Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月11日(2015.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動取引装置であって、
前記自動取引装置の利用者に対して音声案内を出力する音声出力部と、前記利用者による入力を受け付ける操作部とを備えるハンドセットと、
媒体を排出する媒体排出部と、
前記媒体排出部による前記媒体の排出が準備された状態で、前記操作部が前記利用者から所定の入力を受け付けた場合に、前記媒体排出部に前記媒体を排出させる排出制御を行う制御部と
を備える自動取引装置。
【請求項２】
請求項１記載の自動取引装置であって、
前記制御部は、前記音声出力部によって前記媒体の排出案内を出力させ、前記排出案内の出力後、前記操作部による前記利用者からの入力を受け付けた場合に、前記媒体排出部に前記媒体を排出させる前記排出制御を行う
自動取引装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の自動取引装置であって、さらに、
前記媒体排出部への利用者の接近を検知する接近センサを備え、
前記制御部は、前記操作部による前記利用者からの入力と、前記接近センサによる前記検知の有無とに基づいて前記排出制御を行う
自動取引装置。
【請求項４】
請求項３記載の自動取引装置であって、
前記接近センサは、前記媒体排出部への利用者の接近を検知する距離の閾値を設定可能である
自動取引装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４記載の自動取引装置であって、
前記制御部は、
前記接近センサが前記利用者の接近を検知した場合は、前記利用者の前記媒体排出部への接近の解消を促す接近解消案内を前記音声出力部によって出力させ、
前記接近解消案内の出力後、前記接近センサが前記利用者の接近を検知しなくなった場合に、前記媒体排出部に前記媒体を排出させる前記排出制御を行う
自動取引装置。
【請求項６】
請求項５記載の自動取引装置であって、
前記制御部は、
前記接近解消案内の出力後、前記接近センサが前記利用者の接近の検知を所定時間継続した場合は、前記音声出力部によって、再度、前記接近解消案内を出力させる
自動取引装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の自動取引装置であって、さらに、
カメラを備え、
前記制御部は、前記媒体排出部に前記媒体を排出させる前に、前記カメラによって前記利用者以外の人物を検知した場合は、前記音声出力部によって所定の案内を出力させる
自動取引装置。
【請求項８】
請求項２から請求項７のいずれか一項に記載の自動取引装置であって、
排出する媒体毎に前記媒体排出部を備え、
前記制御部は、前記媒体排出部が排出する媒体の種類に基づいて前記排出制御の態様を決定し実行する
自動取引装置。
【請求項９】
請求項３から請求項６のいずれか一項に記載の自動取引装置であって、
排出する媒体毎に前記媒体排出部を備える共に、前記各媒体排出部毎に前記接近センサを備え、
利用者が接近した前記接近センサの順序に基づいて、前記排出する媒体の順序を制御する
自動取引装置。
【請求項１０】
利用者に対して音声案内を出力する音声出力部と、前記利用者による入力を受け付ける操作部とを備えるハンドセットを有する自動取引装置を用いた取引方法であって、
前記操作部が前記利用者から所定の入力を受け付けた場合に媒体を排出する
取引方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月12日(2015.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に伸びるセンサ素子と、
前記センサ素子の外周の一部を筒状に覆う主体金具と、
電気絶縁性を有し、前記センサ素子の後端側に配置された筒状のセパレータと、
前記セパレータの後端側に配置された筒状のシール部材と、
前記センサ素子に電気的に接続され、前記セパレータと前記シール部材とを貫通する接続端子付きリード線と、
前記主体金具の後端側に固定され、前記セパレータの外周と前記シール部材の外周の一部とを筒状に覆う内側筒部材と、
前記シール部材の後端面の少なくとも一部を覆うように内側に折れ曲がる後端部を有し、前記内側筒部材の外周の少なくとも一部を筒状に覆い、前記内側筒部材とともに加締められる外側筒部材と、
を備えるガスセンサであって、
前記シール部材は、胴部と、該胴部の後端側に位置する鍔部と、を有し、
前記胴部は、少なくとも一部が前記内側筒部材内に配置され、
前記鍔部は、前記内側筒部材の後端側に配置されており、該鍔部の外側面は、前記外側筒部材の内側面に圧接していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスセンサにおいて、
前記セパレータの外側面が、前記内側筒部材の内側面から離間していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のガスセンサにおいて、
前記主体金具が、前記センサ素子の外表面に設けられた外側電極と電気的に接触していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のガスセンサにおいて、
前記内側筒部材と前記鍔部とが離間していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のガスセンサにおいて、
前記内側筒部材と前記外側筒部材とは、前記内側筒部材の後端が前記鍔部から離れるように加締められてなることを特徴とするガスセンサ。
【請求項６】
ガスセンサの製造方法であって、
（Ａ）電気絶縁性を有する筒状のセパレータと、胴部および該胴部の後端側に位置する鍔部を有し前記セパレータの後端側に位置する筒状のシール部材と、に貫通し、前記セパレータよりも先端側に突出する接続端子付きリード線を用意する工程と、
（Ｂ）前記接続端子付きリード線が貫通した前記シール部材の前記鍔部を、内側に折れ曲がる後端部を有する外側筒部材に、該外側筒部材の先端側から前記後端部に向けて圧入することにより、前記外側筒部材と前記セパレータと前記シール部材と前記接続端子付きリード線とを一体化したセパレータアッセンブリを形成する工程と、
（Ｃ）前記セパレータアッセンブリの前記外側筒部材を、該外側筒部材の前記後端部が鉛直下方を向くように把持する工程と、
（Ｄ）筒状の主体金具内に、センサ素子を組み込み、前記主体金具の後端側に内側筒部材を固定することで、前記主体金具と前記センサ素子と前記内側筒部材とを備えるセンサ素子アッセンブリを形成する工程と、
（Ｅ）前記工程（Ｃ）の後に、前記センサ素子アッセンブリを、前記内側筒部材側が鉛直下方に向いた状態で、前記セパレータアッセンブリに差し込むことで、前記接続端子付きリード線と前記センサ素子とを電気的に接続するとともに、前記セパレータと、前記シール部材の前記胴部の少なくとも一部と、を前記内側筒部材内に配置し、更に、前記外側筒部材を前記内側筒部材の外周に配置させつつ、前記外側筒部材の前記後端部と前記内側筒部材の後端面との間に前記シール部材の前記鍔部を配置させる工程と、
