【事件の表示】
　特許第３０４３０３２号「不透明石英ガラスの製造法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０４３０３２号の訂正後の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  本件特許第３０４３０３２号の請求項１〜５に係る発明についての出願は、平成２年７月６日に特許出願されたものであって、平成１２年３月１０日にその発明について特許の設定登録がなされたものである。
　これに対して、小野浩一より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年４月２５日付けで訂正請求がなされ、その後再度取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年６月２７日付けで新たな訂正請求がなされ、上記平成１３年４月２５日付けの訂正請求が取り下げられたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
  本件訂正の内容は、本件特許明細書を上記訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
  請求項１を削除する。
（２）訂正事項ｂ　　　　
  請求項２を削除する。
（３）訂正事項ｃ　　　　
 請求項３を「珪酸質原料粉に発泡剤として最大粒径を１０ミクロン以下に調整した窒化ケイ素微粉末を０．０３〜３重量％添加して酸水素火炎で溶融し、ガラス厚５ｍｍにおいて波長２００〜５０００ｎｍの光を透過しないことを特徴とする不透明石英ガラスの製造法。」と訂正して請求項１とする。
（４）訂正事項ｄ　　　　
  請求項４、５を繰り上げて請求項２、３とする。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａ、ｂは請求項の削除であり、上記訂正事項ｄはそれに伴う請求項の繰り上げであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また、上記訂正によって別個の新たな目的及び効果をもたらすものではないから実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　そして、上記訂正事項ｃは、請求項の繰り上げと、引用形式を独立形式に書き直し、かつ（イ）「窒化ケイ素微粉末」を「最大粒径を１０ミクロン以下に調整した微粉末」と限定し、また（ロ）「不透明石英ガラス」を「ガラス厚５ｍｍにおいて波長２００〜５０００ｎｍの光を透過しないことを特徴とする不透明石英ガラス」と限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正である。そして上記（イ）は、特許明細書中の実施例１、２の表の窒化ケイ素粉の欄のミクロン欄が＋１０（「＋」は以上という意味）であり％の欄が０であるという記載、換言すれば、１０ミクロン以上が０％であるという記載から、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてした訂正である。また、上記（ロ）は特許明細書中の「このガラスを分光光度計を用い、分光透過率を測定したところ、ガラス厚５ｍｍにて波長２００〜５０００ｎｍの光を全く透過しないことが確認された。」（本件特許掲載公報第３頁第６欄第３３〜３５行、第４頁第７欄第２８〜３０行）の記載から願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてした訂正である。そしてこれらの訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、本件訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
３−１．本件訂正発明
　特許権者が請求した上記訂正は、上述したとおり、認容することができるから、訂正後の本件請求項１〜３に係る発明は訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである（以下、本件訂正発明１〜３という）。
