(57)【要約】  可撓性シートの部分褶曲のみでワーク搬送手段との板状ワークの受渡しを容易に行う。  ワーク保持テーブル(５ｂ，８)に設けられる可撓性シート(２)の一部を、板状ワーク(Ａ，Ｂ)へ向け部分的に押圧する押圧手段(４)と、この押圧手段(４)で可撓性シート(２)を押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部(２ｂ)がワーク搬送手段(３)で搬送される板状ワーク(Ａ，Ｂ)に届くように作動制御する制御手段(６)を備えることにより、ワーク搬入時には、ワーク搬送手段(３)で搬入された少なくとも板状ワーク(Ｂ)に、可撓性シート(２)の部分褶曲部(２ｂ)が当接し支持されて受け取り可能となり、またワーク搬出時には、貼り合わせた両板状ワーク(Ａ，Ｂ)が、該部分褶曲部(２ｂ)でワーク搬送手段(３)のワーク搬出開始位置まで押送されて受渡し可能となる。
2010095215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送手段で搬入・搬出される板状ワークをワーク保持テーブルに受け渡すワーク搬送装置であって、  前記ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートと、この可撓性シートの一部を前記板状ワークへ向け部分的に押圧する押圧手段と、この押圧手段を作動制御する制御部とを備え、  この制御部は、前記押圧手段で前記可撓性シートを押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部が前記ワーク搬送手段で搬送される前記板状ワークに届くようにしたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記押圧手段の先端部を前記可撓性シートへ向けて突出するように湾曲形成した請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記可撓性シートの前記押圧手段と対向する部分に裏打板を部分的に固着した請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記可撓性シートと前記裏打板に亘って通気孔を貫通開穿した請求項３記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一つに記載のワーク搬送装置を真空チャンバ内に配置し、この真空チャンバの内部に前記ワーク搬送手段で二枚の前記板状ワークを搬送し、前記可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、前記両板状ワークを真空状態にて貼り合わせた後に、これら貼り合わされた両板状ワークを前記ワーク搬送手段で前記真空チャンバの外部へ搬送することを特徴とする真空貼り合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）やフレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス製基板、又はそれらの表面に接着される偏光板などからなる二枚の板状ワークを、真空ラミネート法により、これら両板状ワーク間への気泡の混入を抑制しながら貼り合わせる真空貼り合わせ装置などに用いられるワーク搬送装置、及び、それを使用した真空貼り合わせ方法に関する。  詳しくは、ワーク搬送手段で搬入・搬出される板状ワークをワーク保持テーブルに受け渡すワーク搬送装置及び真空貼り合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、この種のワーク搬送装置及び真空貼り合わせ方法としては、上下一対の定盤の開口を閉鎖するように可撓性の薄板が張設固定され、これら薄板の間に密閉空間が形成され、前もって位置合せし且つ仮止めされた２枚１組のガラス基板を、前記一対の可撓性の薄板で挟着して、該ガラス基板が密閉空間内に保持され、この密閉空間内の減圧により大気圧が作用して前記ガラス基板を加圧し、前記可撓性の薄板に備えられた発熱体の通電により発熱して、ガラス基板間に介在されたシール材を加熱し、加圧して硬化させるものがある（例えば、特許文献１参照）。  また、二枚のガラス製基板を基板搬送用ロボットにより定盤の基板保持面へ向けて搬入し、該定盤を貫通して昇降移動自在に複数配置されるリフトピンにより、搬入されたガラス製基板を空中で受け取って前記定盤の基板保持面にセットし、また貼り合わせが完了した両ガラス製基板は、前記基板保持面から前記リフトピンで持ち上げ、これを前記基板搬送用ロボットにより空中で受け取って搬出するものがある（例えば、特許文献２参照）。【０００３】
【特許文献１】特開平０８−１３６９３７号公報（第３−４頁、図７−８）
