(57)【要約】【解決手段】厚さ２００μｍ以下のガラスシート、及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの切断方法であって、前記複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、該工程後に前記樹脂膜が切断される、複合シートの切断方法。
2014030521.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ２００μｍ以下のガラスシート、及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの切断方法であって、
前記複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、該工程後に前記樹脂膜が切断される、複合シートの切断方法。
【請求項２】
前記工程では、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させるとき、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部を前記樹脂膜に形成する、請求項１に記載の複合シートの切断方法。
【請求項３】
前記線状の熱劣化部を中心に前記樹脂膜を折り曲げることで、前記移動軌跡の終端部である前記ガラスシートの端部を切断する、請求項２に記載の複合シートの切断方法。
【請求項４】
前記線状の熱劣化部を中心に前記樹脂膜を折り曲げることで、前記熱劣化部に沿って前記樹脂膜を切断する、請求項２又は３に記載の複合シートの切断方法。
【請求項５】
前記工程では、前記ガラスシートに対して前記樹脂膜側とは反対側から前記レーザ光を照射する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の複合シートの切断方法。
【請求項６】
前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックの起点となる初期クラックを前記ガラスシートに形成する工程をさらに有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の複合シートの切断方法。
【請求項７】
前記複合シートの前記ガラスシートを冷媒で局所的に冷却し、前記ガラスシートにおける冷媒の供給位置を、前記ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置と連動して移動させる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の複合シートの切断方法。
【請求項８】
厚さ２００μｍ以下のガラスシートの切断方法であって、
該ガラスシート及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぐ、ガラスシートの切断方法。
【請求項９】
前記工程では、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させるとき、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部を前記樹脂膜に形成し、
前記工程後に、前記線状の熱劣化部を中心に前記樹脂膜を折り曲げることで、前記移動軌跡の終端部である前記ガラスシートの端部を切断する、請求項８に記載のガラスシートの切断方法。
【請求項１０】
前記樹脂膜が切断されていない状態で、前記樹脂膜と前記ガラスシートとを剥離する、請求項８又は９に記載のガラスシートの切断方法。
【請求項１１】
前記工程では、前記ガラスシートに対して前記樹脂膜側とは反対側から前記レーザ光を照射する、請求項８〜１０のいずれか一項に記載のガラスシートの切断方法。
【請求項１２】
前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックの起点となる初期クラックを前記ガラスシートに形成する工程をさらに有する、請求項８〜１１のいずれか一項に記載のガラスシートの切断方法。
【請求項１３】
前記工程では、前記ガラスシートを冷媒で局所的に冷却し、前記ガラスシートにおける冷媒の供給位置を、前記ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置と連動して移動させる、請求項８〜１２のいずれか一項に記載のガラスシートの切断方法。
【請求項１４】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の複合シートの切断方法によって得られるものであって、ガラスシート及び該ガラスシートと結合する樹脂膜を含み、切断により得られたガラスシートの切断面と、切断により得られた樹脂膜の切断面とが面一である、複合シートの切断片。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合シートの切断方法、及びガラスシートの切断方法、複合シートの切断片に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスシート及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートが知られている。この複合シートは、ガラスシートの耐薬品性、耐熱性と、樹脂膜のフレキシブル性とを両方有し、その特性を活かして、例えばディスプレイ、太陽電池等の製造に用いられる。【０００３】
近年、複合シートの切断方法として、レーザ光を用いる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。【０００４】
また、ガラスシートの切断方法として、ガラスシートをレーザ光で局所的に加熱し、熱応力によって、ガラスシートにクラックを形成する方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】日本国特表２０１０−５０１４５７号公報
