【事件の表示】
　特許第３１３０８９０号「磁気軸受装置及び磁気軸受制御装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３０８９０号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続きの経緯　
　本件特許第３１３０８９０号の請求項１ないし６に係る発明についての出願は、平成１１年２月２５日に特許出願され、平成１２年１１月１７日に設定登録され、その後、高橋信男より請求項１ないし３に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされたところ、その指定期間内である平成１３年１２月２８日に訂正請求がなさると共に同日付けで特許異議意見書が提出されたものである。
　
【２】訂正の適否
ア．訂正事項
ア−１　訂正事項Ａ
　本件訂正請求前の請求項１の記載
「【請求項１】　回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置であって、
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段と、
を具備することを特徴とする磁気軸受装置。」を
「【請求項１】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　を具備することを特徴とする磁気軸受装置。」と訂正する。
　
ア−２　訂正事項Ｂ
　本件訂正前の請求項３の記載
「【請求項３】　回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
前記磁気軸受装置は、
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
前記磁気軸受制御装置は、
前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。」を、
「【請求項３】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　前記磁気軸受制御装置は、
　前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
　前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
　前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。」と訂正する。
　
ア−３　訂正事項Ｃ
　本件訂正前の請求項４の記載
「【請求項４】　前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、
前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新することを特徴とする請求項３に記載の磁気軸受制御装置。」を、
「【請求項４】　
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
前記磁気軸受装置は、
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
前記磁気軸受制御装置は、
前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新することを特徴とす
る磁
　
ア−４　訂正事項Ｄ
　前記訂正事項ＡないしＣの訂正に伴い、本件特許明細書の段落【０００７】を以下のように訂正する。
「【０００７】
　そこで
請求項１及び請求項２記載の
外部の磁気軸受制御装置で、
装置
　また、
請求項３から請求項６記載の本発明は、
装置
　
ア−５　訂正事項Ｅ
　前記訂正事項ＡないしＣの訂正に伴い、本件特許明細書の段落【０００８】を以下のように訂正する。
「【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１に記載した発明では、
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
前記機種を示すデータと
の磁気軸受制御装置
　請求項２に記載した発明では、請求項１に記載した磁気軸受装置において、前記機種特定手段は、磁気軸受装置の機種に対応して決められた抵抗値を有する抵抗であり、前記記憶手段は、書き換え可能な記憶手段とする。
　請求項３に記載した発明では、
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記
前記機種を示すデータと
の磁気軸受制御装置
　請求項４に記載した発明では、
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受制御装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　請求項５に記載した発明では、回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、磁気軸受装置の接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、前記判断手段により前記第１記憶手段又は前記第２記憶手段の一方の内容が異常である判断された場合に、当該一方の内容を正常であると判断された他方の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備させて前記第２の目的を達成する。
　請求項６に記載した発明では、回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、磁気軸受装置の接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、前記第１記憶手段及び第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、複数種類の機種に対応する諸特性が格納された第３記憶手段と、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が共に正常でないと判断された場合に、前記取得手段で取得した機種に対応する諸特性を前記第３記憶手段から読み出して、前記第１記憶手段及び前記第３記憶手段の内容を更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備させて前記第２の目的を達成する。」
　
ア−６　訂正事項Ｆ
　前記訂正事項ＡないしＣの訂正に伴い、本件特許明細書の段落【００３３】を以下のように訂正する。
「【００３３】
　【発明の効果】
　
請求項１及び請求項２記載の
外部の磁気軸受制御装置で
　また、
請求項３から請求項６記載の本発明によれば、
装置
　
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
イ−１　訂正事項Ａについて
　訂正事項Ａは、本件訂正前の請求項１における
「回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置であって、」との記載、
「前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、」との記載及び
「前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段と、」との記載を、
「
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
「
前記機種を示すデータと
「前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　
　ここで、本件特許明細書には、実施の形態に関して段落【０００９】に「・・・回転体を磁気浮上させる磁気軸受やモータを有する磁気軸受本体２０と、磁気軸受本体２０の諸特性に応じて磁気軸受やモータを制御する制御装置４０を備えており、両者はケーブル４２によって接続されている。」と記載されていると共に、
段落【００２０】に「磁気軸受本体２０の軸方向下部には、各センサ用やモータ駆動用の配線や、図１に示した本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、抵抗４１２が配設された基板４１が取り付けられている。この基板４１は、コネクタ４４およびケーブル４２を介して制御装置４０に接続されている、制御装置４０は、半径方向センサ２２、２６、および軸方向センサ３６の検出信号を基に、半径方向電磁石２１、２４および軸方向電磁石３２、３４などの励磁電流をそれぞれフィードバック制御することでロータ軸１８を磁気浮上させるようになっている。」と記載されている。
　よって、本件請求項１に係る発明において回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置が、まさに磁気軸受装置であるところの、ロータ軸１８を磁気浮上させる磁気軸受やモータを有する磁気軸受本体２０と、この外部に存在する磁気軸受制御装置であるところの、磁気軸受やモータを制御する制御装置４０から構成されていることは明らかである。
　したがって、「
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
　
　次に、本件特許明細書には、実施の形態に関して段落【００１０】に「磁気軸受本体２０は、磁気軸受やモータ用の素子が取り付けられると共に、ケーブル４２と接続される基板４１を備えている。この基板４１には更に、当該磁気軸受本体２０の機種を示すデータと、磁気軸受単体毎の諸特性値（機械的中心と電気的中心との誤差補正用のデータを含む）が格納された本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、及び、磁気軸受本体２０の機種を特定するための抵抗４１２が配置されている。抵抗４１２は、磁気軸受本体の機種に応じてその抵抗値が決められている。」と記載されている。
　よって、本件請求項１に係る発明において記憶手段に格納されているデータは、磁気軸受装置であるところの、磁気軸受本体２０の機種を示すデータと、磁気軸受単体毎の諸特性値との両者であることが明らかである。
　したがって、「
前記機種を示すデータと
　
