【事件の表示】
　特許第２９７０３３０号「内部透過率の測定方法及び分光光度計の調整方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９７０３３０号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許出願　　　　　　　　　　　　　　　平成５年８月２６日
　特許権設定登録                        平成１１年８月２７日
　特許異議申立て（申立人、信越石英株式会社、請求項１〜５に係る特許に対して）                                　　　　平成１２年４月２４日
　第１回取消理由通知                    平成１２年７月２８日（発送日）
　第１回意見書                          平成１２年９月２６日
　審尋                                  平成１３年１１月２６日（発送日）
　回答書                                平成１４年１月２５日
　第２回取消理由通知                    平成１４年２月２６日（発送日）
　第２回意見書、訂正請求                平成１４年４月２５日
２．訂正の適否
　第２回取消理由の概要は、「第１回意見書及び審尋回答書の内容を検討しても、本件の請求項５に係る発明は、特許明細書の発明の詳細な説明に記載したものではないから、本件特許の出願は、特許法第３６条第５項第１号に規定する要件を満たしていないものであり、本件の請求項１〜５に係る発明の特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものであり取り消されるべきである。」というもので、訂正請求は、これに対応して請求項５を削除するものである。訂正により、上記取消理由で指摘した記載上の不備は解消されており、この訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。また、この訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、この訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについての判断
３−１．申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、概要下記１〜３の理由により、請求項１〜５に係る発明の特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　理由１．請求項３に係る発明に関して、３６５ｎｍにおける校正曲線を基に下記の算出式（１）
　ｔλ＝ｔ3６５・（１−１／ｎ３６５）／（１−１／ｎλ）　　　　（１）
によって波長３００ｎｍ以下における換算試料厚を算出して３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線を求める方法が不明であり、したがって、本件特許の明細書の発明の詳細な説明は、請求項３に係る発明の構成を当業者が容易に理解し、実施できる程度に記載されていないので、平成５年法改正前特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
　理由２．請求項４に係る発明に関して、下記の式（２）
　Ｔ＝（１−Ｒ）２・ｅ−ａ・ｔ／（１−Ｒ２・ｅ−２・ａ・ｔ）　　　（２）
から３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線及び理論透過率と３００ｎｍ以下の測定波長の「反射損失を含む分光透過率」の測定値との関係に適合する吸収係数ａを算出する方法が不明であり、したがって、本件特許の明細書の発明の詳細な説明は、請求項４に係る発明の構成を当業者が容易に理解し、実施できる程度に記載されていないので、平成５年法改正前特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
　理由３．請求項５に係る発明は発明の詳細な説明に記載されたものではなく、したがって、本件特許の特許請求の範囲の請求項５の記載は、平成５年法改正前特許法第３６条第５項第１号の規定に適合しない。
３−２．判断
　理由１について、
