(57)【要約】  脆性材料から構成されるワークに対しても、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行う。ワーク（Ｗ）を切断加工するダイシング装置（１０）において、ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体（８０）によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体（８０）は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０％以上であるダイシンググレード（２６）と、前記ダイシングブレード（２６）を回転させるスピンドル（回転機構）（２８）と、前記ダイシングブレード（２６）によって前記ワーク（Ｗ）に一定の切り込み深さを与えながら、前記ワーク（Ｗ）を前記ダイシングブレード（２６）に対して相対的に移動させる移動機構と、を備える。
2013187510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを切断加工するダイシング装置において、  ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードと、  前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、  前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、  を備えるダイシング装置。
【請求項２】
前記ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与える請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられている請求項１又は２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものである請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項７】
前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下である請求項６に記載のダイシング装置。
【請求項８】
前記回転機構には、前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、  前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定される請求項６又は７に記載のダイシング装置。
【請求項９】
前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されている請求項８に記載のダイシング装置。
【請求項１０】
ワークを切断加工するダイシング装置において、  ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードと、  前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、  前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えて、前記ダイシングブレードに微粒子を与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、  を備えるダイシング装置。
【請求項１１】
ワークを切断加工するダイシング方法において、  ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードを回転させながら、前記ワークに一定の切り込み深さを与える工程と、  前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さが与えられた状態で、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる工程と、  を含むダイシング方法。
【請求項１２】
前記ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与える請求項１２に記載のダイシング方法。
【請求項１３】
前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられている請求項１１又は１２に記載のダイシング方法。
【請求項１４】
前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものである請求項１１〜１３のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１５】
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下である請求項１１〜１４のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１６】
前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されている請求項１１〜１５のいずれか１項に記載のダイシング方法。  前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下である請求項１５に記載のダイシング方法。
【請求項１７】
前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、  前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定される請求項１５又は１６に記載のダイシング方法。
【請求項１８】
前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されている請求項１７に記載のダイシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れなどの切断加工を施すダイシング装置及びダイシング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】  半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置には、少なくともスピンドルによって高速に回転されるダイシングブレードと、ワークを載置するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸が設けられており、これらの各移動軸の動作によってワークに対して切断や溝入れなどの切断加工を施す。【０００３】  このようなダイシング装置で用いられるダイシングブレードとしては、これまでに各種提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。【０００４】  特許文献１には、ダイヤモンド砥粒をニッケルや銅等の軟質の金属との合金を結合材として、電気メッキ技術を用いた電鋳法で金属母材（アルミフランジ）の端面に固着させた電鋳ブレードが記載されている。【０００５】  特許文献２には、化学気相蒸着（ＣＶＤ）法によって硬度が互いに異なるダイヤモンド層を順次積層することにより、複数のダイヤモンド層からなる基材により構成されるダイヤモンドブレードが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１２９７４１号公報
【特許文献２】特開２０１０−２３４５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  ところで、近年、半導体パッケージの小型化、高集積化への要求が高まっており、半導体チップの薄片化が進んでいる。これに伴って、例えば厚さ１００μm以下の極薄のワークが要求されるようになってきている。このような極薄のワークは非常に割れやすいので、極薄のワークをダイシングする場合には、ダイシングブレードによって形成される切断溝の溝幅をできるだけ細くする必要がある。例えば、厚さ１００μm程度のワークを切断加工する際は、ダイシングブレードの刃厚として、ワークの厚みよりも薄くする必要があり、少なくとも１００μm以下の厚みとする必要がある。仮にワークの厚みよりも厚い刃厚のダイシングブレードで切断加工を行った場合、ワークが切断される以前に割れてしまうことがある。このため、例えば、厚さ５０μm程度のワークに深さ３０μm程度の溝入れ加工を行う場合には、当然のことながら、溝の幅も３０μm以下にしなくてはならないため、ダイシングブレードの刃厚を３０μm以下に抑える必要がある。【０００８】  しかしながら、従来のダイシングブレードには以下に示す技術的な問題があり、極薄のワークに対して安定して精度良く切断加工を行うことができない。【０００９】  また、脆性材料については、割れの原因となるクラックを回避することが難しい。銅やアルミニウム及び有機フィルムや樹脂などの延性を有する材料については、割れない一方、バリが出やすい性質を有し、バリの発生を回避することが難しい。【００１０】  (突き出し調整不可によるクラックの問題)  まず、特許文献１に記載される電鋳ブレードは、図２１に示すように、ダイヤモンド砥粒９２が結合材（メタルボンド）９４内に散在しており、表面には鋭利な先端部を有するダイヤモンド砥粒９２が突出した状態となっている。このとき、ダイヤモンド砥粒９２の突出位置や突出量はばらばらであり、原理的に砥粒突き出しを精度良く制御することは困難である。このため、１つの加工単位における切り込み深さを高精度に制御することはできない。特に厚さが１００μm以下の極薄のワークに対して切断加工が行われる場合、ある一定以上の切り込みでクラックが発生し、ダイヤモンド砥粒の先端部がワークに対して致命的な切り込みを与えてしまうことがある。その結果、クラック同士が結びつくことで、多かれ少なかれチッピングが発生してしまう問題がある。【００１１】  このような問題が生じる原因としては、電鋳ブレードの表面形態にある。すなわち、図２１に示したように、電鋳ブレードにおいてはダイヤモンド砥粒９２が結合材９４によって結合されているが、その表面形態は結合材９４の中にダイヤモンド砥粒９２が散りばめられた形で存在している。そのため、電鋳ブレードにおいては、全体的な平均高さ位置となる基準平面９８は結合材９４の表面近くに存在し、その基準平面９８からダイヤモンド砥粒９２が突出する状態となっている。そして、この状態でダイシング加工を進めていくと、ダイヤモンド砥粒９２ではなく、それを結びつける結合材９４の表面部分が目減りし、ダイヤモンド砥粒９２の突出量がさらに大きくなる。このようなことから、上述のように、ダイヤモンド砥粒９２の突出位置や突出量を精度良く制御することは困難である。すなわち、切���込みが大きく変化する場合、材料の臨界切り込み深さ(Ｄｃ値)以上の切込みが入るとクラックが発生し、本発明の目的とする延性加工は不可能となる。【００１２】  特に電鋳ブレードの場合は、自生発刃なる用語があるように、切断途中で摩耗したダイヤモンド砥粒９２はそのまま脱落し、次にその下にある新しいダイヤモンド砥粒９２が作用する形態となる。しかし、こうしたダイヤモンド砥粒９２の脱落を容認すると、脱落したダイヤモンド砥粒９２がブレードとワークの間に入り込み、結果的にクラックを助長することになる。ダイヤモンドが脱落することを前提にしたブレードによる加工においては、原理的にクラックの発生を防ぐことは不可能である。【００１３】  (鋭利化が困難な問題)  また、電鋳ブレードの場合、機械加工によってブレード先端部を薄く鋭利に加工しようとしても、ダイヤモンド砥粒がまばらに存在するため、一様に薄く加工したり、テーパをつけるように加工しようとしても、その加工に伴って表面からダイヤモンド砥粒が脱落してしまうので、ブレード先端部を鋭利化することには限界がある。【００１４】  すなわち、薄いブレードを製作するためには、電着のメッキをする際に、一様に薄くメッキしたものを製作し、それを基材から取り外してブレードにするが、ブレードにしたものを後から加工によって成形し、薄くすることは困難である。【００１５】  (熱伝導性の悪さからくる熱蓄積の問題)  また、電鋳ブレードは、熱伝導性が悪く、切断加工時に溝側面との摩擦抵抗による発熱によってブレード内に熱が蓄積されやすく、ブレードの反りを招く恐れもある。【００１６】  電鋳ブレードがニッケルを結合材として製作された場合、表１に示すように、ニッケルの熱伝導率はせいぜい92W/m・K程度である。また、銅を結合材とした場合でも398W/m・K程度の熱伝導率しかない。このようにブレードの熱伝導性が悪いと、熱が蓄積されやすくブレードが反ることや、加工中の発熱でダイヤモンドがグラファイト化することもあるため、純水をかけながら冷却して加工を行う場合が多い。なお、ダイヤモンドの熱伝導率は2100W/m・Kであり、ニッケルや銅とは桁違いの熱伝導率を有する。【００１７】
【表１】
2013187510.tif 000003
【００１８】  (恣意的な等間隔の切れ刃が形成できない問題)  一方、特許文献２に記載されるダイヤモンドブレードには、以下に示すような問題がある。【００１９】  まず、上記のダイヤモンドブレードはＣＶＤ法で形成されているため、非常に緻密な膜で形成されたブレードとなるが、その結果、ダイヤモンドブレードの表面はほとんど平面状になり、恣意的に切り込みを与えるための凹み形状や切り屑除去のためのポケットを形成することができない。また、結果的に微小な凹凸が形成されたとしても、成膜前に恣意的に粒界の大きさを設定できない。したがって、凹凸のピッチなどを恣意的に設計できるものではない。【００２０】  (積層の場合のバイメタル効果の問題)  また、異なる組成のダイヤモンド層を積層して形成する場合、その組成によって熱膨張が変化しやすくなる。このため、ダイシング加工中に発熱してくると各ダイヤモンド層間で熱応力が発生し、ブレードの真円度や平面度を維持できなくなる可能性がある。このとき、場合によっては反りが発生することもある。特にブレードが薄くなると、その影響はより顕著となる。【００２１】  （CVD成膜によるブレード製作における振れ精度の問題）  また、ＣＶＤ法でダイヤモンドブレードを製作する場合、成膜分布によってブレードの刃厚分布が決定される。特に成膜分布にうねりがある場合に、そのうねりを除去することはできない。すなわち、機械加工でうねりを除去しようとしても、クラックが入るなどしてしまい、薄いブレードを成形することは困難である。したがって、高精度な振れのないスピンドルフランジに基準面同士を合わせて取り付け、振れ精度を向上させることは原理的に難しい。【００２２】  (異種材料を接合することによる平面度確保)  また、ブレードによる切断溝の溝幅を細くするためにはブレードの外周部（先端部）はできるだけ細い方が好ましいが、フランジに当接させる部分は高精度な基準となる平面を維持するため反りが発生しない程度の厚みを必要とする。しかし、ブレードを一体物として製作する上で、こうした厚みの異なる部分を有するブレードとする場合、成膜による方法では、一体物で製作することはできず実質不可能である。なお、そのために異種の材料を接合するのでは、熱応力の関係から変形し、真円度、平面度を乱してしまうため、後述する本発明のような延性モードの加工を実現することが難しい場合がある。ここで、研削や切削加工を行う際に、螺旋形や流線形の切り屑が出るような状態でワークの加工を行う場合を延性モードの加工という。【００２３】  また、ブレード外周に高硬度のダイヤモンドチップを埋め込む構成は、ダイヤモンド部分と基材の部分で熱膨張や熱伝導率が異なるため、バイメタル効果でブレード全体の平面度を確保しにくい他、チップを円周状に配列すると、温度分布が軸対称のきれいな温度分布にならないため、やはり熱応力によって平面度が悪化することになってしまう。【００２４】  また、クラックフリーの延性モードダイシングにするためには、0.1mm以下の薄いブレードで極局所的な領域に溝入れないしは切断幅を限定する必要があるが、ダイヤモンドチップと母材を張り合わせた構成ではこのような薄いブレードを形成することはできない。ダイヤモンドチップ部とその他の母材部分の連続的な平面度を確保することが難しい。【００２５】  さらには、ダイヤモンドチップ部分は極めて硬度が高いが、母材の金属の部分の弾性効果で、ダイヤモンドチップが受ける衝撃を母材部分が吸収してしまうことがある。延性モードで加工を行う場合は、極微小な切込みを継続的に入れる必要があるが、こうした衝撃を母材が吸収してしまうと、極微量な切込みの下で延性モードの加工を行うことはできない。【００２６】  以上から、熱伝導の点、形状的な平面度や平面の連続性の点、加工による衝撃を吸収せず局所的に効果的なせん断力を与える点などに照らすと、ダイヤモンドチップを埋め込むブレードは、問題となる。【００２７】  (成膜方法では、膜堆積方向により応力分布が異なりブレード反りが発生)  また、上記のダイヤモンドブレードでは、ＣＶＤ法によって成膜されたダイヤモンド層からなる膜内に圧縮応力が形成されるので、膜が堆積するにしたがって、応力の入り方が異なる。このため、最終的に膜を剥してブレードにする際に、左右の両面において圧縮応力の入り方に違いがあり、結果的にブレードが大きく反ることになる。こうしたブレードの反りを修正するにしても、修正する手段はなく、膜の応力によって歩留りが悪くなることが懸念される。【００２８】  また、ブレードにおいては、外周部に切れ刃を設ける必要がある。その切れ刃には、何らかの恣意的な連続した凹凸が必要となる。鋭利なナイフのように外周部に全く凹凸がない一様な鋭利な刃物を形成したとしても、脆性材料や場合によっては延性材料など、材料に微小に切り込みを入れつつ、切り屑を除去しながら加工を進めるという本発明の課題を解決する上においては、外周部の微小凹凸無しに実質的な切断加工を行うことは不可能である。【００２９】  (スクライビングの問題)  また、他の問題として、ブレード自体の問題ではないが、たとえ、ブレードを精度よく製作し、先端部が鋭利でかつ、切断加工時の熱においても平面状態が変化することのない理想的なブレードを製作できたとしても、そのブレードの使用方法も重要となる。特に、ブレード自体をワークに対して鉛直方向に押圧してクラックを与えて切り進めるスクライビングなどの場合は、明らかに脆性破壊を利用した加工となるため、後述する本発明のような延性モードの加工を行うことはできない。【００３０】  スクライビングでは、ワークとブレードは滑らないように相対速度は０にする。ブレード構成として、スクライビングの場合、材料に垂直応力を与えるためブレードはフリーで回転することが必要となり、ブレード内の軸受ないしは軸部分を鉛直下方に押圧する形式となる。【００３１】  ブレードをワークに沿ってスライドさせるためのブレード保持部分と、ワークと接して回転するブレード部分は、完全固定していてはならない。ブレードに対してまったく遊びが存在せず、モータに直結していることはない。【００３２】  こうしたことから、従来のスクライビングのブレード構成では、軸と軸受け部分の間の摺動部分が重要となる。【００３３】  ちなみに、本発明はスクライビングではないため、モータとブレードは直結した構造となっており、軸と軸受けという関係は存在せず、嵌め合いで精度よく同軸構���で組み込んでいる。【００３４】  そのためには、ブレード端面とモータ直結のフランジ端面との面合わせが重要になる。すなわち、ダイシングのブレードにはフランジ端面と合わせるための基準平面が必要となる。【００３５】  (ワークに対して一定切込み深さを維持してカッティングすること)  また、切断するに従って除去体積が大きく変化して、１つの切れ刃が除去する体積自体が変化し、その結果、1つの切れ刃が除去する上での所定の臨界切り込み深さを制御できず、結果的に、切断加工中に切断抵抗が大きく変化して、そのアンバランスさからワーク材料内にクラックを及ぼす場合もある。こうした場合も、脆性破壊を誘発する原因となり、延性モードの加工を実現することはできない。すなわち、ワークに対して微視的に一つの切れ刃が一定の切込み深さを維持するために、ワークに対しても一定の切込みを与えて加工中は定常状態を確保する必要がある。【００３６】  また、ワークが平板状試料ではない場合は、ワークを固定することがうまくできない場合がある。例えば、円柱状のワークをそのまま切断する場合、ワークが動いてしまい、切込みが一定でないばかりか、ワークが切断により振動することもある。【００３７】  次に一方で、最近はＣｕ/Low-k材料（銅材と低誘電率の材料が混在した材料）のように延性材料と脆性材料が混在した材料もある。Low-k材料のように脆性材料においては、脆性破壊を起こさないように材料の変形域内でワークを加工しなければならない。その一方で、Ｃｕは、延性材料であるために割れることはない。しかし、こうした材料は、割れない一方で非常に延びる傾向にある。こうした延性の高い材料は、ブレードにまとわりつくと共に、ブレードが抜ける部分で大きなバリを発生させる。また、円形ブレードでは上部にひげのようなバリを形成する場合も多い。【００３８】  また、延性の高い材料では、カットしても材料がブレードに引きずられる場合、ブレードにまとわりつく問題がある。ブレードにまとわりつくと、ブレードの目詰まりを早くしてしまい、ブレードの切れ刃部分がワーク材料で覆われてしまい、研削能力が著しく低下する問題が生じる。【００３９】  本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、脆性材料から構成されるワークに対しても、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができるダイシング装置及びダイシング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００４０】  前記目的を達成するために、本発明の一態様に係るダイシング装置は、ワークを切断加工するダイシング装置において、ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％（以下、単に「％」とも表示する。）以上であるダイシングブレードと、前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、を備える。【００４１】  本発明の一態様において、ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与えることが好ましい。【００４２】  なお、ダウンカット方向とは、ワークをダイシングブレードに対して相対的に移動させる際に、ダイシングブレードの切れ刃がワーク表面に切り入るような回転方向をいう。【００４３】  また、本発明の一態様において、前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部からなる切れ刃（微小切刃）が周方向に沿って連続して設けられていることが好ましい。【００４４】  ダイヤモンド焼結体で構成されているために、従来のダイヤモンドより軟らかい結合材で電着されたダイヤモンド電着による材料とは全く異なる。【００４５】  従来の電着ダイヤモンドの場合、ダイヤモンドに比べて結合材が後退するためにダイヤモンドが突出し、結果的に平均的な水準線に対してダイヤモンド砥粒の突き出しが大きくなっていた。その結果、突き出し量が大きい砥粒部分で過大な切込み深さとなり、材料固有の臨界切込み深さを越えてクラックを及ぼしてしまう。【００４６】  それに対して本発明の場合は、ダイシングブレードはほとんどダイヤモンドで構成されており、ダイヤモンドで囲まれた凹みの部分が切れ刃となる。そのため、周りが後退して突出した砥粒が形成されることはない。その結果、過大な切込み深さとなることはなく、凹部が切れ刃として作用する。平面の基準面がダイヤモンド面であって、そのところどころに凹み部分が存在するので、基本的には凹み部分が切れ刃として加工を行うことになる。【００４７】  このように、ダイヤモンド砥粒が全体の中で支配的に存在し、その間に拡散して残された焼結助剤が存在することで、形成される切れ刃は、ダイヤモンド砥粒の中に形成された凹みの切れ刃になる。また、この際のダイヤモンド砥粒の含有率については、後に述べるが８０％以上のダイヤモンド砥粒の含有量を有して初めて、その空き部分が切れ刃として作用する。