(57)【要約】  パージ装置においてパージ動作時間を短縮する。ポッドオープナ（２１）は、ポッドカバー（５）と開閉自在な底蓋（７）とを有するレチクルポッド（１）内に清浄ガスを供給および排出してパージを行うための装置であって、ステージ（２５）と、昇降駆動機構（４１）と、ラッチ機構（１３）と、給排部（４９）とを備えている。ステージ（２５）は、底蓋（７）をポッドカバー（５）から取り外しおよび取り付け可能である。昇降駆動機構（４１）は、ステージ（２５）を移動可能である。ラッチ機構（１３）は、底蓋（７）をポッドカバー（５）に脱落不能に固定および固定を解除するラッチ部材（１５）を動作させる。給排部（４９）は、ラッチ部材（１５）が底蓋（７）をポッドカバー（５）に固定する動作を完了する前に、パージを開始する。
2010131414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と開閉自在な蓋とを有する容器を清浄ガスを用いてパージするためのパージ装置であって、
前記容器本体に前記蓋を取り付けおよび前記蓋が前記容器本体から離脱可能なときに前記蓋を取り外し可能な脱着部と、
前記脱着部を前記容器に対して移動させる移動機構と、
前記蓋を前記容器本体に固定および固定を解除する固定部材と、
前記固定部材を駆動する駆動機構と、
前記蓋を前記容器本体に取り付ける動作において、前記駆動機構が前記固定部材によって前記蓋を前記容器本体に固定する動作を完了する前に、前記容器のパージを開始するガス給排機構と、
を備えたパージ装置。
【請求項２】
前記蓋は鉛直方向に前記容器本体と着脱可能になっており、
前記蓋は、前記ガス給排機構に接続されるポートを有している、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項３】
前記蓋部材の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了する前に前記蓋の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項４】
前記蓋部材の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了した時に、前記容器のパージを開始する、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項５】
前記蓋部材の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了する前に前記蓋の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項６】
前記蓋部材の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了した時に、前記容器のパージを開始する、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項７】
前記固定部材の位置を検出するための第２検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記駆動機構が前記固定部材を駆動した後の前記固定部材の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項８】
前記固定部材の位置を検出するための第２検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記駆動機構が前記固定部材を駆動した後の前記固定部材の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項９】
容器本体と開閉自在な蓋とを有する容器を清浄ガスを用いてパージするためのパージ方法であって、
前記蓋が前記容器本体から離れた状態から、前記蓋を前記容器本体に取り付ける取付ステップと、
前記取付ステップ後に、前記蓋を前記容器本体に固定する固定ステップと、
前記固定ステップが完了する前に、前記容器のパージを開始するパージ開始ステップと、
を備えたパージ方法。
【請求項１０】
前記パージは、前記取付ステップ中において、前記蓋が前記容器本体に取り付けられる前に開始される、請求項９に記載のパージ方法。
【請求項１１】
前記パージは、前記蓋が前記容器本体に取り付けられた時に開始される、請求項９に記載のパージ方法。
【請求項１２】
