(57)【要約】本発明は、フリッカーの発生を抑制することができる液晶表示装置を提供する。本発明の液晶表示装置は、一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、式（Ｈ１）〜（Ｈ６）を満たす。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、
該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、
該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、
Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｈ１）〜（Ｈ６）を満たす
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｈ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｈ２）
１．２７＜Ｗ＜１．６０                  （Ｈ３）
１．２７＜Ｚ＜１．６０                  （Ｈ４）
Ｓ１≦Ｓ２                              （Ｈ５）
Ｌ１≦Ｌ２                              （Ｈ６）
（ただし、Ｓ１＝Ｓ２、かつＬ１＝Ｌ２の場合を除く。異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とする。異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。）
ことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｆ１）〜（Ｆ６）；
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｆ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｆ２）
１．２７＜Ｗ＜１．４５                  （Ｆ３）
１．２７＜Ｚ＜１．４５                  （Ｆ４）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｆ５）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｆ６）
を満たすことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｇ１）〜（Ｇ６）；
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｇ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｇ２）
１．２８＜Ｗ＜１．６０                  （Ｇ３）
１．２８＜Ｚ＜１．６０                  （Ｇ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｇ５）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｇ６）
を満たすことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項４】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ４）； 
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｓ１≦Ｓ２                              （Ｅ３）
Ｌ１≦Ｌ２                              （Ｅ４）
を満たす（ただし、Ｓ１＝Ｓ２、かつＬ１＝Ｌ２の場合を除く。）ことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。
【請求項５】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ａ１）〜（Ａ４）；
１．０７＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ａ１）
１．３３＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８３          （Ａ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ａ３）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ａ４）
を満たすことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置。
【請求項６】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｂ１）〜（Ｂ８）；
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｂ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｂ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｂ３）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｂ４）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｂ５）
０．５０≦ａ≦０．６４                  （Ｂ６）
−２．４０≦ｂ≦−１．８６              （Ｂ７）
２．７８≦ｃ≦３．５２                  （Ｂ８）
を満たすことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置。
【請求項７】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）； 
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．４４          （Ｃ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｃ２）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｃ３）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｃ４）
を満たすことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置。
【請求項８】
前記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｄ１）〜（Ｄ８）；
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｄ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｄ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｄ３）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｄ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｄ５）
７．６≦ａ≦１６．０                    （Ｄ６）
−２２．５≦ｂ≦−１３．１              （Ｄ７）
６．３５≦ｃ≦８．５５                  （Ｄ８）
を満たすことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置。
【請求項９】
更に、薄膜トランジスタを有し、該薄膜トランジスタが備える半導体層は、酸化物半導体を含有することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に関する。より詳しくは、画素電極の極性をフレームごとに異ならせる駆動方法を採用するＦＦＳモードの表示方式に好適に用いられる液晶表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、複屈折性を有する液晶分子の配向を制御することにより光の透過／遮断（表示のオン／オフ）を制御する機器である。液晶表示装置の液晶配向モードとしては、正の誘電率異方性を有する液晶分子を基板法線方向から見たときに９０°捩れた状態で配向させるＴＮ（Twisted Nematic）モード、負の誘電率異方性を有する液晶分子を基板面に対して垂直配向させる垂直配向（ＶＡ：Vertical Alignment）モード、正又は負の誘電率異方性を有する液晶分子を基板面に対して水平配向させて液晶層に対し横電界を印加する面内スイッチング（ＩＰＳ：In-Plane Switching）モード及びフリンジ電界スイッチング（ＦＦＳ：Fringe Field Switching）モード等が挙げられる。【０００３】
液晶表示装置の駆動方式としては、画素ごとに薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）等の能動素子を配置し、高画質を実現するアクティブマトリクス型の駆動方式が普及している。複数のＴＦＴ及び画素電極を備えるアレイ基板においては、複数の走査信号線と複数のデータ信号線とが互いに交差するように形成され、これらの交差点ごとにＴＦＴが設けられる。ＴＦＴは画素電極と接続されており、ＴＦＴのスイッチング機能により、画素電極への画像信号の供給が制御される。アレイ基板又は対向基板には、更に共通電極が設けられ、一対の電極を通じて液晶層内に電圧が印加される。【０００４】
横電界を印加して液晶分子の配向を制御する方式のうち、ＦＦＳモードは、ＩＰＳモードを改良して開口率を向上させた液晶配向モードである。ＦＦＳモードにおいては、画素電極内に複数のスリットが設けられる。画素電極と共通電極とは、同一基板内に形成され、画素電極と共通電極との間には絶縁膜が配置される。画素電極と共通電極との間に電圧を印加すると、画素電極に設けられたスリットの影響により、液晶層内に、横方向の電界のみならず縦方向の電界も発生する。これにより、スリット上に位置する液晶分子だけでなく、電極上に位置する液晶分子の配向も制御することができるので、ＩＰＳモードよりも開口率を向上させることができる。【０００５】
しかしながら、ＦＦＳモードの場合は、液晶分子のフレクソ分極（フレクソエレクトリック効果ともいう。）が原因で、フリッカーによる画質低下が起こりうる点が懸念されている。フレクソ分極とは、例えば、液晶分子にスプレイ配向、ベンド配向等の配向変形が起こったときに、液晶分子が非対称な構造を有することに起因して、巨視的な分極が誘起される現象をいう。【０００６】
液晶表示装置では、液晶材料の劣化を防ぐため、画素電極と共通電極との間の電位差の極性を一定周期で反転させる、いわゆる交流駆動が通常行われる。しかし、フレクソ分極が起こると、液晶分子は、正の電圧を印加したときと、負の電圧を印加したときとで異なる配向をとるため、電位差の正負の違いによって透過率が異なったものとなる。具体的には、画素電極に供給される電位の極性が１フレームごとに反転するフレーム反転駆動を行う際に同じ大きさ（絶対値）の電位を供給したとしても、１フレームごとに明るさが異なり、この明るさの違いが人間の目にフリッカー（ちらつき）として映ることになる。【０００７】
これに対しては、例えば、画素電極の中心部が画素の中心を横断し、かつ該中心部から引き出された櫛歯が画素の上下に延伸される構成とし、各櫛歯の幅及び隣り合う櫛歯同士の間隔を均一に保った上で、上下にそれぞれ伸びる櫛歯の数を異ならせる（例えば、特許文献１参照。）、又は、画素電極が複数の帯状部分を有する構成とし、各櫛歯の幅及び隣り合う櫛歯同士の間隔を均一に保った上で、隣り合う画素電極間にダミー電極を設け、隣り合う画素電極同士の間隔を従来よりも狭める（例えば、特許文献２参照。）といった検討がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−２５９６号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６９９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明者らは、このようなフリッカーの発生について、実際に、画素電極に正の電圧が印加されたときと、負の電圧が印加されたときとで、どのように輝度に違いが現れるかの検討を行った。図２３及び図２４は、一般的なＦＦＳモードの液晶表示装置において、画素電極に電圧を印加したときの一画素あたりの平面写真である。また、図２５及び図２６は、画素電極及び共通電極の断面模式図と、輝度分布を模式的に表したグラフとをまとめた図である。図２３及び図２５は、画素電極に対して正の電圧（＋２Ｖ）を印加したときを表し、図２４及び図２６は、画素電極に対して負の電圧（−２Ｖ）を印加したときを表す。【００１０】
