(57)【要約】  光学反射素子１は、枠体６と、前記枠体の内側に一端が接続された駆動部５と、前記駆動部の他端に接続された可動部４と、前記可動部の表面に設けられた反射部２と、前記可動部に設けられた電極とを備える。前記駆動部は駆動信号により駆動されて前記可動部を振動させるように構成されている。前記電極には前記駆動信号よりも高い周波数の高周波信号が入力されるように構成されている。この光学反射素子は、高速かつ大偏向角で駆動され、前記可動部への塵埃の付着を防止することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の枠体と、
前記第一の枠体の内側に一端が接続された第一の駆動部と、
前記第一の駆動部の他端に接続された可動部と、
前記可動部に設けられた第一の電極と、
を備え、
前記第一の駆動部は駆動信号により駆動されて前記可動部を振動させるように構成されており、
前記第一の電極には前記駆動信号よりも高い周波数の高周波信号が入力されるように構成されている、アクチュエータ。
【請求項２】
前記駆動信号は前記高周波信号と重畳して前記第一の電極に入力されるように構成されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記駆動信号が入力される第二の電極をさらに備えた、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記第一の電極は前記可動部の外周近傍に設けられている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記高周波信号の周波数は０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚである、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記高周波信号の周波数はスイープされている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記高周波信号の電圧は前記駆動電圧の１０％以下である、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記可動部に設けられて前記可動部を接地するように構成された接地電極をさらに備えた、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記接地電極は前記可動部の外周近傍に設けられている、請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記第一の電極は前記可動部の表面に設けられており、
前記接地電極は前記可動部の前記表面の反対側の裏面に設けられている、請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記第一の枠体の外側に接続された一端を有する第二の駆動部と、
前記第二の駆動部の他端に接続された第二の枠体と、
をさらに備え、
前記第一の駆動部と前記第二の駆動部が互いに略直交する方向に延びている、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１に記載のアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記可動部の表面に設けられた反射部と、
を備えた光学反射素子。
【請求項１３】
前記可動部に設けられて前記反射部を接地するように構成された接地電極をさらに備えた、請求項１２に記載の光学反射素子。
【請求項１４】
前記接地電極は前記反射部と接続されている、請求項１３に記載の光学反射素子。
【請求項１５】
請求項１２に記載の光学反射素子と、
前記光学反射素子の前記反射部で反射して走査されるレーザ光を出射するレーザ光源と、
を備えた画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータと光学反射素子およびそれを用いた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ）技術を用いたアクチュエータが検討されている。そして、このアクチュエータの活用として、レーザ光を走査しスクリーン等に画像を投影する光学反射素子が開発されている。画像を投影するには、その光学反射素子を用いてレーザ光を高速かつ大偏向角に走査する必要がある。【０００３】
光学反射素子の反射部を含む可動部を高速かつ大偏向角で駆動させると、反射部の外周部に大気中の塵埃が付着し、反射部が汚染される。汚染により反射部の反射率低下による反射光強度の低下、あるいは、汚染部へのレーザ光照射による光散乱、等が発生し、画像の輝度低下、画像の劣化を引き起こしてしまう。【０００４】
