【事件の表示】
　特願２０１５−１３６０７０「ガラス基板の検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２９年　１月２６日出願公開，特開２０１７−　２２１６０，請求項の数（２）〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は，特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件審判請求に係る出願（以下，「本願」という。）は，２０１５年（平成２７年）　７月　７日の出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
平成３０年１２月２５日付け：拒絶理由通知書
平成３１年　３月　８日　　：意見書，手続補正書の提出
令和　１年　８月　１日付け：拒絶査定（原査定）
令和　１年１１月　１日　　：審判請求書，手続補正書の提出
令和　２年　６月２９日付け：拒絶理由通知書（以下「当審拒絶理由通知」という。）
令和　２年　８月２６日　　：意見書，手続補正書の提出
第２　原査定の概要
　原査定（令和　１年　８月　１日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。
理由２　本願請求項１−３，６に係る発明は，以下の引用文献Ａ−Ｂに記載された発明に基いて，その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
引用文献Ａ　特開２００７−５１００１号公報
引用文献Ｂ　特開平１０−１３９１６０号公報
第３　当審拒絶理由の概要
　当審拒絶理由の概要は次のとおりである。
理由１　本願請求項１−３，６に係る発明は，以下の引用文献１に記載された発明に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
引用文献１　特開２００９−２２９３０１号公報（当審において新たに引用した文献）
第４　本願発明
　本願請求項１−２に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」−「本願発明２」という。）は，令和　２年　８月２６日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−２に記載された事項により特定される発明であり，本願発明１は，以下のとおりの発明である。
「　　【請求項１】
　液晶パネルを構成するガラス基板を検査する検査装置であって，
　前記ガラス基板を搬送する第１搬送部および第２搬送部と，
　前記第１搬送部と前記第２搬送部との間に設けられ，前記ガラス基板を検査する検査部と，
を備え，
　
前記第１搬送部として第１クランプ部を備え，
　
前記第２搬送部として第２クランプ部を備え，
　
前記第１クランプ部が前記ガラス基板を前記第２クランプ部側に押し込み，前記第２クランプ部が前記ガラス基板を前記第１クランプ部側から引き込むことにより，前記第１クランプ部から前記第２クランプ部に前記ガラス基板を搬送するように構成されるとともに，
　前記検査部は，前記ガラス基板を下方からエアにより浮かせるエアベアリングと，前記ガラス基板を検査する検査ユニットと，を備え，
　前記エアベアリングは，複数のエアベアリングユニットを有し，前記検査ユニットに近いものほど，前記ガラス基板のガタつきや揺れを抑える性能が高いガラス基板の検査装置。」
　なお，請求項２は，請求項１の構成を全て引用する従属請求項である。
第５　引用文献，引用発明等
１　引用文献１について
（１）令和　２年　６月２９日付けの当審拒絶理由に引用された引用文献１には，図面とともに次の事項が記載されている。（当審注：下線は，参考のために当審で付与したものである。以下同様である。）
「【００１６】
　以下では，本発明の一実施形態に係る基板検査装置１について，図１および図２を参照して以下に説明する。
　
本実施形態に係る基板検査装置１は，例えば，ＦＰＤの液晶ガラス基板やカラーフィルタなど，大型で薄板状の基板Ａを被検体として，その表面に付着したゴミ，傷，膜むら，基板のパターン形状の欠陥を検査したり，パターンの線幅を測定したりするためのものである。
【００１７】
　基板検査装置１は，検査の必要に応じて，種々の検査部を備えることができるが，
本実施形態においては，図１に示されるように，基板Ａの幅方向に延びる直線状の検査領域Ｂを検査する検査ヘッド２と，検査領域Ｂを挟んで隣接する２箇所の直線状の領域において，基板Ａを支持する基板支持部３を備えている。
【００１８】
　検査ヘッド２は，基板Ａの表面に対して所定の角度で前記検査領域Ｂに直線状の照明光Ｌ１を照射するライン照明部２ａと，該ライン照明部２ａにより照明された照明光Ｌ１の検査領域Ｂにおける反射光Ｌ２を撮影するライン撮像部２ｂとを備えている。
　
基板支持部３は，前記検査領域Ｂの両側において基板Ａを挟んで対向する２対の空気ノズル４を備えている。空気ノズル４は，それぞれ基板Ａの幅方向全長にわたって検査領域Ｂの両側に平行に延びる直線状に加圧空気Ｃを噴出するように配置されている。
