(57)【要約】  本発明は、形状等が互いに異なる一対の型により成形される種々の光学素子について、比較的簡易で、かつ、高精度な転写を可能にする、光学素子の製造方法及び装置を提供する。  滴下工程において温度調整された溶融ガラスＧを滴下し、第１転写工程において第１型で受けて下型１の光学面転写面１１ａを形成することで、光学面転写面１１ａ（第１転写面）において高い転写を確保することが可能となる。また、下型１上で適度な粘性を有した状態のガラス塊ＧＧを上下型１，２の間で加圧することで、光学面転写面１２ａ（第２転写面）において、良好な転写を行うことができる。このように、製造装置２００によるガラスレンズの製造方法では、比較的簡易で、かつ、高精度な光学面転写面１１ａ，１２ａの転写ができる。
2010150571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度調整された溶融ガラスを吐出用ノズルから滴下させる滴下工程と、
前記滴下工程で滴下された溶融ガラスを第１転写面を有する第１型で受けて第１光学面を形成する第１転写工程と、
前記第１型上に保持されたガラス塊を冷却し粘度を上げる冷却工程と、
第２転写面を有する第２型を準備するとともに、前記第１型と前記第２型とを互いに近接させることにより、前記第１型上に保持された前記ガラス塊を前記第１型と前記第２型との間で加圧して第２光学面を形成する第２転写工程と、
を備えることを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項２】
前記第１転写面は、前記第１光学面に対応して微細構造の凹凸を有することを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。
【請求項３】
前記吐出用ノズルから滴下させる前記溶融ガラスの粘度は、１０４ポアズ未満であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記第１型と前記第２型との間で加圧される際の前記ガラス塊の粘度は、１０４ポアズ以上であることを特徴とする請求項３に記載の光学素子の製造方法。
【請求項５】
前記光学素子は、前記第１光学面において凸状であることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項６】
前記光学素子は、ＮＡが０．６以上の対物レンズであることを特徴とする請求項５に記載の光学素子の製造方法。
【請求項７】
前記吐出用ノズルの先端位置から前記第１型の前記第１転写面までの距離は、０．０５ｍ以上５．０ｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項８】
前記第１型の前記第１転写面に到達する時の前記溶融ガラスの速度は、１．０ｍ／ｓ以上９．９ｍ／ｓ以下であることを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項９】
前記吐出用ノズルと前記第１型との間に開口を有する調整部材を配置して、前記第１型上で受け止める溶融ガラスの量を調整することを特徴とする請求項１から請求項８までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１０】
前記第１転写工程及び前記第２転写工程のうち少なくとも前記第２転写工程において、前記ガラス塊の拡張を制限する外周規制部材を前記ガラス塊の周囲に配置することを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１１】
前記外周規制部材は、前記第２型及び前記第１型の少なくとも一方に取り付けられていることを特徴とする請求項１０に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１２】
前記冷却工程において、前記第１転写工程において前記第１型で受け止めた溶融ガラスのみを前記ガラス塊として冷却し、前記第２転写工程において、前記第１型上で冷却された前記ガラス塊を前記第１型と前記第２型との間で加圧することを特徴とする請求項１から請求項１１までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１３】
前記第１転写工程後であって前記冷却工程前において、
第３転写面を有する第３型を準備するとともに、前記第１型と前記第３型とを互いに近接させることにより、前記第１型上に受け止めた溶融ガラスから得た半前駆体を前記第１型と前記第３型との間で加圧する補助転写工程と、
前記補助転写工程後に、温度調整された溶融状態の追加ガラスを吐出用ノズルから再度滴下させる追加滴下工程と、
前記追加滴下工程で滴下された追加ガラスを前記第１型で再度受ける追加保持工程と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項１１までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１４】
前記補助転写工程は、前記第１転写工程の後、３秒以内に行われることを特徴とする請求項１３に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１５】
前記滴下工程で滴下されるガラス材料と前記追加滴下工程で滴下されるガラス材料とは、互いに屈折率が異なる材料であることを特徴とする請求項１３及び請求項１４のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
【請求項１６】
温度調整された溶融ガラスを滴下させる吐出用ノズルと、
前記吐出用ノズルから滴下された溶融ガラスを受けるための第１転写面を有するとともに、前記溶融ガラスが前記第１転写面に衝突する際の運動量を利用することにより第１光学面を形成する第１型と、
前記第１転写面よりも転写性の高い第２転写面を有するとともに、前記第１型上に保持された前記ガラス塊を前記第１型との間に挟んで加圧することにより第２光学面を形成する第２型と、
