(57)【要約】  ブラック及びカラーインクを吐出する複数の記録素子基板を備える液体吐出記録ヘッドにおいて、ブラックインクによる画像品位を落とすことなくカラーインクによる画像品位を向上させる。  液体を吐出する第１の吐出口を備える第１の記録素子基板と、前記第１の吐出口よりも大きい第２の吐出口を備える第２の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板と前記第２の記録素子基板とを面で支持する支持部材と、を備える液体吐出記録ヘッドであって、前記支持部材の面から前記第１の吐出口までの距離が、前記支持部材の面から前記第２の吐出口までの距離より長い。
2010150346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する第１の吐出口を備える第１の記録素子基板と、前記第１の吐出口よりも小さい第２の吐出口を備える第２の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板と前記第２の記録素子基板とを面で支持する支持部材と、を備える液体吐出記録ヘッドであって、
前記支持部材の面から前記第２の吐出口までの距離が、前記支持部材の面から前記第１の吐出口までの距離より長いことを特徴とする液体吐出記録ヘッド。
【請求項２】
被記録媒体に液体を吐出して記録を行う液体吐出記録ヘッドであって、前記第２の吐出口と前記被記録媒体との距離が、前記第１の吐出口と前記被記録媒体との距離より短いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項３】
前記第１の記録素子基板は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する第１のエネルギー発生素子を備える第１の基板と、前記第１の吐出口および流路を備える第１の流路形成部材とを含み、
前記第２の記録素子基板は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する第２のエネルギー発生素子を備える第２の基板と、前記第２の吐出口および流路を備える第２の流路形成部材とを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項４】
前記第２の基板の厚みは前記第１の基板の厚みより大きいことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項５】
前記第１の流路形成部材の厚みは前記第２の流路形成部材の厚みよりも大きいとを特徴とする請求項３または４に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項６】
前記支持部材における、前記第１の記録素子基板を支持する部分の厚みが、前記第２の記録素子基板を支持する部分の厚みより小さいことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項７】
前記第１の基板と前記第２の基板の厚みが同じであることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項８】
前記支持部材と前記第１の記録素子基板との間の接着材の厚みが前記支持部材と前記第２の記録素子基板との間の接着材の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出記録ヘッド。
【請求項９】
前記第１の吐出口からはブラックインクを吐出可能で、前記第２の吐出口からは前記ブラックインクよりも吐出量の小さいカラーインクを吐出可能であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の液体吐出記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出口から吐出して記録動作を行う液体吐出記録ヘッドに関する。特にはインクを吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドに関する。なお、本発明の液体吐出記録ヘッドは一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、更には、各種装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。なお、本発明において『記録』とは、単なるパターン等の画像を付与することも意味する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドとしては特許文献１の構成が知られている。特許文献１には高速記録と高品位記録とをともに達成し、しかも低コストや構成の小型化及び簡略化をはかるため、１枚のチッププレート（支持部材）上に吐出方式の異なる２つの記録素子基板を搭載する構成を開示する。このような形態を図６に示す。【０００３】