含有率が減少すると、ダイヤモンド砥粒で形成される外縁に凹みの部分が形成されるという形式ではなく、凹凸部分がほとんど同じになるか、凸部が支配的になり、相対的に突出する部分が生まれ、ワークに致命的なクラックを及ぼさない一定以下の安定した切込み深さを与える切れ刃とならない。【００４８】  また、本発明に係るブレードは焼結ダイヤモンドで構成されていることが大きい特徴となる。焼結ダイヤモンドは、あらかじめ粒径が揃えられたダイヤモンドを敷き詰め、微量の焼結助剤を添加して、高温高圧化で製作される。焼結助剤は、ダイヤモンド砥粒内に拡散して、結果的にダイヤモンド同士を強固に結びつけることになる。【００４９】  電着ブレードや電鋳ブレードでは、ダイヤモンド同士が結びつくのではない。ダイヤモンドがちりばめられたものを周りの金属で固めることでダイヤモンド砥粒を固める方式である。【００５０】  焼結の場合は、焼結助剤がダイヤモンド内に拡散することでダイヤモンド粒子同士が強固に結びつく。ダイヤモンド粒子同士を結合することによってダイヤモンドの特性を生かすことができる。ダイヤモンドの剛性、硬度、熱伝導などにおいて、ダイヤモンド含有量が多ければ、ほぼダイヤモンドに近い物理物性を生かすことが可能になる。これはダイヤモンド同士を結合させることによる。【００５１】  電鋳ブレードなどの他の製法と比較して、高温高圧化で焼成されて製作されることで、ダイヤモンド同士が結びつく。こうした焼結ダイヤモンドは、例えばＧＥ社のコンパックスダイヤモンド(商標)などがこれに相当する。コンパックスダイヤモンドは、単結晶で構成される微粒子同士を焼結助剤で結合させている。【００５２】  ダイヤモンドの含有量でいえば、天然ダイヤモンドや人工ダイヤモンドなども当然ながらダイヤモンド含有量は多く、強固なダイヤモンドとして存在する。こうした単結晶ダイヤモンドは、脱落する際にはへきかい面に沿って割れを起こしやすい。例えば、すべてのブレードを単結晶ダイヤモンドにした場合、円盤状に成形したとしても、ある方向にへきかい面があるとへきかい面から二つに割れてしまうこともある。加工の進行によってダイヤモンドが摩耗する場合にも、へきかい面に沿った面方位に依存して摩耗が起こるという問題もある。【００５３】  単結晶ダイヤモンドの場合、ダイヤモンドが摩耗する過程で、どのような単位で摩耗させていくのか、材料内での摩耗過程を厳密に制御することはできない。【００５４】  一方、同様にＤＬＣ(ダイヤモンドライクカーボン)のようにＣＶＤで気相成長して製作された部材も多結晶体とされるが、結晶粒界の大きさを精度よく制御することができない。そのため、粒界から摩耗する際にも、どの程度均一に摩耗させるか設定することはできず、加工によって摩耗し脱落する結晶単位や粒界の単位を厳密に制御することはできない。よって、時として大きく欠損したり、一部の欠陥に過剰な応力が入って大きく割れたりといったことが起こりうる。【００５５】  それに対して、ダイヤモンド微粒子同士を高温高圧化で焼成したＰＣＤ（Polycrystalline Diamond）においては、ＤＬＣなどと同様に多結晶ダイヤモンドとされるが、その結晶構成は全く異なる。微粒子同士を焼成したＰＣＤは、ダイヤモンド微粒子自体は単結晶体であり、非常に硬度の高い完全な結晶体である。ＰＣＤは、その単結晶体同士を結合させるために、焼結助剤を混ぜて単結晶同士を結びつけている。その際、結合部分は完全に方位は揃わないため、全体としては単結晶ではなく多結晶体として結合する形になる。そのため、摩耗過程でも結晶方位依存性は存在せず、どの方向であっても一定の大きい強度を有する。【００５６】  以上から、ＰＣＤの場合は、すべての構成は、完全な単結晶ではないため多結晶ではあるが、大きさが揃った微小な単結晶が密に��合した状態での多結晶体である。【００５７】  こうした構成により加工における摩耗過程において、外周の切れ刃の状態及び外周切れ刃のピッチ単位の制御の点で、精度よく初期の状態を維持することができる。ダイシングによって摩耗していく過程で、単結晶そのものが割れることよりも、単結晶と単結晶とをつなぐ部分が硬度や強度的にも相対的に弱いので、その粒界部分から結合がきれて脱落していく。【００５８】  ＰＣＤにおいては、切れ刃を形成する上で、単結晶の間にある結晶粒界に沿って摩耗していくので、自然に等間隔な切れ刃が設定されることになる。こうしてできた凹凸はすべて切れ刃になる。また、等間隔に存在する自然な凹凸の切れ刃の間にも、粒子の粒界による凹凸の切れ刃も存在し、これらすべてがダイヤモンドで構成されるため切れ刃として存在する。【００５９】  このように本発明に係るブレードがＰＣＤによる構成であることと、円盤形状であることとも相まって、特に効果を発揮する。円盤状の外周に切れ刃が存在し、それが加工点に順次作用する形で加工点に到達する。切れ刃は、加工中に絶えず加工点にあるわけではなく、回転しながら極部分円弧だけで加工に寄与するため、加工と冷却が繰り返されるため先端部が過剰に過熱されることは無い。その結果、ダイヤモンドが熱化学的に反応することなくなり安定して加工に寄与することになる。【００６０】  次に、等間隔な切れ刃の形成は、後に述べる本発明の課題である延性モードダイシングには不可欠な要素なる。すなわち、延性モードダイシングでは、後にも述べるように一つの切れ刃が材料に与える切込み深さが重要となり、また一つの切れ刃がワークに与える切込み深さは、「ブレード外周部の切れ刃間隔」が、必要要素にかかわってくる。この点の一つの刃がワークに与える臨界切込み深さと切れ刃間隔の関係は後に記すが、一つの刃の臨界切込み深さを規定するためには、安定した切れ刃間隔の設定が必須となる。この切れ刃間隔を制度よく設定する上で、粒径が揃った単結晶砥粒同士を焼結させて結合したＰＣＤが好適となるのである。【００６１】  なお、補足的として、本発明の「等間隔な切れ刃の形成」において、本発明におけるＰＣＤ素材におけるダイヤモンド砥粒配置と、一般的な他の事例におけるダイヤモンド砥粒の配置を行った従来ブレードとの違いを述べる。【００６２】  電鋳ブレードにおいては、砥粒の含有率は少ない。特開2010-005778号公報などにおいても、砥粒層の中に占めるダイヤモンド砥粒の含有率は１０％程度である。よって、砥粒含有率が７０％を超えるような設定はまずない。そのため、各砥粒は疎らに存在する。ある程度均一に配置するが、一つの砥粒の十分な突き出しを確保するためには砥粒間隔も大きい。【００６３】  特許3308246号では、希土類磁石切断用のダイシングブレードが記載され、ダイヤモンド及び／又はＣＢＮの複合焼結体によって形成されるとしている。ダイヤモンドまたはＣＢＮの含有量は、１〜７０vol％としており、より好ましくは５〜５０％としている。ダイヤモンド含有量が７０％を超えると、反り・曲がりの点で問題ないが、衝撃に対して弱くなり破損しやすいとしている。【００６４】  特許4714453号においても、セラミックス、金属、ガラスなどの複合材料に対して切断、溝入れ加工する工具を開示している。ダイヤモンドを焼成して作製する工具において、砥粒は焼成対中に３．５〜６０vol％含有すると記載されている。ここでの技術課題はボンド材が高弾性率、高硬度であっても砥粒の保持力が高いことであり、記載の構成とすれば常に十分な砥粒の突き出しが維持できるとしている。「砥粒の突き出し」を十分に保つことで自生発刃を効果的に維持して高速度加工を可能とすることが記載されている。【００６５】  このように従来事例を考慮すると、電鋳ブレードにおいても、ダイヤモンド焼結体のブレードにおいても、砥粒の隙間を敷き詰めるということはしていない。また、敷き詰められた砥粒の隙間を切れ刃にするという考え方も存在しない。本発明において、延性モードで加工するためには、後に数式でも述べるが、一つの切れ刃が与える臨界切込み深さが重要となり、その切込み深さを一定以下に保つためには、切れ刃の間隔が重要になる。また、切れ刃も大きく孤立して突き出す砥粒を作るのではなく、ダイヤモンドを敷き詰めて、敷き詰めた凹みの部分を利用して等間隔の切れ刃を形成する。【００６６】  図２２Ａ及び２２Ｂにダイヤモンド砥粒含有率に応じた砥粒間隔の様子を模式的に示す。一定した砥粒間隔で過剰な切込みを与えない切れ刃を形成するためには、ダイヤモンドを密接に敷き詰めた上、一部の砥粒が連続的に除去されて荒らされていくことが必要となる。そのためには、敷き詰めるために少なくとも７０％以上のダイヤモンド砥粒含有率は最低でも必要となる。その上で一部のダイヤモンドを除去していかなければならない。８０％以上のダイヤモンド砥粒の含有量で焼結すれば、図２２Ａのように少なくとも空間的に隙間なくダイヤモンドが敷き詰められた状態を形成でき、そこから、砥粒自体を除去しながら荒らすことで、自然に等間隔の切れ刃を有するブレードを形成できるようになる。また、そうしてできた凹凸はすべて切れ刃として作用する。【００６７】  以上から、等間隔の切れ刃を形成するためには、高密度に砥粒を敷き詰めた上で高温高圧化で焼成された材料で構成する必要がある。【００６８】  なお、図２２Ｂのようにダイヤモンド砥粒の含有率が７０％以下の場合、等間隔の切れ刃を恣意的に形成することは難しくなる。これは、含有率が７０％以下では、ダイヤモンド砥粒がリッチな部分とそうでない部分がどうしても生まれてしまい、ダイヤモンド砥粒がまばらな部分には、その中に孤立した砥粒の存在によって、切れ刃の間隔が大きくなってしまう可能性があるからである。切れ刃の間隔が大きい場合、または、まばらな部分があって、例えばダイヤモンド砥粒が一つだけ大きく突き出している場合は、厳密な突き出し量を設定できず、ワークに対して致命的なクラックを及ぼす切込み深さを与えることになる。【００６９】  先に示された特許4714453号では、十分な砥粒の突き出しの下で、高速度加工を行う課題を解決するため、ダイヤモンド砥粒の含有率が７０％以下とすることが好ましい。しかし、本発明では、延性モードでクラックフリーのダイシングを行うことが課題である。そのため、砥粒の間の凹みの部分を切れ刃として作用させるとともに、切れ刃の間隔を一定間隔に保つために、ダイ���モンド含有率は最低でも７０％以上ある方がよく、理想的には８０％以上あることが望ましい。【００７０】  また、この場合のブレードは単にカッターのように鋭い刃で切断するものではない。すなわち先端を鋭利な刃で製作し、挟みの様な原理でカットするものではない。削りながらワークを除去して溝を入れていく必要がある。継続的に切り屑を排出しながら次の刃を材料内に切込み、それを連続的に行う必要がある。よって、単に先端は鋭利であればよいのではなく、微小な切れ刃が必要となる。【００７１】  こうした密にダイヤモンドが詰まった構成の場合、切れ刃部分は粒界部分のみならず、外周部分の自然な粗さによっても一定の切れ刃間隔が形成される。こうした切れ刃間隔は後に具体的な間隔を持つ事例を示すが、ダイヤモンド粒径と切れ刃間隔とは、全く異なるサイズになることもある。【００７２】  こうしたダイヤモンド粒径と異なる切れ刃間隔を持つ場合では、通常の電鋳式のブレードとは切れ刃の考え方が異なってくる。すなわち、従来ブレードではダイヤモンドは結合材に埋め込まれて存在しているため、個々のダイヤモンド同士は独立して存在することになり、従って、切れ刃の大きさは、ダイヤモンド粒径と同一になる。すなわち、一つのダイヤモンドが一つの切れ刃を形成する。こうした構成では自生発刃の単位は、一つ一つのダイヤモンドであり、すなわち一つ一つの切れ刃に相当する。切れ刃の単位と自生発刃の単位は変わらない。例えば、ある程度ワークへの引っ掛かりを必要とする場合、切込みが必要となるため切れ刃も大きくする必要があるが、その分自生発刃は砥粒そのものが脱落するため自生発刃する単位も大きくなってしまい、その分寿命が極めて短くなる。【００７３】  以上から、従来の電鋳ブレードなどにおいては砥粒の大きさと切れ刃の大きさが同じになることが切れ刃の状態を保つための制約になってしまう。【００７４】  それに対して、本発明の焼結ダイヤモンドを利用したブレードの場合、小さいダイヤモンド同士が結合している。ダイヤモンド同士を結合して構成される焼結ダイヤモンドのブレードの外周部にはダイヤモンド粒子よりも大きい切れ刃が形成される。切れ刃の単位と比較して、焼結体を構成する一つ一つの砥粒であるダイヤモンドの粒径は1μ程度と非常に小さい。【００７５】  本発明に係るブレードを使用する場合、加工に伴って一つ一つのダイヤモンドが脱落するが、切れ刃全体が脱落することはない。また、脱落する際も電鋳ブレードのように一つの切れ刃を構成する砥粒が抜け落ちるのではなく、ダイヤモンド同士が結合している部分の中で、一部のダイヤモンドが欠落して落ちることになる。【００７６】  その結果、自生発刃する過程において、本発明の場合、切れ刃の大きさよりも小さい領域でダイヤモンドが摩滅によって剥がれ落ち、切れ刃自体の大きさは大きく変化することはない。一つの切れ刃内で、極微小に部分的に剥がれ落ちながらダイシングが進行する形となる。その結果、切れ刃の大きさ自体が変化することはなく、その一方で、切れ刃全体が摩滅で切れ味が悪くなっていくこともない。小さく部分的に自生しながら、一つの切れ刃あたりの最大切込み深さは一定以内に保たれる。結果として、延性モード加工��持続させることができ、安定した切れ味を両立することが可能となるのである。【００７７】  また、別の捉え方をするならば、従来の結合材、例えばニッケルなどで電着して砥粒を固めたドレッサーの場合、一つの砥粒が脱落すると、その脱落した部分は穴になるため、切れ刃はなくなり、その部分に相当する加工性はなくなってしまう。そのため、加工性を維持するためには、次の切れ刃を突き出しやすくするために、結合材を速く摩耗させて次の砥粒が突き出すように設計しないといけない。【００７８】  それに対して、本発明の構成では、ダイヤモンドが欠落した部分は、小さい凹みとなり、その凹み部分も別のダイヤモンド砥粒に囲まれた領域として大きい切れ刃内に存在する微小切れ刃として存在し、ワークに食い込むきっかけとなる微小粗さを構成する。すなわち、ダイヤモンド欠落部分がそのまま次の切れ刃になるという点で全く従来構成とは自生発刃の考え方が異なるのである。【００７９】  このような切れ刃の考え方、間隔及び一つの切れ刃が切り込む臨界切込み深さは、ダイシングにおける設定条件として、切れ刃を外周に要するブレードで一定のブレードの切込みを設定して、その切込みの設定に見合ったワークに対する送り速度で送る必要がある。よって、表面形状にそって一定切込みで一定送りでブレードを動作させる装置が前提となる。ワークが平面の場合、加工対象であるワーク表面に平行に一定切込みを設定してブレードを相対的に送る必要がある。【００８０】  次に、円盤状のブレードを回転させることによって、それぞれの外周端部の切れ刃が加工点でワークの除去加工を行った後、そのまま空を切る形になって、ブレードが自然に冷却される。特に、ワークに接触する部分はごく一部であるから、ほとんどが空を切る形になって冷却されることになる。【００８１】  切削などの場合、切れ刃が絶えずワークと接触し続けて、切れ刃部分が摩擦によって熱を持ち、ダイヤモンドであっても熱化学的に摩滅していくことがあるが、ワーク表面に対して円盤状ブレードを立ててワークに切り込むことにより、熱的な影響によるダイヤモンドの摩滅を大きく回避することができる。【００８２】  また、本発明の一態様において、前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものであることが好ましい。【００８３】  軟質金属を焼結助剤にすることで、ブレードが導電性になる。ブレードが導電性ではない場合、ブレード外周端部の外径を正確に見積もることは難しく、さらにスピンドルに取り付けることによる取り付け誤差などを考慮すると、ワークに対するブレード先端位置を正確に見積もることは難しい。【００８４】  そこで、ブレードは導電性のブレードを使用すると共に、導電性のブレードと基準となる平面状基板をチャックするチャック板とに導通を取っておき、導電性ブレードがチャック板に接触した時点で導通することでブレードとチャック板の相対高さを見つけることができる。【００８５】  また、本発明の一態様において、前記凹部は、前記ダイヤモンド焼結体を摩耗ないしはドレッシング処理することによって形成された凹部によって構成されることが好ましい。【００８６】  また、本発明の一態様において、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下であることが好ましい。【００８７】  ここで、先に示した特許3308246号では、希土類磁石切断用ダイヤモンドブレードが記載されているが、ダイヤモンド含有率は１〜７０vol％で、ダイヤモンドの平均粒径は１〜１００μmであることが望ましいとしている。また、実施例１においては、ダイヤモンドの平均粒径は１５０μmとしている。これは、曲がり反りが少なくて芯金の耐摩耗性を向上させることを目的としている。【００８８】  また、同じく特許3892204号のブレードでは、ダイヤモンドの粒子径は、平均粒径が10〜100μmで有効であるが、より望ましくは40〜100μmの平均粒径としている。【００８９】  特開2003-326466では、セラミックスやガラス、樹脂や金属をダイシングするブレードであるが、平均粒径が０．１μm〜３００μmがよいとしている。【００９０】  このように、従来のブレードでは、比較的大きいサイズのダイヤモンド粒径が適当としている。【００９１】  本発明においては、ダイヤモンド砥粒の平均粒径は、ダイヤモンド含有量とも相まって、２５μm以下である必要がある。【００９２】  ２５μm以上の場合、ダイヤモンド同士が接触する面積割合は格段に減り、その分一部は焼結することで結びつくものの大多数部分は焼結助剤がなく、空間となってしまう。【００９３】  ブレードの厚み方向は、最低でも厚み方向に微粒子が２個から３個分の存在する幅がないと、各砥粒同士を相互に結び付けた強固なブレード自体を形成することはできない。２５μｍ以上の微粒子で構成することになると、厚み方向は最低でも５０μｍ以上は必要となる。しかし、厚み方向で５０μmより分厚いブレードは、存在する切れ刃の直線性から、一つの刃が切り込む最大切込み深さは、例えばＳｉＣなどにおいては０．１μｍのＤｃ値より大きくなってしまう。よって、微小に延性モードにならない可能性があり、理想的な延性モードの加工は難しくなり、原理的に脆性破壊を起こしてしまう確率が非常に大きくなる。この点は後ほど詳細に説明する。【００９４】  よって、ダイヤモンドの粒径は２５μｍ以下とすることが望ましい。ただし、最小粒径については、現状０．３〜０．５μｍ程度までの微粒ダイヤモンドについて試しているが、それ以下の超微粒ダイヤモンドについては不明である。【００９５】  また、本発明の一態様において、前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されていることが好ましく、前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下であることがより好ましい。【００９６】  ここで、ダイシングブレードの外周部とは、ワーク内に入り込む部分の幅をいう。ワークに入り込む部分は、延性モードダイシングの場合、ワーク厚みより、ブレード幅が大きいとワークを割ってしまうことがある。これについては後ほど詳述する。【００９７】  また、本発明の一態様において、前記回転機構には、前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定されることが好ましい。この態様において、前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とす���環状に構成されていることがより好ましい。【００９８】  本発明の他の態様に係るダイシング装置は、ワークを切断加工するダイシング装置において、ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードと、前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えて、前記ダイシングブレードに微粒子を与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、を備える。【００９９】  本発明の更に他の態様に係るダイシング方法は、ワークを切断加工するダイシング方法において、ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードを回転させながら、前記ワークに一定の切り込み深さを与える工程と、前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さが与えられた状態で、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる工程と、を含む。【０１００】  本発明の更に他の態様において、ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与えることが好ましい。【０１０１】  また、本発明の更に他の態様において、前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部（微小切刃）が周方向に沿って連続して設けられていることが好ましい。【０１０２】  また、本発明の更に他の態様において、前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものであることが好ましい。【０１０３】  また、本発明の更に他の態様において、前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下であることが好ましい。【０１０４】  また、本発明の更に他の態様において、前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されていることが好ましく、前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下であることがより好ましい。【０１０５】  また、本発明の更に他の態様において、前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定されることが好ましい。この態様において、前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されていることがより好ましい。
【発明の効果】
【０１０６】  本発明によれば、ダイヤモンド砥粒の含有量が８０％以上からなるダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成される。そのため、従来の電鋳ブレードに比べて、ワークに対するダイシングブレードの切り込み深さを高精度に制御することが可能となる。これにより、過剰な切り込みが与えられることなく、ワークに一定の切り込み深さを与えながら、ワークをダイシングブレードに対して相対的に移動させることができる。その結果、脆性材料から構成されるワークに対しても、ダイシングブレードの切り込み深さをワークの臨界切り込み深さ以下に設定した状態で切り込みを行うことが可能となり、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】ダイシング装置の外観を示す斜視図
【図２】ダイシングブレードの正面図
【図３】図２のＡ−Ａ断面を示す側断面図
【図４Ａ】切刃部の構成の一例を示した拡大断面図
【図４Ｂ】切刃部の構成の他の例を示した拡大断面図
【図４Ｃ】切刃部の構成の更に他の例を示した拡大断面図
【図５】ダイヤモンド焼結体の表面付近の様子を模式的に示した概略図
【図６】ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μｍのブレードにより溝入れ加工を行った場合のワーク表面の様子を示し、クラックが発生している事例を示した図
【図７】ダイシングブレードがスピンドルに取り付けられた状態を示した断面図
【図８Ａ】比較実験１（シリコン溝入れ加工）の結果を示した図（本実施形態）
【図８Ｂ】比較実験１（シリコン溝入れ加工）の結果を示した図（従来技術）
【図９Ａ】比較実験２（サファイア溝入れ加工）の結果を示した図（本実施形態）
【図９Ｂ】比較実験２（サファイア溝入れ加工）の結果を示した図（従来技術）
【図１０Ａ】比較実験３の結果を示した図（ブレード厚２０μｍの場合）
【図１０Ｂ】比較実験３の結果を示した図（ブレード厚５０μｍの場合）
【図１０Ｃ】比較実験３の結果を示した図（ブレード厚７０μｍの場合）