図２５に示すように、画素電極に対して正の電圧を印加したときは、画素電極の櫛歯上（ライン）に相当する領域において輝度が落ち込み、画素電極の櫛歯間（スリット）に相当する領域において輝度が上がっている。このことから、図２３及び図２５に示すように、画素電極の櫛歯（ライン）上に沿って複数本の暗線が現れる。【００１１】
一方、図２６に示すように、画素電極に対して負の電圧を印加したときは、画素電極の櫛歯上（ライン）に相当する領域において輝度が上がり、画素電極の櫛歯間（スリット）に相当する領域において輝度が落ち込んでいる。このことから、図２４及び図２６に示すように、画素電極の櫛歯間（スリット）上に沿って複数本の暗線が現れる。【００１２】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、フリッカーの発生を抑制することができる液晶表示装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは、フリッカーの発生を抑制する方法について種々の検討を行ったところ、画素電極に正の電圧を印加したときと、負の電圧を印加したときとの画素単位での輝度の違いに着目した。そして、正の電圧を印加したときの輝度の大きさに対する、負の電圧を印加したときの輝度の大きさの比を、「輝度比」と定義したときに、その輝度比が１に近づけば近づくほど、よりフリッカーが視認されにくくなることを見出した。【００１４】
また、本発明者らは、更に鋭意検討を行い、このような輝度比の大きさは、電極が有する複数の櫛歯の幅、及び、複数のスリットの幅を変化させることによって調整することができることを見出した。具体的には、絶縁膜を介して電気的に隔離された櫛型電極及び平板電極からなる一対の電極を用意し、櫛型電極の櫛歯の幅をＬ、櫛型電極の隣り合う櫛歯間（スリット）の幅をＳとしたときに、Ｌ及びＳの少なくとも一方が、一つの画素内で異なる複数の幅をもつものとし、それぞれに合わせた適切なパラメータを設定することにより、上記「輝度比」をできるだけ１に近づけ、フリッカーの発生を抑制することができることを見出した。【００１５】
こうして、本発明者らは上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。【００１６】
以下、本発明の液晶表示装置に至るまでの具体的な検討内容について詳述する。【００１７】
まず、櫛歯の幅（Ｌ）がある値に固定され、スリットの幅（Ｓ）が複数の値に設定されている場合について検証を行った。図１は、本発明の液晶表示装置が備える画素電極及び共通電極の配置関係の一例を示す断面模式図である。上記液晶表示装置では、画素電極１１の櫛歯の幅（Ｌ）が固定されているが、スリットの幅（Ｓ）が固定されていない。すなわち、画素電極１１の複数のスリットは、それぞれ幅が異なる少なくとも二つのスリットを含み、複数の櫛歯は、それぞれ幅が同じである。共通電極１５は、画素電極１１よりも下層に配置されている。【００１８】
図２は、櫛歯の幅（Ｌ）の値を固定し、スリットの幅（Ｓ）の値を振ったときの、スリットの幅（Ｓ）と輝度比（＝負極性の電圧印加時の輝度／正極性の電圧印加時の輝度）との関係を示すグラフである。図２における、円（○）で表わされる点が、櫛歯の幅（Ｌ）を３．０μｍに固定したときを表し、菱形（◇）で表わされる点が、櫛歯の幅（Ｌ）を３．３μｍに固定したときを表し、三角（△）で表わされる点が、櫛歯の幅（Ｌ）を４．０μｍに固定したときを表し、四角（□）で表わされる点が、櫛歯の幅（Ｌ）を４．５μｍに固定したときを表す。図２のグラフを参考に、トータルの輝度比が１に近づくように各スリットの幅を調節することで、フリッカーの発生を抑制することができる。【００１９】
また、幅の異なる複数のスリットのうちの、一つのスリットの幅をＳ１、他の一つのスリットの幅をＳ２とし、複数の櫛歯のうちの、一つの櫛歯の幅をＬ１（＝Ｌ）、他の櫛歯の幅をＬ２（＝Ｌ）としたときに、Ｓ１及びＳ２が取り得る値を図２のグラフをもとに検証し、下記表１にまとめた。下記表１においては、櫛歯の幅Ｌが３．０μｍの場合、３．３μｍの場合、及び、４．０μｍの場合の３つを掲載している。また、Ｓ１及びＳ２が取り得る値を参考に、Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌが取り得る値を算出し、表１にまとめた。【００２０】
【表１】
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【００２１】
そして、表１を参考に、適切なパラメータを検討した結果、下記式（Ａ１）〜（Ａ４）で示される条件が得られ、これらの要件を満たすことにより、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ａ３）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ａ４）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＝Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
１．０７＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ａ１）
１．３３＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８３          （Ａ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ａ３）
Ｌ１＝Ｌ２（＝Ｌ）                      （Ａ４）【００２２】
上記式（Ａ１）〜（Ａ４）においては、Ｌの上限が設定されていないが、図２に示されているように、Ｌの値を固定した場合は、いずれの曲線においても輝度比の極小点が形成されており、また、Ｌ＝４．５μｍのときの輝度比の極小点が１．０２（Ｓ＝約５．５）であったことから、Ｌ≦４．５μｍの条件を満たすことにより、輝度比を１に近づけやすくなることがわかる。したがって、Ｌは下記式（Ａ５）；
Ｌ≦４．５μｍ                          （Ａ５）
を満たすことが好ましい。【００２３】
上記式（Ａ１）〜（Ａ４）においては、Ｌの下限が設定されていないが、図２を考慮すると、Ｌが小さい分には、充分にフリッカーを抑制しうることがわかる。ただし、実際の液晶層への印加電圧の大きさ、設計限界等を考慮すると、Ｌは下記式（Ａ６）；
２．０μｍ≦Ｌ                          （Ａ６）
を満たすことが好ましい。【００２４】
上記式（Ａ１）〜（Ａ４）においては、Ｓ１及びＳ２の上限及び下限が示されていないが、最終的に輝度比が１に近づくように調整されればよいので、図２に示される曲線の特徴を考慮すると、Ｓ１及びＳ２の上限及び下限は必ずしも規定されないことがわかる。また、上記表１では、各曲線の、極小点よりも左側部分を中心としてＳ１及びＳ２の最小値及び最大値について検討を行っているが、各曲線の、極小点よりも右側部分は、左側部分に比べて、輝度比の変化量が小さいことから、少なくとも極小点よりも左側部分について検討を行えば、Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの最小値及び最大値の設定は充分である。ただし、各曲線の極小点における輝度比を考慮すると、Ｓ１は下記式（Ａ７）；
３．５μｍ≦Ｓ１                        （Ａ７）
を満たすことが好ましい。【００２５】
また、画素電極のスリットの幅が大きすぎる場合、液晶層内に充分な電圧を印加することができず、透過率が低下するおそれがある。そのため、透過率を考慮すると、Ｓ２は下記式（Ａ８）；
Ｓ２≦７．５μｍ                        （Ａ８）
を満たすことが好ましい。【００２６】
上述のように、フリッカーが最も抑制されるのは、輝度比が１．００となるときである。この点を考慮すると、Ｓ１及びＳ２の値は、輝度比を基準に設定されることが好ましく、図２を考慮すると、具体的には、下記式（Ａ９）及び（Ａ１０）；
Ｓ１＜４．５μｍ                        （Ａ９）
４．５μｍ＜Ｓ２                        （Ａ１０）
を満たすことが好ましい。【００２７】
一方、実際の量産時においては、フォトリソグラフィにおける露光、エッチング等の精度により、画素電極の櫛歯の幅が設計通り行われないことがある。ただし、設計ずれが起こったときの画素電極の櫛歯の幅の誤差は、各櫛歯について共通に起こり得るものであり、この誤差がスリットの幅に影響する。すなわち、櫛歯の幅が大きい方にばらついたときは、全てのスリットが細くなり、櫛歯の幅が小さい方にばらついたときは、全てのスリットの幅が太くなる。一方、図２に着目すると、いずれの曲線も、極小点を中心として対称に近い形状を有している。これらの点を考慮すると、それぞれ異なる大きさをもつ各スリットの幅Ｓ１及びＳ２は、極小点に相当するスリットの幅を基準として、それぞれ、より小さな値及びより大きな値に設定することが好ましい。これにより、スリットの幅の設計がいずれにばらついたときであっても、輝度比１からのずれが相殺される。この点を考慮すると、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ａ１１）及び（Ａ１２）；
Ｓ１＜５．５μｍ                        （Ａ１１）
５．５μｍ＜Ｓ２                        （Ａ１２）
を満たすことが好ましい。【００２８】
次に、幅の異なる複数のスリットのうちの、一つのスリットの幅をＳ１、他の一つのスリットの幅をＳ２とし、複数の櫛歯のうちの、一つの櫛歯の幅をＬ１（＝Ｌ）、他の櫛歯の幅をＬ２（＝Ｌ）としたときに、輝度比が、Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの値に対してどのような傾向を示すかについて検証を行った。図３〜５は、Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの関係を示すグラフである。輝度比のサンプルとしては、０．９９、１．００及び１．０１を採用した。図３は、櫛歯の幅（Ｌ）を３．０μｍとしたときのグラフであり、図４は、櫛歯の幅（Ｌ）を３．３μｍとしたときのグラフである。また、櫛歯の幅（Ｌ）が３．０μｍ及び３．３μｍの場合をまとめたものを図５として掲載した。図５においては、各輝度比について近似線を引いている。図３〜５より、櫛歯の幅（Ｌ）ごとにＳ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの関連性の傾向はほぼ一致し、また、輝度比間でも、Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの関連性の傾向はほぼ一致することがわかる。【００２９】
上記近似線をもとに、適切なパラメータを検討した結果、以下の関係式（Ｂ１）〜（Ｂ８）が得られた。なお、下記式（Ｂ４）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｂ５）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＝Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｂ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｂ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｂ３）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｂ４）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｂ５）
０．５０≦ａ≦０．６４                  （Ｂ６）
−２．４０≦ｂ≦−１．８６              （Ｂ７）
２．７８≦ｃ≦３．５２                  （Ｂ８）【００３０】
上記ａ〜ｃの値は、下記表２を参考に、許容される誤差の範囲として上記（Ｂ６）〜（Ｂ８）のように判断した。【００３１】
【表２】
