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　特願２０１７−５６３５０７「集積マルチチップ走査型プローブ顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　９月　１日国際公開、ＷＯ２０１６／１３８３７３、平成３０年　４月１２日国内公表、特表２０１８−５１０３６４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１６年（平成２８年）２月２６日（パリ条約による優先権主張　２０１５年２月２６日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成３０年１１月１９日付けで拒絶理由が通知され、平成３１年２月２１日に意見書が提出されるとともに手続補正がなされたが、令和元年７月１６日付けで拒絶査定（以下「原査定」という。）がなされ、これに対して同年１１月１９日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同時に手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　本件補正について
（１）本件補正後の特許請求の範囲の記載
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項２の記載は、次のとおり補正された（下線は補正箇所を示す。）。
「　　【請求項２】
　探針ヘッドを三次元顕微鏡に取り付ける方法であって、
　少なくとも２つの軸線において試料を移動させるように構成された試料ステージを三次元顕微鏡の下に配置するステップと、
　該試料ステージに関して探針ヘッドを取り付けるステップ
と、
　
該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ
とを含む該方法。」
（２）本件補正前の特許請求の範囲の記載
　本件補正前の平成３１年２月２１日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項２の記載は、次のとおりである。
「　　【請求項２】
　探針ヘッドを三次元顕微鏡に取り付ける方法であって、
　少なくとも２つの軸線において試料を移動させるように構成された試料ステージを三次元顕微鏡の下に配置するステップと、
　該試料ステージに関して探針ヘッドを取り付けるステップ
とを含む該方法。」
２　補正の適否
（１）目的要件について
　本件補正は、請求項２に係る発明において、「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」との発明特定事項を追加することを含むものである。しかしながら、本件補正前の請求項２に記載した方法の発明は、特許法第３６条第５項の規定により請求項に記載した発明を特定するために必要な事項として、「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」に対応する事項の特定がない発明である。そして、本件補正前の請求項２の方法を特定する「少なくとも２つの軸線において試料を移動させるように構成された試料ステージを三次元顕微鏡の下に配置するステップと、該試料ステージに関して探針ヘッドを取り付けるステップ」と、本件補正によって追加された「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」とは、それらの機能、発揮する作用等が異なるものであり、前者の「・・・配置するステップ・・・取り付けるステップ」と後者の「・・・調整するステップ」とは、発明特定事項として概念が異なるものである。してみれば、本件補正前の請求項２に係る発明に、「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」との発明特定事項を追加することは、本件補正前の方法を特定するステップとは別の概念のステップを追加するものであるから、本件補正前の請求項２における発明特定事項を概念的により下位の発明特定事項とすることにはならない。
　よって、本件補正前の請求項２に係る発明に、「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」との発明特定事項を追加することは、特許法第１７条の２第５項第２号の括弧書きの特許法第３６条第５項の規定により請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものには該当しないことから、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる事項を目的とするものに該当しない。
　さらに、同項第１号に掲げる請求項の削除、同項第３号に掲げる誤記の訂正、同項第４号に掲げる明りようでない記載の釈明のいずれにも該当しないことは明らかである。
　したがって、当該補正は、特許法第１７条の２第５項の規定に違反するものであると認められる。
（２）独立特許要件について
　上記（１）のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項に規定する要件を満たしていないが、更に進めて、仮に、請求項２についての補正を、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであると解して、本件補正後の請求項２に係る発明（以下「本件補正発明」という。）が、同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。
ア　本件補正発明
