(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備え、それぞれの試験部は、対応するプログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、同期部に同期待ちコマンドを通知し、同期部は、複数の試験部のうちの、所定の１以上の試験部の全てから同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、複数の試験部のうちの、所定の２以上の試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する試験装置を提供する。
2010067468.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して前記被試験デバイスを試験する複数の試験部と、
前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部と
を備え、
それぞれの前記試験部は、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記同期部に同期待ちコマンドを通知し、
前記同期部は、前記複数の試験部のうちの、所定の１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、前記複数の試験部のうちの、所定の２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する試験装置。
【請求項２】
前記同期部は、前記複数の試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、前記複数の試験部の全てに対して、前記同期信号を同期して供給する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記同期部は、前記所定の１以上の前記試験部から最後の前記同期待ちコマンドを受け取ってから、所定の期間経過後に、前記所定の２以上の前記試験部に対して、前記同期信号を同期して供給する
請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記所定の期間は、前記所定の１以上の前記試験部の個数によらず一定である
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記同期部は、前記同期信号を同期して供給する前記試験部の組み合わせを、前記プログラムの実行中に変更する
請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
【請求項６】
それぞれの前記試験部は、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する前に、他のいずれの前記試験部が前記同期待ち状態となったときに、自己の同期待ち状態が解除されるべきであるかを示す指定コマンドを前記同期部に通知し、
前記同期部は、前記指定コマンドにより定まる前記所定の１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、対応する前記試験部に対して前記同期信号を供給する
請求項１から５のいずれかに記載の試験装置。
【請求項７】
前記プログラムは、前記試験部が同期待ち状態となる場合に、所定のウェイトパケットを前記被試験デバイスに繰り返し供給させる命令を含み、
それぞれの前記試験部は、前記ウェイトパケットを前記被試験デバイスに供給させる命令を検出した場合に、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する
請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。
【請求項８】
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備える試験装置により前記被試験デバイスを試験する試験方法であって、
それぞれの前記試験部において、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記試験部から前記同期部に同期待ちコマンドを通知する通知段階と、
前記複数の試験部のうちの所定の１以上の前記試験部の全てから、前記同期部に前記同期待ちコマンドが通知されたことを条件として、前記複数の試験部のうちの、所定の２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する同期段階と
を備える試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および試験方法に関する。本出願は、下記の米国出願に関連し、下記の米国出願からの優先権を主張する出願である。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
出願番号  １２／３２９，６３５    出願日  ２００８年１２月８日
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ等の被試験デバイスを試験する装置として、複数の試験回路を備える試験装置が知られている（例えば、特許文献１および２参照）。この場合、複数の試験回路は、同期して動作することが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００３／０６２８４３号パンフレット
【特許文献２】特開２００７−５２０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、それぞれの試験回路は、予め与えられるプログラム、シーケンス等に応じて動作する。従来の試験装置では、これらのプログラム等の実行を、同期して開始することで、それぞれの試験回路を同期して動作させている。【０００５】
しかし、多様な試験を実行する場合、各試験回路におけるプログラムの実行開始のタイミングを同期させるだけでは十分でない場合がある。例えばプログラムの実行中に、所定の試験回路の全てが待ち状態となったことを条件として、次のステップを同期して実行したい場合も考えられる。【０００６】
このとき、各試験回路において、待ち状態となるまでに実行すべきプログラムの実行時間が同一となるように、各プログラムを設計すれば、プログラムの実行開始のタイミングを同期させることで、それ以降の試験を同期して実行することもできる。しかし、このようなプログラムを設計することは、手間がかかってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備え、それぞれの試験部は、対応するプログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、同期部に同期待ちコマンドを通知し、同期部は、複数の試験部のうちの、所定の１以上の試験部の全てから同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、複数の試験部のうちの、所定の２以上の試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する試験装置、および、当該試験装置に係る試験方法を提供する。【０００８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係る試験装置１００の構成例を示す図である。
