【手続補正書】
【提出日】平成26年12月10日(2014.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の温度に加熱された溶融はんだで洗浄後の母材を被覆した後、当該母材を冷却することにより薄膜はんだ被覆部材を製造する溶融はんだ薄膜被覆装置であって、
不活性雰囲気で前記母材を浸漬してはんだを被覆するための溶融はんだが収容されるはんだ槽と、
当該はんだ槽の上部を覆うとともに前記母材の前記はんだ槽への入口部及びはんだ槽からの出口部を有する蓋部と、
当該蓋部の前記はんだ槽側に当該蓋部と一体的に設けられ前記蓋部の入口部よりはんだ槽側に搬送され出口部よりはんだ槽側より搬送されるように前記母材をＵターンさせるためのローラーを軸支する軸受け部材と、
前記蓋部に対して前記軸受け部材と相対する側に設けられ、前記蓋部及び軸受け部材を一体的にスライド可能とするための縦長部材と、
母材を投入する側を上流側、母材を排出する側を下流側としたとき、前記はんだ槽に搬送される前記母材に所定のテンションを加えるため当該はんだ槽の上流側に設けられた第1搬送部と、
テンションが加えられた前記母材を前記はんだ槽から所定の速度で引き上げながら搬送するための当該はんだ槽の下流側に設けられた第２搬送部と、
前記第２搬送部によって前記はんだ槽から引き上げられた直後の前記母材に、前記溶融はんだの組成に対応した溶融温度以上に設定された温度及び所定の流量の熱ガスを吹き付ける吹付部と、
前記熱ガスの温度及び流量を制御することによって前記母材から溶融はんだを削ぎ落として、当該母材に被覆された膜厚を制御する制御部とを備える溶融はんだ薄膜被覆装置。
【請求項２】
前記制御部によって膜厚が制御された前記母材を冷却する冷却部を有する請求項１に記載の溶融はんだ薄膜被覆装置。
【請求項３】
前記熱ガスには、不活性ガスが使用される請求項１に記載の溶融はんだ薄膜被覆装置。
【請求項４】
母材と、
この母材を被覆する溶融はんだからなる被覆層とを備えた薄膜はんだ被覆部材であって、
所定の温度に加熱された溶融はんだが不活性雰囲気中のはんだ槽内に収容されこのはんだ槽内に所定のテンションが加えられた状態で、はんだ槽の上部を覆う蓋部に一体的に設けられ前記母材をUターンさせるためのローラーを軸支する軸受け部材及び縦長部材を介して洗浄後の母材が所定速度で搬送されることで、前記母材が溶融はんだ槽中に浸漬されるとともに、前記はんだ槽より引き上げられた直後の前記母材に、前記溶融はんだの組成に対応した溶融温度以上に設定された温度及び所定の流量となされた熱ガスを吹き付けて前記母材から溶融はんだを削ぎ落とすことで、前記被覆層が所定の膜厚となされた薄膜はんだ被覆部材。
【請求項５】
所定の温度に加熱された溶融はんだで洗浄後の母材を被覆し、その後、当該母材を冷却することにより薄膜はんだ被覆部材を製造する方法であって、
前記溶融はんだが収容された不活性雰囲気中のはんだ槽内に、所定のテンションが加えられた母材を、所定の速度で搬送して、はんだ槽の上部を覆う蓋部に一体的に設けられ前記母材をUターンさせるためのローラーを軸支する軸受け部材及び縦長部材を介して浸漬する工程と、
前記はんだ槽内に浸漬された前記母材を当該はんだ槽から引き上げる工程と、
引き上げ直後の前記母材に、前記溶融はんだの組成に対応した溶融温度以上に設定された温度及び所定の流量となるように制御された熱ガスを吹き付けて当該母材から溶融はんだを削ぎ落とすことにより、前記薄膜はんだ被覆部材への溶融はんだの膜厚を制御する工程とを有する薄膜はんだ被覆部材の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上述の課題を解決するために、請求項１に記載の溶融はんだ薄膜被覆装置は、所定の温度に加熱された溶融はんだで洗浄後の母材を被覆した後、当該母材を冷却することにより薄膜はんだ被覆部材を製造する溶融はんだ薄膜被覆装置であって、不活性雰囲気で前記母材を浸漬してはんだを被覆するための溶融はんだが収容されるはんだ槽と、当該はんだ槽の上部を覆うとともに前記母材の前記はんだ槽への入口部及びはんだ槽からの出口部を有する蓋部と、当該蓋部の前記はんだ槽側に当該蓋部と一体的に設けられ前記蓋部の入口部よりはんだ槽側に搬送され出口部よりはんだ槽側より搬送されるように前記母材をＵターンさせるためのローラーを軸支する軸受け部材と、前記蓋部に対して前記軸受け部材と相対する側に設けられ、前記蓋部及び軸受け部材を一体的にスライド可能とするための縦長部材と、母材を投入する側