(57)【要約】  本発明は、酸素や水蒸気などのガスバリア性に優れた太陽電池用裏面保護シートを提供する。本発明の太陽電池用裏面保護シートは、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率が１０ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下である高分子及び板状無機粒子が含有されてなるコンポジット基材１と、上記コンポジット基材１上に積層一体化され且つ（Ａ）Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物又はその加水分解物、（Ｂ）Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物又はその加水分解物、及び、（Ｃ）アルカリ金属ポリシリケートより選ばれる１種以上の化合物を硬化させて形成されたゾルゲル層２とを含むことを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率が１０ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下である高分子及び板状無機粒子が含有されてなるコンポジット基材と、上記コンポジット基材上に積層一体化され且つ（Ａ）〜（Ｃ）より選ばれる１種以上の化合物を硬化させて形成されたゾルゲル層とを含むことを特徴とする太陽電池用裏面保護シート。
（Ａ）Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物又はその加水分解物
（Ｂ）Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物又はその加水分解物
（Ｃ）アルカリ金属ポリシリケート
但し、Ｘは独立して、炭素数が１〜６のアルキル基又は炭素数が１〜６のアシル基を表す。Ｒ1は独立して、炭素数が１〜１２のアルキル基、又は非加水分解性であって重合性を有する官能基を表す。Ｍは金属原子を表す。ｎは０又は１〜３の整数を表す。ｍは２〜４の整数を表す。
【請求項２】
ゾルゲル層上に積層一体化された蒸着膜と、上記蒸着膜上に積層一体化された基材フィルムとを含有していることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項３】
ゾルゲル層上に積層一体化された基材フィルムと、上記基材フィルム上に積層一体化された蒸着膜とを含有していることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項４】
ゾルゲル層中に板状無機粒子が含有されていることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項５】
表面に封止層が一体的に積層されてなることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項６】
封止層は、変性ポリオレフィン系樹脂１００重量部と、Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で示されるシラン化合物０．００１〜２０重量部とを含有することを特徴とする請求項５に記載の太陽電池用裏面保護シート。但し、Ｒ2は、非加水分解性であって且つ重合性を有する官能基を示す。Ｒ3は、炭素数が１〜５であるアルキル基を示す。
【請求項７】
変性ポリオレフィン系樹脂が、不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点が１２０〜１７０℃である変性ポリオレフィン系樹脂であることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項８】
変性ポリオレフィン系樹脂が、不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点が１２０〜１７０℃である変性ポリプロピレン系樹脂であることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項９】
変性ポリオレフィン系樹脂が、エチレン成分を１〜１０重量％含有するエチレン−プロピレンランダム共重合体が不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つ不飽和カルボン酸又はその無水物の総含有量が０．０１〜２０重量％である変性ポリプロピレン系樹脂を含有することを特徴とする請求項６に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項１０】
変性ポリオレフィン系樹脂が、プロピレン−ブテン−エチレン三元共重合体が不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つ不飽和カルボン酸又はその無水物の総含有量が０．０１〜２０重量％である変性ポリプロピレン系樹脂を含有することを特徴とする請求項６に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項１１】
太陽電池用裏面保護シートと封止層との間に、ポリオレフィン系樹脂からなる熱緩衝層が介在しており、ポリオレフィン系樹脂は、ＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点が１６０℃以上で且つ曲げ弾性率が５００〜１５００ＭＰａであることを特徴とする請求項５に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項１２】
最外層としてポリフッ化ビニルフィルム層又はフッ素系コーティング層を有することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池用裏面保護シート。
【請求項１３】
透明基板の一面に太陽電池素子が薄膜状に形成されている薄膜太陽電池における上記透明基板の一面に、請求項５に記載の太陽電池用裏面保護シートがその封止層を上記太陽電池素子に対向させた状態に積層一体化されてなることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項１４】
ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率が１０ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下である高分子及び板状無機粒子が含有されてなるコンポジット基材と、上記コンポジット基材上に積層一体化され且つ（Ａ）〜（Ｃ）より選ばれる１種以上の化合物を硬化させて形成されたゾルゲル層とを含むことを特徴とするガスバリアフィルム。
（Ａ）Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物又はその加水分解物
（Ｂ）Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物又はその加水分解物
（Ｃ）アルカリ金属ポリシリケート
但し、Ｘは独立して、炭素数が１〜６のアルキル基又は炭素数が１〜６のアシル基を表す。Ｒ1は独立して、炭素数が１〜１２のアルキル基、又は非加水分解性であって重合性を有する官能基を表す。Ｍは金属原子を表す。ｎは０又は１〜３の整数を表す。ｍは２〜４の整数を表す。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池用裏面保護シート、太陽電池モジュール及びガスバリアフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスバリアフィルムは、内容物の品質を変化させる原因となる酸素や水蒸気などの影響を防止するために、食品や医薬品の包装袋に用いられている。また、ガスバリアフィルムは、太陽電池モジュール、液晶表示パネル、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス ）表示パネルなどに使用される素子が、酸素や水蒸気に触れて性能劣化するのを防止するために、製品構成体の一部として或いはそれら素子のパッケージ材料としても用いられている。【０００３】
このようなガスバリアフィルムとして、ポリビニルアルコールフィルムやエチレンビニルアルコール共重合体フィルムも用いられているが、水蒸気バリア性が不充分であり、高湿度条件下においては酸素バリア性が低下するといった問題点を有している。【０００４】
特許文献１には、ガスバリアフィルムの製造方法として、フィルム表面に真空蒸着法で酸化珪素などの無機酸化物を蒸着させることが提案されている。この製造方法で製造されたガスバリアフィルムは、上述したガスバリアフィルムに比較して優れたガスバリア性を有している。【０００５】
しかしながら、真空蒸着法によって形成された蒸着膜は、ピンホールやクラックなどを有している場合が多く、蒸着膜のピンホールやクラックなどの欠陥部分を通じて酸素や水蒸気が透過し、その結果、ガスバリア性が未だ不充分であるといった問題点を有している。【０００６】
ところで、上記太陽電池用モジュールは、シリコン半導体などの太陽電池素子をエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルムなどの封止材によって表裏面から封止していると共に、表側の封止材上に透明保護部材としてガラス板を積層一体化し、裏側の封止材上に太陽電池用裏面保護シートをバックシートとして積層一体化してなる。【０００７】
特許文献２には、耐加水分解性樹脂フィルムと金属酸化物被着樹脂フィルム及び白色樹脂フィルムとの３層積層体からなることを特徴とする太陽電池カバー材用バックシートが提案されている。【０００８】
しかしながら、上記太陽電池カバー材用バックシートは、その金属酸化物被膜が蒸着法によって形成されたものであり、上述の理由から、酸素や水蒸気などのガスバリア性が不充分であるといった問題点を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平８−１７６３２６号公報
【特許文献２】特開２００２−１００７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、酸素や水蒸気などのガスバリア性に優れた太陽電池用裏面保護シート、この太陽電池用裏面保護シートを用いた太陽電池モジュール、及び、ガスバリアフィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の太陽電池用裏面保護シートＡは、図１に示したように、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率が１０ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下である高分子と、板状無機粒子とが含有されてなるコンポジット基材１上に、（Ａ）〜（Ｃ）より選ばれる１種以上の化合物を含有するゾルゲル層２が積層一体化されている。
（Ａ）Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物又はその加水分解物
（Ｂ）Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物又はその加水分解物
（Ｃ）アルカリ金属ポリシリケート
但し、Ｘは独立して、炭素数が１〜６のアルキル基又は炭素数が１〜６のアシル基を表す。Ｒ1は独立して、炭素数が１〜１２のアルキル基、又は非加水分解性であって重合性を有する官能基を表す。Ｍは金属原子を表す。ｎは０又は１〜３の整数を表す。ｍは２〜４の整数を表す。【００１２】
ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率が１０ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下である高分子としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニリデン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリスルホン、液晶ポリマー、シクロオレフィン樹脂などが挙げられ、これらが単独で使用されてもよく、２種以上が混合されて使用されてもよい。高分子としては、それ自身が耐熱性及び防湿性に優れているので、シクロオレフィン樹脂や液晶ポリマーが好ましい。【００１３】
