試験デバイスの近傍に設けることができず、被試験デバイスから離れた位置に設けられる。【０００５】
これにより、バイパスコンデンサから、被試験デバイスまでの電源ラインが長くなるので、バイパスコンデンサおよび被試験デバイスの間のインダクタンス成分が増加する。このため、バイパスコンデンサから被試験デバイスに対して、高周波の電流を供給することが困難となる。【０００６】
被試験デバイスの負荷電流が変動すると、電源の応答性、バイパスコンデンサの値、伝送路の抵抗成分における電圧降下等により、被試験デバイスに印加される電源電圧が一時的に低下する。従来は、電源または大容量のバイパスコンデンサから供給される電流を測定しているので、負荷電流の高周波成分を検出することができない。このため、被試験デバイスの負荷電流が瞬間的に変動した場合には、負荷電流の変動を検出することができず、被試験デバイスの良否を精度よく判定することができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに供給する電源電力を生成する電源と、電源が生成した電源電力を、被試験デバイスに伝送する伝送路と、伝送路を介して被試験デバイスに供給される電流において、電源から被試験デバイスの間の誘導成分、および、伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定する電流測定部と、電流測定部が測定したピークに基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。【０００８】
本発明の第２の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置に用いられる付加回路であって、試験装置は、被試験デバイスに供給する電源電力を生成する電源と、電源が生成した電源電力を、被試験デバイスに伝送する伝送路と、被試験デバイスに供給される電流のピークに基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、付加回路は、伝送路を介して被試験デバイスに供給される電流において、電源から被試験デバイスの間の誘導成分、および、伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定し、判定部に通知するピーク測定部を備える付加回路を提供する。【０００９】
本発明の第３の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置に用いられる試験用ボードであって、試験装置に設けられた電源が生成した電源が生成した電源電力を、被試験デバイスに伝送する伝送路と、伝送路を介して被試験デバイスに供給される電流において、電源から被試験デバイスの間の誘導成分、および、伝送路と接地電位の間の容量成分の積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定し、試験装置に設けられた判定部に通知するピーク測定部とを備える試験用ボードを提供する。【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一つの実施形態に係る試験装置１００の構成を、被試験デバイス２００とあわせて示す図である。
【図２】伝送路２０に流れる電流を測定する回路の構成例を示す図である。
【図３】電源電流測定部６０が測定する電流Ｉ１、および、充放電電流測定部９０が測定する電流Ｉ２の一例を示す図である。
【図４】負荷電流算出部９８が算出する負荷電流ＩＡと、電源３０が出力する電流ＩＢとを示す。
【図５】被試験デバイス２００に印加される電源電圧の一例を示す。
【図６】ピーク検出部１２０の構成例を示す。
【図７】ピーク検出部１２０の他の構成例を示す。
【図８】ピーク検出部１２０の他の構成例を示す。
【図９】ピーク検出部１２０の他の構成例を示す。
【図１０】充放電電流測定部９０の他の構成例を示す図である。
【図１１】スイッチ５２の構成例を示す図である。
【図１２】伝送路２０に流れる電流を測定する回路の他の構成例を示す。
【図１３】ダンピング抵抗５４として、抵抗５８と同程度の抵抗値の抵抗を用いた場合の、被試験デバイス２００に流れる電流を示す。
【図１４】ダンピング抵抗５４として、抵抗５８よりも２０倍程度大きな抵抗値の抵抗を用いた場合の、被試験デバイス２００に流れる電流を示す。
【図１５】試験装置１００の他の構成例を示す。
【図１６】付加回路１１０の構成例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１３】
図１は、一つの実施形態に係る試験装置１００の構成を、被試験デバイス２００とあわせて示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する装置であって、試験用ボード１０およびテストヘッド１２を備える。
【００１４】
試験用ボード１０は、被試験デバイス２００と、テストヘッド１２とを電気的に接続する。例えば試験用ボード１０は、被試験デバイス２００を載置して、被試験デバイス２００に電気的に接続されるソケットと、当該ソケットおよびテストヘッド１２を電気的に接続する配線とを有する。また試験用ボード１０は、被試験デバイス２００の端子と接触するプローブピンと、当該プローブピンおよびテストヘッド１２を電気的に接続する配線とを有してもよい。
