(57)【要約】  ガラス部材の品質管理方法は、ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークを施すマーキング工程を有する。
2011010623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークを施すマーキング工程を有するガラス部材の品質管理方法。
【請求項２】
前記施された前記基準マークを基準点とし、該基準点から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の有無及び位置を検出する検査工程と、
前記検出に用いられた前記基準マークの識別情報と前記検出された欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する記録工程とを更に有する請求項１に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項３】
ガラス部材の欠陥の有無及び位置を検出する検査工程を更に有し、
前記マーキング工程では、前記検出された欠陥の位置から所定範囲内に前記基準マークを施す請求項１に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項４】
前記施された基準マークの識別情報と前記施された基準マークを基準点とする欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する記録工程を更に有する請求項３に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項５】
前記マーキング工程では、前記欠陥の位置に対応する前記ガラス部材の縁部又は側面に、前記基準マークを施す請求項３又は４に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項６】
前記マーキング工程では、前記欠陥の位置に前記基準マークを施す請求項３〜５のいずれか一項に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項７】
前記基準マークは、前記ガラス部材の表面に、前記ガラス部材の表面から除去可能な材料で形成される請求項１〜６のいずれか一項に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項８】
前記ガラス部材の表面から除去可能な材料は、洗浄により除去可能なインクである請求項７に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項９】
前記ガラス部材は、表示パネル用のガラス基板である請求項１〜８のいずれか一項に記載のガラス部材の品質管理方法。
【請求項１０】
ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークを施すマーキング装置を有するガラス部材の品質管理装置。
【請求項１１】
前記施された前記基準マークを基準点とし、該基準点から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の有無及び位置を検出する検査装置と、
前記検出に用いられた前記基準マークの識別情報と前記検出された欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する記録装置とを更に有する請求項１０に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１２】
ガラス部材の欠陥の有無及び位置を検出する検査装置を更に有し、
前記マーキング装置は、前記検出された欠陥の位置から所定範囲内に前記基準マークを施す請求項１０に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１３】
前記施された基準マークの識別情報と前記施された基準マークを基準点とする欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する記録装置を更に有する請求項１２に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１４】
前記マーキング装置は、前記欠陥の位置に対応する前記ガラス部材の縁部又は側面に、前記基準マークを施す請求項１２又は１３に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１５】
前記マーキング装置は、前記欠陥の位置に前記基準マークを施す請求項１２〜１４のいずれか一項に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１６】
前記基準マークは、前記ガラス部材の表面に、前記ガラス部材の表面から除去可能な材料で形成される請求項１０〜１５のいずれか一項に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１７】
