【事件の表示】
　特許第３１９６３０５号「真空炉」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１９６３０５号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本件特許第３１９６３０５号の請求項１ないし５に係る発明は、平成４年３月１９日（優先権主張平成３年５月２２日）に特許出願され、平成１３年６月８日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、請求項１ないし４に係る特許について寺尾健吾より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年６月１０日に訂正請求がなされたものある。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容 
（ａ）特許請求の範囲の
「【請求項１】　真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえたチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイを具備したことを特徴とする真空炉。」を、
「【請求項１】　真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイと、前記トレイ搬送用のハースローラを具備したことを特徴とする真空炉。」と訂正する。
（ｂ）特許請求の範囲の請求項３を削除する。
（ｃ）特許請求の範囲の
「【請求項４】　チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口とした請求項１または２または３記載の真空炉。
【請求項５】　チヤンバを、他方の側壁が欠除した構成とし、この側壁の欠除により形成された開口部を吸気口とした請求項１または２または３記載の真空炉。」を、
「【請求項３】　チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口とした請求項１または２記載の真空炉。
【請求項４】　チヤンバを、他方の側壁が欠除した構成とし、この側壁の欠除により形成された開口部を吸気口とした請求項１または２記載の真空炉。」と訂正する。
（ｄ）明細書の段落【０００５】の
「吸気口をそなえたチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイを具備した」を、
「吸気口をそなえ一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイと、前記トレイ搬送用のハースローラを具備した」と訂正する。
（ｅ）明細書の段落【０００８】の
「またこの発明において、真空炉をトレイ搬送用のハースローラをそなえた連続炉とし、チヤンバを、一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバとすれば、チヤンバに対するトレイの装入抽出を迅速容易におこなえるので好ましい。」を、
「またこの発明においては、真空炉をトレイ搬送用のハースローラをそなえた連続炉とし、チヤンバを、一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバとしたので、チヤンバに対するトレイの装入抽出を迅速容易におこなえる。」と訂正する。
（ｆ）明細書の段落【００１７】の
「なおトレイ４０は、前壁４３と後壁４４（図１参照）を有しないものでもよい。」を削除する。
（ｇ）明細書の段落【００２４】の
「この発明はバツチ式の真空炉や熱処理用の真空炉にも適用できるものである。」を、
「この発明は熱処理用の真空炉にも適用できるものである。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否 
　上記（ａ）の訂正は、特許請求の範囲の請求項１において、チヤンバが「一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状の」ものであること、トレイが「前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ」ること、及び、真空炉が「前記トレイ搬送用のハースローラ」を具備することを限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そして、この訂正は、特許明細書の「トレイ搬送用のハースローラをそなえ、チヤンバが一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバから成る請求項１または２記載の真空炉。」