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【手続補正書】
【提出日】平成27年10月15日(2015.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
翼形部（２０４）であって、
前縁（２１２）と、
後縁（２１４）と、
前記前縁から前記後縁まで延びる一対の側面（２０８、２１０）と、
前記側面間に形成され且つそれに沿って冷却空気が流れる通過軸線（２２２）を有する内部冷却流路（２２０）と、
前記内部冷却流路から冷却空気を吐出するように構成され、前記側面の少なくとも１つを貫通して延びる複数の流路（２５６、２６０、２６４、２６８、２７２、２７６、２８０、２８４、２８８）と、
を備え、
前記複数の流路は、少なくとも、
鋭角で前記通過軸線と交差するように配向された折れた流路軸線を有する、前記複数の流路の第１の流路と、
直角に前記通過軸線と交差するように配向された流路軸線を有する、前記複数の流路の第２の流路と、
鈍角で前記通過軸線と交差するように配向された折れた流路軸線を有する、前記複数の流路の第３の流路と
を備える、翼形部（２０４）。
【請求項２】
前記流路（２５６、２６０、２６４、２６８、２７２、２７６、２８０、２８４、２８８）の各々が、チャンネルセグメント（３００、３０８、３１６、３２４、３３２、３４０、３４８、３５６、３６４）及びデルタセグメント（３０２、３１０、３１８、３２６、３３４、３４２、３５０、３５８、３６６）を含む、請求項１記載の翼形部（２０４）。
【請求項３】
前記チャンネルセグメント（３００、３０８、３１６、３２４、３３２、３４０、３４８、３５６、３６４）の各々が、ほぼＬ字形状である、請求項２記載の翼形部（２０４）。
【請求項４】
前記内部冷却流路（２２０）が、前記鋭角が内側に面する鋭角（３０４、３１２、３２０、３２８、３３６、３４４、３５２、３６０、３６８）となるように、前記後縁（２１４）の近傍で前記翼形部の実質的スパン方向に配向される、請求項１記載の翼形部（２０４）。
【請求項５】
前記内側に面する鋭角（３０４、３１２、３２０、３２８、３３６、３４４、３５２、３６０、３６８）の各々が、約２０°と約７０°の間にある、請求項４記載の翼形部（２０４）。
【請求項６】
前記内側に面する鋭角（３０４、３１２、３２０、３２８、３３６、３４４、３５２、３６０、３６８）の各々が約３５°である、請求項４記載の翼形部（２０４）。
【請求項７】
前記流路軸線（２５８、２６２、２６６、２７０、２７４、２７８、２８２、２８６、２９０）が、実質的に直角（３０６、３１４、３２２、３３０、３３８、３４６、３５４、３６２，３７０）で前記後縁（２１４）と交差するように配向される、請求項４記載の翼形部（２０４）。
【請求項８】
ガスタービンエンジン（１００）であって、
燃焼システム（１０６）と、
前記燃焼システムの下流側に位置するタービンシステム（１０８、１１０）と、
を備え、前記タービンシステムが、
前縁（２１２）と、
後縁（２１４）と、
前記前縁から前記後縁まで延びる一対の側面（２０８、２１０）と、
前記側面間に形成され且つそれに沿って冷却空気が流れる通過軸線（２２２）を有する内部冷却流路（２２０）と、
前記内部冷却流路から冷却空気を吐出するように構成され、前記側面の少なくとも１つを貫通して延びる複数の流路（２５６、２６０、２６４、２６８、２７２、２７６、２８０、２８４、２８８）と、
を含む翼形部（２０４）を含み、
前記複数の流路は、少なくとも、
鋭角で前記通過軸線と交差するように配向された折れた流路軸線を有する、前記複数の流路の第１の流路と、
直角に前記通過軸線と交差するように配向された流路軸線を有する、前記複数の流路の第２の流路と、
鈍角で前記通過軸線と交差するように配向された折れた流路軸線を有する、前記複数の流路の第３の流路と
を備える、
ガスタービンエンジン（１００）。
【請求項９】
前記流路（２５６、２６０、２６４、２６８、２７２、２７６、２８０、２８４、２８８）の各々が、チャンネルセグメント（３００、３０８、３１６、３２４、３３２、３４０、３４８、３５６、３６４）及びデルタセグメント（３０２、３１０、３１８、３２６、３３４、３４２、３５０、３５８、３６６）を含む、請求項８記載のガスタービンエンジン（１００）。
【請求項１０】
前記チャンネルセグメント（３００、３０８、３１６、３２４、３３２、３４０、３４８、３５６、３６４）の各々が、ほぼＬ字形状である、請求項９記載のガスタービンエンジン（１００）。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月17日(2014.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波パルスを発生する光源と、
前記電磁波パルスを検出する検出部と、
前記電磁波パルスを前記検出部へ導く光学系と、
前記検出部から送信される信号から前記電磁波パルスの時間波形を算出する処理部と、前記光源から前記検出部に至る前記電磁波パルスの光路に設けられて、前記電磁波パルスを複数の電磁波パルス部分に分割し、電磁波パルス整形部からの出射時において前記電磁波パルス部分が、互いに反転した極性の電界強度を持つ電磁波パルス部分を含むと共に前記電磁波パルスのパルス幅の時間（前記電磁波パルスの電界強度のＦＷＨＭ）以内の時間差を有する様にする電磁波パルス整形部と、
を有することを特徴とするトモグラフィ装置。
【請求項２】
前記電磁波パルス整形部は、第一の領域と、第一の領域に接する第二の領域と、第三の領域と、第三の領域に接する第四の領域とを有し、前記電磁波パルスを、前記第一の領域を通過して前記第二の領域との界面に至る電磁波パルス部分と、前記第三の領域を通過して前記第四の領域との界面に至る電磁波パルス部分との少なくとも２つに分割することを特徴とする請求項１に記載のトモグラフィ装置。
【請求項３】
前記電磁波パルス整形部は、前記第一の領域の屈折率をｎ１、前記第二の領域の屈折率をｎ２、前記第三の領域の屈折率をｎ３、前記第四の領域の屈折率をｎ４として、
ｎ１＜ｎ２かつｎ３＞ｎ４、もしくはｎ１＞ｎ２かつｎ３＜ｎ４
を満たすことを特徴とする請求項２に記載のトモグラフィ装置。
【請求項４】
前記電磁波パルス整形部は、前記第一の領域の屈折率をｎ１、前記第二の領域の屈折率をｎ２、前記第三の領域の屈折率をｎ３、前記第四の領域の屈折率をｎ４として、
ｎ１＜ｎ２かつｎ３＜ｎ４、もしくはｎ１＞ｎ２かつｎ３＞ｎ４
を満たすことを特徴とする請求項２に記載のトモグラフィ装置。
【請求項５】
前記電磁波パルス整形部に入射する前記電磁波パルスの進行方向と前記電磁波パルス整形部から出射する前記電磁波パルス部分の進行方向は一致することを特徴とする請求項４に記載のトモグラフィ装置。
【請求項６】
複数の前記電磁波パルス部分は、前記検出部において少なくとも一部が空間的に重なることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載のトモグラフィ装置。
【請求項７】
前記電磁波パルス整形部から出射した前記電磁波パルス部分をサンプルに照射し、前記サンプルを反射または透過した前記電磁波パルス部分を前記検出部に導く光学系を有することを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のトモグラフィ装置。
