【事件の表示】
　特許第３００１８７６号「ワイヤソ―による希土類合金の切断方法および希土類合金板の製造方法」の請求項１ないし１４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３００１８７６号の請求項１ないし８、１０ないし１２に係る特許を取り消す。
　同請求項９に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３００１８７６号の発明についての出願は、平成１０年１２月２８日（優先権主張平成１０年９月１日）に特許出願され、平成１１年１１月１２日にその発明について特許権の設定の登録がされ、その後、平成１２年７月１７日に特許異議申立人野村由美子より請求項１乃至１２に係る特許に対して特許異議の申立てがされ、平成１２年７月２１日に特許異議申立人後田春紀より請求項１乃至１４に係る特許に対して特許異議の申立てがされ、請求項１乃至１４に係る特許に対して取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年３月２３日に特許異議意見書が提出されるとともに訂正請求がされたものである。
　
第２　特許異議の申立て及び取消しの理由の概要
１　特許異議申立人野村由美子は、証拠として、甲第１号証：特開平１０−３０６２７５号公報、甲第２号証：特開平８−２９５８７５号公報（以下「刊行物１」という。）、甲第３号証：特開平８−５７８４７号公報（以下「刊行物２」という。）、甲第４号証：実願昭６３−９５８６４号（実開平２−１９４６０号）のマイクロフィルム（以下「刊行物３」という。）、甲第５号証：特開平６−７１１９５号公報（以下「刊行物４」という。）、甲第６号証：特開平５−１６９４３４号公報（以下「刊行物５」という。）、甲第７号証：特開平１０−８６１４３号公報（以下「刊行物６」という。）、甲第８号証：特開平９−２９０３６１号公報（以下「刊行物７」という。）、甲第９号証：特開平９−２７２１２２号公報（以下「刊行物８」という。）及び甲第１０号証：特開平７−１０６２８８号公報（以下「刊行物９」という。）を提出し、請求項１乃至１２に係る発明は、上記刊行物１乃至９に記載された発明から容易に発明をすることができたものであり、請求項１乃至１２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから取り消されるべきものであり、また、請求項１及び４に係る発明は、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面（以下「先願明細書１」という。）に記載された発明と同一であるので、請求項１及び４に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであるから取り消されるべきものである旨主張している。
２　特許異議申立人後田春紀は、証拠として、甲第１号証：特開平８−２９５８７５号公報（上記刊行物１と同じ。）、甲第２号証：「理化学辞典」，第４版，株式会社岩波書店，１９８９年１２月１５日，ｐ．２９０（以下「刊行物１０」という。）、甲第３号証：特開平８−５７８４８号公報（以下「刊行物１１」という。）、甲第４号証：特開平４−２１６８９７号公報（以下「刊行物１２」という。）、甲第５号証：実願昭６３−９５８６４号（実開平２−１９４６０号）のマイクロフィルム（上記刊行物３と同じ。）、甲第６号証：特開平１０−３４０１１号公報（以下「刊行物１３」という。）、甲第７号証：実公昭６３−２３９６２号公報（以下「刊行物１４」という。）、甲第８号証：特開平６−７１１９５号公報（上記刊行物４と同じ。）、甲第９号証刊行物：特開平５−１６９４３４号公報（上記刊行物５と同じ。）、甲第１０号証刊行物：特開平７−１０６２８８号公報（上記刊行物９と同じ。）、甲第１１号証：特開平９−１０９０１４号公報（以下「刊行物１５」という。）、甲第１２号証：特開平９−２１６２２２号公報（以下「刊行物１６」という。）、甲第１３号証：「ゴム技術ガイドブック」，第５版，日刊工業新聞社，昭和４９年７月３０日，ｐ．１４０−１４１（以下「刊行物１７」という。）、甲第１４号証：「カーク・オスマー化学大辞典」，丸善株式会社，昭和６３年１１月２０日，ｐ．４３６（以下「刊行物１８」という。）、甲第１５号証：実願昭６３−１５５６９３号（実開平２−７４１６０号）のマイクロフィルム（以下「刊行物１９」という。）、甲第１６号証：米国特許第４７７０７２３号明細書（以下「刊行物２０」という。）及び甲第１７号証：特開平１１−２７７３９４号公報を提出し、請求項１乃至１４に係る発明は、上記刊行物１、３乃至５、９、１１乃至１６、１９及び２０に記載された発明から容易に発明をすることができたものであり、請求項１乃至１４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから取り消されるべきものであり、また、請求項１０に係る発明は、甲第１７号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は図面（以下「先願明細書２」という。）に記載された発明と同一であるので、請求項１０に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであるから取り消されるべきものである旨主張している。
３　当審で通知した取り消しの理由は、上記異議申立人野村由美子及び異議申立人後田春紀の主張と同様な主旨のものである。
　
第３　引用刊行物及び先願明細書
１　当審において通知した取消しの理由で引用した刊行物１には、次の事項が記載されている。
「通常、フェライト、センダスト、サマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料、・・・をスライシングする場合、マルチブレイドソー及びワイヤーソーが用いられており、これらブレイドやワイヤーにスライシング用研磨液組成物を付着させ、その摩擦力によりスライシングする方式が採用されている。」（第１欄第２４−３２行）
「従来、この研磨液組成物としては、ケロシンを主体とする水不溶性の炭化水素化合物を分散媒体として、これに研磨微粉を混合分散させた研磨液組成物が広く用いられている。」（第１欄第３３−３６行）
　また、上記ワイヤーソーを用いたスライシングは、分散媒体に研磨微粉を分散させた研磨液組成物をワイヤ上に供給し、材料に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記材料との間に挟まれた研磨微粉で材料を切断することにより行われるものであることは、技術常識より明らかである。
　また、前記研磨液組成物が、前記分散媒体を主成分としていることは、技術常識より明らかである。
　以上のとおりであるので、刊行物１には、次の発明が記載されていると認められる。
　分散媒体に研磨微粉を分散させた研磨液組成物をワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤをサマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記磁性材料との間に挟まれた前記研磨微粉で前記磁性材料を加工する工程と、を包含するサマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料のワイヤソー装置を用いた切断方法であって、
　前記研磨液組成物は、前記研磨微粉を分散させた水不溶性の分散媒体を主成分としているサマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料の切断方法。
２　同じく引用した刊行物２には次の事項が記載されている。
「従来、シリコン単結晶等のインゴット切断用の切削液としては、主に、鉱物油を主成分とする非水溶性切削油が用いられており、この切削油にＳｉＣ等の砥粒を混合・分散させた切削剤（スラリー）をインゴットの切断部に供給することにより、インゴットのスライスが行われている。」（第１欄第３１−３６行）
「また、上記インゴット切断用の加工具としては外周刃、内周刃、バンドソーまたはワイヤソーが用いられている。」（第１欄第４５−４７行）
　また、本発明の水溶性切削液（１）と従来例の非水溶性切削油（２）の物性が示された【表３】（第６頁）に、従来例の非水溶性切削油の２５℃における粘度が８０〜１００［ミリパスカル秒］であると記載されている。
３　同じく引用した刊行物３には次の事項が記載されている。
「この考案は、例えばシリコン鋳塊からウェハを切り出すのに使用されるワイヤソーマシンに関する。」（明細書第１頁第１６−１８行）
「クーラントセパレー夕６３においてはクーラントポンプ６２で注入口より供給された砥液がマグネットドラムに送られる。ここで砥液中から切削粉（鉄分）が分離される。・・・
　かくして、ワークの切断中に発生する鉄粉が常に鉄粉除去装置６によって砥液中より除去されて常に砥液がきれいな状態に保持されるから、ワーク表面が保護される。」（明細書第７頁第９行−第１８行）
　また、上記分離が磁力によって行われていることは、技術常識より明らかであり、切削粉及び砥液をそれぞれスラッジ及スラリを表現できることが明らかである。
　以上のとおりであるので、刊行物３には、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、スラッジをスラリ内から磁力によって分離する発明が記載されていると認められる。　
４　同じく引用した刊行物４には次の事項が記載されている。  
「液体中の磁性懸濁物、非磁性懸濁物などの不純物を磁石に磁気吸着するについて、４０００ガウス以上の磁力を持つ磁石に、不純物を含む液体を０．１〜１８０分間接触させて、・・・磁石に磁気吸着する液体中の不純物の磁気凝集処理方法。」（第１欄特許請求の範囲請求項１）
「また、本発明は、・・・不純物を含む液体を、不純物除去処理をし、その処理液（放電加工液、クーラント液等）を再使用し、資源として再活用することを目的とする。」（第３欄第１７−２１行）
　また、４０００ガウスが０．４テスラであることは、明らかである。
　以上のとおりであるので、刊行物４には、放電加工液、クーラント液等の処理液を再使用するために、不純物を処理液内から磁力によって分離する方法において、磁力を０．４テスラ以上とする発明が記載されていると認められる。
５　同じく引用した刊行物５には次の事項が記載されている。
「次に、一方向走行型ワイヤソーにおける加工液として、ボロンカーバイド砥粒を含有する砥液を用いる理由を以下に説明する。通常、脆性材料切断用の砥液は砥粒をラッピングオイル等の油あるいは適当な添加剤を含む水等の液体に混合したものである。・・・ワイヤ速度を４００ｍ／分以上にすれば能率的な切断が可能であり、切断面の平坦度も良好である。」（第３欄第２３−３７行）
「なお、ワイヤの走行速度は切断能率を向上させるために高速である程好ましいが、極端に速くなるとワイヤ列から砥液が振り切られてしまうため、８００ｍ／分を実用的な上限とした。」（第４欄第３１−３４行）
　以上のとおりであるので、刊行物５には、能率的な切断が可能であり、切断面の平坦度も良好であり、ワイヤ列から砥液が振り切られてしまうことがないように、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、ワイヤの走行速度を毎分４００から８００メートルの範囲内とする発明が記載されていると認められる。
６　同じく引用した刊行物６には次の事項が記載されている。
「走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を押し当てることにより該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記溝付ローラの軸部をセラミックスで形成したことを特徴とするワイヤソーの溝付ローラ。」（第１欄特許請求の範囲請求項１）
「この３本の溝付きローラ１８の外周には、多数の溝が一定ピッチで形成されており、該溝に前記ワイヤ１４を順次巻きかけてゆくことにより、その上面に水平なワイヤ列２０が形成される。」（第２欄第３−７行）
「ここで、前記一対のワイヤリール１２及び３本の溝付きローラ１８のうち１本には、それぞれモータ（図示せず）が連結されており、このモータを駆動することにより前記ワイヤ１４は一対のワイヤリール１２間を高速走行する。」（第２欄第１２−１６行）
「図２は、本発明に係る溝付きローラの構成を示す側面断面図である。同図に示すように、前記溝付きローラ１８は、円筒状に形成されたセラミックス製のシャフト１８Ａの外周部にウレタンゴム製のローラ１８Ｂが一体固着されて形成されている。」（第２欄第４６行−末行）
７　同じく引用した刊行物７には次の事項が記載されている。
「表面に複数のワイヤー溝を有し、・・・該セラミックス製多溝ローラのワイヤー溝の深さが、５０〜５００μｍであり、・・・セラミックス製多溝ローラ。」（第１欄特許請求の範囲請求項３）
「そこで、これらの振れが生じても脱線、断線しない範囲、即ち、振れの許容範囲を求めたところ、ワイヤー溝の深さが、５０〜５００μｍのセラミックス製多溝ローラのワイヤー溝では、アキシャル方向の振れが２０μｍ以下、ラジアル方向の振れが２０μｍ以下、であることがわかった。」（第５欄第４３−４８行）
８　同じく引用した刊行物８には次の事項が記載されている。
「この発明は、ワイヤ列と砥粒を用いたマルチワイヤソー（以下ワイヤソーと記す）により、半導体材料、セラミックス等の脆性材料を複数のウエハに切断する方法に関する。
・・・ワイヤソーは、外周面に所定のピッチで溝を設けた溝ローラ間でワイヤ列を張設して走行させ、このワイヤ列に下方または上方から被切断物（以下ワークと記す）を押し当て、押し当て部に砥粒を含む砥液を供給しつつ研削作用により、ワークを多数のウエハ状に切断する装置である。」（第１欄第１９−２９行）
９　同じく引用した刊行物９には次の事項が記載されている。
「本発明は半導体基板の形成方法に関し、特に半導体塊をマルチワイヤーソー装置でスライスして太陽電池用半導体基板などを形成する半導体基板の形成方法に関する。」（第１欄第１０−１３行）
「半導体塊１は、例えば鋳造法などによって形成された多結晶シリコンのインゴットを所定の寸法に切り出したものなどで構成される。」（第２欄第４３−４５行）
「すなわち、図１に示す例では、半導体塊１を二個設置し、ワイヤ−２がいずれの方向に回転した場合でも、二個の半導体塊１に均等にスラリーが供給できるようにスラリー供給ノズル５ａを三箇所設けている。」（第３欄第４−８行）
　また、図１より、スラリーの供給の一部が二個の半導体塊１の間隙を介して行われていることが明らかである。
　以上のとおりであるので、刊行物９には、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、被切断物である半導体塊を二個のブロックに分割した状態で保持し、スラリの供給の少なくとも一部を前記二個のブロックの間隙を介して行う発明が記載されていると認められる。
１０　同じく引用した刊行物１０には、次の事項が記載されている。
「希土類金属・・・サマリウムコバルト（Ｓｍ−Ｃｏ），ネオジム−鉄−ホウ素（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）が代表的．」（第２９０頁）
１１　同じく引用した刊行物１１には、次の事項が記載されている。
