(57)【要約】電気化学素子用電極を製造するにあたって、真空プロセスにて生じた、活物質層表面の突起物を容易かつ確実に除去する方法を提供する。電気化学素子用電極の製造において、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程とを行う。
2010079754.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、
前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、
前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程と
を含む、電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項２】
前記活物質がケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項３】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程におけるリチウム吸蔵量が前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項４】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に真空プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項５】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に電気化学プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項６】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を物理的に接触させて除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項７】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を払拭布にて払拭する工程である、請求項６記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項８】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を粘着テープにて被覆した後、前記活物質層表面から前記粘着テープを剥離する工程である、請求項６記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項９】
前記突起物を除去する第３の工程が、直線状刃先を有する刃物を使用し、前記直線状刃先を前記活物質層の表面から所定の距離に維持した状態で前記活物質層を移動させることにより前記突起物を除去する工程である、請求項６記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１０】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を直接接触させずに除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１１】
前記突起物を除去する第３の工程が、液中で前記活物質層表面に超音波を照射する工程である、請求項１０記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１２】
シート状の集電体と、前記集電体に担持された活物質層とを有する電気化学素子用電極であって、
前記活物質層は、前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下の量のリチウムを吸蔵しており、
前記活物質層表面にリチウムを吸蔵していない微小領域が存在することを特徴とする電気化学素子用電極。
【請求項１３】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１４】
前記微小領域が前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１５】
前記活物質層がケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１６】
前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１７】
請求項１２記載の電極から構成される負極と、
シート状の正極集電体と、前記正極集電体の上に設けられた正極活物質層と、を有し、前記負極の前記活物質層と前記正極活物質層とが対向するように配置された正極と、
前記負極と前記正極との間に配置されたセパレータと、を有する電気化学素子。
【請求項１８】
前記負極の前記活物質層は、前記セパレータの厚み方向において前記正極活物質層に対向している対向領域と、同方向において前記正極活物質層に対向していない非対向領域と、を有し、
前記非対向領域における前記活物質層表面において、前記微小領域が存在する、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項１９】
前記微小領域が、前記非対向領域における前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１８記載の電気化学素子。
【請求項２０】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２１】
前記負極の前記活物質層がケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２２】
前記負極の前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２３】
前記電気化学素子がリチウム二次電池である、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２４】
前記電気化学素子が電気化学キャパシタである、請求項１７記載の電気化学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リチウム二次電池や電気化学キャパシタで使用可能な電気化学素子用電極の製造方法、電気化学素子用電極、および、電気化学素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯機器の小型化や多機能化が進み、これに伴って携帯機器の電源としての電池の高容量化が切望されている。現在負極活物質として主に使用されている炭素の理論容量は３７２ｍＡｈ／ｇである。炭素よりも高容量化が可能な活物質として、理論容量が４２００ｍＡｈ／ｇであるシリコンが有望視されている。したがってシリコンを主成分とする電極材料およびシリコンを主成分とする電極材料の構造が数多く検討されている。【０００３】
それらの１つに、集電体上にシリコンを主成分とする膜として形成した活物質層がある。この活物質層の形成法として真空蒸着法等の真空プロセスが検討されている。【０００４】
一方、リチウム電池の電極を生産性良く製造するためには、ロールに巻き取られた長尺の集電体箔を別のロールに巻き取る間に活物質層を形成する方法、いわゆるロール・トゥ・ロール法がある。この方法では、ロールに巻かれた長尺の集電体箔を活物質層の成膜工程の上流に設けた巻き出し装置に装着し、別のロールを成膜工程の下流に設けた巻き取り装置に装着する。次いで、巻き出した集電体箔に活物質層を成膜し、得られた電極を巻き取り装置に装着したロールに巻き取る。【０００５】
ロール・トゥ・ロール法と真空プロセスとして真空蒸着法を組み合わせた場合では、蒸着材料の突沸が生じ、電極表面に突起物が形成されるという課題がある。【０００６】
蒸着材料の突沸は、坩堝内の蒸着材料が気化するのではなく、液体又は固体として飛び出す現象で、突沸した材料が成膜している集電体箔および活物質層上にぶつかれば望ましくない突起物を形成してしまう。蒸着材料の突沸は、坩堝に入れた蒸着材料に含まれる不純物や、坩堝内の温度ムラなどが原因と考えられ、突沸を低減することは可能であるが無くすことは困難である。特に蒸発材料を補給しながら長時間に亘り成膜を行う場合には突沸を無くすことは困難である。【０００７】
突起物のある電極を用いて電池を作製すると、電極表面の突起物がセパレータ（厚さ：約２０μｍ）の厚みより高い場合、突起物がセパレータを貫通し、正極と負極とが内部短絡するおそれがある。したがって、セパレータの厚さ以上の高さの突起物は、電池形成前に除去する必要がある。【０００８】
電極表面の突起物を除去する方法としては、電極上を払拭布でこすり、取れた物質を吸引して除去する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。【０００９】
また、真空プロセスにて製造された電極に付着した突起物を除去する方法としては、電極表面の突起物を検知して極板に貫通穴を開ける方法（特許文献２を参照）や、突起物を加圧して押しつぶす方法（特許文献３を参照）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３４７５０４号公報
【特許文献２】特開２００６−２７７９５６号公報
【特許文献３】特開２００６−２７８１７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
電極を巻き取る前に突起物を除去する方法として、特許文献１に記載の払拭布で表面をこする方法はペーストを塗布したタイプの電極には有効である。しかしながら、真空蒸着法において蒸着材料の突沸により形成された突起物は、ペースト塗布タイプの電極上の突起物よりも、硬く、集電体箔や活物質層との結合力が強い。強度の低い材質の払拭布を用いると、布地が破れるために突起物を除去できない。一方、強度の高い材質の払拭布を用いると、払拭布にひっかかった突起物が取れる場合もあるが、突起物と一緒に集電体箔が裂けてしまう場合がある。【００１２】
一方、特許文献２、３には真空蒸着中に形成された突起物の除去方法が開示されている。特許文献２では、突起物をセンサーで検知し、貫通穴を開けることで突起物を除去する方法が開示されているが、貫通穴を開けた周囲の電極が使用できなくなるため、歩留まりの低下を引き起こす。さらに、センサーによる突起物の検出とピンポイントでの打ち抜きが必要になるため、工程を高速化しにくく、生産速度の低下が懸念される。また、特許文献３に示される突起物を加圧して押しつぶす方法は加圧により突起物の高さを低減する、または突起物を集電体にめり込ませる方法であり、突起物は除去されない。【００１３】
そこで、本発明は、電気化学素子用電極を製造するにあたって、真空プロセスにて生じた、活物質層表面の突起物を容易かつ確実に除去する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記従来の課題を解決するために、第一の本発明の電気化学素子用電極の製造方法は、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程とを含む。【００１５】
本発明では、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層として、リチウムを吸蔵及び放出をすることができ、さらには、リチウムの吸蔵により膨張（体積増加）する活物質からなるものを使用することが好ましい。この観点から、本発明において活物質は、ケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなることが好適である。【００１６】
以上のケイ素やケイ素酸化物等は、リチウムイオン二次電池における高容量負極活物質材料等として期待されており、リチウムを大量に吸蔵することができるが、リチウム吸蔵時に膨張することが知られている。【００１７】
たとえば、ケイ素を負極活物質に用いた場合、満充電時には体積比でリチウム吸蔵前の４倍程度に膨張する。ケイ素を酸化することで充電容量を抑制し、膨張抑制を図った酸化ケイ素負極でも酸化の度合いにもよるが２〜３倍に膨張する。【００１８】
真空蒸着法にて極板に付着する突起物はスプラッシュ粒子と呼ばれ、蒸着源にある原料溶湯や未溶解の原料が急加熱されるなどの原因で極板まで飛来し、付着したものである。真空蒸着法により極板表面に突起物が付着した状態の負極極板にリチウムを吸蔵させると、極板の活物質層のみではなく、突起物もリチウムを吸蔵することとなる。【００１９】
一方、極板上の突起物が付着している部分では、表面に付着した突起物がリチウムを吸蔵してしまうため、突起物直下の活物質層までリチウムが届かず、当該活物質層がリチウムを吸蔵しない。その結果、突起物と活物質層の間で、膨張率が異なるものとなるので、突起物と活物質層の界面に膨張率の差による歪ができ、突起物が剥がれやすくなる。【００２０】
また、このような突起物が付着した極板にリチウムを吸蔵させた場合、活物質層のうち突起物が付着していない周辺領域はリチウムを吸蔵して膨張する。これに対して、突起物が付着した領域はリチウムを吸蔵できず膨張率が非常に小さくなるため、突起物の端部では、膨張した活物質層により突起物が押し上げられ、膨張していない直下の活物質層から剥離する方向に応力が働く。【００２１】