　更に、本件特許明細書には、実施の形態に関して段落【００１１】に「一方、制御装置は、磁気軸受本体２０を制御する制御部４００と、この制御部４００に接続された装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１、ＲＯＭテーブル４０２とを備えている。制御部４００は、モータ駆動回路、アンプ、ＰＩＤコントローラとから概略構成されており、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１に記録されている情報に従って、図５に示した従来の制御装置と同様に機能するようになっている。制御部４００は、ＲＯＭテーブル４０２の内容の読み込み、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の読み込みと書き換え（書き込み）ができる。また制御部４００は、磁気軸受本体２０から、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１の内容と、抵抗値４１２の内容を読み取ると共に、ＥＥＰ−ＲＯＭの内容を書き換えることができるようになっている。」と記載されている。
　よって、前記の「・・・磁気軸受装置であって」の訂正と相俟って、機種特定手段及び第１記憶手段に外部からアクセスする装置が、磁気軸受制御装置である磁気軸受本体２０を制御する制御部であることを具体的に下位概念に限定したものに相当する。
　
　以上のとおりであるから、訂正事項Ａによる訂正は、本件訂正前の請求項１に関し、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに相当し、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものでもない。
　
イ−２　訂正事項Ｂについて
　訂正事項Ｂは、本件訂正前の請求項３における
「回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置であって、」との記載、
「前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、」との記載及び
「前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段と、」との記載を、
「
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
「
前記機種を示すデータと
「前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　
　そして、前記「（１）訂正事項Ａについて」で指摘したように本件特許明細書には、前記摘記記載があり、訂正事項Ａと同様に、訂正事項Ｂによる訂正は、本件訂正前の請求項３に関し、特許請求の範囲を減縮するものに相当し、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
　
イ−３　訂正事項Ｃについて
　訂正事項Ｃは、本件訂正前の請求項４の記載
「前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、
　前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新することを特徴とする請求項３に記載の磁気軸受制御装置。」を、引用している訂正前の請求項３の記載を用いて独立した請求項とする訂正を行うものである。
　そして、本件特許明細書の実施の形態における磁気軸受本体２０及び制御装置４０の動作を説明する段落【００２３】ないし【００２９】においては、当該制御装置４０が請求項４に特定される「前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する」手段であることが明確に記載されていることから、前記訂正事項Ｃは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものでもない。
　ここで、本件訂正前の請求項４は「磁気軸受制御装置」を限定する請求項であり、当該「判断手段」は「磁気軸受制御装置」が備える構成であると把握し得るものである。
　
　しかしながら、本件訂正前の請求項４の記載では、「前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段」が、磁気軸受装置と磁気軸受制御装置のいずれが有する構成であるかの明記はないことからして、当該訂正事項Ｃは、形式的に特許請求の範囲の減縮を目的とするものに相当していると認識せざるを得ない。
　そこで、訂正された本件請求項４に係る発明について、特許法第１２０条の４第３項で読み替えられている同法第１２６条第４項の特許出願の際独立して特許を受けることができるものか否かについて検討する。
　
　訂正された本件請求項４に係る発明に関して、
「
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
「
前記磁気軸受制御装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　したがって、残る本件請求項４に係る発明の「前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新すること」特定について検討する。
　当審による取消理由通知においては、特許異議申立人が提出した甲第１号証である特開平１０−１０３２８５号公報の記載に関し、
「本件請求項３に係る発明は「この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記載された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段」を有する点に対して、甲第１号証には、この点明示されていないから、一見相違する。
　しかしながら、甲第１号証においては、上記段落番号【００２２】〜【００２４】に記載されるように、電源装置３において電源投入が行われる毎に、読み込んだ特性パラメータをインバータ制御回路３ｂ内の記憶手段に書き込み、運転条件および異常値の設定を行うのであるから、特性パラメータの更新が行われているのであり、本件請求項３に係る発明では更新することの明示があるとしても、両者間で格別作用効果が相違するものとはいえない。」と指摘した。
　ここで指摘したように、この甲第１号証では、電源投入が行われた際に、特性パラメータが読み込まれて制御回路側の記憶手段に書き込まれていることからして、ひとまず、第１記憶手段に格納されたデータが、第２記憶手段に常に転送されるのであり、第２記憶手段のデータが常に更新されているものと認識される。
　したがって、前記の本件請求項４に係る発明の「前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新すること」なる特定のうち、「前記第２記憶手段の内容を更新すること」に関しては、この甲第１号証に記載されているものといえる。
　しかしながら、本件請求項４に係る発明においては、その余に「前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、」なる、更新を行うに際してこれら記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備えることと、それにより正常であることを判断する際にのみ更新が行われるものとされる。
　このような判断手段及び判断条件は、甲第１号証のみならず、甲第２号証および甲第３号証においても、記載あるいは示唆されているものではなく、また、この点が当業者が容易に想到し得るものとする文献は発見できない。
　したがって、訂正事項Ｃによる訂正は、本件訂正前の請求項４に関し、特許請求の範囲を減縮するものに相当し、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではないとともに、訂正された本件請求項４に係る発明は、出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
イ−４　訂正事項Ｄについて
　訂正事項Ｄは、前記特許請求の範囲の訂正（訂正事項ＡないしＣ）に合わせて発明の詳細な説明の対応箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。
　
イ−５　訂正事項Ｅについて
　訂正事項Ｅは、前記特許請求の範囲の訂正（訂正事項ＡないしＣ）に合わせて発明の詳細な説明の対応箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。
　
イ−６　訂正事項Ｆについて
　訂正事項Ｆは、前記特許請求の範囲の訂正（訂正事項ＡないしＣ）に合わせて発明の詳細な説明の対応箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。
　
　そして、訂正事項Ａ〜Ｆは訂正前の明細書に記載された事項に基づくものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
　
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、前記訂正（訂正事項Ａ〜Ｃ）は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【３】特許異議の申立てについての判断（取消理由についての判断）
ア．申立てられる取消理由の概要
　特許異議申立人：高橋信男は、
（１）請求項１の発明は、「機種特定手段」、「第１記憶手段」及び「接続手段」を具備するだけであり、磁気軸受本体の機種をチェックする手段及び磁気軸受本体を制御するためのパラメータの確認と調整を自動的に行う手段の構成は何ら示されていないから、特許法第３６条第６項第２号の要件を満たしていない、
　また、
（２）請求項１ないし３に係る発明は、甲第１号証（特開平１０−１０３２８５号公報）、甲第２号証（特開平１０−１２２１８２号公報）、甲第３号証（特開平５−１７２３９０号公報）に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきであると主張している。
　
イ．取消理由（１）について
　前記したように、平成１３年１２月２８日付け訂正請求は許容されるものであるから、本件請求項１に係る記載は、前記「【２】訂正の適否」の「ア．訂正事項」の「ア−１　訂正事項Ａ」に掲げたとおりに訂正されたものである。
　
