【事件の表示】
　特許第３０２８６０２号「表面処理装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０２８６０２号の請求項１に係る特許を取り消す。
　同請求項２に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］本件発明
　特許第３０２８６０２号 （平成２年１１月３０日出願、平成１２年２月４日設定登録）の請求項１、２に係る発明（以下、「本件発明１、２」という。）は、特許請求の範囲の請求項１、２に記載された以下のとおりのものである。
　
　「【請求項１】所定枚数のウエハを一定間隔を空けて段々に収納可能であって所定位置にあるステージに対して搬入・搬出される製品ウエハカセット、ダミーウエハカセットおよびフィラーウエハカセットと、製品ウエハに割り当てられる棚とダミーウエハに割り当てられる棚を有し、定位置から処理ユニットの反応管内へまたは前記処理ユニットの反応管から前記定位置へ移送されるボートと、シーケンサから指令を受けて上記ウエハカセットもしくは上記ボートからウエハを一枚ずつ取り出して上記ウエハカセットから上記ボートへ、もしくは上記ボートから上記ウエハカセットへ移載する移載ロボットとを備え、上記ボート内の前記製品ウエハに割り当てられる棚もしくはダミーウエハに割り当てられる柵に空きが生じる場合に該棚の空きの部分にフィーラーウエハを埋める表面処理装置において、
上記シーケンサは、実行された処理サイクルの回数を計数する回数カウンタ及び処理ユニットの実稼働時間を累積演算する時間カウンタとを有し、回数カウン夕の計測値がダミーウエハ使用回数上限値に達すると、ダミーウエハカセット交換指令を発生し、該計測値がフィラーウエハ使用回数上限値に達すると、フィラーカセット交換指令を発生し、時間カウンタが処理ユニットの稼働時間上限値に達すると、反応管交換指令を発生することを特徴とする表面処理装置。
　【請求項２】上記シーケンサは、ダミーウエハ使用時間上限値およびフィラーウエハ使用時間上限値を設定され、時間カウンタのカウンタ値がダミーウエハ使用時間もしくはフィラーウエハ使用時間上限値に達した時にもそれぞれダミーウエハカセット交換指令もしくはフィラーウエハカセット交換指令を発生することを特徴とする請求項１記載の表面処理装置。」
　
　なお、特許請求の範囲の請求項１に記載されている「ボード」、「ポート」は、明細書全体の記載からみて、「ボート」の誤記であると認められるので、同請求項１を上記のとおり認定した。
　
［２］特許異議の申立ての理由の概要
　異議申立人中野映子は、本件発明１、２は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明であって、本件発明１、２についての特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　
［３］甲第１、２号証に記載された事項
（１）甲第１号証
　甲第１号証の特開平２−１２６６４９号公報には、被処理体とダミー用被処理体とを処理容器に搭載して、この処理容器ごとバッチ処理するために用いられる移し換え装置に関する発明が、第１〜５図とともに開示され、さらに以下の事項が記載されている。
　
　「予めダミー用被処理体が搭載されている処理容器に対し、被処理体移し換え装置によって被処理体を搭載、離脱する移し換え装置において、上記処理容器ついて予め処理内容毎に設定されたダミー用被処理体の使用制限回数に達したら、ダミー用被処理体の交換時期であることを表示する手段を設けたことを特徴とする移し換え装置。」（特許請求の範囲）
　
　従来技術について
　「この種の移し換え装置として、半導体ウエハを熱処理する熱処理装置に用いられるウエハ移し換え装置を挙げることができる。
　この装置は、・・・当業者において周知である。
この移し換え装置によりダミーウエハ、モニタ用ウエハの交換も実行される。例えば第４図に示すように処理用ウエハ群１１の中央部および両端部１に３枚のモニター用ウエハ１２を搭載している。なお、処理によっては、モニター用ウエハを処理用ウエハ１１の中央にのみ配置するもの、あるいは処理用のウエハ１１の両端側にそれぞれ１枚を配置するもの等がある。」（１頁左下欄１９行〜右下欄１３行）
　「処理用ウエハ群１１を処理するに際しては、この処理用ウエハ群１１の各対向面間に均一流量のプロセスガスが導入されることが必要である。しかしながら、プロセスチューブのガス導入側及び排出側では、このガスの流れにより、ウエハ間に均一流量のガスを導入することができず、・・・。そこで、各ウエハ間に均一流量を供給できる領域を確保するためのバッファゾーンを、このようなダミー用ウエハ群１０にて形成するようにしている。」（２頁左上欄７〜末行）
　
　発明の目的について
　「本発明の目的とするところは、従来オペレータの経験と記憶に頼っていたダミー用被処理体の交換時期の検出を自動的に行うことで、オペレータの作業負担を軽減し、かつ、上記交換時期を逸することによる被処理体の歩留りの低下を確実に防止することができる移し換え装置を提供することにある。」（２頁左下欄９〜１５行）
　
　使用制限回数について
　「使用制限回数として、この回数の範囲内で繰り返しダミー用被処理体を使用してもこれが破損することなく、しかも、付着した反応生成物が不純物として処理用被処理体に飛散することのない回数に設定しておけば、ダミー用被処理体を・・・確実に防止することができる。」（２頁右下欄１１〜１８行）
　
