Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月5日(2015.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬貨が投入される硬貨投入口と、前記硬貨投入口に硬貨が投入されたときに操作可能となるハンドルと、商品を収納する収納部と、前記収納部の底部に設けられ前記ハンドルの操作に連動して動作する商品保持部材と、前記商品保持部材に設けられ前記商品を保持する複数の商品保持部と、を有し、前記ハンドルを操作することで前記商品保持部材を動作させ、前記商品保持部で待機する前記商品を順次払い出すようにした手動商品販売装置において、
前記収納部に前記商品が無くなったときに前記硬貨投入口の前側に突出することにより、前記硬貨投入口を覆いかつ売り切れ状態を表示可能な売り切れ表示部を有することを特徴とする手動商品販売装置。
【請求項２】
前記収納部に前記商品が無くなったときに前記商品保持部材の動作を阻止する阻止手段を有し、
前記売り切れ表示部は、前記阻止手段が前記商品保持部材の動作を許容するときは、前記硬貨投入口の前側から退避する一方、前記阻止手段が前記商品保持部材の動作を阻止するときは、前記硬貨投入口の前側に突出し、前記硬貨投入口を覆いかつ売り切れ状態を表示可能である、ことを特徴とする請求項１記載の手動商品販売装置。
【請求項３】
前記阻止手段は、前記商品保持部材の近傍に設けられ前記商品保持部に対して側方から進退可能な係止部を有し、
前記係止部は、前記商品が前記商品保持部に有るときは、前記商品の側部あるいは前記商品保持部材に接して前記商品保持部から退避して前記商品保持部材の動作を許容する一方、前記商品が前記商品保持部に無いときは、前記商品保持部に進入して前記商品保持部材の動作を阻止可能である、ことを特徴とする請求項２記載の手動商品販売装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、硬貨が投入される硬貨投入口と、前記硬貨投入口に硬貨が投入されたときに操作可能となるハンドルと、商品を収納する収納部と、前記収納部の底部に設けられ前記ハンドルの操作に連動して動作する商品保持部材と、前記商品保持部材に設けられ前記商品を保持する複数の商品保持部と、を有し、前記ハンドルを操作することで前記商品保持部材を動作させ、前記商品保持部で待機する前記商品を順次払い出すようにした手動商品販売装置において、前記収納部に前記商品が無くなったときに前記商品保持部材の動作を阻止する阻止手段を有し、
前記阻止手段は、前記商品保持部材の近傍に設けられ前記商品保持部に対して側方から進退可能な係止部、を有し、前記係止部は、前記商品が前記商品保持部に有るときは、前記商品の側部あるいは前記商品保持部材に接して前記商品保持部から退避して前記商品保持部材の動作を許容する一方、前記商品が前記商品保持部に無いときは、前記商品保持部に進入して前記商品保持部材の動作を阻止可能であることを特徴とする。
また、本発明は、硬貨が投入される硬貨投入口と、前記硬貨投入口に硬貨が投入されたときに操作可能となるハンドルと、商品を収納する収納部と、前記収納部の底部に設けられ前記ハンドルの操作に連動して動作する商品保持部材と、前記商品保持部材に設けられ前記商品を保持する複数の商品保持部と、を有し、前記ハンドルを操作することで前記商品保持部材を動作させ、前記商品保持部で待機する前記商品を順次払い出すようにした手動商品販売装置において、前記収納部に前記商品が無くなったときに前記硬貨投入口の前側に突出することにより、前記硬貨投入口を覆いかつ売り切れ状態を表示可能な売り切れ表示部を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明に係る手動商品販売装置は、前記係止部の動作に連動して前記硬貨投入口の前側に突出可能な売り切れ表示部を有し、前記売り切れ表示部は、前記係止部が前記商品の側部あるいは前記商品保持部材に接して前記商品保持部から退避して前記商品保持部の前記商品保持部材の動作を許容するときは、前記硬貨投入口の前側から退避する一方、前記係止部が前記商品保持部に進入して前記商品保持部材の動作を阻止するときは、前記硬貨投入口の前側に突出し、前記硬貨投入口を覆いかつ売り切れ状態を表示可能であるようにしてもよい。
また、本発明に係る手動商品販売装置は、前記収納部に前記商品が無くなったときに前記商品保持部材の動作を阻止する阻止手段を有し、前記売り切れ表示部は、前記阻止手段が前記商品保持部材の動作を許容するときは、前記硬貨投入口の前側から退避する一方、前記阻止手段が前記商品保持部材の動作を阻止するときは、前記硬貨投入口の前側に突出し、前記硬貨投入口を覆いかつ売り切れ状態を表示可能である、ことを特徴としてもよく、また、前記阻止手段は、前記商品保持部材の近傍に設けられ前記商品保持部に対して側方から進退可能な係止部を有し、前記係止部は、前記商品が前記商品保持部に有るときは、前記商品の側部あるいは前記商品保持部材に接して前記商品保持部から退避して前記商品保持部材の動作を許容する一方、前記商品が前記商品保持部に無いときは、前記商品保持部に進入して前記商品保持部材の動作を阻止可能である、ことを特徴としてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月13日(2015.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置情報が関連付けられた画像データを保持する保持手段と、
前記画像データに関する表示情報を、前記画像データに関連付けられている位置情報に基く地図上の表示位置に表示するよう制御する表示制御手段と、
前記保持手段により保持されている画像データに関連付けられた位置情報を決定した方法の種別を示す測位方式情報が、前記画像データに関連付けられているか否かを判断する判断手段とを有し、
前記判断手段により前記画像データに測位方式情報が関連付けられていると判断された場合、前記表示制御手段は、前記測位方式情報に基づき、前記位置情報を決定した方法の種別を識別可能な態様で、前記画像データに関する表示情報を地図上に表示するよう制御することを特徴とする表示制御装置。
【請求項２】
前記保持手段は、前記位置情報が関連付けられていない画像データも保持し、
前記表示制御手段は、前記位置情報が関連付けられている画像データに関する表示情報と、前記位置情報が関連付けられていない画像データに関する表示情報とを、区別可能な態様で表示するよう制御することを特徴とする請求項１に記載の表示制御装置。
【請求項３】
