(57)【要約】被加圧物が収容される空間が十分に減圧された後に、被加圧物の加圧を行うことができる減圧治具及びその減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法を提供する。減圧治具１は、第１減圧部材１０、第２減圧部材２０、シール部材３０、第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０を組み合わせて構成されている。第１減圧部材１０は、第１枠状部材１１に、可撓性を有するシート状の部材からなる第１シート部材１２が張り渡されて形成されている。第１枠状部材１１には、排気ポート１４を介して排気手段に接続され、収容空間Ｓと連通する排気路１５が形成されている。第１予備減圧部材４０は、第１シート部材１２との間に予備減圧室Ｙを形成し、予備減圧室Ｙ内部を減圧可能に構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧処理を行う被加圧物を加圧手段により加圧するために、被加圧物が収容される収容空間を減圧する減圧治具であって、
枠状に形成された第１の枠状部材と該第１の枠状部材に張り渡される第１のシート部材とを備えた第１の減圧部材と、
前記第１の減圧部材に対向して配置され、前記第１の減圧部材との間に前記被加圧物を収容する保持部材と、
前記第１の枠状部材と前記保持部材との間に配置され、前記第１の減圧部材と前記保持部材との間の空間を気密状態に区画し、前記被加圧物を収容可能な収容空間を形成するシール部材と、
第１の減圧部材に対向して前記保持部材の反対側に配置され、前記第１のシート部材との間に予備減圧室を形成し、前記予備減圧室を減圧可能に構成されている第１の予備減圧部材と、を備えたことを特徴とする
減圧治具。
【請求項２】
前記保持部材は、前記第１の枠状部材と対向して配置される枠状に形成された第２の枠状部材と該第２の枠状部材に張り渡される第２のシート部材とを備えた第２の減圧部材であり、
前記第２の減圧部材に対向して前記第１の減圧部材の反対側に配置され、前記第２のシート部材との間に予備減圧室を形成し、前記予備減圧室内部を減圧可能に構成されている第２の予備減圧部材を備えたことを特徴とする
請求項１に記載の減圧治具。
【請求項３】
前記第１の予備減圧部材又は第２の予備減圧部材は、前記予備減圧室内部に向かって形成されたスペーサーを備えたことを特徴とする
請求項１または請求項２に記載の減圧治具。
【請求項４】
前記保持部材に配置された板状部材であって、
前記収容空間を、被加圧物を収容する第２の収容空間と、第２の収容空間と排気手段とを連通する流路空間と、に区画する収容空間形成部材を備えたことを特徴とする
請求項１または請求項２に記載の減圧治具。
【請求項５】
前記保持部材に配置された枠状の板状部材であって、
前記被加圧物の位置決めを行う位置決め部材を備えたことを特徴とする
請求項４に記載の減圧治具。
【請求項６】
前記被加圧物は、半導体チップを備える基板及び半導体チップ封止用材料であることを特徴とする
請求項１または請求項２に記載の減圧治具。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載の減圧治具と、被加圧物と、を用意し、
前記予備減圧室を排気して減圧する予備減圧工程と、
前記収容空間に前記被加圧物を配置する配置工程と、
前記収容空間を排気し、被加圧物が前記第１のシート部材から加圧力を受けない範囲で減圧する減圧工程と、
前記予備減圧室を大気圧に開放することにより、前記第１のシート部材を前記収容空間に配置された被加圧物に密着させて被加圧物を固定する固定工程と、
前記予備減圧部材を前記減圧部材から取り外し、固定された被加圧物を加圧する加圧工程と、を備えたことを特徴とする
被加圧物の加圧方法。
【請求項８】
前記予備減圧室を減圧する内圧は、前記収容空間を減圧する内圧以下であることを特徴とする
請求項７に記載の被加圧物の加圧方法。
【請求項９】
前記加圧工程において、前記固定工程における被加圧物を固定する加圧力により、被加圧物を加圧することを特徴とする
請求項７記載の被加圧物の加圧方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧処理を行う被加圧物を加圧手段により加圧するために、被加圧物が収容される収容空間を減圧する減圧治具及びその減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体チップの封止や多層基板の製造など減圧下で加圧して行う工程において、被加圧物を内部に減圧した状態で保持する減圧治具が用いられている。例えば、特開２０１１−２９５１６号公報には、基板上に樹脂封止材と半導体チップとを積層し柔軟な膜で覆われた空間に配置した後、減圧治具により減圧処理を行い、大気との差圧により柔軟な膜で加圧、固定し、加圧状態のまま加熱することにより封止を行う技術が開示されている。また、特開２００３−１２４６２８号公報には、複数の樹脂シートを積層した後にシート材保持具の内部を減圧して柔軟な膜であるカバー部材により樹脂シートを固定し、その後、熱プレス装置にて熱加圧処理を行う技術が開示されている。【０００３】
しかし、上記の技術では、減圧する際に同時に被加圧物に柔軟な膜から加圧力が負荷されてしまうため、被加圧物近傍の減圧が十分に行われる前に被加圧物に加圧力が負荷されてしまう。十分に脱気が行われないまま加圧される結果、加圧後の被加圧物にボイドが発生したりするという問題があった。これは、被加圧物が積層体であったり、封止樹脂のように粘着性が高いものである場合に特に顕著に表れる。【０００４】