【特許文献２】日本国特開２０１０−９０００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ガラスシートの厚さが薄くなると、ガラスシートに形成されるクラックがガラスシートを厚さ方向に貫通するようになる。【０００７】
そうすると、クラックの形成時に、クラックを挟んだ両側のガラスがつながっていないので、ガラスが変形しやすく、クラックの位置が所望の位置から外れやすかった。【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、切断精度の良い複合シートの切断方法、切断精度の良いガラスシートの切断方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の一の態様は、
厚さ２００μｍ以下のガラスシート、及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートの切断方法であって、
前記複合シートの前記ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぎ、該工程後に前記樹脂膜が切断される。【００１０】
また、本発明の他の一の態様は、
厚さ２００μｍ以下のガラスシートの切断方法であって、
該ガラスシート及び該ガラスシート上に形成される樹脂膜を含む複合シートのガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度で前記ガラスシートを局所的に加熱し、前記ガラスシートにおける前記レーザ光の照射位置を移動させ、移動軌跡に沿って、前記ガラスシートを厚さ方向に貫通するクラックを伸展させる工程を有し、
該工程では、前記樹脂膜が前記クラックをまたいで、前記クラックを挟んだ両側のガラスをつなぐ。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、切断精度の良い複合シートの切断方法、切断精度の良いガラスシートの切断方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態による複合シートの切断方法の第１の工程を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態による複合シートの切断方法の第２の工程を示す斜視図である。
【図３】図２のガラスシートのレーザ照射面におけるレーザ光の寸法の説明図である。
【図４】図２のレーザ走査後の複合シートの状態を示す斜視図である。
【図５】図４の樹脂膜の状態を示す斜視図である。
【図６】図２のレーザ走査後に支持台から取り外すときの複合シートの状態を示す側面図である。
【図７】図６の工程後の複合シートの状態を示す斜視図である。
【図８】本発明の第１の実施形態による複合シートの切断方法の第３の工程を示す側面図である。
【図９】図８の第３の工程後に得られる切断片を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態によるガラスシートの切断方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。
【００１４】
［第１の実施形態］
図１〜図９は、本発明の第１の実施形態による複合シートの切断方法の説明図である。
【００１５】
本発明の複合シート１０は、図１に示すように、ガラスシート１２、及びガラスシート１２上に形成される樹脂膜１４を含む。複合シート１０は、ガラスシート１２の耐薬品性、耐熱性と、樹脂膜１４のフレキシブル性とを両方有し、その特性を活かして、例えばディスプレイ、太陽電池等の製造に用いられる。
【００１６】
ガラスシート１２のガラスの種類は、多種多様であってよく、例えばソーダライムガラス、無アルカリガラス等でよい。また、ガラスシート１２の成形方法は、一般的なものでよく、例えばフロート法、フュージョン法、リドロー法等でよい。
【００１７】
ガラスシート１２の０℃〜３００℃における平均線膨張係数（以下、単に「平均線膨張係数」という）は、例えば１０×１０−７／℃〜１００×１０−７／℃、好ましくは１０×１０−７／℃〜５０×１０−７／℃である。
【００１８】
ガラスシート１２の厚さは、２００μｍ以下である。ガラスシート１２の厚さが２００μｍ以下の場合、ガラスシート１２を渦巻き状に巻回してガラスロールを作製することが可能である。また、ガラスシート１２の厚さが２００μｍ以下の場合、図２に示すレーザ光２０の照射によってガラスシート１２に形成されるクラック３１が、ガラスシート１２を厚さ方向に貫通する。ガラスシート１２の厚さは、好ましくは１５０μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下、さらに好ましくは５０μｍ以下である。また、ガラスシート１２の厚さは、好ましくは１０μｍ以上である。
【００１９】
ガラスシート１２は、ガラスと樹脂との密着性を高めるため、予め表面処理が施されたものであってよい。表面処理としては、プライマー処理、オゾン処理、プラズマエッチング処理等が挙げられる。プライマーとしては、シランカップリング剤が例示できる。シランカップリング剤としては、アミノシラン類、エポキシシラン類、アルコキシシラン類、シラザン類等が例示できる。
【００２０】
樹脂膜１４をガラスシート１２上に形成する方法は、特に限定されないが、例えば液状の樹脂組成物をガラスシート１２に塗布し、樹脂組成物を固化させる方法、樹脂フィルムをガラスシート１２に貼り付ける方法のいずれでもよい。樹脂フィルムは、ガラスと樹脂との密着性を高めるため、予め表面処理が施されたものであってよく、例えばガラスと接触する面に粘着剤が塗布されたものであってよい。この場合、樹脂膜１４は、基材としての樹脂フィルムと、粘着剤とからなる。粘着剤としては、イソシアネート系、ポリウレタン系、ポリエステル系、アクリル系、ポリエチレンイミン系、ゴム系、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、シリコーン系、ポリイミドシリコーン系等が挙げられる。
【００２１】
樹脂膜１４は、ガラスシート１２の切断位置（つまり、ガラスシート１２におけるレーザ光２０（図２参照）の照射位置の移動軌跡）の少なくとも一部に形成され、ガラスシート１２の少なくとも切断終了位置に形成されることが好ましく、ガラスシート１２の切断位置の全体にわたって形成されることがより好ましい。
