【事件の表示】
　特許第３０９１９６６号「電気めっき試験装置及びその方法」の請求項１〜３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０９１９６６号の請求項１〜３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０９１９６６号の請求項１〜３に係る発明は、平成１１年６月１７日に特許出願され、平成１２年７月２８日に設定登録がなされた後、本件請求項１〜３に係る発明の特許について、特許異議申立人中村孝子（以下、「申立人」という。）により平成１３年３月２６日に特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年８月１７日に訂正請求がなされ、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年１２月１４日に平成１３年８月１７日付け訂正請求が取り下げられるとともに再度の訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正請求の適否
（１）訂正の内容
　訂正請求は、本件特許の願書に添付した明細書（以下、「特許明細書という」。）を平成１３年１２月１４日付けの訂正請求書に添付された明細書のとおりに訂正しようとするものであって、その訂正の内容は次のとおりである。
　
（２）訂正事項
 　特許請求の範囲の記載に
「【請求項１】めっき液が注入される水槽と、前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板と、前記陽極用金属平板と前記陰極用金属平板との間に電圧を印加させる直流電源と、前記陽極用金属平板と前記陰極用金属平板との間に挿入される、開口部を有する遮蔽板と、前記陰極用金属平板を回転させるモータとを備えることを特徴とする電気めっき試験装置。
【請求項２】前記陰極用金属平板は円形であることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき試験装置。
【請求項３】めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板との間に、直流電源により電圧を印加させ、前記陰極用金属平板を回転させることを特徴とする電気めっき試験方法。」とあるのを、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、
「【請求項１】めっき液が注入される水槽と、前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板であるテスト試験片と、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に電圧を印加させる直流電源と、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に挿入される、開口部を有する遮蔽板と、前記テスト試験片を可変の回転数で回転させるモータとを備え、前記テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする電気めっき試験装置。
【請求項２】前記テスト試験片は円形であることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき試験装置。
【請求項３】めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板であるテスト試験片との間に、直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、前記テスト試験片を回転させることにより、テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする電気めっき試験方法。」と訂正する。
　より詳細には、特許請求の範囲の記載について、
（ａ）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１において
「陰極用金属平板を回転させ」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「陰極用金属平板を可変の回転数で回転させ」と訂正する。
（ｂ）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１において
「を備えることを特徴とする」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「を備え、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする」と訂正する。
（ｃ）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３において
「回転させること」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「回転させることにより陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなること」と訂正する。
（ｄ）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項１において
「陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板であるテスト試験片」に、同じく、
　請求項３において
「陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板」とあるのを、明りようでない記載の釈明を目的として「陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板であるテスト試験片」に、また、
請求項１〜３において
「前記陰極用金属平板」とあるのを、明りようでない記載の釈明を目的として「前記テスト試験片」にそれぞれ訂正する。
