【事件の表示】
　特許第３０７７００８号「プラズマ処理装置」の請求項１，２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０７７００８号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０７７００８号に係る出願は、平成５年２月１６日に特許出願され、平成１２年６月１６日に特許の設定登録がなされ、その後、請求項１，２に係る発明の特許について、向井清より特許異議の申立てがなされたものである。
　
２．本件発明
　本件請求項１，２に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１」，「本件発明２」という。）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１，２に記載された次のとおりのものと認める。
　「【請求項１】真空チャンバ内に配置された電極間に高周波電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより被処理体を処理する装置であって、前記真空チャンバ内において高周波電流が流れる複数の導電部材が分割可能に接合されているプラズマ処理装置において、分割されている導電部材の各々に形成された凹部と、前記分割されている導電部材の各凹部に両端部が夫々嵌入され、前記導電部材を互いに電気的に接続するための接合部材とを備え、前記接合部材は両端部の少なくとも表面が導体で形成された収縮可能な弾性構造体であり、接合部材の復元力によりその外面を前記凹部の内面に押圧した状態で面接触させることにより、電気的に安定した接合を確保することを特徴とするプラズマ処理装置。
　　【請求項２】真空チャンバ内に配置された電極間に高周波電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより被処理体を処理する装置であって、前記真空チャンバ内において高周波電流が流れる複数の導電部材が分割可能に接合されているプラズマ処理装置において、分割されている導電部材の少なくとも一方の接合面に凹部が形成され、前記凹部に、少なくとも表面が導体で形成され、接合方向に伸縮自在な弾性体を嵌入し、その復元力により弾性体の端面を前記凹部の内面及び他方の導電部材の接合面に押圧した状態で面接触させることにより、電気的に安定した接合を確保することを特徴とするプラズマ処理装置。」
　
３．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠として、下記の甲第１〜３号証を提示して、本件発明１，２は甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１，２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであると主張する。
　　甲第１号証：特開昭６０-２８２２７号公報
　　甲第２号証：蓮沼博，高木勝義著「エレクトロニクス回路設計シリーズ マイクロ波基礎回路の設計」オーム社（昭和３９年１２月２５日）ｐ．７２〜８３
　　甲第３号証：特開昭６０-５３０６３号公報
　
４．甲各号証に記載の事項
〈甲第１号証〉
　ア．「真空槽内に対向配置された電極間に電圧を印加してグロー放電を発生させ、原料ガスを分解してガスの成分元素よりなる薄膜を一方の電極に近接した基体上に堆積させるものにおいて、両電極が互に絶縁して移送体上に固定され、該移送体は真空槽外へ移動可能であり、かつ少なくとも一方の電極は真空槽の槽壁を気密に貫通する槽外の電源との接続導体に着脱自在に接続可能であることを特徴とする薄膜製造装置。」（特許請求の範囲１））
　イ．「電源１１はグロー放電を発生、維持させる電力を供給するためのもので、交流電源であることが多い」（２頁右上欄５〜７行）
　ウ．「接触面１０３での電気的接続を確実にするために次の例のような手段が講じられる。
　（１）両電極部分の接触面１０３に互いに雌雄ねじを形成し、電極１０２が槽壁２に垂直方向で、またその軸の周りに回転可能にし、キャリア５が定位置に達したとき槽外から電極１０２を回転させてねじをかみ合わせる。
　（２）両電極部分の接触部を通常の、例えばＢＮＣコネクタの形にしておく。
　（３）両電極部分接触面１０３をそれぞれ平面とし、電極１０２の一部を柔軟構造とすることにより、押付けた際の接触を確実にする。
　（４）両電極部分の接触面１０３を互に凹状、凸状の円錐形状と、これを押し付けることによって接触を確実にする。」（３頁右上欄５〜１９行）
　エ．第３図（上記ア〜ウに対応する実施例が示される。）
〈甲第２号証〉
　オ．「上記の同軸管を接続する部分は，同じく電子機械工業会でＣＥＳ-ＷＧ-７（50Ω同軸管接続部の寸法）に規定されている．これには屋外で内部に乾燥空気などを圧入して使うこともできる形と，屋内専用の二種類がある．
　屋外で使うものは，図４・１から図４・４に示されているＢＦＸ形のフランジと，図４・５のアンカーコネクタとから構成される．」（７５頁(下から)５〜１行）
