(57)【要約】  太陽電池パネル検査装置は、主表面（２ｕ）を有する透明絶縁基板（２）と、順次積層された透明電極層（３）、半導体光電変換層（４）および裏面電極層（５）とを含み、主表面（２ｕ）が露出する外周絶縁領域（２１）を有する太陽電池パネル（１００）に対して、外周絶縁領域（２１）の絶縁性能を検査するための装置であって、裏面電極層（５）に当接させるための第１端子（３１）と、外周絶縁領域（２１）の外周端近傍に当接させるための第２端子（３２）と、第１端子（３１）と第２端子（３２）との間において外周絶縁領域（２１）に当接させるための１以上の第３端子（３３，３３ａ，３３ｂ，３３ｃ）と、これらの端子のうちから選択される２端子間にそれぞれ電圧を印加するための電圧印加部（３４）と、電圧を印加した前記２端子の間に流れる電流を検出する電流検出部（３５）とを備える。
2010119841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主表面（２ｕ）を有する透明絶縁基板（２）と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層（３）、半導体光電変換層（４）および裏面電極層（５）とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域（２１）を有する太陽電池パネルに対して、前記外周絶縁領域の絶縁性能を検査するための太陽電池パネル検査装置であって、
前記透明電極層または前記裏面電極層に当接させるための第１端子（３１）と、
前記外周絶縁領域の外周端近傍に当接させるための第２端子（３２）と、
前記第１端子と前記第２端子との間において前記外周絶縁領域に当接させるための１以上の第３端子（３３，３３ａ，３３ｂ，３３ｃ）と、
前記第１端子、前記第２端子および前記１以上の第３端子のうちから選択される２つの端子の間にそれぞれ電圧を印加するための電圧印加部（３４）と、
前記電圧印加部によって電圧を印加した前記２つの端子の間に流れる電流を検出する電流検出部（３５）とを備える、太陽電池パネル検査装置。
【請求項２】
前記第２端子は、前記外周絶縁領域の外周端に側方から当接させるためのものである、請求の範囲第１項に記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項３】
電流の基準値のデータを保持し、
前記電圧印加部による電圧印加開始から所定時間後に前記電流検出部が検出する電流の値を前記基準値と比較し、その結果によって前記２つの端子に対する電圧印加を続行するか否かを判断するための判断部（３６）を備える、請求の範囲第１項または第２項に記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項４】
前記判断部による判断の結果として電圧印加を続行すると決定された場合には前記電圧印加部が前回よりも高い電圧を印加するためのリトライ制御部（３９）を備える、請求の範囲第３項に記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項５】
前記第１端子を前記透明電極層または前記裏面電極層に当接させかつ前記第２端子を前記透明絶縁基板に当接させたままの状態で、前記１以上の第３端子の全部または一部に関して、前記外周絶縁領域に当接した第１状態と前記外周絶縁領域に当接しない第２状態との間で切替を行なうための、第３端子切替機構（３８）を備える、請求の範囲第１項から第４項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項６】
前記１以上の第３端子の数は２以上であり、前記第３端子切替機構は、前記第３端子の１つ毎に独立して前記第１状態と前記第２状態との間の切替を行なうことができる構造となっている、請求の範囲第５項に記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項７】
前記１以上の第３端子の数は、２である、請求の範囲第１項から第６項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項８】
前記１以上の第３端子の各々は、略矩形状に配置された帯状の導電性部材である、請求の範囲第１項から第７項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査装置。
【請求項９】
主表面を有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域を有する太陽電池パネルに対して、前記外周絶縁領域の絶縁性能を検査するための太陽電池パネル検査方法であって、
前記透明電極層または前記裏面電極層に当接させるための第１端子と、
前記外周絶縁領域の外周端近傍に当接させるための第２端子と、
前記第１端子と前記第２端子との間において前記外周絶縁領域に当接させるための１以上の第３端子とが備わった装置を用い、
前記第１端子を前記透明電極層または前記裏面電極層に当接させる工程と、