そこで、本発明は、被加圧物が収容される空間が十分に減圧された後に、被加圧物の加圧を行うことができる減圧治具及びその減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法を提供することを目的とする。
【発明の概要】
【０００５】
上記目的を実現するために、本発明の第１の態様は、加圧処理を行う被加圧物を加圧手段により加圧するために、被加圧物が収容される収容空間を減圧する減圧治具であって、枠状に形成された第１の枠状部材と該第１の枠状部材に張り渡される第１のシート部材とを備えた第１の減圧部材と、前記第１の減圧部材に対向して配置され、前記第１の減圧部材との間に前記被加圧物を収容する保持部材と、前記第１の枠状部材と前記保持部材との間に配置され、前記第１の減圧部材と前記保持部材との間の空間を気密状態に区画し、前記被加圧物を収容可能な収容空間を形成するシール部材と、第１の減圧部材に対向して前記保持部材の反対側に配置され、前記第１のシート部材との間に予備減圧室を形成し、前記予備減圧室を減圧可能に構成されている第１の予備減圧部材と、を備えた、減圧治具である。
【０００６】
本発明の第１の態様によれば、収容空間に被加圧物を配置し、予備減圧室を排気して減圧した後に収容空間を排気することにより、被加圧物が第１のシート部材から加圧力を受けない状態で収容空間の排気を行うことができる。これにより、収容空間が十分に減圧された後に、被加圧物の加圧を行うことができるため、被加圧物に気泡などが残存し、ボイドなどの欠陥が生じることを防ぐことができる。ここで、第１のシート部材を十分な可撓性を持つ材料で形成する、などの構成により、収容空間が十分に減圧された後に、被加圧物を固定し、加圧することもできる。
【０００７】
本発明の第２の態様は、本発明の第１の態様の減圧治具において、前記保持部材は、前記第１の枠状部材と対向して配置される枠状に形成された第２の枠状部材と該第２の枠状部材に張り渡される第２のシート部材とを備えた第２の減圧部材であり、前記第２の減圧部材に対向して前記第１の減圧部材の反対側に配置され、前記第２のシート部材との間に予備減圧室を形成し、前記予備減圧室内部を減圧可能に構成されている第２の予備減圧部材を備えた、減圧治具である。
【０００８】
本発明の第２の態様のように、保持部材として第１の減圧部材と同様の構成の第２の減圧部材を用い、第１の予備減圧部材と同様の構成の第２の予備減圧部材を備えた構成を採用することができる。この構成によれば、保持部材をシートで構成して熱容量を小さくすることができるので、被加圧物を加熱または冷却する場合に、迅速な加熱または冷却を行うことができ好適である。さらに、第２の予備減圧部材は収容空間を減圧しても収容空間側に撓まないので、第１のシート部材および第２のシート部材が被加圧物に接触することがない。
【０００９】
本発明の第３の態様は、本発明の第１または第２の態様の減圧治具において、前記第１の予備減圧部材又は第２の予備減圧部材は、前記予備減圧室内部に向かって形成されたスペーサーを備えた、減圧治具である。
【００１０】
本発明の第３の態様によれば、スペーサーにより予備減圧室の体積を減じることができるので、予備減圧室を速やかに減圧できるとともに、予備減圧室を減圧した際に第１のシート部材、第２のシート部材が撓みすぎることを抑制することができる。
【００１１】
本発明の第４の態様は、本発明の第１または第２の態様の減圧治具において、前記保持部材に配置された板状部材であって、前記収容空間を、被加圧物を収容する第２の収容空間と、第２の収容空間と排気手段とを連通する流路空間と、に区画する収容空間形成部材を備えた、減圧治具である。
【００１２】
本発明の第４の態様によれば、収容空間形成部材により収容空間を第２の収容空間と流路空間とに区画することができるので、被加圧物の位置ずれを起こしにくくすることができるとともに、排気のための流路空間を確保し、被加圧物の位置ずれなどにより排気流路が閉塞することを防ぐことができ、第２の収容空間内部を確実に、かつ速やかに排気することができる。
【００１３】
本発明の第５の態様は、本発明の第４の態様の減圧治具において、前記保持部材に配置された枠状の板状部材であって、前記被加圧物の位置決めを行う位置決め部材を備えた、減圧治具である。
【００１４】
本発明の第５の態様によれば、位置決め部材により被加圧物の正確な位置決めを行うことができるので、被加圧物が位置ずれを生じることなく、被加圧物の安定した加圧を行うことができる。
【００１５】
本発明の第６の態様は、本発明の第１または第２の態様の減圧治具において、前記被加圧物は、半導体チップを備える基板及び半導体チップ封止用材料である、減圧治具である。
【００１６】
本発明の第６の態様のように、被加圧物として半導体チップを備える基板及び半導体チップ封止用材料を採用する場合にも、十分な排気を行った後に加圧処理を行うことができるので、ボイドの発生を防ぐことができ、好適である。
【００１７】