（ｅ）訂正事項５
　請求項３において
「直流電源により電圧を印加させ、」とあるのを特許請求の範囲の減縮を目的として、「直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、」と訂正する。
　同様に、発明の詳細な説明において、
（ｆ）訂正事項６
　明細書中【０００５】欄、および【００３９】欄に
「陰極用金属平板を回転させ」とあるのをそれぞれ「陰極用金属平板を可変の回転数で回転させ」と訂正する。
（ｇ）訂正事項７
　明細書中【００３９】欄に
「回転させる」とあるのを「回転させ、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」と訂正する。
（ｈ）訂正事項８
　明細書中【００１１】欄および【００４１】欄に記載された「回転される」とあるのを、前者は、「回転させることにより、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」と、後者は、「回転され、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」と、それぞれ訂正する。
（ｉ）訂正事項９
　明細書中【０００５】欄に
「陰極用金属平板」とあるのを「テスト試験片（以下、「陰極用金属平板」ともいう）」と訂正する。
（ｊ）訂正事項１０
　明細書中【００１１】欄および【００４１】欄に
「直流電源により電圧を印加され、」とあるのを、「直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記陰極平板との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、」と訂正する。
　
（３）訂正の目的の適否、新規事項の有無、拡張・変更の存否の各要件についての判断
　訂正事項１について
　訂正事項１は、請求項１に記載のモータを、より下位概念である回転数が可変であるモータに技術的に限定するものであるから特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、前記モータを可変に構成したことは、明細書中【００２１】欄の記載から読みとれる。
　したがって、この訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　訂正事項２について
　訂正事項２は、陰極用金属平板を回転させることによって生じる現象である陰極用金属平板を回転させることにより陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円上に撹拌速度が大きくなるを付加することによって技術的に限定するものであるから特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、陰極用金属平板を回転させることにより陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円上に撹拌速度が大きくなることは、明細書中【０００７】および【００２８】欄に記載されている。
　したがって、この訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　訂正事項３について
　訂正事項３は、陰極用金属平板を回転させることを、より下位概念である陰極用金属平板を回転させることにより陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円上に撹拌速度が大きくなる、と技術的に限定するものであるから特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、陰極用金属平板を回転させることにより陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円上に撹拌速度が大きくなることを利用した電気めっき試験であることは、明細書中【０００７】および【００２８】欄に記載されている。
　したがって、この訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　訂正事項４について
　訂正事項４は、特許請求の範囲の請求項１、３において、陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板とあるのを、陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板であるテスト試験片に、また、請求項１〜３において、前記陰極用金属平板とあるのを、前記テスト試験片にそれぞれ訂正するものであるが、これらは全てこの技術が電気メッキ試験であることを明りょうにしたものであるから、明りようでない記載の釈明に該当する。
　そして、陰極用金属平板が、当該電気メッキ試験におけるテスト試験片であることは、【００２０】欄に記載されている。
　したがって、この訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　訂正事項５について
　訂正事項５は、請求項３において、「直流電源により電圧を印加させ、」とあるのを、「直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、」と付加することによって技術的に限定するものであるから特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置することは、【００１９】および図２に記載されている。
　したがって、この訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　訂正事項６〜１０について
  訂正事項６〜１０は、上記訂正事項１〜５の訂正に合わせて、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の欄を整合するようにしたものであるから明りょうでない記載の釈明にあたる。
