【事件の表示】
　特許第３１３８６１３号「レーザ加工装置」の請求項１ないし３、５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３８６１３号の請求項１ないし３、５に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３１３８６１３号の請求項１、２、３及び５に係る発明についての出願（以下「本件出願」という。）は平成７年５月２４日に特許出願され、平成１２年１２月８日にその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人（森山泰行）より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１月２１日に訂正請求がなされたものである。
　
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は以下のとおりである。
（１）訂正事項Ａ
　特許請求の範囲の請求項１の「流体を供給する」、「流体を排出する」、「流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段」を、それぞれ、「気体を供給する」、「気体を排出する」、「流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は連続的に切り換える電空弁」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書【０００６】欄、明細書【００１３】欄（訂正後の【００１８】欄）、及び、明細書【００３９】欄（訂正後の【００４４】欄）の「流体を供給する」、「流体を排出する」、「流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段」を明りようでない記載の釈明を目的として、それぞれ、「気体を供給する」、「気体を排出する」、「流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は連続的に切り換える電空弁」と訂正する。
（２）訂正事項Ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の「供給する流体」を「供給する気体」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書【０００７】欄、明細書【００１４】欄（訂正後の【００１９】欄）及び明細書【００４０】欄（訂正後の【００４５】欄）の「供給する流体」を明りようでない記載の釈明を目的として「供給する気体」と訂正する。
（３）訂正事項Ｃ
　特許請求の範囲の請求項４の「特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のレーザ加工装置」を「特徴とする請求項２または３のいずれかに記載のレーザ加工装置」と訂正する。
（４）訂正事項Ｄ
　特許請求の範囲の請求項６の「供給される流体」を「供給される気体」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書【００１１】欄の「供給される流体」を明りようでない記載の釈明を目的として「供給される気体」と訂正する。
（５）訂正事項Ｅ
　特許請求の範囲の請求項７乃至１２を追加する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書の【００１２】欄から【００１６】欄に請求項７乃至１１の対応する記載を追加する。さらにこれに伴い、明細書の【００１２】欄以下の段落番号を５ずつ繰り下げるよう訂正する。
（６）訂正事項Ｆ
　明細書の【００１３】欄の「レーザビーム反射面にレーザビーム反射部材の弾性変形による曲率を段階的又は連続的に変化するに要する流体圧力をかけるようにした」を特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明りようでない記載の釈明を目的として「レーザビーム反射面の反対側にレーザビーム反射部材の弾性変形による曲率を段階的又は連続的に変化するに要する流体圧力をかけるようにした」と訂正する。（尚、上記Ｅの訂正により、訂正後の段落番号は【００１８】に繰り下がる。）
　
２　訂正の目的、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）訂正事項Ａについて
　訂正事項Ａに関連する記載として、願書に添付された明細書（以下「特許明細書」という。）の【００３８】欄には流体として気体を使用してもよいことが、【００２２】欄、【００２６】欄には電磁弁を使用して段階的に切り換えることが、【００２３】欄、【００２８】欄には電空弁を使用して無段階即ち連続的に切り換えることが記載されている。
　したがって、上記訂正事項Ａの特許請求の範囲の請求項１に関する部分は、特許明細書に記載された事項の範囲内において、特許請求の範囲の請求項１の「流体」を下位概念の「気体」に、「段階的に切り換える手段」を下位概念の「段階的に切り換える電磁弁」に、「連続的に切り換える手段」を下位概念の「連続的に切り換える電空弁」に限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　発明の詳細な説明に関する部分は、訂正後の特許請求の範囲の請求項１と発明の詳細な説明の記載の対応をとるものであるから、明りようでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　なお、請求項２〜６、１２も、引用する請求項１の減縮に伴い、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。そして、請求項１と同様に、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（２）訂正事項Ｂについて
　訂正事項Ｂは、訂正事項Ａと同様の理由で、特許請求の範囲の請求項２に関する部分は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　発明の詳細な説明に関する部分は、明りようでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（３）訂正事項Ｃについて
　訂正事項Ｃは、訂正前の請求項１〜３に従属していた訂正前の請求項４を、今回訂正する際に、訂正後の請求項１だけに従属する部分を削除し、訂正後の請求項２、３に従属する形式に変えたものであるから、明りようでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（４）訂正事項Ｄについて
