【手続補正書】
【提出日】平成27年2月24日(2015.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定面内の第１区域と第２区域と第３区域と第４区域と第５区域と第６区域と第７区域と第８区域と第９区域を含む複数の区域の各々に光透過部が配され、
前記所定面内の第１方向において、前記第１区域が前記第２区域と前記第３区域の間にあり、前記第２区域および前記第３区域が前記第６区域と前記第７区域の間にあり、前記第２区域が前記第１区域と前記第６区域に隣り合い、前記第３区域が前記第１区域と前記第７区域に隣り合い、
前記所定面内の前記第１方向に交差する第２方向において、前記第１区域が前記第４区域と前記第５区域の間にあり、前記第４区域および前記第５区域が前記第８区域と前記第９区域の間にあり、前記第４区域が前記第１区域と前記第８区域に隣り合い、前記第５区域が前記第１区域と前記第９区域に隣り合い、
前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に配された光透過部が赤色光と緑色光と青色光の内で５０％以上の透過率を示す光に対して、前記第１区域に配された光透過部が５０％以上の透過率を示し、かつ、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に配された前記光透過部が赤色光と緑色光と青色光の内で５０％未満の透過率を示す光に対して、前記第１区域に配された光透過部が５０％以上の透過率を示す、光透過部材の形成方法であって、
前記複数の区域の各々に対応する光透過膜を成膜し、成膜された前記光透過膜を前記複数の区域のいずれかに残留させて光透過部を形成する工程を、互いに異なる光透過特性を有する光透過膜を成膜するごとに行う、一連の工程を有し、
前記一連の工程において、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域に光透過部を形成した後に、前記第１区域と前記第６区域と前記第７区域と前記第８区域と前記第９区域に光透過部を形成することを特徴とする光透過部材の形成方法。
【請求項２】
前記一連の工程において、前記第１区域に光透過部を形成する工程を最後に行う請求項１に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項３】
前記複数の区域は、第１０区域と第１１区域と第１２区域と第１３区域を含み、前記第１区域が第１０区域と第１１区域の間にあり、前記第２区域および前記第４区域が前記第１０区域に隣り合い、前記第３区域および前記第５区域が前記第１１区域に隣り合い、前記第１区域が第１２区域と前記第１３区域の間にあり、前記第３区域および前記第４区域が前記第１２区域に隣り合い、前記第２区域および前記第５区域が前記第１３区域に隣り合い、
前記一連の工程において、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域に光透過部を形成した後に、前記第１０区域と前記第１１区域と前記第１２区域と前記第１３区域に光透過部を形成する請求項１または２に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項４】
前記複数の区域は、第１０区域と第１１区域と第１２区域と第１３区域を含み、前記第１区域が第１０区域と第１１区域の間にあり、前記第２区域および前記第４区域が前記第１０区域に隣り合い、前記第３区域および前記第５区域が前記第１１区域に隣り合い、前記第１区域が第１２区域と前記第１３区域の間にあり、前記第３区域および前記第４区域が前記第１２区域に隣り合い、前記第２区域および前記第５区域が前記第１３区域に隣り合い、
前記一連の工程において、前記第１０区域と前記第１１区域と前記第１２区域と前記第１３区域に光透過部を形成した後に、前記第１区域に光透過部を形成する請求項１または２に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項５】
前記複数の区域は、第１０区域と第１１区域と第１２区域と第１３区域を含み、前記第１区域が第１０区域と第１１区域の間にあり、前記第２区域および前記第４区域が前記第１０区域に隣り合い、前記第３区域および前記第５区域が前記第１１区域に隣り合い、前記第１区域が第１２区域と前記第１３区域の間にあり、前記第３区域および前記第４区域が前記第１２区域に隣り合い、前記第２区域および前記第５区域が前記第１３区域に隣り合い、
前記一連の工程において、前記第１区域に光透過部を形成すると同時に、前記第１０区域と前記第１１区域と前記第１２区域と前記第１３区域の少なくともいずれかに光透過部を形成する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項６】
前記一連の工程において、前記第１区域に光透過部を形成すると同時に、前記第６区域と前記第７区域と前記第８区域と前記第９区域の少なくともいずれかに光透過部を形成する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項７】