【００２２】
樹脂膜１４は、詳しくは後述するが、レーザ光２０の照射でガラスシート１２に形成されるクラック３１をまたいで、クラック３１を挟んだ両側のガラス１２１、１２２をつなぐ役割を果たす。そのため、少なくとも、クラック３１（つまり、ガラスシート１２におけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の中心線）からクラック３１と直交する両方向にそれぞれ２．５ｍｍ以内の領域が樹脂膜１４で覆われていることが好ましい。また、少なくとも、クラック３１からクラック３１と直交する両方向にそれぞれ５ｍｍ以内の領域が樹脂膜１４で覆われていることがより好ましい。
【００２３】
樹脂膜１４は、ガラスシート１２よりも大きくても小さくてもよい。樹脂膜１４は、ガラスシート１２と同じ大きさを有することが特に好ましい。
【００２４】
樹脂膜１４は、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれで形成されてもよいが、図２に示すレーザ光２０でガラスシート１２を局所的に加熱するとき、樹脂膜１４が裂けて切断されないように熱硬化性樹脂で形成されるものが好ましい。熱硬化性樹脂としては、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシ（ＥＰ）等が用いられる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリアミド（ＰＡ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリル（ＰＭＭＡ）、ウレタン（ＰＵ）等が用いられる。尚、樹脂膜１４は、光硬化性樹脂で形成されてもよい。
【００２５】
また、樹脂膜１４は、耐熱性や強度、成形性などの向上のため、無機フィラーを含んでもよい。
【００２６】
樹脂膜１４は、ガラスシート１２の片面に形成されることが好ましく、ガラスシート１２のレーザ光２０が入射する面１２ａ（以下、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａという）と反対側の面に形成されることが好ましい。
【００２７】
樹脂膜１４の厚さは、樹脂膜１４の種類によるが、例えば１μｍ〜２００μｍ、より好ましくは１μｍ〜１００μｍ、さらに好ましくは１μｍ〜５０μｍである。樹脂膜１４の厚さが厚くなりすぎると、樹脂膜１４を折り曲げることで樹脂膜１４を割断できなくなる。また、樹脂膜１４の厚さが薄くなりすぎると、レーザ光２０でガラスシート１２を局所的に加熱するときに樹脂膜１４が裂けて切断されてしまう。尚、樹脂膜１４が基材と粘着剤とからなる場合、樹脂膜１４の厚さは、基材と粘着剤との合計の厚さである。
【００２８】
樹脂膜１４の剥離強度は、ガラスシート１２を平坦に保持しながら、ガラスシート１２から樹脂膜１４を引き剥がす１８０°剥離試験（ＪＩＳ  Ｋ６８５４−２）で測定される。レーザ光２０の照射時に樹脂膜１４がガラスシート１２の変形を抑制できるように、樹脂膜１４の剥離強度は、例えば０Ｎ／２５ｍｍよりも大きく、好ましくは０．０１Ｎ／２５ｍｍ以上、より好ましくは０．１Ｎ／２５ｍｍ以上である。
【００２９】
複合シートの切断方法は、例えば、ガラスシート１２に初期クラック３０を形成する第１の工程（図１参照）と、ガラスシート１２を厚さ方向に貫通するクラック３１を形成する第２の工程（図２参照）と、樹脂膜１４を切断する第３の工程（図８参照）とを有する。
【００３０】
第１の工程は、図１に示すように、ガラスシート１２に初期クラック３０を形成する。初期クラック３０は、ガラスシート１２の切断開始位置に形成され、ガラスシート１２の端部に形成されてよい。初期クラック３０は、ホイールカッタやポイントカッター、ヤスリ、レーザ等で形成される。
【００３１】
第１の工程は、ガラスシート１２上に樹脂膜１４を形成する前に行われてもよいし、ガラスシート１２上に樹脂膜１４を形成した後に行われてもよい。後者の場合、初期クラック３０形成時に、ガラスシート１２が樹脂膜１４で補強されているので、ガラスシート１２の破損を抑えることができる。
【００３２】
第１の工程は、任意の工程であって、なくてもよい。例えば、ガラスシート１２の端面が砥石等で研削されたものである場合、研削によって形成されるマイクロクラックを初期クラックとして利用できる。
【００３３】
第２の工程は、図２に示すように、複合シート１０のガラスシート１２に局所的にレーザ光２０を照射し、ガラスの徐冷点以下の温度でガラスシート１２を局所的に加熱し、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置を移動させる。
【００３４】
ガラスシート１２におけるレーザ２０の照射位置の移動のため、ガラスシート１２を移動させてもよいし、レーザ光２０の光源を移動させてもよく、両者を移動させてもよい。ガラスシート１２の移動は、例えばガラスシート１２を支持するステージの移動、又はガラスシート１２を搬送する搬送ロールの回転により行われる。搬送ロールは、その中心線を中心に回転させる。ガラスシート１２の移動の代わりに、ガラスシート１２の回転を行ってもよい。ガラスシート１２の回転は、ガラスシート１２を支持するステージの回転により行われる。ステージは、ステージに突設される回転軸を中心に回転させる。ガラスシート１２の回転は、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置の移動軌跡が曲線状の場合に特に有効である。また、ガラスシート１２におけるレーザ２０の照射位置の移動のため、光源からのレーザ光をガラスシート１２に向けて反射するガルバノミラーを回転させてもよい。
【００３５】
ところで、ガラスがガラスの徐冷点を超える温度で加熱されると、ガラスの粘性流動によって、熱応力が緩和されてしまう。なお加熱される温度は、徐冷点以下のなるべく高い温度が好ましい。すなわち加熱の温度範囲としては、（ガラスの徐冷点−２００℃）以上、ガラスの徐冷点以下が好ましく、（ガラスの徐冷点−１００℃）以上、ガラスの徐冷点以下がより好ましい。