（Ｆ）前記外側筒部材を前記内側筒部材とともに加締める工程と、
を備えることを特徴とするガスセンサの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のガスセンサの製造方法において、
前記工程（Ｅ）では、前記セパレータと前記シール部材の前記胴部とが前記内側筒部材内に配置された際に、前記セパレータの外側面が、前記内側筒部材の内側面から離れていることを特徴とするガスセンサの製造方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載のガスセンサの製造方法において、
前記工程（Ｄ）では、前記センサ素子の外表面に設けられた外側電極を前記主体金具に電気的に接触させることを特徴とするガスセンサの製造方法。
【請求項９】
請求項６から請求項８までのいずれか一項に記載のガスセンサの製造方法において、
前記工程（Ｅ）では、前記センサ素子アッセンブリを前記セパレータアッセンブリに差し込んだ際に、前記内側筒部材と前記鍔部とが離間していることを特徴とするガスセンサの製造方法。
【請求項１０】
請求項６から請求項９までのいずれか一項に記載のガスセンサの製造方法において、
前記工程（Ｆ）では、前記内側筒部材の後端が前記鍔部から離れるようにして、前記外側筒部材を前記内側筒部材とともに加締めることを特徴とするガスセンサの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月30日(2015.10.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器に収容された分注対象に分注ノズルを浸漬して吸引し、反応容器に吐出する分注機構と、
前記分注機構の分注ノズルの内部の圧力を検出する圧力センサと、
前記分注機構の異常の有無の判定に用いる複数の判定用基準データが記憶される記憶部と、
既知の成分により構成された基準分注対象を前記分注機構により分注した場合の前記圧力センサからの検出結果に基づいて、前記記憶部に記憶された複数の判定用基準データから１つの判定用基準データを選択する判定用基準データ選択部と、
分析に用いる分注対象を前記分注機構により分注した場合の前記圧力センサからの検出結果と前記判定用基準データとに基づいて、前記分注機構の異常の有無を判定する異常判定部と
を備えたことを特徴とする自動分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載の自動分析装置において、
予め記憶部に記憶した複数の比較用データのそれぞれと、前記基準分注対象を前記分注機構により分注した場合の前記圧力センサからの検出結果との統計距離を演算する統計距離演算部を備え、
前記判定用基準データ選択部は、前記統計距離演算部で算出した統計距離に基づいて、前記記憶部に記憶された複数の判定用基準データから１つの判定用基準データを選択することを特徴とする自動分析装置。
【請求項３】
請求項２記載の自動分析装置において、
前記記憶部は、前記複数の比較用データのそれぞれに対して前記複数の判定用基準データを予め１対１で対応させて記憶し、
前記判定用基準データ選択部は、前記統計距離に基づいて前記複数の比較用データのうちの１つを選択することにより、選択した前記比較用データに対応する判定用基準データを選択することを特徴とする自動分析装置。
【請求項４】
請求項１記載の自動分析装置において、
前記異常判定部は、分析に用いる分注対象を前記分注機構により分注した場合の前記圧力センサからの検出結果と前記判定用基準データとの統計距離と、予め定めた閾値との比較結果に基づいて、前記分注機構の異常の有無を判定することを特徴とする自動分析装置。
【請求項５】
請求項３記載の自動分析装置において、
前記判定用基準データ選択部は、前記圧力センサの検出結果との前記統計距離が最も小さくなる前記比較用データを選択することを特徴とする自動分析装置。
【請求項６】
請求項２〜４の何れか１項記載の自動分析装置において、
前記統計距離は、マハラノビス距離、ユークリッド距離、標準ユークリッド距離、マンハッタン距離、チェビシェフ距離、ミンコフスキー距離、多変量正規密度のいずれかであることを特徴とする自動分析装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年11月6日(2015.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
本発明の温度式膨張弁は以上のように、作動棒が挿入される防振部材が、作動棒を貫通穴の一方側へ押圧する機能を備えるので、防振性能を向上することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月15日(2015.9.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パイロットバーナと、
前記パイロットバーナを中心とした半径方向外側に周方向に沿って複数設けられて、メインバーナ筒内にメインノズルが配置されたメインバーナと、
各前記メインバーナの前記メインバーナ筒から下流側に延在して設けられており、前記メインバーナ筒に繋がる入口が円形状で、下流側の出口が半径方向に平行な２つの半径方向エッジ、および各前記半径方向エッジの両端を連結するように周方向に沿う２つの周方向エッジで形成された延長管と、
前記メインバーナ筒の外側に設けられた空気通路と、
前記延長管の入口側であって前記半径方向の内側の周方向エッジに対応する位置に設けられ前記空気通路と前記延長管内とを連通する内側連通穴と、
を備え、
前記内側連通穴は前記延長管に形成されることを特徴とする燃焼器。
【請求項２】
前記内側連通穴は、前記延長管の出口に向くように斜めに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の燃焼機。
【請求項３】
前記延長管の入口側であって、前記内側連通穴の位置を除き、少なくとも前記半径方向の外側の周方向エッジと前記半径方向エッジとが連通する角部に対応する位置に設けられ前記空気通路と前記延長管内とを連通する角部連通穴をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の燃焼器。
【請求項４】
前記角部連通穴は、前記延長管の出口に向くように斜めに形成されていることを特徴とする請求項３に記載の燃焼器。
【請求項５】
前記内側連通穴が周方向に連続して形成され、前記角部連通穴が前記半径方向の外側の周方向エッジと前記半径方向エッジとが連通する角部に対応する位置で周方向に連続して形成されていることを特徴とする請求項３に記載の燃焼器。
【請求項６】
前記内側連通穴が前記角部連通穴よりも開口面積を大きく形成されていることを特徴とする請求項５に記載の燃焼器。
【請求項７】
前記内側連通穴が周方向に連続して形成され、前記角部連通穴が周方向で断続して形成されていることを特徴とする請求項３に記載の燃焼器。
