(57)【要約】  本発明は、密着した基板と樹脂層とを損傷することなく、容易かつ短時間に剥離して分離することができる電子デバイスの製造方法およびこれに用いる剥離装置を提供する。電子デバイス用部材（１４）を有する基板（１２ｂ）に、支持基板（１９ｂ）に固定された樹脂層（１８ｂ）が密着している支持体付き電子デバイス（１０）から、支持基板（１９ｂ）および樹脂層（１８ｂ）からなる支持体（１７ｂ）を剥離するに際し、後に剥離される支持体（１７ｂ）が付いていない主面をステージ（２０）の固定面（２０ａ）へ密着させて、支持体付き電子デバイス（１０）を固定し、ステージ（２０）に固定された支持体付き電子デバイス（１０）の端面の、剥離される支持体（１７ｂ）の樹脂層（１８ｂ）と基板（１２ｂ）との界面に、ナイフ（３０）を挿入し、支持体（１７ｂ）と電子デバイス（１６）とを剥離することにより、上記課題を解決する。
2010090147.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面および第２主面を有し第２主面に電子デバイス用部材を有する基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き電子デバイスから、前記支持基板および前記樹脂層からなる支持体を剥離する操作を含む、前記電子デバイス用部材および前記基板からなる電子デバイスの製造方法であって、
前記支持体付き電子デバイスが有する二つの主面のうちの一方の主面であって、後工程である剥離工程において剥離される支持体が付いていない方の主面を、ステージが備える平面状の固定面へ密着させ、前記支持体付き電子デバイスを前記ステージの固定面上に固定する固定工程と、
前記ステージの固定面上に固定された前記支持体付き電子デバイスの端面であって、剥離される前記支持体の前記樹脂層と前記基板との界面に、ナイフを挿入し、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する剥離工程とを具備する、電子デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記剥離工程において、前記樹脂層と前記基板との界面に挿入された前記ナイフが、前記樹脂層および／または前記基板からの作用によって変形することによって、前記ナイフをさらに挿入する方向へ移動させた場合に前記ナイフが前記樹脂層の表面に沿うように移動して、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する、請求項１に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記剥離工程において、前記樹脂層と前記基板との界面に前記ナイフを挿入した後、前記ナイフがその先端部を中心として回転して、後端部が、前記ステージの前記固定面における法線と平行な方向に移動し、さらに前記ナイフの全体も同じ平行な方向および挿入する方向の少なくとも一方に移動することで、前記ナイフが前記樹脂層の表面に沿うように移動して、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する、請求項１または２に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項４】
さらに、前記固定工程の後であって前記剥離工程の前に、剥離される前記支持体の前記支持基板の第２主面に、複数の吸着パッドを吸着させる吸着工程を具備し、
前記剥離工程が、さらに、前記樹脂層と前記基板との界面に前記ナイフを挿入した後、前記樹脂層と前記基板とを剥がす方向である剥離方向へ前記吸着パッドを移動させて、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する工程である、請求項１〜３のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項５】
前記剥離工程が、さらに、前記支持基板の第２主面に吸着している複数の吸着パッドの中の、前記支持体付き電子デバイスの端面における前記ナイフを挿入した箇所の最も近くに位置する吸着パッドを、初めに前記剥離方向へ移動させ、次にその隣の吸着パッドを前記剥離方向へ移動させ、その後も同様に、前記剥離方向へ移動させた吸着パッドの隣の吸着パッドを次に前記剥離方向へ移動させる操作を順々に行って、前記支持体を前記ナイフを挿入した端部から中央へ向かう方向に剥離し、さらにその延長線上へ向かって剥離する工程である、請求項４に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記剥離工程が、さらに、前記樹脂層と前記基板との界面であって前記ナイフを挿入する箇所を、画像処理により確定する操作を含む工程である、請求項１〜５のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記剥離工程が、さらに、前記支持基板および／または前記基板の任意の箇所に導体を接続してアースをとって帯電抑制しながら、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する工程である、請求項１〜６のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項８】
前記剥離工程が、さらに、前記支持体と前記電子デバイスとの間に除電用物質を吹き付けて帯電制御しながら、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する工程である、請求項１〜７のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項９】
前記剥離工程が、さらに、前記ナイフへの負荷加重を検出しながら、前記樹脂層と前記基板との界面に前記ナイフを挿入する工程である、請求項１〜８のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項１０】
前記電子デバイスが、表示装置用パネルである、請求項１〜９のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項１１】
第１主面および第２主面を有し第２主面に表示装置用部材を有する基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き電子デバイスから、前記支持基板および前記樹脂層からなる支持体を剥離する剥離装置であって、
前記支持体付き電子デバイスの主面と密着して、前記支持体付き電子デバイスを固定できる平面状の固定面を備えるステージと、
前記支持体付き電子デバイスから前記支持体を剥離するために用いられるナイフと、
前記ステージに固定された前記支持体付き電子デバイスの端面における、剥離される前記支持体における前記樹脂層と前記基板との界面に、前記ナイフが挿入されるように、前記ステージの前記固定面における法線と平行な方向である法線方向へ、前記ナイフを移動させる法線方向移動ユニットと、
前記ナイフを、前記樹脂層と前記基板との間において移動させる固定面方向移動ユニットとを備え、さらに、
前記ナイフが、前記樹脂層と前記基板との間に挿入された場合に、前記樹脂層の表面に沿って移動するように、前記樹脂層および／または前記基板からの作用によって変形する性質を備える、
および／または、
前記ナイフが先端部を中心として回転して前記ナイフの後端部を法線方向に移動させる回転機構および前記ナイフの挿入角度の上下限を設定する挿入角度設定機構を有する挿入角度調整ユニット、ならびに前記ナイフの全体を、前記法線方向に移動させる法線方向移動機構を備える、剥離装置。
【請求項１２】
さらに、前記ステージの固定面上に固定された前記支持体付き電子デバイスにおける剥離される前記支持体の前記支持基板の第２主面を吸着する複数の吸着パッド、および前記吸着パッドを前記樹脂層と前記基板とを剥がす方向である剥離方向に移動させるパッド移動ユニットを備える、請求項１１に記載の剥離装置。
【請求項１３】
前記パッド移動ユニットが、前記複数の吸着パッドの中の、前記支持体付き電子デバイスの端面における前記ナイフを挿入した箇所の最も近くに位置する吸着パッドを初めに前記剥離方向へ移動させ、次にその隣の吸着パッドを前記剥離方向へ移動させ、その後も同様に、前記剥離方向へ移動させた吸着パッドの隣の吸着パッドを次に前記剥離方向へ移動させる操作を順々に行って、前記支持体を前記ナイフを挿入した端部から中央へ向かう方向に剥離し、さらにその延長線上へ向かって剥離する時間制御機能を備える、請求項１２に記載の剥離装置。
【請求項１４】
さらに、前記樹脂層と前記基板との界面であって前記ナイフを挿入する箇所を確定するための画像処理装置を備える、請求項１１〜１３のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１５】
さらに、前記支持基板および／または前記基板の任意の箇所に導体を接続して帯電抑制するアースを備える、請求項１１〜１４のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１６】
さらに、前記支持体と前記電子デバイスとの間に除電用物質を吹き付けて帯電制御する帯電制御装置を備える、請求項１１〜１５のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１７】
さらに、前記ナイフへの負荷加重を検出する負荷加重検出装置を備える、請求項１１〜１６のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１８】
前記電子デバイスが、表示装置用パネルである、請求項１１〜１７のいずれかに記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの製造方法およびこれに用いる剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機ＥＬ表示装置（ＯＬＥＤ）が表示装置として広く利用されている。特にモバイルや携帯電話等の携帯型表示装置の分野では、表示装置の軽量化、薄型化が求められている。
同様に、太陽電池、薄膜２次電池、表面に回路が形成された半導体ウェハなどの電子デバイスも軽量化、薄型化が求められている。
これに対応するために、表示装置など電子デバイスに用いるガラス、樹脂、金属などの基板の薄板化がすすんでいる。
ガラス基板の場合、板厚を薄くする方法としては、一般に、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する前または形成した後に、化学エッチングを用いてガラス基板の外表面をエッチング処理し、必要に応じて、さらに物理研磨して薄くする方法が行われる。【０００３】
しかしながら、表示装置など電子デバイス用部材をガラス基板の表面に形成する前に、エッチング処理等をしてガラス基板を薄くすると、ガラス基板の強度が低下し、たわみ量も大きくなる。そのため既存の製造ラインで処理することができないという問題が生じる。
また、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成した後にエッチング処理等をしてガラス基板を薄くすると、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する過程においてガラス基板の表面に形成された微細な傷が顕在化する問題、すなわちエッジピットと呼ばれる問題が発生する。【０００４】
そこで、このような問題を解決することを目的として、板厚の薄いガラス基板（以下では「薄板ガラス基板」ともいう。）を他の支持ガラス基板と貼り合わせて積層体とし、その状態で表示装置を製造するための所定の処理を実施し、その後、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを分離する方法等が提案されている。【０００５】
例えば、特許文献１には、製品用のガラス基板と補強用ガラス基板とを、ガラス基板同士の静電気吸着力または真空吸着力を利用して張り合わせて一体化し、製品用のガラス基板を用いた表示装置を製造する方法が記載されている。
特許文献２には、液晶表示装置の基板と支持体との端部をガラスフリット系の接着剤を用いて接着して、その後、電極パターン等を形成する液晶表示装置の製造方法が記載されている。
特許文献３には、２枚のガラス基板の少なくとも周縁部の端面近傍にレーザ光を照射して前記２枚のガラス基板を融合させる工程を有する表示装置用基板の製造方法が記載されている。【０００６】
特許文献４には、粘着材層が支持体上に設けられている基板搬送用治具に基板を貼り付け、液晶表示素子の製造工程を通して基板搬送用治具を搬送することにより、基板搬送用治具に貼り付いている基板に対して液晶表示素子形成処理を順次行い、所定の工程を終了後、基板搬送用治具から基板を剥離する液晶表示装置の製造方法が記載されている。
特許文献５には、液晶表示素子用電極基板を紫外線硬化型粘着剤が支持体上に設けられた治具を用いて、液晶表示素子用電極基板に所定の加工を施した後、紫外線硬化型粘着剤に紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化型粘着剤の粘着力を低下させ、前記液晶表示素子用電極基板を前記治具から剥離することを特徴とする液晶表示素子の製造方法が記載されている。
特許文献６には、粘着材によって薄板を支持板に仮固定し、前記粘着材の周縁部をシール材によって封止し、薄板を仮固定した支持板を搬送する搬送方法が記載されている。【０００７】
特許文献７には、薄板ガラス基板と、支持ガラス基板と、を積層させてなる薄板ガラス積層体であって、前記薄板ガラスと、前記支持ガラスとが、易剥離性および非粘着性を有するシリコーン樹脂層を介して積層されていることを特徴とする薄板ガラス積層体が記載されている。そして、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを分離するには、薄板ガラス基板を支持ガラス基板から垂直方向に引き離す力を与えればよく、剃刀の刃等で端部に剥離のきっかけを与えたり、積層界面へエアを注入したりすることによって、より容易に剥離することが可能であることが記載されている。
特許文献８には、吸着シートに吸着保持されているガラス基板等の板状体を吸着シートから剥離させるための剥離装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】日本国特開２０００−２４１８０４号公報
【特許文献２】日本国特開昭５８−５４３１６号公報
【特許文献３】日本国特開２００３−２１６０６８号公報
【特許文献４】日本国特開平８−８６９９３号公報
【特許文献５】日本国特開平９−１０５８９６号公報
【特許文献６】日本国特開２０００−２５２３４２号公報
【特許文献７】国際公開第２００７／０１８０２８号パンフレット
【特許文献８】日本国特開２００７−１８５７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載のガラス基板同士を静電吸着力や真空吸着力を利用して固定する方法、特許文献２に記載のガラス基板の両端をガラスフリットによって固定する方法、または特許文献３に記載の周縁部の端面近傍にレーザ光を照射して２枚のガラス基板を融合させる方法では、ガラス基板同士を何らの中間層を介さず積層密着させるので、ガラス基板間へ混入した気泡や塵介等の異物によってガラス基板にゆがみ欠陥が生じる。そのため、表面が平滑なガラス基板積層体を得ることは困難である。【００１０】
また、特許文献４〜６に記載のガラス基板間に粘着層等を配置する方法では、上記のようなガラス基板間への気泡等の混入によるゆがみ欠陥の発生を回避し得るものの、両ガラス基板を分離することが困難であり、分離する際に薄板ガラス基板が破損するおそれがある。また分離後の薄板ガラス基板への粘着剤の残存も問題となる。【００１１】
