(57)【要約】  工具を使用することなく脱着可能なハンドル６を有するテスト部ユニット７であって、ハンドル６は、ベースプレート６１と、ベースプレート６１の両端部に設けられた２個のブラケット６２と、両ブラケット６２間に差し渡されたハンドルバー６３と、ベースプレート６１に設けられた２本のガイドシャフト６４および２個のインデックスプランジャ６５とを備えている。一方、テスト部ユニット本体５におけるパフォーマンスボード５１には、パフォーマンスボード５１の平面方向に延びている２個のガイドホール５３と、パフォーマンスボード５１の厚さ方向に延びている２個のプランジャホール５４が形成されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッドの本体部に装着されるテスト部ユニットであって、
工具を使用することなく脱着が可能なハンドルを有することを特徴とするテスト部ユニット。
【請求項２】
前記ハンドルは、長尺状の把持部を備えたことを特徴とする請求項１に記載のテスト部ユニット。
【請求項３】
前記ハンドルの長さは、前記テスト部ユニットの幅よりも長いことを特徴とする請求項２に記載のテスト部ユニット。
【請求項４】
前記テスト部ユニットは、前記テストヘッドの本体部に複数並列して装着されるものであり、前記複数のテスト部ユニットに対して１セットの前記ハンドルが使用されることを特徴とする請求項１に記載のテスト部ユニット。
【請求項５】
前記ハンドルは、前記テスト部ユニットの平面方向に延びているピンおよびホールが嵌合し、前記テスト部ユニットの厚さ方向に延びているピンおよびホールが嵌合することで、前記テスト部ユニットの本体部に取り付けられ、前記各ピンが前記各ホールから抜かれることで、前記テスト部ユニットの本体部から取り外されることを特徴とする請求項１に記載のテスト部ユニット。
【請求項６】
前記ハンドルは、前記テスト部ユニットの平面方向に延びている第１のピンと、前記テスト部ユニットの厚さ方向に延びている第２のピンとを備えており、
前記テスト部ユニットの本体部には、前記テスト部ユニットの平面方向に延びている第１のホールと、前記テスト部ユニットの厚さ方向に延びている第２のホールとが形成されている
ことを特徴とする請求項５に記載のテスト部ユニット。
【請求項７】
前記ハンドルの第２のピンは、前記テスト部ユニットの厚さ方向に移動可能となっており、前記第２のピンを移動させることで、前記ハンドルの前記テスト部ユニットの本体部に対する取り付けのロックおよび解除を行うことを特徴とする請求項６に記載のテスト部ユニット。
【請求項８】
前記ハンドルは、インデックスプランジャを備えており、前記第２のピンは、前記インデックスプランジャが有する移動可能なピンであることを特徴とする請求項７に記載のテスト部ユニット。
【請求項９】
前記ハンドルは、前記テスト部ユニットの本体部の側面に密着するベースプレートと、前記ベースプレートの両端部に設けられたブラケットと、前記両ブラケット間に差し渡されたハンドルバーとを備えており、
前記第１のピンは、前記テスト部ユニットの本体部側に突出するように、前記ベースプレートに設けられており、
前記インデックスプランジャは、前記第２のピンが前記テスト部ユニットの厚さ方向に移動可能なように、前記ベースプレートに設けられている
ことを特徴とする請求項８に記載のテスト部ユニット。
【請求項１０】
前記ハンドルは、前記第１のピンを複数本備えていることを特徴とする請求項６に記載のテスト部ユニット。
【請求項１１】
前記ハンドルは、前記インデックスプランジャを２個備えていることを特徴とする請求項８に記載のテスト部ユニット。
【請求項１２】
テストヘッド本体と、
前記テストヘッド本体に装着される、請求項１に記載のテスト部ユニットと
を備えたことを特徴とするテストヘッド。
【請求項１３】
テストヘッド本体と、
前記テストヘッド本体に複数並列して装着される、請求項４に記載のテスト部ユニットと
