【事件の表示】
　特許第３０２２５７３号「エッチング加工性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金およびその製造方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０２２５７３号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３０２２５７３号の手続きの経緯は次のとおりである。
　特許出願　　　平成　元年　９月　８日
　設定登録　　　平成１２年　１月１４日 　
　公報発行　　　平成１２年　３月２１日
　特許異議申立　平成１２年　９月２１日　計３件
　取消理由通知　平成１３年　１月３１日付
　訂正請求　　　平成１３年　４月１６日
　異議意見書　　平成１３年　４月１６日
　
２．訂正の適否
２−１．訂正の要旨
・訂正事項イ：特許請求の範囲の請求項１の中の「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」の記載を、
「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」と訂正する。
・訂正事項ロ：特許請求の範囲の請求項２の中の「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」の記載を、
「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ‐Ｎｉ系合金」と訂正する。
・訂正事項ハ：特許請求の範囲の請求項３を削除する。
・訂正事項ニ：特許請求の範囲の請求項４を請求項３とし、
その中の「請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の合金の製造方法であって、熱間圧延素材に冷間圧延と軟化焼鈍をそれぞれ少なくとも１回以上繰り返した後」の記載を、
「請求項１または請求項２に記載の合金の製造方法であって、Ｃ含有量が０．００５重量％以下の熱間圧延素材に冷間圧延と軟化焼鈍をそれぞれ少なくとも１回以上繰り返した後」と訂正する。
・訂正事項ホ：特許請求の範囲の請求項５を請求項４とし、
その中の「請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の合金の製造方法であって」の記載を、
「請求項１または請求項２に記載の合金の製造方法であって」と訂正する。
・訂正事項ヘ：特許明細書（特許公報）の第３頁左欄第１４〜１７行にある「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」の記載を、
「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」と訂正する。
・訂正事項ト：特許明細書（特許公報）の第３頁左欄第２１〜２６行にある「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金を基本とし、さらに、結晶粒度がＮｏ．８．０以上としたエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である」の記載を、
「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項イ〜ハは、特許明細書の特許請求の範囲に記載された請求項３を請求項１または請求項２に併合することで、本件特許請求の範囲を限定するものである。
　訂正事項ニ、ホは、特許明細書の特許請求の範囲に記載された請求項３を請求項１または請求項２に併合することで、その請求項４および請求項５が繰り上がるものであり、加えて、上記訂正事項ニは、特許請求の範囲に記載された請求項４のＦｅ−Ｎｉ系合金の製造方法の構成をより限定するものである。
　よって、訂正事項イ〜ホは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項ヘ、トは、特許請求の範囲の訂正に伴い、発明の詳細な説明の項の記載を整合させるものであり、不明りょうな記載の釈明を目的とするものに相当する。
　そして、訂正事項ニ．の「Ｃ含有量が０．００５重量％以下」であることは、特許公報の第３頁左欄第３５〜４１行，右欄第４９行〜第４頁左欄第２行（原明細書の第１０頁第７〜１４行，第１３頁第１９行〜第１４頁第２行）の記載に基づくものであるから、特許明細書に記載した事項の範囲内においてなされるものである。
　また、これら訂正事項は、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
２−３．訂正の適否についての結論
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．判断
３−１．本件請求項１〜４に係る発明
　訂正後の本件特許の請求項１〜４に係る発明は、訂正特許明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された次のとおりのものと認める。
【請求項１】Ni　30〜60重量%、Si　0.25重量%以下、Mn　0.50重量%以下、残部Feおよび不純物からなり、不純物のうちC含有量が0.002重量%以下、P　O.005重量%以下、S　O.005重量%以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量%以下であってX線回折による結晶面の相対X線強度において(200)面の強度が50%以上、結晶粒度がNo.8.0以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe-Ni系合金。