「【請求項１】珪酸質原料粉に発泡剤として最大粒径を１０ミクロン以下に調整した窒化ケイ素微粉末を０．０３〜３重量％添加して酸水素火炎で溶融し、ガラス厚５ｍｍにおいて波長２００〜５０００ｎｍの光を透過しないことを特徴とする不透明石英ガラスの製造法。
【請求項２】珪酸質原料粉か珪石粉または珪砂粉であることを特徴とする請求項１記載の不透明石英ガラスの製造法。
【請求項３】珪酸質原料粉としてα−クォーツ、またはクリストバライト等の高純度の酸化ケイ素源の一種またはこれらの混合物を用いたことを特徴とする請求項１記載の不透明石英ガラスの製造法。」
３−２．特許異議の申立ての理由の概要
　特許異議申立人小野浩一は、証拠方法として甲第１〜７号証を提出し、（あ）請求項１、２に係る発明は、甲第１〜３号証のいずれかに記載された発明であるか、甲第１〜３号証のいずれかに記載された発明と甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、２に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号、第２項の規定に違反してされたものであるから、取り消されるべきものである旨、（い）請求項３に係る発明は、甲第１〜３号証のいずれかに記載された発明と甲第５、６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項３に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、取り消されるべきものである旨、（う）請求項４に係る発明は、甲第１〜３号証のいずれかに記載された発明と甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項４に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、取り消されるべきものである旨、（え）請求項５に係る発明は、甲第１〜３号証のいずれかに記載された発明であるか、甲第１〜３号証のいずれかに記載された発明と甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項５に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号、第２項の規定に違反してされたものであるから、取り消されるべきものである旨、それぞれ主張している。
３−３．甲号各証の記載内容
　甲第１号証：特開昭５４−６４５０７号公報　
（ａ）「天然産のガラス質鉱物粉末７０〜１００部（重量比）と工業用ガラス粉末３０部以下（重量比）および上記２成分の計１００部に対し炭化珪素および／または窒化珪素０．１〜７部（重量比）の比率から成る均一な配合物を成形し、これを加熱発泡後徐冷して得ることを特徴とする超軽量セラミック多泡体の製造方法。」（特許請求の範囲第１項）
（ｂ）「本発明者等は・・・製造時の焼成温度を低くし、かつ気泡径の均一な超軽量のセラミック多泡製品のほか広範囲の嵩比重を有する製品を得ることができた。」（第１頁右下欄第１４行〜第２頁左上欄第３行）
（ｃ）「主原料の天然ガラスは国内に広く分布しておりその化学成分は高珪酸質でＳｉＯ２が７０％以上を占め、Ａｌ２Ｏ３が１０〜２０％，アルカリ類は５〜８％（いずれも重量比）含まれている。」（第２頁右上欄第１〜４行）
（ｄ）「さらに調合成分として添加する発泡剤としては、調合物の焼成温度が高い（１０００〜２０００℃）ので、この温度域で分解しガスを発生する炭化珪素および／または窒化珪素をを用い、これらの粒度としては１５０μ以下が適当である。同一粒径のものであれば混入量の多い程ガスの発生量が多く軽量となるが、その量が７重量部以上であると上記効果が認められず、強度が低下する。」（第２頁右下欄第２〜９行）
（ｅ）第３頁下欄表−１の試料Ｎｏ．１１には、黒曜岩のみ（黒曜岩１００部、工業用ガラス粉末０部）を製造原料とし、発泡剤として窒化ケイ素を２．０重量部、金属酸化物としてＳｎＯ２が１．０重量部添加された実施例が記載されている。　
　甲第２号証：特開昭６１一１９７１６３号公報