前記ガラス部材の表面から除去可能な材料は、洗浄により除去可能なインクである請求項１６に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１８】
前記ガラス部材は、表示パネル用のガラス基板である請求項１０〜１７のいずれか一項に記載のガラス部材の品質管理装置。
【請求項１９】
ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークが施されたマーク付きガラス部材。
【請求項２０】
前記ガラス部材は、長手方向寸法が３０ｍ以上であって、
前記基準マークは、前記ガラス部材の長手方向に複数設けられる請求項１９に記載のマーク付きガラス部材。
【請求項２１】
前記複数の基準マークがそれぞれ識別可能に表される請求項２０に記載のマーク付きガラス部材。
【請求項２２】
前記所定位置は、前記ガラス部材の欠陥の位置に対応する前記ガラス部材の縁部又は側面に設定される請求項１９に記載のマーク付きガラス部材。
【請求項２３】
前記所定位置は、前記ガラス部材の欠陥の位置に設定される請求項１９に記載のマーク付きガラス部材。
【請求項２４】
前記基準マークは、前記ガラス部材の表面に、前記ガラス部材の表面から除去可能な材料で形成される請求項１９〜２３のいずれか一項に記載のマーク付きガラス部材。
【請求項２５】
前記ガラス部材の表面から除去可能な材料は、洗浄により除去可能なインクである請求項２４に記載のマーク付きガラス部材。
【請求項２６】
前記ガラス部材は、表示パネル用のガラス基板である請求項１９〜２５のいずれか一項に記載のマーク付きガラス部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス部材の品質管理方法及び品質管理装置、並びにマーク付きガラス部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶パネル（ＬＣＤ）、有機ＥＬパネル（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル、フィールドミッション等の表示パネルの大型化、薄板化が進行しており、高品質が要求される表示パネル用のガラス基板の大型化、薄板化が進行している。これにより、欠陥のないガラス基板の製造が困難となっている。【０００３】
一方、特許文献１には、ガラス基板の所定位置に品質情報（欠陥情報）や識別情報を示すマークを施す技術が記載されている。品質情報には、欠陥の個数、大きさ、深さ、位置等が含まれている。ガラス基板をその品質情報と共に後工程（客先を含む）に供給することにより、供給先において、欠陥が含まれるガラス基板を効率よく使用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特開２００６−０３９７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術では、品質情報に基づいてガラス基板を使用する際に、ガラス基板の基準位置（例えば、先端側の一角）からの距離を計測するので、基準位置から遠いほど計測誤差が大きくなる。このため、ガラス基板の大型化により、欠陥の位置を正確に把握できないことがあった。【０００６】
特に、最近では、長尺の可撓性（フレキシブル性）のガラス基板をロール状に巻き取って後工程に供給することが提案されており、この場合、ガラス基板の長手方向寸法が３０ｍ以上になることがある。ガラス基板の長手方向寸法が３０ｍ以上になると、上記問題が顕在化する。【０００７】
表示パネルの製造コストに占めるガラス基板のコストの割合は低いので、表示パネルの製造後にガラス基板の欠陥による不良が見つかると、無駄が多い。【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、欠陥が含まれるガラス部材を効率よく使用できるガラス部材の品質管理方法及び品質管理装置、並びに、マーク付きガラス部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を解決するため、本発明のガラス部材の品質管理方法は、ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークを施すマーキング工程を有する。【００１０】
尚、ガラス部材は、ロール状であってもよいし、板状であってもよく、その形状に限定はない。また、ガラス部材は、厚さが０．３ｍｍ以下であってもよく、可撓性（フレキシブル性）を有してよい。但し、本発明は、厚さ０．３ｍｍ以下のロール状のガラス部材に適用された場合に、特に優れた効果を発揮する。【００１１】
また、本発明のガラス部材の品質管理装置は、ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークを施すマーキング装置を有する。【００１２】
