【事件の表示】
　特許第３０３２５７８号「３層ポリイミドシロキサン接着テープ」の請求項１ないし２０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０３２５７８号の請求項１ないし２０に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０３２５７８号の請求項１〜２０に係る発明は、１９９４年２月１４日（優先権主張　１９９３年３月１６日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成１２年２月１０日に設定登録され、その後、森山泰行（以下、「申立人」という。）から特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年１０月９日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（ア）訂正の内容
　訂正請求は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものであって、その訂正の内容は次の（ａ）、（ｂ）のとおりである。
（ａ）特許請求の範囲の請求項１に、「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤の２つの層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープ。」とあるのを、「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤（4,4'-オキシジフタル酸二無水物ａモルと、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンｄモルと、α,ω-ビス(3-アミノプロピル)ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比が ａ／（ａ＋ｂ）≧ 0.6、0.05 ≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.5、かつ 0.1 ≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.9 の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂からなるフィルム接着剤を除く
〈一般式（１）　省略〉
）の２つの層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープ。」と訂正する。
　
（ｂ）特許請求の範囲の請求項１２に、「次の各工程を含む、接着テープの製造方法。
　Ａ．実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換したポリイミドシロキサンの溶媒による溶液を形成する工程；
　Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、
　Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。」とあるのを、「次の各工程を含む、接着テープの製造方法。
　Ａ．実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換した熱可塑性ポリイミドシロキサン（4,4'-オキシジフタル酸二無水物ａモルと、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンｄモルと、α,ω-ビス(3-アミノプロピル)ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比が ａ／（ａ＋ｂ）≧ 0.6、0.05 ≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.5、かつ 0.1 ≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.9 の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂を除く
〈一般式（１）　省略〉
）の溶媒による溶液を形成する工程；
　Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、
　Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。」と訂正する。
　
（イ）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正（ａ）は、接着テープにおける「熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤」から特定組成の接着剤を除くものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、訂正（ｂ）は、接着テープの製造において使用される「ポリイミドシロキサン」を熱可塑性のものに限定し、さらに特定組成のポリイミド樹脂を除くものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、上記訂正（ａ）、（ｂ）における、特定組成の接着剤、特定組成のポリイミド樹脂を除くのは、先願発明と同一であるとの取消理由を回避するためであり、また、訂正（ｂ）において「ポリイミドシロキサン」を熱可塑性のものに限定することは、本件特許明細書第２頁第１６〜１７行（特許公報第５欄第１１〜１３行）の記載に基づくものであるから、いずれも新規事項を追加するものではなく、実質的に特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
（ウ）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（ア）本件発明
　前述のように、本件訂正は適法なものであるので、本件の請求項１〜２０に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲請求項１〜２０に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤（4,4'-オキシジフタル酸二無水物ａモルと、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンｄモルと、α,ω-ビス(3-アミノプロピル)ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比が ａ／（ａ＋ｂ）≧ 0.6、0.05 ≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.5、かつ 0.1 ≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.9 の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂からなるフィルム接着剤を除く
）の２つの層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープ。
【請求項２】　前記キャリヤフィルムが、ポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエチレンテレフタレート、及びポリアミドから選ばれる、請求項１記載の接着テープ。
【請求項３】　前記キャリヤフィルムがポリイミドである、請求項１記載の接着テープ。
【請求項４】　前記キャリヤフィルムが１３〜２５０μｍの厚さである、請求項１記載の接着テープ。
