【事件の表示】
　特許第３０５７９６７号「積層型圧電体素子」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０５７９６７号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０５７９６７号の請求項１、２に係る発明の手続きの経緯は、以下のとおりである。
　出願　　　　　　　　　　平成５年７月１２日
　設定登録　　　　　　　　平成１２年４月２１日
　特許異議の申立て　　　　平成１２年１２月２８日
　　（熊崎勝子）
　取消理由通知　　　　　　平成１３年５月１０日
　意見書、訂正請求書　　　平成１３年７月２３日
　取消理由通知    　　　　平成１３年９月１７日
　平成１３年７月２３日付け訂正請求取下書　　平成１３年１０月１９日
　訂正請求書　　　　　　　平成１３年１０月１９日
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　特許権者が求めている、平成１３年１０月１９日付け訂正請求書に添付された訂正明細書における訂正の内容は以下のとおりである。
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、該薄膜電極を積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。」とあるのを、「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を削除する。
ウ．訂正事項ｃ
　明細書の段落【０００７】の記載について、「【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、該薄膜電極を積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする。」とあるのを、「【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする。」と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　明細書の段落【００１０】を削除する。
オ．訂正事項ｅ
　明細書の段落【００１１】の記載について、「【作用】この発明の積層型圧電体素子においては、上・下面の外部電極として、厚みが小さく、平坦性に優れた薄膜電極が用いられていることから、積層体の上・下面と側面との角部などにおける盛上りが、厚膜電極を用いた従来の外部電極の場合に比べて大幅に小さくなり、外部電極形成後の上・下面の平坦性を向上させることが可能になるとともに、上・下面の外部電極（薄膜電極）を積層体の側面にまで回り込ませて、積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成するようにしているので、上・下面の外部電極を積層体の側面に形成された外部電極に直接導通させた場合にも、上・下面の平坦性を確保することが可能になる。」とあるのを、「【作用】この発明の積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子においては、上・下面の外部電極として、厚みが小さく、平坦性に優れた薄膜電極が用いられていることから、積層体の上・下面と側面との角部などにおける盛上りが、厚膜電極を用いた従来の外部電極の場合に比べて大幅に小さくなり、外部電極形成後の上・下面の平坦性を向上させることが可能になるとともに、上・下面の外部電極（薄膜電極）を積層体の側面にまで回り込ませて、積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成するようにしているので、上・下面の外部電極を積層体の側面に形成された外部電極に直接導通させた場合にも、上・下面の平坦性を確保することが可能になる。」と訂正する。
カ．訂正事項ｆ
　明細書の段落【００１２】の記載について、「また、請求項２の積層型圧電体素子のように、側面に形成される外部電極を厚膜電極とした場合、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることが可能になる。」とあるのを、「また、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることが可能になる。」と訂正する。
キ．訂正事項ｇ
　明細書の段落【００２３】の記載について、「また、請求項２の積層型圧電体素子のように、側面に形成される外部電極を厚膜電極とした場合、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることができる。」とあるのを、「また、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることができる。」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書の段落【００１７】の「積層型圧電体素子５を安定して積み重ねることができるため、接合の安定性に優れ、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることができる。」部分の記載（特許明細書の段落【００１９】参照）、願書に添付した明細書の段落【００１０】の「この発明の積層型圧電体素子においては、・・・、上・下面の外部電極（薄膜電極）を積層体の側面にまで回り込ませることにより、上・下面の外部電極を積層体の側面に形成された外部電極に直接導通させた場合にも、上・下面の平坦性を確保することが可能になる。」部分の記載（特許明細書の段落【００１１】参照）、及び願書に添付した明細書の段落【００１４】の「得られた積層体の、内部電極が引き出された側面に外部電極（厚膜電極）を形成した後、積層体の上・下面をラップして平坦にする。」部分の記載（特許明細書の段落【００１６】参照）等を根拠にした、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、上記訂正事項ｂは、特許請求の範囲の削除であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、上記訂正事項ｃ〜ｇは、訂正された特許請求の範囲の記載との整合を図るためのものであり、明瞭でない記載の釈明に相当するものであり、新規事項の追加に該当しない。