また、本発明のマーク付きガラス部材は、ガラス部材の所定位置に、該所定位置から所定範囲内における前記ガラス部材の欠陥の位置を検出する際の基準点となる基準マークが施されたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、欠陥が含まれるガラス部材を効率よく使用できるガラス部材の品質管理方法及び品質管理装置、並びに、マーク付きガラス部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ガラス基板の製造方法を示す工程図である。
【図２】本発明の第１実施形態であるガラス基板の品質管理方法を示す工程図である。
【図３】本発明の第１実施形態であるガラス基板の品質管理装置を示す模式図である。
【図４】本発明の第１実施形態であるマーク付きガラス基板を部分的に示す平面図である。
【図５】供給先におけるマーク付きガラス基板１０の使用領域及び不使用領域の一例を示す平面図である。
【図６】撮像装置１６ａにより撮像された画像の一例を示す模式図である。
【図７】図６の画像に設定される２次元座標系の一例を示す模式図である。
【図８】本発明の第２実施形態であるガラス基板の品質管理方法を示す工程図である。
【図９】本発明の第２実施形態であるマーク付きガラス基板を部分的に示す平面図である。
【図１０】図９の変形例を示す平面図である。
【図１１】図９の別の変形例を示す平面図である。
【図１２】本発明の第３実施形態であるガラス基板の品質管理装置を示す模式図である。
【図１３】図２に続く、ガラス基板１０の品質管理方法を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照し、本発明を実施するための形態について説明する。尚、本実施形態では、本発明を高品質が要求される表示パネル用のガラス基板に適用した場合について説明するが、本発明を太陽電池用のガラス基板やハードディスク用のガラス基板等の電子デバイス用のガラス基板に適用してもよいし、建築用ガラス板、自動車用ガラス板等の一般のガラス板に適用してもよい。
【００１６】
図１は、ガラス基板の製造方法を示す工程図である。
【００１７】
最初に、ガラス原料をガラス溶解層に投入し溶解する（ステップＳ１１）。溶解した溶融ガラスは、ガラス溶解層内の下流側に移動し、清澄槽に流出する。
【００１８】
続いて、清澄槽内の溶融ガラスに含まれる気泡を脱泡し、清澄を行う（ステップＳ１２）。
【００１９】
続いて、清澄後の溶融ガラスを板状に成形する（ステップＳ１３）。成形方法としては、例えばフュージョン法やフロート法を用いる。フュージョン法では、清澄後の溶融ガラスが、断面くさび状の成形体の両側面に沿って流下し成形体の下縁部直下で合流して一体化し、下方に引き延ばされ板状となる。また、フロート法では、清澄後の溶融ガラスが、フロート槽内の溶融金属（例えば、溶融錫）上に流出し、溶融金属の平滑な表面によって板状となる。
【００２０】
最後に、成形された板状ガラスを徐冷し（ステップＳ１４）、ガラス基板を製造する。ステップＳ１４の徐冷後に、必要に応じて、ガラス基板を切断、研磨、洗浄してもよい。尚、ガラス基板の切断は、後述のステップＳ２３の後に行ってもよい。
【００２１】
次に、ガラス基板の品質管理方法について図２を参照して簡単に説明する。
【００２２】
図２は、本発明の第１実施形態であるガラス基板の品質管理方法を示す工程図である。
【００２３】
マーキング工程（ステップＳ２１）では、ガラス基板の所定位置に基準マークを施す。基準マークは、ガラス基板の供給先において、該所定位置から所定範囲内におけるガラス基板の欠陥の位置を検出する際の基準点となるマークである。尚、上記所定範囲内は、欠陥の位置を検出する方法等に応じて適宜設定されるが、１０ｍ以内が好ましく、３ｍ以内がより好ましい。
【００２４】
検査工程（ステップＳ２２）では、ガラス基板の品質を検査する。検査する項目は、例えば、欠陥の有無、位置（大きさを含む）、種類である。欠陥の種類としては、例えば、異物、泡、表面傷等がある。
【００２５】
本実施形態の検査工程（ステップＳ２２）では、マーキング工程で施された基準マークを基準点として、該基準点から所定範囲内（例えば、１０ｍ以内（好ましくは３ｍ以内））の欠陥の有無、位置（大きさを含む）、種類を検出する。
【００２６】
記録工程（ステップＳ２３）では、マーキング工程で施された基準マークの識別情報と、検査工程で検出された欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する。
【００２７】
本実施形態の記録工程（ステップＳ２３）では、検査工程で検出に用いられた基準マークの識別情報と、検査工程で検出された欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する。
【００２８】
記録媒体は、紙や光記録媒体、磁気記録媒体の他、ガラス基板であってもよい。ガラス基板に記録する場合、ガラス基板の所定位置にガラス基板の品質情報（欠陥の位置情報、基準マークの識別情報を含む）を示すマークを施す。これにより、ガラス基板の供給先において、ガラス基板１０の品質情報の読み取りが可能となる。
【００２９】
