【事件の表示】
　特許第２９９０３７９号「無アルカリガラス基板」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９９０３７９号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の経緯
　本件特許第２９９０３７９号は、平成７年９月２８日に日本国にした特許出願（特願平７−２７６７６０号）に基づいて国内優先権を主張し、平成８年９月２５日に国際出願し、平成１１年１０月１５日に設定登録され、同年１２月１３日に特許公報に掲載されたところ、平成１２年４月１３日に旭硝子株式会社から、平成１２年６月１２日にエヌエッチ・テクノグラス株式会社から特許異議の申立を受けたものであって、その後平成１２年１１月２８日付で取消理由通知（平成１２年１２月１５日発送）がなされ、その指定期間内である平成１３年２月１３日に訂正請求がなされたものである。
２．設定登録時の本件発明
  設定登録時の本件発明は、本件特許公報に掲載された本件明細書の特許請求の範囲に記載された次のものである。
［請求項１］重量百分率で、ＳｉＯ２５８．０〜６８．０％、Ａｌ２Ｏ３１０．０〜２５．０％、Ｂ２Ｏ３３．０〜１５．０％、ＭｇＯ０〜２．９％、ＣａＯ０〜８．０％、ＢａＯ０．１〜５．０％、ＳｒＯ０．１〜１０．０％、ＺｎＯ０〜５．０％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＋ＺｎＯ５．０〜２０．０％、ＺｒＯ２０〜５．０％、ＴｉＯ２０〜５．０％の組成を有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、２．５５ｇ／ｃｍ３を越えない密度と、２０℃に保持された重量百分率で３８．７％のフッ化アンモニウムと１．６％のフッ酸とを含むバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬しても表面変化がない化学耐久性とを備えていることを特徴とする無アルカリガラス基板。
３．特許異議申立人の主張
３−１．旭硝子株式会社の主張
　特許異議申立人旭硝子株式会社は、甲第１〜２号証を提出して次のような主旨の主張をしている。
（ａ）本件発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。
３−２．エヌエッチ・テクノグラス株式会社の主張
　特許異議申立人エヌエッチ・テクノグラス株式会社は、甲第１〜２号証を提出して次のような主旨の主張をしている。
（ｂ−１）本件請求項１における耐バッファードフッ酸性に関する「表面変化がない」という記載は、客観性を欠いていて不明瞭であり、発明の外延が不明確であるから、本件特許は、その明細書が特許法第３６条第６項第２号の規定に違反してなされたものである。
（ｂ−２）本件発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。
（ｂ−３）本件発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｂ−４）本件発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。
（ｂ−５）本件発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
（ｂ−６）平成１１年２月２３日付手続補正書による本件請求項１における耐バッファードフッ酸性に関する要件は新規事項を追加したものであるから、本件特許は、特許法第１７条の２の第３項の規定に違反してなされたものである。
４．訂正の要旨
　平成１３年２月１３日付訂正請求における訂正の要旨は次のとおりである。
（イ）特許請求の範囲の減縮を目的として、本件明細書の特許請求の範囲の請求項１の「ＭｇＯ０〜２．９％」を、「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正する。
（ロ）明瞭でない記載の釈明を目的として、本件明細書第３頁の「発明の開示」の欄（本件特許公報第４欄１８〜２８行）の「ＭｇＯ０〜２．９％」を、「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正する。
（ハ）明瞭でない記載の釈明を目的として、本件明細書第３頁の「発明の実施するための最良の形態」の欄（本件特許公報第４欄２９〜３５行）の「ＭｇＯ０〜２．９％」を、「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正する。
（ニ）明瞭でない記載の釈明を目的として、本件明細書の第４頁２５〜２６頁（本件特許公報第５欄１７行）の「ＭｇＯの含有量は、０〜２．９％」を、「ＭｇＯの含有量は、０〜１．５％」と訂正する。
５．訂正の適否についての検討
５−１．訂正の目的