【請求項５】　前記ポリイミドシロキサン接着剤が、芳香族二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンの反応生成物を含む、請求項１記載の接着テープ。
【請求項６】　前記シロキサン含有ジアミンが前記ポリイミドシロキサン接着剤の１〜８０重量％からなる、請求項５記載の接着テープ。
【請求項７】　前記芳香族二無水物が、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビフェニル二無水物、６ＦＤＡ、ピロメリット酸二無水物、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる、請求項５記載の接着テープ。
【請求項８】　前記芳香族二無水物がオキシジフタル酸二無水物である、請求項７記載の接着テープ。
【請求項９】　前記芳香族ジアミンが、トルエンジアミン、1,3-ビス（3-アミノフェノキシ）ベンゼン、及び2,2-ビス-（4〔4-アミノフェノキシ〕フェニル）プロパンからなる群から選ばれる、請求項５記載の接着テープ。
【請求項１０】　前記シロキサン含有ジアミンが次の一般式で表される、請求項５記載の接着テープ。
（式中、Ｒは一価の基、Ｒ１は二価の基であって、Ｒ及びＲ１は置換又は未置換の炭素原子１〜１２個の脂肪族基及び置換又は未置換の炭素原子６〜１０個の芳香族基から各々独立に選ばれ、ｍ＝１〜２００である。）
【請求項１１】　前記芳香族二無水物がオキシジフタル酸二無水物であり、前記非シロキサン含有ジアミンが1,3-ビス（3-アミノフェノキシ）ベンゼンであり、前記シロキサン含有ジアミンの一般式中のｍが９であり、溶媒がＮ‐メチルピロリジノンである、請求項１０記載の接着テープ。
【請求項１２】　次の各工程を含む、接着テープの製造方法。
　Ａ．実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換した熱可塑性ポリイミドシロキサン（4,4'-オキシジフタル酸二無水物ａモルと、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンｄモルと、α,ω-ビス(3-アミノプロピル)ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比が ａ／（ａ＋ｂ）≧ 0.6、0.05 ≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.5、かつ 0.1 ≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.9 の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂を除く
）の溶媒による溶液を形成する工程；
　Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、
　Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。
【請求項１３】　前記溶液を先ず前記キャリヤフィルムの一方の面に塗布し、溶媒を蒸発させ、次に該溶液を該フィルムの他方の面に塗布し、次いで溶媒を蒸発させる、請求項１２記載の方法。
【請求項１４】　前記溶媒に芳香族二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンを溶解し、該溶液を加熱してポリアミン酸を形成し、該溶液を更に加熱してポリイミドシロキサンを形成することにより前記ポリイミドシロキサンの溶液を形成する、請求項１２記載の方法。
【請求項１５】　前記溶媒の沸点が１３０〜２１０℃である、請求項１２記載の方法。
【請求項１６】　前記溶液の固形分が１０〜３０重量％である、請求項１２記載の方法。
【請求項１７】　前記接着テープを２つの表面の間に置き、温度を２００〜３５０℃とし、圧力を７×１０３〜１４０×１０３ｋｇ／ｍ２として１〜３０秒間該２つの表面を相互に押しつける最終工程を更に含む、請求項１２記載の方法。
【請求項１８】　前記表面が金属リードフレーム及び集積回路チップである、請求項１７記載の方法。
【請求項１９】　前記テープを巻き取る最終工程を更に含む、請求項１２記載の方法。
【請求項２０】　請求項１９記載の方法により製造した巻き取りテープ。」
（以下、それぞれを「本件発明１」〜「本件発明２０」という。）
　
（イ）申立ての理由の概要
　申立人は、証拠として甲第１号証〜甲第３号証を提出し、訂正前の請求項１〜２０に係る発明は、本件特許出願前の出願であって、その出願後に出願公開された特願平４−１４４１８７号の願書に最初に添付した明細書（以下、「先願明細書」という。甲第１号証である特開平５−３３１４２５号公報参照。）に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許に係る発明の発明者が上記先願明細書に記載された発明の発明者と同一であるとも、本件特許出願の時において、その出願人が上記他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであるから、また、甲第２号証（特開平４−３４２７８６号公報）、甲第３号証（特開平５−３２９５０号公報）に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものあるから、当該請求項１〜２０に係る特許は取り消されるべき旨主張している。
　
（ウ）当審で通知した取消しの理由
　当審における取消理由通知の内容は、特許異議申立人の主張と同趣旨である。
　
（エ）各甲号証の記載内容
　甲第１号証〜甲第３号証には、以下の事項が記載されている。
（ａ）甲第１号証（特開平５−３３１４２５号公報）には、「4,4'-オキシジフタル酸二無水物ａモルと、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンｄモルと、α,ω-ビス(3-アミノプロピル)ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比が ａ／（ａ＋ｂ）≧ 0.6、0.05 ≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.5、かつ 0.1 ≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦ 0.9 の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂からなるフィルム接着剤。
」（特許請求の範囲）が記載されており、さらに、「本発明は、低吸水性と耐熱性に優れたエレクトロニクス用途、特に半導体実装材料として適したシリコン基板や金属に対する接着力に優れ、低温短時間で接着可能なフイルム接着剤に関するものである。」（段落【０００１】）こと、「本発明において、ポリイミド樹脂をフィルム接着剤とするには、通常はポリイミド樹脂溶液（ワニス）を流延あるいは塗布して得られ、・・・耐熱性フィルム基材を支持体として用い、その片面又は両面に同様にフィルム層を形成させ、支持体と共にフイルム接着剤とするなどの方法で得ることができる。」（段落【００２１】）ことが記載されている。
　
