【事件の表示】
　特許第３１０００８６号「スピナー」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１０００８６号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　特許第３１０００８６号の請求項１に係る発明は、平成３年１２月９日に特許出願され、平成１２年８月１８日にその特許権の設定登録がなされ、その後、吉成迪夫より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年８月２７日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆いその内面がその周縁下部付近に形成した環状集液路に向って傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの少くとも外周付近の下方を覆う受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する排液受口と、前記受皿に設けられた排気受口と、前記回転盤カバーの外周付近の排気口を前記排気受口に気密かつ着脱可能に接続する排気接続管とを備えることを特徴とするスピナー。」とあるのを、「上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆うように形成され前記下カバーの上面および前記上カバーの下面が周縁下部付近に形成した環状集液路に向ってそれぞれ下降するように傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの下方を回転盤カバーから離れて覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持された受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の底に設けた排液口の下方に臨みこの排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する略ロート状の排液受口と、前記受皿に設けられ前記回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する排気受口と、前記回転盤カバーの外周面から前記環状集液路に開口する排気口を前記排気受口に気密かつ上方へ着脱可能に接続する排気接続管とを備えることを特徴とするスピナー。」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　明細書の段落【０００６】の一部である「前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆いその内面がその周縁下部付近に形成した環状集液路に向って傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの少くとも外周付近の下方を覆う受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する排液受口と、前記受皿に設けられた排気受口と、前記回転盤カバーの外周付近の排気口を前記排気受口に気密かつ着脱可能に接続する排気接続管」を、「前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆うように形成され前記下カバーの上面および前記上カバーの下面が周縁下部付近に形成した環状集液路に向ってそれぞれ下降するように傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの下方を回転盤カバーから離れて覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持された受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の底に設けた排液口の下方に臨みこの排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する略ロート状の排液受口と、前記受皿に設けられ前記回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する排気受口と、前記回転盤カバーの外周面から前記環状集液路に開口する排気口を前記排気受口に気密かつ上方へ着脱可能に接続する排気接続管」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　明細書の段落【００１５】の一部である「回転盤の少くとも下方および外周を覆うカバーの下方に受皿を配設し、この受皿に設けた排液受口にカバー側の排液口が臨むように、また排気受口に排気接続管を着脱可能に接続するものであるから、」を、「回転盤の少くとも下方および外周を覆うカバーの下方にこのカバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持し配設し、この受皿に設けた略ロート状の排液受口にカバー側の環状集液路の底に設けた排液口が臨むように、またカバーの外周より外側から上方に向かって開口する排気受口に排気接続管を上方から着脱可能に接続するものであるから、」と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　明細書の【図面の簡単な説明】の【符号の説明】において、「３６カバー」と「４２環状集液路」との間に、「３８下カバー」及び「４０上カバー」を挿入する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、
