(57)【要約】  インク乾燥装置は、ポリイミドが塗布された基板（２１）が設置される乾燥炉（１２）と、基板（２１）に対向して配置され、乾燥炉（１２）内に空気を送る送風機（４１）と、乾燥炉（１２）内に設けられ、基板（２１）と送風機（４１）との間に配置され、空気が流通可能な複数の孔（５２）が形成されるパンチング板（５１）とを有する。このような構成により、均一なインク乾燥を実現するインク乾燥装置を提供する。
2010089936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが塗布された基板が設置される乾燥炉（１２）と、
基板に対向して配置され、前記乾燥炉（１２）内に空気を送る送風機（４１）と、
前記乾燥炉（１２）内に設けられ、基板と前記送風機（４１）との間に配置され、空気が流通可能な複数の孔（５２）が形成されるパンチング板（５１）とを備える、インク乾燥装置。
【請求項２】
前記送風機（４１）は、回転することによって空気を圧送するファン（４３）を有し、
前記ファン（４３）の回転中心となる軸（１０１）を前記パンチング板（５１）に向けて延長した場合に、前記複数の孔（５２）は、前記軸（１０１）と交差する位置に相対的に近い前記パンチング板（５１）上の領域よりも、前記軸（１０１）と交差する位置に相対的に遠い前記パンチング板（５１）上の領域でその開口率が大きくなるように形成される、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【請求項３】
複数の前記送風機（４１）が、互いに間隔を隔てて設けられ、
前記複数の孔（５２）は、その開口率が複数の前記送風機（４１）の各々に対応して変化するように形成される、請求の範囲２に記載のインク乾燥装置。
【請求項４】
前記パンチング板（５１）は、前記送風機（４１）から送られた空気が流入する空間（１４ｍ）と、基板が設置される空間（１４ｎ）とを区画するように設けられる、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【請求項５】
前記パンチング板（５１）は、前記乾燥炉（１２）に設置された基板に平行に延在する、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【請求項６】
前記パンチング板（５１）は、前記送風機（４１）と前記パンチング板（５１）との間の距離が、前記パンチング板（５１）と前記乾燥炉（１２）に設置された基板との間の距離よりも小さくなる位置に配置される、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【請求項７】
前記乾燥炉（１２）内には、基板が設置される第１空間（１４）と、基板を上下動させるための駆動部（３２）が設けられ、前記第１空間（１４）から空気が流入可能な第２空間（１５）とが形成され、
前記乾燥炉（１２）に接続され、前記第１空間（１４）および前記第２空間（１５）からそれぞれ空気を排気する排気部（３６，３８）をさらに備え、
前記第１空間（１４）および前記第２空間（１５）の圧力は、前記第１空間（１４）の圧力が前記第２空間（１５）の圧力よりも大きくなり、前記第２空間（１５）の圧力が前記乾燥炉（１２）の外部の圧力よりも大きくなるように設定される、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【請求項８】
前記乾燥炉（１２）に接続され、前記乾燥炉（１２）内から空気を排気する排気部（３６）をさらに備え、
前記排気部（３６）は、前記乾燥炉（１２）内に開口し、空気が流通する排気口（３７）を有し、
前記排気口（３７）は、前記送風機（４１）に対して、前記乾燥炉（１２）に設置された基板よりも後退した位置に設けられる、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【請求項９】
前記乾燥炉（１２）に接続され、前記乾燥炉（１２）内から空気を排気する排気部（３６）をさらに備え、
前記排気部（３６）は、前記乾燥炉（１２）内に開口し、空気が流通する排気口（３７，６４，６５）を有し、