（ｂ）甲第２号証（特開平４−３４２７８６号公報）には、芳香族ポリイミド支持フィルムの片面もしくは両面に、アセチレン末端付加型ポリイミドを主成分とする接着剤層が形成されていることを特徴とする耐熱性接着材料が記載されており（特許請求の範囲）、さらに、「この発明は、耐熱性が要求される電気・電子部品等の絶縁用あるいは固定用等のフィルムまたはテープに用いられる耐熱性接着材料に関するものである。」（段落【０００１】）こと、「上記芳香族ポリイミド支持フィルムの両面もしくは片面に形成される・・・アセチレン末端付加型ポリイミドを主成分とする接着剤層を形成する接着剤は、閉環型のポリイミドであり、芳香族酸無水物と芳香族ジアミンとエチニル化芳香族アミンの反応により得られる。」（段落【００２９】）こと、「さらに、上記芳香族アミンに、下記の構造式で表されるシロキサンジアミンを混合しても差し支えない。この場合芳香族ジアミンに対して１〜３０％の混合割合に設定するのが好ましい。
［上記構造式において、Ｒ４は炭素数１〜２０のアルキレン基、フッ化アルキレン基またはフェニル基であり、Ｒ５は炭素数１〜１０のアルキル基、フッ化アルキル基またはフェニル基である。ｎは３〜２０の整数である。］」（段落【００４４】〜【００４６】）こと、「上記アセチレン末端付加型ポリイミドを主成分とする接着剤層形成用の接着剤は、例えばつぎのようにして作製される。すなわち、芳香族酸無水物と芳香族ジアミンとエチニル化芳香族アミンを略化学等量反応させ有機溶媒中において公知の方法にしたがってイミド化された粉末状物を得る。この粉末状物をジグライム・・・等のエーテル系溶媒に溶解して塗布用溶液が作製される。」（段落【００４８】）ことが記載される。
　そして、この発明の耐熱性接着剤を用いた接着方法に関して次のような記載がある。
　「さらに、昇温してアセチレン末端付加型ポリイミド接着剤層の末端アセチレン基を完全に反応させる。具体的には、熱プレス等を用いて・・・２６０℃まで昇温し１５〜１２０分保持することにより硬化させる。」（段落【００５８】）、「この発明の耐熱性接着材料の末端アセチレン基の反応しない条件である１３０〜１４０℃に予熱して残留溶剤を揮散させる。そして、３５０℃に熱したホットプレートに予熱した被着体３０秒密着し高温・短時間で末端アセチレン基を反応させてオリゴマーをゲル化させる。この後、３００℃で１時間、乾燥機中で後硬化を行う。」（段落【００５９】）
　
（ｃ）甲第３号証（特開平５−３２９５０号公報）には、「（ａ）ビフェニルテトラカルボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分と、一般式Ｉ
（ただし、式中のＲは２価の炭化水素残基を示し、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は低級アルキル基又はフェニル基を示し、ｎは３〜６０の整数を示す。）で示されるジアミノポリシロキサン１０〜８０モル％及び芳香族ジアミン２０〜９０モル％からなるジアミン成分とから得られた可溶性のポリイミドシロキサン１００量部、（ｂ）ビスマレイミド−トリアジン系樹脂、ビスマレイミド樹脂およびシアナート化合物系樹脂からなる群から選ばれた少なくとも１種の熱硬化性樹脂１０〜５００重量部、および、（ｃ）エポキシ基を有するエポキシ化合物０〜５５重量部が、樹脂成分として含有されていることを特徴とする耐熱性接着剤。」（特許請求の範囲）が記載されており、さらに、「この発明の目的は、前述の公知の接着剤における問題点が解消されていて、接着剤溶液の塗布、乾燥、銅箔のラミネート、及び接着剤層の硬化からなる工程を経て、耐熱性フィルムと各種金属箔とを好適に張り合わすことができる『高温度での高い接着性を示す耐熱性接着剤』を提供することを目的とするものである。」（段落【０００８】）こと、「前記のポリイミドシロキサンは、赤外線吸収スペクトル分析法で測定したイミド化率が９０％以上、特に９５％以上であるか、赤外線吸収スペクトル分析においてポリマーのアミド−酸結合に係わる吸収ピークが実質的に見出されず、イミド環結合に係わる吸収ピークのみが見られるような高いイミド化率であることが好ましい。」（段落【００１６】）こと、「さらに、前記のポリイミドシロキサンは、フィルムに成形した場合に、・・・二次転移温度が−１０℃以上、特に５〜２５０℃程度であることが好ましい。」（段落【００１７】）こと、「この発明の耐熱性接着剤を使用して耐熱性フィルムと金属箔等とを接合させて銅張基板などの積層体を形成するには、例えば、前述のように形成された薄膜状の耐熱性接着剤層を介して、耐熱性フィルムと金属箔とを、８０〜２００℃、特に１４０〜１８０℃の温度で、加圧下に、ラミネート（張り合わせ）して、さらに、そのラミネートされたものを、約１８０〜３５０℃、特に２００〜３００℃の温度で、３０分間〜４０時間、特に１〜３０時間加熱して、前記耐熱性接着剤層を加熱硬化させることによって、前述の積層体を何らの支障もなく容易に連続的に製造することができる。」（段落【００４１】）ことが記載されている。
　また、参考例１２として、イミド化率１００％のポリイミドシロキサンの製造方法が記載されている（段落【００５７】）。
　
（オ）対比・判断
（ａ）特許法第２９条の２に関して
（ｉ）本件発明１〜１１について
　先に述べたように、訂正により本件発明１の熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤から、先願明細書の特許請求の範囲に記載される特定組成のポリイミド樹脂からなるフィルム接着剤が除かれた。そして、先願明細書には、特許請求の範囲に記載される組成以外のポリイミド樹脂が接着剤として作用することは記載されておらず、また、接着剤として作用することが当業者に自明のことといえるものではない。
　したがって、本件発明１は先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできない。
　また、本件発明２〜１１は、本件発明１の接着テープにおける構成を技術的に限定するにすぎないものであるから、同様に先願明細書に記載された発明と同一ではない。
　
（ii）本件発明１２〜２０について
　本件発明１と同様に、訂正により本件発明１２のポリイミドシロキサンから、先願明細書の特許請求の範囲に記載される特定組成のポリイミド樹脂が除かれた。そして、先願明細書には、特許請求の範囲に記載される組成以外のポリイミドシロキサンの溶媒による溶液を用いた接着テープの製造方法は記載されておらず、また、そのそのような接着テープの製造方法が当業者に自明のことといえるものでもない。
　したがって、本件発明１２が先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできない。
　また、本件発明１３〜１９は、本件発明１２の接着テープの製造方法における構成を技術的に限定するにすぎないものであり、本件発明２０は、実質的に本件発明１２の製造方法により製造された巻き取りテープであるから、同様に先願明細書に記載された発明と同一ではない。
　
（iii）まとめ
　以上述べたように、本件発明１〜２０は、先願明細書に記載された発明と同一であるとすることはできない。
　
（ｂ）特許法第２９条第２項に関して
（ｉ）本件発明１〜１１について
　甲第２号証には、支持フィルムの両面にアセチレン末端付加型ポリイミドを主成分とする接着剤層が形成されていることを特徴とする耐熱性接着材料が記載されている（特許請求の範囲）。この耐熱性接着材料はテープとして用いられるものであり（段落【０００１】）、アセチレン末端付加型ポリイミドを主成分とする接着剤層を形成する接着剤は、芳香族酸無水物と芳香族ジアミンとエチニル化芳香族アミンの反応により得られる閉環型のポリイミドであり（段落【００２９】）、さらに、芳香族アミンに、シロキサンジアミンを芳香族ジアミンに対して１〜３０％の割合で混合することができるものである（段落【００４４】〜【００４６】）。そして、シロキサンジアミンを混合した場合、甲第２号証の接着剤はポリイミドシロキサン接着剤ともいえるものである。
　そうしてみると、本件発明１と甲第２号証記載の発明は、ポリイミドシロキサン接着剤の２つの層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープである点で一致しているといえる。