　そして、これらの訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　
（４）訂正の認否
　したがって、上記訂正は特許法第１２０条の４第２項ただし書および同第３項で準用する同法第１２６条第２項および第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　前述のように、本件訂正は適法なものであるので、本件請求項１〜３に係る発明は、訂正請求書に添付された明細書の特許請求の範囲１〜３に記載された事項により特定される次のとおりのもの（以下、「本件発明１」〜「本件発明３」という）である。
「【請求項１】めっき液が注入される水槽と、前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板であるテスト試験片と、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に電圧を印加させる直流電源と、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に挿入される、開口部を有する遮蔽板と、前記テスト試験片を可変の回転数で回転させるモータとを備え、前記テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする電気めっき試験装置。
【請求項２】前記テスト試験片は円形であることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき試験装置。
【請求項３】めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板であるテスト試験片との間に、直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、前記テスト試験片を回転させることにより、テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする電気めっき試験方法。」
　
（２）申立の理由の概要
　申立人は、「本件の請求項１〜３に係る発明は、その出願前に国内において頒布された刊行物である下記甲第１号証（以下、「刊行物１」という）に記載された発明であるから、請求項１〜３に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。」旨主張する。
　
（３）証拠方法
　刊行物１：国際公開第９９／２５９０４号パンフレット
　（１９９９年５月２７日）
　
（４）刊行物１の記載事項　　　　
（ａ）「ウエハ上に形成されるデバイスの特性のばらつきを最小限にするためには、ウエハめっき表面にわたり導電層が均一に堆積される（均一な厚さを有する）ことが重要である。…中略…「エッジ効果」に起因して堆積導電層に不均一を生じるこのエッジ効果を相殺するためにシュスター他の発明は、ウエハエッジ近傍の堆積導電層の厚さを減らすためにめっき溶液の流量特性を調節することを教示している。しかし、流量特性を調節できる範囲は限定され、かつ制御が困難である。従って、めっき溶液の流量特性の調節に依存しないエッジ効果相殺方法を得ることが望ましい。」（２頁１５行〜３頁７行）
（ｂ）「堆積導電層の不均一性は、ウエハメッキ表面上で気泡の補足によっても生ずる。気泡はウエハメッキ表面へのイオンと電流の流れを乱し、堆積導電層の不均一性を生成する。…中略…従って、ウエハをメッキ浴液中に浸漬可能にし、それにもかかわらず気泡の補足を回避するようなウエハ電気めっき装置を得ることが望ましい。…中略…本発明によれば、ウエハ等の基板の表面上へ導電層を堆積する装置は、フランジを備える。…中略…従って、フランジの環状部は、ウエハ表面のエッジ区域の下に延在し、電気めっき中にこのエッジ区域への電流束を減らす。これは、同様にウエハ表面のエッジ領域上へ堆積される導電層の厚さを減らすことになる。」（３頁２５行〜４頁２９行）
（ｃ）補足された気泡の除去を更に強化させるために、めっき溶液をウエハ表面の中心に向かって注ぐと同時に、ウエハを回転させてもよい。」（５頁１９行〜２２行）
（ｄ）「好ましい実施の形態の詳細な記述…中略…図１は、本発明に従って搭載されたウエハ３８を有する電気めっき装置３０を図解するダイアグラム図である。装置３０は、回転可能なスピンドル４０上に搭載されたクラムシェル３２を含み、スピンドル４０は、クラムシェル３２の回転を可能とする。クラムシェル３２は、コーン３４、カップ３６、及びフランジ４８を備える。」（８頁１５行〜２５行）
（ｅ）「電気めっきサイクルの間、ウエハ３８は、…中略…めっき溶液を含むめっき槽内に設置される。…略…。」（９頁１行〜６行）
（ｆ）「ＤＣ（またはパルス型）電力供給機６０は、負の出力リード線を有し、…中略…ウエハ３８に電気的に接続される。電力供給機６０の、正の出力リード線はめっき槽４２内に位置する陽極６２に電気的に接続される。使用中に、電力供給機６０が、ウエハ３８をバイアスし、ウエハ３８が陽極６２に対し負の電位を有するようにし、陽極６２からウエハ３８へ流れる電流を発生させる。…中略…遮蔽物５３と５５が、陽極６２とウエハ３８の間に電場を形成するために備え付けられる。」（９頁２０行〜１０頁８行） 
（ｇ）「重要な点であるが、…中略…メッキ表面７６における電流線の強さは均一である。…略… 」（１５頁１５行〜２４行）
（ｈ）１図および上記（ａ）〜（ｈ）を総合すると、
　刊行物１には、陰極電極を形成するウエハ等の中心から周辺に至るまで均等にめっきを施すことを目的とし、めっき溶液の流量特性の調節に依存しないエッジ効果相殺方法を達成するために、従来例として、下部に陽極電極６２を、上部に陰極電極であるウエハ３８を設置し、その間に遮蔽物５５を設けためっき装置がめっき槽４２中に設けられ、電力供給機６０と各電極が接続され、下部からめっき液がウエハ中心に流される点が、また、本発明として、クラムシェルに取り付けたフランジによりウエハ等のエッジ領域上へ堆積される導電層の厚さを減らす点、ならびに、気泡の除去を更に確実にするために上部に設置した陰極電極であるウエハ３８を回転する点が記載されているといえる。
