【手続補正書】
【提出日】平成27年8月7日(2015.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材に設けられた複数の領域を単位として前記板状部材を個片化することによって製造された複数の電子部品を搬送する個片化された電子部品の搬送装置であって、
前記電子部品がそれぞれ配置される複数の配置場所を有する保管部材と、
前記電子部品がそれぞれ収容される複数の収容場所を有する収容部材と、
前記複数の配置場所から前記電子部品をそれぞれ吸着して前記複数の収容場所に移送して収容する移送機構と、
前記移送機構に設けられ、前記電子部品を吸着する機能及び該電子部品に対する吸着を解除する機能を有するＮ個（Ｎは２以上の整数）の吸着部とを備え、
前記複数の収容場所の１方向に沿う１行において前記収容場所の空き場所の数がＭ個（Ｍは正の整数）であってＭ＜Ｎである場合には前記保管部材からＭ個の前記電子部品が前記吸着部によって吸着され、Ｍ≧Ｎである場合には前記保管部材からＮ個の前記電子部品が前記吸着部によって吸着され、
吸着された前記電子部品が、前記移送機構によって前記収容部材に移送され、前記吸着が解除されることによって前記Ｍ個の空き場所のうちの少なくとも一部に収容されることを特徴とする個片化された電子部品の搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載された個片化された電子部品の搬送装置において、
前記空き場所の数を計算して、該空き場所の数に応じた数の前記電子部品を吸着して前記保管部材から前記収容部材に移送して収容するように前記移送機構を制御する制御部を備えたことを特徴とする個片化された電子部品の搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載された個片化された電子部品の搬送装置において、
前記移送機構として第１の移送機構と第２の移送機構とを備え、
前記第１の移送機構と前記第２の移送機構とのうち一方が前記保管部材における前記電子部品を吸着する間において、他方が前記吸着部に吸着された前記電子部品を前記収容部材に収容することを特徴とする個片化された電子部品の搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載された個片化された電子部品の搬送装置において、
前記吸着部は、該吸着部同士の間隔を前記複数の配置場所のピッチ又は前記複数の収容場所のピッチに合わせて可変する機能を有することを特徴とする個片化された電子部品の搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載された個片化された電子部品の搬送装置において、
前記板状部材は樹脂封止体であり、前記電子部品は回路基板と受動素子又は能動素子を含むチップと硬化樹脂からなる封止樹脂とを有することを特徴とする個片化された電子部品の搬送装置。
【請求項６】
請求項１に記載された個片化された電子部品の搬送装置において、
前記板状部材は半導体ウェーハであり、前記電子部品は半導体チップであることを特徴とする個片化された電子部品の搬送装置。
【請求項７】
板状部材に設けられた複数の領域を単位として前記板状部材を個片化することによって製造された複数の電子部品を搬送する個片化された電子部品の搬送方法であって、
前記個片化された電子部品を保管部材に設けられた複数の配置場所にそれぞれ配置する工程と、
移送機構に設けられたＮ個（Ｎは２以上の整数）の吸着部によって前記複数の配置場所から前記電子部品を吸着する工程と、
前記移送機構によって前記複数の配置場所から収容部材に設けられた複数の収容場所に前記電子部品を移送する工程と、
前記電子部品に対する吸着を解除することによって前記電子部品を前記収容場所に収容する工程とを備え、
前記吸着する工程では、前記収容部材の１方向に沿う１行において前記収容場所の空き場所の数がＭ個（Ｍは正の整数）であってＭ＜Ｎである場合には前記保管部材からＭ個の前記電子部品を前記吸着部によって吸着し、Ｍ≧Ｎである場合には前記保管部材からＮ個の前記電子部品を前記吸着部によって吸着し、
前記移送する工程では、前記移送機構によって前記電子部品を前記Ｍ個の空き場所のうちの少なくとも一部に移送し、
前記収容する工程では、前記電子部品に対する吸着を解除することによって前記Ｍ個の空き場所のうちの少なくとも一部に収容することを特徴とする個片化された電子部品の搬送方法。
【請求項８】
請求項７に記載された個片化された電子部品の搬送方法において、
前記空き場所の数を計算して、該空き場所の数に応じた数の前記電子部品を吸着して前記保管部材から前記収容部材に移送して収容するように前記移送機構を制御する工程を備えることを特徴とする個片化された電子部品の搬送方法。
【請求項９】
請求項７に記載された個片化された電子部品の搬送方法において、
前記移送機構として設けられた第１の移送機構と第２の移送機構とのうち一方が前記保管部材における前記電子部品を吸着する間において、他方が前記吸着部が吸着した前記電子部品を前記収容部材に収容することを特徴とする個片化された電子部品の搬送方法。
【請求項１０】
