(57)【要約】【課題】底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供する。【解決手段】基板（４０）を収納するカセット（１００）であって、内部に基板（４０）が配置されるカセット本体部（１０）と、カセット本体部（１０）の側面に形成されたカセット開口部（１２）と、カセット本体部（１０）の底面に形成された底面開口部（１４）と、底面開口部（１４）を塞ぐ底板（２０）と、底板（２０）の下面を支えるつっかえ棒（３０）と、つっかえ棒（３０）で支えられている底板（２０）の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部（２２）とを備える、カセット（１００）である。
2010134491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納するカセットであって、
内部に基板が配置されるカセット本体部と、
前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、
前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、
前記底面開口部を塞ぐ底板と、
前記底板の下面を支えるつっかえ棒と、
前記つっかえ棒で支えられている前記底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部と
を備える、カセット。
【請求項２】
前記つっかえ棒は、前記底面開口部の下方に位置する置台に配置されている、請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
前記底板押さえ部と前記底板との間の隙間を密閉する密閉部材が形成されている、請求項１または２に記載のカセット。
【請求項４】
前記密閉部材は、前記底面押さえ部の下面に形成された弾力性部材である、請求項３に記載のカセット。
【請求項５】
前記底面押さえ部は、前記カセット本体部の内壁を一周するように形成されている、請求項１から４の何れか一つに記載のカセット。
【請求項６】
前記つっかえ棒は、複数本設けられており、
前記底板の下方領域で、前記つっかえ棒の間のスペースには、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入されることを特徴とする、請求項１から５の何れか一つに記載のカセット。
【請求項７】
前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、
前記基板は、ガラス基板であり、
前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、
前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させる基板搬送装置が挿入される、請求項１から６の何れか一つに記載のカセット。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納するカセットに関し、特に、フラットパネルディスプレイ（例えば、液晶パネル）の製造方法に用いる薄型の基板（例えば、ガラス基板）を収納するカセットに関する。
なお、本出願は２００９年５月２０日に出願された日本国特許出願２００９−１２１５６７号に基づく優先権を主張しており、その出願の全内容は本明細書中に参照として組み入れられている。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の構成部品である液晶パネルは、一対のガラス基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。液晶パネルの大型化・量産化に伴って、液晶パネル用のガラス基板は年々大型化している。このような次世代の大型液晶ガラス基板を搬送する基板搬送システムでは、液晶ガラス基板を多段収納する収納カセットが用いられる（例えば、特許文献１〜３など）。  【０００３】
ガラス基板を収納した収納カセットは、クリーンルーム内の製造工程において液晶パネル製造装置の載置部から別の製造装置の載置部へガラス基板を搬送したり保管したりするのに用いられる。また、収納カセットは、液晶パネル製造装置の載置部とカセット保管庫の保管部との間でガラス基板を搬送・保管したりすることにも用いられる。  【０００４】
