【事件の表示】
　特許第２８５３０６９号「Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板およびその製造方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５３０６９号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯　
　本件特許第２８５３０６９号は、平成３年１２月２６日に特許出願され、平成１０年１１月２０日に、その請求項１、２に係る発明について設定登録がされ、その後、特許異議申立人　日立金属株式会社より、請求項１に係る発明の特許について異議申立がされ、平成１２年２月８日付で取消理由が通知され、さらに、平成１３年７月４日付で通知した取消理由に対して、その指定期間内である平成１３年９月１４日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正請求について
２−１．訂正の内容
　平成１３年９月１４日付訂正請求書による訂正事項は次のとおりである。
（１）訂正事項１
　願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１の「鋼板の表面粗さを０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍとし、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０としたことを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板。」との記載を、「ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された鋼板の表面粗さが０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍ、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０であることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板。」と訂正する。
（２）訂正事項２
　願書に添付した明細書の段落【０００６】の「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための手段は、鋼板の表面粗さを０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍとし、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０としたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板である。」との記載を、「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための手段は、ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された鋼板の表面粗さが０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍ、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０であることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板である。」と訂正する。
　
２−２．訂正の目的、新規事項の有無、拡張・変更の存否
（１）訂正事項１について
　訂正事項１は、願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されていたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板について、所定のＲａ、Ｒｋｕとするための技術的構成を付加し、限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、かかる技術的構成については、願書に添付した明細書の段落【００２３】に「Ｎｏ．３から７に本発明の条件によるものを示している。」と記載され、そして、【００２４】の【表４】中には、転動後ロールのＲａが０．５（Ｎｏ．７）から１．２（Ｎｏ．４）の、また、Ｒｋｕが３．５（Ｎｏ．７）から７．１（Ｎｏ．６）の作業ロールで圧延することにより、０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍ、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０の範囲内の鋼板表面粗さが得られる旨記載されているから、訂正事項１は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
（２）訂正事項２について
　訂正事項２は、訂正事項１に伴う明細書の記載の整合を図るための訂正であって、明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
２−３．独立特許要件
　平成１３年９月１４日付訂正請求書に添付された訂正明細書の前記訂正に係る特許請求の範囲の請求項１に記載されたところを構成とする発明については、後記「３．特許異議申立てについての判断」で述べるとおり、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるとすることはできない。