　しかし、甲第２号証の接着剤は、芳香族酸無水物と芳香族ジアミンとエチニル化芳香族アミンを略化学等量反応させ有機溶媒中において公知の方法にしたがってイミド化したもの（段落【００４８】）であり、本件発明１の接着剤のように「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された」ものであるか不明である点、および、甲第２号証の接着剤は、接着方法の記載（段落【００５９】）に見られるように末端アセチレン基が反応する熱硬化性のものであるのに対し、本件発明１の接着剤は、熱可塑性のものである点で相違する。
　この点に関して、甲第３号証に、（ａ）ビフェニルテトラカルボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分と、ジアミノポリシロキサン１０〜８０モル％及び芳香族ジアミン２０〜９０モル％からなるジアミン成分とから得られた可溶性のポリイミドシロキサン１００量部、（ｂ）ビスマレイミド−トリアジン系樹脂、ビスマレイミド樹脂およびシアナート化合物系樹脂からなる群から選ばれた少なくとも１種の熱硬化性樹脂１０〜５００重量部、および、（ｃ）エポキシ基を有するエポキシ化合物０〜５５重量部が、樹脂成分として含有されていることを特徴とする耐熱性接着剤が記載されており、この接着剤の（ａ）成分であるポリイミドシロキサンは、段落【００１７】の二次転移点についての記載からみて「熱可塑性」のものであり、段落【００１６】、【００５７】のイミド化率についての記載からみて「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された」ものであるので、甲第３号証には、「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性のポリイミドシロキサン」が記載されている。
　しかしながら、甲第３号証に記載されるポリイミドシロキサンは、３成分からなる耐熱性接着剤の一成分であり、しかも、３成分として熱硬化性の耐熱性接着剤と作用するものであるから、特定の一成分であるポリイミドシロキサンを熱可塑性の接着剤として選択すること、さらには、甲第２号証の熱硬化性のアセチレン末端付加型ポリイミドを主成分とする接着剤に代えて甲第３号証記載の熱可塑性のポリイミドシロキサンを使用することが、当業者に容易に想到し得ることができるとされるものではない。
　そして、本件発明１は、特許請求の範囲第１項に記載の構成を採用することにより、特許明細書記載の所期の効果を奏するものである（本件特許公報４欄第４５行〜第５欄第９行）。
　したがって、本件発明１は、甲第２号証、甲第３号証に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　また、本件発明２〜１１は、本件発明１の接着テープにおける構成を技術的に限定するにすぎないものであるから、同様に甲第２号証、甲第３号証に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたとされるものではない。
　
（ii）本件発明１２〜２０について
　甲第２号証、甲第３号証には、接着テープを製造するにあたり、実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換した熱可塑性ポリイミドシロキサンの溶媒による溶液を使用することは記載されておらず、また、両甲号証の記載から該ポリイミドシロキサンを接着剤成分として使用することが当業者が容易に想到しないことは上に述べたとおりであるから、その溶媒による溶液を使用する本件発明１２が両甲号証の記載から示唆されるものでもない。
　そして、本件発明１２は、特許請求の範囲第１２項に記載の構成を採用することにより、特許明細書記載の所期の効果を奏するものである（本件特許公報４欄第４５行〜第５欄第９行）。
　したがって、本件発明１２は、甲第２号証、甲第３号証に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　また、本件発明１３〜１９は、本件発明１２の接着テープの製造方法における構成を技術的に限定するにすぎないものであり、本件発明２０は、実質的に本件発明１２の製造方法により製造された巻き取りテープであるから、同様に甲第２号証、甲第３号証に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたとされるものではない。
　
（iii）まとめ
　上記のとおり、本件発明１〜２０は、甲第２号証、甲第３号証に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜２０に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜２０に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１１月１９日（２００１．１１．１９）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第３０３２５７８号発明の明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、特許請求の範囲の減縮を目的として、
（ａ）特許請求の範囲の請求項１に、
　「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤の２つの層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープ。」とあるのを、
　「実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤（４，４’−オキシジフタル酸二無水物ａモルと、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンｄモルと、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比がａ／（ａ＋ｂ）≧０．６、０．０５≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．５、かつ０．１≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．９の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂からなるフィルム接着剤を除く
）の２つの層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープ。」と訂正し、
（ｂ）特許請求の範囲の請求項１２に、
　「次の各工程を含む、接着テープの製造方法。
　Ａ．実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換したポリイミドシロキサンの溶媒による溶液を形成する工程；
　Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、
　Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。」とあるのを、
　「次の各工程を含む、接着テープの製造方法。