（イ）回転盤カバーに関して、下カバーに上カバーを取付けてこれら両カバーの対向する内面、すなわち下カバーの上面と上カバーの下面とが環状集液路に向って下降するように傾斜するものに限定するものであって、この点は、願書に添附した明細書又は図面（以下、「特許明細書」という。）の段落【０００９】及び【図１】に記載されている事項であり、
（ロ）受皿に関して、カバーから離れ、ベースフレームに保持され、外周が回転盤カバーより外側に突出しているものに限定するものであって、この点は、特許明細書の段落【００１２】及び【図１】〜【図２】に記載されている事項であり、
（ハ）排液受口に関して、回転盤カバーの環状集液路の底に設けた排液口の下方に臨んだ略ロート状のものに限定するものであって、この点は、特許明細書の段落【００１１】及び【図１】に記載されている事項であり、
（ニ）排気受口に関して、回転盤カバーの外周より外側から上方に向って開口するものに限定するものであって、この点は、特許明細書の段落【００１２】及び【図１】に記載されている事項であり、
（ホ）排気接続管に関して、回転盤カバーの外周面から環状集液路に開口する排気口を受皿側の排気口に気密かつ上方へ着脱可能に接続するものに限定するものであって、この点は、特許明細書の段落【００１２】及び【図１】に記載されている事項である。
　してみると、訂正事項ａは、特許明細書に記載された事項の範囲内において、回転盤カバー、受皿、排液受口、排気受口及び排気接続管の形状、構造、設置位置等を限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　また、上記訂正事項ｂ、ｃは、いずれも上記訂正事項ａとの整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　さらに、訂正事項ｄは、明細書の段落【０００９】等に記載されている「下カバー３８」及び「上カバー４０」を【符号の説明】に単に追加するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　申立人吉成迪夫は、甲第１号証（実願昭５６−７０７０９号（実開昭５７−１８３７４２号）のマイクロフィルム）、甲第２号証（特開昭６４−３９０２３号公報）及び参考文献（実願平１−１１７００９号（実開平３−５６１２８号）のマイクロフィルム）を提出し、本件特許の請求項１に係る発明は、甲第１〜２号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、したがって、請求項１に係る発明についての特許は、取り消すべきものである、旨主張している。
　
（２）本件発明
　上記「２．訂正の適否についての判断」で示したとおり、上記訂正は認められるから、本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである（「２．（１）ア．訂正事項ａ」を参照）。
　
（３）刊行物記載の発明
　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物１（実願昭５６−７０７０９号（実開昭５７−１８３７４２号）のマイクロフィルム：異議申立人の提出した甲第１号証）には、
（イ）「ウエハー表面に感光材を塗布する装置、すなわち感光剤塗布装置（スピンナー）」（明細書第２頁７行〜９行）、
（ロ）「皿状受皿１の中央に立設した回転軸２上端にデイスク３を固着し、該デイスク３上にシリコンウエハーを吸着載置し、これらをモータ４にて高速回転させながら、感光剤をウエハーに滴下し遠心力の作用で均一に塗布する。」（明細書第２頁１０行〜１４行）、
（ハ）「皿状受皿１を中央に孔５を有する受皿カバー６で覆い、また該受皿１底には排出口管７を複数個突設し、該排出口管にホース８を差込みホース８外周をクリツプ止めし、飛散した気液を真空ポンプで吸引しながら回収する。」（明細書第２頁１６行〜２０行）、
（ニ）「皿状受皿１の複数個の排出口管７は、該皿状受皿１の底部と同一形状にした板状下部受皿９に設けた短管１０に着脱自在に嵌挿し、該短管１０にホース８を差込み固着する。この皿状受皿１と板状下部受皿９との間には、パツキン１１を介在させ、両者を気密にしている。」（明細書第３頁２０行〜第４頁５行）、
（ホ）「本考案は、容器底部に突設した排出口管を、該容器の底部形状に即した下部受皿に設けた短管に着脱自在に嵌挿し」（明細書第４頁８行〜１０行）、
（ヘ）「容器にホースを直接固着していないので、容器とホースとをそれぞれ単独で取付け、取外しができ、個別に保守点検、たとえば洗浄ができるので作業能率が上る。」（明細書第４頁１３行〜１６行）