　そして、いずれも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについて
（１）申立の理由及び取消理由通知の概要
ア．申立の理由の概要
　特許異議申立人は、証拠として甲第１号証（特開昭６３−２９５２６９号公報）、甲第２号証（特開平４−２０６７８６号公報）、甲第３号証（特開平４−３６８８５２号公報）、及び甲第４号証（特開平４−３０９２７４号公報）を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証、甲第３号証、又は甲第４号証に記載された発明であるので、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、また、本件請求項２に係る発明は、甲第１号証〜甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件請求項１及び２に係る発明の特許は取り消されるべき旨主張している。
イ．平成１３年５月１０日付け取消理由通知の概要
　本件請求項１に係る発明は、刊行物１（特開昭６３−２９５２６９号公報（申立人の提出した甲第１号証））、刊行物３（特開平４−３６８８５２号公報（申立人の提出した甲第３号証））、又は刊行物４（特開平４−３０９２７４号公報（申立人の提出した甲第４号証））に記載された発明であるので、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、また、刊行物１、３及び４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件請求項２に係る発明は、刊行物１、刊行物２（特開平４−２０６７８６号公報（申立人の提出した甲第２号証））、刊行物３、及び刊行物４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件請求項１及び２に係る発明の特許は取り消されるべきである。
ウ．平成１３年９月１７日付け取消理由通知の概要
　本件請求項１に係る発明は、刊行物１（特開昭６３−２９５２６９号公報（申立人の提出した甲第１号証））、刊行物３（特開平４−３６８８５２号公報（申立人の提出した甲第３号証））、及び刊行物４（特開平４−３０９２７４号公報（申立人の提出した甲第４号証））に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件請求項２に係る発明は、刊行物１、刊行物２（特開平４−２０６７８６号公報（申立人の提出した甲第２号証））、刊行物３、及び刊行物４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件請求項１及び２に係る発明の特許は取り消されるべきである。
（２）本件請求項１に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。」
（３）引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消理由で引用した刊行物１（特開昭６３−２９５２６９号公報（申立人の提出した甲第１号証））には、「インクジェットプリンタに用いるインクにパルス状の圧力を与える圧電変位素子に於て、圧電変位素子は複数の対向する内部電極層を有する積層形とし、セラミックス薄板の表裏面には、内部電極と接続する対向表面電極を形成し、内部電極と接続する側の端面の角部は機械的に面取りし、表面はスパッタや蒸着，メッキ等により表裏面をメタライズし、しかる後に面取り部電極上の反対側角部近傍を帯状に電極を除去し、表面電極を構成した事を特徴とする積層形圧電変位素子。」（第１頁特許請求の範囲）であり、「本発明は、複数の対向内部電極層を有するセラミック薄板を用い、板の表裏面に、内部電極と接続する対向表面電極を形成し、電気的接続を容易ならしめるために、内部電極と接続する側の端面の角部を機械的に面取りして鈍角形状の角部とし、次に、スパッタや蒸着，メッキ等により表裏面をメタライズし、しかる後に面取り部で接続した表裏面電極上の反対側の角部近傍を、帯状に電極を除去し積層形圧電変位素子とするものである。」（第２頁左上欄第２〜１０行）こと、「第２図（ｂ）の２４は、表裏面をスパッタ或は蒸着等の手段によりメタライズした部分を示す図である。この時側面部も同時にメタライズされ、内部電極のメタライズ部との接続を容易にする。又、表面及び内部電極間の電極を電気的に接続するために面取りを行う。」（第２頁左上欄第１６行〜同頁右上欄第１行）ことが、第２図と共に記載されている。
　同刊行物２（特開平４−２０６７８６号公報（申立人の提出した甲第２号証））には、「圧電アクチュエータ」（発明の名称）に関し、「第４図に従来の一般的な圧電素子の構造を示す。図は、一般に交互型電極構造といわれるもので、圧電磁器板１を積層化する前に内部電極２を一方の側に隙間を設けて印刷し、その後図の様に隙間の部分が交互に側面に露出するように積層化し、焼結を行う、焼結後、該側面に一様に外部電極３を設けることにより、各層間交互に電極を取り出すことが可能となる。」（第１頁右下欄第６〜１３行）こと、「従来の構成と同様の方法で圧電素子を作成し、その端面に、上下面共にＡｕ−Ｐｔの電極をスクリーン印刷により設け、さらにその電極を夫々、側面（表１は省略）の電極３に図のように接続した。この際の周りこみ電極の材質もＡｕ−Ｐｔを用いた。」（第２頁右上欄第１８行〜同頁左下欄下から第８行）ことが、第１図、第４図と共に記載されている。
