【手続補正書】
【提出日】平成27年4月6日(2015.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４１．９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板と、
前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備えるとともに、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有する弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波の波長をλ、前記電極指間溝の深さをＧ、前記ＩＤＴの電極膜厚をＨとして、
2015073305.tif 000001
の関係を満たす（ただし、前記（Ｇ＋Ｈ）の範囲は、前記（Ｇ＋Ｈ）を０．６μｍとし、前記弾性表面波フィルタで励振される弾性表面波の共振周波数を３２２ＭＨｚとし、前記弾性表面波の伝播速度を３１００ｍ／ｓから３２４０ｍ／ｓまでの範囲として、前記０．６μｍを、前記伝搬速度を前記共振周波数で除算した値である波長で除算した範囲を除く）ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４１．９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板と、
前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備えるとともに、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、
平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有する弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波の波長をλ、前記電極指間溝の深さをＧ、前記ＩＤＴの電極膜厚をＨとして、
2015073305.tif 000002
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記ＩＤＴのライン占有率をηとして、
2015073305.tif 000003
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
請求項３に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記ライン占有率ηが、
2015073305.tif 000004
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記電極指間溝の深さＧが、
2015073305.tif 000005
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記電極膜厚Ｈが、
2015073305.tif 000006
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、前記ψと前記θが、
2015073305.tif 000007
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記ＩＤＴにおけるストップバンド上端モードの周波数をｆｔ２、前記ＩＤＴを弾性表面波の伝搬方向に挟み込むように配置される反射器におけるストップバンド下端モードの周波数をｆｒ１、前記反射器のストップバンド上端モードの周波数をｆｒ２として、
2015073305.tif 000008
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項９】
請求項８のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記反射器は、複数の導体ストリップと、前記導体ストリップの間に位置する前記水晶基板の部分にある導体ストリップ間溝と、有し、
前記電極指間溝の深さよりも前記導体ストリップ間溝の深さの方が浅いことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板上に複数個の前記弾性表面波共振子を梯子状に接続したラダー型弾性表面波フィルタであることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板上に複数個の前記弾性表面波共振子を格子状に接続したラチス型弾性表面波フィルタであることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板の弾性表面波の伝搬方向に対して複数個の前記弾性表面波共振子を平行に近接配置した横結合型多重モードフィルタであることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタにおいて、
前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板の弾性表面波の伝搬方向に沿って複数個のＩＤＴからなる前記弾性表面波共振子を配置した縦結合型多重モードフィルタであることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタを備えたことを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
第１の形態に係る弾性表面波フィルタは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４１．９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板と、前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備えるとともに、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波の波長をλ、前記電極指間溝の深さをＧ、前記ＩＤＴの電極膜厚をＨとして、
2015073305.tif 000009
の関係を満たす（ただし、前記（Ｇ＋Ｈ）の範囲は、前記（Ｇ＋Ｈ）を０．６μｍとし、前記弾性表面波フィルタで励振される弾性表面波の共振周波数を３２２ＭＨｚとし、前記弾性表面波の伝播速度を３１００ｍ／ｓから３２４０ｍ／ｓまでの範囲として、前記０．６μｍを、前記伝搬速度を前記共振周波数で除算した値である波長で除算した範囲を除く）ことを特徴とする。
第２の形態に係る弾性表面波フィルタは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４１．９°≦｜ψ｜≦４９．５７°）の水晶基板と、前記水晶基板上に設けられ、複数の電極指を備えるとともに、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、平面視で、前記電極指の間に位置する前記水晶基板の部分にある電極指間溝と、を有する弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波の波長をλ、前記電極指間溝の深さをＧ、前記ＩＤＴの電極膜厚をＨとして、
2015073305.tif 000010
の関係を満たすことを特徴とする。
第３の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態または第２の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記ＩＤＴのライン占有率をηとして、
2015073305.tif 000011
の関係を満たすことを特徴とする。
第４の形態に係る弾性表面波フィルタは、第３の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記ライン占有率ηが、
2015073305.tif 000012
の関係を満たすことを特徴とする。
第５の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第４の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記電極指間溝の深さＧが、
2015073305.tif 000013
の関係を満たすことを特徴とする。
第６の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第４の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記電極膜厚Ｈが、
2015073305.tif 000014
の関係を満たすことを特徴とする。
第７の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第６の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記ψと前記θが、
2015073305.tif 000015
の関係を満たすことを特徴とする。
第８の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第７の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記ＩＤＴにおけるストップバンド上端モードの周波数をｆｔ２、前記ＩＤＴを弾性表面波の伝搬方向に挟み込むように配置される反射器におけるストップバンド下端モードの周波数をｆｒ１、前記反射器のストップバンド上端モードの周波数をｆｒ２として、
2015073305.tif 000016
の関係を満たすことを特徴とする。
第９の形態に係る弾性表面波フィルタは、第８の形態の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記反射器は、複数の導体ストリップと、前記導体ストリップの間に位置する前記水晶基板の部分にある導体ストリップ間溝と、有し、前記電極指間溝の深さよりも前記導体ストリップ間溝の深さの方が浅いことを特徴とする。
第１０の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第９の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板上に複数個の前記弾性表面波共振子を梯子状に接続したラダー型弾性表面波フィルタであることを特徴とする。
第１１の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第９の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板上に複数個の前記弾性表面波共振子を格子状に接続したラチス型弾性表面波フィルタであることを特徴とする。
第１２の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第９の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板の弾性表面波の伝搬方向に対して複数個の前記弾性表面波共振子を平行に近接配置した横結合型多重モードフィルタであることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
第１３の形態に係る弾性表面波フィルタは、第１の形態乃至第９の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタにおいて、前記弾性表面波フィルタは、前記水晶基板の弾性表面波の伝搬方向に沿って複数個のＩＤＴからなる前記弾性表面波共振子を配置した縦結合型多重モードフィルタであることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
本形態に係る電子機器は、第１の形態乃至第１３の形態のいずれか１の形態に係る弾性表面波フィルタを備えたことを特徴とする。
［適用例１］オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，４１．９°≦｜ψ｜≦４９．５７４９°）の水晶基板上に設けられ、Ａｌ又はＡｌを主体とした合金を用いたストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するＩＤＴと、前記ＩＤＴを構成する電極指間に位置する基板を窪ませた電極指間溝を有する弾性表面波共振子を複数接続させたディスクリート型の弾性表面波フィルタであって、前記弾性表面波の波長をλ、前記電極指間溝の深さをＧとした場合に、
【数１】
2015073305.tif 000017
を満たし、かつ、前記ＩＤＴのライン占有率をηとした場合に、前記電極指間溝の深さＧと前記ライン占有率ηとが
【数２】
2015073305.tif 000018
の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
このような特徴を持つ弾性表面波フィルタによれば、周波数温度特性の向上を図ることができる。