【請求項２】Ni　25〜40重量％、Co　5〜20重量%、Si　0.25重量%以下、Mn　0.50重量%以下、残部Feおよび不純物からなり、不純物のうちC含有量が0.002重量%以下、P　O.005重量%以下、S　O.005重量%以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量%以下であって、X線回折による結晶面の相対X線強度において(200)面の強度が50%以上、結晶粒度がNo.8.0以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe‐Ni系合金。
【請求項３】請求項1または請求項2に記載の合金の製造方法であって、C含有量が0.005重量%以下の熱間圧延素材に冷間圧延と軟化焼鈍をそれぞれ少なくとも1回以上繰り返した後、60%以上の加工度の冷間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚に50%以下の加工度で仕上圧延を行なうことにより、材料に強い結晶異方性を付与することを特徴とするエッチング加工性に優れたFe‐Ni系合金の製造方法。
【請求項４】請求項１または請求項２に記載の合金の製造方法であって、C含有量が0.005%以下の素材を、露点が‐10℃から40℃の範囲の雰囲気下において脱炭処理することを特徴とするエッチング加工性に優れたFe‐Ni系合金の製造方法。
　
３−２．異議申立ての理由及び取消し理由
　特許異議申立人の提示した先願に係る特許発明と同一である、或いは、甲各号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１〜４に係る発明の特許は、特許法第３９条第１項或いは同第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、本件特許は取り消されるべきものである。
　また、本件特許は、特許法第３６条第３項、同第４項の規定を満たしていない特許出願であるから、取り消されるべきものである。
　
３−３．引用例（甲各号証）に記載の事項
◎引例１＝友野宏の甲第１号証＝三田恒夫の甲第９号証（特願平１−９４１３９号：特許第２９０９０８８号）の特許請求の範囲には、以下の発明が記載されている。
【請求項1】C含有量が0.007重量%以下で、かつX線回折による結晶面の相対X線強度において(200)面の強度が50%以上であって、Ni30〜60重量%、Si0.25重量%以下、Mn 0.50重量%以下、残部Feおよび不純物からなり、不純物のうちP O.005重量%以下、S O.005重量%以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量%以下であることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe-Ni系合金。
【請求項2】C含有量が0.007重量%以下で、かつX線回折による結晶面の相対X線強度において(200)面の強度が50%以上であって、Ni25〜40重量%、Co5〜20重量%、Si0.25重量%以下、Mn0.50重量%以下、残部Feおよび不純物からなり、不純物のうちPO.005重量%以下、SO.005重量%以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量%以下であることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe-Ni系合金。
◎引例２＝友野宏の甲第２号証（特開昭６３−２０８６２号公報）の特許請求の範囲第１項乃至第５項には、面心立方格子構造のＦｅ−Ｎｉ合金から成り、かつ原板面のＸ線回折強度で｛２００｝回折強度が｛２２０｝回折強度の２倍以上であるリードフレーム原板にエッチングによりパターン形成されていることが、第３頁右上欄には、原板の製造工程として冷間圧延の圧延率は４０％以上であり、次の焼鈍処理は５００乃至１２００℃で行い、続く調整圧延の圧延率は３０％以下とすること、そして、第３頁左下欄下から第２行〜第４頁左上欄第１２行の実施例では、８９％の冷間圧延率、８００℃での焼鈍、２．４％の調整圧延をして、結晶面｛１００｝の集合の度合い、即ち｛２００｝面の回折強度と｛２２０｝面のそれとの比を表すパラメータｈは６５であったこと、そしてこれをエッチング処理してリードフレームを作成したことが記載されている。
◎引例３＝友野宏の甲第３号証(特開昭６３−１９３４４０号公報）の第２頁右上欄第１２〜１５行、第２頁右下欄第１６〜１９行、及び第３頁右上欄下から第２行〜第４頁左上欄第１行の実施例には、Ｎｉ３０〜５０％−Ｆｅ合金やこれにＣｒ、Ｃｏ等を添加した合金のエッチング加工性の観点から、｛１１１｝、｛２００｝、｛２２０｝面のＸ線回折強度を検討する必要があること、そして、第１図に実施例のＸ線回折図が示されている。
◎引例４＝友野宏の甲第４号証＝芝町子の甲第６号証＝三田恒夫の甲第１号証（特開昭６４−５２０２２号公報）の特許請求の範囲第１項には、重量％でＣ０．０１５％以下、Ｓｉ０．０１〜０．１％、Ｍｎ０．１〜１．０％、Ｐ０．０１％以下、Ｓ０．００５％以下、Ｏ０．０１０％以下、Ｎ０．００５％以下、Ｎｉ３５〜３７％、残部Ｆｅおよび不可避的不純物からなる合金が記載され、第３〜４頁には、固溶Ｃはエッチング穿孔性に悪影響を及ぼすためＣはできるだけ少ないほうがよいとされ、Ｃ量が０．００５％の実施例が示されている。また、結晶粒度についてもエッチング性の点から７．０以上にすること、そして、Ｐ、Ｓ、Ｏ、Ｎについてもエッチング穿孔性を害するのでこれらの元素含有量の上限値を規定した旨の記載がある。