以上のことから、真空蒸着法により活物質層を形成した後では付着強度が強く、除去が難しい突起物でも、リチウム吸蔵後には剥離が容易になる。【００２２】
また、従来のリチウムを吸蔵させていない状態での突起物除去法では除去困難であった小さな突起物も、リチウムを吸蔵することで膨張するため、除去が容易になる。【００２３】
本発明において突起物の除去前に吸蔵させるリチウム量は、突起物と突起物直下の活物質層との膨張率の差を確保するため、活物質層の理論充電容量の１０％以上であることが望ましい。リチウム吸蔵量が多くなるほど、突起物の膨張も大きくなり、突起物が剥がれやすくなるため、リチウム吸蔵量の上限は１００％以下であれば問題はない。しかし、リチウム吸蔵量が大きくなると、突起物直下の活物質層に周囲からリチウムが拡散しやすくなり、また、リチウムが極板表面に析出しやすくなる。そのため、突起物除去前のリチウム吸蔵量は活物質層の理論充電容量の５０％以下、さらに好ましくは３０％以下であることが望ましい。【００２４】
第二の本発明の電気化学素子用電極は、シート状の集電体と、前記集電体に担持された活物質層とを有する電気化学素子用電極であって、前記活物質層は、前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下の量のリチウムを吸蔵しており、前記活物質層表面にリチウムを吸蔵していない微小領域が存在する。【００２５】
当該電気化学素子用電極は、第一の本発明に係る製造方法によって製造することができる。上記製造方法によると、活物質層表面のうち第１の工程にて突起物が付着した部分では、第２の工程において突起物がリチウムを吸蔵するため、活物質層自体はリチウムを吸蔵しない。そのため、第３の工程にて突起物を除去すると、活物質層の表面には、突起物の形状、頻度に合わせて、平均直径１０μｍ〜５００μｍのリチウムを吸蔵していない微小領域が１〜５０箇所／ｃｍ２程度作成される。【００２６】
リチウムを吸蔵していない微小領域の存在は活物質層表面の微小部蛍光Ｘ線分析などによる元素分布の分析で確認することができる。また、レーザー顕微鏡を用いて活物質層表面を観察することでも微小領域の確認は可能である。【００２７】
一方、従来のようにリチウムを吸蔵させずに突起物除去を行った電極では、充放電を行った場合にも活物質層が概ね均一に充放電されるため、本発明の製造方法を用いて作成した電極のようにリチウムを吸蔵していない微小領域が形成されることはない。【００２８】
本発明の製造方法にて形成可能なリチウムを吸蔵していない微小領域を持つ電極は、リチウムを吸蔵している部分と吸蔵していない部分で膨張挙動が異なるため、活物質層表面に凹凸ができ、電極搬送時の摩擦抵抗を低減することが可能になる。さらには、リチウムを吸蔵していない微小領域では周辺の領域に比べて活物質層が膨張していないため、当該微小領域が活物質層表面で窪みを形成している。そのため、電極上に微小な付着物が残留していた場合に付着物が当該窪みに入りやすい。従って、当該電極を用いて電池やキャパシタを構成したときに、残留した付着物が充放電時にさらにリチウムを吸蔵して膨張した場合にも、窪みがない場合よりも付着物がセパレータを突き破ることによる内部短絡が起こりにくい。【００２９】
また、本発明により製造されるリチウムを吸蔵していない微小領域を持つ電極は、活物質層表面に窪みが存在し、表面積が大きくなることから、概ね均一にリチウムを吸蔵した平坦な電極に比べて電解液の濡れ特性が向上する。【００３０】
さらに、本発明の第１の工程にて集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで構成される活物質層を形成した場合、充電時にリチウムを吸蔵しやすい柱の上部から活物質層が膨張する。そのため、柱状活物質層の上部は活物質層の膨張により隙間が埋められる一方、下部では膨張が遅くなるため、比較的隙間が残存しやすい。【００３１】
従来法のようにリチウムを吸蔵させずに活物質層表面の突起物を除去した電極では、電極上の柱状活物質の高さが概ね均一であるため、充電によって活物質が膨張するに従い、柱間の隙間が埋まり、活物質層の下部には電解液が回りこみにくくなる。さらには、前述のとおり、充電時のリチウム吸蔵時に柱の上部から順にリチウムを吸蔵するため、充電が進むと柱の上部では柱間の隙間が埋められ、電解液が出入りできなくなる。そのため、電解液の逃げ場がない状況でさらに充電が進み、柱状の活物質層の中部、下部が膨張すると、逃げ場が無い電解液を圧迫して大きな圧力が発生し、集電板からの活物質層の剥がれや強度低下の原因となる。【００３２】
一方、本発明の製造方法によりリチウム吸蔵後に突起物の除去を行った電極では、柱状の活物質の中に、第２の工程後にリチウムを吸蔵せず、柱状活物質がほとんど膨張していない領域が含まれる。そのため、第２の工程にてリチウムを吸蔵した領域の活物質層が充電によりさらに膨張して柱間の隙間が埋められたときにも、第２の工程にてリチウムを吸蔵しなかった領域では柱間の隙間を維持しやすく、電解液が活物質層下部まで回りこむことが可能になる。さらに、この隙間を通じて柱状活物質層の下部に残存する電解液が出入りできることにより、活物質層の膨張による圧力の発生を抑制することが可能になる。【００３３】
第三の本発明は、第二の本発明に係る電極から構成される負極と、シート状の正極集電体と、前記正極集電体の上に設けられた正極活物質層と、を有し、前記負極の前記活物質層と前記正極活物質層とが対向するように配置された正極と、前記負極と前記正極との間に配置されたセパレータと、を有する電気化学素子である。正極活物質層は、充電時にリチウムイオンを放出し、放電時に負極活物質層から放出されたリチウムイオンを吸蔵する。負極活物質層は、充電時に正極活物質層から放出されたリチウムイオンを吸蔵し、放電時にリチウムイオンを放出する。【００３４】
この電気化学素子において、前記負極の前記活物質層は、前記セパレータの厚み方向において前記正極活物質層に対向している対向領域と、同方向において前記正極活物質層に対向していない非対向領域と、を有する。これは、充電時に正極活物質層上にリチウム金属が析出し、短絡が発生するのを防止するためである。【００３５】
本発明の電気化学素子は、負極の活物質層がリチウムを吸蔵しており、かつ負極の活物質層表面に、リチウムを吸蔵していない微小領域が存在しているものである。しかしながら、電気化学素子の充放電を繰り返すと、この微小領域においてもリチウムの吸蔵及び放出が行われるようになり、その結果、当該微小領域とこれを取り囲む周辺領域との識別が困難になる。【００３６】
しかし、前述した非対向領域では、正極活物質層と対向していないため、充放電によるリチウムの吸蔵及び放出が起こらない。従って、電気化学素子の充放電を繰り返した後でも、非対向領域内では、リチウムを吸蔵していない微小領域が維持されており、周囲のリチウムを吸蔵している領域との識別が容易にできる。そのため、本発明の電気化学素子では、前記非対向領域における前記活物質層表面において、前記微小領域が存在することを確認するのが好ましい。【００３７】
本発明の電気化学素子としては、リチウム二次電池、電池化学キャパシタが挙げられる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明の電気化学素子用電極の製造方法によれば、活物質層にリチウムを吸蔵させる第２工程にて、活物質層表面に存在するスプラッシュ粒子である突起物がリチウムを吸蔵し膨張することにより、第３工程において当該突起物を容易かつ確実に除去することができる。【００３９】
本発明の電気化学素子用電極によれば、真空蒸着法で形成されたスプラッシュ粒子である突起物が除去されているので、セパレータと積層して電池やキャパシタを製造する際に、突起物のセパレータ貫通による内部短絡のおそれを回避することができる。【００４０】
本発明の電気化学素子によれば、負極において、真空蒸着法で形成されたスプラッシュ粒子である突起物が除去されているので、突起物のセパレータ貫通による内部短絡のおそれを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態における第１の工程に用いる装置の一例を示す模式図
【図２】本発明の実施の形態における第２の工程に用いる装置の一例を示す模式図
【図３】本発明の実施の形態における第２の工程に用いる装置の別の一例を示す模式図
【図４】本発明の実施の形態における第３の工程に用いる装置の一例を示す模式図
【図５】本発明の実施の形態におけるリチウム二次電池の概略断面図
【図６】本発明の実施の形態における電気化学キャパシタの概略断面図
【図７】本発明の製造方法の各工程を示すフローチャート
【図８】図５の正極活物質層５５と負極活物質層５８の積層状態を示す概略上面図
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００４３】
図７は、本発明の製造方法の各工程を示すフローチャートである。本発明の製造方法では、まず、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程を行い、次いで、前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程を行い、さらに、前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程を行う。以下各工程毎に詳細を説明する。
【００４４】
（第１の工程）
本発明の第１の工程は真空中で蒸着法により集電体表面に活物質層の形成をおこなう。
【００４５】
図１は本発明の電気化学素子用電極の製造方法における第１の工程に用いる装置の一例を示す模式図である。真空容器（１２）は、排気装置（１１）によって減圧に保たれている。真空容器（１２）の中には、薄膜形成源（１９）と、基板搬送系が設置されている。基板搬送系は、基板の巻き出しロール（１８）、搬送ローラ（１５）、基板の巻き取りロール（１３）等から構成されている。
【００４６】
薄膜形成源（１９）は容器に薄膜の原料を設置し、高い薄膜形成速度を得るために、電子線源（図示せず）より電子を照射することにより加熱を行う。薄膜形成源の上方には冷却キャン（１６）と、開口部を有する遮蔽板（２０）が設置され、開口部を介して薄膜形成源と、冷却キャン上の基板とが対向する。
【００４７】
集電体である基板（２２）は巻き出しロール（１８）から巻き出され、搬送ローラ（１５）に沿って、巻き取りロール（１３）に巻き取られる間に、遮蔽板（２０）の開口部を走行するようになっている。
【００４８】
基板（２２）は、帯状の長尺基板であり、その材料としては特に限定されない。例えば、アルミ箔、銅箔、ニッケル箔、チタニウム箔、ステンレス箔等の各種金属箔や、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミド等の各種高分子フィルムや、高分子フィルムと金属箔の複合体等が挙げられる。
【００４９】
基板（２２）が遮蔽板の開口部を走行する間に、遮蔽板の下方に設置された薄膜形成源（１９）から飛来した粒子の一部が開口部を経由して薄膜形成部（２３）にて基板（２２）上に付着して活物質層を形成する。
【００５０】
巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）は、その回転を制御することができ、それにより、冷却キャン上の基板（２２）には張力を加えられている。搬送系の一部、例えば駆動用モーター等は真空容器（１２）の外に配置し、回転導入端子を介して駆動力を真空容器（１２）中に導入しても良い。
【００５１】
また、活物質層の特性を変化させる目的で、薄膜形成時に薄膜形成部（２３）に酸素ガスを導入することで、反応性蒸着を行っても良い。
【００５２】
また、活物質層の特性を変化させる目的で、基板表面に凹凸を設けた基板を使用するなどの方法を用いて、柱状の活物質粒子が基板表面に複数並ぶことで構成される活物質層を形成してもよい。
【００５３】
また、１回目の第１の工程により活物質層を形成した後、基板を裏返してもう一度第１の工程を繰り返す方法などによって基板の両面に活物質層を形成してもよい。
【００５４】
この工程で、真空蒸着における突沸によって、スプラッシュ粒子が活物質層表面に付着することになる。
【００５５】
（第２の工程）
本発明の第２の工程は、第１の工程で集電体表面に形成した活物質層に対してリチウムを吸蔵させる。このためには以下の２つの方法を好適に用いることができる。１つ目の方法は真空中で活物質層にリチウムを吸蔵させる方法であり、２つ目の方法は、表面に活物質層が形成された集電体を電解液中に浸漬して、活物質層に電気化学的にリチウムを吸蔵させる方法である。これらの方法にて活物質層に吸蔵させるリチウムの量は極板の活物質重量から算出される理論充電容量の１０％以上であることが望ましく、さらに望ましくは、理論充電容量の２０％以上である。これにより、第３工程にて良好に突起物を極板から剥離、除去することが可能になる。
【００５６】
真空中でリチウムを吸蔵させる１つ目の方法には、蒸着法又はスパッタ法を使用することができる。これらの方法では、リチウム粒子の直進性が高いため、突起物の下に隠された活物質層にリチウムが拡散しにくく突起物と活物質層での膨張率の差が大きくなりやすいため突起物の除去性能に優れている。また、吸蔵させるリチウムの量をコントロールすることが容易である。一方、電気化学的にリチウムを吸蔵させる２つ目の方法では、吸蔵させるリチウム量が多くなっても、極板表面にリチウムが析出しにくいという利点がある。
