(57)【要約】  導電性マイエナイト化合物の製造方法であって、（ａ）被処理体を準備する工程であって、前記被処理体は、マイエナイト化合物またはマイエナイト化合物の前駆体を含む、工程と、（ｂ）アルミニウム化合物および一酸化炭素（ＣＯ）ガスを含む還元性雰囲気下において、１０８０℃〜１４５０℃の範囲で、前記被処理体を熱処理する工程であって、前記アルミニウム化合物は、前記被処理体の熱処理中に酸化アルミニウムガスを放出する化合物である、工程と、  を含むことを特徴とする製造方法。
2014050900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性マイエナイト化合物の製造方法であって、
（ａ）被処理体を準備する工程であって、前記被処理体は、マイエナイト化合物またはマイエナイト化合物の前駆体を含む、工程と、
（ｂ）アルミニウム化合物および一酸化炭素（ＣＯ）ガスを含む還元性雰囲気下において、１０８０℃〜１４５０℃の範囲で、前記被処理体を熱処理する工程であって、前記アルミニウム化合物は、前記被処理体の熱処理中に酸化アルミニウムガスを放出する化合物である、工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記アルミニウム化合物は、炭化アルミニウム（Ａｌ４Ｃ３）である、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記被処理体は、
マイエナイト化合物の粉末を含む成形体、
マイエナイト化合物を含む焼結体、および
仮焼粉を含む成形体、
からなる群から選定される、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記（ｂ）の工程は、３０分〜５０時間の範囲で実施される、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項５】
前記（ｂ）の工程は、１００Ｐａ以下の真空度の環境で実施される、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項６】
前記（ｂ）の工程は、前記被処理体および前記アルミニウム化合物を、カーボンを含む容器中に入れた状態で行われる、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項７】
前記（ｂ）の工程後に、電子密度が３×１０２０ｃｍ−３以上の導電性マイエナイト化合物が得られる、請求項１乃至６のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項８】
前記被処理体は、フッ素（Ｆ）成分を含み、
前記（ｂ）の工程後に、フッ素を含む導電性マイエナイト化合物が得られる、請求項１乃至７のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一つに記載の製造方法を用いて、導電性マイエナイト化合物を含む、成膜用のターゲットを製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイエナイト化合物は、１２ＣａＯ・７Ａｌ２Ｏ３で表される代表組成を有し、三次元的に連結された直径約０．４ｎｍの空隙（ケージ）を有する特徴的な結晶構造を持つ。このケージを構成する骨格は、正電荷を帯びており、単位格子当たり１２個のケージを形成する。このケージの１／６は、結晶の電気的中性条件を満たすため、内部が酸素イオンで占められている。しかしながら、このケージ内の酸素イオンは、骨格を構成する他の酸素イオンとは化学的に異なる特性を有しており、このため、ケージ内の酸素イオンは、特にフリー酸素イオンと呼ばれている。マイエナイト化合物は、[Ｃａ２４Ａｌ２８Ｏ６４]４+・２Ｏ２−とも表記される（非特許文献１）。
マイエナイト化合物のケージ中のフリー酸素イオンの一部または全部を電子と置換した場合、マイエナイト化合物に導電性が付与される。これは、マイエナイト化合物のケージ内に包接された電子は、ケージにあまり拘束されず、結晶中を自由に動くことができるためである（特許文献１）。このような導電性を有するマイエナイト化合物は、特に、「導電性マイエナイト化合物」と称される。【０００３】
このような導電性マイエナイト化合物は、例えば、マイエナイト化合物の粉末を蓋付きカーボン容器に入れて、窒素ガス雰囲気下１３００℃で熱処理する方法（特許文献２）により製造できる。以下、この方法を従来方法１という。【０００４】
また、導電性マイエナイト化合物は、マイエナイト化合物からなる被処理体を、アルミニウム金属とともに蓋付きアルミナ容器に入れ、真空中で１３００℃で熱処理する方法（特許文献２）により製造できる。以下、この方法を従来方法２という。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２００５／０００７４１号
【特許文献２】国際公開第２００６／１２９６７４号
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Ｆ．Ｍ．Ｌｅａ，Ｃ．Ｈ．Ｄｅｓｃｈ，Ｔｈｅ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙｏｆ  Ｃｅｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｃｏｎｃｒｅｔｅ，２ｎｄ  ｅｄ．，ｐ．５２，Ｅｄｗａｒｄ  Ａｒｎｏｌｄ＆Ｃｏ．，Ｌｏｎｄｏｎ，１９５６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前述の従来方法１では、電子密度が十分に高い導電性マイエナイト化合物を得ることは難しいという問題がある。前述の従来方法１では、得られる導電性マイエナイト化合物の電子密度は、３×１０２０ｃｍ−３未満である。【０００８】
導電性マイエナイト化合物の用途として、例えば気相蒸着法による成膜用のターゲットを想定した場合、ターゲットとなる導電性マイエナイト化合物の電子密度が、成膜される薄膜の電子密度と相関があることを本願発明者らは発見した。薄膜の電子密度を高めるために、ターゲットとなる導電性マイエナイト化合物をよりいっそう高電子密度化することが必要である。【０００９】
一方、前述の従来方法２では、１×１０２１ｃｍ−３超の高い電子密度の導電性マイエナイト化合物を得ることができる。しかし、この方法では、被処理体を金属アルミニウムと接触させて加熱することが必要であり、その場合、以下の問題があることを本願発明者らは発見した。【００１０】
金属アルミニウムの融点は、６６０℃であるため、被処理体と金属アルミニウムとをそれ以上の温度で加熱した場合、被処理体の表面に、液体のアルミニウムが生成されることになる。この状態で被処理体を室温まで温度を下げると、生成される導電性マイエナイト化合物の表面には、液体が凝固して生じた金属アルミニウム固着物が固着した状態となる。このような固着物は、導電性マイエナイト化合物と強固に密着しており、固着物を剥離したり、除去したりすることは容易ではない。導電性マイエナイト化合物を採取するには、熱処理に用いられる容器等をハンマーで破壊し、さらに導電性マイエナイト化合物の周囲に固着しているアルミニウムを、電動ノコギリ、セラミックス製リューター、および紙やすりを用いて丁寧に除去しなければならない。特に、導電性マイエナイト化合物の用途として、例えば気相蒸着法による成膜用のターゲットのような比較的大きな製品を想定した場合、熱処理に用いられる容器等から導電性マイエナイト化合物を容易に採取することは、極めて非現実的である。従って、このような現象が生じると、導電性マイエナイト化合物を回収する際に追加の処理工程が必要となり、生産性が低下するという問題が生じる。【００１１】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、本発明では、高い電子密度を有する導電性マイエナイト化合物を効率良く製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明では、導電性マイエナイト化合物の製造方法であって、
（ａ）被処理体を準備する工程であって、前記被処理体は、マイエナイト化合物またはマイエナイト化合物の前駆体を含む、工程と、
（ｂ）アルミニウム化合物および一酸化炭素（ＣＯ）ガスを含む還元性雰囲気下において、１０８０℃〜１４５０℃の範囲で、前記被処理体を熱処理する工程であって、前記アルミニウム化合物は、前記被処理体の熱処理中に酸化アルミニウムガスを放出する化合物である、工程と、
を含むことを特徴とする製造方法が提供される。【００１３】
ここで、本発明による製造方法において、前記アルミニウム化合物は、炭化アルミニウム（Ａｌ４Ｃ３）であっても良い。【００１４】
また、本発明による製造方法において、前記被処理体は、
マイエナイト化合物の粉末を含む成形体、
マイエナイト化合物を含む焼結体、および
仮焼粉を含む成形体、
からなる群から選定されても良い。【００１５】
また、本発明による製造方法において、前記（ｂ）の工程は、３０分〜５０時間の範囲で実施されても良い。【００１６】
また、本発明による製造方法において、前記（ｂ）の工程は、１００Ｐａ以下の真空度の環境で実施されても良い。【００１７】
また、本発明による製造方法において、前記（ｂ）の工程は、前記被処理体および前記アルミニウム化合物を、カーボンを含む容器中に入れた状態で行われても良い。【００１８】
また、本発明による製造方法において、前記（ｂ）の工程後に、電子密度が３×１０２０ｃｍ−３以上の高電子密度の導電性マイエナイト化合物が得られても良い。【００１９】
また、本発明による製造方法において、前記被処理体は、フッ素（Ｆ）成分を含み、
前記（ｂ）の工程後に、フッ素を含む導電性マイエナイト化合物が得られても良い。【００２０】
また、本発明では、前述の製造方法を用いて、導電性マイエナイト化合物を含む、成膜用のターゲットを製造する方法が提供される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を効率良く製造する方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施例による導電性マイエナイト化合物の製造方法の一例を模式的に示したフロー図である。
【図２】被処理体を熱処理する際に使用される装置の一構成例を模式的に示した図である。
【図３】実施例１に係る被処理体を熱処理する際に使用した装置の構成を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明では、導電性マイエナイト化合物の製造方法であって、
（ａ）被処理体を準備する工程であって、前記被処理体は、マイエナイト化合物またはマイエナイト化合物の前駆体を含む、工程と、