クリーンルーム内の雰囲気は十分な空気清浄度が確保されているが、収納カセットの搬送・保管時に作業者や床面などから飛散したゴミなどの異物が基板表面に付着したり、基板処理時の有機ガスなどのミストがクリーンルーム内を浮遊して基板表面に付着することがある。そして、異物やミストが付着したまま、基板をプロセス処理すると液晶パネルの品質が低下するおそれがある。そのため、ガラス基板は、収納カセットの中で遮蔽された状態にして、異物などが付着しないよう搬送・保管を行うようにされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１５９９７号公報
【特許文献２】特開２００５−１４２４８０号公報
【特許文献３】特開２００５−１４５６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年のガラス基板の大型化に伴って、棚片の張り出し形式の収納カセットでは、ガラス基板を支持する棚片の面積が小さいために、大型のガラス基板を収納する場合には、その重量によってガラス基板に歪みが発生する場合がある。したがって、そのような形式の収納カセットでは、大型のガラス基板に使用することができない。  【０００７】
そこで、最近では、大型のガラス基板を収納・搬送する場合、そのような歪みを抑制する上で、収納カセットの内壁に前後並列してワイヤーを多段的に配置したワイヤーカセットが用いられることがある。  【０００８】
しかしながら、ワイヤーカセットを用いてガラス基板を収納・搬送する場合、ワイヤーカセットの下面には、ローラーコンベアを挿入するための開口部があり、それゆえに、密閉性が確保されていない。ガラス基板を収容したワイヤーカセットを常にクリーンルームに置いておく場合には、ワイヤーカセットの下面が密閉していない点の問題は少ないが、ガラス基板を搬送する点でいえば、常時、クリーンルーム中だけでワイヤーカセットを用いることができない場合もある。そのような状況の中、ワイヤーカセットの底面の開口を簡単に密閉できる構造は技術的に大きな価値を提供することができる。  【０００９】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、底面を簡便に密閉できるカセット構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るカセットは、基板を収納するカセットであり、内部に基板が配置されるカセット本体部と、前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、前記底面開口部を塞ぐ底板と、前記底板の下面を支えるつっかえ棒と、前記つっかえ棒で支えられている前記底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部とを備える。
ある好適な実施形態において、前記つっかえ棒は、前記底面開口部の下方に位置する置台に配置されている。
ある好適な実施形態において、前記底板押さえ部と前記底板との間の隙間を密閉する密閉部材が形成されている。
ある好適な実施形態において、前記密閉部材は、前記底面押さえ部の下面に形成された弾力性部材である。
ある好適な実施形態において、前記底面押さえ部は、前記カセット本体部の内壁を一周するように形成されている。
ある好適な実施形態において、前記つっかえ棒は、複数本設けられており、前記底板の下方領域で、前記つっかえ棒の間のスペースには、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入される。
ある好適な実施形態において、前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、前記基板は、ガラス基板であり、前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させる基板搬送装置が挿入される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るカセットによれば、カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、底面開口部を塞ぐ底板と、底板の下面を支えるつっかえ棒と、底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部と、密閉部材とを備えているので、底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００の側面構成を示す断面図である。
【図３】密閉部材２４を含む底板押さえ部２２と底板２０の周辺を拡大した図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、底板押さえ部２２の周辺を示す斜視図である。