【特許文献２】特開２００５−１７５１５号公報（第４−９頁、図１−２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかし乍ら、上述した特許文献１の場合には、ガラス基板と対向する面全体が可撓性の薄板で密閉状に覆われるため、特許文献２のように基板搬送用ロボットとリフトピンを用いて板状ワークの受渡しが行われるようにすると、リフトピンが可撓性の薄板を貫通して昇降しなければならず、可撓性の薄板に複雑なシール機構を取り付けなければならない等、密閉空間を形成することが困難になるという問題があった。  このような問題点を解決するため、リフトピンを使わずに基板搬送用ロボットのみで可撓性の薄板の上面に対してガラス基板を受け渡すには、ガラス基板の上面を吸着保持するか、又はガラス基板の対向する側面を挟持することが考えられる。  しかし、前もって位置合せし且つ仮止めされた２枚１組のガラス基板の上面を吸着保持した場合には、位置ズレが発生し易くなるという問題があり、またガラス基板の対向する側面を挟持する場合には、確実に挟持するための複雑な機構が基板搬送用ロボットに必要になって製造コストが高くなるという問題があった。【０００５】  本発明は、可撓性シートの部分褶曲のみでワーク搬送手段との板状ワークの受渡しを容易に行うことを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  前述した目的を達成するために、本発明は、ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートと、この可撓性シートの一部を板状ワークへ向け部分的に押圧する押圧手段と、この押圧手段を作動制御する制御部とを備え、この制御部は、前記押圧手段で前記可撓性シートを押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部がワーク搬送手段で搬送される前記板状ワークに届くようにしたことを特徴とするものである。  前述した特徴に加えて、前記押圧手段の先端部を前記可撓性シートへ向けて突出するように湾曲形成したことを特徴とする。  さらに前述した特徴に加えて、前記可撓性シートの前記押圧手段と対向する部分に裏打板を部分的に固着したことを特徴とする。  さらに前述した特徴に加えて、前記可撓性シートと前記裏打板に亘って通気孔を貫通開穿したことを特徴とする。  また前述したワーク搬送装置を真空チャンバ内に配置し、この真空チャンバの内部に前記ワーク搬送手段で二枚の前記板状ワークを搬送し、前記可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、前記両板状ワークを真空状態にて貼り合わせた後に、これら貼り合わされた両板状ワークを前記ワーク搬送手段で前記真空チャンバの外部へ搬送することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】  前述した特徴を有する本発明は、ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートの一部を、板状ワークへ向け部分的に押圧する押圧手段と、この押圧手段で可撓性シートを押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部がワーク搬送手段で搬送される板状ワークに届くように作動制御する制御部を備えることにより、ワーク搬入時には、ワーク搬送手段で搬入された少なくとも板状ワークに、可撓性シートの部分褶曲部が当接し支持されて受け取り可能となり、またワーク搬出時には、貼り合わせた両板状ワークが、該部分褶曲部でワーク搬送手段のワーク搬出開始位置まで押送されて受渡し可能となる。  したがって、可撓性シートの部分褶曲のみでワーク搬送手段との板状ワークの受渡しを容易に行うことができる。  その結果、従来のようにリフトピンを使わずに可撓性シートにより密閉空間を形成しつつ、可撓性シートに対して板状ワークの搬入・搬出を確実に行えるとともに、板状ワークを確実に挟持するための複雑な機構も必要としないから製造コストの低減化も図れる。【０００８】  さらに、押圧手段の先端部を可撓性シートへ向けて突出するように湾曲形成した場合には、押圧手段の湾曲した先端部が可撓性シートに当接した際に、この先端部の湾曲面に沿って褶曲する。  したがって、押圧手段の当接にて破れることなく可撓性シートを確実に弾性変形させることができる。【０００９】  さらに、可撓性シートの押圧手段と対向する部分に裏打板を部分的に固着した場合には、可撓性シートに押圧手段の先端部が裏打板を介して当接し、該可撓性シートが褶曲する。  したがって、押圧手段の当接にて破れることなく可撓性シートを確実に弾性変形させることができる。【００１０】  さらに、可撓性シートと裏打板に亘って通気孔を貫通開穿した場合には、可撓性シートに開穿した通気孔が、該可撓性シートの弾性変形に伴って広がらないようにするとともに、該通気孔を通してそれと接する板状ワークのみ又は貼り合わされた二枚の板状ワークが可撓性シート２に対して移動不能に吸着保持される。  