　カ．「アンカーコネクタは，内部導体相互間を接続するものであって，内部導体を中心に保持するために誘電体円板を持っている．」（７８頁(下から)１行〜７９頁(本文の)２行）
　キ．「一方屋内用のものは，フランジを使わずに直接外部導体を突き当てて，図４・７のストレートカップリングをかぶせ，その上から金属製バンドで締め付ける．このとき内部導体どうしは，図４・８のように誘電体を持たないインナーコネクタで接続される．」（８０頁５〜１２行）
　ク．図４・５、図４・８（上記オ〜キに記載のアンカーコネクタ及びインナーコネクタが示される。）
〈甲第３号証〉
　ケ．「第２図に示すように、ピン２０は、先端部２２と基端部２４を備えており、先端部２２には、円錐形のノーズ２６とリング状に突出した接触部２８が設けてあり、接触部２８には、溝３０が介在している。基端部２４から細身の軸３２が先端部２２にかけて設けてあり、この軸３２の中程から接触部２８ならびに先端部２２にかけ、割り溝が設けてある。このピン２０は、プリント回路基板の各孔に先端部２２が差し込まれて、接触部２８が孔１４、１６のメッキされた側壁面に当接するようになっており、ピン２０は、各種のサイズの孔に嵌合できるサイズになっている。」（３頁左下欄１９行〜右下欄１０行）
　コ．「第４図に示す実施例においては、前記の割り溝が一文字型であったのに対し、十文字型の割り溝３４’となっており、ピンにスプライン作用をもたせるようになっている。前記の割り溝３４、３４’のいずれも軸３２とノーズ２６にかけて設けられている。
　第５図に示すように、ピン２０の基端部２４には、第２図に示したソケット４０が装着され、このソケットのハウジング６６には、チャンネル６８が設けてあり、これにピン接続部材が上方から挿入されている。」（４頁左下欄７〜１７行）
　サ．「第６図は、他の例を示すもので、ピン２０の基端部２４の肩部４４の上面４５にワイヤピン９０が接続されており、肩部４４は、エラスチックな素材からなるハウジング９２の中央チャンネル９４に食い込んで位置している。」（４頁右下欄１２〜１６行）
　シ．第２〜６図（上記ケ〜シに対応する実施例が示される。）
　
５．対比・判断
（５-１）本件発明１について
　本件発明１と甲第１号証に記載の発明を対比すると、後者における「真空槽内に対向配置された電極間に電圧を印加してグロー放電を発生させ、原料ガスを分解してガスの成分元素よりなる薄膜を……基体上に堆積させるもの」、「少なくとも一方の電極」が「真空槽の槽壁を気密に貫通する……接続導体に着脱自在に接続可能である」は、それぞれ、前者における「真空チャンバ内に配置された電極間に……電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより被処理体を処理する装置」、「真空チャンバ内において……電流が流れる複数の導電部材が分割可能に接合されている」に相当するから、結局、両者は、
　真空チャンバ内に配置された電極間に電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより被処理体を処理する装置であって、前記真空チャンバ内において電流が流れる複数の導電部材が分割可能に接合されているプラズマ処理装置、
である点で一致しており、以下の点で相違する。
　〔イ〕本件発明１では、電極間に供給する電力は「高周波電力」であり、又、複数の導電部材に流れる電流も「高周波電流」であるのに対し、甲第１号証には、電源として「交流電源」が用いられると記載されるに止まり、電力或いは電流が「高周波電力」及び「高周波電流」である旨の記載はない点。
　〔ロ〕本件発明１では、プラズマ処理装置における導電部材同士の接合が、「両端部の少なくとも表面が導体で形成された収縮可能な弾性構造体」である「接合部材」の「両端部」を、「分割されている導電部材の各々に形成された凹部」に「嵌入」させ、「接合部材の復元力によりその外面を該凹部の内面に押圧した状態で面接触」させる方式で行われるのに対し、甲第１号証には、「接合部材」と各導電部材の「凹部」とによるかかる接合方式については記載されていない点。
　
　そこで、以下、これらの相違点に係る本件発明１の構成が甲第１〜３号証の記載のものから容易に相当し得るものか否かを検討する。
　便宜上、先ず、相違点〔ロ〕について検討する。
　甲第１号証に記載のものの導電部材同士の接合方式については、甲第１号証の第３頁右上欄に、(１)〜(４)までの例が示されているが、そのうち(１)，(３)，(４)に示されるものは、要するに、相互に接合すべき導電部材の接触面を、(１)雌・雄ねじの形，(３)平面状で且つ柔軟な構造，或いは、(４)凹・凸の円錐形状、とした上で、これら導電部材の接触面により、各導電部材同士をいわば‘直接的’に接合するというものであるから、このような直接接合方式のものから、上記相違点〔ロ〕に係る本件発明１の構成におけるような、いわば第三の部材たる「接合部材」の両端部を各導電部材に形成した「凹部」に夫々嵌入させてその内面と弾性的な面接触をさせることにより、導電部材相互を‘間接的’に接合する方式が示唆されるとはいえない。又、(２)に示されるものは、ＢＮＣコネクタ等の通常のコネクタを利用して接合するというものであり、この場合のコネクタの雌・雄部分は、それぞれが各導電部材の端部に固設され、これらがいわば各導電部材の端部に成り代わって相互に接続し合うのであるから、この場合も、導電部材同士を‘直接的’に結合する方式がその基本にあり、単にその延長線上の変形例に過ぎないといえるから、この(２)のものからも、上記相違点〔ロ〕に係る本件発明１の構成におけるような、「接合部材」という第三の部材を利用した‘間接的’な接合方式についての示唆を見出すことはできない。
