(57)【要約】［課題］従来品と同程度のフッ素樹脂を含みながらも電解液の含浸性が高い電気二重層キャパシタ用電極膜を提供すること。［解決手段］活性炭およびフッ素樹脂バインダーを含む電気二重層キャパシタ用電極膜であって、少なくとも一方の面において、Ａ／Ｂ≦７．０（ただし、Ａは、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定される前記電極膜の表面のフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合であり、Ｂは、前記電極膜が含有するフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合である。）を満たすことを特徴とする電気二重層キャパシタ用電極膜。【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性炭およびフッ素樹脂バインダーを含む電気二重層キャパシタ用電極膜であって、
少なくとも一方の面において、Ａ／Ｂ≦７．０（ただし、Ａは、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定される前記電極膜の表面のフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合であり、Ｂは、前記電極膜が含有するフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合である。）を満たす
ことを特徴とする電気二重層キャパシタ用電極膜。
【請求項２】
前記フッ素樹脂バインダーの含有量が１重量％以上であり、
少なくとも一方の表面の、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定されるフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合が１５ａｔｏｍｉｃ％以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の電気二重層キャパシタ用電極膜。
【請求項３】
少なくとも一方の表面の、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定されるフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合が７ａｔｏｍｉｃ％以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の電気二重層キャパシタ用電極膜。
【請求項４】
少なくとも一方の表面の、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定されるフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対する酸素原子数の割合が４０ａｔｏｍｉｃ％以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気二重層キャパシタ用電極膜。
【請求項５】
炭素導電材をさらに含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電気二重層キャパシタ用電極。
【請求項６】
活性炭およびフッ素樹脂バインダーを含む組成物を下記（i）および／または（ii）の条件下で攪拌して混練物を得る工程１、および
該混練物をロールで圧延して電極膜を得る工程２
を含むことを特徴とする電気二重層キャパシタ用電極膜の製造方法；
（i）攪拌速度が５０〜１８０ｒｐｍ、
（ii）攪拌時間が１０〜６０秒。
【請求項７】
前記工程２が、前記混練物を下記（iii）および／または（iv）の条件下でロールで圧延して電極膜を得る工程であることを特徴とする請求項６に記載の電気二重層キャパシタ用電極膜の製造方法；
（iii）ロール速度が３ｍ／分以下、
（iv）圧延回数が３回以下。
【請求項８】
前記組成物が炭素導電材をさらに含有することを特徴とする請求項６または７に記載の電気二重層キャパシタ用電極の製造方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれかに記載の製造方法で製造される電気二重層キャパシタ用電極膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気二重層キャパシタ用電極膜およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気二重層キャパシタ（以下「ＥＤＬＣ」ともいう。）用の電極膜は、通常、活性炭等の粉末状電極、導電材、およびフッ素樹脂等のバインダーなどから構成されている（特開２００４−２１０５号公報（特許文献１）等）。【０００３】