前記地図上に表示された表示情報が、ユーザ操作により指示された場合、前記表示制御手段は、当該表示情報に対応する画像データに対応づけられている測位方式情報に対応する文字情報を、前記表示情報に対して吹き出し形式に表示することを特徴とする請求項１または２に記載の表示制御装置。
【請求項４】
ユーザ操作により指示された表示情報に対応する画像データに、複数の測位方式情報が対応づけられている場合、前記表示制御手段は、当該表示情報に対応する画像データに対応づけられている各測位方式情報に対応する文字情報を、前記表示情報に対して吹き出し形式に表示することを特徴とする請求項３に記載の表示制御装置。
【請求項５】
前記保持手段は複数の画像データを保持し、
前記複数の画像データに対応づけられている位置情報に基づく夫々の表示位置が、予め設定された距離範囲内にある場合、前記表示制御手段は、前記複数の表示情報に変えて代表の１つの表示情報を表示することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項６】
前記測位方式情報は前記画像データのヘッダ領域に記録されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項７】
前記画像データはＥｘｉｆの規格に従うデータ構造を有し、
前記測位方式情報はＥｘｉｆのＧＰＳ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  ｍｅｔｈｏｄタグに記録されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項８】
前記ＧＰＳ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  ｍｅｔｈｏｄタグ内に、複数の測位方式を表す文字列が記録されることで、一つの画像データに複数の測位方式情報が対応づけられることを特徴とする請求項７に記載の表示制御装置。
【請求項９】
前記画像データに複数の位置情報が対応づけられている場合、各位置情報に対応する測位方式情報も対応づけられることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１０】
外部装置と接続する接続手段を更に有し、
前記保持手段は、前記外部装置から受信した画像データを保持することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１１】
外部装置からログデータを受信する手段を更に有し、
前記表示制御手段は、前記画像データに関する表示情報と、前記ログデータ内の位置情報に基づく表示情報とを、地図上に表示するよう制御することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１２】
前記画像データに関する表示情報は、マーカを含むことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１３】
前記画像データに関する表示情報は、前記画像データのサムネイルを含むことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１４】
位置情報が関連付けられた画像データを保持する保持ステップと、
前記画像データに関する表示情報を、前記画像データに関連付けられている位置情報に基く地図上の表示位置に表示するよう制御する表示制御ステップと、
前記保持ステップで保持されている画像データに関連付けられた位置情報を決定した方法の種別を示す測位方式情報が、前記画像データに関連付けられているか否かを判断する判断ステップとを有し、
前記判断ステップで前記画像データに測位方式情報が関連付けられていると判断された場合、前記表示制御ステップでは、前記測位方式情報に基づき、前記位置情報を決定した方法の種別を識別可能な態様で、前記画像データに関する表示情報を地図上に表示するよう制御することを特徴とする表示制御装置の制御方法。
【請求項１５】
コンピュータを、請求項１乃至１３に記載の表示制御装置の各手段として機能させるための、コンピュータが読み取り可能なプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示制御装置及びその制御方法並びにプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この課題を解決するため、例えば本発明の表示制御装置は以下の構成を備える。すなわち、
位置情報が関連付けられた画像データを保持する保持手段と、
前記画像データに関する表示情報を、前記画像データに関連付けられている位置情報に基く地図上の表示位置に表示するよう制御する表示制御手段と、
前記保持手段により保持されている画像データに関連付けられた位置情報を決定した方法の種別を示す測位方式情報が、前記画像データに関連付けられているか否かを判断する判断手段とを有し、
前記判断手段により前記画像データに測位方式情報が関連付けられていると判断された場合、前記表示制御手段は、前記測位方式情報に基づき、前記位置情報を決定した方法の種別を識別可能な態様で、前記画像データに関する表示情報を地図上に表示するよう制御することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月19日(2015.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前景用画像にライティング効果を施し、背景用画像に合成を行う映像処理装置であって、
前記前景用画像の前記背景用画像上の合成位置を取得する合成位置取得手段と、
前記背景用画像における前記合成位置の空間座標を取得する空間座標取得手段と、
前記背景用画像を撮影した位置から見た光源の位置および照度の情報を保持する光源パラメータおよび前記合成位置の空間座標に基づいて、前記光源と前記合成位置の空間座標との距離を算出する算出手段と、
前記距離に応じて、前記光源パラメータを変更する光源パラメータ変更手段と、
前記変更された光源パラメータを用いて、前記前景用画像にライティング効果を施すライティング手段と、
前記ライティング手段によってライティング効果を施された前記前景用画像を、前記背景画像の前記合成位置に合成する合成手段と、
を有することを特徴とする映像処理装置。
【請求項２】
前記光源パラメータ変更手段は、前記距離があらかじめ定めた範囲以上になった場合に、前記保持手段が保持する光源パラメータを変更することを特徴とする請求項１に記載の映像処理装置。
【請求項３】
前記光源パラメータ変更手段は、前記距離が、前記あらかじめ定めた範囲でない場合に、前記保持手段が保持する光源パラメータを変更しないことを特徴とする請求項２に記載の映像処理装置。
【請求項４】