　Ａ．実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換した熱可塑性ポリイミドシロキサン（４，４’−オキシジフタル酸二無水物ａモルと、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンｄモルと、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比がａ／（ａ＋ｂ）≧０．６、０．０５≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．５、かつ０．１≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．９の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂を除く
）の溶媒による溶液を形成する工程；
　Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、
　Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
３層ポリイミドシロキサン接着テープ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換された熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤
（４，４’−オキシジフタル酸二無水物ａモルと、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンｄモルと、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比がａ／（ａ＋ｂ）≧０．６、０．０５≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ〉≦０．５、かつ０．１≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．９の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂からなるフィルム接着剤を除く
）
　【請求項２】　前記キャリヤフィルムが、ポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエチレンテレフタレート、及びポリアミドから選ばれる、請求項１記載の接着テープ。
　【請求項３】　前記キャリヤフィルムがポリイミドである、請求項１記載の接着テープ。
　【請求項４】　前記キャリヤフィルムが１３〜２５０μｍの厚さである、請求項１記載の接着テープ。
　【請求項５】　前記ポリイミドシロキサン接着剤が、芳香族二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンの反応生成物を含む、請求項１記載の接着テープ。
　【請求項６】　前記シロキサン含有ジアミンが前記ポリイミドシロキサン接着剤の１〜８０重量％からなる、請求項５記載の接着テープ。
　【請求項７】　前記芳香族二無水物が、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビフェニル二無水物、６ＦＤＡ、ピロメリット酸二無水物、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる、請求項５記載の接着テープ。
　【請求項８】　前記芳香族二無水物がオキシジフタル酸二無水物である、請求項７記載の接着テープ。
　【請求項９】　前記芳香族ジアミンが、トルエンジアミン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、及び２，２−ビス−（４〔４−アミノフェノキシ〕フェニル）プロパンからなる群から選ばれる、請求項５記載の接着テープ。
　【請求項１０】　前記シロキサン含有ジアミンが次の一般式で表される、請求項５記載の接着テープ。
（式中、Ｒは一価の基、Ｒ１は二価の基であって、Ｒ及びＲ１は置換又は未置換の炭素原子１〜１２個の脂肪族基及び置換又は未置換の炭素原子６〜１０個の芳香族基から各々独立に選ばれ、ｍ＝１〜２００である。）
　【請求項１１】　前記芳香族二無水物がオキシジフタル酸二無水物であり、前記非シロキサン含有ジアミンが１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンであり、前記シロキサン含有ジアミンの一般式中のｍが９であり、溶媒がＮ−メチルピロリジノンである、請求項１０記載の接着テープ。
　【請求項１２】　次の各工程を含む、接着テープの製造方法。
Ａ．実質的に全てのアミン酸基がイミド基に変換した
熱可塑性
（４，４’−オキシジフタル酸二無水物ａモルと、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれた１種類または２種類のテトラカルボン酸二無水物ｂモルとを酸成分とし、一般式（１）で表される１種類または２種類以上のジアミンｃモルと、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンｄモルと、α，ω−ビス（３−アミノプロピル）ポリジメチルシロキサンｅモルとをアミン成分とし、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅのモル比がａ／（ａ＋ｂ）≧０．６、０．０５≦ｅ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．５、かつ０．１≦ｄ／（ｃ＋ｄ＋ｅ）≦０．９の割合で両成分を反応させてイミド閉環せしめたポリイミド樹脂を除く
）
Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、
Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。
　【請求項１３】　前記溶液を先ず前記キャリヤフィルムの一方の面に塗布し、溶媒を蒸発させ、次に該溶液を該フィルムの他方の面に塗布し、次いで溶媒を蒸発させる、請求項１２記載の方法。
　【請求項１４】　前記溶媒に芳香族二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンを溶解し、該溶液を加熱してポリアミン酸を形成し、該溶液を更に加熱してポリイミドシロキサンを形成することにより前記ポリイミドシロキサンの溶液を形成する、請求項１２記載の方法。
　【請求項１５】　前記溶媒の沸点が１３０〜２１０℃である、請求項１２記載の方法。
　【請求項１６】　前記溶液の固形分が１０〜３０重量％である、請求項１２記載の方法。
　【請求項１７】　前記接着テープを２つの表面の間に置き、温度を２００〜３５０℃とし、圧力を７×１０３〜１４０×１０３ｋｇ／ｍ２として１〜３０秒間該２つの表面を相互に押しつける最終工程を更に含む、請求項１２記載の方法。
　【請求項１８】　前記表面が金属リードフレーム及び集積回路チップである、請求項１７記載の方法。
　【請求項１９】　前記テープを巻き取る最終工程を更に含む、請求項１２記載の方法。
　【請求項２０】　請求項１９記載の方法により製造した巻き取りテープ。
【発明の詳細な説明】
技術分野
　本発明は、キャリヤフィルムのいずれかの側にポリイミドシロキサン層を有する接着テープに関する。特に、本発明は、ポリイミドキャリヤフィルムが２つのポリイミドシロキサン接着剤層に挟まれた３層テープに関する。
背景技術
　エレクトロニクス業界においては、金属リードフレームを集積回路チップに結合する等の様々な目的で接着テープが用いられる。そのようなテープは、ＬＯＣ（リード・オン・チップ）アタッチメントに有用であるが、高純度であって、優れた接着特性を有し、かつ大量生産手法に容易に適用し得ることが要求される。ＬＯＣアタッチメントの後にワイヤーボンディングを行う場合には、ポリイミドシロキサン接着剤は高いＴｇ（通常は約１５０℃以上）を有するのが望ましい。接着性ポリイミドの例は、米国特許第３，７４０，３０５号及び第４，５４３，２９５号明細書中に見出される。米国特許第４，４８０，００９号明細書も参照されたい。
