【事件の表示】
　特許第３１４１３９０号「ブレーズ化ホログラムの製造方法、ブレーズ化ホログラム及び光ヘッド装置」の請求項５、６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１４１３９０号の請求項５、６に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第３１４１３９０号の請求項５及び６に係る発明は、平成２年９月４日に特許出願され、平成１２年１２月２２日にその特許の設定登録がなされ、その後異議申立人田村典子により特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年１月２５日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断
　（ア）訂正の内容
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項５を、次のように訂正する。
「（５）　ブレーズ化ホログラムであって、前記ブレーズ化ホログラム面内において複数の分割領域を形成し、少なくとも２つの分割領域の格子縞の延びる方向は互いに異なっておりかつ、前記ブレーズ化ホログラムのパターン上の前記複数の分割領域すべてにおいてパターン平面内のある特定の一方向についての格子縞のピッチ成分が略等しく形成されていることを特徴とするブレーズ化ホログラム。」
　
　（イ）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａに係る訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
　
　（ウ）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）（以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
（３）特許異議の申立について
　（ア）申立の理由の概要
　申立人田村典子は、証拠として甲第１号証〔「ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮ‐ＡＬ　ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ　ＯＮ　ＯＰＴＩＣＡＬ　ＭＥＭＯＲＹ　１９８７　（１９８７年９月１６〜１８日）　テクニカルダイジェスト」第１９５〜１９８頁〕を提出し、本件請求項５及び６に係る発明の特許は、甲第１号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるので、本件請求項５及び６に係る発明の特許を取り消すべき旨、さらに、本件明細書及び図面の記載には不備があり特許法第３６条第４項及び第６項第１号、第２号の要件を満たしていないので、本件請求項５及び６に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
　
　（イ）本件請求項５及び６に係る発明
　上記「（２）訂正の適否についての判断」で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項５及び６に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項５及び６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「（５）　ブレーズ化ホログラムであって、前記ブレーズ化ホログラム面内において複数の分割領域を形成し、少なくとも２つの分割領域の格子縞の延びる方向は互いに異なっておりかつ、前記ブレーズ化ホログラムのパターン上の前記複数の分割領域すべてにおいてパターン平面内のある特定の一方向についての格子縞のピッチ成分が略等しく形成されていることを特徴とするブレーズ化ホログラム。
　
（６）　光源と、光ビームを受光してその光量に応じた出力を発生するように構成された光検出器と、前記光源より放射された光ビームを受けて情報担体へ収束させる対物レンズと、前記情報担体上で反射した光ビームを前記対物レンズを透過させて受けて、前記光ビームを分岐して、前記光ビームを受光してその光量に応じた出力を発生するように構成された光検出器に導く分岐手段を具備した光ヘッド装置であって、前記分岐手段が請求項５記載のブレーズ化ホログラムであることを特徴とする光ヘッド装置。」
