(57)【要約】  第１導電型用電極（６）の表面が第１導電型用電極（６）を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層（２０）で覆われており、第１導電型用電極（６）を覆うマイグレーション抑制層（２０）の表面および第２導電型用電極（７）の表面の少なくとも一方が絶縁性部材（１６）で覆われている太陽電池セル（８）、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールである。また、第１導電型用配線（１２）の表面が第１導電型用配線（１２）を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層（２０）で覆われており、第１導電型用配線（１２）を覆うマイグレーション抑制層（２０）の表面および第２導電型用配線（１３）の表面の少なくとも一方が絶縁性部材（１６）で覆われている配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールである。
2010150749.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板（１）と、
前記半導体基板（１）の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）と、
前記第１導電型不純物拡散領域（２）上に設置された第１導電型用電極（６）と、
前記第２導電型不純物拡散領域（３）上に設置された第２導電型用電極（７）とを有し、
前記第１導電型用電極（６）の表面が前記第１導電型用電極（６）を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層（２０）で覆われており、
前記第１導電型用電極（６）を覆う前記マイグレーション抑制層（２０）の表面および前記第２導電型用電極（７）の表面の少なくとも一方が絶縁性部材（１６）で覆われている、太陽電池セル（８）。
【請求項２】
前記マイグレーション抑制層（２０）と前記絶縁性部材（１６）とがそれぞれ、隣り合う前記第１導電型用電極（６）と前記第２導電型用電極（７）とを結ぶ直線を横切るようにして配置されている、請求の範囲第１項に記載の太陽電池セル（８）。
【請求項３】
太陽電池セル（８）と、
配線シート（１０）とを含み、
前記太陽電池セル（８）は、半導体基板（１）と、前記半導体基板（１）の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）と、前記第１導電型不純物拡散領域（２）上に設置された第１導電型用電極（６）と、前記第２導電型不純物拡散領域（３）上に設置された第２導電型用電極（７）とを有し、
前記配線シート（１０）は、絶縁性基材（１１）と、前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）と第２導電型用配線（１３）とを有しており、
前記太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に電気的に接続するように設置され、
前記太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に電気的に接続するように設置されており、
前記第１導電型用電極（６）の表面が、前記第１導電型用電極（６）を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層（２０）で覆われており、
隣り合う前記第１導電型用電極（６）と前記第２導電型用電極（７）との間における前記太陽電池セル（８）の表面の少なくとも一部と、隣り合う前記第１導電型用配線（１２）と前記第２導電型用配線（１３）との間における前記絶縁性基材（１１）の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材（１６）によって接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項４】
前記マイグレーション抑制層（２０）と前記絶縁性部材（１６）とがそれぞれ、隣り合う前記第１導電型用電極（６）と前記第２導電型用電極（７）とを結ぶ直線を横切るようにして配置されている、請求の範囲第３項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
【請求項５】
太陽電池セル（８）と、
配線シート（１０）とを含み、
前記太陽電池セル（８）は、半導体基板（１）と、前記半導体基板（１）の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域（２）および第２導電型不純物拡散領域（３）と、前記第１導電型不純物拡散領域（２）上に設置された第１導電型用電極（６）と、前記第２導電型不純物拡散領域（３）上に設置された第２導電型用電極（７）とを有し、
前記配線シート（１０）は、絶縁性基材（１１）と、前記絶縁性基材（１１）に設置された第１導電型用配線（１２）と第２導電型用配線（１３）とを有しており、
前記太陽電池セル（８）の前記第１導電型用電極（６）が前記配線シート（１０）の前記第１導電型用配線（１２）に電気的に接続するように設置され、
前記太陽電池セル（８）の前記第２導電型用電極（７）が前記配線シート（１０）の前記第２導電型用配線（１３）に電気的に接続するように設置されており、
前記第１導電型用配線（１２）の表面が、前記第１導電型用配線（１２）を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層（２０）で覆われており、
隣り合う前記第１導電型用電極（６）と前記第２導電型用電極（７）との間における前記太陽電池セル（８）の表面の少なくとも一部と、隣り合う前記第１導電型用配線（１２）と前記第２導電型用配線（１３）との間における前記絶縁性基材（１１）の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材（１６）によって接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項６】
前記マイグレーション抑制層（２０）と前記絶縁性部材（１６）とがそれぞれ、隣り合う前記第１導電型用配線（１２）と前記第２導電型用配線（１３）とを結ぶ直線を横切るようにして配置されている、請求の範囲第５項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
【請求項７】
請求の範囲第３項から第６項のいずれかに記載の配線シート付き太陽電池セルの前記太陽電池セル（８）が封止材に封止されてなる、太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルは次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルの種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池セルが主流となっている。【０００３】
現在、最も多く製造および販売されている太陽電池セルは、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成のものである。【０００４】
また、たとえば特許文献１（特開２００５−３１０８３０号公報）には、太陽電池セルの受光面には電極を形成せず、太陽電池セルの裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池セルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３１０８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の特許文献１に開示された構成の裏面電極型太陽電池セル単体では利用できる電気エネルギが限られる。そのため、上記構成の裏面電極型太陽電池セルの複数を電気的に接続して太陽電池モジュールとする方法が検討されている。【０００７】
ここで、裏面電極型太陽電池セルの複数を電気的に接続することによって太陽電池モジュールとする方法としては、裏面電極型太陽電池セルが配線シート上に設置された配線シート付き太陽電池セルを封止材に封止することによって太陽電池モジュールとする方法が考えられている。【０００８】
以下、図１２（ａ）および図１２（ｂ）の模式的断面図を参照して、上記の配線シート付き太陽電池セルを封止材に封止することによって太陽電池モジュールを作製する方法の一例について説明する。【０００９】
まず、図１２（ａ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８０と配線シート１００とを絶縁性接着剤１１６によって接着することによって配線シート付き太陽電池セルを作製する。【００１０】
ここで、配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６が配線シート１００の絶縁性基材１１上に形成された第１導電型用配線１２上に設置されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の裏面の第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７が配線シート１００の絶縁性基材１１上に形成された第２導電型用配線１３上に設置される。【００１１】
なお、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造が形成されており、そのテクスチャ構造上に反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。【００１２】
次に、図１２（ｂ）に示すように、上記のようにして作製された配線シート付き太陽電池セルをエチレンビニルアセテートなどの封止材１８を備えたガラス基板などの透明基板１７と、封止材１８を備えたポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間に挟み込み、配線シート付き太陽電池セルを構成する裏面電極型太陽電池セル８０を封止材１８中に封止することによって太陽電池モジュールが作製される。【００１３】
上記の方法によれば、裏面電極型太陽電池セル８０を配線シート１００上に設置するだけで、複数の裏面電極型太陽電池セル８０を電気的に接続することができるため、太陽電池モジュールを効率的に製造することができる。【００１４】
上記の方法で製造された太陽電池モジュールにおいては、太陽電池モジュールの使用時に異なる導電型用の電極間および配線間に電位差が生じ、その電位差に起因する電界によってマイグレーション（イオンマイグレーション）現象が生じることがあった。【００１５】
上記の太陽電池モジュールにおいては、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の距離および隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の距離が近いため、電極または配線を構成する金属が、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間、および隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間に析出した後に移動して絶縁抵抗を低下させてしまい、太陽電池モジュールの特性が低下することがあったため、その改善が要望されていた。【００１６】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、太陽電池モジュールの特性の低下を抑制することができる太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、第１導電型用電極の表面が第１導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、第１導電型用電極を覆うマイグレーション抑制層の表面および第２導電型用電極の表面の少なくとも一方が絶縁性部材で覆われている太陽電池セルである。【００１８】
ここで、本発明の太陽電池セルにおいては、マイグレーション抑制層と絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。【００１９】
また、本発明は、太陽電池セルと、配線シートとを含み、太陽電池セルは、半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に電気的に接続するように設置され、太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に電気的に接続するように設置されており、第１導電型用電極の表面が、第１導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極との間における太陽電池セルの表面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線と第２導電型用配線との間における絶縁性基材の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材によって接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。【００２０】
ここで、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいては、マイグレーション抑制層と絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。【００２１】
また、本発明は、太陽電池セルと、配線シートとを含み、太陽電池セルは、半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に電気的に接続するように設置され、太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に電気的に接続するように設置されており、第１導電型用配線の表面が、第１導電型用配線を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極との間における太陽電池セルの表面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線と第２導電型用配線との間における絶縁性基材の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材によって接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。【００２２】
ここで、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいては、マイグレーション抑制層と絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う第１導電型用配線と第２導電型用配線とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。【００２３】