【図１１Ａ】比較実験４の結果を示した図（ワーク表面）
【図１１Ｂ】比較実験４の結果を示した図（ワーク断面）
【図１２Ａ】比較実験５の結果を示した図（ワーク表面）
【図１２Ｂ】比較実験５の結果を示した図（ワーク断面）
【図１３Ａ】比較実験６の結果を示した図（本実施形態）
【図１３Ｂ】比較実験６の結果を示した図（従来技術）
【図１４】両側テーパタイプの切刃部を有するブレードを用いてダイシング加工が行われるときの様子を模式的に示した説明図
【図１５】バリやチッピングが発生する様子を示した図
【図１６】ブレードを平行移動させて加工する際の最大切込み深さを幾何学的に計算する場合の説明図
【図１７Ａ】ブレード外周端を粗さ計で測定した結果を示した図
【図１７Ｂ】ブレード外周端を粗さ計で測定した結果を示した図
【図１８Ａ】ブレード該周端の表面状態を示した図（ブレード先端側面）
【図１８Ｂ】ブレード該周端の表面状態を示した図（ブレード先端）
【図１９】ブレード先端がワーク材料に対して切り込む様子を示した模式図
【図２０Ａ】ブレードの厚みに関する説明に使用した説明図
【図２０Ｂ】ブレードの厚みに関する説明に使用した説明図（ブレードの厚みがワークの厚みよりも大きい場合）
【図２０Ｃ】ブレードの厚みに関する説明に使用した説明図（ブレードの厚みがワークの厚みよりも小さい場合）
【図２１】電鋳ブレードの表面の様子を示した概略図
【図２２Ａ】ダイヤモンド砥粒含有率に応じた砥粒間隔の様子を示した模式図（砥粒含有率が８０％以上の場合）
【図２２Ｂ】ダイヤモンド砥粒含有率に応じた砥粒間隔の様子を示した模式図（砥粒含有率が７０％以下の場合）
【図２３】ファイバーレーザで切れ刃を形成した場合のブレード外周端の断面図(１００μｍ間隔で５０μｍ孔)
【図２４】微粒子供給機構の正面図
【図２５】微粒子供給機構の側面図
【発明を実施するための形態】
【０１０８】  以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置及びダイシング方法の好ましい実施の形態について説明する。
【０１０９】  図１は、ダイシング装置の外観を示す斜視図である。図１に示すように、ダイシング装置１０は、複数のワークＷが収納されたカセットを外部装置との間で受渡すロードポート１２と、吸着部１４を有しワークＷを装置各部に搬送する搬送手段１６と、ワークＷの表面を撮像する撮像手段１８と、加工部２０と、加工後のワークＷを洗浄し、乾燥させるスピンナ２２、及び装置各部の動作を制御するコントローラ２４等とから構成されている。
【０１１０】  加工部２０には、２本対向して配置され、先端にブレード２６が取り付けられた高周波モータ内臓型のエアーベアリング式スピンドル２８が設けられており、所定の回転速度で高速回転するとともに、互いに独立して図のＹ方向のインデックス送りとＺ方向の切り込み送りとがなされる。また、ワークＷを吸着載置するワークテーブル３０がＺ方向の軸心を中心に回転可能に構成されているとともに、Ｘテーブル３２の移動によって図のＸ方向に研削送りされるように構成されている。
【０１１１】  ワークテーブル３０は、負圧を利用してワークＷを真空吸着するポーラスチャック（多孔質体）を備えて構成される。ワークテーブル３０に載置されたワークＷは、ポーラスチャック（不図示）に真空吸着された状態で保持固定される。これにより、平板状試料であるワークＷは、ポーラスチャックにより平面矯正された状態で全面一様に吸着される。このため、ダイシング加工時にワークＷに対してせん断応力が作用しても、ワークＷに位置ずれが生じることがない。
【０１１２】  こうした、ワーク全体を真空吸着するワーク保持方式は、ブレードがワークに対して絶えず一定の切込み深さを与えることにつながる。
【０１１３】  例えば、ワークが平板状に矯正されないような試料である場合などでは、ワーク表面の基準面を定義することが難しく、そのため、その基準面からどの程度のブレードの切込み深さを設定するかが難しくなる。ワークに対する一定のブレードの切込み深さが設定できない場合、一つの切れ刃が絶えず安定した切込みを与える臨界切込み深さも設定できなくなり、安定した延性モードダイシングは難しい。
【０１１４】  ワークが平板状に矯正されておればワーク表面の基準面を定義でき、基準面からのブレード切込み深さを設定することができるため、一つの切れ刃あたりの臨界切込み深さが設定でき、安定した延性モードダイシングが可能となる。
【０１１５】  なお、真空吸着ではなくても、硬質基板上に全面接着する形であっても構わない。全面強固に接着された面を基準として、薄い基板であっても表面を規定することができれば、安定した延性モードダイシングは可能となる。
【０１１６】  図２は、ダイシングブレードの正面図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面を示す側断面図である。
【０１１７】  図２及び図３に示すように、本実施形態のダイシングブレード（以下、単に「ブレード」という。）２６はリング型のブレードであり、その中央部にはダイシング装置１０のスピンドル２８に装着するための装着孔３８が穿設されている。
【０１１８】  なお、ブレード２６は、焼結ダイヤモンドで構成され、円盤状かリング状であって、同心円状の構成であれば、温度分布は軸対称となる。同一素材で軸対称の温度分布であれば、半径方向においてポアソン比に伴うせん断応力は作用することはない。そのため、外周端部は理想的な円形を保ち、また、外周端は同一面上を維持することになるため、回転によってワークに一直線上に作用する。
【０１１９】  ブレード２６は、ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体（ＰＣＤ）によって円盤状に一体的に構成される。このダイヤモンド焼結体はダイヤモンド砥粒の含有量（ダイヤモンド含有量）が80％以上であり、各ダイヤモンド砥粒は焼結助剤（例えばコバルト等）により互いに結合されている。
【０１２０】  ブレード２６の外周部は、ワークＷに対して切込みされる部分であり、その内側部分よりも薄刃状に形成された切刃部４０が設けられている。この切刃部４０には、ダイヤモンド焼結体の表面に形成された微小な凹みからなる切れ刃（微小切刃）がブレード外周端部（外周縁部）２６ａの周方向に沿って微小ピッチ（例えば10μm）で連続的に形成されている。
【０１２１】  本実施形態において、切刃部４０の厚さ（刃厚）は少なくともワークＷの厚さより薄く構成される。例えば100μmのワークＷに対して切断加工を行う場合には、切刃部４０の厚さは50μm以下が好ましく、より好ましくは30μm以下、さらに好ましくは10μm以下に構成される。
【０１２２】  切刃部４０の断面形状としては、外側（先端側）に向って厚みが徐々に薄くなるテーパ状に形成されていてもよいし、均一な厚みを有するストレート状に形成されていてもよい。
【０１２３】  図４Ａから４Ｃは、切刃部４０の構成例を示した拡大断面図である。なお、図４Ａから４Ｃは、図３のＢ部を拡大した部分に相当する。
【０１２４】  図４Ａに示した切刃部４０Ａは、片側の側面部のみがテーパ状に斜めに加工された片側テーパタイプ（片Ｖタイプ）のものである。この切刃部４０Ａは、例えば、最も薄く形成される外周端部の厚みＴ1が10μm、片側の側面部がテーパ状に加工された部分のテーパ角θ1は20度となっている。なお、ブレード２６の内側部分（後述する環状部３６を除く）の厚みは1mmである（図４Ｂ及び４Ｃにおいても同様である。）。
【０１２５】  図４Ｂに示した切刃部４０Ｂは、両側の側面部がテーパ状に斜めに加工された両側テーパタイプ（両Ｖタイプ）のものである。この切刃部４０Ｂは、例えば、最も薄く形成される外周端部の厚みＴ2が10μmであり、両側の側面部がテーパ状に加工された部分のテーパ角θ2は15度となっている。
【０１２６】  図４Ｃに示した切刃部４０Ｃは、両側の側面部がストレート状に平行に加工されたストレートタイプ（平行タイプ）のものである。この切刃部４０Ｃは、例えば、最も薄くストレート状に加工された先端部の厚みＴ3が50μmとなっている。なお、ストレート状の先端部の内側部分（中央側部分）は片側の側面部がテーパ状に加工されており、そのテーパ角θ3は20度となっている。
【０１２７】  図５は、ダイヤモンド焼結体の表面付近の様子を模式的に示した概略図である。図５に示すように、焼結助剤８６によりダイヤモンド焼結体８０は高密度にダイヤモンド砥粒（ダイヤモンド粒子）８２同士が相互に結合した状態となっている。このダイヤモンド焼結体８０の表面には微小な凹み（凹部）からなる切れ刃（微小切刃）８４が形成される。この凹み８４は、ダイヤモンド焼結体８０を機械的に加工することによってコバルトなどの焼結助剤８６が選択的に摩耗することによって形成されるものである。ダイヤモンド焼結体８０は砥粒密度が高いため、焼結助剤８６が摩耗したところに形成される凹みは微小なポケット状になり、電鋳ブレードのように鋭利なダイヤモンド砥粒の突き出しはない（図２１参照）。このため、ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成される凹みは、ワークＷを切断加工する際に生じる切り屑を搬送するポケットとして機能するとともに、ワークＷに対して切り込みを与える切れ刃８４として機能する。これにより、切り屑の排出性が向上するとともに、ワークＷに対するブレード２６の切り込み深さを高精度に制御することが可能となる。
【０１２８】  ここで、本実施形態のブレード２６について更に詳しく説明する。
【０１２９】  本実施形態のブレード２６は、図５に示したように、焼結助剤８６を用いてダイヤモンド砥粒８２を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体８０により一体的に構成される。このため、ダイヤモンド焼結体８０の隙間にはごくわずかに焼結助剤８６が存在するが、焼結助剤はダイヤモンド砥粒自体の中にも拡散しており、実際はダイヤモンド同士が強固に結合する形態となる。この焼結助剤８６はコバルトやニッケル等が使用され、ダイヤモンドと比較すると硬度的に低い。そのため、ダイヤモンド同士が結合するとはいえ、焼結助剤がリッチな部分は単結晶ダイヤモンドと比較すると少し強度的に弱くなる。こうした部分がワークＷを加工する際に摩耗して目減りし、ダイヤモンド焼結体８０の表面（基準平面）に対して適度な凹みとなる。また、ダイヤモンド焼結体８０を摩耗処理加工することで、ダイヤモンド焼結体８０の表面には焼結助剤が除去された凹みが形成される。また、ＧＣ(グリーンカーボランダム)の目立て用砥石で目立てを行うか、場合によっては硬い脆性材料である超硬合金を切断することで、焼結助剤のほかに一部のダイヤモンドが欠落して、ダイヤモンド焼結体の外周部に適度な粗さが形成される。この外周部の粗さを、ダイヤモンド粒径よりも大きくすることで、一つの切れ刃内で微小なダイヤモンド砥粒の欠落が起こり、切れ刃の摩滅が起こりにくくなる。
【０１３０】  ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成された凹みは延性モードでの加工にとって有利に作用する。すなわち、この凹みは、前述したように、ワークＷを切断加工する際に生じる切り屑を排出するためのポケットとして機能するとともに、ワークＷに対して切り込みを与える切れ刃８４として機能する。このため、ワークＷへの切り込み量は自ずと所定範囲に制限され、致命的な切り込みを与えることはない。
【０１３１】  また、本実施形態のブレード２６によれば、ダイヤモンド焼結体８０で一体的に構成されるので、ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成される凹みの数やピッチ、その幅についても恣意的に調整することが可能となる。
【０１３２】  すなわち、本実施形態のブレード２６を構成するダイヤモンド焼結体８０は焼結助剤８６を用いてダイヤモンド砥粒８２が相互に結合されたものである。このため、相互に結合しているダイヤモンド砥粒８２の間には焼結助剤８６があり粒界が存在する。この粒界部分が凹みに相当するため、ダイヤモンド砥粒８２の粒径（平均粒子径）を設定することで、自ずと凹みのピッチ、個数が定まることになる。また、軟質金属を使用した焼結助剤８６を使用することで選択的な凹み加工ができるようになり、焼結助剤８６を選択的に摩耗させることも可能となる。また、その粗さについても、ブレード２６を回転させながら、摩耗処理やドレッシング処理を設定することにより、その粗さを調整することが可能となる。すなわち、ダイヤモンド砥粒８２の粒径の選択に伴って形成される粒界のピッチによって、ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成される凹みからなる切れ刃８４のピッチや幅、深さ、個数を調整することが可能となる。こうした切れ刃８４のピッチや幅、深さ、個数は延性モードの加工を行う上で重要な役割を果たす。
【０１３３】  このように本実施形態によれば、ダイヤモンド砥粒８２の粒径の選択と摩耗処理、ドレッシング処理という制御性の良いパラメータを適宜調整することによって、精度よく結晶の粒界に沿って所望の切れ刃８４の間隔を達成できる。また、ブレード２６の外周部には、ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成された凹みからなる切れ刃８４が周方向に沿って一直線状に並べることが可能となる。
【０１３４】  ここで、比較として、ダイヤモンド砥粒を焼結したホイールに関し、類似するものとしてスクライビングに使用されるホイールがあるが、スクライビングホイールとの混同を避けるため、あえて違いに触れておく。
【０１３５】  スクライビングに使用されるホイールは、例えば、特開2012-030992号公報などに示される。上記文献には、焼結ダイヤモンドで形成され、円環状の刃が外周部に刃先を有したホイールが開示されている。スクライビングと本発明のダイシングは、両者とも材料を分断する技術で同じ部類にあると捉えられがちだが、その加工原理や、その加工原理に伴って具体構成は全く異なる。
【０１３６】  まず、上記文献と本発明との決定的な違いとして、上記文献のスクライビングとは、上記文献段落[0020]に記載されるように、脆性材料で形成された基板の表面にスクライビングライン(縦割れ)を入れる装置であり、スクライビングにより垂直方向に伸びる垂直クラックが発生する（上記文献段落[0022]参照）。このクラックを利用して割断する。
【０１３７】  それに対して、本発明は、クラックやチッピングを発生させずに材料をせん断的に除去する加工方法として原理が全く異なる。具体的には、ブレード自体が高速回転し、ワーク面に対してほとんど水平方向に作用してワークを除去していくため、ワークの垂直方向へは応力はかからない。また、その切込み深さは材料の変形域内にとどめ、クラックが発生しない切込み深さで加工するため、結果として加工後はクラックのない面が得られる。以上から、加工原理が全く異なる。
【０１３８】  以上の加工原理の違いに照らして、ブレードの仕様における具体的な違いを以下に列挙する。
【０１３９】  ・(刃先頂角の点)  スクライビングは、材料内部にクラックを発生させるだけであるため、材料内にほとんど入り込まない。刃先の稜線のみを作用させるため、刃先角は鈍角（上記文献段落[0070]参照）であることが普通である。鋭角ましてや２０度以下とすることは、捩りによる欠損などを考慮すると到底考えられない。
【０１４０】  それに対して、ダイシングは材料内部に入り込んで入り込んだ部分を除去していくため、刃先はストレートか、せいぜい刃の頂角は、ブレード進行方向におけるダイシング抵抗による座屈を考慮した程度にＶ字である程度である。最大でも頂角は20度以下である。
【０１４１】  また、20度以上の頂角とすると、切断後の断面が斜めになってしまって断面積が増大するほか、加工のメカニズム的にも、ブレード先端が切り進める要素よりも、ブレードの側面で研削する体積が増えることになる。その結果、加工の効率性が低下し、時として加工が進行しない。ダイシングの場合、ブレード外周に切れ刃を形成し、先端の切れ刃で効率よく切り進めていく一方で、ブレード側面はワークとの潤滑性を向上させて、研削する量を低下させながら鏡面化することが求められる。ブレードの側面で研削する量が多くなると、側面での研削量が必然的に多くなり、切断後の断面が鏡面化できなくなる。よって、ダイシングではストレート形状が最も望ましいが、最低でもブレードが座屈しない程度に極小さくＶ字であるのがよく、せいぜい２０度以下である。
【０１４２】  ・(材料組成の点)  スクライビングは、ホイールがワークに当接させられた状態(食い込んだ状態)で進行方向が変化すると捩りの応力によって刃先が欠損することがある。そのため、同じダイヤモンドの焼結体であったとしてもダイヤモンドの重量％を６５％〜７５％としている。その結果、耐摩耗性、耐衝撃性だけでなく耐捩り強度特性を向上させている。ダイヤモンドの重量％を７５％以上とすると、ホイールの硬度自体は上昇するが、耐捩り強度が低下する。よって比較的ダイヤモンド含有量は少なく設定される。
【０１４３】  それに対して、ダイシングはブレードが高速回転して材料を一定量除去しながら直線的に進む。そのため、捩りの応力はかからない。その代わり、ダイヤモンド含有量が少ない場合、切り込んだ際に、みかけの硬度が低下してしまうため、ワークからの反力や、ブレードの切れ刃が切込む時間内にワークが弾性回復してしまい、所定の切込み深さを維持できない場合がある。そのため、ダイシングの場合、ブレードの硬度はワークの高度と比べて、跳ね返りが起こらず所定の切込みのまま切り進めることができるよう、十分大きい硬度を有する。延性モードで材料の変形域内で、加工時の切れ刃作用時間内における弾性回復を許さず加工を進行させる上では、単結晶ダイヤモンド(ヌープ硬度で10000程度)と同等の表面硬度が必要となり、ヌープ硬度で約8000程度は必要となる。結果としてダイヤモンド含有量は８０％以上は必要となる。ただし、ダイヤモンド含有量が９８％以上になると、焼結助剤の割合が極端に減るためダイヤモンド同士の結合力が弱くなり、ブレードそのものの靭性が低下して脆くて欠けやすくなる。よって、ダイヤモンド含有量は８０％以上が必要であり、実用的な点を加味すると、９８％以下とする方が望ましい。
【０１４４】  以上から、スクライビングホイールに使用されるＰＣＤと本発明のダイシングブレードに使用するＰＣＤは、材料としては同種であったとしても、その加工原理が全く異なるため、求められるＰＣＤの組成、具体的にはダイヤモンド含有量は全く異なるものとなる。
【０１４５】  ・(ホイール構造と基準面の点)  さらにホイールの構造が異なる。スクライビングホイールはホルダを有しており、ホルダはスクライビングホイールを回転自在に保持する要素である。ホルダは、主としてピンと支持枠体を有するので、ピンの部分(軸の部分)は回転しない。ホイールの内径部が軸受になり、軸であるピンの部分と、相対的に擦れることによって回転し、材料表面に垂直方向のスクライビングライン(縦割れ)を形成する。
【０１４６】  それに対して、本発明に係るブレードは、回転するスピンドルにブレードは同軸で取り付ける。スピンドルとブレードは一体的に高速回転させる。ブレードはスピンドル軸に対して垂直に取り付ける必要があり、回転による振れをなくする必要がある。
【０１４７】  そのため、ブレードには基準平面が存在する。ブレードに存在する基準面は、スピンドルに予め垂直に取り付けたフランジの基準端面と当接させて固定する。これにより、ブレードのスピンドル回転軸に対する垂直度が確保される。この垂直度が確保されて初めて、ブレードが回転することによって外周部に形成される切れ刃がワークに対して一直線状に作用することになる。
【０１４８】  また、スクライビングの場合の基準面は、円板ブレードの軸と平行な円筒面で、ブレードを垂直に押圧することを前提にして規定している。しかしながら、本発明に係るブレードにおけるブレードの基準面は、先に述べたように、スピンドルのフランジに対向するブレードの側部端面(円板面)である。ブレードの基準面を、ブレードの側面(円板面)とすることで、ブレードはブレード中心に対してバランスが取れた状態で精度よく回転する。従って、ブレード先端に形成された切れ刃は、ブレードが高速回転していても、ブレード中心を基準にして一定半径位置で定義される所定の高さ位置で精度よく切れ刃が作用し、所定高さのワークに対しても垂直な応力を与えることなく、ワーク面に対して水平に切れ刃が作用して除去していくだけである。そのため、ワークが脆性材料であっても、ワーク面に対して垂直応力によってクラックを及ぼすことは一切ない。
【０１４９】  ・(加工原理の点)  この垂直方向にクラックを与えて加工するか、それとも一切クラックを発生させることなく加工するかが、スクライビングと本発明に係るダイシングとの決定的に異なる原理の違いである。
【０１５０】  ・(外周刃の溝の役割)  また、スクライビングは表面だけにスクライバーの垂直応力によって押圧してスクライビングラインをつける。スクライビングの場合の外周刃の溝の役割は、ホイールの刃先の突起部が脆性材料基板に当接しつつ(食い込みつつ)、材料に垂直なクラックを発生させるためのものである（上記文献段落[0114]参照）。すなわち、溝以外の部分が、材料に食い込んで垂直クラックを及ぼす程度のスクライビングラインをつけることができるような溝である。よって、溝というよりも、溝と溝の間の山部分が材料にどのように食い込むかが重要になる。
【０１５１】  それに対して、ダイシングの場合は、外周端部に設けられる凹部は、切れ刃の役割を果たす。凹部と凹部の間の部分は、外周の輪郭を形成し、その間に設けられる切れ刃がワーク表面に対してクラックを及ぼさない程度の臨界切込み深さとするように設定される。よって、ダイシングの場合は切れ刃を形成する必要がある。
【０１５２】  また、スクライビングの場合の溝深さは、スクライビングラインをつけるための食い込み量を与える程度に溝深さを形成するが、ダイシングの場合は、ワーク内に入り込んで、一つ一つの切れ刃でワークを研削除去していかなければならない。そのため、ブレード先端は完全にワーク内に入り込みつつ、ブレードの振れは許されず、材料の奥深くまでワーク面に対して垂直に切れ刃を作用させなければならない。
【０１５３】  本発明に係るブレードの場合は、外周端部に一定間隔の凹部の切れ刃を有する。その切れ刃間隔は後に示すとおり、一つの切れ刃が与える臨界切込み深さが、クラックを及ぼさない程度であればよい。そのためには、切れ刃間隔を適正に保つ必要がある。
【０１５４】  また、スクライビングホイールは、スクライビングホールが脆性材料と当接したままスクライビングホイールの刃先の向きが90度変更させられ、これをキャスター効果と呼ぶ。
【０１５５】  ダイシングブレードでは、刃は材料内に入り込んでいるため、刃先の向きを90度変更することはできない。例えば、ストレート形状や頂角が20度以下のダイシングブレードで当接させながら刃先を変更させれば刃は折れてしまう。
【０１５６】  なお、軟質金属からなる焼結助剤８６を用いて焼結されたダイヤモンド焼結体８０の場合、その表面に凹みを形成する方法としては摩耗処理やドレッシング処理などが最も適しているが、これに限らない。例えば、コバルトやニッケルのような焼結助剤が用いられる場合、酸系のエッチングにより化学的に部分溶解することで、ダイヤモンド焼結体８０の表面に凹みを形成することも可能である。
【０１５７】  これに対して、従来の電鋳ブレードでは、ダイヤモンド砥粒自体が切れ刃の役割を果たすが、その切れ刃のピッチや幅などを調整するためには、初期にダイヤモンド砥粒を分散させる分散度合いに頼らざるを得ないため技術的に困難である。すなわち、ダイヤモンド砥粒の分散という曖昧さを多く含み、実質的には制御することができない。また、ダイヤモンド砥粒の分散が不十分で凝集している部分が存在したり、分散しすぎて疎らな部分があったりしても、これを恣意的に調整することは困難である。このように従来の電鋳ブレードでは、切れ刃の配列を制御することは不可能である。
【０１５８】  また、従来の電鋳ブレードにおいて、ミクロンオーダのダイヤモンド砥粒を一つ一つ人為的に配列することは現状の技術にはなく、効率よく切れ刃を一直線状に整列させて配列することはほとんど不可能である。また、切れ刃の密な部分と疎な部分が混在し切れ刃の配列を実質的に制御できない従来の電鋳ブレードでは、ワークＷに対する切り込み量を制御することは困難であり、原理的に延性モードの加工を行うことはできない。
