(57)【要約】  本発明は従来と比較して製造コストを低廉化する駆動装置を提供する。  ＳＩＤＭ装置１は、電圧の印加によって伸縮する圧電素子２と、カーボン含有材料で形成されるとともに、圧電素子２の伸縮によって変位する柱状の駆動軸３と、圧電素子２の移動を制限しつつ当該圧電素子２を伸縮可能に支持するカラー部材４と、駆動軸３に対して摩擦係合されて当該駆動軸３の軸方向Ｊに移動する移動体５とを備える。移動体５は、駆動軸３に対して摺動する摺動面５１の形成された移動体本体５０と、移動体本体５０と協働して駆動軸３を周方向に囲うよう当該移動体本体５０に固定されるとともに、駆動軸３に当接して当該駆動軸３を摺動面５１に付勢しつつ、駆動軸３に対して摺動する板ばね６１とを有する。
2010109976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加によって伸縮する圧電素子と、
前記圧電素子の伸縮によって変位する柱状の駆動軸と、
前記圧電素子の移動を制限しつつ当該圧電素子を伸縮可能に支持する移動制限部と、
前記駆動軸に対して摩擦係合されて当該駆動軸の軸方向に移動する移動体とを備え、
前記移動体は、
前記駆動軸に対して摺動する摺動面の形成された移動体本体と、
前記移動体本体と協働して前記駆動軸を周方向に囲うよう当該移動体本体に固定されるとともに、前記駆動軸に当接して当該駆動軸を前記摺動面に付勢しつつ、当該駆動軸に対して摺動する付勢部材とを有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の駆動装置において、
前記移動体本体は、
平面状の前記摺動面を１つのみ有する板状の部材であり、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｍ字状、略Ｖ字状または略Ｕ字状に形成された板ばねであり、
前記断面における両端部で前記移動体本体に固定されるとともに、中途部で前記駆動軸を前記摺動面に付勢することを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項２記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、
前記断面における前記両端部と前記中途部との間で前記駆動軸の側に屈曲し、当該駆動軸に当接することを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項２記載の駆動装置において、
前記駆動軸は、
半円柱状に形成されるとともに、前記摺動面に対して側周面の平面部で当接し、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｖ字状または略Ｕ字状に形成され、前記軸方向に垂直な断面内での前記駆動軸に対する前記移動体本体の相対移動を規制することを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記移動体本体は、
前記軸方向に延在する溝部を有し、
前記溝部は、
底面が前記摺動面となっており、前記軸方向に垂直な断面内での前記駆動軸に対する当該移動体本体の相対移動を、内壁面によって規制することを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１記載の駆動装置において、
前記移動体本体は、
平面状の前記摺動面を２つ有する略Ｌ字状の部材であり、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｌ字状に形成された板ばねであり、
前記断面における両端部で前記移動体本体に固定されるとともに、中途部で前記駆動軸を各摺動面に付勢することを特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１記載の駆動装置において、
前記移動体本体は、
前記軸方向に延在する溝部を有するとともに、平面状の前記摺動面を前記溝部の底面及び内壁面に計３つ有する略コ字状の部材であり、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｍ字状に形成された板ばねであり、
