(57)【要約】本発明の付着物除去装置（５Ａ）は、ワーク（３０）に付着した付着物を除去する付着物除去装置（５Ａ）であって、ワーク（３０）に向けて、雰囲気内で昇華する粒状体をワーク（３０）に向けて噴射して、ワーク（３０）から付着物を剥離させる粒状体噴射手段（５０）と、粒状体噴射手段（５０）によってワーク（３０）上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段（５２）とを備える。
2014076794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、
ワークに向けて、雰囲気内で昇華する粒状体を前記ワークに向けて噴射ノズルから噴射して、前記ワークから前記付着物を剥離させる粒状体噴射手段と、
前記粒状体噴射手段によって前記ワーク上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段と、
を備えることを特徴とする付着物除去装置。
【請求項２】
前記粒状体噴射手段は、前記粒状体を前記ワークにおける前記付着物が付着した面に対して傾斜して噴射させることを特徴とする請求項１に記載の付着物除去装置。
【請求項３】
前記粒状体噴射手段の少なくとも前記噴射ノズルと、前記ワーク上に前記粒状体を噴射する雰囲気と、を覆い、前記ワークに向けて開口したカバーをさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の付着物除去装置。
【請求項４】
前記カバーに連結されて、前記カバー内の物質を吸引する吸引手段をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の付着物除去装置。
【請求項５】
前記ワーク上の前記付着物が除去される箇所を加熱する加熱手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の付着物除去装置。
【請求項６】
前記加熱手段は、加熱した前記ドライガスであることを特徴とする請求項５に記載の付着物除去装置。
【請求項７】
前記粒状体噴射手段の前記噴射ノズルを前記ワークに対して少なくとも一方向に相対移動する移動手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の付着物除去装置。
【請求項８】
複数の前記粒状体噴射手段を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の付着物除去装置。
【請求項９】
前記複数の前記粒状体噴射手段が、前記ワークの同一箇所に向けて、異なる立体角で取り付けられていることを特徴とする請求項８に記載の付着物除去装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の付着物除去装置と、
前記ワークである支持体によって支持されて搬送される被蒸着材に蒸着材を蒸着させる蒸着装置と、
を備えることを特徴とする蒸着システム。
【請求項１１】
前記付着物除去装置に対して、前記支持体の搬送方向下流に配置され、前記付着物除去装置によって付着物が除去された前記支持体上に残った残留物を除去する残留物除去手段をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の蒸着システム。
【請求項１２】
ワークに付着した付着物を除去する除去方法であって、
前記ワークに向けてドライガスを供給するドライガス供給ステップと、
前記ドライガス供給ステップによってドライガスが雰囲気に満たされた状態で、前記ワークに向けて雰囲気内で昇華する粒状体を噴射して前記付着物を除去する粒状体噴射ステップと、
を含むことを特徴とする付着物を除去する除去方法。
【請求項１３】
前記粒状体噴射ステップと同時に、供給されたドライガスと、噴射された前記雰囲気内で昇華する粒状体と、前記ワーク上から除去された前記付着物と、を吸引する吸引ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の除去方法。
【請求項１４】
前記粒状体噴射ステップと同時、またはその後に、前記ワークを加熱する加熱ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２または１３に記載の除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに付着した付着物を除去する付着物除去装置、および該付着物除去装置を用いた蒸着システム、並びに、付着物を除去する除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
生産ラインに使用される蒸着装置では、基板を蒸着用マスクが取り付けられたトレイに搭載した状態で連続的に搬送しながら蒸着が行われる。このトレイおよびマスクには繰り返し循環使用される間に蒸着材が蓄積され、その厚みが増すと装置内で剥離し蒸着チャンバ内外を汚染する。このため、トレイおよびマスクは、一定の回数使用後に交換される。【０００３】
