【事件の表示】
　特許第２９９６２２３号「真空ポンプ」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９９６２２３号の請求項１ないし６に係る特許を取り消す。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第２９９６２２３号の請求項１〜６に係る発明は、平成２年１１月２８日に出願した特願平２−３３２３５８号の一部を平成９年１１月２６日に新たな特許出願としたものであって、平成１１年１０月２９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、中村孝子、スターリング　フルイド　システムズ　ゲーエムベーハーより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年４月１７日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断　
ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１〜６中の「真空ポンプ」を「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明、図面の簡単な説明の記載（本件特許公報第２頁左欄第２０行、同第３頁左欄第１８行、同第３頁右欄第４３行、同第４頁右欄第４０行、同第５頁左欄第４９行、同第５頁右欄第３４行、及び同第５頁右欄第４８行参照）の「真空ポンプ」を「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
　
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
  上記の訂正事項に関連する記載として、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という）の発明の詳細な説明には「ドライ真空ポンプ」（本件特許公報第２頁左欄第３２行、同第２頁左欄第３６行、及び同第２頁右欄第２２〜２３行参照）、及び「ドライポンプ」（本件特許公報第３頁左欄第４行参照）と記載されており、上記訂正事項ａ、ｂは、願書に添付した明細書に記載されている事項の範囲内のものであり、新規事項の追加に該当しない。そして、上記訂正事項ａは、「真空ポンプ」を、その下位概念である「ドライ真空ポンプ」にするものであって、特許請求の範囲の減縮に該当する。また、上記訂正事項ｂは、訂正事項ａに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明、図面の簡単な説明の記載とを整合させるものであって、明りょうでない記載の釈明に該当する。また、上記訂正事項ａ、ｂは、実質上特許請求の範囲を拡張し、変更するものでもない。
　
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
（３）特許異議申立について
ア．本件発明
　平成１３年４月１７日付けで提出された訂正明細書の請求項１〜６に係る発明（以下、それぞれ、「本件請求項１に係る発明」〜「本件請求項６に係る発明」という。）は、明細書及び図面の記載からみてその特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された次のとおりのものと認める。
「（１）ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする手段と、前記複数個のモータを同期制御する手段とを備えたことを特徴としたドライ真空ポンプ。
（２）ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータの回転を検知するエンコーダと、このエンコーダが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする手段と、前記複数個のモータを同期制御する手段を備えたことを特徴としたドライ真空ポンプ。
（３）圧縮気体を前記モータ及びエンコーダと繋がった空間に供給することにより、この空間と前記流体移送室との間を機械的に非接触でシールするガスパージ手段を備えたことを特徴とする請求項１または２記載のドライ真空ポンプ。
（４）回転軸のロータ側とは反対側の端部に、エンコーダを設けたことを特徴とする請求項２記載のドライ真空ポンプ。
（５）容積式の真空ポンプは、ねじ溝式であることを特徴とする請求項１または２に記載のドライ真空ポンプ。
（６）ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する非接触型の軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータを同期制御する手段を備えたことを特徴としたドライ真空ポンプ。」
　
イ．引用刊行物記載の発明
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１（特開昭６４−６３６８９号公報）には、第２頁右下欄第１２行〜第３頁左下欄第１８行「第１の回転体２Ａは、筒状のケーシング８ 内に複数の軸受９により回転自在に支持された第１の回転軸１０Ａと、該第１の回転軸１０Ａの中間部に固定された雄、雌スクリューロータ１１Ａ,１２Ａと、第１の回転軸１０Ａの雄スクリューロータ１１Ａ側の端部に固定された第１のモータロータ１５Ａとからなり、モータロータ１５Ａと該モータロー夕１５Ａに対向してケーシング８内に配設された第１のステータ１６Ａとにより第１のモ一タ１３Ａを構成している。
　第２の回転体２Ｂは、ケーシング８内に複数の軸受９により第１の回転軸１０Ａと平行に、かつ回転自在に支持された第２の回転軸１０Ｂと、該第２の回転軸１０Ｂの中間部に固定され第１の回転体２Ａの雄雌スクリューロータ１１Ａ、１２Ａと噛合する雌雄スクリューロータ１２Ｂ、１１Ｂと、第２の回転軸１０Ｂの雄スクリューロータ１１Ｂ側の端部に固定された第２のモータロータ１５Ｂとからなり、モータロータ１５Ｂと該モータロータ１５Ｂに対向してケーシング８内に配設さた第２のステータ１６Ｂとにより第２のモータ１３Ｂを構成している。第１、第２の回転軸１０Ａ ,１０Ｂの雄スクリューロータ１１Ａ,１１Ｂとモータロータ１５Ａ，１５Ｂとの間には角度センサの一例であるロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂがそれぞれ固定されている。第１、第２の回転軸１０Ａ,１０Ｂ、雄のスクリューロータ１１Ａ,１１Ｂ、雌のスクリューロータ１２Ａ,１２Ｂ、モータロータ１５Ａ,１５Ｂおよびロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂは、それそれ同一寸法、形状、材質であり、これにより第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂの慣性モーメント等が同一になるように設定されている。また第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂの流体の吸込口１９Ａ,１９Ｂおよび吐出口２０は、それぞれ対称する位置に形成されている。