を備えることを特徴とする光学素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶融したガラス材料を一対の型間でプレスすることによって得られる光学素子の製造方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子であるガラスレンズの製造方法として、プリフォームを再加熱後に上下型でプレスすることにより回折レンズを成形するものが知られている（特許文献１参照）。また、凹凸パターンを有する光学素子を得るために、予め形成される光学素子の凹凸パターンに合わせた変形プリフォームを用いるものが知られている（特許文献２参照）。また、液滴から得たガラス素材を上下型で同時にプレスする際、上下型の間を周囲から覆うように規制枠を設けてプレスの圧力を横へ逃がさなくすることで転写を向上させ、回折レンズ等の複雑な構造を有するレンズを成形するものが知られている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２７７０７８号公報
【特許文献２】特開２００４−２７１５８３号公報
【特許文献３】特開平１１−２３６２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の場合、凹凸パターンや深い溝の部分の転写が不完全になりやすい傾向があり、また、特許文献２のように、凹凸パターンに対応する形状を有する変形プリフォームを作製する場合、例えば製造される光学素子の凹凸パターンが複雑に又は深くなると、変形プリフォームの形状もこれに合わせて複雑な又は深いパターンにする必要がある。また、特許文献３のように、ガラス素材を上下型で同時にプレスする場合、下型による第１面の転写と上型による第２面の転写とが厳密には同時にならず、精密な両面転写は容易でない。【０００５】
そこで、本発明は、一対の型により成形される種々の光学素子について、比較的簡易で、かつ、高精度な転写を可能にする、光学素子の製造方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明に係る光学素子の製造方法は、（ａ）温度調整された溶融ガラスを吐出用ノズルから滴下させる滴下工程と、（ｂ）滴下工程で滴下された溶融ガラスを第１転写面を有する第１型で受けて第１光学面を形成する第１転写工程と、（ｃ）第１型上に保持されたガラス塊を冷却し粘度を上げる冷却工程と、（ｄ）第２転写面を有する第２型を準備するとともに、第１型と第２型とを互いに近接させることにより、第１型上に保持されたガラス塊を第１型と第２型との間で加圧して第２光学面を形成する第２転写工程とを備えることを特徴とする。【０００７】
上記光学素子の製造方法では、滴下工程において温度調整された溶融ガラスを滴下し、第１転写工程において第１型で受けて第１光学面を形成することで、加圧しなくても第１転写面において第１光学面の良好な転写を確保できる。また、冷却工程において第１型上に保持されたガラス塊が所定粘度になるまで冷却した後、第２転写工程においてガラス塊を第１型と第２型との間で加圧することで、第１転写面よりも転写性の高い第２転写面においても第２光学面に対する良好な転写を確保することができる。以上のように、上記光学素子の製造方法では、種々の形状を有する光学素子を、比較的簡易で、かつ、高精度に得ることができる。つまり、製造される光学素子は良好に転写された面形状を有するものとなる。【０００８】
また、本発明の具体的な態様又は観点では、第１転写面が、第１光学面に対応して微細構造の凹凸を有することを特徴とする。この場合、第１転写工程において、第１転写面により、第１光学面に高精度な微細構造の凹凸を形成することができる。【０００９】
本発明の別の態様では、吐出用ノズルから滴下させる溶融ガラスの粘度が、１×１０４ポアズ未満であることを特徴とする。この場合、第１転写工程において、第１転写面の細部まで精密な転写を行うことが容易になる。【００１０】
また、本発明のさらに別の態様では、第１型と第２型との間で加圧される際のガラス塊の粘度が、１×１０４ポアズ以上であることを特徴とする。この場合、粘度を適切にコントロールすることで、第２転写面にヒケが起こることなく良好な状態の第２光学面を形成することができる。【００１１】
また、本発明のさらに別の態様では、光学素子が、第１光学面において凸状であることを特徴とする。凸状とは、凸面上に微細構造の凹凸を有する場合を含んでいるものとする。この場合、第１転写面により転写精度の良好な凸状面として第１光学面を有するレンズを作製できる。【００１２】
また、本発明のさらに別の態様では、光学素子が、ＮＡが０．６以上の対物レンズであることを特徴とする。この場合、高ＮＡの対物レンズの作製が可能となり、微細構造の凹凸として回折構造等を形成することで、高い回折効率を持つとともに例えば複数の波長に対応する対物レンズを得ることができる。【００１３】
また、本発明のさらに別の態様では、吐出用ノズルの先端位置から第１型の第１転写面までの距離が、０．０５ｍ以上５．０ｍ以下であることを特徴とする。この場合、第１転写工程において、第１転写面に対する溶融ガラスの衝突圧を比較的高めて高精度な第１光学面を形成できるとともに、溶融ガラスが第１転写面で跳ね上がることを抑制できる。【００１４】
また、本発明のさらに別の態様では、第１型の第１転写面に到達する時の溶融ガラスの速度が、１．０ｍ／ｓ以上９．９ｍ／ｓ以下であることを特徴とする。この場合、第１転写工程において、第１転写面に対する溶融ガラスの衝突圧を比較的高めて高精度な第１光学面を形成できるとともに、溶融ガラスが第１転写面で跳ね上がることを抑制できる。【００１５】
また、本発明のさらに別の態様では、吐出用ノズルと第１型との間に開口を有する調整部材を配置して、第１型上で受け止める溶融ガラスの量を調整することを特徴とする。この場合、調整部材により、光学素子を形成するのに適量に調整した溶融ガラスを第１型上に滴下させることができる。【００１６】
また、本発明のさらに別の態様では、第１転写工程及び第２転写工程のうち少なくとも第２転写工程において、ガラス塊の拡張を制限する外周規制部材をガラス塊の周囲に配置することを特徴とする。この場合、外周規制部材により、第２転写工程において、ガラス塊をプレスする際の圧力を逃がさないことで転写を向上させることができる。【００１７】
