【事件の表示】
　特許第２９７２４８２号「光学素子の成形方法」の請求項１、３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９７２４８２号の訂正後の請求項１、３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の手続の経緯
　本件特許第２９７２４８２号発明は、平成５年４月２３日（優先日平成４年６月３０日　日本）に出願され、平成１１年８月２７日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、有限会社オフィスアテナから特許異議の申立てがなされ、平成１３年２月２７日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年５月７日付けで特許異議意見書および訂正請求書が提出されたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正事項
　平成１３年５月７日付け訂正請求書の訂正事項は、次のとおりである。
（ａ−１）特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１中の「各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する第１の工程と、」を、「各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程と、」と訂正する。
（ａ−２）特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項３中の「ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する第１の成形工程と、」を、「ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する第１の成形工程と、」と訂正する。
（ａ−３）特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項４および５を削除し、それに伴い、旧請求項６の項番号を繰り上げて請求項４とする。
（ｂ）明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書の【０００７】段落中の、「複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する第１の工程と、」を、「複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程と、」と訂正する。
（ｃ）明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書の【０００９】段落中の、「所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する第１の成形工程と、」を、「所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する第１の成形工程と、」と訂正する。
（ｄ）明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書の【００１０】段落および【００１１】段落の記載を削除する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正の目的の適否
　上記（ａ−１）および（ａ−２）の訂正は、請求項１の「第１の工程」および請求項３の「第１の成形工程」をそれぞれより詳しく規定したものであるから、共に特許請求の範囲の減縮に該当する。また、上記（ａ−３）の訂正は、請求項の削除とそれに伴う項番号の繰り上げであるから、特許請求の範囲の減縮と明りょうでない記載の釈明に該当する。
　上記（ｂ）乃至（ｄ）の訂正は、特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明に該当する。
（２）新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記（ａ−１）および（ａ−２）の訂正は、本件明細書の段落【００２８】に「・・・この成形加工の途中において、凹レンズ（４０）の光学機能面４０ａ、４０ｂの面精度に大きく影響を与えると考えられる成形条件としては、（１）冷却過程におけるプレス圧Ｐ２、（２）冷却中の上下の型部材１６，１８の温度差、（３）冷却速度が上げられる。」と、また本件明細書の段落【００３０】には、「図３に示した結果によれば、冷却時のプレス圧Ｐ２が２．０ｋＮである点を境として、それ以下のプレス圧では、離型不良を起こしていることが分かる。一方、プレス圧Ｐ２が増加するに従い凹レンズの面精度が悪化していることが分かる。」と、さらには段落【００３２】には、「・・・この実施例においては、離型性の良さと面精度の良さのバランスをとるための最良点を捜すのではなく、面精度はやや低下しても、確実に離型不良を防止できる様なプレス圧Ｐ２を選択する様にした。」とそれぞれ記載されているから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであり、しかも実質上特許請求の範囲を拡張したり、変更したりするものでもない。
　また、他の訂正も、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであり、しかも実質上特許請求の範囲を拡張したり、変更したりするものでもない。
２−３．独立特許要件
　本件特許異議の申立ては、請求項１および請求項３に対してであるが、訂正後の請求項２および４に係る発明は、訂正後の請求項１または３を引用しているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした請求項１または３の訂正に伴って、同様の目的で訂正されていることとなる。
