【手続補正書】
【提出日】平成27年4月15日(2015.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、
金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、
を備え、
前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項２】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、
金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、
を備え、
前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記磁性金属相のうちアスペクト比が２以上の磁性金属相の体積比は、前記磁性金属相全体に対して０．５以下であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項４】
請求項１−３のいずれかにおいて、
前記非磁性金属相は、含有する金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が３０ａｔ％以上１００ａｔ％未満であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項５】
請求項１−４のいずれかにおいて、
前記磁性金属相は、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が８５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項６】
請求項１−４のいずれかにおいて、
前記磁性金属相は、金属Ｃｏおよび不可避的不純物からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項７】
請求項１−６のいずれかにおいて、
前記酸化物は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも１種を含むことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項８】
請求項１−７のいずれかにおいて、
前記ターゲットは、磁気記録層の形成に使用可能なことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。
【請求項９】
金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が０より大きく１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１０】
金属Ｃｏ、金属Ｃｒおよび金属Ｐｔを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が０より大きく１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１１】
請求項９または１０において、
前記磁性金属粉末をボールミルで混合分散する工程を有しないことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１２】
請求項９−１１のいずれかにおいて、
前記非磁性金属粉末は、含有する金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が３０ａｔ％以上１００ａｔ％未満であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１３】
請求項９−１２のいずれかにおいて、
前記磁性金属粉末は、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であり、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が８５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１４】
請求項９−１２のいずれかにおいて、
前記磁性金属粉末は、金属Ｃｏおよび不可避的不純物からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【請求項１５】
請求項９−１４のいずれかにおいて、
前記酸化物は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、Ｃｒ2Ｏ3、ＣｏＯ、Ｃｏ3Ｏ4、Ｂ2Ｏ3、Ｆｅ2Ｏ3、ＣｕＯ、Ｙ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＭｏＯ3、ＣｅＯ2、Ｓｍ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、ＷＯ2、ＷＯ3、ＨｆＯ2、ＮｉＯ2のうちの少なくとも
１種を含むことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、ターゲットに含まれるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量を高く保った上で、さらにノジュールやパーティクル等の不具合の発生も起こりにくいマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法を提供することを課題とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
ターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記非磁性金属相は、含有する金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が３０ａｔ％以上１００ａｔ％未満であることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、ターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属相を、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、残部が不可避的不純物であるようにし、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を８５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であるようにすることが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の態様は、例えば、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が０より大きく１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の態様は、例えば、金属Ｃｏ、金属Ｃｒおよび金属Ｐｔを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属粉末と、該非磁性金属粉末に対する体積比が０より大きく１．２以下である酸化物粉末とを混合分散して、非磁性混合粉末を得る工程と、前記得られた非磁性混合粉末と、金属Ｃｏを含有する磁性金属粉末とを混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、前記得られた加圧焼結用混合粉末を加圧焼結する工程と、を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法により製造することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、製造するターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属粉末を、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であるようにし、さらに、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比を３０ａｔ％以上１００ａｔ％未満であるようにすることが好ましい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、製造するターゲット全体としての磁性を低減させてターゲット表面からの漏洩磁束の量をより増加させることができる点で、前記磁性金属粉末を、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し残部が不可避的不純物であるようにし、さらに、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を８５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であるようにすることが好ましい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明によれば、ターゲットに含まれるＣｏの含有量を減少させずに、マグネトロンスパッタリング時の漏洩磁束量を高く保った上で、さらにノジュールやパーティクル等の不具合の発生も起こりにくいマグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法を提供することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の参考態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とする。
ここで、凝集した酸化物の「長径」とは、当該凝集した酸化物の径（当該酸化物が凝集してなる粒子状物の径）を方向を変えて全方向にわたって測定したときに最大となる径のことである。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の参考態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っており、かつ、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないことを特徴とする。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様のどちらも、ターゲット全体の組成において、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満である。したがって、ターゲット中の金属相が１種類であれば、当然のことながら、該金属相中においても金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比は０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｏの原子数比は７５ａｔ％以上１００ａｔ％未満）となり、後述するように、ターゲット中の金属相は磁性相となってしまい、マグネトロンスパッタリング時のターゲット表面からの漏洩磁束量は少なくなってしまう。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