◎引例５＝友野宏の甲第５号証は、引例３の第１図記載のＸ線回折ピーク標本である。
◎引例６＝友野宏の甲第６号証（International Centre for Diffraction Data）は、Ｆｅ０．６４−Ｎｉ０．３６合金のＸ線回折データである。
◎引例７＝芝町子の甲第１号証(特開昭６１−１９７３７号公報）の第２頁右上欄７〜１５行には、「すなわち本発明に係るシャドウマスク原板は面心立方格子構造を有するインバ型合金からなり蛍光面に対向する面、つまりエッチング処理を施す面となる圧延面に ｛１００｝結晶面が３５％以上集合したものである。・・・より好ましくは ｛１００｝ 結晶面を４０％以上集合させる事が望ましい。」、第２頁左上欄下から２行〜右上欄６行に「本発明はインバ合金からなるシャドウマスクにフォトエッチングにより電子ビーム通過孔を形成する際に、その大きさ、形状を全面にわたって微細で均一に設ける為には、エッチング速度がシャドウマスク全面において一定にする必要があり、これはエッチング面の結晶面を特定の結晶面に規定する事により達成される点に着目したものである。」、また、第２頁右下欄９〜１７行には、「なお本発明において用いるシャドウマスク材としては面心立方格子構造を有するインバ型合金を用いる。このインバ型合金とは電子ビームの射突による温度上昇にかかわらず殆ど膨張しないもので、熱膨張係数が零に近いものほどよく、具体的にはインバ合金（３６Ｎｉ−Ｆｅ），超不変鋼（３２Ｎｉ−５Ｃｏ−６３Ｆｅ）・・・等を用いる事が出来る」と記載されている。
◎引例８＝芝町子の甲第２号証（日新製鋼技報第４３号第２３〜３２頁）Ｎｉ−Ｆｅ合金の溶接高温割れに及ぼす成分の影響について記載され、第１表に合金の化学成分値が示され、溶接高温割れに及ぼす該合金中のＡｌ、Ｍｎ、Ｓ、Ｏの影響が考察されている。
◎引例９＝芝町子の甲第３号証（日新製鋼技報第３３号第１８〜２４頁）Ｎｉ−Ｆｅ合金の熱膨張係数に及ぼす不純物元素の影響について記載され、供試材の化学組成が表１に示され、該合金の平均熱膨張係数におよぼすＮｉおよび不純物元素の影響が考察されている。
◎引例１０＝芝町子の甲第４号証＝三田恒夫の甲第２号証（特開昭６１−８４３５６号公報）の特許請求の範囲には、Ｃ含有量を０．０１％以下にした微細エッチング加工用素材が記載され、第２頁左上欄の３〜５行には、「第二にエッチングによって形成される断面がアラビと呼ばれる状態になり、ガサツキが生じてしまうという問題があった。」、そして、第２頁右上欄１２〜１４行には、「而して本発明において炭素量を０．０１％以下にすることによりエッチング速度は早められると共にアラビが解消されるものである。」と記載されている。
◎引例１１＝芝町子の甲第５号証（特開昭６３−１６５２５号公報）には、肌荒れ、エッチング性の点から、結晶粒度を８〜１２にすることが好ましい旨記載されている。
◎引例１２＝芝町子の甲第７号証（特開昭６４−５２０２４号公報）には、エッチング性を考慮したブラウン管シャドウマスク材料の製造方法が示されている。
◎引例１３＝三田恒夫の甲第３号証（特開昭６１−１９００２３号公報）には、炭素量を０．０１〜０．００１％にして、エッチング時穿孔性に有害となる炭化物を少なくし、最終圧下率を調整して結晶粒径を小さくして、エッチング性を向上させることが記載されている。
◎引例１４＝三田恒夫の甲第４号証（特開昭６３−１７１８５２号公報）には、炭素含有量が０．００２％である高周波真空溶解炉で溶製されたＦｅ−Ｎｉ合金が記載されている。
◎引例１５＝三田恒夫の甲第５号証（特開昭６３−１７１８５２号公報）には、製造方法を規定することにより、特定の｛１００｝結晶面を揃えるようにしたエッチング加工されるシャドウマスク用原板が記載されている。
◎引例１６＝三田甲第６号証（特開昭６１−７３３５６号公報）には、Ｆｅ−Ｎｉ系合金よりなる表面の（２００）面強度が４０％以上よりなるメッキの耐熱性がすぐれたリードフレーム部材が記載されている。
◎引例１７＝三田甲第７号証（特開昭６１−２７９６２８号公報）には、リードフレーム等に供されるＦｅ−Ｎｉ系合金に関し、この系の合金は優れた熱膨張特性を有していることが記載されている。
◎引例１８＝三田甲第８号証（特開昭６１−４４１２６号公報）には、炭素含有量が０．００８％のアンバー合金を従来工程によればエッチング後に焼鈍するとＣ量が０．００２％のものが得られることが記載されている。
◎引例１９＝三田甲第１０号証（鉄と鋼　VOL.70　NOV.1984　NO.15）には、再結晶集合組織について記載されている。  
３−４．対比ならびに判断
３−４−１．本件各発明は、上記３−１．に記載のように、特定成分組成のＦｅ−Ｎｉ系合金の（２００）面の相対Ｘ線強度を５０％以上、Ｃ含有量を０．００２重量％以下、結晶粒度をＮｏ.８.０以上とし、同時に不純物のうちＳｉ０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％以下、Ｐ０．００５％重量以下、Ｓ０．００５重量％以下、その他の不純物元素の全含有量を０．１０重量％以下（以下、重量は省略する。）としたＦｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法である。
３−４−２．特許法第３６条について、