（特許請求の範囲の請求項３）、「このトレイ４０の前壁４３と後壁４４は、少量のすきまをもつてチヤンバ２４の内周面に嵌合し、循環路３１内を流れる雰囲気ガスが、トレイ装入口２５およびトレイ送出口２６から直接チヤンバ２４内へ流入してしまうのを防止するようにしてある。」（段落【００１３】）という記載、及び、図１の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　上記（ｂ）の訂正は、請求項３を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、しかも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　上記（ｃ）の訂正は、上記（ｂ）の訂正により請求項３が削除されたため、請求項の番号を繰り上げると共に、引用する請求項の番号を整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、しかも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　上記（ｄ）〜（ｇ）の訂正は、上記（ａ）〜（ｃ）の訂正により特許請求の範囲が訂正されることに伴い、これに整合するように発明の詳細な説明の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、しかも、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。 
２−３．独立特許要件
　訂正明細書の請求項４は、特許異議の申立てがされていない訂正前の請求項５に対応するものであるが、訂正明細書の請求項１または２を引用して記載されているから、同請求項１と同様に、特許請求の範囲の減縮を目的として訂正されているといえるので、同請求項４に係る発明の独立特許要件について検討する。
　同請求項４に係る発明は、同請求項１に係る発明または同請求項１を引用して記載された同請求項２に係る発明を引用し、さらに、「チヤンバを、他方の側壁が欠除した構成とし、この側壁の欠除により形成された開口部を吸気口とした」ことを限定するものであるから、同請求項４に係る発明は、後記の３−４．に示す同請求項１に係る発明と同様の理由により、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　したがって、訂正明細書の請求項４に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
２−４．訂正の適否についての結論
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断 
３−１．申立ての理由及び当審の取消理由の概要
　特許異議申立人は、証拠として甲第１号証（特開昭６３−１８００７６号公報）及び甲第２号証（特開平２−３０２５８５号公報）を提出し、本件請求項１ないし４に係る発明は、甲第１、２号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１ないし４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるとの取消理由により取り消されるべきものであると主張しており、当審において通知した取消理由もこの主張と同様のものである。
 ３−２．本件請求項１ないし３に係る発明 
　上記２．で述べたとおり訂正が認められるから、本件請求項１ないし３に係る発明は、平成１４年６月１０日付けで提出された訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された次のとおりのものである（以下、それぞれ、「本件発明１」ないし「本件発明３」という）。 
「【請求項１】　真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイと、前記トレイ搬送用のハースローラを具備したことを特徴とする真空炉
【請求項２】　循環路が、断熱室内壁面とチヤンバ外壁面との間に形成され
ている請求項１記載の真空炉。
【請求項３】　チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口とした請求項１または２記載の真空炉。」
３−３．刊行物記載の発明 
　当審が通知した取消理由に引用された刊行物１（甲第１号証）には、連続式ローラハース型焼成炉に関して、
「予熱帯、加熱帯、冷却帯を備えた連続式ローラハース型焼成炉において、該炉の入口側と出口側とに真空ベスチブルを配設するとともに、前記各帯域内に、底部プレナムチャンバを有するバッフルと、該バッフル天井部に設けた循環フアンとにより、前記バッフル内で雰囲気の上方流れ、また該バッフル外で雰囲気の下方流れをもつ雰囲気循環路を形成し、かつ予熱帯と加熱帯の雰囲気循環路に間接加熱手段を設ける一方、予熱帯に雰囲気ガス排出口を、加熱帯と冷却帯に雰囲気ガス供給口を設け、処理材を竪方向に保持したトレイを、順次炉内搬送することを特徴とする連続式ローラハース型焼成炉。」（特許請求の範囲第１項）、