【００５７】
図２は、本発明の電気化学素子用電極の製造方法における第２の工程に使用できる、真空中で蒸着法により活物質層にリチウムを吸蔵させる装置の一例を示す模式図である。
【００５８】
真空容器（１２）は、排気装置（１１）によって減圧に保たれている。真空容器（１２）の中には、リチウム源（２４）と、極板搬送系が設置されている。極板搬送系は、極板の巻き出しロール（１８）、搬送ローラ（１５）、極板の巻き取りロール（１３）等から構成されている。
【００５９】
リチウム源（２４）は容器にリチウムを設置し、抵抗加熱ヒーター（１７）などで加熱する。リチウム源の上方には冷却キャン（１６）が設置され、開口部を有する遮蔽板（２０）を介してリチウム源と対向する。
【００６０】
表面に活物質層が形成されている集電体である極板（２５）は巻き出しロール（１８）から巻き出され、搬送ローラ（１５）に沿って、巻き取りロール（１３）に巻き取られる間に、遮蔽板の開口部を走行するようになっている。
【００６１】
極板（２５）が遮蔽板の開口部を走行する間に、遮蔽板の下方に設置されたリチウム源（２４）から飛来したリチウム粒子の一部が開口部を経由してリチウム吸蔵部（２３）にて極板（２５）上の活物質層に付着して活物質層にリチウムが吸蔵される。
【００６２】
巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）は、その回転を制御することができ、それにより、極板（２５）には冷却キャン（１６）上に極板を均一に沿わせるための張力を加えている。搬送系の一部、例えば駆動用モーター等は真空容器（１２）の外に配置し、回転導入端子を介して駆動力を真空容器（１２）中に導入しても良い。
【００６３】
リチウム吸蔵量はリチウム源の加熱温度と、極板の走行速度によって調整することができる。
【００６４】
図３は本発明の電気化学素子用電極の製造方法における第２の工程に用いることができる、電解液中で電気化学的にリチウムを吸蔵させる装置の一例を示す模式図である。
【００６５】
電解液保持容器（３０）の中には、リチウム対極（３１）と、電解液（３２）と、極板搬送系が設置されている。極板搬送系は、極板の巻き出しロール（１８）、搬送ローラ（１５）、電解用のキャン（１６）、極板の巻き取りロール（１３）等から構成されている。
【００６６】
巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）は、その回転を制御することができ、それにより、極板（２５）には冷却キャン（１６）上に極板を均一に沿わせるための張力を加えている。
【００６７】
キャン（１６）は一部が電解液（３２）に浸っており、電解液中にはリチウム対極（３１）が保持される。極板（２５）とリチウム対極の間には電位差が設けられ、電位差によりキャン上の極板（２５）にリチウム対極（３１）から電解液を経由して活物質層にリチウムが吸蔵される。
【００６８】
極板に電位を付与する方法としては、キャン（１６）に電位を付与することで、キャン（１６）に接触しながら走行している極板（２５）に電位を付与する方法や、搬送ローラ（１５）、巻き取りロール（１３）、巻き出しロール（１８）に電位を付与することで極板（２５）に電位を付与する方法を採ることができる。
【００６９】
電解液には、様々なリチウムイオン伝導性の非水電解液が用いられる。非水電解液には、非水溶媒（エチレンカーボネート、エチルメチルカーボネートなど）にリチウム塩（６フッ化リン酸リチウムなど）を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。
【００７０】
極板（２５）は巻き出しロール（１８）から巻き出され、搬送ローラ（１５）に沿って、巻き取りロール（１３）に巻き取られる間に、キャン（１６）に沿って走行するようになっている。
【００７１】
リチウムの吸蔵量は印加電圧と極板の走行速度によって調整することができる。
【００７２】
本発明では、第２の工程により活物質層を形成した後、極板を裏返してもう一度第２の工程を繰り返す方法などによって、両面に活物質層が形成されている極板に対しても、両面にリチウムを吸蔵させることが可能である。
【００７３】
（第３の工程）
本発明の第３の工程は、第２の工程でリチウムを吸蔵した活物質層表面に存在する突起物を除去する工程である。この除去工程は減圧雰囲気で行ってもよいし、常圧雰囲気で行ってもよい。また、液中で行うことも可能である。
【００７４】
本発明の第３の工程を実施する具体的方法としては特に限定されないが、前記活物質層表面の突起物に除去手段を物理的に接触させて除去する方法と、前記活物質層表面の突起物に除去手段を直接接触させずに除去する方法が挙げられる。前者の方法としては、活物質層表面を払拭布にて払拭する方法、活物質層表面を粘着テープにて被覆した後、活物質層表面から粘着テープを剥離する方法、ブレードなどの、直線状刃先を有する刃物を使用し、前記直線状刃先を前記活物質層の表面から所定の距離に維持した状態で前記活物質層を移動させることにより前記突起物を除去する方法等が挙げられる。後者の方法としては、エアブローにより突起物を除去する方法、液中で前記活物質層表面に超音波を照射する方法等が挙げられる。
【００７５】
第２の工程を真空中で行い、第３の工程を減圧雰囲気で行う場合には、第２の工程に用いる装置内に第３の工程を組み込むことが可能になる。また、第２の工程を電解液中で行い、第３の工程を払拭布やブレード、超音波照射などにより行う場合には、第２の工程における電解液中でのリチウム吸蔵装置内に第３の工程を組み込むことが可能になる。
【００７６】
以上のようにして製造した電気化学素子用電極は、リチウム二次電池又は電気化学キャパシタ等の電気化学素子における負極として使用することができる。
【００７７】
（リチウム二次電池）
図５は本発明の実施の形態におけるリチウム二次電池の概略断面図を示す。
【００７８】
リチウム二次電池は、正極５１と、負極５２と、これらの間に配置されたセパレータ５６とを含む電極群を備えている。電極群およびリチウムイオン伝導性を有する電解質がアルミラミネート製の密封容器６１に収容されている。正極５１は、シート状の正極集電体５４と、正極集電体５４上に配置された正極活物質層５５とで構成されている。負極５２は、シート状の負極集電体５７と、負極集電体５７上に配置された負極活物質層５８とで構成されている。正極活物質層５５と負極活物質層５８は、セパレータ５６を介して対向している。正極集電体５４と負極集電体５７には、それぞれ正極用リード５９および負極用リード６０の一端が接続されている。リード５９及び６０の他端は、密封容器６１の外部に伸長している。密封容器６１の開口部は樹脂材料６２により封止されている。
【００７９】
図５では、正極５１と負極５２を一組含む構造を示したが、この構造に限定されない。例えば、正極集電体５４が両面に正極活物質層５５を有し、この正極を２枚のセパレータで挟み込むように配置し、さらにその外側を２枚の負極が覆うような構造とすることもできる。この場合、負極と正極の配置は逆でもよい。
【００８０】
図８は、図５の正極活物質層５５と負極活物質層５８の積層状態を、正極活物質層５５の上方から見た概略上面図を示す。ただし図８では、正極活物質層５５と負極活物質層５８との間に配置されたセパレータ５６は省略している。図８に示すように、正極活物質層５５の上方から見た場合（すなわち、セパレータの厚み方向で見た場合）に、負極活物質層５８は正極活物質層５５よりも大きく、負極活物質層５８は、正極活物質層５５に対向している対向領域８１と、正極活物質層５５に対向していない非対向領域８２とに区画される。
【００８１】
なお、一例として積層型電池を示したが、本発明のリチウム二次電池の構造としては、捲回型の極板群を有する円筒型電池や角型電池なども適宜採用できる。
【００８２】
本発明は、負極の構成に特徴を有することから、リチウム二次電池においては、負極以外の構成要素は特に限定されない。例えば、正極活物質には、コバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ２）、ニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ２）、マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ２Ｏ４）などのリチウム含有遷移金属酸化物を用いることができるが、これに限定されない。また、正極活物質層は、正極活物質のみで構成してもよいし、正極活物質と結着剤と導電剤を含む合剤で構成してもよい。正極集電体には、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｔｉなどを用いることができる。
【００８３】
セパレータには多孔質ポリプロピレンなど一般にリチウムイオン二次電池に用いられるセパレータを用いることができ、本発明はセパレータによって限定されるものではない。
【００８４】
リチウムイオン伝導性の電解質には、様々なリチウムイオン伝導性の固体電解質や非水電解液が用いられる。非水電解液には、非水溶媒にリチウム塩を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。
【００８５】
セパレータや外装ケースも特に限定されず、様々な形態のリチウム二次電池に用いられている材料を特に限定されることなく用いることができる。
【００８６】
（キャパシタの製造方法）
図６は本発明の実施の形態における電気化学キャパシタの概略断面図を示す。電気化学キャパシタは、正極活物質層７３、正極集電体７２、負極活物質層７６、負極集電体７７、セパレータ７４、封口板７５、ガスケット７８およびケース７１を含む。
【００８７】
非水電解液を含浸させたセパレータを介して、正極活物質層と負極活物質層とを対向配置し、電極体を作製する。本発明は負極の構成に特徴を有するため、正極活物質には一般に電気化学キャパシタで用いられる活性炭などの正極物質を用いることができ、正極によって限定されるものではない。非水電解液には、非水溶媒にリチウム塩を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。
【実施例】
【００８８】
以下に実施例を掲げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。【００８９】
まず、非水電解質二次電池の負極極板を作成する目的で、負極集電体上にＳｉ薄膜を形成することを想定し、第１の工程を実施した。【００９０】
すなわち、図１に示す装置構成にて、基板に幅２８ｃｍの粗面化銅箔（ＥＸＰ−ＤＴ−ＮＣ３５μｍ；古河サーキットフォイル株式会社製）を用い、薄膜形成部（２３）の長さが４５ｃｍ程度になるよう遮蔽板の位置を調整した。黒鉛ルツボに高純度Ｓｉ（９９．９％純度）を投入した薄膜形成源（１９）を、薄膜形成部（２３）からの最短距離が４０ｃｍになるように設置した。１０−２Ｐａ程度の減圧条件下、電子線によりＳｉを加熱溶解しＳｉ溶湯の表面温度を２０００℃程度に保ち、基板に５ｋｇｆのテンションをかけながら、基板を毎分０．３３ｍ程度の速度で走行させて薄膜形成を行った。【００９１】
得られた極板をレーザー顕微鏡にて観察したところ、極板上には粒径が５〜５００μｍ程度の突起物が２０〜５０個／ｃｍ２程度の頻度で観察された。【００９２】
この極板の活物質表面を、本発明の第２の工程を経ることなく、払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング社製）で払拭したり、粘着テープ（６５０Ｓ＃５０：寺岡製作所製）で被覆、剥離したが、突起物を除去することができなかった。【００９３】
また、極板の一部をφ１２．５ｍｍの円板状態に打ち抜き、電解液に浸した状態で超音波処理機（ＳＵＳ−１００ＰＮ：島津製作所製、振動周波数２８ｋＨｚ、出力１００Ｗ）にて１分以上、超音波処理を行ったが、この方法でも突起物を除去することはできなかった。【００９４】
続いて、第１の工程にて得られた極板に対して、真空蒸着法により本発明における第２の工程の処理を施した。【００９５】
すなわち、第１の工程で得られた極板を用い、図２に示す装置構成にて、ルツボにリチウムを投入したリチウム源（２４）から極板までの距離が１０ｃｍになるよう極板位置を調整した。１０−２Ｐａ程度の減圧条件下、抵抗加熱によりルツボを６００℃に加熱して活物質層上にリチウムを蒸着した。蒸着時間を調整することにより、リチウムの吸蔵量が活物質層の理論充電容量の１０％、２０％、３０％となるように調整した３種類の極板を作成した。【００９６】
活物質層の理論充電容量の計算は以下の方法によった。まず、単位面積あたりの極板の重量から、あらかじめ測定した単位面積当たりの粗面化銅箔の重量を引くことで、単位面積当たりの活物質重量を計算した。次いで、単位重量あたりの活物質の理論充電容量と実測の活物質重量を掛け算することで活物質層の理論充電容量を算出した。【００９７】
第２の工程を施した３種類の極板に対して、活物質層表面をもう一度払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング製）で払拭したところ、リチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも極板上の突起物の除去に成功した。【００９８】