前記排気口（３７，６４，６５）には、空気の流通面積を可変とする機構が設けられる、請求の範囲１に記載のインク乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的には、インク乾燥装置に関し、より特定的には、パーティクルの侵入防止を目的に、乾燥炉内部の圧力を高めるための送風機を備えるインク乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインク乾燥装置に関して、たとえば、特開平１０−２１３３３４号公報には、設置面積の低減化を可能とし、かつ循環エアの温度変動を抑制することを目的とした基板処理装置が開示されている（特許文献１）。特許文献１に開示された基板処理装置においては、その処理領域に、基板に処理液の塗布処理を行なう回転式塗布ユニットと、基板に現像処理を行なう回転式現像ユニットと、基板に加熱処理を行なう加熱ユニットと、基板に冷却処理を行なう冷却ユニットとが併設されている。さらに、処理領域に対向する位置には、各ユニットに清浄な空気を供給するためのファンが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−２１３３３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶ディスプレイの配向膜を形成する方法として、オフセット印刷法などの手段を用いて、基板の表面上にポリイミド（ＰＩ）膜などを形成する印刷工程と、印刷されたポリイミド膜を乾燥させる仮乾燥工程と、ポリイミド膜を熱硬化させる焼成工程とが実施されることが知られている。この仮乾燥工程を実施するためのインク乾燥装置においては、乾燥炉内部の圧力を高めるための送風機を設けることにより、外部からのパーティクルの侵入を防ぎ、基板を清浄に保っている。【０００５】
しかしながら、送風機から乾燥炉内部に空気が供給されると、基板表面が局所的に風を受けたり、基板表面上で予期しない気流が発生したりするおそれがある。この場合、基板上のポリイミド膜に乾燥ムラが生じ、得られた配向膜の表面に風紋のような模様が残るおそれがある。このような模様の発生は、液晶ディスプレイの性能を悪化させる原因となる。【０００６】
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、均一なインク乾燥を実現するインク乾燥装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に従ったインク乾燥装置は、インクが塗布された基板が設置される乾燥炉と、基板に対向して配置され、乾燥炉内に空気を送る送風機と、乾燥炉内に設けられ、基板と送風機との間に配置されるパンチング板とを備える。パンチング板には、空気が流通可能な複数の孔が形成されている。【０００８】
このように構成されたインク乾燥装置によれば、基板と送風機との間にパンチング板を配置することにより、送風機から供給された空気が複数の孔を通過して基板に向かう。これにより、空気を散らした状態で基板に到達させることができ、結果、均一なインク乾燥を実現できる。【０００９】
また好ましくは、送風機は、回転することによって空気を圧送するファンを有する。ファンの回転中心となる軸をパンチング板に向けて延長した場合に、複数の孔は、軸と交差する位置に相対的に近いパンチング板上の領域よりも、軸と交差する位置に相対的に遠いパンチング板上の領域でその開口率が大きくなるように形成される。このように構成されたインク乾燥装置によれば、ファンの回転中心から離れるほど風量が小さくなる傾向が存在するため、その領域で複数の孔の開口率を大きく設定することにより、より均一なインク乾燥を実現できる。【００１０】
また好ましくは、複数の送風機が、互いに間隔を隔てて設けられている。複数の孔は、その開口率が複数の送風機の各々に対応して変化するように形成される。このように構成されたインク乾燥装置によれば、複数設けられた送風機ごとに風量のばらつきを低減し、より均一なインク乾燥を実現できる。【００１１】
また好ましくは、パンチング板は、送風機から送られた空気が流入する空間と、基板が設置される空間とを区画するように設けられる。このように構成されたインク乾燥装置によれば、送風機から送られた空気が流入する空間から、基板が設置される空間に向かう空気の全てが、複数の孔を通過することになる。このため、基板が設置される空間において気流を適切に制御し、より均一なインク乾燥を実現できる。【００１２】
また好ましくは、パンチング板は、乾燥炉に設置された基板に平行に延在する。このように構成されたインク乾燥装置によれば、基板に塗布されたインクに対してより均一な送風が可能となる。【００１３】
