(57)【要約】  可動部１０８の動きに基づいて電気信号を出力するマイクロフォン１００にテスト音波を入力するスピーカ１４と、テスト音波に応答した可動部１０８の動きにより出力される電気信号を検出する検出部１３と、を備えたマイクロフォンの検査装置１において、密閉した有響空間であって、スピーカ１４及びマイクロフォン１００が配置されるキャビティ３０と、マイクロフォン１００から出力される電気信号が所定値になるようにスピーカ１４から出力されるテスト音波を調整する制御部１５と、を備える。これにより、マイクロフォンの検査装置を小型化する。
2010026724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部の動きに基づいて電気信号を出力するマイクロフォンにテスト音波を入力するスピーカと、前記テスト音波に応答した前記可動部の動きにより出力される電気信号を検出する検出部とを備えたマイクロフォンの検査装置において、
密閉した有響空間であって、前記スピーカ及び前記マイクロフォンが配置されるキャビティを備えることを特徴とするマイクロフォンの検査装置。
【請求項２】
開口部が設けられた中空体と、
前記開口部を閉塞する蓋体と、
前記中空体及び前記蓋体を相対的に近接離反させる移動機構とを備え、
前記移動機構が、前記中空体及び前記蓋体を相対的に近接させて前記開口部を前記蓋体で閉塞し、前記中空体の内部に前記キャビティを形成することを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項３】
前記スピーカは前記中空体に配設され、
前記マイクロフォンは、前記蓋体までの距離が前記テスト音波の半波長の整数倍となる位置を避けて配置されていることを特徴とする請求項２に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項４】
前記蓋体に固定され、前記マイクロフォンを保持するホルダを備え、
前記蓋体が前記開口部を閉塞した状態において、前記ホルダが前記キャビティ内に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項５】
前記移動機構は、前記中空体を移動させることを特徴とする請求項４に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項６】
前記マイクロフォンから前記蓋体までの距離を調整する調整機構を備えることを特徴とする請求項２に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項７】
前記マイクロフォンから出力される電気信号が所定値になるように前記スピーカから出力される前記テスト音波を調整する制御部を備えることを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項８】
前記キャビティ内に配置され、前記テスト音波に応答した可動部の動きに基づいて電気信号を出力する比較マイクロフォンと、前記比較マイクロフォンから出力される電気信号に基づいて前記マイクロフォンから出力される電気信号を校正する校正部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項９】
前記マイクロフォンが、前記テスト音波の入力により前記キャビティ内に発生する定常波の節部を避けた位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１０】
前記キャビティ内で前記マイクロフォンを保持するホルダと、前記マイクロフォンを前記ホルダへ搬送する搬送機構と、前記搬送機構を制御する制御部とを備え、
前記検出部が前記マイクロフォンより出力される電気信号を検出する時に、前記制御部は前記搬送機構を停止させることを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１１】
前記キャビティ内で前記マイクロフォンを保持するホルダと、前記マイクロフォンを前記ホルダに固定させる押さえ機構と、前記押さえ機構を制御する制御部とを備え、
前記押さえ機構が空圧式のアクチュエータを備え、
前記検出部が前記マイクロフォンより出力される電気信号を検出する時に、前記制御部は前記アクチュエータへのエアの供給を中止することを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１２】
前記キャビティ内に配置された前記マイクロフォンに光を照射する照明装置を備えることを特徴とする請求項１に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１３】
前記照明装置が点滅光を前記マイクロフォンに照射することを特徴とする請求項１２に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１４】
前記照明装置が照射する点滅光の周波数が、前記テスト音波の周波数と異なることを特徴とする請求項１３に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１５】
前記マイクロフォンがＭＥＭＳマイクロフォンであることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載のマイクロフォンの検査装置。
【請求項１６】
可動部の動きに基づいて電気信号を出力するマイクロフォンにスピーカから出力されるテスト音波を入力し、前記テスト音波に応答した前記可動部の動きにより出力される電気信号を検出するマイクロフォンの検査方法において、
密閉した有響空間であるキャビティ内に前記スピーカ及び前記マイクロフォンを配置することを特徴とする検査方法。
【請求項１７】
可動部の動きに基づいて電気信号を出力する基準マイクロフォンを前記キャビティ内に配置し、
前記基準マイクロフォンから出力される電気信号が所定値になるように前記テスト音波を調整し、
前記キャビティ内に配置された前記マイクロフォンに前記調整したテスト音波を入力することを特徴とする請求項１６に記載のマイクロフォンの検査方法。
【請求項１８】
前記基準マイクロフォンを配置した位置に前記マイクロフォンを配置することを特徴とする請求項１７に記載のマイクロフォンの検査方法。
【請求項１９】
開口部が設けられた中空体と蓋体とを相対的に近接させて前記開口部を前記蓋体で閉塞し、前記中空体の内部に前記マイクロフォンが配置された前記キャビティを形成し、
前記中空体に前記スピーカを配設し、
前記マイクロフォンから前記蓋体までの距離が前記テスト音波の半波長の整数倍となる位置を避けて、前記マイクロフォンを配置することを特徴とする請求項１６に記載のマイクロフォンの検査方法。
【請求項２０】
可動部の動きに基づいて電気信号を出力する比較マイクロフォンを前記キャビティ内に配置し、
前記マイクロフォン及び前記比較マイクロフォンに前記テスト音波を入力し、
前記比較マイクロフォンから出力される電気信号に基づいて前記マイクロフォンから出力される電気信号を校正することを特徴とする請求項１６に記載のマイクロフォンの検査方法。
【請求項２１】
前記マイクロフォンが、前記テスト音波の入力により前記キャビティ内に発生する定常波の節部を避けた位置に配置されていることを特徴とする請求項１６〜２０のいずれか１項に記載のマイクロフォンの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動部の動きに基づいて電気信号を出力するマイクロフォンの検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、マイクロフォンにスピーカからのテスト音波を入力し、該マイクロフォンから出力される電気信号を検出するマイクロフォンの検査は、テスト音波の反射や残響の影響を回避するため無響空間内で行われている。【０００３】