　第１図においてスクリュー流体機械１は、第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂを矢印Ａ,Ｂの方向に回転させると圧縮機として作動し、また吸込口１９と吐出口２０の配設位置を逆にして第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂを図中の矢印と逆方向に回転させると真空ポンプとして作動する。
　検出回路３は、ロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂにそれぞれ接続された第１および第２の検出回路３Ａ,３Ｂからなっている。制御回路５は、第１、第２の検出回路３Ａ,３Ｂと指令回路２１にそれぞれ接続されている。駆動回路６は、制御回路５および第１、第２のモータ１３Ａ,１３Ｂにそれぞれ接続された第１および第２の駆動回路６Ａ,６Ｂからなっている。
　つぎに、本発明の第１実施例の作用を説明する。ロータリエンコーダ１８Ａ,１８Ｂにより第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂの回転角度および回転速度が検出され、その検出信号は第１、第２の検出回路３Ａ,３Ｂに入力され、それぞれ電気的な信号に変換されて制御回路５に入力される。これらの入力信号から制御回路５は、第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂ間の回転位相差および回転速度差を求め、また指令回路２１にあらかじめ設定された具体的な回転速度を取入れて第１、第２の回転体２Ａ,２Ｂへの回転速度指令値を決定する。この指令値に従って第１、第２の駆動回路６Ａ,６Ｂは、第１、第２のモータ１３Ａ,１３Ｂに電流を供給して駆動する。これにより回転速度の速いモータが遅く、回転速度の遅いモータが速くなり、第１、第２のモータ１３Ａ，１３Ｂが同期回転する。」、第４頁左上欄第１２〜１８行「第６図および第７図は本発明の第３実施例に係り、第１の回転軸１０Ａの雄雌スクリューロータ１１Ａ，１２Ａとの間および第２の回転軸１０Ｂの雄雌スクリューロータ１１Ｂ，１２Ｂとの間に互いに噛合し得る同一歯数の無給油式、例えばプラスチック製のタイミングギヤ２３Ａ，２３Ｂが固定されている。」、第４頁右上欄第１〜１１行「雄雌スクリューロータ１１，１２はもちろんタイミングギヤ２３Ａ，２３Ｂも定常状態では非接触で回転するが、停電、部品の破壊、緊急停止などを原因とする急激な加減速によって制御が不可能又は不十分となった場合、本実施例によれば、タイミングギヤ２３Ａ，２３Ｂが雄雌スクリューロータ１１，１２に先立って噛合して同期回転を維持するので、雄雌スクリューロータ１１，１２同志の接触を免れることができ、これにより雄雌スクリューロータ１１，１２の焼付きなどによる破損を防ぐことができる。」、同頁右上欄第１５行〜同頁左下欄第１行「上述のとおり、本発明によれば、雄雌スクリューロータをそれぞれ固定した１組の回転軸に取付けたモータの電気的な制御が容易となり、負荷変動に対しても十分対応することができるので、給油式タイミングギヤによらない同期回転が可能で潤滑油が不要となり、油を全く含まない清浄空気の圧縮が可能となる。」と記載されており、これらの記載と第１〜３、６、７図の記載によれば、刊行物１には、以下のとおりの発明が記載されているものと認められる。
「ケーシング８内に収納された複数個のスクリューロータ１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ及びこれらのスクリューロータのそれぞれに締結された複数個の回転軸１０Ａ、１０Ｂと、これらの回転軸の回転を支持する軸受９と、前記スクリューロータと前記ケーシングにより形成される流体移送室と、前記複数個の回転軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のスクリューロータ間の接触を防止するタイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂと、前記ケーシングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸込口１９Ａ、１９Ｂ及び吐出口２０と、前記複数個の回転軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータ１３Ａ、１３Ｂと、このモータ１３Ａ、１３Ｂの回転を検知するロータリーエンコーダ１８Ａ、１８Ｂと、前記複数個のモータ１３Ａ、１３Ｂを同期回転する手段とを備えた、油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプ。」
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物２（実公昭６０−９４３９号公報）には、第１頁右欄第６行〜第２頁左欄第１５行「そこで従来、この様なターボ分子ポンプによって吸気した有害なガスの駆動機構部内への流入を防止する手段として第４図に示す如く構成してなるものがある。すなわち同図のものは、ローター８の下部に内周面１１を形成して駆動機構部２の上部外周面６′との間に僅かな寸法の間隙部１０′を形成し、更に該駆動機構部２にはポンプ本体１３外部と連通してなる注入孔１２を設け別途設けてなるガス供給系１５より供給される窒素等のパージガスを該注入孔１２を通過せしめて該駆動機構部２内へ充填せしめる構成にしてなるもので、該充填せしめたパージガスは駆動機構２内を通過し、更には前記駆動機構部２の上部外周面６とローター８の内周面１１とによって形成された間隙部１０′をその間隙部１０′の寸法が小なる為に流出速度が大となって通過してポンプ本体内空間部１６′へ流出する。従って前記パージガスの駆動機構部２内からのポンプ本体内空間部１６′への流出作用により、逆にポンプ本体内空間部１６′からの駆動機構部２内への有害なガスの流入が妨げられるのである。
　しかしながら、この従来のものに於いては、ただ単に駆動機構部内へ充填させたパージガスを寸法を小とした間隙部よりポンプ本体内空間部へ流出させるだけである為、該間隙部による流出速度を大とする作用はそれ程効果が期待できないばかりか、駆動機構部内のパージガス圧力よりもポンプ本体内空間部の圧力が高い場合には、ポンプ本体内空間部から駆動機構部内へのガス流入を全く防止することができない欠点を有するものである。しかも前記ポンプ本体内空間部の圧力はターボ分子ポンプによって吸気・排気するガス量に応じて大きく変化するのである。従って従来に於いては、ポンプ本体内空間部の圧力に影響されず常に駆動機構部内からのパージガスの流出を計るには、常に大量のパージガスを高圧にて駆動機構部へ充填する必要があった。」と記載されており、この記載と第４図の記載によれば、刊行物２には、モータが収納された空間にパージガスを高圧にて充填する技術が記載されている。
　
　刊行物３（特開昭６４−１５４９４号公報）には、第２頁右下欄第１０行〜第３頁左上欄第１９行「ポンプ機構部６と軸受７との間には軸封部９があり、この軸封部９には外部からシールガス供給口１０を通ってシールガスが供給される。シールガスとしては、吸込口から流入する気体と反応することのないように、乾燥窒素などを用いる。シールガス供給口１０から流入したシールガスは２方向に分かれて流れ、一部はポンプ機構部６へ流入し、吸込口１から流入した気体と一緒に吐出口２から排気され、残りは軸受７を通ってモータ室１２に入り、シ ー ルガス排気口１１から 排気される 。この、２方向に分かれて流れるシールガスによって、潤滑油がポンプ機構部６に流入するのを防ぐと共に、吸込口１から流入した気体が、モータ室１２に流入するのを防止している。