【図５】ワイヤーカセット１００の底面開口部１４を開放するステップを説明する断面図である。
【図６】カセット本体部１０を密閉状態にして搬送するステップを説明する断面図である。
【図７】カセット本体部１０を密閉状態にして搬送するステップを説明する断面図である。
【図８】ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための断面図である。
【図９】ワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップを説明するための断面図である。
【図１０】比較例のワイヤーカセット１１００の断面図である。
【図１１】比較例のワイヤーカセット１２００の断面図である。
【図１２】ワイヤーカセット１００の改変例の側面構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。  
【００１４】
まず、図１から図４を参照しながら、本発明の実施形態に係るワイヤーカセット１００について説明する。  
【００１５】
図１は、本実施形態のワイヤーカセット１００の全体構成を模式的に示す斜視図である。本実施形態のワイヤーカセット１００は、ワイヤーによって基板４０を支持することによって、基板４０を収納することができる収納カセットである。なお、図１においては、ワイヤーは図示していない。また、矢印５０は重力方向（鉛直方向）を表している。  
【００１６】
本実施形態の基板４０は、例えば、液晶パネル用のガラス基板である。このガラス基板４０は、液晶パネルの寸法に切り出す前のマザーガラスであってもよいし、切り出した後の液晶パネルのサイズのガラスであってもよい。さらに、ガラス基板４０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が作製されるアレイ基板（またはその作製途中のもの）であってもよいし、カラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板（またはその作製途中のもの）であってもよい。
【００１７】
また、基板４０は、ガラス基板の他、ウェハのような他の薄板であっても構わない。加えて、液晶パネル用の基板４０に限らず、ＰＤＰ、有機ＥＬパネル、その他フラットパネルディスプレイを製作する上での薄型の基板（ガラスに限らず、シート状のものでワイヤーカセットに保管され得るもの）であってもよい。  
【００１８】
本実施形態のワイヤーカセット１００は、カセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とから構成されている。カセット本体部１０の内部には、基板４０を配置することができる。また、カセット開口部１２からは、基板４０を出し入れすることができる。なお、カセット開口部１２には、その開口を塞ぐパネル（不図示）を配置することができる。  
【００１９】
カセット本体部１０の下部には、底面開口部１４を塞ぐ底板２０が設けられている。底板２０の下方には、底板２０の下面を支えるつっかえ棒３０が配置されている。また、つっかえ棒３０で支えられている底板２０の周縁部の上面は、カセット本体部１０の内壁に形成された底板押さえ部２２によって押さえられている。なお、図１に示していないが、底板押さえ部２２と底板２０との間には、その隙間を塞ぐ密閉部材（２４）が設けられている。  
【００２０】
図２は、本実施形態のワイヤーカセット１００の側面構成を模式的に示す断面図である。図２に示した例では、カセット本体部１０の内部には、基板４０を支持するワイヤー６０が配列されている。具体的には、一枚の基板４０を複数本のワイヤー６０で支持し、その複数本のワイヤー６０が多段に配列されている。ワイヤー６０が多段に配列されていることによって、カセット本体部１０の内部にガラス基板４０を多段に収納することができる。  
【００２１】
この例では、基板４０を４段収納しているが、基板４０の収納の枚数は、ワイヤー６０の段数に対応し、その段数は適宜好適なものを設定することができる。また、ワイヤー６０は、カセット本体部１０の内部の対向する壁面（内壁）の間に張られており、その張力で基板４０を支持している。  
【００２２】
なお、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４には、基板４０を出し入れするローラーコンベア（不図示）が挿入される。ローラーコンベアは、ワイヤー６０の間から基板４０に接触して、そして、基板４０をカセット開口部１２から払い出す機能を有している。そして、底面開口部１４には、その開口を塞ぐ底板２０が設けられている。なお、基板４０をカセット本体部１０から払い出すための基板搬送装置としては、ローラーコンベアの他、例えば、基板４０を空気で浮上させて移動させることが可能な構造を有するエア浮上コンベアを用いることもできる。  
