【事件の表示】
　特許第３０７６７２７号「試料ホルダの固定装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第３０７６７２７号は、平成６年１０月１９日に特許出願され、平成１２年６月９日にその特許の設定登録がなされ、その後、異議申立人小松純孝から特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年６月２６日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
２．１　訂正の内容
訂正事項ａ
　特許明細書の請求項１ないし３を削除する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の請求項４を請求項１に繰り上げる。
２．２　訂正の適否の検討
　上記訂正事項ａは、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮に当たる。
　また、上記訂正事項ａについては、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　上記訂正事項ｂは、特許明細書の請求項４を請求項１に繰り上げるものであるから、明りょうでない記載の釈明にあたる。
　また、上記訂正事項ｂについては、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、かつ実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
２．３　訂正の適否の判断
　上記訂正事項ａ及びｂは、上記２．２のとおりであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び同条第２項の規定に適合するので、当該請求を認める。
３．特許異議申立てについての判断
　請求項１ないし３に係る発明は、訂正の結果削除され、特許異議の申立ての対象が存在しないので、この特許異議の申立ては、不適法な申立てであって、その補正をすることができないものである。
　したがって、本件特許異議の申立ては、特許法第１２０条の６第１項で準用する第１３５条の規定により却下すべきものである。
　よって、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年９月１２日（２００１．９．１２）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、訂正事項ｂは、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
訂正事項ａ
　特許明細書の請求項１ないし３を削除する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の請求項４を請求項１に繰り上げる。
（５４）【発明の名称】
試料ホルダの固定装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】電子ビーム照射に供される試料を保持する試料ホルダを、ステージ上に固定する試料ホルダの固定装置であって、前記ステージ上に配設され、前記試料ホルダを３点支持するホルダ支持手段と、このホルダ支持手段により３点支持された前記試料ホルダの直交する２辺に対向する位置に配設され、前記試料ホルダを静電力で吸着保持する複数の静電チャックと、を具備してなることを特徴とする試料ホルダの固定装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、電子ビーム描画装置の試料ホルダを、ステージ上に固定する試料ホルダの固定装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　電子ビーム描画装置においては、試料（ガラスマスクやウエハ）を試料ホルダ（カセット）に装填し、その試料ホルダを移動手段であるステージ（Ｘ−Ｙテーブル）上に固定するようになっている。
　【０００３】
　従来、試料ホルダをステージ上に固定する方法としては、例えば、特公平３−２２０４７号公報に開示される機械的なクランプ機構を採用していた。すなわち、図７及び図８に示すように、ステージａ上に試料ホルダｂの両側部を押えるための押え板ｃを有した一対のクランプ機構ｄ，ｄを配置する。押え板ｃ，ｃは、それぞれステージａ上に突設されたベースブロックｅにピンｆを介して連結された回動可能なアームｇに、ピンｈを介して連結されている。アームｇは、連結されたばね体ｉにより、図８の状態において時計回り方向に付勢されており、押え板ｃ，ｃをステージａ側に押付けるようになっている。
　【０００４】
　そして、ステージａに載置された試料ホルダｂの両側部を、押え板ｃ，ｃとステージａとでクランプし、試料ホルダｂを所定位置に固定するようになっている。
　【０００５】