　同刊行物３（特開平４−３６８８５２号公報（申立人の提出した甲第３号証））には、「【請求項１】ノズル開口に対応させて圧電素子が配置され、圧電素子への駆動信号によりインクがノズル開口から外部に放出されるようにしたインクジェット式印字ヘッドにおいて、前記圧電素子が少なくとも、圧電材料と導電材料とをそれぞれ交互に層状に積層した圧電素子であり、かつ、前記圧電素子の外部電極が形成されない側面に露出した陽極の導電材料が、Ａｇ以外の材料により被覆された構造を有していることを特徴とするインクジェット式印字ヘッド。」（特許請求の範囲の【請求項１】）であり、「これに圧力を加えた状態で焼成することにより図７に示すような、直方体状の圧電素子３１を形成する。この圧電素子３１の導電層２３、２４が露出している面に外部電極３２、３３を形成して乾燥する。ここでの外部電極の形成方法は、厚膜プロセスでも薄膜プロセスでも良いが、膜厚の均一性、密着強度の点で薄膜プロセスの方が適している。」（第３頁第３欄第２〜８行）ことが、図７と共に記載されている。
　同刊行物４（特開平４−３０９２７４号公報（申立人の提出した甲第４号証））には、「【０００３】従来の積層型圧電素子の基本構造を斜視図として図７に示す。図７において１は圧電体セラミクス、２は電極層である。このように複数の圧電体セラミクス層と電極層を交互に積層して１つの積層体を構成している。また図において４，５はそれぞれ電極層２，３を共通接続して積層体の側面および上下面に引き出した外部電極である。」（第２頁第１欄第２４〜３０行）こと、「外部電極５は導電ペーストの塗布および焼き付けによる厚膜形成法または電極材料を蒸着する薄膜形成法により形成される」（第２頁第１欄第４３〜４６行）ことが、図７と共に記載されている。
（４）対比及び判断
　本件請求項１に係る発明と上記刊行物１に記載の発明とを対比すると、刊行物１に記載の側面部のメタライズされた部分、表裏面をスパッタ或は蒸着等の手段によりメタライズした部分、積層形圧電変位素子は、それぞれ本件請求項１に係る発明の内部電極が引き出された側面に形成された外部電極、上・下面に形成された外部電極であり薄膜電極としたもの、積層型圧電体素子に相当しているので、両者は、「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。」の点で一致しているが、本件請求項１に係る発明では、積層型圧電体素子が積層型圧電アクチュエータ用であるのに対して、刊行物１に記載のものは、積層型圧電アクチュエータ用とは記載されていない点（以下、「相違点１」という。）、本件請求項１に係る発明では、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極が厚膜電極からなるのに対して、刊行物１に記載のものは、側面に形成された外部電極がスパッタや蒸着，メッキ等によりメタライズされており、厚膜電極とはいえない点（以下、「相違点２」という。）、本件請求項１に係る発明では、上・下面の外部電極の薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された厚膜電極からなる外部電極の少なくとも一部を覆うように形成しているのに対して、刊行物１に記載のものは、このようにはなっていない点（以下、「相違点３」という。）で相違している。
　そこで、これらの相違点について、刊行物２〜４の記載を検討する。
ア．上記相違点１について
　刊行物２には、圧電アクチュエータが記載されている。この圧電アクチュエータは、本件請求項１に係る発明のように積層して用いられてはいないが、この圧電アクチュエータを、単に、積層して用いることは、当業者が必要に応じて適宜なしえた程度のことと認められる。したがって、上記相違点１は、格別なものではない。
イ．上記相違点２について
　また、刊行物２には、側面に一様に外部電極３を設けること、その外部電極はＡｕ−Ｐｔのスクリーン印刷からなる旨が記載されており、スクリーン印刷からなる電極は厚膜電極であるから、上記相違点２も、格別なものではない。
ウ．上記相違点３について
　さらに、刊行物２には、上下面の電極を側面の電極に接続するために周り込ませる旨が記載されているが、周り込ませる電極にはＡｕ−Ｐｔからなる厚膜電極を用いており、上・下面の外部電極を積層体の側面に回り込ませるのに薄膜電極を用い、該側面に形成された厚膜電極からなる外部電極の少なくとも一部を覆うように形成している本件請求項１に係る発明とは、依然として相違している。
　この点について、刊行物３、４には、上下面及び側面の外部電極として、厚膜電極でも薄膜電極でも良い旨は記載されているが、本件請求項１に係る発明の上・下面の外部電極の薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された厚膜電極からなる外部電極の少なくとも一部を覆うように形成している点は、記載されていないし示唆もない。
　そして、かかる点により、本件請求項１に係る発明は、上・下面の外部電極に盛上りが生じることを抑制して、上・下面の平坦性に優れた積層型圧電体素子を得ることができ、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて、信頼性を向上させることができるという明細書記載の顕著な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、上記刊行物１、３又は４に記載された発明であるとはいえず、また、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことができない。
　そして、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１２月５日（２００１．１２．５）
【訂正の要旨】
　特許第３０５７９６７号発明の明細書を、本件の平成１３年１０月１９日付け訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち特許請求の範囲の減縮を目的として下記（１）、（２）のとおりに、また、明瞭でない記載の釈明を目的として下記（３）〜（７）のとおりに訂正する。
