【手続補正書】
【提出日】平成27年5月8日(2015.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
少なくとも１つの光フィルタが、それぞれの光路内において、穴のうちの少なくとも１つに付設される。この光フィルタ（以下、省略して「フィルタ」とも呼ぶ）は窓要素とは異なり、窓要素は、変換器要素に関連する放射に対しては透過性であるが、必然的に、不可避的な光学的効果（屈折、吸収、透過性）を有する。フィルタは、それが複数の光路の中で光学活性となるような寸法とすることができる。複数のフィルタを１つの光路に配置することができる。フィルタは、個々に光路に関して傾斜させることができ、又は光路に関して選択的かつ制御された方法で傾斜可能とすることができる。検出され、また発生される放射の波長の補正は、１つ又は複数の光フィルタを制御下で傾斜させることによって可能である。光フィルタは通常、光学的な複数の層を含むため、光フィルタ内のそれぞれの光路の光路長と光フィルタ上への放射光線の入射角を傾斜によって調節できる。放射の特性（例えば波長）には、光路長の効果と干渉等の界面効果を通じて選択的に影響を与えることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
図４に示されている本発明による電子部品の第二の実施形態には、第一の変換器要素７．２と第二の変換器要素７．３が設けられている。穴５がハウジングキャップ４の中の、第一の変換器要素７．２と第二の変換器要素７．３の上方に設けられる。２つの穴５は共通の窓要素１０によって覆われ、気密封止状態に閉鎖される。第一の変換器要素７．２とその上方に設けられた穴５との間に第一の光路８．１があり、第二の変換器要素７．３とその上方に設けられた穴５との間に第二の光路８．２がある。光フィルタ１１が２つの光路８．１、８．２の中に、穴５から離して配置され、中間空間１２が光フィルタ１１、穴５、窓要素との間に形成される。中間空間１２はチャネル１３を通じて内部空間６と連通する。２つの光路８．１、８．２に沿ったさらに下流に、各々について第一の光路８．１だけ、及び第二の光路８．２だけにそれぞれ付設される別の光フィルタ１１１が配置される。第一の光路８．１の中の別の光フィルタ１１１が第一の光路８．１に対して垂直の向きである一方で、第二の光路８．２の中の別の光フィルタ１１１は第二の光路８．２に関して傾斜している。第一の光路８．１は測定光路であり、第二の光路８．２は参照光路である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
図５に示されている本発明による電子部品１の第三の実施形態の例では、構成は基本的に図４に示されるものに対応するが、光フィルタ１１が各々について第一の光路８．１と第二の光路８．２に付設されている。さらに、隔膜穴２３．１を有する隔膜２３が光路８．１と８．２の中に設置される。隔膜２３の縁はハウジングキャップ４の内面まで延び、したがって、内部空間６を水平に分割する。放射９は、それぞれの隔膜穴２３．１しか通過できない。これによって、不要な迷光放射が第一の光路８．１と第二の光路８．２に沿って伝播することが防止される。迷光放射は、例えば光フィルタ１１及び／又は別の光フィルタ１１１の前面から出る放射成分に起因する可能性がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱と水分に対する堅牢性の高い気密封止な光電子又は電子光学変換部品の製造方法であって、
ａ）ハウジング（２）の台板としても同時に使用される、少なくとも１つの光電子又は電子光学変換器要素（７）のためのキャリア（３）を提供するステップと、
ｂ）底面（４．１）に開口部（４．２）を有するハウジングキャップ（４）を提供するステップと、
ｃ）前記ハウジングキャップ（４）に少なくとも１つの穴（５）を設けて、前記ハウジングキャップ（４）を前記キャリア（３）に載せると、それによって前記キャリア（３）の上に前記ハウジングキャップ（４）により、前記少なくとも１つの変換器要素（７）を受ける内部空間（６）が形成されて、前記少なくとも１つの変換器要素（７）に関連する放射（９）が、前記穴（５）と前記変換器要素（７）との間の、前記キャリア（３）に対して実質的に垂直な向きの光路（８）に沿って、妨害されずに前記ハウジングキャップ（４）を通過できるようになるステップと、
