【手続補正書】
【提出日】平成27年1月21日(2015.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状の矩形ワークを処理槽内の液中にて垂直状態で保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定するワーク保持治具であって、
前記矩形ワークを囲んで配置される枠状部材と、
前記枠状部材に支持され、前記矩形ワークの上辺を把持する導電性の複数の第１チャック部材と、
前記複数の第１チャックとは電気的に絶縁されて前記枠状部材に支持され、前記矩形ワークの下辺を把持する導電性の複数の第２チャック部材と、
前記複数の第１チャック部材に通電する第１通電部と、
前記複数の第２チャック部材に通電する第２通電部と、
を有することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項２】
請求項１において、
前記枠状部材は、
前記複数の第１チャック部材を支持する導電性の上枠部材と、
前記複数の第２チャック部材を支持する導電性の下枠部材と、
前記上枠部材の両端部に設けられた２つの絶縁部材と、
上端部が前記２つの絶縁部材に支持され、下端部が前記下枠部材の両端部に連結された、導電性の２つの縦枠部材と、
を含み、
前記第１通電部は、前記上枠部材に通電し、
前記第２通電部は、前記２つの縦枠部材に通電することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１通電部の一部を介して前記枠状部材を支持し、前記第１および第２の通電部に通電する共通通電部をさらに有することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１通電部は、
前記共通通電部に固定された絶縁部と、
前記絶縁部と前記上枠部材とを連結する導電性の連結部と、
前記共通通電部と前記連結部とを接続する少なくとも一つの上枠通電ケーブルと、
を有し、
前記第２通電部は、前記共通通電部と前記２つの縦枠部材とを接続する第１および第２の縦枠通電ケーブルを有することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項５】
請求項４において、
前記連結部は、
前記絶縁部と前記上枠部材とを連結する第１垂直アーム部及び第２垂直アーム部と、
前記第１垂直アーム部より突出する第１突出部と、
前記第２垂直アーム部より突出する第２突出部と、
を含み、
前記少なくとも一つの上枠通電ケーブルは、前記共通通電部と前記第１突出部とを接続する第１の上枠通電ケーブルと、前記共通通電部と前前記第２突出部とを接続する第２の上枠通電ケーブルとを含むことを特徴とするワーク保持治具。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれか１項において、
前記共通通電部から前記上枠部材に流れる電流経路の抵抗値と、前記共通通電部から前記下枠部材に流れる電流経路の抵抗値とを、実質的に同一に設定することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項７】
請求項２乃至６のいずれか１項において、
前記２つの絶縁部材の各々は、前記２つの縦枠部材の各一つの上端部を垂直方向に摺動案内する案内部を有することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項８】
請求項７において、
前記案内部に摺動案内される前記２つの縦枠部材の各一つを下方に移動付勢する付勢部材をさらに有することを特徴とするワーク保持治具。
【請求項９】
請求項８において、
前記付勢部材の下端は、前記案内部に摺動案内される前記２つの縦枠部材の各一つに固定され、
前記付勢部材の上端は、前記２つの絶縁部材の各一つに支持された導電性の固定部材に固定され、
前記２つの上枠通電ケーブルの各一つは、前記固定部材に接続されることを特徴とするワーク保持治具。
【請求項１０】
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記処理液中に浸漬されるワークを垂下して保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定する請求項１乃至９のいずれか１項記載のワーク保持治具と、
前記表面処理槽内にて、前記ワークと対向する位置に配置される陽極電極と、
を有することを特徴とする表面処理装置。
【請求項１１】
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記処理液中に浸漬されるワークを垂下して保持し、かつ、前記ワークを陰極に設定するワーク保持治具と、
前記表面処理槽内にて垂直方向に延びて、前記ワークと対向する位置に配置される陽極電極と、
前記表面処理槽内の前記処理液の液面よりも低い位置にて、前記陽極電極に通電する中継通電部と、