【請求項８】
複数の前記電磁波パルス部分は前記サンプルにおいて少なくとも一部が空間的に重なることを特徴とする請求項７に記載のトモグラフィ装置。
【請求項９】
前記検出部に入射する複数の前記電磁波パルス部分の時間差を調整する手段を有することを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載のトモグラフィ装置。
【請求項１０】
複数の前記電磁波パルス部分は異なる周波数スペクトル形状を有することを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載のトモグラフィ装置。
【請求項１１】
電磁波パルスを発生する光源と、
前記光源からの前記電磁波パルスの光路に設けられて、前記電磁波パルスを複数の電磁波パルス部分に分割し、当該電磁波パルス整形部からの出射時において前記電磁波パルス部分が、互いに反転した極性の電界強度を持つ電磁波パルス部分を含むと共に前記電磁波パルスのパルス幅の時間（前記電磁波パルスの電界強度のＦＷＨＭ）以内の時間差を有する様にする電磁波パルス整形部と、
を有することを特徴とする電磁波パルス出射装置。
【請求項１２】
前記電磁波パルス整形部は、第一の領域と、第一の領域に接する第二の領域と、第三の領域と、第三の領域に接する第四の領域とを有し、前記電磁波パルスを、前記第一の領域を通過して前記第二の領域との界面に至る電磁波パルス部分と、前記第三の領域を通過して前記第四の領域との界面に至る電磁波パルス部分との少なくとも２つに分割することを特徴とする請求項１１に記載の電磁波パルス出射装置。
【請求項１３】
トモグラフィ装置であって、
トモグラフィ像を得るために検体に照射される２つの電磁波パルス部分が、互いに反転した極性の電界強度を持ち、且つ
前記２つの電磁波パルス部分のパルスピーク間の時間差がパルス幅の時間（前記電磁波パルスの電界強度のＦＷＨＭ）以内の時間差になるように処理することを特徴とするトモグラフィ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月4日(2014.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
風力タービンロータのロータ周波数制御のためにピッチ角オフセット信号を決定する方法であって、
ロータ（２２１）の動きを示す動き量を得るステップと、
前記動き量に基づいて当該ピッチ角オフセット信号（４３９）を決定するステップと、を有し、
前記ピッチ角オフセット信号は、前記ロータが臨界動き領域（４５０）に在る時間を減少させるようにロータ周波数を制御するために、前記ロータ（２２１）に設けられたロータブレード（２１９）のブレードピッチ角（β）を調整するために用いられるように適合される、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記動き量は前記ロータの回転周波数を示し、
前記臨界動き領域は前記ロータの回転周波数の臨界範囲を示す、
請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記臨界範囲は、前記ロータ（２２１）の予め定めたまたは推定された臨界回転周波数（３３８）の前後の範囲である、請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記予め定めたまたは推定された臨界回転周波数は、前記タービンのタワーの振動モードの共振振動周波数（３３３）の分数に等しいまたは整数倍に等しい周波数を含む、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記調整されたロータブレードピッチ角が、前記予め定めた臨界回転周波数（３３８、４３８）より低い回転周波数を示す動き量に対する場合の方が、前記予め定めた臨界回転周波数（３３８、４３８）より大きい回転周波数を示す動き量に対する場合よりも大きくなるように、前記ピッチ角オフセット信号を生成する、請求項３または４記載の方法。
【請求項６】
前記ロータの回転周波数の増加の際、前記臨界動き領域（４５０）の少なくとも一部において負の傾き（−Δｙ／Δｘ）を有する、前記調整されたロータブレードピッチ角（β）が前記臨界動き領域において減少するように、前記ピッチ角オフセット信号を生成する、請求項３〜５のいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
前記予め定めた臨界回転周波数において前記調整されたロータブレードピッチ角（β）が負の傾き（−Δｙ／Δｘ）を有するように、前記ピッチ角オフセット信号を生成する、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記ピッチ角オフセット信号の決定は、前記動き量および前記臨界動き領域（４５０）に基づいている、請求項１から７のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
前記臨界動き領域の決定は前記臨界回転周波数に基づいている、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
ピッチ角オフセット信号を決定するステップを更に有し、前記動き量は基準ロータ周波数（５４７）未満の前記ロータの回転を示す、請求項１から９のいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
ピッチ角オフセット信号を決定するステップを更に有し、前記動き量は、前記基準ロータ周波数（５４７）未満の予め定めたしきい値ロータ周波数（５４５）より低い前記ロータの回転を示し、前記しきい値ロータ周波数未満では前記タービンは電力系統にゼロ電力を供給する、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記ピッチ角オフセット信号を決定するステップは、風速および／または大気密度、および／または、前記ロータおよび／または発電機の加速信号に基づき、ならびに／あるいは、コントローラ状態に基づく、請求項１から１１のいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
風力タービンのロータ周波数を制御する方法であって、
請求項１から１２のいずれか１項記載のピッチ角オフセット信号を決定するステップと、
前記ピッチ角オフセット信号（４３９）に基づいて前記ロータ（２２１）に設けられた前記ロータブレード（２１９）のピッチ角（β）を調整するステップと、
を有する方法。
【請求項１４】
前記動き量が、前記基準ロータ周波数（５４７）における前記ロータの回転または基準ロータ周波数を超える前記ロータの回転を示すとき、前記ピッチ角オフセット信号に基づいた前記ロータに設けられた前記ロータブレードのピッチ角の調整を不能とするステップをさらに有する、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記ロータの回転の立ち上がりの間、前記ロータブレードのピッチ角の調整を不能とする、請求項１３または１４記載の方法。
