(57)【要約】  可撓性シートを一定の形状に保持しつつ膨張させる。  可撓性シート（１）の背後に形成される第一空間（Ｓ１）に、該可撓性シート（１）へ向け気体を供給する気体供給手段（３）と、これら可撓性シート（１）及び気体供給手段（３）の間に該可撓性シート（１）の全面を覆うように配置される通気部材（４）とを備え、この通気部材（４）には、気体供給手段（３）からの気体を分配して通す圧力分配手段（４ａ）を設けることにより、気体供給手段（３）で通気部材（４）へ向けて供給される気体に部分的な偏りがあったとしても、この気体供給手段（３）からの気体が通気部材（４）の圧力分配手段（４ａ）を通過する間に、予め設定された比率に分配され、その通過比率に基づいた圧力が可撓性シート（１）の各箇所に作用して膨張変形する。
2010082357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性材料からなる可撓性シート（１）と平滑部材（２）を平行に設け、この可撓性シート（１）を挟んで形成される二つの空間（Ｓ１，Ｓ２）の気圧差により、これら可撓性シート（１）と平滑部材（２）の間に配置された二枚の板状ワーク（Ａ，Ｂ）を加圧して真空状に貼り合わせる真空貼り合わせ装置において、
前記可撓性シート（１）の背後に形成される第一空間（Ｓ１）に、該可撓性シート（１）へ向け気体を供給する気体供給手段（３）と、これら可撓性シート（１）及び気体供給手段（３）の間に該可撓性シート（１）の全面を覆うように配置される通気部材（４）とを備え、この通気部材（４）には、前記気体供給手段（３）からの気体を分配して通す圧力分配手段（４ａ）を設けたことを特徴とする真空貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記圧力分配手段（４ａ）として、前記可撓性シート（１）のシート中央部（１ａ）と対向する通気部材（４）の中央部（４ｂ）から、前記可撓性シート（１）のシート周辺部（１ｂ）と対向する該通気部材（４）の周辺部（４ｃ）に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿した請求項１記載の真空貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記圧力分配手段（４ａ）の貫通孔を、前記通気部材（４）の中央部（４ａ）を中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置した請求項２記載の真空貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）やフレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス製基板、又はそれらの表面に接着される偏光板などからなる二枚の板状ワークを、真空ラミネート法により、これら両板状ワーク間への気泡の混入を抑制しながら貼り合わせる真空貼り合わせ装置に関する。
詳しくは、弾性材料からなる可撓性シートと平滑部材を平行に設け、この可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、これら可撓性シートと平滑部材の間に配置された二枚の板状ワークを加圧して真空状に貼り合わせる真空貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の真空貼り合わせ装置及び真空貼り合わせ方法としては、ガラス定盤の上部に配置されるＬＣＤセルの上部ガラス基板を上方から圧縮空気で下部ガラス基板へ向け圧迫する弾性マットと、弾性マットを支持する筒型のクランプと弾性マットとガラス定盤で密閉空間を形成するためのＯリングと、密閉空間を真空排気するための真空源と、両ガラス基板間のシール剤を硬化させるＵＶランプ又は熱源を備え、上記真空源から密閉空間の真空排気を行うとともに、上記弾性マットの背後に形成される別の密閉空間に圧縮流体供給手段から圧縮空気を送って、この弾性マットの背圧がガラス基板の周囲気圧に比べ僅かでも高くなることにより、該弾性マットが膨張変形して上部ガラス基板を下部ガラス基板へ向け面状に加圧し、これら両ガラス基板間のシール剤を上記ＵＶランプ又は熱源で硬化させるものがある（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３０８３号公報（第２−３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし乍ら、このような従来の真空貼り合わせ装置では、弾性マットで仕切られる密閉空間に圧縮流体供給手段から圧縮空気を直接送って弾性マットの背圧を上昇させるが、この圧縮流体供給手段から弾性マットの各箇所へ向けて送られる圧縮空気は、該圧縮流体供給手段の配設位置やその勢いなどが変化すると、弾性マットの各箇所に当たる圧縮空気量が部分的に偏り易く、僅かでも部分的な偏りが発生すると、弾性マットの全体が歪んで膨張し、部分的に凹凸が発生するおそれがあった。