　
（５）対比・判断
（５−１）本件発明１と、刊行物１に記載された発明とを対比すると、後者の「めっき槽４２」は前者の「水槽」に、後者の「陽極電極６２」は前者の「陽極用金属平板」に、後者の「陰極電極３８」は前者の「陰極用金属平板」に、後者の「電力供給機６０」は前者の「直流電源」に、後者の「遮蔽物５５」は前者の「遮蔽板」にそれぞれ相当するから、両者は、「めっき液が注入される水槽と、前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板と、前記陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に電圧を印加させる直流電源と前記陽極用金属平板と、前記陰極用金属平板との間に挿入される開口部を有する遮蔽板と、前記陰極用金属平板を回転させる手段とを備えた電気めっき装置」で一致している。
　しかしながら、刊行物１に記載の発明には、「上記陰極用金属平板であるテスト試験片を取付け、前記テスト試験片をモータで可変の回転数で回転させると共に、前記テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる電気めっき試験装置」である点（以下、「構成要件Ａ」という）の記載がない。
（５−２）本件発明２は、実質的に本件発明１を引用して記載したものであるから、前記「構成要件Ａ」を発明を特定する事項として備えるものであるところ、前記「構成要件Ａ」については、甲第１号証に記載がない。
　なお、申立人は、本件発明２は刊行物１に記載の発明に基づいて容易に発明をすることができたものである旨の主張をしているが、上記のとおり、本件発明２は、実質的に本件発明１を引用して記載したものであるから、「構成要件Ａ」を発明を特定する事項として備えるものであるところ、「構成要件Ａ」については、甲第１号証に記載がないから、申立人の主張は採用できない。
（５−３）本件発明３と、刊行物１に記載された発明とを対比すると、後者の「めっき槽４２」は前者の「水槽」に、後者の「陽極電極６２」は前者の「陽極用金属平板」に、後者の「陰極電極３８」は前者の「陰極用金属平板」に、後者の「電力供給機６０」は前者の「直流電源」に、後者の「遮蔽物５５」は前者の「遮蔽板」にそれぞれ相当するから、両者は、「めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板との間に、直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記陰極用金属平板との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、前記陰極用金属平板を回転させることを特徴とする電気めっき方法」で一致している。
　しかしながら、刊行物１に記載の発明には、「陰極用金属平板」を「テスト試験片」とし、「前記テスト試験片を回転させることにより、前記テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」ことを利用した「電気めっき試験方法」である点の記載がない。
（５−４）まとめ　
　以上のとおりであるから、本件発明１〜３は甲第１号証に記載された発明と同一でない。
　
４．むすび
　上記のとおりであるから、本件発明１〜３の特許は、特許異議申立ての理由および証拠方法によっては取消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜３の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。 　　　
【異議決定日】
平成１４年１月１５日（２００２．１．１５）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
（１）訂正事項
　特許請求の範囲の記載である
「【請求項１】めっき液が注入される水槽と、前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板と、前記陽極用金属平板と前記陰極用金属平板との間に電圧を印加させる直流電源と、前記陽極用金属平板と前記陰極用金属平板との間に挿入される、開口部を有する遮蔽板と、前記陰極用金属平板を回転させるモータとを備えることを特徴とする電気めっき試験装置。
　【請求項２】前記陰極用金属平板は円形であることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき試験装置。
　【請求項３】めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板との間に、直流電源により電圧を印加させ、前記陰極用金属平板を回転させることを特徴とする電気めっき試験方法。」とあるのを、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、
「【請求項１】めっき液が注入される水槽と、前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板であるテスト試験片と、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に電圧を印加させる直流電源と前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に挿入される、開口部を有する遮蔽板と、前記テスト試験片を可変の回転数で回転させるモータとを備え、前記テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする電気めっき試験装置。
　【請求項２】前記テスト試験片は円形であることを特徴とする請求項１に記載の電気めっき試験装置。
