【事件の表示】
　特許第３０６３７５１号「スライダ―」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０６３７５１号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理　由】
　本件特許第３０６３７５１号（出願平成１１年　２月　２日）は、特許査定後の平成１３年　６月　８日付け訂正請求書によって訂正された明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲に記載されたとおりのものであると認める。
　これに対して、平成１３年　８月　３日付けで取消理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　そして、上記の取消理由は妥当なものと認められるので、本件特許はこの取消理由によって取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１１月１４日（２００１．１１．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許請求の範囲について、
「【請求項１】　浮上面から段落ちした段落ち部を備えたスライダーであって、
　段落ち部の底面の最大表面粗さが前記段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であることを特徴とするスライダー。
　【請求項２】浮上面から段落ちした段落ち部を備えたスライダーであって、
　段落ち部の底面の最大表面粗さが１．５μｍ以下であることを特徴とするスライダー。」を
「【請求項１】　浮上面から段落ちした第１の段落ち部と、前記第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部とを備え、前記第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、前記浮上レール上に第１の段落ち部を形成したスライダーであって、
　第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが前記第１の段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であり、しかも前記第１の段落ち部はドライエッチングで形成したことを特徴とするスライダー。」
　【請求項２】浮上面から段落ちした第１の段落ち部と、前記第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部とを備え、前記第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、前記浮上レール上に第１の段落ち部を形成したスライダーであって、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが１．５μｍ以下であり、しかも前記第１の段落ち部はドライエッチングで形成したことを特徴とするスライダー」
と訂正する。
２．発明の詳細な説明の、段落番号【０００５】の、
「【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、浮上レールの周縁部に設ける段落ち部の底面の最大表面粗さ（Ｒｍａｘ）を前記段落ち部の深さの１０％以下とした。」を
「【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、浮上面から段落ちした第１の段落ち部と、第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部とを備え、第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、浮上レール上に第１の段落ち部を形成したスライダーであって、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが第１の段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成するかもしくは、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが１．５μｍ以下であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成した。」と訂正する。
３．発明の詳細な説明の、段落番号【００２８】の、
「【００２８】
　【発明の効果】
本発明は、浮上レールの縁周部に設けられた段落ち部の粗さを規定することによって、段落ち部の底面に肩が付着する事を防止し、スライダーのクラッシュを防止できる。」
を
「【００２８】
　【発明の効果】
　本発明は、浮上面から段落ちした第１の段落ち部と、第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部とを備え、第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、浮上レール上に第１の段落ち部を形成したスライダーであって、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが第１の段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成するかもしくは、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが１．５μｍ以下であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成したことによって、段落ち部の底面に屑が付着する事を防止し、スライダーのクラッシュを防止できる。」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