ガラス基板の品質情報は、紙等の記録媒体で供給されてもよいし、インターネットを介して供給されてもよい。このようにガラス基板の品質情報をガラス基板と別々に供給する場合、ガラス基板を識別するための識別情報（ＩＤコード）をガラス基板にマーキングし、品質情報と識別情報とをセットで供給する。
【００３０】
このようにして基準マークを施したガラス基板をその品質情報と共に後工程（客先を含む）に供給する。これにより、従来であれば、一枚のガラス基板の一部に欠陥を含むために欠陥修正や廃棄処分していたガラス基板であっても、欠陥以外の部分が使用可能なガラス基板としてそのまま出荷できる。このため、生産効率の低下や資源の無駄も改善される。この効果は、ガラス基板の大きさが大きいほど顕著である。
【００３１】
このガラス基板の供給先では、品質情報に含まれる欠陥の位置や種類に基づいて使用領域を適切に選択することができる。これにより、ガラス基板の供給先においても、生産効率の改善、コストの低減を図ることができる。
【００３２】
また、このガラス基板の供給先では、ガラス基板に施された基準マークと品質情報とに基づいて、欠陥の位置を正確に検出することができる。
【００３３】
従来のガラス基板では、品質情報に基づいてガラス基板を使用する際に、ガラス基板の基準位置（例えば、先端側の一角）からの距離を計測するので、基準位置から遠いほど計測誤差が大きくなるという問題があり、欠陥の位置を正確に検出できないことがある。特に、ガラス基板の長手方向寸法が３０ｍ以上である場合、上記問題が顕在化する。
【００３４】
これに対し、本実施形態では、品質情報に含まれる欠陥の位置が該欠陥の位置から所定範囲内にある基準マークに対して示されているので、基準マークと品質情報に基づいて欠陥の位置を正確に検出することができ、ガラス基板を効率よく使用することができる。この効果は、ガラス基板の大きさが大きいほど顕著であり、ガラス基板の長手方向寸法が３０ｍ以上である場合に特に顕著である。
【００３５】
次に、ガラス基板の品質管理装置について図３を参照して説明する。
【００３６】
図３は、本発明の第１実施形態であるガラス基板の品質管理装置を示す模式図である。
【００３７】
図３に示す例では、ガラス基板の品質管理装置は、搬送装置１２、マーキング装置１４、及び検査装置１６を備える。
【００３８】
搬送装置１２は、図１のステップＳ１４の徐冷後のガラス基板１０を搬送する装置である。例えば、搬送装置１２は、ガラス基板１０を搬送するローラ１２ａ、ローラ１２ａを回転駆動する駆動装置１２ｂ、ガラス基板１０の搬送速度を検出する速度センサ１２ｃ等から構成される。速度センサ１２ｃは、例えばローラ１２ａの回転速度を検出する回転速度センサであってよく、検出結果を所定時間毎にマーキング装置１４に出力する。
【００３９】
マーキング装置１４は、ガラス基板１０の所定位置にマークを施す手段である。例えば、マーキング装置１４は、ガラス基板１０の所定位置にレーザを照射しガラス基板１０を加工してマークを描く装置であって、図３に示すように、レーザ発振器１４ａ、移動装置１４ｂ、位置検出センサ１４ｃ、制御装置１４ｄ等から構成される。
【００４０】
レーザ発振器１４ａは、搬送装置１２に対して移動可能に支持されており、制御装置１４ｄによる制御下で、ガラス基板１０の表面に向けてレーザ光を発振する。レーザ発振器１４ａとしては、例えば半導体レーザ、ＹＡＧレーザ、ＣＯ２レーザ等が用いられる。
【００４１】
移動装置１４ｂは、制御装置１４ｄによる制御下で、レーザ発振器１４ａを搬送装置１２に対して移動させる装置であって、例えば電動モータ等を含む。
【００４２】
位置検出センサ１４ｃは、搬送装置１２に対するレーザ発振器１４ａの位置を検出するセンサであって、例えば移動装置１４ｂの電動モータの回転数を検出する回転数センサ等で構成される。
【００４３】
制御装置１４ｄは、マイクロコンピュータ等で構成され、速度センサ１２ｃや位置検出センサ１４ｃからの出力信号等に基づいて、レーザ発振器１４ａや移動装置１４ｂの出力を制御してマークを描く。
【００４４】
尚、本実施形態のマーキング装置１４は、ガラス基板１０の所定位置にレーザを照射しガラス基板１０を加工してマークを描く手段であるとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、マーキング装置１４は、ガラス基板１０の表面の所定位置に、インクを吐出してマークを印刷する装置であってもよいし、蒸着やスパッタ等によりマークを形成する装置であってもよい。これらのうち、レーザ照射により描かれたマークは、ガラス基板１０を加工して描かれるので、耐薬品性、耐熱性に優れている。
【００４５】
図４は、本発明の第１実施形態であるマーク付きガラス基板を部分的に示す平面図である。図４において、マーキング装置１４により施された基準マークＭ１、Ｍ２を誇張して描いている。
【００４６】
図４に示す例では、基準マークＭ１、Ｍ２が、ガラス基板１０に千鳥状に配置されている。
【００４７】
第１の基準マークＭ１は、ガラス基板１０の縁部１０ａに、ガラス基板１０の長手方向に複数設けられている。複数の第１の基準マークＭ１は、例えば図４に示すように等ピッチで設けられてもよいし、不等ピッチで設けられてもよい。