　異議申立人芝町子は、不純物量の規定に関し、特許請求の範囲の「その他の不純物元素」の定義が不明であるから、本件各請求項の発明とそれ以外の発明とを区別して実施することができず、実施可能要件を満たしていない旨主張するが、本件明細書（特許請求の範囲及び本件公報第６欄）の記載によれば、「その他の不純物元素」とは、請求項１の発明では、特許請求の範囲に記載の７元素、即ち、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｐ、Ｓ以外の全ての元素、請求項２の発明では該７元素にさらにＣｏを加えた８元素以外の全ての元素を指すものと理解され、特許請求の範囲の「その他の不純物元素の全含有量が０．１０％以下」とは、上記７元素或いは８元素以外の全ての元素の総和含有量が０．１０％以下ということであり、「その他の不純物元素」について格別不明確な部分はない。
　したがって、本件特許明細書は特許法第３６条第３項で規定する要件を満たしていないとはいえない。
　また、異議申立人は、本件明細書には、エッチング条件の詳細が示されていないから、発明の効果を導き出す構成が明確でない旨主張するが、エッチング速度を含めたエッチング加工性の評価は本件明細書の第１表に示されており、明細書にエッチング試験の温度が示されておらず、エッチング液濃度に齟齬があることをもって、直ちにこの評価を否定することはできない。
　そして、特許請求の範囲に記載された発明の構成に格別不明確な部分はないから、特許法第３６条第４項に関して、本件明細書の記載に不備があるものとは認められない。
３−４−３．特許法第３９条に関して、
　本件請求項１〜４記載の発明と、上記引例１の特許請求の範囲に記載の発明（以下、先願発明という。）について検討する。　　
　本件各発明は、エッチング加工性を向上させる要因を種々検討した結果、「上記３−１．に記載の構成を採用し、従来のＦｅ−Ｎｉ系合金を越えるエッチング加工性を得る」（本件特許公報第５欄第６〜９行及び第６欄第２５〜３４行）ようにしたもので、上記検討項目のうち、炭素含有量に関して、「炭素含有量が０．００２％以下であるとエッチング速度は、０．００７％程度の場合の２倍以上となり極めてエッチング加工性が向上することがわかった」（同第４欄第１８〜２１行及び第１図参照）というさらなる知見に基づいて本件各発明は完成されている。　　　
　他方、引例１の先願発明は、特定結晶面の相対Ｘ線強度、成分組成、炭素含有量、個々及び全体の不純物量を規定したエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金であり、先願発明には、炭素含有量が０．００７％以下と規定されている。
　そこで、特許請求の範囲に記載された発明が同一であるというためには、両者の技術思想を表現する構成が同一である、或いは、実質的に差異がないといえなければならないので、先願発明に、本件各発明の炭素含有量０．００２％以下の構成が認識されているといえるか否かについて以下検討する。
　先願発明には、炭素含有量が０．００７％以下と規定されているが、その下限の程度については言及されておらず、実施例をみると一番低くても０．００３％である。
　この点に関して、先願の第２図には、炭素含有量とエッチング速度の関係が示されているが、この図が０．００２％以下のエッチング速度も示しているとの記載はなく、この先願の第２図には上記本件知見でいうようなＣ含有量が０．００７％程度の時のエッチング速度（第２図によると１．０mm／min程度）の２倍以上の速度（即ち、２．０mm／min程度以上）のものは示されていない。他方、本件第１図には２．０mm／min程度以上のものが示されている。
　また、炭素含有量が０．００２％以下の場合のエッチング速度上昇率は、０．００７％から０．００３％までのそれを越えており、先願発明の単なる延長上のものとは異なるから、本件の炭素含有量の規定は効果の点でも差異がある。　
　そして、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のエッチング特性は、エッチング速度だけでなく、エッチング速度の均一な進行も含んで総合的に評価されるものであり、本件各発明は、炭素含有量を０．００２％以下にして、本件各請求項記載の構成と組み合わせることにより、従来のＦｅ−Ｎｉ系合金を越えるエッチング加工性を得るというものであるから、この第２図を考慮しても、０．００７％以下という規定はあるが、０．００２％以下についての開示がみいだせない先願発明に、本件発明の技術上の認識があったものとは認められない。
　したがって、先願発明が、本件の炭素含有量０．００２％以下の構成と上記他の結晶方位集合度、成分組成、不純物規定等の構成を組み合わせた発明であるということはできない。
　また、本件各発明は、先願発明の構成に、さらに、結晶粒度がＮｏ．８以上である構成も付加しており、両者の圧延と焼鈍条件から、直ちに先願発明がこの結晶粒度の規定を満たしているということもできないから、本件各発明と先願である引例１の発明とは同一であるとはいえない。
３−４−４．特許法第２９条第２項について、
　本件請求項１記載の発明（以下、これを本件発明という。）と上記各引例に記載の事項とを対比、検討する。
　引例２（友野甲２）の記載によれば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のエッチング加工性を改善するためには結晶異方性を付与して、（２００）面の他面に対する相対Ｘ線回折強度を高くすること、そして、その具体的な処理方法は、最終冷間圧延率を高くし、所定の焼鈍温度と軽めの仕上げ圧延率を採用すればよいことが開示され、その実施例によれば本件発明で必要とされる冷間圧延、焼鈍、仕上げ圧延の処理条件と同等の条件で作成され、甲１で得られた原板の上記パラメータも極めて高い値を示しており、同様に引例３（友野甲３）にもエッチング性の点から｛２００｝面の回折強度を高めた原板が示されているから、エッチング用原板に対する結晶異方性付与の技術的意義と構成に関して、本件発明と引例２、引例３の技術の指向方向に格別異なるところはない。