　上記（イ）の訂正は、本件明細書の特許請求の範囲の請求項１の「ＭｇＯ０〜２．９％」を、「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正し、ＭｇＯの上限の規定を２．９％から１．５％に下げたものであるから、特許請求の範囲の減縮に当たる。
　上記（ロ）、（ハ）および（ニ）の訂正は、上記（イ）の訂正に伴い、本件明細書の発明の詳細な説明中の特許請求の範囲に対応する記載を、上記（イ）の訂正に合わせて訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮に伴って生じた明瞭でない記載の釈明に当たる。
５−２．新規事項
　上記（イ）〜（ニ）の訂正におけるＭｇＯの上限の規定は、本件発明の実施例の一つである本件明細書の第１表に示された試料Ｎｏ．４の「ＭｇＯ１．５」の記載に基づいたものであるから、上記（イ）〜（ニ）の訂正は、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものである。
５−３．拡張・変更
  上記（イ）〜（ニ）の訂正は、その内容からみて、実質上特許請求の範囲を拡張したり、変更したりするものでないことは明らかである。
５−４．訂正の認否
　上記５−１、５−２および５−３の項で検討したように、上記訂正は、特許法第１２０条の４の第２項第１号または第３号に掲げる事項を目的とするものであり、また、同条第３項で準用する同法第１２６条第２項および第３項の規定にそれぞれ適合するものである。
　したがって、上記訂正は認める。
６．訂正後の本件発明
　訂正後の本件発明は、平成１３年２月１３日付訂正請求書に添付した全文訂正明細書の特許請求の範囲に記載された次のものである。
［請求項１］重量百分率で、ＳｉＯ２５８．０〜６８．０％、Ａｌ２Ｏ３１０．０〜２５．０％、Ｂ２Ｏ３３．０〜１５．０％、ＭｇＯ０〜１．５％、ＣａＯ０〜８．０％、ＢａＯ０．１〜５．０％、ＳｒＯ０．１〜１０．０％、ＺｎＯ０〜５．０％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ＋ＺｎＯ５．０〜２０．０％、ＺｒＯ２０〜５．０％、ＴｉＯ２０〜５．０％の組成を有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、２．５５ｇ／ｃｍ３を越えない密度と、２０℃に保持された重量百分率で３８．７％のフッ化アンモニウムと１．６％のフッ酸とを含むバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬しても表面変化がない化学耐久性とを備えていることを特徴とする無アルカリガラス基板。
７．特許異議申立人の主張についての検討
７−１．上記（ａ）の主張について
　特許異議申立人旭硝子株式会社の提出した甲第１号証（特開平４−３２５４３４号公報）には、「重量％表示で実質的に、ＳｉＯ２５０〜６０％、Ａｌ２Ｏ３８〜１６％、Ｂ２Ｏ３４〜１０％、ＭｇＯ１．５〜５％、ＣａＯ０〜７％、ＳｒＯ０〜１０％、ＢａＯ１０〜２０％、ＺｎＯ０〜３％からなり、アルカリ金属酸化物を実質的に含有しない無アルカリガラス。」（特許請求の範囲の請求項１）等が記載されているが、その無アルカリガラスは、ＢａＯの含有量が多い点で、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラスと組成が明らかに相違している。
　そして、特許異議申立人は、甲第１号証の比較例の一つであるサンプルＮｏ．８（表１、表２および［００２７］段落を参照）を指摘し、また、甲第２号証（旭硝子株式会社中央研究所の小池章夫外１名が作成した実験報告書）を提出して、特開平４−３２５４３４号公報（甲第１号証）のサンプルＮｏ．８のガラスの密度は２．４９１ｇ／ｃｍ３であることを立証しているが、甲第１号証の比較例であるサンプルＮｏ．８のガラス組成は、ＳｉＯ２５８（重量％、以下同じ）、Ａｌ２Ｏ３１６，Ｂ２Ｏ３１１，ＭｇＯ２、ＣａＯ３，ＳｒＯ６、ＢａＯ４、ＺｎＯ−であり、ＭｇＯが２重量％である点で、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラスと組成が明らかに相違している。
　してみると、訂正後の本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるとは認められないから、上記（ａ）の主張は理由がない。
７−２．上記（ｂ−１）の主張について