（ｆ）「細かい砥粒と、結合剤原料としてけい酸塩鉱物粉末またはガラス粉末を砥粒重量の７０％以上と、発泡剤として窒化ほう素、窒化けい素微粉末の１種又は２種以上を結合剤原料重量の１〜１０％とを配合し、該配合物を十分に混合した後、結合剤原料が溶融してガラス化する温度以上に焼成することを特徴とするビトリファイド研摩砥石の製造法。」（特許請求の範囲第１項）
（ｇ）「これに対して、この発明において発泡剤として窒化ほう素、窒化けい素を使用する場合は、焼成段階で徐々に酸化された窒化ほう素、窒化けい素微粉が溶融した結合剤ガラス質相に溶込む際にＮ２ガスなどを発生し、これにより結合剤ガラス質中に気泡を形成する。そして、この気泡は前記炭化物微粉を発泡剤に用いた場合に比へて非常に緩やかに発泡作用が進行し、砥石結合剤中に比較的気泡径が揃った独立気泡を形成する。」（第２頁右下欄第１２行〜第３頁左上欄第１行）
（ｈ）「また、発泡剤はその粒径が１０μｍ以下の微粉、好ましくは平均粒径が１〜２μｍの微粉を使用した場合に良好な発泡作用を呈する。更に発泡剤は、その量が結合剤原料重量の１％以下のときは結合剤ガラス質相に十分な独立気泡が生じないし、逆にその量が結合剤原料重量の１０％以上になると、発泡作用が進みすぎて独立気泡が結合剤ガラス質相から外部に脱出したり、或いは連続気泡が形成され、気泡の大きさが不揃いな状態となる。」（第３頁左上欄第８〜１７行）
　甲第３号証：特開昭５６−１４００４０号公報
（ｉ）「ＳiＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系のガラスを加熱処理して分相させ、酸に可溶出させて得られた多孔質ガラスの粉末を焼結して焼結物を製造する際、前記多結晶ガラス粉末に窒化ホウ素、窒化珪素及び窒化アルミニウムのうち少なくとも１種の窒化物を１〜１５重量％添加して焼結することを特徴とする発泡ガラス焼結物の製造方法。」（特許請求の範囲第１項）
（ｊ）「本発明において、窒化ホウ素などの窒化物の添加量を上記範囲に限定した理由は、その添加量を１重量％未満にすると、窒化物が焼結中にほとんど分解して焼結後に残らず、ガラスへの発泡作用が期待できなくなり、かといってその添加量が１５重量％を越えると、発泡ガラス焼結物の耐熱性が低下するからである。」（第２頁右上欄第１３〜１９行）
　甲第４号証：「化学大辞典５」共立出版株式会社、第２８６〜２８７頁（１９８９年８月１５日）
（ｋ）第２８６頁の「せきえいガラス」の項において、「性質　透明品と不透明品とある。前者はスイショウを原料とし（製品を溶融水晶とよぶ）、後者はケイ石、ケイ砂などを原料とする。不透明品は細かい気ホウを含むことになる。」と記載されている。
　甲第５号証：特開昭５９−１６４６４４号公報
（ｌ）「またべルヌーイ法により砲弾状のインゴットを製造し炉壁にインゴットが常時接触しないようにした火炎溶融法がある。これは、生成するインゴットが常時炉壁に接触しないため炉材に含まれているウラン等の不純物をインゴットに混入しない利点はあるが、・・・」（第１頁右下欄第１７行〜第２頁左上欄第８行）
　甲第６号証：特開昭６０−２１８２７号公報　
（ｍ）「遷移金属化合物を含有する珪酸質原料を酸化性雰囲気下で溶融することを特徴とする石英ガラスの製造法。」（特許請求の範囲の第１項）（ｎ）「この場合アルミナ等は限界値以下なら石英ガラス中に混入しても比較的悪影響は表れないが特にＦｅ、Ｃｒ、Ｎi等の遷移金属は微量でも熱処理された時に石英ガラスを着色させる。」（第１頁左下欄第１８行〜右下欄第２行）
（ｏ）「最も一般的な石英ガラスの溶融法であるベルヌーイ法では遷移金属は原子価の高い状態で結晶網目構造をつなぐような形でとり込まれるため、加熱しても発色することはない。」（第１頁右下欄第１５〜１８行）
（ｐ）「しかしながらベルヌーイ法は、酸水素ガスを使用するため得られる製品が含水量の多いものとなる欠点があり、又高価となり、特に半導体用などの高純度品に用途が限定されてしまうという欠点があった。」（第１頁右下欄第１９行〜第２頁左上欄第３行）
　甲第７号証：特公昭５６−５１１４４号公報　
