【事件の表示】
　特許第３１２０６５３号「バリアー性積層体」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１２０６５３号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３１２０６５３号は、平成６年３月３１日に特許出願され、平成１２年１０月２０日にその発明について設定登録がされ、平成１２年１２月２５日に特許公報が発行されたところ、平成１３年６月８日に特許異議申立人　株式会社ディスク（以下、「申立人」という）により特許異議の申立てがなされ、その後、平成１３年９月１８日付（平成１３年９月２８日発送）で取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年１１月２７日に訂正請求がなされたところ、平成１３年１２月２０日付（平成１４年１月１５日発送）で再度の取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１月２８日に、上記平成１３年１１月２７日付訂正請求が取下げられ、新たな訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　平成１４年１月２８日に提出された訂正請求で特許権者が求めている訂正の内容は、以下のア〜オのとおりである。
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１について、
「高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層してなることを特徴とするバリアー性積層体。」
とあるのを
「高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２について、
「前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝ＣＨ2−、−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−ＮＨＣＯＮＨ2、−ＣＨ2−ＮＨ−ＣＨ2−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ2−（Ｃ2Ｈ3Ｏ）等であり、加水分解性基（Ｒ’)が−Ｃｌ、−ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ3等であることを特徴とする請求項１記載のバリアー性積層体。」
とあるのを
「前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
が
と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
明細書【００１４】段落について、
「請求項１に関する発明は、高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層してなることを特徴とするバリアー性積層体である。」（特許公報第３頁第５欄第１６〜２３行）
とあるのを、
「請求項１に関する発明は、高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
明細書【００１５】段落について、
「請求項２に記載の発明は、請求項１に記載される発明に基づき、有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝ＣＨ2−、−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−ＮＨＣＯＮＨ2、−ＣＨ2−ＮＨ−ＣＨ2−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ2−（Ｃ2Ｈ3Ｏ）等であり、加水分解性基（Ｒ’)が−Ｃｌ、−ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ3等であることを特徴とするバリアー性積層体である。」（特許公報第３頁第５欄第２４〜３２行）
とあるのを
「請求項２に記載の発明は、請求項１に記載される発明に基づき、有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
が
と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
明細書【００２４】段落について、
「有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝ＣＨ2−、−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−ＮＨＣＯＮＨ2、−ＣＨ2−ＮＨ−ＣＨ2−ＣＨ2−ＮＨ2−、−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ2−（Ｃ2Ｈ3Ｏ）等であり、エポキシ基、アミノ基、尿酸基などが好ましい。また、加水分解性基（Ｒ’)は−Ｃｌ、−ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ3、−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−ＣＨ3等である。」（特許公報第３頁第６欄第４８行〜第４頁第７欄第５行）
とあるのを
「有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
ア．訂正の目的について
　上記訂正事項ａは、請求項１について、有機ケイ素化合物からなる２つの塗膜層の材質に関して「前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物」からなるものと限定し、さらに、有機ケイ素化合物からなる２つの塗膜層と金属酸化物からなる蒸着薄膜層の位置関係に関して「前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成であること」と限定することにより、
「高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
と訂正するものであるから、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　一方、上記訂正事項ｃは、上記訂正事項ａによる特許請求の範囲の減縮に伴い、本件発明の有機ケイ素化合物からなる２つの塗膜層の材質及び金属酸化物からなる蒸着薄膜層との位置関係に関して、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載と整合させようとして、
「請求項１に関する発明は、高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
