(57)【要約】  本発明の発光表示装置用隔壁は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素を含み、前記少なくとも１つの元素の濃度は前記隔壁の内部側よりも表面側のほうが高い。
2010052931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素を含む発光表示装置用隔壁であって、
前記少なくとも１つの元素の濃度は前記隔壁の内部側よりも表面側のほうが高い、発光表示装置用隔壁。
【請求項２】
前記隔壁において、前記少なくとも１つの元素を除く、前記隔壁材料を構成する他の元素の分布は、実質的に均一である請求項１に記載の発光表示装置用隔壁。
【請求項３】
前記少なくとも１つの元素を前記隔壁表面から内部へ拡散させることによって、前記少なくとも１つの元素の濃度が前記隔壁の内部側よりも表面側において高くなっている請求項２に記載の発光表示装置用隔壁。
【請求項４】
透明基板と、透明基板に設けられた複数のストライプ状の表示電極とを含む前面パネル、および
支持基板と、前記支持基板に設けられた複数のストライプ状のアドレス電極と、少なくとも各アドレス電極間に位置するように、前記支持基板に設けられた複数の隔壁と、前記隔壁間の各アドレス電極を覆うように配置された蛍光体層とを含む背面パネル、
を備え、
前記アドレス電極および前記表示電極が互いに略直交し、前記隔壁間の空間内に放電ガスを封止するように、前記前面パネルおよび前記背面パネルが対向配置されたプラズマ表示装置であって、
前記隔壁は、請求項１から３のいずれかに規定される発光表示装置用隔壁であるプラズマ表示装置。
【請求項５】
前記隔壁の表面は前記放電ガスと接している請求項４に記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】
前記放電ガスは、１５体積％以上のキセノンガスを含む請求項４に記載のプラズマ表示装置。
【請求項７】
可視光よりも短い波長の電磁波または電子線を放出する励起源と、
前記電磁波または電子線が放射される位置に配置された、請求項１から３のいずれかに規定される発光表示装置用隔壁と、
を備えた発光表示装置。
【請求項８】
隔壁を用意する工程（Ａ）と、
Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素を含む非水溶性有機金属化合物および非水性溶媒を含む溶液に前記隔壁を漬浸する工程（Ｂ）と、
前記非水性溶媒を除去し、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を得る工程（Ｃ）と、
前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を熱処理する工程（Ｄ）と、
を包含する発光表示装置用隔壁の製造方法。
【請求項９】
前記非水溶性有機金属化合物は、脂肪酸の金属塩、アセチルアセトン金属塩、不飽和カルボン酸金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトンから選ばれる少なくとも１種である請求項８に記載の発光表示装置用隔壁の製造方法。
【請求項１０】
前記工程（Ｄ）は、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した前記隔壁を５００℃以上６５０℃以下で加熱する請求項８に記載の発光表示装置用隔壁の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テレビなどの画像表示に用いられるプラズマ表示装置などの発光表示装置およびこれに用いられる背面パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高精細、高品位で大画面のテレビに対する需要が高まってきている。プラズマ表示装置（Plasma Display Panel（ＰＤＰ）ともいう）は、こうした特徴に加えて、薄型であり、また、軽量であるという特徴も備える。このため、プラズマ表示装置を用いたプラズマテレビが注目されている。【０００３】
プラズマ表示装置は、いわゆる３原色を加法混色することにより、フルカラー表示を行う。このフルカラー表示を行うために、ＰＤＰには３原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層が隔壁中に設けられている。蛍光体層を構成する蛍光体粒子は、プラズマ表示装置の背面パネル内で発生する中心波長が１４７ｎｍのＸｅの共鳴線や、中心波長が１７２ｎｍの分子線による真空紫外線により励起され、赤、緑、青各色の可視光を生成する。【０００４】
プラズマ表示装置では、放電セルリブ内にプラズマを閉じ込め紫外線を発生させる。従って、より多くの紫外線を発生させることが特性向上の大きな課題となる。特許文献１および２は放電セルを構成する背面パネルの隔壁にゲッター作用を有する層を設け、放電セル内の不純物を効率的に除去し、放電ガス純度を高めることによって、放電による紫外線を増大させる技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３４６７６２４号公報
【特許文献２】特開２００３−３０３５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
高精細なテレビ放送が普及するにつれて、画素数が１９２０(水平)×１０８０(垂直)であるフルスペックハイビジョンの表示装置が求められるようになってきた。フルスペックハイビジョンの表示装置では、従来の画素数が８５２(水平)×４８０(垂直)であるＮＴＳＣの表示装置と比較して、画素数が６倍であり、表示電極やアドレス電極の数が２．２５倍になる。したがって、フルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置では、単位インチあたりの発光セルの面積が、従来のＮＴＳＣ方式の表示装置におけるセルの１／６程度と非常に小さくなり、また、電極数も２．２５倍に増加することになる。【０００７】
上述した理由から、フルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置を実現するためには各セルの発光効率を高める必要がある。このため、従来のフルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置では、セルを構成する隔壁間隔を小さくし、発光しない領域である隔壁の面積を小さくしている。例えば、４２インチのフルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置であれば、１画素のサイズが０．４８ｍｍであり、各色のセルを分離する隔壁の厚さは、０．１６ｍｍ程度に設定されている。【０００８】
また、セルサイズが小さくなることによる発光効率の低下を防ぐために、放電ガスであるＸｅガスの濃度を高めている。例えば、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス中のＸｅガス分圧は１５％以上に高められている。【０００９】
しかし、この様な構造を採用する場合、セルの微細化に伴って放電空間が狭まり、放電で生じた電子が容易に隔壁側へドリフトして消滅する。このため、従来のパネルと同じ輝度を得るためには、より高い放電電圧を印加する必要がある。その結果、消費電力が増大し、輝度効率が低下するという新たな課題が生じる。【００１０】
特許文献１、２に開示された技術では、背面パネル内の不純物ガスの除去に主体を置いており上記課題を充分には解決できない。こうした課題は、プラズマ表示装置のみならず、電界放出型表示装置など、隔壁により形成される放電セルに放電を閉じ込め、蛍光体を用いて画像を表示する発光表示装置に共通である。【００１１】
本発明は上記従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、紫外線発光効率の良い発光表示装置用隔壁、プラズマ表示装置、発光表示装置および発光表示装置用隔壁の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の発光表示装置用隔壁は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素を含み、前記少なくとも１つの元素の濃度は前記隔壁の内部側よりも表面側のほうが高い。【００１３】
ある好ましい実施形態において、前記隔壁において、前記少なくとも１つの元素を除く、前記隔壁材料を構成する他の元素の分布は、実質的に均一である。【００１４】
ある好ましい実施形態において、前記少なくとも１つの元素を前記隔壁表面から内部へ拡散させることによって、前記少なくとも１つの元素の濃度が前記隔壁の内部側よりも表面側において高くなっている。【００１５】
本発明のプラズマ表示装置は、透明基板と、透明基板に設けられた複数のストライプ状の表示電極とを含む前面パネル、および支持基板と、前記支持基板に設けられた複数のストライプ状のアドレス電極と、少なくとも各アドレス電極間に位置するように、前記支持基板に設けられた複数の隔壁と、前記隔壁間の各アドレス電極を覆うように配置された蛍光体層とを含む背面パネルを備え、前記アドレス電極および前記表示電極が互いに略直交し、前記隔壁間の空間内に放電ガスを封止するように、前記前面パネルおよび前記背面パネルが対向配置されており、前記隔壁は、上記いずれかに規定される発光表示装置用隔壁である。【００１６】
ある好ましい実施形態において、前記隔壁の表面は前記放電ガスと接している。【００１７】
ある好ましい実施形態において、前記放電ガスは、１５体積％以上のキセノンガスを含む。【００１８】
本発明の発光表示装置は、可視光よりも短い波長の電磁波または電子線を放出する励起源と、前記電磁波または電子線が放射される位置に配置された、上記いずれかに規定される発光表示装置用隔壁とを備える。【００１９】
本発明の発光表示装置用隔壁の製造方法は、隔壁を用意する工程（Ａ）と、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素を含む非水溶性有機金属化合物および非水性溶媒を含む溶液に前記隔壁を漬浸する工程（Ｂ）と、前記非水性溶媒を除去し、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を得る工程（Ｃ）と、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を熱処理する工程（Ｄ）とを包含する。【００２０】
ある好ましい実施形態において、前記非水溶性有機金属化合物は、脂肪酸の金属塩、アセチルアセトン金属塩、不飽和カルボン酸金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトンから選ばれる少なくとも１種である。【００２１】
ある好ましい実施形態において、前記工程（Ｄ）は、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した前記隔壁を５００℃以上６５０℃以下で加熱する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうちの少なくとも１つの元素の濃度は隔壁の内部側よりも表面側のほうが高くなっている。この元素の酸化物は、高γ材料であるため、元素自体の酸化物が隔壁の表面に存在することよって二次電子の放出を促進し、隔壁の表面から、放電中に電子が多く供給することが可能となる。このため、本発明の発光表示装置用隔壁によれば、放電電圧が低下し、隔壁間隔が狭くなっても、放電で生じた電子が隔壁へドリフトして消滅せず、逆に電子を増やすことができ、輝度を向上させることができる。【００２３】
したがって、本発明によれば、高精細でパネル駆動時の輝度劣化を防止し、色むらや画面の焼きつきのない、長寿命で低消費電力のフルスペックハイビジョンなどの高精細プラズマ表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】（ａ）は本発明によるプラズマ表示装置の実施形態であって背面パネルの構造を示す概念的な断面図であり、（ｂ）は背面パネルの部分断面斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明による隔壁の実施形態の構造を示す模式的断面図であり、（ｂ）は隔壁表面近傍における特定の元素の深さ方向の濃度分布を示す模式図である。
【図３】本発明による隔壁の製造方法を示すフローチャートである。
【図４】本発明による隔壁の実施例のＸＰＳ分析結果を示している。
【図５】比較例のＸＰＳ分析結果を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
