(57)【要約】部品保持具と共に移動させられて部品保持具に電子回路部品を供給する移動型部品供給装置を備えた電子回路部品装着機の実用性を向上させる。バルク部品供給装置のヘッド本体に対して着脱可能な通路付部品ケース２５２に落下部品受け板３４０を取り付ける。通路付部品ケース２５２をヘッド本体に取り付けた状態において落下部品受け板３４０は吸着ノズルの旋回軌跡の下方に位置し、落下部品を受ける一方、開口３４４により部品装着位置における吸着ノズルの昇降を許容し、部品を基板に装着させる。落下部品受け板３４０の開口３４４の周辺を囲む部分を含み、通路付部品ケース２５２をヘッド本体に取り付けた状態において上方に開放された部分に粘着性を有するシート３４６を貼り、落下部品の移動を防止する。落下部品受け板３４０は通路付部品ケース２５２と共にヘッド本体に着脱され、ヘッド本体から取り外した状態で落下部品が除去される。
2014045664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基材を保持する基材保持装置と、
電子回路部品を供給する部品供給装置と、
(a)部品保持具と、(b)その部品保持具を保持する可動部材と、(c)その可動部材を少なくとも前記基材保持装置に対して移動させる移動装置とを含む装着装置と、
その装着装置を制御し、前記部品保持具に前記部品供給装置から電子回路部品を受け取らせて前記基材保持装置に保持された回路基材に装着させる制御装置と
を含む電子回路部品装着機であって、
前記部品供給装置が、前記可動部材に保持されて前記移動装置により前記部品保持具と共に移動させられ、その部品保持具に電子回路部品を供給可能な移動型部品供給装置を含み、その移動型部品供給装置が、電子回路部品を複数収納する部品収納部を少なくとも含んで前記可動部材の側の部分である可動部材側部に対して着脱可能な着脱可能部を備え、かつ、その着脱可能部に、前記部品保持具から落下した電子回路部品である落下部品が前記基材保持装置に保持された回路基材上に落下することを防止すべく、落下部品を受ける落下部品受け部材が取り付けられたことを特徴とする電子回路部品装着機。
【請求項２】
前記移動型部品供給装置が、(a)電子回路部品をばら積みの状態のバルク部品として収納する部品収納部と、(b)その部品収納部からバルク部品を整列した状態で部品供給部へ案内する案内通路を形成する案内通路形成部とを備えた移動型バルク部品供給装置を含み、その移動型バルク部品供給装置に前記落下部品受け部材が取り付けられた請求項１に記載の電子回路部品装着機。
【請求項３】
前記装着装置が、さらに、前記部品保持具を前記可動部材に対して相対的に昇降させる保持具昇降装置と、その保持具昇降装置による昇降方向と交差する方向に前記部品保持具を前記可動部材側部に対して相対的に部品受取位置と部品装着位置とへ移動させる部品保持具移動装置とを含み、前記落下部品受け部材に、前記部品保持具が前記部品装着位置において前記保持具昇降装置により前記落下部品受け部材より下方へ突出する下降位置へ下降することを許容する開口が形成された請求項１または２に記載の電子回路部品装着機。
【請求項４】
前記落下部品受け部材の上面の少なくとも一部に、落下電子回路部品がその一部に対して相対移動することを抑制する相対移動抑制層が設けられた請求項１ないし３のいずれかに記載の電子回路部品装着機。
【請求項５】
前記相対移動抑制層が、少なくとも前記開口の周辺を囲む部分に設けられた請求項４に記載の電子回路部品装着機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子回路部品装着機に関するものであり、特に、部品保持具と共に移動させられて、部品保持具に電子回路部品を供給する移動型部品供給装置を備えた電子回路部品装着機に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１に記載の電子回路部品装着機においては、吸着ノズルを保持し、Ｘ軸，Ｙ軸方向に移動させられる装着ヘッドに落下部品収納箱が設けられている。落下部品収納箱はシリンダにより、吸着ノズルの下方に位置し、吸着ノズルから外れて落下した電子回路部品を収納する位置と、吸着ノズルの下方から退避させられ、吸着ノズルの下降を許容する位置とに移動させられる。吸着ノズルが電子回路部品供給装置から電子回路部品を取り出した後、回路基板に装着するまでの間に電子回路部品が吸着ノズルから外れることがあれば、落下部品収納箱により受けられ、回路基板上へ落下することが防止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２９６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、部品保持具と共に移動させられて、部品保持具に電子回路部品を供給する移動型部品供給装置を備えた電子回路部品装着機の実用性の向上を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題は、(A)回路基材を保持する基材保持装置と、(B)電子回路部品を供給する部品供給装置と、(C)(a)部品保持具と、(b)その部品保持具を保持する可動部材と、(c)その可動部材を少なくとも前記基材保持装置に対して移動させる移動装置とを含む装着装置と、(D)その装着装置を制御し、前記部品保持具に前記部品供給装置から電子回路部品を受け取らせて前記基材保持装置に保持された回路基材に装着させる制御装置とを含む電子回路部品装着機の前記部品供給装置を、前記可動部材に保持されて前記移動装置により前記部品保持具と共に移動させられ、その部品保持具に電子回路部品を供給可能な移動型部品供給装置を含むものとし、その移動型部品供給装置を、電子回路部品を複数収納する部品収納部を少なくとも含んで前記可動部材の側の部分である可動部材側部に対して着脱可能な着脱可能部を備えたものとし、かつ、その着脱可能部に、前記部品保持具から落下した電子回路部品である落下部品が前記基材保持装置に保持された回路基材上に落下することを防止すべく、落下部品を受ける落下部品受け部材を取り付けることにより解決される。
回路基材には、例えば、(a)未だ電子回路部品が装着されていないプリント配線板、(b)一方の面に電子回路部品が搭載されるとともに電気的に接合され、他方の面には電子回路部品が未装着であるプリント回路板、(c)ベアチップが搭載され、チップ付基板を構成する基材、(d)ボールグリッドアレイを備えた電子回路部品が搭載される基材、(e)平板状ではなく三次元形状を有する基材等が含まれる。
部品保持具には、例えば、電子回路部品を負圧によって吸着する吸着ノズルや、複数の把持部材を備え、それら把持部材が互いに相対移動させられて部品を把持，解放する部品把持具がある。
移動型部品供給装置は、その一部が着脱可能部とされてもよく、全部が着脱可能部とされてもよい。
「可動部材側部」がいずれであるかは、着脱可能部を主体として決められ、可動部材自体でもよく、可動部材および可動部材に固定的に取り付けられた部材でもよい。移動型部品供給装置の一部が着脱可能部とされる場合、移動型部品供給装置の着脱可能部とされない部分も可動部材側部である。
移動型部品供給装置はまた、整列部品フィーダにより部品を供給する装置としてもよく、トレイにより部品を供給する装置としてもよい。整列部品フィーダには、例えば、バルクフィーダ，テープフィーダ，スティックフィーダ等がある。
【発明の効果】
【０００６】
移動型部品供給装置は、部品保持具と共に移動させられつつ電子回路部品を供給する。そのため、部品供給装置が、部品保持具と共には移動させられない部分に設けられる場合のように、部品保持具が部品供給装置と回路基材保持装置との間を往復移動し、部品供給装置からの電子回路部品の受取りおよび回路基材への装着を行う場合に比較して能率良く電子回路部品の装着が行われる。このような移動型部品供給装置において少なくとも部品収納部を含む部分が着脱可能部とされれば、それの可動部材側部に対する着脱により、例えば、移動型部品供給装置が供給する電子回路部品の種類の変更や部品補給を容易に行うことができる。
そして、部品保持具により部品供給装置から取り出された電子回路部品は、例えば、保持状態が悪く、あるいは電子回路部品と部品保持具とのサイズが不適合であり、あるいは電子回路部品と部品保持具との少なくとも一方が不良であることにより、回路基材に装着されるまでの間に部品保持具から外れ、落下することがあっても落下部品受け部材により受けられ、回路基材上に落下することが防止されて、回路基材が不良品となることが回避される。落下部品受け部材は着脱可能部に取り付けられているため、着脱可能部と共に可動部材側部に対して着脱され、取付け，取外しが容易である。落下部品受け部材により受けられた落下部品の処理は、落下部品受け部材を可動部材側部から取り外した状態で行う方が、取り付けたままの状態で行うより容易であり、落下部品受け部材の可動部材側部に対する着脱が容易であることにより、落下部品の処理を容易に行い得ることの効果を有効に享受することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態である電子回路部品装着機たる装着モジュールを複数備えた電子回路部品装着ラインの一部を示す斜視図である。
【図２】上記装着モジュールの部品供給装置のテープフィーダを示す側面図（一部断面）である。
【図３】上記装着モジュールの装着ヘッドとヘッド移動装置とを示す斜視図である。
【図４】上記装着ヘッドを示す斜視図である。
【図５】上記装着ヘッドの部品装着位置近傍部分を示す斜視図である。
【図６】上記装着ヘッドの部品取出位置近傍部分を示す斜視図である。
【図７】上記部品取出位置に設けられる移動型バルク部品供給装置の通路付部品ケースを示す側面図である。
【図８】上記通路付部品ケースを示す斜視図である。
【図９】上記移動型バルク部品供給装置の部品駆動装置および通路付部品ケース取付装置を示し、通路付部品ケース取付装置のアンクランプ状態を示す側面図（一部断面）である。
【図１０】上記通路付部品ケース取付装置のクランプ状態を示す側面図（一部断面）である。
【図１１】上記装着ヘッドのヘッド本体，吸着ノズル，移動型バルク部品供給装置を上方から見た状態を示す斜視図である。
【図１２】上記装着ヘッドを下方から見た状態を示す斜視図である。
【図１３】上記通路付部品ケース，落下部品受け板および照明装置等を上から見た状態を示す斜視図である。
【図１４】上記照明装置を示す側面断面図である。
【図１５】上記移動型バルク部品供給装置を収納部用部品センサおよび案内通路用部品センサと共に示す斜視図である。
【図１６】上記通路付部品ケースに対する収納部用部品センサの配置を説明する側面図である。
【図１７】上記通路付部品ケースの部品供給部近傍および案内通路用部品センサを示す斜視図である。
【図１８】上記通路付部品ケースを交換する通路付部品ケース交換装置を示す側面図（一部断面）である。
【図１９】上記通路付部品ケース交換装置の部品ケース保持・昇降装置を示す平面図である。
【図２０】上記通路付部品ケース交換装置の部品ケース保持・昇降装置を示す側面図である。
【図２１】上記装着モジュールを制御するモジュール制御装置を概念的に示すブロック図である。
【図２２】上記通路付部品ケース交換装置による通路付部品ケースの交換を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を、図を参照しつつ説明する。なお、本発明は、下記実施形態の他、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【０００９】
図１に電子回路部品装着機たる装着モジュール１０を複数含む電子回路部品装着システムが図示されている。これら装着モジュール１０は共通で一体のベース１２上に互いに隣接して１列に配列され、装着ラインを構成している。装着モジュール１０については、例えば、特開２００４−１０４０７５号公報に詳細に記載されており、本発明に関する部分以外の部分については簡単に説明する。
【００１０】
装着モジュール１０は、本実施形態においては、図１に示すように電子回路部品装着機の本体たるモジュール本体１８，回路基材搬送装置たる回路基板搬送装置２０（以後、基板搬送装置２０と略称する），回路基材保持装置たる回路基板保持装置２２（以後、基板保持装置２２と略称する），装着機本体側部品供給装置たるモジュール本体側部品供給装置２３，移動型部品供給装置の一種である移動型バルク部品供給装置２４（図４参照。以後、バルク部品供給装置２４と略称する），装着装置２６，基準マーク撮像装置２８（図３参照），部品撮像装置３０，着脱可能部交換装置の一種である部品ケース交換装置としての通路付部品ケース交換装置３１（図１８参照）およびモジュール制御装置３２を備えている。
【００１１】
図１に示すように基板搬送装置２０は、本実施形態においては２つの基板コンベヤ３４，３６を備え、回路基材の一種である回路基板４０（以後、基板４０と略称する）を複数の装着モジュール１０が並ぶ方向と平行な方向であって、水平な方向に搬送する。本実施形態においては、「回路基板」はプリント配線板およびプリント回路板の総称とする。基板保持装置２２はモジュール本体１８に２つの基板コンベヤ３４，３６の各々について設けられ、それぞれ図示は省略するが、基板４０を下方から支持する支持部材および基板４０の搬送方向に平行な両側縁部をそれぞれクランプするクランプ部材を備え、基板４０をその電子回路部品（以後、部品と略称する）が装着される部品装着面が水平となる姿勢で保持する。本実施形態においては、基板搬送装置２０による基板４０の搬送方向をＸ軸方向ないし左右方向、基板保持装置２２に保持された基板４０の部品装着面に平行な一平面であって、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向ないし前後方向とする。また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交する方向をＺ軸方向とする。本実施形態においてＺ軸方向は鉛直方向ないし上下方向である。
【００１２】
本モジュール本体側部品供給装置２３は、特開２０１３−６９７９８号公報に記載の部品供給装置と同様に構成されており、簡単に説明する。モジュール本体側部品供給装置２３は、Ｙ軸方向において基板搬送装置２０の一方の側に設けられ、整列部品フィーダたる複数のテープフィーダ５０により部品を供給する。これらテープフィーダ５０は、図２に示すように取付台５２に着脱可能に取り付けられる。取付台５２には、複数の被取付部５４が左右方向に平行な方向に適宜の間隔を隔てて、本取付台５２では等間隔に設けられている。なお、装着モジュール１０全体については、Ｙ軸方向においてモジュール本体側部品供給装置２３が設けられた側が前側ないし正面、基板搬送装置２０側が後側であるが、取付台５２，テープフィーダ５０および通路付部品ケース交換装置３１については逆に、Ｙ軸方向において基板搬送装置２０側を前、モジュール本体側部品供給装置２３側を後とする。
【００１３】
複数のテープフィーダ５０においてそれぞれ部品は、図２に１つのテープフィーダ５０を示すように部品保持テープ７６により保持され、テープ化部品７８とされて供給される。部品保持テープ７６には１種類の部品が複数、一列に整列した状態で等間隔に保持され、カバーテープ７９により覆われる。テープフィーダ５０の本体であるフィーダ本体８０には、送り装置８２，カバーテープ剥離装置８４，部品収納装置８６，係合装置８８およびテープフィーダ制御装置９０が設けられている。
【００１４】
送り装置８２は、テープ化部品７８を所定の距離、本実施形態においては部品保持テープ７６の部品の保持間隔に等しい距離ずつ送り、部品保持テープ７６に保持されて整列部品である電子回路部品は、カバーテープ剥離装置８４によりカバーテープ７９を剥がされ、部品供給位置に１個ずつ位置決めされる。部品供給位置はフィーダ本体８０の長手方向ないし前後方向の一端部である前端部に設定され、この部分が部品供給部９４を構成し、部品供給部９４から電子回路部品が１個ずつ順次供給される。