　訂正事項Ｄは、訂正事項Ａと同様の理由で、特許請求の範囲の請求項６に関する部分は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　発明の詳細な説明に関する部分は、明りようでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（５）訂正事項Ｅについて
ア　訂正事項Ｅの特許請求の範囲の請求項７〜１１に関する部分は以下のとおりであるから、訂正前の特許請求の範囲の各請求項を独立形式に表現を改め、引用する一部の請求項を削除したものに過ぎず、明りようでない記載の釈明及び特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　請求項７について：訂正前の請求項１〜３に従属していた訂正前の請求項４を、訂正前の請求項２、３に従属する部分を削除し、新たに独立した請求項７にしたものである。
　請求項８について：訂正前の請求項１〜４に従属していた訂正前の請求項５を、訂正前の請求項４を新たに独立した請求項７にしたことに伴い、訂正前の請求項２、３に従属する部分を削除し、請求項７に従属する形式で請求項８にしたものである。
　請求項９について：
　訂正前の請求項１〜５に従属していた訂正前の請求項６を、訂正前の請求項４とこの請求項４に従属する請求項５を新たに請求項７、８にしたことに伴い、訂正前の請求項２、３に従属する部分を削除し、新たな請求項７、８に従属する形式で請求項９にしたものである。
　請求項１０について：
　訂正前の請求項１〜５に従属していた訂正前の請求項６を、訂正前の請求項２〜５に従属する部分を削除し、新たに独立した請求項１０にしたものである。
　請求項１１について：
　訂正前の請求項５に従属していた訂正前の請求項６を、訂正前の請求項２〜４に従属する部分を削除し、新たに独立した請求項１０に従属する形式で請求項１１としたものである。
イ　訂正事項Ｅの特許請求の範囲の請求項１２に関する部分の内、訂正後の請求項１〜６に従属する部分は、訂正事項Ａと同様の理由で、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正後の請求項７〜１１に従属する部分は、訂正前の請求項１〜６いずれかに従属していた訂正前の請求項７を、今回各請求項の従属形式等を変更したことから請求項数が増加したことに伴い、訂正前の請求項２、３に従属する部分を削除し、新たな請求項７〜１１いずれかに従属する形式で請求項１２としたものであり、訂正前の特許請求の範囲の各請求項の独立・従属形式を組み変えたものに過ぎず、明りようでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
ウ　発明の詳細な説明に関する部分は、訂正後の特許請求の範囲の請求項７〜１２と発明の詳細な説明の記載の対応をとるものであるから、明りようでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。　
（６）訂正事項Ｆについて
　訂正事項Ｆは、発明の詳細な説明の記載と特許請求の範囲の記載との整合をとるためのものであるから、明りようでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
３　独立特許要件
　請求項２〜６、１２は請求項１に従属しているので、請求項２〜６、１２に係る訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　そして、その内、請求項４、６、１２に係る訂正は、特許異議の申立てがなされていない請求項についての訂正であるので、請求項４、６、１２に係る発明が独立して特許を受けることができるか否かについて、以下検討する。
　なお、請求項７〜１１は、訂正前の請求項４〜６が従属していた複数の請求項の内の一部の請求項を削除したものに過ぎない。
（１）本件発明
　平成１４年１月２１日付け訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜６、１２に係る発明（以下「本件発明１〜６、１２」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜６、１２に記載された以下のとおりのものであると認める。
「【請求項１】　レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に気体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は連続的に切り換える電空弁と、前記反射部材支持部の空間から気体を排出する流体排出手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。
　【請求項２】　レーザビーム反射部材を弾性変形させるために供給する気体が流体排出手段から排出された後、レーザビーム伝送路内に供給し、前記レーザビーム伝送路内をパージするパージエアーとして使用することを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
　【請求項３】　加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、前記加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビーム径が前記加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となるようにレーザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装置。
　【請求項４】　最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段を備えたことを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載のレーザ加工装置。
　【請求項５】　流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置。
　【請求項６】　反射部材支持部の空間に供給される気体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止する手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のレーザ加工装置。
　【請求項１２】　加工条件として最適のレーザビーム反射径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板厚に応じて前記レーザビーム径を選択することを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のレーザ加工装置。」