前記第２端子を前記外周端近傍に当接させる工程と、
前記１以上の第３端子のうちから選択される１以上の端子を前記外周絶縁領域に当接させる工程と、
前記第１端子、前記第２端子および前記１以上の第３端子のうちから選択される２つの端子の間に電圧を印加する工程と、
電圧を印加した前記２つの端子の間に流れる電流を検出する工程とを含む、太陽電池パネル検査方法。
【請求項１０】
前記第２端子を当接させる工程は、前記第２端子を、前記外周絶縁領域の外周端に側方から当接させる工程である、請求の範囲第９項に記載の太陽電池パネル検査方法。
【請求項１１】
前記電流を検出する工程の後に、検出された電流の値を予め保持する基準値と比較し、その結果によって前記２つの端子に対する電圧印加を続行するか否かを判断する工程を含む、請求の範囲第９項または第１０項に記載の太陽電池パネル検査方法。
【請求項１２】
前記判断する工程の結果として電圧印加を続行すると決定された場合には前記電圧印加部が前回よりも高い電圧を印加する工程を含む、請求の範囲第１１項に記載の太陽電池パネル検査方法。
【請求項１３】
前記電圧を印加する工程の前に、前記２つの端子の間で前記外周絶縁領域に当接している端子を前記外周絶縁領域に当接しない状態にする端子除外工程を含む、請求の範囲第９項から第１２項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査方法。
【請求項１４】
前記１以上の第３端子の数は、２である、請求の範囲第９項から第１３項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査方法。
【請求項１５】
前記１以上の第３端子の各々は、略矩形状に配置された帯状の導電性部材である、請求の範囲第９項から第１４項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査方法。
【請求項１６】
主表面を有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域を有する光電変換素子を準備する第１工程と、
前記光電変換素子に対して、請求の範囲第１項から第８項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査装置によって検査を行なう第２工程を含む、太陽電池パネルの製造方法。
【請求項１７】
主表面を有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域を有する光電変換素子を準備する第１工程と、
前記光電変換素子に対して、請求の範囲第９項から第１５項のいずれかに記載の太陽電池パネル検査方法を行なう第２工程を含む、太陽電池パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池パネル検査装置、太陽電池パネル検査方法および太陽電池パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の太陽電池パネルは、特開２００８−１０９０４１号公報（特許文献１）に示される構造を有している。特許文献１に示される太陽電池パネルの一例に注目し、その端部近傍の拡大断面図を図２３に示す。太陽電池パネル１００は、主表面２ｕを有する透明絶縁基板２と、透明絶縁基板２の主表面２ｕに順次積層された透明電極層３、半導体光電変換層４および裏面電極層５とを含む。太陽電池パネル１００は、透明絶縁基板２の外周近傍に透明絶縁基板２の主表面２ｕが露出する外周絶縁領域２１を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１０９０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図２３に示したような構造は各層を成膜した後にレーザによってパターニングすることによって作製される。この構造は、作製した後に樹脂（図示せず）および保護フィルムで全体を封止される。【０００５】
外周絶縁領域２１においては、図２３に示したように、透明絶縁基板２の主表面２ｕが直接露出しており、主表面２ｕの上には何もない状態となっているべきである。しかし、実際には、図２４に示すように、パターニング時の何らかの材料の残渣２３が外周絶縁領域２１に残っていることがあり得る。樹脂で全体が封止される場合には、このような残渣２３もともに封止されることになる。一方、封止後に樹脂層の内部に水が侵入してくることも考えられる。外周絶縁領域２１に残渣が存在するまま樹脂によって封止されている場合には、侵入してきた水と残渣とが反応して金属イオンを生じてしまう。そのような事態になった場合、水を介してリークが生じてしまう。【０００６】
したがって、このようなリークを避けるためには、外周絶縁領域の主表面に残渣が全くなく、外周絶縁領域は完全に絶縁状態となっていることが求められる。【０００７】
