【事件の表示】
　特許第３２０１１９５号「塗膜形成物」の請求項１ないし５に係る発明についての特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２０１１９５号の請求項１ないし５に係る発明についての特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３２０１１９５号の請求項１〜５に係る発明についての出願は、平成６年１２月２８日に出願され、平成１３年６月２２日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人株式会社ディスクより特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年７月５日に訂正請求書及び意見書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
〈訂正事項ａ〉本件特許の願書に添付した明細書（以下、「本件特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１における、「方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し、被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果得られた塗膜成形物が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことを特徴とする塗膜形成物。」を、「方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し、被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果得られた塗膜成形物が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことを特徴とする塗膜形成物。」と訂正する。
　
〈訂正事項ｂ〉本件特許明細書の段落【０００８】における「塗料の送液を開始し」を、「塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し」と訂正する。
　
〈訂正事項ｃ〉本件特許明細書の段落【００１２】における「塗料の送液を開始し」を、「塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し」と訂正する。　
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、枚葉塗工装置の塗工開始位置での塗料の送液開始に関して、「ステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し」を、「ステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し」と、「塗料ビードを形成」することを付加して限定するものであるから、訂正事項ａは特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、この点に関して、本件特許明細書の段落【００１８】には、「先ず、被塗工材８を塗工開始位置まで搬送すべきステージ４を移動させ、被塗工材８を塗工開始位置まで移動させたことに応答してステージ４を瞬間的に・・・停止させるとともに、・・・塗料の送液を開始する。・・・上記ステージ４の停止期間中に塗料吐出装置３と被塗工材８との間にスリット３ａの全幅にわたる塗料ビードが形成される」と記載されているから、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　また、上記訂正事項ｂ、ｃは、訂正事項ａとの整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立てについての概要
　申立人株式会社ディスクは、証拠として、甲第１号証（特開平６−３３９６５６号公報）、甲第２号証（特開平４−６１９５８号公報）、甲第３号証（特開平４−２２３４３０号公報）、甲第４号証（特開平２−２９０２７７号公報）、甲第５号証（特開平６−１１８２２６号公報）、甲第６号証（特開昭６２−１５４６１４号公報）を提出し、以下の旨の理由から請求項１〜５に係る発明についての特許を取り消すべきであると主張している。
「請求項１に係る発明は、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて、請求項２に係る発明は、甲第１〜４号証記載の発明に基づいて、請求項３及び請求項５に係る発明は、甲第１〜５号証記載の発明に基づいて、請求項４に係る発明は、甲第１〜６号証記載の発明に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、したがって、請求項１〜５に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。」　
（２）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１〜５に係る発明（以下、「本件発明１〜５」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し、被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果得られた塗膜成形物が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことを特徴とする塗膜形成物。