特許文献１および２に開示されるような従来技術は、背面パネルの隔壁表面全体または一部をＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3などからなる保護層で覆い、ゲッター効果によりセル内の不純物ガスを吸収し、発光効率を向上させる構造を採用している。しかし、このような保護層は一般に蒸着や固相反応によって作製されるため、凹凸を有する隔壁表面に均一にコーティングすることが難しく、また、保護層が隔壁表面を厚く覆う場合には放電中に剥離することが考えられる。
【００２６】
本願発明はこのような従来技術の課題に鑑みて、背面パネルの隔壁表面に保護層などをコーティングするのではなく、高二次電子放出率を有する金属を背面パネルの隔壁表層部分に添加することによって、隔壁の表層近傍における高二次電子放出率を有する金属酸化物の分布量を高め、隔壁表層における電子の消滅を抑制する。
【００２７】
以下、本発明による背面パネルおよび発光表示装置の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態では、プラズマ表示装置を発光表示装置の一例として詳細に説明する。
【００２８】
図１（ａ）は、本発明によるプラズマ表示装置の実施形態である面放電型ＡＣ型プラズマ表示装置５０の放電単位である背面パネル構造を模式的に示す断面図である。図１（ａ）に示すようにプラズマ表示装置５０は、前面パネル２と背面パネル３とを備える。
【００２９】
前面パネル２は、透明基板１０と、透明基板１０上に設けられた複数の表示電極４とを含む。透明基板１０は可視光を透過することが好ましく、例えば、ガラス基板によって構成される。表示電極４は、ストライプ状の走査電極（スキャン電極ともいう）５と維持電極（サスティン電極ともいう）６とを含み、好ましくはＩＴＯなどの透明導電性材料によって形成される。図示していないが、走査電極５および維持電極６上に、これらの電極の電気抵抗を低下させるための細線状のバス電極をさらに形成してもよい。好ましくは、表示電極４を覆うように、誘電体層７が透明基板１０の表面に設けられ、さらに、ＭｇＯなどからなる保護層８が設けられている。
【００３０】
図１（ｂ）は背面パネル３の部分断面斜視図である。図１（ａ）および（ｂ）に示すように、背面パネル３は、支持基板１１と、支持基板１１上に設けられた複数のアドレス電極（データ電極ともいう）１２と、隔壁１４と、蛍光体粒子１７を含む蛍光体層１５とを含む。支持基板１１は、ガラス基板などによって構成される。支持基板１１上にはストライプ状の複数のアドレス電極１２が設けられている。アドレス電極１２を覆うように支持基板１１上に誘電体層１３が設けられていてもよい。誘電体層１３は低融点ガラスなどからなる。
【００３１】
隔壁１４は、少なくとも各アドレス電極１２間に位置するように、支持基板１１に設けられた複数の第１隔壁１４ｎを含む。図１（ａ）に示す図では、第１隔壁１４ｎは、図１（ａ）の紙面に平行に配置されるため、示していない。より好ましくは、隔壁１４はアドレス電極１２と垂直に配置される複数の第２隔壁１４ｍも含み、第１隔壁１４ｎと第２隔壁１４ｍとで背面パネルの周囲を囲む井桁構造（ワッフルリブ構造）を構成している。井桁構造を採用することにより、隣接するセルへの発光漏れを防止することができる。
【００３２】
隔壁１４およびこれによって規定される空間が放電セル１６となる。放電セル１６は、背面パネル３において、アドレス電極１２のそれぞれに沿って一次元に配列されている。隔壁１４の高さＨは１２０μｍ程度である。また、隔壁１４の間隔Ｌは２００μｍ程度である。隔壁１４については以下において詳述する。
【００３３】
背面パネル３の各放電セル１６において、アドレス電極１２上には、誘電体層１３を介して蛍光体層１５が設けられている。図１（ｂ）に示すように、好ましくは、隣接する３つの放電セル内に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層１５ｒ、１５ｇ、１５ｂがそれぞれ配置され、この３つの放電セル１６で１画素を構成する。
【００３４】
図１（ａ）に示すように、前面パネル２および背面パネル３は、表示電極４およびアドレス電極１２が互いに略直交し、背面パネル３に設けられた隔壁１４が前面パネル２の保護層８と接することによって、隔壁１４間の空間、つまり、各放電セル１６の空間を封止するように配置されている。これにより、各放電セル１６において、表示電極４とアドレス電極１２とが直交し、かつ、対向している。
【００３５】
各放電セル１６には、放電用ガスとして、Ｘｅ（キセノン）を含むガスが封入されている。好ましくは、Ｘｅが１５体積％以上１００体積％以下の割合で含まれるキセノン・ネオンあるいはキセノン・ヘリウム、キセノン・アルゴンなどの混合希ガスが約数十ｋＰａの圧力で封入されている。
【００３６】
プラズマ表示装置５０において、まず点灯させたい放電セル１６のアドレス電極１２と走査電極５との間に電圧を印加し、アドレス放電を行う。これにより、放電セル１６内に壁電荷が蓄積する。続いて維持電極６と走査電極５との間に電圧を印加すると、アドレス放電による壁電荷が蓄積された放電セル１６のみ、表示放電５１が生じる。表示放電５１は、封止された放電用ガスのうちのＸｅの励起によって紫外線を発生する。発生した紫外線が蛍光体層１５の蛍光体粒子１７を励起し、所定の色の可視光を発光する。したがって、アドレス電極１２と走査電極５との選択によって、マトリクス状に配置された複数の背面パネル１６のいずれかを任意に選択し、発光させることができる。
【００３７】
次に隔壁１４の構造を詳細に説明する。図２（ａ）は、隔壁１４の断面構造を模式的に示している。図２（ａ）に示すように、隔壁１４はＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素１８を含んでいる。図２（ｂ）は元素１８の隔壁１４表面１４ｓからの濃度を示す模式的な濃度分布図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、元素１８は隔壁１４の表面近傍領域に存在しており、表面１４ｓに対して垂直な深さ方向において、元素１８の濃度は、隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっている。元素１８は隔壁１４内では、酸化物として存在していると考えられる。元素１８は少なくとも隔壁１４の表面１４ｓのうち蛍光体層１５で覆われていない表面１４ｓ近傍領域に存在していればよい。
【００３８】
隔壁１４全体は、セラミックスまたは低融点ガラスからなる。具体的には、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3やＭｇＯを主成分としＳｒ、Ｂａ、Ｃａ、Ｙ、Ｔｉなどを添加してなるセラミックス、または、ＣａＯ−ＭｇＯ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系を主成分としＮａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｂ、Ｂｉ、Ｙ、Ｔｉなどを添加してなる低融点ガラスからなる。元素１８は、低融点ガラスを構成する元素の１つであってもよいし、元素１８は低融点ガラスを構成していなくてもよい。元素１８がセラミックスまたは低融点ガラスを構成している場合には、元素１８は隔壁１４全体に含まれる。しかし、図２（ｂ）において点線で示すように、隔壁１４の表面近傍領域においては、元素１８の濃度は隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっている。
【００３９】
このような元素１８の濃度分布は、以下において詳細に説明するように、元素１８を隔壁１４の表面１４ｓから内部へ拡散させることによって実現される。本願発明者の検討によれば、隔壁１４の表面１４ｓから元素１８を内部へ拡散させる場合、元素１８の深さ方向の濃度は、表面側１４ｓにおいて高く、内部へ向かうほど単調に減少する分布をとる。元素１８が隔壁１４内部へ拡散する距離Ｄは、隔壁１４を構成する材料や元素１８および元素１８を拡散させる条件に依存する。上述した材料で隔壁１４を構成し、以下で説明する方法によって元素１８を隔壁１４内へ拡散させる場合、元素１８が拡散する距離Ｄは数ｎｍから数百ｎｍ程度である。本発明では、表面１４ｓから２０ｎｍ程度の深さｄまでにおいて元素１８が拡散しており、かつ、表面１４ｓから深さｄまでの範囲において、元素１８の濃度が隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっていればよい。元素１８が拡散している距離Ｄが上述の深さｄよりも浅くてもよい。
【００４０】
なお、隔壁を構成する低融点ガラスなどの材料が元素１８を含むが元素１８が隔壁の表面から隔壁内部へ拡散されていない場合、元素１８の濃度は隔壁の深さ方向に均一である。この場合、隔壁の表面近傍にも元素１８は存在する。しかし、この場合の元素１８の濃度は、低融点ガラスなどの材料の組成で定まり、一般に、表面から元素１８を隔壁内部へ拡散させる場合に比べて隔壁の表面近傍にける元素１８の濃度に比べて低くなる。このため、以下で説明するように元素１８による本発明の効果は、十分には得られないと考えられる。
【００４１】
元素１８を除く隔壁材料を構成する他の元素の深さ方向における分布は、実質的に均一であることが好ましい。つまり、元素１８が表面１４ｓから拡散されていることを除けば、隔壁１４は実質的に均一な組成によって構成されていることが好ましい。ここで、実質的にとは、例えば、大気中において隔壁１４が保管されることによって、隔壁１４の最表面がわずかに酸化したり、プラズマ表示装置内に隔壁１４が配置され、放電環境に曝されることによって、隔壁を構成する元素の一部が脱離したり、隔壁１４を製造する際に不可避的に生じる構成元素の分布は無視するという意味である。
【００４２】
隔壁１４の表面近傍における元素１８の分布は、ＸＰＳ（X-ray photoelectron spectroscopy）など、試料の最表面部分の元素分析が可能な分析方法によって検出することが可能である。ＸＲＤ（X‐ray diffraction）などの方法では、試料全体の元素の含有量が評価されるため、表面近傍の元素の検出は困難である。元素１８は隔壁１４の表面近傍に含まれるため、元素１８の定量的な評価は一般には難しい。
【００４３】
上述したように、従来技術では、ＭｇＯやＡｌ2Ｏ3などからなる保護層で隔壁が覆われていた。この場合、保護層を隔壁の表面に設けることにより、プラズマ表示装置において、放電に寄与しないリブや保護層などの構造体部分の体積が増え、セル容積が小さくなってしまう。その結果、プラズマ表示装置の高精細化によりセルサイズが小さくなれば、よりいっそうセル容積が小さくなり、各セルからの発光強度が低下する。また、保護層を隔壁の表面に設ける場合、保護層がイオンの衝突により剥離しやすいという課題が生じる場合もあった。
【００４４】
これに対し、本願発明では、元素１８は隔壁１４の内部に取り込まれ、隔壁１４を構成するセラミックスや低融点ガラス内で酸化された状態をとっていると考えられる。このため、ＸＰＳなどの分析手法によって明瞭に確認できる程度には、元素１８の酸化物層が隔壁１４の表面１４ｓに存在していない。隔壁１４がセラミックスによって構成される場合には、元素１８は酸化物として、セラミックスの粒子内よりも粒界に多く存在している。このため、本願発明では、セル容積が小さくなることはない。
【００４５】
元素１８であるＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの酸化物は、電子放出性能が良い材料（高γ材料）として知られており、元素１８の酸化物が隔壁１４の表面近傍領域に存在することよって二次電子の放出を促進し、隔壁１４の表面１４ｓから、放電中に電子を多く供給することが可能となる。これにより、放電電圧を低下させることができる。また、放電電圧が低下するため、放電中のイオンの加速も弱められ、隔壁に衝突した場合の衝撃強度も低下する。したがって、イオンの衝突による隔壁の劣化を抑制することができる。さらに、このような機能を発揮する元素１８は隔壁１４の表面から内部に存在しているため、元素１８が放電中のイオンの衝突により隔壁１４から脱離することはほとんどない。
【００４６】
また、隔壁１４の表面１４ｓから電子が放出されやすくなり、隔壁１４から放出された電子が、隔壁１４の表面１４ｓ全体に広がる。その結果、隔壁間隔が狭くなっても、放電で生じた電子が、隔壁１４へドリフトして消滅せず、逆に電子を増やすことができる。したがって、電子の増加により、放電電圧が低下し、さらに高濃度のＸｅを効率よく励起することができる。これにより、１４７ｎｍ、１７２ｎｍの紫外線の発生確率が増大して、輝度向上につながると考えられる。
【００４７】
このような効果は、隔壁１４の表面１４ｓ近傍にある元素１８に隔壁１４内浸入した電子が衝突、二次電子が隔壁１４の表面１４ｓからセル内へ放出されることにより得られるため、隔壁１４において元素１８が深く内部にまで拡散している必要はない。表面１４ｓから上述した深さｄまでに元素１８が存在すれば、この効果を得ることができる。本発明によれば、隔壁１４の表面１４ｓから元素１８を拡散させることによって、元素１８の拡散する距離Ｄが短い場合でも、元素１８の濃度が隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっているために、本発明の効果が得られやすい。