ＥＤＬＣの性能は、この電極膜への電解液の含浸量に影響される。特公平４−４７４４９号公報（特許文献２）には、シート状電極に対する電解液の含浸性を高めるために、シート状電極表面の特に四フッ化エチレン樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、以下「ＰＴＦＥ」ともいう。）を多く含む緻密な平滑層を破壊して、シート状電極表面に傷を設けることが記載されている。【０００４】
しかしながら、この技術を用いた場合には、シート状電極の破壊を招き、シート状電極の粉落ち、形態（厚さ・密度等）変化が生じ、シート状電極やこれを用いたＥＤＬＣの電気的安定性が損なわれる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２１０５号公報
【特許文献２】特公平４−４７４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＥＤＬＣ用電極膜は、圧延ロールを用いて原料をシート状に成形するなどして製造することができる。【０００７】
本発明者らは、この圧延の際に、原料シートの特に表面付近において、原料シートに大きなせん断力がかかり、フッ素樹脂の繊維化が進行してフッ素樹脂の表面積が増加し、その結果、得られたＥＤＬＣ用電極膜の表面において撥水性が高まり、電極膜への電解液の浸入が妨げられるのではないかと考えた。【０００８】
一方、バインダーであるフッ素樹脂の量を減らせば、ＥＤＬＣ用電極膜表面の撥水性を抑えることができるが、ＥＤＬＣ用電極膜の形状を安定に保つことができなくなってしまう。【０００９】
このような問題に鑑み、本発明は、同程度のフッ素樹脂を含む従来品よりも電解液の含浸性が高いＥＤＬＣ用電極膜およびその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、たとえば以下の［１］〜［９］に関する。【００１１】
［１］
活性炭およびフッ素樹脂バインダーを含む電気二重層キャパシタ用電極膜であって、
少なくとも一方の面において、Ａ／Ｂ≦７．０（ただし、Ａは、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定される前記電極膜の表面のフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合であり、Ｂは、前記電極膜が含有するフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合である。）を満たすことを特徴とする電気二重層キャパシタ用電極膜。【００１２】
［２］
前記フッ素樹脂バインダーの含有量が１重量％以上であり、
少なくとも一方の表面の、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定されるフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合が１５ａｔｏｍｉｃ％以下である
ことを特徴とする電気二重層キャパシタ用電極膜。【００１３】
［３］
少なくとも一方の表面の、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定されるフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合が７ａｔｏｍｉｃ％以上であることを特徴とする上記［１］または［２］に記載の電気二重層キャパシタ用電極膜。【００１４】
［４］
少なくとも一方の表面の、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定されるフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対する酸素原子数の割合が４０ａｔｏｍｉｃ％以下であることを特徴とする上記［１］〜［３］のいずれかに記載の電気二重層キャパシタ用電極。【００１５】
［５］
炭素導電材をさらに含有することを特徴とする上記［１］〜［４］のいずれかに記載の電気二重層キャパシタ用電極。【００１６】
［６］