（ｑ）「微粉砕したシリカ及び約０．１％乃至１０％の微粉砕したオキシ窒化硼素の実質的に均一な混合物を形成せしめ、該混合物を少なくとも該シリカの融点の温度まで加熱し、それによってシリカを溶融し且つオキシ窒化硼素を分解せしめて溶融シリカ内に独立気泡を形成する気体を生ぜしめ、気泡形成した塊を生ぜしめ、次いで該気泡形成した塊を冷却して硬質の発泡体を形成せしめることを特徴とする、少なくとも９９パーセントのＳｉＯ２を含有する高純度のシリカから成り、（Ａ）０．５〜５ｍｍの直径を有する複数個の一次独立気泡及び（Ｂ）１０ミクロンより小さい直径を有する複数個の二次独立気泡を含有するマトリックスを含んでなる発泡体の形態にあり、且つ少なくとも２００ｐｓiの圧縮強度及び少なくとも１５０ｐｓｉの破断モジュラスを有する発泡体の製造方法。」（特許請求の範囲第１項）
（ｒ）「オキシ窒化硼素は明らかに、加熱の間に酸素を失ない、完全にまたは一部が窒化硼素に変り、それが生成物中に残留するが・・・」（第２頁第４欄第３７〜３９行）
（ｓ）「本発明の実施においては、たとえば、石英、トリジマイト、クリストバライト、無定形シリカ、融合粉末シリカおよび珪酸を含む広い範囲の種類にわたるシリカの何れかを用いることができる。最終製品の純度は、主として使用するシリカに依存するということに注意しなければならないが、所望に応して比較的不純なシリ力を用いることもできる。」（第４頁左欄第４１行〜右欄第３２行）
３−４．対比・判断
　上記２−１．で述べたように訂正前の請求項１、２は削除され、訂正前の請求項３〜５が請求項１〜３に繰り上がったのであるから、上記３−２．で述べられた（あ）〜（え）の理由のうち、（い）〜（え）について判断する。
（１）本件訂正発明１について
  本件発明訂正１は、不透明石英ガラスの製造法の技術的課題、すなわち発泡作用が大きく、微泡が均一に分散し、純度が高く、かつ泡の大きさや個数を調整して不透明度及び白色度を選択でき、さらに着色のない不透明石英ガラスを製造するという課題を解決するものであって（本件特許掲載公報第２頁第４欄第１０〜１３行）、その特色は発泡剤として窒化物であり又純度を損なわないシリコン化合物でもある窒化ケイ素を使用し、酸水素火炎溶融法により、不透明石英ガラスインゴットを造ることにある。（本件特許掲載公報第２頁第４欄第１９〜２２行）
　すなわち、本件訂正発明１は、（Ａ）「発泡剤として最大粒径を１０ミクロン以下に調整した窒化ケイ素微粉末を０．０３〜３重量％添加して」（Ｂ）「酸水素火炎で溶融し、」ということを併せて行う「不透明石英ガラスの製造法」である。
　これに対して、甲第１〜３号証には、上記（Ａ）の発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加することは記載されているものの、「不透明石英ガラスの製造法」については記載も示唆もされておらず、ましてや、併せて上記（Ｂ）の酸水素火炎で溶融することも記載も示唆もされていない。
　以下、詳述する。
　甲第１号証には、上記（ａ）〜（ｅ）から「粒度が１５０μ以下の窒化珪素を０．１〜７重量部と、ガラス質鉱物粉末とから成る配合物を成形し加熱発泡させた超軽量セラミック多泡体の製造方法」が記載されていると云える。しかしながら、石英ガラスは二酸化ケイ素だけから成るガラスであるから（甲第４号証第２４６頁せきえいガラスの項参照）、二酸化ケイ素だけから成っているとは云えない上記超軽量セラミック多泡体は石英ガラスとは云えない。
　してみると、甲第１号証には、発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加することは記載されているものの、不透明石英ガラスの製造法については記載も示唆もされておらず、ましてや、併せて酸水素火炎で溶融することも記載も示唆もされていない。
　甲第２号証には、上記（ｆ）〜（ｈ）から「発泡剤として粒径が１０μｍ以下の窒化けい素の微粉末を結合剤重量の１〜１０％配合し、結合剤原料が溶融しガラス化する温度以上に焼成するビトリファイド研摩砥石の製造法」が記載されていると云える。しかしながら、ビトリファイド砥石は石英ガラスとは云えないから、甲第２号証には、発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加することは記載されているものの、不透明石英ガラスの製造法については記載も示唆もされておらず、ましてや、併せて酸水素火炎で溶融することも記載も示唆もされていない。
