【事件の表示】
　特許第３１０３６４６号「アルミナ質ベルジヤ−」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１０３６４６号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３１０３６４６号発明は、平成４年１月３１日に特許出願され、平成１２年８月２５日にその特許の設定登録がなされ、その後、京セラ株式会社（以下、「申立人」という。）により平成１３年４月２７日特許異議の申立てがなされたものである。
　
２．特許異議申立てについて
（１）本件発明
本件特許３１０３６４６号の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】アルミナが９９．９％以上、ＳｉＯ２ が１００ｐｐｍ未満、アルカリ金属酸化物が５０ｐｐｍ 以下の多結晶アルミナ質焼結体で、比重が３．９６以上、平均結晶粒径が１０μｍ 以上、１〜１０ＧＨｚ のマイクロ波で誘電体損失ｔａｎδが８×１０−４ 以下であることを特徴とするアルミナ質ベルジヤー。」
　　
（２）申立ての理由の概要
　申立人は、
（２ー１）甲第１号証として特開平１−２１３９１０号公報を、甲第２号証として「エレクトロニクス」昭和６０年２月号Ｐ．４３−４９を、甲第３号証として特開平３−６２５１７号公報をそれぞれ提示して、本件発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、また、
（２ー２）本件特許明細書は、記載に不備があり、特許法第３６条の規定により特許を受けることができないものである。
　旨主張している。
　
（３）甲各号証の記載について
（ａ）甲第１号証である特開平１−２１３９１０号公報には、「アルミナ磁器組成物」に関する発明が開示されており、
（ａー１）その特許請求の範囲には、「不純物の含有量が元素基準のｐｐｍ単位でＳｉ８０以下、Ｍｇ６０以下でＳｉ／Ｍｇが１〜５、かつ他の金属、アルカリ成分等が一元素６０以下、総量７０以下であることを特徴とするｔａｎδが１０−６レベルで１０以下の高低波低損失性のアルミナ磁器組成物。」が記載され、
（ａー２）第１頁左下欄１３行〜１７行の産業上の利用分野には、
「本発明は通信機用のＭＩＣ基板、ＭＩＣパッケージ、マイクロ波コンデンサ、更には高エネルギー粒子加速装置のマイクロ波透過窓等に適した高周波低損失性のアルミナ磁器組成物に関する」と記載され、
（ａー３）第２頁左上欄８行の実施例には、
「純度９９．９９９％と称される市販のＡｌ２Ｏ３」と記載されている。
（ａー４）第２頁の第１表の試料Ｎｏ．８には、Ｓｉが３ｐｐｍ、Ｍｇが３ｐｐｍ、Ｎａが２ｐｐｍ、Ｋが１ｐｐｍ未満で、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎの合計が１０ｐｐｍ未満で、さらに、比重が３．９４の例が記載されている。
　
（ｂ）甲第２号証であるファインセラミクスには、「透光性多結晶アルミナセラミクス」に関する発明が開示されており、
（ｂー１）第４４頁左欄の第１表には、透光性多結晶アルミナの特性として、
（イ）Ａｌ２Ｏ３の含有率が、９９．９％であること
（ロ）焼結体密度（ｇ／ｃｍ３）が、３．９８であること
（ハ）誘電体損失が１０ＧＨｚで３×１０−５であること
と記載され、
（ｂー２）第４４頁左欄９〜右欄１行には、
「（透光性多結晶アルミナ）焼結体の強度は結晶粒径が大きくなるにつれ低下するため、通常２０〜５０μｍに制御されている。」と記載され、　
（ｂー３）第４８頁右欄２６行〜第４９頁左欄１０行には、
「また、透光性多結晶アルミナは…中略…高温炉の窓、ルツボ等にも応用されている。…中略…今後、高圧ナトリウムランプ用発光管だけでなく…中略…透光性多結晶アルミナの光学、電気、機械、および化学的に優れた特性を活かし、エレクトロニクス用材料等の分野への用途展開がなされることを期待して止まない。
」と記載されている。
　
（ｃ）甲第３号証である特開平３−６２５１７号公報には、「マイクロ波プラズマ処理装置」に関する発明が開示されており、
（ｃー１）第３頁左上欄１４行〜右上欄８行には、実施例１として、
「第１図は本発明の一実施例の断面図である。…中略…またこのプラズマ発生室１には、プラズマを生成するためのガスを導入するガス導入系７を備えるとともに、石英ガラス、セラミックス等の絶縁物からなる導入窓４が設けられている。」と記載され、
（ｃー２）第３頁左下欄２行〜７行には、実施例２として、
「第２図は、…中略…電子サイクロトロン共鳴によってプラズマを生成するプラズマ発生室１内は、…中略…石英ベルジャー１３の全面からマイクロ波を導入するものである。」と記載されている。
　
３．当審の判断
（１）特許法第２９条第２項について
　本件発明と甲第１号証に記載された発明とを対比する。
　まず、甲第１号証には、上記（３）の（ａー１）〜（ａー４）を総合すれば、
　高エネルギー粒子加速装置のマイクロ波透過窓等に適した高周波低損失性のアルミナ磁器組成物に関するものであり、純度９９．９９９％と称される市販のＡｌ２Ｏ３であって、不純物の含有量として、Ｓｉが３ｐｐｍ、Ｍｇが３ｐｐｍ、Ｎａが２ｐｐｍ、Ｋが１ｐｐｍ未満で、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎの合計が１０ｐｐｍ未満のアルミナ磁器組成物の発明が記載されているから、本件発明と甲第１号証記載の発明とは、「アルミナが９９．９％以上、ＳｉＯ２１００ｐｐｍ未満、アルカリ金属酸化物が５０ｐｐｍで、１〜１０ＧＨｚのマイクロ波で誘電体損失ｔａｎδが８×１０−４ 以下である多結晶アルミナ質焼結体」で一致するが、本件発明は「比重が３．９６以上、平均結晶粒径が１０μｍ 以上のアルミナ質ベルジヤー」であるのに対し、甲第１号証にはこれが記載されていない点（以下、「相違点」という。）で両者は相違する。