【００１５】
テストヘッド１２は、試験信号および電源電力等を生成して、試験用ボード１０を介して被試験デバイス２００に供給する。また、テストヘッド１２は、試験信号等を供給したときの、被試験デバイス２００の所定の特性を測定して、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えばテストヘッド１２は、被試験デバイス２００が出力する信号のデータパターン、または、被試験デバイス２００の消費電力等を測定する。
【００１６】
本例のテストヘッド１２は、複数の試験モジュール４０を有する。それぞれの試験モジュール４０は、接続コネクタ２４を介して試験用ボード１０と電気的に接続される。また、それぞれの試験モジュール４０は、異なる機能を有してよい。例えばテストヘッド１２は、電源供給用の試験モジュール４０、アナログ信号用の試験モジュール４０、および、デジタル信号用の試験モジュール４０等を有する。
【００１７】
本例の試験モジュール４０−１は、被試験デバイス２００に電源電力を供給する電源３０を有する。電源３０は、伝送路２０を介して被試験デバイス２００と電気的に接続される。
【００１８】
伝送路２０は、電源３０が生成した電源電力を、被試験デバイス２００に伝送する。伝送路２０は、モジュール配線２８、ケーブル２６、接続コネクタ２４、および、ボード配線２２を有してよい。モジュール配線２８は、試験モジュール４０の内部に形成される。ケーブル２６は、試験モジュール４０および接続コネクタ２４間を接続する。ボード配線２２は、試験用ボード１０に形成される。
【００１９】
本例の試験装置１００は、伝送路２０に流れる電流を測定することで、被試験デバイス２００の消費電流を測定する。試験モジュール４０−１は、伝送路２０に流れる電流の測定結果に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。
【００２０】
図２は、伝送路２０に流れる電流を測定する回路の構成例を示す図である。上述したように、電源３０は、伝送路２０を介して被試験デバイス２００に接続される。また、電源３０は、被試験デバイス２００のスタンバイ電流等の微小電流を測定する微小電流測定部３２を有してよい。微小電流測定部３２は、電源３０が出力する電流を測定してよい。
【００２１】
試験装置１００は、中速電流供給部４９、電流測定部１５０、小容量コンデンサ４８、および、判定部１３０を備える。また、電流測定部１５０は、中間コンデンサ５０、充放電電流測定部９０、スイッチ５２、電源電流測定部６０、負荷電流算出部９８、ピーク検出部１２０、および、設定部１４０を有する。なお、図２におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ４は、伝送路２０の抵抗成分およびインダクタンス成分を示す。
【００２２】
中速電流供給部４９は、大容量コンデンサ４４、スイッチ４６、抵抗成分Ｒ２、および、インダクタンス成分Ｌ２を含む。大容量コンデンサ４４は、中間コンデンサ５０よりも電源３０に近い位置で、伝送路２０および接地電位の間に設けられる。本例の大容量コンデンサ４４は、接続コネクタ２４に対して電源３０側の伝送路２０（例えばモジュール配線２８）と、接地電位との間に設けられる。大容量コンデンサ４４の容量は、微小電流測定部３２に許容される最大負荷容量より大きくてよい。当該最大負荷容量は、微小電流測定部３２の仕様値を用いてよい。
【００２３】
スイッチ４６は、大容量コンデンサ４４を、モジュール配線２８および接地電位の間に接続するか否かを切り替える。スイッチ４６は、例えばリードリレーである。
【００２４】
小容量コンデンサ４８は、中間コンデンサ５０よりも被試験デバイス２００に近い位置で、伝送路２０および接地電位の間に設けられる。本例の小容量コンデンサ４８は、試験用ボード１０において、ボード配線２２および接地電位の間に設けられる。また、小容量コンデンサ４８の容量は、大容量コンデンサ４４の容量よりも小さい。小容量コンデンサ４８の容量は、微小電流測定部３２に許容される最大負荷容量より小さくてよい。
【００２５】
電流測定部１５０は、伝送路２０を介して被試験デバイス２００に供給される電流において、電源３０から被試験デバイス２００の間の誘導成分Ｌ、および、伝送路２０と接地電位の間の容量成分Ｃの積に応じた周波数よりも高い周波数成分を含むピークを測定する。当該誘導成分Ｌは、電源３０の内部において出力端子に接続される誘導成分を含んでよい。
【００２６】
誘導成分Ｌおよび容量成分Ｃは、電源３０および被試験デバイス２００の間に挿入されたローパスフィルタとして機能するので、電源３０から被試験デバイス２００に流れる電流の周波数が、これらの積ＬＣに応じた遮断周波数以下に制限される。しかし、被試験デバイス２００には、電源３０から直接供給される電流の他に、小容量の容量成分から高周波の電流も供給される。
【００２７】