　甲第３号証には、上記（ｉ）、（ｊ）から「ＳiＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属）系のガラスを加熱処理して分相させ、酸に可溶出させて得られた多孔質ガラスの粉末を焼結して焼結物を製造する際、前記多結晶ガラス粉末に窒化珪素を１〜１５重量％添加して焼結することを特徴とする発泡ガラス焼結物の製造方法」が記載されていると云える。しかしながら、得られた多孔質ガラスの粉末が二酸化ケイ素だけから成るとは云えないから、上記発泡ガラス焼結物が石英ガラスとは云えない。したがって、甲第３号証には、発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加することは記載されているものの、不透明石英ガラスの製造法については記載も示唆もされておらず、ましてや、併せて酸水素火炎で溶融することも記載も示唆もされていない。
　加えて、甲第５、６号証には、石英ガラスを火炎溶融法（ベルヌーイ法）で製造させることは記載されているが、発泡剤を添加し不透明石英ガラスを製造することは記載も示唆もされていない。
  なお、特許異議申立人は、「発泡剤を用いて不透明石英ガラスを得るという公知事実（本件特許公報第２ページ左欄第２〜７行、甲第４号証）」と主張しているが（特許異議申立書第１２頁第１１〜１３行）、本件特許明細書の記載内容が直ちに本件出願前に公知の事実であったとは云えないし、また甲第４号証には、上記（ｋ）から細かい気泡を含むと不透明な石英ガラスとなることが記載されているにすぎず、この記載から直ちに発泡剤を用いて不透明石英ガラスを得ることが記載されているとすることはできない。
　そして、本件訂正発明１は、上記（Ａ）と（Ｂ）の構成を併せて採用することにより本件明細書（本件特許掲載公報第４頁）によれば、（イ）ガラスの外観は均一な白色透明であり、ガラス厚５ｍｍにて波長２００〜５０００ｎｍの光を全く透過せず、遮光性に優れている、（ロ）石英ガラスの純度を損なわずに、大きな発泡効果が得られる、（ハ）クリーンなガスを用いて無接触に近い状態で製造できるため、電融法に比べても遷移金属不純物等の混入を極めて微量なものとすることができる、（ニ）高温粘性が１２００℃において１．２×１０１２ポイズであり耐熱性に優れている等の効果を奏すると云える。
　以上のことから、本件訂正発明１は、甲第１〜６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（２）本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は本件訂正発明１を引用しさらに限定した発明であるから、上記（１）で述べたと同じ理由で、本件訂正発明２は、甲第１〜６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（３）本件訂正発明３について
　本件訂正発明３は本件訂正発明１を引用しさらに限定した発明である。上記（１）で述べたように甲第１〜３号証には、発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加することは記載されているものの、不透明石英ガラスの製造法については記載も示唆もされておらず、ましてや、併せて酸水素火炎で溶融することも記載も示唆もされていないから、本件訂正発明３は甲第１〜３号証に記載された発明とすることはできない。そして、甲第７号証には、上記（ｑ）、（ｓ）から「オキシ窒化硼素微粉末を分解せしめて一次独立気泡と二次独立気泡を形成する高純度シリカから成る発泡体の製造方法」が記載されていると云えるが、オキシ窒化硼素微粉末を分解させると窒化硼素が発泡体に混入するのは明らかであるから（上記（ｒ）参照）、甲第７号証の発泡体は不透明石英ガラスとは云えない。加えて発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加することは記載も示唆もされておらず、併せて酸水素火炎で溶融することも記載も示唆もされていない。
　したがって、本件訂正発明３は、甲第１〜７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