図６は従来技術における記録素子基板５、６及び支持部材３の模式的拡大断面図を示す。この図６は、図８の液体吐出記録ヘッドのＡ−Ａ‘断面の一部に相当する。この特許文献１において、２つの記録素子基板４、５に用いられるＳｉ基板１８、１９は同じ厚さであると記載されている。ブラックインクを吐出させる記録素子基板４における流路形成部材２０には、エネルギー発生素子２と吐出口１１との距離を長くすることで大液滴を吐出し、ベタ印字などが効率よく行えるノズル構造を有している。このノズル構造の吐出方式としては、記録素子を駆動することでインク中に気泡を発生させ、その気泡が消泡することでインクを吐出する方式を採用している。一方、カラーインクを吐出させる記録素子基板５は、エネルギー発生素子２と吐出口１１との距離をブラックに比べて短くすることで、ブラックインクに対して小量の液滴を吐出することで高精細な高品位記録が可能なノズル構造を有している。このノズル構造の吐出方式としては、記録素子を駆動することでインク中に気泡を発生させ、その気泡の内圧が負の状態で大気と連通しインクを吐出する方式を採用している。【０００４】
このように１つの支持部材に２つの記録素子基板を搭載する液体吐出記録ヘッドは、図７のように記録装置にセットして記録を行う場合、被記録媒体に向けてほぼ垂直方向にインクを吐出する。また、被記録媒体の表面に若干のうねりがあるため、液体吐出記録ヘッドの吐出口のある面と被記録媒体の表面とが干渉しないように、液体吐出記録ヘッドと被記録媒体との間に１．２ｍｍ程度のすき間を設けている。このすき間を紙間距離と呼ぶ。この紙間距離は、画像品位とコストとのバランスより最適な距離が設定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１５４２０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のヘッドにおいて、ブラックインクを吐出する記録素子基板４では、記録素子基板５に比べて大液滴を吐出させるため、エネルギー発生素子２と吐出口１１との距離が記録素子基板５に比べて長い。一方、カラーインクを吐出する記録素子基板５は、小液滴を吐出させるため、記録素子と吐出口との距離が短いノズル構造となる。従って、２つの記録素子基板に用いるＳｉ基板１８、１９の厚さがほぼ同等である場合は、ブラックインクを吐出する記録素子基板４より、カラーインクを吐出する記録素子基板５の方が、吐出口から被記録媒体までの距離（紙間距離）が相対的に長くなる。一般にこの紙間距離が大きくなればなるほど、吐出されるインクの被記録媒体への着弾精度は悪化する。従って、この紙間距離が大きいと、良好な吐出特性が得られるカラーの記録素子基板５を設計しても、その潜在的な能力を最大限に発揮できず、着弾精度が悪化する場合がある。この着弾精度の悪化は、カラーインク同士で形成する、所謂、２次色形成時の色ムラの原因の１つとなっている。この課題に対しての対策の１つとして、従来の製品では、記録ヘッドが被記録媒体上を走査する回数（パス数）を増やすことで、画像品位を向上させていた。しかし、近年、印字スピード向上の要求の高まりとともにパス数が減る傾向にある。と同時に高画質化の要求もあり、これまで以上にカラーインク等の小量の液滴の着弾精度の向上が重要になってきている。これは吐出される液体の量が小さくなるほど、被記録媒体への着弾精度、主滴に付随して発生するサテライト滴の影響が大きくなり、結果、画像品位への影響も大きくなる。
以上のような状況を鑑みて、本発明は、ブラック用ヘッドの画像品位を落とすことなく、相対的に少量の吐出を行うカラーヘッドの画像品位を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出記録ヘッドは、液体を吐出する第１の吐出口を備える第１の記録素子基板と、前記第１の吐出口よりも大きい第２の吐出口を備える第２の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板と前記第２の記録素子基板とを面で支持する支持部材と、を備える液体吐出記録ヘッドであって、前記支持部材の面から前記第１の吐出口までの距離が、前記支持部材の面から前記第２の吐出口までの距離より長いことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
