【事件の表示】
　特許第３０７１２１８号「セラミックフィルター」の請求項１に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０７１２１８号の請求項１に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３０７１２１８号の出願は、平成２年１１月３０日に出願されたものであって、平成１２年５月２６日に特許の設定登録がなされ、その後、京セラ株式会社から特許異議の申立がなされ、これに基づいて、取消理由通知がなされ、特許権者よりその指定期間内である平成１３年６月２５日に明細書の訂正請求がなされたものであり、これを、同特許異議申立人に送付し意見を求めたところ応答がなかったものである。
　
II．訂正の適否
II−１．訂正事項
　本件明細書につき、訂正請求書に添付された訂正明細書に記載されるとおりの次の（ａ）〜（ｊ）の訂正を求めるものである。
（ａ）特許請求の範囲の請求項１における、
「三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミック支持体内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっていることを特徴とするセラミックフィルター。」を、
「三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミック支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを特徴とするセラミックフィルター。」と訂正する。
（ｂ）明細書の第３頁第１１〜末行（特許公報第３欄第１４〜２２行）目の記載を、
「本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする構成にすることにより、単位面積当りの膜面積を大きくできるセラミックフィルターを提供することを目的とする。」と訂正する。
（ｃ）明細書の第４頁第２〜８行（特許公報第３欄第２４〜３０行）目の記載を、
「本発明は、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを特徴とするセラミックフィルターである。」と訂正する。
（ｄ）明細書の第４頁第１０行（特許公報第３欄第３１及び３２行）目、同第４頁第１３行（特許公報第３４及び３５行）目、同第４頁第１９及び２０行（特許公報第４０行）目、同第７頁第１８行（特許公報第４欄第４４及び４５行）目、及び、同第８頁第２行（第４欄第４８行）目、における、
「三次元網目」を、それぞれ、「三次元網目状」と訂正する。
（ｅ）明細書第４頁第１３行（特許公報第３欄第３５行）目における、
「支持体表面」を、「支持体骨格表面」と訂正する。
（ｆ）明細書の第４頁第１７行（特許公報第３欄第３８行）目における、
「セラミックスリップ」を、「セラミックススリップ」と訂正する。
（ｇ）明細書第６頁第１９行（特許公報第４欄第２８行）目及び同第６頁末行〜第７頁第１行（第４欄第２９行）目における、
「セラミックス膜」を、それぞれ、「セラミック膜」と訂正する。
（ｈ）明細書第８頁第２〜９行（特許公報第４欄第５９行〜第５欄第４行）目における、「多孔質セラミック支持体中に、」から「形成されてもよい。」の記載を、
「多孔質セラミックス支持体中に、前記網目状構造体と同材質であり、かつ前記網目状構造体と同材質であり、かつ前記網目状構造体の骨格部分よりも太い骨状構造を有し、網目状構造体と骨状構造体の内部が一体となって連通し、網目状構造体と骨状構造体の表面に形成されたセラミックフィルターの一部もしくは全ての表面にフィルター膜が形成されていてもよい。」と訂正する。
（ｉ）明細書第８頁第１２行（特許公報第５欄第７行）目における、
「セラミックスフィルター」を、「セラミックフィルター」と訂正する。
（ｊ）明細書第１２頁第３〜１０行目の記載を、
「以上詳述した如く本発明によれば、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする構成等を採用することにより、単位面積当りの膜面積を大きくできる特徴とするセラミックフィルターを提供できる。」と訂正する。
　
II−２．訂正の目的の適否