（１）特許請求の範囲の請求項１に記載の「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、該薄膜電極を積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。」を、「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。」と訂正する。
（２）特許請求の範囲の請求項２を削除する。
（３）明細書の段落【０００７】に記載の「【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、該薄膜電極を積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする。」を、「【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする。」と訂正する。
（４）明細書の段落【００１０】を削除する。
（５）明細書の段落【００１１】に記載の「【作用】この発明の積層型圧電体素子においては、上・下面の外部電極として、厚みが小さく、平坦性に優れた薄膜電極が用いられていることから、積層体の上・下面と側面との角部などにおける盛上りが、厚膜電極を用いた従来の外部電極の場合に比べて大幅に小さくなり、外部電極形成後の上・下面の平坦性を向上させることが可能になるとともに、上・下面の外部電極（薄膜電極）を積層体の側面にまで回り込ませて、積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成するようにしているので、上・下面の外部電極を積層体の側面に形成された外部電極に直接導通させた場合にも、上・下面の平坦性を確保することが可能になる。」を、「【作用】この発明の積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子においては、上・下面の外部電極として、厚みが小さく、平坦性に優れた薄膜電極が用いられていることから、積層体の上・下面と側面との角部などにおける盛上りが、厚膜電極を用いた従来の外部電極の場合に比べて大幅に小さくなり、外部電極形成後の上・下面の平坦性を向上させることが可能になるとともに、上・下面の外部電極（薄膜電極）を積層体の側面にまで回り込ませて、積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成するようにしているので、上・下面の外部電極を積層体の側面に形成された外部電極に直接導通させた場合にも、上・下面の平坦性を確保することが可能になる。」と訂正する。
（６）明細書の段落【００１２】に記載の「また、請求項２の積層型圧電体素子のように、側面に形成される外部電極を厚膜電極とした場合、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることが可能になる。」を、「また、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることが可能になる。」と訂正する。
（７）明細書の段落【００２３】に記載の「また、請求項２の積層型圧電体素子のように、側面に形成される外部電極を厚膜電極とした場合、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることができる。」を、「また、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることができる。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
積層型圧電体素子
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子において、
　圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする積層型圧電体素子。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、積層型圧電体素子に関し、詳しくは、圧電体層と内部電極との積層体の外側に、該内部電極と導通する外部電極を配設してなる積層型圧電体素子に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　圧電体を利用した積層型圧電アクチュエータとしては、例えば、図５に示すように、複数の圧電体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面からその上・下面に回り込むように、厚膜電極からなる外部電極５４を配設することにより形成された積層型圧電体素子５５を、金属板５６を介して複数個積み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続するとともに、ばね圧などにより固定した構造の積層型圧電アクチュエータが提案されている。
　【０００３】
　なお、上記の積層型圧電アクチュエータを構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５２は、図６に示すように、一層おきに逆側の側面の外部電極５４（図５）と導通するように交互に逆側の端部に引き出されている。
　【０００４】
