(57)【要約】  情報記録媒体（９）は、凹凸マークが形成された情報層（９ａ）と、情報層（９ａ）に含まれ、レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層（１３）と、を備える。また、この情報記録媒体（９）は、レーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂが、１．０  ＜  Ｒｂ／Ｒａ  ＜  １．１  を満たす。
2010032348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（１）及び（２）
（１）  凹凸マークが形成された情報層と、
（２）  前記情報層に含まれ、
レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、
Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層と、
を備えると共に、
レーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂが、
１．０  ＜  Ｒｂ／Ｒａ  ＜  １．１
を満たす
情報記録媒体。
【請求項２】
隣り合う前記追記マーク間の最短距離は、隣り合う前記凹凸マーク間の最長距離よりも長く、
最短の前記追記マークの長さは、最長の前記凹凸マークの長さよりも長い
請求項１に記載の情報記録媒体。
【請求項３】
前記記録層に含まれるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、
Ｔｅ原子の含有割合が１０原子以上６５原子％以下、
Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、
Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下
である
請求項１又は２に記載の情報記録媒体。
【請求項４】
前記記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、
Ｔｅ原子の含有割合が２０原子以上５０原子％以下、
Ｏ原子の含有割合が４０原子％以上６５原子％以下、
Ｍ原子の含有割合が１原子％以上２０原子％以下
である
請求項１又は２に記載の情報記録媒体。
【請求項５】
前記記録層を構成する原子の数の合計を１００原子％としたときに、
前記記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計が、８０原子％以上である
請求項１〜４のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項６】
前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
前記誘電体層が、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とする、
請求項１〜５のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項７】
前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
前記誘電体層の厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ以下である
請求項１〜６のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項８】
前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
前記誘電体層の厚さが２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である
請求項１〜６のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項９】
前記情報層は、前記基板と前記記録層との間に配置された反射層を有し、
前記反射層は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＴｉからなる群より選択される少なくとも１つを主成分とする
請求項１〜８のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１０】
前記情報層は、前記基板と前記記録層との間に配置された反射層を有し、
前記反射層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である
請求項１〜９のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１１】
前記記録層の厚さが２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である
請求項１〜１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１２】
前記記録層の厚さが２ｎｍ以上４０ｎｍ以下である
請求項１〜１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板上に直接に、または前記基板上に形成された他の層の上に、
Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、
スパッタリング法により、
前記記録層を形成する工程
を含む情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板上に直接に、または前記基板上に形成された他の層の上に、
Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、
希ガスと酸素との混合ガスを含む雰囲気中において、
反応性スパッタリング法により、
前記記録層を形成する工程
を含む情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザビーム（レーザ光）の照射等の光学的な手段を用いて情報の記録及び再生が可能な情報記録媒体に関するものであって、特に映像や音声などの主情報を記録し、かつ副情報を追記可能な情報記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高速度での情報の記録再生が可能で、容量の大きい情報記録媒体（「記録媒体」または「媒体」と呼ぶことがある）として、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ／Ｖｉｄｅｏ  Ｄｉｓｃ）やＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃに代表される光学的情報記録媒体が知られている。このような情報記録媒体は、異なる２つの状態の間での反射率の違いを利用して、情報の記録再生を行なうものである。また、このような情報記録媒体は、必要に応じてランダムアクセスが可能であり、かつ可搬性にも優れるという大きな利点を有しているため、近年、その重要性がますます高まっている。
従来から提案されている情報記録媒体としては、多数回の書換が可能な書換型媒体、１回のみ書き込みが可能な追記型媒体、及び再生のみが可能な再生専用媒体が挙げられる。再生専用媒体は、一般的に、書換型媒体や追記型媒体と比較して、媒体を構成する層の数を少なく出来るため、製造が容易であり、低コストで提供することが可能である。そのため、音楽、映画、ゲームソフトなどのデジタルコンテンツを配布する媒体として広く用いられている。【０００３】
再生専用媒体において、不正コピーを防止するために、映像や音声などの主情報とは別に、情報記録媒体のシリアルナンバー等の副情報を追記することが行なわれている。この副情報は、例えばＢＣＡ（Burst Cutting Area）とよばれるバーコード状のマークにより記録され、情報記録層にある反射膜を、ＹＡＧレーザで焼き切ることによって加工される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１９６９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、副情報を記録するのに高価なＹＡＧレーザが必要であるので、情報記録媒体を作製するコストが高くなるという課題がある。
本発明は、上記発明の課題を解決するためになされたものであって、映像や音声などの主情報を記録可能であるとともに、低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、第１の発明の情報記録媒体は、下記（１）及び（２）
（１）  凹凸マークが形成された情報層と、
（２）  情報層に含まれ、
レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、
Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層と、
を備える。さらに、第１の発明の情報記録媒体のレーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂは、１．０  ＜  Ｒｂ／Ｒａ  ＜  １．１を満たす。
この情報記録媒体は、映像や音声などの主情報を凹凸マークに記録し、副情報を追記マークに記録することができる。よって、この情報記録媒体は、情報記録媒体を製造するコストの増加を抑えることができると共に、利便性に優れる。【０００７】
第２の発明の情報記録媒体は、第１の発明の情報記録媒体であって、隣り合う追記マーク間の最短距離は、隣り合う凹凸マーク間の最長距離よりも長く、最短の追記マークの長さは、最長の凹凸マークの長さよりも長い。第２の発明の情報記録媒体は、凹凸マークによって記録されたデータ及び追記マークによって記録されたデータを安定に再生することができる。
第３の発明の情報記録媒体は、第１又は第２の発明の情報記録媒体であって、記録層に含まれるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、Ｔｅ原子の含有割合が１０原子以上６５原子％以下、Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下である。第３の発明の情報記録媒体は、信号を、長期間にわたって安定に再生するのに適している。【０００８】
第４の発明の情報記録媒体は、第１又は第２の発明の情報記録媒体であって、記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、Ｔｅ原子の含有割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の含有割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上２０原子％以下である。第４の発明の情報記録媒体は、信号を、長期間に渡って安定に再生するのに、さらに適している。
第５の発明の情報記録媒体は、第１〜第４のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層を構成する原子の数の合計を１００原子％としたとき、記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計が、８０原子％以上である。
Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数が合計で８０％以上であると、Ｏ原子、Ｔｅ原子及びＭ原子を含むことによる効果を、より顕著に得ることができる。より好ましくは、Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計は、９０原子％以上であり、さらにより好ましくは、９５原子％以上である。あるいは、記録層は、Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子のみで形成されていてよい。【０００９】
第６の発明の情報記録媒体は、第１〜第５のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層が、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とするであることがより好ましい。
第６の発明の情報記録媒体は、このような組成を有することで、特定の元素（Ｔｅ原子、Ｏ原子、Ｍ原子）を含む記録層との組合せにより、信号を、長期間に渡って、安定に再生するのに適している。
第７の発明の情報記録媒体は、第１〜第６のいずれか発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層の厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。誘電体層の厚さがその範囲内にあることで、信号を安定に再生するために好適な反射率を有する情報記録媒体が実現される。【００１０】
第８の発明の情報記録媒体は、第１〜第６のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層の厚さが２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。誘電体層の厚さがその範囲内にあることで、信号を安定に再生するためにさらに好適な反射率を有する情報記録媒体が実現される。
第９の発明の情報記録媒体は、第１〜第８のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、基板と記録層の間に反射層を有し、反射層がＡｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＴｉからなる群より選択される少なくとも１つを主成分とする。第９の発明の情報記録媒体によれば、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
第１０の発明の情報記録媒体は、第１〜第９のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、基板と記録層との間に配置された反射層を有し、反射層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。反射層の厚さがその範囲内にあると、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。【００１１】
第１１の発明の情報記録媒体は、第１〜第１０のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層の厚さが２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である。記録層の厚さがこの範囲内にあると、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
第１２の発明の情報記録媒体は、第１〜第１０のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層の厚さが２ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。記録層の厚さがこの範囲内にあると、信号を安定に再生するためにより好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
さらに、第１３の発明の製造方法は、上述した情報記録媒体の製造方法であって、基板上に直接に、または基板上に形成された他の層の上に、Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により、記録層を形成する工程を含む。この製造方法は、信号を長期間にわたって安定に再生できる情報記録媒体を製造可能である。【００１２】
さらに、第１４の発明の製造方法は、上述した情報記録媒体の製造方法であって、基板上に直接に、または基板上に形成された他の層の上に、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、希ガスと酸素との混合ガスを含む雰囲気中において、反応性スパッタリング法により、記録層を形成する工程を含む。この製造方法は、信号を長期間にわたって安定に再生できる情報記録媒体を製造可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の情報記録媒体は、映像や音声などの主情報を記録可能であり、さらに、低コストで副情報を追記することができる。
また、本発明の情報記録媒体の製造方法によれば、上記のような効果を有する情報記録媒体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】情報記録媒体の構成を模式的に示す平面図
【図２】情報記録媒体の凹凸データと追記データを示す模式図