　前記シールガス供給口１０の上流には、接点付流量計１３が設けられており、この流量計を通過するシールガスの流量が減少し、フロート１４が接点１５の位置に来ると外部に信号を発するため、この信号によって警報を発したり、真空ポンプを停止させたりすることができる。また、シールガス排気口１１の下流には、オリフィス１６がとりつけられている。
　いま、吸込口１から流入する気体中に固形物や、固体化して付着堆積しやすい物質が含まれている場合、吐出口２の付近に異物が付着堆積して吐出口を詰まらせることがある。吐出口２が詰まってくると、その部分の上流側の圧力が上昇し、そこを通過するシールガス量が減少する。その減少する分はモータ室 １２に流れるが、オリフイス１６があるために、モータ室１２の圧力も上昇する。」と記載されており、これらの記載、及び第１図の記載によれば、刊行物３には、モータが収納された空間にシールガス（パージガス）を高圧にて充填する技術が記載されている。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物４（実願昭６１−８８６５７号（実開昭６２−２００１８８号）のマイクロフィルム）には、第５頁第１１行〜第７頁第１行「第１図に示した本実施例に係るブロワは、従来と相違して各ロータ(１),(２)の軸端に個別にモータ(１７),(１８)を連結させて取付けるとともに、各モータ(１７),(１８)の軸外端にそれぞれの回転角度を検出する検出器(１９),(２０)を取付けている。そのため各ロ一夕(１),(２)は独立して回転するため従来のようなギヤを必要とせず、ひいてはギヤオイルが不要となって、ギヤオイルのケーシング(３)側への漏れを防止するオイルシールも不要となる。このようにギヤが不要となることから、本実施例ではギヤケースに替えて、閉止板(２１)によって内部保護を図っている。一方、検出器(１９),(２０)はモータケース(１３)の端面を境界とした外側に取付けてあり、これら検出器(１９),(２０)は、カバー(２２)をモータケース(１３)端面に取付けて保護されている。
　以上の構成からも明らかなように、本実施例に係るブロワはギヤ、ギヤオイル及びオイルシールがないためブロワの定期点検の回数を少なくすることができる。そしてギヤに頼っていたロータ(１),(２)の回転は独立したそれぞれのモータ(１７),(１８)に依存しているため、これらモータ(１７),(１８)の同期をとる必要がある。この同期をとる役割を果たすものが検出器(１９),(２０)である。つまり、各検出機器（１７),(１８)の検出値は、第２　図の構成図にも示したように、比較器(２３)に送信され、各信号を受けた比較器(２３)は両検出値を比較して、両者間に偏差があれば、これを一方のモータ、本実地例ではモータ(１７)に送信してこのモータ(１７)の回転数を他方のモータ(１８)の回転数に同期させるように補正する。」と記載されており、この記載と第１、２図の記載によれば、刊行物４には、軸４、５のロータ側とは反対側の端部に回転角度を検出する検出器１９、２０を設ける技術が記載されている。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物５（特開平２−２８３８９８号公報）には、第２頁左上欄第９行〜同頁右上欄第１２行「二つの円筒を接合した断面がダルマ形の静止筒１内に、右ねじ溝２Ａと右ねじ山３Ａを外周面に有する回転筒Ａ４と、右ねじ構２Ｂと、右ねじ山３Ｂを外周面に有する回転筒Ｂ７が、相互のねじ溝とねじ山の半径方向すきま８が極力小さくなるよう接近して噛み合わされ、軸心は平行に配置されている。回転筒Ａ４の回転軸Ａ９は、軸受１０、軸受１１で支持されている。また、前記回転軸Ａ９には、モータの回転子１２が設けられ、該回転子１２対抗面には、ベース１３に組み込まれた固定子１４が、設置されている。回転軸Ｂ１５も回転軸Ａ９と同様に、軸受１６、軸受１７（図略）で支持されているが、回転筒Ｂ７側にはモータを備えていない。回転軸Ａ９の下端には、ギヤＡ１８を装着し、回転軸Ｂ１５下端にはギヤＣ２２を介して、ギヤＡ１８と同方向、同回転数となるギヤＢ１９を装着している。静止筒１の上端開口部は、 吸込口２０で、この先に排気すべき装置が接続し、気体は、吸込口２０より下方に押出され吐出口２１より排気される。上記構成の分子ポンプにおいて、まず、吐出口２１に油回転ポンプ等の補助ポンプを接続して駆動し、ねじ構分子ポンプ本体内の圧力が、分子流領域になるまで粗引きした後、本体を駆動する。」と記載されており、この記載と第１、２、５図の記載によれば、刊行物５には、真空ポンプを、ねじ溝式とする技術が記載されている。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物６（特開昭６４−４１６９８号公報）には、第２頁左下欄第８〜１４行「支承用空気（Ｂ１）を支承用空気供給口(０８)からターボ分子ポンプ(０１)のラジアル気体軸受(０４)(０６)及びスラスト気体軸受(０７)(０７)と、回転ポンプ(０２)のラジアル気体軸受(０９)(０１１)及びスラスト気体軸受(０１２)(０１２)とに送って、ターボ分子ポンプ(０１)の回転体(０１ａ)と回転ポンプ(０２)の回転体(０２ａ）とを回転可能に支承する。」と記載されており、この記載と第５図の記載によれば、刊行物６には、気体軸受（一般に非接触である）により回転体の軸を支承する技術が記載されている。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物７（特開昭６１−２０３６８８号公報）には、第２頁右下欄第１８行〜第３頁右上欄１４行「（１４）はルーツブロア(８）のガス吸入口、（15）はガス吐出口、（１６）はルーツブロア（８）に内蔵されているまゆ形のロータ、（１７）はロータ（１６）に固着された軸で、磁気軸受（１９）によって機械的接触なしに磁気力だけで支承されている。（２０）は磁気軸受（１９）の磁力を制御する磁気軸受制御回路である。（２１）は軸（１７）の一端に複数固定された非接触駆動装置の一部を構成する永久磁石リング、（２２）は永久磁石リング（２１）の内側に配設された非接触駆動装置の一部を構成する電磁コイルで、電磁コイル（２２）に電流を流すことにより、軸（１７）が回転する。（２３）は軸（１７）の他端の周囲に配設された位相角を検知する非接触位置センサであるエンコーダである。図示しないが、ルーツブロア(８)内には軸（１７）に並列配置されたもう１つのロータ、軸、及び磁気軸受並びにこれらを回転させる電磁コイル、軸に取り付けたエンコーダが設けられている。このため、便宜上、図示のものを第１のロータ（１６）、第１の軸（１７）、第1の磁気軸受（１９）とし、図示しないものを第２のロータ、第２の軸、第２の磁気軸受と称して以後説明する。（２４）はコントローラで、第１の軸（１７）と第２軸に設けられたエンコーダ（２３），（２３Ａ）〔第２図参照〕からの信号により、第１のロータ（１６）と第２ロータとをクリアランスー定の状態で同期反転するように電磁コイル（２２）の電流を制御する。（２５）は電磁弁、（２６）はボンベ元弁である。