前記光源パラメータ変更手段は、前記距離があらかじめ定めた範囲内の光源パラメータの位置情報を変更することを特徴とする請求項１または２に記載の映像処理装置。
【請求項５】
前記光源パラメータ変更手段は、事前に複数の空間座標に応じた光源パラメータを生成しておき、事前に生成した光源パラメータの中から、前記合成位置の空間座標の近傍にある空間座標に応じた光源パラメータを取得することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の映像処理装置。
【請求項６】
前記光源パラメータ変更手段は、予め生成した光源パラメータの中から、前記合成位置の空間座標の近傍にある空間座標に応じた光源パラメータを複数取得し、各パラメータを線形補間することにより光源パラメータを生成することを特徴とする請求項５に記載の映像処理装置。
【請求項７】
前景用画像にライティング効果を施し、背景用画像に合成を行う映像処理装置の制御方法であって、
合成位置取得手段が、前記前景用画像の前記背景用画像上の合成位置を取得する合成位置取得工程と、
空間座標取得手段が、前記背景用画像における前記合成位置の空間座標を取得する空間座標取得工程と、
算出手段が、前記背景用画像を撮影した位置から見た光源の位置および照度の情報を保持する光源パラメータおよび前記合成位置の空間座標に基づいて、前記光源と前記合成位置の空間座標との距離を算出する算出工程と、
光源パラメータ変更手段が、前記距離に応じて、前記光源パラメータを変更する光源パラメータ変更工程と、
ライティング手段が、前記変更された光源パラメータを用いて、前記前景用画像にライティング効果を施すライティング工程と、
合成手段手段が、前記ライティング工程によってライティング効果を施された前記前景用画像を、前記背景画像の前記合成位置に合成する合成工程と、
を有することを特徴とする映像処理装置の制御方法。
【請求項８】
コンピュータに読み込ませ実行させることで、前記コンピュータを、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の映像処理装置として機能させるためのプログラム。
【請求項９】
請求項８に記載のプログラムを格納したことを特徴とするコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この課題を解決するため、例えば本発明の映像処理装置は以下の構成を備える。すなわち、
前景用画像にライティング効果を施し、背景用画像に合成を行う映像処理装置であって、
前記前景用画像の前記背景用画像上の合成位置を取得する合成位置取得手段と、
前記背景用画像における前記合成位置の空間座標を取得する空間座標取得手段と、
前記背景用画像を撮影した位置から見た光源の位置および照度の情報を保持する光源パラメータおよび前記合成位置の空間座標に基づいて、前記光源と前記合成位置の空間座標との距離を算出する算出手段と、
前記距離に応じて、前記光源パラメータを変更する光源パラメータ変更手段と、
前記変更された光源パラメータを用いて、前記前景用画像にライティング効果を施すライティング手段と、
前記ライティング手段によってライティング効果を施された前記前景用画像を、前記背景画像の前記合成位置に合成する合成手段とを有する。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月9日(2015.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
道路に設置された光ビーコンと光信号による無線通信を行う車載機であって、
高低２種類の伝送速度での電気光変換が可能な光送信部と、
所定の伝送速度での光電気変換が可能な光受信部と、
下りフレームに含まれるビーコン識別情報に基づいて、前記光ビーコンが高速アップリンク受信に対応する新光ビーコンか非対応の旧光ビーコンかを判定し、この判定結果に応じて、高速の伝送速度でアップリンク送信を行うか、低速の伝送速度でアップリンク送信を行う又は非送信に設定するかを切り替える通信制御部と、備える車載機。
【請求項２】
前記通信制御部は、高速アップリンク送信に対応する新車載機のための信号情報を含む下りフレームの送信を前記光ビーコンにダウンリンク送信させるための車載機識別情報を、上りフレームに含めることができる請求項１に記載の車載機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
（１）  本発明の車載機は、道路に設置された光ビーコンと光信号による無線通信を行う車載機であって、高低２種類の伝送速度での電気光変換が可能な光送信部と、所定の伝送速度での光電気変換が可能な光受信部と、下りフレームに含まれるビーコン識別情報に基づいて、前記光ビーコンが高速アップリンク受信に対応する新光ビーコンか非対応の旧光ビーコンかを判定し、この判定結果に応じて、高速の伝送速度でアップリンク送信を行うか、低速の伝送速度でアップリンク送信を行う又は非送信に設定するかを切り替える通信制御部と、備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の車載機によれば、通信相手が新光ビーコンの場合には、高速の伝送速度でアップリンク送信が行われ、通信相手が旧光ビーコンの場合には、低速の伝送速度でアップリンク送信が行われる又は非送信に設定されるので、新旧の光ビーコンと適切に通信することができる。
従って、新旧の光ビーコンと適切に通信できる、アップリンク方向でマルチレート対応の新車載機が得られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（２）  本発明の車載機において、前記通信制御部は、高速アップリンク送信に対応する新車載機のための信号情報を含む下りフレームの送信を前記光ビーコンにダウンリンク送信させるための車載機識別情報を、上りフレームに含めることができることが好ましい。
このようにすれば、新車載機のための信号情報を含む下りフレームが旧車載機に誤ってダウンリンク送信されるのを確実に防止することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月16日(2015.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る情報表示制御装置は、第１画面に表示されたテキストデータからユーザ操作に応じて指定された単語に関する情報を、単語と当該単語に関する情報とを複数組対応付けた辞書から検索して第２画面に表示させるジャンプ検索表示手段と、前記ジャンプ検索表示手段により前記指定の単語に関する情報を表示させた際、前記表示されたテキストデータに対し、前記検索されて表示された情報の種類を対応付けた検索予測情報を登録する予測情報登録手段と、この予測情報登録手段により登録された検索予測情報のテキストデータが第１画面に表示された状態で、当該テキストデータの中の単語がユーザ操作に応じて指定された場合、対応する指定の単語に関する情報のうちの前記予測情報登録手段にて当該テキストデータに対応づけて登録された種類の情報を検索して第２画面に表示させるジャンプ検索予測表示手段と、を備えたことを特徴としている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１画面に表示されたテキストデータからユーザ操作に応じて指定された単語に関する情報を、単語と当該単語に関する情報とを複数組対応付けた辞書から検索して第２画面に表示させるジャンプ検索表示手段と、