を備えたことを特徴とするテストヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品試験装置において使用されるテストヘッドおよびテストヘッドの本体部に脱着可能に装着されるテスト部ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造課程においては、最終的に製造された電子部品を試験する試験装置が必要となる。かかる試験装置においては、ハンドラと称される電子部品ハンドリング装置によりＩＣデバイスを搬送し、ＩＣデバイスの外部端子をテストヘッド上に設けられたソケットの接続端子に電気的に接触させ、試験用メイン装置（テスタ）に試験を行わせる。このようにしてＩＣデバイスは試験され、少なくとも良品や不良品といったカテゴリに分類される。【０００３】
テストヘッド上には、一般的にテスト部ユニット（Ｈｉ−Ｆｉｘまたはマザーボードと称される場合がある。）が設けられている。このテスト部ユニットは、アダプタとしての機能を有するパフォーマンスボードと、当該パフォーマンスボードに電気的に接続され、一または複数のソケットが設けられたソケットボードとを備えている。このテスト部ユニットは、テストヘッド本体に対して交換可能に装着される。【０００４】
ここで、テストヘッド本体の内部には複数の基板が設けられているが、例えば、基板に不具合が生じたとき、あるいは被試験ＩＣデバイスの品種交換のときには、テストヘッド本体からテスト部ユニットを取り外して、テストヘッド本体をメンテナンスしたり、別のテスト部ユニットに交換しなくてはならないことがある。【０００５】
図７に示すように、従来のテスト部ユニット７Ｐは、テスト部ユニット本体５Ｐと、テスト部ユニット本体５Ｐの両側部に設けられたハンドル６Ｐとを備えている。各ハンドル６Ｐは、テスト部ユニット本体５Ｐにネジ等で固定された２つのブラケット６２Ｐと、それらブラケット６２Ｐ間に差し渡されたパイプ状のハンドルバー６３Ｐとから構成される。ハンドル６Ｐの長さは、テスト部ユニット本体５Ｐの幅と略同じである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
テスト部ユニット７Ｐは約６０ｋｇと重いため、ハンドル６Ｐを持ってテスト部ユニット７Ｐを脱着するのに、作業者は４名必要である。しかしながら、各ハンドル６Ｐを２名の作業者で持つには、当該ハンドル６Ｐは短か過ぎ、人間工学に基づく製品重量に見合った長さにはなっていない。したがって、従来は、不安定な状態でテスト部ユニット７Ｐの脱着を行わざるを得なかった。【０００７】
一方、ハンドル６Ｐの長さをテスト部ユニット本体５Ｐの幅よりも長くすると、他の構造物と干渉が生じてしまうため、ハンドル６Ｐの長さは、テスト部ユニット本体５Ｐの幅が上限となる。【０００８】
また、ハンドル６Ｐにおけるパイプ状のハンドルバー６３Ｐは、その仕様によっては、電磁波障害（ＥＭＩ）を受けるアンテナになってしまうことがあった。【０００９】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、ハンドルを製品重量に見合った大きさにすることができ、かつハンドルによって電磁波障害を受けることを防止することのできるテスト部ユニットおよびテストヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、テストヘッドの本体部に装着されるテスト部ユニットであって、工具を使用することなく脱着が可能なハンドルを有することを特徴とするテスト部ユニットを提供する（発明１）。【００１１】
上記発明（発明１）によれば、ハンドルが脱着可能となっているため、テスト部ユニットをテストヘッドの本体部に装着した後、ハンドルを取り外せば、ハンドルによって電磁波障害を受けることを防止することができ、また、ハンドルを人間工学に基づく製品重量に見合った大きさにした場合であっても、ハンドルが他の構造物と干渉することはない。【００１２】
上記発明（発明１）において、前記ハンドルは、長尺状の把持部を備えていてもよい（発明２）。【００１３】
上記発明（発明２）において、前記ハンドルの長さは、前記テスト部ユニットの幅よりも長くなっていてもよい（発明３）。これにより、ハンドルを人間工学に基づく製品重量に見合った大きさにすることができるため、作業者がハンドルを持ち易くなり、したがってテストヘッドの本体部に対するテスト部ユニットの脱着を安定した状態で行うことができる。【００１４】
上記発明（発明１）において、前記テスト部ユニットは、前記テストヘッドの本体部に複数並列して装着されるものであり、前記複数のテスト部ユニットに対して１セットの前記ハンドルが使用されてもよい（発明４）。【００１５】