　本件明細書の１０頁９〜１４行（本件特許公報第１３欄１〜８行）には、「また耐バッファードフッ酸性は、光学研磨した各試料を、２０℃に保持された３８．７重量％フッ化アンモニウム、１．６重量％フッ酸からなるバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬した後、ガラス基板の表面状態を観察することによって評価したものであり、ガラス基板の表面が白濁したり、クラックが入ったものを×、わずかに白濁が見られるものをΔ、全く変化のなかったものをΟとした。」と記載されていて、その耐バッファードフッ酸性の測定方法を明瞭に示しているところであるから、本件請求項１でいう「２０℃に保持された重量百分率で３８．７％のフッ化アンモニウムと１．６％のフッ酸とを含むバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬しても表面変化がない化学耐久性」は、前記の測定方法でいうΟに当たる「全く変化のなかったもの」を意味していることは当然のことである。
　そして、このような測定は最終的には測定者の目視により観察され、評価されるものではあるが、このような目視観察の場合でも測定者は一定のルールに従って観察し、評価しているわけであるから、そのような測定が客観性に欠けるとはいえないものである。
　そして、本件明細書に示されたような目視観察による測定法が測定方法として不合理でないことは、例えば、特許異議申立人エヌエッチ・テクノグラス株式会社の提出した甲第１号証（特開平４−３２５４３４号公報、特許異議申立人旭硝子株式会社の提出した甲第１号証と同じ）の［００２５］段落にも耐バッファードフッ酸性について、目視観察による類似の評価法が示されていることからも分かるものある。
　したがって、上記（ｂ−１）の主張は理由がない。
７−３．上記（ｂ−２）の主張について
　特許異議申立人エヌエッチ・テクノグラス株式会社の提出した甲第１号証（特開平４−３２５４３４号公報、特許異議申立人旭硝子株式会社の提出した甲第１号証と同じ）については、上記７−１の項で既に検討したところであり、また、上記（ｂ−２）の主張は、上記（ａ）の主張と同様に、甲第１号証の比較例の一つであるサンプルＮｏ．８（表１、表２および［００２７］段落を参照）を指摘しての主張であるから、上記（ｂ−２）の主張は、上記（ａ）の主張と同様に理由がない。
７−４．上記（ｂ−３）の主張について
　特許異議申立人エヌエッチ・テクノグラス株式会社の提出した甲第１号証（特開平４−３２５４３４号公報、特許異議申立人旭硝子株式会社の提出した甲第１号証と同じ）については、上記７−１の項で既に検討しているように、指摘している甲第１号証の比較例の一つであるサンプルＮｏ．８は、ＭｇＯが２重量％である点で、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラスと組成が明らかに相違しているものであり、しかも、そのサンプルＮｏ．８は、甲第１号証の［００２７］段落に記載されているように、耐バッファードフッ酸性、耐フッ硝酸性はよいが、ｌｏｇη＝２．５，４．０となる温度が高すぎ、溶解・成形が困難なことが予想されるものであり、しかも、甲第１号証の［００１２］段落で、失透温度の上昇は好ましくないとしている失透温度が、甲第１号証における実施例であるサンプルＮｏ．１〜６や比較例であるサンプルＮｏ．７に比べて著しく高いものであるから、このように特性の劣る比較例であるサンプルＮｏ．８のガラス組成を敢えて改良しようとする試みは、当業者にとって容易に発想し得ることではない。
　してみると、訂正後の本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　したがって、上記（ｂ−３）の主張も理由がない。
７−５．上記（ｂ−４）の主張について
　特許異議申立人エヌエッチ・テクノグラス株式会社の提出した甲第１号証（欧州特許出願公開０６７２６２９Ａ２号明細書）には、「６４０℃よりも高い歪み点を示し、２０ｍｇ／ｃｍ２よりも少ない９５℃で５重量％の塩酸水溶液中に２４時間浸漬した後の重量損出を示し、３１と５７×１０−７／℃との間の範囲にある線熱膨張係数を示し、アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、そして、酸化物を基準とした重量％で計算して、４９−６７％のＳｉＯ２と、少なくとも６％のＡｌ２Ｏ３と、そのＡｌ２Ｏ３は、ＳｉＯ２が５５−６７％のときには６−１４％、ＳｉＯ２が４９−５８％のときには１６−２３％であり、ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３＞６８％、０−１５％のＢ２Ｏ３と、０−２１％のＢａＯ、０−１５％のＳｒＯ、０−１８％のＣａＯ、０−８％のＭｇＯおよび１２−３０％のＢａＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＭｇＯという示された割合において、それらから構成される群から選択されるアルカリ土類金属酸化物の少なくとも１種から実質的に構成される組成を有するアルミノシリケートガラス。」（Ｃｌａｉｍ１）、「２．５ｇ／ｃｃより小さい密度を有し、実質的に、５４．