(57)【要約】実装ステージの上面に載置された基板のＴＣＰが実装される側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツール１７と、バックアップツールの上端面によって下面が支持された基板の側辺部の上面にＴＣＰを実装する加圧ツール１５と、バックアップツールの上端面から基板が退避した状態でその上端面を撮像する撮像カメラ５１と、撮像カメラをバックアップツールの長手方向に沿って駆動して上端面を全長にわたって撮像させるカメラ駆動源と、カメラ駆動源の撮像信号を画像処理する画像処理部と、画像処理部によって処理された画像信号に基いてバックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定部を具備する。
2010041610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
上記電子部品が実装される側辺部を外方に突出させて上記基板が上面に載置される実装ステージと、
この実装ステージの上面から外方に突出させた上記基板の側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツールと、
このバックアップツールの上端面によって下面が支持された上記基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する加圧ツールと、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記上端面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段を上記バックアップツールの長手方向に沿って駆動して上記上端面を全長にわたって撮像させる駆動手段と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部によって処理された画像信号に基いて上記バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記判定手段は、上記画像処理部からの画像信号と、上記駆動手段による上記撮像手段の駆動位置に基いて上記付着物の上記バックアップツールの上端面の長手方向における位置を特定することを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記撮像手段は、上記バックアップツールの長手方向と交差する幅方向沿って設けられ上記駆動源によって上記バックアップツールの長手方向に駆動されたベース部材と、このベース部材の一端に設けられ上記バックアップツールの上端部を側方から撮像する撮像カメラと、上記ベース部材の他端に設けられ上記撮像カメラによって撮像されるバックアップツールの上端部を側方から照明する光源とによって構成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記駆動手段によって上記撮像手段と一体的に駆動されて上記バックアップツールの上端面を清掃する清掃手段が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電子部品実装装置。
【請求項５】
上記清掃手段は、上記バックアップツールの上端面の上記撮像手段によって撮像される前の部分を清掃することができる位置に設けられていることを特徴とする請求項４記載の電子部品実装装置。
【請求項６】
基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
実装ステージに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールの上端面に載置する工程と、
下面が上記バックアップツールの上端面に載置された基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する工程と、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像する工程と、
上記バックアップツールの上端面の撮像に基いてその上端面に付着物があるか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項７】
上記バックアップツールの上端面に付着物があることを判定したときに、上記バックアップツールの長手方向における上記塵埃の位置を特定することを特徴とする請求項６記載の電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、たとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板に、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）などの電子部品を実装する実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置を製造する場合、ガラス製のパネルなどの基板に、電子部品であるＴＣＰを実装するための実装装置が用いられる。ＴＣＰは上記基板の４つの辺のうち、少なくとも１つの辺を除く２つ或いは３つの辺に実装されることが多い。【０００３】
