【事件の表示】
　特願２０１６−５１９５５２号「ウェーハベースの光源パラメータ制御」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年１２月１８日国際公開、ＷＯ２０１４／２００８２１号、平成２８年　９月　５日国内公表、特表２０１６−５２６６９７号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１４年（平成２６年）６月５日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　２０１３年６月１１日　米国、２０１４年６月４日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成２８年２月４日に国際出願翻訳文（特許請求の範囲、明細書及び図面）が提出され、平成３０年３月９日（発送　同年同月１３日）で拒絶理由が通知され、平成３０年６月１２日に手続補正がされるとともに意見書が提出されたが、同年１０月３日付けで拒絶査定（謄本送達日　同年同月５日、以下「原査定」という。）がされ、これに対し、平成３１年１月２９日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに手続補正がされ、令和元年８月２８日付け（発送　同年同月２９日）で当審より拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年１１月２８日に手続補正（以下「本件補正」という。）がされるとともに意見書（以下「本件意見書」という。）が提出され、その後、令和２年１月１７日付け、及び、令和２年１月３１日付けで請求人からファクシミリによる説明が送付されたものである。
　
第２　本願請求項１ないし２２
　本願請求項１ないし２２に係る発明は、令和２年１１月２８日に補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２２に記載された、次のとおりのものである（下線は、請求人が付与したとおりであって、補正箇所を示す。）。
「【請求項１】
　光学源に命令してパルス光ビームを発生させることと、
　リソグラフィ露光装置のウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンし、前記パルス光ビームで前記ウェーハを露光することと、
　前記パルス光ビームで前記ウェーハを横断してスキャンした際に、前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの特性を
監視モジュールで
　前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの前記特性を
前記監視モジュールから制御系が
　受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を
検出系が
　スキャンの際に
前記監視モジュールから
前記検出系で
前記制御系が
　前記決定された変更に基づいて、前記ウェーハを横断するスキャンの際の前記パルス光ビームの前記性能パラメータを
前記制御系が
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータは、前記光学源に接続される光源作動系に信号を送ることにより変更される、
フォトリソグラフィ方法。
【請求項２】
　前記ウェーハ物性の値は、前記ウェーハの前記物性の誤差を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
　前記ウェーハ物性は、前記ウェーハ上に形成されたフィーチャのコントラスト、前記パルス光ビームで露光されるウェーハ領域に既に形成されている臨界寸法、前記パルス光ビームで露光されるウェーハ領域に既に形成されているフォトレジストプロファイル、及び前記パルス光ビームで露光されるウェーハ領域に既に形成されている側壁角度のうち１つ以上である、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
　受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を決定すること
に先立ち
　前記光学源の前記パルス光ビームによって予め露光されたウェーハにおける一組のパルス光ビーム特性に対する前記予め露光されたウェーハ物性の一組の決定値を受信することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
　前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの前記特性を受信することは、前記パルス光ビームが前記ウェーハを露光する位置を受信することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
　前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの前記特性を受信することは、前記パルス光ビームが前記ウェーハを露光するときに前記パルス光ビームのエネルギを受信することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
　
前記パルス光ビームの目標性能パラメータを変更することをさらに含み、
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータの測定を受信することと、