　してみるに、当該訂正により、磁気軸受装置の機種をチェックするのは、外部にある磁気軸受制御装置であることが明りょうに特定されたことから、訂正された本件請求項１に係る発明において、磁気軸受装置の機種を容易にチェックできる等の目的と効果の対応関係は明りょうとなり、特許法第３６条第６項の要件を満たした記載となっている。
　したがって、特許異議申立人が主張する取消理由（１）は解消した。
　
ウ．取消理由（２）について
　特許異議申立人が提出した甲各号証は以下のものであって、それぞれには以下の記載内容がある。
　
　甲第１号証：特開平１０−１０３２８５号公報
　甲第２号証：特開平１０−１２２１８２号公報
　甲第３号証：特開平　５−１７２３９０号公報
　
ウ−１　甲各号証の記載内容
（甲第１号証）
　高真空や超高真空を得る真空ポンプに関し、特にターボ分子ポンプに関するものである。
　
段落番号【０００８】
「本発明は前記した従来のターボ分子ポンプの持つ問題点を解決し、種々の特性のターボ分子ポンプ本体に対して、電源装置の種類数を減少することを目的とする。」
　
段落番号【００１７】
「図１において、ターボ分子ポンプ本体２と電源装置３とを備え、両装置２，３間を電力線および信号線４で接続している。ターボ分子ポンプ本体２は、ロータ翼を駆動するモータ２ａと、モータの温度を検出する温度センサ２ｂとを備え、さらにロータを磁気浮上させる場合には磁気軸受のための電磁石２ｄと、ロータ位置を検出する位置センサ２ｃとを備え、電源装置３は、モータ２ａに駆動電力を供給するインバータ動力回路３ａと、インバータ駆動回路３ａを制御するインバータ制御回路３ｂと、磁気軸受の電磁石２ｄに電力を供給する磁気軸受動作回路３ｄと、磁気軸受動作回路３ｄを制御する磁気軸受制御回路３ｃとを備えている。」
　
段落番号【００１８】
「そして、ターボ分子ポンプ本体２と電源装置３との間は、電源装置３からターボ分子ポンプ本体２に電力を送電する電力線４ａ，４ｄと、ターボ分子ポンプ本体２から電源装置３にセンサ信号を送信する信号線４ｂ，４ｃとによって電気的に接続している。」
　
段落番号【００１９】
「また、ターボ分子ポンプ本体２は、ターボ分子ポンプの特性パラメータを格納するＲＯＭ２ｆと、該ＲＯＭ２ｆに格納されているデータを信号線４ｅを通して電源装置３側に送信する通信制御回路２ｅを備え、電源装置３は、ターボ分子ポンプ本体２から送られたデータを受信し、インバータ制御回路３ｂおよび磁気軸受制御回路３ｃに運転条件や制御条件を条件設定を行う通信制御回路３ｅを備えている。」
　
段落番号【００２０】
「ＲＯＭ２ｆに格納する特性パラメータは、ターボ分子ポンプの機種に応じたモータの最適運転のための種々の運転条件、およびロータ翼の質量や重心位置等に応じた最適磁気浮上制御のための制御条件、あるいは異常状態の検出を行う異常値とすることができる。運転条件、制御条件、および異常値は、ターボ分子ポンプの機種や個々のターボ分子ポンプ本体によって異なり、各ターボ分子ポンプ本体がそれぞれ固有に備える特性パラメータである。ターボ分子ポンプの機種による特性は、機種毎に既知の特性データから求めることができ、ターボ分子ポンプ本体に固有の特性は、予めターボ分子ポンプ本体の固有特性を測定しておくことによって求めることができる。また、異常値は、機種データあるいは固有データから求めることができる。」
　
段落番号【００２２】
「電源装置３において電源の投入が行われると、インバータ制御回路３ｂ中のＣＰＵは運転条件、制御条件、異常値等の特性パラメータ等の記憶データを初期化し（ステップＳ１）、通信制御回路３ｅを通してターボ分子ポンプ本体２との間との接続を確認する（ステップＳ２）。」
　
段落番号【００２３】
「電源装置３とターボ分子ポンプ本体２との接続が確認されると、電源装置３側の通信制御回路３ｅはターボ分子ポンプ本体２側の通信制御回路２ｅにデータ転送の要求を行う。ターボ分子ポンプ本体２の通信制御回路２ｅは、データ転送要求を受けると、ＲＯＭ２ｆに格納されている特性パラメータを信号線４ｅを介して電源装置３側の通信制御回路３ｅに転送する（ステップＳ３）。」
　
段落番号【００２４】
「インバータ制御回路３ｂのＣＰＵは、読み込んだ特性パラメータをインバータ制御回路３ｂ内の記憶手段に書込み、運転条件および異常値の設定を行う（ステップＳ４）。さらに、ＣＰＵは磁気軸受制御回路３ｅ中のデジタルシグナルプロセッサー（ＤＳＰ）に対して、フィードバック制御のゲイン、微分定数、比例定数、積分定数、フィルター回路の定数等のパラメータを設定する（ステップＳ５）。上記ステップＳ４，Ｓ５による各制御回路に対するパラメータ設定によって、ターボ分子ポンプの駆動準備が完了し、電源装置３は起動信号の入力待ちの状態となる。」
　
段落番号【００２５】
「電源装置３のＣＰＵは起動信号の入力を受け、インバータ制御回路３ｂ、磁気軸受制御回路３ｃが生成する制御信号によってインバータ動力回路３ａおよび磁気軸受動力回路３ｄを動作させ、生成した動作電力を電力線４ａ，４ｄを通してモータ２ａ，電磁石２ｄに送って、ターボ分子ポンプ本体２を駆動する（ステップＳ６）。」
　
段落番号【００２６】
「このターボ分子ポンプ本体２の駆動において、磁気軸受制御回路３ｃは位置センサ２ｃからの検出信号を信号線４ｃを通して受け取り、励磁電流を生成して電力線４ｄを通して電磁石２ｄに送って、ロータを磁気浮上により回転支持する。また、位置センサ２ｃからの検出信号と異常値との比較を行い、必要な場合には異常信号を発生する（ステップＳ７）。また、インバータ制御回路３ｂは、温度センサ２ｂからの検出信号を信号線４ｂを通して受け取り、動作信号を生成して電力線４ａを通してモータ２ａに送って、ロータ翼を駆動するモータ２ａを駆動する。また、温度センサ２ｂからの検出信号と異常値との比較を行い、必要な場合には異常信号を発生する（ステップＳ８）。」
　
（甲第２号証）
　半導体製造装置，薄膜製造装置，液晶あるいは液晶装置に関する装置において、真空状態を形成するために使用するターボ分子ポンプの電源装置に関するものである。
　
段落番号【００１８】
「本発明の電源装置は機種判別回路３１を備える。図１に示す実施形態では、ターボ分子ポンプ本体１側の異常温度検出センサ１５から得られる検出信号に基づいてターボ分子ポンプ本体１の機種判別を行う。機種判別回路３１の機種判別信号は、回転数制御定数設定回路２８および磁気軸受制御定数設定回路２６に送られ、機種に対応した制御定数の選択が行われる。」
　
段落番号【００１９】
「図１の実施形態による制御定数の設定動作について、図２（ａ）を用いて説明する。ターボ分子ポンプ本体１に設ける異常温度検出センサ１５の抵抗素子の抵抗値を機種毎に、重ならないように異ならせて設定しておく。例えば、ターボ分子ポンプの使用温度範囲２０℃〜１５０℃において、機種Ａでは１０ｋΩ〜１５ｋΩとなる抵抗器を用い、機種Ｂでは２０ｋΩ〜２５ｋΩとなる抵抗器を用いる。」
　
段落番号【００２０】
「機種判別回路３１は、電源装置２をターボ分子ポンプ本体１に接続し、電源を投入したとき、異常温度検出センサ１５に所定の電流を流して抵抗値に対応した電圧信号を検出し、この電圧信号からセンサの抵抗値を推定して機種Ａの判別を行う。機種判別回路３１は、機種と抵抗値との関係をＲＡＭ等の記憶手段に格納しておき、抵抗値に対応した機種を機種判別信号として出力する構成とすることができる。例えば、検出した抵抗値が１０ｋΩ〜１５ｋΩの範囲内の場合には、接続したターボ分子ポンプ本体は機種Ａであると判定し、機種判別信号を磁気軸受制御定数設定回路２６および回転数制御定数設定回路２８に送り、機種Ａに対応した各制御定数の選択および設定を行う。また、検出した抵抗値が２０ｋΩ〜２５ｋΩの範囲内の場合には、接続したターボ分子ポンプ本体は機種Ｂであると判定し、機種判別信号を磁気軸受制御定数設定回路２６および回転数制御定数設定回路２８に送り、機種Ｂに対応した各制御定数の選択および設定を行う。」
　
（甲第３号証）
　空気調和機の制御装置に関するものである。
　
段落番号【０００４】
「空気調和機の異なる機種に対しても特性データの設定や変更が容易で且つマイコン基板の汎用化を可能にし、コスト低下を図ることを目的とする。」
　
段落番号【００１５】
「３０は空気調和機の機種や諸特性を特定する「固有データ」を記憶させた外付けのＲＯＭであり、この外付けＲＯＭ３０（補助ＲＯＭ）に記憶される固有データは次のようなものである。
（１）室内ユニットか室外ユニットの区別
（２）開発年度
（３）開発変更履歴
（４）大型か小型かの区別
（５）製造連続番号
（６）対応リモコンの種別
（７）冷房専用か冷暖房かの区別
（８）ヒータの有無、湿度センサの有無
（９）ユニットの能力
（１０）リモンコンアドレスの有無
（１１）暖房および冷房定格周波数
（１２）暖房最高周波数（例えば１０５〜１８０Ｈｚ）
（１３）フラップ角度位置
（１４）冷房時および暖房時のフラップのスイング範囲
（１５）ファンモータの最大電圧制御回転数
（１６）データチェックコード
これらの固有データを記憶させた外付けＲＯＭ３０からは電源投入直後と運転停止直後にこの固有データの取り込みを行う。」
　
段落番号【００２０】
「５０は室内ユニット１における外付けＲＯＭ３０と同じ機能を有する外付けＲＯＭで、これには外付けＲＯＭ３０について説明したと同じような室外ユニット２１に対する固有データが記憶される。」
　
段落番号【００４２】
「また上記実施例では補助ＲＯＭにＯＴＰＲＯＭを用いたが、これに限るものではなく、補助ＲＯＭにＥ２ＰＲＯＭを用いてもよい。この時、Ｅ２ＲＯＭをＯＴＰＲＯＭと同様に用いてもよいが、Ｅ２ＰＲＯＭを予め制御装置に装着した後に固有のデータをＥ２ＰＲＯＭに格納するように構成してもよい。」
　
ウ−２　本件請求項１ないし３に係る発明
　訂正された本件請求項１ないし３に係る発明は、前記したように、平成１３年１２月２８日付け訂正請求に添付された訂正明細書の特許請求の範囲に記載されたとおりの以下のものと認める。
　
特許請求の範囲
「【請求項１】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　を具備することを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項２】　前記機種特定手段は、磁気軸受装置の機種に対応して決められた抵抗値を有する抵抗であり、前記記憶手段は、書き換え可能な記憶手段であることを特徴とする請求項１に記載の磁気軸受装置。
【請求項３】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　前記磁気軸受制御装置は、
　前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