【０１５９】  本実施形態のブレード２６において、ダイヤモンド焼結体に含有されるダイヤモンド砥粒の平均粒子径は25μm以下（より好ましくは10μm以下、さらに好ましくは5μm以下）であることが好ましい。
【０１６０】  本発明者が行った実験結果によれば、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μmの場合、ウェーハ材料がＳｉＣでは0.1mmの切り込み量でダイシングした場合にクラックが生じた。おそらくダイヤモンドが脱落したことが要因である。50μm以上のダイヤモンド平均粒子径で焼結した場合、ダイヤモンド粒子同士が密着する面積が小さくなり、局所的な面積で大きい粒子同士を結合させることになる。そのため、材料の組成的な点で耐衝撃性に非常に弱くなり欠けやすいという欠点を持つ。局所的な衝撃で50μm以上の単位でダイヤモンドが脱落してしまうと、その脱落をきっかけに非常に大きい切れ刃が形成される。その場合、孤立した切れ刃として所定の臨界切込み以上の切込み深さを与えることになり、結果的にチッピングやクラックを発生させてしまうことが確率的に極めて高くなる。また、50μm程度のダイヤモンドが脱落すると、残された部分の切れ刃が大きくなることのみならず、その脱落したダイヤモンド砥粒そのものが、ワークとブレードの間に絡まって、さらにクラックを及ぼすこともある。25μm以下の微粒子であればそうしたクラックが定常的に起こる結果は得られていない。
【０１６１】  図６は、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μmのブレードにより溝入れ加工を行った場合のワーク表面の様子を示し、クラックが発生している事例を示す。
【０１６２】  また、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径を50μm、25μm、10μm、5μm、1μm、0.5μm の各々としたブレードにより溝入れ加工を行った場合のクラック又はチッピングの発生率を評価した結果を表２に示す。評価結果は、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの順にクラック又はチッピングの発生率が高くなることを示す。その他の条件については以下の通りである。
【０１６３】    ・  標準評価条件：SiC基板(４Ｈ)（六方晶）    ・  スピンドル回転数：20000rpm    ・  送り速度：1mm/s    ・  切込み深さ：100μm    ・  評価指針：10μm以上のチッピングがあるかないかで評価。(理想的には完全にチッピングがないこと。)
【０１６４】
【表２】
2013187510.tif 000004
【０１６５】  また、サファイアでは0.2μmの切込みでクラックが生じた。石英、シリコンでも同様な切り込みでクラックが発生した。
【０１６６】  さらに、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μmの場合、ブレードの刃厚（ブレード外周端部の厚み）を50μm以下にすることも難しく、ブレード２６を製作する際にブレード２６の外周部で刃欠けが多い。また、100μm（0.1mm）の刃厚でブレードを製作しようとしても、大きな空隙がある部分もあり、さらに、少しの衝撃で割れてしまうこともあり、現実的にブレードを安定して製作することは困難であった。
【０１６７】  一方、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が25μm、5μm、1μm、0.5μmの場合には、ＳｉＣ、サファイア、石英、及びシリコンの各脆性材料でも、平均粒子径が５０μｍの場合と同様の切り込みを行ってもクラックは発生しなかった。すなわち、これらの脆性材料では、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μmではサブミクロンオーダの切り込みでクラックが発生し、それ以上の平均粒子径のダイヤモンド砥粒が用いられる場合には、必然的に切り込みが大きくなり、致命的なクラックを招くことになる。これに対し、平均粒子径が25μm以下（より好ましくは10μm以下、さらに好ましくは5μm以下）のダイヤモンド砥粒が用いられる場合には、切り込みを小さく抑えることができ、高精度な切り込み深さの制御が可能となる。
【０１６８】  なお、本実験の一般的な加工条件としては、ブレード外径50.8mm、ウェーハサイズ2インチ、切り込み10μm溝入れ、スピンドル回転数20,000rpm、テーブル送り速度5mm/sである。
【０１６９】  このように構成されるブレード２６の製造方法としては、タングステンカーバイドを主成分とする基台の上にダイヤモンド微粉末を置いて型に入れる。次いで、この型の中に焼結助剤としてコバルト等の溶媒金属(焼結助剤)を添加する。次いで、5GPa以上の高圧、且つ、1300℃以上の高温雰囲気下で焼成・焼結する。これにより、ダイヤモンド砥粒同士が直接相互に結合し、非常に強固なダイヤモンドのインゴットが形成される。このようにして、例えば、直径60mmサイズで焼結ダイヤモンド層（ダイヤモンド焼結体）が0.5mm、タングステンカーバイド層が3mmの円柱インゴットを得ることができる。タングステンカーバイド上に形成されたダイヤモンド焼結体としては、住友電工ハードメタル社製DA200等がある。ダイヤモンド焼結体だけを取り出し、ブレード基材を所定形状に外周摩耗処理ないしはドレッシング処理加工を施すことにより、本実施形態のブレード２６を得ることができる。なお、円柱インゴットのダイヤモンドド表面（切刃部４０を除く）は、回転時を振れをなくすための基準面形成としてスカイフ研磨（scaif、研磨用円盤）を行うことにより、表面粗さ（算術平均粗さＲａ）0.1μm程度の鏡面に加工しておくことが好ましい。
【０１７０】  ここで、上記製造方法における摩耗処理・ドレッシング処理は、次のような条件とすることができる。
【０１７１】  摩耗処理としては、次の条件などがある。
【０１７２】    ・  ブレード回転数：10000rpm    ・  送り速度：5mm/s    ・  ワーク加工対象：石英ガラス(ガラス材料)    ・  加工処理時間：３０分間    ・  上記処理により、わずかに1〜2μm程度のコバルト焼結助剤が除去されて凹みが形成された。さらに、非常に薄いエッチング液(弱酸系)を薄く塗って純水供給なしにドライ環境で処理することでさらに凹みが深くなった。
【０１７３】  ドレッシング処理(摩耗処理)として次の条件であってもよい。
【０１７４】    ・  ブレード回転数：10000rpm    ・  送り速度：5mm/s    ・  ワーク加工対象：GC600ドレッシング砥石(70mm□)        （GC600とは、炭化ケイ素質研削材の粒度６００番手(#600)を意味する。粒度は日本工業規格（JIS：Japan Industrial Standards）R6001に基づく）    ・  加工処理時間：15分間    ・  この処理でもわずかにコバルト焼結助剤が除去されて凹みが形成された。
【０１７５】  なお、ブレード外周部のうち、ブレード外周端部とブレード側面部は、粗さを変えた方が望ましい。具体的には、ブレード外周端部は切れ刃に相当し、摩耗処理によって結晶粒界に沿って切れ刃間隔を調整することになる。特にブレード外周端部は、ワーク材料に切り込みを入れつつ、ある程度は大きく加工除去していくことから、少し粗く加工する。
【０１７６】  一方、ブレード側面部は、積極的に除去加工をするわけではなく、ワーク材料の溝側面部との接触時に溝側面部を削り出す程度に粗くなっていればよい。また、ブレード側面部に突起があると、溝側面部に割れを誘発してしまうので、突起部を形成することなく加工する一方で、溝側面部との接触面積を低下して、少しでも摩擦による熱の発生を軽減する必要がある。そのため、側面部は細かく粗す方が望ましい。
【０１７７】  従来の電鋳ブレードなどでは、砥粒を鍍金にて固めて製作するため、面全体が同じような砥粒分布となり、その結果、ブレード外周端とブレード側面との砥粒のつき方の形態を大きく分けることができなかった。すなわち、ワークを切り進めるためのブレード外周端部と、ワークと擦れながら微小に削る程度とする側面部とで、明らかに粗さの状況を変化させることはできなかった。
【０１７８】  本発明に係るブレードの場合は、ほとんどがダイヤモンドで構成され、その状態から成形加工することができる。例えば、本発明に係るブレードの場合、側面部を荒らすためには、ダイヤモンドラッピングなどを行っても構わない。微小なダイヤモンド(粒径1μm〜150μm)で表面を荒らすことにより、例えばRaが０．１μm〜２０μm程度の粗さを形成することが可能となる。
【０１７９】  一方、ブレード外周部は、ブレード側面部と異なり、ワークを加工しながら切り進めいく必要があるため、側面部と異なり切れ刃としての粗さをつけた方がよい。こうした粗さは、例えば、パルスレーザなどで外周部に切れ刃を形成することができる。
【０１８０】  パルスレーザで切れ刃を形成する場合は、次に示す条件などが好適に使用される。
【０１８１】  レーザ発振気器：米国ＩＰＧ社製ファイバーレーザ:ＹＬＲ−１５０−１５００−ＱＣＷ  送りテーブル：ＪＫ７０２  波長：1060nm  出力：250W  パルス幅：0.2msec  焦点位置0.1mm  ワーク回転数2.8rpm  ガス：高純度窒素ガス0.1L/min  穴径50μm  ワークブレード材料：住友電工製DA150(ダイヤモンド粒径5μm)  外径50.8mm  このようなパルス式ファイバレーザによって、図２３に示すように、0.1mmピッチでブレード外周端上に直径0.05mmの一定間隔で連続した半円状のシャープな切れ刃を形成することができる。こうした切れ刃形成ではダイヤモンド粒径は5μmの大きさであるが、一つの切れ刃自体は50μm切れ刃とすることができる。またこれを等間隔に形成すれば、回転数を高速回転させることによって、見かけの間隔が小さくなり、延性モードのダイシングを可能とする(例：スピンドル回転数10000rpm以上の場合など)。
【０１８２】  ファイバーレーザでは一つの切れ刃の大きさは5μm程度の大きさから大きいものでは1mmまで、様々な孔径で切れ刃の大きさを形成することができるが、通常はレーザのビーム径から、5μmから200μm程度までをあけることが可能である。
【０１８３】  電鋳法など、鍍金でダイヤモンドを固めた材料で切り欠きを形成するのではなく、焼結ダイヤモンドの材料で構成し、その円盤にした外周端に微小な切り欠きを連続して構成することで、一つ一つの切り欠きが切れ刃として作用する。
【０１８４】  特開2005-129741号公報は、電鋳法で製造したブレードにおいて、外周部に切り欠きを形成する方法が記載されるが、この場合の切り欠きは、切り屑の排出機能や目詰まりを防ぐ機能として切り欠きが設けられており、切れ刃として設けていない。電鋳法で製造された場合、切り欠きのエッジ部分に必ずしもダイヤモンドが存在するものでもなく、結合材と共に存在するので、結合材が加工と共に摩耗していくことから、材料として切れ刃として作用するものではない。
【０１８５】  それに対して、ブレードがダイヤモンド焼結体から構成される場合、外周部に空けた切れ刃の先端はそのまま切れ刃として作用する。また、切れ刃の大きさ50μmと比べてダイヤモンド砥粒径は5μｍと小さいため、一つの切れ刃の中で、一つのダイヤモンド砥粒が欠け落ちることで切れ刃内で小さく自生することも可能となる。従来の電鋳法における砥石は、ダイヤモンド砥粒がそのまま切れ刃として作用するため、切れ刃の大きさと自生単位は同じ大きさであるが、本発明の場合、恣意的な切れ刃を形成することで、切れ刃の大きさとその中でダイヤモンドが自生する単位を変えることができ、その結果、長い間切れ味を確保することができる。
【０１８６】  さらに、ブレードの側面部の粗さに対して、ブレードの外周端部の粗さを大きくすることで、ブレード外周端で切り進めながらもブレード側面は細かい粗い面でワークを削りながら鏡面化することができる。従来は電鋳法によるブレードでは、外周端部の粗さと側面部の粗さを独立して変化させることが難しく、実質できなかったが、本発明のように焼結ダイヤモンドを使用することで恣意的に外周端部に等間隔の切れ刃を形成するとともに、ブレード側面は細かく荒らした面とすることが可能となる。それにより外周の切れ味を確保して効率よく切り進めながらも、ワーク側面では全く独立して鏡面仕上げ加工を独立して行うことが可能となる。
【０１８７】  なお、ブレード外周のみに高硬度のダイヤモンドチップを一つ一つ埋め込む構成(例えば特開平7-276137号公報など)は、切れ刃は等間隔で形成されるかもしれないが、一体の円盤状のPCDで形成されていないため、先述の通り、熱伝導の点、形状的な平面度や平面の連続性の点、加工による衝撃を吸収することなく局所的に効果的なせん断力をワークに与える点、さらには延性モードで加工を行う点などで、本発明に係るブレードとは全く異なることは明白である。
【０１８８】  こうした切れ刃の間隔や側面部の表面の粗さは、加工対象材料に応じて適宜調整するものである。
【０１８９】  図７は、ブレード２６がスピンドル２８に取り付けられた状態を示した断面図である。図７に示すように、スピンドル２８は、不図示のモータ（高周波モータ）を内蔵したスピンドル本体４４と、スピンドル本体４４で回動可能に軸支され、その先端部がスピンドル本体４４から突出した状態に配設されたスピンドル軸４６とから主に構成される。
【０１９０】  ハブフランジ４８は、スピンドル軸４６とブレード２６との間に介装される部材であり、テーパ状に形成された取付孔４８ａが設けられるとともに、円筒状の突起部４８ｂが設けられる。このハブフランジ４８には、ブレード２６のスピンドル軸４６（回転軸）に対する垂直度を決定するための基準面となるフランジ面４８ｃが設けられている。このフランジ面４８ｃには、後述するようにブレード２６のブレード基準面３６ａが当接される。
【０１９１】  ブレード２６には、片側の端面に切刃部４０よりも内側部分に厚肉に形成された環状部（当接領域）３６が設けられている（図２及び図３参照）。この環状部３６には、ハブフランジ４８のフランジ面４８ｃが当接するブレード基準面３６ａが形成されている。ブレード基準面３６ａは、環状部３６が形成される端面において他の位置よりも高い位置に設けられていることが好ましく、これにより平面度を出しやすくなっている。また、ブレード基準面３６ａを構成する環状部３６の厚みは、ブレード外周部に設けられる切刃部４０と比べて十分に厚くする必要がある。
【０１９２】  ブレード外周部は、切断時に材料表面において脆性破壊を起こさないため切断幅も細くする必要があり、その厚みとしては50μm以下としなくてはならない。
【０１９３】  しかしながら、そのブレード外周部の厚みのままでブレード基準面部分を含めて、すべてを50μm以下の厚みで製作する場合、ブレードの平面を出す過程で加工した際の加工歪が大きな問題になる。特に、ブレード全面を50μm程度の厚みで製作すると、ブレード両側面同士の歪のバランスで一方の側にブレードが反ることになる。ブレードが少しでも反っている場合、外周端部は非常に薄いので、非常に小さい応力で元々反っている側にブレードが座屈変形してしまい、結果的に使用できない。
【０１９４】  このため、ブレード基準面を形成する部分は、ブレードの面に加工歪が残っていたとしても、その歪で反りが発生するほどの厚みであってはならない。直径にして50mm程度の円板で加工歪による反りが発生しない程度のブレードの基準面部分の厚みは、最低でも0.25mm以上、好ましくは0.5mm以上ある方がよい。この程度のブレード基準面部分の厚みがないと、ブレード基準面として平面を維持できない。平面が維持できなければブレード外周端部を一直線状にワークに作用させることが困難になる。
【０１９５】  以上のことから、本実施形態のブレード２６では次の条件を満たすことが必要となる。
【０１９６】  すなわち、ブレード基準面３６ａは、ブレード２６の両側面の加工歪のバランスが崩れていたとしても平面を維持しなくてはいけないことから、最低でも基準面部の厚みは0.3mm以上は必要である。
【０１９７】  一方、ブレード外周端部は、材料にクラックを誘発させないためにも極微小領域で加工しなくてはいけない。そのためには、ブレード外周部に設けられる切刃部４０の厚みは50μm以下とする必要がある。
【０１９８】  つまり、例えば直径50mmのブレード全体で見ると、平面度維持のためすべてを一体で製作する必要があり、ブレード内周部は平面度維持のため分厚くしなくてはならない一方で、ブレード外周部は薄くしなくてはならない。
【０１９９】  なお、平面度を出す方法としては、スカイフ研磨などによる鏡面加工を使用することができる。
【０２００】  ブレード２６の取付方法としては、まず、ハブフランジ４８の取付孔４８ａにテーパ状に形成されたスピンドル軸４６を嵌合させた状態で、不図示の固定手段によってハブフランジ４８をスピンドル軸４６に位置決め固定する。次いで、ハブフランジ４８の突起部４８ｂにブレード２６の装着孔３８を嵌合させた状態で、ブレードナット５２を突起部４８ｂの先端に形成されたネジ部にねじ込むことにより、ブレード２６をハブフランジ４８に位置決め固定する。
【０２０１】  このようにブレード２６がハブフランジ４８を介してスピンドル軸４６に取り付けられたとき、ブレード２６のスピンドル軸４６に対する垂直度はハブフランジ４８のフランジ面４８ｃの平面度とブレード２６のブレード基準面３６ａの平面度及びその両者を重ね合わせる取り付け精度で決定される。このため、ハブフランジ４８のフランジ面（回転軸に対して垂直な面）４８ｃと、このフランジ面４８ｃに接触するブレード２６のブレード基準面３６ａは、例えば鏡面加工によって平坦化され、スピンドル軸４６に対する垂直度が高精度になるように形成されていることが好ましい。これにより、ハブフランジ４８を介してブレード２６をスピンドル軸４６に装着する際、フランジ面４８ｃとブレード基準面３６ａを接触させた状態で位置決め固定することにより、ブレード２６をスピンドル軸４６に対して高精度に垂直にすることができる。
【０２０２】  また、ブレード２６の中心位置の精度は、ブレード２６の装着孔３８とハブフランジ４８の突起部４８ｂとの嵌め合い精度で決定されることから、装着孔３８の内周面及び突起部４８ｂの外周面の加工精度を高めることで、これらの同軸度を確保することができ、良好な取付精度を実現することができる。
【０２０３】  その結果、ブレード単体精度に加えて、高精度なスピンドル軸４６に対する取付精度も確保することで高精度な切断加工が実現できる。
【０２０４】  すなわち、延性モードで加工するためには、ブレード２６の切刃部４０の厚みを薄く構成するだけでなく、その切刃部４０をブレード２６の回転軸（スピンドル軸４６）に対して垂直な方向に略一直線上に作用させることができるように高精度な取り付けが必要となるが、その要求精度を十分に満たすことができる。
【０２０５】  本実施形態では、ブレード２６を軸支するハブフランジ４８及びスピンドル軸４６はステンレス（例えばＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０４は日本工業規格(JIS: Japan Industrial Standards)に基づくステンレス鋼、以下、本発明におけるステンレス鋼は日本工業規格に基づく）等の金属材料で構成されている。一方、ブレード２６は、上述のとおり、ダイヤモンド焼結体８０により一体的に構成されている。すなわち、ブレード基準面３６ａは金属基準面で支えられる構成となっている。このような構成によれば、切断加工によってブレード外周部の切刃部４０が熱をもち、或いは、スピンドル軸４６側に熱があったとしても、まずはブレード２６の内部に均一に熱が伝わる。すなわち、ブレード２６は熱伝導率の非常に高いダイヤモンド焼結体８０で構成されるのに対し、ブレード２６を軸支するハブフランジ４８及びスピンドル軸４６はダイヤモンド焼結体８０と比較すると格段に熱伝導率が低いステンレスで構成される。このため、これらに生じた熱は、ブレード２６に沿って周方向に伝わり、ブレード２６の周方向にすぐに均一化され、放射状の温度分布となる。ダイヤモンド部分だけが熱がすぐに伝わり、ステンレスのスピンドル軸４６やハブフランジ４８には断面積などの点で、熱が伝わりにくく接触部も少ないため、結果的にダイヤモンド部分がさらに熱の均一化が促進され、その均一な状態で、熱的平衡が確保されるようになる。
【０２０６】  また、ブレード外周部において、熱膨張を阻害する部材もなく、またバイメタル効果もないため、ブレード２６の外周部は真円度及び平面度を良好に保つことができる。その結果、ブレード外周端部に設けられる切れ刃８４はワークＷに対して一直線上に作用するようになる。
【０２０７】  なお、本実施形態では、ブレード２６がハブフランジ４８を介してスピンドル軸４６に装着される構成を示したが、ブレード２６がスピンドル軸４６に直接装着される構成としてもよく、同様の効果を得ることができる。
【０２０８】  次に、本実施形態のブレード２６を用いたダイシング方法について説明する。このダイシング方法は、シリコン、サファイア、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ガラスなどの脆性材料に対してクラックやチッピングなどの脆性破壊を伴うことなく塑性変形させながら安定して精度良く切断加工を行うことができる方法である。
【０２０９】  まず、ロードポート１２に載置されたカセットからワークＷが取り出され、搬送手段１６によりワークテーブル３０上に載置される。ワークテーブル３０上に載置されたワークＷは、撮像手段１８により表面が撮像され、ワークＷ上のダイシングされるラインの位置とブレード２６との位置が、不図示のＸ，Ｙ、θの各移動軸によりワークテーブル３０を調整して合わせられる。位置合わせが終了し、ダイシングが開始されると、スピンドル２８が回転を始め、ブレード２６がワークＷを切断するないしは溝入れする量だけスピンドル２８が所定の高さまでＺ方向へ下がりブレード２６が高速に回転する。この状態でワークＷは、ブレード位置に対してワークテーブル３０とともに不図示の移動軸によって、図１に示すＸ方向へ加工送りされるとともに、所定の高さまで下げられたスピンドル先端につけられたブレード２６でダイシングが行われる。
【０２１０】  このとき、ブレード２６のワークＷに対する切り込み深さ（切り込み量）が設定される。外周に多数の切れ刃を要するブレード２６を高速回転させることで、１つの切れ刃（微小切刃）８４が臨界切り込み深さ（Ｄｃ値）以下になるように設定されなければならない。この臨界切り込み深さは、脆性材料の脆性破壊を起こすことなく、塑性変形による延性モードでの切断加工が可能な最大切り込み深さである。
【０２１１】  ここで、ワーク材料とクラックを及ぼさない一つの刃あたりの臨界切り込み深さとの関係を表３に示す。
【０２１２】
【表３】
2013187510.tif 000005
【０２１３】  表３から分かるように、例えばワーク材料がシリコンの場合には、その臨界切り込み深さは0.15μmであることから、ブレード２６のワークＷに対する切り込み深さは0.15μm以下に設定される。仮に切り込み深さが0.15μmを超える場合にはワーク材料へのクラック発生は避けられない。
【０２１４】  また、表３に示したワーク材料の中ではシリコンの臨界切り込み深さ（0.15μm）が最も小さく、他の材料と比べて割れやすいことが分かる。このことから、大抵の材料では、0.15μm以下の切り込み深さであれば、原理上クラックを発生することなく材料の変形範囲で加工を進行させることのできる延性モード加工が可能となる。
【０２１５】  また、ブレード２６のワークＷに対する周速度（ブレード周速度）は、ブレード２６のワークＷに対する相対送り速度（加工送り速度）に比べて十分に大きく設定される。例えば、ブレード２６の回転数20,000rpm、ブレード２６の外径50.8mmの時、ブレード２６の回転速度53.17m/sに対し、ブレード２６の相対送り速度は10mm/sに設定される。
【０２１６】  なお、ブレード２６の切り込み深さや回転速度、ブレード２６のワークＷに対する相対送り速度の制御は、図１に示したコントローラ２４によって行われる。