【００３６】
本実施形態では、ガラスの徐冷点以下の温度でガラスシート１２が局所的に加熱されるので、熱応力が生じる。レーザ光２０の照射位置には圧縮応力が生じ、その反作用で、レーザ光２０の照射位置の後方近傍には引張応力が生じる。生じた引張応力でガラスシート１２が切り開かれ、クラック３１が形成される。クラック３１は、ガラスシート１２を厚さ方向に貫通する。クラック３１は、レーザ光２０の照射位置に追従し、レーザ光２０の照射位置の移動軌跡に沿って伸展する。その移動軌跡は、直線状でも曲線状でもよく、直線状部分と曲線状部分の両方を有してよい。クラック３１は、初期クラック３０を起点として形成されてよい。ここで、「後方」とは、クラック３１の伸展方向と反対方向を意味し、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置の移動方向と反対方向を意味する。
【００３７】
また、一般的に、ガラスが部分的に融けると、融けた部分が冷えて固まるときに、熱収縮しようとする。このとき、融けた部分の熱収縮がその周辺部分によって妨げられ、マイクロクラックがランダムに形成される。
【００３８】
本実施形態では、ガラスの徐冷点以下の温度でガラスシート１２が局所的に加熱されるので、ガラスが溶融しない。そのため、滑らかなガラス切断面が得られ、強度の高いガラス切断面が得られる。
【００３９】
レーザ光２０は、光源から出射された後、集光レンズ等で集光され、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａに入射する。レーザ光２０は、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａに垂直に入射してもよいし、斜めに入射してもよい。
【００４０】
レーザ光２０の光源としては、例えばＣＯ２レーザ（波長１０６００ｎｍ）、中赤外光パラメトリック発振器（波長２６００ｎｍ〜３４５０ｎｍ）、Ｅｒ：ＹＡＧレーザ（波長２９４０ｎｍ）、Ｈｏ：ＹＡＧレーザ（波長２０８０ｎｍ）、Ｙｂファイバーレーザ（波長１０００ｎｍ〜１１００ｎｍ）、Ｙｂディスクレーザ（波長１０００ｎｍ〜１１００ｎｍ）、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（波長１０６４ｎｍ）、高出力半導体レーザ（波長８０８ｎｍ〜９８０ｎｍ）グリーンレーザ（波長５３２ｎｍ）、ＵＶレーザ（波長３５５ｎｍ）等が用いられる。
【００４１】
レーザ光２０の光源は、レーザ光を連続発振するＣＷレーザ、レーザ光を断続発振するパルスレーザのいずれでもよい。
【００４２】
ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａにおけるレーザ光２０の形状（スポット形状）は、レーザ光２０の光源の種類等に応じて適宜設定される。レーザ光２０の波長で、ガラスシート１２の光吸収率が変わるためである。例えば、光源がＣＯ２レーザの場合、レーザ光２０の波長が長く、レーザ光２０の大部分がガラスシート１２のレーザ照射面１２ａ近傍で熱として吸収される。そこで、光源がＣＯ２レーザの場合、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａにおけるレーザ光２０の形状は、レーザ光２０の照射位置の移動方向に細長い形状としてよい。レーザ光２０の照射位置が移動するとき、ガラスシート１２の切断位置を長時間にわたって加熱でき、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａから内部に熱が伝達する時間を確保できる。ガラスシート１２の内部が加熱されることで、ガラスシート１２を厚さ方向に貫通するクラック３１の形成が可能になる。
【００４３】
ガラスシート１２の厚さが２００μｍ以下の場合、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａから内部に熱が伝達する時間が短いので、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａにおけるレーザ光２０の形状は、例えば円形や矩形であってもよい。円形の場合、レーザ光２０の照射位置の移動軌跡が曲線状部分を含むとき、移動軌跡の曲線状部分の幅が一定となり、移動軌跡からクラック３１が外れ難い。楕円形や矩形の場合、移動軌跡の曲線状部分の幅を一定とするには、レーザ光２０の照射位置を移動させながら、レーザ光２０を光軸の周りに回動させればよい。例えばレーザ光２０の光源を、光軸の周りに回動させればよい。
【００４４】
ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａにおけるレーザ光２０の移動方向長さＬ（図３参照）は、特に限定されないが、例えば０．１ｍｍ〜６０ｍｍ、好ましくは１ｍｍ〜３０ｍｍである。また、ガラスシート１２のレーザ照射面１２ａにおけるレーザ光２０の移動直交方向長さＷ（図３参照）は、特に限定されないが、例えば０．０１ｍｍ〜１０ｍｍ、好ましくは０．１ｍｍ〜５ｍｍである。
【００４５】
第２の工程では、図２に示すように、ガラスシート１２を冷媒４０で局所的に冷却し、ガラスシート１２における冷媒４０の供給位置を、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置と連動して移動させてよい。冷媒４０の供給位置は、レーザ光２０の照射位置の後方近傍でよい。レーザ光２０の照射位置の後方に急激な温度勾配が生じ、レーザ光２０の照射位置と、クラック３１の先端位置との距離が短くなる。
【００４６】
冷媒４０は、ガス（例えば室温の圧縮空気）、液体（例えば室温の水）のいずれでもよく、両方を含むものでもよい。
【００４７】
ノズル５０は、例えば図２に示すように筒状に形成され、ガラスシート１２に向けて冷媒４０を吐出する。
【００４８】
ガラスシート１２における冷媒４０の供給位置の移動のため、ガラスシート１２が移動してもよいし、ノズル５０が移動してもよく、両者が移動してもよい。
【００４９】