と訂正するものであるから、上記訂正事項ｃは、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、上記訂正事項ｄ〜ｅは、上記訂正事項ｂと同様に、有機ケイ素化合物の有機官能基及び加水分解性基の明らかな誤記を正すものであるから、誤記の訂正を目的とするものといえる。
イ．新規事項の有無、拡張・変更の存否について
　上記訂正事項ａに関して検討すると、本件特許明細書の【００３２】段落には、有機ケイ素化合物からなる２つの塗膜層の材質に関して、「有機ケイ素からなる塗膜層５は、上記の有機ケイ素化合物からなる塗膜層３と同一であり、形成方法は、オフライン方式により形成される。」と記載されているので、「前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物」からなるものとする限定は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内であり、新規事項の追加ではない。また、本件特許明細書の【００１９】段落には、有機ケイ素化合物からなる２つの塗膜層と金属酸化物からなる蒸着薄膜層の位置関係に関して、「有機ケイ素化合物からなる塗膜層は、耐熱性、熱寸法安定性、硬度に優れ、蒸着薄膜層を挟む構成により、蒸着薄膜層を保護することができる。」と記載されているので、「前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成であること」とする限定も、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内であり、新規事項の追加ではない。よって、上記訂正事項ａは、新規事項を追加するものではない。
　また、上記訂正事項ｂ〜ｅが、新規事項を追加するものでないことは明らかである。
　一方、上記訂正事項ａ〜ｅが、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではないことも明らかである。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正事項ａ〜ｅは、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立ての概要
　申立人は、下記の甲第１〜３号証を提示して、以下のとおり主張している。
（１）本件請求項１ないし３に係る発明は、甲第２〜３号証の記載を参酌するに、本件特許出願の出願日前の他の出願であって、その出願後に出願公開された甲第１号証の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明であるから、本件請求項１ないし３に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである。
（２）本件請求項２に係る発明は、発明の構成に欠くことのできない事項が明瞭に記載されていないので、本件請求項２に係る発明の特許は、特許法第３６条第５項の規定に適合しない出願に対してなされたものである。
記
　甲第１号証：特願平４−３３３６５３号（特開平６−１５８２８０号公報）
　甲第２号証：「日本接着学会誌」、Ｖｏｌ．２７、Ｎｏ．６、日本接着学会、平成３年６月１日、ｐ．２４６−２５１
　甲第３号証：特開平３−２３９５３７号公報［申立書における甲第３号証］
４．特許異議の申立てについての判断
（１）本件訂正発明について
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件特許第３１２０６５３号の請求項１ないし３に記載の発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定される次の通りのものである。
「【請求項１】 高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’)3 （Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
【請求項２】前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
が
【請求項３】最外層に設けられる前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層に接着層を介して熱接着性樹脂層を積層してなることを特徴とする請求項１記載のバリアー性積層体。」
（２）先願明細書記載の発明
（Ａ）先願等
　当審が平成１３年９月１８日付で通知した取消の理由に引用された先願等は以下のとおりである。
　先願：特願平４−３３３６５３号（特開平６−１５８２８０号公報）（申立人の提出した甲第１号証）
　参考文献１：「日本接着学会誌」、Ｖｏｌ．２７、Ｎｏ．６、日本接着学会、平成３年６月１日、ｐ．２４６−２５１（申立人の提出した甲第２号証）
　参考文献２：特開平３−２３９５３７号公報（申立人の提出した甲第２号証）
（Ｂ）先願明細書に記載された事項
　上記先願明細書には、下記１−ア〜キの点が記載されている。
１−ア．「プラスチックフィルムの少なくとも片面に珪素酸化物または珪素酸化物を主成分とした蒸着薄膜層を設けてなる蒸着フィルムの蒸着面に、有機金属化合物を１種または２種以上混合した溶液または該混合溶液をアルコールなどの有機溶媒に溶かして加水分解し部分縮合させたゾル溶液をコーティングし、熱処理を施すことでガラス質被膜を形成してなる蒸着フィルム。」（【請求項１】）
１−イ．「有機金属化合物が、分子中に２個以上の炭素数１〜４のアルコキシル基を有し、Si,Ti,Al,B,Zr,W,Taから選ばれる１種の金属元素を含む化合物である請求項１記載の蒸着フィルム。」（【請求項２】）
１−ウ．「【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記欠点を解決すべく鋭意検討を行った結果、蒸着面上に有機金属化合物をコーティングしてガラス質被膜を形成してなる蒸着フィルムが、ガスバリア性、水蒸気バリア性、耐薬品性、及び耐水性にすぐれるのみならず、黄色味を低減するために蒸着膜の膜厚を薄くする必要がなく、煮沸殺菌処理を施しても剥離や亀裂を生じることがなく、また、ガスバリア性や水蒸気バリア性も低下することがなく、ほとんど無色透明であることを見出し、本発明に至った。」（【０００４】段落）
１−エ．「プラスチックフィルムとしては特に制限はなく、・・・、
その表面に
シランカップリング剤、
などの表面処理が施されたもの、
であってもよい。
１−オ．「蒸着層は、これらのプラスチックフィルムの片面または両面に設けられ、珪素酸化物 SiOx(x=1,2)の薄膜、または珪素酸化物を主成分としマグネシウム、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、鉄、カルシウム、ホウ素、ニッケル、クロムでなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を含む化合物を少なくとも１種含有する薄膜を示す。」（【０００７】段落）