　上記（ａ）の訂正では、まず、細孔径分布につき、「セラミックス支持体の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって」とのものを、「セラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって」と訂正するものであり、これは、細孔径の分布の始まりをセラミックス支持体の骨格内部からとより明確にするものであって、明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。次に、上記（ａ）の訂正では、該支持体につき、「該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする」という構成を付加し、その態様を限定するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記（ｂ）、（ｃ）及び（ｊ）の訂正事項は、上記特許請求の範囲の訂正に伴い、発明の詳細な説明の項の記載を、それに整合させるものであって、明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記（ｄ）、（ｅ）、（ｇ）〜（ｉ）の訂正事項は、特許請求の範囲の用語の表現方法に倣い、その用語を整合させるものであって、明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記（ｆ）の訂正事項は、セラミックスの表現を統一するものであって、明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
II−３．新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記（ａ）の訂正事項中、前記細孔径分布に関する事項につては、特許明細書第３頁第１１〜末行（特許公報第３欄第１４〜２２行目）及び同第８頁第１〜９行（特許公報第４欄第４７行〜第５欄第４行）目等の記載に基づくものであり、また、前記流路に関する事項については、特許明細書第５頁第１２〜１６行（特許公報第４欄第２〜６行）目及び第８頁第１〜９行（特許公報第４欄第４７行〜第５欄第４行）目等の記載に基づくものであり、いずれも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされるものであり、新規事項の追加には該当しない。
　また、上記（ｂ）〜（ｊ）の訂正事項は、特許請求の範囲の記載に整合させる、ないしは、表現方法を統一するだけのものであるから、いずれも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされるものであり、新規事項の追加には該当しない。
　そして、上記訂正（ａ）〜（ｊ）の訂正事項は、発明の目的の範囲内で特許請求の範囲を減縮するものであり、ないしは、明瞭でない記載を釈明するだけのものであって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
II−４．訂正の適否の結論
　よって、上記訂正請求は特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．特許異議申立について
III−１．本件発明
　本件特許第３０７１２１８号の請求項１に係る発明（以下、必要に応じて、「本件訂正発明」という）は、平成１３年６月２５日付で訂正請求がなされ、その請求どおり訂正された明細書の特許請求の範囲に記載される次のとおりのものである。
「三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミック支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを特徴とするセラミックフィルター。」
　
III−２．特許異議申立の概要
　特許異議申立人は、証拠として
甲第１号証：特開平１−３０４００６号公報、及び、
甲第２号証：特開昭６０−１８０９８０号公報
を引用し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものであり、また、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、したがって、その特許は取り消されるべきものである、というものである。
III−３．証拠の記載内容
　甲第１号証には、無機多孔質膜及びその製法に関し、以下のことが記載される。
（Ａ−１）「耐食性無機質材料からなる１または複数層の多孔質支持体の一側面に、同支持体の平均細孔径より小さい平均細孔径を有する多孔質薄膜を備えてなる無機多孔質膜において、前記多孔質薄膜は純度９９．５％以上の酸化チタンからなりその平均細孔径が８００Å以下、膜厚が２μｍ以下であり、かつ前記多孔質支持体の前記多孔質薄膜が付着する層の平均細孔径が０．１μｍ以下であることを特徴とする無機多孔質膜。」（特許請求の範囲第１項）、