本発明の第７の態様は、被加圧物の加圧方法であって、本発明の第１または第２の態様の減圧治具と、被加圧物と、を用意し、前記予備減圧室を排気して減圧する予備減圧工程と、前記収容空間に前記被加圧物を配置する配置工程と、前記収容空間を排気し、被加圧物が前記第１のシート部材から加圧力を受けない範囲で減圧する減圧工程と、前記予備減圧室を大気圧に開放することにより、前記第１のシート部材を前記収容空間に配置された被加圧物に密着させて被加圧物を固定する固定工程と、前記予備減圧部材を前記減圧部材から取り外し、固定された被加圧物を加圧する加圧工程と、を備えた、被加圧物の加圧方法である。
【００１８】
本発明の第７の態様によれば、予備減圧工程において予備減圧室を排気して減圧し、配置工程において収容空間に被加圧物を配置し、減圧工程において収容空間を排気し、被加圧物が前記第１のシート部材から加圧力を受けない範囲で減圧し、固定工程において予備減圧室を大気圧に開放することにより、第１のシート部材を収容空間に配置された被加圧物に密着させて被加圧物を固定し、加圧工程において予備減圧部材を減圧部材から取り外し、固定された被加圧物を加圧手段により加圧することができる。これにより、収容空間が十分に減圧された後に、被加圧物の固定、加圧を行うことができるため、被加圧物に気泡などが残存し、ボイドなどの欠陥が生じることを防ぐことができる。
【００１９】
本発明の第８の態様は、本発明の第７の態様の被加圧物の加圧方法において、前記予備減圧室を減圧する内圧は、前記収容空間を減圧する内圧以下である、被加圧物の加圧方法である。
【００２０】
本発明の第８の態様のように予備減圧室を減圧する内圧を設定すると、予備減圧室の方が低圧となり、第１のシート部材に予備減圧室側へ向かう力が作用するため、被加圧物が第１のシート部材から加圧力を受けないようにすることができる。
【００２１】
本発明の第９の態様では、本発明の第７態様の被加圧物の加圧方法において、前記加圧工程において、前記固定工程における被加圧物を固定する加圧力により、被加圧物を加圧する、被加圧物の加圧方法である。
【００２２】
被加圧物を加圧する際に大きな加圧力を必要としない場合には、本発明の第９の態様のように、固定工程における被加圧物を固定する加圧力を利用して、被加圧物を加圧することができる。
【００２３】
この出願は、日本国で２０１２年１０月１２日に出願された特願２０１２−２２６６２９号に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は以下の詳細な説明により更に完全に理解できるであろう。しかしながら、詳細な説明および特定の実施例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、当業者にとって明らかだからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。
本明細書あるいは請求の範囲の記載において、名詞及び同様な指示語の使用は、特に指示されない限り、または文脈によって明瞭に否定されない限り、単数および複数の両方を含むものと解釈すべきである。本明細書中で提供されたいずれの例示または例示的な用語（例えば、「等」）の使用も、単に本発明を説明し易くするという意図であるに過ぎず、特に請求の範囲に記載しない限り本発明の範囲に制限を加えるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態の減圧治具の構造を示す説明図である。図１（Ａ）は減圧治具の平面図及び断面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】第１減圧部材の構造を示す説明図である。図２（Ａ）は上方から見た平面図及び断面図、図２（Ｂ）は下方から見た平面図、図２（Ｃ）は図２（Ｂ）のＡ部の拡大図である。
【図３】第２減圧部材の構造を示す説明図である。図３（Ａ）は上方から見た平面図及び断面図、図３（Ｂ）は下方から見た平面図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）のＡ部の拡大図である。
【図４】第１予備減圧部材の構造を示す説明図である。図４（Ａ）は上方から見た平面図及び断面図、図４（Ｂ）は下方から見た平面図である。
【図５】第２予備減圧部材の構造を示す説明図である。図５（Ａ）は上方から見た平面図及び断面図、図５（Ｂ）は下方から見た平面図である。
【図６】減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法の工程を示す説明図である。
【図７】減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法の工程を示す説明図である。
【図８】減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法の工程を示す説明図である。
【図９】保持部材の変更例を示す説明図である。図９（Ａ）は第１減圧部材及び第１予備減圧部材と組み合わせた状態の上方から見た平面図及び断面図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図１０】第２実施形態の減圧治具の収容空間形成部材の構造を示す説明図である。図１０（Ａ）は収容空間形成部材が設けられた第２減圧部材を上方から見た平面図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）のＡ−Ａ断面図及びＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】第２実施形態の減圧治具の位置決め部材の構造を示す説明図である。図１１（Ａ）は位置決め部材が設けられた第２減圧部材を上方から見た平面図、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）のＡ−Ａ断面図及びＢ−Ｂ断面図である。