と記載されており、これらの記載及び第２〜３図の記載からみて、刊行物１には、
「上面にシリコンウエハーを保持しつつ垂直な回転軸２を中心として回転するデイスク３と、前記デイスク３の下方および外周を囲む皿状受皿１に上から受皿カバー６を取付けることにより前記デイスク３の上方を除く外周および下方を覆うように形成され前記受皿カバー６の下面が外周に向って下降するように傾斜する受皿カバー６及び皿状受皿１と、前記受皿カバー６及び皿状受皿１の下方を覆うと共に外周が前記受皿カバー６及び皿状受皿１より径方向外側へ突出するように保持された板状下部受皿９と、この板状下部受皿９に設けられ前記皿状受皿１の排出口管７から流下する感光剤の飛散した気液を受けて外部へ排出する短管１０と、前記皿状受皿１と前記板状下部受皿９との間にパツキン１１を備え、皿状受皿１を板状下部受皿９に気密かつ上方へ着脱可能に接続している、感光剤塗布装置（スピンナー）」の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　また、当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物２（特開昭６４−３９０２３号公報：異議申立人の提出した甲第２号証）には、
（ト）「原盤処理装置とは、スピンコーターとデベロッパーを意味する。ターンテーブル６にはガラス原盤１がチャッキングされ、ガラス原盤１の上に配置しているノズル７から処理液の供給を受ける構成は第４図と同じである。槽は四つの部材から構成されている。部材９には部材１０が固定されている。部材１１は周方向に多数の吸気孔を有しており、部材９に固定されている。更にこの上にテーパ面を有する部材１２が固定され、外周に減圧室１３が形成される。減圧室１３には吸引口があり圧力レギュレーター１４を経て真空ポンプへ達している。このため減圧室として機能できる。また、部材９には処理液を排出するための溝と排液口が設けられており、開閉バルブ１５を経て排液タンクに達している。」（第３頁左上欄１０行〜同頁右上欄４行）
と記載されており、また、第１図には、
（チ）「槽を構成する部材１０の上面及び部材１２の下面は、ターンテーブル６の周縁下部付近に形成した、処理液を排出するための環状溝に向って傾斜している」ことが記載されているものと認められる。
　
　さらに、当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物３（実願平１−１１７００９号（実開平３−５６１２８号）のマイクロフィルム：異議申立人の提出した参考文献）には、
（リ）「フォトレジスト塗布装置の構成を第３図および第４図に示し、１が処理槽で、この処理槽１の内部の中央部にスピンモータ２で駆動されて回転する角形のスピンテーブル３が水平に設けられている。このスピンテーブル３の外周には廃液カバー４が設けられ、この廃液カバー４の周縁下部に環状に形成された廃液受皿５が配置し、この廃液受皿５の底面の一部に処理槽１の外部に連通するドレイン口６が形成されている。スピンテーブル３の下方にはスピンモータ２に連動してスピンテーブル３と一体的に回転する排気フード７が設けられ、また処理槽１の底面には前記排気フード７に対向して排気口８，８が形成されている。」（明細書第２頁１０行〜第３頁４行）
と記載されている。
　
４．対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、それらの構造、機能等からみて、後者の「シリコンウエハー」は前者の「基板」に、後者の「回転軸２」は前者の「回転軸」に、後者の「デイスク３」は前者の「回転盤」に、後者の「皿状受皿１」は前者の「下カバー」に、後者の「受皿カバー６」は前者の「上カバー」に、後者の「板状下部受皿９」は前者の「受皿」に、後者の「感光剤塗布装置（スピンナー）」は前者の「スピナー」に相当するとともに、後者の「皿状受皿１」と「受皿カバー６」とを合わせたものは、前者の「回転盤カバー」に相当する。また、後者の「排出口管７」と「短管１０」とは、感光剤の飛散した気液を排出する口と受け口とであるから、後者の「排出口管７」は前者の「排液口」及び「排気口」を兼ね備えたものに、後者の「短管１０」は前者の「排液受口」及び「排気受口」とを兼ね備えたものに、それぞれ相当する。
　そして、後者において、板状下部受皿９は皿状受皿１と、それらの間に介在するパッキン１１を介して気密かつ上方へ着脱可能に接続されているといいうるが、該パッキン１１は、皿状受皿１の気液を排出する排出口管７と、板状下部受皿９側の排出される気液の受け口である短管１０とを接続する部材ではない。
　してみれば、両者は、
「上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆うように形成され、前記上カバーの下面が外周に向って下降するように傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの下方を覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するように保持された受皿と、この受皿に設けられ排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する排液受口と、前記受皿に設けられた排気受口とを備え、前記受皿を前記回転盤カバーの下カバーに気密かつ上方へ着脱可能に接続している、スピナー」で一致し、次の５点で相違している。