前記断面における両端部で前記移動体本体に固定されるとともに、中途部で前記駆動軸を前記溝部の底面に付勢することを特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、
板ばねであり、前記駆動軸に対する摺動領域のうち、前記軸方向における端部領域に、当該軸方向に沿って内側から端側に向かうに従って前記駆動軸から離れる傾斜部を有することを特徴とする駆動装置。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、
板ばねであり、前記駆動軸に対する摺動領域がＤＬＣ、チタンまたはカーボンによりコーティングされていることを特徴とする駆動装置。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、
板ばねであり、前記駆動軸に対する摺動領域が他の領域より肉厚に形成されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、ＳＵＳ、ベリリウム銅若しくはリン青銅で形成された板ばねであることを特徴とする駆動装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、
前記軸方向に沿って前記駆動軸に当接することを特徴とする駆動装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２の何れか一項に記載の駆動装置において、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面内で前記駆動軸に点接触することを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、移動体をナノメートルのオーダーで制御しつつ往復運動させる駆動装置として、スムーズインパクト駆動機構（Smooth Impact Drive Mechanism）を備えた駆動装置（以下、ＳＩＤＭ装置とする。但し、「ＳＩＤＭ」はコニカミノルタオプト株式会社の登録商標）が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。【０００３】
近年、このようなＳＩＤＭ装置は、図７に示すように、電圧の印加によって伸縮する圧電素子１００と、圧電素子１００の伸縮によって変位する駆動軸１０１と、圧電素子１００または駆動軸１０１を支持する支持部材１０２と、駆動軸１０１に対して摩擦係合されて当該駆動軸１０１の軸方向に移動する移動体１０３等とを備えており、圧電素子１００の急峻な体積変化と、移動体１０３の慣性力及び摩擦力とを利用して、移動体１０３を駆動軸１０１の軸方向に移動させるようになっている。【０００４】
より詳細には、このようなＳＩＤＭ装置では、移動体１０３は、駆動軸１０１の軸方向に延在する溝部１０４Ａの設けられた略コ字状の移動体本体１０４と、駆動軸１０１を溝部１０４Ａの底面側に付勢する板ばね１０５と、駆動軸１０１を溝部１０４Ａの側壁面側に付勢するコイルばね１０６とを有している。また、板ばね１０５と駆動軸１０１との間、コイルばね１０６と駆動軸１０１との間には、駆動軸１０１に対して摺動する板状の摺動板１０７，１０８が介在している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２９６５８号公報
【特許文献２】特開平１１−１８４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のようなＳＩＤＭ装置では、部品点数が多いため、各部材を別個に製造して組み立てる必要があり、製造コストが嵩むという問題がある。【０００７】
本発明の課題は、従来と比較して製造コストを低廉化することのできる駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、駆動装置において、
電圧の印加によって伸縮する圧電素子と、
前記圧電素子の伸縮によって変位する柱状の駆動軸と、
前記圧電素子の移動を制限しつつ当該圧電素子を伸縮可能に支持する移動制限部と、
前記駆動軸に対して摩擦係合されて当該駆動軸の軸方向に移動する移動体とを備え、