８−５７％のＳｉＯ２、１６．８−２１．８％のＡｌ２Ｏ３，０−１４％のＢ２Ｏ３、２．２−２．５％のＭｇＯ、１．５−９．５％のＣａＯ、４．５−５．５％のＳｒＯ、０．１−１４．５％のＢａＯ、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯは１２．５−２７％から構成される組成を有するＣｌａｉｍ１に従属するアルミノシリケートガラス」（Ｃｌａｉｍ５）等が記載されており、また、アルミノシリケートガラスのサブファミリーと称するＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ａ’、Ｂ’、Ｃ’、Ｄ’、Ｅ、Ｆ、Ｇの組成範囲が記載されているものの、甲第２号証のＴＡＢＬＥI、II、III、IVE、IVF、Vの１〜４２の例を検討しても、それらの例には、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラス組成の範囲内にあるものはない。
　そうすると、甲第２号証のクレームやサブファミリーに示されるガラスの組成範囲は広範なものであるから、その甲第２号証に記載されたガラスの組成範囲の幾つかは訂正後の本件発明の無アルカリガラス基板のガラス組成を包含してはいるものの、甲第２号証には、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラス組成の範囲内にある例は全く示されていないから、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラスを実際に開示しているとはいえないし、また、甲第２号証には、ＨＣｌ中における耐久性は記載されているものの、訂正後の本件請求項１でいう「２０℃に保持された重量百分率で３８．７％のフッ化アンモニウムと１．６％のフッ酸とを含むバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬しても表面変化がない化学耐久性」に関連する耐バッファードフッ酸性について記載するところはない。
　してみると、訂正後の本件請求項１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一であるとは認められないから、上記（ｂ−４）の主張は理由がない。
７−６．上記（ｂ−５）の主張について
　甲第２号証については、上記７−５の項で既に検討したところであり、そして、特許異議申立人エヌエッチ・テクノグラス株式会社は、特許異議申立書の理由５で、甲第２号証の第９頁１７行の「更に好ましい形態は、２．５ｇ／ｃｃより小さい密度を有するガラスパネルを構成する。」という記述や、Ｃｌａｉｍ５の「２．５ｇ／ｃｃより小さい密度を有し」の記述や、参考資料１（作花済夫外２名編、「ガラスハンドブック」、朝倉書店（株）、１９８４年３月１日初版第６刷発行、ｐ．５９２−５９３）の１．２．１の「密度の組成による加成性」や表７．１の「ガラスの比容υ計算するための諸係数」を指摘し、また、甲第１号証の［００１０］段落の「バッファードフッ酸により白濁をおこさず」の記載を指摘して、２．５ｇ／ｃｃ未満の密度や耐バッファードフッ酸性は公知の課題であって、数値的にも当業者が容易に予測できない程度のものでないから、訂正後の本件請求項１に係る発明の「２．５５ｇ／ｃｍ３を越えない密度と、２０℃に保持された重量百分率で３８．７％のフッ化アンモニウムと１．６％のフッ酸とを含むバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬しても表面変化がない化学耐久性とを備えている」という特性が得られるように甲第２号証に記載された発明における組成を選択することは容易であるという趣旨の主張をしているが、甲第２号証の第９頁１８−３０行には、１７行の前記記載に続けて、「この要求を満たすガラスは酸化物基準の分析で、実質的に以下の組成範囲を有するアルミノシリケートサブ−ファミリーＧに含まれる。ＳｉＯ２５４．８−５７、Ａｌ２Ｏ３１６．８−２１．８、Ｂ２Ｏ３０−１４、ＭｇＯ２．２−２．５、ＣａＯ１．５−９．５，ＳｒＯ４．５−５．５、ＢａＯ０．１−１４．５、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ１２．５−２７」と記載されており、また、Ｃｌａｉｍ５のアルミノシリケートガラスもこれと同じ組成であるから、この組成のガラスはＳｉＯ２が少ない点およびＭｇＯが多い点で、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラスと組成が明らかに相違するものであるから、甲第２号証のこのような記述は、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板のガラス組成を導き出す理由にはならないものであり、また、参考資料１に示されるようにガラスの密度を計算で予測することはそれなりに可能であるとしても、甲第２号証のアルミノシリケートサブ−ファミリーＧまたはＣｌａｉｍ５のガラスの組成を改変した場合に、基板用ガラスとして要求される密度以外の耐バッファードフッ酸性を含めた諸特性がすべて良好であるかどうかは分かるものではないし、さらに、「２．