【事件の表示】
　特許第３１１３６３６号「熱に補助された光感受性組成物およびそれについての方法」の請求項１ないし４、９ないし１８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１１３６３６号の請求項５ないし１０に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　特許第３１１３６３６号の請求項１ないし１８に係る発明は、平成１０年９月１８日（優先日平成９年９月１８日）に特許出願され、平成１２年９月２２日にその特許権の設定登録がなされ、その後、芹沢富美子より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１４年３月２０日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
(１)訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を削除する。
(２)訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の「【請求項２】」を「【請求項５】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項１に記載の」とあるのを「請求項１または３に記載の」と訂正する。
(３)訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の「【請求項３】」を「【請求項６】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項２に記載の」とあるのを「請求項５に記載の」と訂正する。
(４)訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の「【請求項４】」を「【請求項７】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項２に記載の」とあるのを「請求項５に記載の」と訂正する。
(５)訂正事項ｅ
　特許請求の範囲の「【請求項５】前記導電性または誘電性粒子が３つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とする請求項１に記載の組成物。」を
「【請求項１】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
　（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
　（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　　（２）光開始系と；
　　　　（３）熱補助触媒と；
　　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が３つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とすることを特徴とする感光性厚膜組成物。」と訂正する。
(６)訂正事項ｆ
　特許請求の範囲の「【請求項６】」を「【請求項２】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項５に記載の」とあるのを「請求項１に記載の」と訂正する。
(７)訂正事項ｇ
　特許請求の範囲の「【請求項７】前記導電性または誘電性粒子が粒子の２つのモードを有する組合わせであることを特徴とする請求項１に記載の組成物。」を
「【請求項３】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
      （ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
      （ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
            （２）光開始系と；
            （３）熱補助触媒と；
            （４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が２つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とすることを特徴とする感光性厚膜組成物。」と訂正する。
(８)訂正事項ｈ
　特許請求の範囲の「【請求項８】」を「【請求項４】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項５に記載の」及び「導電性粒子」とあるのを、それぞれ「請求項３に記載の」及び「電気伝導性粒子」と訂正する。
(９)訂正事項ｉ
　特許請求の範囲の請求項９〜１５を削除する。
(10)訂正事項ｊ
　特許請求の範囲の「【請求項１６】」を「【請求項８】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項３に記載の」とあるのを「「請求項６に記載の」と訂正する。
(11)訂正事項ｋ
　特許請求の範囲の「【請求項１７】」を「【請求項９】」と訂正するとともに、同請求項に「 請求項４に記載の」とあるのを「請求項７に記載の」と訂正する。
(12)訂正事項ｌ
　特許請求の範囲の「【請求項１８】」を「【請求項１０】」と訂正するとともに、同請求項に「 請求項１７に記載の」とあるのを「請求項９に記載の」と訂正する。
　　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項追加の有無、及び特許請求の範囲の実質上の拡張又は変更の存否
(１)訂正事項ａ及びｉは、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正であって、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(２)訂正事項ｅは、前記請求項１の削除に伴い、同請求項１を引用していた訂正前の請求項５を独立形式に記載し直すとともに、請求項１に繰り上げ、さらに、「電気伝導性粒子」とすべきところを「導電性粒子」とした誤記を正すものである。すなわち、訂正前の請求項１に「電気伝導性または誘電性粒子」と記載されており、それを受けて「前記３つのモードを有する導電性粒子」と記載されているので、訂正前の請求項５に記載された「導電性粒子」は「電気伝導性粒子」の誤記であることは明らかである。
　よって、訂正事項ｅは、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的とする訂正であって、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(３)訂正事項ｆは、上記訂正ｅに伴い、訂正前の請求項５を引用する形式で記載されていた請求項６を、請求項２に繰り上げるとともに、「請求項５に記載の」を「請求項１に記載の」とするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(４)訂正事項ｇは、前記請求項１の削除に伴い、同請求項１を引用していた訂正前の請求項７を独立形式に記載し直すとともに、請求項３に繰り上げ、さらに、「電気伝導性粒子」とすべきところを「導電性粒子」とした誤記を正すものである。すなわち、訂正前の請求項１に「電気伝導性または誘電性粒子」と記載されており、それを受けて「前記３つのモードを有する導電性粒子」と記載されているので、訂正前の請求項５に記載された「導電性粒子」は「電気伝導性粒子」の誤記であることは明らかである。
　よって、訂正事項ｇは、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的とする訂正であって、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(５)訂正事項ｈは、上記訂正ｇに伴い、訂正前の請求項７を引用する形式で記載されていた請求項８を、請求項４に繰り上げるとともに、「請求項５に記載の」を「請求項３に記載の」とするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(６)訂正事項ｂは、前記訂正事項ｅないしｈによる請求項の繰り上げに伴い、訂正前の請求項１を引用する形式で記載されていた訂正前の請求項２を、請求項５に繰り下げるものとともに、訂正後の請求項１（訂正前の請求項５）及び訂正後の請求項３（訂正前の請求項７）を引用する形式で記載するものである。
　しかしながら、訂正前の請求項５及び７においては、訂正前の請求項２は引用されていないから、訂正後の請求項５は、訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものである。
　よって、訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(７)訂正事項ｃ及びｄは、上記訂正事項ｂに伴い、訂正前の請求項２を引用する形式で記載されていた訂正前の請求項３及び請求項４を、それぞれ請求項６及び請求項７に繰り下げるとともに、「請求項２に記載の」を「請求項５に記載の」とするものである。そして、前述のとおり、該請求項５は、訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものであるから、訂正後の請求項６及び請求項７も、実質的に、訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものである。　
　よって、訂正事項ｃ及びｄは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(８)訂正事項ｊは、訂正事項ｉによる請求項の削除に伴い、訂正前の請求項１６を、請求項８に繰り上げると共に、訂正前の請求項１７において引用されていた訂正前の請求項３が訂正事項ｃにより請求項６とされたために、「請求項３に記載の」とあるのを「請求項６に記載の」と訂正するものである。そして、前述のとおり、該請求項６は、実質的に訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものであるから、訂正後の請求項８も、実質的に、訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものである。　
　よって、訂正事項ｊは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(９)訂正事項ｋは、訂正事項ｉによる請求項の削除に伴い、訂正前の請求項１７を、請求項９に繰り上げると共に、訂正前の請求項１７において引用されていた訂正前の請求項４が訂正事項ｄにより請求項７とされたために、「請求項４に記載の」とあるのを「請求項７に記載の」と訂正するものである。そして、前述のとおり、該請求項７は、実質的に訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものであるから、訂正後の請求項９も、実質的に、訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものである。　
　よって、訂正事項ｋは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
(１０)訂正事項ｌは、訂正事項ｉによる請求項の削除に伴い、訂正前の請求項１８を、請求項１０に繰り上げると共に、訂正前の請求項１８において引用されていた訂正前の請求項１７が訂正事項ｋにより請求項９とされたために、「請求項１７に記載の」とあるのを「請求項９に記載の」と訂正するものである。そして、前述のとおり、該請求項９は、実質的に訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものであるから、訂正後の請求項１０も、実質的に、訂正前の請求項５及び７に記載された構成を新たに付加するものである。　
　よって、訂正事項ｌは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、願書に添付された明細書に記載された事項の範囲内の訂正である。また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
   
３．特許異議申立について
３−１．本件発明
　上記２．で示したように訂正が認められるから、本件の請求項１ないし１０に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
　（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
　（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　　（２）光開始系と；