そこで、本発明は、太陽電池パネルの外周絶縁領域における絶縁状態を検査するための太陽電池パネル検査装置および太陽電池パネル検査方法を提供することを目的とする。さらに、外周絶縁領域の絶縁状態が確保された太陽電池パネルを得ることができるような太陽電池パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に基づく太陽電池パネル検査装置は、主表面を有する透明絶縁基板と、上記透明絶縁基板の上記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、上記透明絶縁基板の外周近傍に上記透明絶縁基板の上記主表面が露出する外周絶縁領域を有する太陽電池パネルに対して、上記外周絶縁領域の絶縁性能を検査するための太陽電池パネル検査装置であって、上記裏面電極層に当接させるための第１端子と、上記外周絶縁領域の外周端近傍に当接させるための第２端子と、上記第１端子と上記第２端子との間において上記外周絶縁領域に当接させるための１以上の第３端子と、上記第１端子、上記第２端子および上記１以上の第３端子のうちから選択される２つの端子の間にそれぞれ電圧を印加するための電圧印加部と、上記電圧印加部によって電圧を印加した上記２つの端子の間に流れる電流を検出する電流検出部とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、外周絶縁領域に電圧を印加して電流が流れるかどうかを検査することができるので、工程の途中での除去残りを検知することができる。これにより、不良品を早期に発見して、不良品の除去、不良品の修正などを行なうことが可能となるので、無駄を低減することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。さらに、透明電極層または裏面電極層と、外周絶縁領域の外周縁近傍と、これらの間に挟まれる領域とを含む３ヶ所以上で端子を任意に選択して当接させて各組合せごとに電圧を印加して電流が流れるがどうかを検査することができるので、外周絶縁領域における絶縁状態をきめこまかく検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置によって検査を行なう様子の説明図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置において想定される端子の組合せの説明図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置において第３端子を２つとした例の説明図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置において第３端子を２つとしたときに想定される端子の組合せの説明図である。
【図５】本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置の一般化モデルにおいて想定される端子の組合せの説明図である。
【図６】本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置において第２端子の当接の仕方を変えた例の説明図である。
【図７】外周端近傍に対する第２端子の当接の仕方の第１の説明図である。
【図８】外周端近傍に対する第２端子の当接の仕方の第２の説明図である。
【図９】太陽電池パネルの外周近傍の一部分における太陽電池パネルと各端子との位置関係の説明図である。
【図１０】各端子の形状の第１の例の平面図である。
【図１１】各端子の形状の第２の例の平面図である。
【図１２】各端子の形状の第３の例の平面図である。
【図１３】各端子の形状の第４の例の平面図である。
【図１４】本発明に基づく実施の形態２における太陽電池パネル検査装置によって検査を行なう様子の説明図である。
【図１５】本発明に基づく実施の形態２における太陽電池パネル検査装置の動作のフローチャートである。
【図１６】本発明に基づく実施の形態３における太陽電池パネル検査装置の第１状態の説明図である。
【図１７】本発明に基づく実施の形態３における太陽電池パネル検査装置の第２状態の説明図である。
【図１８】本発明に基づく実施の形態３における太陽電池パネル検査装置の変形例の説明図である。
【図１９】実施例として挙げた太陽電池パネル検査装置における各端子の位置関係を示す平面図である。
【図２０】実施例として挙げた太陽電池パネル検査装置における各端子の位置関係を示す断面図である。
【図２１】本発明に基づく実施の形態４における太陽電池パネル検査方法のフローチャートである。
【図２２】本発明に基づく実施の形態４における太陽電池パネル検査方法の好ましい例のフローチャートである。
【図２３】従来技術に基づく太陽電池パネルの外周絶縁領域近傍の拡大断面図である。
【図２４】従来技術に基づく太陽電池パネルの外周絶縁領域に残渣が存在する例の拡大断面図である。
【図２５】本発明に基づく実施の形態６における太陽電池パネル検査装置によって検査を行なう様子の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施の形態１）