　
　（ウ）引用刊行物
　当審が平成１３年１１月１２日付で通知した取消理由で引用した刊行物［甲第１号証〔「ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ　ＯＮ　ＯＰＴＩＣＡＬ　ＭＥＭＯＲＹ　１９８７　（１９８７年９月１６〜１８日）　テクニカルダイジェスト」第１９５〜１９８頁〕］には、
「２．光学的構成
　このヘッドの光学的構成を図１に示す。この光学ヘッドは４つの光学素子から成っている。このうち、ホログラフィック光学素子（ＨＯＥ）は４つの異なるホログラムから成っている。個々のホログラムＨ１〜Ｈ４には、レーザダイオード（ＬＤ）から出射される点光源からの光（球面波）と、光検出器（ＰＤ）上の点Ｐｎ（ｎ：１〜４）から出射される点光源からの光（球面波）とにより発生する干渉縞がそれぞれ記録されている。
　ＨＯＥを通して透過された光はイメージングレンズによってディスク上に収束される。ディスク上で反射された光は球面波となり、イメージングレンズによって収束され、ＨＯＥを照射し、ＬＤの発光点に収束される。各ホログラムＨ１〜Ｈ４上に入射された入射光は、回折され、Ｐ１〜Ｐ４にそれぞれ収束する。
　ダブルナイフエッジ法とプッシュプル法の原理を用いて、フォーカスエラー信号とトラッキングエラー信号が導き出される。
　
３．光の利用効率
　この光学ヘッドでは、透過光とＨＯＥによる１次回折光の両方が用いられる。このため、光の利用効率の合計は、透過効率と１次回折効率とを積算したものである。
　長方形のレリーフ型である薄い表面レリーフ型ホログラムを用いる場合、光の利用効率の合計の理論最大値は１／π２（１０．１％と等しい）である。この光学ヘッドでは用いられていない−１次光の効率が、信号検出に用いられる十１次光の効率と等しい値であるため、この理論最大値は限られている。したがって、光の利用効率の合計を高い値にするためには、同じ透過効率のもとで十１次光のみを高める必要がある。これは、非対称のレリーフ型ホログラムを用いることにより達成される。
　鋸歯形状のレリーフ型ホログラムを用いる場合、光の利用効率の合計は理論最大値となり、１６．２％となる。図２に示すように、実際のホログラムのレリーフ形状は、鋸歯形状のレリーフ形状による傾斜がある。この図では、ｄがこの傾斜の値を示している。図３に、ｄと光の利用効率の合計ηとの関係を示す。この図では、ホログラムφ０の上部と下部との位相遅れは、パラメータとなっている。イオンビームエッチング（ＩＢＥ）法により作製されたホログラムでは、ｄは約０．７〜０．９であった。今回の条件下では、位相遅れが約０．８π〜πであるとき、１４％を上回る高い効率が実現される。したがって、作製条件はそれほど厳格ではない。この理論推定によると、ＩＢＥ法を用いて、効率が１４．７％のホログラムが作製された。この値は反射損を含んでいる。」（第１９５頁第１６行〜第１９６頁第２８行）が記載されている。
　
　（エ）特許法第２９条第２項違反について
　　（対比・判断）
　本件請求項５に係る発明と上記刊行物に記載の発明とを対比すると、刊行物に記載の発明は、本件請求項５に係る発明を特定する事項である「ブレーズ化ホログラムのパターン上の複数の分割領域すべてにおいてパターン平面内のある特定の一方向についての格子縞のピッチ成分が略等しく形成されている」点を備えておらず、この点により本件請求項５に係る発明は、明細書記載の効果を奏するものであり、本件請求項５に係る発明が上記刊行物に記載された発明であるとも、刊行物に記載の発明から容易に推考することができたものともいえない。
　
　本件請求項６に係る発明は、本件請求項５に係る発明の構成を、構成の一部としたものであるから、本件請求項５に係る発明と同様の判断となる。
　
　（オ）特許法第３６条違反について
　平成１４年１月２５日付の訂正で、明細書及び図面の記載不備については解消した。
　