【００４８】
したがって、本発明によれば、パネル駆動時の輝度劣化を防止することができ、色むらや画面の焼きつきのない、長寿命で低消費電力のフルスペックハイビジョンなどの高精細プラズマ表示装置を得ることができる。
【００４９】
次に隔壁１４およびプラズマ表示装置５０の製造方法を説明する。まず図３を参照しながら隔壁１４の製造方法を説明する。図３に示すように、低融点ガラスからなる背面パネルを用意する（ステップＳ１０）。
【００５０】
次に、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの少なくとも一種類以上の元素を含む非水溶性の有機金属化合物を含む溶液を用意し、前記背面パネルを浸漬する(ステップＳ１１）。
【００５１】
非水溶性有機金属化合物（有機金属錯体）としては、飽和カルボン酸金属塩、特に飽和脂肪酸の金属塩（ナフテン酸、オクチル酸、ステアリン酸、ラウリン酸、カプロン酸等の金属塩）、および、不飽和カルボン酸金属塩（メタクリル酸、アクリル酸等の金属塩）などのカルボン酸金属塩、アセチルアセトン金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトン類を用いることが好ましい。これらの非水溶性有機金属化合物は、非水性溶媒、つまり有機溶媒に溶解する。有機溶媒としては、酢酸ブチル、トルエン、キシレン、ベンゼン類などの炭化水素を用いることが好ましい。
【００５２】
例えば、２−エチル−ヘキサン酸Ｍｇ塩を非水溶性有機金属化合物として用い、これらをキシレンに溶解することによって、有機金属化合物を含む溶液を調製する。有機金属化合物の濃度は、例えば、０．５ｍｏｌ／Ｌである。
【００５３】
これらの有機金属化合物を隔壁１．０重量部に対して０．０５〜５．０重量部添加し、さらに希釈剤としてキシレン溶液を１．０〜５．０重量部添加した。有機金属化合物を含む溶液の望ましい添加量は０．０５重量部以上３．０重量部未満であった。
【００５４】
添加量が０．０５重量部未満では劣化の抑制効果が現れなかった。また３．０重量部以上では隔壁が有機金属化合物の酸化物でコーティングされ、パネルの初期の発光強度が低下した。好ましい添加量は、０．０５重量部以上３．０重量部以下の範囲であった。
【００５５】
有機金属化合物を含む溶液に隔壁を５〜１０分程度浸漬した後、自然分離により余分な溶液を除去し、自然乾燥または１２０℃以上１８０℃以下の温度のオーブンを用いて乾燥させ、有機溶媒であるキシレンもしくは酢酸ブチルを除去する（ステップＳ１２）。これにより、有機金属化合物が付着した背面パネルを得ることができる。
【００５６】
その後、背面パネルを大気中で、５００℃以上６５０℃以下の温度、より好ましくは、５２０℃以上６００℃以下の温度で熱処理する（ステップＳ１３）。保持時間は１０分以上１２０分以下であることが好ましい。熱分析の結果からは、有機金属化合物は、約４８０℃で分解が始まる。１０分より短い場合、有機金属化合物中のＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒまたはＹ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの隔壁への拡散が十分ではない。また、炭素等が残留し、初期特性や寿命特性に影響を与える可能性がある。一方、１２０分より加熱時間が長いと隔壁の酸化による輝度や色度の変化が起こりやすくなる。より好ましい保持時間は３０分以上６０分以下である。このようにして、本実施形態の隔壁を得ることができる。大気中以外にも窒素中など、酸素分圧をコントロールした条件で熱処理を行ってもよい。
【００５７】
このように、本発明による隔壁の製造方法では、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの少なくとも１種を非水溶性有機金属化合物として用い、有機溶媒に溶解させて隔壁の表面に付着または吸着させる。水分子や水酸基（−ＯＨ基）を含有しない有機金属化合物（有機金属錯体）と、水分子や水酸基（−ＯＨ基）を含有しない有機溶媒（非水性溶媒）とを混合した溶液に、無機酸化物である背面パネルを室温中で浸漬する。これにより、背面パネルの隔壁表面に、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂが酸化しない状態で、有機金属化合物のまま吸着させることができる。
【００５８】
この時、混合溶液中には、水分や水酸基（−ＯＨ基）が存在しないため、有機金属化合物（有機金属錯体）は、混合溶液中で加水分解せずに、そのままの状態（有機金属化合物の状態）で隔壁表面に吸着させることができると考えられる。
【００５９】
混合溶液中の有機溶媒を除去し、大気中で乾燥させることにより、表面に有機金属化合物が付着した隔壁を得ることができる。有機溶媒の除去方法は自然分離でも良いが遠心分離等で有機溶媒を除去するほうが、有機金属化合物をより均一な厚さで隔壁表面に付着させることができる。
【００６０】
その後、この有機金属化合物が付着した隔壁を、大気中で加熱することにより、隔壁表面で有機金属化合物が熱分解し、金属が隔壁内部へ拡散するとともに隔壁の低融点ガラス材料と化学反応が生じる。このとき、有機金属化合物が付着した隔壁の熱処理温度は、上述した範囲で行うが、有機金属化合物の熱分解反応は、発熱反応であるため、隔壁と有機金属化合物との界面は、局所的に熱処理温度を超えているものと推定される。このため、有機金属化合物を構成する金属元素成分が低融点材料の格子内に拡散し、低融点材料の性質を保ったまま、酸素と結合でき、拡散した元素の濃度の高い領域を作り出していると考えられる。
【００６１】
従来の、純水又はアルコール水溶液中に分散あるいは溶解させて隔壁表面に保護膜を形成する方法では、純水又はアルコール水溶液中に分散あるいは溶解させている時に有機金属化合物が加水分解し、金属水酸化物が隔壁表面に付着する。水酸化物が付着すると、次の熱処理工程で、脱水反応が起こり、隔壁と付着した水酸化物との界面では、吸熱反応になるため、実効的に温度が下がることなり、付着した水酸化物が、隔壁の格子内へ拡散しにくい。したがって、従来の方法では、隔壁表面を覆うように金属酸化膜が形成するのみであり、隔壁内部へ金属が拡散しにくいと考えられる。脱水反応が十分には進行せず、金属水酸化物や金属炭酸化物のまま隔壁の表面に比較的厚い層を形成すると考えられる。
【００６２】
このような理由から、上述の方法にしたがって、隔壁にＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの少なくとも１種を拡散させる場合、これらの金属は、隔壁表面において酸化物として存在しないことが好ましい。しかし、製造工程上、隔壁材料の三重点等にこれらの酸化物が偏析しても、隔壁の反射効率が大幅に変化しない程度であれば、特に問題はない。
【００６３】
ただし、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ等アルカリ土類金属の酸化物は、大気中での変質が生じやすく、水酸化塩や炭酸塩になりやすい。このため、上述の方法によって作製した隔壁は、表面に上述した酸化物が偏析している可能性もあるため、不活性雰囲気等で保管することが好ましい。
【００６４】
次に図１（ａ）および（ｂ）を参照しながらプラズマ表示装置５０の製造方法を説明する。
【００６５】
１．背面パネル３の作製
まず、ガラス基板からなる支持基板１１表面に膜厚が例えば数μｍでありストライプ状のアドレス電極１２を形成する。 電極材料としては、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｒ（クロム）、Ｃｕ（銅）、Ｐｄ（パラジウム）などの金属やこれらの組み合わせ、あるいはこれらの金属層を積層して形成される積層電極も必要に応じて使用できる。
【００６６】
その後、アドレス電極１２を覆うように支持基板１１上に誘電体層１３を形成する。誘電体層１３は、鉛系あるいは非鉛系の低融点ガラスやＳｉＯ2などから形成できる。
【００６７】
次に、誘電体層１３上に、隔壁１４を形成する。誘電体層１３の上全面に低融点ガラス材料ペーストを塗布し、焼成した後、図１（ｂ）に示すようにアドレス電極１２と平行な隔壁１４ｎおよびアドレス電極１２と垂直な隔壁１４ｍとによる井桁状のパターンをサンドブラスト法やフォトリソグラフィ法などにより形成する。隔壁１４により、隣接する放電セルが互いに仕切られる。隔壁１４の間隔は、例えば、２００μｍである。
【００６８】
次に、蛍光体層１５を隔壁１４によって区切られた各放電セル１６内の少なくともアドレス電極１２上に形成する。蛍光体層１５は、蛍光体色ごとに蛍光体粒子とビヒクルなどからなるペーストを印刷によって塗布し、焼成することによって形成する。赤、緑、青の３色の蛍光体材料として、例えば、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｔｂ、およびＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕを用いる。ＡＣ型プラズマ表示装置用の組成を有する蛍光体材料を用いてもよい。
【００６９】
その後、上述したように、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂを含む有機金属化合物を背面パネルの隔壁表面に付着させ、熱処理を行なうことによって、有機金属化合物の分解およびＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの隔壁１４内部への拡散を行なう。これらの工程は、蛍光体層１５の形成前に行なってもよい。あるいは、蛍光体層１５となるペーストを塗布する前または後にＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂを含む有機金属化合物を背面パネルの隔壁表面に付着させ、蛍光体層１５となるペーストの焼成と、有機金属化合物の分解およびＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの隔壁１４内部への拡散とを同一の熱処理によって行なってもよい。これにより背面パネル３が完成する。
【００７０】
２．前面パネル２の作製
図１（ａ）に示すように、ガラス基板からなる透明基板１０上にストライプ状の走査電極５および維持電極６を形成する。具体的には、透明基板１０上に、例えば、厚さ１００ｎｍ程度の、ＩＴＯ、ＳｎＯ2、ＺｎＯなどからなる比較的低抵抗で透明な、走査電極５および 維持電極６を形成する。図示していないが、走査電極５および維持電極６の電気抵抗を下げるために、好ましくは、Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）系電極材料などにより、厚さが例えば数μｍであり、細線状のバス電極を走査電極５および 維持電極６上に形成する。
【００７１】
次に、走査電極５および維持電極６を覆うように透明基板１０上に誘電体層７を形成する。誘電体層７は、鉛系あるいは非鉛系の低融点ガラスやＳｉＯ2などからなり、厚さは数μｍ〜数十μｍである。誘電体層７上に、放電開始電圧をより低下させるように、２次電子放出係数γが大きく、かつ、誘電体層７を放電時のイオン衝撃から保護することができるよう耐スパッタ性が高く、また、光学的に透明で電気絶縁性が高い、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）などの金属酸化物材料により、厚さ５００ｎｍ程度の保護膜８を形成する。これにより、前面パネル２が形成される。
【００７２】
３．パネルの張り合わせによるプラズマ表示装置５０の組み立て
このようにして作製された前面パネル２と背面パネル３は、前面パネルの表示電極４と背面パネルのアドレス電極１２とが直交するように重ね合わされるとともに、パネル周縁に封着用ガラスを介挿させる。これを例えば４５０℃程度で１０〜２０分間焼成し、高真空（例えば、１．１×１０-4Ｐａ）に排気したのち、放電ガス（例えば、Ｘｅ分圧が１５％以上のＨｅ−Ｘｅ系、Ｎｅ−Ｘｅ系、Ａｒ−Ｘｅ系、Ｋｒ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入する。これによりプラズマ表示装置が完成する。
【実施例】
【００７３】
以下、本発明による隔壁およびプラズマ表示装置を作製し、特性を評価した結果を説明する。【００７４】
（実施例１）
まず、表１に示す有機金属化合物を用い、上述の方法にしたがって、隔壁を作製した。有機金属化合物を溶解する溶媒には、キシレンを用い、有機金属化合物の濃度を０．１ｍｏｌ／Ｌになるように予め調整した。【００７５】
次に、ガラス容器中において、背面パネルを上記溶液中に約１０分間漬浸した。その後、背面パネルを取り出し、余分な溶液を分離した。次に、空気中、約１５０℃で背面パネルを１時間保持して乾燥させた後、大気中、約６００℃で１０分熱処理行った。以降この工程を隔壁の有機金属処理と呼ぶ。【００７６】