４．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、訂正後の本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すことはできない。
 また、他に訂正後の本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
 したがって、訂正後の本件請求項１〜３に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年７月１１日（２００１．７．１１）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第３０４３０３２号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、
（１）訂正事項ａ
　請求項１を削除する。
（２）訂正事項ｂ
　請求項２を削除する。
（３）訂正事項ｃ
　請求項３を「珪酸質原料粉に発泡剤として最大粒径を１０ミクロン以下に調整した窒化ケイ素微粉末を０．０３〜３重量％添加して酸水素火炎で溶融し、ガラス厚５ｍｍにおいて波長２００〜５０００ｎｍの光を透過しないことを特徴とする不透明石英ガラスの製造法。」と訂正して請求項１とする。
（４）訂正事項ｄ
　請求項４、５を繰り上げて請求項２、３とする。
（５４）【発明の名称】
不透明石英ガラスの製造法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】珪酸質原料粉に発泡剤として最大粒径を１０ミクロン以下に調整した窒化ケイ素微粉末を０．０３〜３重量％添加して酸水素火炎で溶融し、ガラス厚５ｍｍにおいて波長２００〜５０００ｎｍの光を透過しないことを特徴とする不透明石英ガラスの製造法。
　【請求項２】珪酸質原料粉が珪石粉または珪砂粉であることを特徴とする請求項１記載の不透明石英ガラスの製造法。
　【請求項３】珪酸質原料粉としてα−クォーツ、またはクリストバライト等の高純度の酸化ケイ素源の一種またはこれらの混合物を用いたことを特徴とする請求項１記載の不透明石英ガラスの製造法。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、不透明石英ガラスの製造法、さらに詳しくは、発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加した不透明石英ガラスの製造法に関する。
［従来の技術］
　従来より、半導体の製造装置、フランジ等の熱のかかる装置、または電気発熱体用保護管等には、熱線遮断特性を生かして不透明石英ガラスが利用されている。
　ガラスの不透明度は、原料とする珪石、珪砂の透明度に大きく左右され、また、透明度の高い原料は純度も高いことが一般的であり、純度が高く、かつ、高い透明度を有する水晶に近似した原料から造られたガラスは半透明なものとなり、不透明石英ガラスとしては不適当であった。
　このため半透明化の解消法として、原料として乳白色の珪石や珪砂を用いたり、不透明度の高い原料を選別して使用したり、または、電融法（電気加熱熱源による溶融）において、発泡剤として炭素あるいは炭素含有物質の微粉を添加して、不透明度を制御する方法が、不透明石英ガラスの製造方法として知られている。
　また、遷移金属が含有していると１０００℃付近で着色が生ずるので、これを解決するため遷移金属化合物を含有する珪酸質原料を酸化性雰囲気下で溶融することによって着色を抑える不透明石英ガラスの製造方法が開示されている（特開昭６０−２１８２７号）。
［発明が解決しようとする課題］
　しかし、乳白色の珪石や珪砂を用いたり、不透明度の高い原料を選別して使用する方法は、泡の大きさや分散状態にムラを生じやすく、切断、切削加工の際の研磨材浸透等の問題があり、また原料の純度が低下するため、製品の純度も低下し、特に高い純度が要求される半導体製造用の炉心管等には用いることができない。
　また、発泡剤として炭素あるいは炭素含有物質の微粉を添加する方法は、例えば、
　ＳｉＯ２＋３Ｃ→ＳｉＣ＋２ＣＯ↑
　ＳｉＣ＋ＳｉＯ２→ＳｉＯ２−Ｘ＋ＣＯ↑