１−カ．「有機金属化合物としては、例えば・・・シリコンフェニルトリメトキシド、・・・、
シリコン3-アミノプロピルトリエトキシド
１−キ．「・・・
本発明により得られる蒸着面にガラス質被膜を形成した蒸着フィルムには、必要に応じて、
、接着剤やラミネート接着剤を用いて
プラスチックフィルムを積層してもよい。
　上記参考文献１には、下記参１−ア〜ウの点が記載されている。
参１−ア．第２４６頁左欄第１１〜１８行には、「２．シランカップリング剤の構造と特徴」として、シランカップリング剤の化学構造式が記載されており、これは一分子中に１つの有機官能基と、２又は３の加水分解性基を有するものである旨記載されている。
参１−イ．第２４７頁の表１「主なシランカップリング剤」には、上記参１−アに記載のシランカップリング剤が具体的に例示されており、本件発明の化学式（Ｉ）で表される有機ケイ素化合物に相当するもの（３の加水分解性基を有し、加水分解性基が「ＯＲ’」に相当するもの)も記載されている。特に「ＫＢＭ−６０３」は、本件実施例１で使用の有機ケイ素化合物「Ｎ−（β−アミノエチル）−γ−アミノ−プロピルトリメトキシシラン」に相当するといえる。
参１−ウ．第２４９頁の表４「エトキシ官能性シラン」には、エトキシ官能性シランカップリング剤が示されており、本件発明の化学式（Ｉ）で表される有機ケイ素化合物に相当するもの（３の加水分解性基を有し、加水分解性基が「ＯＲ’」に相当するもの)も記載されている。特に「ＫＢＥ−９０３」は、本件実施例２で使用の有機ケイ素化合物「γ−アミノプロピルトリエトキシシラン」に相当するといえる。
　上記参考文献２には、下記参２−アの点が記載されている。
参２−ア．「この第一層の上に設けられる透明な第二層は、
一般式；Ｘ・・・Ｓｉ（ＯＲ）３〔Ｘは有機質と反応するアミノ基、ビニル基、エポキシ基などの官能基、ＯＲはメトキシ基、工ポキシ基などの加水分解可能な基である〕で表されるシランカツプリング剤、つまり同一分子内に異なる２種類の官能基を有して、有機質と無機質とのなかだちの役目を果たす有機珪素化合物からなるものであり、たとえばアミノシラン、ビニルシラン、メタクリロキシシランなとが用いられる。」（第２頁左下欄第１５行〜同右下欄第４行）
（３）対比・判断
（Ａ）本件請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という）について
　本件発明１と先願明細書に記載の発明とを対比する。
　先願明細書には、上記１−アのとおり、「プラスチックフィルムの少なくとも片面に珪素酸化物または珪素酸化物を主成分とした蒸着薄膜層を設けてなる蒸着フィルムの蒸着面に、有機金属化合物を１種または２種以上混合した溶液または該混合溶液をアルコールなどの有機溶媒に溶かして加水分解し部分縮合させたゾル溶液をコーティングし、熱処理を施すことでガラス質被膜を形成してなる蒸着フィルム。」に係る発明が記載されているといえる。
　ここで、上記発明における「プラスチックフィルム」は、上記１−エのとおり、「その表面に・・・シランカップリング剤、・・・などの表面処理が施されたもの・・・であってもよい」とされているので、「シランカップリング剤で表面処理されたプラスチックフィルム」をその態様として含んでいるといえる。そして、シランカップリング剤などの剤でプラスチックを表面処理するとは、技術常識から見て、シランカップリング剤などの剤からなる塗膜層をプラスチック表面上に設けることを意味するものといえる。また、参考文献１及び２の記載（上記参１−ア〜ウ及び２−アを参照）の記載からも明らかなように、プラスチック表面処理などに使用されるシランカップリング剤として、本件発明１の化学式（Ｉ）で表される有機ケイ素化合物（以下、「本件有機ケイ素化合物」という）を使用することは周知慣用技術であるから、上記発明における「プラスチックフィルム」は、「本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層を表面上に設けたプラスチックフィルム」と解することができる。さらに、「プラスチックフィルム」と「高分子樹脂フィルム」とは明らかに同義であるから、上記発明における「プラスチックフィルム」は、「本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層を表面上に設けた高分子樹脂フィルム」をその態様として含んでいるといえる。
　また、上記発明における「珪素酸化物または珪素酸化物を主成分とした蒸着薄膜層」は、上記１−オに記載のとおり「一酸化珪素あるいは二酸化珪素などの珪素酸化物からなる蒸着薄膜層」等を意図するものであるところ、本件発明１の「金属酸化物からなる蒸着薄膜層」が「一酸化珪素あるいは二酸化珪素など珪素酸化物からなる蒸着薄膜層」などを意図するものである（本件特許明細書の【００２９】段落及び【００４１】段落を参照）ところから見て、本件発明１の「金属酸化物からなる蒸着薄膜層」に相当するものであるといえる。
　さらに、上記発明における「有機金属化合物」は、上記１−イのとおり、「分子中に２個以上の炭素数１〜４のアルコキシル基を有し、Si,Ti,Al,B,Zr,W,Taから選ばれる１種の金属元素を含む化合物」であり、より具体的には、上記１−カのとおり、「シリコンフェニルトリメトキシド、
シリコン3-アミノプロピルトリエトキシド
シリコン3-アミノプロピルトリエトキシド
　一方、上記発明における「蒸着フィルム」は、上記１−ウの記載から見て、ガスなどの「バリアー性」を有するものであり、また、明らかに積層体となっているから、本件発明１の「バリアー性積層体」と同義である。
　してみると、上記先願明細書には、「本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層を表面上に設けた高分子樹脂フィルムの少なくとも片面に金属酸化物からなる蒸着薄膜層を設けてなるバリアー性積層体の蒸着面に、本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層を積層してなるバリアー性積層体。」に係る発明が記載されており、これを積層構造の観点から見ると、「高分子樹脂フィルム上に、本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、その少なくとも片面に金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層してなるバリアー性積層体。」に係る発明（以下、「先願明細書に記載の発明」という）が記載されているといえる。
