【事件の表示】
　特許第３１０８９３０号「インクジェットヘッド及びその製造方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１０８９３０号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
本件特許第３１０８９３０号に係る発明は、平成２年１１月１５日に特許出願され、平成１２年９月１４日にその特許権の設定の登録がなされ、その後、徳間功より特許異議申立がなされ、次いで、取消理由通知が平成１３年８月２８日付け及び平成１４年５月１４日でなされ、その指定期間内である平成１４年５月２４日に訂正請求がなされたものである。なお平成１３年１０月３１日付けの訂正請求書は取り下げられた。
２．訂正請求について
（２−１）．訂正の趣旨及び訂正の内容
訂正請求の趣旨は、特許第３１０８９３０号の明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正することを求めることである。
イ．訂正事項１、
特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正を目的として
「【請求項１】インク吐出ノズルと連通する天窓、底壁、側壁から構成された複数の平行な流路を有し、前記側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させ、前記ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドいおいて、表裏に前記複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板と、中央圧電素子板の表裏にそれぞれ積層された前記中央圧電素子板の溝部に対応する溝部が形成された上側圧電素子板、下側圧電素子板とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。」を
「【請求項１】インク吐出ノズルと連通する天壁、底壁、側壁から構成された複数の平行な流路を有し、前記側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させ、前記ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面を加工することにより表裏に前記複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板と、中央圧電素子板の表裏にそれぞれ積層された前記中央圧電素子板の溝部に対応する溝部が形成された上側圧電素子板、下側圧電素子板とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。」と訂正する。
ロ．訂正事項２
　上記訂正事項１による特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を回避するために、明瞭でない記載の釈明を目的として、[課題を解決するための手段]の欄中の「天窓」を「天壁」と、「インクジェットいおいて、表裏に複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板」を「インクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより表裏に複数の平行な流露をなる溝が形成された中央圧電素子板」と訂正する。
ハ．訂正事項３
　上記訂正事項１による特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を回避するために、明瞭でない記載の釈明を目的として、[発明の効果]の欄中の「天窓」を「天壁」と、「インクジェットいおいて、表裏に複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板」を「インクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより表裏に複数の平行な流露をなる溝が形成された中央圧電素子板」と訂正する。
　
（２−２）訂正の目的の適否、および新規事項・拡張・変更の存否
　上記訂正事項１の「一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより」との訂正部分は、「中央圧電素子板」における溝が、一方の面の溝列を形成した後この溝列を基準に他方の溝を加工することにより形成されたものである、と限定するものである。なおこの限定事項は、特許明細書の[発明の効果]の欄中の「圧電特性を大きく左右する流路溝間の位置精度を、中央圧電素子板の一方の面に形成された流路溝列を基準に、他方の面の流路溝を加工することが可能になるため、流路溝列内の溝間隔を正確にすることができ、また同時に流路溝列間の位置制度も容易に向上することができる。」との記載にもとずくものである。また「いおいて」を「において」と訂正は誤記の訂正であり、「天窓」は底壁、側壁とともに流路を構成する部分を示すものであるから、「天窓」は「天壁」の誤記と認められる。以上のことから、上記訂正事項１は特許請求の範囲の減縮および誤記の訂正に該当する。
　上記訂正事項２及び３は、特許請求の範囲の欄の記載と、発明の詳細の説明の欄の記載との不整合を回避するために行う、明瞭でない記載の釈明に該当するものということができる。　
　これらの訂正事項１〜３は、願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内の訂正であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（２−３）独立特許要件の判断
