(57)【要約】本発明は、単結晶レンズの加工工程において、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶母材から棒状部材を切り出し後、レンズ組立工程までの間に少なくとも１回の加熱処理を行う単結晶光学レンズの製造方法である。この場合の加熱処理の温度が、融点の０．５０倍以上、０．６７倍以下であることが望ましい。【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶レンズの加工工程において、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶母材から部材を切り出し後、レンズ組立工程までの間に少なくとも１回の加熱処理を行うことを特徴とする単結晶光学レンズの製造方法。
【請求項２】
前記の加熱処理の温度が、融点の０．５０倍以上、０．６７倍以下であることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学レンズの製造方法。
【請求項３】
結晶材料からなる結晶レンズの加工工程において、レンズの外形となる外周面を有する部材を加熱処理した後に、該部材を所定の厚さに切断し、その後レンズ面の加工を行い結晶レンズを得ることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学レンズの製造方法。
【請求項４】
結晶材料からなる結晶レンズの加工工程において、レンズ面研磨、レンズ外周の切削加工を行った後に、加熱処理を行うことを特徴とする請求項１記載の単結晶光学レンズの製造方法。
【請求項５】
前記の結晶材料がサファイアであることを特徴とする請求項１から５の何れか１項記載の単結晶光学レンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単結晶光学レンズの製造方法に関し、特に、各種光学製品に使用する単結晶レンズの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
結晶石英、サファイア、蛍石（フッ化カルシウム）等の可視光を透過する単結晶材料は、光学レンズや光学フィルター材料として使用されている。これらの結晶材料は、光学ガラスにない光学特性（屈折率、アッベ数、透過率）や、硬度、化学的耐久性、耐熱性等から、光学ガラスにない特性が必要とされるレンズ部品に使用されている。光学レンズ、光学フィルター等の製造工程においては、原料の単結晶母材から切り出した部材を所望の形状に研削・研磨することにより研磨面を仕上げ、その後研磨剤、研磨液等を除去した後に必要によりコーティングを施し、組立工程を得て光学製品となる。レンズの外周面は、光学製品に組み込まれた際の不要光の反射を防ぐために、粗面が好まれることが多い。しかし、外周面が粗面であることによって外周部からのクラックが多く発生するという課題がある。【０００３】
外周面からのクラックは、切断、切削、研磨の工程において発生する他、レンズ面を形成した後にレンズの光軸に合わせて外形を加工する心取り工程や、レンズ部品をレンズ鏡粋にセッティングする組立工程において発生する。また、製品に組み込んだ後、使用時の機械的な衝撃や、熱衝撃によってクラックが進展する等、製品の信頼性に関わるクラックが生じないような解決手段が求められている。【０００４】
ところで、サファイア単結晶材料は、窒化物半導体薄膜や、誘電体薄膜等のエピタキシャル成長用の基板材料としても使用されている。この場合、結晶欠陥の少ないことが薄膜の構造を均質にするために必要とされており、結晶欠陥を改善する方法として、各種の方法が提案されている。【０００５】
特許文献１は、サファイア単結晶インゴットを研削加工した後に、ウェハーをスライスする前に、そのインゴットの外局部に化学研磨処理を施す方法を開示しているものである。この方法では、サファイアインゴットの外周部にある加工歪や微小クラックを除去することにより、窒化物半導体をエピタキシャル成長する際に発生する基板の削れを防止するとしている。【０００６】
しかし、化学研磨処理の場合、結晶材料の種類により適切な薬液を選定する必要があること、また、薬液と材料の組み合わせによっては、結晶方位によるエッチング速度の違いから、外周部分に光沢が生じる等の問題がある。また、化学研磨処理には、加熱した酸を用いる必要があり、作業環境上危険を伴うものであった。
【特許文献１】特開２００５−２５５４６３号公報
【発明の開示】
【０００７】
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、単結晶レンズの製造工程で、外周面からクラックが入るのを防止する方法を提供することである。