【０２１７】  このような延性モードでのダイシング加工は、切断ラインの溝深さが最終切り込み深さとなるまで、１回あたりの切り込み深さが臨界切り込み深さ以下に設定された状態で繰り返し行われる。
【０２１８】  そして、ワークＷに対する１つの切断ラインに沿うダイシング加工が終了すると、ブレード２６は、次に加工する隣の切断ラインにインデックス送りされて位置決めされ、前記と同様の加工手順により、当該切断ラインに沿うダイシング加工が実施される。
【０２１９】  そして、前記ダイシング加工が繰り返されることにより、所定数の切断ラインに沿うダイシング加工が全て終了すると、ワークテーブル３０とともにワークＷを９０度回転させて、前記と同様の加工手順により、前述した切断ラインと直交する方向の切断ラインに沿ってダイシング加工が行われる。
【０２２０】  このようにして、全ての切断ラインに沿うダイシング加工が全て完了すると、ワークＷは多数のチップに切断分割される。
【０２２１】  ここで、本発明の効果を検証するために、上記ダイシング加工方法において、本実施形態のブレード２６と従来の電鋳ブレードとを用いてワークに対して溝入れ加工を行った結果について説明する。
【０２２２】  ［比較実験１］(シリコンウェーハ)  本実施形態のブレード２６としては、両側テーパタイプ（両Ｖタイプ）のものを使用した。一方、従来の電鋳ブレードとしては、ブレード厚みが50μm（＃600）を使用した。その他の条件については以下のとおりである。
【０２２３】  ・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製）  ・ブレード回転数：20000rpm  ・ワーク送り速度（加工送り速度）：10mm/ｓ  ・切り込み深さ：30μm  ・ワーク：シリコンウェーハ（厚み780μm）  比較実験１の結果を図８Ａ及び８Ｂに示す。なお、図８Ａ及び８Ｂは、溝入れ加工後のワーク表面の様子を示したものである。
【０２２４】  図８Ａに示すように、本実施形態のブレード２６を用いた場合には、ワークに対してクラックが発生させることなく切断溝を形成することができた。
【０２２５】  一方、図８Ｂに示すように、従来の電鋳ブレードを用いた場合には、ワーク表面に微小なクラックが発生した。また、切断溝の底面にもクラックが生じていた。
【０２２６】  このように本実施形態のブレード２６を用いた場合には、従来の電鋳ブレードを用いた場合に比べて、クラックを発生させることなく、延性モードで安定して精度良い切断加工を行うことができることを確認した。
【０２２７】  ［比較実験２］（サファイアウェーハ）  次に、比較実験１と同様のブレードを用いて、以下の条件で比較実験を行った。
【０２２８】  ・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製）  ・ブレード回転数：20000rpm  ・ワーク送り速度（加工送り速度）：10mm/ｓ  ・切り込み深さ：50μm  ・ワーク：サファイアウェーハ（厚み200μm）  比較実験２の結果を図９Ａ及び９Ｂに示す。なお、図９Ａ及び９Ｂは、溝入れ加工後のワーク表面の様子を示したものであり、図９Ａは本実施形態のブレード２６を用いた場合、図９Ｂは従来の電鋳ブレードを用いた場合である。
【０２２９】  図９Ａ及び９Ｂから明らかないように、ワークをサファイアウェーハに変更した場合においても、シリコンウェーハを対象とした比較実験１と同様の結果が得られることを確認した。
【０２３０】  ［比較実験３］(SiCウェーハ)  次に、ストレート形状のブレードを用いて、以下の条件で比較実験を行った。ブレード厚みは、20μm、50μm、70μm厚で行った。
【０２３１】  ・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製）  ・ブレード回転数：20000rpm  ・ワーク送り速度（加工送り速度）：2mm/ｓ  ・切り込み深さ：200μm  ・ワーク：4H-SiCウェーハ  Si面（厚み330μm）  図１０Ａから１０Ｃは本実施形態のブレード２６による溝入れ加工後のワーク表面の様子を示したものであり、図１０Ａは、ブレード厚みが20μmの場合、図１０Ｂは、ブレード厚みが50μmの場合、図１０Ｃは、ブレード厚みが70μmの場合を示す。
【０２３２】  ブレード厚みは50μm以下とすることが理想的ではあるが、SiCの場合70μ刃厚では、小さいクラックはあるが、顕著なクラックはなかった。
【０２３３】  ［比較実験４］(超硬合金)  次に、先と同様にストレート形状のブレードを用いて、以下の条件で比較実験を行った。ブレード厚みは、20μm厚で行った。
【０２３４】  ・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製、AD20Tは装置の型番）  ・ブレード回転数：10000rpm  ・ワーク送り速度（加工送り速度）：1mm/ｓ  ・切り込み深さ：40μm  ・ワーク：超硬ＷＣ（ＷＣ：タングステンカーバイド）  図１１Ａ及び１１Ｂは、本実施形態のブレード２６による溝入れ加工後のワーク表面（図１１Ａ）及び断面（図１１Ｂ）を示している。同図のように、超硬のような硬質材料でも理想的な延性モード加工を行うことができることを示している。
【０２３５】  ［比較実験５］(ポリカーボネード)  次に、先と同様にストレート形状のブレードを用いて、以下の条件で比較実験を行った。ブレード厚みは、50μm厚で行った。
【０２３６】  ・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製）  ・ブレード回転数：20000rpm  ・ワーク送り速度（加工送り速度）：1mm/ｓ  ・切り込み深さ：500μm(フルカット)  ・ワーク：ポリカーボネード  図１２Ａ及び１２Ｂは、それぞれ、本実施形態のブレード２６による溝入れ加工後のワーク表面、及びワーク断面を示している。図１２Ａに示すように、ワーク表面から見るとシャープな切断ラインが観察される。図１２Ｂに示すように、従来の電鋳ブレードと比較しても鏡面の切断面を得たことが分かる。
【０２３７】  ［比較実験６］(CFRP：carbon-fiber-reinforced plastic)  次に、先と同様にストレート形状のブレードを用いて、以下の条件で比較実験を行った。ブレード厚みは、50μm厚で行った。
【０２３８】  ・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製）  ・ブレード回転数：20000rpm  ・ワーク送り速度（加工送り速度）：1mm/ｓ  ・切り込み深さ：500μm(フルカット)  ・ワーク：CFRP  比較実験６の結果を図１３Ａ及び１３Ｂに示す。なお、図１３Ａ及び１３Ｂは、溝入れ加工後のワーク断面の様子を示したものであり、図１３Ａは本実施形態のブレード２６を用いた場合、図１３Ｂは従来の電鋳ブレードを用いた場合である。
【０２３９】  従来の電鋳ブレードと比較すると、電鋳ブレードは一つ一つの繊維を引きちぎるため、繊維のきれいな断面を観察できないが、本発明に係るブレードでは一つ一つの繊維が絡まって引きちぎれることなくシャープな繊維端面持つ切断面を得ることができる。
【０２４０】  この結果は、本発明に係るブレードの場合、連続した切れ刃が形成され、それぞれの凹み部分が切れ刃になると共にダイヤモンド同士が結合している。そのため、電鋳ブレードでは切れ刃が繊維一本を切断するのに軟らかい結合材で衝撃を吸収してしまい、鋭利に切れ刃が作用しないが、本発明に係るブレードは、ダイヤモンドのせん断応力によって、瞬時の衝撃を吸収することなく鋭利に刃先が作用するためである。
【０２４１】  次に、ブレード２６のワークＷに対する切り込み深さを臨界切り込み深さ（Ｄｃ値）以下として延性加工モードでの切断加工が行われる場合であっても実用的なダイシング加工が可能である理由について説明する。
【０２４２】  例えば、外径50mmのブレード２６を用いてシリコンウェーハからなるワークＷを切断加工する場合を考える。なお、ブレード外周端部には結晶粒界に沿った切れ刃（微小切刃）が約１０μmピッチで周方向に沿って設けられているものとする。この場合、ブレードの外周長は157mm（157000μm）であることから、約15700個の切れ刃が外周部に形成されていることになる。
【０２４３】  まず、１つの切れ刃がワークＷにクラックを与えない程度の切り込みとして、0.15μｍの切り込みを入れたものとし、その切り込みにより一度の除去量が0.02μm（20nm）であるとする。なお、通常、ＳｉＣやＳｉ、サファイア、ＳｉＯ２などクラックが発生しない臨界切り込み深さはサブミクロンオーダ（例えば約0.15μm）である。そうすると、ブレード外周端部には15700個の切れ刃が存在するため、ブレード一回転あたり原理的には0.314mm（314μm）ほど、加工を進めることができる。ダイシングのスピンドルとして10,000rpmとすると、１秒当たり166回転する。よって、１秒当たりのブレード外周端部での切断除去排除距離は52.124mmとなる。例えば、ブレードの送り速度を20mm/sとした場合、ワーク材料内を押しながら進む速度よりも、ワーク材料をせん断方向に加工して除去する速度の方が速い。すなわち、ワーク材料を切断する上では、ワーク材料の破壊が起きない程度に微小切り込みを入れて、ワーク材料をブレードの進行方向とは直交する水平方向に加工して払いのけ、その払いのけ除去された部分を、ブレードが進行していく形態となる。そのため、クラックが発生する程度の0.1μm以上の切り込みが入る余地がないため脆性破壊を起こすことなく、塑性変形に基づく延性加工領域での切断加工が可能となる。すなわち、高速にブレードを回転させながらブレード回転によるブレード外周端部（先端部）の加工対象材料に対する周速度を、ブレードの加工対象材料に対する送り速度に比べて大きくとることで、延性加工を行うことが可能となる。
【０２４４】  なお、実際的には、多少のブレードの偏芯も考慮し少し余裕を持たせて実施し、φ50.8mmのブレード径では、20,000rpmで回転させながら、10mm/s程度の送り速度で加工すれば、材料のクラックは発生しない。
【０２４５】  次に、本実施形態のブレード２６を用いて延性モードでの加工を実現するために各種検討した結果について説明する。
【０２４６】  [ブレードの切刃部の断面形状について]  本実施形態において、ブレード２６の外周部に設けられる切刃部４０の断面形状は、図４Ａから４Ｃに示した断面形状のうち、図４Ｂに示した両側テーパタイプ（両Ｖタイプ）のものが好ましく用いられる。
【０２４７】  図１４は、両側テーパタイプの切刃部４０を有するブレード２６を用いてダイシング加工が行われるときの様子を模式的に示した説明図である。まず、ブレード２６の切刃部４０の任意の位置に設けられる先端部４０ａは、図１４中の（Ａ）部から（Ｃ）部に示すように、ワークＷの表面部から最深部（最下点）まで徐々に移動しながらワークＷの研削を行う。その後、図１４中の（Ｃ）部から（Ｄ）部に示すように、切刃部４０の先端部４０ａはワークＷの最深部から表面部に向かって徐々に移動する。このとき、研削溝の側面とブレード２６の側面との間には隙間Ｓが形成される。
【０２４８】  すなわち、ブレード２６の切刃部４０がワークＷの表面から内側に切り込んでいる領域において、ブレード回転方向上流側ではワークＷの研削が行われる切断部６０となる一方で、その下流側ではブレード側面（切刃部４０の側面）と溝側面との間に隙間Ｓが形成され、ワークＷの研削は行われず、上流側の切断部６０で研削された切り屑が溝内に排出される排出部６２となる。
【０２４９】  一般にバリやチッピングは、ブレードを材料から抜く際、溝側面と擦れて生じる。このため、例えば図１５に示すように、両側の側面部がストレート状に平行に加工されたストレートタイプのブレード９０が用いられる場合、ブレード先端部（切刃部）がワークＷ内部に侵入から外側に抜け出すまでブレード側面は絶えず切断溝の側面と接触する。このため、両側テーパタイプのブレード２６に比べて、ブレード先端部がワークＷ内部から抜けるときに切断溝の側面とブレード側面が擦れやすく、その結果、バリやチッピングを引き起こす要因となる（図１５中の（Ｄ）部、（Ｅ）参照）。また、ダイヤモンド砥粒を埋め込んだ電鋳ブレードが用いられる場合、ブレード側面から突き出ている砥粒が溝側面を引きかき、溝側面のバリやチッピングの発生を助長しやすくなる。
【０２５０】  これに対して、両側テーパタイプの切刃部４０を有するブレード２６によれば、上記のようにブレード２６がワークＷから抜ける際にはブレード側面と溝側面との間に隙間Ｓが生じているため、バリやチッピングが生じることがない。また、切り屑の排出に伴って、研削時に生じる熱を切り屑とともに排出することができる。これにより、ブレード２６の反りを防ぐことが可能となる。
【０２５１】  すなわち、ブレード２６の切刃部４０がワークＷ内に切込んで最下点に向うまでワークＷを切込み、その後、ブレード２６がワークＷの最下点を通過して、ブレード２６がワークＷから抜き出る過程でブレード側面と溝側面との間に隙間Ｓが形成された状態でブレード２６がワークＷから抜け出るため、チッピングなどの発生を効果的に抑えることが可能となる。
【０２５２】  さらに、上記のような切断加工を行うことによって、ブレード側面と溝側面との接触に伴う摩擦によって生じる熱の発生を極力抑えることにも寄与する。その結果、熱の上昇による切断抵抗の増大などを抑えて、切断屑のブレード２６への溶着を防止することができる。また、ブレード２６をワークＷから抜き出す過程で隙間Ｓを作りつつ、切断屑を溝内に置き去りにしていくことによって、切断屑に熱を持たせ、熱を排出する効果もある。こうした切断屑は後の洗浄で洗い流すことができる。さらに、ブレード２６の発熱やワークＷの発熱を抑えることが可能となるので、ブレード２６やワークＷに多量の水を供給しなくても、これらの発熱を防ぐことが可能となり、ドライな環境で加工することが可能となる。
【０２５３】  ［ダイヤモンド砥粒の粒径と含有量の関係について］  本実施形態において、延性モードで加工するためにはブレード２６の周方向における砥粒配列について考慮する必要がある。その理由としては以下のとおりである。
【０２５４】  まず、仮に0.15μmの切り込みを入れるためには、その切り込みを入れるための切れ刃（微小切刃）の大きさとしては、１桁程度の大きい砥粒径や切れ刃間隔である方が望ましい。３桁以上大きい切れ刃間隔となる場合、切れ刃間隔のばらつきも考慮すると、微小な切り込みを入れることは難しい。
【０２５５】  一般的に、平板状試料に対して、略等間隔に切れ刃が設定されたブレードを平行移動させて加工する際の最大切込み深さを幾何学的に計算する。以下図１６を基にすると、ハッチングした部分を一刃あたりの切り屑部分とすれば、ブレード中心Ｏと切り屑上の一点Ａとを結ぶ線によって決まるＡＣなる長さが一刃あたりの最大切込み深さｇmaxとなる。
【０２５６】  なお、Ｄはブレード直径、Ｚはブレード切れ刃数、Ｎはブレードの毎分回転数、ＶＳはブレードの円周速度(πＤＮ)、ＶＷはワークの送り速度、ＳＺはブレード一刃あたりの送り量、ａは切込み深さとする。
【０２５７】  そこで、
【０２５８】
【数１】
2013187510.tif 000006
【０２５９】とおき、切込み深さｇmaxはブレード直径Ｄに比べて十分小さいとすれば、
【０２６０】
【数２】
2013187510.tif 000007
【０２６１】
【数３】
2013187510.tif 000008
【０２６２】
【数４】
2013187510.tif 000009
【０２６３】したがって、
【０２６４】
【数５】
2013187510.tif 000010
【０２６５】ここで、ブレードの刃数Ｚの代わりに、切れ刃間隔λを使用して、Ｚ＝πＤ／λとして、式（１）に代入すると、一刃あたりの最大切込み深さが求まる。
【０２６６】
【数６】
2013187510.tif 000011
【０２６７】ここで、πＤＮは明らかにブレード周速度ＶＳに等しい。すなわち、ブレードによる平板加工において、切れ刃間隔λと一刃あたりの最大切り込み深さの関係は次式で与えられる。
【０２６８】
【数７】
2013187510.tif 000012
【０２６９】  但し、ｇmax：単位切れ刃あたりの切り込み深さ、λ：切れ刃間隔、Ｖω：ワーク送り速度、Ｖｓ：ブレード速度、ａ：ブレード切り込み深さ、Ｄ：ブレード径とする。
【０２７０】  これからも、単位切れ刃あたりの切込み深さを一定以下にするためには、切れ刃の間隔が重要になることが分かる。また、ブレードの回転速度も重要になる。
【０２７１】  このｇmaxの式に示した関係によれば、Ｖω：40mm/s、Ｖｓ：26166mm/s、ａ：１mm、Ｄ：50mm、λ：25μmとしても、0.027μm程度の切り込み量だけとなり、0.1μm以下の切り込み量となる。この範囲であれば、臨界切り込み深さ以下であるから、延性モード加工の範囲である。
【０２７２】  延性モード加工を行うためには、必ず上記の条件を満たさなければならない。
【０２７３】  さらには、実用的な条件として、2インチ径のブレード(直径50mm)を10000rpmで回転させて加工する条件で、ワーク厚みが0.5mm、ワークの送り速度を10mm/sとし、ブレード外周部分の切れ刃間隔を1mmピッチで形成したとする(Ｖω：10mm/s、Ｖｓ：157×10４mm/s、ａ：0.5mm、Ｄ：50mm、λ：1mm)。
【０２７４】  その条件であっても、上の式に代入すると、一つの刃が切込む臨界切込み深さは0.08μmとなり、依然0.1μm以下の切込み深さとなる。よって、ブレードが偏芯せず理想的にすべての切れ刃がワークの除去加工に作用するとした場合、臨界的にはブレード外周部に形成できる切れ刃間隔は1mm以下までであれば、致命的なクラックを生じる過剰な切込みを与えることなく、加工を進行させることが可能となる。
【０２７５】  なお、SiCでは、クラックを生じさせない臨界切込み深さは0.1μm程度である。他のサファイア、ガラス、シリコンなどにおいては、同クラックを及ぼさない臨界切込み深さは、0.2〜0.5μm程度であるため、臨界切込み深さを0.1μm以下と設定しておれば、ほとんどの脆性材料はクラックを及ぼすことなく、材料の塑性変形域内で加工を行うことができる。
【０２７６】  よって、ブレード周囲につける切れ刃間隔は1mm以下である方が望ましい。
【０２７７】  一方、ブレード周囲の切れ刃間隔は1μm以上である方がよい。仮に、平均的な切れ刃間隔が1μm以下の場合、すなわちサブミクロンオーダの切れ刃間隔を有する場合、臨界切込み深さ量と材料除去の深さ単位がほぼ同程度になってくる。すなわち、両者ともサブミクロンオーダとなるが、このような条件では実際に一つの切れ刃が期待する除去量に達することは難しく、逆に目詰まりモードによって加工速度は急激に低下する。
【０２７８】  こうした状況下では、一つの切れ刃の臨界切込み深さは別として一つの切れ刃が除去できる深さ自体に無理があると考えられる。
【０２７９】  なお、上記の考えは、ワークを切断する断面積が一定である場合に成り立つ。すなわち、試料は略平板状試料において、ブレードを高速回転させて、ブレードを、平板状ワークに対して一定の切込み深さに設定し、ワークをスライドさせながら切断加工するブレードに関する内容において合致する。
【０２８０】  また、上記の式は、一つの切れ刃が与える臨界切込み深さは、切れ刃間隔によることも重要なことである。一つの切れ刃が切り込む量は、次の切れ刃との間隔に影響し、ある部分で切れ刃間隔が大きい部分があると、所望の臨界切込み深さより深く切込みクラックを及ぼす可能性を示している。よって、切れ刃間隔は重要な要素であり、安定した切れ刃間隔を得るために、その切れ刃間隔を材料組成から自然に設定されるように、単結晶ダイヤモンドを焼結したＰＣＤ材料が好適に使用されるのである。
【０２８１】  但し、ダイヤモンド砥粒の粒径（平均粒子径）が大きくても、その隙間が密に敷き詰められており、実質的な砥粒間隔がその粒径よりも小さいオーダであれば、さらに砥粒の切り込みを抑制し、制御することが可能となる。実際には、理想的な粒径として1μmから5μm程度のダイヤモンド砥粒が望ましい。
【０２８２】  なお、粒径が必ずしも切れ刃間隔になるとは限らない。正確にツルーイングされている場合は、切れ刃の間隔は粒径に相当するかもしれないが、通常切り出してドレッシングされた状態では、切れ刃間隔は砥粒径よりも大きくなる。
【０２８３】  すなわち、粒界で厳密に規定されれば、一つの砥粒の両脇に存在する隙間が、切れ刃に相当すると解釈されるが、実際はいくつかの砥粒が固まりで抜け落ちて、自然に一定周期の切れ刃を形成するようになる。これは、ブレードを平均的に荒らすことで切れ刃ピッチを形成することができる。
【０２８４】  図１７Ａ及び１７Ｂには、ブレード外周端を粗さ計で測定した結果を示す。さらに図１８Ａ及び１８Ｂには、表面状態の写真を示す。焼結体であるため、基本的には表面に見える部分はすべて砥粒であるダイヤモンドで構成される。
【０２８５】  また、表面の凹凸はダイヤモンド粒界から形成されており、自然な略等間隔の凹凸形状が構成される。この一つ一つの凹部が材料に切込むための切れ刃として作用する。この切れ刃ピッチは、図から明らかなように、4mmレンジで260個、263個の山数があるため、約15μmピッチの切れ刃間隔となっていることが分かる。なお、本材料は、住友電工ハードメタル社製のＤＡ２００で構成されており、構成されるダイヤモンド粒子の粒径は公称1μmである。このように、粒径は小さくても、切れ刃間隔はそれよりも大きく形成されており、図から分かるように略等間隔に形成されている。
【０２８６】  こうした等間隔な切れ刃は、単結晶の微粒子を焼結させて作られたダイヤモンド焼結体によって、ブレードそのものを形成していることによるものである。
【０２８７】  このように、ブレード先端部分は、ワークを切り進めるために大きく凹凸をつけるようにしているが、それに対して、ブレード先端部分に比べてブレード側面部分は除去後のワーク切断後の端面を鏡面になるように研削する。そのため、ブレード先端部は切り進めるために粗く成形しており、ブレード側面部はそれに対して細かく成形している。
【０２８８】  なお、従来の電鋳ブレードでは、通常ダイヤモンド砥粒の間隔は、その粒径と比べて格段に大きい。これは、まばらに振りまいたダイヤモンド砥粒を単にメッキしているためであり、メッキする時点で全く異なる。
【０２８９】  これに対して、本実施形態のブレード２６では、ダイヤモンド焼結体は焼結助剤が焼結によりダイヤモンド内に溶融してダイヤモンド同士が強固に結合するため、非常に硬質かつ高強度に構成される。また、ダイヤモンド焼結体は電鋳ブレードと比較して相対的にダイヤモンド含有量が多く(例えば、特開昭61-104045号公報を参照)、電鋳ブレードと比較すると相対的に強度が大きい。
【０２９０】  また、ブレード材料内部の多くがダイヤモンドで占められているために、ダイヤモンド体積よりも、それ以外の部分(焼結助剤含む)の方を小さくすることが可能となり、ダイヤモンド焼結体の場合では、仮に粒径が大きくてもダイヤモンド粒径の隙間を実質的にミクロンオーダにすることが可能になる。
【０２９１】  また、ダイヤモンド砥粒の間の凹み部分が本発明では極めて重要な役割を果たす。ダイヤモンド砥粒は非常に硬質であるが、焼結助剤として入れたコバルトは一部はダイヤモンド内に浸透するが、一部はダイヤモンド砥粒間に残っている。この部分はダイヤモンドと比べると硬度的に少し柔らかいので、切断加工において摩耗しやすく少し凹む形になる。すなわち、ダイヤモンド同士に挟まれた部分があって、その間の凹みを微小な切れ刃にすることで、過剰な切り込みを与えることなく、安定した切り込みを得ようとしているものである。また、微小な切れ刃は、ダイヤモンド同士に挟まれた凹みのみならず、ダイヤモンド粒子自体が欠落してできた凹み部分も切れ刃として作用させることもある。この切れ刃間隔は、先の式に示した一つの刃あたりの臨界切込み深さを超えない程度の間隔に設定しておけばよい。