「従来、シリコン単結晶等のインゴット切断用の切削液としては、主に、鉱物油を主成分とする非水溶性切削油が用いられており、この切削油にＳｉＣ等の砥粒を混合・分散させた切削剤（スラリー）をインゴットの切断部に供給することにより、インゴットのスライスが行われている。」（第１欄第５０行−第２欄第５行）
「また、上記インゴット切断用の加工具としては外周刃、内周刃、バンドソーまたはワイヤソーが用いられている。」（第２欄第１４−１６行）
　また、本発明の水溶性切削液（１）（２）と、従来例の非水溶性切削油の物性が示された【表７】（第７頁）に、従来の切削油の２５℃における粘度が８０〜１００［ミリパスカル秒］であると記載されている。
　また、スラリが、砥粒を分散させた非水溶性切削油を主成分としていることは、技術常識より明らかである。
　以上のとおりであるので、刊行物１１には、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、スラリは、砥粒を分散させた鉱物油を主成分とする非水溶性切削油を主成分としており、非水性切削油の２５℃における粘度が８０〜１００［ミリパスカル秒］の範囲内にある発明が記載されていると認められる。
１２　同じく引用した刊行物１２には次の事項が記載されている。
「ワイヤソーを用いて・・・粘度が２０℃で９０ｍＰａ・ｓ超〜５００ｍＰａ・ｓを有する水溶性加工液を用いることを特徴とする切断法。」（第１欄特許請求の範囲請求項１）
「加工液の粘度が９０ｍＰａ・ｓ〜５００ｍＰａ・ｓの場合に切削速度は３ｍｍ／ｍｉｎ以上にできることが判る。
　９０ｍＰａ・ｓ以下ではワイヤ上における砥粒の保持力が低下し、切削速度が上がらない。」（第４欄第４２−４５行）
　以上のとおりであるので、刊行物１２には、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、スラリの２５℃における粘度が９０から５００［ミリパスカル秒］の範囲内である発明が記載されていると認められる。
１３　同じく引用した刊行物１３には次の事項が記載されている。
「工作機械，又はその他一般の加工に使用され，磁性体の針状切りくずを主体としたスラッジを含有するクーラントを，非磁性回転管内に固定の磁石群筒を蔵した磁気回転円筒と，所定の間隙で形成させた底板との間でできた流路に通過させ，該クーラント中のスラッジを該磁気回転円筒の外周に吸着させ，・・・針状切りくず処理用磁気分離器。」（第２頁左欄特許請求の範囲請求項１）
「従来の磁気分離器を磁性体の針状切りくずを主体としたスラッジを含有するクーラントのリサイクル用浄化処理に使用した場合は，図４，図５にその一例を示すように，磁気回転円筒５２の外周に吸着した磁性体の針状切りくずが，長手方向の両端にＮ，Ｓの磁極が出来ており，・・・行われていた。」（第２頁左欄第２５−３８行）
１４　同じく引用した刊行物１４には次の事項が記載されている。
「しかしながら・・・研削油を再生するにはスラッジを除去する必要がある。
　スラッジの排除手段として、永久磁石や電磁石の磁力を利用して研削油、つまりダーティ液から磁性のスラッジを除去する分離装置がある。」（第１欄第２５行−第２欄第３行）
「分離槽３内には、ステンレス等の非磁性体よりなる回転ドラム１０がその下部を液の流れに浸漬するように設けられている。・・・
　ドラム１０の内側には永久磁石１１が回転しないように配置されている。」（第４欄第１０−１７行）
１５　同じく引用した刊行物１５には次の事項が記載されている。
「一方のワイヤリール１２に巻回されたワイヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すように配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。」（第２頁右欄第３０−３７行）
「前記一対のワイヤリール１２、２６には、それぞれ正逆回転可能なモータ２８、３０が連結され、このモー夕２８、３０を駆動するとにより、ワイヤ１４は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行する。また、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に正逆回転可能なモータ３２が連結されている。このモータ３２は前記モータ２８、３０に同期するように駆動制御される。」（第３頁左欄第２−８行）
「前記ガイドローラ１８は、ポリウレタンゴムやプラスチック等の合成樹脂材で形成され、外周部にワイヤ案内用のガイド溝８２、８２が２溝形成されている。」（第３頁左欄第４８行−右欄第１行）
　また、溝付きローラは、回転可能に支持され、外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成されていることは、技術常識より明らかである。
　以上のとおりでるので、刊行物１５には、外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けたワイヤを走行させる駆動手段（モータ参照）とを備えたワイヤソー装置を用いた切断方法の発明が記載されていると認められる。
１６　同じく引用した刊行物１６には次の事項が記載されている。
「図１の糸鋸引き装置は、本発明の原理を図示している。鋸引き加工品１は、糸案内円筒４によって支えられた糸の層２に当接している。・・・取り外し可能なセグメント６は、固定ネジ７によって糸案内円筒４の表面に機械的に固定されている。・・・層の糸２は、往復または連続運動で移動させるための周知の手段で駆動することができる。セグメント６の外面は、刻まれた溝９を備え、その中に糸が配置される。」（第４欄第２８−３８行）
「図２は、溝９があらかじめ切削されたポリウレタン層８によって被覆され、固定ネジ７によって糸案内円筒４に機械的に固定された２つの取り外し可能なセグメント６を備えた、固定軸の糸案内円筒４の全体図を示している。」（第４欄第４５−４９行）
　以上のとおりであるので、刊行物１６には、ローラ（糸案内円筒４参照）の外周表面をポリウレタンによって覆ったワイヤソー装置（糸鋸引き装置参照）を用いた切断方法の発明が記載されていると認められる。
１７　同じく引用した刊行物１７には次の事項が記載されている。  
「５．１１．１　ウレタンゴムの種類
　・・・大別するとポリエステルタイプ（ＡＵ）とポリエーテルタイプ（ＥＵ）とに分かれ，・・・市販品の大部分は，ポリエーテル，ポリエステルの違いはあっても，いずれも安定化プレポリマータイプである．」（第１４０−１４１頁） 
１８　同じく引用した刊行物１８には次の事項が記載されている。
「熱可塑性ウレタンエラストマー
　・・・一般的には高強度，高引裂強さ，耐薬品性，耐熱性の点からはポリエステルウレタンが，・・・ポリエーテルウレタンが用いられる．」（第４３６頁右欄）
１９　同じく引用した刊行物１９には次の事項が記載されている。
「外周面に多数の案内溝を有する溝付きローラからなる２本またはそれ以上の溝車群を平行または多角形の各頂点に配設し、・・・ワイヤソーの溝車。」（明細書第１頁実用新案登録請求の範囲）
「この考案は、セラミックス、シリコン等の硬脆材料をウエハ状に切断するためのワイヤソーの溝車の改良に関する。」（明細書第１頁第１３−１５行）
「溝車の案内溝を前記のごとく２段溝とし、かつ溝深さをワイヤ径の５〜６倍に深くすることにより、溝底に異物が堆積しワイヤが浮き上がった場合でも溝幅の広がりが少ないためワイヤの振れがなく、常に正確な切断寸法が維持され、また溝上部が垂直壁でかつ溝深さが深いためワイヤが溝から離脱することがない。」（明細書第３頁第１２−１８行）
「前記溝車（１）の案内溝（６）は、第２図に示すように、底部は断面Ｖ型で、上部は垂直壁からなる２段溝に形成し、寸法的には例えばワイヤ径が０．１６ｍｍの場合溝深さｌｍｍ、・・・とする。」（明細書第４頁第７−１１行）
　以上のとおりであるので、刊行物１９には、ワイヤソー装置を用いて切断する方法において、ローラの多数の溝の深さを１ｍｍをする発明が記載されていると認められる。
２０　同じく引用した刊行物２０には次の事項が記載されている。
「ＦＩＧ．８は、パウダーＸ線解析及び脱磁カ一ブ計測の実験手順のフローチャートである。」（第４欄第３０−３２行）
「（１）合金を高周波溶解し、水冷銅製鋳型で鋳造した。Ｆｅ、Ｂ、Ｒの出発原料として、・・・Ｒには希土類元素・・・をそれぞれ使用した。
（２）粉末化工程では、・・・微粉砕した。
（３）その生成粉末を、１０ｋＯｅの磁場内で一定方向に磁化した後、１．５ｔ／ｃｍ２の圧力で成形した。
（４）その生成化合物を、アルゴン雰囲気中で約１時間、１０００〜１２００℃で焼結した後、自然冷却した。」（第９欄第３６−５３行）
　したがって、刊行物２０には、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金のインゴットを作製する方法の発明が記載されており、また、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する方法の発明が記載されていると認められる。
２１　同じく引用した先願明細書１には次の事項が記載されている。
「鉱油及び／又は植物油２０〜６０重量部を水４０〜８０重量部に界面活性剤の存在下に乳化させた分散媒体１００重量部に、平均粒径が１．２〜６０μｍの研磨微粉３０〜１５０重量部を混合・分散したことを特徴とするスライシング用研磨液組成物。」（第１欄特許請求の範囲請求項１）
「２５℃におけるＢ型粘度計による粘度が５０〜１０００センチポイズの範囲である請求項１、２又は３記載のスライシング用研磨液組成物。」（第１欄特許請求の範囲請求項４）
「通常、フェライト、センダスト、サマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料、・・・をスライシングする場合は、マルチブレードソー又はワイヤーソーを用い、これらにスライシング用研磨液組成物を付着させ、その研磨力によりスライシングする方式が採用されている。」（第１欄第２３−３１行）
「本発明は、・・・磁性材料等の目的材料のスライシングを簡単かつ短時間で円滑に、しかも安全かつ安価に行うことができるスライシング用研磨液組成物を提供することを目的とする。」（第２欄第２０−２４行）
２２　同じく引用した先願明細書２には次の事項が記載されている。
「ところで、このようなワイヤーソでは、受け容器に回収される砥液Ｌ中における切粉の含有量は、ワークの切削量に比例して増加していき、それに伴って砥液Ｌの粘度が上昇する等、砥液の状態も経時的に変化していく。そのため、粘度上昇に伴って切断精度の低下や、砥液供給配管及び砥液吐出ノズルなどの閉塞といった問題が生ずる。また、砥液Ｌの状態を一定に維持するためには、切粉の含有量が高くなった砥液を新しい砥液に交換する作業を頻
繁に行うことが必要となる。」（第２頁右欄第１６−２５行）
「ワークＷは、図示の例では直方体形状の磁性材料である。そして、この昇降機構２０の稼動によってワークＷが下降し、ワークＷの下面側が、ロール１０，１１の間において互いに平行で等間隔に張り渡されたワイヤ１５に接触するようになっている。
　・・・このノズル２１から吐き出した砥液Ｌをワイヤ１５に供給して、砥液Ｌ中に分散している砥粒をワイヤ１５に付着させる。そして、砥粒を付着させたワイヤ１５をワークＷに接触させて・・・なっている。」（第３頁右欄第２３−３８行）
「以上のように構成されるワイヤーソ１においてワークＷを切断すると、ワークＷの切断量に比例して受け容器２７に回収される砥液Ｌ中における切粉の含有量が増加していき、それに伴って砥液Ｌの粘度上昇等が生ずる。そして、粘度上昇に伴って切断精度の低下、循環回路２８やノズル２１の閉塞といった問題が生ずる。また、砥液Ｌの状態を一定に維持するためには、定期的に砥液Ｌを交換しなけれはならす、作業が繁雑となる。
　そこで、受け容器２７において、回収された砥液中に混入した切粉を除去する切粉除去機構２を設けて、そのような問題の解決を図っている。図示の例の切断除去機構２は、受け容器２７に回収された砥液Ｌの液面Ｌ′下に同面の一部が浸漬された状態で回転する浸漬マグネットローラ３０と、液面Ｌ′よりも上方において浸漬マグネットローラの３０の面から切粉を除去する除去手段３１を備えている。」（第４頁左欄第５−２１行）
「これにより、受け容器２７内の砥液Ｌ中に混入していた切粉は磁力によって吸い寄せられ、浸漬マグネットローラ３０の周面に付着していく。・・・この時、切粉と一緒に砥液Ｌ中の液分（オイル）も・・・受け渡される。・・・
　このように、受け容器２７内に設けられた切粉除去機構２により砥液Ｌ中に混入した切粉を連続的もしくは間欠的（定期的な除去を含む）に除去する。こうして、ワークＷを切断することによって発生した切粉を発生相当量回収することにより、砥液Ｌの状態は一定となり、切断精度の変動を抑制できるようになる。また、回路２６，２８やノズル２１の閉塞も防止でき、掃除や砥液交換回数の大幅な削減が可能となる。」（第４頁右欄第３８行−第５頁左欄第２１行）
　
第４　訂正の適否
１　訂正の内容
　上記訂正請求による訂正の内容は、次のとおりのものである。
　訂正事項
　特許請求の範囲に記載された
「【請求項１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあることを特徴とする希土類合金の切断方法。
【請求項２】前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。　
【請求項３】スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることを特徴とする請求項２に記載の希土類合金の切断方法。　
【請求項４】前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項５】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段と、
を備えたワイヤソー装置を用いることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の希土類合金の切断方法。
【請求項６】前記ローラの外周表面がエステル系ウレタンゴムによって覆われていることを特徴とする請求項５に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項７】前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする請求項５に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項８】走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断することを特徴とする請求項５に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項９】前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする請求項８に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項１０】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする希土類合金の切断方法。　