【図３】情報記録媒体の凹凸データと別の追記データを示す模式図
【図４】情報記録媒体の一構成例を示す断面図
【図５】情報記録媒体の別の構成例を示す断面図
【図６】情報記録媒体のさらに別の構成例を示す断面図
【図７】情報記録媒体の記録再生に用いられる記録再生装置の構成の一部を模式的に示す図
【図８】Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄの３元系組成図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。また、以下では、同一の部分または要素には、同一の符号を付して重複する説明を省略する場合がある。
１．情報記録媒体
1-1．レイアウト構造
図１は、情報記録媒体１のディスクレイアウト構造の一例を示す平面図である。
図１に示すように、情報記録媒体１は、円形の記録ディスクである。情報記録媒体１は、リードイン領域４、データ記録領域３、リードアウト領域２を有している。
リードイン領域４には、ディスクの構造に関する情報、ディスクの記録時に必要な情報、記録データの管理情報に関するデータなどが凹凸マークにより記録されている。
【００１６】
リードアウト領域２は、データの記録終了位置を示す領域である。
データ記録領域３には、凹凸マークによるメディアの主情報が記録されている。主情報としては、映像、音声及びその他のソフトウェアが挙げられる。
情報記録媒体１では、シリアルナンバー等、情報記録媒体に固有の情報は、副情報として、レーザ照射によって記録可能である。副情報は、凹凸マークに重畳される追記マークにより記録される。副情報は、リードイン領域４において局所的に記録されることが好ましいが、リードイン領域４以外の領域（例えばデータ記録領域３等）に記録することも可能である。  図２の凹凸マーク５及び追記マーク６は、情報記録媒体１に形成される凹凸マーク及び追記マークの一例であり、図３の凹凸マーク７及び追記マーク８は、他の例である。つまり、情報記録媒体１に形成される凹凸マーク及び追記マークは、図２又は図３のいずれの構成であってもよい。図２及び図３では、情報記録媒体１の半径方向をＤ１として示す。
【００１７】
追記マーク６は、凹凸マーク５の上へのレーザビームの照射によって形成されている。図２に示すように、追記マーク６の間隔（つまり、情報記録媒体１の円周方向において隣り合う追記マーク６同士の距離）は、凹凸マーク５の最長マークの間隔（つまり、情報記録媒体１の円周方向において隣り合う最長マーク同士の距離）よりも長い。すなわち、隣り合う追記マーク６間の最短距離Ｗ１は、隣り合う凹凸マーク５間の最長距離Ｗ２よりも長い。
また、追記マーク６の長さは、凹凸マーク５の長さよりも長い。図２において、最短の追記マーク６に符号“６ａ”を、最長の凹凸マーク５に符号“５ａ”を付す。図２に示すように、追記マーク６ａの長さＬ１は、凹凸マーク５ａの長さＬ２よりも長い。「長さ」とは、情報記録媒体１の円周方向における長さを意味する。説明の便宜上、図２では、追記マーク６ａと凹凸マーク５ａとが重ねて描かれているが、図２は本発明を限定するものではない。
【００１８】
このように、間隔Ｗ１が間隔Ｗ２よりも長く、かつ長さＬ１が長さＬ２よりも長いことで、凹凸マーク５によって記録されたデータ、及び追記マーク６によって記録されたデータは、例えば、記録再生装置４５（後述）により、安定に再生される。
ただし、追記マークの長さ及び間隔は、図２の形態には限定されない。例えば、図３の構成において、追記マーク８は、図２の構成と同様に、凹凸マーク７の上へのレーザビームの照射よって形成されている。図３に示すように、追記マーク８間の最短距離は、凹凸マーク７間の最短距離よりも短くてもよい。また、最短の追記マーク８の長さは、最長の凹凸マーク７の長さよりも短くてもよい。
本明細書で、単に「追記マーク」と称する場合は、その追記マークは、追記マーク６及び８のいずれの形状であってもよい。
【００１９】
1-2．反射率
情報記録媒体１は、レーザ照射によって反射率が増加することが好ましい。通常の再生専用記録媒体は、レーザ照射によって反射率が低減する。これに対して、レーザ照射によって反射率が向上する記録媒体であれば、不正な複製を防止できる。
また、情報記録媒体１は、レーザ照射による反射率の増加量が微量であることが好ましい。つまり、情報記録媒体１のレーザ照射後の反射率Ｒｂは、凹凸マークとして情報記録媒体１に記録された主情報が安定的に再生される程度に、高いことが好ましい。
具体的には、情報記録媒体１において、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂは、
１．０＜Ｒｂ／Ｒａ＜１．１
の関係式を満たすことが好ましい。なぜなら、Ｒｂ／Ｒａがこの範囲にあることによって、凹凸マークとして記録された主情報が、安定に再生されるからである。例えば、情報記録媒体１に記録された情報を再生する再生装置（例えば、後述の記録再生装置４５）において、ピックアップの表面にゴミが付着した場合には、ピックアップが受光する光量が低下するので、主情報の再生の安定性が低下する。これに対して、Ｒｂ／Ｒａが上述の範囲内にあることによって、再生装置は、主情報を安定的に再生することができる。
【００２０】
なお、反射率の関係式がＲｂ／Ｒａ≧１．１を満たすような場合にも、再生装置は、追記マークを安定に再生することができる。
1-3．変調度
情報記録媒体１において、凹凸マークの変調度Ａ及び追記マークの変調度Ｂは、
Ｂ／Ａ＜０．１
を満たすことが好ましい。Ｂ／Ａがこの範囲内にあることで、凹凸マークに記録された信号の再生精度が、良好となる。つまり、再生信号において、再生時の凹凸マークの変調度に対して、追記マークの変調度は十分小さいため、Ｂ／Ａが上記範囲内にあることで、凹凸マークの再生精度の悪化を抑制することができる。
また、情報記録媒体１は、信号再生のためのレーザビームの照射によって劣化しにくく、長期間にわたって高い信号品質を維持することが好ましい。情報記録媒体１は、例えば、レーザビームを１００万回程度照射された場合に、凹凸マークや追記マークの信号品質が劣化しないことが好ましい。
【００２１】
1-4．層構造
上記1-2.及び1-3.欄の特性を満たす情報記録媒体１の構成の詳細について、以下に述べる。図４〜図６に示す情報記録媒体９、１７及び２９は、情報記録媒体１の具体例である。
図４に示すように、情報記録媒体９は、基板１０、情報層９ａ及び透明層１５を備える。情報層９ａは、反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、及び第２の誘電体層１４を備える。反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、及び第２の誘電体層１４は、基板１０側からこの順に積層されている。透明層１５は、情報層９ａの上に形成されている。透明層１５は、カバー層または保護層とも呼ばれる。
情報記録媒体９において、反射層１１、第１の誘電体層１２及び第２の誘電体層１４のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体９の製造コストはより低減される。レーザビーム１６が、この情報記録媒体９を、透明層１５の側から照射することで、信号が記録再生される。
【００２２】
また、図５に示すように、情報記録媒体１７は、基板１８、第１の情報層２３、中間層２４、第２の情報層２６、及び透明層２７を備える。第１の情報層２３、中間層２４、第２の情報層２６及び透明層２７は、基板１８上に、この順に積層されている。
第１の情報層２３は、反射層１９、第１の誘電体層２０、記録層２１及び第２の誘電体層２２を備える。反射層１９、第１の誘電体層２０、記録層２１及び第２の誘電体層２２は、基板１８上にこの順に積層されている。第１の情報層２３は、この構成により、高い反射率と、長期間にわたる信号の再生安定性とを両立することができる。
中間層２４は、２つの情報層２３と２６との間に介在することで、各情報層を光学的に分離する。こうして、中間層２４は、不要な光学干渉を排除する。
第２の情報層２６は、反射層２５からなる。
【００２３】
透明層２７は、第２の情報層２６の上に形成されている。レーザビーム２８が、この情報記録媒体１７を、透明層２７の側から照射することで、信号が記録再生される。
情報記録媒体１７において、第１の情報層２３における反射層１９、第１の誘電体層２０及び第２の誘電体層２２のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体１７の製造コストはより低減される。また、第１の情報層２３が反射層のみからなり、第２の情報層２６が反射層、第１の誘電体層、記録層、第２の誘電体層などを有していてもよい。
また、図６に示すように、情報記録媒体２９は、基板３０、第１の情報層３５、第２の情報層３８、・・・第ｎの情報層４２（ｎは３以上の整数）を備える。第１の情報層３５、第２の情報層３８、・・・第ｎの情報層４２は、基板３０側からこの順に設けられている。
【００２４】
各情報層の間には中間層（図６の“３６”、“３９”、及び“４０”等）が介在する。これらの中間層は、各情報層を光学的に分離することで、不要な光学干渉を排除する。
また、情報記録媒体２９において、第ｎの情報層４２上には、透明層４３が設けられている。レーザ光４４が、情報記録媒体２９を、透明層４３の側から照射することで、信号が記録再生される。
第１の情報層３５は、反射層３１、第１の誘電体層３２、記録層３３、第２の誘電体層３４が順次積層された構成からなる。この構成により、高い反射率と、長期間にわたる信号の再生安定性とが両立される。
第２〜第ｎの情報層（図６の“３８”及び“４２”等）は、それぞれ、反射層（図６の“３７”及び“４１”等）からなる。
【００２５】
情報記録媒体２９において、第１の情報層３５における反射層、第１の誘電体層、第２の誘電体層のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。また、第１の情報層３５が反射層のみからなり、第２〜第ｎの情報層の少なくとも１つが、反射層、第１の誘電体層、記録層、第２の誘電体層などを有していてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体２９の製造コストはより低減される、
基板１０、１８及び３０（以下、符号を省略することがある）の材料としては、透明な円盤状の材料、例えば、
（１）ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、若しくはガラス；又は
（２）これら（上記（１）に含まれる材料）を適宜組み合わせたもの
等が用いられる。
【００２６】
基板には、予め凹凸マークが形成されている。
また、基板の厚さは、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ〜１．５ｍｍ程度であってもよい。対物レンズの開口数が０．７５〜０．９５の範囲である場合、基板の厚さは１．００ｍｍ〜１．２０ｍｍの範囲であることが好ましい。基板の厚さがこの範囲内であることで、情報記録媒体の強度が保たれる。対物レンズの開口数が０．５５〜０．７５の範囲である場合、基板の厚さは０．５０ｍｍ〜０．７０ｍｍの範囲であることが好ましい。
透明層１５、２７及び４３（以下、符号を省略することがある）の材料は、信号の記録及び再生が可能な程度にレーザビーム１６、２８及び４４（以下、符号を省略することがある）を透過するものであればよい。すなわち、透明層の材料は、レーザビームの波長に対して光吸収が小さく、短波長域において光学的に複屈折率が小さいことが好ましい。透明層の材料としては、透明な材料が用いられ、例えば、ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、又はガラス；あるいはこれらを適宜組み合わせたもの等が用いられる。透明層は、以上に述べた材料が、円盤状に形成されることで形成可能である。
【００２７】
また、透明層の厚さは、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ〜１．５ｍｍ程度であってもよい。また、対物レンズの開口数が０．７５〜０．９５の範囲である場合、透明層の厚さは、０．０３ｍｍ〜０．２０ｍｍの範囲であることが好ましい。透明層の厚さがこの範囲にあることで、情報記録媒体におけるチルトに対する許容幅が大きくなる。対物レンズの開口数が０．５５〜０．７５の範囲である場合、透明層の厚さは、０．５０ｍｍ〜０．７０ｍｍの範囲であることが好ましい。
中間層２４、３６、３９及び４０（以下、符号を省略することがある）の材料としては、透明層と同様に、透明な材料が用いられ、例えば、ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、若しくはガラス；又はこれらを適宜組み合わせたもの等が、用いられる。中間層は、以上に述べた材料が、円盤状に形成されることで形成可能である。
【００２８】
中間層の厚さは、対物レンズの開口数ＮＡとレーザ光の波長λとにより決定される焦点深度以上の厚さに形成される。中間層の厚さがこのように設定されていることで、第１の情報層２３及び３５、並びに第２の情報層２６、３８、及びその他の情報層（例えば第ｎの情報層４２）のいずれか１つに記録された情報が記録又は再生されるときに、他の情報層からのクロストークが小さく抑えられる。また、全ての情報層は、レーザ光が集光可能な範囲に収まる厚さに形成される。３層以上の情報層が積層される場合は、それぞれの情報層同士の間の中間層の厚さは互いに異なることが好ましい。なぜなら、複数の中間層が同じ厚さの場合、各情報層が等間隔に配置されるので、１つの情報層の情報が記録又は再生されるときに、その情報層の２つ手前に位置する層でレーザ光が焦点を結びうるため、クロストークが大きくなる可能性があるためである。
【００２９】
中間層にも、凹凸マークが、情報層の位置する側に、予め形成されていることが好ましい。
記録層１３、２１、及び３３（以下、符号を省略することがある）は、光学特性が異なる２つ以上の状態間をとりうる材料より構成される。追記型の記録層の材料は、この異なる状態間を非可逆的に変化しうるものが好ましい。
記録層の材料としては、例えば、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するものが、用いられる。特に、材料Ｍとして、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素が用いられることにより、十分な結晶化速度及び高い再生耐久性が実現される。
【００３０】
元素Ｍは、Ｔｅと結合して安定な結晶状態の記録マークを形成する元素が好ましい。このような元素として、例えばＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉなど、Ｔｅと化合物または共晶を形成しうる元素が挙げられる。また、さらなる特性改善のため、記録層には、これら以外の元素が添加されていてもよい。
Ｔｅ−Ｏ−Ｍは、記録層の形成直後では、ＴｅＯ2中にＴｅ、Ｔｅ−Ｍ及びＭの微粒子が一様に分散された状態の複合材料である。レーザ光の照射を受けることによって、この複合材料中のＴｅ及びＴｅ−Ｍの結晶粒径が、大きくなる。記録再生装置（後述）は、この光学状態の違いを信号として検出することができる。よって、記録層にＴｅ−Ｏ−Ｍを含む情報記録媒体は、１回のみ書き込み可能な、いわゆるライトワンス型記録媒体としての機能を実現することができる。
【００３１】
記録層の材料の好ましい組成範囲は、Ｔｅ原子の含有割合が１０原子以上６５原子％以下、Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下である。この組成範囲が好ましい理由を以下に述べる。
記録層中のＴｅ原子が１０原子％以上であることで、レーザ照射を受けても追記マークの反射率が下がりにくいという効果が実現される。一方、記録層中のＴｅ原子が６５原子％以下であることで、記録層全体の反射率が比較的高くなるので、情報記録媒体の反射率も比較的高くなる。その結果、情報記録媒体上にゴミなどが付着した場合にも、情報記録媒体からの反射光量が、信号再生に充分な大きさとなる。記録層におけるＴｅ原子の含有割合は、さらに好ましくは、２０原子以上５０原子％以下である。
記録層中のＯ原子が２０原子％以上であることで、記録層の熱伝導率が比較的低くなり、記録層の面方向における熱拡散率が小さくなる。よって、追記マークの幅が狭くなり得る。その結果、追記マーク上、または追記マークの近傍にある凹凸マークの再生精度が、向上する。一方、記録層中のＯ原子が７５原子％以下であることで、信号が長期間にわたって安定に再生される。記録層におけるＯ原子の含有割合は、さらに好ましくは、４０原子％以上６５原子％以下である。
【００３２】
記録層中のＭ原子が１原子％以上であることで、信号が長期間にわたって安定に再生される。一方、記録層中のＭ原子が３０原子％以下であることで、記録層の熱伝導率が比較的低くなり、記録層の面方向における熱拡散率が小さくなるので、追記マークの幅が狭くなり得る。その結果、凹凸マークの再生精度が向上する。記録層におけるＭ原子の含有割合は、さらに好ましくは、１原子％以上２０原子％以下である。