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【００３２】
上記式（Ｂ１）〜（Ｂ８）においては、Ｌについて上限及び下限が設定されていないが、上記検討結果を考慮すると、Ｌは下記式（Ｂ９）；
Ｌ≦４．５μｍ                          （Ｂ９）
を満たすことが好ましく、また、下記式（Ｂ１０）；
２．０μｍ≦Ｌ                          （Ｂ１０）
を満たすことが好ましい。【００３３】
上記式（Ｂ１）〜（Ｂ８）においては、Ｓ１及びＳ２の上限及び下限が示されていないが、上記検討結果を考慮すると、Ｓ１は下記式（Ｂ１１）；
３．５μｍ≦Ｓ１                        （Ｂ１１）
を満たすことが好ましく、Ｓ２は下記式（Ｂ１２）；
Ｓ２≦７．５μｍ                        （Ｂ１２）
を満たすことが好ましい。【００３４】
そして同様に、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｂ１３）及び（Ｂ１４）；
Ｓ１＜４．５μｍ                        （Ｂ１３）
４．５μｍ＜Ｓ２                        （Ｂ１４）
を満たすことが好ましく、他の観点からは、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｂ１５）及び（Ｂ１６）；
Ｓ１＜５．５μｍ                        （Ｂ１５）
５．５μｍ＜Ｓ２                        （Ｂ１６）
を満たすことが好ましい。【００３５】
なお、上記式（Ａ１）〜（Ａ４）及び（Ｂ１）〜（Ｂ８）は、いずれも、画素電極の櫛歯の幅（Ｌ）が固定され、スリットの幅（Ｓ）が固定されていない場合を表している。そのため、それぞれの条件は組み合わせが可能であり、また、全ての条件を満たすようにパラメータを設定することで、よりフリッカー発生の抑制効果を高めることができる。【００３６】
すなわち、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、上記式（Ａ１）〜（Ａ４）及び（Ｂ１）〜（Ｂ８）の両方を満たすことが好ましく、上記式（Ａ５）〜（Ａ１２）又は（Ｂ９）〜（Ｂ１６）を更に満たすことがより好ましい。【００３７】
次に、スリットの幅（Ｓ）がある値に固定され、櫛歯の幅（Ｌ）が複数の値に設定されている場合について検証を行った。図６は、本発明の液晶表示装置が備える画素電極及び共通電極の配置関係の他の一例を示す断面模式図である。上記液晶表示装置では、画素電極１１のスリットの幅（Ｓ）が固定されているが、櫛歯の幅（Ｌ）が固定されていない。すなわち、画素電極１１の複数のスリットは、それぞれ幅が同じであり、複数の櫛歯は、それぞれ幅が異なる少なくとも二つの櫛歯を含む。共通電極１５は、画素電極１１よりも下層に配置されている。【００３８】
図７は、スリットの幅（Ｓ）を固定し、櫛歯の幅（Ｌ）の値を振ったときの、櫛歯の幅（Ｌ）と輝度比（＝負極性の電圧印加時の輝度／正極性の電圧印加時の輝度）との関係を示すグラフである。図７における、円（○）で表わされる点が、スリットの幅（Ｓ）を３．６μｍに固定したときを表し、三角（△）で表わされる点が、スリットの幅（Ｓ）を４．６μｍに固定したときを表し、四角（□）で表わされる点が、スリットの幅（Ｓ）を５．６μｍに固定したときを表す。図７のグラフを参考に、トータルの輝度比が１に近づくように各スリットの幅を調節することで、フリッカーの発生を抑制することができる。【００３９】
また、幅の異なる複数の櫛歯のうちの、一つの櫛歯の幅をＬ１、他の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、複数のスリットのうちの、一つのスリットの幅をＳ１（＝Ｓ）、他のスリットの幅をＳ２（＝Ｓ）としたときに、Ｌ１及びＬ２が取り得る値を図７のグラフをもとに検証し、下記表３にまとめた。下記表３においては、櫛歯の幅Ｌが３．６μｍの場合及び４．６μｍの場合を掲載している。また、Ｌ１及びＬ２が取り得る値を参考に、Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２が取り得る値を算出し、表３にまとめた。【００４０】
【表３】
2014017364.tif 000005
【００４１】
そして、表３を参考に、適切なパラメータを検討した結果、下記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）で示される条件が得られ、これらの要件を満たすことにより、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｃ３）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｃ４）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＝Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．４４          （Ｃ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｃ２）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｃ３）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｃ４）【００４２】
上記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）においては、Ｓの上限が設定されていないが、図７に示されているように、Ｓの値を固定した場合は、いずれの曲線においても輝度比の極大点が形成されており、また、Ｓ＝５．６μｍのときの輝度比の極大点がＬ＝５．５μｍであったことから、Ｓ≦５．６μｍの条件を満たすことにより、輝度比を１に近づけやすくなることがわかる。したがって、Ｓは下記式（Ｃ５）；
Ｓ≦５．６μｍ                          （Ｃ５）
を満たすことが好ましい。【００４３】
上記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）においては、Ｓの下限が設定されていないが、図７を考慮すると、Ｓが小さい分には、充分にフリッカーを抑制しうることがわかる。ただし、実際の液晶層への印加電圧の大きさ、設計限界等を考慮すると、Ｓは下記式（Ｃ６）；
２．０μｍ≦Ｓ                          （Ｃ６）
を満たすことが好ましい。【００４４】
上記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）においては、Ｌ１及びＬ２の上限及び下限が示されていないが、最終的に輝度比が１に近づくように調整されればよいので、図７に示される曲線の特徴を考慮すると、Ｌ１及びＬ２の上限及び下限は必ずしも規定されないことがわかる。また、上記表３では、各曲線の、極大点よりも左側部分を中心としてＬ１及びＬ２の最小値及び最大値について検討を行っているが、各曲線の、極大点よりも右側部分は、左側部分に比べて、輝度比の変化量が小さいことから、少なくとも極大点よりも左側部分について検討を行えば、Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の最小値及び最大値の設定は充分である。ただし、各曲線の極大点における輝度比を考慮すると、Ｌ１は下記式（Ｃ７）；
２．５μｍ≦Ｌ１                        （Ｃ７）
を満たすことが好ましい。【００４５】
また、画素電極のスリットの幅が大きすぎる場合、液晶層内に充分な電圧を印加することができず、透過率が低下するおそれがある。そのため、透過率を考慮すると、Ｌ２は下記式（Ｃ８）；
Ｌ２≦７．５μｍ                        （Ｃ８）
を満たすことが好ましい。【００４６】
上述のように、フリッカーが最も抑制させるのは、輝度比が１．００となるときである。この点を考慮すると、Ｌ１及びＬ２の値は、輝度比を基準に設定されることが好ましく、図７を考慮すると、具体的には、下記式（Ｃ９）及び（Ｃ１０）；
Ｌ１＜３．７μｍ                        （Ｃ９）
３．７μｍ＜Ｌ２                        （Ｃ１０）
を満たすことが好ましい。【００４７】
一方、実際の量産時においては、フォトリソグラフィにおける露光、エッチング等の精度により、画素電極の櫛歯の幅が設計通り行われないことがある。ただし、設計ずれが起こったときの画素電極の櫛歯の幅の誤差は、各櫛歯について共通に起こり得る。すなわち、櫛歯の幅が大きい方にばらついたときは、全ての櫛歯の幅が太くなり、櫛歯の幅が小さい方にばらついたときは、全ての櫛歯の幅が細くなる。一方、図７に着目すると、いずれの曲線も、極大点を中心として対称に近い形状を有している。これらの点を考慮すると、それぞれ異なる大きさをもつ各櫛歯の幅Ｌ１及びＬ２は、極大点に相当する櫛歯の幅を基準として、それぞれ、より小さな値及びより大きな値に設定することが好ましい。これにより、櫛歯の幅の設計がいずれにばらついたときであっても、輝度比１からのずれが相殺される。この点を考慮すると、Ｌ１及びＬ２は、下記式（Ｃ１１）及び（Ｃ１２）；
Ｌ１＜４．５μｍ                        （Ｃ１１）
４．５μｍ＜Ｌ２                        （Ｃ１２）
を満たすことが好ましい。【００４８】
次に、幅の異なる複数の櫛歯のうちの、一つの櫛歯の幅をＬ１、他の一つの櫛歯の幅をＬ２、スリットの幅をＳとしたときに、輝度比が、Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の値に対してどのような傾向を示すかについて検証を行った。図８〜１０は、Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の関係を示すグラフである。輝度比のサンプルとしては、０．９９、１．００及び１．０１を採用した。図８は、スリットの幅（Ｓ）を３．６μｍとしたときのグラフであり、図９は、スリットの幅（Ｓ）を４．６μｍとしたときのグラフである。また、スリットの幅（Ｓ）が３．６μｍ及び４．６μｍの場合をまとめたものを図１０として掲載した。図１０においては、各輝度比について近似線を引いている。図８〜１０より、スリットの幅（Ｓ）ごとにＳ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の関連性の傾向はほぼ一致し、また、輝度比間でも、Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の関連性の傾向はほぼ一致することがわかる。【００４９】
上記近似線をもとに、適切なパラメータを検討した結果、以下の関係式（Ｄ１）〜（Ｄ８）が得られた。なお、下記式（Ｄ４）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｄ５）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＝Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｄ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｄ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｄ３）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｄ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｄ５）
７．６≦ａ≦１６．０                    （Ｄ６）
−２２．５≦ｂ≦−１３．１              （Ｄ７）
６．３５≦ｃ≦８．５５                  （Ｄ８）【００５０】
上記ａ〜ｃの値は、下記表４を参考に、許容される誤差の範囲として上記（Ｄ６）〜（Ｄ８）のように判断した。【００５１】
【表４】
2014017364.tif 000006
【００５２】
上記式（Ｄ１）〜（Ｄ８）においては、Ｓについて上限及び下限が設定されていないが、上記検討結果を考慮すると、Ｓは下記式（Ｄ９）；
Ｓ≦５．６μｍ                          （Ｄ９）
を満たすことが好ましく、また、下記式（Ｄ１０）；
２．０μｍ≦Ｓ                          （Ｄ１０）
を満たすことが好ましい。【００５３】