特許文献１は、これらの問題を解決するために反射部を光透過部材で覆い、反射部の汚れを防止するようにした光学反射素子を開示している。また、特許文献２は、反射部の外周に塵埃付着部を設けて反射部の汚れを防止する光学反射素子を開示している。さらに、特許文献３は、反射部の側面を加工して塵埃付着部を設けて反射部の汚れを防止する光学反射素子を開示している。さらに、特許文献４は、反射部の透明保護膜に低い電気抵抗率をもつ導電性材料を用いて帯電による塵埃付着を防止する方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１７３４３５号公報
【特許文献２】特開２０１０−０９７０９９号公報
【特許文献３】特開２０１０−１０２１４７号公報
【特許文献４】特開２０１１−０３３７５４号公報
【発明の概要】
【０００６】
アクチュエータは，枠体と、枠体の内側に一端が接続された駆動部と、駆動部の他端に接続された可動部と、可動部に設けられた電極とを備える。駆動部は駆動信号により駆動されて可動部を振動させるように構成されている。電極には駆動信号よりも高い周波数の高周波信号が入力されるように構成されている。
【０００７】
このアクチュエータは高速かつ大偏向角で駆動され、可動部への塵埃の付着を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は本発明の実施の形態１における光学反射素子の斜視図である。
【図２】図２は実施の形態１における光学反射素子の拡大図である。
【図３】図３は比較例の光学反射素子の拡大図である。
【図４】図４は実施の形態１における光学反射素子に接続される駆動回路のブロック図である。
【図５】図５は実施の形態１における光学反射素子の拡大図である。
【図６】図６は実施の形態１における光学反射素子の駆動時間と共振周波数の関係を示す図である。
【図７】図７は実施の形態１における他の光学反射素子の斜視図である。
【図８】図８は本発明の実施の形態２における光学反射素子の拡大図である。
【図９】図９は実施の形態２における光学反射素子の駆動時間と共振周波数の関係を示す図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは実施の形態２における他の光学反射素子の拡大図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは図１０Ａに示す光学反射素子の拡大図である。
【図１１】図１１は実施の形態２におけるさらに他の光学反射素子の拡大図である。
【図１２】図１２は本発明の実施の形態３における光学反射素子の斜視図である。
【図１３】図１３は実施の形態３における光学反射素子を用いた画像形成装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１におけるアクチュエータの一例である光学反射素子１の斜視図である。光学反射素子１は、回動軸３を中心として回動する可動部４と、可動部４と接続された駆動部５と、駆動部５と接続された枠体６と、可動部４に設けられた反射部２とを有している。
【００１０】
図２は特に可動部４の周辺を示す光学反射素子１の拡大図である。可動部４は表面４Ａと、表面４Ａの反対側の裏面４Ｂとを有する。反射部２は可動部４の表面４Ａに設けられた金属（Ａｇ系材料）等の光を反射する材料よりなる膜により形成され、可動部４に照射された光束を反射する。電極７は可動部４の表面４Ａの外周部に設けられ、駆動部５と接続されて駆動部５を駆動する駆動信号が入力される。
【００１１】
駆動部５は、シリコンで形成された基板と、基板上に形成された下部電極と、下部電極上に形成されたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体からなる圧電体層と、圧電体層上に形成された上部電極とを有する。
【００１２】
下部電極、圧電体層、上部電極を所望の形状にドライエッチングまたはウェットエッチングによりパターニングした後、ＩＣＰドライエッチングにより基板を加工することにより、可動部４、駆動部５、枠体６を形成することができる。
【００１３】
下部電極と上部電極の間に電界を印加すると、逆圧電効果によって圧電体層が平面方向に伸縮する。このとき、圧電体層に発生した力が駆動部５の厚み方向のモーメントとして働き駆動部５が撓む。これにより、駆動部５に接続された可動部４の傾きが変動し、可動部４が回動軸３を中心に回動する。
【００１４】