　　　　（３）熱補助触媒と；
　　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が３つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とすることを特徴とする感光性厚膜組成物。
【請求項２】前記３つのモードを有する電気伝導性粒子が、１０：３：１から４：２：１の範囲にある、最も大きなものから最も小さなものまでの体積比を有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
      （ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
      （ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
            （２）光開始系と；
            （３）熱補助触媒と；
            （４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が２つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とすることを特徴とする感光性厚膜組成物。
【請求項４】前記２つのモードを有する電気伝導性粒子が、４：１から１：１の範囲にある大きなものから小さなものまでの体積比を有することを特徴とする請求項３に記載の組成物。
【請求項５】有機溶媒をさらに含むことを特徴とする請求項１または３に記載の組成物。
【請求項６】スクリーン印刷に好適なペースト稠度を有することを特徴とする請求項５に記載の組成物。
【請求項７】請求項５に記載の組成物から蒸発により前記有機溶媒が除去された層を有することを特徴とする感光性導電性テープ。
【請求項８】基板上の微細の導電体線の形成のための単一印刷プロセスであって：
　ａ．基板上のパターン形成される区域を覆うために、請求項６に記載のペーストを、４から２０マイクロメートルの厚さを有する焼結されたパターンを生成するのに充分な量だけ、付着させる工程と；
　ｂ．熱誘起された部分的な重合を発生させ、および同時に前記溶媒を除去するのに充分な温度においてペーストを乾燥する工程と；
　ｃ．化学線に対してパターン状に前記乾燥されたペーストを画像に沿ってさらして潜像を形成する工程と；
　ｄ．前記パターン形成されたペーストを熱処理して、プリントの露光領域において架橋することをもたらすさらなる重合を誘起して、露光領域が現像液中で不溶性になる工程と；
　ｅ．好適な現像液中で前記パターン形成されたペーストを現像して、前
記パターン形成されたペーストの未露光領域を洗い流す工程と；
　ｆ．前記パターン形成されたペーストを焼結する工程とをこの順序に具えたことを特徴とする印刷プロセス。
【請求項９】基板上に微細な導電体の線の形成のためのプロセスであって、前記プロセスが：
　ａ．請求項７に記載のテープを付着して基板上のパターン形成される区域を覆う工程と；
　ｂ．化学線に対してパターン状に前記テープを画像に沿ってさらして、潜像を形成する工程と；
　ｃ．前記テープを熱処理して前記テープの露光領域において架橋することをもたらすさらなる重合を誘起して、露光領域が現像液中で不溶性になる工程と；
　ｄ．好適な現像液中で前記テープを現像して、前記テープの未露光領域を洗い流す工程と；
　ｅ．前記テープを焼結する工程とをこの順序に具えたことを特徴とするプロセス。
【請求項１０】工程ａ．の後に前記テープが熱誘起される部分的な重合をもたらすのに充分な温度において熱処理されることを特徴とする請求項９に記載のプロセス。」
    　
３−２．特許異議の申立ての概要
　特許異議申立人芹沢富美子は、証拠として、
　甲第１号証：特開昭６２−２２０５４１号公報（以下「刊行物１」という）
　甲第２号証：特公平３−２３５１４号公報（以下「刊行物２」という）
　甲第３号証：特公昭５８−２２０４１号公報（以下「刊行物３」という）
　甲第４号証：特開昭５４−１２１９６７号公報（以下「刊行物４」という）
を提出して、
　訂正前の請求項１ないし４、９ないし１８に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、その特許は取り消されるべきである旨主張する。
　なお、取消理由通知では、特開平４−３６６９５７号公報（以下「刊行物５」という）、特開平７−２６１４０７号公報（以下「刊行物６」という）も通知されたので併せて検討する。
　　
４．各刊行物の記載事項
４−１．刊行物１（特開昭６２−２２０５４１号公報）には、
(1a)「（１）次の混合物を包含し，弱酸化性雰囲気で焼付けることができる感光性導電性金属被覆組成物．
　ａ．導電性金属の円滑な微細に分割された粒子，その少なくとも８０重量％は　(1)　２より大きくない外観割合を有し，(2)　２−６μｍの粒子径を有するものであり，及び，
　ｂ．軟化点５００−６００℃を有するカドミウム含有鉛アルミノシリケート　ガラスの微細に分割された粒子，その少なくとも８０重量％は２−６μｍの粒子径を有し，ａ．及びｂ．の両者は次の溶液中に分散されている．
　ｃ．アクリル重合体結合剤，
　ｄ．揮発性可塑剤，及び
　ｅ．光開始系の
　ｆ．光硬化性単量体，中の溶液であって，可塑剤が重合体結合剤の１０−３０重量％を包含し，かつ，単量体が重合体結合剤の２０−３３重量％を包含する．
（２）有機成分ｃ−ｆが揮発性非水性有機溶媒に溶解している特許請求の範囲第１項記載の組成物．
（３）非水性有機溶媒が揮発によって除かれる特許請求の範囲第２項記載の組成物の層を包含する光導電性膜．
（４）膜が，
　ａ．セラッミック基体に積層し，
　ｂ．化学線照射にイメージ様露出して膜の露出領域の硬化を行い，
　ｃ．溶剤現像して膜の未露出領域を除去し，
　ｄ．弱い酸化性雰囲気で焼付けて有機媒体の揮発及び無機結合材と導電性金属との焼結を行うことを受けた特許請求の範囲第３項記載の膜を包含するパターン導電性層．
（５）スクリーン印刷に適したコンシステンシィのペーストである特許請求の範囲第２項記載の組成物．」(特許請求の範囲)、
(1b)「この発明の組成物の金属粒子の無機結合剤はカドミウム含有鉛アルミノシリケート　ガラスである．このガラスは典型的には次の組成範囲に入る．
　ＰｂＯ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３２−３５モル％
　ＳｉＯ２　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　５５−６０モル％
　ＣｄＯ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２−　４モル％
　Ａｌ２Ｏ３　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　３−　６モル％
然しながら，上記の４基礎成分に加えてガラスはＺｎＯ，Ｆｅ３Ｏ４，Ｃｒ２Ｏ３又はその混合物のような接着促進剤を５モル％まで含むことができる．銀，酸化銀，酸化亜鉛及びその混合物をも用いるとができる．」(第４頁左上欄第１０行〜右上欄第１行)、
(1c)「多くの場合に，光伝導及び接着がそれによって改良されるためできるだけ多くのガラスを用いることが好ましい．然しながら，ガラスの量は適当な電気伝導性及び融着性を得るのと整合する．
　結合剤は，所望の割合で所望の成分を混合し混合物を加熱して融解物を形成する通常のガラス製造技術によって製造する．当業界では良く知られているように，加熱はピーク温度で融解物が完全に液状で均質になる時間行われる．この作業では，成分はプラスチックボールを入れたポリエチレン　ジャー中で振り混ぜて予備混合し次いで白金ルツボ内で所望の温度で融解する．融解物はピーク温度に１−１／２時間加熱する．次いで融解物は冷水中に注ぐ．クエンチング中の水の最高温度は水−対−融解物比を増加してできるだけ低く保つ．水から分離後の粗フリットは，空気中で乾燥するか又はメタノールで濯ぐことにより水を置換えることによって残留水をなくする．」(第４頁左下欄第６行〜右下欄第４行)、
(1d)「この理由で，ポリ（アクリル酸アルキル）又はポリ（メタアクリル酸アルキル）又はその各種共重合体のようなアクリル重合体を結合剤として用いることが必要である．固体の分散を維持する有機媒体の能力を改善するため，その酸又はアミン共重合体は好ましい．その共重合体は分散安定性を改良する部分となるカルボン酸又はアミンを５重量％まで含むことができる．」(第５頁左上欄第７〜１４行)、
(1e)「単独で又は単量体と共に使用することができる適当な単量体には次の物が含まれる．ｔ−ブチル　アクリレート及びメタクリレート，１．５−ペンタンジオール　ジアクリレート及びジメタクリレート，Ｎ．Ｎ−ジエチルアミノエチル　ジアクリレート・・・有するものがある．」(第６頁左下欄第１０行〜第７頁右上欄第１１行)、
(1f)「分散体を膜ににつくるべき場合には，導電性金属固体及び無機結合剤が分散されている有機媒体は上記の重合体結合剤，可塑剤，単量体及び開始剤からなる．場合により，分散剤，ストリッピング剤，及び湿潤剤のような他の溶解した材料も存在することができる．」(第７頁左下欄第１９行〜右下欄第４行)、
(1g)「他方，この発明の組成物を厚膜組成物として調合する場合には，通常はスクリーン印刷によって適用される．従って，スクリーンを容易に通過できるように適当な粘度を有しなければならない．」(第８頁右上欄第１２〜１５行)、
(1h)「例２及び３
　例２及び３においては，銅の粒子径の影響が観察できるように組成物を処方し試験した．組成物は，樹脂を塩化メチレンに溶解し，銅及びガラス結合剤，及び場合によって光活性成分を加え，次いでジャー　ミル中でガラス　ビーズと共にミリングして処方した．可塑剤及び単量体等の容易に溶解できる成分との処方を，粉末が溶媒／樹脂溶液中でミリングした後に行なった場合もある．
　被覆は，被覆溶液をＭｙｌａｒ(R)（注：(R)は○の中にＲの形で表記されている）［ポリエステルフィルムに対するＥ．Ｉ．ｄｕ　Ｐｏｎｔ ｄｅ Ｎｅｍｏｕｒｓ　ａｎｄ Ｃｏｍｐａｎｙ．Ｉｎｃ．Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ．ＤＥの登録商標］ポリエステルフィルム基体に適用し塩化メチレンを蒸発させてつくった．乾燥膜の典型的厚みは，４ミル　ドクター　ブレ−ドで形成した１．０−１．２ミルであった．
　部品は約８０−１００℃で約４０ｐｓｉ［３００ｋＰａ］圧力を用いてラミネ−トした．部品はラミネータ中を２，３回通して基体端への積層を確保した．現像は，約５−８ｍｌ／ｓｅｃの速度でスピニング部上約３インチ［７．５ｃｍ］ファン型パターン中で噴霧したクロロエタン現像剤液体を用いスピン　デベロッパ中で行なった．
　部品は帯状炉中で焼尽帯における変化する酸素注入を伴った窒素雰囲気を用いて行った．緊密な密閉及び焼尽帯におけるかなり高い雰囲気流，約１００ｐｐｍＯ２注入を伴うマッフル容量の立方デシメータ当り約０．７５立方直径／ｈｒ．で充分である．」(第９頁左下欄第１２行〜右下欄第２０行)、
と記載されている。
　　
４−２．刊行物２（特公平３−２３５１４号公報）には、
(2a)「１（ａ）表面積対重量比約１０ｍ２／ｇ以下を有し、かつ粒子の少くとも７５重量％が１〜１０μｍのサイズを有するセラミック固体の微粒子、および
（ｂ）ガラス転移温度５５０〜８２５℃、表面積対重量比１０ｍ２／ｇ以下を有し、粒子の少くとも９５重量％が１〜１０μｍのサイズを有している無機結合剤の微細粒子との混合物であつて、そして（ｂ）対（ａ）の重量比が０．６〜２であり、かつ該粒子が有機媒体に分散され、さらに核媒体が、
（ｅ）光硬化可能な単量体、および
（ｆ）有機溶媒
に溶解されている、
（ｃ）（１）Ｃ１〜１０アルキルアクリレート、Ｃ１〜１０アルキルメタクリレート、またはα−メチルスチレンのホモポリマー、
（２）Ｃ１〜１０アルキルアクリレート、Ｃ１〜１０アルキルメタクリレート、α−メチルスチレンおよび２重量％までのエチレン系不飽和カルポン酸、アミンまたはシラン含有化合物のうちの少なくとも２種からなるコポリマー、
（３）Ｃ１〜１０モノオレフインホモポリマーおよびコポリマーおよび
（４）Ｃ１〜１０アルキレンオキサイドおよびそれらの混合物のホモポリマーおよびコポリマーからなる群から選択される、全無機固形分の５〜２５重量％を構成する有機重合体性結合剤、および
（ｄ）光開始系
を含有する実質的に非酸化性雰囲気中で焼成可能な感光性セラミック被覆組成物。」(特許請求の範囲請求項１）、
(2b)「本発明は事実上任意の高融点を有する無機固体材料に連用し得る。しかし、本発明は誘電性固体例えばアルミナ、チタン酸塩、ジルコン醸塩およびすず酸塩の分散液を製造するのに特に適当である。本発明はまたかかる剤老の先駆物質、すなわち焼成すると誘電性固体およびこれらの任意の混合物に変換される固体材料に適用し得る。