【００１５】
テープフィーダ５０は、取付台５２の複数の被取付部５４の１つに、長手方向がＹ軸方向に平行となり、左右方向ないし幅方向がＸ軸方向に平行な方向となる姿勢で位置決めされるとともに、取付台５２からの浮上がりを防止された状態で保持され、係合装置８８により取付台５２に固定される。また、テープフィーダ５０は、フィーダ本体８０の前面に設けられたコネクタ１００が取付台５２のコネクタ１０２に接続される。コネクタ１０２は、複数の被取付部５４の各々に対応して設けられている。コネクタ１００，１０２の接続により、テープフィーダ制御装置９０の主体を成すテープフィーダ制御コンピュータ１０４と、前記モジュール制御装置３２の主体を成すモジュール制御コンピュータ１０６（図２１参照）との間における通信およびテープフィーダ５０への電力供給が行われるようにされる。送り装置８２およびカバーテープ剥離装置８４は、テープフィーダ制御装置９０により制御される。取付状態では、テープフィーダ５０の前部はモジュール内空間内に位置し、部品収納装置８６はモジュール内空間外に位置する。モジュール内空間は、モジュール本体１８のコラム部１１０およびカバー１１２（図１参照）により囲まれた空間である。
【００１６】
前記装着装置２６は、図３に示すように装着ヘッド１２０およびヘッド移動装置１２２を含む。ヘッド移動装置１２２は、Ｘ軸方向移動装置１３０およびＹ軸方向移動装置１３２を備えている。Ｙ軸方向移動装置１３２は、モジュール本体１８に、モジュール本体側部品供給装置２３の部品供給部（取付台５２の全部の被取付部５４にテープフィーダ５０が取り付けられる場合の全部の部品供給部９４により構成される部分）と２つの基板保持装置２２とに跨って設けられたリニアモータ１３４を備え、可動部材たる移動部材としてのＹ軸スライド１３６をＹ軸方向の任意の位置へ移動させる。
【００１７】
Ｘ軸方向移動装置１３０はＹ軸スライド１３６に設けられ、Ｙ軸スライド１３６に対してＸ軸方向に移動させられるとともに、互いにＸ軸方向に相対移動させられる可動部材たる移動部材としての第１，第２Ｘ軸スライド１４０，１４２と、それらスライド１４０，１４２をそれぞれ、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸スライド移動装置１４４（図３には第２Ｘ軸スライド１４２を移動させるＸ軸スライド移動装置が図示されている）とを備えている。２つのＸ軸スライド移動装置は、Ｘ軸スライド移動装置１４４を示すように、例えば、駆動源たる電動モータ１４６と、ねじ軸およびナットを含む送りねじ機構１４８とを含むものとされ、Ｘ軸スライド１４０，１４２をＸ軸方向の任意の位置へ移動させ、第２Ｘ軸スライド１４２が水平な移動平面内の任意の位置へ移動させられる。送りねじ機構としてはボールねじ機構が好適である。以下に記載の別の送りねじ機構についても同様である。ヘッド移動装置はＸ軸スライド上にＹ軸方向移動装置が設けられたものとされてもよい。電動モータ１４６は、本実施形態においてはエンコーダ付きのサーボモータにより構成されている。サーボモータは回転角度の正確な制御が可能な電動回転モータであり、サーボモータに代えてステップモータが使用されてもよい。以後に記載の別の電動モータについても同様である。
【００１８】
前記基準マーク撮像装置２８は図３に示すように第２Ｘ軸スライド１４２に搭載され、ヘッド移動装置１２２により装着ヘッドと共に移動させられて、基板４０に設けられた基準マーク（図示省略）を撮像する。また、部品撮像装置３０は、図１に示すようにモジュール本体１８を構成する基台１５０の基板搬送装置２０とモジュール本体側部品供給装置２３との間の部分に位置を固定して設けられ、撮像対象物たる部品を下方から撮像する。
【００１９】
装着ヘッド１２０を説明する。装着ヘッド１２０は、本発明に関する部分を除いて特開２０１３−６９７９８号公報に記載の装着ヘッドと同様に構成されており、本発明に関する部分以外の部分については簡単に説明する。
【００２０】
装着ヘッド１２０は吸着ノズルを含み、図３に示すように第２Ｘ軸スライド１４２に着脱自在に搭載され、第２Ｘ軸スライド１４２の移動に伴って基板保持装置２２に対して移動させられ、モジュール本体側部品供給装置２３の部品供給部と２つの基板保持装置２２とに跨る移動領域であるヘッド移動領域内の任意の位置へ移動させられる。
【００２１】
本実施形態においては、第２Ｘ軸スライド１４２が部品保持具を保持する可動部材を構成し、第１Ｘ軸スライド１４０，Ｘ軸スライド１４０，１４２をそれぞれ移動させるＸ軸スライド移動装置１４４，Ｙ軸方向移動装置１３０が可動部材を回路基材保持装置に対して移動させる移動装置を構成している。可動部材が第２Ｘ軸スライド１４２と一体的に設けられ、ヘッド移動装置１２２が部品保持具を保持する可動部材を少なくとも回路基材保持装置に対して移動させる移動装置を構成していると考えることもできる。装着ヘッド１２０の本体であるヘッド本体１６０は、装着ヘッド１２０が第２Ｘ軸スライド１４２に取り付けられた状態では第２Ｘ軸スライド１４２に対して位置固定であり、本実施形態においては、第２Ｘ軸スライド１４２およびヘッド本体１６０が可動部材の側の部分である可動部材側部を構成している。
【００２２】
本装着モジュール１０においては、装着ヘッド１２０を始めとして、吸着ノズルを保持するノズルホルダの数を異にする複数種類の装着ヘッドが用意され、１つが選択的に第２Ｘ軸スライド１４２に取り付けられる。図３に示す装着ヘッド１２０は、ノズルホルダ１７０を複数、例えば３個以上、図示の例では１２個備え、吸着ノズル１７２が最大１２個保持され得る。
【００２３】
吸着ノズル１７２は、本実施形態においては図５に示すように、ノズル本体１７４と、ノズル本体１７４の軸方向の一端部に設けられた吸着管１７６と、板状の背景形成部材１７８とを備え、ノズル本体１７４内に設けられた通路（図示省略）を通って吸着管１７６に負圧が供給され、部品を吸着する。背景形成部材１７８は、吸着ノズル１７２に保持された部品の部品撮像装置３０による撮像時に部品の背景を形成する。
【００２４】
ヘッド本体１６０には、図４に示すように回転体１８２が自身の鉛直な軸線まわりに回転可能に支持され、電動モータ１８４を駆動源とする回転駆動装置１８６により、鉛直軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられる。１２個のノズルホルダ１７０は、回転体１８２のホルダ保持部１８８の外周部の回転体１８２の回転軸線を中心とする一円周上において適宜の間隔を隔てた１２の位置、本実施形態においては等角度間隔の１２の位置にそれぞれ、その軸方向が回転体１８２の回転軸線に平行となる姿勢で軸方向に相対移動可能かつ自身の軸線まわりに回転可能に嵌合されている。これらノズルホルダ１７０の各々により吸着ノズル１７２が保持され、その吸着管１７６には、１２個のノズルホルダ１７０の各々に対応して設けられた切換弁装置１９０の切換えにより、正圧と負圧とが選択的に供給される。
【００２５】
１２個の吸着ノズル１７２は、回転体１８２がノズルホルダ１７０の配設角度間隔に等しい角度、間欠回転させられることにより、回転体１８２の回転軸線まわりに水平方向に旋回させられ、１２個の停止位置に順次、停止させられる。また、ノズルホルダ１７０は圧縮コイルスプリング１９２（以後、スプリング１９２と略称する）により上方へ付勢され、その上部に設けられたカムフォロワたるローラ１９４が、ヘッド本体１６０に固定して設けられたカム１９６のカム面１９８に沿って移動させられる。それにより、吸着ノズル１７２は回転体１８２の回転軸線まわりに旋回させられつつ昇降させられる。
【００２６】
そのため、１２個の停止位置における吸着ノズル１７２の基板保持装置２２からの高さ方向の距離は全部が同じではなく、その距離が最も短い停止位置が基板４０への電子回路部品の装着が行われる部品装着位置とされ、最も長く、高い停止位置であって、部品装着位置から１８０度隔たった位置が部品撮像位置とされ、それら部品装着位置と部品撮像位置との間の停止位置が、バルク部品供給装置２４から電子回路部品を取り出す部品取出位置とされている。吸着ノズル１７２によるテープフィーダ５０からの電子回路部品の取出しと、テープフィーダ５０およびバルク部品供給装置２４から取り出した電子回路部品の基板４０への装着とはいずれも部品装着位置において行われ、部品装着位置は部品取出装着位置でもある。本実施形態においては、回転体１８２および回転駆動装置１８６が部品保持具旋回装置たるノズル旋回装置を構成し、吸着ノズル１７２をヘッド本体１６０に対して、その軸方向である昇降方向と交差する方向に移動させ、相対的に部品取出位置と部品装着位置とへ移動させる部品保持具移動装置を構成している。なお、圧縮コイルスプリング１９２は、付勢装置の一種である弾性部材としてのスプリングの一種である。以後に記載の別のコイルスプリングについても同様である。
【００２７】
図５および図６に示すように部品装着位置および部品取出位置にはそれぞれ、昇降装置２００，２０２が設けられて保持具昇降装置たるノズル昇降装置を構成し、ノズルホルダ１７０をヘッド本体１６０に対して昇降させ、吸着ノズル１７２を昇降させる。これら昇降装置２００，２０２はそれぞれ、昇降部材２０４，２０６，送りねじ機構２０８，２１０および電動モータ２１２，２１４（図４参照）を含む。昇降部材２０４，２０６は、図５に昇降部材２０４を示すように、その下降に伴ってローラにより構成される係合部２１５が、ノズルホルダ１７０に設けられた板状の被係合部２１６の上面に当接し、ノズルホルダ１７０をスプリング１９２の付勢力に抗して押し下げ、吸着ノズル１７２を下降させる。昇降部材２０４の上昇により、ノズルホルダ１７０がスプリング１９２の付勢によって上昇させられることが許容され、吸着ノズル１７２が上昇する。昇降装置２００，２０２は、吸着ノズル１７２を強制的に下降させるが、上昇は許容する構成の装置である。昇降装置は上昇および下降共に吸着ノズル１７２を強制的に移動させる装置としてもよい。
【００２８】
また、図５および図６に示すように部品装着位置および部品取出位置にはそれぞれ、バルブ切換装置２１７，２１８が設けられ、部品装着位置および部品取出位置においてそれぞれ部品装着，部品取出しを行う吸着ノズル１７２について設けられた切換弁装置１９０の切換えを行う。
【００２９】
図４に示すように、ヘッド本体１６０の部品撮像位置に対応する部分には、部品撮像装置２２０および照明装置２２２（図１３参照）が設けられている。図１３に示すように、ヘッド本体１６０の、部品撮像位置へ移動させられた吸着ノズル１７２の真下の部分には、ヘッド本体１６０の上面に開口させられた開口２２４および開口２２４とヘッド本体１６０の下面とに開口させられた凹部２２６とが形成されている。
【００３０】
開口２２４の内周面２２８は、下方ほど直径が漸減するテーパ内周面とされ、照明装置２２２が収納されている。照明装置２２２は、複数のＬＥＤ２３０を含む。これらＬＥＤ２３０は内周面２２８の傾斜に沿って設けられ、部品撮像位置に停止させられた吸着ノズル１７２の軸線を含む中心線を中心とする円に沿って並べられるとともに、中心線に平行な方向において複数列、下方ほど配列円の直径が小さくなる状態で取り付けられ、上方へ光を照射する。
【００３１】
複数のＬＥＤ２３０には、カバー２３２が被せられている。カバー２３２は円筒状を成し、図１４に示すようにＬＥＤ２３０に沿って傾斜させられ、その内側面は、上方ほど内周面２２８の中心線から離れる向きに傾斜させられた傾斜面２３３とされている。カバー２３２の上端部は、開口２２４の上端縁から上方へ突出させられ、ＬＥＤ２３０を上方から覆っている。カバー２３２は、本実施形態においては合成樹脂により作られ、透明とされており、ＬＥＤ２３０による光の照射を妨げない。
【００３２】
部品撮像装置２２０は、撮像器たるＣＣＤカメラ２３４（図４参照）および導光装置２３６（図１３参照）を含む。ＣＣＤカメラ２３４は、ヘッド本体１６０の吸着ノズル１７２の旋回軌跡より外周側の部分に下向きに設けられ、導光装置２３６は複数のミラー２３８（図１３に１つを示す）を含み、上記凹部２２６内に収納されている。凹部２２６は開口２２４の下方からＣＣＤカメラ２３４の下方へ至る状態で設けられ、図１３に示すように複数のミラー２３８のうちの１つは照明装置２４２の下方に設けられ、部品撮像位置に停止させられた吸着ノズル１７２の真下に位置させられる。このミラー２３８により反射された像形成光（電子回路部品からの反射光）は、他のミラー２３８により方向を変えられ、ＣＣＤカメラ２３４の下方に設けられたミラー２３８によりＣＣＤカメラ２３４に入光させられ、吸着ノズル１７２によって吸着された電子回路部品が撮像される。ＣＣＤカメラに代えてＣＭＯＳカメラが使用されてもよい。
【００３３】
さらに、図４に示すように、ヘッド本体１６０にはノズルホルダ回転駆動装置２４４が設けられ、ノズルホルダ１７０を自身の軸線まわりに回転させる。ノズルホルダ回転駆動装置２４４は電動モータ２４６を駆動源とし、１２個のノズルホルダ１７０の全部を一斉に回転させる装置とされている。
【００３４】
前記バルク部品供給装置２４を説明する。
バルク部品供給装置２４は、図６に示すようにヘッド本体１６０の部品取出位置に対応する部分に設けられている。バルク部品供給装置２４は、ヘッド本体１６０を介して第２Ｘ軸スライド１４２に保持され、可動部材に保持されているのであり、装着ヘッド１２０と共に基板保持装置２２に対して移動させられる。本バルク部品供給装置２４は、通路付部品ケース２５２と部品駆動装置２５４とを含む。図７に示すように、通路付部品ケース２５２は互いに固定された部品収納ケース２５６と案内通路形成体２５８とを含む。
【００３５】
図７および図８に示すように、部品収納ケース２５６はケース部材２６０，２６２を含む。ケース部材２６０，２６２は共に平板状を成し、互いに合わされて固定され、部品収納ケース２５６は幅が狭く、鉛直面に沿って延びる扁平な形状を有する。部品収納ケース２５６の幅は、ケース部材２６０，２６２が並ぶ水平方向の寸法であり、部品収納ケース２５６の幅の方向は、通路付部品ケース２５２，バルク部品供給装置２４の幅の方向である。部品収納ケース２５６には、図７に示すように案内溝２６６，凹部２６８，案内通路２７０，収納室２７２および部品受入口２７４が設けられている。収納室２７２は、ケース部材２６２に形成された凹部２８０がケース部材２６０によって塞がれて成る。ケース部材２６０，２６２のＹ軸方向に平行に延び、収納室２７２を形成する部分がそれぞれ、鉛直に延びる主壁を構成している。収納室２７２には、多数の部品２８２がばら積み状態のバルク部品として収納される。部品２８２としては、リード線を有しないリードレス電子回路部品が収納され、例えば、コンデンサや抵抗器等、磁性材料製の電極を有する部品（チップ部品）が収納される。また、本実施形態においてはケース部材２６２は透明材料により作られ、全体が透明とされている。
【００３６】
案内溝２６６は部分円環状を成し、ケース部材２６０の凹部２８０を塞ぐ面に開口して形成され、収納室２７２に開放されている。案内通路２７０は、ケース部材２６０に案内溝２６６に続いて形成された部分円環状溝および上下方向溝が、ケース部材２６２の凹部２８０を画定する部分により塞がれて成る。収納室２７２の上部であって、案内溝２６６と案内通路２７０との境界部には、そぎ落とし部２８３が形成されている。
【００３７】
図８に示すように、凹部２６８はケース部材２６０のケース部材２６２に合わされる面とは反対側の面および上面に開口して形成されている。収納室２７２と凹部２６８とは、凹部２６８の底壁部２９６により仕切られている。部品受入口２７４はケース部材２６２の上部に設けられ、収納室２７２内に部品２８２が入れられる。部品受入口２７４は開閉部材たるシャッタ２９８により開閉される。シャッタ２９８は、圧縮コイルスプリング３００（図７参照）により部品受入口２７４を閉じる向きに付勢されている。
【００３８】