　また、同じく引例７（芝甲１）、引例１５（三田甲５）、引例１６（三田甲６）も、エッチング処理を施す面となる圧延面に｛１００｝結晶面が３５％以上集合させることにより、高精度高密度に電子ビーム通過孔が制御されたシャドウマスクを得ると記載されているから、原板の結晶面を本件のように（２００）特定面に揃え異方性を付与してエッチング性を高めるという解決手法の点で本件発明と異なるところはない。
　次に、リードフレーム用等の原板合金中の炭素量に関し、引例４（友野甲４＝芝甲６＝三田甲１）、引例１０（芝甲４＝三田甲２）或いは引例１３の記載から、Ｃ量を０．０１％以下にすればエッチング速度は早められることは知られている。
　さらに、結晶粒が大きいとエッチング面が凹凸となったり、エッチング面に結晶粒界が現れたりするので、エッチング性の点から、結晶粒度を小さく、例えば結晶粒度番号で７．０以上や８．０以上にすることが推奨されている（引例４、引例１１、引例１３）。
　してみれば、本件Ｆｅ−Ｎｉ系合金のエッチング性の向上及びエッチング速度の高速化のためには、上記のように結晶面集合度（引例２，３、７、１５、１６等）、炭素含有量（引例４、１０、１３等）及び結晶粒度（引例４、１１、１３等）を規定する方向で検討すればよいことは当業者であれば容易に想到しうるものと認められる。
　しかしながら、本件発明は、この結晶面集合度、炭素含有量及び結晶粒度を好ましい範囲に同時規定するだけでなく、さらに不純物量をも規定するものである。
　この点について、以下検討する。
　一般に、成分、数値限定を伴う材料の発明の進歩性についての判断は、発明の目的、構成及び作用効果の予測性に基づいて判断されるべきである、即ち、課題認識の有無や、成分組成・数値限定について、単に公知の技術が本件の成分組成や規定の数値を満足しているというだけでなく、規制すべき対象要件及びその数値範囲の限定の技術的意義の開示の有無に基づいて進歩性を判断する必要がある。
　本件発明は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のエッチング加工性のさらなる向上のために、高いエッチング速度における均一進行の問題を不純物総量の観点からも検討したものである。
　該系合金中の不純物に関し、引例４（友野甲４＝芝甲６＝三田甲１）にエッチング穿孔時の欠陥防止のためにＰ、Ｓ、Ｏ、Ｎの不純物量を少なくすることは記載されているが、これは上記４つの特定元素の各上限値を規制するのみである。
　また、引例８，引例９に示される事項は、Ｆｅ−Ｎｉ合金の、溶接高温割れ、或いは、熱膨張係数に及ぼす各元素の影響を調べたものであり、本件発明のようにエッチング加工性の観点から不純物含有量が検討されたわけではないし、該引例８，９の記載から、一般的なＦｅ−Ｎｉ合金中に含有されるＳｉ、Ｍｎ、Ｐ及びＳについて、本件発明の規定値を満たす物が存在するとしても、その他の不純物元素の全含有量が、本件の０．１０％以下の規定を満足しているということはできない。
  そして、その他の各引例にも、上記高速エッチングの均一進行と不純物総量の技術的関係は示されていないから、炭素含有量を従来の水準以上に極めて低くしてエッチング速度を高め、且つ、その速度の均一進行を妨げないために、上記結晶面集合度、炭素量等の数値規定と、同時に、不純物規定特にＰ、Ｓ等以外の全不純物量の上限を０．１０％以下に定めるという本件発明の解決策は、各引例の記載から容易に想起されるものではない。
　そして、本件発明は上記構成を採用することによって、エッチング特性、性能を維持しつつエッチング速度の向上と同時にその均一化を図り、より一層優れたエッチン加工性を得るという効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、上記各引例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明のＮｉの一部をＣｏで置換したものであるから、同様に上記各引例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。  
　また、請求項３及び４に記載の発明は、請求項１または２に記載の合金の製造方法を規定するものであるから、請求項１，２の発明が各引例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるといえない以上、請求項３及び請求項４の発明も同様に判断される。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由によっては、本件請求項１〜４に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件上記請求項に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年７月１８日（２００１．７．１８）
【訂正の要旨】
（３）訂正事項
　▲１▼特許請求の範囲の請求項１の中の「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」の記載を、「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上
、結晶粒度がＮｏ．８．０以上
