(57)【要約】  被試験デバイスを試験する試験装置であって、当該試験装置内で生成された内部クロックと被試験デバイスが出力するデバイス信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、位相比較結果に基づいて、デバイス信号に対する内部クロックの位相シフト量を調整する調整部と、デバイス信号に対して位相シフト量が調整された内部クロックに応じてデバイス信号を取得する取得部と、デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止部と、を備える試験装置を提供する。また、これを利用した装置を提供する。
2010026642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
当該試験装置内で生成された内部クロックと前記被試験デバイスが出力するデバイス信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、
位相比較結果に基づいて、前記デバイス信号に対する前記内部クロックの位相シフト量を調整する調整部と、
前記デバイス信号に対して位相シフト量が調整された前記内部クロックに応じて前記デバイス信号を取得する取得部と、
前記デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止部と、
を備える試験装置。
【請求項２】
前記位相比較部は、前記内部クロックのエッジが前記デバイス信号に重畳されたクロックのエッジに対して遅れていることを示す遅れ信号、または、進んでいることを示す進み信号を前記位相比較結果として出力する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記調整部は、
前記禁止部により位相シフト量の変更が禁止されていないことを条件として、前記位相比較結果として前記遅れ信号を受け取った場合に前記調整部の位相シフト量を減少させ、前記進み信号を受け取った場合に前記調整部の位相シフト量を増加させ、
前記禁止部により位相シフト量の変更が禁止されたことを条件として、前記調整部の位相シフト量を変更しない
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記被試験デバイスを試験するための試験シーケンスを実行する試験部を更に備え、
前記禁止部は、前記試験シーケンスにおいて位相シフト量の変更が禁止された期間の間、前記調整部による位相シフト量の変更を禁止する
請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
【請求項５】
前記取得部が取得した前記デバイス信号の値を期待値と比較する期待値比較部を更に備え、
前記禁止部は、前記期待値に基づいて前記調整部による位相シフト量の変更を禁止するか否かを判断する請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
【請求項６】
前記禁止部は、前記取得部により取得された前記デバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合に、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する請求項１から５のいずれかに記載の試験装置。
【請求項７】
前記調整部は、前記取得部により取得された前記デバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合に、前記予め指定された期間の間における位相シフト量の変更分をキャンセルする請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。
【請求項８】
前記調整部は、
前記取得部により取得された前記デバイス信号の値が変化しなくなったことを検出したことに応じて、前記デバイス信号の値が変化しなくなったことを検出するまでに調整した位相シフト量をレジスタに退避し、
前記取得部により取得された前記デバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合に、前記レジスタに退避した位相シフト量を前記デバイス信号に対する前記内部クロックの位相シフト量として再設定する
請求項１から７のいずれかに記載の試験装置。
【請求項９】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスは、
当該被試験デバイスの内部クロックと入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、
位相比較結果に基づいて、前記受信信号に対する前記内部クロックの位相シフト量を調整する調整部と、
前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記内部クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、
を備えており、
当該試験装置は、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスの前記入力端子に供給する試験信号供給部と、
前記試験信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止信号を前記被試験デバイスに供給する禁止部と、
を備える試験装置。
【請求項１０】
基準クロックと外部からの受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、
位相比較の結果に基づいて、前記受信信号に対する前記基準クロックの位相シフト量を調整する調整部と、
前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記基準クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、
前記受信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止部と、
を備える受信装置。
【請求項１１】
前記受信信号を入力する端子から前記受信信号を受信しない期間において、当該端子を介して外部へと送信信号を送信する送信部を更に備え、
前記禁止部は、前記送信部が前記端子を介して外部へと前記送信信号を送信する期間において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する
請求項１０に記載の受信装置。
【請求項１２】
受信装置に対して信号を送信する送信装置であって、
前記受信装置は、
当該受信装置の基準クロックと入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、
位相比較結果に基づいて、前記受信信号に対する前記基準クロックの位相シフト量を調整する調整部と、
前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記基準クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、
を備えており、
当該送信装置は、
前記受信装置に対して送信する送信信号を前記受信装置の前記入力端子に供給する送信部と、
前記送信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止させる禁止部と、
を備える送信装置。
【請求項１３】
被試験デバイスを試験する試験方法であって、
当該試験装置の内部クロックと前記被試験デバイスが出力するデバイス信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較段階と、
位相比較結果に基づいて、前記デバイス信号に対する前記内部クロックの位相シフト量を調整する調整段階と、
前記デバイス信号に対して位相シフト量が調整された前記内部クロックに応じて前記デバイス信号を取得する取得段階と、
前記デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止段階と、
を備える試験方法。
【請求項１４】
被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記被試験デバイスは、
当該被試験デバイスの内部クロックと入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、
位相比較結果に基づいて、前記受信信号に対する前記内部クロックの位相シフト量を調整する調整部と、
前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記内部クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、
を備えており、
当該試験方法は、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスの前記入力端子に供給する試験信号供給段階と、
前記試験信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止信号を前記被試験デバイスに供給する禁止段階と、