　特許明細書には、焦点位置のずれ量が試料厚、屈折率に依存すること、焦点位置のずれ量が２波長で同一になるための換算試料厚が式（１）から求められること、換算試料厚により３６５ｎｍでの校正曲線から３００ｎｍ以下の校正曲線を求めることができることが記載されており、具体例として、３６５ｎｍの校正曲線から求められた２４８ｎｍ及び１９３ｎｍにおける校正曲線が図５及び図６に示されている。したがって、特許明細書の記載から、３６５ｎｍにおける校正曲線を基に式（１）によって波長３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線を求めうることは、当業者が十分に理解できることである。
　また、審尋に対する回答書において、厚さの異なる５つの試料について３６５ｎｍでの透過率を測定して校正曲線を求め、これを基に式（１）により１９３ｎｍの校正曲線を求める方法が具体的に示されている。これらのことから判断すれば、特許明細書の発明の詳細な説明には、請求項３の発明について、当業者が容易にその実施をすることができる程度に発明の目的、構成、効果が記載されていない、とはいえない。
　理由２について、
　３００ｎｍ以下の測定波長の「反射損失を含む分光透過率」の測定値と式（２）から吸収係数ａを算出しうることは当業者に明らかである。もっとも、図５及び図６に示されるように、分光光度計の光軸調整を行わない場合、「反射損失を含む分光透過率」の測定値には焦点ずれによる誤差が含まれており、この誤差を補正しなければならないこと、この誤差は、図５及び図６に示される校正曲線に含まれていることから、該校正曲線を利用して該誤差を補正しうることは、特許明細書の記載から当業者が十分に理解できることである。そして、特許明細書には、補正された「反射損失を含む分光透過率」の測定値と式（２）から求められた吸収係数ａの数値が示されており、また、審尋に対する回答書において、２４８ｎｍの校正曲線から補正係数を求め２４８ｎｍの「反射損失を含む分光透過率」の測定値について補正する具体的方法が示されている。これらのことから判断すれば、特許明細書の発明の詳細な説明には、請求項４の発明について、当業者が容易にその実施をすることができる程度に発明の目的、構成、効果が記載されていない、とはいえない。
　理由３について、
　訂正により請求項５は削除され、この点の不備は解消された。
３−３．むすび
　以上のとおりであるから、請求項１〜４に係る発明の特許は、特許異議申立ての理由によっては取り消すことはできない。
　また、他に請求項１〜４に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月１１日（２００２．７．１１）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
１．請求項５を削除する。
（５４）【発明の名称】
内部透過率の測定方法及び分光光度計の調整方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　３６５ｎｍにおける内部透過率が１００％と仮定される厚みの異なる３枚以上の校正用素材を用いて３６５ｎｍにおける「反射損失を含む分光透過率」を測定し、それらの測定値と３６５ｎｍにおける理論透過率との差が前記校正用素材の厚さによらず±０．０１％以下になるように分光光度計の光軸を調整することを特徴とする分光光度計の調整方法。
　【請求項２】
　請求項１の調整方法により光軸を調整した分光光度計を用いて、厚みの異なる３枚以上の光学素材の３００ｎｍ以下の測定波長の「反射損失を含む分光透過率」を測定し、該測定値から内部透過率を算出することを特徴とする光学素材の内部透過率の測定方法。
　【請求項３】
　光学素材の内部透過率の測定方法において、
３６５ｎｍにおける内部透過率が１００％と仮定される厚みの異なる３枚以上の校正用素材を用いて３６５ｎｍにおける「反射損失を含む分光透過率」を測定し、それらの測定値と厚みの関係を表す校正曲線を求め、該３６５ｎｍにおける校正曲線を基に下記の算出式
　【数１】
によって波長３００ｎｍ以下における換算試料厚を算出して３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線を求め、該３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線及び理論透過率と３００ｎｍ以下の測定波長の「反射損失を含む分光透過率」の測定値との関係から内部透過率を算出するものであることを特徴とする光学素材の内部透過率の測定方法。
　【請求項４】