【請求項２】方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にある請求項１に記載の塗膜形成物。
【請求項３】少なくとも方形の基体（８）の１辺において、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍの範囲に位置している請求項１または請求項２に記載の塗膜形成物。
【請求項４】方形の基体（８）が表裏を示すためのオリエンテイションフラット（８ａ）を備えてなり、このオリエンテイションフラット（８ａ）に近接する塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えない請求項１から請求項３の何れかに記載の塗膜形成物。
【請求項５】塗膜形成物（９）がカラーフィルタである請求項１から請求項４の何れかに記載の塗膜形成物。」
　
（３）刊行物記載の発明
　当審が通知した取消しの理由において引用した刊行物１（甲第１号証）には、
（イ）「流体塗布装置Ａは、・・・キャビネット部２と装置本体１とからなり、キャビネット部２内には・・・タンクやコントローラが収納されており、・・・。装置本体１は、主として、塗布対象物を水平に送る送り機構部２１と、送り機構部２１によって送られる塗布対象物の表面に塗布液をコーティングする塗布機構部５１と、・・・測定ヘッド８１とから構成されている。・・・上記送り機構部２１は、ガラス基板のような塗布対象物１１を吸着して一定速度で水平に搬送するものであって、・・・。」（第４頁左欄１９行〜３５行）、
（ロ）「吸着盤３２の上に置かれたガラス基板等の塗布対象物１１の下面を吸着することができ、テーブル２４と共に塗布対象物１１を定速送りすることができる。このときテーブル２４は塗布対象物１１を吸着することにより塗布対象物１１の反りを矯正する効果もある。」（第４頁右欄１２行〜１６行）、
（ハ）「塗布ヘッド５５においては、・・・塗布液整形用のスロット１１６が形成され、スロット１１６の下端は塗布ヘッド５５下面でノズル口１１７として開口し・・・ている。」（第５頁右欄８行〜１４行）、
（ニ）「塗布対象物１１が送られてくると、時間ｔ１に塗布ヘッド５５が降下を開始し、塗布開始高さｈに達して塗布対象物１１との間隔が一定間隔δになると、時間ｔ３より塗布を開始するが、この塗布時間ｔ３よりも早く時間ｔ２に開閉弁１２２，１２５ａ，１２５ｂが開かれると共にサックバックバルブ１２０，１２８ａ，１２８ｂがオンされる。開閉弁１２２，１２５ａ，１２５ｂが開かれても、図１０（ｅ）に示すように塗布ヘッド５５内の液圧が高くなるまでには時間的な遅れがあるが、開閉弁１２２，１２５ａ，１２５ｂをＴ１＝（ｔ３−ｔ２）だけ早く開くことにより塗布開始時には塗布ヘッド５５内を十分な液圧に保つことができ、所望の塗布開始点より一定の膜厚の塗膜を得ることができる。・・・さらに、塗布開始端において塗膜の膜厚が薄くなったり、かすれたりするのを防止することができ、始端より良好な品質の塗膜を得ることができ、塗膜の歩留りが向上する。」（第７頁左欄６行〜２４行）
（ホ）「塗布液１２の塗布を終了して塗布ヘッド５５を上昇させる時間ｔ４よりも早い時期、すなわち図１２における時間ｔ６（＜ｔ４）に開閉弁１２２を閉じている。塗布ヘッド５５を上昇させると同時に開閉弁１２２を閉じた場合には、塗布ヘッド５５内に残っている塗布液１２によって塗膜の終端部が図１３（ａ）に示すように盛り上がって膜厚が厚くなる恐れがあるが、少し前に開閉弁１２２を閉じて塗布ヘッド５５へ塗布液１２を供給しないようにすることにより、図１３（ｂ）に示すように塗膜の終端部を薄くすることができ、塗膜の膜厚を均一にすることができる。」（第７頁右欄１６行〜２６行）、
（へ）「本発明によれば、流体の塗布を開始する少し前に、塗布ヘッドへの流体の供給を開始させるようにしているので、塗布開始点において流体塗膜の膜厚が薄くなったり、カスレが生じたりするのを防止でき、塗膜の塗布開始端をまっすぐに揃えることができる。・・・本発明によれば、流体の塗布を終了する少し前に、塗布ヘッドへの流体の供給を停止させるようにしているので、塗布終了端において流体塗膜の膜厚が厚くなるのを防止でき、塗膜の塗布終了端をまっすぐに揃えることができる。・・・従って、塗膜の膜厚を始端から終端まで、あるいは幅方向にわたって均一に整えることができ、良好な品質の塗膜を得ることができる。」（第８頁右欄１０行〜２３行）と記載され、
　【図１１】には、
（ト）「塗布対象物１１が方形であること」が示されている。
　上記摘記事項（イ）〜（ト）及び【図１】、【図１２】の記載からみて、刊行物１には、
「方形の塗布対象物１１上に塗工された塗膜であって、塗布液１２吐出用のノズル口１１７を有する流体塗布装置Ａの塗工開始時より開閉弁１２２，１２５ａ，１２５ｂをＴ１だけ早く開いて塗布液１２の送液を開始し、塗布対象物１１が塗工終了位置に到達する直前に塗布液１２を供給しないように行った結果得られた塗膜が、膜厚を始端から終端まで均一に整えることができたものである、塗膜」の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　また、当審が通知した取消しの理由において引用した刊行物２（甲第２号証）には、