上記実装装置は上記基板が供給載置される実装ステージを有する。この実装ステージは上記基板の平面形状よりも面積の小さな載置面を有し、この載置面に上記基板が供給載置される。その際、上記基板は、上記ＴＣＰが実装される側辺部を上記実装ステージの載置面の周縁から外方に突出させて位置決め保持される。【０００４】
上記基板の側辺部には粘着性を有するテープ状の異方性導電部材が貼着されていて、この異方性導電部材に複数のＴＣＰが所定間隔で仮圧着されてから本圧着される。【０００５】
基板の側辺部に複数のＴＣＰを仮圧着したり、本圧着する場合、上記基板は側辺部の下面がバックアップツールの上端面によって支持される。仮圧着時には基板の側辺部の上面に複数のＴＣＰが１つずつ供給されて実装され、本圧着時には仮圧着された複数のＴＣＰを加圧ツールによって同時に加圧加熱するようにしている。【０００６】
上記ＴＣＰを本圧着することで、熱硬化性の上記異方性導電部材は上記加圧ツールの熱によって溶融されてから硬化するから、基板の側辺部に複数のＴＣＰが固着されることになる。特許文献１にはこのような実装技術が示されている。
【特許文献１】特開２００８−１２４１４８号公報  ＴＣＰを本圧着する際、基板の側辺部の下面を支持するバックアップツールの上端面に塵埃が付着していることがある。塵埃が付着した状態で、基板の側辺部の上面が加圧ツールによって加圧されると、上記基板の塵埃が介在する部分には他の部分よりも大きな加圧力が作用することになるから、その部分が破損するということがある。
【０００７】
そこで、従来は本圧着を所定回数行ったならば、上記バックアップツールの上端面をたとえば手作業によって回転ブラシなどで清掃し、その上端面に付着した塵埃を除去するということが行われている。【０００８】
ところで、複数のＴＣＰを一度に本圧着する場合、バックアップツールと加圧ツールは、基板に仮圧着された複数のＴＣＰを同時に加圧加熱することができる長さを備えていなければならない。最近では基板が大型化してきている。そのため、基板の大型化に伴ってバックアップツールと加圧ツールがたとえば１〜３ｍ程度の長さに長尺化するということがある。【０００９】
バックアップツールが長尺化すると、その上端面には塵埃が付着する機会が多くなる。バックアップツールの上端面には、単に周囲の雰囲気に含まれる塵埃が付着するだけでなく、本圧着時に加圧ツールによって溶融された異方性導電部材の一部が付着物としてバックアップツールの上端面に付着し、固化することがある。【００１０】
バックアップツールの上端面に単に塵埃が付着しているだけであれば、その上端面を回転ブラシで清掃することで容易に除去することができる。しかしながら、バックアップツールの上端面に異方性導電部材の一部が固化した付着物が付着していると、回転ブラシで清掃するだけでは除去しきれないということがある。【００１１】
従来、バックアップツールの上端面を回転ブラシで清掃するということは行われていた。そして、回転ブラシで清掃すれば、バックアップツールの上端面から塵埃が除去されたものとして本圧着が行われていた。【００１２】
そのため、バックアップツールの上端面に異方性導電部材が固化して付着していると、ＴＣＰを本圧着する際、その付着物によって基板が部分的に大きな応力を受けることになるから、その部分に欠けが生じるなどして基板を損傷させる原因になるということがあった。
【発明の開示】
【００１３】
この発明は、バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを確実に確認することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【００１４】
上記課題を解決するために、この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
上記電子部品が実装される側辺部を外方に突出させて上記基板が上面に載置される実装ステージと、
この実装ステージの上面から外方に突出させた上記基板の側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツールと、
このバックアップツールの上端面によって下面が支持された上記基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する加圧ツールと、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記上端面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段を上記バックアップツールの長手方向に沿って駆動して上記上端面を全長にわたって撮像させる駆動手段と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部によって処理された画像信号に基いて上記バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置を提供することにある。