　請求項３に記載の光学素材の内部透過率の測定方法において、
前記３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線及び理論透過率と３００ｎｍ以下の測定波長の「反射損失を含む分光透過率」の測定値との関係から内部透過率を算出する方法が、下記の算出式
　【数２】
から３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線及び理論透過率と３００ｎｍ以下の測定波長の「反射損失を含む分光透過率」の測定値との関係に適合する吸収係数ａを算出し、該吸収係数ａから内部透過率を算出することを特徴とする光学素材の内部透過率の測定方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は光学素材、例えば多成分光学ガラス、合成石英ガラス、結晶材料等の内部透過率（反射損失を含まない分光透過率）の測定方法、及び内部透過率の測定のための分光光度計の調整方法に関するものである。特に、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）リソグラフィーに代表される可視・紫外線光学系に使用される多成分光学ガラスや、エキシマレーザーリソグラフィーなどの３００ｎｍ以下の紫外線光学系に使用される合成石英ガラス、結晶材料の内部透過率の測定方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、シリコン等のウエハ上に集積回路の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィー技術においては、ステッパーと呼ばれる露光装置が用いられる。このステッパーの光源は、近年のＬＳＩの高集積化に伴ってｇ線（４３６ｎｍ）からｉ線（３６５ｎｍ）へと短波長化が進められている。このようなステッパーの照明系あるいは投影レンズに用いられる光学ガラスの内部透過率は、９９．８％／ｃｍあるいは９９．９％／ｃｍ以上（内部吸収係数０．００２ｃｍ−１、あるいは、０．００１ｃｍ−１以下）が要求される。そして、さらなるＬＳＩの高集積化に伴い、ステッパーの光源はＫｒＦ（２４８ｎｍ）やＡｒＦ（１９３ｎｍ）エキシマレーザーへと移行している。このようなエキシマレーザーステッパーの照明系あるいは投影レンズにはもはや一般光学ガラスは使用できず、石英ガラスや蛍石などの材料に限定される。このようなエキシマレーザーステッパーの照明系あるいは投影レンズに用いられる石英ガラス、蛍石においても、その内部透過率は９９．８％／ｃｍあるいは９９．９％／ｃｍ以上が要求される。したがって、紫外光領域での上記光学素材の高透過率化を目指した開発が進められている。一方で、短波長化が進むにつれて、光学素材の内部透過率を高精度で測定することが技術的に非常に難しくなっている。したがって、光学素材の高透過率を達成する上では、まず第一に、このような微弱な吸収しか存在しない光学ガラスや合成石英ガラスや結晶材料等の内部透過率（内部吸収係数０．００１ｃｍ−１程度）を精度良く測定することが不可欠である。
　【０００３】
　一般に、光学素材の内部透過率の測定方法としては、
（１）各測定波長の反射損失を含む分光透過率と屈折率を測定し、反射損失を計算し、内部透過率を求める方法。
（２）ダブルビーム分光光度計を使用し、その装置のリファレンスビーム側とサンプルビーム側に厚みの異なる２つの試料をそれぞれセットし、直接内部透過率を求める方法。
（３）厚みの異なる２つの試料の反射損失を含む分光透過率を個別に測定し、内部透過率を計算によって求める方法。
が考えられているが、日本光学硝子工業会規格ＪＯＧＩＳ‐１７‐８２では（３）の方法が採用されている。この規格では、試料として平行に対面が研磨された厚さ３ｍｍと１０ｍｍの２つの光学素材を用意し、それぞれの反射損失を含む分光透過率を測定する。内部透過率は次式によって求める。
　【０００４】
　【数３】
　【０００５】
ここで、
　　ＩＴ：厚さ１０ｍｍのときの試料の内部透過率
　　Δｔ：２つの試料の厚み差
　　Ｔ１、Ｔ２：試料厚３ｍｍ、１０ｍｍの試料の反射損失を含む分光透過率
である。しかし、この算出式では試料の二表面間での多重反射の影響が考慮されていない。多重反射を考慮した分光透過率は以下のようになる。
　【０００６】
　【数４】
　【０００７】
　　（ａ：吸収係数、ｔ：試料の厚み）
ここで、Ｒは光がガラス表面に対して垂直に入射したときの反射率である。
　【０００８】
　【数５】
　【０００９】