上記本発明によれば、従来に比べてブラックヘッドによる画像品位を落とすことなく、相対的に少量の液滴を吐出するカラーヘッドの着弾精度を向上させ、画像品位を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る記録素子基板及び支持部材の拡大断面面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出記録ヘッドによる印字状態を示す模式図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る記録素子基板及び支持部材の拡大断面面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る液体吐出記録ヘッドによる印字状態を示す模式図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る記録素子基板及び支持部材の拡大断面面図である。
【図６】従来技術に係る記録素子基板及び支持部材の拡大断面面図である。
【図７】従来技術に係る液体吐出記録ヘッドによる印字状態を示す模式図である。
【図８】本発明の液体吐出記録ヘッドの形態を表す斜視図である。
【図９】本発明の記録素子ユニットの要部拡大分解斜視図である。
【図１０】第１の記録素子基板を示す模式的斜視図である。
【図１１】第２の記録素子基板を示す模式的斜視図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る記録素子基板及び支持部材の拡大断面面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図８は、液体吐出記録ヘッドの模式的な斜視図である。本実施形態の液体吐出記録ヘッドは、主に記録素子ユニット１６と液体供給ユニット１５から構成される。そして、記録素子ユニット１６が形成された面が被記録媒体に対面するように液体吐出記録ヘッドが記録装置にセットされる。記録素子ユニット１６の構成を図９に示す。図９において、支持部材３に第１の記録素子基板４及び第２の記録素子基板５を接着する。次に、第２の支持部材１０を支持部材３に接着し、第２の支持部材１０に電気配線テープ１２を貼りつけることによって、記録素子ユニット１６が形成される。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態における第１の記録素子基板４、第２の記録素子基板５及び支持部材３の模式的拡大断面図である。この図１は、図８の液体吐出記録ヘッドのＡ−Ａ‘断面の一部に相当する。まず、図１の構造から説明する。本実施形態において支持部材３は例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（ＡＬ２Ｏ３）材料で形成されている。本実施形態としては、７ｍｍの厚さのものを使用した。なお支持部材３の構成材料はアルミナに限られることなく、記録素子基板４及び５の材料の線膨張率とほぼ同等の線膨張を有し、かつ、記録素子基板４及び５の材料の熱伝導率とほぼ同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。支持部材３の材料は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素、モリブデン、タングステンでも良い。
【００１３】
次に、支持部材３には、ブラックインクを吐出可能な第１の記録素子基板４とカラーインクを吐出可能な第２の記録素子基板５とが形成されている。第１の記録素子基板４にはブラックインクを供給するための液体連通口６、第２の記録素子基板５にはシアン、マゼンダ、イエローのインクを供給するための液体連通口６が形成されている。そして、記録素子基板に貫通孔として形成される共通液体供給口１３が、液体連通口６にそれぞれ対応して設けられている。また、第１の記録素子基板４と第２の記録素子基板５はそれぞれ支持部材３に対して位置決めされた状態で接着材で固定されている。この接着材１７には、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、且つ耐インク性のあるものが望ましい。例えば、本実施形態では、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着材を使用し、この接着材の厚みは５０μｍ以下が望ましい。本実施形態としては２５μｍとした。