【図１２】第３実施形態の減圧治具の剛性付与部材の構造を示す説明図である。図１２（Ａ）は上方から見た平面図、図１２（Ｂ）は下方から見た平面図、図１２（Ｃ）は、図１２（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
（第１実施形態）
本発明に係る被加圧物を収容空間に配置して当該収容空間を減圧する減圧治具と、この減圧治具を用いた被加圧物の加圧方法について、図を参照して説明する。
【００２６】
図１に示すように、減圧治具１は、第１減圧部材１０、第１減圧部材１０との間に被加圧物を収容する保持部材である第２減圧部材２０、シール部材３０、第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０を組み合わせて構成されている。なお、減圧治具１では、第１減圧部材１０が上方に、第２減圧部材２０が下方に配置されるものとして説明するが、これには限定されない。
【００２７】
図２に示すように、第１減圧部材１０は、第１枠状部材１１に、可撓性を有するシート状の部材からなる第１シート部材１２が張り渡されて形成されている。本実施形態では、第１シート部材１２は樹脂材料であるテフロン（登録商標）からなる。
【００２８】
図１（Ｂ）に示すように、第１枠状部材１１にはシールリング１１ａが配置されたシール溝１１ｂが形成されており、第１シート部材１２は、第１押さえ部材１３によりシールリング１１ａを介して第１枠状部材１１に固定されている。
【００２９】
第１枠状部材１１には、排気ポート１４を介して排気手段（図示せず）に接続され、第１押さえ部材１３に形成された溝とともに、後述する収容空間Ｓと連通する排気路１５が形成されている。本実施形態では、排気ポート１４は第１枠状部材１１の角部近傍２箇所に設けられている。
【００３０】
図３に示すように、第２減圧部材２０は、第１減圧部材１０と同様の構成であり、第１減圧部材１０との間に被加圧物Ｗを収容する保持部材として用いられる。なお、本実施形態のように第２減圧部材２０の上方に第１減圧部材１０を載置するように減圧治具１が構成される場合には、被加圧物Ｗは第２減圧部材２０上に載置することができる。第２減圧部材２０は、第１枠状部材１１と対向して配置される第２枠状部材２１に、可撓性を有するシート状の部材からなる第２シート部材２２が張り渡されて形成されている。ここで、第２シート部材２２は被加圧物Ｗを載置した時に大きく撓まない程度の剛性が必要であり、本実施形態では、金属材料であるステンレス鋼からなる。
【００３１】
図１（Ｂ）に示すように、第２枠状部材２１にはシールリング２１ａが配置されたシール溝２１ｂが形成されており、第２シート部材２２は、第２押さえ部材２３によりシールリング２１ａを介して第２枠状部材２１に固定されている。
【００３２】
第２枠状部材２１には、排気ポート２４を介して排気手段に接続され、第２押さえ部材２３に形成された溝とともに、後述する収容空間Ｓと連通する排気路２５が形成されている。本実施形態では、排気ポート２４は第２枠状部材２１の角部近傍２箇所に設けられている。
【００３３】
ここで、排気路１５、２５は第１枠状部材１１、第２枠状部材２１にそれぞれ設けられているが、いずれか一方の枠状部材のみに設けることもできる。また、数や配置も収容空間Ｓの形状、大きさなどに合わせて任意に設定することができる。
【００３４】
シール部材３０は、第１枠状部材１１と第２枠状部材２１との間に配置され、第１シート部材１２と第２シート部材２２との間に形成される空間を気密状態に区画し、被加圧物Ｗを収容可能な収容空間Ｓを形成する部材である。シール部材３０は、第１枠状部材１１の排気路１５、第２枠状部材２１の排気路２５の外側に設けられており、収容空間Ｓが排気路１５、２５と連通するように構成されている。つまり、収容空間Ｓは、排気路１５、２５を介して排気し減圧可能に構成されている。本実施形態では、シール部材３０は、第１枠状部材１１と一体的に設けられている。
【００３５】
シール部材３０として、耐熱性ゴム材料、特に、シリコンゴムを好適に用いることができる。シリコンゴムは密着力が高いので、収容空間Ｓを確実に気密に保つことができる。また、シリコンゴムは耐熱性が高く、被加圧物Ｗを高温に加熱しながら加圧する場合に好適に用いることができる。
【００３６】
図４に示すように、第１予備減圧部材４０は、板状に形成された本体部４１とスペーサー４２とを備えており、第１減圧部材１０に対向してシールリング４３を介して第２減圧部材２０の反対側に配置され、第１シート部材１２との間に予備減圧室Ｙ（図１（Ａ）参照）を形成する。スペーサー４２は、予備減圧室Ｙの体積を減じるように、予備減圧室Ｙ内部に向かって形成されており、予備減圧室Ｙを速やかに減圧できるようにするとともに、予備減圧室Ｙを減圧した際に第１シート部材１２が撓みすぎることを抑制する機能を有する。
【００３７】
第１予備減圧部材４０には、排気ポート４４を介して排気手段に接続され、予備減圧室Ｙと連通する排気路４５が形成されており、予備減圧室Ｙ内部を減圧可能に構成されている。本実施形態では、排気ポート４４は本体部４１の角部近傍２箇所に設けられている。
【００３８】