【表１】
2010052931.tif 000003
【００７７】
まず、作製した隔壁において、有機金属中の金属がどのような状態で隔壁中において存在しているのかを調べるために、オクチル酸Ｍｇで処理したサンプルＡ１１の隔壁における元素をＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳまたはＥＳＣＡ）により分析した。ＸＰＳは固体の表面近傍の原子の酸化状態を評価することができる。【００７８】
図４は、サンプルＡ１１のＸＰＳ分析結果を示している。図５はスパッタ法により形成したＭｇＯからなる膜が表面に設けられた隔壁を約６００℃で１０分熱処理した試料のＸＰＳ分析結果を示している。いずれもＯ２ｓのスペクトルを示している。図４および図５を比較すれば明らかなように、サンプルＡ１１の酸素のＸＰＳは隔壁表面に設けられた酸化マグネシウムの酸素のＸＰＳとは異なっていることから、サンプルＡ１１の隔壁の表面には、酸化マグネシウムとして酸素がほとんど存在していないことが分かる。【００７９】
つまり、サンプルＡ１１の隔壁は、従来のスパッタ法によるＭｇＯからなる保護層が形成された隔壁のような構造をとっておらず、有機金属処理に用いたＭｇは隔壁の表面から内部において、ＭｇＯと異なる酸化状態で存在していることが分かる。【００８０】
表１に示す種々の有機金属化合物のうち、Ｍｇ（サンプルＡ１、Ａ１１、Ａ１２）、Ｂａ（サンプルＡ８、Ａ１５、Ａ１８）、Ｓｒ（サンプルＡ１６、Ａ１９）Ｃａ（サンプルＡ３、Ａ７、Ａ１３）Ｙ（サンプルＡ９）を金属元素とする有機金属化合物を用いて処理を行ったサンプルは、サンプルＡ２３に比べて放電電圧の低下が見られた。これは、これらのサンプルでは二次電子の消滅が抑制され、放電効率が高まったため、放電電圧も低下したものと考えられる。【００８１】
これに対し、Ｎｉ（サンプルＡ１０）、Ｚｎ（サンプルＡ２、Ａ６、Ａ１４）、Ｍｎ（サンプルＡ４、Ａ５、Ａ１７）、を金属元素とする有機金属化合物を用いて処理を行ったサンプルは、サンプルＡ２３に比べ、放電電圧が同等もしくは上昇する傾向が見られた。【００８２】
これらの結果から、有機金属化合物として、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹを含む有機金属化合物を用いてこれらの金属を隔壁の内部へ拡散させ、これらの金属の酸化物を隔壁の表面近傍に配置させるのが好ましいことが分かった。また、Ｙと同じ希土類元素であるＬａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの酸化物は高γ材料として知られる。このため、これらの元素の有機金属化合物を用いてこれらの元素を隔壁の表面から内部へ拡散させることにより放電電圧を低下させることができると考えられる。【００８３】
また、サンプルＡ２１、Ａ２２は、有機金属化合物の加水分解が急速に進み評価可能なサンプルを得るのが難しかった。これらのサンプルは、炭素数が少ないため、有機金属化合物が空気中で不安定であり、加水分解しやすいものと考えられる。したがって、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂを含む有機金属化合物であっても、炭素数が２から１２の有機金属化合物を用いる場合には、有機金属化合物の加水分解が生じ易いと考えられる。【００８４】
ただし、サンプルＡ１は加水分解することなく、試料を作製することができたため、有機化合物の構造によっては炭素数が１４程度であっても安定な有機金属化合物も存在すると考えられる。これらのことから、炭素数が少なくとも１４以上の有機金属化合物を用いることが好ましいと考えられる。また、炭素数が３６（サンプルＡ１２など）であっても、有機金属化合物が安定な状態で隔壁表面に均一に付着し、熱処理により隔壁内部に均一に拡散することによって、放電効率が高まり、放電電圧も低下したものと考えられる。しかし、炭素鎖が長くなり過ぎると熱処理時に炭素鎖が分解しにくくなり、隔壁内部へ金属が拡散しにくくなると考えられる。したがって、金属数１に対する好ましい炭素数は１４から３０程度の範囲内であると見られる。【００８５】
以上の結果から背面パネルの表面に非水溶性有機金属化合物に付着させ、熱処理を行って金属を隔壁内に拡散させることによって、パネルの放電電圧を低下させることが分かった。また、今回用いた溶液の濃度は０．１ｍｏｌ/Ｌであるが、０．０５ｍｏｌ/Ｌでも効果があった。ただし、非水溶性有機金属化合物の濃度が、１．０ｍｏｌ/Ｌを超えると製造工程時にムラや剥離が発生しやすく取り扱いに困難となった。【００８６】
これらの結果より、有機金属処理を実施した隔壁では隔壁の格子間のイオン結合がより強固になりより多くの電子やイオンを発生し、放電電圧の低下を導くと言った効果が期待できる。また、有機金属の構成元素は隔壁の表面にコーティング膜のように物理的に堆積するのではなく格子内部に拡散することも分かった。【００８７】
（実施例２）
本発明による隔壁を用いたプラズマ表示装置を作製し、特性を評価した。【００８８】
まず、表２に示す有機金属化合物を用い、上述の方法にしたがって、隔壁を作製した。蛍光体材料には市販のＲＧＢ材料を用いた。有機金属化合物を溶解する溶媒には、キシレンを用い、有機金属化合物の濃度を０．１ｍｏｌ／Ｌになるように予め調整した。【００８９】
【表２】
2010052931.tif 000004
【００９０】
実施例１と同様、ガラス容器中において、背面パネルを上記溶液中に約１０分間浸積した。その後、取り出し余分な溶液を分離した。次に、空気中、約１５０℃で背面パネルを１時間保持して乾燥させた後、大気中、約６００℃で１０分熱処理行った。【００９１】
このようにして作製された隔壁を用い、上述の方法によってプラズマ表示装置を作製した。実施例のサンプルＢ１〜Ｂ１１および比較例のサンプルＢ１２〜Ｂ１８の画素数は１９２０(水平)×１０８０(垂直)であり、５０インチフルスペックのハイビジョン仕様を備えている。１セルピッチ(１隔壁ピッチ)は、０．２０ｍｍ(水平)とした。サンプルの評価は以下のように行った。【００９２】
有機金属処理を行ったサンプル（Ｂ１からＢ１１）と、有機金属処理を行わなかったサンプル(Ｂ１８)及び、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙのアルコキシドを使用して、加水分解処理し、隔壁の表面に酸化物をコートしたサンプル(Ｂ１２−Ｂ１８)について、放電電圧（パネルへの印加電圧を上昇させ、全面均一に点灯する電圧）を測定した。【００９３】
次に、各サンプルを最適駆動電圧１７０〜２４０Ｖ、１００ＫＨｚで駆動し、全白画像の条件で駆動したときの放電電圧と輝度を測定した。【００９４】
表２に示すように、有機金属処理を行ったサンプルＢ１〜Ｂ１１は、有機金属処理を行っていないサンプルＢ１８や、金属アルコキシドを用い、加水分解処理を施した比較例のサンプルＢ１２〜Ｂ１７に比べ、放電電圧が低く、輝度が高くなっている。これは、金属数１に対する炭素数が多くなるほど有機金属化合物が空気中で安定であり、加水分解が起こりにくいため、酸化物を形成することなく、金属が隔壁内部へ拡散しやすくなるためと考えられる。しかし、炭素鎖が長くなり過ぎると、加熱時に炭素鎖が分解しにくくなり、金属が拡散しにくくなると考えられる。したがって、金属数１に対する炭素数は、１４〜３０の範囲にあることが好ましいと見られる。このように、隔壁の表面からＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹのうち少なくとも１つの元素を拡散させることにより、隔壁表面近傍の欠陥やイオン欠損が修復されるため、輝度の向上を制御できる。また、拡散するこれらの金属は、隔壁内で、酸素とイオン結合しており、電子を放出しやすい。このため、輝度が向上するとともに、放電電圧を低下させることができる。【００９５】
Ｙと同じ希土類元素であるＬａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの酸化物は高γ材料として知られる。このため、これらの元素の有機金属化合物を用いてこれらの元素を隔壁の表面から内部へ拡散させることにより放電電圧を低下させることができると考えられる。【００９６】
以上の結果から、本発明による隔壁を用いたプラズマ表示装置を作製した場合でも、隔壁表面に非水溶性有機金属化合物に付着させ、熱処理を行って金属を隔壁内に拡散させることによって、放電で生じた電子が隔壁へドリフトして、消滅するのを抑制することができる。また、電子の放出量を増加させることができる。これにより、放電電圧が低下し、さらに高濃度のＸｅを効率よく励起するため、結果的に１４７ｎｍ、１７２ｎｍの紫外線の発生確率増大し、輝度向上に繋がる。したがって、プラズマ表示装置におけるパネルの放電電圧が低下し、輝度が向上する。また、隔壁内における格子のイオン結合がより強固になり、耐イオン衝撃が向上すると言える。【００９７】
以上、本発明によれば、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂから選ばれる少なくとも１種の元素が、隔壁の表面から内部へ拡散させられていることによって、これらの元素の酸化物は、高γ材料であるため、二次電子の放出を促進し、隔壁の表面から、放電中に電子が多く供給することが可能となる。これにより、従来の水溶液やアルコール溶液中で隔壁表面に金属酸化物を物理的にコーティングさせていた隔壁では得られなかった特性を示す。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
本発明による隔壁によれば、隔壁の劣化が抑制され、放電電圧の低下と高い輝度を達成することができる。この隔壁は、種々のプラズマ表示装置や、電界放出型ディスプレイに好適に用いられる。【００９９】
また、本発明のプラズマ表示装置は、放電電圧が低下し、輝度が向上し、輝度劣化を防止することができるため、高精細で低消費電力のプラズマ表示装置に好適に用いられる。【０１００】
また、本発明の隔壁は種々の発光装置にも好適に用いられる。
【符号の説明】
【０１０１】
２    全面パネル
３    背面パネル
４    表示電極
５    走査電極
６    維持電極
７    誘電体層
８    保護層
１０    透明基板
１１    支持基板
１２    アドレス電極
１３    誘電体層
１４    隔壁
１４ｓ  表面
１５    蛍光体層
１６    背面パネル
１７    蛍光体粒子
１８    拡散した元素
５０    プラズマ表示装置
５１    表示放電
Ｄ      表面１４ｓからの深さ（距離）
Ｈ      隔壁１４の高さ
Ｌ      隔壁１４の間隔
Ｓ１０  隔壁を用意するステップ
Ｓ１１  隔壁を、有機金属化合物を含む溶液に浸漬するステップ
Ｓ１２  有機溶媒を除去するステップ
Ｓ１３  熱処理するステップ
【図１】
2010052931.tif 000005
【図２】
2010052931.tif 000006
【図３】
2010052931.tif 000007
【図４】
2010052931.tif 000008
【図５】
2010052931.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月7日(2010.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素を拡散させた発光表示装置用隔壁であって、
前記少なくとも１つの元素の濃度は前記隔壁の内部側よりも表面側のほうが高く、前記濃度が、前記表面側から前記内部側へ単調に減少している、発光表示装置用隔壁。
【請求項２】
前記隔壁において、前記少なくとも１つの元素を除く、前記隔壁材料を構成する他の元素の分布は、実質的に均一である請求項１に記載の発光表示装置用隔壁。
【請求項３】
前記少なくとも１つの元素を前記隔壁表面から内部へ拡散させることによって、前記少なくとも１つの元素の濃度が前記隔壁の内部側よりも表面側において高くなっている請求項２に記載の発光表示装置用隔壁。
【請求項４】
透明基板と、透明基板に設けられた複数のストライプ状の表示電極とを含む前面パネル、および
支持基板と、前記支持基板に設けられた複数のストライプ状のアドレス電極と、少なくとも各アドレス電極間に位置するように、前記支持基板に設けられた複数の隔壁と、前記隔壁間の各アドレス電極を覆うように配置された蛍光体層とを含む背面パネル、
を備え、
前記アドレス電極および前記表示電極が互いに略直交し、前記隔壁間の空間内に放電ガスを封止するように、前記前面パネルおよび前記背面パネルが対向配置されたプラズマ表示装置であって、
前記隔壁は、請求項１から３のいずれかに規定される発光表示装置用隔壁であるプラズマ表示装置。
【請求項５】
前記隔壁の表面は前記放電ガスと接している請求項４に記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】
前記放電ガスは、１５体積％以上のキセノンガスを含む請求項４に記載のプラズマ表示装置。
【請求項７】