　【請求項３】めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板であるテスト試験片との間に、直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、前記テスト試験片を回転させることにより、テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする電気めっき試験方法。」と訂正する。
　より詳細には、特許請求の範囲の記載について、
（ａ）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に記載された
「陰極用金属平板を回転させ」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「陰極用金属平板を可変の回転数で回転させ」と訂正する。
（ｂ）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１に記載された
「を備えることを特徴とする」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「を備え、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなることを特徴とする」と訂正する。
（ｃ）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項３において
「回転させること」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「回転させることにより陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなること」と訂正する。
（ｄ）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項１において
「陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板であるテスト試験片」に、同じく、
　請求項３において、「陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板であるテスト試験片」に、また、
請求項１〜３において
「前記陰極用金属平板」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「前記テスト試験片」にそれぞれ訂正する。
（ｅ）訂正事項５
　請求項３において
「直流電源により電圧を印加させ、」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、」と訂正する。
　同様に、発明の詳細な説明において、
（ｆ）訂正事項６
　明細書中【０００５】欄、および【００３９】欄に記載の「陰極用金属平板を回転させ」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、それぞれ「陰極用金属平板を可変の回転数で回転させ」と訂正する。
（ｇ）訂正事項７
　明細書中【００３９】欄に記載された「回転させる」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「回転させ、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」と訂正する。
（ｈ）訂正事項８
　明細書中【００１１欄】および【００４１】欄に「回転される」と記載されたものを、明りょうでない記載の釈明を目的として、前者は、「回転させることにより、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」と、後者は、「回転され、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる」と訂正する。
（ｉ）訂正事項９
　明細書中【０００５欄】に記載された「陰極用金属平板」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「テスト試験片（以下、「陰極用金属平板」ともいう）」と訂正する。
（ｊ）訂正事項１０
　明細書中【００１１欄】に記載された「直流電源により電圧を印加され、」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「直流電源により電圧を印加させるとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
電気めっき試験装置及びその方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　めっき液が注入される水槽と、
　前記水槽内に設置される陽極用金属平板と、
　前記水槽内に、前記陽極用金属平板に対して平行に設置される陰極用金属平板
であるテスト試験片
　前記陽極用金属平板と前記
テスト試験片
　前記陽極用金属平板と前記
テスト試験片
　前記
テスト試験片
可変の回転数で
、
　前記テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなること
　【請求項２】　前記
テスト試験片
　ことを特徴とする請求項１に記載の電気めっき試験装置。
　【請求項３】　めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、前記陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板
であるテスト試験片
るとともに、前記陽極用金属平板と前記テスト試験片との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、
テスト試験片
ことにより、テスト試験片上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる
　ことを特徴とする電気めっき試験方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、同一の電流密度で、異なる攪拌速度の電気めっき試験をすることができる電気めっき試験装置及びその方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　電気めっき試験装置には、ハルセル試験装置のように、電流密度の異なる電気めっき試験が行えるものがある。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、ハルセル試験装置では、同一の電流密度で、異なる攪拌速度の電気めっき試験を行うことができない。
　【０００４】
　本発明は、同一の電流密度で、異なる攪拌速度の電気めっき試験をすることができる電気めっき試験装置及びその方法を提供することを目的とする。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決するために、請求項１に記載の電気めっき試験装置は、めっき液が注入される水槽と、水槽内に設置される陽極用金属平板と、水槽内に、陽極用金属平板に対して平行に設置される
テスト試験片（以下、「陰極用金属平板」ともいう）
可変の回転数で
陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる
　【０００６】
　請求項１に記載の電気めっき試験装置においては、めっき液が注入された水槽内に、陽極用金属平板が設置され、陰極用金属平板が陽極用金属平板に対して平行に設置される。さらに、陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に、開口部を有する遮蔽板が挿入される。
　【０００７】
　そして、直流電源により陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に電圧が印加され、陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に電場が生じる。生じた電場による電流分布は、陽極用金属平板と陰極用金属平板が平板であり、かつ平行に設置されているため、陰極用金属平板上でほぼ同一となる。さらに、陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に発生される電流分布のうち、陰極用金属平板の端の部分に集中する電流線は、陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に挿入されている遮蔽板により遮蔽され、陰極用金属平板上に発生される電流分布は同一となる。そのため、陰極用金属平板上に発生される電流密度が同一となる。さらに、モータにより陰極用金属平板が回転されるため、陰極用金属平板上では回転中心から外側に向かって同心円状に攪拌速度が大きくなる。従って、陰極用金属平板上に、電流密度が同一で、攪拌速度が異なる電気めっき試験条件が実現される。
　【０００８】
　上記課題を解決するために、請求項２に記載の電気めっき試験装置は、請求項１に記載の電気めっき試験装置において、陰極用金属平板が円形であることを特徴とする。
　【０００９】
　請求項２に記載の電気めっき試験装置においては、請求項１に記載の陰極用金属平板が円形であるため、めっき液中を攪拌しやすく、攪拌速度の不均一性を最小限にすることができ、同一の電流密度で、異なる攪拌速度の電気めっき試験をより正確に行うことができる。
　【００１０】
　上記課題を解決するために、請求項３に記載の電気めっき試験方法は、めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板との間に電圧を印加させ、陰極用金属平板を回転させることを特徴とする。
　【００１１】
　請求項３に記載の電気めっき試験方法においては、めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板との間に、直流電源により電圧が印加させ
るとともに、前記陽極用金属平板と陰極用金属平板との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、この陰極用金属平板
せることにより、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の実施の形態の電気めっき試験装置１について、添付の図面を参照して説明する。
　【００１３】
　図１は本発明の実施の形態の電気めっき試験装置１の外観の構成を示す斜視図であり、図２はその要部を詳細に示す斜視図である。
　【００１４】
　図１に示すように、本実施の形態の電気めっき試験装置１は、めっき液１２が注入されている水槽１１の底部に設置された陽極用金属平板１４と、陽極用金属平板１４に対して平行に設置されている陰極用金属平板２１と、陽極用金属平板１４と陰極用金属平板２１との間に挿入されている遮蔽板１８と、陽極用金属平板１４と陰極用金属平板２１との間に電圧を印加させるための直流電源である整流器１７と、陰極用金属平板２１を回転させるためのモータ２４とから大略構成されている。
　【００１５】
　以下、各部について詳細に説明する。
　水槽１１は、水槽１１内に満たされるめっき液１２で腐食されにくいアクリル、ポリプロピレン、テフロン等の合成樹脂の材料から形成されており、外形は、長さ約１５０ｍｍ、幅約１５０ｍｍ、高さ約１８０ｍｍの透明な箱体であって、下部には支持台１３が設けられている。なお、水槽１１は、不透明な箱体としてもよい。
　【００１６】
　水槽１１の底部には、陽極用金属平板１４が設置されている。この陽極用金属平板１４は、銅、ニッケル、錫、白金、コバルト等、試験するめっきの種類に応じて使用されるものであり、長さ約１１０ｍｍ、幅約１１０ｍｍ、板厚約２ｍｍの平板である。この板厚は、電気めっき試験による消耗が考慮されて約２ｍｍとされている。
　【００１７】
　この陽極用金属平板１４からは陽極用金属棒１５が水槽１１の側部に沿って上方に延び出している。この陽極用金属棒１５は、配線１６により整流器１７のプラス極１７ａに接続されている。また、陽極用金属棒１５は、めっき液１２が注入された際、めっき液１２に接する部分が絶縁されている。