前記移動体は、
前記駆動軸に対して摺動する摺動面の形成された移動体本体と、
前記移動体本体と協働して前記駆動軸を周方向に囲うよう当該移動体本体に固定されるとともに、前記駆動軸に当接して当該駆動軸を前記摺動面に付勢しつつ、当該駆動軸に対して摺動する付勢部材とを有することを特徴とする。【０００９】
本発明の駆動装置においては、
前記移動体本体は、
平面状の前記摺動面を１つのみ有する板状の部材であり、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｍ字状、略Ｖ字状または略Ｕ字状に形成された板ばねであり、
前記断面における両端部で前記移動体本体に固定されるとともに、中途部で前記駆動軸を前記摺動面に付勢することが好ましい。【００１０】
この駆動装置においては、
前記付勢部材は、
前記断面における前記両端部と前記中途部との間で前記駆動軸の側に屈曲し、当該駆動軸に当接することが好ましい。【００１１】
また、この駆動装置においては、
前記駆動軸は、
半円柱状に形成されるとともに、前記摺動面に対して側周面の平面部で当接し、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｖ字状または略Ｕ字状に形成され、前記軸方向に垂直な断面内での前記駆動軸に対する前記移動体本体の相対移動を規制することとしても良い。【００１２】
また、本発明の駆動装置においては、
前記移動体本体は、
前記軸方向に延在する溝部を有し、
前記溝部は、
底面が前記摺動面となっており、前記軸方向に垂直な断面内での前記駆動軸に対する当該移動体本体の相対移動を、内壁面によって規制することが好ましい。【００１３】
また、本発明の駆動装置においては、
前記移動体本体は、
平面状の前記摺動面を２つ有する略Ｌ字状の部材であり、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｌ字状に形成された板ばねであり、
前記断面における両端部で前記移動体本体に固定されるとともに、中途部で前記駆動軸を各摺動面に付勢することが好ましい。【００１４】
また、本発明の駆動装置においては、
前記移動体本体は、
前記軸方向に延在する溝部を有するとともに、平面状の前記摺動面を前記溝部の底面及び内壁面に計３つ有する略コ字状の部材であり、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面が略Ｍ字状に形成された板ばねであり、
前記断面における両端部で前記移動体本体に固定されるとともに、中途部で前記駆動軸を前記溝部の底面に付勢することが好ましい。【００１５】
また、本発明の駆動装置においては、
前記付勢部材は、
板ばねであり、前記駆動軸に対する摺動領域のうち、前記軸方向における端部領域に、当該軸方向に沿って内側から端側に向かうに従って前記駆動軸から離れる傾斜部を有することが好ましい。【００１６】
また、本発明の駆動装置においては、
前記付勢部材は、
板ばねであり、前記駆動軸に対する摺動領域がＤＬＣ、チタンまたはカーボンによりコーティングされていることが好ましい。【００１７】
また、本発明の駆動装置においては、
前記付勢部材は、
板ばねであり、前記駆動軸に対する摺動領域が他の領域より肉厚に形成されていることが好ましい。【００１８】
また、本発明の駆動装置においては、
前記付勢部材は、ＳＵＳ、ベリリウム銅若しくはリン青銅で形成された板ばねであることが好ましい。【００１９】
また、本発明の駆動装置においては、
前記付勢部材は、
前記軸方向に沿って前記駆動軸に当接することが好ましい。【００２０】
また、本発明の駆動装置においては、
前記付勢部材は、
前記軸方向に垂直な断面内で前記駆動軸に点接触することが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、駆動軸を摺動面に付勢する付勢部材が駆動軸に当接し、当該駆動軸に対して摺動するので、付勢部材と駆動軸との間に摺動版が介在する従来の場合と比較して、部品点数や組立の手間を減らし、製造コストを低廉化することができる。また、部品点数を減らすことができるため、従来と比較して駆動装置を小型化することができる。【００２２】