　したがって、特許異議の申立がなされていない請求項２および４に係る発明については独立特許要件を検討する必要があるが、これら発明は、訂正後の請求項１または３を引用してなるものであるから、下記４．の項に記載したと同様の理由により、甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、他に訂正後の請求項２および４に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見しない。
　
２−４．まとめ
　したがって、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとして適用される特許法第１２０条の４の第２項および同条第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項および第３項の規定に適合するので、上記訂正を認める。
３．訂正後の本件発明
　訂正後の請求項１乃至４に係る発明は、訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、それぞれ「本件訂正発明１乃至４」という）。
「【請求項１】加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法において、
複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程と、
前記成形面の表面形状が前記一定のクセをキャンセルする様な形状に加工された成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第２の工程と具備することを特徴とする光学素子の成形方法。
【請求項２】前記成形条件とは、少なくとも、前記一対の成形用型部材の温度差と、冷却速度と、冷却時において前記ガラス素材に印加される圧力と、離型させる温度とにより規定されることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の成形方法。
【請求項３】加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法において、
所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する第１の成形工程と、
該第１の成形工程において成形した光学素子の表面形状を測定する測定工程と、
該測定工程において得られた測定データと、光学素子の最終希望形状のデータとの誤差を算出する算出工程と、
前記算出工程において得られた結果に基づいて前記第１次の型部材の成形面を補正加工して第２次の型部材を加工する補正加工工程と、
前記第２次の型部材を用いて、ガラス素材を前記第１の成形工程と同じ成形条件でプレス成形する第２の成型工程とを具備することを特徴とする光学素子の成形方法。
【請求項４】前記光学素子は、非球面形状のレンズであることを特徴とする請求項３に記載の光学素子の成形方法。」
４．特許異議申立ての理由の概要
（４−１）特許異議申立人の主張
　特許異議申立人有限会社オフィスアテナは、甲第１〜２号証および参考資料１〜３を提出して、本件請求項１および３に係る発明は、本件出願前に頒布された刊行物である甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであると主張している。
（４−２）証拠の記載内容
　甲第１号証および甲第２号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：「精密工学会誌」、第５８巻第２号、１９９２年２月、ｐ．６５−７０
（ａ）「プラスチックレンズは軽量であり、また球面の代わりに非球面のレンズを用いることによりレンズ枚数を削減できるため、小型化、低価格化が可能である。このため、非球面プラスチックレンズは光情報機器、映像機器などに使用されるようになった。このような光学機器は性能向上、信頼性向上が求められており、そこに使用されるレンズは、サブミクロンオーダの形状精度を必要とされている。」（第６５頁左欄２〜９行）
（ｂ）「射出成形は溶融した樹脂を金型内に射出し、保圧力を加えながら冷却固化させる工程である。そのため、
（１）成形条件（射出速度、保圧力、保圧時間、金型温度など）
（２）金型形状（ゲート、ランナーなど）
（３）収縮変形
などが形状精度に影響する。」（第６５頁左欄１０〜１６行）
（ｃ）「ここで、樹脂の収縮変形量を、常温の金型と成形品との形状変化量と仮定すれば、収縮変形量は以下に示す形状変化などを含む。
（１）温度調節時の金型の熱膨張による形状変化
（２）射出・保圧力による金型の変形
（３）射出・保圧力により成形品内に生じたひずみによる変形
（４）冷却温度履歴の違いにより成形品内に生じたひずみによる変形」（第６５頁左欄末行から同頁右欄８行）
（ｄ）「収縮変形量が金型形状の補正前後で変化しなければ。レンズを試作して収縮変形量を求め、金型形状を収縮変形量補正することにより、目標形状寸法精度の成形品が得られる。
　本研究の補正手法が適用できる条件を下記に示す。
（１）回転軸対称形状の成形品である。
（２）成形品に特異な点状のひけがない。
（３）収縮変形量が回転軸対称である。
（４）成形条件・金型条件が十分に最適化されており、成形ショット間のばらつきが目標精度以内である。」（第６５頁右欄１３行から第６６頁左欄２行）
（ｅ）「図１に収縮変形量の補正手順を示す。概要を以下に示す。
（１）レンズ設計形状の金型を製作する。金型は分解能０．０１μｍの超精密ＮＣ加工装置により加工される。
（２）補正できるレベルまで成形条件・金型条件をタグチメソッドなどにより最適化する。
（３）金型の収縮変形補正形状を計算し、金型を加工する。」（第６６頁左欄３〜１１行）
（ｆ）型の補正形状の計算；型および成形品の形状測定→型および成形品の形状回帰→型の補正形状の計算→型の機械加工（Ｆｉｇ．１）
（ｇ）「開発した収縮変形の補正手法を、図４に示す光デイスク用信号検出部の高精度対物レンズに適用した。このレンズは第１面、第２面共に非球面形状に設計されている。仕様透過波面収差は０．０２５λｒｍｓ以下である。レンズ材料はＰＭＭＡ樹脂を用いた。最初にレンズ設計形状の金型を作成し、成形条件を最適化した。」（第６７頁右欄下から２行目から第６８頁左欄５行）