【請求項１６】
風力タービンロータのロータ周波数を制御するためのピッチ角オフセット信号を決定するためのシステム（１００）であって、
前記ロータ（２２１）の動きを示す動き量を得るための入力端（１０１）と、
前記得られた動き量に基づいてピッチ角オフセット信号を決定するための処理モジュールと、
前記ロータが臨界動き領域に在る時間を減少させるようロータ周波数を制御するために、前記ロータに設けられたロータブレードのブレードピッチ角を調整するために用いられるよう、前記ピッチ角オフセット信号が送られる、出力端（１１１）と、
を備える、ことを特徴とするシステム（１００）。
【請求項１７】
前記動き量は前記ロータの回転周波数を示し、
前記臨界動き領域は前記ロータの回転周波数の臨界範囲を示す、
請求項１６記載のシステム（１００）。
【請求項１８】
前記臨界範囲は、前記ロータ（２２１）の予め定めたまたは推定された臨界回転周波数（３３８）の前後の範囲である、請求項１７記載のシステム（１００）。
【請求項１９】
前記予め定めたまたは推定された臨界回転周波数は、前記タービンのタワーの振動モードの共振振動周波数（３３３）の分数に等しいまたは整数倍に等しい周波数を含む、請求項１８記載のシステム（１００）。
【請求項２０】
前記調整されたロータブレードピッチ角が、前記予め定めた臨界回転周波数（３３８、４３８）より低い回転周波数を示す動き量に対する場合の方が、前記予め定めた臨界回転周波数（３３８、４３８）より大きい回転周波数を示す動き量に対する場合よりも大きくなるように、前記ピッチ角オフセット信号を生成する、請求項１８または１９記載のシステム（１００）。
【請求項２１】
前記ロータの回転周波数の増加の際、前記臨界動き領域（４５０）の少なくとも一部において負の傾き（−Δｙ／Δｘ）を有する、前記調整されたロータブレードピッチ角（β）が前記臨界動き領域において減少するように、前記ピッチ角オフセット信号を生成する、請求項１８〜２０のいずれか１項記載のシステム（１００）。
【請求項２２】
前記予め定めた臨界回転周波数において前記調整されたロータブレードピッチ角（β）が負の傾き（−Δｙ／Δｘ）を有するように、前記ピッチ角オフセット信号を生成する、請求項２１記載のシステム。
【請求項２３】
前記ピッチ角オフセット信号の決定は、前記動き量および前記臨界動き領域（４５０）に基づいている、請求項１６から２２のいずれか１項記載のシステム（１００）。
【請求項２４】
前記臨界動き領域の決定は前記臨界回転周波数に基づいている、請求項２３記載のシステム（１００）。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月18日(2014.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
翼形基端から翼形先端に外方に延在する正圧面及び負圧面を有する複合材翼形と、
前記羽根の前方端部及び後方端部で又はその近くで前記複合材翼形の翼弦方向に離間された前縁及び後縁とを備えており、
前記複合材翼形が羽根マウントによって支持され、
前記羽根マウントが、前記羽根マウントのブリッジから半径方向に離れるように延在する１つ又は複数の翼桁を備え、
前記複合材翼形内に１つ又は複数のポケットが配置され、
前記１つ又は複数の翼桁がそれぞれ前記１つ又は複数のポケットに受けられ、該１つ又は複数の翼桁が前記複合材翼形内に収容されることを特徴とする、羽根。
【請求項２】
前記１つ又は複数の翼桁が、前記１つ又は複数のポケット内で前記複合材翼形に接着接合されることを更に特徴とする、請求項１に記載の羽根。
【請求項３】
前記複合材翼形内に通路を備えており、
前記通路が前記翼形基端と前記翼形先端との間に延在し、
前記通路が前記ポケット間に翼弦方向に配置されることを更に特徴とする、請求項１又は２に記載の羽根。
【請求項４】
前記羽根マウントが、前記羽根の前記前方端部及び後方端部において前記ブリッジ及び前記１つ又は複数の翼桁から半径方向に離れるように延在する前方フランジ及び後方フランジを備えることを更に特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の羽根。
【請求項５】
前記１つ又は複数の翼桁が、前記ブリッジと一体的に形成されることを更に特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の羽根。
【請求項６】
前記１つ又は複数の翼桁が、鍛造又は鋳造によって前記ブリッジと一体的に形成されることを更に特徴とする、請求項５に記載の羽根。
【請求項７】
前記１つ又は複数の翼桁が、前記１つ又は複数のポケット内で前記複合材翼形に接着接合されることを更に特徴とする、請求項５又は６に記載の羽根。
【請求項８】
ガスタービンエンジン環状ファンフレームであって、
前記ファンフレームの内側リングと外側リングとの間に半径方向に延在し、それらを半径方向に接続する複合出口案内羽根の環状列を備えており、
前記羽根の各々が翼形基端から翼形先端に外方に延在する正圧面及び負圧面を有する複合材翼形を備え、
前記出口案内羽根が、それぞれ前記内側リング及び外側リングに取り付けられた軸方向に延在する内側羽根マウント及び外側羽根マウント内に取り付けられ、
前記出口案内羽根の前方端部及び後方端部で又はその近くで前記複合材翼形の翼弦方向に離間された前縁及び後縁を更に備えており、
前記内側羽根マウントが、前記内側羽根マウントのブリッジから半径方向に延在する１つ又は複数の翼桁を備え、
前記複合材翼形内に１つ又は複数のポケットが配置され、
前記１つ又は複数の翼桁がそれぞれ前記１つ又は複数のポケットに受けられ、該１つ又は複数の翼桁が前記複合材翼形内に収容される
ことを特徴とする、ファンフレーム。
【請求項９】
前記１つ又は複数の翼桁が、前記１つ又は複数のポケット内で前記複合材翼形に接着接合されることを更に特徴とする、請求項８に記載のファンフレーム。
【請求項１０】
前記複合材翼形内に通路を備えており、
前記通路が前記翼形基端と前記翼形先端との間に延在し、
前記通路が前記ポケット間に翼弦方向に配置されることを更に特徴とする、請求項８又は９に記載のファンフレーム。
【請求項１１】
前記複合材翼形の前記前縁に沿って配置された金属製前縁先端を備えることを更に特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のファンフレーム。
【請求項１２】
前記１つ又は複数の翼桁が、前記ブリッジと一体的であることを更に特徴とする、請求項８乃至１１のいずれか１項に記載のファンフレーム。
【請求項１３】
前記１つ又は複数の翼桁が、鍛造又は鋳造によって前記ブリッジと一体的に形成されることを更に特徴とする、請求項１２に記載のファンフレーム。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月14日(2015.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービンブレード測定装置であって、当該タービンブレード測定装置が、
タービンブレードに取り外し可能にクランプされるように構成されたクランプと、
