【事件の表示】
　特許第３０７６７７４号「透明なバリアフィルムとその製造方法」の請求項２、３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０７６７７４号の請求項２，３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０７６７７４号の請求項２，３に係る発明についての出願は、平成９年５月２９日に特許出願され、平成１２年６月９日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人凸版印刷株式会社により特許異議の申立がなされ、取消理由の通知（平成１３年７月１２日付け）がなされ、その指定期間内である平成１３年９月１７日に訂正請求がなされたものである。
　　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容
（１）訂正事項ａ        
　特許請求の範囲の請求項２の
「【請求項２】透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０-4〜３．７×１０-4となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することを特徴とする、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムの製造方法。」を
「【請求項２】透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０-4〜３．７×１０-4となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することを特徴とする、前記フィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを製造することができる、透明なバリアフィルムの製造方法。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、特許請求の範囲の請求項１に記載される「透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に、酸化アルミニウム膜を設けてなる透明なバリアフィルムであって、前記酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであること、及び該バリアフィルムの酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上であることを特徴とする透明なバリアフィルム。」を製造することができる方法であることを明確にするために、訂正前の請求項２の「酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムの製造方法」を、「フィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、」上記所定の酸素透過度、水蒸気透過度、及び全光線透過率を有する「透明なバリアフィルムを製造することができる、透明なバリアフィルムの製造方法」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　そして、上記訂正事項は願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内のものであって新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
２−３．むすび
　したがって、上記訂正は、特許法１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立についての判断
３−１．特許異議申立の概要
　特許異議申立人凸版印刷株式会社は、下記の甲第１〜４号証を提出し、請求項２，３に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項２，３に係る発明の特許は、第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。
　甲第１号証：特開平８−９２７２７号公報
　甲第２号証：特開昭５８−２２２４４４号公報
　甲第３号証：特開昭４９−１２２４９８号公報
　甲第４号証：特開平８−３２５７１０号公報
　　
３−２．本件発明
　上記２で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項２，３に係る発明（以下、「本件発明２，３」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項２，３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
