【手続補正書】
【提出日】平成27年3月25日(2015.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】真空弁の外部シール構造
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
このような真空弁１０１は、製品組立後や、回路設置後、半導体製造装置のメンテナンス時などに、環状シール部材１０９の漏れを検出するリークテストが行われる。このリークテストは、一般的に、真空弁１０１の内圧をバックグラウンドまで減圧すると、作業者がバルブボディ１０４とシリンダカバー１０７の連結部分に検査用流体を吹き付ける。リークテスト装置は、真空弁１０１内の検査用流体の量を感知して（リーク測定値を測定し）、環状シール部材１０９からの漏れを検出する。尚、検査用流体には、一般的に、ヘリウムガス（以下「Ｈｅガス」という。）が使用される。へリウムガスは、分子直径が小さいため、漏れ部分に侵入しやすく、微量な漏れでも検出できるからである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
ところが、近年、材料ガスには、より腐食性の高い特殊ガスが使用されるようになった。この特殊ガスは、フッ素樹脂製の環状シール部材１０９を透過する。そこで、フッ素樹脂製の環状シール部材１０９に代えて、より耐腐食性の高いパーフルオロエラストマー製のシール部材を使用すれば、特殊ガスの外部漏れを防げることに発明者らは気付いた（以下、フッ素樹脂製の環状シール部材１０９と区別するために、パーフルオロエラストマー製の環状シール部材を「環状シール部材１０９’」と記載する。）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、パーフルオロエラストマー製の環状シール部材についてリークテストを行う場合に、異常が誤検出されることを防止できる真空弁の外部シール構造を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一態様は、次のような構成を有している。
流路を流れる流体を制御する弁部を内蔵するバルブボディと、前記弁部に駆動力を付与する駆動部を内蔵するシリンダカバーと、前記バルブボディと前記シリンダカバーとの間で上端プレートを挟持され、前記バルブボディに伸縮可能に内設されて前記流路と前記駆動部との間を遮断する隔壁部材とを備える真空弁に適用され、前記上端プレートと前記バルブボディとの間にメイン流体用環状シール部材を配置することにより、前記流体が外部へ漏れることを防止する真空弁の外部シール構造において、前記メイン流体用環状シール部材の材質が、パーフルオロエラストマーであって、前記メイン流体用環状シール部材の外側に、フッ素樹脂製のフッ素系環状シール部材を配設し、外気に連通するリークポートを、前記メイン流体用環状シール部材のシール位置と前記フッ素系環状シール部材のシール位置との間に連通させるように、前記バルブボディに設ける。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記態様の真空弁のシール構造によれば、パーフルオロエラストマー製のメイン流体用環状シール部材についてリークテストを行う場合に、異常が誤検出されることを防止できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
Ｂ．真空弁１Ａの外部シール構造２０Ａの構成
図２に示すように、外部シール構造２０Ａは、隔壁部材１１の上端プレート１１ｂとバルブボディ２の第１連結部２ａとの間に、パーフルオロエラストマー製のメイン流体用環状シール部材２１とフッ素樹脂製のフッ素系環状シール部材２２が配置されている。つまり、外部シール構造２０Ａは、バルブボディ２とシリンダカバー３との連結部分を二重にシールしている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
メイン流体用環状シール部材２１は、バルブボディ２とシリンダカバー３が上端プレート１１ｂを挟持する挟持方向（図中上下方向）に押し潰され、図中Ｐ１，Ｐ２に示すように、第１連結部２ａと壁部１１ｆに密着して２点でシールを行う。そのため、流路１６から第１連結部２ａと上端プレート１１ｂとの間に侵入した材料ガスがメイン流体用環状シール部材２１より外側に漏れない。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