基板への蒸着後、トレイおよびマスクが循環されるリターン部において、トレイおよびマスク上の蒸着物を除去することができれば、トレイおよびマスクを一定の回数使用後に交換する必要がなくなり、生産性を高めることができる。このために、トレイおよびマスク上の蒸着物を除去するいくつかの手段が知られている。具体的には、特許文献１には、真空チャンバ内でドライアイスを用いる装置が記載されている。昇華するドライアイス粒子を使うことで、サンドブラストやガラスビーズブラストと違い、被噴射体であるトレイおよびマスクを傷つけずに蒸着物を剥離することができる。また、特許文献１に記載の装置は、クラスタ装置内の真空マスクストック室において、マスクに堆積した蒸着物を大気にさらすことなくドライアイス噴射によって蒸着物を除去する。さらに、特許文献２には、真空リターン式に真空プラズマ処理室を別途設けた方法が記載されている。特許文献３には、レーザ剥離とフィルム付着方法を組み合せた除去方式が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４１６６６６４号公報
【特許文献２】特許第４０９６３５３号公報
【特許文献３】特許第４２３６６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、真空チャンバをリターン部に設けることとなり、装置を高コストにする問題があった。また、真空雰囲気で蒸着物の剥離を実施する場合、剥離した残量の回収や排気の困難性、またＯ３を用いることによる真空シールの劣化などの問題がある。【０００６】
特許文献２に記載の方式はリターン部に適用できる方式だが、真空リターン式についての排気の困難性などの問題に加え、真空プラズマ方式による蒸着物の除去は装置をさらに複雑かつ高コストなものとする。【０００７】
特許文献３に記載の方式は、マスクに透明なフィルムを貼り付けた状態でレーザを照射して蒸着物を剥離し、フィルムによって剥離した蒸着物の周囲への飛散を防ぐものであって、大気中でも使用可能である。しかしながら、このフィルム貼り付け方式は薄膜単体には適しているが、リターン部において、搬送用トレイとマスクを組み合せた複雑な形状のワークにフィルムを貼り付けることは困難である。【０００８】
従って、大気中でのドライアイスの噴射によって蒸着物を剥離することで、低コストな構成とすることが可能となる。しかしながら、大気中でドライアイス粒子など、雰囲気内で昇華する粒状体をトレイやマスクなどのワークに噴射すると、ワークが冷却され大気中の水分が結露する。この水分が雰囲気内で昇華する粒状体の噴射によりさらに冷却されると凍結し、連続的な剥離ができなくなることが試験でも確認された。【０００９】
本発明は、上述の課題を改善するためになされたものであって、水分の影響を受けることなくワークの付着物の除去を連続的に行うことができる付着物除去装置、および該付着物除去装置を用いた蒸着システム、並びに、付着物を除去する除去方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。【００１１】
本発明の付着物除去装置は、ワークに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、ワークに向けて、雰囲気内で昇華する粒状体をワークに向けて噴射して、ワークから付着物を剥離させる粒状体噴射手段と、粒状体噴射手段によってワーク上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段と、を備えることを特徴とする。【００１２】
この構成によれば、粒状体噴射手段が噴射した粒状体によりワークに付着した付着物を除去することができる。この際、粒状体が雰囲気内で昇華する物質であることにより、噴射した粒状体が残留することでワークを傷つけてしまうことなく、また、粒状体が液化してワークやその周辺を汚染してしまうことなく付着物を除去することができる。さらに、ドライガス供給手段で雰囲気内にドライガスを供給することで、粒状体噴射手段により雰囲気内で昇華する粒状体をワークに向けて噴射してワークが冷却された際、この雰囲気に水分が含まれないことからワーク上で水分が結露することがない。このため、雰囲気中の水分がワーク上で凍結してしまうことがなく、大気などの水分が含まれるような環境でも当該水分の影響を受けずに雰囲気内で昇華する粒状体により連続的に付着物を除去することができる。【００１３】
また、本発明の付着物除去装置において、粒状体噴射手段は、粒状体をワークにおける付着物が付着した面に対して傾斜して噴射させることを特徴とする。【００１４】
この構成によれば、ワークに付着した付着物をおよそ一定の方向に拭き飛ばすことができる。【００１５】
また、本発明の付着物除去装置は、粒状体噴射手段の少なくとも噴射ノズルと、ワーク上に粒状体を噴射する雰囲気とを覆い、ワークに向けて開口したカバーをさらに備えることを特徴とする。【００１６】
この構成によれば、カバーで覆うことにより、ワーク上に粒状体を噴射する雰囲気を供給されたドライガスで満たすことを確実にする。【００１７】
また、本発明の付着物除去装置は、上記のカバーに連結されて、カバー内の物質を吸引する吸引手段をさらに備えることを特徴とする。【００１８】