液晶ポリマーとしては、例えば、全芳香族液晶ポリエステル、全芳香族液晶ポリイミド、全芳香族液晶ポリエステルアミドなどが挙げられ、全芳香族液晶ポリエステルが好ましい。全芳香族液晶ポリエステルは、サーモトロピック液晶ポリマーと呼ばれるポリエステルであり、その代表例としては、例えば、(１)芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオールと芳香族ヒドロキシカルボン酸とを反応させて得られる樹脂、(２)異種の芳香族ヒドロキシカルボン酸の組み合せを反応させて得られる樹脂、（３）芳香族ヒドロキシカルボン酸と芳香族ジカルボン酸と脂肪族ジオールとを反応させて得られる樹脂、(４)芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオールとを反応させて得られる樹脂、(５)ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステルに芳香族ヒドロキシカルボン酸を反応させて得られる樹脂などが挙げられ、通常、４００℃以下の温度で異方性溶融体を形成する樹脂である。なお、芳香族ジカルボン酸、芳香族ジオール及び芳香族ヒドロキシカルボン酸の代わりに、これらのエステル誘導体が使用されることもある。更に、芳香族ジカルボン酸、芳香族ジオール及び芳香族ヒドロキシカルボン酸は、芳香環の一部がハロゲン原子、アルキル基、アリール基などで置換されてもよい。【００１４】
具体的には、液晶ポリエステルとして、パラヒドロキシ安息香酸（ＰＨＢ）と、テレフタル酸と、４，４’−ビフェノールとから合成されるＩ型［下式（１）］、ＰＨＢと２，６−ヒドロキシナフトエ酸から合成されるII型［下式（２）］、ＰＨＢと、テレフタル酸と、エチレングリコールから合成されるIII型［下式（３）］が挙げられ、Ｉ型〜III型のいずれでもよいが、耐熱性、寸法安定性、防湿性の点から、全芳香族液晶ポリエステル（Ｉ型及びII型）が好ましい。【００１５】
【化１】
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【００１６】
全芳香族液晶ポリエステルフィルムは、例えば、ジャパンゴアテックス社から商品名「ＢＩＡＣ」にて市販されている。【００１７】
シクロオレフィン樹脂としては、例えば、熱可塑性ノルボルネン系樹脂が挙げられる。この熱可塑性ノルボルネン系樹脂は、特開昭５１−８０４００号公報、特開昭６０−２６０２４号公報、特開平１−１６８７２５号公報、特開平１−１９０７２６号公報、特開平３−１４８８２号公報、特開平３−１２２１３７号公報、特開平４−６３８０７号公報などにて開示されている。【００１８】
熱可塑性ノルボルネン系樹脂としては、具体的には、ノルボルネン系単量体の開環重合体、ノルボルネン系単量体の開環重合体水素添加物、ノルボルネン系単量体の付加重合体、ノルボルネン系単量体とオレフィンの付加共重合体などが挙げられる。【００１９】
ノルボルネン系単量体としては、例えば、２−ノルボルネン、５−メチル−２−ノルボルネン、５，５−ジメチル−２−ノルボルネン、５−エチル−２−ノルボルネン、５−ブチル−２−ノルボルネン、５−ヘキシル−２−ノルボルネン、５−オクチル−２−ノルボルネン、５−オクタデシル−２−ノルボルネン、５−エチリデン−２−ノルボルネン、５−イソプロペニル−２−ノルボルネン、５−メトキシカルボニル−２−ノルボルネン、５−シアノ−２−ノルボルネン、５−メチル−５−メトキシカルボニル−２−ノルボルネン、５−フェニル−２−ノルボルネン、５−フェニル−５−メチル−ノルボルネンなどが挙げられる。【００２０】
ノルボルネン系単量体としては、ノルボルネンに一つ以上のシクロペンタジエンが付加した単量体又はその誘導体や置換体であってもよく、シクロペンタジエンの多量体である多環構造の単量体又はその誘導体や置換体であってもよく、シクロペンタジエンとテトラヒドロインデン、インデン、ベンゾフランなどとその付加物又はその誘導体や置換体であってもよい。【００２１】
熱可塑性ノルボルネン系樹脂は、上記ノルボルネン系単量体を少なくとも１種以上含有する単量体を重合させて得られ、上記ノルボルネン系単量体以外に、ノルボルネン系単量体と共重合可能な単量体を共重合させてもよい。ノルボルネン系単量体と共重合可能な単量体としては、シクロペンテン、シクロヘキセン、シクロヘプテン、シクロオクテンなどのシクロオレフィンが挙げられる。【００２２】
熱可塑性ノルボルネン系樹脂がノルボルネン系単量体とオレフィンの付加共重合体である場合、オレフィンとしては、エチレン、プロピレン、１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテンなどのα−オレフィンが用いられる。【００２３】
熱可塑性ノルボルネン系樹脂には、必要に応じて、フェノール系やリン系などの酸化防止剤、ベンゾフェノン系などの紫外線吸収剤、耐光安定剤、帯電防止剤、脂肪族アルコールのエステル、多価アルコールの部分エステル及び部分エーテルなどの滑剤などの添加剤が含有されていてもよい。【００２４】
コンポジット基材１を構成している高分子の融点又はガラス転移温度は、低いと、太陽電池用裏面保護シートの耐熱性が低下して寸法安定性が低下することがあるので、１２０℃以上が好ましく、１２５〜３００℃がより好ましい。なお、高分子の融点又はガラス転移温度は、ＪＩＳ  Ｋ００６４に準拠して測定されたものをいう。【００２５】
ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの高分子の水蒸気透過率は、高いと、太陽電池用裏面保護シートのガスバリア性が低下するので、１０ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下に限定され、３ｇ/ｍ2・ｄａｙ以下が好ましい。なお、厚みが１００μｍのときの２３℃における高分子の水蒸気透過率はＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定されたものをいう。【００２６】
コンポジット基材は、高分子中に板状無機粒子を分散させてなる。この板状無機粒子としては、例えば、合成雲母、アルミナ、ベーマイトなどが挙げられる。【００２７】
板状無機粒子は、その厚み方向に複数枚が積層されて層状に形成された無機層状化合物であってもよい。無機層状化合物としては、例えば、カオリナイト族、スメクタイト族、マイカ族などの粘土鉱物が挙げられる。スメクタイト族の無機層状化合物としては、例えば、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイトなどが挙げられ、モンモリロナイトが好ましい。【００２８】
板状無機粒子の平均サイズは、大き過ぎると基材の外観を損ねることがあるので、好ましくは１０ｎｍ〜５００μｍが好ましい。板状無機粒子のアスペクト比は、小さいと、太陽電池用裏面保護シートのガスバリア性が低下することがあるので大きいほど望ましく、３以上が好ましい。板状無機粒子の平均サイズとは、ＴＥＭ法による観察によって確認された板状無機粒子の最大長さと最小長さの和の相加平均値をいう。【００２９】
なお、板状無機粒子の平均サイズはＴＥＭ法で測定することができ、アスペクト比は下記の通りに定義する。
アスペクト比＝結晶表面の平均長さ／板状無機粒子の最大厚み
但し、結晶表面の平均長さとは、ＴＥＭ観察時の各板状無機粒子の最大長さの相加平均値と定義し、板状無機粒子の最大厚みとは、ＴＥＭ観察時の各板状無機粒子の厚みの相加平均値と定義する。【００３０】
コンポジット基材中における板状無機粒子の含有量は、高分子１００重量部に対して３重量部以上配合すると、基材自身のガスバリア性を有効に向上させることができるとともに、蒸着層のピンホールなどの欠陥に対する目止め効果を高めることができる。但し、過剰に配合すると基材が脆くなって必要な強度を維持できなくなったり、製膜困難になったりするので、高分子１００重量部に対して５〜８０重量部配合するのが好ましい。【００３１】
コンポジット基材の厚みは、薄いと、太陽電池用裏面保護シート全体の酸素及び水蒸気に対するバリア性が低下することがあるので２０μｍ以上とされるのが好ましく、上限は、特に限定されるものではないが、ハンドリング性等を勘案すれば４００μｍとされるのが好ましい。【００３２】
上記コンポジット基材１上にはゾルゲル層２が積層一体化されている。このゾルゲル層２は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）及び化合物（Ｃ）からなる群から選ばれた１種以上の化合物を硬化させて形成されている。【００３３】
（Ａ）Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物又はその加水分解物
（Ｂ）Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物又はその加水分解物
（Ｃ）アルカリ金属ポリシリケート
但し、Ｘは独立して、炭素数が１〜６のアルキル基又は炭素数が１〜６のアシル基を表す。Ｒ1は独立して、炭素数が１〜１２のアルキル基、又は非加水分解性であって重合性を有する官能基を表す。Ｍは金属原子を表す。ｎは０又は１〜３の整数を表す。ｍは２〜４の整数を表す。【００３４】
（Ａ）Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物又はその加水分解物について説明する。【００３５】
Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nにおいて、Ｘは独立して、炭素数が１〜６のアルキル基又は炭素数が１〜６のアシル基を表す。Ｒ1は独立して、炭素数が１〜１２のアルキル基、又は非加水分解性であって重合性を有する官能基を表す。ｎは０又は１〜３の整数を表す。【００３６】
Ｘとしては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、アセトキシ基などが挙げられる。Ｒ1としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ビニル基、グリシドキシ基、グリシドキシ基、グリシドキシエチル基、グリシドキシメチル基、グリシドキシプロピル基、グリシドキシブチル基などが挙げられる。Ｒ1は、有機セグメントであり、Ｒ1が未反応、付加反応、縮合反応の何れの場合にあっても、ゾルゲル層に可撓性を付与している。【００３７】
Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物としては、例えば、メチルシリケート、エチルシリケート、ｎ−プロピルシリケート、ｉ−プロピルシリケート、ｎ−ブチルシリケート、ｓｅｃ−ブチルシリケートおよびｔ−ブチルシリケートなどのテトラアルコキシシラン類、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシエトキシシラン、メチルトリアセトキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリアセトキシシラン、３，３，３−トリフロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、β−シアノエチルトリエトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α−グリシシドキシプロピルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブロピルトリエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシエトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリメトキシシラン、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリプロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリブトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシエトキシシラン、γ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリエトキシシラン、δ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）ブチルトリメトキシシラン、δ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）ブチルトリエトキシシランなどのトリアルコキシシラン、トリアシルオキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、���メチルジエトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、ジメチルジアセトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジエトキシシランなどが挙げられる。なお、ケイ素化合物は、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。ケイ素化合物は、エチルシリケートとγ−グリシドキシプロピルトリメトキシエトキシシランとを併用することが好ましい。【００３８】
Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物の加水分解物は、Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-n、有機溶媒及び酸性水溶液を混合してＲ1nＳｉ（ＯＸ）4-nを加水分解することによって得ることができる。【００３９】
有機溶媒としては、Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nで表されるケイ素化合物及び酸性水溶液と相溶性のあるものであれば、特に限定されず、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、エトキシエチルアルコール、アリルアルコールなど挙げられ、イソプロピルアルコールが好ましい。【００４０】
酸性水溶液とは、酸性種を蒸留水中に溶解させ且つｐＨが１〜６である水溶液をいう。酸性種としては、例えば、塩酸、硝酸、硫酸、酢酸などが挙げられ、ｐＨの調整が容易なので、硝酸が好ましい。【００４１】
（Ｂ）Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物又はその加水分解物について説明する。ｍは２〜４の整数を表す。なお、Ｘは独立して、炭素数が１〜６のアルキル基又は炭素数が１〜６のアシル基を表す。Ｘは上記と同様であるので説明を省略する。【００４２】
Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物において、金属原子Ｍとしては、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒなどが挙げられる。【００４３】
Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物としては、例えば、テトラメトキシチタニウム、テトラエトキシチタニウム、テトライソプロポキシチタニウム、テトラブトキシチタニウム、トリメトキシアルミニウム、トリエトキシアルミニウム、トリイソプロポキシアルミニウム、トリブトキシアルミニウム、テトラメトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコニウム、テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブトキシジルコニウムなどが挙げられる。なお、Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物は、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。【００４４】
Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物の加水分解物は、Ｍ（ＯＸ）m、有機溶媒及び酸性水溶液を混合してＭ（ＯＸ）mを加水分解することによって得ることができる。【００４５】
有機溶媒としては、Ｍ（ＯＸ）mで表される有機金属化合物及び酸性水溶液と相溶性のあるものであればよく、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、エトキシエチルアルコール、アリルアルコールなど挙げられ、イソプロピルアルコールが好ましい。【００４６】
酸性水溶液は、Ｒ1nＳｉ（ＯＸ）4-nを加水分解するときに用いられる酸性水溶液と同様であるので説明を省略する。【００４７】
（Ｃ）アルカリ金属ポリシリケートとしては、例えば、リチウムポリシリケート（Ｌｉ2 Ｏ・ｑＳｉＯ2）、ナトリウムポリシリケート（Ｎａ2 Ｏ・ｑＳｉＯ2）、カリウムポリシリケート（Ｋ2 Ｏ・ｑＳｉＯ2）などが挙げられ、リチウムポリシリケート（Ｌｉ2 Ｏ・ｑＳｉＯ2 ）が好ましい。但し、ｑはモル比である。なお、アルカリ金属ポリシリケートは、単独で用いられても二種以上が併用されてもよいが、バリア性の観点からはリチウムポリシリケートが含有していることが好ましい。【００４８】
更に、ゾルゲル層２には板状無機粒子が含有されていてもよい。ゾルゲル層２中に板状無機粒子を含有させることによって、ゾルゲル層２に形成されたピンホールやクラックなどを遮蔽して、ゾルゲル層の酸素や水蒸気に対するバリア性を向上させることができる。なお、板状無機粒子は、コンポジット基材に含有されている板状無機粒子と同様であるので説明を省略する。【００４９】
上記ゾルゲル層２中における板状無機粒子の含有量は、少ないと、ゾルゲル層の酸素や水蒸気のバリア性が低下することがあり、多いと、製膜性が低下することがあるので、（Ａ）〜（Ｃ）より選ばれる１種以上の化合物の総量１００重量部に対して５〜３００重量部が好ましく、２０〜２００重量部がより好ましい。【００５０】
ゾルゲル層２の厚みは、薄いと、太陽電池用裏面保護シートの酸素や水蒸気に対するバリア性が低下することがあり、厚いと、ゾルゲル層の形成時にコンポジット基材との間における収縮率の差に起因してゾルゲル層にクラックが発生したり、ゾルゲル層自体の柔軟性不足によりハンドリング時にクラックが発生したりして、かえって太陽電池用裏面保護シートのバリア性が低下することがあるので、０．１〜５０μｍが好ましい。【００５１】
ゾルゲル層２上には蒸着膜３及び基材フィルム４がこの順序で又は反対の順序で積層一体化されていることが好ましい。即ち、ゾルゲル層２上に蒸着膜３が積層一体され且つ蒸着膜３上に基材フィルム４が積層一体化されていることが好ましい。又は、ゾルゲル層２上に基材フィルム４が積層一体化され且つ基材フィルム４上に蒸着膜３が積層一体化されていることが好ましい。図２に示したように、ゾルゲル層２上に蒸着膜３が積層一体化され且つ蒸着膜３上に基材フィルム４が積層一体化されていることがより好ましい。蒸着膜３は通常、基材フィルム４の表面に形成された上で、ゾルゲル層２上に蒸着膜３及び基材フィルム４が積層一体化される。【００５２】
基材フィルム４を構成している合成樹脂としては、その表面に蒸着膜を形成することができれば、特に限定されず、例えば、ポリ乳酸などの生分解性プラスチック、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ナイロン−６、ナイロン−６６などのポリアミド系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリルなどが挙げられる。なお、基材フィルム４は、延伸フィルム又は未延伸フィルムの何れであってもよいが、機械強度や寸法安定性、耐熱性に優れるものが好ましい。【００５３】
基材フィルム４には、必要に応じて、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、着色剤などの公知の添加剤が含有されていてもよい。又、基材フィルム４の表面に、コロナ処理、オゾン処理、プラズマ処理などの表面改質を行い、蒸着膜との密着性を向上させてもよい。基材フィルム４の厚さは、３〜２００μｍが好ましく、１０〜２００μｍがより好ましい。【００５４】
また、蒸着膜３を構成している材料としては、例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化窒化ケイ素、炭化窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、窒化チタンなどが挙げられ、酸化ケイ素、酸化アルミニウムが好ましく、ゾルゲル層との密着性が良好であるので、酸化ケイ素がより好ましい。【００５５】
酸化ケイ素からなる蒸着膜は、主たる構成要素であるケイ素及び酸素の他に、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム、カリウム、ナトリウム、チタン、ジルコニウム、イットリウムなどの金属や、炭素、ホウ素、窒素、フッ素などの非金属原子を含んでいてもよい。【００５６】
蒸着膜３は、単一層であっても、バリア性を向上させるために複数層を積層一体化させたものであってもよい。蒸着膜３が複数層を積層一体化させてなるものである場合、各層を構成している材料は、同種類であっても異種類であってもよい。【００５７】
蒸着膜３の厚みは、薄いと、太陽電池用裏面保護シートの酸素や水蒸気に対するバリア性が低下することがあり、厚いと、蒸着膜３の形成時に基材フィルムとの間における収縮率の差に起因してクラックなどが生じやすくなり、かえって太陽電池用裏面保護シートのバリア性が低下することがあるので、５ｎｍ〜５０００ｎｍが好ましく、５０ｎｍ〜１０００ｎｍがより好ましく、１００ｎｍ〜５００ｎｍが特に好ましい。蒸着膜３が酸化アルミニウム又は酸化ケイ素から形成されている場合には、蒸着膜３の厚みは１０ｎｍ〜３００ｎｍが好ましい。【００５８】
基材フィルム４の表面に蒸着膜３を形成する方法としては、例えば、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法などの物理的気相成長法（ＰＶＤ）や、化学的気相成長法（ＣＶＤ）などが挙げられ、基材フィルムへの熱の影響を比較的抑えることができ、更に、均一な蒸着膜を生産効率良く形成することができるので、化学的気相成長法（ＣＶＤ）が好ましい。【００５９】
図３に示したように、太陽電池用裏面保護シートの耐候性を向上させるために、太陽電池用裏面保護シートはその最外層としてポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５を有していてもよい。具体的には、太陽電池用裏面保護シートのコンポジット基材１上に、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されていてもよい。太陽電池用裏面保護シートの基材フィルム４又は蒸着膜３上に、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されていてもよい。太陽電池用裏面保護シートの基材フィルム４上にポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されていることが好ましい。図３では、基材フィルム４上に、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されてなる場合を示した。なお、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５の厚みは、１〜５０μｍが好ましい。【００６０】
更に、図４に示したように、太陽電池用裏面保護シートの耐候性を向上させるために、太陽電池用裏面保護シートはその最外層としてポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５を有していてもよい。具体的には、上記太陽電池用裏面保護シートのコンポジット基材１にポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されていてもよい。太陽電池用裏面保護シートのゾルゲル層２上に、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されていてもよい。図４では、ゾルゲル層２上に、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されてなる場合を示した。なお、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５の厚みは、１〜５０μｍが好ましい。【００６１】
上記フッ素系コーティング層としては、例えば、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）層、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）層、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）層などが挙げられる。【００６２】
次に、上記太陽電池用裏面保護シートの製造方法の一例について説明する。先ず、コンポジット基材１の製造方法としては、例えば、高分子及び板状無機粒子を押出機に供給して溶融混練しフィルム状に押出すことによってコンポジット基材を得ることができる。次いで、上述した（Ａ）〜（Ｃ）より選ばれる１種以上と、必要に応じて板状無機粒子とを含有するゾル液を作製し、コンポジット基材１上に上記ゾル液を所定厚みにて塗工してゾル層を形成する。このゾル層を加熱乾燥しながら脱水重縮合させてゾルゲル層を形成して太陽電池用裏面保護シートを製造することができる。【００６３】