【００１５】
また、この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
実装ステージに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールの上端面に載置する工程と、
下面が上記バックアップツールの上端面に載置された基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する工程と、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像する工程と、
上記バックアップツールの上端面の撮像に基いてその上端面に付着物があるか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法を提供することにある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１はこの発明の一実施の形態の実装装置を示す概略的構成図である。
【図２】図２は圧着ユニットの架台に設けられた検査装置の側面図である。
【図３】図３はバックアップツールの一端側の待機位置にある検査装置の正面図である。
【図４】図４は制御装置による制御系統を示すブロック図である。
【図５】図５（ａ）はバックアップユニットの受け面に付着物が付着していない状態の撮像カメラによる撮像画像の説明図、図５（ｂ）はバックアップユニットの受け面に付着物が付着している状態の撮像カメラによる撮像画像の説明図である。
【図６】図６は側辺部にＴＣＰが実装された基板の斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。【００１８】
図１はこの発明の一実施の形態に係る実装装置の概略的構成図を示す。この実装装置では、図６に示すガラス製の液晶セルからなる基板Ｗの周縁部に、粘着性を有するテープ状の異方性導電部材５を介して仮圧着された電子部品としてのＴＣＰ６が本圧着されるようになっている。【００１９】
上記基板Ｗは、一対のガラス板４ａを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板４ａの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板４ｂが貼着されている。【００２０】
下側のガラス板４ａの側辺部の上面には上記ＴＣＰ６が上記異方性導電部材５を介して仮圧着されており、仮圧着されてから後述するように本圧着される。図６は２つの側辺部にそれぞれ複数のＴＣＰ６が仮圧着された基板Ｗを示す斜視図である。【００２１】
図１に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット１１及び後述する実装ステージ３７を水平方向（Ｘ、Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び矢印で示す上下方向（Ｚ方向）に移動させる位置決めユニット１２を備えている。【００２２】
上記圧着ユニット１１は架台１３を有し、この架台１３の上端に設けられた支持部１４には加圧ツール１５がシリンダ１６によって上下駆動可能に設けられている。上記加圧ツール１５にはヒータ１５ｂが内蔵され、この加圧ツール１５を数百度に加熱することができるようになっている。また、加圧ツール１５の下端面は加圧面１５ａに形成され、この加圧面１５ａの下方にはバックアップツール１７が上端面、つまり受け面１７ａを対向させて立設されている。【００２３】
上記バックアップツール１７は基板Ｗの側辺部の長さを支持できる長さを有し、上記加圧ツール１５は上記バックアップツール１７と対応する長さに設定されている。基板Ｗが大型の場合、上記加圧ツール１５と上記バックアップツール１７の長さは１ｍ以上になることがある。【００２４】
上記位置決めユニット１２は上記圧着ユニット１１の側方に配置されている。この位置決めユニット１２はＸステージ１８を有し、このＸステージ１８にはＸ駆動源１９によってＸ方向に駆動されるＸ可動体２０が設けられている。【００２５】
なお、上記圧着ユニット１１のバックアップツール１７の長手方向と平行な方向である、図１の紙面に対して直交する方向をＸ方向とし、このＸ方向と交差する方向をＹ方向とする。Ｙ方向は図１に矢印で示す。【００２６】
上記Ｘ可動体２０の上面にはＹステージ２１が一体的に設けられている。このＹステージ２１の上面にはＹ可動体２２が設けられている。このＹ可動体２２はＹ駆動源２３によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。【００２７】