　そして、この積層型圧電アクチュエータにおいては、各積層型圧電体素子５５の間に挿入された金属板５６と各積層型圧電体素子５５の上・下面にまで回り込むように形成された外部電極５４とを接触させるだけで、内部電極５２と金属板５６との導通が得られるという長所がある。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、上記の積層型圧電アクチュエータにおいては、積層型圧電体素子５５の外部電極５４が積層体５３の側面から上・下面にまで回り込むように形成されている（例えば、上・下面に厚膜電極を印刷して、側面に形成された厚膜電極に直接に接続させるなどの方法により外部電極５４が形成される）ため、図７に示すように、積層体５３の角部において、厚膜電極からなる外部電極５４に盛上り（こぶ）５８が発生し、積層型圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損われる。そのため、複数の積層型圧電体素子５５を金属板５６を介して積み重ねた場合に、積重ね状態（連結固定状態）が不安定になり、確実に固定することができなかったり、積層型圧電アクチュエータとして使用した場合に、外力によって破壊が生じたりするというような問題点がある。
　【０００６】
　この発明は、上記問題点を解決するものであり、電極が形成されている上・下面の平坦性に優れ、複数個積み重ねて接合することにより積層型圧電アクチュエータを構成した場合に、接合の安定性に優れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能な積層型圧電体素子を提供することを目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された厚膜電極からなる外部電極と、上・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子において、圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、前記薄膜電極を積層体の側面に回り込ませて、該側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させたことを特徴とする。
　【０００８】
　なお、この発明は、上・下面の外部電極の両方を薄膜電極とする場合に限らず、上・下面の外部電極のいずれか一方のみを薄膜電極とする場合をも含むものである。
　【０００９】
　この発明の積層型圧電体素子において、上・下面に薄膜電極を形成する方法としては、スパッタリング法や、蒸着法などの種々の薄膜形成方法を適用することが可能である。
　【００１１】
　【作用】
　この発明の積層型圧電アクチュエータ用の積層型圧電体素子においては、上・下面の外部電極として、厚みが小さく、平坦性に優れた薄膜電極が用いられていることから、積層体の上・下面と側面との角部などにおける盛上りが、厚膜電極を用いた従来の外部電極の場合に比べて大幅に小さくなり、外部電極形成後の上・下面の平坦性を向上させることが可能になるとともに、上・下面の外部電極（薄膜電極）を積層体の側面にまで回り込ませて、積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成するようにしているので、上・下面の外部電極を積層体の側面に形成された外部電極に直接導通させた場合にも、上・下面の平坦性を確保することが可能になる。
　【００１２】
　また、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることが可能になる。
　【００１３】
　【実施例】
　以下、この発明の実施例を示してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す断面図である。この実施例の積層型圧電体素子５においては、複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材料からなる圧電体層）１と、複数の圧電体層１間に配設され、一層おきに相対向する２つの側面に引き出された内部電極２ａ，２ｂとから積層体３が形成されている。
　【００１４】
　そして、この積層体３の相対向する２つの側面３ｃ，３ｄには、該側面３ｃ，３ｄに引き出された同一極の各内部電極２ａ，２ｂと導通する、厚膜電極からなる外部電極４ｃ，４ｄが形成されている。さらに、積層体３の上・下面３ａ，３ｂには、薄膜電極からなる外部電極４ａ，４ｂが形成されている。また、この上・下面側の外部電極（薄膜電極）４ａ，４ｂは、積層体３の角部を経て側面３ｃ，３ｄにまで回り込んで、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ｃ，４ｄの一部を覆うように形成されており、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ｃ，４ｄと直接に導通している。
　【００１５】
　次に、上記実施例の積層型圧電体素子５の製造方法について説明する。上記積層型圧電体素子５を製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシート）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバインダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷する。
　【００１６】
　次に、各圧電体層（グリーンシート）を積層圧着し、所定の形状に切断した後、焼成して積層体を得る。それから、得られた積層体の、内部電極が引き出された側面に外部電極（厚膜電極）を形成した後、積層体の上・下面をラップして平坦にする。
　【００１７】
　そして、図２（ａ）に示すように、積層体３の対角の位置にある２つの角部に所定の形状のメタルマスク６を施した後、例えば、蒸着法やスパッタリング法などの方法により、図２（ｂ）に示すように、積層体３の上・下面３ａ，３ｂからその角部を経て側面３ｃ，３ｄにまで回り込み、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ｃ，４ｄの一部を覆うように、薄膜電極からなる外部電極４ａ，４ｂを形成する。なお、このとき、メタルマスク６が施されているので、蒸着やスパッタリングの際に薄膜電極が不要な部分に付着することを防止することができる。このようにして、上・下面の外部電極４ａ，４ｂを、積層体３の側面３ｃ，３ｄに回り込ませて、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ｃ，４ｄの一部を覆うように形成することにより、上・下面の外部電極４ａ，４ｂが積層体３の側面に形成された外部電極４ｃ，４ｄと直接に導通する。それから、メタルマスク６を除去することにより、図１に示すような積層型圧電体素子５を得ることができる。
