【手続補正書】
【提出日】平成27年6月11日(2015.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種の薬液を純水で希釈した洗浄液を基板に供給して基板を洗浄する基板洗浄装置において、
内部に流量計と供給バルブを介装した純水供給ラインと、
内部に流量計と供給バルブをそれぞれ介装した複数の薬液供給ラインと、
前記純水供給ラインを流れる純水と前記複数の薬液供給ラインをそれぞれ流れる複数種の薬液を合流させて基板に供給する洗浄液供給ラインと、
前記純水供給ラインに介装された流量計及び供給バルブ、並びに前記複数の薬液供給ラインにそれぞれ介装された流量計及び供給バルブを、前記純水及び前記複数種の薬液が合流する合流点で、前記純水及び前記複数種の薬液の比率が所定の値となるようにそれぞれ制御する制御部を有することを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項２】
前記複数種の薬液は、アンモニア水と過酸化水素水で、前記複数の薬液供給ラインは、アンモニア水供給ラインと過酸化水素水供給ラインであることを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
３つの流体流入口と１つの流体流出口を有する四方弁を備え、前記純水供給ライン、前記アンモニア水供給ライン及び前記過酸化水素水供給ラインは、前記四方弁の流体流入口にそれぞれ接続され、前記洗浄液供給ラインは、前記四方弁の流体流出口に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄液供給ラインには、該洗浄液供給ラインに沿って流れる洗浄液を混合するラインミキサが介装されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
複数種の薬液を純水で希釈した洗浄液を基板に供給して基板を洗浄する基板洗浄方法において、
流量を制御した純水と、それぞれ流量を制御した複数種の薬液とを、純水及び複数種の薬液の合流点で純水及び複数種の薬液の比率が所定の値となるように合流させ、
この合流後の洗浄液を搬送して基板に供給することを特徴とする基板洗浄方法。
【請求項６】
前記複数種の薬液は、アンモニア水と過酸化水素水であることを特徴とする請求項５に記載の基板洗浄方法。
【請求項７】
前記純水、前記アンモニア水及び前記過酸化水素水を、３つの流体流入口から四方弁の内部に流入させて合流させ、この合流後の洗浄液を四方弁の流体流出口から流出させることを特徴とする請求項６に記載の基板洗浄方法。
【請求項８】
前記合流後の洗浄液を搬送する過程でラインミキサで混合することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の基板洗浄方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の好ましい一態様において、基板洗浄装置は、３つの流体流入口と１つの流体流出口を有する四方弁を備え、前記純水供給ライン、前記アンモニア水供給ライン及び前記過酸化水素水供給ラインは、前記四方弁の流体流入口にそれぞれ接続され、前記洗浄液供給ラインは、前記四方弁の流体流出口に接続されている。
これにより、純水、アンモニア水及び過酸化水素水を四方弁の内部の合流点で合流させ、この合流後の洗浄液を洗浄液供給ラインにスムーズに導くことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
この例では、３つの流体流入口６２ａ，６２ｂ，６２ｃと１つの流体流出口６４を有する四方弁６６が備えられ、純水供給ライン５０は流体流入口６２ａに、アンモニア水供給ライン５２は流体流入口６２ｂに、過酸化水素水供給ライン５４は流体流入口６２ｃにそれぞれ接続されている。四方弁６６の流体流出口６４には、洗浄液供給ライン６８が接続されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
これにより、純水供給ライン５０の供給バルブ５８ａを開くと、流量計５６ａで流量を制御された純水が四方弁６６の内部に流入し、元バルブ６０ａを予め開いたアンモニア水供給ライン５２の供給バルブ５８ｂを開くと、流量計５６ｂで流量を制御されたアンモニア水が四方弁６６の内部に流入する。更に、元バルブ６０ｂを予め開いた過酸化水素水供給ライン５４の供給バルブ５８ｃを開くと、流量計５６ｃで流量を制御された過酸化水素水が四方弁６６の内部に流入する。そして、四方弁６６の内部に流入した純水、アンモニア水及び過酸化水素水は、四方弁６６の内部の合流点Ｍで合流して混じり合い、この純水、アンモニア水及び過酸化水素水が混じり合った洗浄液が洗浄液供給ライン６８に沿って流れる。洗浄液に含まれる純水、アンモニア水及び過酸化水素水は、洗浄液が洗浄液供給ライン６８に沿って流れる過程で均一に混合される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
この例では、前述のように、希釈混合動作開始と同時に純水供給ライン５０の供給バルブ５８ａを開き、希釈混合動作開始から０．２秒のオープンディレイタイム後にアンモニア水供給ライン５２の供給バルブ５８ｂを開き、希釈混合動作開始から０．６秒のオープンディレイタイム後に過酸化水素水供給ライン５４の供給バルブ５８ｃを開くことで、純水、アンモニア水及び過酸化水素水が合流する四方弁６６の内部の合流点Ｍで、純水、アンモニア水及び過酸化水素水の比率が所定の値、つまり、純水：アンモニア水：過酸化水素水が、容積比で１９６０：２０：２０となるようすることができる。これを、図５乃至図１０を参照して説明する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図５（ａ）は、前述のように、アンモニア水供給ライン５２の供給バルブ５８ｂのオープンディレイタイムＴ１を０．２秒（Ｔ１＝０．２秒）に、過酸化水素水供給ライン５４の供給バルブ５８ｃのオープンディレイタイムＴ２を０．６秒（Ｔ２＝０．６秒）にそれぞれ設定した時の、図３に示す四方弁６６の出口付近の地点Ｐ１における、純水、アンモニア水及び過酸化水素水の流量と時間の関係を示し、図５（ｂ）は、同じく、アンモニア水及び過酸化水素水の流量と時間との関係、並びにアンモニア水及び過酸化水素水の濃度と時間との関係を示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図６（ａ）は、アンモニア水供給ライン５２の供給バルブ５８ｂのオープンディレイタイムＴ１を０．２秒（Ｔ１＝０．２秒）に、過酸化水素水供給ライン５４の供給バルブ５８ｃのオープンディレイタイムＴ２を０．６秒（Ｔ２＝０．６秒）にそれぞれ設定した時の、図３に示す上部洗浄液供給ノズル３４の入口付近の地点Ｐ２における、純水、アンモニア水及び過酸化水素水の流量と時間の関係を示し、図５（ｂ）は、同じく、アンモニア水及び過酸化水素水の流量と時間との関係、並びにアンモニア水及び過酸化水素水の濃度と時間との関係を示す。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
図１０（ａ）は、アンモニア水供給ライン５２の供給バルブ５８ｂのオープンディレイタイムＴ１を３秒（Ｔ１＝３秒）に、過酸化水素水供給ライン５４の供給バルブ５８ｃのオープンディレイタイムＴ２を３秒（Ｔ２＝３秒）にそれぞれ設定した時の、図３に示す上部洗浄液供給ノズル３４の入口付近の地点Ｐ２における、純水、アンモニア水及び過酸化水素水の流量と時間の関係を示し、図１０（ｂ）は、同じく、アンモニア水及び過酸化水素水の流量と時間との関係、並びにアンモニア水及び過酸化水素水の濃度と時間との関係を示す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】