上記Ｙ可動体２２の上面には側面形状がクランク状の支持体２５が立設されている。この支持体２５の上端部の支持部２６と上記Ｙ可動体２２との間にはねじ軸２７とガイド軸２８とが軸線をＸ方向とＹ方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸２７は回転可能に設けられ、ガイド軸２８は固定的に設けられている。【００２８】
上記ねじ軸２７にはＺ可動体２９が螺合され、このＺ可動体２９には上記ガイド軸２８がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸２７を回転させれば、上記Ｚ可動体２９は、ねじ軸２７とともに回転することなく、上記ガイド軸２８に沿って上下動するようになっている。【００２９】
上記ねじ軸２７の上端部は上記支持部２６の上面から突出し、その突出端には従動歯車３０が嵌着されている。この従動歯車３０には駆動歯車３１が噛合している。この駆動歯車３１は上記支持体２５に設けられたＺ駆動源３２の駆動軸３２ａに同軸に固定されている。したがって、Ｚ駆動源３２が作動してその駆動軸３２ａが回転すれば、噛合した一対の歯車３０、３１を介してねじ軸２７が回転されるから、上記Ｚ可動体２９が図１に矢印で示すＺ方向に駆動されることになる。【００３０】
上記Ｚ可動体２９にはＬ字状の取付け部材３４の一辺が固着されている。この取付け部材３４の水平となった他辺の下面にはθ駆動源３５が設けられ、上面にはθ駆動源３５によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体３６が設けられている。【００３１】
上記θ可動体３６の上面には平面形状が矩形状の上記実装ステージ３７がその中央部をθ可動体３６の回転中心に一致させて設けられている。この実装ステージ３７の上面３７ａには、真空ポンプによって吸着力が生じる吸引孔（ともに図示せず）が開口形成されていて、上記基板Ｗが吸着保持されるようになっている。  
なお、基板Ｗは、図１に示すように、ＴＣＰ６が仮圧着された側辺部を実装ステージ３７のＸ方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で実装ステージ３７上に保持される。【００３２】
上記基板Ｗの側辺部に仮圧着されたＴＣＰ６を本圧着するとき、同図に鎖線で示すように基板ＷのＴＣＰ６が仮圧着された側辺部が上記バックアップツール１７の受け面１７ａに載置される。その状態で、上記加圧ツール１５がシリンダ１６によって下降方向に駆動されると、上記ＴＣＰ６が加圧ツール１５によって加圧加熱されるから、異方性導電部材５が溶融固化して上記ＴＣＰ６が基板Ｗの側辺部に本圧着されることになる。【００３３】
上記ＴＣＰ６の本圧着を開始する前、或いは本圧着を所定回数行った後、上記バックアップツール１７の受け面１７ａを後述する回転ブラシ６２で清掃した後、その受け面１７ａに付着物が残留している否かが検査装置４１によって検査される。【００３４】
上記検査装置４１は、図２と図３に示すように上記圧着ユニット１１の支持部１４の下面に吊り下げられた一対のガイドレール４３を有する。一対のガイドレール４３は、上記バックアップツール１７のＸ方向に沿う長さ寸法よりも長く形成されていて、上記バックアップツール１７の幅方向両側に下端を上記受け面１７ａよりも上方に位置させて設けられている。【００３５】
上記一対のガイドレール４３には下面に開放したアリ溝状のガイド溝４３ａが形成され、このガイド溝４３ａには可動体４４の上端に設けられた凸部４４ａが移動可能に係合している。一対の可動体４４にはベース部材４５の一端と他端が取り付けられている。つまり、ベース部材４５は上記バックアップツール１７の長手方向と交差する方向に設けられている。【００３６】
上記ベース部材４５の上面にはめねじ体４６が設けられ、このめねじ体４６にはねじ軸４７が螺合されている。このねじ軸４７は上記支持部１４とほぼ同じ長さを有し、軸線を上記バックアップツール１７の長手方向と平行にして設けられている。このねじ軸４７の一端は図３に示すようにパルスモータからなるカメラ駆動源４８に連結され、他端は図示しない軸受によって回転可能に支持されている。【００３７】
したがって、上記カメラ駆動源４８が作動してねじ軸４７が回転駆動されれば、その回転によってめねじ体４６を介して上記ベース部材４５が上記バックアップツール１７の長手方向に沿って駆動されるようになっている。【００３８】
上記ベース部材４５の下面の長手方向の一端には撮像手段としての撮像カメラ５１がその撮像部５１ａをバックアップツール１７の受け面１７ａを側方から撮像することができる高さに設けられ、他端には上記受け面１７ａの上記撮像カメラ５１が撮像する部分を照明する光源５２が設けられている。つまり、撮像カメラ５１と光源５２はバックアップツール１７に対して同じ方向に一体に駆動されるようになっている。【００３９】