記録層には、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ以外の元素が含まれていてもよい。例えば、熱伝導率の調整、光学定数の調整、耐熱性の向上及び環境信頼性の向上等の少なくとも１つを目的として、Ｓ、Ｎ、Ｆ、Ｂ及びＣから選ばれる少なくとも１種の元素が添加されていてもよい。これらの添加元素の添加量は、記録層全体の２０原子％以内とされることが好ましい。言い換えると、記録層におけるＴｅ原子、Ｏ原子、及びＭ原子の含有量の合計は、８０原子％以上であることが好ましい。
【００３３】
記録層の厚さは、２ｎｍ以上６０ｎｍ以下が好ましい。記録層の厚さが２ｎｍ以上であることで、反射率の変化量が充分に大きくなる。また、記録層の厚さが６０ｎｍ以下であることで、反射率が比較的高くなり、情報記録媒体上にゴミなどが付着した場合にも、情報記録媒体からの反射光量が、信号再生に充分な大きさとなる。記録層の厚さは、４０ｎｍ以下であることがより好ましい。記録層の厚さが４０ｎｍ以下であることで、記録層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。
第１の誘電体層１２、２０、及び３２、並びに第２の誘電体層１４、２２、及び３４（以下、互いを特に区別しないときは、符号を省略し、単に「誘電体層」と称することがある）を設けることで、記録材料を保護することができ、また、情報層での効果的な光吸収を可能にするといった光学特性の調節を行うことができる。
【００３４】
誘電体層は、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とすることが好ましい。
より具体的には、誘電体層としては、
（１）ＺｎＳ等の硫化物、
（２）ＺｎＳｅ等のセレン化物。
（３）ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5ＺｒＯ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｎｂ2Ｏ5、Ｂｉ2Ｏ3、Ｂｉ4Ｔｉ3Ｏ12等の酸化物。
（４）Ｇｅ-Ｎ、Ｓｉ3Ｎ4、ＡｌＮ等の窒化物、
（５）Ｇｅ-Ｏ-Ｎ、Ｃｒ-Ｏ-Ｎ、Ｓｉ-Ｏ-Ｎ、Ａｌ-Ｏ-Ｎ、Ｎｂ-Ｏ-Ｎ、Ｍｏ-Ｏ-Ｎ、Ｔｉ-Ｏ-Ｎ、Ｚｒ-Ｏ-Ｎ、Ｔａ-Ｏ-Ｎ等の窒酸化物、
（６）ＳｉＣ等の炭化物、ＡｌＦ3、ＣａＦ2、ＬａＦ3等の弗化物、
（７）これら（上記（１）〜（６）の適当な組み合わせ（例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ２等）
のいずれかを主成分とする材料が、好ましく用いられる。また、これらの材料は適宜組み合わせられてもよい。
【００３５】
なお、本明細書において、「主成分とする」とは、その物質の含有割合が、６０原子％以上、好ましくは７０原子％以上、より好ましくは８０原子％、さらに好ましくは９０原子％であることを示す。
誘電体層の厚さは、２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。誘電体層の厚さがこの範囲内にあることで、安定な信号再生を実現するために十分な反射率を有する情報記録媒体が、実現される。また、誘電体層の厚さは、５０ｎｍ以下であることがより好ましい。誘電体層の厚さが５０ｎｍ以下であることで、誘電体層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。
反射層１１、１９、２５、３１、３７、及び４１（以下、符号を省略することがある）を設けることで、放熱効果等の熱的効果、及び記録層での効果的な光吸収等の光学的効果等が実現される。
【００３６】
反射層の材料としては、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、若しくはＴｉ等の金属；又はこれらのうちの２種以上の金属が組み合わせられた合金が好ましく用いられる。反射層の材料としては、特にＡｇ合金又はＡｌ合金が好ましい。反射層の材料として、特に放熱性、耐湿性の観点からは、Ａｇ−Ｐｄ−Ｃｕ、Ａｇ−Ｇａ−Ｃｕ、Ａｇ−Ｂｉ、Ａｌ−Ｃｒ、及びＡｌ−Ｎｉが好ましい。
反射層の厚さは、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。反射層が５ｎｍ以上であることで、反射層が均一な層として形成されやすくなる。反射層が均一な層であることで、上述の熱的、光学的な効果がより高められる。反射層の厚さが２００ｎｍ以下であることで、反射層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。また、反射層にＡｇ合金を用いた場合には、反射層の厚さは１００ｎｍ以下であることがより好ましい。反射層の厚さが１００ｎｍ以下であることは、高価な貴金属であるＡｇの使用量の低減を可能にするので、コストの観点から好ましい。
【００３７】
反射層に用いる材料の屈折率ｎ及び消衰係数ｋの好ましい範囲は、それぞれ２．０未満及び２．０以上である。
なお、情報記録媒体の構成は、図４、図５及び図６に示した構成に限定されるものではない。例えば、情報記録媒体は、コストアップを避けるために、反射層１１、１９、２５、３１、３７及び４１を備えない構成であってもよいし、第１の誘電体層１２、２０、及び３２、又は第２の誘電体層１４、２２、及び３４を必要に応じて備えない構成であってもよい。
例えば、図５の情報記録媒体１７の構成を、第１の誘電体層２０を備えない構成に変更することができる。また、図６の情報記録媒体２９の構成を、第１の情報層３５中の反射層３１を備えない構成に変更することもできる。情報記録媒体が誘電体層及び／又は反射層を有さないことによって、その情報記録媒体の製造コストは、低く抑えられる。
【００３８】
２．情報記録媒体の製造方法
以上に述べた情報記録媒体の製造方法は、基板上に情報層を形成する工程を含めばよい。
情報層に含まれる各層（薄膜）の形成方法としては、例えば、気相薄膜堆積法が挙げられ、より具体的には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法、及びＭＢＥ（Molecular  Beam  Epitaxy）法等が挙げられる。
情報記録媒体９、１７、及び２９の具体的な製造方法は、以下の通りである。
≪情報記録媒体９の製造方法≫
図４の情報記録媒体９の製造方法は、基板１０の上に、情報層を形成する工程を含む。情報記録媒体９は、例えば、下記工程（１）及び（２）
（１）基板１０上に、反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、第２の誘電体層１４を順次形成することで、情報層９ａを形成する工程と；
（２）情報層９ａの上、すなわち第２の誘電体層１４の上に、透明層１５を形成する工程と；
を含む方法によって、製造可能である。
【００３９】
透明層１５の形成方法としては、
（ｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体と、接着樹脂を片面に有する基材とを貼り合わせることによって形成する方法、
（ｉｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体とシート状の基材とをＵＶ樹脂によって貼り合わせることにより形成する方法、または、
（ｉｉｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体上に紫外線硬化樹脂を滴下して、紫外線により硬化させることによって形成する方法
等が挙げられる。
≪情報記録媒体１７の製造方法≫
図５の情報記録媒体１７は、例えば、下記工程（１）〜（４）
（１）基板１８上に、第１の情報層２３を、図４の情報記録媒体９の情報層９ａと同様の方法によって形成する工程と；
（２）中間層２４を情報層２３上に形成する工程と；
（３）第２の情報層２６（すなわち反射層２５）を中間層２４上に形成する工程と；
（４）第２の情報層２６上に透明層２７を情報記録媒体９の透明層１５と同様の方法によって形成する工程と；
を含む製造方法によって、製造可能である。
【００４０】
≪情報記録媒体２９の製造方法≫
図６の情報記録媒体２９は、例えば、下記工程（１）〜（３）
（１）基板３０上に、第１の情報層３５を、図４の情報記録媒体９の情報層と同様の方法によって形成する工程と；
（２）中間層を第ｋの情報層（ｋは１以上（ｎ−１）以下の整数）上に形成する工程及び第（ｋ＋１）の情報層（すなわち反射層）をこの中間層上に形成する工程を交互に繰り返すことで、第２〜ｎの情報層及び各情報層間に配置された中間層を形成する工程と；
（３）第ｎの情報層４２上に透明層４３を形成する工程と；
を含む製造方法によって、製造可能である。
≪記録層の形成方法≫
上記記録層の形成には、例えば、以下の（１）〜（３）のいずれかの方法を用いることができる。
【００４１】
（１）記録層をスパッタリング法により作製する方法であって、記録層の作製工程で用いるターゲット材料として、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を主成分とする材料を用いる方法。
（２）上記（１）の方法であって、スパッタリング法として、反応性スパッタリングを行い、ターゲット材料は、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を主成分とし、スパッタリングガスは希ガスと酸素との混合ガスを主成分とする方法。
（３）上記（１）又は（２）の方法であって、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）とＴｅＯ2とを、異なるターゲットから同時にスパッタリングする方法。
【００４２】
これらいずれかの方法で記録層を形成することによって、上記1-2．欄及び1-3．欄で述べたような特性（反射率及び変調度）を有する情報記録媒体を実現することができる。すなわち、これらいずれかの方法により、データ用の記録領域を犠牲にしないで記録媒体の不正コピーを防止でき、長期間にわたって信号を安定に再生できる情報記録媒体を実現できる。
≪基板の作製方法≫
基板の作製方法の具体例を以下に述べる。
まず、フォトレジストが塗布されたガラス原盤を、オーサリングされたコンテンツデータに基づくレーザまたは電子ビームに露光する（カッティング）。その後、現像工程を行うことで、露光されたレジストを現像液に溶解させて、凹凸マークを形成する。こうして、凹凸マークによってコンテンツデータが現像されたディスク原盤を作製する。
【００４３】
次に、このディスク原盤の２つの面のうち、凹凸マークが形成されている側の面をメッキすることで、スタンパを形成する。
そして、このスタンパを用いて透明樹脂等の材料を射出成形することにより、凹凸マークを転写した基板を作製する。
≪中間層の形成工程≫
情報記録媒体１７の製造方法において、中間層２４を形成する工程は、例えば、下記工程（１）又は（２）であってもよい。
（１）基板１８上に形成された第１の情報層２３上に、凹凸マークが形成された樹脂膜を張り付けることで中間層２４を形成する工程。
（２）第１の情報層２３上に紫外線硬化性樹脂を塗布して、この紫外線硬化性樹脂にスタンパを押し付けながら紫外線を照射することによって、凹凸マークが形成された中間層２４を形成する工程。
【００４４】
情報記録媒体２９における複数の中間層の形成工程も、同様である。
３．情報記録媒体の記録再生装置及び記録再生方法
図７に、光ディスクの記録再生に用いられる装置の一例である記録再生装置４５の概略を示す。
図７に示すように、記録再生装置４５は、レーザ４９及び対物レンズ４８を搭載した光学ヘッド（図示省略）と、レーザ４９からのレーザビーム４７を照射する位置を、所定の位置へと導くための駆動装置（図示省略）と、トラック方向におけるレーザ光の照射位置を制御するトラッキング制御装置（図示省略）と、光ディスク４６の表面に垂直な方向におけるレーザ光の照射位置を制御するフォーカシング制御装置（図示省略）と、レーザパワーを変調するためのレーザ駆動装置（図示省略）と、光ディスク４６を回転させるためのスピンドルモータ５１と、を備える。
【００４５】
光ディスク４６としては、情報記録媒体１が、より具体的には、情報記録媒体９、１７、及び２９が、好適に用いられる。また、レーザビーム４７は、レーザビーム１６，２８，及び４４に相当する。
記録再生装置４５は、光ディスク４６をスピンドルモータ５１により回転させると共に、レンズ４８等の光学系部材により微小スポットに絞り込まれたレーザビーム４７を、光ディスク４６に照射することにより、信号の記録及び再生を行う。
信号の再生時には、レーザ駆動装置（図示省略）が、レーザ４９のパワーレベルを、信号の記録を行うパワーレベルよりも低く調整する。また、レーザ駆動装置は、レーザ４９のパワーレベルを、レーザ照射によって記録マークの光学的な状態が影響を受けず、かつレーザ照射によって光ディスク４６から記録マークの再生のために十分な光量が得られるように、調整する。こうして得られる光ディスク４６からの反射光を、光検出器５０で読みとることによって、記録再生装置４５は、光ディスク４６に記録された信号の再生を行うことができる。
【００４６】
記録再生に用いるレーザ光の波長は、３５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。波長４０５ｎｍのレーザ光とＮＡ０．８５のレンズを用いることによって、直径１２ｃｍからなる情報記録媒体において１層当たり２５ＧＢの高密度記録を実現できる。波長４０５ｎｍのレーザ光とＮＡ０．６５のレンズを用いることによって、直径１２ｃｍからなる情報記録媒体において１層当たり１５ＧＢ程度の高密度記録を実現できる。
【実施例】
【００４７】
次に、実施例について説明する。
Ａ．実施例１
実施例１では、記録材料としてＴｅ−Ｏ−Ｐｄを用いた場合に、記録層の組成が
（ａ）反射率、
（ｂ）再生耐久性、
（ｃ）レーザ照射による反射率変化の極性及び
（ｄ）凹凸マークの再生精度
に及ぼす影響を調べた。以下に述べるように、実施例１では、記録層の組成がそれぞれ異なる複数の情報記録媒体をサンプルとして作製し、評価した。以下にその詳細を示す。
A-1．サンプルの作製
本実施例及び後述の実施例２で製造したサンプルの層構成は、第１の誘電体層１２を含まない以外は、図４に示す情報記録媒体９と同様であった。以下では、各サンプルに含まれる層を、図４の符号を用いて説明する。【００４８】
基板１０としては、ポリカーボネイト樹脂からなる基板を用いた。基板１０は１２ｃｍの直径、及び１．１ｍｍの厚さを有し、一方の表面に凹凸マークを有していた。
基板１０の凹凸マークが形成された側の表面上に、Ａｇ−Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、反射層１１として、厚さ８０ｎｍのＡｇ−Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。
次に、反射層１１の上に、Ｔｅ−Ｐｄターゲットを用いて、記録層１３として、Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄ層を、スパッタリング法により形成した。記録層１３の厚さは、サンプルによって異なっており、記録層１３の組成に応じて記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択した。
次に、ＺｎＳ−ＳｉＯ2（分子数比８０：２０）ターゲットを用いて、第２の誘電体層１４として、ＺｎＳ−ＳｉＯ２層を、スパッタリング法により形成した。第２の誘電体層１４の厚さもサンプルにより異なっており、記録層の組成に応じて記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように選択した。【００４９】
第２の誘電体層１４の表面上に、レーザ光に対して透明な紫外線硬化樹脂（アクリル系樹脂）を、スピンコート法により塗布した。この紫外線硬化樹脂を、紫外線を照射して硬化させ、厚さ１００μｍの光透明層１５を形成した。
各層の形成においては、いずれも、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍ程度のスパッタリングターゲットを用いた。各層の形成工程で使用した電源及び出力は、以下の通りである。反射層１１については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を２００Ｗとし、記録層１３については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を５０Ｗとし、第２の誘電体層１４については、電源としてＲＦ電源を使用し、その出力を４００Ｗとした。また、反射層１１及びＺｎＳ−ＳｉＯ2第２の誘電体層１４の形成は、Ａｒ  ２５ｓｃｃｍのガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。記録層１３の形成は、Ａｒ  ２５ｓｃｃｍ及び酸素との混合ガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。また、各サンプルについて、記録層の形成は、表１に示す組成の記録層が得られるように、ＴｅとＰｄからなり、かつそれらの含有率が互いに異なる複数のスパッタリングターゲットを用い、かつ酸素の供給量を変化させて、実施された。【００５０】