（Ａ−２）「本発明は濾過、ガス分離等に使用される無機多孔質膜およびその製造法に関する。」（第１頁右下欄第８及び９行）
（Ａ−３）「従って、本発明の目的はピンホール、クラックが存在せず、濾過、分離精度および濾過、濾過効率が高くかつ耐食性に優れた多孔質膜およびその製造方法を提供することにある。」（第２頁左下欄第１８行〜右下欄第１行）
（Ａ−４）「（実施例）
（１）多孔質支持体
　多孔質支持体としてパイプ状の主体層と薄膜の中間層からなる複層構造の支持体I、支持体IIを採用した。なお、主体層は混練坏土を押出成形して得た外径１０ｍｍ、内径７ｍｍ、長さ１５０ｍｍのパイプを乾燥後１５００℃で３時間焼成したもの、中間層は主体層の外周に解膠したスラリーを塗布して乾燥後１３００℃で焼成した厚さ３０μｍのもので、かつ主体層は純度９９．９２％、中間層は純度９９．９９％以上のα−アルミナからなる。
　支持体I：主体層の平均細孔径３μｍ、中間層の平均細孔径８００Å
　支持体II：主体層の平均細孔径３μｍ、中間層の平均細孔径０．２μｍ
（２）希釈前ハイドロゾル液の調製
　前駆体としてチタニウムイソプロポキシド、四塩化チタンを用い、塩酸の存在下（添加量０．１ｍｏｌ／ｌ）８０℃で２時間加水分解し、第１表に示す希釈前のハイドロゾル液を調製した。・・・・・・・
（３）坦持ゾル液の調製
　調製された各種のハイドロゾル液を希釈し、第２表に示す担持ゾルを調製した。
（４）多孔質支持体の外周に担持ゾル液を担持して室温で２時間、次いで１００℃で２時間乾燥後種々の温度で３時間焼成した。薄膜の平均細孔径は焼成温度によって調整した。
（５）多孔質膜評価方法
　多孔質膜についてクロスフロー濾過、耐食性、薄膜の剥離の各試験、ピンホール、クラックの測定を行い、第３表の結果を得た。」（第４頁左下欄第９行〜第５頁左上欄第４行）
（Ａ−５）「クロスフロー濾過試験：１００ｐｐｍのマーカーを含む水溶液を２．５ｍ／ｓｅｃの速度、入口圧３ｋｇ／ｃｍ２にて多孔質膜の内孔を循環させるクロスフロー濾過を行い、透過液の分析を行ってマーカーの阻止率を算出する。」（第５頁左上欄第５〜９行）
（Ａ−６）該表３の記載をみると、そこには、前記支持体Iに平均細孔径（Å）が５０及び６８０の多孔質膜（多孔質膜No．１、２、４〜６、８、１０及び１３）を設けたこと、そして、そのものは、阻止率、透過液量、耐食性、クラック及びピンホールの有無につき良好な性能を示したことが示される。
　
　甲第２号証には、凝縮成分分離用セラミック膜の製造法につき、以下のことが記載される。
（Ｂ−１）「セラミック多孔体の細孔中にアルミナゾルを含浸した後、乾燥、焼成し、次いで該セラミック多孔体にアルミニウムアルコラート又は又はアルミニウムキレートを含浸し、加水分解した後、焼成し、しかる後該セラミック多孔体を金属塩を溶解した水溶液中に含浸し、乾燥、焼成することを特徴とする凝縮成分分離用セラミック膜の製造法。」（特許請求の範囲）
（Ｂ−２）「発泡性シリカ、焼結アルミナ及びムライトなどの比較的大きな細孔（通常細孔直径１０００Å以上）を有する任意の形状の多孔質基材に、例えばアルミニウムアルコラート又はアルミニウムキレート化合物を加水分解して得たアルミナゾル（ＡｌＯＯＨ）を含浸した後、乾燥及び焼成を行つてアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を生成させる。なお、上記の加水分解は６０〜１００℃の水中又は飽和水蒸気中等で行い、また加水分解後に硝酸や塩酸等を添加してゾルを解膠し、得られる固体の均一性と強度を向上させる。上記の乾燥は８０〜１２０℃で２４時間程度で行い、焼成は４００〜６００℃、１〜２４時間で行うことが好ましく、またこれより低温での前焼成を行うこともできる。
　この操作は１回では乾燥収縮によるひび割れが生じたり、またゾルにより充分には細孔を充填することができないので数回繰り返す。
　次に、上記の操作により細孔径が小さくなつた細孔に有機溶剤に溶解したアルミニウムアルコラートまたはアルミニウムキレートを含浸させ、有機溶剤を揮発除去した後、細孔内のアルミニウムアルコラートまたはアルミニウムキレートを水蒸気により加水分解してアルミナゾルとした後、乾燥、焼成する。
　最後の操作として、金属塩を溶解した水溶液にセラミック膜を浸漬し、細孔中に金属塩を析出させる。これを乾燥、焼成することにより更に細孔直径の小さなセラミック膜を得ることができる。」（第２頁右上欄第４行〜左下欄第１３行）
（Ｂ−３）「本発明方法で得られるセラミック膜を使用すれば、気体中の凝縮性成分を分離することが可能である。例えば、空気中の水分（水蒸気）を分離するためには、セラミック膜の片側を水蒸気を含んだ空気とし、膜の他側を真空に引いてやると、空気中の水分が細孔中に凝縮し、真空側に出てくるので、空気中の水蒸気は減少する。」（第２頁右下欄第１２ないし８行）