　ポリイミドキャリヤ層にポリアミン酸（ｐｏｌｙａｍｉｃ　ａｃｉｄ）層として塗布した後にイミド化したポリイミドを利用したＬＯＣテープもある。ポリアミン酸をイミド化すると水及び溶媒を発生し、膨れや接着の均一性を欠く原因となり得る。エレクトロニクス及び他の産業において使用するための良好な接着テープは、熱及び圧力を印加することが可能であってかついかなる揮発物をも発生させないものである。
発明の開示
　熱及び圧力のみを用いてかつ揮発物を発生させないで、多くの異なる材料を相互に結合し得る優れた接着テープを見出した。本発明の接着テープは、２つの十分にイミド化したポリイミドシロキサン接着剤層に挟まれたキャリヤ層からなる。ポリイミドシロキサン接着剤層は十分にイミド化され、溶媒を含まないので、表面にテープを結合するために熱及び圧力を印加しても、水、溶媒又はその他の揮発物を発生しない。
　この特殊なテープを製造するためには、十分にイミド化したポリイミドシロキサン接着剤の溶媒溶液を形成する必要がある。該溶液を次にキャリヤ層に塗布し、溶媒を蒸発させて十分にイミド化したポリイミドシロキサンを形成する。驚くべきことに、この方法により溶液から熱及び圧力を用いずに形成した十分にイミド化したポリイミドシロキサン接着剤層は、キャリヤ層に非粘着性フィルムとして接着する一方、熱及び圧力を印加すると流動して他の表面に対して結合を形成し得る。
　更に、本発明の製法により製造したテープがキャリヤ層上のポリアミン酸層をイミド化することにより作製した同一のテープに比して有利な点を有することも見出した。本発明によるテープの主たる利点は、接着剤層から溶媒を蒸発させるだけでよく、接着剤層をイミド化する必要がないことから、迅速に製造し得ることにある。
発明を実施するための最良の形態
　本発明の製法及び製品に使用するポリイミドシロキサンは、十分にイミド化しているのみならず、更に熱可塑性であって溶媒に可溶でなければならない。ポリイミドシロキサンは二無水物をジアミンと反応させて形成するが、この場合において二無水物の一部又はジアミンの一部がシロキサン基を含む。即ち、二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンを使用するか、又は二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有二無水物を使用することとなる。入手が容易であってかつ良好な特性を有するため、シロキサン含有ジアミンを使用するのが好ましい。
　シロキサン含有化合物は芳香族又は非芳香族のいずれかであってよいが、入手が比較的容易であるため非芳香族化合物が好ましい。使用可能なシロキサンジアミンには、次式で表される化合物が含まれる。
使用可能なシロキサン二無水物には、次式で表される化合物が含まれる。
（式中、Ｒ，Ｒ１及びＲ２は、各々一価、二価、及び三価の基であって、置換又は未置換の炭素原子１〜１２個の脂肪族基又は置換又は未置換の炭素原子６〜１０個の芳香族基から各々独立に選ばれる。一価の基の例には−ＣＨ３、−ＣＦ３、−ＣＨ＝ＣＨ２、−（ＣＨ２）ｎＣＦ３、−Ｃ６Ｈ５、−ＣＦ３−ＣＨＦ−ＣＦ３、及び−ＣＨ２−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−ＣＨ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３が含まれる。二価の基の例には−（ＣＨ２）ｎ−、−（ＣＨ２）ｎ−、−ＣＦ２−及び−Ｃ６Ｈ４−が含まれる。三価の基の例には＞ＣＨ−ＣＨ２−、
（式中、ｎ＝１〜１０であり、ｍ＝１〜２００であるが好ましくは１〜１２である（シロキサンジアミンをここでは記号Ｇｍで表す）。）が含まれる。）
　ポリイミドシロキサンの形成においては任意の二無水物を使用してよいが、優れた特性を付与するため芳香族二無水物が好ましい。適切な二無水物の例には、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物；１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物；２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物；２−（３′，４′−ジカルボキシフェニル）−５，６−ジカルボキシベンズイミダゾール二無水物；２−（３′−４′−ジカルボキシフェニル）−５，６−ジカルボキシベンズキサゾール二無水物；２−（３′，４′−ジカルボキシフェニル）−５，６−ジカルボキシベンゾチアゾール二無水物；２，２′，３，３′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物；２，３，３′，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物；３，３′，４，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＤＴＡ）；２，２′，３，３′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；２，３，３′，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ＢＰＤＡ）；ビシクロ−〔２，２，２〕−オクテン−（７）−２，３，５，６−テトラカルボン酸−２，３，５，６−二無水物；チオ−ジフタル酸二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホキシド二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニルオキサジアゾール−１，３，４）パラフェニレン二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）２，５−オキサジアゾール−１，３，４−二無水物；ビス２，５−（３′，４′−ジカルボキシジフェニルエーテル）１，３，４−オキサジアゾール二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物又はオキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）チオエーテル二無水物；ビスフェノールＡ二無水物；ビスフェノールＳ二無水物；２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物又は５，５−〔２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリデン〕ビス−１，３−イソベンゾフランジオン）（６ＦＤＡ）；ヒドロキノンビスエーテル二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物；シクロペンタジエニルテトラカルボン酸二無水物；シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物；エチレンテトラカルボン酸二無水物；ペリレン３，４，９，１０−テトラカルボン酸二無水物；ピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）；テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物；及びレゾルシノール二無水物が含まれる。
　二無水物は四価の酸の形又は該四価の酸の一価、二価、三価又は四価のエステルとして使用し得るが、比較的反応性が高いため二無水物の形が好ましい。