可視光よりも短い波長の電磁波または電子線を放出する励起源と、
前記電磁波または電子線が放射される位置に配置された、請求項１から３のいずれかに規定される発光表示装置用隔壁と、
を備えた発光表示装置。
【請求項８】
隔壁を用意する工程（Ａ）と、
Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素を含む非水溶性有機金属化合物および非水性溶媒を含む溶液に前記隔壁を漬浸する工程（Ｂ）と、
前記非水性溶媒を除去し、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を得る工程（Ｃ）と、
前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を熱処理することにより、前記少なくとも１つの元素を拡散させた隔壁であって、前記少なくとも１つの元素の濃度が前記隔壁の内部側よりも表面側のほうが高く、前記濃度が、前記表面側から前記内部側へ単調に減少している隔壁を得る工程（Ｄ）と、
を包含する発光表示装置用隔壁の製造方法。
【請求項９】
前記非水溶性有機金属化合物は、脂肪酸の金属塩、アセチルアセトン金属塩、不飽和カルボン酸金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトンから選ばれる少なくとも１種である請求項８に記載の発光表示装置用隔壁の製造方法。
【請求項１０】
前記工程（Ｄ）は、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した前記隔壁を５００℃以上６５０℃以下で加熱する請求項８に記載の発行表示装置用隔壁の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月10日(2011.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テレビなどの画像表示に用いられるプラズマ表示装置などの発光表示装置およびこれに用いられる背面パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高精細、高品位で大画面のテレビに対する需要が高まってきている。プラズマ表示装置（Plasma Display Panel（ＰＤＰ）ともいう）は、こうした特徴に加えて、薄型であり、また、軽量であるという特徴も備える。このため、プラズマ表示装置を用いたプラズマテレビが注目されている。
【０００３】
プラズマ表示装置は、いわゆる３原色を加法混色することにより、フルカラー表示を行う。このフルカラー表示を行うために、ＰＤＰには３原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層が隔壁中に設けられている。蛍光体層を構成する蛍光体粒子は、プラズマ表示装置の背面パネル内で発生する中心波長が１４７ｎｍのＸｅの共鳴線や、中心波長が１７２ｎｍの分子線による真空紫外線により励起され、赤、緑、青各色の可視光を生成する。
【０００４】
プラズマ表示装置では、放電セルリブ内にプラズマを閉じ込め紫外線を発生させる。従って、より多くの紫外線を発生させることが特性向上の大きな課題となる。特許文献１および２は放電セルを構成する背面パネルの隔壁にゲッター作用を有する層を設け、放電セル内の不純物を効率的に除去し、放電ガス純度を高めることによって、放電による紫外線を増大させる技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３４６７６２４号公報
【特許文献２】特開２００３−３０３５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
高精細なテレビ放送が普及するにつれて、画素数が１９２０(水平)×１０８０(垂直)であるフルスペックハイビジョンの表示装置が求められるようになってきた。フルスペックハイビジョンの表示装置では、従来の画素数が８５２(水平)×４８０(垂直)であるＮＴＳＣの表示装置と比較して、画素数が６倍であり、表示電極やアドレス電極の数が２．２５倍になる。したがって、フルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置では、単位インチあたりの発光セルの面積が、従来のＮＴＳＣ方式の表示装置におけるセルの１／６程度と非常に小さくなり、また、電極数も２．２５倍に増加することになる。
【０００７】
上述した理由から、フルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置を実現するためには各セルの発光効率を高める必要がある。このため、従来のフルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置では、セルを構成する隔壁間隔を小さくし、発光しない領域である隔壁の面積を小さくしている。例えば、４２インチのフルスペックハイビジョンのプラズマ表示装置であれば、１画素のサイズが０．４８ｍｍであり、各色のセルを分離する隔壁の厚さは、０．１６ｍｍ程度に設定されている。
【０００８】
また、セルサイズが小さくなることによる発光効率の低下を防ぐために、放電ガスであるＸｅガスの濃度を高めている。例えば、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス中のＸｅガス分圧は１５％以上に高められている。
【０００９】
しかし、この様な構造を採用する場合、セルの微細化に伴って放電空間が狭まり、放電で生じた電子が容易に隔壁側へドリフトして消滅する。このため、従来のパネルと同じ輝度を得るためには、より高い放電電圧を印加する必要がある。その結果、消費電力が増大し、輝度効率が低下するという新たな課題が生じる。
【００１０】
特許文献１、２に開示された技術では、背面パネル内の不純物ガスの除去に主体を置いており上記課題を充分には解決できない。こうした課題は、プラズマ表示装置のみならず、電界放出型表示装置など、隔壁により形成される放電セルに放電を閉じ込め、蛍光体を用いて画像を表示する発光表示装置に共通である。
【００１１】
本発明は上記従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、紫外線発光効率の良い発光表示装置用隔壁、プラズマ表示装置、発光表示装置および発光表示装置用隔壁の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の発光表示装置用隔壁は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素を含み、前記少なくとも１つの元素の濃度は前記隔壁の内部側よりも表面側のほうが高い。
【００１３】
ある好ましい実施形態において、前記隔壁において、前記少なくとも１つの元素を除く、前記隔壁材料を構成する他の元素の分布は、実質的に均一である。
【００１４】
ある好ましい実施形態において、前記少なくとも１つの元素を前記隔壁表面から内部へ拡散させることによって、前記少なくとも１つの元素の濃度が前記隔壁の内部側よりも表面側において高くなっている。
【００１５】
本発明のプラズマ表示装置は、透明基板と、透明基板に設けられた複数のストライプ状の表示電極とを含む前面パネル、および支持基板と、前記支持基板に設けられた複数のストライプ状のアドレス電極と、少なくとも各アドレス電極間に位置するように、前記支持基板に設けられた複数の隔壁と、前記隔壁間の各アドレス電極を覆うように配置された蛍光体層とを含む背面パネルを備え、前記アドレス電極および前記表示電極が互いに略直交し、前記隔壁間の空間内に放電ガスを封止するように、前記前面パネルおよび前記背面パネルが対向配置されており、前記隔壁は、上記いずれかに規定される発光表示装置用隔壁である。
【００１６】
ある好ましい実施形態において、前記隔壁の表面は前記放電ガスと接している。
【００１７】
ある好ましい実施形態において、前記放電ガスは、１５体積％以上のキセノンガスを含む。
【００１８】
本発明の発光表示装置は、可視光よりも短い波長の電磁波または電子線を放出する励起源と、前記電磁波または電子線が放射される位置に配置された、上記いずれかに規定される発光表示装置用隔壁とを備える。
【００１９】
本発明の発光表示装置用隔壁の製造方法は、隔壁を用意する工程（Ａ）と、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素を含む非水溶性有機金属化合物および非水性溶媒を含む溶液に前記隔壁を漬浸する工程（Ｂ）と、前記非水性溶媒を除去し、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を得る工程（Ｃ）と、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を熱処理する工程（Ｄ）とを包含する。
【００２０】
ある好ましい実施形態において、前記非水溶性有機金属化合物は、脂肪酸の金属塩、アセチルアセトン金属塩、不飽和カルボン酸金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトンから選ばれる少なくとも１種である。
【００２１】
ある好ましい実施形態において、前記工程（Ｄ）は、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した前記隔壁を５００℃以上６５０℃以下で加熱する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうちの少なくとも１つの元素の濃度は隔壁の内部側よりも表面側のほうが高くなっている。この元素の酸化物は、高γ材料であるため、元素自体の酸化物が隔壁の表面に存在することよって二次電子の放出を促進し、隔壁の表面から、放電中に電子が多く供給することが可能となる。このため、本発明の発光表示装置用隔壁によれば、放電電圧が低下し、隔壁間隔が狭くなっても、放電で生じた電子が隔壁へドリフトして消滅せず、逆に電子を増やすことができ、輝度を向上させることができる。
【００２３】
したがって、本発明によれば、高精細でパネル駆動時の輝度劣化を防止し、色むらや画面の焼きつきのない、長寿命で低消費電力のフルスペックハイビジョンなどの高精細プラズマ表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】（ａ）は本発明によるプラズマ表示装置の実施形態であって背面パネルの構造を示す概念的な断面図であり、（ｂ）は背面パネルの部分断面斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明による隔壁の実施形態の構造を示す模式的断面図であり、（ｂ）は隔壁表面近傍における特定の元素の深さ方向の濃度分布を示す模式図である。
【図３】本発明による隔壁の製造方法を示すフローチャートである。
【図４】本発明による隔壁の実施例のＸＰＳ分析結果を示している。
【図５】比較例のＸＰＳ分析結果を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
特許文献１および２に開示されるような従来技術は、背面パネルの隔壁表面全体または一部をＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3などからなる保護層で覆い、ゲッター効果によりセル内の不純物ガスを吸収し、発光効率を向上させる構造を採用している。しかし、このような保護層は一般に蒸着や固相反応によって作製されるため、凹凸を有する隔壁表面に均一にコーティングすることが難しく、また、保護層が隔壁表面を厚く覆う場合には放電中に剥離することが考えられる。
【００２６】
本願発明はこのような従来技術の課題に鑑みて、背面パネルの隔壁表面に保護層などをコーティングするのではなく、高二次電子放出率を有する金属を背面パネルの隔壁表層部分に添加することによって、隔壁の表層近傍における高二次電子放出率を有する金属酸化物の分布量を高め、隔壁表層における電子の消滅を抑制する。
【００２７】
以下、本発明による背面パネルおよび発光表示装置の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態では、プラズマ表示装置を発光表示装置の一例として詳細に説明する。
【００２８】
図１（ａ）は、本発明によるプラズマ表示装置の実施形態である面放電型ＡＣ型プラズマ表示装置５０の放電単位である背面パネル構造を模式的に示す断面図である。図１（ａ）に示すようにプラズマ表示装置５０は、前面パネル２と背面パネル３とを備える。
【００２９】
前面パネル２は、透明基板１０と、透明基板１０上に設けられた複数の表示電極４とを含む。透明基板１０は可視光を透過することが好ましく、例えば、ガラス基板によって構成される。表示電極４は、ストライプ状の走査電極（スキャン電極ともいう）５と維持電極（サスティン電極ともいう）６とを含み、好ましくはＩＴＯなどの透明導電性材料によって形成される。図示していないが、走査電極５および維持電極６上に、これらの電極の電気抵抗を低下させるための細線状のバス電極をさらに形成してもよい。好ましくは、表示電極４を覆うように、誘電体層７が透明基板１０の表面に設けられ、さらに、ＭｇＯなどからなる保護層８が設けられている。