また好ましくは、パンチング板は、送風機とパンチング板との間の距離が、パンチング板と乾燥炉に設置された基板との間の距離よりも小さくなる位置に配置される。このように構成されたインク乾燥装置によれば、パンチング板によって空気を散らした状態で基板に到達させる効果を、より有効に得ることができる。【００１４】
また好ましくは、乾燥炉内には、基板が設置される第１空間と、基板を上下動させるための駆動部が設けられ、第１空間から空気が流入可能な第２空間とが形成される。インク乾燥装置は、乾燥炉に接続され、第１空間および第２空間からそれぞれ空気を排気する排気部をさらに備える。第１空間および第２空間の圧力は、第１空間の圧力が第２空間の圧力よりも大きくなり、第２空間の圧力が乾燥炉の外部の圧力よりも大きくなるように設定される。このように構成されたインク乾燥装置によれば、外部から第１空間へのパーティクルの侵入および外部から第２空間を通じての第１空間へのパーティクルの侵入を、より確実に防ぐことができる。【００１５】
また好ましくは、インク乾燥装置は、乾燥炉に接続され、乾燥炉内から空気を排気する排気部をさらに備える。排気部は、乾燥炉内に開口し、空気が流通する排気口を有する。排気口は、送風機に対して、乾燥炉に設置された基板よりも後退した位置に設けられる。このように構成されたインク乾燥装置によれば、排気口を通じて乾燥炉から排気部に排気される空気の流れが、乾燥炉に載置された基板上の気流に影響を与えることを抑制できる。【００１６】
また好ましくは、インク乾燥装置は、乾燥炉に接続され、乾燥炉内から空気を排気する排気部をさらに備える。排気部は、乾燥炉内に開口し、空気が流通する排気口を有する。排気口には、空気の流通面積を可変とする機構が設けられる。このように構成されたインク乾燥装置によれば、排気口を通じて乾燥炉から排気部に排気される空気の流通面積を調整することによって、乾燥炉内部における気流や圧力を容易に制御することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上に説明したように、この発明に従えば、均一なインク乾燥を実現するインク乾燥装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】この発明の実施の形態１におけるインク乾燥装置を示す断面図である。
【図２】図１中のインク乾燥装置の一部を模式的に表わした断面図である。
【図３】この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置に用いられるパンチング板を示す平面図である。
【図４】図３中の２点鎖線ＩＶで囲まれた範囲を拡大して示すパンチング板の平面図である。
【図５】図３中のパンチング板の変形例を示す平面図である。
【図６】この発明の実施の形態３におけるインク乾燥装置を示す断面図である。
【図７】この発明の実施の形態４におけるインク乾燥装置を示す平面図である。
【図８】図７中のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線上に沿った排気部を示す断面図である。
【図９】本実施例におけるインク乾燥装置を用いた場合の、仮乾燥後の配向膜の表面を示す平面図である。
【図１０】比較のためのインク乾燥装置を用いた場合の、仮乾燥後の配向膜の表面を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００２０】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１におけるインク乾燥装置を示す断面図である。図２は、図１中のインク乾燥装置の一部を模式的に表わした断面図である。
【００２１】
図１および図２を参照して、本実施の形態におけるインク乾燥装置１０の基本的な構造についてまず説明すると、インク乾燥装置１０は、インクとしてのポリイミドが塗布された基板２１が設置される乾燥炉１２と、基板２１に対向して配置され、乾燥炉１２内に空気を送る送風機４１と、乾燥炉１２内に設けられ、基板２１と送風機４１との間に配置され、空気が流通可能な複数の孔５２が形成されるパンチング板５１とを有する。
【００２２】
続いて、図１および図２中のインク乾燥装置１０の構造について詳細に説明する。
インク乾燥装置１０は、液晶ディスプレイの製造工程において、基板２１に形成される配向膜の仮乾燥工程に用いられる。
【００２３】
