【手続補正書】
【提出日】平成26年12月3日(2014.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のローラを用いることによって搬送対象の基板を所定の搬送方向に沿って搬送する搬送ステージを有する基板搬送装置であって、
前記複数のローラの一部に支持されて前記搬送ステージ上を前記搬送方向に沿って移動可能であり、前記基板と面接触して前記基板を保持する平板状をなす保持部材を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記保持部材を保持し、前記搬送方向と平行に延びる搬送軸上を移動する搬送部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記基板の撮像処理を行う撮像部と、
前記撮像部が撮像する撮像領域に照明光を照射する照明部と、
を備え、
前記保持部材は、前記照明部が発する照明光を透過する光透過性の材料からなることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記保持部材は、
板厚方向に貫通し、エアの吸排動作を行うエア供給部と配管を介して連通する複数の第１貫通孔を有し、
前記第１貫通孔を介して前記基板を吸引することによって、該基板を前記保持部材上に吸着保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記保持部材は、前記基板を整列機構により位置決めする際に前記エア供給部の排気動作により前記第１貫通孔からエアを吹き出し、前記位置決めなされた後に前記エア供給部による吸引動作により前記第１貫通孔からエアを吸引し前記基板を前記保持部材上に固定することを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記搬送ステージは、前記複数のローラの上端を通過する平面と直交する方向に、該平面を通過する範囲で進退可能に設けられ、前記基板を先端でそれぞれ支持する複数のリフトピンを備え、
前記保持部材は、板厚方向に貫通し、前記リフトピンを挿通する複数の第２貫通孔を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の基板搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる基板搬送装置は、複数のローラを用いることによって搬送対象の基板を所定の搬送方向に沿って搬送する搬送ステージを有する基板搬送装置であって、
前記複数のローラの一部に支持されて前記搬送ステージ上を前記搬送方向に沿って移動可能であり、前記基板と面接触して前記基板を保持する平板状をなす保持部材を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記保持部材を保持し、前記搬送方向と平行に延びる搬送軸上を移動する搬送部を備えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記基板の撮像処理を行う撮像部と、 前記撮像部が撮像する撮像領域に照明光を照射する照明部と、を備え、前記保持部材は、前記照明部が発する照明光を透過する光透過性の材料からなることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記保持部材は、板厚方向に貫通し、エアの吸排動作を行うエア供給部と配管を介して連通する複数の第１貫通孔を有し、前記第１貫通孔を介して前記基板を吸引することによって、該基板を前記保持部材上に吸着保持することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記保持部材は、前記基板を整列機構により位置決めする際に前記エア供給部の排気動作により前記第１貫通孔からエアを吹き出し、前記位置決めなされた後に前記エア供給部による吸引動作により前記第１貫通孔からエアを吸引し前記基板を前記保持部材上に固定することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記搬送ステージは、前記複数のローラの上端を通過する平面と直交する方向に、該平面を通過する範囲で進退可能に設けられ、前記基板を先端でそれぞれ支持する複数のリフトピンを備え、前記保持部材は、板厚方向に貫通し、前記リフトピンを挿通する複数の第２貫通孔を有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
光学ユニット１００は、搬送ステージ１３が形成する搬送経路上に設定された、搬送ステージ１３の幅方向に平行な検査ラインＬ１を通過する基板Ｗを、顕微鏡１０１を介して撮像する撮像部を有する。この光学ユニット１００によって取得された画像（高倍率画像）を解析することで、基板Ｗに欠陥が存在するか否かを検出することができる。光学ユニット１００は、検査ラインＬ１に沿って移動することが可能である。また、照明部１４が基板Ｗに対して光を基板Ｗに照射して、顕微鏡１０１がこの反射光を取得し、取得した反射光から得られる画像データをもとに、検査部３３が基板Ｗ上に形成された膜の膜厚測定を行う。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
なお、上述した構成は、光学ユニット１００と基板Ｗとを相対的に移動させる構成であれば他の構成であってもよい。例えば、基板Ｗを搬送ステージ１３の上に固定し、光学ユニット１００を基板Ｗの平面上を走査するように構成してもよい。また、光学ユニット１００を移動させる構成に代えて、ガントリー１０に光学ユニット１００を複数並設する構成としてもよい。この場合、移動する基板の一部或いは全体を複数の光学ユニット１００によって走査することによって画像を取得することができる。本説明では、光学ユニット１００（ガントリー１０）が設けられる領域を検査空間ＰＲ１という。また、検査空間ＰＲ１以外の領域を搬送空間ＴＲ１，ＴＲ２という。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ〜１３Ｄ）は、例えば複数の板状部材が基板Ｗの搬送方向Ｄと垂直な方向に並設された、すのこ状に組み合わされた構造を有する。搬送ステージ１３は、すのこ状に組み合わされた構造を有するステージ１３Ａ〜１３Ｄを搬送方向Ｄに沿って並べることで、基板Ｗの搬送経路を形成する。各ステージ１３Ａ〜１３Ｄの板状部材には、上面で保持部材２２を保持し、搬送方向Ｄに直交する軸を中心軸として自転可能なフリーローラ１３１がそれぞれ設けられる。なお、フリーローラ１３１は、ラグランジュ点のように載置する部材の撓み振動が発生しにくい間隔で配置されることが好ましい。また、フリーローラ１３１はＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン）材やフッ素系の樹脂等、耐摩擦性に優れるエンジニアリングプラスティックを採用することが好ましい。
また、複数のフリーローラ１３１の配置は、等間隔でも不等間隔でも構わない。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
なお、本実施の形態の搬送ステージ１３では、複数の板状部材がすのこ状に並設され、この板状部材にフリーローラ１３１が複数設けられる構成としているが、この構成に代えて、例えば、基板の搬送方向に直交する方向に延出するシャフトを基板の搬送方向へ間隔を置いて複数設け、このシャフトにフリーローラ１３１を複数設けるような構成に置き換えてもよい。
すなわち、搬送ステージ１３は、回転可能な複数のローラ部材によって保持部材２２を支持するとともに移動させる構成であり、その形態は如何なる構成を採用しても構わない。