　本件補正発明は、上記１（１）に記載したとおりのものである。
イ　引用文献の記載事項
（ア）引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張日前に頒布された特許第４６８５３０９号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審において付与した。以下、同様。）。
（引１ア）
「【００７７】
　本発明の多探針テスト装置の好ましい実施例を図７に示す。図は多探針テスト装置１００を示し，ＸＹＺ位置決め機構を有するステージ１１２上にテストサンプル１１０が搭載される。この機構は自動的にもしくは手動で制御することができる。本発明に従って作られた多探針プローブ１０２が，０．１μｍもしくはそれよりも良好な分解能でＺ方向に移動させることができる，プローブホルダー１０４上でテストサンプルの表面上に搭載される。随意，プローブホルダー１０４は同様な空間分解能でＸおよびＹ方向に制御することができる。機構１００はＡＦＭやＳＴＭ（Scanning Tunneling Microscope）のそれと類似である。プローブ端点からの接続１１４はコントローラ１０６へ入力され，それは多探針プローブをテストサンプル１１０に対して移動させることができる。随意，テストサンプル１１０からの接続１１６もコントローラ１０６に入力することができる。コントローラ１０６はコンピュータもしくはプログラムされたマイクロコントローラとすることができる。４本のプローブアームの端点を使用して４点抵抗を監視するかあるいは４本のプローブアームの端点とテストサンプル１１０間の２点抵抗を監視することにより，コントローラ１０６は
４本のプローブアームの全ての端点がテストサンプルと物理的に接触するまで多探針プローブをテストサンプルに向けて移動させる
テストサンプル抵抗率の測定を行う
【００７８】
　図８は
テストサンプルステージが標準光学顕微鏡２１４上のｘｙ位置決め２２２からなる
多探針プローブ２０２が顕微鏡対物レンズ２１２上に搭載されるプローブホルダー２０４上に配置され，
（引１イ）
「【図面の簡単な説明】
・・・
【図７】本発明に従って作られた
多探針プローブを使用してテストサンプルを測定する機構
【図８】
光学顕微鏡上に搭載された
多探針プローブを有する機構
（引１ウ）図７、図８
　図８の光学顕微鏡上に搭載された多探針プローブを有する機構は、上記（引１ア）【００７８】の記載によれば、図７の多探針プローブを使用してテストサンプルを測定する機構と同様に、「４本のプローブアームの全ての端点がテストサンプル２１０と物理的に接触するまで多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させ、テストサンプル抵抗率の測定を行う」ことが理解できることから、上記（ア）の記載及び図面を総合すると、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「光学顕微鏡２１４上に多探針プローブ２０２を有する機構を搭載する方法であって、
　テストサンプルステージが光学顕微鏡２１４上のｘｙ位置決め２２２からなり、多探針プローブ２０２が顕微鏡対物レンズ２１２上に搭載されるプローブホルダー２０４上に配置され、４本のプローブアームの全ての端点がテストサンプル２１０と物理的に接触するまで多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させ、テストサンプル抵抗率の測定を行う、
　方法。」
（イ）引用文献２について
　本願の優先権主張日前に頒布された特開２００５−３００１７７号公報（以下「引用文献２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。なお、引用文献２は、本件補正によって追加された事項について示す文献である。
（引２ア）
「【００２５】
　本発明の第一の実施形態を図１に示した。半導体製造プロセスウエハの計測を目的とした走査プローブ顕微鏡の概略図である。軸方向は、図中に示した通りであり、互いに直行する３軸をＸ、Ｙ、Ｚ軸とした。
１は複数のプローブを配したマルチ走査プローブヘッドであり、１１はプローブである。
２は、ウエハ３の位置、姿勢を調整するためのウエハステージである。ウエハステージ２は、
ウエハＺチルトステージ２２、
から構成されている。
ウエハＺチルトステージ２２は、ウエハ３をＺ方向と、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸回りにウエハを回転させることが出来る。
・・・
【００２７】
　
マルチ走査プローブヘッド１
【００２８】
　微動機構は、さらに
Ｚ方向とＸ軸回りとＹ軸回りの回転方向に駆動を行うＺチルト機構１６
プローブ全体をＸ軸、Ｙ軸回りの回転方向
Ｚチルト機構１６は、
複数のプローブの先端を結んだ線がウエハ表面と概略平行になるように、回転方向の駆動を行う。マルチ走査プローブヘッドが一機のみであれば、ウエハをＺチルト方向に駆動することよってもプローブ先端とウエハ表面を平行に姿勢調整することが可能である
ウエハＺチルトステージ２２は、ウエハ全体のくさび型の厚さむらによって生じるウエハ表面の傾きを補正し、プローブ全体と概略平行になるように駆動される。
（引２イ）図１
（引２ウ）図２
（引２エ）図５
（ウ）引用文献３について
　本願の優先権主張日前に頒布された特許第３６４３４８０号公報（以下「引用文献３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。なお、引用文献３は、本件補正によって追加された事項について示す文献である。
（引３ア）