前記パージは、前記固定ステップの途中で開始される、請求項９に記載のパージ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パージ装置およびパージ方法に関し、特に、開閉自在な蓋を有する容器内に清浄ガスを供給および排出してパージを行うためのパージ装置およびパージ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造におけるフォトマスク、ガラス基板、ウェハ、レチクル等の基板を搬送、保管させるための基板保持容器として、例えば、ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）ポッドが知られている。ＳＭＩＦポッドは、ポッドカバーと、開閉自在な蓋とを有している。搬送・保管時には、蓋がポッドカバーに閉じられることで、ＳＭＩＦポッドは密閉状態になって内部への塵埃侵入が防止されている。
蓋をポッドカバーに固定するために、ラッチ機構が設けられている。したがって、基板の搬送・保管時には、蓋はラッチ機構によって固定されている。基板の取り出し時には、ラッチ機構の固定が解除され、そのため蓋はポッドカバーから離脱可能になる。【０００３】
ＳＭＩＦポッド状に基板を搬入したり、取り出したりする際に、ＳＭＩＦポッドの開閉を自動的に行う開閉装置も知られている。開閉装置は、ＳＭＩＦポッドが搭載されるステージと、ステージを上下方向に駆動するための昇降駆動機構とを有している。ステージには、ＳＭＩＦポッドを所定位置に位置決めするためのピンが設けられている。さらに、開閉装置は、ラッチ機構を操作して、ラッチ機構の固定・固定解除動作を行うためのラッチ操作機構を有している。
なお、クリーンストッカ内の開閉装置が特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３０９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
開閉装置は、ステージにポッドが搭載されると、最初に、ラッチ操作機構によってラッチ機構のラッチを解除する。次に、昇降駆動機構がステージを降下させる。これにより、蓋が基板と共に下方に移動する。蓋が所定位置まで下降すると、ロボットが基板を処理装置側に搬送する。処理後の基板は、ロボットによりステージ上に戻される。すると、昇降駆動機構がステージを上昇させる。これにより、蓋が基板と共に上方に移動する。蓋がポッドカバーに嵌ると、次にラッチ操作機構がラッチ機構のラッチを掛ける。【０００６】
開閉装置は、さらに、パージ機構を有している。パージ機構は、ポッド内部を窒素等の不活性な気体により置換するための機構である。これにより、基板表面における自然酸化等の化学変化または有機汚染の発生が抑えられている。
より具体的には、パージ機構は、ガス供給タンクと、供給管と、排出管と、開閉バルブと、流量調整バルブとを有している。供給管は、ポッドの供給ポートに接続されており、ガス供給タンクからのガスを容器内に提供する。排出管は、ポッドの排出ポートに接続されており、ポッド内のガスを外部に排出する。開閉バルブおよび流量調整バルブは、必要に応じて、供給管および排出管に設けられている。
処理後の基板が蓋の上に搭載されると、次に、蓋と共に基板が上昇させられて、蓋がポッドカバーに嵌め込まれる。さらにラッチ機構によるラッチがされて、蓋がポッドカバーに固定される。その後、パージ機構がポッド内をパージする。したがって、比較的パージ動作時間が長くかかり、基板が収納されたポッドを次の装置に早期に搬送するという要請に応えることができない場合がある。【０００７】
本発明の課題は、パージ動作時間を短縮することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下に、課題を解決するための手段を説明する。以下に手段として説明する複数の態様は、必要に応じて任意に組み合わせることができる。
本発明に係るパージ装置は、容器本体と開閉自在な蓋とを有する容器を清浄ガスを用いてパージするための装置であって、脱着部と、移動機構と、固定部材と、駆動機構と、ガス給排機構とを備えている。脱着部は、容器本体に蓋を取り付けおよび蓋が容器本体から離脱可能なときに蓋を取り外し可能である。移動機構は、脱着部を容器本体に対して移動させる。固定部材は、蓋を容器本体に固定および固定を解除する。駆動機構は、固定部材を駆動する。ガス給排機構は、蓋を容器本体に取り付ける動作において、駆動機構が固定部材によって蓋を容器本体に固定する動作を完了する前に、容器のパージを開始する。