【図２】試験装置１００の動作例のタイミングチャートを示す。
【図３】試験装置１００の他の動作例のタイミングチャートを示す。
【図４】被試験デバイス２００の構成例を示す図である。
【図５】試験部２０の構成例を示す図である。
【図６】送信側ブロック１２の構成例を示す図である。
【図７】受信側ブロック１４の構成を示す図である。
【図８】本実施形態に係る試験部２０の処理フローを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
図１は、実施形態に係る試験装置１００の構成例を示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する装置であって、制御部１０、同期部１１、および、複数の試験部２０を備える。本例の試験装置１００は、複数の試験部２０を、任意のタイミングで同期して動作させることで、被試験デバイス２００を試験する。
【００１２】
なお試験装置１００は、複数の被試験デバイス２００を並行して試験してよい。試験装置１００は、それぞれの被試験デバイス２００単位で試験部２０を同期して動作させてよく、また、被試験デバイス２００の機能ブロック毎に試験部２０を同期して動作させてもよい。また、被試験デバイス２００間で、試験部２０を同期して動作させてよく、被試験デバイス２００の機能ブロック間で試験部２０を同期して動作させてもよい。また、試験装置１００は、全ての試験部２０を同期して動作させてもよい。また、同期して動作させるべき試験部２０は、使用者から与えられるプログラム等で指定されてもよい。
【００１３】
制御部１０は、試験装置１００の全体を制御する。例えば制御部１０は、使用者等から与えられるプログラム、指示等に応じて、同期部１１および試験部２０を制御してよい。より具体的には、制御部１０は、同期部１１および試験部２０の動作周期を規定する基準クロックを生成してよく、同期部１１および試験部２０の動作を制御する制御命令を生成してよい。また、制御部１０は、それぞれの試験部２０に、所定の試験プログラム、データパターンを予め格納してよい。制御部１０は、同期部１１を介して、それぞれの試験部２０とデータを受け渡してよい。
【００１４】
それぞれの試験部２０は、与えられる試験プログラムに応じて動作して、被試験デバイス２００を試験する。例えば試験部２０は、与えられる試験プログラムに含まれるそれぞれの命令を順次実行して、各命令に応じた動作を行う。例えば試験プログラムには、予め与えられる複数のデータパターンを、どのような順序で出力するかを示すシーケンスが含まれてよい。試験部２０は、当該シーケンスに応じて、それぞれのデータパターンを順番に出力するシーケンサを有してよい。
【００１５】
当該データパターンは、被試験デバイス２００の各ピンに与えるべき論理値を１ビットずつ指定するビット単位パターンであってよく、被試験デバイス２００の各ピンに与えるべき論理値を所定の複数ビットずつ指定する複数ビット単位パターンであってもよい。また、当該データパターンは、被試験デバイス２００の各ピンに与えるべき論理値を、所定の試験機能を実現するために複数ビットに渡って指定するパケット単位パターンであってもよい。試験装置１００の試験機能に対応したパケットについては、後述する。
【００１６】
また、試験部２０は、被試験デバイス２００から受け取った信号と、期待値とを比較することで、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。試験部２０は、当該期待値についても、被試験デバイス２００に与えるべきパターンと同様の処理で生成する。
【００１７】
同期部１１は、複数の試験部２０における少なくとも２つの試験部２０の動作を同期させる。上述したように、同期部１１は、多様な組み合わせの試験部２０の動作を同期させる。当該試験部２０の組み合わせは、制御部１０が指定してよく、また、それぞれの試験部２０が、制御部１０から与えられる試験プログラムに応じて指定してもよい。
【００１８】
図２は、試験装置１００の動作例のタイミングチャートを示す。本例では、３つの試験部２０を同期させて動作させる例を説明するが、他の例では、試験装置１００は、異なる数の試験部２０を同期して動作させてよい。制御部１０は、それぞれの試験部２０に、予め試験プログラムおよびデータパターンを格納する。
【００１９】
同期部１１は、それぞれの試験部２０に対して、試験プログラムの実行を開始させるスタート信号（Ｓｔａｒｔ）を同期して供給する。それぞれの試験部２０は、当該スタート信号に応じて試験プログラムの実行を開始する（Ｒｕｎ）。それぞれの試験プログラムは、複数の試験ブロックが含まれてよい。
【００２０】
それぞれの試験部２０は、試験プログラムの実行中に予め定められた条件を満たした場合に、同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行する。例えばそれぞれの試験部２０は、それぞれの試験ブロックの実行が終了したときに同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行する。それぞれの試験ブロックの実行は、被試験デバイス２００から所定の条件を満たす結果が得られた場合に終了してよい。このように、対応する試験プログラムの実行中に同期待ち状態（Ｗａｉｔ）になる場合、それぞれの試験部２０は、同期部１１に同期待ちコマンドを通知する。それぞれの試験部２０は、同期待ちコマンドを同期部１１に通知してから、同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行することが好ましい。また、それぞれの試験部２０は、当該同期待ち状態が解除された場合に、次の試験ブロックの実行を開始する（Ｒｕｎ）。
【００２１】
同期部１１は、複数の試験部２０のうち、所定の１以上の試験部２０の全てから同期待ちコマンドを受け取ったか否かを検出する。ここで、所定の１以上の試験部２０がいずれの試験部２０を指すかは、同期部１１に予め通知される。例えば、いずれかの試験部２０が実行する試験ブロック中に、当該所定の１以上の試験部２０を同期部１１に通知する命令が含まれてよい。本例では、所定の１以上の試験部２０が、３個の試験部２０のうちの全てを指す場合を説明する。
【００２２】
同期部１１は、全ての試験部２０から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、複数の試験部２０のうち、所定の２以上の試験部２０に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する。ここで、所定の２以上の試験部２０がいずれの試験部２０を指すかは、同期部１１に予め通知される。例えば、いずれかの試験部２０が実行する試験ブロック中に、当該所定の２以上の試験部２０を同期部１１に通知する命令が含まれてよい。本例では、所定の２以上の試験部２０が、３個の試験部２０のうちの全てを指す場合を説明する。
【００２３】
上述したように、本例の同期部１１は、全ての試験部２０から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、全ての試験部２０に対して同期信号を同期して供給する。このとき、最後に通知された同期待ちコマンドを受け取ってから、所定の期間（Ｌａｔｅｎｃｙ）経過後に、３個の試験部２０に対して、同期信号を同期して供給する。当該期間（Ｌａｔｅｎｃｙ）は、同期部１１に対して同期待ちコマンドを通知すべき試験部２０の個数によらず一定であることが好ましい。同期信号を同期して受け取ったそれぞれの試験部２０は、次の試験ブロックの実行を、同期して開始する。