さらに、本発明は、上記のいずれかに記載の配線シート付き太陽電池セルの太陽電池セルが封止材に封止されてなる、太陽電池モジュールである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、太陽電池モジュールの特性の低下を抑制することができる太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｈ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図５】本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの一例の模式的な平面図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、本発明の配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図７】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの製造方法の他の一例について図解する模式的な断面図である。
【図９】本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの他の一例の模式的な平面図である。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、本発明の配線シート付き太陽電池セルの製造方法の他の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１１】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１２】（ａ）および（ｂ）は、配線シート付き太陽電池セルを封止材に封止することによって太陽電池モジュールを作製する方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２７】
＜実施の形態１＞
図１に、本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図を示す。図１に示す構成の太陽電池モジュールは、裏面電極型太陽電池セル８が配線シート１０上に設置された配線シート付き太陽電池セルがガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止された構成となっている。
【００２８】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、半導体基板１と、半導体基板１の裏面に形成された第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３と、第１導電型不純物拡散領域２に接するようにして形成された第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に接するようにして形成された第２導電型用電極７とを含んでいる。
【００２９】
また、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造などの凹凸構造が形成されており、その凹凸構造を覆うようにして反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。
【００３０】
また、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されており、第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されている。
【００３１】
なお、この例においては、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３はそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とは半導体基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。
【００３２】
また、この例においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれパッシベーション膜４に設けられた開口部を通して、半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３に沿って、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３にそれぞれ接するようにして形成されている。
【００３３】
一方、配線シート１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の表面上において所定の形状に形成された第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３とを含んでいる。
【００３４】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第１導電型用配線１２は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３５】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第２導電型用配線１３は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第２導電型用電極７と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３６】
なお、この例においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されている。
【００３７】
そして、上記の裏面電極型太陽電池セル８と上記の配線シート１０とが絶縁性部材１６で接着されることによって配線シート付き太陽電池セルが形成されている。
【００３８】
ここで、配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６がマイグレーション抑制層２０を介して配線シート１０の第１導電型用配線１２に電気的に接続されるように設置されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７がマイグレーション抑制層２０を介して配線シート１０の第２導電型用配線１３に電気的に接続されるように設置されている。
【００３９】
そして、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【００４０】
以下、図１に示す構成の太陽電池モジュールの製造方法の一例について説明する。なお、以下においては、裏面電極型太陽電池セル８の形成方法を最初に説明した後に、配線シート１０の形成方法を次に説明し、続いて、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを接着して配線シート付き太陽電池セルを形成する方法を説明し、最後に太陽電池モジュールを形成する方法について説明するが、本発明においては、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０の形成順序については特に限定されない。
【００４１】
まず、図２（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意する。ここで、半導体基板１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型のいずれかの導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。
【００４２】
次に、図２（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば半導体基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。
【００４３】
ここで、スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば５０μｍ以上４００μｍ以下とすることができ、特に１６０μｍ程度とすることが好ましい。
【００４４】
次に、図２（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、たとえば、第１導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、第２導電型不純物拡散領域３は、たとえば、第２導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。
【００４５】
ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、第１導電型不純物を含み、ｎ型またはｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第１導電型不純物としては、第１導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第１導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４６】
また、第２導電型不純物拡散領域３は、第２導電型不純物を含み、第１導電型不純物拡散領域２とは逆の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第２導電型不純物としては、第２導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第２導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４７】
なお、第１導電型はｎ型またはｐ型のいずれの導電型であってもよく、第２導電型は第１導電型と反対の導電型であればよい。すなわち、第１導電型がｎ型のときは第２導電型がｐ型となり、第１導電型がｐ型のときは第２導電型がｎ型となる。
【００４８】
また、第１導電型不純物を含むガスとしては、第１導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第１導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００４９】
また、第２導電型不純物を含むガスとしては、第２導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第２導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００５０】
次に、図２（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などの方法により形成することができる。
【００５１】
ここで、パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではなく、絶縁性物質として安定している膜であればよい。
【００５２】
また、パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【００５３】
次に、図２（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。
【００５４】
ここで、テクスチャ構造は、たとえば、半導体基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、半導体基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。
【００５５】
また、反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００５６】
次に、図２（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。
【００５７】
なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。
【００５８】
次に、図２（ｇ）の模式的断面図に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６とコンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成した後に、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成するとともに、第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成する。
【００５９】
その後、図２（ｈ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面を覆うマイグレーション抑制層２０をさらに覆うようにして絶縁性部材１６を配置することによって、裏面電極型太陽電池セル８を作製する。
【００６０】
なお、裏面電極型太陽電池セル８を後述する配線シート１０と接続する場合には、図２（ｈ）に示す絶縁性部材１６を形成しなくてもよく、若しくは、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間のパッシベーション膜４の表面のみに絶縁性部材１６を形成してもよい。これらの場合には、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６と配線シート１０の第１導電型用配線１２との電気的な接続、および裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７と配線シート１０の第２導電型用配線１３との電気的な接続の際に、絶縁性部材１６が電極と配線との間に入り込んで電気的な接続を阻害するのを防止することができる。
【００６１】
ここで、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としては、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができるが、特に銀に限定されるものではない。
【００６２】
また、マイグレーション抑制層２０としては、第１導電型用電極６を構成する金属および／または第２導電型用電極７を構成する金属の析出を抑制することができる層を用いることができ、たとえば、スズ、パラジウム、金、白金、クロム、鉄、ニッケルおよび鉛からなる群から選択された少なくとも１種の金属を含む酸化物、化合物または合金からなる層を用いることができる。なお、マイグレーション抑制層２０は、単層であってもよく、複数の層から構成されていてもよい。
【００６３】
マイグレーション抑制層２０は、たとえば、従来から公知のクリーム半田などをスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布した後に焼成することによって形成することができる。
【００６４】
また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの高さは、たとえば５μｍ以上５０μｍ以下とすることができ、特に１５μｍ程度とすることが好ましい。
【００６５】
図３（ａ）に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８の裏面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、裏面電極型太陽電池セル８の裏面においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ帯状に形成されており、帯状の第１導電型用電極６と帯状の第２導電型用電極７とはそれぞれ１本ずつ交互に間隔をあけて配列されている。そして、第１導電型用電極６の側壁および下面、ならびに第２導電型用電極７の側壁および下面はそれぞれマイグレーション抑制層２０により覆われている。そして、裏面電極型太陽電池セル８の裏面全体を覆うように絶縁性部材１６が配置されている。
【００６６】