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の構成は下記の通りである。
（１）単結晶レンズの加工工程において、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶母材から部材を切り出し後、レンズ組立工程までの間に少なくとも１回の加熱処理を行うことを特徴とする単結晶光学レンズの製造方法である。
【０００９】
（２）前記の加熱処理の温度が、融点の０．５０倍以上、０．６７倍以下であることを特徴とする（１）の単結晶光学レンズの製造方法である。
【００１０】
（３）結晶材料からなる結晶レンズの加工工程において、レンズの外形となる外周面を有する部材を加熱処理した後に、該部材を所定の厚さに切断し、その後レンズ面の加工を行い結晶レンズを得ることを特徴とする（１）の単結晶光学レンズの製造方法である。
【００１１】
（４）結晶材料からなる結晶レンズの加工工程において、レンズ面研磨、レンズ外周の切削加工を行った後に、加熱処理を行うことを特徴とする（１）の単結晶光学レンズの製造方法である。
【００１２】
（５）前記の結晶材料がサファイアあることを特徴とする（１）から（５）の単結晶光学レンズの製造方法である。
【００１３】
以下、上記（１）〜（５）の説明を行う。
（１）の説明
結晶材料を所定の形状にするために切断、加工や棒状丸め加工をした場合、加工時の衝撃により、切り出した面には微細なクラックや、結晶構造の歪みが生じている。結晶構造の歪みにより、切り出し面近傍には、引っ張り、圧縮両方の応力が生じている。材料中に存在する応力があると、同じ力が加わった場合にも、微細クラックを伸長させる力の閾値が異なる。すなわち、引っ張り応力の働いている部位にある微細なクラックは、応力のない部位にあるクラックと比べて伸長しやすい。
【００１４】
本発明の方法によれば、衝撃により生じた結晶構造の歪みに起因する応力を加熱処理により除去することができる。ここに次の加工による外力が加わると、加熱処理により予め応力を除去してあるため、外周部からのクラックは伸長し難くする効果が得られる。
【００１５】
結晶材料としては、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶材料サファイア、イットリア安定化ジルコニア、イットリウムオキサイド、ジルコニウムオキサイド、マグネシウムオキサイ等に適用できる。
【００１６】
これらの高融点の結晶材料は、屈折率が高いことによりレンズ面での光の屈折を大きくできるため、光学素子の高画角化、小型化に有効である。しかし、一方で、レンズが小型化すればする程、レンズの有効径（光線の通る領域）とレンズ外形との差が小さくなり、レンズ外周からのクラックの許容サイズは小さくなる。結晶材料は、一般の光学ガラスと比べて、レンズ加工時に結晶特有のへき開性により加工衝撃によるクラックが伸張しやすく、ワレやクラックが発生しやすいことから、本発明の方法が有効である。
【００１７】
加熱の方法は、電気炉、ガス炉、レーザーアニール炉等、種々の方法を用いることができる。また、加熱雰囲気は、結晶材料の種類や、炉材や、加熱内の保持部材の材質を考慮して適宜選択する。上記の酸化物結晶の場合、特に雰囲気ガスを準備することなく大気雰囲気で加熱処理を行うことができるが、保持部材の酸化を防ぐ等、必要のある場合は、真空中、窒素、アルゴン等の不活性雰囲気中で加熱を行うのがよい。
【００１８】
加熱処理時には、熱衝撃によるクラックの伸長を避けるため、急激な加熱や冷却を避けるのが望ましい。
【００１９】
（２）の説明
結晶材料は、融点付近の温度域での加熱により転位等の結晶欠陥を減らせることが知られている。しかし、上記の高融点の結晶材料を融点付近の温度で加熱処理するためには、耐高温の炉を用意する必要がある上、レンズ加工工程に導入するには消費エネルギーの面からも実用的ではない。
【００２０】
本発明では、加熱処理の温度として、融点（ケルビン温度）の０．５０倍以上、０．６７倍以下であるときに、効果を最も得ることができる。０．５０倍以下の場合、エネルギーが不十分であるために歪みを除去する効果は不十分である。また、０．６７倍を超える温度の場合、歪を除去する効果は十分であるが、高温領域となるため、結晶内部の転位のすべりによると思われる転位部の拡大や、加熱処理時に基板表面に荒れが生じる等の不具合が起きる。これにより、レンズ面加工後のレンズではレンズ面精度の悪化が見られるなどの問題が生じる。
【００２１】
（３）の説明
結晶レンズの加工工程において、レンズの外形となる外周面を有する棒状部材又はブロック状部材を切断、研磨することにより結晶レンズを得る加工方法では、レンズの外形となる外周面を有する棒状部材又はブロック状部材を加熱処理することにより、外周部の割れを防止することができる。
