【事件の表示】
　特許第３１１２９５４号「質量流量計」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１１２９５４号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３１１２９５４号「質量流量計」の請求項１に係る発明は、平成９年８月８日に特許出願され、平成１２年９月２２日にその特許権の設定登録がなされ、その後、平成１３年５月２５日に株式会社オーバルにより請求項１に係る特許について特許異議の申立がなされ、取消しの理由が通知され、その所定の期間内である平成１４年４月３日に特許異議意見書と訂正請求書が提出されたものである。
２．訂正の適否についての判断
　（１）訂正の要旨
　ａ．特許請求の範囲の請求項１の
「流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほほ真っ直ぐに延びるコリオリ導管（１）と、このコリオリ導管（１）に作用する振動発生器（２）と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサ（３，４）と、補償シリンダ（１５）とを有しており、コリオリ導管（１）が補償シリンダ（５）内に配置されていて、この補償シリンダ（５）に機械的に結合されており、補償シリンダ（５）の振動特性が、コリオリ導管（１９）の振動特性にほぼ相当する形式のものにおいて、コリオリ導管（１）と補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されていることを特徴とする、質量流量計。」を、
「流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管（１）と、このコリオリ導管（１）に作用する振動発生器（２）と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサ（３，４）と、第１の補償シリンダ（５）と第２の補償シリンダ（６）とを有しており、コリオリ導管（１）が第１の補償シリンダ（５）内に配置されていて、第１の補償シリンダ（５）に機械的に結合されており、第１の補償シリンダ（５）の振動特性が、コリオリ導管（１９）の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されている形式のものにおいて、第２の補償シリンダ（６）と第１の補償シリンダ（５）との間に、第１の補償シリンダ（５）が振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材（１０、１１）が配置されていることを特徴とする、質量流量計。」と訂正する。
　ｂ．特許第３１１２９５４号公報第２欄第３行〜第１３行目記載の
　　「本発明は、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体が流過する少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管と、このコリオリ導管に作用する振動発生器と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサと、補償シリンダとを有しており、コリオリ導管が補償シリンダ内に配置されていて、この補償シリンダに機械的に結合されており、補償シリンダの振動特性が、コリオリ導管の振動特性にほほ相当する形式のものに関する。
　　　このような形式の、」を、
　　「本発明は、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管と、このコリオリ導管に作用する振動発生器と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサと、第１の補償シリンダと第２の補償シリンダとを有しており、コリオリ導管が第１の補償シリンダ内に配置されていて、第１の補償シリンダに機械的に結合されており、第１の補償シリンダの振動特性が、コリオリ導管の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管と第１の補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されている形式のものに関する。
　　　このような形式の、」と訂正する。
　ｃ．特許第３１１２９５４号公報第３欄第１６行〜第２２行記載の
　　「改善することである。
　　　この課題は、本発明によれば、
　　コリオリ導管と補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されていることによって解決された。
　　　流れる媒体のための、」を、
　　「改善することである。
　　この課題は、本発明によれば、第２の補償シリンダと第１の補償シリンダとの間に、第１の補償シリンダが振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材が配置されていることによって解決された。
　　　流れる媒体のための、」と訂正する。
　（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
上記ａ．の訂正において、
（イ）「補償シリンダ（１５）」を 「補償シリンダ（５）」とした訂正は、誤記の訂正を目的としたものである。
（ロ）「｛補償シリンダ（１５）｝とを有しており」を「｛補償シリンダ（５）｝と第２の補償シリンダ（６）とを有しており」とした訂正は、構成要件を加えるもので、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
（ハ）「補償シリンダ（５）」を「第１の補償シリンダ（５）」とした訂正は、第２の補償シリンダ（６）との明確化を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである。