したがって、可撓性シートに対する板状ワークの位置ズレを防止することができる。【００１１】  また、ワーク搬送装置を真空チャンバ内に配置し、この真空チャンバの内部に前記ワーク搬送手段で二枚の前記板状ワークを搬送し、前記可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、前記両板状ワークを真空状態にて貼り合わせた後に、これら貼り合わされた両板状ワークを前記ワーク搬送手段で前記真空チャンバの外部へ搬送する場合には、ワーク搬入時には、ワーク搬送手段で搬入された二枚の板状ワークのどちらか一方に、可撓性シートの部分褶曲部が当接し支持されて受け取り可能となり、またワーク搬出時には、貼り合わせた両板状ワークが、該部分褶曲部でワーク搬送手段によるワーク搬出開始位置まで押送されて受渡し可能となる。  したがって、可撓性シートの部分褶曲のみでワーク搬送手段との板状ワークの受渡しを容易に行うことができる。  その結果、従来のようにリフトピンを使わずに可撓性シートにより密閉空間を形成しつつ、可撓性シートに対して板状ワークの搬入・搬出を確実に行えるとともに、板状ワークを確実に挟持するための複雑な機構も必要としないから製造コストの低減化も図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のワーク搬送装置及び真空貼り合わせ方法の一実施例を示す縦断正面図であり、（ａ）がワーク搬入時を示し、（ｂ）がワーク受渡し後を示し、（ｃ）が真空チャンバ閉塞後を示している。
【図２】図１（ｂ）の（２）−（２）線に沿える横断平面図である。
【図３】押圧手段の一例を示す部分拡大縦断正面図である。
【図４】加熱圧着時を示す縦断正面図である。
【図５】真空チャンバ開放前を示す縦断正面図である。
【図６】真空チャンバ開放後を示す縦断正面図である。
【図７】ワーク搬出時を示す縦断正面図である。
【図８】本発明のワーク搬送装置及び真空貼り合わせ方法の他の実施例を示す縦断正面図であり、（ａ）がワーク受渡し後を示し、（ｂ）がワーク搬出時を示している。
【図９】可撓性シートの変形例を示す部分拡大縦断正面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】  本発明のワーク搬送装置の実施形態は、ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートと、この可撓性シートの一部を板状ワークへ向け部分的に押圧する押圧手段と、この押圧手段を作動制御する制御部とを備え、この制御部は、前記押圧手段で前記可撓性シートを押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部が前記ワーク搬送手段で搬送される前記板状ワークに届くようにしている。【００１４】  このワーク搬送装置を使用する真空貼り合わせ方法の実施形態は、図１〜図９に示す如く、対向面が平滑で平行に配置される平滑部材１及び可撓性シート２と、これら平滑部材１及び可撓性シート２の間に二枚の板状ワークＡ，Ｂを搬送するワーク搬送手段３とを備え、このワーク搬送手段３で外部から平滑部材１と可撓性シート２の間に搬入された二枚の板状ワークＡ，Ｂを、該可撓性シート２を挟んで形成される二つの第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２の気圧差により加圧して真空状態で貼り合わせ、この貼り合わされた両板状ワークＡ，Ｂを、ワーク搬送手段３で平滑部材１及び可撓性シート２の間から外部へ搬出している。【００１５】  そして、可撓性シート２の背後に形成される第二空間Ｓ２には、該可撓性シート２の一部を板状ワークＡ，Ｂへ向け部分的に押圧する押圧手段４を設け、この押圧手段４を後述する制御部６で作動制御することにより、該可撓性シート２を板状ワークＡ，Ｂへ向け部分的に褶曲させ、この部分褶曲部２ｂがワーク搬送手段３で搬送される板状ワークＡ，Ｂに届くような配置として、ワーク搬入時には、ワーク搬送手段３で搬入された板状ワークＡ，Ｂに、可撓性シート２の部分褶曲部２ｂを当接させて支持し、またワーク搬出時には、貼り合わせた両板状ワークＡ，Ｂを、該部分褶曲部２ｂでワーク搬送手段３によるワーク搬出開始位置まで押送するようにしている。【００１６】  平滑部材１は、剛性材料で平板状に形成されるか又は弾性材料でシート状に形成される。  可撓性シート２は、例えばフッ素ゴムやシリコンゴムなどの耐熱性に優れた弾性材料でシート状に形成される。  この可撓性シート２のワーク対向部２ａにおいて押圧手段４の先端部４ａと対向する部分には、必要に応じて裏打板２ｃを部分的に固着することにより、該押圧手段４の先端部４ａが当接する箇所の強度をアップして破れ難くすることが好ましい。