前記ジャンプ検索表示手段により前記指定の単語に関する情報を表示させた際、前記表示されたテキストデータに対し、前記検索されて表示された情報の種類を対応付けた検索予測情報を登録する予測情報登録手段と、
この予測情報登録手段により登録された検索予測情報のテキストデータが第１画面に表示された状態で、当該テキストデータの中の単語がユーザ操作に応じて指定された場合、対応する指定の単語に関する情報のうちの前記予測情報登録手段にて当該テキストデータに対応づけて登録された種類の情報を検索して第２画面に表示させるジャンプ検索予測表示手段と、
を備えたことを特徴とする情報表示制御装置。
【請求項２】
ユーザ操作に応じて、単語と当該単語に関する情報とを複数組対応付けた複数の辞書の中からユーザ操作に応じていずれかの辞書を選択する辞書選択手段を備え、
前記予測情報登録手段は、前記ジャンプ検索表示手段により前記指定の単語に関する情報を表示させた際、前記表示されたテキストデータに対し、前記辞書選択手段により選択された辞書と前記検索されて表示された情報の種類を対応付けた検索予測情報とを登録する、
ことを特徴とする請求項１に記載の情報表示制御装置。
【請求項３】
前記ジャンプ検索表示手段は、前記辞書から前記指定された単語に関し階層化された複数種類の情報をユーザ操作に応じて順番に検索して表示させ、
前記予測情報登録手段は、前記ジャンプ検索表示手段により前記指定の単語に関する情報を表示させた際、前記表示されたテキストデータに対し当該辞書から最終に検索されて表示された情報の種類を対応付けた検索予測情報を登録する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の情報表示制御装置。
【請求項４】
前記辞書の単語に関する情報は、単語の例文を含む複数種類の情報からなり、
前記予測情報登録手段は、前記ジャンプ検索表示手段により前記指定の単語の例文を表示させた際、前記表示されたテキストデータに対し種類の情報として例文を示す情報を対応付けた検索予測情報を登録し、
前記ジャンプ検索予測表示手段は、前記予測情報登録手段により登録された検索予測情報のテキストデータが前記第１画面に表示された状態で、当該第１画面に表示されたテキストデータの中の単語が指定された場合、対応する単語の例文を検索して第２画面に表示させる、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の情報表示制御装置。
【請求項５】
前記第１画面の表示内容と前記第２画面の表示内容とをユーザ操作に応じて切り替えて表示させる画面切り替え表示手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の情報表示制御装置。
【請求項６】
情報表示装置のコンピュータを制御するためのプログラムであって、
前記コンピュータを、
第１画面に表示されたテキストデータからユーザ操作に応じて指定された単語に関する情報を、単語と当該単語に関する情報とを複数組対応付けた辞書から検索して第２画面に表示させるジャンプ検索表示手段、
前記ジャンプ検索表示手段により前記指定の単語に関する情報を表示させた際、前記表示されたテキストデータに対し、前記検索されて表示された情報の種類を対応付けた検索予測情報を登録する予測情報登録手段、
この予測情報登録手段により登録された検索予測情報のテキストデータが第１画面に表示された状態で、当該テキストデータの中の単語がユーザ操作に応じて指定された場合、対応する指定の単語に関する情報のうちの前記予測情報登録手段にて当該テキストデータに対応づけて登録された種類の情報を検索して第２画面に表示させるジャンプ検索予測表示手段、
として機能させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月9日(2015.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像から１以上の対象物を認識する認識手段と、
前記認識手段で認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する決定手段と、
前記決定手段で決定された対象物に対して、メニューを表示する表示手段と、
を有する画像表示装置。
【請求項２】
ユーザ操作に応じて表示モードを設定するモード設定手段を更に有し、
前記決定手段は、メニューを表示する対象物を、前記モード設定手段で設定された前記表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記画像を撮像した位置情報を取得する位置情報取得手段を更に有し、
前記位置情報取得手段で取得された位置情報と、前記認識手段で認識された前記１以上の対象物と、に基づいて表示モードを設定するモード設定手段を更に有し、
前記決定手段は、メニューを表示する対象物を、前記モード設定手段で設定された前記表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記認識手段は、表示モードに応じて、表示されている画像中の認識する対象を変更する請求項１乃至３何れか１項に記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記表示手段は、表示モードに応じて、表示するメニューの内容を変更する請求項１乃至４何れか１項に記載の画像表示装置。
【請求項６】
前記表示手段は、ユーザにより前記メニューが操作された場合、サブメニューを表示する請求項１乃至５何れか１項に記載の画像表示装置。
【請求項７】
前記表示手段は、ユーザにより前記メニューが操作された場合、前記設定された表示モードに応じたサブメニューを表示する請求項６に記載の画像表示装置。
【請求項８】
前記決定手段は、メニューを表示する対象物を、前記１以上の対象物のそれぞれに対して表示モード毎に設定された重要度と前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する請求項１乃至７何れか１項に記載の画像表示装置。