以上の工程によって、組成の異なる記録層を有する情報記録媒体である１３種類のサンプル（Ｎｏ．１〜１３）を作製した。以上で、実施例１のサンプルの作製が完了した。
A-2．評価
次に、サンプルの評価手法について説明する。
図７に示す一般的な記録再生装置４５において、光ディスク４６として、Ｎｏ．１〜１３のサンプルを用い、以下の評価を行った。
レーザ４９として、波長４０５ｎｍの半導体レーザを使用し、対物レンズ４８として、開口数０．８５の対物レンズを使用した。光ディスク４６（Ｎｏ．１〜１３のサンプル）を回転させる線速度は、４．９２ｍ／ｓ（３６Ｍｂｐｓ、ＢＤ１倍速相当）とした。
［ａ．反射率の評価］
反射率は、以下の手順で評価した。上記の記録再生装置を用いて、レーザビームを光ディスク４６に向けて照射し、光ディスク４６から反射する光量を測定し、照射したレーザ光量に対する反射光量の比率を算出することで、反射率を測定した。ここで、１２％以上の反射率が得られれば「○」、１２％未満の場合には十分な反射率が得られていないことから「×」と判定した。【００５１】
［ｂ．再生耐久性の評価］
再生耐久性は以下の手順で評価した。上記の記録再生装置４５を用いて、まず、マーク長２Ｔから８Ｔ（Ｔは記録データのクロックの１周期に相当）からなる凹凸マークの平均ジッタを、予め測定した。次に、先ほど測定したトラックに、ＢＤ１倍速、再生光０．３５ｍＷの環境下において、１００万回転まで連続で再生光を照射し続けた。再生耐久試験後、同トラックのジッタ値を測定した。ここでジッタの劣化が０．２％以下の場合は「○」、０．２％より大きい場合は「×」と判定した。さらに、ジッタの劣化が０．１％以下の場合は「◎」と判定した。
［ｃ．反射率変化の極性の評価］
反射率変化の極性は以下の基準で評価した。レーザ照射によって追記マークを記録した時、記録後の反射率が記録前に比べて上がった場合には「○」、下がった場合には「×」と判定した。【００５２】
［ｄ．凹凸マークの再生精度の評価］
凹凸マークの再生精度は以下の手順で評価した。上記の記録再生装置を用いて、まず、予め形成されている凹凸マークの平均ジッタを測定した。
次に、凹凸マークの上に、レーザ照射により追記マークを形成し、凹凸マークの平均ジッタを測定した。
ここで、追記マークの形成前後における凹凸マークのジッタの劣化が０．２％以下の場合は「○」、０．２％より大きい場合は「×」と判定した。
［ｅ．記録層中の各原子の含有率の測定］
次に、記録層中の各原子の含有率の測定方法を説明する。Ｎｏ．１〜１３の各サンプルの記録層を構成する元素の含有率は、組成分析用のサンプルを別途に作成して、測定した。具体的には、Ｎｏ．１〜１３のサンプルの記録層の形成に用いた、Ｔｅと元素Ｍの含有率が異なる複数のターゲットを用意し、スパッタリング装置を使用して、厚さ１ｍｍのＳｉ基板上に、厚さが５００ｎｍの膜を形成した。膜の形成条件は、Ｎｏ．１〜１３の各サンプルの記録層を形成するときに採用した条件と同じとした。【００５３】
次に、Ｘ線マイクロアナライザーを用いて、各膜の組成分析を実施した。実施例において示す材料組成は、本方法により分析した結果である。
［ｆ．総合評価］
以上に述べた、反射率、再生耐久性、反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価結果に、１つでも「×」が含まれていたサンプルについては「×」、全て「○」であったサンプルについては「○」、再生耐久性の評価結果が「◎」であり、それ以外の評価結果が「○」であったサンプルについては「◎」と判定して、総合評価を行った。
実施例１で作製した情報記録媒体について、以上の評価を行った。結果を表１に示す。【００５４】
【表１】
2010032348.tif 000003
表１に示されるように、記録層がＴｅ−Ｏ−Ｐｄ系材料からなるサンプルの反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価結果は、記録層の組成によって異なっていた。表１によると、記録層中のＴｅ量が１０原子％未満の範囲では、レーザ照射により追記マークの反射率が下がるため、実用上問題がある。また、記録層中のＴｅ量が６５原子％を超える領域では、反射率が低くなり、媒体上にゴミなどが付着した際に反射光量が低下するため、実用上問題がある。
記録層中のＯ量が２０原子％未満である場合、記録層の熱伝導率が高いため、記録層の面方向における熱拡散率が大きくなり、追記マークの幅が広くなる。その結果、追記マーク上において、凹凸マークの再生精度が悪化するので、実用上問題がある。また、記録層中のＯ量が７５原子％より大きい場合は、信号を長期間に渡って安定に再生できないため、実用上問題がある。【００５５】
記録層中のＰｄ量が１原子％未満である場合、信号を長期間に渡って安定に再生できないため、実用上問題がある。また、Ｐｄ量が３０原子％を超える領域では、記録層の熱伝導率が高いため、記録層の面方向における熱拡散率が大きくなり、追記マークの幅が広くなる。その結果、凹凸マークの再生精度が悪化するので、実用上問題がある。
Ｎｏ．１及びＮｏ．１３のサンプルは、再生耐久性において特に優れており、総合評価は「◎」となった。
したがって、反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性及び凹凸マークの再生精度を考慮に入れると、記録層中で、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｐｄ原子の割合が１原子％以上３０原子％以下の組成範囲が適していると考えられる。この範囲は図８において、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで囲まれた領域として示されている。【００５６】
また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいと考えられる。この範囲は、図８において、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、及びＬで囲まれた領域として示されている。
ここでは、材料ＭとしてＰｄを用いた場合の例について述べたが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉを用いた場合でも同様の特性が得られることも確認した。
本実施例によれば、記録層において、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉ）の割合が１原子％以上３０原子％以下であることにより、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を実現できることを確認できた。【００５７】
また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいことが確認できた。
Ｂ．実施例２
実施例２では、マークの再生安定性を調べるため、サンプルである各情報記録媒体について、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂの比を変化させた際の追記マークの信号品質、及び凹凸マークの再生精度を評価した。
本実施例で、サンプルとして作製した情報記録媒体は、上述したように、第１の誘電体層１２を含まない以外は、図４に示す情報記録媒体９と同様であった。本実施例のサンプル（Ｎｏ．１４〜１９）は、第２の誘電体層１４の厚さが異なる以外は、同様の構成である。【００５８】
なお、レーザ照射前の反射率Ｒａは、凹凸マーク上に追記マークを形成する前の反射率であり、レーザ照射前の反射率Ｒｂは、凹凸マーク上に追記マークを形成した後の反射率である。各サンプルにおける第２の誘電体層１４の厚さは、表２に示すＲｂ／Ｒａ値を得ることができるように調整された。反射率の測定方法については、実施例１で述べた通りである。
サンプルの製造方法、記録層組成の分析方法、及び凹凸マークの再生精度の評価方法は、実施例１において説明した通りである。本実施例で用いた記録層の組成は、Ｔｅ：Ｏ：Ｐｄ＝４０：５０：１０［ａｔ％］であった。
追記マークの信号品質については、以下のように評価した。
［追記マークの信号品質の評価］
実施例１で使用した記録再生装置を用いて、追記マークの平均ジッタを測定した。測定の結果、平均ジッタが１０％未満であれば「○」、１０％以上であれば「×」と判定した。【００５９】
実施例２で作製したサンプルの評価結果を表２に示す。【００６０】
【表２】
2010032348.tif 000004
表２に示されるように、Ｒｂ／Ｒａ＞１．０の範囲で追記マークの信号品質が良好であることがわかった。また、Ｒｂ／Ｒａ＜１．１の範囲で凹凸マークの再生精度が良好であることがわかった。
本実施例によれば、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂについて、１．０＜Ｒｂ／Ｒａ＜１．１の関係式を満たすことにより、情報記録媒体の追記マーク及び凹凸マークが安定に再生され得ることを確認できた。
Ｃ．実施例３
実施例３では、２つの情報層を有する情報記録媒体の記録層を、Ｔｅ−Ｏ−Ｍ系材料（ここでは代表例としてＴｅ−Ｏ−Ｐｄ系材料を使用）で構成し、実施例１と同様に、記録層の組成が、反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度に及ぼす影響を調べた。【００６１】
本実施例で作製したサンプルの層構成は、第１の誘電体層２０を含まない以外は、図５に示す情報記録媒体１７と同様であった。以下では、各サンプルに含まれる層を、基板１８としては、ポリカーボネイト樹脂からなる基板を用いた。基板１８は１２ｃｍの直径、及び１．１ｍｍの厚さを有し、一方の表面に凹凸マークを有していた。
基板１８の凹凸マークが形成された側の表面上に、Ａｇ−Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、反射層１９として、厚さ８０ｎｍのＡｇ−Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。
次に、反射層１９の上に、Ｔｅ−Ｐｄターゲットを用いて、記録層２１として、Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄ層を、スパッタリング法により形成した。記録層２１の厚さは、サンプルによって異なっていた。各サンプルにおける記録層２１の厚さは、記録層２１の組成に応じて、記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択された。【００６２】
次に、ＺｎＳ−ＳｉＯ2（分子数比８０：２０）ターゲットを用いて、第２の誘電体層２２として、ＺｎＳ−ＳｉＯ２層を、スパッタリング法により形成した。第２の誘電体層２２の厚さも、サンプルにより異なっていた。各サンプルにおける第２の誘電体層２２の厚さは、各サンプルにおける記録層の組成に応じて、記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択された。
こうして形成された第１の情報層２３の表面上に、紫外線硬化性樹脂（アクリル系樹脂）をスピンコート法により塗布した。次いで、基板１８に形成された凹凸マークと同様のマークが形成されたパターンを、この紫外線硬化性樹脂上に転写し、厚さ約２５μｍの中間層２４を形成した。
この中間層２４の表面上に、第２の情報層２６（反射層２５）として、Ａｇ−Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、厚さ１５ｎｍのＡｇ−Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。この第２の情報層２６の表面上に、紫外線硬化性樹脂（アクリル系樹脂）を用いて、厚さ約７５μｍの光透明層２７を形成した。【００６３】
各層の形成は、いずれも、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍ程度のターゲットを用いて行った。各層の形成工程で使用した電源及び出力は、以下の通りである。反射層１９、２５については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を２００Ｗとし、記録層２１については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を５０Ｗとし、第２の誘電体層２２については、電源としてＲＦ電源を使用し、その出力を４００Ｗとした。また、反射層１９及び２５並びに第２の誘電体層２２の形成は、Ａｒ  ２５ｓｃｃｍのガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。記録層２１の形成は、Ａｒ２５  ｓｃｃｍ及び酸素との混合ガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。
また、各サンプルについて、記録層２１の形成は、表３に示す組成の記録層が得られるように、ＴｅとＰｄからなり、かつそれらの含有率が互いに異なる複数のスパッタリングターゲットを用い、かつ酸素の供給量を変化させて、実施された。以上で、実施例３のサンプルの作製が完了した。【００６４】
記録層組成の分析方法、並びに反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価方法は、実施例１において説明した通りである。また、総合評価の方法も、実施例１において説明した通りである。実施例３で作製した情報記録媒体の評価結果を、表３に示す。【００６５】
【表３】
2010032348.tif 000005
表３に示されるように、第１の情報層の記録層に、Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄ系記録材料を用いると、実施例１と同様に、良好な反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度が得られることがわかった。
特に、実施例１のＮｏ．１及びＮｏ．１３のサンプルと同じ組成の記録層を有するサンプル（Ｎｏ．２０及び３２）は、再生耐久性に特に優れており、総合評価は「◎」となった。
ここでは、材料ＭとしてＰｄを用いた場合の例について述べたが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉを用いた場合でも同様の特性が得られることも確認した。【００６６】
本実施例によれば、記録層において、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉ）の割合が１原子％以上３０原子％以下であることにより、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を実現できることを確認できた。
また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいことが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の情報記録媒体とその製造方法は、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体（光ディスク等）に有用である。
【符号の説明】
【００６８】
１，９，１７，２９，４６    情報記録媒体
２    リードアウト領域
３    データ記録領域
４    リードイン領域
５，７    凹凸マーク
６，８    追記マーク
１０，１８，３０    基板
１１，１９，２５，３１，３７，４１    反射層
１２，２０，３２    第１の誘電体層
１３，２１，３３    記録層
１４，２２，３４    第２の誘電体層
１５，２７，４３    光透明層
２４，３６，３９，４０    中間層
１６，２８，４４，４７    レーザビーム
２３，３５    第１の情報層
２６，３８    第２の情報層
４２    第ｎの情報層
４５    記録再生装置
４８    対物レンズ
４９    レーザ
５０    光検出器
５１    スピンドルモータ
【図１】
2010032348.tif 000006
【図２】
2010032348.tif 000007
【図３】
2010032348.tif 000008
【図４】
2010032348.tif 000009
【図５】
2010032348.tif 000010
【図６】