図１、図２を参照して、本発明に基づく実施の形態１における太陽電池パネル検査装置について説明する。この太陽電池パネル検査装置は、主表面２ｕを有する透明絶縁基板２と、透明絶縁基板２の主表面２ｕに順次積層された透明電極層３、半導体光電変換層４および裏面電極層５とを含み、透明絶縁基板２の外周近傍に透明絶縁基板２の主表面２ｕが露出する外周絶縁領域２１を有する太陽電池パネル１００に対して、外周絶縁領域２１の絶縁性能を検査するための太陽電池パネル検査装置であって、裏面電極層５に当接させるための第１端子３１と、外周絶縁領域２１の外周端近傍に当接させるための第２端子３２と、第１端子３１と第２端子３２との間において外周絶縁領域２１に当接させるための１以上の第３端子３３と、第１端子３１、第２端子３２および１以上の第３端子３３のうちから選択される２つの端子の間にそれぞれ電圧を印加するための電圧印加部３４と、電圧印加部３４によって電圧を印加した前記２つの端子の間に流れる電流を検出する電流検出部３５とを備える。すなわち、図１に示す電圧印加部３４は、図２に示すように組合せＣ１，Ｃ２，Ｃ３のそれぞれに電圧を印加することができる。図１における電圧印加部３４および電流検出部３５は模式的に示したものである。
【００１２】
本実施の形態における太陽電池パネル検査装置では、太陽電池パネルの製造工程内において外周絶縁領域の除去残りなどによる絶縁不良品を検出することができる。さらに、裏面電極層と外周縁近傍とその間に挟まれる領域とを含む３ヶ所以上で端子をそれぞれ当接させて各組合せごとに電圧を印加して電流が流れるがどうかを検査することができるので、外周絶縁領域における絶縁状態をきめこまかく検査することができる。
【００１３】
なお、図１、図２においては、第３端子が１つである例を示したが、外周絶縁領域の幅の大きさが許す範囲内で、第３端子の数を増やせば増やすほど精度良く検査を行なうことができる。一例として、図３には、第３端子を２つとした例を示す。ここでは、第３端子３３ａ，３３ｂが配置されている。この場合、電圧印加部３４は、図４に示す組合せＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４のそれぞれに電圧を印加することができればよい。第１端子３１、第２端子３２、第３端子３３ａ，３３ｂの合計４つの端子間で、任意の２端子を選択する組合せの数は、数学的には
4Ｃ2＝４！／（（４−２）！・２！）＝２４／４＝６
となり、６通りある。これら６通りの全てに個別に電圧を印加できることができれば好ましいが、これら６通りの全てに個別に電圧を印加できることまでは必須ではない。
【００１４】
第３端子がｎ本あるものとして、一般化して説明する。その場合、第１端子、第２端子を加えて、端子の数は合計（ｎ＋２）となる。これらの端子の中から任意の２端子を選択する組合せの数は、数学的には
n+2Ｃ2＝（ｎ＋２）！／（ｎ！・２！）
となる。実際には、本発明としては、これらのすべての組合せのパターンについて個別に電圧を印加できることまでは必須ではない。図５に示すように、これらの組合せのうちの少なくとも、互いに隣接するもの同士の組合せＣ２，Ｃ３，Ｃ４，…，Ｃ（ｎ＋２）について電圧を印加することができ、さらに第１端子−第２端子間Ｃ１に電圧を印加することができれば好ましい。
【００１５】
なお、図１、図２に示した例においては、第２端子３２は、外周端の端面に側方から当接させているが、このような当接の仕方には限らない。たとえば図６に示すように、第２端子３２は、外周絶縁領域の外周端近傍で主表面２ｕに対して上方から当接させることとしてもよい。ただし、第２端子を上方から当接させる場合、透明絶縁基板の端面が丸くなっているものに対しては、図７に示すように、第２端子は丸みを帯びた部分を避けて主表面２ｕが平坦な部位に当接せざるを得なくなり、たとえば真の端２ｅから距離Ｄだけ後退した位置での測定となってしまう。これに対して、第２端子を側方から当接させる場合、透明絶縁基板の端面が垂直に切り立っているか丸くなっているかを問わず、図８に示すように、確実に真の端２ｅに当接することができるので、好ましい。図７、図８では透明絶縁基板の端部の断面がきれいな半円形状となっている例を示したが、端部の断面が不規則な形状である場合にも同様のことがいえる。したがって、本発明においては、第２端子は、外周絶縁領域の外周端に側方から当接させるためのものであることが好ましいといえる。
【００１６】
なお、本実施の形態における太陽電池パネル検査装置によって検査対象とする太陽電池パネル１００は完成したものに限らず、未完成のものであってもよい。以下の実施の形態においても同様である。
【００１７】
第１端子３１、第２端子３２、第３端子３３は、これまでの各図ではいずれも棒状の部材のように見えるが、実際には、第２端子３２、第３端子３３は、紙面奥手前方向に長く延在する帯状の部材であることが好ましい。第１端子は棒状の部材であってよい。第２端子３２、第３端子３３については、棒状の部材を太陽電池パネルの辺に沿って複数並べることとしてもよいが、帯状の部材を太陽電池パネルの辺に平行に配置して、太陽電池パネルの上面または端面に当接させることとした方が好ましい。太陽電池パネルの外周近傍の一部分における太陽電池パネルと各端子との位置関係の一例を図９に示す。このように、棒状の部材である第１端子３１および帯状の板材である第２，第３端子３２，３３をそれぞれの方向から太陽電池パネルに当接させることが好ましい。