このように弾性マットの膨張形状に部分的な凹凸が発生すると、ガラス基板への面圧にも偏りが起きて、貼り合わせた両ガラス基板にバラツキが生じるという問題があった。
また、液晶ディスプレイ用ガラス基板の貼り合わせに代えて、例えば真空熱ラミネート装置や有機発光ディスプレイのように二枚の基板を樹脂材料を介して貼り合わせる場合には、上述したような弾性マットの膨張形状に部分的な凹凸が発生すると、貼り合わせ工程で両基板の間に混入した空気が残存し易いという問題もあった。【０００５】
本発明は、可撓性シートを一定の形状に保持しつつ膨張させることを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明は、可撓性シートの背後に形成される第一空間に、該可撓性シートへ向け気体を供給する気体供給手段と、これら可撓性シート及び気体供給手段の間に該可撓性シートの全面を覆うように配置される通気部材とを備え、この通気部材には、前記気体供給手段からの気体を分配して通す圧力分配手段を設けたことを特徴とするものである。
前述した特徴に加えて、前記圧力分配手段として、前記可撓性シートのシート中央部と対向する通気部材の中央部から、前記可撓性シートのシート周辺部と対向する該通気部材の周辺部に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿したことを特徴とする。
さらに前述した特徴に加えて、前記圧力分配手段の貫通孔を、通気部材の中央部を中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
前述した特徴を有する本発明は、可撓性シートの背後に形成される第一空間に、該可撓性シートへ向け気体を供給する気体供給手段と、これら可撓性シート及び気体供給手段の間に該可撓性シートの全面を覆うように配置される通気部材とを備え、この通気部材には、前記気体供給手段からの気体を分配して通す圧力分配手段を設けることにより、気体供給手段で通気部材へ向けて供給される気体に部分的な偏りがあったとしても、この気体供給手段からの気体が通気部材の圧力分配手段を通過する間に、予め設定された比率に分配され、その通過比率に基づいた圧力が可撓性シートの各箇所に作用して膨張変形する。
したがって、可撓性シートを一定の形状に保持しつつ膨張させることができる。
その結果、弾性マットで仕切られる密閉空間に圧縮流体供給手段から圧縮空気を直接送って弾性マットの背圧を上昇させる従来のものに比べ、可撓性シートの膨張形状に部分的な凹凸が発生しないため、板状ワークへの面圧を一定に操作することができ、それにより、貼り合わせた両板状ワークにバラツキなく均一化できる。【０００８】
また、圧力分配手段として、可撓性シートのシート中央部と対向する通気部材の中央部から、可撓性シートのシート周辺部と対向する該通気部材の周辺部に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿した場合には、通気部材の貫通孔から可撓性シートに対する押圧力がそのシート中央部からシート周辺部に向かって順次減少し、先ずシート中央部が板状ワークに当接して押圧し、そこからシート周辺部に向かって順次当接して押圧する。
したがって、簡単な構造で両板状ワークの気泡を周辺に向かって押し出すことができる。
その結果、弾性マットの膨張形状に発生した部分的な凹凸により貼り合わせ工程で両基板の間に混入した空気が残存し易い従来のものに比べ、気泡の残存を除去できて格段に品質が向上する。【０００９】
また、圧力分配手段の貫通孔を、通気部材の中央部を中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置した場合には、可撓性シートが略球面状に膨張変形する。
したがって、気泡を中心から周辺へ向けて確実に追い出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の真空貼り合わせ装置の一実施例を示す縦断正面図であり、（ａ）が加圧前の状態を示し、（ｂ）が加圧時の状態を示している。
【図２】図１（ａ）の（２）−（２）線に沿える拡大横断平面図である。