このパージ装置では、移動機構が脱着部を容器本体側に移動させると、やがて蓋が容器本体に取り付けられる。ガス給排機構は、駆動機構が固定部材によって蓋を容器本体に固定する動作が完了する前に、容器のパージを開始する。したがって、容器内のパージを効率よく行うことができ、容器へのパージ動作時間が短縮される。
なお、ガス給排機構は、固定部材が固定を完了する前であればパージ動作をいつ開始してもよい。【０００９】
蓋は鉛直方向に容器本体と着脱可能になっており、蓋は、ガス給排機構に接続されるポートを有してもよい。
この装置では、蓋に設けられたポートから容器内に清浄ガスが供給され、さらに排出される。したがって、蓋を容器本体に取り付ける動作が完了する前からパージを行っても効率よくパージを実行できる。【００１０】
蓋部材の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、ガス給排機構は、移動機構が蓋を容器本体に取り付け完了する前に蓋の位置に基づいて、容器のパージを開始してもよい。【００１１】
蓋部材の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、ガス給排機構は、移動機構が蓋を容器本体に取り付け完了した時に、容器のパージを開始してもよい。【００１２】
固定部材の位置を検出するための第２検出器をさらに備え、ガス給排機構は、駆動機構が固定部材を駆動した後の固定部材の位置に基づいて、容器のパージを開始してもよい。【００１３】
固定部材の位置を検出するための第２検出器をさらに備え、ガス給排機構は、駆動機構が固定部材を駆動した後の固定部材の位置に基づいて、容器のパージを開始してもよい。【００１４】
容器本体と開閉自在な蓋とを有する容器を清浄ガスを用いてパージするためのパージ方法である。パージ方法は、以下のステップを備えている。
◎蓋が容器本体から離れた状態から、蓋を容器本体に取り付ける取付ステップ
◎取付ステップ後に、蓋を容器本体に固定する固定ステップ
◎固定ステップが完了する前に、容器のパージを開始するパージ開始ステップ
このパージ方法では、取付ステップにおいて、蓋が容器本体に取り付けられる。続いて固定ステップが実行されるが、固定ステップが完了する前に、容器のパージが開始される。したがって、容器内のパージを効率よく行うことができ、容器へのパージ動作時間が短縮される。
なお、パージ動作は、固定ステップが完了する前であればいつ開始されてもよい。【００１５】
パージは、取付ステップ中において、蓋が容器本体に取り付けられる前に開始されてもよい。【００１６】
パージは、蓋が容器本体に取り付けられた時に開始されてもよい。【００１７】
パージは、固定ステップの途中で開始されてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るパージ装置およびパージ方法では、パージ動作時間が短縮される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】レチクルポッドおよびポッドオープナの斜視図。
【図２】レチクルポッドのポッドカバーと底蓋を示す分解斜視図。
【図３】レチクルポッドの底面図。
【図４】ポッドオープナの斜視図。
【図５】ポッドオープナの内部構造の模式図。
【図６】ポッドオープナの内部構造の模式図。
【図７】ラッチ機構の部分拡大図。
【図８】ポッドオープナの制御構成を示すブロック図。
【図９】カバーオープン動作の制御を示すフローチャート。
【図１０】カバークローズ動作の制御を示すフローチャート。
【図１１】第２実施形態におけるカバークローズ動作の制御を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の一実施形態としてのレチクルポッド１およびポッドオープナ２１について説明する。
【００２１】
（１）レチクルポッド
図１〜図３を用いて、レチクルポッド１を説明する。図１はレチクルポッドおよびポッドオープナの斜視図であり、図２はレチクルポッドのポッドカバーと底蓋を示す分解斜視図であり、図３はレチクルポッドの底面図である。
【００２２】
レチクルポッド１は、レチクル３を密閉状態で収納するための容器であり、他の装置によって搬送される。レチクル３は、ＬＳＩの製造工程で、ウェハ上に回路パターンを露光するための使用するフォトマスクである。レチクルポッド１は、ポッドカバー５と、底蓋７とを有している。底蓋７はポッドカバー５から着脱自在である。
【００２３】