基板２１に配向膜を形成する場合、まず、オフセット印刷法などの手段を用いて、基板２１の主表面に配向膜の原料となるポリイミドを印刷する（印刷工程）。次に、ポリイミド膜が形成された基板２１を印刷装置からインク乾燥装置１０に搬送し、インク乾燥装置１０においてポリイミド膜を乾燥させる（仮乾燥工程）。次に、基板２１をインク乾燥装置から熱処理装置に搬送し、熱処理装置においてポリイミド膜を焼成させる（焼成工程）。
【００２４】
なお、基板２１の主表面に印刷される材料は、ポリイミドに限られず、配向膜の原料となりうる材料が適宜選択される。
【００２５】
乾燥炉１２は、筐体形状に形成されており、下壁１３ｄと、下壁１３ｄに対向して配置される上壁１３ｕとを有する。乾燥炉１２の内部には、第１空間としての空間１４および第２空間としての空間１５が形成されている。空間１４と空間１５とは、下壁１３ｄによって互いに区画されている。空間１４は、空間１５の上側に配置されている。
【００２６】
空間１４には、ポリイミド膜が形成された基板２１が設置される。空間１４には、基板２１を加熱し、ポリイミド膜を乾燥させるためのホットプレート２３がさらに設けられている。基板２１は、縦横に配列された複数のピン１６（図２を参照のこと）によって、ホットプレート２３から隙間を隔てた上側に位置決めされる。乾燥炉１２には、空間１４に基板２１を搬入し、搬出するための図示しない可動扉が設けられている。
【００２７】
本実施の形態において、配向膜を形成する基板２１は、２１６０×２４６０ｍｍ、もしくは２８５０×３０５０ｍｍのサイズを有する大型基板である。但し、本発明におけるインク乾燥装置を用いて処理される基板の大きさは、上記サイズに限られるものではない。
【００２８】
空間１５には、駆動部としてのモータ３２および昇降ピン３１が設けられている。昇降ピン３１は、空間１５から下壁１３ｄを貫通し、空間１４に達するように形成されている。昇降ピン３１の一方端は、空間１５においてモータ３２に接続されており、昇降ピン３１の他方端は、空間１４において基板２１の裏面に当接するように設けられている。基板２１の搬送時、モータ３２の駆動により昇降ピン３１がその軸方向に変位することによって、基板２１が複数のピン１６上に載置されたり、複数のピン１６上から離脱されたりする。
【００２９】
下壁１３ｄには、昇降ピン３１が挿入される図示しない貫通孔が形成されている。空間１４と空間１５との間は、この貫通孔と昇降ピン３１との間に形成された微小な隙間などを通じて空気の出入りが可能な状態にある。
【００３０】
送風機４１は、ファン４３を有する。ファン４３は、プロペラ形状を有する。ファン４３が仮想軸である中心軸１０１（図２を参照のこと）を中心に回転することにより、送風機４１から基板２１が設置される空間１４に向けて送風が行なわれる。これにより、空間１４内部の圧力が高まるため、外部から空間１４への塵や埃などのパーティクルの侵入を防ぎ、空間１４内部の清浄度を保つことができる。
【００３１】
本実施の形態では、送風機４１に、ＨＥＰＡフィルタ（High  Efficiency  Particulate  Air  Filter）が設けられている。ＨＥＰＡフィルタとは、空気中からゴミ、塵埃などを取り除き、空間１４に供給する空気を清浄するためのエアフィルタである。
【００３２】
送風機４１は、乾燥炉１２の上壁１３ｕに取り付けられており、空間１４の外側の空間に配置されている。送風機４１は、空間１４に設置された基板２１から距離を隔てた位置に設けられている。送風機４１は、ポリイミド膜が形成された基板２１の主表面に対向する位置に設けられている。送風機４１は、中心軸１０１を基板２１に向けて延長した線が基板２１の主表面に直交するような姿勢で設けられている。
【００３３】
本実施の形態では、複数の送風機４１が互いに間隔を隔てて設けられている。複数の送風機４１は、空間１４に設置された基板２１の主表面に平行な平面内に並ぶように設けられている。
【００３４】
パンチング板５１は、空間１４に配置されている。パンチング板５１は、送風機４１と、空間１４に設置された基板２１との間に位置決めされている。パンチング板５１は、板形状を有する。パンチング板５１は、空間１４に設置された基板２１に平行に延在するように設けられている。
【００３５】
空間１４は、送風機４１から送風された空気がまず流入する空間１４ｍと、基板２１が設置される空間１４ｎとから構成されている。パンチング板５１は、乾燥炉１２の内部で空間１４ｍと空間１４ｎとの間を区画するように設けられている。言い換えれば、パンチング板５１は、空間１４ｍと空間１４ｎとの間を完全に遮るように設けられている。パンチング板５１は、基板２１をパンチング板５１に対して投影した場合に、その投影した領域の全体がパンチング板５１の表面上に含まれるように設けられている。