を有することを特徴とする表面処理装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記ワークは矩形であり、
前記ワーク保持治具は、
前記矩形ワークを囲んで配置される枠状部材と、
前記枠状部材に支持され、前記矩形ワークの上辺を把持する導電性の複数の第１チャック部材と、
前記枠状部材に前記複数の第１チャックとは電気的に絶縁されて支持され、前記矩形ワークの下辺を把持する導電性の複数の第２チャック部材と、
前記複数の第１チャック部材に通電する第１通電部と、
前記複数の第２チャック部材に通電する第２通電部と、
を有することを特徴とする表面処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
そのために、２つの絶縁部材６４０Ａ，６４０Ｂの各々は、上枠部材６３１の両端に固定される固定部６４１と、固定部６４１に固定された筒体６４２とを有し、筒体６４２の孔６４２Ａを、２つの縦枠部材６３３，６３４の各一つの上端部６３３Ａ，６３４Ａを垂直方向に摺動案内する案内部とすることができる。なお、固定部６４１と筒体６４２は一体成形してもよい。固定部６４１は、上枠部材６３１に固定される垂直片６４１Ａと、例えば２つの水平片６４１Ｂ，６４１Ｃとを有することができる。筒体６４２は、水平片６４１Ｂの直下にて垂直片６４１Ａ及び水平片６４１Ｂに固定することができる。２つの縦枠部材６３３，６３４の各一つの上端部６３３Ａ，６３４Ａに設けられたフランジ６３３Ｂ，６３４Ｂは、下限ストッパーである水平片６４１Ｂと当接することができるが、ワーク２０を保持した使用時通常にはフランジ６３３Ｂ，６３４Ｂと水平片６４１Ｂとの間に隙間δが確保されるように設計される。隙間δが確保される限り、上述したようにワーク２０は自重により垂直状態に保持される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
このように、縦枠通電ケーブル６７１Ａ（６７１Ｂ）は、固定部材６４４、付勢部材６４３を介して縦枠部材６３３（６３４）に通電することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
ここで、固定部材６４４は、図８に示すように、ボルト６４４Ａ、ナット６４４Ｂ及び例えば２枚の金属ワッシャー６４４Ｃ，６４４Ｄにて構成できる。水平片６４１Ｃの上部では、ボルト６４４Ａの頭とワッシャー６４４Ｃとの間で縦枠通電ケーブル６７１Ａ（６７１Ｂ）が締結保持される。水平片６４１Ｃの直下では、ナット６４４Ｂとワッシャー６４４Ｄのとの間に、圧縮コイルスプリング６４３の上端が締結保持される。こうして、縦枠通電ケーブル６７１Ａ（６７１Ｂ）と付勢部材６４３との固定と導通が確保される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
なお、縦枠通電ケーブル６７１Ａ（６７１Ｂ）は、固定部材６４４及び付勢部材６４３を介在させずに、縦枠部材６３３（６３４）に直接接続してもよい。例えば、図６においてワーク２０の上辺２０ａと、上枠部材６３１との間に、処理液Ｑの液面Ｑ１（図９参照）が位置する。縦枠通電ケーブル６７１Ａ（６７１Ｂ）は、液面Ｑ１よりも上方にて、縦枠部材６３３（６３４）に直接接続することができる。この場合、図６〜図８に示す付勢部材（圧縮コイルスプリング）６４３は、水平片６４１とフランジ６３３Ｂ（６３４Ｂ）との間に配置されればよく、導電ルートを形成しなくてよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
中継通電部４２０が接続される陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）の垂直方向の中間位置とは、ワーク保持治具３０Ｂにて垂下して保持されたワーク２０の縦寸法を２分する位置が好ましい。ワーク２０として縦寸法が異なる複数種が使用される場合には、中継通電部４２０を周知の昇降機構を利用して接点部材４２０Ａの上下位置を調整することができる。なお、接点部材４２０Ａは図９の紙面と垂直な方向で、所定長さで陽極電極４１０Ｒ（４１０Ｌ）と接触させることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
５．電流分布の面内均一性の評価
図１０は、図６に示すワーク保持治具３０Ｂの通電ルートを模式的に示している。図１０において、第１，第２の上枠通電ケーブル６６３Ａ，６６３Ｂと、第１，第２の縦枠通電ケーブル６７１Ａ，６７１Ｂとは、導電部の長さと断面積が等しい同一ケーブルを使用している。第１通電部６６０のうち第１，第２の上枠通電ケーブル６６３Ａ，６６３Ｂを除く通電ルート（図１０のＦ１〜Ｆ２）と、第２通電部６７０のうち第１，第２の縦枠通電ケーブル６７１Ａ，６７１Ｂを除く通電ルート（図１０のＦ３〜Ｆ４）は、共に抵抗値が実質的に等しく設定されている。