（ｂ）アルミニウム化合物および一酸化炭素（ＣＯ）ガスを含む還元性雰囲気下において、１０８０℃〜１４５０℃の範囲で、前記被処理体を熱処理する工程であって、前記アルミニウム化合物は、前記被処理体の熱処理中に酸化アルミニウムガスを放出する化合物である、工程と、
を含むことを特徴とする製造方法が提供される。
【００２４】
ここで、本願において、「マイエナイト化合物」とは、ケージ（籠）構造を有する１２ＣａＯ・７Ａｌ２Ｏ３（以下「Ｃ１２Ａ７」ともいう）およびＣ１２Ａ７と同等の結晶構造を有する化合物（同型化合物）の総称を意味する。Ｃ１２Ａ７の同等の同型化合物としては、１２ＳｒＯ・７Ａｌ２Ｏ３がある。
【００２５】
また、本願において、「導電性マイエナイト化合物」とは、ケージ中に含まれる「フリー酸素イオン」の一部もしくは全てが電子で置換された、電子密度が１．０×１０１８ｃｍ−３以上のマイエナイト化合物を意味する。また、電子密度が３．０×１０２０ｃｍ−３以上のマイエナイト化合物を、特に、「高電子密度の導電性マイエナイト化合物」と称する。なお、全てのフリー酸素イオンが電子で置換されたときの電子密度は、約２．３×１０２１ｃｍ−３である。
【００２６】
従って、「マイエナイト化合物」には、「導電性マイエナイト化合物」、「高電子密度の導電性マイエナイト化合物」、および「非導電性マイエナイト化合物」が含まれる。
【００２７】
本発明では、製造される「導電性マイエナイト化合物」の電子密度は、３．０×１０２０ｃｍ−３以上であり、従来の蓋付きカーボン容器を用いた方法に比べて有意に大きな電子密度を有する「高電子密度の導電性マイエナイト化合物」を得ることができる。本発明において製造される導電性マイエナイト化合物の電子密度は、５．０×１０２０ｃｍ−３以上であることが好ましく、７．０×１０２０ｃｍ−３以上であることがより好ましく、１．０×１０２１ｃｍ−３以上であることがさらに好ましい。
【００２８】
なお、一般に、導電性マイエナイト化合物の電子密度は、マイエナイト化合物の電子密度により、２つの方法で測定される。電子密度は、１．０×１０１８ｃｍ−３〜３．０×１０２０ｃｍ−３未満の場合、導電性マイエナイト化合物粉末の拡散反射を測定し、クベルカムンク変換させた吸収スペクトルの２．８ｅＶ（波長４４３ｎｍ）の吸光度（クベルカムンク変換値）から算出される。この方法は、電子密度とクベルカムンク変換値が比例関係になることを利用している。以下、検量線の作成方法について説明する。
【００２９】
電子密度の異なる試料を４点作成しておき、それぞれの試料の電子密度を、電子スピン共鳴（ＥＳＲ）のシグナル強度から求めておく。ＥＳＲで測定できる電子密度は、１．０×１０１４ｃｍ−３〜１．０×１０１９ｃｍ−３程度である。クベルカムンク値とＥＳＲで求めた電子密度をそれぞれ対数でプロットすると比例関係となり、これを検量線とした。すなわち、この方法では、電子密度が１．０×１０１９ｃｍ−３〜３．０×１０２０ｃｍ−３では検量線を外挿した値である。
【００３０】
電子密度が３．０×１０２０ｃｍ−３〜２．３×１０２１ｃｍ−３の場合、電子密度は、導電性マイエナイト化合物粉末の拡散反射を測定し、クベルカムンク変換させた吸収スペクトルのピークの波長（エネルギー）から換算される。関係式は下記の式を用いた：
ｎ＝（−（Ｅｓｐ−２．８３）／０．１９９）０．７８２    （１）式

ここで、ｎは電子密度（ｃｍ−３）、Ｅｓｐはクベルカムンク変換した吸収スペクトルのピークのエネルギー（ｅＶ）を示す。
【００３１】
本発明において、導電性マイエナイト化合物は、カルシウム（Ｃａ）、アルミニウム（Ａｌ）および酸素（Ｏ）からなるＣ１２Ａ７結晶構造を有している限り、カルシウム（Ｃａ）、アルミニウム（Ａｌ）および酸素（Ｏ）の中から選ばれた少なくとも１種の原子の一部が、他の原子や原子団に置換されていても良い。例えば、カルシウム（Ｃａ）の一部は、マグネシウム（Ｍｇ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、バリウム（Ｂａ）、リチウム（Ｌｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、セリウム（Ｃｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）および銅（Ｃｕ）からなる群から選択される１以上の原子で置換されていても良い。また、アルミニウム（Ａｌ）の一部は、シリコン（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ホウ素（Ｂ）、ガリウム（Ｇａ）、チタン（Ｔｉ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、セリウム（Ｃｅ）、プラセオジウム（Ｐｒ）、スカンジウム（Ｓｃ）、ランタン（Ｌａ）、イットリウム（Ｙ）、ヨーロピウム（Ｅｕ）、イットリビウム（Ｙｂ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）およびテリビウム（Ｔｂ）からなる群から選択される１以上の原子で置換されても良い。また、ケージの骨格の酸素は、窒素（Ｎ）などで置換されていても良い。
【００３２】
本発明において、導電性マイエナイト化合物は、ケージ内のフリー酸素イオンの少なくとも一部がＨ−、Ｈ２−、Ｈ２−、Ｏ−、Ｏ２−、ＯＨ−、Ｆ−、Ｃｌ−、およびＳ２−などの陰イオンや、窒素（Ｎ）の陰イオンによって置換されていても良い。
【００３３】
本発明における導電性マイエナイト化合物におけるカルシウム（Ｃａ）とアルミニウム（Ａｌ）の割合は、ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３に換算したモル比で、１０：９〜１３：６の範囲が好ましく、１１：８〜１２．５：６．５の範囲がより好ましく、１１．５：７．５〜１２．３：６．７の範囲がより好ましく、１１．８：７．２〜１２．２：６．８の範囲がさらに好ましく、約１２：７が特に好ましい。カルシウム（Ｃａ）の一部が他の原子に置換されている場合は、カルシウムと他の原子のモル数をカルシウムのモル数とみなす。アルミニウム（Ａｌ）の一部が他の原子に置換されている場合は、アルミニウムと他の原子のモル数をアルミニウムのモル数とみなす。
【００３４】
ここで、本発明による製造方法を利用した際に、「高電子密度の導電性マイエナイト化合物」が製造される理由として、以下のことが考えられる。
【００３５】
まず、本発明による製造方法では、例えば、マイエナイト化合物を含む被処理体が準備される。
【００３６】
また、本発明による製造方法では、そのような被処理体は、熱処理の際に酸化アルミニウムガスを放出するアルミニウム化合物、および一酸化炭素（ＣＯ）ガスの存在する還元性雰囲気下で、熱処理される。
【００３７】
ここで、酸化アルミニウムガスとしては、ＡｌＯガスおよび／またはＡｌ２Ｏガスが挙げられる。酸化アルミニウムガスは、強い還元性を有する。このため、被処理体が晒される環境は、強い還元性雰囲気となっている。従って、熱処理中に酸化アルミニウムガスが生じると、このガスにより、被処理体であるマイエナイト化合物が還元され、マイエナイト化合物のケージ内の酸素イオンが電子と置換される。
【００３８】
例えば、酸化アルミニウムガスを放出するアルミニウム化合物として、炭化アルミニウム（Ａｌ４Ｃ３）を想定した場合、被処理体の熱処理の際に、炭化アルミニウムは、以下の反応により、環境中に酸化アルミニウムガスを放出する：
Ａｌ４Ｃ３＋２Ｏ２  →  ４ＡｌＯ＋３Ｃ            （２）式
Ａｌ４Ｃ３＋Ｏ２  →  ２Ａｌ２Ｏ＋３Ｃ            （３）式
放出された酸化アルミニウムガスの還元作用により、マイエナイト化合物のケージ内の酸素イオンは、以下の反応により電子と置換される：
２ＡｌＯ＋Ｏ２−  →  Ａｌ２Ｏ３＋２ｅ−        （４）式
Ａｌ２Ｏ＋２Ｏ２−  →  Ａｌ２Ｏ３＋４ｅ−        （５）式
従って、このような反応により、被処理体であるマイエナイト化合物が還元され、高電子密度の導電性マイエナイト化合物が生成されるものと考えられる。
【００３９】
さらに一酸化炭素ガス（ＣＯ）は、マイエナイト化合物表面に、酸化物が堆積するのを抑制する効果がある。すなわち、一酸化炭素ガスの存在下では、マイエナイト化合物表面には、酸化物だけではなく、炭化物も生成する。この炭化物は、酸化物であるマイエナイト化合物との親和性が悪い上、熱処理温度では焼結もほとんどしない。したがって、酸化アルミニウムガスが、マイエナイト化合物表面に容易に到達できるため、一酸化炭素ガスが存在しない環境下と比較して、（４）式および（５）式の還元作用が進み易くなると考えられる。
【００４０】
特に、本発明による製造方法では、製造される導電性マイエナイト化合物の電子密度は、３．０×１０２０ｃｍ−３以上であり、従来方法１のような蓋付きカーボン容器を用いた方法に比べて、有意に大きな電子密度を有する「高電子密度の導電性マイエナイト化合物」を得ることができる。
【００４１】
また、本発明の製造方法では、前述の従来方法２とは異なり、金属アルミニウムは、使用されない。
【００４２】
前述のように、金属アルミニウムを使用する従来方法２では、マイエナイト化合物の被処理体および金属アルミニウムが加熱されると、被処理体の表面には、液体のアルミニウム金属が形成される。このような状態で被処理体の温度を室温まで降温すると、得られる導電性マイエナイト化合物の表面に、金属アルミニウムの固着物が固着されてしまう。このような固着物は、導電性マイエナイト化合物と強固に密着しており、固着物を剥離したり、除去したりすることは容易ではない。従って、このような現象が生じると、導電性マイエナイト化合物を回収する際に追加の処理工程が必要となり、生産性が低下するという問題が生じる。
【００４３】
これに対して、本発明による製造方法では、熱処理の際に、金属アルミニウムは使用されず、酸化アルミニウムガスを放出するアルミニウム化合物が使用される。このアルミニウム化合物は、前述の（２）式および（３）式から明らかなように、熱処理中に固体であるカーボン（Ｃ）に変化するものの、反応の過程で液体成分を生成することはない。
【００４４】
このため、本発明による製造方法では、生成した高電子密度の導電性マイエナイト化合物の表面に、金属アルミニウムのような固着物が固着することが有意に回避される。従って、本発明の製造方法では、熱処理後に生成した高電子密度の導電性マイエナイト化合物を容易に回収できる。
【００４５】
このように、本発明による製造方法では、生産性を低下させることなく、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を製造することが可能となる。
【００４６】
（本発明の一実施例による高電子密度の導電性マイエナイト化合物の製造方法）
以下、図面を参照して、本発明の一実施例による製造方法について、詳しく説明する。