図３は、電極７を備えていない点以外は光学反射素子１と同じ構造を有する比較例の光学反射素子の拡大図であり、大気中で駆動周波数３０ｋＨｚ、偏向角±８度で３００時間以上の長時間駆動した場合の可動部４の顕微鏡写真である。黒い部分が光学反射素子に付着した異物８である。図３に示すように、可動部４を高速、大偏向角で駆動させた場合、可動部４及び駆動部５の外周に異物８が付着し、付着箇所が変色している。比較例の光学反射素子をパッケージ内に入れ、窒素ガス等で気密封止して同一条件で駆動した場合には可動部に異物８が付着しないので、可動部４に付着している異物８は大気中の塵埃であることが確認できる。このように可動部４に塵埃が付着することにより、可動部４の反射部２における反射率が低下したり、比較例の光学反射素子の共振周波数が低下したりする。
【００１５】
図３に示すように、塵埃は、変位が大きい可動部４の外周部近傍に特に付着しやすい。可動部４の変位により可動部４の外周に気流が生じ、空気と塵埃の衝突、摩擦により発生する静電気が可動部４への塵埃の付着へ大きな影響を与えている。したがって、可動部４に静電気を発生させないことが塵埃の付着の防止に効果的である。
【００１６】
実施の形態１における光学反射素子１は静電気の発生を防止することで塵埃の付着を抑制する。光学反射素子１の静電気の発生を抑制する方法について述べる。
【００１７】
図４は光学反射素子１へ入力される信号を発生する駆動回路１００１のブロック図である。駆動回路１００１は、駆動信号発生器９と高周波信号発生器１０と合成器１１とを有する。駆動信号発生器９は、駆動部５を駆動振動させることにより所定の駆動周波数で回動軸３を中心に可動部４を回動させる駆動信号を発生する。実施の形態１では駆動信号は３０ｋＨｚの駆動周波数を有する正弦波電圧である。高周波信号発生器１０は、駆動信号の駆動周波数よりも高い周波数を有する高周波信号を発生する。合成器１１は駆動信号に高周波信号を重畳して合成駆動信号を発生して電極７に入力する。すなわち、駆動信号発生器９は合成器１１を介して駆動信号を電極７に入力し、高周波信号発生器１０は合成器１１を介して高周波信号を電極７に入力する。実施の形態１では高周波信号の周波数は０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚである。駆動信号に高周波信号を重畳させても可動部４が所定の駆動周波数（実施の形態１では３０ｋＨｚ）、所定の偏向角（実施の形態１では±８度）で回動振動するように高周波信号の電圧は調整されている。高周波信号を電極７へ入力することで高い周波数を有する電荷が駆動部５や可動部４の外周近傍に発生する。この電荷が可動部４に発生する静電気と相殺することで可動部４外周の帯電を抑制することができ、塵埃の可動部４や駆動部５への付着を防止することができる。
【００１８】
図５は光学反射素子１の拡大図であり、図２に示す比較例の光学反射素子と同様に、駆動周波数３０ｋＨｚ、偏向角±８度で３００時間以上の長時間駆動した場合の可動部４の顕微鏡写真を示す。図５に示す光学反射素子１では図３に示す比較例の光学反射素子で見られた塵埃の付着は観察されず、駆動信号に高周波信号を重畳させて電極７に入力することにより、塵埃の付着に対する高い抑制効果を得ることができる。
【００１９】
図６は光学反射素子１の可動部４固有の機械的な共振周波数と駆動時間との関係を、比較例の光学反射素子のそれと共に示す。図６において、横軸は駆動時間を示し、縦軸は共振周波数を示す。図６に示すように、比較例の光学反射素子では、駆動時間の経過に伴って塵埃が可動部４に付着して可動部４が重くなり、共振周波数が低下する。対して、実施の形態１における光学反射素子１は長時間駆動しても共振周波数があまり低下しておらず、塵埃の付着の高い抑制効果を示している。
【００２０】
なお、駆動信号に重畳される高周波信号の電圧が大きすぎると光学反射素子１の高周波振動モードが大きくなり、偏向角が低下する可能性がある。また、高周波信号の電圧が小さすぎると、高周波信号の印加により発生する高い周波数成分を持つ電荷が少なくなり、十分な防塵効果を得ることが出来なくなる。実施の形態１における光学反射素子１においては、駆動電圧の５〜１０％の電圧の高周波信号を駆動電圧に重畳しており、この範囲でなら光学反射素子１の偏向角を低下させず、かつ、塵埃付着の十分な抑制効果を得ることができる。ただし、光学反射素子１の構造や使用環境によっては、駆動信号の電圧の５〜１０％の範囲の外の印加電圧でも同様の効果を得ることができる。
【００２１】
また、実施の形態１における光学反射素子１では高周波信号の周波数は０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚであるが、高周波信号の周波数を０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚの範囲でスイープしてもよい。このとき、異なる周波数成分を持つ電荷が発生するので、スイープしないで一定の周波数を有する高周波信号を入力したときよりもより高い塵埃付着の抑制効果を得ることができる。なお、高周波信号の周波数は０．５ＭＨｚから２ＭＨｚへスイープさせても、２ＭＨｚから０．５ＭＨｚへスイープさせてもよくどちらでも同様の効果を得ることが出来る。