（ニ）「第２の補償シリンダ（６）と第１の補償シリンダ（５）との間に、第１の補償シリンダ（５）が振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材（１０、１１）が配置されている」とした訂正は、構成要件を加えるもので、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
そして、上記（イ）ないし（ニ）の訂正事項は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
上記ｂ．及びｃ．の訂正は、それぞれ特許請求の範囲に係る上記訂正ａ．をしたことに伴い、対応する発明の詳細な説明の記載を訂正するものであって、該訂正は、明りょうでない記載の釈明に該当し、また、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　（３）むすび
したがって、上記各訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
　〈特許法第２９条に関する申立てについて〉
　当審でした取消理由通知は、下記（１）申立の理由の概要と同趣旨であるので省略する。　
　（１）申立ての理由の概要
　申立人株式会社オーバルは、請求項１に係る発明は、下記の甲第１号証若しくは甲第２号証に記載された発明と同一、又は、前記各甲号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから取り消すべき旨主張している。
　甲第１号証：特開平７−３３３０３０号公報
　甲第２号証：特開平６−１６０１４８号公報
　（２）本件の請求項１に係る発明
　上記２．で示した上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正請求書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの次のものである。
【請求項１】
　流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほほ真っ直ぐに延びるコリオリ導管（１）と、このコリオリ導管（１）に作用する振動発生器（２）と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサ（３，４）と、第１の補償シリンダ（５）と第２の補償シリンダ（６）とを有しており、コリオリ導管（１）が第１の補償シリンダ（５）内に配置されていて、第１の補償シリンダ（５）に機械的に結合されており、第１の補償シリンダ（５）の振動特性が、コリオリ導管（１９）の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されている形式のものにおいて、第２の補償シリンダ（６）と第１の補償シリンダ（５）との間に、第１の補償シリンダ（５）が振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材（１０、１１）が配置されていることを特徴とする、質量流量計。
　（３）対比・判断
　先ず、請求項１に係る発明の構成要件である「第２の補償シリンダ（６）」についての技術的事項を検討すると、該構成要件に関して本件特許発明の明細書には、
「コリオリ導管１と補償シリンダ５とは、軸方向の相対運動を排除する形式で機械的に結合された第２の補償シリンダ６内に配置されている。このような配置は例えば、コリオリ導管１が、第２の補償シリンダ６内で引っ張り負荷にさらされて配置されるような形式で、行われる。」（特許公報第５欄第７〜１２行）、
「本発明による質量流量計では、コリオリ導管と補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されている。第２の補償シリンダの構成に関して、・・・例えばコリオリ導管は、引っ張り負荷を受けて第２の補償シリンダ内に配置されている。」（特許公報第３欄第３６〜４２行）と記載されており、このような構成の第２の補償シリンダがコリオリ導管を温度変動並びに外方から作用する力及びモーメントに対して非感応（補償）としていることは明らか（例えば、特開平５−２４８９１３号公報参照：受容シリンダ８の作用に留意）である。
　そこで、請求項１に係る発明と特許異議申立人が提出した上記各甲号証に記載された発明とを対比すると、当該刊行物のいずれにも「第２の補償シリンダ」の構成が記載されていない。そして、該構成に基づき請求項１に係る発明は明細書に記載された作用効果を奏するものである。したがって、本件請求項１に係る発明は、上記各甲号証に記載された発明と同一でなく、また、上記各甲号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　（４）申立人の主張について
　申立人は、本件特許発明と甲第１号証又は甲第２号証とを対比すると、コリオリ導管と補償シリンダとが、内部に配置され、かつ、コリオリ導管に機械的に結合されているシリンダが、本件特許発明は「第２の補償シリンダ」として機能的に限定しているのに対し、甲第１号証の「外筐」又は甲第２号証の「外筒」はこのような機能的限定の明示がない点でのみ相違している。しかし、この「補償」なる限定は、発明の詳細な説明を参照しても明確でないから、その「補償」の意味を広く解釈するか、或いは無意味な限定として解釈する以外にない。この点をふまえて各甲号証を検討すると、甲第１号証の「外筐」は、「外部振動」、「温度変化」或いは「被測流体の温度や圧力」を補償する機能を有しているといえるし、甲第２号証の「外筒」は、「配管ストレス」を補償するものであるから、これら「外筐」又は「外筒」は「補償シリンダ」といいうるものである旨を主張している。