　前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
　前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。」
　
ウ−３　本件請求項１ないし３に係る発明と、甲各号証記載の発明との対比・判断
（本件請求項１ないし２に係る発明について）
　本件請求項１に係る発明と、甲第１号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証に記載された発明はターボ分子ポンプに関するもので、ターボ分子ポンプ本体２が、ロータを磁気浮上させる磁気軸受のための電磁石２ｄと、ロータ位置を検出する位置センサ２ｃとを備えていること、ターボ分子ポンプの特性パラメータを格納するＲＯＭ２ｆを具備していること、該ＲＯＭ２ｆに格納されているデータを信号線４ｅを通して電源装置３側に送信する通信制御回路２ｅを備えていることから、本件請求項１に係る発明と、甲第１号証に記載された発明は、「回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置」の点、「機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段」の点、「第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段」の点で一致する。
　一方、本件請求項１に係る発明（前者）と、甲第１号証に記載された発明（後者）とは、以下の点において相違している。
　
相違点１：前者が「磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段」を具備していると特定されているのに対して、後者では、これが特定されていない点。
相違点２：前者が「機種特定手段」にアクセスできる接続手段を有すると特定されているのに対して、後者では「機種特定手段」にアクセスできる接続手段を有するか記載がない点。
相違点３：前者の「第１記憶手段」には「前記機種を示すデータと前記機種に対応する諸特性が格納された」と特定されるのに対して、後者では、「機種を示すデータ」を格納することが特定されていない点。
　
　また、本件請求項２に係る発明は、本件請求項１に係る発明の特定に加えて、「前記機種特定手段は、磁気軸受装置の機種に対応して決められた抵抗値を有する抵抗であり、前記記憶手段は、書き換え可能な記憶手段であること」が特定されていることから、本件請求項１に係る発明と、甲第１号証に記載された発明との対比で指摘した一致点及び相違点１ないし３に加えて、以下の点で相違している。
　
　相違点４：本件請求項２に係る発明が「機種特定手段」及び「記憶手段」に関して、前記の特定を有するのに対して、甲第１号証に記載された発明では、これらの特定を有していない点。
　
　これらの相違点を順次検討する。
　前記したように、甲第２号証には、同じロータを磁気浮上させる磁気軸受装置を有するターボ分子ポンプにおいて、「ターボ分子ポンプ本体に設けた異常温度検出センサ１５の抵抗素子の抵抗値を機種毎に重ならないように異ならせて設定」したものが記載されている。
　これは、「機種毎に重ならないように異ならせて設定」と記載されるように、各機種では異なるものとして設定されていることから機種を特定可能であり、その意味において、本件請求項１に係る発明の「機種特定手段」にひとまず相当する。
　また、甲第２号証においては、前記のように電源装置２の機種判別回路３１は異常温度検出センサ１５の電圧信号から抵抗値を推定し機種を判別するものとして記載されていることからして、甲第２号証記載の発明も「機種判別にアクセスする接続手段」を有するものといえる。
　したがって、本件請求項１に係る発明に関する前記相違点１及び２は格別なものとはいえないこととなる。
　
　そこで、残る相違点である本件請求項１に係る発明の「第１記憶手段」には「前記機種に対応する諸特性」に加えて「前記機種を示すデータ」が格納されている相違点３について検討する。
　訂正前の本件特許明細書の記載によれば、その段落【０００７】に「そこで本発明は、このような従来の磁気軸受装置における課題を解決するためになされたもので、接続されている磁気軸受本体の機種をチェックすることが可能な磁気軸受装置を提供することを第１の目的とする。また、磁気軸受本体を制御するためのパラメータの確認と調整を自動的に行うことが可能な磁気軸受制御装置を提供することを第２の目的とする。」と記載されており、同段落【００３３】において「【発明の効果】本発明によれば、接続されている磁気軸受本体の機種を容易にチェックすることができる。また、磁気軸受本体を制御するためのパラメータの確認と調整を自動的に行うことができる。」とも記載されている。
　よって、本件請求項１ないし２に係る発明は、磁気軸受本体の機種特定を第１の目的として掲げると共に、これらの発明の効果として、「接続されている磁気軸受本体の機種を容易にチェックすることができる」ものとされる。
　
　確かに、前記相違点１ないし２に関して指摘したように、甲第２号証に記載される発明には、「ターボ分子ポンプ本体に設けた異常温度検出センサ１５の抵抗素子の抵抗値を機種毎に重ならないように異ならせて設定」したものが記載されており、別の機種においては抵抗値が異なるものとされ、機種が相違すること自体は認識し得るものといえる。
　しかしながら、甲第１号証あるいは甲第２号証において各機種に応じた制御内容を実行すべく参照されるのは、機種毎の諸特性であって機種そのものを認識するものではない。
　一方、本件請求項１ないし請求項２に係る発明では、「記憶手段」に機種特定が可能な「機種を示すデータ」を格納していることから、機種の相違を「機種に対応する諸特性」を参照することなく直ちに認識し得るものとなっている。
　してみれば、本件特許明細書において、これら本件請求項１ないし２に係る発明の第１の目的に掲げられ、それらの特定により得られる「接続されている磁気軸受本体の機種を容易にチェックすることができる」なる効果が、甲第１号証あるいは甲第２号証に記載される発明から直ちに想到し得るものとすることはできない。
　
　次に、特許異議申立人が提出した甲第３号証の記載内容について検討するに、当該甲第３号証に記載される「外付けＲＯＭ３０（補助ＲＯＭ）」に記憶されている「（５）製造連続番号」は通常機種データと関連付けたものとして扱われることに照らして、機種を特定し得るデータに相当するものであり、また「（１１）暖房および冷房定格周波数、（１２）暖房最高周波数（例えば１０５〜１８０Ｈｚ）、（１３）フラップ角度位置、（１４）冷房時および暖房時のフラップのスイング範囲、（１５）ファンモータの最大電圧制御回転数、（１６）データチェックコード」は機種に対応する諸特性であることは明らかである。
　よって、当該甲第３号証によれば、制御装置の分野において、機種を特定するデータと該機種に対応する諸特性のデータを有する手段を用いる自体は、本件特許出願前に既に公知であったことといえる。
　しかしながら、当該甲第３号証において、これら機種を特定するデータと該機種に対応する諸特性のデータを有する手段は、機械的駆動部である点において本件請求項１ないし請求項２に係る発明の磁気軸受装置（磁気軸受本体）に相当するファンモータ１６等に配置されるものではなく、本件請求項１ないし請求項２に係る発明の磁気軸受制御装置に相当する制御装置部分に備えられるものである。
　してみれば、当該甲第３号証においては、機械的駆動部に機種特定の情報を備えるものとはいえず、機械的駆動部と、これに適用される制御装置部分を準備するに際して、制御する制御装置部分に機械的駆動部の機種毎に対応すべく諸特性を記憶させることで制御回路の汎用性を確保するものであり、本件請求項１ないし請求項２に係る発明とは、その目的・課題が相違しており、それにより得られる効果も異なるものといわざるを得ない。
　
　以上のとおりであるから、前記相違点４について検討するまでもなく、本件請求項１ないし請求項２に係る発明は、前記甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明を組み合わせることで当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（本件請求項３に係る発明について）
　本件請求項３に係る発明の「前記磁気軸受制御装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、この取得手段に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部」の点は、甲第１号証の段落【００２２】〜【００２５】に記載のように、甲第１号証に記載の発明と一致している。
　
　そして、本件請求項３に係る発明と、甲第１号証に記載された発明とを対比するに、前記のように「外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し」の点は、前記本件請求項１ないし請求項２に係る発明と、甲各号証に記載された発明との対比において指摘したように、甲第１号証に記載された発明と甲第２号証に記載の発明を共に有することを特定したに過ぎないものである。
　
　したがって、本件請求項３に係る発明と、甲第１号証に記載された発明とは、以下の点において相違するものである。
　
相違点５：本件請求項３に係る発明の「第１記憶手段」には「前記機種を示すデータと前記機種に対応する諸特性が格納された」と特定されるのに対して、甲第１号証に記載された発明では、「機種を示すデータ」を格納することが特定されていない点。
　
相違点６：本件請求項３に係る発明では、「この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備する」ことが特定されるのに対して、甲第１号証には、この点の明示がされていない点。
　
　これらの相違点について検討する。
　前記相違点５は、前記（本件請求項１ないし２に係る発明について）で検討した相違点３と同一の技術内容に関するものである。
　そして、この相違点５に係る「第１記憶手段」に格納されるデータとして「機種を示すデータ」を含むことで、訂正前の本件特許明細書に記載される目的・課題、さらには、発明の効果が達成されるものであって、それが甲第１号証ないし甲第３号証に記載される発明から導き出し得ないことは、前記（本件請求項１ないし２に係る発明について）で指摘したとおりである。