また、本発明のさらに別の態様では、外周規制部材が、第２型及び第１型の少なくとも一方に取り付けられていることを特徴とする。この場合、少なくとも第２転写工程において第１型と第２型との隙間をこれらのいずれかに付随する外周規制部材によって自動的に囲むように配置できる。【００１８】
また、本発明のさらに別の態様では、冷却工程において、第１転写工程において第１型で受け止めた溶融ガラスのみをガラス塊として冷却し、第２転写工程において、第１型上で冷却されたガラス塊を第１型と第２型との間で加圧することを特徴とする。この場合、１回の滴下によって１つの光学素子が製造される。【００１９】
また、本発明のさらに別の態様では、（ａ）第１転写工程後であって前記冷却工程前において、（ｂ）第３転写面を有する第３型を準備するとともに、第１型と第３型とを互いに近接させることにより、第１型上に受け止めた溶融ガラスから得た半前駆体を第１型と第３型との間で加圧する補助転写工程と、（ｃ）補助転写工程後に、温度調整された溶融状態の追加ガラスを吐出用ノズルから再度滴下させる追加滴下工程と、（ｄ）追加滴下工程で滴下された追加ガラスを前記第１型で再度受ける追加保持工程とをさらに備えることを特徴とする。この場合、比較的少量の半前駆体に対する補助転写工程により、第１転写面での転写を高めることができる。なお、追加滴下工程で滴下される追加ガラスの材料は、例えば先の滴下工程で滴下される溶融ガラスの材料と同じものとすることができる。【００２０】
また、本発明のさらに別の態様では、補助転写工程が、第１転写工程の後、３秒以内に行われることを特徴とする。この場合、比較的粘度の低いうちに半前駆体に圧力をかけることができ、第１光学面について良好な転写を確保できる。【００２１】
また、本発明のさらに別の態様では、滴下工程で滴下されるガラス材料と追加滴下工程で滴下されるガラス材料とが、互いに屈折率が異なる材料であることを特徴とする。この場合、屈折率を適宜調整して多様な光学特性を有する光学素子の製造が可能となる。【００２２】
上記課題を解決するため、本発明に係る光学素子の製造装置は、（ａ）温度調整された溶融ガラスを滴下させる吐出用ノズルと、（ｂ）吐出用ノズルから滴下された溶融ガラスを受けるための第１転写面を有するとともに、溶融ガラスが第１転写面に衝突する際の運動量を利用することにより第１光学面を形成する第１型と、（ｃ）第１転写面よりも転写性の高い第２転写面を有するとともに、第１型上に保持されたガラス塊を第１型との間に挟んで加圧することにより第２光学面を形成する第２型とを備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係るガラスレンズの製造装置を説明するための図である。
【図２】ガラスレンズの製造用の金型装置について説明するための断面図である。
【図３】ガラスレンズの製造装置の一部拡大図である。
【図４】成形されたガラスレンズの形状を説明するための断面図である。
【図５】金型装置を用いたガラスレンズの製造における加圧成形工程について説明するため一部を拡大した断面図である。
【図６】第１実施形態におけるガラスレンズの製造方法について説明するためのフローチャートである。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）は、溶融ガラス滴下後の転写についての実験例について説明するための図である。
【図８】第２実施形態に係るガラスレンズの製造装置を説明するための図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）は、第３実施形態に係るガラスレンズの金型装置を説明するための断面図である。
【図１０】第４実施形態に係るガラスレンズの金型装置を説明するための断面図である。
【図１１】（Ａ）、（Ｂ）は、第５実施形態に係るガラスレンズの金型装置を説明する部分拡大断面図である。
【図１２】第２実施形態におけるガラスレンズの製造方法について説明するためのフローチャートである。
【図１３】製造装置の変形例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
〔第１実施形態〕
以下、図１から図５までを参照して、本発明の第１実施形態に係る光学素子であるガラスレンズの製造方法について説明する。
【００２５】
図１等に示すガラスレンズの製造装置２００は、金型装置としての原材料供給部５０と、成形金型１０と、制御駆動装置６０とを備える。なお、図１では省略しているが、成形金型１０は、図２に示すように下型１に対向して配置可能な上型２を有している。
【００２６】
この製造装置２００は、原材料供給部５０において原材料であるガラスを加熱し溶融することによって得た溶融ガラスＧを、成形金型１０の第１型である下型１上にガラス滴ＧＤとして滴下する。この際、ガラス滴ＧＤは、比較的粘性の低い（温度の高い）状態で滴下され、図３に示すように、原材料供給部５０から落下し下型１上に着地する際に衝突することで、下型１に合わせて変形した状態で貼り付く。以上のようにして、製造装置２００は、原材料供給部５０により、溶融ガラスＧの一滴分であるガラス滴ＧＤを成形金型１０の下型１上に衝突するように供給させるとともに、成形金型１０の下型１により、衝突するガラス滴ＧＤの下側に対して面の転写を行わせる。さらに、製造装置２００は、成形金型１０の下型１により、転写後下型１上に保持されたガラス滴ＧＤを適宜冷却させるとともに、成形金型１０の上型２により、適度に粘度の高まったガラス塊ＧＧを下型１と上型２の間に挟んで加圧成形させる。つまり、両型１，２を利用した加圧成形により、ガラス滴ＧＤの主に上側に対して面の転写が行われ、図４に示すようなガラス製の光学素子であるガラスレンズ１００を製造することができる。
【００２７】
製造の対象となるガラスレンズ１００は、例えばピックアップ装置に組み込まれる対物レンズとして用いることができる。ガラスレンズ１００は、光学的機能を有するレンズ本体としての中心部１００ａと、中心部１００ａから外径方向外側に延在する環状のフランジ部１００ｂとを備える。特に、このガラスレンズ１００は、所望の光学的機能を実現するように、例えば光源側に配置される第１のレンズ面１０１ａに微細構造ＦＰを有している。この微細構造ＦＰにより、第１のレンズ面１０１ａは、例えば記録媒体側に配置される第２のレンズ面１０２ａよりも複雑な形状を有するものとなっている。第１のレンズ面１０１ａに形成される微細構造ＦＰは、例えば異なる波長の光に対して異なる焦点距離やＮＡを設定可能な回折構造等とすることができる。