【００３０】
図１（ｂ）は背面パネル３の部分断面斜視図である。図１（ａ）および（ｂ）に示すように、背面パネル３は、支持基板１１と、支持基板１１上に設けられた複数のアドレス電極（データ電極ともいう）１２と、隔壁１４と、蛍光体粒子１７を含む蛍光体層１５とを含む。支持基板１１は、ガラス基板などによって構成される。支持基板１１上にはストライプ状の複数のアドレス電極１２が設けられている。アドレス電極１２を覆うように支持基板１１上に誘電体層１３が設けられていてもよい。誘電体層１３は低融点ガラスなどからなる。
【００３１】
隔壁１４は、少なくとも各アドレス電極１２間に位置するように、支持基板１１に設けられた複数の第１隔壁１４ｎを含む。図１（ａ）に示す図では、第１隔壁１４ｎは、図１（ａ）の紙面に平行に配置されるため、示していない。より好ましくは、隔壁１４はアドレス電極１２と垂直に配置される複数の第２隔壁１４ｍも含み、第１隔壁１４ｎと第２隔壁１４ｍとで背面パネルの周囲を囲む井桁構造（ワッフルリブ構造）を構成している。井桁構造を採用することにより、隣接するセルへの発光漏れを防止することができる。
【００３２】
隔壁１４およびこれによって規定される空間が放電セル１６となる。放電セル１６は、背面パネル３において、アドレス電極１２のそれぞれに沿って一次元に配列されている。隔壁１４の高さＨは１２０μｍ程度である。また、隔壁１４の間隔Ｌは２００μｍ程度である。隔壁１４については以下において詳述する。
【００３３】
背面パネル３の各放電セル１６において、アドレス電極１２上には、誘電体層１３を介して蛍光体層１５が設けられている。図１（ｂ）に示すように、好ましくは、隣接する３つの放電セル内に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層１５ｒ、１５ｇ、１５ｂがそれぞれ配置され、この３つの放電セル１６で１画素を構成する。
【００３４】
図１（ａ）に示すように、前面パネル２および背面パネル３は、表示電極４およびアドレス電極１２が互いに略直交し、背面パネル３に設けられた隔壁１４が前面パネル２の保護層８と接することによって、隔壁１４間の空間、つまり、各放電セル１６の空間を封止するように配置されている。これにより、各放電セル１６において、表示電極４とアドレス電極１２とが直交し、かつ、対向している。
【００３５】
各放電セル１６には、放電用ガスとして、Ｘｅ（キセノン）を含むガスが封入されている。好ましくは、Ｘｅが１５体積％以上１００体積％以下の割合で含まれるキセノン・ネオンあるいはキセノン・ヘリウム、キセノン・アルゴンなどの混合希ガスが約数十ｋＰａの圧力で封入されている。
【００３６】
プラズマ表示装置５０において、まず点灯させたい放電セル１６のアドレス電極１２と走査電極５との間に電圧を印加し、アドレス放電を行う。これにより、放電セル１６内に壁電荷が蓄積する。続いて維持電極６と走査電極５との間に電圧を印加すると、アドレス放電による壁電荷が蓄積された放電セル１６のみ、表示放電５１が生じる。表示放電５１は、封止された放電用ガスのうちのＸｅの励起によって紫外線を発生する。発生した紫外線が蛍光体層１５の蛍光体粒子１７を励起し、所定の色の可視光を発光する。したがって、アドレス電極１２と走査電極５との選択によって、マトリクス状に配置された複数の背面パネル１６のいずれかを任意に選択し、発光させることができる。
【００３７】
次に隔壁１４の構造を詳細に説明する。図２（ａ）は、隔壁１４の断面構造を模式的に示している。図２（ａ）に示すように、隔壁１４はＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素１８を含んでいる。図２（ｂ）は元素１８の隔壁１４表面１４ｓからの濃度を示す模式的な濃度分布図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、元素１８は隔壁１４の表面近傍領域に存在しており、表面１４ｓに対して垂直な深さ方向において、元素１８の濃度は、隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっている。元素１８は隔壁１４内では、酸化物として存在していると考えられる。元素１８は少なくとも隔壁１４の表面１４ｓのうち蛍光体層１５で覆われていない表面１４ｓ近傍領域に存在していればよい。
【００３８】
隔壁１４全体は、セラミックスまたは低融点ガラスからなる。具体的には、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3やＭｇＯを主成分としＳｒ、Ｂａ、Ｃａ、Ｙ、Ｔｉなどを添加してなるセラミックス、または、ＣａＯ−ＭｇＯ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系を主成分としＮａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｂ、Ｂｉ、Ｙ、Ｔｉなどを添加してなる低融点ガラスからなる。元素１８は、低融点ガラスを構成する元素の１つであってもよいし、元素１８は低融点ガラスを構成していなくてもよい。元素１８がセラミックスまたは低融点ガラスを構成している場合には、元素１８は隔壁１４全体に含まれる。しかし、図２（ｂ）において点線で示すように、隔壁１４の表面近傍領域においては、元素１８の濃度は隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっている。
【００３９】
このような元素１８の濃度分布は、以下において詳細に説明するように、元素１８を隔壁１４の表面１４ｓから内部へ拡散させることによって実現される。本願発明者の検討によれば、隔壁１４の表面１４ｓから元素１８を内部へ拡散させる場合、元素１８の深さ方向の濃度は、表面側１４ｓにおいて高く、内部へ向かうほど単調に減少する分布をとる。元素１８が隔壁１４内部へ拡散する距離Ｄは、隔壁１４を構成する材料や元素１８および元素１８を拡散させる条件に依存する。上述した材料で隔壁１４を構成し、以下で説明する方法によって元素１８を隔壁１４内へ拡散させる場合、元素１８が拡散する距離Ｄは数ｎｍから数百ｎｍ程度である。本発明では、表面１４ｓから２０ｎｍ程度の深さｄまでにおいて元素１８が拡散しており、かつ、表面１４ｓから深さｄまでの範囲において、元素１８の濃度が隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっていればよい。元素１８が拡散している距離Ｄが上述の深さｄよりも浅くてもよい。
【００４０】
なお、隔壁を構成する低融点ガラスなどの材料が元素１８を含むが元素１８が隔壁の表面から隔壁内部へ拡散されていない場合、元素１８の濃度は隔壁の深さ方向に均一である。この場合、隔壁の表面近傍にも元素１８は存在する。しかし、この場合の元素１８の濃度は、低融点ガラスなどの材料の組成で定まり、一般に、表面から元素１８を隔壁内部へ拡散させる場合に比べて隔壁の表面近傍にける元素１８の濃度に比べて低くなる。このため、以下で説明するように元素１８による本発明の効果は、十分には得られないと考えられる。
【００４１】
元素１８を除く隔壁材料を構成する他の元素の深さ方向における分布は、実質的に均一であることが好ましい。つまり、元素１８が表面１４ｓから拡散されていることを除けば、隔壁１４は実質的に均一な組成によって構成されていることが好ましい。ここで、実質的にとは、例えば、大気中において隔壁１４が保管されることによって、隔壁１４の最表面がわずかに酸化したり、プラズマ表示装置内に隔壁１４が配置され、放電環境に曝されることによって、隔壁を構成する元素の一部が脱離したり、隔壁１４を製造する際に不可避的に生じる構成元素の分布は無視するという意味である。
【００４２】
隔壁１４の表面近傍における元素１８の分布は、ＸＰＳ（X-ray photoelectron spectroscopy）など、試料の最表面部分の元素分析が可能な分析方法によって検出することが可能である。ＸＲＤ（X‐ray diffraction）などの方法では、試料全体の元素の含有量が評価されるため、表面近傍の元素の検出は困難である。元素１８は隔壁１４の表面近傍に含まれるため、元素１８の定量的な評価は一般には難しい。
【００４３】
上述したように、従来技術では、ＭｇＯやＡｌ2Ｏ3などからなる保護層で隔壁が覆われていた。この場合、保護層を隔壁の表面に設けることにより、プラズマ表示装置において、放電に寄与しないリブや保護層などの構造体部分の体積が増え、セル容積が小さくなってしまう。その結果、プラズマ表示装置の高精細化によりセルサイズが小さくなれば、よりいっそうセル容積が小さくなり、各セルからの発光強度が低下する。また、保護層を隔壁の表面に設ける場合、保護層がイオンの衝突により剥離しやすいという課題が生じる場合もあった。
【００４４】
これに対し、本願発明では、元素１８は隔壁１４の内部に取り込まれ、隔壁１４を構成するセラミックスや低融点ガラス内で酸化された状態をとっていると考えられる。このため、ＸＰＳなどの分析手法によって明瞭に確認できる程度には、元素１８の酸化物層が隔壁１４の表面１４ｓに存在していない。隔壁１４がセラミックスによって構成される場合には、元素１８は酸化物として、セラミックスの粒子内よりも粒界に多く存在している。このため、本願発明では、セル容積が小さくなることはない。
【００４５】
元素１８であるＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの酸化物は、電子放出性能が良い材料（高γ材料）として知られており、元素１８の酸化物が隔壁１４の表面近傍領域に存在することよって二次電子の放出を促進し、隔壁１４の表面１４ｓから、放電中に電子を多く供給することが可能となる。これにより、放電電圧を低下させることができる。また、放電電圧が低下するため、放電中のイオンの加速も弱められ、隔壁に衝突した場合の衝撃強度も低下する。したがって、イオンの衝突による隔壁の劣化を抑制することができる。さらに、このような機能を発揮する元素１８は隔壁１４の表面から内部に存在しているため、元素１８が放電中のイオンの衝突により隔壁１４から脱離することはほとんどない。
【００４６】
また、隔壁１４の表面１４ｓから電子が放出されやすくなり、隔壁１４から放出された電子が、隔壁１４の表面１４ｓ全体に広がる。その結果、隔壁間隔が狭くなっても、放電で生じた電子が、隔壁１４へドリフトして消滅せず、逆に電子を増やすことができる。したがって、電子の増加により、放電電圧が低下し、さらに高濃度のＸｅを効率よく励起することができる。これにより、１４７ｎｍ、１７２ｎｍの紫外線の発生確率が増大して、輝度向上につながると考えられる。
【００４７】
このような効果は、隔壁１４の表面１４ｓ近傍にある元素１８に隔壁１４内浸入した電子が衝突、二次電子が隔壁１４の表面１４ｓからセル内へ放出されることにより得られるため、隔壁１４において元素１８が深く内部にまで拡散している必要はない。表面１４ｓから上述した深さｄまでに元素１８が存在すれば、この効果を得ることができる。本発明によれば、隔壁１４の表面１４ｓから元素１８を拡散させることによって、元素１８の拡散する距離Ｄが短い場合でも、元素１８の濃度が隔壁１４の内部側よりも表面１４ｓ側のほうが高くなっているために、本発明の効果が得られやすい。
【００４８】
したがって、本発明によれば、パネル駆動時の輝度劣化を防止することができ、色むらや画面の焼きつきのない、長寿命で低消費電力のフルスペックハイビジョンなどの高精細プラズマ表示装置を得ることができる。
【００４９】
次に隔壁１４およびプラズマ表示装置５０の製造方法を説明する。まず図３を参照しながら隔壁１４の製造方法を説明する。図３に示すように、低融点ガラスからなる背面パネルを用意する（ステップＳ１０）。
【００５０】
次に、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの少なくとも一種類以上の元素を含む非水溶性の有機金属化合物を含む溶液を用意し、前記背面パネルを浸漬する(ステップＳ１１）。
【００５１】
非水溶性有機金属化合物（有機金属錯体）としては、飽和カルボン酸金属塩、特に飽和脂肪酸の金属塩（ナフテン酸、オクチル酸、ステアリン酸、ラウリン酸、カプロン酸等の金属塩）、および、不飽和カルボン酸金属塩（メタクリル酸、アクリル酸等の金属塩）などのカルボン酸金属塩、アセチルアセトン金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトン類を用いることが好ましい。これらの非水溶性有機金属化合物は、非水性溶媒、つまり有機溶媒に溶解する。有機溶媒としては、酢酸ブチル、トルエン、キシレン、ベンゼン類などの炭化水素を用いることが好ましい。
【００５２】
例えば、２−エチル−ヘキサン酸Ｍｇ塩を非水溶性有機金属化合物として用い、これらをキシレンに溶解することによって、有機金属化合物を含む溶液を調製する。有機金属化合物の濃度は、例えば、０．５ｍｏｌ／Ｌである。