これに対して特許文献７に記載の薄板ガラス積層体によれば、上記のようなガラス基板間への気泡等の混入によるゆがみ欠陥は発生し難い。また、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを剥離することも可能である。さらに分離後の薄板ガラス基板への粘着剤の残存の問題は解決される。しかし、両ガラス基板の分離は、より容易に、より短時間で行うことが望まれる。特にガラス基板が大型の場合は、工業的に利用する上で重要な点となる。
また、特許文献８に記載の剥離装置は、吸着シートに吸着保持されているガラス基板等を吸着シートから剥離させる装置であって、樹脂層を介して密着している支持ガラス基板と薄板ガラス基板とを、前記薄板ガラス基板を損傷することなく、加えて前記樹脂層を前記薄板ガラス基板に残存させることなく剥離することは困難である。【００１２】
本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたものである。すなわち、基板間へ混入した気泡や塵介等の異物による基板欠陥の発生を抑制し、エッジピットを発生させることなく既存の製造ラインで処理することができ、密着した基板と樹脂層とを損傷することなく、これらを容易かつ短時間に剥離して分離することができる電子デバイスの製造方法を提供することを目的とする。また、そのような電子デバイスの製造方法を実施することができる剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者は上記課題を解決するため鋭意検討し、本発明を完成させた。
本発明は、以下の（１）〜（１８）に関する。
（１）第１主面および第２主面を有し第２主面に電子デバイス用部材を有する基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き電子デバイスから、前記支持基板および前記樹脂層からなる支持体を剥離する操作を含む、前記電子デバイス用部材および前記基板からなる電子デバイスの製造方法であって、前記支持体付き電子デバイスが有する二つの主面のうちの一方の主面であって、後工程である剥離工程において剥離される支持体が付いていない方の主面を、ステージが備える平面状の固定面へ密着させ、前記支持体付き電子デバイスを前記ステージの固定面上に固定する固定工程と、前記ステージの固定面上に固定された前記支持体付き電子デバイスの端面であって、剥離される前記支持体の前記樹脂層と前記基板との界面に、ナイフを挿入し、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する剥離工程とを具備する、電子デバイスの製造方法。
（２）前記剥離工程において、前記樹脂層と前記基板との界面に挿入された前記ナイフが、前記樹脂層および／または前記基板からの作用によって変形することによって、前記ナイフをさらに挿入する方向へ移動させた場合に前記ナイフが前記樹脂層の表面に沿うように移動して、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する、上記（１）に記載の電子デバイスの製造方法。
（３）前記剥離工程において、前記樹脂層と前記基板との界面に前記ナイフを挿入した後、前記ナイフがその先端部を中心として回転して後端部が、前記ステージの前記固定面における法線と平行な方向に移動し、さらに前記ナイフの全体も同じ平行な方向および挿入する方向の少なくとも一方に移動することで、前記ナイフが前記樹脂層の表面に沿うように移動して、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する、上記（１）または（２）に記載の電子デバイスの製造方法。
（４）さらに、前記固定工程の後であって前記剥離工程の前に、剥離される前記支持体の前記支持基板の第２主面に、複数の吸着パッドを吸着させる吸着工程を具備し、前記剥離工程が、さらに、前記樹脂層と前記基板との界面に前記ナイフを挿入した後、前記樹脂層と前記基板とを剥がす方向である剥離方向へ前記吸着パッドを移動させて、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する工程である、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
（５）前記剥離工程が、さらに、前記支持基板の第２主面に吸着している複数の吸着パッドの中の、前記支持体付き電子デバイスの端面における前記ナイフを挿入した箇所の最も近くに位置する吸着パッドを、初めに前記剥離方向へ移動させ、次にその隣の吸着パッドを前記剥離方向へ移動させ、その後も同様に、前記剥離方向へ移動させた吸着パッドの隣の吸着パッドを次に前記剥離方向へ移動させる操作を順々に行って、前記支持体を前記ナイフを挿入した端部から中央へ向かう方向に剥離し、さらにその延長線上へ向かって剥離する工程である、上記（４）に記載の電子デバイスの製造方法。
（６）前記剥離工程が、さらに、前記樹脂層と前記基板との界面であって前記ナイフを挿入する箇所を、画像処理により確定する操作を含む工程である、上記（１）〜（５）のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
（７）前記剥離工程が、さらに、前記支持基板および／または前記基板の任意の箇所に導体を接続してアースをとって帯電抑制しながら、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する工程である、上記（１）〜（６）のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
（８）前記剥離工程が、さらに、前記支持体と前記電子デバイスとの間に除電用物質を吹き付けて帯電制御しながら、前記支持体と前記電子デバイスとを剥離する工程である、上記（１）〜（７）のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
（９）さらに、前記剥離工程が、前記ナイフへの負荷加重を検出しながら、前記樹脂層と前記基板との界面に前記ナイフを挿入する工程である、上記（１）〜（８）のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
（１０）前記電子デバイスが、表示装置用パネルである、上記（１）〜（９）のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
（１１）第１主面および第２主面を有し第２主面に表示装置用部材を有する基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き電子デバイスから、前記支持基板および前記樹脂層からなる支持体を剥離する剥離装置であって、前記支持体付き電子デバイスの主面と密着して、前記支持体付き電子デバイスを固定できる平面状の固定面を備えるステージと、前記支持体付き電子デバイスから前記支持体を剥離するために用いられるナイフと、前記ステージに固定された前記支持体付き電子デバイスの端面における、剥離される前記支持体における前記樹脂層と前記基板との界面に、前記ナイフが挿入されるように、前記ステージの前記固定面における法線と平行な方向である法線方向へ、前記ナイフを移動させる法線方向移動ユニットと、前記ナイフを、前記樹脂層と前記基板との間において移動させる固定面方向移動ユニットとを備え、さらに、前記ナイフが、前記樹脂層と前記基板との間に挿入された場合に、前記樹脂層の表面に沿って移動するように、前記樹脂層および／または前記基板からの作用によって変形する性質を備える、および／または、前記ナイフが先端部を中心として回転して前記ナイフの後端部を法線方向に移動させる回転機構および前記ナイフの挿入角度の上下限を設定する挿入角度設定機構を有する挿入角度調整ユニット、ならびに前記ナイフの全体を、前記法線方向に移動させる法線方向移動機構を備える、剥離装置。
（１２）さらに、前記ステージの固定面上に固定された前記支持体付き電子デバイスにおける剥離される前記支持体の前記支持基板の第２主面を吸着する複数の吸着パッド、および前記吸着パッドを前記樹脂層と前記基板とを剥がす方向である剥離方向に移動させるパッド移動ユニットを備える、上記（１１）に記載の剥離装置。
（１３）前記パッド移動ユニットが、前記複数の吸着パッドの中の、前記支持体付き電子デバイスの端面における前記ナイフを挿入した箇所の最も近くに位置する吸着パッドを初めに前記剥離方向へ移動させ、次にその隣の吸着パッドを前記剥離方向へ移動させ、その後も同様に、前記剥離方向へ移動させた吸着パッドの隣の吸着パッドを次に前記剥離方向へ移動させる操作を順々に行って、前記支持体を前記ナイフを挿入した端部から中央へ向かう方向に剥離し、さらにその延長線上へ向かって剥離する時間制御機能を備える、上記（１２）に記載の剥離装置。
（１４）さらに、前記樹脂層と前記基板との界面であって前記ナイフを挿入する箇所を確定するための画像処理装置を備える、上記（１１）〜（１３）のいずれかに記載の剥離装置。
（１５）さらに、前記支持基板および／または前記基板の任意の箇所に導体を接続して帯電抑制するアースを備える、上記（１１）〜（１４）のいずれかに記載の剥離装置。
（１６）さらに、前記支持体と前記電子デバイスとの間に除電用物質を吹き付けて帯電制御する帯電制御装置を備える、上記（１１）〜（１５）のいずれかに記載の剥離装置。
（１７）さらに、前記ナイフへの負荷加重を検出する負荷加重検出装置を備える、上記（１１）〜（１６）のいずれかに記載の剥離装置。
（１８）前記電子デバイスが、表示装置用パネルである、上記（１１）〜（１７）のいずれかに記載の剥離装置。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板間へ混入した気泡や塵介等の異物による基板欠陥の発生を抑制し、エッジピットを発生させることなく既存の製造ラインで処理することができ、密着した基板と樹脂層とを損傷することなく、これらを容易かつ短時間に剥離して分離することができる電子デバイスの製造方法を提供することができる。また、そのような電子デバイスの製造方法を実施することができる剥離装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（ａ）〜１（ｄ）は、本発明の剥離装置の好適実施態様を示す概略断面図である。
【図２】図２（ａ）〜２（ｄ）は、本発明の剥離装置の別の好適実施態様を示す概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の剥離装置の好適実施態様の一部を示す概略断面図である。
【図４】図４（ａ）および４（ｂ）は、ナイフの好適実施態様を示す概略上面図および概略端面図である。
【図５】図５（ａ）は、ナイフの支持部を説明するための概略斜視図であり、図５（ｂ）および図５（ｃ）は概略上面図である。
【図６】図６（ａ）〜６（ｃ）は、剥離時におけるナイフの変形について説明するための概略斜視図である。
【図７】図７は、回転機構の好適実施態様を示す概略断面図である。
【図８】図８は、吸着パッドの好適実施態様を示す概略斜視図である。
【図９】図９は、吸着パッドが吸着していることを模式的に示す図である。
【図１０】図１０は、吸着パッドの制御系を示すブロック図である。
【図１１】図１１は、支持体付き表示装置用パネルの一態様を示す概略断面図である。
【図１２】図１２は、支持体付き表示装置用パネルの別の一態様を示す概略平面図である。
【図１３】図１３は、支持体付き表示装置用パネルの別の一態様を示す概略断面図である。
【図１４】図１４は、支持体付き表示装置用パネルのさらに別の一態様を示す概略断面図である。
【図１５】図１５（ａ）〜１５（ｃ）は、ステージの固定面の一部が曲面である場合における剥離方法について説明するための概略断面図である。
【図１６】図１６（ａ）〜１６（ｃ）は、ステージが可撓性部材である場合における剥離方法について説明するための概略断面図である。
【図１７】図１７は、本発明の電子デバイスの製造方法の一実施形態である表示装置用パネルの製造方法のフローを一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明は本発明の製造方法および剥離装置からなる。
本発明の製造方法は、本発明の剥離装置を用いて好ましく実施することができる。
初めに、本発明の剥離装置について、２つの好適実施例を挙げて説明する。
【００１７】
なお、詳細については後述するが、本発明において用いる支持体付き電子デバイスは、第１主面および第２主面を有し第２主面に電子デバイス用部材を有する基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着しているものである。
すなわち、支持体付き電子デバイスは、電子デバイス用部材、基板、樹脂層および支持基板を有し、これらはこの順に積層している。また、電子デバイスは電子デバイス用部材および基板を有し、電子デバイス用部材は基板の第２主面上に形成されている。
また、支持体付き電子デバイスは、基板、樹脂層および支持基板がこの順に積層した積層体が電子デバイス用部材を介して２つ積層したもの、すなわち、支持基板、樹脂層、基板、電子デバイス用部材、基板、樹脂層および支持基板がこの順に積層したものであってもよい。
ここで、電子デバイスとは、表示装置用パネル、太陽電池、薄膜２次電池、表面に回路が形成された半導体ウェハ等の電子部品をいう。表示装置用パネルとは、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル等を含んでいる。
【００１８】
本発明の剥離装置の好適実施例について説明する。
図１は、本発明の剥離装置の好適実施例である剥離装置１の概略断面図である。
図１（ａ）〜１（ｄ）は、剥離を行う際の剥離装置１における各部位の動きを説明するための連続図であるが、剥離装置１の構成について図１（ａ）を用いて説明する。剥離の際の各部位の動きについては後述する。
【００１９】
図１（ａ）において剥離装置１はステージ２０と、ナイフ３０と、法線方向移動ユニット４０と、固定面方向移動ユニット４２とを備え、さらに、三成分力センサー４６を備えている。
すなわち、剥離装置１は、支持体付き表示装置用パネル１０の主面と密着して、支持体付き表示装置用パネル１０を固定できる平面状の固定面を備えるステージ２０と、支持体付き表示装置用パネル１０から支持体を剥離するために用いられるナイフ３０と、ステージ２０に固定された支持体付き表示装置用パネル１０の端面における、剥離される支持体における樹脂層と薄板ガラス基板との界面に、ナイフ３０を挿入できるように、ステージ２０の固定面における法線と平行な方向である法線方向（図１では上下方向）へ、ナイフ３０を移動させる法線方向移動ユニット４０と、ナイフ３０を樹脂層と薄板ガラス基板との間において移動させる固定面方向移動ユニット４２とを備え、さらに、ナイフ３０への負荷荷重を検出できる負荷加重検出ユニットとして三成分力センサー４６を備えている。
また、後述するように、剥離装置１におけるナイフ３０は、樹脂層と薄板ガラス基板との間に挿入された場合に、樹脂層の表面に沿って移動するように、樹脂層および／または薄板ガラス基板からの作用によって変形する性質を備えるものである。
また、好適実施例である剥離装置１における基台部材２およびステージ２０は、剥離装置１を設置した部屋の床に固定されており、移動しない。また、ステージ２０における固定面２０ａ（図３参照）は水平面（すなわち部屋の床と平行）である。また、基台部材２と固定面方向移動ユニット４２の第１固定側部材４２ｂとは固定されており、同様に、固定面方向移動ユニット４２の第１移動側部材４２ａと固定面方向の第１移動部材本体３、第１移動部材本体３と法線方向移動ユニット４０の第２固定側部材４０ｂ、法線方向移動ユニット４０の第２移動側部材４０ａと法線方向の第２移動部材本体５、第２移動部材本体５と三成分力センサー４６と法線方向の第３移動部材本体４、第３移動部材本体４とナイフ３０とは固定されている。
【００２０】