【００２８】
図１に戻って、原材料供給部５０は、ガラス溶融用の溶融坩堝５１と、溶融ガラスＧの吐出用ノズルである溶融ガラス供給ノズル５２とを有する。なお、原材料供給部５０は、溶融坩堝５１や溶融ガラス供給ノズル５２を加熱するためのヒータ５０ａ，５０ｂを有している。
【００２９】
溶融坩堝５１は、原料を加熱及び撹拌することによって得た溶融ガラスＧを溜めており、溶融坩堝５１の底部に接続された溶融ガラス供給ノズル５２に対して溶融ガラスＧを連続的に供給する。溶融ガラス供給ノズル５２は、溶融坩堝５１中の溶融ガラスＧを下端の吐出部５２ａから吐出させるとともに、吐出された溶融ガラスＧをガラス滴ＧＤとして所望の周期的なタイミングで滴下させる。この際、ヒータ５０ａ，５０ｂは、溶融坩堝５１及び溶融ガラス供給ノズル５２内の溶融ガラスＧを、それぞれ適度な粘度の溶融状態にしている。本実施形態において、溶融ガラス供給ノズル５２から吐出される溶融ガラスＧは、比較的温度が高い状態に保たれている。つまり、滴下時の溶融ガラスＧの粘性は、比較的低い状態となっており、その値は１０４ポアズ（単位：Ｐ）以下の一定値（例えば３Ｐとなっている。さらに、吐出部５２ａは、溶融ガラスＧの目標流量等に適合する内径を有し、ガラス滴ＧＤのサイズや滴下周期を調整するため下方に向けて適度に広がるテーパー状の内面形状を有する。溶融ガラス供給ノズル５２は、吐出又は滴下時の溶融ガラスＧの粘性に応じて設計されており、吐出部５２ａに溜まった溶融ガラスＧが適量に達した場合、この溶融ガラスＧをその自重によってガラス滴ＧＤとして成形金型１０の下型１に向けて落下させる。ここで、溶融ガラス供給ノズル５２の下端５２ｅから下型１までの距離ｈ即ち溶融ガラス供給ノズル５２の高さは、例えば１．５ｍとなっている。
【００３０】
図２に示すように、成形金型１０は、第１型である固定側の下型１と、第２型である可動側の上型２と、上型２に付随する外周規制枠３とを備える。成形の際、上型２は制御駆動装置６０の制御下で下型１に対向するように移動させられ、両型１，２を互いに突き合わせる型閉じと、両型１，２を適度の圧力で締め付けるような型締めとが行われる。上述のように、両型１，２に挟まれたガラス塊ＧＧは、下型１上で冷却されて適度な粘性を有する状態となっており、型締め時の加圧によって主に上型２の転写作用を受けてガラスレンズ１００に成形される。
【００３１】
次に、図２等を参照して、成形金型１０の詳細について説明する。成形金型１０のうち下型１は、転写のための型本体１ａを備える。型本体１ａは、成形に際しての下型転写面１１（図５参照）として、図４に示すガラスレンズ１００のうち微細構造ＦＰを有している第１のレンズ面１０１ａを形成するための光学面転写面１１ａ（第１転写面）と、輪帯状のフランジ面１０１ｂを形成するためのフランジ面転写面１１ｂとを有する。このうち、光学面転写面１１ａは、比較的曲率の大きな凹面となっており、微細構造ＦＰに対応する凹凸パターンＣＰを有している。これらの光学面転写面１１ａとフランジ面転写面１１ｂとは、型本体１ａの上端面によって画成される。型本体１ａは、単一の部材とすることもできるが、例えば型枠及び入れ子型のように複数の部材で構成することもできる。なお、下型１には、型本体１ａの温度を適度に保つためのヒータ２０ａが内蔵されている。
【００３２】
上型２は、転写のための型本体２ａを備える。型本体２ａは、成形に際しての上型転写面１２（図５参照）として、図４に示すガラスレンズ１００のうち微細構造を有しておらず相対的に構造の単純な第２のレンズ面１０２ａを形成するための光学面転写面１２ａ（第２転写面）と、輪帯状のフランジ面１０２ｂを形成するためのフランジ面転写面１２ｂとを有する。このうち、光学面転写面１２ａは、比較的曲率の小さな凹面となっており、凹凸を有しない平滑面となっている。これらの光学面転写面１２ａとフランジ面転写面１２ｂとは、型本体２ａの下端面によって画成される。型本体２ａは、単一の部材とすることもできるが、例えば型枠及び入れ子型のように複数の部材で構成することもできる。なお、上型２には、型本体２ａの温度を適度に保つためのヒータ２０ｂが内蔵されている。
【００３３】
外周規制枠３は、上型２の型本体２ａに対してアライメントされた状態で固定されている。外周規制枠３は、図４に示すガラスレンズ１００の外周側面１０３ｃを形成するための外周規制面として外周側面転写面１３ｃを有する外周規制部材である。外周規制枠３は、上記のように最終製品としてのガラスレンズ１００の側面を転写によって直接形成する機能のほか、製造の途中段階で流動するガラス塊ＧＧの流れを側方から制御する役割も有する。つまり、外周規制枠３は、上型２とともに可動であるため、ガラスレンズ１００の加圧成形に際して上下型１，２の隙間を自動的に囲むように配置されるものとなっている。なお、外周側面転写面１３ｃは、ガラスレンズ１００の離型の都合を考慮して、下方に向けて広がるようなテーパー面となっている。
【００３４】
制御駆動装置６０は、原材料供給部５０の動作と成形金型１０の動作とを制御する。例えば、制御駆動装置６０は、原材料供給部５０のヒータ５０ａ，５０ｂを適宜動作させて、溶融坩堝５１内のガラス材料の溶融状態を調整するとともに、溶融ガラス供給ノズル５２から吐出させる溶融ガラスＧの粘度を調整する。また、制御駆動装置６０は、上型２を駆動して、水平なＡＢ方向に移動させることができるとともに、鉛直のＣＤ方向に移動させることができる。両型１，２を合わせて型閉じ及び型締めを行う際には、まず下型１の上方位置に上型２を移動させて両型１，２の中心軸ＣＸ１，ＣＸ２を一致させ、上型２を降下させて下型１側に所定の力で押し付ける。
【００３５】
図５の部分拡大断面図に示すように、下型１と上型２とを合わせる型閉じ及び型締めに際して、外周規制枠３の下端と下型１の型本体１ａの上端とは、互いに近接し、これらの間には、流動するガラス塊ＧＧが十分に入り込めないほどのわずかな隙間ＧＰ１が形成される。つまり、型締めによる加圧成形の際には、両本体１ａ，２ａに挟まれた型空間内に溜まった空気が隙間ＧＰ１を通って外部に排出されるようになっている。また、型本体１ａの外縁部ＰＡと外周規制枠３の内縁部下端との間に隙間ＧＰ１を設けることで、空気抜きの効果だけでなく、加圧成形時に型本体１ａと外周規制枠３とが干渉することを回避できる。これにより、下型１等の損傷を回避できるだけでなく、得られたガラスレンズ１００において、非点収差等のガラスレンズ性能が劣化すること、厚み等の形状精度が劣化することを防止できる。
