(57)【要約】【課題】二台以上の検査器を用いて大量のチップ電子部品の電気特性を高速に且つ高精度にて検査する方法を提供すること。【解決手段】それぞれ同一の規格に基づいて所定の同一の電気特性を示すように製造された二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接して配置した状態で該チップ電子部品のそれぞれに互いに独立した検査器を電気的に接続する工程、そして各検査器から、それぞれのチップ電子部品に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出する工程を含む、検査対象の各チップ電子部品の電気特性の検査を行うチップ電子部品の検査方法であって、各検査器からの各チップ電子部品への検査用電圧の印加を互いに重複することのない時期に行うことを特徴とするチップ電子部品の検査方法。
2014010623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ同一の規格に基づいて所定の同一の電気特性を示すように製造された二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接して配置した状態で該チップ電子部品のそれぞれに互いに独立した検査器を電気的に接続する工程、そして各検査器から、それぞれのチップ電子部品に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出する工程を含む、検査対象の各チップ電子部品の電気特性の検査を行うチップ電子部品の検査方法であって、各検査器からの各チップ電子部品への検査用電圧の印加を互いに重複することのない時期に行うことを特徴とするチップ電子部品の検査方法。
【請求項２】
上記チップ電子部品が、円盤上に互いに間隔を以て四列以上の同心円を形成するように配置された透孔の群を備え、中心軸の周りに回転可能に基台に軸支されているチップ電子部品保持板、ただし、各列の透孔は、中心軸から半径方向に延びる直線上にある、の透孔の群に保持された状態にあり、チップ電子部品への検査用電圧の印加が、中心軸から半径方向に延びる直線上にある透孔の群について互いに重複することのない時期に順次行われる請求項１に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項３】
透孔の群が六列の同心円を形成するように円盤上に配置され、円盤の外周に近い三列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計三対の電極端子を備えた検査器Ａにより行われ、そして円盤の中心軸に近い三列の透孔群に保持されたチップ電子部品の検査が合計三対の電極端子を備えた検査器Ｂにより行われる請求項２に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項４】
透孔の群が八列の同心円を形成するように円盤上に配置され、円盤の外周に近い四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ａにより行われ、そして円盤の中心軸に近い四列の透孔群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ｂにより行われる請求項２に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項５】
透孔の群が十二列の同心円を形成するように円盤上に配置され、円盤の外周に近い四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ａにより行われ、円盤の中心軸に近い四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ｂにより行われ、そして上記の外周側に近い四列の透孔の群と中心軸に近い四列の透孔の群との間にある四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ｃにより行われる請求項２に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項６】
検査されるチップ電子部品が、対向する表面に一対の電極を備えた部品である請求項１に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項７】
検査されるチップ電子部品がチップキャパシタである請求項１に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項８】