【請求項８】
パイロットバーナと、
前記パイロットバーナを中心とした半径方向外側に周方向に沿って複数設けられて、メインバーナ筒内にメインノズルが配置されたメインバーナと、
各前記メインバーナの前記メインバーナ筒から下流側に延在して設けられており、前記メインバーナ筒に繋がる入口が円形状で、下流側の出口が半径方向に平行な２つの半径方向エッジ、および各前記半径方向エッジの両端を連結するように周方向に沿う２つの周方向エッジで形成された延長管と、
前記メインバーナ筒の外側に設けられた空気通路と、
前記延長管の入口側であって前記半径方向の外側の周方向エッジと前記半径方向エッジとが連通する角部に対応する位置に設けられ前記空気通路と前記延長管内とを連通する角部連通穴と、
を備え、
前記角部連通穴は前記延長管に設けられることを特徴とする燃焼器。
【請求項９】
前記角部連通穴の位置以外の前記延長管の入口側であって前記半径方向の内側の周方向エッジに対応する位置に設けられ、前記空気通路と前記延長管内とを連通する内側連通穴をさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の燃焼器。
【請求項１０】
前記角部連通穴は、前記延長管の出口に向くように斜めに形成されていることを特徴とする請求項５または８に記載の燃焼器。
【請求項１１】
前記メインバーナ筒内で半径方向に延在して設けられた複数のメインスワラを有し、前記メインスワラの下流端に対応する位置に設けられて前記空気通路と前記メインバーナ筒内とを連通する翼部連通穴をさらに備えることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の燃焼器。
【請求項１２】
圧縮機と、燃焼器と、タービンとを備えるガスタービンにおいて、
請求項１〜１１のいずれか１つに記載の燃焼器が適用されることを特徴とするガスタービン。
【手続補正書】
【提出日】平成27年7月15日(2015.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係る室外機は、伝熱管に対して伝熱フィンを任意の間隔で挿入してロウ付け固定し、伝熱管内を通過する冷媒と伝熱フィン間を通過する空気との熱交換を行う熱交換器と、機器の制御を行う電気系統の部品で構成する電気品と、熱交換器を通過した空気の流路上に設けられ、電気品の熱を空気に放熱させる冷却部材とを備え、冷却部材を設置する位置に対応し、冷却部材に通過させる空気の通風路となる部分の伝熱フィン間の間隔を他の部分よりも広げて伝熱管に伝熱フィンを挿入するものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
伝熱管に対して伝熱フィンを任意の間隔で挿入してロウ付け固定し、前記伝熱管内を通過する冷媒と前記伝熱フィン間を通過する空気との熱交換を行う熱交換器と、
機器の制御を行う電気系統の部品で構成する電気品と、
前記熱交換器を通過した空気の流路上に設けられ、前記電気品の熱を前記空気に放熱させる冷却部材とを備え、
前記冷却部材を設置する位置に対応し、前記冷却部材に通過させる前記空気の通風路となる部分の前記伝熱フィン間の間隔を他の部分よりも広げて前記伝熱管に前記伝熱フィンを挿入することを特徴とする室外機。
【請求項２】
前記伝熱フィンは前記伝熱管の形状に合わせて形成された同間隔の挿入孔を有し、前記伝熱フィンを前記挿入孔から前記伝熱管に差し入れて挿入することを特徴とする請求項１に記載の室外機。
【請求項３】
前記伝熱管を扁平管とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の室外機。
【請求項４】
冷媒を圧縮して吐出する圧縮機と、熱交換により前記冷媒を凝縮させる凝縮器と、凝縮に係る冷媒を減圧させるための絞り装置と、減圧に係る冷媒と空気とを熱交換して前記冷媒を蒸発させる蒸発器とを配管接続して冷媒回路を構成し、
前記蒸発器、前記凝縮器の少なくとも一方となる熱交換器を、請求項１〜３のいずれか一項に記載の室外機が備える熱交換器とすることを特徴とする冷凍サイクル装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月29日(2015.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０５７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０５７７】
【表９】
2014149409.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０５７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０５７９】
＜ＥＵＶレジスト評価＞
（１）感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の塗液調製及び塗設
下記表１０に示した成分を、同表に示す溶剤に固形分で４．０質量％溶解させ、０．０５μｍ孔径のメンブレンフィルターで精密ろ過して、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物（レジスト組成物）溶液を得た。
この感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物溶液を、予めヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）処理を施した６インチＳｉウェハ上に東京エレクトロン製スピンコーターＭａｒｋ８を用いて塗布し、１００℃、６０秒間ホットプレート上で乾燥して、膜厚５０ｎｍのレジスト膜を得た。
（２）ＥＵＶ露光及び現像
上記（１）で得られたレジスト膜の塗布されたウェハを、ＥＵＶ露光装置（Ｅｘｉｔｅｃｈ社製  Ｍｉｃｒｏ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｔｏｏｌ、ＮＡ０．３、Ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ、アウターシグマ０．６８、インナーシグマ０．３６）を用い、露光マスク（ライン／スペース＝１／１）を使用して、パターン露光を行った。照射後、ホットプレート上で、１１０℃で６０秒間加熱した後、下表に記載の現像液をパドルして３０秒間現像し、下表に記載のリンス液を用いてリンスした後、４０００ｒｐｍの回転数で３０秒間ウェハを回転させた後、９０℃で６０秒間ベークを行なうことにより、線幅５０ｎｍの１：１ラインアンドスペースパターンのレジストパターンを得た。
〔ラインエッジラフネス（ＬＥＲ、ｎｍ）〕