本実施形態の第２の工程では、図２に示すように、ガラスシート１２にクラック３１を形成するとき、樹脂膜１４を切断しない。そのため、樹脂膜１４がクラック３１をまたいで、クラック３１を挟んだ両側のガラス１２１、１２２をつないでいる。クラック３１を挟んだ両側のガラス１２１、１２２が樹脂膜１４で連結されているので、クラック３１の形成時にガラスの変形が抑制され、クラック３１の位置が所望の位置から外れ難くなる。よって、ガラスシート１２の切断精度が良くなる。この効果は、樹脂膜１４がガラスシート１２の切断位置（つまり、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置の移動軌跡）の全体にわたって形成されている場合に顕著である。
【００５０】
第２の工程では、図２に示すように、ガラスシート１２に対して樹脂膜１４側とは反対側からレーザ光２０を照射してよい。レーザ光２０は、ガラスシート１２を透過する間に、ガラスシート１２の光吸収率に応じて減衰し、その後、樹脂膜１４に入射する。よって、樹脂膜１４に入射するレーザ光２０の強度が低く、樹脂膜１４が軟化、溶融し難い。樹脂膜１４の一部が溶融すると、溶融した部分が表面張力で引き裂かれることがある。
【００５１】
第２の工程では、図２に示すように、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置を移動させることで、移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部１４３を樹脂膜１４に形成してよい。ここで、「熱劣化」とは、熱によって炭化、発泡等が生じ、レーザ照射前の樹脂膜１４の引張強度（ＭＰａ）を基準として、レーザ照射後の樹脂膜１４の引張強度が０．０１％以上低下することを意味する。引張強度試験では、線状の熱劣化部１４３と直交する方向の引張応力を樹脂膜１４に加える。
【００５２】
線状の熱劣化部１４３が樹脂膜１４に形成されることで、熱劣化部１４３を中心に樹脂膜１４が折れ曲がりやすくなる。レーザ照射後の樹脂膜１４の引張強度は、レーザ照射前の樹脂膜１４の引張強度を基準として０．１％以上低下することが好ましく、１％以上低下することがより好ましい。
【００５３】
熱劣化部１４３は、樹脂膜１４におけるガラスシート１２と接触する面１４ａ（図５参照）に形成される。熱劣化部１４３は、図５に示すように樹脂膜１４を厚さ方向に貫通しなくてもよいし、貫通してもよい。尚、熱劣化部１４３には、ガラスシート１２のクラック３１に続く溝線（スクライブ線）が形成されてもよい。
【００５４】
ところで、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置を移動させるときに、移動軌跡の終端部であるガラスシート１２の端部には、図４に示すように、ガラスシート１２を厚さ方向に貫通するクラック３１が形成されにくい。クラック３１は基本的にはレーザ光２０の照射位置の後方に生じる引張応力で伸展するためである。なお該引張応力は、（ｉ）レーザ光照射による圧縮応力の反作用による引張応力、（ii）レーザ光の加熱による樹脂の熱膨張による引張応力、及び好適には（iii）冷媒の供給による引張応力が相互作用することにより生じると考えられる。またこの相互作用により切断精度が高くなっていると考えられる。
【００５５】
クラック３１の先端がガラスシート１２の端部に近づくと、僅かな外力で、クラック３１が伸展し、ガラスシート１２が分断される。そのため、レーザ光２０の照射後、複合シート１０を支持台から取り外すとき、複合シート１０が僅かに撓むと、その応力でガラスシート１２の端部が切断される。
【００５６】
複合シート１０が僅かに撓むとき、本実施形態では、図６に示すように線状の熱劣化部１４３を中心に樹脂膜１４が折れ曲がり、樹脂膜１４の変形に合わせてガラスシート１２の端部が折れ曲がる。線状の熱劣化部１４３はレーザ光２０の照射位置の移動軌跡に沿って形成されているので、その移動軌跡を中心にガラスシート１２の端部が折れ曲がる。よって、ガラスシート１２の端部がレーザ光２０の移動軌跡に沿って切断され、切断位置の制御が可能となる。この効果は、ガラスシート１２の切断終了位置に対応する樹脂膜１４の端部に熱劣化部１４３が形成されている場合に顕著である。
【００５７】
熱劣化部１４３は、樹脂膜１４の端（レーザ照射開始点）から端（レーザ照射終了点）まで形成されていることが望ましい。樹脂膜１４が、熱劣化部１４３を中心に折れ曲がりやすい。
【００５８】
尚、本実施形態では、レーザ光２０の照射位置の移動軌跡の終端部であるガラスシート１２の端部を切断する工程が、レーザ光２０の照射後、複合シート１０を支持台から取り外すときに行われるが、複合シート１０を支持台から取り外した後に行われてもよい。
【００５９】
第３の工程では、図８に示すように樹脂膜１４を切断し、複数の樹脂膜１４１、１４２を得る。これにより、複数の切断片１１１、１１２が得られる。一方の切断片１１１は、ガラスシート１２１、及びガラスシート１２１と結合する樹脂膜１４１を含む。また、他方の切断片１１２は、ガラスシート１２２及びガラスシート１２２と結合する樹脂膜１４２を含む。
【００６０】
本実施形態では、図４〜図７に示すように、ガラスシート１２におけるレーザ光２０の照射位置の移動軌跡に沿って、線状の熱劣化部１４３が樹脂膜１４に形成されている。よって、図８に示すように、線状の熱劣化部１４３を中心に樹脂膜１４を折り曲げることで、熱劣化部１４３に沿って樹脂膜１４を切断（割断）できる。線状の熱劣化部１４３を中心に樹脂膜１４を折り曲げるとき、ガラス切断面同士が擦れないように、樹脂膜１４を折り曲げることが好ましい。
【００６１】
線状の熱劣化部１４３は、レーザ光２０の照射位置の移動軌跡に沿って形成されている。そのため、図９に示すように、切断により得られたガラスシート１２１の切断面と、切断により得られた樹脂膜１４１の切断面とが面一である。同様に、切断により得られたガラスシート１２２の切断面と、切断により得られた樹脂膜１４２の切断面とが面一である。樹脂膜の切断面がガラスシートの切断面よりも凹んでいる場合に比べて、ガラスシート１２１、１２２が傷付きにくく、切断片１１１、１１２の保管が容易である。
【００６２】