【００４８】
第１の基準マークＭ１は、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０の欠陥の位置を検出する際の基準点となるマークである。第１の基準マークＭ１は、図形、文字、数字、記号、又はこれらの組合せ等で表される。例えば、第１の基準マークＭ１は、図形と識別符号との組合せで表されてもよい。
【００４９】
識別符号は、複数の第１の基準マークＭ１を識別するための符号であって、例えば図４に示すようにローマ数字で表される。識別符号が第１の基準マークＭ１に含まれる場合、ガラス基板１０が長手方向途中で切断された場合でも、複数の第１の基準マークＭ１を識別することが可能である。
【００５０】
尚、複数の第１の基準マークＭ１を識別するため、ガラス基板１０の所定位置（例えば、ガラス基板１０の先端側の一角）からの累計の第１の基準マークＭ１の設置数をカウントしてもよいし、ガラス基板１０の所定位置からの概算距離を計測してもよい。
【００５１】
第２の基準マークＭ２は、ガラス基板１０の一側面１０ｂからガラス基板１０の幅方向に所定ピッチで設けられており、ガラス基板１０の長手方向に複数設けられている。
【００５２】
第２の基準マークＭ２は、第１の基準マークＭ１と同様に、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０の欠陥の位置を検出する際の基準点となるマークであって、図形等で表される。例えば、第２の基準マークＭ２は、図４に示すように図形のみで表されてもよい。
【００５３】
第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２は、同一図形で表されてもよいし、異なる図形で表されてもよい。また、第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２は、同一色で表されてもよいし、異なる色で表されてもよい。
【００５４】
第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２の大きさは、目視可能な大きさであってもよいし、目視困難な大きさであってもよい。
【００５５】
第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２を施す位置としては、ガラス基板１０の供給先における不使用領域が好適である。ここで、不使用領域とは、最終製品とならない領域の他、最終製品となっても第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２が問題とならない領域をいう。
【００５６】
図５は、供給先におけるマーク付きガラス基板１０の使用領域（例えば、薄膜トランジスタやカラーフィルターを形成する領域）及び不使用領域の一例を示す平面図である。図５において、使用領域Ｔ１を点模様で示し、不使用領域Ｔ２を白色のままで示す。
【００５７】
図５に示す例では、第１の基準マークＭ１を施す位置は、ガラス基板１０の縁部１０ａやガラス基板１０の側面１０ｂが好ましい。また、第２の基準マークＭ２を施す位置は、隣り合う使用領域Ｔ１の間に設定される不使用領域Ｔ２が好ましい。
【００５８】
尚、図５に示す例では、基準マークＭ１、Ｍ２がガラス基板１０に千鳥状に配置されるとしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、基準マークＭ１、Ｍ２がガラス基板１０に行列状に配置されてもよいし、基準マークＭ１のみがガラス基板１０に配置されてもよい。要は、複数の基準マークＭ１、Ｍ２のうち少なくとも１つの基準マークが後述の撮像装置１６ａにより撮像される画像中に含まれていればよい。このように、基準マークＭ１、Ｍ２を施す位置は、検査装置１６の種類等に応じて適宜設定されてよい。
【００５９】
検査装置１６は、ガラス基板１０の品質を検査する装置である。検査する項目は、例えば、欠陥の有無、位置（大きさを含む）、種類等である。欠陥の種類としては、例えば、異物、泡、表面傷等がある。欠陥の位置や種類を含む品質情報は、記録媒体に記録される。
【００６０】
例えば、検査装置１６は、図５に示すように、ＣＣＤカメラ等の撮像装置１６ａ、マイクロコンピュータ等の画像処理装置１６ｂ等から構成される。撮像装置１６ａは、搬送装置１２の上方に設置されており、搬送装置１２により搬送されるガラス基板１０を所定範囲毎に順次撮像する。撮像された画像データは、画像処理装置１６ｂに順次出力される。
【００６１】
図６は、撮像装置１６ａにより撮像された画像の一例を示す模式図である。図６において、第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２、並びに、ガラス基板１０の欠陥Ｄ１、Ｄ２を誇張して描いている。
【００６２】
最初に、画像処理装置１６ｂは、撮像装置１６ａにより撮像された画像を画像処理して、画像中の欠陥の有無、位置（大きさを含む）、種類の他、画像中の第１、第２の基準マークＭ１、Ｍ２の位置を検出する。
【００６３】