　前記測定された性能パラメータが前記変更された目標性能パラメータと一致するかどうかを判定することと、
　前記測定された性能パラメータが前記変更された目標性能パラメータと一致しないと判定された場合、前記光学源に信号を送信して前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
　前記ウェーハにおける前記パルス光ビーム特性を受信することは、
　前記リソグラフィ露光装置から前記光学源への制御信号を受信することと、
　前記受信した制御信号に基づいて前記ウェーハにおける前記パルス光ビーム特性を決定することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータへの前記変更を決定することは、
　前記ウェーハにおける光ビーム特性の関数として記憶された性能パラメータの組にアクセスすることと、
　前記アクセスされた組内で現在のウェーハにおける前記パルス光ビームの前記受信した特性に対応する前記性能パラメータの値を選択することと、
　前記性能パラメータの前記選択された値を前記パルス光ビームの前記性能パラメータの現在の値と比較することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
　前記性能パラメータの前記選択された値が前記現在の値と一致しない場合、前記現在の性能パラメータが前記選択された値と一致するように調整される必要があると
表示
【請求項１１】
　前記ウェーハ物性の値を決定すること
に先立ち
【請求項１２】
　前記組の前記ウェーハにおける各パルス光ビーム特性について、前記測定された物性に基づいて前記パルス光ビームの性能パラメータを決定することと、
　前記決定された性能パラメータを前記組内の各パルス光ビーム特性
に対応させて
をさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
　前記ウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンすることは、前記ウェーハのフィールドを横断して前記パルス光ビームをスキャンすることを含み、前記フィールドは、露光される前記ウェーハの全領域の一部であり、
　前記パルス光ビームの前記特性を受信することは、前記フィールドを横断する前記スキャンの際に前記特性を受信することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、スペクトル特徴、スペクトル特徴の誤差、前記パルス光ビームのエネルギ、前記パルス光ビームの量、前記パルス光ビームの波長の誤差、前記パルス光ビームの帯域幅、及び前記パルス光ビームのスペクトル形状のうち１つ以上を変更することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することに基づいて前記ウェーハにおけるパターニングの誤差を補正することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
　前記ウェーハのパターニングの前記誤差は、前記リソグラフィ露光装置内の光学的フィーチャ又は構成要素を変更することなく補正される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、前記パルス光ビームのスペクトル特徴を変更することを含み、
　前記パルス光ビーム特性が受信される度にスペクトル特徴
を調整
【請求項１８】
　前記パルス光ビーム特性は前記ウェーハの各フィールドにおいて受信され、
　前記フィールドは、露光される前記ウェーハの全領域の一部及び露光窓の１回のスキャンにおいて露光される前記ウェーハの領域である、請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
　前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、前記
パルス光ビームの
　前記位相は、スペクトル合成により発生される波長のピーク間の距離である、請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
　前記ウェーハをスキャンする前に、
　１つ以上の予め露光されたウェーハの各露光フィールドにおけるスキャン内の前記ウェーハ物性を測定することと、
　前記パルス光ビームで露光されたウェーハ全体を横断して各露光フィールドについて測定された各ウェーハ物性を相関させるテーブルを作成することと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
　前記ウェーハ物性の値を決定することは、前記作成されたテーブルから現在の露光フィールドについての前記測定されたウェーハ物性を受信することを含む、請求項
２０
【請求項２２】
　前記パルス光ビーム特性を受信することは、
　前記ウェーハの露光の開始の検出を受信することと、
　前記ウェーハの前記露光の終了の検出を受信することと、
を含む、請求項
２０
　
第３　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
　当審拒絶理由の概要は、以下のとおりである。
　
「理由１（明確性要件）
　本件出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
理由２（サポート要件）