【請求項９】
前記決定手段は、前記認識手段で認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記画像の中心に対する前記１以上の対象物の中心の位置とに基づいて決定する請求項１乃至８何れか１項に記載の画像表示装置。
【請求項１０】
画像表示装置が実行する画像表示方法であって、
画像から１以上の対象物を認識する認識ステップと、
前記認識ステップで認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する決定ステップと、
前記決定ステップで決定された対象物に対して、メニューを表示する表示ステップと、
を含む画像表示方法。
【請求項１１】
コンピュータに、
画像から１以上の対象物を認識する認識ステップと、
前記認識ステップで認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する決定ステップと、
前記決定ステップで決定された対象物に対して、メニューを表示する表示ステップと、
を実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
即ち、画像から１以上の対象物を認識する認識手段と、
前記認識手段で認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する決定手段と、
前記決定手段で決定された対象物に対して、メニューを表示する表示手段と、
を有する画像表示装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
即ち、画像表示装置が実行する画像表示方法であって、
画像から１以上の対象物を認識する認識ステップと、
前記認識ステップで認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する決定ステップと、
前記決定ステップで決定された対象物に対して、メニューを表示する表示ステップと、
を含む画像表示方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
即ち、コンピュータに、
画像から１以上の対象物を認識する認識ステップと、
前記認識ステップで認識された前記１以上の対象物のうち、メニューを表示する対象物を、設定された表示モードと前記１以上の対象物の前記画像内における位置とに基づいて決定する決定ステップと、
前記決定ステップで決定された対象物に対して、メニューを表示する表示ステップと、
を実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月18日(2015.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メモリと、
動画データを前記メモリに書き込む処理手段と、
前記メモリから前記動画データを読み出す読出し制御手段と、
前記読出し制御手段により読み出された動画データを圧縮する圧縮手段と、
前記読出し制御手段により読み出された動画データを取り込み、その画素数を変換する変換手段と、
前記変換手段から出力された動画データを外部に出力する外部出力手段と、
前記読出し制御手段の読出しタイミングを制御する読出し同期信号を生成して前記読出し制御手段に出力し、前記変換手段の前記外部出力手段への出力タイミングを制御する外部同期信号を生成して前記変換手段に出力する同期制御手段
とを備え、
前記読出し制御手段は、前記読出し同期信号に応じて前記メモリから読み出した前記動画データを前記変換手段と前記圧縮手段とに出力する
ことを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記同期制御手段は、前記変換手段からの、動画データの入力が可能であることを示す信号に従い、前記読出し同期信号を前記読出し制御手段に出力することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記同期制御手段は、前記変換手段が、動画データの入力が可能で無い場合に、前記メモリからの動画データの読み出しが行われないように、前記読出し制御手段への前記読出し同期信号の出力を停止することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記同期制御手段が、
基準同期信号を発生する基準同期信号発生手段と、
前記基準同期信号に従い前記外部同期信号を発生する外部同期信号発生手段と、
前記基準同期信号、及び、前記変換手段からの動画データの入力受け付けが可能であることを示す信号に従い、前記読出し同期信号を発生する読出し同期信号発生手段
とを備え
前記読出し同期信号と前記外部同期信号とがフレーム単位でタイミング同期するように、前記読出し同期信号と前記外部同期信号とを生成する
ことを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記同期制御手段が、
外部同期信号を発生する外部同期信号発生手段と、
前記外部同期信号、及び、前記変換手段からの動画データの入力受け付けが可能であることを示す信号に従い、前記読出し同期信号を発生する読出し同期信号発生手段
とを備え、
前記読出し同期信号と前記外部同期信号とがフレーム単位でタイミング同期するように、前記読出し同期信号と前記外部同期信号とを生成する
ことを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項６】
撮像手段を備え、
前記処理手段は、前記撮像手段から出力された動画データを処理し、前記メモリに書き込む
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る画像処理装置は、メモリと、動画データを前記メモリに書き込む処理手段と、前記メモリから前記動画データを読み出す読出し制御手段と、前記読出し制御手段により読み出された動画データを圧縮する圧縮手段と、前記読出し制御手段により読み出された動画データを取り込み、その画素数を変換する変換手段と、前記変換手段から出力された動画データを外部に出力する外部出力手段と、前記読出し制御手段の読出しタイミングを制御する読出し同期信号を生成して前記読出し制御手段に出力し、前記変換手段の前記外部出力手段への出力タイミングを制御する外部同期信号を生成して前記変換手段に出力する同期制御手段とを備え、前記読出し制御手段は、前記読出し同期信号に応じて前記メモリから読み出した前記動画データを前記変換手段と前記圧縮手段とに出力することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によれば、メモリから読み出された動画データを、出力用の画素数変換と圧縮とで共用でき、メモリ帯域を節約できる。