  「【請求項２】透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０-4〜３．７×１０-4となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することを特徴とする、前記フィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを製造することができる、透明なバリアフィルムの製造方法。
【請求項３】前記酸素ガスをアルゴンガスと混合して供給すること、及び前記酸素ガスとアルゴンガスの混合比率が容量で９５：５〜７０：３０であることを特徴とする請求項２の方法。」
　
３−３．各甲号証に記載された発明
　甲第１〜４号証には、それぞれ次のとおりの発明が記載されている。
甲第１号証：特開平８−９２７２７号公報
　「【産業上の利用分野】　本発明は、長尺なフィルム全体を通して、品質が均一で優れた酸素バリア性と水蒸気バリア性とを有する透明なガスバリア性フィルムを製造する方法に関するものである。」（段落【００１】）
　「金属酸化物の薄膜の厚さは、基材フィルムの厚さと最終的に得られる蒸着フィルムの使用目的に応じて、適宜選択することができる。本発明方法において薄膜の厚さは、５０〜５０００Åの範囲で選ぶのが好ましい。薄膜の厚さが５０Å未満では、ガスバリア性が不充分であり好ましくなく、・・・」（段落【００１５】）
　「実施例１　ロール状に巻かれた厚さ１２μ、幅１０００mm、長さ２４０００ｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム・・・に、イソシアネート化合物・・・と飽和ポリエステル・・・を１：１に配合した混合物をコーターで塗布した。これを乾燥させて、厚さ約０．１μｍのアンカーコート層を形成しながら巻取った。この時、あらかじめ、巻芯から表層まで巻硬度が７７〜８０の範囲となるように、巻取りテンション、接圧を調べておき、この巻取り条件を採用した。・・・ついで、巻取り式真空蒸着装置を使用し、上記基材フィルムを巻戻しながら、アンカーコート面に、８×１０-5（Torr）の真空下で、金属酸化物としてのＳｉＯを高周波誘導加熱方式で蒸発させ、厚さ４００〜６００Åの珪素酸化物の薄膜を形成して、目的の蒸着フィルムを得た。・・・
実施例２　実施例１に記載の例において、ＳｉＯをＡｌに代え、蒸着時の圧力を４×１０-4（Torr）となるように、酸素ガスを導入しながらＡｌ2Ｏ3薄膜形成を行ったほかは、同例に記載したと同様な方法で蒸着フィルムを得た。得られた蒸着フィルムを巻戻して、酸素透過率、透湿度等を測定した結果を、表１に示した。」（段落【００２０】〜【００２２】）
　表１には、実施例２で作製したＡｌ2Ｏ3 薄膜を形成したフィルムの酸素透過率（cc/m2day）及び透湿度（g/m2day）が基材フィルムの巻量（m）に対して、以下のように示されている。
　基材フィルムの巻量　　　　　酸素透過率　　　　　　透湿度
　　　　２０００　　　　　　　　１．５　　　　　　　２．５
　　　　６０００　　　　　　　　１．６　　　　　　　１．９
　　　１２０００　　　　　　　　１．４　　　　　　　２．３
　　　２４０００　　　　　　　　１．２　　　　　　　２．５
甲第２号証：特開昭５８−２２２４４４号公報
　「（１）金属薄膜の磁性層の表面上に、この磁性層に用いた主材料とは異なる材料を主とした金属酸化物層を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。」（特許請求の範囲第１項）
　「第１図に連続式真空蒸着法による製造装置を示す。真空排気装置１３により１０-4Torr以下の条件下にある真空槽１内に、巻取、巻出し用の軸２と軸３があり、軸の下部に蒸着用キャン５が設けられている。蒸着基板である高分子基板４は本実施例では１０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用い、この高分子基板４は、巻出し軸２からキャン５に密着して、巻取軸３に経っている。蒸発源１０はキャン５の下部の耐火レンガ１１に入れられていて、加熱源１２により加熱蒸発する。蒸発原子６は、下部仕切板８の間からキャン５上に接した高分子基板４に向って飛散し、この基板上に蒸着による薄膜層を形成する。９は蒸発原子が、巻取、巻出し軸方向へ飛散するのを防止するための仕切板である。このような真空蒸着装置において、最初に蒸発源１０をコバルトＣｏ、ニッケルＮｉの８０：２０の合金とし、これを加熱蒸発して、第３図に示す如く高分子基板４上に約１０００Åの金属薄膜１４を蒸着形成した後、蒸発源をアルミニウムＡｌに交換して、上記コバルト・ニッケル合金との同一の方法で約１００〜２００Å蒸着する。このＡｌ蒸着の場合には仕切板８の上に設けた酸素ノズル７から酸素を３．０l/min供給した。」（第２頁右上欄第１１行〜左下欄第１４行）
　第１図には、高分子基板４を巻出し軸２から蒸着用キャン５を経て巻取軸３に移送し、蒸着用キャン５上で高分子基板４に蒸着膜を形成するものであって、下部の蒸発源１０から加熱蒸発した蒸発原子６がその間を通過する間隔のあいた下部仕切板８，８の上に、巻出し軸２側及び巻取軸３側に設けられた２つの酸素ノズル７，７は上方の蒸着用キャン５方向に向いている真空蒸着装置が記載されている。