（Ｂ−４）「第３図（Ａ）において、１及び２はガス加熱用蛇管、３及び４はそれぞれ凝縮性成分ガス添加部であり、本試験の場合は凝縮性成分として水（水蒸気）を用いた。５は凝縮性成分分離部分であり、６及び７は凝縮性成分分離部であり、８は真空ポンプである。第３図（Ｂ）は凝縮性成分分離部分５の拡大図である。９は細孔１１に充填した微細細孔を有するアルミナであり、１０は基材である。試験は、・・・セラミック膜５を介して真空ポンプ８で真空に吸引する。セラミック膜５を通して流過した水蒸気は、凝縮性成分凝縮部６又は７に充填された液体窒素により凝縮させる。」（第３頁右下欄第１６行〜第４頁左上欄第１０行）
　
III−４．対比、判断
　甲第１号証に記載の発明は、前記（Ａ−２）により、濾過、ガス分離に用いられるものであるから、フィルターに関するものである。
　そして、甲第１号証の発明の多孔質支持体は、前記（Ａ−４）により、混練坏土を押出成形し、焼成して得た外径１０ｍｍで内径７ｍｍのパイプからなる主体層の外周に解膠したスラリーを塗布、焼成して得た厚さ３０μｍの中間層からなるものであって、該主体層の平均細孔径が３μｍで、該中間層の平均細孔径が８００Åであるものである。
　更に、前記（Ａ−４）により、甲第１号証の発明の支持体につき、その外周にゾル液を担持し、焼成して多孔質薄膜を形成したものであって、前記（Ａ−６）により、その多孔質薄膜の平均細孔径が５０Å及び６８０Åであるものである。
　この場合、これら、主体層、中間層及び多孔質薄膜は焼成により形成されるものであるので、それらの層ないし膜は、セラミックスからなるものであり、また、中間層は、その厚みからみて膜状体に属する。
　よって、甲第１号証には、
「多孔質支持体が主体層と中間層とからなるものであって、セラミックスからなり平均細孔径が３μｍである該主体層の外周に、セラミックスからなり平均細孔径が８００Åである該中間層を設け、その中間層の外周にセラミックスからなり平均細孔径が５０Å及び６８０Åである多孔質薄膜を設けてなるセラミックフィルター」である発明が記載されているといえる。
　そこで、本件訂正発明と甲第１号証に記載の発明とを対比する。
　甲第１号証の発明の「多孔質支持体を構成するセラミックスからなる主体層」は、それぞれ、本件訂正発明の「多孔質セラミックス支持体」に相当する。更に、甲第１号証の発明の「多孔質支持体を構成するセラミックスからなる中間層」及び「セラミックスからなる多孔質薄膜」は、いずれも、本件発明の「セラミック膜」の一つに相当し、また、本件発明の一つの「層」にも相当する。
　また、甲第１号証の発明の中間層及び多孔質薄膜のそれぞれの平均細孔径は、同主体層のものより小さく、また、主体層から、中間層、多孔質薄膜と表面に向かうに従って、その平均細孔径が、順次、小さくなっている。
　そして、甲第１号証の発明でいう平均細孔径は、本件訂正発明の細孔径に相当する。
　よって、両者は、
「多孔質セラミックス支持体の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミック支持体から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が表面にゆくに従って順次小さくなっているセラミックフィルター」である点で軌を一にするものである。
　しかし、（イ）本件訂正発明では、多孔質セラミックス支持体が「三次元網目状構造を有する」ものであるのに対し、甲第１号証のものでは、そのような三次元網目状構造を有することまでは示されない点（相違点イ）、（ロ）本件訂正発明では、多孔質セラミックス支持体の「一部を除く骨格」の表面にセラミック膜が形成されるのに対し、甲第１号証のものでは、一部を除いてセラミック膜が形成されることが具体的に示されず、また、骨格につき示されるところがない点（相違点ロ）、（ハ）本件訂正発明では、細孔径が順次小さくなるところの起点が、セラミック支持体の「骨格の内部」であるのに対して、甲第１号証のものでは、骨格につき示されず、したがって、骨格の内部からから細孔径が順次小さくなることが示されない点（相違点ハ）、（ニ）本件訂正発明では、多孔質セラミックス支持体につき、その「骨格内部をろ過後の流路とする」こととするのに対し、甲第１号証のものではそのような流路が示されない点（相違点ニ）で、両者は相違する。
　以上のとおり、本件訂正発明は、上記相違点イ〜ニに関する構成を備えることにより、甲第１号証に記載の発明に対して、別異の発明をなすものであり、したがって、本件訂正発明は、甲第１号証に記載された発明であるということはできない。