この構成によれば、雰囲気内で昇華する粒状体や、剥離された付着物を回収することができ、雰囲気内で昇華する粒状体の再利用や、剥離した付着物の飛散を防止することができる。【００１９】
また、本発明の付着物除去装置は、ワーク上の付着物が除去される箇所を加熱する加熱手段をさらに備えることを特徴とする。【００２０】
この構成によれば、付着物が除去された後、ワークが大気中に搬送された際に、低温のワークによって大気中の水分が冷却されてワーク上で結露することを防ぐことができる。【００２１】
また、本発明の付着物除去装置において、上記の加熱手段は、加熱した前記ドライガスであることを特徴とする。【００２２】
この構成によれば、ワークを加熱するために別の媒体を使わずにワークを加熱することができるために装置構成をよりシンプルにできる。【００２３】
また、本発明の付着物除去装置は、粒状体噴射手段の噴射ノズルをワークに対して少なくとも一方向に相対移動する移動手段をさらに備えることを特徴とする。【００２４】
この構成によれば、より少ない数の粒状体噴射手段でワーク全面に亘った付着物の除去を行うことができる。【００２５】
また、本発明の付着物除去装置は、複数の粒状体噴射手段を備えることを特徴とする。【００２６】
この構成によれば、ワーク上の付着物の除去をより早く、またはより確実に行うことができる。【００２７】
また、本発明の付着物除去装置において、複数の粒状体噴射手段が、ワークの同一箇所に向けて、異なる立体角で取り付けられていることを特徴とする。【００２８】
この構成によれば、同一箇所に異なる方向から粒状体を噴射させることができるので、複雑な形状のワーク上の付着物の除去に対応することができる。【００２９】
また、本発明の蒸着システムは、上記の付着物除去装置と、被蒸着材を支持するワークである支持体によって支持されて搬送される被蒸着材に蒸着材を蒸着させる蒸着装置とを備えることを特徴とする。【００３０】
この構成によれば、被蒸着材へ蒸着する工程と、被蒸着材を支持する支持体に蒸着した蒸着物を剥離する工程と、支持体に新たな被蒸着材を支持させる工程とを連続して行うことができる。【００３１】
また、本発明の蒸着システムは、付着物除去装置に対して、前記支持体の搬送方向下流に配置され、付着物除去装置によって付着物が除去された前記支持体上に残った残留物を除去する残留物除去手段をさらに備えることを特徴とする。【００３２】
この構成によれば、残留物除去手段により、ワーク上の付着物を除去した後に、ワーク上に残された残留物を除去する。このため、ワーク上の付着物が残留してしまうことなく、より確実に除去することができる。【００３３】
また、本発明の付着物を除去する除去方法は、ワークに付着した付着物を除去する除去方法であって、前記ワークに向けてドライガスを供給するドライガス供給ステップと、前記ドライガス供給ステップによってドライガスが雰囲気に満たされた状態で、前記ワークに向けて雰囲気内で昇華する粒状体を噴射して前記付着物を除去する粒状体噴射ステップと、を含むことを特徴とする。【００３４】
また、本発明の付着物を除去する除去方法は、前記粒状体噴射ステップと同時に、供給されたドライガスと、噴射された前記雰囲気内で昇華する粒状体と、前記ワーク上から除去された前記付着物と、を吸引する吸引ステップをさらに含むことを特徴とする。【００３５】
また、本発明の付着物を除去する除去方法は、前記粒状体噴射ステップと同時、またはその後に、前記ワークを加熱する加熱ステップをさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の付着物除去装置、および付着物を除去する除去方法によれば、大気中で水分の影響を受けることなくドライアイスなど雰囲気内で昇華する粒状体の噴射によってワークの付着物の除去を連続的に行うことができる。【００３７】
また、本発明の蒸着システムによれば、ワークである支持体に付着した蒸着材の除去を、大気中で水分の影響を受けることなくドライアイスなど雰囲気内で昇華する粒状体の噴射によって連続的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る蒸着システムを示す概略図である。
【図２】本発明に係る蒸着システムにおける、基板、マスク、トレイの構成図である。
【図３Ａ】本発明に係る蒸着システムにおける、蒸着装置を示す概略図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示す蒸着装置の正面図である。
【図３Ｃ】図３Ａに示す蒸着装置において蒸着されたトレイの底面を示す図である。
【図４】本発明に係る蒸着システムにおける、大気リターンコンベアを示す概略図である。
【図５】本発明に係る付着物除去装置を示す概略図である。
【図６】本発明に係る付着物除去装置の別の態様を示す概略図である。
【図７】本発明に係るドライアイス噴射手段により付着物を剥離することを示す概略図である。
【図８Ａ】本発明の係る付着物除去装置のＸＹステージを示す概略図である。
【図８Ｂ】ＸＹステージによるドライアイス噴射手段の移動経路を示す図である。
【図８Ｃ】ＸＹステージを必要としないドライアイス噴射手段を示す概略図である。
【図９Ａ】本発明に係る付着物除去装置の第１実施形態を示す概略図である。