（ｈ）「金型回帰形状、成形レンズ回帰形状、レンズ設計形状から金型の収縮変形補正形状を求めた。図９に金型第１面の補正形状、金型第２面の補正形状を示す。図より両補正形状は成形レンズ形状の設計形状からの偏差形状の逆形状に近いことがわかる。この補正形状を基に金型を加工し成形した。（第６９頁左欄５〜１０行）
（２）甲第２号証：特開昭６２−１２６２１号公報
（ａ）「予備成形ガラス塊を１０１５〜１０１０ポイズ（粘度）相当の所定温度に加熱し、ついでこのガラス塊の表面部を１０９〜１０４．５ポイズ（粘度）相当の温度に加熱してガラス塊の内部と表面との間に温度勾配を与えた後、このガラス塊をガラスの転移点以下の所定温度に加熱した型でプレスすることを特徴とする光学素子のプレス成形法。」（特許請求の範囲）
（ｂ）「ガラスから成る各種光学素子を得るに当って、ガラス塊を一対の型の成形面で押圧して、プレス成形品を得る方法が行われてきているが、在来のこの種方法によると、プレス成形しただけでは光学面の所望の表面精度、表面性能及び肉厚を含む寸法精度が得られないので、その後に荒摺り及び精密研磨等の煩雑な後工程を要し、その時間と労力は計かり知れないものがあった。」（第１頁左下欄１６行から同頁右下欄３行）
（ｃ）「そこで、上述の後工程を省略し得る技術が提案され実施されるようになってきているが、その一般的最終成形品は、光学面の表面性能すなわち表面粗度が±０．０２μｍ以内、表面精度がニュートンリング６本以内で不規則性λ／２以内、肉厚精度が±５０μｍ程度内に収まっていることが望まれている。」（第１頁右下欄４〜１０行）
（ｄ）「本発明の目的は、上記従来の光学素子の成形技術にみられる諸欠点を解消し、所定の成形精度を維持しつつ、成形スピードを向上し、かつ、型の寿命を改善した新規な光学素子の成形方法を提供することにある。」（第２頁左上欄１１〜１５行）
（４−３）当審の判断
（ｉ）本件訂正発明１について
　甲第２号証の上記（ａ）には、「予備成形ガラス塊を１０１５〜１０１０ポイズ（粘度）相当の所定温度に加熱し、ついでこのガラス塊の表面部を１０９〜１０４．５ポイズ（粘度）相当の温度に加熱してガラス塊の内部と表面との間に温度勾配を与えた後、このガラス塊をガラスの転移点以下の所定温度に加熱した型でプレスすることを特徴とする光学素子のプレス成形法」という「光学素子のプレス成形法」が記載されており、この「光学素子のプレス成形法」においても、プレス成形の際ガラス素材（ガラス塊）は加熱されて軟化状態となっていることが明らかである。また、甲第２号証の上記（ｂ）の「ガラスから成る各種光学素子を得るに当って、ガラス塊を一対の型の成形面で押圧して、プレス成形品を得る方法が行われてきている」の記載や上記（ｃ）及び（ｄ）の記載によれば、甲第２号証の「光学素子のプレス成形方法」は、ガラス素材を一対の成形用型部材を用いてプレスし成形面の表面形状が転写された光学機能面をガラス素材の表面に形成する成形方法と云えるから、甲第２号証には、本件訂正発明１の記載ぶりに則って整理すると、「加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法」の発明（以下、「甲２発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明１と、甲２発明とを対比すると、両者は、「加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面をガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法」である点で一致し、次の（イ）および（ロ）の点で相違していると云える。
（イ）本件訂正発明１は、「複数個の光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する」という構成を有するのに対し、甲２発明は、このような構成を有していない点。
（ロ）本件訂正発明１は、「成形条件の一つであるガラス素材の冷却時にガラス素材に加える圧力値を、光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程と、成形面の表面形状がその一定のクセをキャンセルする様な形状に加工された成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第２の工程とを具備する」という構成を有するのに対し、甲２発明は、このような構成を有していない点。
　次に、上記（イ）および（ロ）の相違点について検討する。
　甲第１号証には、溶融した樹脂を金型内に射出し、保圧力を加えながら冷却固化させてプラスチックレンズを製造する成形方法が記載され、またこの成形方法でもレンズを試作して収縮変形量を求めこの変形量で金型形状を補正することが記載されているが、ここに記載されている「成形方法」は射出成形方法であって、甲２発明の如き「プレス成形方法」とは別異の成形方法であるから、甲第１号証と甲第２号証との成形方法を直接結び付ける動機付けは存在しない。また、甲第１号証に記載の射出成形方法における補正方法は、甲第１号証の例えば上記（ｇ）および（ｈ）の記載によれば、レンズを試作して、そのレンズや金型の形状を測定し、レンズの収縮変形量を求め収縮変形補正形状を計算して金型を補正加工するという一般的な「金型の補正」に関する技術であり、本件訂正発明１の如く、わざわざ「一定のクセを安定して形成する」ことや、光学素子の機能面を成形する場合にクセのキャンセルのし易さを考慮してその機能面の精度に影響を及ぼす因子に優先度を付けて成形圧力値を設定するというものではない。
　してみると、甲第１号証に記載された「補正方法」は、本件訂正発明１のものとその技術思想が別異のものと云えるから、本件訂正発明１の上記（イ）や（ロ）の特に「ガラス素材に加える圧力値を、光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程」という相違点は、甲第１号証の記載から当業者といえど容易に想到することはできないと云うべきである。