　本発明に使用し得る数多くの誘電性固体のうちには、ＢａＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＰｂＴｉＯ３、ＣａＺｒＯ３、ＢａＺｒＯ３、ＣａＳｎＯ３、ＢａＳｎＯ３およびＡｌ２Ｏ３があげられる。」(第３頁第５欄第１５〜２６行)、
(2c)「本発明で使用されるガラスフリットは無機結晶性粒子の焼結の補助をなし、セラミック固体よりも低い融解温度を有する周知の任意の組成物であつてもよい。」(第３頁第６欄第１６〜１９行)、
(2d)「分散液を膜とする場合、セラミック固体および無機結合剤が分散されている有機媒体は、上記重合性結合剤、単量体および揮発性有機溶媒に溶解している開始剤ならびに任意に他の溶解されている物質例えば可塑性、離型剤、分散剤、はく離剤、防汚剤および湿潤剤からなる。」(第頁８第１５欄第２６〜３１行)、
(2e)「本発明の組成物を厚膜組成物として処方する場合、通常組成物はスクリーン印刷によって基本に適用される。従って、これらの組成物はスクリーンを容易に通過し得るような適切な粘度を有していなければならない。」(第９頁第１８欄第１３〜１７行)、
と記載されている。
　　
４−３．刊行物３（特公昭５８−２２０４１号公報）には、
(3a)「１　導電性粉末と紫外線硬化型樹脂組成物とからなる導電性樹脂組成物において、該紫外線硬化型樹脂組成物の重合開始剤として光増感剤および熱重合開始剤を含有することを特徴とする紫外線硬化型導電性樹脂組成物。」（特許請求の範囲）
(3b)「本発明の実施に適する紫外線ランプからの輻射熱線を活用できる熱重合開始剤としては、熱分解の活性化エネルギーの比較的低いものが適しており、中温開始剤として使用されているものが良好である。即ち過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、過酸化ブチル、過酸化プロピオニル、クメンハイドロパーオキサイド等の有機過酸化物、アゾビスイソブチロニトリル、２−シアノ−２−プロピルアゾホルムアミド、アゾビス−２・４−ジメチルバレロニトリル、１・１−アゾビス−１−シクロヘキサンニトリル、アゾビスイソブチロアミジン、アゾビス−４−メトキシ−２・４−ジメルバレロニトリル、１・１−アゾビスクメーン、フエニル−アゾ−トリフエニルメタン等のアゾ化合物などがあり、これらの単独であるいは混合して使用することができる。」（第２頁第３欄第１０〜２５行）、
(3c)「本発明において使用する光重合性プレポリマーとしては、ポリエステル（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレート、・・・分子の末端に２〜６個の（メタ）アクリロイル基を持つ化合物を用いることができる。」（第２頁第３欄第２６行〜第４欄第１行）、
(3d)「本発明において使用しうる重合性モノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル、スチレン・・・その他、グリシジル（メタ）アクリレート、アクリルアミド等である。」（第２頁第４欄第２〜２２行）、
(3e)「この発明で使用する導電性粉末としては、銀、金白金、銅、ニッケル、スズ、鉄、鉛、アルミニム、亜鉛、モリブデン等の導電性金属粉末・・・その他、カーボンブラック、アセチレンブラック、黒鉛等の炭素微粉末も考えられる。
　これらは単独であるいは混合して使用することができる。」（第２頁第４欄第２３〜３５行）、
と記載されている。
　　
４−４．刊行物４（特開昭５４−１２１９６７号公報）には、
(4a)「実施例−４
　本実施例では、高密度多層回路基板の絶縁層のみならず導電層をも本発明によって形成した。
　絶縁層焼成用光重合性ペースト組成物としては、実施例−１で使用したものを用いた。
導電層焼成光重合性ペースト組成物としては、ポリメチルメタアクリレート（平均分子量約２０万）２０ｇ、メチルメタアクリレート５０ｇ、エチレングリコールジメタアクリレート２５ｇ、ベンゾインエチルエーテル１ｇ、２．６−ジ−ｔｅｒｔ．−ブチル−ｐ−クレゾール０．１ｇ、銅粉末（粒径約０．５μｍ）６５ｇ、および低融点ガラス粉末（粒径約１μｍ）ｌ０ｇを混合し、３本ロールミルで処理した後、３２５メッシュの金網でろ過したものを用いた。
　まずパターン化した第１の導電層を形成するために、用意した導電層焼成用光重合性ペースト組成物を２００メッシュ（篩目の開きにすると約７４μｍ）スクリーンのスクリーン印刷機を用いて、一辺が５０ｍｍの正方形の絶縁性セラミックス基板の全面に厚さ約１０μｍ±１μｍ程度の薄層状に塗付し、約５００℃で乾燥した。次いで所望の回路パターンを形成したガラス基板マスクを介して高圧水銀燈の光で約１５秒間露光し、溶剤で未露光部位のみを選択除去する現像処理をして、ガラス基板がマスクの光透過部位と同形の光重合した導電層焼成用光重合性ペースト組成物の薄層パターンを絶縁性セラミックス基板上に形成した。次いでこのものを電気炉中に納め窒素雰囲気中で９００℃迄１００℃／Ｈｒで昇温し、９００℃で３０分間保持し、その後電気炉中で室温まで自然冷却した。この間、その電気炉中には窒素を流速５００ｍｌ／ｍｉｎ程度で流し続けた。」(第８頁左下欄第２行〜第９頁左上欄第２６行)、
と記載されている。
　　
４−５．刊行物５（特開平４−３６６９５７号公報）には、
(5a)「【００２７】次に、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法について述べる。本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分を沸点のあまり高くない溶剤、例えばアセトン，メチルエチルケトン，メチルセルソルブ，エチルセルソルブ，ジクロロメタン，クロロホルム，メチルアルコール，エチルアルコール，イソプロピルアルコール等の１種または２種以上に溶解、混合することにより、均一な溶液状として使用することができる。これらの溶剤の使用量は該感光性樹脂組成物１００重量部に対して２００重量部以下、好ましくは５０〜１５０重量部である。
【００２８】まず、第１段階として目的とする基材上に前記感光性樹脂組成物からなる感光層を形成させる。本発明の感光性樹脂組成物は、溶液状のまま基板に塗布乾燥して感光層を形成することもできるが、前記溶液状の樹脂組成物をポリエチレンテレフタレート等の支持フィルム上に塗布、乾燥して、ドライフィルムレジストとし、これを基板にラミネートして感光層を形成することもできる。
【００２９】該感光性樹脂組成物を用いてドライフィルムレジストを形成させるには、ブレードコーター，ロッドコーター，ナイフコーター，ロールドクターコーター，コンマコータ，リバースロールコーター，トランスフアロールコーター，グラビアコーター，キスロールコーター，カーテンコーター等を用いて塗布することができるが、溶剤を揮散させる必要がある。乾燥機としては可燃性有機溶剤を使用する場合には安全性の点から蒸気による空気加熱式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方式およびノズルより支持体に吹きつける方式等が用いられる。乾燥機の形状は、アーチ式、フラツト式等目的に合わせて選択して用いられる。
【００３０】乾燥後のドライフィルムレジストには必要ならばポリエチレンやポリプロピレンのような保護フィルムをラミネートして用いてもよい。
【００３１】ドライフィルムレジストを基材に積層する方法としては、当該分野で公知の各種方法を用いることができ、例えば、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法なとがあるが、基材との密着性をよくするために、好ましい方法は真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法等の真空下における積層法である。
【００３２】次に、パターンを形成させるために露光を行う。露光の方法としては、当該分野で公知の各種方法を用いることができるが、例えば、紫外線露光法，電子線露光法，レーザ露光法等を用いることができ、また、露光を選択的に行う方法としては、フオトマスクを使用する方法やダイレクトイメージング法等を用い得る。
【００３３】次に、現像を行い、未硬化部分（未露光部分）を除去する。現像は１，１，１−トリクロロエタン等の有機溶剤を用いることができ、また現像方法としては、浸漬法、スプレー法およびその両方を組み合わせた方法等を用い得る。露光後直ちに現像を行ってもよいが、硬化を十分ならしめるために、５０〜１００℃で１０〜３０分間熱処理した後に現像するのが好ましい。さらに、硬化レジストをより完全なものとする目的で、活性光線の照射および／または熱による後処理を行うのが好ましい。」、
(5b)「【００４２】次いで、基材厚さ１．６ｍｍ、銅箔１８μｍのガラスエポキシ銅張積層板に上記のドライフィルムレジストを、ポリエチレンフィルムを剥離しながら常圧下で熱ロールラミネータにより１１０℃、０．５ｍ／分のスピードで積層した。積層後、フォトマスクを密着させ、５ＫＷ超高圧水銀灯ＨＴＥ−１０６（ハイテック（株）製）を用いて露光した。露光量は三菱レイヨン（株）製ダイヤロン２５段ステップタブレットで１５段残りとなるように調整した。続いて８０℃で３０分間加熱した後１，１，１−トリクロロエタンで未露光部分を９０秒間スプレー現像した。現像後、酸性脱脂剤ＬＡＣ−４１（ダイナケム（株）製）で２分間脱脂した後、１分間水洗を行った。水洗後、８０℃で１０分間乾燥し、５ＫＷ超高圧水銀灯ＨＴＥ−１０６を用いて２Ｊ／ｃｍ２照射し、次いで１３０℃で１５分間加熱して無電解銅めっき保護膜を形成した。」、
と記載されている。
　　
４−６．刊行物６（特開平７−２６１４０７号公報）には、
(6a)「【００２４】まず第１段階として、目的とする基材の金属表面に、上記可視光硬化型組成物からなる可視光硬化型組成物層を形成させる。形成方法は、上記組成物をスクリーン印刷法、スプレー法、カーテンコート法等の公知の方法で塗布することも可能であるが、作業環境や工程の簡略化等を考慮するとドライフィルムレジスト法が好ましい。ドライフィルムレジスト法とは、上記溶液状の組成物をポリエチレンテレフタレート等の支持フィルム上に塗布、乾燥してドライフィルムレジストとし、これを基材にラミネートして可視光硬化型組成物層を形成させる方法である。本発明の可視光硬化型組成物を用いてドライフィルムレジストを形成させるには、ブレードコーター、ロッドコーター、ナイフコーター、ロールドクターコーター、コンマコーター、リバースロールコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、キスロールコーター、カーテンコーター等を用いて塗布することができるが、溶剤を揮散させる必要がある。乾燥機としては可燃性有機溶剤を使用する場合には安全性の点から蒸気による空気加熱式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方式およびノズルより支持体に吹き付ける方式等が用いられる。乾燥機の形状は、アーチ式、フラット式等目的に合わせて選択して用いられる。
【００２５】乾燥後のドライフィルムレジストにはポリエチレンやポリプロピレンのような保護フィルムをラミネートして用いることが好ましい。
【００２６】ドライフィルムレジストを基材にラミネートする方法としては、当該分野で公知の各種方法、例えば、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法等を用いることができる。
【００２７】このドライフィルムレジストを基材にラミネートするとき、レジストの基材表面の傷等への埋まり込み性を良くするため、通常は、１２０℃近くの温度をかけてラミネートする。次に、パターンを形成させるために可視光硬化型組成物の可視光照射を行う。可視光照射方法としては、画像に応じて可視光レーザーを用いて走査露光を行う。可視光レーザー光源としては、４５８ｎｍ、４８８ｎｍまたは５１４．５ｎｍに発振線を持つアルゴンレーザー、４４２ｎｍに発振線をもつヘリウム−カドミウムレーザー等を使用する事ができる。
【００２８】次にアルカリ現像液を用いた未硬化部分（未露光部分）の除去、すなわち、現像処理を行う。アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム水溶液、リン酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液を用いることができ、これらの水溶液に少量の消泡剤や界面活性剤を添加することも可能である。また、除去方法としては、最も一般的にはスプレー法が使用されるが、その一部を浸漬法で代替させることも可能である。