また、同様に第２の工程を施した極板に対して活物質層表面を粘着テープ（６５０Ｓ＃５０：寺岡製作所製）で被覆、剥離した結果、リチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも良好に突起物を除去することができた。【００９９】
また、図４に示すように、巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）と搬送ローラ（１５）からなる極板走行系に極板（２５）を設置し、幅１０ｍｍ、刃先の平坦度１μｍ以下の直線状の刃物（２１）を活物質層の表面から２０μｍの位置に配置した。この状態で活物質層表面に突起物が付着した極板を移動させたところ、リチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも良好に突起物を剥離除去することができた。【０１００】
第２の工程を施した極板をφ１２．５ｍｍの円形状に打ち抜き、電解液に浸した状態で超音波処理機（ＳＵＳ−１００ＰＮ：島津製作所製、振動周波数２８ｋＨｚ、出力１００Ｗ）にて１０秒間超音波を照射した。結果、他の方法と同様にリチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも突起物を剥離除去することができた。【０１０１】
続いて、第２の工程を電気化学的方法で行ったサンプルを作成した。この方法では活物質層表面にリチウムが比較的析出しにくい。【０１０２】
すなわち、第１の工程で得られた極板を用い、図３に示す装置構成にて、電解液（エチレンカーボネート（ＥＣ）：エチルメチルカーボネート（ＥＭＣ）：ジエチルカーボネート（ＤＥＣ）＝３：５：２（体積比）、１Ｍ  ＬｉＰＦ６（三菱化学製））中でリチウム対極を極板に対向させ、電位差を印加することにより、活物質層にリチウムを吸蔵させた。リチウムの吸蔵量は活物質層の理論充電容量の１０％、５０％、１００％となるように調整した３種類の極板を作成した。【０１０３】
極板の理論充電容量の計算は上述の方法によった。【０１０４】
第２の工程を施した３種類の極板に対して、活物質層表面をもう一度払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング製）で払拭したところ、リチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも極板上の突起物の除去に成功した。【０１０５】
また、同様に第２の工程を施した極板に対して活物質層表面を粘着テープ（６５０Ｓ＃５０：寺岡製作所製）で被覆、剥離した結果、リチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも良好に突起物を除去することができた。【０１０６】
また、図４に示すように、巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）と搬送ローラ（１５）からなる極板走行系に極板（２５）を設置し、幅１０ｍｍ、刃先の平坦度１μｍ以下の直線状の刃物（２１）を活物質層の表面から２０μｍの位置に配置した。この状態で活物質層表面に突起物が付着した極板を移動させたところ、リチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも良好に突起物を剥離除去することができた。【０１０７】
第２の工程を施した極板をφ１２．５ｍｍの円形状に打ち抜き、電解液に浸した状態で超音波処理機（ＳＵＳ−１００ＰＮ：島津製作所製、振動周波数２８ｋＨｚ、出力１００Ｗ）にて１０秒間超音波を照射したところ、他の方法と同様にリチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも突起物を剥離除去することができた。【０１０８】
上記９９．９％純度のＳｉの代わりに、より純度の高い９９．９９％純度のＳｉを薄膜原料として使用し、上記と同様の手順で薄膜形成を行った。得られた極板をレーザー顕微鏡にて観察したところ、極板上には粒径が５〜５００μｍ程度の突起物が１〜２０個／ｃｍ２程度の頻度で観察された。さらに同様の手法により活物質層上にリチウムを蒸着し、リチウムの吸蔵量が活物質層の理論充電容量の１０％、２０％、３０％となるように調整した３種類の極板を作成した。これら３種類の極板に対して、活物質層表面を払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング製）で払拭したところ、いずれの極板でも極板上の突起物の除去に成功した。【０１０９】
以上の実施例で突起物を剥離除去した後の極板の活物質層表面を、微小部蛍光Ｘ線分析による元素分布の分析に付することで、リチウムを吸蔵していない微小領域の個数と平均直径を算出した。具体的には、極板サンプルを露点−２０℃の大気に暴露して極板表層のリチウムを酸化した後、前記元素分析にて酸化リチウムを検出し、１ｃｍ２あたりの直径１μｍ以上の微小領域の個数と、各微小領域の直径とを測定した。得られた直径値の相加平均を平均直径とした。測定結果を以下の表１、表２及び表３に示す。なお、簡易的な方法として、レーザー顕微鏡にて、活物質層表面の任意の部分を１ｃｍ２観察し、モニターに写った直径１μm以上の微小領域について、個数を集計し、各領域の直径を測定し、平均直径を求めることも可能であった。【０１１０】
【表１】
2010079754.tif 000003
【０１１１】
【表２】
2010079754.tif 000004
【０１１２】
【表３】
2010079754.tif 000005
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
本発明に係る電気化学素子用電極の製造方法によれば、真空プロセスにて活物質層を作成した際に生じた極板上の突起物を除去することが可能であり、リチウムイオン電池や電気化学キャパシタ等の電気化学素子用の電極の製造法として有用である。本発明に係る電気化学素子用電極及び電気化学素子によれば、セパレータ貫通による内部短絡の可能性を低減することが可能である。
【符号の説明】
【０１１４】
１１  排気装置
１２  真空容器
１３  巻き取りロール
１５  搬送ローラ
１６  キャン
１７  ヒーター
１８  巻き出しロール
１９  薄膜形成源
２０  遮蔽板
２１  刃物
２２  基板
２３  薄膜形成部
２４  リチウム源
２５  極板
３０  電解液保持容器
３１  リチウム対極
３２  電解液
５４  正極集電体
５５  正極活物質層
５６  セパレータ
５７  負極集電体
５８  負極活物質層
５９  正極用リード
６０  負極用リード
６１  密封容器
７１  ケース
７２  正極集電体
７３  正極活物質層
７４  セパレータ
７５  封口板
７６  負極集電体
７７  負極活物質層
７８  ガスケット
【図１】
2010079754.tif 000006
【図２】
2010079754.tif 000007
【図３】
2010079754.tif 000008
【図４】
2010079754.tif 000009
【図５】
2010079754.tif 000010
【図６】
2010079754.tif 000011
【図７】
2010079754.tif 000012
【図８】
2010079754.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月27日(2010.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リチウム二次電池や電気化学キャパシタで使用可能な電気化学素子用電極の製造方法、電気化学素子用電極、および、電気化学素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯機器の小型化や多機能化が進み、これに伴って携帯機器の電源としての電池の高容量化が切望されている。現在負極活物質として主に使用されている炭素の理論容量は３７２ｍＡｈ／ｇである。炭素よりも高容量化が可能な活物質として、理論容量が４２００ｍＡｈ／ｇであるシリコンが有望視されている。したがってシリコンを主成分とする電極材料およびシリコンを主成分とする電極材料の構造が数多く検討されている。
【０００３】
それらの１つに、集電体上にシリコンを主成分とする膜として形成した活物質層がある。この活物質層の形成法として真空蒸着法等の真空プロセスが検討されている。
【０００４】
一方、リチウム電池の電極を生産性良く製造するためには、ロールに巻き取られた長尺の集電体箔を別のロールに巻き取る間に活物質層を形成する方法、いわゆるロール・トゥ・ロール法がある。この方法では、ロールに巻かれた長尺の集電体箔を活物質層の成膜工程の上流に設けた巻き出し装置に装着し、別のロールを成膜工程の下流に設けた巻き取り装置に装着する。次いで、巻き出した集電体箔に活物質層を成膜し、得られた電極を巻き取り装置に装着したロールに巻き取る。
【０００５】
ロール・トゥ・ロール法と真空プロセスとして真空蒸着法を組み合わせた場合では、蒸着材料の突沸が生じ、電極表面に突起物が形成されるという課題がある。
【０００６】
蒸着材料の突沸は、坩堝内の蒸着材料が気化するのではなく、液体又は固体として飛び出す現象で、突沸した材料が成膜している集電体箔および活物質層上にぶつかれば望ましくない突起物を形成してしまう。蒸着材料の突沸は、坩堝に入れた蒸着材料に含まれる不純物や、坩堝内の温度ムラなどが原因と考えられ、突沸を低減することは可能であるが無くすことは困難である。特に蒸発材料を補給しながら長時間に亘り成膜を行う場合には突沸を無くすことは困難である。
【０００７】
突起物のある電極を用いて電池を作製すると、電極表面の突起物がセパレータ（厚さ：約２０μｍ）の厚みより高い場合、突起物がセパレータを貫通し、正極と負極とが内部短絡するおそれがある。したがって、セパレータの厚さ以上の高さの突起物は、電池形成前に除去する必要がある。
【０００８】
電極表面の突起物を除去する方法としては、電極上を払拭布でこすり、取れた物質を吸引して除去する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
また、真空プロセスにて製造された電極に付着した突起物を除去する方法としては、電極表面の突起物を検知して極板に貫通穴を開ける方法（特許文献２を参照）や、突起物を加圧して押しつぶす方法（特許文献３を参照）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３４７５０４号公報
【特許文献２】特開２００６−２７７９５６号公報
【特許文献３】特開２００６−２７８１７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
電極を巻き取る前に突起物を除去する方法として、特許文献１に記載の払拭布で表面をこする方法はペーストを塗布したタイプの電極には有効である。しかしながら、真空蒸着法において蒸着材料の突沸により形成された突起物は、ペースト塗布タイプの電極上の突起物よりも、硬く、集電体箔や活物質層との結合力が強い。強度の低い材質の払拭布を用いると、布地が破れるために突起物を除去できない。一方、強度の高い材質の払拭布を用いると、払拭布にひっかかった突起物が取れる場合もあるが、突起物と一緒に集電体箔が裂けてしまう場合がある。
【００１２】
一方、特許文献２、３には真空蒸着中に形成された突起物の除去方法が開示されている。特許文献２では、突起物をセンサーで検知し、貫通穴を開けることで突起物を除去する方法が開示されているが、貫通穴を開けた周囲の電極が使用できなくなるため、歩留まりの低下を引き起こす。さらに、センサーによる突起物の検出とピンポイントでの打ち抜きが必要になるため、工程を高速化しにくく、生産速度の低下が懸念される。また、特許文献３に示される突起物を加圧して押しつぶす方法は加圧により突起物の高さを低減する、または突起物を集電体にめり込ませる方法であり、突起物は除去されない。
【００１３】
そこで、本発明は、電気化学素子用電極を製造するにあたって、真空プロセスにて生じた、活物質層表面の突起物を容易かつ確実に除去する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記従来の課題を解決するために、第一の本発明の電気化学素子用電極の製造方法は、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程とを含む。
【００１５】
本発明では、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層として、リチウムを吸蔵及び放出をすることができ、さらには、リチウムの吸蔵により膨張（体積増加）する活物質からなるものを使用することが好ましい。この観点から、本発明において活物質は、ケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなることが好適である。
【００１６】
以上のケイ素やケイ素酸化物等は、リチウムイオン二次電池における高容量負極活物質材料等として期待されており、リチウムを大量に吸蔵することができるが、リチウム吸蔵時に膨張することが知られている。