【図９Ｂ】本発明に係る付着物除去装置の第１実施形態の変形例を示す概略図である。
【図１０】本発明に係る付着物除去装置の第２実施形態を示す概略図である。
【図１１】本発明に係る付着物除去装置の第３実施形態を示す概略図である。
【図１２】本発明に係る付着物除去装置の第４実施形態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明に係る実施形態にいて添付図を参照して説明する。
【００４０】
［第１実施形態］
図１に示す、本発明に係る蒸着システム１は、被蒸着材である基板３２を支持体であるトレイ３４に配置するトレイ／基板重ね合わせ部２と、トレイ３４に配置された基板３２に有機膜を形成する蒸着装置４と、有機膜が形成された基板３２をトレイ３４から取り外し、次の工程に分配する基板分配部６と、基板３２が取り外されたトレイ３４を再びトレイ／基板重ね合わせ部２に戻す大気リターン部８とを備える。
【００４１】
図２に示すように、トレイ３４は、中央に貫通孔３４ａが形成された板状の部材である。また、トレイ３４には、基板３２に形成される有機膜の領域を限定するマスク３６が取り付けられておる。そして、基板３２は、トレイ／基板重ね合わせ部２において、トレイ３４およびマスク３６を支持体として、トレイ３４に取り付けられたマスク３６の上に、マスク３６および貫通孔３４ａを通して反対側から蒸着部位が露出するようにして配置され支持される。例えば、トレイ３４は、数ｍｍ厚の金属板で形成され、マスク３６は、０．１ｍｍ厚程度の金属板で形成される。
【００４２】
図３Ａおよび３Ｂに示すように、蒸着装置４は、トレイ３４に支持された基板３２を搬送する搬送ローラ４２等の搬送手段と、搬送される基板３２の下方に配置された蒸発源４４とを備える。蒸発源４４は、蒸着材料Ｍを、蒸発または昇華させて上方へと放出する。放出された蒸着材料Ｍは、基板３２に蒸着されるとともに、基板３２を支持するトレイ３４や、トレイ３４に設置されて基板３２への蒸着範囲を制限するマスク３６などに付着する。
【００４３】
図４に示すように、本実施形態では、具体的な構成の一例として、前記大気リターン部８は、大気内において前記トレイ３４およびマスク３６を搬送する搬送ローラ８２などの搬送手段と、クリーン環境保持用のカバー８４とを備える。
【００４４】
また、蒸着システム１は、ワーク３０に付着した蒸着材料Ｍからなる有機膜３８を除去するための図５に示す付着物除去装置５Ａを備える。本実施形態では、ワーク３０はトレイ３４およびマスク３６で構成されている。また、本実施形態では、付着物除去装置５Ａは、大気リターン部８内に設けられている。
【００４５】
図５に示すように、付着物除去装置５Ａは、エアシリンダ５１により上下方向に移動可能な、バキュームチャック５４を備える当て板５３と、付着物である有機膜を剥離するために粒状体としてドライアイス粒子を吹き付ける粒状体噴射手段であるドライアイス噴射手段５０と、ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００を移動する移動手段であるＸＹステージ５６、５７と、該付着物除去装置５Ａ内をクリーンに保つための給排気手段５５と、搬送方向下流に設置された残留物除去手段であるエアブロー７２とを備える。
【００４６】
図７に示すように、前記ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００は、ワーク３０に対して傾斜して設置される。
【００４７】
図８Ａに示すように、前記ＸＹステージ５６、５７は、ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００を移動してワーク全面にドライアイスを噴射できるように構成される。具体的には、第１実施形態におけるドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００は、図８Ｂに示す矢印に沿ってＸＹステージ５６、５７によって移動するように構成される。
【００４８】
図９Ａを参照すると、第１実施形態における付着物除去装置５Ａは、少なくとも前記ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００とワーク３０上にドライアイスを噴射する雰囲気とを覆う円筒状の雰囲気カバー５２０Ａと、該雰囲気カバー５２０Ａで覆われた領域内にドライガスを供給するドライガス供給手段５２と、をさらに備える。この雰囲気カバー５２０Ａのワーク３０と面する端部は開口しており、ワーク３０から所定距離の隙間５２４を有するように配置される。また、雰囲気カバー５２０Ａの反対端は、シール材５２６によって密封されている。また、この雰囲気カバー５２０Ａにはドライガス供給口５２２Ａが設けられている。
【００４９】
上述の構成によれば、未蒸着の基板３２は、トレイ／基板重ね合わせ部２においてトレイ３４およびマスク３６の下に配置され、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、トレイ３４に支持された基板３２は、搬送ローラ４２等の搬送手段によって蒸着装置４内に搬送される。基板３２が、蒸発源４４の上を連続的に通過することによって、基板３２の下面に連続的に有機膜が蒸着される。図３Ｃは、蒸着材が付着したトレイ３４およびマスク３６の底面を示す。基板３２が蒸着される際、トレイ３４および基板３２の一部を覆うマスク３６にも蒸着材３８が付着する。