【００２９】本発明の可視光硬化型レジストの形成方法では、上記の現像処理の前に熱処理を行う。熱処理条件としては、可視光照射後２４時間以内に４０℃以上の温度で３０〜６０分間の加熱処理を行う。熱処理温度は４０℃以上１００℃以下が好ましく、４０℃未満では長時間熱処理を行っても効果は少なく、また、１００℃を超える高温にしても効果の向上は望めず、製造コストの上昇を招くようになる。また、熱処理時間が３０分未満では熱処理温度が高温であっても効果が少なく、一方、熱処理時間が６０分を超えて熱処理を行っても効果の向上は少なく、工程時間の延長を招くだけとなる。この熱処理を行うことにより、高速で走査露光しても現像においては硬化部分が欠けたりすることがなく、非常にファインなパターンを得ることができる。
【００３０】
【実施例】以下、実施例および比較例に基づいて本発明を具体的に説明する。例中の評価は下記に示す方法を用いて実施した。
【００３１】（１）基板へのラミネートおよび最少現像時間の測定
保護フィルムを剥離したドライフィルムレジストを、表面を研磨した片面銅張り積層板（ＦＲ−４、板厚１．６ｍｍ、銅厚１８μｍ）の銅面に熱ラミネートした。ラミネートは（株）ＭＣＫ製ドライフィルムレジスト用ラミネータ、ＭＬ−４８０Ｄを用い、ロール温度１２０℃、ラミネート速度１．５ｍ／分、エアーシリンダー圧力１．６ｋｇ／ｃｍ２ 、で実施した。ラミネート後２０分放置した後、ポリエステル支持フィルムを剥離し、１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーし続け、架橋硬化型樹脂層が完全に除去される時間（最少現像時間）を測定した。この時の現像条件として液温３０℃、スプレー圧１．６ｋｇ／ｃｍ２ 、スプレーノズルと基板との距離１０ｃｍとした。
（２）ラインエッジ形状
日本電気（株）製アルゴンレーザー（ＧＬＧ３０２８）の４８８ｎｍの出力を光源として、光学系を通してビーム径を３５μｍに集光したレーザー光を、試験板上に走査露光して、１００μｍのラインアンドスペースのパターンを描画した。次いで、表２に示す条件にて、熱処理を行った。その後、ポリエステルフィルムを剥離し、上記現像条件にて、測定した最少現像時間の２倍の時間現像した。そして、現像後の試験板上の硬化部分のラインエッジ形状を電子顕微鏡にて下記基準で評価した。
評価基準；
○…ラインスペースが１００μｍ／１００μｍに切れておりラインに欠けが無く形状がシャープで良好である。
△…ラインに欠けがやや多い。
×…ラインに欠けが非常に多い。
【００３２】また、例中に用いた略記号は以下の化合物を示す。
　（１）架橋性単量体Ａ　《化学式省略》
　（２）架橋性単量体Ｂ　《化学式省略》
　（３）架橋性単量体Ｃ　《化学式省略》
　（４）ＣＧＩ−７８４Ｓ：可視光開始剤（チバガイギー社製）
　（５）クマリン−６：増感剤（日本感光色素研究所）
　（６）ＶＰＢ：５−ビクトリアピュアブルー（バックグランド染料）
【００３３】バインダー用熱可塑性重合体溶液Ａの合成例
（１）使用原料
（重合性単量体）
　メタクリル酸　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５０ｇ
　スチレン　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２０ｇ
　メチルアクリレート　　　　　　　　　　　　　　　　　　５０ｇ
　メチルメタクリレート　　　　　　　　　　　　　　　　　８０ｇ
　（溶剤）
　メチルエチルケトン　　　　　　　　　　　　　　　　　１００ｇ
　イソプロピルアルコール　　　　　　　　　　　　　　　２２０ｇ
　（重合開始剤）
　アゾビスイソブチロニトリル　　　　　　　　　　　　　　　２ｇ
【００３４】窒素導入口、撹拌機、コンデンサーおよび温度計を備えた１０００ｍｌの４つ口フラスコに、窒素雰囲気下で上記重合性単量体の全量、およびイソプロピルアルコール１４０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル０．４ｇを入れ、撹拌しながら湯浴の温度を８０℃に上げ、その温度で２時間重合させた。次いでアゾビスイソブチロニトリルの残量を１時間置きに５回に分けて添加した後、フラスコ内温を溶剤の沸点まで上昇させてその温度でさらに２時間重合させた。その後、残量を添加して重合反応物をフラスコより取り出し、熱可塑性重合体Ａの溶液を得た。なお、熱可塑性重合体Ａにおける単量体混合物の重合率は９９．５％以上であり、熱可塑性重合体溶液中の固形分量は３８．７重量％であった。
【００３５】実施例１〜６、比較例１〜５
　上記合成例で得た熱可塑性重合体Ａの溶液を用いて表１に示す如くの組成を有する可視光硬化型組成物溶液を調製した。
【００３６】《表１省略》
【００３７】この調製した組成物溶液をプロペラ型でミキサーで撹拌し、厚さ２０μｍのポリエステルフィルム上に塗工巾３００ｍｍに塗布し、次いで乾燥させ、可視光硬化型組成物層の厚さを５０μｍとした。続いて、その乾燥塗膜上に厚さ３０μｍのポリエチレン性保護フィルムをラミネートした後、両端をスリットにより除去して巾２５０ｍｍとし、外形１０ｃｍのＡＢＳ樹脂製コア上に１２０ｍの長さにロール状に巻き取った。得られた可視光硬化型組成物についての評価結果を表３に示す。
【００３８】《表２省略》
【００３９】《表３省略》」、
と記載されている。
　　
５．対比・判断
　本件請求項１ないし４に係る発明は、前項「訂正の適否についての判断」に記載したとおり、実質的に訂正前の請求項５ないし８に係る発明であるが、該訂正前の請求項５ないし８については、特許異議の申立てがされていないので、以下、本件請求項５ないし１０項に係る発明について検討する。
　
５−１．請求項５に係る発明について
　本件請求項５に係る発明（以下「本件発明５」という）は、
「【請求項５】有機溶媒をさらに含むことを特徴とする請求項１または３に記載の組成物。」であるが、請求項１に係る発明の構成または請求項３に係る発明の構成を付加して記載すると次のものとなる。
「【請求項５】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
　（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
　（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　　（２）光開始系と；
　　　　（３）熱補助触媒と；
　　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、
　および前記電気伝導性または誘電性粒子が、３つのモードを有する粒子の組合わせ、または、２つのモードを有する粒子の組合わせである感光性厚膜組成物であって、
　有機溶媒をさらに含むことを特徴とする感光性厚膜組成物。」
　そして、前項「訂正の適否についての判断」に記載したとおり、本件発明５の「前記電気伝導性または誘電性粒子が、３つのモードを有する粒子の組合わせ、または、２つのモードを有する粒子の組合わせである」という構成については、特許異議の申立てがなされていない訂正前の請求項５及び請求項７に記載されていた事項であって、該構成については、特許異義申立人からは、何等証拠が提出されていない。また、当審における取消理由に引用された刊行物にも、該構成を示唆する記載はない。
　すなわち、刊行物１に記載された「導電性金属の円滑な微細に分割された粒子」は、本件発明５における「微細に分割された電気伝導性粒子」に相当するが、刊行物１に記載された、導電性金属の粒子が、本件発明５のように、３つのモード、または２つのモードを有する粒子の組合わせであるということについては記載も示唆もない。
　また、刊行物２の、感光性セラミック被覆組成物は、セラミック固体として、誘電性粒子を分散するものであって（摘記事項(2b)参照）、これは、本件発明５の、微細に分割された誘電性粒子を分散することに相当するが、該誘電性粒子が、本件発明５のように、３つのモード、または２つのモードを有する粒子の組合わせであることについては記載も示唆もいない。
　刊行物３の、紫外線硬化型導電性樹脂組成物は、光開始系と、熱補助触媒とを併用して硬化するものではあって、「導電性粉末としては、銀、金白金、銅、ニッケル、スズ、鉄、鉛、アルミニム、亜鉛、モリブデン等の導電性金属粉末・・・その他、カーボンブラック、アセチレンブラック、黒鉛等の炭素微粉末も考えられる。これらは単独であるいは混合して使用することができる。」（摘記事項(3e)参照）とあるだけで、該導電性粉末が、本件発明５のように、３つのモード、または２つのモードを有する粒子の組合わせであることについては記載も示唆もいない。
　刊行物４には、電気伝導性粒子が分散したペーストを、基板上にスクリーン印刷によって付着する工程、加熱して乾燥する工程、化学線でパターン露光し潜像を形成する工程、現像液でペーストの未露光洗い流す工程、パターン形成されたペーストを焼結する工程からなる、印刷プロセスが記載されているが、分散する電気伝導性粒子が、３つのモード、または２つのモードを有する粒子の組合わせであることについては記載も示唆もいない。
　刊行物５には、蒸発により有機溶媒を除去してテープ状にした感光性樹脂組成物を、基板上に被覆する工程、化学線でパターン状露光し潜像を形成する工程、熱処理して露光領域において架橋重合する工程、現像液で未露光領域を洗い流す工程からなる印刷プロセスが記載され、また刊行物６には、基板上に、感光性樹脂組成物を、スクリーン印刷等によって付着する工程、あるいはテープ状にして被覆する工程、次いで、化学線でパターン露光し潜像を形成する工程、熱処理して露光領域において架橋重合する工程、現像液で未露光領域を洗い流す工程からなる印刷プロセスが記載されているが、刊行物５、６の感光性樹脂組成物は電気伝導性粒子、誘電性粒子を分散するものではない。
　よって、本件発明５が、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
５−２．請求項６に係る発明について
　本件発明５が、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない以上、本願発明５の構成をすべて引用してさらに限定を加える、請求項６に係る発明についても、全く同じ理由で、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
５−３．請求項７に係る発明について
　請求項５に係る発明の構成をすべて引用してさらに限定を加える、請求項７に係る発明についても、請求項５に係る発明と全く同じ理由で、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
５−４．請求項８に係る発明について
　請求項６に係る発明の構成をすべて引用してさらに限定を加える、請求項８に係る発明についても、請求項６に係る発明と全く同じ理由で、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
５−５．請求項９に係る発明について
　請求項７に係る発明の構成をすべて引用してさらに限定を加える、請求項９に係る発明についても、請求項７に係る発明と全く同じ理由で、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
５−６．請求項１０に係る発明について
　請求項９に係る発明の構成をすべて引用してさらに限定を加える、請求項１０に係る発明についても、請求項９に係る発明と全く同じ理由で、刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠方法によっては、本件請求項５ないし１０に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項５ないし１０に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月３日（２００２．６．３）
【訂正の要旨】
訂正要旨
　特許第３１１３６３６号発明の特許明細書を下記のように訂正する。
ａ．特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１を削除する。
ｂ．特許請求の範囲の「【請求項２】」を「【請求項５】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項１に記載の」とあるのを「請求項１または３に記載の」と訂正する。
ｃ．特許請求の範囲の「【請求項３】」を「【請求項６】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項２に記載の」とあるのを「請求項５に記載の」と訂正する。
ｄ．特許請求の範囲の「【請求項４】」を「【請求項７】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項２に記載の」とあるのを「請求項５に記載の」と訂正する。
ｅ．明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、特許請求の範囲の「【請求項５】前記導電性または誘電性粒子が３つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とする請求項１に記載の組成物。」を