【００４７】
図１には、本発明の一実施例による高電子密度の導電性マイエナイト化合物の製造方法を示す。
【００４８】
図１に示すように、本発明の一実施例による製造方法は、
（ａ）被処理体を準備する工程であって、前記被処理体は、マイエナイト化合物またはマイエナイト化合物の前駆体を含む、工程（工程Ｓ１１０）と、
（ｂ）アルミニウム化合物および一酸化炭素（ＣＯ）ガスを含む還元性雰囲気下において、１０８０℃〜１４５０℃の範囲で、前記被処理体を熱処理する工程であって、前記アルミニウム化合物は、前記被処理体の熱処理中に酸化アルミニウムガスを放出する化合物である、工程（工程Ｓ１２０）と、
を有する。
【００４９】
以下、各工程について詳しく説明する。
【００５０】
（工程Ｓ１１０）
まず、被処理体が準備される。被処理体は、マイエナイト化合物、またはマイエナイト化合物の前駆体を含む。例えば、被処理体は、
（ｉ）マイエナイト化合物の粉末の成形体、
（ｉｉ）マイエナイト化合物の焼結体、または
（ｉｉｉ）仮焼粉の成形体
であっても良い。
【００５１】
以下、（ｉ）〜（ｉｉｉ）の各形態の被処理体の調製方法について説明する。
【００５２】
（ｉ）マイエナイト化合物の粉末の成形体の調製方法
（マイエナイト化合物の粉末の調製）
マイエナイト化合物の粉末の成形体を調製する場合、最初に、原料粉末が調合される。
【００５３】
原料粉末は、カルシウム（Ｃａ）とアルミニウム（Ａｌ）の割合が、ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３に換算したモル比で、１０：９〜１３：６の範囲となるように調合される。ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３（モル比）は、１１：８〜１２．５：６．５の範囲が好ましく、１１．５：７．５〜１２．３：６．７の範囲がより好ましく、１１．８：７．２〜１２．２：６．８の範囲がさらに好ましく、約１２：７が特に好ましい。
【００５４】
なお、原料粉末に使用される化合物は、前記割合が維持される限り、特に限られない。
【００５５】
原料粉末は、カルシウムアルミネートを含むか、または、カルシウム化合物、アルミニウム化合物、およびカルシウムアルミネートからなる群から選定された少なくとも２つを含むことが好ましい。
【００５６】
原料粉末は、例えば、以下の混合粉末であっても良い：カルシウム化合物とアルミニウム化合物とを含む混合粉末、カルシウム化合物とカルシウムアルミネートとを含む混合粉末、アルミニウム化合物とカルシウムアルミネートとを含む混合粉末、カルシウム化合物と、アルミニウム化合物と、カルシウムアルミネートとを含む混合粉末、カルシウムアルミネートのみを含む混合粉末。
【００５７】
カルシウム化合物としては、炭酸カルシウム、酸化カルシウム、水酸化カルシウム、炭酸水素カルシウム、硫酸カルシウム、メタリン酸カルシウム、シュウ酸カルシウム、酢酸カルシウム、硝酸カルシウム、およびハロゲン化カルシウムなどが挙げられる。これらの中では、炭酸カルシウム、酸化カルシウム、および水酸化カルシウムが好ましい。
【００５８】
アルミニウム化合物としては、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸アルミニウム、硝酸アルミニウム、およびハロゲン化アルミニウムなどが挙げられる。これらの中では、水酸化アルミニウムおよび酸化アルミニウムが好ましい。酸化アルミニウム（アルミナ）は、α−アルミナ、γ−アルミナ、δ−アルミナなどあるが、α−酸化アルミニウム（アルミナ）が好ましい。
【００５９】
カルシウムアルミネートとしては、ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３、３ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３、５ＣａＯ・３Ａｌ２Ｏ３、ＣａＯ・２Ａｌ２Ｏ３、ＣａＯ・６Ａｌ２Ｏ３等が好ましい。Ｃ１２Ａ７を、カルシウム化合物またはアルミニウム化合物と混合して用いても良い。
【００６０】
原料粉末は、さらにフッ素（Ｆ）成分を含んでも良い。フッ素（Ｆ）成分としては、例えば、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）等が挙げられる。原料粉末にフッ素（Ｆ）成分を添加した場合、最終的に（工程Ｓ１２０の後に）、ケージ内にフッ素イオンが導入された高電子密度の導電性マイエナイト化合物等を製造できる。
【００６１】
フッ素（Ｆ）成分を含む原料粉末は、これに限られるものではないが、例えば、前述のようなカルシウム化合物とアルミニウム化合物の混合粉末に、フッ化カルシウムを添加して調製しても良い。
【００６２】
原料粉末中のフッ素（Ｆ）の含有量は、特に限られない。フッ素（Ｆ）の含有量は、例えば、最終的に得られる導電性マイエナイト化合物の化学式を
（１２−ｘ）ＣａＯ・７Ａｌ２Ｏ３・ｘＣａＦ２        （６）式
で表した際に、ｘの範囲が０〜０．６０の範囲となるように選定されても良い。
【００６３】
次に、前述のように調合された原料粉末が高温に保持され、マイエナイト化合物が合成される。
【００６４】
合成は、不活性ガス雰囲気下や真空下で行っても良いが、大気下で行うことが好ましい。合成温度は、特に限られないが、例えば、１１５０℃〜１４６０℃の範囲であり、１２００℃〜１４１５℃の範囲が好ましく、１２５０℃〜１４００℃の範囲がより好ましく、１３００℃〜１３５０℃の範囲がさらに好ましい。１１５０℃〜１４６０℃の温度範囲で合成した場合、Ｃ１２Ａ７の結晶構造を多く含むマイエナイト化合物が得られ易くなる。合成温度が低すぎると、Ｃ１２Ａ７結晶構造が少なくなるおそれがある。一方、合成温度が高すぎると、マイエナイト化合物の融点を超えるため、Ｃ１２Ａ７の結晶構造が少なくなるおそれがある。
【００６５】
合成温度は、フッ素を含有しないマイエナイト化合物では、１２３０℃〜１４１５℃がより好ましく、１２５０℃〜１３８０℃がさらに好ましく、１２８０℃〜１３５０℃が特に好ましい。合成温度は、フッ素を含有するマイエナイト化合物では、１１８０℃〜１４２０℃がより好ましく、１２００℃〜１４００℃がさらに好ましく、１２３０℃〜１３８０℃が特に好ましい。フッ素を含有するマイエナイト化合物は、化合物の融点が高くなるため、合成温度範囲が広くなり、製造しやすい。
【００６６】
高温の保持時間は、特に限られず、これは、合成量および保持温度等によっても変動する。保持時間は、例えば、１時間〜１２時間である。保持時間は、例えば、２時間〜１０時間であることが好ましく、４時間〜８時間であることがより好ましい。原料粉末を１時間以上、高温で保持することにより、固相反応が十分に進行し、均質なマイエナイト化合物を得ることができる。
【００６７】
合成により得られるマイエナイト化合物は、一部または全てが焼結した塊状である。塊状のマイエナイト化合物は、スタンプミル等で、例えば、５ｍｍ程度の大きさまで粉砕処理される。さらに、自動乳鉢や乾式ボールミルで、平均粒径が１０μｍ〜１００μｍ程度まで粉砕処理が行われる。ここで、「平均粒径」は、レーザ回折散乱法で測定して得た値を意味するものとする。以下、粉末の平均粒径は、同様の方法で測定した値を意味するものとする。
【００６８】
さらに微細で均一な粉末を得たい場合は、例えば、ＣｎＨ２ｎ＋１ＯＨ（ｎは３以上の整数）で表されるアルコール（例えば、イソプロピルアルコールを溶媒として用い、湿式ボールミル、または循環式ビーズミルなどを用いることにより、粉末の平均粒径を０．５μｍ〜５０μｍまで微細化できる。
【００６９】
以上の工程により、マイエナイト化合物の粉末が調製される。
【００７０】
なお、粉末として調整されるマイエナイト化合物は、導電性マイエナイト化合物であっても良い。導電性マイエナイト化合物は非導電性の化合物より粉砕性に優れるからである。
【００７１】
導電性マイエナイト化合物の合成方法は、特に限定されないが、下記の方法が挙げられる。例えば、マイエナイト化合物を蓋付きカーボン容器中に入れて、１６００℃で熱処理して作製する方法（国際公開第２００５／０００７４１号）、マイエナイト化合物を蓋付きカーボン容器に入れて、窒素中１３００℃で熱処理して作製する方法（国際公開第２００６／１２９６７４号）、炭酸カルシウム粉末と酸化アルミニウム粉末から作られる、カルシウムアルミネートなどの粉末を蓋付きカーボン坩堝に入れて、窒素中１３００℃で熱処理して作製する方法（国際公開第２０１０／０４１５５８号）、炭酸カルシウム粉末と酸化アルミニウム粉末を混合した粉末を、蓋付きカーボン坩堝に入れて、窒素中１３００℃で熱処理して作製する方法（特開２０１０−１３２４６７号公報）などがある。
【００７２】
導電性マイエナイト化合物の粉砕方法は、上記マイエナイト化合物の粉砕方法と同様である。
【００７３】
以上の工程により、導電性マイエナイト化合物の粉末が調整される。なお、非導電性マイエナイト化合物と導電性マイエナイト化合物の混合粉末を用いても良い。
【００７４】
（マイエナイト化合物粉末の成形体の調製）
次に、前述の方法で調製したマイエナイト化合物粉末を含む成形体が準備される。成形体は、粉末または粉末を含む混練物からなる成形材料の加圧成形により、調製しても良い。成形材料をプレス成形、シート成形、押出成形、または射出成形することにより、成形体を得ることができる。成形体の形状は、特に限られない。
【００７５】
（ｉｉ）マイエナイト化合物の焼結体の調製方法
マイエナイト化合物の焼結体を調製する場合も、前述の「（ｉ）マイエナイト化合物の粉末の成形体の調製方法」において説明した方法の一部を利用できる。
【００７６】
例えば、前述の（マイエナイト化合物の粉末の調製）の欄に示した方法では、原料粉末が高温に保持され、マイエナイト化合物が合成される。この合成後に得られる塊状のマイエナイト化合物を、そのまま被処理体用の焼結体として使用しても良い。
【００７７】
あるいは、「（ｉ）マイエナイト化合物の粉末の成形体の調製方法」の（マイエナイト化合物粉末の成形体の調製）の欄で示した成形体を熱処理することにより得られた焼結体を、被処理体として使用しても良い。
【００７８】
後者の場合、熱処理条件は、成形体が焼結される条件であれば特に限られない。熱処理は、例えば、大気中、３００℃〜１４５０℃の温度範囲で実施されても良い。３００℃以上であると有機成分が揮発し粉末の接点が増えるため焼結処理が進行しやすく、１４５０℃以下であると焼結体の形状を保持しやすい。熱処理の最高温度は、おおよそ１０００℃〜１４２０℃の範囲であり、好ましくは１０５０℃〜１４１５℃、さらに好ましくは１１００℃〜１３８０℃、特に好ましくは１２５０℃〜１３５０℃である。
【００７９】