　　第２図は、ロータの同期反転制御を行うためのブロック図である。（２２Ａ）は第２の軸に設けられた電磁コイル、(２３Ａ)は第２の軸（１７）の位相角を検知するエンコーダ、（３０）は各エンコー ダ（２３），(２３Ａ）の検知した位相角の差を検知する位相角検出器、(３１)は位相角検出器（３０）の検出した位相角の差と予め設定された位相角の差の基準値とを比較する比較回路、(３２)は、比較回路(３１)からの検知信号に基づいて電磁コイル（２２）への電流を制御する制御回路である。」と記載されており、この記載と第１、２図の記載によれば、刊行物７には、磁気軸受（１９）により非接触でロータの軸を支承する技術が記載されている。
　
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物８（特開昭６１−１３２７９７号公報）には、第２頁右上欄第２０行〜同頁左下欄第１６行「すなわち、本発明は、ターボ分子ポンプの機械室内に駆動軸をガス膜を介して支える気体軸受を設けかつ該気体軸受に供給源から軸受ガスを導入させる流入通路を設けるとともに、前記機械室とターボ分子ポンプのロータ室との境界の駆動軸貫通部に両室を気密に遮断する非接触形のシール機構を設けかつ該シール機構に臨んで機械室内の軸受ガスを排気系に導出させる流出通路を設けたことを特徴としている。
［作用］
　このような構成のものであれば、前記流入通路から各気体軸受に供給源から送られる軸受ガスを連続的に導入して供給すると、駆動軸の高速回転時に該駆動軸と気体軸受との間に形成されるガス膜層に駆動軸を浮上支持するのに十分な動圧が発生し、駆動軸を非接触で安定に支えることができるものとなる。」と記載されており、この記載と第１〜７図の記載によれば、刊行物８には、気体軸受によりロータの駆動軸を非接触で支える技術が記載されている。
　
ウ．請求項１に関して
  本件請求項１に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、上記刊行物１記載の発明における、「ケーシング８」、「スクリューロータ１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ」、「回転軸１０Ａ、１０Ｂ」、「タイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂ」、「吸込口１９Ａ、１９Ｂ」、「同期回転」は、それぞれ本件請求項１に係る発明における、「ハウジング」、「ロータ」、「軸」、「接触防止ギヤ」、「吸入口」、「同期制御」に相当する。また、真空ポンプの技術分野において、一般に「ドライ」という用語は、油等のシールあるいは潤滑用の液を用いないことを意味することは周知である。そして、刊行物１の第４頁右上欄第２０行〜同頁左下欄第１行に「油を全く含まない清浄空気の圧縮が可能となる。」の記載からみて、刊行物１記載の発明においても、油等のシールあるいは潤滑用の液を用いていないことは、当業者にとって明らかである。してみると、刊行物１記載の発明における「油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプ」は、本件請求項１に係る発明における「ドライ真空ポンプ」に相当する。
　したがって、本件請求項１に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は、「ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、前記複数個のモータを同期制御する手段とを備えたドライ真空ポンプ。」である点で一致し、本件請求項１に係る発明は、モータが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする手段を有しているのに対し、上記刊行物１記載の発明では、モータ１３Ａ、１３Ｂが収納された空間の圧力状態は明かでない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物２、３には、モータが収納された空間にパージガスを高圧にて充填する技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物２、３に記載される技術とは、真空ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物２、３に記載される技術を適用することは、当業者が容易に想到しうることである。そして、その際にパージガスの充填圧を大気圧よりも高くすることは、真空ポンプの使用状態を勘案して、当業者が設計において適宜行う程度のことである（この点に関しては、異議申立人　スターリング　フルイド　システムズ　ゲーエムベーハーの提出した異議申立書第１９頁第１５行〜第２２頁第６行「本件特許掲載公報の・・・ものと認められる。」の記載参照）。したがって、本件請求項１に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が必要に応じて容易になしうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項１に係る発明は上記刊行物１、２、３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
エ．請求項２に関して
  本件請求項２に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、上記刊行物１記載の発明における、「ケーシング」、「スクリューロータ１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ」、「回転軸１０Ａ、１０Ｂ」、「タイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂ」、「吸込口１９Ａ、１９Ｂ」、「ロータリーエンコーダ１８Ａ、１８Ｂ」、「同期回転」、「油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプ」は、それぞれ本件請求項２に係る発明における、「ハウジング」、「ロータ」、「軸」、「接触防止ギヤ」、「吸入口」、「エンコーダ」、「同期制御」、「ドライ真空ポンプ」に相当する。
　したがって、本件請求項２に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は、「ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータの回転を検知するエンコーダと、前記複数個のモータを同期制御する手段を備えたドライ真空ポンプ。」である点で一致し、本件請求項２に係る発明は、エンコーダが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする手段を有しているのに対し、上記刊行物１記載の発明では、エンコーダが収納された空間の圧力状態は明かでない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物２、３には、モータが収納された空間にパージガスを高圧にて充填する技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物２、３に記載される技術とは、真空ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物２、３に記載される技術を適用することは、当業者が容易に想到しうることである。