　本件出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　
　本願出願の請求項１に係る発明は、平成３１年１月２９日になされた手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである（記号Ａ〜Ｈは、分説するため当審にて付した。）。
『Ａ　光学源に命令してパルス光ビームを発生させることと、
Ｂ　リソグラフィ露光装置のウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンし、前記パルス光ビームで前記ウェーハを露光することと、
Ｃ　前記パルス光ビームで前記ウェーハを横断してスキャンした際に、前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの特性を検出することと、
Ｄ　前記ウェーハを横断する前記パルス光ビームのスキャンの際に前記ウェーハにおける前記パルス光ビームの前記特性を受信することと、
Ｅ　受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を決定することと、
Ｆ　スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性と、決定された前記ウェーハ物性の値と、に基づいて、前記パルス光ビームの性能パラメータの変更を決定することと、前記決定された変更に基づいて、前記ウェーハを横断するスキャンの際の前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することと、を含み、
Ｇ　前記パルス光ビームの前記性能パラメータは、前記光学源に接続される光源作動系に信号を送ることにより変更される、
Ｈ　フォトリソグラフィ方法。』
　
●理由１（明確性）
（１）請求項１について
ア　上記構成ＡないしＣ、ならびに、構成Ｆ及びＧについて
　方法発明である本願出願の請求項１に係る発明は、構成Ｂで、『（パルス光ビームをスキャンし、）パルス光ビームで前記ウェーハを露光する』と特定するから、構成Ｃの『（パルス光ビームで前記ウェーハを横断してスキャンした際に、）パルス光ビームの特性を検出する』時点は、『ウェーハ』が『パルス光ビームで』『露光』されていると解される。
　そうすると、既に露光された『ウェーハ』に対して、構成Ｆ、Ｇのように『光学源に接続される光源作動系に信号を送ることにより』『前記ウェーハを横断するスキャンの際の前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更』しても『前記ウェーハ』（既に露光済みのウェーハ）に対して何も新たに露光することはできないと解される。
　したがって、本願出願の請求項１に係る発明で、なぜ、『露光』（構成Ａ、Ｂ）した後に『前記ウェーハを横断するスキャンの際の前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更』することを特定するのか理解できない不明確な記載である。
　
イ　上記構成Ｃ及びＤについて
　本願出願の請求項１に係る発明は、構成Ｄで特定する『受信』が、構成Ｃで検出した『特性』を『前記特性』として、何らかの手段が、何らかの手段から『受信』していること特定すると理解される。
　しかしながら、構成Ｄは、何が、何から『受信』しているのか特定しないため（後記理由２『（２）』参照）、単に制御手段が検出手段から受信している程度の構成を含み、発明の特定する事項が不明確である。
　
ウ　上記構成Ｅについて
　本願出願の請求項１に係る発明は、構成Ｅにおいて、『受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を決定すること』を特定するが、本願出願の請求項１は、『受信した前記パルス光ビーム特性』がどのような『特性』かを特定しない。
　また、『相関する』では、『ウェーハ物性の値』と『受信した前記パルス光ビーム特性』とがどのような関係にあるのか漠然としていて不明確である。
　したがって、なぜ、当該『特性』から、『ウェーハ物性の値』が選択できるのか、さらには、いかなる構成で、何の中から『選択』する構成であるのか理解できない不明確な記載である。
　
エ　上記構成Ｆについて
　本願出願の請求項１に係る発明は、構成Ｆにおいて、『スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性と、決定された前記ウェーハ物性の値と、に基づいて、前記パルス光ビームの性能パラメータの変更を決定する』と特定するが、構成Ｅにおいて、『決定された前記ウェーハ物性の値』も『スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性』に基づくと特定する。
　そうすると、構成Ｆは、実体的には、『スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性』と『スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性』由来の値とで『パルス光ビームの性能パラメータの変更を決定する』ことを特定すると解される。
　しかしながら、なぜ、当該、『スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性』と『スキャンの際に受信した前記パルス光ビーム特性』由来の値とで『パルス光ビームの性能パラメータの変更を決定する』のか理解できない不明確な記載である（後記理由２『（２）』参照）。