【００１７】
たとえば、ケイ素を負極活物質に用いた場合、満充電時には体積比でリチウム吸蔵前の４倍程度に膨張する。ケイ素を酸化することで充電容量を抑制し、膨張抑制を図った酸化ケイ素負極でも酸化の度合いにもよるが２〜３倍に膨張する。
【００１８】
真空蒸着法にて極板に付着する突起物はスプラッシュ粒子と呼ばれ、蒸着源にある原料溶湯や未溶解の原料が急加熱されるなどの原因で極板まで飛来し、付着したものである。真空蒸着法により極板表面に突起物が付着した状態の負極極板にリチウムを吸蔵させると、極板の活物質層のみではなく、突起物もリチウムを吸蔵することとなる。
【００１９】
一方、極板上の突起物が付着している部分では、表面に付着した突起物がリチウムを吸蔵してしまうため、突起物直下の活物質層までリチウムが届かず、当該活物質層がリチウムを吸蔵しない。その結果、突起物と活物質層の間で、膨張率が異なるものとなるので、突起物と活物質層の界面に膨張率の差による歪ができ、突起物が剥がれやすくなる。
【００２０】
また、このような突起物が付着した極板にリチウムを吸蔵させた場合、活物質層のうち突起物が付着していない周辺領域はリチウムを吸蔵して膨張する。これに対して、突起物が付着した領域はリチウムを吸蔵できず膨張率が非常に小さくなるため、突起物の端部では、膨張した活物質層により突起物が押し上げられ、膨張していない直下の活物質層から剥離する方向に応力が働く。
【００２１】
以上のことから、真空蒸着法により活物質層を形成した後では付着強度が強く、除去が難しい突起物でも、リチウム吸蔵後には剥離が容易になる。
【００２２】
また、従来のリチウムを吸蔵させていない状態での突起物除去法では除去困難であった小さな突起物も、リチウムを吸蔵することで膨張するため、除去が容易になる。
【００２３】
本発明において突起物の除去前に吸蔵させるリチウム量は、突起物と突起物直下の活物質層との膨張率の差を確保するため、活物質層の理論充電容量の１０％以上であることが望ましい。リチウム吸蔵量が多くなるほど、突起物の膨張も大きくなり、突起物が剥がれやすくなるため、リチウム吸蔵量の上限は１００％以下であれば問題はない。しかし、リチウム吸蔵量が大きくなると、突起物直下の活物質層に周囲からリチウムが拡散しやすくなり、また、リチウムが極板表面に析出しやすくなる。そのため、突起物除去前のリチウム吸蔵量は活物質層の理論充電容量の５０％以下、さらに好ましくは３０％以下であることが望ましい。
【００２４】
第二の本発明の電気化学素子用電極は、シート状の集電体と、前記集電体に担持された活物質層とを有する電気化学素子用電極であって、前記活物質層は、前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下の量のリチウムを吸蔵しており、前記活物質層表面にリチウムを吸蔵していない微小領域が存在する。
【００２５】
当該電気化学素子用電極は、第一の本発明に係る製造方法によって製造することができる。上記製造方法によると、活物質層表面のうち第１の工程にて突起物が付着した部分では、第２の工程において突起物がリチウムを吸蔵するため、活物質層自体はリチウムを吸蔵しない。そのため、第３の工程にて突起物を除去すると、活物質層の表面には、突起物の形状、頻度に合わせて、平均直径１０μｍ〜５００μｍのリチウムを吸蔵していない微小領域が１〜５０箇所／ｃｍ２程度作成される。
【００２６】
リチウムを吸蔵していない微小領域の存在は活物質層表面の微小部蛍光Ｘ線分析などによる元素分布の分析で確認することができる。また、レーザー顕微鏡を用いて活物質層表面を観察することでも微小領域の確認は可能である。
【００２７】
一方、従来のようにリチウムを吸蔵させずに突起物除去を行った電極では、充放電を行った場合にも活物質層が概ね均一に充放電されるため、本発明の製造方法を用いて作成した電極のようにリチウムを吸蔵していない微小領域が形成されることはない。
【００２８】
本発明の製造方法にて形成可能なリチウムを吸蔵していない微小領域を持つ電極は、リチウムを吸蔵している部分と吸蔵していない部分で膨張挙動が異なるため、活物質層表面に凹凸ができ、電極搬送時の摩擦抵抗を低減することが可能になる。さらには、リチウムを吸蔵していない微小領域では周辺の領域に比べて活物質層が膨張していないため、当該微小領域が活物質層表面で窪みを形成している。そのため、電極上に微小な付着物が残留していた場合に付着物が当該窪みに入りやすい。従って、当該電極を用いて電池やキャパシタを構成したときに、残留した付着物が充放電時にさらにリチウムを吸蔵して膨張した場合にも、窪みがない場合よりも付着物がセパレータを突き破ることによる内部短絡が起こりにくい。
【００２９】
また、本発明により製造されるリチウムを吸蔵していない微小領域を持つ電極は、活物質層表面に窪みが存在し、表面積が大きくなることから、概ね均一にリチウムを吸蔵した平坦な電極に比べて電解液の濡れ特性が向上する。
【００３０】
さらに、本発明の第１の工程にて集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで構成される活物質層を形成した場合、充電時にリチウムを吸蔵しやすい柱の上部から活物質層が膨張する。そのため、柱状活物質層の上部は活物質層の膨張により隙間が埋められる一方、下部では膨張が遅くなるため、比較的隙間が残存しやすい。
【００３１】
従来法のようにリチウムを吸蔵させずに活物質層表面の突起物を除去した電極では、電極上の柱状活物質の高さが概ね均一であるため、充電によって活物質が膨張するに従い、柱間の隙間が埋まり、活物質層の下部には電解液が回りこみにくくなる。さらには、前述のとおり、充電時のリチウム吸蔵時に柱の上部から順にリチウムを吸蔵するため、充電が進むと柱の上部では柱間の隙間が埋められ、電解液が出入りできなくなる。そのため、電解液の逃げ場がない状況でさらに充電が進み、柱状の活物質層の中部、下部が膨張すると、逃げ場が無い電解液を圧迫して大きな圧力が発生し、集電板からの活物質層の剥がれや強度低下の原因となる。
【００３２】
一方、本発明の製造方法によりリチウム吸蔵後に突起物の除去を行った電極では、柱状の活物質の中に、第２の工程後にリチウムを吸蔵せず、柱状活物質がほとんど膨張していない領域が含まれる。そのため、第２の工程にてリチウムを吸蔵した領域の活物質層が充電によりさらに膨張して柱間の隙間が埋められたときにも、第２の工程にてリチウムを吸蔵しなかった領域では柱間の隙間を維持しやすく、電解液が活物質層下部まで回りこむことが可能になる。さらに、この隙間を通じて柱状活物質層の下部に残存する電解液が出入りできることにより、活物質層の膨張による圧力の発生を抑制することが可能になる。
【００３３】
第三の本発明は、第二の本発明に係る電極から構成される負極と、シート状の正極集電体と、前記正極集電体の上に設けられた正極活物質層と、を有し、前記負極の前記活物質層と前記正極活物質層とが対向するように配置された正極と、前記負極と前記正極との間に配置されたセパレータと、を有する電気化学素子である。正極活物質層は、充電時にリチウムイオンを放出し、放電時に負極活物質層から放出されたリチウムイオンを吸蔵する。負極活物質層は、充電時に正極活物質層から放出されたリチウムイオンを吸蔵し、放電時にリチウムイオンを放出する。
【００３４】
この電気化学素子において、前記負極の前記活物質層は、前記セパレータの厚み方向において前記正極活物質層に対向している対向領域と、同方向において前記正極活物質層に対向していない非対向領域と、を有する。これは、充電時に正極活物質層上にリチウム金属が析出し、短絡が発生するのを防止するためである。
【００３５】
本発明の電気化学素子は、負極の活物質層がリチウムを吸蔵しており、かつ負極の活物質層表面に、リチウムを吸蔵していない微小領域が存在しているものである。しかしながら、電気化学素子の充放電を繰り返すと、この微小領域においてもリチウムの吸蔵及び放出が行われるようになり、その結果、当該微小領域とこれを取り囲む周辺領域との識別が困難になる。
【００３６】
しかし、前述した非対向領域では、正極活物質層と対向していないため、充放電によるリチウムの吸蔵及び放出が起こらない。従って、電気化学素子の充放電を繰り返した後でも、非対向領域内では、リチウムを吸蔵していない微小領域が維持されており、周囲のリチウムを吸蔵している領域との識別が容易にできる。そのため、本発明の電気化学素子では、前記非対向領域における前記活物質層表面において、前記微小領域が存在することを確認するのが好ましい。
【００３７】
本発明の電気化学素子としては、リチウム二次電池、電池化学キャパシタが挙げられる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明の電気化学素子用電極の製造方法によれば、活物質層にリチウムを吸蔵させる第２工程にて、活物質層表面に存在するスプラッシュ粒子である突起物がリチウムを吸蔵し膨張することにより、第３工程において当該突起物を容易かつ確実に除去することができる。
【００３９】
本発明の電気化学素子用電極によれば、真空蒸着法で形成されたスプラッシュ粒子である突起物が除去されているので、セパレータと積層して電池やキャパシタを製造する際に、突起物のセパレータ貫通による内部短絡のおそれを回避することができる。
【００４０】
本発明の電気化学素子によれば、負極において、真空蒸着法で形成されたスプラッシュ粒子である突起物が除去されているので、突起物のセパレータ貫通による内部短絡のおそれを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態における第１の工程に用いる装置の一例を示す模式図
【図２】本発明の実施の形態における第２の工程に用いる装置の一例を示す模式図
【図３】本発明の実施の形態における第２の工程に用いる装置の別の一例を示す模式図
【図４】本発明の実施の形態における第３の工程に用いる装置の一例を示す模式図
【図５】本発明の実施の形態におけるリチウム二次電池の概略断面図
【図６】本発明の実施の形態における電気化学キャパシタの概略断面図
【図７】本発明の製造方法の各工程を示すフローチャート
【図８】図５の正極活物質層５５と負極活物質層５８の積層状態を示す概略上面図
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００４３】
図７は、本発明の製造方法の各工程を示すフローチャートである。本発明の製造方法では、まず、リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程を行い、次いで、前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程を行い、さらに、前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程を行う。以下各工程毎に詳細を説明する。
【００４４】
（第１の工程）
本発明の第１の工程は真空中で蒸着法により集電体表面に活物質層の形成をおこなう。
【００４５】
図１は本発明の電気化学素子用電極の製造方法における第１の工程に用いる装置の一例を示す模式図である。真空容器（１２）は、排気装置（１１）によって減圧に保たれている。真空容器（１２）の中には、薄膜形成源（１９）と、基板搬送系が設置されている。基板搬送系は、基板の巻き出しロール（１８）、搬送ローラ（１５）、基板の巻き取りロール（１３）等から構成されている。
【００４６】
薄膜形成源（１９）は容器に薄膜の原料を設置し、高い薄膜形成速度を得るために、電子線源（図示せず）より電子を照射することにより加熱を行う。薄膜形成源の上方には冷却キャン（１６）と、開口部を有する遮蔽板（２０）が設置され、開口部を介して薄膜形成源と、冷却キャン上の基板とが対向する。
【００４７】
集電体である基板（２２）は巻き出しロール（１８）から巻き出され、搬送ローラ（１５）に沿って、巻き取りロール（１３）に巻き取られる間に、遮蔽板（２０）の開口部を走行するようになっている。
【００４８】
基板（２２）は、帯状の長尺基板であり、その材料としては特に限定されない。例えば、アルミ箔、銅箔、ニッケル箔、チタニウム箔、ステンレス箔等の各種金属箔や、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミド等の各種高分子フィルムや、高分子フィルムと金属箔の複合体等が挙げられる。
【００４９】
基板（２２）が遮蔽板の開口部を走行する間に、遮蔽板の下方に設置された薄膜形成源（１９）から飛来した粒子の一部が開口部を経由して薄膜形成部（２３）にて基板（２２）上に付着して活物質層を形成する。
【００５０】
巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）は、その回転を制御することができ、それにより、冷却キャン上の基板（２２）には張力を加えられている。搬送系の一部、例えば駆動用モーター等は真空容器（１２）の外に配置し、回転導入端子を介して駆動力を真空容器（１２）中に導入しても良い。
【００５１】
また、活物質層の特性を変化させる目的で、薄膜形成時に薄膜形成部（２３）に酸素ガスを導入することで、反応性蒸着を行っても良い。
【００５２】
また、活物質層の特性を変化させる目的で、基板表面に凹凸を設けた基板を使用するなどの方法を用いて、柱状の活物質粒子が基板表面に複数並ぶことで構成される活物質層を形成してもよい。