前記クランプ上に取り外し可能に取り付けられたガイドと、
前記ガイド上に移動可能に取り付けられ、前記タービンブレードの状態を測定するように構成された測定装置と
を備えており、前記クランプが、
タービンブレードの第１の部分を係合するように構成された第１のクランプ部と、
タービンブレードの第２の部分を係合するように構成された第２のクランプ部と、
前記第１のクランプ部を前記第２のクランプ部に向かって押し付けて、前記第１のクランプ部及び前記第２のクランプ部間でタービンブレードをクランプできるようにする取付機構と
を含んでおり、前記取付機構が、
前記第１のクランプ部の第１の端部を前記第２のクランプ部の第１の端部に結合するヒンジと、
前記第１のクランプ部の第２の端部を前記第２のクランプ部の第２の端部に結合するファスナーと
を備えていて、前記ファスナーが、前記第１及び第２のクランプ部の第２の端部を互いに向かって移動させるように構成されている、タービンブレード測定装置。
【請求項２】
前記ファスナーが、前記第１のクランプ部の第２の端部を前記第２のクランプ部の第２の端部から迅速に結合解除できるようにするクイックリリース機構を含む、請求項１記載のタービンブレード測定装置。
【請求項３】
前記第１のクランプ部及び前記第２のクランプ部の少なくとも一方が、所定形状を有するタービンブレード上の再現可能な位置に前記クランプを取り付けることができるブレード係合面を含む、請求項１又は請求項２記載のタービンブレード測定装置。
【請求項４】
前記ガイドが、該ガイドに沿った複数の所定位置に前記測定装置を位置付けるように構成された位置決め機構を含む、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のタービンブレード測定装置。
【請求項５】
前記位置決め機構が、前記クランプに対して複数の所定位置にて前記測定装置を位置決めするように構成されている、請求項４記載のタービンブレード測定装置。
【請求項６】
前記位置決め機構がまた、前記クランプに対して複数の所定の回転の向きで前記測定装置を位置決めするように構成されている、請求項５記載のタービンブレード測定装置。
【請求項７】
前記位置決め機構が前記ガイド内に複数の位置決め孔を含んでいて、前記測定装置が位置決めピンを含んでおり、前記測定装置がガイドに装着されると、位置決めピンはガイド内の位置決め孔に挿入可能となって測定装置がガイドに沿った複数の所定の位置に位置決めされる、請求項４記載のタービンブレード測定装置。
【請求項８】
前記ガイド内に複数の位置決め孔の各々が長手方向軸線を有しており、それらの位置決め孔の長手方向軸線が互いに平行でない、請求項７４記載のタービンブレード測定装置。
【請求項９】
前記測定装置が、タービンブレードの翼弦長を測定するように構成されている、請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載のタービンブレード測定装置。
【請求項１０】
前記ガイドは、前記測定装置を前記ブレードの基部上の複数の所定高さに位置付けて、前記測定装置が前記ブレードの基部上の対応する複数の高さにて前記ブレードの翼弦長を測定できるように構成されている、請求項９記載のタービンブレード測定装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月15日(2015.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービン部品（２１４、３００、４０８、４１０）間で流体の流れを阻止する組立体であって、
シム（３０４）と、
前記シム（３０４）の第１の側面に結合した第１の面とそれとは反対側の第２の面とを含む第１の製織ワイヤメッシュ層（３０６）と、
第１の製織ワイヤメッシュ層（３０６）の第２の面に結合した第１の面とそれとは反対側の第２の面とを含む第２の製織ワイヤメッシュ層（３０８）と、
第２の製織ワイヤメッシュ層（３０８）の第２の面に結合した第１の外層（３１０）であって、雲母系材料及び黒鉛系材料の１種を含む高温非金属材料を含む第１の外層（３１０）と
を含む、組立体。
【請求項２】
前記シム（３０４）が、持ち上がった長手方向縁部を有する部材を含み、前記持ち上がった長手方向縁部が、前記シム（３０４）の第１の側に１つ以上の凹部を形成する、請求項１記載の組立体。
【請求項３】
前記組立体が、前記タービン部品（２１４、３００、４０８、４１０）に封止係合し、それにより前記流体流を阻止するように構成されている、請求項１又は請求項２記載の組立体。
【請求項４】
前記シム（３０４）の第２の側面に結合した第１の面とそれとは反対側の第２の面とを含む第３の製織ワイヤメッシュ層（３０６）と、
第３の製織ワイヤメッシュ層（３０６）の第２の面に結合した第１の面とそれとは反対側の第２の面とを含む第４の製織ワイヤメッシュ層（３０８）と、
第４の製織ワイヤメッシュ層（３０８）の第２の面に結合した第２の外層（３１０）であって、高温非金属材料を含む第２の外層（３１０）と
をさらに含む、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の組立体。
【請求項５】
第２の外層（３１０）の高温非金属材料が雲母系材料及び黒鉛系材料の１種を含む、請求項４記載の組立体。
【請求項６】
前記シム（３０４）が実質的に剛性の金属体を含む、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の組立体。
【請求項７】
第１のタービン部品（２１４、４０８）と、
第１のタービン部品（２１４、４０８）に隣接する第２のタービン部品（３００、４１０）と、
第１のタービン部品（２１４、４０８）と第２のタービン部品（３００、４１０）との間に形成される空洞（３０２、４０２）と、
前記空洞（３０２、４０２）内に配置されて第１のタービン部品（２１４、４０８）と第２のタービン部品（３００、４１０）との間の流体の流れを阻止する請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の組立体と
を備えるガスタービン（２００）。
【請求項８】
第１及び第２のタービン部品（２１４，４０８、３００、４１０）がステータ部品である、請求項７記載のガスタービン（２００）。
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月3日(2015.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方のケースと他方のケースとが合わさるようにして組み立てられたバッテリケースと、
前記バッテリケース内に収納されるバッテリセルと、
前記バッテリセルと電気的接続が図られると共に前記バッテリケース内に収納される基板と、
前記基板に接続されるバッテリ側端子と、を有し、
前記一方のケースの長さ方向の一端側に前記バッテリ側端子が配される切欠部が形成され、該切欠部は前記他方のケースが合わさる側に開口されると共に、該開口から前記バッテリ側端子の端子ケースが挿入され、
前記バッテリ側端子は少なくとも陽極端子と負極端子を有し該端子が前記切欠部から露出され、
前記端子ケースの前記切欠部から外部へ露出された面が、前記一方のケースの一の面よりも外方へ突出して位置する