そして、ロータリーエンコーダ１８Ａ、１８Ｂは制御用の機器であって汚染を嫌うことが容易に予測できるとともに、モータに近接して配置されることから、上記刊行物１に記載される発明に刊行物２、３に記載される技術を適用する際に、モータ１３Ａ、１３Ｂが収納された空間だけでなく、ロータリーエンコーダ１８Ａ、１８Ｂが収納された空間にもパージガスを高圧にて充填するようにすることも、当業者が容易に想到しうることである。そして、その際にパージガスの充填圧を大気圧よりも高くすることは、真空ポンプの使用状態を勘案して、当業者が設計において適宜行う程度のことである（この点に関しては、異議申立人　スターリング　フルイド　システムズ　ゲーエムベーハーの提出した異議申立書第２３頁第１７行〜第２５頁第６行「本件特許掲載公報の・・・見出せない。」の記載参照）。したがって、本件請求項２に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が必要に応じて容易になしうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項２に係る発明は上記刊行物１、２、３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
オ．請求項３に関して
  本件請求項３に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、本件請求項３に係る発明は、圧縮気体をモータ及びエンコーダと繋がった空間に供給することにより、この空間と流体移送室との間を機械的に非接触でシールするガスパージ手段を備えたものであるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、モータ１３Ａ、１３Ｂ、ロータリエンコーダ１８Ａ、１８Ｂが収納された空間がガスパージされているかどうか明かでない点で相違する。
　この相違点について検討すると、「ウ．請求項１に関して」、「エ．請求項２に関して」の項で検討したように、モータ１３Ａ、１３Ｂが収納された空間、ロータリエンコーダ１８Ａ、１８Ｂが収納された空間にパージガスを供給することは、当業者が容易に想到しうることであるから、請求項３に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が必要に応じて容易になしうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項３に係る発明は上記刊行物１、２、３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項３に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
カ．請求項４に関して
  本件請求項４に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「エ．請求項２に関して」において検討した相違点の他、本件請求項４に係る発明は、回転軸のロータ側とは反対側の端部に、エンコーダを設けたものであるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、ロータリエンコーダ１８Ａ、１８Ｂは、そのように配置されていない点で相違する。
　この相違点について検討すると、上記刊行物４には、軸４、５のロータ側とは反対側の端部に回転角度を検出する検出器１９、２０を設ける技術が記載されている。そして、上記刊行物１に記載される発明と上記刊行物４に記載される技術とは、気体ポンプという同一の技術分野に属するものであるから、上記刊行物１に記載される発明に上記刊行物４に記載される技術を適用して、請求項４に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、請求項４に係る発明は上記刊行物１、２、３、４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
キ．請求項５に関して
  本件請求項５に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、「ウ．請求項１に関して」において検討した相違点の他、本件請求項５に係る発明において、真空ポンプはねじ溝式であるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、スクリュー式であり、ねじ溝式と認められるものの、表現上で相違する。この点についてさらに検討するに、上記刊行物５には、真空ポンプを、ねじ溝式とする技術が明記されているので、上記刊行物１に記載される発明における真空ポンプをねじ溝式とすることは、当業者が設計において適宜行う程度のことであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項５に係る発明は上記刊行物１、２、３、５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
ク．請求項６に関して
  本件請求項６に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、上記刊行物１記載の発明における、「ケーシング８」、「スクリューロータ１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ」、「回転軸１０Ａ、１０Ｂ」、「タイミングギヤ２３Ａ、２３Ｂ」、「吸込口１９Ａ、１９Ｂ」、「同期回転」、「油を全く含まない清浄空気用の真空ポンプ」は、それぞれ本件請求項６に係る発明における、「ハウジング」、「ロータ」、「軸」、「接触防止ギヤ」、「吸入口」、「同期制御」、「ドライ真空ポンプ」に相当する。
　したがって、本件請求項６に係る発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は、「ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータを同期制御する手段を備えたドライ真空ポンプ。」である点で一致し、本件請求項６に係る発明において、軸の回転を支持する軸受が非接触型であるのに対し、上記刊行物１記載の発明では、軸受が非接触型かどうか明かでない点で相違する。
　この相違点について検討すると、軸の回転を支持する軸受を非接触型とすることは、上記刊行物６、７、８に記載されるように真空ポンプ等の技術分野において慣用手段であり、上記刊行物１に記載される発明に上記慣用手段を適用して、本件請求項６に係る発明の上記相違点のように構成することは、当業者が容易に想到しうることであり、それによる効果も格別のものとはいえない。
　したがって、本件請求項６に係る発明は上記刊行物１に記載された発明、及び上記刊行物６、７、８に記載された慣用手段に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項６に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
ケ．むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１〜６に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月２８日（２００１．５．２８）