【００３６】
以上のようにして、図４に示すようなガラスレンズ１００が成形される。このガラスレンズ１００は、全体として凸レンズ状であり、ＮＡが０．６以上の対物レンズである。ガラスレンズ１００は、第１光学面である第１のレンズ面１０１ａの全体的な曲率が第２光学面である第２のレンズ面１０２ａの全体的な曲率よりも大きくなるような、偏りを有している。特に、ガラスレンズ１００の第１のレンズ面１０１ａには、下型１の光学面転写面１１ａを転写した微細構造ＦＰが形成されている。このガラスレンズ１００は、上記のようにして製造されるため、レンズ面１０１ａ，１０２ａがより精密に転写された良好な状態の表面形状を有するものとなっている。つまり、ガラスレンズ１００は、使用される複数の波長の光束に対して高い回折効率を持つ高ＮＡの対物レンズとなっている。
【００３７】
以下、図１等に示す製造装置２００を用いたガラスレンズ１００の製造方法の具体的な一例について、図６のフローチャート等により説明する。
【００３８】
まず、図１に示すように、制御駆動装置６０は、溶融ガラス供給ノズル５２の下方に下型１を配置し、溶融ガラス供給ノズル５２からガラス滴ＧＤを下型１の光学面転写面１１ａ上に自然滴下させる滴下工程の処理が行われる（ステップＳ１）。具体的に説明すると、溶融ガラス供給ノズル５２に導かれた溶融ガラスＧは、下端の吐出部５２ａに溜まる。先端部５２ｄに溜まった溶融ガラスＧは、所定量に達したところで、１０４Ｐ（ポアズ）以下の滴下目標粘度、例えば１０３Ｐの粘度を有するガラス滴ＧＤとして落下する。なお、溶融ガラスＧに用いる原材料のガラスとしては、例えば、リン酸塩系ガラス等が用いられる。この際、溶融ガラス供給ノズル５２の下端５２ｅから下型１の光学面転写面１１ａまでの距離ｈは、例えば距離ｈ＝１．５ｍに設定されている。この設定で自然滴下させると、ガラス滴ＧＤの光学面転写面１１ａ上における衝突速度は約５．４ｍ／ｓとなる。なお、距離ｈ＝１．０ｍの設定で自然滴下させると、ガラス滴ＧＤの衝突速度は約４．４ｍ／ｓとなる。下型１は、当該速度で落下してきたガラス滴ＧＤを光学面転写面１１ａで受け止める（ステップＳ２）。この場合、ステップＳ２において、ガラス滴ＧＤは、ある程度の勢いを有し、かつ、粘性１０４Ｐ以下と比較的低粘度の状態となっている。このため、図３に示すように、ガラス滴ＧＤに対しては、光学面転写面１１ａにおいて適度に拡がりつつ高精度に転写がなされる（第１転写工程）。なお、制御駆動装置６０は、ステップＳ２において、不図示のセンサー等により光学面転写面１１ａ上にガラス滴ＧＤが滴下したことを確認し時間計測を併せて開始する。次に、制御駆動装置６０は、下型１上方に上型２を配置する型準備工程を行う（ステップＳ３）。つまり、制御駆動装置６０は、図１の状態から図２の状態になるように各部材の移動を適宜行う。ステップＳ３の型準備工程が終了すると、制御駆動装置６０は、一旦動作を停止させ（ステップＳ４）、ステップＳ２で開始した計測時間が一定時間に達したかを確認し（ステップＳ５）、一定時間に達していなければ（ステップＳ５：Ｎｏ）、ガラス滴ＧＤの粘度がまだ低いと判断し、ステップＳ４の動作停止処理を継続する。一方、制御駆動装置６０は、一定時間に達すると（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、ガラス滴ＧＤがある程度の粘性をもったガラス塊ＧＧに変性したと判断する（冷却工程の終了）。ここで、ガラス塊ＧＧに変性したと判断する際のガラス滴ＧＤの粘度の基準値は例えば１０４Ｐ以上のプレス目標粘度とする。つまり、ステップＳ５では、ガラス滴ＧＤの粘度が例えば１０４Ｐ以上のプレス目標粘度、例えば１０５Ｐに達したか否かを判断している。ステップＳ５において、制御駆動装置６０は、一定時間経過したと判断すると、上型２を下降させ、ガラスレンズ１００を成形する第２転写工程の処理を行う（ステップＳ６）。具体的には、予め下型１と同程度の温度に保っておいた上型２を下降させ、下型転写面１１と上型転写面１２とを互いに対向させた状態を維持して上型２を下型１に近接させるとともに上下型１，２の隙間を周囲から覆うように外周規制枠３を配置して、所望のプレス目標粘性を持つガラス塊ＧＧを上下型１，２及び外周規制枠３によって形成される型空間内に閉じ込めて加圧成形する。この際、上型２によりガラス塊ＧＧは押しつぶされるように変形し、光学面転写面１２ａ、フランジ面転写面１２ｂ及び外周側面転写面１３ｃによって、ガラスレンズ１００のうちまだ成形されていない残りの表面形状を構成する第２のレンズ面１０２ａ、フランジ面１０２ｂ、外周側面１０３ｃ等がそれぞれ形成される（図４、５参照）。また、光学面転写面１１ａについても、この加圧成形により、より高精度な状態で転写がなされ、第１のレンズ面１０１ａについても面形状が定まる。上記成形工程の後半においてガラス塊ＧＧの温度が漸次低下していくことにより、ガラス塊ＧＧが徐々に硬化しガラスレンズ１００が成形される。ガラスレンズ１００を十分に冷却した後、制御駆動装置６０が下型１及び上型２の加圧を解除して、上型２を上昇させることにより、ガラスレンズ１００を型外へ取り出す取出工程の処理が行われる（ステップＳ７）。
【００３９】
以上の製造方法によれば、滴下工程において温度調整された溶融ガラスＧを滴下し、第１転写工程において第１型で受けて下型１の光学面転写面１１ａを形成することで、特に加圧しなくても光学面転写面１１ａ（第１転写面）において高い転写を確保することが可能となる。
【００４０】
また、下型１上で適度な粘性を有した状態のガラス塊ＧＧを上下型１，２の間で加圧することで、光学面転写面１１ａ（第１転写面）よりも相対的に転写性の高い光学面転写面１２ａ（第２転写面）において、良好な転写を行うことができる。以上により、上記製造装置２００によるガラスレンズ１００の製造方法では、比較的簡易で、かつ、高精度な光学面１１ａ，１２ａの転写ができる。つまり、製造されるガラスレンズ１００は良好な状態の面形状のレンズ面１０１ａ，１０２ａを有するものとなる。