「各区画内には、炉壁９と所定間隔を有するバッフル１０が設けられ、このバッフル１０の底部には上面および下面に多数の孔１２ａを有するプレナムチャンバ１１が設けてある。また、前記バッフル１０の上部には、パンチングメタル等の多孔板１２および天井部には循環フアン１４が配置されている。そして、前記バッフル１０とプレナムチャンバ１１と循環フアン１４により雰囲気循環路１３を形成し、この雰囲気循環路１３にはエレクトロチューブ、ヒータ、ラジアントチューブ等の間接加熱手段が設けてある。」（第２頁左下欄第９〜１９行）、
「前記焼成帯２と冷却帯３の各抽出側には、Ｎ２等の雰囲気ガス供給口１７が、また、バーンアウト帯１の装入側には雰囲気ガス排気口１８が設けてあり、バーンアウト帯１にて導体ペーストから発生するアウトガスが焼成帯２に流入しないようになっている。」（第２頁右下欄第４〜９行）と記載されている。そして、これらの記載からみて、刊行物１には、「予熱帯、加熱帯、冷却帯を備えた連続式ローラハース型焼成炉において、該炉の入口側と出口側とに真空ベスチブルを配設するとともに、前記各帯域内に、底部プレナムチャンバを有するバッフルと、該バッフル上部に設けた多孔板と、該バッフル天井部に設けた循環フアンとにより、前記バッフル内で雰囲気の上方流れ、また該バッフル外で雰囲気の下方流れをもつ雰囲気循環路を形成し、かつ予熱帯と加熱帯の雰囲気循環路に間接加熱手段を設ける一方、予熱帯に雰囲気ガス排出口を、加熱帯と冷却帯に雰囲気ガス供給口を設け、底部プレナムチャンバの上面および下面に多数の孔を形成し、処理材を竪方向に保持したトレイを、順次炉内搬送することを特徴とする連続式ローラハース型焼成炉。」の発明が記載されていると認められる。
　同じく引用された刊行物２（甲第２号証）には、連続式焼成炉に関して、
「入口側が低温部、出口側が高温部に設定され、入口から搬入されたワークを炉内で熱処理し出口から搬出する連続式焼成炉であって、上記低温部に熱風加熱装置が設けられ、上記高温部にヒータ加熱装置が設けられ、該低温部と高温部の境に、両者を分離するシャッター装置が設けられていることを特徴とする連続式焼成炉。」（特許請求の範囲）、
「上記ワークＷは、処理効率を上げるために短時間に多量に熱処理する関係から、多段に積み重ねられている。」（第１頁右下欄第５〜７行）と記載され、また、第２図には、多段に積み重ねられたワークＷを内部に有する通風ケース２１の対向する両側面に多数の孔を設けることが示されている。
　
３−４．対比・判断 
３−４−１．本件発明１について
　本件発明１（前者）と刊行物１記載の発明（後者）とを対比する。
　後者における「循環フアン」は、前者における「雰囲気ガス循環用のフアン」に、後者における「間接加熱手段」は、前者における「雰囲気ガス加熱用のヒータ」に、後者における「上部に設けた多孔板や底部プレナムチャンバを有するバッフル」は、前者における「一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバ」に、後者における「底部プレナムチャンバの上面の多数の孔」が形成された部分は、前者における「多孔板」に、後者における「バッフルの上部の多孔板」の部分は、前者における「吸気口」に、後者における「処理材」は、前者における「被処理物」に、それぞれ相当する。また、炉壁を炉殻とその内側の断熱壁とから構成し、炉内に断熱壁で包囲した断熱室を設けることは通常のことである。さらに、前者における「真空ポンプ」と後者における「雰囲気ガス排気口」は、どちらも、炉内の雰囲気ガスを排出する「雰囲気ガスを排出手段」といえるし、また、「雰囲気ガス供給口」を備える後者が「雰囲気ガス供給源」を具備することは当然のことである。そうすると、両者は、「雰囲気ガス排出手段および雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の壁に吸気口をそなえ一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、被処理物を保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイと、前記トレイ搬送用のハースローラを具備したことを特徴とする炉」である点で一致するが、少なくとも次の点で相違する。
　チヤンバ内に装入されるトレイが、本件発明１においては、「チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ」ているのに対し、刊行物１記載の発明においては、そのような前壁と後壁をそなえることが規定されていない点。
　以下、この相違点について検討する。