スライダー
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】浮上面から段落ちした
第１の段落ち部と、前記第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部と
、前記第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、前記浮上レール上に第１の段落ち部を形成し
であり、しかも前記第１の段落ち部はドライエッチングで形成した
　【請求項２】浮上面から段落ちした
第１の段落ち部と、前記第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部と
、前記第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、前記浮上レール上に第１の段落ち部を形成し
あり、しかも前記第１の段落ち部はドライエッチングで形成した
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、磁気記録再生装置等に用いられるスライダーに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　スライダーを製造する方法としては、機械加工のみによってスライダーに浮上レール及び浮上レール等の角部に段落ち部を形成する方法や、またはエッチング技術を用いて同様に浮上レール及び浮上レール等の縁周部に段落ち部を形成する方法がある。このスライダーの縁周部に段落ち部を形成する理由として、回転している磁気ディスク上にスライダーを浮上させた際に、スライダーの浮上量が磁気ディスクの内周と外周で異ならない様にするためである。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、前記従来の構成では、ときどきスライダー及び磁気ディスクに傷が入りクラッシュするという問題点があった。この現象は、浮上レールの表面粗さを所定以下に制御することで、ある程度は解決できるが、それでもスライダーのクラッシュは発生している。
　【０００４】
　本発明は前記従来の課題を解決するもので、スライダーのクラッシュを低減する事ができるスライダーを提供する事を目的としている。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、
浮上面から段落ちした第１の段落ち部と、第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部とを備え、第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、浮上レール上に第１の段落ち部を形成したスライダーであって、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが第１の段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成するかもしくは、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが１．５μｍ以下であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成した。
　【０００６】
　上記構成により、浮上レールの縁周部の段落ち部に屑を溜り難くする事ができる。
　【０００７】
　【発明の実施の形態】
　本発明者達は鋭意検討を重ねた結果、スライダーがクラッシュを起こす要因として、浮上レールの縁周部に設ける段落ち部の底面の最大表面粗さが関係する事がわかった。すなわち段落ち部の底面はスライダーが磁気ディスク上を浮上している際に、浮上レールの浮上面についで磁気ディスクに近い位置にある。すなわち、その段落ち部には空気流が非常に速く通過し、それにともなって屑が多く段落ち部に接触する事となる。従って段落ち部の底面の最大表面粗さが大きいと、その底面に屑等が溜り易くなり、その屑が何かの原因で、スライダーからこぼれ落ちる。するとそのこぼれ落ちた屑が、浮上しているスライダーと磁気ディスクの間にかみこんで、両者を傷付ける場合がある。これは、浮上レール等を形成する深い段落ち部の底面が粗くても、その底面は、スライダーが浮上している際には、磁気ディスクから離れているのでさほど屑が溜ることはない。
　【０００８】
　この知見に基き、以下に本発明の実施の形態を示す。
　【０００９】
　図１，図２はそれぞれ本発明の一実施の形態におけるスライダーを示す斜視図及び部分拡大図である。
　【００１０】
　図１，図２において、１はスライダーで、スライダー１はアルチック材等のセラミック材料等によって構成されている。２，３はそれぞれスライダー１に設けられた浮上レールで、浮上レール２，３にはそれぞれ浮上面４，５を有している。
　【００１１】
　また浮上レール２の縁周部には段落ち部６，７（浮上面４からの深さＭが約１５μｍ以下）が設けられており、しかも段落ち部６，７のそれぞれの底面８，９の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭの１０％以下とした。
　【００１２】
　浮上レール２の縁周部には段落ち部６，７（浮上面４からの深さＭが約１５μｍ以下）が設けられており、しかも段落ち部６，７のそれぞれの底面８，９の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭの１０％以下とした。
　【００１３】
　また浮上レール３の方も同様に縁周部には段落ち部１０，１１（浮上面５からの深さＮが約１５μｍ以下）が設けられており、しかも段落ち部１０，１１のそれぞれの底面１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを深さＮの１０％以下とした。
　【００１４】