　したがって、本件訂正発明１は、甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　なお、特許異議申立人は、参考資料１乃至参考資料３をも提出しているが、参考資料１（特公平３−７２０１６号公報）には、特にガラス原料を溶融してプレス成形する方法に関する光学部品の成形方法（第２欄８〜９行を参照）が、参考資料３（特公昭５８−３４４１５号公報）には、特にブラウン管パネル用金型の補正方法に関するガラス押型成形用金型の補正方法（第１欄３０〜３２行を参照）が、また参考資料２（「写真工業」、第４４巻第１号、昭和６１年１月１日発行、ｐ．１０１−１０４）には、「ガラスレンズの精密プレス（４）−カメラレンズもモールドも非球面時代−」と題した小倉磐夫の技術紹介記事がそれぞれ記載されているが、これら資料はいずれも上記相違点を示唆するものではないから、上記結論に影響を及ぼすものではない。
（ｉｉ）本件訂正発明３について
　この発明は、少なくとも本件訂正発明１と同様の「前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する第１の成形工程」という構成を有するものであるから、上記（ｉ）で述べたと同様の理由により、甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
５．むすび
　以上のとおり、本件訂正後の請求項１および３に係る特許は、特許異議申立の理由及び証拠方法によっては取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件請求項１および３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年２月１３日（２００２．２．１３）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　本件訂正の要旨は、本件特許第２９７２４８２号の特許明細書を平成１３年５月７日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書のとおり、すなわち、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、次の訂正事項（ａ−１）乃至（ｄ）のとおりに訂正するものである。
（ａ−１）特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１中の「各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する第１の工程と、」を、「各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程と、」と訂正する。
（ａ−２）特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項３中の「ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する第１の成形工程と、」を、「ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する第１の成形工程と、」と訂正する。
（ａ−３）特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項４および５を削除し、それに伴い、旧請求項６の項番号を繰り上げて請求項４とする。
（ｂ）明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書の【０００７】段落中の、「複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する第１の工程と、」を、「複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する第１の工程と、」と訂正する。
（ｃ）明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書の【０００９】段落中の、「所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する第１の成形工程と、」を、「所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形するとともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する第１の成形工程と、」と訂正する。
（ｄ）明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書の【００１０】段落および【００１１】段落の記載を削除する。
（５４）【発明の名称】
光学素子の成形方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法において、
　複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する
とともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する
　前記成形面の表面形状が前記一定のクセをキャンセルする様な形状に加工された成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第２の工程とを具備することを特徴とする光学素子の成形方法。
　【請求項２】　前記成形条件とは、少なくとも、前記一対の成形用型部材の温度差と、冷却速度と、冷却時において前記ガラス素材に印加される圧力と、離型させる温度とにより規定されることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の成形方法。
　【請求項３】　加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法において、
　所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する
とともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する