【００５０】
蒸着装置４において蒸着された基板３２は、基板分配部６においてトレイ３４およびマスク３６から取り外されて、次の工程に分配される。基板３２が取り外されたトレイ３４およびマスク３６は、図４に示すように、クリーン環境保持用のカバー８４に覆われた大気リターン部８に設置された付着物除去装置５Ａ内に搬送ローラ８２等の搬送手段によって移送される。
【００５１】
先ず、付着物除去装置５Ａ内にローラにより搬送されてきたワーク３０であるトレイ３４およびマスク３６は、エアシリンダ５１により降下された当て板５３に面接触し、バキュームチャック５４により当て板５３に面固定される。次いで、ワーク３０上の有機膜を剥離する際、先ず、ドライガス供給口５２２Ａから供給されるドライガスで雰囲気カバー５２０Ａに覆われた空間をドライガスで満たす（付着物を除去する除去方法におけるドライガス供給ステップ）。次いで、ドライアイスをワーク３０に向けて噴射する（粒状体噴射ステップ）。ドライアイスの噴射により剥離された有機膜は、噴射されたドライアイスと、供給されたドライガスと伴に隙間５２４から雰囲気カバー５２０Ａの外に放出される。
【００５２】
ＸＹステージ５６、５７はドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００を移動させ、トレイ３４およびマスク３６の全域に亘って有機膜を剥離することを可能にする。第１実施形態では、図８Ａに示すように、ＸＹステージ５６、５７によってドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００を図８Ｂの矢印で示すように移動させ、ワーク３０の全域に亘って有機膜３８を剥離する。付着物除去装置５Ａ内には給排気手段５５が設置され、一方向にクリーンエアを流すことで、ドライアイスであるＣＯ２、ドライガス、および剥離された有機膜を一方向方に移動させ回収することができる。有機膜が剥離されたトレイ３４およびマスク３６はローラによって矢印Ｔ方向に搬送され、トレイ３４およびマスク３６上に剥離された有機膜などの残留物がエアブローによって吹き飛ばされる。
【００５３】
有機膜が除去されたトレイ３４およびマスク３６は、再びトレイ／基板重ね合わせ部２に戻されることで、上述の蒸着および剥離工程を循環させることができる。
【００５４】
ドライアイスの吹き付けによってワーク３０は冷却されるが、雰囲気がドライガスで満たされているため、雰囲気との温度差によってワーク３０上で結露することはない。このため、結露した水分がドライアイスの噴射によって凍結し、ワーク３０上の有機膜の剥離を阻害することはなく、連続して搬送されるワーク３０に対して、連続して有機膜の剥離を続けることができる。
【００５５】
ドライアイスを噴射する際、ワーク３０をバキュームチャック５４で当て板５３に面固定することによって、ドライアイスを吹き付ける圧力によってトレイ３４またはマスク３６が変形して破損することを防ぐことができる。
【００５６】
また、ワーク３０に対して傾斜してドライアイスを噴射することによって、剥離した有機膜３８を一方向に吹き飛ばすことでき、剥離した有機膜３８を効率的に回収することができる。
【００５７】
なお、雰囲気内で昇華する粒状体は、ドライアイスに限られない。別の雰囲気内で昇華する粒状体として、窒素などの粒状体を使用することができる。
【００５８】
なお、ワークとドライアイス噴射手段の噴射ノズルとは相対移動すればよく、図８Ｃに示すように、ワークのＸ方向全長に亘ってドライアイスを噴射する噴射口５１０を採用する場合、噴射ノズルを移動させることなく、ワーク３０を搬送ローラによってＹ方向に移動させながらワーク３０全域の有機膜３８を剥離することが可能である。この場合には、ＸＹステージ５６、５７を必要としない。噴射口５１０は、細長い１つのスリット状の噴射口であってもよいし、一直線状に配置された複数の噴射ノズルからなってもよい。
【００５９】
なお、ドライガス雰囲気を得るための図９Ａに示す雰囲気カバー５２０Ａは、ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００部分を局所的に覆う形状を有するが、図９Ｂに示すように、より広い範囲を覆い、複数のドライガス供給口５２２Ｂからドライガスが供給される、円筒状ではない雰囲気カバー５２０Ｂであってもよい。特に、雰囲気カバー５２０Ｂは、図８Ｃに示す、前記噴射口５１０を採用する際に有利である。
【００６０】
［第２実施形態］
本発明に係る付着物除去装置の第２実施形態について図１０を参照して説明する。第２実施形態における付着物除去装置５Ｃは、第１実施形態における付着物除去装置５Ａと同様、ドライアイス噴射手段５０、雰囲気カバー５２０Ｃ、および、ドライガス供給手段５２を備える。そして、第２実施形態における付着物除去装置５Ｃは、雰囲気カバー５２０Ｃを覆う円筒状の吸引カバー５８０と、雰囲気カバー５２０Ｃと吸引カバー５８０とで画定された空間５８０ａから雰囲気を吸引する吸引手段５８をさらに備える。吸引カバー５８０は、ワーク３０に面する一端が開口しており、他端には吸引口５８２が設けられている。また、吸引カバー５８０は、雰囲気カバーと略同じ長さを有する。