上記発明（発明１）において、前記ハンドルは、前記テスト部ユニットの平面方向に延びているピンおよびホールが嵌合し、前記テスト部ユニットの厚さ方向に延びているピンおよびホールが嵌合することで、前記テスト部ユニットの本体部に取り付けられ、前記各ピンが前記各ホールから抜かれることで、前記テスト部ユニットの本体部から取り外されることが好ましい（発明５）。【００１６】
上記発明（発明５）においては、テスト部ユニットの厚さ方向に延びているピンおよびホールが、ハンドルのテスト部ユニットの本体部に対する取り付けのロックおよび解除の機能を発揮し得る。【００１７】
上記発明（発明５）において、前記ハンドルは、前記テスト部ユニットの平面方向に延びている第１のピンと、前記テスト部ユニットの厚さ方向に延びている第２のピンとを備えており、前記テスト部ユニットの本体部には、前記テスト部ユニットの平面方向に延びている第１のホールと、前記テスト部ユニットの厚さ方向に延びている第２のホールとが形成されていてもよい（発明６）。【００１８】
上記発明（発明６）において、前記ハンドルの第２のピンは、前記テスト部ユニットの厚さ方向に移動可能となっており、前記第２のピンを移動させることで、前記ハンドルの前記テスト部ユニットの本体部に対する取り付けのロックおよび解除を行うことが好ましい（発明７）。【００１９】
上記発明（発明７）において、前記ハンドルは、インデックスプランジャを備えており、前記第２のピンは、前記インデックスプランジャが有する移動可能なピンであることが好ましい（発明８）。インデックスプランジャを使用することで、ハンドルのテスト部ユニットの本体部に対する取り付けのロックおよび解除を極めて簡単に、かつ短時間で行うことができる。また、インデックスプランジャによるロックにより、ハンドルがテスト部ユニットの本体部から脱落することが防止されるため、安全性が高い。【００２０】
上記発明（発明８）において、前記ハンドルは、前記テスト部ユニットの本体部の側面に密着するベースプレートと、前記ベースプレートの両端部に設けられたブラケットと、前記両ブラケット間に差し渡されたハンドルバーとを備えており、前記第１のピンは、前記テスト部ユニットの本体部側に突出するように、前記ベースプレートに設けられており、前記インデックスプランジャは、前記第２のピンが前記テスト部ユニットの厚さ方向に移動可能なように、前記ベースプレートに設けられていることが好ましい（発明９）。【００２１】
上記発明（発明６）において、前記ハンドルは、前記第１のピンを複数本備えていることが好ましい（発明１０）。これにより、ハンドルのテスト部ユニットの本体部に対する固定力を確保することができる。【００２２】
上記発明（発明８）において、前記ハンドルは、前記インデックスプランジャを２個備えていることが好ましい（発明１１）。これにより、１人の作業者の左右の手でインデックスプランジャを操作することができるため、１人の作業者によって簡便にハンドルの脱着を行うことができる。【００２３】
第２に本発明は、テストヘッド本体と、前記テストヘッド本体に装着される前記テスト部ユニット（発明１）とを備えたことを特徴とするテストヘッドを提供する（発明１２）。【００２４】
第３に本発明は、テストヘッド本体と、前記テストヘッド本体に複数並列して装着される前記テスト部ユニット（発明４）とを備えたことを特徴とするテストヘッドを提供する（発明１３）。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、ハンドルが脱着可能となっているため、テスト部ユニットをテストヘッドの本体部に装着した後、ハンドルを取り外せば、ハンドルによって電磁波障害を受けることを防止することができる。また、ハンドルをテスト部ユニットの重量に見合った大きさにした場合、例えば、テスト部ユニットの本体部の幅よりも長くした場合であっても、テスト部ユニットをテストヘッドの本体部に装着した後、ハンドルを取り外せば、ハンドルが他の構造物と干渉することを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るテストヘッドユニットおよびハンドラの側面図である。