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月24日(2015.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コランダム型結晶構造を有する下地基板上に、コランダム型結晶構造を有する半導体層と、コランダム型結晶構造を有する絶縁膜とを、この順序で又はこの逆の順序で備え、
前記半導体層が、コランダム型の結晶構造を持つ材料として、酸化ガリウム又はその混晶を含むことを特徴とする半導体装置、又は結晶。
【請求項２】
半導体層に、α型ＩｎＸ１ＡｌＹ１ＧａＺ１Ｏ３（０≦Ｘ１≦２、０≦Ｙ１≦２、０．１≦Ｚ１≦２、Ｘ１＋Ｙ１＋Ｚ１＝１．５〜２．５）膜を有する請求項１記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項３】
前記下地基板上に、前記半導体層と前記絶縁膜とをこの順序で備える請求項１または２に記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項４】
前記下地基板上に、前記半導体層と前記絶縁膜とを、この逆の順序で備える請求項１または２に記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項５】
前記絶縁膜が、α型ＡｌＹ２ＧａＺ２Ｏ３（０≦Ｙ２≦２、０≦Ｚ２≦２、Ｙ２＋Ｚ２＝１．５〜２．５）膜である請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項６】
前記下地基板、前記半導体層及び前記絶縁膜は、それぞれの格子定数差が１５％以内である請求項１〜５のいずれかに記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項７】
前記下地基板、前記半導体層及び前記絶縁膜の少なくともいずれかの層が、異なる組成の結晶で構成されている請求項１〜６のいずれかに記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項８】
前記下地基板と前記半導体層との間に、コランダム型結晶構造を有する結晶性応力緩和層を有している請求項１〜７のいずれかに記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項９】
前記結晶性応力緩和層が、１層以上から形成され、かつ前記下地基板側から前記半導体層側に向かってＡｌ量を徐々に低減させたα型ＡｌＸ３ＧａＹ３Ｏ３（０≦Ｘ３≦２、０≦Ｙ３≦２、Ｘ３＋Ｙ３＝１．５〜２．５）膜を有する請求項８記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項１０】
前記半導体層と前記絶縁膜との間に、前記半導体層の結晶材料と前記絶縁膜の結晶材料で使用されている元素の少なくとも一部の元素を含む結晶を有するキャップ層または構造相転移防止層を有している請求項１〜９のいずれかに記載の半導体装置、又は結晶。
【請求項１１】
前記キャップ層または構造相転移防止層が、１層以上から形成され、かつ前記半導体層側から前記絶縁膜側に向かってＡｌ量を徐々に大きくしたα型ＡｌＸ４ＧａＹ４Ｏ３（０≦Ｘ４≦２、０≦Ｙ４≦２、Ｘ４＋Ｙ４＝１．５〜２．５）膜を有する請求項１０記載の半導体装置、又は結晶。
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月19日(2015.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の主面と第２の主面とを貫通する貫通孔が形成されたコア基板と、
前記貫通孔内に配置され、前記貫通孔の内面と対向する面の少なくとも一部が被覆樹脂により覆われた電子部品と、
前記電子部品の被覆樹脂に向って前記貫通孔の内面から突出するように形成された突起部と、
前記貫通孔の内面と前記電子部品との間に充填された絶縁材と、
前記コア基板の第１の主面及び前記電子部品を被覆する第１の絶縁層と、
前記コア基板の第２の主面及び前記電子部品を被覆する第２の絶縁層と
を有し、
前記被覆樹脂は、前記電子部品の挿入方向に沿って延び前記突起部と係合する係合溝を有すること、
を特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記貫通孔の内面のうち、少なくとも対向する一対の内面にそれぞれ前記突起部が形成され、
前記突起部は、前記貫通孔において対向する２つの内面にそれぞれ形成された前記突起部の先端間の距離が前記電子部品の大きさよりも小さく形成された、
ことを特徴とする、請求項１に記載の配線基板。
【請求項３】
前記被覆樹脂は前記絶縁材と同じ熱硬化性樹脂であることを特徴とする、請求項１または２に記載の配線基板。
【請求項４】
前記突起部は、前記コア基板において前記第１の主面から前記第２の主面に向って連続するように形成されたことを特徴とする請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の配線基板。
【請求項５】
前記突起部は、前記突起部の先端と対向する前記被覆樹脂との間の距離が、前記第１の主面から前記第２の主面に向って徐々に変化するように形成されたことを特徴とする請求項１〜４のうちの何れか一項に記載の配線基板。
【請求項６】
前記コア基板は、補強材を含むことを特徴とする請求項１〜５のうちの何れか一項に記載の配線基板。
【請求項７】
前記絶縁材は前記第１の絶縁層及び前記第２の絶縁層と同じ熱硬化性樹脂であることを特徴とする、請求項１〜６のうちの何れか一項に記載の配線基板。
【請求項８】
前記係合溝が形成される箇所の前記被覆樹脂は、他の箇所の前記被覆樹脂よりも厚く形成されてなること、を特徴とする請求項１〜７のうちの何れか一項に記載の配線基板。
【請求項９】
前記電子部品は前記被覆樹脂により覆われた接続端子を有し、
