【事件の表示】
　特許第３１１３９３６号「液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１１３９３６号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３１１３９３６号の請求項１及び２に係る発明についての出願は、平成７年６月３０日に特許出願され、平成１２年９月２９日にその特許の設定登録がなされ、その後、坂本 典子より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年１０月１１日付けで訂正請求がなされ、２回目の取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１４年２月７日付けで訂正請求がなされるとともに、平成１３年１０月１１日付けの訂正請求が取り下げられたものである。
　　　
２．訂正の適否についての判断
2．1　訂正の内容
訂正事項ａ．
　特許請求の範囲の請求項１及び２に係る記載、
「【請求項１】　クリーンルーム内部における、少なくとも２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されてなる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であって、
　少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対して、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、かつ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする液晶表示装置の製法。
　　【請求項２】　クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、
（３）前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、
（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが移動自在に配設されており、
（５）前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されてなる
ことを特徴とする液晶表示装置用の製造装置。」を、
　　　
「【請求項１】　クリーンルーム内部における、少なくとも２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されてなる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であって、
　少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対して、当該処理ユニットの上方からＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、清浄化された空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、かつ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする液晶表示装置の製法。
　　【請求項２】　クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、
（３）前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、
（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが移動自在に配設されており、
（５）前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されており、
（６）前記排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させる
ことを特徴とする液晶表示装置用の製造装置。」と訂正する。
　　　
訂正事項ｂ．
（１）明細書の【００２１】の４行の「連通されてなる」を「連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されてなる」と訂正する。
（２）明細書の【００２１】の７行の「すべての処理ユニットに対して、上方から清浄化された空気を供給し、」を「すべての処理ユニットに対して、当該処理ユニットの上方からＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、清浄化された空気を供給し、」と訂正する。
（３）明細書の【００２２】の１３行の「連通せしめる連通管が接続されてなる」を「連通せしめる連通管が接続されており、（６）前記排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させる」と訂正する。
　
2．2 訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａの、請求項１に係る訂正は、液晶表示装置の製法に用いられる処理ユニット、フィルターユニット、排気ダクト及び連通管の各々の構造、配置、機能を限定するものであり、また、請求項２に係る訂正は、液晶表示装置用の製造装置において、排気ダクト及び連通管を介して、特定圧力で排気が行われる旨を限定するものであるから、これらは何れも特許請求の範囲の減縮に該当する。　　
　訂正事項ｂの（１）〜（３）は、上記した訂正事項ａの訂正に伴って、それとの整合を図るために発明の詳細な説明を訂正するものであり、明瞭でない記載の釈明に該当する。
　そして、上記訂正事項ａ及びｂは、何れも特許明細書の段落【００２４】、【００２６】〜【００２８】、【００３７】及び【００５０】の記載に基づくものであり、しかも実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものではない。
　　　　　
2．3 結論
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項に規定する訂正について、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　　　　
３．特許異議申立てについて
3．1 特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証として特開平２−７９４１３号公報（以下、「刊行物１」という。）、甲第２号証として特開平１−２４１８４０号公報（以下、「刊行物２」という。）及び甲第３号証として特開平４−１８０２１３号公報（以下、「刊行物３」という。）を提出して、本件の訂正前の請求項１に係る発明は、刊行物１、２に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであり、同請求項２に係る発明は、刊行物１〜３に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記各発明の特許は、取り消すべき旨主張している。
　
3．2 本件発明