　
２−４．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについて
３−１．申立の理由の概要
　異議申立人は、甲第１号証及び参考資料Ｉ〜IIIを提示し、本件の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、本件の請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきであると主張する。
　
３−２．本件発明
　本件の請求項１に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである。
　「ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された鋼板の表面粗さが０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍ、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０であることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板。」（以下、「本件発明」という。）
　
３−３．甲第１号証及び参考資料Ｉ〜IIIの記載事項
　甲第１号証及び参考資料Ｉ〜IIIには、それぞれ以下の事項が記載されている。
（１）甲第１号証（「特殊鋼」第３２巻第３号、昭和５８年３月１日社団法人特殊鋼倶楽部発行、Ｐ４２〜４５）
　「今後、シャドウマスク用素材としては、既にドーミング対策用・・に検討されているアンバー材のように特別な特性を有するもの、・・など、目的や許容される価格に応じて板厚と同様、多様化するものと思われる。・・シャドウマスク用素材としての条件　シャドウマスク用素材には様々な面から厳しい要求が出されている。・・表面の錆、汚れ、キズなどが認められないことはもちろん、表面粗度についてもＲａで０．６μｍ前後、Ｒmaxで３〜４μｍ以下という制限があり、そのプロフィルも上に凸で均一であることが好ましい（粗度が高いと孔一つ一つのキレが悪くなり、低いとアニール中にシャドウマスク同士が密着する）。」（第４３頁右欄下から第２行〜第４４頁右欄第９行）と記載されている。
　
（２）参考資料Ｉ（特開平２−２５２０１号公報）
　「シャドウマスク用金属板において、その表面粗さＲａ及び表面粗さの高さ方向の相対性を示す値であるＲskが、下記の値を満足することを特徴とするシャドウマスク用金属板。　Ｒａ：０．２μｍ〜２．０μｍ　Ｒsk：−０．２以上」（特許請求の範囲第１項）、「第１図において、表面粗度における山、谷の高さ方向の形が違う２つの粗さ曲線Ａ，Ｂがある場合、粗さ曲線Ａを有するシャドウマスク用金属板と、Ｂを有するシャドウマスク用金属板を比較すると、粗さ曲線Ａを有するシャドウマスク用金属板は粗さ曲線の山の形が台形状であり、Ｒskが負の値であるために、重ね合わせた時の板相互の接触面における接触面積が広くなり、焼鈍密着しやすくなる。それに比べて、粗さ曲線Ｂを有するシャドウマスク用金属板は、粗さ曲線の山の形が鋭角でありＲskが正の値であるために接触面の接触面積が狭くなり焼鈍密着しにくくなる。つまり、粗さ曲線の山の形が鋭角であり、Ｒskが正の方向に大きい値を有するシャドウマスク用金属板は焼鈍密着の軽減に大きな効果を発揮する。」（第２頁右下欄第９行〜第３頁左上欄第３行）と記載され、そして、Ｒskとは平均線に対しての粗さ曲線の上下の相対性を示す値であり、Ｒｑ（自乗平均粗さ）、Ｎ（曲線上の縦座標の数）、ｙi（縦座標の高さ）、ｙ（平均高さ）の関数として表わされるものであること（第２頁右上欄第１０行〜左下欄第４行）が記載されている。
　
（３）参考資料II（特開平３−１９３８４７号公報）
　「シャドウマスク素材の表面粗さ曲線を模式的に第１図に示す。ここに、（ａ）はＲskが正の例そして（ｂ）はＲskが負の例である。この図からわかるように、Ｒskが正になると凸部が鋭くとがった形状になり、Ｒskが負になると凹部が鋭くなり、凸部はなだらかになる。焼鈍時の密着を防ぐには重ねたときできるだけ接触面積が小さいことが重要であり、そのためには表面の凸部が鋭くとがっている必要がある。したがって、Ｒskを正に限定した。なお、さらに好ましい範囲はプラス０．４以上である。」（第３頁左下欄第３行〜第１３行）、「Ｆｅ−Ｎｉ合金としてはＦｅ−３６％Ｎｉ合金を用いた。最終的にダル圧延によりＲskが様々な値を持つ板厚０．２５ｍｍの薄板にした。これを、エッチングによりフラットマスクにした後、マスクを３０枚重ねて８％Ｈ２−残Ｎ２雰囲気中で１０００℃×３０分焼鈍した。そのときのＲskと密着の有無を第１表に示す。」（第３頁右下欄第１０行〜末行）と記載され、そして、第４頁第１表には、Ｒsk：０．３〜１．０の本発明例では焼鈍密着が発生しないが、Ｒsk：−０．３〜−０．１の比較例では焼鈍密着が発生したこと、が示されている。
　
（４）参考資料III（「特殊鋼」第３９巻第５号、平成２年５月１日社団法人特殊鋼倶楽部発行、Ｐ２８〜３１）
