【手続補正書】
【提出日】平成27年3月4日(2015.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの照明光線源と、照明光線を試料に集束するための顕微鏡対物レンズと、変調周波数の復調のための少なくとも１つの手段を備える検出光路と、を有する顕微鏡であって、
該顕微鏡対物レンズは、焦点変調器を該照明光線内に有し、該焦点変調器は、ある部分領域内でその断面に沿って該照明光線を変調周波数ωにより位相変調し、
焦点変調器として少なくとも１つの時間的な偏光変更要素が照明光路内に配置されており、該偏光変更要素には、その断面に沿って該照明光線を位相変調するために、位相影響度が異なる少なくとも２つの領域を有する位相板が後置されている、顕微鏡。
【請求項２】
前記偏光変更要素が、偏光回転要素である、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記偏光回転要素が、電子光学的変調器（ＥＯＭ）である、請求項２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記位相板が、実質的に位相が影響を受けない領域と、位相が影響を受ける領域を有する、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項５】
前記位相が影響を受ける領域が、少なくとも１つの半波長板である、請求項４に記載の顕微鏡。
【請求項６】
復調のために、ロックイン増幅のような電子手段が設けられている、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項７】
復調のためにＡＯＭまたはＥＯＭが設けられており、または少なくとも１つの音響光学的変調器（ＡＯＭ）によって復調のための光線切換えが行われ、または復調のために検出器の動作方式が変更される、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項８】
前記偏光変更要素と前記位相板との間に光ファイバが配置されている、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項９】
前記位相板が、偏光変更のためにそれ自体が回転可能に構成されている、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１０】
前記位相板が、空間的光変調器（ＳＬＭ、Ｓｐａｔｉａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）である、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１１】
請求項１乃至１０の少なくともいずれか１項に記載のレーザ走査顕微鏡。
【請求項１２】
位相板が様々な領域を有し、これらの領域が互いにλ／２の位相変化を有している、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１３】
音響光学的偏向器（デフレクタ）が設けられており、該音響光学的偏向器が照明光を交互にまたは同時に少なくとも２つの光ファイバの入力端に偏向する、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１４】
偏光変更要素の後方に、少なくとも２つの光ファイバに入力結合するための入力結合手段が設けられている、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１５】
交互に光ファイバに入力結合され、または振幅変調により、少なくとも２つの光成分の時間に依存する重み付けがなされる、請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１６】
光ファイバへ、それぞれ偏光の向きの異なる入力結合が行われる、請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１７】
光ファイバの端部またはその出力結合部が偏光器において、異なって偏光された２つの光線成分が存在するように互いに向けられる、請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１８】
異なる向きの偏光成分が、位相板を介して試料の方向に達する（位相板が光ファイバに後置されている）、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項１９】
位相板の後方に、調整可能な偏光器が配置されている、請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項２０】
位相板の後方で光線の一部分が、偏光分布およびＡＯＤの少なくとも一方、もしくはＥＯＭを制御するために基準検出器上でフェードアウトされる、請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の顕微鏡。
【請求項２１】
試料の光を顕微鏡で検出するための方法であって、該試料が、照明光線源の少なくとも１つの照明光線により、集束のために顕微鏡対物レンズを介して照射され、該照明光線が、該照明光線の照明光路内にある焦点変調器を介してある部分領域においてその断面に沿って変調周波数ωにより位相変調され、焦点変調器として少なくとも１つの時間的な偏光変更要素が照明光路内に配置されており、該偏光変更要素には、該照明光線をその断面に沿って位相変調するために、位相影響度が異なる少なくとも２つの領域を有する位相板が後置されており、検出光路内で変調周波数の復調が行われる、方法。
【請求項２２】
偏光回転要素として、電子光学的変調器（ＥＯＭ）が使用される、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
試料信号の測定により、異なる位相板間の交換の際に、またはＳＬＭのような位相変調器の調整された変更の際に、測定結果の最適化に役立つ調節が行われる、請求項２１または２２に記載の方法。
【請求項２４】
請求項２１乃至２３の少なくともいずれか１項に記載のレーザ走査顕微鏡の駆動方法。
【請求項２５】
位相板が様々な領域を有し、これらの領域が互いにλ／２の位相変化を有している、請求項２１乃至２４のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項２６】
音響光学的偏向器（デフレクタ）が設けられており、該音響光学的偏向器が照明光を交互にまたは同時に少なくとも２つの光ファイバの入力端に偏向される、請求項２１乃至２５のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項２７】
偏光変更要素の後方に、少なくとも２つの光ファイバに入力結合するための入力結合手段が設けられている、請求項２１乃至２６のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項２８】
交互に光ファイバに入力結合され、または振幅変調により、少なくとも２つの光成分の時間に依存する重み付けがなされる、請求項２１乃至２７のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項２９】
光ファイバへ、それぞれ偏光の向きの異なる入力結合が行われる、請求項２１乃至２８のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項３０】
光ファイバの端部またはその出力結合部が偏光器において、異なって偏光された２つの光線成分が存在するように互いに向けられる、請求項２１乃至２９のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項３１】
異なる向きの偏光成分が、位相板を介して試料の方向に達する（位相板が光ファイバに後置されている）、請求項２１乃至３０のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項３２】
位相板の後方に、調整可能な偏光器が配置されている、請求項２１乃至３１のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項３３】
位相板の後方で光線の一部分が、偏光分布およびＡＯＤの少なくとも一方、もしくはＥＯＭを制御するために基準検出器上でフェードアウトされる、請求項２１乃至３２のいずれか１項に記載の顕微鏡検査方法。
【請求項３４】
前記少なくとも１つの照明光線源は、蛍光励起のためのレーザを含み、
前記位相板は、位相遅延の異なる領域を有し、
前記音響光学的偏向器が、変調された振幅を有する照明光を交互にまたは同時に少なくとも２つの光ファイバの入力端に偏向される、請求項１３に記載の顕微鏡。
【請求項３５】
前記試料の光を顕微鏡で検出するための方法は、請求項１乃至２０のいずれか１項に記載の顕微鏡の駆動方法であり、
前記照明光線源の少なくとも１つの照明光線は、蛍光励起のためのレーザを含み、
前記検出光路内で変調周波数の復調が行われることは、
試料内における照明の位相変調が、検出光路において強度変調に変換され、該強度変調が復調されることを含み、
前記位相板は、位相遅延の異なる領域を有し、
音響光学的偏向器が、変調された振幅を有する照明光を交互にまたは同時に少なくとも２つの光ファイバの入力端に偏向される、請求項２６に記載の顕微鏡検査方法。