このため、電源３０が出力する電流を伝送路２０上で測定しても、被試験デバイス２００に供給される電流のうち、ＬＣに応じた遮断周波数以下の電流成分しか測定できない。これに対し、電流測定部１５０は、ＬＣに応じた遮断周波数よりも高い周波数成分を含む電流ピークを測定する。より具体的には、電流測定部１５０は、中間コンデンサ５０の充放電電流を測定することで、当該電流ピークを測定する。
【００２８】
中間コンデンサ５０は、大容量コンデンサ４４および小容量コンデンサ４８の間の位置で、伝送路２０および接地電位の間に設けられる。中間コンデンサ５０は、小容量コンデンサ４８との距離が、大容量コンデンサ４４との距離より小さくなる位置で、伝送路２０に接続されることが好ましい。
【００２９】
より具体的には、中間コンデンサ５０および小容量コンデンサ４８の間の伝送路２０におけるインダクタンス成分Ｌ４が、中間コンデンサ５０および大容量コンデンサ４４の間の伝送路２０におけるインダクタンス成分Ｌ２よりも十分小さくなるように、中間コンデンサ５０が配置されることが好ましい。本例の中間コンデンサ５０は、小容量コンデンサ４８および接続コネクタ２４の間における、試験用ボード１０のボード配線２２に接続される。
【００３０】
中間コンデンサ５０を、ケーブル２６および接続コネクタ２４よりも被試験デバイス２００側に設けることで、インダクタンス成分Ｌ４を、インダクタンス成分Ｌ２よりも十分に小さくすることができる。これにより、中間コンデンサ５０の充放電電流は、被試験デバイス２００の消費電流の変動に対して、比較的に高速に追従することができる。
【００３１】
中間コンデンサ５０の容量は、小容量コンデンサ４８の容量より大きく、大容量コンデンサ４４の容量より小さくてよい。小容量コンデンサ４８の容量は１μＦ程度であってよく、中間コンデンサ５０の容量は１０μＦ程度であってよい。また、中間コンデンサ５０の容量は、微小電流測定部３２に許容される最大負荷容量より大きくてよい。
【００３２】
スイッチ５２は、中間コンデンサ５０を、モジュール配線２８および接地電位の間に接続するか否かを切り替える。スイッチ５２は、スイッチ４６より小型であってよい。例えばスイッチ５２は、半導体スイッチである。スイッチ４６およびスイッチ５２は、微小電流測定部３２により、被試験デバイスのスタンバイ電流等の微小電流を測定する場合に、大容量コンデンサ４４および中間コンデンサ５０を、伝送路２０および接地電位の間から切り離してよい。
【００３３】
電源電流測定部６０は、中間コンデンサ５０よりも電源３０側の伝送路２０に流れる電流Ｉ１を測定する。例えば電源電流測定部６０は、大容量コンデンサ４４および接続コネクタ２４の間における伝送路２０に流れる電流Ｉ１を測定する。電源電流測定部６０は、試験モジュール４０に設けられてよい。
【００３４】
本例の電源電流測定部６０は、第１検出抵抗６２、および、差動回路６４を有する。本例の第１検出抵抗６２は、接続コネクタ２４に対して、電源３０側の伝送路２０の経路上に設けられ、伝送路２０に流れる電流値に応じた降下電圧を生じさせる。例えば第１検出抵抗６２は、モジュール配線２８の経路上に設けられる。
【００３５】
差動回路６４は、第１検出抵抗６２の両端における電位差を検出する第１電位差検出部として機能する。当該電位差に、第１検出抵抗６２の抵抗値を乗じることで、第１検出抵抗６２に流れる電流Ｉ１を測定することができる。
【００３６】
なお、電源電流測定部６０の構成は、図２に示した例に限定されない。電源電流測定部６０は、第１検出抵抗６２および差動回路６４に代えて、電流プローブを有してもよい。電流プローブは、伝送路２０に流れる電流により生じる磁界を電圧に変換することで、伝送路２０に流れる電流を検出してよい。
【００３７】
充放電電流測定部９０は、中間コンデンサ５０の充放電電流Ｉ２を測定する。本例の充放電電流測定部９０は、第２検出抵抗９１および差動回路９２を有する。第２検出抵抗９１は、中間コンデンサ５０およびスイッチ５２の間に設けられ、中間コンデンサ５０の充放電電流Ｉ２に応じた降下電圧を生じさせる。
【００３８】
差動回路９２は、第２検出抵抗９１の両端における電位差を検出する第２電位差検出部として機能する。当該電位差に、第２検出抵抗９１の抵抗値を乗じることで、第２検出抵抗９１に流れる電流Ｉ２を測定することができる。
【００３９】
負荷電流算出部９８は、充放電電流測定部９０が測定した電流Ｉ２に基づいて、被試験デバイス２００に流れる負荷電流Ｉ３を算出する。上述したように、中間コンデンサ５０は、電源３０よりも高速に、負荷電流Ｉ３の変動に追従する。このため、電流Ｉ２には、電流Ｉ１よりも高周波の電流成分が含まれる。負荷電流算出部９８は、電流Ｉ２を測定することで、負荷電流Ｉ３のうち電流Ｉ１よりも高周波の成分を算出してよい。
【００４０】
また、負荷電流算出部９８は、電源電流測定部６０が測定した電流Ｉ１、および、充放電電流測定部９０が測定した電流Ｉ２の和に基づいて、被試験デバイス２００に流れる負荷電流Ｉ３を算出してもよい。これにより、低周波成分および高周波成分の両方を含む、負荷電流Ｉ３を算出することができる。本例では、負荷電流算出部９８が、電流Ｉ２および電流Ｉ３の和を算出する場合を説明する。
【００４１】
ピーク検出部１２０は、電源電流測定部６０が測定した電流Ｉ１、および、充放電電流測定部９０が測定した電流Ｉ２の和が、予め定められた閾値を超えたか否かにより、負荷電流Ｉ３のピークを検出する。充放電電流測定部９０が高周波の電流を検出できるので、ピーク検出部１２０は、高周波の電流ピークを検出することができる。
