【手続補正書】
【提出日】平成27年8月3日(2015.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１方向に延設され、平面視で前記第１方向と直交する第２方向に腕幅を有している腕部と、前記腕部の前記基部と接続されている側と反対側の先端部に接続され前記腕幅よりも前記第２方向の幅が広い幅広部と、前記腕部の前記第１方向と前記第２方向とで特定される主面のうち少なくとも一方の主面に接続され前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に沿って前記振動腕を振動させる励振部と、を有する振動腕と、を備え、
前記腕幅は、前記腕部の前記基部側から前記先端部に向かうに連れて細くなっている部分を有していることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記腕幅が前記腕部の前記基部側から前記先端部に向かうに連れて細くなっている部分は、
前記腕部の前記第１方向の中央部よりも前記基部側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の振動片において、
前記幅広部の前記第１方向の長さは、前記振動腕の前記第１方向の長さの１／２よりも短いことを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記基部は、前記第１の方向に沿っているとともに前記腕部と重なる仮想線が前記基部と重なる領域に、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかが配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片において、
前記励振部は、少なくとも一方の前記主面側に配置された第１電極と、
平面視で前記第１電極と重なっている第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極との間に配置された圧電体と、
を備えていることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片において、
前記振動腕を複数備え、隣り合う前記振動腕が、互いに逆方向に振動することを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収容したパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を発振させる発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［形態１］本形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第１方向に延設され、平面視で前記第１方向と直交する第２方向に腕幅を有している腕部と、前記腕部の前記基部と接続されている側と反対側の先端部に接続され前記腕幅よりも前記第２方向の幅が広い幅広部と、前記腕部の前記第１方向と前記第２方向とで特定される主面のうち少なくとも一方の主面に接続され前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に沿って前記振動腕を振動させる励振部と、を有する振動腕と、を備え、前記腕幅は、前記腕部の前記基部側から前記先端部に向かうに連れて細くなっている部分を有していることを特徴とする。
本形態の振動片によれば、腕部の第２方向の腕幅が、腕部の基部側（根元側）から先端部に向かうに連れて細くなっていることから、第３方向に振動（屈曲振動）する際の曲げ応力の分布が等応力分布に近くなる。この結果、振動片は、振動腕の根元側における曲げ応力が緩和されて小さくなることから、根元側の熱弾性損失が低減され、Ｑ値の低下を抑制することができる。加えて、振動腕の先端部に幅広部が設けられていることから、励振領域と歪みの発生する領域を集中して重ね合わせることができ、結果として駆動電極による静電容量を無駄に大きくすることなく、抵抗値ＣＩを小さくすることができること、および幅広部の錘効果による振動腕の短縮が可能となり、上記の効果と合わせて更なる振動片の小型化を実現することができる。
［形態２］上記形態に記載の振動片において、前記腕幅が前記腕部の前記基部側から前記先端部に向かうに連れて細くなっている部分は、前記腕部の前記第１方向の中央部よりも前記基部側に設けられていることを特徴とする。
本形態によれば、第３方向に振動（屈曲振動）する際の曲げ応力による熱弾性損失に対する影響は、腕部の第１方向の中央部よりも基部側において大きく（支配的）なるため、より効果的に熱弾性損失を低減させることが可能となり、Ｑ値の低下を抑制することができる。
［形態３］上記形態に記載の振動片において、前記幅広部の前記第１方向の長さは、前記振動腕の前記第１方向の長さの１／２よりも短いことを特徴とする。
本形態によれば、錘（幅広部）の付加効果は、振動腕の第１方向長さの１／２よりも短いことで、その効果が顕著になるため、より効果的に錘効果を生じさせることが可能となり、振動片の小型化を実現することができる。
［形態４］上記形態に記載の振動片において、前記基部は、前記第１の方向に沿っているとともに前記腕部と重なる仮想線が前記基部と重なる領域に、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかが配置されていることを特徴とする。
本形態によれば、貫通孔、凹部、および切り欠きのいずれかにより、振動腕の屈曲振動が、振動腕の延設されている基部の端から、その端と反対側の端に向かって伝わることを阻止することができる。
［形態５］上記形態に記載の振動片において、前記励振部は、少なくとも一方の前記主面側に配置された第１電極と、平面視で前記第１電極と重なっている第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に配置された圧電体と、を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、振動片は、励振部が第１電極と、平面視で第１電極と重なっている第２電極と、両電極間に配置された圧電体と、を備えたことから、励振部自体の伸縮によって振動腕を振動させることができる。したがって、振動片は、基材（構成の基本となる材料）に必ずしも圧電材料を用いる必要がないことから、基材の選択肢が広がり、例えば、シリコンなどの半導体材料を基材として用いることができる。
［形態６］上記適用例に記載の振動片において、前記振動腕を複数備え、隣り合う前記振動腕が、互いに逆方向に振動することを特徴とする。
本形態によれば、振動片は、振動腕を複数備え、隣り合う振動腕が、互いに逆方向に振動することから、力学的にバランスのとれた振動とすることができる。このことから、振動片は、振動腕から基部への振動漏れが低減され、Ｑ値を向上させることができる。
［形態７］本形態に係る振動子は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容したパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上記形態のいずれかに記載の振動片と、振動片を収容したパッケージと、を備えたことから、上記形態のいずれかに記載の効果を奏する振動子を提供することができる。
［形態８］本形態に係る発振器は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路と、を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上記形態のいずれかに記載の振動片と、振動片を発振させる発振回路と、を備えたことから、上記形態のいずれかに記載の効果を奏する発振器を提供することができる。
［形態９］本形態に係る電子機器は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上記形態のいずれかに記載の振動片を備えたことから、上記形態のいずれかに記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。
［形態１０］本形態に係る移動体は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上記形態のいずれかに記載の振動片を備えたことから、上記形態のいずれかに記載の効果を奏する移動体を提供することができる。
［適用例１］本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部から第１方向に延設されている振動腕と、前記振動腕の先端部に設けられている幅広部と、を備え、前記振動腕は、平面視において、前記第１方向と直交する第２方向に腕幅を有し、且つ、前記第１方向と前記第２方向とで特定される前記振動腕の主面の少なくとも一方に、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向に前記振動腕を振動させる励振部が設けられ、前記振動腕は、前記第２方向の前記腕幅が、前記振動腕の前記基部側から前記先端部側に向かうに連れて細くなっている部分を有していることを特徴とする。