続いて、画像処理装置１６ｂは、画像中に欠陥の存在を検出すると、画像中に第１の基準マークＭ１及び第２の基準マークＭ２の両方あるいは少なくとも一方を基準点とする２次元座標系を設定する。
【００６４】
図７は、図６の画像に設定される２次元座標系の一例を示す模式図である。
【００６５】
図７に示す例では、第１の基準マークＭ１を原点とし、第１の基準マークＭ１を通りガラス基板１０の側面１０ｂと直交する方向をＹ軸とし、Ｙ軸と直交する方向（ガラス基板１０の側面１０ｂと平行な方向）をＸ軸とする２次元座標系を設定する。
【００６６】
同様に、第２の基準マークＭ２を原点とし、第２の基準マークＭ２を通りガラス基板１０の側面１０ｂと直交する方向をＹ軸とし、Ｙ軸と直交する方向（ガラス基板１０の側面１０ｂと平行な方向）をＸ軸とする２次元座標系を設定する。
【００６７】
続いて、画像処理装置１６ｂは、設定した２次元座標系における欠陥の位置座標を検出する。１つの欠陥について、複数の２次元座標系における位置座標を検出してもよい。
【００６８】
最後に、画像処理装置１６ｂは、欠陥の位置情報（位置座標データ）の検出に用いた基準マークＭ１、Ｍ２を識別するためのマーク識別情報と、検出された欠陥の位置情報とを対応付けて記録媒体に記録する。
【００６９】
マーク識別情報は、基準マークＭ１、Ｍ２に含まれる識別符号（例えば、ローマ数字）、基準マークＭ１、Ｍ２とガラス基板１０の基準位置（例えば、先端側の一角）との間のガラス基板１０の長手方向における概算距離、ガラス基板１０の基準位置からの累計の基準マークＭ１、Ｍ２の設置数等を含む。
【００７０】
尚、画像処理装置１６ｂは、欠陥の位置を検出すると、品質情報（欠陥の位置情報、及び基準マークのマーク識別情報を含む）をマーキング装置１４に出力してもよい。
【００７１】
マーキング装置１４は、画像処理装置１６ｂから品質情報を受信すると、ガラス基板１０の所定位置（例えば、欠陥の位置を検出する際の基準点となった第１のマークＭ１及び第２のマークＭ２の両方あるいは少なくとも一方の近傍（領域Ｐ、Ｑ））に品質情報を示す品質マークを施す。
【００７２】
品質マークは、図形、文字、数字、記号、バーコード、ＱＲコード、又はこれらの組合せ等で表される。これにより、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０に施された品質マークから品質情報を読み取ることが可能である。
【００７３】
尚、品質マークは、ガラス基板１０の欠陥の位置に対応するガラス基板１０の縁部１０ａや側面１０ｂに施されてもよいし、ガラス基板１０の欠陥の位置に施されてもよい。これにより、ガラス基板１０の欠陥Ｄの位置（大きさを含む）を容易に検出することができる。
【００７４】
以上説明したように、本実施形態によれば、品質情報に含まれる欠陥の位置が該欠陥の位置から所定範囲内にある基準マークに対して示されているので、欠陥の位置を正確に検出することができ、ガラス基板１０を効率よく使用することができる。この効果は、ガラス基板１０の大きさが大きいほど顕著である。
【００７５】
また、本実施形態によれば、基準マークＭ１、Ｍ２がガラス基板１０の長手方向に複数設けられているので、ガラス基板１０の長手方向寸法が３０ｍ以上である場合にも、基準マークＭ１、Ｍ２と品質情報に基づいて欠陥の位置を正確に検出することができる。
【００７６】
また、本実施形態によれば、複数の基準マークＭ１が識別可能に表されているので、ガラス基板１０をその長手方向途中で切断した場合でも、基準マークＭ１を識別することができる。
【００７７】
尚、本実施形態では、画像処理装置１６ｂ及びマーキング装置１４の両方あるいは少なくとも一方が本発明の記録装置に相当する。
【００７８】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００７９】
図８は、本発明の第２実施形態であるガラス基板の品質管理方法を示す工程図である。
【００８０】
上記第１実施形態では、ガラス基板１０の所定位置に基準マークＭ１、Ｍ２を施し（ステップＳ２１）、該基準マークＭ１、Ｍ２を基準点として該基準点から所定範囲内（例えば、１０ｍ以内（好ましくは３ｍ以内））にあるガラス基板１０の欠陥の位置を検査装置１６により検出した（ステップＳ２２）。
【００８１】
これに対し、本実施形態では、ガラス基板１０の欠陥の位置を検出し（ステップＳ３１）、検出した欠陥の位置から所定範囲内（例えば、１０ｍ以内（好ましくは３ｍ以内））に基準マークを施す（ステップＳ３２）。
【００８２】
図９は、本発明の第２実施形態であるマーク付きガラス基板を部分的に示す平面図である。図９において、図３のマーキング装置１４により施された基準マークＭ３、及び、ガラス基板１０の欠陥Ｄ３を誇張して描いている。
【００８３】
第３の基準マークＭ３は、第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２と同様に、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０の欠陥の位置を検出する際に基準点となるマークである。第３の基準マークＭ３は、図形、文字、数字、記号、又はこれらの組合せ等で表される。例えば、第３の基準マークＭ３は、図形と識別符号との組合せで表されてもよい。この識別符号は、複数の第３の基準マークＭ３を識別するための符号であって、例えば図９に示すようにローマ数字で表される。