　（カ）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件請求項５及び６に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項５及び６に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項５及び６に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年４月１５日（２００２．４．１５）
【訂正の要旨】
　（訂正の要旨）
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項５を、次のように訂正する。
「（５）　ブレーズ化ホログラムであって、前記ブレーズ化ホログラム面内において複数の分割領域を形成し、少なくとも２つの分割領域の格子縞の延びる方向は互いに異なっておりかつ、前記ブレーズ化ホログラムのパターン上の前記複数の分割領域すべてにおいてパターン平面内のある特定の一方向についての格子縞のピッチ成分が略等しく形成されていることを特徴とするブレーズ化ホログラム。」
（５４）【発明の名称】
ブレーズ化ホログラムの製造方法、ブレーズ化ホログラム及び光ヘッド装置
（５７）【特許請求の範囲】
　（１）　ホログラム作製材料上に第１のマスキングパターンを選択的に形成し、前記第１のマスキングパターンをマスクとして前記ホログラム作製材料の一部をエッチングする工程と、前記第１のマスキングパターンを除去し、再び前記ホログラム作製材料上に第２のマスキングパターンを形成し、前記ホログラム材料表面に対して直角とは異なる方向からイオンビームを照射して前記ホログラム材料の一部を選択的にエッチングし、前記材料表面にのこぎり歯状表面を形成する工程とを備えたことを特徴とするブレーズ化ホログラムの製造方法。
　（２）　請求項１記載のブレーズ化ホログラムの製造方法において、マスキングパターンは、パターン上の任意の部分においてパターン平面上のある一方向についての格子ピッチがほぼ等しく形成されていることを特徴とするブレーズ化ホログラムの製造方法。
　（３）　請求項１または２の何れかに記載のブレーズ化ホログラムの製造方法において、イオンビームの入射ベクトルのホログラム作製材料表面への射影ベクトルの方向が、マスキングパターンの格子ピッチがほぼ等しく形成されている方向と同一であることを特徴とするブレーズ化ホログラムの製造方法。
　（４）　放射光源と、前記放射光源により出射する光ビームを情報担体上へ集光する集光手段と、前記情報担体上で反射した光ビームを前記集光手段を通して受けて回折光を発生するホログラムと、前記回折光を受けて受光した光量を電気信号に変換するフォトディテクターとを具備する光ヘッド装置において、前記ホログラムが請求項１〜３何れかに記載の方法で作製されたホログラムであることを特徴とする光ヘッド装置。
　（５）　ブレーズ化ホログラムであって、前記ブレーズ化ホログラム面内において複数の分割領域を形成し、少なくとも２つの分割領域の格子縞の延びる方向は互いに異なっておりかつ、前記ブレーズ化ホログラムのパターン上の
前記複数の分割領域すべて
　（６）　光源と、光ビームを受光してその光量に応じた出力を発生するように構成された光検出器と、前記光源より放射された光ビームを受けて情報担体へ収束させる対物レンズと、前記情報担体上で反射した光ビームを前記対物レンズを透過させて受けて、前記光ビームを分岐して、前記光ビームを受光してその光量に応じた出力を発生するように構成された光検出器に導く分岐手段を具備した光ヘッド装置であって、前記分岐手段が請求項５記載のブレーズ化ホログラムであることを特徴とする光ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
　産業上の利用分野
　本発明は、任意の次数の回折効率を制御することのできるブレーズ化ホログラムの作製法および情報担体上の情報を読み書きする、前記ホログラムを利用した光ヘッド装置に関するものである。
　従来の技術