　
　以下、この相違点に関する構成が容易に想到できるか否かにつき、検討する。
　まず、相違点イについて検討する。
　本件明細書の記載によると、従来のフィルターでは、その分離機能を有する部分は、チューブ体の内側又は穴の内側に設けられており、該分離機能を有する部分の全体の体積に比べて分離機能を有する部分の面積（表面積）を大きくすることが困難であるという問題があったところ（本件特許公報第１欄下から第２行〜第２欄第５行）、本件訂正発明においては、多孔質セラミックス支持体を「三次元網目状構造を有する」ものとする構成を採択することにより、その表面側にセラミック膜を形成する構成と一体となり、また、その余の構成とも相俟って、上記分離機能を有する部分の面積を大きくとることができ、上記問題を解消することができたものであり、このことは、その実施例において確認されている。
　これに対し、甲第１号証に記載の発明では、その多孔質支持体を構成する主体層に平均細孔径が３μｍ程度の細孔を設けているだけであり、その主体層の多孔構造に三次元網目状構造を呈するものを利用することまでは教示されず、また、そこでは、セラミックスラリーを発泡させる等の三次元網目状構造に至る手段が教示されるものでもない。
　次に、甲第２号証の記載をみても、そこでは、該多孔質支持体に相当する多孔質基材としては、細孔孔径が１０００Å以上程度のものが示される〔前記（Ｂ−２）参照〕だけであり、その多孔構造として三次元網目状構造を有するものまでは示唆されない。また、そこでは、該多孔質基材の細孔中にアルミナゾルなどを充填ないしは含浸させるに過ぎないもの〔前記（Ｂ−１）及び（Ｂ−２）参照〕であり、したがって、その多孔質基材の表面側に明確な膜又は層を形成するものではなく、当然のこととして、三次元網目状構造を有する多孔質基材の表面側にセラミック膜を形成する構成が教示されない。
　してみれば、甲第１号証に記載の発明に対して、甲第２号証に記載のものを併せてみても、当該相違点イに関する本件発明の構成が容易に想到できるものではない。
　次に、相違点ニについて検討する。
　本件訂正発明のセラミックフィルターでは、その請求項１の記載等からみて明らかなとおり、多孔質セラミックス支持体の表面側にセラミック層が形成されたものである。
　そして、本件訂正発明のセラミックフィルターでは、更に、その多孔質セラミックス支持体の「骨格内部をろ過後の流路とする」とするものであり、この流路の構成を採ることにより、被処理流体は、多孔質セラミックス支持体の表面側に設けられたセラミック膜を通過し、次いで多孔質セラミックス支持体に至り、その後、多孔質セラミックス支持体の骨格内部を、ろ過後の流路として利用して排出されることになり（本件特許公報第４欄第２〜１１行参照）、このように、本件訂正発明では、表面側にセラミック層が形成されたセラミックフィルターの表面から内部に被処理流体が流動して処理されるものである。
　ところが、甲第１号証の無機多孔膜（セラミックフィルターに相当）においては、多孔質支持体を構成する主体層（多孔質セラミックス支持体に相当）はパイプ形状を呈し、その内孔に被処理流体を循環させるもの〔前記（Ａ−５）参照〕であるので、そこでの無機多孔膜においては被処理流体はその内部から表面側に流動して処理されるものである。
　そうすると、甲第１号証のものは、本件訂正発明のものとは、被処理流体の流動方向が逆となっており、原理的にみて、該主体層にろ過後の流路を形成することはできるものではない。更に、甲第１号証のものでは、その多孔質支持体の主体層に骨格を設けることが示されず、このことは前記したとおりであり、したがって、その骨格内部を流路とすることも示されないのである。
　してみれば、このような甲第１号証のものから、その多孔質支持体の主体層に、骨格を設け、その骨格内部をろ過後の流路として用いることが示唆されるものではない。
　次に、甲第甲第２号証の記載をみると、そこでの凝縮成分分離用セラミック膜（セラミックフィルターに相当）では、該分離用膜の内側に真空を適用しており〔前記（Ｂ−３）及びそこでの第３図を参照〕、このことからみると、処理流体は該凝縮成分分離用セラミック膜の表面から内部に流動するものであるといえる。しかし、当該凝縮成分分離用セラミック膜は、セラミック多孔質基材の細孔中にアルミナゾルなどを充填ないしは含浸させるだけ〔前記（Ｂ−１）及び（Ｂ−２）参照〕であって、その多孔質基材の表面側に明確な膜又は層を形成するものではない。そうすると、当該凝縮成分分離用セラミック膜は、主体層の外周に中間層及び多孔質膜を順次設けた甲第１号証のものとは、その基本構造が基本的に異なるものであり、したがって、当業者といえども、甲第２号証に記載の処理方法を、そのまま、甲第１号証の無機多孔膜に適用することができない。