上記式（Ｄ１）〜（Ｄ８）においては、Ｌ１及びＬ２の上限及び下限が示されていないが、上記検討結果を考慮すると、Ｌ１は下記式（Ｄ１１）；
２．５μｍ≦Ｌ１                        （Ｄ１１）
を満たすことが好ましく、Ｌ２は下記式（Ｄ１２）；
Ｌ２≦７．５μｍ                        （Ｄ１２）
を満たすことが好ましい。【００５４】
そして同様に、Ｌ１及びＬ２は、下記式（Ｄ１３）及び（Ｄ１４）；
Ｌ１＜３．７μｍ                        （Ｄ１３）
３．７μｍ＜Ｌ２                        （Ｄ１４）
を満たすことが好ましく、他の観点からは、Ｌ１及びＬ２は、下記式（Ｄ１５）及び（Ｄ１６）；
Ｌ１＜４．５μｍ                        （Ｄ１５）
４．５μｍ＜Ｌ２                        （Ｄ１６）
を満たすことが好ましい。【００５５】
なお、上記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）及び（Ｄ１）〜（Ｄ８）は、いずれも、画素電極のスリットの幅（Ｓ）が固定され、櫛歯の幅（Ｌ）が固定されていない場合を表している。そのため、それぞれの条件は組み合わせが可能であり、また、全ての条件を満たすようにパラメータを設定することで、よりフリッカー発生の抑制効果を高めることができる。【００５６】
すなわち、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、上記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）及び（Ｄ１）〜（Ｄ８）の両方を満たすことが好ましく、上記式（Ｃ５）〜（Ｃ１２）又は（Ｄ９）〜（Ｄ１６）を更に満たすことがより好ましい。【００５７】
次に、スリットの幅（Ｓ）が複数の値に設定され、櫛歯の幅（Ｌ）もまた複数の値に設定されている場合について検証を行った。このような場合、画素電極の複数のスリット及び複数の櫛歯のいずれもが、それぞれ異なる幅を持つ少なくとも２つの部位を有する。すなわち、画素電極の複数のスリットは、それぞれ幅が異なる少なくとも二つのスリットを含み、複数の櫛歯は、それぞれ幅が異なる少なくとも二つの櫛歯を含む。【００５８】
スリットの幅（Ｓ）の大きさ及び櫛歯の幅（Ｌ）の大きさは、上記表１及び表３に基づいて決定されている。下記表５は、表１と表３とをまとめた表である。【００５９】
【表５】
2014017364.tif 000007
【００６０】
そして、表５を参考に、適切なパラメータを検討した結果、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ４’）で示される条件が得られ、Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２がこれらの要件を満たすことにより、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｅ３’）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｅ４’）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｅ３’）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｅ４’）【００６１】
そして、以上をまとめると、スリットの幅（Ｓ）及び櫛歯の幅（Ｌ）の少なくとも一方が複数の値に設定されている場合には、以下の関係式（Ｅ１）〜（Ｅ４）を満たすことで、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｅ３）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２及びＳ１＝Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｅ４）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２及びＬ１＝Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｓ１≦Ｓ２                              （Ｅ３）
Ｌ１≦Ｌ２                              （Ｅ４）
（ただし、Ｓ１＝Ｓ２、かつＬ１＝Ｌ２の場合を除く。）【００６２】
上記式（Ｅ１）〜（Ｅ４）においては、Ｓ１及びＳ２の上限及び下限が示されていないが、上記検討結果を考慮すると、Ｓ１は下記式（Ｅ５）；
２．０μｍ≦Ｓ１≦５．６μｍ            （Ｅ５）
を満たすことが好ましく、Ｓ２は下記式（Ｅ６）；
２．０μｍ≦Ｓ２≦７．５μｍ            （Ｅ６）
を満たすことが好ましい。【００６３】
上記式（Ｅ１）〜（Ｅ４）においては、Ｌ１及びＬ２の上限及び下限が示されていないが、上記検討結果を考慮すると、Ｌ１は下記式（Ｅ７）；
２．０μｍ≦Ｌ１≦４．５μｍ            （Ｅ７）
を満たすことが好ましく、Ｌ２は下記式（Ｅ８）；
２．０μｍ≦Ｌ２≦７．５μｍ            （Ｅ８）
を満たすことが好ましい。【００６４】
次に、上述までの検討を基礎に、更に、異なる幅を持つスリット及び／又は櫛歯がそれぞれ占める面積比率の概念を取り入れた液晶表示装置の設計について検証を行った。【００６５】
図１１〜１３は、櫛歯の幅（Ｌ）の値を固定し、スリットの幅（Ｓ）の値を振ったときのＳ１／ＬとＳ２／Ｌとの関連性を示すグラフであり、面積比率ごとに比較がなされている。上述までと同様、それぞれ幅の異なるＳ１及びＳ２は、Ｓ１＜Ｓ２の関係にある。【００６６】
図１１〜１３のうち、図１１は、輝度比が０．９９であるときの各データをまとめたものであり、図１２は、輝度比が１．００であるときの各データをまとめたものであり、図１３は、輝度比が１．０１であるときの各データをまとめたものである。図１２においては、更に、Ｓ１及びＳ２の値をそれぞれ無限大に近づけたときの漸近線についても示されている。【００６７】
図１１〜１３における、円（○）で表わされる点が、Ｓ１のスリットが占める面積：Ｓ２のスリットが占める面積＝３：１であるときを表し、菱形（◇）で表わされる点が、Ｓ１のスリットが占める面積：Ｓ２のスリットが占める面積＝２：１であるときを表し、四角（□）で表わされる点が、Ｓ１のスリットが占める面積：Ｓ２のスリットが占める面積＝１：１であるときを表し、三角（△）で表わされる点が、Ｓ１のスリットが占める面積：Ｓ２のスリットが占める面積＝１：２であるときを表し、クロス（×）で表わされる点が、Ｓ１のスリットが占める面積：Ｓ２のスリットが占める面積＝１：３であるときを表す。【００６８】
図１１〜１３について考察すると、Ｓ１のスリットの占める面積が大きい場合を表す曲線の方が、Ｓ２のスリットの占める面積が大きい場合を表す曲線よりも、傾きが水平（傾き：０）に近い。言い換えると、Ｓ２の値を振ったときに、Ｓ１／Ｌの値の変化が小さく、これは、Ｓ１のスリットの占める面積をＳ２のスリットの占める面積よりも大きくした方が、プロセス内で線幅に誤差が生じたときであっても輝度変化が小さいことを意味する。それゆえ、Ｓ１のスリットの占める面積は、Ｓ２のスリットの占める面積よりも大きいことが好ましい。【００６９】
また、図１１〜１３のいずれにおいても、各曲線は、ある一点で交差している。この点は、Ｓ１／Ｌ＝Ｓ２／Ｌとなる点であり、例えば、輝度比が１．００の場合には、Ｓ１／Ｌ＝Ｓ２／Ｌ＝１．３６となる。Ｓ１のスリットの占める面積を無限大に近づけると、横軸に平行な漸近線が得られ、一方、Ｓ２のスリットの占める面積を無限大に近づけると、縦軸に平行な漸近線が得られる。以上のことから、輝度比が１．００を満たす場合であって、面積を変えたときに取りうるＳ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの値は、図１４に示される２本の漸近線の交差点に対して右下の領域（斜線部）内に位置することになり、この領域内に含まれるようにＬ、Ｓ１及びＳ２の値が設定されることで、フリッカーの抑制効果を得ることが可能となる。【００７０】
そして、以上の検討をもとに、輝度比が０．９９である場合と、輝度比が１．０１である場合との両方についても検討を行ったところ、下記表６が得られた。【００７１】
【表６】
2014017364.tif 000008
【００７２】
そして、表６を参考に、適切なパラメータを検討した結果、下記式（Ｆ１）〜（Ｆ６）で示される条件が得られ、これらの要件を満たすことにより、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｆ５）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｆ６）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＝Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｆ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｆ２）
１．２７＜Ｗ＜１．４５                  （Ｆ３）
１．２７＜Ｚ＜１．４５                  （Ｆ４）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｆ５）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｆ６）【００７３】
また、Ｓ１のスリットの占める面積とＳ２のスリットの占める面積との対比ではなく、Ｌ１の櫛歯の占める面積とＬ２の櫛歯の占める面積との対比について、同様にして検討を行ったところ、更に、下記表７が得られた。【００７４】
【表７】
2014017364.tif 000009
【００７５】
そして、表７を参考に、適切なパラメータを検討した結果、下記式（Ｇ１）〜（Ｇ６）で示される条件が得られ、これらの要件を満たすことにより、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｇ５）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＝Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｇ６）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｇ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｇ２）
１．２８＜Ｗ＜１．６０                  （Ｇ３）
１．２８＜Ｚ＜１．６０                  （Ｇ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｇ５）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｇ６）【００７６】
そして、表６及び表７を参考に、適切なパラメータを検討した結果、スリットの幅（Ｓ）が複数の値に設定され、櫛歯の幅（Ｌ）もまた複数の値に設定されている場合、下記式（Ｈ１）〜（Ｈ６’）で示される条件が得られ、Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２がこれらの要件を満たすことにより、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｈ５’）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｈ６’）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｈ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｈ２）
１．２７＜Ｗ＜１．６０                  （Ｈ３）
１．２７＜Ｚ＜１．６０                  （Ｈ４）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｈ５’）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｈ６’）【００７７】