　本件特許第３１１３９３６号の請求項１及び２に係る発明（以下、「本件発明１」及び「本件発明２」という。）は、訂正された特許明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものである（上記2．1の訂正事項ａ参照。）。
　　
3．3 刊行物１の記載内容
　刊行物１には、半導体製造装置を用いた半導体ウエハの製造方法であって、２段以上立体的に配置され、かつ水平方向に沿って隣接した２つの半導体製造ユニット（処理ユニット）のあいだが連通され、各ユニットの上層部にはクリーンゾーンが設けられ、製造ユニットにおける処理が完了したのち、ウエハをつぎの処理を行うための製造ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめること、が記載されている。
　ここで、前記クリーンゾーンは、「ウエハ上へ異物が付着せぬように、また、保守点検が容易に行えるように」（刊行物１第３頁左上欄第１８行〜右上欄第１行）設けられるものであって、「フィルターユニットを介して清浄化された空気を供給する」ようなものではなく、また、前記製造ユニット（処理ユニット）は、その後方側に、それぞれの製造ユニットに連通する「排気ダクト」を備えたものでもない。
　　　　　
　刊行物２には、基板処理装置を用いた半導体ウエハの製造方法であって、上下２段に立体的に配置された各装置構成部（処理ユニット）の上部には、各構成部に対しクリーンフィルターを通した清浄な空気を送る手段を具備すること、が記載されている。
　ここで、前記各装置構成部（処理ユニット）は、「上下２段に立体的に配置され」ているものではあるが、「垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通され」ているものではなく、また、各装置構成部は、その後方側に各装置構成部に連通する「排気ダクト」を備えたものでもない。
　　
　刊行物３には、半導体処理装置を用いた半導体ウエハの製造方法であって、装置本体に設けたウエハ搬入搬出用の出入口の近傍位置にフィルターユニットを配設し、このフィルターユニットの空気吹出口の一部の風速を大として前記出入口にエアーカーテンを設けたこと、が記載されている。
　ここで、前記処理装置は、「２段以上立体的に配置され」ているものではなく、また、「垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通され」ているものでもない。
　　　　　　　
４．対比判断
4．1　本件発明１について
　本件発明１と刊行物１、２記載の発明とを対比すると、
　刊行物１、２には、少なくとも本件発明１の構成である、「処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されてなる製造装置を用い」、且つ「すべての処理ユニットに対して、当該処理ユニットの上方からＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、清浄化された空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出」する点、について記載されておらず、示唆されていない。
　一方、本件発明１は、上記構成により、処理ユニットの後部開口にエアカーテンを作って、上層の処理ユニットからの排気などの外部空気の誘引を防止するという格別の効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明１が、刊行物１、２記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　　　　　
4．2　本件発明２について
　本件発明２と刊行物１〜３記載の発明とを対比すると、
　刊行物１〜３には、少なくとも本件発明２の構成である、「（３）処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設され」、「（５）排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続され」、且つ「（６）排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させる」点、について記載されておらず、示唆されていない。
　一方、本件発明２は、上記構成により、処理ユニットの後部開口にエアカーテンを作って、上層の処理ユニットからの排気などの外部空気の誘引を防止するという格別の効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明２が、刊行物１〜３記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年４月２５日（２００２．４．２５）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
▲１▼訂正事項ａ
　平成７年６月３０日出願の明細書（以下、明細書という）の特許請求の範囲の請求項１〜２にかかわる記載
「　［請求項１］　クリーンルーム内部における、少なくとも２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されてなる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であって、
　少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対して、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、かつ
　前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめる
ことを特徴とする液晶表示装置の製法。
　［請求項２］　クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、
（３）前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、
（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが移動自在に配設されており、
（５）前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されてなる
ことを特徴とする液晶表示装置用の製造装置。」
を
「　［請求項１］　クリーンルーム内部における、少なくとも２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されて
おり、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
　少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対して、
当該処理ユニットの
ＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、
　前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめる
ことを特徴とする液晶表示装置の製法。
　［請求項２］　クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、
（３）前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、
（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが移動自在に配設されており、
（５）前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
おり、
（６）前記排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させ
ことを特徴とする液晶表示装置用の製造装置。」
と訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　（ｉ）明細書の段落番号［００２１］の４行の「連通されてなる」を「連通されて
おり、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
　（ｉｉ）明細書の段落番号［００２１］の７行の「すべての処理ユニットに対して、上方から清浄化された空気を供給し、」を「すべての処理ユニットに対して、
当該処理ユニットの
ＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、
　（ｉｉｉ）明細書の段落番号［００２２］の１３行の「連通せしめる連通管が接続されてなる」を「連通せしめる連通管が接続されて
おり、
（６）前記排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させ
（５４）【発明の名称】
液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　クリーンルーム内部における、少なくとも２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されて
おり、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
　少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対して、
当該処理ユニットの
ＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、
　前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめる
ことを特徴とする液晶表示装置の製法。
　【請求項２】　クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、
（３）前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、
（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが移動自在に配設されており、
（５）前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
おり、
（６）前記排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させ
ことを特徴とする液晶表示装置用の製造装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置に関する。さらに詳しくは、複数個の処理ユニットを立体配置することにより、省スペース化を達成することができる液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来より、液晶表示装置を製造するばあい、フォトグラフィー工程などの複数工程の処理をガラス基板に施している。
　【０００３】
　図３は従来の液晶表示装置を製造するための製造装置の正面説明図であり、この製造装置は、複数の処理ユニット３２〜３４が水平に配置され、隣接する２つの処理ユニット同士が互いに連通されることにより構成されている。
　【０００４】
　図３において、３１はローダ部でカセット載置部とカセット内のガラス基板を取り出すためのハンドリングロボット（図示せず）を具備している。このハンドリングロボットは、処理ユニット３２〜３４のそれぞれの後方側を水平移動できるようになっている。
　【０００５】
　ここで、処理ユニット３２〜３４は、たとえば、３２はスクラバー・乾燥部で、ガラス基板表面の異物を除去し、さらにガラス基板の乾燥も行ない、３３はコータ部で、ガラス基板上に感光性樹脂を回転塗布し、３４はベーク部で、ホットプレートを有しており、このホットプレートにより、ガラス基板上の感光性樹脂を硬化させる。
　【０００６】
　３５はアンローダ部で、プロセス処理の終わったガラス基板をローダ部と同様にカセット載置部とカセット内にガラス基板を収納するハンドリングロボット（図示せず）を具備している。
　【０００７】
　３６、３７はガラス基板を収納するカセットで、３８は防塵用透明カバーである。
　【０００８】
　３９はユニットのレベル出し用、すなわち高さ調節用のアジャストボルトである。
　【０００９】
　つぎに、図３の製造装置を用いた液晶表示装置の製法について順に説明する。
　【００１０】
　まず、前記製造装置にくる直前の前工程、たとえば、成膜工程から送られたガラス基板を収納したカセット３６をローダ部３１のカセット載置台に載置する。
　【００１１】
　つぎに、載置されたカセット３６内のガラス基板をハンドリングロボットで１枚ずつ取り出し、スクラバー・乾燥部３２へ搬送する。
　【００１２】
　このスクラバー・乾燥部３２では、まずスクラバー部でガラス基板をチャック（図示せず）により把持し、ついで、たとえばモヘアブラシなどでガラス基板上の異物を除去し、そののち乾燥部でガラス基板を乾燥させる。
　【００１３】
　つぎに、乾燥されたガラス基板を、装置内の搬送機構によって、コータ部３３へ送り、ガラス基板上に感光性樹脂をたとえば厚さ５０００オングストローム程度に回転塗布する。
　【００１４】
　さらに、感光性樹脂を塗布したガラス基板を、ベーク部３４へ送り、ホットプレートなどでベークして硬化させる。
　【００１５】
　最後に、硬化が完了したガラス基板を、アンローダ部３５へ送り、ハンドリングロボットでカセット３７内に１枚ずつ収納する。
　【００１６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、前記液晶表示装置の製法では、ガラス基板を水平に搬送して順次処理ユニット３２〜３４で処理を施しているため、以下の（１）〜（３）の問題がある。
　【００１７】
（１）前記製造装置が収容されたクリーンルームにおいて、当該製造装置の占有面積が大きくなり、その結果、クリーンルームが大型化し、それに伴いクリーンルームのランニングコストが増大する。
　【００１８】
（２）前記製造装置の外周部は、防塵カバーのみで仕切られているため、各ユニットで使用する有機成分がクリーンルーム内に拡散し、当該クリーンルームの清浄度を低下させる。
　【００１９】