甲第３号証：特開昭４９−１２２４９８号公報
　「高真空容器中に於てＡｌを原子若しくはイオンの状態とし、上記高真空容器に酸素含有ガスを流入することにより、・・・基板上に生成する酸化物の生成速度を０．００５Å／ｓｅｃ〜５００Å／ｓｅｃの範囲内の速度に保ちながら、基板上に付着させることにより、上記基板上に上記金属の酸化物膜を直接形成させることを特徴とするアルミニウム酸化物膜の製造方法。」（特許請求の範囲）
　「理論的には平衡酸素圧によって生成する酸化物組成が決定されるのであるが、実際には蒸着速度が早く且つ下地温度が５００℃以下と低いために平衡に達しない。・・・従って、金属の蒸着により酸化物膜を生成させる時には・・・主として金属原子（分子又はイオン）と酸素の量との比が換言すれば金属の蒸気圧と酸素圧との比が重要である。・・・種々の蒸着条件の内で酸素分圧、生成速度を制御すれば、Ａｌ金属を蒸発源とし、基板上にアルミニウム酸化物膜を直接形成させることができるという新知見を得・・・」（第３頁左下欄第１〜１８行）　
  「本発明方法によれば、極めて平滑で密着性がよく耐蝕性、耐薬品性であり、高密度で透明性であり且つ電気絶縁性のよいアルミニウム酸化物膜を簡単な工程で経済的に得ることができる。本発明方法によれば・・・基板は・・・プラスチックス・・・等の耐熱性のない有機材料でもよく、更に膜厚制御が簡単で、しかも１０Åから数１００μまでの膜厚を作ることも可能である。」（第５頁右上欄第１１〜末行）
　「実施例１　真空室中に設置された基板面に対して垂直上方に開口する酸化性ガス導入口と、基板面と蒸発源との間に開閉自在のシャッターとを設置した・・・真空室をもつバッジ式真空蒸着槽を用い、基板としてパイレックスガラス、蒸発源としてＡｌ金属を使用し、・・・Ａｌ金属の蒸着を行なった。先ず、シャッターを閉じた状態で・・・Ａｌ金属を加熱して蒸発させる。次いで酸化性ガス導入口より・・・酸素ガスを・・・０．１５l/minの流量で真空室中に導入して真空度を７×１０-4Toｒｒに下げ、この真空度で一定となる様に酸素ガス導入量及び排気量を調整する。真空度が７×１０-4Toｒｒで一定した状態（この場合の真空室中の酸素分圧は約７×１０-4Toｒｒである。）となるとシャッターを開け、基板上に２５Å／secの生成速度で５００sec蒸着した・・・。・・・こゝに得られたアルミニウム酸化物膜はＡｌ2Ｏ3であり、その膜厚は１．２５μで・・・透明性を有し、可視光線の透過率は９５％であった。」（第５頁左下欄第８行〜第６頁左上欄第２行）
甲第４号証：特開平８−３２５７１０号公報
　「【発明の属する技術分野】本発明は、基材の表面に金属酸化物を蒸着する方法、とくに透明で水蒸気バリア性等に優れた包装用蒸着フイルム、あるいは耐湿性に優れたコンデンサ用蒸着フイルムの製造、または光学的反射防止フイルムの製造に最適な方法、および該方法によって作られた蒸着フイルムに関する。」（段落【０００１】）
　「・・・図１は、本発明方法を実施するための一装置例の概略構成図であり、真空蒸着機内に設けられた蒸発源６と冷却ドラム２、及び反応槽１、反応空間１０部分を示している。金属酸化物が形成される基材３（本実施態様ではプラスチックフイルム）は、図の左方より供給されて冷却ドラム２の表面上を左方より右方に搬送され、反応空間１０にて金属酸化物を蒸着された後、図の右方に送り出されて巻き取られる。蒸発源６は・・・ここでは金属ワイヤー８が供給されるワイヤーフィード方式の加熱ルツボを示す。７は溶融金属であり、９は蒸発金属の飛翔空間（金属蒸気飛翔空間）を示しており、１０はガス導入部４、４′より供給される少なくとも酸化性ガスを含むガスによって形成されたプラズマと蒸発源６より飛翔してきた金属蒸気が反応する反応空間である。」（段落【０００７】〜【０００９】）
　「反応空間１０が１０mm未満では、反応が完全に進まず蒸着金属膜の酸化不足により透明性が悪くなる。なお、透明性を上げるため酸化性ガス量を上げるとガスバリア性能が悪化する。・・・」（段落【００１１】）
　「酸化性ガスとしては酸素、一酸化炭素、二酸化炭素、Ｎ2 Ｏ、ＮＯｘ（ｘ＝１、２）など、あるいはこれらの混合ガスが挙げられるが、中でも酸素ガスが反応性が最も高く、かつ不純物が残らないことから最も好ましい。なお酸素ガスに微量のＨ2 ガスやＣＯ2 ガスあるいはＨ2 Ｏを加えてもよいし、プラズマ中のガスのイオン化率を上げるためにＡｒ、Ｈｅなどの不活性ガスを加えてもよい。」（段落【００１４】）
　「本発明の方法によって、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン、ポリプロピレン等のポリオレフィン等の高分子基材に良好な透明性とバリア性を付与できる・・・。本発明によって二軸延伸ポリプロピレンに酸化アルミニウムをコーティング（蒸着）することによって、光線透過率が７０％以上９５％以下の透明性、および、水蒸気透過率が２．０ｇ／ｍ2 ・２４時間以下０．１ｇ／ｍ2 ・２４時間以上のバリア性を付与できる。」（段落【００１６】）