前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に配された前記光透過部の各々は、緑色光に対して５０％以上の透過率を示す請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項８】
赤色光と緑色光と青色光の内で前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に形成された光透過部が５０％以上の透過率を示す光に対して、前記第１区域に配された光透過部が、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に配された前記光透過部よりも高い透過率を示す請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項９】
前記一連の工程は、
緑色光の透過率が５０％以上であり赤色光と青色光の透過率が５０％未満である第１光透過膜を回転塗布法を用いて成膜する成膜段階、および、前記第１光透過膜の一部を少なくとも前記第１区域から除去するパターニング段階を含む工程と、
青色光の透過率が５０％以上であり緑色光と赤色光の透過率が５０％未満である第２光透過膜を回転塗布法を用いて成膜する成膜段階、および、前記第２光透過膜の一部を少なくとも前記第１区域から除去するパターニング段階を含む工程と、
赤色光の透過率が５０％以上であり緑色光と青色光の透過率が５０％未満である第３光透過膜を回転塗布法を用いて成膜する段階、および、前記第３光透過膜の一部を少なくとも前記第１区域から除去するパターニング段階を含む工程と、
緑色光と赤色光と青色光の透過率が５０％以上である第４光透過膜をその一部が前記第１区域に位置するように回転塗布法を用いて成膜する成膜段階を含む工程と、
を有する請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項１０】
前記一連の工程の後、前記一連の工程の内の前記第１区域に光透過部を形成する工程で成膜された光透過膜を挟んで、前記複数の区域の上に複数の集光部を形成する工程を有する請求項１乃至９のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項１１】
前記一連の工程の後、前記複数の区域の境界に溝を設ける工程を有する請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項１２】
前記一連の工程の後、前記複数の区域の上に複数の集光部を形成する工程を有し、前記第１区域の上に形成する集光部の焦点は、前記複数の区域の内の前記第１区域以外の区域の上に形成する集光部の焦点よりも前記所定面に近い請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法。
【請求項１３】
互いに光透過特性の異なる複数の光透過部を有する光透過部材と、
各々が、対応する前記光透過部を透過した光を光電変換する複数の光電変換部を有する半導体基板と、を備えた撮像装置の製造方法において、
前記光透過部材を請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の光透過部材の形成方法を用いて形成することを特徴とする撮像装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明は、所定面内の第１区域と第２区域と第３区域と第４区域と第５区域と第６区域と第７区域と第８区域と第９区域を含む複数の区域の各々に光透過部が配され、前記所定面内の第１方向において、前記第１区域が前記第２区域と前記第３区域の間にあり、前記第２区域および前記第３区域が前記第６区域と前記第７区域の間にあり、前記第２区域が前記第１区域と前記第６区域に隣り合い、前記第３区域が前記第１区域と前記第７区域に隣り合い、前記所定面内の前記第１方向に交差する第２方向において、前記第１区域が前記第４区域と前記第５区域の間にあり、前記第４区域および前記第５区域が前記第８区域と前記第９区域の間にあり、前記第４区域が前記第１区域と前記第８区域に隣り合い、前記第５区域が前記第１区域と前記第９区域に隣り合い、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に配された光透過部が赤色光と緑色光と青色光の内で５０％以上の透過率を示す光に対して、前記第１区域に配された光透過部が５０％以上の透過率を示し、かつ、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域の各々に配された前記光透過部が赤色光と緑色光と青色光の内で５０％未満の透過率を示す光に対して、前記第１区域に配された光透過部が５０％以上の透過率を示す、光透過部材の形成方法であって、前記複数の区域の各々に対応する光透過膜を成膜し、成膜された前記光透過膜を前記複数の区域のいずれかに残留させて光透過部を形成する工程を、互いに異なる光透過特性を有する光透過膜を成膜するごとに行う、一連の工程を有し、前記一連の工程において、前記第２区域と前記第３区域と前記第４区域と前記第５区域に光透過部を形成した後に、前記第１区域と前記第６区域と前記第７区域と前記第８区域と前記第９区域に光透過部を形成することを特徴とする。