【００２２】
なお、実施の形態１における光学反射素子１では、駆動周波数３０ｋＨｚの回動駆動に対して０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚの高周波信号の重畳により塵埃付着抑制の効果があることを確認できた。電極７に入力される駆動信号の周波数に応じて塵埃抑制の効果が最大となる周波数は変化する可能性があるので、高周波信号の周波数は０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚの周波数に限定されるものではない。実施の形態１における光学反射素子１で駆動信号の周波数３０ｋＨｚの回動駆動に対して高周波信号０．５ＭＨｚ〜２ＭＨｚで塵埃付着抑制の効果が示されているように、高周波信号の周波数が駆動信号の周波数よりも高ければ塵埃付着の抑制効果を得ることができる。
【００２３】
なお、実施の形態１における光学反射素子１では、一対の駆動部５は可動部４の互いに反対側の部分に接続されて可動部４を支持しつつ回動振動させている。それに限らず、１つの駆動部５が可動部４の片側のみと接続されて、可動部４を支持しつつ回動振動させてもよく、同様の効果を得ることが出来る。
【００２４】
なお、実施の形態１における光学反射素子１では、駆動部５を駆動する駆動信号を入力する電極と、高周波信号を入力する電極とを同一の電極７にして、駆動信号に高周波信号を重畳させて駆動と塵埃付着の抑制を実現する。図７は実施の形態１における他の光学反射素子１Ａの斜視図である。図７において、図１に示す光学反射素子１と同じ部分には同じ参照番号を付す。光学反射素子１Ａは、駆動信号を入力する電極７Ａをさらに備える。光学反射素子１Ａの電極７Ａには高周波信号が重畳されていない駆動信号が入力され、電極７には高周波信号が入力されて駆動信号は入力されない。光学反射素子１Ａは光学反射素子１と同様の塵埃付着の効果を得ることができる。
【００２５】
なお、実施の形態１における光学反射素子１、１Ａでは駆動部５は逆圧電効果を用いて駆動されるが、静電駆動方式、電磁駆動方式で駆動されてもよく、可動部４の外周部への静電気による塵埃付着の抑制効果を同様に得ることができる。
【００２６】
特許文献１の開示する従来の光学反射素子では、光透過部材と反射防止コーティングを必要とすることからコストアップに繋がる。また、光透過部材で透過せずに反射された光は迷光となり、画像劣化を引き起こすおそれもある。特許文献２や特許文献３の開示する従来の光学反射素子では、塵埃付着部を設けるために可動部のサイズが大きくなり、素子の小型化を阻害する。さらに、付着部の加工工程が追加されるために工程時間が増加し、あるいは作製プロセスが複雑化する。特許文献４の開示する従来の方法では、反射率を考慮した導電性を有する透明保護膜を新規に開発する必要がある。
【００２７】
実施の形態１における光学反射素子１、１Ａでは光透過部材を用いていないために小型化、コストダウンが可能である。
【００２８】
実施の形態１における光学反射素子１、１Ａでは、可動部４に塵埃付着部を設ける必要がないために小型化を可能とし、塵埃付着部の加工工程が不要となり、タクトタイムの低減を図ることができる。
【００２９】
実施の形態１における光学反射素子１、１Ａでは、導電性を有する透明保護膜を用いていないために透明保護膜の設計・開発が不要である。
【００３０】
（実施の形態２）
図８は実施の形態２における光学反射素子２１の拡大図である。図８において、図２に示す実施の形態１における光学反射素子１と同じ部分には同じ参照番号を付す。図８は可動部４を示す。図８に示すように、実施の形態２における光学反射素子２１は図２に示す光学反射素子１の可動部４の表面４Ａの外周近傍に設けられた接地電極２３をさらに備える、接地電極２３により可動部４は接地されるように構成されている。可動部４の外周近傍に設けられた接地電極２３により、可動部４に残留した表面電荷を取り除くことができる。これにより、空気との摩擦により可動部４の外周近傍で発生する静電気を完全に取り除くことができ、可動部４への塵埃抑制の効果をより高めることができる。
【００３１】
図９は実施の形態２における光学反射素子２１の可動部４固有の機械的な共振周波数と駆動時間との関係を、実施の形態１における光学反射素子１と前述の比較例の光学反射素子とのそれと共に示す。図９において、横軸は駆動時間を示し、縦軸は共振周波数を示す。比較例の光学反射素子では塵埃が付着して可動部４が重くなることにより駆動時間とともに共振周波数が低下する。実施の形態１における光学反射素子１では比較例の光学反射素子に比べて低下する割合は小さいが共振周波数が駆動時間の経過と共に低下している。これに対し、実施の形態２における光学反射素子２１では２００時間以上の長時間駆動でも共振周波数の変化はなく、常に共振周波数が一定である。このように、実施の形態２における光学反射素子２１では高周波信号を電極７に入力することで可動部４の表面への電荷発生を抑制することに加えて、可動部４外周近傍を接地電極２３で接地することで残留した表面電荷を可動部４外周から除去し、大気中の塵埃付着の抑制効果を実施の形態１における光学反射素子１よりも向上させることができる。