　該第１の成形工程において成形した光学素子の表面形状を測定する測定工程と、
　該測定工程において得られた測定データと、光学素子の最終希望形状のデータとの誤差を算出する算出工程と、
　前記算出工程において得られた結果に基づいて前記第１次の型部材の成形面を補正加工して第２次の型部材を加工する補正加工工程と、
　前記第２次の型部材を用いて、ガラス素材を前記第１の成形工程と同じ成形条件でプレス成形する第２の成形工程とを具備することを特徴とする光学素子の成形方法。
　【請求項
４
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、例えば非球面レンズなどの複雑な面形状を有する光学素子を高精度にプレス成形するための光学素子の成形方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　近年、光学機器の小型化、軽量化にともない、光学系に使用されるガラスレンズの枚数を減らすことが望まれている。これを実現する一つの手段として、、レンズの枚数を少なくしても収差の補正が可能な非球面形状のレンズを使用することが挙げられる。このような非球面形状を有するレンズの製造方法としては、所定の表面精度を有する成形用型部材の間にガラス材料を挟み、プレス成形する方法が知られている。
　【０００３】
　このようにプレス成形により光学素子を成形する方法の従来例としては、特公昭６１−３２２６３号公報に開示されている様な方法が挙げられる。この方法は、光学素子の完成形状の理想形に正確に対応する面形状に仕上げられた成形面を有する一対の型部材の間に、ガラス素材を挟み込み、このガラス素材の粘度が１０８〜５×１０１０ポアズとなる様な温度範囲において、プレス成形を行うものである。その後、ガラス素材と型部材の温度差が少なくとも２０°Ｃ以上にならない様に冷却を行い、ガラス素材の粘度が１０１２ポアズよりも小さくなる温度域において、成形された光学素子を型部材から取り出す。このような方法により高精度な光学素子を加工しようとするものである。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上記の従来例においては、例えば表面の曲率半径の大きい凹レンズや、メニスカスレンズ等の様に、面精度をだしにくい形状の光学素子を加工しようとした場合には、種々の成形条件を最適なものに設定したとしても、要求される面精度（例えばニュートンリング１本以下といった高精度な値）を満足することができない場合がある。
　【０００５】
　また、完成した光学素子の面精度を少しでも向上させるためには、例えば成形後の冷却時におけるプレス圧を厳密に管理する必要があり、このようにプレス圧を厳密に制御することは困難を極めるものである。また、その他の成形条件に関しても、微妙な変化が面精度を低下させることにつながる。更には、光学素子の面精度を向上させるために補助的な装置を必要とする場合があり、加工装置のコストを上昇させ、それに伴って光学素子自体の高コスト化を招くという問題点もある。
　【０００６】
　したがって、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、成形条件を厳密に制御したり、補助的な装置を用意したりしなくとも高精度な面精度を有する光学素子を加工することができる様な光学素子の成形方法を提供することにある。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上述の課題を解決し、目的を達成するために、本発明の光学素子の成形方法は、加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法において、複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成される様に成形条件を設定する
とともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定する
　【０００８】
　また、この発明に係わる光学素子の成形方法において、前記成形条件とは、少なくとも、前記一対の成形用型部材の温度差と、冷却速度と、冷却時において前記ガラス素材に印加される圧力と、離型させる温度とにより規定されることを特徴としている。
　【０００９】
　また、本発明の光学素子の成形方法は、加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成する様にした光学素子の成形方法において、所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する
とともに、前記成形条件の１つである前記ガラス素材の冷却時に該ガラス素材に加える圧力値を、前記光学機能面の面精度の低下防止よりも離型不良の防止を優先した値に設定して成形する
　【００１０】
　また、この発明に係わる光学素子の成形方法において、前記光学素子は、非球面形状のレンズであることを特徴としている。
　【００１１】
　【作用】
　以上の様に、この発明に係わる光学素子の成形方法は、構成されているので、完成した光学素子に現れるクセが常に一定になる様に成形条件を設定し、その一定のクセをキャンセルする様な形状に型部材の成形面を加工しておくことにより、高精度な面精度を有する光学素子を加工することが可能となる。クセの現れ方が常に一定になる様な成形条件は、光学素子を、常に高精度な面精度に仕上げるために必要とされる成形条件程には厳密に制御されている必要がないので、容易に高精度な光学素子を製造することができる。
　【００１２】
　【実施例】
　以下、本発明の好適な一実施例について、添付図面を参照して詳細に説明する。
　【００１３】
　図１は、一実施例の光学素子の成形方法を適用する成形用型１２の構成を示した図である。また、図１は、凹レンズを成形加工するための成形用型１２の構成を示しており、上型部材１６と下型部材１８によるガラス素材４０のプレス動作が終了し、ガラスレンズの成形が略完了した状態を示している。
　【００１４】