たとえば図３（ａ）において、裏面電極型太陽電池セル８からの電力を第１導電型用電極６の下面６ｂ全体または第２導電型用電極７の下面７ｂ全体から取り出さずに、第１導電型用電極６の左端と第２導電型用電極７の右端とから電力を取り出す場合には、裏面電極型太陽電池セル８の裏面全体に絶縁性部材１６を一旦配置してから、電力を取り出す箇所に位置する絶縁性部材１６を除去して、電極との電気的な接続を可能としてもよい。
【００６７】
図３（ｂ）に、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の他の一例の模式的な平面図を示す。図３（ｂ）に示すように、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間のパッシベーション膜４の表面に絶縁性部材１６を形成してもよい。この場合には、第１導電型用電極６の下面６ｂおよび第２導電型用電極７の下面７ｂにはそれぞれ絶縁性部材１６が配置されていないため、第１導電型用電極６の下面６ｂおよび第２導電型用電極７の下面７ｂを介しての電気的な接続が阻害されることなく、第１導電型用電極６の下面６ｂのほぼ全体または第２導電型用電極７の下面７ｂのほぼ全体から裏面電極型太陽電池セル８からの電力を取り出すことができる。
【００６８】
図３（ａ）および図３（ｂ）のいずれの場合においても、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部に絶縁性部材１６が密着していることが好ましく、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線上には絶縁性部材１６が配置されていることがより好ましい。マイグレーションは、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線上に発生する電界に沿って金属が析出して移動する現象である。そのため、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線上に絶縁性部材１６を配置することによって、これらの電極から析出された金属の移動を食い止めることができる。
【００６９】
なお、絶縁性部材１６をたとえば液状などの流動性が高い状態とすることができる場合には、図３（ａ）に示すように、第１導電型用電極６の下面６ｂのほぼ全体および第２導電型用電極７の下面７ｂのほぼ全体から裏面電極型太陽電池セル８で発電した電力を取り出すようにしてもよい。すなわち、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部に絶縁性部材１６が密着していることと、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７から電力を取り出せることと、を両立することができれば、絶縁性部材１６の配置箇所に制限はない。
【００７０】
また、配線シート１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。まず、図４（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基材１１の表面上に導電層４１を形成する。ここで、絶縁性基材１１としては、たとえば、ポリエステル、ポリエチレンナフタレートまたはポリイミドなどの樹脂からなる基板を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７１】
また、絶縁性基材１１の厚みは、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができ、特に２５μｍ程度とすることが好ましい。
【００７２】
また、導電層４１としては、たとえば、銅などの金属からなる層を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７３】
次に、図４（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基材１１の表面の導電層４１上にレジストパターン４２を形成する。ここで、レジストパターン４２は、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形成箇所以外の箇所に開口を有する形状に形成する。レジストパターン４２を構成するレジストとしてはたとえば従来から公知のものを用いることができ、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布される。
【００７４】
次に、図４（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン４２から露出している箇所の導電層４１を矢印４３の方向に除去することによって導電層４１のパターンニングを行ない、導電層４１の残部から第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成する。
【００７５】
ここで、導電層４１の除去は、たとえば、酸やアルカリの溶液を用いたウエットエッチングなどによって行なうことができるが、これに限定されるものではない。また、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の幅は、たとえば３００μｍ以上１ｍｍ以下とすることができ、特に５００μｍ程度とすることが好ましいが、これに限定されるものではない。
【００７６】
次に、図４（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面からレジストパターン４２をすべて除去することによって、配線シート１０が作製される。
【００７７】
図５に、上記のようにして作製した配線シート１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線シート１０の絶縁性基板１１の表面上において、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３はそれぞれ帯状に形成されている。また、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上には帯状の接続用配線１４が形成されており、接続用配線１４によって第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とが電気的に接続されている。なお、接続用配線１４は、たとえば、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３と同様に、導電層４１の残部から形成することができる。
【００７８】
その後、図６（ａ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性部材１６を塗布した後に、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６を設置するとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３上に裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７を設置する。ここで、絶縁性部材１６は、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布することができる。
【００７９】
また、絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、を密着して接着することができる絶縁性接着材であることが好ましい。
【００８０】
その後、たとえば加熱または紫外線照射などの方法により絶縁性部材１６である絶縁性接着材を硬化させることによって、図６（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が配線シート１０の第１導電型用配線１２とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が配線シート１０の第２導電型用配線１３とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続された状態で絶縁性部材１６によって裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とが接着された構成の配線シート付き太陽電池セルが形成される。
【００８１】
このとき、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材１６によって接合されている。
【００８２】
ここで、絶縁性部材１６としては、たとえば、隣り合う電極間または隣り合う配線間に電流が流れない程度の電気絶縁性を少なくとも有するとともに裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との貼り合わせが可能なものなどを用いることができる。
【００８３】
より詳細には、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間から露出しているパッシベーション膜４などの絶縁性物質と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間から露出している絶縁性基材１１と、にそれぞれ密着して接着できる絶縁性接着材を絶縁性部材１６として用いることができる。絶縁性部材１６は、電気抵抗が十分に高く、金属イオンと結合できる成分の含有量が少なく、水分がほとんど浸入しないといった特性を有していることが好ましい。具体的には、電子部品やチップを配線基板に封止するためのアンダーフィラー樹脂（ThreeBond社製のThreeBond2202）などが好適である。
【００８４】
その後は、図１に示すように、上記のようにして作製した配線シート付き太陽電池セルをガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止することによって本発明の太陽電池モジュールの一例が作製される。
【００８５】
なお、加熱によって絶縁性部材１６である絶縁性接着材を硬化させる場合には、裏面電極型太陽電池セル８を封止材１８中に封止するのと同時に硬化させてもよい。
【００８６】
上述したように、図１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されているとともに、第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されている。そして、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【００８７】
したがって、図１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われている。そのため、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する銀などの金属が太陽電池モジュールの使用時に、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に発生する電位差に起因する電界によるマイグレーション現象によって析出するのを抑制することができる。
【００８８】
なお、マイグレーション抑制層２０を構成する材料に金属が含まれる場合には、第１導電型用電極６を覆うマイグレーション抑制層２０の表面と第２導電型用電極７を覆うマイグレーション抑制層２０の表面との間の電界によって、マイグレーション抑制層２０を構成する金属が析出することがある。しかしながら、マイグレーションの起こりやすさは金属材料ごとに大きく異なるため、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する銀などの金属よりもマイグレーションが起こり難い金属材料（電極が銀の場合は、錫、パラジウム、金、白金、クロム、鉄、ニッケル、鉛など）をマイグレーション抑制層２０に用いることによって、マイグレーションの進行を抑制することができる。
【００８９】
また、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、の間に絶縁性部材１６が配置されている。そのため、マイグレーションによって金属が析出したとしても、絶縁性部材１６によってその移動を食い止めることができ、さらには絶縁性部材１６によって、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の絶縁性能が低下するのを防止することができる。これにより、従来と比較して、マイグレーションに起因する太陽電池モジュールの特性の低下を有効に抑止することができる。
【００９０】
絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。マイグレーションは電界に沿って金属が析出して移動する現象であるため、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することにより、マイグレーションにより析出した金属の移動を絶縁性部材１６で食い止めることができる。
【００９１】
なお、上記においては、第１導電型用電極６の側壁６ａおよび下面６ｂ、ならびに第２導電型用電極７の側壁７ａおよび下面７ｂにそれぞれマイグレーション抑制層２０を形成する構成について説明したが、図１または図６に示されるように、第１導電型用電極６の下面６ｂならびに第２導電型用電極７の下面７ｂが配線などの導電性部材によって覆われている場合には、第１導電型用電極６の側壁６ａのみおよび第２導電型用電極７の側壁７ａのみにマイグレーション抑制層２０を形成してもよい。
【００９２】
また、マイグレーション抑制層２０は、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６と配線シート１０の第１導電型用配線１２とが電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７と配線シート１０の第２導電型用配線１３とが電気的に接続されるために導電性であることが好ましいが、第１導電型用電極６の下面６ｂと第１導電型用配線１２とが直接接触し、第２導電型用電極７の下面７ｂと第２導電型用配線１３とが直接接触するなどの構造であれば、必ずしも導電性である必要はない。
【００９３】
また、第１導電型用電極６の表面および第２導電型用電極７の表面の少なくとも一方がマイグレーション抑制層２０で覆われていればよいが、マイグレーションによる金属の析出をより効果的に抑える観点からは第１導電型用電極６の表面および第２導電型用電極７の表面の双方がそれぞれマイグレーション抑制層２０で覆われていることが好ましい。なお、第１導電型用電極６の表面のみがマイグレーション抑制層２０で覆われている場合には、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することになる。
【００９４】
また、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板の一方の表面側（裏面側）のみに第１導電型用電極および第２導電型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal  Wrap  Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面側と反対側の裏面側から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
【００９５】
また、本発明における配線シート付き太陽電池セルの概念には、複数の太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成のみならず、１つの太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成も含まれる。