【００３６】
パンチング板５１には、複数の孔５２が形成されている。複数の孔５２は、空間１４ｍと空間１４ｎとの間を連通させるように形成されている。複数の孔５２は、パンチング板５１の表面上で平面的に分散して形成されている。複数の孔５２は、基板２１をパンチング板５１に対して投影した場合に、少なくともその投影した領域の全体を含む範囲に広がって形成されている。孔５２は、円形の開口形状を有する。孔５２は、円形に限られず、たとえば、矩形や多角形等の開口形状を有してもよい。
【００３７】
複数の孔５２が形成されたパンチング板５１を設けることによって、送風機４１から供給された空気は、空間１４ｍから複数の孔５２を通って空間１４ｎに進行する。これにより、送風は、基板２１の主表面に対して平面的に散らされた状態で行なわれることとなる。また、本実施の形態では、パンチング板５１が空間１４ｍと空間１４ｎとの間を区画するように設けられている。このため、空気が複数の孔５２を通らずに空間１４ｍから空間１４ｎに進行するということがなく、基板２１の周辺において予期しない気流が発生することを防止できる。結果、基板２１の主表面に形成されたポリイミド膜を均一に乾燥することができる。
【００３８】
なお、基板２１が送風機４１からの送風を受けることにより、ポリイミド膜の乾燥が促進されるという効果も得られる。
【００３９】
インク乾燥装置１０は、排気部３６および排気部３８をさらに有する。排気部３６および排気部３８は、それぞれ空間１４および空間１５に連通するように乾燥炉１２に接続されている。送風機４１から空気が供給されることによって空間１４内部の圧力が高まり、空間１４内部の空気が、排気部３６を通じて乾燥炉１２の外部に排気される。空間１４から空気が侵入することによって空間１５内部の圧力が高まり、空間１５内部の空気が、排気部３８を通じて乾燥炉１２の外部に排気される。
【００４０】
本実施の形態では、空間１４および空間１５内部の圧力が、空間１４の圧力が空間１５の圧力よりも大きく、空間１５の圧力が乾燥炉１２の外部の圧力よりも大きくなるように設定される。このような構成により、乾燥炉１２の外部から空間１４および空間１５へのパーティクルの侵入を確実に防ぐことができる。
【００４１】
排気部３６は、空間１４に開口し、空気が流通する排気口３７を有する。排気口３７は、送風機４１に対して、乾燥炉１２に設置された基板２１よりも後退した位置に設けられている。排気口３７は、送風機４１から供給される空気の送風方向において、送風機４１と排気口３７との間の距離が送風機４１と基板２１との間の距離よりも大きくなる位置に設けられている。排気口３７は、下壁１３ｄの直上に設けられている。
【００４２】
排気口３７を、送風機４１に対して基板２１よりも後退した位置に設けることによって、空間１４から排気口３７を流通して排気部３６に向かう空気流れが、基板２１の主表面上の気流に与える影響を小さく抑えることができる。これにより、ポリイミド膜が形成された基板２１の主表面上の気流を適切に制御することができる。
【００４３】
なお、空間１４の圧力と空間１５の圧力との差は、可能な限り小さく（たとえば、１Ｐａ以下）抑えることが好ましい。この場合、空間１４および空間１５間の圧力勾配に起因し、空間１４に予期しない気流が発生することを抑制できる。
【００４４】
このように構成された、この発明の実施の形態１におけるインク乾燥装置１０によれば、送風機４１と基板２１との間にパンチング板５１を配置することによって、ポリイミド膜の乾燥ムラを抑えることができる。これにより、ポリイミド膜の表面に風紋のような模様が生じることを抑制し、基板２１に高品質な配向膜を形成することができる。
【００４５】
（実施の形態２）
図３は、この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置に用いられるパンチング板を示す平面図である。図中では、送風機４１の外観およびファン４３の形状が点線により示されている。本実施の形態におけるインク乾燥装置は、実施の形態１におけるインク乾燥装置１０と比較して、基本的には同様の構造を備える。以下、重複する構造についてはその説明を繰り返さない。
【００４６】