熱処理の最高温度における保持時間は、おおよそ１時間〜５０時間の範囲であり、好ましくは、２時間〜４０時間、さらに好ましくは３時間〜３０時間である。また、保持時間を長くしても、特性上は特に問題はないが、作製コストを考えると、保持時間は、４８時間以内が好ましい。アルゴン、ヘリウム、ネオン、窒素などの不活性ガス、酸素ガス、またはこれらの混在した雰囲気中や、真空中で実施しても良い。
【００８０】
この他にも、各種方法で、マイエナイト化合物の焼結体を調製しても良い。
【００８１】
なお、焼結体に含まれるマイエナイト化合物は、導電性マイエナイト化合物であっても、非導電性マイエナイト化合物であっても良い。また、焼結体に含まれるマイエナイト化合物は、フッ素を含むマイエナイト化合物であっても良く、フッ素を含まないマイエナイト化合物であっても良い。
【００８２】
（ｉｉｉ）仮焼粉の成形体の調製方法
本願において、「仮焼粉」とは、熱処理を経て調製された粉末であって、（ｉ）酸化カルシウム、酸化アルミニウム、およびカルシウムアルミネートからなる選定された少なくとも２つを含む混合粉末、または、（ｉｉ）２種類以上のカルシウムアルミネートの混合粉末を意味する。カルシウムアルミネートとしては、ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３、３ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３、５ＣａＯ・３Ａｌ２Ｏ３、ＣａＯ・２Ａｌ２Ｏ３、ＣａＯ・６Ａｌ２Ｏ３、Ｃ１２Ａ７等が挙げられる。「仮焼粉」における、カルシウム（Ｃａ）とアルミニウム（Ａｌ）の割合は、ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３に換算したモル比で、９．５：９．５〜１３：６である。
【００８３】
特に、カルシウム（Ｃａ）とアルミニウム（Ａｌ）の割合は、ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３に換算したモル比で、１０：９〜１３：６の範囲となるように調合される。ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３（モル比）は、１１：８〜１２．５：６．５の範囲が好ましく、１１．５：７．５〜１２．３：６．７の範囲がより好ましく、１１．８：７．２〜１２．２：６．８の範囲がさらに好ましく、約１２：７が特に好ましい。
【００８４】
仮焼粉は、マイエナイト化合物の「前駆体」とも称される。
【００８５】
（仮焼粉の調製）
仮焼粉は、以下のようにして調製できる。
【００８６】
まず、原料粉末を準備する。原料粉末は、少なくとも、酸化カルシウム源および酸化アルミニウム源となる原料を含む。
【００８７】
例えば、原料粉末は、２種類以上のカルシウムアルミネートを含むか、または、カルシウム化合物、アルミニウム化合物、およびカルシウムアルミネートからなる群から選定された少なくとも２つを含むことが好ましい。
【００８８】
原料粉末は、例えば、以下の原料粉末であっても良い：カルシウム化合物とアルミニウム化合物とを含む原料粉末、カルシウム化合物とカルシウムアルミネートとを含む原料粉末、アルミニウム化合物とカルシウムアルミネートとを含む原料粉末、カルシウム化合物と、アルミニウム化合物と、カルシウムアルミネートとを含む原料粉末、カルシウムアルミネートのみを含む原料粉末。
【００８９】
以下、代表例として、原料粉末が少なくとも、酸化カルシウム源となる原料Ａと、酸化アルミニウム源となる原料Ｂとを含む場合を想定して、仮焼粉の調製方法を説明する。
【００９０】
原料Ａとしては、炭酸カルシウム、酸化カルシウム、水酸化カルシウム、炭酸水素カルシウム、硫酸カルシウム、メタリン酸カルシウム、シュウ酸カルシウム、酢酸カルシウム、硝酸カルシウム、およびハロゲン化カルシウムなどが挙げられる。これらの中では、炭酸カルシウム、酸化カルシウム、および水酸化カルシウムが好ましい。
【００９１】
原料Ｂとしては、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、硫酸アルミニウム、硝酸アルミニウム、およびハロゲン化アルミニウムなどが挙げられる。これらの中では、水酸化アルミニウムおよび酸化アルミニウムが好ましい。酸化アルミニウム（アルミナ）は、α−アルミナ、γ−アルミナ、δ−アルミナなどがあるが、α−酸化アルミニウム（アルミナ）が好ましい。
【００９２】
仮焼粉は、原料Ａおよび原料Ｂ以外の物質を含んでも良い。仮焼粉は、フッ素成分を含んでいても良く、フッ素成分を含んでいなくても良い。
【００９３】
次に、原料Ａおよび原料Ｂを含む原料粉末が熱処理される。これにより、カルシウムとアルミニウムを含む仮焼粉が得られる。前述のように、仮焼粉中のカルシウム（Ｃａ）とアルミニウム（Ａｌ）の割合は、ＣａＯ：Ａｌ２Ｏ３に換算したモル比で、約１０：９〜１３：６の範囲である。
【００９４】
熱処理の最高温度は、おおよそ６００℃〜１２５０℃の範囲であり、好ましくは９００℃〜１２００℃、より好ましくは１０００℃〜１１００℃である。熱処理の最高温度における保持時間は、おおよそ１時間〜５０時間の範囲であり、好ましくは２時間〜４０時間、より好ましくは３時間〜３０時間である。また、保持時間を長くしても、特性上は特に問題はないが、作製コストを考えると、保持時間は４８時間以内が好ましい。
【００９５】
熱処理は、大気中で実施しても良い。熱処理は、アルゴン、ヘリウム、ネオン、窒素などの不活性ガス、酸素ガス、またはこれらの混在した雰囲気中や、真空中で実施しても良い。
【００９６】
熱処理後に得られた仮焼粉は、通常、一部または全てが焼結した塊状である。このため、必要に応じて、前述の（マイエナイト化合物の粉末の調製）の欄に示したような、粉砕処理（粗粉砕および／または微細化）を実施しても良い。
【００９７】
以上の工程により、仮焼粉が調製される。
【００９８】
（仮焼粉の成形体の調製）
次に、前述のように調製された仮焼粉を用いて、成形体が形成される。
【００９９】
成形体の形成方法は、前述の（ｉ）の調製方法に関して（マイエナイト化合物粉末の成形体の調製）において説明した方法と同様の方法が適用できるため、ここではこれ以上説明しない。
【０１００】
以上の工程により、仮焼粉の成形体が調製される。
【０１０１】
なお、前述の（ｉ）〜（ｉｉｉ）の被処理体の調製方法の説明は、単なる一例であって、その他の方法で、被処理体を調製しても良いことは、当業者には明らかであろう。例えば、被処理体は、マイエナイト化合物の粉末と仮焼粉を混合した粉末の成形体であっても良い。
【０１０２】
（工程Ｓ１２０）
次に、例えば前述の調製方法により調製された（ｉ）〜（ｉｉｉ）の被処理体のような被処理体を用いて、熱処理が実施される。
【０１０３】
被処理体の熱処理は、一酸化炭素（ＣＯ）ガスを含む還元性雰囲気下で実施される。「還元性雰囲気」とは、環境中の酸素分圧が１０−３Ｐａ以下の雰囲気の総称を意味し、該環境は、不活性ガス雰囲気、または減圧環境（例えば圧力が１００Ｐａ以下の真空環境）であっても良い。酸素分圧は、１０−５Ｐａ以下が好ましく、１０−１０Ｐａ以下がより好ましく、１０−１５Ｐａ以下がさらに好ましい。
【０１０４】
一酸化炭素ガスは、被処理体の晒される環境に外部から供給しても良いが、例えばカーボン含有容器を使用して、被処理体をこのカーボン含有容器内に配置しても良い。この場合、被処理体の熱処理の際に、カーボン含有容器から、一酸化炭素ガスが供給される。あるいは、その他のＣＯ源となる部材を使用しても良い。
【０１０５】
被処理体の熱処理の際に、環境を還元性雰囲気に調整する方法は、特に限られない。
【０１０６】
例えば、カーボン含有容器を、圧力が１００Ｐａ以下の真空雰囲気に配置しても良い。この場合、圧力は、より好ましくは６０Ｐａ以下であり、さらに好ましくは４０Ｐａ以下であり、特に好ましくは２０Ｐａ以下である。
【０１０７】
あるいは、カーボン含有容器に、酸素分圧が１０００Ｐａ以下の不活性ガス雰囲気（ただし窒素ガスを除く）を供給しても良い。この場合、供給する不活性ガス雰囲気の酸素分圧は、好ましくは１００Ｐａ以下であり、より好ましくは１０Ｐａ以下であり、さらに好ましくは１Ｐａ以下であり、特に好ましくは０．１Ｐａ以下である。
【０１０８】
不活性ガス雰囲気は、アルゴンガス雰囲気等であっても良い。
【０１０９】
なお、本発明では、熱処理の際に被処理体が晒される環境中には、アルミニウム化合物が配置されることに留意する必要がある。アルミニウム化合物は、熱処理中に酸化アルミニウムガスを放出するものであれば特に限られない。アルミニウム化合物は、例えば、炭化アルミニウム（Ａｌ４Ｃ３）等であっても良い。
【０１１０】
熱処理温度は、１０８０℃〜１４５０℃の範囲である。熱処理温度が１０８０℃よりも低い場合、マイエナイト化合物に十分な導電性を付与することができないおそれがある。また、熱処理温度が１４５０℃よりも高い場合、マイエナイト化合物の融点を超えるため結晶構造が分解してしまい、電子密度が低くなる。
【０１１１】
熱処理温度は、フッ素成分を含まない被処理体では、１２３０℃〜１４１５℃が好ましく、１２５０℃〜１３８０℃がより好ましく、１２８０℃〜１３５０℃がさらに好ましい。所望の形状の導電性マイエナイト化合物が得られやすいことから、１３８０℃以下で熱処理することが好ましく、形状の安定性から、１３５０℃以下で熱処理することがより好ましい。熱処理温度は、フッ素成分を含む被処理体では、１１８０℃〜１４２０℃が好ましく、１２００℃〜１４００℃がより好ましく、１２３０℃〜１３８０℃がさらに好ましい。被処理体がフッ素成分を含むと、熱処理温度が広くなり、製造が制御しやすい。
【０１１２】
被処理体の高温保持時間は、３０分〜５０時間の範囲であることが好ましく、１時間〜４０時間がより好ましく、３時間〜３０時間がさらに好ましく、２時間〜２５時間が特に好ましい。被処理体の保持時間が３０分未満の場合、十分に高い電子密度を有する導電性マイエナイト化合物を得ることができなくなるおそれがある上、焼結も不十分であり、得られた焼結体が壊れやすくなるおそれがある。また、保持時間を長くしても、特性上は特に問題はないが、マイエナイト化合物の所望の形状が保持しやすいことから、保持時間は５０時間以内であることが好ましい。無駄なエネルギーを使用しない観点から、４０時間以内であることがより好ましい。
【０１１３】
以上の工程により、３×１０２０ｃｍ−３以上の導電性マイエナイト化合物が製造される。なお、（工程Ｓ１１０）において、フッ素成分を含む被処理体を使用した場合、フッ素を含む高電子密度の導電性マイエナイト化合物が製造される。この場合、フッ素は、ケージ内に導入されていても良く、ケージの骨格に導入されていても良い。
【０１１４】
図２には、被処理体を熱処理する際に使用される装置の一構成図を模式的に示す。
【０１１５】
装置２００は、上部が開放されているカーボン容器２１０と、該カーボン容器２１０の上部に配置されるカーボン蓋２１５と、カーボン容器２１０内に配置されたアルミナ製の蓋２３５付きのアルミナ容器２３０と、を有する。