　「・・・実施例１〜５、比較例１〜４　・・・二軸延伸ポリプロピレンフィルムに、図１の蒸着装置にて、アルミニウムの酸化物を形成（蒸着）した。アルミニウム蒸着膜として１５０Åになるように・・・調整した。酸化性ガスとして酸素ガスを用い・・・光線透過率が７５％になるように酸素ガス量を調整した。酸素ガスはその２／３の量をフィルムの巻出し側（図１の左方）より供給し、残り１／３を巻取り側（右方）より供給した。・・・条件を表１に示すように変え、各種の酸化アルミニウム膜を形成したポリプロピレンフイルムを作成し、その水蒸気バリア性を測定した結果を同じく表１に示す。・・・」（段落【００２０】〜【００２２】）
　表１には、実施例１〜５で作製した酸化アルミニウム膜を形成したポリプロピレンフィルムの光線透過率（％）、及び水蒸気透過率（g/m2・24時間）が以下のように示されている。　
　　　　　　　　光線透過率　　　　　　水蒸気透過率
実施例１　　　　　　７５　　　　　　　　１．２　　
実施例２　　　　　　７５　　　　　　　　１．１
実施例３　　　　　　７６　　　　　　　　１．０
実施例４　　　　　　７８　　　　　　　　１．０
実施例５　　　　　　７７　　　　　　　　１．３
　
３−４．対比・判断
３−４−１．本件発明２について
　本件発明２は、透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するという方法において、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０-4〜３．７×１０-4となる関係で供給し、かつ、酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウム上方を覆うように実施することにより、透明プラスチックフィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを非常に効率よく安価に製造することができる、透明なバリアフィルムの製造方法である。（段落【００１０】、【００２４】参照）
　甲第１号証の実施例１には、巻取り式真空蒸着装置を使用し、透明プラスチックフィルム（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム）を巻戻しながら、Ａｌを蒸発させ、蒸着時の圧力が４×１０-4（Torr）となるように酸素ガスを導入しながら、フィルム上に厚さ４００〜６００Åの酸化アルミニウム膜を形成して透明なバリアフィルムを製造することが記載され、表１には、製造された透明なバリアフィルムの酸素透過率は１．２〜１．５cc/m2dayであり、透湿度（水蒸気透過度）は１．９〜２．５g/m2dayであることが開示されているが、酸化アルミニウム膜の厚さを３５〜５０Åとして、酸素透過率が１．５cc/m2day以下であり、水蒸気透過度が２g/m2day以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを製造することは記載されておらず、さらに、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０-4〜３．７×１０-4となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することは、記載も示唆もされていない。
　甲第２号証には、プラスチックフィルム（ポリエチレンテレフタレート基板）を、巻き出しロール（巻出し軸２）からドラム（蒸着用キャン５）を経て巻き取りロール（巻取軸３）に移送し、前記ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、間隔のあいた防着板（下部仕切板８，８）の上で巻き出しロール側及び巻き取りロール側にある２つのガス供給口（酸素ノズル７，７）から３．０l/minで供給して、約１００〜２００Åの酸化アルミニウム膜を形成することが記載されているが、蒸着速度は記載されておらず、さらに、第１図には、ガス供給口（酸素ノズル７，７）はドラム（蒸着用キャン５）の方向を向いていることが示されているから、酸素ガスの供給は、溶融アルミニウムの上方を覆うように実施するものであるとはいえても、防着板の内側に向けて実施されるものではなく、酸素ガスはドラムに実質的に直接接するものである。
　また、甲第２号証には、膜厚を３５〜５０Åに形成した酸化アルミニウム膜の酸素透過率、水蒸気透過度、及び全光線透過率に関しても記載されていない。