活性炭およびフッ素樹脂バインダーを含む組成物を下記（i）および／または（ii）の条件下で攪拌して混練物を得る工程１、および
該混練物をロールで圧延して電極膜を得る工程２
を含むことを特徴とする電気二重層キャパシタ用電極膜の製造方法；
（i）攪拌速度が５０〜１８０ｒｐｍ、
（ii）攪拌時間が１０〜６０秒。【００１７】
［７］
前記工程２が、前記混練物を下記（iii）および／または（iv）の条件下でロールで圧延して電極膜を得る工程であることを特徴とする上記［６］に記載の電気二重層キャパシタ用電極膜の製造方法；
（iii）ロール速度が３ｍ／分以下、
（iv）圧延回数が３回以下。【００１８】
［８］
前記組成物が炭素導電材をさらに含有することを特徴とする上記［６］または［７］に記載の電気二重層キャパシタ用電極の製造方法。【００１９】
［９］
上記［６］〜［８］のいずれかに記載の製造方法で製造される電気二重層キャパシタ用電極膜。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るＥＤＬＣ用電極膜は、同程度のフッ素樹脂を含む従来品よりも電解液の含浸性が高い。【００２１】
また、本発明に係るＥＤＬＣ用電極膜の製造方法によれば、同程度のフッ素樹脂を含む従来品よりも電解液の含浸性が高いＥＤＬＣ用電極膜が製造される。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明をより詳細に説明する。
【００２３】
［ＥＤＬＣ用電極膜］
本発明に係るＥＤＬＣ用電極膜は、活性炭およびフッ素樹脂バインダーならびに任意に炭素導電材（ただし、前記活性炭を除く。）を含む電気二重層キャパシタ用電極膜であって、
前記電極膜の少なくとも一方の面において、好ましくはその両面において、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定される前記電極膜表面のフッ素原子および炭素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合をＡ、前記電極膜が含有するフッ素原子と炭素原子との合計に対するフッ素原子の割合をＢとすると、Ａ／Ｂの値が７．０以下、好ましくは６．０以下、さらに好ましくは５．０以下である電気二重層キャパシタ用電極膜である。また、前記Ａ／Ｂの下限値は、たとえば２．０である。
【００２４】
従来のＥＤＬＣ用電極膜においては、ロールでの圧延成形によって、電極膜表面のフッ素原子の割合が比較的高くなり、電極膜表面の撥水性が高く、これにより電極膜内への電解液の浸入が妨げられていたと考えられる。
【００２５】
一方、本発明の電極膜において、前記Ａ／Ｂの値が７．０以下ということは、電極膜表面の原子に占めるフッ素原子の割合が、電極膜全体に含まれる原子に占めるフッ素原子の割合と比べると大きいものの、過度には大きくないということを意味している。このため、本発明の電極膜においては、同程度のフッ素樹脂を含む従来品と比べて、表面の撥水性が低く、これにより電解液（たとえば、水溶液系の電解液）が電極膜内へ浸入し易いと考えられる。
【００２６】
電極膜の製造過程では、原料混合物を含むシート状の圧延物の特に表面付近においてフッ素樹脂バインダーの繊維化が進行することにより、得られる電極膜の前記Ａ／Ｂは１を超えるある程度大きな値となると考えられる。したがって、Ａ／Ｂの値が過度に大きくない本発明の電極膜においては、表面付近におけるフッ素樹脂バインダーの繊維化が過度に進行していないと考えられる。
【００２７】
なお、本明細書において、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定される電極膜表面の各原子の割合は、後述する実施例で採用した条件またはこれと同等の条件で測定を行った場合のものである。
【００２８】
前記活性炭、前記炭素導電材および前記フッ素樹脂バインダーとしては、ＥＤＬＣ用電極膜において従来使用されているものを使用することができる。
【００２９】
前記活性炭としては、市販品であれば、ＹＰ５０Ｆ（クラレケミカル社製）、Maxsorb（関西熱化学社製）などが挙げられる。
【００３０】
前記活性炭の比表面積は、たとえば１，０００〜２，５００ｍ2／ｇであってもよい。
【００３１】