【００５３】
また、１回目の第１の工程により活物質層を形成した後、基板を裏返してもう一度第１の工程を繰り返す方法などによって基板の両面に活物質層を形成してもよい。
【００５４】
この工程で、真空蒸着における突沸によって、スプラッシュ粒子が活物質層表面に付着することになる。
【００５５】
（第２の工程）
本発明の第２の工程は、第１の工程で集電体表面に形成した活物質層に対してリチウムを吸蔵させる。このためには以下の２つの方法を好適に用いることができる。１つ目の方法は真空中で活物質層にリチウムを吸蔵させる方法であり、２つ目の方法は、表面に活物質層が形成された集電体を電解液中に浸漬して、活物質層に電気化学的にリチウムを吸蔵させる方法である。これらの方法にて活物質層に吸蔵させるリチウムの量は極板の活物質重量から算出される理論充電容量の１０％以上であることが望ましく、さらに望ましくは、理論充電容量の２０％以上である。これにより、第３工程にて良好に突起物を極板から剥離、除去することが可能になる。
【００５６】
真空中でリチウムを吸蔵させる１つ目の方法には、蒸着法又はスパッタ法を使用することができる。これらの方法では、リチウム粒子の直進性が高いため、突起物の下に隠された活物質層にリチウムが拡散しにくく突起物と活物質層での膨張率の差が大きくなりやすいため突起物の除去性能に優れている。また、吸蔵させるリチウムの量をコントロールすることが容易である。一方、電気化学的にリチウムを吸蔵させる２つ目の方法では、吸蔵させるリチウム量が多くなっても、極板表面にリチウムが析出しにくいという利点がある。
【００５７】
図２は、本発明の電気化学素子用電極の製造方法における第２の工程に使用できる、真空中で蒸着法により活物質層にリチウムを吸蔵させる装置の一例を示す模式図である。
【００５８】
真空容器（１２）は、排気装置（１１）によって減圧に保たれている。真空容器（１２）の中には、リチウム源（２４）と、極板搬送系が設置されている。極板搬送系は、極板の巻き出しロール（１８）、搬送ローラ（１５）、極板の巻き取りロール（１３）等から構成されている。
【００５９】
リチウム源（２４）は容器にリチウムを設置し、抵抗加熱ヒーター（１７）などで加熱する。リチウム源の上方には冷却キャン（１６）が設置され、開口部を有する遮蔽板（２０）を介してリチウム源と対向する。
【００６０】
表面に活物質層が形成されている集電体である極板（２５）は巻き出しロール（１８）から巻き出され、搬送ローラ（１５）に沿って、巻き取りロール（１３）に巻き取られる間に、遮蔽板の開口部を走行するようになっている。
【００６１】
極板（２５）が遮蔽板の開口部を走行する間に、遮蔽板の下方に設置されたリチウム源（２４）から飛来したリチウム粒子の一部が開口部を経由してリチウム吸蔵部（２３）にて極板（２５）上の活物質層に付着して活物質層にリチウムが吸蔵される。
【００６２】
巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）は、その回転を制御することができ、それにより、極板（２５）には冷却キャン（１６）上に極板を均一に沿わせるための張力を加えている。搬送系の一部、例えば駆動用モーター等は真空容器（１２）の外に配置し、回転導入端子を介して駆動力を真空容器（１２）中に導入しても良い。
【００６３】
リチウム吸蔵量はリチウム源の加熱温度と、極板の走行速度によって調整することができる。
【００６４】
図３は本発明の電気化学素子用電極の製造方法における第２の工程に用いることができる、電解液中で電気化学的にリチウムを吸蔵させる装置の一例を示す模式図である。
【００６５】
電解液保持容器（３０）の中には、リチウム対極（３１）と、電解液（３２）と、極板搬送系が設置されている。極板搬送系は、極板の巻き出しロール（１８）、搬送ローラ（１５）、電解用のキャン（１６）、極板の巻き取りロール（１３）等から構成されている。
【００６６】
巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）は、その回転を制御することができ、それにより、極板（２５）には冷却キャン（１６）上に極板を均一に沿わせるための張力を加えている。
【００６７】
キャン（１６）は一部が電解液（３２）に浸っており、電解液中にはリチウム対極（３１）が保持される。極板（２５）とリチウム対極の間には電位差が設けられ、電位差によりキャン上の極板（２５）にリチウム対極（３１）から電解液を経由して活物質層にリチウムが吸蔵される。
【００６８】
極板に電位を付与する方法としては、キャン（１６）に電位を付与することで、キャン（１６）に接触しながら走行している極板（２５）に電位を付与する方法や、搬送ローラ（１５）、巻き取りロール（１３）、巻き出しロール（１８）に電位を付与することで極板（２５）に電位を付与する方法を採ることができる。
【００６９】
電解液には、様々なリチウムイオン伝導性の非水電解液が用いられる。非水電解液には、非水溶媒（エチレンカーボネート、エチルメチルカーボネートなど）にリチウム塩（６フッ化リン酸リチウムなど）を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。
【００７０】
極板（２５）は巻き出しロール（１８）から巻き出され、搬送ローラ（１５）に沿って、巻き取りロール（１３）に巻き取られる間に、キャン（１６）に沿って走行するようになっている。
【００７１】
リチウムの吸蔵量は印加電圧と極板の走行速度によって調整することができる。
【００７２】
本発明では、第２の工程により活物質層を形成した後、極板を裏返してもう一度第２の工程を繰り返す方法などによって、両面に活物質層が形成されている極板に対しても、両面にリチウムを吸蔵させることが可能である。
【００７３】
（第３の工程）
本発明の第３の工程は、第２の工程でリチウムを吸蔵した活物質層表面に存在する突起物を除去する工程である。この除去工程は減圧雰囲気で行ってもよいし、常圧雰囲気で行ってもよい。また、液中で行うことも可能である。
【００７４】
本発明の第３の工程を実施する具体的方法としては特に限定されないが、前記活物質層表面の突起物に除去手段を物理的に接触させて除去する方法と、前記活物質層表面の突起物に除去手段を直接接触させずに除去する方法が挙げられる。前者の方法としては、活物質層表面を払拭布にて払拭する方法、活物質層表面を粘着テープにて被覆した後、活物質層表面から粘着テープを剥離する方法、ブレードなどの、直線状刃先を有する刃物を使用し、前記直線状刃先を前記活物質層の表面から所定の距離に維持した状態で前記活物質層を移動させることにより前記突起物を除去する方法等が挙げられる。後者の方法としては、エアブローにより突起物を除去する方法、液中で前記活物質層表面に超音波を照射する方法等が挙げられる。
【００７５】
第２の工程を真空中で行い、第３の工程を減圧雰囲気で行う場合には、第２の工程に用いる装置内に第３の工程を組み込むことが可能になる。また、第２の工程を電解液中で行い、第３の工程を払拭布やブレード、超音波照射などにより行う場合には、第２の工程における電解液中でのリチウム吸蔵装置内に第３の工程を組み込むことが可能になる。
【００７６】
以上のようにして製造した電気化学素子用電極は、リチウム二次電池又は電気化学キャパシタ等の電気化学素子における負極として使用することができる。
【００７７】
（リチウム二次電池）
図５は本発明の実施の形態におけるリチウム二次電池の概略断面図を示す。
【００７８】
リチウム二次電池は、正極５１と、負極５２と、これらの間に配置されたセパレータ５６とを含む電極群を備えている。電極群およびリチウムイオン伝導性を有する電解質がアルミラミネート製の密封容器６１に収容されている。正極５１は、シート状の正極集電体５４と、正極集電体５４上に配置された正極活物質層５５とで構成されている。負極５２は、シート状の負極集電体５７と、負極集電体５７上に配置された負極活物質層５８とで構成されている。正極活物質層５５と負極活物質層５８は、セパレータ５６を介して対向している。正極集電体５４と負極集電体５７には、それぞれ正極用リード５９および負極用リード６０の一端が接続されている。リード５９及び６０の他端は、密封容器６１の外部に伸長している。密封容器６１の開口部は樹脂材料６２により封止されている。
【００７９】
図５では、正極５１と負極５２を一組含む構造を示したが、この構造に限定されない。例えば、正極集電体５４が両面に正極活物質層５５を有し、この正極を２枚のセパレータで挟み込むように配置し、さらにその外側を２枚の負極が覆うような構造とすることもできる。この場合、負極と正極の配置は逆でもよい。
【００８０】
図８は、図５の正極活物質層５５と負極活物質層５８の積層状態を、正極活物質層５５の上方から見た概略上面図を示す。ただし図８では、正極活物質層５５と負極活物質層５８との間に配置されたセパレータ５６は省略している。図８に示すように、正極活物質層５５の上方から見た場合（すなわち、セパレータの厚み方向で見た場合）に、負極活物質層５８は正極活物質層５５よりも大きく、負極活物質層５８は、正極活物質層５５に対向している対向領域８１と、正極活物質層５５に対向していない非対向領域８２とに区画される。
【００８１】
なお、一例として積層型電池を示したが、本発明のリチウム二次電池の構造としては、捲回型の極板群を有する円筒型電池や角型電池なども適宜採用できる。
【００８２】
本発明は、負極の構成に特徴を有することから、リチウム二次電池においては、負極以外の構成要素は特に限定されない。例えば、正極活物質には、コバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ２）、ニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ２）、マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ２Ｏ４）などのリチウム含有遷移金属酸化物を用いることができるが、これに限定されない。また、正極活物質層は、正極活物質のみで構成してもよいし、正極活物質と結着剤と導電剤を含む合剤で構成してもよい。正極集電体には、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｔｉなどを用いることができる。
【００８３】
セパレータには多孔質ポリプロピレンなど一般にリチウムイオン二次電池に用いられるセパレータを用いることができ、本発明はセパレータによって限定されるものではない。
【００８４】
リチウムイオン伝導性の電解質には、様々なリチウムイオン伝導性の固体電解質や非水電解液が用いられる。非水電解液には、非水溶媒にリチウム塩を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。
【００８５】
セパレータや外装ケースも特に限定されず、様々な形態のリチウム二次電池に用いられている材料を特に限定されることなく用いることができる。
【００８６】
（キャパシタの製造方法）
図６は本発明の実施の形態における電気化学キャパシタの概略断面図を示す。電気化学キャパシタは、正極活物質層７３、正極集電体７２、負極活物質層７６、負極集電体７７、セパレータ７４、封口板７５、ガスケット７８およびケース７１を含む。
【００８７】
非水電解液を含浸させたセパレータを介して、正極活物質層と負極活物質層とを対向配置し、電極体を作製する。本発明は負極の構成に特徴を有するため、正極活物質には一般に電気化学キャパシタで用いられる活性炭などの正極物質を用いることができ、正極によって限定されるものではない。非水電解液には、非水溶媒にリチウム塩を溶解したものが好ましく用いられる。非水電解液の組成は特に限定されない。
【実施例】
【００８８】
以下に実施例を掲げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００８９】
まず、非水電解質二次電池の負極極板を作成する目的で、負極集電体上にＳｉ薄膜を形成することを想定し、第１の工程を実施した。
【００９０】
すなわち、図１に示す装置構成にて、基板に幅２８ｃｍの粗面化銅箔（ＥＸＰ−ＤＴ−ＮＣ３５μｍ；古河サーキットフォイル株式会社製）を用い、薄膜形成部（２３）の長さが４５ｃｍ程度になるよう遮蔽板の位置を調整した。黒鉛ルツボに高純度Ｓｉ（９９．９％純度）を投入した薄膜形成源（１９）を、薄膜形成部（２３）からの最短距離が４０ｃｍになるように設置した。１０−２Ｐａ程度の減圧条件下、電子線によりＳｉを加熱溶解しＳｉ溶湯の表面温度を２０００℃程度に保ち、基板に５ｋｇｆのテンションをかけながら、基板を毎分０．３３ｍ程度の速度で走行させて薄膜形成を行った。
【００９１】
得られた極板をレーザー顕微鏡にて観察したところ、極板上には粒径が５〜５００μｍ程度の突起物が２０〜５０個／ｃｍ２程度の頻度で観察された。
【００９２】
この極板の活物質表面を、本発明の第２の工程を経ることなく、払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング社製）で払拭したり、粘着テープ（６５０Ｓ＃５０：寺岡製作所製）で被覆、剥離したが、突起物を除去することができなかった。
【００９３】