　好ましい二無水物は、入手が容易であって優れた特性を付与することが知られていることから、ＯＤＰＡ、ＢＰＤＡ、ＢＴＤＡ、６ＦＤＡ、及びＰＭＤＡ又はそれらの混合物である。最も好ましい二無水物は、良好な接着性及び良好な柔軟性を有するポリイミドシロキサンを提供することから、ＯＤＰＡである。
　最も優れた特性を付与することから、非シロキサン含有ジアミンは芳香族であるべきである。適切な芳香族ジアミンの例には、ｍ−及びｐ−フェニレンジアミン；２，４−（ＴＤＡ）、２，５−及び２，６−ジアミノトルエン；ｐ−及びｍ−キシリレンジアミン；４，４′−ジアミノビフェニル；４，４′−ジアミノジフェニルエーテル又は４，４′−オキシジアニリン３，４−オキシジアニリン（ＯＤＡ）；４，４′−ジアミノベンゾフェノン；３，３′、３，４′、又は４，４−ジアミノフェニルスルホン又はｍ，ｍ−、ｍ，ｐ−又はｐ，ｐ−スルホンジアニリン；４，４′−ジアミノジフェニルスルフィド；３，３′又は４，４−ジアミノジフェニルメタン又はｍ，ｍ−又はｐ，ｐ−メチレンジアニリン；３，３′−ジメチルベンジジン；４，４′−イソプロピリデンジアニリン；１，４−ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ベンゼン；１，３−ビス（ｐ−アミノフェノキシ）ベンゼン；４，４′−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル；１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン（ＡＰＢ）；２，４−ジアミン−５−クロロトルエン；２，４−ジアミン−６−クロロトルエン；２，２−ビス−４〔４−アミノフェノキシ〕フェニルプロパン（ＢＡＰＰ）；トリフルオロメチル−２，４−ジアミノベンゼン；チリフルオロメチル−３，５−ジアミノベンゼン；２，２′−ビス（４−アミノフェニル）−ヘキサフルオロプロパン；２，２−ビス（４−フェノキシアニリン）イソプロピリデン；２，４，６−トリメチル−１，３−ジアミノベンゼン；４，４′−ジアミノ−２，２′−トリフルオロメチルジフェニルオキシド；３，３′−ジアミノ−５，５′−トリフルオロメチルジフェニルオキシド；４，４′−トリ−フルオロメチル−２，２′−ジアミノビフェニル；２，４，６−トリメチル−１，３−ジアミノベンゼン；ジアミノアントラキノン；４，４′−オキシビス〔２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕（１，２，４−ＯＢＡＢＴＦ）；４，４′−オキシビス〔（３，トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−チオビス〔（２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−チオビス〔（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−スルホキシルビス〔（２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−スルホキシルビス〔（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−ケトビス〔（２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−〔（２，２，２−トリフルオロメチル−１−（トリフルオロメチル）エチリデン）ビス（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−ジメチルシリルビス〔（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕が含まれる。
　優れた特性を有することから、好ましい芳香族ジアミンはＴＤＡ、ＡＰＢ、及びＢＡＰＰである。
　ポリイミドシロキサンは約１〜約８０重量％のシロキサン含有モノマー及び約２０〜約９９重量％のシロキサンを含有しないモノマーから製造し得る。好ましくは、約１〜約３０重量％のシロキサン含有モノマー及び約７０〜約９９重量％のシロキサンを含有しないモノマーから製造する。一般に、理論量のジアミン及び二無水物を用いて最高の分子量のポリイミドシロキサンを得るが、二無水物のジアミンに対する当量比は１：２〜２：１の範囲であってよい。
　ポリイミドシロキサンは一般に溶液状に調製する。ポリイミドシロキサンの溶液を形成する溶媒は、もちろん、ポリイミドシロキサンを溶解するものでなければならない。適切な溶媒は、製造され溶解されるポリイミドシロキサンの特定の組成に依存するが、Ｎ−メチルピロリジノン（ＮＭＰ）、ジグリム（ｄｉｇｌｙｍｅ）、トリグリム（ｔｒｉｇｌｙｍｅ）、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジメチルアセトアミド及びこれらの溶媒の混合物が含まれる。沸点の低い溶媒は完成したテープからあまりに容易に揮発してしまい、また沸点の高い溶媒はテープから除去することが非常に困難となるため、溶媒の沸点は１３０〜２１０℃であることが好ましい。該溶媒によるポリイミドシロキサン溶液の固形分は所望により何％であってもよいが、溶液が希薄すぎることは蒸発する溶媒が多すぎることとなり、またあまりに濃厚であると粘度が高くなりすぎるため、約１０〜約３０重量％が好ましい。特に好ましいポリイミドシロキサン接着剤は、ＯＤＰＡ、ＡＰＢ及びＧ９のＮＭＰ溶液から製造する。
　ポリアミン酸を形成する第１の反応は室温で起き、イミド環を閉じる第２の反応は約１５０〜約１８０℃で起きる。一般に、反応混合物を数時間還流してポリマーをイミド化する。溶媒に可溶な十分にイミド化した熱可塑性接着剤ポリイミドシロキサンの調製についての更に完全な記載は、米国特許第４，９７３，６４５号明細書中にあり、その内容な本明細書に含まれるものとする。
　前記キャリヤフィルムは、ポリイミドシロキサンが接着し得るものであればほぼ任意の有機ポリマー材料からなるものでよい。該ポリマー材料は、ポリイミドシロキサン溶液により溶解することのない程度に耐溶剤性を有していなければならない。キャリヤフィルムの表面を改質して、該表面に対するポリイミドシロキサンの接着性を向上させることができる。そのような改質法にはコロナ又は様々な化学物質を用いた処理が含まれる。接着性を向上させる予備処理がなされた様々な種類のキャリヤフィルムが販売されている。結合条件に容易に耐え得ることから、キャリヤフイルムはＴｇが１５０℃以上の無定形ポリマー又は融点が１５０℃以上の結晶性ポリマーのいずれかであることが好ましい。そのようなキャリヤフィルムの例にはポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリスルホン及びポリアミド（ナイロン６６等）が含まれる。キャリヤフイルムについて好ましい材料はポリイミドである。キャリヤフイルムの厚さは約１３〜約２５０μｍ（約１／２〜約１０ミル）で変化してよいが、約２５〜約５１μｍ（約１〜約２ミル）の厚さが好ましい。
　本発明のテープは、ポリイミドシロキサン溶液をキャリヤフィルム上に塗布し、溶液から溶媒を蒸発させることにより製造する。一般に、前記キャリヤフィルムは、前記溶液をその上部表面にドクターブレードで展開する間水平に置かれる。次に溶媒を蒸発させ、該キャリヤフィルムを反転させ、前記手順を繰り返す。これは手作業でも自動化工程でも行い得る。該キャリヤフィルムをポリイミドシロキサン溶液に浸漬しあるいは通過させた後に拭き取り又は蒸発させる等の、他のテープ製造方法を使用することも考えられる。テープ上に所望の厚さの接着剤を積層させるために、該溶液を繰り返し塗布する必要がある場合がある。接着剤層の厚さはキャリヤフイルムの各面上で約２．５〜約１３０μｍ（約０．１〜約５ミル）であってよく、好ましい厚さは各面上で約１３〜約２５μｍ（約０．５〜約１ミル）である。