　しかしながら、上記した機械的なクランプ機構ｄ，ｄを採用した従来の試料ホルダの固定装置は、以下（イ）〜（ハ）で示すような問題があった。すなわち、（イ）クランプ機構ｄは、部品点数が多く機構が複雑であり、組立性が悪いと共に、製造コストの低減を図る上での障害となり、しかも、ステージａ上が繁雑となり、試料ホルダｄの送込み取出しの操作性が損なわれる。（ロ）試料ホルダｂの周辺部分を挟む形となる為、モーメントを発生し易く、その結果、試料ホルダｂが変形して、それが試料に影響して描画精度を低下させる。（ハ）試料ホルダｂの変形を低減させるために、試料ホルダｂやステージａの上部の剛性を上げなければならず、その結果、重量の増加や部品の大型化を招く。さらに、これに伴い、試料ホルダｂの搬送機構も大型化してしまう。という問題があった。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記したように、従来の試料ホルダの固定装置は、部品点数が多く機構が複雑なクランプ機構をステージ上に配置することにより生じる問題、試料ホルダの変形により生じる問題、及び試料ホルダやステージ上部の剛性を上げることにより生じる問題があった。
　【０００７】
　本発明は上記事情に基づきなされたもので、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れると共に、試料ホルダの変形を招くことがなく、また、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げなくてすむようにした試料ホルダの固定装置を提供することを目的とする。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は上記課題を解決するための第１の手段として、電子ビーム照射に供される試料を保持する試料ホルダを、ステージ上に固定する試料ホルダの固定装置であって、前記ホルダと前記ステージとの相互対向面間に位置して設けられ、前記試料ホルダを前記ステージ上に静電力で吸着保持する静電吸着手段を具備してなる構成としたものである。
　【０００９】
　また、第２の手段として、電子ビーム照射に供される試料を保持する試料ホルダを、ステージ上に固定する試料ホルダの固定装置であって、前記ホルダと前記ステージとの相互対向面間に位置し、かつ、前記試料ホルダを３点支持する状態に設けられ、前記試料ホルダを前記ステージ上に静電力で吸着保持する複数の静電チャックを具備してなる構成としたものである。
　【００１０】
　また、第３の手段として、電子ビーム照射に供される試料を保持する試料ホルダを、ステージ上に固定する試料ホルダの固定装置であって、前記ステージ上に配設され、前記試料ホルダを３点支持するホルダ支持手段と、このホルダ支持手段により３点支持された前記試料ホルダの直交する２辺に対向する位置に配設され、前記試料ホルダを静電力で吸着保持する複数の静電チャックとを具備してなる構成としたものである。
　【００１１】
　【作用】
　上記第１の手段の試料ホルダの固定装置によれば、ホルダとステージとの相互対向面間に位置して静電吸着手段を設け、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するようにしたから、従来のように、部品点数が多く機構が複雑な機械的クランプ機構をステージ上に配置するものに比べ、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れる。これにより、組立性の容易化、低コスト化、試料ホルダの送込み取出しの操作性の向上が可能となる。
　【００１２】
　また、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するため、従来の機械的クランプ機構のように試料ホルダの周辺部分を挟む必要がなく、モーメントの発生による試料ホルダの変形を招くことがなく、試料ホルダの変形に伴う描画精度の低下を防止し、精度の高い描画が可能となる。
　【００１３】
　さらに、試料ホルダの変形を低減させるべく、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げる必要がなくなり、重量の軽減や部品の小形化、さらには試料ホルダの搬送機構の小形化が可能となる。
　【００１４】
　上記第２の手段の試料ホルダの固定装置によれば、ホルダとステージとの相互対向面間に位置して複数の静電チャックを設け、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するようにしたから、従来のように、部品点数が多く機構が複雑な機械的クランプ機構をステージ上に配置するものに比べ、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れる。これにより、組立性の容易化、低コスト化、試料ホルダの送込み取出しの操作性の向上が可能となる。
　【００１５】