【００９６】
＜実施の形態２＞
図７に、本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図を示す。図７に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が設置されているとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が設置されている点に特徴がある。
【００９７】
以下、図７に示す構成の太陽電池モジュールの製造方法の一例について説明する。図７に示す構成の太陽電池モジュールに用いられる裏面電極型太陽電池セル８については、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面および第２導電型用電極７の表面にそれぞれマイグレーション抑制層２０を形成しないこと以外は実施の形態１と同様にして作製することができる。
【００９８】
また、図７に示す構成の太陽電池モジュールに用いられる配線シート１０は、たとえば図８（ａ）〜図８（ｄ）の模式的平面図に示すようにして作製することができる。
【００９９】
まず、図８（ａ）に示すように絶縁性基材１１の表面上に導電層４１を形成した後に、図８（ｂ）に示すように絶縁性基材１１の表面の導電層４１上にレジストパターン４２を形成する。
【０１００】
次に、図８（ｃ）に示すように、レジストパターン４２から露出している箇所の導電層４１を矢印４３の方向に除去することによって導電層４１のパターンニングを行ない、導電層４１の残部から第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成する。
【０１０１】
その後、図８（ｄ）に示すように、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面からレジストパターン４２をすべて除去した後に、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成するとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成することによって、配線シート１０が作製される。
【０１０２】
図９に、上記のようにして作製した配線シート１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線シート１０の絶縁性基板１１の表面上においてそれぞれ帯状に形成されている第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の表面はそれぞれマイグレーション抑制層２０で被覆されている。
【０１０３】
また、本実施の形態における配線シート付き太陽電池セルは、たとえば以下のようにして作製することができる。
【０１０４】
まず、図１０（ａ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性部材１６である絶縁性接着材を塗布した後に、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６を設置するとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３上に裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７を設置する。
【０１０５】
これにより、図１０（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が配線シート１０の第１導電型用配線１２とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が配線シート１０の第２導電型用配線１３とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続された状態で絶縁性部材１６によって裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とが接着された構成の配線シート付き太陽電池セルが形成される。
【０１０６】
その後は、図７に示すように、上記のようにして作製した配線シート付き太陽電池セルをガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止することによって本発明の太陽電池モジュールの一例が作製される。
【０１０７】
このとき、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【０１０８】
上述したように、図７に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されているとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されている。そして、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【０１０９】
したがって、図７に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われている。そのため、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する銅などの金属が太陽電池モジュールの使用時に隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間に発生する電位差に起因する電界によるマイグレーション現象によって析出するのを抑制することができる。
【０１１０】
なお、マイグレーション抑制層２０を構成する材料に金属が含まれる場合には、第１導電型用配線１２を覆うマイグレーション抑制層２０の表面と第２導電型用配線１３を覆うマイグレーション抑制層２０の表面との間の電界によって、マイグレーション抑制層２０を構成する金属が析出することがある。しかしながら、マイグレーションの起こりやすさは金属材料ごとに大きく異なるため、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する銅などの金属よりもマイグレーションが起こり難い金属材料（配線が銅の場合は、錫、パラジウム、金、白金、クロム、鉄、ニッケル、鉛など）をマイグレーション抑制層２０に用いることによって、マイグレーションの進行を抑制することができる。
【０１１１】
また、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、の間に絶縁性部材１６が配置されている。そのため、マイグレーションによって金属が析出したとしても、絶縁性部材１６によってその移動を食い止めることができ、さらには絶縁性部材１６によって隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の絶縁性能が低下するのを防止することができる。これにより、従来と比較して、マイグレーションに起因する太陽電池モジュールの特性の低下を有効に抑止することができる。
【０１１２】
絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。マイグレーションは電界に沿って金属が析出して移動する現象であるため、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することにより、マイグレーションにより析出した金属の移動を絶縁性部材１６で食い止めることができる。
【０１１３】
なお、上記においては、第１導電型用配線１２の側壁１２ａおよび上面１２ｂ、ならびに第２導電型用配線１３の側壁１３ａおよび上面１３ｂにそれぞれマイグレーション抑制層２０を形成する構成について説明したが、第１導電型用配線１２の側壁１２ａのみおよび第２導電型用配線１３の側壁１３ａのみにマイグレーション抑制層２０を形成してもよい。
【０１１４】
また、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面の少なくとも一方がマイグレーション抑制層２０で覆われていればよいが、マイグレーションによる金属の析出をより効果的に抑える観点からは第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面の双方がそれぞれマイグレーション抑制層２０で覆われていることが好ましい。なお、第１導電型用配線１２の表面のみがマイグレーション抑制層２０で覆われている場合には、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することになる。
【０１１５】
また、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【０１１６】
＜実施の形態３＞
図１１に、本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図を示す。図１１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）ならびに第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）をそれぞれ覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成するとともに、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）ならびに第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が設置されている点に特徴がある。
【０１１７】
したがって、図１１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われているとともに、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われている。そのため、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する銀などの金属ならびに第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する銅などの金属が、太陽電池モジュールの使用時に、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に発生する電位差および／または隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間に発生する電位差に起因する電界によるマイグレーション現象によって析出するのを抑制することができる。これにより、従来と比較して、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する金属、ならびに第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する金属の析出および移動に起因する太陽電池モジュールの特性の低下をさらに有効に抑止することができる。
【０１１８】
また、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、の間に絶縁性部材１６が配置されている。そのため、マイグレーションによって金属が析出したとしても、絶縁性部材１６によってその移動を食い止めることができ、さらには絶縁性部材１６によって、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間および／または隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の絶縁性能が低下するのを防止することができる。これにより、従来と比較して、マイグレーションに起因する太陽電池モジュールの特性の低下を有効に抑止することができる。
【０１１９】
絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７とを結ぶ直線を横切るようにして配置されているとともに、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。マイグレーションは電界に沿って金属が析出して移動する現象であるため、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７とを結ぶ直線を横切るように、かつ隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することにより、マイグレーションにより析出した金属の移動を絶縁性部材１６で効果的に食い止めることができる。
【０１２０】
なお、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１および実施の形態２と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【０１２１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１２２】
本発明は、太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに利用することができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１  半導体基板、１ａ  スライスダメージ、２  第１導電型不純物拡散領域、３  第２導電型不純物拡散領域、４  パッシベーション膜、４ａ，４ｂ  コンタクトホール、５  反射防止膜、６  第１導電型用電極、６ａ  側壁、６ｂ  下面、７  第２導電型用電極、７ａ  側壁、７ｂ  下面、８，８０  裏面電極型太陽電池セル、１０，１００  配線シート、１１  絶縁性基材、１２  第１導電型用配線、１２ａ  側壁、１２ｂ  上面、１３  第２導電型用配線、１３ａ  側壁、１３ｂ  上面、１４  接続用配線、１６  絶縁性部材、１７  透明基板、１８  封止材、１９  バックフィルム、２０  マイグレーション抑制層、４１  導電層、４２  レジストパターン、４３  矢印、１１６  絶縁性接着剤。
【図１】
2010150749.tif 000003
【図２】
2010150749.tif 000004
【図３】
2010150749.tif 000005
【図４】
2010150749.tif 000006
【図５】
2010150749.tif 000007
【図６】
2010150749.tif 000008
【図７】
2010150749.tif 000009
【図８】
2010150749.tif 000010
【図９】
2010150749.tif 000011
【図１０】
2010150749.tif 000012
【図１１】
2010150749.tif 000013
【図１２】
2010150749.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月22日(2011.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルは次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルの種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池セルが主流となっている。
【０００３】
現在、最も多く製造および販売されている太陽電池セルは、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成のものである。