【００１８】
なお、各端子は、平面図で見たときに、図１０に示すように長方形の枠状のものであってもよい。この長方形は、太陽電池パネルの外形がちょうど内側に収まるサイズのものである。各端子の配置の他の例としては、図１１、図１２、図１３に示すようなものであってもよい。いずれも略矩形状であるといえる。ただし、図１２、図１３に示した例のように隙間が増えると外周絶縁領域の残渣を見落とす可能性が高まるので、図１０、図１１に示した例のようになるべく完全な矩形に近い方が好ましい。ただし、図１０のように完全な矩形状とした場合も、端子が矩形状の一体物として形成されていると、作製およびメンテナンスがしにくくなる可能性があるので、各辺ごとに分解することができる構造であることが好ましい。
【００１９】
（実施の形態２）
図１４、図１５を参照して、本発明に基づく実施の形態２における太陽電池パネル検査装置について説明する。
【００２０】
本実施の形態における太陽電池パネル検査装置は、基本的には、実施の形態１で説明したものと同様であるが、さらに電流の基準値のデータを保持する。さらに、図１４に示すように、前記電圧印加部による電圧印加開始から所定時間後に前記電流検出部が検出する電流の値を前記基準値と比較し、その結果によって前記２つの端子に対する電圧印加を続行するか否かを判断するための判断部３６を備える。図１４では、電圧の基準値のデータはデータ保持部３７によって保持されており、判断部３６はデータ保持部３７から適宜データを読み出すことができる。
【００２１】
本実施の形態における太陽電池パネル検査装置の動作のフローチャートを図１５に示す。電圧印加開始から所定時間経過した後に、電流検出部で検出された電流値が基準値以下であれば、電圧印加を終了し、そうでなければ、さらに電圧印加を続行する。ここでは一例として「基準値以下であれば」電圧印加を終了するものとしたが、「基準値より小さければ」電圧印加を終了するものとしてもよい。
【００２２】
もし外縁絶縁領域の表面に残渣が存在していた場合、この残渣を挟むように配置された２端子間で電圧を印加したときには、この残渣には高電流が流れることとなるので、残渣は抵抗熱によって高温となる。高温となった残渣は気化し、その結果、放散する。こうして、残渣は除去される。本実施の形態では、所定時間にわたって電圧を印加した後に電流の値を基準値と比較する判断部を備えているので、残渣の除去が完了したかどうかを判断することができる。残渣が元々なかったか、または、残渣があったにしても除去が完了した場合には、電流値は基準値以下となるか基準値より小さくなるので、電圧印加は終了される。電流値が基準値より大きかったか基準値以上であった場合は、電圧印加にもかかわらずまだ２端子間のいずれかの部位に残渣が残っていると考えられるので、電圧印加が続行され、残渣の除去処理が続けられる。
【００２３】
本実施の形態における太陽電池パネル検査装置では、受動的に現状の検査を行なうだけでなく、存在する残渣に対して、このような積極的な除去処理を行なうことができるので、この太陽電池パネル検査装置による検査を経た太陽電池パネルは、残渣のない信頼性の高い太陽電池パネルとすることができる。
【００２４】
さらに、判断部３６による判断の結果として電圧印加を続行すると決定された場合には電圧印加部３４が前回よりも高い電圧を印加するためのリトライ制御部３９を備えることが好ましい。このような構成となっていれば、判断部によって電圧印加を続行すると決定された場合に、単に同じ電圧で電圧印加を続行するだけでなく、前回の電圧より高い電圧を印加することによって、前回の電圧印加時には除去し切れなかった残渣をより強力に除去することができるので、好ましい。
【００２５】
（実施の形態３）
図１６、図１７を参照して、本発明に基づく実施の形態３における太陽電池パネル検査装置について説明する。
【００２６】
本実施の形態における太陽電池パネル検査装置は、基本的には、実施の形態１で説明したものと同様であるが、図１６、図１７に示すように、第１端子３１を裏面電極層５に当接させかつ第２端子３２を前記透明絶縁基板２に当接させたままの状態で、前記１以上の第３端子の全部または一部に関して、外周絶縁領域２１に当接した第１状態と外周絶縁領域２１に当接しない第２状態との間で切替を行なうための、第３端子切替機構３８を備える。図１６は第１状態を示し、図１７は第２状態を示す。第３端子切替機構３８は第１状態から第２状態へ、または、第２状態から第１状態への一方向のみの切替ができるものであってもよいが、第１状態−第２状態間で、双方向に切替ができるものであってもよい。第３端子が、上方から下降させることによって外周絶縁領域２１に当接させられるものである場合には、第３端子切替機構３８は、第３端子の昇降を行なう機構として実現することができる。
【００２７】