しかし、無響空間を設けるには、空間内部に吸音材を設けあらゆる音域の音を効率的に吸音する必要があり、例えば、数ｍ3程度の大きさの空間が必要である。そのため、マイクロフォンの検査装置自体が大掛かりな装置となる問題がある。特に、マイクロマシニング技術を用いたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）マイクロフォンを検査する場合、検査対象のマイクロフォンの大きさが数十ｍｍ3程度であるにもかかわらず、検査対象に比べて極めて大きな空間が必要となり、スペース効率が悪いという問題がある。【０００４】
また、検査するための空間が大きいほど、所定音圧のテスト音波を検査対象のマイクロフォンに入力するために必要なスピーカ出力が大きくなる。スピーカ出力が大きくなるとテスト音波に歪みが生じやすくなり、正確に検査できないおそれがある。このようなテスト音波の歪みによる問題は、入力するテスト音波が低音（例えば、数十Ｈｚ以下）であると起こりやすくなる。【０００５】
なお、下記特許文献１には、有響室内にスピーカとマイクロフォンを配置し、スピーカから発生された測定用音響をマイクロフォンで収音することでインパルス応答測定を行う測定方法が開示されている。【０００６】
しかしながら、上記の測定方法において、有響室とは普通の建物内の普通の部屋であるため、外部から有響室内に測定用音響以外の雑音が侵入しやすく正確に測定することができないおそれがある。特に、有響室を小型化すると測定結果が、より一層外部から侵入した雑音の影響を受けやすくなり、検査空間を小型化し得るものでない。また、かかる測定方法は、マイクロフォンにより検出された信号に平滑化処理を施し無響室に相当する信号を求めるため、反射や残響の影響が大きくなる狭小な有響室では測定が困難となり、このような観点からも検査空間を小型化し得るものでない。そのため、下記特許文献１の測定方法は、上記した問題を解決し得るものでない。
【特許文献１】特開２０００−６９５９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、スピーカから出力されるテスト音波をマイクロフォンに入力し、該マイクロフォンから出力される電気信号を検出するマイクロフォンの検査装置を小型化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかるマイクロフォンの検査装置は、可動部の動きに基づいて電気信号を出力するマイクロフォンにテスト音波を入力するスピーカと、前記テスト音波に応答した前記可動部の動きにより出力される電気信号を検出する検出部とを備えたマイクロフォンの検査装置において、密閉した有響空間であって、前記スピーカ及び前記マイクロフォンが配置されるキャビティを備えることを特徴とする。【０００９】
本発明では、スピーカ及びマイクロフォンが配置されるキャビティを有響空間で構成するため、キャビティを小さく設けることができ、マイクロフォンの検査装置を小型化することができる。そのため、スピーカから出力されるテスト音波がキャビティを構成する壁面に吸収されたりキャビティ外部へ漏れ出たりしにくく、マイクロフォンに所定音圧のテスト音波を効率よく入力することができる。また、低音域のテスト音波をマイクロフォンに入力する場合であってもスピーカ出力が過大となりにくく正確に検査することができる。しかも、キャビティは密閉されているため、外部からキャビティ内にテスト音波以外の音信号が侵入しにくくなり、正確に検査することができる。【００１０】
また、本発明にかかるマイクロフォンの検査方法は、可動部の動きに基づいて電気信号を出力するマイクロフォンにスピーカから出力されるテスト音波を入力し、前記テスト音波に応答した前記可動部の動きにより出力される電気信号に基づいて前記マイクロフォンの検査を行う検査方法において、密閉した有響空間であるキャビティ内に前記スピーカ及び検査対象の前記マイクロフォンを配置することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、マイクロフォンの検査装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置を概略的に示す正面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置を概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の装置本体を概略的に示す断面図であって、中空体の開口部を開放した状態を示す。
【図４】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の装置本体を概略的に示す断面図であって、中空体の開口部を蓋体が閉塞した状態を示す。
【図５】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の蓋体の要部を示す平面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図４の要部拡大図である。
【図８】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の制御構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置で検出された周波数特性を例示する図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の動作を説明するフロー図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の蓋体の要部を示す平面図であって、マイク収容部にマイクロフォンを載置した状態を示す。
【図１２】図１１のＢ−Ｂ断面図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置の蓋体の要部を示す平面図であって、マイク収容部に載置されたマイクロフォンを押圧体が押圧した状態を示す。
【図１４】図１３のＣ−Ｃ断面図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態にかかる検査装置において検査対象とするＭＥＭＳマイクロフォンの断面図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態にかかる検査装置の装置本体を概略的に示す断面図である。
【図１７】本発明の第２の実施形態にかかる検査装置で検出された周波数特性を例示する図であって、点滅光の周波数に対応したピークが存在する周波数特性を示す。
【図１８】本発明の第３の実施形態にかかる検査装置の装置本体を概略的に示す断面図である。
【図１９】本発明の第４の実施形態にかかる検査装置のブロック図である。
【図２０】本発明の第４の実施形態にかかる検査装置の動作を説明するフロー図である。
【符号の説明】
【００１３】
１０…検査装置
１２…中空体
１３…検出部
１４…スピーカ
１５…制御部
１６…蓋体
１８…振動板
２０…スピーカボックス
３０…キャビティ
３２…ホルダ
３４…マイク収容部
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［第１の実施形態］
以下、本発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