「【請求項１】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
　（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
　（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　　（２）光開始系と；
　　　　（３）熱補助触媒と；
　　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が３つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とすることを特徴とする感光性厚膜組成物。」と訂正する。
ｆ．明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の「【請求項６】」を「【請求項２】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項５に記載の」とあるのを「請求項１に記載の」と訂正する。
ｇ．明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、特許請求の範囲の「【請求項７】前記導電性または誘電性粒子が粒子の２つのモードを有する組合わせであることを特徴とする請求項１に記載の組成物。」を
「【請求項３】感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
　（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
　（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　　（２）光開始系と；
　　　　（３）熱補助触媒と；
　　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が２つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とすることを特徴とする感光性厚膜組成物。」と訂正する。
ｈ．明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の「【請求項８】」を「【請求項４】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項５に記載の」及び「導電性粒子」とあるのを、それぞれ「請求項３に記載の」及び「電気伝導性粒子」と訂正する。
ｉ．特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項９〜１５を削除する。
ｊ．特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の「【請求項１６】」を「【請求項８】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項３に記載の」とあるのを「「請求項６に記載の」と訂正する。
ｋ．特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の「【請求項１７】」を「【請求項９】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項４に記載の」とあるのを「請求項７に記載の」と訂正する。
ｌ．特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の「【請求項１８】」を「【請求項１０】」と訂正するとともに、同請求項に「請求項１７に記載の」とあるのを「請求項９に記載の」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
熱に補助された光感受性組成物およびそれについての方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　（２）光開始系と；
　　　（３）熱補助触媒と；
　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が３つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とする感光性厚膜組成物。
　【請求項２】　前記３つのモードを有する電気伝導性粒子が、１０：３：１から４：２：１の範囲にある、最も大きなものから最も小さなものまでの体積比を有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
　【請求項３】　感光性厚膜組成物であって、前記組成物が、
（ａ）微細に分割された電気伝導性または誘電性粒子と；
（ｂ）（１）少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　（２）光開始系と；
　　　（３）熱補助触媒と；
　　　（４）酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記粒子を前記有機媒質中に分散させ、および前記電気伝導性または誘電性粒子が２つのモードを有する粒子の組合わせであることを特徴とする感光性厚膜組成物。
　【請求項４】　前記２つのモードを有する電気伝導性粒子が、４：１から１：１の範囲にある大きなものから小さなものまでの体積比を有することを特徴とする請求項３に記載の組成物。
　【請求項５】　有機溶媒をさらに含むことを特徴とする請求項１または３に記載の組成物。
　【請求項６】　スクリーン印刷に好適なペースト稠度を有することを特徴とする請求項５に記載の組成物。
　【請求項７】　請求項５に記載の組成物から蒸発により前記有機溶媒が除去された層を有することを特徴とする感光性導電性テープ。
　【請求項８】　基板上の微細の導電体線の形成のための単一印刷プロセスであって：
　ａ．　基板上のパターン形成される区域を覆うために、請求項６に記載のペーストを、４から２０マイクロメートルの厚さを有する焼結されたパターンを生成するのに充分な量だけ、付着させる工程と；
　ｂ．　熱誘起された部分的な重合を発生させ、および同時に前記溶媒を除去するのに充分な温度においてペーストを乾燥する工程と；
　ｃ．　化学線に対してパターン状に前記乾燥されたペーストを画像に沿ってさらして潜像を形成する工程と；
　ｄ．　前記パターン形成されたペーストを熱処理して、プリントの露光領域において架橋することをもたらすさらなる重合を誘起して、露光領域が現像液中で不溶性になる工程と；
　ｅ．　好適な現像液中で前記パターン形成されたペーストを現像して、前記パターン形成されたペーストの未露光領域を洗い流す工程と；
　ｆ．　前記パターン形成されたペーストを焼結する工程とをこの順序に具えたことを特徴とする印刷プロセス。
　【請求項９】　基板上の微細な導電体の線の形成のためのプロセスであって、前記プロセスが：
　ａ．　請求項７に記載のテープを付着して基板上のパターン形成される区域を覆う工程と；
　ｂ．　化学線に対してパターン状に前記テープを画像に沿ってさらして、潜像を形成する工程と；
　ｃ．　前記テープを熱処理して前記テープの露光領域において架橋することをもたらすさらなる重合を誘起して、露光領域が現像液中で不溶性になる工程と；
　ｄ．　好適な現像液中で前記テープを現像して、前記テープの未露光領域を洗い流す工程と；
　ｅ．　前記テープを焼結する工程とをこの順序に具えたことを特徴とするプロセス。
　【請求項１０】　工程ａ．の後に前記テープが熱誘起される部分的な重合をもたらすのに充分な温度において熱処理されることを特徴とする請求項９に記載のプロセス。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、熱に補助された触媒を有する改善された感光性厚膜組成物に関する。本発明はさらに前記組成物を利用する単一の印刷プロセスに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　厚膜導電体組成物を光パターン形成することは、高密度回路に見いだされる非常に微細な線（３ｍｉｌ以下の線／間隔ピッチ）を達成するために長い間用いられてきた。残念ながら、光パターン形成法で実現される線の厚さすなわち高さはむしろ現在まで低いままである。感光方法に用いられる組成物中に見いだされる金属粉末は不透明であるので、その表面の真下で架橋を達成するためには表面は過剰露光でなければならない。その過剰露光がアンダーカット（ｕｎｄｅｒｃｕｔ）およびエッジ・カール（ｅｄｇｅ　ｃｕｒｌ）の現象をもたらす。露光時に、パターン形成された印刷物の頂部表面の幅が下にある領域よりも大きく、その結果、現像中にパターン形成されたエッジにアンダーカットが生じ、そしてパターン形成された印刷物が高温において焼結されるときに引き続いてエッジ・カールが生じる。
　【０００３】
　さらに説明すると、エッジ・カールおよびアンダーカットの問題は強度の表面重合に起因し、その重合はＵＶ光を強く吸収する微粒子相を有する光パターン形成されるフィルムにおいて発生する。アクリルモノマーが重合の間に数パーセント以上（１８％ほど）収縮するので、頂部表面のみが重合するフィルムは２つのことを行うようになる。第１に、その表面においてモノマーが強く架橋することになる。第２に、重合した層の直下にあるモノマーが重合した層の境界へ移動し、そこで移動したモノマーは境界において部分的に重合した材料と反応する。したがって、重合した領域の直下の領域がモノマーが消耗されるようになり、フィルムの重合の前面の直下にある領域が現像中により迅速に洗い流される原因となる。しかし、架橋した頂部領域およびモノマーが消耗されなかった境界より下のフィルムの領域の双方はよりゆっくり洗い流される。これにより、パターン形成された造作のエッジにおいて、重合境界とフィルムの重合しなかったより深い部分との間の点において、洗い流される空隙が生じる。実際、フィルムエッジの頂部および基部領域がこの折り目すなわち空隙によって切り離されているので、焼成の間に２つの領域が別個に焼結し、頂部領域を上方に引き離すことを可能にする。エッジ・カールが上方を向くのは、フィルムの表面領域が最も密に重合されており、かつ最も濃厚な濃度のモノマーを有しているからであると信じられる。フィルムの頂部層の有機物の含有率がより高いので、それはより低い金属含有率を有し、および焼成中に表面より下のより高い金属含有率の領域よりも大きく収縮する。これは、バイメタル板すなわちサーモスタットに類似した状況を与える。１つの層が他方より大きく収縮すれば、フィルムはその方向、たとえば上方、にカールする。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　もし露光されたフィルムの表面の近くでの過剰な架橋を充分に減少させることができれば、原理的には、露光されたフィルムの真下の弱い領域が無くなり、したがってアンダーカットあるいはエッジ・カールも無くなる。たとえば、ＵＶ光に対するより少ない露光量を有する金フィルムにおいて、より大量に露光されるフィルムに比較して、エッジ・カールが減少することが実証されている。より少ない露光量を用いることの問題点はより微細な造作が失われて、それにより、露光量が減少するつれて解像度およびエッジ精細度の双方ともに劣化する。本発明はこの問題に対する解決策を提供する。それゆえ、本発明はエッジ・カールを減少あるいは除去し、一方、同時に微細な線の達成可能な高さを焼成後に１２マイクロメートルより大きく増大させ、かつ高品質のパターンを生成するのに必要な紫外光に対する露光の強度を実質的に減少させる。これは新規の組成物およびプロセスによって達成され、そこでは組成物中の熱補助触媒の使用により光に印刷される層を完全に貫通させる必要が無い。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は感光性厚膜組成物に関し、前記組成物が：
（ａ）　微細に分割された導電性または誘電性粒子と；
（ｂ）　（１）　少なくとも１つのアクリル系モノマーと；
　　　　（２）　光開始剤系と；
　　　　（３）　熱補助触媒と；
　　　　（４）　酸性アクリル系ポリマーとを含む有機媒質と
の混合物を含み、前記微粒子を前記有機媒質に分散させる。
　【０００６】
　本発明は、基板上の微細な線の形成のための単一印刷プロセスにさらに関して、前記プロセスは：
ａ．基板上のパターン形成される区域を覆うために、４から２０マイクロメートルの厚さを有する焼結したパターンを生成するのに充分な量だけ、請求項３に記載のペーストを付着する工程と；
ｂ．部分的な熱誘起重合を発生させ、および同時に溶媒を除去するのに充分な温度において、前記ペーストを乾燥する工程と；
ｃ．化学線に対してパターン状に前記乾燥されたペーストを画像に沿ってさらして潜像を形成する工程と；