　又、甲第２号証には、前記４．オ〜クにみるように、同軸線路の内部導体用コネクタであるアンカーコネクタ（屋外用）やインナーコネクタ（屋内用）について記載されており、これらのコネクタは、弾性構造を有する点で、又、それを介して被接合管同士の‘間接的’接合を図るものである点で、本件発明１の「接合部材」と共通することが認められる。しかし、この甲第２号証のコネクタは、専ら、同軸線路の内部導体である管状内部導体同士を接続するものとして記載されているに過ぎず、又、少なくとも、該コネクタについての記載において、管状体同士の接合以外への適用までもが想定されているとみることは困難である。従って、甲第２号証に記載のものは、そのコネクタ自体の構造等における上記のような共通性に拘わらず、該コネクタから、上記相違点〔ロ〕に係る本件発明１の構成における「接合部材」のように、ガス処理装置において分割されている導電部材同士を接合の対象とし、且つ、該接合のために導電部材の各々に形成した「凹部」に嵌入させるものが示唆されるとはいえない。
　又、甲第３号証には、前記４．ケ〜シにみるように、プリント回路基板の接続ピンについて記載されており、この接続ピンは、割り溝による弾性構造を有する点で、やはり、本件発明１の「接合部材」と共通する面がなくはない。しかし、この接続ピンの該弾性構造を有する部分、即ち、ピン部は、専ら、プリント回路基板の導通用の孔へ挿入するものとして記載されているに過ぎず、しかも、該接続ピンの他端部は、ソケットやワイヤピンとなっていて（FIG.２，５，６参照）、凹部へ嵌入する弾性構造を有しない。従って、かかるものから、上記相違点〔ロ〕に係る本件発明１の構成における「接合部材」のように、ガス処理装置において分割されている導電部材同士を接合の対象とし、且つ、その「両端部」が各導電部材に形成した「凹部」に嵌入されて、「接合部材の復元力によりその外面を前記凹部の内面に押圧した状態で面接触」することにより該分割された導電部材同士を接合するものが示唆されるとはいえない。
　又、これら甲第１〜３号証に記載のものを組み合わせてみても、上記相違点〔ロ〕に係る本件発明１の構成を導くに足る示唆を見出すことができるともいえない。
　
　そして、本件発明１は、上記相違点〔ロ〕に係る本件発明１の構成を有することにより、他の相違点〔イ〕に係る本件発明１の構成を有することと相俟って、プラズマ処理装置における分割されている高周波の導電部材を互いに接合して電気的導通を得るに当たって、均一な面接触が得られ、導電部材のインピーダンスのばらつきが小さくなって高周波電力の発生効率のばらつきが小さくなり、その結果、多数台の装置を使用する場合においてもそれぞれの装置で処理したデバイスの特性のバラツキを抑制することができ、また装置１台についてもメンテナンス前後で前記発生効率が大きく変わらないのでデバイスの特性が変わらず管理が容易になるという、明細書に記載の効果を奏する。
                                        
　従って、上記相違点〔イ〕について検討するまでもなく、本件発明１は、甲第１〜３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
（５-２）本件発明２について
　本件発明２と甲第１号証に記載の発明を対比すると、後者における「真空槽内に対向配置された電極間に電圧を印加してグロー放電を発生させ、原料ガスを分解してガスの成分元素よりなる薄膜を……基体上に堆積させるもの」、「少なくとも一方の電極」が「真空槽の槽壁を気密に貫通する……接続導体に着脱自在に接続可能である」は、それぞれ、前者における「真空チャンバ内に配置された電極間に……電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより被処理体を処理する装置」、「真空チャンバ内において……電流が流れる複数の導電部材が分割可能に接合されている」に相当するから、結局、両者は、
　真空チャンバ内に配置された電極間に電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより被処理体を処理する装置であって、前記真空チャンバ内において電流が流れる複数の導電部材が分割可能に接合されているプラズマ処理装置、
である点で一致しており、以下の点で相違する。