本実施形態にかかるマイクロフォンの検査装置１は、所定音圧に設定された１又は複数の所定周波数の音信号をテスト音波として検査対象のマイクロフォンに入力し、該マイクロフォンから出力される電気信号を検出するものである。本実施形態では、一例として、１Ｐａの音圧に設定した７０Ｈｚ、１０００Ｈｚ、５０００Ｈｚの３種類の周波数の音信号をテスト音波として入力する場合について説明する。
【００１６】
なお、本実施形態では、検査対象としてＭＥＭＳマイクロフォンについて説明するが、本発明は、コンデンサーマイクロフォンなどＭＥＭＳマイクロフォン以外の各種マイクロフォンの検査にも適用することができる。
【００１７】
本実施形態において検査対象とするＭＥＭＳマイクロフォン（以下、マイクという）１００は、図１５に例示するように、基板１０２と、ＭＥＭＳチップ１０４と、シールケース１０６と、を有している。基板１０２は、ＭＥＭＳチップ１０４を実装するためのプリント基板であって、実装面の縦×横の寸法が、例えば、４ｍｍ×５ｍｍ程度の大きさに設けられている。ＭＥＭＳチップ１０４は可動部１０８の動きにより捉えた音信号を電気信号に変換するものであり、ＭＥＭＳチップ１０４より出力される電気信号を増幅する増幅回路１１０とワイヤ１１２により電気的に接続されている。ＭＥＭＳチップ１０４と増幅回路１１０とは高さが例えば１ｍｍ程度のシールケース１０６により覆われており、シールケース１０６における可動部１０８と対向する位置に音孔１１４が設けられている。
【００１８】
また、基板１０２の下面、すなわちＭＥＭＳチップ１０４を実装した面との対向面には、複数の電極１１６が設けられており、これらの電極より電源電圧や接地電圧（アース）を入力するとともに、マイク１００からの電気信号を出力する。
【００１９】
検査装置１は、図１〜図４に示すように、第１筐体２に収納された搬送機構８及び装置本体１０と、第２筐体３に収納された検出部１３及び制御部１５とを備える。第１筐体２と第２筐体とは別個の筐体である。第１筐体２に収納された搬送機構８及び装置本体１０は、第２筐体３に収納された検出部１３及び制御部１５と信号線４によって電気的に連結されている。
【００２０】
また、第１筐体２には、第１検査対象のマイク１００を多数個収容したトレイ６と、後述する基準マイクロフォン（以下、基準マイクという）１２０を収容した基準マイク用トレイ７とが収納されている。
【００２１】
搬送機構８は、トレイ６及び基準マイク用トレイ７に収容された検査対象のマイク１００及び基準マイク１２０を装置本体１０へ搬送するとともに、測定し終えたマイク１００及び基準マイク１２０を装置本体１０よりトレイ６及び基準マイク用トレイ７に戻す。このような搬送機構８は、特に限定されず、公知の搬送機構を採用することができる。
【００２２】
装置本体１０は、図３に示すように、円柱状の中空部１１を有する中空体１２と、中空体１２の一方の開口部と対向して配置された蓋体１６と、中空体１２に設けたスピーカ１４とを備える。検出部１３は、装置本体１０に収納されたマイク１００から信号線４を介して入力される電気信号を検出する。制御部１５は、信号線４を介して制御信号を搬送機構８及び装置本体１０に入力してこれらを制御する。また、制御部１５は、検出部１３で検出した電気信号に基づいて後述する演算処理を実行し、演算結果を表示装置５に表示させる。
【００２３】
中空体１２は、鋳鉄やステンレスやアルミニウム等の金属材からなる部材であって、一方の開口部１２ａの周縁に遮音パッキン２２が配設され、他方の開口部１２ｂにスピーカ１４が設けられている。詳細には、スピーカ１４は、振動板１８が中空体１２の他方の開口部１２ｂと対向し、かつ、振動板１８の中心軸が中空部１１の中心軸と一致するように配置されている。スピーカ１４はスピーカボックス２０で覆われている。このスピーカボックス２０が中空体１２と連結固定されることで中空体１２の他方の開口部１２ｂを閉塞しつつ、中空体１２の端部にスピーカ１４を設けている。
【００２４】
ここで、本実施形態において、中空部１１の寸法の一例を挙げると、中空部１１の直径を５０ｍｍ、中空部１１の長さ、すなわち、中空体１２の一方の開口部１２ａから他方の開口部１２ｂまでの長さを８０ｍｍに設定することができる。
【００２５】
中空体１２は、テーブル２４上に配置されたレール２６に摺動可能に取り付けられたスライダ２８と固定されている。レール２６は中空部１１の軸心方向に沿って設けられている。移動機構２９よってスライダ２８がレール２６上を摺動することで、スライダ２８に固定された中空体１２は蓋体１６に近接離反するように移動する。移動機構２９としては、例えば、電動式又は空圧式のリニアアクチュエータを用いることができる。移動機構２９に電動式のリニアアクチュエータを用いる場合、リニアアクチュエータの駆動モータをパルスモータとすることが好ましい。
【００２６】
蓋体１６は、鋳鉄やステンレスやアルミニウムなどの金属材からなり、中空体１２の開口部１２ａと対向した位置にテーブル２４から立設された板状の部材である。中空体１２が蓋体１６に接近すると、図４に示すように、蓋体１６は遮音パッキン２２と当接し遮音パッキン２２を圧縮して中空体１２の開口部１２ａを閉塞する。このように蓋体１６が中空体１２の開口部１２ａを閉塞すると、中空体１２とスピーカボックス２０と蓋体１６とにより密閉したキャビティ３０が形成される。つまり、移動機構２９が、中空体１２を蓋体１６に対して移動させ、中空体１２の開口部１２ａを蓋体１６で閉塞し、中空体１２の内部に密閉したキャビティ３０を形成する。
【００２７】
なお、中空体１２及び蓋体１６を構成する材料は、本実施形態のような鋳鉄やステンレスやアルミニウムなどの金属材以外にも、セラミックスコンクリートや、合成樹脂などの樹脂材や、MDF (medium density fiberboard) などの木質繊維を原料とする成型体などであってもよい。また、中空体１２の外周に遮音材を配設することができ、これにより、外部からキャビティ内にテスト音波以外の音信号がさらに侵入しにくくなる。
【００２８】
中空体１２の内壁及び蓋体１６における中空体１２との対向面１７にはウレタンやグラスウールなどの吸音材が配設されておらず、中空体１２及び蓋体１６を構成する金属材がキャビティ３０に露出している。そのため、キャビティ３０は中空体１２の内壁及び蓋体１６においてスピーカ１４から出力された音波の反射を許容する有響空間をなしている。
【００２９】
蓋体１６の対向面１７には、検査対象のマイク１００を保持するためのホルダ３２が固定されており、蓋体１６が中空体１２の開口部１２ａを閉塞した状態でキャビティ３０内にホルダ３２が位置する（図４参照）。
【００３０】
このホルダ３２には、図５及び図６に示すように、下方に陥没し検査対象のマイク１００を載置するマイク収容部３４と、中空体側端部からマイク収容部３４まで延びるスリット３６が設けられている。スリット３６は、スピーカ１４から出力された音波をマイク収容部３４に載置されたマイク１００の音孔１１４へ案内する。これにより、マイク収容部３４を区画する周壁が障害となりにくくなり、効率よくスピーカ１４からの音波をマイク１００に入力することができる。
【００３１】
マイク収容部３４には、マイク１００の下面に設けられた電極１１６と接触する複数のプローブ３５が設けられ、マイク１００に対して電源電圧や接地電圧（アース）を供給するとともに、マイク１００から出力される電気信号を検出部１３へ導出する。
【００３２】
マイク収容部３４は、スピーカ１４から出力されるテスト音波によりキャビティ３０内に発生する定常波の節部を避けてマイク１００の音孔１１４が配置されるように、ホルダ３２の所定位置に配設されることが好ましい。
【００３３】
