【事件の表示】
　特許第３０００６５２号「インクジェット記録ヘッド」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０００６５２号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３０００６５２号発明は、平成２年１０月８日に出願され、平成１１年１１月１２日にその特許の設定登録がなされ、その後、日立工機株式会社より請求項１乃至３に係る発明について特許異議の申立てがなされ、最初の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年１月１９日に最初の訂正請求がなされ、訂正拒絶理由通知がなされ、最初の訂正請求が取り下げられると共に、新たな訂正請求がなされたが、新たな訂正請求は期間外手続のものであるとして却下され、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年１２月１７日に再度の訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲を次のように訂正する。
「【請求項１】
複数の
空間となる凹部
前記凹部を封止するように
複数の前記流路空間のそれぞれに対応して
の反流路基板側
複数の
　
前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、
流路基板
と
注入時には流動性があり、硬化後に
　【請求項２】前記高弾性を有する高分子樹脂は、シリコン樹脂或いはエポキシ系樹脂であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】前記ヘッドケースを透明部材で形成し、且つ、前記モールド材が紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。」（下線は訂正個所を示す）
　２）訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の［課題を解決するための手段］の項を次のように訂正する。
「本発明のインクジェットヘッドは、複数の流路空間となる凹部が形成された流路基板と、該流路基板の一方の面に前記凹部を封止するように接合された振動板と、複数の前記流路空間のそれぞれに対応して前記振動板の反流路基板側上に接合された複数の圧電素子と、前記流路基板の前記振動板形成面と対向する他方の面に形成されたインク噴射ノズルとを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、前記流路基板と、前記流路基板の前記振動板形成面側に前記圧電素子及び前記振動板とを包み込み、且つ空間を形成する様にヘッドケースが装着され、前記空間には注入時には流動性があり、硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材が充填されている。」
　３）訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の［発明の効果］の項の「以上説明したように・・・提供することができるという効果を有する。」を次のように訂正する。
「以上説明したように、複数の流路空間となる凹部が形成された流路基板と、流路基板の一方の面に凹部を封止するように接合された振動板と、複数の前記流路空間のそれぞれに対応して振動板の反流路基板側上に接合された複数の圧電素子と、流路基板の振動板形成面と対向する他方の面に形成されたインク噴射ノズルとを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、流路基板と、流路基盤の振動板形成面側に圧電素子及び振動板とを包み込み、且つ空間を形成する様にヘッドケースが装着され、空間には注入時には流動性があり、硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材が充填されているので、モールド材を注入するという簡単な製造工程で、騒音の低いインクジェット記録ヘッドを提供することができるという効果を有する。」
　
（２）訂正の目的、新規事項の有無、拡張変更の存否の各要件についての判断
　１）訂正事項ａ
 本訂正は、流路の構造と、振動板の接合と、圧電素子の接合と、ヘッドケースが包み込む範囲と、モールド材の特性とについて、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項（特に、特許公報２頁３欄４１〜４８行、４欄３〜７行、９〜１２行、２４〜２６行、３１〜３４行、３８〜３９行、及び第２図ａ，ｂ等参照）の範囲内で限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　２）訂正事項ｂ，ｃ
　本訂正は、訂正された特許請求の範囲に発明の詳細な説明の記載を整合させるためのものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
（３）訂正の適否のまとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める
　
３．異議申立てについての判断
（１）本件請求項１乃至３に係る発明
　本件請求項１乃至３に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載されたとおりのものである（上記訂正事項ａ参照）。
　
（２）異議申立ての理由と証拠