【請求項１１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする希土類合金の切断方法。
【請求項１２】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする希土類合金の切断方法。
【請求項１３】希土類合金のインゴットを作製する工程と、
請求項１から１２の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記希土類合金のインゴットから複数の希土類合金板を分離する工程と、を包含することを特徴とする希土類合金板の製造方法。
【請求項１４】希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、
請求項１から１２の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離する工程と、を包含することを特徴とする希土類合金磁石の製造方法。
【請求項１５】請求項１４に記載の希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えていることを特徴とするボイスコイルモータ。
【請求項１６】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１５に記載のボイスコイルモータ。」を、
「【請求項１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあることを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
【請求項２】前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。　
【請求項３】スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることを特徴とする請求項２に記載の希土類合金の切断方法。　
【請求項４】前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項５】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの外周表面がエステル系ウレタンゴムによって覆われていることを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項６】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項７】前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項８】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内からマグネットセパレータを用い磁力によって分離し、前記マグネットセパレータは前記スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すことを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。　
【請求項９】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
【請求項１０】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあり、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
【請求項１１】ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金のインゴットを作製する工程と、
　請求項１から１０の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記希土類合金のインゴットから複数の希土類合金板を分離する工程と、
を包含することを特徴とする希土類合金板の製造方法。
【請求項１２】ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、
　請求項１から１０の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離する工程と、
を包含することを特徴とする希土類合金磁石の製造方法。
【請求項１３】請求項１２に記載の希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えていることを特徴とするボイスコイルモータ。
【請求項１４】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１３に記載のボイスコイルモータ。」
と訂正する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）特許請求の範囲の全体についてみると、上記訂正事項は、請求項５及び請求項６を削除したものであって、これは、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。
（２）請求項１についての訂正事項は、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、」の事項を直列的に付加するとともに、「希土類合金」をより下位概念である「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」に限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであり、また、その「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断」については、願書に添付した明細書（以下「特許明細書」という。）の請求項８に記載されていた事項であり、また、「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」については、特許明細書の段落番号【００２５】に記載されていた事項であるので、新規事項の追加に該当するものではない。
（３）請求項５及び６についての訂正事項は、請求項５の削除に伴い、請求項５を引用していた請求項６及び７を請求項５及び６に繰り上げ、削除された請求項に記載されていた事項を請求項５及び６に記載するとともに、引用請求項を「請求項１から４の何れか」から「請求項１」に減少するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。
（４）請求項７についての訂正事項は、請求項５及び８の削除に伴い、請求項９を請求項７に繰り上げるとともに、請求項９で引用していた請求項８がさらに引用していた請求項５に記載されていた「請求項１から４の何れか」を「請求項１」に引用請求項を減少するものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。
（５）請求項８についての訂正事項は、請求項５及び８の削除に伴い、請求項１０を請求項８に繰り上げるとともに、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、」の事項を直列的に付加し、「スラリ内から磁力によって分離すること」をより下位概念の「スラリ内からマグネットセパレータを用い磁力によって分離し、前記マグネットセパレータはスラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すこと」に限定し、「希土類合金」をより下位概念である「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」に限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであり、また、その「スラリ内からマグネットセパレータを用い磁力によって分離し、前記マグネットセパレータはスラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すこと」は、特許明細書の段落番号【００４７】に記載されていた事項であり、また、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断」及び「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」については、上記（２）のとおり特許明細書に記載されていた事項であるので、新規事項の追加に該当するものではない。
（６）請求項９についての訂正事項は、請求項５及び８の削除に伴い、請求項１１を請求項９に繰り上げるとともに、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、」の事項を直列的に付加し、「希土類合金を複数のブロックに分割した状態に保持し」をより下位概念の「希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態に保持し」に限定し、「希土類合金」をより下位概念である「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」に限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであり、また、その「希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態に保持し」は、特許明細書の段落番号【００２９】に記載されていた事項であり、また、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断」及び「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」については、上記（２）のとおり特許明細書に記載されていた事項であるので、新規事項の追加に該当するものではない。
（７）請求項１０についての訂正事項は、請求項５及び８の削除に伴い、請求項１１を請求項９に繰り上げるとともに、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、」の事項を直列的に付加し、「希土類合金」をより下位概念である「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」に限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであり、また、その「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断」及び「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」については、上記（２）のとおり特許明細書に記載されていた事項であるので、新規事項の追加に該当するものではない。
（８）請求項１１及び１２についての訂正事項は、請求項５及び８の削除に伴い、請求項１３及び１４を請求項１１及び１２に繰り上げ、引用請求項を「請求項１から１２の何れか」から「請求項１から１０の何れか」に減少するとともに、「希土類合金」をより下位概念である「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」に限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであり、また、その「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」については、上記（２）のとおり特許明細書に記載されていた事項であるので、新規事項の追加に該当するものではない。
（９）請求項１３及び１４についての訂正事項は、請求項５及び８の削除に伴い、請求項１５及び１６を請求項１３及び１４に繰り上げるとともに、引用請求項もそれぞれ繰り上げたものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。
（１０）以上のとおりであるので、上記訂正事項は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであり、また、上記訂正事項は、明らかに特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものであり、また、上記訂正事項の訂正によって発明の目的が変更されるものでもないので、上記訂正事項は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
３　独立特許要件
　請求項１３及び１４についての訂正事項は、上記２（９）のとおり請求項５及び８の削除に伴い請求項を繰り上げるものであるが、繰り上げられた請求項１３及び１４で引用している請求項１２については、上記２（８）のとおり、下位概念に限定する訂正がなされているので、結局、請求項１３及び１４についての訂正事項は、特許異議の申立てのされていない請求項１５及び１６について訂正であって、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するするものということになる。
　そこで、訂正された請求項１３及び１４についての独立特許要件を、以下検討する。
（１）訂正発明
　訂正請求により訂正された請求項１３及び１４に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１３及び１４に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１３】請求項１２に記載の希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えていることを特徴とするボイスコイルモータ。
【請求項１４】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１３に記載のボイスコイルモータ。」
（２）対比・判断
　上記請求項１３及び１４に係る発明と上記刊行物１乃至２０に記載された発明とを対比すると、刊行物１乃至２０のいずれにも、希土類合金磁石をボイスコイルモータに用いる点について記載されておらず、且つ、示唆もされていないので、上記請求項１３に係る発明は、刊行物１乃至２０に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　また、上記請求項１３に係る発明は、先願明細書１に記載された発明と同一でなく、先願明細書２に記載された発明と同一でもない。
　また、上記請求項１４に係る発明は、上記請求項１３に係る発明をさらに限定したものであるから、上記請求項１３に係る発明についての判断と同様の理由により、刊行物１乃至２０に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではなく、また、先願明細書１に記載された発明と同一でなく、先願明細書２に記載された発明と同一でもない。
（３）むすび
　以上のとおりであるので、上記請求項１３及び１４に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