　
オ　したがって、請求項１は特許を受けようとする発明が明確ではない。
　また、請求項１を引用する各項も同様に明確ではない。
　
（２）請求項２、３について
　請求項２は、請求項１の構成において『前記ウェーハ物性の値は、前記ウェーハの前記物性の誤差を含む』ことを特定する。
　しかしながら、上記（１）で述べたとおり、請求項１では検出する『パルス光ビームの特性』等が特定されないため、なぜ、『受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値（誤差）を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値（誤差）を決定すること』（請求項１を引用する請求項２における構成Ｅ）ことができるのか理解できない不明確な記載である。
　請求項３も同様である。
　
（３）請求項４について
　請求項４における、『受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を決定すること』（前者）が、なぜ『前記光学源の前記パルス光ビームによって予め露光されたウェーハにおける一組のパルス光ビーム特性に対する前記予め露光されたウェーハ物性の一組の決定値を受信すること』（後者）を含むのか理解できない不明確な記載である。
（『・・・決定すること』（前者）と『・・・受信すること』（後者）は別異の事項であると理解される。）
　
（４）請求項７について
　請求項１を引用する請求項７は、『前記パルス光ビームの前記性能パラメータ』とは別に『前記パルス光ビームの目標性能パラメータ』との構成を付加するものであるところ、当該『パルス光ビームの目標性能パラメータ』が如何なるものであるのか特定されず不明確である。
　また、なぜ、『目標性能パラメータ』まで変更するのか理解できない不明確な記載である。
　
（４）請求項９について
　請求項１を引用する請求項９は、『前記ウェーハにおける光ビーム特性の関数として記憶された性能パラメータの組にアクセスすることと、前記アクセスされた組内で現在のウェーハにおける前記パルス光ビームの前記受信した特性に対応する前記性能パラメータの値を選択すること』との構成を付加するものであるところ、上記（１）で述べたとおり、『特性』が明らかではないため、当該『光ビーム特性の関数として記憶された性能パラメータの組』が如何なるものであるのか理解できない不明確な記載である。
　
（５）請求項１０について
　請求項１０における、『前記現在の性能パラメータが前記選択された値と一致するように調整される必要があると決定する』の『必要があると決定する』とはどのようなことを意味するのか抽象的で不明確である。
　
（６）請求項１１について
　請求項１１における、『ウェーハ物性の値を決定すること』が、なぜ、『・・・ウェーハの一組の測定された物性を受信すること』を含むのか、『決定する』ことと『受信する』ことは、別の処理であって理解できない不明確な記載である。
　
（７）請求項１２について
　請求項１２における、『前記決定された性能パラメータを前記組内の各パルス光ビーム特性で記憶すること』の『組内の各パルス光ビーム特性で記憶すること』とはどのようなことを意味するのか抽象的で不明確である。
　
（８）請求項１４について
　請求項１を引用する請求項１４は、『前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更することは、スペクトル特徴、スペクトル特徴の誤差、前記パルス光ビームのエネルギ、前記パルス光ビームの量、前記パルス光ビームの波長の誤差、前記パルス光ビームの帯域幅、及び前記パルス光ビームのスペクトル形状のうち１つ以上を変更することを含む』ことを特定するが、上記（１）で述べたとおり、『特性』が明らかではないため、当該『スペクトル特徴、スペクトル特徴の誤差、前記パルス光ビームのエネルギ、前記パルス光ビームの量、前記パルス光ビームの波長の誤差、前記パルス光ビームの帯域幅、及び前記パルス光ビームのスペクトル形状のうち１つ以上』の『パラメータ』と如何なる関係であるのか理解できない不明確な記載である。
　
（９）請求項１６について
　請求項１６における、『前記ウェーハのパターニングの前記誤差は、前記リソグラフィ露光装置を変更することなく補正される』は、『リソグラフィ露光装置』に関する何を『変更することなく』誤差を補正することを特定するのか理解できない不明確な記載である。
　『リソグラフィ露光装置』に関する制御パラメータ一切を変更することなく誤差を補正することを実現する構成は特定されているとは認められない。
　請求項１７も同様である。
　
（１０）請求項１８について
　請求項１８における、『前記パルス光ビーム特性が受信される度にスペクトル特徴の推定を生成することをさらに含む』の『スペクトル特徴の推定』とはどのようなことを意味するのか抽象的で不明確である。
　
（１１）請求項２０について
　請求項１８における、『パルス光ビームのスペクトル形状をパルス間ベースで摂動させること』とはどのようなことを意味するのか抽象的で不明確である。
　
（１２）請求項２２について
