【事件の表示】
　特許第３０９５４８７号「磁気軸受装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０９５４８７号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続きの経緯　
　本件特許第３０９５４８７号の請求項１に係る発明についての出願は、平成３年１１月２２日に特許出願され、平成１２年８月４日に設定登録され、その後、高橋　信男より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされたところ、その指定期間内である平成１３年９月１０日に訂正請求がなされたものである。
　
【２】訂正の適否
ア．訂正事項
１．訂正事項Ａ：特許請求の範囲の請求項１における、
「【請求項１】　浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、
中心位置調整及び位置フィードバックゲイン調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分を該磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸受装置。」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、下記の通りに訂正する。
「【請求項１】　浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、
　中心位置調整器による調整及び位置フィードバックゲイン調節器による調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、
　前記構造物の個性により調整又は設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして該磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸受装置。」
２．訂正事項Ｂ：「発明の詳細な説明」の項の「課題を解決するための手段」を、明りようでない記載の釈明を目的として、下記の通りに訂正する。
「　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するために、本発明は、浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、中心位置調整器による調整及び位置フィードバックゲイン調節器による調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記構造物の個性により調整または設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして該磁気軸受制御装置外に設置している。」
３．訂正事項Ｃ：「発明の詳細な説明」の項の段落番号【００１１】を、明りようでない記載の釈明を目的として、下記の通りに訂正する。
「【作用】　本発明の磁気軸受装置は前記のように前記構造物の個性により調整または設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している要因が解消されることになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例えばケーシング）が個別に生産されるようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性が向上する。また磁気軸受制御装置又は回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフターサービスが簡便化される。」
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正事項Ａについて
　訂正事項Ａは、訂正前に「磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分」とあったのを、「前記構造物の個性により調整又は設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして」と訂正するものであり、特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
（２）訂正事項Ｂについて
　訂正事項Ｂは、前記特許請求の範囲の訂正（訂正事項Ａ）に合わせて発明の詳細な説明の対応箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。
（３）訂正事項Ｃについて
　訂正事項Ｃは、前記特許請求の範囲の訂正（訂正事項Ａ）に合わせて発明の詳細な説明の対応箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明に相当するものである。
　そして、訂正事項Ａ〜Ｃは訂正前の明細書に記載された事項（段落番号【０００７】、【００１４】の記載参照）に基づくものであり、また、特許請求の範囲を実質上拡張又は変更するものではない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、前記訂正（訂正事項Ａ〜Ｃ）は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
【３】特許異議の申立てについての判断（取消理由についての判断）
　ア．申立ての理由の概要
申立人　高橋　信男は、
（１）請求項１の「磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分」の記載の「制限する部分」がなにをさすのか明確でなく、特許法第３６条第５項及び第６項の規定を満たしていない、
また、