　【００１８】
　また、このように形成された積層型圧電体素子５においては、上・下面の外部電極４ａ，４ｂが薄膜電極から形成されており、積層体３の角部などにおける盛上りがほとんどない（例えば、従来の厚膜電極を用いた場合には盛上りの高さが１００μｍ前後にまで達するのに対して、薄膜電極を用いた場合には盛上りの高さを数μｍ程度に抑えることができる）ため、厚膜電極を用いた従来の積層型圧電体素子の場合に比べて、外部電極４ａ，４ｂが形成された後の上・下面の平坦性を著しく向上させることができる。また、上・下面の外部電極４ａ，４ｂが、積層体３の角部を経て側面３ｃ，３ｄにまで回り込み、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ｃ，４ｄの一部を覆うように形成されているため、上・下面の外部電極４ａ，４ｂを積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ｃ，４ｄと直接に導通させた場合にも、上・下面の平坦性が損われることがない。なお、上記実施例の積層型圧電体素子５においては、上・下面の外部電極４ａ，４ｂと側面の外部電極を１０Ω以下の抵抗で導通させることができる。
　【００１９】
　また、この積層型圧電体素子５は上・下面が平坦であるため、図３に示すように、複数の積層型圧電体素子５を金属板７を介して積み重ね、ばね圧などの機械的な力により固定することによって積層型圧電アクチュエータを形成する場合に、積層型圧電体素子５を安定して積み重ねることができるため、接合の安定性に優れ、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることができる。
　【００２０】
　また、図４に示すように、積層型圧電体素子５の上・下面から側面にかけて、互に異なる側面に引き出された各内部電極２ａ，２ｂと、外部電極４ｃ，４ｄを介して導通する２つの外部電極１４ａ，１５ａと１４ｂ，１５ｂを形成し、接合面において互に対向する外部電極１４ａと１４ｂ、及び１５ａと１５ｂを直接に接続させるとともに、各積層型圧電体素子５を接着剤８により接着して積層型圧電アクチュエータを構成することにより、金属板を配設したり、あるいは、リード線を半田付けして側面に形成された外部電極を接続したりすることを不要にして、積層型圧電アクチュエータの構造及び製造方法を簡略化することが可能になる。
　【００２１】
　また、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層数内部電極及び外部電極の構成材料、外部電極（薄膜電極）の形成方法などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
　【００２２】
　【発明の効果】
　上述のように、この発明の積層型圧電体素子は、圧電体層と内部電極との積層体の上・下面の外部電極の少なくとも一方を薄膜電極とするとともに、該薄膜電極を積層体の側面にまで回り込ませて、積層体の側面に形成された外部電極の少なくとも一部を覆うように形成することにより、積層体の側面に形成された外部電極と直接に導通させるようにしているので、上・下面の外部電極に盛上りが生じることを抑制して、上・下面の平坦性に優れた積層型圧電体素子を得ることが可能になる。
　【００２３】
　また、側面に形成される外部電極を厚膜電極としているので、導通抵抗を低く抑えて、アクチュエータのようなハイパワー駆動の場合にも発熱による断線の発生を防止することが可能になるとともに、機械的な強度を向上させて（特に引っかき傷が発生することを抑制して）、信頼性を向上させることができる。
　【００２４】
　また、この発明の積層型圧電体素子を複数個積み重ねて積層型圧電アクチュエータを構成する場合に、積重ね（連結固定）の安定性に優れ、かつ外力によって破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す断面図である。
　【図２】
　この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子の製造方法を示す図であり、（ａ）は上・下面の外部電極を形成する前の状態を示す断面図、（ｂ）は上・下面の外部電極を形成した後の状態を示す断面図である。
　【図３】
　この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子を積み重ねて構成した積層型圧電アクチュエータの要部を示す断面図である。
　【図４】
　この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子を積み重ねて構成した他の積層型圧電アクチュエータの要部を示す断面図である。
　【図５】
　従来の積層型圧電アクチュエータを示す断面図である。
　【図６】
　従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図である。
　【図７】
　従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積層型圧電体素子の要部を示す断面図である。
　【符号の説明】
１　　　　　　　圧電体層
２ａ，２ｂ　　　内部電極
３　　　　　　　積層体
３ａ，３ｂ　　　積層体の上・下面
３ｃ，３ｄ　　　積層体の側面
４ａ，４ｂ　　　上・下面の外部電極
４ｃ，４ｄ　　　側面の外部電極
５　　　　　　　積層型圧電体素子
６　　　　　　　メタルマスク
７　　　　　　　金属板
８　　　　　　　接着剤