そこで、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様ではどちらも、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備えさせており、磁性金属相に多くのＣｏを含有させることにより、他の金属相中のＣｏの含有量を減少させて、当該他の金属相中においては金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満となるようにして、当該他の金属相の磁性をほとんどゼロにしている（磁性がほとんどゼロになる理由は後述する。）。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
換言すれば、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様では、ターゲット全体の組成においては金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満である一方、非磁性金属相の組成においては、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満となっている。これにより、非磁性金属相の磁性はほとんどゼロとなり、ターゲット全体における金属Ｃｏの含有量を一定に保ったままターゲット全体としての磁性を弱めることができる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
これにより、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様のどちらにおいても、マグネトロンスパッタリング時のターゲット表面からの漏洩磁束量が多くなり、マグネトロンスパッタリングを良好に行うことができる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様のどちらにおいても、非磁性金属相に対する酸化物の体積比を０より大きく１．２以下にしている。このため、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下に抑えられており、ターゲット製造用の混合粉末作製時に非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなる（これに対し、非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が多すぎると、非磁性金属粉末と酸化物粉末との混合が不十分になりやすい。）。その結果、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様のどちらにおいても、前記非磁性金属相と前記酸化物とをお互いに分散し合うようにすることができる。また、非磁性金属相と酸化物とは互いに緻密に分散した組織となりやすくなる。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
しかしながら、［実施例］の欄で後述する比較例２では、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下であったが、得られたターゲット中には長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在していた。したがって、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で１．２以下であっても、ターゲット製造用の混合粉末を構成する金属粉末の組成によっては、酸化物との混合が良好に行われず、得られるターゲット中に長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在してしまうこともあると考えられるので、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様においては、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないという構成要件も加え、長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在するターゲットを、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様から除外している。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
次に、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比を２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満としている理由について説明する。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
表１、図１に示すように、Ｃｏ−Ｃｒ合金において、Ｃｒの含有割合が２５ａｔ％以上（Ｃｏの含有割合が７５ａｔ％以下）では、Ｃｏ−Ｃｒ合金の磁性はほとんどゼロとなる。そこで、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の参考態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比を２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満にして非磁性金属相の磁性をほとんどゼロにしている。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
また、表１、図１に示すように、Ｃｒの含有割合が２５ａｔ％を下回ると（Ｃｏの含有割合が７５ａｔ％を上回ると）、磁性は急激に大きくなり始め、Ｃｒの含有割合が１７ａｔ％以下（Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％以上）になると、それ以上Ｃｒの含有割合を減らしても（Ｃｏの含有割合を増加させても）磁性の増加は穏やかになりほぼ一定値となる。したがって、ＣｏおよびＣｒを含む磁性金属相においては、Ｃｏの含有割合を８３ａｔ％より増やしても、Ｃｏの含有割合が８３ａｔ％のときと比べて磁性はほとんど大きくならない。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
次に、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様について説明する。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とする。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第２の態様は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、金属Ｐｔ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および金属Ｐｔを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っていることを特徴とする。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様の非磁性金属相において、金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満である点は第１および第２の参考態様と同様であるが、第１および第２の態様の非磁性金属相においては金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下であるという構成要件も備えている。後述する［実施例］で実証しているように、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を７０ａｔ％以下にすると、酸化物粉末と良好に混合されやすくなり、得られるターゲット中において凝集した酸化物はほとんどなくなる。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
また、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様においては、さらに、第１および第２の参考態様と同様に、非磁性金属相に対する酸化物の体積比を０より大きく１．２以下にするという構成要件も有している。このため、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末と酸化物粉末において非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が体積比で０より大きく１．２以下に抑えられており、ターゲット製造用の混合粉末作製時に非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなる（非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の量が多すぎると非磁性金属粉末と酸化物粉末との混合が不十分になりやすい。）。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
以上のことから、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲットの第１および第２の態様のどちらにおいても、非磁性金属相と酸化物とをお互いに分散し合うようにすることができ、また、非磁性金属相と酸化物とは互いに緻密に分散した組織となりやすくなる。つまり、ターゲット中の酸化物の凝集をほとんどなくすことができる。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
２．ターゲットのミクロ構造