４　むすび
　以上のとおりであるので、上記訂正は、特許法第１２０条の４及び同条第３項で準用する第１２６条第２項から４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第５　本件発明
　本件特許第３００１８７６号の請求項１乃至１４に係る発明（以下「本件発明１乃至１４」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至１４に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあることを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
【請求項２】前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。　
【請求項３】スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることを特徴とする請求項２に記載の希土類合金の切断方法。　
【請求項４】前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項５】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの外周表面がエステル系ウレタンゴムによって覆われていることを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項６】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項７】前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項８】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内からマグネットセパレータを用い磁力によって分離し、前記マグネットセパレータは前記スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すことを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。　
【請求項９】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
【請求項１０】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあり、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
【請求項１１】ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金のインゴットを作製する工程と、
　請求項１から１０の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記希土類合金のインゴットから複数の希土類合金板を分離する工程と、
を包含することを特徴とする希土類合金板の製造方法。
【請求項１２】ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、
　請求項１から１０の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離する工程と、
を包含することを特徴とする希土類合金磁石の製造方法。
【請求項１３】請求項１２に記載の希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えていることを特徴とするボイスコイルモータ。
【請求項１４】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１３に記載のボイスコイルモータ。」
　
第６　対比・判断
１　本件発明１について
（１）本件発明１と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載された発明の「研磨微粉を分散させた研磨液組成物」は、本件発明１の「砥粒を含むスラリ」に相当すると認められる。
　また、刊行物１に記載された発明の「サマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料」は、「希土類金属を含む被切断物」という限りにおいて、本件発明１の「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」と一致し、また、刊行物１に記載された発明「水不溶性の分散媒体」は、「水不溶性液体」という限りにおいて、本件発明１の「オイル」と一致していると認められる。
　したがって、両者は、次の切断方法で一致している。
　砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類金属を含む被切断物に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記被切断物との間に挟まれた前記砥粒で前記被切断物を加工する工程と、を包含する希土類金属を含む被切断物の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させた水不溶性液体を主成分として有している希土類金属を含む被切断物の切断方法。
　しかし、両者は、次の点で相違している。
ア　相違点１
　本件発明１では、「走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記被切断物を降下させながら前記被切断物を切断」しているのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものであるのか不明である点。
イ　相違点２
　本件発明１では、「水不溶性液体」が「オイル」であるのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではない点。
ウ　相違点３
　本件発明１では、「スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内」であるのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではない点。
エ　相違点４
　本件発明１では、「希土類金属を含む被切断物」が「ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金」であるのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではなく、「サマリウムコバルト、ネオジウム等の磁性材料」である点。
（２）上記相違点について、以下検討する。
ア　相違点１について
　砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを被切断物に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記被切断物との間に挟まれた前記砥粒で前記被切断物を加工する工程と、を包含する被切断物の切断方法において、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記被切断物を降下させながら前記被切断物を切断することは、例えば、上記刊行物６、９及び１６に記載されているように、本件出願前周知であり、また、下方から上に向かって前記被切断物を上昇させながら前記被切断物を切断することも、例えば、上記刊行物５及び１５に記載されているように、本件出願前周知である。
　そして、これら周知な技術のどちらを採用するかは、適宜判断する設計的事項であって、刊行物１に記載された発明に、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記被切断物を降下させながら前記被切断物を切断することを採用することが、格別に困難であるとは認められない。
イ　相違点２について
　上記刊行物１１には、上記第３の１１のとおりの発明が記載されており、そして、刊行物１１に記載された発明の「非水溶性切削油」は、鉱物油を主成分とするものであって、「オイル」の概念に包含されると表現することができるので、刊行物２には、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、スラリは、砥粒を分散させたオイルを主成分としており、オイルの２５℃における粘度が８０〜１００［ミリパスカル秒］の範囲内にある発明が記載されていると認められる。
　刊行物１及び１１に記載された発明は、ワイヤソー装置を用いた切断方法である点で、技術分野が共通するので、刊行物１に記載された発明の水不溶性液体に、同じく水不溶性である刊行物１１に記載されたオイルを採用することに、困難性はない。
ウ　相違点３について
　スラリの粘度は、低すぎればワイヤ上における砥粒の保持力が低下するので切削速度を上げることができないものであり、高すぎれば作業性が低下するものであることは、例示するまでもなく、本件出願前周知であり、スラリの粘度範囲は、切断速度、作業性等を考慮して実験的に求められるものであって、そして、上記刊行物１２に、水溶性のスラリであって、２０℃における粘度であるが、その粘度が９０から５００［ミリパスカル秒］の範囲内という本件発明１の粘度範囲を含むものが記載されていること、及び、本件発明１の粘度範囲の数値限定に格別な臨界的意義が認められないことからみて、２５℃における粘度範囲を９２から１７５［ミリパスカル秒］と定めることは、格別に困難であるとは認められない。
エ　相違点４について
　サマリウムコバルト及びネオジム−鉄−ボロン（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）が、鉄属遷移金属と希土類金属の化合物からなる希土類磁石の代表的なものであることは、上記刊行物１０に記載されているように、本件出願前周知であるので、上記刊行物１に記載されたサマリウムコバルトを切断する点より、サマリウムコバルトと同じく希土類磁石の代表的なものであるネオジム−鉄−ボロン（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）を切断する点は、容易に想到することができたと認められる。　したがって、刊行物１に記載された発明及び上記周知技術よりネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金を切断することが、格別に困難であるとは言えない。
オ　なお、特許権者は、平成１３年３月２３日付け特許異議意見書第５頁第１７行第１１頁第１５行において、本件発明１は、被切断物がネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金であり、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記被切断物を降下させながら前記被切断物を切断するものであり、スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内であるものであるので、刊行物１乃至２０に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものではない旨主張しているが、上記のとおり各相違点については、容易になし得ることができたものであり、また、本件発明１全体についても、容易になし得る事項を適宜寄せ集めたものにすぎず、奏する効果も格別のものとは認められないので、上記の主張は採用できない。
（３）したがって、本件発明１は、刊行物１、１１及び１２に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
２　本件発明２について
　本件発明２で引用している本件発明１が希土類合金を切断するものであるので、スラッジが加工工程によって生じた希土類合金のスラッジであることは、当然のことである。
　また、上記刊行物３には、刊行物１、１１及び１２に記載された発明と技術分野が共通するワイヤソー装置を用いた切断方法であって、上記第３の３のとおりの発明が記載されているので、本件発明２で限定されたスラッジをスラリ内から磁力によって分離することは、格別に困難なこととは認められない。
　したがって、本件発明２で限定された希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することは、上記１のように刊行物１に記載された発明に刊行物１１及び１２に記載された発明並びに周知技術を採用すると共に、更に、上記刊行物３に記載されたスラッジをスラリ内から磁力によって分離する発明を採用することにより、容易に想到することができたものと認められる。
　以上のとおりであるので、本件発明２は、刊行物１、３、１１及び１２に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
３　本件発明３について
　上記２で検討した本件発明２における希土類合金のスラッジをスラリ内から磁力によって分離に際し、磁力の数値をどの程度とするかは、分離するスラッジの成分に応じて実験的に求める設計的事項であり、そして、上記第３の４のとおり、刊行物４に、不純物を処理液内から磁力によって分離する方法において、磁力を本件発明３の０．３以上と近い０．４テスラ以上とする発明が記載されていること、及び、本件発明３の磁力の数値限定に格別な臨界的意義が認められないことからみて、本件発明３で限定されたスラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることは、刊行物４に記載された発明より容易に想到することができたものと認められる。
　したがって、本件発明３は、刊行物１、３、４、１１及び１２に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
４　本件発明４について
　上記刊行物５には、刊行物１、３、１１及び１２に記載された発明と技術分野が共通するワイヤソー装置を用いた切断方法であって、上記第３の５のとおり、能率的な切断が可能であり、切断面の平坦度も良好であり、ワイヤ列から砥液が振り切られてしまうことがないようにワイヤの走行速度を定めるものであり、具体的な走行速度として毎分４００から８００メートルの範囲内とすることが記載されており、また、本件発明４のワイヤの走行速度の数値限定に格別な臨界的意義が認められないことから、本件発明４で限定されたワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することは、刊行物５に記載された発明より容易に想到することができたものと認められる。
　したがって、本件発明４は、刊行物１、３、５、１１及び１２に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
５　本件発明５について
　上記刊行物１５には、刊行物１、１１及び１２に記載された発明と技術分野が共通するワイヤソー装置を用いた切断方法であって、上記第３の１５のとおりの発明が記載されているので、ワイヤソー装置として刊行物１５に記載されたワイヤソー装置を採用することに困難性はない。