【００２２】
レンズ外形となる外周面を有する部材の外周形状としては、円、多角柱、楕円の他、半円等の一部に円弧と直線からなる形状等、レンズ外形に応じどのような異形状でもよい。また、最終的なレンズ外形を一部に含んでいるものも含まれる。
【００２３】
レンズ面形状は、平面、凸面、凹面の何れの形状に加工されてもよい。また、レンズ面を鏡面まで加工せず、粗面仕上げのレンズ基板でもよい。
【００２４】
（４）の説明
結晶レンズの加工工程において、レンズ面研磨、レンズ外周の切削加工を行った後に加熱処理を行った後に、組立工程に移行することにより、組み立て時の機械的な衝撃や、半田による封止工程での熱的衝撃によるクラックの伸長を低減することができる。
【００２５】
また、同時に、製品使用時の衝撃によるワレを低減することができ、製品の信頼性を向上させることができる。
【００２６】
（５）の説明
単結晶材料の中、サファイア単結晶は硬度が高いことから切削丸め加工時には材料に大きな力が加えられる。加工部近傍には、切削加工時に加えられた衝撃により、結晶構造の歪が大きく残り、クラック近傍には引っ張り応力が蓄積し、次工程でクラックが伸長する要因となっていることが分かった。
【００２７】
また、サファイアは融点が２０３５℃と高い結晶材料であるが、本発明の方法によれば約８８０℃から１２７０℃、好ましくは、約１０００℃から１２７０℃の加熱温度でレンズ加工時の割れを防止でき、炉の選定や、加熱処理時のレンズ保持部材等の材質も、アルミナ等一般的に使用される材料を使用でき、実用的である。
【００２８】
本発明によれば、単結晶レンズを、製造時及び製造後の光学製品使用時における単結晶レンズ外周面からのクラックを防止し、歩留りよく結晶レンズを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の光学レンズの製造方法を実施例に基づいて説明する。【００３０】
（実施例１）
サファイア単結晶の円柱ロッド（φ３ｍｍ、長さ５０ｍｍ：外周砂目面）を最高温度をそれぞれ８００℃、９００℃、１０００℃、１１００℃、１２００℃、１３００℃、１４００℃で５時間アニールした。この部材を厚さ１ｍｍに切断後、研削、平面研磨することにより、両平面レンズを作製した。このとき、外周部からの割れによる不良発生率は、順に３０％、０．５％、０％、０％、０％、０％、０％であった。また、１３００℃、１４００℃加熱の場合に、面精度の悪化が見られた。【００３１】
この実施例における外周からの割れの有無、面精度の良否の検査を行った結果は次の表１の通りであった。ただし、○は割れがないこと、面精度が良好であったことを、×は割れが有ること、面精度が良くなかったことを示す。【００３２】
【表１】
2010103869.tif 000002
【００３３】
（比較例１）
実施例１と同じサファイア円柱ロッドをアニールせずに、同様の加工をした場合、外周部からの割れでの不良率は５０％であった。【００３４】
（実施例２）
サファイア単結晶材料から、φ２ｍｍの棒状部材を切り出した後に、１ｍｍに切断した後に、研削研磨工程を経て平凹レンズ形状のレンズを作製した。このレンズの心出しをするために、外周部切削加工を行った後に、次の表２の各温度で加熱処理を行った。このとき、昇温速度は０．８℃／ｍｉｎ、降温速度は１℃／ｍｉｎとした。研磨後のレンズ面精度と加熱処理後の面精度を干渉計により計測し、レンズ面精度の検査を行った。次に、加熱処理後のレンズの側面に金属メッキを施し、鏡枠に半田で固定、封止構造にした後、レンズ割れの有無、面精度の良否の検査を行った。その結果は次の表２の通りであった。【００３５】
【表２】
2010103869.tif 000003
【００３６】
（比較例２）
心出し工程の後の加熱処理を行わなかった以外は、実施例５と同様の手順で鏡枠に固定、封止構造とした後、レンズの割れの有無の検査を行った。その結果、約３０％のレンズに割れが発生していた。【００３７】
（実施例３）
サファイア単結晶材料から、φ４ｍｍの棒状部材を切り出した後に、１０００℃で２時間の第１の加熱処理を行った。その後に、棒状部材を長手方向に切断し、断面が半月状の棒材とした。この半月上の棒材に１０００℃で２時間の第２の加熱処理を行った後に、厚さ０．９ｍｍに切断し、両面平面に研削して、両平面レンズを作製した。【００３８】
この実施例の不良発生率と、比較として、加熱処理を一度も行わなかった場合、第１の加熱処理のみ行った場合の不良発生率とを次の表３に示す。【００３９】
【表３】
2010103869.tif 000004
【００４０】