（２）請求項１に係る発明は、甲第１号証（実願昭６３−４５４３０号（実開平１−１４９０１８号）のマイクロフィルム）、甲第２号証（特開平２ー１０７８１５号公報）、甲第３号証（特開昭６０ー１４６１９号公報）に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきであると主張している。
イ．申立ての理由（１）に対して、
　訂正前の特許請求の範囲における「磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分」の記載の「制限する部分」がなにをさすのか明確でないとする申立人の主張は、訂正後の特許請求の範囲において「前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタ」と訂正された結果、「制限する部分」がなにを指すのか明確になったので、本件出願が特許法第３６条第５項及び第６項の規定を満たしていないとする異議申立人の主張は採用し得ない。
ウ．申立ての理由（２）に対して、
ウ−１．本件発明
　本件請求項１に係る発明は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、
　中心位置調整器による調整及び位置フィードバックゲイン調節器による調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、
　前記構造物の個性により調整又は設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして該磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸受装置。」。
ウ−２．引用刊行物
　　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「本件請求項１に係る発明」という。）に対して、当審が通知した取消理由で引用した、実願昭６３−４５４３０号（実開平１−１４９０１８号）のマイクロフィルム（以下、「引用例」という。）には、次の発明が記載されている（以下、「引用例に記載された発明」という。）。
　回転軸体２の浮上位置を検出する位置センサ１４Ｘ、２４Ｘ、１４Ｙ、２４Ｙと、磁力により前記回転軸体２を保持する磁気軸受８、１０、２０とを有する構造物と、
同調回路５０、６０を通過させた後の前記位置センサ１４Ｘ、２４Ｘ、１４Ｙ、２４Ｙからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御するＸ軸用制御回路３０、４０、Ｙ軸用制御回路とを具えた磁気軸受装置において、前記Ｘ軸用制御回路３０、４０、Ｙ軸用制御回路と構造物との間の同調回路５０、６０を構造物に取り付けた磁気軸受装置。
ウ−３．対比・判断
　本件請求項１に係る発明と引用例に記載された発明とを対比すると、引用例に記載された発明には本件請求項１に係る発明の構成要件である、「中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして該磁気軸受制御装置外に設置」する構成を有していない。
　すなわち、引用例に記載された発明は、磁気軸受スピンドル本体（「構造物」に相当する）とコントローラ（「磁気軸受制御装置」に相当する）間に互換性が保ち得ないことが同調回路に起因することに着目し、該同調回路を磁気軸受制御装置から分離して構造物に取り付けたものである。
　一方、請求項１に係る発明は、構造物と磁気軸受制御装置間の互換性が保ち得ない原因が、中心位置調整器、位置フィードバックゲイン調節器、フィルタにあることに着目して、それらを１つのユニットにして磁気軸受制御装置外に設置したものであって、前記中心位置調整器、位置フィードバックゲイン調節器、フィルタが互換性を保ち得ない原因であるという認識が、引用例及び周知技術（甲第２号証、甲第３号証参照）から直ちに容易に想到し得るものとは認められない以上、それらを磁気軸受制御装置外に設置するという発想に至ることを容易に成し得るものとすることは出来ない。　
　そして、上記構成により、本件請求項１に係る発明は、「磁気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している要因を解消することになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例えばケーシング）を個別に生産できるようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。
　また磁気軸受制御装置または回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを簡便化できる。」という、明細書に記載の効果を奏するものと認められる。
　したがって本件請求項１に係る発明は、取消理由通知で示した刊行物に記載された発明及び周知技術から容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
【４】むすび
　以上のとおり、本件出願は特許法第３６条第５項及び第６項の規定を満たしており、かつ、本件請求項１に係る発明は、申立人が提出した甲第１号証乃至甲第３号証のものから容易に発明をすることができたものであるとすることができない。
　また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年９月２８日（２００１．９．２８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　明細書（特許第３０８７１３４号明細書、以下同じ）を本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち特許請求の範囲の減縮を目的として下記のとおり、また、明瞭でない記載の釈明を目的として、下記のとおり訂正する。
１．訂正事項Ａ：特許請求の範囲の請求項１における、
「【請求項１】　浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、