また、付勢部材は移動体本体と協働して駆動軸を周方向に囲うよう移動体本体に固定されるので、移動体の摺動をガイドするガイド部材としての機能を付勢部材及び移動体本体に持たせることができる。従って、移動体とガイド部材とを別個に製造して組み立てる場合と比較して、製造コストを低廉化するとともに、ＳＩＤＭ装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】光源ユニットの概略構成を示す概念図である。
【図２】ＳＩＤＭ装置を示す図である。
【図３】ＳＩＤＭ装置の移動体及び駆動軸を示す図である。
【図４】板ばねの傾斜部を示す図である。
【図５】ＳＩＤＭ装置の移動体及び駆動軸を示す図である。
【図６】ＳＩＤＭ装置の移動体及び駆動軸を示す図である。
【図７】従来のＳＩＤＭ装置を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００２５】
図１は、本実施の形態における光源ユニット１００の概略構成を示す概念図である。
【００２６】
この図に示すように、光源ユニット１００は、パッケージ１０の内部に、レーザー光を照射する赤外半導体レーザー１１と、赤外半導体レーザー１１からのレーザー光を平行光束化する光学素子（コリメータレンズ）１２と、光学素子１２からの光束を集光する光学素子（集光レンズ）１３と、ＳＨＧ（Ｓｅｃｏｎｄ  Ｈａｒｍｏｎｉｃ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ）素子としてとしてのＰＰＬＮ（Ｐｅｒｉｏｄｉｃａｌｌｙ  Ｐｏｌｅｄ  Ｌｉｔｈｉｕｍ  Ｎｉｏｂａｔｅ）導波路１４とを、この順に備えている。ここで、図中の網掛け部分は、光束を示している。
【００２７】
なお、本実施の形態においては、光源ユニット１００は最大長さが１０ｍｍ以下となっており、光学素子１２，１３は最大径が１０ｍｍ以下となっている。また、ＰＰＬＮ導波路１４には、当該ＰＰＬＮ導波路１４を温度制御する温度制御板１６が設けられている。光源ユニット１００中のこれらの部材については、例えば以下の文献１，２に開示のものを用いることができる。
【００２８】
＜文献１＞ＩＱＥＣ／ＣＬＥＯ−ＰＲ  ２００５，Ｔｏｋｙｏ，Ｊａｐａｎ，Ｊｕｌｙ１１−１５，２００５，ｐｏｓｔ−ｄｅａｄｌｉｎｅ  ｐａｐｅｒ  ＰＤＧ−２「１０７−ｍＷ  ｌｏｗ−ｎｏｉｓｅ  ｇｒｅｅｎ  ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｂｙ  ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ｄｏｕｂｌｉｎｇ  ｏｆ  ｒｅｌｉａｂｌｅ  １０６０−ｎｍ  ＤＦＢ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｌａｓｅｒ  ｄｉｏｄｅｓ」
＜文献２＞２００６  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  １０６４−１０６５Ｐ「Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｍａｔｃｈｉｎｇ  ａｎｄ  Ｔｕｎｉｎｇ  ｉｎ  Ｇｒｅｅｎ  Ｌａｓｅｒ  Ｐａｃｋａｇｉｎｇ  ｕｓｉｎｇ  Ｓｅｃｏｎｄ  Ｈａｒｍｏｎｉｃ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ」
以上の光源ユニット１００において、光学素子１２，１３は支持部材１７によって支持されており、光学素子１２，１３と、支持部材１７との間には、光学素子１２，１３を移動させるＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂと、これらＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂを支持するブラケット１８とが介在している。
【００２９】
ＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂは、圧電素子を駆動源とする超小型高精度のアクチュエータであり、本実施の形態においては、光学素子１２を図中のＺ軸方向、光学素子１３を図中のＹ軸方向に移動させることが可能となっている。但し、ＳＩＤＭ装置１Ａが光学素子１２をＹ軸方向に移動させ、ＳＩＤＭ装置１Ｂが光学素子１３をＺ軸方向に移動させることとしても良いし、ＳＩＤＭ装置１Ａ，１ＢがＺ軸方向，Ｙ軸方向に加え、Ｘ軸方向に対しても光学素子１２，１３を移動させることとしても良い。このＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂについては、詳細を後述する。
【００３０】
ＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂには、図示しない制御部が接続されている。この制御部は、ＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂを駆動して光学素子１２，１３をそれぞれ移動させることにより、これら光学素子１２，１３の光軸を赤外半導体レーザー１１やＰＰＬＮ導波路１４の入射端面に対して合わせる（調芯する）ことができるようになっている。
【００３１】
なお、以上のような光源ユニット１００は、例えば、従来より公知の画像投影装置におけるグリーン光の光源として用いることができる。
【００３２】
続いて、ＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂについて詳細に説明する。
【００３３】
図２は、本発明に係る駆動装置としてのＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂ（以下、ＳＩＤＭ装置１とする）の概略構成を示す図である。
【００３４】
この図に示すように、ＳＩＤＭ装置１は、圧電素子２と、駆動軸３と、カラー部材４と、移動体５等とを備えている。但し、図示の便宜上、図２（ａ）では移動体５等の図示を省略しており、図２（ｂ）では、カラー部材４等の図示を省略するとともに、移動体５の図示を簡略化している。
【００３５】
このうち、圧電素子２は、電圧の印加により伸縮するものであり、本実施の形態においては、ピエゾ素子となっている。なお、この圧電素子２の伸縮方向は、ＳＩＤＭ装置１ＡにおいてはＺ軸方向、ＳＩＤＭ装置１ＢにおいてはＹ軸方向となっている。また、この圧電素子２には、図示しない制御装置から電圧が印加されるようになっている。
【００３６】
また、駆動軸３は柱状の部材、本実施の形態においては４角柱状の部材であり、圧電素子２の一端に固定され、当該圧電素子２の伸縮によって変位するようになっている。この駆動軸３は、カーボン含有材料で形成されており、本実施の形態においては、カーボンファイバと樹脂との混合材料（カーボンコンポジット）で形成されている。なお、駆動軸３の変位方向は、ＳＩＤＭ装置１ＡにおいてはＺ軸方向、ＳＩＤＭ装置１ＢにおいてはＹ軸方向となっている。
【００３７】
なお、駆動軸３は、カーボン含有材料に限定されるものではなく、セラミック、金属、カーボン単体等を用いることもできる。
【００３８】
また、カラー部材４は、本発明における移動制限部であり、図２（ａ）に示すように、略コ字状に形成されている。このカラー部材４は、側面においてブラケット１８に固定されるとともに、内側面において駆動軸３の側周面に固定され、当該駆動軸３を介して圧電素子２を支持している。ここで、ブラケット１８は、Ｚ軸方向，Ｙ軸方向に窪んだ２つの孔部１８０，１８１を有しており、これら孔部１８０，１８１の内部に圧電素子２を収容している。
【００３９】
また、移動体５は、駆動軸３に対し、当該駆動軸３の軸方向（ＳＩＤＭ装置１ＡではＺ軸方向，ＳＩＤＭ装置１ＢではＹ軸方向。以下、軸方向Ｊとする）に摺動するものであり、駆動軸３に摩擦係合されている。この移動体５は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、移動体本体５０と、本発明における付勢部材としての板ばね６１とを有している。なお、図３（ａ）や、後述の図３（ｃ）、図５、図６などにおいては、付勢部材による駆動軸３への付勢方向を、白抜きの矢印で図示している。
【００４０】