検査される電気特性が静電容量である請求項２に記載のチップ電子部品の検査方法。
【請求項９】
板状材料にチップ電子部品を一時的に収容することができる二以上の透孔が互いに近接した位置に形成されてなるチップ電子部品保持板、該チップ電子部品保持板の各透孔の両開口部に近接した位置に配置されている一対の電極端子、該一対の電極端子のそれぞれに電気的に接続されている検査器、そして各検査器に電気エネルギーと検査処理とに関する信号を供給するように各検査器に電気的に接続されている制御器を含み、各検査器から電極端子を介して、二以上の透孔に収容されたチップ電子部品のそれぞれに、互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を所定の時期に印加して、その検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出できるようにされているチップ電子部品検査装置であって、該制御器に、チップ電子部品保持板の二以上の透孔に収容されたチップ電子部品のそれぞれへの検査用電圧印加の時期が互いに重複しないように制御する制御システムが備えられていることを特徴とするチップ電子部品の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大量のチップ電子部品を高速で検査する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、液晶テレビ、ゲーム機に代表される電気製品の生産量の増加にともない、このような電気製品に組み込まれるチップ電子部品の生産量が著しく増加している。チップ電子部品としては、チップキャパシタ（チップコンデンサとも呼ばれる）、チップ抵抗器（チップバリスタを含む）、およびチップインダクタが広く知られている。【０００３】
チップ電子部品、例えば、チップキャパシタは、極めて小さなサイズを有し、一回の製造ロットで数万〜数十万個という大量のチップキャパシタが作製される。【０００４】
チップ電子部品が組み込まれる電気製品のチップ電子部品の欠陥に起因する不良品率を下げるため、大量に製造されるチップ電子部品について全数検査が行なわれるのが一般的である。例えば、チップキャパシタについては、その全数について静電容量等の電気特性の検査が行われる。【０００５】
従来は、大量のチップ電子部品の電気特性を高速に検査するための方法としては、それぞれ同一の規格に基づいて所定の同一の電気特性を示すように製造された二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接して配置した状態で該チップ電子部品のそれぞれに互いに独立した検査器を電気的に接続する工程、そして各検査器から、それぞれのチップ電子部品に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出する工程を含む、検査対象の各チップ電子部品の電気特性の検査を行う検査方法が利用されている。この検査方法の実施には、例えば、多数の透孔が形成された円盤（チップ電子部品保持板）を備えたチップ電子部品検査装置が一般的に用いられる。円盤には、それぞれ検査対象のチップ電子部品を収容する多数の透孔が設けられている。円盤の隣接する透孔は、互いに近接した位置に形成されている。この円盤を回転させ、それぞれの透孔にチップ電子部品を収容させ、この状態で、円盤の径方向に並ぶ複数個のチップ電子部品を一組として、検査器によりチップ電子部品の電気特性が検査される。【０００６】
チップ電子部品の検査装置は一般に、上記円盤（チップ電子部品保持板）、この円盤の各透孔の両開口部に近接した位置に配置される一対の電極端子、一対の電極端子のそれぞれに電気的に接続されている検査器、そして各検査器に電気エネルギーと検査処理とに関する信号を供給するように各検査器に電気的に接続されている制御器から構成される。そして上記の検査器から電極端子を介して、二以上の透孔に収容されたチップ電子部品のそれぞれに検査用電圧を印加して、その検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出することによって、検査対象の各チップ電子部品の電気特性の検査が行なわれる。【０００７】