中心位置調整及び位置フィードバックゲイン調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分を該磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸受装置。」を、下記の通りに訂正する。
「【請求項１】　浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、
　中心位置調整器による調整及び位置フィードバックゲイン調節器による調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、
　前記構造物の個性により調整又は設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして該磁気軸受制御装置外に設置したことを特徴とする磁気軸受装置。」
２．訂正事項Ｂ：「発明の詳細な説明」の項の「課題を解決するための手段」を、下記の通りに訂正する。
「　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するために、本発明は、浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、中心位置調整器による調整及び位置フィードバックゲイン調節器による調節を行って、前記浮上対象物の固有振動数にチューニングされたフィルタを通過させた後の前記位置センサからの検出信号を、フィードバックして前記磁力を制御する磁気軸受制御装置とを具えた磁気軸受装置において、前記構造物の個性により調整または設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして該磁気軸受制御装置外に設置している。」
３．訂正事項Ｃ：「発明の詳細な説明」の項の段落番号【００１１】を、下記の通りに訂正する。
「【作用】　本発明の磁気軸受装置は前記のように前記構造物の個性により調整または設定され、前記磁気軸受制御装置と構造物との間の互換性を制限する部分である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している要因が解消されることになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例えばケーシング）が個別に生産されるようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性が向上する。また磁気軸受制御装置又は回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフターサービスが簡便化される。」
（５４）【発明の名称】
磁気軸受装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、
　中心位置調整
器による調整
器による調節
　
前記構造物の個性により調整または設定され、
である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、浮上対象物、例えばターボ分子ポンプ、コンプレッサ、タービン、工作機械用スピンドル等の高速回転体に適用する磁気軸受装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　高速回転体を浮上保持する手段として、電磁石を用いた磁気軸受がある。その従来例を図５により説明すると、４が回転体、５ａ、５ｂが同回転体４を回転可能に支持する一対の磁気軸受（ジャーナル軸受）、６ａ、６ｂが上記回転体４の浮上位置を検出する位置センサである。
　【０００３】
　回転体４の浮上位置を位置センサ６ａ、６ｂにより検出し、そのとき得られる検出信号に基づいて磁気軸受５ａ、５ｂに設けた電磁石（図示せず）に流す電流値を決めて、電磁石に発生する磁力の大きさを制御して、回転体４の浮上位置を設定するようにしている。図６は、上記磁気軸受制御装置のブロック図である。同図６において、１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石である。
　【０００４】
　上記中心位置（オフセット）調整器８は、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上保持中心の機械的ずれを、電気的に補正調節するものであり、この調節値は、磁気軸受を持つ機器一品毎に異なる。上記位置フィードバックゲイン調節器９は、位置センサ７の出力電圧値を回転体４の浮上中心からの変位量に換算するものであり、位置センサ７の一点毎の異なる感度を補正する機能を含んでいる。
　【０００５】
　上記フィルタ１０は、磁気軸受の高周波数領域での高ゲイン及び位相遅れによる低減衰能力で発生する、高周波ハンチング（回転体曲げモード固有振動）を制振させ、回転安定性を確保するものであり、このフィルタ１０の中心周波数の設定値は、回転体４の固有振動数に合わせるため、磁気軸受を持つ機器一品毎に異なる。
　【０００６】
　上記制御回路１１は、回転体４の浮上中心からの偏差量に対する位置制御と、回転体４の剛体モード固有値の発振を減衰させるべく設計されたゲインと位相を確保できるよう一般的に比例要素、積分要素、微分要素（ＰＩＤ要素）で構成されている。通常、中心位置（オフセット）調整器８、位置フィードバックゲイン調節器９、フィルタ１０、及び制御回路１１は、磁気軸受制御装置１内に組み込まれ、また位置センサ７、及び電磁石１２は、回転体を有する構造物２内に組み込まれている。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
（１）一般に磁気軸受を有する機器は、回転体を有する構造物と回転体を浮上制御する磁気軸受制御装置との２つのユニツトからなる。勿論、磁気軸受制御装置内には、回転体を高速回転させるためのインバータも含まれている。上記２つのユニツトは、磁気軸受制御用ケーブルとモータ駆動用ケーブルとで接続されている。