を備える試験方法。
【請求項１５】
基準クロックと外部からの受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較段階と、
位相比較の結果に基づいて、前記受信信号に対する前記基準クロックの位相シフト量を調整する調整段階と、
前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記基準クロックに応じて前記受信信号を取得する取得段階と、
前記受信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止段階と、
を備える受信方法。
【請求項１６】
受信装置に対して信号を送信する送信方法であって、
前記受信装置は、
当該受信装置の基準クロックと入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、
位相比較結果に基づいて、前記受信信号に対する前記基準クロックの位相シフト量を調整する調整部と、
前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記基準クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、
を備えており、
当該送信方法は、
前記受信装置に対して送信する送信信号を前記受信装置の前記入力端子に供給する送信段階と、
前記送信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止させる禁止段階と、
を備える送信方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置、送信装置、受信装置、試験方法、送信方法、および受信方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、クロックが埋め込まれた信号を出力する被試験デバイスを試験する試験装置を開示する。本試験装置は、与えられた基準クロックの周波数を所定倍した周波数、かつ、与えられる基準クロックの位相から与えられる遅延量分遅延した位相の再生クロックを出力するＰＬＬ回路と、被試験デバイスからのデータ信号に埋め込まれているクロックおよび再生クロックの位相差を検出する位相比較器を有し、位相差に応じてＰＬＬ回路に与える遅延量を制御するＣＤＲ回路（クロックデータリカバリ回路の略）とを備え、再生クロックに応じて出力信号を取得する（段落００１７、００２３、および００２４参照）。
【特許文献１】特開２００８−２８６２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
再生クロックおよびデバイスからのデータ信号の位相を比較する位相比較器は、一般に、再生クロックが被試験デバイスからのデータ信号に対して進んでいるかまたは遅れているかのいずれかの状態を出力する。このような位相比較器は、被試験デバイスが長期間変化しないバースト信号を出力すると、進み状態または遅れ状態の一方を長期間にわたって出力してしまうことがある。この場合、被試験デバイスがバースト信号を出力する間、再生クロックの位相が一方的に進んでいくかまたは遅れていくので、再生クロックが、被試験デバイスに対する位相ロック状態から外れてしまう。【０００４】
このような状態で被試験デバイスから再びデータ信号を出力させて試験を再開すると、再生クロックがデータ信号に対してロックしていないので、試験装置はデータ信号を正しく取り込むことができない。このため、試験装置は、再生クロックがデータ信号に対してロックするまで待たなければならず、試験時間が長くなってしまう。
以上に示した問題は、試験装置から被試験デバイスに対してクロックが埋め込まれた信号を供給する場合、並びに、試験装置に限らない２以上の装置間でクロックエンベデッド信号を授受する場合にも生じうる。【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、送信装置、受信装置、試験方法、送信方法、および受信方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、当該試験装置内で生成された内部クロックと前記被試験デバイスが出力するデバイス信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、位相比較結果に基づいて、前記デバイス信号に対する前記内部クロックの位相シフト量を調整する調整部と、前記デバイス信号に対して位相シフト量が調整された前記内部クロックに応じて前記デバイス信号を取得する取得部と、前記デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止部と、を備える試験装置、および当該試験装置に関連する試験方法を提供する。【０００７】
本発明の第２の態様によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、前記被試験デバイスは、当該被試験デバイスの内部クロックと入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、位相比較結果に基づいて、前記受信信号に対する前記内部クロックの位相シフト量を調整する調整部と、前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記内部クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、を備えており、当該試験装置は、前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスの前記入力端子に供給する試験信号供給部と、前記試験信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止信号を前記被試験デバイスに供給する禁止部と、を備える試験装置、および当該試験装置に関連する試験方法を提供する。【０００８】
本発明の第３の態様によると、基準クロックと外部からの受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、位相比較の結果に基づいて、前記受信信号に対する前記基準クロックの位相シフト量を調整する調整部と、前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記基準クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、前記受信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止部と、を備える受信装置、および当該受信装置に関連する受信方法を提供する。【０００９】
本発明の第４の態様によると、受信装置に対して信号を送信する送信装置であって、前記受信装置は、当該受信装置の基準クロックと入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックとの位相を比較する位相比較部と、位相比較結果に基づいて、前記受信信号に対する前記基準クロックの位相シフト量を調整する調整部と、前記受信信号に対して位相シフト量が調整された前記基準クロックに応じて前記受信信号を取得する取得部と、を備えており、当該送信装置は、前記受信装置に対して送信する送信信号を前記受信装置の前記入力端子に供給する送信部と、前記送信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、前記位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止させる禁止部と、を備える送信装置を提供する。【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。
【図２】本発明の実施形態に係るシフトクロック生成部１５０の構成を示す。
【図３】本発明の実施形態に係る位相調整制御部２６０の構成を示す。
【図４】本発明の実施形態に係る試験装置１０の動作タイミングの一例を示す。
【図５】本発明の実施形態の第１変形例に係る判定部１２４の主要部の構成を示す。
【図６】本発明の実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成を示す。
【図７】本発明の実施形態の第３変形例に係る装置７００の構成を示す。
【図８】本発明の実施形態の第４変形例に係る判定部１２４の構成を示す。