（チ）「本発明の特定の目的は、個々の表面または基板の上に、単位面積当り制御された量の液体の層を所定の形および所定の厚さで付着する、予め測定された「パッチ」被覆を行う方法および装置を得ることである。」（第４頁左上欄１６行〜２０行）、
（リ）「真空台が第４図で見て右へ動き続けるとスイツチＢを押す。・・・被覆液体含有室１４の内部の液体の量の急激な減少によりひき起される液体の移動により、被覆液体の正の波すなわち正パルスを生ずる。その正パルスは被覆液体付着器スロツトを急激に下降し、被覆液体付着器リツプにより形成された被覆液体付着器スロツトの出口開口部の表面から出て銅被覆ラミネートの表面に当り、被覆液体付着器のリツプとラミネートの間に被覆液体の連結ビード６６を形成する。・・・同時に、入口弁が開き、・・・制御された体積流量の被覆液体を被覆流体付着器の中に入れたり、そこから出したりする。・・・それらの動作により、プリント回路板の上に付着させられる被覆液体の鮮鋭かつ一様な付着が開始させられる。」（第６頁右上欄１８行〜同頁右下欄４行）と記載され、
　図１には、
（ヌ）「基板が方形であること」が示されている。
　上記摘記事項（チ）〜（ヌ）及び図２〜７の記載からみて、刊行物２には、
「方形の銅被覆ラミネート５０上に塗工された被覆液体であって、被覆液体付着器リツプ４８を有する被覆装置１０の塗工開始位置で真空台５２を停止させずに、被覆液体の正パルスを生じさせることにより被覆液体の連結ビード６６を形成し、塗工を行った結果得られた被覆液体が、単位面積当り制御された量の液体の層を所定の形および所定の厚みで付着する、被覆液体」の発明（以下、「刊行物２記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　さらに、当審が通知した取消しの理由において引用した刊行物３（甲第３号証）には、
（ル）従来のスピンコート法の課題として、「周縁部１０の１０ｍｍ程度の巾の領域のレジスト膜の厚さは、・・・中央部の２〜１０倍の厚さに達する盛り上がりが不可避的に生じてしまう」（第２欄４９行〜第３欄２行）ことが記載され、
　刊行物４（甲第４号証）には、
（ヲ）「基板の中央部での感光性樹脂の盛り上がりは、本発明・・・のほうが・・・顕著に減少していることがわかる。また、膜厚面内バラツキは、φ３００ｍｍの内接円で、・・・本発明では±３．５％以内に入っている。」（第１１頁左下欄４行〜９行）、
（ワ）「本発明によりカラーフィルタを製造した場合には、輝度ムラや色の濃度ムラのない、極めて高品質なカラーフィルタを得ることができる。」（第１２頁左上欄９行〜１１行）と、
　刊行物５（甲第５号証）には、
（カ）「このようなカラーフィルタの製造過程においては基板周辺の端から２〜５ｍｍの範囲の端面に現像処理では取りきれない皮膜が残ってしまう。この基板端面の残膜は・・・不良の原因となることから、従来は・・・削り取る物理的除去方法がとられていた。・・・本発明は、化学的処理により基板端面の残膜を溶解、除去し、前記従来の問題を解決する装置を提供しようとするものである。」（第１欄２８行〜４１行）と、
　刊行物６（甲第６号証）には、
（ヨ）「オリエンテイション・フラットを持つ・・・シリコン半導体ウエハ」（第２頁右下欄１３行〜１５行）と、それぞれ記載されている。
　
（４）本件発明１について
　本件発明１と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「方形の塗布対象物１１」は、その技術的意義からみて、前者の「方形の基体（８）」及び「被塗工材」に相当し、以下同様にして、後者の「塗膜」は前者の「塗膜形成物（９）」に、後者の「塗布液１２吐出用のノズル口１１７」は前者の「塗料吐出用のスリット」に、後者の「テーブル２４」は前者の「ステージ」に、それぞれ相当する。また、訂正明細書の段落【００１９】の「被塗工材８が塗工終了位置に到達する直前にマイクロシリンジポンプ２による塗料の送液のみを停止し、ビードシキージ塗工を行い」との記載からみて、後者の「塗布対象物１１が塗工終了位置に到達する直前に塗布液１２を供給しないように行った」は前者の「被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った」に相当するものと認められる。さらに、後者の「塗工開始時より開閉弁１２２，１２５ａ，１２５ｂをＴ１だけ早く開いて塗布液１２の送液を開始」することと、前者の「塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成」することとは、「塗工開始より早く塗料の送液を開始する」点で共通する。
　してみると、両者の一致点、相違点は以下のとおりである。
〈一致点〉方形の基体上に塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始より早く塗料の送液を開始し、被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果得られた塗膜成形物。
〈相違点１〉前者は、枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成するのに対して、後者は、塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるものではなく、塗工開始時より開閉弁１２２，１２５ａ，１２５ｂをＴ１だけ早く開いて塗布液１２の送液を開始するものであって、しかも、塗料ビードの形成については明らかでない点。