ｄ）前記変換器要素（７）に関連する前記放射（９）に対して透過性であり、かつ前記ハウジングキャップ（４）のそれぞれの前記穴（５）に合わせた形状と大きさを有し、かつ前記少なくとも１つの穴（５）の縁領域のための接触面としての縁辺金属化部分（１０．２）を有する、少なくとも１つの窓要素（１０）を提供するステップと、
ｅ）キャリア（３）と、変換器要素（７）と、ハウジングキャップ（４）と、前記少なくとも１つの窓要素（１０）とを組み立てるステップであって、前記ハウジングキャップ（４）と前記少なくとも１つの窓要素（１０）との間に、前記少なくとも１つの窓要素（１０）の前記縁辺金属化部分（１０．２）と前記ハウジングキャップ（４）との間での金属材料の溶着によって気密封止結合が生成され、前記ハウジングキャップ（４）と前記キャリア（３）との間で気密封止結合が生成されて、溶融金属材料の第二のシーム（１８）が前記キャリア（３）と気密封止状態に形成され、前記ハウジングキャップ（４）は、前記キャリア（３）に結合する前に、前記少なくとも１つの穴（５）が前記少なくとも１つの変換器要素（７）のそれぞれの必要な前記光路（８）に相対して整合されるように前記キャリア（３）上に位置決めされるステップと、
を含む方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、前記窓要素（１０）が、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）、フッ化バリウム（ＢａＦ２）、ケイ素（Ｓｉ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、セレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、イットリア部分安定化ジルコニア（ＺｒＯ２）、臭化タリウムとヨウ化タリウムの混合物（ＫＲＳ５：Ｔｌ（Ｂｒ−Ｉ））、フリントガラス、溶融石英を含む材料群から選択された透明材料の板として生成されることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の方法において、前記縁辺金属化部分（１０．２）が少なくとも２層の層連続体を含み、前記層連続体が、金属であるクロム、ニッケル、鉄、チタン、プラチナ、パラジウム及び金の中の１つの少なくとも１層を含み、前記縁辺金属化部分（１０．２）が蒸着法又は電気化学法によって生成されることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法において、前記内部空間（６）にガス又はガス混合物の何れかが充填され、あるいは真空化されてから前記ハウジングキャップ（４）と前記キャリア（３）との間の気密封止結合が生成されることを特徴とする方法。
【請求項５】
ハウジングキャップ（４）、前記ハウジング（２）の台板としてのキャリア（３）および前記ハウジングキャップ（４）と前記キャリア（３）によって取り囲まれる内部空間（６）を有するハウジング（２）と、
前記内部空間（６）の中に配置され、かつ前記キャリア（３）を通って案内されて気密封止の状態で前記キャリア（３）内に配置される電気コンタクトを有する少なくとも１つの光電子又は電子光学変換器要素（７）と、
を備える電子部品（１）であって、前記ハウジングキャップ（４）が溶融金属のボンディング結合を通じて前記キャリア（３）によって気密封止状態に閉鎖される、電子部品（１）において、
少なくとも１つの穴（５）が前記ハウジングキャップ（４）に設けられ、それによって前記少なくとも１つの変換器要素（７）に関連する放射（９）が前記ハウジングキャップ（４）を、前記穴（５）と前記変換器要素（７）との間で、前記キャリア（３）に対して実質的に垂直な向きの光路（８）に沿って通過でき、前記少なくとも１つの穴（５）が少なくとも１つの窓要素（１０）によって気密封止状態に閉鎖され、前記窓要素（１０）が前記ハウジングキャップ（４）に、前記窓要素（１０）の縁辺金属化部分（１０．２）に沿って、前記少なくとも１つの穴（５）の周囲の溶融金属材料の周縁の第一のシーム（１７）によって気密封止状態に結合され、前記窓要素（１０）が前記少なくとも放射（９）に対して透過性であることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項６】