　１４は浮上レール２，３の間に設けられた段落ち部で、段落ち部１４は段落ち部６，７，１０，１１に比べてはるかに浮上面４，５からの深さは深くなる様に構成されている。１５は浮上レール３の空気流出端に形成された磁気変換素子である。
　【００１５】
　以上の様に構成されたスライダー１は、底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを深さＭ，Ｎの１０％以下とすることによって、底面８，９，１２，１３に屑が溜る事はなく、スライダー１がクラッシュを起こすことはない。すなわち、磁気ディスク上にスライダー１を浮上させている時に、磁気ディスクの表面にできる空気流中の屑が底面８，９，１２，１３に接触しても、底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを所定以下にする事によって、屑が底面８，９，１２，１３に捕獲される事が少なくなり、また捕獲されても屑が小さいときに底面８，９，１２，１３より離脱するので、スライダー１をクラッシュさせるような屑を成長させることはない。
　【００１６】
　従来の技術ではこの本実施の形態の底面８，９，１２，１３に対応する部分の表面最大粗さＲｍａｘが非常に粗かったので、屑がすぐに底面８，９，１２，１３に捕獲され、その屑に他の屑が付着して、更に大きな屑になり、その大きな屑がスライダー１をクラッシュさせる原因となっていた。
　【００１７】
　また段落ち部１４の底面については、スライダー１を磁気ディスク上に浮上させた際に、磁気ディスクと段落ち部１４の底面の間隔は比較的広いので、磁気ディスク上に発生する空気流に接触することはなく、またその底面と空気流中の屑が接触する事はない。従って、段落ち部１４の底面の粗さはあまり関係ない。
　【００１８】
　なお本実施の形態では、２レール型のヘッドに対して説明したが、単数及び３本以上のレールを有するものでも同様の効果を得る事ができる。
　【００１９】
　また本実施の形態では、段落ち部６，７，１０，１１はステップ加工にしたが、傾斜加工にしてもよい。すなわちスライダー１に傾斜して入って来る空気流に対して浮上力を得る様な加工にすればよい。
　【００２０】
　次に底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘとクラッシュ発生率の関係を説明する。
　【００２１】
　まず段落ち部６，７，１０，１１のそれぞれの深さＭ，Ｎを０．５μｍとしたサンプル１を複数作製し、また深さＭ，Ｎを１．０μｍとしたサンプル２を複数作製した。サンプル１，２とも各々の底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘを異ならせた。それらサンプルに２万回のＣＳＳ（コンタクトスタートストップ）を行ない、そのクラッシュ発生率を測定した。その結果を図３に示す。
　【００２２】
　図３からサンプル１では底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが５００ｎｍ以上になると、クラッシュ発生率が急上昇しており、サンプル２では底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが１０００ｎｍ以上になると、クラッシュ発生率が急上昇している事がわかる。すなわち底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘが深さＭ，Ｎの１０％以下の粗さであればクラッシュの発生は抑制する事ができる。
　【００２３】
　次に深さＭ，Ｎについて説明する。
　【００２４】
　図４は、深さＭ，Ｎに対する媒体の周速と浮上量の関係を示すグラフである。すなわち深さＭ，Ｎを５μｍ，１０μｍ，１５μｍとしたサンプルを作製するとともに、機械加工で十分に深い段落ち部（スライダー１に対して傾斜して入ってきた空気流によって浮上力を得られないほど深く形成された段落ち部）のサンプルを作製した。
　【００２５】
　図４から分かるように、深さＭ，Ｎが１５μｍ以上になると、ほとんど機械加工の段落ち部と同じ測定結果になっているので、浮上力を得る事ができなくなっていることが分かり、その結果深さＭ，Ｎは１５μｍ以下が好ましい事が分かる。
　【００２６】
　上記結果より、底面８，９，１２，１３の最大表面粗さＲｍａｘは１．５μｍ以下が好ましい事がわかる。
　【００２７】
　また、浮上レール２，３を分割形成している段落ち部１４は、機械加工、砥流噴出加工、レーザー加工等で形成されている。また段落ち部６，７，１０，１１はイオンビームエッチング、リアクティブイオンビームエッチング等のドライエッチング法で形成される。
　【００２８】
　【発明の効果】
　本発明は、
浮上面から段落ちした第１の段落ち部と、第１の段落ち部よりも深く段落ちした第２の段落ち部とを備え、第２の段落ち部によって浮上レールを分割形成しており、浮上レール上に第１の段落ち部を形成したスライダーであって、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが第１の段落ち部の浮上面からの深さの１０％以内であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成するかもしくは、第１の段落ち部の底面の最大表面粗さが１．５μｍ以下であり、しかも第１の段落ち部はドライエッチングで形成した
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施の形態におけるスライダーを示す斜視図
　【図２】
　本発明の一実施の形態におけるスライダーを示す部分拡大図
　【図３】
　底面の最大表面粗さと、クラッシュ発生率の関係を示すグラフ
　【図４】
　深さＭ，Ｎに対する媒体の周速と浮上量の関係を示すグラフ
　【符号の説明】
　１　スライダー
　２，３　浮上レール
　４，５　浮上面
　６，７，１０，１１，１４　段落ち部
　８，９，１２，１３　底面