（２）甲第１〜４号証記載の発明乃至技術的事項
　特許異議申立人が提出した本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である甲第１〜４号証には、以下の発明乃至技術的事項が記載されている。
ア　甲第１号証
　甲第１号証（特開平２−２３１７７９号公報）には、以下の発明が記載されていると認める。
　レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形する鏡２３と、鏡２３の周囲部を支持し、鏡２３とともに鏡２３のレーザビーム反射面の反対側に空洞３３を形成する加圧体３２と、この空洞３３に流体を供給する中央穴５４、中央管５７、導管８４、圧力発生器７９及び冷却器８３等の流体供給手段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換えるホイール８０と、空洞３３から流体を排出する外穴６１、外管６４、導管８６等の流体排出手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザ反射面の反対側に前記鏡２３が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたレーザミラーヘッド機構、及び、該レーザミラーヘッド機構をレーザビームの伝送路に複数設けたレーザ。
イ　甲第２号証
　甲第２号証（特公昭６２−１１９５３号公報）の特許請求の範囲には、以下のとおり記載されている。
「レーザ光を被加工物に向けて照射するレーザ光照射ノズルを有するヘッド部と、少なくとも一部がダクトにて覆われレーザ光をレーザ光照射ノズルに導く光伝送部と、ヘッド部を駆動するヘッド駆動機構とを含むレーザ加工機において、両端がそれぞれ前記ダクト端部及び固定部に固定されその中間部に前記ヘッド部を担持しかつ前記ダクトとともに光伝送部を密閉状態に保持するジャバラ体を有し、ダクト及びジャバラ体で形成された密閉室内に清浄気体を充填し、前記ヘッド部の移動時に各ジャバラ室間で清浄気体を相互に移動させ、密閉室内の清浄気体の圧力を常時一定に保持することを特徴とするレーザ加工機。」
ウ　甲第３号証
　甲第３号証（実願昭６２−８９０２２号（実開昭６３−２０２４９４号）のマイクロフィルム）には、明細書第２頁第６〜１４行及び実用新案登録請求の範囲の記載からすると、以下の技術的事項が記載されていると認める。
　乾燥空気をレーザービーム伝送路内に導入してパージすること、及び、レーザー発信器で使用したレーザーガスの一部をレーザービーム伝送路内に導入してパージすること。
エ　甲第４号証
　甲第４号証（特開平１−１６６８９４号公報）には、以下の発明が記載されていると認める。
　レーザ発信器から出力されるビームを集光レンズを用いて集光させ、加工を行うレーザ加工機において、ビームの伝送路にコリメーション曲率、即ち、ミラーの曲率を変化させることができるミラーとミラー背面の穴洞に満たされた気体（または液体）からなるコリメーション部を備えたコリメーション機構を設け、ビームの伝送距離の変化に応じて集光レンズに入射するビーム径を一定にするように、ミラー背面の穴洞に満たされた気体（または液体）の圧力を変化させることにより、コリメーション部のミラーの曲率を変化させるようにしたレーザ加工機。
（３）対比・当審の判断
　本件発明４、６、１２は、何れも、結局は、本件発明１に従属し、さらに技術的限定を加えたものであるから、まず、本件発明１が特許を受けることができるかどうかについて検討する。
　本件発明１は、レーザービーム反射部材のレーザービーム反射面の反対側の空間へ供給する気体の圧力を切り換える手段として、流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は流体供給圧力を連続的に切り換える電空弁を使用することを、その発明特定事項とするものであるが、甲第１〜４号証何れにも、上記発明特定事項について記載されておらず、また、上記発明特定事項は、本件出願時の技術常識を考慮しても、、甲第１〜４号証記載の発明乃至技術的事項に基づいて当業者が容易に想到することができたものでもない。
　なお、甲第１号証には、流体供給圧力を調整する手段として、「ホイール８０を使って圧力発生器７９内で圧力を８ｂａｒまで調整することができる。」と記載されているのみであって、この記載が、流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は流体供給圧力を連続的に切り換える電空弁を意味するとも、示唆するともいうことはできない。
　そして、本件発明１は、上記発明特定事項を有することにより、「レーザービーム反射部材の曲率を速やかに変化させて、必要に応じてレーザービーム径を高速で制御する」ことができるという甲第１〜４号証記載の発明乃至技術的事項にない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１を甲第１〜４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　そして、本件発明４、６、１２は、本件発明１の構成を全て備えた上で、さらに技術的限定を加えたものであるから、本件発明１が甲第１〜４号証記載の発明乃至技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない以上、本件発明４、６、１２も、甲第１〜４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　よって、本件発明４、６、１２は、独立して特許を受けることができるものである。
　
４　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において読み替えて準用する同法第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議の申立てについて　
１　申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、特許第３１３８６１３号の請求項１、２、３、５に係る発明は、本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、その特許は、同法第１１３条第２号に該当するので、取り消されるべきものである旨主張している。
２　本件発明１、２、３及び５
　本件発明１、２、３及び５は、上記「第２　訂正の適否についての判断　３　独立特許要件　（１）本件発明」の箇所で示したとおりのものと認める。
３　対比・当審の判断
　本件発明１について検討するに、本件発明１については、上記「第２　訂正の適否についての判断　３　独立特許要件　（３）対比・当審の判断」の箇所で示したとおり、本件発明１を甲第１〜４号証記載の発明乃至技術的事項に基づいて当業者が容易に発明することができたものとすることはできない。