【００８４】
第３の基準マークＭ３を施す位置は、図３の検査装置１６により検出された欠陥Ｄ３の位置から所定範囲内（例えば、１０ｍ以内（好ましくは３ｍ以内））に設定される。これにより、第１実施形態と異なり、所定範囲内に欠陥が無い領域では基準マークＭ３が無い。このため、基準マークＭ３がガラス基板１０の供給先において欠陥となるのを抑制することができる。
【００８５】
第３の基準マークＭ３を施す位置は、ガラス基板１０の供給先において撮像される画像中に第３の基準マークＭ３と欠陥Ｄ３とが含まれるように設定されることが好ましい。また、第３の基準マークＭ３を施す位置は、ガラス基板１０の使用効率の観点から、ガラス基板１０の供給先における不使用領域Ｔ２であることが好ましい。これらの条件を満たす位置としては、例えば図９に示すように欠陥Ｄ３に対応する（欠陥Ｄ３とガラス基板１０の幅方向に対向する）ガラス基板１０の縁部１０ａや側面１０ｂが挙げられる、この場合、第３の基準マークＭ３は、品質情報（欠陥の位置）を示す品質マークの役割も果たす。
【００８６】
図１０は、図９の変形例を示す平面図である。図１０において、図３のマーキング装置１４により施された基準マークＭ３、及び、ガラス基板１０の欠陥Ｄ３〜Ｄ５を誇張して描いている。
【００８７】
図１０に示すように、一の欠陥Ｄ３の近傍に他の欠陥Ｄ４、Ｄ５が存在しているような場合、複数の欠陥Ｄ３〜Ｄ５の位置から所定範囲内に第３の基準マークＭ３を１つだけ施してもよい。言い換えると、第３の基準マークＭ３を施す位置は、隣の（最近の）第３の基準マークＭ３から所定距離以上離れた位置に設定されてもよい。これにより、基準マークＭ３の設置数を更に減らすことができる。
【００８８】
このようにして、ガラス基板１０の所定位置に基準マークＭ３を施すと共に（ステップＳ３２）、欠陥の位置に対する基準マークＭ３の相対位置を計測する。この計測は、例えば、速度センサ１２ｃや位置検出センサ１４ｃ等からの出力信号に基づいて行われる。
【００８９】
続いて、基準マークＭ３を基準点とする欠陥の位置情報を作成し、作成した欠陥の位置情報を基準マークＭ３の識別情報と対応付けて記録媒体に記録する（ステップＳ３３）。記録媒体は、紙や光記録媒体、磁気記録媒体の他、ガラス基板１０であってもよい。
【００９０】
本実施形態においても、第１実施形態と同様に、品質情報に含まれる欠陥の位置が該欠陥の位置から所定範囲内にある基準マークＭ３に対して示されているので、ガラス基板１０の供給先において、欠陥の位置を正確に検出することができ、ガラス基板１０を効率よく使用することができる。この効果は、ガラス基板１０の大きさが大きいほど顕著であり、ガラス基板１０の長手方向寸法が３０ｍ以上である場合に特に顕著である。
【００９１】
また、本実施形態によれば、基準マークＭ３をガラス基板１０の欠陥の位置から所定範囲内に施すので、所定範囲内に欠陥が無い領域では基準マークＭ３が無い。このため、基準マークＭ３がガラス基板１０の供給先において欠陥となるのを抑制することができる。
【００９２】
図１１は、図９の別の変形例を示す平面図である。図１１において、図３のマーキング装置１４により施された基準マークＭ４、及び、ガラス基板１０の欠陥Ｄ３を誇張して描いている。
【００９３】
第４の基準マークＭ４は、第１及び第２の基準マークＭ１、Ｍ２と同様に、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０の欠陥の位置を検出する際に基準点となるマークである。第４の基準マークＭ４は、図形、文字、数字、記号、又はこれらの組合せ等で表される。例えば、第４の基準マークＭ４は、図形と識別符号との組合せで表されてもよい。この識別符号は、複数の第４の基準マークＭ４を識別するための符号であって、例えば図９に示すようにローマ数字で表される。
【００９４】
第４の基準マークＭ４は、図３の検査装置１６により検出された欠陥Ｄ３の位置に施され、品質情報（欠陥の位置）を示す品質マークの役割も果たす。これにより、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０から欠陥の位置情報を読み取ることができるので、図９の記録工程（ステップＳ３３）が無くてもよい。
【００９５】
第４の基準マークＭ４は、欠陥Ｄ３の種類に応じて識別可能に表されてよい。例えば、第４の基準マークＭ４は、欠陥Ｄ３の種類毎に、異なる色で表されてもよいし、異なる識別符号で表されても良い。これにより、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０から欠陥の種類に関する情報を読み取ることができる。
【００９６】
尚、図１１に示す第４の基準マークＭ４、及び、図９に示す第３の基準マークＭ３の両方をガラス基板１０に施してもよい。