【０２９２】  例えば、25μm粒径のダイヤモンド砥粒を焼結で固める場合を考える。ここでは分かりやすくするために、ダイヤモンド砥粒は25μm四方の立方体であるものと仮定する。ダイヤモンド砥粒同士を結合するために、25μmの外側で両側1μmの部分を別の粒子と結合するための結合部分として利用するものとする。すると、27μm四方の立方体となる。その場合に、ダイヤモンド砥粒部分が締める体積％は78.6％程度になる。よって、80％以上程度のダイヤモンド含有量があれば、たとえ、25μm粒径のダイヤモンド砥粒であっても、そのダイヤモンド砥粒間の隙間、すなわち粒子間隔は実質せいぜい1〜2μm程度となり、その凹み部分が切り込みを与えるための切れ刃（微小切刃）となる。また、2μm程度の粒子間隔であれば、その粒子間隔においてそのピッチの粒子がワーク材料に押し込まれたとしても、そのワーク材料の変位はダイヤモンド砥粒の間隔と比べて１桁以上小さくなる。すなわち、0.15μmかそれ以下となる。また、25μmピッチで切れ刃（微小切刃）が形成されているとして、50mmのブレード径の場合、全周約157mmあたり6280個の切れ刃が形成されている。仮にブレードを20000rpmで回転させるとして、１秒当たりに切れ刃は、2093333個作用させることができる。
【０２９３】  この1つの切れ刃が0.15μm以下の切り込みを入れて、仮にその1/5である0.03μmほど、１秒あたりに除去するとする。そうすれば、2093333個の微小切刃であれば１秒当たり、62799μmほど除去可能となり、理論上、一秒当たり6cm程度切り進めることが可能となる。
【０２９４】  こうした点からも、理論上、25μm粒径のダイヤモンド砥粒であっても、80％以上のダイヤモンド含有量を有しておれば、ダイヤモンド砥粒同士が結合している隙間の部分は1〜2μm程度となり、その結果、過剰な切り込み量を与えることなく、安定した切り込み量として0.15μmとすることが可能となる。
【０２９５】  また、ダイヤモンド砥粒の粒径が25μmではなく、それ以下であっても、ダイヤモンド含有量を80％以上とすれば切り込みや材料除去量の点において、臨界切り込み深さを越えることがないため問題はなく、クラックを発生することなく延性モードでの加工を行うことが可能となる。
【０２９６】  以上のように、ダイヤモンド焼結体の場合、ダイヤモンド砥粒（ダイヤモンド粒子）間が密に詰まっているため、ダイヤモンド含有量が非常に高く、個々のダイヤモンド砥粒がそのダイヤモンド砥粒のサイズの切れ刃として作用する。
【０２９７】  また、ダイヤモンド砥粒の粒径と比較して、ダイヤモンド砥粒間の距離が格段に小さくなり、切り込み量として正確に制御することが可能となる。その結果、切り込み深さが所定の当初目論んだ切り込み深さ以上に大きくなることはなく、加工中絶えず安定した切り込み深さを保証する。その結果、ミス無く、延性モードの切断加工を行うことが可能となる。
【０２９８】  なお、25μm程度の大きい粒径では、ダイヤモンド砥粒の含有率をさらに多くすることができ、通常市販されているものであれば93％程度の含有率（ダイヤモンド含有量）のものがある。そうであれば、なおさら、焼結助剤の割合が減少し、すなわち、ダイヤモンド砥粒同士の隙間は、実際微小になる。
【０２９９】  ただし、25μm以上の大きい粒径のダイヤモンドを使用する場合、先に述べたように切れ刃間隔としては、延性モード加工を行う上で十分なのであるが、一方でブレードの刃厚を50μm以下とする場合には、そうした大きい砥粒では製作することはできない。
【０３００】  なぜならば、例えば、40μmの刃厚で製作する場合は、少なくともブレード断面に二つ以上のダイヤモンド砥粒を要していないとならないが、理論上二つ入らず、1.6個となるからである。
【０３０１】  ［ワーク材料の変形を考慮したブレードの刃厚について］  延性モードの加工を安定して行うためには、前述したように、深さ方向においては切り込みを0.15μm程度以下にする必要がある。この切り込みを安定的に行うためには、切り込み幅から考慮されるワーク材料の厚み方向変位（縦方向変位）も考慮しなくてはならない。
【０３０２】  すなわち、広い範囲でブレード面（ブレード２６の回転軸に垂直な面）に平行な方向に切り込みを入れて除去する場合、それに伴うワーク材料の変形は縦方向(切り込み深さ方向)にも広がる。すなわち、ワーク材料のポアソン比を考慮して、ある程度有限の切り込み幅とする必要がある。なぜなら、極端に切り込み幅を大きくすると、ポアソン比の影響による材料変形で縦方向にもその変形余波が及んでしまう。これにより、所定の設定した臨界切り込み深さ以上の切り込み量が入ってしまい、結果的にワークＷの割れを誘起することがあるためである。
【０３０３】  ここで、ポアソン比の影響を考慮した場合に安定的に切り込みを与えることができるブレードの刃厚（ブレード幅）について検討する。表４は、脆性材料のヤング率とポアソン比との関係を示したものである。
【０３０４】
【表４】
2013187510.tif 000013
【０３０５】  ここでは、１つの切れ刃がワーク材料に切り込むものとする。また、細いストレートなブレード先端は、特段恣意的に鋭利化するものではなく常に加工すると、断面形状は略半円形になるものとする。
【０３０６】  そうした場合、例えば0.15μmの切り込みを直方体状のもので与えるとすれば、略1μm程度の幅で平行に切り込みを与えると、ポアソン比によれば、付随的に縦方向に単純に0.17μm程度変位することになり、これは実際の切り込み量近くになる。実際は、ポアソン比の影響は縦変位のみならず、水平方向にも及ぶため、概算で1μm程度の幅であれば切り込み量として与えることができる。
【０３０７】  しかし、図１９に示すように、略半円状のブレード先端（ブレード外周端部）をワーク材料に対して0.15μm切り込む場合は、その幅として平行に一様に変位させているわけではないので、外周の立ち上がりを考慮すると、約5μmの円弧状の幅であればポアソン比の影響を受けずに切り込むことが可能となる。すなわち、Rsinθ＝2.5となり、R(1-cosθ)=0.15となる。
【０３０８】  これを逆算すると、先端部分のブレード半径は約25μm程度となり、上記5μm幅の切り込みを与える頂角は12度程度になる。
【０３０９】  よって、材料に切り込むブレードの幅としては、約50μm以内には抑えておく必要がある。それ以上となると、各点平面的に同時に材料に作用することになり、時として微小なクラックを誘発することにつながる。
【０３１０】  なお、それ以上の曲率、すなわち、30μm程度のブレード厚みであれば、基本的に上記の状態よりも局所的に切れ刃が作用するため、基本的に切れ刃の横幅が切り込み深さに影響を及ぼすことはなく安定的に切り込むことができる。
【０３１１】  なお、ブレードの幅については、延性モードの加工を行う上での観点もあるが、ブレード単体の座屈強度とも大きく関係する。
【０３１２】  上記ブレードの幅は、ワーク厚みからも制限を受ける。
【０３１３】  ここで、ブレードの幅とワーク厚みの関係を示す。
【０３１４】  ワークは、一般的にはダイシングテープに支えられている。ダイシングテープは弾性体であるため、ワークのような硬い材料とは異なり、少しの応力で多少なりとも縦方向(Ｚ方向)に変位しやすい。ここで、ワークをブレードで切断する際には、ワーク内の切断される部分の断面形状、図２０Ａに示される斜線部分が重要になる。
【０３１５】  ブレード厚み（ブレード接触領域）ｌがワーク厚みｈよりも大きいｌ＞ｈの場合、図２０Ｂに示すようにブレードが接する部分(加工除去される部分)は横長の長方形になる。こうした除去対象の断面部分が横長の長方形になる場合においては、上部から分布荷重が作用すると、撓みによって弓なりに曲がる状態が発生し、その撓みの最大変位は以下となる。(実際は板の撓みではあるが、単純に梁の問題と考え分布荷重が作用と仮定)
【０３１６】
【数８】
2013187510.tif 000014
【０３１７】  断面が奥行きｂで高さｈの長方形梁の場合、
【０３１８】
【数９】
2013187510.tif 000015
【０３１９】であるため、上式は以下となる。
【０３２０】
【数１０】
2013187510.tif 000016
【０３２１】  最大撓みは、梁の中央部分で、ワーク厚みｈの3乗に反比例し、ブレード接触領域ｌの4乗に比例する。
【０３２２】  特に、（ｌ／ｈ）３において、ｌ／ｈが１を境にして、ｌ／ｈが１より小さくなれば撓みは格段に小さくなり、逆にｌ／ｈが１より大きくなれば撓みは格段に大きくなる。これより、ブレード厚み(ブレード接触領域)ｌとワーク厚みｈの相対的な厚みの形状で撓みが発生する場合と、発生しない場合が分かれる。
【０３２３】  このブレード接触領域がワーク厚みよりも大きい場合(ｌ>ｈ)、ワークは接触領域内で撓みが発生するが、ワークが撓む場合、断続的に面内で上下に撓みによるワークの振れの振動が発生し、所定の切込みを達成できなくなる。結果的にワークの縦方向の振動でブレードから致命的な切込みが与えられ、ワーク表面に割れが発生する。
【０３２４】  よって、特に本発明のPCDブレードによる加工では、クラックフリーの加工を行うため、所定の切込み深さを安定して忠実に守る必要がある。そのためには、切れ刃間隔制御による切込み深さを設定する他にも、ワークそのものの加工時おける縦振動を抑えることで、所定の切込みを精度よく確保しなればならない。
【０３２５】  そのためにも、ブレード厚みは、図２０Ｃに示すように対象ワークの厚みよりも薄くしなければならない。
【０３２６】  例えば、ワーク厚みが50μm以下の場合は、ブレードの幅は当然50μm以下にする必要がある。
【０３２７】  この場合には、ワークは接触領域内で撓むことはない。一方、接触領域内で屈曲ないしは圧縮させる応力が働くが、ワークは横方向には密な連続体でポアソン比により変形が拘束される。そのため、局所的にはワークから反力としてブレードから与えられた応力に作用し、結果的に、割れを発生することなく所定切込みでの加工が可能となる。
【０３２８】  ［従来のブレードとの比較］  特許文献１にあるような電鋳ブレードの場合、ダイヤモンドを分散させ、その上からメッキを行うため、ダイヤモンドはまばらに存在し、しかもそれらは突き出した構成となる。その結果、突き出した部分は、当然のように過剰な切り込みを与えてしまうこともあり、脆性破壊を誘発する。なお、溝の底部や側面部も連続している部分は、ワーク材料も互いに密に構成されているため、すぐさまクラックは入りにくいが、ブレードが抜ける部分が最もクラックや割れが入りやすい。それは、ブレードが抜ける際に、バリがでることと同じであり、ワーク材料は連続ではなく支えがないからである。
【０３２９】  また、特許文献２のブレードの場合は、ＣＶＤ法で成膜されているために、突出したクラックはない。ただし、ブレード端部の切れ刃の配列、ブレード側面部の平面状態やうねりなど、制御することは不可能である。
【０３３０】  特に、ブレード側面部に限れば、成膜時の膜厚むらはそのままブレードの厚みむらに相当する。また、成膜の表面そのものは無垢な面であるため、材料側面と完全に接触して摩擦熱を誘発することや、微妙なうねりがあり、そのうねりで材料を叩き割ることもある。
【０３３１】  それに対して、本実施形態のブレード２６では、軟質金属の焼結助剤を用いて焼結されたダイヤモンド焼結体で一体的に構成されるため、ブレード外周端部とブレード側面部を摩耗処理で成形することが可能となる。特にブレード外周端部は切れ刃となるため、前述のように、所定の切れ刃とするためにさらに摩耗処理条件を変更することも可能である。一方、ブレード側面部の役割としては、切り屑を排除することがまず第一にあるが、ワーク側面との接触を加味すると、ある程度の接触しつつも、過度に接触せず、安定してワーク側面を微小に削る程度に荒らされていることが望ましい。
【０３３２】  このようにブレードの外周端部と、ブレード側面部をそれぞれその状態に応じて所望の表面状態を設計し、そのような表面に製作できることについていずれの引用文献の技術も不可能である。
【０３３３】  なお、スクライビングで使用されるブレードの場合、以下のような理由から延性モードでの加工には適さない。
【０３３４】  すなわち、スクライビングでは、ブレード自体を回転させるわけではないので、等間隔に揃った微小な切れ刃自体が必要になるものではない。また、たとえ、切れ刃があったとしても、ミクロンオーダの結晶粒界に沿った微小切刃でなく、大きい切れ刃とする場合、高速回転のダイシングでは材料にクラックを与えてしまい到底使用することはできない。
【０３３５】  また、結晶粒界に沿った微小な切れ刃をもつブレードをスクライビングで使用しても、その微小な切れ刃はスクライビングのクラックを与える切れ刃として機能するものではない。
【０３３６】  また、スクライビングは、ブレードを鉛直方向に押圧する。そのため、ブレード内を通す軸に垂直下方向に応力を与え、ブレードを軸に対して滑るように構成する。軸とブレードを固定して使用するものではないため、軸に対するブレードのクリアランスは低く、また、ブレード自体が高速回転しないので、ブレードの片側面に基準面を設ける必要もない。
【０３３７】  また、50μm以下、とりわけ30μm以下の細い刃先のスクライビング用のブレードを製作しても、ブレードは薄い軸受けで受け、またブレードの片側面に広い面で受ける基準面が存在しないため、ワークに対する精度良い真直度を確保できない。その結果、細い刃先のブレードは座屈変形してしまうことになり使用できない。
【０３３８】  ［ブレードの強度について］  次に、ブレード材料の強度(弾性率)とワーク材料の強度(弾性率)の関係について述べる。
【０３３９】  ブレードがワークに一定量切り込んでそのまま切り進めるためには、ブレード材料はワーク材料に対して大きい強度が必要となる。仮に、単純にブレード材料がワーク材料に対して軟らかい材料、すなわちヤング率の小さい材料で構成されていた場合、極細いブレード先端部分をワーク表面に作用させ、ブレードを進めようとしても、ワーク材料が高弾性率の部材であればワーク表面を微小に変形させることができず、それを無理に変形させようとすると、ブレード自体が座屈変形する。そのため、結果的に加工が進行しない。ここで、両端支持の長柱の座屈荷重Ｐは次式で与えられる。
【０３４０】
【数１１】
2013187510.tif 000017
【０３４１】  なお、Ｅ:ヤング率、Ｉ：断面二次モーメント、ｌ：長柱の長さ(ブレード径に対応)とする。
【０３４２】  仮に、ワーク材料より低い弾性率を有するブレードの場合、ブレードの座屈変形を抑えながら加工を進展させるのであれば、座屈変形しない程度の断面二次モーメントが必要となり、具体的にはブレード厚みを分厚くせざるを得ない。しかし、特に脆性材料を加工する場合でブレード厚みがワーク厚みより厚い場合、ワーク材料表面を変形させ押し割ってしまう。よって、ブレード厚みはワーク厚みよりも薄くしなくてはならない。
【０３４３】  そうすれば、結果的には、ブレード材料はワーク材料よりも高弾性率のものを使用しなくてはならないことになる。
【０３４４】  こうした関係は、従来の電鋳ブレードと本実施形態のブレード２６との差に相当する。すなわち、電鋳ブレードは、ニッケル等の結合材で結合しており素材的にはニッケルベースとなる。ニッケルのヤング率は219GPaであるが、例えばＳｉＣは450GPaである。ニッケルに電着されているダイヤモンド砥粒自体は970GPaであるが、それらは個別に独立に存在するため、結果的にニッケルのヤング率に支配される。そうすれば、原理上、ワーク材料が高弾性であるため、付随的にブレード厚みを増して対応しなくてはならない。その結果、電鋳ブレードの厚みを太くして接触面積を大きくすることを余儀なくされ、クラックや割れを誘発することになる。
【０３４５】  これに対して、本実施形態のブレード２６の場合、ダイヤモンド焼結体のヤング率はダイヤモンド同士が結合しているため、700〜800GPa相当である。これは、ほとんどダイヤモンドのヤング率に匹敵する。
【０３４６】  ここで、ブレード２６の弾性率がワークＷの弾性率に比べて大きい場合、ブレード２６は切り込みを与えた際に、ブレード２６ではなくワークＷ側の表面が変形することになる。ワークＷ側が変形したまま、そのまま切り込みを入れて加工除去していくことが可能となる。しかも、その過程でブレード２６が座屈変形することはない。よって、非常に鋭利なブレード２６であっても、座屈することなく加工を進めることが可能となる。
【０３４７】  表５に各材料のヤング率を示す。表４から明らかなように、ダイヤモンド焼結体（ＰＣＤ）は、サファイアやＳｉＣなどの大抵の材料と比較しても格段にヤング率が高い。このため、ワーク材料厚みより細いブレードであっても加工することが可能となる。
【０３４８】
【表５】
2013187510.tif 000018
【０３４９】  次に、ワーク材料とブレード材料の硬度の関係を述べるが、高度の関係も先の弾性率と同様である。
【０３５０】  ブレード材料の硬度がワーク材料の硬度に比べて低い場合、例えば電鋳ブレードの場合は、ダイヤモンドを軟質の銅やニッケルが支えている。表面のダイヤモンド砥粒は非常に硬度が高いが、その下でダイヤモンド砥粒を支えているニッケルの硬度は、ダイヤモンドと比較すると極めて低い。よって、ダイヤモンド砥粒に衝撃が与えられると、その下のニッケルが衝撃を吸収することになる。結果的に、電鋳ブレードの場合はニッケルの硬度が支配的になるため、結果、硬質のダイヤモンド砥粒がワーク材料に衝突し、ワークに切り込みを与えようとしても、結合材がその衝撃を吸収するため、結果的に所定の切り込みを与えることが難しい。よって、加工を進行させるためには、ある一定以上のブレード回転数をダイヤモンドに衝撃的に与えないことには加工が進まない。また、この際にニッケルに一瞬衝撃が吸収され、その反力がダイヤモンド砥粒にのって大きな力でワーク材料を押圧するため、ワーク材料を脆性破壊させてしまう。
【０３５１】  それに対して、本実施形態のブレード２６の場合、ダイヤモンド焼結体はダイヤモンド単結晶に匹敵する硬度を有し、サファイア、ＳｉＣなどの硬脆性材料と比較しても格段に高い硬度である。その結果、ダイヤモンド焼結体の表面に形成される凹部からなる切れ刃（微小切刃）がワーク材料に作用しても、その衝撃はそのまま微小な切れ刃部分に局所的に作用し、鋭利な先端部分と相まって、極微小部分を精度よく除去加工することが可能となる。
【０３５２】  以上説明したように、本実施形態によれば、ダイヤモンド砥粒８２の含有量が８０％以上からなるダイヤモンド焼結体８０によって円盤状に一体的に構成され、このブレード２６の外周部にはダイヤモンド焼結体８０の表面に形成された凹部からなる切れ刃（微小切刃）が周方向に沿って連続的に配列された切刃部４０が設けられる。このため、従来の電鋳ブレードに比べて、ワークＷに対するブレード２６の切り込み深さ（切り込み量）を高精度に制御することが可能となる。これにより、過剰な切り込みが与えられることなく、ワークＷに一定の切り込み深さを与えながら、ワークＷをブレード２６に対して相対的に移動させることができる。その結果、脆性材料から構成されるワークＷに対しても、ブレード２６の切り込み深さをワークの臨界切り込み深さ以下に設定した状態で切り込みを行うことが可能となり、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができる。
【０３５３】  また、ダイヤモンド焼結体８０の表面に形成された凹部は、ワークＷを加工する際に生じる切り屑を搬送するポケットとして機能する。これにより、切り屑の排出性が向上するとともに、加工時に生じる熱を切り屑とともに排出することが可能となる。また、ダイヤモンド焼結体８０は熱伝導率が高いので、切断加工時に発生する熱がブレード２６に蓄積されることがなく、切断抵抗の上昇やブレード２６の反りを防ぐ効果もある。
【０３５４】  また、本実施形態のブレード２６を用いたダイシング加工では、ブレード２６の回転方向はダウンカット方向であることが好ましい。すなわち、ワークＷに対して切り込みを与えながら、ワークＷをブレード２６に対して相対的に移動させる際、図１４に示したように、ブレード２６の切れ刃がワーク表面に切り入るような回転方向にブレード２６を回転させながらダイシング加工を行う態様が好ましい。
【０３５５】  また、本実施形態のブレード２６を用いたダイシング加工では、ブレード２６によってワークＷに一定の切り込み深さを与えながら、ワークＷをブレード２６に対して相対的に移動させる際、ブレード２６に微粒子を与えながら行う態様が好ましい。
【０３５６】  ここで、上記態様が好ましい理由について、以下に詳しく説明する。
【０３５７】  本実施形態のようにダイヤモンド焼結体で構成された円盤状のブレードの場合、ダイヤモンド粒子の間である粒界部分に凹みができる。その凹み部分が切れ刃として作用する。または、自然に形成された粗さによる凹凸で切れ刃が形成され、特に凹部分に切れ刃が形成される。
【０３５８】  ブレードの外周部分の作用は、主として切れ刃が作用してワークに切れ刃を切り込んでさらに切り進めながら、切り屑を除去していかなければならない。
【０３５９】  一方、ブレード側面はワークを切り進めるというよりは、既にブレード先端部で切り進められた側面をブレードの側面で削りながら馴らすことが重要になる。そのためには、ブレード側面は切れ刃が積極的に作用するというよりも、ワーク側面とブレード側面とが食いつくことなく、スムーズに潤滑しながら、ワーク側面を削る必要がある。
【０３６０】  このブレード側面においてワーク側面とブレード側面とを食いつくことなくスムーズに潤滑させる方法として、ダイシングブレードに微粒子を作用させることが効果的な方法である。
【０３６１】  特に、ブレード先端部が除去したばかりの溝部分は、ワーク側面も新しい側面が出たばかりであり、ワーク材料によっては、非常に活性な面が現れる。活性な面は、他の材料と相互作用しやすく特にブレード材料であるダイヤモンド焼結体とくっつくこともある。こうしたことを防ぐためには、ブレード先端が除去した直後におけるブレード側面部とワーク材料との間の潤滑を考慮する必要がある。
【０３６２】  そこで、焼結ダイヤモンドで構成されたブレード側面に微粒子を作用させることがブレードとワークの間の潤滑効果を向上させる効果として大きい役割を果たす。
【０３６３】  焼結ダイヤモンドで構成されたブレードの側面に、微粒子を作用させる場合、焼結ダイヤモンドは先にも述べたように、粒界部分や自然な粗さで構成された凹凸表面において、凹みの部分を多く有している。その凹み部分に微粒子が取り込まれる。ブレード側面がワークに擦られながら加工する際に、そのダイヤモンド焼結体で形成された凹み部分に溜まった微粒子が、飛び出してきてブレード側面とワーク側面の間を連続的に転動する。この連続的な微粒子の転動を「ベアリング効果」とよぶが、ブレードとワーク表面との食い付きを防止して、ブレードとワークの間の潤滑効果を形成する。
【０３６４】  また、この潤滑効果は、単純にブレードとワーク間の食い付きを防止する潤滑効果だけにとどまらない。微粒子のベアリング効果は、転動する微粒子はワークの側面を研磨する作用も持ち合わせる。
【０３６５】  微粒子が転動することによって、微粒子がワーク側面に擦れることによって、ワーク側面の研磨を行い、その結果、ワーク側面は単純に固定砥粒で研削したような研削条痕を残すことなく、きれいな鏡面を形成することができる。
【０３６６】  こうした潤滑効果は、回転に沿った形でブレード両側面に溝が形成されている場合、微粒子が転動しやすくなり、すなわちベアリング効果が現れる。例えば、ブレード半径方向の断面において、ブレードがワークに入り込む部分の断面部分において側面表面を細かいＶ字の溝を切り込んでおくとよい。すると、微粒子がＶ溝の間に入り込み、ブレードの回転に伴って、Ｖ溝に沿って転動する。その結果、ワーク材料とブレードの間で微粒子がＶ字溝に沿って転動しベアリング効果が現れる。転動効果が現れると、微粒子は固定砥粒とは異なってある程度個々の微粒子が方向を変えてランダムに作用するため、一方向の研削条痕が残ることはなく、ワーク材料側面は研磨効果が発揮される。結果的に研削条痕を除去した鏡面を得ることが可能となる。
【０３６７】  このような微粒子を利用しながら加工する方式として、例えば微粒子を予め焼成するなどして固めておいて、その固めた微粒子で形成したブレードの表面から微粒子がこぼれ落ちながら、こぼれ落ちた微粒子がブレード側面で転動して鏡面加工するブレードを想起するかもしれない。
【０３６８】  しかし、こうした転動させる微粒子をあらかじめブレード表面に焼成したブレードでは、加工が進行すると共に、ブレードは微粒子が脱落する分、徐々に細くなっていく。すなわち、安定した一定の溝幅を形成することはできない。また、安定して絶えず連続して微粒子を供給し続けることも難しくなる。