　そこで、本件発明１と先願明細書に記載の発明とを比較すると、両者は、「高分子樹脂フィルム上に、本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、本件有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層してなる蒸着フィルム。」である点で一致し、一方、下記ａの点で相違しているものといえる。
ａ．本件発明１では、「２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である」と規定されているのに対し、先願明細書に記載の発明では、この様に規定されていない点。
　そこで、上記相違点ａについて検討すると、先願明細書には、「２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である」ものとする点については何ら記載されていない。
　一方、２層の塗膜層の具体的な構成に関して、先願明細書に記載の発明では、高分子樹脂フィルム上に設ける塗膜層は、「シランカップリング剤」とされているだけで、それ以上の具体的な化合物については何ら言及されていない。また、先願明細書に記載の発明では、蒸着薄膜層上に設ける塗膜層の材質に関して、多数の化合物が列挙される中、本件有機ケイ素化合物に相当するものとして、ただ、「シリコン3-アミノプロピルトリエトキシド」を開示するのみであり、しかも、当該化合物は実施例において使用されるものでもない。
　してみると、先願明細書に記載の発明において、高分子樹脂フィルム及び蒸着薄膜層いずれの層上に対しても、「シリコン3-アミノプロピルトリエトキシド」の如き本件有機ケイ素化合物を塗膜層として設けて、「２層の塗膜層が同一の（本件）有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である」とする態様は、技術常識等を参酌したとしても導き出せるものではない。
　したがって、本件発明１が先願明細書に記載の発明と同一であるとはいえず、本件発明１に係る特許は特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものではない。
（Ｂ）本件請求項２に係る発明（以下「本件発明２」という）について
　本件発明２は、本件発明１における本件有機ケイ素化合物の有機官能基（Ｒ）及び加水分解性基（Ｒ’)を更に限定したものである。
　よって、上記４．（３）（Ａ）の本件発明１についての判断と同様の理由により、本件発明２は、先願明細書に記載の発明と同一であるとはいえず、本件発明２に係る特許は特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものではない。
（Ｃ）本件請求項３に係る発明（以下「本件発明３」という）について
　本件発明３は、本件発明１に係る「バリアー性積層体」に「最外層に設けられる前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層に接着層を介して熱接着性樹脂層を積層」する構成を付加し、更に限定したものである。
　よって、先願明細書の上記１−キの記載に拘わらず、上記４．（３）（Ａ）の本件発明１についての判断と同様の理由により、本件発明３は、先願明細書に記載の発明と同一であるとはいえず、本件発明３に係る特許は特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものではない。
（Ｄ）明細書の記載不備について
　本件発明２は、上記２．のとおり、平成１４年１月２８日に提出された訂正請求により、請求項２について、「前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
ＮＨ
2
が
　また、平成１４年１月２８日に提出された訂正請求により、当審が平成１３年１２月２０日付で通知した取消しの理由も解消されている。
　しかるに、本件発明１ないし３に係る特許は、特許法第３６条第４項、第５項又は第６項の規定に適合しない出願に対してなされたものとすることはできない。
５．むすび
　訂正後の本件発明に係る特許は、特許異議の申立の理由および証拠によっては取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年２月８日（２００２．２．８）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨（異議２００１−７１６５８：特許第３１２０６５３号）
　特許第３１２０６５３号発明の明細書を以下のア〜オのとおり訂正する。
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１について、特許請求の範囲の減縮を目的とし、
「高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層してなることを特徴とするバリアー性積層体。」
とあるのを
「高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２について、誤記の訂正を目的とし、
「前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝ＣＨ２−、−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−ＮＨＣＯＮＨ２、−ＣＨ２−ＮＨ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−（Ｃ２Ｈ３Ｏ）等であり、加水分解性基（Ｒ’）が−Ｃｌ、−ＣＨ３、−ＣＨ２−ＣＨ３、−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ３等であることを特徴とする請求項１記載のバリアー性積層体。」
とあるのを
「前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
が
と訂正する。
ウ．訂正事項ｃ
明細書【００１４】段落について、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「請求項１に関する発明は、高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層してなることを特徴とするバリアー性積層体である。」（特許公報第３頁第５欄第１６〜２３行）
とあるのを、
「請求項１に関する発明は、高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
明細書【００１５】段落について、誤記の訂正を目的とし、