例えば、上記の各検査器としてチップキャパシタの静電容量の検査器を用いる場合、各検査器から、それぞれのチップキャパシタ（チップ電子部品）に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップキャパシタにて発生する電流の電流値を各検査器で検出することにより、上記検査用電圧の電圧値と検出した電流の電流値とに基づき、検査対象の各チップキャパシタの静電容量（電気特性）の検査が行なわれる。なお、各検査器からチップ電子部品に印加される電圧の周波数については当初は互いに同一とされていた。しかしながら、近接配置された複数の検査器から同一の周波数の電圧をチップ電子部品に印加すると、各検査器からそれぞれのチップ電子部品に印加される電圧の周波数間で干渉が起こり、その結果、検査結果に不具合が発生しやすいことが見出された。従って、近年では、各検査器からチップ電子部品に印加する電圧の周波数を僅かにずらす（同一とはせずに略同一とする）ことも行われている。チップキャパシタの静電容量の検査器としては、例えば、市販の静電容量測定器（代表例、キャパシタンス・メータ：Ｅ４９８１Ａ、アジレント・テクノロジー（株）製）を用いることができる。【０００８】
特許文献１には、多数の電気回路部品（例、チップ電子部品）を試験（検査）し、そして試験結果に従って電気回路部品を分類する電気回路部品ハンドラーが開示されている。この電気回路部品ハンドラーは、多数の部品台（透孔）が設けられたディスク状の試験プレート（チップ電子部品保持板）、試験プレートの各部品台に近接した位置に配置される上側接点及び下側接点（一対の電極端子）、そして各接点に電気的に接続されているテスタ（検査器）を備えている。上記試験プレートは、その中心と外周縁との間に直径方向に互いに間隔をあけて４台の部品台の列を、周方向に７２備えている。この試験プレートを回転させ、その部品台（透孔）に電気回路部品を収容した状態で、各列の部品台に収容した複数個の電気回路部品を一組として、電気回路部品の試験が行なわれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特表２０００―５０１１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述のように、従来より、大量のチップ電子部品の電気特性を高速に検査するため、二台以上の検査器を用いて、円盤状チップ電子部品保持板に保持された複数のチップ電子部品の電気特性を同時に（互いに重複する時期に）検査することは知られている。【００１１】
しかしながら、本発明者の研究によると、近年一般的に利用されつつある極度に小さい（例えば、幅が０．３ｍｍ程度で、そして長さが０．６ｍｍ程度のサイズ、あるいはさらに小さなサイズ）のチップ電子部品の検査に際しては、近接して配置された複数のチップ電子部品の電気特性を、複数の検査器を用いて二個もしくはそれ以上、同時に検査すると、各検査器からチップ電子部品に印加される電圧の周波数をずらすといった周波数間の干渉を防ぐ手段を用いた場合であっても、電気特性の検査結果の精度が低下することが判明した。【００１２】
本発明者がさらに研究を進めた結果、上記のように電気特性の検査の精度が低下する原因は、例えば、互いに近接して配置された二個以上の極度に小さいサイズのチップ電子部品の電気特性を検出するため、互いに独立した検査器のそれぞれから、それぞれのチップ電子部品に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を互いに重複する時期に印加した場合、非常に近接した状態で配置された極度に小さいサイズのチップ電子部品の一方にて発生する電気信号（電圧や電流）に、隣接配置された他方のチップ電子部品にて発生する電気信号（電圧や電流）に基づき発生するノイズが混入する（各々のチップ電子部品にて発生する電気信号が互いに干渉する）ことにあることを見出した。【００１３】
本発明の課題は、二台もしくはそれ以上の検査器を用いて大量のチップ電子部品（特に極度に小さなサイズのチップ部品）の電気特性を高速且つ高精度にて検査する方法を提供することにある。本発明の課題はまた、二台もしくはそれ以上の検査器を用いて大量のチップ電子部品（特に極度に小さなサイズのチップ部品）の電気特性を高速且つ高精度にて検査する装置を提供することにもある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、それぞれ同一の規格に基づいて所定の同一の電気特性を示すように製造された二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接して配置した状態で該チップ電子部品のそれぞれに互いに独立した検査器を電気的に接続する工程、そして各検査器から、それぞれのチップ電子部品に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出する工程を含む、検査対象の各チップ電子部品の電気特性の検査を行うチップ電子部品の検査方法であって、各検査器からの各チップ電子部品への検査用電圧の印加を互いに重複することのない時期に行うことを特徴とするチップ電子部品の検査方法にある。【００１５】