【０１１６】
アルミナ容器２３０内には、仕切り板２４０と、耐熱皿（例えばアルミナ製皿）２５０とが配置されている。耐熱皿２５０内には、アルミニウム化合物２６０が、例えば粉末の形態で設置されている。アルミニウム化合物２６０は、装置２００が高温になった際に、酸化アルミニウムガスを発生する化合物であり、例えば炭化アルミニウム（Ａｌ４Ｃ３）である。
【０１１７】
仕切り板２４０は、上部に被処理体２７０を配置するために使用される。例えば、仕切り板２４０は、多数の貫通孔を有するアルミナ板等で構成される。
【０１１８】
なお、仕切り板２４０は、必ずしも必要な部材ではなく、省略しても良い。この場合、被処理体２７０は、アルミニウム化合物２６０の上に、直接配置される。あるいは、アルミニウム化合物２６０が粉末形態の場合、被処理体２７０は、アルミニウム化合物２６０内に埋設されても良い。
【０１１９】
カーボン容器２１０およびカーボン蓋２１５は、被処理体２７０の熱処理の際に、一酸化炭素ガスの供給源となる。
【０１２０】
なお、装置２００は、全体が耐熱性密閉容器に収容されており、この耐熱性密閉容器は、排気系と接続されている。このため、耐熱性密閉容器内、さらにはカーボン容器２１０内は、所望の減圧（真空）環境に制御できる。
【０１２１】
以下、被処理体２７０がマイエナイト化合物粉末の成形体で構成される場合を例に、装置２００を使用して、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を製造する方法について説明する。
【０１２２】
まず、装置２００全体が、所定の減圧環境に制御される。
【０１２３】
次に、装置２００を使用して、被処理体２７０が１０８０℃〜１４５０℃の温度に保持される。
【０１２４】
この際に、カーボン容器２１０およびカーボン蓋２１５側から一酸化炭素ガスが生じるとともに、（２）式および（３）式のように、アルミニウム化合物２６０から酸化アルミニウムガスが発生するため、被処理体２７０は、強い還元性雰囲気に晒される：
Ａｌ４Ｃ３＋２Ｏ２  →  ４ＡｌＯ＋３Ｃ            （２）式
Ａｌ４Ｃ３＋Ｏ２  →  ２Ａｌ２Ｏ＋３Ｃ            （３）式
従って、被処理体２７０に含まれるマイエナイト化合物のケージ中のフリー酸素イオンは、酸化アルミニウムガスにより、（４）式および（５）式に示すような反応で還元される：
２ＡｌＯ＋Ｏ２−  →  Ａｌ２Ｏ３＋２ｅ−            （４）式
Ａｌ２Ｏ＋２Ｏ２−  →  Ａｌ２Ｏ３＋４ｅ−        （５）式
これにより、熱処理後には、被処理体２７０から、高電子密度の導電性マイエナイト化合物が生成される。
【０１２５】
一方、被処理体２７０が仮焼粉の成形体で構成される場合も、装置２００を使用して、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を製造できる。
【０１２６】
なお、この場合、被処理体２７０中には、マイエナイト化合物は（ほとんど）含まれていない。しかしながら、被処理体２７０を１２３０℃〜１４１５℃の温度に保持した際に、仮焼粉中の酸化カルシウム、酸化アルミニウム、カルシウムアルミネートが反応して、非導電性マイエナイト化合物が生成される。
【０１２７】
被処理体２７０の高温保持中には、カーボン容器２１０およびカーボン蓋２１５側から一酸化炭素ガスが生じるとともに、アルミニウム化合物２６０から、酸化アルミニウムガスが発生する。従って、生成した非導電性マイエナイト化合物において、ケージ内のフリー酸素イオンは、速やかに電子に置換されると考えられる。これにより、高電子密度の導電性マイエナイト化合物が生成される。その後は、通常のセラミックス粒子の焼結過程と同様の過程により、生成した高電子密度の導電性マイエナイト化合物の粉末同士の焼結が進み、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の焼結体が形成される。
【０１２８】
従って、被処理体２７０を高温に保持することにより、仮焼粉から直接、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を生成、焼結させることができる。
【０１２９】
なお、図２の装置構成は、一例であって、この他の装置を使用して、被処理体を熱処理しても良いことは、当業者には明らかであろう。
【０１３０】
以上のように、本発明の一実施例による製造方法では、熱処理の際に、金属アルミニウムは使用されない。従って、本発明の一実施例による製造方法では、生成した高電子密度の導電性マイエナイト化合物の表面に、金属アルミニウムのような固着物が固着することが有意に回避される。従って、本発明の一実施例による製造方法では、熱処理後に生成した高電子密度の導電性マイエナイト化合物を比較的容易に回収できる。
【０１３１】
（本発明の一実施例による高電子密度の導電性マイエナイト化合物からなる成膜用ターゲット）
前述のような本発明の一実施例による製造方法を用いた場合、例えば、気相蒸着法で成膜を行う際に用いられるターゲット（例えば、スパッタリングターゲット）を製造できる。このターゲットは、高電子密度の導電性マイエナイト化合物で構成される。
【０１３２】
前述のように、特許文献２に記載の方法では、熱処理の際に、被処理体は、アルミニウム粒子が溶融して生じたアルミニウム溶融物中に浸漬された状態となる。従って、熱処理後の被処理体の表面には、アルミニウムの固着物が強固に密着するという問題が生じる。
【０１３３】
また、このような固着物は、熱処理に用いられる容器とも固着しているため、被処理体を破損せずに採取することは困難である。特に、被処理体が大きな寸法を有する場合、被処理体を破損せずに採取することは極めて難しい。
【０１３４】
このような問題のため、これまで、高電子密度の導電性マイエナイト化合物製の大型製品、例えば最小寸法が５ｍｍ以上のターゲットは、製造することは難しかった。
【０１３５】
しかしながら、本発明の一実施例では、電子密度が３×１０２０ｃｍ−３以上の導電性マイエナイト化合物を含み、最小寸法が５ｍｍ以上の成膜用ターゲットを容易に製造できる。円板の平型ターゲットにおいては、直径が、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは７５ｍｍ以上、さらに好ましくは１００ｍｍ以上、特に好ましくは２００ｍｍ以上のものを有するものを製造できる。長方形の平型ターゲットにおいては、長径が、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは７５ｍｍ以上、さらに好ましくは１００ｍｍ以上、特に好ましくは２００ｍｍ以上のものを有するものを製造できる。回転型ターゲットにおいては、円筒の高さが、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは７５ｍｍ以上、さらに好ましくは１００ｍｍ以上、特に好ましくは２００ｍｍ以上のものを製造できる。
【０１３６】
成膜用ターゲットの電子密度や相対密度は高い方が良く、電子密度は、５．０×１０２０ｃｍ−３以上が好ましく、１．０×１０２１ｃｍ−３以上がより好ましく、１．３×１０２１ｃｍ−３以上がさらに好ましく、１．５×１０２１ｃｍ−３以上が特に好ましい。相対密度は、９０％以上が好ましく、９３％以上がさらに好ましく、９５％以上が特に好ましい。
【０１３７】
本発明の成膜用ターゲットを用いて、酸素分圧が０．１Ｐａ未満の雰囲気下で、気相蒸着法により、基板上に製膜を行うと、電子を含む非晶質の薄膜を形成することができる。電子密度が２×１０１８ｃｍ−３以上２．３×１０２１ｃｍ−３以下の範囲で電子を含む非晶質の薄膜が得られる。非晶質の薄膜は、カルシウム、アルミニウム、および酸素を含む非晶質固体物質で構成されて良い。すなわち、本発明の成膜用ターゲットを用いて、酸素分圧が０．１Ｐａ未満の雰囲気下で、気相蒸着法により、基板上に製膜を行うと、カルシウムおよびアルミニウムを含む非晶質酸化物のエレクトライドの薄膜を形成できる。
【０１３８】
得られる非晶質の薄膜は、４．６ｅＶの光子エネルギー位置において光吸収を示す。得られる非晶質の薄膜の電子密度は、１×１０１９ｃｍ−３以上であっても良く、１×１０２０ｃｍ−３以上であっても良い。得られる非晶質の薄膜の仕事関数は、２．８〜３．２ｅＶであって良い。得られる非晶質の薄膜において、４．６ｅＶの光子エネルギー位置における光吸収係数に対する、３．３ｅＶの位置における光吸収係数の比は、０．３５以下であって良い。得られる非晶質の薄膜において、Ｆ＋センターの濃度は５×１０１８ｃｍ−３未満であって良い。
本発明の成膜用ターゲットを用いて、有機ＥＬ素子の電子注入層の薄膜を形成できる。
【実施例】
【０１３９】
次に、本発明の実施例について説明する。例１〜１２、２１〜３２は実施例であり、例５１〜５５は比較例である。【０１４０】
（例１）
以下の方法で、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。【０１４１】
（マイエナイト化合物の合成）
まず、酸化カルシウム（ＣａＯ）：酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）のモル比換算で１２：７となるように、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３、関東化学社製、特級）粉末３１３．５ｇと、酸化アルミニウム（α−Ａｌ２Ｏ３、関東化学社製、特級）粉末１８６．５ｇとを混合した。次に、この混合粉末を、大気中、３００℃／時間の昇温速度で１３５０℃まで加熱し、１３５０℃に６時間保持した。その後、これを３００℃／時間の冷却速度で降温し、約３６２ｇの白色塊体を得た。【０１４２】
次に、アルミナ製スタンプミルにより、この白色塊体を大きさが約５ｍｍの破片になるよう粉砕した後、さらに、アルミナ製自動乳鉢で粗粉砕し、白色粒子Ａ１を得た。レーザ回折散乱法（ＳＡＬＤ−２１００、島津製作所社製）により、得られた白色粒子Ａ１の粒度を測定したところ、平均粒径は、２０μｍであった。【０１４３】
次に、白色粒子Ａ１を３００ｇと、直径５ｍｍのジルコニアボール３ｋｇと、粉砕溶媒としての工業用ＥＬグレードのイソプロピルアルコール８００ｍｌとを、７リットルのジルコニア製容器に入れ、容器にジルコニア製の蓋を載せてから、回転速度７２ｒｐｍで、１６時間、ボールミル粉砕処理を実施した。【０１４４】
処理後、得られたスラリーを用いて吸引ろ過を行い、粉砕溶媒を除去した。残りの物質を８０℃のオーブンに入れ、１０時間乾燥させた。これにより、白色粉末Ｂ１を得た。Ｘ線回折分析の結果、得られた白色粉末Ｂ１は、Ｃ１２Ａ７構造であることが確認された。前述のレーザ回折散乱法により得られた白色粉末Ｂ１の平均粒径は、１．５μｍであることがわかった。【０１４５】