【図３】本発明の真空貼り合わせ装置の他の実施例を示す縦断正面図であり、（ａ）が加圧前の状態を示し、（ｂ）が加圧時の状態を示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の真空貼り合わせ装置の実施形態は、図１〜図３に示す如く、可撓性シート１と平滑部材２をそれらの対向面が平滑で平行に配置されるように設け、これら可撓性シート１と平滑部材２の間に、例えば搬送ロボットなどのワーク搬送手段（図示しない）で外部から搬入された二枚の板状ワークＡ，Ｂを、該可撓性シート１を挟んで形成される二つの第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２の気圧差により加圧して真空状に貼り合わせ、この貼り合わされた両板状ワークＡ，Ｂを、ワーク搬送手段で可撓性シート１と平滑部材２の間から外部へ搬出している。【００１２】
そして、可撓性シート１の背後に形成される第一空間Ｓ１には、該可撓性シート１へ向け気体を供給する気体供給手段３と、これら可撓性シート１及び気体供給手段３の間に該可撓性シート１の全面を覆うように配置される通気部材４とを備え、この通気部材４には、気体供給手段３からの気体を分配して通す圧力分配手段４ａを設け、この気体供給手段３からの気体が該通気部材４の圧力分配手段４ａを通過することにより、予め設定された比率に分配され、その通過比率に基づいた圧力が可撓性シート１の各箇所に作用して所定の形状に膨張変形するようにしている。【００１３】
可撓性シート１は、例えばフッ素ゴムやシリコンゴムなどの耐熱性に優れた弾性材料でシート状に形成される。
平滑部材２は、剛性材料で平板状に形成されるか又は弾性材料でシート状に形成される。【００１４】
これら可撓性シート１及び平滑部材２は、開閉可能な室内に組み付けられて、可撓性シート１の背後に形成される第一空間Ｓ１の内圧と、それと逆の平滑部材２が配置される第二空間Ｓ２の内圧を夫々調整自在にしている。【００１５】
その具体例としては、開閉可能な室が、互い接近又は離隔される方向へ開閉移動自在に設けられる一対のチャンバ５ａ，５ｂであり、その一方のチャンバ５ａの開口を覆うように可撓性シート１が配置され、他方のチャンバ５ｂの内部に平滑部材１を配置するとともに、これらチャンバ５ａ，５ｂの開口縁の間には、例えばＯリングなどの環状シール部５ｃを設け、その閉動時において、可撓性シート１と他方のチャンバ５ｂで囲まれる領域を第二空間Ｓ２とすることが好ましい。【００１６】
さらに、これら第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２には、チャンバ５ａ，５ｂの外部と連通する通気路５ｄ，５ｅを開設し、この通気路５ｄ，５ｅを通って、第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２の内部から空気などの気体をチャンバ５ａ，５ｂの外部へ吸気することにより所定の真空状態にし、またチャンバ５ａ，５ｂの外部から各空間Ｓ１，Ｓ２へ給気することにより、第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２の内圧を周囲気圧（大気圧）と同じ状態に戻すなど、夫々調整可能にしている。
特に、第一空間Ｓ１に開設される通気路５ｄを通って、チャンバ５ａの外部から圧縮空気など気体を供給する機構として、気体供給手段３が設けられる。【００１７】
この気体供給手段３の駆動源（図示しない）には、後述する制御手段（図示しない）が電気的に接続され、この制御手段に基づいて作動制御することにより、チャンバ５ａ，５ｂが閉動した後に、このチャンバ５ａの外部から通気路５ｄを通って第一空間Ｓ１へ圧縮空気など気体を供給するようになっている。【００１８】
また、通気部材４には、圧力分配手段４ａとして複数の貫通孔を開穿することが好ましい。
これら複数の貫通孔は、可撓性シート１のシート中央部１ａと対向する該通気部材４の中央部４ｂから、可撓性シート１のシート周辺部１ｂと対向する該通気部材４の周辺部４ｃに向かって開口面積が徐々に小さくなるようにするとともに、通気部材４の中央部４ｂを中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置することが好ましい。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１９】
この実施例１は、図１（ａ）〜（ｂ）及び図２に示す如く、上方に配置される前記チャンバ５ａの開口を覆うように前記可撓性シート１が配置され、下方に配置される前記チャンバ５ｂの内部に、前記平滑部材２として剛性材料からなる定盤を配置し、これら上下チャンバ５ａ，５ｂの開放時に、前記板状ワークＡ，Ｂとして、前もって位置合せし且つ仮止めされた二枚１組のガラス基板などを搬入することで、これら両者を加圧しつつ、両者間に介在されたシール材Ｃを加熱して硬化させる真空ラミネート装置である場合を示すものである。【００２０】