　また、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するため、従来の機械的クランプ機構のように試料ホルダの周辺部分を挟む必要がなく、モーメントの発生による試料ホルダの変形を招くことがなく、試料ホルダの変形に伴う描画精度の低下を防止し、精度の高い描画が可能となる。
　【００１６】
　さらに、試料ホルダの変形を低減させるべく、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げる必要がなくなり、重量の軽減や部品の小形化、さらには試料ホルダの搬送機構の小形化が可能となる。
　【００１７】
　また、試料ホルダを３点支持する状態に静電チャックを配置したから、試料ホルダの自重たわみを最小におさえる３点を支持でき、これとは別に試料ホルダを安定的に支持するための支持手段を不要とすることが可能となる。
　【００１８】
　上記第３の手段の試料ホルダの固定装置によれば、ホルダ支持手段により３点支持されたステージ上の試料ホルダの直交する２辺に対向するように位置させて複数の静電チャックを設け、試料ホルダを静電力で吸着保持するようにしたから、従来のように、部品点数が多く機構が複雑な機械的クランプ機構をステージ上に配置するものに比べ、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れる。これにより、組立性の容易化、低コスト化、試料ホルダの送込み取出しの操作性の向上が可能となる。
　【００１９】
　また、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するため、従来のように機械的クランプ機構のように試料ホルダの周辺部分を挟む必要がなく、モーメントの発生による試料ホルダの変形を招くことがなく、試料ホルダの変形に伴う描画精度の低下を防止し、精度の高い描画が可能となる。
　【００２０】
　さらに、試料ホルダの変形を低減させるべく、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げる必要がなくなり、重量の軽減や部品の小形化、さらには試料ホルダの搬送機構の小形化が可能となる。
　【００２１】
　【実施例】
　以下、本発明の第１の実施例について図１ないし図４を参照して説明する。図１ないし図３において、図中１は例えばＸ−Ｙテーブルからなるステージであり、このステージ１の上面部には、直交する２辺に沿って位置検出用の２本のレーザミラー２，４が配設されている。
　【００２２】
　また、ステージ１の上面には、ステージ１の中央部に、ガラスマスクやウエハ等の試料Ｗを装填した導電性の試料ホルダ（カセット）６を固定するための静電吸着手段８を有する試料ホルダ固定装置１０が設けられている。
　【００２３】
　静電吸着手段８は、少なくとも４〜５ｋｇ／ｃｍ２の吸着力を発生する複数（この実施例では３つ）の静電チャック１２…により構成されている。前記静電チャック１２…は、試料ホルダ６の自重たわみを最小に押える３点を支持し得る位置に配設されている。
　【００２４】
　静電チャック１２は、図４に示すように、絶縁材製のチャック本体であるブロック１２ａと、このブロック１２ａの上面に形成された平板状の内部電極１２ｂと、この内部電極１２ｂの上面を覆う絶縁層からなる膜状の強誘電体１２ｃと、内部電極１２ｂに一端を連通し他端をブロック１２ａを貫通して外部に導出した給電用のリード線１２ｄとからなる。
　【００２５】
　そして、複数の静電チャック１２…を、ステージ１に対して強誘電体１２ｃが上を向く状態、かつ、同一水平高さとなる状態に配設したものとなっている。静電チャック１２…の各リード線１２ｄは、図２、図３に示すように、スイッチ１４を介して直流電源からなるチャック電源１６のプラス側に接続され、チャック電源１６のマイナス側は接地されている。
　【００２６】
　また、ステージ１の上面には、接地されたアースピン１８が突設されており、図示しないホルダ搬送機構を介して所定位置まで送り込まれた試料ホルダ６の下面と接触するようになっている。
　【００２７】
　つぎに、試料ホルダ６をステージ１上に固定する動作について説明する。まず、図３に示すように、図示しないホルダ搬送機構を介して試料ホルダ６が水平方向（矢印方向）に送り込まれる。この時、チャック電源１６と直列接続されたスイッチ１４が開（ＯＦＦ）状態となっており静電チャック１２…は非吸着動作状態にある。
　【００２８】
　そして、試料ホルダ６が所定位置まで送込まれると前記ホルダ搬送機構から解放され、試料ホルダ６は、図２に示すように、静電チャック１２…により３点支持された状態となる。また、この時、ホルダ接地用のアースピン１８と接触した状態となる。
　【００２９】
　この後、スイッチ１４が閉（ＯＮ）状態となり、静電チャック１２…が吸着動作状態となる。すなわち、スイッチ１４が閉（ＯＮ）状態となると、強誘電体１２ｃの表面に置かれた導電性の試料ホルダ６と内部電極１２ｂとの間に電位差が生じ静電吸引力が発生する。
　【００３０】