〔相違点１〕回転盤カバーに関して、前者は、下カバーの内面が周縁下部付近に形成した環状集液路に向って傾斜する構造であるのに対して、後者では、環状集液路を有さず、また、下カバーの内面が傾斜する構造ではない点。
〔相違点２〕受皿に関して、前者は、回転盤カバーの下方を離れて覆うと共にベースフレームに保持される構造であるのに対して、後者では、受皿が回転盤カバーの下方を離れて覆う構造ではなく、また、受皿の保持構造については明らかでない点。
〔相違点３〕排液受口に関して、前者は、環状集液路の底に設けられると共に受皿に略ロート状の形状であるのに対して、後者では、排液口を設ける環状集液路を有さず、また、略ロート状の形状ではない点。
〔相違点４〕排気受口に関して、前者は、回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する構造であるのに対して、後者では、回転盤カバーの内側から上方に向かって開口する構造である点。
〔相違点５〕回転盤カバー及び受皿との接続構造に関して、前者は、回転盤カバーの外周面から環状集液路に開口する排気口を排気受口に気密かつ上方へ着脱可能に接続する排気接続管を備える構造であるのに対して、後者は、回転盤カバーと受皿との間にパッキン１１が設けられているが、排気口と排気受口とを接続する部材を備えていない点。
　
５．当審の判断
　上記〔相違点５〕について検討するに、本件発明の構成に欠くことのできない事項である、回転盤カバーの外周面から環状集液路に開口する排気口を排気受口に気密かつ上方へ着脱可能に接続する排気接続管を備える、という事項は、刊行物２、３のいずれにも記載されていない。
　そして、本件発明は、上記の事項をその構成に欠くことのできない事項とすることにより、「排気接続管と排気受口とを目視し易くし、これらの位置合せや気密封止処理をし易くする」（特許異議意見書第６頁２行〜３行）から、「排液系および排気系の配管の断続作業が極めて簡単になる」という明細書記載の格別の作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、他の相違点１〜４について検討するまでもなく、本件発明は刊行物１〜３記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件発明についての特許が拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　また、他に本件発明についての特許が拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めるべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１０月１７日（２００１．１０．１７）
【訂正の要旨】
　訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１の記載について、「上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆いその内面がその周縁下部付近に形成した環状集液路に向って傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの少くとも外周付近の下方を覆う受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する排液受口と、前記受皿に設けられた排気受口と、前記回転盤カバーの外周付近の排気口を前記排気受口に気密かつ着脱可能に接続する排気接続管とを備えることを特徴とするスピナー。」とあるのを、「上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆うように形成され前記下カバーの上面および前記上カバーの下面が周縁下部付近に形成した環状集液路に向ってそれぞれ下降するように傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの下方を回転盤カバーから離れて覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持された受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の底に設けた排液口の下方に臨みこの排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する略ロート状の排液受口と、前記受皿に設けられ前記回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する排気受口と、前記回転盤カバーの外周面から前記環状集液路に開口する排気口を前記排気受口に気密かつ上方へ着脱可能に接続する排気接続管とを備えることを特徴とするスピナー。」