リークテストでは、真空弁１Ａを弁閉した状態で閉鎖手段２６を取り外し、リークディテクタ３２を駆動させる。リークディテクタ３２は、真空弁１Ａの内部空間６（図１参照）内を減圧し始める。リークディテクタ３２は、真空弁１Ａの内圧がバックグラウンドまで減圧したことを検出すると、Ｈｅガスの吹き付けが可能であることを表示ランプ等で作業者に知らせる。作業者は、吹き付けプローブ３５によりＨｅガスを外部シール構造２０Ａの全周に吹き付ける。リークディテクタ３２は、Ｈｅガスの吹き付けが開始されても、ゼロ点リセットされない。リークディテクタ３２は、Ｈｅガスの吹きつけが開始されてから所定の検出時間が経過するまでＨｅガスの量を感知し、漏れを検出する。尚、リークテストが終了すると、真空弁１Ａは、リークポート２ｂが閉鎖手段２６で閉鎖され、リークテスト装置３１から取り外される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
Ｄ．第１実施形態の真空弁１Ａの外部シール構造２０Ａの作用効果
以上説明したように、第１実施形態の外部シール構造２０Ａは、流路１６を流れる材料ガスを制御する弁部１７を内蔵するバルブボディ２と、弁部１７に駆動力を付与する駆動部１０を内蔵するシリンダカバー３と、バルブボディ２とシリンダカバー３との間で上端プレート１１ｂを挟持され、バルブボディ２に伸縮可能に内設されて流路１６と駆動部１０との間を遮断する隔壁部材１１とを備える真空弁１Ａに適用され、上端プレート１１ｂとバルブボディ２との間にメイン流体用環状シール部材２１を配置することにより、材料ガスが外部へ漏れることを防止する真空弁１Ａの外部シール構造２０Ａにおいて、メイン流体用環状シール部材２１の材質が、パーフルオロエラストマーであって、メイン流体用環状シール部材２１の外側に、フッ素樹脂製のフッ素系環状シール部材２２を配設し、外気に連通するリークポート２ｂを、メイン流体用環状シール部材２１のシール位置Ｐ１，Ｐ２とフッ素系環状シール部材２２のシール位置Ｑ１〜Ｑ４との間に連通させるように、バルブボディ２に設ける。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
このような外部シール構造２０Ａは、極めて腐食性の高い材料ガスの排気流量を真空弁１Ａが制御する場合でも、メイン流体用環状シール部材２１により、材料ガスが外部に漏れることを防ぐ。もっとも、パーフルオロエラストマー製のメイン流体用環状シール部材２１のみでは、リークテスト時に、外部シール構造２０Ａに吹き付けたＨｅガスが透過して、メイン流体用環状シール部材２１の異常を誤検出される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
従って、上記第１実施形態の外部シール構造２０Ａによれば、パーフルオロエラストマー製のメイン流体用環状シール部材２１についてリークテストを行う場合に、異常が誤検出されることを防止できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
上記第１実施形態の外部シール構造２０Ａは、上端プレート１１ｂは、シリンダカバー側端面１１ｉの外縁部に沿って肉厚部１１ｃが突設されており、バルブボディ２は、上端プレート１１ｂのバルブボディ側端面１１ｊと肉厚部１１ｃの外周面１１ｋに当接する第１連結部２ａを有し、メイン流体用環状シール部材２１は、第１連結部２ａと上端プレート１１ｂのバルブボディ側端面１１ｊとの間に配置され、上端プレート１１ｂをバルブボディ２とシリンダカバー３で挟み込む挟持方向（図中上下方向）に沿って上下でシールし、フッ素系環状シール部材２２は、肉厚部１１ｃの外周面１１ｋと第１連結部２ａの内側面との間に配置され、挟持方向（図中上下方向）に沿って上下にシールすると共に、真空弁１Ａの径方向内側と径方向外側でシールするので、リークポート２ｂを第１連結部２ａの外側面から真空弁１Ａの径方向に簡単に形成しても、Ｈｅガスの漏れを防止できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図９に示すように、第１連結部４１ａは、上端プレート４２ａに対向する面に、メイン流体用環状シール部材２１を装着するための第１装着溝４１ｃが環状に形成されている。メイン流体用環状シール部材２１は、バルブボディ４１とシリンダカバー３が上端プレート４２ａを挟み込む挟持方向（図中上下）に押し潰され、図中Ｐ１１，Ｐ１２に示すように、第１装着溝４１ｃの内壁と上端プレート４２ａのバルブボディ側端面１１ｊに密着してシールする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
一方、フッ素系環状シール部材２２は、上端プレート４２ａに形成された第２装着溝４２ｃに装着され、メイン流体用環状シール部材２１より外側に配置されている。上端プレート４２ａは、シリンダカバー側端面１１ｉの外縁に沿って肉厚部４２ｂが環状に突設され、バルブボディ側端面１１ｊの外縁に沿って、第２装着溝４２ｃが環状に形成されている。フッ素系環状シール部材２２は、バルブボディ４１とシリンダカバー３が上端プレート４２ａを挟み込む挟持方向（図中上下方向）に押し潰され、図中Ｑ１１，Ｑ１２に示すように、第１連結部４１ａと第２装着溝４２ｃの内壁に密着してシールする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