【０００４】
また、たとえば特許文献１（特開２００５−３１０８３０号公報）には、太陽電池セルの受光面には電極を形成せず、太陽電池セルの裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池セルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３１０８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の特許文献１に開示された構成の裏面電極型太陽電池セル単体では利用できる電気エネルギが限られる。そのため、上記構成の裏面電極型太陽電池セルの複数を電気的に接続して太陽電池モジュールとする方法が検討されている。
【０００７】
ここで、裏面電極型太陽電池セルの複数を電気的に接続することによって太陽電池モジュールとする方法としては、裏面電極型太陽電池セルが配線シート上に設置された配線シート付き太陽電池セルを封止材に封止することによって太陽電池モジュールとする方法が考えられている。
【０００８】
以下、図１２（ａ）および図１２（ｂ）の模式的断面図を参照して、上記の配線シート付き太陽電池セルを封止材に封止することによって太陽電池モジュールを作製する方法の一例について説明する。
【０００９】
まず、図１２（ａ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８０と配線シート１００とを絶縁性接着剤１１６によって接着することによって配線シート付き太陽電池セルを作製する。
【００１０】
ここで、配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６が配線シート１００の絶縁性基材１１上に形成された第１導電型用配線１２上に設置されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の裏面の第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７が配線シート１００の絶縁性基材１１上に形成された第２導電型用配線１３上に設置される。
【００１１】
なお、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造が形成されており、そのテクスチャ構造上に反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池セル８０の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。
【００１２】
次に、図１２（ｂ）に示すように、上記のようにして作製された配線シート付き太陽電池セルをエチレンビニルアセテートなどの封止材１８を備えたガラス基板などの透明基板１７と、封止材１８を備えたポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間に挟み込み、配線シート付き太陽電池セルを構成する裏面電極型太陽電池セル８０を封止材１８中に封止することによって太陽電池モジュールが作製される。
【００１３】
上記の方法によれば、裏面電極型太陽電池セル８０を配線シート１００上に設置するだけで、複数の裏面電極型太陽電池セル８０を電気的に接続することができるため、太陽電池モジュールを効率的に製造することができる。
【００１４】
上記の方法で製造された太陽電池モジュールにおいては、太陽電池モジュールの使用時に異なる導電型用の電極間および配線間に電位差が生じ、その電位差に起因する電界によってマイグレーション（イオンマイグレーション）現象が生じることがあった。
【００１５】
上記の太陽電池モジュールにおいては、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の距離および隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の距離が近いため、電極または配線を構成する金属が、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間、および隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間に析出した後に移動して絶縁抵抗を低下させてしまい、太陽電池モジュールの特性が低下することがあったため、その改善が要望されていた。
【００１６】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、太陽電池モジュールの特性の低下を抑制することができる太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、第１導電型用電極の表面が第１導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、第１導電型用電極を覆うマイグレーション抑制層の表面および第２導電型用電極の表面の少なくとも一方が絶縁性部材で覆われている太陽電池セルである。
【００１８】
ここで、本発明の太陽電池セルにおいては、マイグレーション抑制層と絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。また、本発明の太陽電池セルにおいては、第２導電型用電極の表面が第２導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するための第２のマイグレーション抑制層で覆われており、第１導電型用電極と第１導電型用電極に隣り合う第２導電型用電極との間において、第１導電型用電極側から、マイグレーション抑制層、絶縁性部材および第２のマイグレーション抑制層の順で、太陽電池セルの表面に接していることが好ましい。
【００１９】
また、本発明は、太陽電池セルと、配線シートとを含み、太陽電池セルは、半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に電気的に接続するように設置され、太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に電気的に接続するように設置されており、第１導電型用電極の表面が、第１導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極との間における太陽電池セルの表面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線と第２導電型用配線との間における絶縁性基材の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材によって接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。
【００２０】
ここで、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいては、マイグレーション抑制層と絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。また、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいては、第２導電型用電極の表面が第２導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するための第２のマイグレーション抑制層で覆われており、第１導電型用電極と第１導電型用電極に隣り合う第２導電型用電極との間において、第１導電型用電極側から、マイグレーション抑制層、絶縁性部材および第２のマイグレーション抑制層の順で、太陽電池セルの表面に接していることが好ましい。
【００２１】
また、本発明は、太陽電池セルと、配線シートとを含み、太陽電池セルは、半導体基板と、半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、太陽電池セルの第１導電型用電極が配線シートの第１導電型用配線に電気的に接続するように設置され、太陽電池セルの第２導電型用電極が配線シートの第２導電型用配線に電気的に接続するように設置されており、第１導電型用配線の表面が、第１導電型用配線を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、隣り合う第１導電型用電極と第２導電型用電極との間における太陽電池セルの表面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線と第２導電型用配線との間における絶縁性基材の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材によって接合されている、配線シート付き太陽電池セルである。
【００２２】
ここで、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいては、マイグレーション抑制層と絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う第１導電型用配線と第２導電型用配線とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。また、本発明の配線シート付き太陽電池セルにおいては、第２導電型用電極の表面が第２導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するための第２のマイグレーション抑制層で覆われており、第１導電型用電極と第１導電型用電極に隣り合う第２導電型用電極との間において、第１導電型用電極側から、マイグレーション抑制層、絶縁性部材および第２のマイグレーション抑制層の順で、太陽電池セルの表面に接していることが好ましい。
【００２３】
さらに、本発明は、上記のいずれかに記載の配線シート付き太陽電池セルの太陽電池セルが封止材に封止されてなる、太陽電池モジュールである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、太陽電池モジュールの特性の低下を抑制することができる太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｈ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図５】本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの一例の模式的な平面図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、本発明の配線シート付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図７】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの製造方法の他の一例について図解する模式的な断面図である。
【図９】本発明の太陽電池モジュールに用いられる配線シートの他の一例の模式的な平面図である。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、本発明の配線シート付き太陽電池セルの製造方法の他の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１１】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図１２】（ａ）および（ｂ）は、配線シート付き太陽電池セルを封止材に封止することによって太陽電池モジュールを作製する方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２７】
＜実施の形態１＞
図１に、本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図を示す。図１に示す構成の太陽電池モジュールは、裏面電極型太陽電池セル８が配線シート１０上に設置された配線シート付き太陽電池セルがガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止された構成となっている。
【００２８】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８は、半導体基板１と、半導体基板１の裏面に形成された第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３と、第１導電型不純物拡散領域２に接するようにして形成された第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に接するようにして形成された第２導電型用電極７とを含んでいる。
【００２９】
また、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造などの凹凸構造が形成されており、その凹凸構造を覆うようにして反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池セル８の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。
【００３０】
また、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されており、第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されている。
【００３１】
なお、この例においては、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３はそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とは半導体基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。
【００３２】
また、この例においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれパッシベーション膜４に設けられた開口部を通して、半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３に沿って、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３にそれぞれ接するようにして形成されている。
【００３３】
一方、配線シート１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の表面上において所定の形状に形成された第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３とを含んでいる。
【００３４】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第１導電型用配線１２は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３５】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１上の第２導電型用配線１３は、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第２導電型用電極７と互いに１本ずつ向かい合う形状に形成されている。
【００３６】
なお、この例においては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されている。
【００３７】