　そこで検討すると、甲第２号証には、上記、（３）の（ｂー１）〜（ｂー３）からみて、透光性多結晶アルミナセラミクスについて、比重が、３．９６であり、結晶粒径は２０〜５０μｍに制御されていると記載されており、甲第２号証の透光性多結晶アルミナの比重、結晶粒径は、本件発明のそれと一致する。しかしながら、甲第２号証記載の透光性多結晶アルミナが高温炉の窓として使用されること、甲第３号証には石英ベルジャーが記載されているものの、甲第２、３号証の記載によって、透光性多結晶アルミナをベルジヤーの材料として適用しうるとの示唆があるとは認められない。
　すなわち、本件特許明細書（特に段落番号【００１６】、【００１７】参照）の記載によれば、本件発明は、アルミナ質ベルジヤーとして必要とされる特性を確保するために、例えば、気孔の存在による腐食の進行、不純物の蓄積を防止し、粒界を少なくして腐食の進行を防止しつつ強度の低下をさけるために、比重を３．９６以上、かつ、平均粒径を１０μｍ以上と定めているのに対して、甲第２号証には、アルミナ質ベルジヤーに要求される特性についての開示がないばかりか、甲第２号証に記載された透光性多結晶アルミナがかかる特性を満足するか否かについて明らかにされるところもない。
　そうであれば、甲第２、３号証の記載によって、甲第１号証に記載のものをベルジヤーの材料として適用することが容易であるとすることはできない。
　よって、上記相違点は、甲第２、３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に想到しえたとすることはできない。
　そして、本件発明は、上記相違点をその構成要件として有することにより、「フッ化物ガスに対し優れた耐食性を有し、しかもマイクロ波の透過性にも優れ熱ショックによる破損も回避されるため長時間にわたっての使用が可能となるため、エッチングコストを安価に出来、ウェハーの汚染も回避できる」（本件特許明細書段落【００３１】参照）という、甲第１〜３号証に記載も示唆もない作用効果を奏するものである。
　よって、本件発明は、甲第１〜３号証に記載のものから容易に発明をすることができたものであるとは認められない。
　
（２）特許法第３６条について
　申立人は、明細書に記載不備があるとする具体的理由として次の点をあげている。
（２ー１）焼結体の成分について「アルミナが９９．９％以上、ＳｉＯ２ が１００ｐｐｍ未満、アルカリ金属酸化物が５０ｐｐｍ 以下」としているが、重量比か、モル比か、体積比か不明である。
（２ー２）ベルジヤーの定義が以下の点で不明である。即ち、
（２ー２ー１）本件特許明細書の記載では、例えば段落番号【０００１】では「シリコンウェハーのプラズマエッチングに使用する釣鐘状の囲器であるベルジヤー」と記載されているが、本件特許発明におけるベルジヤーとは、この釣鐘状体の全てを高純度アルミナ質焼結体で形成することを指すのか、その一部だけを高純度アルミナ質焼結体で形成したものも含むのか不明である。
（２ー２ー２）また段落番号【００２２】及び図１には釣鐘状のベルジヤー７の上部に、ベルジヤー７とは別にガス導入管１が一体的に形成された例が示されており、この両方を高純度アルミナ質焼結体で形成しているが、この実施例ではガス導入管１にマイクロ波が透過することから、本件特許発明の効果を達成するためにはガス導入管１も高純度アルミナ質焼結体で形成することが必須であるにもかかわらず、請求項ではガス導入管について述べられていない。
　そこで検討する。
（２ー１）について
　一般に高純度の無機物に対して、％で表現される主成分、および、ｐｐｍ単位で表現される許容不純物について、重量比か、モル比か、体積比かをあえて明示しないで表現することも通常行われていることであるから、前記表現によって、当業者が容易に実施しうる程度に記載されていないとすることはできない。
（２ー２ー１）について
　本件明細書の段落【００１１】に記載された【発明が解決しようとする課題】を勘案すれば、釣鐘状体の全てを高純度アルミナ質焼結体とすることは自明である。
（２ー２ー２）について
　実施例１（段落【００２２】、【００２３】および図１）には、確かにベルジヤー７、ガス導入管１の両方を高純度アルミナ質焼結体で形成することが記載されているが、本件発明はベルジヤーに関するものであり、そして、ベルジヤーに関する必須の構成は請求項１に明確に記載されている。したがって、請求項１にガス導入管について記載することが必須であるとは認められず、また、ガス導入管に関する事項を必須の構成要件としなくても本件特許発明の効果を達成しうるものと認められる。
　
　したがって、申立人の指摘点（２ー１）の焼結体成分も、（２ー２ー１）および（２ー２ー２）のベルジヤーの定義も不明りょうであるとはいえない。
　よって、本件特許明細書の記載が、特許法第３６条の規定に違反するものとは認められない。
　
４．むすび
　前記のとおりであるから、本件発明の特許は、特許異議の申し立ての理由および証拠方法によっては取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１２月２８日（２００１．１２．２８）