　図１において、成形用型１２の外殻部を構成する胴型１４は、支持基板２０を介して光学素子の成形装置本体１０上に載置されている。胴型１４は、上面視略正方形の角柱状に形成されており、その中心軸上には、この胴型１４を上下に貫通した状態で、貫通穴１４ａ，１４ｂが形成されている。これらの貫通穴のうち上側の貫通穴１４ａには、円柱状に形成された上型部材１６が、嵌合した状態で上下方向に沿って摺動可能に挿入されている。上型部材１６の上端部には、円板状のフランジ部１６ａが形成されており、このフランジ部１６ａの下面が胴型１４の上面１４ｃに上方から当接することにより、上型部材１６は、それ以上下方に移動することを阻止されており、これによって、上型部材１６の下方へのプレスストロークが規定されている。また、上型部材１６の下面には、ガラス素材４０を押圧して、その表面に所望の形状を転写して光学機能面を形成するための成形面１６ｂが形成されている。
　【００１５】
　なお、上型部材１６の上方には、ガラス素材４０に印加するプレス圧を発生させるためのエアシリンダ２２が、不図示の支持部材により支持された状態で配置されている。エアシリンダ２２の下方には、上下方向に沿ってピストンロッド２２ａが配置されており、このピストンロッド２２ａの下端部は、上型１６の上端面に接続されている。したがって、エアシリンダ２２が動作されてピストンロッド２２ａが下方に向けて押し出し動作されることにより、ガラス素材４０にプレス圧Ｐ１が印加される。
　【００１６】
　一方、下側の貫通穴１４ｂには、上型部材１６と同様に円柱状に形成された下型部材１８が、嵌合した状態で上下方向に沿って摺動可能に挿入されている。下型部材１８の下部には円板状のフランジ部１８ａが形成されており、このフランジ部１８ａの下面１８ｃは、胴型１４が載置されている支持基板２０の上面に当接している。そして、この支持基板２０により上型部材１６からガラス素材４０を介して下型部材１８に加えられる下方へのプレス圧Ｐ１を受ける様に構成されている。下型部材１８の上端面には、ガラス素材４０の下面に所望の形状を転写して光学機能面を形成するための成形面１８ｂが形成されている。
　【００１７】
　したがって、ガラス素材４０には、その上面に、上型部材１６の成形面１６ｂの表面形状が転写された光学機能面４０ａが形成され、下面には、下型部材１８の成形面１８ｂの表面形状が転写された光学機能面４０ｂが形成されることとなる。
　【００１８】
　また、成形された凹レンズ（ガラス素材４０）の厚みは、上述した様に、上型部材１６のフランジ部１６ａの下面が、胴型１４の上面１４ｃに当接することにより規定され、加工する毎に凹レンズ（４０）の厚みが変化しない様になされている。
　【００１９】
　なお、成形装置本体１０の下面には、エアシリンダ２４が固定されており、このエアシリンダ２４のピストンロッド２４ａは、成形装置本体１０に形成された貫通穴１０ａと、支持基板２０に形成された貫通穴２０ａを順次介して下型部材１８の下面１８ｃに接続されている。このエアシリンダ２４は、凹レンズ（ガラス素材４０）の成形動作が終了した後の冷却過程において、凹レンズ（４０）の形が崩れることを防止するために、下型部材１８を上方に押し上げて、凹レンズ（４０）に圧力Ｐ２を作用させるためのものである。
　【００２０】
　一方、胴型１４の側面には、開口穴１４ｄが形成されており、この開口穴１４ｄを介して、成形用型１２の内部にガラス素材４０が供給されると共に、成形の完了した凹レンズ（４０）が成形用型１２の内部から取り出される。
　【００２１】
　なお、胴型１４内には、その四隅に位置した状態で、この胴型１４，上型部材１６，下型部材１８を加熱すると共に、これら胴型１４，上型部材１６，下型部材１８を介してガラス素材４０を加熱するためのヒータ２６が配置されている。
　【００２２】
　次に、上記の様に構成された成形用型１２により凹レンズを成形する手順について説明する。
　【００２３】
　まず、図２に示したように、エアシリンダ２２のピストンロッド２２ａを引き込み動作させて、上型部材１６を胴型１４に対して上方にスライドさせ、下型部材１８から逃がしておく。この状態において、胴型１４の開口穴１４ｄを介して、オートハンド等により、所定の高温に加熱されたガラス素材４０を下型部材１８の成形面１８ｂ上に供給する。このとき供給されるガラス素材４０は、凹レンズを成形する場合には、円板状に形成されているか、あるいは、凹レンズの完成形状に近い形状に形成されている。また、胴型１４及び上型部材１６及び下型部材１８は、所定の成形条件に対応した温度に加熱されている。
　【００２４】
　ガラス素材４０が、下型部材１８の成形面１８ｂ上に供給された後、エアシリンダ２２のピストンロッド２２ａを押し出し動作させて、ガラス素材４０の上面に上型部材１６の成形面１６ｂを当接させ、ガラス素材４０にプレス圧Ｐ１を印加させる。このプレス圧Ｐ１が印加されて、上型部材１６が徐々に下方に移動すると、ガラス素材４０は、しだいに水平方向に押しつぶされて、最終的には、図１に示した様な状態となる。この状態においては、ガラス素材４０の上下には、上型部材１６の成形面１６ｂと下型部材１８の成形面１８ｂの形状が転写された光学機能面４０ａ，４０ｂが形成されており、また、ガラス素材４０の厚みは、所望の厚みに成形されている。
　【００２５】
　この後、成形された凹レンズ（ガラス素材４０）は徐々に冷却される。この冷却過程においては、成形された凹レンズ（４０）の形状が崩れない様に、エアシリンダ２４が作動されて下型部材１８が押し上げられ、凹レンズ（４０）に圧力Ｐ２が印加される。そして、所定の温度まで温度が低下した時に、再びエアシリンダ２２が引き込み動作されて上型部材１６が上方に移動し、この凹レンズはオートハンド等により、胴型１４の開口穴１４ｄを介して外部に取り出される。
　【００２６】
　上記の様な一連の動作により、凹レンズ（４０）が成形加工されるわけであるが、この成形加工の途中において、凹レンズ（４０）の光学機能面４０ａ，４０ｂの面精度に大きく影響を与えると考えられる成形条件としては、▲１▼冷却過程におけるプレス圧Ｐ２、▲２▼冷却中の上下の型部材１６，１８の温度差、▲３▼冷却速度が上げられる。
　【００２７】