詳細には、キャビティ３０はスピーカ１４から出力された音波の反射を許容する有響空間をなしている。そのため、スピーカ１４から出力されるテスト音波が理想的な平面波とすると、スピーカ１４からのテスト音波（入力波W１）と、蓋体１６で反射した反射波Ｗ２とが合成されることにより定常波Ｗ３が発生する場合がある。このような場合、蓋体１６における反射は固定端反射となり、蓋体１６の位置で反射波Ｗ２の位相が入力波Ｗ１の位相より１／２周期ずれるため、蓋体１６からの距離Ｌがテスト音波の半波長λ／２の整数倍となる位置に定常波Ｗ３の節部が発生する（図７参照）。節部では入力波Ｗ１が反射波Ｗ２と打ち消し合ってテスト音波をマイク１００に適切に入力できないため、節部を避けてマイク１００の音孔１１４を配置することが好ましい。なお、周波数がｆ（Ｈｚ）の音信号の波長は、ｃ／ｆ（ただし、ｃは音速）となるので、音速ｃが３４０ｍ／ｓｅｃの場合、本実施形態のような周波数が７０Ｈｚ、１０００Ｈｚ、５０００Ｈｚの各音信号の波長λは、約４８５７ｍｍ、約３４０ｍｍ、約６８ｍｍとなる。
【００３４】
本実施形態のようにキャビティ３０を構成する中空部１１の長さが、中空部１１の直径に対して十分に大きいといえない場合、スピーカ１４から中空部１１内に入力されたテスト音波が理想的な平面波ではないため、キャビティ３０内に完全な定常波が発生しにくい。しかしながら、蓋体１６からの距離がテスト音波の半波長λ／２の整数倍となる位置では、入力波の一部が反射波と打ち消し合って、テスト音波が適切にマイク１００に入力されないおそれがあるため、このような位置を避けてマイク１００の音孔１１４を配置することが好ましい。
【００３５】
また、ホルダ３２には、検査対象のマイク１００と同種のＭＥＭＳマイクロフォンからなる比較マイクロフォン（比較マイクという）３８が設けられ、比較マイク３８の音孔３９に対応して中空体側端部から比較マイク３８の上方位置まで延びるスリット４０が設けられている。検査対象のマイク１００と同様、ホルダ３２に設けられた不図示のプローブが、比較マイク３８の電極（不図示）に電源電圧や接地電圧（アース）を供給するとともに、比較マイク３８から出力される電気信号を検出部１３へ導出する。
【００３６】
なお、マイク収容部３４に載置された検査対象のマイク１００の音孔１１４の位置が、中空部１１の中心軸に対して比較マイク３８の音孔３９の位置と対称となるように、マイク収容部３４を設けることが好ましい。このようにマイク収容部３４を設けることで、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に入力されるスピーカ１４からの音波をほぼ等しく設定することができる。また、比較マイク３８は、コンデンサーマイクロフォンなど検査対象のマイク１００と異なる種類のマイクであってもよい。
【００３７】
蓋体１６には、押さえ機構４２がホルダ３２に近接して設けられている。押さえ機構４２は、蓋体１６を貫通し対向面１７から中空体１２に向けて立設する回動軸４４と、回動軸４４の中空体側端部に固定され回動軸４４の径方向外方へ延びる回動体４６と、回動軌道上にマイク収容部３４が存在するように回動体４６に固定された押圧体４８と、回動軸４４を回動させる駆動部５０と、を備える。駆動部５０が回動軸４４を所定方向に回動させることで、回動体４６に固定された押圧体４８がマイク収容部３４に載置されたマイク１００を上方より押さえ付けてホルダ３２に固定するとともに、電極１１６をプローブ３５と確実に接触させる。上記の駆動部５０としては、例えば、電動式又は空圧式のロータリーアクチュエータなどを用いることができる。
【００３８】
ホルダ３２及び押さえ機構４２は、マイクロメーターなどの位置調整部３７と接続され、蓋体１６に対して中空部１１の軸心方向に沿って移動可能に設けられている。これにより、蓋体１６からマイク収容部３４までの距離が調整されるとともに、押さえ機構４２がホルダ３２の移動に同期して中空部１１の軸心方向に移動するようになっている。このように、蓋体１６からマイク収容部３４までの距離を調整可能とすることで、どのような波長のテスト音波であっても、蓋体１６の対向面１７からマイク収容部３４に載置されたマイク１００の音孔１１４までの距離がテスト音波の半波長λ／２の整数倍となるのを避けて、キャビティ３０内にマイク１００を配置することができる。
【００３９】
検出部１３には、マイク収容部３４に載置されたマイク１００より出力された電気信号が信号線４を介して入力され、この電気信号からマイク１００で測定された周波数特性を検出する。また、検出部１３は、比較マイク３８より出力された電気信号が信号線４を介して入力され、この電気信号から比較マイク３８で測定された周波数特性を検出する。そして、検出部１３は、検出したマイク１００及び比較マイク３８の周波数特性に関する周波数特性データを制御部１５に入力する。
【００４０】
本実施形態のテスト音波は上記のように１Ｐａの音圧に設定した７０Ｈｚ、１０００Ｈｚ、５０００Ｈｚの３種類の周波数の音信号であるので、検出部１３は、マイク収容部３４に載置されたマイク１００及び比較マイク３８から電気信号が入力されると、図９に例示するように７０Ｈｚ、１０００Ｈｚ、５０００Ｈｚの３種類の周波数の音信号に対応した３種類のピークＰ１，Ｐ２，Ｐ３を含んだ周波数特性を検出する。さらに、検出部１３は、各ピークＰ１，Ｐ２，Ｐ３の周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３と音圧Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３を検出し、検出された周波数と音圧とを周波数特性データとして制御部１５へ出力する。
【００４１】
制御部１５は、信号線４を介して各種制御信号を装置本体１０に入力して装置本体１０を制御する。具体的には、図８に示すように、制御部１５は、外部の記憶部５２に記憶された各種プログラムに従って搬送機構８、移動機構２９、駆動部５０、及び信号発生部５４を駆動制御し、マイク収容部３４に載置されたマイク１００及び比較マイク３８に電源電圧を供給する。信号発生部５４は、制御部１５より指令を受けて、スピーカ１４にスピーカ駆動信号を入力しテスト音波を出力させる。
【００４２】
また、制御部１５は、検出部１３から入力された周波数特性データのうち、マイク収容部３４に載置されたマイク１００に関する周波数特性データに基づいて、信号発生部５４から出力されるスピーカ１４を駆動するためのスピーカ駆動信号を調整するとともに、比較マイク３８に関する周波数特性データに基づいて、マイク１００に関する周波数特性データを校正する校正部としても機能する。
【００４３】
そして、制御部１５は、校正されたマイク１００に関する周波数特性データや、校正される前のマイク１００に関する周波数特性データや、比較マイク３８に関する周波数特性データを外部の記憶部５２及び表示装置５に出力し、これらのデータを記憶及び表示させる。
【００４４】
次に、このような検査装置１を用いて検査対象となるマイク１００を検査する方法について図面を参照して説明する。
【００４５】
図１０に示すように、まず、中空体１２が蓋体１６より離反した状態（図３参照）において、搬送機構８が、基準マイク用トレイ７に収容された基準マイク１２０を装置本体１０へ搬送し、マイク収容部３４に載置する（ステップＳ１）。この時、押圧体４８は、図１１及び図１２に示すようにホルダ３２の上方位置に待機している。基準マイク１２０は、検査対象のマイク１００と同種のＭＥＭＳマイクロフォンからなり、周波数特性が既知のマイクロフォンである。なお、基準マイク１２０は、コンデンサーマイクロフォンなど検査対象のマイク１００と異なる種類のマイクであってもよい。
【００４６】