より詳細には、ポッドカバー５は、図に示すように、比較的平たい部材であり、上面と側面とを有しているが、底部が開放された箱形の部材である。底蓋７は、ポッドカバー５に下方から嵌ってポッドカバー５の底部を構成するようにポッドカバー５を密閉する。底蓋７は、ポッドカバー５に対して鉛直方向に着脱可能である。
【００２４】
底蓋７の上面には、レチクル３が載置されるレチクル載置部９が設けられている。さらに、底蓋７の下面には、ポッドオープナ２１の位置決めピン２４が挿入される３つの位置決め孔１１が設けられている。
【００２５】
レチクルポッド１は、さらに、ラッチ機構１３を有している。ラッチ機構１３は、主に、ポッドカバー５の底面となる辺部１４に設けられ、内側にスライド可能なラッチ部材１５を有している。ラッチ部材１５は、図３および図７に示すように、ポッドカバー５の底面に設けられた溝部１７内に配置され、所定範囲で内側と外側に移動可能である。底蓋７の底面には、溝部１７に対応した位置に溝部１９が設けられている。ラッチ部材１５は、内側に移動したときに溝部１９内に移動可能である。このようにして、ラッチ部材１５が外側に移動した状態ではラッチ部材１５は溝部１９から外れており、底蓋７はポッドカバー５から離脱可能である。また、ラッチ部材１５が内側に移動した状態では、ラッチ部材１５は一部が溝部１９内に挿入されており、底蓋７は容器本体から離脱不能である。なお、ラッチ部材１５には、係合孔２０が設けられている（後述）。なお、ラッチ部材１５は図示しない付勢部材によって常に溝部１９に係合するように付勢されている。
【００２６】
（２）ポッドオープナ
ポッドオープナ２１は、例えば、半導体工場や液晶工場等のクリーンルーム内に設置されたクリーンストッカに用いられる。ポッドオープナ２１は、レチクルポッド１の底蓋７を開いて、図示しないロボットがレチクル３を処理装置に搬送することを可能にする。また、ポッドオープナ２１は、図示しないロボットが搬送してきた処理後のレチクル３をポッドカバー５内に戻す。
【００２７】
ポッドオープナ２１の構造について説明する。ポッドオープナ２１は、箱状の筐体２３と、ステージ２５とを有している。筐体２３の上面には、四角形の開口部２７が形成されている。ステージ２５は、開口部２７と同等の形状を有しており、図４に示すように、開口部２７を構成する上側辺部２９と概ね同一の平面を構成する位置に配置されている。図４は、ポッドオープナの斜視図である。
筐体２３内には図示しないファンが設けられており、ファンがクリーンストッカ内の清浄なエアを吸引することで筐体２３内を清浄に保っている。
【００２８】
レチクルポッド１がポッドオープナ２１の上部に載置されるとき、底蓋７はステージ２５の上面に載置され位置決めピン２４と位置決め孔１１の係合により位置決めされ、ポッドカバー５の底部となる辺部１４は筐体２３の上側辺部２９の上に載置される。この状態で、ラッチ駆動機構６３のラッチ操作ピン６４がラッチ部材１５の係合孔２０に挿入される。なお、ラッチ駆動機構６３の他の機構（図示せず）はラッチ操作ピン６４を外側と内側に移動させることができ、それによりラッチ部材１５が外側と内側に移動する。
また、図７に示すように、なお、ラッチ部材１５の移動状態を検出するための第１ラッチセンサ６５および第２ラッチセンサ６６が設けられている。第１ラッチセンサ６５は、ラッチ部材１５が外側に移動してラッチが解除された状態を検出するためのセンサである。第２ラッチセンサ６６は、ラッチ部材１５が内側に移動してラッチが掛かっている状態を検出するためのセンサである。
【００２９】
底蓋７には、上下面に貫通する第１供給孔３１および第１排出孔３３が形成されている。この第１供給孔３１および第１排出孔３３には、図示しない逆止め弁やフィルタが配置され、外部の汚れた空気が内部に入りにくくなっている。さらに、ステージ２５には、第１供給孔３１および第１排出孔３３に対応した位置に第２供給孔３５および第２排出孔３７がそれぞれ形成されている。第１供給孔３１と第１排出孔３３は第２供給孔３５および第２排出孔３７に対して一致しており、図示していない連結構造によって互いに連結されている。
【００３０】
ステージ２５には、レチクルポッド１が搭載されたことを検出するためのポッド搭載センサ７１（図８）が設けられている。
【００３１】
ポッドオープナ２１は、さらにステージ２５を昇降させるための昇降駆動機構４１を有している。昇降駆動機構４１は、シリンダ機構であり、ステージ２５の下面に固定されたロッド４３と、ロッド４３を駆動するシリンダ駆動部４５とを有している。昇降駆動機構４１によって、ステージ２５は図５に示す上方位置と図６に示す下方位置との間で移動可能である。図５および図６は、ポッドオープナの内部構造の模式図である。