（３）各処理ユニットが水平に構成されているため、たとえば排気設備の接続工事のばあい、各ユニット毎に排気管および排気用の動力源などを接続するため、動力付帯工事が高価になる。
　【００２０】
　本発明は、かかる問題を解消するためになされたものであり、各処理ユニットを立体的に配置することにより、省スペース化を達成し、しかも清浄度の低下を抑制し、さらに動力付帯工事の低コスト化を図ることができる液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置を提供することを目的とする。
　【００２１】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の液晶表示装置の製法は、クリーンルーム内部における、少なくとも２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されて
おり、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、該排気ダクト内部には送風機が設けられており、かつ前記排気ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
　少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対して、
当該処理ユニットの
ＨＥＰＡフィルターを有するフィルターユニットを介して風速０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出すことにより、
　前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、垂直または水平方向に移動せしめる
ことを特徴とする。
　【００２２】
　また、本発明の液晶表示装置用の製造装置は、クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には処理ユニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けられており、
（３）前記処理ユニットの後方側には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されており、
（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが移動自在に配設されており、
（５）前記排気ダクトの背面下部には、排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連通せしめる連通管が接続されて
おり、
（６）前記排気ダクトおよび連通管を介して−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させ
ことを特徴とする。
　【００２３】
　【作用】
　本発明によれば、複数個の処理ユニットを立体的に配置することにより、当該液晶表示装置の占有面積を大幅に縮小することができる。
　【００２４】
　また、各処理ユニットの空気の出入をみたばあい、まず、空気をフィルターユニットを通過させることによって清浄化させたのち、最上段の処理ユニットへ供給し、ついで、供給された空気の少なくとも一部を下方からフィルターユニットを介して下段の処理ユニットへ供給する。そののち、最下段の処理ユニットなどから排出された空気のすべてを連通管を介してクリーンルーム外部へ排出する。したがって、クリーンルームの空気を汚さない。
　【００２５】
　【実施例】
　つぎに、図面を参照しながら、本発明の液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置を詳細に説明する。図１は本発明の製造装置の一実施例の構成を示す模式図、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
　【００２６】
　図１〜２に示される液晶表示装置用の製造装置は、その内部が大きく分けて６つのスペースに区画されている。すなわち、１段につき２区画を垂直方向に３段重ねて構成されている。これらの区画のうち、図１中の左列最下段の区画は、ローダ・アンローダ部１であり、カセット６が載置可能な構造になっている。その他の５つの区画は処理ユニット１１〜１５であり、各処理ユニットの詳細については後述する。
　【００２７】
　また、ローダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５は垂直方向または水平方向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだ（またはローダ・アンローダ部と処理ユニットとのあいだ）が連通され、かつ最上段の処理ユニット１４および１５の上部が開放されている。ローダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５のそれぞれの上部には、処理ユニット内部に供給される空気を清浄にするためのフィルターユニット１６が設けられている。
　【００２８】
　そして、図２に示されるように、前記ローダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５の後方側には、ローダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５のそれぞれと連通する排気ダクト１７が設けられている。この排気ダクト１７内部には、前記ローダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５のあいだをガラス基板を搬送するためのハンドリングロボット１０が移動可能に配設されている。
　【００２９】
　前記排気ダクト１７の背面下部には、排気ダクト１７内部をクリーンルーム外部へ連通せしめるための連通管１８が設けられている。
　【００３０】
　ハンドリングロボット１０は、排気ダクト１７の内部を垂直方向および水平方向の両方について移動できるようになっており、しかも伸縮自在のロボットアームＡの適宜の位置に設けられた真空チャックなどを用いてガラス基板を真空吸着することにより、各処理ユニット間のガラス基板の移動を可能にするように構成されている。
　【００３１】
　前記処理ユニット１１〜１５には、具体的には、以下のユニットがそれぞれ配設される。
　【００３２】
　１１はスクラバー部であり、ガラス基板上の異物を除去する。
　【００３３】
　１２は乾燥部であり、ホットプレートなどで、ガラス基板を乾燥させる。
　【００３４】
　１３は感光性樹脂塗布部（コータ部）であり、ガラス基板を高速回転させたときに生じる遠心力を利用してガラス基板上に、たとえば厚さ５０００オングストローム程度の感光性樹脂を塗布する。
　【００３５】
　１４はベーク部であり、ホットプレート上でガラス基板に塗布された感光性樹脂をベークし硬化させる。
　【００３６】
　１５はバッファ部であり、作製される液晶表示装置の仕様によって必要な処理ユニットを付加することができる。このバッファ部１５に付加される処理ユニットとして、たとえば、ハードベークが必要なばあいの前記ベーク部１４の他にさらにもう１つの高温用ホットプレートユニット、または次工程で用いられるカセットへガラス基板を移しかえるためのユニットなどがあげられる。