請求項７に記載された個片化された電子部品の搬送方法において、
前記吸着部同士の間隔を前記複数の配置場所のピッチ又は前記複数の収容場所のピッチに合わせて可変する工程を備えることを特徴とする個片化された電子部品の搬送方法。
【請求項１１】
請求項７に記載された個片化された電子部品の搬送方法において、
前記板状部材は樹脂封止体であり、前記電子部品は回路基板と受動素子又は能動素子を含むチップと硬化樹脂からなる封止樹脂とを有することを特徴とする個片化された電子部品の搬送方法。
【請求項１２】
請求項７に記載された個片化された電子部品の搬送方法において、
前記板状部材は半導体ウェーハであり、前記電子部品は半導体チップであることを特徴とする個片化された電子部品の搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
ここまでは、良品用トレイ１２の１行目における空きポケット数Ｍが移送機構１１Ａ、１１Ｂの吸着部Ｈの数（吸着部数）であるＮ個（本実施例では６個）よりも多いので、移送機構１１Ａ、１１Ｂによって６個の電子部品Ｐがインデックステーブル１０から吸着されて良品用トレイ１２に収容される。この状態で、良品用トレイ１２の１行目にはポケットＳ１１〜Ｓ１１２に１２個の電子部品Ｐ１１〜Ｐ１１２が収容され、５個のポケットＳ１１３〜Ｓ１１７が空きポケットとなっている。１行目の空きポケット数Ｍが吸着部数Ｎよりも少なくなったので、次は空きポケット数Ｍに相当する５個の電子部品Ｐをインデックステーブル１０から吸着する。したがって、移送機構１１Ａはインデックステーブル１０から５個の電子部品Ｐ１１３〜Ｐ１１７を吸着して、良品用トレイ１２のポケットＳ１１３〜Ｓ１１７に収容する。このようにして、良品用トレイ１２の１行目には、移送機構１１Ａ、１１Ｂが、吸着〜移送〜収容〜復帰の一連の動作（サイクル）を３回行うことによって、１７個の電子部品Ｐ１１〜Ｐ１１７がすべて良品用トレイ１２の１行目のポケットＳ１１〜Ｓ１１７に収容されたことになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
良品用トレイ１２の各行における空きポケット数Ｍが吸着部数Ｎよりも少ない場合において、空きポケット数Ｍよりも多く電子部品Ｐを吸着する場合を考える。この場合において、例えば、移送機構１１Ａ、１１Ｂが吸着可能なＮ個の電子部品Ｐを吸着すると、その行と次の行との２行に亘って電子部品Ｐを連続して収容しなければならなくなる。２行に亘って電子部品Ｐを収容すると収容動作が連続する２回に分けられたこととなり、収容する時間が２倍となる。連続する２回に分けられた収容動作によって電子部品Ｐを収容すると収容効率が悪くなる。このような状況を避けるため、本実施例では良品用トレイ１２の各行において、空きポケット数Ｍが吸着部数Ｎよりも少なくなった場合は、空きポケット数Ｍに等しい数の電子部品Ｐを吸着して良品用トレイ１２に収容する。このことにより、連続する２回に分けられた収容動作によって良品用トレイ１２に電子部品Ｐを収容することを回避して、収容効率を高めることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
図５は、良品用トレイ１２の２行目のポケットＳに電子部品Ｐを収容する状態を示す。移送機構１１Ｂが、インデックステーブル１０からＰ１１８〜Ｐ１２３の６個の電子部品Ｐを吸着して、良品用トレイ１２の２行目のポケットＳ２１７〜Ｓ２１２に収容する。次に、移送機構１１Ａが、インデックステーブル１０の１行目のＰ１２４〜Ｐ１２８の５個と２行目のＰ２２８の１個との合計６個の電子部品Ｐを吸着する。そして、良品用トレイ１２のポケットＳ２１１〜Ｓ２６に収容する。このように、良品用トレイ１２の各行において、空きポケット数Ｍが吸着部数Ｎよりも多く、かつ、インデックステーブル１０におけるその行の電子部品Ｐの残り数Ｌが吸着部数Ｎよりも少ない場合には、インデックステーブル１０からは２行に亘って６個の電子部品Ｐを吸着して良品用トレイ１２に収容する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
次に、移送機構１１Ｂが良品用トレイ１２の２行目の空きポケット数に等しい数の５個の電子部品Ｐ２２７〜Ｐ２２３を吸着してポケットＳ２５〜Ｓ２１に収容する。このようにして、２行目においても３回の収容動作によってすべての電子部品Ｐ２１７〜Ｐ２１が収容される。同様にして、良品用トレイ１２の３行目から９行目についてもインデックステーブル１０から電子部品Ｐを吸着して収容する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図６は、良品用トレイ１２の９行目まですべて電子部品Ｐを収容した状態を示す。良品用トレイ１２の１行目、２行目と同様にして、良品用トレイ１２の３行目、４行目、・・・、９行目においても、移送機構１１Ａと１１Ｂとによって各電子部品Ｐが良品用トレイ１２の各ポケットＳに収容される。良品用トレイ１２には、９行×１７列、合計１５３個の電子部品Ｐが収容される。良品用トレイ１２のポケットＳにすべて電子部品Ｐが収容された後は、次のトレイに交換して新しいトレイに電子部品Ｐが収容される。