　【００１８】
　整流器１７は、電気めっき試験装置１に電力を供給するためものであり、内部にダイオードブリッジ回路等の整流回路や平滑回路を備えたものであって、直流の電圧が０〜８０［Ｖ］、直流の電流が０〜６０［Ａ］出力できるようになっている。
　【００１９】
　図２（ａ）に示すように、陽極用金属平板１４の約１ｃｍ上方には、陽極用金属平板１４と後述する陰極用金属平板２１との間に発生される電流分布のうち、陰極用金属平板２１の端の部分に集中する電流線を遮蔽するための遮蔽板１８が設置されている。この遮蔽板１８は、絶縁材料であるプラスチックで形成されており、長さ約１０５ｍｍ、幅約８ｍｍ、板厚約５ｍｍである。遮蔽板１８の材料としては絶縁材料であればどのようなものでも使用が可能である。遮蔽板１８には、陰極用金属平板２１の中央の電流線を通過するため、直径約４８ｍｍで円形の開口部１８ａが形成されている。遮蔽板１８からは、図１に示すように、遮蔽板１８と同一材料で形成されている支持部材１９が水槽１１の側部に沿って上方に延び出し、水槽１１の上部にネジ２０により取り付けられ、さらに、後述する陰極用金属棒２３を支持受けするための湾曲した支持受部１９ａが設けられ、水槽１１内の中央に延び出している。
　【００２０】
　図２（ａ）に示すように、遮蔽板１８の約１ｃｍ上方には、陰極用金属平板２１（以降、テスト試験片２１とも称することとする）が陽極用金属平板１４に対して平行に設置されている。テスト試験片２１は、形状が直径約６４ｍｍの円形の平板であり、材料が銅、黄銅、鉄、アルミニウム等、めっき試験の種類に応じて使用されるものである。使用前は、図２（ｂ）に示すように、テスト試験片２１の両面にシールが貼付されており、使用するときは、水槽１１内に設置した際に陽極用金属平板１４側になる試験面２１ａに貼付されているシールが剥がされる。なお、試験面２１ａの反対側の面２１ｂにはシールが依然として貼付されており、絶縁されているようにする。このテスト試験片２１は、その中心がネジ２２により陰極用金属棒２３に接続されている。図１に戻り、陰極用金属棒２３は、モータ２４にジョイント２４ａにより取り付けられており、その上部は、スリップリング２３ａを介して配線２６に接続されている。また、陰極用金属棒２３は、めっき液１２に接する部分が絶縁されている。
　【００２１】
　モータ２４は、陰極用金属棒２３を回転駆動させるためのものであり、支持台２５に固定されている。このモータ２４の回転速度は、０〜２４００ｒｐｍに変えられるようになっている。スリップリング２３ａに接続されている配線２６は、電流計２７を介して整流器１７のマイナス極１７ｂに接続されている。また、配線１６と配線２６との間には、電気めっき試験装置１に印加される電圧を測定するための電圧計２８が挿入されている。
　【００２２】
　次に、本実施の形態の電気めっき試験装置１のめっき試験方法について図２（ｂ）及び図３を参照して説明する。図３は、電気めっき試験装置１の電気めっき試験方法を説明する図であり、図３（ａ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ’線での断面図であり、図３（ｂ）は、テスト試験片２１の試験面２１ａを説明する図である。
　【００２３】
　まず、テスト試験片２１の試験面２１ａに貼付されているシールが剥がされ、陽極用金属平板１４及びテスト試験片２１が脱脂、酸洗い等の前処理が行われる。そして、陽極用金属平板１４が、めっき液１２の入れられた水槽１１の底部に設置される。めっき液１２は、水槽１１の約８０％〜９０％を満たすように注入される。
　【００２４】
　次に、図２（ｂ）に示すように、陰極用金属棒２３にネジ２２によりテスト試験片２１が取り付けられる。このとき、テスト試験片２１は、試験面２１ａが図中下向きになるように、陰極用金属棒２３に取り付けられる。そして、陰極用金属棒２３が取り付けられたテスト試験片２１が、水槽１１内に設置されている遮蔽板１８の約１ｃｍ上方に、図３（ａ）に示すように、テスト試験片２１の中心と遮蔽板１８の開口部１８ａの中心とが一致するように設置される。
　【００２５】
　次いで、電源が入れられ、試験するめっきの種類に応じて、電流計２７と電圧計２８を確認しつつ、整流器１７の電圧及び電流、並びにモータ２４の回転数が調整され、電気めっき試験装置１が所定時間稼働される。
　【００２６】
　すなわち、陽極用金属平板１４とテスト試験片２１との間に電圧が印加され、陽極用金属平板１４とテスト試験片２１との間に電場が生じる。生じた電場による電流分布のうち、テスト試験片２１の端の部分に集中する電流線は、遮蔽板１８により遮蔽され、テスト試験片２１の試験面２１ａ上に発生される電流密度がほぼ同一となる。
　【００２７】
　より詳細には、図３（ｂ）に示すように、試験面２１ａ上では、陽極用金属平板１４とテスト試験片２１との間に発生される電流分布のうち、テスト試験片２１の端の部分に集中する電流線が遮蔽され、境界線２１ａａの内側の領域である領域２１ａｂ上に発生される電流分布がほぼ同一とされると共に、その影響で境界線２１ａａの外側の領域である外周端領域２１ａｃに集中する電流線が遮蔽される。従って、領域２１ａｂ上に発生される電流密度がほぼ同一となっている。なお、本実施の形態のような陽極用金属平板１４、遮蔽板１８、及びテスト試験片２１の設定位置では、領域２１ａｂが、中心から約５ｍｍ〜約２５ｍｍまでとなり、外周端領域２１ａｃが、中心から約２５ｍｍ〜外周までとなる。
　【００２８】
　このように電流密度がほぼ同一にされたテスト試験片２１が、図３（ａ）に示すように、陽極用金属平板１４と平行を維持しつつ、モータ２４により所定の回転数で回転されている。すなわち、回転しているテスト試験片２１は、図３（ｂ）に示すように、回転中心から外側に向かうにつれて同心円状に回転速度が大きくなっており、テスト試験片２１の試験面２１ａ上には、回転中心から外側に向かうにつれて同心円状に攪拌速度の異なる電気めっき試験条件が実現される。従って、テスト試験片２１の試験面２１ａ上には、電流密度が同一で、攪拌速度が異なる電気めっき試験条件が実現されている。