上記の線幅５０ｎｍの１：１ラインアンドスペースパターンを、走査型電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−９３８０）を用いて観察した。そして、その長さ方向２μｍに含まれる等間隔の５０点について、エッジがあるべき基準線と実際のエッジとの間の距離を測定した。そして、この距離の標準偏差を求め、３σを算出した。そして、この３σを「ＬＥＲ（ｎｍ）」とした。この値が小さい程、ラインエッジラフネス性能は良好である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０５８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０５８０】
【表１０】
2014149409.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０５８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０５８１】
表１０に示す結果から、本発明に係る組成物を使用した実施例２１及び２２は、化合物（Ｃ１）又は（Ｃ２）を含有しない比較例４及び５と比較して、有機溶剤現像液を用いた極紫外線露光において、ラインエッジラフネス性能に優れることが分かった。
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月4日(2015.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記面積比補正は、前記励起光の照射面積を前記試料の被照射面積で除算した値を、前記光吸収率に対して乗算することによって行われることを特徴とする請求項２記載の分光測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記面積比補正は、前記励起光の照射面積を前記試料の被照射面積で除算した値を、前記光吸収率に対して乗算することによって行われることを特徴とする請求項７記載の分光測定方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、励起光は、試料を内包するように当該試料に照射されていてもよい。このとき、面積比補正は、励起光の照射面積を試料の被照射面積で除算した値を、光吸収率に対して乗算することによって行うことができる。また、解析手段は、下式（１）による面積比補正の関係式に基づいて、光吸収率を算出することができる。
【数１】
2014149266.tif 000001
但し、
Ａ：光吸収率、ρ＝積分器反射率、Ｓ１：試料の被照射面積、Ｓ２：励起光の照射面積、Ａｂｓ１２：間接励起時の光吸収率、Ａｂｓ２２：直接励起時の光吸収率。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、試料に励起光を入射させる工程では、励起光が試料を内包するように照射されてもよい。このとき、面積比補正は、励起光の照射面積を試料の被照射面積で除算した値を、光吸収率に対して乗算することによって行うことができる。また、光吸収率を算出する工程では、下式（２）による面積比補正の関係式に基づいて、光吸収率を算出することができる。
【数２】
2014149266.tif 000002
但し、
Ａ：光吸収率、ρ＝積分器反射率、Ｓ１：試料の被照射面積、Ｓ２：励起光の照射面積、Ａｂｓ１２：間接励起時の光吸収率、Ａｂｓ２２：直接励起時の光吸収率。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
最後に、試料１の光吸収率Ａを算出する（Ｓ１１）。ここで、本実施形態では、光吸収率を算出する際、励起光Ｌ１の照射面積Ｓ２及び試料１の被照射面積Ｓ１に関する面積比補正（以下、単に「面積比補正」という）が行われる。この面積比補正は、光吸収率に対して「被照射面積Ｓ２/照射面積Ｓ１」を乗算することに基づき実施される。ここでは、下式（３）による面積比補正の関係式に基づいて、光吸収率Ａを算出している。なお、下式（３）の具体的説明については後述する。
【数３】
2014149266.tif 000003
但し、
Ａ：光吸収率、
ρ：積分器反射率（積分球１４の内壁材料についての励起波長での反射率）
Ａｂｓ１２：間接励起時の光吸収率、
Ａｂｓ２２：直接励起時の光吸収率。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月1日(2015.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【図１】検証対象の一例を示す図（その１）である。
【図２】検証対象の一例を示す図（その２）である。
【図３】マスターユニット間競合の一例の説明図である。
【図４】スレーブユニット間競合の一例の説明図である。
【図５】バス内競合の一例の説明図である。
【図６】カバレッジ表（レベル１）の一例を示す図である。
【図７】カバレッジ表（レベル２）の一例を示す図である。
【図８】カバレッジ表（レベル３）の一例を示す図である。
【図９】競合モニタの接続例を示す図である。
【図１０】検証装置の構成例を示す図である。
【図１１】検証装置に用いるコンピュータのハードウェア構成例を示す図である。
【図１２】検証装置の処理フローの一例を示す図である。
【図１３】競合検証手法の一例の説明図である。
【図１４】データベースの一例を示す図（その１）である。
【図１５】データベースの一例を示す図（その２）である。
【図１６】競合モニタによる情報取得の説明図（その１）である。
【図１７】競合モニタによる情報取得の説明図（その２）である。
【図１８】競合モニタによる情報取得の説明図（その３）である。
【図１９】競合モニタによる情報取得の説明図（その４）である。
【図２０】競合モニタによる情報取得の説明図（その５）である。
【図２１】競合モニタによる情報取得の説明図（その６）である。
【図２２】競合候補チャネルの説明図である。
【図２３】競合相手チャネルの説明図である。
【図２４】カバレッジ表の出力例を示す図（その１）である。
【図２５】カバレッジ表の出力例を示す図（その２）である。
【図２６】カバレッジ表の出力例を示す図（その３）である。
【図２７】カバレッジ表の出力例を示す図（その４）である。
【図２８】競合検証手法の適用例を示す図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
比較結果ＤＢ８５には、比較部５２でのビジー期間と最短ビジー期間の比較結果、即ちビジー期間が最短ビジー期間よりも長いチャネルを示す情報が記録される。
カバレッジ表ＤＢ８６には、例えば、上記図６〜８に示したようなレベル１〜３のカバレッジ表３１〜３３に対応する情報が記録される。競合モニタ５０では、ビジー期間が最短ビジー期間よりも長くなったチャネルとそのチャネルで繋がるマスターユニット１２とスレーブユニット１３の組み合わせの情報、及び転送信号のデータ種類、並びに競合相手の情報が取得される。カバレッジチェック部５３は、これらの情報に基づき、カバレッジ表ＤＢ８６に、各カバレッジ表３１〜３３の各欄に対応する所定の情報を記録する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図１１は検証装置に用いるコンピュータのハードウェア構成例を示す図である。