そして、以上をまとめると、スリットの幅（Ｓ）及び櫛歯の幅（Ｌ）の少なくとも一方が複数の値に設定されている場合には、以下の関係式（Ｈ１）〜（Ｈ６）を満たすことで、フリッカー抑制効果を得ることができることがわかった。なお、下記式（Ｈ５）においてＳ１及びＳ２の単位はμｍであり、Ｓ１＜Ｓ２及びＳ１＝Ｓ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。また、下記式（Ｈ６）においてＬ１及びＬ２の単位はμｍであり、Ｌ１＜Ｌ２及びＬ１＝Ｌ２の判断においては、小数点第二位以下の値は、四捨五入するものとする。
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｈ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｈ２）
１．２７＜Ｗ＜１．６０                  （Ｈ３）
１．２７＜Ｚ＜１．６０                  （Ｈ４）
Ｓ１≦Ｓ２                              （Ｈ５）
Ｌ１≦Ｌ２                              （Ｈ６）
（ただし、Ｓ１＝Ｓ２、かつＬ１＝Ｌ２の場合を除く。）【００７８】
以上より、本発明の液晶表示装置の一側面は、一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｈ１）〜（Ｈ６）；
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｈ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｈ２）
１．２７＜Ｗ＜１．６０                  （Ｈ３）
１．２７＜Ｚ＜１．６０                  （Ｈ４）
Ｓ１≦Ｓ２                              （Ｈ５）
Ｌ１≦Ｌ２                              （Ｈ６）
（ただし、Ｓ１＝Ｓ２、かつＬ１＝Ｌ２の場合を除く。異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とする。異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。）を満たす液晶表示装置である。【００７９】
また、上記液晶表示装置において、櫛歯の幅（Ｌ）が一定の値に固定され、スリットの幅（Ｓ）が異なる複数の値に設定されている場合には、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｆ１）〜（Ｆ６）；
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｆ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｆ２）
１．２７＜Ｗ＜１．４５                  （Ｆ３）
１．２７＜Ｚ＜１．４５                  （Ｆ４）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｆ５）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｆ６）
を満たすことが好ましい。【００８０】
また、上記液晶表示装置において、スリットの幅（Ｓ）が一定の値に固定され、櫛歯の幅（Ｌ）が異なる複数の値に設定されている場合には、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｇ１）〜（Ｇ６）；
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｇ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｇ２）
１．２８＜Ｗ＜１．６０                  （Ｇ３）
１．２８＜Ｚ＜１．６０                  （Ｇ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｇ５）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｇ６）
を満たすことが好ましい。【００８１】
以上のパラメータは、複数のスリット及び複数の櫛歯がそれぞれ占める面積比率がどのような場合であっても採用することが可能なものであるが、複数のスリット及び複数の櫛歯がそれぞれ占める面積比率がほぼ同じである場合には、更に、以下のように規定することができる。【００８２】
すなわち、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ４）； 
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｓ１≦Ｓ２                              （Ｅ３）
Ｌ１≦Ｌ２                              （Ｅ４）
を満たす（ただし、Ｓ１＝Ｓ２、かつＬ１＝Ｌ２の場合を除く。）ことが好ましい。【００８３】
また、上記液晶表示装置において、櫛歯の幅（Ｌ）が一定の値に固定され、スリットの幅（Ｓ）が異なる複数の値に設定されている場合には、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ａ１）〜（Ａ４）；
１．０７＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ａ１）
１．３３＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８３          （Ａ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ａ３）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ａ４）
を満たすことが好ましく、又は、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｂ１）〜（Ｂ８）；
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｂ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｂ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｂ３）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｂ４）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｂ５）
０．５０≦ａ≦０．６４                  （Ｂ６）
−２．４０≦ｂ≦−１．８６              （Ｂ７）
２．７８≦ｃ≦３．５２                  （Ｂ８）
を満たすことが好ましい。【００８４】
また、上記液晶表示装置において、櫛歯の幅（Ｌ）が一定の値に固定され、スリットの幅（Ｓ）が異なる複数の値に設定されている場合には、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）； 
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．４４          （Ｃ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｃ２）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｃ３）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｃ４）
を満たすことが好ましく、又は、上記Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｄ１）〜（Ｄ８）；
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｄ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｄ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｄ３）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｄ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｄ５）
７．６≦ａ≦１６．０                    （Ｄ６）
−２２．５≦ｂ≦−１３．１              （Ｄ７）
６．３５≦ｃ≦８．５５                  （Ｄ８）
を満たすことが好ましい。
【発明の効果】
【００８５】
本発明によれば、フリッカーの発生を抑制することが可能な液晶表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の液晶表示装置が備える画素電極及び共通電極の配置関係の一例を示す断面模式図である。
【図２】櫛歯の幅（Ｌ）の値を固定し、スリットの幅（Ｓ）の値を振ったときの、スリットの幅（Ｓ）と輝度比との関係を示すグラフである。
【図３】Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの関係を示すグラフであり、櫛歯の幅（Ｌ）を３．０μｍとしたときのグラフである。
【図４】Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの関係を示すグラフであり、櫛歯の幅（Ｌ）を３．３μｍとしたときのグラフである。
【図５】Ｓ１／Ｌ及びＳ２／Ｌの関係を示すグラフであり、櫛歯の幅（Ｌ）が３．０μｍ及び３．３μｍの場合をまとめたグラフである。
【図６】本発明の液晶表示装置が備える画素電極及び共通電極の配置関係の他の一例を示す断面模式図である。
【図７】スリットの幅（Ｓ）を固定し、櫛歯の幅（Ｌ）の値の値を振ったときの、櫛歯の幅（Ｌ）と輝度比との関係を示すグラフである。
【図８】Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の関係を示すグラフであり、スリットの幅（Ｓ）を３．６μｍとしたときのグラフである。
【図９】Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の関係を示すグラフであり、スリットの幅（Ｓ）を４．６μｍとしたときのグラフである。
【図１０】Ｓ／Ｌ１及びＳ／Ｌ２の関係を示すグラフであり、スリットの幅（Ｓ）が３．６μｍ及び４．６μｍの場合をまとめたグラフである。
【図１１】櫛歯の幅（Ｌ）の値を固定し、スリットの幅（Ｓ）の値を振ったときのＳ１／ＬとＳ２／Ｌとの関連性を示すグラフであり、輝度比が０．９９であるときの各データをまとめたものである。
【図１２】櫛歯の幅（Ｌ）の値を固定し、スリットの幅（Ｓ）の値を振ったときのＳ１／ＬとＳ２／Ｌとの関連性を示すグラフであり、輝度比が１．００であるときの各データをまとめたものである。
【図１３】櫛歯の幅（Ｌ）の値を固定し、スリットの幅（Ｓ）の値を振ったときのＳ１／ＬとＳ２／Ｌとの関連性を示すグラフであり、輝度比が１．０１であるときの各データをまとめたものである。
【図１４】図１２における２本の漸近線を取り出して表したグラフである。
【図１５】実施形態１の液晶表示装置の斜視模式図である。
【図１６】実施形態１におけるＴＦＴ基板の画素構成を示す平面模式図である。
【図１７】実施形態１におけるＴＦＴ基板の画素構成の他の一例を示す平面模式図である。
【図１８】実施形態１の液晶表示装置の断面模式図である。
【図１９】図１６における画素電極の櫛歯付近を拡大した平面模式図である。
【図２０】縦方向に伸びるラインごとに、異なる極性が印加される場合のパターンを表す模式図である。
【図２１】縦方向に伸びるラインごとに、異なる極性が印加される場合のパターンを表す模式図であり、一方のラインのみを黒としたときの模式図である。
【図２２】横軸を時間軸としたときの、正極性のときの波形（輝度分布）と負極性のときの波形（輝度分布）を表すグラフである。
【図２３】一般的なＦＦＳモードの液晶表示装置において、画素電極に電圧を印加したときの一画素あたりの平面写真であり、画素電極に対して正の電圧（＋２Ｖ）を印加したときを表す。
【図２４】一般的なＦＦＳモードの液晶表示装置において、画素電極に電圧を印加したときの一画素あたりの平面写真であり、画素電極に対して負の電圧（−２Ｖ）を印加したときを表す。
【図２５】画素電極及び共通電極の断面模式図と、輝度分布を模式的に表したグラフとをまとめた図であり、画素電極に対して正の電圧（＋２Ｖ）を印加したときを表す。
【図２６】画素電極及び共通電極の断面模式図と、輝度分布を模式的に表したグラフとをまとめた図であり、画素電極に対して負の電圧（−２Ｖ）を印加したときを表す。