【００４１】
以上において、本実施形態に係る製造装置２００の設定は、上記のような場合に限られるものではない。例えば、上記において、溶融ガラスＧを滴下する際の粘度（ガラスの滴下粘度）を１０３Ｐ（ポアズ）としているが、必要とする粘性は、この値に限らず、転写面１１，１２の形状等に応じて適宜変更可能である。なお、溶融ガラスＧを滴下する際の粘度は、１０２Ｐから１０３Ｐの値が望ましい。また、下端５２ｅから光学面転写面１１ａまでの距離ｈは、例えば１．５ｍ、１．０ｍに設定されているが、距離ｈの値は、適宜変更可能である。また、プレス目標粘度は、１０４Ｐ以上の値であることが望ましい。さらには、１０４Ｐから１０８Ｐの値であることが望ましい。
【００４２】
以下、製造装置２００によるガラスレンズ１００の製造条件を決定するために行った実験について説明する。図７（Ａ）及び７（Ｂ）は、滴下工程で図１等に示す下型１に代えて用いる２つの実験用の実験用金型１Ａ、１Ｂの断面を示し、下記表１〜３は、実験用金型１Ａ、１Ｂを用いた場合の転写状態の実験結果を説明するものである。なお、表１は、実験の際の充填率すなわち転写状態の評価の基準を示し、表２は、滴下時の溶融ガラスＧの粘度と充填率等から得た転写状態の評価結果との関係を示し、表３は、実験用金型１Ａ、１Ｂに到達する際のガラス滴ＧＤの速度と転写状態の評価結果との関係を示す。
【００４３】
【表１】
2010150571.tif 000003
【００４４】
【表２】
2010150571.tif 000004
【００４５】
【表３】
2010150571.tif 000005
【００４６】
図７（Ａ）の実験用金型１Ａは、円筒状の窪みＡＡを有し、７（Ｂ）の実験用金型１Ｂは、円錐状の窪みＢＢを有しており、いずれの窪みＡＡ，ＢＢもガラスレンズ作製用の下型１或いはその一部の微細構造に見立てたものである。
【００４７】
表１において、充填率とは、実験用金型１Ａ、１Ｂの有する窪みの容積に対するガラス滴ＧＤの占める比率を言い、ここでは、図７（Ａ）及び７（Ｂ）に示す断面における実験用金型１Ａ、１Ｂの断面積Ａ１，Ｂ１に対するガラス滴ＧＤの断面積ＡＧ，ＢＧによって定めている。評価基準としては、表１に示すように、充填率が９０パーセント以上あるものを実用レベルとし、より好ましくは充填率が９９パーセント以上であるものとする。また、評価基準としては、充填率のほかに転写率も考慮する。転写率は、実験用金型１Ａ、１Ｂの表面ＳＡ，ＳＢに接する溶融ガラスＧの比率を言い、跳ね上がりや空気の巻き込みを防止しつつ周囲への広がりを確保する観点から一定以上であることを必要とするものとする。上記表２に示す結果から、溶融ガラスＧのガラスの滴下粘度については、１０４Ｐ以下であれば、十分な転写状態が得られることが分かる。また、上記表３に示す結果から、光学面転写面１１ａ到達時の速度であるガラスの滴下速度については、１．０ｍ／ｓ程度から９．９ｍ／ｓ程度までの範囲、即ち滴下速度に対応する溶融ガラス供給ノズル５２の高さに対応する落下の距離ｈについては、０．０５ｍ程度から５．０ｍ程度までの範囲で、転写が可能であることが分かる（。特に、ガラスの滴下速度が１．９ｍ／ｓから８．８ｍ／ｓ程度までの範囲で、落下の距離が０．２ｍから４．０ｍ程度までの範囲で、より良好な転写結果が得られている。つまり、滴下速度１．０〜９．９ｍ／ｓ程度とし、或いは距離ｈ＝０．０５〜５．０ｍ程度とすること、好ましくは、滴下速度１．９〜９．０ｍ／ｓ程度とし、或いは落下の距離０．２〜４．０ｍ程度とすることで、ガラス滴ＧＤが光学面転写面１１ａに対して十分な運動量で衝突して必要な転写作用を受けるとともにガラス滴ＧＤが光学面転写面１１ａから跳ね上がること等を抑制でき、高精度な光学面の転写状態の確保された実用的な転写を行うことができる。
【００４８】
〔第２実施形態〕
以下、本発明に係る第２実施形態に係る光学素子であるガラスレンズの製造装置について説明する。第２実施形態の製造装置は、第１実施形態の製造装置を変形したものであり、特に説明しない部分は、第１実施形態と同様である。
【００４９】
図８に示すように、本実施形態における製造装置３００では、吐出用ノズルである溶融ガラス供給ノズル５２から第１型である下型１までの間に調整部材３７０を配置している。調整部材３７０は、開口ＯＰと筒状部ＳＰと滴下口ＥＰとを有し、ガラス滴ＧＤを通過させることでガラス滴ＧＤの量を調整する。より具体的に説明すると、開口ＯＰは、溶融ガラス供給ノズル５２に対向する位置に配置されており、溶融ガラス供給ノズル５２から滴下されたガラス滴ＧＤは、下型１に到達する前に、開口ＯＰから調整部材３７０に入り込む。調整部材３７０に入り込んだガラス滴ＧＤは、筒状部ＳＰを通過して、開口ＯＰよりも小径の滴下口ＥＰを介して滴下される。この場合、調整部材３７０を通過することで、例えばガラス滴ＧＤの一部が除去され、ガラス滴ＧＤのサイズが１滴で１つのガラスレンズ１００の作製に適切な量となるように調整できる。また、滴下口ＥＰから下型１上の最適な位置（光学面転写面１１ａの中心位置）に向くように滴下位置が調整されている。ただし、落下速度については、調整部材３７０の存在によって低下する可能性があるが、当該速度についても調整部材３７０の配置高さ等によって調整可能である。
【００５０】
本実施形態の製造装置３００を用いた製造方法においても、比較的簡易で、かつ、高精度な光学面の転写状態で製造を行うことができる。従って、製造されるガラスレンズ１００は良好な状態の面形状を有するものとなる。また、この場合、調整部材３７０によりガラス滴ＧＤの通過が制限され、ガラスレンズ１００を形成するのに適量のガラス滴ＧＤが下型１上に滴下される。
【００５１】
〔第３実施形態〕
以下、本発明に係る第３実施形態の成形金型について説明する。第３実施形態の成形金型は、第１実施形態の成形金型を変形したものであり、特に説明しない部分は、第１実施形態と同様である。
【００５２】