【図９】本発明の実施形態の第４変形例に係る位相比較部８１０の動作を模式的に示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。【００１３】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ１００（被試験デバイスまたはＤｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔの略）と共に示す。試験装置１０は、クロックが重畳されたデバイス信号を出力するＤＵＴ１００の試験において、試験装置１０内で生成した内部クロックをデバイス信号から抽出したクロックに位相ロックさせる。そして、試験装置１０は、デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の間、内部クロックの位相の変更を禁止する。これにより、試験装置１０は、デバイス信号としてバースト信号を受けている間、直前のロック状態における内部クロックの位相を維持することができる。したがって試験装置１０は、ＤＵＴ１００から再びデータ信号が出力された場合に、直前のロック状態における内部クロックの位相を用いてデータ信号を受け取ることができる。【００１４】
試験装置１０は、ＤＵＴ１００を試験する試験装置本体１０５と、試験装置本体１０５によるＤＵＴ１００の試験を制御する制御装置１１０とを備える。試験装置本体１０５は、ＤＵＴ１００を試験するための試験シーケンスを実行し、試験シーケンスに応じて生成した試験信号をＤＵＴ１００へと供給する試験部１２２と、試験信号に応じてＤＵＴ１００が出力するデバイス信号を受け取って検査し、ＤＵＴ１００の良否を判定する判定部１２４とを有する。【００１５】
試験部１２２は、周波数逓倍部１４５と、タイミング発生部１２５と、パターン発生部１３０と、波形成形部１３５とを含む。周波数逓倍部１４５は、試験装置１０の基準クロックＲＥＦＣＬＫを逓倍して、逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭを出力する。周波数逓倍部１４５は、ＤＵＴ１００が出力するデバイス信号と同じ周波数に変換された逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭを出力してもよく、これに代えてデバイス信号と異なる周波数の逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭを出力して、タイミング発生部１２５によりデバイス信号と同じ周波数に変換させてもよい。ここで、基準クロックＲＥＦＣＬＫは、試験装置本体１０５全体を動作させるシステムクロックであってもよいし、ＤＵＴ１００との間の信号の授受に用いるための参照クロックであってもよい。また、基準クロックＲＥＦＣＬＫとデバイス信号に重畳されるクロックとの周波数の関係に応じ、周波数逓倍部１４５を有しない構成または周波数逓倍部１４５に代えて分周器を用いた構成を採ってもよい。【００１６】
タイミング発生部１２５は、基準クロックＲＥＦＣＬＫおよび周波数逓倍部１４５により逓倍された逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭを受け取って、ＤＵＴ１００を試験する試験周期を示す周期信号（ＲＡＴＥ信号ともいう。）およびＤＵＴ１００に供給する試験信号の変化タイミングを規定するタイミング信号を発生する。また、タイミング発生部１２５は、基準クロックＲＥＦＣＬＫ及び／又は逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭの周波数及び／又は位相を変更して、判定部１２４がデバイス信号の取得に用いるシフトクロックＳＦＴＣＬＫの元となるクロックである、デバイス信号と略同一の周波数に調整されたストローブ信号ＳＴＲＢを発生する。このストローブ信号ＳＴＲＢは、試験装置１０内で生成した内部クロックの一例である。一例として、タイミング発生部１２５は、発生するストローブ信号ＳＴＲＢの周波数がデバイス信号の周波数と同一となるように、逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭが有するクロックパルスを間引き、クロックパルスの間隔を等間隔に調整してストローブ信号ＳＴＲＢを生成してもよい。また、タイミング発生部１２５は、基準クロックＲＥＦＣＬＫまたは逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭと、ＶＣＯ（電圧制御発振器）等により発振したストローブ信号ＳＴＲＢとの少なくとも一方を分周等して同一周波数とした上で、基準クロックＲＥＦＣＬＫまたは逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭに基づくクロックに対し、ストローブ信号ＳＴＲＢに基づくクロックが位相ロックするように、ＶＣＯの発振周波数を制御して位相調整してもよい。【００１７】
パターン発生部１３０は、タイミング発生部１２５から受け取った周期信号に応じた試験周期毎に制御装置１１０から供給された試験プログラムに基づく試験シーケンス中の試験命令を実行して、各試験命令に対応付けられた試験パターンを波形成形部１３５へと出力する。また、パターン発生部１３０は、各試験命令に対応付けられた期待値パターンを期待値比較部１７０へと出力する。波形成形部１３５は、パターン発生部１３０から受け取った試験パターンを、タイミング発生部１２５から受け取ったタイミング信号に応じたタイミングで変化するように波形成形して試験信号を生成する。そして、波形成形部１３５は、生成した試験信号をＤＵＴ１００へと供給する。【００１８】
なお、ＤＵＴ１００に対して試験信号を供給する試験部１２２の構成としては、以上に例示した構成の他に、多種多様な構成を採り得る。例えば、パターン発生部１３０は、試験プログラムに基づき試験パターンを発生するシーケンシャルパターン発生器に代えて、試験に先立って設定されたアルゴリズムに基づいて試験パターンを発生するアルゴリズミックパターン発生器であってもよい。また、ＤＵＴ１００から試験対象となるデバイス信号を出力させるために、試験部１２２は、ＤＵＴ１００に対して実動作と同様の試験信号を供給してもよく、これに代えてテスト用のスキャンパス等を用いてＤＵＴ１００を設定して、試験対象のデバイス信号を出力させてもよい。また、試験部１２２は、ＤＵＴ１００の種類に応じて、デジタルまたはアナログの試験信号を供給してよい。【００１９】
判定部１２４は、コンパレータ１４０と、シフトクロック生成部１５０と、取得部１５５と、分周部１６０と、ＤＥＭＵＸ１６５と、期待値比較部１７０とを含む。コンパレータ１４０は、ＤＵＴ１００が出力するデバイス信号を受け取り、判定部１２４の内部で用いる信号波形に変換する。本実施形態において、コンパレータ１４０は、デバイス信号を論理値に応じた閾値電圧と比較し、比較結果に応じた論理値を出力する。【００２０】
シフトクロック生成部１５０は、制御装置１１０により生成されたストローブ信号ＳＴＲＢを、コンパレータ１４０を介して受け取ったデバイス信号に応じて位相調整して、デバイス信号に対して位相シフト量が調整された内部クロックであるシフトクロックＳＦＴＣＬＫを生成する。シフトクロック生成部１５０は、生成したシフトクロックＳＦＴＣＬＫを取得部１５５および分周部１６０へと出力する。また、シフトクロック生成部１５０は、制御装置１１０およびパターン発生部１３０からの指示、または、ＤＥＭＵＸ１６５から受け取ったデバイス信号の観測結果に応じて位相調整を許可するかまたは禁止するかを決定する。【００２１】
取得部１５５は、例えばＦＦ（フリップフロップの略）であり、シフトクロックＳＦＴＣＬＫに応じてデバイス信号を取得する。分周部１６０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを分周して、分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤをシフトクロック生成部１５０およびＤＥＭＵＸ１６５へと供給する。【００２２】
ＤＥＭＵＸ１６５（デマルチプレクサの略）は、取得部１５５が取得したデバイス信号を、分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤに応じてデマルチプレクスして、デマルチプレクスされたデバイス信号をシフトクロック生成部１５０および期待値比較部１７０へと出力する。一例として、分周部１６０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを分周して、周期信号ＲＡＴＥまたは基準クロックＲＥＦＣＬＫと同周波数の分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤを出力してよい。ＤＥＭＵＸ１６５は、取得部１５５がシフトクロックＳＦＴＣＬＫに同期して順次取り込むデバイス信号を並列化して、分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤに同期する複数ビットのデバイス信号へと変換する。例えば分周比が１：８の場合、ＤＥＭＵＸ１６５は、取得部１５５が順次取り込む連続する８ビット分のデバイス信号を８ビット幅のデータの各ビットに割り振って、周波数が１／８である８ビットデータのデバイス信号に変換する。【００２３】
期待値比較部１７０は、ＤＥＭＵＸ１６５からデマルチプレクスされたデバイス信号を受け取って、パターン発生部１３０から供給された期待値パターンにおける対応する期待値と比較する。これにより、期待値比較部１７０は、取得部１５５が取得した、ＤＵＴ１００からのデバイス信号の値を期待値と比較することができる。期待値比較部１７０は、デバイス信号の値と期待値との比較結果を、フェイルメモリまたはレジスタ等の記憶装置に記憶してよい。制御装置１１０は、試験中または試験終了後に当該記憶装置をアクセスすることにより、フェイルが発生したか否かを検出して試験装置１０のユーザへと通知することができる。また、試験装置１０は、フェイルが発生したか否かに応じて実行する試験シーケンスを変更してもよい。【００２４】