（２）磁気軸受制御装置内には、回転体を有する構造物の個性により調整または設定される部分を有する。例えば、位置センサ７設置時の組立誤差による回転体の浮上中心の機械的ずれを補正する中心位置（オフセット）調整器８、位置センサ７の出力電圧値を回転体の浮上中心からの偏差量に換算する位置フィードバックゲイン調節器９、及び回転体の曲げ１次固有値の発振を減衰させるフィルタ１０とがそれに当たる。
　【０００８】
　これらの調節値及び設定値は、回転体を有する構造物一品毎に異なり、磁気軸受制御装置と回転体とを有する構造物は、一対一の組み合わせとなる。
（３）磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物とは、一対一の組み合わせになるため、その組み合わせを変えると、磁気軸受制御が正規の機能を失って、安定回転が保証できなくなる。
（４）この一対一の組み合わせを変更できないこと、即ち、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間に互換性がないことは、磁気軸受を有する機器の量産性を著しく低下させる。またアフターサービス上の管理及びトラブルの対応等に対して好ましくない。
　【０００９】
　本発明は前記の問題点に鑑み提案するものであり、その目的とする処は、磁気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。また磁気軸受制御装置または回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを簡便化できる磁気軸受装置を提供しようとする点にある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するために、本発明は、浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサと、磁力により前記浮上対象物を保持する磁気軸受とを有する構造物と、中心位置調整
器による調整
器による調節
前記構造物の個性により調整または設定され、
である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして
　【００１１】
　【作用】
　本発明の磁気軸受装置は前記のように
、前記構造物の個性により調整または設定され、
である前記中心位置調整器、前記位置フィードバックゲイン調節器および前記フィルタを、１つのユニットにして
　【００１２】
　【実施例】
（第１実施例）
　次に本発明の磁気軸受装置を図１及び図２に示す第１実施例により説明する。図１の１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石であり、以上の図１は、互換性を制限している部分３を、回転体を有する構造物（例えばケーシング）２内に組み込んだ場合のブロツク線図を示している。
　【００１３】
　図２は、同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した適用例である。位置センサ７の出力を、中心位置（オフセット）調整器（位置センサ７の設置による回転体４の軸中心位置ずれを補正する中心位置調整器）８、及び位置センサ７自身が持つ出力値のバラツキを補正するフィードバックゲイン調節器９により調整し、これを回転体４の固有振動数にチユーニングされたフィルタ１０を通過させた後、ＰＩＤと位相補償による制御回路１１により、電磁石１２の磁力を制御して、同磁力により回転体４を浮上、保持する。
　【００１４】
　このターボ分子ポンプ本体の特性により、調整または調節される互換性を制限する部分３、即ち、中心位置（オフセット）調整器８、フィードバックゲイン調節器９、フィルタ１０を１つのユニットにして、ターボ分子ポンプ本体に組み込む。
（第２実施例）
　次に本発明の磁気軸受装置を図３及び図４に示す第１実施例により説明する。図３の１が磁気軸受制御装置、２が回転体を有する構造物（例えばケーシング）、３が互換性を制限する部分、７が位置センサ、８が中心位置（オフセット）調整器、９が位置フィードバックゲイン調節器、１０がフィルタ、１１が制御回路、１２が電磁石であり、以上の図３は、互換性を制限している部分３を、１つのユニツトとして磁気軸受制御装置１から切り離して、回転体を有する構造物（例えばケーシング）２外に設置した場合のブロツク線図を示している。
　【００１５】
　図４は、同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した適用例である。その作用は，図２に示すターボ分子ポンプと同様である。
　【００１６】
　【発明の効果】
　本発明の磁気軸受装置は前記のように磁気軸受制御装置内の制御要素の一部を磁気軸受制御装置外に設置しており、磁気軸受制御装置と回転体を有する構造物との間の互換性を制限している要因を解消することになり、磁気軸受装置及び回転体を有する構造物（例えばケーシング）を個別に生産できるようになって、磁気軸受を有する機器製造時の量産性を向上できる。
　【００１７】
　また磁気軸受制御装置または回転体を有する構造物の故障時、どちらか故障した方の交換または修理で済んで、磁気軸受を有する機器のアフタサービスを簡便化できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の磁気軸受装置の第１実施例を示すブロツク線図である。
　【図２】同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した縦断側面図である。
　【図３】本発明の磁気軸受装置の第２実施例を示すブロツク線図である。
　【図４】同磁気軸受装置をターボ分子ポンプに適用した縦断側面図である。
　【図５】従来の磁気軸受装置を示す側面図である。
　【図６】同磁気軸受装置のブロツク線図である。
　【符号の説明】
１　磁気軸受制御装置
２　回転体を有する構造物（例えばケーシング）
３　互換性を制限する部分
４　回転体
７　位置センサ
８　中心位置（オフセット）調整器
９　位置フィードバックゲイン調節器
１０　フィルタ
１１　制御回路
１２　電磁石