尚、本実施形態の第３の工程は、樹脂膜１４を折り曲げることで、樹脂膜１４を切断するが、樹脂膜１４の切断方法は特に限定されない。例えば、樹脂膜の切断面がガラスシートの切断面と面一となる樹脂膜の切断方法として、線状の熱劣化部に沿って樹脂膜を引き裂く方法、カッターで線状の熱劣化部に沿って樹脂膜を切り裂く方法も使用可能である。また、樹脂膜の切断面がガラスシートの切断面よりも多少凹むが、樹脂膜１４の切断方法として、レーザで樹脂膜を局所的に気化させる方法も使用可能である。
【００６３】
［第２の実施形態］
上記実施形態は、ガラスシート１２及び樹脂膜１４を含む複合シート１０の切断方法に関する。
【００６４】
一方、本実施形態は、ガラスシート１２の切断方法に関する。ガラスシート１２の切断方法は、複合シート１０の切断方法と同様に図１〜図７の工程を有してよいが、これらの工程は同じ工程であるので、説明を省略する。
【００６５】
図１０は、本発明の第２の実施形態によるガラスシートの切断方法の説明図であって、図７の工程に続いて行われる工程を示す図である。
【００６６】
ガラスシート１２の切断方法は、図１０に示すように、ガラスシート１２と樹脂膜１４とを剥離する工程を有する。ガラスシート１２と樹脂膜１４とを剥離する場合、剥離時にガラスシート１２が破損しないように、樹脂膜１４の剥離強度は、例えば３Ｎ／２５ｍｍ以下、好ましくは１Ｎ／２５ｍｍ以下である。
【００６７】
ガラスシート１２と樹脂膜１４との剥離方法は、特に限定されないが、例えばガラスシート１２と樹脂膜１４との界面に薄刃を挿入し剥離起点を作製する工程と、ガラスシート１２を平坦に保持しながら、樹脂膜１４を剥離起点から順次撓み変形させる工程とを有してよい。剥離の際に、ガラスシート１２を平坦に保持することで、ガラスシート１２の破損を低減できる。
【００６８】
ガラスシート１２と樹脂膜１４とを剥離するとき、樹脂膜１４が切断されていないことが好ましい。１回の作業で、複数のガラス１２１、１２２と、樹脂膜１４との剥離が可能である。
【００６９】
尚、ガラスシート１２と樹脂膜１４とを剥離する工程は、樹脂膜１４の切断後に行われてもよく、例えば図８の工程に続いて行われてもよい。
【００７０】
ガラスシートの切断方法は、ガラスシート１２上に樹脂膜１４を形成する工程をさらに有してもよい。
【実施例】
【００７１】
以下の実施例および比較例において、特に記載しない限りガラスシートとして、１５０ｍｍ角のガラスシート（厚さ１００μｍ、平均線膨張係数３８×１０−７／℃、旭硝子社製無アルカリガラス、商品名：ＡＮ１００）を用いた。【００７２】
［実施例１］
実施例１では、ガラスシートの樹脂膜を形成する面を表面処理した後、樹脂膜としてポリイミド膜（１５０ｍｍ角、厚さ５μｍ）を形成した。ガラスシートの表面処理は、アミノプロピルトリメトキシシランをスピンコータで塗布して行った。ポリイミド膜は、ガラスシートの表面処理面にポリイミドワニス（荒川化学社製、Ｈ８５１Ｄ）をスピンコータで塗布し、２５０℃で３０分間熱処理することにより形成した。【００７３】
実施例１では、作製したガラスシート及びポリイミド膜からなる複合シートを図１〜図９に示す方法で切断した。【００７４】
先ず、ガラスシートを切断した。初期クラックは、矩形のガラスシートの４辺のうちの１辺に２０ｍｍピッチで８本形成した。複合シートはポリイミド膜を下向きにして支持台に載置した。レーザ光は、ＣＯ２レーザ（波長１０６００ｎｍ、出力３９Ｗ）からガラスシートに局所的に照射した。レーザ走査速度は１３０ｍｍ／ｓｅｃとした。ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置は、各初期クラックの形成位置から、初期クラックを形成する１辺と垂直に、該１辺と平行な他の１辺まで移動させた。その移動軌跡は、直線状とした。また、冷媒である霧状の液滴は、ノズルからガラスシートに局所的に供給した。冷媒の供給位置は、レーザ光の照射位置の後方近傍に位置させ、レーザ光の照射位置と連動して移動させた。【００７５】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部がポリイミド膜に形成された。ポリイミド膜は、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。【００７６】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心にポリイミド膜が僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。【００７７】
続いて、直線状の熱劣化部を中心にポリイミド膜を折り曲げ、熱劣化部に沿ってポリイミド膜を割断した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、樹脂膜の切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。【００７８】
このようにして、複合シートを切断した。複合シートの切断精度は、ガラスシートにおける実際の切断位置と、直線状の目標切断位置との間のずれ幅（以下、「ガラスシートにおける切断のずれ幅」という）で評価した。評価は、レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分とに分けて行った。【００７９】
実施例１では、レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は０ｍｍであった。【００８０】
［実施例２］
実施例２では、ポリイミドフィルム（１５０ｍｍ角、厚さ３８μｍ、荒川化学社製、商品名ポミラン）上にポリイミドシリコーン粘着剤（厚さ１０μｍ、荒川化学社製、商品名Ｈ８０２）を付けて積層樹脂フィルムを作製した。作製した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシート上に貼り付けて複合シートを作製した。【００８１】