のように、ＳｉＯ２との固相反応により発生した一酸化炭素ガスを発泡源とするため、効率よく反応させるには、粒子同士の十分な接触が重要となり、粉体の単なるミキシングでは反応のための接触角が不均一になりやすく、このため発泡にムラが生じやすくなる。又、一酸化炭素ガス自体が還元性の発泡源であるため、石英ガラスの構造欠陥（酸素欠陥）を誘発する因子となる欠点があった。
　このことは、電融法のみならず炭素あるいは炭素含有物質の微粉から成る還元性の発泡剤を用いて、酸水素火炎法（ベルヌーイ法）で溶融した場合でも、同様な固相反応による発泡メカニズムを生じる。
　このため上記発泡剤を用いて適量の混合濃度として溶融しても、発泡作用が充分ではなく、ガラスの白色化及び不透明化は、全く不充分であり、これを完全に不透明化する為には発泡剤の混合濃度をかなり増大しなければならない。
　しかし、この発泡剤（炭素あるいは炭素含有物質）の過剰な添加は石英ガラスの熱的、化学的特性を低下させ、耐久性が劣るとともに失透現象（結晶化）によりクラックが入り易く、泡割れ等が発生する欠点があった。
　また、高純度の不透明石英ガラスを得るには純度の低い珪石や珪砂を原料としたのでは、酸洗浄等の純化処理を施したとしても、純度的には満足なものではなかった。
　さらに、従来の不透明度の高い（泡の多い）珪石を用いる方法では、珪石中に含まれた泡にバラツキがあり、又炭素あるいは炭素含有物質を添加する方法では、上述の固相接触反応によるメカニズムとなるため、微泡が不均一になりやすく、また、泡の大きさや個数を調整して不透明度及び白色度を制御することは難しかった。
　また、遷移金属化合物を含有する珪酸質原料を溶融する方法は、珪石等を酸洗浄によって夾雑物を除いても遷移金属の微量な混入は避けられず、これを電融法等の還元性雰囲気下で溶解したガラスは、加熱の際、着色現象を起こすという問題があった。
　そこで、発泡作用が大きく、微泡が均一に分散し、純度が高く、かつ泡の大きさや個数を調整して不透明度及び白色度を選択することができる、さらに着色のない不透明石英ガラスの製造法の開発が望まれていた。
［課題を解決するための手段］
　本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、珪酸質原料粉に発泡剤として窒化ケイ素微粉末を添加し、溶融すれば、前記目的が達成できるとの知見を得て本発明を完成した。
　本発明の特色は、発泡剤として窒化物であり又純度を損なわないシリコン化合物でもある窒化ケイ素を使用し、酸水素火炎溶融法により、不透明石英ガラスインゴット（ブロック等）を造ることにある。
　このとき、窒化ケイ素微粉末の添加量は、０．０３〜３重量％、が好ましく、特に好ましくは０．１％〜１％である。
　添加量が０．０３重量％未満では、白色化、不透明化が充分でなく、また３重量％を超えると、石英ガラスの性質を損ない（結晶化）、また、泡の分散が不均一となり好ましくない。
　また、高純度品製造に対しては、原料として珪石や珪砂の替わりに、α−クォーツ、またはクリストバライト等の高純度の酸化ケイ素源の一種またはこれらの混合物、例えば精製した高純度の水晶粉や合成したシリカ粉等を用いて使用することができる。
［作用］
　発泡剤である窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）は、一般的には１９００℃で昇華するが、中性、還元性雰囲気では１８５０℃位迄安定であり、酸化性雰囲気では１７００℃位迄が安定領域である。このため、酸水素火炎溶融等の酸化一性雰囲気下では、１７００℃以上の温度で熱分解し、熱分解により発生した窒素ガス（Ｎ２）により、石英ガラスの純度を損なわずに、ガラス中での大きな発泡効果が得られる。
　このため水晶等の高純度品を用いても、純度の低下を来さず、高純度品をそのまま得ることができる。
　また、窒化ケイ素は１７００℃以上の温度で熱分解し、窒素ガスを放出するので酸水素火炎溶融での原料粉に対する添加量が同じ条件下においては、炭素含有物質である炭化ケイ素より窒化ケイ素の方が発泡効果が大であり、従って不透明化と白色化への効果も大という結果が得られている。
　また、珪石、珪砂又は水晶粉に発泡剤として０．０３％〜３％の窒化ケイ素の微粉を少量添加し、均一に分散した混合粉を溶融することにより、石英ガラス全体に均一な微泡を発生させ不透明化させることができる。