本発明のチップ電子部品の検査方法の好ましい態様は、次の通りである。
（１）上記チップ電子部品が、円盤上に互いに間隔を以て四列以上の同心円を形成するように配置された透孔の群を備え、中心軸の周りに回転可能に基台に軸支されているチップ電子部品保持板、ただし、各列の透孔は、中心軸から半径方向に延びる直線上にある、の透孔の群に保持された状態にあり、チップ電子部品への検査用電圧の印加が、中心軸から半径方向に延びる直線上にある透孔の群について互いに重複することのない時期に順次行われる。【００１６】
（２）透孔の群が六列の同心円を形成するように円盤上に配置され、円盤の外周に近い三列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計三対の電極端子を備えた検査器Ａにより行われ、そして円盤の中心軸に近い三列の透孔群に保持されたチップ電子部品の検査が合計三対の電極端子を備えた検査器Ｂにより行われる。【００１７】
（３）透孔の群が八列の同心円を形成するように円盤上に配置され、円盤の外周に近い四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ａにより行われ、そして円盤の中心軸に近い四列の透孔群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ｂにより行われる。【００１８】
（４）透孔の群が十二列の同心円を形成するように円盤上に配置され、円盤の外周に近い四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ａにより行われ、円盤の中心軸に近い四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ｂにより行われ、そして上記の外周側に近い四列の透孔の群と中心軸に近い四列の透孔の群との間にある四列の透孔の群に保持されたチップ電子部品の検査が合計四対の電極端子を備えた検査器Ｃにより行われる。
なお、透孔の群は九列の同心円を形成するように円盤上に配置されていてもよく、その場合には、各々三対の電極端子を備えた三つの検査器を用いて同様の検査が行われる。【００１９】
（５）検査されるチップ電子部品が、対向する表面に一対の電極を備えた部品である。【００２０】
（６）検査されるチップ電子部品がチップキャパシタである。【００２１】
（７）検査される電気特性が静電容量である。【００２２】
なお、上記の本発明の検査方法において、上記の「二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接した位置に配置する」とは、「互いに近接した位置に配置された少なくとも二個のチップ電子部品を含むように、二以上の検査対象のチップ電子部品を配置する」ことを意味する。【００２３】
また、上記の「互いに近接した位置」とは、「二個のチップ電子部品のそれぞれに電気的に接続した互いに独立した（別々の）検査器から、それぞれのチップ電子部品に電気特性検査用の互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を互いに重複する時期に印加した場合に、一方のチップ電子部品にて発生する電気信号（電圧や電流）に、他方のチップ電子部品にて発生する電気信号（電圧や電流）に基づき発生するノイズが混入する（各々のチップ電子部品にて発生する電気信号間で干渉が発生する）位置」を意味する。【００２４】
本発明はまた、板状材料にチップ電子部品を一時的に収容することができる二以上の透孔が互いに近接した位置に形成されてなるチップ電子部品保持板、該チップ電子部品保持板の各透孔の両開口部に近接した位置に配置されている一対の電極端子、該一対の電極端子のそれぞれに電気的に接続されている検査器、そして各検査器に電気エネルギーと検査処理とに関する信号を供給するように各検査器に電気的に接続されている制御器を含み、各検査器から電極端子を介して、二以上の透孔に収容されたチップ電子部品のそれぞれに、互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を所定の時期に印加して、その検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出できるようにされているチップ電子部品検査装置であって、該制御器に、チップ電子部品保持板の二以上の透孔に収容されたチップ電子部品のそれぞれへの検査用電圧印加の時期が互いに重複しないように制御する制御システムが備えられていることを特徴とするチップ電子部品の検査装置にもある。【００２５】