　そこで、申立人の主張を検討すると、「第２の補償シリンダ（６）」自体の技術的事項については、上記項目（３）対比・判断で述べたようにその構成及び機能は明確である。さらに、第２の補償シリンダ（６）については請求項１では、「コリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置され」と記載されているように、第２の補償シリンダ（６）は、コリオリ導管（１）に機械的結合されており、かつ、その内にコリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とを配置したものであるが、本件発明のいずれの実施例を見ても、該第２の補償シリンダの外側にケーシングが別設されている点から見ると、甲第１号証の「外筐」又は甲第２号証の「外筒」は申立人が主張するように本件発明の第２の補償シリンダに相当するというよりは、むしろ、上記ケーシングに相当するというべきであり、この点を考慮すれば、当該構成の第２の補償シリンダが甲第１号証の「外筐」又は甲第２号証の「外筒」に相当していないことは明らかである。したがって、申立人の当該主張はこれを採用することはできない。
　〈特許法第３６条に関する申立てについて〉
　当審でした取消理由通知は、下記（１）申立の理由の概要と同趣旨であるので省略する。　
　（１）申立ての理由の概要
　申立人株式会社オーバルは、本件発明の構成要件である「コリオリ導管（１）と補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されている」（なお、「補償シリンダ（５）」は上記訂正の適否の判断において示したように「第１の補償シリンダ（５）」とする訂正が認められているが、該訂正が当該申立ての理由に影響を及ぼすものではない。）点で、さらにいえば、シリンダに関して「補償」なる限定を加えたことの技術的意味が理解できず、「第２の補償シリンダ」としての構成が不明である。さらに、本件の第４図に示すように、第１の補償シリンダと第２の補償シリンダの機能を併せ持つ１つのみの補償シリンダを有するものが、実施例として記載されているが、この点からも「第２の補償シリンダ」の構成が不明瞭であって、本件請求項１の記載は、特許法第３６条第６項第１号及び第２号の規定に違反してなされたものであるから取り消すべき旨主張している。
　（２）判断
　第２の補償シリンダの構成については、上記項目〈特許法第２９条に関する申立てについて〉の（３）対比・判断において示したように、その技術的範囲及び構成は明確である。
また、本件特許明細書に示されている第４図に関する実施例と称するものは、「コリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置される構成」及び「第２の補償シリンダ（６）と第１の補償シリンダ（５）との間に、第１の補償シリンダ（５）が振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材（１０、１１）を配置する構成」を有していないので、本件特許発明の実施例たり得ないことは明らかであるから、この点を根拠にした申立人の主張は採用しない。。
４．むすび
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許異議申立ての理由及び証拠によっては取り消すことはできない。
　また、他に請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年５月７日（２００２．５．７）
【訂正の要旨】
　（１）訂正の要旨
ａ．特許請求の範囲の請求項１の
　「流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほほ真っ直ぐに延びるコリオリ導管（１）と、このコリオリ導管（１）に作用する振動発生器（２）と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサ（３，４）と、補償シリンダ（１５）とを有しており、コリオリ導管（１）が補償シリンダ（５）内に配置されていて、この補償シリンダ（５）に機械的に結合されており、補償シリンダ（５）の振動特性が、コリオリ導管（１９）の振動特性にほぼ相当する形式のものにおいて、コリオリ導管（１）と補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されていることを特徴とする、質量流量計。」を、
　「流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管（１）と、このコリオリ導管（１）に作用する振動発生器（２）と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサ（３，４）と、第１の補償シリンダ（５）と第２の補償シリンダ（６）とを有しており、コリオリ導管（１）が第１の補償シリンダ（５）内に配置されていて、第１の補償シリンダ（５）に機械的に結合されており、第１の補償シリンダ（５）の振動特性が、コリオリ導管（１９）の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されている形式のものにおいて、第２の補償シリンダ（６）と第１の補償シリンダ（５）との間に、第１の補償シリンダ（５）が振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材（１０、１１）が配置されていることを特徴とする、質量流量計。」と訂正する。
ｂ．特許第３１１２９５４号公報第２欄第３行〜第１３行目記載の
　「本発明は、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体が流過する少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管と、このコリオリ導管に作用する振動発生器と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサと、補償シリンダとを有しており、コリオリ導管が補償シリンダ内に配置されていて、この補償シリンダに機械的に結合されており、補償シリンダの振動特性が、コリオリ導管の振動特性にほほ相当する形式のものに関する。
　このような形式の、」を、