【図２】図２は、同実施形態に係るテスト部ユニットの本体部（並列状態）の斜視図である。
【図３】図３（ａ），（ｂ）は、同実施形態に係るテスト部ユニットのハンドルの斜視図である。
【図４】図４は、同実施形態に係るテスト部ユニット（並列状態）の斜視図である。
【図５】図５は、同実施形態に係るテスト部ユニット（単体）の斜視図である。
【図６】図６は、同実施形態に係るテスト部ユニットの本体部（単体）の斜視図である。
【図７】図７は、従来のテスト部ユニットの斜視図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…ハンドラ（電子部品ハンドリング装置）
３…テストヘッド
４…テストヘッド本体（テストヘッドの本体部）
５，５Ｐ…テスト部ユニット本体（テスト部ユニットの本体部）
５３…ガイドホール（ホール）
５４…プランジャホール（ホール）
６，６Ｐ…ハンドル
６１…ベースプレート
６２，６２Ｐ…ブラケット
６３，６３Ｐ…ハンドルバー
６４…ガイドシャフト（第１のピン）
６５…インデックスプランジャ
６６…ノブ
６７…プランジャピン（第２のピン）
７，７Ｐ…テスト部ユニット
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るテストヘッドユニットおよびハンドラの側面図であり、図２は、同実施形態に係るテスト部ユニットの本体部（並列状態）の斜視図であり、図３（ａ），（ｂ）は、同実施形態に係るテスト部ユニットのハンドルの斜視図であり、図４は、同実施形態に係るテスト部ユニット（並列状態）の斜視図であり、図５は、同実施形態に係るテスト部ユニット（単体）の斜視図であり、図６は、同実施形態に係るテスト部ユニットの本体部（単体）の斜視図である。【００２９】
図１に示すように、ＩＣデバイス試験装置は、ハンドラ１と、テストヘッド３と、図示しない試験用メイン装置とを有する。ハンドラ１は、試験すべきＩＣデバイス（電子部品の一例）をテストヘッド３に設けられたソケットに順次搬送し、試験が終了したＩＣデバイスをテスト結果に従って分類して所定のトレイに格納するという動作を実行する。【００３０】
ハンドラ１の下部には、主としてハンドラ１を制御する制御装置が内蔵されているが、一部に空間部分１０が設けられている。この空間部分１０に、テストヘッド３が交換自在に配置されており、ハンドラ１に形成した貫通孔を通してＩＣデバイスをテストヘッド３上のソケットに装着することが可能になっている。【００３１】
テストヘッド３は、複数の基板を内蔵したテストヘッド本体４と、テストヘッド本体４の上に設けられたテスト部ユニット本体５とを備えており、テストヘッド移動装置８に設置されている。なお、本明細書では、テストヘッド３およびテストヘッド移動装置８を合わせて、テストヘッドユニットという。【００３２】
テストヘッド移動装置８は、スライド機構を備えている。テストヘッド３は、そのスライド機構の駆動によってテストヘッド移動装置８から引き出され、ハンドラ１の外に出る。これにより、テスト部ユニット本体５のテストヘッド本体４に対する脱着作業を行うことができる。【００３３】
本実施形態では、図２に示すように、テストヘッド本体４に２つのテスト部ユニット本体５が並列して設けられている。各テスト部ユニット本体５は、パフォーマンスボード５１と、パフォーマンスボード５１に電気的に接続され、複数のソケットが設けられたソケットボード５２とを備えている。このテスト部ユニット本体５は、コネクタを介して、テストヘッド本体４に対して交換可能に装着される。【００３４】
ソケットボード５２に設けられたソケットは、テストヘッド本体４内の基板および図示しない外部ケーブルを通じて試験用メイン装置に電気的に接続されている。ソケットに装着されたＩＣデバイスは、試験用メイン装置に接続され、試験用メイン装置からの試験用電気信号によりテストされる。【００３５】
各テスト部ユニット本体５におけるパフォーマンスボード５１の両側面の両端部には、パフォーマンスボード５１の平面方向に延びているガイドホール５３が形成されている。また、パフォーマンスボード５１の上面の四隅には、パフォーマンスボード５１の厚さ方向に延びているプランジャホール５４が形成されている。【００３６】