【００１７】  これら平滑部材１及び可撓性シート２は、開閉可能な室内に組み付けられて、平滑部材１が配置される第一空間Ｓ１の内圧と、それと逆の可撓性シート２の背後に形成される第二空間Ｓ２の内圧を夫々調整自在にしている。【００１８】  その具体例としては、開閉可能な室が、互い接近又は離隔される方向へ開閉移動自在に設けられる一対の真空チャンバ５ａ，５ｂであり、その一方の真空チャンバ５ａの内部に平滑部材１を配置し、他方の真空チャンバ５ｂの開口を覆うように可撓性シート２が配置されるとともに、これら真空チャンバ５ａ，５ｂの開口縁の間には、例えばＯリングなどの環状シール部５ｃを設け、その閉動時において、可撓性シート２と一方の真空チャンバ５ａとで囲まれる領域を第一空間Ｓ１とすることが好ましい。【００１９】  さらに、これら第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２には、真空チャンバ５ａ，５ｂの外部と連通する通気路５ｄ，５ｅを開設して、それらの内外へ気体を出し入れする圧力調整部５ｆが夫々設けられ、各空間Ｓ１，Ｓ２から真空チャンバ５ａ，５ｂの外部へ吸気することにより所定の真空状態にし、また真空チャンバ５ａ，５ｂの外部から各空間Ｓ１，Ｓ２へ給気することにより、周囲気圧（大気圧）と同じ状態に戻すことが好ましい。【００２０】  ワーク搬送手段３は、例えば搬送ロボットなどからなり、二枚の板状ワークＡ，Ｂの底面、即ち下方に位置する板状ワークＢの底面をすくい上げて保持する受け渡し用ハンド３ａを備えることが好ましい。【００２１】  押圧手段４の具体例としては、可撓性シート２と接触する先端部４ａと、それを往復移動させる駆動源４ｂとを有し、この先端部４ａを、ワーク搬送手段３により搬送される板状ワークＡ，Ｂを支える受け渡し用ハンド３ａの動作位置と干渉しないように配置している。  この先端部４ａの形状は、該可撓性シート２に向けて突出するように断面円弧状に湾曲形成することにより、該先端部４ａが可撓性シート２に当接した時に、その湾曲面に沿って褶曲させ、この当接箇所に孔が空き難くすることが好ましい。【００２２】  また、押圧手段４の駆動源４ｂには、後述する制御部６が電気的に接続され、この制御部６に基づいて作動制御することにより、先端部４ａで可撓性シート２を押圧せず平滑となるように配置される待機位置と、先端部４ａを可撓性シート２へ向け最も移動し、該可撓性シート２のワーク対向部２ａを部分的に押圧して弾性変形させ、ワーク搬送手段３で搬送される板状ワークＡ，Ｂに届くように配置される動作位置とに亘って、往復動させる。【００２３】  この制御部６は、押圧手段４の駆動源４ｂだけでなく、上述したワーク搬送手段３の駆動源（図示しない）、通気路５ｄ，５ｆに配管接続される圧力調整部５ｆ、真空チャンバ５ａ，５ｂの開閉用駆動源５ｇなどにも電気的に接続され、ワーク搬送手段３により板状ワークＡ，Ｂが搬入された直後と、第一空間Ｓ１及び第二空間Ｓ２の気圧差により両板状ワークＡ，Ｂが貼り合わされた直後のみ、押圧手段４の先端部４ａを待機位置から動作位置まで移動させ、ワーク搬送手段３とのワーク受渡し後は、動作位置から逆移動させて待機位置に戻すようにしている。  以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２４】  この実施例１は、図１〜図７に示す如く、本発明のワーク搬送装置を使用した真空貼り合わせ方法が、前記平滑部材１として剛性材料からなる定盤を、上方に配置される前記真空チャンバ５ａの内部に配置し、下方に配置される前記真空チャンバ５ｂの開口を覆うように前記可撓性シート２が配置され、これら上下真空チャンバ５ａ，５ｂの開放時に、前記板状ワークＡ，Ｂとして、前もって位置合せし且つ仮止めされた二枚１組のガラス基板などを搬入することで、これら両者を加圧しつつ、両者間に介在されたシール材Ｃを加熱して硬化させる真空ラミネート装置に使用した場合を示すものである。【００２５】  定盤１には、図１（ａ）〜（ｃ）に示す如く、発熱体７が備えられ、可撓性シート２の背後にも発熱体８が配設され、これら発熱体７，８は前記制御部６により作動制御され、板状ワークＡ，Ｂの搬入後に上下真空チャンバ５ａ，５ｂを閉塞し、可撓性シート２の背後に形成される前記第二空間Ｓ２の内圧を、搬入した二枚の板状ワークＡ，Ｂが載置される前記第一空間Ｓ１の内圧よりも高くするのと略同時に該発熱体７，８を発熱させて、定盤１の下方の平滑面１ａと可撓性シート２が、シール材Ｃの硬化温度まで温度上昇するようにしている。【００２６】  図示例では、図２に示す如く、可撓性シート２が矩形状に形成され、その外周には、例えば金属などで額縁状に形成された枠体２ｄが一体的に固着され、この枠体２ｄを下真空チャンバ５ｂの開口縁に連結することで、該可撓性シート２全体が張架され、この枠体２ｄの上面には、例えばＯリングなどの環状シール部５ｃを配置している。  その他の例として図示しないが、枠体２ｃを設けずに弾性材料からなる可撓性シート２の外周縁を、下真空チャンバ５ｂの開口縁に連結したり、環状シール部５ｃを上真空チャンバ５ａの開口縁に対して脱落不能に配置することも可能である。