【００２４】
このような制御を繰り返すことで、それぞれの試験部２０は、それぞれの試験ブロックの実行を同期して開始することができる。なお、それぞれの試験部２０が同期して実行すべき試験ブロックの内容、実行時間は、異なってよい。例えば、それぞれの試験部２０が同期して実行すべき試験ブロックは、互いに異なる構成の命令群を有してよく、互いに異なる命令数の命令群を有してよい。本例の試験装置１００は、試験プログラムの実行中に、各試験部２０の動作を同期させることができるので、それぞれの試験部２０が実行時間の異なる試験ブロックを実行しても、試験ブロック毎に各試験部２０の動作を容易に同期させることができる。
【００２５】
図３は、試験装置１００の他の動作例のタイミングチャートを示す。本例の試験装置１００は、３個の試験部２０のうちの、所定の２つの試験部２０から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、所定の２つの試験部２０に対して同期信号を同期して供給する。なお、同期待ちコマンドを同期部１１に通知すべき試験部２０の組み合わせと、同期部１１から同期信号が供給される試験部２０の組み合わせとは、異なっていてもよい。
【００２６】
例えば図３に示すように、同期部１１は、第２の試験部２０−２および第３の試験部２０−３の双方から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−２に対して同期信号を供給してよい。この場合、第２の試験部２０−２および第３の試験部２０−３が同期待ち状（Ｗａｉｔ）に移行したことを条件として、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−２が次の試験ブロックの実行を開始する（Ｒｕｎ）。
【００２７】
また、同期部１１は、同期待ちコマンドを同期部１１に通知すべき試験部２０の組み合わせ、および、同期部１１から同期信号が供給される試験部２０の組み合わせの少なくとも一方を、試験プログラムの実行中に変更してよい。例えば上述したように、同期信号Ａを供給する場合に、同期部１１は、第２の試験部２０−２および第３の試験部２０−３の双方から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−２に対して同期信号を供給してよい。
【００２８】
また、図３に示すように、同期信号Ａを供給した後に更に同期信号Ｂを供給する場合に、同期部１１は、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−２の双方から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、第１の試験部２０−１および第３の試験部２０−３に対して同期信号を供給してよい。このように、同期動作のトリガとなる試験部２０の組み合わせ、および、同期動作を行わせる試験部２０の組み合わせを変更することで、多様な試験を実行することができる。
【００２９】
なお、それぞれの同期信号について、同期待ちコマンドを同期部１１に通知すべき試験部２０の組み合わせ、および、同期部１１から同期信号が供給される試験部２０の組み合わせは、それぞれの試験部２０から同期部１１に予め通知されてよい。例えば、それぞれの試験部２０は、同期待ちコマンドを同期部１１に通知するより前に、他のいずれの試験部２０が同期待ち状態となったときに、自己の同期待ち状態が解除されるべきであるかを示す指定コマンドを同期部に通知してよい。試験部２０は、同期待ち状態になる毎に、当該指定コマンドを予め通知してよい。
【００３０】
同期部１１は、同期待ち状態に移行する毎にそれぞれの試験部２０から受け取る指定コマンドに基づいて、次に生成すべき同期信号について、同期待ちコマンドを同期部１１に通知すべき試験部２０の組み合わせ、および、同期部１１から同期信号が供給される試験部２０の組み合わせを決定する。例えば、上述した同期信号Ａにおいては、第１の試験部２０−１および第３の試験部２０−３は、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−２が同期待ち状態となったときに自己の同期待ち状態を解除する旨の指定コマンドを、同期部１１に対して予め通知する。同期部１１は、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−２の組み合わせから同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、第１の試験部２０−１および第２の試験部２０−３の組み合わせに同期信号を供給する旨を、これらの指定コマンドに基づいて決定する。
【００３１】
このような構成により、それぞれの試験部２０が同期待ち状態となる毎に、同期待ちコマンドを同期部１１に通知すべき試験部２０の組み合わせ、および、同期部１１から同期信号が供給される試験部２０の組み合わせを決定することができる。従って、多様な試験部２０の組み合わせで、試験ブロックの実行を同期させることができる。
【００３２】
図４は、被試験デバイス２００の構成例を示す図である。本例の被試験デバイス２００は、複数の機能ブロックを有する。それぞれの機能ブロックは、異なる周波数で動作してよい。このような場合、試験装置１００は、それぞれの機能ブロック毎に、タイムドメイン１１０を備えてよい。それぞれのタイムドメイン１１０は、図１に関連して説明した複数の試験部２０および同期部１１を有してよい。この場合、試験装置１００は、タイムドメイン１１０単位で、複数の試験部２０を図２および図３に関連して説明したように同期して動作させてよい。
【００３３】
また、試験装置１００は、タイムドメイン１１０間で、更に試験部２０を同期して動作させてもよい。この場合、同期部１１は、タイムドメイン１１０単位で試験部２０を同期させる機能と、タイムドメイン１１０間で試験部２０を同期させる機能とを有する。タイムドメイン単位で試験部２０を同期させる機能は、図２および図３に関連して説明した同期部１１の機能と同一であってよい。
【００３４】
また、タイムドメイン１１０間で試験部２０を同期させる場合、同期部１１は、各タイムドメイン１１０における下位の同期機能において、当該タイムドメイン１１０内の所定の試験部２０の全てから同期待ちコマンドを受け取った場合に、上位の同期機能にその旨を通知してよい。上位の同期機能は、同期させるべき全てのタイムドメイン１１０から当該通知を受け取った場合に、各タイムドメイン１１０に、同期信号を供給してよい。このような構成により、動作周波数の異なる複数の機能ブロックを有する被試験デバイス２００に対して、それぞれのタイムドメイン１１０を同期させて試験することができる。
【００３５】
図５は、試験部２０の構成例を示す図である。本例では、所定の試験機能が予め割り当てられたパケット単位で、被試験デバイス２００とデータを受け渡す試験部２０について説明する。本例の試験部２０は、実行処理部１８および通信処理部１６を有する。
【００３６】
実行処理部１８は、試験プログラム記憶部１３２と、プログラム供給部１３４と、フロー制御部１３６とを有する。また、それぞれの通信処理部１６は、送信側ブロック１２と、受信側ブロック１４とを有する。
【００３７】