ゾルゲル層２上に蒸着膜３及び基材フィルム４が積層一体化されている場合には、上述の要領で、表面に蒸着膜３が形成された基材フィルム４を作製する。この蒸着膜３又は基材フィルム４と、上記ゾルゲル層とを積層一体化すればよい。積層一体化する方法としては、接着剤や接着性樹脂を介在させる方法が挙げられる。接着剤としては、ドライラミネーション可能な接着剤を選択することが好ましい。また、接着性樹脂を介在させる溶融押出ラミネーションが採用されてもよい。これら接着剤や接着性樹脂は、接着面の材質に応じて適宜のものが選択されればよい。なお、ゾルゲル層の形成は必ずしもコンポジット基材１上で行う必要はなく、蒸着膜３が形成された基材フィルム４のいずれかの面上で合っても構わない。【００６４】
なお、ゾル液の塗布方法としては、例えば、ディッピング、ロールコート、グラビアコート、リバースコート、エアナイフコート、コンマコート、ダイコート、スクリーン印刷、スプレーコート、グラビアオフセット、バーコートなどの方法が挙げられる。又、ゾル液の加熱乾燥方法は、例えば、熱風を吹き付ける方法、熱ロール間を通過させる方法、赤外線を照射する方法などが挙げられる。【００６５】
更に、太陽電池用裏面保護シートＡがその最外層としてポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５を有している場合には、上述の要領で製造された太陽電池用裏面保護シートＡ上に汎用の要領でポリフッ化ビニルフィルムを積層一体化させ或いはフッ素系塗料を塗布、乾燥させればよい。【００６６】
次に、本発明の太陽電池用裏面保護シートＡは太陽電池モジュールを製造するために用いられる。図５に示したように、シリコンなどから形成される太陽電池素子６はエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルムなどの封止材７、８によって上下方向から挟持されることによって封止されており、表側の封止材７上には透明保護部材としてガラス板９が積層一体化されていると共に、裏側の封止材８上には太陽電池用裏面保護シートＡがバックシートとして積層一体化されることによって太陽電池モジュールＢが構成されている。【００６７】
なお、太陽電池用裏面保護シートＡに蒸着膜３又は基材フィルム４が積層一体化されている場合には、蒸着膜３又は基材フィルム４が、太陽電池素子６側に隣接する状態に積層することが望ましい。また、ゾルゲル層２上にポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が形成されている場合には、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が最外層となるように積層することで、太陽電池用裏面保護シートＡに優れた耐候性を付与することができる。【００６８】
太陽電池モジュールＢの太陽電池素子６は酸素や水蒸気に触れると錆などの酸化劣化を生じて発電能力が低下する虞れがある。従って、太陽電池素子６の表裏面は封止材７、８によって封止されているものの、封止材７、８の酸素や水蒸気に対するバリア性はそれほど充分ではない。【００６９】
太陽電池素子６の表面（受光面）側は保護層としてガラス板９が積層一体化されており、ガラス板９は、酸素や水蒸気に対するバリア性に優れているため、ガラス板９は封止材７のバリア性の不足を補っている。【００７０】
一方、太陽電池素子６の裏面側の封止材８上に本発明の太陽電池用裏面保護シートＡを積層一体化させることによって、太陽電池用裏面保護シートＡの有する優れた酸素や水蒸気に対するバリア性により太陽電池素子６に裏面側から酸素や水蒸気が浸入することに起因する太陽電池素子６の酸化劣化を防止して、太陽電池素子６の発電性能を長期間に亘って良好に維持することができる。【００７１】
上記では、太陽電池素子４の裏面側を封止している封止材８上に太陽電池用裏面保護シートＡを積層一体化させた場合を説明したが、図６、７に示したように、太陽電池用裏面保護シートＡ上にエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム層10を予め積層一体化させておくことが好ましい。太陽電池用裏面保護シートＡが蒸着膜３及び基材フィルム４を有している場合には、太陽電池用裏面保護シートＡの蒸着膜３又は基材フィルム４側に最外層としてエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム層10を予め積層一体化させておくことが好ましい。このような構成を採ることによって、封止材８と太陽電池用裏面保護シートＡを別部材としてではなく、一部材として取り扱うことができ作業の効率化が可能である。なお、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム層10が太陽電池素子６に対向した状態に積層一体化させる必要がある。【００７２】
図６、７に示したように、太陽電池用裏面保護シートＡ上にポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化されている場合には、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム層10が、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層されていない面上に形成される必要がある。【００７３】
更に、図８、９に示したように、太陽電池用裏面保護シートＡの何れか一方の面に封止層11が積層一体化されていてもよい。図８において、太陽電池用裏面保護シートＡのゾルゲル層２上に封止層11が積層一体化されていることが好ましい。図９のように、太陽電池用裏面保護シートＡが蒸着膜３及び基材フィルム４を有している場合には、蒸着膜３又は基材フィルム４上に封止層11が積層一体化されていることが好ましい。太陽電池用裏面保護シートＡの基材フィルム４上に封止層11が積層一体化されていることがより好ましい。なお、太陽電池用裏面保護シートＡがポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５を有する場合には、ポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層されていない面上に封止層11が積層一体化される。即ち、太陽電池用裏面保護シートＡの一方の面（第一の面）上に封止層11が積層一体化されると共に、太陽電池用裏面保護シートＡの他方の面（第二の面）上にポリフッ化ビニルフィルム層５又はフッ素系コーティング層５が積層一体化される。【００７４】
具体的には、封止層11は、変性ポリオレフィン系樹脂と、Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で示されるシラン化合物とを含有することによって構成されていることが好ましく、不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点が１２０〜１７０℃である変性ポリオレフィン系樹脂１００重量部と、Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で示されるシラン化合物０．００１〜２０重量部とを含有することがより好ましく、不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点が１２０〜１７０℃である変性ポリプロピレン系樹脂１００重量部と、Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で示されるシラン化合物０．００１〜２０重量部とを含有することが特により好ましい。図９では、蒸着膜３又は基材フィルム４上に封止層11を積層一体化させた場合を示した。但し、Ｒ2は、非加水分解性であって且つ重合性を有する官能基を示す。Ｒ3は、炭素数が１〜５であるアルキル基を示す。この封止層11は、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルムなどの封止材に比べて、酸素や水蒸気に対するバリア性が優れており、太陽電池用裏面保護シートＡと積層一体化して優れたガスバリア性を発揮する。【００７５】
封止層11を構成している変性ポリオレフィン系樹脂としては、不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸の無水物でグラフト変性したポリオレフィン樹脂、エチレン又は／及びプロピレンと、アクリル酸又はメタクリル酸との共重合体、金属架橋ポリオレフィン樹脂などが挙げられ、不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸の無水物でグラフト変性されたポリプロピレン系樹脂が好ましい。なお、変性ポリオレフィン系樹脂は、必要に応じて、ブテン成分、エチレン−プロピレン−ブテン共重合体、非晶質のエチレン−プロピレン共重合体、プロピレン−α−オレフィン共重合体などが５％重量以上添加されていてもよい。【００７６】
上記ポリオレフィン系樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などが挙げられる。上記ポリエチレン系樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂としては、ポリエチレン、エチレン成分を５０重量％以上含有するエチレンとα−オレフィンなどの他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。なお、α−オレフィンとしては、例えば、プロピレン、１−ブテン、イソブテン、１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、ネオヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−デセンなどが挙げられる。【００７７】
上記ポリプロピレン系樹脂としては、例えば、ポリプロピレン、プロピレン成分を５０重量％含有するプロピレンとα−オレフィンなどの他のモノマーとの共重合体などが挙げられ、エチレン−プロピレンランダム共重合体、プロピレン−ブテン−エチレン三元共重合体が好ましい。なお、α−オレフィンとしては、例えば、エチレン、１−ブテン、イソブテン、１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、ネオヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−デセンなどが挙げられる。【００７８】
エチレン−プロピレンランダム共重合体におけるエチレン成分の含有量は、少ないと、封止層の接着性が低下することがあり、多いと、太陽電池用裏面保護シートがブロッキングすることがあるので、１〜１０重量％が好ましく、１．５〜５重量％がより好ましい。【００７９】
不飽和カルボン酸としては、例えば、マレイン酸、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、シトラコン酸などが挙げられ、マレイン酸が好ましい。又、不飽和カルボン酸の無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸などが挙げられ、無水マレイン酸が好ましい。【００８０】
ポリオレフィン系樹脂を不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸の無水物で変性する方法としては、例えば、有機過酸化物の存在下に、結晶性ポリプロピレンと、不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸の無水物とを、溶媒中若しくは溶媒の不存在下で結晶性ポリプロピレンの融点以上に加熱処理する方法や、ポリオレフィン系樹脂を重合する際に、不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸の無水物を共重合させることが挙げられる。【００８１】
変性ポリオレフィン系樹脂中における不飽和カルボン酸又は不飽和カルボン酸の無水物の総含有量（以下「変性率」という）は、小さいと、封止層の接着性が低下することがあり、大きいと、太陽電池用裏面保護シートがブロッキングする虞れがあるので、０．０１〜２０重量％が好ましく、０．０５〜１０重量％がより好ましい。【００８２】