「請求項２に記載の発明は、請求項１に記載される発明に基づき、有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝ＣＨ２−、−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−ＮＨＣＯＮＨ２、−ＣＨ２−ＮＨ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−（Ｃ２Ｈ３Ｏ）等であり、加水分解性基（Ｒ’）が−Ｃｌ、−ＣＨ３、−ＣＨ２−ＣＨ３、−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ３等であることを特徴とするバリアー性積層体である。」（特許公報第３頁第５欄第２４〜３２行）
とあるのを
「請求項２に記載の発明は、請求項１に記載される発明に基づき、有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
が
と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
明細書【００２４】段落について、誤記の訂正を目的とし、
「有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝ＣＨ２−、−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−ＮＨＣＯＮＨ２、−ＣＨ２−ＮＨ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２−、−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ２−（Ｃ２Ｈ３Ｏ）等であり、エポキシ基、アミノ基、尿酸基などが好ましい。また、加水分解性基（Ｒ’）は−Ｃｌ、−ＣＨ３、−ＣＨ２−ＣＨ３、−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−ＣＨ３等である。」（特許公報第３頁第６欄第４８行〜第４頁第７欄第５行）
とあるのを
「有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
バリアー性積層体
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３　　（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
　【請求項２】前記有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
が
　【請求項３】最外層に設けられる前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層に接着層を介して熱接着性樹脂層を積層してなることを特徴とする請求項１記載のバリアー性積層体。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、食品、医薬品等の包装分野に用いられる、酸素、水蒸気などのガスの透過を有効に阻止可能なガスバリア性積層体に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】近年、食品、医薬品等の包装に用いられる包装材料は、内容物の変質、とくに食品においては蛋白質や油脂等の酸化、変質を抑制し、さらに味、鮮度を保持するために、また無菌状態での取扱いが必要とされる医薬品においては有効成分の変質を抑制し、効能を維持するために、包装材料を透過する酸素、水蒸気、その他内容物を変質させる気体による影響を防止する必要があり、これら気体（ガス）を遮断するガスバリア性を備えることが求められている。
　【０００３】そのため、従来から酸素を遮断するバリアー性フィルムとしてポリビニルアルコールフィルム（ＰＶＡ）、エチレンビニルアルコール共重合体フィルム（ＥＶＯＨ）、或いはアクリロニトリルフィルムなど、また水蒸気を遮断するバリアー性フィルムとしてポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルムなどがガスバリア性積層体として包装材料に用いられており、この包装材料からなる包装フィルムが一般的に使用されてきた。ところがこれらのフィルムは単独では酸素と水蒸気の両方に対するガスバリア性を備えておらず、一般にガスバリア性が比較的高いと言われる特性の異なる他種の高分子樹脂組成物をラミネート又はコーティングにより積層した積層フィルムとして包装材料に用いられてきたが、保存や使用環境における温度や湿度の影響を受け、十分なガスバリア性を発揮できない場合もあった。
　【０００４】また単独で酸素と水蒸気の両方に対するガスバリア性を備えてなる樹脂フィルムがあり、ポリ塩化ビニリデンフィルム（ＰＶＤＣ）、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、及びナイロンフィルムにポリ塩化ビニリデンをコーティングしたコートフィルムがある。このような樹脂フィルムは、使用後廃棄され焼却すると有毒ガスが発生し、環境上の問題となるおそれがある。
　【０００５】一方、高度なガスバリア性が必要な包装材料には、従来樹脂フィルム（適当な高分子樹脂組成物で単独では、高いガスバリア性を有していない樹脂であっても）にＡｌなどの金属又は金属化合物からなる金属箔が用いられてきた。このような金属箔は、酸素、水蒸気などの気体に対するバリアー性は優れているが、使用後廃棄物として、焼却されると残津として金属が残り、また再利用も難しいため、この金属箔の
廃棄は環境への影響を避けることはできない。
　【０００６】また上記のような問題の解決するものとして、最近では一酸化珪素（ＳｉＯ）などの珪素酸化物（ＳｉＯＸ）、酸化アルミニウム（ＡｌＸＯＹ）、アルミニウム（Ａｌ）などの金属、金属酸化物を樹脂フィルムに蒸着などの形成手段により形成した蒸着フィルムが開発されており、これらは高分子樹脂組成物からなるガスバリア材より優れたガスバリア特性を有しており、高湿度下での劣化も少なく、包装材料に用いられ始めている。
　【０００７】そして、これらの蒸着フィルムからなる包装材料は、蒸着フィルム単体で用いられることはほとんどなく、蒸着後の後加工として包装容器、包装袋等に加工される。例えば、包装袋は、蒸着フィルムをさらに他の基材と貼り合わせ、製袋工程により袋状に加工されている。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の金属、金属酸化物を樹脂フィルム上に薄膜形成手段した蒸着フィルムは、樹脂フィルムは有機化合物であるのに対して、それに無機化合物を形成するため、両者の機械的性質、化学的性質、熱的性質などの物性が非常に異なっている。これらを積層すると印刷加工や製袋加工、容器加工、ラミネート加工などの後加工や包装材として用いるときの使用方法、使用環境によっては、蒸着薄膜に機械的ストレス、熱的ストレスが付加され、蒸着薄膜に歪みを生じ、クラックやピンホールの発生、また蒸着薄膜に接する物質の化学的結合状態が異なる、例えば樹脂フィルム、インキ、接着剤などの間に層間剥離の発生、さらには蒸着薄膜の凝集破壊が起こり、クラックやピンホールの発生など蒸着薄膜に損傷が生じる。この損傷部分から空気、水蒸気などの気体が浸透するなどして本来有しているはずの高いバリアー性が低下するという問題を有している。