前記炭素導電材としては、アセチレンブラック、チャネルブラック、ファーネスブラック、ケッチェンブラックなどが挙げられ、これらは１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。市販品であれば、コンチネックスＣＦ（コンチネンタルカーボン社製、コンダクティブファーネスブラック）、ケッチェンブラックＥＣＰ６００ＪＤ（ライオン（株）製）、ケッチェンブラックＥＣ（ケッチェンブラックインターナショナル社製、コンダクティブファーネスブラック）、バルカンＣ（キャボット社製、コンダクティブファーネスブラック）、ＢＬＡＣＫ ＰＥＡＲＬＳ ２０００（キャボット社製、コンダクティブファーネスブラック）、デンカアセチレンブラック（電気化学工業（株）製、アセチレンブラック）などを好適に用いることができる。
【００３２】
前記フッ素樹脂としては、容易に繊維化され、バインダーとしての能力が高い点で、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）および変性ＰＴＦＥ（たとえば、テトラフルオロエチレンと少量（たとえば０．５モル％以下）の他の単量体とを共重合させて得られる変性ＰＴＦＥ）が好ましく、ＰＴＦＥがより好ましい。
【００３３】
ＥＤＬＣ用電極膜が前記炭素導電材を含まない場合には、前記活性炭の割合は、ＥＤＬＣ用電極膜中に、たとえば９９重量％以下、好ましくは９０〜９６重量％であり、ＥＤＬＣ用電極膜が前記炭素導電材を含む場合には、前記活性炭の割合は、ＥＤＬＣ用電極膜中に、たとえば９８重量％以下、好ましくは６０〜９０重量％であり、前記炭素導電材の割合は、ＥＤＬＣ用電極膜中に、たとえば０．１重量％以上、好ましくは１重量％以上、より好ましくは５〜３０重量％である。また、前記フッ素樹脂バインダーの割合は、たとえば１重量％以上であり、好ましくは、電極膜の強度の観点からは４〜１０重量％である。
【００３４】
本発明に係るＥＤＬＣ用電極膜には、ＥＤＬＣ用電極膜に通常含まれることのある添加剤（金属酸化物や金属触媒など）が少量（たとえば、ＥＤＬＣ用電極膜中に１重量％以下）含まれていてもよい。
【００３５】
前記電極膜の少なくとも一方の面、好ましくはその両面において、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により測定される前記電極膜表面のフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対するフッ素原子数の割合は、粉落ちしない（電極膜表面に指を触れた際に、指に粉体が付着しない）という観点からは、好ましくは７ａｔｏｍｉｃ％以上、さらに好ましくは１０ａｔｏｍｉｃ％以上である。また、上記割合は、電極膜表面の撥水性を抑える観点からは、好ましくは１５ａｔｏｍｉｃ％以下、さらに好ましくは１２ａｔｏｍｉｃ％以下である。
【００３６】
電極膜表面にプラズマ処理等を施すと、表面の酸素原子数の割合が増加する傾向がある。この酸素原子は、プラズマ処理等により電極膜表面に形成された官能基に由来すると考えられるところ、このような官能基を過度に多く有する電極膜は、充放電中に電気化学的反応による電解液の分解やガスの発生を誘発し、電気二重層キャパシタの耐久性・寿命に悪影響を及ぼす恐れがある。このため、このような悪影響を抑制する観点からは、前記電極膜の少なくとも一方の面、好ましくはその両面において、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により上記の条件で測定される前記電極膜表面のフッ素原子、炭素原子および酸素原子の合計数に対する酸素原子数の割合は、好ましくは４０ａｔｏｍｉｃ％以下、さらに好ましくは３０ａｔｏｍｉｃ％以下である。
【００３７】
［ＥＤＬＣ用電極膜の製造方法］
上述した本発明に係るＥＤＬＣ電極膜の製造方法としては、たとえば以下の製造方法Ａ、製造方法Ｂ、製造方法Ｃが挙げられる。
【００３８】
＜製造方法Ａ＞
製造方法Ａは、ＥＤＬＣ用電極膜形成用混合物を攪拌して混練物を得る工程１、および
該混練物をロールで圧延して電極膜を得る工程２
を含む電極膜の製造方法であって、工程１において以下の（i）または（ii）の条件、好ましくは（i）および（ii）の両方の条件を採用する製造方法である；
（i）攪拌速度（攪拌子の回転速度）：５０〜１８０ｒｐｍ、好ましくは１２０〜１７０ｒｐｍ、
（ii）攪拌時間：１０〜６０秒、好ましくは２０〜５０秒。
【００３９】
＜製造方法Ｂ＞
製造方法Ｂは、ＥＤＬＣ用電極膜形成用混合物を攪拌して混練物を得る工程１、および
該混練物をロールで圧延して電極膜を得る工程２