封止層11を構成している変性ポリオレフィン系樹脂におけるＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点は、低いと、製膜性が低下し、高いと、封止層の接着性が低下するので、１２０〜１７０℃が好ましく、１２０〜１４５℃がより好ましい。【００８３】
更に、封止層11には、太陽電池を構成している透明基板との長期接着性を確保するために、Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で示されるシラン化合物が含有されている。但し、Ｒ2は、非加水分解性であって且つ重合性を有する官能基を示す。Ｒ3は、炭素数が１〜５であるアルキル基を示す。【００８４】
Ｒ2としては、例えば、ビニル基、グリシドキシ基、グリシドキシエチル基、グリシドキシメチル基、グリシドキシプロピル基、グリシドキシブチル基などが挙げられる。Ｒ3としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基などが挙げられる。【００８５】
Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で表されるシラン化合物としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシエトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α−グリシシドキシプロピルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブロピルトリエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシエトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリメトキシシラン、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリプロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリブトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシエトキシシラン、γ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリエトキシシラン、δ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）ブチルトリメトキシシラン、δ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）ブチルトリエトキシシランなどが挙げられる。なお、これらシラン化合物は、単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。【００８６】
封止層11中におけるシラン化合物の含有量は、少ないと、シラン化合物を添加した効果が発現しないことがあり、多いと、製膜性が低下することがあるので、変性ポリプロピレン系樹脂１００重量部に対して０．００１〜２０重量部が好ましく、０．００５〜１０重量部が好ましい。【００８７】
なお、上記封止層11には、その物性を損なわない範囲内において、光安定剤、紫外線吸収剤、熱安定剤などの添加剤が含有されていてもよい。【００８８】
更に、太陽電池モジュールの作製の際に熱プレスなどを一定時間行うため、太陽電池用裏面保護シートが熱収縮を起こし、熱収縮に起因して太陽電池用裏面保護シートに皺が発生するなどの不具合を生じることがある。そこで、図１０、１１に示したように、太陽電池用裏面保護シートＡと封止層11との間に太陽電池用裏面保護シートＡを熱から保護するために熱緩衝層12が介在されていてもよい。熱緩衝層12は、融点が１６０℃以上で且つ曲げ弾性率が５００〜１５００ＭＰａであるポリオレフィン系樹脂からなる。なお、図１０では、蒸着膜３又は基材フィルム４上に、熱緩衝層12及び封止層11をこの順序で積層一体化させた場合を示した。【００８９】
熱緩衝層12を構成しているポリオレフィン系樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂が挙げられる。【００９０】
ポリエチレン系樹脂としては、ポリエチレン、エチレン成分を５０重量％以上含有するエチレンとα−オレフィンなどの他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。なお、α−オレフィンとしては、例えば、プロピレン、１−ブテン、イソブテン、１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、ネオヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−デセンなどが挙げられる。【００９１】
ポリプロピレン系樹脂としては、ホモポリプロピレン、プロピレン成分を５０重量％含有するプロピレンとα−オレフィンなどの他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。なお、α−オレフィンとしては、例えば、エチレン、１−ブテン、イソブテン、１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、ネオヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン、１−デセンなどが挙げられる。【００９２】
熱緩衝層12を構成しているポリオレフィン系樹脂におけるＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点は、低いと、太陽電池用裏面保護シートを熱から保護できないことがあるので、１６０℃以上が好ましく、高すぎると、取扱いが困難となることがあるので、１６０〜１７５℃がより好ましい。【００９３】
熱緩衝層12を構成しているポリオレフィン系樹脂の曲げ弾性率は、低いと、ポリオレフィン系樹脂の融点が低すぎる傾向にあるため、積層シートを熱から保護できないことがあり、高いと、取扱いが困難となることがあるので、５００〜１５００ＭＰａが好ましく、７００〜１２００ＭＰａがより好ましい。なお、ポリオレフィン系樹脂の曲げ弾性率は、ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準拠して測定されたものをいう。【００９４】
太陽電池用裏面保護シートＡの何れか一方の面に封止層11を積層一体化する方法としては、特に限定されず、例えば、封止層11を構成する樹脂組成物を押出機に供給して溶融混練し、押出機から太陽電池用裏面保護シートＡの何れか一方の表面に押出ラミネートすることによって、太陽電池用裏面保護シートＡ上に封止層11を積層一体化することができる。【００９５】
又、太陽電池用裏面保護シートＡと封止層11との間に熱緩衝層12が介在している場合には下記の方法で、太陽電池用裏面保護シート上に熱緩衝層12及び封止層11を積層一体化することができる。【００９６】
先ず、熱緩衝層12を構成するポリオレフィン系樹脂を第一押出機に供給して溶融混練する一方、封止層11を構成する樹脂組成物を第二押出機に供給して溶融混練して共押出することによって、熱緩衝層12と封止層11とが積層一体化されてなる重合シートを製造する。次に、太陽電池用裏面保護シートＡの何れか一方の面に重合シートをその熱緩衝層12が太陽電池用裏面保護シートＡに対向した状態となるように汎用の接着剤を用いて積層一体化して、太陽電池用裏面保護シート上に熱緩衝層12及び封止層11をこの順序で積層一体化することができる。【００９７】
封止層11を有する太陽電池用裏面保護シートＡは、薄膜太陽電池を用いて太陽電池モジュールを製造するにあたって太陽電池用裏面保護シートとして好適に用いることができる。【００９８】
図１２に示したように、薄膜太陽電池Ｃは、透明基板13上に、アモルファスシリコン、ガリウム−砒素、銅−インジウム−セレン、化合物半導体などからなる太陽電池素子14が薄膜状に積層一体化されている。【００９９】
薄膜太陽電池Ｃの透明基板13における太陽電池素子14の形成面上に、太陽電池用裏面保護シートＡをその封止層11が透明基板13に対向した状態となるように重ね合わせて一体化することによって、薄膜太陽電池Ｃの太陽電池素子14を太陽電池用裏面保護シートＡによって封止して太陽電池モジュールＤを製造することができる（図１２参照）。【０１００】
上記構成の太陽電池用裏面保護シートＡは、太陽電池用途の他に、食品用途、医薬品用途など様々な用途にガスバリアフィルムとして用いることもできる。
【発明の効果】
【０１０１】
本発明の太陽電池用裏面保護シートは、コンポジット基材自体が板状無機粒子を分散状態で含有していることによって優れた防湿性を有しており、好ましくはシクロオレフィン樹脂や液晶樹脂等の耐熱性の高い高分子を選択することで、寸法安定性に優れ、特に、高温環境下において用いられる場合にあっても寸法変化を殆ど生じない。【０１０２】
また、ゾルゲル層はそれ自体優れたバリア性を有していると共に、ゾルゲル層中に板状無機粒子を含有している場合、酸素や水蒸気に対して一層優れたガスバリア性を発揮する。【０１０３】
上記太陽電池用裏面保護シートのゾルゲル層が板状無機粒子を含有している場合には、ゾルゲル層は、それ自体の優れたガスバリア性に加えて板状無機粒子を含有することで一層のガスバリア性向上が図られることになる。従って、本発明の太陽電池用裏面保護シートは、酸素や水蒸気に対して優れたバリア性を発揮し、太陽電池素子を裏面側から長期間に亘って安定的に保護し、太陽電池モジュールの性能を長期間に亘って安定的に維持することができる。【０１０４】
本発明の太陽電池用裏面保護シートが蒸着膜を有している場合、蒸着膜も酸素や水蒸気に対して優れたバリア性を有しているので、太陽電池用裏面保護シートは格段に優れたガスバリア性を発揮し、太陽電池素子を裏面側から長期間に亘って安定的に保護し、太陽電池モジュールの性能を長期間に亘って安定的に維持することができる。【０１０５】
本発明の太陽電池用裏面保護シートは、アルミニウム箔などの金属箔を用いていないので、太陽電池用裏面保護シートとして用いた場合にあっても、太陽電池素子に対して短絡などの障害を生じさせることがない。【０１０６】
上記太陽電池用裏面保護シートの何れか一方の面に封止層が積層一体化されており、上記封止層が、不飽和カルボン酸又はその無水物でグラフト変性され且つＪＩＳ  Ｋ７１２１に準拠して測定された融点が１２０〜１７０℃である変性ポリプロピレン系樹脂及びＲ2Ｓｉ（ＯＲ3）3で示されるシラン化合物を含有する太陽電池用裏面保護シートは、太陽電池との積層をロールツーロール(roll to roll)方式にて行うことが可能であり、太陽電池モジュールを効率よく製造することができる。【０１０７】
更に、上記太陽電池用裏面保護シートは、有機過酸化物を含有していないので、従来の封止材のように有機過酸化物による架橋工程を必要とせず、太陽電池モジュールを効率よく製造することができると共に、有機過酸化物の分解生成物の発生もなく、太陽電池との密着性を長期間に亘って維持することができ、太陽電池の性能を長期間に亘って安定的に維持することができる。【０１０８】
本発明の太陽電池用裏面保護シートが最外層としてポリフッ化ビニルフィルム層又はフッ素系コーティング層を有している場合には優れた耐候性を発揮し、太陽電池用裏面保護シートの耐久性が向上するので、太陽電池モジュールは長期間に亘って安定した性能を維持することができる。【０１０９】
本発明の太陽電池用裏面保護シートが最外層としてエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム層を最外層として有する場合には、太陽電池モジュールを製造する際に、太陽電池素子の受光面とは反対側に太陽電池用裏面保護シートを積層させることによって、太陽電池素子の裏面側に封止材と太陽電池用裏面保護シートとを一部材として積層一体化させることができ、太陽電池モジュールの製造時の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の太陽電池用裏面保護シートを示した縦断面図である。
【図２】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図３】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図４】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図５】太陽電池モジュールの一例を示した模式縦断面図である。