次いで、制御部１５が駆動部５０を制御して回動軸４４を所定方向に回動させ、図１１及び図１２に示すようにホルダ３２の上方位置に待機する押圧体４８が、マイク収容部３４に載置された基準マイク１２０を上方から押さえ付け（図１３及び図１４参照）、基準マイク１２０の電極をプローブ３５と確実に接触させる（ステップＳ２）。
【００４７】
次いで、制御部１５が移動機構２９を動作させ中空体１２に設けた遮音パッキン２２を蓋体１６に当接させることで、図４に示すように中空体１２の開口部１２ａを閉塞する（ステップＳ３）。
【００４８】
次いで、制御部１５が基準マイク１２０及び比較マイク３８に電源電圧を入力し、基準マイク１２０及び比較マイク３８を動作させた後、信号発生部５４よりスピーカ駆動信号をスピーカ１４に入力させ、テスト音波をスピーカ１４より出力させる（ステップＳ４）。
【００４９】
次いで、検出部１３は、テスト音波の入力を受けて基準マイク１２０及び比較マイク３８より出力される電気信号を検出する。検出部１３は、検出した電気信号より基準マイク１２０及び比較マイク３８の周波数特性をそれぞれ算出する。制御部１５は、検出部１３からの基準マイク１２０に関する周波数特性が所定値、すなわち、本実施形態の場合、周波数が７０Ｈｚ、１０００Ｈｚ、５０００Ｈｚであって、それぞれの音圧が１Ｐａとなるように、信号発生部５４から出力されるスピーカ駆動信号を調整する。そして、基準マイク１２０の周波数特性データが所定値となり、スピーカ駆動信号の調整が完了すると、制御部１５は調整されたスピーカ駆動信号を記憶部５２に記憶させるとともに、その時の比較マイク３８の周波数特性、すなわち、テスト音波に対応して検出された３種類のピークの周波数ｆｒｉ１，ｆｒｉ２，ｆｒｉ３と音圧Ｍｒｉ１，Ｍｒｉ２，Ｍｒｉ３を初期周波数特性値として記憶部５２に記憶する（ステップＳ５）。
【００５０】
次いで、制御部１５が、移動機構２９を制御して中空体１２を蓋体１６から離反させ、駆動部５０を制御して回動軸４４を所定方向に回動させることで、押圧体４８による基準マイク１２０の押圧を解除し、図１１及び図１２に示すようにホルダ３２の上方の待機位置に押圧体４８を移動させる（ステップＳ６）。
【００５１】
次いで、搬送機構８が、マイク収容部３４から基準マイク１２０を取り出して基準マイク用トレイ７に戻し、トレイ６より検査対象のマイク１００をマイク収容部３４に載置する（ステップＳ７）。つまり、検査対象のマイク１００は、基準マイク１２０を配置した位置と同じ位置に配置される。
【００５２】
次いで、ステップＳ２と同様、制御部１５が駆動部５０を制御して回動軸４４を所定方向に回動させ押圧体４８によって検査対象のマイク１００を上方から押さえ付ける（ステップＳ８）。
【００５３】
次いで、ステップＳ３と同様、制御部１５が移動機構２９を制御して中空体１２の開口部１２ａを蓋体１６で閉塞する（ステップＳ９）。
【００５４】
次いで、制御部１５は、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に電源電圧を入力し、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８を動作させた後、ステップＳ５で調整したスピーカ駆動信号を信号発生部５４よりスピーカ１４に入力する。これにより、制御部１５は、ステップＳ５において調整したテスト音波と等しい音波を検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に入力する（ステップＳ１０）。
【００５５】
次いで、検出部１３は、テスト音波の入力を受けて検査対象のマイク１００及び比較マイク３８より出力される電気信号を検出する。検出部１３は、検査対象のマイク１００が出力した電気信号より、テスト音波に対応して検出された３種類のピークの周波数ｆｏｊ１，ｆｏｊ２，ｆｏｊ３と音圧Ｍｏｊ１，Ｍｏｊ２，Ｍｏｊ３を検査対象のマイク１００の周波数特性値として算出する。更に、検出部１３は、比較マイク３８が出力した電気信号より、テスト音波に対応して検出された３種類のピークの周波数ｆｒ１，ｆｒ２，ｆｒ３と音圧Ｍｒ１，Ｍｒ２，Ｍｒ３を比較マイク３８の周波数特性値として算出する（ステップＳ１１）。
【００５６】
そして、制御部１５は、記憶部５２に記憶された比較マイク３８の初期周波数特性値と、ステップＳ１１において得られた比較マイク３８の周波数特性値と、に基づいて、ステップＳ１１において得られた検査対象のマイク１００の周波数特性値を校正する。校正された周波数特性値、すなわち、３種類のピークの周波数ｆｃａ１，ｆｃａ２，ｆｃａ３と音圧Ｍｃａ１，Ｍｃａ２，Ｍｃａ３は、例えば、下記式１〜６によって算出することができる（ステップＳ１２）。
【００５７】
ｆｃａ１＝ｆｏj１＋（ｆｒｉ１−ｆｒ１）    式１
ｆｃａ２＝ｆｏj２＋（ｆｒｉ２−ｆｒ２）    式２
ｆｃａ３＝ｆｏj３＋（ｆｒｉ３−ｆｒ３）    式３
Ｍｃａ１＝Ｍｏｊ１×（Ｍｒｉ１／Ｍｒ１）  式４
Ｍｃａ２＝Ｍｏｊ２×（Ｍｒｉ２／Ｍｒ２）  式５
Ｍｃａ３＝Ｍｏｊ３×（Ｍｒｉ３／Ｍｒ３）  式６
次いで、制御部１５は、移動機構２９を制御して中空体１２を蓋体１６から離反させ、駆動部５０を制御して回動軸４４を所定方向に回動させることで、押圧体４８によるマイク１００の押圧を解除し、図１１及び図１２に示すようにホルダ３２の側方上方の待機位置に押圧体４８を移動させる（ステップＳ１３）。
【００５８】
次いで、搬送機構８が、マイク収容部３４から検査が終了した検査対象のマイク１００を取り出し、制御部１５は、次に検査するマイク１００がトレイ６に存在するか否か判断する（ステップＳ１４）。次に検査するマイク１００が存在すればステップＳ１５に進み、次に検査するマイク１００が存在しなければ、検査を終了する。
【００５９】
ステップＳ１５では、搬送機構８が、次の検査対象のマイク１００をマイク収容部３４に載置し、その後、ステップＳ８に戻る。そして、ステップＳ８からステップＳ１５を繰り返すことで、順次、トレイ６に収容された検査対象のマイク１００について周波数特性値を取得してマイクロフォンの検査を行う。
【００６０】
以上のように、本実施形態では、スピーカ１４及びマイク１００が配置されるキャビティ３０を有響空間で構成するため、キャビティ３０を区画する壁面に吸音材を配設する必要がなく、キャビティ３０の容積を小さく設けることが可能となる。そのため、検査装置１を小型化することができるとともに、スピーカ１４から出力されるテスト音波を効率よくマイク１００に入力することができ、低音域のテスト音波をマイク１００に入力する場合であってもスピーカ出力が過大となりにくく正確に検査することができる。
【００６１】
また、キャビティ３０が密閉されているため、外部からキャビティ内にテスト音波以外の音信号が侵入しにくくなり、正確に検査することができる。
【００６２】
しかも、キャビティ３０内部に吸音材を配設すると、吸音材の経年変化などによってキャビティ３０内の音響特性が変化しやすくなるが、本実施形態では金属材がキャビティ３０内部に露出しているため、キャビティ３０内の音響特性が変化しにくく、長期間にわたって安定して検査を行うことができる。
【００６３】
また、本実施形態では、マイク１００は、蓋体１６の対向面１７から音孔１１４までの距離が、テスト音波の半波長λ／２の整数倍となるのを避けてキャビティ３０内に配置されているため、スピーカ１４より出力されたテスト音波の一部又は全部が、蓋体１６の対向面１７で反射した反射波によって打ち消し合うことが無く、マイク１００に効率よくテスト音波を入力することができる。
【００６４】