　異議申立人は、甲第１乃至３号証を提出し、請求項１乃至３に係る発明は、甲第１乃至３号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、あるいは甲第１乃至３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明であり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明であって、その発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願についてなされたものであるから取り消されるべきである旨の理由を主張している（当審が通知した最初の取消理由はこの主張を採用したものである。なお、記載不備に係る再度の取消理由は訂正により解消されている）。
　甲第１乃至３号証とそれらに記載された発明は次のとおりである。
　１）甲第１号証：特開昭５６−５７７２号公報
　従来例（第１図参照）として、内部空胴を背面に電歪振動子２を接着した振動板３で区切り、前部空胴を前壁の複数のノズル孔４と連通する液室１ａとし、後部空胴を電歪振動子２とリード線６とを収容する振動室１ｂとし、液室１ａにポンプ７で加圧した印写インクをインク供給管１１とアキュムレータ８とインク供給管１０とインク供給口９とを介して供給し、振動室１ｂとアキュムレータ８とを空気管１２で連通して、振動板３の前面と背面に加わる圧力が等しくなるようにしたインクジェット用マルチノズルヘッド１が記載されている。
　また、上記従来例における、圧縮率の低い印写インクの圧力変化に圧縮率の高い空気の圧力変化が追従できない等の欠点を解消するもの（第２図参照）として、振動室１ｂを空気管１２でアキュムレータ８と連通する代わりに、振動室１ｂにシリコンゴムやエポキシ樹脂からなる可撓性物質１３を装填することにより、振動板３が振動しているか否かに拘わらず前面と背面に加わる圧力が常に等しくなるようにしたインクジェット用マルチノズルヘッド１が記載されている。
　２）甲第２号証：特開昭５８−５２６３号公報
　複数の圧力室３となる凹部１ａが形成された第１プレート１と、該第１プレート１の一方の面に前記凹部１ａを封止するように接合された第２プレート２と、複数の前記圧力室３のそれぞれに対応して前記凹部１ａの底部の薄肉な可撓壁１ｂの反圧力室側上に接合された複数のピエゾ電気クリスタル７と、前記第１プレート１の側端面に形成されたノズル９とを備えたインクジェットプリンタ用マルチノズル噴射ヘッドにおいて、前記第１プレート１の可撓壁１ｂを形成した側の面と前記ピエゾ電気クリスタル７と前記可撓壁１ｂとを包み込み、且つ空間を形成する様カバー１２が装着され、前記空間にはシリコンゴムなどの弾性体を圧縮状態で配置して、振動による騒音等を低減化できるインクジェットプリンタ用マルチノズル噴射ヘッドが図面（特に第３図）と共に記載されている。
　３）甲第３号証：特開昭５７−１０７８５０号公報
　エポキシ樹脂製基板１の表面に先端をノズル部分２ａとするインク通路となる溝２が設けられ、その上にアクリル板製上蓋８を接着するに際し、エポキシ樹脂製基板１の接着面にアクリル系感光性樹脂からなる接着剤４を塗布し、それにアクリル板製上蓋８を載置して、その上面から紫外光を照射することにより、接着剤４を重合固化するようにしたインクジェットヘッドの製造方法が図面と共に記載されている。
　
　また、異議申立人は、シリコン樹脂とエポキシ系樹脂に係る参考資料として、化学大辞典編集委員会編「化学大辞典１」（共立出版株式会社、昭和３５年３月３０日発行、９６８〜９６９頁）及び同「化学大辞典４」（共立出版株式会社、昭和３５年１２月３０日発行、８７２〜８７３頁）を提出している。
　
（３）対比・判断
　１）本件請求項１に係る発明について
　本件請求項１に係る発明は、インク噴射に係る基本構成を、「複数の流路空間となる凹部が形成された流路基板と、該流路基板の一方の面に前記凹部を封止するように接合された振動板と、複数の前記流路空間のそれぞれに対応して前記振動板の反流路基板側上に接合された複数の圧電素子と、前記流路基板の前記振動板形成面と対向する他方の面に形成されたインク噴射ノズルとを備えた」構成（以下、「当該基本構成」という）とするものであるところ、甲第１乃至３号証記載の発明のいずれも、そのインク噴射に係る基本構成が当該基本構成と余りにもかけ離れていて、本件請求項１に係る発明と対比するに適切なものとはいえない。
　しかしながら、当該基本構成は所謂フェイスエジェクトタイプのものにおいて周知の技術的事項である（一例として特開昭６３−２５２７４０号公報参照。その圧力室６、流路基板１１、振動板１０、圧電素子９、ノズルオリフィス７が、それぞれ、本件請求項１に係る発明の流路空間、流路基板、振動板、圧電素子、インク噴射ノズルに相当する）。
　そこで、本件請求項１に係る発明（前者）と上記周知の技術的事項を備えたもの（後者）とを対比すると、両者は当該基本構成において一致し、前者が、圧電素子の振動による騒音を低減するために、「前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、前記流路基板と、前記流路基板の前記振動板形成面側に前記圧電素子及び前記振動板とを包み込み、且つ空間を形成する様ヘッドケースが装着され、前記空間には注入時には流動性があり、硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材が充填された」構成を備えているのに対して、後者はこの構成を備えていない点で相違する。