【００９７】
尚、本実施形態では、画像処理装置１６ｂ及びマーキング装置１４の両方あるいは少なくとも一方が本発明の記録装置に相当する。
【００９８】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
【００９９】
最初に、ガラス基板の品質管理装置について図１２を参照して説明する。
【０１００】
図１２は、本発明の第３実施形態であるガラス基板の品質管理装置を示す模式図である。図１２において、図３と同一構成については同一符号を付して説明を省略する。
【０１０１】
上記第１実施形態では、マーキング装置１４は、ガラス基板１０の所定位置にレーザを照射しガラス基板１０を加工してマークを描く装置であって、図３に示すように、レーザ発振器１４ａ、移動装置１４ｂ、位置検出センサ１４ｃ、制御装置１４ｄ等により構成される。
【０１０２】
これに対し、本実施形態では、マーキング装置１４Ａは、ガラス基板１０の表面の所定位置にインクを吐出してマークを印刷する装置であって、レーザ発振器１４ａの代わりに、インクヘッド１４ｅを有する。
【０１０３】
インクヘッド１４ｅは、搬送装置１２に対して移動可能に支持されており、制御装置１４ｄによる制御下で、ガラス基板１０の表面にインクを吐出する。
【０１０４】
インクの材料としては、特に限定されないが、ガラス基板１０の表面から除去可能な材料が好適である。そのような材料としては、例えば洗浄により除去可能な水性インクが挙げられる。これにより、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０の表面を傷つけることなく、ガラス基板１０の表面からマークを消去することが可能となる。従って、ガラス基板１０の供給先において、ガラス基板１０を更に効率よく使用することができる。
【０１０５】
次に、ガラス基板１０の供給先における、ガラス基板１０の品質管理方法について図１３を参照して説明する。
【０１０６】
図１３は、図２に続く、ガラス基板１０の品質管理方法を示す工程図である。
【０１０７】
先ず、欠陥の位置と、使用領域Ｔ１とを照合する（ステップＳ４１）。この照合は、図５に示すようなパターンを用いて行う。図５に示すようなパターンは、複数用意されてよく、使用領域Ｔ１にある欠陥の数が最も少ないパターンを選択する。これにより、ガラス基板１０を効率よく使用することができる。
【０１０８】
続いて、ステップＳ４１で選択された最適なパターンの不使用領域Ｔ２に、ガラス基板１０の欠陥の位置を検出する際に基準点となる基準マークを新たに施す（ステップＳ４２）。この基準マークは、供給元において既に施された基準マークを基準点として施される。これに伴い、新たな基準マークを基準点とする欠陥の位置を算出する。この基準マークは、例えばレーザを照射しガラス基板１０を加工して描かれてよい。
【０１０９】
最後に、供給元において施されたマークを消去する（ステップＳ４３）。
【０１１０】
このようにして、ガラス基板１０の供給先において、供給元で施されたマークの位置を簡単に変更することができ、ガラス基板１０を更に効率よく使用することができる。
【０１１１】
尚、本実施形態では、供給先においてマークの位置を変更するとしたが、供給元において供給先の変更等に応じてマークの位置を変更してもよい。
【０１１２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述の実施形態に種々の変更及び置換を加えることができる。
【０１１３】
本出願を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
本出願は、２００９年７月２４日出願の日本特許出願（特願２００９-１７３４３８）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【０１１４】
１０  ガラス基板
１２  搬送装置
１４  マーキング装置
１６  検査装置
【図１】
2011010623.tif 000003
【図２】
2011010623.tif 000004
【図３】
2011010623.tif 000005
【図４】
2011010623.tif 000006
【図５】
2011010623.tif 000007
【図６】
2011010623.tif 000008
【図７】
2011010623.tif 000009
【図８】
2011010623.tif 000010
【図９】
2011010623.tif 000011
【図１０】
2011010623.tif 000012
【図１１】
2011010623.tif 000013
【図１２】
2011010623.tif 000014
【図１３】
2011010623.tif 000015
【国際調査報告】
2011010623.tif 000016
2011010623.tif 000017
2011010623.tif 000018
2011010623.tif 000019
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