　【０００９】このような問題に対して、蒸着基材となる樹脂フィルムと蒸着フィルムとの密着性を改善する方法に、例えば樹脂フィルムの表面をコロナ放電処理、紫外線照射処理、プラズマ処理又は火炎処理などにより、表面を活性化してから金属又は金属酸化物の蒸着を行なうものである。ところが、蒸着薄膜の濡れによる二次結合力の増進により接着性の向上は期待できるが、その活性能力が経時とともに減少する、この処理によっても必ずしも満足する接着力が得られないなどの問題を有して
おり、十分なものとは言えない。
　【００１０】別な方法として、酸やアルカリ等の薬剤による表面処理、或いは樹脂フィルムとその他の樹脂成分などと共重合させた共重合樹脂フィルム、樹脂フィルムの製膜時に他の樹脂を共押し出しさせた共押し出し多層樹脂フィルムを用いるなどがあるが、十分なものとは言えない。
　【００１１】また、蒸着基材となる樹脂フィルム表面に、オフライン又はインラインでエチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系又はポリエステル系などのコーティング剤を塗布する方法がある。密着性は向上するが、コーティング層の熱寸法安定性が悪いため、樹脂フィルムの熱負荷時に蒸着薄膜が機械的ストレスを受け、それにより蒸着薄膜にクラック、ピンホールなどが発生しバリアー性が低下した。
　【００１２】さらに樹脂フィルムに形成された蒸着薄膜と、上記のような後加工によって付加されるインキ、接着剤などとの密着性の改善も行なわれており、エチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系又はポリエステル系などのコーティング剤を塗布する方法がある。コーティング剤の樹脂成分によって、密着性の悪化、或いはバリアー性の低下がみられ、密着性とバリアー性の両者を満足させるものではない。これによればコーティング層の熱寸法安定性が悪いため、経時、或いは製袋や成形加工で受ける熱負荷より体積膨張又は体積収縮を起こし蒸着薄膜が機械的ストレスを受け、それによる蒸着薄膜にクラック、ピンホールなどの発生、インキ、接着剤などからの層間剥離が発生しバリアー性が低下した。
　【００１３】そこで、本発明は樹脂フィルムと蒸着薄膜との密着性、後加工により付加されるインキや接着剤との密着性に優れ、酸素や水蒸気等の気体に対するバリアー性の低下することのない実用性の高いバリアー性積層体を提供することを目的とする。
　【００１４】
　【課題を解決するための手段】請求項１に関する発明は、高分子樹脂フィルム上に、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３　　（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなる塗膜層と、金属酸化物からなる蒸着薄膜層と、前記有機ケイ素化合物からなる塗膜層を順次積層し
、前記２層の塗膜層が同一の有機ケイ素化合物からなり、かつ前記２層の塗膜層で前記金属酸化物からなる蒸着薄膜層を挟む構成である
　【００１５】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載される発明に基づき、有機ケイ素化合物を構成する有機官能基（Ｒ）が−ＣＨ＝
ＣＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
が
　【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載される発明に基づき、最外層に設けられる有機ケイ素化合物からなる塗膜層に接着層を介して熱接着性樹脂層を積層してなることを特徴とするバリアー性積層体である。
　【００１７】
　【作用】本発明によれば、樹脂フィルム上に形成される有機ケイ素化合物からなる塗膜層は、有機ケイ素化合物中の有機官能基が樹脂フィルムの樹脂と結合力が強く、密着性が高い。また有機ケイ素化合物の塗工時に有機ケイ素化合物を水、又は水とアルコールの混合液に溶解させると有機ケイ素化合物の加水分解性基が加水分解し、水酸基（−ＯＨ）を生成することにより活性な−Ｓｉ−ＯＨ結合を形成し、この活性な−Ｓｉ−ＯＨ結合は乾燥工程の熱分解反応により、有機ケイ素化合物からなる塗膜層の強固な−Ｏ−Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ−結合を生成する。
　【００１８】この活性な−Ｓｉ−ＯＨ結合は金属元素（Ｍ）の存在時に−Ｏ−Ｍ−Ｏ−Ｍ−の強い結合を形成するため、蒸着薄膜の金属元素（Ｍ’）と−Ｓｉ−Ｏ−Ｍ’−の強固な結合を形成し、有機ケイ素化合物からなる塗膜層と蒸着薄膜層との密着性が向上する。
　【００１９】有機ケイ素化合物からなる塗膜層は、耐熱性、熱寸法安定性、硬度に優れ、蒸着薄膜層を挟む構成により、蒸着薄膜層を保護することができる。
　【００２０】
　【実施例】本発明の実施例に基づき詳細に説明する。図１は本発明のバリアー性積層体の構成を説明する断面図であり、図２は本発明のバリアー性積層体の他の構成を説明する断面図である。
　【００２１】図１において、１はバリアー性積層体あり、樹脂フィルム基材２、有機ケイ素化合物からなる塗膜層３、蒸着薄膜層４、有機ケイ素化合物からなる塗膜層５である。樹脂フィルム基材２は、シート状またはフィルム状のものであって、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン２，４−ナフタレート等）、ポリアミド（ナイロン−６、ナイロン−１２等）、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミドポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルケトン、ポリアリレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンオキサイド、テトラフルオロエチレン、一塩化三フッ化エチレン、フッ化エチレンプロピレン共重合体、ポリイミドなどなど通常包装材料として用いられるものが使用できる。これら樹脂フィルム基材２は用途に応じて上記材料から適宜選択される。必要に応じて二軸延伸樹脂フィルムを使用できる。これらの樹脂フィルム基材２には、例えば帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤３着色剤など公知の添加剤を加えることができ、必要に応じて適宜添加される。