５ｇ／ｃｃ未満の密度や耐バッファードフッ酸性は公知の課題であって、数値的にも当業者が容易に予測できない程度のものでない」ということは、単に、密度や耐バッファードフッ酸性についての特性自体は当業者が容易に予測できない程のものではないということを述べているだけであって、基板用ガラスとして要求される諸特性がすべて良好であるガラス組成を予測し、それを具体的に開発するのが容易であるとする理由になるものではない。
　してみると、訂正後の本件請求項１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　したがって、上記（ｂ−５）の主張も理由がない。
７−７．上記（ｂ−６）の主張について
　出願当初の本件明細書の４頁１行から６頁４行には、本発明において無アルカリガラス基板の構成成分を限定した理由が記載されており、Ａｌ２Ｏ３、Ｂ２Ｏ３、ＣａＯおよびＺｎＯの数値限定の理由に耐バッファードフッ酸性に関する理由が挙げられているから、本発明の無アルカリガラス基板のガラス組成全般が耐バッファードフッ酸性を有するということは、出願当初の本件明細書において既に認識されているところであるし、また、出願当初の本件明細書の第１表や第２表には、本発明の無アルカリガラス基板のガラス組成の具体例である試料Ｎｏ．１〜１０が記載されていて、それらの例ではいずれも耐バッファードフッ酸性が良好であることが示されているから、平成１１年２月２３日付手続補正書により追加した本件請求項１における耐バッファードフッ酸性に関する要件は新規事項に当たるものではない。
　なお、特許異議申立人は特許異議申立書の理由６で、本件実施例１〜１０の各組成においては、耐バッファードフッ酸性を有することは明らかであるが、各実施例の点を除く本件請求項１の組成範囲内の点ひいては本件請求項１の組成範囲内のすべての具体的組成に一義的に所定の耐バッファードフッ酸性を有するとは言えない旨を主張しているが、特許異議申立人は、本件請求項１に記載されたガラス組成の範囲内において、所定の耐バッファードフッ酸性を示さないものがあることを自ら立証して主張しているわけではないし、さらに、そもそも本件発明の「２０℃に保持された重量百分率で３８．７％のフッ化アンモニウムと１．６％のフッ酸とを含むバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬しても表面変化がない化学耐久性とを備えている」という規定は、ガラス組成の規定にさらに加えての規定であって、訂正後の本件請求項１に係る発明の無アルカリガラス基板には、耐バッファードフッ酸性を有しないものは含まれないことを念を押して規定しているものであるから、そのような主張は、耐バファードフッ酸性に関する要件の追加は新規事項に当たるとする理由になり得ないものである。
　したがって、上記（ｂ−６）の主張も理由がない。
８．結び
　以上のとおりであるから、上記訂正は認める。
　そして、特許異議の申立の理由および証拠によっては、訂正後の本件請求項１に係る特許は取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年９月２１日（２００１．９．２１）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許第２９９０３７９号の明細書中特許請求の範囲の請求項１「ＭｇＯ０〜２．９％」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正する。
２．特許第２９９０３７９号の明細書第３頁「発明の開示」の欄（本件特許公報第４欄１８〜２８行）「ＭｇＯ０〜２．９％」とあるのを、明瞭でない記載の釈明を目的として「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正する。
３．特許第２９９０３７９号の明細書第３頁の「発明の実施するための最良の形態」の欄（本件特許公報第４欄２９〜３５行）「ＭｇＯ０〜２．９％」とあるのを、明瞭でない記載の釈明を目的として、「ＭｇＯ０〜１．５％」と訂正する。
４．特許第２９９０３７９号の明細書第４頁２５〜２６頁（本件特許公報第５欄１７行）「ＭｇＯの含有量は、０〜２．９％」を、明瞭でない記載の釈明を目的として、「ＭｇＯの含有量は、０〜１．５％」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
無アルカリガラス基板