【訂正の要旨】
　（訂正の要旨）
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１〜６の「真空ポンプ」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　上記訂正事項ａに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の「真空ポンプ」（同公報第２頁左欄第２０行、同第３頁左欄第１８行、同第３頁右欄第４３行、同第４頁右欄第４０行、同第５頁左欄第４９行、同第５頁右欄第３４行、及び同第５頁右欄第４８行参照）を、「ドライ真空ポンプ」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
真空ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする手段と、前記複数個のモータを同期制御する手段とを備えたことを特徴とした
ドライ真空ポンプ。
　【請求項２】　ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータの回転を検知するエンコーダと、このエンコーダが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする手段と、前記複数個のモータを同期制御する手段を備えたことを特徴とした
ドライ真空ポンプ
　【請求項３】　圧縮気体を前記モータ及びエンコーダと繋がった空間に供給することにより、この空間と前記流体移送室との間を機械的に非接触でシールするガスパージ手段を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の
ドライ真空ポンプ。
　【請求項４】　回転軸のロータ側とは反対側の端部に、エンコーダを設けたことを特徴とする請求項２記載の
ドライ真空ポンプ
　【請求項５】　容積式の真空ポンプは、ねじ溝式であることを特徴とする請求項１または２に記載の
ドライ真空ポンプ
　【請求項６】　ハウジング内に収納された複数個のロータ及びこれらのロータのそれぞれに設けられた複数個の軸と、これらの軸の回転を支持する非接触型の軸受と、前記ロータと前記ハウジングにより形成される流体移送室と、前記複数個の軸にそれぞれ設けられ、前記複数個のロータ間の接触を防止する接触防止ギヤと、前記ハウジングに形成され前記流体移送室と連絡する流体の吸入口及び吐出口と、前記複数個の軸をそれぞれ独立して回転駆動する複数個のモータと、このモータを同期制御する手段を備えたことを特徴とした
ドライ真空ポンプ
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、半導体製造設備等に用いられる
ドライ真空ポンプ
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体の製造プロセスにおけるＣＶＤ装置、ドライエッチング装置、スパッタ装置などには、真空環境を作り出すための真空ポンプが不可欠である。この真空ポンプに対する要望は、半導体プロセスの高集積化、微細化に対応するため、近年ますます高度になってきており、その主な内容は、高い真空到達圧が得られること、クリーンであること、メンテナンスが容易なこと、小型・コンパクトであること等である。　以上の半導体設備の真空排気系の要請に応えるため、従来から用いられていた油回転ポンプに代わり、より清浄な真空を得ることを目的として、粗引き用のドライ真空ポンプが広く用いられるようになっている。
　【０００３】
　図１１は、従来の容積型真空ポンプ（粗引きポンプ）の一種であるねじ溝式（スクリュー式の一種）のドライ真空ポンプを示すものである。同図において、１０１はハウジング、１０２は第一回転軸、１０３は第２回転軸、１０４と１０５はそれぞれ回転軸１０２、１０３に締結された筒型ロータである。この真空ポンプは、ハウジング１０１内に第一回転軸１０２と第２回転軸１０３が平行に配置され、その軸上にロータ１０４と１０５を備えている。それぞれのロータ１０４と１０５の外周部には、ねじ溝１０６と１０７が形成されていて、自ら（１０６または１０７）の凹部（溝）を相手（１０７または１０６）の凸部（山）と噛み合わせることにより、両者の問で密閉空間を作り出している。ロータ１０４と１０５が回転すると、その回転に伴い、前記密閉空間が吸入側から吐出側へ移動して吸入作用と吐出作用を行うのである。
　【０００４】
　さて、同図のねじ溝式の真空ポンプでは、２個のロータ１０４、１０５の同期回転はタイミングギヤ１１０ａ、１１０ｂの働きによっている。すなわち、モータ１０８の回転は、駆動ギヤ１０９ａから中間ギヤ１０９ｂに伝達され、両ロータ１０４、１０５の軸に設けられて互いに噛み合っているタイミングギヤの一方１１０ｂに伝達される。両ロータ１０４、１０５の回転角の位相は、これら２個のタイミングギヤ１１０ａ、１１０ｂの噛み合いにより調節されている。　また１１３ａ、ｂ及び１１４ａ、ｂは、第一回転軸１０２、第２回転軸１０３を支持するころがり軸受である。
　【０００５】
　駆動ギヤ１０９ｂの端部にはオイルポンプ１１５が組み込まれている。潤滑のためのオイル１１７は、ポンプ最下部のオイルパン１１６からオイルポンプ１１５により吸い込まれ、オイルフィルターを経由して、軸受と前記ギヤに供給されている。１１９はメカニカルシールであり、オイル１１７がねじ溝ロータを収納する流体移送室１２０に流出しないように、また逆に、流体移送室１２０内で輸送される反応性ガスが前記軸受、オイルが収納された空間に侵入しないように設けられるものである。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし従来のドライ真空ポンプを反応性ガスを用いる半導体プロセスに適用したとき、次のような課題があった。
　【０００７】
　ドライポンプは、作動室内で油を使用しないため、油とガスとの反応が生じないという点で、油回転ポンプよりは信頼性が高い。しかし反面、ロータ、ハウジング等が油の皮膜なく直接活性ガスや反応性生成物に晒されることになり、この点に関しては、ドライポンプは油回転ポンプよりも条件はむしろ苛酷といえる。半導体プロセスでは、アルミニウム・プラズマエッチングやシリコン窒化膜生成プロセスが真空ポンプにとって、最も苛酷なプロセスといわれている。これらのプロセスでは、それぞれ反応生成物として多量の塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を生ずる。これらの物質は高温低圧の反応室の中では気体であるが、比較的低温の真空配管やポンプの内部で凝縮して固体となる。真空ポンプの中で反応生成物が堆積すると、ロータとハウジング（ケーシング）が固着しポンプの運転ができなくなる。たとえば、前述したねじ溝式ドライポンプの場合、高圧である排気側のねじ溝部分で反応性生成物が堆積しやすくなる。２つのねじ溝ロータ１０４，１０５が噛み合う部分、あるいはロータとハウジング１０１の間は、通常数十ミクロンのギャップが保てるように構成されている。しかし、ねじ溝内部に反応性生成物が堆積すると、この種のポンプでは、堆積物が排除される機構を持たないために、両ロータ間に接触が生じ、たちまち運転不能に陥るなどのトラブルが発生する。