また、図１には示していないが、後に図３を用いて説明するように、剥離装置１は、支持体付き表示装置用パネル１０における支持ガラス基板１９ｂの第２主面に吸着する吸着パッド６０と、支持体付き表示装置用パネルの端面におけるナイフ３０を挿入するために用いるカメラ７０と、剥離される支持体における樹脂層１８ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面に除電用物質（水等）を吹付ける吹付け装置としてのノズル７３と、支持体付き表示装置用パネル１０と地面とを導体で繋げて支持体付き表示装置用パネル１０の帯電を抑制する帯電抑制装置７５とを備えている。
【００２１】
本発明の剥離装置の別の好適実施例について説明する。
図２は、本発明の剥離装置の別の好適実施例である剥離装置１１の概略断面図である。
図２（ａ）〜２（ｄ）は、剥離を行う際の剥離装置１１における各部位の動きを説明するための連続図であるが、剥離装置１１の構成について図２（ａ）を用いて説明する。剥離の際の各部位の動きについては後述する。
なお、剥離装置１１は、上記の剥離装置１と共通する部位を有する。当該部位の説明は簡略して行う。また、図２では、剥離装置１と共通する部位については、図１と同じ符号（番号）を付している。
【００２２】
図２（ａ）において剥離装置１１はステージ２０と、ナイフ３００と、法線方向移動ユニット４０と、固定面方向移動ユニット４２と、回転機構５０およびストッパー５１を有する挿入角度調整ユニット５９と、法線方向移動機構４４とを備え、さらに、三成分力センサー４６を備えている。
すなわち、剥離装置１１は、剥離装置１と同様のステージ２０と、法線方向移動ユニット４０と、固定面方向移動ユニット４２と、三成分力センサー４６とを備えている。そして、これらに加えて、支持体付き表示装置用パネル１０から支持体を剥離するために用いられるナイフ３００と、ナイフ３００が先端部を中心として所定角度（１８０度未満）回転して、すなわち回動してナイフ３００の後端部が法線方向に移動できる回転機構５０およびナイフ３００の挿入角度の上下限を設定する挿入角度設定機構としてのストッパー５１を有する挿入角度調整ユニット５９と、ナイフ３００の全体が前記法線方向に移動できる法線方向移動機構４４とを備えている。
ここで剥離装置１１におけるナイフ３００は、前述の剥離装置１におけるナイフ３０とは異なる性質を備え、変形しない。すなわち、ナイフ３００は、ナイフ３０のように、樹脂層と薄板ガラス基板との間に挿入された場合に樹脂層の表面に沿って移動するように、樹脂層および／または薄板ガラス基板からの作用によって変形する性質は備えていない。
また、好適実施例である剥離装置１１における基台部材２およびステージ２０は、剥離装置１１を設置した部屋の床に固定されており、移動しない。また、ステージ２０における固定面は水平面（すなわち部屋の床と平行）である。また、基台部材２と固定面方向移動ユニット４２の第１固定側部材４２ｂとは固定されており、同様に、固定面方向移動ユニット４２の第１移動側部材４２ａと固定面方向の第１移動部材本体３、第１移動部材本体３と法線方向移動ユニット４０の第２固定側部材４０ｂ、法線方向移動ユニット４０の第２移動側部材４０ａと法線方向移動機構４４の第３固定側部材４４ｂ、法線方向移動機構４４の第３移動側部材４４ａと法線方向の第２移動部材本体５、第２移動部材本体５と三成分力センサー４６と法線方向の第３移動部材本体４は固定されている。また、ナイフ３０は、第３移動部材本体４に対して回転（回動）可能に支持されている。
【００２３】
また、図２には示していないが、後に図３を用いて説明するように、剥離装置１１は、剥離装置１と同様に、吸着パッド６０と、カメラ７０と、ノズル７３と、帯電抑制装置７５とを備えている。
【００２４】
＜ステージ＞
剥離装置１および剥離装置１１（以下、「剥離装置１、１１」とも記す。）はステージ２０を備える。剥離装置１、１１におけるステージ２０について、図３を用いて説明する。
図３は剥離装置１、１１におけるステージ２０の固定面２０ａ上に支持体付き表示装置用パネル１０が固定されていることを示す概略断面図である。ここで支持体付き表示装置用パネル１０は、表示装置用部材１４の両主面を、薄板ガラス基板（１２ａ、１２ｂ）と樹脂層（１８ａ、１８ｂ）と支持ガラス基板（１９ａ、１９ｂ）との積層体で挟み込む態様のものである。
ここでは、表示装置用部材１４の両主面を薄板ガラス基板１２ａおよび１２ｂで挟み込んだものを狭義の表示装置用パネル１６と呼び、樹脂層１８ａおよび１８ｂと支持ガラス基板１９ａおよび１９ｂとの各積層体を支持体１７ａおよび１７ｂと呼ぶ。なお、剥離される支持体１７ｂは支持ガラス基板１９ｂと樹脂層１８ｂとからなる。したがって、広義には、狭義の表示装置用パネル１６と支持体１７ａとを一体として表示装置用パネルと呼んでも良い。
【００２５】
剥離装置１、１１は、平面状の固定面を備える多孔質真空吸着プレート２２を有するステージ２０と、ステージ２０の固定面上に固定された支持体付き表示装置用パネル１０と、支持体付き表示装置用パネル１０の端面１０ｘであって、剥離される支持体１７ｂにおける樹脂層１８ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面に挿入するナイフ３０またはナイフ３００とを備えている。
また、支持体付き表示装置用パネル１０における支持ガラス基板１９ｂの第２主面に吸着する吸着パッド６０と、端面１０ｘにおけるナイフ３０またはナイフ３００を挿入するために用いる画像処理装置を備えるカメラ７０と、剥離される支持体における樹脂層１８ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面に除電用物質を吹付けるノズル７３と、支持体付き表示装置用パネル１０と地面とを導体で繋げて支持体付き表示装置用パネル１０の帯電を抑制する帯電抑制装置７５を備えている。
【００２６】
また、多孔質真空吸着プレート２２はポンプ２４と繋がっており、ポンプ２４を用いて真空引きして、多孔質真空吸着プレート２２の固定面（図３に示すステージ２０においては上面）上に支持体付き表示装置用パネル１０における支持ガラス基板１９ａの第２主面を真空吸着して、支持体付き表示装置用パネル１０を固定している。本発明の剥離装置においてステージの固定面とは、支持体付き表示装置用パネル１０の主面と密着して、これを固定できる平面を意味する。
【００２７】
本発明においてステージは、支持体付き表示装置用パネルをその固定面上に保持して固定できるものであれば特に限定されないが、図３に示したように、真空吸着することで吸着して固定するものであることが好ましい。支持体付き表示装置用パネルの表面にキズが付き難く、また、短時間で脱着可能だからである。
【００２８】
また、ステージはその固定面上に支持体付き表示装置用パネルを載置して、支持体付き表示装置用パネルを保持できるものであり、固定面上の広さ（面積）は固定する支持体付き表示装置用パネルにおける薄板ガラス基板の主面面積と同程度であることが好ましい。
【００２９】
なお、本発明においてステージの固定面について、図１〜３に示したように水平面としたが、水平面に限定されるものではなく、曲面であっても良い。図１５はステージ２０の固定面の一部が曲面である場合における剥離方法について説明するための概略断面図である。まず、支持体付き表示装置用パネル１０を、固定面２０ａの一部が曲面となっているステージ２０に固定し、支持体１７ｂの樹脂層１８ｂ（図３参照）と表示装置用パネル１６の薄板ガラス基板１２ｂ（図３参照）との間にナイフ３０が挿入された初期段階（図１５（ａ））では、ナイフ３０は樹脂層１８ｂの表面に沿うように移動して、支持体１７ｂと表示装置用パネル１６との剥離のきっかけを与える（図１５（ｂ））。それ以降は（図１５（ｃ））、吸着パッド８２を用いて支持体１７ｂを吸着して、支持体１７ｂと表示装置用パネル１６とを剥離する。ステージ２０の固定面２０ａが曲面になっているため、固定面が水平面のステージ２０と比較して支持体１７ｂの変形を小さく抑えることができ、剥離時に支持体１７ｂが破壊するおそれがない。
また、ステージ２０を可撓性部材にして、順次撓み変形させながら全面剥離しても良い。図１６はステージ２０が可撓性部材である場合における剥離方法について説明するための概略断面図である。まず、支持体付き表示装置用パネル１０を、固定面が水平の可撓性ステージ２０に固定し、支持体１７ｂの樹脂層１８ｂ（図３参照）と表示装置用パネル１６の薄板ガラス基板１２ｂ（図３参照）との間にナイフ３０が挿入された初期段階（図１６（ａ））では、ナイフ３０は樹脂層１８ｂの表面に沿うように移動して、支持体１７ｂと表示装置用パネル１６との剥離のきっかけを与える（図１６（ｂ））。それ以降は（図６（ｃ））、吸着パッド８２を用いて支持体１７ｂを吸着して、さらにステージ２０下方に設けた別の吸着パッド８２でステージ２０を吸着して、支持体１７ｂおよびステージ２０を順次撓み変形させながら、支持体１７ｂと表示装置用パネル１６とを剥離する。ステージ２０を可撓性部材にして、順次撓み変形させながら剥離するため、固定面が水平面のまま変形しないステージと比較して支持体１７ｂの変形を小さく抑えることができ、剥離時に支持体１７ｂが破壊するおそれがない。
【００３０】
また、図３においてθで示す角度はナイフの挿入角度を表わしている。すなわち挿入角度（θ）とは、ナイフの上面と（ナイフが後述する図４に示すような二段刃の場合であれば、ナイフの中段部および後端部の上面）と、剥離される支持体１７ｂの樹脂層１８ｂの表面とがなす角度である。
【００３１】
＜ナイフ＞
ナイフ３０およびナイフ３００は、支持体付き表示装置用パネル１０から支持体１７ｂを剥離するために用いるものであり、支持ガラス基板１９ｂと樹脂層１８ｂとからなる支持体１７ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面に挿入して剥離する。
【００３２】
剥離装置１におけるナイフ３０の形状について、図４を用いて説明する。なお、ここではナイフ３０についてのみ説明するが、剥離装置１１におけるナイフ３００の形状は、剥離装置１におけるナイフ３０と同様であってよい。
図４（ａ）はナイフ３０の概略上面図であり、図４（ｂ）は概略端面図である。
本発明で用いられるナイフの大きさ、形状等は特に限定されないが、好適実施例であるナイフ３０は図４に示すような大きさおよび形状である。すなわち、図４（ａ）に示すように、上から見るとナイフ３０は矩形であり、幅が１０ｍｍ、長さが１００ｍｍの大きさである。また、図４（ｂ）に示すように厚さは０．１ｍｍであり、二段刃となっている。二段刃を構成する図４（ｂ）に示す先端部３０ａは尖っていて端面から見ると２５度の角度をなしており、中段部３０ｂは１５度の角度をなしており、後端部３０ｃは平坦になっている。
【００３３】
上記のようにナイフ３０の大きさは幅が１０ｍｍ、長さが１００ｍｍであるが、本発明で用いられるナイフの大きさは幅が５〜５０ｍｍ、長さが３０〜２００ｍｍであることが好ましい。また、厚さは０．０５〜１．０ｍｍであることが好ましい。
また、ナイフ３０のように二段刃となっていることが好ましい。ナイフの先端が薄板ガラス基板や樹脂層の表面に損傷を与えることを防止できるからである。
また、上記のようにナイフ３０における先端部３０ａがなす角度は２５度程度であるが、本発明で用いられるナイフが二段刃の場合、先端部がなす角度は２０〜３０度であることが好ましい。また、同様に、中段部がなす角度は１０〜２０度であることが好ましい。また、先端の曲率は特に限定されないが、曲率半径が０．００１ｍｍ以上であることが好ましい。さらに、本発明に用いられるナイフは、図４に示すように両刃であるのが好ましいが、片刃であっても良い。
【００３４】
次にナイフの材質および変形能等について説明する。
ナイフ３０およびナイフ３００の材質は特に限定されない。例えばステンレス等の金属、セラミックス、プラスチック、硬質ゴムが挙げられる。
また、樹脂層と薄板ガラス基板との間に挿入されて、樹脂層および／または薄板ガラス基板から何らかの作用（力）を受けた場合には変形し、作用が解除された場合には可逆的に変形も解除されて、元の形状に戻る材料であることが好ましい。例えばゴムのような弾性体を好ましく例示できるが、ナイフへ加えられる作用（力）が大きくない範囲では金属等も弾性体として振る舞うので、好ましく用いることができる。
また、ヤング率が１,０００〜４００，０００Ｎ/ｍｍ２、好ましくは２００，０００Ｎ/ｍｍ２程度の材料からなるものであることが好ましい。ステンレスはヤング率が２０６，０００Ｎ/ｍｍ２であり、好ましく用いることができる材料である。
【００３５】
また、剥離装置１のナイフ３０は、特定の曲げ剛性［Ｎ・ｍｍ２］を備えるものである。
具体的には、ナイフ３０の形状が例えば上記の図４で示されるようなものである場合、その上面へ加えられた荷重（厚さ方向の荷重）に対する曲げ剛性（以下、「曲げ剛性Ａ」とする。）は、５，０００Ｎ・ｍｍ２以下であり、２００Ｎ・ｍｍ２以下であることが好ましい。
また、ナイフ３０の形状が例えば上記の図４で示されるようなものである場合、その幅方向の荷重に対する曲げ剛性（長さ方向の辺（面）へ荷重が加わった場合の曲げ剛性）（以下、「曲げ剛性Ｂ」とする。）は、２００，０００Ｎ・ｍｍ２以上であり、１，０００，０００Ｎ・ｍｍ２以上であることが好ましい。
さらに、曲げ剛性Ａが５，０００Ｎ・ｍｍ２以下であって、かつ、曲げ剛性Ｂが２００，０００Ｎ・ｍｍ２以上であることがより好ましい。
なお、ここでいう曲げ剛性（曲げ剛性Ａおよび曲げ剛性Ｂ）は、ナイフの材質によって決まるヤング率[Ｎ/ｍｍ２]と、断面形状および中立軸の位置によって決まる断面二次モーメント[ｍｍ４]との積として求められる。
このように剥離装置１のナイフ３０は、上記のような特定範囲の曲げ剛性Ａ、Ｂを備えるので、樹脂層と薄板ガラス基板との間に挿入された場合に、樹脂層の表面に沿って移動するように、樹脂層および／または薄板ガラス基板からの作用によって変形する。後述するように、剥離装置１１のナイフ３００は、ナイフ３０が備えるような曲げ剛性を備えている必要はないが、備えていても良い。
【００３６】
次に剥離装置１のナイフ３０を支持する支持部について説明する。
ナイフ３０は、図５に示すような構造を備える支持部６１によって支持されていることが好ましい。図５（ａ）は剥離装置１におけるナイフ３０およびこれを支持する支持部６１の概略斜視図である。また、図５（ｂ）、（ｃ）は、図５（ａ）における一方のアーム６１１の動きを示す概略上面図である。図５（ｂ）、（ｃ）においてはナイフ３０を省略し図示していない。
図５における支持部６１は２つの板状のアーム６１１を有し、これらとナイフ３０とが連結されている。アーム６１１は、ナイフ３０へ何らかの力が加えられた場合に、ナイフ３０自体の変形を邪魔しないように変形することができる。
例えば図５（ｂ）に示すように、２つのアーム６１１が互いに近づくように変形することができる。また、例えば図５（ｃ）に示すように、上から見た場合にＳ字状となるように変形することができる。
【００３７】
ナイフ３０は上記のような特定範囲の曲げ剛性Ａ、Ｂを備えることに加え、さらに上記のような支持部によって支持されているので、樹脂層と薄板ガラス基板との間に挿入された場合に、樹脂層の表面に沿って移動するように、樹脂層および／または薄板ガラス基板からの作用によって、より変形し易い。
より具体的には、例えば、図６に示すように（図６（ａ）〜（ｃ）では支持部６１を省略して示している。）、樹脂層と薄板ガラス基板との間にナイフが挿入された初期段階（図６（ｂ））では、ナイフ３０はそれ自体の法線方向の変形によって樹脂層の表面に沿うように移動し、それ以降は（図６（ｃ））、挿入方向におけるナイフ３０と支持体付き表示装置用パネル１０とが接触する部分およびナイフ３０と支持部とが連結している部分を支点とする回転方向の変形かつ回転方向と複合されたいわゆる自体のねじれ現象によって、樹脂層の表面に沿って移動できる。
【００３８】
これに対して、剥離装置１１のナイフ３００は、ナイフ３０が備えるような曲げ剛性を備えず、支持部６１のような支持構造も備えない。よって、樹脂層や薄板ガラス基板からの作用によっては変形しない。そこで剥離装置１１は、剥離装置１が備えない回転機構および挿入角度設定機構を有する挿入角度調整ユニットならびに法線方向移動機構を備える必要がある。