　「低熱膨張材のアンバー材がシャドウマスク用素材として実用化されてきた。」（第３０頁左欄第９行〜第１１行）、「３．表面状態　　素材表面の錆、汚れ、きず等が認められないことはもちろん、表面粗度についても様々な規定がある。シャドウマスク原板製造工程でのフォトレジストの密着性、シャドウマスクパターン露光時の真空密着性、シャドウマスクムラレベル（孔形状への影響）、さらにはチューブメーカーでのアニール時のマスク同士の密着、黒化膜密着性等への対応として、Ｒａで０．５μｍ前後の管理、Ｒsk（スキューネス；粗度パターンの突起状態の指標）の管理、さらにＳｍ（ピーク間距離）の管理等が行われている。」（第３０頁右欄第１０行〜第２１行）と記載されている。
　
３−４．対比・判断
　本件発明と甲第１号証記載のシャドウマスクとを対比すると、甲第１号証には、アニール中のシャドウマスク同士の密着を防止するためには、表面粗度Ｒａを０．６μｍ前後に制限すると記載されているから、「鋼板の表面粗さが０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍであることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板。」で両者一致する。
　しかしながら、本件発明は、鋼板のＲｋｕを、「３．０≦Ｒｋｕ≦７．０」と定め、また、かかるＲｋｕを得るために、「ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された」と鋼板の粗面化手段を特定しているのに対して、甲第１号証には、上記Ｒｋｕの値及び粗面化手段については明らかにされておらず、両者はこれらの点で相違する。
　ところで、異議申立人の提示した参考資料Ｉ〜IIIには、鋼板のＲskについて記載されているものの、鋼板のＲｋｕ或いは鋼板の上記粗面化手段に関しては、何らの開示もない。。
　そして、鋼板のＲｋｕとは、本件明細書の段落【００１３】中で（２）式として定義されているように、Ｒskとは全く異なる表面粗さの指標であるから、参考資料Ｉ〜IIIのＲskに関する記載からでは、甲第１号証記載のシャドウマスク用薄板においても、そのＲｋｕが、当然に「３．０≦Ｒｋｕ≦７．０」という数値範囲内であるとすることはできず、さらに、参考資料Ｉ〜IIIには、かかるＲｋｕを得るための鋼板粗面化手段についての開示があるわけでもない。
　そうであれば、参考資料Ｉ〜IIIの記載内容を考慮したとしても、Ｒｋｕの値及び鋼板の粗面化手段において、本件発明と甲第１号証記載の発明とは、その構成を異にすることは明らかであり、しかも、本件発明は、上記Ｒｋｕの値及び鋼板の粗面化手段をその構成として備えることにより、「エッチング焼鈍時における密着焼き付きを適切に防止できる。また、このような特性をもったシャドウマスク用薄板を容易にかつ的確に製造することができ、結果として品質的に好ましいシャドウマスクが低廉に得られる。さらに、歩留りの向上を図ることができ、しかも、ロールに対する転動処理が頗る容易で、これらの点からも有利にシャドウマスクを得ることができる」という明細書記載の効果（本件明細書段落【００２７】参照）を奏するものである。
　よって、本件発明は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１０月１１日（２００１．１０．１１）
【訂正の要旨】
（１）特許請求の範囲の請求項１の「鋼板の表面粗さを０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍとし、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０としたことを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板。」との記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された鋼板の表面粗さが０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍ、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０であることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板。」と訂正する。
（２）明細書の段落【０００６】の「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための手段は、鋼板の表面粗さを０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍとし、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０としたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板である。」との記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための手段は、ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された鋼板の表面粗さが０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍ、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０であることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板である。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板およびその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された