〈相違点２〉前者は、得られた塗膜成形物の塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないのに対して、後者は、そのようなものか否かが明らかではない点。
　
　そこで、相違点１につき検討するに、刊行物２記載の発明における「被覆装置１０」、「真空台５２」、「被覆液体の連結ビード６６」は、それぞれ、本件発明１の「枚葉塗工装置」、「ステージ」、「塗料ビード」に相当するから、刊行物２には、「枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを停止させずに、塗料の正パルスを生じさせることにより塗料ビードを形成する」との技術思想が示されているということができるが、「枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成する」という、相違点１に係る本件発明１の構成については記載されていない。また、当該相違点１に係る本件発明１の構成については、刊行物３〜６にも記載されていない。
　そして、本件発明１は、「枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成する」との構成を採ることにより、塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させずに、予め塗料の送液を開始する、刊行物１、２記載の発明よりも、塗工開始部の膜厚の均一性の点で優れた作用効果を奏していることは、平成１４年７月５日付け意見書に添付された参考資料１の【図２】から窺える。
　してみると、相違点２について検討するまでもなく、本件発明１は、刊行物１〜２記載の発明はおろか刊行物１〜５記載の発明に基づいても当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
（５）本件発明２〜５について
　本件発明２〜５は、本件発明１の構成をすべて、その発明の構成に欠くことができない事項とするものであるから、本件発明１と同様の理由により、本件発明２は、甲第１〜４号証記載の発明に基づいて、本件発明３及び本件発明５は、甲第１〜５号証記載の発明に基づいて、本件発明４は、甲第１〜６号証記載の発明に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　
（６）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜５についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜５についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年７月１６日（２００２．７．１６）
【訂正の要旨】
訂正の内容
〈訂正事項ａ〉本件特許の願書に添付した明細書（以下、「本件特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１における、「方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し、被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果得られた塗膜成形物が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことを特徴とする塗膜形成物。」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「方形の基体（８）上に塗工された塗漠形成物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し、被塗工材が塗工終了位置に到達する直前にビードスキージ塗工を行った結果得られた塗膜成形物が、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことを特徴とする塗膜形成物。」と訂正する。
〈訂正事項ｂ〉本件特許明細書の段落【０００８】における「塗料の送液を開始し」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し」と訂正する。
〈訂正事項ｃ〉本件特許明細書の段落【００１２】における「塗料の送液を開始し」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「塗料の送液を開始して塗料ビードを形成し」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
塗膜形成物
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し
て塗料ビードを形成し
　【請求項２】　方形の基体（８）上に塗工された塗膜形成物（９）であって、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にある請求項１に記載の塗膜形成物。
　【請求項３】　少なくとも方形の基体（８）の１辺において、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍの範囲に位置している請求項１または請求項２に記載の塗膜形成物。