なお、本発明の剥離装置は、ナイフ３０のような変形能を備えるナイフを有し、かつ、剥離装置１１のように挿入角度調整ユニットおよび法線方向移動機構を備えることを除外するものではない。むしろ、変形能（変形の程度）によっては、ナイフがより好ましく動く場合もある。
【００３９】
＜法線方向移動ユニット＞
剥離装置１における法線方向移動ユニット４０について、図１（ａ）を用いて説明する。剥離装置１１も同様の法線方向移動ユニット４０を有する。
剥離装置１において法線方向移動ユニット４０は第２移動側部材４０ａおよび第２固定側部材４０ｂを有する。第２移動側部材４０ａと第２固定側部材４０ｂとは図示しないクロスローラーガイドを介して繋がっており、図示しないサーボモーターを駆動させることで、第２固定側部材４０ｂに対して第２移動側部材４０ａを法線方向へ移動させ、これに繋がっているナイフ３０を法線方向へ移動させることができる。
前述のように、法線方向とはステージ２０の固定面２０ａ（図３参照）における法線と平行な方向を意味する。剥離装置１におけるステージ２０の固定面２０ａは水平面であるので、剥離装置１においては（剥離装置１１においても）法線方向とは、上下方向（鉛直方向）となる。
このようにしてステージ２０の固定面２０ａ上に固定された支持体付き表示装置用パネル１０の端面であって、剥離される支持体１７ｂにおける樹脂層１８ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面にナイフ３０を挿入できるように（図３参照）、その位置を調整することができる。
【００４０】
本発明において法線方向移動ユニットは、ナイフを法線方向の所望の位置へ移動させることができるユニットであれば特に限定されない。
【００４１】
＜挿入角度調整ユニット＞
剥離装置１１は回転（または回動）機構５０と上下限設定機構としてのストッパー５１とを有する挿入角度調整ユニット５９を具備する。剥離装置１は挿入角度調整ユニットを有さない。
剥離装置１１における回転機構５０について、図２（ａ）および図７を用いて説明する。
剥離装置１１において回転機構５０は、回転軸５４とナイフ３００とがブラケット５２を介して連結していて、回転（または回動）軸５４が所定角度回転（または回動）することでナイフ３００も所定角度回転（または回動）することができる機構となっている。
図７はこのような回転機構５０を説明するための概略断面図であり、回転軸５４の中心において水平に切った断面を上から見た図である。
図７において矩形のナイフ３００は、その三辺がブラケット５２に固定に固定されていて、さらにブラケット５２は回転軸５４に固定されているので、回転軸５４が回転することでナイフ３００も同じように回転する。回転軸５４は樹脂製のすべりブッシュ５６を介してブラケット５８で支えられている。ブラケット５８は図２（ａ）に示す第３移動部材本体４に固定されている。また、図２（ａ）および図７に示すように、ナイフ３００の先端と回転軸５４の中心とは略一致している。したがってナイフ３００はその先端を中心として回転することができる。
【００４２】
また、図２（ａ）に示すように、剥離装置１１はストッパー５１を有する。ストッパー５１は第３移動部材本体４と連結されており、第３移動部材本体４に対して相対的に法線方向（上下方向）に移動させて所望の位置で固定することができる。よって、固定すれば、ストッパー５１は第３移動部材本体４の法線方向の移動に追従して移動する。
【００４３】
このようなストッパー５１によって、ナイフ３００の挿入角度（θ）の上限または下限を調整することができる。ブラケット５２の下面を支えるようにストッパー５１の位置を決定することで、それ以上、挿入角度（θ）が大きくなる方向へはナイフ３００は回転しないので上限を設定することができる。この場合は、逆方向（θが小さくなる方向）へ回転することはできる。
挿入角度（θ）は特に限定されないものの、２〜５度であることが好ましい。
【００４４】
＜固定面方向移動ユニット＞
剥離装置１における固定面方向移動ユニット４２について、図１（ａ）を用いて説明する。
剥離装置１１も同様の固定面方向移動ユニットを有する。
剥離装置１において固定面方向移動ユニット４２は第１移動側部材４２ａおよび第１固定側部材４２ｂを有する。第１移動側部材４２ａと第１固定側部材４２ｂとは図示しないクロスローラーガイドを介して繋がっており、図示しないサーボモーターを駆動させることで、第１固定側部材４２ｂに対して第１移動側部材４２ａをステージ２０における固定面と平行な方向である固定面方向（図１（ａ）においては左右方向）へ移動させ、これに繋がっているナイフ３０を固定面方向へ移動させることができる。そして、ナイフ３０を樹脂層と薄板ガラス基板との間を移動させることができる。
【００４５】
本発明において固定面方向移動ユニットは、ナイフを固定面方向の所望の位置へ移動させることができるユニットであれば特に限定されない。
【００４６】
＜法線方向移動機構＞
剥離装置１１における法線方向移動機構４４について、図２（ａ）を用いて説明する。
剥離装置１１において法線方向移動機構４４は第３移動側部材４４ａ、第３固定側部材４４ｂおよびストッパー４４ｃを有する。第３移動側部材４４ａと第３固定側部材４４ｂとは図示しないクロスローラーガイドを介して繋がっており、第３固定側部材４４ｂに対して第３移動側部材４４ａが法線方向（上方向）に自由に移動することができる。
また、ストッパー４４ｃは法線方向移動ユニット４０の第２移動側部材４０ａと連結しており、第２移動側部材４０ａに対して相対的に法線方向（上下方向）に移動させて所望の位置で固定することができる。よって、固定すれば、ストッパー４４ｃは第２移動側部材４０ａの法線方向（上下方向）の移動に追従して移動する。
このようなストッパー４４ｃによって、ナイフ３０の法線方向（上下方向）の最下位置を決定することができる。第２移動部材本体５の下面を支えるようにストッパー４４ｃの位置を決定することで、それよりも下へはナイフ３０は移動しない。上方向へは移動することはできる。
【００４７】
本発明において法線方向移動機構は、ナイフの全体が上方向に移動できる機構であれば特に限定されない。
【００４８】
＜負荷加重検出ユニット＞
剥離装置１における負荷加重検出ユニットについて、図１（ａ）を用いて説明する。剥離装置１１も同様の負荷加重検出ユニットを有する。
剥離装置１はナイフ３０への負荷加重検出ユニットとして三成分力センサー４６を、第３移動部材本体４と第２移動部材本体５とで挟むように備えている。
本発明の剥離装置は、このようなナイフへの負荷加重検出ユニットを備えることが好ましい。また、できるだけナイフの近傍に備えることが好ましい。本発明の剥離装置がナイフへの負荷加重検出装置を備えると、ナイフを用いて支持体を剥離する際に、無理な力を加えることなく剥離することができるので好ましい。
【００４９】
＜吸着パッド＞
剥離装置１、１１は、支持体付き表示装置用パネル１０における支持ガラス基板１９ｂの第２主面に吸着する複数の吸着パッド６０を備えている。
本発明ではこのような吸着パッドを備え、これを用いて支持体付き表示装置用パネル１０から支持体を剥離することが好ましい。
【００５０】
剥離装置１、１１が備える吸着パッドについて図を用いて説明する。
図８は、剥離装置１、１１の一部を示す概略斜視図である。図８において剥離装置１、１１は、ステージ２０の固定面上に支持体付き表示装置用パネル１０を略水平に固定しており、支持体付き表示装置用パネル１０における剥離される支持体１７ｂの支持ガラス基板１９ｂ（図３参照）の第２主面を、多数の吸着パッド８２が吸着している。
【００５１】
吸着パッド８２は、図８に示すように、支持体付き表示装置用パネル１０が固定されるステージ２０の上方に複数個配置される。剥離装置１、１１においてこれらの吸着パッド８２は、フレーム８４に碁盤目状に配置されているが、本発明においては必ずしも配置は等ピッチでなくてもよい。このフレーム８４は、支持体の剥離時にガイド８６に沿って下降移動され、吸着パッド８２が支持体付き表示装置用パネル１０の上面（支持ガラス基板の第２主面）に当接する直前のタイミングでその下降移動が、図示しない昇降装置によって停止される。
【００５２】
吸着パッド８２のサイズに関しては、サイズが小さいと、支持体付き表示装置用パネル１０への保持力が不足して吸着パッド８２の個数が多くなり不経済となる。また、吸着パッド８２のサイズが大き過ぎると、真空引きにより吸着中央部の支持体付き表示装置用パネル１０の変形が大きくなるため、場合によっては支持体付き表示装置用パネル１０の損傷の原因になる。このような事情から、吸着パッド８２の適正なサイズ（例えば、φ２５〜８０ｍｍ、好ましくはφ２５〜６５ｍｍ、より好ましくはφ４０ｍｍ程度）および個数は、支持体付き表示装置用パネル１０の大きさおよび厚さ等によって選定される。
【００５３】
吸着パッド８２は、それぞれ独立したエアーシリンダ８８のピストン８９に連結され、そのピストン８９の伸縮動作により吸着パッド８２が昇降移動される。吸着パッド８２の下降動作によって、吸着パッド８２が支持体付き表示装置用パネル１０に押圧当接されて吸着パッド８２に支持体付き表示装置用パネル１０の上面が吸着され、吸着パッド８２の上昇動作によって支持体付き表示装置用パネル１０における支持体１７ｂ（支持ガラス基板１９ｂおよび樹脂層１８ｂ）が表示装置用パネル１６から剥離される（図３参照）。
【００５４】
このような吸着パッド８２の上昇動作は、支持体付き表示装置用パネル１０全域の吸着パッド８２を一斉に上昇動作させるのではなく、支持体付き表示装置用パネル１０の端部から中央に向けて支持体の剥離の進展に伴って、順番に上昇動作するように制御されることが好ましい。また、吸着パッドの上昇距離は、支持体に許容される曲げ応力やサイズによって調整することが好ましい。
また、吸着パッド８２とピストン８９との連結部分にスイベル構造等を用いて、吸着パッド８２が傾動可能なように支持すると好ましい。吸着パッド８２の吸着面で吸着されている支持ガラス基板１９ｂ（図３参照）の部分でも、一端から徐々に剥離されるようにして、剥離を安定化することができるからである。
【００５５】
なお、吸着パッドを法線方向へ上昇させて支持体を剥離することは可能であるが、法線方向に対して角度を有する方向へ吸着パッドを上昇させてもよい。例えば、次に詳細に説明するように、支持体付き表示装置用パネル１０の端部から中央に向けて支持体の剥離の進展に伴って順番に上昇動作する場合、吸着パッドを当該中央方向へ傾くように上昇させると、より容易に支持体を剥離することができ好ましい。
【００５６】
図９は、支持体付き表示装置用パネル１０の上面（支持ガラス基板１９ｂの第２主面）であって、図８で示した吸着パッド８２が吸着する位置を示す上面図であり、図１０は吸着パッド８２の制御系を示したブロック図である。なお、図９では右下角部にナイフを挿入するものとし、複数（図８、９では４２個）の吸着パッド８２における当該角部に最も近い吸着パッドをパッド８２ａ、その隣（左上）の２つの吸着パッドをパッド８２ｂ、さらにその隣（左上）の３つの吸着パッド８２をパッド８２ｃというように、以降もパッド８２ｄ〜８２ｌまで符号を付ける。
【００５７】
これらのパッド８２ａ〜８２ｌがそれぞれ独立して動作するように（同じ符号のパッドは同じように動作する）、図１０のようにパッド８２ａ〜８２ｌのエアーシリンダ８８ａ〜８８ｌ毎に電磁弁８７ａ〜８７ｌが設けられるとともに、これらの電磁弁８７ａ〜８７ｌの開閉タイミングが制御部（パッド移動ユニット）９０によって時間管理されている。すなわち、ナイフ３０またはナイフ３００を挿入することによって吸着力を無くした箇所（角部）から順番にパッド８２ａ〜８２ｌを所定時間間隔で上昇移動されるように制御されている。すなわち時間制御機能を備えている。これにより、吸着力が残存する箇所を無理に上昇させることによる支持体の破損を防止できる。そして、支持体付き表示装置用パネル１０の端部から中央に向けて支持体の剥離の進展に伴って順番に上昇動作して剥離することができる。
【００５８】
また、パッド８２ａ〜８２ｌのエアーシリンダ８８ａ〜８８ｌは、電磁弁８７ａ〜８７ｌと電空レギュレータ８５ａ〜８５ｌを介してエアーポンプ８３に接続され、これらの電空レギュレータ８５ａ〜８５ｌが制御部９０によって各々制御されている。すなわち、制御部９０によって電空レギュレータ８５ａ〜８５ｌを各々制御し、エアーシリンダ８８ａ〜８８ｌに供給するエア量を徐々に増加させることにより、吸着パッド８２の上昇する力を徐々に上げることができる。このような力制御を実行することによって、最初から無理に上昇する力を上げることに起因する支持体付きガラス基板１０の損傷問題を回避でき、かつ剥離に要する必要な時間を最低限に短縮することができる。
【００５９】
一方、吸着パッド８２は、制御部９０によって開閉制御されるバルブ７９と電空レギュレータ７８とを介してバキュームポンプ７７に接続されている。吸着パッド８２のエア圧の制御は、レギュレータ７８によって行われている。吸着パッド８２の上昇のタイミングと上昇する力は、制御部９０の操作盤に設けられたタッチパネル等のスイッチ（不図示）を操作することで、オペレータが任意の値に設定することができる。
【００６０】
＜カメラ＞
剥離装置１、１１は、支持体付き表示装置用パネル１０の端面１０ｘにおけるナイフ３０またはナイフ３００を挿入する箇所を確定するために、画像処理装置を備えるカメラ７０を具備している。カメラ７０でナイフ３０またはナイフ３００の位置情報を画像データとして画像処理装置に取り込み、その画像データを処理し、所望の位置か否かを画像処理装置によって判断して、その結果を法線方向移動ユニット４０へフィードバックすることで、ナイフ３０またはナイフ３００を所望の位置へ移動させることができる。
本発明ではこのように画像処理装置を備えるカメラを具備し、支持体付き表示装置用パネルの端面におけるナイフを挿入する箇所を画像処理により確定することが好ましい。
カメラおよび画像処理装置の種類等は特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。
【００６１】
＜吹付け装置＞
剥離装置１、１１は、剥離される支持体１７ｂにおける樹脂層１８ｂと表示装置用パネル１６の薄板ガラス基板１２ｂとの界面に除電用物質（水等）を吹付けることができるノズル７３を備えている（図３参照）。
本発明の剥離装置を用いて剥離すると、得られる表示装置用パネルが帯電する場合がある。例えば＋１０ｋＶの帯電圧を呈する場合もある。そこで、剥離時に除電用物質を吹付けると、上記の帯電を抑制することができる。
除電用物質としては、水や水蒸気などのイオン化された液体および／または気体が挙げられる。また、パルス電源装置等によりイオン化された空気や他のガスが挙げられる。
【００６２】
また、吹付け装置では、除電用物質以外のもの（空気等）を吹付けることもできる。この場合、剥離を促進する効果を奏する。除電用物質を吹き付けた場合でも、同様の効果を奏する。例えば水や水および空気の混合流体を吹付けることで、除電作用および剥離促進作用を奏し好ましい。
本発明ではこのような吹付け装置を備えることで、これを用いて支持体付き表示装置用パネル１０から支持体を剥離することができる。
【００６３】
＜帯電制御装置＞
剥離装置１、１１は、支持体付き表示装置用パネル１０と地面とを導体で繋げて支持体付き表示装置用パネル１０の帯電を抑制する、すなわちアースを取るための帯電抑制装置７５を備えている（図３参照）。
表示装置用部材と接する薄板ガラス基板の表面（主面）の周縁に、例えば透明電極膜で形成された駆動電圧が印加されていない非駆動電極膜からなるガードリングが形成されており、このガードリングと導体を接続してアースを取ることが好ましい。
本発明の剥離装置を用いて剥離すると、得られる表示装置用パネルが帯電する場合がある。例えば＋１０ｋＶの帯電圧を呈する場合もある。そこで、上記のような帯電抑制装置を備えると、上記の帯電を抑制することができる。
本発明ではこのような帯電抑制装置を備えると、支持体付き表示装置用パネル１０から支持体を好ましく剥離することができる。