【００２７】  さらに、押圧手段４の先端部４ａは、板状ワークＡ，Ｂの一辺の略全長近くまで延びるように形成され、他辺の方向へ適宜間隔を空けて複数配置されている。  これら押圧手段４の先端部４ａには、図３に示す如く、例えば板状又は棒状などに形成される支持部４ｃを連設し、この支持部４ｃは、発熱体８に開穿される通孔８ａを貫通して上下方向へ昇降自在に支持され、下真空チャンバ５ｂの底壁を気密状に貫通して外部へ突出し、その周囲には前記駆動源４ｂを配設している。【００２８】  図示例では、押圧手段４の先端部４ａを、支持部４ｃの幅寸法よりも遙かに大きな断面半円形状に形成し、この支持部４ｃ及び駆動源４ｂがロッドレスレスシリンダである場合を示しているが、その他の構造の駆動源４ｂを使用することも可能である。  また、押圧手段４の先端部４ａと対向する可撓性シート２のワーク対向部２ａの裏面には、剛性材料又は弾性材料でシート状に形成される裏打板２ｃを固着して強度アップを図っている。【００２９】  その他の例として図示しないが、押圧手段４の先端部４ａと対向する可撓性シート２のワーク対向部２ａの裏面部分のみを部分的に肉厚に形成して、箇所の強度アップを図ることも可能である。  さらに、押圧手段４の先端部４ａを断面円弧状に湾曲形成せず、略平滑な先端面を裏打板２ｃに突き���てたり、裏打板２ｃを設けず、可撓性シート２のワーク対向部２ａの裏面に直接突き当てることも可能である。【００３０】  次に、斯かるワーク搬送装置を用いた真空貼り合わせ方法について工程順に従って説明する。  先ず、図１（ａ）に示す如く、上下真空チャンバ５ａ，５ｂが上下方向へ離隔移動した開放時に、その外部からワーク搬送手段３により、前工程で正確に位置合わせされて仮止めされた二枚の板状ワークＡ，Ｂが、平滑部材１の定盤及び可撓性シート２の間の所定位置に搬入され、該ワーク搬送手段３の受け渡し用ハンド３ａで、可撓性シート２と接触することなく空中に支えられる。【００３１】  この状態で、複数箇所に配置された押圧手段４の先端部４ａが夫々上昇開始して、該板状ワークＡ，Ｂと対向する可撓性シート２のワーク対向部２ａの複数箇所に突き当たり、そのまま上方へ押圧する。  それにより、可撓性シート２のワーク対向部２ａにおいて、各押圧手段４の先端部４ａで押圧する部分のみが、ワーク搬送手段３の受け渡し用ハンド３ａと干渉しないように部分的に褶曲して、それらの頂点部分が下方の板状ワークＢの底面に夫々当接する。【００３２】  その結果、これら部分褶曲部２ｂの頂点部分で板状ワークＡ，Ｂが支えられ、可撓性シート２の部分褶曲部２ｂを除いた箇所と、下方の板状ワークＢとの間には隙間Ｓ３が空き、ワーク搬送手段３の受け渡し用ハンド３ａを外されても板状ワークＡ，Ｂは落下しない。【００３３】  その後、各押圧手段４の先端部４ａが下降開始して、下方の板状ワークＢの支持状態を保ちながら、各部分褶曲部２ｂを徐々に消滅させ、図１（ｂ）に示す如く、可撓性シート２の全体が平滑に戻る。  それにより、可撓性シート２の部分褶曲のみでワーク搬送手段３から板状ワークＡ，Ｂを該可撓性シート２上に受け取って搬入工程が完了する。【００３４】  この状態では、圧力調整部５ｆが作動して、既に可撓性シート２の背後に形成される第二空間Ｓ２から通気路５ｅを通って吸引が開始されており、上述した板状ワークＡ，Ｂの受渡しの完了を確認したところで、上下真空チャンバ５ａ，５ｂの開閉用駆動源５ｇにより、それらの接近移動が開始される。【００３５】  これに続いて、図１（ｃ）に示す如く、上下真空チャンバ５ａ，５ｂが環状シール部５ｃを介して閉塞されると、圧力調整部５ｆにより、平滑部材１の定盤が配置される第一空間Ｓ１から通気路５ｄを通って吸引が開始され、所定の真空度にするとともに、この平滑部材１の定盤に備えられた発熱体７と、可撓性シート２の背後に配設された発熱体８が加熱される。【００３６】  その後、図４に示す如く、圧力調整部５ｆにより第二空間Ｓ２への給気が開始されて、第一空間Ｓ１との間に気圧差が発生する。  それにより、弾性変形可能な可撓性シート２が板状ワークＡ，Ｂを挟んで平滑部材１の下方の平滑面１ａへ向け押圧され、該平滑面１ａに沿って板状ワークＡ，Ｂを均一に加圧する。【００３７】  これと同時に、平滑部材１の定盤に備えられた発熱体７と、可撓性シート２の背後に配設された発熱体８で、板状ワークＡ，Ｂの間に介在されたシール材Ｃを加熱して硬化させる。  それにより、板状ワークＡ，Ｂが真空状に貼り合わされて、両者間に気泡が混入しない��【００３８】  このような貼り合わせ工程が完了した後は、図５に示す如く、圧力調整部５ｆにより第一空間Ｓ１が大気開放され、第二空間Ｓ２から吸引して可撓性シート２の膨張変形を解除しつつ、上下真空チャンバ５ａ，５ｂの離隔移動が開始される。