前記案内通路形成体２５８は、図７および図８に示すようにブロック状を成し、案内通路３０６が形成されている。案内通路３０６は、案内通路形成体２５８の上面に開口して形成された溝の開口がカバー３０８，３１０によって塞がれて成り、水平面に沿って延び、水平案内通路部を構成している。カバー３０８，３１０は、本実施形態においては透明材料により作られ、全体が透明とされており、案内通路形成体２５８への固定後は、案内通路形成体２５８の一部として機能する。部品収納ケース２５６は、固定手段の一種である複数のボルト３１２により案内通路形成体２５８に着脱可能に固定されており、固定後は一体の通路付部品ケース２５２として機能する。案内通路３０６は案内通路２７０に続いて形成され、図６に示すように、通路付部品ケース２５２が装着ヘッド１２０に保持された状態において、その先端部が、部品取出位置に停止させられた吸着ノズル１７２の下方に至る形状を有する。カバー３１０の案内通路３０６の先端部に対応する部分には開口３１４が設けられて部品２８２の取出しが許容され、その開口３１４を含む部分が部品供給部３１６を構成している。
【００３９】
本バルク部品供給装置２４において通路付部品ケース２５２は、ヘッド本体１６０に対して着脱可能とされている。そのため、図９に示すように案内通路形成体２５８には複数、本実施形態においては２個の位置決めピン３２０，３２２が突設されている。位置決めピン３２０，３２２はＸ軸方向およびＹ軸方向における位置を異にし、上下方向に平行に設けられ、被位置決め部を構成している。通路付部品ケース２５２にはまた、Ｙ軸方向に隔たった２個所であって、案内通路形成体２５８とケース部材２６２とにそれぞれ、下向きの係合面３２４，３２６が形成され、被係合部を構成している。
【００４０】
さらに、図８に示すように通路付部品ケース２５２には、ケース部材２６０のケース部材２６２に合わされる面とは反対側の面にＲＦＩＤ(Radio Frequency Identification)システムのＲＦＩＤタグ３３０が設けられ、情報記憶部を構成している。ＲＦＩＤタグ３３０は通信部および記憶部を備え、記憶部に記憶させられた情報が書換え可能なものである。また、図１０に示すように、ケース部材２６２のケース部材２６０に合わされる面とは反対側の面には二次元コード３３４が設けられ、例えば、部品収納ケース２５６の種類および部品収納ケース２５６を個々に識別する識別情報たる識別番号が記録されている。部品収納ケース２５６の種類は、例えば、案内溝２６６，案内通路２７０の大きさによって異ならされ、収納部品の種類によって異ならされる。部品収納ケース２５６は通路付部品ケース２５２を構成し、部品収納ケース２５６の種類および識別情報は通路付部品ケース２５２の種類および識別情報でもある。
【００４１】
図８に示すように通路付部品ケース２５２には、吸着ノズル１７２から落下した電子回路部品である落下部品を受ける落下部品受け部材たる落下部品受け板３４０が取り付けられている。落下部品受け板３４０は薄く、図１１および図１２に示すように案内通路形成体２５８および部品収納ケース２５６の下面に密着した状態で、ボルト３４２によって通路付部品ケース２５２に着脱可能に固定され、ケース部材２６０側からケース部材２６２とは反対側へ水平に延び出させられている。
【００４２】
図１１および図１３に示すように落下部品受け板３４０は、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に保持された状態では、通路付部品ケース２５２から回転体１８２側へ水平に延び出させられ、吸着ノズル１７２の旋回軌跡の下方，照明装置２２２および導光装置２３６の下方に位置させられる。落下部品受け板３４０はまた、ヘッド本体１６０の下面に接触させられ、前記凹部２２６のヘッド本体１６０の下面への開口を塞いでいる。落下部品受け板３４０の部品装着位置に対応する部分には、上下方向に貫通して開口３４４が形成されている。開口３４４は、部品を吸着した吸着ノズル１７２の通過を許容するものとされている。特に、本吸着ノズル１７２は背景形成部材１７８を備えており、開口３４４は背景形成部材１７８の通過を許容する幅および長さを有するものとされている。長さは、吸着ノズル１７２の旋回軌跡の部品装着位置における接線に平行な方向の寸法であり、幅は、吸着ノズル１７２の軸線と直角な平面である水平面内において長さ方向と直交する方向の寸法である。また、本装着装置２６においては吸着ノズル１７２は、部品取出時および部品装着時にそれぞれ、旋回させられつつ昇降させられる。そのため、開口３４４は長いものとされ、部品装着位置の前後において昇降させられる吸着ノズル１７２と落下部品受け板３４０との干渉が回避されるようにされている。
【００４３】
なお、吸着ノズルが背景形成部材を有さないのであれば、開口の幅は、背景形成部材を有する場合より小さく、ノズル本体の通過を許容する大きさを有するものとされればよい。また、吸着ノズルの旋回と昇降とが並行して行われず、吸着ノズルが部品装着位置に停止した状態で昇降させられるのであれば、開口は、部品装着位置における吸着ノズルの昇降を許容する長さを有するものとされればよい。
【００４４】
図８に示すように、落下部品受け板３４０の上面にはシリコン製のシート３４６が貼り付けられ、相対移動抑制層を形成している。シート３４６は、本実施形態においては、落下部品受け板３４０の、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に保持された状態において上方に開放され、露出する部分の全部を覆うように貼り付けられ、開口３４４の周辺を囲む部分にも貼り付けられている。
【００４５】
前記部品駆動装置２５４は、図９に示すように回転盤３５０および回転盤駆動装置３５２を含み、ヘッド本体１６０を構成する鉛直な支持壁３４８に設けられている。回転盤３５０は円板状を成し、軸３５４により支持壁３４８にＸ軸方向に平行な軸線まわりに回転可能に取り付けられている。回転盤３５０の側面には、その回転軸線を中心とする一円周上に複数、例えば、３個以上、本実施形態においては８個の磁石たる永久磁石３５６が適宜の間隔を隔てて離散的に、本実施形態においては等角度間隔で保持されている。回転盤駆動装置３５２は回転盤３５０の上方に設けられた電動モータ３６０を駆動源とし、その回転が歯車３６２，３６４により、回転盤３５０に同心状に固定された歯車３６６に伝達され、回転盤３５０が正逆両方向に任意の角度回転させられる。歯車３６２，３６４，３６６は上下方向に配設され、同一の鉛直面内に位置する。また、電動モータ３６０，回転盤３５０は薄く、部品駆動装置２５４全体は鉛直面に沿って延びる幅の狭い扁平な形状を有する。
【００４６】
通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられた状態では、図１０に示すように回転盤３５０はケース部材２６０の凹部２６８に嵌合され、案内溝２６６の円弧を規定する円の中心が回転盤３５０の回転軸線と一致する。そのため、回転盤３５０の回転により永久磁石３５６が旋回させられるのに伴って、収納室２７２内の部品２８２が、凹部２６８の底壁部２９６を介して永久磁石３５６により吸引され、下から上へ移動させられるとともに、一部が案内溝２６６に嵌入させられ、案内溝２６６から案内通路２７０に進入する。但し、永久磁石３５６の旋回につれて移動する部品２８２のすべてが案内溝２６６に嵌入し得るわけではなく、案内溝２６６に嵌入しないで案内溝２６６と案内通路２７０との境界付近に移動してきた部品２８２は、そぎ落とし部２８３によりそぎ落とされ、収納室２７２内に落下する。一方、案内通路２７０に進入した部品２８２はやがて案内通路３０６へ進入し、一列に整列した状態で部品供給部３１６へ案内される。図示は省略するが、案内通路３０６内の空気は案内通路形成体２５８内に形成された空気通路を経て吸引装置により吸引され、部品２８２の部品供給部３１６への移動を助ける。なお、永久磁石に代えて電磁石を使用してもよい。
【００４７】
ヘッド本体１６０には、図９に示すように着脱可能部保持装置たる通路付部品ケース取付装置３８０が設けられている。通路付部品ケース取付装置３８０は、本実施形態においては一対のクランプ装置３８２，３８４を含む。クランプ装置３８２，３８４はＹ軸方向に隔たって設けられている。一方のクランプ装置３８２は、保持部材たるクランプ爪３８６および保持部材駆動装置たるクランプ爪駆動装置３８８を含む。
【００４８】
クランプ爪駆動装置３８８の駆動源たるエアシリンダ３９０は、そのシリンダハウジング３９２においてヘッド本体１６０に固定して設けられ、クランプ爪３８６は軸３９４によりシリンダハウジング３９２にＸ軸方向に平行な軸線まわりに回動可能に取り付けられている。クランプ爪３８６はまた、エアシリンダ３９０のピストンロッド３９６に軸３９８により連結されている。軸３９８はクランプ爪３８６に形成された長穴（図示省略）に挿通されるとともに、両端部をピストンロッド３９６に支持され、クランプ爪３８６をピストンロッド３９６に回動可能に連結している。クランプ爪３８６はピストンロッド３９６の伸縮により軸３９４の軸線まわりに回動させられ、図１０に示すように係合面３２４に係合し、通路付部品ケース２５２を下方から保持するクランプ位置と、図９に示すように係合面３２４から離間し、通路付部品ケース２５２を解放するとともに、通路付部品ケース２５２の下方の空間から外側ないし側方へ退避したアンクランプ位置とに移動させられる。部品収納ケース２５６に関して側方は、部品収納ケース２５６を含み、Ｙ軸方向に平行な鉛直平面内において部品収納ケース２５６から水平方向に外れた方向である。
【００４９】
クランプ装置３８４はクランプ装置３８２と同様に構成されており、同じ作用を成す構成要素には同一の符号を付して対応関係を示し、説明を省略する。なお、ヘッド本体１６０上におけるスペースの都合上、本装着ヘッド１２０においては、クランプ装置３８２のエアシリンダ３９０は上下方向に設けられ、クランプ装置３８４のエアシリンダ３９０は水平方向に設けられている。
【００５０】
また、ヘッド本体１６０にはクランプセンサ４００，４０２（図２１参照）が設けられている。クランプセンサ４００，４０２は、本実施形態においては、非接触センサの一種である光電センサたる反射型の光電センサにより構成され、クランプ位置に位置する状態におけるクランプ爪３８６の先端部（係合面３２４，３２６と係合する部分）に、クランプ爪３８６の回動軸線に平行な方向から光を当てるように設けられている。クランプセンサ４００，４０２はクランプ爪３８６がクランプ位置に位置する状態において受光部が受光してオン信号を出力し、クランプ爪３８６がアンクランプ位置に位置する状態では、クランプ爪３８６が光路から外れて受光部が受光せず、オフ信号を出力する。クランプセンサ４００，４０２は着脱可能部保持装置状態検出装置たるクランプ装置状態検出装置を構成している。
【００５１】
ヘッド本体１６０にはまた、図９に示すように２個の位置決め穴４０６，４０８がヘッド本体１６０の下面に開口して形成され、位置決め部を構成している。ヘッド本体１６０側に位置決め突部を設け、通路付部品ケース側に位置決め凹部を設けてもよい。
【００５２】
通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられる際には、クランプ爪３８６はアンクランプ位置に位置させられており、通路付部品ケース２５２はヘッド本体１６０の下に位置する状態から上方へ移動させられ、位置決めピン３２０，３２２がヘッド本体１６０の位置決め穴４０６，４０８に嵌合され、ヘッド本体１６０に対して水平方向に位置決めされる。また、凹部２６８に回転盤３５０が嵌入させられる。その状態でクランプ装置３８２，３８４の各クランプ爪３８６がクランプ位置へ回動させられ、係合面３２４，３２６に下方から係合させられる。それにより案内通路形成体２５８の上面がヘッド本体１６０の下面に当接させられ、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に対して上下方向に位置決めされて保持される。通路付部品ケース２５２の部品収納ケース２５６は扁平とされ、部品駆動装置２５４も扁平とされている。したがって、バルク部品供給装置２４全体は、その幅が高さに比較して小さく、扁平な形状を有する。
【００５３】
通路付部品ケース２５２をヘッド本体１６０から取り外す際には、クランプ爪３８６がアンクランプ位置へ回動させられ、クランプ装置３８２，３８４による保持が解かれる。そして、通路付部品ケース２５２をヘッド本体１６０に対して下方へ移動させることにより、位置決めピン３２０，３２２が位置決め穴４０６，４０８から抜け出させられる。また、凹部２６８から回転盤３５０が抜け出させられ、部品駆動装置２５４の全部をヘッド本体１６０に残し、装着ヘッド１２０に保持させたままの状態で通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０から取り外される。本実施形態においては部品収納ケース２５６の収納室２７２が部品収納部を構成し、部品収納ケース２５６の案内通路２７０が設けられた部分および案内通路形成体２５８が案内通路形成部を構成し、通路付部品ケース２５２が着脱可能部を構成し、バルク部品供給装置２４の部品収納部および案内通路形成部を含む部分が、ヘッド本体１６０の下方スペースにおいて、ヘッド本体１６０に対して上下方向に着脱される。ケース部材２６０に設けられたＲＦＩＤタグ３３０は着脱可能部に設けられていることとなる。駆動源を備えた部品駆動装置２５４はヘッド本体１６０に残され、着脱可能部を構成する通路付部品ケース２５２はアクチュエータを備えないため、ヘッド本体１６０に対する着脱時に電源線や通信線の接続，遮断を考慮しなくてよく、着脱が容易である。また、部品駆動装置２５４が複数の通路付部品ケース２５２について共用とされ、装置コストが少なくて済む。
【００５４】
ヘッド本体１６０には、ＲＦＩＤリーダライタ４１０（図２１参照）が設けられている。ＲＦＩＤリーダライタ４１０は、図１５に示すように分離型のアンテナ４１２を備え、そのアンテナ４１２がヘッド本体１６０の支持壁３４８に固定され、コネクタおよびコード（図示省略）によりＲＦＩＤリーダライタ４１０の本体部に接続されている。ＲＦＩＤリーダライタ４１０は、装着ヘッド１２０の第２Ｘ軸スライド１４２への取付けによりモジュール制御コンピュータ１０６に接続される。アンテナ４１２は、上記のように通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられた状態においてＲＦＩＤタグ３３０と対向する位置に設けられ、通路付部品ケース２５２のＲＦＩＤタグ３３０がアンテナ４１２を介してＲＦＩＤリーダライタ４１０との間で通信可能となる。ＲＦＩＤリーダライタ４１０はアンテナ４１２を介してＲＦＩＤタグ３３０の記憶部に記憶させられた情報を読み取り、情報を書き込むことができ、本実施形態においては、情報読取部および情報書込部を構成している。
【００５５】
さらに、図１１に示すように、ヘッド本体１６０には部品落下防止部４２０が設けられている。部品落下防止部４２０は、本実施形態においては、吸着ノズル１７２の旋回軌跡の外側に、その旋回軌跡を囲む状態で鉛直に設けられた壁４２２，４２３を含む。壁４２２は部分円筒状を成す。また、ヘッド本体１６０には、装着ヘッド１２０の種々の構成部材を取り付けるための取付部４２４が複数設けられており、それら取付部４２４のうち、吸着ノズル１７２の旋回軌跡の外側に位置し、前記落下部品受け板３４０上に位置する取付部４２４も部品落下防止部４２０を構成する。さらに、図１３に示すようにヘッド本体１６０の吸着ノズル１７２の旋回軌跡の下方に位置し、上向きの面は、落下部品受け板３４０側ほど下方に向かう向きに傾斜させられた傾斜面４３０ないし案内面とされている。
【００５６】
ヘッド本体１６０には、図１５に示すように、収納部用部品センサ４５０および案内通路用部品センサ４５２が設けられている。ヘッド本体１６０は第２Ｘ軸スライド１４２に着脱可能に取り付けられているが、通路付部品ケース２５２の着脱時に第２Ｘ軸スライド１４２に対して着脱されず、取り付けられたままであり、センサ４５０，４５２は着脱可能部と共に着脱されない部分に設けられているのである。収納部用部品センサ４５０は、本実施形態においては、非接触センサの一種である光電センサたる透過型光電センサにより構成され、投光器４５４および受光器４５６を含む。本実施形態において透過型光電センサはファイバセンサにより構成され、投光器４５４は、投光部４５８およびファイバケーブル４６０を含み、受光器４５６は受光部４６２およびファイバケーブル４６４を含む。