【図６】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図７】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図８】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図９】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図１０】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図１１】本発明の太陽電池用裏面保護シートの他の一例を示した縦断面図である。
【図１２】本発明の太陽電池モジュールを示した縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０１１１】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【０１１２】
（実施例１）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）１５重量部と、メルトフローレイトが１．６ｇ／１０分のポリプロピレン（プライムポリマー社製  商品名「Ｅ２０３ＧＶ」、融点：１６９℃）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して２５０℃にて溶融混練して吐出量５０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材の片面にコロナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。なお、ポリプロピレンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、２．１ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１１３】
片面がコロナ処理面とされた厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用意した。この二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを蒸着室中において冷却ドラムに接触させながら走行させ、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのコロナ処理面上に、酸化ケイ素（ＳｉＯ）を厚さ６００Åとなるように真空蒸着（蒸着条件：エレクトロンビームパワー（３２ＫＶ−０．６０Ａ），圧力１×１０-4Ｔｏｒｒ）させて厚みが６００Åの蒸着膜を形成した。
【０１１４】
エチルシリケート１５重量部、プロパノール１０重量部及びγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコ−ニング株式会社製  商品名「ＳＨ６０４０」）６０重量部を相対湿度３０％、室温にて混合した後、この混合物を相対湿度２０％、室温にて攪拌しながらテトラブトキシチタニウム８重量部をゆっくりと滴下した。テトラブトキシチタニウムの滴下完了後、混合物を更に２時間攪拌した後、０．００１Ｎ硝酸水０．５重量部を混合物にゆっくりと滴下した。硝酸水の滴下後、混合物を更に５時間攪拌した。この混合物にコロイダルシリカ（触媒化成工業社製  商品名「カタロイドＳ」）２重量部をゆっくりと添加してゾル液を作製した。
【０１１５】
このゾル液を二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの蒸着膜上にグラビアコ−トによって塗布し、１２５℃で１時間乾燥してコ−ティング量１．５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）からなる厚みが１．５μｍのゾルゲル層を形成した。
【０１１６】
ポリウレタン系樹脂の初期縮合物にエポキシ系のシランカップリング剤を５．０重量％となるように添加して混練しプライマー樹脂組成物を作製し、このプライマー樹脂組成物を上記ゾルゲル層上にグラビアロールコートによって０．６ｇ／ｍ2（乾燥状態）となるように塗布し乾燥させてプライマー層を形成した。
【０１１７】
紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤１．８重量％を含有する二液硬化型ウレタン系ラミネート用接着剤１００重量部に板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）５重量部を添加、混合することにより微粒子含有ラミネート用接着剤を得た。この微粒子含有ラミネート用接着剤をプライマー層上にグラビアロールコートによって５ｇ／ｍ2（乾燥状態）になるように塗布してラミネート用接着剤層を形成した。
【０１１８】
ラミネート用接着剤層上に上記コンポジット基材をそのコロナ処理面がラミネート用接着剤層に対向した状態に重ね合わせてドライラミネートによって積層一体化して太陽電池用裏面保護シートを得た。
【０１１９】
ドライラミネート用接着剤として、主剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケラックＡ３１５」）１００重量部と硬化剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケネートＡ５０」）１０重量部とからなる二液硬化型ウレタン系接着剤を用意した。
【０１２０】
上記太陽電池用裏面保護シートの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム面上に厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体からなるフッ素系樹脂シ−ト（ＥＴＦＥ）をドライラミネート用接着剤を用いてドライラミネートにて積層一体化した。なお、ウレタン系接着剤の塗布量は、固形分にて４．５ｇ／ｍ2となるようにした。
【０１２１】
次に、エチレン−酢酸ビニル共重合体（酢酸ビニル含有量：２５重量％、メルトフローレイト：２．０ｇ／１０分）１００重量部、架橋剤１．５重量部及びシランカップリング剤０．２重量部及び架橋助剤２．０重量部を押出機に供給して溶融混練し、太陽電池用裏面保護シートのフッ素系樹脂シート上にエチレン−酢酸ビニル共重合体層を厚み３５０μｍにて押出しラミネートした。
【０１２２】
上述のようにして得られた太陽電池用裏面保護シートを太陽電池用裏面保護シートとして使用し、下記の要領で太陽電池モジュールを作製した。厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シート、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子及び太陽電池用裏面保護シートをこの順序で重ね合わせて１５０℃で１５分間に亘って加熱圧着することによって太陽電池モジュールを得た。なお、太陽電池用裏面保護シートのエチレン−酢酸ビニル共重合体層が太陽電池素子側となるように重ね合わせた。
【０１２３】
（実施例２）
エチルシリケート２５重量部、エタノール１０重量部及びγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコ−ニング株式会社製  商品名「ＳＨ６０４０」）５０重量部を相対湿度３０％、室温にて混合した後、この混合物を相対湿度２０％、室温にて攪拌しながらトリｓｅｃ−ブトキシアルミニウム３．８重量部をゆっくりと滴下した。トリｓｅｃ−ブトキシアルミニウムの滴下完了後、混合物を更に２時間攪拌した後、０．００１Ｎ硝酸水０．５重量部を混合物にゆっくりと滴下した。硝酸水の滴下後、混合物を更に５時間攪拌した。
【０１２４】
一方、板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）３０重量部をコロイダルシリカ（触媒化成工業社製  商品名「カタロイドＳ」）３０重量部に加えて３時間に亘って超音波分散させた。
【０１２５】
上記混合物に、板状ベーマイト微粒子を分散させたコロイダルシリカをゆっくり加えてゾル液を調製した。このゾル液を用いたこと以外は実施例１と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１２６】
（実施例３）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）１５重量部と、環状オレフィン（日本ゼオン社製  商品名「Ｚｅｏｎｏｒ  １６００」、ガラス転移温度：１６３℃、）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して３００℃にて溶融混練して吐出量３０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材を用いたこと以外は実施例１と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。なお、環状オレフィンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、１．８ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１２７】
（実施例４）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）１５重量部と、メルトフローレイトが１．６ｇ／１０分のポリプロピレン（プライムポリマー社製  商品名「Ｅ２０３ＧＶ」、融点：１６９℃）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して２５０℃にて溶融混練して吐出量５０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材の片面にコロナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。なお、ポリプロピレンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、２．１ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１２８】
片面がコロナ処理面とされた厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用意した。この二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを蒸着室中において冷却ドラムに接触させながら走行させ、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのコロナ処理面上に、酸化ケイ素（ＳｉＯ）を厚さ６００Åとなるように真空蒸着（蒸着条件：エレクトロンビームパワー（３２ＫＶ−０．６０Ａ），圧力１×１０-4Ｔｏｒｒ）させて厚みが６００Åの蒸着膜を形成した。
【０１２９】
エチルシリケート１５重量部、プロパノール１０重量部及びγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコ−ニング株式会社製  商品名「ＳＨ６０４０」）６０重量部を相対湿度３０％、室温にて混合した後、この混合物を相対湿度２０％、室温にて攪拌しながらテトラブトキシチタニウム８重量部をゆっくりと滴下した。テトラブトキシチタニウムの滴下完了後、混合物を更に２時間攪拌した後、０．００１Ｎ硝酸水０．５重量部を混合物にゆっくりと滴下した。硝酸水の滴下後、混合物を更に５時間攪拌した。この混合物にコロイダルシリカ（触媒化成工業社製  商品名「カタロイドＳ」）２重量部をゆっくりと添加してゾル液を作製した。
【０１３０】
このゾル液を二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの蒸着膜上にグラビアコ−トによって塗布し、１２５℃で１時間乾燥してコ−ティング量１．５ｇ／ｍ2 （乾燥状態）からなる厚みが１．５μｍのゾルゲル層を形成した。
【０１３１】
ポリウレタン系樹脂の初期縮合物にエポキシ系のシランカップリング剤を５．０重量％となるように添加して混練しプライマー樹脂組成物を作製し、このプライマー樹脂組成物を上記ゾルゲル層上にグラビアロールコートによって０．６ｇ／ｍ2（乾燥状態）となるように塗布し乾燥させてプライマー層を形成した。
【０１３２】
紫外線吸収剤としてベンゾフェノン系紫外線吸収剤１．８重量％を含有する二液硬化型ウレタン系ラミネート用接着剤１００重量部に板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）５重量部を添加、混合することにより微粒子含有ラミネート用接着剤を得た。この微粒子含有ラミネート用接着剤をプライマー層上にグラビアロールコートによって５ｇ／ｍ2（乾燥状態）になるように塗布してラミネート用接着剤層を形成した。