【００６４】
上記で説明した剥離装置１、１１では、ステージ２０の固定面２０ａは水平面であったが、本発明の剥離装置において固定面は、水平面、すなわち、部屋の床などと平行な面でなくてもよい。例えば鉛直方向に平行な面であってもよいし、これと斜めに交わる面であってもよい。さらに、ステージだけではなく、本発明の剥離装置自体が設置される方向についても全く限定されない。例えば図１および図２に示した剥離装置１および剥離装置１１における左右と上下とが入れ替わった配置で、設置されていてもよい。
【００６５】
＜剥離方法（その１）＞
次に、剥離装置１を用いた剥離方法について図１（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。
初めに、支持体付き表示装置用パネル１０における、後に剥離される支持体が付いていない方の主面を、ステージ２０が備える平面状の固定面へ密着させ固定する（図１（ａ））。つまり、支持体付き表示装置用パネル１０を、剥離される支持体が付いた主面を上、それと反対の主面が下となるようにステージ２０上に真空吸着して固定する。
【００６６】
次に、図１（ｂ）に示すように、法線方向移動ユニット４０によってナイフ３０の法線方向（上下方向）の位置を調整する。具体的には、サーボモーターを駆動させることで、第２固定側部材４０ｂに対して第２移動側部材４０ａをステージ２０の固定面の法線方向（上下方向）に移動させて、剥離される支持体における樹脂層１８ｂの表面と薄板ガラス基板１２ｂの第１主面との界面にナイフ３０を挿入できるように、その位置を調整する。
【００６７】
次に、図１（ｃ）および（ｄ）に示すように、固定面方向移動ユニット４２によってナイフ３０を挿入し、押し込む。このようにして樹脂層１８ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面にナイフ３０を固定面方向の挿入方向に挿入して押し込むと、図５、図６を用いて説明したようにナイフ３０および支持部６１が変形する。本発明の剥離装置の好適実施態様である剥離装置１は、ナイフ３０にこのような動きをさせることができるので、支持体と前記表示装置用パネルとを好ましく剥離することができる。
【００６８】
＜剥離方法（その２）＞
次に、剥離装置１１を用いた剥離方法について図２（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。
初めに、支持体付き表示装置用パネル１０における、後に剥離される支持体が付いていない方の主面を、ステージ２０が備える平面状の固定面へ密着させ固定する（図２（ａ））。つまり、支持体付き表示装置用パネル１０を、剥離される支持体が付いた主面を上、それと反対の主面が下となるようにステージ２０上に真空吸着して固定する。
【００６９】
次に、図２（ａ）に示すように、ナイフ３００の挿入角度（θ）を調整する。具体的には、回転軸を中心として所定角度回転（回動）させることでナイフ３００の挿入角度（θ）を所望の角度に調整し、ブランケット５２の下面に接するようにストッパー５１を載置することで、挿入角度（θ）を固定することができる。
【００７０】
次に、図２（ｂ）に示すように、法線方向移動ユニット４０によってナイフ３００の法線方向（上下方向）の位置を調整する。具体的には、サーボモーターを駆動させることで、第２固定側部材４０ｂに対して第２移動側部材４０ａを法線方向に移動させて、剥離される支持体における樹脂層１８ｂの表面と薄板ガラス基板１２ｂの第１主面との界面にナイフ３０を挿入できるように、その位置を調整する。
【００７１】
次に、図２（ｃ）および（ｄ）に示すように、固定面方向移動ユニット４２によってナイフ３００を挿入し、押し込む。このようにして樹脂層１８ｂと薄板ガラス基板１２ｂとの界面にナイフ３００を挿入して押し込むと、ナイフ３００がその先端部３０ａを中心として所定角度回転（回動）して後端部３０ｃが上方向に移動し、さらにナイフ３００の全体が上方向および／または固定面方向の挿入方向に移動して、ナイフ３００が樹脂層の表面に沿うように移動してさらに押し込まれる（図２（ｄ））。本発明の剥離装置の好適実施態様である剥離装置１１は、ナイフ３００にこのような動きをさせることができるので、支持体と前記表示装置用パネルとを好ましく剥離することができる。
【００７２】
なお、剥離装置１、１１において、例えば図３に示すような支持体付き表示装置用パネル１０における２つの支持体１７ａおよび１７ｂを剥離する場合は、まず、例えば一方の支持体１７ｂを剥離し、反転させた後、再度同一のステージの固定面上または別の本発明の剥離装置のステージの固定面上に固定し、他方の支持体１７ａを剥離することで、表示装置用パネルを得ることができる。
【００７３】
次に、吸着パッドを備える剥離装置１、１１を用いた好ましい剥離方法について、図８〜１０を用いて説明する。
【００７４】
ステージ２０の固定面上に支持体付き表示装置用パネル１０が固定された後、フレーム８４を下降移動させ、吸着パッド８２が支持体付き表示装置用パネル１０の表面に当接する直前のタイミングでその下降移動を停止させる。次に、エアーシリンダ８８のピストン８９を伸長し、吸着パッド８２を下降移動させて支持体付き表示装置用パネル１０の表面に押圧当接させる。そして、吸着パッド８２のエア圧を電空レギュレータ７８によって制御し、吸着パッド８２のエア圧をある程度の時間をかけて前記設定圧に高める。これにより、全ての吸着パッド８２が支持体付き表示装置用パネル１０に吸着する。
【００７５】
次に、図９に示すように、ナイフ３０（またはナイフ３００）によって支持体付き表示装置用パネル１０の角部にナイフ３０（またはナイフ３００）を挿入する。ここでナイフ３０（またはナイフ３００）は図９に示す吸着パッド８２ａの直下まで挿入することが好ましい。吸着パッドによる剥離をより容易に好ましく行うことができるからである。そして、この後、制御部９０が図１０に示す電磁弁８７ａを制御し、図９に示す支持体付き表示装置用パネル１０の角部を吸着保持するパッド８２ａを剥離方向（法線方向であってよい）に上昇移動させ、支持体１７ｂの角部を表示装置用パネルから剥離する。
【００７６】
次に、制御部９０は図１０の電磁弁８７ｂを開放制御し、図９に示す支持体１７ｂの縁部を吸着保持するパッド８２ｂを剥離方向に上昇移動させ、支持体１７ｂの縁部を表示装置用パネル１６（図３参照）から離間する。
次いで、制御部８７は図１０の電磁弁８７ｃを開放制御し、図９に示すパッド８２ｃを剥離方向に上昇移動させ、支持体１７ｂの縁部よりも内側に位置する部分を表示装置用パネル１６から剥離する。
以降、同様に行って支持体を表示装置用パネルから完全に剥離することができる。
【００７７】
＜支持体付き表示装置用パネル＞
次に、本発明において用いる支持体付き表示装置用パネル、支持体および薄板ガラス基板を有する表示装置用パネルについて説明する。
本発明の製造方法において用いる支持体付き表示装置用パネルは、第１主面および第２主面を有し第２主面に表示装置用部材を有する薄板ガラス基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持ガラス基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着しているものである。
本発明の実施の形態において、電子デバイスは表示装置用パネルとしたが、本発明はこれに限定されない。その他の電子デバイスとして、太陽電池、薄膜２次電池、表面に回路が形成された半導体ウェハ等の電子部品が挙げられる。表示装置用パネルとは、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル等を含んでいる。特に薄型表示装置用パネルの製造に適している。その製造プロセスにおいて、枚葉式の製造装置をそのまま利用できることが利点である。
【００７８】
支持体付き表示装置用パネルにおいて薄板ガラス基板は、その厚さ、形状、大きさ、物性（熱収縮率、表面形状、耐薬品性等）、組成等は特に限定されず、例えば従来のＬＣＤ、ＯＬＥＤ等の表示装置用のガラス基板と同様であってよい。
【００７９】
薄板ガラス基板の厚さは０．７ｍｍ未満であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．４ｍｍ以下であることがさらに好ましい。また、０．０５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０７ｍｍ以上であることがより好ましく、０．１ｍｍ以上であることがさらに好ましい。
【００８０】
薄板ガラスの形状は限定されないが、矩形であることが好ましい。
【００８１】
薄板ガラスの大きさは限定されないが、例えば矩形の場合は１００〜２０００ｍｍ×１００〜２０００ｍｍであってよく、５００〜１０００ｍｍ×５００〜１０００ｍｍであることがより好ましい。
【００８２】
このような厚さおよび大きさであっても、本発明の製造方法における剥離工程において、薄板ガラス基板から支持ガラス基板を容易に剥離して分離することができる。
【００８３】
薄板ガラス基板の熱収縮率、表面形状、耐薬品性等の特性も特に限定されず、製造する表示装置の種類により異なる。
熱収縮率は小さいことが好ましい。具体的には熱収縮率の指標である線膨張係数が５００×１０−７／℃以下であることが好ましく、３００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、２００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、１００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、４５×１０−７／℃以下であることがさらに好ましい。
なお、本発明において線膨張係数はＪＩＳ  Ｒ３１０２（１９９５年）に規定のものを意味する。
【００８４】
本発明の実施の形態において、基板は、薄板ガラス基板としたが、本発明はこれに限定されない。工業的な入手の容易性の観点より、ガラス板、シリコンウェハ、金属板、プラスチック板等が好適な例として示される。
基板として板厚が薄いガラス板（薄板ガラス基板）を採用する場合、薄板ガラス基板の組成は、例えばアルカリガラスや無アルカリガラスと同様であってよい。中でも、熱収縮率が小さいことから無アルカリガラスであることが好ましい。
基板としてプラスチック板を採用する場合、その種類は特に制限されず、例えば、透明な基板の場合、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリアクリル樹脂、ポリシリコーン樹脂、透明フッ素樹脂などが例示される。不透明な基板の場合、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、各種液晶ポリマー樹脂などが例示される。
基板として金属板を採用する場合、その種類は特に制限されず、例えば、ステンレス鋼板、銅板等が例示される。
基板の耐熱性は特に制限されないが、表示装置用部材のＴＦＴアレイなどを形成する場合は耐熱性が高いことが好ましい。具体的には上記５％加熱重量減温度が３００℃以上であることが好ましい。更に３５０℃以上であることがより好ましい。
この場合、耐熱性の点では上記したガラス板はどれも当てはまる。
耐熱性の観点より好ましいプラスチック板としては、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、各種液晶ポリマー樹脂等が例示される。
また、基板はガラス板、シリコンウェハ、金属板、プラスチック板等、異なる材質を積層した積層体であってもよい。例えば、ガラス板とプラスチック板の積層体、プラスチック板、ガラス、プラスチック板の順に積層した積層体、２枚以上のガラス板同士、あるいは２枚以上のプラスチック板同士の積層体などでもよい。
【００８５】
支持体付き表示装置用パネルは、前記薄板ガラス基板の第２主面に表示装置用部材を有する。
表示装置用部材とは、従来のＬＣＤ、ＯＬＥＤ等の表示装置用のガラス基板がその表面上に有する発光層、保護層、ＴＦＴアレイ（以下、アレイという。）、カラーフィルタ、液晶、ＩＴＯからなる透明電極等、各種回路パターン等を意味する。前記薄板ガラス基板の第２主面上の表示装置用部材の種類は特に限定されない。
このような表示装置用部材と前記薄板ガラス基板とを、表示装置用パネルは有する。
【００８６】
支持体付き表示装置用パネルは、前記薄板ガラス基板の第１主面に、支持体として、樹脂層が固定された支持ガラス基板を密着している。支持ガラス基板は樹脂層を介して薄板ガラス基板と密着して、薄板ガラス基板の強度を補強する。
【００８７】
本発明の実施の形態において、支持基板は、支持ガラス基板としたが、本発明はこれに限定されない。工業的な入手の容易性の観点より、ガラス板、シリコンウェハ、金属板、プラスチック板等が好適な例として示される。
支持基板としてガラス板を採用する場合、支持ガラス基板の厚さ、形状、大きさ、物性（熱収縮率、表面形状、耐薬品性等）、組成等は特に限定されない。
支持ガラス基板の厚さは特に限定されないが、支持体付き表示装置用パネルが現行の製造ラインで処理できるような厚さであることが必要である。
例えば０．１〜１．１ｍｍの厚さであることが好ましく、０．３〜０．８ｍｍであることがより好ましく、０．４〜０．７ｍｍであることがさらに好ましい。
例えば、現行の製造ラインが厚さ０．５ｍｍの基板を処理するように設計されたものであって、薄板ガラス基板の厚さが０．１ｍｍである場合、支持ガラス基板の厚さと樹脂層の厚さとあわせて０．４ｍｍである。また、現行の製造ラインは厚さが０．７ｍｍのガラス基板を処理するように設計されているものが最も一般的であるが、例えば薄板ガラス基板の厚さが０．４ｍｍならば、樹脂層の厚さとあわせて０．３ｍｍとする。
支持ガラス基板の厚さは、前記薄板ガラス基板よりも厚いことが好ましい。
【００８８】
支持ガラス基板の形状は限定されないが、矩形であることが好ましい。
【００８９】
支持ガラス基板の大きさ限定されないが、前記薄板ガラス基板と同程度であることが好ましく、前記薄板ガラス基板よりもやや大きいことが好ましい。例えば具体的には縦方向または横方向の各々が０．０５〜１０ｍｍ程度大きいことが好ましい。薄板ガラス基板から支持ガラス基板の分離をより容易に行うことができるからである。
【００９０】
支持ガラス基板は線膨張係数が前記薄板ガラス基板と実質的に同一であってよく、異なってもよい。実質的に同一であると、本発明の製造方法に供した際に、薄板ガラス基板または支持ガラス基板に反りが発生し難い点で好ましい。
薄板ガラス基板と支持ガラス基板との線膨張係数の差は３００×１０−７／℃以下であることが好ましく、１００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、５０×１０−７／℃以下であることがさらに好ましい。
【００９１】
支持ガラス基板の組成は、例えばアルカリガラス、無アルカリガラスと同様であってよい。中でも、熱収縮率が小さいことから無アルカリガラスであることが好ましい。
支持基板としてプラスチック板を採用する場合、その種類は特に制限されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリアクリル樹脂、各種液晶ポリマー樹脂、ポリシリコーン樹脂などが例示される。
支持基板として金属板を採用する場合、その種類は特に制限されず、例えば、ステンレス鋼板、銅板等が例示される。
支持基板の耐熱性は特に制限されないが、表示装置用部材のＴＦＴアレイなどを形成する場合は耐熱性が高いことが好ましい。具体的には上記５％加熱重量減温度が３００℃以上であることが好ましい。更に３５０℃以上であることがより好ましい。
この場合、耐熱性の点では上記したガラス板はどれも当てはまる。
耐熱性の観点より好ましいプラスチック材料としては、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、各種液晶ポリマー樹脂等が例示される。
【００９２】