　【請求項４】　方形の基体（８）が表裏を示すためのオリエンテイションフラット（８ａ）を備えてなり、このオリエンテイションフラット（８ａ）に近接する塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えない請求項１から請求項３の何れかに記載の塗膜形成物。
　【請求項５】　塗膜形成物（９）がカラーフィルタである請求項１から請求項４の何れかに記載の塗膜形成物。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】この発明は塗膜形成物に関し、さらに詳細にいえば、枚葉塗工用の方形の基板上に形成された塗膜形成物に関する。特に、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを製造するための塗膜形成物のように、枚葉方式で供給される基体に薄く均一に塗工されてなる塗膜形成物に好適である。
　【０００２】
　【従来の技術】従来から、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを製造するに当って、スピナー、バーコータ、ロールコータを用いて、枚葉方式で供給される基体上に塗膜形成物を形成することが一般的に行われている。スピナーを用いる方法は、基体上に原料液体を滴下した後に基体を高速回転させて塗膜を形成する方法であり、全範囲にわたってかなり均一な塗膜を形成することができる。
　【０００３】バーコータを用いる方法は、金属棒にワイヤを巻き付けてなる装置に原料液体を供給し、この装置を基体の表面に接触させて相対的に移動させることにより塗膜を形成する方法である。ロールコータを用いる方法は、ローラに原料液体を供給し、ローラを基体の表面に接触させて相対的に移動させることにより塗膜を形成する方法である。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】しかし、スピナーを用いて形成された塗膜の厚みを測定したところ、図５に示すように、基体の端部近傍における塗膜厚みが、ほぼ均一な厚みの塗膜が得られる基体中央部における塗膜厚みの２倍以上になることが分かった。なお、図５中、丸印は、図１中（ａ）の左上角に示すオリエンテイションフラットからの塗膜厚みの変化を、四角印、三角印、×印はそれぞれ他の角からの塗膜厚みの変化を示している。
　【０００５】バーコータを用いる方法、ロールコータを用いる方法を採用した場合には、これらが直接基体表面に接触することになるので、基体表面に傷がつくおそれがあるとともに、塗膜厚みの均一性がスピナーを用いる場合よりも低下することになる。具体的には、バーコータを用いて塗膜を形成した場合、その膜厚は図６に示す通りであった。
　【０００６】このような不都合があっても、基体の端部に十分にゆとりを持たせて中央部のみを活用する場合には、上述の塗膜厚みが著しく大きくなる領域が有効活用領域に含まれることはないとともに、有効活用領域に近接することもないので、特に不都合は発生しない。しかし、液晶ディスプレイ用カラーフィルタは大型化の傾向が強く、しかも、１枚のマザー基板（基体）から多面取りを行うことが実施され始めているのであるから、このような場合には、マザー基板の端部に僅かなゆとりしか持たせることができなくなってしまう。この結果、上述の塗膜厚みが著しく大きくなる領域が有効活用領域（カラーフィルタとして使用される領域）に含まれることになり、または有効活用領域に近接することになる。膜厚の不均一は、色ムラとして検知され、カラーフィルタとして使えなくなる。そしてまた、このような状況の下で後工程としてのフォトリソ加工工程でエッチング処理が行われた場合に、有効活用領域に対するエッチングが完了しても塗膜厚みが著しく大きい領域は完全にはエッチングが行われないことになってしまう。逆に、塗膜厚みが著しく大きい領域に対するエッチングを完全に行わせれば、有効活用領域がオーバーエッチングされてしまう。そして、何れの場合にも製品の品質を大幅に低下させることになってしまうので、上述のような多面取りを行うことができなくなってしまう。
　【０００７】
　【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、基体の端部に持たせるゆとりを著しく小さくし、しかも有効活用領域における塗膜厚みのばらつきを大幅に抑制した塗膜形成物を提供することを目的としている。
　【０００８】請求項１の塗膜形成物は、方形の基体上に塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し
て塗料ビードを形成し
　【０００９】請求項２の塗膜形成物は、方形の基体上に塗工された塗膜形成物であって、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあるものである。請求項３の塗膜形成物は、少なくとも方形の基体の１辺において、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍの範囲に位置しているものである。
　【００１０】請求項４の塗膜形成物は、方形の基体が表裏を示すためのオリエンテイションフラットを備えてなり、このオリエンテイションフラットに近接する塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないものである。
　【００１１】請求項５の塗膜形成物は、塗膜形成物がカラーフィルタである。