　刊行物２には、連続式焼成炉において、ワーク（被処理物に相当）を多段に積み重ねて熱処理すること、断熱材により形成された風洞内に通風ケース（チヤンバに相当）を設け、風洞内とワークが搬送される通風ケース内に熱風を循環させること、通風ケースの対向する両側面に多数の孔を設けること等が記載されており、被処理物を段積み状に保持すること、及び、一方の壁の多孔板とこれと対向する他方の壁の吸気口とをチヤンバの両側面に設けることが記載されているといえる。しかしながら、前記相違点として示される本件発明１の構成要件の「チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ」ることは、刊行物２に記載も示唆もされていないし、当業者が課題解決のために適宜なし得る事項であるとも認められない。
　そして、本件発明１は、前記構成要件を具備することにより、「トレイ４０の前壁４３と後壁４４は、少量のすきまをもつてチヤンバ２４の内周面に嵌合し、循環路３１内を流れる雰囲気ガスが、トレイ装入口２５およびトレイ送出口２６から直接チヤンバ２４内へ流入してしまうのを防止」（明細書段落【００１３】）し、トレイ上の前側及び後ろ側寄りの位置に保持された被処理物が過熱されるのが防止され、トレイ上の多数個の被処理物を温度むら少なく昇温させることができるという刊行物１、２の記載からは予測できない顕著な効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明１は、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
３−４−２．本件発明２ないし本件発明３について
　本件発明２は、本件発明１を引用し、さらに、「循環路が、断熱室内壁面とチヤンバ外壁面との間に形成されている」ことを限定するものであり、また、本件発明３は、本件発明１または本件発明２を引用し、さらに、「チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口とした」ことを限定するものである。
　してみれば、本件発明２ないし本件発明３は、前記相違点として示される本件発明１の構成要件を具備する点で本件発明１と共通するから、本件発明１と同様の理由で、刊行物１、２に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
 ４．むすび 
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１ないし本件発明３に係る特許を取り消すことはできない。 
　また、他に本件発明１ないし本件発明３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月２０日（２００２．６．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（ａ）特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１を
「【請求項１】　真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもって嵌合する前壁と後壁をそなえ被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイと、前記トレイ搬送用のハースローラを具備したことを特徴とする真空炉。」と訂正する。
（ｂ）特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項３を削除する。
（ｃ）特許請求の範囲の
「【請求項４】　チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口とした請求項１または２または３記載の真空炉。
　【請求項５】　チヤンバを、他方の側壁が欠除した構成とし、この側壁の欠除により形成された開口部を吸気口とした請求項１または２または３記載の真空炉。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「【請求項３】　チヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口とした請求項１または２記載の真空炉。
　【請求項４】　チヤンバを、他方の側壁が欠除した構成とし、この側壁の欠除により形成された開口部を吸気口とした請求項１または２記載の真空炉。」と訂正する。
（ｄ）明細書の段落【０００５】の