「【０００８】
図１は本発明の描画装置の第１の実施例構成概念を示すブロック図である。
微細描画ヘッド部１は微細描画部４と傾き補正部５とから構成される。
補正部５は、後述する駆動及び照射制御部１３から与えられる傾き補正信号に応じて、ピエゾ素子２５、２６のそれぞれに対して電圧を与え、両端部の探針２１ａ、２１ｄを結ぶ線が描画される基板８のレジスト層１１の面に平行になるようにホルダ２４の傾きを補正する。電圧印加部７は駆動及び照射制御部１３から与えれる制御信号に応じて探針２１ａ−２１ｄに加える電圧を制御する。
駆動及び照射制御部１３では、傾き補正の場合には、両端部の探針２１ａ、２１ｄに適当な電圧を与えておき、それぞれの電流が等しくなるように、ピエゾ素子２５、２６のそれぞれに対して与える電圧を制御する。
・・・
【００１５】
次に、図１、図２に示した描画装置を用いた描画の手順について、まとめて、説明する。描画は、第１段階として基板８の探針へのアプローチ、
第２段階として探針の傾き補正
【００１６】
先にも述べたように、まず、基板８を移動ステージ１２に取り付けた後、電圧印加部７で探針２１ａ−２１ｄに適当な電圧を印加し、これらの電流を電流検出部６で検出し、いずれかの探針の電流が所定の値となるまで、駆動及び照射制御部１３の制御のもとで移動ステージ１２をＺ軸方向に移動させて、基板８を探針に接近させる。この際、電圧印加部７で両端部の探針２１ａおよび２１ｄと基板８との間に印加する電圧Ｖを変化させ、そのとき流れる電流Ｉを電流検出部６で検出し、Ｉ／（ｄＶ／ｄｔ）によりその静電容量を算出して探針と基板との距離を見積もるものとしても良い。
【００１７】
ついで、両端部の両探針２１ａ、２１ｄの電流の差が無くなるように、駆動及び照射制御部１３から傾き補正部５に信号を与え、ピエゾ素子２５および２６を制御して、これらの探針を結ぶ線と基板８平面との間の傾きをなくする制御を行う。
（引３イ）図１
（エ）引用文献４について
　本願の優先権主張日前に頒布された特開平６−１９５７６８号公報（以下「引用文献４」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。なお、引用文献４は、本件補正によって追加された事項について示す文献である。
（引４ア）
「【００３１】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００３２】（第１実施例）図１は本発明の装置の基本構成を示した図であり、この図において１はマイクロメカニクス技術で作成された複数のプローブ電極、２は複数のプローブ電極をチルト機構にセットするためのプローブ電極アッタチメント、
３は複数のプローブ電極の傾きを変えるチルト機構
６は記録媒体５の傾きを変えるチルト機構
（引４イ）
「【００３８】面合わせを行う場合、各々のＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ），（１，Ｊ），（２０，Ｊ）の検出するトンネル電流が等しくなるように、上述した構成のチルト機構３を用いて調整する。
・・・
【００４４】図３に示されたような
複数のプローブ電極をＹ軸の回りにチルト機構を用い回転させる
・・・
【００４９】以上でＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ），（１，Ｊ），（２０，Ｊ）の補正ができたので、この３本のプローブ電極を用いて面合わせを行う。
【００５０】まず複数のプローブ電極面と記録媒体表面の面合わせを行う。
【００５１】複数のプローブ電極をチルト機構を用いてＺ方向位置調整用プロ−ブ電極（１０，Ａ）が一番最初に記録媒体に接近するように積層圧電素子３３を１０ｎｍ伸長させる。プローブ電極と記録媒体間にバイアス電圧０．５Ｖを印加する。
【００５２】まずＸ方向の平面補正を図６に示すように行う。図６は、本発明の装置における面合わせ方法のＸ方向の平面補正を表わした図である。
【００５３】図６（ａ）に示すように、Ｚ方向粗動機構によってＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）を１０-8Ａ程度のトンネル電流を検知する位置まで移動させる。
【００５４】次に図６（ｂ）に示すように積層型圧電素子３２を伸ばし、Ｚ方向位置調整用プローブ電極（１，Ｊ）をＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）が検知したトンネル電流と同じになるまで移動させる。積層型圧電素子３２に印加する電圧を１００ｍＶ（変位量に換算すると約１０ｎｍ）増加させることにより、Ｚ方向位置調整用プローブ電極（１，Ｊ）をＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）が検知したトンネル電流と同じにすることができた。
【００５５】次にＹ方向に平面補正を図７に示すよう行う。図７は、本発明の装置における面合わせ方法のＸ方向の平面補正を表わした図である。
【００５６】図７（ａ）に示す状態から図７（ｂ）に示すように積層型圧電素子３４を伸ばし、Ｚ方向位置調整用プローブ電極（２０，Ｊ）をＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）が検知したトンネル電流と同じになるまで移動させる。積層型圧電素子３４に印加する電圧を５０ｍＶ（変位量に換算すると約５ｎｍ）増加させることにより、Ｚ方向位置調整用プローブ電極（２０，Ｊ）をＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）が検知したトンネル電流と同じにすることができた。次にＺ方向位置調整用プローブ電極（１，Ｊ）、（２０，Ｊ）に印加されている電圧０Ｖにし、カンチレバーの変位を元に戻す。
