(57)【要約】  導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、ガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、積層体ブロックを各積層体毎に切断し分割する分割工程と、磁性金属材料を含む磁性材料を積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体１を作製する焼成工程とを含んでいる。部品素体１は、磁性金属材料を主成分とし、副成分としてガラス材料を含有した磁性体本体部８と、該磁性体本体部８の側面部に形成された磁性材料からなる磁性材料付与部９ａ、９ｂとで構成される。これにより直流重畳特性を損なうことなく、信頼性の向上したパワーインダクタに好適な積層コイル部品の製造方法を実現する。
2014013896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、
前記積層体ブロックを前記各積層体毎に切断し分割する分割工程と、
前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、
前記磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体を作製する焼成工程とを含むことを特徴とする積層コイル部品の製造方法。
【請求項２】
前記分割工程は、前記導体層の少なくとも一部が前記積層体の側面部から表面露出するように前記積層体ブロックを分割することを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品の製造方法。
【請求項３】
前記積層体ブロック作製工程は、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体ペーストを作製する磁性体ペースト作製工程と、
前記磁性体ペーストに成形加工を施してシート状の磁性体層を作製する磁性体層作製工程と、
前記導電性材料を含有した導電性ペーストを前記磁性体層に塗布して所定の導体パターンを有する導体層を形成する導体層形成工程と、
前記導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、前記導体層の形成された磁性体層を積層する積層工程とを含み、
前記磁性材料付与工程は、前記磁性体ペーストを前記積層体の側面部に塗布することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の積層コイル部品の製造方法。
【請求項４】
前記磁性体ペースト作製工程は、前記磁性金属材料の表面を前記ガラス材料で被覆して磁性体原料を作製する磁性体原料作製工程と、
前記磁性体原料をペースト化するペースト化工程とを含むことを特徴とする請求項３記載の積層コイル部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層コイル部品の製造方法に関し、より詳しくは磁性金属材料を主成分とする磁性体層を備えたパワーインダクタ等の積層コイル部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、大電流が流れる電源回路やＤＣ／ＤＣコンバータ回路用のパワーインダクタ等に使用される電子部品としては、磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆した金属系磁性材料を使用して部品素体を形成し、コイル導体を前記部品素体に内蔵した積層コイル部品が知られている。【０００３】
例えば、特許文献１には、Ｃｒ、Ｓｉ、及びＦｅを含有した金属磁性合金粉末に、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、ＺｎＯを主成分とし、かつ、軟化温度が６００±５０℃のガラスをその体積が該金属磁性合金粉末の体積の１０％未満になる様に添加して、該金属磁性合金粉末の表面を該ガラスで被覆した金属磁性体を用いてコイルを内蔵した成形体を形成し、該成形体が、真空、又は無酸素あるいは低酸素分圧の非酸化雰囲気中で７００℃以上、該コイルの導体材料の融点未満の温度で焼成した電子部品の製造方法が提案されている。【０００４】
この特許文献１では、上記製造方法を使用することによって、コイルの抵抗を高めることなく、絶縁抵抗を高くすることができ、これにより直流重畳特性が良好で磁気損失の少ないパワーインダクタを得ることが可能である。【０００５】
一方、フェライト系磁性材料を使用した積層コイル部品も、従来より、各種提案されている。【０００６】
例えば、特許文献２には、磁性フェライト材で構成される部品素体（磁性フェライト本体）と、該部品素体の内部にコイルを構成するように埋設された内部導体とを有し、該内部導体の少なくとも一部が部品素体の外部に露出するように配され、外部に露出した部分が、非磁性材料で被覆されたチップフェライト部品が提案されている。【０００７】
この特許文献２では、上記構成を有することにより、開磁路構造となることから、大電流下で安定したインダクタンスやインピーダンスを有するチップフェライト部品を得ることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−６２４２４号公報（請求項１）