移動体本体５０は、駆動軸３に対して摺動する摺動面５１の形成された板状の部材、より具体的には、両面の平坦な板状の部材であり、摺動面５１で駆動軸３の４つの側周面のうち、１つの側面３ａに当接するようになっている。この移動体本体５０における両端部（図中、左右の端部）には、板ばね６１と係合する２つの係合孔５０ｂ，５０ｃが設けられている。なお、本実施の形態においては、移動体本体５０は、亜鉛またはＳＵＳから形成されている。また、この移動体本体５０には、上述の図２（ｂ）に示すように、鏡筒（図示せず）を介して光学素子１２（または１３）が固定されており、この光学素子１２（または１３）の光軸方向は、ＳＩＤＭ装置１Ａ，１Ｂの何れにおいてもＸ軸方向となっている。
【００４１】
板ばね６１は、移動体本体５０と協働して駆動軸３を周方向に囲うように当該移動体本体５０に固定されており、駆動軸３に当接して当該駆動軸３を摺動面５１に付勢しつつ、駆動軸３に対して摺動するようになっている。具体的には、板ばね６１は、軸方向Ｊに垂直な断面が略Ｍ字状となっており、この断面における両端部に２つの係合部６１ｂ，６１ｃを有している。そして、この板ばね６１は、係合部６１ｂ，６１ｃを移動体本体５０の係合孔５０ｂ，５０ｃに係合させることで移動体本体５０に固定されており、中途部６１ａで駆動軸３を摺動面５１に付勢しつつ、当該駆動軸３に対して摺動するようになっている。なお、本実施の形態においては、係合部６１ｂ，６１ｃは、板ばね６１を両端部で屈曲させることで形成されている。また、板ばね６１は、駆動軸３の軸方向Ｊに沿って当該駆動軸３に当接するようになっており、好ましくは、軸方向Ｊに垂直な断面内で駆動軸３に点接触する。
【００４２】
また、この板ばね６１の駆動軸３に対する摺動領域のうち、駆動軸３の軸方向Ｊにおける端部領域には、図４（ａ）または図４（ｂ）に示すように、当該軸方向Ｊの内側から端側に向かうに従って駆動軸３から離れる傾斜部６２が形成されている。
【００４３】
以上の板ばね６１は、ＳＵＳ、ベリリウム銅若しくはリン青銅で形成されており、好ましくは前記摺動領域が他の領域よりも肉厚に形成されている。また、この摺動領域は、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）、チタンまたはカーボンによりコーティングされている。
【００４４】
続いて、ＳＩＤＭ装置１の動作について説明する。
【００４５】
まず、圧電素子２に対し、緩やかに立上って急速に立下る鋸歯状波駆動パルスを印加する。
【００４６】
これにより、駆動パルスの緩やかな立上り時には、圧電素子２が緩やかに伸長し、駆動軸３がＺ軸（またはＹ軸）の正方向（図２（ｂ）参照）に緩やかに変位する結果、移動体５は駆動軸３に対する摩擦係合力により駆動軸３とともにＺ軸（またはＹ軸）の正方向に移動する。
【００４７】
一方、駆動パルスの急速な立下り時には、圧電素子２が急速に収縮し、駆動軸３がＺ軸（またはＹ軸）方向に沿って急速に変位する結果、移動体５は慣性力により摩擦結合力に打ち勝って実質的にその位置に留まる。
【００４８】
そして、圧電素子２に前記駆動パルスを連続的に印加することにより、駆動軸３に速度の異なる往復振動を発生させ、移動体５を連続的にＺ軸（またはＹ軸）の正方向に移動させることができる。
【００４９】
なお、移動体５をＺ軸（またはＹ軸）の負方向（図２（ｂ）参照）に移動させるには、圧電素子２に印加する鋸歯状波駆動パルスの波形を、急速に立上って緩やかに立下る波形とすれば良い。なお、印加される駆動波形としては、ここで示した鋸歯状駆動パルスに限らず、駆動に適したｄｕｔｙ比をもつ矩形波や、その他の駆動に適した立ち上がり／立下り特性を持つ波形を適用することも可能である。
【００５０】
以上のＳＩＤＭ装置１によれば、駆動軸３を摺動面５１に付勢する板ばね６１が移動体本体５０と協働して駆動軸３を周方向に囲うよう移動体本体５０に固定されるとともに、駆動軸３に当接し、当該駆動軸３に対して摺動するので、板ばね６１と駆動軸３との間に摺動版が介在する従来の場合と比較して、部品点数や組立の手間を減らし、製造コストを低廉化することができる。また、部品点数を減らすことができるため、従来と比較してＳＩＤＭ装置１を小型化することができる。