が
である
　【請求項２】圧延作業ロール表面粗さを０．６μｍ≦Ｒａ≦１．６μｍかつ２．０≦Ｒｋｕ≦５．０の範囲にダル加工した上下一対の作業ロールを５０ｋｇ／ｍｍ２≦ヘルツ応力≦１５０ｋｇ／ｍｍ２の範囲のロール間最大接触応力で接触させ、１０００から１００００回転転動させたのちに、このロールを用いて鋼板を圧延し、請求項１記載の鋼板の表面粗さを得ることを特徴とするＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、表面粗さを適切にしたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板およびその製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】シャドウマスクの板表面は良好なエッチング性を確保しつつ、エッチング後の焼鈍時における密着防止のために適切な粗さを備えていることが必要である。特に、近年はカラーテレビの高品位化に伴って、色ずれの問題に対応できる低熱膨張のシャドウマスク材料として注目されているＦｅ−Ｎｉ系のインバー合金は、従来の低炭素鋼シャドウマスク材料に比べて、エッチング後のフラットマスクの焼鈍温度が高く密着焼き付きが著しい。しかし、この問題を解決するための好ましい提案はなされていない。
　【０００３】すなわち、特開昭６２−２３８００３号公報「シャドウマスク用素材およびその製造方法」のように、ダル加工されたロールをポリッシングし、このロールを用いて表面の適正化、すなわち、Ｒａが０．２μｍから２．０μｍでＲｓｋを０以上とする提案はあるものの、この発明の比較例が、−０．１≦Ｒｓｋ≦−０．２程度であったのに対して、実施例ではＲｓｋを＋０．２としているにすぎない。Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金の場合、この程度のＲｓｋでは密着焼き付きを十分に防止できない。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】上記したような従来技術では、低炭素鋼フラットマスクの焼鈍時の密着焼き付きを防止しているのみである。前記したＦｅ−Ｎｉ合金であるインバー合金の強度は低炭素鋼に比べて高く、そのためプレス成形前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合に比べて高く採らざるを得ず、この場合、これらの従来技術ではインバー合金フラットマスク焼鈍時の焼き付き防止をなし得ない。事実、この従来技術で到達し得た表面粗度であるＲａが０．６５μｍでありかつＲｓｋが＋０．２のインバー合金では、焼鈍時に密着焼き付きが著しかったのである。
　【０００５】そこで、本発明が解決しようとする課題は、Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板及びその製造方法において、板表面粗さが適切とされたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板およびその薄板を簡易かつ安定に比較的低コストで製造することのできる方法を提供しようとするものである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための手段は、
ダル加工および回転転動により０．５μｍ≦Ｒａ≦１．２μｍかつ３．５≦Ｒｋｕ≦７．１の範囲内に調整された表面粗さを有する作業ロールを用いて圧延された
が
であることを特徴とする
　【０００７】また、圧延作業ロール表面粗さを０．６μｍ≦Ｒａ≦１．６μｍかつ２．０≦Ｒｋｕ≦５．０の範囲にダル加工した上下一対の作業ロールを５０ｋｇ／ｍｍ２≦ヘルツ応力≦１５０ｋｇ／ｍｍ２の範囲のロール間最大接触応力で接触させ、１０００から１００００回転転動させたのちに、このロールを用いて鋼板を圧延し、前記記載の鋼板の表面粗さとしたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用薄板の製造方法である。
　【０００８】
　【作用】本発明の作用を次に説明する。近時のカラーテレビの高品位化に伴う色ずれを防止するためにシャドウマスクとして使用される、低熱膨張のＦｅ−Ｎｉ系の鋼板の表面粗さを０．３μｍ≦Ｒａとしかつ３．０≦Ｒｋｕとすることにより、エッチング後の焼鈍時における密着焼き付きを適切に防止する。またＲａの上限を０．８μｍとすることによりエッチングを適切に行なわしめ、さらに、Ｒｋｕの上限を７．０とすることによってエッチングむらの発生を防止するとともに、Ｒｋｕ過大により、板突起部の応力集中による局所的密着の発生を回避する。
　【０００９】０．６μｍ≦Ｒａ≦１．６μｍかつ２．０≦Ｒｋｕ≦５．０にダル加工したロールを用いることにより、転動処理後のＲａを適正に保ち、かつ、ロールパターンを適切に変化させ、圧延後の板粗さを０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍとし、かつ、３．０≦Ｒｋｕ≦７．０として、フラットマスク焼鈍時の焼き付きを防止する。
　【００１０】本発明で規定した表面粗度にダル加工された前記ロールを、ヘルツ応力５０ｋｇ／ｍｍ２以上のロール間接触最大応力にて接触させて回転転動させることにより、ダル加工により形成された大きく滑らかな凸部を適切に除去して、凸部どうしでさらに鋭利な凹凸をロールに形成させて、有効な加工結果を得ることができる。転動前のロールのＲｋｕ値を２．０から５．０とすることにより、転動後のロールのＲｋｕ値を適正に確保できる。かつ、このヘルツ応力を１５０ｋｇ／ｍｍ２以下とすることにより、ロール接触により発生する接触マークすなわちタッチマークの発生を防止する。