　特許異議の申立がされていない請求項２について訂正されているので（請求項２に関しては、訂正された請求項１を引用している）、訂正明細書の請求項２に係る発明について、独立特許要件の判断をする。
　本件請求項２に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項２に記載されたとおりのものであり（以下、「訂正後発明２」という）、訂正明細書の請求項１を引用しており、本件請求項１に係る発明（以下、「訂正後発明１」という）は、訂正明細書の請求項１に記載されたとおりのものであるから、訂正後発明１の独立要件を検討する。
　これに対して、当審が先に通知した取消理由で提示し、異議申立人が甲第１号証として提出した特開平２−２６３６５０号公報（以下、「引用例１」という）には、特に第４頁右上欄第５行〜右上欄１４行、同左下欄７行〜右下欄第１行、第５頁左上欄第１５行〜右上欄１６行の記載、及び第１図、第２図、第５図を参照すると、オリフィスプレート１４は、各インク室３３、３４の開口部断面中央に相当する箇所にそれぞれオリフィスノズル３８を有し、第１のインク室ベース１６の溝と第１のインク室カバーブロック１８の溝とは、複数のインク室３３を形成し、第２のインク室ベース２８の溝と、第２のインク室のカバーブロック３０の溝との間で複数のインク室３４を形成し、駆動用ＩＣ２２および図示されない駆動用ＩＣは、外部から送られる印字情報に応答して、駆動配線パターン２６を介して各側壁電極２０、３２に所定の電圧を印加し、第１のマルチノズルヘッド１０は、櫛状の複数の側壁１２を隔てて形成された複数の溝を有し、かつ圧電セラミック等の圧電材料からなる第１のインク室ベース１６とを含み、第２のマルチノズルヘッド１２は、圧電セラミックス等からなる第２のインク室ベース２８を含み、第１のインク室ベース１６に形成された溝と同様の形状を有する溝が下面に形成され、第１のインク室ベース１６の上面に固定され、圧電セラミックス等からなる第１のインク室カバーブロック１８とを含み、第２のインク室ベース２８の下面に固定され、第２のインク室ベース２８との間で複数のインク室３４を形成する、圧電セラミクス等からなる第２のインク室カバーブロック３０とを含むことが記載されている。　
　異議申立人が甲第２号証として提出した特開昭６３−３１２１５８号公報（以下、「引用例２」という）には、特に第３頁右上欄第４行〜第１１行の記載、及び第１図、第２図を参照すると、カバープレートの両側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノズルをカバープレートを挟んで千鳥状に配置するようにしたので、隣接するインクノズルの間隔をカバープレートの各々の側のインクノズルの間隔の半分に縮小することができ、インクジェット記録ヘッドの解像度の向上と小形化に効果があることが記載されている。
　訂正後発明１と、上記引用例１及び引用例２とを比較すると、訂正後発明１の構成の内の「一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより表裏に前記複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板」（以下、「構成要件＠」という）については、何れの引用例にも記載がなく、またそれを窺わせる示唆もなく、当該技術分野において自明な技術的事項でもなく、また引用例１と引用例２の記載事項を相互に適用しても本件請求項１に係る発明に到達することができたと認定することが出来ない。
　そして、訂正後発明１は、上記構成要件＠を具有することにより、訂正明細書の[発明の効果]の欄に記載の特有の作用効果を奏するものである。
　従って本件訂正後発明１は、上記引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　また、他に本件訂正後発明１が独立して特許を受けることができない理由を発見しない。
　そして、上記したように、訂正後発明２は、訂正後発明１を更に技術的に限定したものであるから、上記本件訂正後発明１についての判断と同様の理由により、上記引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。したがって本件訂正後発明２は、特許出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
（２−４）訂正の適否のむすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立について
（３−１）本件訂正後発明
　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「訂正後発明１」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものと認める。
【請求項１】インク吐出ノズルと連通する天壁、底壁、側壁から構成された複数の平行な流路を有し、前記側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させ、前記ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面を加工することにより表裏に前記複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板と、中央圧電素子板の表裏にそれぞれ積層された前記中央圧電素子板の溝部に対応する溝部が形成された上側圧電素子板、下側圧電素子板とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