　ホログラムに光が入射した時、一般的には＋１次回折光だけではなく高次の回折光やこれらに共役な回折光も生じるが、たとえば＋１次回折光のみが必要な場合はホログラムの断面形状を左右非対称にする。すなわちブレーズ化することによって共役な回折光の回折効率を不均一にして＋１次回折光の回折効率を高くすることができる。この時の断面形状は第５図に示すようなのこぎり歯状であることが望ましい。このブレーズ化ホログラムの作製方法は、たとえば第６図に示すように（ａ）ホログラム作製材料１の表面にフォトレジスト２を塗布してクロムマスク３をかぶせて露光した上で現像してマスキングパターン５１を作製し、（ｂ）ホログラム作製材料１の表面に対してななめ方向からイオンビーム４を照射することによって（ｃ）のようなブレーズ化ホログラム８１を得るというものである。（ｄ）は（ｃ）の要部拡大で、斜面Ａ，Ｂが非対称形状となっている。
　またさらに第７図のように複数回のエッチングを繰り返す、すなわち第７図（ｃ）の後、レジスト２００，マスク３００を形成して露光（ｄ），現像（ｅ）を行ってマスキングパターン５００を形成し、この状態でエッチングして（ｆ）のごとく、表面が近似的にのこぎり歯状のブレーズ化ホログラム８２を得ることができることが知られている。またホログラムを用いて光ヘッドの光学系を簡略化したものとして、最近では、第８図に示すようなものがある。（例えば、特開昭６４−６２８３８号公報）第８図において、１２は半導体レーザ等の放射光源である。この光源から出射した光ビーム１６（レーザ光）はホログラム８３を透過して集光手段１３に入射し、情報担体１４上に集光される。情報担体１４上で反射した光ビームはもとの光路を逆にたどってホログラム８３に入射する。このホログラム８３から生じる復路の＋１次回折光１０はフォトディテクタ１５に入射する。フォトディテクタ１５の出力を演算することによって、サーボ信号及び、情報信号を得ることができる。ここで集光手段１３が駆動装置１００によって、ホログラム８３に対して独立に可動な構成においては、集光手段１３がトラック追従などによって動いた時にホログラム８３上での光ビームも動く。このためフォトディテクタ１５上での＋１次回折光の像も動いてサーボ信号に悪影響が出る。これに対して第８図では、ホログラム８３と集光手段１３は、駆動装置１００に対して一定の相対位置を保持して設けられているので、トラッキング制御のために駆動装置１００によって集光手段１３が移動しても情報担体１４から反射した光ビームは、ホログラム８３上でほとんど移動しない。従って、集光手段１３の移動にもかかわらず、フォトディテクタ１５から得られる信号は劣化しない。
　発明が解決しようとする課題
　しかしながら、第６図に示した方法で得られる断面形状は第６図（ｄ）に示した拡大図のようになる。すなわち図Ａが垂直にならず傾斜をもつ。さらに斜面Ｂが凹型になる。このように従来の方法では、第５図ののこぎり歯状の断面形状とは異なった断面形状しか得られないため共役な回折光の強度比を充分に得ることができないという課題がある。さらにまた第７図に示した従来例ではブレーズ化ホログラム８２において得られる断面形状か階段状のため、やはり共役な回折光の強度比を大きくとることができない。さらに第７図の方法では複数回のエッチングをするため、パターン合わせにグレーティングピッチの数％（例えば１０μｍピッチのグレーティングでは０．２μｍ程度）という非常な高精度を必要とし作製が困難であるという課題を有する。また、前述の光学系構成によれば、第９図に示すように、放射光源１２から情報担体１４へ至る光路（以後、往路と呼ぶ）においても、ホログラム８３から回折光が発生するため、この回折光も情報担体１４上で反射して集光手段１３によってフォトディテクタ１５上に導かれる。情報担体１４から反射して集光手段１３によって集光され、ホログラム８３によって回折してフォトディテクタ１５に至る光路（以後、復路と呼ぶ）で発生する＋１次回折光１０を信号検出に用いるとすると、往路に発生する−１次回折光１１のうち復路の０次回折光９１もまたフォトディテクタ１５上で復路の＋１次回折光と同じ位置に入射する。往路の−１次回折光１１で、復路の０次回折光９１となったビームと往路の０次回折光９中、復路の＋１次回折光１０は、情報担体１４上の異なる位置で反射しているので当然異なる情報をもっていることになる。したがって、かかる集光手段とホログラムを一体化した構成の光学系は、往路の一次光１１によってサーボ信号や情報信号の質が低下するという課題を有する。本発明は、理想的なのこぎり歯状に近い断面形状を持つブレーズ化ホログラムを容易かつ高精度に製造することのできる方法を得ることを目的とする。また、本発明は、Ｓ／Ｎ比の良い信号検出のできる光ヘッド装置を提供することを目的とする。