可撓性シート１自体又は該可撓性シート１の背後に設けられる前記通気部材４には、発熱体６が備えられ、平滑部材２の定盤にも発熱体７が配設され、板状ワークＡ，Ｂの搬入後に上下チャンバ５ａ，５ｂを閉塞し、可撓性シート１の背後に形成される前記第一空間Ｓ１の内圧を、搬入した二枚の板状ワークＡ，Ｂが載置される前記第二空間Ｓ２の内圧よりも高くするのと略同時に該発熱体６，７を発熱させて、可撓性シート１と定盤２の上方の平滑面２ａとが、シール材Ｃの硬化温度まで温度上昇するようにしている。【００２１】
図示例では、図２に示す如く、可撓性シート１が矩形状に形成され、その外周には、例えば金属などで額縁状に形成された枠体１ｃが一体的に固着され、この枠体１ｃを上チャンバ５ａの開口縁に連結することで、該可撓性シート１全体が張架され、この枠体１ｃの下面と対向する下チャンバ５ａ，５ｂの開口縁には、例えばＯリングなどの環状シール部５ｃを配置している。【００２２】
その他の例として図示しないが、枠体１ｃを設けずに弾性材料からなる可撓性シート２の外周縁を、上チャンバ５ａの開口縁に連結したり、環状シール部５ｃを上チャンバ５ａの開口縁に対して脱落不能に配置することも可能である。【００２３】
さらに、通気部材４に前記圧力分配手段４ａとして口径が異なる円形の貫通孔を、適宜間隔ごとに開穿し、この通気部材４の中央部４ｂに最も口径が大きい貫通孔を配置し、それから周辺部４ｃに向かって口径が徐々に小さくするとともに、該通気部材４の中央部４ｂを中心として、夫々の口径が同心円状に小さくなるように配置している。【００２４】
その他の例として図示しないが、圧力分配手段４ａ貫通孔を例えば矩形や多角形や楕円形など他の形状にしたり、各貫通孔の開口面積を大きく変えずに、これら貫通孔の開口位置の密度が、該通気部材４の中央部４ｂから周辺部４ｃに向かって徐々に低くなるように配置することにより、これら貫通孔の開口面積の合計が通気部材４の中央部４ｂから周辺部４ｃに向かって徐々に小さくなるようにすることも可能である。【００２５】
次に、斯かる真空貼り合わせ装置を用いた真空貼り合わせ方法について工程順に従って説明する。
先ず、図１（ａ）の二点鎖線に示す如く、上下チャンバ５ａ，５ｂが上下方向へ離隔移動した開放時に、その外部からワーク搬送手段により、前工程で正確に位置合わせされて仮止めされた二枚の板状ワークＡ，Ｂが、可撓性シート１と平滑部材２の定盤の間の所定位置に搬入される。【００２６】
この状態で、既に可撓性シート１の背後に形成される第一空間Ｓ１から通気路５ｄを通って吸引が開始され、それにより、可撓性シート１の上面（裏面）を通気部材４の下面に密接させて該可撓性シート１が重力によって垂れ下がらないようにしている。【００２７】
これら板状ワークＡ，Ｂの搬入工程が完了した後は、図１（ａ）の実線に示す如く、上下チャンバ５ａ，５ｂの接近移動が開始され、上下チャンバ５ａ，５ｂが環状シール部５ｃを介して閉塞される。
この閉鎖後又は直前頃より板状ワークＡ，Ｂが載置される第二空間Ｓ２から通気路５ｅを通って吸引が開始され、所定の真空度にする。【００２８】
その後、図１（ｂ）に示す如く、気体供給手段３の作動により通気路５ｄを通って第一空間Ｓ１へ圧縮空気など気体が供給され、その内圧が上昇して第二空間Ｓ２との間に気圧差が発生するとともに、この気体が通気部材４の圧力分配手段４ａに相当する複数の貫通孔を通って可撓性シート１の上面（裏面）に流れ込む。【００２９】
この際、圧力分配手段４ａの複数の貫通孔は、通気部材４の中央部４ｂから周辺部４ｃに向かって開口面積が徐々に小さくなるように配置されるため、気体供給手段３で通気部材４へ向けて供給される気体に部分的な偏りがあったとしても、この気体供給手段３からの気体が通気部材４の圧力分配手段４ａの各貫通孔を通過する間に、予め設定された比率に分配され、その通過比率に基づいた圧力が可撓性シート１の各箇所に作用して膨張変形する。
それにより、可撓性シート１が一定の形状に保持されつつ膨張する。【００３０】
図示例では、図２に示す如く、圧力分配手段４ａの貫通孔を、通気部材４の中央部４ｂを中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置しているため、図１（ｂ）の実線に示す如く、可撓性シート１が略球面状に膨張変形し、先ず可撓性シート１のシート中央部１ａが上方の板状ワークＡの中心部に当接して押圧し、そこから図１（ｂ）の二点鎖線に示す如く、シート周辺部１ｂに向かって順次当接して押圧する。【００３１】
それにより、板状ワークＡ，Ｂの間に気泡が混入していたとしても、この気泡を該ワーク中心部から周辺部へ向けて押し出し、弾性変形可能な可撓性シート１の全体が板状ワークＡ，Ｂを挟んで平滑部材２の上方の平滑面２ａへ向け押圧され、該平滑面２ａに沿って板状ワークＡ，Ｂを均一に加圧する。