図４および図５に示すように、テスト部ユニット本体５には、ハンドル６が脱着可能に取り付けられる。ハンドル６は２つで１セットとなっており、２つのテスト部ユニット本体５に対して、１セットのハンドル６が使用される。本実施形態では、テスト部ユニット本体５およびハンドル６を合わせて、テスト部ユニット７という。【００３７】
図３に示すように、ハンドル６は、パフォーマンスボード５１の側面に密着するベースプレート６１を備えている。そのベースプレート６１の一方の面（パフォーマンスボード５１とは反対側の面）の両端部には、２個のブラケット６２が設けられており、両ブラケット６２間には、パイプ状のハンドルバー６３が差し渡されている。また、ベースプレート６１の他方の面（パフォーマンスボード５１側の面）には、２本のガイドシャフト６４がパフォーマンスボード５１側に突出するように設けられており、各ガイドシャフト６４の上側には、インデックスプランジャ６５が設けられている。インデックスプランジャ６５は、出没移動可能なプランジャピン６７と、プランジャピン６７を操作するノブ６６とを備えている。なお、プランジャピン６７は、図示しないスプリングにより、インデックスプランジャ６５から突出する方向に付勢されている。インデックスプランジャ６５は、プランジャピン６７がパフォーマンスボード５１の厚さ方向に移動可能なように、ベースプレート６１に設けられている。【００３８】
ハンドル６のガイドシャフト６４と、パフォーマンスボード５１に形成されたガイドホール５３とは、互いに嵌合する大きさとなっており、また、インデックスプランジャ６５のプランジャピン６７と、パフォーマンスボード５１に形成されたプランジャホール５４とは、互いに嵌合する大きさとなっている。【００３９】
ハンドル６をテスト部ユニット本体５に取り付けるには、インデックスプランジャ６５のノブ６６を上方に引き上げて、プランジャピン６７をインデックスプランジャ６５の内部に退避させた状態で、ハンドル６のガイドシャフト６４をパフォーマンスボード５１のガイドホール５３に挿入し、ハンドル６のベースプレート６１をパフォーマンスボード５１の側面に密着させる。そして、インデックスプランジャ６５のノブ６６から手を離してノブ６６を元に戻し、プランジャピン６７をインデックスプランジャ６５の内部から突出させ、パフォーマンスボード５１のプランジャホール５４に挿入する。これにより、ハンドル６をテスト部ユニット本体５に対してロックすることができ、ハンドル６がテスト部ユニット本体５から脱落することを防止することができる。ハンドル６をテスト部ユニット本体５に取り付けた状態のテスト部ユニット７は、図４および図５に示される。【００４０】
一方、ハンドル６をテスト部ユニット本体５から取り外すには、インデックスプランジャ６５のノブ６６を上方に引き上げて、プランジャピン６７をパフォーマンスボード５１のプランジャホール５４から抜き、ハンドル６のテスト部ユニット本体５に対するロックを解除する。そして、ハンドル６をテスト部ユニット本体５から引き離し、ハンドル６のガイドシャフト６４をパフォーマンスボード５１のガイドホール５３から抜き、最後にインデックスプランジャ６５のノブ６６から手を離してノブ６６を元に戻す。テスト部ユニット７からハンドル６を取り外した状態のテスト部ユニット本体５は、図２および図６に示される。【００４１】
ハンドル６においてインデックスプランジャ６５は２個存在するため、１人の作業者が、左右それぞれの手でインデックスプランジャ６５のノブ６６を操作することで、工具を使用することなく、ハンドル６のテスト部ユニット本体５に対する脱着を極めて簡単に、かつ短時間（２〜３秒）で行うことができる。【００４２】
ハンドル６の長さは、人間工学に基づく製品重量（テスト部ユニット本体５の重量）に見合った長さとなっており、本実施形態では、図４および図５に示すように、テスト部ユニット本体５の幅よりも長くなっている。ハンドル６は、テスト部ユニット本体５に対して脱着可能となっているため、上記のようにハンドル６の長さをテスト部ユニット本体５の幅よりも長くしても、ハンドル６をテスト部ユニット本体５から取り外せば、ハンドル６が他の構造物（例えば他のハンドルを含む）と干渉することを回避することができる。また、ハンドル６のハンドルバー６３は、電磁波障害を受けるアンテナになることがあるが、テストヘッド３の使用時にハンドル６をテスト部ユニット本体５から取り外しておけば、かかる電磁波障害の問題は解決される。【００４３】