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の段落【０００６】の一部である「前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆いその内面がその周縁下部付近に形成した環状集液路に向って傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの少くとも外周付近の下方を覆う受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する排液受口と、前記受皿に設けられた排気受口と、前記回転盤カバーの外周付近の排気口を前記排気受口に気密かつ着脱可能に接続する排気接続管」を、「前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより前記回転盤の上方を除く外周および下方を覆うように形成され前記下カバーの上面および前記上カバーの下面が周縁下部付近に形成した環状集液路に向ってそれぞれ下降するように傾斜する回転盤カバーと、前記回転盤カバーの下方を回転盤カバーから離れて覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持された受皿と、この受皿に設けられ前記環状集液路の底に設けた排液口の下方に臨みこの排液口から流下する排液を受けて外部へ排出する略ロート状の排液受口と、前記受皿に設けられ前記回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する排気受口と、前記回転盤カバーの外周面から前記環状集液路に開口する排気口を前記排気受口に気密かつ上方へ着脱可能に接続する排気接続管」と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の段落【００１５】の一部である「回転盤の少くとも下方および外周を覆うカバーの下方に受皿を配設し、この受皿に設けた排液受口にカバー側の排液口が臨むように、また排気受口に排気接続管を着脱可能に接続するものであるから、」を、「回転盤の少くとも下方および外周を覆うカバーの下方にこのカバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持し配設し、この受皿に設けた略ロート状の排液受口にカバー側の環状集液路の底に設けた排液口が臨むように、またカバーの外周より外側から上方に向かって開口する排気受口に排気接続管を上方から着脱可能に接続するものであるから、」と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の【図面の簡単な説明】の【符号の説明】において、「３６カバー」と「４２環状集液路」との間に、「３８下カバー」及び「４０上カバー」を挿入する。
（５４）【発明の名称】
スピナー
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、
前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより
うように形成され前記下カバーの上面および前記上カバーの下面が
それぞれ下降するように
回転盤カバーから離れて覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持された
底に設けた
の下方に臨みこの排液口
略ロート状の
前記回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する
面から前記環状集液路に開口する
上方へ
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、液晶表示板などの基板を高速で回転させながら処理液を塗布したり、基板を洗浄したりするために用いるスピナーに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術および発明の背景】
　液晶表示板などの表面積の大きいガラス基板を回転盤の上に水平に保持しつつ高速で回転し、回転中の基板の上表面に処理液を滴下し、遠心力によって処理液を基板上面に拡散させることにより処理液を塗布するスピナーが公知である。ここに処理液は、フォトエッチング用のフォトレジスト液等の種々の塗布液だけでなく、洗浄液等であってもよい。
　【０００３】
　従来のスピナーは、回転盤の上方を除き外周および下方をカバーで覆い、このカバーの周縁下部付近に環状の溝からなる集液路を形成し、この集液路に遠心力で飛散する処理液を集めて排出している。またこのカバーに排気口を設け、基板から蒸発あるいは飛散する処理液をこの排気口から排気設備に吸引させている。
　【０００４】
　ここに従来の装置は、排液口に接続された排液管と、排気口に接続された排気管とを別々にカバーに接続していた。一方処理液の変更時などにおいては、カバーの内面を洗浄したりカバーを交換することが必要になる。しかし従来のカバーには排液管や排気管が直接接続されていたため、これらを着脱する必要があり、作業性が悪いという問題があった。