【発明を実施するための形態】
【００８７】
以下に実施形態を掲げ、本発明について図面を参照して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００８８】
以下の実施形態１〜６の液晶表示装置は、具体的には、テレビジョン、パーソナルコンピュータ、携帯電話、カーナビ、インフォメーションディスプレイ等に適用することができる。
【００８９】
実施形態１
図１５は、実施形態１の液晶表示装置の斜視模式図である。実施形態１の液晶表示装置は、ＴＦＴ基板１０と、対向基板２０と、ＴＦＴ基板１０及び対向基板２０に挟持された液晶層４０とを備える。液晶層４０中は液晶分子４１を含有しており、各基板１０、２０面に対して水平な方向に配向している。ＴＦＴ基板１０は、支持基板、ＴＦＴ、走査信号線、データ信号線、共通電極（第二電極）、画素電極（第一電極）、上記共通電極と画素電極とを異なる層に隔離する絶縁膜、配向膜等を備える。対向基板２０は、支持基板、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、配向膜等を備える。ＴＦＴ基板１０及び対向基板２０のそれぞれの液晶層側と反対側の面上には、偏光板が貼り付けられている。
【００９０】
図１６は、実施形態１におけるＴＦＴ基板の画素構成を示す平面模式図である。図１６に示すように、実施形態１におけるＴＦＴ基板を平面視したときに、走査信号線１２及びデータ信号線１３は、互いに交差するように、かつ画素電極１１を囲うように配置されている。走査信号線１２とデータ信号線１３との接点近傍には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）５３が設けられている。各走査信号線１２間には、走査信号線１２と平行に伸びる共通信号線１４が設けられている。共通信号線１４は、絶縁膜を貫通するコンタクト部３２を介して共通電極１５と接続されている。
【００９１】
ＴＦＴ５３は、半導体層５４、ゲート電極５５ａ、ソース電極５５ｂ及びドレイン電極５５ｃを備えるスイッチング素子である。ゲート電極５５ａは走査信号線１２の一部がそのまま利用されている。ソース電極５５ｂはデータ信号線１３から分岐して構成されており、ドレイン電極５５ｃの先端を囲うように屈曲している。ドレイン電極５５ｃは、画素電極１１に向かって引き伸ばされている。ドレイン電極５５ｃは、画素電極１１と重なる位置において幅広に形成されており、絶縁膜を貫通するコンタクト部３１を介して画素電極１１と接続されている。ゲート電極５５ａと半導体層５４とは、ゲート絶縁膜を介して互いに重なっている。ソース電極５５ｂは半導体層５４を介してドレイン電極５５ｃと接続されており、走査信号線１２を通じてゲート電極に入力される走査信号によって半導体層５４を流れる電流量の調整が行われ、データ信号線１３を通じてソース電極５５ｂ、半導体層５４、ドレイン電極５５ｃ、及び、画素電極１１の順に、入力されるデータ信号の伝達が制御される。
【００９２】
画素電極１１は、走査信号線１２及びデータ信号線１３で囲まれる領域ごとに複数配置された櫛型電極であり、外縁は略矩形を有している。画素電極１１には複数のスリット１１ａが形成されており、それにより、画素電極１１は複数の櫛歯１１ｂを有している。各スリット１１ａ及び各櫛歯１１ｂは、走査信号線１２の長さ方向と平行な方向に対して数°傾いた方向に伸びて形成されている。また、画素電極１１の複数のスリット１１ａ及び複数の櫛歯１１ｂは、それぞれ、画素電極１１の縦辺を二等分する線を境界線として、互いに対称な形状を有している。このような対称構造を持つことにより、液晶の配向のバランスを整えることができる。図１６においては、画素電極１１として、スリット１１ａの両端が閉じられた形状を有する例が示されているが、例えば、スリット１１ａの一端が開放され、スリット１１ａの他端が閉じられた形状を有するものを採用してもよい。
【００９３】
実施形態１では、同一の画素電極１１に対してフレームごとに異なる極性をもつデータ信号が供給されるフレーム反転駆動が採用されている。これにより、液晶材料の劣化を防ぐことができる。また、必要に応じて、１フレーム内で縦方向及び／又は横方向に隣同士位置する画素電極１１間で、それぞれ極性が異なるデータ信号が供給されるライン反転駆動又はドット反転駆動が採用されてもよい。このようなデータ信号は、データ信号線駆動回路によって生成することができる。
【００９４】
共通電極１５は平板状であり、画素電極のようなスリットが形成されておらず、それゆえ、櫛歯を有していない。共通電極１５に対しては、共通信号線１４を介して一定値に保たれた共通信号が供給される。図１６においては、共通電極１５は、走査信号線１２及びデータ信号線１３に囲まれる領域ごとに形成される例が示されているが、他の配線の導通経路が確保できる限り、必ずしも上記領域ごとに区切られる必要はなく、複数の上記領域にまたがって広く形成することもできる。
【００９５】
なお、データ信号が供給される電極と、共通信号が供給される電極とは、上述の構成に対し逆であってもよく、例えば、画素電極が平板状であり、共通電極が互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有していてもよい。
【００９６】
図１６に示す例では、画素電極１１のスリット１１ａが走査信号線１２に略平行に伸びて形成されているが、例えば、図１７に示すように、画素電極１１のスリット１１ａがデータ信号線１３に略平行に伸びて形成されていてもよい。また、画素電極１１のスリット１１ａは、図１７で示すように、先端が折れ曲がっていてもよい。すなわち、一つのスリット１１ａが、直線部１１ｃと、該直線部１１ｃに対し角度を持つ屈曲部１１ｄとで構成されていてもよい。これにより、スリット１１ａの末端近くで液晶の配向が乱れることを抑制することができる。
【００９７】
図１８は、実施形態１の液晶表示装置の断面模式図である。ＴＦＴ基板１０は、支持基板２１を母体として有し、支持基板２１上に共通電極１５、ゲート電極５５ａ、ゲート絶縁膜２２、半導体層５４、ソース／ドレイン電極５５ｂ，５５ｃ、パッシベーション膜（ＰＡＳ）２３、及び、画素電極１１が配置されている。また、ＴＦＴ基板１０の液晶層４０を挟んで対向する位置には対向基板２０が配置されている。共通電極１５と画素電極１１との間の電位差に基づき、液晶層４０中に横方向の電界（断面的に見たときには、円弧状の電界）が形成されることで液晶分子の向きが変化するため、これを利用して液晶層４０を透過する光の複屈折を変化させることができる。
【００９８】
図１９は、図１６における画素電極の櫛歯付近を拡大した平面模式図である。画素電極１１の櫛歯の長手方向と直交する方向を０°方位としたとき、例えば、一方の偏光板の偏光軸は、５°方位となるように、また、他方の偏光板の偏光軸は９５°方位となるようにそれぞれが配置される。また、ＴＦＴ基板１０及び対向基板２０が有する各配向膜に対しては、例えば、液晶分子４１の長軸が電圧無印加時において９５°方位となるように、配向処理がなされている。
【００９９】
実施形態１の液晶表示装置においては、画素電極のスリットについては、それぞれ幅が異なる２以上のスリットが形成され、少なくとも２つのスリットが、それぞれＳ１、Ｓ２の幅を有している。また、画素電極の櫛歯については、それぞれ幅が異なる２以上の櫛歯が形成され、少なくとも２つの櫛歯が、それぞれＬ１、Ｌ２の幅を有している。画素電極の櫛歯の本数及び画素電極のスリットの本数は特に限定されない。また、画素電極の複数のスリットは、上記Ｓ１及びＳ２の幅を持つ２種類のスリットのみならず、例えば、Ｓ３、Ｓ４といった第三、第四の幅を持つスリットを有していてもよい。また、画素電極の複数の櫛歯は、上記Ｌ１及びＬ２の幅を持つ２種類のスリットのみならず、例えば、Ｌ３、Ｌ４といった第三、第四の幅を持つ櫛歯を有していてもよい。
【０１００】
実施形態１において、画素電極のスリットの幅Ｓ１、Ｓ２及び櫛歯の幅Ｌ１、Ｌ２は、下記式（Ｈ１）〜（Ｈ６’）の条件をすべて満たすように設計されている。なお、上記複数のスリットのうち、いずれか２つのスリットが、また、上記複数の櫛歯のうち、いずれか２つの櫛歯が下記条件を満たしていればよいが、スリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とし、櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。
Ｓ１／Ｌ２＜Ｗ                          （Ｈ１）
Ｚ＜Ｓ２／Ｌ１                          （Ｈ２）
１．２７＜Ｗ＜１．６０                  （Ｈ３）
１．２７＜Ｚ＜１．６０                  （Ｈ４）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｈ５’）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｈ６’）
【０１０１】
このような条件設定により、フリッカーが視認されにくい、良好な表示を得ることができる。
【０１０２】
フリッカーの測定方法の一例について説明する。まず、フリッカーが見えやすくなるように、表示画面に一定の規則パターンが表示されるような設定を行う。例えば、ソースライン（データ信号線）反転駆動の場合、図２０に示すように、縦方向に伸びるラインごとに、正極性の電圧が印加されるライン６１と、負極性の電圧が印加されるライン６２とが交互に表れるようなパターンを作る。信号の周波数を６０Ｈｚに設定した場合には、１秒間に６０回、画素電極に印加される電圧の極性が入れ替わる。そして、図２１に示すように、正極性及び負極性の２つのライン６１、６２のうちの、一方の極性のライン（図２１においては、ライン６１）のみを黒にすれば、図２２に示すように、横軸を時間軸として、正極性のときの波形（輝度分布）と負極性のときの波形（輝度分布）とを確認することができる。フレクソ分極により、これらの波形には違いが発生することになるが、これらの波形の差が大きいと、輝度比（＝負極性の電圧印加時の輝度／正極性の電圧印加時の輝度）が大きいことになり、フリッカーが視認されやすくなることがわかる。
【０１０３】
実際の測定では、例えば、表示画面の一部の領域に対し、フォトダイオードの光を裏面から照射し、輝度計を用いることで、輝度を測定することができる。
【０１０４】
以下、各部材の材料及び製造方法について説明する。
【０１０５】
支持基板２１の材料としては、ガラス、プラスチック等の透明な材料が好適に用いられる。ゲート絶縁膜２２及びパッシベーション膜２３の材料としては、窒化シリコン、酸化シリコン、感光性アクリル樹脂等の透明な材料が好適に用いられる。ゲート絶縁膜２２及びパッシベーション膜２３は、例えば、窒化シリコン膜をプラズマ誘起化学気相成長（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition：ＰＥＣＶＤ）法により成膜し、窒化シリコン膜の上に、感光性アクリル樹脂膜をダイコート（塗布）法により成膜して形成される。コンタクト部３１、３２を形成するためにゲート絶縁膜２２又はパッシベーション膜２３中に設けられる穴は、ドライエッチング（チャネルエッチング）を行うことにより形成することができる。
【０１０６】
走査信号線１２、データ信号線１３、及び、ＴＦＴ５３を構成する各種電極は、スパッタリング法等により、チタン、クロム、アルミニウム、モリブデン等の金属、又は、それらの合金を、単層又は複数層で成膜し、続いて、フォトリソグラフィ法等でパターニングを行うことで形成することができる。これら各種配線及び電極は、同じ層に形成されるものについては、それぞれ同じ材料を用いることで製造が効率化される。
【０１０７】
ＴＦＴ５３の半導体層５４としては、例えば、アモルファスシリコン、ポリシリコン等からなる高抵抗半導体層（ｉ層）と、アモルファスシリコンにリン等の不純物をドープしたｎ＋アモルファスシリコン等からなる低抵抗半導体層（ｎ＋層）とを積層させたものを用いることができるが、その他としては、ＩＧＺＯ（インジウム−ガリウム−亜鉛−酸素）等の酸化物半導体が好適に用いられる。以下、詳述する。
【０１０８】
ＩＧＺＯ等の酸化物半導体を半導体層５４の材料として用いる場合、主に、（ｉ）電子移動度が高く、ＴＦＴのサイズを小さくすることができるので、開口率を多く確保することができる、及び、（ｉｉ）オフリーク特性が低いので、長時間電荷を保持することができ、低周波駆動が可能となる、の２つの利点を得ることができる。
【０１０９】