　　（ｎｇ：試料の屈折率、ｎ０：空気の屈折率）
分光光度計の試料室に試料を光軸に対して垂直にセットした場合には、（２）式に従う反射損失を含む分光透過率が得られる。
　一方、微弱な吸収を測定する方法として、試料の厚みが１００ｍｍ〜３００ｍｍ程度の長尺試料を用いるか、あるいは、試料をファイバー化して光路長をかせぐ方法がある。たとえば、前者の例として、（文献１）Ｎａｋａｍｕｒａ　ｅｔ．ａｌ．：Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｎｏｎ‐Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　Ｓｏｌｉｄｓ　１０５（１９８８）ｐｐ．１１４‐１２２で報告されているように、長さ３００ｍｍのロッド状の石英ガラスの微弱吸収が高感度分光光度計を用いて測定されている。
　【００１０】
　【発明が解決しようとする課題】
　市販の分光光度計を用いて、日本光学硝子工業会規格ＪＯＧＩＳ‐１７‐８２の方法で光学素材の内部透過率を測定する場合、以下のような問題点が生ずる。
　まず第一に、測定領域の短波長化に伴って分光光度計の光源強度が低下してくるため、高精度な透過率測定が困難になる。さらに、内部透過率が非常に高い（内部吸収が微弱である）場合には、上記方法では精度良く内部透過率を測定することが困難である。
　【００１１】
　次に、市販の分光光度計を用いて分光透過率を測定する場合、
▲１▼測光ビームが集光型であるため、試料の挿入により光路が変化する。
▲２▼検出器である光電子増倍管（フォトマル）の光電面には空間的な感度むらが存在する。
の原因により、たとえ試料の内部透過率が１００％の試料を用いて分光透過率を測定した場合でも、測定値が理論透過率に一致しないことがある。
　【００１２】
　ここで理論透過率とは、（２），（３）式で定義される分光透過率において反射損失のみ存在する場合、すなわち、内部吸収係数が０の場合の分光透過率の計算値、あるいは、試料厚みが無限に小さいが場合の分光透過率の計算値のことであり、ａ＝０として算出できる。
　このことは、たとえば、（文献２）高田：分光研究　第３４巻　第４号（１９８５）ｐ．２５２、（文献３）秋山：島津評論　ｖｏｌ．４０（１９８３）ｐ．１４５などで詳しく報告されている。
　【００１３】
　▲１▼の試料挿入による光路の変化量は試料が厚くなるほど、屈折率が大きくなるほど顕著になる。そして、試料挿入による光路の変化は、結果的に検出器である光電子増倍管の光電面状での像の大きさを変化させる。光電面には▲２▼のような空間的な感度むらが存在するために、像の大きさが変化することによって検出器からの出力値が変化してしまう。したがって、たとえ試料の内部透過率が１００％であっても測定値が理論透過率に一致しないというような現象が生じてしまうことになる。たとえば、市販の分光光度計によっては、内部吸収係数が０．００１ｃｍ−１程度であると考えられる波長において、１０ｍｍ厚の試料の分光透過率が３ｍｍの試料よりも高く表示されることもある。すなわち、内部透過率が見かけ上、１００％を越えてしまうようなことが生じてしまう。
　【００１４】
　（文献２）、（文献３）では上記問題点の解決方法として、できるだけ感度むらの小さい検出器を使用すること（たとえば、通常の分光光度計で使用されているサイドオン型光電子増倍管よりも感度むらの小さいヘッドオン型光電子増倍管など）、積分球を使用して検出器の感度むらの影響を小さくすることを提案している。しかしながら、前者の場合、やはり感度むらの影響は残留すること、また、ヘッドオン型光電子増倍管は地磁気の影響を受け易いこと、装置が大型化することなどのデメリットがある。また、後者の場合でも、やはり積分球自体の感度むらの影響が残留したり、３５０ｎｍ以下の波長での積分球の感度（反射率）が急激に低下することなどのデメリットがある。
　【００１５】
　本来、このような光路ずれによる透過率のずれは、測光ビームを平行光束にすることにより解決することができ、この方法が最も正しいやり方であることは明らかである。しかし、やはりこの場合にも装置製作、アライメントなど非常に困難な面が生ずる。