また、極板の一部をφ１２．５ｍｍの円板状態に打ち抜き、電解液に浸した状態で超音波処理機（ＳＵＳ−１００ＰＮ：島津製作所製、振動周波数２８ｋＨｚ、出力１００Ｗ）にて１分以上、超音波処理を行ったが、この方法でも突起物を除去することはできなかった。
【００９４】
続いて、第１の工程にて得られた極板に対して、真空蒸着法により本発明における第２の工程の処理を施した。
【００９５】
すなわち、第１の工程で得られた極板を用い、図２に示す装置構成にて、ルツボにリチウムを投入したリチウム源（２４）から極板までの距離が１０ｃｍになるよう極板位置を調整した。１０−２Ｐａ程度の減圧条件下、抵抗加熱によりルツボを６００℃に加熱して活物質層上にリチウムを蒸着した。蒸着時間を調整することにより、リチウムの吸蔵量が活物質層の理論充電容量の１０％、２０％、３０％となるように調整した３種類の極板を作成した。
【００９６】
活物質層の理論充電容量の計算は以下の方法によった。まず、単位面積あたりの極板の重量から、あらかじめ測定した単位面積当たりの粗面化銅箔の重量を引くことで、単位面積当たりの活物質重量を計算した。次いで、単位重量あたりの活物質の理論充電容量と実測の活物質重量を掛け算することで活物質層の理論充電容量を算出した。
【００９７】
第２の工程を施した３種類の極板に対して、活物質層表面をもう一度払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング製）で払拭したところ、リチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも極板上の突起物の除去に成功した。
【００９８】
また、同様に第２の工程を施した極板に対して活物質層表面を粘着テープ（６５０Ｓ＃５０：寺岡製作所製）で被覆、剥離した結果、リチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも良好に突起物を除去することができた。
【００９９】
また、図４に示すように、巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）と搬送ローラ（１５）からなる極板走行系に極板（２５）を設置し、幅１０ｍｍ、刃先の平坦度１μｍ以下の直線状の刃物（２１）を活物質層の表面から２０μｍの位置に配置した。この状態で活物質層表面に突起物が付着した極板を移動させたところ、リチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも良好に突起物を剥離除去することができた。
【０１００】
第２の工程を施した極板をφ１２．５ｍｍの円形状に打ち抜き、電解液に浸した状態で超音波処理機（ＳＵＳ−１００ＰＮ：島津製作所製、振動周波数２８ｋＨｚ、出力１００Ｗ）にて１０秒間超音波を照射した。結果、他の方法と同様にリチウム吸蔵量が１０％、２０％、３０％のいずれの極板でも突起物を剥離除去することができた。
【０１０１】
続いて、第２の工程を電気化学的方法で行ったサンプルを作成した。この方法では活物質層表面にリチウムが比較的析出しにくい。
【０１０２】
すなわち、第１の工程で得られた極板を用い、図３に示す装置構成にて、電解液（エチレンカーボネート（ＥＣ）：エチルメチルカーボネート（ＥＭＣ）：ジエチルカーボネート（ＤＥＣ）＝３：５：２（体積比）、１Ｍ  ＬｉＰＦ６（三菱化学製））中でリチウム対極を極板に対向させ、電位差を印加することにより、活物質層にリチウムを吸蔵させた。リチウムの吸蔵量は活物質層の理論充電容量の１０％、５０％、１００％となるように調整した３種類の極板を作成した。
【０１０３】
極板の理論充電容量の計算は上述の方法によった。
【０１０４】
第２の工程を施した３種類の極板に対して、活物質層表面をもう一度払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング製）で払拭したところ、リチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも極板上の突起物の除去に成功した。
【０１０５】
また、同様に第２の工程を施した極板に対して活物質層表面を粘着テープ（６５０Ｓ＃５０：寺岡製作所製）で被覆、剥離した結果、リチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも良好に突起物を除去することができた。
【０１０６】
また、図４に示すように、巻き出しローラ（１８）および巻き取りローラ（１３）と搬送ローラ（１５）からなる極板走行系に極板（２５）を設置し、幅１０ｍｍ、刃先の平坦度１μｍ以下の直線状の刃物（２１）を活物質層の表面から２０μｍの位置に配置した。この状態で活物質層表面に突起物が付着した極板を移動させたところ、リチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも良好に突起物を剥離除去することができた。
【０１０７】
第２の工程を施した極板をφ１２．５ｍｍの円形状に打ち抜き、電解液に浸した状態で超音波処理機（ＳＵＳ−１００ＰＮ：島津製作所製、振動周波数２８ｋＨｚ、出力１００Ｗ）にて１０秒間超音波を照射したところ、他の方法と同様にリチウム吸蔵量が１０％、５０％、１００％のいずれの極板でも突起物を剥離除去することができた。
【０１０８】
上記９９．９％純度のＳｉの代わりに、より純度の高い９９．９９％純度のＳｉを薄膜原料として使用し、上記と同様の手順で薄膜形成を行った。得られた極板をレーザー顕微鏡にて観察したところ、極板上には粒径が５〜５００μｍ程度の突起物が１〜２０個／ｃｍ２程度の頻度で観察された。さらに同様の手法により活物質層上にリチウムを蒸着し、リチウムの吸蔵量が活物質層の理論充電容量の１０％、２０％、３０％となるように調整した３種類の極板を作成した。これら３種類の極板に対して、活物質層表面を払拭布（ＧＣ１００００：日本ミクロコーティング製）で払拭したところ、いずれの極板でも極板上の突起物の除去に成功した。
【０１０９】
以上の実施例で突起物を剥離除去した後の極板の活物質層表面を、微小部蛍光Ｘ線分析による元素分布の分析に付することで、リチウムを吸蔵していない微小領域の個数と平均直径を算出した。具体的には、極板サンプルを露点−２０℃の大気に暴露して極板表層のリチウムを酸化した後、前記元素分析にて酸化リチウムを検出し、１ｃｍ２あたりの直径１μｍ以上の微小領域の個数と、各微小領域の直径とを測定した。得られた直径値の相加平均を平均直径とした。測定結果を以下の表１、表２及び表３に示す。なお、簡易的な方法として、レーザー顕微鏡にて、活物質層表面の任意の部分を１ｃｍ２観察し、モニターに写った直径１μm以上の微小領域について、個数を集計し、各領域の直径を測定し、平均直径を求めることも可能であった。
【０１１０】
【表１】
2010079754.tif 000014
【０１１１】
【表２】
2010079754.tif 000015
【０１１２】
【表３】
2010079754.tif 000016
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
本発明に係る電気化学素子用電極の製造方法によれば、真空プロセスにて活物質層を作成した際に生じた極板上の突起物を除去することが可能であり、リチウムイオン電池や電気化学キャパシタ等の電気化学素子用の電極の製造法として有用である。本発明に係る電気化学素子用電極及び電気化学素子によれば、セパレータ貫通による内部短絡の可能性を低減することが可能である。
【符号の説明】
【０１１４】
１１  排気装置
１２  真空容器
１３  巻き取りロール
１５  搬送ローラ
１６  キャン
１７  ヒーター
１８  巻き出しロール
１９  薄膜形成源
２０  遮蔽板
２１  刃物
２２  基板
２３  薄膜形成部
２４  リチウム源
２５  極板
３０  電解液保持容器
３１  リチウム対極
３２  電解液
５４  正極集電体
５５  正極活物質層
５６  セパレータ
５７  負極集電体
５８  負極活物質層
５９  正極用リード
６０  負極用リード
６１  密封容器
７１  ケース
７２  正極集電体
７３  正極活物質層
７４  セパレータ
７５  封口板
７６  負極集電体
７７  負極活物質層
７８  ガスケット
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムの吸蔵及び放出が可能な活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、
前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、
前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程と
を含む、電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項２】
前記活物質がケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項３】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程におけるリチウム吸蔵量が前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項４】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に真空プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項５】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に電気化学プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項６】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を物理的に接触させて除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項７】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を払拭布にて払拭する工程である、請求項６記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項８】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を粘着テープにて被覆した後、前記活物質層表面から前記粘着テープを剥離する工程である、請求項６記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項９】
前記突起物を除去する第３の工程が、直線状刃先を有する刃物を使用し、前記直線状刃先を前記活物質層の表面から所定の距離に維持した状態で前記活物質層を移動させることにより前記突起物を除去する工程である、請求項６記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１０】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を直接接触させずに除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１１】
前記突起物を除去する第３の工程が、液中で前記活物質層表面に超音波を照射する工程である、請求項１０記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１２】
シート状の集電体と、前記集電体に担持された活物質層とを有する電気化学素子用電極であって、
前記活物質層は、前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下の量のリチウムを吸蔵しており、
前記活物質層表面にリチウムを吸蔵していない微小領域が存在することを特徴とする電気化学素子用電極。
【請求項１３】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１４】
前記微小領域が前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１５】
前記活物質層がケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１６】
前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１２記載の電気化学素子用電極。
【請求項１７】
請求項１２記載の電極から構成される負極と、
シート状の正極集電体と、前記正極集電体の上に設けられた正極活物質層と、を有し、前記負極の前記活物質層と前記正極活物質層とが対向するように配置された正極と、
前記負極と前記正極との間に配置されたセパレータと、を有する電気化学素子。
【請求項１８】
前記負極の前記活物質層は、前記セパレータの厚み方向において前記正極活物質層に対向している対向領域と、同方向において前記正極活物質層に対向していない非対向領域と、を有し、
前記非対向領域における前記活物質層表面において、前記微小領域が存在する、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項１９】