【０３６９】  また、微粒子を連続的に作用させるためには、ブレード側面が連続的に摩耗しながら、微粒子を供給することを意味するが、このようなブレードでは微粒子を蓄えておく凹み部分を安定して構成することは難しく、また凹み部分を硬度が高いダイヤモンドで形成することもできない。また、ブレード部材そのもの剛性の高い恣意的な凹凸を形成したブレードを供給することはできない。
【０３７０】  さらに、こうした剥がれやすい材料では、下地を支えるブレード自体の硬度が確保できないため、微粒子が転動しながらも、ワークに一定の切込みを与えることが難しくなる。
【０３７１】  一方、従来のニッケルなどの結合材で固めた電鋳ブレードではこうした潤滑効果は得られない。なぜなら、電鋳ブレードでは結合材の表面に対してところどころダイヤモンドが突き出した形態をしている。すなわち、平面上にところどころ突起物があるような表面形態をしている。
【０３７２】  ダイヤモンドが突き出した状態で存在するため、基準平面を形成する結合材が除去されていくと、砥粒の臨界切込み深さを制御できなくなる。よって致命的なクラックをワーク側面に及ぼしてしまう。上記態様のように微粒子を流入させるにしても、一部場合によっては凹みがなくてもワーク側面は鏡面化するかもしれないが、ブレード側面に微粒子を作用させて研磨効果を発現させるにしても、一方で固定砥粒の突き出したダイヤモンドが研削する状況の場合、依然ワーク側面部分は研削条痕が残るとともに、突き出しによる潜在的なクラックが入り込む。転動しながら鏡面化させる微粒子の効果は、こうした一方でクラックを及ぼしながら脆性破壊を伴う加工現象と併用すると意味を成さなくなってしまう。
【０３７３】  また、ブレード表面を見た場合、平面の中に突出したダイヤモンドが散らばっている状態にある。すなわち、微粒子がブレード側面に蓄える凹みの部分が存在しない。
【０３７４】  仮に、ダイヤモンドが抜け落ちた部分、すなわちニッケルなどの結合材の間に微粒子が蓄えられたとしても、ニッケルなどの金属材料によって形成された凹み部分では、微粒子に使用される材料と比べ硬度が低い。凹み部分から微粒子が抜け出したとしても、ニッケルなどの金属材料で周囲が形成された凹み部分は、凹み部分が切れ刃としての作用を持たないばかりか、微粒子が抜けた出した部分は、逆にそのニッケルなどの軟質金属のブレード側が摩耗するだけで、一方ワークを研磨除去する効果はほとんどない。その結果、ブレード自体が徐々に削ぎとられていくだけで、ワークを研磨する効果を期待できない。
【０３７５】  ブレードの結合材が微粒子によって摩耗する場合、ブレード厚みが微粒子による結合材に対する研磨除去作用によって加工途中からも変化することを意味する。例えば溝加工などにおいて、溝幅を厳密に制御された場合においては、ブレードがみるみるうちに摩耗する過程では、到底使用できるものではなく、加工するブレードとして意味を成さないものとなる。
【０３７６】  それに対して、本実施形態のようにダイヤモンド焼結体で構成されたブレードの場合、まず、前提としてダイヤモンドの焼結体で構成されていることである。また、そのダイヤモンドの含有量も８０％以上あることが望ましい。
【０３７７】  そのダイヤモンド焼結体で構成されているブレードに対し、微粒子は焼結体の凹部に溜まり、そこからワークと擦れることによって微粒子が外へ出された状態で転動する。凹部の周囲がダイヤモンドで構成されるため、まさにダイヤモンドで構成された凹部の縁の部分で微粒子が作用しワークの研磨を行う。
【０３７８】  凹みの部分は、焼結助剤の割合が比較的高いため、摩擦によって選択的に除去されて凹みを形成しているが、凹みではない部分は逆にダイヤモンドリッチであり、ワーク材料よりも通常硬度は高くなる。よって、凹み部分から出た微粒子は凹みの縁の部分で高硬度のダイヤモンドに支えられ、その高硬度のダイヤモンドで構成される縁で微粒子が転動して作用する。その結果、ワーク側に研磨する圧力が加わって、効率的にワークを研磨する。
【０３７９】  このように、効率的な微粒子の保持と、その微粒子が硬質ダイヤモンド上で転動する効果を両立させることが可能となる。
【０３８０】  （微粒子の供給方法）  微粒子の供給方法としては、上記のような作用効果が得られるものであれば特に限定されるものではないが、例えば、以下に示す方法（第１〜第３例）を好ましく採用することができる。
【０３８１】  ＜第１例＞  微粒子の供給方法の一例（第１例）として、ブレードそのものに毛細管構造体で液体に含ませた微粒子をブレードに塗り込む方法がある。
【０３８２】  使用する微粒子としては、ＷＡホワイトアルミナ砥粒、ＧＣグリーンカーボランダム砥粒、ダイヤモンド砥粒：などの微粒子が好適に使用される。粒径は、0.01μmから10μm程度の様々な粒径の微粒子を使用してよい。粒径や使用する微粒子の材料は、ワーク材料やその目的に応じて適宜最適化すればよい。例えば、ＰＣ基板や銅基板のカット側面の研削条痕の除去を目的としたカッティングの場合は、粒径として1μm程度のＷＡが適している。
【０３８３】  また、これらの微粒子をそのまま粉体として使用する場合、細かい微粒子であれば高速回転するブレードの風圧で吹き飛ばされてしまう。よって、微粒子を液体に懸濁して使用するのがよい。懸濁する溶媒としては、最も簡易的な液体としては水があげられるが、ブレード表面に微粒子を効率よく付着させるためにはエタノールやＩＰＡなどに懸濁したものでもかまわない。また、ラッピングオイルなど潤滑油を使用しても構わない。微粒子を懸濁するための溶媒は、ワークの特性などによって適宜最適化するとよい。ラッピングオイルなどを使用したとしても、ブレードのみに供給され、ワークへは直接供給されない。
【０３８４】  ブレードに供給された微粒子を含む液体は、ワークの切断面だけに作用し、ワーク表面に作用しない。したがって、ワークからしてみれば、潤滑効果で熱の発生を防ぐと共に、ワーク表面に特段の液体を供給するものでもない。そのため、従来ウェット環境では、表面のチップを濡らしてしまい、素子をだめにしてしまうワークに対しても、あたかもドライ加工のごとく加工することができる。
【０３８５】  液体を作用させる場所は、ワークにブレードが切り込む直前に入れるのが望ましい。ブレードは高速回転しており、一部はその遠心力で吹き飛ばされてしまうため、ブレードがワークに入り込む直前であるのが望ましい。
【０３８６】  なお、ブレードに塗布するものが、微粒子を含まない液体である場合であれば、全く意味を成すものでもない。微粒子を含まない液体を塗る場合、基本的に切断したワーク側面を研磨するという能力は作用しない。よって、微粒子を含まない液体は塗布するにしても意味をなすものではない。
【０３８７】  また、微粒子を含まない液体は粘性が低く、微粒子を含ませることで微粒子と液体と間の界面張力が作用して結合力が高まり、その結果として全体的に粘性を高めることが可能となる。粘性を高めることができれば、ブレードに塗布した場合でも、ブレードの遠心力で微粒子を含む液体が吹き飛ばされることはなく、効率的にブレード側面ないしは先端にも微粒子を含む液体を塗布することが可能である。
【０３８８】  例えば、微粒子を含むスラリーを供給しながら、加工する方法があるが、時として、ワーク内の切断する場所以外の他の箇所を濡らしてしまうため、厳密にワークをドライな状態で加工する場合は適用できるものではない。
【０３８９】  また、ワークに沿わせて液状のスラリーを供給する場合、ワークにスラリーが固着するのではなく、ワークに沿って流れる程度に粘性が低い必要がある。しかし、そうした場合、高速回転で回転するブレードにスラリーが接すると、スラリーが吹き飛ばされてしまう問題がある。特に、ダイヤモンド焼結体で構成されるブレードでは凹み部分が非常に小さくそうした部分のポケットに、効果的に微粒子を取り込む際において、ブレードの風圧や遠心力が支配的で、微粒子がブレード上に滞在しにくい場合もある。
【０３９０】  これに対し、本例における微粒子の供給方法では、微粒子を液体に懸濁し、その懸濁液をブレード側面に塗布する。塗布する方法としては、刷毛のような毛細管構造体を利用して、液体の毛細管の原理で固体から回転するブレード固体に液体を塗り込みならが供給し、液体に含まれる微粒子成分を残して、ブレードに微粒子を作用させる方法が考えられる。
【０３９１】  通常に微粒子をブレードに作用させようとしても、高速回転するブレード側面に、固体微粒子を塗布して付着させることは非常に難しい。
【０３９２】  そこで、液体を利用し、液体に微粒子を溶かし込んで懸濁液の状態とし、その状態で微粒子をブレード表面に作用させるのが効率的でよい方法である。
【０３９３】  まず、液体に微粒子を溶かし込むことで粘性が上昇して表面張力が大きくなり、ジェル状にすることができる。微粒子の間に液体が入り込み表面張力を増すことが可能となる。
【０３９４】  このように微粒子を液体に溶かし込むことで、液体だけをブレードに塗布する場合とは異なり、粘性を持った表面張力が高い液体としてブレード表面に確実に作用させることが可能となる。
【０３９５】  このブレード表面に微粒子を含む液体を塗布する方式としては、例えば、図２４及び図２５に示す微粒子の供給機構を好ましく採用することができる。同図に示すように、ブレード２６は、スピンドル２８（図１参照）側に固定されたフランジカバー１００によって包囲されており、このフランジカバー１００の部分に取り付けられた液体供給手段としての液体供給管１０２と、液体供給管１０２から微粒子を含む液体の供給を受け、この供給を受けた微粒子を含む液体を毛細管現象によりブレード２６の両側面側に移送させる毛細管構造部材１０４とを備えた供給機構１０６が配設されている。
【０３９６】  毛細管構造部材１０４としては、刷毛状部材、筆状部材もしくは発泡体部材のいずれかが用いられている。即ち、空隙に小さい空間が連続的に存在する構造部材が用いられている。毛細管構造部材１０４は、図２５に示すように、液体供給管１０２の下端部とブレード２６の周側面との間でやや撓んで、その先端がブレード２６の回転方向に沿うように両サイドからブレード２６の両周側面に接触している。毛細管構造部材１０４は、微粒子を含む液体をブレード２６の周側面に均一に塗り入れるため、所要幅に形成されている。
【０３９７】  また、図２５に示すように、液体供給管１０２の下端部には、毛細管構造部材１０４の先端部をブレード２６の周側面にガイドする剛性材製のガイド部材１０８が設けられている。毛細管構造部材１０４としての刷毛状部材、筆状部材等の構成材としては、例えば、ポリエステル素材の線材や綿繊維などの軟らかい線状部材も好適に使用できる。軟らかい線状部材などを使用すれば、高速で回転するブレード２６側面に接触したとしてもブレード２６側面を過度に損傷させることはない。
【０３９８】  そして、このような軟らかい線状部材を使用した毛細管構造部材１０４であっても、毛細管構造部材１０４の先端部を剛性材製のガイド部材１０８でブレード２６の周側面にガイドすることにより、毛細管構造部材１０４内の隙間に存在する液体の重力等の影響を受けることなく、軟らかい線状部材からなる毛細管構造部材１０４の先端部をブレード２６に接触させるようにガイドすることができて高速回転するブレード２６の周側面に微粒子を含む液体を確実に供給することが可能となる。
【０３９９】  このように本例における微粒子の供給方法によれば、微粒子を含んだ液体をブレード側面に塗りつけることが可能となる。これによって、ブレードに液体を作用させる塗布対象の毛細管構造体自体をブレードに触れさせ、液体と固体の間に働く界面張力を利用して、液体内に含まれる微粒子をワーク側面部分に運び入れることができる  高速回転しているブレードに対して、液体を吹き付ける方式では、液体がブレード上で吹き飛んでしまい、その結果効率的にブレードに微粒子を作用させることはできないが、ブレードに液体を界面張力を利用して塗りつけることで、効率よくブレード側面に沿って微粒子を供給することが可能となる。
【０４００】  微粒子を含む液体をブレードに塗り込むと、液体はブレード表面の凹み部分に液体の界面張力によって付着する。ブレードは立て回転で高速回転しているため、ブレードに付着した液体の一部は乾燥し、微粒子による研磨による発熱を気化熱によって奪い去ることができる。これにより、研磨しても過剰に発熱することなく研磨を行うことができる。
【０４０１】  ブレードに塗布するだけでその他、ワークに水をかけるなどの冷却をすることがない。場合によっては、ブレードに少量の液体を作用させるのみで、ワークに対してはドライで加工することが可能となる。
【０４０２】  その結果、微粒子の転動による物理的な研磨加工をより効率的に進めることが可能となる。
【０４０３】  また、微粒子が凹み部分から抜け出る際に、下のダイヤモンド粒子で形成された凹みのエッジ部分とワークの間に微粒子が挟まれ転動していくため、ワークに転動する微粒子の切込みが確実に与えられながらワークを確実に研磨することができる。
【０４０４】  （第２例）  微粒子の供給方法の他の例（第２例）として、ワーク上でブレードが進行していく部分にあらかじめジェル状の微粒子を塗布しておく方法がある。
【０４０５】  この方法では、ブレードが進行する部分にあらかじめ少量の水に高濃度の微粒子を懸濁し、それをブレードが進行する部分に細い線状に付着させておく。付着させる方法としては、注射器のようなもので押し出して付着させても構わない。
【０４０６】  （第３例）  微粒子の供給方法の更に他の例（第３例）として、粒子が塗布された薄いシートをワーク上に貼り付け、その薄いシートごとカットしていくことで、自然にシート上の微粒子を巻き込みながらワークとブレードの間に微粒子を作用させていく方法がある。
【０４０７】  この方法では、薄いシート状にあらかじめ高密度の微粒子を塗布しておく。切断ないしは溝加工する基板上に貼り付ける。
【０４０８】  基板上の所定の部分を加工する際に、表面に貼り付けられた薄いシートとともに加工することになるが、その薄いシートを加工しながら基板を加工することで、薄いシートに塗布している微粒子をブレード表面に付着させながら、自然にブレード表面に微粒子を供給し、そのブレード表面に付着した微粒子を巻き込みながら基板を加工することが可能となる。
【０４０９】  以上、本発明のダイシング装置及びダイシング方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【０４１０】  １０…ダイシング装置、２０…加工部、２６…ブレード、２８…スピンドル、３０…ワークテーブル、３６…環状部、３８…装着孔、４０…切刃部、４２…ダイヤモンド砥粒、４４…スピンドル本体、４６…スピンドル軸、４８…ハブフランジ、８０…ダイヤモンド焼結体、８２…ダイヤモンド砥粒、８４…切れ刃（微小切刃）、８６…焼結助剤
【図１】
2013187510.tif 000019
【図２】
2013187510.tif 000020
【図３】
2013187510.tif 000021
【図４Ａ】
2013187510.tif 000022
【図４Ｂ】
2013187510.tif 000023
【図４Ｃ】
2013187510.tif 000024
【図５】
2013187510.tif 000025
【図７】
2013187510.tif 000026
【図１４】
2013187510.tif 000027
【図１５】
2013187510.tif 000028
【図１６】
2013187510.tif 000029
【図１７Ａ】
2013187510.tif 000030
【図１７Ｂ】
2013187510.tif 000031
【図１９】
2013187510.tif 000032
【図２０Ａ】
2013187510.tif 000033
【図２０Ｂ】
2013187510.tif 000034
【図２０Ｃ】
2013187510.tif 000035
【図２１】
2013187510.tif 000036
【図２２Ａ】
2013187510.tif 000037
【図２２Ｂ】
2013187510.tif 000038
【図２４】
2013187510.tif 000039
【図２５】
2013187510.tif 000040
【図６】
2013187510.tif 000041
【図８Ａ】
2013187510.tif 000042
【図８Ｂ】
2013187510.tif 000043
【図９Ａ】
2013187510.tif 000044
【図９Ｂ】
2013187510.tif 000045
【図１０Ａ】
2013187510.tif 000046
【図１０Ｂ】
2013187510.tif 000047
【図１０Ｃ】
2013187510.tif 000048
【図１１Ａ】
2013187510.tif 000049
【図１１Ｂ】
2013187510.tif 000050
【図１２Ａ】
2013187510.tif 000051
【図１２Ｂ】
2013187510.tif 000052
【図１３Ａ】
2013187510.tif 000053
【図１３Ｂ】
2013187510.tif 000054
【図１８Ａ】
2013187510.tif 000055
【図１８Ｂ】
2013187510.tif 000056
【図２３】
2013187510.tif 000057
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月15日(2014.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを切断加工するダイシング装置において、
ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０ｖｏｌ％以上であるダイシングブレードと、
前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、
前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、
を備えるダイシング装置。
【請求項２】
前記ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与える請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられている請求項１又は２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものである請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項７】
前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下である請求項６に記載のダイシング装置。
【請求項８】
前記回転機構には、前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、
前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定される請求項６又は７に記載のダイシング装置。
【請求項９】
前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されている請求項８に記載のダイシング装置。
【請求項１０】
ワークを切断加工するダイシング装置において、
ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０ｖｏｌ％以上であるダイシングブレードと、
前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、
前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えて、前記ダイシングブレードに微粒子を与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、
を備えるダイシング装置。
【請求項１１】
ワークを切断加工するダイシング方法において、
ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０ｖｏｌ％以上であるダイシングブレードを回転させながら、前記ワークに一定の切り込み深さを与える工程と、
前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さが与えられた状態で、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる工程と、
を含むダイシング方法。
【請求項１２】
前記ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与える請求項１１に記載のダイシング方法。
【請求項１３】
前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられている請求項１１又は１２に記載のダイシング方法。
【請求項１４】
前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものである請求項１１〜１３のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１５】
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下である請求項１１〜１４のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１６】
前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されている請求項１１〜１５のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１７】
前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、
前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定される請求項１５又は１６に記載のダイシング方法。
【請求項１８】
前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されている請求項１７に記載のダイシング方法。
【請求項１９】
前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下である請求項１６〜１８のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月11日(2014.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
特許文献１には、ダイヤモンド砥粒を、ニッケルや銅等の軟質の金属の合金を結合材として、電気メッキ技術を用いた電鋳法で金属母材（アルミフランジ）の端面に固着させた電鋳ブレードが記載されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
このような問題が生じる原因としては、電鋳ブレードの表面形態にある。すなわち、図２１に示したように、電鋳ブレードにおいてはダイヤモンド砥粒９２が結合材９４によって結合されているが、その表面形態は結合材９４の中にダイヤモンド砥粒９２が散りばめられた形で存在している。そのため、電鋳ブレードにおいては、全体的な平均高さ位置となる基準平面９８は結合材９４の表面近くに存在し、その基準平面９８からダイヤモンド砥粒９２が突出する状態となっている。そして、この状態でダイシング加工を進めていくと、ダイヤモンド砥粒９２ではなく、それを結びつける結合材９４の表面部分が目減りし、ダイヤモンド砥粒９２の突出量がさらに大きくなる。このようなことから、上述のように、ダイヤモンド砥粒９２の突出位置や突出量を精度良く制御することは困難である。すなわち、切り込みが大きく変化する場合、材料の臨界切り込み深さ(Ｄｃ値)以上の切込みが入るとクラックが発生し、本発明の目的とする延性モード加工は不可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
さらには、ダイヤモンドチップ部分は極めて硬度が高いが、母材の金属の部分の弾性効果で、ダイヤモンドチップが受ける衝撃を母材部分が吸収してしまうことがある。延性モードで加工を行う場合は、極微小な切込みを継続的に入れる必要があるが、こうした衝撃を母材が吸収してしまうと、極微小な切込みの下で延性モードの加工を行うことはできない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