　したがって、残る相違点６について検討するまでもなく、前記（本件請求項１ないし２に係る発明について）で相違点３について指摘したと同様の理由によって、本件請求項３に係る発明が、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
ウ−３　まとめ
　以上のとおりであるから、本件請求項１ないし請求項３に係る発明のいずれもが、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとする、特許異議申立人の主張する取消理由（２）は採用することはできない。
　
【４】むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由によっては、本件請求項１ないし請求項３に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１ないし請求項３に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年３月２７日（２００２．３．２７）
【訂正の要旨】
　【訂正の要旨】
ａ　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、訂正請求前の請求項１の記載
「【請求項１】　回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置であって、
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段と、
を具備することを特徴とする磁気軸受装置。」を
「【請求項１】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　を具備することを特徴とする磁気軸受装置。」と訂正する。
ｂ　訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、訂正前の請求項３の記載
「【請求項３】　回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
前記磁気軸受装置は、
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
前記磁気軸受制御装置は、
前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。」を、
「【請求項３】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　前記磁気軸受制御装置は、
　前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
　前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
　前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。」と訂正する。
ｃ　訂正事項ｃ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、訂正前の請求項４の記載
「【請求項４】　前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、
前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新することを特徴とする請求項３に記載の磁気軸受制御装置。」を、
「【請求項４】　
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
　
前記磁気軸受装置は、
　
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
　
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
　
前記磁気軸受制御装置は、
　
前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
　
前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　
この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
　
前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、
　前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新することを特徴とす
る磁
」と訂正する。
ｄ　訂正事項ｄ
　前記訂正事項ａないしｃの訂正に伴い、記載の整合性を担保すべく、本件特許明細書の段落【０００７】を明りょうでない記載の釈明を目的として、以下のように訂正する。
「【０００７】
　そこで
請求項１及び請求項２記載の
外部の磁気軸受制御装置で、
装置
　また、
請求項３から請求項６記載の本発明は、
装置
ｅ　訂正事項ｅ
　前記訂正事項ａないしｃの訂正に伴い、記載の整合性を担保すべく、本件特許明細書の段落【０００８】を明りょうでない記載の釈明を目的として、以下のように訂正する。
「【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１に記載した発明では、
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
前記機種を示すデータと
の磁気軸受制御装置
　請求項２に記載した発明では、請求項１に記載した磁気軸受装置において、前記機種特定手段は、磁気軸受装置の機種に対応して決められた抵抗値を有する抵抗であり、前記記憶手段は、書き換え可能な記憶手段とする。
　請求項３に記載した発明では、
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記機種を示すデータと
の磁気軸受制御装置
　請求項４に記載した発明では、
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受制御装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　請求項５に記載した発明では、回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、磁気軸受装置の接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、前記判断手段により前記第１記憶手段又は前記第２記憶手段の一方の内容が異常であると判断された場合に、当該一方の内容を正常であると判断された他方の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備させて前記第２の目的を達成する。
　請求項６に記載した発明では、回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、磁気軸受装置の接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、前記第１記憶手段及び第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、複数種類の機種に対応する諸特性が格納された第３記憶手段と、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が共に正常でないと判断された場合に、前記取得手段で取得した機種に対応する諸特性を前記第３記憶手段から読み出して、前記第１記憶手段及び前記第３記憶手段の内容を更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備させて前記第２の目的を達成する。
ｆ　訂正事項ｆ
　前記訂正事項ａないしｃの訂正に伴い、記載の整合性を担保すべく、本件特許明細書の段落【００３３】を明りょうでない記載の釈明を目的として、以下のように訂正する。
「【００３３】
　【発明の効果】
　
請求項１及び請求項２記載の
外部の磁気軸受制御装置で
　また、
請求項３から請求項６記載の本発明によれば、
装置
（５４）【発明の名称】
磁気軸受装置及び磁気軸受制御装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　を具備することを特徴とする磁気軸受装置。
　【請求項２】　前記機種特定手段は、磁気軸受装置の機種に対応して決められた抵抗値を有する抵抗であり、
　前記記憶手段は、書き換え可能な記憶手段である、
　ことを特徴とする請求項１に記載の磁気軸受装置。
　【請求項３】　
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種を示すデータと
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部
の磁気軸受制御装置
　前記磁気軸受制御装置は、
　前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
　前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
　前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。
　【請求項４】　
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
　
前記磁気軸受装置は、
　
前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　
前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
　
前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
　
前記磁気軸受制御装置は、
　
前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、
　
前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　
この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、
　
前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段を備え、