「吸気口をそなえたチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイを具備した」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「吸気口をそなえ一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバを、前記断熱室内に配設し、前記吸気口から前記チヤンバの外部を経て前記一方の側壁の外側に至る循環路に、雰囲気ガス循環用のフアンと雰囲気ガス加熱用のヒータを設けるとともに、前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもって嵌合する前壁と後壁をそなえ被処理物を段積み状に保持し前記チヤンバ内に装入されるトレイと、前記トレイ搬送用のハースローラを具備した」と訂正する。
（ｅ）明細書の段落【０００８】の
「またこの発明において、真空炉をトレイ搬送用のハースローラをそなえた連続炉とし、チヤンバを、一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバとすれば、チヤンバに対するトレイの装入抽出を迅速容易におこなえるので好ましい。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「またこの発明においては、真空炉をトレイ搬送用のハースローラをそなえた連続炉とし、チヤンバを、一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状のチヤンバとしたので、チヤンバに対するトレイの装入抽出を迅速容易におこなえる。」と訂正する。
（ｆ）明りょうでない記載の釈明を目的として、明細書の段落【００１７】の「なおトレイ４０は、前壁４３と後壁４４（図１参照）を有しないものでもよい。」を削除する。
（ｇ）明細書の段落【００２４】の
「この発明はバツチ式の真空炉や熱処理用の真空炉にも適用できるものである。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「この発明は熱処理用の真空炉にも適用できるものである。」と訂正する
（５４）【発明の名称】
真空炉
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ
一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状の
前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもつて嵌合する前壁と後壁をそなえ
と、前記トレイ搬送用のハースローラ
　【請求項２】　循環路が、断熱室内壁面とチヤンバ外壁面との間に形成されている請求項１記載の真空炉。
　【請求項
３
２記載の
　【請求項
４
２記載の
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は被処理物の熱処理や焼結等の加熱処理をおこなう真空炉に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、たとえばステンレス鋼やアルミニウム材のような酸化しやすい材料の加熱処理は、真空炉を用いて真空中においておこなわれている。また真空度が高くなると材料の一部の成分が気化しやすくなるため、一旦真空にした炉殻内に雰囲気ガスを投入して数Ｔｏｒｒ乃至大気圧の雰囲気ガス中で加熱処理することもおこなわれている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが真空炉における被処理物の加熱は、電熱ヒータなどのヒータからのふく射伝熱によつているため、多数個の被処理物の集合体を一度に処理する場合などは、集合体内部の昇温が遅れ、長い処理時間を必要とし生産性が劣るという問題があつた。
　【０００４】
　この発明は上記従来の問題点を解決するもので、被処理物を短時間で温度むら少なく昇温させることができる真空炉を提供しようとするものである。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　この発明の真空炉は、真空ポンプおよび雰囲気ガス供給源に接続された炉殻内に、断熱壁で包囲した断熱室を設け、一方の側壁を多孔板で構成しこれと対向する他方の側壁に吸気口をそなえ
一端部にトレイ装入口を、他端部にトレイ送出口をそなえたトンネル状の
前記チヤンバの内周面に少量のすきまをもって嵌合する前壁と後壁をそなえ
と、前記トレイ搬送用のハースローラ
　【０００６】
　【作用】
　この発明の真空炉においては、トレイをチヤンバ内に装入し、炉殻内に雰囲気ガスを投入した状態で、フアンを運転すれば、吸気口から吸引された雰囲気ガスはヒータにより加熱され循環路を経て、多孔板部からチヤンバ内に吹込まれ、被処理物を加熱後、吸気口に至る循環流が形成される。チヤンバに流入する高温の雰囲気ガスは、多孔板の通気孔によつて整流され、段積状の被処理物間を横向きに流通し、通気孔の配置によつて所望のガス流分布を得ることができるので、トレイ上の多数個の被処理物をほぼ均一な温度分布で短時間で昇温させることができる。
　【０００７】