　テープを製造して溶媒を蒸発させた後は、接着面はもはや粘着性ではなく、テープを巻取り、使用のため保管しておくことができる。使用の際には該テープを所望の寸法に切断し、テープに対し結合すべき面を加熱し、テープに対して押しつける。一般に、温度を約２００〜約３５０℃とし、圧力を約７×１０３〜約１４０×１０３ｋｇ／ｍ２（約１０〜約２００ｐｓｉ）とする。テープは即座に結合するため、一般には必要な圧力印加時間は約１秒〜約３０秒に過ぎない。
　該テープは多くの異なる用途に使用可能であるが、本発明のテープの主たる用途は、マイクロエレクトロニクス産業での部品の結合である。そのような用途には、集積回路チップに対する金属リードフレームの結合、リードフレームに対するチップの結合、リードフレーム相互の結合、チップキャリヤに対するチップの結合及び熱拡散器（ｈｅａｔ−ｓｐｒｅａｄｅｒ）に対するチップの結合が含まれる。
　以下の実施例により本発明について更に説明する。
実施例１
　頭上攪拌機、温度計、ディーン−スターク・トラップ及び凝縮器の最上部に窒素流入口を備えた三つ口の乾燥した１２１フラスコに、５１のドライＮＭＰ及び７５０ｍｌのトルエンを加えた。このフラスコに、攪拌しながら、５０３．６４ｇ（１．６２モル）のＯＤＰＡ、次いで２４ｇ（．０９６モル）のＧ１及び９６ｇ（平均分子量が８４１であるシロキサンジアミン．１１４モル）のＧ９を添加した。反応物を４時間攪拌し、次に５７７．９２ｇ（１．４１モル）のＢＡＰＰを添加した。反応物を一晩攪拌し、次に２５０ｍｌのドライＮＭＰ及び１８ｇのＤＡＢＣＯを添加した。反応物を加熱して還流し、水を除去した。ポット温度を約１５５℃から約１７２℃まで緩やかに上昇させながら、還流を４時間続けた。この間に約１２０ｃｃの水相を除去した。その後に、真空により約３５〜約４０％の溶媒を除去した。反応混合物を約８０℃まで冷却し、水に沈殿させた。混合物を濾過し、洗浄し、脱イオン水中に再スラリー化し、再度濾過した。次に沈殿を１０５℃で３日間乾燥した。
実施例２〜７
　異なるモノマーを用いて実施例１を繰り返した。次の表にこれらのポリイミドシロキサン接着剤の調製についてまとめた。
　ガラス転移温度Ｔｇは動力学的熱分析（ＤＭＴＡ）により測定した。Ｔｇは、昇温速度４℃／分、引張モード、１Ｈｚにおいてｔａｎδのピークが消失する温度とした。
実施例８
　実施例１のポリイミドシロキサンを窒素中１９０℃で１５時間加熱して分子量を増加させ、次にＮＭＰに溶解し、５ミクロンのカートリッジフィルターを通して溶液を濾過して、固形分が２１重量％であって粘度が９５ポアズである約３．５１の溶液を得た。この溶液を約１００ｃｃのＮＭＰで更に希釈して粘度を減少させ、次にユーピレックスＳＧＡポリイミド（ウベ製）をコートするのに用いた。このポリイミドは幅約３０ｃｍ（１２インチ）、厚さ約５１μｍ（２ミル）のロール形状で使用した。ポリイミドシロキサン溶液の入ったトラフ及び厚さを制御するナイフを備えた２台のロールコーターに該ポリイミドシートを通し、次に９３℃に設定したゾーン１（長さ約１２ｍ（４０フィート））及び１７７℃に設定したゾーン２（長さ約３４ｍ（１１０フィート））の２台のゾーン加熱オーブンに通した。該ポリイミドを毎分７．６ｍの速度でコートした。第１の面をコートした後、片面シートを同一条件下で再度コーターに通して、実施例１のポリイミドシロキサンをポリイミドの各面にコートした。シートの全厚さは約９１μｍ（３．６ミル）であった。
実施例９
　実施例２のポリイミドシロキサンをＮＭＰに溶解し、５ミクロンのカートリッジフィルターを通して溶液を濾過して、固形分が１６重量％であって粘度が９．０ポアズである約３．５ｌの溶液を得た。このポリイミドシロキサンを実施例８と同様に使用して、実施例２のポリイミドシロキサンをポリイミドの各面にコートした。シートの全厚さは約９１μｍ（３．６ミル）であった。
実施例１０
　実施例３のポリイミドシロキサンを２００℃で１９時間加熱して分子量を増加させ、次にＮＭＰに溶解し、５ミクロンのカートリッジフィルターを通して溶液を濾過して、固形分が２４重量％であって粘度が７．５ポアズである約３．５ｌの溶液を得た。このポリイミドシロキサンを実施例８と同様に使用して、実施例３のポリイミドシロキサンをポリイミドの各面にコートした。シートの全厚さは約９１μｍ（３．６ミル）であった。
実施例１１
　実施例４のポリイミドシロキサンをシクロヘキサノンに溶解して、固形分が２５重量％であって均一であるが不透明な溶液を得た。厚さ約１３０μｍ（５ミル）、幅約１．３ｃｍ（約０．５インチ）のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムストリップを該ポリマー溶液に浸漬し、次につり下げて液を切り５日間空気乾燥させた。コートフィルムの厚さは約１６０μｍ（約６．３ミル）であった。
実施例１２
　厚さ約１０２μｍ（約４ミル）のナイロン６−６フィルムを実施例１１と同様にコートした。コートフィルムの厚さは約１５２μｍ（約６ミル）であった。
実施例１３
　実施例５のポリイミドシロキサンをシクロヘキサノンに溶解して、固形分が２５重量％の溶液を得た。厚さ約５１μｍ（２ミル）のカプトンＨストリップを該ポリマー溶液に浸漬し、液を切った。コートストリップを次に１５０℃のオーブン中で約１時間乾燥させた。コートフィルムの厚さは約１０２μｍ（約４ミル）であった。
実施例１４
　実施例６のポリイミドシロキサンをＮＭＰに溶解して、固形分が２５重量％の溶液を得た。厚さ約５１μｍ（２ミル）のポリイミドフィルム（デュポン製カプトンＨ）ストリップを該ポリマー溶液に浸漬し、液を切り空気乾燥させた。該ストリップを更に２００℃のオーブン中で約１時間乾燥させた。
実施例１５
　厚さ約２５μｍ（１ミル）のカプトンＨストリップを用いたことを除き、実施例１４を繰り返した。
実施例１６
　実施例６のポリイミドシロキサンをジグリムに溶解して、固形分が４０重量％の溶液を得た。１０ミクロンのフィルターを通し、次いで１ミクロンのフィルターを通して溶液を濾過した。幅約５．９ｃｍ（約２．３インチ）、厚さ約５１μｍ（２ミル）であって長さ約１５ｃｍ（約６インチ）のカプトンＨストリップを上記溶液に通し、空気乾燥下に数日間つり下げた。
実施例１７
　実施例８のコートテープからストリップ（約１ｃｍ２）を切り出し、アロイ４２の金属片と、ＰＭＤＡ−ＯＤＡポリマーで予備コートした１枚のシリコンウェファーのコート面との間に置いた。（予備コートは、０．１７％の３−アミノプロピルトリエトキシシランの溶液を約１０ｃｍ（４インチ）のシリコウェファー上に、５０００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、次いで１５％のＰＭＤＡ−４，４′ＯＤＡポリアミン酸の７５／２５のＮＭＰ／キシレン溶液を３０００ｒｐｍで３０秒間スピンコートし、窒素雰囲気中で毎分５℃で６０分間で３５０℃まで昇温して乾燥することにより行った。）積層物を圧力を印加せずに２７５℃のホットプレート上に１０秒間置いた。次に、約２．５ｋｇ（５．５ポンド）の圧力を１０秒間印加し、積層物を取り出してＨＭＰモデル１７５０ダイ剪断試験機で接着試験を行った。４個の積層物について試験を行い、平均値をとって、２５ｋｇ／ｃｍ２以上の剪断接着強度を得た。
実施例１８〜２５
　実施例９〜１６のテープを用いて実施例１７を繰り返した。次の表に結果を示す。
　１実施例１３と同様であるが、銅と未コートシリコンウェファーとの間に挟んだ。
　２実施例１３と同様であるが、セラミックと未コートシリコンウェファーとの間に挟んだ。
　これらの実施例から、様々な表面間に強固な結合を形成するのに本発明の３層フィルムを使用し得ることが示された。