制御装置１１０は、試験装置本体１０５の各部を制御する。制御装置１１０は、試験装置本体１０５内の周波数逓倍部１４５、タイミング発生部１２５、パターン発生部１３０、波形成形部１３５、コンパレータ１４０、シフトクロック生成部１５０、ＤＥＭＵＸ１６５、および期待値比較部１７０等の各部に設けられたレジスタまたはメモリをアクセスして、各部の機能および動作を設定する。一例として、制御装置１１０は、基準クロックＲＥＦＣＬＫに対する逓倍された逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭの倍率を周波数逓倍部１４５に設定してもよく、逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭとストローブ信号ＳＴＲＢとの周波数比率をタイミング発生部１２５に設定してもよく、位相調整を禁止するか否かをシフトクロック生成部１５０に設定してもよい。また、制御装置１１０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫに対する分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤの分周比を分周部１６０に設定してもよく、取得部１５５から受け取ったデバイス信号を何ビットにデマルチプレクスするかをＤＥＭＵＸ１６５に設定してもよい。【００２５】
図２は、本実施形態に係るシフトクロック生成部１５０の構成を示す。シフトクロック生成部１５０は、クロック再生部２００と、位相比較部２１０と、デジタルフィルタ２２０と、レジスタ２２５と、ジッタ印加部２３０と、加算器２４０と、位相シフト部２５０と、位相調整制御部２６０とを備える。【００２６】
クロック再生部２００は、ＤＵＴ１００が出力するデバイス信号から、当該デバイス信号のクロックを再生する。具体的には、クロック再生部２００は、デバイス信号の論理値が変化するエッジタイミングに応じたエッジを有する再生クロックＲＣＬＫを出力する。一例としてクロック再生部２００は、デバイス信号とデバイス信号を所定の時間遅延させた遅延デバイス信号との排他的論理和（または否定排他的論理和）をとることにより、デバイス信号と同じエッジを持ち、所定の時間のパルス幅を有する再生クロックＲＣＬＫを生成してよい。【００２７】
位相比較部２１０は、ストローブ信号ＳＴＲＢとデバイス信号に重畳されたクロックを抽出した再生クロックＲＣＬＫとの位相を比較する。そして、位相比較部２１０は、ストローブ信号ＳＴＲＢのエッジがデバイス信号に重畳されたクロックを抽出した再生クロックＲＣＬＫのエッジに対して遅れていることを示す遅れ信号Ｌ（Ｌａｔｅ信号）、または、進んでいることを示す進み信号Ｅ（Ｅａｒｌｙ信号）を位相比較結果として出力する。【００２８】
ここで、位相比較部２１０は、位相周波数比較器（ＰＦＤ：Ｐｈａｓｅ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）であってよく、位相比較器（ＰＤ：Ｐｈａｓｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）であってもよい。また、進み信号Ｅおよび遅れ信号Ｌは、進みまたは遅れに応じたパルス幅を有するパルス幅変調デジタル信号等であってよく、また進みまたは遅れに応じた論理値を有する１ビットの信号であってもよい。【００２９】
デジタルフィルタ２２０、レジスタ２２５、ジッタ印加部２３０、加算器２４０、および位相シフト部２５０は、位相比較部２１０による位相比較結果に基づいて、デバイス信号に対するストローブ信号ＳＴＲＢの位相シフト量を調整する調整部として機能する。デジタルフィルタ２２０は、順次入力される進み信号Ｅおよび遅れ信号Ｌに応じて、位相シフト部２５０を制御する位相制御信号を位相シフト部２５０に供給することにより、位相シフト部２５０の位相シフト量を制御する。より具体的には、デジタルフィルタ２２０は、位相調整制御部２６０により位相シフト量の変更が禁止されていないことを条件として、位相比較結果として進み信号Ｅを受け取った場合に位相シフト量を増加させ、位相比較結果として遅れ信号Ｌを受け取った場合には位相シフト量を減少させる。また、デジタルフィルタ２２０は、位相調整制御部２６０により位相シフト量の変更が禁止されたことを条件として、調整部の位相シフト量を変更しないようにする。【００３０】
一例として、デジタルフィルタ２２０は、進み信号Ｅおよび遅れ信号Ｌを積分し、積分値を位相制御信号として出力してよい。例えば、デジタルフィルタ２２０は、位相シフト量の変更が禁止されていない場合において、進み信号Ｅを受け取ったサイクルにおいてカウントアップし、遅れ信号Ｌを受け取ったサイクルにおいてカウントダウンするカウンタを有してよい。そして、デジタルフィルタ２２０は、カウント値に基づく位相制御信号、すなわち例えばカウント値の上位から所定ビット分を位相制御信号として出力してよい。これに代えて、デジタルフィルタ２２０は、無限インパルス応答フィルタ（ＩＩＲフィルタ）または有限インパルス応答フィルタ（ＦＩＲフィルタ）であってもよい。【００３１】
レジスタ２２５は、デジタルフィルタ２２０により指定される、ストローブ信号ＳＴＲＢの位相シフト量を退避する退避先となる。一例として、レジスタ２２５は、位相調整制御部２６０からデジタルフィルタ２２０への指示に応じて、デジタルフィルタ２２０内のカウンタのカウント値をデジタルフィルタ２２０から受け取って記憶する。デジタルフィルタ２２０は、レジスタ２２５へと退避したカウント値をデジタルフィルタ２２０内のカウンタに復帰することにより、退避した位相シフト量を復帰することができる。【００３２】
ジッタ印加部２３０は、ＤＵＴ１００が出力するデバイス信号のジッタ耐性試験を行う場合において、シフトクロックＳＦＴＣＬＫに重畳するべきジッタ信号を発生し、加算器２４０を介してデジタルフィルタ２２０が出力する位相制御信号に加算する。これにより、ジッタ印加部２３０および加算器２４０は、デジタルフィルタ２２０が出力する位相制御信号の値を重畳するべきジッタ信号の値に応じて変化させ、位相シフト部２５０へと供給する。【００３３】
位相シフト部２５０は、例えば可変遅延回路であり、必要に応じてジッタが加えられた位相制御信号を加算器２４０から受け取って、ストローブ信号ＳＴＲＢを、位相制御信号に応じた遅延量だけ遅延させる。これにより、位相シフト部２５０は、ストローブ信号ＳＴＲＢを、デバイス信号に対して位相制御信号により指定される位相シフト量分位相シフトさせて、シフトクロックＳＦＴＣＬＫとして出力する。上述したように、ストローブ信号ＳＴＲＢが再生クロックＲＣＬＫに対して進んでいる場合には、デジタルフィルタ２２０は位相シフト量を増加させるので、位相シフト部２５０はシフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相をより遅らせて位相を合わせる。また、ストローブ信号ＳＴＲＢが再生クロックＲＣＬＫに対して遅れている場合には、デジタルフィルタ２２０は位相シフト量を減少させるので、位相シフト部２５０はシフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相をより進めて位相を合わせる。【００３４】
位相調整制御部２６０は、デジタルフィルタ２２０の位相シフト量の変更を許可するかまたは禁止するかを制御する。位相調整制御部２６０は、デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止部として機能する。【００３５】
図３は、本実施形態に係る位相調整制御部２６０の構成を示す。位相調整制御部２６０は、検出部３００と、論理和回路３１０と、ＦＦ３２０と、バッファ３２５と、ＦＦ３３０と、論理回路３４０とを備え、制御装置１１０からの制御、パターン発生部１３０からの制御または期待値、若しくは、検出部３００によるデバイス信号の変化の計測結果に基づいて、位相シフト部２５０による位相シフト量の変更を許可するか否かを制御する。【００３６】
検出部３００は、取得部１５５により取得されたデバイス信号をＤＥＭＵＸ１６５を介して受け取り、当該デバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合にその旨を検出し、デジタルフィルタ２２０の位相シフト量の変更を禁止する禁止信号Ａ（本図においては論理値Ｈの信号）を論理和回路３１０へと出力する。これにより、検出部３００は、デジタルフィルタ２２０に対し、位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する。一例として、検出部３００は、デバイス信号の値が不変でありまたはデバイス信号がクロックエッジを有しないサイクル数（またはビット数）を計測するランレングス測定回路と、当該ランレングス測定回路により測定された不変サイクル数（または不変ビット数）が予め指定された値より大きくなった場合に、検出信号を論理和回路３１０へと出力する判定回路とを有してよい。【００３７】