　【００１２】請求項１の塗膜形成物であれば、方形の基体上に塗工された塗膜形成物であって、塗料吐出用のスリットを有する枚葉塗工装置の塗工開始位置でステージを瞬間的に停止させるとともに、塗料の送液を開始し
て塗料ビードを形成し
　【００１３】請求項２の塗膜形成物であれば、方形の基体上に塗工された塗膜形成物であって、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあるものであるから、塗膜形成物の有効活用領域の塗膜厚みが均一であり、高品質の製品を得ることができる。
　【００１４】請求項３の塗膜形成物であれば、少なくとも方形の基体の１辺において、塗膜端部が基体の端部から３ｍｍの範囲に位置しているので、基体の未塗工領域を著しく少なくでき、基体の有効活用を達成できる。請求項４の塗膜形成物であれば、方形の基体が表裏を示すためのオリエンテイションフラットを備えてなり、このオリエンテイションフラットに近接する塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないものであるから、オリエンテイションフラットにより表裏の識別を行うことができるほか、請求項１から請求項３の何れかと同様の作用を達成できる。
　【００１５】請求項５の塗膜形成物であれば、塗膜形成物がカラーフィルタであるから、高品質のカラーフィルタを得ることができるだけでなく、品質を低下させることなくカラーフィルタの多面取りを達成することができる。ここで、カラーフィルタとは、アクリルなどからなる保護膜層、赤、緑、青色などの着色層、樹脂製のブラックマトリックス（遮光層）を意味する用語として使用される。
　【００１６】
　【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発明を詳細に説明する。図１はこの発明の塗膜形成物の一実施例を示す平面図である。この塗膜形成物９は、被塗工材８（基体に相当する）の周縁部を僅かに残した状態で形成されており、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないように設定されている。また、基体１１の１つの角部を切欠して表裏判定用のオリエンテイションフラット８ａを形成してある。なお、塗膜形成物９の全範囲が塗工領域、塗膜が形成されていない領域が未塗工領域である。
　【００１７】図２は塗膜形成装置を概略的に示す図である。この枚葉塗工装置は、塗料タンク１と、ピストン型定量ポンプの一例としてのマイクロシリンジポンプ２と、塗料吐出用のスリット３ａを有する塗料吐出装置３と、ボールネジ機構４ａにより往復動されるステージ４と、ステージ４上の被塗工材８の位置を検出する位置センサ５と、位置センサ５からの出力信号、ボールネジ機構４ａを駆動するＡＣサーボモータ４ｂからの状態信号、塗料吐出装置３の状態信号を入力として塗料吐出装置３、ＡＣサーボモータを制御するシーケンサ６と、シーケンサ６からの出力信号（マイクロシリンジポンプ制御用の信号など）およびマイクロシリンジポンプ２の状態信号を入力としてマイクロシリンジポンプ２を制御するコンピュータ７とを有している。なお、塗料タンク１とマイクロシリンジポンプ２との間を塗料吸引管路１ａ（第１送液管路に相当する）で連通しており、マイクロシリンジポンプ２と塗料吐出装置３との間を塗料吐出管路３ｂ（第２送液管路に相当する）で連通している。また、マイクロシリンジポンプ２は切換え弁２ａにより選択的に塗料吸引管路１ａ、塗料吐出管路３ｂに連通されている。塗料吐出装置３は、ステージ４上に支承された被塗工材としてのカラーフィルタ基板８の上面に近接する位置と十分に離れた位置との間において昇降されるものであり、シーケンサ６からの塗工動作開始指令に応答して下降し、塗工動作終了指令に応答して上昇する。また、コンピュータ７は切換え弁２ａをも制御する。
　【００１８】図３は塗膜形成工程を説明する図である。なお、図３において実線が塗料の送液速度を示し、太い破線がステージの移動速度を示している。先ず、被塗工材８を塗工開始位置まで搬送すべきステージ４を移動させ、被塗工材８を塗工開始位置まで移動させたことに応答してステージ４を瞬間的に（０．１〜０．７秒程度）停止させるとともに、マイクロシリンジポンプ２を動作させることにより塗料の送液を開始する。なお、この場合には、切換え弁２ａが塗料吐出管路側に切換えられている。上記ステージ４の停止期間中に塗料吐出装置３と被塗工材８との間にスリット３ａの全幅にわたる塗料ビードが形成されるので、その後は、塗料の送液を継続したままでステージ４を移動させ、被塗工材８の表面にほぼ一定の膜厚の塗膜を形成する定常塗工動作を行う。
　【００１９】そして、被塗工材８が塗工終了位置に到達する直前にマイクロシリンジポンプ２による塗料の送液のみを停止し、ビードスキージ塗工を行い、ビードスキージ塗工の周期にマイクロシリンジポンプ２を逆に動作させることにより被塗工材８上の塗料を短時間だけ吸引し、その後、塗料吐出装置３を上昇させる。次いで、ステージ４の移動を継続して被塗工材８を次工程に渡し、その後、ステージ４を反転移動させて次の被塗工材８の受け取りに備える。