【００５７】
投光器４５４と受光器４５６とは、部品収納ケース２５６のケース部材２６２を間に挟んでＹ軸方向に隔たって設けられ、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられた状態において部品収納ケース２５６の側方に位置する。また、投光部４５８および受光部４６２はＸ軸方向においては収納室２７２に対応する位置に設けられており、光路の中心Ｌは、図１５に一点鎖線で示すように、ケース部材２６０，２６２により構成される通路付部品ケース２５２の両主壁の間を、それら両主壁に平行に通る。ケース部材２６２は透明であるため、投光部４５８から投光される光はケース部材２６２を透過して受光部４６２に受光され得る。
【００５８】
さらに、投光部４５８および受光部４６２は、図１６に示すように鉛直方向においては収納室２７２の下端部に対応する部分に設けられている。本実施形態においては、回転盤３５０は、８個の永久磁石３５６の配設角度間隔の整数倍の角度、回転させられて部品２８２を案内通路へ２７０へ送り込み、その停止位置は、停止状態の回転盤３５０の８個の永久磁石３５６のうち、全体が収納室２７２に対応する位置に位置する複数個の永久磁石３５６のうちで最も下方に位置する１個が、鉛直方向において投光部４５８および受光部４６２に対応する位置に位置する位置とされている。
【００５９】
収納部用部品センサ４５０は、収納室２７２に上記光路Ｌを超えて部品２８２が収納され、設定量以上の部品２８２が収納された状態では、投光部４６０により投光される光が部品２８２により遮られ、受光部４６２が受光せず、あるいは受光量が設定受光量より少ない状態ではオン信号を出力し、部品２８２が減少して設定量より少なくなり、受光部４６２の受光量が設定受光量以上になれば、オフ信号を出力するように構成されている。
【００６０】
したがって、部品２８２の収納量が設定量より少なくなれば、オフ信号が出力されるが、収納室２７２内に部品２８２が残っている状態では、回転盤３５０の回転時に永久磁石３５６により吸着され、案内通路２７０に向かって上方へ移動させられる。回転盤３５０の停止位置は、鉛直方向において永久磁石３５６が収納部用部品センサ４５０の投光部４５８および受光部４６２に対応する位置とされているため、少なくとも回転盤３５０が停止させられている間、永久磁石３５６に吸着された部品２８２が受光部４６２の受光を妨げてオン信号が発せられ、収納室２７２に部品２８２が無いとみなし得る状態となるまで、最後の一掴みでも、その一掴みにより投光部４６０から受光部４６２に向かう光が遮られる間は部品２８２が検出される。永久磁石３５６により吸着されたその一掴みの部品２８２が光路から外れればオフ信号が発せられるが、再び一掴みの部品２８２が光路上に位置する状態となればオン信号が発せられる。したがって、部品２８２の収納量が少なくなった後、無いとみなし得る状態になるまでの間、オン信号とオフ信号とが交互に発せられることとなる。そのため、本実施形態においては、吸着ノズル１７２の部品取出動作が設定回数行われる間、回転盤３５０の停止状態において連続してオフ信号が発せられた場合に収納室２７２に部品２８２が無いとみなし得る。最後の一掴みの部品２８２がそぎ落とし部２８３によりそぎ落とされ、再び永久磁石３５６に吸着されて光路上に位置する状態において、受光部４６２の受光量が設定量より少なく、検出信号がオン信号になる量の部品２８２が残っているうちは収納室２７２に部品２８２が無くなったとはせず、受光部４６２の受光量が設定量以上となり、検出信号がオフ信号になる量まで部品２８２が減少すれば、収納室２７２に部品２８２が無くなったとみなされるのである。
【００６１】
案内通路用部品センサ４５２は、本実施形態においては、非接触センサの一種である光電センサたる反射型の光電センサにより構成されている。案内通路用部品センサ４５２は投光部および受光部を備え、図１７に示すように案内通路３０６の上方空間内に位置する状態で、案内通路３０６の予め定められた位置であって、本実施形態においては、案内通路３０６の案内通路２７０と部品供給部３１６との中間位置に設定された部品検出位置に設けられている。部品２８２はその表面の反射率が高く、案内通路３０６の部品検出位置の底面には黒染めが施され、反射率の低い不反射部４７０が設けられている。不反射部４７０は、案内通路３０６を上下方向に横切る鉛直な光路の下端部に設けられ、この光路の上端部に案内通路用部品センサ４５２の投光部が下向きに設けられ、不反射部４７０に向かって投光する。したがって、不反射部４７０に部品２８２が位置すれば、部品２８２からの反射光量が多く、投光部と共に設けられた受光部の受光量が設定量以上となってオン信号が出力され、部品２８２が検出される。部品２８２がなければ反射光量が少なく、受光部の受光量が設定量より少なく、オフ信号が出力されて部品２８２がないことが検出される。
【００６２】
案内通路３０６内を１列に整列して送られる複数の部品２８２は、隣接する部品２８２との間に隙間が生じ、案内通路３０６内に部品２８２はあるが不反射部４７０から外れ、オフ信号が出力される場合があり得る。しかし、案内通路用部品センサ４５２の検出信号がオフ信号になっても、収納部用部品センサ４５０の検出信号がオン信号であれば、案内通路３０６の部品検出位置より上流側に部品２８２がなくなったとはされない。案内通路３０６より収納室２７２の方が先に部品２８２がなくなるからである。そして、本実施形態においては、収納部品用部品センサ４５０の検出信号に基づいて収納室２７２に部品２８２がなくなったとみなし得る状態になった後、案内通路用部品センサ４５２の検出信号がオフ信号になった状態において吸着ノズル１７２の部品取出動作が設定回数、行われる間、継続してオフ信号が出力される場合に、案内通路３０６の不反射部４７０から部品収納ケース２５６側の部分に部品２８２がなくなったとされる。
【００６３】
案内通路用部品センサは、ヘッド本体１６０の部品供給部３１６に対応する部分に設けてもよい。しかし、部品供給部３１６においては吸着ノズル１７２が部品取出しのために昇降させられるため、案内通路用部品センサを設けることは容易ではない。それに対し、案内通路３０６の案内通路２７０と部品供給部３１６との間の中間部近傍はあいており、案内通路用部品センサ４５２の設置が容易である。
【００６４】
このように収納部用部品センサ４５０はヘッド本体１６０に取り付けられた状態の通路付部品ケース２５２の側方に位置する位置に設けられ、案内通路用部品センサ４５２は案内通路形成体２５８の上方に設けられ、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に対して着脱される際の上下方向の移動軌跡から外れた位置に設けられている。そのため、通路付部品ケース２５２の着脱時に、センサ４５０，４５２が通路付部品ケース２５２と干渉することがない。なお、図９および図１０等においては部品センサ４５０，４５２の図示は省略されている。
【００６５】
バルク部品供給装置２４は鉛直面に沿って延びる扁平な形状を有し、装着ヘッド１２０上における設置スペースが幅方向において少なくて済むが、その狭い幅のうちに収納部用部品センサ４５０および案内通路用部品センサ４５２が設けられており、バルク部品供給装置２４の配置スペースに加えて部品センサ配置スペースを確保しなくてよく、装着ヘッド１２０の大形化が回避される。特に、収納部用部品センサ４５０はファイバセンサにより構成されており、投光部４５８および受光部４６２が小さく、ファイバケーブル４６０，４６４は取り回しの自由度が高いため、配置が容易であり、収納室２７２を構成するケース部材２６２の狭い幅の内に設けるのに適している。なお、非接触センサとして、光電センサの他、例えば、近接センサの採用が可能である。
【００６６】
さらに、ヘッド本体１６０には、装着ヘッド制御装置４８０（図２１参照）が設けられている。装着ヘッド制御装置４８０は装着ヘッド制御コンピュータ４８２を主体として構成され、モジュール制御コンピュータ１０６に接続され、エンコーダ付サーボモータにより構成された電動モータ１８４等を制御する。装着ヘッド制御コンピュータ４８２には、１つを代表的に示すように電動モータ１８４等の各エンコーダ４８４が接続されている。
【００６７】
前記通路付部品ケース交換装置３１を説明する。本通路付部品ケース交換装置３１は、未だ公開されていないが、本出願人に係るＰＣＴ／ＪＰ２０１２／０７４１０５号の明細書に記載の交換装置と同様に構成されており、簡単に説明する。
図１８に示すように、本通路付部品ケース交換装置３１は交換装置本体５００，可動部材たる移動部材としてのスライド５０２，可動部材駆動装置たるスライド駆動装置５０４，部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８，係合装置５１４，交換装置制御装置５１６（図２１参照）を含む。
【００６８】
通路付部品ケース交換装置３１は本実施形態においてはユニット化され、テープフィーダ５０と同様に前記取付台５２の被取付部５４に、長手方向がＹ軸方向に平行となり、左右方向ないし幅方向がＸ軸方向に平行な方向となる姿勢で位置決めされるとともに、取付台５２からの浮上がりを防止された状態で保持され、係合装置５１４により取付台５２に固定され、取付台５２に対して着脱可能である。
【００６９】
また、通路付部品ケース交換装置３１は、交換装置本体５００の前面に設けられたコネクタ５１８が取付台５２のコネクタ１０２に接続される。それにより、交換装置制御装置５１６の主体を成す交換装置制御コンピュータ５２０（図２１参照）が前記モジュール制御コンピュータ１０６（図２１参照）に接続され、通信が行われる。電力供給もコネクタ１０２，５１８を介して行われる。取付台５２に取り付けられた通路付部品ケース交換装置３１は、その前部がモジュール内空間内に位置させられ、後部が装着モジュール１０から前方へ突出させられている。
【００７０】
図１８に示すようにスライド駆動装置５０４は、本実施形態においては、無端のベルト５３０およびベルト移動装置５３２を含む。ベルト移動装置５３２は電動モータ５３６を駆動源とし、ベルト５３０が移動させられることにより、ベルト５３０が係合させられたスライド５０２がＹ軸方向に移動させられる。
【００７１】
図１９および図２０に示すように、部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８はそれぞれ、部品ケース保持部５５０，５５２および部品ケース保持部昇降装置５５４，５５６を含み、スライド５０２の移動方向に平行な方向に並んで設けられている。部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８の構成は同じであり、部品ケース保持・昇降装置５０６を代表的に説明する。
【００７２】
部品ケース保持部昇降装置５５４は、移動部材たる昇降部材５６０と、移動部材駆動装置たる昇降部材駆動装置５６２とを含む。昇降部材駆動装置５６２は、駆動源たる電動モータ５７０と、電動モータ５７０の回転を直線運動に変換する運動変換機構５７２とを含む。運動変換機構５７２は、本実施形態においては電動モータ５７０により回転させられるピニオン５７４（図１９参照）と、昇降部材５６０に上下方向に固定され、ピニオン５７４と噛み合わされたラック５７６とを含み、ピニオン５７４が回転させられることによりラック５７６が昇降させられ、昇降部材５６０が案内部材たる一対のガイドロッド５７８（図２０参照）に案内されつつ上昇端位置と下降端位置とに昇降させられる。昇降部材５６０の昇降端位置は、ガイドロッド５７８の両端部にそれぞれ設けられたストッパ５８０，５８２により規定される。
【００７３】
昇降部材５６０上に部品ケース保持部５５０が設けられている。部品ケース保持部５５０は、本実施形態においては、通路付部品ケース２５２が載置される保持台５９０と、ケース位置決め保持装置（図示省略）とを含み、通路付部品ケース２５２を着脱可能に保持する。ケース位置決め保持装置は、通路付部品ケース２５２を水平方向において位置決めするとともに十分な保持力で保持し、この保持力に抗して部品ケース保持部５５０を通路付部品ケース２５２に対して下方に移動させることにより、保持が解除されるものとされている。
【００７４】
スライド５０２はスライド駆動装置５０４により前進端位置と後退端位置とに移動させられる。前進端位置は、図１８に実線で示すように部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８を交換装置３１の前端部に位置させ、モジュール内空間のヘッド移動領域内に位置させる位置である。ヘッド移動領域は、本実施形態においては、前進端位置に位置するスライド５０２の部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８上へ装着ヘッド１２０を移動させる領域とされている。後退端位置は二点鎖線で示すように部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８を交換装置３１の後端部に位置させ、装着モジュール１０の外に位置させる位置である。本実施形態においては、スライド５０２の前進端位置と後退端位置とはそれぞれ図示を省略するストッパにより規定される。
【００７５】
さらに、通路付部品ケース交換装置３１には二次元コード６００（図１８参照）が設けられ、交換装置情報保持部を構成している。二次元コード６００には、例えば、通路付部品ケース交換装置３１を個々に識別する識別情報たる識別番号が記録され、例えば、交換装置本体５００の側板６０２に設けられている。また、交換装置本体５００にＲＦＩＤリーダライタ６０３（図２１参照）が設けられ、図１９に示すように、その分離型のアンテナ６０４がブラケット６０６によってスライド５０２に、部品ケース保持部５５０，５５２の各々に対応して設けられている。
【００７６】
図２１に示すように、モジュール制御装置３２は駆動回路６３０を介してリニアモータ１３４等、装着モジュール１０を構成する種々の装置の駆動源等を制御し、制御回路６３２を介して表示画面６３４を制御する。表示画面６３４には、文字，図形等により種々の情報等が表示される。表示画面６３４にはまた、指示やデータ等の入力等を行うための表示も行われ、それに従って作業者は表示画面６３４に触れて入力を行うものとされている。制御回路６３２および表示画面６３４により、読取情報報知部たる表示装置６３６が構成されるとともに、本実施形態においては入力装置も構成されている。読取情報報知部は、表示装置６３６に替えて、あるいは表示装置６３６と共に、音声での情報を報知する音声報知装置や、作業者が有する携帯端末に対して通信を行う通信装置の少なくとも１つを含むものとすることができる。入力装置としては、キーボード等、表示装置６３６とは別の装置の採用も可能である。
【００７７】
モジュール制御コンピュータ１０６の入出力インタフェースには、基準マーク撮像装置２８および部品撮像装置３０の撮像により得られたデータを処理する画像処理コンピュータ６４０，Ｘ軸スライド移動装置１４４の電動モータ１４６等に設けられたエンコーダ６４２（図２１には１つが代表して図示されている），ＲＦＩＤリーダライタ４１０，コードリーダ６４４，テープフィーダ制御コンピュータ１０４，装着ヘッド制御コンピュータ４８２および交換装置制御コンピュータ５２０等が接続されている。なお、装着ヘッド１２０の部品撮像装置２２０の撮像データは、装着ヘッド制御装置４８０からモジュール制御コンピュータ１０６を介して画像処理コンピュータ６４０へ送られ、処理される。そして、必要なデータがモジュール制御コンピュータ１０６から装着ヘッド制御コンピュータ４８２へ送られる。
【００７８】