試験プログラム記憶部１３２は、制御部１０から与えられる試験プログラムを記憶する。プログラム供給部１３４は、試験プログラム記憶部１３２に記憶された試験プログラムから、対応する通信処理部１６により通信される一連のパケットをそれぞれ含む複数のパケットリストを生成して、送信側ブロック１２および受信側ブロック１４に設けられたパケットリスト記憶部６０（図６および図７参照）に格納する。
【００３８】
パケットリストは、所定の試験機能を実行するために生成されるべき複数のパケットの識別情報を、実行されるべき順番で示すリストであってよい。例えばパケットリストは、セットアップパケット、送信データパケット、ＡＣＫパケット等を順番に指定するリストであってよい。プログラム供給部１３４は、試験プログラムにより実行されるべき各試験機能に対応するパケットリストを生成して、パケットリスト記憶部６０に記憶してよい。また、プログラム供給部１３４は、パケットリスト記憶部６０に記憶したパケットリストを実行させる順番を記述した制御プログラムを生成して、フロー制御部１３６に供給する。
【００３９】
フロー制御部１３６は、制御プログラムに応じて、対応する通信処理部１６に対して、複数のパケットリストのそれぞれを実行する順序を指定する。より具体的には、フロー制御部１３６は、プログラム供給部１３４から供給された制御プログラムを実行して、対応する通信処理部１６に対して、パケットリスト記憶部６０に格納された複数のパケットリストのうち次に実行すべきパケットリストを特定する。
【００４０】
フロー制御部１３６は、一例として、次に実行すべきパケットリストのアドレスを通信処理部１６へ送信する。また、フロー制御部１３６は、制御プログラムに、条件分岐、無条件分岐またはサブルーチン呼び出し等の演算式が含まれる場合、試験部２０が被試験デバイス２００から受信した受信パケットの内容等に応じて、次に実行すべきパケットリストを特定する。送信側ブロック１２および受信側ブロック１４は、フロー制御部１３６により順次指定されるパケットリストに含まれる一連のパケットを、対応する被試験デバイス２００との間で順次通信して、対応する被試験デバイス２００を試験する。
【００４１】
送信側ブロック１２は、例えば、アドレスを指定してデータを読み出すべく被試験デバイス２００を動作させるリードパケット、アドレスを指定して所定のデータを書き込むべく被試験デバイス２００を動作させるライトパケット、被試験デバイス２００を待機状態にするウェイトパケット等を、被試験デバイス２００に供給する。被試験デバイス２００は、試験部２０から受け取った各パケットに応じて動作して、動作結果を受信側ブロック１４に送信する。
【００４２】
受信側ブロック１４は、被試験デバイス２００から受け取った受信パケットに基づいて、被試験デバイス２００の動作の良否を判定する。例えば受信側ブロック１４は、送信側ブロック１２が送信した送信パケットに含まれるパターンデータに応じた期待値パターンを生成して、受信パケットと比較してよい。
【００４３】
各試験部２０は、試験プログラムの実行中に、待ち状態に移行する命令を検出した場合に、同期部１１に同期待ちコマンドを通知する。当該命令は、所定のウェイトパケットを被試験デバイス２００に対して繰り返し送信させる命令であってよい。また、各試験部２０は、同期待ちコマンドを通知する前に、上述した指定コマンドを通知してもよい。
【００４４】
そして、送信側ブロック１２は、同期待ち状態を解除する同期信号を受け取るまで、被試験デバイス２００に所定のウェイト動作のパケット列を繰り返し送信する。ウェイトパケットは、他の試験部２０における試験に影響を与えないような、所定のビットパターンを被試験デバイス２００に印加するパケットであってよい。
【００４５】
より具体的には、ウェイトパケットは、被試験デバイス２００の対応するピンに、論理値０を繰り返し印加するパターンであってよい。各試験部２０は、ウェイトパケットを繰り返し送信している間に、同期信号を受け取った場合に、次の試験ブロックの命令を実行する。
【００４６】
図６は、送信側ブロック１２の構成例を示す図である。送信側ブロック１２は、パケットリスト処理部２２、パケット命令列記憶部２４、パケットデータ列記憶部２６、下位シーケンサ２８、データ処理部３２、データ変換部３４、パケットリスト記憶部６０、および、送信部３６を有する。
【００４７】
パケットリスト処理部２２は、パケットリスト記憶部６０に記憶された複数のパケットリストのうちフロー制御部１３６により指定されたパケットリストを実行して、被試験デバイス２００と通信する各パケットを順次指定する。パケットリスト処理部２２は、一例として、フロー制御部１３６から受信したアドレスからパケットリストを実行して、被試験デバイス２００に送信するパケットを順次指定する。
【００４８】
パケットリスト処理部２２は、一例として、指定したパケットを発生するための命令列が記憶されたパケット命令列記憶部２４上のアドレスを指定する。更に、パケットリスト処理部２２は、一例として、被試験デバイス２００との間で通信するパケットについて、パケットデータ列記憶部２６内における当該パケットに含まれるデータ列のアドレス（例えばデータ列の先頭アドレス）を指定する。
【００４９】
このようにパケットリスト処理部２２は、パケットを発生させるための命令列のアドレスと、当該パケットに含まれるデータ列のアドレスを個別に指定する。なお、この場合において、パケットリスト中において、２以上のパケットに対して共通する命令列またはデータ列が指定されている場合に、パケットリスト処理部２２は、当該２以上のパケットについて同一の命令列のアドレスまたは同一のデータ列のアドレスを指定してもよい。
【００５０】
また、パケットリスト処理部２２は、指定するパケットがウェイトパケットの場合、同期部１１に対して、同期待ちコマンド（および指定コマンド）を通知してよい。パケットリスト処理部２２は、指定するパケットの識別情報またはアドレス等に基づいて、当該パケットがウェイトパケットであるか否かを判定してよい。
【００５１】
また、パケットリスト処理部２２に代えて、フロー制御部１３６が、同期待ちコマンドを通知してもよい。フロー制御部１３６は、指定するパケットリストにウェイトパケットが含まれている場合に、同期待ちコマンド（および指定コマンド）を同期部１１に通知してよい。
【００５２】
パケット命令列記憶部２４は、複数種類のパケットのそれぞれを発生するための命令列を、パケットの種類毎に記憶する。パケット命令列記憶部２４は、一例として、ライトパケットを発生するための命令列、リードパケットを発生するための命令列、および、ウェイトパケットを発生するための命令列等を記憶する。
【００５３】
パケットデータ列記憶部２６は、複数種類のパケットのそれぞれに含まれるデータ列を、パケットの種類毎に記憶する。パケットデータ列記憶部２６は、一例として、ライトパケットに含まれるデータ列、リードパケットに含まれるデータ列、および、アイドルパケットに含まれるデータ列等を含んでよい。
【００５４】
パケットデータ列記憶部２６は、一例として、共通データ記憶部４０と、共通データポインタ４２と、第１の個別データ記憶部４４−１と、第２の個別データ記憶部４４−２と、第１の個別データポインタ４６−１と、第２の個別データポインタ４６−２とを含んでよい。共通データ記憶部４０は、複数種類のパケットのそれぞれに含まれるデータ列中における、パケットの種類毎に共通の共通データを記憶する。共通データ記憶部４０は、一例として、パケットの種類毎に、パケットの始まりを示すスタートコード、パケットの終わりを示すエンドコード、および、当該パケットの種別を識別するためのコマンドコード等を記憶する。