【００４２】
判定部１３０は、ピーク検出部１２０が検出した電流ピークに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば判定部１３０は、予め定められた測定期間内においてピーク検出部１２０が検出した電流ピークの個数に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。これにより、高周波の電流ピークに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定することができる。
【００４３】
また、設定部１４０は、差動回路９２における利得を設定する。差動回路９２は、第２検出抵抗９１の両端の電位差を、設定される利得で増幅する増幅器である。例えば設定部１４０は、差動回路９２における利得の設定を複数種類の値に順次変更して、測定すべき周波数の電流を利得の設定毎に検出させる。このとき、伝送路２０には、利得の設定値を変化させる毎に同一の電流を供給する。差動回路９２における利得の設定を行う場合、被試験デバイス２００に代えて、設定用の負荷が伝送路２０に接続されてよい。
【００４４】
設定部１４０は、利得の設定値毎に検出される電流ピークのレベルが最大となるように、差動回路９２の利得を設定する。一般に増幅回路は、利得の設定によって周波数特性が変化するので、利得の設定値を大きくしても、測定すべき周波数の利得は減少してしまう場合がある。上述した設定を行った後に、被試験デバイス２００の負荷電流の電流ピークを測定することで、測定すべき電流ピークの周波数に応じた利得の設定を行うことができる。
【００４５】
また、図２に示す例のように、小容量コンデンサ４８が、被試験デバイス２００および中間コンデンサ５０の間の伝送路２０に接続されている場合、負荷電流算出部９８は、電流Ｉ１および電流Ｉ２に基づいて、被試験デバイス２００および小容量コンデンサ４８に流れる電流を算出する。なお、小容量コンデンサ４８の充放電電流が流れる期間は比較的に短いので、負荷電流算出部９８は、電流Ｉ１および電流Ｉ２の和を、被試験デバイス２００に流れる電流としてもよい。また、小容量コンデンサ４８は、被試験デバイス２００の内部に設けられるコンデンサを指してもよい。
【００４６】
以上説明したように、中間コンデンサ５０を被試験デバイス２００の近傍に設け、中間コンデンサ５０の充放電電流Ｉ２と、電源電流Ｉ１との和を算出することで、被試験デバイス２００の消費電流を精度よく測定することができる。つまり、電源電流Ｉ１が、被試験デバイス２００の消費電流の変動に高速に追従できない場合でも、高速に変動する充放電電流Ｉ２を更に測定するので、被試験デバイス２００の消費電流を精度よく測定することができる。
【００４７】
また、電源電流測定部６０を、中間コンデンサ５０よりも電源３０側に設けることができるので、試験用ボード１０に電源電流測定部６０を設ける場合に比べ、回路設計を容易にすることができる。なお、電源電流測定部６０に代えて、微小電流測定部３２のように、電源３０に内蔵される測定回路を用いて、電源電流Ｉ１を測定してもよい。
【００４８】
また、スイッチ５２を半導体スイッチとすることで、素子の高さ等の構造上の制限がある試験用ボード１０に、スイッチ５２を容易に設けることができる。このため、比較的に大きな容量の中間コンデンサ５０を試験用ボード１０に設けても、中間コンデンサ５０を伝送路２０から切り離すか否かを制御するスイッチ５２を設けることができる。
【００４９】
また、電源３０は、被試験デバイス２００に印加される負荷電圧を、検出ライン４２を介して検出してよい。電源３０は、検出した負荷電圧が一定になるように、出力電圧を制御する。検出ライン４２は、電源電流測定部６０よりも被試験デバイス２００側の伝送路２０における電圧を検出してよい。
【００５０】
図３は、電源電流測定部６０が測定する電流Ｉ１、および、充放電電流測定部９０が測定する電流Ｉ２の一例を示す図である。図３において横軸は時間を示しており、縦軸は電流レベルを示す。また、図３においてＩｄｄは、被試験デバイス２００における消費電流を示す。
【００５１】
図３に示すように、被試験デバイス２００の消費電流Ｉｄｄが急峻に変化しても、電源３０および大容量コンデンサ４４からの電源電流Ｉ１は、高速に追従することができない。これに対して、中間コンデンサ５０からの充放電電流Ｉ２は、比較的に高速に、消費電流Ｉｄｄに追従する。このため、図３に示すように、電源電流Ｉ１および充放電電流Ｉ２の和を算出することで、被試験デバイス２００の消費電流Ｉｄｄを精度よく測定することができる。
【００５２】
なお、図２に関連して説明した回路では、第１検出抵抗６２および第２検出抵抗９１を、電流を検出するべく追加的に設けている。このため、被試験デバイス２００における消費電流が変動したときの、被試験デバイス２００に印加される電源電圧の変動は、第１検出抵抗６２および第２検出抵抗９１の抵抗値に応じて大きくなる。
【００５３】