　ここで発泡剤の粒度又は混合濃度の選択によって泡の大きさや個数を変化できるので、その調整により不透明度及び白色度を容易に制御することができる。
　このように窒化ケイ素を発泡剤として用いれば、それ自体が溶融時熱分解により発生する窒素ガスを発泡源とするため、従来法、例えば炭素あるいは炭素含有物質を添加しての固相接触反応による発泡法とは、メカニズムそのものが違うため、発泡のバラツキが少なく、微泡を均一に効率よくガラス中に分散させ、白色の不透明石英ガラスを容易に得ることができる。
　また、酸化性雰囲気で溶融（ベルヌーイ法）しているので、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ等の遷移金属が微量に含有していたとしても、これらはガラス中に安定した形（原子価の高い状態でガラスの網目構造をつなぐような形）でとり込まれているため、遷移金属不純物による着色はなく、又加熱しても１０００℃付近で着色することがない。
［実施例］
　以下に、実施例を用いてさらに具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
実施例１（不透明石英ガラスの製造）
　原料としての珪石粉及び発泡剤の窒化ケイ素粉は、次のような粒度調整のものを使用した。
　珪石粉に対する発泡剤の窒化ケイ素粉の混合濃度は０．２％（重量）とし、この混合粉末を充分に混合した後、酸水素火炎溶融法により溶解し、サイズ５５０□×１８０Ｈの白色不透明石英ガラスインゴットを作成した。
　この不透明石英ガラスの見掛比重は、発泡剤添加前が２．１９であるのに比して、２．０８であった。
　また、目視観察により泡は均一に分散しており、美観上すぐれた白色の不透明石英ガラスを得た。
　このガラスを分光光度計を用い、分光透過率を測定したところ、ガラス厚５ｍｍにて波長２００〜５０００ｎｍの光を全く透過しないことが確認された。得られた石英ガラスインゴットの粘性は、下記に示すとおりである。
　１２００℃１．２×１０１２ポイズ
実施例２（高純度不透明石英ガラスの製造）
　原料として、下記に示す粒度調整をした水晶粉、及び窒化ケイ素粉を用いた。
　水晶粉に対する発泡剤の窒化ケイ素粉の混合濃度は０．２％（重量）とし、この混合粉末を充分に混合した後、酸水素火炎溶融法により溶融し、サイズ５５０□×１８０Ｈの白色不透明石英ガラスインゴットを造った。
　この不透明石英ガラスの見掛比重は、発泡剤添加前が２．２０であるのに比し２．１０であった。
　また、目視観察により泡は均一に分散しており、美観上すぐれた白色の不透明石英ガラスを得た。
　このガラスを分光光度計を用い、分光透過率を測定したところ、ガラス厚５ｍｍにて波長２００〜５０００ｎｍの光を全く透過しないことが確認された。
　このとき得られたガラスの分析値は、次のようなものであった。
［効果］
　本発明による効果として下記のものが挙げられる。
（１）ガラスの外観は均一な白色不透明であり、ガラス厚５ｍｍにて、波長２００〜５０００ｎｍの光を全く透過せず、遮光性に優れている。
（２）発泡剤を窒化ケイ素としたことにより、石英ガラスの純度を損なわずに、ガラス中での大きな発泡効果が得られる。
（３）発泡剤の粒度、原料粉に対する混合比率を選定することにより、泡の大きさ，密度をある範囲内で制御、均一化することができる。
（４）発泡剤を高純度品、原料粉も精製された高純度品を選定使用することで、透明石英ガラスと同様な高純度不透明石英ガラスが容易に製造できる。
（５）酸水素火炎溶融法にて製造するので、ニーズに合わせた大型のブロック（板材）を作るのにも好ましく、さらにベルヌーイ法で溶融した不透明石英ガラスは、クリーンなガスを用いて、無接触に近い状態で製造できるため、電融法に比べてもＦｅ、Ｃｒ、Ｎｉ等の遷移金属不純物等の混入を極めて微量なものとすることができ、又、これらが微量に混入しても、ガラスに安定した形で取り込まれる結合構造により加熱しても発色することがない。
（６）得られた不透明石英ガラスの高温粘性は、１２００℃において１．２×１０１２ポイズであり、従来品のＯＨ量の少ない不透明電融品（１２００℃で０．７〜０．８×１０１２ポイズ）と比べても、耐熱性に優れている。