図９（Ａ）に示すように、本実施形態における第１の成形金型４１０は、可動側の下型１に外周規制枠３を備えている。つまり、成形金型４１０の外周規制枠３は、型本体１ａに対してアライメントされた状態で固定されている。この場合、外周規制枠３は、上記のように最終製品としてのガラスレンズ１００の側面を転写によって直接形成する機能のほか、第１転写工程において、ガラス滴ＧＤが下型１に衝突する際に、ガラス滴ＧＤが周囲に飛散することを抑える役割も果たす。なお、外周規制枠３は、円環状の枠体であるが、離型の都合を考慮して、例えば２つの半円環状の部材に分離可能となっている。
【００５３】
また、図９（Ｂ）に示すように、本実施形態における変形例である第２の成形金型１４１０は、下型１のフランジ面転写面１１ｂとなるべき面上の一部分に外周規制枠３を配置している。つまり、第２の成形金型１４１０は、フランジ面転写面１１ｂのうち外縁側に外周規制枠３を固定させており、上型２も外周規制枠３との干渉回避を考慮した形状となっている。この場合も、ガラス滴ＧＤが下型１に衝突する際に、外周規制枠３は、ガラス滴ＧＤが周囲に飛散することを抑える役割も果たすものとなる。
【００５４】
なお、外周規制枠３については、下型１及び上型２のいずれかだけでなく、下型１及び上型２の双方に設けられていてもよい。
【００５５】
本実施形態の成形金型４１０，１４１０やこれを用いた製造方法においても、比較的簡易で、かつ、高精度な光学面の転写状態で製造を行うことができる。従って、製造されるガラスレンズ１００は良好な状態の面形状を有するものとなる。また、この場合、滴下時におけるガラス滴ＧＤの飛散抑制を図ることも可能となる。
【００５６】
〔第４実施形態〕
以下、本発明に係る第４実施形態の成形金型について説明する。第４実施形態の成形金型は、第１実施形態等の成形金型を変形したものであり、特に説明しない部分は、第１実施形態等と同様である。
【００５７】
図１０に示すように、本実施形態における成形金型２４１０は、図２等に示すような外周規制枠３を備えていない。つまり、成形金型２４１０を構成する上下型１，２を型閉じ状態とした場合、下型１の下型転写面１１と上型２の上型転写面１２とが離間して対向し、下型転写面１１上に保持されたガラス塊ＧＧは、両転写面１１，１２間でプレスされ主に上型転写面１２によってガラスレンズ１００の第２のレンズ面１０２ａ等の成形即ち転写が行われる。この際、両型１，２間の隙間の外周が開放された状態となるが、両型１，２の温度、ガラス塊ＧＧの粘度等の調整により、プレス圧に頼らず第２のレンズ面１０２ａの精密な転写すなわち高品位のガラスレンズ１００の形成が可能になる。
【００５８】
〔第５実施形態〕
以下、本発明に係る第５実施形態の成形金型について説明する。第５実施形態の成形金型は、第１実施形態等の成形金型を変形したものであり、特に説明しない部分は、第１実施形態等と同様である。
【００５９】
図１１（Ａ）及び１１（Ｂ）に示すように、本実施形態における成形金型５１０は、上下型１，２に加え、第３型である補助転写型５１１を有する。補助転写型５１１は、第３転写面である補助転写面５１１ａを有する。ここで、この成形金型５１０によるガラスレンズの作製では、１滴のガラス滴ＧＤで１つのガラスレンズが作製されるのではなく、段階的に滴下される２滴の第１ガラス滴ＧＤ１と第２ガラス滴ＧＤ２とによって１つのガラスレンズの作製されるものとなっている。つまり、まず、原材料供給部５０の溶融ガラス供給ノズル５２（図１参照）から、比較的少量の第１ガラス滴ＧＤ１が滴下され、その後ある間隔をおいて第２ガラス滴ＧＤ２が滴下される。下型１上に第１ガラス滴ＧＤ１が滴下されると、可動側にある補助転写型５１１は、図１１（Ａ）に示すように、下型１に近接して、下型１上に受け止めた第１ガラス滴ＧＤ１を半前駆体ＨＦとして加圧する（補助転写工程）。補助転写型５１１の補助転写面５１１ａにより、中間形成面ＧＤａが半前駆体ＨＦに形成される。さらに、成形金型５１０は、補助転写型５１１を退避させ、中間形成面ＧＤａ上に、溶融状態の追加ガラスである第２ガラス滴ＧＤ２を溶融ガラス供給ノズル５２から再度滴下させる（追加滴下工程）。追加滴下工程において滴下された第２ガラス滴ＧＤ２を、下型１に保持された半前駆体ＨＦに形成されている中間形成面ＧＤａ上で受け（追加保持工程）、図１１（Ｂ）に示すように、上型２と下型１とにより第１ガラス滴ＧＤ１から得た半前駆体ＨＦと第２ガラス滴ＧＤ２とを合わせて１つのガラス塊ＧＧとして加圧成形する（第２転写工程）。以上により、光学素子であるガラスレンズ１００（図４参照）を成形する。
【００６０】
以下、成形金型５１０を用いたガラスレンズの製造方法について、図１２のフローチャート等により説明する。
【００６１】
まず、図１等の溶融ガラス供給ノズル５２から第１ガラス滴ＧＤ１を下型１の光学面転写面１１ａ上に自然滴下させる主滴下工程の処理が行われる（ステップＳ１０１）。下型１は、落下してきた第１ガラス滴ＧＤ１を光学面転写面１１ａで受け止める（ステップＳ１０２）。次に、制御駆動装置６０は、図１１（Ａ）に示す補助転写型５１１を準備する（ステップＳ１１１）。つまり、制御駆動装置６０は、補助転写型５１１を下型１上に保持された第１ガラス滴ＧＤ１の真上にくるように移動させる（補助転写型準備工程）。次に、制御駆動装置６０は、補助転写型５１１を下型１に近接させて、補助転写型５１１の補助転写面５１１ａを第１ガラス滴ＧＤ１から得た半前駆体ＨＦに押し付けるようにして、半前駆体ＨＦを加圧する補助転写工程を行う（ステップＳ１１２）。これにより、半前駆体ＨＦの下部が光学面転写面１１ａに押し付けられて、転写の状態の向上を図れる。このため、補助転写工程は、第１ガラス滴ＧＤ１即ち半前駆体ＨＦの流動性が高いうちに素早く行われることが望ましい。ここでは、補助転写工程は、ステップＳ１０２において第１ガラス滴ＧＤ１が光学面転写面１１ａで受け止められた後、３秒以内、好ましくは１秒以内に行われるものとする。補助転写型５１１を退避させた後、溶融ガラス供給ノズル５２から第２ガラス滴ＧＤ２が滴下される（ステップＳ１１３）。第２ガラス滴ＧＤ２は、半前駆体ＨＦに形成された中間形成面ＧＤａ上に保持される（ステップＳ１１４）。ここでは、第１ガラス滴ＧＤ１から得た半前駆体ＨＦ上に第２ガラス滴ＧＤ２が重なったものを一纏まりのガラス塊ＧＧとして取り扱う。なお、制御駆動装置６０は、ステップＳ１１４において、不図示のセンサー等により半前駆体ＨＦ上に第２ガラス滴ＧＤ２が滴下したことを確認し時間計測を併せて開始する。次に、制御駆動装置６０は、下型１上に上型２を設置する型準備工程を行う（ステップＳ１０３）。ステップＳ１０３の型準備工程が終了すると、制御駆動装置６０は、一旦動作を停止させ（ステップＳ１０４）、一定時間に達したことを確認すると（ステップＳ１０５）、第２ガラス滴ＧＤ２等がある程度の粘性をもったガラス塊ＧＧに変性したと判断し、第２転写工程の処理を行う（ステップＳ１０６）。ステップＳ１０６の後半においてガラス塊ＧＧの温度が漸次低下していくことにより、ガラスレンズ１００が成形され、十分に冷却した後、ガラスレンズ１００が取り出される（ステップＳ１０７）。