【００１４】
次に、第１の記録素子基板４の構成ついて図１０を用いて説明する。第１の記録素子基板４は、第１の基板１８と第１の流路形成部材２０とから構成される。第１の基板１８は、厚さＴ１＝０．５ｍｍ〜０．６２５ｍｍのＳｉ基板１８からなる。Ｓｉ基板の一面に、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（第１のエネルギー発生素子）２と、各エネルギー発生素子に電力を供給するＡｌ等の電気配線が形成されている。本実施形態では、エネルギー発生素子は電気熱変換体により構成される。また、Ｓｉ基板１８の厚さＴ１として０．６２５ｍｍのものを使用した。後述するが、このＳｉ基板１８の厚さが第２の記録素子基板５と異なり、相対的に５０μｍ以上薄いＳｉ基板１８を使用している事が本実施形態の特徴となる。そして、このエネルギー発生素子２に対応する複数のインク流路と複数の吐出口（第１の吐出口）１１とが、フォトリソグラフィ技術により形成されている。この第１の記録素子基板４では、ブラックインクを吐出させるが、大液滴でベタ印字が効率よく行えるようにエネルギー素子から吐出口１１まで距離は５０μｍ以上、１００μｍ以下にするのが望ましい。この距離をＺ１とする。本実施形態ではＺ１を距離を７５μｍとした。その際のインク吐出量は３０ｐｌとし、ドット径は８０μｍ、解像度は６００ｄｐｉとした。
【００１５】
さらに、Ｓｉ基板１８には、複数のインク流路にインクを供給するための共通液体供給口１３が反対側の面（裏面）に開口するように形成されている。
【００１６】
次に、第２の記録素子基板５の構成ついて図１１にて説明する。第２の記録素子基板５は、第２の基板１９と第２の流路形成部材２１とから構成される。第２の基板１９は、液体を吐出するための複数のエネルギー発生素子（第２のエネルギー発生素子）２と、各エネルギー発生素子に電力を供給するＡｌ等の電気配線が、成膜技術により形成される。Ｓｉ基板１９の厚さとしてはＴ２＝０．７１ｍｍ〜０．８ｍｍが望ましいが、本実施形態では、Ｓｉ基板１９の厚さＴ２として０．７２５ｍｍのものを使用した。後述するが、このＳｉ基板１９の厚さが第１の記録素子基板と異なり、相対的に５０μｍ以上厚いＳｉ基板を使用していることが本実施形態の特徴となる。そして、このエネルギー発生素子２に対応する複数のインク流路と複数の吐出口（第２の吐出口）１１とが、フォトリソグラフィ技術により形成されている。この第２の記録素子基板では、小液滴で高精細な高品位記録が可能にするため、第２の記録素子基板のエネルギー発生素子２から吐出口１１まで距離（Ｚ２）は１０μｍ以上、３０μｍ以下にするのが望ましい。本実施形態ではこのＺ２を２５μｍとした。その際のインク吐出量は各色共に５ｐｌと１ｐｌと設定した。５ｐｌのドット径は４０〜５０μｍ、１ｐｌのドット径は１０〜３０μｍ、解像度は、１２００ｄｐｉとした。
【００１７】
さらに、Ｓｉ基板１９には、複数のインク流路にインクを供給するための共通液体供給口１３が反対側の面（裏面）に開口するように形成されている。このインク供給口はシアン、マゼンダ、イエローの３色の吐出口ノズル列に対応して３本形成されている。以上が第２の記録素子基板の説明となる。
【００１８】
次に、上記液体吐出記録ヘッドを使って実際に印字する状態を図２にて説明する。液体吐出記録ヘッドを実際の記録装置にセットし印字を行う際は支持部材３の下に吐出口１１、さらにその下には被記録媒体の記録面１４が来る構成となる。そして、吐出口からインク滴が吐出され、被記録媒体の記録面１４に着弾し記録がなされる。この際、吐出口１１と被記録媒体の表面１４との間の距離は、紙面のうねりによるヘッドこすれ等を防止するため所定の距離が必要となる。本実施形態としては、１．２ｍｍとした。また、ノズル構造としては、被記録媒体１４にほぼ垂直にインクが吐出されることになるが、流路形成部材の加工公差やエネルギー発生素子２に対応する吐出口の位置ずれ等の影響によって、吐出角度が被記録媒体に対して若干傾斜する場合がある。また、記録装置内の気流の影響により被記録媒体への着弾精度がずれる場合もある。
【００１９】