　【００２２】さらに樹脂フィルム基材２の有機ケイ素化合物からなる塗膜層３の形成面をコロナ放電処理、プラズマ活性化処理、グロー放電処理、逆スパッタ処理、又は粗面化処理などの公知の表面活性化処理を行ない、またオフライン又はインラインでエチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系又はポリエステル系などのコーティング剤を塗布し、蒸着薄膜の密着性を向上させることも可能である。
　【００２３】樹脂フィルム基材２の厚さは、とくに制限はされないが、蒸着工程の加工適性などを考慮すると、２〜４００μｍの範囲が好ましい。
　【００２４】有機ケイ素化合物からなる塗膜層３、５は、下記の化学式（Ｉ）、
Ｒ−Ｓｉ−（ＯＲ’）３　　　　　　　　　（Ｉ）
（ただし、Ｒは有機官能基であり、Ｒ’は加水分解性基である。）で表される有機ケイ素化合物からなり、有機官能基（Ｒ）は−ＣＨ＝
ＣＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
ＮＨ２
は
　【００２５】有機ケイ素化合物からなる塗膜層３の形成方法としては、樹脂フィルムの製造時に塗布するインライン方式、樹脂フィルムの製造とは別工程で塗布するオフライン方式の二つがあるが、インライン方式はオフライン方式に比べ、工程数が少ない、製造工程での塵埃の混入が少ないという利点と、樹脂フィルムと有機ケイ素化合物からなる塗膜層との界面間の密着力が大きいため、密着性を考えると好ましい方式と言える。
　【００２６】インライン方式では、樹脂フィルムのポリマーを熱溶融し、そのまま押し出し成形した未延伸状態の樹脂、或いは縦方向又は横方向の何れか一軸方向に延伸した状態の結晶配向が完了する前の樹脂フィルム表面に、上記の有機ケイ素化合物の水系溶液（水溶液、水とアルコールの混合溶液、有機ケイ素化合物の加水分解物、熱分解物も含む）を塗布する。　なお、塗布前にコロナ放電処理、プラズマ活性化処理等の表面処理を行なってもよい。　塗布された樹脂フィルムは二軸延伸、熱固定の工程を経て結晶配向を完了する。有機ケイ素化合物からなる塗膜層の乾燥は、樹脂フィルムの熱固定の工程を利用するが、その直前乾燥工程を設けることが好ましい。
　【００２７】オフライン方式は、公知の塗工方法を用いることができる。例えばロールコート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、グラビアコート法、含浸法、カーテンコート法などがある。
　【００２８】有機ケイ素化合物からなる塗膜層３、５の層厚は、とくに制限されるものではないが、乾燥層厚が０．０１〜５０μｍの範囲であればよく、反応速度や乾燥速度を短縮するためには０．０５〜５μｍの範囲が好ましい。
　【００２９】蒸着薄膜層４には、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｆｅなどの金属やこれらの金属の酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物など、例えばＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＭｇＯ、ＳｎＯ２、ＺｎＳ、ＭｇＦ２が用いられる。形成方法は真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリングなどの蒸着法を用いることができるが、真空蒸着、イオンプレーティングは生産効率の点から好ましい。蒸着装置の加熱方法は抵抗加熱、エレクトロンビーム（ＥＢ）加熱、高周波誘導加熱などが用いられる。
　【００３０】蒸着装置は内部を２×１０−６〜８×１０−３Ｔｏｒｒ、好ましくは８×１０−６〜８×１０−５まで真空に引いた後、蒸着処理を行なう。蒸着された金属薄膜は酸素、水蒸気に対してバリアー性を示すが、バリアー性は薄膜の材質、膜厚により異なる。とくにアルミニウム、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等はバリアー性に優れる。
　【００３１】蒸着薄膜層４の膜厚は５０〜５０００Åの範囲でよく、好ましくは３００〜１５００Åの範囲である。これは膜厚が５０Åを下回ると、蒸着薄膜に抜けが生じ、バリアー性にバラツキが発生し易く、また５０００Åを越えると、蒸着薄膜のフレキシビリティーが損なわれ、クラック、ピンホールが発生し易くなり、いずれもバリアー性が低下する。なお、蒸着薄膜は。単一成分の単層に限られることなく、上記蒸着材料の混合物からなる蒸着薄膜であっても、また２層以上の多層としてもよい。
　【００３２】有機ケイ素化合物からなる塗膜層５は、上記の有機ケイ素化合物からなる塗膜層３と同一であり、形成方法は、オフライン方式により形成される。
　【００３３】さらに図２に示す本発明のバリアー性積層体１０の最外層に位置する有機ケイ素化合物からなる塗膜層５に接着層７を介して熱接着性樹脂層８が積層される。この熱接着性樹脂層８により袋、容器など包装容器などの加工される。
　【００３４】熱接着性樹脂層８は加熱加圧により熱融着し易い樹脂層であり、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンプロピレン共重合体などのポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド、アイオノマー、エチレン酢酸ビニル共重合体、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステルなどのアクリル樹脂、ポリビニルアセタール、フェノール樹脂、変性エポキシ樹脂及びこれらの共重合体や混合物などが挙げられるが、上記条件を満たすものであれば、これらに限定されるものではない。とくにポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド、エチレン酢酸ビニル共重合体などが好ましい。
　【００３５】熱接着性樹脂層８の層厚は、用途により異なるが、１〜２００μｍの範囲であり、好ましくは１０〜１００μｍの範囲である。形成方法はドライラミネート加工法、無溶剤型ラミネート加工法、押し出しラミネート加工法など一般的な加工法を用いることができる。なお、熱接着性樹脂層８の融着温度は有機ケイ素化合物からなる塗膜層の耐熱性を考慮すると、２００℃以下であり、８０〜１８０℃が好ましい。
　【００３６】以下、本発明の具体的な実施例を挙げ、詳細に説明する。
＜実施例１＞結晶融解熱９．７ｃａｌ／ｇのポリエチレンテレフタレートを押し出し装置でダイから押し出し、４０℃に冷却したドラム上で静電印加しつつ、膜厚１５３μｍの未延伸樹脂フィルムを作製した。このフィルムを９５℃に加熱した金属ロール上で流れ方向に３．６５倍延伸した後、有機ケイ素化合物としてＮ−（β−アミノエチル）−γ−アミノ−プロピルメトキシシランの固形分２ｗｔ％の水溶液をグラビアコート法によりフィルム片面に塗布し、９５℃の予熱ゾーンを経て、１０２℃で幅方向に３．８５倍延伸した。さらに２００〜２３０℃で、４．０秒間熱処理し、フィルムの片面に膜厚０．２μｍの有機ケイ素化合物からなる塗膜層が形成された１２μｍの二軸延伸エチレンテレフタレートフィルムを作製した。