これに代えて、検出部３００は、予め指定された期間の間におけるデバイス信号の値が変化しまたはデバイス信号がクロックエッジを有するサイクル数が予め指定された閾値以下となった場合に、禁止信号Ａを論理和回路３１０へと出力してもよい。これにより、検出部３００は、デバイス信号に含まれるクロックパルスの頻度が位相ロック状態を維持することができない程度まで低下したことに応じて、位相シフト量の変更を禁止することができる。【００３８】
また、検出部３００は、取得部１５５により取得されたデバイス信号の値が変化しなくなったことを検出したことに応じて、デバイス信号の値が変化しなくなったことを検出するまでに調整した位相シフト量をレジスタ２２５に退避することを指示する退避信号をデジタルフィルタ２２０へと出力する。検出部３００は、デバイス信号が変化しておりクロックエッジを有するサイクルから、デバイス信号が変化せずクロックエッジを有しないサイクルへの切り替わりを検出し、位相シフト量の退避をデジタルフィルタ２２０へと指示してよい。これに代えて、検出部３００は、禁止信号Ａの出力条件とする期間より短い期間の間デバイス信号の値が変化しないことを検出した時点で、位相シフト量の退避をデジタルフィルタ２２０へと指示してよい。更に、検出部３００は、取得部１５５により取得されたデバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合に、レジスタ２２５に退避した位相シフト量を、デバイス信号に対する基準クロックの位相シフト量としてデジタルフィルタ２２０に再設定することを指示する回復信号をデジタルフィルタ２２０へと出力する。【００３９】
以上において、制御装置１１０は、試験実行に先立ってまたは試験中に、禁止信号Ａの出力に用いる期間、不変サイクル数の閾値または変化サイクル数の閾値、及び／又は、退避信号の出力に用いる期間等の各種パラメータのうち少なくとも１つをユーザの指定に基づいて設定してもよい。また、パターン発生部１３０は、試験シーケンス実行中における試験命令または試験パターンの指定に基づいて、上記の各種パラメータのうち少なくとも１つを設定してもよい。【００４０】
論理和回路３１０は、検出部３００からの禁止信号Ａと、制御装置１１０から受け取った禁止信号Ｂと、パターン発生部１３０から受け取った禁止信号Ｃとの論理和を取り、禁止信号Ｄを出力する。ここで、制御装置１１０は、試験と試験の間の期間またはユーザの指定に応じた期間の間、デジタルフィルタ２２０における位相シフト量の変更を禁止するべく、禁止信号Ｂ（論理値Ｈの信号）を出力する。また、パターン発生部１３０は、試験シーケンスにおいて位相シフト量の変更が禁止された期間の間、デジタルフィルタ２２０による位相シフト量の変更を禁止するべく、禁止信号Ｃ（論理値Ｈの信号）を出力する。これにより、ユーザは、試験命令または試験パターンで明示的に指定することにより、例えば試験中においてＤＵＴ１００からクロックが重畳されないデバイス信号が出力される期間の間、位相シフト量の変更を禁止することができる。【００４１】
論理和回路３１０は、禁止信号Ａ、禁止信号Ｂ、および禁止信号Ｃの論理和をとった禁止信号Ｄを出力することにより、検出部３００、制御装置１１０、またはパターン発生部１３０のいずれかが位相シフト量の変更を禁止した場合に、デジタルフィルタ２２０に対し、位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する。【００４２】
以上に代えて、または以上に加え、位相調整制御部２６０は、パターン発生部１３０が発生した期待値に基づいてデジタルフィルタ２２０による位相シフト量の変更を禁止するか否かを判断してもよい。より具体的には、位相調整制御部２６０は、期待値が予め指定した期間以上変化しない場合、または期待値が予め指定した期間以上ドントケア、すなわちデバイス信号として任意の値を許可する場合に、検出部３００と同様にその旨を検出し、禁止信号を論理和回路３１０へと出力してもよい。【００４３】
ＦＦ３２０、バッファ３２５、ＦＦ３３０、および論理回路３４０は、禁止信号Ｄを、分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤに同期させてデジタルフィルタ２２０に供給するために設けられる。ＦＦ３２０は、禁止信号Ｄを分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤのタイミングで取得する。バッファ３２５は、分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤを１サイクルより十分小さい時間遅延させる。ＦＦ３３０は、バッファ３２５により遅延された分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤのタイミングで、ＦＦ３２０により取得された禁止信号Ｄを取得する。これにより、ＦＦ３２０およびＦＦ３３０は、試験装置内の基準クロックＲＥＦＣＬＫまたはストローブ信号ＳＴＲＢに同期して変化する禁止信号Ｄを分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤに同期させる際に、グリッチによる誤動作を防ぐことができる。【００４４】
論理回路３４０は、禁止信号Ｄの否定および分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤの論理積をとってデジタルフィルタ２２０に供給する。これにより、論理回路３４０は、位相シフト量の変更を許可する場合に分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤを通過させ、位相シフト量の変更を禁止する場合に分周シフトクロックＳＦＴＣＬＫＤをマスクして通過させないようにする。この結果、位相調整制御部２６０は、デジタルフィルタ２２０のクロック動作を停止させることによって、位相シフト量の変更を禁止することができる。【００４５】
以上に示した試験装置１０によれば、ＤＵＴ１００が出力するデバイス出力信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、位相比較部２１０の位相比較結果に基づきデジタルフィルタ２２０が位相シフト部２５０による位相シフト量を変更することを禁止する。これにより、試験装置１０は、クロックが重畳されていない期間の間に位相シフト量がずれていくことによって位相ロック状態から外れるのを防ぐことができる。【００４６】
図４は、本実施形態に係る試験装置１０の動作タイミングの一例を示す。本例において、ＤＵＴ１００は、デバイス信号として、クロックが重畳されたデータ信号４００を出力した後、ある期間の間値が変化せず、クロックが重畳されていないバースト信号４１０を出力する。そして、ＤＵＴ１００は、バースト信号４１０の後に再びクロックが重畳されたデータ信号４２０を出力する。【００４７】
位相比較部２１０は、データ信号４００から抽出された再生クロックＲＣＬＫと、ストローブ信号ＳＴＲＢとの位相を比較し、位相比較結果に基づいてシフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相を調整する。これにより、シフトクロックＳＦＴＣＬＫは、デバイス信号に対して位相がロックされた状態となる。この状態を図中ＣＤＲロック状態４３０のハッチングにより示す。【００４８】
位相調整制御部２６０により位相シフト量の変更を禁止しない場合、デジタルフィルタ２２０は、図中ＣＤＲロック状態４３０、ＣＤＲロック外れ状態４４０、およびＣＤＲロック状態４５０として示した動作状態となる。ＤＵＴ１００からバースト信号４１０が出力されると、クロック再生部２００は、デバイス信号からクロックを抽出することができず、位相比較部２１０は、再生クロックＲＣＬＫおよびストローブ信号ＳＴＲＢの位相比較を行うことができない。この場合、位相比較部２１０の種類によっては、進み信号および遅れ信号のいずれか一方を出力し続けてしまう。このような位相比較部２１０の一例としては、再生クロックのエッジで論理Ｈを取り込み遅れ信号として出力するＦＦと、ストローブ信号ＳＴＲＢのエッジで論理Ｈを取り込む進み信号として出力するＦＦと、これら２つのＦＦの出力が共に論理Ｈとなった場合に２つのＦＦを論理Ｌにリセットする回路とを有する位相周波数比較器が挙げられる。【００４９】
位相比較部２１０が進み信号および遅れ信号のいずれか一方を出力し続けると、デジタルフィルタ２２０は、位相シフト量の変更を禁止されない場合には、図中ＣＤＲロック状態４３０に示すように位相比較結果に応じて位相シフト量を一方向にシフトしていき、徐々に位相ロックが外れたＣＤＲロック外れ状態４４０へと遷移してしまう。その後、ＤＵＴ１００からデータ信号４２０が出力されると、位相比較部２１０は再生クロックＲＣＬＫおよびストローブ信号ＳＴＲＢの位相比較を再び行うことができるようになる。この結果、デジタルフィルタ２２０は、位相ロックが外れたＣＤＲロック外れ状態４４０から位相ロックがとれたＣＤＲロック状態４３０へと徐々に動作状態を遷移させる。【００５０】