　そして、本件発明２、３及び５は、本件発明１の構成を全て備えた上で、さらに技術的限定を加えたものであるから、本件発明１が甲第１〜４号証記載の発明乃至技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない以上、本件発明２、３、５も、甲第１〜４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
４　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１、２、３及び５の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１、２、３及び５の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年２月２０日（２００２．２．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
特許第３１３８６１３号の明細書中の特許請求の範囲及び発明の詳細な説明を以下のとおり訂正する。
（１）訂正事項Ａ
　特許請求の範囲の請求項１の「流体を供給する」、「流体を排出する」、「流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段」を、それぞれ、「気体を供給する」、「気体を排出する」、「流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は連続的に切り換える電空弁」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書【０００６】欄、明細書【００１３】欄（訂正後の【００１８】欄）、及び、明細書【００３９】欄（訂正後の【００４４】欄）の「流体を供給する」、「流体を排出する」、「流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段」、を明りようでない記載の釈明を目的として、それぞれ、「気体を供給する」、「気体を排出する」、「流体供給圧力を段階的に切り換える電磁弁又は連続的に切り換える電空弁」と訂正する。
（２）訂正事項Ｂ
　特許請求の範囲の請求項２の「供給する流体」を「供給する気体」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書【０００７】欄、明細書【００１４】欄（訂正後の【００１９】欄）及び明細書【００４０】欄（訂正後の【００４５】欄）の「供給する流体」を明りようでない記載の釈明を目的として「供給する気体」と訂正する。
（３）訂正事項Ｃ
　特許請求の範囲の請求項４の「特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のレーザ加工装置」を「特徴とする請求項２または３のいずれかに記載のレーザ加工装置」と訂正する。
　（４）訂正事項Ｄ
　特許請求の範囲の請求項６の「供給される流体」を「供給される気体」と訂正する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書【００１１】欄の「供給される流体」を明りようでない記載の釈明を目的として「供給される気体」と訂正する。
（５）訂正事項Ｅ
　特許請求の範囲の請求項７乃至１２を追加する。
　これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明細書の【００１２】欄から【〔００１６】欄に請求項７乃至１１の対応する記載を追加する。　さらにこれに伴い、明細書の【００１２】欄以下の段落番号を５ずつ繰り下げるよう訂正する。
（６）訂正事項Ｆ
　明細書の【００１３】欄の「レーザビーム反射面にレーザビーム反射部材の弾性変形による曲率を段階的又は連続的に変化するに要する流体圧力をかけるようにした」を特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるため、明りようでない記載の釈明を目的として「レーザビーム反射面の反対側にレーザビーム反射部材の弾性変形による曲率を段階的又は連続的に変化するに要する流体圧力をかけるようにした」と訂正する。
（尚、上記Ｅの訂正により、訂正後の段落番号は【００１８】に繰り下がる。）
（５４）【発明の名称】
レーザ加工装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に
気体
に切り換える電磁弁
電空弁
気体
　【請求項２】　レーザビーム反射部材を弾性変形させるために供給する
気体
　【請求項３】　加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、前記加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビーム径が前記加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となるようにレーザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装置。
　【請求項４】　最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段を備えたことを特徴とする請求項
２または３
　【請求項５】　流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置。
　【請求項６】　反射部材支持部の空間に供給される
気体
　【請求項７】
　レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段と、前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出手段と、最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。
　【請求項８】
　流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したことを特徴とする請求項７記載のレーザ加工装置。
　【請求項９】　
反射部材支持部の空間に供給される流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止する手段とを備えたことを特徴とする請求頂７または８記載のレーザ加工装置。
　【請求項１０】　
レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段と、前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出手段と、反射部材支持部の空間に供給される流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止する手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。
　【請求項１１】　
流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したことを特徴とする請求項１０記載のレーザ加工装置。
　【請求項
１２
１１
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、レーザ加工装置におけるレーザビームの伝送技術に係り、特にレーザビーム径の制御技術に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　図８は、例えば特開昭６１−１５９６１３号公報に示された従来の曲率可変反射曲面鏡（凹面鏡）の断面図であり、図９はその斜視図である。
　図において、１は気密性の容器、２はその上端に形成された円形の開口、３は周囲が上記容器１に固着される円板状膜、４はこの膜３と容器により形成される気密な空間である。
　また、５はこの気密は空間４内の圧力を調整する圧力調整手段であり、上記容器１に設けられた空気通路６とそれを開閉するバルブ７、及び上記空間４内の空気を排出するポンプ８とからなる。
　【０００３】
　このように構成された曲率可変反射曲面鏡（凹面鏡）において、バルブ７を開いてポンプ８を作動させると、空間４内の空気が、空気通路６を通り排出されて、容器１の内部の圧力が外部の圧力よりも低下する。それによって、円板状膜３の表裏に圧力差が生じ、この円板状膜３は内側にたわむ。
　そして、その膜外表面の反射面３ａがほぼ回転放物面を形成するようになる。したがって、この曲面鏡に上方から光等の電磁波が入射すると、その電磁波は上記反射面３ａによって、ほぼ一点に集束するようになる。すなわち、凹面鏡として使用することができる。
　そして、上記反射面３ａの焦点が所要の位置に達したところで、バルブ７を閉じることにより、容器１の内外の空気の流通が阻止され、上記円板状膜３の形状が一定に保たれるようになる。
　また、ポンプ８によって容器１内の空間４に外部から空気を供給することもできるようにしておけば、上記容器１内の圧力を外部よりも高くすることができるため、上記反射膜３ａを外側にたわませることが可能となる。したがって、凸面鏡を形成できるようになる。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来の曲率可変反射曲面鏡は、以上のように構成されているので、曲率を変化させるにはポンプ８の作動により、容器１の内部の圧力を変化させる必要があり、所定の曲率となるまで時間を要するため、例えば、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動して加工を行う光走査形のレーザ加工装置において、レーザビーム反射のために上記曲率可変反射曲面鏡を使用した場合、加工ヘッドの移動に伴いレーザビーム径を高速度で変化させ集光光学部品に入射するレーザビーム径を一定にするよう制御することは困難であるなどの問題点があった。
　【０００５】
　この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、高速度にてレーザビーム反射部材の曲率を変化させることができるとともに、曲率を必要に応じて自由に制御できるレーザ加工装置を得ることを目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　この発明に係るレーザ加工装置は、レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に
気体
に切り換える電磁弁
電空弁
気体
　【０００７】
　また、レーザビーム反射部材を弾性変形させるために供給する
気体
　【０００８】
　また、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、前記加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビーム径が前記加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となるようにレーザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備えたものである。
　【０００９】
　また、最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段を備えたものである。
　【００１０】
　また、流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したものである。
　【００１１】
　また、反射部材支持部の空間に供給される
気体
　【００１２】
　
また、レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段と、前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出手段と、最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたものである。
　【００１３】
　
また、流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したものである。
　【００１４】
　
また、反射部材支持部の空間に供給される流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止する手段とを備えたものである。
　【００１５】
　
また、レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段と、前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出手段と、反射部材支持部の空間に供給される流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止する手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたものである。
　【００１６】
　
また、流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成したものである。
　【００１７】
　