　【００３７】この二軸延伸エチレンテレフタレートフィルムを巻取り、ＥＢ加熱真空蒸着装置内に装填し、真空度を１．５×１０−５Ｔｏｒｒとした後、有機ケイ素化合物からなる塗膜層面に金属アルミニウム（純度９９．９９％）をＥＢ−Ｐｏｗｅｒが３０ｋＶ−２Ａ、巻取り速度１．５ｍ／ｓｅｃ．、圧力が２×１０−４ｍｂａｒで膜厚１０００Åに蒸着し、アルミニウム蒸着層を形成した。
　【００３８】アルミニウム蒸着層上に、巻取り速度４０ｍ／ｍｉｎ．、乾燥条件が９５〜１１０℃、塗布量が０．１５ｇ／ｍ２の条件でＮ−（β−アミノエチル）−γ−アミノ−プロピルメトキシシラン（有機ケイ素化合物）の固形分２ｗｔ％の水溶液をグラビアコート法により塗布、乾燥して有機ケイ素化合物からなる塗膜層が形成された本発明のバリアー性積層体を作製した。
　【００３９】さらに、作製したバリアー性積層体の最外層の有機ケイ素化合物からなる塗膜層面にドライラミネート加工法により熱接着性樹脂層として膜厚３０μｍの未延伸ポリプロピレンフィルムを貼り合わせ、実施例１のバリアー性積層体を作製した。
　【００４０】＜実施例２＞有機ケイ素化合物としてγ−アミノプロピルトリエトキシシランの固形分２ｗｔ％の水溶液とした以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。
　【００４１】＜実施例３＞蒸着材料を一酸化ケイ素（純度９９．９９％）、蒸着条件をＥＢ−Ｐｏｗｅｒを３０ｋＶ−０．７５Ａとした以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。
　【００４２】＜実施例４＞蒸着材料を酸化アルミニウム（純度９９．９９％）、蒸着条件をＥＢ−Ｐｏｗｅｒを３０ｋＶ−０．７５Ａとした以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。
　【００４３】＜比較例１＞有機ケイ素化合物の水溶液の代わりにポリウレタン系コート剤の固形分２０％の溶液とした以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。
　【００４４】＜比較例２＞有機ケイ素化合物の水溶液の代わりにニトロセルロース系コート剤の固形分２０％の溶液とした以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。
　【００４５】＜比較例３＞蒸着材料を一酸化ケイ素（純度９９．９９％）、蒸着条件をＥＢ−Ｐｏｗｅｒを３０ｋＶ−０．７５Ａとした以外は、比較例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。
　【００４６】＜比較例４＞巻取りＥＢ加熱真空蒸着装置で膜厚１２μｍのプレーンな二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に、直接アルミニウム蒸着を行い、さらに実施例１と同様に熱接着性樹脂層として膜厚３０μｍの未延伸ポリプロピレンフィルムをラミネート加工し、バリアー性積層体を作製した。
　【００４７】実施例１〜実施例４と比較例１〜比較例４のバリアー性積層体を以下のように比較評価した。バリアー特性を示す＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００１＞酸素透過率、＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００２＞透湿度と、蒸着薄膜層と隣接層との密着性を示す＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００３＞剥離強度とをそれぞれ測定し、その結果を表１に示す。なお、測定条件は、＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００１＞酸素透過率：モコン法（ＭＯＣＯＮ−ＯＸＴＲＡＮ−１０／５０Ａ）設定２５度−１００％ＲＨ＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００２＞透湿度：モコン法（ＭＯＣＯＮ−ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ６）設定４０度−１００％ＲＨ＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００３＞剥離強度：インストロン型引張試験機試料１５ｍｍ幅、剥離角度９０度、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎである。
　【００４８】
　【表１】
　【００４９】表１からは、酸素、水蒸気に対するバリアー性は、実施例１、実施例２、実施例３、実施例４及び比較例４は良好な結果が得られたが、比較例１、比較例２、比較例３は不良であった。蒸着薄膜層と隣接層との密着性を示す剥離強度は、実施例１、実施例２、実施例３、実施例４及び比較例１、比較例２、比較例３は良好な結果が得られたが、比較例４はやや不良であった。
　【００５０】
　【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、　樹脂フィルム上に、有機ケイ素化合物からなる塗膜層を設けることにより、樹脂フィルムの樹脂と結合力が強く、密着性が高く、また有機ケイ素化合物からなる塗膜層と強固な結合が形成され有機ケイ素化合物からなる塗膜層と蒸着薄膜層との密着性が向上する。さらに有機ケイ素化合物からなる塗膜層が耐熱性、熱寸法安定性、硬度に優れることから、有機ケイ素化合物からなる塗膜層により蒸着薄膜層を挟む構成とすることにより、蒸着薄膜層を保護することができる。これにより積層体の製造時、後加工時、使用時における積層体への応力付加、経時劣化などによる蒸着薄膜のクラック、ピンホールの発生などの劣化が生じにくく、当初の優れた酸素、水蒸気などのガスに対するバリアー性を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明のバリアー性積層体の一実施例を示す断面図である。
　【図２】本発明のバリアー性積層体の他の実施例を示す断面図である。
　【符号の説明】
１、９、１０、１１　　　　バリアー性積層体
２　　　　　　　　　　　　樹脂フィルム基材
３　　　　　　　　　　　　有機ケイ素化合物からなる塗膜層
４　　　　　　　　　　　　蒸着薄膜層
５　　　　　　　　　　　　有機ケイ素化合物からなる塗膜層
７　　　　　　　　　　　　接着層
８　　　　　　　　　　　　熱接着性樹脂層