　また、上記刊行物１６には、刊行物１、１１、１２及び１５に記載された発明と技術分野が共通するワイヤソー装置を用いた切断方法であって、上記第３の１６のとおりの発明が記載されており、そして、ポリウレタンとしてエステル系ウレタンゴムを採用することは、設計的事項にすぎないので、ワイヤソー装置のローラローラの外周表面をエステル系ウレタンゴムによって覆うことにも困難性はない。
　したがって、本件発明５で限定された点は、刊行物１５及び１６に記載された発明より容易に想到することができたものと認められる。
　以上のとおりであるので、本件発明５は、刊行物１、１１、１２、１５及び１６に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
６　本件発明６について
　上記５のとおり、本件発明６で限定された外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、の点は、上記刊行物１５に記載された発明より容易に想到することができたものと認められる。
　また、上記刊行物１９には、刊行物１、１１、１２及び１５に記載された発明と技術分野が共通するワイヤソー装置を用いた切断方法であって、上記第３の１９のとおり、ローラの溝の深さを本件発明６の０．３ミリメートル以上に含まれる１ｍｍとする発明が記載されており、そして、本件発明６のローラの溝の深さの数値限定に格別な臨界的意義が認められないことから、本件発明６で限定されたローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することは、刊行物１９に記載された発明より容易に想到することができたものと認められる。
  以上のとおりであるので、本件発明６は、刊行物１、１１、１２、１５及び１９に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
７　本件発明７について
　上記刊行物９には、刊行物１、１１及び１２に記載された発明と技術分野が共通するワイヤソー装置を用いた切断方法であって、上記第３の９のとおりの発明が記載されているので、本件発明７で限定された希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことは、刊行物９に記載された発明を希土類合金の切断方法に採用することにより容易に想到することができたものと認められる。
　したがって、本件発明５は、刊行物１、９、１１及び１２に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
８　本件発明８について
（１）本件発明８と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記１での本件発明１と刊行物１に記載された発明との対比と同様に、両者は、次の切断方法で一致している。
　砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類金属を含む被切断物に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記被切断物との間に挟まれた前記砥粒で前記被切断物を加工する工程と、を包含する希土類金属を含む被切断物の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させた水不溶性液体を主成分として含有している希土類金属を含む被切断物の切断方法。
　しかし、両者は、上記相違点１、２及び４に加え、次の相違点５で相違している。
　相違点５
　本件発明８では、希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内からマグネットセパレータを用い磁力によって分離し、前記マグネットセパレータは前記スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すものであるのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではない点。
（２）上記相違点１、２及び４は、上記１の本件発明１についてで既に検討しており、また、上記相違点５は、上記２の本件発明２について及び上記３の本件発明３についてで既に検討していることである。
　そして、本件発明８全体についても、容易になし得る事項を適宜寄せ集めたものにすぎず、奏する効果も格別のものとは認められない。
　したがって、本件発明８は、刊行物１、３、４及び１１に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
９　本件発明９について
（１）本件発明９と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記１での本件発明１と刊行物１に記載された発明との対比と同様に、両者は、次の切断方法で一致している。
　砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類金属を含む被切断物に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記被切断物との間に挟まれた前記砥粒で前記被切断物を加工する工程と、を包含する希土類金属を含む被切断物の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させた水不溶性液体を主成分として含有している希土類金属を含む被切断物の切断方法。
　しかし、両者は、上記相違点１、２及び４に加え、次の相違点６及び７で相違している。
　相違点６
　本件発明９では、外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用いているのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではない点。
　相違点７
　本件発明９では、希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態で保持し、スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではない点。
（２）上記相違点１、２及び４については、上記１の本件発明１についてで既に検討しており、また、上記相違点６については、上記６の本件発明６についてで既に検討していることであるので、上記相違点７について、以下検討する。
　上記相違点７に関連するものとして、上記刊行物９に、ワイヤソー装置を用いた切断方法において、被切断物である半導体塊を二個のブロックに分割した状態で保持し、スラリの供給の少なくとも一部を前記二個のブロックの間隙を介して行う発明が記載されているが、複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを被切断物とする点については、記載されておらず、且つ、示唆もされていない。また、この点については、刊行物９を除く上記刊行物１乃至２０のいずれにも記載されておらず、且つ、示唆もされていない。
　したがって、本件発明９は、刊行物１乃至２０に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　また、本件発明９の希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態で保持し、スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことについては、先願明細書１及び２のいずれにも記載されていないので、本件発明９は、先願明細書１に記載された発明と同一でなく、また、先願明細書２に記載された発明と同一でもない。
１０　本件発明１０について
（１）本件発明１０と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記１での本件発明１と刊行物１に記載された発明との対比と同様に、両者は、次の切断方法で一致している。
　砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類金属を含む被切断物に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記被切断物との間に挟まれた前記砥粒で前記被切断物を加工する工程と、を包含する希土類金属を含む被切断物の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させた水不溶性液体を主成分として含有している希土類金属を含む被切断物の切断方法。
　しかし、両者は、上記相違点１乃至４及び６に加え、次の相違点８で相違している。
　相違点８
　本件発明１０では、ローラの溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定しているのに対し、刊行物１に記載された発明では、そのようなものではない点。
（２）上記相違点１乃至４については、上記１（２）ア乃至エで既に検討しており、また、上記相違点６については、上記５の本件発明５についてで、及び、上記相違点８については、上記６の本件発明６についてで既に検討していることである。
　そして、本件発明１０全体についても、容易になし得る事項を適宜寄せ集めたものにすぎず、奏する効果も格別のものとは認められない。
　したがって、本件発明１０は、刊行物１、１１、１２、１５及び１９に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
１１　本件発明１１について
　上記刊行物２０には、上記第３の２０のとおり、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金のインゴットを作製する方法の発明が記載されており、そして、上記発明で作製されたインゴットを、本件発明１の切断方法を用いて複数の希土類合金板に分離することは、容易に想到することができたものと認められる。
　したがって、本件発明１１は、刊行物１、１１、１２及び２０に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
１２　本件発明１２について
　上記刊行物２０には、上記第３の２０のとおり、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する方法の発明が記載されており、そして、上記発明で作製された焼結体を、本件発明１の切断方法を用いて複数の希土類合金磁石に分離することは、容易に想到することができたものと認められる。
　したがって、本件発明１２は、刊行物１、１１、１２及び２０に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　
第７　むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１乃至８及び１０乃至１２に係る特許は、特許法第２９条の規定に違反してされたものであるから、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　また、本件請求項９に係る特許については、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては取り消すことができず、また、他に取消しの理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年７月２４日（２００１．７．２４）
【訂正の要旨】
　特許第３００１８７６号発明の明細書中の特許請求の範囲に記載された
「【請求項１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあることを特徴とする希土類合金の切断方法。
　【請求項２】前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項３】スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることを特徴とする請求項２に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項４】前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項５】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段と、
を備えたワイヤソー装置を用いることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項６】前記ローラの外周表面がエステル系ウレタンゴムによって覆われていることを特徴とする請求項５に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項７】前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする請求項５に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項８】走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断することを特徴とする請求項５に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項９】前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする請求項８に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項１０】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする希土類合金の切断方法。
　【請求項１１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする希土類合金の切断方法。
　【請求項１２】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする希土類合金の切断方法。
　【請求項１３】希土類合金のインゴットを作製する工程と、
請求項１から１２の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記希土類合金のインゴットから複数の希土類合金板を分離する工程と、を包含することを特徴とする希土類合金板の製造方法。
　【請求項１４】希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、
請求項１から１２の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離する工程と、を包含することを特徴とする希土類合金磁石の製造方法。
　【請求項１５】請求項１４に記載の希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えていることを特徴とするボイスコイルモータ。
　【請求項１６】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１５に記載のボイスコイルモータ。」を、
　特許請求の範囲の減縮を目的として、