【００５３】
これらの有機金属化合物を隔壁１．０重量部に対して０．０５〜５．０重量部添加し、さらに希釈剤としてキシレン溶液を１．０〜５．０重量部添加した。有機金属化合物を含む溶液の望ましい添加量は０．０５重量部以上３．０重量部未満であった。
【００５４】
添加量が０．０５重量部未満では劣化の抑制効果が現れなかった。また３．０重量部以上では隔壁が有機金属化合物の酸化物でコーティングされ、パネルの初期の発光強度が低下した。好ましい添加量は、０．０５重量部以上３．０重量部以下の範囲であった。
【００５５】
有機金属化合物を含む溶液に隔壁を５〜１０分程度浸漬した後、自然分離により余分な溶液を除去し、自然乾燥または１２０℃以上１８０℃以下の温度のオーブンを用いて乾燥させ、有機溶媒であるキシレンもしくは酢酸ブチルを除去する（ステップＳ１２）。これにより、有機金属化合物が付着した背面パネルを得ることができる。
【００５６】
その後、背面パネルを大気中で、５００℃以上６５０℃以下の温度、より好ましくは、５２０℃以上６００℃以下の温度で熱処理する（ステップＳ１３）。保持時間は１０分以上１２０分以下であることが好ましい。熱分析の結果からは、有機金属化合物は、約４８０℃で分解が始まる。１０分より短い場合、有機金属化合物中のＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒまたはＹ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの隔壁への拡散が十分ではない。また、炭素等が残留し、初期特性や寿命特性に影響を与える可能性がある。一方、１２０分より加熱時間が長いと隔壁の酸化による輝度や色度の変化が起こりやすくなる。より好ましい保持時間は３０分以上６０分以下である。このようにして、本実施形態の隔壁を得ることができる。大気中以外にも窒素中など、酸素分圧をコントロールした条件で熱処理を行ってもよい。
【００５７】
このように、本発明による隔壁の製造方法では、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの少なくとも１種を非水溶性有機金属化合物として用い、有機溶媒に溶解させて隔壁の表面に付着または吸着させる。水分子や水酸基（−ＯＨ基）を含有しない有機金属化合物（有機金属錯体）と、水分子や水酸基（−ＯＨ基）を含有しない有機溶媒（非水性溶媒）とを混合した溶液に、無機酸化物である背面パネルを室温中で浸漬する。これにより、背面パネルの隔壁表面に、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂが酸化しない状態で、有機金属化合物のまま吸着させることができる。
【００５８】
この時、混合溶液中には、水分や水酸基（−ＯＨ基）が存在しないため、有機金属化合物（有機金属錯体）は、混合溶液中で加水分解せずに、そのままの状態（有機金属化合物の状態）で隔壁表面に吸着させることができると考えられる。
【００５９】
混合溶液中の有機溶媒を除去し、大気中で乾燥させることにより、表面に有機金属化合物が付着した隔壁を得ることができる。有機溶媒の除去方法は自然分離でも良いが遠心分離等で有機溶媒を除去するほうが、有機金属化合物をより均一な厚さで隔壁表面に付着させることができる。
【００６０】
その後、この有機金属化合物が付着した隔壁を、大気中で加熱することにより、隔壁表面で有機金属化合物が熱分解し、金属が隔壁内部へ拡散するとともに隔壁の低融点ガラス材料と化学反応が生じる。このとき、有機金属化合物が付着した隔壁の熱処理温度は、上述した範囲で行うが、有機金属化合物の熱分解反応は、発熱反応であるため、隔壁と有機金属化合物との界面は、局所的に熱処理温度を超えているものと推定される。このため、有機金属化合物を構成する金属元素成分が低融点材料の格子内に拡散し、低融点材料の性質を保ったまま、酸素と結合でき、拡散した元素の濃度の高い領域を作り出していると考えられる。
【００６１】
従来の、純水又はアルコール水溶液中に分散あるいは溶解させて隔壁表面に保護膜を形成する方法では、純水又はアルコール水溶液中に分散あるいは溶解させている時に有機金属化合物が加水分解し、金属水酸化物が隔壁表面に付着する。水酸化物が付着すると、次の熱処理工程で、脱水反応が起こり、隔壁と付着した水酸化物との界面では、吸熱反応になるため、実効的に温度が下がることなり、付着した水酸化物が、隔壁の格子内へ拡散しにくい。したがって、従来の方法では、隔壁表面を覆うように金属酸化膜が形成するのみであり、隔壁内部へ金属が拡散しにくいと考えられる。脱水反応が十分には進行せず、金属水酸化物や金属炭酸化物のまま隔壁の表面に比較的厚い層を形成すると考えられる。
【００６２】
このような理由から、上述の方法にしたがって、隔壁にＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの少なくとも１種を拡散させる場合、これらの金属は、隔壁表面において酸化物として存在しないことが好ましい。しかし、製造工程上、隔壁材料の三重点等にこれらの酸化物が偏析しても、隔壁の反射効率が大幅に変化しない程度であれば、特に問題はない。
【００６３】
ただし、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ等アルカリ土類金属の酸化物は、大気中での変質が生じやすく、水酸化塩や炭酸塩になりやすい。このため、上述の方法によって作製した隔壁は、表面に上述した酸化物が偏析している可能性もあるため、不活性雰囲気等で保管することが好ましい。
【００６４】
次に図１（ａ）および（ｂ）を参照しながらプラズマ表示装置５０の製造方法を説明する。
【００６５】
１．背面パネル３の作製
まず、ガラス基板からなる支持基板１１表面に膜厚が例えば数μｍでありストライプ状のアドレス電極１２を形成する。 電極材料としては、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｒ（クロム）、Ｃｕ（銅）、Ｐｄ（パラジウム）などの金属やこれらの組み合わせ、あるいはこれらの金属層を積層して形成される積層電極も必要に応じて使用できる。
【００６６】
その後、アドレス電極１２を覆うように支持基板１１上に誘電体層１３を形成する。誘電体層１３は、鉛系あるいは非鉛系の低融点ガラスやＳｉＯ2などから形成できる。
【００６７】
次に、誘電体層１３上に、隔壁１４を形成する。誘電体層１３の上全面に低融点ガラス材料ペーストを塗布し、焼成した後、図１（ｂ）に示すようにアドレス電極１２と平行な隔壁１４ｎおよびアドレス電極１２と垂直な隔壁１４ｍとによる井桁状のパターンをサンドブラスト法やフォトリソグラフィ法などにより形成する。隔壁１４により、隣接する放電セルが互いに仕切られる。隔壁１４の間隔は、例えば、２００μｍである。
【００６８】
次に、蛍光体層１５を隔壁１４によって区切られた各放電セル１６内の少なくともアドレス電極１２上に形成する。蛍光体層１５は、蛍光体色ごとに蛍光体粒子とビヒクルなどからなるペーストを印刷によって塗布し、焼成することによって形成する。赤、緑、青の３色の蛍光体材料として、例えば、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｔｂ、およびＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕを用いる。ＡＣ型プラズマ表示装置用の組成を有する蛍光体材料を用いてもよい。
【００６９】
その後、上述したように、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂを含む有機金属化合物を背面パネルの隔壁表面に付着させ、熱処理を行なうことによって、有機金属化合物の分解およびＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの隔壁１４内部への拡散を行なう。これらの工程は、蛍光体層１５の形成前に行なってもよい。あるいは、蛍光体層１５となるペーストを塗布する前または後にＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂを含む有機金属化合物を背面パネルの隔壁表面に付着させ、蛍光体層１５となるペーストの焼成と、有機金属化合物の分解およびＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの隔壁１４内部への拡散とを同一の熱処理によって行なってもよい。これにより背面パネル３が完成する。
【００７０】
２．前面パネル２の作製
図１（ａ）に示すように、ガラス基板からなる透明基板１０上にストライプ状の走査電極５および維持電極６を形成する。具体的には、透明基板１０上に、例えば、厚さ１００ｎｍ程度の、ＩＴＯ、ＳｎＯ2、ＺｎＯなどからなる比較的低抵抗で透明な、走査電極５および 維持電極６を形成する。図示していないが、走査電極５および維持電極６の電気抵抗を下げるために、好ましくは、Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）系電極材料などにより、厚さが例えば数μｍであり、細線状のバス電極を走査電極５および 維持電極６上に形成する。
【００７１】
次に、走査電極５および維持電極６を覆うように透明基板１０上に誘電体層７を形成する。誘電体層７は、鉛系あるいは非鉛系の低融点ガラスやＳｉＯ2などからなり、厚さは数μｍ〜数十μｍである。誘電体層７上に、放電開始電圧をより低下させるように、２次電子放出係数γが大きく、かつ、誘電体層７を放電時のイオン衝撃から保護することができるよう耐スパッタ性が高く、また、光学的に透明で電気絶縁性が高い、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウム）などの金属酸化物材料により、厚さ５００ｎｍ程度の保護膜８を形成する。これにより、前面パネル２が形成される。
【００７２】
３．パネルの張り合わせによるプラズマ表示装置５０の組み立て
このようにして作製された前面パネル２と背面パネル３は、前面パネルの表示電極４と背面パネルのアドレス電極１２とが直交するように重ね合わされるとともに、パネル周縁に封着用ガラスを介挿させる。これを例えば４５０℃程度で１０〜２０分間焼成し、高真空（例えば、１．１×１０-4Ｐａ）に排気したのち、放電ガス（例えば、Ｘｅ分圧が１５％以上のＨｅ−Ｘｅ系、Ｎｅ−Ｘｅ系、Ａｒ−Ｘｅ系、Ｋｒ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入する。これによりプラズマ表示装置が完成する。
【実施例】
【００７３】
以下、本発明による隔壁およびプラズマ表示装置を作製し、特性を評価した結果を説明する。
【００７４】
（実施例１）
まず、表１に示す有機金属化合物を用い、上述の方法にしたがって、隔壁を作製した。有機金属化合物を溶解する溶媒には、キシレンを用い、有機金属化合物の濃度を０．１ｍｏｌ／Ｌになるように予め調整した。
【００７５】
次に、ガラス容器中において、背面パネルを上記溶液中に約１０分間漬浸した。その後、背面パネルを取り出し、余分な溶液を分離した。次に、空気中、約１５０℃で背面パネルを１時間保持して乾燥させた後、大気中、約６００℃で１０分熱処理行った。以降この工程を隔壁の有機金属処理と呼ぶ。
【００７６】
【表１】
2010052931.tif 000010
【００７７】
まず、作製した隔壁において、有機金属中の金属がどのような状態で隔壁中において存在しているのかを調べるために、オクチル酸Ｍｇで処理したサンプルＡ１１の隔壁における元素をＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳまたはＥＳＣＡ）により分析した。ＸＰＳは固体の表面近傍の原子の酸化状態を評価することができる。
【００７８】
図４は、サンプルＡ１１のＸＰＳ分析結果を示している。図５はスパッタ法により形成したＭｇＯからなる膜が表面に設けられた隔壁を約６００℃で１０分熱処理した試料のＸＰＳ分析結果を示している。いずれもＯ２ｓのスペクトルを示している。図４および図５を比較すれば明らかなように、サンプルＡ１１の酸素のＸＰＳは隔壁表面に設けられた酸化マグネシウムの酸素のＸＰＳとは異なっていることから、サンプルＡ１１の隔壁の表面には、酸化マグネシウムとして酸素がほとんど存在していないことが分かる。
【００７９】
つまり、サンプルＡ１１の隔壁は、従来のスパッタ法によるＭｇＯからなる保護層が形成された隔壁のような構造をとっておらず、有機金属処理に用いたＭｇは隔壁の表面から内部において、ＭｇＯと異なる酸化状態で存在していることが分かる。
【００８０】
表１に示す種々の有機金属化合物のうち、Ｍｇ（サンプルＡ１、Ａ１１、Ａ１２）、Ｂａ（サンプルＡ８、Ａ１５、Ａ１８）、Ｓｒ（サンプルＡ１６、Ａ１９）Ｃａ（サンプルＡ３、Ａ７、Ａ１３）Ｙ（サンプルＡ９）を金属元素とする有機金属化合物を用いて処理を行ったサンプルは、サンプルＡ２３に比べて放電電圧の低下が見られた。これは、これらのサンプルでは二次電子の消滅が抑制され、放電効率が高まったため、放電電圧も低下したものと考えられる。