2010032348.tif 000011
【図７】
2010032348.tif 000012
【図８】
2010032348.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月1日(2010.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（１）〜（３）
（１）  凹凸マークが形成された情報層と、
（２）  前記情報層に含まれ、
レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、
Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層と、
（３）前記情報層が設けられる基板と、
を備えると共に、
レーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂが、
１．０  ＜  Ｒｂ／Ｒａ  ＜  １．１
を満たす
情報記録媒体。
【請求項２】
隣り合う前記追記マーク間の最短距離は、隣り合う前記凹凸マーク間の最長距離よりも長く、
最短の前記追記マークの長さは、最長の前記凹凸マークの長さよりも長い
請求項１に記載の情報記録媒体。
【請求項３】
前記記録層に含まれるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、
Ｔｅ原子の含有割合が１０原子％以上６５原子％以下、
Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、
Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下
である
請求項１又は２に記載の情報記録媒体。
【請求項４】
前記記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、
Ｔｅ原子の含有割合が２０原子％以上５０原子％以下、
Ｏ原子の含有割合が４０原子％以上６５原子％以下、
Ｍ原子の含有割合が１原子％以上２０原子％以下
である
請求項１又は２に記載の情報記録媒体。
【請求項５】
前記記録層を構成する原子の数の合計を１００原子％としたときに、
前記記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計が、８０原子％以上である
請求項１〜４のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項６】
前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
前記誘電体層が、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とする、
請求項１〜５のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項７】
前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
前記誘電体層の厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ以下である
請求項１〜６のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項８】
前記情報層は、前記記録層に隣接する誘電体層を有し、
前記誘電体層の厚さが２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である
請求項１〜６のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項９】
前記情報層は、前記基板と前記記録層との間に配置された反射層を有し、
前記反射層は、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＴｉからなる群より選択される少なくとも１つを主成分とする
請求項１〜８のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１０】
前記情報層は、前記基板と前記記録層との間に配置された反射層を有し、
前記反射層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である
請求項１〜９のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１１】
前記記録層の厚さが２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である
請求項１〜１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１２】
前記記録層の厚さが２ｎｍ以上４０ｎｍ以下である
請求項１〜１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板上に直接に、または前記基板上に形成された他の層の上に、
Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、
スパッタリング法により、
前記記録層を形成する工程
を含む情報記録媒体の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板上に直接に、または前記基板上に形成された他の層の上に、
Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、
希ガスと酸素との混合ガスを含む雰囲気中において、
反応性スパッタリング法により、
前記記録層を形成する工程
を含む情報記録媒体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザビーム（レーザ光）の照射等の光学的な手段を用いて情報の記録及び再生が可能な情報記録媒体に関するものであって、特に映像や音声などの主情報を記録し、かつ副情報を追記可能な情報記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高速度での情報の記録再生が可能で、容量の大きい情報記録媒体（「記録媒体」または「媒体」と呼ぶことがある）として、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ／Ｖｉｄｅｏ  Ｄｉｓｃ）やＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃに代表される光学的情報記録媒体が知られている。このような情報記録媒体は、異なる２つの状態の間での反射率の違いを利用して、情報の記録再生を行なうものである。また、このような情報記録媒体は、必要に応じてランダムアクセスが可能であり、かつ可搬性にも優れるという大きな利点を有しているため、近年、その重要性がますます高まっている。
従来から提案されている情報記録媒体としては、多数回の書換が可能な書換型媒体、１回のみ書き込みが可能な追記型媒体、及び再生のみが可能な再生専用媒体が挙げられる。再生専用媒体は、一般的に、書換型媒体や追記型媒体と比較して、媒体を構成する層の数を少なく出来るため、製造が容易であり、低コストで提供することが可能である。そのため、音楽、映画、ゲームソフトなどのデジタルコンテンツを配布する媒体として広く用いられている。
【０００３】
再生専用媒体において、不正コピーを防止するために、映像や音声などの主情報とは別に、情報記録媒体のシリアルナンバー等の副情報を追記することが行なわれている。この副情報は、例えばＢＣＡ（Burst Cutting Area）とよばれるバーコード状のマークにより記録され、情報記録層にある反射膜を、ＹＡＧレーザで焼き切ることによって加工される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１９６９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、副情報を記録するのに高価なＹＡＧレーザが必要であるので、情報記録媒体を作製するコストが高くなるという課題がある。
本発明は、上記発明の課題を解決するためになされたものであって、映像や音声などの主情報を記録可能であるとともに、低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、第１の発明の情報記録媒体は、下記（１）〜（３）
（１）  凹凸マークが形成された情報層と、
（２）  情報層に含まれ、レーザ照射によって光学的特性が変化することで、追記マークが形成され、Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有する記録層と、
（３）前記情報層が設けられる基板と、
を備える。さらに、第１の発明の情報記録媒体のレーザ照射前の反射率Ｒａ及びレーザ照射後の反射率Ｒｂは、１．０  ＜  Ｒｂ／Ｒａ  ＜  １．１を満たす。
この情報記録媒体は、映像や音声などの主情報を凹凸マークに記録し、副情報を追記マークに記録することができる。よって、この情報記録媒体は、情報記録媒体を製造するコストの増加を抑えることができると共に、利便性に優れる。
【０００７】
第２の発明の情報記録媒体は、第１の発明の情報記録媒体であって、隣り合う追記マーク間の最短距離は、隣り合う凹凸マーク間の最長距離よりも長く、最短の追記マークの長さは、最長の凹凸マークの長さよりも長い。第２の発明の情報記録媒体は、凹凸マークによって記録されたデータ及び追記マークによって記録されたデータを安定に再生することができる。
第３の発明の情報記録媒体は、第１又は第２の発明の情報記録媒体であって、記録層に含まれるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、Ｔｅ原子の含有割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下である。第３の発明の情報記録媒体は、信号を、長期間にわたって安定に再生するのに適している。
【０００８】
第４の発明の情報記録媒体は、第１又は第２の発明の情報記録媒体であって、記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計を１００原子％としたときに、Ｔｅ原子の含有割合が２０原子％以上５０原子％以下、Ｏ原子の含有割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上２０原子％以下である。第４の発明の情報記録媒体は、信号を、長期間に渡って安定に再生するのに、さらに適している。
第５の発明の情報記録媒体は、第１〜第４のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層を構成する原子の数の合計を１００原子％としたとき、記録層に含有されるＴｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計が、８０原子％以上である。
Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数が合計で８０原子％以上であると、Ｏ原子、Ｔｅ原子及びＭ原子を含むことによる効果を、より顕著に得ることができる。より好ましくは、Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子の数の合計は、９０原子％以上であり、さらにより好ましくは、９５原子％以上である。あるいは、記録層は、Ｔｅ原子、Ｏ原子及びＭ原子のみで形成されていてよい。
【０００９】
第６の発明の情報記録媒体は、第１〜第５のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層が、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とするであることがより好ましい。
第６の発明の情報記録媒体は、このような組成を有することで、特定の元素（Ｔｅ原子、Ｏ原子、Ｍ原子）を含む記録層との組合せにより、信号を、長期間に渡って、安定に再生するのに適している。
第７の発明の情報記録媒体は、第１〜第６のいずれか発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層の厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。誘電体層の厚さがその範囲内にあることで、信号を安定に再生するために好適な反射率を有する情報記録媒体が実現される。
【００１０】
第８の発明の情報記録媒体は、第１〜第６のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、記録層に隣接する誘電体層を有し、誘電体層の厚さが２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。誘電体層の厚さがその範囲内にあることで、信号を安定に再生するためにさらに好適な反射率を有する情報記録媒体が実現される。
第９の発明の情報記録媒体は、第１〜第８のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、基板と記録層の間に反射層を有し、反射層がＡｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＴｉからなる群より選択される少なくとも１つを主成分とする。第９の発明の情報記録媒体によれば、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
第１０の発明の情報記録媒体は、第１〜第９のいずれかの発明の情報記録媒体であって、情報層が、基板と記録層との間に配置された反射層を有し、反射層の厚さが５ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。反射層の厚さがその範囲内にあると、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
【００１１】
第１１の発明の情報記録媒体は、第１〜第１０のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層の厚さが２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である。記録層の厚さがこの範囲内にあると、信号を安定に再生するために好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
第１２の発明の情報記録媒体は、第１〜第１０のいずれかの発明の情報記録媒体であって、記録層の厚さが２ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。記録層の厚さがこの範囲内にあると、信号を安定に再生するためにより好ましい反射率を有する情報記録媒体が実現される。
さらに、第１３の発明の製造方法は、上述した情報記録媒体の製造方法であって、基板上に直接に、または基板上に形成された他の層の上に、Ｔｅ、Ｏ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により、記録層を形成する工程を含む。この製造方法は、信号を長期間にわたって安定に再生できる情報記録媒体を製造可能である。
【００１２】
さらに、第１４の発明の製造方法は、上述した情報記録媒体の製造方法であって、基板上に直接に、または基板上に形成された他の層の上に、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するスパッタリングターゲットを用いて、希ガスと酸素との混合ガスを含む雰囲気中において、反応性スパッタリング法により、記録層を形成する工程を含む。この製造方法は、信号を長期間にわたって安定に再生できる情報記録媒体を製造可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の情報記録媒体は、映像や音声などの主情報を記録可能であり、さらに、低コストで副情報を追記することができる。
また、本発明の情報記録媒体の製造方法によれば、上記のような効果を有する情報記録媒体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】情報記録媒体の構成を模式的に示す平面図
【図２】情報記録媒体の凹凸データと追記データを示す模式図
【図３】情報記録媒体の凹凸データと別の追記データを示す模式図
【図４】情報記録媒体の一構成例を示す断面図
【図５】情報記録媒体の別の構成例を示す断面図
【図６】情報記録媒体のさらに別の構成例を示す断面図
【図７】情報記録媒体の記録再生に用いられる記録再生装置の構成の一部を模式的に示す図
【図８】Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄの３元系組成図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。また、以下では、同一の部分または要素には、同一の符号を付して重複する説明を省略する場合がある。