「【請求項１】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあることを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
　【請求項２】前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項３】スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることを特徴とする請求項２に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項４】前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項５】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの外周表面がエステル系ウレタンゴムによって覆われていることを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項６】外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項７】前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項８】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内からマグネットセパレータを用い磁力によって分離し、前記マグネットセパレータは前記スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すことを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
　【請求項９】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記希土類合金の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
　【請求項１０】砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあり、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金の切断方法。
　【請求項１１】ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類合金のインゴットを作製する工程と、
　請求項１から１０の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記希土類合金のインゴットから複数の希土類合金板を分離する工程と、
を包含することを特徴とする希土類合金板の製造方法。
　【請求項１２】ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、およびボロン（Ｂ）を主成分とする希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、
　請求項１から１０の何れかに記載の希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離する工程と、
を包含することを特徴とする希土類合金磁石の製造方法。
　【請求項１３】請求項１２に記載の希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えていることを特徴とするボイスコイルモータ。
　【請求項１４】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１３に記載のボイスコイルモータ。」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ワイヤソーによる希土類合金の切断方法および希土類合金板の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、
　
走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあることを特徴とする
、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする
　【請求項２】　前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項３】　スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることを特徴とする請求項２に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項４】　前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することを特徴とする請求項１に記載の希土類合金の切断方法。
　【請求項
５
外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
１
　【請求項
６
外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
１
　【請求項
７
１
　【請求項
８
　
走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを
前記スラリ内からマグネットセパレータを用い
分離し、前記マグネットセパレータは前記スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示す
、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする
　【請求項
９
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記希土類合金
の複数のインゴットを相互に固着することにより形成したブロックを複数に
、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする
　【請求項
１０
　前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、
前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあり、
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、
走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断し、
　前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定することを特徴とする
、ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする
　【請求項
１１
ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする
　請求項１から
１０
を包含することを特徴とする希土類合金板の製造方法。
　【請求項
１２
ネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする
　請求項１から
１０
を包含することを特徴とする希土類合金磁石の製造方法。
　【請求項
１３
１２
　【請求項
１４
１３
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、ワイヤソーによる希土類合金の切断方法、希土類合金板の製造方法および希土類合金磁石の製造方法、ならびに当該希土類合金磁石を備えたボイスコイルモータに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　シリコンのインゴットから多数のウェハを切り出すためにワイヤソーを用いてインゴットを切断する技術が開発され、例えば特開平６−８２３４号公報に開示されている。このような技術によれば、走行するマルチワイヤに対して研削砥粒を含むスラリを供給しながらインゴットの切削・切断加工を実行し、一定の厚さのウェハを多数枚同時に切り出すことが可能になる。
　【０００３】
　一方、希土類合金のインゴットを切断する方法としては、従来から、例えば回転するダイシングブレードを用いてインゴットをスライスする技術が知られている。しかし、ダイシングブレードで切断する方法によれば、切断刃の厚さはワイヤ径に比べて大きいため、どうしても削り代が多くなり、資源の有効利用がはかれない。
　【０００４】
　希土類合金は、例えば磁石材料として好適に用いられている。磁石の用途は多様化し、各種の電子機器にも広く使用されているため、ワイヤソーによって希土類合金のインゴットから少ない削り代にて所定厚さのウェハを多数枚同時に作成することができれば、希土類磁石の製造コストが大幅に低減される。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、実用的なワイヤソー技術を用いて希土類合金を切断したとの報告は未だに無い。発明者らの実験によれば、ワイヤソーによる切断加工処理を希土類合金のインゴットに対して実行しようとすると、ワイヤソー加工によって発生した微粉・研削くず（きりこ若しくはスラッジ）のためにスラリ循環パイプが極めて短時間で詰まってしまう結果、ワイヤ上にスラリが供給されなくなり、ワイヤ切れが生じてしまうということがわかった。この問題を回避するためにスラリ全体を数時間ごとに完全に交換すると、スラリ交換の都度ワイヤソーによる加工を中断しなければならなくなるため、量産には適さず、実用化が不可能になる。また、スラッジは切削溝内にもたまりやすく、そのせいで切削抵抗が著しく増加し、ワイヤ切れがいっそう生じやすくなることもわかった。更に、切断加工処理中、スラッジはローラの溝にもたまりやすく、ワイヤが巻き付けられているローラからワイヤが脱溝するなど現象が頻発し、切断精度が著しく低下するという問題のあることもわかった。これらの問題は、何れも、従来のワイヤソー技術によってシリコンやガラスのインゴットを切断する際には現れなかったものである。
　【０００６】
　本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、ワイヤ切れを防止し、スラリ交換の回数を著しく減じることによって、長時間の連続運転を可能にした、ワイヤソーによる希土類合金の切断方法および希土類合金板の製造方法を提供することにある。
　【０００７】
　また、本発明の他の目的は、上記希土類合金の切断方法を用いた希土類合金磁石の製造方法、ならびに当該希土類合金磁石を備えたボイスコイルモータを提供することにある。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明による希土類合金の切断方法は、砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にある。
　【０００９】
　前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離することが好ましい。
　スラッジを回収する領域において０．３テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用いることが好ましい。
　前記ワイヤの走行速度を毎分４２０から７６０メートルの範囲内に設定することが好ましい。
　【００１０】
　外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用いることが好ましい。
　【００１１】
　前記ローラの外周表面がエステル系ウレタンゴムによって覆われていることが好ましい。
　【００１２】
　前記ローラの前記溝の深さは０．３ミリメートル以上に設定されていることが好ましい。
　【００１３】
　走行する前記ワイヤに対して、上方から下方に向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を切断することが好ましい。
　【００１４】
　前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことが好ましい。
　【００１５】
　本発明による他の希土類合金の切断方法は、砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、前記希土類合金の加工工程によって生じた前記希土類合金のスラッジを前記スラリ内から磁力によって分離する。
　本発明による更に他の希土類合金の切断方法は、砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記希土類合金を複数のブロックに分割した状態で保持し、前記スラリの供給の少なくとも一部を前記複数のブロックの間隙を介して行う。
　【００１６】
　本発明による更に他の希土類合金の切断方法は、砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として含有しており、外周にリング状の複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラと、前記ローラを回転させながら、前記ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段とを備えたワイヤソー装置を用い、前記ローラの前記溝の深さを０．３ミリメートル以上に設定する。
　【００１７】
　本発明による希土類合金板の製造方法は、希土類合金のインゴットを作製する工程と、上記希土類合金の切断方法を用いて、前記希土類合金のインゴットから複数の希土類合金板を分離する工程とを包含する。
　【００１８】
　本発明による希土類合金磁石の製造方法希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、前記希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離する工程とを包含する。
　【００１９】
　本発明のボイスコイルモータは、前記希土類合金磁石を備えていることを特徴とする。
　【００２０】
　前記希土類合金磁石の厚さは０．５〜３．０ｍｍの範囲にあることが好ましい。
　【００２１】
　【発明の実施の形態】
　本願発明者は、ワイヤソーによって希土類合金を切断加工すると、加工に際して油性スラリ中に生じる希土類合金のスラッジがスラリ内で速やかに沈殿し、短時間で凝集してしまうことを見いだし、このことがワイヤソーによる希土類合金の切断の実用化を阻む大きな要因になっていると考えた。凝集したスラッジがワイヤソー装置内のスラリ循環パイプ内でスラリの循環を阻害すると、それによってスラリ循環パイプが詰まるため、スラリ交換を頻繁に行わない限り長時間の連続運転を実施することが不可能になる。
　【００２２】