　【０００５】
　【発明の目的】
　本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、処理液の変更などに伴って必要となるカバーの着脱作業が容易になり、作業性を向上させることができるスピナーを提供することを目的とする。
　【０００６】
　【発明の構成】
　本発明によればこの目的は、上面に基板を保持しつつ垂直な回転軸を中心として回転する回転盤と、
前記回転盤の下方および外周を囲む下カバーに上から上カバーを取付けることにより
うように形成され前記下カバーの上面および前記上カバーの下面が
それぞれ下降するように
回転盤カバーから離れて覆うと共に外周が前記回転盤カバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持された
底に設けた
の下方に臨みこの排液口
略ロート状の
前記回転盤カバーの外周より外側から上方に向かって開口する
面から前記環状集液路に開口する
　【０００７】
　【実施例】
　図１は本発明の一実施例の側断面図、図２はその平面図、図３は受皿の斜視図である。
　図１において符号１０はベースフレーム、１２は電動モータである。モータ１２はその軸１４が垂直となるようにベースフレーム１０に保持されている。１６はこの軸１４に上方から嵌挿された回転軸であり、この回転軸１６は軸受１８を介して軸受支持フレーム２０に保持されている。
　【０００８】
　回転軸１６の上端には回転盤２２が水平に固定されている。この回転盤２２は図２に示すように四角形に作られ、その四隅には、ガラス基板２４の隅付近の下面に当接して支持する支持ピン２６と、基板２４の四隅に係合する位置決めピン２８とが突設されている。
　【０００９】
　３６は回転盤２２を覆うカバーであり、図示しないブラケットによりベースフレーム１０に保持されている。このカバー３６は回転盤２２の下方および外周を囲む下カバー３８と、この下カバー３８に上から取付けられる上カバー４０とを有する。下カバー３８は中心から外周に向ってなだらかに下降する傾斜面を持ち、この傾斜面は周縁下部付近に位置する環状集液路４２につながっている。上カバー３８は中央部分に回転盤２２よりも十分に大きい開口部４４を持ち、回転盤２２より高い位置から外周に向って滑らかに下降して環状集液路４２の上方に延出する。
　【００１０】
　４６はベースフレーム１０に保持された受皿である。この受皿４６は図３に示すように、中央の窓および外周縁に上方へ向って起立するフランジを持ち、ほぼ環状の皿型に作られている。この受皿４６には排液受口４８が４カ所に設けられ、また排気受口５０が６カ所に設けられている。
　【００１１】
　排液受口４８は図１に示すように略ロート状に作られ、ここには下カバー３８の環状集液路４２の底に設けた排液口５２が臨んでいる。この排液受口４８に流下した排液は排液槽５４に導かれる。
　【００１２】
　排気受口５０はカバー３６の外径よりも外側に位置し、下カバー３８の外周と排気接続管５６により着脱可能に接続されている。すなわちこの排気接続管５６は直角に折曲され、その一端が下カバー３８の外周壁の排気口５８に固定され、その他端は接続締具６０を手動操作することにより排気受口５０に気密に接続できるように作られている。この排気受口５０は図示しないダクトによって排気装置に吸引される。
　【００１３】
　従ってロボットにより搬送された基板２４を回転盤２２に載せて高速で回転させつつ、その回転中心付近に処理液を滴下すれば、この処理液は遠心力により基板２４の表面に速やかに拡散し、余分の処理液は基板２４の外周方向に飛散する。この飛散した処理液はカバー３６によって環状集液路４２に集まり、さらに排液口５２から受皿４６側の排液受口４８に流下し、排液槽５４に導かれる。また一部の処理液は空気中に霧状に飛散するが、この霧状の処理液は排気口５８から排気される。
　【００１４】
　処理液交換時などにカバー３６を洗浄するためには、まず開口部４４から工具を入れて回転盤２２を回転軸１６から上方へ取外す。そして排気接続管５６の接続締具６０を緩めて排気受口５０から切り離し、さらにフレーム１０への固定を解放すれば、カバー３６は全体を上方へ引き揚げて取外すことができる。カバー３６の洗浄後は逆の順に取付ければよい。
　【００１５】
　【発明の効果】
　本発明は以上のように、回転盤の少くとも下方および外周を覆うカバーの下方に
このカバーより径方向外側へ突出するようにベースフレームに保持し
略ロート状の
環状集液路の底に設けた
カバーの外周より外側から上方に向かって開口する
上方から
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例の側断面図
　【図２】
　その平面図
　【図３】
　受皿の斜視図
　【符号の説明】
　１０　ベースフレーム
　１２　モータ
　１６　回転軸
　２２　回転盤
　２４　基板
　３６　カバー
　
３８　下カバー
　
４０　上カバー
　４２　環状集液路
　４６　受皿
　４８　排液受口
　５０　排気受口
　５２　排液口
　５６　排気接続管
　５８　排気口