図３を参照して、複数の送風機４１が互いに間隔を隔てて配置されている。本実施の形態では、複数の送風機４１が、矩形形状を有する基板２１の四隅および中心に投影される位置に配置されている。
【００４７】
パンチング板５１の表面上には、領域５６、領域５７および領域５８が規定されている。ファン４３の回転中心である中心軸１０１をパンチング板５１に向けて延長した場合に、領域５６は、中心軸１０１が交差する位置に最も近い範囲に規定され、領域５７は、その位置に次に近い範囲に規定され、領域５８は、その位置に最も遠い範囲に規定されている。領域５６は、中心軸１０１が交差する位置を中心に矩形形状に広がって規定されている。領域５７は、領域５８の周縁に沿って帯状に延びるように規定されている。領域５８は、領域５７の周囲に規定されている。領域５６〜５８は、複数設けられたパンチング板５１の各々に対応して規定されている。各パンチング板５１に対応する領域５８は、複数設けられたパンチング板５１間において繋がっている。
【００４８】
図４は、図３中の２点鎖線ＩＶで囲まれた範囲を拡大して示すパンチング板の平面図である。図３および図４を参照して、本実施の形態では、パンチング板５１に形成される複数の孔５２が、領域５６、領域５７および領域５８にそれぞれ形成された複数の孔５２ｐ、複数の孔５２ｑおよび複数の孔５２ｒからなる。
【００４９】
複数の孔５２ｐは、その開口率（単位面積当たりの、複数の孔５２ｐの開口面積）が最も小さくなるように形成され、複数の孔５２ｑは、その開口率が次に小さくなるように形成され、複数の孔５２ｒは、その開口率が最も大きくなるように形成されている。
【００５０】
図５は、図３中のパンチング板の変形例を示す平面図である。図５を参照して、本変形例では、領域５６が、中心軸１０１が交差する位置を中心に円形状に広がって規定されている。領域５７は、領域５８の周縁に沿って帯状に延びるように規定されている。領域５８は、領域５７の周囲に規定されている。本変形例に一例を示すように、領域５６〜５８が規定される範囲の形状は適宜変更されてもよい。また、複数の孔５２の開口率を変化させる段階は、図３および図５中に示す３段階に限られず、２段階であってもよいし、４段階以上であってもよい。
【００５１】
送風機４１の特性として、ファン４３の回転中心に近い位置では、送風量が大きくなり、ファン４３の回転中心から遠い位置では、送風量が小さくなる傾向がある。このため、本実施の形態では、送風量が大きくなる位置で複数の孔５２の開口率を小さく設定し、送風量が小さくなる位置で複数の孔５２の開口率を大きく設定する。これにより、基板２１の主表面が受ける風量に差が生じることを抑制し、ポリイミド膜の乾燥ムラをより効果的に抑えることができる。
【００５２】
このように構成された、この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００５３】
（実施の形態３）
図６は、この発明の実施の形態３におけるインク乾燥装置を示す断面図である。図６は、実施の形態１における図２に対応する図である。本実施の形態におけるインク乾燥装置は、実施の形態１におけるインク乾燥装置１０と比較して、基本的には同様の構造を備える。以下、重複する構造については、その説明を繰り返さない。
【００５４】
図６を参照して、本実施の形態では、パンチング板５１が、パンチング板５１と送風機４１との間の距離Ｌ１がパンチング板５１と基板２１との間の距離Ｌ２よりも小さくなる位置に配置されている。より好ましくは、パンチング板５１は、Ｌ１＜Ｌ（＝Ｌ１＋Ｌ２）／５の関係を満たす位置に配置される。
【００５５】
このような構成によれば、送風機４１からの送風によって生じる空気流れを、基板２１からより離れた位置でパンチング板５１により整流することができる。これにより、基板２１に対する送風をより均一に行ない、ポリイミド膜の乾燥ムラを効果的に抑えることができる。
【００５６】
なお、送風機４１からの送風による乾燥ムラを低減するという観点から、空間１４の容積をより大きく設定して乾燥炉１２を形成することが好ましい。
【００５７】
このように構成された、この発明の実施の形態３におけるインク乾燥装置によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００５８】
（実施の形態４）