　甲第３号証には、アルミニウムを真空蒸着する場合に、基板としてプラスチックを使用することが示唆されているが、プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ロールドラムを経て巻き取りロールに移送し、冷却ドラム上でプラスチックフィルムにアルミニウムを真空蒸着することは記載されておらず、さらに、形成される酸化アルミニウム膜の組成に、酸素供給量及び蒸着速度の比が関係することが示唆され、生成速度を０．００５Å/sec〜５００Å/secの範囲に保ちながら蒸着することにより、平滑で密着性がよく耐蝕性、耐薬品性であり、高密度で透明、且つ電気絶縁性のよい酸化アルミニウム膜を、１０Å〜数１００μの膜厚で形成することができることが記載されてはいるが、形成される酸化アルミニウム膜が、３５〜５０Åの膜厚であっても、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上であるという特性を持つには、酸素供給量及び蒸着速度の比をどのように調整するかの記載はなく、実施例１記載の酸素供給量（０．１５l/min）と酸化アルミニウム膜生成速度（２５Å/sec）の比も１．０×１０-4であり、本件発明１の２．６×１０-4〜３．７×１０-4とは異なっている（特許異議意見書第７頁第２〜９行参照）。
　甲第４号証の実施例には、図１に示された真空蒸着装置において、透明プラスチックフィルム（二軸延伸ポリプロピレンフィルム）を、冷却ドラム２表面上を左方（フィルムの巻き出し側）より右方に搬送供給し、光透過率が７５％になるように酸素ガス量を調整し反応空間１０にて膜厚１５０Åの酸化アルミニウム膜を蒸着した後、右方（フィルムの巻き取り側）に送り出して巻き取ることにより、光線透過率が７５〜７８％で水蒸気透過率が１．０〜１．３g/m2・２４時間（表１参照）の透明で水蒸気バリア性に優れた包装用蒸着フィルムを製造することが記載されており、蒸発源６に面して反応空間１０を区画する反応槽１の部分は、本件発明１の防着板に相当するものであるといえる。
　しかし、酸素ガス導入部４，４’は、防着板の外側で、フィルムの巻き出し側と巻き取り側の２カ所に水平に向き合って設けられている（図１参照）から、酸素ガスは中央で衝突して冷却ドラムの方向に流れて、冷却ドラムに接してしまうものである（特許異議意見書第７頁第１８〜２８行参照）から、酸素ガスの供給は、巻き出し側に位置する防着板の外側から、透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、防着板の外側に位置するガス供給口から防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが冷却ドラム及び蒸発源である溶融アルミニウムのいずれにも直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施するものではない。
　さらに、酸素不足により透明性が悪くなり、透明性を上げるために酸素ガス（酸化性ガス）量を上げるとガスバリア性が悪化するとの記載はあるが、実施例における１５０Åの膜厚よりも薄い、３５〜５０Åの膜厚で水蒸気透過率が２g/m2・２４ｈｒ以下であり、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを製造するための酸素ガス供給量と蒸着速度との関係は何も開示されていない。
　以上のとおり、本件発明２と甲第１〜４号記載の発明を対比すると、甲第１〜４号証記載の発明は、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０-4〜３．７×１０-4となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施するという本件発明２を特定する事項を備えておらず、当該事項により本件発明２は、透明プラスチックフィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ2 ・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを非常に効率よく安価に製造することができるという特許明細書に記載のとおりの優れた効果を奏するものである。
　よって、本件発明２は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
３−４−２．本件発明３について　　
　本件発明３は、本件発明２を、酸素ガスをアルゴンガスと混合して供給すること、及び前記酸素ガスとアルゴンガスの混合比率が容量で９５：５〜７０：３０であるという事項によってさらに特定するものであるから、「３−４−１．本件発明１について」で述べた理由により、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
３−５．むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項２，３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものではないから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項２，３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年６月１８日（２００２．６．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項２の