第１予備減圧部材４０は、予備減圧室Ｙを減圧しても変形しないように、剛性が高い材料、例えば、硬質プラスチックや金属材料により形成されている。
【００３９】
ここで、第１予備減圧部材４０は、本体部４１とスペーサー４２とが、一体的に形成されているが、分離可能に形成されていてもよい。
【００４０】
図５に示すように、第２予備減圧部材５０は、第１予備減圧部材４０と同様の構造であり、本体部５１、スペーサー５２、排気ポート５４及び排気路５５を備えている。第２予備減圧部材５０は、第２減圧部材２０に対向してシールリング５３を介して第１減圧部材１０の反対側に配置され、第２シート部材２２との間に予備減圧室Ｙ（図１（Ａ）参照）を形成し、予備減圧室Ｙ内部を減圧可能に構成されている。
【００４１】
次に、図６〜８を参照して、減圧治具１を用いた被加圧物の加圧方法について説明する。
【００４２】
まず、膜材料を積層した被加圧物Ｗを用意する。ここで、被加圧物Ｗとして、例えば、半導体チップを備える基板Ｋに半導体チップ封止用材料Ｆを積層したものを用いる。半導体チップ封止用材料Ｆとしては、エポキシシートなどを用いることができる。
【００４３】
図６（Ａ）に示すように、第１減圧部材１０、第２減圧部材２０、シール部材３０、第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０を用意する。各排気ポート１４、２４、４４、５４は、ロータリーポンプなどの排気手段（図示せず）にそれぞれ接続される。
【００４４】
まず、予備減圧工程では、図６（Ｂ）に示すように、第１減圧部材１０に第１予備減圧部材４０を装着し、第２減圧部材２０に第２予備減圧部材５０を装着して、予備減圧室Ｙをそれぞれ形成し、排気手段により予備減圧室Ｙを排気し減圧する。
【００４５】
続く配置工程では、まず、図６（Ｃ）に示すように、被加圧物Ｗを第２減圧部材２０の第２シート部材２２上に配置、すなわち載置する。
【００４６】
次に、図７（Ｄ）に示すように、第１シート部材１２と第２シート部材２２とが対向するように、シール部材３０を介して第１減圧部材１０の第１枠状部材１１を第２減圧部材２０の第２枠状部材２１上に載置する。これにより、収容空間Ｓが形成され、その内部に被加圧物Ｗが配置される。つまり被加圧物Ｗは第１減圧部材１０と第２減圧部材２０の間に収容され、保持される。ここで、第１減圧部材１０及び第２減圧部材２０は、第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０がそれぞれ装着された状態である。
【００４７】
続く減圧工程では、図７（Ｅ）に示すように、排気手段により収容空間Ｓを排気して所定の内圧まで減圧する。ここで、所定の内圧とは、被加圧物Ｗが第１シート部材１２から加圧力を受けない範囲の内圧であり、例えば、予備減圧室Ｙの内圧が収容空間Ｓを排気したときの内圧以下である。これによれば、予備減圧室Ｙの内圧の方が、収容空間Ｓの内圧より低くなり、第１シート部材１２に予備減圧室Ｙ側へ向かう力が作用するため、被加圧物Ｗに第１シート部材１２から加圧力は作用せず、第１シート部材１２が被加圧物Ｗに密着することがない。なお、第１シート部材１２が被加圧物Ｗに撓んで接触することもない。なお、第１シート部材１２の剛性によっては、上記の条件を満たさなくても被加圧物Ｗが第１シート部材１２から加圧力を受けないようにすることができる。なお、「密着」とは、気密に付着している状態をいい、たとえば、収容空間が減圧されて第１シート部材１２が被加圧物Ｗ側に撓んで、被加圧物Ｗを加圧しながら付着するような状態を指し、第２シート部材２２上に被加圧物Ｗを載置しただけでは密着はしない。
【００４８】
続く固定工程では、予備減圧室Ｙを大気圧に開放する。このとき、収容空間Ｓは減圧状態であり、第１シート部材１２は十分な可撓性を持つ材料で構成されているので、収容空間Ｓの内圧と大気圧との差圧により、図７（Ｆ）に示すように、第１シート部材１２が被加圧物Ｗ側に撓んで被加圧物Ｗを加圧し、加圧力により密着し、被加圧物Ｗを気泡の混入などがない状態で固定することができる。続いて、図８（Ｇ）に示すように、第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０を、第１減圧部材１０及び第２減圧部材２０から取り外す。
【００４９】
続く加圧工程では、図８（Ｈ）に示すように、第１減圧部材１０及び第２減圧部材２０により固定された被加圧物Ｗを加圧手段Ｐにより加圧する。被加圧物Ｗを加圧手段Ｐに搬入、搬出するに際して、あらかじめ被加圧物Ｗを減圧治具１で固定することができるので、搬送時における衝撃などによる被加圧物Ｗの位置ズレを防止することができる。加圧終了後、図８（Ｉ）に示すように、減圧治具１より被加圧物Ｗを取り出し、一連の工程を終了する。
【００５０】
加圧手段Ｐとして、例えば、一軸のプレス装置を採用することができる。第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０を取り外して加圧するため、被加圧物Ｗを平面加圧板や加圧金型、加圧ロールなどの剛性構造体で加圧することが可能である。これにより、被加圧物に大きな加圧力を加えることができる。
【００５１】