【００３２】
筐体２３内には、第１位置センサ６７と第２位置センサ６９が設けられている。第１位置センサ６７はステージ２５が上方位置にあることを検出するためのセンサであり、第２位置センサ６９はステージ２５が下方位置にあることを検出するためのセンサである。より詳細には、第１位置センサ６７は、ステージ２５が高い位置（底蓋７がポッドカバー５に嵌る直前または嵌ったときの位置）にあるときに検出信号を発生する。第２位置センサ６９は、ステージ２５が最も低い位置（ロボットがレチクル３を搬送可能である）にあるときに検出信号を発生する。
【００３３】
（３）パージ装置
給排部４９は、ポッドオープナ２１に組み込まれており、レチクルポッド１内を清浄なエアでパージするための装置である。
【００３４】
給排部４９は、レチクルポッド１内を所定のエア（例えば、クリーンドライエアやＮ２等の不活性ガス）でパージする。給排部４９は、エア供給タンク５１と、エア供給管５３とを有している。エア供給タンク５１は、例えば、クリーンドライエアを内部に有している。エア供給管５３は、エア供給タンク５１からステージ２５の第２供給孔３５に接続されている。さらに、エア供給管５３の途中には、流量調整バルブ５５と、開閉バルブ５７が設けられている。
【００３５】
この実施形態では、第２排出孔３７は筐体２３内に開口している。第２排出孔３７に排出管を接続して、筐体２３の外部にエアを排出するようにしてもよい。さらに、排出管に排気用ポンプを接続して積極的に排気するようにしてもよい。
なお、図には記載していないが、各部材同士の接触部分にはシールが設けられている。
【００３６】
（４）制御構成
図８を用いて、ポッドオープナ２１の制御構成を説明する。図８は、ポッドオープナの制御構成を示すブロック図である。
【００３７】
制御部６１は、コンピュータであり、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等のハードウェアを有しており、プログラムの命令を実行することによって、各種制御動作を行う。制御部６１は、各機能として、昇降駆動部６１ａ、ガス給排制御部６１ｂ、ラッチ制御部６１ｃを有している。
【００３８】
制御部６１は、昇降駆動機構４１、流量調整バルブ５５、開閉バルブ５７、ラッチ駆動機構６３に接続されており、これらに制御信号を送信可能である。
【００３９】
さらに、制御部６１は、第１ラッチセンサ６５、第２ラッチセンサ６６、第１位置センサ６７および第２位置センサ６９、ポッド搭載センサ７１、およびレチクル搭載センサ７３に接続されており、これらからの検出信号を受信可能である。
【００４０】
（５）カバーオープン動作の制御
図９を用いて、底蓋７を開くことでレチクル３を処理装置側に搬送可能にする制御動作について説明する。図９は、カバーオープン動作の制御を示すフローチャートである。以下、制御部６１の動作を説明する。
【００４１】
最初の段階では、ステージ２５は図５に示すように最も高い位置に配置されている。
ステップＳ１では、レチクルポッド１がポッドオープナ２１の上面に搭載されるのを待つ。制御部６１がポッド搭載センサ７１からの検出信号を受信すると、ステップＳ２に移行する。
【００４２】
ステップＳ２では、制御部６１のラッチ制御部６１ｃは、ラッチ駆動機構６３に対してラッチ解除信号を送信する。これにより、ラッチ駆動機構６３はラッチ部材１５を駆動してラッチを解除する。
【００４３】
ステップＳ３では、制御部６１の昇降駆動部６１ａは、昇降駆動機構４１に対して下降動作信号を送信する。これにより、昇降駆動機構４１はステージ２５を下方に移動させる。このとき、ステージ２５とともにレチクル３が下方に移動して、ポッドカバー５からさらに下方に取り出される。
【００４４】
ステップＳ４では、ステージ２５が所定位置に到達するのを待つ。制御部６１が第２位置センサ６９からの検出信号を受信すると、ステップＳ４に移行する。
【００４５】
ステップＳ５では、制御部６１の昇降駆動部６１ａは、昇降駆動機構４１に下降停止信号を送信する。これにより、昇降駆動機構４１はステージ２５の下降動作を停止する。この結果、図６に示す状態になる。
【００４６】
この状態で、図示しないロボットがレチクル３を処理装置に搬送して、処理装置がレチクル３に処理を実行する。
【００４７】
（６）カバークローズ動作の制御
図１０を用いて、底蓋７を閉じることでレチクル３をレチクルポッド１内に収納する制御動作について説明する。図１０は、カバークローズ動作の制御を示すフローチャートである。