また、加工条件として最適のレーザビーム径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板厚に応じて前記レーザビーム径を選択するものである。
　【００１８】
　【作用】
　この発明におけるレーザ加工装置は、レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持しレーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に
気体
に切り換える電磁弁
電空弁と
気体
の反対側
　【００１９】
　また、レーザビーム反射部材を弾性変形させるために供給する
気体
　【００２０】
　また、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、レーザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備えたことにより、加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビーム径が加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となるようにする。
　【００２１】
　また、加工ヘッド本体または加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段を備えたことにより、最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるようにする。
　【００２２】
　また、流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビームの伝送路内に複数配置し構成したことにより、レーザビーム径の可変範囲を拡大する。
　【００２３】
　また、反射部材支持部の空間に供給される流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止する。
　【００２４】
　また、加工条件として最適のレーザビーム径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板厚に応じてレーザビーム径を選択する。
　【００２５】
　【実施例】
実施例１．
　以下、この発明の実施例１を図１、図２、図４、図５、図６及び図７を用いて説明する。尚、図１はこの発明における実施例１によるレーザ加工装置の光路構成、曲率可変反射鏡ホルダー構造及び配管系統等要部構成を示す図、図２はこの発明の実施例１におけるレーザ加工装置の光路構成及び配管系統の要部構成の他の例を示す図である。
　【００２６】
　また、図３は、この発明における実施例１によるレーザ加工装置の曲率可変反射鏡ホルダー９より排出されたエアー１５を、パージエアーとして使用する場合の配管系統及び構造を示す図、図４は加工レンズ２９の位置において、レーザビーム径を一定とするための制御回路を示す図、図５は加工レンズ２９から最小集光スポット径までの距離の変化に対応し、加工ヘッド２８をＺ軸方向に移動を行う制御回路を示す図、そして図６は曲率可変反射鏡ホルダー９に供給されるエアー１５の圧力に関する警報回路を示す図である。
　【００２７】
　図１において、９は曲率可変反射鏡ホルダー、１０はエアー等流体圧力により曲率を可変できるレーザビーム反射部材たる曲率可変反射鏡、１１はこの曲率可変反射鏡１０の周囲部分を保持する反射部材支持部の要部たる円形保持板、１２は上記曲率可変反射鏡１０の周囲部分を固定する押え板、１３はエアジャケット、１４はこのエアジャケット１３の中心部に設けられたエアー入口、１５はエアー、１６は上記円形保持板１１に数箇所等間隔に設けられたエアー通路、１７は上記エアジャケット１３に設けられ、上記円形保持板１０の周囲部に形成されたエアー通路、１８はエアー出口、１９は圧力計、２０は図示しないレーザ発振器から出力されるレーザビーム、２１は上記曲率可変反射鏡１０のレーザビーム反射面、２２は曲率可変反射鏡１０のレーザビーム非反射面（裏面）、２３は固定ネジ、２４ａ〜２４ｄは気密性を保持するためのＯリング、２５ａ，２５ｂ，２５ｃはエアーのＯＮ−ＯＦＦを行う電磁弁、２６ａ，２６ｂ，２６ｃはエアーの圧力を設定するレギュレタ、２７ａ，２７ｂは上記レーザビーム２０を反射する反射鏡、２８は加工ヘッド、２９はこの加工ヘッド２８に保持される集光光学部材たる加工レンズ、３０はこの加工レンズ２９を押える加工レンズ押え、３１は加工ガス入口、３２は加工ガス、２４ｅはこの加工ガス３２をシールするＯリング、３３は集光されたレーザビーム２０が照射される被加工物、３４は制御装置である。
　【００２８】
　また、図２において、３５は供給するエアーの圧力を無段階的に変化させることのできる電空弁である。
　また、図３において、５０は供給される流体による圧力にかかわらず一定の流量にコントロールするフローコントローラ、５１はパージエアー供給口、５２はレーザビーム伝送路、５３は防塵及び密閉のためのゴムカバー、５４はエアーの流れである。
　また、図４において、５５は加工レンズ２９の位置にてある決められたレーザビーム径となるのに必要な曲率可変反射鏡１０の曲率を演算する曲率演算装置である。また、図５において、５６は加工レンズ２９から最小集光スポット径までの距離を演算する最小集光スポット径までの距離演算装置、５７はレーザ加工装置、また、図６において、５８はコンパレータ、５９は警報装置である。
　【００２９】
　次に動作について説明する。流体圧力により弾性変形可能な材質からなる曲率可変反射鏡１０は、その周囲部分が円形保持板１１に保持されており、また、エアジャケット１３に対して固定ネジ２３により固定される押え板１２により上記円形保持板１１に押えられている。一方、上記エアジャケット１３は、その中心部に設けられたエアー入口１４よりエアー１５が、電磁弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃのうちいずれかを開くことにより供給される。この電磁弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃの直後には、各々レギュレータ２６ａ，２６ｂ，２６ｃが設置されており、あらかじめ設定を行っておくことにより、圧力は３段階に切り替えることが可能となる。そしてこの切り替えは、レーザ加工装置全体を制御している制御装置３４の指令により行うものとする。
　【００３０】
　切断・溶接等のレーザ加工において、加工レンズ２９等の集光光学部材に入射するレーザビーム径は、最小集光スポット径をほぼ決定するため、非常に重要なファクターであり、被加工物３３の種類（材質）や厚さ等により、各々最適なレーザビーム径が存在する。従って、上記被加工物３３の種類や厚さ等に応じて、集光光学部材に入射するレーザビーム径を変化させることにより、より高品質で安定性のあるレーザ加工を行うことができるようになる。