　上記相違点について検討するに、圧電素子の振動による騒音を低減するために、振動面を包み込むヘッドケース内に弾性体を設けることが甲第２号証に記載されており、甲第２号証記載のものは所謂エッジエジェクトタイプのものであって、本件請求項１に係る発明や上記周知の技術的事項を備えたものとは、そのインク噴射に係る基本構成を異にするものではあるが、圧電素子の振動によりインクを噴射するインクジェット記録ヘッドである点で共通の技術分野に属するものであるから、その騒音低減に係る事項を上記周知の技術的事項を備えたものに適用することは容易であり、その適用により想到されるものは、当該基本構成を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、流路基板の振動板形成面側に圧電素子と振動板とを包み込むように装着されたヘッドケース内に弾性体を圧縮して配置したものである。
　本件請求項１に係る発明は、上記想到されるものに対してもなお、ヘッドケースがインク噴射ノズル形成面のみを除いた流路基板をも包み込む点、及び弾性体として注入時には流動性があって硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材を充填した点で相違している。
　これらの点のうち、弾性体に係る点については、硬化後に弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材を注入充填することが騒音防止技術一般において周知であって（例えば、特開昭５７−１５８２５９号公報、特開昭６３−２８１８５８号公報等参照）、インクジェット記録ヘッドにおいても甲第１号証に記載されている（目的・効果は異なる）ことであるから、容易になし得ることといえなくもないが、ヘッドケースがインク噴射ノズル形成面のみを除いた流路基板をも包み込む点については容易には想起し得ないものと認められる。
　そして、本件請求項１に係る発明は、ヘッドケースがインク噴射ノズル形成面のみを除いた流路基板をも包み込む構成を備えていることにより、流路基板から直接伝播する振動も吸収して大気中に放出される騒音をより低減できるものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、甲第１乃至３号証に記載された発明であるとは認められず、甲第１乃至３号証に記載された発明及び上記周知の技術的事項や参考資料に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。
　
　２）本件請求項２乃至３に係る発明について
  本件請求項２乃至３に係る発明は、本件請求項１に係る発明の構成要件の全てを構成要件の一部とするものであるから、上記本件請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、甲第１乃至３号証に記載された発明であるとは認められず、甲第１乃至３号証に記載された発明及び上記周知の技術的事項や参考資料に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１乃至３に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１月１６日（２００２．１．１６）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲を、特許請求の範囲の減縮を目的として、次のように訂正する。
「【請求項１】複数の流路空間となる凹部が形成された流路基板と、該流路基板の一方の面に前記凹部を封止するように接合された振動板と、複数の前記流路空間のそれぞれに対応して前記振動板の反流路基板側上に接合された複数の圧電素子と、前記流路基板の前記振動板形成面と対向する他方の面に形成されたインク噴射ノズルとを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
　前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、前記流路基板と、前記流路基板の前記振動板形成面側に前記圧電素子及び前記振動板とを包み込み、且つ空間を形成する様ヘッドケースが装着され、前記空間には注入時には流動性があり、硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材が充填されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
　【請求項２】前記高弾性を有する高分子樹脂は、シリコン樹脂或いはエポキシ系樹脂であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】前記ヘッドケースを透明部材で形成し、且つ、前記モールド材が紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。」
　２）訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の［課題を解決するための手段］の項を、明りょうでない記載の釈明を目的として、次のように訂正する。
「本発明のインクジェットヘッドは、複数の流路空間となる凹部が形成された流路基板と、該流路基板の一方の面に前記凹部を封止するように接合された振動板と、複数の前記流路空間のそれぞれに対応して前記振動板の反流路基板側上に接合された複数の圧電素子と、前記流路基板の前記振動板形成面と対向する他方の面に形成されたインク噴射ノズルとを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、前記流路基板と、前記流路基板の前記振動板形成面側に前記圧電素子及び前記振動板とを包み込み、且つ空間を形成する様にヘッドケースが装着され、前記空間には注入時には流動性があり、硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材が充填されている。」