【００８１】
これに対し、Ｎｉ（サンプルＡ１０）、Ｚｎ（サンプルＡ２、Ａ６、Ａ１４）、Ｍｎ（サンプルＡ４、Ａ５、Ａ１７）、を金属元素とする有機金属化合物を用いて処理を行ったサンプルは、サンプルＡ２３に比べ、放電電圧が同等もしくは上昇する傾向が見られた。
【００８２】
これらの結果から、有機金属化合物として、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹを含む有機金属化合物を用いてこれらの金属を隔壁の内部へ拡散させ、これらの金属の酸化物を隔壁の表面近傍に配置させるのが好ましいことが分かった。また、Ｙと同じ希土類元素であるＬａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの酸化物は高γ材料として知られる。このため、これらの元素の有機金属化合物を用いてこれらの元素を隔壁の表面から内部へ拡散させることにより放電電圧を低下させることができると考えられる。
【００８３】
また、サンプルＡ２１、Ａ２２は、有機金属化合物の加水分解が急速に進み評価可能なサンプルを得るのが難しかった。これらのサンプルは、炭素数が少ないため、有機金属化合物が空気中で不安定であり、加水分解しやすいものと考えられる。したがって、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂを含む有機金属化合物であっても、炭素数が２から１２の有機金属化合物を用いる場合には、有機金属化合物の加水分解が生じ易いと考えられる。
【００８４】
ただし、サンプルＡ１は加水分解することなく、試料を作製することができたため、有機化合物の構造によっては炭素数が１４程度であっても安定な有機金属化合物も存在すると考えられる。これらのことから、炭素数が少なくとも１４以上の有機金属化合物を用いることが好ましいと考えられる。また、炭素数が３６（サンプルＡ１２など）であっても、有機金属化合物が安定な状態で隔壁表面に均一に付着し、熱処理により隔壁内部に均一に拡散することによって、放電効率が高まり、放電電圧も低下したものと考えられる。しかし、炭素鎖が長くなり過ぎると熱処理時に炭素鎖が分解しにくくなり、隔壁内部へ金属が拡散しにくくなると考えられる。したがって、金属数１に対する好ましい炭素数は１４から３０程度の範囲内であると見られる。
【００８５】
以上の結果から背面パネルの表面に非水溶性有機金属化合物に付着させ、熱処理を行って金属を隔壁内に拡散させることによって、パネルの放電電圧を低下させることが分かった。また、今回用いた溶液の濃度は０．１ｍｏｌ/Ｌであるが、０．０５ｍｏｌ/Ｌでも効果があった。ただし、非水溶性有機金属化合物の濃度が、１．０ｍｏｌ/Ｌを超えると製造工程時にムラや剥離が発生しやすく取り扱いに困難となった。
【００８６】
これらの結果より、有機金属処理を実施した隔壁では隔壁の格子間のイオン結合がより強固になりより多くの電子やイオンを発生し、放電電圧の低下を導くと言った効果が期待できる。また、有機金属の構成元素は隔壁の表面にコーティング膜のように物理的に堆積するのではなく格子内部に拡散することも分かった。
【００８７】
（実施例２）
本発明による隔壁を用いたプラズマ表示装置を作製し、特性を評価した。
【００８８】
まず、表２に示す有機金属化合物を用い、上述の方法にしたがって、隔壁を作製した。蛍光体材料には市販のＲＧＢ材料を用いた。有機金属化合物を溶解する溶媒には、キシレンを用い、有機金属化合物の濃度を０．１ｍｏｌ／Ｌになるように予め調整した。
【００８９】
【表２】
2010052931.tif 000011
【００９０】
実施例１と同様、ガラス容器中において、背面パネルを上記溶液中に約１０分間浸積した。その後、取り出し余分な溶液を分離した。次に、空気中、約１５０℃で背面パネルを１時間保持して乾燥させた後、大気中、約６００℃で１０分熱処理行った。
【００９１】
このようにして作製された隔壁を用い、上述の方法によってプラズマ表示装置を作製した。実施例のサンプルＢ１〜Ｂ１１および比較例のサンプルＢ１２〜Ｂ１８の画素数は１９２０(水平)×１０８０(垂直)であり、５０インチフルスペックのハイビジョン仕様を備えている。１セルピッチ(１隔壁ピッチ)は、０．２０ｍｍ(水平)とした。サンプルの評価は以下のように行った。
【００９２】
有機金属処理を行ったサンプル（Ｂ１からＢ１１）と、有機金属処理を行わなかったサンプル(Ｂ１８)及び、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙのアルコキシドを使用して、加水分解処理し、隔壁の表面に酸化物をコートしたサンプル(Ｂ１２−Ｂ１８)について、放電電圧（パネルへの印加電圧を上昇させ、全面均一に点灯する電圧）を測定した。
【００９３】
次に、各サンプルを最適駆動電圧１７０〜２４０Ｖ、１００ＫＨｚで駆動し、全白画像の条件で駆動したときの放電電圧と輝度を測定した。
【００９４】
表２に示すように、有機金属処理を行ったサンプルＢ１〜Ｂ１１は、有機金属処理を行っていないサンプルＢ１８や、金属アルコキシドを用い、加水分解処理を施した比較例のサンプルＢ１２〜Ｂ１７に比べ、放電電圧が低く、輝度が高くなっている。これは、金属数１に対する炭素数が多くなるほど有機金属化合物が空気中で安定であり、加水分解が起こりにくいため、酸化物を形成することなく、金属が隔壁内部へ拡散しやすくなるためと考えられる。しかし、炭素鎖が長くなり過ぎると、加熱時に炭素鎖が分解しにくくなり、金属が拡散しにくくなると考えられる。したがって、金属数１に対する炭素数は、１４〜３０の範囲にあることが好ましいと見られる。このように、隔壁の表面からＭｇ、Ｃａ、Ｂａ、ＳｒおよびＹのうち少なくとも１つの元素を拡散させることにより、隔壁表面近傍の欠陥やイオン欠損が修復されるため、輝度の向上を制御できる。また、拡散するこれらの金属は、隔壁内で、酸素とイオン結合しており、電子を放出しやすい。このため、輝度が向上するとともに、放電電圧を低下させることができる。
【００９５】
Ｙと同じ希土類元素であるＬａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂの酸化物は高γ材料として知られる。このため、これらの元素の有機金属化合物を用いてこれらの元素を隔壁の表面から内部へ拡散させることにより放電電圧を低下させることができると考えられる。
【００９６】
以上の結果から、本発明による隔壁を用いたプラズマ表示装置を作製した場合でも、隔壁表面に非水溶性有機金属化合物に付着させ、熱処理を行って金属を隔壁内に拡散させることによって、放電で生じた電子が隔壁へドリフトして、消滅するのを抑制することができる。また、電子の放出量を増加させることができる。これにより、放電電圧が低下し、さらに高濃度のＸｅを効率よく励起するため、結果的に１４７ｎｍ、１７２ｎｍの紫外線の発生確率増大し、輝度向上に繋がる。したがって、プラズマ表示装置におけるパネルの放電電圧が低下し、輝度が向上する。また、隔壁内における格子のイオン結合がより強固になり、耐イオン衝撃が向上すると言える。
【００９７】
以上、本発明によれば、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂから選ばれる少なくとも１種の元素が、隔壁の表面から内部へ拡散させられていることによって、これらの元素の酸化物は、高γ材料であるため、二次電子の放出を促進し、隔壁の表面から、放電中に電子が多く供給することが可能となる。これにより、従来の水溶液やアルコール溶液中で隔壁表面に金属酸化物を物理的にコーティングさせていた隔壁では得られなかった特性を示す。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
本発明による隔壁によれば、隔壁の劣化が抑制され、放電電圧の低下と高い輝度を達成することができる。この隔壁は、種々のプラズマ表示装置や、電界放出型ディスプレイに好適に用いられる。
【００９９】
また、本発明のプラズマ表示装置は、放電電圧が低下し、輝度が向上し、輝度劣化を防止することができるため、高精細で低消費電力のプラズマ表示装置に好適に用いられる。
【０１００】
また、本発明の隔壁は種々の発光装置にも好適に用いられる。
【符号の説明】
【０１０１】
２    全面パネル
３    背面パネル
４    表示電極
５    走査電極
６    維持電極
７    誘電体層
８    保護層
１０    透明基板
１１    支持基板
１２    アドレス電極
１３    誘電体層
１４    隔壁
１４ｓ  表面
１５    蛍光体層
１６    背面パネル
１７    蛍光体粒子
１８    拡散した元素
５０    プラズマ表示装置
５１    表示放電
Ｄ      表面１４ｓからの深さ（距離）
Ｈ      隔壁１４の高さ
Ｌ      隔壁１４の間隔
Ｓ１０  隔壁を用意するステップ
Ｓ１１  隔壁を、有機金属化合物を含む溶液に浸漬するステップ
Ｓ１２  有機溶媒を除去するステップ
Ｓ１３  熱処理するステップ
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂからなる群から選ばれる少なくとも１つの元素を拡散させた発光表示装置用隔壁であって、
前記隔壁は、表面から内部の表面近傍に前記少なくとも１つの元素の濃度が前記表面より高い領域を有している、発光表示装置用隔壁。
【請求項２】
前記隔壁において、前記少なくとも１つの元素を除く、前記隔壁材料を構成する他の元素の分布は、実質的に均一である請求項１に記載の発光表示装置用隔壁。
【請求項３】
透明基板と、透明基板に設けられた複数のストライプ状の表示電極とを含む前面パネル、および
支持基板と、前記支持基板に設けられた複数のストライプ状のアドレス電極と、少なくとも各アドレス電極間に位置するように、前記支持基板に設けられた複数の隔壁と、前記隔壁間の各アドレス電極を覆うように配置された蛍光体層とを含む背面パネル、
を備え、
前記アドレス電極および前記表示電極が互いに略直交し、前記隔壁間の空間内に放電ガスを封止するように、前記前面パネルおよび前記背面パネルが対向配置されたプラズマ表示装置であって、
前記隔壁は、請求項１または２のいずれかに規定される発光表示装置用隔壁であるプラズマ表示装置。
【請求項４】
前記隔壁の表面は前記放電ガスと接している請求項３に記載のプラズマ表示装置。
【請求項５】
前記放電ガスは、１５体積％以上のキセノンガスを含む請求項３に記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】
可視光よりも短い波長の電磁波または電子線を放出する励起源と、
前記電磁波または電子線が放射される位置に配置された、請求項１または２のいずれかに規定される発光表示装置用隔壁と、
を備えた発光表示装置。
【請求項７】
隔壁を用意する工程（Ａ）と、
Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、ＥｕおよびＹｂのうち少なくとも１つの元素を含む非水溶性有機金属化合物および非水性溶媒を含む溶液に前記隔壁を漬浸する工程（Ｂ）と、
前記非水性溶媒を除去し、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を得る工程（Ｃ）と、
前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した隔壁を熱処理することにより、前記少なくとも１つの元素を拡散させた隔壁であって、前記表面から内部の表面近傍に前記少なくとも１つの元素の濃度が前記表面より高い領域を有している隔壁を得る工程（Ｄ）と、
を包含する発光表示装置用隔壁の製造方法。
【請求項８】
前記非水溶性有機金属化合物は、脂肪酸の金属塩、アセチルアセトン金属塩、不飽和カルボン酸金属塩、メタロセン化合物、β−ジケトンから選ばれる少なくとも１種である請求項７に記載の発光表示装置用隔壁の製造方法。
【請求項９】
前記工程（Ｄ）は、前記非水溶性有機金属化合物が表面に付着した前記隔壁を５００℃以上６５０℃以下で加熱する請求項７に記載の発光表示装置用隔壁の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2010052931.tif 000012
【図２】
2010052931.tif 000013
【図３】
2010052931.tif 000014
【図４】
2010052931.tif 000015
【図５】
2010052931.tif 000016
【国際調査報告】
2010052931.tif 000017
2010052931.tif 000018
2010052931.tif 000019
2010052931.tif 000020
2010052931.tif 000021
2010052931.tif 000022
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