そして、上記の裏面電極型太陽電池セル８と上記の配線シート１０とが絶縁性部材１６で接着されることによって配線シート付き太陽電池セルが形成されている。
【００３８】
ここで、配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６がマイグレーション抑制層２０を介して配線シート１０の第１導電型用配線１２に電気的に接続されるように設置されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７がマイグレーション抑制層２０を介して配線シート１０の第２導電型用配線１３に電気的に接続されるように設置されている。
【００３９】
そして、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【００４０】
以下、図１に示す構成の太陽電池モジュールの製造方法の一例について説明する。なお、以下においては、裏面電極型太陽電池セル８の形成方法を最初に説明した後に、配線シート１０の形成方法を次に説明し、続いて、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを接着して配線シート付き太陽電池セルを形成する方法を説明し、最後に太陽電池モジュールを形成する方法について説明するが、本発明においては、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０の形成順序については特に限定されない。
【００４１】
まず、図２（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意する。ここで、半導体基板１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型のいずれかの導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。
【００４２】
次に、図２（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば半導体基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。
【００４３】
ここで、スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば５０μｍ以上４００μｍ以下とすることができ、特に１６０μｍ程度とすることが好ましい。
【００４４】
次に、図２（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、たとえば、第１導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、第２導電型不純物拡散領域３は、たとえば、第２導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。
【００４５】
ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、第１導電型不純物を含み、ｎ型またはｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第１導電型不純物としては、第１導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第１導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４６】
また、第２導電型不純物拡散領域３は、第２導電型不純物を含み、第１導電型不純物拡散領域２とは逆の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第２導電型不純物としては、第２導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第２導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４７】
なお、第１導電型はｎ型またはｐ型のいずれの導電型であってもよく、第２導電型は第１導電型と反対の導電型であればよい。すなわち、第１導電型がｎ型のときは第２導電型がｐ型となり、第１導電型がｐ型のときは第２導電型がｎ型となる。
【００４８】
また、第１導電型不純物を含むガスとしては、第１導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第１導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００４９】
また、第２導電型不純物を含むガスとしては、第２導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第２導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００５０】
次に、図２（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などの方法により形成することができる。
【００５１】
ここで、パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではなく、絶縁性物質として安定している膜であればよい。
【００５２】
また、パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【００５３】
次に、図２（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。
【００５４】
ここで、テクスチャ構造は、たとえば、半導体基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、半導体基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。
【００５５】
また、反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００５６】
次に、図２（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。
【００５７】
なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。
【００５８】
次に、図２（ｇ）の模式的断面図に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６とコンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成した後に、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成するとともに、第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成する。
【００５９】
その後、図２（ｈ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面を覆うマイグレーション抑制層２０をさらに覆うようにして絶縁性部材１６を配置することによって、裏面電極型太陽電池セル８を作製する。
【００６０】
なお、裏面電極型太陽電池セル８を後述する配線シート１０と接続する場合には、図２（ｈ）に示す絶縁性部材１６を形成しなくてもよく、若しくは、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間のパッシベーション膜４の表面のみに絶縁性部材１６を形成してもよい。これらの場合には、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６と配線シート１０の第１導電型用配線１２との電気的な接続、および裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７と配線シート１０の第２導電型用配線１３との電気的な接続の際に、絶縁性部材１６が電極と配線との間に入り込んで電気的な接続を阻害するのを防止することができる。
【００６１】
ここで、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としては、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができるが、特に銀に限定されるものではない。
【００６２】
また、マイグレーション抑制層２０としては、第１導電型用電極６を構成する金属および／または第２導電型用電極７を構成する金属の析出を抑制することができる層を用いることができ、たとえば、スズ、パラジウム、金、白金、クロム、鉄、ニッケルおよび鉛からなる群から選択された少なくとも１種の金属を含む酸化物、化合物または合金からなる層を用いることができる。なお、マイグレーション抑制層２０は、単層であってもよく、複数の層から構成されていてもよい。
【００６３】
マイグレーション抑制層２０は、たとえば、従来から公知のクリーム半田などをスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布した後に焼成することによって形成することができる。
【００６４】
また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの高さは、たとえば５μｍ以上５０μｍ以下とすることができ、特に１５μｍ程度とすることが好ましい。
【００６５】
図３（ａ）に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８の裏面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、裏面電極型太陽電池セル８の裏面においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ帯状に形成されており、帯状の第１導電型用電極６と帯状の第２導電型用電極７とはそれぞれ１本ずつ交互に間隔をあけて配列されている。そして、第１導電型用電極６の側壁および下面、ならびに第２導電型用電極７の側壁および下面はそれぞれマイグレーション抑制層２０により覆われている。そして、裏面電極型太陽電池セル８の裏面全体を覆うように絶縁性部材１６が配置されている。
【００６６】
たとえば図３（ａ）において、裏面電極型太陽電池セル８からの電力を第１導電型用電極６の下面６ｂ全体または第２導電型用電極７の下面７ｂ全体から取り出さずに、第１導電型用電極６の左端と第２導電型用電極７の右端とから電力を取り出す場合には、裏面電極型太陽電池セル８の裏面全体に絶縁性部材１６を一旦配置してから、電力を取り出す箇所に位置する絶縁性部材１６を除去して、電極との電気的な接続を可能としてもよい。
【００６７】
図３（ｂ）に、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の他の一例の模式的な平面図を示す。図３（ｂ）に示すように、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間のパッシベーション膜４の表面に絶縁性部材１６を形成してもよい。この場合には、第１導電型用電極６の下面６ｂおよび第２導電型用電極７の下面７ｂにはそれぞれ絶縁性部材１６が配置されていないため、第１導電型用電極６の下面６ｂおよび第２導電型用電極７の下面７ｂを介しての電気的な接続が阻害されることなく、第１導電型用電極６の下面６ｂのほぼ全体または第２導電型用電極７の下面７ｂのほぼ全体から裏面電極型太陽電池セル８からの電力を取り出すことができる。
【００６８】
図３（ａ）および図３（ｂ）のいずれの場合においても、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部に絶縁性部材１６が密着していることが好ましく、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線上には絶縁性部材１６が配置されていることがより好ましい。マイグレーションは、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線上に発生する電界に沿って金属が析出して移動する現象である。そのため、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線上に絶縁性部材１６を配置することによって、これらの電極から析出された金属の移動を食い止めることができる。
【００６９】
なお、絶縁性部材１６をたとえば液状などの流動性が高い状態とすることができる場合には、図３（ａ）に示すように、第１導電型用電極６の下面６ｂのほぼ全体および第２導電型用電極７の下面７ｂのほぼ全体から裏面電極型太陽電池セル８で発電した電力を取り出すようにしてもよい。すなわち、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部に絶縁性部材１６が密着していることと、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７から電力を取り出せることと、を両立することができれば、絶縁性部材１６の配置箇所に制限はない。
【００７０】
また、配線シート１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。まず、図４（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基材１１の表面上に導電層４１を形成する。ここで、絶縁性基材１１としては、たとえば、ポリエステル、ポリエチレンナフタレートまたはポリイミドなどの樹脂からなる基板を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７１】
また、絶縁性基材１１の厚みは、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができ、特に２５μｍ程度とすることが好ましい。
【００７２】
また、導電層４１としては、たとえば、銅などの金属からなる層を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７３】
次に、図４（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基材１１の表面の導電層４１上にレジストパターン４２を形成する。ここで、レジストパターン４２は、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の形成箇所以外の箇所に開口を有する形状に形成する。レジストパターン４２を構成するレジストとしてはたとえば従来から公知のものを用いることができ、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布される。
【００７４】
次に、図４（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン４２から露出している箇所の導電層４１を矢印４３の方向に除去することによって導電層４１のパターンニングを行ない、導電層４１の残部から第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成する。
【００７５】
ここで、導電層４１の除去は、たとえば、酸やアルカリの溶液を用いたウエットエッチングなどによって行なうことができるが、これに限定されるものではない。また、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の幅は、たとえば３００μｍ以上１ｍｍ以下とすることができ、特に５００μｍ程度とすることが好ましいが、これに限定されるものではない。