　ウエハ移し換え装置の実施例について
　「この一対のチャック４４，４４は、ウエハを一枚毎チャック可能なチャック溝（図示せず）を有し、この一対のチャック４４，４４の対向間距離を狭めることにより、上記溝にウエハをチャック可能にしている。・・・そして、前記キャリアカセット３０あるいは第１、第２のモニター専用容器２０，２２は、上記ウエハ押し上げ装置５０のテーブル５２と、一対のチャック４４，４４との間に配置され、・・・ウエハの取出しを可能としている。この後、このウエハを支持したチャック４４，４４はウエハ移し換え装置３の水平移動により、前記ボート搬送装置４上のボート５の上方位置まで移動し、ボート５に搭載可能としている。逆にボート５上の処理済ウエハを上記各容器に戻し動作する場合には、上記の移し換え動作の逆工程を実施することにより対応することができる。」（３頁左上欄１２行〜右上欄１７行）、
　「前記制御部６０では、前述した移し換え駆動部６２の駆動制御を行う他に、ダミー用ウエハ１０の使用制限回数に達したか否かの判別をも実施している。すなわち、この制御部６０は、……その使用回数をインクリメントしていき、……現在の使用回数と使用制限回数とを比較するようにしている。そして、両者が一致した場合にのみ表示、例えばアラーム６８を駆動するようにしている。」（３頁右下欄１５行〜４頁左上欄６行）
　
（２）甲第２号証
　甲第２号証の特開昭６３−７３６２９号公報には、半導体製造装置の管理に用いられる総堆積膜厚積算計に関する発明が第１図とともに開示され、さらに以下の事項が記載されている。
　
　従来技術について
　「このようなＣＶＤ装置において、プロセスチューブ１の洗浄交換等の定期的なメインテナンスは、プロセスチューブ１に堆積する膜の総堆積膜厚によって管理される。」（１頁右下欄１８行〜２頁左上欄１行）
　
　実施例について
　「堆積膜厚は、この堆積速度と堆積時間との積によって与えられるから、タイマー６および堆積速度決定部７の出力を堆積膜厚積算部８に入力し、その積を求め積算することによって容易に総堆積膜厚が得られる。」（２頁左下欄１４〜１８行）
　
　発明の効果について
　「総堆積膜厚が自動的に得られ、メンテナンス周期の管理が容易かつ正確に行なえる効果がある。」（２頁右下欄１０〜１２行）
　
［４］対比・判断
（１）本件発明１について
　当審において、本件発明１は刊行物１及び刊行物２（甲第１号証及び甲第２号証に相当する。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、との取消理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　そして、上記の取消理由は妥当なものと認められるので、本件発明１についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
（２）本件発明２について
　本件発明２は本件発明１を引用する引用形式の発明であって、本件発明２と甲第１号証に記載されたものとを対比すると、甲第１号証に記載された「キャリアカセット３０」、「多段炉７」、「処理容器（ボート）５」、及び「ウエハ移し換え装置３」は、それぞれ本件発明１の「製品ウエハカセット、ダミーウエハカセット」、「反応管」、「ボート」、及び「移載ロボット」に相当する。
　そして、甲第１号証に記載された「ボート５」については、第４図及びその説明に記載されているように、「処理用ウエハ１１」、「ダミー用ウエハ１０」、「モニター用ウエハ１２」が割り当てられて配置されており、当然に、「ボート５」の中央部側には処理用ウエハ群１１を搭載するための棚を有し、その両端部側にはダミー用ウエハ群１２を搭載するための棚を有しているものと認められる。
　また、甲第１号証に記載された「キャリアカセット３０」については、第５図及び実施例に記載されているように、キャリアカセット３０である容器内にあるウエハ、すなわち、処理用ウエハ１１、ダミー用ウエハ１０を取り出し、処理が済むと、処理済ウエハを再びキャリアカセット３０である容器内に戻しているから、キャリアカセット３０である容器内には製品ウエハ、ダミーウエハが収納されるものと認められる。
　さらに、甲第１号証に記載された「第１，２のモニター専用容器２０、２２」については、第５図及び実施例に記載されているように、キャリアカセットと同様のものであることから、モニター用ウエハカセットと認められる。
　してみると、両者は、本件発明２の構成に沿って記載すると、「製品ウエハカセット、ダミーウエハカセットと、製品ウエハに割り当てられる棚とダミーウエハに割り当てられる棚を有し、定位置から処理ユニットの反応管内へまたは前記処理ユニットの反応管から前記定位置へ移送されるボートと、シーケンサから指令を受けて上記ウエハカセットもしくは上記ボートからウエハを一枚ずつ取り出して上記ウエハカセットから上記ボートへ、もしくは上記ボートから上記ウエハカセットへ移載する移載ロボットとを備える表面処理装置において、上記シーケンサは、実行された処理サイクルの回数を計数する回数カウンタを有し、回数カウンタの計測値がダミーウエハ使用回数上限値に達すると、ダミーウエハカセット交換指令を発生する」点で一致し、次の点で相違する。
　
（１）本件発明２の各ウエハカセットは、所定枚数のウエハを一定間隔を空けて段々に収納可能であって所定位置にあるステージに対して搬入・搬出するものであるのに対し、甲第１号証に記載されたものはこのような搬入・搬出を行うことが明らかではない点。