【００１９】
　さらに具体的には，図２に示されるように，各対の空気ノズル４は，基板Ａの表裏面にそれぞれ配置され，その吐出口（流体吐出口）４ａを相互に対向する方向に向けて配置されている。
これにより，各対の空気ノズル４の間に配置される基板Ａの表裏面に対して同等の圧力の加圧空気Ｃを吐出させ，この上下方向の加圧空気Ｃにより基板Ａの検査領域を検査高さとなる基準位置に保持させるようになっている。
「【００３０】
　
また，本実施形態に係る基板検査装置１は，図８に示されるように，複数のローラ７を配列してなるローラコンベア８によって基板Ａを搬送するものとしてもよい。基板Ａがローラコンベア８上を搬送される場合，ローラコンベア８自体の振動や基板Ａがローラコンベア８の１つ１つのローラ７を渡って行く際に発生する振動あるいは，各ローラ７の上下方向に設置位置のばらつきなどに起因する振動によっても，２対の空気ノズル４によって基板Ａを厚さ方向に挟むように加圧空気Ｃを作用させることで，検査領域Ｂの変位を防止し，鮮明な画像による高精度の検査を行うことができる。
【００３１】
　
また，図９に示されるように，検査ヘッド２を構成するライン照明部２ａおよびライン撮像部２ｂと，基板支持部３を構成する２対の空気ノズル４とを一体的なユニット状に構成してもよい。
【００３２】
　
また，本実施形態においては，検査領域Ｂの両側に一対ずつ２対の空気ノズル４を配置した場合について説明したが，これに限定されるものではなく，３対以上の空気ノズル４を配置することにしてもよい。この場合，図１０および図１１に示されるように，検査領域Ｂから離れるに従って，対向する各対の空気ノズル４間の間隔が広がるように配置することが好ましい。
「【図１】 
」
「【図２】
」
「【図８】
 」
「【図９】
」
「【図１０】
」
「【図１１】
」
（２）上記記載事項を検討する。
ア　引用文献１の段落００１６〜００１９及び図１−２には，ＦＰＤの液晶ガラス基板やカラーフィルタなど，大型で薄板状の基板Ａを被検体とする基板検査装置１において，基板Ａの検査領域Ｂを検査する検査ヘッド２と，検査領域Ｂを挟んで隣接する領域において，基板Ａを支持する基板支持部３を備えること，及び，基板支持部３は，上下方向の加圧空気Ｃにより基板Ａの検査領域を検査高さとなる基準位置に保持させる空気ノズル４を備えることが記載されている。
イ　引用文献１の段落００３０及び図８には，基板検査装置１において，検査領域Ｂの両側に基板Ａを搬送する複数のローラ７が配列されたローラコンベア８を備える点が記載されている。
ウ　引用文献１の段落００３１及び図９には，検査ヘッド２と，空気ノズル４とを一体的なユニット状に構成する点，すなわち，空気ノズル４と検査ヘッド２とを備えたユニットが記載されている。
エ　引用文献１の段落００３２及び図１０−１１には，検査領域Ｂの両側に３対以上の空気ノズル４を配置するとともに，検査領域Ｂを検査する検査ヘッドから離れるに従って，対向する各対の空気ノズル４間の間隔が広がるように配置する点が記載されている。
（３）上記（１），（２）を参酌すると，引用文献１には次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「ＦＰＤの液晶ガラス基板やカラーフィルタなど，大型で薄板状の基板を被検体とする基板検査装置であって，
　検査領域の両側に基板を搬送する複数のローラが配列されたローラコンベアと，
　検査領域を検査するユニットを備え，
　ユニットは，上下方向の加圧空気により基板の検査領域を検査高さとなる基準位置に保持させる空気ノズルと検査ヘッドとを備え，
　空気ノズルは，３対以上配置され，検査ヘッドから離れるに従って，対向する各対の空気ノズル間の間隔が広がるように配置された基板検査装置。」
２　その他の文献について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献Ａの段落０００１，００３０−００３６，００４７−００５６及び図１，５−６の記載，特に図６の記載を参酌すると，引用文献Ａには，「平面板ディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する搬送装置において，２つのエアガイドユニットの間に，ガラス基板を検査するための検査ユニットが備えらており，２つのエアガイドユニットよりも搬送方向の上流側及び下流側には，ガラス基板を搬送方向に駆動するための駆動ユニットが備えられた搬送装置。」が記載されていると認められる。
（２）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献Ｂの段落００１４−００３２及び図１−３の記載からみて，引用文献Ｂには，「加圧気体を板状物の下方から噴出し，板状物を浮上せしめて非接触状態に保ちながら所定位置へ搬送する板状物搬送装置。」が記載されていると認められる。
第６　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを対比すると，次のことがいえる。