【００６２】
なお、以上において、補助転写面５１１ａを形成する凸部ＰＴは、光学面転写面１１ａの形状に沿うような曲面を有している、これにより、補助転写工程において、第１ガラス滴ＧＤ１即ち半前駆体ＨＦが図１１（Ａ）に示す矢印の方向に略均等に押し付けられることで、転写の状態を高めることが可能になっている。
【００６３】
また、上記実施形態において、第１ガラス滴ＧＤ１と第２ガラス滴ＧＤ２とは、ともに同じ原材料供給部５０（図１参照）から滴下させているが、例えば図１３に示すように、製造装置５００において、溶融坩堝５１ａ，５１ｂをそれぞれ有する２つの原材料供給部５５０，５５０を交互に用いることにより、第１ガラス滴ＧＤ１と第２ガラス滴ＧＤ２とについて互いに屈折率の異なるガラス材料を使用してもよい。この場合、屈折率を適宜調整して多様な光学特性を有するガラスレンズの製造が可能となる。
【００６４】
以上、各実施形態に係る製造装置について説明したが、本発明に係る製造装置は上記のものには限られない。
【００６５】
まず、上記実施形態では、ＮＡを０．６以上の微細構造を有する対物レンズとしているが、これに限らず回折素子等種々の微細構造を有するレンズの製造が可能である。なお、ＮＡが０．６以上の高いＮＡのレンズは、Ｂｌｕ−Ｒａｙ等の高精度なレンズに適用させることができる。
【００６６】
また、上記実施形態において、光学面転写面１２ａ（第２転写面）は、光学面転写面１１ａ（第１転写面）よりも転写性の高いものとしているが、光学面転写面１２ａにより形成される第２のレンズ面１０２ａ（第２光学面）については、ガラスレンズ１００を取出した後、再加熱や研磨によりさらに加工することも可能である。
【００６７】
また、上記実施形態において、製造装置２００，３００，５００は、ガラスレンズ１００の製造の各工程を行うために、原材料供給部５０，５５０と上型２とを移動させるものとしているが、原材料供給部５０等と上型２との入替えの方法は、これに限らない。例えば、下型１のみを移動させることができる。また、例えば溶融ガラス供給ノズル５２の滴下位置よりも下方に出し入れ可能なシャッターを設け、上型２を当該シャッターよりも下方において出し入れ可能な態様としてもよい。この場合、滴下工程に際しては、シャッター及び上型２を退避させておくことで滴下が適切に行われる。一方、転写・成形の工程に際しては、シャッターを挿入することによりガラス滴ＧＤ，ＧＤ１，ＧＤ２の滴下を遮断するとともに、シャッターの下方に上型２に配置することで、上下型１，２による転写・成形が行われる。
【００６８】
また、上記実施形態では、第１転写工程において、下型１が固定されており、下型１の光学面転写面１１ａ上でガラス滴ＧＤを受け止める際の速度がガラス滴ＧＤの落下速度である。しかし、この速度の範囲については、下型１に対するガラス滴ＧＤ，ＧＤ１，ＧＤ２の相対的な速度で定まるものであり、例えば下型１を上下動可能とする場合、ガラス滴ＧＤ，ＧＤ１，ＧＤ２の落下速度に下型１の移動速度を加味したものとなる。つまり、下型１を上方に移動させつつガラス滴ＧＤ，ＧＤ１，ＧＤ２を滴下することで、低い位置からの滴下であっても転写を良好なものとできる。
【００６９】
また、上記実施形態では、冷却工程において、ガラス滴ＧＤ等が目標粘性を有するガラス塊ＧＧに変性したか否かを時間経過により判断しているが、この判断は、時間経過に限らず、例えば赤外線センサー等によりガラス滴ＧＤ等の温度を測定することでもできる。
【符号の説明】
【００７０】
２００，３００，５００  製造装置
１  下型
２  上型
５１１  補助転写型
１ａ，２ａ  型本体
３  外周規制枠
６０  制御駆動装置
１０，４１０，４１０ｂ，５１０  成形金型
１１  下型転写面
１２  上型転写面
１１ａ，１２ａ  光学面転写面
１１ｂ，１２ｂ  フランジ面転写面
１１ｃ  周側面転写面、
１３ｃ  外周側面転写面
５０，５５０  原材料供給部
５１  溶融坩堝
５２  溶融ガラス供給ノズル
５２ａ  吐出部
１００  ガラスレンズ
１００ａ  中心部
１００ｂ  フランジ部
１０１ａ，１０２ａ  レンズ面
１０１ｂ，１０２ｂ  フランジ面
１０１ｃ  外周側面
ＣＸ１，ＣＸ２  中心軸
Ｇ  溶融ガラス
ＧＤ，ＧＤ１，ＧＤ２  ガラス滴
ＧＧ  ガラス塊
ＰＡ  外縁部
【図１】
2010150571.tif 000006
【図２】
2010150571.tif 000007
【図３】
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【図４】
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【図５】
2010150571.tif 000010
【図６】
2010150571.tif 000011
【図７】
2010150571.tif 000012
【図８】
2010150571.tif 000013
【図９】
2010150571.tif 000014
【図１０】
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【図１１】
2010150571.tif 000016
【図１２】
2010150571.tif 000017
【図１３】
2010150571.tif 000018
【国際調査報告】
2010150571.tif 000019
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2010150571.tif 000022
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