【００５１】
また、板ばね６１は移動体本体５０と協働して駆動軸３を周方向に囲うよう移動体本体５０に固定されるので、移動体５の摺動をガイドするガイド部材としての機能を板ばね６１及び移動体本体５０に持たせることができる。従って、移動体５とガイド部材とを別個に製造して組み立てる場合と比較して、製造コストを低廉化するとともに、ＳＩＤＭ装置１を小型化することができる。
【００５２】
また、移動体本体５０は平面状の摺動面５１を１つのみ有する板状の部材であるので、移動体本体５０が略コ字状である従来の場合と比較して、移動体本体５０の製造を容易化することができる。従って、製造コストをより低廉化することができる。
【００５３】
また、板ばね６１は軸方向Ｊに沿って駆動軸３に当接するので、駆動軸３を摺動面５１に対し安定して付勢することができる。また、板ばね６１が軸方向Ｊに垂直な断面内で駆動軸３に点接触する場合には、駆動軸３に対する摺動領域を小さくすることができるため、摺動領域にコーティングを行う場合や、摺動領域を肉厚にする場合であっても、板ばね６１の製造コスト、ひいてはＳＩＤＭ装置１の製造コストを低廉化することができる。
【００５４】
また、板ばね６１は係合部６１ｂ，６１ｃを移動体本体５０の係合孔５０ｂ，５０ｃに係合させることで当該移動体本体５０に固定されているので、容易に板ばね６１を移動体本体５０に固定することができる。従って、ＳＩＤＭ装置１の製造を容易化し、製造コストを低廉化することができる。
【００５５】
また、板ばね６１は駆動軸３に対する摺動領域のうち、軸方向Ｊにおける端部領域に、当該軸方向Ｊの内側から端側に向かうに従って駆動軸３から離れる傾斜部６２を有するので、駆動軸３に対して板ばね６１が摺動するときに当該板ばね６１の端部で駆動軸３が削られてしまうのを防止することができる。従って、ＳＩＤＭ装置１の製品寿命を長期化することができる。
【００５６】
また、板ばね６１は駆動軸３に対する摺動領域がＤＬＣ、チタンまたはカーボンによりコーティングされているので、駆動軸３に対して板ばね６１が摺動するときに板ばね６１が磨耗してしまうのを防止することができる。従って、ＳＩＤＭ装置１の製品寿命をいっそう長期化することができる。
【００５７】
また、板ばね６１の駆動軸３に対する摺動領域が他の領域より肉厚に形成されている場合には、駆動軸３に対して板ばね６１が摺動して磨耗する場合であっても、ＳＩＤＭ装置１の製品寿命をいっそう長期化することができる。
【００５８】
また、板ばね６１はＳＵＳ、ベリリウム銅若しくはリン青銅で形成されているので、駆動軸３に対して板ばね６１が摺動するときに板ばね６１が磨耗してしまうのを防止することができる。従って、ＳＩＤＭ装置１の製品寿命をいっそう長期化することができる。
【００５９】
なお、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。
【００６０】
例えば、上記実施の形態では、軸方向Ｊに垂直な板ばね６１の断面を略Ｍ字状として説明したが、略Ｖ字状または略Ｕ字状としても良い。
【００６１】
また、移動体本体５０を両面が平坦な板状部材として説明したが、図３（ｃ）に示すように、軸方向Ｊに延在する溝部５２を中央部に有する板状部材としても良い。この場合には、溝部５２は、底面が駆動軸３に対する摺動面５１となり、軸方向Ｊに垂直な断面内での駆動軸３に対する移動体本体５０の相対移動を、内壁面によって規制することとなる。これによれば、移動体５の摺動をガイドするガイド部材としての機能を移動体本体５０に確実に持たせることができる。
【００６２】
また、駆動軸３を４角柱状の部材として説明したが、図５（ａ）に示すように、半円柱状の部材としても良い。更に、この場合には、図５（ｃ），（ｄ）に示すように、駆動軸３は移動体本体５０の摺動面５１に対して側周面の平面部で当接することが好ましく、板ばね６１は、軸方向Ｊに垂直な断面が略Ｖ字状または略Ｕ字状に形成され、この断面内で駆動軸３に少なくとも２点で当接することにより、当該断面内での駆動軸３に対する移動体本体５０の相対移動を規制することが好ましい。これによれば、移動体５の摺動をガイドするガイド部材としての機能を板ばね６１に確実に持たせることができる。また、円柱状の駆動軸を製造する製造装置は汎用性が高いところ、このような製造装置を流用して半円柱状の駆動軸３を製造することができるため、ＳＩＤＭ装置１の製造コストを低廉化することができる。