　【００１１】また、転動回転数を１０００回転以上とすることによりダル加工による大きく滑らかな凸部の好ましい除去と、凸部どうしでさらに鋭利な凹凸をロールに形成させて、また、その上限を１００００回とすることにより、ロールの転動疲労上昇とそれによる劣化を回避し効率的な加工をうることができる。工業的にはこれ以上回転させても効果が少ない。なお、ヘルツ応力は次の（１）式により、またＲｋｕは次の（２）式によって求めた値である。
　【００１２】
　【数１】
　但し、Ｐｍａｘ＝２Ｐ／（πａ）
　　　　Ｐは２つのロールの単位長さ当りの接触荷重
　　　　νＡとνＢは２つのロールのそれぞれのポアソン比
　　　　ＥＡとＥＢは２つのロールのそれぞれのヤング率
　　　　ＲＡとＲＢは２つのロールのそれぞれのロール半径
　　　　ａは２つのロールの接触面幅の１／２
　を示す。
　【００１３】
　【数２】
　但し、Ｎは曲線上の縦座標の数
　　　　ｙｌは縦座標の高さ
　　　　ｙｘは平均高さ
　　　　Ｒｑは自乗平均高さ
　を示す。
　【００１４】
　【実施例】以下に前記したような本発明の具体的な実施態様について説明する。本発明者等は、３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金によるシャドウマスク用薄板について、圧延後の板粗さのＲａとＲｋｕとが種々に変化したものを製造し、それらのエッチング後のフラットマスクを焼鈍したときの密着焼き付き発生の有無及びエッチング時のむら発生の有無について検討した。このとき、焼鈍条件は１０００℃を６０分連続させて行なった。その結果を表１に示す。
　【００１５】
　【表１】
　【００１６】すなわち、ＡのもののＲａは本発明の要件を満足するもののＲｋｕが低く、また、Ｈ、ＩのものもＲｋｕを満足しない場合であり、Ｋ、ＬのものはＲｋｕについては本発明の要件を満足するがＲａについては本発明に達していない場合である。いずれも、焼鈍後の焼き付き発生が認められる。これらに対して、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、ＪのものはＲａとＲｋｕのいずれもが本発明の範囲内のものであって、いずれのものも焼鈍後における焼き付きの発生及びエッチングむらを認めることができなかった。なお、ＢとＫからＮのものにおいては、Ｒｋｕ及びＲａのいずれか一方または双方が本発明の範囲外であって、焼き付き及びエッチングむらのいずれかまたは双方が認められる。
　【００１７】次に、本発明によるロールを用いて、次の表２に示す圧延スケジュールにより、前記３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金によるシャドウマスクの圧延を実施した。
　【００１８】
　【表２】
　【００１９】また、この圧延により得られた板粗さについて、表３にロール粗さとともに示す。本発明による１６００回転動したロールにより圧延したものは、Ｒａが０．６５μｍであるが、Ｒｋｕは６．５と高い値を示しており、エッチング性及びエッチング後の焼鈍時における密着防止効果において卓越したものであることが確認された。
　【００２０】
　【表３】
　【００２１】本発明におけるロールのショットブラストによる一例についての転動回数とロール粗さとの関係を図１に示す。試験に用いたロール径は１２０ｍｍであり材質はＳＫＤ相当である。同図は、転動回数とロール間のヘルツ応力がロール粗さに与える影響を示したものであり、以下に示すことが判明した。
　【００２２】第一にヘルツ応力が１００ｋｇ／ｍｍ２では１０００回転でロール磨耗が安定する。すなわち、ロールの大きく滑らかな凸部が充分除去され、かつ、凸部どうしのロールにより鋭利な凹凸が安定して発生するために、圧延材のＲｋｕを向上させる。第二にヘルツ応力３０ｋｇ／ｍｍ２ではロール磨耗が進行しない。第三にヘルツ応力５０ｋｇ／ｍｍ２では１２００回程度で収束する。
　【００２３】次に、表４にロールのショットブラストダル加工の条件と転動後ロール粗さ及び転動回数と圧延後の板粗さとを示した。Ｎｏ．１と２は比較例であり、Ｎｏ．３から７に本発明の条件によるものを示している。なお、転動時のロール間ヘルツ応力は１００ｋｇ／ｍｍ２である。
　【００２４】
　【表４】
　【００２５】また、上記表４のものの圧延スケジュールを次の表５に示す。
　【００２６】
　【表５】
　【００２７】
　【発明の効果】以上説明したように、本発明によるときは、シャドウマスクの鋼板表面粗さを０．３μｍ≦Ｒａ≦０．８μｍとし、かつ３．０≦Ｒｋｕ≦７．０としてエッチング焼鈍時における密着焼き付きを適切に防止できる。また、このような特性をもったシャドウマスク用薄板を容易にかつ的確に製造することができ、結果として品質的に好ましいシャドウマスクが低廉に得られる。さらに、歩留りの向上を図ることができ、しかも、ロールに対する転動処理が頗る容易で、これらの点からも有利にシャドウマスクを得ることができる等の効果があり、工業的に大きな効果を得ることができる発明である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明におけるロールのショットブラストによる一例についての転動回数とロール粗さとの関係を示す。