　そもそも、甲第２号証における多孔質基材には、骨格を設けることが示されず、そのことにより、該多孔質基材に、骨格を設け、その骨格内部をろ過後の流路として用いることが示唆されるものではない。
　してみれば、甲第１号証に記載の発明に対して甲第２号証の記載を併せてみても、多孔質セラミックス支持体の表面側にセラミック層が形成されてなるセラミックフィルターにおいて、その多孔質セラミックス支持体の「骨格内部をろ過後の流路とする」とすることが容易に想到できるものではない。
　以上のとおり、上記相違点イ及びニに関する構成が当業者の容易に想到できるものではない。
　そうすると、その余の相違点ロ及びハについての判断は措くものとしても、本件訂正発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるとすることができない。
　
IV.　まとめ
　訂正請求は認める。
　特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年３月６日（２００２．３．６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　本件特許第３０７１２１８号の本件明細書につき、訂正請求書に添付された訂正明細書に記載されるとおり、以下のとおり訂正する。
（１）特許請求の範囲の請求項１における、
「三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミック支持体内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっていることを特徴とするセラミックフィルター。」を、特許請求の範囲の減縮、及び、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミック支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを特徴とするセラミックフィルター。」と訂正する。
（２）発明の詳細な説明の項の記載につき、明りょうでない記載の釈明を目的として、次の（ａ）〜（ｉ）のとおり訂正する。
（ａ）明細書の第３頁第１１〜末行（特許公報第３欄第１４〜２２行）目の記載を、
「本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする構成にすることにより、単位面積当りの膜面積を大きくできるセラミックフィルターを提供することを目的とする。」と訂正する。
（ｂ）明細書の第４頁第２〜８行（特許公報第３欄第２４〜３０行）目の記載を、
「本発明は、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを特徴とするセラミックフィルターである。」と訂正する。
（ｃ）明細書の第４頁第１０行（特許公報第３欄第３１及び３２行）目、同第４頁第１３行（特許公報第３４及び３５行）目、同第４頁第１９及び２０行（特許公報第３欄第４０行）目、同第７頁第１８行（特許公報第４欄第４４及び４５行）目、及び、同第８頁第２行（第４欄第４８行）目、における、「三次元網目」を、それぞれ、「三次元網目状」と訂正する。
（ｄ）明細書第４頁第１３行（特許公報第３欄第３５行）目における、
「支持体表面」を、「支持体骨格表面」と訂正する。
（ｅ）明細書の第４頁第１７行（特許公報第３欄第３８行）目における、
「セラミックスリップ」を、「セラミックススリップ」と訂正する。
（ｆ）明細書第６頁第１９行（特許公報第４欄第２８行）目及び同第６頁末行〜第７頁第１行（第４欄第２９行）目における、
「セラミックス膜」を、それぞれ、「セラミック膜」と訂正する。
（ｇ）明細書第８頁第２〜９行（特許公報第４欄第４９行〜第５欄第４行）目における、「多孔質セラミック支持体中に、」から「形成されてもよい。」の記載を、
「多孔質セラミックス支持体中に、前記網目状構造体と同材質であり、かつ前記網目状構造体と同材質であり、かつ前記網目状構造体の骨格部分よりも太い骨状構造を有し、網目状構造体と骨状構造体の内部が一体となって連通し、網目状構造体と骨状構造体の表面に形成されたセラミックフィルターの一部もしくは全ての表面にフィルター膜が形成されていてもよい。」と訂正する。
（ｈ）明細書第８頁第１２行（特許公報第５欄第７行）目における、
「セラミックスフィルター」を、「セラミックフィルター」と訂正する。
（ｉ）明細書第１２頁第３〜１０行（特許公報第６欄第２９〜３７行）目の記載を、