本発明においては、特に上記（ｉｉ）の点を考慮すると、ＩＧＺＯ等の酸化物半導体を半導体層５４の材料として用いることが好ましい。その理由は、ＦＦＳモードにおいては、フレクソ分極が原因でフリッカーが見えやすく、フリッカーは、画像信号の周波数を下げると更に見えやすくなる点にある。これに対し、本発明によれば、フレクソ分極に基づくフリッカーの発生が低減されることから、低周波駆動であってもフリッカーが見えにくくなるため、低周波駆動が採用可能となる。それゆえに、ＩＧＺＯ等の酸化物半導体を用いる形態は、本発明と相性が良いといえる。
【０１１０】
アクティブ駆動素子（ＴＦＴ）における酸化物半導体層（活性層）５４は、以下のようにして形成できる。まず、スパッタ法を用いて、例えば、厚さが３０ｎｍ以上、３００ｎｍ以下のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系半導体膜（以下、ＩＧＺＯ膜ともいう。）をゲート絶縁膜２２の上に形成する。この後、フォトリソグラフィ法により、ＩＧＺＯ膜の所定の領域を覆うレジストマスクを形成する。次いで、ＩＧＺＯ膜のうちレジストマスクで覆われていない部分をウェットエッチングにより除去する。この後、レジストマスクを剥離する。このようにして、島状の酸化物半導体層５４を得る。なお、ＩＧＺＯ膜の代わりに、他の酸化物半導体膜を用いて酸化物半導体層５４を形成してもよい。他の酸化物半導体としては、例えば、Ｚｎ−Ｏ系半導体（ＺｎＯ）、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｏ系半導体（ＩＺＯ）、及び、Ｚｎ−Ｔｉ−Ｏ系半導体（ＺＴＯ）が挙げられる。次いで、全体にパッシベーション膜２３を堆積させた後、パッシベーション膜２３をパターニングする。具体的には、まず、ゲート絶縁膜２２及び酸化物半導体層５４の上に、パッシベーション膜２３として、例えば、ＳｉＯ２膜（厚さ：約１５０ｎｍ）をＣＶＤ法によって形成する。パッシベーション膜２３は、ＳｉＯｙ等の酸化物膜を含むことが好ましい。酸化物膜を用いると、酸化物半導体層５４に酸素欠損が生じた場合に、酸化物膜に含まれる酸素によって酸素欠損を回復することが可能となるので、結果として、酸化物半導体層５４の酸化欠損をより効果的に低減できる。パッシベーション膜２３は、ＳｉＯ２膜からなる単層構造であっても、ＳｉＯ２膜を下層とし、ＳｉＮｘ膜を上層とする積層構造であってもよい。パッシベーション膜２３の厚さ（積層構造を有する場合には各層の合計厚さ）は５０ｎｍ以上、２００ｎｍ以下であることが好ましい。５０ｎｍ以上であれば、ソース／ドレイン電極５５ｂ，５５ｃのパターニング工程等において、酸化物半導体層５４の表面をより確実に保護できる。一方、２００ｎｍを超えると、ソース／ドレイン電極５５ｂ，５５ｃに、より大きい段差が生じるので、断線を引き起こすおそれがある。
【０１１１】
画素電極１１及び共通電極１５は、例えば、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ）等の透明導電材料、又は、それらの合金を、スパッタリング法等により単層又は複数層で成膜して形成した後、フォトリソグラフィ法等を用いてパターニングすることができる。画素電極１１に形成されるスリットは、パターニングの際に同時に形成することができる。
【０１１２】
カラーフィルタの材料としては、各色に対応する光を透過する感光性樹脂（カラーレジスト）が好適に用いられる。ブラックマトリクスの材料としては、遮光性を有するものである限り特に限定されず、黒色顔料を含有した樹脂材料、又は、遮光性を有する金属材料が好適に用いられる。
【０１１３】
このようにして作製されたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０は、絶縁材料からなる柱状のスペーサを一方の基板に複数設けた後、シール材を用いて互いに貼り合わされる。ＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間には液晶層４０が形成されるが、滴下法を用いる場合には、基板の貼合せ前に液晶材料の滴下が行われ、真空注入法を用いる場合には、基板の貼合せ後に液晶材料が注入される。そして、各基板の液晶層４０側と反対側の面上に、偏光板、位相差フィルム等を貼り付けることにより、液晶表示装置が完成する。更に、液晶表示装置に、ゲートドライバー、ソースドライバー、表示制御回路等を実装するとともに、バックライト等を組み合わせることによって、用途に応じた液晶表示装置が完成する。
【０１１４】
実施形態２
実施形態２の液晶表示装置は、画素電極の櫛歯の幅及びスリットの幅の設定が異なる点以外は、実施形態１と同様である。具体的には、実施形態２においては、画素電極の櫛歯については、それぞれ幅がＬで固定されている。また、画素電極のスリットについては、それぞれ幅が異なる２以上のスリットが形成され、少なくとも２つのスリットが、それぞれＳ１、Ｓ２の幅を有している。画素電極の櫛歯の本数及び画素電極のスリットの本数は特に限定されない。また、画素電極の複数の櫛歯は、上記Ｓ１及びＳ２の幅を持つ２種類のスリットのみならず、例えば、Ｓ３、Ｓ４といった第三、第四の幅を持つスリットを有していてもよい。
【０１１５】
実施形態２において、画素電極のスリットの幅Ｓ１、Ｓ２及び櫛歯の幅Ｌは、上記式（Ｈ１）〜（Ｈ４）を満たした上で、更に、下記式（Ａ１）〜（Ａ４）の条件をすべて満たすように設計されている。なお、上記複数のスリットのうち、少なくともいずれか２つのスリットが下記条件を満たしていればよいが、異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とする。
１．０７＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ａ１）
１．３３＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８３          （Ａ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ａ３）
Ｌ１＝Ｌ２（＝Ｌ）                      （Ａ４）
【０１１６】
なお、実施形態２においては、下記式（Ａ５）〜（Ａ１２）；
Ｌ≦４．５μｍ                          （Ａ５）
２．０μｍ≦Ｌ                          （Ａ６）
３．５μｍ≦Ｓ１                        （Ａ７）
Ｓ２≦７．５μｍ                        （Ａ８）
Ｓ１＜４．５μｍ                        （Ａ９）
４．５μｍ＜Ｓ２                        （Ａ１０）
Ｓ１＜５．５μｍ                        （Ａ１１）
５．５μｍ＜Ｓ２                        （Ａ１２）
のいずれか又は全てを満たすことが好ましい。
【０１１７】
実施形態３
実施形態３の液晶表示装置は、画素電極の櫛歯の幅及びスリットの幅の設定が異なる点以外は、実施形態１と同様である。具体的には、実施形態３においては、画素電極の櫛歯については、それぞれ幅がＬで固定されている。また、画素電極のスリットについては、それぞれ幅が異なる２以上のスリットが形成され、少なくとも２つのスリットが、それぞれＳ１、Ｓ２の幅を有している。画素電極の櫛歯の本数及び画素電極のスリットの本数は特に限定されない。また、画素電極の複数の櫛歯は、上記Ｓ１及びＳ２の幅を持つ２種類のスリットのみならず、例えば、Ｓ３、Ｓ４といった第三、第四の幅を持つスリットを有していてもよい。
【０１１８】
実施形態３において、画素電極のスリットの幅Ｓ１、Ｓ２及び櫛歯の幅Ｌは、上記式（Ｈ１）〜（Ｈ４）を満たした上で、更に、下記式（Ｂ１）〜（Ｂ８）の条件をすべて満たすように設計されている。なお、上記複数のスリットのうち、少なくともいずれか２つのスリットが下記条件を満たしていればよいが、異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とする。
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｂ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｂ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｂ３）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｂ４）
Ｌ１＝Ｌ２（＝Ｌ）                      （Ｂ５）
０．５０≦ａ≦０．６４                  （Ｂ６）
−２．４０≦ｂ≦−１．８６              （Ｂ７）
２．７８≦ｃ≦３．５２                  （Ｂ８）
【０１１９】
なお、実施形態３においては、下記式（Ｂ９）〜（Ｂ１６）；
Ｌ≦４．５μｍ                          （Ｂ９）
２．０μｍ≦Ｌ                          （Ｂ１０）
３．５μｍ≦Ｓ１                        （Ｂ１１）
Ｓ２≦７．５μｍ                        （Ｂ１２）
Ｓ１＜４．５μｍ                        （Ｂ１３）
４．５μｍ＜Ｓ２                        （Ｂ１４）
Ｓ１＜５．５μｍ                        （Ｂ１５）
５．５μｍ＜Ｓ２                        （Ｂ１６）
のいずれか又は全てを満たすことが好ましい。
【０１２０】
実施形態４
実施形態４の液晶表示装置は、画素電極の櫛歯の幅及びスリットの幅の設定が異なる点以外は、実施形態１と同様である。具体的には、実施形態４においては、画素電極のスリットについては、幅がＳで固定されている。また、画素電極の櫛歯については、少なくとも幅が異なる２以上の櫛歯が形成され、少なくとも２つの櫛歯が、それぞれＬ１、Ｌ２の幅を有している。画素電極の櫛歯の本数及び画素電極のスリットの本数は特に限定されない。また、画素電極の複数の櫛歯は、上記Ｌ１及びＬ２の幅を持つ２種類の櫛歯のみならず、例えば、Ｌ３、Ｌ４といった第三、第四の幅を持つ櫛歯を有していてもよい。
【０１２１】
実施形態４において、画素電極の櫛歯の幅Ｌ１、Ｌ２及びスリットの幅Ｓは、上記式（Ｈ１）〜（Ｈ４）を満たした上で、更に、下記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）の条件をすべて満たすように設計されている。なお、上記複数の櫛歯のうち、少なくともいずれか２つの櫛歯が下記条件を満たしていればよいが、異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．４４          （Ｃ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｃ２）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｃ３）
Ｓ１＝Ｓ２（＝Ｓ）                      （Ｃ４）
【０１２２】
なお、実施形態４においては、下記式（Ｃ５）〜（Ｃ１２）；
Ｓ≦５．６μｍ                          （Ｃ５）
２．０μｍ≦Ｓ                          （Ｃ６）
２．５μｍ≦Ｌ１                        （Ｃ７）
Ｌ２≦７．５μｍ                        （Ｃ８）
Ｌ１＜３．７μｍ                        （Ｃ９）
３．７μｍ＜Ｌ２                        （Ｃ１０）
Ｌ１＜４．５μｍ                        （Ｃ１１）
４．５μｍ＜Ｌ２                        （Ｃ１２）
のいずれか又は全てを満たすことが好ましい。
【０１２３】
実施形態５
実施形態５の液晶表示装置は、画素電極の櫛歯の幅及びスリットの幅の設定が異なる点以外は、実施形態１と同様である。具体的には、実施形態５においては、画素電極のスリットについては、幅がＳで固定されている。また、画素電極の櫛歯については、少なくとも幅が異なる２以上の櫛歯が形成され、少なくとも２つの櫛歯が、それぞれＬ１、Ｌ２の幅を有している。画素電極の櫛歯の本数及び画素電極のスリットの本数は特に限定されない。また、画素電極の複数の櫛歯は、上記Ｌ１及びＬ２の幅を持つ２種類の櫛歯のみならず、例えば、Ｌ３、Ｌ４といった第三、第四の幅を持つ櫛歯を有していてもよい。
【０１２４】