　スラッジの沈殿・凝集は、希土類合金を構成する希土類元素の原子量が大きく、スラッジの比重がスラリ中のオイルの比重よりも大きいために生じると考えられる。スラリに用いるオイルとしては、オイルよりも比重の大きな砥粒を分散させる目的から高い粘度（２５℃で９０ミリパスカル秒前後）を持つものが選択されている。砥粒として通常使用されるＳｉＣ、ダイヤモンド、およびアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等の比重は約３〜４の範囲にあり、一方、ワイヤソーによってシリコンや石英ガラスを切断した場合に生じるスラッジの比重も３〜４程度である。このため、ワイヤソー技術を用いてシリコンや石英ガラスのインゴットを切断した場合は、スラッジは砥粒と同様にスラリ中に均一に分散しやすく、スラッジの沈殿・凝集はほとんど生じないため、そのことに起因する大きな問題は今まで特に発生していなかったものと考えられる。
　【００２３】
　スラリの粘度を向上させれば、希土類合金のスラッジをオイル中に均一に分散させやすくなるため、上記のスラッジ凝集問題は解決されるように思われる。しかしながら、発明者の実験によると、スラリの粘度を高くしても、ワイヤが切断してしまうなどの問題が生じた。これは、シリコンなどに比較して希土類合金の切削抵抗が著しく高いことに原因があると考えられる。そこで、本願発明者はあえてスラリの粘度を従来よりも低下させることによって、スラッジの洗浄性または排出効率を向上させ、それによって切削抵抗を低減するとともに、分散しにくく磁石に引きつけられるという希土類合金スラッジの性質に着目し、スラッジを磁力でスラリから分離・除去することにした。そうすることによって、循環パイプ内での詰まりを防止するとともに、スラリの頻繁な交換をほとんど不要とし、連続運転時間を従来技術に比較して著しく改善することを可能にした。
　【００２４】
　なお、磁力によって合金スラッジを吸引する際、スラッジはオイルの粘度によって強い抵抗を受けるが、本発明では粘性の低いオイルを使用するとともに強い磁力をもつ磁石を利用するため、スラッジの分離を充分実用的に実行できる。
　【００２５】
　（実施形態）
　以下、本発明による希土類合金板の製造方法の実施形態を説明する。本実施形態では、希土類合金としてネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）およびボロン（Ｂ）を主成分とする三元系の化合物Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ、またはＮｄ−Ｆｅ−ＢのＮｄの一部をＤｙ（ジスプロシウム）で置換し、Ｆｅの一部をＣｏ（コバルト）で置換したものを用いる。Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂは、最大エネルギー積が３２０ｋＪ／ｍ３を超える強力なネオジム磁石材料として知られている。
　【００２６】
　図１のフローチャートを参照しながら、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂのインゴットを作成する方法を簡単に説明する。なお、磁石材料としての希土類合金を作製する方法は、例えば米国特許第４，７７０，７２３号明細書に詳細に開示されている。
　【００２７】
　まず、図１のステップＳ１で原料を所定の成分比に正確に秤量した後、ステップＳ２で真空またはアルゴンガス雰囲気の高周波溶解炉にて原料を溶解する。溶解した原料を水冷の鋳型に鋳込み、所定の組成の原料合金を形成する。ステップＳ３で原料合金を粉砕し、平均粒径３〜４μｍ程度の微粉末を作製する。ステップＳ４で微粉末を金型に入れ、磁界中でプレス成形する。このとき必要に応じて微分末を粘結剤と混合してからプレス成形を行う。次に、ステップＳ５で約１０００〜１２００℃程度の焼結工程を行えばネオジム磁石素材を作製することができる。この後、ステップＳ６で磁石の
保磁力
　【００２８】
　ステップＳ７では希土類合金インゴットの切断加工を行い、インゴットから切断した複数の薄板（基板またはウェハと称される場合がある）を形成する。ステップＳ８以降の説明を行う前に、以下において希土類合金のインゴットを本発明によるワイヤソー技術によって切断加工する方法を詳細に説明する。
　【００２９】
　図２（ａ）および（ｂ）を参照する。まず、上述の方法で作製した複数のインゴット２０を例えばエポキシ樹脂からなる接着剤２２にて相互に固着し、複数のブロック２４ａ〜２４ｃとして組み立てた状態で鉄製のワークプレート２６に固定する。ワークプレート２６と各ブロック２４ａ〜２４ｃとの間の固着もまた接着剤２２によって達成される。より詳細には、ワークプレート２６と各ブロック２４ａ〜２４ｃとの間には、ダミーとして機能する炭素製ベースプレート２８が配置され、この炭素製ベースプレート２８も接着剤２２を介してワークプレート２６および各ブロック２４ａ〜２４ｃに固着されている。炭素製ベースプレート２８は、ブロック２４ａ〜２４ｃの切断加工が終了した後、ワークプレート２６の下降動作が停止するまでワイヤソーによる切断加工を受け、ワークプレート２６を保護するというダミーとしての役割を担っている。
　【００３０】
　本実施形態では、図２（ａ）の矢印Ａで示される方向（以下「ワイヤ走行方向」と称する）に沿って計測した各ブロック２４ａ〜２４ｃのサイズが１００ｍｍ程度になるように各ブロックの大きさを設計している。本実施形態では、ひとつのインゴット２０についてワイヤ走行方向に沿って計測したサイズが約５０ｍｍであるため、２つのインゴット２０をワイヤ走行方向に沿って配列したものを重ね合わせることによって、上記ブロック２４ａ〜２４ｃの各々を構成するようにしている。
　【００３１】
　ワークプレート２６に固定された複数のインゴット２０を全体として「ワーク」と称するが、このワークを複数のブロックに分割することによって、次のような利点が生まれる。
　【００３２】
　一塊りのワークについて、ワイヤ走行方向サイズがスラリの引き込み量を越えて大きくなりすぎると、ワークの切断加工部分のうちスラリ供給が不十分になる領域が発生し、このことによってワイヤ切断の生じるおそれがある。しかし、本実施形態のワークは適当なサイズのブロック２４ａ〜２４ｃに分割されているため、ブロック２４ａ〜２４ｃの隙間にスラリを供給することが可能になり、スラリ供給不足の問題を解消できる。ブロック２４ａ〜２４ｃの隙間にスラリを供給するため、本実施形態では、２本のスラリ供給パイプ２９をワークプレート２８の上部に配置しており、スリット状ノズル２９ａを介してスラリ供給パイプ２９内から新鮮な砥粒を含むスラリを下方向に噴射するようにしている。スラリ供給パイプ２９は、後述するスラリ供給タンクからスラッジを含まない新鮮なスラリまたはスラッジの除去されたスラリを受け取る。スラリ供給パイプ２９は、例えば二重管式の構造を持ち、下方のスリット２９ａの幅は長手方向に変化し、均一なスラリ供給を実現するように設計されている。スラリ供給パイプ２９として使用可能なスラリ供給手段の構造は、例えば特開平７−１９５３５８号公報に開示されている。
　【００３３】
　本実施形態では上述のようにワークを複数のブロックに分割しているが、各ブロック２４ａ〜２４ｃの各々についてのワイヤ走行方向サイズをどの程度の大きさに設定すべきかは、スラリの粘度やワイヤ走行速度によっても変化する。また、各インゴット２０の大きさによって、ひとつのブロックを構成するインゴット２０の数や配置も変化する。これらを考慮して、適宜最適なサイズのブロックにワークを分割すればよい。
　【００３４】
　次に、図３（ａ）および図３（ｂ）を参照しながら、本実施形態で好適に使用されるワイヤソー装置の主要部３０を説明する。このワイヤソー装置には、一本のワイヤ３２が何重にも巻き付けられる３つのメインローラ３４ａ〜３４ｃが備えつけられている。このうち、二つのメインローラ３４ａおよび３４ｂは、ワイヤソー装置によって回動自在に支持されているが、モータなどの駆動手段には直接的に接続されておらず、従動ローラとして機能する。これに対して、メインローラ３４ｃは不図示の駆動源例えばモータに接続されており、この駆動源によって所望の回転力を受け、設定速度で回転することができる。メインローラ３４ｃはワイヤ３２を介して二つのメインローラ３４ａおよび３４ｂに回転力を伝達するため、駆動ローラとして機能する。
　【００３５】
　ワイヤ３２は、メインローラ３４ａ〜３４ｃの回転に応じて数キログラム重の張力を受けながら案内され、所定速度で一定方向（図３（ｂ）の矢印Ａ、ＢおよびＣ）に沿って走行しながら不図示のリールから他の不図示のリールに巻きとられていく。なお、本実施形態のメインローラ３４ａ〜３４ｃの外径は約１７０ｍｍで、軸方向の長さは約３６０ｍｍである。
　【００３６】
　メインローラ３４ａ〜３４ｃの外周表面には、後述するように複数の溝が等間隔で形成されており、一本のワイヤ３２が多数の溝内にはめ込まれるようにして各ローラに巻き付けられる。ワイヤ３２の配列ピッチ（ワイヤ列の間隔）は、この溝のピッチによって規定される。本実施形態では、このピッチを約２．０ｍｍに設定している。このピッチは切断加工によって切り出すべき薄板の厚さに応じて設定されるため、適宜適切なピッチを持った多溝ローラ３４ａ〜３４ｃを選択して使用することになる。ワイヤ３２は、例えば硬鋼線（ピアノ線）から形成され、その太さは０．０６〜０．２５ｍｍ程度のものが使用される。
　【００３７】
　切断加工処理に際して、ワークは走行するワイヤ３２のうちメインローラ３４ａとメインローラ３４ｂとの間に張り渡された部分に押しあてられる。本実施形態では、スラリを少なくとも３カ所からワイヤ３２上に供給することができ、そのうち２カ所からのスラリ供給は、ワークプレート２６の上部に配置したパイプ２９およびスリット状ノズル２９ａを用いブロックの隙間を利用して行う。残り一カ所からのスラリ供給は、図３（ｂ）においてワークの左側からノズル３６を用いて行う。スラリの供給は、これらのノズル２９ａおよび３６に加えて、他のノズルを用い、例えば図３（ｂ）においてワークの右側の位置から付加的に行ってもよい。
　【００３８】
　本実施形態では、用いるスラリの２５℃における粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒（ｍＰａ・ｓｅｃ）］の範囲内になるようにスラリの成分を調整している。具体的には、パレス化学株式会社のＰＳ−Ｌ−３０のオイルを使用している。このオイルは、主成分として精製鉱油（９２．０％）を含むほか、無機増粘剤（３．０％）、非イオン系界面活性剤（２．２％）、防錆剤（０．４％）および分散剤（２．５％）を含有している。
　【００３９】
　このように粘度の低いオイルを使用しているため、希土類合金のインゴットに形成されつつある切削溝内で生じたスラッジは、速やかに切削溝の外部へ流れだし（高い排出効率）、切削加工領域から排除される。このため、切削溝内にたまったスラッジがワイヤの走行を強く妨げることもなく、切削抵抗増加によるワイヤ切れ問題を解決できる。また、粘性の低いスラリを使用しているため、走行するワイヤによってメインローラにまで運ばれるスラッジの量も低減され、メインローラ上の溝内にスラッジがたまるという現象も抑制できる。更に、スラリの粘度低下によって循環パイプやノズル穴での詰まりも生じにくくなる。これらの結果、ワイヤ切れが防止され、また、ワーク切断終了後にワークからワイヤを簡単にはずすことができるという利点もある。なお、スラリの粘度を低下させれば、走行するワイヤからもスラリが滴下しやすくなるが、前述のようにワークを複数のブロックに分割することによって、充分な量のスラリをワイヤおよびワークの切断面へ供給しているため特に問題はない。
　【００４０】
　図３（ｂ）を参照する。ワークプレート２６はワークの切断加工処理に際し、不図示の駆動装置によって所定の速度で下方向へ矢印Ｄに沿って動かされ、ワークプレート２６に固定されたワークを、水平横方向に走行するワイヤ３２に押しつける。ワークとワイヤ３２との間に充分な量のスラリを供給することによって、スラリ中の研磨剤をワークとワイヤ３２との間に輸送し、それによってワークを切削することができる。ワークプレート２６の降下速度を速くすると、切断効率は向上するが、切削抵抗が上昇するためワイヤ３２の波打ち現象が発生し、ワーク切断面の平面度が悪くなるおそれがある。ワーク切断面の平面度劣化は、あとの工程での研磨作業に要する時間を増大させたり、不良品の発生確率を増加させる。従って、ワークの降下速度、つまりワークの切断速度を適切な範囲内に設定する必要が生じる。この点については、図９を参照しながら後に詳しく説明する。
　【００４１】
　ワークの降下によって、一定ピッチで配列されたワイヤ３２がマルチワイヤソーとしてワークを研削し、それに伴って多数の加工溝（切削溝）をワークに同時形成しながらその溝深さを増大させ、切断加工を進行させることになる。加工溝が各インゴットを完全に横切ったときに、そのインゴットの切断加工が達成され、ワイヤ列のピッチおよびワイヤの太さによって決まる厚さの多数のウェハが同時に切り出される。全てのインゴット２０の切断が完了した後、前述の駆動装置によってワークプレート２６は矢印Ｄに沿って上昇させられる。その後、各ブロックがワークプレート２６から分離されるとともに、切断されたウェハが各ブロックから分離されることになる。
　【００４２】
　本実施形態では、ワイヤ３２の上方からワークを降下させながら切断加工を実行するため、切断加工を受けたインゴット２０は接着剤によってなおもワークプレート２６に結合した状態のまま、ワークプレート２６ともに下降してゆく。このように切断加工を受けたインゴット２０はワイヤの下方に位置するため、ワークの切断加工済み部分がワーク本体から分離・脱落したとしても、その脱落部分がワイヤ３２と再度接触するおそれはない。そのため、切断加工済みの合金板は高い品質状態で次の工程に回されることになる。
　【００４３】
　次に、図４を参照しながら、ワイヤソー装置４０のスラリ循環システムの概略構成を説明する。図４に模式的に示すように、装置４０内にはワイヤソー装置の主要部にスラリを供給するとともに、加工により形成されたスラッジを含む使用済みスラリを回収するためのスラリ循環システムが設けられている。
　【００４４】
　この装置４０の場合、ワークの切断加工に際して、スラリ供給タンク４２から第１の循環パイプ４４を介してワークプレート２６上のスラリ供給パイプ２９および図３（ｂ）のノズル３６にスラリが供給される。切断加工のために用いられたスラリは、加工部分およびその周辺から滴下し、下方に位置する回収ドレイン３７によって受け取られるようになっている。スラリは回収ドレイン３７から第２の循環パイプ４６を介して回収タンク４８に運ばれ、そこで、後述するマグネットセパレータ５０によるスラッジ分離処理を受ける。このスラッジ分離処理によって切断加工前の状態に近い状態に戻ったスラリは、第３の循環パイプ４９を介してスラリ供給タンク４２に送られる。
　【００４５】
　このように本実施形態では、スラリの供給および回収を循環的に実行しながら、スラッジの分離除去（フィルタリング）を効率的に実行するため、スラッジ交換作業の周期間隔が著しく延び、切断加工処理を長時間にわたって連続的に続けることが可能になる。なお、全てのスラッジを完全に分離除去することは困難であるため、ワイヤ３２に供給されるスラリ中のスラッジ含有量が漸次増加し、それによってスラリの粘度も増加してゆく。スラリ粘度を所望の範囲内に維持するには、適当な時間間隔で新しいスラリを補給することが好ましい。この場合、定期的にスラリ粘度を実測し、スラリ粘度が設定範囲内から外れる場合に随時新しいスラリを装置内（例えば、スラリ供給タンク４２）に補給するようにしてもよい。このようなスラリの部分的な補給は、切断加工処理を中断することなく行える点でスラリの全面的交換と大きく異なっている。