図１（実施例１のターゲットの厚さ方向断面の金属顕微鏡写真）を例にとって示すように、本実施形態に係るターゲット１０のミクロ構造は、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２と、マトリックス相１４（非磁性金属相（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満）と酸化物とが微細に分散し合った相）とがお互いに分散した構造である。なお、本実施形態では、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２をＣｏの含有割合が１００ａｔ％のＣｏ単体相としてもよく、金属Ｃｏを含有する磁性金属相１２には、Ｃｏの含有割合が１００ａｔ％のＣｏ単体相も含まれるものとする。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
ここで、ターゲット１０全体の組成においては金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であり、かつ、マトリックス相１４中の非磁性金属相の組成においては、金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であるようにするためには、金属Ｃｏの含有割合がターゲット１０全体の組成における金属Ｃｏの含有割合よりも一定以上大きい磁性金属相１２を設ければよい。つまり、磁性金属相１２に金属Ｃｏを多く含有させることによりマトリックス相１４中の非磁性金属相における金属Ｃｏの含有割合を小さくする（金属Ｃｏと金属Ｃｒの合計に対する金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上であるようにする）という考え方を採用すればよい。この考え方を採用することにより、ターゲット１０全体における金属Ｃｏの含有量を一定に保ったまま、マトリックス相１４中の非磁性金属相の磁性をほとんどゼロにすることができ、ターゲット１０全体における磁性を小さくしてターゲット１０表面からの漏洩磁束量を大きくすることができる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
また、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０においては、マトリックス相１４中の非磁性金属相に対するマトリックス相１４中の酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、マトリックス相１４中の非磁性金属相に対するマトリックス相１４中の酸化物の体積比は一定の値以下になっている。このため、本発明に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０のマトリックス相１４においては、酸化物と非磁性金属相とを緻密に分散させることができ、ターゲット１０中に長径が５μｍ以上の凝集した酸化物が存在しないようにすることができ、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０を用いてのスパッタリングの際、ノジュールやパーティクル等の不具合は発生しにくくなる。マトリックス相１４中の非磁性金属相に対するマトリックス相１４中の酸化物の体積比が１．２を上回ると、ターゲットを作製するための焼結用混合粉末中の酸化物粉末の量が金属粉末の量に対して多くなりすぎ、酸化物粉末と金属粉末とを十分に混合させることが困難になるおそれ（即ち、得られるターゲットにおいて酸化物と非磁性金属相とを緻密に分散させることが困難になるおそれ）があり、得られるターゲットにおいて酸化物の大きな凝集等の不具合が発生するおそれがある。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
さらに、本実施形態に係るマグネトロンスパッタリング用ターゲット１０においては、金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計（マトリックス相１４中の金属全体）に対する該金属Ｃｏの原子数比は０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である。後述する［実施例］で実証しているように、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を７０ａｔ％以下にすると、該非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなり、得られるターゲット中の酸化物の凝集はほとんどなくなる。この理由は現時点では明確ではないが、実施例１−６で実証しているように、ターゲット製造用の混合粉末を構成する非磁性金属粉末において金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比を７０ａｔ％以下にすると、該非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混合されやすくなり、得られるターゲット中の酸化物の凝集はほとんどなくなる。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
（１）非磁性金属粉末の作製
所定の組成（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満）となるようにＣｏ、Ｃｒを秤量するとともに、添加する所定量のＰｔも秤量して合金溶湯を作製する。そして、ガスアトマイズを行い、所定の組成（金属Ｃｏと金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満）のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末を作製する。作製したＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末は分級して、粒径が所定の粒径以下（例えば１０６μｍ以下）となるようにする。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
なお、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末の磁性をほぼ完全にゼロにする点で、含有する金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比を３０ａｔ％以上１００ａｔ％未満にすることがより好ましい。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
（２）非磁性混合粉末の作製
作製した分級後のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ2
粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）とを、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性金属粉末に対する酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）の体積比が０より大きく１．２以下となるように秤量して混合分散し、非磁性混合粉末を作製する。酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）は、微細な１次粒子が凝集して２次粒子を形成しているが、混合分散は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末（ＳｉＯ2粉末、Ｃｒ2Ｏ3粉末）とが十分に細かく分散し合うまで行う（例えば、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金アトマイズ非磁性粉末と酸化物粉末とのボールミルによる累計回転回数が２００万回以上になるまで混合分散を行う）。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
（５）製造方法の特徴
本実施形態に係る製造方法の特徴は、（１）で作製した非磁性金属粉末と酸化物粉末とを、（２）で記載したように、非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の体積比が０より大きく１．２以下となるように秤量し、十分に細かく分散し合うまで混合分散を行って、非磁性混合粉末を得ていることである。非磁性金属粉末に対する酸化物粉末の体積比が０より大きく１．２以下となるように秤量して混合分散を行っているので、非磁性金属粉末と酸化物粉末とが良好に混ざり合った非磁性混合粉末が得られる。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
次に、ターゲット表面の中心と、ターゲット表面のホールプローブ直下の点の間の距離が４３．７ｍｍになるようにターゲットをテーブル面に配置した。そして、中心位置を移動させずにターゲットを反時計回りに５回転させた後、中心位置を移動させずにターゲットを０度、３０度、６０度、９０度、１２０度回転させ、それぞれの位置で、テーブル面に水平な方向の漏洩磁束密度を測定した。得られた５つの漏洩磁束密度の値をＲｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｆｉｅｌｄの値で割って１００を掛けて漏洩磁束率（％）とした。５点の漏洩磁束率（％）の平均をとり、その平均値をそのターゲットの平均漏洩磁束率（％）とした。下記の表２に示すように、作製したターゲットの平均漏洩磁束率は７０．０％であった。
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１８】
実施例１−６（ターゲット全体の組成はいずれも、９０（７１Ｃｏ−１０Ｃｒ−１４Ｐｔ−５Ｒｕ）−７ＳｉＯ2−３Ｃｒ2Ｏ3）は、金属Ｃｏ、金属Ｃｒ、および酸化物を含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が０ａｔ％より大きく２５ａｔ％未満であるターゲットであって、金属Ｃｏおよび金属Ｃｒを含有し、該金属Ｃｏと該金属Ｃｒとの合計に対する該金属Ｃｒの原子数比が２５ａｔ％以上１００ａｔ％未満であり、かつ、該金属Ｃｏとそれ以外の金属との合計に対する該金属Ｃｏの原子数比が０ａｔ％より大きく４５ａｔ％以下である非磁性金属相と、金属Ｃｏを含有する磁性金属相と、を備え、前記非磁性金属相に対する前記酸化物の体積比が０より大きく１．２以下であり、前記非磁性金属相と前記酸化物とはお互いに分散し合っているので、本発明の範囲に含まれる。