【手続補正書】
【提出日】平成27年9月18日(2015.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の表面を平坦化するための研磨装置であって、
研磨テーブルと、
該研磨テーブルを回転駆動する第１の電動モータと、
前記被加工物を保持可能な基板保持部と、
該基板保持部を回転駆動する第２の電動モータとを備え、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、複数相の巻線を備え、
前記研磨装置は、前記複数相の巻線のうちの少なくとも２つの電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部によって検出された前記複数相の巻線のうちの少なくとも２つの電流に基づいて、合成電流を生成する合成電流生成部と、
前記合成電流生成部によって生成された合成電流の変化に基づいて、前記被加工物の研磨により生じる前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのトルク変動を検出するトルク変動検出部と、
を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
請求項１に記載の研磨装置において、さらに、
前記トルク変動検出部で検出された前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのトルク変動に基づいて、前記被加工物の表面の平坦化を示す研磨加工終点を検出する終点検出部を備えたことを特徴とする、研磨装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の研磨装置において、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、少なくともＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線を備えたことを特徴とする、研磨装置。
【請求項４】
請求項３に記載の研磨装置において、
前記第１の電動モータが、少なくともＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線を備えたことを特徴とする、研磨装置。
【請求項５】
請求項４に記載の研磨装置において、
前記第１の電動モータは、同期式又は誘導式のＡＣサーボモータであることを特徴とする、研磨装置。
【請求項６】
請求項１に記載の研磨装置において、さらに、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータの回転位置の検出値に基づいて前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転角度を生成する電気角信号生成部を備え、
前記電流検出部は、前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線のうち少なくとも２つの電流を検出し、
前記合成電流生成部は、前記合成電流として、前記電流検出部によって検出された前記３相の巻線のうちの少なくとも２相の電流と、前記電気角信号生成部によって検出された前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転角度とに基づいて、前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのトルクに相当する前記３相の合成実効電流を生成する
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
請求項１に記載の研磨装置において、
前記電流検出部は、前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線のうち少なくとも２つの電流を検出し、
前記合成電流生成部は、前記合成電流として、前記電流検出部によって検出された前記３相の巻線のうち少なくとも２つの電流に基づいて、前記３相の巻線の電流の平均電流を生成する
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
請求項１に記載の研磨装置において、さらに、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータを駆動するモータドライバを備え、
該モータドライバは、
前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転位置の検出値に基づいて前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転速度を求める演算器と、
入力インターフェースを介して入力された前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転速度の指令値と前記演算器によって求められた前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転速度との偏差に基づいて、前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータへ供給する電流の指令信号を生成する速度補償器と、
前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転位置の検出値に基づいて前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転角度を生成する電気角信号生成部と、
前記複数の相の巻線のうちの少なくとも２つの電流指令値を生成する変換器と、を有し、