【００６１】
この構成によれば、ドライアイス噴射手段５０により粒状体噴射ステップを実施するのと並行して、吸引ステップとして、吸引手段５８による吸引が行われる。ドライアイスの噴射で剥離された有機膜は、吸引手段５８により、ドライアイスおよびドライガスとともにワーク３０と雰囲気カバー５２０Ｃとの隙間５２４から排出され、雰囲気カバー５２０Ｃと吸引カバー５８０とで画定された空間５８０ａを通って、吸引口５８２から吸引される。
【００６２】
吸引カバー５８０および吸引手段５８を設けることによって、有機膜の剥離中に、ワーク３０と筒状カバーとの隙間５２４から雰囲気カバーの外に排出された、ドライアイス、ドライガス、および剥離された有機膜を吸引口５８２から吸引することができる。吸引手段５８により、比較的高価なドライアイスであるＣＯ２を回収して再利用することや、剥離した有機膜を飛散させずに回収することができる。
【００６３】
［第３実施形態］
本発明に係る付着物除去装置の第３実施形態について図１１を参照して説明する。第３実施形態における付着物除去装置５Ｄは、第１実施形態における付着物除去装置５Ａと同様、ドライアイス噴射手段５０、円筒状の雰囲気カバー５２０Ｄ、および、ドライガス供給手段５２を備える。また、第３実施形態における付着物除去装置５Ｄは、２つの円筒状の温風カバー７００と加熱手段である温風供給手段７０とをさらに備える。本実施形態では、２つの円筒状の温風カバー７００は、ドライアイス噴射手段５０により噴射される位置に対して、ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００が移動される方向の前後両側に配置される。２つの温風カバー７００のワーク３０に対向する端部は開口し、噴射ノズル５００の傾斜に対応するように斜めにカットされている。２つの温風カバー７００の他端からは温風供給手段７０により温風が供給される。
【００６４】
この構成において、有機膜を剥離しながらドライアイス噴射手段５０が図１１に示す矢印Ｄに沿って移動すると、加熱ステップとして、温風供給手段７０からの温風が、ワーク３０においてドライアイスが噴射される部位に対して、ドライアイス噴射手段５０の噴射ノズル５００が移動される方向の前後両側に送られて、ワーク３０が加熱される。このため、ワーク３０は、ドライアイス噴射手段５０によってドライアイスが噴射される直前に温風供給手段７０により加熱され、ドライアイスが噴射されることにより周辺雰囲気の温度よりも温度低下してしまうことを抑制することができる。また、ワーク３０は、ドライアイスが噴射されて冷却された直後に温風供給手段７０により加熱され、これにより、ワーク３０におけるドライアイスで冷却されてしまった箇所を常温以上に戻すことができる。
【００６５】
ドライガス供給手段５２により、上述のように、ワーク３０の雰囲気カバーで覆われている箇所では結露は起きない。しかしながら、ドライアイス噴射手段５０の移動と伴に、ワーク３０の剥離された箇所が大気に露出する際、ドライアイスの噴射により冷却されたワーク３０の温度と環境温度との差により、大気中の水分がワーク上に結露するおそれがある。このような結露は、温風供給手段７０によりワーク３０を加熱することで防ぐことができる。
【００６６】
なお、ドライアイスの噴射によるワーク３０の冷却に対処する手段は、別の態様においても実施可能である。
【００６７】
例えば、第１、第２、および第３実施形態におけるドライガス供給手段５２によって供給されるドライガス自体を温めて供給することができる。温められたドライガスの供給により、ドライアイス噴射中のワーク３０上の結露を防ぐだけでなく、ワーク３０が冷却されることを抑制することができる。さらに、このようにワーク３０を加熱する手段を、ドライガスを供給するための手段と兼用することで、新たに加熱する手段を設けられる必要がなく、装置コストを抑えることができる。
【００６８】
図６には、ドライアイスの噴射によるワーク３０の冷却に対処する別手段が示されている。すなわち、当て板５３にはワーク３０をヒータ５９が組み込まれており、ワーク３０を吸着面、すなわち、ドライアイスを噴射する面の反対側から加熱しながらドライアイスを噴射することができる。
【００６９】
［第４実施形態］
本発明に係る付着物除去装置の第４実施形態について図１２を参照して説明する。第４実施形態における付着物除去装置５Ｅは、第１実施形態における付着物除去装置５Ｂと同様、円筒状の雰囲気カバー５２０Ｅ、および、ドライガス供給手段５２を備える。また、第４実施形態における付着物除去装置５Ｅは、第１および第２のドライアイスの噴射ノズル５０１、５０２を備える。これら第１および第２の噴射ノズル５０１、５０２は、ワーク３０上の同一箇所にドライアイスを噴射するように配置されており、かつ、ワーク３０の基準面に対してそれぞれ異なる立体角θ１、θ２で固定されている。その他の構成については、第１、第２または第３実施形態に順ずる。