前記係合溝は、前記被覆樹脂と前記接続端子とに連続的に形成されたこと、を特徴とする請求項１〜８のうちの何れか一項に記載の配線基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の一観点によれば、第１の主面と第２の主面とを貫通する貫通孔が形成されたコア基板と、前記貫通孔内に配置され、前記貫通孔の内面と対向する面の少なくとも一部が被覆樹脂により覆われた電子部品と、前記電子部品の被覆樹脂に向って前記貫通孔の内面から突出するように形成された突起部と、前記貫通孔の内面と前記電子部品との間に充填された絶縁材と、前記コア基板の第１の主面及び前記電子部品を被覆する第１の絶縁層と、前記コア基板の第２の主面及び前記電子部品を被覆する第２の絶縁層とを有し、前記被覆樹脂は、前記電子部品の挿入方向に沿って延び前記突起部と係合する係合溝を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月29日(2015.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被エッチング層と、前記被エッチング層の下面に設けられた下層膜を有するワークの該被エッチング層に等方性エッチングを行う等方性エッチング工程と、前記等方性エッチング工程においてエッチングされた部分の面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記保護膜が形成された面のうち、底面に形成された保護膜をイオンの照射により選択的に除去する底面エッチング工程と、を有するプラズマエッチングにおいて、
前記被エッチング層をエッチングすることにより生成されるエッチング生成物がプラズマと反応することにより生じる光の強度を、前記底面エッチング工程において測定し、該底面エッチング工程において測定した光の強度の変化から、エッチングが前記下層膜まで到達したか否かを判定する
ことを特徴とするプラズマエッチングのエッチング終点検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［等方性エッチング工程］
本工程では、制御部２９は、第１ＭＦＣ２４により第１ガス供給源２２から流量1000sccmのSF6ガスを反応室１０内に導入すると共に、真空ポンプ２６により反応室１０内の圧力を10Paに調整する。なお、本工程では、第２ガス供給源２３から反応室１０へのC4F8ガスの導入は行わない。また、第１高周波電源１８から下部電極１２への高周波電力の投入も行わない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
［保護膜形成工程］
本工程では、制御部２９は、第１ＭＦＣ２４により第１ガス供給源２２から反応室１０へのSF6ガスを止め、第２ＭＦＣ２５により第２ガス供給源２３から流量400sccmのC4F8ガスを反応室１０内に導入する。それと共に、真空ポンプ２６により反応室１０内の圧力を4Paに調整する。なお、本工程においても、第１高周波電源１８から下部電極１２への高周波電力の投入は行わない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
［底面エッチング工程］
本工程では、制御部２９は、第２ＭＦＣ２５により第２ガス供給源２３から反応室１０へのC4F8ガスの供給を中止し、第１ＭＦＣ２４により第１ガス供給源２２から流量400sccmのSF6ガスを反応室１０内に導入する。それと共に、真空ポンプ２６により反応室１０内の圧力を4Paに保つ。また、第１高周波電源１８から周波数13.56MHzの高周波電力100Wを下部電極１２に投入する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
なお、本実施例のプラズマエッチングの終点検出方法において、底面エッチング工程でエッチングの終点検出を行う理由は以下の通りである。上記の通り、底面エッチング工程では、SF6ガスの流量及び反応室１０内の圧力は、等方性エッチング工程のものよりも低い。これは、イオン以外のラジカル等の他の浮遊粒子の量が多いと、イオンがこれらに衝突し、直線的にエッチング穴３３の底面に入射しなくなるためである。そうすると、保護膜３４のエッチングの異方性が低下し、それに伴って、最終的なエッチング穴３３のアスペクト比も低下する。そのため、底面エッチング工程では、元々、等方性エッチング工程のときよりもSF6ガスの供給量が少なく且つ圧力が低い（すなわち真空度が高い）状態で行われる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
比較例３及び４においても、図７及び図８に示すように発光強度の変化が見られたが、発光強度比は約1.1であり、本実施例の発光強度比よりも低かった。また、SiO2層へのエッチング到達時間は本実施例よりも比較例３では230秒、比較例４では240秒長くなった（図９）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
１０…反応室
１１…ワーク
１２…下部電極
１３…誘電体窓
１４…ガス導入口
１５…ガス排気口
１６…ブロッキングコンデンサ
１７…第１整合器
１８…第１高周波電源
１９…コイル
２０…第２整合器
２１…第２高周波電源
２２…第１ガス供給源
２３…第２ガス供給源
２４…第１ＭＦＣ
２５…第２ＭＦＣ
２６…真空ポンプ
２７…観察窓
２８…光検出部
２９…制御部
３０…Si基板（被エッチング層）
３１…SiO2層（下層膜）
３２…マスク
３３…エッチング穴
３４…保護膜
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2014072269.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月24日(2015.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内に配置された処理室内に配置された試料を処理室内に形成したプラズマを用いてエッチング処理するプラズマ処理装置であって、
前記処理室内からの複数の波長のものを含む発光を受光する受光器と、この受光器から出力された前記発光のデータからこれに含まれる前記複数の波長のものの間で同相的に発生する同相の成分を除去したものから前記発光の強度を検出した結果に基づいて前記エッチング処理の量を判定する判定器とを有したプラズマ処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマ処理装置であって、
前記受光器からの出力に含まれる複数の波長の発光のデータについて同じ時刻に同じ方向に変動する成分を前記同相の成分として除去する同相成分除去装置を備え、この同相成分除去装置からの出力を用いて前記発光の強度が検出されるプラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のプラズマ処理装置であって、
前記判定器は、前記同相の成分が除去された前記発光のデータから雑音の成分及び複数の波長の間の相関より時間について相関が大きなベースライン成分が除去されたものを用いて前記エッチング処理の量を判定するプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載のプラズマ処理装置であって、