　【００３１】
　さて、上記エアー入口１４より供給されたエアー１５は、上記円形保持板１１に複数個等間隔に設けられているエアー通路１６を通り、円形保持板１１の周囲部に形成されたエアー通路１７へと出た後、上記エアジャケット１３の１箇所に設けられたエアー出口１８より排出されるという流体動作回路が構成され、この流体圧力により、曲率可変反射鏡１０は球面化するため、球面鏡（この場合は凸面鏡）として使用することができる。尚、このエアー出口１８の内径を、上記エアー入口１４の内径に比べ充分小さくすることにより、少ない流量で上記曲率可変反射鏡１０のレーザビーム非反射面（裏面）２２に圧力を加えることができる。また、流体圧力が変化すればその曲率可変反射鏡１０の曲率も変化するため、上記制御装置３４の指令により、曲率を３段階切り替えることが可能となる。また、上記流体動作回路に供給される流体の供給量に連動する流体圧力により上記制御装置３４の指令とほぼ同時に曲率可変反射鏡１０の曲率を変えることができる。なお、Ｏリング２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、気密性を保持するためのものである。
　【００３２】
　一方、図示しないレーザ発振器より出力されたレーザビーム２０は、上記曲率可変反射鏡１０が球面化した場合、反射により非点収差が生じるため、曲率可変反射鏡１０に対し極力入射角を小さくして入射し、反射後、反射鏡２７ａ，２７ｂにより加工ヘッド２８へと伝送される。そして加工レンズ２９により集光され、焦点位置近傍にて、被加工物３３へ照射されるが、このとき上記制御装置３４の指令により、加工ヘッド２８または被加工物３３が移動し、加工ガス入口３１より供給される加工ガス３２が、集光されたレーザビーム２０と同軸上に噴出されることにより、切断・溶接等の加工が行われる。なお、上記加工ガス３２をシールするためＯリング２４ｅを使用し、また、上記加工レンズ２９を固定するため加工レンズ押え３０を使用している。
　【００３３】
　図２に示すように、電空弁（電子式空気圧比例弁）３５を使用することにより、供給するエアー１５の圧力を無段階に変化させることができる。従って、制御装置３４の指令により、曲率可変反射鏡１０の曲率を無段階に、即ち連続的に変化させることができる。
　【００３４】
　また、レーザビーム伝送路内は、粉塵や有害ガスの浸入及びレーザビームの安定性を確保するためエアーパージを行う場合が多いが、エアー出口１８から排出されたエアーをレーザビーム伝送路内へ再供給することにより、従来パージを行うために専用に準備していたコンプレッサ、ドライヤ、フィルタ等で構成されるパージエアー供給源が不要となる。
　具体的方法としては、図３に示すように、エアー出口１８より排出されたエアー１５は、フローコントローラ（流量制御バルブ）５０により一定流量化され、パージエアー供給口５１より、レーザビーム伝送路５２内へと連続的に供給され、上記レーザビーム伝送路５２内の雰囲気を一定に保つようにする。
　【００３５】
　加工ヘッド２８がＸ−Ｙ平面上を移動して加工を行う光走査形レーザ加工装置の場合、従来、コリメーションを使用しても、加工レンズ２９に入射するレーザビーム径を一定にすることは不可能であったが、制御装置３４により、加工ヘッド２８のＸ−Ｙ方向移動に伴い、曲率可変反射鏡１０の曲率を連続的に変化させ、加工レンズ２９に入射するレーザビーム径を一定とするように制御することができる。
　【００３６】
　具体的方法としては、図４に示されるように、図示しないレーザ発振器から加工レンズ２９までのビーム伝送距離を制御装置３４により演算し、その演算された伝送路距離により、加工レンズ２９位置において、ある決められたレーザビーム径となるために必要な曲率可変反射鏡１０の曲率を曲率演算装置５５により演算を行う。そして、あらかじめデータ化して制御装置３４に入力されているその演算された曲率に対応する曲率可変反射鏡ホルダー９への供給圧力を、制御装置３４より電空弁３５へ指令を行うようにする。或いは、上記曲率演算装置５５は使用せず、曲率可変反射鏡ホルダー９への供給圧力と同様、ある決められたレーザビーム径となるために必要な曲率を、あらかじめデータ化して制御装置３４に入力しておくようにしてもよい。
　【００３７】
　上記加工レンズ２９に入射するレーザビーム径を変化させた場合、加工レンズ２９から最小集光スポット径までの距離が若干変化する。また、光走査形レーザ加工を行う場合は、上記加工ヘッド２８の移動してもレーザビーム径を一定とすることにより、最小集光スポット径はほぼ一定となるが、最小集光スポット径までの距離が同様に変化するため、加工ヘッド２８本体或いは加工レンズ２９を、Ｚ軸方向（上下方向）における最小集光スポット径の位置が常に一定となるよう、Ｚ軸方向の移動を制御することも可能である。
　【００３８】
　具体的方法としては、図５に示されるように、上記曲率演算装置５５の他に、最小集光スポット径までの距離演算装置５６を付加し、加工レンズ２９から最小集光スポット径までの距離を演算し、その演算された距離となるよう加工ヘッド２８をＺ軸方向へ移動させる指令を、制御装置３４がレーザ加工装置５７に行うようにするものである。
　【００３９】
　また、曲率可変反射鏡１０及びそのホルダー９の複数個レーザビーム伝送路に設置すれば、レーザビーム径の可変範囲をより拡大できる。
　また、曲率可変反射鏡ホルダー９に供給されるエアー１５の圧力を監視し、制御装置３４の指令値とある一定値以上の差異が生じた場合はアラームとし、警報を出すか或いはレーザ加工装置を停止させるようにすることができる。
　【００４０】
　具体的方法としては、図６に示すように、制御装置３４より電空弁３５に出された圧力指令値と、実際に曲率可変反射鏡ホルダー９へ供給されている流体圧力をコンパレータ５８により比較を行い、差異があらかじめ設定されていた値より大きくなったときに、警報装置５９へ指令を送り警報を発するようにするものである。
　【００４１】
　また、被加工物３３の材質及び板厚等の違いに応じて、制御装置３４に加工速度、加工出力、加工ガス圧等の加工条件を登録する方法が現在とられているが、被加工物３３の材質や板厚により、最適なレーザビーム径が存在するため、この加工条件の登録項目に新たにレーザビーム径を追加する（この登録されるレーザビーム径はあらかじめ用意されている何種類かのレーザビーム径の中から選択する形式とする。）。そして、上述のような方法（曲率演算装置５５を用いたり、或いはデータ化しておく方法）により、加工レンズ２９位置におけるビーム径が、加工ヘッド２８が移動しても常に加工条件登録時に登録されたビーム径となるよう制御することが可能である。
　【００４２】
実施例２．