請求項５に記載の電子部品（１）において、前記少なくとも１つの変換器要素（７）が光電子受光装置であり、それによって前記電子部品（１）が堅牢なセンサとなることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項７】
請求項６に記載の電子部品（１）において、少なくとも１つの光フィルタ（１１、１１１）がそれぞれの前記光路（８）にて前記穴（５）の少なくとも１つに付設され、前記光フィルタ（１１）と前記窓要素（１０）との間に中間空間（１２）が設けられ、該中間空間が前記ハウジング（２）の前記内部空間（６）に、ガス交換と圧力均衡化のために少なくとも１つのチャネル（１３）によって結合されることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項８】
請求子６又は７に記載の電子部品（１）において、少なくとも１つの窓要素（１０）に気密封止状態で結合された少なくとも２つの穴（５）が、各々について光電子受光装置への別々の光路（８、８．１、８．２）のために設けられ、前記光フィルタ（１１）と前記窓要素（１０）との間に中間空間（１２）が設けられ、該中間空間が前記ハウジング（２）の前記内部空間（６）に、ガス交換と圧力均衡化のために少なくとも１つのチャネル（１３）によって結合されることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項９】
請求項８に記載の電子部品（１）において、それぞれの受光装置までの前記別々の光路（８、８．１、８．２）が少なくとも１つの測定光路と少なくとも１つの参照光路であることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項１０】
請求項５に記載の電子部品（１）において、前記変換器要素（７）が電子光学光源であり、前記光路（８）の当初部分に沿って内部リフレクタ（１４）が回転対称に配置されていることで、前記電子部品（１）が放射（９）の有向束を放出するための発光ユニットとして形成されることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項１１】
請求項５に記載の電子部品（１）において、前記変換器要素（７）が電子光学光源であり、前記ハウジングキャップ（４）の上に前記穴（５）を覆うように外部リフレクタ（１５）が設置されていることで、前記電子部品（１）が、前記外部リフレクタ（１５）と共に、放射（９）の有向束を放出するための発光ユニットとして形成されることを特徴とする電子部品（１）。
【請求項１２】
電子部品（１）のハウジングのハウジングキャップであって、前記ハウジングキャップ（４）の底面（４．１）に開口部（４．２）を有するハウジングキャップにおいて、
前記ハウジングキャップ（４）の壁に少なくとも１つの穴（５）が設けられ、前記穴（５）が所定の透過性を有する窓要素（１０）によって気密封止状態に閉鎖され、前記窓要素（１０）が前記ハウジングキャップ（４）に、一時的に溶融した金属の周縁シーム（１７）によって前記少なくとも１つの穴（５）の周囲で前記窓要素（１０）の縁辺金属化部分（１０．２）に沿って気密封止状態に結合されることを特徴とするハウジングキャップ。
【請求項１３】
請求項５〜９のいずれか一項に記載の少なくとも１つの電子部品（１）と請求項１０又は１１に記載の少なくとも１つの電子部品（１）とを備える測定セル（１９）において、
２つの前記電子部品（１）が共通の光軸に沿って相互に相対して位置付けられ、測定セルハウジング（１９．１）を用いて、測定経路（２２）を形成する所定の距離に保持され、前記測定セルハウジング（１９．１）が、ガスの流通のための貫通穴（２０）を備える管の形状として形成されることを特徴とする測定セル（１９）。
【請求項１４】
請求項５〜９のいずれか一項に記載の少なくとも１つの電子部品（１）と請求項１０又は１１に記載の少なくとも１つの電子部品（１）とを備える測定セル（１９）において、
２つの前記電子部品（１）が相互に隣り合わせに配置され、少なくとも１回偏向された共通の光軸に沿って位置付けられ、測定セルハウジング（１９．１）によって前記２つの電子部品（１）に相対して保持される少なくとも１つのミラーユニット（２１）が前記光軸を偏向するために設けられ、前記測定セルハウジング（１９．１）が、ガスの流通のための貫通穴（２０）を備える管の形状として形成されることを特徴とする測定セル（１９）。