【００３９】  その後、図６に示す如く、上下真空チャンバ５ａ，５ｂの開放が完了すると、各記押圧手段４の先端部４ａが夫々上昇開始されて、図７に示す如く、可撓性シート２のワーク対向部２ａの複数箇所に突き当たり、そのまま上方へ押圧して部分的に褶曲する。  それにより、貼り合わせが完了した板状ワークＡ，Ｂを水平状に支えながら持ち上げて空中で支持し、この支持状態を保ちつつ可撓性シート２の部分褶曲部２ｂを除いた箇所と、下方の板状ワークＢとの間には隙間Ｓ３が空く。【００４０】  この支持状態で、該隙間Ｓ３にワーク搬送手段３の受け渡し用ハンド３ａを挿入すれば、可撓性シート２の部分褶曲部２ｂと干渉しないため、板状ワークＡ，Ｂを落下させずにすくい上げられ、該ワーク搬送手段３の受け渡し用ハンド３ａでそのまま上下真空チャンバ５ａ，５ｂの外部へ搬出される。  その結果、可撓性シート２の部分褶曲のみでその上から板状ワークＡ，Ｂをワーク搬送手段３に受け渡して搬出される。  それ以降は上述した作動が繰り返される。
【実施例２】
【００４１】  この実施例２は、図８（ａ）（ｂ）に示す如く、本発明の真空貼り合わせ方法を前記真空ラミネート装置に代えて、前記平滑部材１の定盤と前記可撓性シート２とに、前記ワーク搬送手段３で搬入される二枚の板状ワークＡ，Ｂを夫々着脱自在に保持するワーク保持手段（図示しない）を設け、これらに保持された板状ワークＡ，Ｂを相互に位置合わせし、両者間を所定のギャップまで潰して貼り合わせる液晶ディスプレーなどの真空基板貼り合わせ装置に使用した構成が、前記図１〜図７に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１〜図７に示した実施例１と同じものである。【００４２】  図示例では、上下真空チャンバ５ａ，５ｂのどちらか一方又は両方を水平（ＸＹθ）方向へ移動自在に配置し、平滑部材１の下方の平滑面１ａに上方の板状ワークＡを保持し、可撓性シート２上に下方の板状ワークＢを保持した後、その周囲の第一空間Ｓ１が所定の真空度に達してから、上下真空チャンバ５ａ，５ｂを相対的にＸＹθ方向へ調整移動させることにより、両板状ワークＡ，Ｂ同士の位置合わせとして粗合わせと微合わせが順次行われる。【００４３】  その後、平滑部材１の下方の平滑面１ａから上方の板状ワークＡが剥離され、真空中でシール材Ｃを介して下方の板状ワークＢ上に重ね合わせた後、これらが収容される第一空間Ｓ１を大気開放することにより、両板状ワークＡ，Ｂの内外に生じる気圧差で両板状ワークＡ，Ｂの間を所定のギャップまで加圧し、この加圧状態でシール材Ｃを硬化させて接着している。【００４４】  それにより、図８（ａ）（ｂ）に示す実施例２は、ワーク搬送手段３によって外部から搬入された下方の板状ワークＢを可撓性シート２上へ受け渡す際には、上述した実施例１と同様に、前記制御部６による押圧手段４の作動制御で、可撓性シート２のワーク対向部２ａの複数箇所を部分的に褶曲し、これら部分褶曲部２ｂの頂点部分を下方の板状ワークＢへ向け突出し当接させて支えるとともに、この支持状態を保ちながら該部分褶曲部２ｂを徐々に消滅させることにより、図８（ａ）に示す如く、可撓性シート２の部分褶曲のみでワーク搬送手段３から下方の板状ワークＢを該可撓性シート２上に受け取って搬入工程を完了させることができる。【００４５】  さらに、貼り合わせが完了した両板状ワークＡ，Ｂをワーク搬送手段３によって外部へ搬出する際には、上述した実施例１と同様に、図８（ｂ）に示す如く、前記制御部６による押圧手段４の作動制御で、可撓性シート２のワーク対向部２ａの複数箇所を部分的に褶曲し、これら部分褶曲部２ｂの頂点部分で板状ワークＡ，Ｂを支えながら突出させることにより、可撓性シート２の部分褶曲のみでその上から板状ワークＡ，Ｂをワーク搬送手段３に受け渡して搬出することができる。【００４６】  また、ワーク保持手段としては、静電チャックや吸引チャックや粘着チャック又はそれらの組み合わせなどが用いられる。  可撓性シート２のワーク対向部２ａに吸引チャックを設ける場合には、例えば図９に示す如く、この吸引チャックが配置される箇所に前記裏打板２ｃを固着して、これら可撓性シート２のワーク対向部２ａと裏打板２ｃに亘って通気孔２ｅを貫通開穿し、この通気孔２ｅに真空路２ｆを配管することにより、可撓性シート２に開穿した通気孔２ｅが、該可撓性シート２の弾性変形に伴って広がらないようにするとともに、該通気孔２ｅを通して板状ワークＢ又は貼り合わされた二枚の板状ワークＡ，Ｂが可撓性シート２に対して移動不能に吸着保持されるようにすることが好ましい。【００４７】  それにより、可撓性シート２の漏れを防止しつつ該可撓性シート２に対する板状ワークＡ，Ｂの位置ズレを防止できるという利点がある。【００４８】  なお、前示実施例では、本発明のワーク搬送装置を使用した真空貼り合わせ方法として真空ラミネート装置や液晶ディスプレーなどの真空基板貼り合わせ装置の場合を説明したが、これに限定されず、搬入された二枚の板状ワークＡ，Ｂが可撓性シート２を用いて真空状に貼り合わされるものであれば、他の装置であっても良い。  さらに、押圧手段４の具体例として、可撓性シート２と接触する先端部４ａを往復移動させたが、これに限定されず、例えは圧縮空気などの流体を用いて、可撓性シート２の一部を押圧し部分的に褶曲させても良い。