なお、上記の本発明の検査装置において、上記の「二以上の透孔が互いに近接した位置に形成される」とは、「二以上の透孔に収容した二以上の検査対象のチップ電子部品が互いに近接した位置に配置されるような位置に、上記二以上の透孔が形成される」ことを意味する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の検査方法を実施することにより、二台もしくはそれ以上の検査器を用いて大量のチップ電子部品の電気特性を高速（短時間）に且つ高精度にて検査することができる。
本発明の検査装置を用いることにより、二台もしくはそれ以上の検査器を用いて大量のチップ電子部品の電気特性を高速（短時間）に且つ高精度にて検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】検査対象のチップ電子部品の一例であるチップキャパシタの構成例を示す斜視図である。
【図２】本発明の検査方法を実施するために好ましく用いることができるチップ電子部品検査装置の構成例を示す正面図である。
【図３】図２の検査装置１０のチップ電子部品収容部３１を、チップ電子部品保持板１１の透孔の群の配置そして各透孔に保持（収容）されるチップ電子部品の挙動を周方向に沿って示す拡大断面図である。
【図４】図２の検査装置１０のチップ電子部品検査部３２を、チップ電子部品保持板１１の円盤上に径方向に延びるように配置された透孔の群に保持（収容）されているチップ電子部品（１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆの合計六個）の各々に検査器の電極を近接配置させた状態で示す拡大断面図である。
【図５】図２の検査装置１０のチップ電子部品排出部３３にて検査済みのチップ電子部品を排出させる様子を示す拡大断面図である。
【図６】図２の検査装置１０において、制御器１５、検査器１４ａ、１４ｂ、そしてチップ電子部品保持板１１の円盤上に径方向に延びるように配置された透孔の群に保持（収容）されているチップ電子部品（１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆの合計六個）の電気的な接続状態を概略的に示すブロック図である。
【図７】図６のブロック図に対応する各部品間の電気的な接続状態を概略的に示す電気回路図である。
【図８】本発明の検査方法を実施するために用いることができるチップ電子部品検査装置の基本構成について、その電気的な接続状態を概略的に示すブロック図である。
【図９】本発明のチップ電子部品の検査方法において、各検査器から各チップ電子部品に検査用電圧を印加する時期を示す図である。
【図１０】従来のチップ電子部品の検査方法において、各検査器から各チップ電子部品に検査用電圧を印加する時期を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
先ず、本発明のチップ電子部品の検査方法を実施するために用いることができる検査装置の構成例について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図１は、検査対象のチップキャパシタ（チップ電子部品の一例）の構成例を示す斜視図である。図１のチップキャパシタ１９は、誘電体からなるキャパシタ本体２１とその両端に設けられた一対の電極２２ａ、２２ｂから構成されている。チップキャパシタ１９は、誘電体としてセラミックを用いたチップセラミックキャパシタである。キャパシタ本体は、セラミックから形成されていて、その内部に電極２２ａ、２２ｂの各々から交互に且つ互いに平行に延びる複数の電極層を備えている。本発明のチップ電子部品の検査方法および検査装置の使用が特に有効なチップキャパシタ１９などのチップ電子部品は、幅が０．３ｍｍもしくはそれ以下、そして長さが０．６ｍｍもしくはそれ以下のような極度に微小のチップ電子部品である。
【００３０】
図２は、本発明の検査方法を実施するために用いることができるチップ電子部品検査装置の構成例を示す正面図である。図３は、図２の検査装置１０のチップ電子部品収容部３１をチップ電子部品保持板１１の周方向に沿って示す拡大断面図である。図４は、図２の検査装置１０のチップ電子部品検査部３２をチップ電子部品保持板１１の直径方向に沿って切断した拡大断面図である。図５は、図２の検査装置１０のチップ電子部品排出部３３をチップ電子部品保持板１１の直径方向に沿って切断した拡大断面図である。図６は、図２の検査装置１０の電気的な接続状態を概略的に示すブロック図である。そして図７は、図２の検査装置１０の電気的な接続状態を概略的に示す電気回路図である。