以上、本発明の光学レンズの製造方法を実施例と比較例に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明によれば、単結晶レンズを、製造時及び製造後の光学製品使用時における単結晶レンズ外周面からのクラックを防止し、歩留りよく結晶レンズを製造することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年9月24日(2010.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶光学素子の加工工程において、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶材料の母材から部材を切り出し後、光学素子組立工程までの間に、前記単結晶材料の融点の０．５０倍以上、０．６７倍以下の温度で少なくとも１回の加熱処理を行うことを特徴とする単結晶光学素子の製造方法。
【請求項２】
単結晶光学素子の加工工程において、前記光学素子の外形となる外周面を有する部材を前記加熱処理した後に、前記部材を所定の厚さに切断し、その後前記光学素子の光学面の加工を行い結晶光学素子を得ることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項３】
単結晶光学素子の加工工程において、前記光学素子の光学面研磨、外周の切削加工を行った後に、前記加熱処理を行うことを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記単結晶材料がサファイアであることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月16日(2010.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶光学素子の加工工程において、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶材料の母材から部材を切り出し後、光学素子組立工程までの間に、前記単結晶材料の融点（絶対温度）の０．５０倍以上、０．６７倍以下の温度のみで少なくとも１回の加熱処理を行うことを特徴とする単結晶光学素子の製造方法。
【請求項２】
単結晶光学素子の加工工程において、前記光学素子の外形となる外周面を有する部材を前記加熱処理した後に、前記部材を所定の厚さに切断し、その後前記光学素子の光学面の加工を行い結晶光学素子を得ることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項３】
単結晶光学素子の加工工程において、前記光学素子の光学面研磨、外周の切削加工を行った後に、前記加熱処理を行うことを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記単結晶材料がサファイアであることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項記載の製造方法によって製造された単結晶光学素子。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月23日(2011.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶光学素子の加工工程において、融点が２０００℃以上２９００℃未満である単結晶材料の母材から部材を切り出し後、光学素子組立工程までの間に、前記単結晶材料の融点（絶対温度）の０．５０倍以上、０．６７倍以下の温度のみで少なくとも１回の加熱処理を行うことを特徴とする単結晶光学素子の製造方法。
【請求項２】
単結晶光学素子の加工工程において、前記光学素子の外形となる外周面を有する部材を前記加熱処理した後に、前記部材を所定の厚さに切断し、その後前記光学素子の光学面の加工を行い結晶光学素子を得ることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項３】
単結晶光学素子の加工工程において、前記光学素子の光学面研磨、外周の切削加工を行った後に、前記加熱処理を行うことを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記単結晶材料がサファイアであることを特徴とする請求項１記載の単結晶光学素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１記載の製造方法によって製造された単結晶光学素子。
【国際調査報告】
2010103869.tif 000005
2010103869.tif 000006
2010103869.tif 000007
2010103869.tif 000008