また、本実施形態では、蓋体１６の対向面１７にマイク１００を保持するホルダ３２が固定されているので、蓋体１６が中空体１２の開口部１２ａを閉塞するとキャビティ３０内にマイク１００を配置することができ、簡便な構成によって装置本体１０を構成することができる。
【００６５】
また、本実施形態では、マイク１００を保持するホルダ３２が、テーブル２４に固定された蓋体１６に固定されており、中空体１２が移動機構２９によって移動して中空体１２の開口部１２ａを蓋体１６で閉塞する。そのため、マイク１００がマイク収容部３４に載置されると検査が終了するまでマイク１００が移動することが無く、マイク１００の電極１１６とプローブ３５との接触不良などが起こりにくくなり、信頼性の高い検査結果が得られる。
【００６６】
また、マイク収容部３４に配置した基準マイク１２０から得られる周波数特性値が所定音圧及び所定周波数になるように、制御部１５が信号発生部５４から出力するスピーカ駆動信号を調整する。そのため、検査対象のマイク１００を配置する位置において所定音圧及び所定周波数のテスト音波が生じるようにスピーカ１４からの出力を調整することができ、正確に検査を行うことができる。しかも、基準マイク１２０をマイク収容部３４に配置し検査対象のマイク１００を配置する位置と同じ位置において、所定音圧及び所定周波数のテスト音波が生じるようにスピーカからの出力を調整することができ、マイクの検査を正確に行うことができる。
【００６７】
さらに、ホルダ３２にマイク収容部３４を１箇所設け、１回の測定でキャビティ３０内に１個の検査対象のマイク１００を配置し検査するため、複数個のマイク１００を検査する場合であっても、各マイク１００をキャビティ３０内の同じ位置に配置して検査することができる。そのため、テスト音波の音圧などがキャビティ３０内の位置によって異なっていたとしても、各検査対象のマイク１００にほぼ等しいテスト音波を入力することができ、複数個のマイク１００を検査する場合であっても信頼性の高い検査結果が得られる。
【００６８】
また、キャビティ３０内には、検査対象のマイク１００だけでなく比較マイク３８が配設されている。そのため、複数個のマイク１００を順次検査する場合に気圧変化や温度変化などの外乱が生じても、比較マイク３８から得られる周波数特性値に基づいて検査対象のマイク１００から得られる周波数特性値を校正することができ、複数個のマイクロフォンを順次検査する場合であっても信頼性の高い検査結果が得られる。
【００６９】
また、本実施形態では、検出部１３や制御部１５が収納された第２筐体３と別個の筐体にマイク１００の検査を行う装置本体１０が収納されている。そのため、検出部１３や制御部１５から発生する騒音や振動が装置本体１０に伝わりにくくなり、信頼性の高い検査結果が得られる。
【００７０】
なお、本実施形態では、ホルダ３２にマイク収容部３４を１箇所設け、１回の測定でキャビティ３０内に１個の検査対象のマイク１００を配置し検査するが、例えばホルダ３２に複数個のマイク収容部３４を設け、１回の測定でキャビティ３０内に複数個の検査対象のマイク１００を配置し検査してもよい。このような場合、検査効率を向上させることができる。
【００７１】
また、図１０におけるステップＳ１〜ステップＳ６までの工程、すなわち、基準マイク１２０をマイク収容部３４に載置して行うスピーカ駆動信号の調整は、所定個数のマイクを検査する毎に、あるいは、所定時間経過毎に、行うことができる。
【００７２】
また、本発明は、蓋体１６が中空体１２の一端に開口する開口部を閉塞することで密閉したキャビティ３０を形成する場合に限定されるものでなく、例えば、中空体１２の周面に検査対象のマイク１００を出し入れする開口部を設け、該開口部を蓋体が閉塞することで、密閉したキャビティ３０を形成するものや、中空体１２に換えて箱体の内部に密閉したキャビティ３０を形成することもできる。
【００７３】
さらにまた、本実施形態では、移動機構２９が中空体１２を移動させることでテーブル２４に固定された蓋体１６が中空体１２の開口部を閉塞するように構成したが、本発明はこれに限定されず、中空体１２がテーブル２４に固定され、蓋体１６がレール２６に摺動可能に取り付けられたスライダ２８に固定され、蓋体１６がレール２６上を移動することでテーブル２４に固定された中空体１２の開口部１２ａを閉塞するように構成してもよい。
【００７４】
また、本実施形態の検査装置１では、スピーカ１４から音が出力されていない状態で検査対象のマイク１００より出力される電気信号を検出することで、検査対象のマイク１００のＳ／Ｎ比を算出してもよい。
【００７５】
すなわち、蓋体１６が中空体１２の開口部１２ａを閉塞し、密閉したキャビティ３０が形成されている状態、言い換えれば、ステップＳ９において中空体１２の開口部１２ａが閉塞された後であって、ステップＳ１３において中空体１２を蓋体１６から離反させる前に、制御部１５が、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に電源電圧を入力し、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８を動作させる。スピーカ１４よりテスト音波を出力していない状態で、検出部１３が検査対象のマイク１００より出力される電気信号を検出し、検出結果を制御部１５は記憶部５２に記憶させる。そして、スピーカ１４から音が出力されていない状態で検査対象のマイク１００より出力される電気信号と、スピーカ１４からテスト音波が出力されている状態で検査対象のマイク１００より出力される電気信号とに基づいて、制御部１５はＳ／Ｎ比を算出する。
【００７６】
上記のようにスピーカ１４よりテスト音波を出力していない状態で、検出部１３が検査対象のマイク１００より出力される電気信号を検出する時に、搬送機構８を停止させることが好ましい。このように搬送機構８を停止させることで、搬送機構８の動作音がマイク１００に入力されることが無く、正確にＳ／Ｎ比を算出することができる。
【００７７】
また、押さえ機構４２の駆動部５０が空圧式のロータリーアクチュエータである場合、スピーカ１４よりテスト音波を出力していない状態で、検出部１３が検査対象のマイク１００より出力される電気信号を検出する時に、アクチュエータへのエアの供給を中止することが好ましい。このようにアクチュエータへのエアの供給を中止することで、アクチュエータからエアが漏れ出ることにより生じる音や振動がマイク１００に入力されることが無く、正確にＳ／Ｎ比を算出することができる。
【００７８】
［第２の実施形態］
以下、本発明の第２の実施形態について図面を参照して説明する。
【００７９】
図１６は本実施形態にかかるマイクロフォンの検査装置１の装置本体１０を概略的に示す断面図である。この例では、キャビティ３０内に照明装置６０が配設されている。
【００８０】
照明装置６０は、白色ＬＥＤなどの光源６１を備え、中空体１２の内壁に設けられた凹部６２に収納されている。図１６に示すように、蓋体１６が中空体１２の開口部１２ａを閉塞した状態で光源６１の光軸ＬＡがマイク収容部３４に向くように、照明装置６０は中空体１２に配設されている。
【００８１】
照明装置６０は、制御部１５によって点滅制御される。詳細には、図１０のステップＳ１０及びステップＳ１１において、スピーカ１４から検査対象のマイク１００にテスト音波を入力し、検出部１３が検査対象のマイク１００から出力される電気信号を検出している時に、制御部１５は照明装置６０を点滅させマイク１００に点滅光を照射する。マイク１００に照射する点滅光の周波数は、スピーカ１４が出力するテスト音波に含まれる音信号の周波数（本実施形態では７０Ｈｚ、１０００Ｈｚ、５０００Ｈｚ）以外の周波数（例えば、１００Ｈｚ）に設定する。
【００８２】