　「本発明は、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管と、このコリオリ導管に作用する振動発生器と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサと、第１の補償シリンダと第２の補償シリンダとを有しており、コリオリ導管が第１の補償シリンダ内に配置されていて、第１の補償シリンダに機械的に結合されており、第１の補償シリンダの振動特性が、コリオリ導管の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管と第１の補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されている形式のものに関する。
　このような形式の、」と訂正する。
ｃ．特許第３１１２９５４号公報第３欄第１６行〜第２２行記載の
　「改善することである。
　この課題は、本発明によれば、
　コリオリ導管と補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されていることによって解決された。
　流れる媒体のための、」を、
　「改善することである。
　この課題は、本発明によれば、第２の補償シリンダと第１の補償シリンダとの間に、第１の補償シリンダが振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材が配置されていることによって解決された。
　流れる媒体のための、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
質量流量計
【発明の詳細な説明】
　本発明は、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管と、このコリオリ導管に作用する振動発生器と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサと、第１の補償シリンダと第２の補償シリンダとを有しており、コリオリ導管が第１の補償シリンダ内に配置されていて、第１の補償シリンダに機械的に結合されており、第１の補償シリンダの振動特性が、コリオリ導管の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管と第１の補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されている形式のものに関する。
　このような形式の、流れる媒体のための質量流量計は例えばドイツ連邦共和国特許第４１２４２９５号明細書により公知である。この公知の質量流量計においては、その質量重心点が、音叉のように働く互いに平行に延びる２つのコリオリ導管を備えた、同様に公知の質量流量計（例えばアメリカ合衆国特許第４１２７０２８号明細書）とは異なり、往復振動運動するので、妨害振動が生じる可能性が高く、測定精度を低下させることになる、という問題点がある。
　平行に延びる２つのコリオリ導管が音叉のように駆動せしめられる公知の質量流量計においては、やはり複雑に延びる導管に基づいて高い流過抵抗を有していて、しかも洗浄のためのコストが高い、という問題点がある。この問題点は、平行に延びる真っ直ぐなコリオリ導管を備えた質量流量計（例えばドイツ連邦共和国特許第３４４３２３４号明細書参照）にも当てはまる。
　そこで本発明の課題は、コリオリ原理に従って作業する、流れる媒体のための公知の質量流量計の測定精度を、基本的な利点は維持しながら、改善することである。
　この課題は、本発明によれば、第２の補償シリンダと第１の補償シリンダとの間に、第１の補償シリンダが振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材が配置されていることによって解決された。
　流れる媒体のための、本発明による質量流量計の構成によれば、コリオリ導管と補償シリンダとが少なくともほぼ音叉のような形式で互いに振動することが保証される。これによって、質量流量計の質量重心点の振動は、完全になくなるわけではないが、減少され、妨害振動の発生の可能性は減少され、ひいては測定精度が高められる。
　特に質量、ばね定数、振動定数、補償シリンダの振動特性を、コリオリ導管の振動特性に合わせることは、補償シリンダとコリオリ導管とが同じ材料から成っていれば、著しく容易である。コリオリ導管のための材料としては一般的にチタン（Ｔｉｔａｎ）が使用されているので、補償シリンダのための材料としてもチタンを使用するとよい。
　別の有利な構成では、本発明による質量流量計は、コリオリ導管と補償シリンダとが、コリオリ導管に機械的に結合された第２の補償シリンダ内に配置されている。第２の補償シリンダの構成に関しては、例えばドイツ連邦共和国特許第４１２４２９５号明細書が参照される。例えばコリオリ導管は、引っ張り負荷を受けて第２の補償シリンダ内に配置されている。
　本発明の構成によれば、振動発生器が、補償シリンダとコリオリ導管との間に配置されているので、補償シリンダとコリオリ導管とはいずれにしても音叉のように互いに振動する。
　振動発生器が、第２の補償シリンダと第１の補償シリンダとの間に配置されている場合には、補償シリンダの振動特性とコリオリ導管の振動特性とが互いに一致していれば、音叉のような互いの振動が保証される。
　別の有利な構成によれば、測定値センサが、補償シリンダとコリオリ導管との間に配置されているので、質量流量計の特に簡単な製造が保証される。
　この構成に対して選択的に、測定値センサが、第２の補償シリンダとコリオリ導管との間に配置されていれば、有利である。何故ならば、これによって、第１の補償シリンダが振動する際に位相のずれの影響が避けられるからである。位相のずれは、補償シリンダが、コリオリ導管とは異なり、流れる媒体によって貫流されないことによって、生じる。
　本発明の別の構成に従って、第２の補償シリンダと第１の補償シリンダとの間に、補償シリンダが振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材が配置されていることによって、第１の補償シリンダの振動における位相のずれは、減少される。