前記微小領域が、前記非対向領域における前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１８記載の電気化学素子。
【請求項２０】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２１】
前記負極の前記活物質層がケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２２】
前記負極の前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２３】
前記電気化学素子がリチウム二次電池である、請求項１７記載の電気化学素子。
【請求項２４】
前記電気化学素子が電気化学キャパシタである、請求項１７記載の電気化学素子。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2010079754.tif 000017
【図２】
2010079754.tif 000018
【図３】
2010079754.tif 000019
【図４】
2010079754.tif 000020
【図５】
2010079754.tif 000021
【図６】
2010079754.tif 000022
【図７】
2010079754.tif 000023
【図８】
2010079754.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月13日(2010.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムの吸蔵及び放出が可能な、ケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、
前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、
前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程と
を含む、電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項２】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程におけるリチウム吸蔵量が前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項３】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に真空プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項４】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に電気化学プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項５】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を物理的に接触させて除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項６】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を払拭布にて払拭する工程である、請求項５記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項７】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を粘着テープにて被覆した後、前記活物質層表面から前記粘着テープを剥離する工程である、請求項５記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項８】
前記突起物を除去する第３の工程が、直線状刃先を有する刃物を使用し、前記直線状刃先を前記活物質層の表面から所定の距離に維持した状態で前記活物質層を移動させることにより前記突起物を除去する工程である、請求項５記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項９】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を直接接触させずに除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１０】
前記突起物を除去する第３の工程が、液中で前記活物質層表面に超音波を照射する工程である、請求項９記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１１】
シート状の集電体と、前記集電体に担持された、ケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる活物質層（前記活物質層は、結着剤を含むものを除く）とを有する電気化学素子用電極であって、
前記活物質層は、前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下の量のリチウムを吸蔵しており、
前記活物質層表面にリチウムを吸蔵していない微小領域が存在することを特徴とする電気化学素子用電極。
【請求項１２】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１１記載の電気化学素子用電極。
【請求項１３】
前記微小領域が前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１１記載の電気化学素子用電極。
【請求項１４】
前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１１記載の電気化学素子用電極。
【請求項１５】
請求項１１記載の電極から構成される負極と、
シート状の正極集電体と、前記正極集電体の上に設けられた正極活物質層と、を有し、前記負極の前記活物質層と前記正極活物質層とが対向するように配置された正極と、
前記負極と前記正極との間に配置されたセパレータと、を有する電気化学素子。
【請求項１６】
前記負極の前記活物質層は、前記セパレータの厚み方向において前記正極活物質層に対向している対向領域と、同方向において前記正極活物質層に対向していない非対向領域と、を有し、
前記非対向領域における前記活物質層表面において、前記微小領域が存在する、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項１７】
前記微小領域が、前記非対向領域における前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１６記載の電気化学素子。
【請求項１８】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項１９】
前記負極の前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項２０】
前記電気化学素子がリチウム二次電池である、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項２１】
前記電気化学素子が電気化学キャパシタである、請求項１５記載の電気化学素子。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月31日(2011.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムの吸蔵及び放出が可能な、ケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる活物質層を集電体上に真空プロセスで形成する第１の工程と、
前記活物質層にリチウムを吸蔵させる第２の工程と、
前記リチウムを吸蔵した活物質層表面の突起物を除去する第３の工程と
を含む、電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項２】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程におけるリチウム吸蔵量が前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項３】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に真空プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項４】
前記リチウムを吸蔵させる第２の工程が、前記活物質層に電気化学プロセスによりリチウムを吸蔵させる工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項５】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を物理的に接触させて除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項６】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を払拭布にて払拭する工程である、請求項５記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項７】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面を粘着テープにて被覆した後、前記活物質層表面から前記粘着テープを剥離する工程である、請求項５記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項８】
前記突起物を除去する第３の工程が、直線状刃先を有する刃物を使用し、前記直線状刃先を前記活物質層の表面から所定の距離に維持した状態で前記活物質層を移動させることにより前記突起物を除去する工程である、請求項５記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項９】
前記突起物を除去する第３の工程が、前記活物質層表面の突起物に除去手段を直接接触させずに除去する工程である、請求項１記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１０】
前記突起物を除去する第３の工程が、液中で前記活物質層表面に超音波を照射する工程である、請求項９記載の電気化学素子用電極の製造方法。
【請求項１１】
シート状の集電体と、前記集電体に担持され、真空蒸着法により形成されたケイ素、ケイ素酸化物、または、ケイ素を含む合金もしくは化合物よりなる活物質層とを有する電気化学素子用電極であって、
前記活物質層は、前記活物質層の理論充電容量の１０％以上１００％以下の量のリチウムを吸蔵しており、
前記活物質層表面にリチウムを吸蔵していない微小領域が存在することを特徴とする電気化学素子用電極。
【請求項１２】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１１記載の電気化学素子用電極。
【請求項１３】
前記微小領域が前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１１記載の電気化学素子用電極。
【請求項１４】
前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１１記載の電気化学素子用電極。
【請求項１５】
請求項１１記載の電極から構成される負極と、
シート状の正極集電体と、前記正極集電体の上に設けられた正極活物質層と、を有し、前記負極の前記活物質層と前記正極活物質層とが対向するように配置された正極と、
前記負極と前記正極との間に配置されたセパレータと、を有する電気化学素子。
【請求項１６】
前記負極の前記活物質層は、前記セパレータの厚み方向において前記正極活物質層に対向している対向領域と、同方向において前記正極活物質層に対向していない非対向領域と、を有し、
前記非対向領域における前記活物質層表面において、前記微小領域が存在する、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項１７】
前記微小領域が、前記非対向領域における前記活物質層表面において１〜５０箇所／ｃｍ２の頻度で存在する、請求項１６記載の電気化学素子。
【請求項１８】
前記微小領域の平均直径が１０〜５００μｍである、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項１９】
前記負極の前記活物質層が前記集電体上に柱状の活物質が複数並ぶことで形成されている、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項２０】
前記電気化学素子がリチウム二次電池である、請求項１５記載の電気化学素子。
【請求項２１】
前記電気化学素子が電気化学キャパシタである、請求項１５記載の電気化学素子。
【国際調査報告】
2010079754.tif 000025
2010079754.tif 000026
2010079754.tif 000027
2010079754.tif 000028