図４に示すように、上記撮像カメラ５１の撮像信号は画像処理部５３に出力され、ここで撮像信号がアナログ信号からデジタル信号に変換される。つまり、撮像信号は明暗の差によって二値化処理される。二値化処理された撮像信号は制御装置５４の比較部５５に出力される。比較部５５には図５（ａ）に示す基準画像Ｇ１が予め設定されていて、この比較部５５で上記基準画像Ｇ１と図５（ｂ）に示す上記撮像信号を二値化処理して得られた撮像画像Ｇ２が比較される。【００４０】
上記基準画像Ｇ１はバックアップツール１７の受け面１７ａに付着物が付着していない場合であって、その場合、上記受け面１７ａは平坦面となっている。それに対して受け面１７ａに付着物が付着している場合、撮像カメラ５１からの撮像信号を二値化処理して得られる撮像画像Ｇ２は、上記受け面１７ａが平坦面とならず、図５（ｂ）に示すように付着物が付着した部分が凸部Ｐとなる。【００４１】
したがって、上記比較部５５で基準画像Ｇ１と撮像画像Ｇ２を比較することで、上記受け面１７ａに塵埃が付着しているか否かが分かり、その結果は判定部５６から表示部５７に出力されて表示されるようになっている。なお、表示部５７はそのことを画像表示するモニタであってもよいが、作業者にそのことを音声で知らせるものであってもよい。【００４２】
上記撮像カメラ５１による上記受け面１７ａの撮像は、バックアップツール１７の長手方向一端から他端に向かって連続的に行われる。つまり、制御装置５４の駆動部５８からカメラ駆動源４８にパルス信号が出力され、このカメラ駆動源４８が駆動部５８から受けるパルス数に応じて作動し、上記撮像カメラ５１をバックアップツール１７の長手方向に駆動しながら行われる。上記駆動部５８からのパルス信号は上記カメラ駆動源４８に出力されると同時に、上記判定部５６にも出力される。【００４３】
上記駆動部５８から上記カメラ駆動源４８に出力されるパルス信号によって上記撮像カメラ５１の位置を特定することができる。つまり、上記駆動部５８からカメラ駆動源４８に出力されるパルス信号の数によって撮像カメラ５１の移動開始点からの移動距離を求めることができる。【００４４】
上記駆動部５８からのパルス信号は、上記カメラ駆動源４８と同時に判定部５６に出力される。それによって、上記判定部５６は上記バックアップツール１７の受け面１７ａに塵埃があると判定すると同時に、その付着物の上記バックアップツール１７の受け面１７ａの長手方向における位置を特定することができる。【００４５】
上記検査装置４１は、上記圧着ユニット１１が基板ＷにＴＣＰ６を本圧着しているときには図３に示すように上記バックアップツール１７の長手方向の一端から外れた待機位置Ｓで待機していて、付着物の検査時には待機位置Ｓから同図に矢印Ｘで示す上記バックアップツール１７の長手方向の他端に向かって駆動される。【００４６】
図２と図３に示すように、上記検査装置４１のベース部材４５長手方向中途部の上記バックアップツール１７の受け面１７ａと対応する部位には、一対の支持具６１が上記受け面１７ａの幅寸法よりもわずかに大きな間隔で離間して設けられている。【００４７】
一対の支持具６１には清掃手段としての上記回転ブラシ６２が回転可能かつ上記受け面に接触する高さで支持されている。そして、この回転ブラシ６２は一方の支持具６１に設けられたブラシ駆動源６３によって回転駆動されるようになっている。【００４８】
上記ブラシ駆動源６３は図４に示すように上記制御装置５４の駆動部５８からの駆動信号によって回転駆動されるようになっている。なお、清掃手段は回転ブラシ６２に限られず、円盤状或いはロール状をなした研磨布などを用いてもよい。【００４９】
図３に示すように、上記回転ブラシ６２は待機位置Ｓで待機する上記検査装置４１の矢印Ｘで示す移動方向の下流側に設けられている。それによって、上記検査装置４１が矢印Ｘ方向に駆動されると、上記回転ブラシ６２は検査装置４１と一体的に矢印Ｘ方向に移動する。【００５０】
そのとき、上記回転ブラシ６２を回転駆動させれば、上記バックアップツール１７の受け面１７ａが上記撮像カメラ５１によって撮像される前に上記回転ブラシ６２によってブラッシングされるようになっている。【００５１】
なお、回転ブラシ６２を矢印Ｘと逆方向に移動させる際、この回転ブラシ６２を回転駆動させなければ、受け面１７ａに対して作用することがない。【００５２】
上記撮像カメラ５１による上記受け面１７ａの撮像は、上記検査装置４１が図３に示す矢印Ｘ方向に駆動されているときに連続して撮像し、その画像を動画として得るようにしてもよいが、検査装置４１が所定距離移動する毎に撮像カメラ５１による撮像を間欠的に行うことで、静止画として得るようにしてもよい。【００５３】
なお、上記位置決めユニット１２のＸ駆動源１９、Ｙ駆動源２３、Ｚ駆動源３２及びθ駆動源３５は上記制御装置５４の駆動部５８からの駆動信号によって駆動が制御されるようになっている。【００５４】
上記構成の実装装置によれば、バックアップツール１７の受け面１７ａに付着物があるか否かを検査する場合、検査装置４１を図３に示す待機位置Ｓから矢印Ｘで示す方向に駆動する。検査装置４１が駆動されると、駆動方向下流側に検査装置４１と一体的に回転ブラシ６２が設けられているから、上記受け面１７ａは上記検査装置４１の撮像カメラ５１によって撮像される前に上記回転ブラシ６２によってブラッシングされる。【００５５】