本実施の形態では、第３端子切替機構が備わっているので、第３端子が外周絶縁領域に当接しているか否かを切り替えることができる。したがって、第１端子と第２端子との間で電圧印加を行なう際には、その間に位置する第３端子を透明絶縁基板の主表面に当接しない状態としておくことが可能である。したがって、第１端子と第２端子との間での電圧印加時に第３端子によってリークが発生することを避けることができ、絶縁状態の検査をより正確にすることができる。
【００２８】
前記１以上の第３端子の数は２以上であり、前記第３端子切替機構は、前記第３端子の１つ毎に独立して前記第１状態と前記第２状態との間の切替を行なうことができる構造となっていることが好ましい。すなわち、図１８に示すような構造であることが好ましい。図１８に示した例では、第３端子３３ａ，３３ｂ，３３ｃにそれぞれ第３端子切替機構３８ａ，３８ｂ，３８ｃが設けられており、第３端子３３ａ，３３ｂ，３３ｃはそれぞれ個別に昇降させることができる。図１８に示した例では、第３端子の数が３となっているが、第３端子の数は２であってもよい。また、第３端子の数は４以上であってもよい。
【００２９】
ただし、第３端子の数を多くしすぎると構造が複雑になってしまう。また、外周絶縁領域の幅に対して第３端子および端子間の間隙をうまく配置するためには、第３端子の数をあまり多くしすぎると不都合である。このようなことを考慮すると、現実的には、前記１以上の第３端子の数は、２であることが好ましい。
【００３０】
このように第３端子の数が２以上である場合には、第３端子をそれぞれ個別に当接するか否か切り替えることができるので、いずれかの２端子間に電圧を印加する際にその間に位置する余分な第３端子を主表面２ｕに当接しない状態としておくことができ、その結果、間に位置する第３端子によるリークを避けることができ、残渣の検査をより正確にすることができる。
【００３１】
前記１以上の第３端子の各々は、略矩形状に配置された帯状の導電性部材であることが好ましい。すなわち、図９〜図１１を参照して既に説明したように、第３端子の各々は帯状の導電性部材であることが好ましい。第１〜第３端子は、導電性部材であればよいが、たとえば金属製の部材であってもよい。このような形状であれば、太陽電池パネルの全体にわたって効率良く精度良く残渣の検査および残渣除去処理を行なうことができる。
【００３２】
（実施例）
図１９、図２０を参照して、実施の形態１に対応する太陽電池パネル検査装置の具体的な実施例について説明する。図１９に示すように、太陽電池パネル検査装置の第１端子３１として円柱状のものを２本設けた。その外側を矩形状に取囲むように内側から順に第３端子３３ａ，３３ｂおよび第２端子３２を配置した。第２端子３２は、検査対象となる太陽電池パネル１００の外周に密接してこの外周を矩形状に取囲むように配置されている。第１端子３１は、太陽電池パネルの裏面電極層５の存在する領域の内側において、互いに対向する平行な２辺に沿う位置にそれぞれ配置されている。第３端子３３ａは太陽電池パネルの裏面電極層５の存在する領域の外側を離隔して取囲むように矩形状に配置されている。
【００３３】
図２０において透明絶縁基板２の下側に示す寸法線の数値の単位は「ｍｍ」である。図２０に示すように、外周絶縁領域の幅は１２ｍｍである。第３端子３３ａ，３３ｂはいずれも厚みが１ｍｍである。第１端子３１と第３端子３３ａとの間の間隙は３ｍｍ、第３端子３３ａと第３端子３３ｂとの間の間隙は３ｍｍ、第３端子３３ｂと第２端子３２との間の間隙は４ｍｍとなっている。
【００３４】
第１端子３１と第３端子３３ａとの間には、１５００Ｖの電圧を印加した。
第３端子３３ａと第３端子３３ｂとの間には、１５００Ｖの電圧を印加した。
【００３５】
第３端子３３ｂと第２端子３２との間には、２０００Ｖの電圧を印加した。
第１端子３１と第２端子３２との間には、６０００Ｖの電圧を印加した。
【００３６】
これらの電圧印加の順序はこの通りでなくともよい。任意の順序でおこなってもよい。
この構成の太陽電池パネル検査装置を用いることにより、外周絶縁領域における絶縁状態をきめこまかく検査することができた。また、検査の際に、このような高電圧を一定時間印加することによって、残渣を気化させて除去することができた。
【００３７】
なお、この実施例において、実施の形態２，３で示した構成を適宜採用してもよい。
（実施の形態４）
上記各実施の形態では検査装置に関する発明としての側面に注目して、説明してきたが、検査方法に関する発明として把握することもできる。そこで、実施の形態４では、太陽電池パネル検査方法について説明する。本実施の形態における太陽電池パネル検査方法のフローチャートを図２１に示す。
【００３８】