【００５５】
共通データポインタ４２は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットに含まれる共通データが格納されたブロックの先頭アドレスを、パケットリスト処理部２２から取得する。更に、共通データポインタ４２は、当該ブロック内におけるオフセット位置を、下位シーケンサ２８から取得する。そして、共通データポインタ４２は、先頭アドレスおよびオフセット位置に基づき定まるアドレス（例えば先頭アドレスにオフセット位置を加算したアドレス）を共通データ記憶部４０に与えて、当該アドレスに格納された共通データをデータ処理部３２へ供給させる。
【００５６】
第１及び第２の個別データ記憶部４４−１、４４−２は、複数種類のパケットのそれぞれに含まれるデータ列中における、パケット毎に変更する個別データを記憶する。第１及び第２の個別データ記憶部４４−１、４４−２は、一例として、各パケットに含まれる、被試験デバイス２００に対して送信する実体データまたは被試験デバイス２００から受信する実体データを記憶してよい。
【００５７】
第１の個別データ記憶部４４−１は、実行されるパケットリストに関わらず予め定められた個別データを記憶する。第２の個別データ記憶部４４−２は、実行されるパケットリスト毎に変更される個別データを記憶する。第２の個別データ記憶部４４−２は、一例として、試験に先立ってまたは試験中において適宜に、実行処理部１８内のフロー制御部１３６から個別データの転送を受ける。
【００５８】
第１及び第２の個別データポインタ４６−１、４６−２は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットに含まれる個別データが格納されたブロックの先頭アドレスを、パケットリスト処理部２２から受け取る。更に、第１及び第２の個別データポインタ４６−１、４６−２は、当該ブロック内におけるオフセット位置を、下位シーケンサ２８から取得する。
【００５９】
そして、第１及び第２の個別データポインタ４６−１、４６−２は、先頭アドレスおよびオフセット位置に基づき定まるアドレス（例えば先頭アドレスにオフセット位置を加算したアドレス）を第１及び第２の個別データ記憶部４４−１、４４−２に与える。そして、第１及び第２の個別データポインタ４６−１、４６−２は、第１及び第２の個別データ記憶部４４−１、４４−２の当該アドレスに格納された個別データをデータ処理部３２へ供給させる。
【００６０】
下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットの命令列、即ち、パケットリスト処理部２２によりアドレスが指定された命令列をパケット命令列記憶部２４から読み出して、読み出した命令列に含まれる各命令を順次に実行する。更に、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットのデータ列、即ち、パケットリスト処理部２２によりアドレスが指定されたデータ列を、命令列の実行に従って順次にパケットデータ列記憶部２６から出力させて、被試験デバイス２００との間の試験に用いる試験データ列を生成する。
【００６１】
下位シーケンサ２８は、一例として、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットに含まれるデータ列が格納されたブロック中における、実行した命令に対応するデータの位置を表わすオフセット位置を、共通データポインタ４２、個別データポインタ４６−１および個別データポインタ４６−２に供給する。この場合において、下位シーケンサ２８は、最初の命令において初期値を発生して、実行する命令が遷移する毎にインクリメントされるカウント値を、オフセット位置として発生してもよい。
【００６２】
また、下位シーケンサ２８は、命令の実行毎に、読み出した個別データおよび共通データに対して指定した処理（演算またはデータ変換）を施すことを指示する制御データをデータ処理部３２およびデータ変換部３４に与える。これにより、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケット中における、指定されたデータ部分を、読み出したデータに対して指定した処理を施したデータとすることができる。
【００６３】
また、下位シーケンサ２８は、命令の実行毎に、共通データ、個別データ（実行されるパケットリストに関わらず予め定められた個別データまたは実行されるパケットリスト毎に変更される個別データ）、および、データ処理部３２が処理を施したデータのいずれを出力するかを、データ処理部３２に対して指定する。即ち、下位シーケンサ２８は、命令の実行毎に、共通データ記憶部４０、第１の個別データ記憶部４４−１、第２の個別データ記憶部４４−２、または、データ処理部３２内の指定した処理を施したデータが格納されたレジスタのいずれからデータを読み出して出力するかを、データ処理部３２に対して指定する。
【００６４】
これにより、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケット中における、パケット毎に変更すべきデータ部分を個別データ記憶部４４から読み出した個別データから生成することができる。更に、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケット中における、パケットの種類毎に共通するデータ部分を共通データ記憶部４０から読み出した共通データから生成することができる。また、更に、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケット中における指定されたデータ部分に対して、指定した処理を施すことができる。
【００６５】
また、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットの命令列の実行が完了したことに応じて、終了通知をパケットリスト処理部２２に与えてよい。これにより、パケットリスト処理部２２は、下位シーケンサ２８による命令列の実行の進行に応じて、順次にパケットを指定することができる。
【００６６】
また、下位シーケンサ２８は、送信部３６に対して、被試験デバイス２００に対して送信する信号のエッジタイミングを指定する。下位シーケンサ２８は、一例として、送信部３６に対してタイミング信号を与えて、パケット毎にエッジタイミングを制御する。
【００６７】
また、下位シーケンサ２８は、受信側ブロック１４が有する受信側の下位シーケンサ２８と通信する。これにより、送信側ブロック１２が有する送信側の下位シーケンサ２８は、受信側ブロック１４が有する受信側の下位シーケンサ２８とハンドシェイクを行って、受信側の下位シーケンサ２８と同期して命令列を実行することができる。
【００６８】
送信側の下位シーケンサ２８は、一例として、予め指定されたパケットの試験データ列を被試験デバイス２００に送信したことを受信側の下位シーケンサ２８に通知する。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、受信側の下位シーケンサ２８に、送信側の下位シーケンサ２８からの通知を受けるまでの間、受信したデータ列の良否判定を禁止させることができる。
【００６９】
また、送信側の下位シーケンサ２８は、一例として、受信側の下位シーケンサ２８から、生成した試験データ列と一致するデータ列を受信したことの通知を受けて、予め指定されたパケットの試験データ列を生成する。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、所定のパケットを被試験デバイス２００から受信した後に、予め指定されたパケットを被試験デバイス２００に送信することができる。