　【００３７】
　また、各処理ユニットなどの上部に取り付けられフィルターユニット１６は、処理ユニット内部の清浄度を、クラス１０などの所定の基準に保つことができる仕様になっている。とくに、フィルターユニット１６として、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ　Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ　Ａｂｓｏｌｕｔｅ）フィルターを用いれば、高い清浄度を達成することができる。しかもＨＥＰＡフィルタを用いるばあい、通常、風速が０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出しているため、各処理ユニットの入口（排気ダクト１７に面する後部開口）にエアカーテンを作るため外部空気の誘引を防止することができる。
　【００３８】
　排気ダクト１７は各処理ユニット内部の、ＭＭＰ（Ｍｅｔｈｙｌ　３−ｍｅｔｈｏｘｙ　ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）シンナーまたはレジスト材料などの薬剤に含まれる有機成分を含む空気を連通管１８を介してクリーンルーム外部へ排気するようになっている。また、排気ダクト１７は、ハンドリングロボット１０のためのカバーとしての役目も果たしている。
　【００３９】
　なお、９は、ユニットのレベル出し用のアジャストボルトである。
　【００４０】
　つぎに、図１〜２に示される製造装置を用いた液晶表示装置の製法について説明する。
　【００４１】
　まず、前工程、たとえば、成膜工程から送られたガラス基板を収納したカセット６をローダ・アンローダ部１のカセット載置部へ載置する。
　【００４２】
　載置されたカセット６内部のガラス基板はハンドリングロボット１０によって、矢印１９の方向に搬送され、スクラバー部１１へ送られる。
　【００４３】
　ハンドリングロボット１０によるガラス基板の搬送動作は、具体的には、
（１）ロボットアームＡをガラス基板の下方に伸ばす、
（２）ガラス基板をロボットアームＡに真空吸着させる、
（３）ロボットアームＡを縮めて、ガラス基板をローダ・アンローダ部１の区画から排気ダクト１７の内部へ移動させる、
（４）ハンドリングロボット１０を矢印１９の方向、すなわちスクラバー部１１の後方へ移動させる、
（５）ロボットアームＡをのばし、そののち真空吸着を解除してガラス基板をスクラバー部１１内部に載置させる
という手順で行われる。
　【００４４】
　スクラバー部１１では、モヘアブラシなどでガラス基板上の異物を除去し、ついでハンドリングロボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にしてガラス基板を矢印２０の方向に移動させ、乾燥部１２へ搬送する。
　【００４５】
　つぎに、乾燥部１２でホットプレートなどでガラス基板を完全に乾燥し、ハンドリングロボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にして、矢印２１の方向へ移動させ、コータ部１３へ搬送する。
　【００４６】
　さらに、コータ部１３でガラス基板上に感光性樹脂を遠心力で、たとえば厚さ５０００オングストローム程度に塗布する。
　【００４７】
　塗布の完了したガラス基板は、ハンドリングロボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にして、矢印２２の方向へ移動させ、ベーク部１４へ搬送する。
　【００４８】
　このベーク部１４では、ホットプレートなどでガラス基板上の感光性樹脂をベークし硬化させる。
　【００４９】
　以上で、図１の製造装置内における一連の製造処理は完了する。製造完了したガラス基板は、ハンドリングロボット１０により、矢印２３、２４、２５の順に搬送され、ローダ・アンローダ部１のカセット６内に再び収納される。
　【００５０】
　なお、前述のように、ガラス基板にそれぞれの処理を施しているあいだ、各処理ユニットで有機成分を含んだ薬剤を使用するが、すべての前記処理ユニット１１〜１５およびローダ・アンローダ部１に対して、上方からフィルターユニット１６によって清浄化された空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気を排気ダクト１７内部に設けられた送風機（図示せず）により、たとえば−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気させ、排気ダクト１７および連通管１８を介してクリーンルーム外部へ空気を排出するので、クリーンルーム内部に有機成分などが拡散することがない。
　【００５１】
　また、前記実施例では、とくにフォトグラフィ工程を含む液晶表示装置の製法について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなくウェット処理工程またはガラス基板キュア工程などのような、多くの処理ユニットを必要とする工程を含む製法についても適宜、処理ユニットの数、配置、とくに段数などを適宜変更することにより、実施可能であることはいうまでもない。
　【００５２】
　【発明の効果】
　以上述べたごとく、本発明においては各処理ユニットを立体的に配置し、かつ処理ユニットの後方側に配設された排気ダクトを用いて排気している。これにより、つぎのような効果がえられる。
　【００５３】
（１）クリーンルーム内での装置の占有面積が大幅に縮小できるため、クリーンルームも小型化することができ、その結果、クリーンルームのランニングコストを削減することができる。
　【００５４】
（２）各処理ユニットを排気ダクトで排気しているため、有機成分がクリーンルーム内に拡散することがなく、クリーンルームの清浄化の低下を抑制することができる。
　【００５５】
（３）各処理ユニットを一定の外形寸法にして、いわば標準化を達成することができるため、製造装置の価格を安価にすることができる。
　【００５６】
（４）各処理ユニットが立体に配置されているため、２次側付帯動力工事、具体的には、有機成分を排気するための排気設備の接続工事のばあい、各処理ユニットの後方側が共通の排気ダクトに接続されているため、排気ダクトに１箇所だけ送風機などの排気用の動力源を接続すれば、全処理ユニットの排気ユニットが可能になるため、工事のコストが安価になる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の製造装置の一実施例の構成を示す模式図である。
　【図２】
　図２は図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
　【図３】
　従来の液晶表示装置用製造装置の正面説明図である。
　【符号の説明】
　　１　ローダ・アンローダ部
　　６　カセット
　１０　ハンドリングロボット
　１１　処理ユニット（スクラバー部）
　１２　処理ユニット（乾燥部）
　１３　処理ユニット（コータ部）
　１４　処理ユニット（ベーク部）
　１５　処理ユニット（バッファ部）
　１６　フィルターユニット
　１７　排気ダクト
　１８　連通管