このように、位相調整制御部２６０により位相シフト量の変更を禁止しない場合には、ＤＵＴ１００がバースト信号４１０を出力している間に位相シフト量が一方向に変化してしまい、再びＤＵＴ１００がデータ信号４２０を出力してからしばらくの間は位相ロックが外れた状態となってしまう。したがって、ＤＵＴ１００がデータ信号を出力し始めてからしばらくの間は試験を行うことができず、試験時間が長くなってしまう。【００５１】
以上に対し、位相シフト量の変更を禁止する場合、次に示す動作となる。一例として、パターン発生部１３０は、ＤＵＴ１００がデータ信号４００を出力している間、禁止信号Ｃを論理Ｌとしてデジタルフィルタ２２０をＣＤＲ動作モード４６０とする。これにより、パターン発生部１３０は、デジタルフィルタ２２０が、デバイス信号に追従して位相シフト量を変更することによって位相ロック状態を維持するのを許可し、ＣＤＲロック状態４７５とする。次に、ＤＵＴ１００がデータ信号４００の出力を終えてバースト信号４１０を出力し始めるタイミングで、パターン発生部１３０は、禁止信号Ｃを論理Ｈとする。これを受けて、デジタルフィルタ２２０は、ＣＤＲ動作モード４６０からＣＤＲ停止モード４６５へと遷移して、位相シフト量を禁止信号Ｃを受け取る直前の値のまま維持するＣＤＲ機能停止状態４８０となる。そして、ＤＵＴ１００がデータ信号４２０を出力し始める場合に、パターン発生部１３０は、禁止信号Ｃを再び論理Ｌとしてデジタルフィルタ２２０をＣＤＲロック状態４８５とし、維持している位相シフト量の変更を許可する。【００５２】
以上の動作により、デジタルフィルタ２２０は、位相合わせができない期間の間、直前の位相ロック状態における位相シフト量を保持することができる。したがって、ＤＵＴ１００がバースト信号４１０を出力している期間の間に試験装置１０およびＤＵＴ１００のクロック間に大きな位相のずれが生じなければ、試験装置１０は、データ信号４２０の出力開始時点または出力開始後比較的短い時間の後に、位相ロック状態に復帰することができる。【００５３】
なお、以上においては、デバイス信号がデータ信号からバースト信号へと切り替わるのとほぼ同じタイミングで禁止信号Ｃを切り替える例を示した。しかしながら、デバイス信号がデータ信号からバースト信号へと切り替わってから位相シフト量の変更を禁止するまでに多少の時間が必要となるケースも有り得る。例えば、検出部３００は、取得部１５５により取得されたデバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しないことを検出した場合に、禁止信号Ａを論理Ｈとする。この場合、デバイス信号としてデータ信号４００の後にバースト信号４１０が出力され始めてから、少なくとも指定された期間の間、位相シフト量が変更される。【００５４】
そこで、このような場合には、デジタルフィルタ２２０は、予め指定された期間の間における位相シフト量の変更分をキャンセルしてもよい。すなわち例えば、デジタルフィルタ２２０は、デバイス信号がデータ信号４００からバースト信号４１０へと切り替わった場合に検出部３００から退避信号を受け取って、デジタルフィルタ２２０内の位相シフト量をレジスタ２２５へと退避する。そして、デジタルフィルタ２２０は、取得部１５５により取得されたデバイス信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合に検出部３００から回復信号を受け取って、レジスタ２２５に退避した位相シフト量をデバイス信号に対する基準クロックの位相シフト量として再設定する。【００５５】
これに代えて、デジタルフィルタ２２０は、デバイス信号の値があらかじめ指定された期間以上変化しない場合に、この期間中位相シフト量を減少させ続ける位相比較部２１０に対しては、この期間の長さに応じたサイクル数分位相シフト量を増加させ、この期間中位相シフト量を増加させ続ける位相比較部２１０に対しては、この期間の長さに応じたサイクル数分位相シフト量を減少させてもよい。この位相シフト量の増減量は、指定された期間の長さによって決まるので、デジタルフィルタ２２０は、この増減量を予め定数として記憶しておいてもよい。これにより、デジタルフィルタ２２０は、この期間の間における位相シフト量の変更分をキャンセルすることができる。【００５６】
図５は、本実施形態の第１変形例に係る判定部１２４の主要部の構成を示す。本変形例に係る判定部１２４は、図１から図４とは異なる方式によりデバイス信号に重畳されたクロックに応じてシフトクロックの位相を調整する。図５において、図１から図４と同一の符号を付した部材は、図１から図４と同様の機能および構成を有するので、以下相違点を除き説明を省略する。【００５７】
本変形例に係る判定部１２４は、コンパレータ１４０と、ＰＬＬ部５００（Ｐｈａｓｅ  Ｌｏｃｋｅｄ  Ｌｏｏｐの略）と、可変遅延回路５４０と、ＣＤＲ回路５５０と、位相調整制御部２６０と、取得部１５５とを備える。ＰＬＬ部５００は、ストローブ信号ＳＴＲＢに同期し、かつ、ストローブ信号ＳＴＲＢに対してＣＤＲ回路５５０から入力される遅延量分の位相差を有するシフトクロックＳＦＴＣＬＫを出力する。【００５８】
ＰＬＬ部５００は、位相比較部５０５と、加算器５１０と、ＬＰＦ５１５（ローパスフィルタの略）と、ＶＣＯ５２０（電圧制御発振器の略）と、分周器５２５と、分周器５３０とを有する。位相比較部５０５は、分周器５３０から出力される、シフトクロックＳＦＴＣＬＫをストローブ信号ＳＴＲＢの周波数に分周したクロックと、ストローブ信号ＳＴＲＢとの位相差を検出して、位相差を示す位相差信号を出力する。加算器５１０は、位相比較部５０５からの位相差信号に、ＣＤＲ回路５５０から受け取った遅延量を加える。ＬＰＦ５１５は、ＣＤＲ回路５５０からの遅延量が加算された位相差信号における所定の周波数以上の高周波成分を制限または減衰させて、所定周波数未満の低周波成分を通過させる。【００５９】
ＶＣＯ５２０は、ＬＰＦ５１５により通過された位相差信号の電圧に応じた周波数で発振して、発振クロックを出力する。分周器５２５は、発振クロックを例えば１／Ｎ１に分周することにより、デバイス信号に重畳されたクロックに応じた周波数に分周して、取得部１５５、分周器５３０、および可変遅延回路５４０へと供給する。分周器５３０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを例えば１／Ｎ２に分周することにより、ストローブ信号ＳＴＲＢの周波数に分周する。【００６０】
可変遅延回路５４０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを、デバイス信号の約半周期に対応する時間分だけ遅延させる。ＣＤＲ回路５５０は、可変遅延回路５４０により遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫと、デバイス信号に重畳されたクロックとの位相差を低減させるようにＰＬＬ部５００内の加算器５１０に対して供給する遅延量を制御する。これにより、ＣＤＲ回路５５０は、取得部１５５に供給されるシフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相が、デバイス信号に重畳されたクロックの変化点同士のほぼ中間となるように調整する。【００６１】
ＣＤＲ回路５５０は、位相比較部２１０と、デジタルフィルタ２２０と、レジスタ２２５と、オフセット遅延量記憶部５７０と、加算器５７５と、ＤＡ変換部５８０とを有する。オフセット遅延量記憶部５７０は、制御装置１１０等により設定されるオフセット遅延量を記憶する。試験装置１０のユーザは、このオフセット遅延量を指定することにより、デバイス信号に対するシフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相を試験内容に応じて変更することができる。【００６２】
加算器５７５は、デジタルフィルタ２２０が出力する位相シフト量と、オフセット遅延量記憶部５７０からのオフセット遅延量とを加えて、ストローブ信号ＳＴＲＢに対してシフトクロックＳＦＴＣＬＫを遅らせるべき遅延量を算出する。ＤＡ変換部５８０は、加算器５７５が出力するデジタルの遅延量をアナログの遅延量に変換して、ＰＬＬ部５００内の加算器５１０へと供給する。【００６３】
以上に示した判定部１２４によれば、ストローブ信号ＳＴＲＢに同期し、かつ、ストローブ信号ＳＴＲＢに対して所定の位相差を有するシフトクロックＳＦＴＣＬＫを用いてデバイス信号を取得することができる。また、位相調整制御部２６０は、デバイス信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、デジタルフィルタ２２０による位相シフト量の変更を禁止することができる。【００６４】
図６は、本実施形態の第２変形例に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ１００と共に示す。図６において、図１から図５と同一の符号を付した部材は、図１から図５と同様の機能および構成を有するので、以下相違点を除き説明を省略する。本変形例において、ＤＵＴ１００は、入力端子を介してクロックが重畳された信号を受信する機能を有している。試験装置１０は、ＤＵＴ１００の当該入力端子に供給する試験信号にクロックを重畳しない期間の少なくとも一部において、ＤＵＴ１００内における位相調整を禁止することにより、試験装置１０およびＤＵＴ１００の間の位相ロック状態を維持する。【００６５】