【符号の説明】
【００４９】  Ａ，Ｂ  板状ワーク                  Ｃ  シール材  Ｓ１，Ｓ２  空間                    Ｓ３  隙間  １  平滑部材（定盤）                １ａ  平滑面  ２  可撓性シート                    ２ａ  ワーク対向部  ２ｂ  部分褶曲部                    ２ｃ  裏打板  ２ｄ  枠体                          ２ｅ  通気孔  ２ｆ  真空路                        ３  ワーク搬送手段  ３ａ  受け渡し用ハンド              ４  押圧手段  ４ａ  先端部                        ４ｂ  駆動源  ４ｃ  支持部                        ５ａ，５ｂ  真空チャンバ  ５ｃ  環状シール部                  ５ｄ，５ｅ  通気路  ５ｆ  圧力調整部                    ５ｇ  開閉用駆動源  ６  制御部                          ７，８  発熱体
【図１】
2010095215.tif 000003
【図２】
2010095215.tif 000004
【図３】
2010095215.tif 000005
【図４】
2010095215.tif 000006
【図５】
2010095215.tif 000007
【図６】
2010095215.tif 000008
【図７】
2010095215.tif 000009
【図８】
2010095215.tif 000010
【図９】
2010095215.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月28日(2009.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送手段で搬入・搬出される板状ワークをワーク保持テーブルに受け渡すワーク搬送装置であって、
前記ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートと、この可撓性シートの一部を前記板状ワークへ向け部分的に押圧し部分的に褶曲させて部分褶曲部を形成する押圧手段と、この押圧手段を作動制御して前記可撓性シートの部分褶曲部が前記ワーク搬送手段で搬送される前記板状ワークに届くようにする制御部とを備え、
この制御部は、ワーク搬入時には、前記ワーク搬送手段で搬入された前記板状ワークに、前記可撓性シートの部分褶曲部を当接させて支持し、ワーク搬出時には、前記板状ワークを前記可撓性シートの部分褶曲部で前記ワーク搬送手段によるワーク搬出開始位置まで押送するように、前記押圧手段を作動制御したことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記押圧手段の先端部を前記可撓性シートへ向けて突出するように湾曲形成した請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記可撓性シートの前記押圧手段と対向する部分に裏打板を部分的に固着した請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記可撓性シートと前記裏打板に亘って通気孔を貫通開穿した請求項３記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一つに記載のワーク搬送装置を真空チャンバ内に配置し、この真空チャンバの内部に前記ワーク搬送手段で二枚の前記板状ワークを搬送し、前記可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、前記両板状ワークを真空状態にて貼り合わせた後に、これら貼り合わされた両板状ワークを前記ワーク搬送手段で前記真空チャンバの外部へ搬送することを特徴とする真空貼り合わせ方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月6日(2009.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送手段で搬入・搬出される板状ワークをワーク保持テーブルに受け渡すワーク搬送装置であって、
前記ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートと、この可撓性シートの一部を前記板状ワークへ向け部分的に押圧し部分的に褶曲させて部分褶曲部を形成する押圧手段と、この押圧手段を作動制御して前記可撓性シートの部分褶曲部が前記ワーク搬送手段で搬送される前記板状ワークに届くようにする制御部とを備え、