　この時の静電チャック１２の吸引力ｆは、次式で表される。ｆ＝Ｋ×（ｎＶ２／（ｂ＋ｎａ２））ただし、Ｋは定数、ｎは強誘電体１２ｃの誘電率、Ｖは内部電極１２ｂと試料ホルダ６との間の電位差、ａは強誘電体１２ｃの厚さ、ｂは強誘電体１２ｃと試料ホルダ６との間の隙間である。
　【００３１】
　なお、静電チャックそのものについては、例えば特公平６−１５１３０号公報等において公知であり、詳細な説明は省略する。この実施例において使用される静電チャック１２は、少なくとも４〜５ｋｇ／ｃｍ２の吸着力を発生するもので、試料ホルダ６は、ステージ１上の平面内３点の少ない面積で十分な下方（図２の矢印Ｚ方向）への吸引力が得られ、確実に固定されることになる。
　【００３２】
　つぎに、本発明の第２の実施例について図５及び図６を参照して説明する。図中１は例えばＸ−Ｙテーブルからなるステージであり、このステージ１の上面部には、直交する２辺に沿って位置検出用の２本のレーザミラー２，４が配設されている。
　【００３３】
　また、ステージ１の上面には、ステージ１の中央部に、ガラスマスクやウエハ等の試料Ｗを装填した導電性の試料ホルダ（カセット）６を固定するための試料ホルダ固定装置１０が設けられている。
　【００３４】
　この試料ホルダ固定装置１０は、前記ステージ１上に配設された複数（実施例では３つ）の支持部材２０…からなり、試料ホルダ６の自重たわみを最小に押える３点を支持するホルダ支持手段２２と、このホルダ支持手段２２により３点支持された前記試料ホルダ６の側端面部分を静電力で吸着保持する静電吸着手段８′とを有する構成となっている。
　【００３５】
　静電吸着手段８′は、試料ホルダ６の直交する２辺に対向する位置に配設され、少なくとも４〜５ｋｇ／ｃｍ２の吸着力を発生する複数（この実施例では２つ）の静電チャック１２，１２により構成されている。
　【００３６】
　静電チャック１２は、図４を参照して前述したように、絶縁材製のチャック本体であるブロック１２ａと、このブロック１２ａの上面に形成された平板状の内部電極１２ｂと、この内部電極１２ｂの上面を覆う絶縁層からなる膜状の強誘電体１２ｃと、内部電極１２ｂに一端を連通し他端をブロック１２ａを貫通して外部に導出した給電用のリード線１２ｄとからなる。
　【００３７】
　そして、複数の静電チャック１２，１２を、強誘電体１２ｃ，１２ｃが試料ホルダ６の直交する２辺に対向する横向き状態に配設したものとなっている。静電チャック１２…の各リード線１２ｄは、図６に示すように、スイッチ１４を介して直流電源からなるチャック電源１６のプラス側に接続され、チャック電源１６のマイナス側は接地されている。
　【００３８】
　また、ステージ１の上面には、接地されたアースピン１８が突設されており、図示しないホルダ搬送機構を介して所定位置まで送り込まれた試料ホルダ６の下面と接触するようになっている。
　【００３９】
　つぎに、試料ホルダ６をステージ１上に固定する動作について説明する。まず、図６の二点鎖線で示すように、図示しないホルダ搬送機構を介して試料ホルダ６が水平方向（矢印方向）に送り込まれる。この時、チャック電源１６と直列接続されたスイッチ１４が開（ＯＦＦ）状態となっており静電チャック１２…は非吸着動作状態にある。
　【００４０】
　そして、試料ホルダ６が所定位置まで送込まれると前記ホルダ搬送機構から解放され、試料ホルダ６は、図６の実線状態で示すように、支持部材２０…により３点支持された状態となる。また、この時、ホルダ接地用のアースピン１８と接触した状態となる。
　【００４１】
　この後、スイッチ１４が閉（ＯＮ）状態となり、静電チャック１２，１２が吸着動作状態となる。すなわち、スイッチ１４が閉（ＯＮ）状態となると、強誘電体１２ｃの表面に置かれた導電性の試料ホルダ６と内部電極１２ｂとの間に電位差が生じ静電吸引力が発生する。
　【００４２】
　この実施例において使用される静電チャック１２，１２は、少なくとも４〜５ｋｇ／ｃｍ２の吸着力を発生するもので、支持部材２０…により３点支持された試料ホルダ６は、直交する２辺が十分な吸引力で吸着されることで、確実に固定されることになる。
　【００４３】
　なお、ステージ側に、静電チャックを設けたものについて説明したが、試料ホルダ側に静電チャックを設けることにより、試料ホルダを静電力で吸着保持することも可能である。その他、本発明は上記実施例に限らず、要旨を変えない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
　【００４４】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明によれば、つぎのような効果を奏する。請求項１記載の試料ホルダの固定装置によれば、ホルダとステージとの相互対向面間に位置して静電吸着手段を設け、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するようにしたから、従来のように、部品点数が多く機構が複雑な機械的クランプ機構をステージ上に配置するものに比べ、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れる。これにより、組立性の容易化、低コスト化、試料ホルダの送込み取出しの操作性の向上が図れる。