１．情報記録媒体
1-1．レイアウト構造
図１は、情報記録媒体１のディスクレイアウト構造の一例を示す平面図である。
図１に示すように、情報記録媒体１は、円形の記録ディスクである。情報記録媒体１は、リードイン領域４、データ記録領域３、リードアウト領域２を有している。
リードイン領域４には、ディスクの構造に関する情報、ディスクの記録時に必要な情報、記録データの管理情報に関するデータなどが凹凸マークにより記録されている。
【００１６】
リードアウト領域２は、データの記録終了位置を示す領域である。
データ記録領域３には、凹凸マークによるメディアの主情報が記録されている。主情報としては、映像、音声及びその他のソフトウェアが挙げられる。
情報記録媒体１では、シリアルナンバー等、情報記録媒体に固有の情報は、副情報として、レーザ照射によって記録可能である。副情報は、凹凸マークに重畳される追記マークにより記録される。副情報は、リードイン領域４において局所的に記録されることが好ましいが、リードイン領域４以外の領域（例えばデータ記録領域３等）に記録することも可能である。  図２の凹凸マーク５及び追記マーク６は、情報記録媒体１に形成される凹凸マーク及び追記マークの一例であり、図３の凹凸マーク７及び追記マーク８は、他の例である。つまり、情報記録媒体１に形成される凹凸マーク及び追記マークは、図２又は図３のいずれの構成であってもよい。図２及び図３では、情報記録媒体１の半径方向をＤ１として示す。
【００１７】
追記マーク６は、凹凸マーク５の上へのレーザビームの照射によって形成されている。図２に示すように、追記マーク６の間隔（つまり、情報記録媒体１の円周方向において隣り合う追記マーク６同士の距離）は、凹凸マーク５の最長マークの間隔（つまり、情報記録媒体１の円周方向において隣り合う最長マーク同士の距離）よりも長い。すなわち、隣り合う追記マーク６間の最短距離Ｗ１は、隣り合う凹凸マーク５間の最長距離Ｗ２よりも長い。
また、追記マーク６の長さは、凹凸マーク５の長さよりも長い。図２において、最短の追記マーク６に符号“６ａ”を、最長の凹凸マーク５に符号“５ａ”を付す。図２に示すように、追記マーク６ａの長さＬ１は、凹凸マーク５ａの長さＬ２よりも長い。「長さ」とは、情報記録媒体１の円周方向における長さを意味する。説明の便宜上、図２では、追記マーク６ａと凹凸マーク５ａとが重ねて描かれているが、図２は本発明を限定するものではない。
【００１８】
このように、距離Ｗ１が距離Ｗ２よりも長く、かつ長さＬ１が長さＬ２よりも長いことで、凹凸マーク５によって記録されたデータ、及び追記マーク６によって記録されたデータは、例えば、記録再生装置４５（後述）により、安定に再生される。
ただし、追記マークの長さ及び間隔は、図２の形態には限定されない。例えば、図３の構成において、追記マーク８は、図２の構成と同様に、凹凸マーク７の上へのレーザビームの照射よって形成されている。図３に示すように、追記マーク８間の最短距離は、凹凸マーク７間の最短距離よりも短くてもよい。また、最短の追記マーク８の長さは、最長の凹凸マーク７の長さよりも短くてもよい。
本明細書で、単に「追記マーク」と称する場合は、その追記マークは、追記マーク６及び８のいずれの形状であってもよい。
【００１９】
1-2．反射率
情報記録媒体１は、レーザ照射によって反射率が増加することが好ましい。通常の再生専用記録媒体は、レーザ照射によって反射率が低減する。これに対して、レーザ照射によって反射率が向上する記録媒体であれば、不正な複製を防止できる。
また、情報記録媒体１は、レーザ照射による反射率の増加量が微量であることが好ましい。つまり、情報記録媒体１のレーザ照射後の反射率Ｒｂは、凹凸マークとして情報記録媒体１に記録された主情報が安定的に再生される程度に、高いことが好ましい。
具体的には、情報記録媒体１において、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂは、
１．０＜Ｒｂ／Ｒａ＜１．１
の関係式を満たすことが好ましい。なぜなら、Ｒｂ／Ｒａがこの範囲にあることによって、凹凸マークとして記録された主情報が、安定に再生されるからである。例えば、情報記録媒体１に記録された情報を再生する再生装置（例えば、後述の記録再生装置４５）において、ピックアップの表面にゴミが付着した場合には、ピックアップが受光する光量が低下するので、主情報の再生の安定性が低下する。これに対して、Ｒｂ／Ｒａが上述の範囲内にあることによって、再生装置は、主情報を安定的に再生することができる。
【００２０】
なお、反射率の関係式がＲｂ／Ｒａ≧１．１を満たすような場合にも、再生装置は、追記マークを安定に再生することができる。
1-3．変調度
情報記録媒体１において、凹凸マークの変調度Ａ及び追記マークの変調度Ｂは、
Ｂ／Ａ＜０．１
を満たすことが好ましい。Ｂ／Ａがこの範囲内にあることで、凹凸マークに記録された信号の再生精度が、良好となる。つまり、再生信号において、再生時の凹凸マークの変調度に対して、追記マークの変調度は十分小さいため、Ｂ／Ａが上記範囲内にあることで、凹凸マークの再生精度の悪化を抑制することができる。
また、情報記録媒体１は、信号再生のためのレーザビームの照射によって劣化しにくく、長期間にわたって高い信号品質を維持することが好ましい。情報記録媒体１は、例えば、レーザビームを１００万回程度照射された場合に、凹凸マークや追記マークの信号品質が劣化しないことが好ましい。
【００２１】
1-4．層構造
上記1-2.及び1-3.欄の特性を満たす情報記録媒体１の構成の詳細について、以下に述べる。図４〜図６に示す情報記録媒体９、１７及び２９は、情報記録媒体１の具体例である。
図４に示すように、情報記録媒体９は、基板１０、情報層９ａ及び透明層１５を備える。情報層９ａは、反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、及び第２の誘電体層１４を備える。反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、及び第２の誘電体層１４は、基板１０側からこの順に積層されている。透明層１５は、情報層９ａの上に形成されている。透明層１５は、カバー層または保護層とも呼ばれる。
情報記録媒体９において、反射層１１、第１の誘電体層１２及び第２の誘電体層１４のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体９の製造コストはより低減される。レーザビーム１６が、この情報記録媒体９を、透明層１５の側から照射することで、信号が記録再生される。
【００２２】
また、図５に示すように、情報記録媒体１７は、基板１８、第１の情報層２３、中間層２４、第２の情報層２６、及び透明層２７を備える。第１の情報層２３、中間層２４、第２の情報層２６及び透明層２７は、基板１８上に、この順に積層されている。
第１の情報層２３は、反射層１９、第１の誘電体層２０、記録層２１及び第２の誘電体層２２を備える。反射層１９、第１の誘電体層２０、記録層２１及び第２の誘電体層２２は、基板１８上にこの順に積層されている。第１の情報層２３は、この構成により、高い反射率と、長期間にわたる信号の再生安定性とを両立することができる。
中間層２４は、２つの情報層２３と２６との間に介在することで、各情報層を光学的に分離する。こうして、中間層２４は、不要な光学干渉を排除する。
第２の情報層２６は、反射層２５からなる。
【００２３】
透明層２７は、第２の情報層２６の上に形成されている。レーザビーム２８が、この情報記録媒体１７を、透明層２７の側から照射することで、信号が記録再生される。
情報記録媒体１７において、第１の情報層２３における反射層１９、第１の誘電体層２０及び第２の誘電体層２２のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体１７の製造コストはより低減される。また、第１の情報層２３が反射層のみからなり、第２の情報層２６が反射層、第１の誘電体層、記録層、第２の誘電体層などを有していてもよい。
また、図６に示すように、情報記録媒体２９は、基板３０、第１の情報層３５、第２の情報層３８、・・・第ｎの情報層４２（ｎは３以上の整数）を備える。第１の情報層３５、第２の情報層３８、・・・第ｎの情報層４２は、基板３０側からこの順に設けられている。
【００２４】
各情報層の間には中間層（図６の“３６”、“３９”、及び“４０”等）が介在する。これらの中間層は、各情報層を光学的に分離することで、不要な光学干渉を排除する。
また、情報記録媒体２９において、第ｎの情報層４２上には、透明層４３が設けられている。レーザ光４４が、情報記録媒体２９を、透明層４３の側から照射することで、信号が記録再生される。
第１の情報層３５は、反射層３１、第１の誘電体層３２、記録層３３、第２の誘電体層３４が順次積層された構成からなる。この構成により、高い反射率と、長期間にわたる信号の再生安定性とが両立される。
第２〜第ｎの情報層（図６の“３８”及び“４２”等）は、それぞれ、反射層（図６の“３７”及び“４１”等）からなる。
【００２５】
情報記録媒体２９において、第１の情報層３５における反射層、第１の誘電体層、第２の誘電体層のいずれか又は全部は、形成されていなくてもよい。また、第１の情報層３５が反射層のみからなり、第２〜第ｎの情報層の少なくとも１つが、反射層、第１の誘電体層、記録層、第２の誘電体層などを有していてもよい。層の数がより少なければ、情報記録媒体２９の製造コストはより低減される、
基板１０、１８及び３０（以下、符号を省略することがある）の材料としては、透明な円盤状の材料、例えば、
（１）ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、若しくはガラス；又は
（２）これら（上記（１）に含まれる材料）を適宜組み合わせたもの
等が用いられる。
【００２６】
基板には、予め凹凸マークが形成されている。
また、基板の厚さは、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ〜１．５ｍｍ程度であってもよい。対物レンズの開口数が０．７５〜０．９５の範囲である場合、基板の厚さは１．００ｍｍ〜１．２０ｍｍの範囲であることが好ましい。基板の厚さがこの範囲内であることで、情報記録媒体の強度が保たれる。対物レンズの開口数が０．５５〜０．７５の範囲である場合、基板の厚さは０．５０ｍｍ〜０．７０ｍｍの範囲であることが好ましい。
透明層１５、２７及び４３（以下、符号を省略することがある）の材料は、信号の記録及び再生が可能な程度にレーザビーム１６、２８及び４４（以下、符号を省略することがある）を透過するものであればよい。すなわち、透明層の材料は、レーザビームの波長に対して光吸収が小さく、短波長域において光学的に複屈折率が小さいことが好ましい。透明層の材料としては、透明な材料が用いられ、例えば、ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、又はガラス；あるいはこれらを適宜組み合わせたもの等が用いられる。透明層は、以上に述べた材料が、円盤状に形成されることで形成可能である。
【００２７】
また、透明層の厚さは、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ〜１．５ｍｍ程度であってもよい。また、対物レンズの開口数が０．７５〜０．９５の範囲である場合、透明層の厚さは、０．０３ｍｍ〜０．２０ｍｍの範囲であることが好ましい。透明層の厚さがこの範囲にあることで、情報記録媒体におけるチルトに対する許容幅が大きくなる。対物レンズの開口数が０．５５〜０．７５の範囲である場合、透明層の厚さは、０．５０ｍｍ〜０．７０ｍｍの範囲であることが好ましい。
中間層２４、３６、３９及び４０（以下、符号を省略することがある）の材料としては、透明層と同様に、透明な材料が用いられ、例えば、ポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、若しくはガラス；又はこれらを適宜組み合わせたもの等が、用いられる。中間層は、以上に述べた材料が、円盤状に形成されることで形成可能である。
【００２８】
中間層の厚さは、対物レンズの開口数ＮＡとレーザ光の波長λとにより決定される焦点深度以上の厚さに形成される。中間層の厚さがこのように設定されていることで、第１の情報層２３及び３５、並びに第２の情報層２６、３８、及びその他の情報層（例えば第ｎの情報層４２）のいずれか１つに記録された情報が記録又は再生されるときに、他の情報層からのクロストークが小さく抑えられる。また、全ての情報層は、レーザ光が集光可能な範囲に収まる厚さに形成される。３層以上の情報層が積層される場合は、それぞれの情報層同士の間の中間層の厚さは互いに異なることが好ましい。なぜなら、複数の中間層が同じ厚さの場合、各情報層が等間隔に配置されるので、１つの情報層の情報が記録又は再生されるときに、その情報層の２つ手前に位置する層でレーザ光が焦点を結びうるため、クロストークが大きくなる可能性があるためである。
【００２９】
中間層にも、凹凸マークが、情報層の位置する側に、予め形成されていることが好ましい。
記録層１３、２１、及び３３（以下、符号を省略することがある）は、光学特性が異なる２つ以上の状態間をとりうる材料より構成される。追記型の記録層の材料は、この異なる状態間を非可逆的に変化しうるものが好ましい。
記録層の材料としては、例えば、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を含有するものが、用いられる。特に、材料Ｍとして、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素が用いられることにより、十分な結晶化速度及び高い再生耐久性が実現される。
【００３０】
元素Ｍは、Ｔｅと結合して安定な結晶状態の記録マークを形成する元素が好ましい。このような元素として、例えばＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉなど、Ｔｅと化合物または共晶を形成しうる元素が挙げられる。また、さらなる特性改善のため、記録層には、これら以外の元素が添加されていてもよい。
Ｔｅ−Ｏ−Ｍは、記録層の形成直後では、ＴｅＯ2中にＴｅ、Ｔｅ−Ｍ及びＭの微粒子が一様に分散された状態の複合材料である。レーザ光の照射を受けることによって、この複合材料中のＴｅ及びＴｅ−Ｍの結晶粒径が、大きくなる。記録再生装置（後述）は、この光学状態の違いを信号として検出することができる。よって、記録層にＴｅ−Ｏ−Ｍを含む情報記録媒体は、１回のみ書き込み可能な、いわゆるライトワンス型記録媒体としての機能を実現することができる。
【００３１】
記録層の材料の好ましい組成範囲は、Ｔｅ原子の含有割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の含有割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子の含有割合が１原子％以上３０原子％以下である。この組成範囲が好ましい理由を以下に述べる。
記録層中のＴｅ原子が１０原子％以上であることで、レーザ照射を受けても追記マークの反射率が下がりにくいという効果が実現される。一方、記録層中のＴｅ原子が６５原子％以下であることで、記録層全体の反射率が比較的高くなるので、情報記録媒体の反射率も比較的高くなる。その結果、情報記録媒体上にゴミなどが付着した場合にも、情報記録媒体からの反射光量が、信号再生に充分な大きさとなる。記録層におけるＴｅ原子の含有割合は、さらに好ましくは、２０原子％以上５０原子％以下である。
記録層中のＯ原子が２０原子％以上であることで、記録層の熱伝導率が比較的低くなり、記録層の面方向における熱拡散率が小さくなる。よって、追記マークの幅が狭くなり得る。その結果、追記マーク上、または追記マークの近傍にある凹凸マークの再生精度が、向上する。一方、記録層中のＯ原子が７５原子％以下であることで、信号が長期間にわたって安定に再生される。記録層におけるＯ原子の含有割合は、さらに好ましくは、４０原子％以上６５原子％以下である。
【００３２】
記録層中のＭ原子が１原子％以上であることで、信号が長期間にわたって安定に再生される。一方、記録層中のＭ原子が３０原子％以下であることで、記録層の熱伝導率が比較的低くなり、記録層の面方向における熱拡散率が小さくなるので、追記マークの幅が狭くなり得る。その結果、凹凸マークの再生精度が向上する。記録層におけるＭ原子の含有割合は、さらに好ましくは、１原子％以上２０原子％以下である。
記録層には、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ以外の元素が含まれていてもよい。例えば、熱伝導率の調整、光学定数の調整、耐熱性の向上及び環境信頼性の向上等の少なくとも１つを目的として、Ｓ、Ｎ、Ｆ、Ｂ及びＣから選ばれる少なくとも１種の元素が添加されていてもよい。これらの添加元素の添加量は、記録層全体の２０原子％以内とされることが好ましい。言い換えると、記録層におけるＴｅ原子、Ｏ原子、及びＭ原子の含有量の合計は、８０原子％以上であることが好ましい。