第１検出抵抗６２の抵抗値をＲ１、第２検出抵抗９１の抵抗値をＲ２として、消費電流Ｉｄｄの最大変動量をＩａとする。この場合、被試験デバイス２００に印加される電源電圧の、第１検出抵抗６２および第２検出抵抗９１を追加的に設けたことによる変動の最大ΔＶｍａｘは、Ｉａ×（Ｒ１＋Ｒ２）で与えられる。
【００５４】
第１検出抵抗６２および第２検出抵抗９１は、被試験デバイス２００に印加される電源電圧に対して許容される変動量に応じた抵抗値を有することが好ましい。例えば、消費電流の最大変動量が１００ｍＡ、電源電圧変動の許容値が２０ｍＶの場合、第１検出抵抗６２および第２検出抵抗９１の抵抗の和は上式から、２０ｍＶ／１００ｍＡ＝２００ｍΩ以下となるように設定される。
【００５５】
また、電源電流Ｉ１の電流経路は、ＬＣＲの直列共振回路になる。このため、直列共振回路のダンピング抵抗が、当該電流経路における抵抗成分より十分小さくないと、大きな振動の充放電電流が流れる。このため、電源電流Ｉ１の測定結果には、直列共振による中間コンデンサ５０への充放電電流が含まれてしまう。これに対し、図２に示した回路では、電源電流Ｉ１および充放電電流Ｉ２の和を測定する。電源電流Ｉ１および充放電電流Ｉ２のそれぞれには、直列共振による充放電電流の影響が含まれるので、直列共振による充放電電流の影響を相殺することができる。
【００５６】
図４は、負荷電流算出部９８が算出する負荷電流ＩＡと、電源３０が出力する電流ＩＢとを示す。上述したように、負荷電流算出部９８は、電源３０が出力する電流ＩＢよりも高周波の負荷電流ＩＡを測定することができる。
【００５７】
ピーク検出部１２０は、負荷電流算出部９８が算出する負荷電流ＩＡが、予め定められた閾値Ｉｔｈを超えたか否かにより電流ピークを検出する。これにより、高周波の電流ピークを検出することができる。当該閾値Ｉｔｈは、使用者等により予め定められてよく、電源電流測定部６０が測定する電流に基づいて定められてもよい。ピーク検出部１２０は、電源電流測定部６０が測定する電流の平均値、または、ピーク値よりも大きい閾値Ｉｔｈを用いてよい。
【００５８】
図５は、被試験デバイス２００に印加される電源電圧の一例を示す。負荷電流が増大すると、被試験デバイス２００に印加される電源電圧は、電源３０の応答性、伝送路２０に接続されるコンデンサの値、伝送路２０における抵抗成分等によって一時的に降下する。このため、負荷電流に大きい電流ピークが生じると、電源電圧は大きく降下する。
【００５９】
電源３０の出力電圧は、被試験デバイス２００に印加される電源電圧を一定にするように変動するので、降下した電源電圧は徐々に回復する。しかし、電源電圧が一定電圧に回復する前に、負荷電流に大きい電流ピークが生じると、電源電圧が更に低下してしまう。このため、一定以上のレベルの電流ピークが、一定以上の頻度で生じると、被試験デバイス２００に印加される電源電圧が、許容範囲外となってしまう。
【００６０】
判定部１３０は、予め定められた測定期間内においてピーク検出部１２０が検出した電流ピークの個数に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。ピーク検出部１２０は、負荷電流に電流ピークが生じたか否かを判定して、予め定められた測定期間内に電流ピークが生じたと判定した回数を計数してよい。
【００６１】
図４に示したように、本例の試験装置１００は、電源３０が出力する電流ＩＢよりも高周波の電流を測定することができる。このため、電流ＩＢからは観測できなかった高周波の電流ピークを検出することができる。そして、当該電流ピークが生じる頻度に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定するので、電流ＩＢの測定では検出できなかった被試験デバイス２００の不良を検出することができる。
【００６２】
また、判定部１３０は、ピーク検出部１２０が検出した電流ピークの時間間隔Ｔに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してもよい。例えば判定部１３０は、時間間隔Ｔが、一定レベルの電流ピークが生じた場合に電源電圧のレベルが回復するのに要する時間よりも短いか否かにより、被試験デバイス２００の良否を判定する。
【００６３】
図６は、ピーク検出部１２０の構成例を示す。ピーク検出部１２０は、レベル比較部１２２およびピークカウンタ１２４を有する。レベル比較部１２２は、負荷電流算出部９８が算出した負荷電流のレベルが、予め定められた閾値ｒｅｆ以下のレベルから、閾値ｒｅｆより大きいレベルに遷移した場合にパルスを出力する。ピーク検出部１２０は、負荷電流算出部９８から、負荷電流のレベルに応じた電圧を受け取ってよい。この場合、閾値ｒｅｆは、図４に関連して説明した閾値Ｉｔｈに応じた電圧である。
【００６４】
ピークカウンタ１２４は、予め定められた測定期間内において、レベル比較部１２２が出力するパルス数を計数する。当該測定期間は、使用者等により開始タイミングおよび終了タイミングが設定されてよい。また、当該測定期間の開始タイミングは、ピークカウンタ１２４が最初のパルスを計数したタイミングであってもよい。ピークカウンタ１２４は、当該開始タイミングから、予め定められた期間が経過するまでパルス数を計数する。
【００６５】