前記同相の成分が除去された前記発光のデータをカルマンフィルタを用いて前記雑音の成分またはベースラインの成分を除去する処理をしたデータを用いて検出された前記発光の強度を用いて前記エッチング量が判定されるプラズマ処理装置。
【請求項５】
請求項３または４に記載のプラズマ処理装置であって、
前記雑音の成分が予め定められた前記雑音の成分と前記ベースライン成分との比率に応じて除去されるプラズマ処理装置。
【請求項６】
真空容器内に配置された処理室内に試料を配置し、当該処理室内にプラズマを形成して、これを用いて当該試料をエッチング処理するプラズマ処理方法であって、
前記処理室内からの複数の波長のものを含む発光を受光して得られた前記発光のデータからこれに含まれる前記複数の波長のものの間で同相的に発生する同相の成分を除去する工程と、当該同相の成分が除去された前記発光のデータから前記発光の強度を検出した結果に基づいて前記エッチング処理の量を判定する工程とを備えたプラズマ処理方法。
【請求項７】
請求項６に記載のプラズマ処理方法であって、
前記複数の波長の発光のデータについて同じ時刻に同じ方向に変動する成分を前記同相の成分として除去した結果を用いて前記発光の強度を検出するプラズマ処理方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載のプラズマ処理方法であって、
前記同相の成分が除去された前記発光のデータから雑音の成分及び複数の波長の間の相関より時間について相関が大きなベースライン成分を除去する工程とを備え、当該工程の結果得られた前記データを用いて前記エッチング処理の量を判定するプラズマ処理方法。
【請求項９】
請求項８に記載のプラズマ処理方法であって、
前記同相の成分が除去された前記発光のデータからカルマンフィルタを用いて前記雑音の成分またはベースラインの成分が除去されるプラズマ処理方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載のプラズマ処理方法であって、
前記雑音の成分が予め定められた前記雑音の成分と前記ベースライン成分との比率に応じて除去されるプラズマ処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月27日(2015.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
複数の筐体部材を接合してなる筐体内部の空間に、電子部品を実装した回路基板が収容された電子制御装置であって、
前記筐体部材のうち少なくとも一つに対し当該筐体部材の厚さ方向に貫通した筐体通気孔と、前記筐体通気孔の外側開口部を当該外側開口部との間に間隙を設けて被覆する防護壁と、前記防護壁に対し前記間隙から筐体通気孔径方向に貫通して筐体通気孔から距離を隔てた防護壁通気孔と、前記筐体通気孔における内側開口部に取り付けられた通気性および防水性の通気防水膜と、を具備し、
前記通気防水膜と防護壁通気孔との間の通気通路が折曲されていることを特徴とする電子制御装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月18日(2015.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極と、
前記一対の電極間にエッチング対象の基板を保持する基板保持部と、
前記一対の電極間に交流電圧を印加する電圧印加部と、
前記一対の電極間をエッチング液で満たす液供給部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記一対の電極は、前記基板保持部により保持された前記基板と平行に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記電圧印加部は、前記エッチング液中の分子の移動度に応じて決定した周期を有する交流電界を発生させる交流電圧を前記一対の電極間に印加することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記一対の電極のどちらもが前記基板の平面サイズより大きく平板状に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記基板には所定の形状にパターニングされたレジスト膜が形成されていて、前記基板は、前記液供給部内のエッチング液内に沈められてなることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記液供給部は、前記エッチング液を貯留する貯留部であり、
前記貯留部は、開閉可能な蓋体及び底体を有しており、
前記一対の電極のうちの一方は前記蓋体であり、その他方は前記底体であり、
前記基板保持部は、前記底体としての前記電極であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記基板保持部は、前記基板を支持するステージであり、
前記ステージは、前記一対の電極のうちの一方であり、
前記液供給部は、前記一対の電極間に前記エッチング液を供給することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
一対の電極間をエッチング液で満たす工程と、
前記一対の電極間にエッチング対象の基板を保持する工程と、
前記一対の電極間に前記基板が保持され、前記一対の電極間が前記エッチング液で満たされた状態で、前記一対の電極間に交流電圧を印加する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項９】
前記交流電圧を印加する工程の前に、前記一対の電極を前記基板と平行にする工程をさらに有することを特徴とする請求項８に記載の基板処理方法。
【請求項１０】
前記交流電圧を印加する工程では、前記エッチング液中の分子の移動度に応じて決定した周期を有する交流電界を発生させる交流電圧を前記一対の電極間に印加することを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の基板処理方法。
【請求項１１】
一対の電極間を水で満たす工程と、
前記一対の電極間にエッチング対象の基板を保持する工程と、
前記一対の電極間に前記基板が保持され、前記一対の電極間が前記水で満たされた状態で、前記一対の電極間に交流電圧を印加する工程と、
前記一対の電極間に前記交流電圧が印加された状態で、前記一対の電極間の前記水をエッチング液に置換する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。