【００３３】
記録層の厚さは、２ｎｍ以上６０ｎｍ以下が好ましい。記録層の厚さが２ｎｍ以上であることで、反射率の変化量が充分に大きくなる。また、記録層の厚さが６０ｎｍ以下であることで、反射率が比較的高くなり、情報記録媒体上にゴミなどが付着した場合にも、情報記録媒体からの反射光量が、信号再生に充分な大きさとなる。記録層の厚さは、４０ｎｍ以下であることがより好ましい。記録層の厚さが４０ｎｍ以下であることで、記録層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。
第１の誘電体層１２、２０、及び３２、並びに第２の誘電体層１４、２２、及び３４（以下、互いを特に区別しないときは、符号を省略し、単に「誘電体層」と称することがある）を設けることで、記録材料を保護することができ、また、情報層での効果的な光吸収を可能にするといった光学特性の調節を行うことができる。
【００３４】
誘電体層は、硫化物材料、セレン化物材料、酸化物材料、窒化物材料、窒酸化物材料、炭化物材料及び弗化物材料から成る群より選択される少なくとも１つを主成分とすることが好ましい。
より具体的には、誘電体層としては、
（１）ＺｎＳ等の硫化物、
（２）ＺｎＳｅ等のセレン化物。
（３）ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5ＺｒＯ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｎｂ2Ｏ5、Ｂｉ2Ｏ3、Ｂｉ4Ｔｉ3Ｏ12等の酸化物。
（４）Ｇｅ-Ｎ、Ｓｉ3Ｎ4、ＡｌＮ等の窒化物、
（５）Ｇｅ-Ｏ-Ｎ、Ｃｒ-Ｏ-Ｎ、Ｓｉ-Ｏ-Ｎ、Ａｌ-Ｏ-Ｎ、Ｎｂ-Ｏ-Ｎ、Ｍｏ-Ｏ-Ｎ、Ｔｉ-Ｏ-Ｎ、Ｚｒ-Ｏ-Ｎ、Ｔａ-Ｏ-Ｎ等の窒酸化物、
（６）ＳｉＣ等の炭化物、ＡｌＦ3、ＣａＦ2、ＬａＦ3等の弗化物、
（７）これら（上記（１）〜（６）の適当な組み合わせ（例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ2等）
のいずれかを主成分とする材料が、好ましく用いられる。また、これらの材料は適宜組み合わせられてもよい。
【００３５】
なお、本明細書において、「主成分とする」とは、その物質の含有割合が、６０原子％以上、好ましくは７０原子％以上、より好ましくは８０原子％、さらに好ましくは９０原子％であることを示す。
誘電体層の厚さは、２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。誘電体層の厚さがこの範囲内にあることで、安定な信号再生を実現するために十分な反射率を有する情報記録媒体が、実現される。また、誘電体層の厚さは、５０ｎｍ以下であることがより好ましい。誘電体層の厚さが５０ｎｍ以下であることで、誘電体層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。
反射層１１、１９、２５、３１、３７、及び４１（以下、符号を省略することがある）を設けることで、放熱効果等の熱的効果、及び記録層での効果的な光吸収等の光学的効果等が実現される。
【００３６】
反射層の材料としては、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、若しくはＴｉ等の金属；又はこれらのうちの２種以上の金属が組み合わせられた合金が好ましく用いられる。反射層の材料としては、特にＡｇ合金又はＡｌ合金が好ましい。反射層の材料として、特に放熱性、耐湿性の観点からは、Ａｇ−Ｐｄ−Ｃｕ、Ａｇ−Ｇａ−Ｃｕ、Ａｇ−Ｂｉ、Ａｌ−Ｃｒ、及びＡｌ−Ｎｉが好ましい。
反射層の厚さは、５ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。反射層が５ｎｍ以上であることで、反射層が均一な層として形成されやすくなる。反射層が均一な層であることで、上述の熱的、光学的な効果がより高められる。反射層の厚さが２００ｎｍ以下であることで、反射層の形成に要する時間が短縮され、生産性が向上する。また、反射層にＡｇ合金を用いた場合には、反射層の厚さは１００ｎｍ以下であることがより好ましい。反射層の厚さが１００ｎｍ以下であることは、高価な貴金属であるＡｇの使用量の低減を可能にするので、コストの観点から好ましい。
【００３７】
反射層に用いる材料の屈折率ｎ及び消衰係数ｋの好ましい範囲は、それぞれ２．０未満及び２．０以上である。
なお、情報記録媒体の構成は、図４、図５及び図６に示した構成に限定されるものではない。例えば、情報記録媒体は、コストアップを避けるために、反射層１１、１９、２５、３１、３７及び４１を備えない構成であってもよいし、第１の誘電体層１２、２０、及び３２、又は第２の誘電体層１４、２２、及び３４を必要に応じて備えない構成であってもよい。
例えば、図５の情報記録媒体１７の構成を、第１の誘電体層２０を備えない構成に変更することができる。また、図６の情報記録媒体２９の構成を、第１の情報層３５中の反射層３１を備えない構成に変更することもできる。情報記録媒体が誘電体層及び／又は反射層を有さないことによって、その情報記録媒体の製造コストは、低く抑えられる。
【００３８】
２．情報記録媒体の製造方法
以上に述べた情報記録媒体の製造方法は、基板上に情報層を形成する工程を含めばよい。
情報層に含まれる各層（薄膜）の形成方法としては、例えば、気相薄膜堆積法が挙げられ、より具体的には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法、及びＭＢＥ（Molecular  Beam  Epitaxy）法等が挙げられる。
情報記録媒体９、１７、及び２９の具体的な製造方法は、以下の通りである。
≪情報記録媒体９の製造方法≫
図４の情報記録媒体９の製造方法は、基板１０の上に、情報層を形成する工程を含む。情報記録媒体９は、例えば、下記工程（１）及び（２）
（１）基板１０上に、反射層１１、第１の誘電体層１２、記録層１３、第２の誘電体層１４を順次形成することで、情報層９ａを形成する工程と；
（２）情報層９ａの上、すなわち第２の誘電体層１４の上に、透明層１５を形成する工程と；
を含む方法によって、製造可能である。
【００３９】
透明層１５の形成方法としては、
（ｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体と、接着樹脂を片面に有する基材とを貼り合わせることによって形成する方法、
（ｉｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体とシート状の基材とをＵＶ樹脂によって貼り合わせることにより形成する方法、または、
（ｉｉｉ）第２の誘電体層１４まで作製した情報記録媒体上に紫外線硬化樹脂を滴下して、紫外線により硬化させることによって形成する方法
等が挙げられる。
≪情報記録媒体１７の製造方法≫
図５の情報記録媒体１７は、例えば、下記工程（１）〜（４）
（１）基板１８上に、第１の情報層２３を、図４の情報記録媒体９の情報層９ａと同様の方法によって形成する工程と；
（２）中間層２４を情報層２３上に形成する工程と；
（３）第２の情報層２６（すなわち反射層２５）を中間層２４上に形成する工程と；
（４）第２の情報層２６上に透明層２７を情報記録媒体９の透明層１５と同様の方法によって形成する工程と；
を含む製造方法によって、製造可能である。
【００４０】
≪情報記録媒体２９の製造方法≫
図６の情報記録媒体２９は、例えば、下記工程（１）〜（３）
（１）基板３０上に、第１の情報層３５を、図４の情報記録媒体９の情報層と同様の方法によって形成する工程と；
（２）中間層を第ｋの情報層（ｋは１以上（ｎ−１）以下の整数）上に形成する工程及び第（ｋ＋１）の情報層（すなわち反射層）をこの中間層上に形成する工程を交互に繰り返すことで、第２〜ｎの情報層及び各情報層間に配置された中間層を形成する工程と；
（３）第ｎの情報層４２上に透明層４３を形成する工程と；
を含む製造方法によって、製造可能である。
≪記録層の形成方法≫
上記記録層の形成には、例えば、以下の（１）〜（３）のいずれかの方法を用いることができる。
【００４１】
（１）記録層をスパッタリング法により作製する方法であって、記録層の作製工程で用いるターゲット材料として、Ｔｅ、Ｏ、及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を主成分とする材料を用いる方法。
（２）上記（１）の方法であって、スパッタリング法として、反応性スパッタリングを行い、ターゲット材料は、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）を主成分とし、スパッタリングガスは希ガスと酸素との混合ガスを主成分とする方法。
（３）上記（１）又は（２）の方法であって、Ｔｅ及びＭ（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉから成る群より選択される少なくとも１つの元素）とＴｅＯ2とを、異なるターゲットから同時にスパッタリングする方法。
【００４２】
これらいずれかの方法で記録層を形成することによって、上記1-2．欄及び1-3．欄で述べたような特性（反射率及び変調度）を有する情報記録媒体を実現することができる。すなわち、これらいずれかの方法により、データ用の記録領域を犠牲にしないで記録媒体の不正コピーを防止でき、長期間にわたって信号を安定に再生できる情報記録媒体を実現できる。
≪基板の作製方法≫
基板の作製方法の具体例を以下に述べる。
まず、フォトレジストが塗布されたガラス原盤を、オーサリングされたコンテンツデータに基づくレーザまたは電子ビームに露光する（カッティング）。その後、現像工程を行うことで、露光されたレジストを現像液に溶解させて、凹凸マークを形成する。こうして、凹凸マークによってコンテンツデータが現像されたディスク原盤を作製する。
【００４３】
次に、このディスク原盤の２つの面のうち、凹凸マークが形成されている側の面をメッキすることで、スタンパを形成する。
そして、このスタンパを用いて透明樹脂等の材料を射出成形することにより、凹凸マークを転写した基板を作製する。
≪中間層の形成工程≫
情報記録媒体１７の製造方法において、中間層２４を形成する工程は、例えば、下記工程（１）又は（２）であってもよい。
（１）基板１８上に形成された第１の情報層２３上に、凹凸マークが形成された樹脂膜を張り付けることで中間層２４を形成する工程。
（２）第１の情報層２３上に紫外線硬化性樹脂を塗布して、この紫外線硬化性樹脂にスタンパを押し付けながら紫外線を照射することによって、凹凸マークが形成された中間層２４を形成する工程。
【００４４】
情報記録媒体２９における複数の中間層の形成工程も、同様である。
３．情報記録媒体の記録再生装置及び記録再生方法
図７に、光ディスクの記録再生に用いられる装置の一例である記録再生装置４５の概略を示す。
図７に示すように、記録再生装置４５は、レーザ４９及び対物レンズ４８を搭載した光学ヘッド（図示省略）と、レーザ４９からのレーザビーム４７を照射する位置を、所定の位置へと導くための駆動装置（図示省略）と、トラック方向におけるレーザ光の照射位置を制御するトラッキング制御装置（図示省略）と、光ディスク４６の表面に垂直な方向におけるレーザ光の照射位置を制御するフォーカシング制御装置（図示省略）と、レーザパワーを変調するためのレーザ駆動装置（図示省略）と、光ディスク４６を回転させるためのスピンドルモータ５１と、を備える。
【００４５】
光ディスク４６としては、情報記録媒体１が、より具体的には、情報記録媒体９、１７、及び２９が、好適に用いられる。また、レーザビーム４７は、レーザビーム１６，２８，及び４４に相当する。
記録再生装置４５は、光ディスク４６をスピンドルモータ５１により回転させると共に、レンズ４８等の光学系部材により微小スポットに絞り込まれたレーザビーム４７を、光ディスク４６に照射することにより、信号の記録及び再生を行う。
信号の再生時には、レーザ駆動装置（図示省略）が、レーザ４９のパワーレベルを、信号の記録を行うパワーレベルよりも低く調整する。また、レーザ駆動装置は、レーザ４９のパワーレベルを、レーザ照射によって記録マークの光学的な状態が影響を受けず、かつレーザ照射によって光ディスク４６から記録マークの再生のために十分な光量が得られるように、調整する。こうして得られる光ディスク４６からの反射光を、光検出器５０で読みとることによって、記録再生装置４５は、光ディスク４６に記録された信号の再生を行うことができる。
【００４６】
記録再生に用いるレーザ光の波長は、３５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。波長４０５ｎｍのレーザ光とＮＡ０．８５のレンズを用いることによって、直径１２ｃｍからなる情報記録媒体において１層当たり２５ＧＢの高密度記録を実現できる。波長４０５ｎｍのレーザ光とＮＡ０．６５のレンズを用いることによって、直径１２ｃｍからなる情報記録媒体において１層当たり１５ＧＢ程度の高密度記録を実現できる。
【実施例】
【００４７】
次に、実施例について説明する。
Ａ．実施例１
実施例１では、記録材料としてＴｅ−Ｏ−Ｐｄを用いた場合に、記録層の組成が
（ａ）反射率、
（ｂ）再生耐久性、
（ｃ）レーザ照射による反射率変化の極性及び
（ｄ）凹凸マークの再生精度
に及ぼす影響を調べた。以下に述べるように、実施例１では、記録層の組成がそれぞれ異なる複数の情報記録媒体をサンプルとして作製し、評価した。以下にその詳細を示す。
A-1．サンプルの作製
本実施例及び後述の実施例２で製造したサンプルの層構成は、第１の誘電体層１２を含まない以外は、図４に示す情報記録媒体９と同様であった。以下では、各サンプルに含まれる層を、図４の符号を用いて説明する。
【００４８】
基板１０としては、ポリカーボネイト樹脂からなる基板を用いた。基板１０は１２ｃｍの直径、及び１．１ｍｍの厚さを有し、一方の表面に凹凸マークを有していた。
基板１０の凹凸マークが形成された側の表面上に、Ａｇ−Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、反射層１１として、厚さ８０ｎｍのＡｇ−Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。
次に、反射層１１の上に、Ｔｅ−Ｐｄターゲットを用いて、記録層１３として、Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄ層を、スパッタリング法により形成した。記録層１３の厚さは、サンプルによって異なっており、記録層１３の組成に応じて記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択した。
次に、ＺｎＳ−ＳｉＯ2（分子数比８０：２０）ターゲットを用いて、第２の誘電体層１４として、ＺｎＳ−ＳｉＯ２層を、スパッタリング法により形成した。第２の誘電体層１４の厚さもサンプルにより異なっており、記録層の組成に応じて記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように選択した。
【００４９】
第２の誘電体層１４の表面上に、レーザ光に対して透明な紫外線硬化樹脂（アクリル系樹脂）を、スピンコート法により塗布した。この紫外線硬化樹脂を、紫外線を照射して硬化させ、厚さ１００μｍの光透明層１５を形成した。
各層の形成においては、いずれも、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍ程度のスパッタリングターゲットを用いた。各層の形成工程で使用した電源及び出力は、以下の通りである。反射層１１については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を２００Ｗとし、記録層１３については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を５０Ｗとし、第２の誘電体層１４については、電源としてＲＦ電源を使用し、その出力を４００Ｗとした。また、反射層１１及びＺｎＳ−ＳｉＯ2である第２の誘電体層１４の形成は、Ａｒ  ２５ｓｃｃｍのガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。記録層１３の形成は、Ａｒ  ２５ｓｃｃｍ及び酸素との混合ガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。また、各サンプルについて、記録層の形成は、表１に示す組成の記録層が得られるように、ＴｅとＰｄからなり、かつそれらの含有率が互いに異なる複数のスパッタリングターゲットを用い、かつ酸素の供給量を変化させて、実施された。
【００５０】