　実施例１においては、曲率可変反射鏡１０を凸面鏡化させる例を挙げたが、レーザ加工装置のホルダー構造及び配管系統を図７に示すような構造とし、エアー入口４３ａよりエアーを供給すると同時に、電磁弁２５ｄ，２５ｅを閉じるようにすれば、曲率可変反射鏡１０もピストン４１とシリンダ４０により構成された空間に流体が供給され、ピストン４１はシリンダ（１）４０及びシリンダ（２）４２を摺動しながら図中矢印方向へ移動することにより、レーザビーム非反射面（裏面）２２側は負圧となるため、上記曲率可変反射鏡１０を凹面鏡化させることも可能となる。なお、上記電磁弁２５ｄ，２５ｅを開き、エアー入口４３ｂよりエアーを供給することにより、実施例１のように凸面鏡化することができる。従ってこのような構造とすることにより、凹面鏡化と凸面鏡の両方が可能となるため、レーザビーム径の可変範囲を拡大することができる。
　【００４３】
　また、実施例１においては、曲率可変反射鏡１０は圧力のかからない状態では平面鏡であるが、凹面鏡或いは凸面鏡であってもよい。
　また、実施例１においては、平面鏡の肉厚は均一としているが、理想的な球面曲率を得るため平面鏡中心から周囲部への距離に従い、肉厚を変化させるようにしても良い。
　また、圧力をかける流体をエアーとしたが、特にエアーに限定するものではなく、他の気体を使用してもよい。また、気体ではなく水等の液体を使用してもよい。
　また、図１においては電磁弁の個数を３個とし、圧力３段階切替えとしたが、特に３個である必要はなく、１個以上であればよい。但し、電磁弁の数を多くすることにより、レーザビーム径の設定数も多くできるため、より高品質で安定性のあるレーザ加工を行うことができるようになる。
　また、圧力をかけるエアーをパージエアーと共用する例を挙げているが、レーザ加工時に必要となる加工ガスと共用するようにしてもよい。
　【００４４】
　【発明の効果】
　以上のように、この発明によれば、レーザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の空間に
気体
に切り換える電磁弁
電空弁
気体
　【００４５】
　また、レーザビーム反射部材を弾性変形させるために供給する
気体
　【００４６】
　また、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、レーザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備え、加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビーム径が加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となるようにすることにより、高品質のレーザ加工を安定して行える効果がある。
　【００４７】
　また、加工ヘッド本体または加工ヘッドに装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制御する手段を備え、最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一定となるようにすることにより、高品質のレーザ加工を安定して行える効果がある。
　【００４８】
　また、流体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材をレーザビームの伝送経路内に複数配置し構成したことにより、レーザビーム径の可変範囲を拡大することができる。
　【００４９】
　また、反射部材支持部の空間に供給される流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運転を停止することができる。
　【００５０】
　また、加工条件として最適のレーザビーム径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板厚に応じてレーザビーム径を選択することにより、高品質のレーザ加工を安定して行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　この発明の実施例１によるレーザ加工装置の光路構成、ホルダー構造及び配管系統を示す構成図である。
　【図２】　この発明の実施例１によるレーザ加工装置の光路構成及び配管系統を示す他の構成図である。
　【図３】　この発明の実施例１によるレーザ加工装置の曲率可変反射鏡ホルダーより排出されたエアーをパージエアーとして使用する場合の配管系統及び構造を示す構成図である。
　【図４】　この発明の実施例１によるレーザ加工装置の加工レンズの位置において、レーザビーム径を一定とするための制御回路を示す構成図である。
　【図５】　この発明の実施例１によるレーザ加工装置の加工レンズから最小集光スポット径までの距離の変化に対応し、加工ヘッドをＺ軸方向に移動を行う制御回路を示す構成図である。
　【図６】　この発明の実施例１によるレーザ加工装置の曲率可変反射鏡ホルダーに供給されるエアーの圧力に関する警報回路を示す構成図である。
　【図７】　この発明の実施例２によるレーザ加工装置のホルダー構造及び配管系統を示す構成図である。
　【図８】　従来の曲率可変反射曲面鏡の断面図である。
　【図９】　従来の曲率可変反射曲面鏡の斜視図である。
　【符号の説明】
　１　気密性の容器、２　円形の開口、３　円板状膜、４　気密な空間、５　圧力調整手段、６　空気通路、７　バルブ、８　ポンプ、９　曲率可変反射鏡ホルダー、１０　曲率可変反射鏡、１１　円形保持板、１２　押え板、１３　エアジャケット、１４　エアー入口、１５　エアー、１６　エアー通路、１７　エアー通路、１８　エアー出口、１９　圧力計、２０　レーザビーム、２１　レーザビーム反射面、２２　レーザビーム非反射面（裏面）、２３　固定ネジ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，２４ｅ，２４ｆ，２４ｇ　Ｏリング、２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，２５ｅ　電磁弁、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ　レギュレータ、２７ａ，２７ｂ　反射鏡、２８　加工ヘッド、２９　加工レンズ、３０　加工レンズ押え、３１　加工ガス入口、３２　加工ガス、３３　被加工物、３４　制御装置、３５　電空弁、４０　シリンダ（１）、４１　ピストン、４２　シリンダ（２）、４３ａ，４３ｂ　エアー入口、４４ａ，４４ｂ　エアー出口、５０　フローコントローラ（流量制御バルブ）、５１　パージエアー供給口、５２ａ，５２ｂ　レーザビーム伝送路、５３　ゴムカバー、５４　エアーの流れ、５５　曲率演算装置、５６　最小スポット径までの距離演算装置、５７　レーザ加工装置、５８　コンパレータ、５９　警報装置。