この時点で、可撓性シート１自体又は通気部材４に配設される発熱体６と、平滑部材２の定盤に備えられた発熱体７が加熱され、板状ワークＡ，Ｂの間に介在されたシール材Ｃを加熱して硬化させる。
それにより、板状ワークＡ，Ｂが真空状に貼り合わされて、両者間の気泡の残存を除去できる。【００３２】
このような貼り合わせ工程が完了した後は、第二空間Ｓ２が大気開放され、第一空間Ｓ１から吸引して可撓性シート１の膨張変形を解除しつつ、上下チャンバ５ａ，５ｂの離隔移動が開始され、ワーク搬送手段により、貼り合わせが完了した板状ワークＡ，Ｂを外部へ搬出する。
それ以降は上述した作動が繰り返される。
【実施例２】
【００３３】
この実施例２は、図３（ａ）（ｂ）に示す如く、本発明の真空貼り合わせ装置が前記真空ラミネート装置に代えて、前記可撓性シート１と前記平滑部材２の定盤とに、前記ワーク搬送手段で搬入される二枚の板状ワークＡ，Ｂを夫々着脱自在に保持するワーク保持手段（図示しない）を設け、これらに保持された板状ワークＡ，Ｂを相互に位置合わせし、両者間を所定のギャップまで潰して貼り合わせる液晶ディスプレイなどの真空基板貼り合わせ装置である構成が、前記図１〜図２に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１〜図２に示した実施例１と同じものである。【００３４】
ワーク保持手段としては、静電チャックや吸引チャックや粘着チャック又はそれらの組み合わせなどが用いられる。【００３５】
また、図示例では、上下チャンバ５ａ，５ｂのどちらか一方又は両方を水平（ＸＹθ）方向へ移動自在に配置し、可撓性シートに上方の板状ワークＡを保持し、平滑部材２の上方の平滑面２ａ上に下方の板状ワークＢを保持した後、その周囲の第二空間Ｓ２が所定の真空度に達してから、上下チャンバ５ａ，５ｂを相対的にＸＹθ方向へ調整移動させることにより、両板状ワークＡ，Ｂ同士の位置合わせとして粗合わせと微合わせが順次行われる。【００３６】
その後、上述したように第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２の気圧差により、可撓性シート１を所定の形状に膨張変形させて、上方の板状ワークＡが真空中でシール材Ｃを介して下方の板状ワークＢ上に重ね合わされ、その後、これらが収容される第二空間Ｓ２を大気開放することにより、両板状ワークＡ，Ｂの内外に生じる気圧差で両板状ワークＡ，Ｂの間を所定のギャップまで加圧し、この加圧状態でシール材Ｃを硬化させて接着している。【００３７】
それにより、図３（ａ）（ｂ）に示す実施例２は、上述した実施例１と同様な作用効果が得られる。【００３８】
なお、前示実施例では、本発明の真空貼り合わせ装置及び真空貼り合わせ方法として真空ラミネート装置や液晶ディスプレイなどの真空基板貼り合わせ装置の場合を説明したが、これに限定されず、搬入された二枚の板状ワークＡ，Ｂが可撓性シート１を用いて真空状に貼り合わされるものであれば、他の装置であっても良い。
【符号の説明】
【００３９】
Ａ，Ｂ  板状ワーク                  Ｃ  シール材
Ｓ１，Ｓ２  空間                    １  可撓性シート
１ａ  シート中央部                  １ｂ  シート周辺部
１ｃ  枠体                          ２  平滑部材（定盤）
２ａ  平滑面                        ３  気体供給手段
４  通気部材                        ４ａ  圧力分配手段
４ｂ  中央部                        ４ｃ  周辺部
５ａ，５ｂ  チャンバ                ５ｃ  環状シール部
５ｄ，５ｅ  通気路                  ６，７  発熱体
【図１】
2010082357.tif 000003
【図２】
2010082357.tif 000004
【図３】
2010082357.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成21年3月31日(2009.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（削除）
【請求項２】
弾性材料からなる可撓性シート（１）と平滑部材（２）を平行に設け、この可撓性シート（１）を挟んで形成される二つの空間（Ｓ１，Ｓ２）の気圧差により、これら可撓性シート（１）と平滑部材（２）の間に配置された二枚の板状ワーク（Ａ，Ｂ）を加圧して真空状に貼り合わせる真空貼り合わせ装置において、
