【手続補正書】
【提出日】平成27年2月18日(2015.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１筐体と第２筐体とにより区画され、気密に設けられた第１室の内部を通った荷電粒子線を、前記第１室の外部で保持されている試料に走査して照射する荷電粒子線装置に用いられる荷電粒子線装置用部材であって、
前記第１筐体に取り付けられる前記第２筐体と、
前記第２筐体に設けられており、前記第２筐体が前記第１筐体に取り付けられたときに、前記第１室を排気する排気部により前記第１室の内部の圧力が前記第１室の外部の圧力よりも減圧された状態で、前記第１室の内部と前記第１室の外部とを気密に隔離するとともに、前記第１室の内部を通った前記荷電粒子線を透過させる第１膜部を含む隔膜部材と、
前記第２筐体が前記第１筐体に取り付けられたときに、前記第１室の外部で前記試料を保持する保持部と、
前記隔膜部材または前記保持部を駆動することで、前記保持部に保持されている前記試料と前記隔膜部材との距離を調整する駆動部と、
を有し、
前記隔膜部材は、前記第２筐体が前記第１筐体に取り付けられたときに、前記第１膜部よりも前記保持部側に位置するように形成された第２膜部を含み、
前記第２膜部は、平面視において、前記第１膜部の外周の４辺のうち少なくとも３辺を囲むように形成されており、
前記第２膜部は、前記保持部に保持されている前記試料と前記第１膜部とが接触することを防止する、荷電粒子線装置用部材。
【請求項２】
気密に設けられた第１室と、
前記第１室を排気する排気部と、
前記第１室の外部で試料を保持する保持部と、
前記第１室の壁部に設けられており、前記排気部により前記第１室の内部の圧力が前記第１室の外部の圧力よりも減圧された状態で、前記第１室の内部と前記第１室の外部とを気密に隔離するとともに、前記第１室の内部を通った荷電粒子線を透過させる第１膜部を含む隔膜部材と、
前記第１膜部を透過した前記荷電粒子線を、前記保持部に保持されている前記試料に走査して照射する荷電粒子光学系と、
前記保持部または前記隔膜部材を駆動することで、前記保持部に保持されている前記試料と前記隔膜部材との距離を変える駆動部と、
を有し、
前記隔膜部材は、前記第１膜部よりも前記保持部側に位置するように形成された第２膜部を含み、
前記第２膜部は、平面視において、前記第１膜部の外周の４辺のうち少なくとも３辺を囲むように形成されており、
前記第２膜部は、前記保持部に保持されている前記試料と前記第１膜部とが接触することを防止する、荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項２記載の荷電粒子線装置において、
前記隔膜部材は、前記第１室の外部に面する第１主面と、前記第１主面と反対側の第２主面とを有する基体を含み、
前記基体には、前記第１主面から前記第２主面に到達する貫通孔が形成されており、
前記第１膜部は、前記第１主面上に、前記貫通孔の開口を覆うように形成されており、
前記第２膜部は、前記第１主面上に形成されている、荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項２記載の荷電粒子線装置において、
前記第２膜部は、平面視において、前記第１膜部の外周の４辺を囲むように形成されている、荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項３記載の荷電粒子線装置において、
前記第１膜部は、平面視において、前記第１主面の中央部に形成されており、
前記第２膜部は、平面視において、前記第１主面のうち、前記第１膜部が形成された領域よりも周縁側に離れ、かつ、前記基体の周縁よりも前記中央部側に離れた領域に形成されている、荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項２記載の荷電粒子線装置において、
前記第１膜部は、窒化シリコン、窒化アルミニウムまたはポリイミドからなる、荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項３記載の荷電粒子線装置において、
前記隔膜部材は、前記基体を装着する装着体を含み、
前記基体が装着された前記装着体が前記壁部に取り付けられたことで、前記隔膜部材が前記壁部に設けられている、荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項７記載の荷電粒子線装置において、