このような支持ガラス基板の第１主面に固定された樹脂層は、前記薄板ガラス基板の第１主面と付き、密着しているが、容易に剥離することができる。すなわち樹脂層は、前記薄板ガラス基板に対して易剥離性を有する。
本発明で用いる支持体付き表示装置用パネルにおいて、樹脂層と薄板ガラス基板とは粘着剤が有するような粘着力によっては付いていないと考えられ、固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する力、すなわち、密着力によって付いていると考えられる。
【００９３】
樹脂層の厚さは特に限定されない。１〜１００μｍであることが好ましく、５〜３０μｍであることがより好ましく、７〜２０μｍであることがさらに好ましい。樹脂層の厚さがこのような範囲であると、薄板ガラス基板と樹脂層との密着が十分になるからである。
また、気泡や異物が介在しても、薄板ガラス基板のゆがみ欠陥の発生を抑制することができるからである。また、樹脂層の厚さが厚すぎると、形成するのに時間および材料を要するため経済的ではない。
【００９４】
なお、樹脂層は２層以上からなっていてもよい。その場合、「樹脂層の厚さ」は全ての層の合計の厚さを意味するものとする。
また、樹脂層が２層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂の種類が異なってもよい。
【００９５】
樹脂層は、前記薄板ガラス基板の第１主面に対する樹脂層の表面の表面張力が３０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましく、２５ｍＮ／ｍ以下であることがより好ましく、２２ｍＮ／ｍ以下あることがさらに好ましい。このような表面張力であると、より容易に薄板ガラス基板と剥離することができ、同時に薄板ガラス基板との密着も十分になるからである。
また、樹脂層は、ガラス転移点が室温（２５℃程度）よりも低い材料またはガラス転移点を有しない材料からなることが好ましい。非粘着性の樹脂層となり、より易剥離性を有し、より容易に薄板ガラス基板と剥離することができ、同時に薄板ガラス基板との密着も十分になるからである。
また、樹脂層が耐熱性を有していることが好ましい。本発明では、例えば前記薄板ガラス基板の第２主面上に表示装置用部材を形成する場合に、薄板ガラス基板と樹脂層と支持ガラス基板とのガラス積層体を熱処理に供する場合があるからである。
また、樹脂層の弾性率が高すぎると薄板ガラス基板との密着性が低くなるので好ましくない。また弾性率が低すぎると易剥離性が低くなるので好ましくない。
【００９６】
樹脂層を形成する樹脂の種類は特に限定されない。例えばアクリル樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン樹脂およびシリコーン樹脂が挙げられる。いくつかの種類の樹脂を混合して用いることもできる。前記樹脂の群の中では、シリコーン樹脂が好ましい。シリコーン樹脂は耐熱性に優れかつ薄板ガラス基板に対する易剥離性の程度が好ましいからである。また、支持ガラス基板の第１主面のシラノール基との縮合反応によって、支持ガラス基板に固定し易いからである。シリコーン樹脂層は、例えば３００〜４００℃程度で１時間程度処理しても、易剥離性がほぼ劣化しない点も好ましい。
【００９７】
また、樹脂層はシリコーン樹脂の中でも剥離紙用シリコーンからなることが好ましく、その硬化物であることが好ましい。剥離紙用シリコーンは直鎖状のジメチルポリシロキサンを分子内に含むシリコーンを主剤とするものである。この主剤と架橋剤とを含む組成物を、触媒、光重合開始剤等を用いて前記支持ガラス基板の表面（第１主面）に硬化させて形成した樹脂層は、優れた易剥離性を有するので好ましい。また、柔軟性が高いので、薄板ガラス基板と樹脂層との間へ気泡や塵介等の異物が混入しても、薄板ガラス基板のゆがみ欠陥の発生を抑制することができる。
【００９８】
このような剥離紙用シリコーンは、その硬化機構により縮合反応型シリコーン、付加反応型シリコーン、紫外線硬化型シリコーンおよび電子線硬化型シリコーンに分類されるが、いずれも使用することができる。これらの中でも付加反応型シリコーンが好ましい。硬化反応のし易さ、樹脂層を形成した際に易剥離性の程度が良好で、耐熱性も高いからである。
【００９９】
また、剥離紙用シリコーンは形態的に溶剤型、エマルジョン型および無溶剤型があり、いずれの型も使用可能である。これらの中でも無溶剤型が好ましい。生産性、安全性、環境特性の面が優れるからである。また、樹脂層を形成する際の硬化時、すなわち、加熱硬化、紫外線硬化または電子線硬化の時に発泡を生じる溶剤を含まないため、樹脂層中に気泡が残留しにくいからである。
【０１００】
また、剥離紙用シリコーンとして、具体的には、一般市販されている商品または型番として、ＫＮＳ−３２０Ａ，ＫＳ−８４７（いずれも信越シリコーン社製）、ＴＰＲ６７００（ＧＥ東芝シリコーン社製）、ビニルシリコーン「８５００」（荒川化学工業株式会社製）とメチルハイドロジェンポリシロキサン「１２０３１」（荒川化学工業株式会社製）との組み合わせ、ビニルシリコーン「１１３６４」（荒川化学工業株式会社製）とメチルハイドロジェンポリシロキサン「１２０３１」（荒川化学工業株式会社製）との組み合わせ、ビニルシリコーン「１１３６５」（荒川化学工業株式会社製）とメチルハイドロジェンポリシロキサン「１２０３１」（荒川化学工業株式会社製）との組み合わせ等が挙げられる。なお、ＫＮＳ−３２０Ａ、ＫＳ−８４７およびＴＰＲ６７００は、あらかじめ主剤と架橋剤とを含有しているシリコーンである。
【０１０１】
また、樹脂層を形成するシリコーン樹脂は、シリコーン樹脂中の成分が薄板ガラス基板に移行しにくい性質、すなわち低シリコーン移行性を有することが好ましい。
【０１０２】
このように樹脂層としてシリコーン樹脂層を用いた場合、剥離した前記支持ガラス基板および前記シリコーン樹脂層からなる支持体を、好ましく再利用することができる。このような剥離後の支持体におけるシリコーン樹脂が低シリコーン移行性を有する場合、このシリコーン樹脂層は高い残留接着率を有している傾向がある。よって、再利用を問題なく行うことができる。
【０１０３】
次に、支持体付き表示装置用パネルを、図を用いて説明する。
図１１は、本発明の支持体付き表示装置用パネルの一態様を示す概略断面図である。
図１１において支持体付き表示装置用パネル１１０は、表示装置用部材１１４、薄板ガラス基板１１２、樹脂層１１８および支持ガラス基板１１９からなり、これらは積層されている。また、表示装置用パネル１１６は、層状の表示装置用部材１１４および薄板ガラス基板１１２からなり、支持体１１７は、樹脂層１１８および支持ガラス基板１１９からなる。また、表示装置用部材１１４は薄板ガラス基板１１２の第２主面上に形成されている。
そして、薄板ガラス基板１１２の第１主面と、支持ガラス基板１１９の第１主面に固定された樹脂層１１８の表面とが密着して付いて、支持体付き表示装置用パネル１１０を形成している。
図１１に示す態様の支持体付き表示装置用パネル１１０は、薄板ガラス基板１１２と樹脂層１１８と支持ガラス基板１１９とが同じ大きさである。
【０１０４】
図１２は、支持体付き表示装置用パネルの別の態様を示す概略正面図であり、図１３はそのＡ−Ａ’断面図（概略断面図）である。
図１２および図１３において支持体付き表示装置用パネル１２０は、表示装置用部材１２４、薄板ガラス基板１２２、樹脂層１２８および支持ガラス基板１２９からなり、これらは積層されている。また、表示装置用パネル１２６は、層状の表示装置用部材１２４および薄板ガラス基板１２２からなり、支持体１２７は、樹脂層１２８および支持ガラス基板１２９からなる。また、表示装置用部材１２４は薄板ガラス基板１２２の第２主面上に形成されている。
そして、薄板ガラス基板１２２の第１主面と、支持ガラス基板１２９の第１主面に固定された樹脂層１２８とが密着して付いており、支持体付き表示装置用パネル１２０を形成している。
【０１０５】
図１２および図１３に示す態様の支持体付き表示装置用パネル１２０は、薄板ガラス基板１２２よりも支持ガラス基板１２９の主面面積が大きい。
また、図１２および図１３に示す態様の支持体付き表示装置用パネル１２０は、樹脂層１２８の表面（薄板ガラス基板１２２と接する面）の面積（以下、樹脂層における「表面面積」ともいう。）よりも薄板ガラス基板１２２の第１主面の面積の方が大きい。隙間部１２５が形成されている分、樹脂層１２８の表面面積は薄板ガラス基板１２２の第１主面の面積よりも小さい。そして、薄板ガラス基板１２２の第１主面における樹脂層１２８と接していない部分αと、それに対向する支持ガラス基板１２９の一部分βとが、本発明の支持体付き表示装置用パネル１２０の端面（γ１、γ２）と繋がる隙間部１２５を形成している。
【０１０６】
このような隙間部１２５が形成されていると、本発明の製造方法における剥離工程において、薄板ガラス基板１２２と樹脂層１２８とをより容易に剥離できるので好ましい。
図１２、図１３で示すαは０．１〜５．０ｍｍであることが好ましく、２．５ｍｍ程度であることがより好ましい。
【０１０７】
また、支持体付き表示装置用パネルは図１４に概略断面図を示すように、表示装置用部材１３４の両主面を、薄板ガラス基板（１３２ａ、１３２ｂ）と樹脂層（１３８ａ、１３８ｂ）と支持ガラス基板（１３９ａ、１３９ｂ）との積層体で挟み込む態様であってもよい。このとき、表示装置用パネル１３６は、層状の表示装置用部材１３４および両側の薄板ガラス基板１３２ａ，１３２ｂからなり、支持体１３７ａおよび１３７ｂは、それぞれ樹脂層１３８ａ，１３８ｂおよび支持ガラス基板１３９ａ，１３９ｂからなる。このような態様であっても、本発明で用いることができる支持体付き表示装置用パネルである。
【０１０８】
次に、本発明で用いることができる支持体付き表示装置用パネルの製造方法を説明する。
薄板ガラス基板および支持ガラス基板の製造方法は特に限定されない。例えば従来公知の方法で製造することができる。例えば従来公知のガラス原料を溶解し溶融ガラスとした後、フロート法、フュージョン法、ダウンドロー法、スロットダウン法、リドロー法等によって板状に成形して得ることができる。
【０１０９】
このようにして製造した支持ガラス基板の表面（第１主面）に樹脂層を形成する方法も特に限定されない。
例えばフィルムを支持ガラス基板の表面に接着する方法が挙げられる。具体的にはフィルムの表面に高い接着力を付与するために表面改質の処理を行い、支持ガラス基板の第１主面に接着する方法が挙げられる。表面改質の処理方法としては、シランカップリング剤のような化学的に密着力を向上させる化学的方法や、フレーム（火炎）処理のように表面活性基を増加させる物理的方法、サンドブラスト処理のように表面の粗度を増加させることにより引っかかりを増加させる機械的方法などが例示される。
【０１１０】
また、例えば公知の方法によって樹脂層となる樹脂組成物を支持ガラス基板の第１主面上にコートする方法が挙げられる。公知の方法としてはスプレーコート法、ダイコート法、スピンコート法、ディップコート法、ロールコート法、バーコート法、スクリーン印刷法、グラビアコート法が挙げられる。このような方法の中から、樹脂組成物に種類に応じて適宜選択することができる。
例えば、無溶剤型の剥離紙用シリコーンを樹脂組成物として用いた場合、ダイコート法、スピンコート法またはスクリーン印刷法が好ましい。
【０１１１】
なお、図１２、１３を用いて説明したような隙間部を有する支持体付き表示装置用パネルを製造する場合、隙間部を形成する箇所に予めマスキングしておき、その上で樹脂組成物をコートすることが好ましい。マスキングとは樹脂組成物をコートする際にあらかじめ隙間部を形成する箇所に再剥離可能なフィルム等を貼っておき樹脂組成物がその箇所にコートされないようにしておき、後にそのフィルムを剥離するという方法である。
【０１１２】
また、樹脂組成物を支持ガラス基板の第１主面上にコートする場合、その塗工量は１〜１００ｇ／ｍ２であることが好ましく、５〜２０ｇ／ｍ２であることがより好ましい。
【０１１３】
また、他の方法としては、例えば付加反応型シリコーンから樹脂層を形成する場合、直鎖状のジメチルポリシロキサンを分子内に含むシリコーン（主剤）、架橋剤および触媒を含む樹脂組成物を、上記のスプレーコート法等の公知の方法により支持ガラス基板上に塗工し、その後に加熱硬化させる。加熱硬化条件は、触媒の配合量によっても異なるが、例えば、主剤および架橋剤の合計量１００質量部に対して、白金系触媒を２質量部配合した場合、大気中で５０℃〜２５０℃、好ましくは１００℃〜２００℃で反応させる。また、この場合の反応時間は５〜６０分間、好ましくは１０〜３０分間とする。低シリコーン移行性を有するシリコーン樹脂層とするためには、シリコーン樹脂層中に未反応のシリコーン成分が残らないように硬化反応をできるだけ進行させることが好ましいが、このような反応温度および反応時間であると、シリコーン樹脂層中に未反応のシリコーン成分が残らないようにすることができるので好ましい。上記した反応時間よりも長すぎる場合や反応温度が高すぎる場合には、シリコーン樹脂の酸化分解が同時に起こり低分子量のシリコーン成分が生成するため、シリコーン移行性が高くなる可能性がある。シリコーン樹脂層中に未反応のシリコーン成分が残らないように硬化反応をできるだけ進行させることは、加熱処理後の剥離性を良好にするためにも好ましい。
【０１１４】
このような方法で支持ガラス基板の第１主面上に樹脂層を形成した後、樹脂層の表面に薄板ガラス基板を積層する。
剥離紙用シリコーンを用いて樹脂層を製造した場合、支持ガラス基板上に塗工した剥離紙用シリコーンを加熱硬化してシリコーン樹脂層を形成した後、支持ガラス基板のシリコーン樹脂形成面に薄板ガラス基板を積層させる。剥離紙用シリコーンを加熱硬化させることによって、シリコーン樹脂硬化物が支持ガラスと化学的に結合する。また、アンカー効果によってシリコーン樹脂層が支持ガラスと結合する。これらの作用によって、シリコーン樹脂層が支持ガラス基板に強固に固定される。
【０１１５】
薄板ガラス基板と樹脂層とは、非常に近接した、相対する固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する力、すなわち、密着力によって樹脂層と密着する。この場合、支持ガラス基板と薄板ガラス基板とを積層させた状態に保持することができる。
【０１１６】
支持ガラス基板に固定された樹脂層の表面に薄板ガラス基板を積層させる方法は特に限定されない。例えば公知の方法を用いて実施することができる。例えば、常圧環境下で樹脂層の表面に薄板ガラス基板を重ねた後、ロールやプレスを用いて樹脂層と薄板ガラス基板とを圧着させる方法が挙げられる。ロールやプレスで圧着することにより樹脂層と薄板ガラス基板とがより密着するので好ましい。また、ロールまたはプレスによる圧着により、樹脂層と薄板ガラス基板との間に混入している気泡が容易に除去されるので好ましい。
真空ラミネート法や真空プレス法により圧着すると気泡の混入の抑制や良好な密着の確保がより好ましく行われるのでより好ましい。真空下で圧着することにより、微少な気泡が残存した場合でも加熱により気泡が成長することがなく、薄板ガラス基板のゆがみ欠陥につながりにくいという利点もある。
【０１１７】
支持ガラス基板の樹脂層の表面に薄板ガラス基板を積層させる際には、薄板ガラス基板の表面を十分に洗浄し、クリーン度の高い環境で積層することが好ましい。異物は存在しても樹脂層が変形することにより薄板ガラス基板の表面の平坦性に影響を与えることはないが、クリーン度が高いほどその平坦性は良好となり好ましいからである。
【０１１８】
このようにして薄板ガラス基板と樹脂層と支持ガラス基板とが積層したガラス積層体（以下、「薄板ガラス積層体」ともいう。）を得た後、この薄板ガラス積層体における薄板ガラス基板の第２主面上に表示装置用部材を形成する。
表示装置用部材を形成するに当たり、必要に応じて薄板ガラス基板の第２主面を研磨することによりその平坦度を向上させることも好ましい。