　請求項１を引用する請求項２２は、『前記ウェーハをスキャンする前に、１つ以上の予め露光されたウェーハの各露光フィールドにおけるスキャン内の前記ウェーハ物性を測定することと、前記パルス光ビームで露光されたウェーハ全体を横断して各露光フィールドについて測定された各ウェーハ物性を相関させるテーブルを作成することと、をさらに含む』ことを特定するものであるところ、上記（１）で検討したとおり、『ウェーハ物性を測定すること』は、『リソグラフィ露光装置のウェーハを横断して前記パルス光ビームをスキャンし、前記パルス光ビームで前記ウェーハを露光すること』（構成Ｂ）を前提とする構成であるから、『ウェーハをスキャンする前に』、すでに『ウェーハを露光』することとなるため、上記記載は技術的に意味するところが不明である。
　
●理由２（サポート要件）
（１）請求項１及び同項を引用する各項について
　上記理由１で検討したとおり、本願請求項１ないし２４は不明確であるから、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものであるとは認められない。
　
（２）本願請求人は、平成３１年１月２９日に提出された審判請求書の『３．本願発明が特許されるべき理由』『（３）拒絶理由に対する意見』『（３−２）進歩性について』の７〜１３行において
『本願発明１は、監視モジュールからの（ウェーハにおけるパルス光ビームの特性に関する）情報と、（ウェーハにおけるパルス光ビーム特性に対応するウェーハ物性を決定する）検出系からの情報と、の両方を用いることにより、パルス光ビームの光学性能パラメータをどのように変更するかを決定するものであり、このようにパルス光ビームの光学性能パラメータを変更することにより、ウェーハスキャンの際にしつこく発生するウェーハの物性や誤差を変更することができるものであります（本願明細書（００２９）段落）。』
と主張する。
　しかしながら、上記理由１で検討したとおり、本願請求項１（ないし請求項２４）には、『監視モジュールからの（ウェーハにおけるパルス光ビームの特性に関する）情報と、（ウェーハにおけるパルス光ビーム特性に対応するウェーハ物性を決定する）検出系からの情報と、の両方を用いること』に係る構成はない。
　そして、本願の発明の詳細な説明を見ても、『監視モジュールからの（ウェーハにおけるパルス光ビームの特性に関する）情報と、（ウェーハにおけるパルス光ビーム特性に対応するウェーハ物性を決定する）検出系からの情報と、の両方を用いること』ではない構成は記載されていない。
　したがって、上記構成を備えない請求項１及び同項を引用する各項は、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものであるとは認められない。」
　
２　当審拒絶理由についての判断
（１）当審拒絶理由の「理由１」「（１）」「ウ」について（下線は当審が付した。以下同じ。）
ア　当審の判断
（ア）「本願出願の請求項１に係る発明で、なぜ、『露光』（構成Ａ、Ｂ）した後に『前記ウェーハを横断するスキャンの際の前記パルス光ビームの前記性能パラメータを変更』することを特定するのか理解できない不明確な記載である」との当審拒絶理由（「理由１」「（１）」「ア」）に対して、請求人の本件意見書で、「本願請求項１に係る発明は、『……制御系１８５は、パルス光ビーム１１０の性能パラメータを、現在の時間ステップの後、次の時間ステップの前に変更してもよい。……時間ステップがフィールド全体である場合には、性能パラメータの変更は、現在の露光フィールドが完了した後、しかし次の露光フィールドが開始する前に行われてもよい。』（本願明細書（００８０）段落）という状況をも含むものであります。」と釈明した。
　
（イ）そうすると、本件補正の「受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を
検出系が
　しかしながら、本願明細書及び図面を見ても、「検出系」が「受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を
選択することにより、
決定すること
　
（ウ）上記（イ）の点に係る請求人の本件意見書での釈明は、後記「イ」のとおりである。図１０（後記「ウ」「（イ）」）は、「光ビーム／ウェーハ特性　１００４」と「ウェーハ物性　１００２」が対応して並べた「リスト」が記載されるにとどまる。
　したがって、段落【００７９】（後記「ウ」「（ア）」）の記載及び図１０を踏まえても、依然として、「検出系」が「なぜ、当該『特性』から、『ウェーハ物性の値』が選択できるのか、さらには、いかなる構成で、何の中から『選択』する構成であるのか」明らかではないため、請求人に説明を求めたところ、令和２年１月１７日に概略後記「エ」「（ア）」の説明を含むファクシミリによる回答があった。
　しかしながら、依然として「検出系」に係る点が明らかではないため、再度説明を求めたところ、令和２年１月３１日に概略後記「エ」「（イ）」の説明を含むファクシミリによる回答があった。
　
（エ）後記「イ」の本件意見書及び後記「エ」「（ア）」及び「エ」「（イ）」の請求人の説明を踏まえても、本件補正の「受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を検出系が決定すること」（構成Ｅ´）において、なぜ、「検出系」が、当該「（前記パルス光ビーム）特性」から、「ウェーハ物性の値」が選択できるのか、さらには、いかなる構成で、何の中から「選択」する構成であるのかについての明確な説明はなく、当該点が明確になったとはいえない。
　
イ　請求人の本件意見書での釈明