「以上詳述した如く本発明によれば、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体骨格の内部から複数層形成されたセラミック膜表面に向かって細孔径が内部から表面にゆくに従って順次小さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする構成等を採用することにより、単位面積当りの膜面積を大きくできる特徴とするセラミックフィルターを提供できる。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
セラミックフィルター
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体
骨格の
さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、ガス中や液体中の固体を分離捕獲するセラミックスフィルターの改良に関する。
［従来の技術］
　周知の如く、半導体プロセスインラインガスフィルター等に使用される多孔質セラミックス分離膜としては、アルミナ質の非対称膜が使用されている。この材質は、もともとウラン原料のガス分離用として開発されたことから、大きなプラントにおける信頼性を確保するために単純な形状即ち単チューブ形状のものから始まっている。この単チューブの形成方法としては押し出し成形が適しており、後に開発された蓮根形状のチューブも同様の成形技術によって作られている。
　ところで、単チューブ、蓮根状チューブのいずれにおいても、分離膜は穴の内側に形成されている。ここで、分離膜は支持体と同じ化学成分をもち、粒径の小さい粉体を焼結して形成されている。
［発明が解決しようとする課題］
　しかしながら、単チューブ、蓮根状チューブともに、全体の形は強度的機能を受けもつ支持体材質となっており、分離膜は単チューブの内側あるいは蓮根状チューブの穴の内側に形成されているため、セラミック膜材料全体の体積に比べて膜面積を大きくすることが困難である。従って、膜面積を確保するためには、セラミック膜材料が大きくなってしまい、その結果膜モジュールが大きくなり、最終的には分離装置が大きくならざるを得ない。
　また、チューブ形状のセラミック膜材料がセラミックモジュールの概念まで規定することとなった。つまり、１ｍ弱の長さを持つモジュールが基本となり、小さい膜モジュールはチューブを切断して膜材料とし、これにケーシング、ガスケット等を付属して作られていた。そのため、モジュールの最小径は、セラミックチューブの太さによって制限されていた。
　本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体
骨格の
さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする
［課題を解決するための手段］
　本発明は、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつセラミック膜が複数層形成され、しかもセラミックス支持体
骨格の
さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とすることを
　本発明において、多孔質セラミックス支持体を
三次元網目状
三次元網目状
支持体骨格表
セラミックススリップ
三次元網目状
　本発明において、セラミックス支持体を多孔質とするのは、網目を構成するセラミックス支持体中をろ過後の流体の流路とするためである。また、網目形状をなすセラミックス支持体の材質は、強度と流体の透過抵抗から決めることになる。
　本発明において、網目状構造体部分を流れた流体を集めて流す流路の太い骨状構造体を網目状セラミックスと組み合わせることも、単位面積当りの膜面積を大きく取るのに効果的である。例えば、動物における血管系や植物の葉のように細い流路を集めて太い流路にする。
　本発明において、網目状の多孔質セラミックスに骨状の多孔質セラミックスを組み合わせるには、予め加圧成形その他の方法で骨状多孔質セラミックス素材を成形し、加工、仮焼したものを、泡立て後に未乾燥の泡に挿入し一体化するなどの方法により可能である。また、別々に成形した泡成形体と骨成形体を加工し仮焼したものを組立て、泡を形成するためのスラリーで接合しても良い。
　本発明において、セラミックス支持体中に透過抵抗の少ないような連通する気孔を導入する方法としては、比較的粒径の大きい粒子と微粉とを配合し、粒径の大きい粒子が焼結時に変形し難く、大粒子間に気孔が導入され易いという性質を利用した方法でも良いし、他の方法でも良い。