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】．　重量百分率で、ＳｉＯ２　５８．０〜６８．０％，Ａｌ２Ｏ３　１０．０〜２５．０％，Ｂ２Ｏ３　３．０〜１５．０％，ＭｇＯ　０〜
１．５
【発明の詳細な説明】
技術分野
　本発明は、液晶ディスプレイ，ＥＬディスプレイ等のディスプレイ，フィルター，センサー等の基板として用いられる無アルカリガラス基板に関するものである。
背景技術
　従来より、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ，フィルター，センサー等の基板として、ガラス基板が広く使用されている。
　この種のガラス基板の表面には、透明導電膜，絶縁膜，半導体膜，金属膜等が成膜され、しかもフォトリソグラフィ−エッチング（フォトエッチング）によって種々の回路やパターンが形成される。これらの成膜、フォトエッチング工程において、ガラス基板には、種々の熱処理や薬品処理が施される。
　例えば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）型アクティブマトリックス液晶ディスプレイの場合、ガラス基板上に絶縁膜や透明導電膜が成膜され、さらにアモルファスシリコンや多結晶シリコンのＴＦＴが、フォトエッチングによって多数形成される。このような工程において、ガラス基板は、数百度の熱処理を受けると共に、硫酸，塩酸，アルカリ溶液，フッ酸，バッファードフッ酸等の種々の薬品による処理を受ける。
　特にバッファードフッ酸は，絶縁膜のエッチングに広く用いられるが、ガラスを侵食してその表面を白濁させやすく、またガラス成分と反応して反応生成物ができ、これが工程中のフィルターをつまらせたり、基板上に付着することがある。
　また塩酸は、ＩＴＯ膜やクロム膜のエッチングに用いられるが、これもガラスを侵食してその表面を変色させたり、白濁やクラックを生じさせ易い。よって、この種のガラス基板には、耐バッファードフッ酸性と耐塩酸性を付与することが大変重要となる。
　従ってＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶ディスプレイに使用されるガラス基板には、以下のような特性が要求される。
（１）ガラス中にアルカリ金属酸化物が含有されていると、熱処理中にアルカリイオンが成膜された半導体物質中に拡散し、膜特性の劣化を招くため、実質的にアルカリ金属酸化物を含有しないこと。
（２）フォトエッチング工程において使用される種々の酸，アルカリ等の薬品によって劣化しないような耐薬品性を有すること。
（３）成膜，アニール等の工程における熱処理によって、熱収縮しないこと。そのため高い歪点を有すること。例えば多結晶シリコンＴＦＴ−ＬＣＤの場合、その工程温度が約６００℃以上であるため、このような用途のガラス基板には、歪点が６５０℃以上であることが要求される。
　また溶融性、成形性を考慮して、この種のガラス基板には、以下のような特性も要求される。
（４）ガラス中に基板として好ましくない溶融欠陥が発生しないよう、溶融性に優れていること。
（５）ガラス中に溶融，成形中に発生する異物が存在しないように、耐失透性に優れていること。
　また近年、ＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶ディスプレイ等の電子機器は、パーソナルな分野への利用が進められており、機器の軽量化が要求されている。これに伴ってガラス基板にも軽量化が要求されており、薄板化が進められている。しかしながらこの種の電子機器は、大型化も進められており、ガラス基板の強度を考慮すると、薄板化については自ずと限界がある。そこでガラス基板の軽量化を図る目的で、ガラスの密度を低くすることが望まれている。
　従来よりＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板に用いられている無アルカリガラスとしては、石英ガラス，バリウム硼珪酸ガラス及びアルミノ珪酸塩ガラスが存在するが、いずれも一長一短がある。
　すなわち石英ガラスは、耐薬品性，耐熱性に優れ、低密度であるが、材料コストが高いという難点がある。
　またバリウム硼珪酸ガラスとしては、市販品としてコーニング社製＃７０５９が存在するが、このガラスは耐酸性に劣るため、フォトエッチング工程においてガラス基板の表面に変質や白濁、荒れが生じやすく、しかも基板からの溶出成分によって薬液を汚染しやすい。さらにこのガラスは、歪点が低いため、熱収縮や熱変形を起こしやすく、耐熱性に劣っている。またその密度も、２．７６ｇ／ｃｍ３と高い。
　また、アルミノ珪酸塩ガラスは、耐熱性に優れているが、現在市場にあるガラス基板の多くが、溶融性が悪く、大量生産に不向きである。また、これらのガラス基板は、密度が２．７ｇ／ｃｍ３以上と高かったり、耐バッファードフッ酸性に劣るものが多く、全ての要求特性を満足するものは未だ存在しないというのが実情である。