ｄ．前記パターン形成されたペーストを熱処理し、印刷物の露光区域に架橋をもたらすさらなる重合を誘起して、その露光区域が現像液に不溶性になるようにする工程と；
ｅ．前記パターン形成されたペーストを適当な現像液中で現像して、前記パターン形成されたペーストの未露光区域を洗い落とす工程と；
ｆ．前記パターン形成されたペーストを焼結する工程と
をこの順に具える。
　【０００７】
　【発明の実施の形態】
　本発明の方法と組合わされた新規組成物は、エッジ・カールおよびアンダーカットを減少あるいは除去する。本発明の一つの形態は、実質的に微粒子の充填を改善しかつ光の貫通を高める改良された粒子サイズの選択にあるとされる。最適化された粒子サイズのさらなる恩恵は、パターン形成する前のフィルムの必要な厚さの減少である。産業において今日用いられる好ましい粒子サイズ分布（ＰＳＤ）は平均２から３マイクロメートルの単一のモード（ｍｏｎｏｍｏｄａｌ）であり；単一のモードを有するＰＳＤを有するより小さな粒子は光を過剰に吸収し、そして光重合を妨害する。２から３マイクロメートルのＰＳＤに対してさえ、フィルムを貫通しそしてフィルム中のモノマーの適切な重合を達成するために、強度の露光が必要である。これは完成した線の厚さが６マイクロメートル以下の場合に、高い解像度および良好なエッジ精細度を与える。本発明に必要な金属粉末により形成されるフィルムの不透明性が、厚さの増加にしたがってより迅速に増大するエッジ・カールをもたらし、８から９マイクロメートルの焼成された厚さにおいて亀裂の発生を伴う。所望の厚さが５から６マイクロメートルより大きいフィルムは、フィルム全体にわたる光重合に依存できない。本発明は単一のモードを有するサイズ分布を好まない。多くの種類の金または銀の粉末、あるいは他の電導性または誘電性固体、好ましくは球状粒子、が本発明を実施する際に用いられる。多くの種類が混合されて好ましい粒子サイズ分布を達成してもよい。実際、記載されるアプローチは任意の固体系に利用可能であり、組成物の光重合を妨害する程度まで光を吸収する有機レジストの固体充填剤を提供する。好ましい組成物は３つのモード（ｔｒｉｍｏｄａｌ）の粉末の電気伝導性配合物の使用を含み、ここで粒子サイズは注意深く選択される。すなわち、組成物中に見いだされる最も大きな粒子の平均粒子サイズは８マイクロメートルまでであるとともに、好ましいサイズは少なくとも３マイクロメートルである。次に大きなサイズは好ましくは最も大きなもののサイズの２分の１から８分の１までであるとともに、最も小さな分画は好ましくは第２の分画の大きさの２分の１から８分の１である。各分画（大：中：小）の体積の関係は好ましくは体積で１０：３：１から４：２：１の範囲である。粉末粒子サイズの別の選択肢は、２つのモード（ｂｉｍｏｄａｌ）の粒子サイズ分布を有する組成物であり、大きな粒子（３から８マイクロメートルのＰＳＤ）および小さな粒子（０．４から４マイクロメートルＰＳＤ）の混合物のようなものである。本発明の２つのモードを有する組成物の好ましい範囲は４：１から１：１の範囲にあるが、より好ましくは２つのモードを有する混合物のより小さな粒子はより大きなもののサイズの約３分の１の体積である。たとえば５マイクロメートルの大きさの粒子が用いられたならば、そのときのより小さな粒子は好ましくは０．６から２．５マイクロメートルである。２つのモードを有するアプローチを用いることの利益は、より高い固体の充填およびより良好なレオロジー的制御の点に関して、３つのモードを有する粒子サイズ分布の利益ほどには大きくない。しかし全体的な性能に関して、単一のモードを有する粒子サイズ分布よりは２つのモードを有するアプローチが好ましい。無機固体と呼ばれる微細に分割された電気伝導性または誘電性固体は組成物の５０から８８重量％を構成し、好ましい範囲は誘電性固体については５０〜６０重量％であり、銀粒子については６５〜７８重量％であり、および金粒子については７８〜８８重量％である。
　【０００８】
　線の形成に対して満足のいくパターンを形成するために、フィルム全体にわたって重合する必要はない。標準的なフォトレジストが下にある銅ホイルを保護してエッチングされた銅回路を形成するのとほぼ同じ方法で、露光された物質の安定な最上層が下にある未重合のフィルムを保護する。さらに、多重モード（ｍｕｌｔｉｍｏｄａｌ）を有する粒子サイズ分布が意外な量の光がフィルムを貫通することを可能にすることを計算が示した。これは、より小さな粒子をより大きな粒子の間の空隙を充填するのに用い、主要な分画としてより大きなＰＳＤ材料を用いることを基盤とする。より小さな粒子は、より大きな粒子の上方および下方の別な方法では占拠されない空間を占拠する傾向があり；これらの粒子は有効な光吸収に寄与しない。なぜなら、事実上、それらより小さな粒子はより大きな粒子の影を占拠するからである。より高い固体充填も同様に発生して、それが所定の金属含有量のために必要な厚さを減少させる。次に下にある層を光から隠すより大きな粒子の不透明性によって光に対して暴露されない下にある層を、組成物中の熱触媒を用いてさらに硬化させる。熱触媒はフィルムの全体にわたって実行される反応をもたらし、それによってフォトレジストは部分的に架橋されるが依然としてアルカリ性洗浄溶液に可溶性のままである。フィルムを紫外光に対してさらすプロセスにおいて、紫外光エネルギーのかなりの部分はモノマー分子が他のモノマー分子と反応して２量体または比較的に低分子量のオリゴマーになることをもたらすことに用いられる。残存の紫外光エネルギーの多くは２量体が他の分子と反応して３量体およびオリゴマーになることに用いられる。この時点において、フィルムは依然として炭酸塩に可溶であるが、少量のさらなる重合がフィルムを有意の程度まで架橋し、そして不溶性になることをもたらす。ここに記載されるプロセスにおいて、モノマーを含有するポリマーフィルムのこの性質は、過度に表面層を重合させしたがって過度のエッジ・カール／アンダーカットをもたらす大量の紫外光を用いることなしに、高解像度を生成するための適切な架橋を可能にするために用いられる。架橋の作業の大部分が熱的に行われるので、比較的少量の紫外光暴露が露光区域を不溶化するために必要である。これが大量のモノマーのフィルム表面に対して移動することを防止し、それによって、フィルムがモノマーを消耗させた表面の真下の区域におけるエッジにおけるアンダーカットと同様にエッジの変形（“エッジ・カール”）を減少する。熱補助触媒は、好ましくは数分から半時間にわたって高温におけるエージングにより活性モノマー部位の７０％までの反応を可能にするのに充分な濃度のフリーラジカル触媒である。典型的には組成物の有機媒質部分の０．３から１．２重量％が触媒であり、０．４から１．０重量％が好ましい。熱補助触媒の例は、Ｖａｚｏ（登録商標）８８（１，１’−アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル）、Ｖａｚｏ（登録商標）６４（２−メチル、２，２′−アゾビスプロパンニトリル）およびＶａｚｏ（登録商標）５２（２，４−ジメチル、２，２’−アゾビスペンタンニトリル）であり、すべての製品はイー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー（Ｅ．Ｉ．ｄｕ　Ｐｏｎｔ　ｄｅ　Ｎｅｍｏｕｒｓ　ａｎｄ　Ｃｏｍｐａｎｙ，Ｗｉｌｍｉｎｇｔｏｎ，ＤＥ）から入手可能である。
　【０００９】
　１０から３３重量％および好ましくは１５から３０重量％の組成物の全有機物部分（１５から２５重量％が好ましい）が、“モノマー類”すなわち低分子量のアクリル酸エステル（典型的には３０００原子質量単位（Ａ．Ｕ．）未満、好ましくは１０００原子質量単位（Ａ．Ｕ．）未満）で構成され、前記エステルは通常、４官能性、２官能性または単官能性モノマーと組合わされてもよい３官能性である。ここで規定される“３官能性”は３個のアクリレートまたはメタクリレート基を含有するエステルである。たとえば、“ＴＥＯＴＡ　１０００”は単一の純粋な組成物ではないが、アクリレートとトリメチロールプロパンの間に数個のエチレンオキシド部分を有するトリメチロールプロパンのアクリレートエステルである。“ＴＥＯＴＡ　１０００”はエチレンオキシド、トリメチロールプロパンおよびアクリル酸を反応させることにより生産され、１０００の平均分子量を有する。同様に“ＴＭＰＴＡ”は３グラム分子のアクリル酸によりエステル化された１分子のトリメチロールプロパンで構成され、トリメチロールプロパントリアクリレート（エチレンオキシドが付加されていない）を形成する。ラウリルアルコールとメタクリル酸とのエステル（ラウリルメタクリレート）をモノマーへの付加物として用いてもよい。この付加物が架橋を減少し、そして分子量を限定する（唯一の官能基、それゆえ架橋がそれほど広範囲でない）ので、フィルム表面の有機物の量が減少することが期待される。
　【００１０】
　乾燥したフィルムを結合させるのに用いられ、および厚膜ペーストに粘性を添加するポリマー成分はメタクリル酸メチルおよび遊離のメタクリル酸の共重合体である。メタクリル酸メチルに対するメタクリル酸の好ましい比は５：１と３：１の間である。典型的には、もしポリマーのモノマー単位の１５％未満がメタクリル酸ならば、そのポリマーは炭酸塩溶液中での現像を可能にするためには不充分な水溶性となるであろう。もし３０％超がメタクリル酸ならば、そのポリマーは水溶性が高くなりすぎて、そして非常に容易に洗い落とされる傾向がある。分子量（ＭＷ）に関しては、スクリーン印刷される光パターン形成可能なペーストにおいては低分子量が有利である。なぜならそれが低粘性の溶液を形成するからである。これらの組成物は高い樹脂含有量が必要であり、そして低分子量が樹脂および無機固体双方の高度の固体充填を含む印刷可能な組成物を容易に可能にする。低ＭＷ樹脂を用いるフィルムは高ＭＷポリマーを用いるフィルムよりも脆い傾向があるので、テープ・オン・サブストレート（ｔａｐｅ−ｏｎ−ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）（ＴＯＳ）組成物はＢ．Ｆ．Ｇｏｏｄｒｉｃｈ　ＸＰＤ−１０３４のような高ＭＷ樹脂を用いる傾向がある。これらの材料は低固体スリップからキャストされるので、レオロジー的特性に関する高度の固体充填の効果は適用されない。より高いＭＷは、より脆くなく、およびＸＰＤ−１２３４よりも容易に曲げることに耐えることができるフィルムを与える。
　【００１１】
　メタクリル酸メチルは焼損される必要のある厚膜中で使用される組成物において好ましい。その理由はメタクリル酸メチルはきれいにかつ比較的低温度において焼損するからである。特に窒素焼成において、メタクリレート製のフィルム対アクリレート製フィルムの焼損における差を見ることができる。実際問題として、アクリレートは、より速い露光時間のために用いられる。
　【００１２】
　本発明における使用に対して適切な光開始系は、熱的には不活性であるが１８５℃以下で化学線に対する暴露時にフリーラジカルを生成するものである。典型的には、光開始系は有機媒質の約３から９重量％、好ましくは５から７重量％を構成する。これら光開始系は、共役した炭素環系中に２つの環内炭素原子を有する化合物である置換または無置換の多核キノン類、たとえば９，１０−アントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントレンキノン、ベンズ（ａ）アントラセン−７，１２−ジオン、ナフタセン−５，１２−ジオン、２−メチル−１，４−ナフトキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、２，３−ジメチルアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、レテンキノン、７，８，９，１０−テトラヒドロナフタセン−５，１２−ジオン、および１，２，３，４−テトラヒドロベンズ（ａ）アントラセン−７，１２−ジオンを含む。同様に有用な他の光開始剤は、いくつかは８５℃位に低い温度において熱的に活性ではあるが、米国特許第２，７６０，８６３号に記載され、そしてベンゾイン、ピバロイン、アシロインエーテル（たとえばベンゾインメチルエーテルおよびベンゾインエチルエーテルなど）のようなビシナルケトアルドニルアルコール；α−メチルベンゾイン、α−アリルベンゾインおよびα−フェニルベンゾインを含むα−炭化水素置換芳香族アシロインを含む。米国特許第３，４２７，１６１号、米国特許第３，４７９，１８５号および米国特許第３，５４９，３６７号において開示されているようなフェナジン、オキサジンおよびキノン類の染料、ミヒラーズケトン（Ｍｉｃｈｌｅｒ’ｓ　ｋｅｔｏｎｅ）、ベンゾフェノン、ロイコ染料を含む水素供与体を伴う２，４，５−トリフェニルイミダゾール二量体、およびそれらの混合物と同様に、米国特許第２，８５０，４４５号、米国特許第２，８７５，０４７号、米国特許第３，０９７，０９６号、米国特許第３，０７４，９７４号、米国特許第３，０９７，０９７号、および米国特許第３，１４５，１０４号に開示されている光還元可能な染料および還元剤を開始剤として用いることができる。光開始剤および光抑制剤に対して同様に有用なものは米国特許第４，１６２，１６２号に開示されている増感剤である。