　前記更新手段は、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常であると判断された場合に、前記第２記憶手段の内容を更新することを特徴とす
る磁
　【請求項５】　回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
　前記磁気軸受制御装置は、
　前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、
　前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、
　前記判断手段により前記第１記憶手段又は前記第２記憶手段の一方の内容が異常である判断された場合に、当該一方の内容を正常であると判断された他方の内容に更新する更新手段と、
　前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。
　【請求項６】回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、
　前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、
　前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、
　前記磁気軸受装置は、
　前記磁気軸受装置の機種とと諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、
　前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、
　前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、
　複数種類の機種に対応する諸特性が格納された第３記憶手段と、
　前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が共に正常でないと判断された場合に、前記取得手段で取得した機種に対応する諸特性を前記第３記憶手段から読み出して、前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容を更新する更新手段と、
　前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、磁気軸受を用いて回転体を制御する磁気軸受装置及び磁気軸受制御装置に係り、詳細には、工作機械の主軸や真空ポンプなどに使用される磁気軸受装置及び磁気軸受制御装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　磁気軸受装置は、無接触、無潤滑による超高速回転が可能であり、また、クリーンな環境での使用が可能であり、オイルやベアリングの交換といったメンテナンスも不要である。このため、磁気軸受装置は、金属粉末作成用遠心アトマイザー、金属パイプ加工、円筒研削盤等の工作機械の主軸や真空ポンプ等に広く使用されている。
　【０００３】
　図５は、従来から使用されている磁気軸受装置の一般的な構成を表したものである。この図に示すように、磁気軸受装置は、磁気軸受本体Ａと、制御装置Ｂとを備えており、両者はケーブルによって接続されている。磁気軸受本体Ａは、回転軸８１と、この回転軸８１の中央の周囲に設けられ、回転軸８１を回転させるためのモータ８２と、回転軸８１の両端を磁気により浮上させて支持する磁気軸受８３とから概略構成されている。制御装置Ｂは、モータ駆動回路８４、アンプ９１、９３、ＰＩＤコントローラ９０、９２とから概略構成されている。
　【０００４】
　モータ８２としては、ブラシレスＤＣモータや高周波モータ等の各種モータが使用され、モータ駆動回路８４が回転軸８１の中央の周囲に固定されるモータ駆動コイル８５を駆動させることにより、回転軸８１を回転できるように構成されている。磁気軸受８３は、回転軸８１を挟んで対向配置された２対の電磁石８６（各対は互いに直交している。以下同じ）と、その近傍に対向配置された２対の変位センサ８８と、対向配置された２対の電磁石８７と、その近傍に対向配置された２対の変位センサ８９と、を備えている。
　【０００５】
　各変位センサ８８、８９は、回転軸８１の半径方向の変位を検出し、この検出変位を制御装置Ｂに供給する。制御装置Ｂは、変位センサ８８、８９による検出変位が供給されると、ＰＩＤコントローラ９０、９２がその検出変位を目標値と比較し、両者が一致するような信号をアンプ９１、９３（電磁石駆動回路）に供給する。そして、アンプ９１、９３は、回転軸８１が目標位置にくるように、対応する電磁石８６、８７の電磁力を制御することで、回転軸８１を磁気的に非接触状態で支持するようになっている。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　このような従来の磁気軸受装置では、回転軸８１を含む回転体の電気的中心位置と機械的中心位置に誤差が生じるため、各磁気軸受本体Ａを単体毎に補正するための調整が必要となる。また、磁気軸受本体Ａの大きさや回転体を磁気浮上制御する上での電流値や基準値等の諸特性も機種（製品仕様）によって異なり、その違いによって浮上位置に差が生じてくるため、機種毎の設定も必要となる。従って、接続される磁気軸受本体Ａの単体毎に、制御装置Ｂが制御するうえでのパラメータを変更することになるが、これは専門の技術者が調整や設定を行わなければならなかった。また、従来の磁気軸受装置では、磁気軸受本体Ａを他の機種に交換した場合、制御装置Ｂのパラメータを変更することが前提になっているため、未変更の状態で駆動された場合の対応が特になされていなかった。更に、制御装置Ｂで設定されているパラメータの値が、電気的、機械的障害等によって正常でなくなった場合にも対応していなかった。このように、異なるパラメータで磁気軸受本体Ａを制御すると、磁気軸受本体Ａが磁気軸受としての性能を十分に発揮し得えなかったり、装置の故障を誘因する可能性があった。
　【０００７】
　そこで
請求項１及び請求項２記載の
外部の磁気軸受制御装置で、
装置
　また、
請求項３から請求項６記載の本発明は、
装置
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１に記載した発明では、
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により、
前記機種を示すデータと
の磁気軸受制御装置
　請求項２に記載した発明では、請求項１に記載した磁気軸受装置において、前記機種特定手段は、磁気軸受装置の機種に対応して決められた抵抗値を有する抵抗であり、前記記憶手段は、書き換え可能な記憶手段とする。
　請求項３に記載した発明では、
外部の磁気軸受制御装置からの磁気浮上制御により
前記
前記機種を示すデータと
の磁気軸受制御装置
　請求項４に記載した発明では、
回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受制御装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２の記憶手段と、前記接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、この取得手段で取得した機種及び諸特性と、前記第２記憶手段に記憶された機種及び諸特性が異なる場合に、前記第２記憶手段の内容を前記第１記憶手段の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、
　請求項５に記載した発明では、回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、磁気軸受装置の接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、前記判断手段により前記第１記憶手段又は前記第２記憶手段の一方の内容が異常である判断された場合に、当該一方の内容を正常であると判断された他方の内容に更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備させて前記第２の目的を達成する。
　請求項６に記載した発明では、回転軸を磁気浮上させることで非接触で保持する磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う磁気軸受制御装置であって、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種を特定するための機種特定手段と、前記機種に対応する諸特性が格納された第１記憶手段と、前記機種特定手段及び前記第１記憶手段に外部からアクセスするための接続手段を有し、前記磁気軸受装置は、前記磁気軸受装置の機種と諸特性が格納される書き換え可能な第２記憶手段と、磁気軸受装置の接続手段を介して、当該磁気軸受装置の機種及び諸特性を取得する取得手段と、前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が正常か否かを判断する判断手段と、複数種類の機種に対応する諸特性が格納された第３記憶手段と、前記判断手段により前記第１記憶手段及び前記第２記憶手段の内容が共に正常でないと判断された場合に、前記取得手段で取得した機種に対応する諸特性を前記第３記憶手段から読み出して、前記第１記憶手段及び前記第３記憶手段の内容を更新する更新手段と、前記第２記憶手段に格納された諸特性に従って、前記磁気軸受装置の磁気浮上制御を行う制御部と、を具備させて前記第２の目的を達成する。
　【０００９】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の磁気軸受装置における好適な実施の形態について、図１から図４を参照して詳細に説明する。図１は磁気軸受装置における、本実施形態の機能を実現する最小限の構成を表したものである。この図１に示すように磁気軸受装置は、回転体を磁気浮上させる磁気軸受やモータを有する磁気軸受本体２０と、磁気軸受本体２０の諸特性に応じて磁気軸受やモータを制御する制御装置４０を備えており、両者はケーブル４２によって接続されている。
　【００１０】