　一方、長尺試料による微弱吸収測定法では、試料全体にわたって吸収の原因となる不純物、欠陥構造濃度が均一であると仮定しなければならない。しかし、不純物や欠陥構造がそのような広い領域にわたって均一であることはごく希である。また、透過率評価のために、光学素材からかなりの部分を削り取らねばならなくなるため、レンズ材への収率が悪化する恐れがある。さらには、市販の分光光度計では上記のような長尺試料の測定はできないため試料室の改造などが必要となってくる。また、試料のファイバー化による微弱吸収測定法では、ファイバー化に伴って構造欠陥が生成する可能性がある。さらには、ファイバー化できない材料もある。以上のように、光路長をかせいで測定する方法にも多くの問題点が発生する。
　【００１６】
　本発明は、以上で議論したような問題点を解決して、紫外領域における光学素材の内部透過率を精度良く測定する方法を提供するものである。
　【００１７】
　【課題を解決するための手段】
　以上のように、日本光学硝子工業会規格に従う方法を用いても、長尺試料による測定法を用いても多数の問題点を抱えている。そこで、本発明においては、まず第一の手段として、厚みの異なる試料を２枚ではなく、３枚以上の複数枚用意して測定精度の向上を図り、しかも、厚さの範囲は通常の分光光度計の試料室に容易にセットできる１ｍｍ〜３０ｍｍ程度にして、反射損失を含む分光透過率を測定し、それらの測定値から内部透過率を計算によって求めることによって、内部透過率の測定精度の向上を図った。
　【００１８】
　第二の手段として、３６５ｎｍでの直接法合成石英ガラスの内部透過率を１００．００％と仮定して、反射損失を含む分光透過率を測定し、その透過率と理論透過率９２．９２％との差が、試料厚１ｍｍ〜３０ｍｍの範囲で±０．０１％以下になるように分光光度計の光軸を調整することによって、▲１▼、▲２▼が原因となって発生する試料厚増加に伴う反射損失を含む分光透過率の理論透過率からのずれを校正することを行った。このようにして光軸を調整した分光光度計を用いれば、あらゆる光学素材の３６５ｎｍでの分光透過率測定においても、試料厚増加に伴う反射損失を含む分光透過率の理論透過率からのずれを±０．０１％以下に抑えることができ、内部透過率を精度良く測定することが可能になる。また、合成石英ガラスの３００ｎｍ以下の波長域での分光透過率測定においても、試料厚増加に伴う反射損失を含む分光透過率の理論透過率からのずれを±０．０１％以下に抑えることができる。
　【００１９】
　第三の手段として、本発明の第二の手段により光軸を調整した分光光度計を用い、厚みの異なる３枚以上の光学素材の反射損失を含む分光透過率を測定し、それらの測定値から内部透過率を計算によって求めることによって、内部透過率の測定精度をさらに向上することができる。
　第四の手段として、第二の手段に示したような分光光度計の光軸調整を行わず、３６５ｎｍでの直接法合成石英ガラスの分光透過率の試料厚依存性を、校正用素材の内部透過率を１００．００％と仮定したときの校正曲線（内部透過率１００％とした場合の分光透過率の試料厚依存性）とみなすことよって、あらゆる光学素材の分光透過率測定においても、３６５ｎｍでの校正曲線を求めることができる。また、合成石英ガラスの３００ｎｍ以下の測定波長での分光透過率測定においても校正曲線を求めることができる。
　【００２０】
　【作用】
　「発明が解決しようとする課題」の欄で説明したように、市販の分光光度計で透過率を測定する場合、▲１▼測光ビームが集光型であるため、試料の挿入により光路が変化する、▲２▼検出器の空間的な感度むらが存在することにより、たとえ試料の内部透過率が１００％であっても測定値が理論透過率に一致しなかった。
　【００２１】
　この場合の不一致は試料の屈折率と試料厚によってのみ（すなわち、焦点位置のずれ量のみ）決定される。このことについて、以下に説明する。
　図７において、試料厚をｔ（ｍｍ）、屈折率をｎ（空気の屈折率をｎ０）としたとき、試料をセットした場合の焦点位置と試料をセットしていない場合の焦点位置とのずれ量ｄ（ｍｍ）は以下のように導出される。試料への測光ビームの入射角をθ０とし、試料内部への屈折角をθとすると、両者の関係はＳｎｅｌｌの法則から、
　【００２２】
　【数６】
　　ｎ・ｓｉｎθ＝ｎ０・ｓｉｎθ０
　【００２３】
となる。この関係式を用いると、▲１▼が原因で生ずる焦点位置のずれ量ｄは以下のように表せる。
　【００２４】
　【数７】
　【００２５】
ここで、ｃｏｓθ０／ｃｏｓθ値は入射角が１０°以内のときはほぼ１とみなせる。市販のある分光光度計の実際の測光ビームの拡がり角を見積もると、この分光光度計では、試料面上で点光源（φ１ｍｍのアイリスを置いたとき）が８０ｍｍの距離で長径１５ｍｍ（短径７ｍｍ）の楕円形に拡がるような集光ビームになっている。よって、試料面上での測光ビームの入射角は最大約５．４°となり、ｃｏｓθ０／ｃｏｓθ＝０．９９７４となる。したがって、ｎ０＝１とすれば、以下の結果を得る。