【００５７】次に記録媒体表面と走査面の面合わせを図８に示す軌跡に基づいて行う。図８は、本発明の装置における記録媒体表面と走査面の面合わせを行う軌跡を示した図である。
【００５８】まず、記録媒体５上の任意の点Ａに複数のプローブ電極１のＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）をトンネル領域まで接近させる。
【００５９】そしてＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）の垂直距離を制御しながら記録領域Ｓの一隅の点Ｂに移動させる。次に、記録領域Ｓの外周に沿って同様にトンネル領域を一定に保ったまま、プローブ電極を点ＢからＣ，Ｄ，Ｅの順に移動させる。
【００６０】図９はプローブ電極を記録領域Ｓの外周に沿って動かしているときのプローブ電極の垂直方向の制御量を示し、図８に示す点Ａを基準としたプローブ電極の垂直方向制御量を縦軸に示している。点Ａから点Ｄまではプローブ電極を記録媒体５に近づける方向に動かす制御が行われており、点Ｄから点Ｂまでは離れる方向に制御が行われている。つまり上述の場合ではプローブ電極の走査面に対する記録媒体５の傾きは点Ａが最も走査面に近く、続いて点Ｂ、点ＣとＥ、そして点Ｄが最も離れていることがわかる。
【００６１】この結果より
図１に示すようなチルト機構３，６を用い、複数のプローブ電極面と記録媒体表面の平行を保ちつつ、記録媒体表面及び複数のプローブ電極面の傾きを変え、走査面に対して面合わせを行う
【００６２】この状態でＸＹ微動機構７を駆動し、記録媒体５に対し±１０Ｖの三角波を任意のトンネルチップ／基板電極間に印加することにより記録実験を行った。十分にチップの接触がなく情報の記録・再生を行うことができた。
【００６３】本実施例では複数のプローブ電極１と記録媒体５との面合わせを行うときにＺ方向位置調整用プローブ電極として３本のプローブ電極を用いたが、これは４隅に１本づつでもよく、面合わせの順番もＹ方向を合わせてからＸ方向を合わせてもよい。
【００６４】また記録媒体表面と走査面の面合わせを行うとき、複数のプローブ電極１のＺ方向位置調整用プローブ電極（１０，Ａ）をセンサーとして用いたが、任意のプローブ部電極でもよく、Ｚ方向位置調整用プローブ電極（１，Ｊ））をセンサーとして用いても同様の結果が得られた。」
（引４ウ）図１
ウ　対比
　本件補正発明と引用発明とを対比する。
（ア）引用発明の「光学顕微鏡２１４」及び「多探針プローブ２０２」は、それぞれ、本件補正発明の「三次元顕微鏡」及び「探針ヘッド」に相当するところ、引用発明の「光学顕微鏡２１４上に多探針プローブ２０２を有する機構を搭載する方法」は、本件補正発明の「探針ヘッドを三次元顕微鏡に取り付ける方法」に相当する。
（イ）引用発明の「ｘｙ位置決め２２２からな」る「テストサンプルステージ」は、本件補正発明の「少なくとも２つの軸線において試料を移動させるように構成された試料ステージ」に相当するところ、引用発明の「テストサンプルステージが光学顕微鏡２１４上のｘｙ位置決め２２２からなり、多探針プローブ２０２が顕微鏡対物レンズ２１２上に搭載されるプローブホルダー２０４上に配置され」ることは、光学顕微鏡２１４における顕微鏡対物レンズ２１２の下方に、ｘｙ位置決め２２２からなるテストサンプルステージを配置することといえるから、本件補正発明の「少なくとも２つの軸線において試料を移動させるように構成された試料ステージを三次元顕微鏡の下に配置するステップ」に相当する。
（ウ）引用発明の「テストサンプルステージが光学顕微鏡２１４上のｘｙ位置決め２２２からなり、多探針プローブ２０２が顕微鏡対物レンズ２１２上に搭載されるプローブホルダー２０４上に配置され」ることは、テストサンプルステージの上方に多探針プローブ２０２を配置することといえるから、本件補正発明の「該試料ステージに関して探針ヘッドを取り付けるステップ」に相当する。
（エ）引用発明の「端点」を有する「プローブアーム」は、本件補正発明の「探針チップ」に相当するところ、引用発明の「４本のプローブアームの全ての端点がテストサンプル２１０と物理的に接触するまで多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させ、テストサンプル抵抗率の測定を行う」ことは、多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させることによって、テストサンプル抵抗率の測定を行うため、４本のプローブアームの全ての端点の位置がテストサンプル２１０と物理的に接触するように調整されていることといえるから、引用発明の「４本のプローブアームの全ての端点がテストサンプル２１０と物理的に接触するまで多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させ」ることと、本件補正発明の「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」とは、「該探針ヘッドを移動させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」の点で共通する。
エ　一致点・相違点
　上記ウから、本件補正発明と引用発明とは、次の点で一致し、次の点で相違する。
（一致点）
「探針ヘッドを三次元顕微鏡に取り付ける方法であって、
　少なくとも２つの軸線において試料を移動させるように構成された試料ステージを三次元顕微鏡の下に配置するステップと、
　該試料ステージに関して探針ヘッドを取り付けるステップと、