　【００２０】また、図３には特には示していないが、マイクロシリンジポンプ２により被塗工材８上の塗料を吸引した後は、切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換え、マイクロシリンジポンプ２を動作させることにより塗料タンク１から塗料を吸引充填する。図４は以上の方法により被塗工材８上に形成された塗膜の厚み測定例を示す図である。ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとして用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６）を混合・分散して得た重量固形分濃度８ｗｔ％、粘土２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗料を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×１．１ｍｍの無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子（株）製）を被塗工材８として採用して塗工を行なった。なお、図４中の記号は、図１中（ａ）に示した部分の塗膜厚みの変化を示している。
　【００２１】この図から明らかなように、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．７５倍を越えないことがわかる。また塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９５％〜１０５％の範囲にあり、膜厚が均一な塗膜が形成されていることがわかる。また塗膜端部を被塗工材８の端部から３ｍｍの範囲に形成しても上記の通りの塗膜を形成することができた。
　【００２２】塗工方法として、スピナーを用いるほかは実施例と全く同様にして塗膜形成物を得た。得られた塗膜の塗膜厚み測定結果を図５に示す。塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの２．５倍に及ぶ部分があったことがわかる。また塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９１％〜１１８％の範囲に分布した塗膜が形成されていることがわかる。同様に塗工方法として、ロッドバーコータを用いるほかは実施例と全く同様にして塗膜形成物を得た。得られた塗膜の塗膜厚み測定結果を図６に示す。塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲における塗膜厚みが、塗膜端部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分における平均塗膜厚みの１．８２倍に及ぶ部分があったことがわかる。また塗膜部から塗膜中央に向かって１０ｍｍの範囲を除いた部分において、塗膜厚みが平均塗膜厚みの９３％〜１１３％の範囲に分布した塗膜が形成されていた。
　【００２３】図４、図５、図６に示す塗膜は、塗膜を形成する塗料として同一の組成のものを採用した。これらの塗膜にそれぞれ常法に従ってフォトリソ加工を施した。即ちポジ型レジストをスピナー塗布し乾燥した後、マスク露光を行い露光部の塗膜を、アルカリ現像液によってレジスト現像と同時にエッチングした。有効活用領域内の塗膜平坦部のジャストエッチ条件で現像を行なったところ、図４に示す塗膜の露光部は残膜することなく良好なパターンを形成することができた。この塗膜から得られたパターンは色差△Ｅａｂが３以下の色ムラの少ないパターンであった。従ってこのような塗膜を利用するとカラーフィルタの大型化、多面取りに伴なう被塗工材端部の非有効活用領域の狭小化に対応することができる。
　【００２４】一方比較例から得られた図５、図６に示す塗膜は塗膜端部に現像残膜を生じた。残膜を生じないような更に強い条件で現像エッチングしたところ、残膜は生じなかったが未露光のパターン部分がオーバーエッチとなり良好なパターンが得られなかった。また得られた塗膜の分光特性を測定したところ、比較例から得られた塗膜（図５、図６）から得られたパターンは、その塗膜厚みばらつきに起因する色ムラが色差△Ｅａｂで４〜９にであった。この程度の色ムラは肉眼で十分検知できるものであり、この塗膜をカラーフィルタ製造に応用することはできないか或は困難であることがわかった。
　【００２５】
　【発明の効果】請求項１の発明は、中央部を殆どオーバーエッチングすることなく周縁部を完全にエッチングすることができ、この結果、塗膜形成物の殆どの範囲を有効に活用することができ、１枚のマザー基板からの多面取りにも簡単に対処できるという特有の効果を奏する。
　【００２６】請求項２の発明は、塗膜形成物の有効有効活用領域の塗膜厚みが均一であり、高品質の製品を得ることができるという特有の効果を奏する。請求項３の発明は、基体の無駄領域を著しく少なくでき、基体の有効活用を達成できるという特有の効果を奏する。請求項４の発明は、オリエンテイションフラットにより表裏の識別を行うことができるほか、請求項１から請求項３の何れかと同様の効果を奏する。
　【００２７】請求項５の発明は、品質を低下させることなくカラーフィルタの多面取りを達成することができるという特有の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】この発明の塗膜形成物の一実施例を示す平面図である。
　【図２】塗膜形成装置を概略的に示す図である。
　【図３】塗膜形成工程を説明する図である。
　【図４】図２の塗膜形成装置により形成された塗膜の膜厚の変動を示す図である。
　【図５】スピナーにより形成された塗膜の膜厚の変動を示す図である。
　【図６】ロボットバーコータにより形成された塗膜の膜厚の変動を示す図である。
　【符号の説明】
　８　被塗工材　　８ａ　オリエンテイションフラット
　９　塗膜形成物