　【０００８】
　両ロータ間あるいはロータとハウジング間のギャップを拡大すれば、ポンプ内部での反応性生成物の堆積作用をかなり押さえられることが既に確認されている。しかし上記ギャップのシールに油膜を利用できないドライポンプでは、ギャップを極力小さくすることによる気体の粘性抵抗にシール効果を頼らざるをえず、ギャップの拡大には限界があった。ギャップの拡大によって、内部リークが増大して粗引きポンプの基本性能（真空到達圧）に大きな悪影響を与えてしまうのである。
　【０００９】
　内部リークの影響を極力減らすために、真空ポンプの高速化を図った場合、流体移送室とモータ等が収納された空間の間をシールするために通常用いられるメカニカルシール部１１９に次の様な課題が生じる。すなわち、機械的な摺動摩擦を伴うメカニカルシール部の発熱の増大とシール寿命の低下、トルクアップ、等が問題点となる。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、この発明にかかる
ドライ真空ポンプは
　【００１１】
　容積式ポンプを構成する各ロータを、それぞれ独立したモータで同期運転することにより、従来のタイミングギヤを用いたロータ間の大きなトルク伝達が不要となる。その結果、ポンプの高速化を妨げていた課題の一つが解消される。
　【００１２】
　さらに前記モータの回転を検知する検出手段として高分解能で高精度のエンコーダを用いれば、このエンコーダからの信号により前記複数個のモータの回転を電子制御を用いて同期運転することによって、さらなる高速化が図れる。
　【００１３】
　従来数千ｒｐｍが限界だった粗引き用真空ポンプの回転数を、たとえば１万ｒｐｍ以上にまで上げることにより、真空ポンプの基本性能（真空到達圧）を大幅に向上できる。あるいは、両ロータ間あるいはロータとハウジング（ケーシング）間のギャップを大きくしても真空ポンプの基本性能を維持できる。後者の効果を利用すれば、ギャップの拡大によって、反応性生成物の堆積作用を押さえることが出来る。その理由は、ポンプの一行程中の内部漏れの総量は、ポンプの一行程に要する時間に比例するからで、回転数のアップにより内部漏れが性能に与える影響を低減できるからである。
　【００１４】
　しかし粗引き用真空ポンプの高速化を図った場合、流体移送室とモータ等が収納された空間の間をシールするために、通常用いられるメカニカルシール部に次の様な課題が生じる。すなわち、機械的な摺動摩擦を伴うメカニカルシール部の発熱の増大とシール寿命の低下、トルクアップ、等が問題点となる。メカニカルシールを用いる代わりに、機械的な摺動を伴わない非接触のシール方法として、モータなどが収納された空間の圧力を大気圧よりも高くする方法、たとえばガスパージ手段を用いれば上記高速回転化のネックの一つは解消される。その結果、電子式同期制御の特徴を活かして一層の高速化が図れるようになる。
　【００１５】
　また反応性ガスを取り扱う半導体用プロセスに、本真空ポンプを適用したときの特有の課題、すなわち、センサー、回転円盤などの部材から構成される精緻な構造を持つエンコーダが収納された空間に、腐食性ガスが侵入することによる致命的なトラブルが懸念される。この場合、クリーンな圧縮気体を上記エンコーダが収納された空間に繋がった部分に供給してエンコーダ収納空間の圧力を高めることにより、反応性ガスの侵入を防止できる。
　【００１６】
　このエンコーダを、ロータが締結される側とは反対側の回転軸の端面に装着すれば、モータ、エンコーダを収納する空間が汚染源（流体移送室）に繋がる部分から最も遠方に配置できる。
　【００１７】
　またこの発明を適用する真空ポンプの形態として、ロータの外周部にねじ溝を備えたものにすると、ねじ溝型ロータは、回転中心軸に垂直な断面が比較的円形に近く、外周部の近くまで空洞にすることができる。この内部空間を利用して、スリーブ状ロータの内面と軸受等が収納される固定スリーブの外面の間隙部に、非接触の上記ガスパージの流路を形成する。この流路は充分に長く形成できるため、十分なシール効果が得られる。また回転軸の軸長を増さなくてすむため、高速化に支障をきたさない。
　【００１８】
　また回転軸を支持する軸受に静圧軸受、磁気軸受などの非接触型軸受を用いれば、完全なオイルフリーに加えて機械的な接触・摺動部分がすべてなくなるため、玉軸受を用いる場合と比べて、さらなる高速化を図ることができる。
　【００１９】
　【発明の実施の形態】
　図１は、この発明にかかる容積式
ドライ真空ポンプ
　【００２０】
　この真空ポンプは、ハウジング１内に、第一回転軸２と第２回転軸３をそれぞれ鉛直方向に収納した第一軸受室４と第２軸受室５を備えている。また筒形のロータ６、７が、両回転軸２，３の上端部でかん合されている。ロータ６，７の外周面には、互いに噛み合うようにして、ねじ溝（スクリュー溝の一種）８、９が形成されている。ロータ６，７の上部（上流側）のハウジング１に吸気口１０、下部（下流側）のハウジング１に吐出口１１が設けられている。ロータ６，７に形成された両ねじ溝の互いに噛み合う部分である凸部（山部）と凹部（溝部）およびハウジング１で形成される空間（流体移送室５０と呼ぶ）が、両回転軸２，３の回転に伴い前記吸気口１０側から前記吐出口１１側へ移動し、この空間の移動により、容積式ポンプとしての吸入・排気（吐出）作用が得られる。
　【００２１】
　第１回転軸２と第２回転軸３は、非接触の静圧軸受で支持されている。両回転軸に設けられた円盤状のスラスト軸受１２、１３と対向する固定側に、オリフィス１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂが設けられている。１６，１７は上部ラジアル軸受の回転側、１８，１９は下部ラジアル軸受の固定側である。スラスト軸受同様に、これらのラジアル軸受面と対向する固定側にも、それぞれにオリフィス２０〜２３が設けられている。
　【００２２】
　なお上部ラジアル軸受１６及び１７は、筒状に形成されたロータの内部空間を利用して配置されており、大きな慣性負荷を有するロータ６，７を支持する上で有利な構成となっている。
　【００２３】
　上述したオリフィスには、外部から高圧の圧縮気体が吸気孔２４を経て供給される。ここで圧縮気体として、半導体工場等で常備されているクリーンな窒素ガスを用いれば、前記モータ等が収納された第一、第二軸受室４，５に繋がる内部空間２５，２６内の圧力を大気圧よりも高くすることができる。そのため、腐食性があり堆積物を生じ易い反応性ガスの内部空間２５，２６内への侵入を防止することができる。
　【００２４】
　なお、軸受に玉軸受を用いて、かつその潤滑のために潤滑油を用いる場合は、窒素ガスを用いたガスパージ機構により、前記流体作動室への潤滑油の侵入を防ぐことができる。
　【００２５】
　また、回転軸を支持する軸受は、静圧軸受以外の非接触型の軸受としては、たとえば磁気軸受でもよい。この場合でも、静圧軸受同様に高速回転が容易で、完全オイルフリーな構成となる。
　【００２６】
　２７ａ、２８ａはＡＣサーボモータの回転側であるモータロータ、２７ｂ，２８ｂは固定側であるモータステータである。
　【００２７】