バッテリ。
【請求項２】
前記切欠部の両端側に突出部が形成される
請求項１に記載のバッテリ。
【請求項３】
前記切欠部の両側に２つの突出部が形成され、該２つの突出部の間の間隔を前記端子ケースの幅方向の寸法とほぼ同じにした
請求項１に記載のバッテリ。
【請求項４】
前記突出部は前記一方のケースの前記他方のケースが合わさる側へ突出する
請求項２又は請求項３に記載のバッテリ。
【請求項５】
前記バッテリは高さと該高さより長い幅と該幅より長い長さを有し、
前記高さ方向の一端側と他端側に上面と下面を、前記幅方向の一端側と他端側に第１の側面と第２の側面を、前記長さ方向の一端側と他端側に前面と後面をそれぞれ有し、
前記切欠部は前記前面に設けられた
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のバッテリ。
【請求項６】
前記一方のケースは前記他方のケースと合わさって塞がれる合わせ面を有し、前記切欠部は前記合わせ面側に開口する
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のバッテリ。
【請求項７】
前記一方のケースは高さと該高さより長い幅と該幅より長い長さを有し、
前記突出部は高さ方向に突出するとともに、開口を高さ方向に超えて突出する
請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のバッテリ。
【請求項８】
前記一方のケースは高さと該高さより長い幅と該幅より長い長さを有し、
前記切欠部は前記一方のケースの長さ方向の一端側の前面に設けられるとともに、前記前面には前記長さ方向に深さを有する第２の切欠部が形成され、
前記第２の切欠部は前記一方のケースの幅方向の一端側が切り欠かれて成る
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のバッテリ。
【請求項９】
前記バッテリは高さと該高さより長い幅と該幅より長い長さを有し、
前記端子ケースと前記突出部の前記長さ方向を形成する面は略同一面である
請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のバッテリ。
【請求項１０】
前記他方のケースに前記切欠部に収まる前記端子ケースを押さえる押さえ部が形成され、
前記端子ケースと前記突出部と前記押さえ部の前記長さ方向を形成する面は略同一面である
請求項９に記載のバッテリ。
【請求項１１】
前記バッテリは撮像装置のバッテリ装着部に挿着される
請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のバッテリ。
【請求項１２】
前記バッテリは撮像装置を駆動する電力を供給する
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のバッテリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そこで、本発明バッテリは、上記した課題を解決するために、一方のケースと他方のケースとが合わさるようにして組み立てられたバッテリケースと、前記バッテリケース内に収納されるバッテリセルと、前記バッテリセルと電気的接続が図られると共に前記バッテリケース内に収納される基板と、前記基板に接続されるバッテリ側端子と、を有し、前記一方のケースの長さ方向の一端側に前記バッテリ側端子が配される切欠部が形成され、該切欠部は前記他方のケースが合わさる側に開口されると共に、該開口から前記バッテリ側端子の端子ケースが挿入され、前記バッテリ側端子は少なくとも陽極端子と負極端子を有し該端子が前記切欠部から露出され、前記端子ケースの前記切欠部から外部へ露出された面が、前記一方のケースの一の面よりも外方へ突出して位置するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明バッテリは、一方のケースと他方のケースとが合わさるようにして組み立てられたバッテリケースと、前記バッテリケース内に収納されるバッテリセルと、前記バッテリセルと電気的接続が図られると共に前記バッテリケース内に収納される基板と、前記基板に接続されるバッテリ側端子と、を有し、前記一方のケースの長さ方向の一端側に前記バッテリ側端子が配される切欠部が形成され、該切欠部は前記他方のケースが合わさる側に開口されると共に、該開口から前記バッテリ側端子の端子ケースが挿入され、前記バッテリ側端子は少なくとも陽極端子と負極端子を有し該端子が前記切欠部から露出され、前記端子ケースの前記切欠部から外部へ露出された面が、前記一方のケースの一の面よりも外方へ突出して位置する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２７】
１…撮像装置、１０…バッテリ装着部、１００…バッテリ、１０１…バッテリケース、１０２…バッテリセル、１０４…基板、１０５…他方のケース、１０６…一方のケース、１０８…切欠部、１０９…突出部、１１３…第２の切欠部、１１６…押さえ部、１２０…バッテリ側端子、１２１…端子ケース
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月27日(2015.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正極層、固体電解質層及び負極層を含み、
前記正極層及び負極層のいずれか一方又は両方が、表面の一部に単数又は複数の硫化物系固体電解質が融着している活物質を含む粉体状電極材料を含み、
前記固体電解質層が、硫化物系ガラスセラミックス固体電解質及び／又は硫化物系ガラス固体電解質を含むリチウムイオン電池。
【請求項２】
前記活物質が正極活物質である請求項１に記載のリチウムイオン電池。
【請求項３】
前記活物質が酸化物である請求項１又は２に記載のリチウムイオン電池。
【請求項４】
前記硫化物系固体電解質は、Ｐ、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ及びＡｌからなる群から選択される少なくとも一種以上の元素、並びにＬｉ元素及びＳ元素を含む請求項１〜３のいずれかに記載のリチウムイオン電池。
【請求項５】
前記活物質の表面の５％〜９０％に硫化物系固体電解質が融着している請求項１〜４のいずれかに記載のリチウムイオン電池。
【請求項６】
粉体状電極材料が、さらに硫化物系固体電解質粒子を含む請求項１〜５のいずれかに記載のリチウムイオン電池。
【手続補正書】
【提出日】平成27年4月3日(2015.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リンクされた一の情報と他の情報と、当該一の情報と他の情報とがどういう関係にあるかを示す関係情報とを記憶する記憶手段と、
検索条件を取得し、当該検索条件に該当する前記一の情報について、当該一の情報にリンクされた他の情報のうち、前記検索条件に該当する前記関係情報を関連付けられた他の情報を前記記憶手段から読み出して出力する処理手段と、
前記一の情報に時間または場所を特定可能な情報が含まれているか否かを解析し、含まれている場合には、当該一の情報に、その時間または場所の情報を付加する登録部とを備え、