【００７０】
データ処理部３２は、パケットデータ列記憶部２６からパケットリスト処理部２２により指定されたパケットのデータ列を読み出して、被試験デバイス２００の試験に用いる試験データ列を生成する。データ処理部３２は、一例として、共通データ記憶部４０、第１の個別データ記憶部４４−１および第２の個別データ記憶部４４−２からのデータを入力して、入力したデータに対して下位シーケンサ２８により指定された処理をして試験データ列の各データとして出力する。
【００７１】
データ変換部３４は、下位シーケンサ２８から指定されたタイミングにおいて、データ処理部３２から出力した試験データ列をデータ変換する。データ変換部３４は、一例として、試験データ列に対して予め設定されたテーブル等により８ｂ−１０ｂ変換等を行う。更に、データ変換部３４は、一例として、試験データ列に対してスクランブル処理を行ってもよい。そして、データ変換部３４は、変換したデータ列を出力する。送信部３６は、データ変換部３４から出力された試験データ列を、被試験デバイス２００に対して送信する。
【００７２】
図７は、受信側ブロック１４の構成例を示す図である。受信側ブロック１４は、図６に示される送信側ブロック１２と略同一の構成および機能を有する。受信側ブロック１４が有する部材のうち、送信側ブロック１２が有する部材と略同一の構成及び機能を部材については、同一の符号を付けて相違点を除き説明を省略する。
【００７３】
受信側ブロック１４は、パケットリスト処理部２２と、パケット命令列記憶部２４と、パケットデータ列記憶部２６と、下位シーケンサ２８と、データ処理部３２と、データ変換部３４と、パケットリスト記憶部６０と、受信部８２と、判定部８４とを含む。受信部８２は、被試験デバイス２００から受信パケットのデータ列を受信する。
【００７４】
受信側ブロック１４内のデータ変換部３４は、下位シーケンサ２８から指定されたタイミングにおいて、受信部８２により受信されたデータ列をデータ変換する。受信側ブロック１４内のデータ変換部３４は、一例として、受信したデータ列に対して予め設定されたテーブル等により８ｂ−１０ｂ変換等を行う。更に、受信側ブロック１４内のデータ変換部３４は、一例として、受信したデータ列に対してデスクランブル処理を行ってもよい。そして、受信側ブロック１４内のデータ変換部３４は、変換したデータ列を出力する。
【００７５】
そして、受信側ブロック１４内のデータ変換部３４は、変換したデータ列を判定部８４へ供給する。更に、受信側ブロック１４内のデータ変換部３４は、変換したデータ列をパケットデータ列記憶部２６内の第２の個別データ記憶部４４−２の指定されたアドレスに格納させてもよい。
【００７６】
受信側ブロック１４内のパケットリスト処理部２２は、一例として、フロー制御部１３６から受信したアドレスからパケットリストを実行する。そして、受信側ブロック１４内のパケットリスト処理部２２は、被試験デバイス２００から受信されると期待されるパケットを順次指定する。
【００７７】
受信側ブロック１４内の下位シーケンサ２８は、被試験デバイス２００から出力が期待されるパケットのデータ列を、試験データ列としてパケットデータ列記憶部２６から出力させる。また、受信側ブロック１４内の下位シーケンサ２８は、受信部８２に対して、被試験デバイス２００から出力された信号のデータ値を取り込むストローブタイミングを指定する。受信側ブロック１４内のデータ処理部３２は、生成した試験データ列を判定部８４に供給する。
【００７８】
判定部８４は、データ処理部３２から試験データ列を受け取るとともに、データ変換部３４から受信したデータ列を受け取る。判定部８４は、受信したデータ列を試験データ列と比較した結果に基づいて、被試験デバイス２００との間における通信の良否を判定する。判定部８４は、一例として、受信部８２が受信したデータ列と試験データ列とが一致するか否かを比較する論理比較部と、比較結果を記憶するフェイルメモリとを含む。また、判定部８４は、一例として、受信部８２が受信したデータ列が指定されたデータ列と一致したことを下位シーケンサ２８に通知してもよい。
【００７９】
また、受信側ブロック１４内の下位シーケンサ２８は、図６に示される送信側ブロック１２が有する送信側の下位シーケンサ２８と通信する。これにより、受信側ブロック１４が有する受信側の下位シーケンサ２８は、送信側ブロック１２が有する送信側の下位シーケンサ２８とハンドシェイクを行って、送信側の下位シーケンサ２８と同期して命令列を実行することができる。
【００８０】
受信側の下位シーケンサ２８は、一例として、当該受信側の下位シーケンサ２８が生成した試験データ列と一致するデータ列を受信したことを送信側の下位シーケンサ２８に通知する。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、受信側の下位シーケンサ２８から、生成した試験データ列と一致するデータ列を受信したことの通知を受けて、予め指定されたパケットの試験データ列を生成することができる。送信側の下位シーケンサ２８は、受信側の下位シーケンサ２８からの通知を受けて生成すべきパケットが、同期待ち状態に移行するウェイトパケットである場合に、同期待ちコマンド（および指定コマンド）を同期部１１に通知してよい。
【００８１】
また、受信側の下位シーケンサ２８は、一例として、送信側の下位シーケンサ２８から、予め指定されたパケットの試験データ列を被試験デバイス２００に送信したことの通知を受けるまでの間、判定部８４による受信部８２が受信したデータ列の良否判定を禁止する。これにより、受信側の下位シーケンサ２８は、所定のパケットを被試験デバイス２００へ送信した後に、当該所定のパケットに応じた応答が被試験デバイス２００から出力されたか否かを判定することができる。
【００８２】
図８は、本実施形態に係る試験部２０の処理フローを示す。まず、パケットリスト処理部２２は、パケットリストを実行して、被試験デバイス２００との間で通信する各パケットを順次指定する（Ｓ８０１、Ｓ８０６）。このとき、ウェイトパケットを指定する命令を検出した場合に、パケットリスト処理部２２または下位シーケンサ２８は、同期待ちコマンド（および指定コマンド）を同期部１１に通知してよい。この場合、パケットリスト処理部２２は、同期部１１から同期信号を受け取るまで、ウェイトパケットを繰り返し指定する。
【００８３】
下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２によるパケットの指定を受けると、ステップＳ８０２からステップＳ８０５の処理を繰り返して実行する。下位シーケンサ２８は、パケットの指定を受けると、当該パケットを発生するための命令列を、パケット命令列記憶部２４から呼び出して、先頭の命令から順次に実行する。下位シーケンサ２８は、各命令の実行毎に、ステップＳ８０３及びステップＳ８０４の処理を実行する（Ｓ８０２、Ｓ８０５）。
【００８４】
ステップＳ８０３において、下位シーケンサ２８は、当該命令に対応するデータを出力する。また、ステップＳ８０４において、下位シーケンサ２８は、当該命令に対応する、演算またはデータ変換を実行させる。下位シーケンサ２８は、ステップＳ８０３およびステップＳ８０４を並行して実行する。
【００８５】