【００７０】
この構成において、第１の噴射ノズル５０１は、主にワーク３０の水平面上に蒸着された有機膜を剥離するために使用され、第２の噴射ノズル５０２は、ワーク３０上の所定傾斜面に対して効率よく有機膜を剥離するように配向される。
【００７１】
ワーク３０全面が平坦ではなく、立体的な面を含む場合、一方向からのドライアイスの噴射だけでは立体的な面上の有機膜を効率よく剥離できない、または、全く剥離できない場合がある。このような場合、立体的な面に対応した別の立体角で配向された第２の噴射ノズル５０２からドライアイスを噴射することで、ワーク３０上の有機膜を一度の走査で剥離することができる。
【００７２】
なお、付着物除去装置は、ワーク３０の形状に合わせて３つ以上の噴射ノズルを備えてもよい。３つ以上の噴射ノズルをターゲット上の同一箇所に向けて異なる立体角でドライアイスを噴射させることで、より複雑な形状を有するワークに対して効率よく有機膜を剥離することができる。
【００７３】
なお、本発明の蒸着システムおよび付着物除去装置は、各実施形態に限定されることなく、適宜な変形や改良等が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、水分の影響を受けることなくワークの付着物の除去を連続的に行うことができる付着物除去装置、および該付着物除去装置を用いた蒸着システム、並びに、付着物を除去する除去方法に関する。
【符号の説明】
【００７５】
１  蒸着システム
２  トレイ／基板重ね合わせ部
４  蒸着装置
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ  付着物除去装置
６  基板分配部
８  大気リターン部
３０  ワーク（トレイおよびマスク）
３２  基板（被蒸着材）
３４  トレイ
３６  マスク
３８  蒸着材、有機膜
４２、８２  搬送ローラ
４４  蒸発源
５０  ドライアイス噴射手段
５１  エアシリンダ
５２  ドライガス供給手段
５３  当て板
５４  バキュームチャック
５５  給排気手段
５６  Ｘステージ
５７  Ｙステージ
５８  吸引手段
５９  ヒータ
７０  温風供給手段
７２  エアブロー
８４  カバー
５００  噴射ノズル
５０１  第１の噴射ノズル
５０２  第２の噴射ノズル
５１０  噴射口
５２０Ａ、５２０Ｂ、５２０Ｃ、５２０Ｄ、５２０Ｅ  雰囲気カバー
５２２Ａ、５２０Ｂ、５２０Ｃ、５２０Ｄ、５２０Ｅ  （ドライガス）供給口
５２４  隙間
５２６  シール材
５８０  吸引カバー
５８２  吸引口
７００  温風カバー
【図１】
2014076794.tif 000003
【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
2014076794.tif 000013
【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
2014076794.tif 000015
【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成28年5月18日(2016.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、
雰囲気内で昇華する粒状体を前記ワークに向けて一以上の噴射ノズルから噴射して、前記ワークから前記付着物を剥離させる粒状体噴射手段と、
前記粒状体噴射手段によって前記ワーク上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段と、
前記ワークの下方側で一側方向にクリーンエアーを流す吸排気手段と、
を備え、
前記1以上の噴射ノズルのうち、少なくとも一の噴射ノズルは、前記粒状体を前記ワークにおける前記付着物が付着した面に対して、前記ワークの下方側から前記一側方向の成分を含む方向に傾斜して噴射することを特徴とする付着物除去装置。
【請求項２】
前記粒状体噴射手段の少なくとも前記噴射ノズルと、前記ワーク上に前記粒状体を噴射する雰囲気と、を覆い、前記ワークに向けて開口したカバーをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の付着物除去装置。
【請求項３】
前記カバーに連結されて、前記カバー内の物質を吸引する吸引手段をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の付着物除去装置。
【請求項４】
前記ワーク上の前記付着物が除去される箇所を加熱する加熱手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の付着物除去装置。
【請求項５】
前記加熱手段は、加熱した前記ドライガスであることを特徴とする請求項４に記載の付着物除去装置。
【請求項６】
前記粒状体噴射手段の前記噴射ノズルを前記ワークに対して少なくとも一側方向に相対移動する移動手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の付着物除去装置。
【請求項７】