　そこで、本発明の目的は、上記した要求特性項目（１）〜（５）の全てを満足し、しかも密度が２．５５ｇ／ｃｍ３以下の無アルカリガラス基板を提供することである。
発明の開示
　本発明の無アルカリガラス基板は、重量百分率で、ＳｉＯ２　５８．０〜６８．０％，Ａｌ２Ｏ３　１０．０〜２５．０％，Ｂ２Ｏ３　３．０〜１５．０％，ＭｇＯ　０〜
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発明を実施するための最良の形態
　本発明の無アルカリガラス基板は、重量百分率で、ＳｉＯ２　５８．０〜６８．０％，Ａｌ２Ｏ３　１０．０〜２５．０％，Ｂ２Ｏ３　３．０〜１５．０％，ＭｇＯ　０〜
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　まず、本発明の無アルカリガラス基板の構成成分を上記のように限定した理由について、説明する。
　ＳｉＯ２は、ガラスのネットワークフォーマーとなる成分である。ＳｉＯ２の含有量が多いほど、密度が低くなり、２．５５ｇ／ｃｍ３以下にし易くなるため、本発明では５８．０％以上含有させる。
　しかしながら、その含有量が６８．０％より多くなると、高温粘度が大きくなり、溶融性が悪化すると共に、耐失透性が著しく悪化し、ガラス中にクリストバライトの失透異物が析出しやすくなる。ＳｉＯ２の好ましい含有量は、５８．５〜６７．０％である。
　Ａｌ２Ｏ３は、ガラスの耐熱性、耐失透性を高めると共に、密度を低下させるために不可欠な成分である。Ａｌ２Ｏ３の含有量は、１０．０〜２５．０％、好ましくは１５．０〜２３．０％である。１０．０％より少ないと、失透傾向が増大し、ガラス中にクリストバライトの失透異物が析出する虞れがあると共に、歪点が低下する。また２５．０％より多いと、耐バッファードフッ酸性が低下し、ガラス基板の表面に白濁が生じやすくなると共に、ガラスの高温粘度が高くなり、溶融性が悪化する。
　Ｂ２Ｏ３は、融剤として働き、粘性を下げ、溶融性を改善するための成分である。Ｂ２Ｏ３の含有量は、３．０〜１５．０％、好ましくは６．５〜１５．０％、より好ましくは８．５〜１５．０％である。３．０％より少ないと、融剤としての働きが不十分となると共に、耐バッファードフッ酸性が低下する。また１５．０％より多いと、ガラスの歪点が低下し、耐熱性が悪くなると共に耐酸性も悪くなる。
　ＭｇＯは、歪点を下げずに高温粘性を下げ、ガラスの溶融性を改善する作用を有している成分である。そして、ＭｇＯは、二価のアルカリ土類酸化物の中で、最も密度を下げる効果が大きい成分である。しかし、ＭｇＯを多量に含有すると、失透傾向が増大するため好ましくない。従って、ＭｇＯの含有量は、０〜
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　ＣａＯも、ＭｇＯと同様に歪点を下げずに高温粘性を下げ、ガラスの溶融性を改善する作用を有する成分である。ＣａＯの含有量は、０〜８．０％、好ましくは１．８〜７．５％、さらに好ましくは２．１〜７．５％である。８．０％より多いと、ガラスの耐バッファードフッ酸性が著しく悪化するため好ましくない。すなわちガラスをバッファードフッ酸で処理する際に、ガラス中のＣａＯ成分と、バッファードフッ酸による反応生成物が、ガラス表面に多量に析出してガラス基板を白濁させやすくなる。それとともに、反応生成物によってガラス基板上に形成される素子や薬液が汚染されやすくなる。
　ＢａＯは、ガラスの耐薬品性、耐失透性を向上させる成分である。ＢａＯの含有量は、０．１〜５．０％、好ましくは、０．１〜４．５％である。０．１％より少ないと、上記効果が得られず、５．０％より多いと、ガラスの密度が上昇するため好ましくない。
　ＳｒＯは、ＢａＯと同様にガラスの耐薬品性を向上させると共に、失透性を改善させる成分である。しかも、ＳｒＯはＢａＯに比べて、溶融性を悪化させにくいという特徴を有している。しかし、ＳｒＯを多量に含有すると、ガラスの密度が高くなるため好ましくない。従って、ＳｒＯの含有量は、０．１〜１０．０％、好ましくは１．０〜９．０％である。
　ＺｎＯは、耐バッファードフッ酸性を改善すると共に、溶融性を改善する成分である。ＺｎＯの含有量は、０〜５．０％である。５．０％より多いと、逆にガラスが失透しやすくなると共に、歪点が低下するため、優れた耐熱性が得られない。
　ただしＭｇＯ、ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ及びＺｎＯの合量が５．０％より少ないと，高温での粘性が高くなり、溶融性が悪くなると共に、ガラスが失透しやすくなる。一方、ＭｇＯ，ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯ及びＺｎＯの合量が２０．０％より多いと，ガラスの密度が高くなるため好ましくない。