ピークカウンタ１２４は、測定期間が終了したときの計数値を判定部１３０に通知する。判定部１３０は、当該計数値が予め定められた許容範囲であるか否かにより、被試験デバイス２００の良否を判定する。このような構成により、被試験デバイス２００に印加される電源電圧が、許容範囲外となることを防ぐことができる。
【００６６】
図７は、ピーク検出部１２０の他の構成例を示す。本例のピーク検出部１２０は、複数のレベル比較部１２２−１から１２２−ｎ、複数の閾値生成部１３４−１から１３４−ｎ、レベル検出部１２６、選択部１２８、および、ピークカウンタ１２４を有する。なお、複数のレベル比較部１２２−１から１２２−ｎのそれぞれを、レベル比較部１２２と称する場合がある。また、複数の閾値生成部１３４−１から１３４−ｎのそれぞれを、閾値生成部１３４と称する場合がある。
【００６７】
それぞれのレベル比較部１２２およびピークカウンタ１２４は、図６に関連して説明したレベル比較部１２２およびピークカウンタ１２４と同一の機能を有する。ただし、それぞれのレベル比較部１２２には、対応する閾値生成部１３４から、それぞれ異なる閾値が与えられる。つまり、複数の閾値生成部１３４は、複数種類の閾値を生成し、複数のレベル比較部１２２は、負荷電流算出部９８が算出した負荷電流のレベルを、複数種類の閾値のそれぞれと比較する。
【００６８】
レベル検出部１２６は、複数のレベル比較部１２２における比較結果に基づいて、負荷電流算出部９８が算出した負荷電流のレベルを検出する。例えばレベル検出部１２６は、複数のレベル比較部１２２において、負荷電流のレベルより小さいと判定された閾値のうち、最大の閾値に基づいて負荷電流のレベルを検出する。このような処理により、複数のレベル比較部１２２に設定される閾値の範囲内における電流ピークのレベルを検出することができる。レベル検出部１２６は、検出した電流ピークのレベルを、判定部１３０に通知する。
【００６９】
選択部１２８は、複数のレベル比較部１２２のうち、いずれか１つのレベル比較部１２２が出力する比較結果を選択してピークカウンタ１２４に入力する。選択部１２８は、最小の閾値、最大の閾値、または、中央値の閾値が設定されるレベル比較部１２２を選択してよい。選択部１２８がいずれのレベル比較部１２２を選択するかは、使用者等により定められてよい。
【００７０】
ピークカウンタ１２４は、予め定められた測定期間内において、選択部１２８により選択されるレベル比較部１２２が出力するパルスを計数する。このような処理により、電流ピークを検出する閾値を選択することができる。
【００７１】
判定部１３０は、レベル検出部１２６が検出した電流ピークのレベルと、ピークカウンタ１２４の計数値に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。例えば判定部１３０は、レベル検出部１２６が検出した電流ピークのレベルの最大値に応じて、ピークカウンタ１２４の計数値と比較する許容値を変化させる。より具体的には、判定部１３０は、電流ピークのレベルの最大値がより大きい場合に、計数値と比較する許容値をより小さくしてよい。
【００７２】
図８は、ピーク検出部１２０の他の構成例を示す。本例のピーク検出部１２０は、図６に関連して説明したピーク検出部１２０の構成に加え、平均値測定部１３２および閾値生成部１３４を有する。閾値生成部１３４は、レベル比較部１２２に入力する閾値を生成する。本例の閾値生成部１３４は、可変電圧源を有しており、可変の閾値を生成する。
【００７３】
平均値測定部１３２は、電源電流測定部６０が測定した電流、および、充放電電流測定部９０が測定した電流の和の、予め定められた期間における平均値に応じて、閾値生成部１３４が生成する閾値を決定する。例えば平均値測定部１３２は、当該電流の和がより大きい場合に、当該閾値をより大きく設定してよい。また、平均値測定部１３２は、電源電流測定部６０が測定した電流のみの平均値に応じて、閾値生成部１３４が生成する閾値を決定してもよい。
【００７４】
また、平均値測定部１３２は、算出した電流の平均値に、予め設定された一定値を加算した値を、当該閾値としてよい。また、平均値測定部１３２は、算出した電流の平均値に、予め設定された係数を乗算した値を、当該閾値としてもよい。
【００７５】
また、平均値測定部１３２は、電源電流測定部６０が測定した電流の最大値に、予め設定された一定値を加算した値を、当該閾値としてよい。また、平均値測定部１３２は、電源電流測定部６０が測定した電流の最大値に、予め設定された係数を乗算した値を、当該閾値としてもよい。このような構成により、負荷電流のレベルが未知の場合でも、適切な閾値を設定することができる。
【００７６】
図９は、ピーク検出部１２０の他の構成例を示す。本例のピーク検出部１２０は、図７に関連して説明したピーク検出部１２０の構成に加え、レンジ制御部１３８および複数のオフセット加算部１３６−１から１３６−ｎを有する。なお、複数のオフセット加算部１３６−１から１３６−ｎのそれぞれを、オフセット加算部１３６と称する場合がある。
【００７７】
それぞれのオフセット加算部１３６は、対応する閾値生成部１３４が生成した複数種類の閾値のそれぞれに、同一のオフセット値を加算する。オフセット加算部１３６は、対応する閾値生成部１３４と直列に設けられた可変電圧源を有してよい。
【００７８】