入出力インタフェースにはまた、他の装着モジュール１０のモジュール制御装置３２および装着ライン全体を統括制御するライン制御装置６４６が通信ケーブルを介して接続されている。ライン制御装置６４４はホストコンピュータを主体として構成されており、装着ラインの生産情報を管理する。さらに、モジュール制御コンピュータ１０６のＲＡＭには、基板４０への電子回路部品の装着のために装着制御プログラムを始めとする種々のプログラムおよびデータ等が記憶させられている。
【００７９】
以上のように構成された装着モジュール１０においては、基板４０に部品を装着するために３つの供給モードのうちの１つが選択的に実行される。１つは、１枚の基板４０にテープフィーダ５０およびバルク部品供給装置２４の両方により供給される部品を装着するモード（以後、２部品供給装置供給モードと称する）であり、１つは、１枚の基板４０にテープフィーダ５０のみにより供給される部品を装着するモード（以後、本体側部品供給装置供給モードと称する）であり、１つは、１枚の基板４０にバルク部品供給装置２４のみにより供給される部品を装着するモード（以後、移動型部品供給装置供給モードと称する）である。
【００８０】
いずれの供給モードによって部品装着を行うかは、本実施形態においては装着制御プログラムにおいて予め設定されている。装着制御プログラムは、例えば、部品装着順序，基板４０の部品装着面に設定された部品装着位置の座標，装着される部品の種類，部品の装着姿勢等が対応付けられたデータを含む。２部品供給装置供給モードの実行が設定された装着制御プログラムはさらに、テープフィーダ５０および通路付部品ケース交換装置３１の取付台５２における取付位置（被取付部５４により指定される）のデータを含む。本体側部品供給装置供給モードの実行が設定された装着制御プログラムはさらに、テープフィーダ５０の取付台５２における取付位置のデータを含み、移動型部品供給装置供給モードの実行が設定された装着制御プログラムはさらに通路付部品ケース交換装置３１の取付台５２における取付位置のデータを含む。
【００８１】
移動型部品供給装置供給モードを説明する。
３つの供給モードのいずれの実行により部品の基板４０への装着を行うかは、装着制御プログラムにおいて設定されているため、モジュール制御コンピュータ１０６においては装着制御プログラムにおいて設定された供給モードの種類がいずれであるかが判定される。供給モードにより部品を供給する部品供給装置が設定されており、供給モードの判定は、いずれの部品供給装置に部品を供給させるかの判定であって、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていることが必要であるか否かの判定であることとなる。移動型部品供給装置供給モードの場合、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていることが必要である。
【００８２】
移動型部品供給装置供給モードが実行される場合、通路付部品ケース交換装置３１が取付台５２に取り付けられ、通路付部品ケース交換装置３１と装着ヘッド１２０との間において通路付部品ケース２５２の受渡しが行われる。そのため、表示画面６３４に取付台５２における通路付部品ケース交換装置３１の取付位置，使用する通路付部品ケース２５２の種類，供給する部品２８２の種類が表示される。使用する通路付部品ケース２５２の種類も装着制御プログラムに含まれる。作業者は、この表示による指示に従って通路付部品ケース交換装置３１の取付台５２への取付けおよび通路付部品ケース交換装置３１への通路付部品ケース２５２の取付けを行う。
【００８３】
作業者が通路付部品ケース交換装置３１を取付台５２の指定の被取付部５４に取り付ければ、交換装置制御コンピュータ５２０からそれに記憶されている交換装置関連情報（通路付部品ケース交換装置３１であることを表す情報およびこの交換装置３１を個別に識別する情報、例えば識別番号）がモジュール制御コンピュータ１０６に送られる。通路付部品ケース交換装置３１はコネクタ５１８を備えており、取付台５２に取り付けられれば、コネクタ５１８が取付台５２のコネクタ１０２に接続され、モジュール制御コンピュータ１０６により、そのコネクタ１０２の位置が特定されるとともに、そのコネクタ１０２を経て情報がモジュール制御コンピュータ１０６に送られるのである。この通路付部品ケース交換装置３１が取り付けられた位置の情報に基づいて適正な位置に通路付部品ケース交換装置３１が取り付けられたか否かが判定される。判定の結果がＮＯであれば、その旨の表示が表示画面６３４に行われ、作業者に訂正が指示される。
【００８４】
通路付部品ケース交換装置３１の取付台５２への取付けの前または後に、部品ケース保持部５５０，５５２に通路付部品ケース２５２が保持させられる。この際、作業者は通路付部品ケース２５２の二次元コード３３４をコードリーダ６４４により読み取り、読み取られたデータがモジュール制御コンピュータ１０６に送られて適正なものが保持させられたか否かの判定が行われる。不適正であればその旨が表示画面６３４に表示され、訂正が指示される。適正であるか否かは、例えば、通路付部品ケース２５２の種類が指示された種類であるか否かにより判定される。
【００８５】
部品収納ケース２５６が空であれば、通路付部品ケース２５２の部品ケース保持部５５０，５５２への取付けの前または後に収納室２７２に部品２８２が入れられる。部品投入は、表示画面６３４に表示された部品２８２の種類に従って作業者により行われる。部品２８２は、図示は省略するが、例えば袋に収納されており、作業者は、投入に先立って部品袋に付けられた二次元コードをコードリーダ６４４に読み取らせる。この二次元コードが表すデータには部品２８２の種類および部品袋に収納された部品２８２の数が含まれており、モジュール制御コンピュータ１０６へ送られ、部品２８２の種類が適正であるか否かが判定される。部品２８２の種類が間違っているのであれば、その旨が表示画面６３４に表示され、作業者が指示された種類の部品２８２が収納された袋により部品投入作業を行うようにされる。
【００８６】
通路付部品ケース２５２が部品ケース保持部５５０，５５２に保持されたならば、アンテナ６０４を介してＲＦＩＤタグ３３０とＲＦＩＤリーダライタ６０３との間で通信が可能となる。部品２８２が収納された通路付部品ケース２５２が保持され、通路付部品ケース交換装置３１が取付台５２に取り付けられた状態において、通路付部品ケース２５２が新品の場合、その通路付部品ケース２５２についての情報がモジュール制御コンピュータ１０６から交換ユニット制御コンピュータ５２０へ送られ、アンテナ６０４を介してＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれる。例えば、通路付部品ケース２５２の種類，識別情報，使用開始日およびケース使用期限がＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれる。識別情報は二次元コード３３４の読取りにより得られる。使用開始日およびケース使用期限は作業者が入力装置を用いてモジュール制御コンピュータ１０６に入力する。本実施形態においては、ケース使用期限は部品供給数により設定される。通路付部品ケース２５２は部品駆動装置２５４の作動による部品送り等により劣化が進行し、部品供給数が増えるほど劣化するからである。ケース使用期限規定用部品供給数は、例えば、通路付部品ケース２５２についてのマニュアルにより得られる。
【００８７】
また、収納室２７２に投入された部品２８２の種類，投入数，投入年月日，使用期限がＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれる。部品２８２の種類および投入数は、部品袋の二次元コードの読取りにより得られる。部品投入年月日および部品使用期限は、作業者が収納室２７２に部品２８２を投入する際に入力装置を用いてモジュール制御コンピュータ１０６に入力する。部品使用期限は、本実施形態においては部品供給数により設定される。収納室２７２に収納された部品２８２は、通路付部品ケース２５２が装着ヘッド１２０と共に移動させられる際に擦れ合って黒化が生じ、部品２８２の性能を低下させるが、黒化は通路付部品ケース２５２の移動が多いほど、すなわち部品供給数が多いほど進行するからである。部品使用期限規定用部品供給数は、例えば、部品袋に書かれた部品２８２についての説明により得られる。
【００８８】
部品ケース保持部５５０，５５２に取り付けられる通路付部品ケース２５２が既使用であるが、通路付部品ケース２５２が部品を保持しておらず、空であり、収納室２７２に部品２８２が投入された場合、通路付部品ケース２５２についての情報は既に書き込まれているため、投入された部品２８２に関する情報がＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれる。
【００８９】
通路付部品ケース２５２が既使用であり、部品２８２が残っている場合、ＲＦＩＤタグ３３０に既に書き込まれている部品２８２の種類がＲＦＩＤリーダライタ６０３により読み取られて交換装置制御コンピュータ５２０からモジュール制御コンピュータ１０６へ送られ、設定された種類の部品２８２であるかが確認される。部品種類が間違っていれば、表示画面６３４に表示され、作業者は通路付部品ケース２５２を取り付け直す。
【００９０】
ＲＦＩＤタグ３３０には、上記通路付部品ケース２５２の識別情報等の他にも、種々の移動型部品供給装置関連情報たる移動型バルク部品供給装置関連情報が記憶させられる。例えば、通路付部品ケース２５２の使用開始からの部品供給数の累積であるケース総部品供給数，部品袋から収納室２７２への部品投入後における部品供給数である投入後部品供給数，バルク部品供給装置２４についての部品の保持ミスである吸着ミス発生履歴，収納室２７２に現に収納されている部品２８２の量（例えば、個数），収納室２７２および案内通路３０６における部品２８２の有無に関する情報が記憶させられる。これらの情報は、後に説明するようにバルク部品供給装置２４を使用した基板４０への部品装着作業に伴って取得される。ケース総部品供給数は、通路付部品ケース２５２の累積使用時間に相当する。
【００９１】
装着制御プログラムにおいて設定された部品２８２が収納された通路付部品ケース２５２であって、設定された種類の通路付部品ケース２５２が部品ケース保持部５５０，５５２に保持され、通路付部品ケース交換装置３１が取付台５２の設定された位置に取り付けられたならば、部品ケース保持部５５０，５５２のうちの１つ、例えば、部品ケース保持部５５０に保持された通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられる。この取付け動作については、後に、ヘッド本体１６０と通路付部品ケース交換装置３１との間における通路付部品ケース２５２の交換と共に説明することとし、ここでは通路付部品ケース２５２のヘッド本体１６０に対する取付けが行われたものとする。
【００９２】
通路付部品ケース２５２のヘッド本体１６０への取付けが行われた後、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられているか否かの確認が行われる。移動型部品供給装置供給モードの実行時には通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていることが必要であり、その取付けの有無が判定され、取付けが確認される。この確認は、本実施形態においては、ＲＦＩＤリーダライタ４１０とＲＦＩＤタグ３３０との間における通信の有無およびクランプセンサ４００，４０２の各検出信号に基づいて行われる。通路付部品ケース２５２がクランプ装置３８２，３８４によりクランプされ、ヘッド本体１６０により保持された状態では、ＲＦＩＤタグ３３０がアンテナ４１２と対向し、ＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれた情報が読み取られる状態となる。そのため、ＲＦＩＤリーダライタ４１０とＲＦＩＤタグ３３０との間で通信が行われ、ＲＦＩＤタグ３３０の情報を読み取ることができれば、通路付部品ケース２５２有りとすることができ、通信が行われず、情報を読み取ることができなければ、通路付部品ケース無しとすることができる。
【００９３】
本実施形態においてはさらに、クランプセンサ４００，４０２の検出信号も考慮してケース有無が判定され、情報読取りの有無による通路付部品ケース２５２の有無とクランプセンサ４００，４０２の検出信号による通路付部品ケース２５２の有無とが一致する場合は、それに従ってケース有無が判定される。すなわち、情報が読み取られるとともにクランプセンサ４００，４０２の検出信号がオン信号である場合にケース有りとされ、情報が読み取られず、かつクランプセンサ４００，４０２の検出信号がオフ信号である場合にケース無しとされる。通路付部品ケース２５２が取り付けられていなければ、その旨が表示画面６３４に表示され、報知される。また、装着モジュール１０の作動が禁止される。モジュール制御コンピュータ１０６のＲＡＭに作動禁止が記憶され、装着制御プログラムを実行するための実行プログラムが開始されないようにされるのである。この報知に基づいて作業者は、通路付部品ケース２５２が取り付けられていないことに対処する。
【００９４】
それに対し、情報読取りの有無とクランプセンサ４００，４０２の検出信号とが不一致の場合、異常とされ、異常の発生，異常内容，通路付部品ケース２５２の種類等が表示画面６３４に表示され、報知される。この報知に基づいて作業者が異常に対する適宜の処理を行う。また、装着モジュール１０の作動が禁止される。このように通路付部品ケース２５２の取付けの有無が確認されることにより、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていないにもかかわらず、取り付けられているとされて基板４０への部品装着が開始されることが回避される。特に、情報読取りの有無に加えてクランプセンサ４００，４０２の検出信号に基づくことにより、ケース有無がより確実に判定される。
【００９５】
通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられ、ＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられた情報が読み取られれば、読取情報が表示画面６３４に表示され、作業者に報知される。作業者は表示された情報の内容に基づいて、必要に応じて適宜対応する。例えば、通路付部品ケース２５２の使用開始日からの経過時間が長い場合には、その通路付部品ケース２５２の使用をやめ、新しい通路付部品ケース２５２に交換したりする。
【００９６】
また、モジュール制御コンピュータ１０６において、読取情報に含まれる部品種類情報から、供給すべき部品２８２が収納された通路付部品ケース２５２が保持されているかが再確認される。部品２８２の種類が間違っていることがあれば、その旨，現に保持されている部品２８２の種類，供給すべき部品２８２の種類等が表示画面６３４に表示される。また、装着モジュール１０の作動が禁止される。間違った通路付部品ケース２５２はヘッド本体１６０から通路付部品ケース交換装置３１に引き渡され、作業者により、設定された部品２８２が収納されている通路付部品ケース２５２と交換される。
【００９７】
ヘッド本体１６０に通路付部品ケース２５２が保持され、その通路付部品ケース２５２に供給すべき種類の部品２８２が収納されていれば、基板４０への部品２８２の装着が開始される。読取情報の表示に基づいて作業者により通路付部品ケース２５２について何等かの処理が行われる場合、その処理後に装着が開始される。
【００９８】
バルク部品供給装置２４はヘッド移動装置１２２により装着ヘッド１２０と共に移動させられつつ、その移動中に部品供給部３１６から部品２８２を吸着ノズル１７２に供給する。回転体１８２の回転により部品取出位置へ到達した吸着ノズル１７２は下降させられ、部品供給部３１６から部品２８２を取り出す。バルク部品供給装置２４では、吸着ノズル１７２による部品２８２の取出し後、次の吸着ノズル１７２による部品２８２の取出し前に部品駆動装置２５４が作動させられるとともに、案内通路３０６内の空気が吸引され、部品２８２が収納室２７２から案内通路２７０へ送り込まれるとともに、案内通路２７０，３０６内の部品２８２が一列に整列させられた状態で部品供給部３１６へ送られる。