次いで、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【００８２】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。【００８３】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が僅かに折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。【００８４】
続いて、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムを折り曲げ、熱劣化部に沿って積層樹脂フィルムを割断した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、積層樹脂フィルムの切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。【００８５】
このようにして、複合シートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は０ｍｍであった。【００８６】
［実施例３］
実施例３では、基材としてのポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルム（１５０ｍｍ角、厚さ５０μｍ）と、アクリル粘着剤（厚さ３０μｍ）とからなる積層樹脂フィルム（寺岡製作所社製、商品名６３５Ｆ）を用意した。用意した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシートに貼り付けて複合シートを作製した。【００８７】
次いで、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【００８８】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。【００８９】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。【００９０】
続いて、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムを折り曲げ、熱劣化部に沿って積層樹脂フィルムを切断（割断）した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、積層樹脂フィルムの切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。【００９１】
このようにして、複合シートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は０ｍｍであった。【００９２】
［実施例４］
実施例４では、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）フィルム（１５０ｍｍ角、厚さ５０μｍ、ゼオン社製、商品名ＺＦ１４）を用意した。用意したＣＯＰフィルムをコロナ放電により活性化処理し、ガラスシート上に加熱貼合して複合シートを作製した。【００９３】
次いで、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【００９４】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部がＣＯＰフィルムに形成された。ＣＯＰフィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。【００９５】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心にＣＯＰフィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。【００９６】
続いて、直線状の熱劣化部を中心にＣＯＰフィルムを折り曲げ、熱劣化部に沿ってＣＯＰフィルムを切断（割断）した。直線状の熱劣化部はガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って形成されているので、ＣＯＰフィルムの切断面と、ガラスシートの切断面とが略面一となった。【００９７】
このようにして、複合シートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は０ｍｍであった。【００９８】
［実施例５］
実施例５では、基材としてのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（厚さ１２５μｍ）と、アクリル粘着剤（厚さ１６μｍ）とからなる積層樹脂フィルム（１５０ｍｍ角、ソマール社製、商品名ソマタックＰＳ−２５０ＷＡ）を用意した。用意した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシートに貼り付けて複合シートを作製した。【００９９】
次いで、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【０１００】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。【０１０１】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。【０１０２】
続いて、ガラスシートと積層樹脂フィルムとの界面に薄刃を挿入し剥離起点を作製し、ガラスシート１２を平坦に保持しながら、積層樹脂フィルムを剥離起点から順次撓み変形させ、一度に複数のガラス単板短冊を剥離した。剥離強度は０．１１Ｎ／２５ｍｍであった。【０１０３】
このようにして、ガラスシートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は０ｍｍであった。【０１０４】
［実施例６］
実施例６では、基材としてのポリイミドフィルム（厚さ２５μｍ）と、アクリル粘着剤（厚さ２２μｍ）とからなる積層樹脂フィルム（１５０ｍｍ角、３Ｍ社製、品番７４１４）を用意した。用意した積層樹脂フィルムの粘着剤側をガラスシート上に貼り付けて複合シートを作製した。【０１０５】