　３）訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の［発明の効果］の項の「以上説明したように・・・提供することができるという効果を有する。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、次のように訂正する。
「以上説明したように、複数の流路空間となる凹部が形成された流路基板と、流路基板の一方の面に凹部を封止するように接合された振動板と、複数の前記流路空間のそれぞれに対応して振動板の反流路基板側上に接合された複数の圧電素子と、流路基板の振動板形成面と対向する他方の面に形成されたインク噴射ノズルとを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、流路基板と、流路基盤の振動板形成面側に圧電素子及び振動板とを包み込み、且つ空間を形成する様にヘッドケースが装着され、空間には注入時には流動性があり、硬化後に高弾性を有する高分子樹脂から成るモールド材が充填されているので、モールド材を注入するという簡単な製造工程で、騒音の低いインクジェット記録ヘッドを提供することができるという効果を有する。」
（５４）【発明の名称】
インクジェット記録ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
複数の流路空間となる凹部
前記凹部を封止するように
複数の前記流路空間のそれぞれに対応して前記振動板の反流路基板側
複数の
　
前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、
流路基板
と
注入時には流動性があり、硬化後に
　【請求項２】前記高弾性を有する高分子樹脂は、シリコン樹脂或いはエポキシ系樹脂であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】前記ヘッドケースを透明部材で形成し、且つ、前記モールド材が紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、インク滴を飛翔させて記録体に画像を形成するインクジェット記録ヘッドの構造に関するものである。
［従来の技術］
　従来はインク噴射ノズル面を除いて、流路基板、振動板、圧電素子を含み込むようにヘッドケースが装着され、前記流路基板、振動板、圧電素子と前記ヘッドケースの間に空間が形成されたままか、もしくは、前記空間に圧電素子とそれに対応した電気的配線の接続を確保するためのゴム部材等が挟持されていた。
［発明が解決しようとする課題］
　しかしながら、従来の方法では、プリンタの高速化、高密度化に対応するため、ノズル数、応答周波数の増大を図ると、圧電素子の振動による騒音エネルギーは増大し、且つ、高周波数であるがゆえに、ユーザーに対し、聴感的に不快感を与えてしまう。又、流路基板の端面にインク噴射ノズルが配置されるエッジエジェクトタイプのインクジェットヘッドであれば、振動源に直接連通する流路基板の露出面積が狭く抑えることが出来、従来の方法でも、ある程度の効果は期待出来た。しかし、流路基板において、圧電素子が固着された振動板と反対面の側面全域にインク噴射ノズルが配置されるフェイスエジェクトタイプのインクジェットヘッドは、流路基板の露出面積はエッジタイプに比べ極端に大きくなり、且つ、構造的にブザーと同様であり、非常に大きな騒音を発する。
　本発明は、このような課題を解決するものであって、その目的は、高速化、高密度化（多ノズル化）等の高性能化に伴い増大する騒音を低く抑え、高性能化と静粛性を両立させたインクジェット記録装置を提供することにある。又、構造的に大きな騒音を発するフェイスタイプのインクジェットヘッドにおいて、その騒音を低く抑え、静粛性を確保したインクジェット記録装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
　本発明のインクジェットヘッドは、
複数の流路空間となる凹部
前記凹部を封止するように
複数の前記流路空間のそれぞれに対応して前記振動板の反流路基板側
複数の
前記流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、前記流路
前記流路基板
前記
前記
前記
前記
注入時には流動性があり、硬化後に
［作用］
　本発明の前記構造によれば、圧電素子の変形により振動する流路基板を、インク噴射ノズル面を除いて、振動板、圧電素子も含め、硬化後、弾性の強いシリコン樹脂等のモールド材で包み込むことにより、流路基板から伝播する振動を吸収、あるいは減衰させることが出来、大気中に放出させる騒音レベルを低く抑えることが可能となる。
［実施例］
　本発明の実施例を図面にもとづき説明する。第１図（ａ）は、流路基板１ａの端面にインク噴射ノズル４ａが配置されるエッジエジェクトタイプのインクジェット記録ヘッドの一実施例を示す透視斜視図である。複数の流路形状の彫り込まれた流路基板１ａと振動板２ａを接着剤あるいは溶剤等で接合し流路空間が形成されている。その流路空間上に振動板２ａを介して振動板２ａ上に圧電素子３ａが固着されている。この圧電素子３ａの機械的変形によりインクの充填された前記流路空間に圧力変化を与えインク噴射ノズル４ａよりインク滴を噴射する。又、インク噴射ノズル４ａが配列される面を除いて、流路基板１ａ、振動板２ａ、圧電素子３ａ等はヘッドケース５ａにより密封されている。