このような外部シール構造２０Ｂは、流路１６を流れる材料ガスを制御する弁部１７を内蔵するバルブボディ４１と、弁部１７に駆動力を付与する駆動部１０を内蔵するシリンダカバー３と、バルブボディ４１とシリンダカバー３との間で上端プレート４２ａを挟持され、バルブボディ４１に伸縮可能に内設されて流路１６と駆動部１０との間を遮断する隔壁部材４２とを備える真空弁１Ｂに適用され、上端プレート４２ａとバルブボディ４１との間にメイン流体用環状シール部材２１を配置することにより、材料ガスが外部へ漏れることを防止する真空弁１Ｂの外部シール構造２０Ｂにおいて、メイン流体用環状シール部材２１の材質が、パーフルオロエラストマーであって、メイン流体用環状シール部材２１の外側に、フッ素樹脂製のフッ素系環状シール部材２２を配設し、外気に連通するリークポート４１ｂを、メイン流体用環状シール部材２１のシール位置Ｐ１１，Ｐ１２とフッ素系環状シール部材２２のシール位置Ｑ１１，Ｑ１２との間に連通させるように、バルブボディ４１に設ける。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
外部シール構造２０Ｂは、上端プレート４２ａと第１連結部４１ａとの間に、パーフルオロエラストマー製のメイン流体用環状シール部材２１を配置しているため、真空弁１Ｂが極めて腐食性の高い特殊ガスを制御する場合でも、特殊ガスがメイン流体用環状シール部材２１から漏れない。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
一方、外部シール構造２０Ｂは、リークテストを行うときに、閉鎖手段４６が第１連結部４１ａから取り外され、リークポート４１ｂが開放される。リークテスト時にＨｅガスが外部シール構造２０Ｂの外周面に吹き付けられると、バルブボディ４１の第１連結部４１ａとシリンダカバー３の第２連結部３ｂを突き合わせた部分２７から第２装着溝４２ｃへＨｅガスが流れ込む。しかし、Ｈｅガスは、第２装着溝４２ｃに装着されたフッ素系環状シール部材２２のシール位置Ｑ１１，Ｑ１２よりメイン流体用環状シール部材２１側へ流れない。そのため、メイン流体用環状シール部材２１には、リークポート４１ｂに流れ込んだＨｅガスだけが供給される。これにより、メイン流体用環状シール部材２１を透過するＨｅガスの量が少量になり、リークテスト時にメイン流体用環状シール部材２１の異常が誤検出されない。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を流れる流体を制御する弁部を内蔵するバルブボディと、前記弁部に駆動力を付与する駆動部を内蔵するシリンダカバーと、前記バルブボディと前記シリンダカバーとの間で上端プレートを挟持され、前記バルブボディに伸縮可能に内設されて前記流路と前記駆動部との間を遮断する隔壁部材とを備える真空弁に適用され、前記上端プレートと前記バルブボディとの間にメイン流体用環状シール部材を配置することにより、前記流体が外部へ漏れることを防止する真空弁の外部シール構造において、
前記メイン流体用環状シール部材の材質が、パーフルオロエラストマーであって、
前記メイン流体用環状シール部材の外側に、フッ素樹脂製のフッ素系環状シール部材を配設し、
外気に連通するリークポートを、前記メイン流体用環状シール部材のシール位置と前記フッ素系環状シール部材のシール位置との間に連通させるように、前記バルブボディに設ける
ことを特徴とする真空弁の外部シール構造。
【請求項２】
請求項１に記載する真空弁の外部シール構造において、
前記リークポートを閉鎖する閉鎖手段が前記バルブボディに着脱自在に取り付けられている
ことを特徴とする真空弁の外部シール構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する真空弁の外部シール構造において、
前記メイン流体用環状シール部材及び前記フッ素系環状シール部材は、前記バルブボディと前記上端プレートのバルブボディ側端面との間に配置され、前記上端プレートと前記バルブボディに密着してシールを行う
ことを特徴とする真空弁の外部シール構造。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載する真空弁の外部シール構造において、
前記上端プレートは、シリンダカバー側端面の外縁部に沿って肉厚部が突設されており、
前記バルブボディは、前記上端プレートのバルブボディ側端面と前記肉厚部の外周面に当接する第１連結部を有し、
前記メイン流体用環状シール部材は、前記第１連結部と前記上端プレートの前記バルブボディ側端面との間に配置され、前記バルブボディと前記シリンダカバーが前記上端プレートを挟み込む挟持方向に沿って上下にシールし、
前記フッ素系環状シール部材は、前記肉厚部の外周面と前記第１連結部の内側面との間に配置され、前記挟持方向に沿って上下にシールすると共に、前記真空弁の径方向内側と径方向外側でシールする
ことを特徴とする真空弁の外部シール構造。