　磁気軸受本体２０は、磁気軸受やモータ用の素子が取り付けられると共に、ケーブル４２と接続される基板４１を備えている。この基板４１には更に、当該磁気軸受本体２０の機種を示すデータと、磁気軸受単体毎の諸特性値（機械的中心と電気的中心との誤差補正用のデータを含む）が格納された本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、及び、磁気軸受本体２０の機種を特定するための抵抗４１２が配置されている。抵抗４１２は、磁気軸受本体の機種に応じてその抵抗値が決められている。
　【００１１】
　一方、制御装置は、磁気軸受本体２０を制御する制御部４００と、この制御部４００に接続された装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１、ＲＯＭテーブル４０２とを備えている。制御部４００は、モータ駆動回路、アンプ、ＰＩＤコントローラとから概略構成されており、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１に記録されている情報に従って、図５に示した従来の制御装置と同様に機能するようになっている。制御部４００は、ＲＯＭテーブル４０２の内容の読み込み、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の読み込みと書き換え（書き込み）ができる。また制御部４００は、磁気軸受本体２０から、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１の内容と、抵抗値４１２の内容を読み取ると共に、ＥＥＰ−ＲＯＭの内容を書き換えることができるようになっている。
　【００１２】
　装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１には、磁気軸受本体２０の機種を示すデータと、磁気軸受単体毎の諸特性値（機械的中心と電気的中心との誤差補正用のデータを含む）が格納されている。一方、ＲＯＭテーブル４０２には、複数種類の各磁気軸受本体に対する機種と、その機種の諸特性値が格納されている。
　【００１３】
　図２は、磁気軸受本体２０が使用されるターボ分子ポンプの全体構成の断面を表わしたものである。このターボ分子ポンプ１は、例えば半導体製造装置内等に設置され、チャンバ等からプロセスガスの排出を行うものである。この例では、円筒状に形成された外装体１０の上端部にフランジ１１が形成され、ボルト等によって半導体製造装置等に接続されるようになっている。
　【００１４】
　図２に示すように、ターボ分子ポンプ１は、略円筒形状の外装体１０の中心部に配置される略円柱形状のロータ軸１８を備えており、このロータ軸１８の外周には断面略逆Ｕ字状のロータ本体６１が配置されてロータ軸１８の上部にボルト１９で取り付けられている。このロータ本体６１の外周にはロータ翼６２が配設されている。各段のロータ翼６２はその外側が開放された複数のロータブレード（羽根）を有している。
　【００１５】
　また、ターボ分子ポンプ１は、ロータ６０とステータ７０を備えている。ステータ７０は、複数のステータ翼７２と、段部を有する円筒状のスペーサ７１とから構成されている。各段のステータ翼７２は、各段のロータ翼６２と交互に組み立てられている。各段のステータ翼７２は、それぞれスペーサ７１とスペーサ７１との段部により、その外周部が挟持されることで、ロータ翼６２間に保持される。このステータ７０は、外装体１０の内周に固定配置されている。
　【００１６】
　ターボ分子ポンプ１は、更に、ロータ軸１８を磁力により支持する磁気軸受本体２０と、ロータ軸１８にトルクを発生させるモータ３０とを備えている。磁気軸受本体２０は、ロータ軸１８に対して半径方向の磁力を発生させる半径方向電磁石２１、２４と、ロータ軸１８の半径方向の位置を検出する半径方向センサ２２、２６と、ロータ軸１８に対して軸方向の磁力を発生させる軸方向電磁石３２、３４と、軸方向電磁石３２、３４による軸方向の力が作用する金属ディスク３１、ロータ軸１８の軸方向の位置を検出する軸方向センサ３６とを備えている。
　【００１７】
　半径方向電磁石２１は、互いに直交するように配置された２対の電磁石で構成されている。各対の電磁石は、ロータ軸１８のモータ３０よりも上部の位置に、ロータ軸１８を挟んで対向配置されている。この半径方向電磁石２１とモータ３０との間には、半径方向電磁石２１側に隣接し、ロータ軸１８を挟んで対向する半径方向センサ２２が２対設けられている。２対の半径方向センサ２２は、２対の半径方向電磁石２１に対応して、互いに直交するように配置されている。さらに、ロータ軸１８のモータ３０よりも下部の位置には、同様に２対の半径方向電磁石２４が互いに直交するように配置されている。この半径方向電磁石２４とモータ３０との間にも、同様に半径方向電磁石２４に隣接して半径方向センサ２６が２対設けられている。
　【００１８】
　これら半径方向電磁石２１、２４に励磁電流が供給されることによって、ロータ軸１８が磁気浮上される。この励磁電流は、磁気浮上時に、半径方向センサ２２、２６からの位置検知信号に応じて制御され、これによってロータ軸１８が半径方向の所定位置に保持されるようになっている。
　【００１９】
　ロータ軸１８の下部には、磁性体で形成された円盤状の金属ディスク３１が固定されており、この金属ディスク３１を挟み、且つ対向した一対ずつの軸方向電磁石３２、３４が配置されている。さらにロータ軸１８の下端部に対向して軸方向センサ３６が配置されている。この軸方向電磁石３２、３４の励磁電流は、軸方向センサ３６からの位置検知信号に応じて制御され、これによりロータ軸１８が軸方向の所定位置に保持されるようになっている
　【００２０】
　磁気軸受本体２０の軸方向下部には、各センサ用やモータ駆動用の配線や、図１に示した本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、抵抗４１２が配設された基板４１が取り付けられている。この基板４１は、コネクタ４４およびケーブル４２を介して制御装置４０に接続されている。制御装置４０は、半径方向センサ２２、２６、および軸方向センサ３６の検出信号を基に、半径方向電磁石２１、２４および軸方向電磁石３２、３４などの励磁電流をそれぞれフィードバック制御することでロータ軸１８を磁気浮上させるようになっている。
　【００２１】
　ロータ軸１８の上部及び下部側には保護用ベアリング３８、３９が配置されている。通常、ロータ軸１８及びこれに取り付けられている各部からなるロータ部は、モータ３０により回転している間、磁気軸受本体２０により非接触状態で軸支される。保護用ベアリング３８、３９は、タッチダウンが発生した場合に磁気軸受本体２０に代わってロータ部を軸支することで装置全体を保護するためのベアリングである。従って保護ベアリング３８、３９は、内輪がロータ軸１８には非接触状態になるように配置されている。
　【００２２】
　モータ３０は、外装体１０の内側の半径方向センサ２２と半径方向センサ２６との間で、ロータ軸１８の軸方向ほぼ中心位置に配置されている。このモータ３０に通電することによって、ロータ軸１８および、これに固定されたロータ６０が回転するようになっている。ターボ分子ポンプ１の外装体１０の下部には、半導体製造装置からのプロセスガス等を排出する排気口５２が配置されている。
　【００２３】
　次に、以上のように構成された磁気軸受本体２０及び制御装置４０の動作について説明する。図３、図４は、制御装置４０による磁気軸受本体の２０の機種確認及び調整処理の動作を表したフローチャートである。制御装置４０の制御部４００は、電源がオンされると（ステップ１１；Ｙ）、ケーブル４２を介して接続されている磁気軸受本体２０の基板４１に本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１が存在するか否かを確認する（ステップ１２）。本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１が存在する場合（ステップ１２；Ｙ）、制御部４００は、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１の格納データから特定される磁気軸受本体２０の機種と、抵抗４１２の抵抗値とから特定される機種とを比較し、両者が一致するか否かを判断する（ステップ１３）。機種が一致しない場合（ステップ１３；Ｎ）、制御部４００は、アラーム音の出力、警告ランプの点滅、警告内容の画面表示等による警告処理を行い（ステップ１４）、運転動作を禁止（ロック）する。一方、磁気軸受本体２０内に本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１が無い場合（ステップ１２；Ｎ）、制御部４００は、抵抗４１２の抵抗値から磁気軸受本体２０の機種を特定する（ステップ１５）。
　【００２４】
　そして、制御部４００は、磁気軸受本体２０の機種が一致する場合（ステップ１３；Ｙ）には本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１から特定した磁気軸受本体２０の機種、又はステップ１５で特定した機種と、制御装置４０内に備える装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の格納データから特定される磁気軸受本体２０の機種とを比較し、両者が一致しているか否かを判断し（ステップ１６）、一致していない場合には、ステップ１４と同様に警告処理を行い（ステップ１７）、運転動作を（ロック）する。
　【００２５】
　本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１及び抵抗４１２と、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１のそれぞれから特定される磁気軸受本体２０の機種が一致する場合（ステップ１６；Ｙ）、制御部４００は、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１と装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１が正常か否かを確認する。すなわち、不適切な情報が格納されていないか否かを確認することで、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１が正常か否かを確認する（ステップ１８、ステップ１９、ステップ２０）。
　【００２６】