【００２３】
つっかえ棒３０は、地上から延びた棒状部材である。つっかえ棒３０の先端が、底板２０を支え、つっかえ棒３０の根本は地面側に固定されている。つっかえ棒３０は、底板２０を安定に支えるために複数本設けられており、一例では、底板２０の下方領域に行列状に配列される。なお、底板２０を適切に支えることができるのであれば、つっかえ棒３０の配列は、その間隔が均等なものだけでなく、不均等なものであってもよい。  
【００２４】
本実施形態では、つっかえ棒３０は、底面開口部１４の下方に位置する置台３２に配置されている。置台３２は、例えば、製造工場内に設置されたワイヤーカセット用の台座、または、ワイヤーカセットを搬送する搬送ビークルの荷台である。本実施形態の置台３２には、凹部３３が形成されており、その底面３４Ａから、つっかえ棒３０は垂直方向に延びている。つまり、つっかえ棒３０の高さは、置台３２の凹部底面３４Ａを基準にして、底板押さえ部２２の底面が位置する高さ（または、密閉部材２４が位置する高さ）に対応して決められる。また、凹部３３が位置していない置台３２の上面３４Ｂには、カセット本体部１０の下端１５が載っている。  
【００２５】
つっかえ棒３０は、例えば、金属材料からなる。また、つっかえ棒３０の形状は、例えば、円柱であり、その直径は、例えば１０ｍｍ程度である。ただし、つっかえ棒３０の形状は限定されず、底板２０を適切に支えられるのであれば、他の形状（例えば、角柱）であってもよい。つっかえ棒３０の先端は、底板２０の底面を傷つけないように丸くすることができるし、樹脂などの干渉材料を取り付けてもよい。なお、ここでは、液晶パネル用のガラス基板４０の寸法が３ｍ×３ｍ程度の場合を想定したときのものを例として示しているが、各寸法は条件にあわせて適宜改変可能である。  
【００２６】
また、底板２０は、カセット本体部１０の内壁に設けられた底板押さえ部２２によって押さえられている。底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐ密閉部材２４が形成されている。本実施形態の構成では、底板押さえ部２２の下面に、密閉部材２４が形成されているが、底板２０の上面に、密閉部材２４を形成してもよい。  
【００２７】
図３は、密閉部材２４を含む底板押さえ部２２と底板２０の周辺を拡大した図である。図３に示すように、底板２０は、つっかえ棒３０によって下から押し上げられ、一方、密閉部材２４を介して底板押さえ部２２によって受けとめられる。つっかえ棒３０の押し上げによって生じる歪みは、密閉部材２４によって吸収され、それによって、底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができる。密閉部材２４は、クッション性のある弾力性部材（例えば、ゴム、樹脂、エラストマー）であることが好ましい。  
【００２８】
また、底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができるのであれば、密閉部材２４は、底板押さえ部２２と独立した部材として形成されていなくてもよい。例えば、密閉部材２４は、底板押さえ部２２の少なくとも底面を覆うように被覆されたコーティング部材として存在してもよい。また、密閉部材２４は、底板２０の周縁部の上面を少なくとも覆うコーティング部として存在してもよい。なお、底板２０の周縁部は、底板押さえ部２２の下方に位置する領域である。  
【００２９】
図４（ａ）は、底板押さえ部２２の一部を拡大した斜視図である。底板押さえ部２２は、カセット本体部１０の内壁１０ａから中央向きに延びている。底板押さえ部２２は、例えば、金属から構成されており、一例ではカセット本体部１０の一部の材料と同じ材料から構成されていてもよい。図４（ａ）に示した例では、底板押さえ部２２の幅Ｗ１は、５０ｍｍ〜６０ｍｍ程度であり、底板押さえ部２２の厚さＴ１は、２ｍｍ〜３ｍｍ程度である。  
【００３０】
底板押さえ部２２の下面の一部には、密閉部材２４が形成されている。この例では、密閉部材２４は、短冊状の細長く延びる線状部材であり、例えば、密閉部材２４の断面は矩形である。密閉部材２４の幅Ｗ２は、２０ｍｍ程度であり、密閉部材２４の厚さＴ２は、５ｍｍ程度である。なお、密閉部材２４の断面は矩形に限らず、底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができるのであれば、略半円形（半円形、半楕円系、半長円形）であっても、台形であっても構わない。  