　実施例の真空ポンプでは、各ロータ６，７の下端部に直結した形で、図２に示すようなロータ同士の接触を防止するための接触防止ギヤ２９，３０が設けられている。この構成が可能なのは、実施例の真空ポンプでは非接触同期制御を用いるため、従来のドライポンプのようなタイミングギヤ部への油潤滑が不要であり、ギヤ部を前記流体作動室に配置できるからである。本構成により回転軸の軸長を短くできるため、高速化を図る上で一層有利となる。なおこの接触防止ギヤには、多少の金属間接触にも耐えられるように、固体潤滑膜が形成されている。
　【００２８】
　第一回転軸２、第二回転軸３は、ＡＣサーボモータ２７，２８により、実施例では数万ｒｐｍの高速で回転する。両軸の回転信号は、前記吸気口側とは反対側の各回転軸２，３の下端部に設けられたロータリエンコーダ３１，３２により検出される。
　【００２９】
　さて本実施例における２つの回転軸の同期制御は、図３のブロック図で示す方法を用いた。すなわち、ロータリエンコーダ３１，３２からの出力パルスは、仮想の回転ロータを想定して設定された設定司令パルス（目標値）と照合される。目標値と各エンコーダー３１，３２からの出力値（回転数、回転角度）との間の偏差は、位相差カウンターにより演算処理され、この偏差を消去するように各軸の前記サーボモータの回転が制御される。
　【００３０】
　ロータリエンコーダとしては、磁気式エンコーダや一般的な光学式エンコーダでもよいが、実施例ではレーザ光の回折・干渉を利用した高分解能でかつ高速の応答性を持つレーザ式エンコーダを用いた。図４にそのレーザ式エンコーダの一例を示す。
　【００３１】
　同図において、９１は多数のスリットが円周状に沿って形成された移動スリット盤であって、回転軸２，３とともに回転する。９３は移動スリット盤９１に対面する個所に配置された扇形の固定スリット盤である。レーザダイオード９４から出たレーザ光は、コリメータレンズ９５を経て、前記両スリット盤９１，９３の各スリットを通過して、受光素子９６に受光される。
　【００３２】
　なお実施例では、このエンコーダをモータ、エンコーダが収納された空間が流体移送室に繋がる部分から最も遠方の密封端、すなわち回転軸の端面に配置することにより、反応性ガスからの汚染防止を図っている。
　【００３３】
　本発明では、径小モータが回転軸にダイレクトにビルトインされた形で、回転軸を直接駆動できるため、動的安定性の点で有利である。すなわち実施例の真空ポンプは、互いに機械的に干渉しない２つの単軸スピンドルが並列に配置されたものと考えてよく、従来の単軸で片持ち支持構造のターボ分子ポンプが数万回転の高速化を図ることができるように、基本的に高速化に有利である。
　【００３４】
　なお、実施例の
ドライ真空ポンプ
　【００３５】
　接触防止ギヤ２９，３０の互いに噛み合う部分の隙間（バックラッシュ）δ２は、両ロータ６，７に形成された前記ねじ溝同士が噛み合う部分の隙間（バックラッシュ）δ１よりも小さくなるように設計されている。そのため、接触防止ギヤ２９，３０は、両回転軸２，３の同期回転が円滑に行われているときは互いに接触することはない。万一、この同期がずれたときは、ねじ溝８、９同士の接触に先立って、ギヤ２９，３０同士が接触することにより、ねじ溝８，９の接触・衝突を防止する働きをする。このとき、バックラッシュδ１、δ２が微小であると、部材の加工精度が実用的なレベルで得られないという点が懸念される。しかし、ポンプの一行程中の流体の漏れ総量は、ポンプの一行程に要する時間に比例するため、非接触同期制御により高速回転が図れる実施例の真空ポンプでは、ねじ溝８，９間のバックラッシュδ１を少々大きくしても充分に真空ポンプの性能（到達真空圧など）を維持できる。そのため、実用レベルの通常の加工精度で、ねじ溝８，９の衝突防止に必要なバックラッシュδ１、δ２の寸法を確保できる。
　【００３６】
　図５は、この発明にかかる真空ポンプの別形態を示す。この例では、ロータ外周面に形成されたねじ溝６０，６１が互いに噛み合うように、２個のロータ６２，６３が配置されて、ねじ溝６０，６１とハウジング６４により容積式真空ポンプ構造部分Ａを構成している。
　【００３７】
　またロータ６２の同軸上で、前記容積式真空ポンプ構造部分Ａから離れた上流側のロータ外周面に、ねじ溝６５が形成されており、このねじ溝６５とハウジング６４により、運動量移送式構造部分Ｂを構成している。ねじ溝６５とハウジング６４の微小な間隙部にある気体分子は、ロータ６２の高速回転により回転運動量を与えられて、前記構造部分Ａに輸送される。
　【００３８】
　前記運動量移送式構造部分Ｂに形成したねじ溝６５の代わりに、タービン翼を形成しハウジング１の内周部にも形成したタービン翼と噛み合う構成でもよい。真空ポンプを上述したように構成すれば、真空圧の作動領域を広げることができる。
　【００３９】
　本発明を適用できる回転部のロータ２００の形態としては、ルーツ型（図６）、歯車型（図７）、単ローべ型（図８（ａ））、複ローべ型（図８（ｂ））、ネジ型（図９）、外円周ピストン型（図１０）等であってもよい。
　【００４０】
　また第一の実施例で説明したように、回転軸を支持する軸受に静圧軸受、磁気軸受などの非接触型軸受を用いれば、完全なオイルフリーに加えて機械的な接触・摺動部分がすべてなくなるため、玉軸受を用いる場合と比べて、さらなる高速化を図ることができる。
　【００４１】
　【発明の効果】
　容積式
ドライ真空ポンプ
　【００４２】
　またモータ、エンコーダが収納された空間にクリーンな圧縮気体を供給するガスパージ手段により、機械的摺動を伴うメカニカルシールを省略できる。その結果、高速回転のネックが解消されるため、電子制御による同期運転を用いて一層の高速化を図ることが出来るようになる。また精緻な構造を持つエンコーダの反応性ガスによる汚染も、ガスパージ手段によって防止できる。
　【００４３】
　またこのエンコーダを、ロータが締結される側とは反対側の回転軸の端面に装着することにより、モータ、エンコーダを収納する空間が汚染源（流体移送室）に繋がる部分から最も遠方に配置できる。
　【００４４】
　この発明を適用する真空ポンプとして、ロータの外周部にねじ溝を備えたものにすると、ねじ溝型ロータは、ギヤ型、ルーツ型、ローべ型のような凹凸の振幅が大きい異形ロータとは異なり、回転中心軸に垂直な断面が比較的円形に近く、外周部の近くまで空洞にすることができる。この内部空間を利用して、スリーブ状ロータの内面と軸受等が収納される固定スリーブの外面の間隙部に、非接触のガスパージの流路を形成する。この流路は充分に長く形成できるため、十分なシール効果が得られる。また回転軸の軸長を増さなくてすむため、高速化に支障をきたさない。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　（ａ）はこの発明にかかる
ドライ真空ポンプ
　（ｂ）は同ハウジングの一部側面図
　【図２】
　第１実施例における接触防止ギヤの平面図
　【図３】
　第１実施例における電子式同期制御の方法を示すブロック図
　【図４】
　第１実施例におけるレーザ式エンコーダを示す斜視図
　【図５】
　本発明の第２実施例における側面図
　【図６】
　本発明が適用できるポンプの形態図
　【図７】
　本発明が適用できるポンプの形態図
　【図８】
　本発明が適用できるポンプの形態図
　【図９】
　本発明が適用できるポンプの形態図
　【図１０】
　本発明が適用できるポンプの形態図
　【図１１】
　従来の
ドライ真空ポンプ
　【符号の説明】
　１　ハウジング
　２，３　軸
　６，７　ロータ
　１０　吸気口
　１１　吐出口
　２７，２８　モータ
　５０　流体移送室