【０１３３】
ラミネート用接着剤層上に上記コンポジット基材をそのコロナ処理面がラミネート用接着剤層に対向した状態に重ね合わせてドライラミネートによって積層一体化して太陽電池用裏面保護シートを得た。
【０１３４】
ドライラミネート用接着剤として、主剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケラックＡ３１５」）１００重量部と硬化剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケネートＡ５０」）１０重量部とからなる二液硬化型ウレタン系接着剤を用意した。
【０１３５】
変性ポリプロピレン系樹脂（三井化学社製  商品名「アドマーＱＥ０６０」、融点：１４２℃）１００重量部及びビニルトリメトキシシラン３重量部を押出機に供給して溶融混練し押出機から上記太陽電池用裏面保護シートの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面にシート状に押出ラミネートして厚みが２００μｍの封止層を積層一体化して太陽電池用裏面保護シートを得た。
【０１３６】
次に、透明保護基板として厚さ１．８ｍｍの非強化青板ガラス基板の一面に熱ＣＶＤ法によってＳｎＯ2透明導電膜を形成したものを用意した。この非強化青板ガラス基板上に、公知のプラズマＣＶＤ法によって、ｐｉｎ素子構造のシングル構造アモルファスシリコン半導体膜を形成し、更に、公知のＤＣマグネトロンスパッタによって、ＺｎＯ透明導電膜及び銀薄膜からなる裏面電極を形成してアモルファスシリコン薄膜太陽電池を製造した。
【０１３７】
続いて、アモルファスシリコン薄膜太陽電池の非強化青板ガラス基板におけるシングル構造アモルファスシリコン半導体膜の形成面上に上記太陽電池用裏面保護シートをその封止層が対向した状態となるように重ね合わせて積層体を形成し、この積層体を１７０℃にてその厚み方向にロールにて押圧することによって、アモルファスシリコン薄膜太陽電池Ｃおけるシングル構造アモルファスシリコン半導体膜の形成面上に上記太陽電池用裏面保護シートを積層一体化して太陽電池モジュールを得た。
【０１３８】
（実施例５）
実施例４と同様の要領で太陽電池用裏面保護シートを製造した。次に、変性ポリプロピレン系樹脂（三井化学社製  商品名「アドマーＱＥ０６０」、融点：１４２℃）１００重量部及びビニルトリメトキシシラン３重量部を封止層を構成する組成物として第一押出機に供給する一方、融点が１６８℃で且つ曲げ弾性率１７００ＭＰａのホモポリプロピレン８０重量部と、融点が１６０℃で且つ曲げ弾性率が５５０ＭＰａの軟質ホモプロピレン２０重量部とからなる曲げ弾性率が１２００ＭＰａのポリプロピレン系樹脂を熱緩衝層を構成する組成物として第二押出機に供給し、第一、第二押出機を共に接続させているＴダイからシート状に共押出して、厚みが８０μｍの封止層と、厚みが１２０μｍの熱緩衝層とが積層一体化されてなる重合シートを製造した。
【０１３９】
次に、重合シートの熱緩衝層の表面に６ＫＷ及び処理速度２０ｍ／分の条件下にてコロナ放電処理を施してフィルム表面の表面張力が５０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上となるように調整した。
【０１４０】
しかる後、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤１．８重量％を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネート用接着剤を用意し、このウレタン系ラミネート用接着剤を上記重合シートの熱緩衝層上にグラビアロ−ルコ−ト法によって乾燥状態にて膜厚５．０ｇ／ｍ2になるように塗布して乾燥させてラミネート用接着剤層を形成した。
【０１４１】
なお、２液硬化型のウレタン系ラミネート用接着剤は、主剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケラックＡ３１５」）１００重量部と、硬化剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケネートＡ５０」）１０重量部とから構成されていた。
【０１４２】
そして、重合シートのラミネート用接着剤層上に太陽電池用裏面保護シートをその二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが対向した状態となるように積層一体化して太陽電池用裏面保護シートを得た。
【０１４３】
次に、実施例４と同様の要領でアモルファスシリコン薄膜太陽電池を製造した。実施例４と同様にして、アモルファスシリコン薄膜太陽電池おけるシングル構造アモルファスシリコン半導体膜の形成面上に上記太陽電池用裏面保護シートを積層一体化して太陽電池モジュールを得た。
【０１４４】
（実施例６）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」）１５重量部と、環状オレフィン（日本ゼオン社製  商品名「Ｚｅｏｎｏｒ  １６００」、ガラス転移温度：１６３℃）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して３００℃にて溶融混練して吐出量３０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材を用いたこと以外は実施例５と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。なお、環状オレフィンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、１．８ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１４５】
（実施例７）
封止層を構成している変性ポリプロピレン系樹脂として、変性ポリプロピレン系樹脂（三菱化学社製  商品名「モディックＰ５５５」、融点：１３４℃）を用いたこと以外は実施例６と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１４６】
（実施例８）
熱緩衝層を構成する組成物として、融点が１４３℃で且つ曲げ弾性率１２００ＭＰａのランダムポリプロピレン１００重量部を用いたこと以外は実施例６と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１４７】
（実施例９）
ビニルトリメトキシシランを封止層に含有させなかったこと以外は実施例４と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
（実施例１０）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）１５重量部と、メルトフローレイトが１．６ｇ／１０分のポリプロピレン（プライムポリマー社製  商品名「Ｅ２０３ＧＶ」、融点：１６９℃）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して２５０℃にて溶融混練して吐出量５０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材の片面にコロナ放電処理を施してコロナ処理面を形成した。なお、ポリプロピレンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、２．１ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１４８】
エチルシリケート２５重量部、エタノール１０重量部及びγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（東レダウコーニング株式会社製  商品名「ＳＨ６０４０」）５０重量部を相対湿度３０％、室温にて混合した後、この混合物を相対湿度２０％、室温にて攪拌しながらトリｓｅｃ−ブトキシアルミニウム３重量部をゆっくりと滴下した。トリｓｅｃ−ブトキシアルミニウムの滴下完了後、混合物を更に２時間攪拌した後、０．００１Ｎ硝酸水１．５重量部を混合物にゆっくりと滴下した。硝酸水の滴下後、混合物を更に５時間攪拌した。
【０１４９】
一方、板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」、平均サイズ：６０ｎｍ、アスペクト比：５）３０重量部をコロイダルシリカ（触媒化成工業社製  商品名「カタロイドＳ」）３０重量部に加えて３時間に亘って超音波分散させた。
【０１５０】
上記混合物に、板状ベーマイト微粒子を分散させたコロイダルシリカをゆっくり加えてゾル液を調製した。このゾル液をコンポジット基材のコロナ処理面にグラビアコートによって塗布し、１２５℃で１時間乾燥してコーティング量２．８ｇ／ｍ2（乾燥状態）からなる厚みが３μｍのゾルゲル層を形成して太陽電池用裏面保護シートを得た。
【０１５１】
ドライラミネート用接着剤として、主剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケラックＡ３１５」）１００重量部と硬化剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケネートＡ５０」）１０重量部とからなる二液硬化型ウレタン系接着剤を用意した。
【０１５２】
太陽電池用裏面保護シートのゾルゲル層上に厚さ５０μｍのエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体からなるフッ素系樹脂シート（ＥＴＦＥ）をドライラミネート用接着剤を用いてドライラミネートにて積層一体化した。なお、ドライミネート用接着剤の塗布量は、固形分にて４．５ｇ／ｍ2となるようにした。
【０１５３】
次に、エチレン−酢酸ビニル共重合体（酢酸ビニル含有量：２５重量％、メルトフローレイト：２．０ｇ／１０分）１００重量部、架橋剤１．５重量部及びシランカップリング剤０．２重量部及び架橋助剤２．０重量部を押出機に供給して溶融混練し、太陽電池用裏面保護シートのフッ素系樹脂シート上にエチレン−酢酸ビニル共重合体層を厚み３５０μｍにて押出しラミネートした。
【０１５４】
上述のようにして得られた太陽電池用裏面保護シートを太陽電池用裏面保護シートとして使用し、下記の要領で太陽電池モジュールを作製した。厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シート、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子及び太陽電池用裏面保護シートをこの順序で重ね合わせて１５０℃で１５分間に亘って加熱圧着することによって太陽電池モジュールを得た。なお、太陽電池用裏面保護シートのエチレン−酢酸ビニル共重合体層が太陽電池素子側となるように重ね合わせた。
【０１５５】
（実施例１１）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」）１５重量部と、環状オレフィン（日本ゼオン社製  商品名「Ｚｅｏｎｏｒ  １６００」、ガラス転移温度：１６３℃）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して３００℃にて溶融混練して吐出量３０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材を用いたこと以外は実施例１０と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。なお、環状オレフィンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、１．８ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１５６】
（実施例１２）
実施例１０と同様の要領で太陽電池用裏面保護シートを得た。変性ポリプロピレン系樹脂（三井化学社製  商品名「アドマーＱＥ０６０」、融点：１４２℃）１００重量部及びビニルトリメトキシシラン３重量部を押出機に供給して溶融混練し押出機から上記太陽電池用裏面保護シートのゾルゲル層の表面にシート状に押出ラミネートして厚みが２００μｍの封止層を積層一体化して太陽電池用裏面保護シートＡを得た。
【０１５７】