加圧手段Ｐとして、加熱しながら加圧可能なホットプレス装置や冷却しながら加圧可能なコールドプレス装置などを採用することができる。また、加圧手段に減圧治具１と被加圧物Ｗとを予備加熱する予備加熱部や減圧治具１と被加圧物Ｗとを冷却する余熱除去部などを備える構成を採用することもできる。これにより、確実な加熱及び冷却が短時間で可能となり、生産性を向上させることができる。また、第１予備減圧部材４０及び第２予備減圧部材５０を取り外して加熱及び冷却を行うことができるので、被加圧物Ｗを容易に加熱及び冷却することができる。そして、被加圧物Ｗが加熱により反ってしまうような材質であるような場合でも、減圧治具１であらかじめ固定された状態で加熱することができるため、作業性を向上させることができるとともに製品の品質を向上させることができる。
【００５２】
減圧治具１は、加圧手段Ｐから独立して設けられているため、あらかじめ被加圧物Ｗを加圧手段Ｐの外部で減圧治具１にセットすることができるので、作業効率を向上させることができる。また、予備減圧室Ｙの減圧、収容空間Ｓの減圧、予備減圧室Ｙの大気開放などの工程（図６から図８の（Ａ）〜（Ｇ）、（Ｉ））も加圧手段Ｐの外部で行うことができる。これにより、一連の工程のうち、加圧手段Ｐを占有するのは加圧工程（図８（Ｈ））だけであり、減圧治具１をあらかじめ複数用意しておけば次々に被加圧物Ｗを加圧手段Ｐに送り込むことができるので、生産性を飛躍的に向上させることができる。
【００５３】
減圧治具１は、上述の構成により、被加圧物Ｗが第１シート部材１２から加圧力を受けず、第１シート部材１２が被加圧物Ｗに密着しない状態で収容空間Ｓの排気を十分に行った後に、第１シート部材１２を収容空間Ｓに配置された被加圧物Ｗに密着させて被加圧物Ｗを固定することができる。これにより、被加圧物Ｗに気泡などが残存し、ボイドなどの欠陥が生じることを防ぐことができる。
【００５４】
減圧治具１を用いた加圧方法は、被加圧物Ｗが、層間に気泡が残存しやすい積層体や、粘着性を有し小さな圧力でも気泡などが残存しやすいもの、例えば、上述した基板及び半導体チップ封止用材料、半導体チップとヒートシンクとの間に挟み込む放熱用シートである場合や、気泡が少しでも残ることが許されないインプリントを行う場合などに好適に用いることができる。また、被加圧物Ｗが、収容空間Ｓの減圧が完了するまで加圧力を負荷したくない材料、例えば、スラリー成形体などの場合にも好適に用いることができる。
【００５５】
被加圧物Ｗを加圧する際に大きな加圧力を必要としない場合には、加圧手段による加圧を行わずに、固定工程における被加圧物Ｗを固定する加圧力（密着力）を利用して、被加圧物Ｗを加圧することができる。つまり、加圧工程においても、固定工程における被加圧物Ｗを固定する加圧力により加圧することになる。
【００５６】
本実施形態では、第１シート部材１２が樹脂材料であるテフロン（登録商標）からなり、第２シート部材２２が金属材料であるステンレス鋼からなる構成を用いたが、材質、組み合わせはこれに限定されるものではない。
【００５７】
第１シート部材１２及び第２シート部材２２として、ガラスやセラミックスのウィスカにより分散強化された繊維強化ゴムシートや、基布の両面にゴム薄膜を積層一体化してなるゴム引布などの繊維強化ゴムシートを用いることができる。
【００５８】
第１シート部材１２及び第２シート部材２２として剛性としなやかさを併せ持つゴム引布を好適に用いることができる。ゴム引布の基布としては、フッ素系繊維、ポリイミド繊維、ポリフェニレンサルファイド繊維、アラミド繊維、ナイロン、ポリエステル、ポリアミド、ポリウレタン、綿などの布帛、ガラス繊維からなるシート、などを用いることができる。
【００５９】
ゴム薄膜を構成するゴムとしては、フッ素ゴム、ニトリルゴム、ウレタンゴム、クロロプレンゴム、天然ゴム、シリコンゴムなどを用いることができる。これらのゴムに、トリアルコキシアルキルフォスフェートなどの界面活性剤やカーボンなどを帯電防止剤として添加することもできる。
【００６０】
減圧治具１を高温（例えば、１６０℃）で用いる場合など、第１シート部材１２及び第２シート部材２２に耐熱性が要求される場合には、例えば、基布としてはガラス繊維、耐熱性合成繊維を、ゴムとしてはフッ素ゴム、シリコンゴムなどを、好適に用いることができる。ここで、耐熱性合成繊維とは、減圧治具１の使用温度において収容空間Ｓを気密保持して使用可能な繊維を示し、ガラス繊維、耐熱ナイロンなどを好適に用いることができる。
【００６１】
第１シート部材１２及び第２シート部材２２として繊維強化ゴムシートを用いると、熱膨張が低いため、第１シート部材１２及び第２シート部材２２と他の部材との熱膨張差に起因する被加圧物Ｗの位置ずれを防ぐことができる。また、弾力性が高くしなやかであり、外力により変形しても外力を取り除くと元の形状に戻る性質に富むため、繰り返しの使用によっても形状が変化することがない。加圧力を均一にする緩衝性が高いため、加圧手段から被加圧物Ｗに局所的な圧力が加わらず均一な加圧が可能となる。耐久性が高いため、被加圧物Ｗや治具の角部などにより破壊することがない。
【００６２】
また、第１シート部材１２及び第２シート部材２２として、ポリイミド材質のシートを用いることができる。第１シート部材１２及び第２シート部材２２としてポリイミド材質のシートを用いると、耐熱性が高いため、被加圧物Ｗを高温で加圧することが可能となる。
【００６３】
（変更例）