　【００２６】
　【数８】
　【００２７】
すなわち、焦点位置のずれ量は試料厚、屈折率の増加に伴って増大することがわかる。また、測定波長が短くなるにつれて屈折率は増大するので、やはり焦点位置のずれ量は増大することがわかる。
　このように、焦点位置のずれ量は試料厚、屈折率にのみ依存しているので、合成石英ガラスの３６５ｎｍでの内部透過率を１００．００％と仮定して校正曲線を求めてしまえば、光学ガラス測定における３６５ｎｍでの校正曲線や、石英ガラスの３００ｎｍ以下の測定波長の校正曲線は、それらの波長における屈折率さえわかれば求めることができる。
　【００２８】
　校正曲線を求めるための波長として３６５ｎｍを選択した理由は、４００ｎｍ以下の測定では通常Ｄ２ランプが用いられるが、合成石英ガラスの内部透過率を１００．００％と仮定できるのは３５０ｎｍ以上であり、そのなかで屈折率測定のスペクトル線である３６５ｎｍの屈折率データが精密に測定されているからである。
　石英ガラスの３００ｎｍ以下での校正曲線を求める際に必要な焦点位置のずれ量は以下のようにして換算することができる。厚さｔ（ｍｍ）の石英ガラスをセットした場合の、波長３６５ｎｍ、１９３ｎｍでのずれ量はそれぞれ、以下のようになる。
　【００２９】
　【数９】
　【００３０】
逆に、焦点位置のずれ量ｄが上記２波長で同一になるための換算試料厚ｔは以下の関係式から求められる。
　【００３１】
　【数１０】
　【００３２】
ｎ３６５＝１．４７４５、ｎ１９３＝１．５６０２を代入すると、以下のようになる。
　【００３３】
　【数１１】
　　ｔ１９３＝　ｔ３６５・０．８９６２５
　【００３４】
すなわち、厚さｔｍｍの試料の３６５ｎｍでの焦点位置のずれ量は、厚さｔｘ０．８９６２４９ｍｍのときの１９３ｎｍでの焦点位置のずれ量に等しい。したがって、厚さｔｍｍの試料の３６５ｎｍでの分光透過率（内部透過率１００％と仮定したとき）は、厚さｔｘ０．８９６２４９ｍｍの同一の試料の１９３ｎｍでの分光透過率（内部透過率１００％と仮定したとき）に等しくなるはずである。同様のことは、いろいろな屈折率における、３６５ｎｍに対する換算試料厚を算出できる。このようにして、３６５ｎｍでの校正用素材、たとえば直接法合成石英ガラスの校正曲線を求めてしまえば、各波長（各屈折率）での校正曲線を得ることができる。
　【００３５】
　以上の議論で、３６５ｎｍでの直接法合成石英ガラスの内部透過率を１００．００％と仮定することは、（文献１）で３６５ｎｍでの直接法合成石英ガラスの内部吸収係数が０．０００１ｃｍ−１以下と求められていること、また、（文献４）社団法人ニューガラスフォーラム編：シリカガラスデータブックｐ．５８（１９８８）において、この波長における石英ガラス内部でのレーリー散乱損失は　０．０００１ｃｍ−１以下であると示されていること、さらに、直接法合成石英ガラスではその波長域で吸収を持つような金属不純物（Ｍｇ，Ｃａ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｃｏ，Ｍｎ）が、ほとんど影響してこないような濃度（０．０２ｐｐｍ以下）であることなどから、充分に正当性がある。
　【００３６】
　【実施例１】
　光学素材である高純度石英ガラスインゴットは、原料として高純度の四塩化ケイ素を用い、石英ガラス製バーナーにて酸素ガス及び水素ガスを混合・燃焼させ、中心部から原料ガスをキャリアガス（通常酸素ガス）で希釈して噴出させ、ターゲット上に堆積、溶融して合成した。合成の際、原料ガスを周囲の酸素ガス及び水素ガスの燃焼により生成する水と反応させ、バーナー下方にある不透明石英ガラス板からなるターゲット上にガラス化して堆積させるわけであるが、その際ターゲットは一定周期で回転及び揺動させ、更に降下を　同時に行うことによりインゴット上部の位置を常時バーナーから同距離に保つ（特願平５‐２２２９３、特願平５‐２２２９４参照）。このとき、実施例１では、原料供給量を５ｇ／ｍｉｎに設定し、ターゲットの降下速度を１ｍｍ／時として、合成時のインゴットのヘッドを一定に保つことにより、成長速度１ｍｍ／時で合成した、直径１８０ｍｍ、長さ５５０ｍｍの石英ガラスインゴットを得た。
　【００３７】