（マイエナイト化合物の粉末の成形体の作製）
前述の方法で得られた粉末Ｂ１（７ｇ）を、長さ４０ｍｍ×幅２０ｍｍ×高さ３０ｍｍの金型に敷き詰めた。この金型に対して、１０ＭＰａのプレス圧で１分間の一軸プレスを行った。さらに、１８０ＭＰａの圧力で等方静水圧プレス処理し、縦約４０ｍｍ×横約２０ｍｍ×高さ約１０ｍｍの寸法の成形体Ｃ１を得た。成形体Ｃ１は、市販のカッターで、長さ１０ｍｍ×幅８ｍｍ×厚さ６ｍｍの直方体形状に切断し、これを被処理体として使用した。【０１４６】
（導電性マイエナイト化合物の製造）
次に、被処理体を高温で熱処理し、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を製造した。【０１４７】
被処理体の熱処理には、図３に示した構成の装置３００を使用した。図３に示すように、装置３００は、カーボン製の蓋３３５付きの第１のカーボン容器３３０と、カーボン製の蓋３５５付きの第２のカーボン容器３５０とを備える。第１のカーボン容器３３０は、第２のカーボン容器３５０内に収容されている。【０１４８】
第１のカーボン容器３３０は、外径６０ｍｍ×内径５０ｍｍ×高さ６０ｍｍの略円筒状の形状を有し、第２のカーボン容器３５０は、外径８０ｍｍ×内径７０ｍｍ×高さ７５ｍｍの略円筒状の形状を有する。【０１４９】
装置３００は、第１のカーボン容器３３０内に配置されたアルミナ製容器４００を有し、アルミナ製容器４００内には、炭化アルミニウム粉末（株式会社ニラコ製）４１０を３ｇ配置した。炭化アルミニウム粉末４１０の上部に、直接被処理体を配置した。【０１５０】
次に、このように構成された装置３００全体を、雰囲気調整可能な電気炉内に設置した。ロータリーポンプとメカニカルブースターポンプを用いて、電気炉内を真空引きした。これにより、電気炉内の圧力は、約２０Ｐａまで減圧された。【０１５１】
次に、装置３００を加熱し、熱処理を実施した。熱処理は、３００℃／時間の昇温速度で装置３００を１３００℃まで加熱し、この温度に６時間保持した後、３００℃／時間の降温速度で、装置３００を室温まで冷却させることにより実施した。【０１５２】
この熱処理後に、表面が黒色の黒色物質Ｄ１が得られた。【０１５３】
炭化アルミニウム粉末４１０は、黒色に変色していたものの、焼結してはいなかった。このため、黒色物質Ｄ１は、炭化アルミニウム粉末４１０から容易に分離することができ、回収が容易であった。なお、黒色物質Ｄ１の相対密度は、９７．８％であった。【０１５４】
（評価）
次に、黒色物質Ｄ１から電子密度測定用サンプルを採取した。サンプルは、アルミナ製自動乳鉢を用いて黒色物質Ｄ１の粗粉砕を行い、得られた粗粉のうち、黒色物質Ｄ１の中央部分に相当する部分から採取した。【０１５５】
得られたサンプルは、焦げ茶色を呈していた。Ｘ線回折分析の結果、このサンプルは、Ｃ１２Ａ７構造だけを有することがわかった。また、得られた粉末の光拡散反射スペクトルのピーク位置から求められた電子密度は、８．３×１０２０ｃｍ−３であった。【０１５６】
このことから、黒色物質Ｄ１は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の焼結体であることが確認された。【０１５７】
（例２）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、成形体の熱処理温度を１３４０℃とした。【０１５８】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１５９】
（例３）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理温度を１２５０℃とした。【０１６０】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１６１】
（例４）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を２４時間とした。【０１６２】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１６３】
（例５）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を２時間とした。【０１６４】
これにより、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程後に、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１６５】
（例６）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、第１のカーボン容器３３０の中に、図２に示した仕切り板２４０のような仕切り板を配置し、炭化アルミニウム粉末と被処理体とが直接接触しない状態で、熱処理を実施した。【０１６６】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０１６７】
（例７）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、成形体用の粉末として、電子密度が５．０×１０１９ｃｍ−３の導電性マイエナイト化合物の粉末を使用した。【０１６８】
この導電性マイエナイト化合物の粉末は、以下のようにして調製した。【０１６９】
カーボン製の蓋付容器の中に、例１における成形体Ｃ１を設置し、熱処理を実施した。【０１７０】
熱処理雰囲気は窒素とした。熱処理は、３００℃／時間の昇温速度で、成形体Ｃ１を１３００℃まで加熱し、１３００℃で６時間保持することにより実施した。その後、成形体Ｃ１を３００℃／時間の冷却速度で降温し、黒色塊体を得た。【０１７１】
次に、得られた黒色塊体を粉砕して、平均粒径が１．４μｍの粉末を得た。この際には、例１の（マイエナイト化合物の合成）の欄において示した方法と同様の粉砕方法（すなわちアルミナ製スタンプミルによる粗粉砕、およびその後のジルコニアボールを用いたボールミル粉砕処理）を実施した。【０１７２】
なお、分析の結果、得られた粉末は、Ｃ１２Ａ７構造を有し、電子密度は、５．０×１０１９ｃｍ−３であった。【０１７３】
この導電性マイエナイト化合物の粉末を使用して成形体を作製した以外は、例１の場合と同様の製造条件で、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。【０１７４】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１７５】
（例８）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、圧力を５０Ｐａとした。【０１７６】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１７７】
（例９）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。【０１７８】
ただし、被処理体として、マイエナイト化合物（非導電性）の焼結体を使用した。また、例１の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を２４時間とした。マイエナイト化合物の焼結体は、以下のようにして作製した。【０１７９】
前述の例１の（マイエナイト化合物の成形体の作製）の工程を経て得られた成形体Ｃ１をアルミナ板上に配置し、大気下で１１００℃まで加熱した。昇温速度は、３００℃／時間とした。次に、成形体Ｃ１を１１００℃で２時間保持した後、３００℃／時間の降温速度で室温まで冷却した。【０１８０】
これにより、非導電性マイエナイト化合物の焼結体Ｅ９が得られた。なお、焼結体Ｅ９の開気孔率は、３１％であった。得られた焼結体Ｅ９は、長さ８ｍｍ×幅６ｍｍ×厚さ６ｍｍの直方体状に加工し、これを被処理体として使用した。【０１８１】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１８２】
（例１０）
前述の例１と同様の方法により、導電性マイエナイト化合物を作製した。【０１８３】
ただし、被処理体として、マイエナイト化合物（非導電性）の焼結体を使用した。また、例１の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を２４時間とした。マイエナイト化合物の焼結体は、以下のようにして作製した。【０１８４】
前述の例１の（マイエナイト化合物の成形体の作製）の工程を経て得られた成形体Ｃ１をアルミナ板上に配置し、大気下で１３００℃まで加熱した。昇温速度は、３００℃／時間とした。次に、成形体Ｃ１を１３００℃で６時間保持した後、３００℃／時間の降温速度で室温まで冷却した。【０１８５】
これにより、非導電性マイエナイト化合物の焼結体Ｅ１０が得られた。なお、焼結体Ｅ１０の開気孔率は、ほぼ０％であった。得られた焼結体Ｅ１０は、長さ８ｍｍ×幅６ｍｍ×厚さ６ｍｍの直方体状に加工し、これを被処理体として使用した。【０１８６】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０１８７】
（例１１）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、例１で使用した炭化アルミニウム粉末を再度使用した。なお、例１で使用した後の炭化アルミニウム粉末は黒色を呈していた。【０１８８】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。この結果から、炭化アルミニウム粉末は、再利用することが可能であることがわかった。【０１８９】
（例１２）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、被処理体として、長さ５５ｍｍ×幅５５ｍｍ×厚さ５ｍｍの板状の成形体を使用した。また、例１の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、使用するカーボン容器、アルミナ製容器のサイズを変更した。この成形体は、以下のようにして作製した。【０１９０】
あらかじめマイエナイト化合物の粉末とビヒクルを、重量比で１０：１．５の割合で自動乳鉢で混合させた造粒粉を作製した。このときビヒクルとは、ポリビニルブチラール（ＢＭ−Ｓ、積水化学社製）を有機溶剤に固形分で１０重量％溶かした液体である。有機溶剤は、トルエンとイソプロピルアルコールとブタノールを重量比で、６：３：１の割合で混合したものである。ポリビニルブチラールは成形体の保型性を高める、バインダーの役割を果たす。【０１９１】