ア　引用発明の「基板検査装置」は，「ＦＰＤの液晶ガラス基板」などの基板を被検体とするものであるから，本願発明１と「液晶パネルを構成するガラス基板を検査する検査装置」である点で一致する。
イ　引用発明の「ローラコンベア」における，検査領域の一方の側に配列された複数のローラ，他方の側に配列された複数のローラが，それぞれ，本願発明１の「第１搬送部」，「第２搬送部」に相当する。
ウ　引用発明の「検査ヘッド」が，本願発明１の「検査ユニット」に相当することは明らかである。
　また，引用発明の「空気ノズル」は「上下方向の加圧空気により基板の検査領域を検査高さとなる基準位置に保持させる」ものであるから，本願発明１と「前記ガラス基板を下方からエアにより浮かせるエアベアリング」である点で一致する。
　すると，引用発明の「ユニット」は，本願発明１の「検査部」と，「前記ガラス基板を下方からエアにより浮かせるエアベアリングと，前記ガラス基板を検査する検査ユニットと，を備え」る点で一致する。
エ　引用発明の３対以上配置されたそれぞれの対の「空気ノズル」が，本願発明１の「エアベアリングユニット」に相当する。ここで，「空気ノズル」の間隔が狭いほど振動防止効果が高いことは明らかであるから，引用発明の「検査ヘッドから離れるに従って，対向する各対の空気ノズル間の間隔が広がるように配置され」ている「空気ノズル」は，「前記検査ユニットに近いものほど，前記ガラス基板のがたつきや揺れを抑える性能が高い」と言える。
オ　したがって，本願発明１と引用発明との間には，次の一致点，相違点があるといえる。
（一致点）
「　液晶パネルを構成するガラス基板を検査する検査装置であって，
　前記ガラス基板を搬送する第１搬送部および第２搬送部と，
　前記ガラス基板を検査する検査部と，
を備え，
　前記検査部は，前記ガラス基板を下方からエアにより浮かせるエアベアリングと，前記ガラス基板を検査する検査ユニットと，を備え，
　前記エアベアリングは，複数のエアベアリングユニットを有し，前記検査ユニットに近いものほど，前記ガラス基板のガタつきや揺れを抑える性能が高いガラス基板の検査装置。」
（相違点）
（相違点１）検査部に関して，本願発明１は，「前記第１搬送部と前記第２搬送部との間に設けられ」ているのに対して，引用発明は，そのように特定されていない点。
（相違点２）ガラス基板を搬送する第１搬送部および第２搬送部に関して，本願発明１は，「前記第１搬送部として第１クランプ部を備え，前記第２搬送部として第２クランプ部を備え，前記第１クランプ部が前記ガラス基板を前記第２クランプ部側に押し込み，前記第２クランプ部が前記ガラス基板を前記第１クランプ部側から引き込むことにより，前記第１クランプ部から前記第２クランプ部に前記ガラス基板を搬送するように構成される」のに対して，引用発明は，そのように特定されていない点。
（２）相違点についての判断
ア　相違点２について
　事案に鑑みて上記相違点２について先に検討する。
　相違点２に係る本願発明１の，「前記第１搬送部として第１クランプ部を備え，前記第２搬送部として第２クランプ部を備え，前記第１クランプ部が前記ガラス基板を前記第２クランプ部側に押し込み，前記第２クランプ部が前記ガラス基板を前記第１クランプ部側から引き込むことにより，前記第１クランプ部から前記第２クランプ部に前記ガラス基板を搬送するように構成される」という，「第１搬送部」および「第２搬送部」に関する構成は，引用文献１及び引用文献Ａ−Ｂには記載されておらず，本願出願前において周知技術であるともいえない。
　そうすると，引用発明において，周知技術を適用し，相違点２に係る本願発明１の構成を想到することは，当業者であれば容易になし得たものであるとはいえない。
イ　したがって，他の相違点について判断するまでもなく，本願発明１は，当業者であっても引用発明及び引用文献Ａ−Ｂに基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２　本願発明２について
　本願発明２は，本願発明１の全ての構成要素を備える従属請求項であり，上記相違点２に係る本願発明１と同一の構成を備えるものであるから，本願発明１と同じ理由により，当業者であっても，引用発明及び引用文献Ａ−Ｂに基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
第７　原査定について
　令和　２年　８月２６日付けの補正により，補正後の請求項１−２は，
　当該上記「第６　対比・判断」の「１　本願発明１について」の「（１）対比」における相違点２に係る構成を有するものとなった。
　当該相違点２に係る構成は，原査定における引用文献Ａ−Ｂには記載されておらず，本願出願前における周知技術でもないので，本願発明１−２は，当業者であっても，原査定における引用文献Ａ−Ｂに基づいて，容易に発明できたものとはいえない。
　したがって，原査定を維持することはできない。
第８　むすび
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。