「次いで、『なぜ特性からウェーハ物性の値が選択できるのか？いかなる構成で何の中から選択するのか？』という問いに対してですが、『制御系１８５……は、検出系１５５からの出力１６０、すなわち特定の光ビーム特性１００４についてのウェーハ１２０の物性の決定値１００２を受信する（１２２０）。一般に、各光ビーム特性１００４についてのウェーハ１２０の物性の決定値１００２はリスト１０００として受信され、これは計測装置１４５からの出力１６０の中にあって、先に露光されたウェーハの分析及び測定に基づいている。』（本願明細書（００７９）段落）という記載からも把握できるように、光ビーム特性に対応するウェーハ物性をリストし（図１０：符号１０００）、このリスト１０００からウェーハ物性の値を選択することができます。」（「３．拒絶理由に対する意見」「（１）明確性要件違反の拒絶理由に対して」「（１−１）請求項１」の第３段落）
　
ウ　当該本願明細書の段落【００７９】の記載及び図１０は次の通りである。
（ア）「【００７９】
　制御系１８５（及び具体的には相関モジュール９２５）は、検出系１５５からの出力１６０、すなわち特定の光ビーム特性１００４についてのウェーハ１２０の物性の決定値１００２を受信する（１２２０）。一般に、各光ビーム特性１００４についてのウェーハ１２０の物性の決定値１００２はリスト１０００として受信され、これは計測装置１４５からの出力１６０の中にあって、先に露光されたウェーハの分析及び測定に基づいている。計測装置１４５は、ウェーハ１２０の物性を実時間で、ステージ２２０に載置された現在のウェーハ１２０の露光の際に測定するように、リソグラフィ露光装置１１５内に統合されることが可能である。」
（イ）図１０
　
エ　請求人のファクシミリによる釈明
（ア）請求人による令和２年１月１７日ファクシミリによる回答の概略
「【００７９】の記載を参酌すると、検出系からの出力には、『特定の光ビーム特性』についての『ウェーハ』の『物性の決定値』が含まれており、そうすると、検出系で既に、『特定の光ビーム特性』と相関する『ウェーハ物性の値』が決定されている、と解釈することができます。一方、制御系（の相関モジュール）が、『各光ビーム特性』についての『「ウェーハ』の『物性の決定値』を『リスト』として受信した上で『特定の光ビーム特性』と相関する『ウェーハ物性の値』を決定している、と解釈する余地もあります。」
　　
（イ）請求人による令和２年１月３１日ファクシミリによる回答の概略
「計測装置１４５６の一部を構成する検出系１５５によって検出が実行される」、「ウェーハの『物性』が何であるか、また、どのようにしてそれを決定するのか（例えば物理的フィーチャのコントラストを用いて等）」、「計測装置がどのようにしてウェーハの物性を測定するか」
　
オ　小括
　したがって、本件補正及び本件意見書によっては、当審拒絶理由で指摘した「理由１」「（１）」「ウ」の明確性要件違反は解消されたとは認められず、特許を受けようとする発明が明確であるとはいえないから、本願は、特許請求の範囲の記載が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
（２）当審拒絶理由の「理由２」「（１）」（特に「理由１」「（１）」「ウ」を理由とする点）について
ア　　当審の判断
　本願明細書及び図面を見ても、「検出系１５５」に関しては、
・「ウェーハにおける特定の光ビーム特性に対応するウェーハ１２０の
物性を測定する
・「ウェーハにおける各光ビーム特性について１つ以上の測定された物性を含む一組の
データ１６０を出力する
・「計測装置１４５内のウェーハ１１２０上の各フィールドにおいて
物性１００２を測定する
・「制御系１８５（及び具体的には相関モジュール９２５）は、検出系１５５からの出力１６０、すなわち特定の光ビーム特性１００４についてのウェーハ１２０の
物性の決定値１００２
　等と記載されるにとどまり、「ウェーハ物性の値」を「選択することにより」「決定する」ことに係る記載は見当たらない。
　したがって、上記アの本件意見書及び上記イの請求人の説明を踏まえても、「受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択することにより、受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を検出系が決定することと」（構成Ｅ´）において、「検出系」が、「受信した前記パルス光ビーム特性に基づいてウェーハ物性の値を選択すること」、及び、「受信した前記パルス光ビーム特性と相関する前記ウェーハ物性の値を」「決定すること」が記載されているとは認められない。
　
イ　請求人の本件意見書での釈明
　上記「（１）」「イ」の通りである。
　
ウ　請求人のファクシミリによる釈明
　上記「（１）」「エ」の通りである。
　
エ　小括
　よって、本件補正及び本件意見書によっては、当審拒絶理由で指摘した「理由２」「（１）」（特に「理由１」「（１）」「ウ」を理由とする点）のサポート要件違反は解消されたとは認められず、本願請求項１に係る発明１が本願明細書の発明の詳細な説明に記載されているものとは認められないから、本願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
第４　むすび
　以上のとおり、本願請求項１に係る発明は、特許法第３６条第６項第２号及び特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていないから拒絶されるべきものであって、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。