【特許文献２】特開２００１−４４０３９号公報（請求項１、２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１は、部品素体が金属系磁性材料で形成されていることから、特許文献２のように部品素体がフェライト系磁性材料で形成されたチップフェライト部品と比べ、飽和磁束密度Ｂｓが高く磁気飽和し難く、したがって大電流を流してもインダクタンスの変化率が小さい直流重畳特性の良好な積層コイル部品が得られると考えられる。【００１０】
一方、この種の積層型コイル部品は、良好な生産性を確保する観点から、いわゆる多数個取り方式で作製されるのが一般的である。【００１１】
多数個取り方式とは、焼成後に部品素体となる積層体の集合体を積層法等を使用して作製し、この積層体の集合体である積層体ブロックを縦横に切断し、１個の積層体ブロックから多数の積層体を得る方式である。そして、この積層体を焼成することにより１個の積層体ブロックから多数の部品素体が得られ、該部品素体に外部電極を形成することにより積層コイル部品を高効率で作製することが可能となる。【００１２】
しかしながら、特許文献１では、積層コイル部品を上述のような多数個取り方式を使用して製造した場合、以下のような問題点があった。【００１３】
すなわち、特許文献１では、コイルを内蔵した金属磁性体が、表面をガラス材料で被覆した金属系磁性材料で形成されているため、積層体ブロックを切断する際に、金属磁性体が損傷し、金属系磁性材料を被覆しているガラス材料が欠落し、金属系磁性材料が表面露出するおそれがある。そして、この金属系磁性材料は耐食性に劣るため、該金属系磁性材料が表面露出すると、露出部分が腐食し、錆が発生して特性劣化を招くおそれがある。【００１４】
一方、特許文献２のように部品素体がフェライト系磁性材料で形成されている場合、比抵抗が高く高周波領域でも渦電流損失は小さいものの、金属系磁性材料に比べて飽和磁束密度Ｂｓが低く、磁気飽和し易い。【００１５】
そこで、特許文献２では、部品素体の一部を外部に露出させ、この外部に露出した部分を非磁性材料で被覆して開磁路構造とし、これにより直流重畳特性を向上させようとしている。【００１６】
しかしながら、特許文献２で使用しているフェライト系磁性材料は、材料特性が原因で金属系磁性材料のような良好な直流重畳特性を得ることができず、このためパワーインダクタに必要な所望の直流重畳特性を得るのは困難である。【００１７】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、直流重畳特性を損なうことなく、信頼性の向上したパワーインダクタに好適な積層コイル部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、前記積層体ブロックを前記各積層体毎に切断し分割する分割工程と、前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、前記磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体を作製する焼成工程とを含むことを特徴としている。【００１９】
これにより分割工程で積層体ブロックを分割した際に導体層に含まれるガラス材料が損傷して欠落しても、積層体の側面部に磁性材料を付与することから、焼成後の部品素体は導体部分が表面露出することがない。そして、このように導体部分が表面露出することがないことから、導体部分が大気に接することもなく、したがって錆が発生することもなく、特性劣化を招くことのない積層コイル部品を得ることが可能となる。【００２０】
また、本発明の積層コイル部品の製造方法は、前記分割工程は、前記導体層の少なくとも一部が前記積層体の側面部から表面露出するように前記積層体ブロックを分割するのが好ましい。【００２１】
これにより導体層の少なくとも一部が積層体の側面部から表面露出しても、側面には磁性材料が付与されることから、錆が発生することもなく、より一層の小型化されたパワーインダクタに好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。【００２２】
また、本発明の積層コイル部品の製造方法は、前記積層体ブロック作製工程が、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体ペーストを作製する磁性体ペースト作製工程と、前記磁性体ペーストに成形加工を施してシート状の磁性体層を作製する磁性体層作製工程と、前記導電性材料を含有した導電性ペーストを前記磁性体層に塗布して所定の導体パターンを有する導体層を形成する導体層形成工程と、前記導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、前記導体層の形成された磁性体層を積層する積層工程とを含み、前記磁性材料付与工程は、前記磁性体ペーストを前記積層体の側面部に塗布するのが好ましい。【００２３】
さらに、本発明の積層コイル部品の製造方法は、前記磁性体ペースト作製工程が、前記磁性金属材料の表面を前記ガラス材料で被覆して磁性体原料を作製する磁性体原料作製工程と、前記磁性体原料をペースト化するペースト化工程とを含むのが好ましい。【００２４】