【００３１】
また、図示した例では、密閉部材２４の形成位置は、底板押さえ部２２の下面の中央（幅Ｗ１の半分の箇所）よりも内側にされているが、密閉部材２４は、底板押さえ部２２の中央の位置に形成されていてもよいし、あるいは、底板押さえ部２２の中央の位置よりも外側（内壁１０ａ側）に形成されていてもよい。また、底板押さえ部２２の下面の全面（またはほぼ全面）に、密閉部材２４を形成することも可能である。  
【００３２】
本実施形態の底板押さえ部２２は、カセット本体部１０の内壁１０ａを一周するように形成されている。この例では、短冊状の細長く延びる密閉部材２４も、同様に一周するように形成されている。したがって、図４（ｂ）に示すように、底板押さえ部２２の下面に、密閉部材２４を介して底板２０を押し付けると、底板２０によって底面開口部１４を塞ぐことができ、加えて、密閉部材２４によって底板押さえ部２２と底板２０との間の隙間を塞ぐことができる。このようにして、本実施形態の構成により、カセット本体部１０の内部と外気（エア）とを遮ることができる。  
【００３３】
なお、図４（ｂ）に示す例では、底板２０は、金属（例えば、アルミニウム）から構成されており、一例では、カセット本体部１０の一部（及び／又は底板押さえ部２２）の材料と同じ材料から構成されていてもよい。また底板２０の厚さＴ３は、例えば、２ｍｍ〜３ｍｍ程度である。なお、底板２０に発生するたわみが大きい場合には、底板２０の上部の少なくとも一部に（例えば、底板２０の周縁領域以外の部分に）、補強材（例えば、Ｌ字アングル）を設けることも可能である。  
【００３４】
本実施形態の構成において、底板２０は、底板押さえ部２２の密閉部材２４に押し付けられているが、底板２０と密閉
部材２４とは、互いに、接着などによる一体化はされていない。具体的には、底板２０は、カセット本体部１０の重みに基づく底板押さえ部２２の下方に働く力と、地上（置台３２）側から延びるつっかえ棒３０の上方に働く力とによって固定されているにすぎない。したがって、底板２０は、カセット本体部１０を上方に持ち上げれば、つっかえ棒３０の上に載置されたままとなり、それゆえ、簡単に、カセット本体部１０の底面開口部１４は開放されることになる。  
【００３５】
本実施形態のカセット本体部１０は、箱形形状を有している。例えば、カセット本体部１０の辺の部分をフレーム構造で作製して、カセット本体部１０の面の部分をパネル構造で作製することができる。その場合、フレーム構造の部分は、金属（例えば、アルミ、鉄、ステンレスなど）から構成され、パネル構造の部分は、樹脂板、金属板（例えば、アルミ板）などから構成され得る。  
【００３６】
図１及び図２に示した構成例では、カセット本体部１０の骨格はフレーム構造を有しており、そして、カセット本体部１０の側面（左面・右面）１１Ａおよび上面１１Ｂはパネル構造（例えば、金属板）によって覆われている。この例では、カセット開口部１２は、カセット本体部１０の前面に形成されているが、前面に加えて後面に形成してもよい。カセット本体部１０の前面と後面との両方にカセット開口部１２を形成した場合には、前後の両方から基板４０を出し入れすることが可能となる。  
【００３７】
なお、必ずしも、カセット開口部１２以外のカセット本体部１０の側面のすべてにパネルを設けなくてもよい。例えば、カセット本体部１０の側面にパネルがない形態において、底板２０が設けられている構成であっても、カセット本体部１０を載せたカセット搬送車が走行したときのエア（ダスト）の巻き上がりを抑制する効果が得られる。  
【００３８】
カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２には、その開口を塞ぐための閉塞板を設けることができる。なお、カセット開口部１２を塞ぐことができる構成であれば、閉塞板は、種々の構成をとることができる。加えて、上述したように、閉塞板を設けない構成でも、本実施形態の底板２０を設けたことによる効果を得ることができる。  
【００３９】
次に、図５を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００から底板２０を外して底面開口部１４を開放するステップについて説明する。  
【００４０】
まず、図２に示した状態から、カセット本体部１０を上昇させる。底板２０は、カセット本体部１０（特に、底板押さえ部２２及び密閉部材２４）と一体になっているわけでないので、図５に示すように、底板２０は底面開口部１４から外れて、底面開口部１４は密閉状態から開放状態になる。カセット本体部１０は、例えば、別途設置された昇降装置によって上昇することができる。  