　【００４６】
　次に、図５を参照しながらマグネットセパレータ５０を説明する。このマグネットセパレータ５０は、スラッジを含む使用済みスラリ（ダーティ液）５２を貯えた分離漕５４から、磁力を用いてスラッジを分離することができる。分離漕５４には開口部５４ａが設けられ、この開口部５４ａは図４の回収タンク４８の内部に連結されている。マグネットセパレータ５０は、内側に強力な磁石が配置されたドラム５６と、ドラム５６の外周面の一部に密着しながら回転する絞りローラ５７とを備えている。ドラム５６は固定軸を中心に回転可能に支持されながら、分離漕５４内でスラリ５２に部分的に接触するように配置されている。絞りローラ５７は、耐油性ゴムなどから形成されており、ドラム５６の外周面に対してバネの付勢力によって圧接される。ドラム５６が不図示のモータによって矢印の方向に回転すると、その回転が絞りローラ５７に摩擦力を与え、絞りローラ５７を回転駆動させる。
　【００４７】
　回転するドラム５６の外周面には、スラリ５２中に浮遊するスラッジがドラム５６内の磁石によって吸着する。ドラム５６の外周面に吸着したスラッジはドラム５６の回転に伴ってスラリ５２内から取り除かれ、ドラム５６と絞りローラ５７との間を通過する。スラッジは、やがてスクレイパ５８によってドラム５６の表面から掻き取られ、スラッジボックス５９内に集められる。このようなマグネットセパレータ５０として使用可能なスラッジ除去手段の構造は、例えば実公昭６３−２３９６２号公報に開示されている。のちに説明する発明者の実験によると、オイル中の希土類合金をドラム５６の表面に引き寄せるには、スラリ５２内におけるドラム５６の外周面（スラッジ回収面）での磁力を０．３テスラ以上にすることが好ましい。スラリの粘度を低減したことは、マグネットセパレータ５０による希土類合金スラッジの回収を容易にするという利点をも生む。スラリ５２中に形成された磁界中を移動するスラッジの受ける粘性抵抗が低減されるため、多くのスラッジを効率よく回収することが可能になるからである。
　【００４８】
　このようなセパレータを用いて効率的にスラッジを除去すれば、スラリの粘度を低く維持することができ、ワーク切断面でワイヤの受ける切断負荷を長期間にわたって充分に小さいレベルに保つことができる。
　【００４９】
　次に、図６（ａ）および図６（ｂ）を参照しながら、メインローラ３４ａ〜３４ｃの構成を説明する。図６（ａ）は、メインローラ３４ａ〜３４ｃの軸方向断面を示し、図６（ｂ）は、メインローラ３４ａ〜３４ｃの外周部に設けられた円筒状のスリーブ６２の一部分を拡大した軸方向断面図である。
　【００５０】
　本実施形態では、ウレタンゴムから形成したスリーブ６２を採用している。スリーブ６２の外周には、図６（ｂ）に示すように、所定のピッチで形成したリング状の溝６４を設けている。溝６４にはワイヤ６２がはめ込まれ、所定のピッチのワイヤ列が形成される。スリーブ６２は円柱状のホルダ６０の外周面に固着し、ホルダ６０と一体的に回転することができる。ホルダ６０の両端面には凹部が設けられ、ワイヤソー装置に設けた凸部によって回転可能に支持される。前記図３（ａ）および図３（ｂ）では、メインローラ３４ａ〜３４ｃの多数の溝６４に一本のワイヤ６２（３２）が巻き付けられた状態を示している。
　【００５１】
　本実施形態で使用するメインローラ３４ａ〜３４ｃの特徴は、スリーブ６２の材質と、スリーブ６２に設けた溝６４の深さとにある。本実施形態に使用するスリーブ６２は、エステル系のウレタンゴムから形成している。従来のシリコンインゴットをワイヤソーで切断する装置の場合、溝の加工精度を高くしやすいエーテル系のウレタンゴムが使用されている。本願発明者の実験によると、エーテル系のウレタンゴムからなるスリーブは、本実施形態で使用するような鉱油を主成分とするスラリオイルに対して著しく膨潤しやすく、ローラの耐摩耗性を低下させてしまう。そのため、約１０時間の連続運転で使用不能となり、到底実用には耐えない。本実施形態で好適に使用され得るオイルの場合、相対的に低い濃度の界面活性剤や分散剤が使用されているため、シリコンインゴットのワイヤソー切断に使用されるスラリに対して膨潤の問題が生じないエーテル系のウレタンゴムについても、膨潤の問題が生じやすくなるものと考えられる。高硬度のエステル系ウレタンゴムは比較的に高価ではあるが、本実施形態のオイルを使用することによって長時間の連続運転を可能ならしめるためには、その使用が望ましい。エステル系ウレタンゴムを用いてメインローラを作製した場合、ローラ表面が高い硬度を示すため、膨潤の問題もほとんどなく、約７００時間に及び連続運転が可能とあった。
　【００５２】
　本実施形態のメインローラ３４ａ〜３４ｃには、０．３ｍｍ以上の深さを有する溝６４を形成している。従来のシリコンインゴットを切断加工する場合には、溝深さがせいぜい０．２ｍｍ程度に設定されていたが、そのような浅い溝を持つメインローラを採用して希土類合金のような粘り性のあるインゴットを加工しようとすると、ワイヤのたわみが多く発生するため、しばしば脱溝が発生し、隣接ワイヤ間の相互接触によってワイヤが断線してしまう。これに対して、溝深さを０．３ｍｍ以上にすると、このような問題は解決される。
　【００５３】
　次に、図７から図１１を参照しながら、ワイヤ速度、スラリ粘度、およびワーク切断速度などの詳細を説明する。
　【００５４】
　図７は、ワイヤ（直径０．１８ｍｍφ）のたわみ量とワイヤ速度（ワイヤ巻き取り速度または走行速度）との関係を示している。ワークの降下速度は、１５〜２５ｍｍ／時間（ｍｍ／ｈｒ）の範囲内でほぼ一定に維持して実験を行った。なお、ワークの降下速度が１５〜３０ｍｍ／時間の範囲内では、図７の結果と同様の結果が得られている。
　【００５５】
　ワイヤによるワーク切断がスムーズに進行しない場合、ワイヤのたわみ量は増大する。このため、ワイヤのたわみ量が大きいということは、ワークの切削抵抗が大きく、ワーク切断の効率が悪いことを意味し、逆にワイヤのたわみ量が小さいということは、ワーク切断の効率が良いことを意味している。図７から、ワイヤ速度が４２０〜７６０ｍ／分の範囲内にあるとき、たわみ量が８ｍｍ以下に抑えられる一方、ワイヤ速度が４２０〜７６０ｍ／分の範囲の外側にあるとき、急激にたわみ量が増大することがわかる。ワイヤ速度を上昇させると、切断刃先量（砥粒がワイヤにのって希土類合金を切断・研削する量）はある程度上昇するが、ワイヤ速度を上昇させ過ぎると、ワイヤ上に充分な量のスラリが乗らなくなるため、切断刃先量が実質的に低下してしまう。なお、ワイヤ速度が５００〜６７０ｍ／分の範囲内にあるとき、たわみ量は最小レベルに落ち着いている。このことから、ワイヤ速度は４２０〜７６０ｍ／分の範囲内に設定されることが好ましく、５００〜６７０ｍ／分の範囲内にあることが更に好ましい。
　【００５６】
　図８は、ワイヤのたわみ量とスラリ粘度との関係を示している。図８からわかるように、２５℃におけるスラリ粘度が９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内にあるとき、たわみ量が１４ｍｍ以下となり、切断効率が良い。特に、２５℃におけるスラリ粘度が１１０から１５０［ミリパスカル秒］の範囲内にあるとき、たわみ量が８ｍｍ以下となるため、切断効率は更に好ましいレベルに達する。スラリ粘度が高い場合、希土類合金スラッジがワークの切削溝内にたまりやすくなるため、切削抵抗が増加し、切断効率が低下する。その結果、ワイヤのたわみ量が上昇してしまうことになる。これらのことから、２５℃におけるスラリ粘度は９２から１７５［ミリパスカル秒］の範囲内に設定することが好ましく、１１０〜１５０［ミリパスカル秒］の範囲内にすることが更に好ましい。
　【００５７】
　図９は、ワークの切断速度とワーク切断面の平面度との関係を示している。切断速度は、ワークまたはワークプレートの降下速度に相当する。図９からわかるようにワークの切断速度が増加すると、それに伴ってワーク切断面の平面度が劣化してゆく。平面度が０．０３０ｍｍを超えると、あとの研磨工程に要する時間を考慮した場合の全体としての作業効率が低下する。そのため、平面度は０．０３０ｍｍ以下になることが好ましく、ワーク切断速度も加工面の平面度が０．０３０ｍｍ以下になるように調整されることが好ましい。そのためには、本実施形態の場合、ワーク切断速度を２９ｍｍ／時間以下に設定することが好ましいことがわかる。
　【００５８】
　図１０は、ワイヤの断線回数とメインローラの溝深さとの関係を示している。溝深さが０．３ｍｍ以上になると断線回数は急激に減少している。メインローラの溝深さが０．５ｍｍ以上になると、断線の可能性は著しく低減される。溝深さが０．６ｍｍ以上の場合、断線はほとんど生じなくなる。このため、溝深さは０．３ｍｍ以上であることが実用上必要であり、０．５ｍｍ以上であることが好ましい。更に好ましい溝深さは０．６ｍｍ以上である。なお、図示されていないが、溝深さが０．３ｍｍよりも浅い場合、断線回数は１５回／月より多くなる。
　【００５９】
　図１１は、スラリの比重がワイヤソー加工時間に応じてどのように変化するかを示すグラフである。スラリ中における希土類合金のスラッジ濃度が上昇すると、スラリの比重は増加する。このことに着目して、スラッジ濃度が装置運転時間によってどのように増加して行くかを検討した。図１１には、マグネットセパレータを用いない場合（未処理）、磁力がドラム表面で０．１テスラとなるマグネットセパレータを用いた場合、および磁力が０．３テスラとなるマグネットセパレータを用いた場合についてのデータが示されている。この図からわかるように、磁力がドラム表面で０．３テスラの場合は、スラリの比重が実質的に一定レベル（約１．５）に維持される。このことは、スラッジの回収分離が充分に達成されていることと、その結果、スラリの全面交換を実行しなくても長期間の連続運転が可能になることを意味している。なお、磁力が０．１テスラ以下の場合は、マグネットセパレータを用いなかった場合と同様に、加工時間が約４時間のときワイヤ断線が発生した。
　【００６０】
　再び、図１を参照する。上記方法を用いて切断加工した希土類合金板のそれぞれに対して研磨による仕上げ加工を行い、寸法と形状を整えた後、長期的な信頼性を向上させるため、ステップＳ８で合金板に表面処理を施す。ステップＳ９で着磁工程を実行した後、検査工程を経てネオジム永久磁石が完成する。
　【００６１】
　以上説明してきたように、上記希土類合金板の製造方法によれば、以下に示すような数多くの有利な効果が得られる。
　【００６２】
　１．ワーク切断面からのスラリの排出効率が向上するため、ワイヤの受ける切削抵抗が低減され、長時間の連続切断作業が可能になる。
　【００６３】
　２．メインローラからのワイヤの脱溝を防止することによってワイヤの断線を予防するとともに、ワーク切断面の平面度を向上させることが可能になる。このため、製品の製造歩留まりが改善される。
　【００６４】
　３．希土類合金に対するワイヤソー切断の効率が最適化される。
　【００６５】
　４．充分な量のスラリをワーク切断面に対して適切に供給するとともに、切断面から効率よく除去できる。
　【００６６】
　５．スラリ中のスラッジを効率的に除去できるため、スラリの交換を頻繁に実施しなくとも、ワーク切断面で受けるワイヤの切断負荷を低減し、それによって切断速度を向上させることが可能になる。
　【００６７】
　６．ワークの崩れが生じても、ワイヤとの接触によって製品の品質が劣化することが防止される。
　【００６８】
　なお、希土類合金板の製造方法について本発明の実施形態を説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、板状以外の加工形状をもつ希土類合金製品・部品を作製するために、本発明の切断方法を好適に用いることができる。
　【００６９】
　また、被加工対象して、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂの希土類合金磁石材料を用いた実施形態を説明したが、切削抵抗が大きく、スラッジが凝集しやすいという性質は希土類合金に共通するため、本発明は他の希土類合金を被加工物として用いても上記実施形態について述べた効果と同様の効果を得ることができる。
　【００７０】
　上述の方法を用いて作製した希土類合金磁石は、外周刃を用いて希土類合金インゴットを切断する場合に比較して切断代が少なく、薄型の磁石（例えば、厚さ０．５〜３．０ｍｍ）を製造するのに適している。近年、ボイスコイルモータに使用される希土類磁石は益々薄くなってきているため、本発明の方法を用いて製造した上記の薄い希土類合金磁石をボイスコイルモータに取り付ければ、高い性能を持つ小型ボイスコイルモータを提供することができる。
　【００７１】
　【発明の効果】
　本発明によれば、希土類合金に対してワイヤソーによる切断加工を実行しようとする場合においても、ワイヤ切れが防止され、必要なスラリ交換の回数も著しく低減される結果、長時間の連続運転が可能になる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ永久磁石の作製手順を示すフローチャートである。
　【図２】
　（ａ）はワークプレートに固定されたインゴットブロックを示す正面図であり、（ｂ）はその側面図である。
　【図３】
　（ａ）は本発明の実施形態で好適に使用されるワイヤソー装置の主要部を示す斜視図であり、（ｂ）はその正面図である。
　【図４】
　前記ワイヤソー装置のスラリ循環システムを示す概略構成図である。
　【図５】
　前記ワイヤソー装置に備えつけられたマグネットセパレータ装置を示す斜視図である。
　【図６】
　（ａ）はメインローラの軸方向断面であり、（ｂ）はメインローラの外周部に設けられた円筒状スリーブの一部分を拡大した軸方向断面図である。
　【図７】
　ワイヤのたわみ量とワイヤ速度との関係を示すグラフである。
　【図８】
　ワイヤのたわみ量とスラリ粘度との関係を示すグラフである。
　【図９】
　ワークの切断速度とワーク切断面の平面度との関係を示すグラフである。
　【図１０】
　ワイヤの断線回数とメインローラの溝深さとの関係を示すグラフである。
　【図１１】
　スラリの比重がワイヤソー加工時間に応じてどのように変化するかを示すグラフである。
　【符号の説明】
　２０　　希土類合金のインゴット
　２２　　接着剤
　２４ａ〜２４ｃ　　インゴットのブロック（ワークブロック）
　２６　　ワークプレート
　２８　　炭素製ベースプレート
　２９　　スラリ供給パイプ
　２９ａ　スリット状ノズル
　３０　　ワイヤソー装置の主要部
　３２　　ワイヤ
　３４ａ〜３４ｃ　　メインローラ（多溝ローラ）
　３６　　ノズル
　３７　　スラリの回収ドレイン
　４０　　ワイヤソー装置
　４２　　スラリ供給タンク
　４４　　スラリの第１の循環パイプ
　４６　　スラリの第２の循環パイプ
　４８　　スラリの回収タンク
　４９　　スラリの第２の循環パイプ
　５０　　マグネットセパレータ
　５２　　スラッジを含む使用済みスラリ（ダーティ液）
　５４　　分離漕
　５４ａ　分離漕に設けられた開口部
　５６　　ドラム
　５７　　絞りローラ
　５８　　スクレイパ
　５９　　スラッジボックス
　６２　　メインローラのスリーブ
　６４　　スリーブの表面に形成されたリング状の溝