この太陽電池パネル検査方法は、主表面を有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域を有する太陽電池パネルに対して、前記外周絶縁領域の絶縁性能を検査するための太陽電池パネル検査方法である。この太陽電池パネル検査方法においては、前記裏面電極層に当接させるための第１端子と、前記外周絶縁領域の外周端近傍に当接させるための第２端子と、前記第１端子と前記第２端子との間において前記外周絶縁領域に当接させるための１以上の第３端子とが備わった装置を用いる。この太陽電池パネル検査方法は、前記第１端子を前記裏面電極層に当接させる工程Ｓ１と、前記第２端子を前記外周端近傍に当接させる工程Ｓ２と、前記１以上の第３端子のうちから選択される１以上の端子を前記外周絶縁領域に当接させる工程Ｓ３と、前記第１端子、前記第２端子および前記１以上の第３端子のうちから選択される２つの端子の間に電圧を印加する工程Ｓ４と、電圧を印加した前記２つの端子の間に流れる電流を検出する工程Ｓ５とを含む。
【００３９】
この検査方法に用いる「装置」は、実施の形態１で説明した太陽電池パネル検査装置であってよい。各用語の意義は、実施の形態１〜３で述べたとおりである。
【００４０】
工程Ｓ１〜Ｓ３は、必ずしも図２１に示したとおりの順序に行なわれるものでなくてもよい。図２１に示したのと異なる順序で行なわれてもよく、工程Ｓ１〜Ｓ３のうちの２工程または３工程が同時に行なわれてもよい。ただし、電圧を印加する工程Ｓ４が行なわれる前には、電圧印加の対象となる必要な２つの端子がそれぞれ対応する箇所に当接していることが必要である。工程Ｓ４は、端子の異なる組合せごとに複数回行なわれるものであってもよい。工程Ｓ４で選択される端子の組合せが変わる度に、その前準備として、工程Ｓ１〜Ｓ３のうちから必要な工程が行なわれてよい。電流を検出する工程Ｓ５は、電圧を印加する工程Ｓ４によって印加が開始された後かつ印加が終了する前に行なわれる。したがって、工程Ｓ４が行なわれている間の一部の時間帯に工程Ｓ５が行なわれる。工程Ｓ４が端子の異なる組合せごとに複数回行なわれる場合は、工程Ｓ５も同じ回数だけ行なわれる。
【００４１】
本実施の形態における太陽電池パネル検査方法では、太陽電池パネルの製造工程内において外周絶縁領域における絶縁不良を早期に検出することができ、さらに、裏面電極層と外周縁近傍とその間に挟まれる領域との３ヶ所以上で端子をそれぞれ当接させて各組合せごとに電圧を印加して電流が流れるがどうかを検査することができるので、外周絶縁領域における絶縁状態をきめこまかく検査することができる。
【００４２】
上記発明において好ましくは、前記第２端子を当接させる工程Ｓ２は、前記第２端子を、前記外周絶縁領域の外周端に側方から当接させる工程である。工程Ｓ２がこのようになっていれば、外周絶縁領域の外周端の断面形状が切り立っているか丸まっているかなどを問わず、確実に端に当接させることができるからである。実施の形態１において同様のことを、検査装置の発明としての観点から既に説明している。
【００４３】
上記発明において好ましくは、図２２に示すように、電流を検出する工程Ｓ５の後に、検出された電流の値を予め保持する基準値と比較し、その結果によって前記２つの端子に対する電圧印加を続行するか否かを判断する工程Ｓ６を含む。
【００４４】
上記発明において好ましくは、前記判断する工程Ｓ６の結果として電圧印加を続行すると決定された場合には前記電圧印加部が前回よりも高い電圧を印加する工程Ｓ７を含む。このような工程Ｓ７を含んでいれば、１回目の電圧印加によって残渣が除去し切れなかった場合に、単に同じ電圧で電圧印加を続行するだけでなく、前回の電圧より高い電圧を印加することによって、前回の電圧印加時には除去し切れなかった残渣をより強力に除去することができるので好ましい。
【００４５】
図２２においては、電圧印加を続行しない場合は、「終了」とされているが、これは当該２つの端子間での電圧の印加が終了するということであって、他の組合せの２つの端子間での工程Ｓ４の電圧印加を引続き行なうことはあり得る。その場合で、その新たな２つの端子がまだ対象物に当接していない場合は、その端子を対象物に当接させる工程すなわち工程Ｓ１〜Ｓ３のうち必要な工程が行なわれてから、工程Ｓ４の電圧印加が行なわれる。
【００４６】
上記発明において好ましくは、電圧を印加する工程Ｓ４の前に、前記２つの端子の間で前記外周絶縁領域に当接している端子を前記外周絶縁領域に当接しない状態にする端子除外工程（図示せず）を含む。端子除外工程においては、たとえば図１６に示した第１状態から図１７に示した第２状態への切替えが行なわれる。
【００４７】
あるいは、たとえば図２０に示した実施例においては、第１端子３１と第２端子３２との間で電圧を印加する工程Ｓ４が行なわれる前に、端子除外工程として、間で外周絶縁領域に当接している第３端子３３ａ，３３ｂが主表面２ｕから離される。第１端子３１と第３端子３３ｂとの間で電圧を印加する工程Ｓ４が行なわれる前には、端子除外工程として、第３端子３３ａが主表面２ｕから離される。第３端子３３ａと第２端子３２との間で電圧を印加する工程Ｓ４が行なわれる前には、端子除外工程として、第３端子３３ｂが主表面２ｕから離される。もっとも、このように間に存在する端子が端子除外工程によって主表面２ｕから離されるのは、その端子が外周絶縁領域に当接している場合のみである。当初から外周絶縁領域に当接していない場合には端子除外工程は行なわれる必要はない。
【００４８】