【００９９】
モジュール制御コンピュータ１０６においてはバルク部品供給装置２４が供給する部品２８２の数がカウントされ、複数の吸着ノズル１７２が順次部品取出位置に到達し、部品２８２の取出しが行われる毎に、ケース総部品供給数および投入後部品供給数がそれぞれ１増加させられる。これらのカウントは、ＲＦＩＤタグ３３０から読み出された読取情報に含まれるケース総部品供給数および投入後部品供給数をそれぞれ初期値として行われる。本実施形態においては収納室２７２への部品投入は、収納室２７２および案内通路２７０，３０６のいずれにも部品２８２がなく、通路付部品ケース２５２が空の状態で行われ、投入後部品供給数は部品２８２が投入される毎に０にリセットされる。そのため、部品投入直後は投入後部品供給数の初期値は０であり、ＲＦＩＤタグ３３０への部品投入数等の書込み時に０にされる。
【０１００】
部品２８２を保持した吸着ノズル１７２は部品撮像位置において部品撮像装置２２０により撮像され、吸着ノズル１７２による部品２８２の保持位置誤差が取得される。また、この撮像に基づいて吸着ミスが検出される。吸着ミスには、例えば、吸着ノズル１７２が部品２８２のバルク部品供給装置２４からの取出動作を行ったにもかかわらず、部品２８２を保持していない事態である吸着なし，吸着ノズル１７２が部品２８２を取り出したが、部品２８２が立っていたり、吸着ノズル１７２に対して設定値以上、ずれていたりする姿勢異常，部品２８２の表裏反転がある。部品保持姿勢が異常等の部品２８２は基板４０に装着されず、部品収集箱に投入される。吸着ミスは部品撮像装置２２０による撮像以外にも、例えば、部品取出位置に吸着ミス検出装置、例えば、吸着ノズルをその軸線と交差する方向から撮像する撮像装置やセンサを設けることによっても検出することができる。吸着ミスが発生すれば、例えば、吸着ミスの内容，発生日時，発生回数が通路付部品ケース２５２の識別情報と共に吸着ミス情報メモリに記憶させられる。吸着ミス情報メモリはモジュール制御コンピュータ１０６のＲＡＭに設けられて記憶手段を構成する。
【０１０１】
モジュール制御コンピュータ１０６では、吸着ミス情報メモリに記憶させられた吸着ミス情報と、ＲＦＩＤタグ３３０から読み出した吸着ミス発生履歴とを合わせて、通路付部品ケース２５２の状態判定が行われる。吸着ミス発生履歴は、それまでに通路付部品ケース２５２について生じた全部の吸着ミス情報を含み、例えば、ケース総部品供給数に比較して吸着ミス発生回数が多い場合には、通路付部品ケース２５２に何らかの不良があると判定される。特に吸着なしの発生回数が多い場合、例えば、部品駆動装置２５４による収納室２７２から案内通路２７０への部品送込みの不良や案内通路２７０，３０６における部品移動不良があると推定される。
【０１０２】
そして、不良の発生，不良内容，推定される不良原因，不良に対する対応等が通路付部品ケース２５２の識別情報と共に表示画面６３４に表示される。不良対応として、例えば、メンテナンス警告，バルク部品供給装置２４の構成部品の交換警告，それらメンテナンスや部品交換箇所の指示が行われる。過去に発生した吸着ミスに基づいて、ミス内容，原因，対策を対応付けたデータが作成され、モジュール制御コンピュータ１０６のＲＡＭに記憶させられており、このデータに基づいて不良原因等が取得され、表示される。
【０１０３】
通路付部品ケース２５２は、長時間の使用により、例えば、案内通路２７０，３０６に埃が溜まったり、溝が摩耗したりすることにより、収納室２７２からの部品２８２の送り込みや、案内通路２７０，３０６内における部品送りがスムーズに行われなくなることがあり、通路付部品ケース２５２の構成部品の劣化によっても部品２８２の送り不良が生じ得る。そのため、作業者は、表示に従って案内通路２７０，３０６の点検，清掃や、構成部品の交換等を行い、不良を解消するようにする。これらの作業は、１枚の基板４０への部品装着終了後に装着作業を中断して行われてもよく、設定された枚数の基板４０への部品装着終了後に行われてもよく、部品２８２がなくなって通路付部品ケース２５２が交換されたときに行われてもよい。いずれにしても、不良解消作業のために通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０から通路付部品ケース交換装置３１へ降ろされる。
【０１０４】
部品２８２の撮像後、吸着ノズル１７２は部品装着位置へ移動させられて基板４０に部品２８２を装着する。この際、吸着ノズル１７２による部品２８２の保持位置誤差は、基板４０の部品装着位置の位置誤差と共に修正される。吸着ノズル１７２は、部品装着位置へ旋回させられるとともに、落下部品受け板３４０の開口３４４を通って落下部品受け板３４０より下方へ突出する下降位置へ下降させられ、部品２８２を基板４０に装着する。
【０１０５】
吸着ノズル１７２がバルク部品供給装置２４からの部品取出し後、部品撮像位置，部品装着位置へ移動させられる際に部品２８２が吸着ノズル１７２から外れ、落下することがある。その場合、落下部品２８２は落下部品受け板３４０により受けられ、ヘッド本体１６０から基板４０上に落下することが防止される。落下部品２８２は落下部品受け板３４０のシート３４６上に直接落下し、あるいは図１３に示す傾斜面４３０上に落下し、傾斜面４３０の傾斜に案内されてシート３４６上に落下する。照明装置２２２の開口２２４の上方で部品２８２が落下することがあれば、導光装置２３６のミラー２３８の傾斜により下方へ案内されて部品落下受け板３４０により受けられる。開口２２４に設けられたＬＥＤ２３０には傾斜したカバー２３２が被せられているため、落下部品２８２はＬＥＤ２３２に引っ掛かることなく、カバー２３２の傾斜面２３３に案内されてミラー２３８上へ落下し、落下部品受け板３４０上へ落下する。また、吸着ノズル１７２から外れた部品２８２が旋回軌跡の外側へ飛び出すことがあっても、旋回軌跡を囲む壁４２２，４２３（図１１参照）やヘッド本体１６０を構成する取付部４２４（図１１参照）に当たり、部品落下受け板３４０上に落下させられる。通路付部品ケース２５２のカバー３０８，３１０上に部品２８２が落下することもあるが、この落下部品２８２は通路付部品ケース２５２と共にヘッド本体１６０から外される。そのため、カバー３０８，３１０の上面は傾斜面とされず、落下部品２８２が乗ったままとされる。
【０１０６】
シリコン製のシート３４６は粘着性が高く、落下した部品２８２が落下部品受け板３４０に対して相対移動し、ずれたり、はずんだりすることが防止される。そのため、落下部品受け板３４０の露出した部分に落下した部品２８２が、装着ヘッド１２０の移動開始，停止時における加速，減速により落下部品受け板３４０に作用する衝撃によって落下部品受け板３４０から落ちることが回避される。落下部品受け板３４０の部品装着位置に対応する部分には開口３４４が形成されているが、この開口周辺に落下した部品２８２が開口３４４から落下することも防止される。また、落下部品受け板３４０の導光装置２３６が設けられた凹部２２６の開口を覆う部分は、凹部２２６の開口周縁部に接触しており、この部分にはシート３４６が貼り付けられていないが、ヘッド本体１６０の凹部２２６を画定する部分により、落下部品２８２の落下部品受け板３４０からの落下が防止される。
【０１０７】
このように基板４０への部品装着が行われる間、モジュール制御コンピュータ１０６において投入後部品供給数が部品使用期限規定用部品供給数と比較され、その規定の部品供給数以上になれば、表示画面６３４に警告が表示される。通路付部品ケース２５２の収納部品が黒化限界を超えたことが通路付部品ケース２５２の識別情報と共に表示されるのである。この際、装着作業が中断され、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０から通路付部品ケース交換装置３１へ引き渡され、作業者は通路付部品ケース２５２を黒化限界を超えていない部品２８２が収納された通路付部品ケース２５２と交換する。
【０１０８】
また、ケース総部品供給数がケース使用期限規定用部品供給数と比較され、その規定の部品供給数以上になれば、通路付部品ケース２５２が使用限界に達したことが通路付部品ケース２５２の識別情報と共に表示画面６３４に表示される。表示に基づいて作業者は、適宜の処理を行う。作業者は、例えば、通路付部品ケース２５２および部品駆動装置２５４の点検，メンテナンス，部品交換等を行い、通路付部品ケース２５２を更に使用するようにし、あるいは寿命に達したとして廃棄する。この処理は、吸着ミス情報に基づくケース不良判定時の処理と同様に、設定枚数の基板４０への部品装着後等、適宜の時期に行われる。通路付部品ケース２５２の使用開始日からの経過時間が設定時間と比較されることにより、通路付部品ケース２５２のメンテナンス等の必要性が判定されるようにしてもよい。
【０１０９】
メンテナンス等が行われ、通路付部品ケース２５２が再度使用されるとき、その旨が通路付部品ケース２５２の識別情報と共にモジュール制御コンピュータ１０６に入力される。そして、次にその通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に保持されて部品２８２を供給するとき、０を初期値としてケース総部品供給数がカウントされる。メンテナンス後であり、通路付部品ケース２５２が新品ではないため、０より大きい数を初期値としてもよい。
【０１１０】
モジュール制御コンピュータ１０６においてはまた、通路付部品ケース２５２における部品残数が取得される。部品残数は、ＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられた情報により得られる通路付部品ケース２５２の部品収納数を初期値とし、部品２８２が１個取り出される毎に１ずつ減算されて取得される。部品投入直後は部品投入数が部品収納数であり、部品残数の初期値とされる。
【０１１１】
さらに、本装着モジュール１０においては部品センサ４５０，４５２により通路付部品ケース２５２の部品２８２の有無が検出される。案内通路用部品センサ４５２により部品２８２が検出されているが、収納部用部品センサ４５０の検出信号に基づいて収納室２７２に部品２８２がなくなったとみなされる状態になったことが検出されれば、表示画面６３４に収納室２７２内の部品２８２がなくなったこと，部品２８２の種類および部品補給の準備の実行がケース識別情報と共に表示され、作業者に報知される。
【０１１２】
この状態ではまだ、案内通路２７０，３０６内に部品２８２があり、バルク部品供給装置２４は部品２８２を供給することができる。収納部品用部品センサ４５０の検出信号に基づいて部品補給要求が早めに行われるのである。そして、案内通路用部品センサ４５２の検出信号に基づいて案内通路３０６の案内通路用部品センサ４５２による部品検出位置から収納室２７２までの間の部分に部品２８２がなくなったことが検出されれば、部品残数が案内通路３０６の部品検出位置から部品供給部３１６までの間に存在する部品２８２の数となったことがわかる。この部品残数は、設計上、得られる部品検出位置から部品供給部３１６までの距離と部品２８２の寸法とに基づいて演算により得られる。そのため、検出後、モジュール制御コンピュータ１０６において部品取出回数がカウントされ、その回数が部品検出位置・部品供給部間部品数以上になれば、部品撮像装置２２０による撮像結果と合わせて部品切れの判定が行われ、部品２８２が撮像されていなければ、部品切れとされる。
【０１１３】
案内通路３０６内にも部品２８２がなくなれば、吸着ノズル１７２が部品取出動作を行っても部品２８２を保持せず、部品撮像装置２２０により部品２８２が撮像されない。しかし、部品２８２が撮像されない事態は、通路付部品ケース２５２に部品２８２があっても、部品２８２の落下等により生じ得るため、部品２８２が撮像されないことのみでは、部品２８２がなくなったと判断することは早計である。また、通路付部品ケース２５２全体における部品残数のカウントにより、部品残数が０になった場合に部品切れとすることも可能であるが、収納室２７２への部品投入時における投入数誤差により、残数が実際とは異なる場合がある。部品２８２を部品袋から収納室２７２に入れる際に部品２８２がこぼれたり、袋に残ったりして投入数が規定の数より少ないことがあり得るのである。さらに、吸着ミスが生じ、部品２８２が取り出されないことがあれば、部品取出回数が部品検出位置・部品供給部間部品数以上になっても部品２８２が取り出され、撮像される。そのため、本実施形態においては、案内通路用部品センサ４５２により部品が検出されなくなった後の部品取出回数および部品２８２の撮像結果に基づいて部品切れの判定が行われるのであり、部品切れが確実に判定される。
【０１１４】
通路付部品ケース２５２に部品２８２がなくなれば、装着作業が停止され、部品補給が行われる。部品補給は、空になった通路付部品ケース２５２と、通路付部品ケース交換装置３１の２つの部品ケース保持部５５０，５５２の一方に保持されていて、収納室２７２に部品２８２が収納されている通路付部品ケース２５２とを交換することにより行われる。また、通路付部品ケース２５２に部品２８２がなくなった旨および空の通路付部品ケース２５２についての部品補給の実行指示がケース識別情報と共に表示画面６３４に表示され、作業者に指示される。
【０１１５】
部品センサ４５０，４５２の検出信号は、異常検出にも使用することができる。例えば、収納部用部品センサ４５０がオン信号を出力するにもかかわらず、設定回数の部品取出しが行われる間、案内通路用部品センサ４５２が継続してオフ信号を出力することがあれば異常発生とされる。部品２８２の供給が正常に行われれば、収納部用部品センサ４５０の方が案内通路用部品センサ４５２より先にオフ信号を出力し続ける状態となり、その逆の状態の発生は異常であるからである。その原因として、例えば、案内通路２７０，３０６の少なくとも一方の詰まりや部品駆動装置２５４による案内通路２７０への部品送込みに不良が発生したことが挙げられる。この場合、装着作業が直ちに停止させられるとともに、表示画面６３４に部品供給不良の発生，不良対応の実行等が表示され、報知される。通路付部品ケース２５２はヘッド本体１６０から通路付部品ケース交換装置３１へ下ろされ、作業者は通路付部品ケース２５２の点検，メンテナンス等を行う。あるいは、ヘッド本体１６０に保持された通路付部品ケース２５２を、通路付部品ケース交換装置３１に保持された通路付部品ケース２５２であって、予備の通路付部品ケース２５２と交換し、装着作業を継続して行うようにしてもよい。
【０１１６】
部品装着作業中に得られた情報、すなわち吸着ミス発生履歴，ケース総部品供給数，投入後部品供給数，部品残数は、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０から取り外される際、その取外しに先立ってＲＦＩＤリーダライタ４１０によりアンテナ４１２を介してＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれる。ケース総部品供給数，投入後部品供給数，部品残数は書き換えられ、吸着ミス情報は吸着ミス発生履歴として書き加えられる。また、収納部用部品センサ４５０および案内通路用部品センサ４５２の検出信号により得られる収納室２７２および案内通路３０６における部品２８２の有無情報もＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれる。これら情報は、取得される毎にＲＦＩＤタグ３３０に書き込まれてもよい。
【０１１７】