　【００１３】
　本発明において用いることのできるガラスフリットは無機結晶製微粒子の焼結を助け、そしてセラミック固体の融点温度より低い融点温度を有する任意のよく知られている組成物であってもよい。しかしながら、デバイスの適切な気密性を得るために無機結合剤のガラス転移温度（Ｔｇ）は５５０〜８２５℃であることが好ましく、さらにより好ましくは５７５〜７５０℃である。もし５５０℃の下で溶融が行われるならば、おそらく有機物が封入されて、そして有機物の分解により誘電性層においてブリスター（ｂｌｉｓｔｅｒ）を形成する傾向になるであろう。一方、８２５℃を越えるガラス転移温度は、銅メタライゼーション（ｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ）と一致する焼結温度（たとえば９００℃）が用いられたときに、多孔性誘電体を生成する傾向がある。
　【００１４】
　最も好適に使用されるガラスフリットは、ホウケイ酸鉛フリット、ビスマス、カドミウム、バリウム、カルシウムおよび他のアルカリ土類のホウケイ酸塩フリットのようなホウケイ酸フリットである。そのようなガラスフリットの調製はよく知られており、そしてたとえば、構成成分の酸化物の形態のガラスの構成成分を一緒に溶融する工程、および前述の溶融組成物を水に注ぐことあるいは他の方法で速やかに冷却して、さらに粉砕することによってフリットを形成する高度に歪みのかかった粒子を生成する工程で構成される。もちろん、バッチ成分はフリット製造の通常の条件下で望む酸化物を与える任意の化合物であってもよい。たとえば、３酸化２ホウ素はホウ酸から得られるし、酸化バリウムは炭酸バリウムから生産される、などである。ガラスは好ましくは振動ミル（スゥエコ・カンパニー（Ｓｗｅｃｏ　Ｃｏ．））中で水で粉砕されて、フリットの粒子サイズを縮小させ、そして実質的に均一なサイズのフリットを得ることが好ましい。
　【００１５】
　その後、そのフリットは好ましくはセラミック固体と類似の方法にて加工される。フリットは微細なメッシュのスクリーンを通過させられ、より大きな粒子を除去する。なぜなら固体組成物は凝集物がない必要があるからである。セラミック固体のような無機結合剤は１０ｍ２／ｇ以下の表面積対重量比を有する必要があり、および好ましくは少なくとも９０重量％の粒子が１〜１０マイクロメートルの粒子サイズを有する。
　【００１６】
　無機結合剤のｄ５０（より大きな粒子およびより小さい粒子の双方の重量部が等しいとして規定される）がセラミック固体のそれ以下であることが好ましい。所定の粒子サイズのセラミック固体について、気密性を達成するために必要とされる無機結合剤／セラミック固体比は無機結合剤のサイズが減少するにつれて減少する。所定のセラミック固体−無機結合剤系に対して、もし無機結合剤のセラミック固体に対する比が気密性を達成するために必要とされるそれよりも著しく高いならば、誘電性層は焼成中にブリスターを形成する傾向がある。もしその比が著しく低ければ、焼成された誘電体は多孔性になり、したがって気密性がない。
　【００１７】
　分散剤を、有機ポリマーおよびモノマーによる無機物の効率的ぬれを保証するために用いてもよい。分散剤は、ポリマー結合剤が無機固体と会合するすなわちぬらすことを可能にして、凝集物のないシステムを与える。うまく用いられている分散剤は、“非水塗布系におけるＡＢブロックポリマーの分散剤としての利用（Ｕｓｅ　ｏｆ　ＡＢ　Ｂｌｏｃｋ　Ｐｏｌｙｍｅｒｓ　ａｓ　Ｄｉｓｐｅｒｓａｎｔｓ　ｆｏｒ　Ｎｏｎ−ａｑｕｅｏｕｓ　Ｃｏａｔｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）”エイチ・シー・ジャクバウスカス（Ｈ．Ｃ．Ｊａｋｕｂａｕｓｋａｓ）、ジャーナル・オブ・コーティング・テクノロジー、５８巻、７３６号、７１−８２頁に一般的に記載されている、Ａ−Ｂ分散剤である。有用なＡ−Ｂ分散剤は、それぞれが参照によって本明細書の一部をなすものとする、米国特許第３，６８４，７７１号；第３，７８８，９９６号；第４，０７０，３８８号；および第４，０３２，６９８号および英国特許第１，３３９，９３０号に開示されている。好ましい種類のＡ−Ｂ分散剤は上の米国特許第４，０３２，６９８号に開示されているポリマー材料であり以下の構造で表わされる：
　【００１８】
　【化１】
　【００１９】
　ここで、Ｑは：
　ａ．　アクリル酸またはメタクリル酸の１〜１８個の炭素原子を有するアルカノールとのエステル；あるいは
　ｂ．　スチレンまたはアクリロニトリル；あるいは
　ｃ．　エステル部分が２〜１８個の炭素原子を有するビニルエステル；
　のセグメントを有する重合体または共重合体であり；
　Ｘは連鎖移動剤の残基であり；
　Ｙはジ、トリまたはテトライソシアナート遊離基のイソシアナート基の除去後の残基であり；
　Ａは、反応前の存在として５〜１４のｐＫａ値を有する塩基性遊離基またはそれらの塩の残基であり；および
　ｍおよびｎは１、２または３であり、その合計は４を越えない。ｎが２または３であるときという条件下では、Ａのみが定義されたようである必要がある。
　【００２０】
　この種類の特に好ましい要素は、以後Ａ−Ｂ分散剤Ｉと識別されるポリマー材料であり、以下にその構造を示す。
　【００２１】
　【化２】
　【００２２】
　ここで、Ｑは６０００ないし８０００の重量平均分子量を有するメタクリル酸メチルのポリマーセグメントである。同様に特に好ましいのは、下式に示されるポリマー材料の種類の要素である。
　【００２３】
　【化３】
　【００２４】
ここで、Ｑは約２０単位のメタクリル酸ブチルを含有するアルキルメタクリレートのポリマーセグメントであり、ｎは２０、ｍは８から１２、およびＲは連鎖停止剤の残基である。この分散剤をこれ以後Ａ−Ｂ分散剤ＩＩと識別する。
　【００２５】
　溶媒、モノマー、ポリマー、開始剤、必要に応じて安定剤、分散剤、可塑剤および少量の他の成分の組み合わせを有機媒質と呼ぶ。有機媒質は厚膜組成物の約１２から５０重量％を構成する。有機媒質はまず何よりもその中で適切な安定度で固体を分散されるものでなければならない。第２に、有機媒質のレオロジー的性質は、分散物に良好な塗布的性を与えるようなものでなければならない。感光性厚膜組成物は典型的には希薄炭酸塩水性溶液に可溶のアクリル樹脂を用いる。溶媒の混合物であってもよい有機媒質中の溶媒成分が選択されて、そこでポリマーの完全な溶液を得るようにし、かつ大気圧において比較的低いレベルの熱を適用することによって分散液から溶媒が蒸発することを可能にするのに充分な揮発性を有するようにする。加えて、溶媒は、熱触媒を除く有機媒質中に含有される他のいかなる添加物の沸点および分解温度より低い温度で蒸発しなければならない。したがって、１００℃より低い温度で容易に蒸発することができる溶媒が、最も頻繁に用いられる。そのような溶媒は２，２，４−トリエチルペンタン−１，３−ジオール　モノ−イソブチレートおよびエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルのようなエチレングリコールのモノアルキルおよびジアルキルエーテルを含む。たとえばイーストマン・ケミカル（Ｅａｓｔｍａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ）製のＴＥＸＡＮＯＬ（登録商標）は光パターン形成可能な組成物中の溶媒として好結果で用いられてきた。キャストするフィルムについては、塩化メチレンのような溶媒がそれらの揮発性のために好まれる。厚膜ペーストの代替物であるグリーンテープの形成においては、完成されたテープの組成は、結合剤ポリマーのＴｇを低下させるためにより多くの可塑剤が添加されている、印刷されそして乾燥されたペーストの組成と類似している。可塑剤はセラミック基板との良好な積層を保証するのを援助し、そして組成物の非露光区域の現像可能性を高める。可塑剤の選択は、もちろん、主として改質されるべきポリマーによって決定される。種々の結合剤系において用いられてきた可塑剤の中のひとつは、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ブチルベンジル、フタル酸ジベンジル、アルキルホスフェート、ポリアルキレングリコール、グリセロール、ポリ（エチレンオキシド）、ヒドロキシエチル化されたアルキルフェノール、トリクレジルホスフェート、トリエチレングリコールジアセテートおよびポリエステル可塑剤である。フタル酸ジブチルがアクリルポリマーに対して頻繁に用いられる。その理由は、フタル酸ジブチルは比較的低い濃度において有効に用いることができるからである。
　【００２６】
　支持体フィルム上に塗布されたときに、本発明の感光性組成物は、“テープ”と呼ばれる。これらのテープにおいて、ロール形態で保存されたときに感光性層と支持体の反対側の表面との間の粘着を防止するために、除去可能なカバーシートにより感光性層を保護することが必要であるか、あるいは非常に望ましい。画像を形成する露光の間、基板に積層した層を除去可能な支持体フィルムを用いて保護して、その層と光ツールの間の粘着を防止することもまた望ましい。
　【００２７】
　光重合可能な組成物は約０．００１から０．０１０インチ（約２５から２５０マイクロメートル）以上の乾燥塗膜厚さにおいて支持体フィルム上に塗布される。好ましくは温度変化に対して高度の寸法安定性を有する好適な剥離可能な支持体が高分子材料（たとえばポリアミド、ポリオレフィン、ポリエステル、ビニルポリマー、およびセルロースエステル）で構成される広範なフィルムから選択され、その支持体は０．０００５インチ（１３マイクロメートル）から０．００８インチ（〜２００マイクロメートル）以上までの厚さを有してもよい。もし露光が剥離可能な支持体を除去する前に行われることになっているならば、それ支持体は、もちろん、その上から入射する化学線のかなりの部分を透過させなければならない。もし剥離可能な支持体が露光より先に除去されるならば、前述の制限は適用されない。特に好適な支持体は、約０．００１インチ（〜２５マイクロメートル）の厚さを有する透明なポリエチレンテレフタレートのフィルムである。
　【００２８】
　組成物が除去可能な保護カバーシートを含有せず、しかもロール形態で保存されることになっているときには、剥離可能な支持体の反対側はそこにワックスまたはシリコーンのような材料の薄い剥離層を塗布して、光重合可能な層との粘着を防止することが好ましい。あるいはまた、塗布された光重合可能な層に対する粘着力を、塗布されるべき表面を炎処理することまたは電気放電処理することにより優先的に増加させてもよい。
　【００２９】
　好適な除去可能な保護カバーシートは、使用されるときには、上述の高分子物質フィルムと同一の群から選択されてもよく、および同一の広範な厚さを有してもよい。厚さ０．００１インチ（〜２５マイクロメートル）のポリエチレン製カバーシートが本質的に好適である。上述のような支持体およびカバーシートは、使用に先立つ保存の間、光重合可能なレジスト層に対する良好な保護を提供する。有機物に対する無機固体の比は、無機固体の粒子サイズ、有機成分および無機固体の表面の前処理に依存する。粒子が有機シランカップリング剤で処理されてときには、有機物に対する無機固体の比を増大させることができる。より低いレベルの有機物を使用して焼成の欠陥を最小化することが好ましい。有機物に対する無機物の比を可能な限り高くすることが特に重要である。本発明における使用に好適な有機シランは、一般式ＲＳｉ（ＯＲ’）３に該当するものであり、ここでＲ’はメチルまたはエチルであり、Ｒはアルキル、メタクリルオキシプロピル、ポリアルキレンオキシドまたはフィルムの有機マトリックスと相互作用できる他の有機官能基から選択される。
　【００３０】
　一方、分散物が厚膜ペーストとして付着されるときには、好適なレオロジー的調整およびより低い揮発製の溶媒の使用をともなって慣用の厚膜有機媒質を用いることができる。
　【００３１】
　本発明の組成物が厚膜フィルム組成物として調合されるときには、それらは通常スクリーン印刷を用いて基板に付着される。したがって、それら組成物は適切な粘性を有して、容易にスクリーンを通過できるようにしなければならない。レオロジー的特性が第１に重要なものであるとはいえ、有機媒質は好ましくは基板に対する固形分の好適なぬれ性、良好な乾燥速度、乱暴な取り扱いに耐えるのに充分な乾燥フィルムの強度および良好な焼成特性を与えるように調合される。焼成された組成物の満足のいく外観もまた重要である。
　【００３２】
　分散物中の無機固形物に対する有機媒質の比は大きく変化することができ、および分散物が付着されることになっている態様および用いられる有機媒質の種類に依存する。通常良好な付着量を達成するためには、分散物は５０〜９０重量％の固体および５０〜１０重量％の有機媒質を相補的に含有する。前記分散物は通常半流動体の稠度であり、一般に“ペースト”と呼ばれる。