実施形態５において、画素電極のスリットの幅Ｓ１、Ｓ２及び櫛歯の幅Ｌは、上記式（Ｈ１）〜（Ｈ４）を満たした上で、更に、下記式（Ｄ１）〜（Ｄ８）の条件をすべて満たすように設計されている。なお、上記複数の櫛歯のうち、少なくともいずれか２つの櫛歯が下記条件を満たしていればよいが、異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｄ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｄ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｄ３）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｄ４）
Ｓ１＝Ｓ２（＝Ｓ）                      （Ｄ５）
７．６≦ａ≦１６．０                    （Ｄ６）
−２２．５≦ｂ≦−１３．１              （Ｄ７）
６．３５≦ｃ≦８．５５                  （Ｄ８）
【０１２５】
なお、実施形態５においては、下記式（Ｄ９）〜（Ｄ１６）；
Ｓ≦５．６μｍ                          （Ｄ９）
２．０μｍ≦Ｓ                          （Ｄ１０）
２．５μｍ≦Ｌ１                        （Ｄ１１）
Ｌ２≦７．５μｍ                        （Ｄ１２）
Ｌ１＜３．７μｍ                        （Ｄ１３）
３．７μｍ＜Ｌ２                        （Ｄ１４）
Ｌ１＜４．５μｍ                        （Ｄ１５）
４．５μｍ＜Ｌ２                        （Ｄ１６）
のいずれか又は全てを満たすことが好ましい。
【０１２６】
実施形態６
実施形態６の液晶表示装置は、画素電極の櫛歯の幅及びスリットの幅の設定が異なる点以外は、実施形態１と同様である。具体的には、実施形態６においては、画素電極のスリットについては、幅が異なる２以上のスリットが形成され、少なくとも２つのスリットが、それぞれＳ１、Ｓ２の幅を有している。また、画素電極の櫛歯については、少なくとも幅が異なる２以上の櫛歯が形成され、少なくとも２つの櫛歯が、それぞれＬ１、Ｌ２の幅を有している。画素電極の櫛歯の本数及び画素電極のスリットの本数は特に限定されない。また、画素電極の複数のスリットは、上記Ｓ１及びＳ２の幅を持つ２種類のスリットのみならず、例えば、Ｓ３、Ｓ４といった第三、第四の幅を持つスリットを有していてもよい。更に、画素電極の複数の櫛歯は、上記Ｌ１及びＬ２の幅を持つ２種類の櫛歯のみならず、例えば、Ｌ３、Ｌ４といった第三、第四の幅を持つ櫛歯を有していてもよい。
【０１２７】
実施形態６において、画素電極のスリットの幅Ｓ１、Ｓ２及び櫛歯の幅Ｌ１、Ｌ２は、上記式（Ｈ１）〜（Ｈ４）を満たした上で、更に、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ４’）の条件をすべて満たすように設計されている。なお、上記複数のスリットのうち、少なくともいずれか２つのスリットが下記条件を満たしていればよく、上記複数の櫛歯のうち、少なくともいずれか２つの櫛歯が下記条件を満たしていればよいが、異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とし、異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｅ３’）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｅ４’）
【０１２８】
なお、実施形態６においては、下記式（Ｅ５）〜（Ｅ８）；
２．０μｍ≦Ｓ１≦５．６μｍ            （Ｅ５）
２．０μｍ≦Ｓ２≦７．５μｍ            （Ｅ６）
２．０μｍ≦Ｌ１≦４．５μｍ            （Ｅ７）
２．０μｍ≦Ｌ２≦７．５μｍ            （Ｅ８）
のいずれか又は全てを満たすことが好ましい。
【符号の説明】
【０１２９】
１０：ＴＦＴ基板
１１、１１１：画素電極
１１ａ：スリット
１１ｂ：櫛歯
１１ｃ：スリットの直線部
１１ｄ：スリットの屈曲部
１２：走査信号線
１３：データ信号線
１４：共通信号線
１５、１１５：共通電極
２０：対向基板
２１：支持基板
２２：ゲート絶縁膜
２３：パッシベーション膜
３１、３２：コンタクト部
４０：液晶層
４１：液晶分子
５３：ＴＦＴ
５４：半導体層
５５ａ：ゲート電極
５５ｂ：ソース電極
５５ｃ：ドレイン電極
６１：正極性の電圧が印加されるライン
６２：負極性の電圧が印加されるライン
【図１】
2014017364.tif 000010
【図２】
2014017364.tif 000011
【図３】
2014017364.tif 000012
【図４】
2014017364.tif 000013
【図５】
2014017364.tif 000014
【図６】
2014017364.tif 000015
【図７】
2014017364.tif 000016
【図８】
2014017364.tif 000017
【図９】
2014017364.tif 000018
【図１０】
2014017364.tif 000019
【図１１】
2014017364.tif 000020
【図１２】
2014017364.tif 000021
【図１３】
2014017364.tif 000022
【図１４】
2014017364.tif 000023
【図１５】
2014017364.tif 000024
【図１６】
2014017364.tif 000025
【図１７】
2014017364.tif 000026
【図１８】
2014017364.tif 000027
【図１９】
2014017364.tif 000028
【図２０】
2014017364.tif 000029
【図２１】
2014017364.tif 000030
【図２２】
2014017364.tif 000031
【図２５】
2014017364.tif 000032
【図２６】
2014017364.tif 000033
【図２３】
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【図２４】
2014017364.tif 000035
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月21日(2015.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、
該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、
該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、
Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ａ１）〜（Ａ４）；
１．０７＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ａ１）
１．３３＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８３          （Ａ２）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ａ３）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ａ４）
を満たす
（ただし、異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とする。）
ことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、
該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、
該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、
Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ２）及び下記式（Ｂ１）〜（Ｂ８）；
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｂ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｂ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｂ３）
Ｓ１＜Ｓ２                              （Ｂ４）
Ｌ１＝Ｌ２                              （Ｂ５）
０．５０≦ａ≦０．６４                  （Ｂ６）
−２．４０≦ｂ≦−１．８６              （Ｂ７）
２．７８≦ｃ≦３．５２                  （Ｂ８）
を満たす
（ただし、異なる幅を持つスリットの数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つスリットの幅をＳ１、最大の幅を持つスリットの幅をＳ２とする。）
ことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項３】
一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、
該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、
該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、
Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｃ１）〜（Ｃ４）； 
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．４４          （Ｃ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｃ２）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｃ３）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｃ４）
を満たす
（ただし、異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。）
ことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項４】
一対の基板と、該一対の基板に挟持された液晶層とを備え、
該一対の基板の少なくとも一方は、互いに平行な少なくとも二つの櫛歯、及び、互いに平行な少なくとも二つのスリットを有する第一電極と、平板状の第二電極と、該第一電極と該第二電極とを異なる層に隔離する絶縁膜とを有し、
該少なくとも二つの櫛歯のうち、任意の一つの櫛歯の幅をＬ１、他の任意の一つの櫛歯の幅をＬ２とし、該少なくとも二つのスリットのうち、任意の一つのスリットの幅をＳ１、他の任意の一つのスリットの幅をＳ２とするとき、
Ｌ１、Ｌ２、Ｓ１及びＳ２は、下記式（Ｅ１）〜（Ｅ２）及び下記式（Ｄ１）〜（Ｄ８）；
０．９２＜Ｓ１／Ｌ２＜１．５８          （Ｅ１）
１．３１＜Ｓ２／Ｌ１＜１．８４          （Ｅ２）
Ｙ＝ａＸ２＋ｂＸ＋ｃ                    （Ｄ１）
Ｙ＝Ｓ１／Ｌ２                          （Ｄ２）
Ｘ＝Ｓ２／Ｌ１                          （Ｄ３）
Ｌ１＜Ｌ２                              （Ｄ４）
Ｓ１＝Ｓ２                              （Ｄ５）
７．６≦ａ≦１６．０                    （Ｄ６）
−２２．５≦ｂ≦−１３．１              （Ｄ７）
６．３５≦ｃ≦８．５５                  （Ｄ８）
を満たす
（ただし、異なる幅を持つ櫛歯の数が３つ以上の場合は、最小の幅を持つ櫛歯の幅をＬ１、最大の幅を持つ櫛歯の幅をＬ２とする。）
ことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項５】
更に、薄膜トランジスタを有し、該薄膜トランジスタが備える半導体層は、酸化物半導体を含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液晶表示装置。
【国際調査報告】
2014017364.tif 000036
2014017364.tif 000037
2014017364.tif 000038
2014017364.tif 000039