前記可撓性シート（１）の背後に形成される第一空間（Ｓ１）に、該可撓性シート（１）へ向け気体を供給する気体供給手段（３）と、これら可撓性シート（１）及び気体供給手段（３）の間に該可撓性シート（１）の全面を覆うように配置される通気部材（４）とを備え、この通気部材（４）には、前記気体供給手段（３）からの気体を分配して通す圧力分配手段（４ａ）を設け、前記圧力分配手段（４ａ）として、前記可撓性シート（１）のシート中央部（１ａ）と対向する通気部材（４）の中央部（４ｂ）から、前記可撓性シート（１）のシート周辺部（１ｂ）と対向する該通気部材（４）の周辺部（４ｃ）に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿したことを特徴とする真空貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記圧力分配手段（４ａ）の貫通孔を、前記通気部材（４）の中央部（４ａ）を中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置した請求項１記載の真空貼り合わせ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月22日(2009.7.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性材料からなる可撓性シート(１)と平滑部材(２)を平行に設け、この可撓性シート(１)を挟んで形成される二つの空間(Ｓ１，Ｓ２)の気圧差により、これら可撓性シート(１)と平滑部材(２)の間に配置された二枚の板状ワーク(Ａ，Ｂ)を加圧して真空状に貼り合わせる真空貼り合わせ装置において、
前記可撓性シート(１)の背後に形成される第一空間(Ｓ１)に、該可撓性シート(１)へ向け気体を供給する気体供給手段(３)と、これら可撓性シート(１)及び気体供給手段(３)の間に該可撓性シート(１)の全面を覆うように配置される通気部材(４)とを備え、この通気部材(４)には、前記気体供給手段(３)からの気体を分配して通す圧力分配手段(４ａ)を設け、前記圧力分配手段(４ａ)として、前記可撓性シート(１)のシート中央部(１ａ)と対向する通気部材(４)の中央部(４ｂ)から、前記可撓性シート(１)のシート周辺部(１ｂ)と対向する該通気部材(４)の周辺部(４ｃ)に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿したことを特徴とする真空貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記圧力分配手段(４ａ)の貫通孔を、前記通気部材(４)の中央部(４ａ)を中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置した請求項１記載の真空貼り合わせ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明は、可撓性シートの背後に形成される第一空間に、該可撓性シートへ向け気体を供給する気体供給手段と、これら可撓性シート及び気体供給手段の間に該可撓性シートの全面を覆うように配置される通気部材とを備え、この通気部材には、前記気体供給手段からの気体を分配して通す圧力分配手段を設け、前記圧力分配手段として、前記可撓性シートのシート中央部と対向する通気部材の中央部から、前記可撓性シートのシート周辺部と対向する該通気部材の周辺部に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿したことを特徴とする。
さらに前述した特徴に加えて、前記圧力分配手段の貫通孔を、通気部材の中央部を中心として、夫々の開口面積が同心円状に小さくなるように配置したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、圧力分配手段として、可撓性シートのシート中央部と対向する通気部材の中央部から、可撓性シートのシート周辺部と対向する該通気部材の周辺部に向かって開口面積が徐々に小さくなるように複数の貫通孔を開穿したので、通気部材の貫通孔から可撓性シートに対する押圧力がそのシート中央部からシート周辺部に向かって順次減少し、先ずシート中央部が板状ワークに当接して押圧し、そこからシート周辺部に向かって順次当接して押圧する。
したがって、簡単な構造で両板状ワークの気泡を周辺に向かって押し出すことができる。
その結果、弾性マットの膨張形状に発生した部分的な凹凸により貼り合わせ工程で両基板の間に混入した空気が残存し易い従来のものに比べ、気泡の残存を除去できて格段に品質が向上する。
【国際調査報告】
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