　該探針ヘッドを移動させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ
とを含む該方法。」
（相違点）
　少なくとも２つの探針チップの位置調整を、本件補正発明では、「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させること」によって行うのに対し、引用発明では、「多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させ」て行うものの、「多探針プローブ２０２」又は「テストサンプルステージ」を回転させるか不明である点。
オ　判断
　上記相違点について検討する。
　少なくとも２つの探針チップを有する探針ヘッドを使用して対象物を処理する技術分野において、対象物と少なくとも２つの探針チップとの位置を調整するために、少なくとも２つの探針チップを有する探針ヘッド、及び対象物が搭載されているステージの少なくとも一方を回転させることは、例えば引用文献２〜４（上記イ（イ）〜（エ）参照。）に記載されているように、本願の優先権主張日前、周知技術である。
　そして、引用発明は、「４本のプローブアームの全ての端点がテストサンプル２１０と物理的に接触するまで多探針プローブ２０２をテストサンプル２１０に向けて移動させ、テストサンプル抵抗率の測定を行う」ものであるから、上記周知技術と同様の技術分野に属するといえる。
　してみると、引用発明において、「４本のプローブアームの全ての端点」の位置を調整するために、上記周知技術を適用し、「多探針プローブ２０２」及び「テストサンプルステージ」の少なくとも一方を回転させ、上記相違点に係る本件補正発明の発明特定事項とすることは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明及び上記周知技術の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、顕著なものということはできない。
カ　小括
　したがって、本件補正発明は、引用発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　本件補正についてのむすび
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項及び同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記補正の却下の結論のとおり決定する。
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は、上記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１〜１２に係る発明は、平成３１年２月２１日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１２に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項２に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２の［理由］１（２）に記載されたとおりのものである。
２　原査定の拒絶の理由
　拒絶査定の備考に記載された新規性・進歩性に係る理由は、以下のとおりである。
「●理由４（特許法第２９条第１項第３号）、理由５（特許法第２９条第２項）について
・請求項２、３
・引用文献等１
　引用文献１（特に、［００７７］、［００７８］、［０１００］、第６−９図参照）には、標準光学顕微鏡２１４（三次元顕微鏡）の下に、ｘｙ位置決め２２２を有する（２つの軸線において試料を移動させるように構成された）テストサンプルステージ（試料ステージ）を配置し、ｘｙ位置決め２２２を有するテストサンプルステージ上（該試料ステージに関して）のプローブホルダー２０４には、多探針プローブ２０２（探針ヘッド）を取り付ける、方法の発明が記載されている。
・・・
　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
１．特許第４６８５３０９号公報　　　　　　　　　　　　　　　　」
３　引用文献
　原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１及びその記載事項は、上記第２の［理由］２（２）イ（ア）に記載したとおりである。
４　対比・判断
　本願発明は、上記第２の［理由］２（２）で検討した本件補正発明から、「該探針ヘッドを回転させること又は該試料ステージを回転させることによって、該少なくとも２つの探針チップの位置を調整するステップ」との発明特定事項を削除したものである。
　そうすると、本願発明と引用発明とに相違するところはなく、仮に両者の間に若干の相違点があったとしても、当該相違点は設計事項程度である。
　よって、本願発明は、引用文献１に記載された発明であるか、又は引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
第４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、又は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に対する特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項の規定ついて、さらには、原査定におけるその余の拒絶の理由について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。