なお、ハンドル６のハンドルバー６３の長さは、テスト部ユニット本体５の大きさや重量に応じて容易に変更が可能である。本実施形態では、２名の作業者が持ち易い長さとなっているが、３名または４名の作業者が持ち易い長さにすることもできる。【００４４】
ここで、テスト部ユニット本体５のテストヘッド本体４に対する脱着方法を説明する。
最初に、テストヘッド移動装置８のスライド機構の駆動により、テストヘッド３をテストヘッド移動装置８から引き出し、ハンドラ１の外に出す。そして、図４に示すように、一方のテスト部ユニット本体５の両側部にそれぞれハンドル６を取り付ける。前述したように、ハンドル６の取り付けは、インデックスプランジャ６５の操作により、極めて簡単にかつ短時間で行うことができる。【００４５】
テスト部ユニット本体５に取り付けた各ハンドル６を２名ずつの作業者が持ち、計４名の作業者でテスト部ユニット７を持ち上げてテストヘッド本体４から取り外し、取り外したテスト部ユニット７（図５参照）を所望の位置に置く。【００４６】
このとき、ハンドル６の長さはテスト部ユニット本体５の幅よりも長く、人間工学に基づく製品重量に見合った長さとなっているため、各作業者はハンドル６を持ち易く、したがって、安定した状態でテスト部ユニット７の脱着を行うことができる。【００４７】
また、ハンドル６はインデックスプランジャ６５によりテスト部ユニット本体５に対してロックされているため、テスト部ユニット７の脱着の際に、ハンドル６がテスト部ユニット本体５から脱落することはない。すなわち、ロックを解除するには、故意にインデックスプランジャ６５のノブ６６を引き上げながらハンドル６をテスト部ユニット本体５から引っ張らないといけないため、自然にロックが外れることがなく、安全性が高い。【００４８】
次に、図６に示すように、上記テスト部ユニット７からハンドル６を取り外す。前述したように、ハンドル６の取り外しも、インデックスプランジャ６５の操作により、極めて簡単にかつ短時間で行うことができる。【００４９】
取り外したハンドル６は、上記と同様にして、他方のテスト部ユニット本体５に取り付け、取り付けたハンドル６を持ち、テスト部ユニット７を持ち上げてテストヘッド本体４から取り外す。【００５０】
テストヘッド本体４のメンテナンスが完了したら、上記と逆の操作によりテストヘッド本体４に２つのテスト部ユニット本体５を取り付け、ハンドル６をテスト部ユニット本体５から取り外す（図２参照）。テスト部ユニット本体５を別のものに交換するときも同様に、上記と逆の操作によりテストヘッド本体４に別の２つのテスト部ユニット本体５を取り付け、ハンドル６をテスト部ユニット本体５から取り外す（図２参照）。このようにハンドル６をテスト部ユニット本体５から取り外しておくことで、テストヘッド３の使用時に、ハンドル６に起因して電磁波障害を受けることを防止することができる。【００５１】
最後に、テストヘッド移動装置８のスライド機構の駆動により、テストヘッド３をテストヘッド移動装置８の元の位置に戻す。【００５２】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００５３】
例えば、ガイドシャフト６４およびガイドホール５３の数は２個に限定されず、テスト部ユニット本体５の大きさや重量に応じて適宜変更することができる。また、インデックスプランジャ６５の替わりに、電磁ソレノイドによってピンを出没移動させるソレノイドプランジャを用いてもよいし、手動で抜き差しが可能なピンを用いてもよい。さらには、電磁石等による磁力のオン／オフによってハンドル６をテスト部ユニット本体５に対して脱着可能としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、テストヘッド本体に対するテスト部ユニット本体の脱着、およびテストヘッドにおける電磁波障害の対策に有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2010035335.tif 000009
【国際調査報告】
2010035335.tif 000010
2010035335.tif 000011
2010035335.tif 000012
2010035335.tif 000013