ＲＦＩＤタグ３３０への情報の書込みにより、例えば、通路付部品ケース２５２が次に、先に使用された装着モジュール１０と同じ装着モジュール１０において使用される場合でも、異なる装着モジュール１０において使用される場合でも、装着モジュール１０においてＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられた情報を利用することができる。それにより、供給部品の種類の間違いを回避し、通路付部品ケース２５２のメンテナンスを適切な時期に行い、使用限界を超えた部品２８２や通路付部品ケース２５２が使用されないようにする等、メンテナンス，部品交換，ケース交換等の作業性が向上し、さらに、通路付部品ケース２５２をできるだけ良好な状態で使用することができ、部品供給性能の向上，生産基板の品質向上効果が得られる。また、装着モジュール１０において通路付部品ケース２５２や収納部品についての情報を管理しなくて済む。
【０１１８】
通路付部品ケース２５２の交換を図２２に基づいて説明する。なお、現にヘッド本体１６０に保持されている通路付部品ケースを先通路付部品ケース２５２と称し、先通路付部品ケース２５２が供給する部品２８２と同種の部品２８２が収納された通路付部品ケース２５２であって、部品ケース保持部５５０，５５２の一方に保持されている、先通路付部品ケース２５２とは別の通路付部品ケース２５２を後通路付部品ケース２５２と称する。ヘッド本体１６０に通路付部品ケース２５２が取り付けられた状態では、後通路付部品ケース２５２は通路付部品ケース交換装置３１の２つの部品ケース保持部５５０，５５２の一方により保持され、他方のケース保持部は通路付部品ケース２５２を保持せず、空とされている。
【０１１９】
交換時にはスライド５０２は前進端位置に位置させられており、装着ヘッド１２０の移動により先通路付部品ケース２５２が空のケース保持部、図２２(a)に示す例では前側のケース保持部５０６上へ移動させられる。この際、昇降部材５６０は下降端位置に位置し、部品ケース保持部５５０は退避位置に位置する。装着ヘッド１２０は空の部品ケース保持部５５０に対して予め設定されたケース受渡位置へ移動させられる。この位置は、先通路付部品ケース２５２が部品ケース保持部５５０により、Ｘ軸方向およびＹ軸方向において設定された位置に位置決めされた状態で保持される位置である。
【０１２０】
先通路付部品ケース２５２の移動後、図２２(b)に示すように昇降部材５６０が上昇端位置へ上昇させられ、部品ケース保持部５５０がケース受渡位置へ上昇させられる。この位置は、先通路付部品ケース２５２がケース保持台５９０上に載置される位置であり、ケース位置決め保持装置により先通路付部品ケース２５２が保持される。保持後、クランプ装置３８２，３８４による先通路付部品ケース２５２のクランプが解除され、その後、部品ケース保持部５５０が退避位置へ下降させられる。それにより、位置決めピン３２０，３２２が位置決め穴４０６，４０８から離脱させられ、凹部２６８が回転盤３５０から外れて、部品駆動装置５４の全部を装着ヘッド１２０に保持させたままの状態で先通路付部品ケース２５２が装着ヘッド１２０から外される。
【０１２１】
先通路付部品ケース２５２の取外し後、装着ヘッド１２０は後通路付部品ケース２５２を保持するケース保持部、ここでは部品ケース保持部５５２に対して予め設定されたケース受渡位置へ移動させられる。移動後、図２２(c)に示すように、昇降部材５６０が上昇端位置へ上昇させられ、後通路付部品ケース２５２を保持した部品ケース保持部５５２がケース受渡位置へ上昇させられる。それにより、後通路付部品ケース２５２の凹部２６８に回転盤３５０が嵌入され、位置決めピン３２０，３２２が位置決め穴４０６，４０８に嵌合されるとともに、案内通路形成体２５８の位置決めピン３２０，３２２の周辺部分がヘッド本体１６０の下面に当接させられる。部品ケース保持部５５２の上昇後、クランプ爪３８６がクランプ位置へ回動させられ、後通路付部品ケース２５２が水平方向および上下方向に位置決めされた状態で装着ヘッド１２０により保持されるとともに、部品駆動装置５４により、収納室２７２内の部品２８２に案内通路２７０，３０６に向かう向きの移動力が付与されることが可能な状態となる。
【０１２２】
後通路付部品ケース２５２が装着ヘッド１２０において保持され、先通路付部品ケース２５２となった後、その通路付部品ケース２５２を保持していた部品ケース保持部５５２は退避位置へ下降させられ、空の部品ケース保持部５５２となる。そして、装着ヘッド１２０は新たな先通路付部品ケース２５２から供給される部品２８２の基板４０の装着を再開する。装着再開に先立って、ＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられている情報の読出しが行われ、ケース有無の確認，部品種類の確認等が行われる。また、スライド５０２は後退端位置へ移動させられ、作業者により空の部品収納ケース２５６に部品２８２が投入される。投入後、スライド５０２は前進端位置へ移動させられ、次の通路付部品ケース２５２の交換に備えて待機させられる。
【０１２３】
このように通路付部品ケース２５２が装着ヘッド１２０から取り外され、取り付けられるとき、通路付部品ケース２５２に固定された落下部品受け板３４０も一緒に、装着ヘッド１２０に対して自動的に取付け，取外しされる。落下部品受け板３４０により受けられた部品２８２があれば、装着ヘッド１２０からの取外し後、スライド５０２が後退端位置へ移動させられた状態で作業者は落下部品を落下部品受け板３４０から取り除く。落下部品受け板が装着ヘッド１２０に取り付けられたままの状態で落下部品の除去を行う場合に比較して作業が容易であるが、落下部品受け板３４０は通路付部品ケース２５２に取り付けられていて、通路付部品ケース２５２と共に装着ヘッド１２０から取り外されるため、装着ヘッド１２０に対する着脱が容易であり、落下部品の除去を特に容易にかつ迅速に行うことができる。落下部品受け板３４０は通路付部品ケース２５２と共に水平な姿勢でヘッド本体１６０から取り外されるため、シート３４６上に落下した部品２８２が落下部品受け板３４０から落ちないことは勿論、シート３４６以外の部分に落下した部品２８２も落下部品受け板３４０から落ちることがない。落下部品受け板３４０の装着ヘッド１２０からの取外しは、通路付部品ケース交換装置３１上であって、基板保持装置２２から外れた位置において行われ、下方に基板４０がない位置で行われるため、万一、落下部品２８２が落下部品受け板３４０から落ちることがあっても基板４０上に落下することがない。
【０１２４】
また、通路付部品ケース２５２のカバー３０８，３１０上に部品２８２が落下することがあるが、カバー３０８，３１０の上面は傾斜させられておらず、部品２８２はカバー３０８，３１０上に載ったままである。この部品２８２は、通路付部品ケース２５２のヘッド本体１６０からの取外し時にカバー３０８，３１０上に載ったままであり、落下部品受け板３４０上の落下部品と共に取り除かれる。なお、落下部品の除去は、通路付部品ケース２５２を通路付部品ケース交換装置３１に取り付けたままの状態で行ってもよく、通路付部品ケース交換装置３１から取り外して行ってもよい。
【０１２５】
本体側部品供給装置供給モードによる部品装着を説明する。
この場合にも、装着制御プログラムの設定により、実行される供給モードの種類が本体側部品供給装置供給モードであることがわかる。この供給モードの実行時にはバルク部品供給装置２４による部品供給は行われないため、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていることは不要である。
【０１２６】
そのため、本体側部品供給装置供給モードによる部品装着が設定されていれば、ヘッド本体１６０に通路付部品ケース２５２が取り付けられているか否かが判定される。この判定は、本実施形態においては、移動型部品供給装置供給モードの実行時におけるヘッド本体１６０に通路付部品ケース２５２が取り付けられているか否かの判定と同様に行われる。通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていれば、ヘッド移動装置１２２および通路付部品ケース交換装置３１が作動させられ、ヘッド本体１６０から通路付部品ケース交換装置３１に通路付部品ケース２５２が渡され、ヘッド本体１６０から取り外される。そのため、通路付部品ケース２５２が部品２８２を供給しないにもかかわらず、ヘッド本体１６０と共に移動させられることがなく、部品２８２の黒化が不必要に進行することが回避され、部品２８２の寿命が向上し、装着コストの増大が回避される。
【０１２７】
本体側部品供給装置供給モードにおいては、テープフィーダ５０により供給される部品が基板４０への装着される。そのため、装着ヘッド１２０はテープフィーダ５０へ移動させられ、部品を受け取る。吸着ノズル１７２は部品装着取出位置において下降させられて部品を吸着し、テープフィーダ５０から取り出す。ヘッド本体１６０に保持された全部の吸着ノズル１７２が部品を受け取ったならば、装着ヘッド１２０は基板４０へ移動させられる。部品２８２は、取出し後、部品撮像位置において部品撮像装置２２０により撮像され、部品装着取出位置において基板４０に装着される。
【０１２８】
２部品供給装置供給モードを説明する。
このモードの実行時には通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０により保持される。この保持は、移動型部品供給装置供給モードの実行時と同様に行われる。バルク部品供給装置２４およびテープフィーダ５０により供給される部品の基板４０への装着は、例えば、特開２０１３−６９７９８号公報に記載されており、説明を省略する。このモードの実行時にも、バルク部品供給装置２４については、移動型部品供給装置供給モードの実行時と同様に、通路付部品ケース２５２の有無判定が行われるとともに、ＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられた情報が利用され、通路付部品ケース２５２の不良判定等が行われる。
【０１２９】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、移動型バルク部品供給装置２４が第１部品供給装置を構成し、モジュール本体側部品供給装置２３が第２部品供給装置を構成し、これらが装着モジュール１０において部品を供給する部品供給装置を構成している。
また、本実施形態においては、クランプセンサ４００，４０２がヘッド本体１６０、ひいては第２Ｘ軸スライド１４２に通路付部品ケース２５２が取り付けられているか否かを検出する着脱可能部センサを構成し、モジュール制御コンピュータ１０６の情報読取りの有無およびクランプセンサ４００，４０２の検出信号に基づいて通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられているか否かを判定する部分が着脱可能部有無判定部を構成し、ＲＦＩＤリーダライタ４１０がＲＦＩＤタグ３３０の記憶部に記憶させられた情報を読み取り得ないこと、およびクランプセンサ４００，４０２の検出信号がオフ信号であることに基づいて、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていないと判定する部分が着脱可能部無し判定部を構成している。
さらに、ＲＦＩＤタグ３３０が移動型部品供給装置関連情報記憶部を構成し、モジュール制御コンピュータ１０６のＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられた吸着ミス発生履歴，ケース総部品供給数，ケース使用期限規定用部品供給数を利用して通路付部品ケースの不良，メンテナンスの要否，交換の要否をケース識別情報と共に表示する部分が、移動型部品供給装置の不良報知と要メンテナンス報知と要交換報知との少なくとも１つを行う移動型部品供給装置状態情報報知部を構成し、投入後部品供給数および部品使用期限規定用部品数を利用して通路付部品ケース２５２が保持する部品２８２が使用限界に達したことを検出し、ケース識別情報と共に表示する部分が部品使用限界到達報知部を構成し、ケース総部品供給数およびケース使用期限規定用部品供給数を利用して通路付部品ケース２５２が使用限界に達したことを検出し、ケース識別情報と共に表示する部分が着脱可能部使用限界到達報知部を構成し、これらが読取情報利用部を構成している。ＲＦＩＤタグ３３０に記憶させられた電子回路部品の有無に関する情報が、部品２８２が案内通路２７０，３０６にはあるが、収納室２７２には無い情報である場合、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられ、その情報が読み出されたとき、部品補給要求を出すことができる。モジュール制御コンピュータ１０６のこの読取情報に基づいて部品補給を要求する部分が読取情報利用部たる部品補給要求部を構成している。
さらにまた、モジュール制御コンピュータ１０６の装着制御プログラムに基づいて装着装置２６を制御し、吸着ノズル１７２に部品の取出しおよび装着を行わせる部分が主制御部を構成し、装着制御プログラムに設定されている供給モードがいずれであるかを判定する部分が、装着制御プログラムに基づいて着脱可能部の要否を判定する、着脱可能部要否判定部たる装着制御プログラム依拠要否判定部を構成し、装着制御プログラムに本体側部品供給装置供給モードによる部品装着が設定されているにもかかわらず、通路付部品ケース２５２がヘッド本体１６０に取り付けられていることが検出された場合に、その旨を表示画面６３４に表示させる部分が報知制御部を構成し、装着装置２６の作動を禁止する部分が作動禁止部を構成している。
また、本実施形態においては、通路付部品ケース交換装置３１に部品ケース保持部が複数、例えば２つ設けられ、ヘッド本体１６０に取り付けられて部品２８２を供給する通路付部品ケース２５２とは別に、部品２８２が収納された通路付部品ケース２５２が保持されるようにされるとともに、各部品ケース保持部５５０，５５２が個々にケース保持部昇降装置５５４，５５６によって昇降させられるようにされている。したがって、本実施形態においては、部品ケース保持部５５０，５５２がそれぞれ着脱可能部ストッカを構成し、ケース保持部昇降装置５５４，５５６がそれぞれ、着脱可能部の可動部材側部への取付けおよび着脱可能部ストッカへの収納を自動で行う自動着脱装置を構成し、部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８がそれぞれ着脱可能部ストッカ兼自動着脱装置を構成している。部品ケース保持・昇降装置５０６，５０８はそれぞれ、着脱可能部ストッカでもあり、自動着脱装置でもあり、着脱可能部ストッカおよび自動着脱装置が全部を共有している。
さらに、収納部用部品センサ４５０の検出信号に基づいて部品補給要求を表示画面６３４に表示させる部分がセンサ信号依拠部品補給要求部を構成している。
【０１３０】
なお、移動型部品供給装置における部品補給要求は、着脱可能部に設けられた情報記憶部に記憶させられた部品残数を初期値としてカウントされる部品残数が設定数以下になったときに行われるようにしてもよい。この場合、制御装置の部品残数を初期値としてカウントされる部品残数を設定数と比較して部品補給要求を行う部分が読取情報利用部たる部品補給要求部を構成する。
また、移動型部品供給装置関連情報記憶部に記憶させられた部品収納部と案内通路との少なくとも一方における部品の有無に関する情報に基づいて部品補給要求が報知されてもよい。例えば、着脱可能部が可動部材側部に保持されたとき、情報読取部による部品関連情報の読取りにより、部品が案内通路にはあるが部品収納部にはない情報が得られたのであれば、部品補給準備の実行が報知されるようにする。
【０１３１】
電子回路部品の使用限界は、黒化等使用に伴って到達されるものの他、使用とは無関係に製造後の時間経過により到達されるものがある。前者の場合、部品収納部への部品投入後の部品供給数の他、例えば、部品投入後の部品収納部が可動部材側部に取り付けられていた時間を累積し、使用限界への到達判定に使用してもよい。この時間は、部品投入後の部品収納部が可動部材側部に取付け，取外しされた日時を記憶することや、取付け毎に取り付けられていた時間を取得して記憶することにより得られる。
