【手続補正書】
【提出日】平成26年12月19日(2014.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のインプリント材に型を用いてパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記型を保持し、前記インプリント材に前記型を接触させるように第１方向に移動可能で且つ該第１方向に直交する面に対して前記型を傾けることが可能な型保持部と、
前記型保持部の前記第１方向における位置を検出する第１検出部と、
前記型保持部の前記第１方向に直交する第２方向における位置を検出する第２検出部と、
前記型の傾きを検出する傾き検出部と、
前記第１検出部と前記第２検出部と前記傾き検出部の検出結果に基づいて、前記基板保持部および前記型保持部の少なくとも一方の前記第２方向における位置を制御する制御部と、を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記基板と前記型との位置合わせがなされるように、前記基板保持部および前記型保持部の少なくとも一方の前記第２方向における位置を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記型保持部の前記第１方向における位置に基づいて前記第２検出部のアッベ係数を求め、該アッベ係数と前記型の傾きとに基づいて前記第２検出部のアッベ誤差を求め、該アッベ誤差で前記第２検出部の検出結果を補正する、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記型保持部の前記第１方向における位置から前記第２検出部のアッベ係数を求めるための情報を保持する、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記型保持部の前記第１方向における位置および前記型の厚みから前記アッベ係数を求めるための情報を保持する、ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
【請求項６】
基板保持部に保持された基板上のインプリント材に型を接触させるように第１方向に移動可能で且つ該第１方向に直交する面に対して前記型を傾けることが可能な型保持部に保持された前記型を用いて、前記基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント方法であって、
前記型保持部の前記第１方向に直交する第２方向における位置を検出する第１の検出を行い、
前記型の傾きを検出する第２の検出を行い、
前記型保持部の前記第１方向における位置を検出する第３の検出を行い、
前記第１乃至第３の検出の結果に基づいて、前記基板保持部および前記型保持部の少なくとも一方の前記第２方向における位置を制御する、ことを特徴とするインプリント方法。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のインプリント装置を用いて基板上の樹脂にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを転写された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のインプリント装置を用いて基板上の樹脂にパターンを形成する工程、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、基板上のインプリント材に型を用いてパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板を保持する基板保持部と、前記型を保持し、前記インプリント材に前記型を接触させるように第１方向に移動可能で且つ該第１方向に直交する面に対して前記型を傾けることが可能な型保持部と、前記型保持部の前記第１方向における位置を検出する第１検出部と、前記型保持部の前記第１方向に直交する第２方向における位置を検出する第２検出部と、前記型の傾きを検出する傾き検出部と、前記第１検出部と前記第２検出部と前記傾き検出部の検出結果に基づいて、前記基板保持部および前記型保持部の少なくとも一方の前記第２方向における位置を制御する制御部と、を有することを特徴とするインプリント装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
ＯＡスコープ１４は、モールド３から離れた位置でウエハ５に形成されたマークを検出することで、ショットの位置を示す座標Ｘ及びＹを計測することができる。ＯＡスコープ１４は、ＴＴＭスコープ１３と比べて配置スペースの制約が少ないことから、マークの検出に用いる光の波長等の検出条件を切り替える機能（プロセス対応機能）を多く備えうる。また、ＯＡスコープ１４を用いて、グローバルアライメント計測を行うことができる。ウエハ５上の複数のサンプルショットのマークの位置（ずれ）を検出することでウエハのショット配列（各ショットの位置）を求めることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
この後、インプリントヘッド４をＺ軸方向へ駆動し（Ｚ軸方向へ上昇させる）、硬化したインプリント材からモールドの離型（インプリント材とモールドの間隔を広げる）を行う。これにより、基板上のインプリント材にモールドのパターンを形成（転写）することができる。この一連の動作を、ウエハ５上の全ショットに対して行う。ここで、モールドとウエハ（ショット）との位置合わせは、インプリントヘッドの位置（Ｘ、Ｙ座標）を計測して行う。位置合わせについての詳細な説明は後述する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