前記処理手段は、
前記検索条件として時間または場所の条件が指定された場合、前記一の情報に付加された時間または場所が当該検索条件に一致する前記一の情報について、当該一の情報にリンクされた他の情報のうち、前記検索条件に該当する前記関係情報を関連付けられた他の情報を前記記憶手段から読み出す、情報提供システム。
【請求項２】
請求項１に記載の情報提供システムにおいて、
前記記憶手段に記憶された一の情報の指定と、追加データの入力とを入力インターフェースから受け付け、入力を受け付けた前記追加データを前記指定された一の情報に付加する更新部を備え、
前記処理手段は、
前記検索条件として前記追加データの条件が指定された場合、前記一の情報に付加された追加データが当該検索条件に一致する前記一の情報について、当該一の情報にリンクされた他の情報のうち、前記検索条件に該当する前記関係情報を関連付けられた他の情報を前記記憶手段から読み出す、情報提供システム。
【請求項３】
請求項１に記載の情報提供システムにおいて、
前記記憶手段が、原因リンクと作用先リンクとの関連付けを記憶すると共に、
前記記憶手段に前記原因リンクに該当する前記一の情報と他の情報とのリンクが登録されると、当該原因リンクに関連付けられた前記作用先リンクに該当する前記一の情報と他の情報とのリンクを前記記憶手段から削除するリンク管理部を備えた、情報提供システム。
【請求項４】
請求項１に記載の情報提供システムにおいて、
前記記憶手段が、同一の前記一の情報と他の情報とのリンクを重複して登録しようとした回数を記憶すると共に、
当該回数が所定の回数を上回ったことを検知すると、当該一の情報が原因で他の情報に至ったことを示す関係情報を当該一の情報と他の情報とのリンクに関連付けて前記記憶手段に登録するリンク生成部を備えた、情報提供システム。
【請求項５】
リンクされた一の情報と他の情報と、当該一の情報と他の情報とがどういう関係にあるかを示す関係情報とを記憶する記憶手段を備えた情報提供システムの情報提供方法であって、
前記一の情報に時間または場所を特定可能な情報が含まれているか否かを解析し、含まれている場合には、当該一の情報に、当該時間または場所の情報を付加するステップと、
検索条件として時間または場所の条件が指定された場合、前記一の情報に付加された時間または場所が当該検索条件に一致する前記一の情報について、当該一の情報にリンクされた他の情報のうち、前記検索条件に該当する前記関係情報を関連付けられた他の情報を前記記憶手段から読み出して出力するステップと、をコンピュータが実行する情報提供方法。
【請求項６】
リンクされた一の情報と他の情報と、当該一の情報と他の情報とがどういう関係にあるかを示す関係情報とを記憶する記憶手段を備えた情報提供システム用の情報提供プログラムであって、
前記一の情報に時間または場所を特定可能な情報が含まれているか否かを解析し、含まれている場合には、当該一の情報に、当該時間または場所の情報を付加するステップと、
検索条件として時間または場所の条件が指定された場合、前記一の情報に付加された時間または場所が当該検索条件に一致する前記一の情報について、当該一の情報にリンクされた他の情報のうち、前記検索条件に該当する前記関係情報を関連付けられた他の情報を前記記憶手段から読み出して出力するステップと、をコンピュータに実行させる情報提供プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月17日(2015.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に形成された結晶性半導体クラッド層と、
前記結晶性半導体クラッド層上に形成された閉じ込めヘテロ構造と、
前記閉じ込めヘテロ構造内に形成された活性領域と、
前記閉じ込めヘテロ構造上に形成されかつ透明導電体の位相整合層と、
前記位相整合層上に形成され、電気抵抗率が１Ωｃｍよりも低い非エピタキシャル・クラッド層と、
を備え、
前記結晶性半導体クラッド層と、前記閉じ込めヘテロ構造と、前記非エピタキシャル・クラッド層とが併せて、前記結晶性半導体クラッド層及び前記非エピタキシャル・クラッド層の平面において光を導く導波路を形成する、
半導体発光デバイス。
【請求項２】
前記非エピタキシャル・クラッド層が、銀（Ａｇ）から構成される、請求項１に記載の半導体発光デバイス。
【請求項３】
前記非エピタキシャル・クラッド層が、この発光デバイスの上方クラッド層でもありｐ接触層でもある、請求項１に記載の半導体発光デバイス。
【請求項４】
前記非エピタキシャル・クラッド層が、光透過性導電層と前記光透過性導電層上に付着された金属層とから構成される、請求項１に記載の半導体発光デバイス。
【請求項５】
前記閉じ込めヘテロ構造上且つ前記非エピタキシャル・クラッド層下にストライプとして形成された誘電層を更に備え、
前記非エピタキシャル・クラッド層が、前記誘電層上に選択的に形成された不連続な横方向リッジ型導波路素子を構成する周期的格子である、請求項１に記載の半導体発光デバイス。
【請求項６】
前記位相整合層は、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）を備える、請求項１に記載の半導体発光デバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成27年4月21日(2015.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクリル系樹脂フィルムと他のフィルムとを積層した積層体の製造方法であって、
アクリル系樹脂にゴム弾性体粒子が配合されたアクリル系樹脂組成物を溶融押出しする押出し工程と、
前記溶融押出しされた前記アクリル系樹脂組成物を第１のロール及び前記第１のロールよりも押し込み抵抗が低い第２のロールで挟み込んでシート状のアクリル系樹脂フィルムを製膜することで、前記アクリル系樹脂フィルムのうち、前記第１のロールに接地する面を滑面、前記第２のロールに接地する面をフィルム表面から突出する前記ゴム弾性体粒子の表面積が前記滑面よりも大きい粗面とする製膜工程と、
前記アクリル系樹脂フィルムの前記粗面側に接着剤層を介して前記他のフィルムを積層する積層工程と、を備えることを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項２】
前記ゴム弾性体粒子は、前記アクリル系樹脂に対して２５〜４５重量％配合されている、請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項３】
前記粗面と前記滑面との算術平均粗さの差が５〜１００ｎｍである、請求項１又は２に記載の積層体の製造方法。
【請求項４】
前記滑面側に機能性層を形成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層体の製造方法。
【請求項５】
前記他のフィルムが偏光フィルムであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の積層体の製造方法。
【請求項６】