【００４８】
最初の段階では、ステージ２５は図６に示すように最も低い位置に配置されており、ステージ２５の上面には底蓋７は搭載されているが、底蓋７にはレチクル３が搭載されていない。
ステップＳ１１では、ロボットがレチクル３を底蓋７の上に戻すのを待つ。制御部６１がレチクル搭載センサ７３からのレチクル検出信号を受信すると、ステップＳ１２に移行する。
【００４９】
ステップＳ１２では、制御部６１の昇降駆動部６１ａが昇降駆動機構４１に上昇動作開始信号を送信する。これにより、昇降駆動機構４１がステージ２５を上昇させる。
【００５０】
ステップＳ１３では、第１位置センサ６７がステージ２５を検出するのを待つ。制御部６１が第１位置センサ６７からの検出信号を受信すると、ステップＳ１４に移行する。
【００５１】
ステップＳ１４では、制御部６１のガス給排制御部６１ｂが開閉バルブ５７に開通動作信号を送信する。これにより、給排部４９のエア供給タンク５１からクリーンドライエアがレチクルポッド１内に供給開始される。つまり、底蓋７がポッドカバー５に嵌る前に、パージ動作が開始される。
【００５２】
ステップＳ１５では、制御部６１の昇降駆動部６１ａは昇降駆動機構４１に上昇動作停止信号を送信する。これにより、昇降駆動機構４１はステージ２５の移動を停止する。
【００５３】
ステップＳ１６では、制御部６１のラッチ制御部６１ｃは、ラッチ駆動機構６３にラッチ動作信号を送信する。これにより、ラッチ駆動機構６３はラッチ操作ピン６４によってラッチ部材１５を内側に移動させる。これにより、ラッチ部材１５は底蓋７の溝部１９に係合し、底蓋７はポッドカバー５に固定される。
【００５４】
ステップＳ１７では、制御部６１は、クリーンドライエア供給開始から所定時間が経過するのを待つ。所定時間が経過すると、ステップＳ１８に移行する。なお、パージ動作中には、レチクルポッド１内の圧力を測定して、圧力が所定値になるように流量調整バルブ５５を制御してもよい。
【００５５】
ステップＳ１８では、制御部６１のガス給排制御部６１ｂは、開閉バルブ５７に閉鎖信号を送信する。これにより、給排部４９のエア供給タンク５１からのクリーンドライエアのレチクルポッド１内への供給が停止される。
【００５６】
以上に述べた制御動作では、パージ動作は、底蓋７がポッドカバー５に嵌る前に開始されている。したがって、レチクルポッド１内のパージを効率よく行うことができ、レチクルポッド１へのパージ動作時間が短縮される。この結果、レチクルポッド１を早くポッドオープナ２１から他の装置に移動させることができる。また、ガス供給量を少なくできる。
なお、パージ開始タイミングは、底蓋７がポッドカバー５に嵌る瞬間、嵌る直前であってもよいし、さらには嵌る数秒前であってもよい。
【００５７】
（７）第２実施形態
図１１を用いて、他の実施形態における、底蓋７を閉じることでレチクル３をレチクルポッド１内に収納する制御動作について説明する。図１１は、第２実施形態におけるカバークローズ動作の制御を示すフローチャートである。なお、図１０と動作内容が同じステップには同じ符号を用いている。
【００５８】
ステップＳ１１では、ロボットがレチクル３をステージ２５の上に戻すのを待つ。制御部６１がレチクル搭載センサ７３からレチクル検出信号を受信すると、ステップＳ１２に移行する。
【００５９】
ステップＳ１２では、制御部６１の昇降駆動部６１ａが昇降駆動機構４１に上昇動作開始信号を送信する。これにより、昇降駆動機構４１がステージ２５を上昇させる。
【００６０】
ステップＳ１９では、第１位置センサ６７がステージ２５を検出するのを待つ。制御部６１が第１位置センサ６７からの検出信号を受信すると、ステップＳ１５に移行する。
【００６１】
ステップＳ１５では、制御部６１の昇降駆動部６１ａは昇降駆動機構４１に上昇動作停止信号を送信する。これにより、昇降駆動機構４１はステージ２５の移動を停止する。
【００６２】
ステップＳ２０では、制御部６１のラッチ制御部６１ｃは、ラッチ駆動機構６３にラッチ動作信号を送信する。これにより、ラッチ駆動機構６３はラッチ操作ピン６４によってラッチ部材１５を内側に移動させる。これにより、ラッチ部材１５は底蓋７の溝部１９に係合する。これにより、底蓋７はポッドカバー５に固定される。
【００６３】
ステップＳ１４では、ラッチ部材１５の上述のラッチ動作が完了する前に（ラッチ部材１５が最も内側に移動する前に）、制御部６１のガス給排制御部６１ｂが開閉バルブ５７に開通動作信号を送信する。具体的には、ラッチ部材１５のラッチ動作中に第２ラッチセンサ６６からの検出信号を受信することで、制御部６１のガス給排制御部６１ｂが開閉バルブ５７を開かせる。これにより、底蓋７がポッドカバー５に嵌った後ではあるがラッチ動作が終了する前に、給排部４９のエア供給タンク５１からクリーンドライエアがレチクルポッド１内に供給開始される。