　ＺｒＯ２は、ガラスの耐薬品性、特に耐酸性を改善すると共に、高温粘性を下げて溶融性を向上させる成分である。ＺｒＯ２の含有量は、０〜５．０％、好ましくは０．１〜４．０％である。５．０％より多いと、失透温度が上昇し、ジルコンの失透異物が析出しやすくなる。
　ＴｉＯ２も、耐薬品性、特に耐酸性を改善すると共に、高温粘性を低下し、溶融性を向上させ、さらに紫外線による着色を防止する成分である。即ち、液晶ディスプレイ等を製造する場合、ガラス基板上の有機物を除去するために紫外線を照射することがある。ガラス基板が紫外線によって着色すると、透過率が低下するため好ましくない。そのためこの種のガラス基板には、紫外線によって着色しないことが要求される。しかしながら、ＴｉＯ２が５．０％より多いと、逆にガラスが着色しやすくなるため好ましくない。
　また、本発明においては、上記成分以外にも、特性を損なわない範囲で、他の成分を添加させることが可能である。例えば、清澄剤としてＡｓ２Ｏ３，Ｓｂ２Ｏ３，Ｆ２，Ｃｌ２，ＳＯ３，ＳｎＯ２といった成分や，Ａｌ，Ｓｉといった金属粉末等を添加させることが可能である。
　ただし，ガラス中にアルカリ金属酸化物が含有されると、ガラス基板上に形成される各種の膜や半導体素子の特性を劣化させるため好ましくない。
　また、一般に融剤として使用されるＰｂＯは、ガラスの耐薬品性を著しく低下させる。それとともに、ＰｂＯは溶融時に融液の表面から揮発し、環境を汚染する虞れもあるため好ましくない。
　さらに、Ｐ２Ｏ５も一般に融剤として使用される。しかし、Ｐ２Ｏ５は、ガラスを分相させると共に、耐薬品性を著しく低下させるため好ましくない。
　また、ＣｕＯを含有すると、ガラスが着色するため、ディスプレイ用ガラス基板としては使用できなくなる。
　次に、本発明の無アルカリガラス基板を例に基づいて更に、詳細に説明する。
　表１〜３は、本発明例のガラス（試料Ｎｏ．１〜１０）と比較例のガラス（試料Ｎｏ．１１〜１４）を示すものである。
　表中の各試料は、次のようにして作製した。まず表の組成となるようにガラス原料を調合し、白金坩堝に入れ、１５８０℃で、２４時間溶融した。この溶融したガラス原料をカーボン板上に流し出し、板状に成形した。
　表から明らかなように、本発明例であるＮｏ．１〜１０の各試料は、いずれも密度が２．５１ｇ／ｃｍ３以下、歪点が６６８℃以上であった。また、Ｎｏ．１〜１０の各試料は、耐塩酸性、耐バッファードフッ酸性、耐失透性に優れていた。さらに、Ｎｏ．１〜１０の各試料は、１０２．５ポイズに相当する温度が１６２５℃以下であった。したがって、本発明例であるＮｏ．１〜１０の各試料は、いずれも良好な特性を有していた。
　それに対し比較例であるＮｏ．１１の試料は、耐失透性に劣っていた。また、Ｎｏ．１２の試料は、耐薬品性と耐失透性に劣っていた。Ｎｏ．１３の試料は、密度が高かった。さらにＮｏ．１４の試料は、耐失透性に劣ると共に、１０２．５ポイズ温度が高く、溶融性が悪かった。
　尚、表中の密度は、周知のアルキメデス法によって測定し、歪点は、ＡＳＴＭ　Ｃ３３６−７１の方法に基づいて測定した。
　耐塩酸性は、各試料を光学研磨してから、８０℃に保持された１０重量％塩酸水溶液に２４時間浸漬した後、ガラス基板の表面状態を観察することによって評価し、また耐バッファードフッ酸性は、光学研磨した各試料を、２０℃に保持された３８．７重量％フッ化アンモニウム、１．６重量％フッ酸からなるバッファードフッ酸溶液に３０分間浸漬した後、ガラス基板の表面状態を観察することによって評価したものであり、ガラス基板の表面が白濁したり、クラックが入ったものを×、わずかに白濁が見られたものを△、全く変化のなかったものを○とした。
　耐失透性は、各試料から３００〜５００μｍの粒径を有するガラス粉末を作製し、これを白金ボート内に入れ、１２００℃で１００時間熱処理した後の失透観察によって求めたものであり、失透が少しでも認められたものを×、全く認められなかったものを○とした。
　１０２．５ポイズ温度は、高温粘度である１０２．５ポイズに相当する温度を示すものであり、この温度が低いほど、溶融成形性に優れていることになる。
　以上のように本発明によれば、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、耐熱性、耐薬品性、溶融成形性に優れ、しかも密度が２．５５ｇ／ｃｍ３以下である無アルカリガラス基板を提供することができる。
産業上の利用可能性
　以上、説明したように、本発明の無アルカリガラス基板は、液晶ディスプレイ，ＥＬディスプレイ等のディスプレイ，フィルター，センサー等の基板として用いることができ、特に軽量化が要求されるＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶ディスプレイに使用されるガラス基板として好適である。