（３−２）特許異議申立の理由の概要
特許異議申立人徳間功は、甲第１号証（特願平２−２６３６５０号公報）、甲第２号証（特開昭６３−３１２１５８号公報）を提出し、本件請求項１に係る特許発明は、本件特許出願前に国内において頒布された甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本件請求項１に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許に対してされたものであるから、その特許を取り消すべき旨主張している。
（３−３）判断
  上記甲第１号証及び甲第２号証は、それぞれ上記引用例１及び引用例２であって、前記２．（２−３）独立特許要件の判断で示したように、本件訂正後発明１は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明から容易に当業者が発明できたものであるとはいえない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件特許異議申立ての理由及び提出された証拠方法によっては、本件訂正後発明１についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正後発明１についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件訂正後発明１についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
  よって特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月２３日（２００２．７．２３）
【訂正の要旨】
本件訂正は、特許請求の範囲の減縮、誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の記載を、下記の（１）ないし（３）のように訂正するものである。
（１）訂正事項１、
特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正を目的として
「【請求項１】インク吐出ノズルと連通する天窓、底壁、側壁から構成された複数の平行な流路を有し、前記側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させ、前記ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドいおいて、表裏に前記複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板と、中央圧電素子板の表裏にそれぞれ積層された前記中央圧電素子板の溝部に対応する溝部が形成された上側圧電素子板、下側圧電素子板とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。」を
「【請求項１】インク吐出ノズルと連通する天壁、底壁、側壁から構成された複数の平行な流路を有し、前記側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させ、前記ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面を加工することにより表裏に前記複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板と、中央圧電素子板の表裏にそれぞれ積層された前記中央圧電素子板の溝部に対応する溝部が形成された上側圧電素子板、下側圧電素子板とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。」と訂正する。
（２）訂正事項２
　上記訂正事項１による特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を回避するために、明瞭でない記載の釈明を目的として、［課題を解決するための手段］の欄中の「天窓」を「天壁」と、「インクジェットいおいて、表裏に複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板」を「インクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより表裏に複数の平行な流露をなる溝が形成された中央圧電素子板」と訂正する。
（３）訂正事項３
　上記訂正事項１による特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を回避するために、明瞭でない記載の釈明を目的として、［発明の効果］の欄中の「天窓」を「天壁」と、「インクジェットいおいて、表裏に複数の平行な流路となる溝が形成された中央圧電素子板」を「インクジェットヘッドにおいて、一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより表裏に複数の平行な流露をなる溝が形成された中央圧電素子板」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
インクジェットヘッド及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　［請求項１］　インク吐出ノズルと連通する
天壁
において