複数の前記粒状体噴射手段を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の付着物除去装置。
【請求項８】
前記複数の前記粒状体噴射手段が、前記ワークの同一箇所に向けて、異なる立体角で取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載の付着物除去装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の付着物除去装置と、
前記ワークである支持体によって支持されて搬送される被蒸着材に蒸着材を蒸着させる蒸着装置と、
を備えることを特徴とする蒸着システム。
【請求項１０】
前記付着物除去装置に対して、前記支持体の搬送方向下流に配置され、前記付着物除去装置によって付着物が除去された前記支持体上に残った残留物を除去する残留物除去手段をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の蒸着システム。
【請求項１１】
ワークに付着した付着物を除去する除去方法であって、
前記ワークに向けてドライガスを供給するドライガス供給ステップと、
前記ドライガス供給ステップによってドライガスが雰囲気に満たされた状態で、前記ワークに向けて雰囲気内で昇華する粒状体を噴射して前記付着物を除去する粒状体噴射ステップと、
前記ワークの下方側で一側方向にクリーンエアーを流すステップと、
を含み、
前記粒状体噴射ステップでは、前記粒状体を前記ワークにおける前記付着物が付着した面に対して、前記ワークの下方側から前記一側方向の成分を含む方向に傾斜して噴射することを特徴とする付着物を除去する除去方法。
【請求項１２】
前記粒状体噴射ステップと同時に、供給されたドライガスと、噴射された前記雰囲気内で昇華する粒状体と、前記ワーク上から除去された前記付着物と、を吸引する吸引ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載の除去方法。
【請求項１３】
前記粒状体噴射ステップと同時、またはその後に、前記ワークを加熱する加熱ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１１または１２に記載の除去方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の付着物除去装置は、ワークに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、雰囲気内で昇華する粒状体を前記ワークに向けて一以上の噴射ノズルから噴射して、前記ワークから前記付着物を剥離させる粒状体噴射手段と、前記粒状体噴射手段によって前記ワーク上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段と、前記ワークの下方側で一側方向にクリーンエアーを流す吸排気手段と、を備え、前記1以上の噴射ノズルのうち、少なくとも一の噴射ノズルは、前記粒状体を前記ワークにおける前記付着物が付着した面に対して、前記ワークの下方側から前記一側方向の成分を含む方向に傾斜して噴射することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この構成によれば、粒状体噴射手段が噴射した粒状体によりワークに付着した付着物を除去することができる。この際、粒状体が雰囲気内で昇華する物質であることにより、噴射した粒状体が残留することでワークを傷つけてしまうことなく、また、粒状体が液化してワークやその周辺を汚染してしまうことなく付着物を除去することができる。さらに、ドライガス供給手段で雰囲気内にドライガスを供給することで、粒状体噴射手段により雰囲気内で昇華する粒状体をワークに向けて噴射してワークが冷却された際、この雰囲気に水分が含まれないことからワーク上で水分が結露することがない。このため、雰囲気中の水分がワーク上で凍結してしまうことがなく、大気などの水分が含まれるような環境でも当該水分の影響を受けずに雰囲気内で昇華する粒状体により連続的に付着物を除去することができる。また、この構成によれば、ワークに付着した付着物をおよそ一定の側方向に拭き飛ばすことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、本発明の付着物を除去する除去方法は、ワークに付着した付着物を除去する除去方法であって、前記ワークに向けてドライガスを供給するドライガス供給ステップと、
前記ドライガス供給ステップによってドライガスが雰囲気に満たされた状態で、前記ワークに向けて雰囲気内で昇華する粒状体を噴射して前記付着物を除去する粒状体噴射ステップと、前記ワークの下方側で一側方向にクリーンエアーを流すステップと、を含み、前記粒状体噴射ステップでは、前記粒状体を前記ワークにおける前記付着物が付着した面に対して、前記ワークの下方側から前記一側方向の成分を含む方向に傾斜して噴射する、ことを特徴とする。
【国際調査報告】
2014076794.tif 000020
2014076794.tif 000021
2014076794.tif 000022
2014076794.tif 000023