　課題を解決するための手段
　本発明では上記の課題を解決するため、エッチングによって矩型状の断面形状をつくり、さらにマスキングパターンを表面に作製して斜め方向からイオンビームを照射してブレーズ化ホログラムを作製する。また、このホログラムを用いて光ヘッドを構成する。すなわち、本発明の方法は、ホログラム作製材料上に第１のマスキングパターンを選択的に形成し、前記第１のマスキングパターンをマスクとして前記ホログラム作製材料の一部をエッチングする工程と、前記第１のマスキングパターンを除去し、再び前記ホログラム作製材料上に第２のマスキングパターンを形成し、前記ホログラム材料表面に対して直角とは異なる方向からイオンビームを照射して前記ホログラム材料の一部を選択的にエッチングし、前記材料表面にのこぎり歯状表面を形成する工程とを備えたものである。さらにまた、本発明はこうして形成されたホログラムを用いた光ヘッドを提供する。
　作用
　本発明の、エッチングによって矩型状の断面形状をつくった上で、さらにマスキングパターンをつくってから斜め方向にイオンビームエッチングを施すことによって、パターン合わせの精度が緩和され、かつ斜め方向に照射するイオンビームのエッチング量が少ないので、より、のこぎり歯状に近い断面形状を得ることができ、共役な回折光の回折効率差を大きくすることができる。そして、本発明は、Ｓ／Ｎ比の良好な信号検出のできる光ヘッドを実現することが可能となる。
　実施例
　本発明では第１図に示すように、光ｌ１による（ａ）の露光，（ｂ）の現像の後、レジストパターン５１にてまずエッチングによって、ホログラム作製材料１の表面に（ｃ）のような矩型の断面形状を作製した後、（ｄ），（ｅ）に示すように、クロムマスク７１と光ｌ２にてレジストによるマスキングパターン５を再び形成し、イオンビーム４を斜め方向に照射して材料１の表面をエッチングし、（ｆ）のようなのこぎり歯状の断面形状をもつブレーズ化ホログラム８を作製する。
　斜め方向に照射したイオンビーム４によって、のこぎり歯状の断面が形成される過程を第１図（ｇ）に示す。第１図（ｇ）は（ａ）〜（ｆ）に比べて拡大された図である。ここで、ホログラム作製材料１のうち、１ａの部分は、斜め方向のイオンビーム４によってエッチングされている。マスキングパターン５の被エッチング部５ａのエッチングが進むにつれてホログラム作製材料の被エッチング部１ａも拡大し、やがて第１図（ｆ）に示すようなのこぎり歯状の断面形状を得ることができる。本発明によれば、第１図（ｅ）において斜め方向にイオンビーム４を照射することによってエッチングを行なう量が第６図に示した従来例に比べて少ないので、第６図ＡやＢのような、理想的なのこぎり歯形状からのずれが小さくなり、よりのこぎり歯状に近い断面形状を得ることができる。また、第１図（ｅ）のマスキングパターン５は第２図に示すようにやや広めにつくることが可能である。すなわち第２図に示すごとく、材料１の凸部６の左端よりもｄ１だけ左側へマスキングパターン５がはみだして形成されてもイオンビーム４によってエッチングされるため矩型の断面をつくる防げにはならない。むしろ凸部６の左側を垂直に保つために、マスキングパターン５を積極的に幅広くしても良い。また、凸部６の中心線Ｌ１よりもｄ２だけ右側ヘマスキングパターンがはみ出していても、はみ出した部分がエッチングされてからホログラム作製材料１がエッチングされ始めるので、やはりのこぎり歯状の断面形状を得る防げとはならない。このように第１図の方法はマスキングパターン５をやや広くすることが可能であるので第１図（ｄ）の露光においてクロムマスク７１の位置合わせ精度を緩和することができる。
　次に、ブレーズ化ホログラム８は例えば第３図のように領域をＨ１〜Ｈ４に分割して用いることが考えられるが、この場合第３図に示すようにある一方向（Ｘ方向）に対するピッチＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４をすべてほぼ等しくし、しかも第１図（ｅ）において入射させるイオンビーム４の入射方向をベクトルで表わしたときに、そのブレーズ化ホログラム８表面への斜影ベクトルの方向をＸ方向と一致させることにより、分割領域Ｈ１〜Ｈ４のどの領域をとっても、のこぎり歯の高さ（第１図（ｆ）のｈ）を一定にすることができる。この理由を以下に示す。