アクリル系樹脂にゴム弾性体粒子が配合されたアクリル系樹脂組成物からなるシート状のアクリル系樹脂フィルムの製造方法であって、
前記ゴム弾性体粒子は、数平均粒径が１０〜３００ｎｍの範囲内であり、
前記シート状のうち一方の面は滑面であり、前記シート状のうち前記滑面と反対側の面は、フィルム表面から突出する前記ゴム弾性体粒子の表面積が前記滑面よりも大きい粗面であり、
前記アクリル系樹脂組成物を溶融押出しする押出し工程と、
前記溶融押出しされた前記アクリル系樹脂組成物に第１のロール及び前記第１のロールよりも押し込み抵抗が低い第２のロールを接地させてシート状に製膜する工程と、を備え、
前記アクリル系樹脂フィルムのうち前記第１のロールに接地する面は前記滑面であり、
前記アクリル系樹脂フィルムのうち前記第２のロールに接地する面は前記粗面であり、
前記第２のロールは金属弾性ロールであることを特徴とするアクリル系樹脂フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記ゴム弾性体粒子は、前記アクリル系樹脂に対して２５〜４５重量％配合されている、請求項６に記載のアクリル系樹脂フィルムの製造方法。
【請求項８】
前記粗面と前記滑面との算術平均粗さの差が５〜１００ｎｍである、請求項６又は７に記載のアクリル系樹脂フィルムの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】積層体の製造方法及びアクリル系樹脂フィルムの製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月15日(2015.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
近時、印刷製版の分野において、中間成果物を生成せずに電子データから刷版を直接形成するＣＴＰ（Computer To Plate）が普及している。そこで、デザイナが情報処理端末を用いてコンテンツを創作した後、電子データとして印刷会社側に提供するケースが増加している。例えば、ページ記述データの一種であるＰＤＦ（Portable Document Format）ｖｅｒｓｉｏｎ１．３には、プリプレス制作ワークフローを支援するため、ページの境界を定義するパラメータである「ページボックス」が５種類定義されている。印刷会社に属する作業者は、電子的な面付け作業を実行する際に、この「ページボックス」を利用することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
図１３Ｂは、ページ領域１００の右上隅にある角トンボ１０４ｂに含まれる、線成分のペア１８０の決定方法に関する概略説明図である。本図は、図１２に示す「垂直線成分」のデータ一覧に対して、「第２切片の昇順」に並び替えた結果に相当する。
【手続補正書】
【提出日】平成27年4月20日(2015.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
請求項９において、
前記Ｎ本のファイバの長さがそれぞれ１００ｍｍから１００００ｍｍの範囲であることを特徴とする光接続部品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この場合、前記Ｎ本のファイバの長さがそれぞれ１００ｍｍから１００００ｍｍの範囲であることが好ましい。
また、前記Ｎ本のファイバの集合体の周りがプラスチック材料で被覆されていることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月30日(2015.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体膜と、
前記半導体膜上の第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の第１の導電膜と、
前記第１の導電膜上の第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の第２の導電膜と、
前記第２の導電膜上の第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の第３の導電膜と、
前記第３の導電膜上の第４の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の第５の絶縁膜と、
前記第３の導電膜上及び前記第４の絶縁膜上のＥＬ層と、
前記ＥＬ層上の第４の導電膜と、
を有し、
前記第１の導電膜は、前記第１の絶縁膜を介して前記半導体膜と重なる部分を有し、
前記第２の導電膜は、前記半導体膜と電気的に接続されており、
前記第３の絶縁膜は、第１の有機樹脂を有し、
前記第３の絶縁膜は、コンタクトホールを有し、
前記第３の導電膜は、前記コンタクトホールを介して前記第２の導電膜と電気的に接続されており、
前記第３の導電膜は、前記コンタクトホールと重ならない第１の部分を有し、
前記第３の導電膜は、前記コンタクトホールと重なる第２の部分を有し、
前記コンタクトホールは、前記第２の部分及び前記第４の絶縁膜によって充填されており、
前記コンタクトホールにおける前記第４の絶縁膜の表面は、前記第１の部分の表面よりも盛り上がった部分を有し、
前記第４の絶縁膜は、第２の有機樹脂を有し、
前記第５の絶縁膜は、前記第２の有機樹脂を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第５の絶縁膜と接せず、
前記第５の絶縁膜は、前記第３の絶縁膜と接する部分を有し、
画素部において、前記ＥＬ層及び前記第４の導電膜は、前記第３の絶縁膜と接しないことを特徴とする自発光装置。
【請求項２】
半導体膜と、
前記半導体膜上の第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の第１の導電膜と、
前記第１の導電膜上の第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の第２の導電膜と、
前記第２の導電膜上の第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の第３の導電膜と、
前記第３の導電膜上の第４の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の第５の絶縁膜と、
前記第３の導電膜上及び前記第４の絶縁膜上のＥＬ層と、
前記ＥＬ層上の第４の導電膜と、
前記第４の導電膜上の第６の絶縁膜と、
を有し、
前記第１の導電膜は、前記第１の絶縁膜を介して前記半導体膜と重なる部分を有し、
前記第２の導電膜は、前記半導体膜と電気的に接続されており、
前記第３の絶縁膜は、第１の有機樹脂を有し、
前記第３の絶縁膜は、コンタクトホールを有し、
前記第３の導電膜は、前記コンタクトホールを介して前記第２の導電膜と電気的に接続されており、
前記第３の導電膜は、前記コンタクトホールと重ならない第１の部分を有し、
前記第３の導電膜は、前記コンタクトホールと重なる第２の部分を有し、
前記コンタクトホールは、前記第２の部分及び前記第４の絶縁膜によって充填されており、
前記コンタクトホールにおける前記第４の絶縁膜の表面は、前記第１の部分の表面よりも盛り上がった部分を有し、