後者の場合、すなわち電子回路部品の使用限界が使用とは無関係に到達されるものである場合、着脱可能部の情報記憶部に電子回路部品の製造日を記憶させ、部品の使用限界への到達判定に使用させることができる。また、製造後の電子回路部品が入れられた袋が開封されるなど、電子回路部品の劣化が梱包の解除により始まるのであれば、梱包解除の日を情報記憶部に記憶させ、部品使用限界への到達判定に使用されるようにしてもよい。
着脱可能部についても、使用限界が使用とは無関係に製造後の時間経過により到達されるのであれば、情報記憶部に着脱可能部の製造日を記憶させ、使用限界の判定に使用されるようにしてもよい。
部品や着脱可能部の使用限界は、制御装置により自動的に設定されるようにしてもよい。例えば、部品供給数に対する吸着ミスの発生回数の比率が設定比率を超えたならば、その際の部品供給数を使用限界を規定する部品供給数とするのである。
【０１３２】
部品収納部に現に収納されている部品の量は、個数と重量との少なくとも一方により取得することができる。また、移動型部品供給装置関連情報記憶部には、着脱可能部の識別情報に代えて、あるいはそれと共に部品収納部に収納されている部品の識別情報を記憶させてもよい。部品の識別情報として、例えば、部品の型番が使用される。
【０１３３】
移動型部品供給装置状態情報報知部により、移動型部品供給装置状態情報と共に報知される移動型部品供給装置と部品収納部と部品収納部に収納された部品との少なくとも１つの識別情報は、種類を表す情報と各個に１つずつ付与された識別情報との少なくとも１つを含むことが望ましい。
また、部品補給要求，部品使用限界到達報知をはじめとする各種の報知も、必要に応じて、移動型部品供給装置，部品収納部，部品収納部に収納された部品の少なくとも１つの識別情報と共に行われることが望ましい。
【０１３４】
着脱可能部に設けられる情報記憶部に移動型部品供給装置関連情報の全部を記憶させることは不可欠ではなく、一部を記憶させてもよい。例えば、情報記憶部に着脱可能部の識別情報を記憶させ、その他の情報の少なくとも一部を、着脱可能部の識別情報と対応付けてホストコンピュータの情報記憶部に記憶させる。ホストコンピュータの情報記憶部に記憶させられた情報は、識別情報に基づいて読み出して使用され、必要であれば更新される。ホストコンピュータが複数の電子回路部品装着機を管理する場合、着脱可能部がいずれの電子回路部品装着機において使用されても、それについての最新の情報が得られる。
【０１３５】
着脱可能部に設けられる情報記憶部には、書換え可能な情報記憶部と書換え不能な情報記憶部とがある。前者には、例えば、ＲＦＩＤ(Radio Frequency Identification)タグがあり、後者には、例えば、バーコード，二次元コードがある。市販の書換え可能なペーパラベルを使用すれば、書換え可能な情報記憶部としてバーコードや二次元コードを使用することも可能である。情報読取部は、例えば、バーコードリーダ，二次元コードリーダ等のコードリーダ，ＲＦＩＤリーダライタにより構成される。
【０１３６】
また、着脱可能部に設けられる情報記憶部として、ＲＦＩＤタグ等の非接触通信メモリ以外の記憶部の採用も可能であり、例えば、電気的に接続して通信を行うメモリ等が採用可能である。
【０１３７】
着脱可能部無し判定部は、情報記憶部の情報を読取り得ないことのみに基づいて、可動部材側部に着脱可能部が取り付けられていないと判定するものとしてもよい。
【０１３８】
通路付部品ケース交換装置３１に設けられたＲＦＩＤリーダライタ６０３のアンテナは、部品ケース保持部と共に設けなくてもよく、複数の部品ケース保持部に共通に１つ、設けてもよい。例えば、交換装置本体５００の装着モジュール１０から前方へ突出させられた後部に、共通のアンテナを、複数の部品ケース保持部の並び方向に平行な方向に移動可能に設ける。共通のアンテナは交換装置本体５００に設けられたアンテナ移動装置により移動させられ、後退端位置へ移動させられたスライド５０２の部品ケース保持部５５０，５５２に保持された各通路付部品ケース２５２のＲＦＩＤタグ３３０と選択的に対向させられ、ＲＦＩＤタグ３３０とＲＦＩＤリーダライタ６０３との間で通信が行われる。共通のアンテナを交換装置本体５００に位置を固定して設け、スライド５０２の移動により、２つのＲＦＩＤタグ３３０を選択的に共通のアンテナと対向させてもよい。
【０１３９】
収納部用部品センサを透過型光電センサにより構成する場合、ケース部材２６２の光路に対応する部分のみを透明としてもよい。
【０１４０】
また、案内通路内の部品の有無を検出するために案内通路に不反射部を設ける場合、案内通路の底面に開口を形成し、不反射部としてもよい。この開口は、透明材料により塞ぐことが望ましい。
【０１４１】
また、収納部用部品センサとして、複数の光電センサを上下方向に間隔を隔てて設けることにより、あるいはラインセンサを上下方向に設けることにより、収納室内における部品残量を検出することができる。
【０１４２】
収納部用部品センサと案内通路用部品センサとの少なくとも一方を着脱可能部センサとして使用し、その検出信号を可動部材側部に着脱可能部が取り付けられているか否かの判定に使用するようにしてもよい。着脱可能部センサとして、着脱可能部の構成部材のいずれか、例えば、部品収納ケースあるいは案内通路形成体を検出するセンサを可動部材側部に設けてもよい。
【０１４３】
収納部用部品センサと案内通路用部品センサとは、一方のみを設けてもよく、その場合、その一方が着脱可能部と共には着脱されない可動部材側部に設けられる。収納部用部品センサと案内通路用部品センサとの両方が設けられる場合は、それらのいずれか一方のみが可動部材側部に設けられてもよく、あるいはそれらの両方ともが可動部材側部に設けられてもよい。
【０１４４】
収納部用部品センサと案内通路用部品センサとの両方が設けられる場合には、それら両方ともが着脱可能部が可動部材側部に対して着脱される際の移動軌跡から外れた位置において可動部材側部に保持されることが望ましい。
着脱可能部は、可動部材側部に対して上下方向に着脱されることが望ましいが、不可欠ではない。例えば、水平方向に着脱されるようにすることも可能である。さらに具体的には、部品収納部が鉛直面に沿って延びる扁平な形状を有するものである場合に、その扁平な形状と直交する方向や、平行な方向に着脱されるものとすることも可能なのである。
【０１４５】
収納部用部品センサは、光路の両端にそれぞれ設けられた発光部と受光部とを備えた透過型センサとすることも、光路の一端に配設された反射器と、その反射器に向かって投光する投光部および反射器からの反射光を受光する受光部とを含む反射型センサとすることも可能であり、反射器が、部品収納ケースの両主壁の両内面間に配設され、投光部および受光部も両主壁の両外面を側方へ延長した両延長平面間のスペース内に配設されることが望ましい。
収納部用部品センサとして、部品収納部に収納された部品の重量を検出する重量センサの採用も可能である。
【０１４６】
案内通路用部品センサを設ける場合、バルク部品の表面が光の反射率の高いものである場合には、光路の下端部には不反射部が設けられ、受光部がバルク部品により反射される光を受光するものとされる。不反射部は、水平案内通路部の少なくとも投光部に対向する部分の内面が黒染め等により反射率の低い面とされるか、水平案内通路部の少なくとも投光部に対向する部分が透明材料により形成され、あるいは開口とされる。それに対して、バルク部品の表面が光の反射率の低いものである場合には、光路の下端部には反射部が設けられる。「不反射部」，「反射部」といっても、バルク部品の表面に比較して明らかに反射率が低い、あるいは高い部分であればよい。
案内通路を形成する溝の開口を覆うカバーは、部品検出位置に対応する部分のみを透明にしてもよい。
【０１４７】
着脱可能部有無判定部の一例は着脱可能部センサを含むものであるが、不可欠ではない。例えば、部品保持具に保持された電子回路部品を下方から撮像する部品撮像装置の撮像結果に基づいて着脱可能部の有無を判定するものや、可動部材の加速時あるいは減速時に移動装置に掛かる力あるいは駆動源たる電動機の駆動電流の大きさに基づいて着脱可能部の有無を判定するものや、着脱可能部が可動部材側部に保持される場合には、一連の基板生産（設定数の回路基材への部品装着時）実行毎に着脱可能部保持装置が着脱可能部の保持動作を行ったことを記憶させ、その記憶に基づいて着脱可能部の有無を判定するもの等の採用も可能なのである。
また、着脱可能部要否判定部の一例は、装着制御プログラムに基づいて判定するものであるが、不可欠ではない。例えば、オペレータにより入力装置から入力される要否の情報、組み立てるべき電子回路名に応じて自動で取得される要否の情報等に基づいて判定するものの採用も可能なのである。
【０１４８】
装着制御プログラム依拠要否判定部は、実施形態において説明したように、装着制御プログラムが着脱可能部の要否を示す情報自体を含んでいる場合にその情報の読出しにより判定するものとすることができる他、例えば、装着制御プログラムに着脱可能部ストッカへの移動を指示する命令が含まれているか否か、着脱可能部により供給される種類の電子回路が含まれているか否か等に基づいて着脱可能部の要否を判定するものとすることができる。
【０１４９】
１枚の回路基材に、移動型部品供給装置により供給される電子回路部品と、位置固定の部品供給装置により供給される電子回路部品との両方が装着される場合にも、位置固定の部品供給装置により供給される電子回路部品の装着時には着脱可能部が可動部材側部から取り外され、移動型部品供給装置により供給される電子回路部品の装着時に着脱可能部が可動部材側部に取り付けられるようにしてもよい。
【０１５０】
電子回路部品装着機において移動型部品供給装置により供給される電子回路部品の回路基材への装着のみが行われるのであれば、着脱可能部は常に可動部材側部に取り付けられていることが必要であり、着脱可能部要否判定部は省略し、着脱可能部有無判定部のみを設ければよい。
【０１５１】
着脱可能部ストッカと自動着脱装置とは互いに別箇の装置として構成することも、少なくとも一部を共有する装置とすることも可能である。前者の場合、例えば、着脱可能部ストッカを、着脱可能部を収納する収納部を複数備えたものとし、自動着脱装置を、その着脱可能部ストッカと可動部材側部との間において着脱可能部の受渡しを行うものとする。後者の場合、例えば、着脱可能部ストッカ兼自動着脱装置を複数設け、それら複数の各々が可動部材側部から取り外した着脱可能部をそのまま保持し、次に必要になった場合に可動部材側部に取り付けるものとするのである。
【０１５２】
着脱可能部の可動部材側部に対する着脱は、作業者が手動で行うようにしてもよい。
【０１５３】
着脱可能部が可動部材側部に取り付けられている必要がなく、着脱可能部が可動部材側部から取り外される場合、着脱可能部の代わりに代替部材が可動部材側部に保持されてもよい。
代替部材は、例えば、移動型バルク部品供給装置の部品収納部および案内通路形成部が可動部材から取り外された状態で、部品収納部および案内通路形成部の代わりに部品駆動装置を覆い、部品駆動装置がむき出しとなることを回避するために使用されるものとしたり、着脱可能部を可動部材側部に固定するクランプ装置がクランプ状態にあることが移動装置の作動許可条件になっている場合に、着脱可能部を可動部材側部に取り付けることなく移動装置を作動させ得るようにする目的で、クランプ装置をクランプ状態にするために使用されるものとすることができる。いずれにしても代替部材は可及的に質量の小さいものとされることが望ましい。移動装置により移動させられる質量が小さいほど、可動部材の加速度，減速度を大きくして、電子回路部品装着機のスループットを大きくし得るからである。
代替部材として、例えば、ダミー部材，電子回路部品が保持されていない空の着脱可能部，カバー部材の採用が可能である。ダミー部材は、着脱可能部の外観を模し、着脱可能部と同様に可動部材側部に保持される構成を有するが、部品供給機能はないものであり、カバー部材は可動部材側部の着脱可能部が取り外された部分の少なくとも一部を覆う形状，寸法および可動部材側部に保持される構成を有する。
【０１５４】
移動型バルク部品供給装置において部品収納部を案内通路形成部を含む可動部材側部に対して着脱可能とすることも、部品収納部および案内通路形成部を共に可動部材側部に対して着脱可能とすることも可能である。移動型バルク部品供給装置が部品駆動装置を含む場合、部品駆動装置は、可動部材側部に対して着脱可能としてもよく、着脱不能としてもよい。
【０１５５】
移動型バルク部品供給装置の部品駆動装置は、上記実施形態に記載の態様の装置の他、例えば、特開２０１３−６９７９８号公報に記載されているように、電動モータを駆動源として筒を上下させ、部品収納ケースに収納された部品内に進入，退避させることにより、部品の案内通路への送込みを促進する装置としてもよい。
【０１５６】
移動型バルク部品供給装置が部品駆動装置を含むことは不可欠ではない。例えば、部品が部品収納部から案内通路へ自重によって進入するようにすれば、部品駆動装置を省略することができる。
【０１５７】
移動型部品供給装置は、一つ設けてもよく、複数設けてもよい。
【０１５８】
移動型部品供給装置の着脱可能部の情報記憶部に記憶させられた情報は、部品装着機外において読取装置により読み取り、例えば、着脱可能部の状態把握に利用してもよく、あるいは書込装置により情報を書き込むようにしてもよい。
【０１５９】
装着装置が可動部材に対して着脱される装着ヘッドを含むことは不可欠ではなく、可動部材をヘッド本体として部品保持具等が設けられてもよい。
【符号の説明】
【０１６０】
２４：移動型バルク部品供給装置    ２６：装着装置    ３１：通路付部品ケース交換装置    ３２：モジュール制御装置    ４０：回路基板    １２０：装着ヘッド    １２２：ヘッド移動装置    １７２：吸着ノズル    １８０：ヘッド本体    ２２０：部品撮像装置    ２２２：照明装置    ２５２：通路付部品ケース    ２５４：部品駆動装置    ２５６：部品収納ケース    ２５８：案内通路形成体    ２７０，３０６：案内通路    ３１６：部品供給部    ３３０：ＲＦＩＤタグ    ３４０：落下部品受け板    ３４６：シート    ３８０：通路付部品ケース取付装置    ３８２，３８４：クランプ装置    ４１０：ＲＦＩＤリーダライダ    ４５０：収納部用部品センサ    ４５２：案内通路用部品センサ    ４８０：装着ヘッド制御装置    ５０６，５０８：部品ケース保持・昇降装置
【図１】
2014045664.tif 000003
【図２】
2014045664.tif 000004
【図３】
2014045664.tif 000005
【図４】
2014045664.tif 000006
【図５】
2014045664.tif 000007
【図６】
2014045664.tif 000008
【図７】
2014045664.tif 000009
【図８】
2014045664.tif 000010
【図９】
2014045664.tif 000011
【図１０】
2014045664.tif 000012
【図１１】
2014045664.tif 000013
【図１２】
2014045664.tif 000014
【図１３】
2014045664.tif 000015
【図１４】
2014045664.tif 000016
【図１５】
2014045664.tif 000017
【図１６】
2014045664.tif 000018
【図１７】
2014045664.tif 000019
【図１８】
2014045664.tif 000020
【図１９】
2014045664.tif 000021
【図２０】
2014045664.tif 000022
【図２１】
2014045664.tif 000023
【図２２】
2014045664.tif 000024
【国際調査報告】
2014045664.tif 000025
2014045664.tif 000026