第１図（ｅ），（ｆ）のようにイオンビーム４の入射方向をあらわすベクトルを含んで、ブレーズ化ホログラム８の表面に垂直な断面図を考える。イオンビーム４のブレーズ化ホログラム８への入射角は一定であるため、のこぎり歯をこのような断面図で見ると、斜面の角度は一定になる（第１図（ｆ）のθ）。そこでこの断面に添ったった方向、すなわち第１図（ｆ）や第３図に示すＸ方向に対するピッチＰを一定にすることによりｈ＝Ｐｔａｎθも、一定にすることができる。このように、ｈを一定にするということはすなわちすべての分割領域（Ｈ１〜Ｈ４）の位相変調振幅を一定にするということであり、これによってすべての領域の回折効率を一定にすることができる。従ってすべての分割領域（Ｈ１〜Ｈ４）において、＋１次回折光の回折効率を概ね１００％にするということができる。さらにまた、本発明の作製方法により作製したホログラムの断面形状はのこぎり歯状に非常に近くなるため、０次と＋１次の回折効率を高くして−１次の回折効率を低くすることも容易にできる。そこで、このホログラムを第４図に示すような光ピックアップ装置に用いることによって、光の利用効率を向上し、かつ、往路にブレーズ化ホログラム８から発生する回折によって生じる迷光も減少させることができる。これについて、以下に詳しく述べる。放射光源１２から出射した光ビーム１６がブレーズ化ホログラム８に入射する。光ビーム１６のうち、ブレーズ化ホログラム８を透過した光、すなわち往路の０次回折光９は集光手段１３によって情報担体１４の上に集光される。往路の０次回折光９は情報担体１４で反射されて再びもとの光路を逆にたどってブレーズ化ホログラム８に入射する。そしてブレーズ化ホログラム８から回折した復路の＋１次回折光１０をフォトディテクタ１５で受光して電気信号に変換し、フォーカスサーボ信号やトラッキングサーボ信号などのサーボ信号や、情報信号を得ることができる。このとき信号検出に用いられる光の利用効率Ｅは
　Ｅ＝Ｅ０×Ｅ＋１　　　　　　　　　　　　　　　‥‥（１）
となる。ここでＥ０とＥ＋１はそれぞれ０次と＋１次の回折光の回折効率を示す。従って、各種信号のＳ／Ｎ比を向上する目的で光の利用効率を高くするためにはＥ０とＥ１をなるべく大きくする必要があり、本発明で前に述べたブレーズ化ホログラムを用いる必要があることがわかる。さらにまた、光ビーム１５がブレーズ化ホログラム８に入射した時に往路の−１次回折光１１も生じるが情報担体１４で反射した往路の−１次回折光のうち、ブレーズ化ホログラム８を透過した光は、迷光としてフォトディテクタ１５に入射する。迷光は検出信号のＳ／Ｎ比を低下させるので、−１次回折光の回折効率を極力小さくする必要がある。このためにも本発明で前述したブレーズ化ホログラムが有効であることがわかる。
　発明の効果
　以上に述べたように、本発明ではより理想的なのこぎり歯に近い断面形状を持つブレーズ化ホログラムを作製でき、共役な回折光の回折効率の差を大きくすることができる。また、このブレーズ化ホログラムを用いてＳ／Ｎ比の良い信号検出のできる光ヘッド装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明の通常のエッチング工程と斜方からイオンビームを入射させる工程を組み合わせた本発明の一実施例のブレーズ化ホログラムの作製法を示す工程断面図、第２図は第１図（ｅ）の拡大図、第３図は本発明の他の実施例のホログラムパターンを示す説明図、第４図は本発明の前記ブレーズ化ホログラムを用いて構成した光ヘッド装置の線図的説明図、第５図は理想的なのこぎり歯状の断面形状を有するブレーズ化ホログラムの断面図、第６図（ａ）〜（ｄ）は従来例におけるブレーズ化ホログラムの作製法を示す工程断面図、第７図（ａ）〜（ｆ）は他の従来例におけるブレーズ化ホログラムの作製法を示す工程図、第８図は従来の光ヘッド装置の概略断面図、第９図は従来の光ヘッド装置における往路の−１次回折光と復路の＋１次回折光の光路を示す説明断面図である。
　１……ホログラム作製材料、２……フォトレジスト、３，７１……クロムマスク、４……イオンビーム、５，５１……マスキングパターン、６……凸部、９……往路の０次回折光、１０……復路の＋１次回折光、１１……往路の−１次回折光、１２……放射光源、１３……集光手段、１４……情報担体、１５……フォトディテクタ、１６……光ビーム。