【００６３】
また、板ばね６１は中途部６１ａにおいて駆動軸３に当接して当該駆動軸３を移動体本体５０の摺動面５１に付勢することとして説明したが、図５（ｂ）に示すように、更に、駆動軸３に垂直な断面における係合部６１ｂ，６１ｃと中途部６１ａとの間で駆動軸３の側に屈曲して当該駆動軸３に当接することとしても良い。これによれば、軸方向Ｊに垂直な断面内での駆動軸３に対する移動体本体５０の相対移動を、板ばね６１によって規制することができるため、移動体５の摺動をガイドするガイド部材としての機能を板ばね６１に確実に持たせることができる。
【００６４】
また、本発明における移動体本体を板状の移動体本体５０として説明したが、図６（ａ），（ｂ）に示すように、駆動軸３に対して摺動する平面状の摺動面５５ａを２つ有する略Ｌ字状の移動体本体５５としても良い。この場合には、本発明における付勢部材として、軸方向Ｊに垂直な断面が略Ｌ字状に形成された板ばね６２を用いることが好ましい。この板ばね６２は、軸方向Ｊに垂直な断面における両端部の係合部６２ｂ，６２ｃで移動体本体５５の係合孔５５ｂ，５５ｃに固定されるとともに、２つの中途部６２ａで駆動軸３を各摺動面５５ａに付勢する。これによれば、軸方向Ｊに垂直な断面内での駆動軸３に対する移動体本体５０の相対移動を、移動体本体５０と板ばね６１とによって規制することができるため、移動体５の摺動をガイドするガイド部材としての機能を移動体本体５０及び板ばね６２に確実に持たせることができる。更に、この場合には、図６（ｂ）に示すように、駆動軸３に対して摺動する突起部５５ｄが摺動面５５ａから突出して設けられることとしても良い。これによれば、移動体本体５５は駆動軸３に対し突起部５５ｄを介して摺動することとなるため、駆動軸３と移動体本体５５とが平面で当接して摺動する場合（図６（ａ）参照）と比較して、駆動軸３と移動体本体５５との摺動面内での接触状態を設計上の意図通りに分散させることができる分、動作を安定化することができる。また、駆動軸３に対して移動体本体５０が摺動する際に両者の間で生じる慣性力が突起部５５ｄに集中するため、駆動軸３の表面がカーボンファイバによって「ささくれ状」になっている場合でも、この「ささくれ」を突起部５５ｄが乗り越えて移動することができる分、動作をいっそう安定化することができる。また、駆動軸３と移動体本体５５との間に磨耗片などの異物が溜まりにくいため、動作をいっそう安定化することができる。
【００６５】
また、本発明における移動体本体を板状の移動体本体５０ではなく、図６（ｃ）に示すように、軸方向Ｊに延在する溝部５７ａを有するとともに、平面状の摺動面を溝部５７ａの底面５７ｂ及び内壁面５７ｃ，５７ｄに計３つ有する略コ字状の移動体本体５６としても良い。この場合には、本発明における付勢部材として、軸方向Ｊに垂直な断面が略Ｍ字状に形成された板ばね６３を用いることが好ましい。この板ばね６３は、軸方向Ｊに垂直な断面における両端部の係合部６３ｂ，６３ｃで移動体本体５６に固定されるとともに、中途部６３ａで駆動軸３を溝部５７ａの底面５７ｂに付勢する。これによれば、軸方向Ｊに垂直な断面内での駆動軸３に対する移動体本体５０の相対移動を移動体本体５０によって規制することができるため、移動体５の摺動をガイドするガイド部材としての機能を移動体本体５０に確実に持たせることができる。更に、この場合には、上記と同様に、駆動軸３に対して摺動する突起部５６ｄが溝部５７ａの底面５７ｂから突出して設けられることとしても良い。
【符号の説明】
【００６６】
１，１Ａ，１Ｂ  駆動装置
２  圧電素子
３  駆動軸
４  カラー部材（移動制限部）
５  移動体
５０，５５，５６  移動体本体
５２，５７ａ  溝部
６１，６２，６３  板ばね（付勢部材）
６２  傾斜部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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