　【００４５】
　また、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するため、従来のように機械的クランプ機構のように試料ホルダの周辺部分を挟む必要がなく、モーメントの発生による試料ホルダの変形を招くことがなく、試料ホルダの変形に伴う描画精度の低下を防止し、精度の高い描画ができる。
　【００４６】
　さらに、試料ホルダの変形を低減させるべく、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げる必要がなくなり、重量の軽減や部品の小形化、さらには試料ホルダの搬送機構の小形化が図れる。
　【００４７】
　また、請求項２記載の試料ホルダの固定装置によれば、静電吸着手段を、少なくとも４〜５ｋｇ／ｃｍ２の吸着力を発生する複数の静電チャックで構成するようにしたから、請求項１記載の試料ホルダの固定装置による効果に加え、吸着位置を選択できるため、より安定した固定状態を得ることが可能となる。
　【００４８】
　また、請求項３記載の試料ホルダの固定装置によれば、ホルダとステージとの相互対向面間に位置して複数の静電チャックを設け、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するようにしたから、従来のように、部品点数が多く機構が複雑な機械的クランプ機構をステージ上に配置するものに比べ、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れる。これにより、組立性の容易化、低コスト化、試料ホルダの送込み取出しの操作性の向上が図れる。
　【００４９】
　また、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するため、従来のように機械的クランプ機構のように試料ホルダの周辺部分を挟む必要がなく、モーメントの発生による試料ホルダの変形を招くことがなく、試料ホルダの変形に伴う描画精度の低下を防止し、精度の高い描画ができる。
　【００５０】
　さらに、試料ホルダの変形を低減させるべく、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げる必要がなくなり、重量の軽減や部品の小形化、さらには試料ホルダの搬送機構の小形化が図れる。
　【００５１】
　また、試料ホルダを３点支持する状態に静電チャックを配置したから、試料ホルダの自重たわみを最小におさえる３点を支持でき、これとは別に試料ホルダを安定的に支持するための支持手段を不要とすることができる。
　【００５２】
　また、請求項４記載の試料ホルダの固定装置によれば、ホルダ支持手段により３点支持されたステージ上の試料ホルダの直交する２辺に対向するように位置させて複数の静電チャックを設け、試料ホルダを静電力で吸着保持するようにしたから、従来のように、部品点数が多く機構が複雑な機械的クランプ機構をステージ上に配置するものに比べ、構成の簡素化及びこれに伴うステージ上の簡素化が図れる。これにより、組立性の容易化、低コスト化、試料ホルダの送込み取出しの操作性の向上が図れる。
　【００５３】
　また、試料ホルダをステージ上に静電力で吸着保持するため、従来のように機械的クランプ機構のように試料ホルダの周辺部分を挟む必要がなく、モーメントの発生による試料ホルダの変形を招くことがなく、試料ホルダの変形に伴う描画精度の低下を防止し、精度の高い描画ができる。
　【００５４】
　さらに、試料ホルダの変形を低減させるべく、試料ホルダやステージの上部の剛性を上げる必要がなくなり、重量の軽減や部品の小形化、さらには試料ホルダの搬送機構の小形化が図れる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の第１の実施例の試料ホルダ固定動作状態を示す概略的平面図。
　【図２】
　同実施例の試料ホルダ固定動作状態を示す概略的側面図。
　１図３】
　同実施例の試料ホルダ送込み時の動作状態を示す概略的側面図。
　【図４】
　同実施例の要部である静電チャックの構造を示す概略的断面図。
　【図５】
　本発明の第２の実施例の試料ホルダ固定動作状態を示す概略的平面図。
　【図６】
　同実施例の試料ホルダ固定動作状態を示す概略的側面図。
　【図７】
　従来例の試料ホルダ固定動作状態を示す概略的平面図。
　【図８】
　同従来例の試料ホルダ固定動作状態を示す概略的側面図。
　【符号の説明】
　Ｗ…試料、１…ステージ、６…試料ホルダ、８，８′…静電吸着手段、１０…試料ホルダ固定装置、１２…静電チャック、１４…スイッチ、１６…チャック電源、１８…アースピン、２０…支持部材、２２…ホルダ支持手段。