を含む電極膜の製造方法であって、工程１が製造方法Ａの工程１と同様であって、工程２において以下の（iii）または（iv）の条件、好ましくは（iii）および（iv）の両方の条件を採用する製造方法である；
（iii）ロール速度：３ｍ／分以下、好ましくは２ｍ／分〜０．８ｍ／分、
（iv）圧延回数：３回以内、好ましくは２回以内。
【００４０】
＜製造方法Ｃ＞
製造方法Ｃは、ＥＤＬＣ用電極膜形成用混合物を攪拌して混練物を得る工程１、
該混練物をロールで圧延する工程２'、および
工程２'で得られた圧延物の表面をプラズマ処理またはエキシマーレーザー処理して電極膜を得る工程３
を含む電極膜の製造方法である。製造方法Ｃにおける工程１および工程２'では従来の条件を採用してもよく、工程１として前記製造方法Ａの工程１を、工程２'として前記製造方法Ｂの工程２を採用してもよい。
【００４１】
前記製造方法Ａの工程１では、攪拌条件は従来よりも緩やか、すなわち、攪拌速度が遅く、攪拌時間が短いため、フッ素樹脂の繊維化があまり進行せず、その結果、得られる電極膜中のフッ素樹脂の表面積が従来品よりも小さくなり、電極膜表面におけるフッ素原子の割合が従来よりも小さくなると考えられる。
【００４２】
前記製造方法Ｂでは、前記製造方法Ａの工程２において、ロール速度を遅く、または圧延回数を少なくするにより、ロール圧延時に電極膜表面近傍のフッ素の繊維化を過度に促進させず、その結果、電極膜表面の繊維化されたフッ素樹脂の存在量を過度に大きくせず、以って、電極膜表面のフッ素原子の割合（あるいは前記Ａ／Ｂの値）が過度に大きくなることを防げると考えられる。
【００４３】
前記製造方法Ｃでは、工程３により膜表面のフッ素原子の割合が小さくなると考えられる。
【００４４】
前記ＥＤＬＣ用電極膜形成用混合物は、活性炭およびフッ素樹脂バインダーならびに任意に炭素導電材を含み、この混合物としては、ＥＤＬＣ用電極膜の形成に従来使用されていたものを使用することができる。活性炭、炭素導電材およびフッ素樹脂バインダー、ならびにこれらの割合の詳細は上述のとおりである。
【００４５】
混合物に含まれるフッ素樹脂バインダーは、通常は粒子状であり、前記混合物の混練または圧延を経ることにより少なくとも一部が繊維化される。
【００４６】
前記組成物は、工程１から工程２において、水、アルコールなどの成形助剤を含んでいてもよい。成形助剤の量は、活性炭、炭素導電材およびフッ素樹脂バインダーの合計１００重量部に対して、好ましくは８０重量部以上、より好ましくは１００〜６００重量部である。この成形助剤は、工程２の中でおよび／または工程２の後に、加熱等により除去される。
【実施例】
【００４７】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。【００４８】
＜測定方法＞
（膜表面の各原子の割合）
実施例および比較例で製造された各電極膜について、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）により、電極膜表面でのフッ素原子、炭素原子および酸素原子フッ素原子の割合を測定した。【００４９】
Ｘ線光電子分光法による測定の条件の詳細は、以下のとおりである。【００５０】
測定箇所：
電極膜の中央付近の１ｃｍ四方の領域を切り出し、その一方の面（ただし、実施例３、４では、電極膜の、プラズマ処理等を施した側の面）の中央付近の１ｍｍφの領域を測定した。【００５１】
測定機器：
日本電子（株）製  光電子分光装置  ＪＰＳ−９０１０ＭＸを用いた。【００５２】
測定条件：
Ｘ線源：ＭｇＫα(出力：１０ｋＶ、１０ｍＡ)
光電子取り出し角度：４５°
Ｐａｓｓ Ｅｎｅｒｇｙ：５０ｅＶ
Ｓｗｅｅｐ数：１回
ステップサイズ：０．１ｅＶ
スペクトルと各原子の割合との関連付け：
ナロースキャンを行い、得られたスペクトルのピーク面積（バックグラウンド補正したあとの面積積分強度）から各原子の割合（ａｔｏｍｉｃ％）を算出した。ただし、予め標準試料としてのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）およびポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）の表面を測定し、ＰＴＦＥにおいては炭素原子：フッ素原子＝１：２（モル比）、ＰＭＭＡにおいては炭素原子：酸素原子＝５：２（モル比）となるように、スペクトルのピーク面積と各原子の割合とを関連付けた。【００５３】
（含浸性）