前記第４の絶縁膜は、第２の有機樹脂を有し、
前記第５の絶縁膜は、前記第２の有機樹脂を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第５の絶縁膜と接せず、
前記第５の絶縁膜は、前記第３の絶縁膜と接する部分を有し、
画素部において、前記ＥＬ層および前記第４の導電膜は、前記第３の絶縁膜と接しないことを特徴とする自発光装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第６の絶縁膜は窒化珪素膜であることを特徴とする自発光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月13日(2015.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出部を介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
処理液を供給する処理液供給源と、
前記処理液供給源に移送配管を介して接続された中間タンクと、
前記中間タンクと吐出部との間に設けられた払出配管と、
前記移送配管を介して処理液供給源から中間タンクに処理液を移送するために、前記中間タンク内を減圧排気する減圧排気部と、
前記中間タンク内に移送された処理液を前記払出配管から払い出すために、当該中間タンクに気体を供給して、減圧排気された後の中間タンク内の圧力を減圧状態から常圧状態に復帰させる圧力調整部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
【請求項２】
前記処理液供給源は、前記処理液供給源の処理液を加圧することにより、前記移送配管及び中間タンクを介して前記払出配管の下流側に処理液を満たすための加圧部を備えることを特徴とする請求項１に記載の処理液供給装置。
【請求項３】
前記処理液供給源には、複数の中間タンクが並列に接続され、
前記複数の中間タンクと減圧排気部との間に設けられ、各中間タンクからの排気が合流する合流部と、
前記合流部の圧力を検出する圧力検出部と、
前記処理液供給源からの処理液の移送が行われる中間タンクの数に応じ、各中間タンクに移送される処理液の流量が予め設定された流量となるように目標圧力を設定するステップと、前記圧力検出部にて検出された圧力が前記目標圧力となるように、前記減圧排気部の排気量を増減するステップと、を実行する制御部と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の処理液供給装置。
【請求項４】
前記処理液供給源から各中間タンクに移送される処理液の流量を測定する流量測定部を備え、
前記制御部は、前記合流部の圧力と各中間タンクに移送される処理液の総流量との関係を示す回帰式に基づいて前記目標圧力の設定を行い、前記回帰式に基づいて各中間タンクへの処理液の移送を行った結果、前記流量測定部にて測定された処理液の流量の合計値と、前記総流量との差が、予め設定された許容差を超える場合には、前記圧力検出部及び流量測定部の実測値に基づいて、前記関係を示す新たな回帰式を作成し、この新たな回帰式に基づいて前記目標圧力の設定を行うことを特徴とする請求項３に記載の処理液供給装置。
【請求項５】
前記流量測定部は、前記中間タンクの互いに異なる高さ位置に設けられた下段側及び上段側の液面計と、前記処理液供給源から中間タンクに移送された処理液が、前記下段側の液面計にて検出されてから上段側の液面計にて検出されるまでの時間を計測する計時部と、を備え、前記下段側及び上段側の液面計間の中間タンクの容量と、前記計時部にて計測された時間とに基づき処理液の流量を求めることを特徴とする請求項３または４に記載の処理液供給装置。
【請求項６】
前記圧力調整部から中間タンクに供給される気体は、不活性ガスであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の処理液供給装置。
【請求項７】
前記圧力調整部は、前記中間タンクに供給される気体に含まれるパーティクルを除去するためのフィルターを備えることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の処理液供給装置。
【請求項８】
吐出部を介して被処理体に処理液を供給する処理液供給方法において、
処理液を供給する処理液供給源に移送配管を介して接続された中間タンク内を減圧排気して、前記処理液供給源から中間タンクに処理液を移送する工程と、
前記中間タンクに圧力調整用の気体を供給して、減圧排気された後の中間タンク内の圧力を減圧状態から常圧状態に復帰させ、前記中間タンクと吐出部との間に設けられた払出配管から、前記中間タンク内に移送された処理液を払い出す工程と、を含むことを特徴とする処理液供給方法。
【請求項９】
中間タンク内を減圧排気して、前記処理液供給源から中間タンクに処理液を移送する前に、前記処理液供給源の処理液を加圧することにより、前記移送配管及び中間タンクを介して前記払出配管の下流側に処理液を満たす工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の処理液供給方法。
【請求項１０】
前記処理液供給源には、複数の中間タンクが並列に接続され、前記複数の中間タンクと減圧排気部との間に設けられ、各中間タンクからの排気が合流する合流部の圧力を検出する工程と、
前記処理液供給源からの処理液の移送が行われる中間タンクの数に応じ、各中間タンクに移送される処理液の流量が予め設定された流量となるように目標圧力を設定する工程と、
前記合流部にて検出された圧力が前記目標圧力となるように、前記減圧排気部の排気量を増減する工程と、を含むことを特徴とする請求項８または９に記載の処理液供給方法。
【請求項１１】
前記処理液供給源から各中間タンクに移送される処理液の流量を測定する工程と、
前記合流部の圧力と各中間タンクに移送される処理液の総流量との関係を示す回帰式に基づいて前記目標圧力の設定を行う工程と、
前記回帰式に基づいて各中間タンクへの処理液の移送を行った結果、処理液の流量の測定結果の合計値と、前記総流量との差が、予め設定された許容差を超える場合には、前記合流部の圧力の検出結果と処理液の流量の測定結果の合計値とに基づいて、前記関係を示す新たな回帰式を作成する工程と、
前記新たな回帰式に基づいて前記目標圧力の設定を行う工程と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の処理液供給方法。
【請求項１２】
前記圧力調整用の気体は、不活性ガスであることを特徴とする請求項８ないし１１のいずれか一つに記載の処理液供給方法。
【請求項１３】
前記中間タンクに供給される圧力調整用の気体をフィルターでろ過してパーティクルを除去する工程を含むことを特徴とする請求項８ないし１２のいずれか一つに記載の処理液供給方法。
【請求項１４】
吐出部を介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは請求項８ないし１３のいずれか一つに記載された処理液供給方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。