【００４１】
次に、図６及び図７を参照しながら、カセット本体部１０の底面開口部１４に実質的に底板２０を残したままワイヤーカセット１００を搬送するステップについて説明する。  
【００４２】
まず、図６に示すように、底板２０の下方でつっかえ棒３０の間にあるスペース３７に、カセット本体部１０を昇降する昇降アーム３５を挿入する。なお、図１には、カセット本体部１０の下部には昇降アーム３５を挿入するためのアーム挿入開口部３１が形成されており、ワイヤーカセット１００の構成によっては、そのようなアーム挿入開口部３１を適宜設けることも可能である。  
【００４３】
次に、図７に示すように、カセット本体部１０の下端１５を昇降アーム３５で支えながら、昇降アーム３５を上昇させると、底板２０は、つっかえ棒３０から離れて、底板２０が底面開口部１４を実質的に塞いだ状態でカセット本体部１０を上昇させることができる。また、昇降アーム３５が水平方向（前後・左右）にも移動可能な構成にされている場合は、昇降アーム３５によって、実質的に底板２０で塞いだ状態のままカセット本体部１０を水平方向にも搬送することができる。  
【００４４】
昇降アーム３５によって上に持ち上げられたカセット本体部１０を、つっかえ棒３０が形成された置台３２の上に置けば、底板２０で塞いだ状態でカセット本体部１０を保管することができる。昇降アーム３５の構造または数は、カセット本体部１０を安定して昇降または搬送できるものであればよい。また、つっかえ棒３０の間にあるスペース３７（つっかえ棒３０の間のスペース）は、昇降アーム３５が挿入できる空間があればよいので、広いものでも狭いものであってもよい。  
【００４５】
次に、図８及び図９を参照しながら、本実施形態のワイヤーカセット１００から基板４０を搬出するステップについて説明する。  
【００４６】
図８に示すように、底面開口部１４を開放した状態でカセット本体部１０を下方させて、ローラーコンベア６１を底面開口部１４内に挿入させる。なお、カセット本体部１０を固定し、ローラーコンベア６１を上方させることによって底面開口部１４内に挿入させることもできる。なお、本実施形態では、基板搬送装置として、ローラーコンベア６１を例示したが、これに限らず他の装置（例えば、エア浮上コンベア）を用いることも可能である。  
【００４７】
次に、図９に示すように、ローラーコンベア６１を上昇させて、ワイヤー６０の間に通して、ローラーコンベア６１と基板４０とを接触させ、次いで、ローラーコンベア６１によって基板４０を持ち上げる。次いで、基板４０とワイヤー６０とを離した状態で、ローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０を水平方向に移動させる。それにより、基板４０は、カセット開口部１２から払い出され、ワイヤーカセット１００の外に位置する搬送装置６４の上に移動する。その後は、基板４０は必要な工程に供されたり、必要な場所に保管されたりする。  
【００４８】
一番下の段の基板４０の払い出しが終了すると、次に、その上の基板４０の払い出しが実行される。具体的には、ローラーコンベア６１を更に上昇させて、ワイヤー６０の間に通し、そのローラーコンベア６１のローラ部を回転させて、基板４０（下から２番目の基板４０）をカセット開口部１２から払い出しする。この工程を順次繰り返して、全ての段の基板４０の払い出しを完了する。  
【００４９】
本実施形態のワイヤーカセット１００によれば、カセット本体部１０の底面に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０と、底板２０の下面を支えるつっかえ棒３０と、底板２０の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部２２及び密閉部材２４とを備えているので、底面開口部１４を簡便に密閉および開放できるワイヤーカセット構造を実現することができる。
【００５０】
このような簡便な構造によって底面開口部１４の密閉および開放ができると、ワイヤーカセット１００を常にクリーンルームに置いておかなくても、必要に応じて、底面開口部１４を底板２０で密閉して、ワイヤーカセット１００をクリーンルームの外に移動させることができる。これにより、基板４０をクリーンルームの外でも搬送・保管することが容易になり、クリーンルームについての工場（例えば、液晶パネル製造工場）の設備コストを大幅に低減させることが可能となる。  
【００５１】
ここで、本実施形態のワイヤーカセット１００と、他のワイヤーカセット（比較例）とを比較して検討してみる。本実施形態における底面開口部１４を底板２０で塞ぐ構成以外には、次のようなものも考えることができる。  