それぞれのレベル比較部１２２は、オフセット加算部１３６によりオフセット値が加算された閾値と、電流ピークのレベルとを比較する。レンジ制御部１３８は、オフセット加算部１３６におけるオフセット値を制御することで、電流ピークのレベルを測定する測定レンジをシフトする。測定レンジのオフセット値を電流ピークのレベルに応じて設定することで、電流ピークのレベルを高分解能で検出することができる。レンジ制御部１３８は、平均値測定部１３２と同様に、電源電流測定部６０が測定した電流、および、充放電電流測定部９０が測定した電流に基づいて、オフセット値を決定してよい。
【００７９】
図１０は、充放電電流測定部９０の他の構成例を示す図である。本例の充放電電流測定部９０は、電圧測定部９３、微分算出部９４、および、電流算出部９５を有する。電圧測定部９３は、中間コンデンサ５０の電圧を測定する。例えば電圧測定部９３は、中間コンデンサ５０の伝送路２０側の端子において、電圧の経時的な変化を測定してよい。
【００８０】
微分算出部９４は、電圧測定部９３が測定した電圧の微分値を算出する。電流算出部９５は、微分算出部９４が算出した微分値に基づいて、中間コンデンサ５０の充放電電流を算出する。電流算出部９５は、電圧測定部９３が測定した電圧の微分値を、中間コンデンサ５０の充放電電流の電流値としてよい。このような構成により、第２検出抵抗９１を用いずに、中間コンデンサ５０の充放電電流を測定することができる。
【００８１】
図１１は、スイッチ５２の構成例を示す図である。スイッチ５２は、トランジスタ７４、トランジスタ７８、ダイオード７６、ダイオード８０、抵抗７０、および、抵抗７２を有する。トランジスタ７４およびトランジスタ７８は、中間コンデンサ５０および接地電位の間に直列に配置される。トランジスタ７４およびトランジスタ７８は、抵抗７０および抵抗７２を介して制御信号を並列に受け取る。トランジスタ７４およびトランジスタ７８は、同一の極性であってよい。
【００８２】
ダイオード７６は、トランジスタ７４のソース・ドレイン間に形成される寄生ダイオードを示す。また、ダイオード８０は、トランジスタ７８のソース・ドレイン間に形成される寄生ダイオードを示す。本例では、ダイオード７６は、接地電位から中間コンデンサ５０に向かう方向を順方向として配置され、ダイオード８０は、中間コンデンサ５０から接地電位に向かう方向を逆方向として配置される。
【００８３】
制御電圧がＨレベルの場合には、トランジスタ７４およびトランジスタ７８を介して中間コンデンサ５０が接地電位に接続される。また、制御電圧がＬレベルの場合には、各トランジスタがオフ状態となり、且つ、各ダイオードも逆接続で電流が流れないので、中間コンデンサ５０が接地電位から切り離される。このような構成により、スイッチ５２を小型且つ低消費電力にすることができる。
【００８４】
図１２は、伝送路２０に流れる電流を測定する回路の他の構成例を示す。図１２では、当該回路の一部を示す。本例の試験装置１００は、図２に関連して説明した構成に加え、ダンピング抵抗５４を更に備える。なおダンピング抵抗５４は、第２検出抵抗９１として機能してよい。また、伝送路２０および接地電位の間において、中間コンデンサ５０と直列な誘導成分をインダクタ５６で示す。また、伝送路２０および接地電位の間において、小容量コンデンサ４８と直列な抵抗成分を抵抗５８で示し、誘導成分をインダクタ６６で示す。
【００８５】
中間コンデンサ５０および小容量コンデンサ４８を接続する系は、直列共振回路を形成する。このため、中間コンデンサ５０および小容量コンデンサ４８の間に流れる電流が共振してしまう場合がある。これに対し本例の試験装置１００は、ダンピング抵抗５４を設けることで、電流の共振を低減する。
【００８６】
ダンピング抵抗５４は、伝送路２０および接地電位の間において中間コンデンサ５０と直列に設けられ、中間コンデンサ５０および小容量コンデンサ４８の容量値に応じた抵抗値を有する。より具体的には、ダンピング抵抗５４は、当該直列共振回路の合成誘導成分Ｌおよび合成容量成分Ｃの、共振周波数におけるインピーダンスにより定められる。
【００８７】
当該直列共振回路の共振周波数は、当該回路の合成誘導成分Ｌおよび合成容量成分Ｃにより、１／（２π×（ＬＣ）＾０．５）で与えられる。ダンピング抵抗５４の抵抗値は、当該共振周波数における合成誘導成分Ｌおよび合成容量成分Ｃのインピーダンスにより定められてよい。共振周波数における当該インピーダンスは、（Ｌ／Ｃ）＾０．５で与えられる。ダンピング抵抗５４の抵抗値は、直列共振回路の合成抵抗値が、２×（Ｌ／Ｃ）＾０．５となるように定められてよい。
【００８８】
図１３は、ダンピング抵抗５４として、抵抗５８と同程度の抵抗値の抵抗を用いた場合の、被試験デバイス２００への電流経路における抵抗成分Ｒ４に流れる電流を示す。本例において、インダクタンスＬ４、インダクタ５６およびインダクタ６６のインダクタンスをそれぞれ０．５ｎＨ、中間コンデンサ５０のキャパシタンスを２μＦ、小容量コンデンサ４８のキャパシタンスを０．２μＦ、抵抗Ｒ４の抵抗値を２ｍΩ、ダンピング抵抗５４および抵抗５８の抵抗値を５ｍΩとする。この場合、中間コンデンサ５０および小容量コンデンサ４８の間に流れる電流に、大きな共振成分が含まれてしまう。
【００８９】