ＤＵＴ１００は、内部回路６０２と、出力ＩＦ回路６２２（出力インターフェイス回路の略）と、位相調整制御部６６０と、入力ＩＦ回路６２４（入力インターフェイス回路の略）とを有する。内部回路６０２は、ＤＵＴ１００の使用目的に応じて設計された回路であり、入力ＩＦ回路６２４等を介して受信した外部からの受信信号および内部回路６０２の内部状態に応じて動作して、必要に応じて出力ＩＦ回路６２２等を介して外部へと送信信号を送信する。出力ＩＦ回路６２２は、内部回路６０２により制御されて、送信装置として機能する。出力ＩＦ回路６２２は、ＤＵＴ１００内部の基準クロックＲＥＦＣＬＫおよび送信データＳＤＡＴＡを受け取って、送信信号として外部へと送信する。本例においては、出力ＩＦ回路６２２は、送信データＳＤＡＴＡをシリアル化して基準クロックＲＥＦＣＬＫまたは基準クロックＲＥＦＣＬＫを逓倍した逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭを重畳した送信信号を送信する。【００６６】
位相調整制御部６６０は、ＤＵＴ１００内の基準クロックＲＥＦＣＬＫに基づいて動作する。位相調整制御部６６０は、出力ＩＦ回路６２２が送信する送信信号に逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭが重畳されていない期間の少なくとも一部において、試験装置本体１０５の判定部１２４内に設けられた位相調整制御部２６０に対して位相比較部２１０の位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止することを指示する禁止信号を送信する。位相調整制御部６６０は、図３に示した検出部３００および論理和回路３１０を有し、図３に示した位相調整制御部２６０と同様にして禁止信号を試験装置本体１０５内の判定部１２４へと送信する。【００６７】
位相調整制御部６６０は、データ信号を送信しない場合に内部回路６０２から受け取る禁止信号を試験装置本体１０５内の判定部１２４へと送信してもよい。また、位相調整制御部６６０は、送信データＳＤＡＴＡまたは送信信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合に、禁止信号を試験装置本体１０５内の判定部１２４へと送信してもよい。【００６８】
入力ＩＦ回路６２４は、内部回路６０２により制御されて、受信装置として機能する。入力ＩＦ回路６２４は、ＤＵＴ１００内部の基準クロックＲＥＦＣＬＫを内部回路６０２から受け取ると共に、外部から入力端子を介して入力される受信信号を受け取って、受信データＲＤＡＴＡを内部回路６０２へと供給する。入力ＩＦ回路６２４は、コンパレータ１４０と、周波数逓倍部１４５と、シフトクロック生成部１５０と、取得部１５５と、分周部１６０と、ＤＥＭＵＸ１６５とを含む。これらの部材の機能および動作は、図１から図４における同一符号の部材と同様であるので、以下相違点を除き説明を省略する。【００６９】
入力ＩＦ回路６２４内のシフトクロック生成部１５０は、ＤＵＴ１００内部の基準クロックＲＥＦＣＬＫを周波数逓倍部１４５により逓倍して受信信号の取得に用いる内部クロックとするという主な相違点を除き、図２と略同様の構成をとる。当該シフトクロック生成部１５０内のクロック再生部２００は、外部から入力端子を介して入力される受信信号に重畳されたクロックを再生する。当該シフトクロック生成部１５０内の位相比較部２１０は、ＤＵＴ１００の基準クロックＲＥＦＣＬＫを逓倍した逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭと受信信号に重畳されたクロックを抽出した再生クロックとの位相を比較する。シフトクロック生成部１５０内のデジタルフィルタ２２０、レジスタ２２５、ジッタ印加部２３０、および位相シフト部２５０は、位相比較結果に基づいて、受信信号に対する逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭの位相シフト量を調整する。ここで、入力ＩＦ回路６２４は、受信装置としての機能を満たせばよいので、図１に示した判定部１２４のようにタイミング発生部１２５で発生したストローブ信号ＳＴＲＢを用いてシフトクロックＳＦＴＣＬＫを生成しなくてもよい。【００７０】
当該シフトクロック生成部１５０は、ジッタ印加部２３０および加算器２４０を有しなくてもよい。また、ＤＵＴ１００は、図３に示した位相調整制御部２６０における、ＦＦ３２０、バッファ３２５、ＦＦ３３０および論理回路３４０等のクロック変換回路部分をシフトクロック生成部１５０内に内蔵し、退避信号、回復信号、および禁止信号ＤをＤＵＴ１００の外部から入力してもよい。これに代えて、入力ＩＦ回路６２４内のシフトクロック生成部１５０は、図３に示した位相調整制御部２６０における検出部３００および論理和回路３１０を更に内蔵し、受信信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止してもよい。【００７１】
取得部１５５は、受信信号に対して位相シフト量が調整された基準クロックであるシフトクロックＳＦＴＣＬＫに応じて受信信号を取得する。ＤＥＭＵＸ１６５は、取得部１５５が取得した受信信号をデマルチプレクスして、受信データＲＤＡＴＡとして内部回路６０２へと供給する。【００７２】
試験装置１０は、制御装置１１０と、試験装置本体１０５とを備える。試験装置本体１０５は、試験部１２２と、判定部１２４と、位相調整制御部２６０とを有する。試験部１２２は、図１の試験部１２２と同様であり、ＤＵＴ１００を試験するための試験信号をＤＵＴ１００の入力端子に供給する試験信号供給部として機能する。本変形例において、試験部１２２は、データ信号にクロックが重畳された試験信号をＤＵＴ１００の入力端子に供給する。判定部１２４は、図１の判定部１２４と同様の機能および構成を有する。【００７３】
位相調整制御部２６０は、試験信号にクロックが重畳されていない期間の少なくとも一部において、位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止する禁止信号をＤＵＴ１００に供給する。位相調整制御部２６０は、図３に示した検出部３００および論理和回路３１０を有する。位相調整制御部２６０は、図１から図５に示した位相調整制御部２６０と同様にして、制御装置１１０からの禁止信号Ｂに応じてＤＵＴ１００への禁止信号を供給してもよい。また、位相調整制御部２６０は、試験部１２２が実行する試験シーケンスにおいて位相シフト量の変更が禁止された期間の間、禁止信号ＣをＤＵＴ１００へと供給してもよい。また、位相調整制御部２６０は、試験信号を受け取って試験信号の値が予め指定された期間以上変化しない場合にその旨を検出し、禁止信号ＡをＤＵＴ１００へと供給してもよい。【００７４】
以上に示した試験装置１０によれば、試験信号にクロックが重畳されない期間の少なくとも一部において、ＤＵＴ１００内における位相シフト量の変更を禁止することにより、ＤＵＴ１００が位相ロック状態から外れるのを防ぐことができる。また、以上に示したＤＵＴ１００を互いに接続することにより、それぞれのＤＵＴ１００は、送信信号にクロックが重畳されない期間の少なくとも一部において、接続先のＤＵＴ１００内における位相シフト量の変更を禁止することができ、接続先のＤＵＴ１００が位相ロック状態から外れるのを防ぐことができる。【００７５】
なお、試験装置１０は、禁止信号および試験信号をＤＵＴ１００の別個の入力端子を介してＤＵＴ１００に供給してもよく、ＤＵＴ１００の同一の入力端子を介して供給してもよい。この場合、試験装置１０は、試験信号の値を変化させないバースト状態とする前に、ＤＵＴ１００に対して、位相シフト量の変更を禁止することを指示する禁止コマンドを含む試験信号を供給してもよい。ＤＵＴ１００は、受信した試験信号が禁止コマンドのパターンを含むものであった場合に、位相シフト量の変更を禁止するＣＤＲ停止モードに遷移する。【００７６】
図７は、本実施形態の第３変形例に係る装置７００の構成を示す。図７において、図１から図６と同一の符号を付した部材は、図１から図６と同様の機能および構成を有するので、以下相違点を除き説明を省略する。装置７００は、他の装置７００または当該装置７００と同様の通信インターフェイスを有する装置と接続され、接続先の装置との間で双方向の通信路を介して時分割でデータを送受信する。【００７７】
装置７００は、内部回路７０２と、出力ＩＦ回路６２２と、入力ＩＦ回路６２４とを備える。内部回路７０２は、装置７００の使用目的に応じて設計された回路であり、入力ＩＦ回路６２４等を介して受信した外部からの受信信号および内部回路７０２の内部状態に応じて動作して、必要に応じて出力ＩＦ回路６２２等を介して外部へと送信信号を送信する。内部回路７０２は、出力ＩＦ回路６２２に対して基準クロックＲＥＦＣＬＫ、送信データＳＤＡＴＡ、および外部の装置から受信信号を受信する期間の間出力ＩＦ回路６２２による送信を禁止するための送信禁止信号ＳＩＮＨを出力ＩＦ回路６２２に供給する。また、内部回路７０２は、入力ＩＦ回路６２４に対して基準クロックＲＥＦＣＬＫ、および外部の装置へと送信信号を送信する期間において、入力ＩＦ回路６２４内部における位相比較結果に基づく位相シフト量の変更を禁止するための受信禁止信号ＳＩＮＨを入力ＩＦ回路６２４に供給する。【００７８】