　次に、第２図（ａ）は、流路基板１ｂの反振動板側の片面全域にインク噴射ノズル４ｂが配置されフェイスジェクトタイプのインクジェット記録ヘッドの一実施例を示す透視斜視図である。複数の流路形状の彫り込まれた流路基板１ｂと振動板２ｂを接着剤あるいは溶剤等で接合し流路空間が形成されている。その流路空間上に振動板２ｂを介して振動板２ｂ上に圧電素子３ｂが固着されている。ヘッドのメカニズムを司る部品及び構成は第１図（ａ）のエッジタイプと同様であるが、インク噴射ノズル４ｂは図に示すように流路基板１ｂの厚み方向で、流路基板１ｂの片面全域に配置されているため、そのノズル面全域を大気中にさらさざる負えない。そのため、ヘッドケース５ｂは前記ノズル面を除いて、振動板２ｂ、圧電素子３ｂを包み込むよう装着してある。
　第１図（ｂ）は本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施例であるエッジエジェクトタイプの断面図である。部品構成においては第１図（ａ）と同様であるが、流路基板１ａ、振動板２ａ、圧電素子３ａとヘッドケース５ａの間の空間に、時間経過と共に硬化するシリコン樹脂等が充填されモールド層６ａを形成している。この樹脂は、前記空間への注入時に流動性を有するものであるため、流路基板１ａ、振動板２ａ、圧電素子３ａの表面、あるいはそれらの部品により形成される微少空間の隅隅まで十分に行き渡ったモールド層６ａを形成できる。この構造において、圧電素子３ａを駆動した際に流路基板１ａ、振動板２ａ、圧電素子３ａから伝播する振動は、弾性の強いモールド層６ａにより減衰、あるいは吸収され、非常に小さい音振動として対気中に放出される。
　又、第２図（ｂ）は本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の実施例であるフェイスエジェクトタイプの断面図であり、第１図（ｂ）と同様に、振動板２ｂ、圧電素子３ｂとヘッドケース５ｂの間の空間に、空気、水蒸気に接することにより、時間経過と共に硬化するシリコン樹脂、或は、熱を加えることにより硬化するエポキシ系樹脂等が充填、固化され、モールド層６ｂが形成されている。この構造においても、第１図（ｂ）と同様の原理により、モールド層６ｂがない場合に比べ飛躍的に騒音を減少させることができる。実際に、実験室レベルで、騒音測定を行った結果、モールド層６ｂがない状態で７０ｄＢレベルの騒音が、モールド層６ｂを形成さすことで、同一駆動条件下で５０ｄＢレベルに低下し、飛躍的な効果が確認されている。
　次に本発明のインクジェット記録ヘッドの第３の実施例について説明する。この構造においては、第１図（ａ）、第２図（ａ）と同様であるが、ヘッドケース５ａ、５ｂは例えばポリカーボネート、ポリサルフォン、ＰＭＭＡのような透明の部材から成り、モールド層６ａ、６ｂは紫外線硬化型樹脂（例えばスリーボンド社製３０８０）を充填、固化し形成されている。即ち、紫外線非照射時の流動性を活用し、流路基板１ａ、１ｂ、振動板２ａ、２ｂ、圧電素子３ａ、３ｂとヘッドケース５ａ、５ｂとに形成される空間に充填し、充填後、紫外線を照射し固化させ、モールド層６ａ、６ｂを形成するものである。この構成によると、第１、第２の実施例と同様の騒音防止効果が得られ、且つ、樹脂硬化時間の大幅削減が可能となり、生産上のリードタイムの飛躍的短縮を達成できる。又、モールド材固化のために熱を加えることが不要であり、加熱することにより発生する流路基板１ａ、１ｂのソリや変形等を防止できる。　尚、第１、第２及び第３の実施例は共に、ヘッド内部をモールドすることにより、電気配線系回りをモールド材でシールする構造となることから、電気配線系へのインクの付着により発生する電気的信頼性の劣化を防止する効果も合わせ持つ。
［発明の効果］
　以上説明したように、
複数の流路空間となる凹部
、流
凹部を封止するように
複数の前記流路空間のそれぞれに対応して振動板の反流路基板側
複数の
流路基板のインク噴射ノズル形成面のみを除き、
流路基板
注入時には流動性があり、硬化後に
ているので、モールド材を注入するという簡単な製造工程で、騒音の低い
を提
　また、係るインクジェットヘッドにおいて、高弾性を有する高分子樹脂は、シリコン樹脂或いはエポキシ系樹脂であることにより、樹脂注入時においては流動性を有するものであり、流路基板、振動板、圧電素子の表面、或いはそれらの部品により形成される微小空間の隅々まで十分に行き渡ったモールド層を形成でき、上記低騒音なインクジェット記録ヘッドをより容易で高精度に形成することができるという効果を有する。
　また、係るインクジェットヘッドにおいて、ヘッドケースを透明部材で形成し、且つ、モールド材が紫外線硬化型樹脂であることにより、上記低騒音なインクジェット記録ヘッドをより容易に、且つ短時間で製造することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
　第１図（ａ）は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施例であるエッジエジェクトタイプの透視斜視図である。第１図（ｂ）は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の実施例であるエッジエジェクトタイプの断面図である。第２図は（ａ）は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の実施例であるフェイスエジェクトタイプの透視斜視図である。第２図（ｂ）は、本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の実施例であるフェイスエジェクトタイプの断面図である。
１ａ，１ｂ……流路基板
２ａ，２ｂ……振動板
３ａ，３ｂ……圧電素子
４ａ，４ｂ……インク噴射ノズル
５ａ，５ｂ……ヘッドケース
６ａ，６ｂ……モールド層