【００７６】
次に、図４（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面からレジストパターン４２をすべて除去することによって、配線シート１０が作製される。
【００７７】
図５に、上記のようにして作製した配線シート１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線シート１０の絶縁性基板１１の表面上において、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３はそれぞれ帯状に形成されている。また、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上には帯状の接続用配線１４が形成されており、接続用配線１４によって第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とが電気的に接続されている。なお、接続用配線１４は、たとえば、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３と同様に、導電層４１の残部から形成することができる。
【００７８】
その後、図６（ａ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性部材１６を塗布した後に、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６を設置するとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３上に裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７を設置する。ここで、絶縁性部材１６は、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布することができる。
【００７９】
また、絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、を密着して接着することができる絶縁性接着材であることが好ましい。
【００８０】
その後、たとえば加熱または紫外線照射などの方法により絶縁性部材１６である絶縁性接着材を硬化させることによって、図６（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が配線シート１０の第１導電型用配線１２とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が配線シート１０の第２導電型用配線１３とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続された状態で絶縁性部材１６によって裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とが接着された構成の配線シート付き太陽電池セルが形成される。
【００８１】
このとき、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材１６によって接合されている。
【００８２】
ここで、絶縁性部材１６としては、たとえば、隣り合う電極間または隣り合う配線間に電流が流れない程度の電気絶縁性を少なくとも有するとともに裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との貼り合わせが可能なものなどを用いることができる。
【００８３】
より詳細には、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間から露出しているパッシベーション膜４などの絶縁性物質と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間から露出している絶縁性基材１１と、にそれぞれ密着して接着できる絶縁性接着材を絶縁性部材１６として用いることができる。絶縁性部材１６は、電気抵抗が十分に高く、金属イオンと結合できる成分の含有量が少なく、水分がほとんど浸入しないといった特性を有していることが好ましい。具体的には、電子部品やチップを配線基板に封止するためのアンダーフィラー樹脂（ThreeBond社製のThreeBond2202）などが好適である。
【００８４】
その後は、図１に示すように、上記のようにして作製した配線シート付き太陽電池セルをガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止することによって本発明の太陽電池モジュールの一例が作製される。
【００８５】
なお、加熱によって絶縁性部材１６である絶縁性接着材を硬化させる場合には、裏面電極型太陽電池セル８を封止材１８中に封止するのと同時に硬化させてもよい。
【００８６】
上述したように、図１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されているとともに、第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されている。そして、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【００８７】
したがって、図１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われている。そのため、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する銀などの金属が太陽電池モジュールの使用時に、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に発生する電位差に起因する電界によるマイグレーション現象によって析出するのを抑制することができる。
【００８８】
なお、マイグレーション抑制層２０を構成する材料に金属が含まれる場合には、第１導電型用電極６を覆うマイグレーション抑制層２０の表面と第２導電型用電極７を覆うマイグレーション抑制層２０の表面との間の電界によって、マイグレーション抑制層２０を構成する金属が析出することがある。しかしながら、マイグレーションの起こりやすさは金属材料ごとに大きく異なるため、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する銀などの金属よりもマイグレーションが起こり難い金属材料（電極が銀の場合は、錫、パラジウム、金、白金、クロム、鉄、ニッケル、鉛など）をマイグレーション抑制層２０に用いることによって、マイグレーションの進行を抑制することができる。
【００８９】
また、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、の間に絶縁性部材１６が配置されている。そのため、マイグレーションによって金属が析出したとしても、絶縁性部材１６によってその移動を食い止めることができ、さらには絶縁性部材１６によって、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の絶縁性能が低下するのを防止することができる。これにより、従来と比較して、マイグレーションに起因する太陽電池モジュールの特性の低下を有効に抑止することができる。
【００９０】
絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。マイグレーションは電界に沿って金属が析出して移動する現象であるため、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することにより、マイグレーションにより析出した金属の移動を絶縁性部材１６で食い止めることができる。
【００９１】
なお、上記においては、第１導電型用電極６の側壁６ａおよび下面６ｂ、ならびに第２導電型用電極７の側壁７ａおよび下面７ｂにそれぞれマイグレーション抑制層２０を形成する構成について説明したが、図１または図６に示されるように、第１導電型用電極６の下面６ｂならびに第２導電型用電極７の下面７ｂが配線などの導電性部材によって覆われている場合には、第１導電型用電極６の側壁６ａのみおよび第２導電型用電極７の側壁７ａのみにマイグレーション抑制層２０を形成してもよい。
【００９２】
また、マイグレーション抑制層２０は、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６と配線シート１０の第１導電型用配線１２とが電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７と配線シート１０の第２導電型用配線１３とが電気的に接続されるために導電性であることが好ましいが、第１導電型用電極６の下面６ｂと第１導電型用配線１２とが直接接触し、第２導電型用電極７の下面７ｂと第２導電型用配線１３とが直接接触するなどの構造であれば、必ずしも導電性である必要はない。
【００９３】
また、第１導電型用電極６の表面および第２導電型用電極７の表面の少なくとも一方がマイグレーション抑制層２０で覆われていればよいが、マイグレーションによる金属の析出をより効果的に抑える観点からは第１導電型用電極６の表面および第２導電型用電極７の表面の双方がそれぞれマイグレーション抑制層２０で覆われていることが好ましい。なお、第１導電型用電極６の表面のみがマイグレーション抑制層２０で覆われている場合には、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することになる。
【００９４】
また、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板の一方の表面側（裏面側）のみに第１導電型用電極および第２導電型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal  Wrap  Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面側と反対側の裏面側から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
【００９５】
また、本発明における配線シート付き太陽電池セルの概念には、複数の太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成のみならず、１つの太陽電池セルが配線シート上に設置されている構成も含まれる。
【００９６】
＜実施の形態２＞
図７に、本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図を示す。図７に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が設置されているとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が設置されている点に特徴がある。
【００９７】
以下、図７に示す構成の太陽電池モジュールの製造方法の一例について説明する。図７に示す構成の太陽電池モジュールに用いられる裏面電極型太陽電池セル８については、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の第１導電型用電極６の表面および第２導電型用電極７の表面にそれぞれマイグレーション抑制層２０を形成しないこと以外は実施の形態１と同様にして作製することができる。
【００９８】
また、図７に示す構成の太陽電池モジュールに用いられる配線シート１０は、たとえば図８（ａ）〜図８（ｄ）の模式的平面図に示すようにして作製することができる。
【００９９】
まず、図８（ａ）に示すように絶縁性基材１１の表面上に導電層４１を形成した後に、図８（ｂ）に示すように絶縁性基材１１の表面の導電層４１上にレジストパターン４２を形成する。
【０１００】
次に、図８（ｃ）に示すように、レジストパターン４２から露出している箇所の導電層４１を矢印４３の方向に除去することによって導電層４１のパターンニングを行ない、導電層４１の残部から第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を形成する。
【０１０１】
その後、図８（ｄ）に示すように、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面からレジストパターン４２をすべて除去した後に、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成するとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成することによって、配線シート１０が作製される。
【０１０２】
図９に、上記のようにして作製した配線シート１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線シート１０の絶縁性基板１１の表面上においてそれぞれ帯状に形成されている第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３の表面はそれぞれマイグレーション抑制層２０で被覆されている。
【０１０３】
また、本実施の形態における配線シート付き太陽電池セルは、たとえば以下のようにして作製することができる。
【０１０４】
まず、図１０（ａ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した配線シート１０の表面上に絶縁性部材１６である絶縁性接着材を塗布した後に、配線シート１０の第１導電型用配線１２上に上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６を設置するとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３上に裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７を設置する。
【０１０５】
これにより、図１０（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６が配線シート１０の第１導電型用配線１２とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の第２導電型用電極７が配線シート１０の第２導電型用配線１３とマイグレーション抑制層２０を介して電気的に接続された状態で絶縁性部材１６によって裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とが接着された構成の配線シート付き太陽電池セルが形成される。
【０１０６】
その後は、図７に示すように、上記のようにして作製した配線シート付き太陽電池セルをガラス基板などの透明基板１７とポリエステルフィルムなどのバックフィルム１９との間のエチレンビニルアセテートなどの封止材１８中に封止することによって本発明の太陽電池モジュールの一例が作製される。
【０１０７】
このとき、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【０１０８】
上述したように、図７に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されているとともに、配線シート１０の第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が形成されている。そして、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、が絶縁性部材１６によって接合されている。
【０１０９】