表示装置用部材は特に限定されない。例えばＬＣＤが有するアレイやカラーフィルタが挙げられる。また、例えばＯＬＥＤが有する透明電極、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層が挙げられる。
【０１１９】
このような表示装置部材を形成する方法も特に限定されず、従来公知の方法と同様であってよい。
例えば表示装置としてＬＣＤを製造する場合、従来公知のガラス基板上にアレイを形成する工程、カラーフィルタを形成する工程、アレイが形成されたガラス基板とカラーフィルタが形成されたガラス基板とを貼り合わせる工程（アレイ・カラーフィルタ貼り合わせ工程）等の各種工程と同様であってよい。より具体的には、これらの工程で実施される処理として、例えば純水洗浄、乾燥、成膜、レジスト塗布、露光、現像、エッチングおよびレジスト除去が挙げられる。さらに、アレイ側基板・カラーフィルタ側基板の貼り合わせ工程を実施した後に行われる工程として、液晶注入工程および該処理の実施後に行われる注入口の封止工程があり、これらの工程で実施される処理が挙げられる。
【０１２０】
また、ＯＬＥＤを製造する場合を例にとると、薄板ガラス基板の第１主面上に有機ＥＬ構造体を形成するための工程として、透明電極を形成する工程、ホール注入層・ホール輸送層・発光層・電子輸送層等を蒸着する工程、封止工程等の各種工程を含み、これらの工程で実施される処理として、具体的には例えば、成膜処理、蒸着処理、封止板の接着処理等が挙げられる。
【０１２１】
このようにして本発明で用いることができる支持体付き表示装置用パネルを製造することができる。
【０１２２】
次に、本発明の製造方法について説明する。
本発明の製造方法は、第１主面および第２主面を有し第２主面に表示装置用部材を有する薄板ガラス基板の第１主面に、第１主面および第２主面を有する支持ガラス基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き表示装置用パネルから、前記支持ガラス基板および前記樹脂層からなる支持体を剥離する操作を含む、表示装置用パネルの製造方法であって、前記支持体付き表示装置用パネルが有する二つの主面のうちの一方の主面であって、後工程である剥離工程において剥離される支持体が付いていない方の主面を、ステージが備える平面状の固定面へ密着させ、前記支持体付き表示装置用パネルを前記ステージの固定面上に固定する固定工程と、前記ステージの固定面上に固定された前記支持体付き表示装置用パネルの端面であって、剥離される前記支持体の前記樹脂層と前記薄板ガラス基板との界面に、ナイフを挿入し、前記支持体と前記表示装置用パネルとを剥離する剥離工程とを具備する、表示装置用パネルの製造方法である。
【０１２３】
このように本発明の製造方法は前記固定工程および前記剥離工程を具備するが、この固定工程および剥離工程は、前述の本発明の剥離装置によって好ましく実施することができる。前述の剥離方法によって、前記固定工程および前記剥離工程を実施することができる。
本発明の製造方法では、上記の方法によって得た支持体付き表示装置用パネルに、前記固定工程および前記剥離工程を適用することで、表示装置用パネルを得ることができる。
【０１２４】
図１７は、本発明の電子デバイスの製造方法の一実施形態である表示装置用パネルの製造方法のフローの一例を示すフローチャートである。
図１７に示す本発明の表示装置用パネルの製造方法を、図１および図２に示す本発明の剥離装置を用いる場合に基づいて説明する。
図１７に示すように、本発明の表示装置用パネルの製造方法においては、まず、ステップＳ１００において、支持体付き表示装置用パネル１０を用意する、例えば、上記のようにして製造する。
次に、ステップ１１０の支持体付き表示装置用パネルの固定工程に移行する。
この固定工程Ｓ１１０では、ステップＳ１１２においてステップ支持体付き表示装置用パネル１０をステージ２０の固定面に密着させる。次に、ステップＳ１１４において密着されたステップ支持体付き表示装置用パネル１０をステージ２０の固定面に真空吸着にして固定する。
【０１２５】
次に、ステップ１２０の支持体付き表示装置用パネルの剥離工程に移行する。
この剥離工程Ｓ１２０には、上述した剥離方法（その１）および剥離方法（その２）の２つの第１および第２の剥離方法が適用される。もちろん、一方のみの剥離方法を実施しても良いことはもちろんである。
剥離工程Ｓ１２０の第１の剥離方法（図１参照）では、まず、ステップＳ１２２において、ステップ支持体付き表示装置用パネル１０の支持体の樹脂層と表示装置用パネルの薄板ガラス基板との界面に、ナイフ３０の挿入位置（高さ）を調整する。次に、ステップＳ１２４において、樹脂層と薄板ガラス基板との界面に、ナイフ３０を挿入して押し込む。
続いて、ステップＳ１２６において、ナイフ３０を挿入方向に移動して支持体を剥離する。
【０１２６】
一方、剥離工程Ｓ１２０の第２の剥離方法（図２参照）では、まず、ステップＳ１３２において、ステップ支持体付き表示装置用パネル１０の支持体の樹脂層と表示装置用パネルの薄板ガラス基板との界面に対して、ナイフ３００の挿入角度および挿入位置（高さ）を調整する。次に、ステップＳ１３４において、樹脂層と薄板ガラス基板との界面に、ナイフ３００を挿入して押し込む。続いて、ステップＳ１３６において、ナイフ３００をその先端中心に所定角度回転（回動）し、かつ上方向および／または挿入方向に移動して支持体を剥離する。
こうして、剥離工程Ｓ１２０でテップ支持体付き表示装置用パネル１０から支持体が剥離されることにより、ステップＳ１４０において、表示装置用パネルが製造される。
【０１２７】
本発明の製造方法が具備する前記剥離工程によれば、支持ガラス基板が大きい場合、例えば７３０×９２０ｍｍであっても、前記支持ガラス基板を容易に分離することができる。
【０１２８】
また、前記剥離工程に供した後、さらに所望の工程に供することができる。所望の工程とは、例えばＬＣＤの場合であれば、所望の大きさのセルに分断する工程、液晶を注入しその後注入口を封止する工程、偏光板を貼付する工程、モジュール形成工程が挙げられる。また、例えばＯＬＥＤの場合であれば、ＬＣＤの場合に適用できる工程に加えて、有機ＥＬ構造体が形成された薄板ガラス基板と対向基板とを組み立てる工程が挙げられる。なお、所望の大きさのセルに分断する工程は、切断処理によって薄板ガラス基板の強度が低下せず、またカレットも出ないことからレーザカッタによる切断が好ましい。
【０１２９】
このような本発明の製造方法によって表示装置用パネルを得た後、さらに従来公知の工程に供することで、表示装置を得ることができる。
【０１３０】
このような表示装置の製造方法は、携帯電話やＰＤＡのようなモバイル端末に使用される小型の表示装置の製造に好適である。表示装置は主としてＬＣＤまたはＯＬＥＤであり、ＬＣＤとしては、ＴＮ型、ＳＴＮ型、ＦＥ型、ＴＦＴ型、ＭＩＭ型、ＩＰＳ型、ＶＡ型等を含む。基本的にパッシブ駆動型、アクティブ駆動型のいずれの表示装置の場合でも適用することができる。
【０１３１】
本発明の製造方法の好適例を説明する。
初めに、本発明で用いることができる支持体付き表示装置用パネルの製造方法を説明する。
まず、薄板ガラス基板および支持ガラス基板を用意し、これらの表面を洗浄する。洗浄としては、例えば純水洗浄、ＵＶ洗浄が挙げられる。
次に、支持ガラス基板の第１主面上に樹脂層を形成する。例えば、支持ガラス基板の第１主面上にスクリーン印刷機を用いてシリコーン樹脂を塗工する。そして、加熱硬化して、支持ガラス基板の第１主面上に樹脂層を形成し、樹脂層が固定された支持ガラス基板を得る。
【０１３２】
次に、樹脂層と薄板ガラスの第１主面とを付けて貼り合せる。例えば、樹脂層と薄板ガラス基板とを室温下真空プレスして貼り合わせることができる。そして支持ガラス基板と樹脂層と薄板ガラス基板との積層体であるガラス積層体を得ることができる。
ここで、必要に応じて、ガラス積層体における薄板ガラス基板の第２主面を研磨してもよく、洗浄してもよい。洗浄としては例えば純水洗浄、ＵＶ洗浄が挙げられる。
【０１３３】
このような方法でガラス積層体を２個製造した後、各々のガラス積層体における薄板ガラス基板の第２主面に表示装置用部材を形成する。１個のガラス積層体は、公知のカラーフィルタ形成工程に供することで、その薄板ガラス基板の第２主面にカラーフィルタアレイを形成する。そして、もう１個のガラス積層体は、公知のアレイ形成工程に供することで、その薄板ガラス基板の第２主面にＴＦＴアレイを形成する。
このような方法によって、支持体付き表示装置用パネルを２個製造することができる。
なお、以下では、ここで得られたカラーフィルタアレイを有する支持体付き表示装置用パネルを「支持体付きパネルｘ」、ＴＦＴアレイを有する支持体付きパネルを「支持体付きパネルｙ」ともいう。
【０１３４】
本発明の製造方法では、このようにして製造した支持体付きパネルｘおよび支持体付きパネルｙを、例えば次に示すケース１〜ケース４の方法でさらに処理して、表示装置用パネルを製造する。
【０１３５】
（ケース１）
ケース１では、上記のようにして支持体付きパネルｘおよび支持体付きパネルｙの各々におけるカラーフィルタアレイとＴＦＴアレイとを対向させ、セル形成用紫外線硬化型シール剤等のシール剤を用いて貼り合わせる。ここで得られた支持体付き表示装置用パネルを、以下では「支持体付きパネルｚ１」ともいう。支持体付きパネルｚ１は、未だ液晶を封入されていない状態のものである。
【０１３６】
次に、支持体付きパネルｚ１の液晶注入孔をシールする。例えば紫外線硬化型水溶性シール剤等を用いて、その外側をさらにシールしてもよい。
そして、シールした後の支持体付きパネルｚ１を本発明の製造方法における剥離工程に供する。具体的には本発明の剥離装置である剥離装置１または剥離装置１１におけるステージ２０に、剥離される支持体が付いた主面が上、それと反対の主面が下となるように固定し、薄板ガラス基板の第１主面と樹脂層の密着界面の端部の任意の箇所にナイフを挿入し、隙間を形成する。そして、支持体における支持ガラス基板の第２主面に複数の吸着パッドを吸着して保持し、上方向（剥離方向）に移動させることで、支持体と薄板ガラス基板とを剥離して分離することができる。
次に、支持体付きパネルｚ１の上下を入れ替えて同様に処理することで、２つの支持体を剥離することができる。
このようにして得られた表示装置用パネルを、以下では「パネルｗ１」ともいう。剥離して分離した２つの支持体は別の支持体付パネルの製造に再利用することができる。
【０１３７】
次に、パネルｗ１を個別セルに切断する。
次に、切断した個別セルに液晶を注入し、その後封止して液晶セルを形成する。
そして、さらに偏光板を付け、バックライトその他を形成して、ＬＣＤ１を得ることができる。
【０１３８】
（ケース２）
ケース２では、上記のようにして支持体付きパネルｘおよび支持体付きパネルｙの各々におけるカラーフィルタアレイとＴＦＴアレイとを対向させ、液晶を封入し、その後、セル形成用紫外線硬化型シール剤等のシール剤を用いて貼り合わせる。ここで得られた本発明の支持体付きパネルを、以下では「支持体付きパネルｚ２」ともいう。
【０１３９】
次に、支持体付きパネルｚ２を本発明の製造方法における剥離工程に供する。具体的には本発明の剥離装置である剥離装置１または剥離装置１１におけるステージ２０に、剥離される支持体が付いた主面が上、それと反対の主面が下となるように固定し、薄板ガラス基板の第１主面と樹脂層の密着界面の端部の任意の箇所にナイフを挿入し、隙間を形成する。そして、支持体における支持ガラス基板の第２主面に複数の吸着パッドを吸着して保持し、上方向（剥離方向）に移動させることで、支持体と薄板ガラス基板とを剥離して分離させることができる。
次に、支持体付きパネルｚ２の上下を入れ替えて同様に処理することで、２つの支持体を剥離することができる。
このようにして得られた表示装置用パネルを、以下では「パネルｗ２」ともいう。剥離して分離した２つの支持体は別の支持体付パネルの製造に再利用することができる。
【０１４０】
次に、パネルｗ２を個別セルに切断する。
そして、さらに偏光板を付け、バックライトその他を形成して、ＬＣＤ２を得ることができる。
【０１４１】
（ケース３）
ケース３では、上記のようにして支持体付きパネルｘおよび支持体付きパネルｙの各々におけるカラーフィルタアレイとＴＦＴアレイとを対向させ、液晶を封入し、その後、セル形成用紫外線硬化型シール剤等のシール剤を用いて貼り合わせる。そして、支持体とともに個別セルに切断する。ここで切断して得られた支持体付き表示装置用パネルを、以下では「支持体付きパネルｚ３」ともいう。
【０１４２】
次に、支持体付きパネルｚ３を剥離工程に供する。具体的には本発明の剥離装置である剥離装置１または剥離装置１１におけるステージ２０に、剥離される支持体が付いた主面が上、それと反対の主面が下となるように固定し、薄板ガラス基板の第１主面と樹脂層の密着界面の端部の任意の箇所にナイフを挿入し、隙間を形成する。そして、支持体における支持ガラス基板の第２主面に複数の吸着パッドを吸着して保持し、上方向（剥離方向）に移動させることで、支持体と薄板ガラス基板とを剥離して分離させることができる。
次に、支持体付きパネルｚ３の上下を入れ替えて同様に処理することで、２つの支持体を剥離することができる。
このようにして得られた表示装置用パネルを、以下では「パネルｗ３」ともいう。
そして、さらに偏光板を付け、バックライトその他を形成して、ＬＣＤ３を得ることができる。
【０１４３】
（ケース４）
ケース４では、上記のようにして支持体付きパネルｘおよび支持体付きパネルｙの各々におけるカラーフィルタアレイとＴＦＴアレイとを対向させ、セル形成用紫外線硬化型シール剤等のシール剤を用いて貼り合わせる。そして、支持体とともに個別セルに切断する。ここで切断して得られた本発明の支持体付きパネルを、以下では「支持体付きパネルｚ４」ともいう。支持体付きパネルｚ４は、未だ液晶を封入されていない状態のものである。
【０１４４】
次に、支持体付きパネルｚ４の液晶注入孔をシールする。例えば紫外線硬化型水溶性シール剤等を用いて、その外側をさらにシールしてもよい。
そして、シールした後の支持体付きパネルｚ４を剥離工程に供する。具体的には本発明の剥離装置である剥離装置１または剥離装置１１におけるステージ２０に、剥離される支持体が付いた主面が上、それと反対の主面が下となるように固定し、薄板ガラス基板の第１主面と樹脂層の密着界面の端部の任意の箇所にナイフを挿入し、隙間を形成する。そして、支持体における支持ガラス基板の第２主面に複数の吸着パッドを吸着して保持し、上方向（剥離方向）に移動させることで、支持体と薄板ガラス基板とを剥離して分離させることができる。
次に、支持体付きパネルｚ４の上下を入れ替えて同様に処理することで、２つの支持体を剥離することができる。
ここで２つの支持体を分離して得られたパネルを、以下では「パネルｗ４」ともいう。
【０１４５】
次に、パネルｗ４のセルに液晶を注入し、その後封止する。
そして、さらに偏光板を付け、バックライトその他を形成して、ＬＣＤ４を得ることができる。
【０１４６】
以上、本発明の電子デバイスとして、基板の表面（第２主面）に表示装置用部材を有する表示装置用パネルを代表例として説明したが、上述したように、本発明はこれに限定されず、表示装置用部材の代わりに、基板の表面（第２主面）に、太陽電池用部材、薄膜２次電池用部材及び電子部品用回路などの電子デバイス用部材をそれぞれ有する太陽電池、薄膜２次電池および電子部品等の電子デバイスであっても良いことはもちろんである。
例えば、太陽電池用部材としては、シリコン型では、正極の酸化スズなど透明電極、ｐ層／ｉ層／ｎ層で表されるシリコン層、および負極の金属等が挙げられ、その他に、化合物型、色素増感型、量子ドット型などに対応する各種部材等を挙げることができる。
また、薄膜２次電池用部材としては、リチウムイオン型では、正極および負極の金属または金属酸化物等の透明電極、電解質層のリチウム化合物、集電層の金属、封止層としての樹脂等が挙げられ、その他に、ニッケル水素型、ポリマー型、セラミックス電解質型などに対応する各種部材等を挙げることができる。