一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより
　［請求項２］　前記中央圧電素子板は前記流路長手方向において、前記上、下側圧電素子板と積層されない部分を有し、この部分においてＦＰＣと接続されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
　［請求項３］　中央圧電素子板、上側圧電素子板、下側圧電素子板を分極処理する工程と、その後前記中央圧電素子板の表裏面にそれぞれの面の溝部が半ピッチずれるように溝部を形成する工程と、前記上側圧電素子板及び下側圧電素子板に前記中央圧電素子板の溝部に対応する溝部を形成する工程と、前記各圧電素子板の溝部に対応する電極を形成する工程と、上記により形成された前記中央圧電素子板の表裏に上側圧電素子板、下側圧電素子板をそれぞれ接合する工程とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
　［請求項４］　前記中央圧電素子板の表裏に上側圧電素子板、下側圧電素子板をそれぞれ接合した後、前記上側圧電素子板、下側圧電素子板にインク供給流路となる溝部を流路並び方向に形成する工程を備えたことを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明はインク液滴を画像記録媒体上へ選択的に付着させるインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
［従来の技術］
　近年、液体インクを圧電部材の変形圧力により吐出・記録させるインクジェットヘッドが数多く提案されている。
　従来のインクジェットヘッドの構造は、特開昭６３−２５２７５０号公報、あるいは特開昭６３−２４７０５１号公報に開示された装置はその前駆をなすものである。
　これらはインク吐出ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路からなり、該流路は天部、底部、そして流路の長手方向および長手方向とノズル並び方向の両方に垂直に伸びる側壁により区画されている。該流路の一端は複数のノズルを有するノズルプレートに接続し、他の一端はインクを各チャンネルに補充するインク供給手段に接続する。該側壁はその一部あるいは全体が圧電物質で構成され、電気的アクチュエート手段により剪断モードなどのアレイ方向に平行な変形を引き起こし、該流路内の圧力を変化させノズルからインク滴を噴出させるものであった。
［発明が解決しようとする課題］
　しかし上記従来例では、流路列は１列だけであり、ノズルの高密度化、高集積化が図れる構造となっていない。又、安価に効率よく製造する方法について述べられていない。
　本発明は、かかる問題を解決すべくなされたものであり、本発明の第１の目的は、高密度でかつ高集積化可能なインクジェットヘッドを供給することにある。本発明の第２の目的は、上記高密、高集積化したヘッドをより安価に効率よく生産することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
　上記目的を達成する為、本発明のインクジェットヘッドは、インク吐出ノズルと連通する
天壁
において
一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより
　また、係るインクジェットヘッドにおいて、中央圧電素子板は流路長手方向において、上、下側圧電素子板と積層されない部分を有し、この部分においてＦＰＣと接続されていることを特徴とする。
　本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、中央圧電素子板、上側圧電素子板、下側圧電素子板を分極処理する工程と、その後中央圧電素子板の表裏面にそれぞれの面の溝部が半ピッチずれるように溝部を形成する工程と、上側圧電素子板及び下側圧電素子板に中央圧電素子板の溝部に対応する溝部を形成する工程と、各圧電素子板の溝部に対応する電極を形成する工程と、上記により形成された中央圧電素子板の表裏に上側圧電素子板、下側圧電素子板をそれぞれ接合する工程とを備えたことを特徴とする。
　また、係るインクジェットヘッドの製造方法において、中央圧電素子板の表裏に上側圧電素子板、下側圧電素子板をそれぞれ接合した後、上側圧電素子板、下側圧電素子板にインク供給流路となる溝部を流路並び方向に形成する工程を備えたことを特徴とする。
［実施例］
　第１図は、本発明に於けるインクジェットヘッドの典型的な実施例を示した斜視図である。
　図において符号１は、中央圧電基板であり、上下両面に溝を形成している。２は夫々上下の圧電基板であり、片面に溝を形成し、中央圧電基板の溝と合わさってインク流路５を形成している。このようにして上下２列のインク流路をもつヘッドが構成される。インクはインク供給口４より供給され、流路５を通ってノズル穴７から吐出される。流路５内壁は電極が形成されており、中央圧電板上に設けられた電極３につながっている。電極３はさらにフレキシブルプリンティットサーキット（ＦＰＣ）８を介してドライバーへとつながる。
　このヘッドの吐出原理は第２図、第３図に示す如くである。これらの図は便宣的に１列の流路のみを示している。図において５は正面から見た流路であり、インクが満たされている。９は電圧素子を駆動する為の制御回路及びドライバーである。図で１０は圧電素子の分極方向を表す。このように構成した回路により、分極方向に垂直な電界を発生させると第３図中央流路の如く側壁が変形し、流路内圧力を高め、ノズルよりインク滴を噴出できる。偶数番号の流路と、奇数番号の流路を交互に駆動して印字を実現することになる。