を上流側、母材を排出する側を下流側としたとき、前記はんだ槽に搬送される前記母材に所定のテンションを加えるため当該はんだ槽の上流側に設けられた第1搬送部と、テンションが加えられた前記母材を前記はんだ槽から所定の速度で引き上げながら搬送するための当該はんだ槽の下流側に設けられた第２搬送部と、前記第２搬送部によって前記はんだ槽から引き上げられた直後の前記母材に、前記溶融はんだの組成に対応した溶融温度以上に設定された温度及び所定の流量の熱ガスを吹き付ける吹付部と、前記熱ガスの温度及び流量を制御することによって前記母材から溶融はんだを削ぎ落として、当該母材に被覆された膜厚を制御する制御部とを備えるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２に記載の溶融はんだ薄膜被覆装置は、請求項１において、前記制御部によって膜厚が制御された前記母材を冷却する冷却部を有するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項４に記載の薄膜はんだ被覆部材は、母材と、この母材を被覆する溶融はんだからなる被覆層とを備えた薄膜はんだ被覆部材であって、所定の温度に加熱された溶融はんだが不活性雰囲気中のはんだ槽内に収容されこのはんだ槽内に所定のテンションが加えられた状態で、はんだ槽の上部を覆う蓋部に一体的に設けられ前記母材をUターンさせるためのローラーを軸支する軸受け部材及び縦長部材を介して洗浄後の母材が所定速度で搬送されることで、前記母材が溶融はんだ槽中に浸漬されるとともに、前記はんだ槽より引き上げられた直後の前記母材に、前記溶融はんだの組成に対応した溶融温度以上に設定された温度及び所定の流量となされた熱ガスを吹き付けて前記母材から溶融はんだを削ぎ落とすことで、前記被覆層が所定の膜厚となされたものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項５に記載の薄膜はんだ被覆部材の製造方法は、所定の温度に加熱された溶融はんだで洗浄後の母材を被覆し、その後、当該母材を冷却することにより薄膜はんだ被覆部材を製造する方法であって、前記溶融はんだが収容された不活性雰囲気中のはんだ槽内に、所定のテンションが加えられた母材を、所定の速度で搬送して、はんだ槽の上部を覆う蓋部に一体的に設けられ前記母材をUターンさせるためのローラーを軸支する軸受け部材及び縦長部材を介して浸漬する工程と、前記はんだ槽内に浸漬された前記母材を当該はんだ槽から引き上げる工程と、引き上げ直後の前記母材に、前記溶融はんだの組成に対応した溶融温度以上に設定された温度及び所定の流量となるように制御された熱ガスを吹き付けて当該母材から溶融はんだを削ぎ落とすことにより、前記薄膜はんだ被覆部材への溶融はんだの膜厚を制御する工程とを有するものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【図１】本発明に係る実施形態としての薄膜はんだ被覆部材製造システム＃１の構成例を示す断面図である。
【図２】吹付部１９におけるガスノズル９１，９２の配置例を示す斜視図である。
【図３】ガスノズル９１，９２による熱ガスブロー時の機能例を示す正面図である。
【図４】溶融はんだ薄膜被覆装置１００の制御系の構成例を示すブロック図である。
【図５】多元系はんだ組成に対応した熱ガスブロー時の温度値及び流量値の格納例を示す表図である。
【図６】薄膜はんだ被覆部材１０の構成例を示す断面図である。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、薄膜はんだ被覆部材１０の形成例（その１）を示す工程図である。
【図８】（Ａ）及び（Ｂ）は、薄膜はんだ被覆部材１０の形成例（その２）を示す工程図である。
【図９】薄膜はんだ被覆部材１０の形成例（その３）を示す工程図である。
【図１０】（Ａ）及び（Ｂ）は、熱ガスブロー有無における薄膜はんだ被覆部材１０の表面観察例を示す写真線画図である。
【図１１】（Ａ）及び（Ｂ）は、熱ガスブロー有無における薄膜はんだ被覆部材１０の断面観察例を示す写真線画図である。
【図１２】（Ａ）は熱ガスブロー無しにおける薄膜はんだ被覆部材３０の断面の画像例を示す写真図及び、（Ｂ）〜（Ｉ）はその元素マッピング画像例を示す写真線画図である。
【図１３】（Ａ）は、熱ガスブロー無しにおける薄膜はんだ被覆部材３０の断面の画像例を示す写真線画図及び（Ｂ）は、その点分析例を示す表図である。