検証装置６０に用いるコンピュータ１００は、プロセッサ１０１によって全体が制御される。プロセッサ１０１には、バス１０９を介してＲＡＭ（Random Access Memory）１０２と複数の周辺機器が接続されている。プロセッサ１０１は、マルチプロセッサであってもよい。プロセッサ１０１は、例えばＣＰＵ、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、又はＰＬＤ（Programmable Logic Device）である。またプロセッサ１０１は、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ、ＰＬＤのうちの２以上の要素の組み合わせであってもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
検証装置６０では、競合するシナリオ７２が用いられて検証対象１０が動作され、競合モニタ５０のステートマシン部５１により、各チャネルのデータ種類（ライト及びリードデータの場合）、ビジー期間及び競合候補チャネルを示す情報が取得される。取得された情報は、記録部８０のデータベース（ＤＢ）８０ａに記録される。ＤＢの一例を図１５に示す。
【手続補正書】
【提出日】平成27年7月22日(2015.7.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、第１および第２のサイドシールドならびに第１および第２の縦シールドを含むボックスシールド内に書込磁極を備え、前記書込磁極は同じでない材料からなる少なくとも２つのギャップ層を備える多層ギャップ構造によって前記ボックスシールドから分離される、装置。
【請求項２】
前記多層ギャップ構造は、各シールドを前記書込磁極と物理的に接続させる、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記ギャップ層は、機械加工ストップ層および非磁性層を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
磁性素子であって、第１および第２のサイドシールドならびに第１および第２の縦シールドを含むボックスシールド内に書込磁極を備え、前記書込磁極は、機械加工ストップ層によって分離される第１および第２の非磁性ギャップ層を含む多層ギャップ構造によって前記ボックスシールドから分離され、前記非磁性ギャップ層および機械加工ストップ層の少なくとも２層は同じでない材料から形成される、磁性素子。
【請求項５】
データライタであって、第１および第２のサイドシールドならびに第１および第２の縦シールドを含むボックスシールド内に書込磁極を備え、前記書込磁極は同じでない材料からなる少なくとも２つのギャップ層を備える多層ギャップ構造によって前記ボックスシールドから分離され、前記多層ギャップ構造の少なくとも１つの第１のギャップ層は、サイドシールドおよび後縁シールド間のレターボックス領域に延在する、データライタ。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月5日(2015.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズを保持するシフト部材と、
前記シフト部材を本体部に対して光軸と直交する面内の第１方向に移動させる第１駆動部と、
前記シフト部材を前記本体部に対して前記光軸と直交する面内の前記第１方向と垂直な第２方向に移動させる第２駆動部と、を有し、
前記第１駆動部は、第１マグネット、第１コイル、および、第１ヨークを光軸方向に順に配置して構成され、
前記第２駆動部は、第２マグネット、第２コイル、および、第２ヨークを前記光軸方向に順に配置して構成され、
前記第１マグネットおよび前記第２マグネットは前記シフト部材または前記本体部の一方に取り付けられ、前記第１ヨークおよび前記第２ヨークは該シフト部材または該本体部の他方に取り付けられ、該第１マグネットおよび該第２マグネットは該第１ヨークおよび該第２ヨークに対して相対移動可能であり、
前記第１ヨークは、前記第２方向に延びる二つの対辺のうち少なくとも一方から、前記第１方向に突出する第１突出部を有し、
前記第２ヨークは、前記第１方向に延びる二つの対辺のうち少なくとも一方から、前記第２方向に突出する第２突出部を有し、
前記第１突出部の前記第２方向の幅は、前記第１ヨークの前記対辺の該第２方向の幅よりも小さく、
前記第２突出部の前記第１方向の幅は、前記第２ヨークの前記対辺の該第１方向の幅よりも小さく、
前記第１マグネットの前記第１方向の長さは、前記第１ヨークの前記二つの対辺の間の長さよりも小さく、
前記第２マグネットの前記第２方向の長さは、前記第２ヨークの前記二つの対辺の間の長さよりも小さい、ことを特徴とする振れ補正装置。
【請求項２】
前記第１マグネットと前記第１ヨークとの間に働く前記第１方向の引き戻し力、および、前記第２マグネットと前記第２ヨークとの間に働く第２方向の引き戻し力は、前記シフト部材の可動範囲内においてゼロにならないことを特徴とする請求項１に記載の振れ補正装置。
【請求項３】
前記第１マグネットと前記第１ヨークとの間に働く前記第１方向の引き戻し力、および、前記第２マグネットと前記第２ヨークとの間に働く第２方向の引き戻し力は、前記シフト部材の可動範囲内において一定の方向に発生することを特徴とする請求項１または２に記載の振れ補正装置。
【請求項４】
前記第１マグネットの前記第２方向の幅と前記第１ヨークの該第２方向に延びる前記対辺の幅は等しく、
前記第２マグネットの前記第１方向の幅と前記第２ヨークの該第１方向に延びる前記対辺の幅は等しい、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振れ補正装置。
【請求項５】
前記第１マグネットの可動範囲は、前記第１ヨークの前記二つの対辺の間であり、
前記第２マグネットの可動範囲は、前記第２ヨークの前記二つの対辺の間であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振れ補正装置。
【請求項６】
前記第１ヨークの前記第１突出部は、該第１ヨークの前記二つの対辺のそれぞれから前記第１の方向に突出し、
前記第２ヨークの前記第２突出部は、該第２ヨークの前記二つの対辺のそれぞれから前記第２の方向に突出し、
前記第１マグネットの可動範囲は、前記第１ヨークの前記二つの対辺の間であり、
前記第２マグネットの可動範囲は、前記第２ヨークの前記二つの対辺の間であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振れ補正装置。
【請求項７】
前記第１マグネットと前記第１ヨークとの間、および、前記第２マグネットと前記第２ヨークとの間にそれぞれ働く磁気吸引力により、前記シフト部材と前記本体部とで挟持された複数のボールを更に有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振れ補正装置。
【請求項８】