そこで、インプリント装置１はインプリントヘッド４の位置を計測するためのセンサ１６（ヘッド位置検出部、第２検出部）を備えている。例えば、センサ１６としてレーザ干渉計と、インプリントヘッド４に備えられた平坦度の高いミラー２４とを用いてインプリントヘッド４の位置を計測する。ミラー２４はインプリントヘッド４の側面に配置または形成されている。レーザ干渉計はミラー２４で反射した光を用いてインプリントヘッド４の移動方向（Ｚ軸、第１方向）に直交する方向（第２方向）の位置を計測する。図２ではインプリントヘッド４のＸ軸方向の位置を計測している。この計測結果をもとに、ウエハステージの位置を微調整して、インプリントヘッドの位置ずれによる重ね合わせ精度の低下を防ぐ。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
ウエハ５の表面は、ある程度の凹凸がある。ショットの単位でウエハの表面を観察すると、モールドのパターンが形成されている面に対して傾いている場合がある。このため、インプリントヘッド４は、ウエハ５上の樹脂１８とモールド３との接触を介して、ウエハ５の表面にモールド３の表面が倣う（大局的に平行になる）ように傾動可能である（傾動を許容する機構を含んでいる）。あるいは、予めウエハの表面の傾斜が分かっている場合には、インプリントヘッドをウエハの傾斜に合わせて傾けて、ウエハ上の樹脂１８とモールドとを接触させても良い。その場合、インプリント装置には、インプリントヘッド４を傾けるための駆動機構を持っている。また、インプリントヘッド４（モールド３）の傾き（傾動の角度）を検出するための傾斜センサ２２（傾き検出部）が設けられる。また、Ｘ軸及びＹ軸を回転軸としてインプリントヘッド４を回転させる駆動機構を含む。なお、Ｚ軸を回転軸としてインプリントヘッド４を回転させる駆動機構を含んでいてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
図３を用いてインプリントヘッド４が傾くことで生じるアッベ誤差について説明する。インプリントヘッド４は矢印１９の方向（第１方向）に移動可能で、かつ、第１方向に直交する面に対して傾動可能である。インプリントヘッド４が矢印１９の方向（第１方向）に移動することで、モールド３と樹脂１８とが接触する場合について説明する。モールド３が樹脂１８に接触する際、ショット１７が形成された基板５の傾きにあわせてモールド３が傾く。そのためモールド３を保持するインプリントヘッド４が傾く。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
ウエハステージ６は、ＴＴＭスコープ用のマークが形成されたウエハ５を保持している。インプリントヘッド４は、ＴＴＭスコープ用のマークの形成されたモールド３を保持している。この状態で、ウエハ５に形成されたマークと、モールド３に形成されたマークとを用いて位置合わせを行う。ここではウエハ５に形成されたマークを用いて説明するが、ウエハ５に形成されたマークの代わりに、ウエハステージ６に設けられた基準マークを用いてもよい。ＴＴＭスコープ１３を用いてマークの計測を行えるようにするために、インプリントヘッド４のＺ軸方向の位置を調節して、ウエハ５とモールド３の間隔を調整する。このとき、マークが形成されたモールド３の面と、ウエハ５の面とが平行であることが望ましい。このときのインプリントヘッドのＺ軸方向の位置をＺ０とする。インプリント装置には不図示のヘッド高さ検出部（第１検出部）が備わっており、インプリントヘッド４の高さを測定することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
しかし、インプリントヘッド４が傾斜すると図４に示すように、インプリントヘッドの位置を計測するセンサ１６の値がアッベ誤差の影響により変化する。インプリント装置には、インプリントヘッド４のＸＹ平面の位置の変化を検出するセンサ１６の他に、インプリントヘッド４の傾斜量を検出する傾斜センサ２２を有している。傾斜センサ２２はインプリントヘッド４のＸ方向及びＹ方向の傾き（角度）を検出することができる。これは、インプリントヘッドのＺ方向の計測センサー（不図示）をＸ軸またはＹ軸に複数配置することで代用することができる。また、インプリントヘッドの位置計測センサ１６をＺ方向に複数配置することでも代用することができる。インプリントヘッドの傾斜量が検出できれば、そのセンサ構成については不問である。ＴＴＭスコープ１３とセンサ１６との両者の計測値が変化した場合は、ＴＴＭスコープ１３での計測値の変化を、センサ１６での計測値の変化に合算する。すなわち、両者の値の変化を加算、もしくは、減算する。加算か減算かは、それぞれのセンサの計測値の符号の取り方に依存する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
本実施形態ではグローバルアライメント方式を用いて求めたショット位置にインプリントを行う場合について説明する。ウエハ表面の傾斜によって、インプリントヘッド４も傾斜させる必要がある。このとき、インプリントヘッド４の第２方向の位置を検出する（第１の検出）センサ１６の検出結果に、アッベ誤差が含まれる。そのため、ウエハステージ６が図３のように誤って追従補正してしまう。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
この計測誤差を補正するため、インプリント動作を行っている間に、傾斜センサ２２を用いてインプリントヘッド４（モールド３）の傾き（傾斜量）を検出する（第２の検出）。また、インプリントヘッド４のＺ軸方向の高さ（第１方向における位置）も検出する（第３の検出）。検出された傾斜量（Ｔｘ）と、Ｚ軸方向の高さとによって変化するアッベ係数（Ｃ）を用いて、センサ１６の計測誤差（ΔＸ）を求める。求めた計測誤差の値を用いて、センサ１６の計測値を補正する。