図１４は、ダンピング抵抗５４として、抵抗５８よりも２０倍程度大きな抵抗値の抵抗を用いた場合の、被試験デバイス２００への電流経路における抵抗成分Ｒ４に流れる電流を示す。本例の各素子の特性値は、ダンピング抵抗５４の抵抗値を８５ｍΩとした点を除き、図１３に関連して説明した各素子の特性値と同一である。図１４に示すように、ダンピング抵抗５４により、被試験デバイス２００に流れる電流における共振成分を低減することができる。ダンピング抵抗５４は、抵抗５８よりも大きい抵抗値を有してよい。
【００９０】
図１５は、試験装置１００の他の構成例を示す。本例の試験装置１００は、図１に関連して説明した試験装置１００の構成に加え、付加回路１１０を更に備える。付加回路１１０は、図２に関連して説明した回路構成の一部を備え、試験用ボード１０に固定される。
【００９１】
例えば付加回路１１０は、試験用ボード１０におけるボード配線２２と電気的に接続される。付加回路１１０は、試験用ボード１０において被試験デバイス２００が載置される面の裏面に固定されてよい。また、付加回路１１０は、試験用ボード１０の表面に設けられるボード配線２２と、ビア配線１４を介して電気的に接続されてよい。ビア配線１４は、試験用ボード１０の表面から裏面まで貫通して設けられる。
【００９２】
付加回路１１０は、伝送路２０の一部を有してよい。この場合、試験用ボード１０におけるボード配線２２と、付加回路１１０における伝送路２０が直列に接続される。例えばボード配線２２は、試験用ボード１０において一部が切断されて設けられ、切断されたボード配線２２の間に、付加回路１１０が電気的に直列に接続される。
【００９３】
図１６は、付加回路１１０の構成例を示す。本例の付加回路１１０は、伝送路２０の一部、中間コンデンサ５０、充放電電流測定部９０、および、スイッチ５２を有する。付加回路１１０における伝送路２０が、ボード配線２２の切断箇所に挿入されるように、伝送路２０の両端は、ビア配線１４を介して、ボード配線２２に電気的に接続される。
【００９４】
中間コンデンサ５０、充放電電流測定部９０、および、スイッチ５２は、図２に関連して説明した中間コンデンサ５０、充放電電流測定部９０、および、スイッチ５２と同一である。充放電電流測定部９０は、測定した電流Ｉ２を、試験モジュール４０に設けられた負荷電流算出部９８に通知する。
【００９５】
このような付加回路１１０を、中間コンデンサ５０および充放電電流測定部９０を備えない試験装置に付加することで、当該試験装置を、図１から図１６に関連して説明した試験装置１００として機能させることができる。付加回路１１０の取り付けは、上述したようにボード配線２２を切断し、当該切断箇所に付加回路１１０を電気的に挿入することで、容易に実現できる。
【００９６】
なお付加回路１１０の構成は、図１６に示した構成に限定されない。付加回路１１０は、図２に示した１または複数の構成要素を更に備えてもよい。より具体的には、付加回路１１０は、電源電流測定部６０、中速電流供給部４９、および、小容量コンデンサ４８のうちの１つまたは複数を更に有してよい。
【００９７】
また、試験用ボード１０が、図１６に示した構成を備えてもよい。例えば試験用ボード１０は、伝送路２０の一部、中間コンデンサ５０、充放電電流測定部９０、および、スイッチ５２を有する。また、試験用ボード１０は、電源電流測定部６０、中速電流供給部４９、および、小容量コンデンサ４８のうちの１つまたは複数を更に有してよい。
【００９８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００９９】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【０１００】
１０・・・試験用ボード、１２・・・テストヘッド、１４・・・ビア配線、２０・・・伝送路、２２・・・ボード配線、２４・・・接続コネクタ、２６・・・ケーブル、２８・・・モジュール配線、３０・・・電源、３２・・・微小電流測定部、４０・・・試験モジュール、４２・・・検出ライン、４４・・・大容量コンデンサ、４６・・・スイッチ、４８・・・小容量コンデンサ、４９・・・中速電流供給部、５０・・・中間コンデンサ、５２・・・スイッチ、５４・・・ダンピング抵抗、５６、６６・・・インダクタ、５８・・・抵抗、６０・・・電源電流測定部、６２・・・第１検出抵抗、６４、９２・・・差動回路、７０、７２・・・抵抗、７４、７８・・・トランジスタ、７６、８０・・・ダイオード、９０・・・充放電電流測定部、９１・・・第２検出抵抗、９３・・・電圧測定部、９４・・・微分算出部、９５・・・電流算出部、９８・・・負荷電流算出部、１００・・・試験装置、１１０・・・付加回路、１２０・・・ピーク検出部、１２２・・・レベル比較部、１２４・・・ピークカウンタ、１２６・・・レベル検出部、１２８・・・選択部、１３０・・・判定部、１３２・・・平均値測定部、１３４・・・閾値生成部、１３６・・・オフセット加算部、１３８・・・レンジ制御部、１４０・・・設定部、１５０・・・電流測定部、２００・・・被試験デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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