　流れる媒体の密度が一般的に非均一であることに基づいて、第１の補償シリンダの振動特性は、コリオリ導管の振動特性と正確に一致しないので、第２の補償シリンダと補償シリンダとの間に、補償シリンダとコリオリ導管との間の媒体に基づく質量差をなくすための調節部材が配置されていれば、有利である。
　本発明による質量流量計の特に有利な構成によれば、第１の補償シリンダが同時に第２の補償シリンダを形成している。この場合、１つの補償シリンダだけを、一方では、この補償シリンダがコリオリ導管とほぼ同じ振動特性を有していて、他方では同時に例えばコリオリ導管を引っ張り負荷にさらされるように、構成しなければならない。この場合、１つの補償シリンダだけをアンバー（Ｉｎｖａｒ）より製造すれば有利である。
　個々においては、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する本発明による質量流量計を構成及び変化構成する多くの可能性がある。このために、一方では、従属請求項が、他方では図面に関連した有利な実施例の説明が参照される。
　第１図は、本発明による質量流量計の第１実施例の概略図、
　第２図は、本発明による質量流量計の第２実施例の概略図、
　第３図は、本発明による質量流量計の第３実施例の概略図、
　第４図は、本発明による質量流量計の第４実施例の概略図、
　第５図は、本発明による質量流量計の第５実施例の概略図である。
　第１図には、流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計が示されており、この質量流量計は、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管１と、このコリオリ導管１に作用する振動発生器２と、コリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する測定値センサ３，４と、媒体が貫流する補償シリンダ５とを有している。この場合、コリオリ導管１は補償シリンダ５内に配置されていて、この補償シリンダ５に機械的に結合されている。本発明によれば、第１図に示された質量流量計は、補償シリンダ５の振動特性が、コリオリ導管１の振動特性に相当するように構成されている。
　第１図に示された第１実施例においては、コリオリ導管１と補償シリンダ５とは、軸方向の相対運動を排除する形式で機械的に結合された第２の補償シリンダ６内に配置されている。このような配置は例えば、コリオリ導管１が、第２の補償シリンダ６内で引っ張り負荷にさらされて配置されるような形式で、行われる。さらに第１図には外側のケーシング７が示されており、この外側のケーシング７は、機械的な保護として用いられ、しかも固定フランジ８，９を有している。
　第１図に示した第１実施例においては、振動発生器２は、第１の補償シリンダ５とコリオリ導管１との間に配置されている。この実施例においては、測定値センサ３，４も、第１の補償シリンダ５とコリオリ導管１との間に配置されている。
　第２実施例は、その構造がまず基本的に第１実施例の構造に相当する。すべての同一な構成部分には同じ符号が記されている。付加的に、第２図に示した第２実施例においては、第２の補償シリンダ６と第１の補償シリンダ５との間で、第１の補償シリンダ５の端部に、位相のずれを取り除くための２つの調節部材１０，１１が配置されている。
　第３図に示した、本発明の質量流量計の第３実施例は、第２図に示した第２実施例のものとは、振動発生器２が第２の補償シリンダ６と第１の補償シリンダ５との間に配置されている点で異なっている。第１の補償シリンダ５とコリオリ導管１とは、機械的に互いに結合されているので、第１の補償シリンダ５の振動は、測定のために必要であるように、コリオリ導管１に伝達される。
　第４図には、本発明による質量流量計の第４実施例が示されており、この第４実施例による質量流量計においては、１つの補償シリンダ１２が同時に、第１の補償シリンダの機能と第２の補償シリンダの機能とを行う。つまり、この１つの補償シリンダ１２は一方では、その振動特性がコリオリ導管１の振動特性に相当し、同時に、コリオリ導管１が引っ張り負荷を受けて１つの補償シリンダ１２内に配置されている、ということである。
　第５図には、本発明による質量流量計の第５実施例が示されており、この第５実施例においては、振動発生器２が第１の補償シリンダ５とコリオリ導管１との間に配置されており、測定値センサ３，４が、第２の補償シリンダ６とコリオリ導管１との間に配置されており、第２の補償シリンダ６と第１の補償シリンダ５との間には、第１の補償シリンダ５が振動する際に位相のずれを取り除くための２つの調節部材１０，１１が配置されており、第２の補償シリンダ６と第１の補償シリンダ５との間には、第１の補償シリンダ５とコリオリ導管１との間の、媒体密度に関連した質量差をなくすための別の調節部材１３が配置されている。
（５７）【特許請求の範囲】
　１．流れる媒体のための、コリオリ原理に従って作業する質量流量計であって、流れる媒体をガイドする少なくともほぼ真っ直ぐに延びるコリオリ導管（１）と、このコリオリ導管（１）に作用する振動発生器（２）と、コリオリ力を及び／又はコリオリ力に基づくコリオリ振動を検出する少なくとも１つの測定値センサ（３，４）と、第１の補償シリンダ（５）と第２の補償シリンダ（６）とを有しており、コリオリ導管（１）が第１の補償シリンダ（５）内に配置されていて、第１の補償シリンダ（５）に機械的に結合されており、第１の補償シリンダ（５）の振動特性が、コリオリ導管（１９）の振動特性にほぼ相当し、コリオリ導管（１）と第１の補償シリンダ（５）とが、コリオリ導管（１）に機械的に結合された第２の補償シリンダ（６）内に配置されている形式のものにおいて、
　第２の補償シリンダ（６）と第１の補償シリンダ（５）との間に、第１の補償シリンダ（５）が振動する際の位相のずれをなくすための少なくとも２つの調節部材（１０，１１）が配置されていることを特徴とする、質量流量計。