　ここで、この実施例で示したレンズ形状において、ガラス素材４０に重クラウンガラス（ＳＫ１２）を使用し、冷却時のプレス圧Ｐ２を０Ｎ〜１０ｋＮまで変化させて成形を行った際の凹レンズ（４０）の光学機能面の形状精度をフィゾー干渉計によって調べた結果を図３に示す。
　【００２８】
　図３に示した結果によれば、冷却時のプレス圧Ｐ２が２．０ｋＮである点を境として、それ以下のプレス圧では、離型不良を起こしていることが分かる。一方、プレス圧Ｐ２が増加するに従い凹レンズの面精度が悪化していることも分かる。したがって、離型不良の発生を極力防止することができ、且つ、凹レンズの形状精度が悪化しない様な最適なプレス圧Ｐ２は２．０ｋＮであるということができるが、プレス圧Ｐ２を２．０ｋＮに正確に制御することは非常に困難である。また、プレス圧Ｐ２を２．０ｋＮに正確に制御したとしても、離型不良が全く起きないとは言えないし、また形状精度が最も良くなるとも言えない。したがって、冷却時のプレス圧Ｐ２を２．０ｋＮに設定すれば、全ての不都合が解決するというわけではない。
　【００２９】
　なお、冷却中の上下の型部材１６，１８の温度差の影響に関しては、±５°Ｃ程度の温度差では、光学機能面の面精度はさほど低下せず、冷却速度に関しても、１°Ｃ／ｍｉｎ〜２０°Ｃ／ｍｉｎ程度の差では、面精度にほとんど影響を与えないことが分かっている。
　【００３０】
　以上のことから、この実施例においては、離型性の良さと面精度の良さのバランスをとるための最良点を捜すのではなく、面精度はやや低下しても、確実に離型不良を防止できる様なプレス圧Ｐ２を選択する様にした。ただし、面精度はある程度低下してもよいが、複数個のレンズを成形した時に、光学機能面が再現性良く、必ず同じクセ（光軸を中心とする軸対称な形状誤差）を持った形状に仕上がることが重要である。このように、成形する毎に同じクセを持った形状にレンズが加工されるのであれば、このクセをキャンセルする様に、型部材１６，１８の成形面の形状を決めれば、この型部材で、同じ条件の成形加工を行ったとき、理論的には全くクセのないレンズができ上がるはずである。
　【００３１】
　そのため、この実施例においては、成形されるレンズのクセが、成形のたび毎に一定となる様にするために、冷却時における上下の型部材の温度差を０±２．５°Ｃ、冷却速度を２０±５°Ｃ／ｍｉｎと大まかに制御し、冷却時のプレス圧Ｐ２を５±１．５ｋＮと高い値に設定した。冷却プレス圧をこの程度の高い値に設定すると、光学機能面の面精度は若干低下するものの、離型不良を確実に防止することができ、且つ、光学機能面の形状の再現性も良い。
　【００３２】
　上記の成形条件によって、凹レンズを成形した際の上下の型部材の成形面形状、及び成形された凹レンズの光学機能面の形状をフィゾー干渉計によって調べた結果を示したものが図４である。この場合、型部材の成形面の形状は、クセをキャンセルする形状にはしていない。そのため、上記光学素子の光学機能面の形状は中高のクセがニュートンリング２〜３本程度生じている。
　【００３３】
　図４の結果から、凹レンズの光学機能面のクセを読み取り、このクセをキャンセルする様な形状に成形面を加工した型部材をフィゾー干渉計によって調べた結果が、図５の左側の図である。また、この型を用いて、上記の成形条件で成形加工を行った場合の凹レンズの光学機能面の形状を示したものが図５の右側の図である。図５の結果から明らかな様に、この実施例の方法によって成形された凹レンズは、アス（光軸を中心とする軸対称でない形状誤差）、クセ共にニュートンリング１本以内に納まっており、極めて良好な面精度が得られていることが分かる。また、上記のクセをキャンセルした形状の型部材を用いて連続的に凹レンズを成形した結果、全てのレンズが、アス、クセ共にニュートンリング１本以下に納まっていた。
　【００３４】
　なお、上記の様にレンズの光学機能面のクセをニュートンリングの本数から読み取り、このクセをキャンセルする様な形状に型部材１６，１８の成形面を加工することは、人手によって行うことが可能である。しかしながら、この様な型の加工作業を人手によって行うことは非常に手間のかかることであるため、実際には以下の様にＮＣ工作機械を使用して自動加工により型の加工を行っている。
　【００３５】
　図６は、凹レンズの光学機能面のクセをキャンセルする様な形状に型部材を補正加工する手順を示したフローチャートである。
　【００３６】
　まず、ステツプＳ２において、成形されるレンズのクセが、成形のたび毎に一定となる様な成形条件を設定する。本実施例では、前述した様に、ガラス素材４０に重クラウンガラス（ＳＫ１２）を使用し、冷却時の上下の型部材１６，１８の温度差を０±２．５°Ｃ、冷却速度を２０±５°Ｃ／ｍｉｎ、冷却時のプレス圧Ｐ２を５±１．５ｋＮに設定している。
　【００３７】
　次にステツプＳ４において、上記の成形条件で、従来と同様の方法でレンズの成形加工を行う。この際、成形条件を上記の条件に設定することにより凹レンズ（４０）の光軸を中心とする軸対称でない形状誤差は完全に防止されている。
　【００３８】
　ステツプＳ６では既に良く知られている触診式形状測定器（タリサーフ）の触針２８を、図７に示す様にステツプＳ４において成形した凹レンズ（４０）の光学機能面４０ａ，４０ｂに当て、光軸を通る直線に沿って光学機能面４０ａ，４０ｂの形状を測定する。凹レンズ（４０）の光学機能面の形状は軸対称な形状に成形されているため、このタリサーフによる測定は１線に沿う測定のみで十分である。
　【００３９】
　ステツプＳ８ではステツプＳ６において測定した測定値と凹レンズ（４０）の光学機能面４０ａ，４０ｂの設計値とのズレ量を算出する。測定値は上述した様に光軸を中心として全周に渡って対称な形状に形成されているので、図８に示す様に光軸からＸ方向のある位置での、Ｙ方向のズレ量を算出すれば、この値が凹レンズ（４０）の全周に渡って当てはまることとなる。
　【００４０】
　ステツプＳ１０では図９に示す様にステツプＳ８で算出したズレ量を、（Ｘ＝光軸からの距離，Ｙ＝設計値からのズレ量）の形で市販のＮＣ研削加工機３０に入力し、上下の型部材１６，１８の成形面１６ｂ，１８ｂを追い込み加工する。このように、型部材１６，１８の成形面１６ｂ，１８ｂを追い込み加工することにより、成形面１６ｂ，１８ｂは凹レンズの形状誤差をキャンセルする様な形状に加工されることとなる。