図７は、この発明の実施の形態４におけるインク乾燥装置を示す平面図である。図中には、基板２１が設置された空間１４ｎ内部の平面図が示されている。本実施の形態におけるインク乾燥装置は、実施の形態１におけるインク乾燥装置１０と比較して、基本的には同様の構造を備える。以下、重複する構造については、その説明を繰り返さない。
【００５９】
図７を参照して、本実施の形態では、排気口３７が、矩形形状を有する基板２１の周縁に沿って帯状に延びるように形成されている。このような構成によれば、空間１４ｎから排気口３７を通じて排気部３６に向かう空気流れを、基板２１の主表面上において均一に形成することができる。
【００６０】
図８は、図７中のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線上に沿った排気部を示す断面図である。図７および図８を参照して、排気部３６は、ベース部材６１および板部材６２とを有する。ベース部材６１には、排気口６４が形成されている。板部材６２には、排気口６４とともに排気口３７を構成する排気口６５が形成されている。板部材６２は、排気口６４と排気口６５とが重なるようにベース部材６１に対して積層される。
【００６１】
このような構成によれば、ベース部材６１に対して板部材６２を矢印１０２に示す方向にスライドさせることによって、排気口６４と排気口６５とが重なる範囲を変化させる。これにより、排気口３７において空気が通過する流通面積Ｓを変化させ、空間１４内部の圧力や気流の制御を行なうことができる。この場合、送風機４１の流量制御やパンチング板５１に形成される孔形状の調整などとともに、空間１４内部の圧力や気流制御を行なうためのツールを増やすことができる。これにより、高品質な配向膜を形成することが可能なインク乾燥装置をより簡単に実現できる。
【００６２】
このように構成された、この発明の実施の形態４におけるインク乾燥装置によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００６３】
なお、以上に説明した実施の形態１から４におけるインク乾燥装置の構造を適宜組み合わせて、新たなインク乾燥装置を構成してもよい。
【００６４】
続いて、均一なインク乾燥を実現するという本発明による効果を確認するために行なった実施例について説明する。
【００６５】
図９は、本実施例におけるインク乾燥装置を用いた場合の、仮乾燥後の配向膜の表面を示す平面図である。
【００６６】
本実施例では、図３中に示す構造を有するパンチング板５１を用いた。一辺の長さが３６０ｍｍとなる領域５６に、直径４ｍｍの孔を中心間ピッチ７ｍｍで千鳥状に配置して形成し（開口率３０％）、一辺の長さが５１０ｍｍとなる領域５７に、直径６ｍｍの孔を中心間ピッチ９ｍｍで千鳥状に配置して形成し（開口率４０％）、それ以外の領域５８に、直径８ｍｍの孔を中心間ピッチ１０ｍｍで千鳥状に配置して形成した（開口率６０％）。
【００６７】
また、送風機４１による送風の風速を０．０５ｍ／ｓｅｃに設定した。また、排気量の調整により、基板２１が設置される空間１４と駆動部が設置される空間１５との差圧を１．３Ｐａ程度に抑えた。
【００６８】
図１０は、比較のためのインク乾燥装置を用いた場合の、仮乾燥後の配向膜の表面を示す平面図である。比較のためのインク乾燥装置では、パンチング板５１を設けずに送風機４１からの送風が直接、基板２１に向かう構造とした。
【００６９】
図９および図１０を比較して分かるように、本実施例におけるインク乾燥装置を用いた場合、配向膜の表面に風紋のような模様が発生することを抑制することができた。これにより、均一なインク乾燥が実現されていることを確認できた。
【００７０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
この発明は、主に、液晶ディスプレイの配向膜を形成する工程において、基板に塗布された配向膜材料を乾燥させる装置として利用される。
【符号の説明】
【００７２】
１０  インク乾燥装置、１２  乾燥炉、１４，１４ｍ，１４ｎ，１５  空間、２１  基板、３１  昇降ピン、３２  モータ、３６，３８  排気部、３７，６４，６５  排気口、４１  送風機、４３  ファン、５１  パンチング板、５２，５２ｐ，５２ｑ，５２ｒ  孔、５６，５７，５８  領域、６１  ベース部材、６２  板部材、１０１  中心軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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