そして、上記受け面１７ａの回転ブラシ６２によってブラッシングされ部分が上記撮像カメラ５１によって撮像され、その撮像信号からバックアップツール１７の受け面１７ａに付着物が付着しているか否かを判定することができる。つまり、上記受け面１７ａに付着物が残留しているか否かを確実に検出することができる。【００５６】
したがって、受け面１７ａに付着物が残留している場合には、検査後に受け面１７ａに付着した付着物を除去すれば、受け面１７ａに塵埃が付着した状態で基板ＷにＴＣＰ６を本圧着するのを未然に防止することができる。つまり、基板Ｗを受け面１７ａに付着して付着物によって損傷させるのを防止することができる。【００５７】
制御装置５４の判定部５６は、基板Ｗに塵埃があることを単に検出するだけでなく、その検出と同時に、塵埃がバックアップツール１７の受け面１７ａの長手方向のどの位置にあるかを特定することができる。【００５８】
つまり、駆動部５８からのパルス信号は、撮像カメラ５１を駆動するカメラ駆動源４８と判定部５６とに同時に出力するようにした。そのため、判定部５６では、バックアップツール１７の受け面１７ａに付着物があることを検出すると同時に、そのときの撮像カメラ５１のバックアップツール１７の長手方向の位置を特定することができる。【００５９】
それによって、バックアップツール１７の受け面１７ａに付着する付着物を除去する際、その付着物がバックアップツール１７の受け面１７ａの長手方向のどの位置に付着しているのかを予め知ることができるから、その付着物の除去作業を容易に、しかも確実に行うことができる。【００６０】
とくに、基板Ｗが大型化してバックアップツール１７が長尺化すると、その受け面１７ａのどの位置に付着物が付着しているかを見つけることは容易ではない。しかしながら、上述した検査装置４１は付着物の有無だけでなく、位置を特定することができるから、バックアップツール１７の受け面１７ａに残留する塵埃の除去を上述したように容易かつ確実に行うことができる。【００６１】
付着物の除去作業は手作業で行ってもよいが、上記判定部５６によって付着物が付着している位置が特定できるため、その位置に検査装置４１と一体的に設けられた回転ブラシ６２を移動させ、その部分を再度、ブラッシングするようにしてもよい。なお、ブラッシングの結果は、ブラッシングされた部分を撮像カメラ５１によって撮像して判定すればよい。このようにすれば、受け面の検査と付着物の除去の両方の作業を自動化することができる。【００６２】
上記撮像カメラ５１により受け面１７ａを撮像し、そこに付着物に残留しているか否かを判定する前に、上記撮像カメラ５１と一体的に駆動される回転ブラシ６２によって上記受け面１７ａをブラッシングするようにした。【００６３】
そのため、受け面１７ａを撮像する前にその受け面１７ａをブラッシングしない場合に比べ、受け面１７ａに付着物が残留する度合を低減させることができるから、付着部の残留検査を行った後の除去作業を容易かつ迅速に行うことが可能となる。【００６４】
上記撮像カメラ５１による受け面１７ａに付着した付着物の撮像は、図２に示すようにバックアップツール１７の幅方向一端に位置する光源５２から照明光を照射し、幅方向他端に位置する上記撮像カメラ５１によって行うようにしている。【００６５】
そのため、受け面１７ａに付着物が付着していると、撮像カメラ５１は付着物の影を撮像することになるから、受け面１７ａでの照明光の反射状態に影響を受けることなく、付着物の撮像を確実に行うことが可能となる。【００６６】
上記一実施の形態では、付着物として基板にＴＣＰを本圧着することで、バックアップツールの受け面に異方性導電部材が固着する場合を例に挙げて説明したが、付着物としては受け面に固着する異方性導電部材に限られず、実装装置が設置される空間部で発生する塵埃が付着した場合であってもよく、要は受け面に付着残留しているものであれば、その検出と同時に位置を特定することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
この発明によれば、バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像し、その撮像に基いてバックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定するようにしたから、バックアップツールの上端面を清掃した後、その上端面に付着物が残留しているか否かを正確に判定することが可能となる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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2010041610.tif 000010
2010041610.tif 000011
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