　【００３３】
　ペーストは３本ロール練り機により慣用的に調製される。ペーストの粘度は典型的には２５〜２００パスカル−秒の範囲内である。用いられる有機媒質（ビヒクル）の量と種類は主として最終的に望まれる調合物の粘度および印刷の厚さにより決定される。
　【００３４】
　光重合可能な組成物がその本質的特性を保持する限りにおいて、たとえば、顔料、染料、熱重合抑制剤、定着剤、有機シランカップリング剤のようなもの、可塑剤、ポリエチレンオキシドのような塗布助剤などの、少量の他の成分が光重合可能な組成物中に存在できる。有機シランは、無機粒子の重量を基準として３重量％以下の量において特に有用である。処理された粒子は有機物に対するより低い要求量を有する。したがって、塗膜中の有機物の濃度を減少させることができ、それは焼成時のより容易な焼損をもたらす。有機シランは分散特性をも改善することができ、そして同等の気密性におけるより低い無機結合剤／セラミック固体比を可能にする。
　【００３５】
　感光性塗膜組成物は、たとえば基板に付着されたフィルムの形態における層、あるいはたとえばシルクスクリーン印刷により付着されたペーストの形態における層の形成において、サーメットフィルムに適した基板に対して慣用的に付着される。ペーストとして付着されたときには充分な層が形成され、パターン形成されるべき区域を覆い、そして４〜２０マイクロメートルの完成した焼結された層を与える。その層は次にいくらかの熱誘起される重合をもたらすのに、および同時にいかなる溶媒（もし存在すれば）をも除去するのに充分な温度（典型的には８０〜１２０℃）において熱処理される。組成物がテープとして付着されるときには、上記の熱処理は最終用途の必要性に依存して必要であっても必要でなくてもよい。残るステップはペーストとしてあるいはテープとしてもたらされる層に対して同一であるので、溶媒を除いて、ペーストまたはテープをプロセス記載の残りの間“層”と呼ぶことにする。それ以後、層は化学線に対して画像に沿ってさらされ、化学線に対してさらされた区域および化学線に対してさらされなかった区域を得る。
　【００３６】
　層は再び、現像液中で不溶性になる点のちょうど手前の点まで熱硬化される。このプロセスによって、比較的少ない量の化学線の暴露、たとえば紫外線露光、のみが充分にモノマーを重合して層を不溶化するのに必要であり−−熱補助がないときに必要な量の３分の１以下が必要である。この性能増加は露光前および露光後に層を部分的に熱硬化することにより最大化される。露光前には、層は主としてダイマーおよびオリゴマーを形成すると推定される。分子量がモノマーよりも高いこれらはそれほど容易に表面に向かって移動しないと推定される。これは、アンダーカットおよびエッジ・カールを与える層の表面へのモノマーの過剰な拡散をもたらすことなく紫外線のより高い線量を可能にするように思われる。第２の露光後硬化が表面の真下のわずかに露光された区域においてさえ不溶化する点まで層を架橋する。これはアンダーカットを減少することにおいていっそう大きな利益を与える。後硬化温度（８０から１２０℃）が境界層において部分的に重合した材料およびモノマーの相互移動および架橋をもたらし、層の最上部および底部とを密着させると推測される。これが残留する下にある層を保護する層の不溶性部分を深くする。層の露光されなかった区域は現像として知られる工程において除去される。水性現像の間に、０．３重量％から３．０重量％の炭酸ナトリウムを含有する全体として水性の溶液のような液体による典型的な現像時間以内の現像の間に、層は放射にさらされなかったそれらの区域において除去されるが、さらされた部分は実質的に影響されない。現像は通常０．２５から２分以内に行われる。露光されなかった領域は、熱硬化工程により部分的に重合しているが、全体として洗浄溶媒に可溶性のままであるのに充分に非架橋のまま残存しており、それゆえ現像の間に洗い落とされる。現像されパターン形成された層は次に典型的には５００℃より高い温度において焼成される。
　【００３７】
　実施例を与えることにより本発明をさらに詳細に述べる。しかし、本発明の範囲はこれらの実施例によりいかなる面においても限定されるものではない。
　【００３８】
　【実施例】
　以下の例において用いられる無機粉末は、ペースト調製の当該技術において熟練した調合者に知られていると期待される。処方における成分の精度はＴＡＯＢＮを除いて＋／−０．１％であり、それは全重量の０．００１％までであり；したがって示される実際の総計は１００．０１４％である。ペーストはペースト調製の当業者によく知られている技術を用いて調製された。スクリーン印刷は当業者によく知られている方法で行われた。
　【００３９】
（実施例１）
　以下の調合物は、９マイクロメートルの高さまで印刷し焼成することができる２つのモードを有する金組成物に対するものである。わずかな銀粉末の添加はアルミニウムのワイヤ・ボンディング性能のために必要とされる。
　【００４０】
　【表１】
　　　組成　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　割合（重量）
Ｅｋｔａｓｏｌｖｅ　ＤＥ　アセテート　　　　　　　　　６．００％
ポリマーＸＰＤ−１２３４　　　　　　　　　　　　　　　６．０６
　　（ＰＭＭＡ／ＭＡＡ共重合体）
Ｉｒｇａｃｕｒｅ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．３６
Ｑｕａｎｔａｃｕｒｅ　ＩＴＸ　　　　　　　　　　　　　０．３０
Ｑｕａｎｔａｃｕｒｅ　ＥＰＤ　　　　　　　　　　　　　０．３０
ベンゾトリアゾール　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．３５
ＴＡＯＢＮ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．００３
トリエチレンオキシドトリアクリレート　　　　　　　　　３．４０
　　（ＴＥＯＴＡ−１０００）
トリメチロールプロパントリアクリレート　　　　　　　　０．７０
　　（ＴＭＰＴＡ）
粉砕されたＣｄＯ粉末　　　　　　　　　　　　　　　　　０．４０
ガラス粉末、ホウケイ酸塩、無機結合剤　　　　　　　　　１．３０
銀粉末、不規則な約６〜９μｍ直径　　　　　　　　　　　０．７０
金粉末、３から４μｍの不規則な回転楕円状　　　　　　４０．００
金粉末、２．４μｍの球状　　　　　　　　　　　　　　４０．００
Ｖａｚｏ−８８フリーラジカル源　　　　　　　　　　　　０．１３
　その金ペーストは、直交軸から２２度離して取りつけられた１．１直径のワイヤを有する２７０メッシュのスクリーンを用いて印刷された。初期乾燥は１００〜１１０℃において１５分間であって、１５０から４５０ミリジュール／平方センチメートルにおける露光がそれに続いた。これ以後、実施例１について、溶媒を除く金ペーストを“フィルム”と呼ぶ。露光後に、第２の熱硬化（１１０〜１２４℃において１０から１５分間）が用いられた。架橋の最適な程度は、未露光区域が現像する流体に可溶のままであるが、層が不溶性になる点に接近するようなものである。その点が層が不溶性になる点に接近するにしたがってフィルムの露光速度が増加し、かつアンダーカットおよびエッジ・カールの程度が減少する。現像はコンベア化されたスプレー装置内で行われ、そこでは露光され後硬化されたフィルムが水性炭酸塩溶液を噴霧され、水によるすすぎおよび高圧エアジェットによる風乾がそれに続いた。
　【００４１】
　試験結果は表２に要約され、それは露光前および露光後の双方の熱補助を用いて処理された部分の外観を要約する。
　【００４２】
　【表２】
　【００４３】
　表の凡例：
エッジの鮮明度：１は非常に鮮明、５は激しく侵食されている；
エッジ・カール：おおよそマイクロメートル単位で１から５；
解像度：１は２０マイクロメートルの線を分離する、および５は６０マイクロメートルの線を不充分に分離する。
　【００４４】
　解像度の低下は大部分は線状の洗浄のためである。
　【００４５】
（実施例２−５）
　これはハンダ可能なＰｔ／Ａｇ系列であり；実施例２は２つのモードを有する粒子サイズ分布を有し、および３−５は本質的に３つのモードを有するものである。痕跡量の白金が添加されハンダの滲出を防止し、アルミニウムワイヤの結合を援助する。３つのモードを有するＰＳＤはビヒクル含有量の減少を可能にする。
　【００４６】
　【表３】
　【００４７】
　【表４】
　　　　ビヒクル成分　　　　　　　　　　　　　　　　　　　重量部
Ｔｅｘａｎｏｌ溶媒　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５２．２
ポリビニルプロパノール／酢酸ビニル乳化物　　　　　　　　　１．６５
ＢＦＧ　ＸＰＤ−１２３４　　　　　　　　　　　　　　　　３８．８
Ｉｒｇａｃｕｒｅ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２．７５
Ｑｕａｎｔａｃｕｒｅ　ＩＴＸ　　　　　　　　　　　　　　　２．３
Ｑｕａｎｔａｃｕｒｅ　ＥＰＤ　　　　　　　　　　　　　　　２．３
　上記の材料はペースト調合の当業者によく知られている技術を用いて加工されて、ペーストを生産した。ビヒクルは以下のように調製された。溶媒および樹脂が添加され、そして樹脂中の水蒸気内容物を排出するために窒素被覆の下で３０分間で１１０度まで加熱した。樹脂／溶媒溶液は次に７０度まで冷却され、そして残りの成分を添加した。
　【００４８】
　光重合可能なペーストは以下のように作成した。有機成分を一緒に混合し、その後に無機成分を連続的に混合しながら、銀粉末を最後に添加することを用いて添加した。成分を一緒に充分に混合した後に、得られた混合物はロール練りされて条件のあった分散物を生産した（それの１５／８より良好なヘグマン（Ｈｅｇｍａｎ）粒ゲージによって証明される）。
　【００４９】
　そのペーストは３２５、２８０、２３０または２００メッシュのスクリーンを用いた印刷された。３２５メッシュの印刷は焼成後に８〜９マイクロメートルの厚さであり；２８０および２３０メッシュの印刷は９〜１１マイクロメートルの焼成されたフィルムを生成し；２００メッシュの印刷は厚さ１２マイクロメートルの焼成されたフィルムを生成した。印刷後の乾燥は１００度において１５分間であった。露光は１５ミリジュール／平方センチメートルにおいて１５から３０秒間および３０ｍｊ／平方センチメートルにおいてその約半分の時間であった。焼成は８５０℃のピークにおける１０分間を含む３０分の炉プロフィール（炉の間接加熱室の加熱される部分において３０分）にもとづくものであった。
　【００５０】
用語集
　Ｅｋｔａｓｏｌｖｅ　ＤＥ　アセテート：イーストマン・ケミカル（Ｅａｓｔｍａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ）製の溶媒／可塑剤
ポリマーＸＰＤ−１２３４：ビー・エフ・グッドリッチ（Ｂ．Ｆ．Ｇｏｏｄｒｉｃｈ）製のＰＭＭＡ／ＭＡＡ共重合体
Ｉｒｇａｃｕｒｅ（登録商標）：デュポン（Ｄｕｐｏｎｔ）から入手できる置換アセトフェノン
Ｑｕａｎｔａｃｕｒｅ　ＩＴＸ：デュポン（Ｄｕｐｏｎｔ）から入手できるイソプロピル−イソキサントン
Ｑｕａｎｔａｃｕｒｅ　ＥＰＤ：デュポン（Ｄｕｐｏｎｔ）から入手できる４−ジメチルアミノ安息香酸エチル
ＴＡＯＢＮ：デュポン（Ｄｕｐｏｎｔ）から入手できるフリーラジカル遮断剤
ＴＥＯＴＡ−１００：ポリエトキシル化されたトリメチロールプロパントリアクリレート、重量平均分子量１１６２
ＴＭＰＴＭＡ：サルトマー・カンパニー（Ｓａｒｔｏｍｅｒ　Ｃｏ．，Ｗｅｓｔ　Ｃｈｅｓｔｅｒ，ＰＡ）から入手できるトリメチロールプロパントリメタクリレート、重量平均分子量３３８粉砕されたＣｄＯ粉末：３マイクロメートル未満のｄ５０粒子サイズまで粉砕された酸化カドミウム
ＶＡＺＯ−８８：イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー（Ｅ．Ｉ．ｄｕ　Ｐｏｎｔ　ｄｅ　Ｎｅｍｏｕｒｓ　ａｎｄ　Ｃｏｍｐａｎｙ）から入手できる１，１′−アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル
Ｔｅｘａｎｏｌ（登録商標）：イーストマン・ケミカル（Ｅａｓｔｍａｎ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ）から入手できるアルコール／エーテル／エステル溶媒
実施例２、３および４において用いられるガラスフリットはＢｉ２Ｏ３７７．５重量％、ＰｂＯ７．５重量％およびＳｉＯ２１５重量％である。
　【００５１】
　サブミクロンの銀：商標つきのプロセスによる１マイクロメートル未満の粒子サイズの銀沈殿物
Ｔｈｉｘａｔｏｌ　ＳＴ：ベイカー（Ｂａｋｅｒ）から入手可能な水素化されたひまし油微結晶
Ｐ３０１１：直径約３．７５マイクロメートルの球形の銅