【００５２】
図１０は、摺動部１２５を備えたスライド式構造の底面カバー１２０を備えたワイヤーカセット１１００（比較例）を示している。なお、図１０に示したワイヤーカセット１１００では、基板４０が出し入れされるカセット開口部１１２を前面カバー１１５で覆っている。  
【００５３】
カセット本体部１１０の底面開口部１１４には、スライド構造（摺動部）１２５が設けられている。そして、底面開口部１１４を塞ぐ底面カバー１２０は、スライド構造１２５で摺動しながら水平動作（矢印５４）を行う。この場合、基板４０が収納されているカセット本体部１１０の内部の近傍において、そのスライド構造１２５がダスト発生源となる。したがって、これではクリーンルームでの使用に適さない。  
【００５４】
また、図１１は、底面カバー１２１が扉開閉構造１２７を有する形態のワイヤーカセット１２００を示している。図１１に示した扉開閉構造１２７を持ったワイヤーカセット１１００の場合、底面カバー１２１の開閉において回動スペース（５６）を確保しておく必要があり、それゆえに、多くの占有面積が必要なカセットとなってしまう。したがって、この構成では、占有面積の小さい開閉構造を有するワイヤーカセットにはならない。  
【００５５】
以上のように、本実施形態のワイヤーカセット１００と比較して、ワイヤーカセット１１００および１２００は何れも欠点があり、構造上、その欠点を解決するのが困難である。一方、本実施形態のワイヤーカセット１００は、そのような欠点を回避することができる。また、比較例のワイヤーカセット１１００及び１２００では、底面カバー（１２０、１２１）を開閉する上で独自の機構（１２５、１２７）を取り付けなければならないのに対し、本実施形態のワイヤーカセット１００では、そのような独自の機構を取り付けなくても、カセット本体部１０の昇降動作によって、カセット本体部１０の底面開口部１４の開閉を簡便に実行することができる。その点においても、本実施形態の構成は技術的に大きな価値を有する。  
【００５６】
さらには、本実施形態のワイヤーカセット１００では、底面開口部１４の開閉において、占有スペースの小さい構造を実現できている。すなわち、図１０に示したワイヤーカセット１１００の場合には、底面カバー１２０を動かすための占有スペース（水平方向５４のスペース）が必要となる。そして、図１１に示したワイヤーカセット１２００の場合には、底面カバー１２１を動かすためにカセット本体部１１０の下方に大きなスペースが必要となり、これではローラーコンベアの動作の妨げにもなる。  
【００５７】
一方、本実施形態のワイヤーカセット１００によれば、ワイヤーカセット１００の底板２０は、つっかえ棒３０の上に載置された状態か、あるいは、底面開口部１４を塞いだ状態のいずれかであるので、ワイヤーカセット１００の底面の周囲をシンプルにすることができる。したがって、本実施形態の構成によれば、占有スペースの小さい構造を実現することができる。  
【００５８】
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。  
【００５９】
例えば、カセット本体部１０の底面開口部１４は、底板押さえ部２２及び密閉部材２４と底板２０によって完全に塞がれていることが好ましいが、一部少しだけ塞がれていない箇所があったとしても、カセット本体部１０の内部へ外気（エア）が侵入し難い構造となっていれば、それだけでも技術的価値がある。また、密閉部材２４を外して、底板押さえ部２２と底板２０とによって底面開口部１４を塞ぐ形態であっても、外気の侵入は抑制されるので、技術的な意義は十分ある。さらに、底板押さえ部２２は、底板２０の周縁部の全周にわたって押さえなくても、底板２０の周縁部の上面を例えば複数箇所押さえることによって、外気侵入の抑制効果を得ることができる。  
【００６０】
また、底板押さえ部２２は、カセット本体部１０の内壁から延びているが、必ずしも、カセット本体部１０の内壁に底板押さえ部２２の一部が直接接触している必要はない。すなわち、カセット本体部１０の内壁と、底板押さえ部２２の一部との間に他の部材を介して、カセット本体部１０の内壁に底板押さえ部２２が設けられていてもよい。また、密閉部材２４の少なくとも表面に摩擦度が高い材料（例えば、樹脂）を用いた場合には、ワイヤーカセット１００の搬送の加速や振動に対して底板２０がずれることを抑制する効果を得ることもできる。さらに、本実施形態では、複数のワイヤーによって基板４０を収納可能なワイヤーカセットの構成例について説明したが、本実施形態の技術