この第１の記録素子基板４の吐出口１１から被記録媒体１４までの距離（紙間距離）をＡとし、第２の記録素子基板５の紙間距離Ｂとする場合、寸法的にはＡ≧Ｂという関係が成り立つ。しかし、製造プロセス上、熱電気変換素子から吐出口までの距離が長ければ長いほど、つまり流路形成部材の厚みが厚いほど、流路形成部材の加工公差が増加する。このため、この要因を更に考慮すると、Ａ＝Ｂにすることは実質的に困難である。また、Ａ＜Ｂとなると従来のようにカラーヘッドから吐出される着弾精度が悪化する。本発明においては、画像の形成に影響の大きい小液滴を吐出する第２の記録素子基板５から吐出される液滴の着弾精度を向上させることが好ましい。
【００２０】
よって上記製造・組み付け交差を考慮すると、Ａ＞Ｂという関係式が望ましく、特には、Ａ−Ｂ＝０．０１〜０．０３ｍｍが好ましい。このような関係式によって、前述した所定の紙間設定距離に第２の記録素子基板５の紙間距離をあわせることが可能となる事から、良好なカラーインクの吐出特性を得られる。つまりカラーの記録素子基板５を基準として紙間を設定することが可能となり好ましい。そして、第２の記録素子基板５の潜在的な能力を引き出し、着弾精度を向上させ、画像品位を向上させることが可能となる。
【００２１】
本実施形態では、第１の記録素子基板４と、第２の記録素子基板５とを、サイズの異なるＳｉウエハーから製造することによって簡単にカラーの画像品位を向上させることが可能となる。例えば、第１の記録素子基板４にＳＥＭＩ規格に準する６インチウェハーで形成したのＳｉ基板１８を使用し、第２の記録素子基板５にＳＥＭＩ規格に準する８インチウェハーで形成したのＳｉ基板１９を使用する。８インチウェハーの厚みは６インチウェハーの厚みより厚いため、素子基板を異なるサイズのウェハーにて形成することで、上記０．１ｍｍ程度の厚みの差を精度良く作りだすことが可能となる。本実施形態の検討結果を表１に示す。
【００２２】
【表１】
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【００２３】
カラーの画像品位に関しては紙間距離Ｂを設定の最小限値である１．２ｍｍにすることによって、大変良好な画像品位が得られた。その際、ブラックの紙間Ａはカラーに比べて大きくなるが、カラーに比べて大液滴を吐出させるため、紙間距離が１．５ｍｍまでは画像品位は悪くならないことを検証できた。
【００２４】
よって、本実施形態のように、１つの液体吐出記録ヘッド、特には１つの支持部材にブラック用とカラー用と夫々異なる記録素子基板を備える場合に、ブラックの品位を落とすことなくカラーの印字が従来に比べて向上させることが可能となり好ましい。特に本実施形態のようにカラーのＳｉ基板の厚みをブラックのＳｉ基板より大きくすることで、カラーの流路形成部材の厚みをブラックの流路形成部材の厚みより小さくできる。それによりカラーの吐出量をブラックの吐出量より簡易な構成で小さくすることができるとともに、カラーの紙間距離をブラックの紙間距離よりも小さくすることが可能となる。つまり、支持部材３の記録素子基板を支持する面から第２の吐出口１１までの距離が、支持部材の面から第１の吐出口１１までの距離よりも長くすることが可能となり好ましい。
【００２５】
（第２の実施形態）
図３は本発明の第２の実施形態における記録素子基板４、５及び支持部材３の模式的拡大断面図である。この図３は、図８液体吐出記録ヘッドのＡ−Ａ‘断面の一部に相当する。
【００２６】
図３において、支持部材３は、記録素子基板４及び５の接着面に対して０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の段差が設けられている。本実施形態としては、支持部材３の記録素子基板４を接着する相対的に薄い部分でＸ１＝６．８ｍｍとし、記録素子基板５を接着する相対的に厚い部分でＸ２＝７ｍｍとした。つまり、Ｘ２−Ｘ１≧０．０５ｍｍが成り立つ。この段差に関しては、図１２のようにオフセット用プレート７等を使用して形成しても良い。支持部材３及びオフセット用プレートの材料としては、アルミナ（ＡＬ２Ｏ３）材料で形成されている。なお支持部材３及びオフセット用プレートの構成材料はアルミナに限られることなく、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素、モリブデン、タングステンのうちどれで合っても良い。
【００２７】