　以上の如きインクジェットヘッドの製造方法について順を追って説明する。
　まず、中央圧電素子と上下圧電素子の３枚を１組として準備する。中央圧電素子厚みは、上下圧電素子の略２倍相当である。また、流路方向長さＬは、電極外部取り出し分だけ中央圧電素子が上下圧電素子に比し長い。巾は流路の数により決定する。圧電素子は、ＰＺＴ系の圧電セラミクスを使用した。夫々の圧電素子板の上下面にスパッタリング、無電解メッキ等により電極を付与し、数１００Ｖの電界をかけ分極処理を行う。これは一般に用いられている方法である。こうして分極処理された各圧電素子板に流路となる溝を形成する。
　第４図ａ，ｂに溝加工をほどこしたは中央圧電素子板を示す。溝巾は、１００μｍ、側壁巾は７０μｍで加工した。深さは、２００μｍ〜４００μｍで必要なインク吐出量に応じて変えた。溝の列ピッチは各列１５０ｄｐｉ（ｄｏｔ／ｉｎｃｈ、約１７０μｍピッチ）で、上下面で半ピッチずつずらし上下合成で３００ｄｐｉ構成となるようにしてある。第４図（ｂ）は断面図であるが、図の左手方向よりダイシングのブレードを入れ、必要距離を走査した後垂直方向に引き上げる。従って図に示すＲはブレードのＲと略同等である。第５図は、同様に上下を構成する圧電素子板の溝加工後の状態を示すものである。
　このように溝を形成した各圧電素子板の溝付き面にスパッタリング又は無電解メッキ等の方法により電極を付与する。この電極は将来インクと接液する可能性がある為、インクに対し非活性であることが望ましい。従って本実施例ではＮｉ無電解メッキを約１μｍ行い、その上にＡｕの０．１μｍフラッシュメッキを施した。その後各流路毎に電極を分割する。分割にはフォトリソグラフィー法やレーザートリミング法を用いる。特にフォトリソグラフィー方法に関しては、立体加工となる為、フォトレジストはディッピングにより塗工する。このときレジストの粘度は３０ｍＰａ’ｓｅｃであることが望ましい。
　第６図（ａ），（ｂ）に分割された電極の様子を示す。電極は側壁上面で分割し、流路の内壁全体を覆う構造である。第６図（ｂ）は流路正面から見た断面図である。
　その後、中央圧電素子板及び上下圧電素子板を溝に合わせて第７図の如くに接着する。接着は各の全面にわたって接着剤により塗工される。接着剤は耐薬品性の高いエポキシ系樹脂接着剤を用いた。第８図は貼合わせ後の断面図であるが１１部により上下圧電素子電極との電気的導通が図られている。導通剤には銀エポキシ系導通剤や、低融点半田ペーストを用いた。最後に第８図１２部にダイシイング等によるカッティングを上下電圧基板に入れインク供給流路を形成する。そしてノズルプレート、インク供給管、ＥＰＣを取り付けて、第１図の如きヘッドとして完成する。
　以上製造方法について説明してきたが、使用した圧電素子材料や、電極材料及び各種接着剤は上記記述のものに限定されるものではなく、例えば圧電材料としてはＬｉＮｂＯ３等の圧電性単結晶や、高分子圧電材料等を用いることも可能である。
　これまで述べてきたような構成、製造方法により、量産性があり、安価かつ高解像度、高密度なインクジェットヘッドが実現できる。
［発明の効果］
　本発明のインクジェットヘッドによれば、インク吐出ノズルと連通する
天壁
において
一方の面に形成された溝列を基準に他方の面の溝を加工することにより
　また、係るインクジェットヘッドにおいて、中央圧電素子板は流路長手方向において、上、下側圧電素子板と積層されない部分を有し、この部分においてＦＰＣと接続されていることにより、中央圧電素子板の表裏で電極とＦＰＣが接続可能であるため、インクジェットヘッドの高密度化、高集積化を合理的に図ることができるという効果を有する。
　本発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、中央圧電素子板、上側圧電素子板、下側圧電素子板を分極処理する工程と、その後中央圧電素子板の表裏面にそれぞれの面の溝部が半ピッチずれるように溝部を形成する工程と、上側圧電素子板及び下側圧電素子板に中央圧電素子板の溝部に対応する溝部を形成する工程と、各圧電素子板の溝部に対応する電極を形成する工程と、上記により形成された中央圧電素子板の表裏に上側圧電素子板、下側圧電素子板をそれぞれ接合する工程とを備え、また係るインクジェットヘッドの製造方法において、中央圧電素子板の表裏に上側圧電素子板、下側圧電子板をそれぞれ接合した後、上側圧電素子板、下側圧電素子板にインク供給流路となる溝部を流路並び方向に形成する工程を備えたことにより、高解像度かつ高密度なインクジェットヘッドを精度良く合理的に形成することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明に於けるインクジェットヘッドの一実施例を示す斜視図。
　第２図、第３図は本発明のインクジェットヘッドのインク吐出原理を説明する図。
　第４図（ａ）、（ｂ）は中央圧電素子板に溝加工を施した図で、（ａ）が斜視図、（ｂ）が断面図。
　第５図は上下構成用圧電素子板の斜視図。
　第６図（ａ）、（ｂ）は電極形成の状態を表す図であり、（ａ）は斜視図、及び（ｂ）は断面図。
　第７図、第８図は、中央圧電素子板と上下圧電素子板を貼り合わせた後、インク供給路加工を行った夫々、正面図及び横断面図。
　　１……中央圧電素子板
　　２……上及び下側圧電素子板
　　３……電極
　　４……インク供給管
　　５……流路
　　６……ノズルプレート
　　７……ノズル口
　　８……ＦＰＣ（フレキシブルプリンティッドサーキッド）
　　９……駆動回路
　１０……分極方向
　１１……電極接着部分
　１２……インク供給