「【請求項２】透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０−４〜３．７×１０−４となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することを特徴とする、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムの製造方法。」を
「【請求項２】透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０−４〜３．７×１０−４となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することを特徴とする、前記フィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である透明なバリアフィルムを製造することができる、透明なバリアフィルムの製造方法。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
透明なバリアフィルムとその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に、酸化アルミニウム膜を設けてなる透明なバリアフィルムであって、前記酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであること、及び該バリアフィルムの酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上であることを特徴とする透明なバリアフィルム。
　【請求項２】透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するものであって、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０−４〜３．７×１０−４となる関係で供給すること、及び前記酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウムの上方を覆うように実施することを特徴とする、
前記フィルム上に形成された酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åであっても、
透明なバリアフィルムを製造することができる、
　【請求項３】前記酸素ガスをアルゴンガスと混合して供給すること、及び前記酸素ガスとアルゴンガスの混合比率が容量で９５：５〜７０：３０であることを特徴とする請求項２の方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、食料品、医薬品、電子部品等の包装に特に適した透明なバリアフィルムに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　酸素、水蒸気等のバリア性に優れたバリアフィルムとしては、プラスチックフィルム上にアルミニウム箔やアルミニウム蒸着膜を積層したもの、塩化ビニリデンやエチレンビニルアルコール共重合体をコーティングしたもの、酸化珪素や酸化アルミニウムの蒸着膜を積層したものなどが知られている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、アルミニウム箔やアルミニウム蒸着膜の積層品は、経済性及びバリア性には富むが、不透明で包装時の内容物を透視することができず、更に、マイクロ波を透過しないため、電子レンジでの使用ができない欠点があった。また、塩化ビニリデンやエチレンビニルアルコール共重合体のコーティング品は、酸素、水蒸気等のバリア性が不十分で、特に高温処理においてバリア性の低下が著しく、用途に限度があり、更に、塩化ビニリデンは焼却時の塩素ガス発生により地球環境への影響も懸念される。
　【０００４】
　次に、酸化珪素蒸着品は、透明ではあるが褐色を呈しているので、透明なバリアフィルムとしては実用性に乏しく、また、硬くてクラックが入りやすい欠点があった。これに対して、酸化アルミニウム蒸着品は、透明でしかも褐色ではないが、特にハイバリア性を要求される分野で使用するには、バリア性が不十分であった。
　【０００５】
　本発明は、酸素バリア性、水蒸気バリア性及び透明性に優れ、食料品、医薬品、電子部品等の包装に特に適した透明なバリアフィルムを提供することを課題とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の透明なバリアフィルムは、透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に、酸化アルミニウム膜を設けてなる透明なバリアフィルムであって、酸化アルミニウム膜の厚さが３５〜５０Åと非常に薄く、しかもバリアフィルムの酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上であることを特徴とするものである。