これにより分割工程での切断時に、磁性金属材料の表面を被覆するガラス材料が損傷し欠落しても、磁性金属材料は磁性材料で被覆されることとなり、内部導体に錆が発生するのを回避することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の積層コイル部品の製造方法によれば、導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、前記積層体ブロックを前記各積層体毎に切断し分割する分割工程と、前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、前記磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体を作製する焼成工程とを含むので、分割工程で積層体ブロックを分割した際に導体層に含まれるガラス材料が損傷して欠落しても、積層体の側面部に磁性材料が付与されることから、焼成後の部品素体は耐食性に劣る磁性金属材料が表面露出することがない。そして、このように導体部分が表面露出することがないことから、導体部分が大気に接して錆が発生することもなく、特性劣化を招くことのない積層コイル部品を得ることが可能となる。【００２６】
しかも、部品素体が磁性金属材料を主成分とすることから、部品素体がフェライト系材料で形成された場合に比べ直流重畳特性が良好であり、したがって直流重畳特性が良好でかつ良好な信頼性を有するパワーインダクタ等に好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る製造方法で製造された積層コイル部品の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１の模式断面図である。
【図３】積層体ブロックの一実施の形態を示す斜視図である。
【図４】積層体の分解斜視図である。
【図５】積層体の斜視図である。
【図６】磁性材料塗布部が形成された積層体の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、本発明の実施の形態を詳説する。
【００２９】
図１は、本発明に係る積層コイル部品の一実施の形態を示す斜視図であり、図２は図１の模式断面図である。
【００３０】
この積層コイル部品は、部品素体１と、部品素体１に内蔵されたコイル導体２と、部品素体１の両端部に形成された外部導体３ａ、３ｂとから構成されている。
【００３１】
また、コイル導体２は、図２に示すように、所定の導体パターンを有するように形成された内部導体４（４ａ〜４ｏ）が、ビア導体（不図示）を介して電気的に直列に接続され、コイル状に巻回されている。そして、本積層コイル部品は、内部導体４ｏの引き出し部６が一方の外部電極３ａと電気的に接続されると共に、内部導体４ａの引き出し部７が他方の外部電極３ｂと電気的に接続されている。
【００３２】
また、部品素体１は、図１に示すように、磁性金属材料を主成分とし、副成分としてガラス材料を含有した磁性体本体部８と、該磁性体本体部８の側面部に形成された磁性材料からなる磁性材料付与部９ａ、９ｂとで構成されている。
【００３３】
次に、上記積層コイル部品の製造方法を詳述する。
【００３４】
まず、磁性金属材料及びガラス材料を用意する。
【００３５】
磁性金属材料としては、磁性を有する金属材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、Ｆｅを主成分とし、Ｓｉを含有したＦｅ−Ｓｉ系、Ｓｉ、Ｃｒを含有したＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系、Ｎｉを含有したＦｅ−Ｎｉ系、Ｓｉ、Ａｌを含有したＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ系等の結晶系又は非晶質系の各種磁性金属材料を使用することができる。
【００３６】
また、ガラス材料についても、特に限定されるものではなく、Ｓｉ−Ｂ系、Ｓｉ−Ｂ−アルカリ金属系、Ｓｉ−Ｂ−Ｚｎ系、水ガラス等、各種ガラス材料を使用することができる。
【００３７】
そして、これら磁性金属材料及びガラス材料を混合し、磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆し、磁性体原料を作製する。
【００３８】
このガラス材料の磁性金属材料表面への被覆方法についても、特に限定されるものではなく、例えばメカノフュージョン法等を使用して磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆することができる。すなわち、磁性金属材料とガラス材料とを混合し、この混合物に機械的エネルギーを負荷してメカノケミカル的な反応を生じさせ、これにより磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆させることができる。
【００３９】
尚、磁性金属材料とガラス材料との配合比率は、磁性金属材料が主成分を形成していればよく、例えば、磁性金属材料の含有量が７０〜９０重量％となるように配合される。
【００４０】
そして、この磁性体原料に有機溶剤、有機バインダ、分散剤や可塑剤等の添加剤を加えて混練し、これにより磁性体ペーストを作製する。
【００４１】
また、Ａｇ粉末等の導電性粉末にワニスや有機溶剤を加えて混練し、これにより内部導体用導電性ペースト（以下、「内部導体ペースト」という。）を作製する。
【００４２】
次に、前記磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、積層体ブロックを作製する。
【００４３】
図３は、積層体ブロックの斜視図である。
【００４４】