次いで、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【０１０６】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。また、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って、直線状の熱劣化部が積層樹脂フィルムに形成された。積層樹脂フィルムは、クラックをまたいで、クラックを挟んだ両側のガラスをつないでいた。【０１０７】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、直線状の熱劣化部を中心に積層樹脂フィルムが僅かに折れ曲がり、変形した。その変形に合わせてガラスシートの端部が折れ曲がり、ガラスシートの端部が切断された。このようにして、ガラスシートを切断した。【０１０８】
続いて、ガラスシートと積層樹脂フィルムとの界面に薄刃を挿入し剥離起点を作製し、ガラスシートを平坦に保持しながら、積層樹脂フィルムを剥離起点から順次撓み変形させ、一度に複数のガラス単板短冊を剥離した。剥離強度は０．６９Ｎ／２５ｍｍであった。【０１０９】
このようにして、ガラスシートを切断した。レーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部と、それ以外の部分との両方において、ガラスシートにおける切断の最大ずれ幅は０ｍｍであった。【０１１０】
［比較例１］
比較例１では、樹脂膜の付いていない１５０ｍｍ角のガラスシートの切断を行った。具体的には、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【０１１１】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。【０１１２】
その後、支持台からガラスシートを取り外すとき、ガラスシートが撓み、その応力でクラックが意図しない方向に伸展した。【０１１３】
比較例１では、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部において、切断の最大ずれ幅は１ｍｍ〜３ｍｍであった。また、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部以外の部分において、切断の最大ずれ幅は１ｍｍ程度であった。【０１１４】
［比較例２］
比較例２では、ポリイミド膜の膜厚を０．５μｍとした他は、実施例１と同様に複合シートを作製した。【０１１５】
次いで、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的にレーザ光を照射し、その照射位置を移動させた。また、実施例１と同様に、ガラスシートに局所的に冷媒を供給し、その供給位置を移動させた。【０１１６】
その結果、初期クラックを起点として、レーザ光の照射位置の移動軌跡に沿って、８本のクラックがガラスシートに形成された。各クラックは、ガラスシートを板厚方向に貫通しており、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部には形成されなかった。一方、ポリイミド膜は、レーザ光の照射位置の移動軌跡の全体に沿って切断された。【０１１７】
その後、支持台から複合シートを取り外すとき、ガラスシートが撓み、その応力でクラックが意図しない方向に伸展した。このようにして、複合シートを切断した。【０１１８】
ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部において、切断の最大ずれ幅は１ｍｍ〜３ｍｍであった。また、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置の移動軌跡のうち、終端部以外の部分において、切断の最大ずれ幅は１ｍｍ程度であった。【０１１９】
［まとめ］
実施例１〜３、及び比較例１〜２の結果を表１〜表３にまとめる。【０１２０】
【表１】
2014030521.tif 000003
【０１２１】
【表２】
2014030521.tif 000004
【０１２２】
【表３】
2014030521.tif 000005
表１〜表３から、次のことが明らかである。ガラスシートを切断するためのレーザ走査時に、ガラスシートに樹脂膜が付いており、付いた樹脂膜が切断されない実施例１〜５では、比較例１〜２に比べて、ガラスシートの切断精度が良い。また、ガラスシートにおけるレーザ光の照射位置を移動することで、移動軌跡に沿って線状の熱劣化部を樹脂膜に形成する実施例１〜５では、比較例１〜２に比べて、レーザ光の照射位置の移動軌跡の終端部である、ガラスシートの端部での切断精度が良い。【０１２３】
以上、複合シートの切断方法、及びガラスシートの切断方法を実施形態等で説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されず、特許請求の範囲に記載された範囲で、種々の変形及び改良が可能である。【０１２４】
本出願は、２０１２年８月２１日に日本国特許庁に出願された特願２０１２−１８２６５６号に基づく優先権を主張するものであり、特願２０１２−１８２６５６号の全内容を本出願に援用する。
【符号の説明】
【０１２５】
１０  複合シート
１２  ガラスシート
１４  樹脂膜
１４３  熱劣化部
２０  レーザ光
３０  初期クラック
３１  クラック
４０  冷媒
５０  ノズル
【図１】
2014030521.tif 000006
【図２】
2014030521.tif 000007
【図３】
2014030521.tif 000008
【図４】
2014030521.tif 000009
【図５】
2014030521.tif 000010
【図６】
2014030521.tif 000011
【図７】
2014030521.tif 000012
【図８】
2014030521.tif 000013
【図９】
2014030521.tif 000014
【図１０】
2014030521.tif 000015
【国際調査報告】
2014030521.tif 000016
2014030521.tif 000017
2014030521.tif 000018
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