【図１４】（Ａ）は熱ガスブロー有りにおける薄膜はんだ被覆部材１０の断面の画像例を示す写真線画図及び、（Ｂ）〜（Ｉ）はその元素マッピング画像例を示す写真線画図である。
【図１５】（Ａ）は、熱ガスブロー有りにおける薄膜はんだ被覆部材１０の断面の画像例を示す写真線画図及び（Ｂ）は、その点分析例を示す表図である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図１において、洗浄槽１１は部材供給部の下流側に設けられ、洗浄槽１１には洗浄用の液体１１ａが収容されている。洗浄用の液体１１ａにはイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等が使用される。洗浄槽１１の下流側には乾燥部１２が設けられる。乾燥部１２にはブロアーが使用される。乾燥部１２の下流側には第１搬送部１３が設けられる。第１搬送部１３には制動用のローラー部材が使用される。制動用のローラー部材は、例えば、通常の従動ローラーに比べて上・下ローラーのニップ部位の圧着力が高めに設定されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
溶融はんだ薄膜被覆装置１００は箱体を成す本体部１０１を有しており、本体部１０１はその天板部位の所定の位置に開口部１０４を有している。この開口部１０４を境にして左側と右側とに搬送路が分かれている。当該本体部１０１の内部の左側面（上流側）には搬入口１０２が設けられ、その右側面（下流側）には搬出口１０３を備えている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図３において、白抜き矢印は所定の搬送速度で移動する条部材３１の搬送方向である。図３に示す吹付部１９によれば、ガスノズル９１が条部材３１の左側に配置され、水平線Ｌｈに対して角度＋θ（時計回りプラス基準）だけ傾けた状態で、図示しない固定部材に取り付けられる。ガスノズル９２は条部材３１の右側に配置され、反対に水平線Ｌｈに対して角度−θ（同基準）だけ傾けた状態で、図示しない固定部材に取り付けられる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
制御部５０は、操作部２４の起動操作により、ＲＯＭ５１に記憶されているシステムプログラムＤｐを読み出してＲＡＭ５２に展開し、ここに展開されたシステムプログラムＤｐに従って、薄膜はんだ被覆部材製造システム＃１を起動する。制御部５０にはインフリッヂ工業製のＤＦＣ−１００Ｌ型のコントローラが使用される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
予備加熱部１５は、制御部５０からヒーター駆動信号Ｓ１５を入力し、ヒーター駆動信号Ｓ１５に基づいて洗浄後の条部材３１に熱風を吹き付けて加熱する。ヒーター駆動信号Ｓ１５は予備加熱部１５に装備された図示しないエアーヒーターを駆動する信号であり、制御部５０から予備加熱部１５へ出力される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
吹付部１９は、ガスノズル９１，９２の他に熱ガス調整部９０、ヒーター９５，９６、流量調整バルブ９７，９８及びＮ2ボンベ９９を有している。流量調整バルブ９７，９８にはＮ2ボンベ９９が接続され、Ｎ2ガスをガスノズル９１，９２に供給する。この例では、溶融はんだの溶融温度がガスノズル９１，９２の先端の温度を溶融はんだの溶融温度が２７３〜２９５℃であるときには３００℃とするために、ガスノズル９１，９２のノズル本体の温度、及び、ヒーター９５，９６の発熱温度が決定される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
次に、図１１の（Ａ）及び（Ｂ）を参照して、熱ガスブロー有無における薄膜はんだ被覆部材１０，３０の断面の状態例について説明する。図１１の（Ａ）に示す写真図によれば、熱ガスブロー無しの場合の薄膜はんだ被覆部材３０の断面画像が得られた。その観察には上述の表面分析機器の断面撮像機能を利用した。薄膜はんだ被覆部材３０の断面画像は、倍率９００倍（×９００）、３０００倍（×３０００）に拡大した２種類である。倍率９００倍の断面画像から膜厚３０μｍのはんだ層７’が確認できる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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