下位シーケンサ２８は、最後の命令を実行すると、処理をパケットリスト処理部２２に戻して、パケットリスト処理部２２から次のパケットの指定を受ける（Ｓ８０５）。そして、パケットリスト処理部２２は、パケットシーケンスにおける最後のパケットまでの処理が完了すると、当該フローを終了する（Ｓ８０６）。
【００８６】
以上説明したように、試験装置１００によれば、複数の試験部２０における各試験ブロックを、同期して実行させることができる。また、１つの試験プログラムを実行中に、複数回同期を取ることができる。
【００８７】
また、本実施形態に係る試験部２０によれば、パケットシーケンスを表わすパケットリストと、パケット内の命令列とが、別個のシーケンサにより実行される。これにより、試験部２０によれば、プログラムの記述を簡単にすることができる。更に、試験部２０によれば、共通の種類のパケットを発生するための命令列およびデータを共用化することができるので、格納する情報量を少なくすることができる。
【００８８】
更に、本実施形態に係る試験部２０は、下位シーケンサ２８が実行する命令列のアドレスおよび下位シーケンサ２８が読み出すデータ列のアドレスを、パケットリスト処理部２２から個別に指定する。これにより、試験部２０によれば、同一の命令列によって、異なるデータ列を発生することができる。従って、試験部２０によれば、同一の命令列を複数個格納しなくてよいので、格納する情報量を少なくすることができる。
【００８９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００９０】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前処理の出力を後処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意する。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００９１】
１０・・・制御部、１１・・・同期部、１２・・・送信側ブロック、１４・・・受信側ブロック、１６・・・通信処理部、１８・・・実行処理部、２０・・・試験部、２２・・・パケットリスト処理部、２４・・・パケット命令列記憶部、２６・・・パケットデータ列記憶部、２８・・・下位シーケンサ、３２・・・データ処理部、３４・・・データ変換部、３６・・・送信部、４０・・・共通データ記憶部、４２・・・共通データポインタ、４４・・・個別データ記憶部、６０・・・パケットリスト記憶部、８２・・・受信部、８４・・・判定部、１００・・・試験装置、１１０・・・タイムドメイン、１３２・・試験プログラム記憶部、１３４・・・プログラム供給部、１３６・・・フロー制御部、２００・・・被試験デバイス
【図１】
2010067468.tif 000003
【図２】
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【図３】
2010067468.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010067468.tif 000009
【図８】
2010067468.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月28日(2010.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して前記被試験デバイスを試験する複数の試験部と、
前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部と
を備え、
それぞれの前記試験部は、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記同期部に同期待ちコマンドを通知し、
前記同期部は、前記複数の試験部のうちの、指定される１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、前記複数の試験部のうちの、前記１以上の前記試験部とは異なる組み合わせの、２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する機能を有する試験装置。
【請求項２】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して前記被試験デバイスを試験する複数の試験部と、
前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部と
を備え、
それぞれの前記試験部は、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記同期部に同期待ちコマンドを通知し、
前記同期部は、前記複数の試験部のうちの、所定の１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、前記複数の試験部のうちの、所定の２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給し、
前記プログラムは、前記試験部が同期待ち状態となる場合に、所定のウェイトパケットを前記被試験デバイスに繰り返し供給させる命令を含み、
それぞれの前記試験部は、前記ウェイトパケットを前記被試験デバイスに供給させる命令を検出した場合に、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する試験装置。
【請求項３】
それぞれの前記試験部は、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する前に、他のいずれの前記試験部が前記同期待ち状態となったときに、自己の同期待ち状態が解除されるべきであるかを示す指定コマンドを前記同期部に通知し、
前記同期部は、前記指定コマンドにより定まる前記１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、対応する前記試験部に対して前記同期信号を供給する
請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記同期部は、前記１以上の前記試験部から最後の前記同期待ちコマンドを受け取ってから、所定の期間経過後に、前記２以上の前記試験部に対して、前記同期信号を同期して供給する
請求項１から３のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項５】
前記所定の期間は、前記１以上の前記試験部の個数によらず一定である
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記同期部は、前記同期信号を同期して供給する前記試験部の組み合わせを、前記プログラムの実行中に変更する
請求項１から５のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項７】
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備える試験装置により前記被試験デバイスを試験する試験方法であって、
それぞれの前記試験部において、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記試験部から前記同期部に同期待ちコマンドを通知する通知段階と、
前記複数の試験部のうちの指定される１以上の前記試験部の全てから、前記同期部に前記同期待ちコマンドが通知されたことを条件として、前記複数の試験部のうちの、前記１以上の前記試験部とは異なる組み合わせの、２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する同期段階と