以上の工程によって、組成の異なる記録層を有する情報記録媒体である１３種類のサンプル（Ｎｏ．１〜１３）を作製した。以上で、実施例１のサンプルの作製が完了した。
A-2．評価
次に、サンプルの評価手法について説明する。
図７に示す一般的な記録再生装置４５において、光ディスク４６として、Ｎｏ．１〜１３のサンプルを用い、以下の評価を行った。
レーザ４９として、波長４０５ｎｍの半導体レーザを使用し、対物レンズ４８として、開口数０．８５の対物レンズを使用した。光ディスク４６（Ｎｏ．１〜１３のサンプル）を回転させる線速度は、４．９２ｍ／ｓ（３６Ｍｂｐｓ、ＢＤ１倍速相当）とした。
［ａ．反射率の評価］
反射率は、以下の手順で評価した。上記の記録再生装置を用いて、レーザビームを光ディスク４６に向けて照射し、光ディスク４６から反射する光量を測定し、照射したレーザ光量に対する反射光量の比率を算出することで、反射率を測定した。ここで、１２％以上の反射率が得られれば「○」、１２％未満の場合には十分な反射率が得られていないことから「×」と判定した。
【００５１】
［ｂ．再生耐久性の評価］
再生耐久性は以下の手順で評価した。上記の記録再生装置４５を用いて、まず、マーク長２Ｔから８Ｔ（Ｔは記録データのクロックの１周期に相当）からなる凹凸マークの平均ジッタを、予め測定した。次に、先ほど測定したトラックに、ＢＤ１倍速、再生光０．３５ｍＷの環境下において、１００万回転まで連続で再生光を照射し続けた。再生耐久試験後、同トラックのジッタ値を測定した。ここでジッタの劣化が０．２％以下の場合は「○」、０．２％より大きい場合は「×」と判定した。さらに、ジッタの劣化が０．１％以下の場合は「◎」と判定した。
［ｃ．反射率変化の極性の評価］
反射率変化の極性は以下の基準で評価した。レーザ照射によって追記マークを記録した時、記録後の反射率が記録前に比べて上がった場合には「○」、下がった場合には「×」と判定した。
【００５２】
［ｄ．凹凸マークの再生精度の評価］
凹凸マークの再生精度は以下の手順で評価した。上記の記録再生装置を用いて、まず、予め形成されている凹凸マークの平均ジッタを測定した。
次に、凹凸マークの上に、レーザ照射により追記マークを形成し、凹凸マークの平均ジッタを測定した。
ここで、追記マークの形成前後における凹凸マークのジッタの劣化が０．２％以下の場合は「○」、０．２％より大きい場合は「×」と判定した。
［ｅ．記録層中の各原子の含有率の測定］
次に、記録層中の各原子の含有率の測定方法を説明する。Ｎｏ．１〜１３の各サンプルの記録層を構成する元素の含有率は、組成分析用のサンプルを別途に作成して、測定した。具体的には、Ｎｏ．１〜１３のサンプルの記録層の形成に用いた、Ｔｅと元素Ｍの含有率が異なる複数のターゲットを用意し、スパッタリング装置を使用して、厚さ１ｍｍのＳｉ基板上に、厚さが５００ｎｍの膜を形成した。膜の形成条件は、Ｎｏ．１〜１３の各サンプルの記録層を形成するときに採用した条件と同じとした。
【００５３】
次に、Ｘ線マイクロアナライザーを用いて、各膜の組成分析を実施した。実施例において示す材料組成は、本方法により分析した結果である。
［ｆ．総合評価］
以上に述べた、反射率、再生耐久性、反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価結果に、１つでも「×」が含まれていたサンプルについては「×」、全て「○」であったサンプルについては「○」、再生耐久性の評価結果が「◎」であり、それ以外の評価結果が「○」であったサンプルについては「◎」と判定して、総合評価を行った。
実施例１で作製した情報記録媒体について、以上の評価を行った。結果を表１に示す。
【００５４】
【表１】
2010032348.tif 000014
【００５５】
表１に示されるように、記録層がＴｅ−Ｏ−Ｐｄ系材料からなるサンプルの反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価結果は、記録層の組成によって異なっていた。表１によると、記録層中のＴｅ量が１０原子％未満の範囲では、レーザ照射により追記マークの反射率が下がるため、実用上問題がある。また、記録層中のＴｅ量が６５原子％を超える領域では、反射率が低くなり、媒体上にゴミなどが付着した際に反射光量が低下するため、実用上問題がある。
記録層中のＯ量が２０原子％未満である場合、記録層の熱伝導率が高いため、記録層の面方向における熱拡散率が大きくなり、追記マークの幅が広くなる。その結果、追記マーク上において、凹凸マークの再生精度が悪化するので、実用上問題がある。また、記録層中のＯ量が７５原子％より大きい場合は、信号を長期間に渡って安定に再生できないため、実用上問題がある。
【００５６】
記録層中のＰｄ量が１原子％未満である場合、信号を長期間に渡って安定に再生できないため、実用上問題がある。また、Ｐｄ量が３０原子％を超える領域では、記録層の熱伝導率が高いため、記録層の面方向における熱拡散率が大きくなり、追記マークの幅が広くなる。その結果、凹凸マークの再生精度が悪化するので、実用上問題がある。
Ｎｏ．１及びＮｏ．１３のサンプルは、再生耐久性において特に優れており、総合評価は「◎」となった。
したがって、反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性及び凹凸マークの再生精度を考慮に入れると、記録層中で、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｐｄ原子の割合が１原子％以上３０原子％以下の組成範囲が適していると考えられる。この範囲は図８において、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆで囲まれた領域として示されている。
【００５７】
また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子％以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいと考えられる。この範囲は、図８において、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、及びＬで囲まれた領域として示されている。
ここでは、材料ＭとしてＰｄを用いた場合の例について述べたが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉを用いた場合でも同様の特性が得られることも確認した。
本実施例によれば、記録層において、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉ）の割合が１原子％以上３０原子％以下であることにより、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を実現できることを確認できた。
【００５８】
また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子％以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいことが確認できた。
Ｂ．実施例２
実施例２では、マークの再生安定性を調べるため、サンプルである各情報記録媒体について、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂの比を変化させた際の追記マークの信号品質、及び凹凸マークの再生精度を評価した。
本実施例で、サンプルとして作製した情報記録媒体は、上述したように、第１の誘電体層１２を含まない以外は、図４に示す情報記録媒体９と同様であった。本実施例のサンプル（Ｎｏ．１４〜１９）は、第２の誘電体層１４の厚さが異なる以外は、同様の構成である。
【００５９】
なお、レーザ照射前の反射率Ｒａは、凹凸マーク上に追記マークを形成する前の反射率であり、レーザ照射後の反射率Ｒｂは、凹凸マーク上に追記マークを形成した後の反射率である。各サンプルにおける第２の誘電体層１４の厚さは、表２に示すＲｂ／Ｒａ値を得ることができるように調整された。反射率の測定方法については、実施例１で述べた通りである。
サンプルの製造方法、記録層組成の分析方法、及び凹凸マークの再生精度の評価方法は、実施例１において説明した通りである。本実施例で用いた記録層の組成は、Ｔｅ：Ｏ：Ｐｄ＝４０：５０：１０［ａｔ％］であった。
追記マークの信号品質については、以下のように評価した。
［追記マークの信号品質の評価］
実施例１で使用した記録再生装置を用いて、追記マークの平均ジッタを測定した。測定の結果、平均ジッタが１０％未満であれば「○」、１０％以上であれば「×」と判定した。
【００６０】
実施例２で作製したサンプルの評価結果を表２に示す。
【００６１】
【表２】
2010032348.tif 000015
【００６２】
表２に示されるように、Ｒｂ／Ｒａ＞１．０の範囲で追記マークの信号品質が良好であることがわかった。また、Ｒｂ／Ｒａ＜１．１の範囲で凹凸マークの再生精度が良好であることがわかった。
本実施例によれば、レーザ照射前の反射率Ｒａとレーザ照射後の反射率Ｒｂについて、１．０＜Ｒｂ／Ｒａ＜１．１の関係式を満たすことにより、情報記録媒体の追記マーク及び凹凸マークが安定に再生され得ることを確認できた。
Ｃ．実施例３
実施例３では、２つの情報層を有する情報記録媒体の記録層を、Ｔｅ−Ｏ−Ｍ系材料（ここでは代表例としてＴｅ−Ｏ−Ｐｄ系材料を使用）で構成し、実施例１と同様に、記録層の組成が、反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度に及ぼす影響を調べた。
【００６３】
本実施例で作製したサンプルの層構成は、第１の誘電体層２０を含まない以外は、図５に示す情報記録媒体１７と同様であった。以下では、各サンプルに含まれる層を、基板１８としては、ポリカーボネイト樹脂からなる基板を用いた。基板１８は１２ｃｍの直径、及び１．１ｍｍの厚さを有し、一方の表面に凹凸マークを有していた。
基板１８の凹凸マークが形成された側の表面上に、Ａｇ−Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、反射層１９として、厚さ８０ｎｍのＡｇ−Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。
次に、反射層１９の上に、Ｔｅ−Ｐｄターゲットを用いて、記録層２１として、Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄ層を、スパッタリング法により形成した。記録層２１の厚さは、サンプルによって異なっていた。各サンプルにおける記録層２１の厚さは、記録層２１の組成に応じて、記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択された。
【００６４】
次に、ＺｎＳ−ＳｉＯ2（分子数比８０：２０）ターゲットを用いて、第２の誘電体層２２として、ＺｎＳ−ＳｉＯ２層を、スパッタリング法により形成した。第２の誘電体層２２の厚さも、サンプルにより異なっていた。各サンプルにおける第２の誘電体層２２の厚さは、各サンプルにおける記録層の組成に応じて、記録再生を安定に行うことができる反射率が確保されるように、選択された。
こうして形成された第１の情報層２３の表面上に、紫外線硬化性樹脂（アクリル系樹脂）をスピンコート法により塗布した。次いで、基板１８に形成された凹凸マークと同様のマークが形成されたパターンを、この紫外線硬化性樹脂上に転写し、厚さ約２５μｍの中間層２４を形成した。
この中間層２４の表面上に、第２の情報層２６（反射層２５）として、Ａｇ−Ｂｉ（原子比９９．０：１．０）ターゲットを用いて、厚さ１５ｎｍのＡｇ−Ｂｉ層を、スパッタリング法により形成した。この第２の情報層２６の表面上に、紫外線硬化性樹脂（アクリル系樹脂）を用いて、厚さ約７５μｍの光透明層２７を形成した。
【００６５】
各層の形成は、いずれも、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍ程度のターゲットを用いて行った。各層の形成工程で使用した電源及び出力は、以下の通りである。反射層１９、２５については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を２００Ｗとし、記録層２１については、電源としてＤＣ電源を使用し、その出力を５０Ｗとし、第２の誘電体層２２については、電源としてＲＦ電源を使用し、その出力を４００Ｗとした。また、反射層１９及び２５並びに第２の誘電体層２２の形成は、Ａｒ  ２５ｓｃｃｍのガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。記録層２１の形成は、Ａｒ２５  ｓｃｃｍ及び酸素との混合ガス雰囲気中で、ガス圧を約０．１３Ｐａに保って実施した。
また、各サンプルについて、記録層２１の形成は、表３に示す組成の記録層が得られるように、ＴｅとＰｄからなり、かつそれらの含有率が互いに異なる複数のスパッタリングターゲットを用い、かつ酸素の供給量を変化させて、実施された。以上で、実施例３のサンプルの作製が完了した。
【００６６】
記録層組成の分析方法、並びに反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度の評価方法は、実施例１において説明した通りである。また、総合評価の方法も、実施例１において説明した通りである。実施例３で作製した情報記録媒体の評価結果を、表３に示す。
【００６７】
【表３】
2010032348.tif 000016
【００６８】
表３に示されるように、第１の情報層の記録層に、Ｔｅ−Ｏ−Ｐｄ系記録材料を用いると、実施例１と同様に、良好な反射率、再生耐久性、レーザ照射による反射率変化の極性、及び凹凸マークの再生精度が得られることがわかった。
特に、実施例１のＮｏ．１及びＮｏ．１３のサンプルと同じ組成の記録層を有するサンプル（Ｎｏ．２０及び３２）は、再生耐久性に特に優れており、総合評価は「◎」となった。
ここでは、材料ＭとしてＰｄを用いた場合の例について述べたが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉを用いた場合でも同様の特性が得られることも確認した。
本実施例によれば、記録層において、Ｔｅ原子の割合が１０原子％以上６５原子％以下、Ｏ原子の割合が２０原子％以上７５原子％以下、Ｍ原子（ＭはＰｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、及びＮｉからなる群より選択される少なくとも１つの元素）の割合が１原子％以上３０原子％以下であることにより、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体を実現できることを確認できた。
【００６９】
また、同じ観点から、記録層において、Ｔｅ原子の割合が２０原子％以上５０原子％以下、Ｏ原子の割合が４０原子％以上６５原子％以下、Ｍ原子の含有が１原子％以上２０原子％以下であることがさらに好ましいことが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明の情報記録媒体とその製造方法は、映像や音声などの主情報を有し、さらに低コストで副情報を追記できる情報記録媒体（光ディスク等）に有用である。
【符号の説明】
【００７１】
１，９，１７，２９，４６    情報記録媒体
２    リードアウト領域
３    データ記録領域
４    リードイン領域
５，７    凹凸マーク
６，８    追記マーク
１０，１８，３０    基板
１１，１９，２５，３１，３７，４１    反射層
１２，２０，３２    第１の誘電体層
１３，２１，３３    記録層
１４，２２，３４    第２の誘電体層
１５，２７，４３    光透明層
２４，３６，３９，４０    中間層
１６，２８，４４，４７    レーザビーム
２３，３５    第１の情報層
２６，３８    第２の情報層
４２    第ｎの情報層
４５    記録再生装置
４８    対物レンズ
４９    レーザ
５０    光検出器
５１    スピンドルモータ
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2010032348.tif 000017
【図２】
2010032348.tif 000018
【図３】
2010032348.tif 000019
【図４】
2010032348.tif 000020
【図５】
2010032348.tif 000021
【図６】
2010032348.tif 000022
【図７】
2010032348.tif 000023
【図８】
2010032348.tif 000024
【国際調査報告】
2010032348.tif 000025
2010032348.tif 000026
2010032348.tif 000027
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