【００３１】
図２〜図７に示すチップ電子部品検査装置１０は、板状材料にチップ電子部品（例えば、チップキャパシタ）を一時的に収容することができる二以上の透孔１１ａが互いに近接した位置に形成されてなるチップ電子部品保持板１１、チップ電子部品保持板１１の各透孔１１ａの両開口部に近接した位置に配置されている一対の電極端子１２ａ、１２ｂ、一対の電極端子１２ａ、１２ｂのそれぞれに電気的に接続されている検査器１４ａ、１４ｂ、そして各検査器に電気エネルギーと検査処理とに関する信号を供給するように各検査器に電気的に接続されている制御器１５から構成されている。
【００３２】
制御器１５が各検査器に供給する電気エネルギーに関する信号は、各検査器が各チップキャパシタに印加する検査用電圧に関する信号であり、その代表例としては、検査用電圧の印加の開始を指示する信号が挙げられる。
【００３３】
制御器１５が各検査器に供給する検査処理に関する信号は、各検査器による各チップキャパシタの電気特性の検査に関する信号であり、その代表例としては、各検査器からの検査用電圧の印加により各チップキャパシタにて発生する電流の電流値の検出の開始を指示する信号が挙げられる。
【００３４】
チップ電子部品検査装置１０は、検査器１４ａ、１４ｂのそれぞれから電極端子１２ａ、１２ｂを介して、二以上の透孔１１ａに収容されたチップ電子部品（例えば、図４に示すチップキャパシタ１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆ）のそれぞれに、互いに同一（もしくは略同一）の周波数を持つ検査用電圧を所定の時期に印加して、その検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出できるように構成されている。
【００３５】
検査装置１０では、例えば、チップ電子部品の電気特性の検査器１４ａ、１４ｂのそれぞれとして、例えば、静電容量（電気特性）の検査器が用いられている。
【００３６】
そして上記チップ電子部品検査装置１０は、前記の制御器１５に、チップ電子部品保持板１１の二以上の透孔１１ａに収容されたチップ電子部品のそれぞれへの検査用電圧印加の時期が互いに重複しないように制御する制御システム１５ａが備えられていることに特徴がある。
【００３７】
上記「制御システム」とは、「チップ電子部品保持板の二以上の透孔に収容されたチップキャパシタのそれぞれへの電圧印加の時期が互いに重複しないように制御することを可能にするプログラムが記録された電子計算機」を意味する。
【００３８】
図６及び図７に示すチップ電子部品検査装置１０では、一つの検査器に電気的に接続されるチップ電子部品（チップキャパシタ）が三つである。検査器１４ａには、切替器２３ａを介して三個のチップキャパシタ１９ａ、１９ｂ、１９ｃが電気的に接続される。そして検査器１４ｂには、切替器２３ｂを介して三個のチップキャパシタ１９ｄ、１９ｅ、１９ｆが電気的に接続される。
【００３９】
そして上記の制御器１５が備える制御システムは、各検査器からの各チップ電子部品（チップキャパシタ）への検査用電圧印加の時期が全て、互いに重複しないように、各検査器を制御する。
【００４０】
図８は、本発明の検査方法を実施するために好ましく用いることができるチップ電子部品検査装置の基本構成について、その電気的な接続状態を概略的に示すブロック図である。
【００４１】
図８に示すチップ電子部品検査装置８０の構成は、一つの検査器に電気的に接続されるチップ電子部品（チップキャパシタ）が一つであること、そして制御器２５の制御の対象が各検査器のみである（上記の切替器を含まない）こと以外は図６に示すチップ電子部品検査装置の構成と同様である。
【００４２】
検査器１４ａには、上記のような切替器を用いることなく、一個のチップキャパシタ１９ａが電気的に接続されている。そして検査器１４ｂには、上記のような切替器を用いることなく、一個のチップキャパシタ１９ｂが電気的に接続されている。
【００４３】
このように、チップ電子部品検査装置は、一つの（各々の）検査器に電気的に接続されるチップ電子部品が一つである構成を有していてもよい。但し、使用する検査器の数を少なくして、これにより検査装置の製造コストを低くするためには、一つの検査器に電気的に接続されるチップ電子部品が二以上であることが好ましい。
【００４４】