実施例または比較例で製造された各電極膜を、１５０℃で３０〜９０分放置し、乾燥させた。室温まで放冷した後、９μＬのＰＣ系電解液（富山薬品工業株式会社製  ＬＩＰＡＳＴＥ−Ｐ／ＥＡＦ１）を電極膜（ただし、実施例３、４では、電極膜の、プラズマ処理等を施した側の面）に滴下し、電解液が電極膜に染み込み、電極膜表面の光沢がなくなるまでの時間を計測した。【００５４】
（粉落ち性）
実施例または比較例で製造された各電極膜（ただし、実施例３、４では、電極膜の、プラズマ処理等を施した側の面）を指で触れ、下記の基準に基づいて評価を行った。【００５５】
○：粉体が指にほとんど付着しない
△：粉体が指に少量付着する
×：粉体で指が真っ黒になるほど付着する
（電極膜の強度・成形性）
実施例または比較例で製造された各電極膜を、ダンベル１号で打ち抜き、５０ｍｍ／分の速度で引張試験を行い、下記の基準に基づいて評価を行った。【００５６】
○：試験片が破断した際の応力が１Ｎ以上
×：試験片が破断した際の応力１Ｎ未満
［実施例１］
活性炭（クラレケミカル社製  ＹＰ５０Ｆ）、導電性カーボン（ライオン株式会社製  ケッチェンブラックＥＣＰ６００ＪＤ）およびＰＴＦＥ（ダイキン工業株式会社製  ポリフロンＤ−１Ｅ）を、活性炭：導電性カーボン：ＰＴＦＥ＝８８：６：６の重量比で、かつ合計量が１．５ｋｇとなるように計量した。【００５７】
これら活性炭および導電性カーボンおよびＰＴＦＥ合計１００重量部に対して、３７０重量部のイオン交換水を混合し、低速（１４０ｒｐｍ）で３０秒間攪拌して混練物を得た。【００５８】
この混練物を、圧延ロールを用いて、ロール速度１ｍ／分で５２０〜５３０μｍ程度の厚さに一次圧延した。次いで、ロール速度２ｍ／分で二次圧延を行い、厚さ５００μｍの電極膜を得た。【００５９】
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００６０】
なお、圧延ロールを用いて電極膜を製造したので、フッ素樹脂の繊維化が電極膜の両面で同様に進行したと考えられる。したがって、この電極膜の、各原子の割合の測定を行わなかった側の表面も、測定を行った側の表面と同様の割合で各原子を有していたと考えられる。【００６１】
［実施例２］
一次圧延におけるロール速度を１ｍ／分から０．８ｍ／分に変更し、二次圧延を行わなかったこと以外は実施例１と同様の操作により、厚さ５００μｍの電極膜を得た。【００６２】
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００６３】
［比較例１］
低速（１４０ｒｐｍ）、３０秒間の攪拌の後に、さらに中速（１９０ｒｐｍ）、３０秒間の攪拌を行ったこと以外は実施例１と同様の操作により、厚さ５００μｍの電極膜を得た。【００６４】
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００６５】
［実施例３］
比較例１と同様の操作により電極膜を得て、さらに、この電極膜の表面に対して下記の条件でプラズマ処理を施し、電極膜を得た。【００６６】
（プラズマ処理条件）
ガス種：Ｈｅ、ガス流量：３Ｌ／分、プラズマ周波数：５ｋＨｚ、出力：１２０Ｗ、照射時間３００秒
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００６７】
［実施例４］
比較例１と同様の操作により電極膜を得て、さらに、この電極膜の表面に対して下記の条件でエキシマーレーザー処理を施し、電極膜を得た。【００６８】
（エキシマーレーザー処理条件）
雰囲気：Ｎ2を９９体積％およびＯ2を１体積％含む雰囲気
照射エネルギー：３０００ｍＪ／ｃｍ2
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００６９】
［実施例５］
各原料の重量比を、活性炭：導電性カーボン：ＰＴＦＥ＝９４：０：６に変更したこと以外は実施例１と同様の操作により電極膜を得た。【００７０】
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００７１】
［比較例２］
各原料の重量比を、活性炭：導電性カーボン：ＰＴＦＥ＝９１：６：３に変更したこと以外は比較例１と同様の操作により電極膜を得た。【００７２】
この電極膜の評価結果を表１に示す。【００７３】
【表１】
2013168762.tif 000002
【国際調査報告】
2013168762.tif 000003
2013168762.tif 000004
2013168762.tif 000005
2013168762.tif 000006