　本発明において、多孔質セラミックス支持体の表面にこの多孔質セラミックスのもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつ
セラミック膜
セラミック膜
　なお、本発明に係るセラミックフィルターは、
三次元網目状
三次元網目状
多孔質セラミックス支持体
網目状構造体
網目状構造体
網目状構造体
網目状構造体
網目状構造体
［作用］
　本発明によれば、単位面積当りの膜面積を大きくできる
セラミックフィルター
［実施例］
　以下、本発明の一実施例について説明する。
　（１）攪拌発泡；
平均粒径２０μｍのアルミナ粒子９０重量部、一次粒径０．２μｍの高純度アルミナ粉１０重量部、イオン交換水５０重量部、バインダーとしてメチルセルローズ５重量部、整泡剤としてのステアリン酸アンモニウム５重量部、分散剤ポリアクリル酸アンモニウム０．５重量部を攪拌機中に投入し、攪拌発泡させた。
　（２）丸棒の形成；
　平均粒径２０μｍのアルミナ粒子９０重量部、一次粒径０．２μｍの高純度アルミナ粉１０重量部、イオン交換水２０重量部、バインダーとしてメチルセルローズ５重量部をらい潰機で混合し、４０メッシュのナイロン篩を通して造粒し、乾燥して造粒粉とした。次に、この造粒粉を５０Ｋｇ／ｃｍ２の圧力で加圧成形し、５０ｍｍ×５０ｍｍ×５ｍｍの板状成形体とした。次いで、この成形体を１２００℃で１時間空気中で加熱して仮焼体を得た後、これを機械加工して４φ×４０ｍｍの丸棒とした。
　（３）支持体の形成；
　上記丸棒を上記泡の中に挿入し、同時に乾燥した。次に、この乾燥体を加工して１０φ×４０ｍｍの棒状とした。この際、φ４の仮焼体の軸中心を加工中心とした。次いで、この加工体を空気中１２００℃、１時間焼成した後、水素雰囲気中で１９００℃、２時間焼成して支持体とした。この支持体は、第１図に示す如く、中心部にφ３．９ｍｍの太い骨状構造部１、この骨状構造部１の周囲に太さ０．３ｍｍでセル径１ｍｍの網目状構造部２が取り巻いている。セラミックス材質は、気孔率３０％、１０μｍの気孔径であった。第２図は第１図のＸ−Ｘ線に沿う断面図、第３図は第２図の部分拡大図である。なお、図において、骨状構造部１の一端（Ｘ）側に膜３が形成され、他端（Ｙ）側に膜が形成されていない。また、４は骨状構造部１表面の膜５と連通した網目状構造部２の表面の膜であり、網目状構造部２の内部は気孔の大きい多孔体となっている。
　次に、一次粒径は１μｍ，凝集体の平均粒径３μｍの高純度アルミナ粉体３重量部をイオン交換水１００重量部中に分散したスリップに上記支持体を浸漬した後、室内に放置して乾燥した。これを１５００℃で２時間空気中で焼き付け、膜が一層形成された支持体（成膜体）を得た。
　次に、一次粒径０．２μｍ、凝集体の平均粒径１μｍの高純度アルミナ粉体１重量部をイオン交換水１００重量部中に分散したスリップに上記成膜体を浸漬し、乾燥した後、１２００℃で２時間空気中で焼き付けた。つづいて、これの骨状構造部１端部をダイヤモンドグラインダーで加工し、骨状構造部１端部の膜部分を除去した。ひきつづき、これを内径φ１２ｍｍのステンレス管に、テフロンガスケットを用いてセラミックスを固定した。このステンレス管の一方から導入される空間はセラミックの外側空間と導通させ、他の一方は膜を除去した管の内部空間と導通させ、フィルターモジュールとした。
　このモジュールの外径はφ１５ｍｍ、長さ５０ｍｍ、体積９ｃｍ３、膜面積２３８ｃｍ２であった。これに対し、従来のフィルターモジュールは、外径φ５０ｍｍ、長さ７０ｍｍ、体積１３７ｃｍ３、膜面積は１４３ｃｍ２であった。
　なお、本発明のものは、アルミナセラミックスに限らず、粉粒体を成形，焼結して作られる他成分のセラミックスによっても作り得るものである。例えば、セラミックス材質が、シリカ，ジルコニア，スピネル，ムライトなどの酸化物や窒化珪素，炭化珪素などの非酸化物でもよい。
［発明の効果］
　以上詳述した如く本発明によれば、三次元網目状構造を有する多孔質セラミックス支持体の一部を除く骨格の表面に、この多孔質セラミックス支持体のもつ細孔径よりも小さい細孔径をもつ
セラミック膜
骨格の
さくなっており、該支持体の骨格内部をろ過後の流路とする構成等を採用することにより、
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の一実施例に係る支持体の略斜視図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線に沿う断面図、第３図は第２図の部分拡大図である。
　１…骨状構図部、２…網目状造部、３，４，５…膜。