を備える試験方法。
【請求項８】
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備える試験装置により前記被試験デバイスを試験する試験方法であって、
それぞれの前記試験部において、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記試験部から前記同期部に同期待ちコマンドを通知する通知段階と、
前記複数の試験部のうちの所定の１以上の前記試験部の全てから、前記同期部に前記同期待ちコマンドが通知されたことを条件として、前記複数の試験部のうちの、所定の２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する同期段階と
を備え、
前記プログラムは、前記試験部が同期待ち状態となる場合に、所定のウェイトパケットを前記被試験デバイスに繰り返し供給させる命令を含み、
前記通知段階において、それぞれの前記試験部は、前記ウェイトパケットを前記被試験デバイスに供給させる命令を検出した場合に、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する試験方法。
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月27日(2010.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して前記被試験デバイスを試験する複数の試験部と、
前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部と
を備え、
それぞれの前記試験部は、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記同期部に同期待ちコマンドを通知し、
前記同期部は、前記複数の試験部のうちの、指定される１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、前記複数の試験部のうちの、前記１以上の前記試験部とは異なる組み合わせの、２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する機能を有する試験装置。
【請求項２】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して前記被試験デバイスを試験する複数の試験部と、
前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部と
を備え、
それぞれの前記試験部は、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記同期部に同期待ちコマンドを通知し、
前記同期部は、前記複数の試験部のうちの、所定の１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、前記複数の試験部のうちの、所定の２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給し、
前記プログラムは、前記試験部が同期待ち状態となる場合に、所定のウェイトパケットを前記被試験デバイスに繰り返し供給させる命令を含み、
それぞれの前記試験部は、前記ウェイトパケットを前記被試験デバイスに供給させる命令を検出した場合に、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する試験装置。
【請求項３】
それぞれの前記試験部は、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する前に、他のいずれの前記１以上の前記試験部が前記同期待ち状態となったときに、自己の同期待ち状態が解除されるべきであるかを指定する指定コマンドを前記同期部に通知し、
前記同期部は、同一の前記１以上の前記試験部を指定する前記指定コマンドを、２以上の前記試験部から受け取った場合、前記１以上の前記試験部の全てから前記同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、当該指定コマンドを通知した前記２以上の前記試験部に対して前記同期信号を供給する
請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記同期部は、前記１以上の前記試験部から最後の前記同期待ちコマンドを受け取ってから、所定の期間経過後に、前記２以上の前記試験部に対して、前記同期信号を同期して供給する
請求項１から３のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項５】
前記所定の期間は、前記１以上の前記試験部の個数によらず一定である
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記同期部は、前記同期信号を同期して供給する前記試験部の組み合わせを、前記プログラムの実行中に変更する
請求項１から５のいずれか一項に記載の試験装置。
【請求項７】
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備える試験装置により前記被試験デバイスを試験する試験方法であって、
それぞれの前記試験部において、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記試験部から前記同期部に同期待ちコマンドを通知する通知段階と、
前記複数の試験部のうちの指定される１以上の前記試験部の全てから、前記同期部に前記同期待ちコマンドが通知されたことを条件として、前記複数の試験部のうちの、前記１以上の前記試験部とは異なる組み合わせの、２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する同期段階と
を備える試験方法。
【請求項８】
それぞれ与えられるプログラムに応じて動作して被試験デバイスを試験する複数の試験部と、前記複数の試験部における少なくとも２つの試験部の動作を同期させる同期部とを備える試験装置により前記被試験デバイスを試験する試験方法であって、
それぞれの前記試験部において、対応する前記プログラムの実行中に予め定められた条件を満たして同期待ち状態になる場合に、前記試験部から前記同期部に同期待ちコマンドを通知する通知段階と、
前記複数の試験部のうちの所定の１以上の前記試験部の全てから、前記同期部に前記同期待ちコマンドが通知されたことを条件として、前記複数の試験部のうちの、所定の２以上の前記試験部に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する同期段階と
を備え、
前記プログラムは、前記試験部が同期待ち状態となる場合に、所定のウェイトパケットを前記被試験デバイスに繰り返し供給させる命令を含み、
前記通知段階において、それぞれの前記試験部は、前記ウェイトパケットを前記被試験デバイスに供給させる命令を検出した場合に、前記同期待ちコマンドを前記同期部に通知する試験方法。
【国際調査報告】
2010067468.tif 000011
2010067468.tif 000012
2010067468.tif 000013
2010067468.tif 000014