出力ＩＦ回路６２２は、双方向の通信路に接続される端子から受信信号を受信しない期間において、当該端子を介して外部へと送信信号を送信する送信部として機能する。出力ＩＦ回路６２２は、送信すべきデータがない場合、または外部の装置から受信信号を受信する場合に、内部回路７０２から送信禁止信号ＳＩＮＨを受け取って、通信路に対する信号出力を停止する。【００７９】
入力ＩＦ回路６２４は、双方向の通信路に接続される端子から送信信号を送信しない期間において、当該端子を介して外部からの受信信号を受信する受信部として機能する。入力ＩＦ回路６２４は、受信すべきデータがない場合、または外部の装置に対して送信信号を送信する場合に、内部回路７０２から受信禁止信号ＲＩＮＨを受け取る。受信禁止信号ＲＩＮＨを受け取ると、入力ＩＦ回路６２４は、当該受信禁止信号ＲＩＮＨを禁止信号として用い、入力ＩＦ回路６２４における位相シフト量の変更を禁止する。【００８０】
以上に示した装置７００によれば、双方向の通信路を介して時分割で外部の装置と通信する場合において、出力ＩＦ回路６２２が送信信号を送信している間、入力ＩＦ回路６２４における位相シフト量の変更を禁止することができる。したがって、出力ＩＦ回路６２２による送信中に、出力ＩＦ回路６２２の送信信号によって位相シフト量が調整されてしまうのを防ぐことができる。なお、装置７００は、接続先の装置との間でいずれの装置から信号を送信するかを、上記の通信路または他の通信路を介して調停してもよい。【００８１】
図８は、本実施形態の第４変形例に係る判定部１２４の構成を示す。図８において、図１および図２と同一の符号を付した部材は、図１および図２と同様の機能および構成を有するので、以下相違点を除き説明を省略する。
（※コメント：図８は、図１の判定部１２４の変形例として記載しております。シフトクロックＳＦＴＣＬＫおよびシフトクロックＳＦＴＣＬＫの半サイクル遅れのタイミングでデバイス信号を取り込んだ結果に基づいて位相シフト量を調整します。）【００８２】
可変遅延回路８４９は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを遅延させて、元のシフトクロックＳＦＴＣＬＫとは位相が異なるクロックとする。一例として可変遅延回路８４９は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを一周期未満、より好ましくは半周期遅延させて、取得部１５５ｂへと供給する。【００８３】
取得部１５５ａは、コンパレータ１４０を介して受け取ったデバイス信号を、シフトクロックＳＦＴＣＬＫに応じて取得する。取得部１５５ｂは、コンパレータ１４０を介して受け取ったデバイス信号を、可変遅延回路８４９により遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫに応じて取得する。ＤＥＭＵＸ１６５ａは、取得部１５５ａにより取得されたデバイス信号をデマルチプレクスして、期待値比較部１７０および位相比較部８１０に供給する。ＤＥＭＵＸ１６５ｂは、取得部１５５ｂにより取得されたデバイス信号をデマルチプレクスして、位相比較部８１０に供給する。【００８４】
位相比較部８１０は、ＤＥＭＵＸ１６５ａによりデマルチプレクスされたデバイス信号およびＤＥＭＵＸ１６５ｂによりデマルチプレクスされたデバイス信号に基づいて、シフトクロックＳＦＴＣＬＫおよびデバイス信号に重畳されたクロックの位相を比較する。【００８５】
図９は、本実施形態の第４変形例に係る位相比較部８１０の動作を模式的に示す。本例において、可変遅延回路８４９は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫを略半周期遅延させる。位相比較部８１０は、可変遅延回路８４９により遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相を、データ信号の変化点に近づけるように、位相シフト部２５０の位相シフト量を調整する。これにより、位相比較部８１０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫの位相をデータ信号の各周期の略中心に近づけることができる。【００８６】
位相比較部８１０は、取得部１５５ａにより取得された、シフトクロックＳＦＴＣＬＫのタイミングにおけるデバイス信号と、取得部１５５ｂにより取得された、遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫのタイミングにおけるデバイス信号とが異なる場合に、遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫがシフトクロックＳＦＴＣＬＫの次の周期に位置すると判断する。そして、位相比較部８１０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫが遅れていることを示す遅れ信号Ｌを出力する。【００８７】
一方、位相比較部８１０は、取得部１５５ａにより取得された、シフトクロックＳＦＴＣＬＫのタイミングにおけるデバイス信号と、取得部１５５ｂにより取得された、遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫのタイミングにおけるデバイス信号とが同じ場合に、遅延されたシフトクロックＳＦＴＣＬＫがシフトクロックＳＦＴＣＬＫと同一周期に位置すると判断する。そして、位相比較部８１０は、シフトクロックＳＦＴＣＬＫが進んでいることを示す進み信号Ｅを出力する。【００８８】
位相比較部８１０は、以上に示した処理を、ＤＥＭＵＸ１６５ａ〜ｂによりデマルチプレクスされたデバイス信号を用いて行う。これにより、位相比較部８１０は、元のデータ信号と比較し低い周波数で位相比較を行うことができる。なお、図６および図７に示した入力ＩＦ回路６２４に代えて、図８から図９に示した判定部１２４を用い、または判定部１２４を図６または図７の入力ＩＦ回路６２４に関連して示したように変形した回路を適用することもできる。【００８９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。【００９０】
例えば、請求の範囲および明細書中において示した装置および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特に、回路等のハードウェアによって実現される装置および方法においては、回路の各部分は必要なデータまたは信号を受け取り次第動作を行うことができるものであるから、データまたは信号の受け取り順に応じて任意の順序で処理されうる。したがって、明細書中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。【００９１】
また、以上に示した実施形態において、取得部１５５は、デバイス信号に対して位相シフト量が調整されたストローブ信号ＳＴＲＢ、または、逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭ等に応じてデバイス信号または受信信号を取得するために、ストローブ信号または逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭを位相シフト部２５０により位相シフトしたシフトクロックＳＦＴＣＬＫに基づいてデバイス信号または受信信号を取得する。これに代えて、取得部１５５は、デバイス信号または受信信号を遅延等させることにより、デバイス信号または受信信号に対するストローブ信号ＳＴＲＢまたは逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭの位相シフト量を相対的に調整してもよい。また、ストローブ信号ＳＴＲＢまたは逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭと、デバイス信号との両方を異なる遅延量だけ遅延させることにより、ストローブ信号ＳＴＲＢまたは逓倍クロックＲＥＦＣＬＫＭとデバイス信号との間の位相シフト量を調整してもよい。【００９２】
また、位相調整制御部２６０は、位相シフト量の変更を禁止する場合に、位相比較部２１０または位相比較部８１０が出力する遅れ信号Ｌおよび進み信号Ｅを例えば論理Ｌにマスクして、遅れおよび進みがない旨の位相比較結果をデジタルフィルタ２２０に供給するようにしてもよい。また、クロックが重畳された信号は、正側の信号および負側の信号を有する差動信号であってもよい。また、取得部１５５、取得部１５５ａ〜ｂは、それぞれ複数セットを有し、コンパレータ１４０からの信号をインターリーブして取得する構成を採ってもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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