　【０００７】
　本発明の製品は、透明プラスチックフィルムの少なくとも片面に、アルミニウムを真空蒸着する方法で、真空蒸着時に酸素ガスを、特殊な条件下で導入することにより製造することができる。
　【０００８】
　本発明の透明プラスチックフィルムとしては、通常包装材等に使用されるものがいずれも使用でき、例えば、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリアセタールフィルム、ポリイミドフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリエーテルサルフォンフィルム、ポリアクリル酸エステルフィルム、ポリメタクリル酸エステルフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリスチレンフィルム等が使用できる。
　【０００９】
　透明プラスチックフィルムは、無延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよく、また、帯電防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、熱安定剤等の各種の添加物を含んでいてもよい。
　更に、透明プラスチックフィルムは、ヘアーライン加工、マット加工等の各種の加工が施されていてもよい。
　透明プラスチックフィルムの厚さは特に限定されないが、可塑性、熱的特性、機械的特性等からは、２〜２５０μｍ、特に９〜１２５μｍ程度であるのが好ましい。
　【００１０】
　かかる本発明の製品は、透明プラスチックフィルムを、巻き出しロールから冷却ドラムを経て巻き取りロールに移送し、前記冷却ドラム上で前記フィルムにアルミニウムを真空蒸着するという方法において、真空蒸着時に、酸素ガスを、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０−４〜３．７×１０−４となる関係で供給し、かつ、酸素ガスの供給を、巻き出しロール側に位置する防着板の外側から、前記透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、前記防着板の外側に位置するガス供給口から該防着板の内側に向けて実施し、しかも、この際、酸素ガスが前記冷却ドラム及び蒸着源である溶融アルミニウムのいずれにも、実質的に直接接することなく、前記溶融アルミニウム上方を覆うようにするという方法で効率よく製造できる。
　【００１１】
　酸素ガスの導入時には、直流、交流、高周波、マイクロ波などにより酸素ガスを放電させてプラズマを発生させてもよい。放電させてプラズマを発生させた場合には酸素ガスがより活性化してアルミニウムと酸素との反応効率がよくなるので、より緻密で良質な酸化アルミニウム膜ができ易く、従って、より薄い蒸着膜厚で所望の効果を得ることができる。
　酸素ガスの導入時に放電させる場合、導入は酸素ガスのみの導入であってもよいが、酸素ガス中にアルゴンガスを少し混合して導入してもよい。アルゴンガスを混合した場合には、酸素ガスのみを導入した場合に比べて、より強いプラズマが発生して酸素ガスがより活性化するので、より緻密で良質な酸化アルミニウム膜ができ易く、より薄い蒸着膜厚で所望の効果を得ることができる。
　しかし、アルゴンガスの比率が増え過ぎると、酸化アルミニウムのフィルムへの到達を不完全なものとすると共に真空度を低下させるため、酸素ガスとアルゴンガスの混合比率は、容量で、９５：５〜７０：３０となるようにするのが好ましい。
　【００１２】
　酸素ガスの導入は、前述の如く、酸素ガス供給量（Ｌ／ｓｅｃ）／蒸着速度（Å／ｓｅｃ）が２．６×１０−４〜３．７×１０−４となる関係の供給量で、被蒸着体である透明プラスチックフィルムを移送する冷却ドラムの回転方向に、防着板の外側に設置したガス供給口から防着板の内側に向けて、蒸着源である溶融アルミニウムに直接接することなく、該アルミニウム上方を覆うようになされるが、これは、反応に寄与しない酸素の発生を極力制限し、しかも、被蒸着体である透明プラスチックフィルム以外に酸化アルミニウムが付着するのをできるだけ少なくして効率のよい蒸着を可能とするためである。
　【００１３】
　酸素ガス供給量が、酸素ガス供給量と蒸着速度との関係で２．６×１０−４より少ないと、全光線透過率が低下して透明性が悪くなる。
　酸素ガス供給量が、酸素ガス供給量と蒸着速度との関係で３．７×１０−４より多いと、透明性は良好であるが、酸素透過度や水蒸気透過度が上昇してバリア性が悪くなる。
　【００１４】
　酸素ガスの導入方向及びガス供給口の設置場所を誤ると、ガスが噴き出すガス供給管に酸化アルミニウムが付着したり、蒸着源である溶融アルミニウムが入っているルツボの上又はその近傍での酸化アルミニウムの堆積が多くなったりして、蒸着効率が低下する等の問題が生じる。