【００３２】
図１０Ａと図１０Ｂは実施の形態２における他の光学反射素子２１Ａの拡大図である。図１０Ａと図１０Ｂにおいて、図８に示す光学反射素子２１と同じ部分には同じ参照番号を付す。図８に示す光学反射素子２１では、可動部４の反射部２が形成された表面４Ａの外周近傍のみが接地電極２３で接地されている。図１０Ａと図１０Ｂに示す光学反射素子２１Ａでは、可動部４の裏面４Ｂの外周近傍に接地電極２３が設けられて裏面４Ｂが接地されている。これにより可動部４の裏面４Ｂへの塵埃付着を防止することができ、より効果的に可動部４への塵埃付着を防止することができる。また、可動部４の裏面４Ｂには反射部２が設けられていないので塵埃が付着しても光の反射率低下や光散乱などは問題にならないが、その塵埃により可動部４の質量が増加するために共振周波数が変化する。共振周波数の変化は光学反射素子２１を画像形成装置などに適用する場合は映像の劣化を引き起こす恐れがある。共振周波数は一定であることが望ましく、可動部４の裏面４Ｂの接地は共振周波数を一定に保持するために効果的である。
【００３３】
図１１は実施の形態２におけるさらに他の光学反射素子２１Ｂの拡大図である。図１１において、図８に示す光学反射素子２１と同じ部分には同じ参照番号を付す。図１１に示す光学反射素子２１Ｂでは接地電極２３が反射部２に接続されて反射部２も接地されている。特に反射部２が金属等の導電材料で形成されている場合には、これにより可動部４のうち接地される部分の面積が広くなることで、表面電荷を可動部４の外部に逃がす効率を向上させることができるので、より効果的に塵埃の可動部４への付着を防止することができる。
【００３４】
なお、実施の形態２における光学反射素子２１、２１Ａ、２１Ｂでは駆動部５は逆圧電効果を用いて駆動されるが、静電駆動方式、電磁駆動方式で駆動されてもよく、可動部４の外周部への静電気による塵埃付着の抑制効果を同様に得ることができる。
【００３５】
（実施の形態３）
図１２は実施の形態３における光学反射素子３１の斜視図である。図１２において、図１から図１０Ｂに示す実施の形態１、２における光学反射素子と同じ部分には同じ参照番号を付す。実施の形態３における光学反射素子３１は、実施の形態１、２における光学反射素子の枠体６の外側に接続された一端を有する駆動部３２と、駆動部３２の他端に接続された枠体３３とをさらに備える。駆動部３２の他端は枠体３３の内側に接続されている。駆動部３２は駆動部５と略直交する方向に枠体６に接続されている。駆動部３２も駆動部５と同様に、シリコンで形成された基板と、その基板上形成された下部電極と、下部電極上に形成されたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料からなる圧電体層と、圧電体層上に形成された上部電極とを有する。駆動部３２の下部電極と上部電極の間に電界を印加すると逆圧電効果によって、下部電極と圧電体層と上部電極とが積層された厚み方向と直角の面方向に圧電体層が伸縮する。このとき、圧電体層に発生した力が駆動部３２の厚み方向のモーメントとして働き駆動部３２が撓む。これにより、駆動部３２に接続された可動部４の傾きが変動し、回動軸３５を中心に回動する。
【００３６】
このように、駆動部５と駆動部３２が略直交した方向に可動部４を回動振動させて、可動部４に設けられた反射部２で反射した光を２次元方向に走査することができる。
【００３７】
図１３は実施の形態３における画像形成装置３０の構成図である。画像形成装置３０は、光学反射素子３１とレーザ光源３６〜３８とを備える。
【００３８】
レーザ光源３６は赤色のレーザ光を出射する。レーザ光源３７は緑色のレーザ光を出射する。レーザ光源３８は青色のレーザ光を出射する。レーザ光源３６〜３８から出射したレーザ光３９は光学反射素子３１へ入射される。入射されたレーザ光３９は反射部２で反射する。実施の形態３においては、光学反射素子３１の可動部４に設けられた反射部２は回動軸３を中心にＸ軸方向に周波数３０ｋＨｚ、回動軸３５を中心にＹ軸方向に周波数６０Ｈｚで回動振動すえることで、これらの周波数でレーザ光３９を走査することができる。レーザ光３９と光学反射素子３１は、レーザ光３９を変調する入力映像信号と同期をとることで、低消費電力で高精細かつ色再現性のよいフルカラーの映像をスクリーン４０へ２次元に投影することができる。
【００３９】