このように、ダイヤモンド砥粒が全体の中で支配的に存在し、その間に拡散して残された焼結助剤が存在することで、形成される切れ刃は、ダイヤモンド砥粒の中に形成された凹みの切れ刃になる。また、この際のダイヤモンド砥粒の含有率については、後に述べるが８０％以上のダイヤモンド砥粒の含有量を有して初めて、その空き部分が切れ刃として作用する。含有率が減少すると、ダイヤモンド砥粒で形成される外縁に凹みの部分が形成されるという形式ではないため、凹凸部分がほとんど同じになるか、凸部が支配的になり、相対的に突出する部分が生まれ、ワークに致命的なクラックを及ぼさない一定以下の安定した切込み深さを与える切れ刃とならない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
次に、等間隔な切れ刃の形成は、後に述べる本発明の課題である延性モードダイシングには不可欠な要素となる。すなわち、延性モードダイシングでは、後にも述べるように一つの切れ刃が材料に与える切込み深さが重要となり、また一つの切れ刃がワークに与える切込み深さは、「ブレード外周部の切れ刃間隔」が、必要要素にかかわってくる。この点の一つの刃がワークに与える臨界切込み深さと切れ刃間隔の関係は後に記すが、一つの刃の臨界切込み深さを規定するためには、安定した切れ刃間隔の設定が必須となる。この切れ刃間隔を精度よく設定する上で、粒径が揃った単結晶砥粒同士を焼結させて結合したＰＣＤが好適となるのである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
なお、補足的として、本発明の「等間隔な切れ刃の形成」において、本発明におけるＰＣＤ素材におけるダイヤモンド砥粒配置を行ったブレードと、一般的な他の事例におけるダイヤモンド砥粒の配置を行った従来ブレードとの違いを述べる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
ブレードの厚み方向は、最低でも厚み方向に微粒子が２個から３個分の存在する幅がないと、各砥粒同士を相互に結び付けた強固なブレード自体を形成することはできない。２５μｍ以上の微粒子で構成することになると、厚み方向は最低でも５０μｍ以上は必要となる。しかし、厚み方向で５０μmより分厚いブレードは、存在する切れ刃の直線性から、一つの刃が切り込む最大切込み深さは、例えばＳｉＣなどにおいては０．１μｍのＤｃ値より大きくなってしまう。よって、微小に延性モード加工にならない可能性があり、理想的な延性モードの加工は難しくなり、原理的に脆性破壊を起こしてしまう確率が非常に大きくなる。この点は後ほど詳細に説明する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
【図１】ダイシング装置の外観を示す斜視図
【図２】ダイシングブレードの正面図
【図３】図２のＡ−Ａ断面を示す側断面図
【図４Ａ】切刃部の構成の一例を示した拡大断面図
【図４Ｂ】切刃部の構成の他の例を示した拡大断面図
【図４Ｃ】切刃部の構成の更に他の例を示した拡大断面図
【図５】ダイヤモンド焼結体の表面付近の様子を模式的に示した概略図
【図６】ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μｍのブレードにより溝入れ加工を行った場合のワーク表面の様子を示し、クラックが発生している事例を示した図
【図７】ダイシングブレードがスピンドルに取り付けられた状態を示した断面図
【図８Ａ】比較実験１（シリコン溝入れ加工）の結果を示した図（本実施形態）
【図８Ｂ】比較実験１（シリコン溝入れ加工）の結果を示した図（従来技術）
【図９Ａ】比較実験２（サファイア溝入れ加工）の結果を示した図（本実施形態）
【図９Ｂ】比較実験２（サファイア溝入れ加工）の結果を示した図（従来技術）
【図１０Ａ】比較実験３の結果を示した図（ブレード厚２０μｍの場合）
【図１０Ｂ】比較実験３の結果を示した図（ブレード厚５０μｍの場合）
【図１０Ｃ】比較実験３の結果を示した図（ブレード厚７０μｍの場合）
【図１１Ａ】比較実験４の結果を示した図（ワーク表面）
【図１１Ｂ】比較実験４の結果を示した図（ワーク断面）
【図１２Ａ】比較実験５の結果を示した図（ワーク表面）
【図１２Ｂ】比較実験５の結果を示した図（ワーク断面）
【図１３Ａ】比較実験６の結果を示した図（本実施形態）
【図１３Ｂ】比較実験６の結果を示した図（従来技術）
【図１４】両側テーパタイプの切刃部を有するブレードを用いてダイシング加工が行われるときの様子を模式的に示した説明図
【図１５】バリやチッピングが発生する様子を示した図
【図１６】ブレードを平行移動させて加工する際の最大切込み深さを幾何学的に計算する場合の説明図
【図１７Ａ】ブレード外周端を粗さ計で測定した結果を示した図
【図１７Ｂ】ブレード外周端を粗さ計で測定した結果を示した図
【図１８Ａ】ブレード外周端の表面状態を示した図（ブレード先端側面）
【図１８Ｂ】ブレード外周端の表面状態を示した図（ブレード先端）
【図１９】ブレード先端がワーク材料に対して切り込む様子を示した模式図
【図２０Ａ】ブレードの厚みに関する説明に使用した説明図
【図２０Ｂ】ブレードの厚みに関する説明に使用した説明図（ブレードの厚みがワークの厚みよりも大きい場合）
【図２０Ｃ】ブレードの厚みに関する説明に使用した説明図（ブレードの厚みがワークの厚みよりも小さい場合）
【図２１】電鋳ブレードの表面の様子を示した概略図
【図２２Ａ】ダイヤモンド砥粒含有率に応じた砥粒間隔の様子を示した模式図（砥粒含有率が８０％以上の場合）
【図２２Ｂ】ダイヤモンド砥粒含有率に応じた砥粒間隔の様子を示した模式図（砥粒含有率が７０％以下の場合）
【図２３】ファイバーレーザで切れ刃を形成した場合のブレード外周端の断面図(１００μｍ間隔で５０μｍ孔)
【図２４】微粒子供給機構の正面図
【図２５】微粒子供給機構の側面図
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４３】
それに対して、ダイシングはブレードが高速回転して材料を一定量除去しながら直線的に進む。そのため、捩りの応力はかからない。その代わり、ダイヤモンド含有量が少ない場合、切り込んだ際に、みかけの硬度が低下してしまうため、ワークからの反力や、ブレードの切れ刃が切込む時間内にワークが弾性回復してしまい、所定の切込み深さを維持できない場合がある。そのため、ダイシングの場合、ブレードの硬度はワークの硬度と比べて、跳ね返りが起こらず所定の切込みのまま切り進めることができるよう、十分大きい。延性モードで材料の変形域内で、加工時の切れ刃作用時間内における弾性回復を許さず加工を進行させる上では、単結晶ダイヤモンド(ヌープ硬度で10000程度)と同等の表面硬度が必要となり、ヌープ硬度で約8000程度は必要となる。結果としてダイヤモンド含有量は８０％以上は必要となる。ただし、ダイヤモンド含有量が９８％以上になると、焼結助剤の割合が極端に減るためダイヤモンド同士の結合力が弱くなり、ブレードそのものの靭性が低下して脆くて欠けやすくなる。よって、ダイヤモンド含有量は８０％以上が必要であり、実用的な点を加味すると、９８％以下とする方が望ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
本発明者が行った実験結果によれば、ダイヤモンド砥粒の平均粒子径が50μmの場合、ウェーハ材料がＳｉＣでは0.1mmの切り込み量でダイシングした場合にクラックが生じた。おそらくダイヤモンドが脱落したことが要因である。50μm以上のダイヤモンド平均粒子径で焼結した場合、ダイヤモンド粒子同士が密着する面積が小さくなり、局所的な面積で大きい粒子同士を結合させることになる。そのため、材料の組成的な点で耐衝撃性に非常に弱くなり欠けやすいという欠点を持つ。局所的な衝撃で50μm以上の単位でダイヤモンドが脱落してしまうと、その脱落をきっかけに非常に大きい切れ刃が形成される。その場合、孤立した切れ刃として所定の臨界切込み深さ以上の切込み深さを与えることになり、結果的にチッピングやクラックを発生させてしまうことが確率的に極めて高くなる。また、50μm程度のダイヤモンドが脱落すると、残された部分の切れ刃が大きくなることのみならず、その脱落したダイヤモンド砥粒そのものが、ワークとブレードの間に絡まって、さらにクラックを及ぼすこともある。25μm以下の微粒子であればそうしたクラックが定常的に起こる結果は得られていない。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６９】
このように構成されるブレード２６の製造方法としては、タングステンカーバイドを主成分とする基台の上にダイヤモンド微粉末を置いて型に入れる。次いで、この型の中に焼結助剤としてコバルト等の溶媒金属(焼結助剤)を添加する。次いで、5GPa以上の高圧、且つ、1300℃以上の高温雰囲気下で焼成・焼結する。これにより、ダイヤモンド砥粒同士が直接相互に結合し、非常に強固なダイヤモンドのインゴットが形成される。このようにして、例えば、直径60mmサイズで焼結ダイヤモンド層（ダイヤモンド焼結体）が0.5mm、タングステンカーバイド層が3mmの円柱インゴットを得ることができる。タングステンカーバイド上に形成されたダイヤモンド焼結体としては、住友電工ハードメタル社製DA200等がある。ダイヤモンド焼結体だけを取り出し、ブレード基材を所定形状に外周摩耗処理ないしはドレッシング処理加工を施すことにより、本実施形態のブレード２６を得ることができる。なお、円柱インゴットのダイヤモンド表面（切刃部４０を除く）は、回転時を振れをなくすための基準面形成としてスカイフ研磨（scaif、研磨用円盤）を行うことにより、表面粗さ（算術平均粗さＲａ）0.1μm程度の鏡面に加工しておくことが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７９】
一方、ブレード外周部は、ブレード側面部と異なり、ワークを加工しながら切り進めていく必要があるため、側面部と異なり切れ刃としての粗さをつけた方がよい。こうした粗さは、例えば、パルスレーザなどで外周部に形成することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８１】
レーザ発振気器：米国ＩＰＧ社製ファイバーレーザ:ＹＬＲ−１５０−１５００−ＱＣＷ
送りテーブル：ＪＫ７０２
波長：1060nm
出力：250W
パルス幅：0.2msec
焦点位置0.1mm
ブレード回転数2.8rpm
ガス：高純度窒素ガス0.1L/min
穴径50μm
ブレード材料：住友電工製DA150(ダイヤモンド粒径5μm)
外径50.8mm
このようなパルス式ファイバレーザによって、図２３に示すように、0.1mmピッチでブレード外周端上に直径0.05mmの一定間隔で連続した半円状のシャープな切れ刃を形成することができる。こうした切れ刃形成ではダイヤモンド粒径は5μmの大きさであるが、一つの切れ刃自体は50μm切れ刃とすることができる。またこれを等間隔に形成すれば、回転数を高速にすることによって、見かけの間隔が小さくなり、延性モードのダイシングを可能とする。(例：スピンドル回転数10000rpm以上の場合など)
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３４】
・装置：ブレードダイシング装置AD20T（東京精密製、AD20Tは装置の型番）
・ブレード回転数：10000rpm
・ワーク送り速度（加工送り速度）：1mm/ｓ
・切り込み深さ：40μm
・ワーク：超硬ＷＣ（ＷＣ：タングステンカーバイド）
図１１Ａ及び１１Ｂは、本実施形態のブレード２６による溝入れ加工後のワーク表面（図１１Ａ）及び断面（図１１Ｂ）を示している。同図のように、超硬ＷＣのような硬質材料でも理想的な延性モード加工を行うことができることを示している。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４１】
次に、ブレード２６のワークＷに対する切り込み深さを臨界切り込み深さ（Ｄｃ値）以下として延性モード加工での切断加工が行われる場合であっても実用的なダイシング加工が可能である理由について説明する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４３】
まず、１つの切れ刃がワークＷにクラックを与えない程度の切り込みとして、0.15μｍの切り込みを入れたものとし、その切り込みにより一度の除去量が0.02μm（20nm）であるとする。なお、通常、ＳｉＣやＳｉ、サファイア、ＳｉＯ２などクラックが発生しない臨界切り込み深さはサブミクロンオーダ（例えば約0.15μm）である。そうすると、ブレード外周端部には15700個の切れ刃が存在するため、ブレード一回転あたり原理的には0.314mm（314μm）ほど、加工を進めることができる。ダイシングのスピンドルとして10,000rpmとすると、１秒当たり166回転する。よって、１秒当たりのブレード外周端部での切断除去排除距離は52.124mmとなる。例えば、ブレードの送り速度を20mm/sとした場合、ワーク材料内を押しながら進む速度よりも、ワーク材料をせん断方向に加工して除去する速度の方が速い。すなわち、ワーク材料を切断する上では、ワーク材料の破壊が起きない程度に微小切り込みを入れて、ワーク材料をブレードの進行方向とは直交する水平方向に加工して払いのけ、その払いのけ除去された部分を、ブレードが進行していく形態となる。そのため、クラックが発生する程度の0.1μm以上の切り込みが入る余地がないため脆性破壊を起こすことなく、塑性変形に基づく延性モード加工領域での切断加工が可能となる。すなわち、高速にブレードを回転させながらブレード回転によるブレード外周端部（先端部）の加工対象材料に対する周速度を、ブレードの加工対象材料に対する送り速度に比べて大きくとることで、延性モードでの加工を行うことが可能となる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２８７】
このように、ブレード先端部分は、ワークを切り進めるために大きく凹凸をつけるようにしているが、それに対して、ブレード先端部分に比べてブレード側面部分はワーク切断後の端面を鏡面になるように研削する。そのため、ブレード先端部は切り進めるために粗く成形しており、ブレード側面部はそれに対して細かく成形している。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２９０】
また、ブレード材料内部の多くがダイヤモンドで占められているために、ダイヤモンド体積よりも、それ以外の部分(焼結助剤含む)の方を小さくすることが可能となり、ダイヤモンド焼結体の場合では、仮に粒径が大きくてもダイヤモンド砥粒の隙間を実質的にミクロンオーダにすることが可能になる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２９２】
例えば、25μm粒径のダイヤモンド砥粒を焼結で固める場合を考える。ここでは分かりやすくするために、ダイヤモンド砥粒は25μm四方の立方体であるものと仮定する。ダイヤモンド砥粒同士を結合するために、25μmの外側で両側1μmの部分を別の粒子と結合するための結合部分として利用するものとする。すると、27μm四方の立方体となる。その場合に、ダイヤモンド砥粒部分が占める体積％は78.6％程度になる。よって、80％以上程度のダイヤモンド含有量があれば、たとえ、25μm粒径のダイヤモンド砥粒であっても、そのダイヤモンド砥粒間の隙間、すなわち粒子間隔は実質せいぜい1〜2μm程度となり、その凹み部分が切り込みを与えるための切れ刃（微小切刃）となる。また、2μm程度の粒子間隔であれば、その粒子間隔においてそのピッチの粒子がワーク材料に押し込まれたとしても、そのワーク材料の変位はダイヤモンド砥粒の間隔と比べて１桁以上小さくなる。すなわち、0.15μmかそれ以下となる。また、25μmピッチで切れ刃（微小切刃）が形成されているとして、50mmのブレード径の場合、全周約157mmあたり6280個の切れ刃が形成されている。仮にブレードを20000rpmで回転させるとして、１秒当たりに切れ刃は、2093333個作用させることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３００】
なぜならば、例えば、40μmの刃厚で製作する場合は、少なくともブレード断面に二つ以上のダイヤモンド砥粒を擁していないとならないが、理論上二つ入らず、1.6個となるからである。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３０５】
ここでは、１つの切れ刃がワーク材料に切り込むものとする。また、細いストレートなブレード先端は、特段恣意的に鋭利化するものではなく通常に加工すると、断面形状は略半円形になるものとする。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３２２】
特に、（ｌ／ｈ）３において、ｌ／ｈが１を境にして、ｌ／ｈが１より小さくなれば撓みは格段に小さくなり、逆にｌ／ｈが１より大きくなれば撓みは格段に大きくなる。これより、ブレード厚み(ブレード接触領域)ｌとワーク厚みｈの相対的な厚みの形状で撓みが発生する場合と、発生しない場合が分かれる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３２６】
例えば、ワーク厚みが50μm以下の場合は、ブレードの幅（厚み）は当然50μm以下にする必要がある。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３６９】
また、微粒子を連続的に作用させるためには、ブレード側面が連続的に摩耗しながら、微粒子を供給することを意味するが、このようなブレードでは微粒子を蓄えておく凹み部分を安定して構成することは難しく、また凹み部分を硬度が高いダイヤモンドで形成することもできない。また、ブレード部材そのものも剛性の高い恣意的な凹凸を形成したブレードを供給することはできない。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３７４】
仮に、ダイヤモンドが抜け落ちた部分、すなわちニッケルなどの結合材の間に微粒子が蓄えられたとしても、ニッケルなどの金属材料によって形成された凹み部分では、微粒子に使用される材料と比べ硬度が低い。凹み部分から微粒子が抜け出したとしても、ニッケルなどの金属材料で周囲が形成された凹み部分は、凹み部分が切れ刃としての作用を持たないばかりか、微粒子が抜け出した部分は、逆にそのニッケルなどの軟質金属のブレード側が摩耗するだけで、一方ワークを研磨除去する効果はほとんどない。その結果、ブレード自体が徐々に削ぎとられていくだけで、ワークを研磨する効果を期待できない。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３９９】
このように本例における微粒子の供給方法によれば、微粒子を含んだ液体をブレード側面に塗りつけることが可能となる。これによって、ブレードに液体を作用させる塗布対象の毛細管構造体自体をブレードに触れさせ、液体と固体の間に働く界面張力を利用して、液体内に含まれる微粒子をワーク側面部分に運び入れることができる。
高速回転しているブレードに対して、液体を吹き付ける方式では、液体がブレード上で吹き飛んでしまい、その結果効率的にブレードに微粒子を作用させることはできないが、ブレードに液体を、界面張力を利用して塗りつけることで、効率よくブレード側面に沿って微粒子を供給することが可能となる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを切断加工するダイシング装置において、
ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードと、
前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、
前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、
を備えるダイシング装置。
【請求項２】
前記ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与える請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられている請求項１又は２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものである請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【請求項７】
前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下である請求項６に記載のダイシング装置。
【請求項８】
前記回転機構には、前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、
前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定される請求項６又は７に記載のダイシング装置。
【請求項９】
前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されている請求項８に記載のダイシング装置。
【請求項１０】
ワークを切断加工するダイシング装置において、
ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードと、
前記ダイシングブレードを回転させる回転機構と、
前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さを与えて、前記ダイシングブレードに微粒子を与えながら、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる移動機構と、
を備えるダイシング装置。
【請求項１１】
ワークを切断加工するダイシング方法において、
ダイヤモンド砥粒を焼結して形成されたダイヤモンド焼結体によって円盤状に一体的に構成され、前記ダイヤモンド焼結体は前記ダイヤモンド砥粒の含有量が８０vol％以上であるダイシングブレードを回転させながら、前記ワークに一定の切り込み深さを与える工程と、
前記ダイシングブレードによって前記ワークに一定の切り込み深さが与えられた状態で、前記ワークを前記ダイシングブレードに対して相対的に移動させる工程と、
を含むダイシング方法。
【請求項１２】
前記ダイシングブレードは、ダウンカット方向に回転しながら前記ワークに切り込みを与える請求項１１に記載のダイシング方法。
【請求項１３】
前記ダイシングブレードの外周部には、前記ダイヤモンド焼結体の表面に形成された凹部が周方向に沿って連続して設けられている請求項１１又は１２に記載のダイシング方法。
【請求項１４】
前記ダイヤモンド焼結体は、軟質金属の焼結助剤を用いて前記ダイヤモンド砥粒を焼結したものである請求項１１〜１３のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１５】
前記ダイヤモンド砥粒の平均粒子径は２５μｍ以下である請求項１１〜１４のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１６】
前記ダイシングブレードの外周部は、前記外周部の内側部分よりも薄く構成されている請求項１１〜１５のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【請求項１７】
前記ダイシングブレードを回転させる回転軸に垂直な金属製のフランジ面が設けられ、
前記ダイシングブレードは、片側面に基準平面部を備え、前記基準平面部を前記フランジ面に当接させた状態で前記回転軸に固定される請求項１５又は１６に記載のダイシング方法。
【請求項１８】
前記ダイシングブレードの基準平面部は、前記回転軸を中心とする環状に構成されている請求項１７に記載のダイシング方法。
【請求項１９】
前記ダイシングブレードの外周部の厚さは５０μｍ以下である請求項１６〜１８のいずれか１項に記載のダイシング方法。
【国際調査報告】
2013187510.tif 000058
2013187510.tif 000059
2013187510.tif 000060
2013187510.tif 000061