次に、支持部材３には、第１の記録素子基板４にブラックインクを供給するための液体連通口６と、第２の記録素子基板５にシアン、マゼンダ、イエローのインクを供給するための液体連通口６が形成されている。図１２のオフセット用プレート７を使用した場合も液体連通口が形成されている。そして、記録素子基板の共通液体供給口１３が支持部材３もしくはオフセット用プレート７が液体連通口６にそれぞれ対応している。また、第１の記録素子基板４は、支持部材３に対して、また、第２の記録素子基板５は支持部材もしくはオフセット用プレートに対してそれぞれ位置精度良く接着固定されている。この接着には、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、且つ耐インク性のあるものが望ましい。例えば、本発明では、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着材であり、この接着材の厚みは５０μｍ以下が望ましい。本実施形態としては２５μｍとした。
【００２８】
次に、第１の記録素子基板４及び第２の記録素子基板５の構成ついて図１０及び図１１を用いて説明する。本実施形態においては、第１の記録素子基板４のＳｉ基板２２の厚みは、厚さ０．７１ｍｍ〜０．８ｍｍのものを使用し、第２の記録素子基板５のＳｉ基板２３も同様の０．７１ｍｍ〜０．８ｍｍの厚みものを使用した。第１の記録素子基板４における流路形成部材２４の厚みと、第２の記録素子基板５における流路形成部材２５の厚みは第１の実施形態と同様の値とした。
【００２９】
次に、上記液体吐出記録ヘッドを使って実際に印字する状態を図４にて説明する。液体吐出記録ヘッドを実際の記録装置にセットし印字を行う際は、記録素子基板４及び５は、支持部材３の下に吐出口１１、さらにその下に被記録媒体の記録面１４が配する。そして、吐出口から液体が吐出し被記録媒体の記録面１４に着弾し記録が可能となる。この際、吐出口１１と被記録媒体の表面１４との間の距離は、１．２ｍｍとした。第１の記録素子基板４の吐出口１１から被記録媒体１４までの紙間距離をＣとし、第２の記録素子基板５の紙間距離をＤとする場合、Ｃ≧Ｄという関係が好ましい。しかし、加工公差を考慮するとＣ−Ｄ＝０．０１〜０．０３ｍｍが好ましい。このような構成によって、被記録媒体とヘッドとの干渉を防止する最小限の紙間設定距離に第２の記録素子基板５の吐出口１１を基準として設定することが可能となる事から、良好なカラーインクの吐出特性を得られる。そして、第２の記録素子基板５の潜在的な能力を引き出し、着弾精度を向上させ、画像品位を大幅に向上させることが可能となる。本実施形態では、第１の記録素子基板を接着する支持部材３の厚さに対して、第２の記録素子基板を接着する支持部材３の厚さを０．０５ｍｍ以上厚くするだけで、カラーの画像品位を向上可能であることが特徴となる。本実施形態の利点は、記録素子基板を変更することなく、支持部材の段差加工の追加のみで、カラーの画像品位向上が大幅にはかることが可能となる点で好ましい。また図１２のように別部材で高さを調整することは支持部材の加工が不要となる点で好ましい。また高さの調整も精度良く出来る点で好ましい。
【００３０】
（第３の実施形態）
図５は本発明の第３の実施形態における記録素子基板及び支持部材の模式的拡大断面図である。この図５は、図８液体吐出記録ヘッドのＡ−Ａ‘断面の一部に相当する。第１および第２の実施形態との違いは、支持部材と記録素子基板を接着する接着層の厚みを変えることで、第１の記録素子基板と第２の記録素子基板との紙間距離を変えている点である。第１の記録素子基板４の接着材層の厚みをＹ１とし、第２の記録素子基板の接着材層の厚みをＹ２とした場合、Ｙ２−Ｙ１≧０．０５ｍｍの関係式がなりたつ。このような関係式を満たすことによって、第１及び第２の実施形態と同様の効果が得られる。
【００３１】
本実施形態では、第２の記録素子基板を接着する接着層の厚さを第１の記録素子基板を接着する接着層の厚みに対して０．０５ｍｍ以上厚くするだけで、カラーの画像品位を向上可能であることが特徴となる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、インクジェットプリンタなどのインクジェット記録装置に装着する液体吐出記録ヘッドとして広く適用することかできる。
【符号の説明】
【００３３】
２  エネルギー発生素子
３  支持部材
４  第１の記録素子基板
５  第２の記録素子基板
６  液体連通口
７  オフセット用プレート
８  液体供給ユニット
９  流路形成部材
１１  吐出口
１３  共通液体供給口
１６  記録素子ユニット
１７  接着材層
１８、１９、２２、２３  Ｓｉ基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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