ＭＥＭＳマイクロフォンの中には光が照射されるとノイズを発生するものがある。本実施形態の検査装置１では、検出部１３が検査対象のマイク１００から出力される電気信号を検出している時に、照明装置６０より検査対象のマイク１００に点滅光を照射することで、検査対象のマイク１００が光の照射を受けてノイズを発生するか否か判別することができる。
【００８３】
また、マイク１００に照射する光を点滅光とすることで、検査対象のマイク１００が光の照射を受けてノイズを発生するものであれば、検出部１３において検出される周波数特性の中に、テスト音波に含まれる音信号の周波数に対応したピークＰ１，Ｐ２，Ｐ３に加えて、図１７に示すように、マイク１００に照射した点滅光の周波数に対応したピークＰｎが検出される。
【００８４】
なお、検出部１３は、マイク１００に照射した点滅光の周波数ｆｎにおける音圧値Ｍｎが所定のしきい値より大きいと、検出した周波数特性より点滅光の周波数に対応したピークＰｎを検出し、検査対象のマイク１００が光の照射を受けてノイズを発生することを検出してもよい。また、検出部１３は、マイク１００に照射した点滅光の周波数ｆｎにおける音圧値Ｍｎについて、ピークＰ１，Ｐ２，Ｐ３のいずれかのピークの音圧値に対する相対値（例えば、Ｍｎ／Ｍ１）を算出し、この相対値が所定のしきい値より大きいと、検出した周波数特性より点滅光の周波数に対応したピークＰｎを検出し、検査対象のマイク１００が光の照射を受けてノイズを発生することを検出してもよい。
【００８５】
本実施形態の検査装置１では、検査対象のマイク１００が光の照射を受けてノイズを発生するか否かについて周波数特性の測定と同時に判別することができる。
【００８６】
特に、マイク１００に照射した点滅光の周波数が、テスト音波に含まれる音信号の周波数以外の周波数に設定されていると、検出される周波数特性において点滅光の周波数に対応したピークＰｎが、テスト音波に含まれる音信号の周波数に対応したピークＰ１，Ｐ２，Ｐ３に重なることがないため、検査対象のマイク１００が光の照射を受けてノイズを発生するか否か判別しやすくなる。
【００８７】
なお、上記した構成及び作用効果以外は第１の実施形態と同様であり、詳細な説明は省略する。
【００８８】
［第３の実施形態］
以下、本発明の第３の実施形態について図面を参照して説明する。
【００８９】
図１８は本実施形態にかかるマイクロフォンの検査装置１の装置本体１０を概略的に示す断面図である。この例では、１つのチャンバ７０の中に複数（例えば、４つ）のキャビティ３０が形成されている。
【００９０】
詳細には、チャンバ７０は鋳鉄やステンレスやアルミニウム等の金属材からなり一端に開口部を有する箱状の部材であり、蓋体８０によってチャンバ７０の開口部が閉塞される。チャンバ７０の中空部７２は、例えば、チャンバ７０と同一素材からなる仕切部７４によって複数の円柱状の空間に分割され、分割された各空間がチャンバ７０の一端に開口するキャビティ３０をなしている。
【００９１】
各キャビティ３０内には、スピーカ１４がそれぞれ配設されている。スピーカ１４の振動板１８はキャビティ３０の開口端３０ａに向けられている。キャビティ３０の開口端３０ａの周縁には遮音パッキン２２が配設されている。
【００９２】
蓋体８０は、鋳鉄やステンレスやアルミニウムなどの金属材からなり、キャビティ３０の開口端３０ａに対向配置されている板状の部材である。蓋体８０には各キャビティ３０の開口端３０ａに対向してホルダ３２が固定されている。
【００９３】
チャンバ７０は、上記した第１の実施形態と同様、移動機構２９が動作することで蓋体８０に近接離反するように移動する。チャンバ７０が蓋体８０に接近すると、蓋体８０は遮音パッキン２２と当接し遮音パッキン２２を圧縮して各キャビティ３０の開口端３０ａを閉塞する。このように蓋体８０が各キャビティ３０の開口端３０ａを閉塞することで、１つのチャンバ７０の内部に密閉したキャビティ３０を複数形成し、各キャビティ３０内にホルダ３２を配置させる。
【００９４】
このような検査装置１では、一度の測定で複数個のマイク１００を検査することができ、多数個のマイク１００を検査する場合の検査時間を短縮することができる。しかも、本実施形態では、１つのキャビティ３０の内部に１個の検査対象のマイク１００とスピーカ１４とを収容して検査を行うため、キャビティ３０毎にスピーカ１４から出力されるテスト音波を調整することができる。そのため、複数あるキャビティ３０毎にキャビティ３０内部の音響特性が異なっていても、複数個のマイク１００を一定の条件下で同時に測定することができる。
【００９５】
また、移動機構２９が、複数のキャビティ３０を備えたチャンバ７０を移動させるように構成することで、複数のキャビティ３０で移動機構２９を共通化することができ、検査装置１の製造コストの増加を抑えることができる。
【００９６】
なお、上記した構成及び作用効果以外は第１の実施形態と同様であり、詳細な説明は省略する。
【００９７】
［第４の実施形態］
以下、本発明の第４の実施形態について図面を参照して説明する。
【００９８】
この例では、上記した第１の実施形態のマイクロフォンの検査装置１を用いて、２チャンネルの信号を時分割多重化して伝送するマイク１００の検査方法について説明する。
【００９９】
このマイク１００は、図１９に示すように、検出部１３より信号線４を介してクロック信号ＳＣＬ及びチャンネル信号ＳＣＨが入力され、設定されたチャンネルに応じた所定のタイミングでテスト音波によって生じた電気信号を出力する。
【０１００】
詳細には、マイク１００には、クロック信号ライン４ａを介して周波数が例えば１〜３ＭＨｚのクロック信号ＳＣＬが入力され、チャンネルライン４ｂを介してマイク１００のチャンネルを設定するためのチャンネル信号ＳＣＨが入力される。
【０１０１】
検出部１３がチャンネル信号ＳＣＨとしてローレベルの信号を出力すると、マイク１００にローレベルの信号が入力され、マイク１００はＬチャンネルに設定される。Ｌチャンネルに設定されたマイク１００は、クロック信号ＳＣＬの立ち上がり時刻から所定の遅延時間ｔｄｖ経過した時刻における電気信号Ｓ１を出力する。
【０１０２】
一方、検出部１３がチャンネル信号ＳＣＨとしてハイレベルの信号を出力すると、マイク１００にハイレベルの信号が入力され、マイク１００はＲチャンネルに設定される。Ｒチャンネルに設定されたマイク１００は、クロック信号ＳＣＬの立ち下がり時刻から所定の遅延時間ｔｄｖ経過した時刻における電気信号Ｓ２を出力する。
【０１０３】
マイク１００より出力された電気信号Ｓ１は、データライン４ｃを介して検出部１３に入力される。
【０１０４】
ホルダ３２に設けられた比較マイク３８は、検査対象のマイク１００と同種のマイクであり、検出部１３より信号線４を介してクロック信号及びチャンネル信号が入力され、設定されたチャンネルに応じた所定のタイミングでテスト音波によって生じた電気信号Ｓ２を出力する。なお、この比較マイク３８としては、入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができ、設定されたチャンネルに応じた正しいタイミングで電気信号を出力することが確認されたマイクを使用する。
【０１０５】
比較マイク３８は、否定回路１９を介してチャンネルライン４ｂに接続されており、検査対象のマイク１００と異なるチャンネルに設定される。
【０１０６】
比較マイク３８の出力端子はデータライン４ｃに接続されており、比較マイク３８より出力された電気信号Ｓ２とマイク１００から出力された電気信号Ｓ１とが多重化され、検出部１３に入力される。
【０１０７】
このような検査装置１は、図２０に示すように、ステップＳ３１において搬送機構８が、トレイ６より検査対象のマイク１００をマイク収容部３４に載置する。
【０１０８】