はワイヤーカセットに限らず、ワイヤー以外の手段で基板４０を収納する基板収納カセット（例えば、棚片の張り出し形式の収納カセット）に適用可能なものである。  
【００６１】
加えて、底板２０の下面を支えるつっかえ棒３０は、図２に示した置台３２に配置した構成に限らず、他の構成であってもよい。例えば、図１２に示すように、昇降アーム３５の上面につっかえ棒３０ａを配置する構成にして、そのつっかえ棒３０ａで底板２０を支えることも可能である。図１２に示した構成の場合、カセット本体部１０を昇降アーム３５で支えながら、つっかえ棒３０ａによって底面２０を密閉部材２４に接触させることができ、それによって底面開口部１４を塞ぐことができる。また、底板２０の下面を支える部位は、置台３２に配置されたつっかえ棒３０を省略して、昇降アーム３５のつっかえ棒３０ａによって構築することも可能である。さらに、カセット本体部１０の下に凹部３３を設けるためのかさ上げ構造としては、図２に示した凹部３３を持った置台３２の構造に限らず、凹部３３を設けるための高さを確保する部材をカセット本体部１０の側に設けた構造にしても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明によれば、底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１０ カセット本体部
１０ａ 内壁
１２ カセット開口部
１４ 底面開口部
２０ 底板
２２ 底板押さえ部
２４ 密閉部材
３０ つっかえ棒
３１ アーム挿入開口部
３２ 置台
３５ 昇降アーム
４０ 基板
６０ ワイヤー
６１ ローラーコンベア
６４ 搬送装置
１００ ワイヤーカセット
１１００、１２００ ワイヤーカセット
【図１】
2010134491.tif 000003
【図２】
2010134491.tif 000004
【図３】
2010134491.tif 000005
【図４】
2010134491.tif 000006
【図５】
2010134491.tif 000007
【図６】
2010134491.tif 000008
【図７】
2010134491.tif 000009
【図８】
2010134491.tif 000010
【図９】
2010134491.tif 000011
【図１０】
2010134491.tif 000012
【図１１】
2010134491.tif 000013
【図１２】
2010134491.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月31日(2011.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係るカセットは、基板を収納するカセットであり、内部に基板が配置されるカセット本体部と、前記カセット本体部の側面に形成され、前記基板が出し入れされるカセット開口部と、前記カセット本体部の底面に形成された底面開口部と、前記底面開口部を塞ぐ底板と、前記底板の下面を支えるつっかえ棒と、前記つっかえ棒で支えられている前記底板の周縁部の上面を押さえる底板押さえ部とを備える。
ある好適な実施形態において、前記つっかえ棒は、前記底面開口部の下方に位置する置台に配置されている。
ある好適な実施形態において、前記底板押さえ部と前記底板との間の隙間を密閉する密閉部材が形成されている。
ある好適な実施形態において、前記密閉部材は、前記底板押さえ部の下面に形成された弾力性部材である。
ある好適な実施形態において、前記底板押さえ部は、前記カセット本体部の内壁を一周するように形成されている。
ある好適な実施形態において、前記つっかえ棒は、複数本設けられており、前記底板の下方領域で、前記つっかえ棒の間のスペースには、前記カセット本体部を昇降する昇降アームが挿入される。
ある好適な実施形態において、前記カセット本体部の内部には、複数のワイヤーが配列されており、前記基板は、ガラス基板であり、前記ガラス基板は、前記ワイヤーによって支持され、前記底面開口部には、前記ガラス基板を移動させる基板搬送装置が挿入される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記密閉部材は、前記底板押さえ部の下面に形成された弾力性部材である、請求項３に
記載のカセット。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記底板押さえ部は、前記カセット本体部の内壁を一周するように形成されている、請
求項１から４の何れか一つに記載のカセット。
【国際調査報告】
2010134491.tif 000015
2010134491.tif 000016