　▲２▼特許請求の範囲の請求項２の中の「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」の記載を、「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上
、結晶粒度がＮｏ．８．０以上
　▲３▼特許請求の範囲の請求項３を削除する。
　▲４▼特許請求の範囲の請求項４を請求項
３
２
Ｃ含有量が０．００５重量％以下の
　▲５▼特許請求の範囲の請求項５を請求項
４
２
　▲６▼特許明細書（特許公報）の第３頁左欄第１４〜１７行にある「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」の記載を、「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金」と訂正する。
　▲７▼特許明細書（特許公報）の第３頁左欄第２１〜２６行にある「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金を基本とし、さらに、結晶粒度がＮｏ．８．０以上としたエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である」の記載を、「Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
１　Ｎｉ　３０〜６０重量％、Ｓｉ　０．２５重量％以下、Ｍｎ　０．５０重量％以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＣ含有量が０．００２重量％以下、Ｐ　０．００５重量％以下、Ｓ　０．００５重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量％以下であって、Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金。
２　Ｎｉ　２５〜４０重量％、Ｃｏ　５〜２０重量％、Ｓｉ　０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＣ含有量が０．００２重量％以下、Ｐ　０．００５重量％以下、Ｓ　０．００５重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量％以下であって、Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金。
３　請求項１または請求項２に記載の合金の製造方法であって、Ｃ含有量が０．００５重量％以下の熱間圧延素材に冷間圧延と軟化焼鈍をそれぞれ少なくとも１回以上繰り返した後、６０％以上の加工度の冷間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚に５０％以下の加工度で仕上圧延を行なうことにより、材料に強い結晶異方性を付与することを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金の製造方法。
４　請求項１または請求項２に記載の合金の製造方法であって、Ｃ含有量が０．００５％以下の素材を、露点が−１０℃から４０℃の範囲の雰囲気下において脱炭処理することを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金の製造方法。
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明は、集積回路素子のリードフレームあるいはシャドウマスク材等に用いられるエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金に関するものである。
〔従来の技術〕
　集積回路用素子のリードフレーム用材料としては、Ｆｅ−４２％Ｎｉ、Ｆｅ−５０％Ｎｉをはじめとして、Ｆｅ−２９Ｎｉ−１７Ｃｏ合金（コバール）等のＦｅ−Ｎｉ系合金が使用されている。
　近年、集積回路素子の高集積化に伴ってリードは非常に多ピン（リード）となり、複雑化して来ており、従来６４ピンクラスが主体であったエッチング加工も１６０〜２４０ピン、さらには２４０ピン以上のクラスの超多ピンのものまで手がけられるようになってきている。
　これに伴ってリードフレームの特にインナーリードの間隔は非常に狭くならざるを得ず、従来のリード間隔では何ら問題にならなかったエッチング加工も、こうした多ピンのリードフレームでは、エッチング加工性に問題を生ずるようになってきている。
　また、Ｆｅ−３６％Ｎｉ系のいわゆるインバー合金を用いるシャドウマスクにおいても高精細化により、より微細なエッチング加工が要求されるに至っている。
　このため、従来に比べ数段エッチング加工性に優れたリードフレーム材料、シャドウマスク材料が必要になっている。
〔発明が解決しようとする課題〕
　従来のＦｅ−Ｎｉ系合金では、前述の２４０ピンクラスの多ピンリードフレームにおいて、エッチング加工性が十分満足できるものではなく、イナーリード同志のくっつき等を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足できない等の問題があった。
　エッチング加工性の改善に関しては、特開昭６１−８２４５３号においてＣ含有量を０．０１％以下に規制すること、また特開昭６１−８４３５６号にはさらに非金属介在物を規制することによりエッチング加工性の向上が可能である旨の報告が成されている。
　しかし、超多ピンリードフレーム、高精細シャドウマスクのエッチング加工においてはより一層エッチング加工性の良好な合金が要望されているのが現状である。