図９に示すように、第２減圧部材２０は、平板状の部材として形成してもよい。これによれば、簡単な構造にすることができるとともに、被加圧物Ｗを保持する領域の剛性が高いため、被加圧物Ｗを安定して保持することができるので、例えば、スラリー成形体など被加圧物Ｗの強度が弱い場合に好適に用いることができる。さらに、平板状の部材で形成された第２減圧部材２０は、強度の弱い被加圧物Ｗを第２減圧部材２０上に載置するのにも好適である。なお、加圧工程で加熱または冷却を行う場合には、図３に示す構造の方が熱容量を小さくすることができるので、迅速な加熱または冷却を行うことができる。
【００６４】
予備減圧室Ｙの大きさが小さい場合、または、本体部４１と第１シート部材１２との距離が小さく、第１シート部材１２が大きく撓むおそれがない場合、などには、第１予備減圧部材４０にスペーサー４２を設けなくてもよい。第２予備減圧部材５０についても同様である。
【００６５】
上述した実施形態では、第１シート部材１２は第１押さえ部材１３によりシートリング１１ａを介して第１枠状部材１１に固定されているが、第１シート部材１２の固定方法はこれに限定されるものでなく、例えば、第１シート部材１２を第１枠状部材１１に直接接着して固定することもできる。第２シート部材２２の固定についても同様である。
【００６６】
収容空間Ｓの内圧と大気圧との差圧により第１シート部材１２が被加圧物Ｗ側に撓んで被加圧物Ｗに密着しない程度に剛性が高い場合などには、被加圧物Ｗが固定されない状態で、続く加圧工程に供される場合もある。
【００６７】
（第２実施形態）
本発明に係る被加圧物減圧治具の第２実施形態について、図を参照して説明する。ここで、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を用い、説明を省略する。なお、図１０（Ａ）の断面図及び図１１（Ａ）の断面図においては、構造をわかりやすくするために、部材の一部を誇張して大きく記載してある。
【００６８】
本実施形態では、第２減圧部材２０の構成が異なっている。図１０に示すように、第２減圧部材２０の第２シート部材２２上には、第１シート部材１２と第２シート部材２２との間に挟みこまれた状態で、収容空間Ｓを、被加圧物Ｗを収容する第２収容空間Ｓ２と第２収容空間Ｓ２内部を排気するための流路空間Ｈと、に区画する収容空間形成部材６０が設けられている。本実施形態では、収容空間形成部材６０は金属材料であるステンレス鋼により被加圧物Ｗよりも薄く形成され、接着剤により第２シート部材２２に貼り付けられている。
【００６９】
第２収容空間Ｓ２は被加圧物Ｗの形状に合わせて形成され、本実施形態では矩形状となるように形成されている。流路空間Ｈは、収容空間形成部材６０の外周及び第２収容空間Ｓ２と外周との間の流路として形成され、第２収容空間Ｓ２と排気路１５、２５とを連通する。図１０（Ａ）に示す例では、２要素にて収容空間形成部材６０を構成している。収容空間形成部材６０の第１の要素は、第２シート部材２２のほぼ半分の大きさを有し、第２収容空間Ｓ２の部分だけを欠いている。収容空間形成部材６０の第２の要素は、第１の要素より、外周が流路空間Ｈを形成する分、小さく形成されている。第１の要素と第２の要素の間に、第２収容空間Ｓ２と外周との間の流路としての流路空間Ｈが形成される。このように収容空間形成部材６０を構成すると、収容空間形成部材６０の製作が容易となる。
【００７０】
収容空間形成部材６０を用いると、被加圧物Ｗの位置ずれを起こしにくくすることができるとともに、排気のための流路空間Ｈを確保し、被加圧物Ｗの位置ずれなどにより排気流路が閉塞することを防ぐことができ、第２収容空間Ｓ２内部を確実に、かつ速やかに排気することができる。
【００７１】
また、図１１に示すように、収容空間形成部材６０の内側、つまり、第２収容空間Ｓ２の内部に、被加圧物Ｗの位置決めを行う、枠状に形成された位置決め部材６１を設けることもできる。これによれば、位置決め部材６１により被加圧物Ｗの正確な位置決めを行うことができるので、被加圧物Ｗが位置ずれを生じることなく、被加圧物Ｗの安定した加圧を行うことができる。位置決め部材６１は収容空間形成部材６０より薄く形成される。よって、位置決め部材６１が閉じた枠状に形成されても、流路空間Ｈが塞がれることがない。
【００７２】
ここで、収容空間形成部材６０は、第１シート部材１２に設けることもできる。また、収容空間形成部材６０を設けずに位置決め部材６１のみ設ける構成も採用することができる。
【００７３】
（第３実施形態）
図１２に示すように、第１シート部材１２の被加圧物Ｗの反対側に、第１シート部材１２より剛性が高い材料からなり、矩形の板状に形成された剛性付与部材７０を設けることができる。剛性付与部材７０は、被加圧物Ｗを収容する位置に対応し、加圧可能な位置に配置され、被加圧物Ｗの外形より大きな寸法に形成される。剛性付与部材７０を形成する材料として、金属材料、特に、ステンレス鋼を好適に用いることができる。
【００７４】
本構成によれば、剛性付与部材７０により第１シート部材１２の少なくとも被加圧物Ｗを加圧する部分に一定の剛性を付与することができるので、被加圧物Ｗが凹凸形状を有する場合には、第１シート部材１２が被加圧物Ｗの凹部に侵入し貼り付くことを防止することができ、被加圧物Ｗの材質が第１シート部材１２と貼り付き易く壊れやすい場合などにおいて、被加圧物Ｗの破損を防ぐことができる。また、被加圧物Ｗの凸部のみを加圧したい場合にも好適に用いることができる。
【００７５】
本実施形態では、剛性付与部材７０は被加圧物Ｗの反対側に設けられているが、剛性付与部材７０が被加圧物Ｗ側に面するように設けることもできる。これにより、第１シート部材１２が、被加圧物Ｗと直接接触することを防ぐことができるので、被加圧物Ｗの材質が第１シート部材１２に貼り付きやすく壊れやすい場合などにおいて、被加圧物Ｗの破損を防ぐことができる。