前記造粒粉２２ｇを、長さ６０ｍｍ×幅６０ｍｍ×高さ５０ｍｍの金型に敷き詰めて、１０ＭＰａのプレス圧で１分間の一軸プレスを行った。得られた成形体の溶剤分を揮発させるため、８０℃のオーブンで１時間乾燥させた。さらに等方静水圧プレス（ＣＩＰ）を１８０ＭＰａのプレス圧で１分間保持して、長さ５５ｍｍ×幅５５ｍｍ×厚さ５ｍｍの板状の成形体を得た。これを被処理体として使用した。【０１９２】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０１９３】
例２〜１２において、例１と同様の方法により回収されたサンプルのＸ線回折の結果、黒色物質は、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。例２〜１２における黒色物質の相対密度、電子密度を表１に示す。以上のことから、例２〜１２における黒色物質は、高電子密度のマイエナイト化合物の焼結体であることが確認された。【０１９４】
（例２１）
前述の例１と同様の方法により、導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（マイエナイト化合物の粉末の成形体の作製）の工程において、粉末Ｂ１の代わりに、フッ素成分を含む混合粉末を使用して成形体を調製し、最終的に、フッ素を含む高電子密度の導電性マイエナイト化合物を製造した。【０１９５】
（成形体の調製方法）
まず、例１の（マイエナイト化合物の合成）の欄に記載した方法で得られた粉末Ｂ１の３８．７２ｇに、フッ化カルシウム（ＣａＦ２、関東化学社製、特級）粉末０．７３ｇと、酸化アルミニウム（α−Ａｌ２Ｏ３、関東化学社製、特級）粉末０．５５ｇとを添加し、これらを十分に混合して、混合粉末Ｆ２１を得た。【０１９６】
最終的に製造されるマイエナイト化合物においても、この混合粉末Ｆ２１のＣａ／Ａｌ／Ｆの組成比が維持されると仮定した場合、製造されるマイエナイト化合物は、化学式
（１２−ｘ）ＣａＯ・７Ａｌ２Ｏ３・ｘＣａＦ２        （６）式
で表され、特にｘ＝０．３２となる。【０１９７】
次に、この混合粉末Ｆ２１の７ｇを、長さ４０ｍｍ×幅２０ｍｍ×高さ３０ｍｍの金型に敷き詰めた。金型に対して、１０ＭＰａのプレス圧で１分間の一軸プレスを行った。さらに、１８０ＭＰａの圧力で等方静水圧プレス処理した。これにより、縦約３８ｍｍ×横約１９ｍｍ×高さ約６ｍｍの寸法の成形体Ｃ２１が形成された。【０１９８】
次に、成形体Ｃ２１を市販のカッターで、長さ１９ｍｍ×幅８ｍｍ×厚さ６ｍｍの直方体形状に切断し、これを被処理体として使用した。【０１９９】
これにより、表面が黒色の黒色物質Ｄ２１が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質Ｄ２１は、容易に回収することができた。黒色物質Ｄ２１の相対密度は、９８．１％であった。【０２００】
例１と同様の方法により回収されたサンプルのＸ線回折の結果、黒色物質Ｄ２１は、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。黒色物質Ｄ２１の電子密度は、１．１×１０２１ｃｍ−３であった。【０２０１】
次に、黒色物質Ｄ２１の格子定数を測定した結果、黒色物質Ｄ２１の格子定数は、例１における黒色物質の値よりも小さかった。このことから、マイエナイト化合物にフッ素が含有していると考えられる。【０２０２】
次に、黒色物質Ｄ２１を破断し、エネルギー分散型Ｘ線分析（ＥＤＸ）により、破断面の組成分析を行った。分析結果から、検出されたフッ素の割合は、混合粉末Ｆ２１の混合比に近いことがわかった。【０２０３】
このように、黒色物質Ｄ２１は、フッ素を含む高電子密度の導電性マイエナイト化合物の焼結体であることが確認された。【０２０４】
（例２２）
前述の例２１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、被処理体の熱処理温度を１１００℃とした。【０２０５】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０２０６】
（例２３）
前述の例１２と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、被処理体の熱処理温度を１３８０℃とした。【０２０７】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０２０８】
（例２４）
前述の例２１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（成形体の調製方法）の工程において、粉末Ｂ１の３８．１１ｇに、フッ化カルシウム（ＣａＦ２、関東化学社製、特級）粉末１．０７ｇと、酸化アルミニウム（α−Ａｌ２Ｏ３、関東化学社製、特級）粉末０．８２ｇとを添加し、これらを十分に混合して、混合粉末Ｆ２４を得た。【０２０９】
最終的に製造されるマイエナイト化合物においても、この混合粉末Ｆ２４のＣａ／Ａｌ／Ｆの組成比が維持されると仮定した場合、製造されるマイエナイト化合物は、上述の化学式（６）で表され、特にｘ＝０．４８となる。【０２１０】
この混合粉末Ｆ２４を例２１における混合粉末Ｆ２１の代わりに用いた他は例２１と同様にして、被処理体を得て使用した。なお、この被処理体の熱処理温度は、１４２０℃とした。【０２１１】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０２１２】
（例２５）
前述の例２１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（成形体の調製方法）の工程において、粉末Ｂ１の３９．７８ｇに、フッ化カルシウム（ＣａＦ２、関東化学社製、特級）粉末０．１２ｇと、酸化アルミニウム（α−Ａｌ２Ｏ３、関東化学社製、特級）粉末０．０９ｇとを添加し、これらを十分に混合して、混合粉末Ｆ２５を得た。【０２１３】
最終的に製造されるマイエナイト化合物においても、この混合粉末Ｆ２５のＣａ／Ａｌ／Ｆの組成比が維持されると仮定した場合、製造されるマイエナイト化合物は、上述の化学式（６）で表され、特にｘ＝０．０６となる。この混合粉末Ｆ２５を例２１における混合粉末Ｆ２１の代わりに用いた他は例２１と同様にして、被処理体を得て使用した。【０２１４】
これにより、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０２１５】
（例２６）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。【０２１６】
ただし、被処理体として、フッ素を含むマイエナイト化合物（非導電性）の焼結体を使用した。【０２１７】
なお、フッ素を含むマイエナイト化合物の焼結体は、以下のようにして作製した。【０２１８】
前述の例２１における（成形体の調製方法）の工程を経て得られた成形体Ｃ２１をアルミナ板上に配置し、大気下で１４００℃まで加熱した。昇温速度は、３００℃／時間とした。次に、成形体Ｃ２１を１４００℃で６時間保持した後、３００℃／時間の降温速度で室温まで冷却した。【０２１９】
これにより、焼結体Ｅ２６が得られた。なお、焼結体Ｅ２６の開気孔率は、ほぼ０％であった。得られた焼結体Ｅ２６は、長さ８ｍｍ×幅６ｍｍ×厚さ６ｍｍの直方体状に加工し、これを被処理体として使用した。【０２２０】
これにより、前述の例１の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程後に、表面が黒色の黒色物質が得られた。炭化アルミニウム粉末は、焼結してはいなかった。このため、黒色物質は、容易に回収することができた。【０２２１】
例２２〜２６において、例１と同様の方法により回収されたサンプルのＸ線回折の結果、黒色物質は、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。黒色物質の格子定数を測定した結果、黒色物質の格子定数は、例１における黒色物質Ｄ１の値より小さかった。マイエナイト化合物にフッ素が含有していると考えられる。黒色物質を破断し、破断面の組成分析を行った。分析結果から、検出されたフッ素の割合は、原料として用いた混合粉末の混合比に近いことがわかった。例２２〜２６における黒色物質の相対密度、電子密度を表２に示す。以上のことから、例２２〜２６における黒色物質は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の焼結体であることが確認された。【０２２２】
（例２７）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。【０２２３】
ただし、被処理体として、仮焼粉の成形体を使用した。仮焼粉の成形体は、以下のようにして作製した。【０２２４】
（仮焼粉の合成）
まず、酸化カルシウム（ＣａＯ）：酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）のモル比換算で１２：７となるように、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３、関東化学社製、特級）粉末３１３．５ｇと、酸化アルミニウム（α−Ａｌ２Ｏ３、関東化学社製、特級）粉末１８６．５ｇとを混合した。次に、この混合粉末を、大気中、３００℃／時間の昇温速度で１０００℃まで加熱し、１０００℃に６時間保持した。その後、これを３００℃／時間の冷却速度で降温した。【０２２５】
これにより、約３６２ｇの白色粉末が得られた。この白色粉末は、自動乳鉢で容易に解砕できた。【０２２６】
（仮焼粉の成形体の作製）
白色粉末を７ｇに、工業用ＥＬグレードのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）０．７ｇを添加し、自動乳鉢で混合した。次に、この混合物を、長さ４０ｍｍ×幅２０ｍｍ×高さ３０ｍｍの金型に敷き詰めた。この金型に対して、１０ＭＰａのプレス圧で１分間の一軸プレスを行った。さらに、１８０ＭＰａの圧力で等方静水圧プレス処理を実施した。【０２２７】
これにより、縦約３８ｍｍ×横約１９ｍｍ×高さ約６ｍｍの寸法の成形体Ｃ２７が得られた。なお、ＩＰＡは、成形体のバインダーとして機能している。成形体Ｃ２７は、市販のカッターで、長さ１９ｍｍ×幅８ｍｍ×厚さ６ｍｍの直方体形状に切断して、被処理体として使用した。【０２２８】
次に、この仮焼粉の成形体である被処理体を用いて、例１の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程を実施した。ただし、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を１２時間とした。【０２２９】
これにより、黒色物質Ｄ２７が得られた。黒色物質Ｄ２７は、容易に回収することができた。【０２３０】
黒色物質Ｄ２７の相対密度は、８９．５％であった。【０２３１】