この積層体ブロック１０は、積層体１１の集合体であって、積層法を使用し、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のベースフィルム（不図示）上に作製される。そして、この積層体ブロック１０は、１個の積層体１１が焼成後には１個の部品素体１を形成するように、積層体ブロック１０に切断線１５、１６が設けられている。そして、ダイサーや切断刃等の切断具により切断線１５、１６に沿って積層体ブロック１０を切断し、これにより焼成後に部品素体１となる積層体１１が形成される。
【００４５】
次に、この積層体１１の作製方法を説明する。
【００４６】
図４は、積層体１１の分解斜視図である。
【００４７】
まず、ベースフィルム上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シート１２ａ、１２ｂを作製する。次いで該磁性体シート１２ｂの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層１３ａを形成する。
【００４８】
次いで、導体層１３ａが形成された磁性体シート１２ｂ上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シート１２ｃを作製する。次いで該磁性体シート１２ｃの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層１３ｂを形成する。尚、磁性体シート１２ｃの形成時には、導体層１３ｂと導体層１３ａとが導通可能となるようにビアホール１４ａを形成しておく。
【００４９】
以下、同様の方法・手順で磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、磁性体シート１２ｄ〜１２ｑ、導体層１３ｃ〜１３ｏを順次形成し、同様にして磁性体シート１２ｄ〜１２ｐの形成時には、上下の導体層が導通するようにビアホール１４ｂ〜１４ｎを形成しておく。これによりベースフィルム上には積層体１１がマトリックス状に一体的に多数作製され、積層体ブロック１０が形成される。
【００５０】
そして、上述したように切断具を使用し、積層ブロック１０を切断線１５、１６に沿って切断し、図５に示すような積層体１１が形成される。
【００５１】
次いで、積層体１１の側面部に磁性体ペーストを塗布して磁性材料を付与した後、この磁性材料が付与された積層体１１を匣（さや）に入れ、窒素雰囲気下、３００〜５００℃の温度で脱バインダ処理を行ない、その後窒素雰囲気下、９００〜１０００℃の温度で焼成処理を行い、これにより部品素体１を得る。
【００５２】
図６は部品素体１の斜視図であって、磁性体本体部８の側面部に磁性材料付与部９ａ、９ｂが形成されている。
【００５３】
そしてその後、部品素体１の両端部にＡｇ等を主成分とする外部電極用ペーストを塗布し、焼付処理を行って外部電極３ａ、３ｂを形成し、これにより積層コイル部品が形成される。
【００５４】
このように本実施の形態では、導電性材料を含有した導体層１３ａ〜１３ｏ同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体シート１２ａ〜１２ｑ（磁性体層）と前記導体層１３ａ〜１３ｏとを交互に積層し、多数の積層体１１の集合体である積層体ブロック１０を作製する積層体ブロック作製工程と、前記積層体ブロック１０を各積層体１１毎に切断し分割する分割工程と、前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体１１の側面部に付与する磁性材料付与工程と、前記磁性材料が付与された積層体１１を焼成し、部品素体１を作製する焼成工程とを含むので、分割工程で積層体ブロック１０を分割した際に導体層１３ａ〜１３ｏに含まれるガラス材料が損傷し、欠落しても、積層体１１の側面部に磁性材料が付与されることから、焼成後の部品素体１は耐食性に劣る磁性金属材料が表面露出することがない。すなわち、分割工程における切断時に、磁性金属材料の表面を被覆するガラス材料が損傷し、欠落しても、磁性金属材料は磁性材料で被覆されることから、コイル導体２に錆が発生するのを回避することができる。
【００５５】
そして、このように磁性金属材料が表面露出することがないことから、導体部分が大気に接して錆が発生することもなく、特性劣化を招くことのない積層コイル部品を得ることが可能となる。
【００５６】
しかも、部品素体１が磁性金属材料を主成分とすることから、部品素体１がフェライト系材料で形成された場合に比べ直流重畳特性が良好であり、したがって直流重畳特性が良好でかつ良好な信頼性を有するパワーインダクタ等に好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
【００５７】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００５８】
上記分割工程は、１個の積層体１１が焼成後には１個の部品素体１を形成するように、積層体ブロック１０に切断線１５、１６を設け、切断線１５、１６に沿って積層体ブロック１０を切断しているが、導体層１３ａ〜１３ｏの少なくとも一部が積層体１１の側面部から表面露出するように前記積層体ブロック１０を分割するのも好ましい。この場合は、導体層１３ａ〜１３ｏの少なくとも一部が積層体１１の側面部から表面露出するが、側面部には磁性材料が付与されることから、錆が発生することもなく、より一層の小型化されたパワーインダクタに好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