　この一方、Ｃ含有量を特開昭６１−８２４５３号または特開昭６１−８４３５６号に開示されているレベル（０．００４％，０．００７％）より低減することは工業生産規模では容易ではない。
　本発明は以上の点に鑑み、主にＣ含有量を通常の綱の溶解法では困難なレベルより容易に低減し、超多ピンリードフレーム、高精細シャドウマスク等のエッチング加工が十分対応可能な、エッチング加工性の優れたＦｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法を提供することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
　本発明者は、エッチング加工性を向上させる要因として、炭素含有量、材料の結晶粒度、非金属介在物の量、および圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その結果について説明する。
　ここで前述の如く、通常の溶解、精錬方法においてはＣ含有量を０．００３％程度まで低減するのが限界であり、それ以下のＣ含有量に精錬により低減するためには、精錬時間の長時間化等の観点から非常にコストが高くなる欠点がある。
　そこで本発明は脱炭処理を施すことにより、従来にない低レベルのＣ含有量を達成することができることを見出し、エッチング加工性の評価試験を実施した。
　第１図に塩化第二鉄を用いたエッチング加工性での試験でのＦｅ−４２％Ｎｉ合金、Ｆｅ−３６％Ｎｉ合金におけるＣ含有量とエッチング速度との関係を示すが、Ｃ含有量が０．００２重量％以下であると、エッチング速度は０．００７重量％程度の場合の２倍以上となり極めてエッチング加工性が向上することがわかった。なお、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金のコバール合金についてもほぼＦｅ−４２％Ｎｉ合金と同様の傾向を示した。
　また結晶粒度については、ＪＩＳの結晶粒度番号がＮｏ．８．０以下においてはエッチング断面の表面粗さが大となり、エッチング加工時の寸法精度が超多ピンリードフレームにおいては十分満足できなくなる。また、Ｎｏ．８．０を越える結晶粒度においてはエッチング速度が増大し、エッチング加工性が向上する。以上の点より結晶粒度をＮｏ．８．０以上とすることが望まれる。結晶粒度のより望ましい値はＮｏ．９．０以上である。次に圧延と焼鈍条件についての実験より以下のことを知見した。
　Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金、Ｆｅ−３６％Ｎｉ合金、およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金（コバール合金）などの本発明が対象とするＦｅ−Ｎｉ系合金は、Ｘ線回折により（３１１），（２２０），（２００）および（１１１）面の回折が得られ、各々の相対Ｘ線強度により結晶方位の集合度がわかる。この結晶方位は加工条件により変化するものである。
　第２図に圧延加工度を変化させた場合の圧延状態、および、その後９５０℃にて５分間焼鈍を施した場合の各回折面の相対Ｘ線強度を示すが、冷間圧延加工度の増大と共に、圧延状態においては（２２０）面の強度が上昇し、その後の焼鈍状態においては逆に（２００）面の強度が上昇する。また、焼鈍後の（２００）面の強度は圧延加工度が６０％以上において急激に増大することがわかる。
　焼鈍後の（２００）面の回折強度は次におこなわれる仕上げ圧延により、第２図の圧延状態の相対Ｘ線強度の変化に見られるように、仕上げ圧延による（２２０）面の上昇とともに低下し、最終状態において、ある（２００）面の回折強度を有するようになる。
　そしてこの（２００）面の強度が５０％未満では（２２０）面の強度が高い状態であり、等方的な結晶方位となり、十分なエッチング性の向上が期待されず、逆に（２００）面の強度が５０％以上においては良好な結晶異方性が付与され、エッチング性の向上が達成されることを知見した。
　本発明は以上のような知見に基づき、Ｃ含有量を従来にない低レベルに規制すること、さらには結晶粒度、結晶方位を特定することにより、従来のＦｅ−Ｎｉ系合金を越えるエッチング加工性を得ようとするものである。
　具体的には、Ｎｉ３０〜６０重量％、Ｓｉ０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＣ含有量が０．００２重量％以下、Ｐ０．００５重量％以下、Ｓ０．００５重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量％以下であって、Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金、Ｎｉ２５〜４０重量％、Ｃｏ５〜２０重量％、Ｓｉ０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＣ含有量が０．００２重量％以下、Ｐ０．００５重量％以下、Ｓ０．００５重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量％以下であって、Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上、結晶粒度がＮｏ．８．０以上であることを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である。
　本発明ではＣ含有量を０．００２％以下という従来容易に得ることができなかったレベルを達成した点に最も大きな特徴がある。