例１と同様の方法により回収されたサンプルのＸ線回折の結果、黒色物質Ｄ２７は、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。黒色物質Ｄ２７の電子密度は、８．８×１０２０ｃｍ−３であった。【０２３２】
このことから、黒色物質Ｄ２７は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の焼結体であることが確認された。【０２３３】
（例２８）
前述の例２７と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理温度を１２５０℃とし、熱処理時間を１２時間とした。【０２３４】
これにより、黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０２３５】
（例２９）
前述の例２７と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を２４時間とした。【０２３６】
これにより、黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０２３７】
（例３０）
前述の例２７と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理時間を２時間とした。【０２３８】
これにより、黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０２３９】
（例３１）
前述の例２７と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。【０２４０】
ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、第１のカーボン容器３３０の中に、図２に示した仕切り板２４０のような仕切り板を配置し、炭化アルミニウム粉末と成形体Ｃ２７とが直接接触しない状態で、熱処理を実施した。【０２４１】
これにより、黒色の黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０２４２】
（例３２）
前述の例２７と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物を作製した。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、真空度を５０Ｐａとした。【０２４３】
これにより、黒色物質が得られた。黒色物質は、容易に回収することができた。【０２４４】
例２８〜３２において、例１と同様の方法により回収されたサンプルのＸ線回折の結果、黒色物質は、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。例２８〜３２における黒色物質の相対密度、電子密度を表２に示す。以上のことから、例２８〜３２における黒色物質は、高電子密度のマイエナイト化合物の焼結体であることが確認された。【０２４５】
（例５１）
前述の例２１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の作製を試みた。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理温度を１４６０℃とした。【０２４６】
これにより、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程後に、表面が黒色の黒色物質Ｄ５１が得られた。黒色物質Ｄ５１は、著しく変形していた。黒色物質Ｄ５１は、発泡しており、相対密度を測定することは困難であった。【０２４７】
さらに、例１と同様の方法により、この黒色物質Ｄ５１を粉砕して得た粉末のＸ線回折の結果、黒色物質Ｄ５１は、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。しかしながら、黒色物質Ｄ５１の電子密度は、５．８×１０１９ｃｍ−３であった。【０２４８】
このことから、黒色物質Ｄ５１は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物ではないことが確認された。【０２４９】
（例５２）
前述の例２１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の作製を試みた。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において、熱処理温度を１０５０℃とした。【０２５０】
これにより、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程後に、表面が薄黒い黒色物質Ｄ５２が得られた。【０２５１】
さらに、例１と同様の方法により、この黒色物質Ｄ５２を粉砕して得た粉末のＸ線回折の結果、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。しかしながら、黒色物質Ｄ５２の電子密度は、２．５×１０１９ｃｍ−３であった。【０２５２】
このことから、黒色物質Ｄ５２は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物ではないことが確認された。【０２５３】
（例５３）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の作製を試みた。ただし、被処理体の熱処理は、ＣＯガスの存在しない環境下で実施した。【０２５４】
より具体的には、例１の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程において使用される装置３００において、第１のカーボン容器３３０、第２のカーボン容器３５０、およびカーボン製の蓋３３５、３５５は、全てアルミナ製のものに交換した。さらに、熱処理時の真空度は、５０Ｐａとした。【０２５５】
これにより、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程後に、表面が薄黒い黒色物質Ｄ５３が得られた。【０２５６】
例１と同様の方法により、この黒色物質Ｄ５３を粉砕して得た粉末のＸ線回折の結果、黒色物質Ｄ５３は、Ｃ１２Ａ７の単相構造を有さないことがわかった。【０２５７】
このことから、黒色物質Ｄ５３は、高純度の導電性マイエナイト化合物でないことが確認された。【０２５８】
（例５４）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の作製を試みた。ただし、被処理体の熱処理は、酸化アルミニウムガスの存在しない環境下で実施した。【０２５９】
より具体的には、例１の（導電性マイエナイト化合物の作製）の工程で使用される装置３００において、アルミナ製容器４００内に、炭化アルミニウム粉末４１０（株式会社ニラコ製）を配置しなかった。被処理体は、直接アルミナ製容器４００内に配置した。【０２６０】
熱処理の際には、装置３００内を真空引きし、圧力を１００Ｐａまで減圧した後、酸素濃度が１体積ｐｐｍ以下の窒素ガスを、大気圧になるまで装置３００内に流入した。従って、熱処理時の圧力は、大気圧である。【０２６１】
これにより、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程後に、表面が薄黒い黒色物質Ｄ５４が得られた。【０２６２】
例１と同様の方法により、この黒色物質Ｄ５４を粉砕して得た粉末のＸ線回折の結果、Ｃ１２Ａ７構造のみを有することがわかった。黒色物質Ｄ５４の電子密度は、４．８×１０１９ｃｍ−３であった。【０２６３】
このことから、黒色物質Ｄ５４は、高電子密度の導電性マイエナイト化合物でないことが確認された。【０２６４】
（例５５）
前述の例１と同様の方法により、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の作製を試みた。ただし、（導電性マイエナイト化合物の製造）の工程で使用される装置３００において、アルミナ製容器４００内には、炭化アルミニウム粉末（株式会社ニラコ製）４１０のかわりに金属アルミニウムを配置した。【０２６５】
これにより、前述の（導電性マイエナイト化合物の製造）工程後に、黒色物質Ｄ５５が得られた。しかしながら、黒色物質Ｄ５５は、アルミニウム層中に半分沈んでおり、サンプルを回収するのに、多大な労力が必要であった。従って、この方法は、工業的な生産には適さない製造方法であると考えられる。【０２６６】
以下の表１および表２には、例１〜例１２、２１〜３２、例５１〜例５５における被処理体の仕様、熱処理条件、および評価結果等を、まとめて示した。【０２６７】
【表１】
2014050900.tif 000003
【０２６８】
【表２】
2014050900.tif 000004
なお、表１および表２において、「被処理体」の欄における（ｉ）、（ｉｉ）、および（ｉｉｉ）の記号は、それぞれ、被処理体が、マイエナイト化合物の粉末の成形体、マイエナイト化合物の焼結体、および仮焼粉であることを意味する。【０２６９】
また、「Ｆ添加量（ｘ値）」の欄における数値は、被処理体に含まれるフッ素（Ｆ）量を表す。この値は、被処理体から、最終的に以下の（６）式
（１２−ｘ）ＣａＯ・７Ａｌ２Ｏ３・ｘＣａＦ２        （６）式
で表されるマイエナイト化合物が製造されたと仮定した場合の、ｘの値を意味する。
【産業上の利用可能性】
【０２７０】
本発明は、蛍光ランプの電極、有機ＥＬ素子の電子注入層の薄膜を形成するのに必要な、スパッタリング用ターゲット等に使用され得る、高電子密度の導電性マイエナイト化合物の製造方法に適用できる。【０２７１】
本願は、２０１２年９月２８日に出願した日本国特許出願２０１２−２１７３４３号に基づく優先権を主張するものであり、同日本国出願の全内容を本願の参照として援用する。
【符号の説明】
【０２７２】
２００    装置
２１０    カーボン容器
２１５    カーボン蓋
２３０    アルミナ容器
２３５    アルミナ製の蓋
２４０    仕切り板
２５０    耐熱皿
２６０    アルミニウム化合物
２７０    被処理体
３００    装置
３３０    第１のカーボン容器
３３５    カーボン製の蓋
３５０    第２のカーボン容器
３５５    カーボン製の蓋
４００    アルミナ製容器
４１０    炭化アルミニウム粉末
Ｃ１      成形体。
【図１】
2014050900.tif 000005
【図２】
2014050900.tif 000006
【図３】
2014050900.tif 000007
【国際調査報告】
2014050900.tif 000008
2014050900.tif 000009
2014050900.tif 000010
2014050900.tif 000011