次いで、ステップＳ３２において、制御部１５が、押圧体４８によって検査対象のマイク１００を上方から押さえ付け、移動機構２９を制御して中空体１２の開口部１２ａを蓋体１６で閉塞する。
【０１０９】
次いで、ステップＳ３３において、制御部１５は、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に電源電圧を入力し、検査対象のマイク１００及び比較マイク３８を動作させる。
【０１１０】
次いで、ステップＳ３４において、検出部１３がマイク１００及び比較マイク３８に信号線４を介してクロック信号及びチャンネル信号を入力する。ここでは、例えば、検出部１３は、チャンネル信号としてローレベルの信号を出力し、検査対象のマイク１００をＬチャンネルに設定し、比較マイク３８をＲチャンネルに設定する。
【０１１１】
次いで、ステップＳ３５において、制御部１５は、スピーカ駆動信号を信号発生部５４よりスピーカ１４に入力し、テスト音波を検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に入力する。これにより、マイク１００からは、クロック信号の立ち上がり時刻から所定の遅延時間ｔｄｖ経過した時刻における電気信号Ｓ１が出力され、比較マイク３８からは、クロック信号の立ち下がり時刻から所定の遅延時間ｔｄｖ経過した時刻における電気信号Ｓ２が出力される。そして検出部１３には、電気信号Ｓ１と電気信号Ｓ２とを多重化した多重化データＤＭがデータライン４ｃを介して入力される。
【０１１２】
次いで、ステップＳ３６において、検出部１３は、入力された多重化データＤＭをＬチャンネルに設定されたマイク１００の電気信号Ｓ１とＲチャンネルの比較マイク３８の電気信号Ｓ２とに分割する。そして、検出部１３は、電気信号Ｓ１からＬチャンネルに設定されたマイク１００の周波数特性を検出し、電気信号Ｓ２からＲチャンネルに設定された比較マイク３８の周波数特性を検出する。
【０１１３】
次いで、ステップＳ３７において、検出部１３は、チャンネル信号ＳＣＨを切り換え、マイク１００に設定したチャンネルと、比較マイク３８に設定したチャンネルとを入れ替える。ここでは、検出部１３は、チャンネル信号としてローレベルの信号からハイレベルの信号に切り換えて出力し、検査対象のマイク１００をＲチャンネルに設定し、比較マイク３８をＬチャンネルに設定する。
【０１１４】
次いで、ステップＳ３８において、上記したステップＳ３５と同様、制御部１５が、テスト音波を検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に入力する。これにより、マイク１００からは、クロック信号の立ち下がり時刻から所定の遅延時間ｔｄｖ経過した時刻よりテスト音波によって生じた電気信号Ｓ１が出力され、比較マイク３８からは、クロック信号の立ち上がり時刻から所定の遅延時間ｔｄｖ経過した時刻よりテスト音波によって生じた電気信号Ｓ２が出力される。そして検出部１３には、電気信号Ｓ１と電気信号Ｓ２とを時分割多重化した多重化データＤＭがデータライン４ｃを介して入力される。
【０１１５】
次いで、ステップＳ３９において、上記したステップＳ３６と同様、検出部１３は、入力された多重化データＤＭをＬチャンネルに設定されたマイク１００の電気信号Ｓ１とＲチャンネルの比較マイク３８の電気信号Ｓ２とに分割する。そして、検出部１３は、電気信号Ｓ１からＲチャンネルに設定されたマイク１００の周波数特性を検出し、電気信号Ｓ２からＬチャンネルに設定された比較マイク３８の周波数特性を検出する。
【０１１６】
次いで、ステップＳ４０において、制御部１５は、検出部１３がマイク１００の周波数特性を検出することができたか否かによって、検査対象のマイク１００が、入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができるか否かの判別を行う。
【０１１７】
具体的には、検査対象１００のマイクが、入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができるマイクであると、マイク１００から出力された電気信号Ｓ１と比較マイク３８より出力された電気信号Ｓ２とが、重なり合うことなく異なるタイミングで出力され時分割多重化される。そのため、検出部１３は、入力された多重化データＤＭをマイク１００の電気信号Ｓ１と比較マイク３８の電気信号Ｓ２とに分割することができ、入力されたテスト音波に対応した周波数特性値が算出される。
【０１１８】
一方、検査対象１００のマイクが、入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができないマイクであると、マイク１００から出力された電気信号Ｓ１と比較マイク３８より出力された電気信号Ｓ２とが、異なるタイミングで出力されず正しく時分割多重化されない。そのため、検出部１３は、入力された多重化データＤＭをマイク１００の電気信号Ｓ１と比較マイク３８の電気信号Ｓ２とに分割することができず、入力されたテスト音波に対応した周波数特性値が得られない。
【０１１９】
つまり、ステップＳ３６においてＬチャンネルに設定されたマイク１００からテスト音波に対応した周波数特性値が得られ、かつ、ステップＳ３９においてＲチャンネルに設定されたマイク１００からテスト音波に対応した周波数特性値が得られると、制御部１５は、検査を行ったマイク１００が入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができるマイクであると判断する。
【０１２０】
また、Ｌチャンネル及びＲチャンネルに設定されたマイク１００の少なくとも一方からテスト音波に対応した周波数特性値が得られないと、制御部１５は、検査を行ったマイク１００が入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができない不良品のマイクであると判断する。
【０１２１】
次いで、ステップＳ４１において、搬送機構８が、マイク収容部３４から検査が終了した検査対象のマイク１００を取り出し、制御部１５は、次に検査するマイク１００がトレイ６に存在するか否か判断する（ステップＳ４２）。次に検査するマイク１００が存在すればステップＳ４３に進み、次に検査するマイク１００が存在しなければ、検査を終了する。
【０１２２】
ステップＳ４３では、搬送機構８が、次の検査対象のマイク１００をマイク収容部３４に載置し、その後、ステップＳ３１に戻る。そして、ステップＳ３２からステップＳ４３を繰り返すことで、順次、トレイ６に収容された検査対象のマイク１００について周波数特性値を取得してマイクロフォンの検査を行う。
【０１２３】
以上のように、本実施形態では、スピーカ１４よりテスト音波を検査対象のマイク１００及び比較マイク３８に入力しながら、検査対象のマイク１００と比較マイク３８との間でＬチャンネル及びＲチャンネルの２チャンネルを切り換えて設定することで、検査対象のマイク１００が、入力されたチャンネル信号ＳＣＨに応じてＬチャンネルとＲチャンネルとを正常に切り換えることができるマイクであるか否か判別することができる。
【０１２４】
しかも、本実施形態の検査装置１では、周波数特性値を校正するためだけでなく、ＬチャンネルとＲチャンネルとの切換の検査のために比較マイク３８を兼用することができる。そのため、部品点数の増加に伴う製造コストの増加を抑えつつ、検査装置１にＬチャンネル及びＲチャンネルの切換検査機能を追加することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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