　すなわち、通常の溶解、精錬方法においてはＣ含有量を０．００３％程度まで低減するのが限界であり、それ以下のＣ含有量に精錬により低減するためには、精錬時間の長時間化等の観点から非常にコストが高くなる欠点がある。
　本発明においては、０．００２％以下のきわめて低いＣ含有量を達成するために、溶解、精錬によりＣ含有量をある程度のレベルまで、具体的には０．００５％以下まで低減し、熱間圧延状態あるいは熱間圧延素材に冷間圧延を施した状態において露点が−１０℃から４０℃の範囲の雰囲気において加熱し脱炭することにより、通常に比べ著しくＣ含有量を低減するのである。
　ここで、溶解、精錬によりＣ含有量を０．００５％以下とするのは、これを越える場合その後露点が−１０℃から４０℃の範囲の雰囲気において加熱し脱炭処理を行なっても、０．００２％以下のきわめて低いＣ含有量を達成することが困難だからである。
　また、脱炭処理の加熱雰囲気については、露点が−１０℃未満においては脱炭が十分でなく、４０℃を越えると脱炭は十分に生ずるものの材料表面の酸化が顕著となり、めっき性ならびにハンダ付け性を劣化させることから−１０℃から４０℃の範囲とする必要がある。また、加熱温度については７００℃未満においては脱炭が不十分であることから７００℃以上とするのが望ましい。より望ましくは９００℃以上である。
　上記本発明において、Ｘ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強度が５０％以上の合金は、熱間圧延素材に冷間圧延と軟化焼鈍を、それぞれ少なくとも１回以上繰り返した後、６０％以上の加工度の冷間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚に５０％以下の加工度で仕上圧延を行ない、材料に強い結晶異方性を付与することにより製造することができる。
　当該製造方法において、製品板厚に仕上げる前の冷間圧延加工度が６０％未満では、次の焼鈍時に十分な結晶異方性を付与することができず、エッチング性の改善が期待されない。このため、仕上げ前の冷間圧延加工度を６０％以上にする必要がある。より望ましくは、７０％以上の加工度とするとよい。
　焼鈍条件については、再結晶温度以上であれば、結晶異方性が得られるが、均一な結晶異方性を得る点から７００℃以上が望ましい。
　また、仕上げ圧延加工度については５０％を越える加工度では、（２２０）面の強度が上昇し、（２００）面の強度が高い結晶異方性が付与されないことから５０％以下にする必要がある。
　本発明合金においては不純物元素を次のように制御することにより、さらにエッチング性が改善される。
　Ｓｉ：０．２５重量％以下
　Ｍｎ：０．５０重量％以下
　Ｐ：０．００５重量％以下
　Ｓ：０．００５重量％以下
　その他の不純物元素：０．１０重量％以下
　不純物元素については、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｐ、Ｓおよびその他の不純物元素の全含有量が前記の値を越えると、特にエッチング速度の均一な進行の妨げとなる。
　なお、より望ましい不純物の範囲は次の通りである。
　Ｓｉ：０．１５重量％以下
　Ｍｎ：０．３０重量％以下
　Ｐ：０．００３重量％以下
　Ｓ：０．００３重量％以下
　その他の不純物元素：０．０８重量％以下
〔実施例〕
　以下、本発明を実施例に基づき説明する。
　Ｆｅ−Ｎｉ系合金としてＦｅ−３６％Ｎｉ合金、Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金、Ｆｅ−５０％Ｎｉ合金およびＦｅ−２９Ｎｉ−１７Ｃｏ合金を選び、第１表に示すような化学成分、（２００）面の相対Ｘ線強度および結晶粒度を有する材料を作成した。相対Ｘ線強度については、前記のように仕上げ圧延ならびに仕上げ圧延時の冷間圧延加工度を変化させることにより、各々のＸ線強度を得た。また、０．００２％以下のＣ含有量は真空誘導溶解にて０．００５％とした後、冷間圧延後に露点２０℃の雰囲気で９５０℃で加熱、脱炭処理することにより得た。
　次にエッチング加工性を評価するために第３図に示すように試験片にφ０．８ｍｍの円を塩化第二鉄溶液（ＦｅＣｌ３：３０％、Ｈ２Ｏ：残）を用いて片面より１０分間エッチング加工し、第３図に示す基準によりエッチング深さ（ｈ）を光学顕微鏡の焦点の移動距離により測定し、エッチング速度を求めた。この結果を第１表にまとめて示した。
　エッチング加工性は、エッチング速度で評価し、良いものを○印、やや不十分なものを△印、不十分なものを×印で第１表に表わした。
　第１表に示すように、本発明合金、すなわちＣ含有量が０．００２％以下、さらには（２００）面の相対Ｘ線強度が５０％以上、および結晶粒度がＮｏ．８．０以上の場合に、優れたエッチング加工性が得られている。
〔発明の効果〕
　本発明によれば、エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金が得られ、集積回路素子の多ピンあるいは超多ピンリードフレーム高精細シャドウマスクの高精度エッチング加工が可能となり、品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達成できる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は、Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金におけるエッチング速度とＣ含有量との関係を示した図、第２図および第３図は本実施例で採用したエッチング加工性の試験の説明図である。