（２）本件発明２のフィラーウエハについては、ボート内の製品ウエハに割り当てられる棚もしくはダミーウエハに割り当てられる棚に空きが生じる場合に該棚の空きの部分にフィーラーウエハを埋めるものであって、さらに、フィラーウエハカセットを用いて、フィラーウエハをステージに対して搬入・搬出するようにしたものであるのに対し、甲第１号証に記載されたものは、このようなフィラーウエハ、フィラーウエハカセットについては何も明らかにされていない点。
（３）本件発明２のシーケンサについては、実行された処理サイクルの回数を計数する回数カウンタ及び処理ユニットの実稼働時間を累積演算する時間カウンタとを有し、該計測値がフィラーウエハ使用回数上限値に達すると、フィラーカセット交換指令を発生し、時間カウンタが処理ユニットの稼働時間上限値に達すると、反応管交換指令を発生するものであり、さらに、ダミーウエハ使用時間上限値およびフィラーウエハ使用時間上限値を設定され、時間カウンタのカウンタ値がダミーウエハ使用時間もしくはフィラーウエハ使用時間上限値に達した時にもそれぞれダミーウエハカセット交換指令もしくはフィラーウエハカセット交換指令を発生するのに対し、甲第１号証に記載されたものは、このようなシーケンサについては明らかではない点。
　
　そこで、上記相違点（１）〜（３）について検討する。
　相違点（１）については、一般に、ウエハカセットを用いて、所定枚数のウエハを一定間隔を空けて段々に収納可能であって所定位置にあるステージに対して搬入・搬出することは、普通に知られている事項にすぎないから、製品ウエハカセット、ダミーウエハカセットを用いて、ステージに対してウエハを搬入・搬出することは適宜に設計することができたものである。
　
　相違点（２）については、甲第１号証の従来技術に関する記載からみて、ダミー用ウエハ群を、フィラーウエハ群としてバッファゾーンに配置することにより処理用ウエハ間に均一流量のガスを供給するようにしているものと認められる。
　してみると、処理用ウエハを配置するボートに空きが生じた場合には、この空きの部分においてガスが不均一に供給されることは明らかであるから、空きの部分に処理用ウエハ以外のウエハ、すなわちフィラーウエハを配置するようなことは容易に想到することができるものである。
　
　相違点（３）については、甲第１号証に記載された制御部６０は、ダミー用ウエハの交換時期を検出するために、ダミー用ウエハの使用回数をインクリメントするとともに、予め設定された使用制限回数を読み出し、現在の使用制限回数とを比較して、両者の回数が一致した場合のみ、アラーム等で表示するものであり、ダミー用ウエハ群をフィラーウエハ群としてバッファゾーンに配置している以上、フィラーウエハについてもダミー用ウエハと同じくその使用回数が上限に達すれば交換する必要があることは明らかである。
　しかしながら、本件発明２の時間カウンタについては、甲第２号証に記載されたＣＶＤ装置の総堆積膜厚積算計は、プロセスチューブのメンテナンス周期を規定する総堆積膜厚を知るために、堆積速度決定部７とタイマー６とにより堆積膜厚積算部８において総堆積膜厚を得るものであり、本件発明２のように、処理ユニットの実稼働時間を累積演算する時間カウンタが処理ユニットの稼働時間上限値に達すると、反応管交換指令を発生するものではないし、さらに、ダミーウエハ使用時間上限値およびフィラーウエハ使用時間上限値を設定することにより、時間カウンタのカウンタ値がダミーウエハ使用時間もしくはフィラーウエハ使用時間上限値に達した時にもそれぞれダミーウエハカセット交換指令もしくはフィラーウエハカセット交換指令を発生するものでもない。
　してみると、甲第１、２号証に記載されたものを組み合わせてみても、本件発明２を容易に想到することはできない。
　
　そして、本件発明２は、「ダミーウエハ、フィラーウエハ及び反応管である石英管の交換時期を、オペレータではなく、シーケンサで管理させるので、それぞれの交換時期にバラツキが生じることは無く、ダミーウエハ、フィラーウエハの使用回数及び石英管の使用時間についての情報を何時でも取り出せるので、特に、ダミーウエハ、フィラーウエハの管理上の利点が大きい。」（３頁右欄１５〜２１行）という、明細書に記載された顕著な効果を奏するものである。
　
［５］むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１については、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本件発明１についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　したがって、平成６年法律第１１６号附則第１４条の規定に基づく、平成７年政令第２０５号第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
　また、本件発明２については、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件発明２についての特許を取り消すことはできないし、他に本件発明２についての特許を取り消すべき理由を発見しないから、本件発明２についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　したがって、平成６年法律第１１６号附則第１４条に規定に基づく平成７年政令第２０５号第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１０月１９日（２００１．１０．１９）