　この発明において循環路を、断熱室内壁面とチヤンバ外壁面との間に形成させれば、ヒータにより昇温した雰囲気ガスが断熱室内を流通するため熱損失が少なく、また構造も簡潔で好ましい。
　【０００８】
　またこの発明において
は
したので
。
　【０００９】
　さらにこの発明においてチヤンバの他方の側壁も多孔板で構成し、この多孔板の孔を吸気口として用いれば、多数個の吸気口による整流作用によつて、チヤンバ内のガス流分布がさらに均一化されるので好ましい。
　【００１０】
　またこの発明においてチヤンバを、他方の側壁が欠除した構成とし、この欠除により形成された開口部を吸気口として用いれば、吸気抵抗が少なく、またチヤンバの構造も簡潔で好ましい。
　【００１１】
　【実施例】
　以下図１乃至図３によりこの発明を連続式真空焼結炉に適用した場合の第１実施例を説明する。図中、１は連続式真空焼結炉で、脱ワツクス室２と焼結室３と冷却室４を直列に配置して成る。５は被処理物装入用の入口、６は同じく抽出用の出口で、入口の扉７および出口の扉８は、エアシリンダ式の開閉装置９および１０により開閉駆動されるようになつている。１１は装入テーブル、１２は抽出テーブルであり、また１３は炉長全長にわたつて設けた、炉内搬送用のハースロールである。
　【００１２】
　一方焼結室３は、図２にも詳細を示すように、円筒状の炉殻２１内に黒鉛製の略円筒状の断熱壁２２により包囲した断熱室２３を設け、さらにこの断熱室２３内に、トレイ４０が通過するチヤンバ２４を設けて成る。チヤンバ２４は一端部にトレイ装入口２５を、他端部にトレイ送出口２６をそなえた、炉長方向に延びる断面角形のトンネル状を呈し、このチヤンバ２４の一方の側壁２７は多数個の通気孔２８を穿設した多孔板から成り、他方の側壁２９には吸気口３０が設けてある。３１ａおよび３１ｂは吸気口３０から側壁２７の外側に至る循環路で、断熱壁２２の内面とチヤンバ２４の外壁面との間に形成されている。３２は雰囲気ガス循環用のフアンで、吸気口３０に対向して設けられ、電動機３３により駆動される。また３４は、循環路３１（上側の循環路３１ａおよび下側の循環路３１ｂの総称。）内に設けた電熱式のヒータである。３５は炉殻２１に設けた排気口で、図示しない真空ポンプに接続され、３６は同じく炉殻２１に設けた雰囲気ガス供給口で、図示しない雰囲気ガス供給源に接続されている。
　【００１３】
　トレイ４０はアルミニウム焼結部品である被処理物４１を多数個段積み状に保持するトレイで、被処理物４１は複数枚の棚板４２上に載置される。このトレイ４０の前壁４３と後壁４４は、少量のすきまをもつてチヤンバ２４の内周面に嵌合し、循環路３１内を流れる雰囲気ガスが、トレイ装入口２５およびトレイ送出口２６から直接チヤンバ２４内へ流入してしまうのを防止するようにしてある。
　【００１４】
　焼結室３の前工程側の脱ワツクス室２は、前述のチヤンバ２４およびフアン３２を具備しない点を除いて、焼結室３と同様な構成を有し、炉殻５１内に断熱室５２を設け、ヒータ５３を具備している。また焼結室３の後工程側の冷却室４は炉殻５４内に雰囲気循環用のフアン５５と雰囲気冷却用のクーラ５６をそなえている。脱ワツクス室２と焼結室３と冷却室４の間の扉５７よび５８は、エアシリンダ式の開閉装置５９および６０により開閉されるようになつている。
　【００１５】
　次に上記構成の真空炉における被処理物４１の処理方法を図３も参照しつつ説明する。先ず被処理物４１を段積み状に積載したトレイ４０を脱ワツクス室２に装入したら、扉７および５７を閉じて脱ワツクス室２内を真空にするとともにヒータ５３により被処理物４１を約４５０℃に加熱して脱ワツクスをおこなう。このとき一旦１０−３Ｔｏｒｒ程度の高真空度に排気後、窒素ガスを少量室内に供給してキヤリヤガスとしてワツクスを炉外に排出する役目をさせる。
　【００１６】
　脱ワツクスの終期に、脱ワツクス室２および焼結室３内を真空にし、扉５７を開いてトレイ４０を焼結室３のチヤンバ２４内に移送し、真空中でヒータ３４により昇温しつつ被処理物４１部に付着した残存ワツクスを室外へ排気後、雰囲気ガス供給口３６から窒素ガスを導入して焼結室３内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気とし、フアン３２を運転する。これによつて断熱室２３内の窒素ガスは、循環路３１を流れてヒータ３４により加熱され、多孔板から成る側壁２７の通気孔２８を通過して、整流状態でチヤンバ２４内を側方へ流れ、各棚板４２上の被処理物４１をほぼ均等に加熱後、吸気口３０から吸引され循環路３１へと循環する。
　【００１７】
　上記の加熱により被処理物４１を約６００℃で所定時間焼結後、焼結室３内を再度真空排気して扉５８を開いて、トレイ４０を冷却室４内へ移送すれば、高温ガスが冷却室４内へ流れ込むことが防止され、冷却室４において降温した窒素ガス雰囲気により被処理物４１を急冷することができる。そして複数個のトレイ４０を順次間欠的に炉内に装入して上記各工程を繰返すことにより、多数の被処理品を連続処理できるので