前記隔膜部材は、前記基体と前記装着体との間を気密にシールするシール部材を含み、
前記装着体は、前記装着体が前記壁部に取り付けられたときに前記第１室の外部に面する第３主面と、前記第３主面と反対側の第４主面とを有し、
前記基体は、前記装着体の前記第３主面側に装着され、
前記基体が前記装着体に装着されたときに、前記第１主面が前記第３主面と同一面を形成するか、または、前記第１主面が前記第３主面上に突出する、荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項３記載の荷電粒子線装置において、
前記隔膜部材は、前記第２膜部の表面に形成された第３膜部を含み、
前記第３膜部は、導電膜からなる、荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項９記載の荷電粒子線装置において、
前記第３膜部は、前記第２膜部の表面、および、前記基体の側面に形成されている、荷電粒子線装置。
【請求項１１】
請求項２記載の荷電粒子線装置において、
第１筐体と第２筐体とを有し、
前記第１室は、前記第１筐体と前記第２筐体とにより区画されており、
前記隔膜部材は、前記第１室の前記壁部としての前記第２筐体に設けられている、荷電粒子線装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の荷電粒子線装置において、
蓋部材と、
前記第２筐体と前記蓋部材とにより、前記第１室の外部に区画された第２室と、
を有し、
前記保持部は、前記第２室の内部で前記試料を保持し、
前記第２膜部は、前記排気部により前記第１室の内部の圧力が前記第２室の内部の圧力よりも減圧された状態で、前記第１室の内部と前記第２室の内部とを気密に隔離するとともに、前記荷電粒子線を透過させる、荷電粒子線装置。
【請求項１３】
請求項２記載の荷電粒子線装置において、
前記保持部に保持されている前記試料と前記隔膜部材との間に、空気よりも軽いガスを供給する供給部を有する、荷電粒子線装置。
【請求項１４】
気密に設けられた第１室と、
前記第１室を排気する排気部と、
前記第１室の外部で試料を保持する保持部と、
前記第１室の壁部に設けられており、前記排気部により前記第１室の内部の圧力が前記第１室の外部の圧力よりも減圧された状態で、前記第１室の内部と前記第１室の外部とを気密に隔離するとともに、前記第１室の内部を通った荷電粒子線を透過させる第１膜部を含む隔膜部材と、
前記第１膜部を透過した前記荷電粒子線を、前記保持部に保持されている前記試料に走査して照射する荷電粒子光学系と、
前記保持部または前記隔膜部材を駆動することで、前記保持部に保持されている前記試料と前記隔膜部材との距離を変える駆動部と、
を有し、
前記隔膜部材は、前記第１膜部よりも前記保持部側に位置するように形成された第２膜部を含み、
前記第２膜部は、平面視において、前記第１膜部の対角線方向に沿った外側の４箇所に分離して形成されており、
前記第２膜部は、前記保持部に保持されている前記試料と前記第１膜部とが接触することを防止する、荷電粒子線装置。
【請求項１５】
気密に設けられた第１室の内部を通った荷電粒子線を、前記第１室の外部で保持部により保持されている試料に走査して照射する荷電粒子線装置の前記第１室の壁部に取り付けられる隔膜部材であって、
前記隔膜部材が前記壁部に取り付けられたときに、前記第１室を排気する排気部により前記第１室の内部の圧力が前記第１室の外部の圧力よりも減圧された状態で、前記第１室の内部と前記第１室の外部とを気密に隔離するとともに、前記第１室の内部を通った前記荷電粒子線を透過させる第１膜部と、
前記隔膜部材が前記壁部に取り付けられたときに、前記第１膜部よりも前記保持部側に位置するように形成された第２膜部と、
を含み、
前記第２膜部は、平面視において、前記第１膜部の外周の４辺のうち少なくとも３辺を囲むように形成されており、
前記第２膜部は、前記保持部に保持されている前記試料と前記第１膜部とが接触することを防止する、隔膜部材。
【請求項１６】
請求項１５記載の隔膜部材であって、
基体と、
前記基体を装着する装着体と、
を含み、
前記第１膜部および前記第２膜部は、前記基体に形成されており、
前記基体が装着された前記装着体が前記壁部に取り付けられることで、前記隔膜部材が前記壁部に取り付けられる、隔膜部材。