画像形成装置３０は実施の形態１、２における光学反射素子を備えた２軸駆動の光学反射素子３１を備えているので、回動軸３を中心に水平方向に高速かつ大偏向角で回動駆動させても可動部４の外周は大気中の塵埃付着による汚染が抑制され、長期的に高輝度かつ高精細の映像を維持することができる。
【００４０】
なお、実施の形態３における画像形成装置３０では、三色のレーザ光源３６〜３８を備えるが、代わりに単色、二色、あるいは三色以上のレーザ光源を備えてもよく、同じ効果を得ることができる。また、実施の形態３における画像形成装置３０では、２軸で駆動する光学反射素子３１を備えるが、１軸で駆動する光学反射素子を備えてもよく、同じ効果を得ることができる。
【００４１】
また、実施の形態３における画像形成装置３０では、光学反射素子３１はＸ軸方向に周波数３０ｋＨｚ、Ｙ軸方向に周波数６０Ｈｚでレーザ光３９を走査しているが、これらの周波数と異なる周波数でレーザ光３９を走査しても同様に可動部４への塵埃付着の抑制効果を得ることができる。
【００４２】
また、実施の形態１〜３ではアクチュエータの一例として光学反射素子を例に挙げて説明したが、これに限らず、高速で回動する可動部４を有するアクチュエータでも同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明におけるアクチュエータは、高速かつ大偏向角で駆動させても大気中に浮遊する塵埃の付着を防止することができるので、高輝度かつ高精細な画像を安定して投影することが可能な、モバイルプロジェクタやヘッドマウントディスプレイなどの小型画像投影装置に有用である。
【符号の説明】
【００４４】
２    反射部
４    可動部
５    駆動部（第一の駆動部）
６    枠体（第一の枠体）
７    電極（第一の電極）
７Ａ    電極（第二の電極）
２３    接地電極
３０    画像形成装置
３２    駆動部（第二の駆動部）
３３    枠体（第二の枠体）
３６    レーザ光源
３７    レーザ光源
３８    レーザ光源
３９    レーザ光
【図１】
2013187003.tif 000003
【図２】
2013187003.tif 000004
【図３】
2013187003.tif 000005
【図４】
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【図５】
2013187003.tif 000007
【図６】
2013187003.tif 000008
【図７】
2013187003.tif 000009
【図８】
2013187003.tif 000010
【図９】
2013187003.tif 000011
【図１０Ａ】
2013187003.tif 000012
【図１０Ｂ】
2013187003.tif 000013
【図１１】
2013187003.tif 000014
【図１２】
2013187003.tif 000015
【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成26年9月18日(2014.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図５は光学反射素子１の拡大図であり、図３に示す比較例の光学反射素子と同様に、駆動周波数３０ｋＨｚ、偏向角±８度で３００時間以上の長時間駆動した場合の可動部４の顕微鏡写真を示す。図５に示す光学反射素子１では図３に示す比較例の光学反射素子で見られた塵埃の付着は観察されず、駆動信号に高周波信号を重畳させて電極７に入力することにより、塵埃の付着に対する高い抑制効果を得ることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
レーザ光源３６は赤色のレーザ光を出射する。レーザ光源３７は緑色のレーザ光を出射する。レーザ光源３８は青色のレーザ光を出射する。レーザ光源３６〜３８から出射したレーザ光３９は光学反射素子３１へ入射される。入射されたレーザ光３９は反射部２で反射する。実施の形態３においては、光学反射素子３１の可動部４に設けられた反射部２は回動軸３を中心にＸ軸方向に周波数３０ｋＨｚ、回動軸３５を中心にＹ軸方向に周波数６０Ｈｚで回動振動することで、これらの周波数でレーザ光３９を走査することができる。レーザ光３９と光学反射素子３１は、レーザ光３９を変調する入力映像信号と同期をとることで、低消費電力で高精細かつ色再現性のよいフルカラーの映像をスクリーン４０へ２次元に投影することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記高周波信号の電圧は前記駆動信号の電圧の１０％以下である、請求項１に記載のアクチュエータ。
【国際調査報告】
2013187003.tif 000017
2013187003.tif 000018