　【００２９】
　所定時間の後に、電気めっき試験装置１の電源が切られ、陰極用金属棒２３がモータ２４から取り外され、水槽１１より陰極用金属棒２３が引き上げられる。そして、陰極用金属棒２３からテスト試験片２１が取り外される。
　【００３０】
　このようにして取り外されたテスト試験片２１の試験面２１ａ上には、電流密度が同一で、攪拌速度が回転中心から外側に向かって同心円状に大きくなった場合のめっきの析出状況が現れている。その解析は、ハルセル試験と同様にして行われ、めっきの析出状態、めっき液の組成、温度等、設定した種々の電着条件の解析が可能となる。また、解析の際には、上述した理由により、試験面２１ａ上の領域２１ａｂのみを解析し、外周端領域２１ａｃは無視する。
　【００３１】
　以上のように、本実施の形態の電気めっき試験装置１によれば、陽極用金属平板１４とテスト試験片２１を平板とし、陽極用金属平板１４とテスト試験片２１を平行に設置し、かつ陽極用金属平板１４とテスト試験片２１との間に発生される電流分布のうち、テスト試験片２１の端に集中する電流線を遮蔽板１８により遮蔽するので、テスト試験片２１上に発生する電流密度をほぼ同一にすることができ、かつ、テスト試験片２１を回転させるので、回転中心から外側に向かって同心円状に攪拌速度を大きくすることができるため、電流密度が同一で、攪拌速度が異なる電気めっき試験を行うことができる。
　【００３２】
　また、本実施の形態の電気めっき試験装置１によれば、テスト試験片２１を円形としたので、めっき液１２中でテスト試験片２１を回転しやすく、攪拌速度の不均一性を最小限にすることができ、同一の電流密度で、異なる攪拌速度の電気めっき試験を容易にかつより正確に行うことができる。
　【００３３】
　なお、本実施の形態の電気めっき試験装置１においては、陽極用金属平板１４と遮蔽板１８との距離、及び遮蔽板１８とテスト試験片２１との距離を約１ｃｍに設定したが、さらにテスト試験片２１上に発生される電流密度をより同一にすることができるような間隔に設定変更することができる。
　【００３４】
　また、本実施の形態の電気めっき試験装置１においては、テスト試験片２１を円形としたが、円形に限らず、どのような形状でもよい。どのような形状のテスト試験片でも金属平板であれば回転させることにより、回転中心から外側に向かって同心円状に攪拌速度の異なる電気めっき試験条件を実現することができる。
　【００３５】
　図４は、本実施の形態の電気めっき試験装置１を用いて実際に実施し、テスト試験片２１上の電流密度が６０［Ａ／ｄｍ２］の場合と１２０［Ａ／ｄｍ２］の場合に分けて、攪拌速度が１００ｒｐｍ（３〜１９ｍ／分），４００ｒｐｍ（１２〜７５ｍ／分），１６００ｒｐｍ（５０〜３００ｍ／分），２４００ｒｐｍ（７５〜４５０ｍ／分）の場合における電気めっき試験の試験結果を示すものである。図中、黒点は、ピットを示している。
　【００３６】
　電流密度が６０［Ａ／ｄｍ２］の場合には、１００ｒｐｍ（３〜１９ｍ／分）ではめっきに均一性がなく、ピットがまばらに点在して形成されているが、攪拌速度が大きくなるにつれて徐々に中心に集まり、攪拌速度が２４００ｒｐｍ（７５〜４５０ｍ／分）の場合では点在したピットは確認されず、めっきが均一になっていることが確認できる。
　【００３７】
　電流密度が１２０［Ａ／ｄｍ２］の場合には、１００ｒｐｍ（３〜１９ｍ／分）ではめっきに均一性がなく、ピットが渦巻き状に点在して形成されているが、攪拌速度が大きくなるにつれて徐々に中心に集まり、攪拌速度が２４００ｒｐｍ（７５〜４５０ｍ／分）の場合では点在したピットは確認されず、めっきが均一になっていることが確認できる。
　【００３８】
　このように、本実施の形態の電気めっき試験装置１では、電流密度が同一で、攪拌速度が異なる電気めっき試験を容易に行えることがわかる。また、本実施の形態の電気めっき試験装置１は、高速電気めっき試験にも適用できることがわかる。
　【００３９】
　【発明の効果】
　以上のように、請求項１に記載の電気めっき試験装置によれば、陽極用金属平板と陰極用金属平板
からなるテスト試験片
可変の回転数で
、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる
　【００４０】
　請求項２に記載の電気めっき試験装置によれば、請求項１に記載の
テスト試験片
　【００４１】
　請求項３に記載の電気めっき試験方法によれば、めっき液が注入されている水槽内に設置された陽極用金属平板と、陽極用金属平板に対して平行に設置されている陰極用金属平板
からなるテスト試験片
るとともに、前記陽極用金属平板と前記陰極用金属平板との間に、開口部を有する遮蔽板を設置し、
、陰極用金属平板上で回転中心から外側に向かって同心円状に撹拌速度が大きくなる
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施の形態の電気めっき試験装置１の外観の構成を示す斜視図である。
　【図２】
　本発明の実施の形態の電気めっき試験装置１の要部の構成を示す斜視図である。
　【図３】
　本発明の実施の形態の電気めっき試験装置１の電気めっき試験方法を説明する図である。
　【図４】
　本発明の実施の形態の電気めっき試験装置１を用いた電気めっき試験の試験結果を示す図である。
　【符号の説明】
　１　電気めっき試験装置
　１１　水槽
　１２　めっき液
　１３　支持台
　１４　陽極用金属平板
　１５　陽極用支持棒
　１６，２６　配線
　１７　整流器（直流電源）
　１７ａ　プラス極
　１７ｂ　マイナス極
　１８　遮蔽板
　１８ａ　開口部
　１９　支持部材
　１９ａ　支持受部
　２０，２２　ネジ
　２１　テスト試験片（陰極用金属平板）
　２１ａ　試験面
　２１ｂ　反対側の面
　２１ａａ　境界線
　２１ａｂ　領域
　２１ａｃ　外周端領域
　２３　陰極用金属棒
　２３ａ　スリップリング
　２４　モータ
　２４ａ　ジョイント
　２５　支持台
　２７　電流計
　２８　電圧計