ある。
　【００１８】
　次に図４および図５によりこの発明を連続式真空焼結炉に適用した場合の第２実施例を説明する。これらの図は図１における焼結室３の部分のみを示し、図１および図２と同一または相当部分には、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
　【００１９】
　この実施例においては断熱壁２２は略角筒状を呈し、またチヤンバ６１は炉長方向に延びる断面コ字形のトンネル状を呈している。すなわち、チヤンバ６１は側壁２７，６２と頂壁６３とから成り、底壁を有しない。そして多孔板から成る一方の側壁２７に対向する他方の側壁６２も多孔板から成り、その多数個の孔が吸気口６４を構成している。
　【００２０】
　またチヤンバ６１の側壁６２および頂壁６３の外側の循環路６５ａと、側壁２７の外側の循環路６５ｂの間を仕切板６６で仕切り、送風機用のケ−シング６７に収容したフアン６８を断熱室２３の頂部に配置して、該ケ−シング６７の吐出口６９を仕切板６６に開口させてある。７０はケ−シング６７の吸込口である。また７１は循環路６５ａの底壁、７２は循環路６５ｂの底壁、７３および７４は両循環路６５ａ，６５ｂの焼結室入口側および出口側を閉鎖する側壁である。なおヒ−タ３４の配置も第１実施例とは異なる。
　【００２１】
　この実施例においても、第１実施例と同様な操業をおこなうが、被処理物４１の加熱時に焼結室３内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気としてフアン６８を運転すると、多孔板から成る側壁２７の通気孔２８を通過して整流状態でチヤンバ６１内に流入した窒素ガスは、多孔板から成る他方の側壁６２の多数個の吸気口６４により整流され、この吸気口６４からほぼ均等流として循環路６５ａへ流出するので、チヤンバ６１内の窒素ガス流は一層均一化されるという長所を有する。
　【００２２】
　次に図６および図７はこの発明を連続式真空焼結炉に適用した場合の第３実施例を示し、第２実施例において側壁６２を除去し、この除去によつて一方の側壁２７に対向してトレイ４０の通路の側方に形成された大きな開口部を、吸気口７５として用いるものである。さらにこの実施例ではこの吸気口７５部に、ガス流方向を円滑に変換するためのガイド板７６を設けてある。他の構成は第２実施例と同じである。
　【００２３】
　すなわちこの実施例における吸気口７５は、第１実施例における吸気口３０を拡大して側壁２９の全面にわたつて開口させたものに相当する。チヤンバ７７は側壁２７と頂壁６３のみから成る断面Ｌ字形のトンネル状を呈し、他の実施例における側壁２９，６２が欠除しているので、フアン６８の吸気抵抗が小さくて済み、またチヤンバ７７の構造も簡潔化される。なおガイド板７６は省略してもよい。
　【００２４】
　この発明は上記各実施例に限定されるものではなく、たとえば第２および第３実施例において、チヤンバ６１および７７に底壁を設けてもよい。また以上は連続式真空焼結炉の例について説明したが、この発明
は熱処理用の真空炉
　【００２５】
　【発明の効果】
　以上説明したようにこの発明によれば、トレイを収容したチヤンバ内にヒータによつて加熱した雰囲気ガスを整流状態で流入させ、チヤンバ内を横向きに流通させるようにしたので、トレイ上の多数個の被処理物を短時間で温度むら少なく昇温させることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明の第１実施例を示す連続式真空焼結炉の縦断面図である。
　【図２】
　図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
　【図３】
　図１の炉の操業方法を示す線図である。
　【図４】
　この発明の第２実施例を示す連続式真空焼結炉の焼結室部の縦断面図である。
　【図５】
　図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
　【図６】
　この発明の第３実施例を示す連続式真空焼結炉の焼結室部の縦断面図である。
　【図７】
　図６におけるＣ−Ｃ線断面図である。
　【符号の説明】
　１…連続式真空焼結炉、３…焼結室、２１…炉殻、２２…断熱壁、２３…断熱室、２４…チヤンバ、２５…トレイ装入口、２６…トレイ送出口、２７…側壁、２８…通気孔、２９…側壁、３０…吸気口、３１ａ…循環路、３１ｂ…循環路、３２…フアン、３４…ヒータ、３５…排気口、３６…雰囲気ガス供給口、４０…トレイ、４１…被処理物、４２…棚板、６１…チヤンバ、６２…側壁、６３…頂壁、６４…吸気口、６５ａ…循環路、６５ｂ…循環路、６６…仕切板、６７…ケーシング、６８…フアン、７５…吸気口、７７…チヤンバ。