上記発明において好ましくは、前記１以上の第３端子の数は、２である。装置の構造を複雑にしすぎず、外周絶縁領域の限られた幅の中に１以上の第３端子をすべて配置し、なおかつ、ある程度きめこまかな検査を実施するためには、第３端子の数が２程度であるのが適当であるからである。
【００４９】
上記発明において好ましくは、１以上の第３端子の各々は、略矩形状に配置された帯状の導電性部材である。１以上の第３端子の各々が帯状の導電性部材であれば、太陽電池パネルの辺に沿うように配置して当接させることによって、効率良く精度良く検査を行なうことができるからである。この点については、実施の形態１において同様のことを、検査装置の発明としての観点から既に説明している。
【００５０】
（実施の形態５）
上記各実施の形態では検査装置または検査方法に関する発明としての側面に注目して、説明してきたが、太陽電池パネルの製造方法に関する発明として把握することもできる。そこで、実施の形態５では、太陽電池パネル検査方法について説明する。
【００５１】
太陽電池パネルの製造方法は、主表面を有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域を有する光電変換素子を準備する第１工程と、前記光電変換素子に対して、実施の形態１〜３のいずれかで説明した太陽電池パネル検査装置によって検査を行なう第２工程を含む。
【００５２】
太陽電池パネルの製造方法は、主表面を有する透明絶縁基板と、前記透明絶縁基板の前記主表面に順次積層された透明電極層、半導体光電変換層および裏面電極層とを含み、前記透明絶縁基板の外周近傍に前記透明絶縁基板の前記主表面が露出する外周絶縁領域を有する光電変換素子を準備する第１工程と、前記光電変換素子に対して、実施の形態４で説明した太陽電池パネル検査方法を行なう第２工程を含む。
【００５３】
なお、第１工程の「光電変換素子を準備する」には、完成した光電変換素子を他者から調達する行為も含まれるが、その他に、透明電極層が形成されたガラス基板を他者から入手し、半導体光電変換層を形成する工程以降の工程のみを自ら実施して光電変換素子を調製するような行為も当然含まれる。第２工程では、第１工程によって準備された「光電変換素子」を未検査の太陽電池パネルとみなしてこれを対象に検査を行なう。ただし、検査の際には受動的に現状を検出するのみならず、上述したように残渣に対して電流による積極的な除去処理も行なわれ得る。
【００５４】
上述の太陽電池パネルの製造方法は、いずれも、外周絶縁領域の主表面にたとえ絶縁耐圧を低下させる残渣が残っていたとしても、第２工程において検査のための電圧を印加することによって、残渣を気化させて除去することができる。したがって、外周絶縁領域の絶縁状態が確保された太陽電池パネルを得ることができる。
【００５５】
（実施の形態６）
上述の実施の形態１〜５においては、基本的に第１端子３１を裏面電極層５に当接させるものについて説明したが、第１端子３１を透明電極層３に当接させるようにしてもよい。本発明に基づく実施の形態６として、第１端子を透明電極層に当接させる場合の構成について説明する。
【００５６】
本実施の形態における太陽電池パネル製造装置は、図２５に示すとおり、第１端子３１を透明電極層３に当接させるための構成となっている。なお、図２５は、実施の形態１の説明で用いた図１に対応する図である。
【００５７】
本実施の形態において実施の形態１と異なる点は、太陽電池パネル１００の透明電極層３が、半導体光電変換層４および裏面電極層５よりも外周側へ突出している点と、第１端子３１が透明電極層３に当接させるためのものとなっている点との２点のみである。これら以外の点については実施の形態１で説明したものと同様である。
【００５８】
本実施の形態においても、実施の形態１と同様の作用・効果が得られる。
また、他の実施の形態においても、本実施の形態と同様に、太陽電池パネル１００の透明電極層３が半導体光電変換層４および裏面電極層５よりも外周側へ突出した構造を採用し、かつ、第１端子３１を透明電極層３に当接させるようにしてもよい。そのようにしても同様の作用・効果が得られる。
【００５９】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明は、太陽電池パネル検査装置、太陽電池パネル検査方法および太陽電池パネルの製造方法に利用可能である。
【符号の説明】
【００６１】
２  透明絶縁基板、２ｕ  （透明絶縁基板の）主表面、２ｅ  （透明絶縁基板の）真の端、３  透明電極層、４  半導体光電変換層、５  裏面電極層、２１  外周絶縁領域、２３  残渣、３１  第１端子、３２  第２端子、３３，３３ａ，３３ｂ，３３ｃ  第３端子、３４  電圧印加部、３５  電流検出部、３６  判断部、３７  データ保持部、３８  第３端子切替機構、３９  リトライ制御部、１００  太陽電池パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【国際調査報告】
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