したがって、図７に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われている。そのため、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する銅などの金属が太陽電池モジュールの使用時に隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間に発生する電位差に起因する電界によるマイグレーション現象によって析出するのを抑制することができる。
【０１１０】
なお、マイグレーション抑制層２０を構成する材料に金属が含まれる場合には、第１導電型用配線１２を覆うマイグレーション抑制層２０の表面と第２導電型用配線１３を覆うマイグレーション抑制層２０の表面との間の電界によって、マイグレーション抑制層２０を構成する金属が析出することがある。しかしながら、マイグレーションの起こりやすさは金属材料ごとに大きく異なるため、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する銅などの金属よりもマイグレーションが起こり難い金属材料（配線が銅の場合は、錫、パラジウム、金、白金、クロム、鉄、ニッケル、鉛など）をマイグレーション抑制層２０に用いることによって、マイグレーションの進行を抑制することができる。
【０１１１】
また、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、の間に絶縁性部材１６が配置されている。そのため、マイグレーションによって金属が析出したとしても、絶縁性部材１６によってその移動を食い止めることができ、さらには絶縁性部材１６によって隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の絶縁性能が低下するのを防止することができる。これにより、従来と比較して、マイグレーションに起因する太陽電池モジュールの特性の低下を有効に抑止することができる。
【０１１２】
絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。マイグレーションは電界に沿って金属が析出して移動する現象であるため、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することにより、マイグレーションにより析出した金属の移動を絶縁性部材１６で食い止めることができる。
【０１１３】
なお、上記においては、第１導電型用配線１２の側壁１２ａおよび上面１２ｂ、ならびに第２導電型用配線１３の側壁１３ａおよび上面１３ｂにそれぞれマイグレーション抑制層２０を形成する構成について説明したが、第１導電型用配線１２の側壁１２ａのみおよび第２導電型用配線１３の側壁１３ａのみにマイグレーション抑制層２０を形成してもよい。
【０１１４】
また、第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面の少なくとも一方がマイグレーション抑制層２０で覆われていればよいが、マイグレーションによる金属の析出をより効果的に抑える観点からは第１導電型用配線１２の表面および第２導電型用配線１３の表面の双方がそれぞれマイグレーション抑制層２０で覆われていることが好ましい。なお、第１導電型用配線１２の表面のみがマイグレーション抑制層２０で覆われている場合には、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することになる。
【０１１５】
また、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【０１１６】
＜実施の形態３＞
図１１に、本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図を示す。図１１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の第１導電型用電極６の表面（側壁６ａおよび下面６ｂ）ならびに第２導電型用電極７の表面（側壁７ａおよび下面７ｂ）をそれぞれ覆うようにしてマイグレーション抑制層２０を形成するとともに、配線シート１０の第１導電型用配線１２の表面（側壁１２ａおよび上面１２ｂ）ならびに第２導電型用配線１３の表面（側壁１３ａおよび上面１３ｂ）を覆うようにしてマイグレーション抑制層２０が設置されている点に特徴がある。
【０１１７】
したがって、図１１に示す構成の太陽電池モジュールにおいては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われているとともに、第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３のそれぞれの表面がマイグレーション抑制層２０で覆われている。そのため、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する銀などの金属ならびに第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する銅などの金属が、太陽電池モジュールの使用時に、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に発生する電位差および／または隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間に発生する電位差に起因する電界によるマイグレーション現象によって析出するのを抑制することができる。これにより、従来と比較して、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７を構成する金属、ならびに第１導電型用配線１２および第２導電型用配線１３を構成する金属の析出および移動に起因する太陽電池モジュールの特性の低下をさらに有効に抑止することができる。
【０１１８】
また、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７との間における裏面電極型太陽電池セル８の裏面の少なくとも一部と、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間における絶縁性基材１１の表面の少なくとも一部と、の間に絶縁性部材１６が配置されている。そのため、マイグレーションによって金属が析出したとしても、絶縁性部材１６によってその移動を食い止めることができ、さらには絶縁性部材１６によって、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間および／または隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３との間の絶縁性能が低下するのを防止することができる。これにより、従来と比較して、マイグレーションに起因する太陽電池モジュールの特性の低下を有効に抑止することができる。
【０１１９】
絶縁性部材１６は、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７とを結ぶ直線を横切るようにして配置されているとともに、隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして配置されていることが好ましい。マイグレーションは電界に沿って金属が析出して移動する現象であるため、隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用金属７とを結ぶ直線を横切るように、かつ隣り合う第１導電型用配線１２と第２導電型用配線１３とを結ぶ直線を横切るようにして絶縁性部材１６を配置することにより、マイグレーションにより析出した金属の移動を絶縁性部材１６で効果的に食い止めることができる。
【０１２０】
なお、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１および実施の形態２と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【０１２１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１２２】
本発明は、太陽電池セル、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに利用することができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１  半導体基板、１ａ  スライスダメージ、２  第１導電型不純物拡散領域、３  第２導電型不純物拡散領域、４  パッシベーション膜、４ａ，４ｂ  コンタクトホール、５  反射防止膜、６  第１導電型用電極、６ａ  側壁、６ｂ  下面、７  第２導電型用電極、７ａ  側壁、７ｂ  下面、８，８０  裏面電極型太陽電池セル、１０，１００  配線シート、１１  絶縁性基材、１２  第１導電型用配線、１２ａ  側壁、１２ｂ  上面、１３  第２導電型用配線、１３ａ  側壁、１３ｂ  上面、１４  接続用配線、１６  絶縁性部材、１７  透明基板、１８  封止材、１９  バックフィルム、２０  マイグレーション抑制層、４１  導電層、４２  レジストパターン、４３  矢印、１１６  絶縁性接着剤。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、
前記第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、
前記第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、
前記第１導電型用電極の表面が前記第１導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、
前記第１導電型用電極を覆う前記マイグレーション抑制層の表面および前記第２導電型用電極の表面の少なくとも一方が絶縁性部材で覆われている、太陽電池セル。
【請求項２】
前記マイグレーション抑制層と前記絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極とを結ぶ直線を横切るようにして配置されている、請求項１に記載の太陽電池セル。
【請求項３】
前記第２導電型用電極の表面が前記第２導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するための第２のマイグレーション抑制層で覆われており、
前記第１導電型用電極と前記第１導電型用電極に隣り合う前記第２導電型用電極との間において、前記第１導電型用電極側から、前記マイグレーション抑制層、前記絶縁性部材および前記第２のマイグレーション抑制層の順で、前記太陽電池セルの表面に接している、請求項１または２に記載の太陽電池セル。
【請求項４】
太陽電池セルと、
配線シートとを含み、
前記太陽電池セルは、半導体基板と、前記半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、前記第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、前記第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、
前記配線シートは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、
前記太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に電気的に接続するように設置され、
前記太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に電気的に接続するように設置されており、
前記第１導電型用電極の表面が、前記第１導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、
隣り合う前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極との間における前記太陽電池セルの表面の少なくとも一部と、隣り合う前記第１導電型用配線と前記第２導電型用配線との間における前記絶縁性基材の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材によって接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項５】
前記マイグレーション抑制層と前記絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極とを結ぶ直線を横切るようにして配置されている、請求項４に記載の配線シート付き太陽電池セル。
【請求項６】
前記第２導電型用電極の表面が前記第２導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するための第２のマイグレーション抑制層で覆われており、
前記第１導電型用電極と前記第１導電型用電極に隣り合う前記第２導電型用電極との間において、前記第１導電型用電極側から、前記マイグレーション抑制層、前記絶縁性部材および前記第２のマイグレーション抑制層の順で、前記太陽電池セルの表面に接している、請求項４または５に記載の配線シート付き太陽電池セル。
【請求項７】
太陽電池セルと、
配線シートとを含み、
前記太陽電池セルは、半導体基板と、前記半導体基板の一方の表面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、前記第１導電型不純物拡散領域上に設置された第１導電型用電極と、前記第２導電型不純物拡散領域上に設置された第２導電型用電極とを有し、
前記配線シートは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、
前記太陽電池セルの前記第１導電型用電極が前記配線シートの前記第１導電型用配線に電気的に接続するように設置され、
前記太陽電池セルの前記第２導電型用電極が前記配線シートの前記第２導電型用配線に電気的に接続するように設置されており、
前記第１導電型用配線の表面が、前記第１導電型用配線を構成する金属の析出を抑制するためのマイグレーション抑制層で覆われており、
隣り合う前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極との間における前記太陽電池セルの表面の少なくとも一部と、隣り合う前記第１導電型用配線と前記第２導電型用配線との間における前記絶縁性基材の表面の少なくとも一部とが、絶縁性部材によって接合されている、配線シート付き太陽電池セル。
【請求項８】
前記マイグレーション抑制層と前記絶縁性部材とがそれぞれ、隣り合う前記第１導電型用配線と前記第２導電型用配線とを結ぶ直線を横切るようにして配置されている、請求項７に記載の配線シート付き太陽電池セル。
【請求項９】
前記第２導電型用電極の表面が前記第２導電型用電極を構成する金属の析出を抑制するための第２のマイグレーション抑制層で覆われており、
前記第１導電型用電極と前記第１導電型用電極に隣り合う前記第２導電型用電極との間において、前記第１導電型用電極側から、前記マイグレーション抑制層、前記絶縁性部材および前記第２のマイグレーション抑制層の順で、前記太陽電池セルの表面に接している、請求項７または８に記載の配線シート付き太陽電池セル。
【請求項１０】
請求項４から９のいずれかに記載の配線シート付き太陽電池セルの前記太陽電池セルが封止材に封止されてなる、太陽電池モジュール。
【国際調査報告】
2010150749.tif 000015
2010150749.tif 000016
2010150749.tif 000017
2010150749.tif 000018