前記複数のボールが前記光軸に直交する面内で転動することにより、前記シフト部材が該面内でシフト移動することを特徴とする請求項７に記載の振れ補正装置。
【請求項９】
レンズと、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振れ補正装置と、
を有することを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項１０】
撮像素子と、
請求項９に記載のレンズ鏡筒と、
を有することを特徴とする光学機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一側面としての振れ補正装置は、レンズを保持するシフト部材と、前記シフト部材を本体部に対して光軸と直交する面内の第１方向に移動させる第１駆動部と、前記シフト部材を前記本体部に対して前記光軸と直交する面内の前記第１方向と垂直な第２方向に移動させる第２駆動部と、を有し、前記第１駆動部は、第１マグネット、第１コイル、および、第１ヨークを光軸方向に順に配置して構成され、前記第２駆動部は、第２マグネット、第２コイル、および、第２ヨークを前記光軸方向に順に配置して構成され、前記第１マグネットおよび前記第２マグネットは前記シフト部材または前記本体部の一方に取り付けられ、前記第１ヨークおよび前記第２ヨークは該シフト部材または該本体部の他方に取り付けられ、該第１マグネットおよび該第２マグネットは該第１ヨークおよび該第２ヨークに対して相対移動可能であり、前記第１ヨークは、前記第２方向に延びる二つの対辺のうち少なくとも一方から、前記第１方向に突出する第１突出部を有し、前記第２ヨークは、前記第１方向に延びる二つの対辺のうち少なくとも一方から、前記第２方向に突出する第２突出部を有し、前記第１突出部の前記第２方向の幅は、前記第１ヨークの前記対辺の該第２方向の幅よりも小さく、前記第２突出部の前記第１方向の幅は、前記第２ヨークの前記対辺の該第１方向の幅よりも小さく、前記第１マグネットの前記第１方向の長さは、前記第１ヨークの前記二つの対辺の間の長さよりも小さく、前記第２マグネットの前記第２方向の長さは、前記第２ヨークの前記二つの対辺の間の長さよりも小さい、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月18日(2015.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の工程（１）〜（３）を含む、コアシェル型の静電荷像現像用トナーの製造方法。
工程（１）：結晶性ポリエステル（ａ）を含有する樹脂粒子（Ａ）、及び離型剤を含有する離型剤粒子を凝集させて、凝集粒子（１）を得る工程
工程（２）：凝集粒子（１）に、ポリエステル樹脂からなる主鎖セグメント（Ａ１）及び付加重合系樹脂からなる側鎖セグメント（Ａ２）から構成されるグラフトポリマーからなる樹脂粒子（Ｃ）を添加して、凝集粒子（２）を得る工程
工程（３）：凝集粒子（２）を融着させて、コアシェル粒子を得る工程
【請求項２】
前記グラフトポリマーが、主鎖に非芳香族性の炭素−炭素不飽和結合を有するポリエステル樹脂（ｃ１）を調製し、該ポリエステル樹脂（ｃ１）を水性媒体と混合して、前記ポリエステル樹脂（ｃ１）の水性分散液を得る工程、及び該水性分散液に、付加重合性モノマー（ｃ２）を添加し重合して、グラフトポリマーからなる樹脂粒子（Ｃ）の水性分散液を得る工程を含む方法によって得られるものである、請求項１に記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項３】
主鎖セグメント（Ａ１）と側鎖セグメント（Ａ２）との重量比［セグメント（Ａ１）／セグメント（Ａ２）］が９５／５〜９９／１である、請求項１又は２に記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項４】
前記主鎖セグメント（Ａ１）の構成単位の由来する原料モノマーとして、不飽和脂肪族ジカルボン酸、不飽和脂環式ジカルボン酸、不飽和脂肪族ジオールから選ばれる１種以上を含む、請求項１〜３のいずれかに記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項５】
前記原料モノマーとして、不飽和脂肪族ジカルボン酸及び／又は不飽和脂環式ジカルボン酸を前記主鎖セグメント（Ａ１）のカルボン酸成分中、２０〜１００モル％含む、請求項４に記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項６】
前記付加重合系樹脂の構成単位の由来する付加重合性モノマーが、スチレン系モノマー及び／又は（メタ）アクリル酸エステルからなる、請求項１〜５のいずれかに記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項７】
結晶性ポリエステル（ａ）が、炭素数４〜１２のα，ω−アルカンジオールと炭素数８〜１２の脂肪族ジカルボン酸とを縮重合して得られる結晶性ポリエステルである、請求項１〜６のいずれかに記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項８】
樹脂粒子（Ａ）が、非晶質ポリエステル（ｂ）を含有する、請求項１〜７のいずれかに記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項９】
結晶性ポリエステル（ａ）と非晶質ポリエステル（ｂ）との重量比〔（ａ）／（ｂ）〕が５／９５〜３０／７０である、請求項８に記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項１０】
非晶質ポリエステル（ｂ）が、炭素数９〜１４の分岐アルキル基を有するアルキルコハク酸及び／又は炭素数９〜１４の分岐アルケニル基を有するアルケニルコハク酸を含有する酸成分とアルコール成分とを縮重合して得られる非晶質ポリエステルである、請求項８又は９に記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項１１】
樹脂粒子（Ａ）が着色剤を含有する、請求項１〜１０のいずれかに記載の静電荷像現像用トナーの製造方法。
【請求項１２】
結晶性ポリエステル（ａ）、非晶質ポリエステル（ｂ）及び離型剤を含有するコアと、ポリエステル樹脂からなる主鎖セグメント（Ａ１）及び付加重合系樹脂からなる側鎖セグメント（Ａ２）から構成されるグラフトポリマーからなるシェルを含有するコアシェル型の静電荷像現像用トナー。
【手続補正書】
【提出日】平成27年11月9日(2015.11.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸芯体、弾性層、および樹脂層をこの順番で有している現像部材であって、
該樹脂層はイソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させてなるポリウレタン樹脂を含有し、
該弾性層は、下記（ａ）〜（ｄ）を含む付加重合型シリコーンゴム混合物の硬化物からなることを特徴とする現像部材：