また、電子部品用回路としては、ＣＣＤやＣＭＯＳでは、導電部の金属、絶縁部の酸化ケイ素や窒化珪素等が挙げられ、その他に圧力センサ・加速度センサなど各種センサやリジッドプリント基板、フレキシブルプリント基板、リジッドフレキシブルプリント基板などに対応する各種部材等を挙げることができる。
【実施例１】
【０１４７】
本発明の実施例を説明する。【０１４８】
初めに、縦７２０ｍｍ、横６００ｍｍ、板厚０．４ｍｍ、線膨張係数３８×１０−７／℃の支持ガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００、無アルカリガラス基板）を純水洗浄、ＵＶ洗浄して清浄化した。
次に、支持ガラス基板上に、無溶剤付加反応型剥離紙用シリコーン（信越シリコーン社製、ＫＮＳ−３２０Ａ、粘度：０．４０Ｐａ・ｓ、１００質量部と白金系触媒（信越シリコーン社製、ＣＡＴ−ＰＬ−５６）２質量部との混合物を、縦７０５ｍｍ、横５９５ｍｍの大きさでスクリーン印刷機にて塗工した（塗工量３０ｇ／ｍ２）。
次に、これを１８０℃にて３０分間大気中で加熱硬化して、支持ガラス基板の表面に厚さ２０μｍのシリコーン樹脂層を得た。【０１４９】
次に、縦７１５ｍｍ、横５９５ｍｍ、板厚０．３ｍｍ、線膨張係数３８×１０−７／℃の薄板ガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００、無アルカリガラス基板）のシリコーン樹脂層と接触させる側の面を純水洗浄、ＵＶ洗浄して清浄化した後、シリコーン樹脂層と薄板ガラス基板とを室温下真空プレスにて貼り合わせ、ガラス積層体（ガラス積層体Ａ１）を得た。
なお、樹脂層の形成および薄板ガラス基板の積層は、ガラス積層体の端部に深さ１５ｍｍの隙間部が形成されるように行った。
得られたガラス積層体Ａ１において両ガラス基板は、シリコーン樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、ゆがみ状欠点もなく平滑性も良好であった。【０１５０】
次に、上記のようにして得たガラス積層体Ａ１とは別に、さらにガラス基板Ａ１を大気中で３００℃で１時間加熱処理してガラス積層体Ａ２を得た。ガラス積層体Ａ２の樹脂層の熱による劣化はなく、耐熱性が良好であることが確認できた。【０１５１】
次に、ガラス積層体Ａ１およびＡ２を、以下の剥離試験１〜６に供した。【０１５２】
＜剥離試験１＞
前述の図１を用いて説明した剥離装置１を用いて、多孔質真空吸着プレート上にガラス積層体Ａ１の薄板ガラス基板の第２主面側を固定し、反対面すなわち支持ガラス基板の第２主面側に真空吸着パッド（４０ｍｍφ）を吸着して保持した。
次にナイフ（厚さ：０．１０ｍｍ、長さ：１００ｍｍ、幅：１０ｍｍ、ステンレス製、曲げ剛性Ａ：１７０Ｎ・ｍｍ２、曲げ剛性Ｂ：１，７２０，０００Ｎ・ｍｍ２）をガラス積層体Ａ１の角部（４つの角部のうちの１つ）かつ端面に載置し、ナイフを固定面方向移動ユニットによって樹脂層の表面を僅かに接触させつつ滑らせながら薄板ガラス基板の第１主面との界面に挿入させ、およそ２０ｍｍ挿入して空隙を形成した。
次に真空吸着パッドを、支持体付き表示装置用パネルの端部から中央に向けて支持体の剥離の進展に伴って、順番に上昇させた。この時の吸着パッドの引き上げ距離は１０ｍｍとした。【０１５３】
このような剥離試験１においてナイフは、それ自体が変形して、樹脂層の表面に沿うように移動した。そして、支持体と薄板ガラス基板とを損傷することなく剥離することができた。【０１５４】
＜剥離試験２＞
前述の図２を用いて説明した剥離装置１１を用いて、多孔質真空吸着プレート上にガラス積層体Ａ１の薄板ガラス基板の第２主面側を固定し、反対面すなわち支持ガラス基板の第２主面側に真空吸着パッド（４０ｍｍφ）を吸着して保持した。
次にナイフ（厚さ：０．４０ｍｍ、長さ：１００ｍｍ、幅：１０ｍｍ、ステンレス製、曲げ剛性Ａ：１１０００Ｎ・ｍｍ２、曲げ剛性Ｂ：６，８７０，０００Ｎ・ｍｍ２）をガラス積層体Ａ１の角部（４つの角部のうちの１つ）かつ端面に載置し、ナイフを固定面方向移動ユニットによって樹脂層の表面を僅かに接触させつつ滑らせながら薄板ガラス基板の第１主面との界面に挿入させ、およそ２０ｍｍ挿入して空隙を形成した。
次に真空吸着パッドを、支持体付き表示装置用パネルの端部から中央に向けて支持体の剥離の進展に伴って、順番に上昇させた。この時の吸着パッドの引き上げ距離は１０ｍｍとした。【０１５５】
このような剥離試験２においてナイフは、先端部を中心として回転して後端部が上向に自在移動し、さらにナイフの全体が上方向に移動することで、ナイフが樹脂層の表面に沿うように移動した。そして、支持体と薄板ガラス基板とを損傷することなく剥離することができた。【０１５６】
＜剥離試験３＞
剥離装置１１を用いて、多孔質真空吸着プレート上にガラス積層体Ａ１の薄板ガラス基板の第２主面側を固定し、反対面すなわち支持ガラス基板の第２主面側に真空吸着パッド（４０ｍｍφ）を吸着して保持した。
次にナイフ（厚さ：０．１０ｍｍ、長さ：１００ｍｍ、幅：１０ｍｍ、ステンレス製）をガラス積層体Ａ１の角部（４つの角部のうちの１つ）かつ端面に載置し、ナイフを固定面方向移動ユニットによって樹脂層の表面を僅かに接触させつつ滑らせながら薄板ガラス基板の第１主面との界面に挿入させ、およそ２０ｍｍ挿入して空隙を形成した。ここで挿入は、イオナイザ（キーエンス社製）から除電性流体を当該界面に吹き付けながら行った。
次に形成した空隙へ向けてイオナイザからは引き続き除電性流体を吹き付けながら真空吸着パッドを引き上げた。その結果、ガラス積層体Ａ１に損傷なく、支持体と薄板ガラスとを剥離できた。剥離した後の薄板ガラス基板の帯電圧は、＋０．２ｋＶであった。【０１５７】
＜剥離試験４＞
剥離装置１１を用いて、多孔質真空吸着プレート上にガラス積層体Ａ１の薄板ガラス基板の第２主面側を固定し、反対面すなわち支持ガラス基板の第２主面側に真空吸着パッド（４０ｍｍφ）を吸着して保持した。
次にナイフ（厚さ：０．１０ｍｍ、長さ：１００ｍｍ、幅：１０ｍｍ、ステンレス製。）をガラス積層体Ａ１の角部（４つの角部のうちの１つ）かつ端面に載置し、ナイフを固定面方向移動ユニットによって樹脂層の表面を僅かに接触させつつ滑らせながら薄板ガラス基板の第１主面との界面に挿入させ、およそ２０ｍｍ挿入して空隙を形成した。
次に、形成した空隙へ向けてトリミングノズル（いけうち社製、１ｍｍφ）から高圧水（２ＭＰａ）を吹き付けた。その結果、ガラス積層体Ａ１に損傷なく、支持体と薄板ガラスとを剥離できた。剥離した後の薄板ガラス基板の帯電圧は、＋０．２ｋＶであった。【０１５８】
＜剥離試験５＞
ガラス積層体Ａ２を使用した以外は、上記の剥離試験１と同様の方法で剥離試験４を行った。ガラス積層体Ａ２に損傷無く、支持ガラス基板と薄板ガラス基板とを剥離して分離した。【０１５９】
＜剥離試験６＞
ガラス積層体Ａ２を２つ使用し、それぞれの薄板ガラス基板の第１主面側を紫外線硬化性シール剤（積水化学社製）でガラス端部から５ｍｍ内側のエリアで線状かつ四角形に塗布後貼り合わせしたものを使用した以外は剥離試験１と同様の方法で剥離試験５を実施した。
薄板ガラス基板を２枚貼り合わせた積層体、すなわちパネルから、２枚の支持体をパネルを損傷することなく分離することができた。【０１６０】
＜剥離試験７＞
剥離装置１および剥離装置１１のいずれも用いずに剥離を行った。
上記のガラス積層体Ａ１について、ナイフ（刃渡り６５０ｍｍ、１ｍｍ厚）を手動でガラス積層体Ａ１の角部かつ端部に載置し、支持ガラス基板の第１主面に形成した樹脂層の表面上を僅かに接触させつつ滑らせながら、薄板ガラス基板の第１主面との界面に挿入し、そのまま移動させて、ガラス積層体Ａ１に損傷無く支持ガラスを薄板ガラスから分離した。分離した後の薄板ガラスの帯電圧は、＋１０ｋＶであった。
【実施例２】
【０１６１】
実施例２では、基板を厚さ０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート樹脂基板に変更した以外は、実施例１と同様に積層体Ｂを作成し、剥離試験３と同様の試験を行った。その結果、積層体Ｂに損傷なく、支持体とポリエチレンテレフタレート樹脂基板とを剥離できた。剥離した後のポリエチレンテレフタレート樹脂基板の帯電圧は、＋０．３ｋＶであった。
【実施例３】
【０１６２】
実施例３では、基板を厚さ０．１ｍｍの鏡面処理を施したステンレス（ＳＵＳ３０４）基板に変更した以外は、実施例１と同様に積層体Ｃを作成し、剥離試験３と同様の試験を行った。その結果、積層体Ｃに損傷なく、支持体とステンレス基板とを剥離できた。剥離した後のステンレス基板の帯電圧は、＋０．０２ｋＶであった。
【実施例４】
【０１６３】
実施例４では、支持基板を厚さ１ｍｍのポリエチレンテレフタレート樹脂基板に、基板を厚さ０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート樹脂基板に変更する以外は、実施例１と同様に積層体Ｄを作成し、剥離試験３と同様の試験を行うシミュレーション実験を行った。その結果、積層体Ｄに損傷なく、支持体とポリエチレンテレフタレート樹脂基板とを剥離できた。剥離した後のポリエチレンテレフタレート樹脂基板の帯電圧は、＋０．５ｋＶであった。
【実施例５】
【０１６４】
実施例５では、支持基板を厚さ１ｍｍ、直径６インチのシリコンウェハ基板に、基板を厚さ０．１ｍｍ、直径６インチのシリコンウェハ基板に変更する以外は、実施例１と同様に積層体Ｅを作成し、剥離試験３と同様の試験を行うシミュレーション実験を行った。その結果、積層体Ｅに損傷なく、支持体とシリコンウェハ基板とを剥離できた。剥離した後のシリコンウェハ基板の帯電圧は、＋０．０５ｋＶであった。
【実施例６】
【０１６５】
実施例６では、支持基板を厚さ１ｍｍのポリエチレンテレフタレート樹脂基板に、基板を厚さ０．１ｍｍの薄板ガラス基板に変更する以外は、実施例１と同様に積層体Ｆを作成し、剥離試験３と同様の試験を行うシミュレーション実験を行った。その結果、積層体Ｆに損傷なく、支持体と薄板ガラス基板とを剥離できた。剥離した後の薄板ガラス樹脂基板の帯電圧は、＋０．２ｋＶであった。
【実施例７】
【０１６６】
実施例７では、基板を厚さ０．０５ｍｍのポリイミド樹脂基板（東レ・デュポン社製、カプトン２００ＨＶ）に変更した以外は、実施例１と同様に積層体Ｇを作成し、剥離試験３と同様の試験を行った。その結果、積層体Ｇに損傷なく、支持体とポリイミド樹脂基板とを剥離できた。剥離した後のポリイミド樹脂基板の帯電圧は、＋０．２ｋＶであった。
【実施例８】
【０１６７】
初めに縦３５０ｍｍ、横３００ｍｍ、板厚０．０８ｍｍ、線膨張係数３８×１０−７／℃のガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００、無アルカリガラス基板）を薄板ガラス専用の洗浄装置を用いてアルカリ洗剤で洗浄を行い表面を清浄化し、さらに表面にγ−メルカプトプロピルトリメトキシシランの０．１％メタノール溶液を噴霧し、続いて８０℃で３分乾燥させたものを積層用ガラスフィルムとして準備した。一方で、縦３５０ｍｍ、横３００ｍｍ、板厚０．０５ｍｍのポリイミド基板（東レ・デュポン社製、カプトン２００ＨＶ）の表面をプラズマ処理した物を準備した。そして、先のガラス基板と重ね合わせ、３２０℃に加熱したプレス装置を用いて両者を積層し、ガラス／樹脂積層基板とした。
実施例８では、薄板ガラス基板を上記のガラス／樹脂積層基板に変更し、その樹脂基板のガラス基板との積層面と反対側の面を支持体との積層面にした以外は、実施例１と同様に積層体Ｈを作成し、剥離試験３と同様の試験を行った。その結果、積層体Ｈに損傷なく、支持体とガラス／樹脂積層フィルム基板とを剥離できた。剥離した後のガラス／樹脂積層フィルム基板の帯電圧は、＋０．２ｋＶであった。【０１６８】
本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２００９年２月６日出願の日本特許出願２００９−０２６１９６および２００９年８月２８日出願の日本特許出願２００９−１９８９９２に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１６９】
本発明によれば、基板間へ混入した気泡や塵介等の異物による基板欠陥の発生を抑制し、エッジピットを発生させることなく既存の製造ラインで処理することができ、密着した基板と樹脂層とを損傷することなく、これらを容易かつ短時間に剥離して分離することができる電子デバイスの製造方法を提供することができる。また、そのような電子デバイスの製造方法を実施することができる剥離装置を提供することができる。
【符号の説明】
【０１７０】
１、１１    剥離装置
２  基台部材
３  第１移動部材本体
４  第３移動部材本体
５  第２移動部材本体  
１０    支持体付き表示装置用パネル
１０ｘ    支持体付き表示装置用パネルの端面
１２ａ、１２ｂ    薄板ガラス基板
１６，１１６，１２６，１３６    表示装置用パネル
１７ａ，１７ｂ，１１７，１２７，１３７ａ，１３７ｂ  支持体
１８ａ、１８ｂ    樹脂層
１９ａ、１９ｂ    支持ガラス基板
２０    ステージ
２２    多孔質真空吸着プレート
２４    ポンプ
２６    ステージ枠
３０    ナイフ
３０ａ    ナイフの先端部
３０ｂ    ナイフの中段部
３０ｃ    ナイフの後端部
４０    上下方向移動ユニット
４０ａ  第２移動側部材
４０ｂ  第２固定側部材
４２    固定面方向移動ユニット
４２ａ  第１移動側部材
４２ｂ  第１移動側部材
４４    上方向移動機構
４４ａ  第３移動側部材
４４ｂ  第３固定側部材
４４ｃ  ストッパー
４６    三成分力センサー
５０    回転機構
５１    ストッパー
５２    ブランケット
５４    回転軸
５６    ブッシュ
５８    ブランケット
５９    挿入角度調整ユニット
６０    吸着パッド
６１    支持部
６１１  アーム
７０    カメラ
７３    ノズル
７５    帯電抑制装置
θ    挿入角度
７７    バキュームポンプ
７８    電空レギュレータ
７９    バルブ
８２    吸着パッド
８３    エアーポンプ
８４    フレーム
８５    電空レギュレータ
８６    ガイド
８７    電磁弁
８８    エアーシリンダ
８９    ピストン
９０    制御部
１１０    支持体付き表示装置用パネル
１１２    薄板ガラス基板
１１４    表示装置用部材
１１８    樹脂層
１１９    支持ガラス基板
１２０    支持体付き表示装置用パネル
１２２    薄板ガラス基板
１２４    表示装置用部材
１２５    隙間部
１２８    樹脂層
１２９    支持ガラス基板
１３２ａ、１３２ｂ    薄板ガラス基板
１３４    表示装置用部材
１３８ａ、１３８ｂ    樹脂層
１３９ａ、１３９ｂ    支持ガラス基板
【図１】
2010090147.tif 000003
【図２】
2010090147.tif 000004
【図３】
2010090147.tif 000005
【図４】
2010090147.tif 000006
【図５】
2010090147.tif 000007
【図６】
2010090147.tif 000008
【図７】
2010090147.tif 000009
【図８】
2010090147.tif 000010
【図９】
2010090147.tif 000011
【図１０】
2010090147.tif 000012
【図１１】
2010090147.tif 000013
【図１２】
2010090147.tif 000014
【図１３】
2010090147.tif 000015
【図１４】
2010090147.tif 000016
【図１５】
2010090147.tif 000017
【図１６】
2010090147.tif 000018
【図１７】
2010090147.tif 000019
【国際調査報告】
2010090147.tif 000020
2010090147.tif 000021
2010090147.tif 000022
2010090147.tif 000023