【００７６】
［実施形態の効果］
本実施形態の減圧治具１及び被加圧物の加圧方法によれば、収容空間Ｓに被加圧物Ｗを配置し、予備減圧室Ｙを排気して減圧した後に収容空間Ｓを排気することにより、被加圧物Ｗが第１シート部材から加圧力を受けず、第１シート部材が被加圧物Ｗに密着しない状態で収容空間Ｓの排気を行うことができる。また、第１シート部材１２は可撓性を有しているので、第１シート部材１２を収容空間Ｓに配置された被加圧物Ｗに密着させて被加圧物Ｗを固定することができる。これにより、収容空間Ｓが十分に減圧された後に、被加圧物Ｗの加圧を行うことができるため、被加圧物Ｗに気泡などが残存し、ボイドなどの欠陥が生じることを防ぐことができる。また、被加圧物Ｗが、収容空間Ｓの減圧が完了するまで加圧力を負荷したくない材料にも好適に用いることができる。
【００７７】
（その他の実施形態）
本発明の減圧治具１は、下記工程に示すセラミック材料の成形工程に用いることもできる。
１．スラリー状セラミック材料をテープ成形して、テープ成形体を得る。
２．減圧治具を用い、テープ成形体を減圧下で加熱乾燥させる。これにより、乾燥時間を短縮することができる。
３.予備減圧室を大気に開放して予備減圧部材を取り外す。
４．乾燥したテープ成形体を熱加圧して高密度化を行う。なお、このとき、収容空間は減圧状態でテープ成形体を固定していなくてもよく、その場合収容空間は大気に開放するかガス封入を行う。
【００７８】
同様の方法により、セラミックス材料以外のスラリー材料を成形することができる。
【実施例】
【００７９】
本実施例では、第１実施形態に示した減圧治具を用いて、半導体チップを備える基板についてエポキシシートによる封止を行った。【００８０】
第１シート部材にはガラスクロスによって補強された３００μｍ 厚のテフロン（登録商標）製シートを用い、第２シート部材には３００μｍ厚の両面鏡面研磨ステンレス板を用いた。第１枠状部材と第２枠状部材とは、それぞれアルミ材により製作されている。第１予備減圧部材と第２予備減圧部材とは、それぞれ透明アクリル樹脂により構成されている。【００８１】
まず、第１減圧部材と第１予備減圧部材、第２減圧部材と第２予備減圧部材をそれぞれ組み合わせ、予備減圧工程を行った。予備減圧室はロータリーポンプンにより減圧し、内圧を−９８ｋＰａとした。【００８２】
続く配置工程では、半導体チップを備える基板上にエポキシシートを積層し、第２シート部材に配置し、シール部材を介して第１減圧部材の第１枠状部材を第２減圧部材の第２枠状部材上に載置し、被加圧物を収容空間内に収容した。【００８３】
続く減圧工程では、ロータリーポンプにより収容空間を排気して、真空レギュレータにより収容空間の内圧を−９５〜０ｋＰａの範囲で制御した。【００８４】
続く固定工程では、予備減圧室を大気圧に開放して、被加圧物を固定し、加圧工程に供した。【００８５】
続く加圧工程では、加圧可能なプレス熱板を備えた一軸のホットプレス装置により被加圧物を加圧した。ここで、プレス熱板温度は低すぎれば封止材が硬化せず、高すぎれば封止材が劣化するため、４０〜２００℃が好ましく、本実施例では１２０℃とした。プレス加圧力は、低すぎれば封止できず、高すぎれば半導体チップが破損するため、１００〜３０００ｋＰａが好ましく、本実施例では５００ｋＰａとした。プレス加圧時間は、短すぎれば十分な封止ができず、長すぎれば生産性が低下するため、１〜６０秒が好ましく、本実施例では５秒とした。【００８６】
以上の工程を経て、ボイドなどが生じずに封止された半導体チップを製造することができた。【００８７】
１…減圧治具
１０…第１減圧部材（第１の減圧部材）
１１…第１枠状部材（第１の枠状部材）
１２…第１シート部材（第１のシート部材）
１４…排気ポート
１５…排気路
２０…第２減圧部材（第２の減圧部材）
２１…第２枠状部材（第２の枠状部材）
２２…第２シート部材（第２のシート部材）
２４…排気ポート
２５…排気路
３０…シール部材
４０…第１予備減圧部材（第１の予備減圧部材）
４１…本体部
４２…スペーサー
５０…第２予備減圧部材（第２の予備減圧部材）
６０…収容空間形成部材
６１…位置決め部材
７０…剛性付与部材
Ｓ…収容空間
Ｓ２…第２収容空間（第２の収容空間）
Ｗ…被加圧物
Ｈ…流路空間
【図１】
2014057769.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014057769.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014057769.tif 000009
【図８】
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【図９】
2014057769.tif 000011
【図１０】
2014057769.tif 000012
【図１１】
2014057769.tif 000013
【図１２】
2014057769.tif 000014
【国際調査報告】
2014057769.tif 000015
2014057769.tif 000016
2014057769.tif 000017
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