（ａ）一分子中にケイ素原子に結合したアルケニル基を２個以上有し、ケイ素原子に結合したアルケニル基以外の基がメチル基であるオルガノポリシロキサン、
（ｂ）一分子中にケイ素原子に結合した水素原子を３個以上有し、ケイ素原子に結合した基がメチル基であるオルガノポリシロキサン、
（ｃ）カーボンブラック、
（ｄ）下記式（１）で表される、重量平均分子量Ｍｗが１８０００以上１１００００以下であり、かつ分子量分布Ｍｗ／Ｍｎ（Ｍｎは数平均分子量）が１．０以上、２．０以下であるオルガノポリシロキサン
【化１】
2013140335.tif 000001
（式（１）中、Ｒ１は炭素数２以上４以下のアルケニル基、Ｒ２はイソシアネート基と反応し得る官能基を示し、ｎは１以上の整数である。）。
【請求項２】
前記（ｄ）成分のイソシアネート基と反応し得る官能基が、ヒドロキシル基、アルコキシル基、アミノ基およびチオール基からなる群から選ばれるいずれかの基である請求項１に記載の現像部材。
【請求項３】
前記（ｄ）成分のイソシアネート基と反応し得る官能基がアルコキシル基であって、該アルコキシル基がメトキシ基またはエトキシ基である請求項２に記載の現像部材。
【請求項４】
前記（ｂ）成分の重量平均分子量が３００〜１０００００の範囲にある請求項１〜３のいずれか一項に記載の現像部材。
【請求項５】
前記弾性層の体積抵抗率が、１×１０４Ω・ｃｍ以上、１×１０７Ω・ｃｍ以下である請求項１〜４のいずれか一項に記載の現像部材。
【請求項６】
感光ドラムおよび該感光ドラムに当接して配置される現像部材を備えている電子写真装置であって、該現像部材が、請求項１〜５のいずれか一項に記載の現像部材であることを特徴とする電子写真装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月19日(2014.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向、及び、第１の方向とは異なる第２の方向に２次元マトリクス状に画素が配列されて成る透過型表示パネル、
透過型表示パネルを背面から照射する面状照明装置、並びに、
透過型表示パネルと面状照明装置との間に配置され、透過型表示パネルに表示される画像を複数の視点用の画像に分離するパララックスバリア、
を備えており、
パララックスバリアと透過型表示パネルとは、所定の間隔を空けて対向して配されており、
パララックスバリアは、第２の方向と平行な軸線、又は、第２の方向と鋭角を成す軸線に沿って延びる光透過部及び遮光部が、複数、交互に、第１の方向に沿って並置されて成り、
第１の方向に沿った光透過部の幅をＷ1、第１の方向に沿った画素の配列ピッチをＮＤとしたとき、
０．９５×ＮＤ≦Ｗ1≦１．０５×ＮＤ
又は、
１．９×ＮＤ≦Ｗ1≦２．１×ＮＤ
を満足する表示装置。
【請求項２】
パララックスバリアは、
第１基板、
第１基板に形成され、パターニングされた第１電極、
第１基板と対向して配置された第２基板、
第１電極と対向して第２基板に形成された第２電極、及び、
第１基板と第２基板とによって挟まれた液晶層、
から少なくとも構成された液晶表示装置から成る請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
遮光部を構成する第１電極の第１の方向に沿った幅は、第１の方向に沿った遮光部の幅よりも狭い請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
光透過部を構成する第１電極の第１の方向に沿った幅は、第１の方向に沿った光透過部の幅Ｗ1よりも狭い請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
第１電極及び第２電極への電圧の印加状態によって、第１の方向に沿った光透過部の幅Ｗ1が、
０．９５×ＮＤ≦Ｗ1≦１．０５×ＮＤ
及び、
１．９×ＮＤ≦Ｗ1≦２．１×ＮＤ
のいずれかとなるように切り換えられる請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項６】
遮光部を構成する液晶表示装置の領域には、第１電極が形成されており、
光透過部を構成する液晶表示装置の領域には、第１電極が形成されていない請求項２に記載の表示装置。
【請求項７】
遮光部を構成する液晶表示装置の領域には、第１電極が形成されており、
光透過部は、第１電極が形成されている領域と第１電極が形成されていない領域とが、第１の方向に沿って並置されて成り、
光透過部を構成する第１電極の第１の方向に沿った幅は、第１の方向に沿った光透過部の幅Ｗ1よりも狭い請求項２に記載の表示装置。
【請求項８】
第１電極及び第２電極への電圧の印加状態によって、第１の方向に沿った光透過部の幅Ｗ1が、
０．９５×ＮＤ≦Ｗ1≦１．０５×ＮＤ
及び、
１．９×ＮＤ≦Ｗ1≦２．１×ＮＤ
のいずれかとなるように切り換えられる請求項７に記載の表示装置。
【請求項９】
透過型表示パネルのヘーズ値は１５％以下である請求項２乃至請求項８のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１０】
パララックスバリアの軸線と第２の方向との成す角度θは鋭角であり、第２の方向に沿った画素の配列ピッチをＮＤ2としたとき、
θ＝ｔａｎ-1（ＮＤ2／ＮＤ）
を満足する請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１１】
パララックスバリアの軸線と第２の方向との成す角度θは鋭角であり、
パララックスバリアを構成する光透過部は、パララックスバリアの軸線に沿って直線状に配列されている請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１２】
パララックスバリアの軸線と第２の方向との成す角度θは鋭角であり、
パララックスバリアを構成する光透過部は、パララックスバリアの軸線に沿って階段状に配列されている請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月23日(2014.11.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複屈折が異なる合成石英ガラス基板を準備し、該複屈折と、偏光状態の変化により前記合成石英ガラス基板の透過率が変化する検査光を使用した透過率とを測定して、前記合成石英ガラス基板における前記複屈折と前記透過率との対応関係を求める工程と、
前記検査光によるマスク欠陥判定の許容透過率変動値を満足するように、前記対応関係から複屈折の許容値を決定する工程と、
を有することを特徴とするマスクブランク用合成石英ガラス基板の複屈折仕様決定方法。
【請求項２】
前記透過率は、円偏光の検査光を用いて測定を行うことを特徴とする請求項１に記載のマスクブランク用合成石英ガラス基板の複屈折仕様決定方法。
【請求項３】
複屈折が異なる合成石英ガラス基板を準備し、該複屈折と、円偏光の検査光を使用した透過率とを測定して、前記合成石英ガラス基板における前記複屈折と前記透過率との対応関係を求める工程と、