　また、蒸着源である溶融アルミニウムに向けて酸素ガスを導入すると、ルツボ中の溶融アルミニウムの表面に酸化アルミニウムが生成・成長して、蒸着源である溶融アルミニウムの蒸発面積が小さくなる。
　更に、冷却ドラムに向けて酸素ガスを導入すると、反応に寄与しない酸素が多くなるので好ましくない。
　【００１５】
　本発明では、酸化アルミニウム膜が、蛍光Ｘ線で測定した厚さ３５〜５０Åというような薄いものであっても、酸素バリア性、水蒸気バリア性及び透明性に優れた製品を得ることができる。
　従って、非常に生産性よく、安定して優れた酸素バリア性、水蒸気バリア性及び透明性の製品を得ることができる。
　【００１６】
　本発明の製品は、基材である透明プラスチックフィルムの透明性と遜色のない透明性あるいはそれ以上の透明性を保った状態で、酸素透過度を１．５ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ以下、水蒸気透過度を２ｇ／ｍ２・２４ｈｒ以下と著しく低下させることができたものであるが、本発明の製品は、例えば日本電色工業株式会社製のＮＤＨ−３００Ａで測定した全光線透過率で約８９．０％以上というように優れた透明性を有するのである。
　【００１７】
　【発明の実施の形態】
　次に実施例に基づいて本発明をさらに詳しく説明する。ただし、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。
　なお、実施例における物性値の測定方法等は下記の通りである。
〔水蒸気透過度〕
　規格：ＪＩＳ　Ｋ　７１２９（Ａ法）　４０℃×９０％
　装置：ＷＡＴＥＲ　ＶＡＰＯＲ　ＰＥＲＭＥＡＴＩＯＮ　ＴＥＳＴＥＲ　Ｌ８０−４０００Ｊ（スイス、リッシー社製）
　単位：ｇ／ｍ２・２４ｈｒ
〔酸素透過度〕
　規格：ＪＩＳ　Ｋ　７１２６（Ｂ法）　２３℃×７０％
　装置：ＭＯＣＯＮ　ＯＸ−ＴＲＡＮ　（米国、モダンコントロールズ社製）
　単位：ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ
〔膜厚〕
　酸化アルミニウムの蒸着膜厚は、蛍光Ｘ線で測定した。
　測定機械：システム３３７０型（理学電機工業社製）
〔全光線透過率〕
　測定機械：ＮＤＨ−３００Ａ（日本電色工業社製）
　【００１８】
　【実施例】
実施例１〜４及び比較例１〜５
　真空蒸着機中、巻き出しロール７から、冷却ドラム４を経て、巻き取りロール８に透明プラスチックフィルム３を移送し、冷却ドラム４上で該フィルム３にアルミニウムを真空蒸着するものであって、前記フィルム３として厚さ１２μｍの透明ポリエステルフィルム（二村化学社製のＦＥ２００１）を使用し、蒸着時に、酸素ガス１を、ガス供給口２から、図１の如く、フィルム３を移送する冷却ドラム４の回転方向に、防着板５の外側に設置したガス供給口２から防着板５の内側、蒸着源である溶融アルミニウムを入れたルツボ６の上方に向けて、溶融アルミニウムの上方を覆うように導入し、蒸着膜厚４０Åの酸化アルミニウム蒸着品を得た。
　加工条件及び製品の物性等を表１に示す。
　【００１９】
実施例５〜９及び比較例６〜７
　実施例１と同様の方法で、加工条件を変えて、蒸着膜厚４５Åの酸化アルミニウム蒸着品を得た。
　加工条件及び製品の物性等を表２に示す。
　【００２０】
実施例１０
　実施例１の方法において、酸素ガスの代わりに、予め２成分ガス混合器（エステック社のＳＥＣＢ−２）を使用して、酸素ガスとアルゴンガスを容量比で９０：１０となるように混合したガスを、ガス供給管２から導入すると共に、該ガスを高周波放電で活性化した以外は、実施例１と実質的に同様の方法を実施し、蒸着膜厚３８Åの酸化アルミニウム蒸着品を得た。
　加工条件及び製品の物性等を表３に示す。
　【００２１】
　【表１】
　【００２２】
　【表２】
　【００２３】
　【表３】
　【００２４】
　【発明の効果】
　本発明では、透明プラスチックフィルムの表面に厚さ３５〜５０Åというような極薄の酸化アルミニウム膜を形成するだけで、透明プラスチックフィルムの透明性を実質的に損なうことなく、安定して実用性ある水蒸気バリア性及び酸素バリア性を有する透明なバリアフィルムを得ることができる。
　酸化アルミニウム膜が極薄でありながら、酸素透過度が１．５ｃｃ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、水蒸気透過度が２ｇ／ｍ２・２４ｈｒ以下であり、全光線透過率が８９．０％以上である本発明の透明なバリアフィルムは、従来のアルミ箔やアルミニウム蒸着品では安定した包装ができなかった食料品の包装にも、安定して使用できるものであり、透明性を有
す
　また、本発明の製品は、溶融アルミニウムを蒸着源として、非常に効率よく安価に製造可能である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の製品を製造する方法の一例で使用する装置の説明図である。
　【符号の説明】
　１　酸素ガス
　２　ガス供給口
　３　透明プラスチックフィルム
　４　冷却ドラム
　５　防着板
　６　ルツボ
　７　巻き出しロール
　８　巻き取りロール