　これらの石英ガラスインゴットについて、含有金属不純物（Ｍｇ，Ｃａ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｃｏ，Ｍｎ）の定量分析を誘導結合プラズマ発光分光法によって行ったところ、濃度がそれぞれ２０ｐｐｂ以下であり、本石英ガラスは高純度であることがわかった。この石英ガラスインゴットから直径６０ｍｍ、厚さ１，５，１０，２０，２８ｍｍの試験片を切り出し、厚さ方向の向かい合う二面に光学研磨を施した。いずれの試料の研磨面の平行度は１０秒以内、平坦度　は３λ（λ＝５４６ｎｍ）以内、表面粗さ（光学干渉方式の表面粗さ計により測定した。）は１０オングストローム以内（根二乗平均）とした。研磨面のこの条件は０．０１％オーダーの精度での透過率測定上、必要不可欠である。
　【００３８】
　この試験片の３６５ｎｍでの反射損失を含む分光透過率をダブルビーム分光光度計を用いて測定しながら、厚み３０ｍｍの試料まで分光透過率が理論透過率９２．９２％から±０．０１％以内になるように、分光光度計の光軸を調整した。その結果を図１に示した。この結果から、ＫｒＦ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦ（１９３ｎｍ）波長での、試料厚１ｍｍ〜３０ｍｍの間における校正曲線は図２、図３のように、それぞれ理論透過率（２４８ｎｍ、１９３ｎｍでの屈折率はそれぞれ１．５０８４、１．５６０２であるので、（２），（３）式からそれぞれの理論透過率は９２．１２％、９０．８７％と求められた。）からのずれを±０．０１％以下にすることができた。この校正曲線を基にして、（２）式の吸収係数ａの値を振って、ＫｒＦ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦ（１９３ｎｍ）波長での試験片の分光透過率の測定データに最適合するときのａ値を求めたところ、それぞれ０．０００５ｃｍ−１、０．００１２ｃｍ−１と求められた。したがって、内部透過率は９９．９５％／ｃｍ、９９．８８％／ｃｍと求められた。なお、図３で試料厚０ｍｍでの予想透過率が理論透過率より低くなっているが、この差は試料表面での吸収と考えている（表面粗さによる散乱損失ではない）。
　【００３９】
　【実施例２】
　実施例１と同一の試料を用いて、３６５ｎｍ理論透過率９２．９２％との差が、試料厚１ｍｍ〜３０ｍｍの範囲で±０．０１％以下になるような分光光度計の光軸調整を行わず、測定値の試料厚依存性を測定した。その結果を図４に示した。この測定値の試料厚依存性を３６５ｎｍでの直接法合成石英ガラスの内部透過率を１００．００％と仮定したときの３６５ｎｍでの校正曲線（内部透過率１００％とした場合の分光透過率の試料厚依存性）とみなすことよって、「作用」の欄で述べた方法に従って得られた２４８ｎｍ、１９３ｎｍにおける校正曲線を図５、図６に示した。これらの校正曲線を基にして、測定データに適合するようなａの値を求めたところ、実施例１の結果と一致した。
　【００４０】
　【発明の効果】
　以上のように、本発明の内部透過率の測定方法、及び本発明の調整方法により光軸を調整した分光光度計を用いれば、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）リソグラフィーに代表される可視・紫外線光学系に使用される光学ガラスや、エキシマレーザーリソグラフィーなどの３００ｎｍ以下の紫外線光学系に使用される合成石英ガラス、結晶材料の内部透過率を高精度で測定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　光軸を調整された分光光度計を用いて測定した、３６５ｎｍにおける反射損失を含む分光透過率の試料厚依存性である。
　【図２】　光軸を調整された分光光度計を用い、２４８ｎｍにおける反射損失を含む分光透過率の試料厚依存性より吸収係数（ａ＝０．０００５ｃｍ−１）を求めた例である。
　【図３】　光軸を調整された分光光度計を用い、１９３ｎｍにおける反射損失を含む分光透過率の試料厚依存性より吸収係数（ａ＝０．００１２ｃｍ−１）を求めた例である。
　【図４】　光軸が調整されていない分光光度計を用いて測定した、３６５ｎｍにおける反射損失を含む分光透過率の試料厚依存性と校正曲線である。
　【図５】　図４の結果から求めた２４８ｎｍにおける校正曲線と合成石英ガラスの２４８ｎｍにおける反射損失を含む分光透過率の試料厚依存性より吸収係数（ａ＝０．０００５ｃｍ−１）を求めた例である。
　【図６】　図４の結果から求めた１９３ｎｍにおける校正曲線と合成石英ガラスの２４８ｎｍにおける反射損失を含む分光透過率の試料厚依存性より吸収係数（ａ＝０．００１２ｃｍ−１）を求めた例である。
　【図７】　試料挿入による焦点位置のずれを示す説明図である。