前記検査光によるマスク欠陥判定の許容透過率変動値を満足するように、前記対応関係から複屈折の許容値を決定する工程と、
を有することを特徴とするマスクブランク用合成石英ガラス基板の複屈折仕様決定方法。
【請求項４】
合成石英ガラス基板の複屈折と、偏光状態の変化により前記合成石英ガラス基板の透過率が変化する検査光により測定した前記合成石英ガラス基板の透過率との対応関係から、前記検査光によるマスク欠陥判定の許容透過率変動値を満足する前記透過率に対応する前記複屈折を選択する工程と、
前記合成石英ガラス基板とは別の合成石英ガラス基板を準備し、前記別の合成石英ガラス基板の主表面における転写パターン形成領域の複数ポイントで複屈折を測定し、前記測定した複屈折を基に前記許容透過率変動値を満足する合成石英ガラス基板であるかを判定し、前記許容透過率変動値を満足する合成石英ガラス基板を選定する工程と、
を有することを特徴とするマスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記透過率は、円偏光の検査光を用いて測定を行うことを特徴とする請求項４に記載のマスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法。
【請求項６】
合成石英ガラス基板の複屈折と、円偏光の検査光により測定した前記合成石英ガラス基板の透過率との対応関係から、前記検査光によるマスク欠陥判定の許容透過率変動値を満足する前記透過率に対応する前記複屈折を選択する工程と、
前記合成石英ガラス基板とは別の合成石英ガラス基板を準備し、前記別の合成石英ガラス基板の主表面における転写パターン形成領域の複数ポイントで複屈折を測定し、前記測定した複屈折を基に前記許容透過率変動値を満足する合成石英ガラス基板であるかを判定し、前記許容透過率変動値を満足する合成石英ガラス基板を選定する工程と、
を有することを特徴とするマスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法。
【請求項７】
前記複数ポイントで測定した複屈折の測定データは、測定ポイントの位置情報と対応して記録媒体に保存する工程を有することを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のマスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法。
【請求項８】
前記記録媒体に保存された位置情報と対応付けされた複屈折の測定データから複屈折の面内ばらつきを算出し、該複屈折の面内ばらつきが仕様を満足する合成石英ガラス基板であるかを判定し、仕様を満足する合成石英ガラス基板を選定する工程を有することを特徴とする請求項７に記載のマスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれかに記載の製造方法により得られたマスクブランク用合成石英ガラス基板の主表面上に、転写パターンとなる薄膜を形成することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
【請求項１０】
前記転写パターンとなる薄膜は、前記合成石英ガラス基板の複屈折の測定結果に基づき、膜材料を選定することを特徴とする請求項９に記載のマスクブランクの製造方法。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の製造方法により得られたマスクブランクの前記薄膜をパターニングして前記合成石英ガラス基板上に転写パターンを形成することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
【請求項１２】
前記合成石英ガラス基板上に形成された前記転写パターンを、偏光状態の変化により前記合成石英ガラス基板の透過率が変化する検査光を使用して検査するパターン検査工程を有することを特徴とする請求項１１に記載の転写用マスクの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月13日(2014.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の欠陥を修正可能な欠陥修正装置であって、
前記基板上の前記欠陥を除去可能な作業針と、前記作業針に設けられ、前記作業針と前記基板との接触を検知可能な接触検出器と、前記作業針と前記接触検出器を、前記基板に対して相対的に駆動可能な駆動手段とを備える、欠陥修正装置。
【請求項２】
前記接触検出器が歪センサである、請求項１に記載の欠陥修正装置。
【請求項３】
前記作業針と前記接触検出器とを、前記基板に対して近づく方向と離れる方向に移動可能に保持する可動保持部を備える、請求項１または請求項２に記載の欠陥修正装置。
【請求項４】
前記可動保持部が前記基板に対して近づく方向と離れる方向に移動可能となるように、前記可動保持部を案内する案内部と、前記案内部に設けられ前記可動保持部を停止可能な停止部と、を備える、請求項３に記載の欠陥修正装置。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記案内部に沿って前記可動保持部を駆動可能な第１駆動部と、前記第１駆動部を駆動可能な第２駆動部を備えた、請求項４に記載の欠陥修正装置。
【請求項６】
前記作業針は板状部を有し、前記板状部上に前記接触検出器を設置した、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の欠陥修正装置。
【請求項７】
前記作業針は平坦部を有し、前記平坦部上に前記接触検出器を設置した、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の欠陥修正装置。
【請求項８】
基板上の欠陥を修正する欠陥修正方法であって、
前記基板の表面に作業針を近づける工程と、前記作業針と前記基板の表面もしくは前記基板上の欠陥との接触を検出する工程と、前記作業針を用いて前記欠陥を除去する工程を備える、欠陥修正方法。
【請求項９】
前記接触は前記作業針に設けられた接触検出器により検出され、
前記接触を検出する工程は、前記接触検出器の出力値から前記基板の表面、前記基板上の欠陥に対する前記作業針の押し込み量、接触圧の少なくとも１つを算出する算出工程を含む、請求項８に記載の欠陥修正方法。
【請求項１０】
前記接触は前記作業針に設けられた接触検出器により検出され、
前記接触を検出する工程は、
前記接触検出器の出力値が予め定めた閾値を超えたときに、前記接触を判断する工程を含む、請求項８に記載の欠陥修正方法。
【請求項１１】
前記接触は前記作業針に設けられた接触検出器により検出され、
前記接触を検出する工程は、
前記基板に前記作業針を近づける工程の前後で抵抗検出器の出力値を測定し、前記抵抗検出器の出力値の変化量が予め定めた閾値を超えたときに、前記接触を判断する工程を含む、請求項８に記載の欠陥修正方法。
【請求項１２】
前記算出工程の後、その結果を受けて前記押し込み量もしくは前記接触圧を調整する工程を含む、請求項９に記載の欠陥修正方法。