次に、透明保護基板として厚さ１．８ｍｍの非強化青板ガラス基板の一面に熱ＣＶＤ法によってＳｎＯ2透明導電膜を形成したものを用意した。この非強化青板ガラス基板上に、公知のプラズマＣＶＤ法によって、ｐｉｎ素子構造のシングル構造アモルファスシリコン半導体膜を形成し、更に、公知のＤＣマグネトロンスパッタによって、ＺｎＯ透明導電膜及び銀薄膜からなる裏面電極を形成してアモルファスシリコン薄膜太陽電池Ｃを製造した。
【０１５８】
続いて、アモルファスシリコン薄膜太陽電池Ｃの非強化青板ガラス基板におけるシングル構造アモルファスシリコン半導体膜の形成面上に上記太陽電池用裏面保護シートをその封止層が対向した状態となるように重ね合わせて積層体を形成し、この積層体を１７０℃にてその厚み方向にロールにて押圧することによって、アモルファスシリコン薄膜太陽電池Ｃおけるシングル構造アモルファスシリコン半導体膜の形成面上に上記太陽電池用裏面保護シートを積層一体化して太陽電池モジュールを得た。
【０１５９】
（実施例１３）
実施例１０と同様の要領で太陽電池用裏面保護シートを得た。次に、変性ポリプロピレン系樹脂（三井化学社製  商品名「アドマーＱＥ０６０」、融点：１４２℃）１００重量部及びビニルトリメトキシシラン３重量部を封止層を構成する組成物として第一押出機に供給する一方、融点が１６８℃で且つ曲げ弾性率１７００ＭＰａのホモポリプロピレン８０重量部と、融点が１６０℃で且つ曲げ弾性率が５５０ＭＰａの軟質ホモプロピレン２０重量部とからなる曲げ弾性率が１２００ＭＰａのポリプロピレン系樹脂を熱緩衝層を構成する組成物として第二押出機に供給し、第一、第二押出機を共に接続させているＴダイからシート状に共押出して、厚みが８０μｍの封止層と、厚みが１２０μｍの熱緩衝層とが積層一体化されてなる重合シートを製造した。
【０１６０】
次に、重合シートの熱緩衝層の表面に６ＫＷ及び処理速度２０ｍ／分の条件下にてコロナ放電処理を施してフィルム表面の表面張力が５０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上となるように調整した。
【０１６１】
しかる後、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤１．８重量％を含有する２液硬化型のウレタン系ラミネート用接着剤を用意し、このウレタン系ラミネート用接着剤を上記重合シートの熱緩衝層上にグラビアロ−ルコ−ト法によって乾燥状態にて膜厚５．０ｇ／ｍ2になるように塗布して乾燥させてラミネート用接着剤層を形成した。
【０１６２】
なお、２液硬化型のウレタン系ラミネート用接着剤は、主剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケラックＡ３１５」）１００重量部と、硬化剤（三井化学ポリウレタン株式会社製  商品名「タケネートＡ５０」）１０重量部とから構成されていた。
【０１６３】
そして、重合シートのラミネート用接着剤層上に太陽電池用裏面保護シートをそのゾルゲル層が対向した状態となるように積層一体化して太陽電池用裏面保護シートを得た。
【０１６４】
次に、実施例１２と同様の要領でアモルファスシリコン薄膜太陽電池を製造した。実施例１２と同様にして、アモルファスシリコン薄膜太陽電池おけるシングル構造アモルファスシリコン半導体膜の形成面上に上記太陽電池用裏面保護シートを積層一体化して太陽電池モジュールを得た。
【０１６５】
（実施例１４）
板状ベーマイト微粒子（Ｓａｓｏｌ社製  商品名「Ｄｉｓｐｅｒａｌ  ６０」）１５重量部と、環状オレフィン（日本ゼオン社製  商品名「Ｚｅｏｎｏｒ  １６００」、ガラス転移温度：１６３℃、）８５重量部とを混合した上で二軸押出機（東芝機械社製  商品名「ＴＥＭ３５Ｂ」）に供給して３００℃にて溶融混練して吐出量３０ｋｇ／時間にて押出してペレットを得た。このペレットを押出機で溶融混練して押出し、厚みが２００μｍのコンポジット基材を得た。このコンポジット基材を用いたこと以外は実施例１３と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。なお、環状オレフィンにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠して２３℃、相対湿度９０％にて測定された厚みが１００μｍのときの水蒸気透過率は、１．８ｇ/ｍ2・ｄａｙであった。
【０１６６】
（実施例１５）
封止層を構成している変性ポリプロピレン系樹脂として、変性ポリプロピレン系樹脂（三菱化学社製  商品名「モディックＰ５５５」、融点：１３４℃）を用いたこと以外は実施例１４と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１６７】
（実施例１６）
ビニルトリメトキシシランを封止層に含有させなかったこと以外は実施例１３と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１６８】
（実施例１７）
熱緩衝層を構成する組成物として、融点が１４３℃で且つ曲げ弾性率１２００ＭＰａのランダムポリプロピレン１００重量部を用いたこと以外は実施例１２と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１６９】
（比較例１）
厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シート、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シート、及び、厚みが５０μｍの白色二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを、この順序で重ね合わせて１５０℃で１５分間に亘って加熱圧着して太陽電池モジュールを製造した。
【０１７０】
（比較例２）
厚さ３ｍｍのガラス板、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シート、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シート、及び、厚みが５０μｍの白色ポリフッ化ビニル樹脂シートをこの順序で重ね合わせて１５０℃で１５分間に亘って加熱圧着して太陽電池モジュールを製造した。
【０１７１】
（比較例３）
太陽電池用裏面保護シートの代わりに、厚みが５０μｍの白色のポリフッ化ビニル樹脂シートを用いたこと以外は実施例４と同様にして太陽電池用裏面保護シート及び太陽電池モジュールを得た。
【０１７２】
実施例１〜１７及び比較例３で得られた太陽電池用裏面保護シート、比較例１で用いられた白色二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、比較例２で用いられた白色ポリフッ化ビニル樹脂シートについて水蒸気透過率を下記の要領で測定し、その結果を表１、２に示した。
【０１７３】
実施例１〜３、１０、１１で得られた太陽電池用裏面保護シート、比較例１で用いられた白色二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、比較例２で用いられた白色ポリフッ化ビニル樹脂シートについて剥離強度を下記の要領で測定し、その結果を表４に示した。
【０１７４】
実施例及び比較例で得られた太陽電池モジュールの出力低下率を下記の要領で測定し、その結果を表１、２に示した。
【０１７５】
実施例１〜１７及び比較例１〜３で得られた太陽電池用裏面保護シートの接着性を下記の要領で測定し、その結果を表５に示した。更に、実施例４〜９、１２〜１７及び比較例３で得られた太陽電池モジュールのラミネート性を下記の要領で測定し、その結果を表２に示した。
【０１７６】
（水蒸気透過率）
実施例１〜１７及び比較例３で得られた太陽電池用裏面保護シート、比較例１で用いられた白色二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、比較例２で用いられた白色ポリフッ化ビニル樹脂シートの水蒸気透過率を温度４０℃、相対湿度９０％の条件下にて、ＪＩＳ  Ｋ７１２６に準拠してＧＴＲ社から商品名「ＧＴＲ−１００ＧＷ／３０Ｘ」にて市販されている測定機を用いて測定した。
【０１７７】
（剥離強度）
太陽電池用裏面保護シートを幅１５ｍｍの短冊状に切断して試験片を作製し、この試験片を用いて引っ張り試験機（エー・アンド・デー社製   商品名「テンシロン」）によって太陽電池用裏面保護シートの剥離強度を測定した。
【０１７８】
（出力低下率）
ＪＩＳ  Ｃ８９１７−１９８９に基づいて太陽電池モジュールの環境試験を行い、試験前後の光起電力の出力を測定して下記式に基づいて算出した。
出力低下率（％）＝１００×（試験後の光起電力の出力−試験前の光起電力の出力）／試験前の光起電力の出力
【０１７９】
（初期接着性）
太陽電池用裏面保護シートから幅２０ｍｍの試験片を切り出した。ガラス板上に試験片をその封止層又はエチレン−酢酸ビニル共重合体シートによって接着し、ＪＩＳ  Ｋ６８５４に準拠して引張速度３００ｍｍ／分にて９０°剥離試験を行い、下記基準に基づいて評価した。
良(good)：引張り力が１９．６Ｎ以上を示すが、連続的に試験片をガラス板から剥離できず、封止層又はエチレン−酢酸ビニル共重合体層が凝集破壊した。
可(poor)：引張り力が１９．６Ｎ以上で且つ連続的に試験片をガラス板から剥離できた。
不可(bad)：引張り力が１９．６Ｎ未満で且つ連続的に試験片をガラス板から剥離できた。
【０１８０】
（耐久接着性）
太陽電池モジュールを８５℃、相対湿度８５％の環境下に１０００時間に亘って放置した後、上記接着性同様に、ＪＩＳ  Ｋ６８５４に準拠して９０°剥離試験を行い、下記基準に基づいて評価した。なお、実施例９及び比較例１、２は、試験片が自然剥離した。
良(good)：引張り力が１９．６Ｎ以上を示すが、連続的に試験片をガラス板から剥離できず、エチレン−酢酸ビニル共重合体層が凝集破壊した。
可(poor)：引張り力が１９．６Ｎ以上で且つ連続的に試験片をガラス板から剥離できた。
不可(bad)：引張り力が１９．６Ｎ未満で且つ連続的に試験片をガラス板から剥離できた。
【０１８１】
（ラミネート性）
得られた太陽電池モジュールにおけるアモルファスシリコン薄膜太陽電池の非強化青板ガラス基板上に一辺が９０ｃｍの平面正方形状の試験枠を任意の箇所に形成した。試験枠内において、太陽電池と太陽電池用裏面保護シートとの界面にて発生している直径が１ｍｍ以上の気泡数を目視により数えた。太陽電池モジュールを１０個用意し、太陽電池モジュール毎の気泡数の相加平均値を気泡数とし、下記基準により評価した。なお、比較例３では、太陽電池と太陽電池用裏面保護シートとを積層一体化させる際に太陽電池用裏面保護シートに皺が発生したので気泡数を数えなかった。
良(good)：気泡は発生していなかった。
可(poor)：気泡は発生していたが２個以下であった。
不可(bad)：気泡が２個を超えていた。
【０１８２】
【表１】
2010104070.tif 000004
【０１８３】
【表２】
2010104070.tif 000005
【符号の説明】
【０１８４】
１     コンポジット基材
２     ゾルゲル層
３      蒸着膜
４      基材フィルム
５     ポリフッ化ビニルフィルム層、フッ素系コーティング層
６     太陽電池素子
７     封止材
８     封止材
９     ガラス板
10      エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム層
11     封止層
12     熱緩衝層
13     透明基板
14     太陽電池素子
Ａ     太陽電池用裏面保護シート（ガスバリアフィルム）
Ｂ     太陽電池モジュール
Ｃ     薄膜太陽電池
Ｄ     太陽電池モジュール
【図１】
2010104070.tif 000006
【図２】
2010104070.tif 000007
【図３】
2010104070.tif 000008
【図４】
2010104070.tif 000009
【図５】
2010104070.tif 000010
【図６】
2010104070.tif 000011
【図７】
2010104070.tif 000012
【図８】
2010104070.tif 000013
【図９】
2010104070.tif 000014
【図１０】
2010104070.tif 000015
【図１１】
2010104070.tif 000016
【図１２】
2010104070.tif 000017
【国際調査報告】
2010104070.tif 000018
2010104070.tif 000019
2010104070.tif 000020
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