　本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１と装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の両者が正常である場合（ステップ１８；Ｙ、ステップ１９；Ｙ）、制御部４００は、両ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、４０１の内容が同一か否かを確認する（ステップ２１）。両ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、４０１の内容が同一である場合、制御部４００は、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１に格納されている諸特性値に従って、磁気軸受本体２０を制御するためのチューニングを行い（ステップ２２）、処理を終了する。以後、チューニングされた諸特性に従って磁気軸受本体に対する磁気軸受制御が制御部４００によって行われる。
　【００２７】
　一方、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１が正常で装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１が正常でない場合（ステップ１８；Ｙ、ステップ１９；Ｎ）、制御部４００は、ステップ１４と同様に警告処理を行う（ステップ２３）。そして、制御部４００は、４秒以上のリセット待機（ステップ２５）の後、正常である本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１のデータを読み取り、その内容を装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１に書き込むことで、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１を正常な内容に更新する（ステップ２６）。その後、制御部４００は、更新した装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の内容に従って磁気軸受本体を制御するためのチューニングを行う（ステップ２２）。また、両ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、４０１共に正常であるが両者の内容が同一ではない場合（ステップ２１；Ｎ）、接続されている磁気軸受本体の機種が変更されている可能性があるため、リセット待機（ステップ２５）の後、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の内容を本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１の内容に更新し（ステップ２６）、更新後の装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の内容でチューニングをする（ステップ２２）。
　【００２８】
　装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１が正常で本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１が正常でない場合（ステップ１８；Ｎ、ステップ２０；Ｙ）、制御部４００は、ステップ１４と同様に警告処理を行う（ステップ２７）。そして制御部４００は、４秒以上のリセット待機（ステップ２９）の後、正常である装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１のデータを読み取り、その内容を本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１に書き込むことで、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１を正常な内容に更新する（ステップ３０）。制御部４００は、その後、正常な装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の内容に従って磁気軸受本体を制御するためのチューニングを行う（ステップ２２）。
　【００２９】
　装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１共に正常ではない場合（ステップ１８；Ｎ、ステップ２０；Ｎ）、制御部４００は、ステップ１４と同様に警告処理を行う（ステップ３１）。そして制御部４００は、４秒以上のリセット待機（ステップ３２）の後、抵抗４１２から特定した磁気軸受本体２０の機種に対応する諸特性値等のデータをＲＯＭテーブル４０２から読みとり、その内容を、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１と、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１に書き込むことで、両ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１、４１１のデータを更新する（ステップ３３）。制御部４００は、その後、更新した装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１の内容に従って磁気軸受本体を制御するためのチューニングを行う（ステップ２２）。
　【００３０】
　以上説明したように本実施形態によれば、磁気軸受本体（磁気軸受装置）２０に機種や諸特性が記録されたＥＥＰ−ＲＯＭ４１１及び機種確認用の抵抗４１２を配置すると共に、制御装置（磁気軸受制御装置）４０にも機種や諸特性が記録された装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１が配置されているので、制御装置４０において接続されている磁気軸受本体２０の機種を確認することができる。これにより、異なる諸特性値を使用して磁気軸受本体２０を駆動してしまうことが防止される。また、制御装置４０に接続されている磁気軸受本体２０が変更された場合には、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１が正常であればその記憶内容が、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１に格納される（ステップ２１→ステップ２６）。このように予め調整済みの諸特性を装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１に書き込んで磁気軸受制御に使用することができるので、専門の技術者が調整を行うことなく、ユーザによる機種変更、調整が可能になる。また、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１と装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１のいずれか一方が正常でない場合であっても、正常な他方側のデータを使用して正常な値に換えることが可能である。従って、何かの原因でＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、４０１の内容が正常でなくなった場合であっても、機種に応じた適切な諸特性で磁気軸受本体２０を駆動することが出来る。さらに、両ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、４０１共に異常であっても、抵抗４１２から特定される磁気軸受本体２０の機種に対応する諸特性をＲＯＭテーブル４０２から読み出して、両ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１、４０１に機種データと共に、正しい値に変更することができるので、専門の技術者によったり修理センタに移送したりすることがなくなる。
　【００３１】
　以上本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態の構成に限定されるものではなく、各請求項に記載された発明の範囲において他の実施形態を採用し、また、変形することが可能である。例えば、説明した実施形態では、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１で特定した磁気軸受本体２０の機種と抵抗４１２で特定した機種とが一致しない場合（ステップ１３；Ｎ）、及び、装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１から読み取った磁気軸受本体２０の機種と、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１から特定した機種（ステップ１３）又は抵抗から特定した機種（ステップ１５）とが一致しない場合（ステップ１６；Ｎ）、警告処理（ステップ１４、１７）を行った後に、運転動作を禁止（ロック）する構成とした。これに対して本発明では運転動作を禁止せず、警告処理（ステップ１４、ステップ１７）の後に、ステップ３２に移行するようにしてもよい。
　【００３２】
　また、本体ＥＥＰ−ＲＯＭ４１１により特定される磁気軸受本体２０の機種と、抵抗４１２で特定される機種とが異なっている場合、抵抗４１２で特定される機種と装置ＥＥＰ−ＲＯＭ４０１による機種とが一致するか否かを判断するようにしてもよい。この場合、両者が一致する場合には警告処理の後にステップ２９に移行し、一致しない場合には警告処理の後にステップ３３に移行する。
　【００３３】
　【発明の効果】
　
請求項１及び請求項２記載の
装置
外部の磁気軸受制御装置で
　また、
請求項３から請求項６記載の本発明によれば、
装置
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施形態における構成を表したブロック図である。
　【図２】
　磁気軸受本体が使用されるターボ分子ポンプの全体構成図である。
　【図３】
　制御装置による磁気軸受本体の機種確認及び調整処理の動作の一部を表したフローチャートである。
　【図４】
　同上、制御装置による磁気軸受本体の機種確認及び調整処理の動作の残りを表したフローチャートである。
　【図５】
　従来から使用されている磁気軸受装置の一般的な構成を表した説明図である。
　【符号の説明】
　２０　磁気軸受本体（磁気軸受装置）
　４０　制御装置（磁気軸受制御装置）
　４００　制御部
　４０１　装置ＥＥＰ−ＲＯＭ
　４０２　ＲＯＭテーブル
　４１　基板
　４１１　本体ＥＥＰ−ＲＯＭ
　４１２　抵抗
　４２　ケーブル