【００６４】
ステップＳ１７では、制御部６１は、クリーンドライエア供給開始から所定時間が経過するのを待つ。所定時間が経過すると、ステップＳ１８に移行する。
【００６５】
ステップＳ１８では、制御部６１のガス給排制御部６１ｂは、制御部６１が開閉バルブ５７に閉鎖信号を送信する。これにより、給排部４９のエア供給タンク５１からのクリーンドライエアのレチクルポッド１内への供給が停止される。
【００６６】
以上に述べた制御動作では、パージ動作は、底蓋７がポッドカバー５に嵌った後ではあるがラッチ動作が終了する前に開始されている。したがって、レチクルポッド１内のパージを効率よく行うことができ、レチクルポッド１へのパージ動作時間が短縮される。この結果、レチクルポッド１を早くポッドオープナ２１から他の装置に移動させることができる。また、ガス供給量を少なくできる。
【００６７】
（８）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
【００６８】
前記実施形態ではレチクルポッドは一枚のレチクルを保持するタイプであったが、複数枚のレチクルを収納するカセットを保持するタイプであってもよい。
前記実施形態ではポッドはレチクルポッドであったが、他の物品を収納するポッドであってもよい。例えば、物品は、フォトマスク、ガラス基板、半導体ウェハでもよい。
前記実施形態ではカバーに設けられた供給孔と排出孔は一つずつであるが、複数であってもよい。
前記実施形態に用いられた各種センサは、透過型や反射型の光電センサであってもよいし、近接センサやリミットスイッチであってもよい。センサの種類は特に限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、開閉自在な蓋を有する容器内に清浄ガスを供給および排出してパージを行うためのパージ装置およびパージ方法に、広く適用できる。
【符号の説明】
【００７０】
１      レチクルポッド（容器）
３      レチクル
５      ポッドカバー（容器本体）
７      底蓋（蓋）
９      レチクル載置部
１１    位置決め孔
１３    ラッチ機構（駆動機構）
１４    辺部
１５    ラッチ部材（固定部材）
１７    溝部
１９    溝部
２０    係合孔
２１    ポッドオープナ（パージ装置）
２３    筐体
２４    位置決めピン
２５    ステージ（脱着部）
２７    開口部
２９    上側辺部
３１    第１供給孔（ポート）
３３    第１排出孔（ポート）
３５    第２供給孔
３７    第２排出孔
４１    昇降駆動機構（移動機構）
４３    ロッド
４５    シリンダ駆動部
４９    給排部（ガス給排機構）
５１    エア供給タンク
５３    エア供給管
５５    流量調整バルブ
５７    開閉バルブ
６１    制御部
６３    ラッチ駆動機構
６４    ラッチ操作ピン
６５    第１ラッチセンサ
６６    第２ラッチセンサ（検出器）
６７    第１位置センサ
６９    第２位置センサ
７１    ポッド搭載センサ
７３    レチクル搭載センサ
【図１】
2010131414.tif 000003
【図２】
2010131414.tif 000004
【図３】
2010131414.tif 000005
【図４】
2010131414.tif 000006
【図５】
2010131414.tif 000007
【図６】
2010131414.tif 000008
【図７】
2010131414.tif 000009
【図８】
2010131414.tif 000010
【図９】
2010131414.tif 000011
【図１０】
2010131414.tif 000012
【図１１】
2010131414.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成23年11月9日(2011.11.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と開閉自在な蓋とを有する容器を清浄ガスを用いてパージするためのパージ装置であって、