　【００４１】
　次にステツプＳ１２では、ＮＣ研削加工機によって削られた成形面１６ｂ，１８ｂの仕上げ加工を行う。ここでは、図１０に示す様に、既に算出したＸ，Ｙの加工データを円筒座標系、すなわち光軸からの角度θとその角度における光学機能面の設計値からのずれ量ｒに座標変換し、特開昭６３−２３２９５６号に開示されている装置及び方法によって仕上げ研磨を行う。
　【００４２】
　ステツプＳ１４では、上記のステツプＳ２〜ステツプＳ１２の工程によって作成された補正入りの型部材を用いて、ステツプＳ２で設定した成形条件で凹レンズの成形加工を行う。
　【００４３】
　上記の手順に沿って凹レンズの成形を行った結果、光学機能面の設計値からのズレ量が０．３３μｍ以下の精度で凹レンズを成形することができた。
（他の実施例）
　図１１は、他の実施例を示しており、メニスカス状のレンズを成形する場合を示している。この他の実施例においては、ガラス素材４０′としてフリントガラス（Ｆ８）を使用している。
　【００４４】
　この他の実施例では、成形するレンズの形状が一実施例と異なるため、冷却時のプレス圧Ｐ２の値よりも、冷却中の上下の型部材間の温度差の方が、レンズの光学機能面の面精度に大きく影響する。そのため、成形条件は、冷却時のプレス荷重Ｐ２を３．０±１．５ｋＮ、冷却速度を２０±５°Ｃ／ｍｉｎと大まかに制御し、光学機能面の面精度を成形のたび毎に安定させるために、上型部材１６の温度を、下型部材１８の温度よりも７．５±２．５°Ｃだけ高く制御した。
　【００４５】
　上記の成形条件によってメニスカスレンズを成形した際の上下の型部材の成形面の形状、及び成形された光学素子の光学機能面の形状をフィゾー干渉計によって調べた結果を図１２に示す。この場合、上記光学素子の光学機能面の上下で生じているクセ量が大きくちがっており、上側面（凹面）でニュートンリング２〜３本程度、下側面（凸面）でニュートンリング１〜２本程度のクセが生じている。
　【００４６】
　図１２の結果から、メニスカスレンズの光学機能面のクセを読み取り、このクセをキャンセルする様な形状に成形面を加工した型部材をフィゾー干渉計によって調べた結果が、図１３の左側の図である。また、この型を用いて、上記の成形条件で成形加工を行った場合のメニスカスレンズの光学機能面の形状を示したものが図１３の右側の図である。図１３の結果から明らかな様に、この実施例の方法によって成形されたメニスカスレンズは、アス、クセ共にニュートンリング１本以内に納まっており、極めて良好な面精度が得られていることが分かる。また、上記のクセをキャンセルした形状の型部材を用いて連続的にメニスカスレンズを成形した結果、全てのレンズが、アス、クセ共にニュートンリング１本以下に納まっていた。
　【００４７】
　なお、この他の実施例においても、型部材の補正加工は、図６に示したフローチャートに沿って、一実施例の場合と全く同様に行われるものである。
　【００４８】
　以上説明した様に、上記実施例に示した光学素子の成形方法によれば、従来と同様の極めて基本的な装置によって、高精度な成形条件の制御も必要とせずに、従来成形が困難であった形状の光学素子を高精度に成形することが可能となる。
　【００４９】
　なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で上記実施例を修正または変形したものに適用可能である。
　【００５０】
　例えば、上記実施例では、凹レンズとメニスカスレンズを成形する場合について説明したが、本発明は、その他の形状の光学素子、例えば、凸レンズや平板状の光学素子の成形にも適用可能である。
　【００５１】
　【発明の効果】
　以上説明した様に、本発明の光学素子の成形方法によれば、完成した光学素子に現れるクセが常に一定になる様に成形条件を設定し、その一定のクセをキャンセルする様な形状に型部材の成形面を加工しておくことにより、高精度な面精度を有する光学素子を加工することが可能となる。クセの現れ方が常に一定になる様な成形条件は、光学素子を、常に高精度な面精度に仕上げるために必要とされる成形条件程には厳密に制御される必要がないので、容易に高精度な光学素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　一実施例の光学素子の成形方法を適用する成形用型の構成を示した図である。
　【図２】
　上型部材が上方に逃げた状態を示した図である。
　【図３】
　冷却時のプレス圧を変化させた場合の光学機能面の変化の様子を示した図である。
　【図４】
　凹レンズを成形した際の上下の型部材の成形面形状、及び成形された凹レンズの光学機能面の形状をフィゾー干渉計によって調べた結果を示した図である。
　【図５】
　クセをキャンセルした型の成形面形状、及びその型により成形された凹レンズの光学機能面の形状をフィゾー干渉計によって調べた結果を示した図である。
　【図６】
　凹レンズの光学機能面のクセをキャンセルする様な形状に型部材を補正加工する手順を示したフローチャートである。
　【図７】
　レンズの光学機能面の形状をタリサーフにより測定する様子を示した図である。
　【図８】
　レンズの形状誤差を光軸からの距離Ｘと、設計値からのずれ量Ｙで表した状態を示した図である。
　【図９】
　型部材の成形面を補正加工する様子を示した図である。
　【図１０】
　型部材の成形面の形状をｒ，θ座標で表現した状態を示した図である。
　【図１１】
　他の実施例の光学素子の成形方法を適用する成形用型の構成を示した図である。
　【図１２】
　メニスカスレンズを成形した際の上下の型部材の成形面形状、及び成形された凹レンズの光学機能面の形状をフィゾー干渉計によって調べた結果を示した図である。
　【図１３】
　クセをキャンセルした型の成形面形状、及びその型により成形されたメニスカスレンズの光学機能面の形状をフィゾー干渉計によって調べた結果を示した図である。
　【符号の説明】
　１０　　　　成形装置本体
　１２　　　　成形用型
　１４　　　　胴型
　１６　　　　上型部材
　１８　　　　下型部材
　２０　　　　支持基板
　２２，２４　エアシリンダ
　２６　　　　ヒータ
　４０　　　　ガラス素材