前記電流検出部は、前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線のうち少なくとも２つの電流を検出し、
前記合成電流生成部は、前記合成電流として、前記電流検出部によって検出された前記３相の巻線のうち少なくとも２つの電流と、前記電気角信号生成部によって検出された前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータの回転角度とに基づいて、前記第１及び第２の電動モータのうち前記少なくとも一方の電動モータのトルクに相当する前記３相の合成実効電流を生成し、
前記変換器は、前記速度補償器によって生成された電流の指令信号と前記合成電流生成部によって生成された合成実効電流との偏差に基づいて、前記複数の相の巻線のうちの少なくとも２つの電流指令値を生成する
ことを特徴とする研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
なお、上記各実施形態においては、３相の巻線を備えた電動モータを用いたが、本願発明は必ずしもこれに限定されるものではなく、２相以上の巻線を備えた電動モータを用いても良い。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
［形態１］
被加工物の表面を平坦化するための研磨装置であって、
研磨テーブルと、
該研磨テーブルを回転駆動する第１の電動モータと、
被加工物を保持可能な基板保持部と、
該基板保持部を回転駆動する第２の電動モータとを備え、
前記第１の電動モータにより前記研磨テーブルを回転させると共に、前記第２の電動モータにより前記基板保持部を回転させて、前記被加工物を前記基板保持部で保持しつつ前記研磨テーブルに押圧し研磨して該被加工物の表面を平坦化できるようになっており、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、複数相の巻線を備え、
前記研磨装置は、前記複数相のうちの少なくとも２相の電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部によって検出された少なくとも２相の電流に基づいて、合成電流を生成する合成電流生成部と、
前記合成電流生成部によって生成された合成電流の変化に基づいて、前記研磨により生じる前記電動モータのトルク変動を検出するトルク変動検出部と、
を備えたことを特徴とする研磨装置。
［形態２］
形態１に記載の研磨装置において、さらに、
前記トルク変動検出部で検出された前記電動モータのトルク変動に基づいて、前記被加工物の表面の平坦化を示す研磨加工終点を検出する終点検出部を備えたことを特徴とする、研磨装置。
［形態３］
形態１又は２に記載の研磨装置において、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータは、少なくともＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線を備えたことを特徴とする、研磨装置。
［形態４］
形態３に記載の研磨装置において、
前記第１の電動モータが、少なくともＵ相とＶ相とＷ相の３相の巻線を備えたことを特徴とする、研磨装置。
［形態５］
形態４に記載の研磨装置において、
前記第１の電動モータは、同期式又は誘導式のＡＣサーボモータであることを特徴とする、研磨装置。
［形態６］
形態１に記載の研磨装置において、さらに、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータの回転位置の検出値に基づいて前記電動モータの回転角度を生成する電気角信号生成部を備え、
前記電流検出部は、前記電動モータのＵ相とＶ相とＷ相の３相のうち少なくとも２相の電流を検出し、
前記合成電流生成部は、前記合成電流として、前記電流検出部によって検出された少なくとも２相の電流と、前記電気角信号生成部によって検出された電動モータの回転角度とに基づいて、前記電動モータのトルクに相当する前記３相の合成実効電流を生成する
ことを特徴とする研磨装置。
［形態７］
形態１に記載の研磨装置において、
前記電流検出部は、前記電動モータのＵ相とＶ相とＷ相の３相のうち少なくとも２相の電流を検出し、
前記合成電流生成部は、前記合成電流として、前記電流検出部によって検出された少なくとも２相の電流に基づいて、前記３相の電流の平均電流を生成する
ことを特徴とする研磨装置。
［形態８］
形態１に記載の研磨装置において、さらに、
前記第１及び第２の電動モータのうち少なくとも一方の電動モータを駆動するモータドライバを備え、
該モータドライバは、
前記電動モータの回転位置の検出値に基づいて前記電動モータの回転速度を求める演算器と、
入力インターフェースを介して入力された前記電動モータの回転速度の指令値と前記演算器によって求められた前記電動モータの回転速度との偏差に基づいて、前記電動モータへ供給する電流の指令信号を生成する速度補償器と、
前記電動モータの回転位置の検出値に基づいて前記電動モータの回転角度を生成する電気角信号生成部と、
前記各相のうちの少なくとも２つの相の電流指令値を生成する変換器と、を有し、
前記電流検出部は、前記電動モータのＵ相とＶ相とＷ相の３相のうち少なくとも２相の電流を検出し、
前記合成電流生成部は、前記合成電流として、前記電流検出部によって検出された少なくとも２相の電流と、前記電気角信号生成部によって検出された電動モータの回転角度とに基づいて、前記電動モータのトルクに相当する前記３相の合成実効電流を生成し、
前記変換器は、前記速度補償器によって生成された電流の指令信号と前記合成電流生成部によって生成された合成実効電流との偏差に基づいて、前記各相のうちの少なくとも２つの相の電流指令値を生成する
ことを特徴とする研磨装置。