　〔イ〕前記（５-１）における〔イ〕に同じ（但し、（５-１）で「本件発明１」とあるは、「本件発明２」と読み替える。）。
　〔ロ'〕本件発明２では、プラズマ処理装置における導電部材同士の接合が、「少なくとも表面が導体で形成され、接合方向に伸縮自在な弾性体」を、「分割されている導電部材の少なくとも一方の接合面に形成した凹部」に「嵌入」させ、「その復元力により弾性体の端面を前記凹部の内面及び他方の導電部材の接合面に押圧した状態で面接触させる」という方式で行われるのに対し、甲第１号証には、「弾性体」と各導電部材の「凹部」及び「接合面」とによるかかる接合方式については記載されていない点。
　
　そこで、以下、これらの相違点に係る本件発明２の構成が甲第１〜３号証の記載のものから容易に相当し得るものか否かを検討する。
　便宜上、やはり、先ず、相違点〔ロ'〕について検討する。
　すると、本件発明２における上記「弾性体」は、接合すべき各導電部材とは別個の部材である点では、本件発明１における「接合部材」と同様、（各導電部材に対して）やはり第三の部材と言い得るものである。しかるに、甲第１号証に記載された導電部材同士の接合方式は、前記（５-１）で述べたとおり、導電部材同士を‘直接的’に結合することを基本とするものであるから、このような直接接合方式のものから、上記相違点〔ロ'〕に係る本件発明２の構成におけるような、いわば第三の部材たる「弾性体」を各導電部材の少なくとも一方の接合面に形成した「凹部」に「嵌入」させ、該弾性体の端面を該凹部の内面及び他方の導電部材の接合面と弾性的に面接触させることにより、導電部材相互を‘間接的’に接合する方式が示唆されるとは言えない。
　又、甲第２号証に記載のアンカーコネクタ（屋外用）やインナーコネクタ（屋内用）は、前記（５-１）で述べたとおり、その接合対象は、専ら、同軸線路における管状の内部導体であり、又、少なくとも、管状体同士の接合以外への適用までもが想定されているとみることは困難であるから、これらのコネクタから、上記相違点〔ロ'〕に係る本件発明２の構成における「弾性体」のように、ガス処理装置において分割されている導電部材同士であって、その少なくとも一方の接合面に「凹部」が形成されたものへの適用が示唆されるとはいえない。しかも、そもそも、これらのコネクタは、本件発明２の「弾性体」のように「接合方向に伸縮自在」なものではない上、「弾性体の端面を前記凹部の内面及び他方の導電部材の接合面に押圧した状態で面接触させる」というものでもないから、これらの点でも、上記相違点〔ロ'〕に係る本件発明２の構成における「弾性体」についての示唆を与えるものではない。
　又、甲第３号証に記載の接続ピンは、前記（５-１）で述べたとおり、その接合対象は、専ら、プリント回路基板であり、しかも、そもそも、この接続ピンは、本件発明２の「弾性体」のように「接合方向に伸縮自在」なものではない上、「弾性体の端面を前記凹部の内面及び他方の導電部材の接合面に押圧した状態で面接触させる」というものでもないから、該接続ピンから、上記相違点〔ロ'〕に係る本件発明２の構成における「弾性体」やその接合対象が示唆されるとはいえない。
　又、これら甲第１〜３号証に記載のものを組み合わせてみても、上記相違点〔ロ'〕に係る本件発明２の構成を導くに足る示唆を見出すことができるともいえない。
　
　そして、本件発明２は、上記相違点〔ロ'〕に係る本件発明２の構成を有することにより、他の相違点〔イ〕に係る本件発明２の構成を有することと相俟って、本件発明１と同様、プラズマ処理装置における分割されている高周波の導電部材を互いに接合して電気的導通を得るに当たって、均一な面接触が得られ、導電部材のインピーダンスのばらつきが小さくなって高周波電力の発生効率のばらつきが小さくなり、その結果、多数台の装置を使用する場合においてもそれぞれの装置で処理したデバイスの特性のバラツキを抑制することができ、また装置１台についてもメンテナンス前後で前記発生効率が大きく変わらないのでデバイスの特性が変わらず管理が容易になるという、明細書に記載の効果を奏する。
                                          
　従って、上記相違点〔イ〕について検討するまでもなく、本件発明２は、甲第１〜３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１及び２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１，２についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１，２についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　よって、平成６年改正特許法（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、同法の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年４月１２日（２００２．４．１２）