【００５９】
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
【実施例】
【００６０】
磁性金属材料として、Ｆｅ：９２.０重量％、Ｓｉ：３.５重量％、Ｃｒ：４.５重量％、平均粒径が６μｍのＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系磁性金属粉末を用意した。【００６１】
また、ガラス材料として、ＳｉＯ２：７９重量％、Ｂ２Ｏ３：１９重量％、Ｋ２Ｏ：２重量％、軟化点が７６０℃、平均粒径が１μｍのホウケイ酸アルカリガラスのガラス粉末を用意した。【００６２】
次いで、磁性金属粉末：８８重量％、ガラス粉末：１２重量％となるように、前記磁性金属材料及び前記ガラス材料を混合し、メカノフュージョン法を使用して磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆させ、磁性体原料を作製した。【００６３】
次に、この磁性体原料１００重量部に対し、有機溶剤としてのジヒドロタービニルアセテートを２６重量部、有機バインダとしてのエチルセルロースを３重量部、分散剤を１重量部、可塑剤を１重量部となるように秤量して混練し、磁性体ペーストを作製した。【００６４】
また、Ａｇ粉末、ワニス、及び有機溶剤を含有した内部導体ペーストを用意した。【００６５】
次いで、ＰＥＴフィルム上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これを所定回数繰り返して磁性体シートを作製し、次いで該磁性体シートの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法を使用して塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層を形成した。【００６６】
次いで、導体層が形成された磁性体シート上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シートを作製した。このとき、磁性体シートの所定箇所にビアホールを形成した。次いで該磁性体シートの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法を使用して塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層を形成した。このとき、ビアホールを介して最初に形成した導体層と導通するようにした。【００６７】
以下、同様の方法・手順で磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、磁性体シート、及び導体層を順次形成し、これにより図４に示すような導体パターンを有する積層体の集合体、すなわち積層体ブロックを形成した。【００６８】
そして、ダイサーを使用して積層体ブロックを切断し、これにより積層体を得た。【００６９】
次いで、積層体の側面部に磁性体ペーストを塗布し、乾燥させて磁性材料が塗布された積層体を得た。【００７０】
そして、この積層体を匣（さや）に入れて、窒素雰囲気中４００℃の温度で２時間加熱して脱バインダ処理を行った後、窒素雰囲気中、９００℃の温度で９０分間焼成処理を行い、部品素体を得た。【００７１】
次いで、浸漬法を使用して部品素体の両端部にＡｇ等を主成分とする外部電極用ペーストを塗布し、窒素雰囲気中、１００℃の温度で１０分間乾燥した後、７８０℃の温度で１５分間焼付処理を行い、外部電極を形成し、これにより積層コイル部品を作製した（実施例試料）。【００７２】
また、比較例として、上述と同様の方法・手順で積層体ブロックを作製し、その後、該積層体ブロックを切断して積層体毎に分割し、該積層体の側面部に磁性体ペーストを塗布することなく焼成し、これを部品素体とした積層コイル部品を作製した（比較例試料）。【００７３】
次に、このようにして作製した実施例試料及び比較例試料の各試料１００個について、相対湿度９５％ＲＨ、温度４０℃に保持した恒温槽に５００時間放置し、各試料が錆などによって変色していないか否かを光学顕微鏡で観察した。【００７４】
その結果、比較例試料では１００個中、６０個の試料で外観が変色していたのに対し、実施例試料では、変色していた試料は皆無であることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
磁性金属材料を主成分とする部品素体を備えた積層コイル部品を多数個取り方式で作製する場合であっても、外表面に錆が生じるのを回避することができ、直流重畳特性が良好で信頼性に優れた積層コイル部品を実現できる。
【符号の説明】
【００７６】
２  コイル導体
１０  積層体ブロック
１１  積層体
１２ａ〜１２ｑ  磁性体シート（磁性体層）
１３ａ〜１３ｏ  導体層
【図１】
2014013896.tif 000003
【図２】
2014013896.tif 000004
【図３】
2014013896.tif 000005
【図４】
2014013896.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
2014013896.tif 000009
2014013896.tif 000010
2014013896.tif 000011
2014013896.tif 000012