前記可撓性シートは、前記板状ワークが搬入・搬出される第一空間と前記押圧手段が設けられる第二空間とを隔離するように配置され、
前記制御部は、ワーク搬入時には、前記ワーク搬送手段で搬入された前記板状ワークに、前記可撓性シートの部分褶曲部を当接させて支持し、ワーク搬出時には、前記板状ワークを前記可撓性シートの部分褶曲部で前記ワーク搬送手段によるワーク搬出開始位置まで押送するように、前記押圧手段を作動制御したことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記押圧手段の先端部を前記可撓性シートへ向けて突出するように湾曲形成した請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記可撓性シートの前記押圧手段と対向する部分に裏打板を部分的に固着した請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記可撓性シートと前記裏打板に亘って通気孔を貫通開穿し、該通気孔を通して前記板状ワークが前記可撓性シートに対し移動不能に吸着保持される吸引チャックを設けた請求項３記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一つに記載のワーク搬送装置を真空チャンバ内に配置し、この真空チャンバの内部に前記ワーク搬送手段で二枚の前記板状ワークを搬送し、前記可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、前記両板状ワークを真空状態にて貼り合わせた後に、これら貼り合わされた両板状ワークを前記ワーク搬送手段で前記真空チャンバの外部へ搬送することを特徴とする真空貼り合わせ方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明は、ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートと、この可撓性シートの一部を前記板状ワークへ向け部分的に押圧し部分的に褶曲させて部分褶曲部を形成する押圧手段と、この押圧手段を作動制御して前記可撓性シートの部分褶曲部が前記ワーク搬送手段で搬送される前記板状ワークに届くようにする制御部とを備え、前記可撓性シートは、前記板状ワークが搬入・搬出される第一空間と前記押圧手段が設けられる第二空間とを隔離するように配置され、前記制御部は、ワーク搬入時には、前記ワーク搬送手段で搬入された前記板状ワークに、前記可撓性シートの部分褶曲部を当接させて支持し、ワーク搬出時には、前記板状ワークを前記可撓性シートの部分褶曲部で前記ワーク搬送手段によるワーク搬出開始位置まで押送するように、前記押圧手段を作動制御したことを特徴とするものである。
前述した特徴に加えて、前記押圧手段の先端部を前記可撓性シートへ向けて突出するように湾曲形成したことを特徴とする。
さらに前述した特徴に加えて、前記可撓性シートの前記押圧手段と対向する部分に裏打板を部分的に固着したことを特徴とする。
さらに前述した特徴に加えて、前記可撓性シートと前記裏打板に亘って通気孔を貫通開穿し、該通気孔を通して前記板状ワークが前記可撓性シートに対し移動不能に吸着保持される吸引チャックを設けたことを特徴とする。
また前述したワーク搬送装置を真空チャンバ内に配置し、この真空チャンバの内部に前記ワーク搬送手段で二枚の前記板状ワークを搬送し、前記可撓性シートを挟んで形成される二つの空間の気圧差により、前記両板状ワークを真空状態にて貼り合わせた後に、これら貼り合わされた両板状ワークを前記ワーク搬送手段で前記真空チャンバの外部へ搬送することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前述した特徴を有する本発明は、ワーク保持テーブルに設けられる可撓性シートの一部を、板状ワークへ向け部分的に押圧する押圧手段と、この押圧手段で可撓性シートを押圧して部分的に褶曲させ、この部分褶曲部がワーク搬送手段で搬送される板状ワークに届くように作動制御する制御部を備えることにより、ワーク搬入時には、ワーク搬送手段で搬入された少なくとも板状ワークに、可撓性シートの部分褶曲部が当接し支持されて受け取り可能となり、またワーク搬出時には、貼り合わせた両板状ワークが、該部分褶曲部でワーク搬送手段のワーク搬出開始位置まで押送されて受渡し可能となる。
したがって、可撓性シートの部分褶曲のみでワーク搬送手段との板状ワークの受渡しを容易に行うことができる。
その結果、従来のようにリフトピンを使わずに、可撓性シートに対して板状ワークの搬入・搬出を確実に行えるとともに、板状ワークを確実に挟持するための複雑な機構も必要としないから製造コストの低減化も図れる。
【国際調査報告】
2010095215.tif 000012
2010095215.tif 000013