前記容器本体に前記蓋を取り付けおよび前記蓋が前記容器本体から離脱可能なときに前記蓋を取り外し可能な脱着部と、
前記脱着部を前記容器に対して移動させる移動機構と、
前記蓋を前記容器本体に固定および固定を解除する固定部材と、
前記固定部材を駆動する駆動機構と、
前記蓋を前記容器本体に取り付ける動作において、前記駆動機構が前記固定部材によって前記蓋を前記容器本体に固定する動作を完了する前に、前記容器のパージを開始するガス給排機構と、
を備えたパージ装置。
【請求項２】
前記蓋は鉛直方向に前記容器本体と着脱可能になっており、
前記蓋は、前記ガス給排機構に接続されるポートを有している、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項３】
前記蓋の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了する前に前記蓋の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項４】
前記蓋の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了した時に、前記容器のパージを開始する、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項５】
前記蓋の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了する前に前記蓋の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項６】
前記蓋の位置を検出するための第１検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記移動機構が前記蓋を前記容器本体に取り付け完了した時に、前記容器のパージを開始する、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項７】
前記固定部材の位置を検出するための第２検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記駆動機構が前記固定部材を駆動した後の前記固定部材の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項１に記載のパージ装置。
【請求項８】
前記固定部材の位置を検出するための第２検出器をさらに備え、
前記ガス給排機構は、前記駆動機構が前記固定部材を駆動した後の前記固定部材の位置に基づいて、前記容器のパージを開始する、請求項２に記載のパージ装置。
【請求項９】
容器本体と開閉自在な蓋とを有する容器を清浄ガスを用いてパージするためのパージ方法であって、
前記蓋が前記容器本体から離れた状態から、前記蓋を前記容器本体に取り付ける取付ステップと、
前記取付ステップ後に、前記蓋を前記容器本体に固定する固定ステップと、
前記固定ステップが完了する前に、前記容器のパージを開始するパージ開始ステップと、
を備えたパージ方法。
【請求項１０】
前記パージは、前記取付ステップ中において、前記蓋が前記容器本体に取り付けられる前に開始される、請求項９に記載のパージ方法。
【請求項１１】
前記パージは、前記蓋が前記容器本体に取り付けられた時に開始される、請求項９に記載のパージ方法。
【請求項１２】
前記パージは、前記固定ステップの途中で開始される、請求項９に記載のパージ方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
筐体２３内には、第１位置センサ６７と第２位置センサ６９が設けられている。第１位置センサ６７はステージ２５が上方位置にあることを検出するためのセンサであり、第２位置センサ６９はステージ２５が下方位置にあることを検出するためのセンサである。より詳細には、第１位置センサ６７は、ステージ２５が高い位置（底蓋７がポッドカバー５に嵌る直前または嵌ったときの位置）にあるときに検出信号を発生する。第２位置センサ６９は、ステージ２５が最も低い位置（ロボットがレチクル３を搬送可能である）にあるときに検出信号を出力する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
ステップＳ４では、ステージ２５が所定位置に到達するのを待つ。制御部６１が第２位置センサ６９からの検出信号を受信すると、ステップＳ５に移行する。
【国際調査報告】
2010131414.tif 000014
2010131414.tif 000015