次に、本発明のチップ電子部品の検査方法を、図２〜図７に示す検査装置１０を用い、そして図１に示すチップキャパシタ１９の検査を行なう場合を代表例として説明する。
【００４５】
本発明のチップ電子部品の検査方法は、同一の規格によりそれぞれ所定の同一の電気特性を示すように製造された二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接した位置に配置し（具体的には、例えば、円盤状チップ電子保持板の径方向に直線上に配置した、図４、図６、そして図７に示すチップキャパシタ１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆ）、互いに独立した検査器１４ａ、１４ｂを、検査器１４ａが、チップキャパシタ１９ａ、１９ｂ、１９ｃを検査し、検査器１４ｂがチップキャパシタ１９ｄ、１９ｅ、１９ｆを検査するように、各チップキャパシタに電気的に接続した後、各検査器から、それぞれのチップ電子部品に互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を各検査器で検出することによって、検査対象の各チップ電子部品の電気特性を検査することを含む検査方法である。
【００４６】
そして、本発明のチップ電子部品の検査方法は、各検査器からの各チップ電子部品（チップキャパシタ）への検査用電圧の印加を互いに重複することのない時期に実施することに特徴がある。
【００４７】
図９は、本発明のチップ電子部品の検査方法において、各検査器から各チップキャパシタ（チップ電子部品）に検査用電圧を印加する時期を示す図である。図９に記入した横軸は時間を表している。以下では、図７及び図９を参照しながら説明を行なう。
【００４８】
検査器１４ａは、時間ｔ11から時間ｔ12までの期間Ｐ11において、チップキャパシタ１９ａに検査用電圧を印加する。また同様に、検査器１４ａは、時間ｔ21から時間ｔ22までの期間Ｐ21において、チップキャパシタ１９ｂに検査用電圧を印加する。そして同様に、検査器１４ａは、時間ｔ31から時間ｔ32までの期間Ｐ31において、チップキャパシタ１９ｃに検査用電圧を印加する。
【００４９】
検査器１４ｂは、時間ｔ41から時間ｔ42までの期間Ｐ41において、チップキャパシタ１９ｄに検査用電圧を印加する。また同様に、検査器１４ｂは、時間ｔ51から時間ｔ52までの期間Ｐ51において、チップキャパシタ１９ｅに検査用電圧を印加する。そして同様に、検査器１４ｂは、時間ｔ61から時間ｔ62までの期間Ｐ61において、チップキャパシタ１９ｆに検査用電圧を印加する。
【００５０】
そして、上記の期間Ｐ11において、検査器１４ａから、チップキャパシタ１９ａに検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加によりチップキャパシタ１９ａにて発生する電流値を検査器１４ａで検出することによって、検査対象のチップキャパシタ１９ａの電気特性（上記検査装置１０を用いる場合には静電容量）が検査される。
【００５１】
同様にして、上記の期間Ｐ21、Ｐ31、Ｐ41、Ｐ51、Ｐ61の各々において、チップキャパシタ１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆの各々の電気特性（静電容量）が検査される。
【００５２】
図９に示すように、本発明のチップ電子部品の検査方法では、検査器１４ａ、１４ｂの各々からの、各チップキャパシタへの検査用電圧の印加を互いに重複することのない時期に実施する。
【００５３】
このため、例えば、期間Ｐ11にて検査用電圧が印加されるチップキャパシタ１９ａにて発生する電気信号（電圧や電流）に、期間Ｐ41にて検査用電圧が印加される別のチップキャパシタ１９ｄにて発生する電気信号（電圧や電流）に基づき発生するノイズが混入すること、すなわち各々のチップキャパシタに発生する電気信号が互いに干渉することはない。
【００５４】
従って、本発明のチップ電子部品の検査方法を実施することにより、二台以上の検査器を用いて大量のチップ電子部品の電気特性（例えば、チップキャパシタの静電容量）を高速（短時間）に且つ高精度にて検査することができる。
【００５５】
本発明のチップ電子部品の検査方法（あるいは検査装置）で検査される電子部品は、対向する表面に一対の電極を備えた部品であることが好ましい。
【００５６】
検査される電子部品の代表例としては、チップキャパシタ、チップ抵抗器（チップバリスタを含む）、およびチップインダクタが挙げられる。検査される電子部品は、チップキャパシタであることが特に好ましい。
【００５７】
本発明のチップ電子部品の検査方法（あるいは検査装置）で検査される電子部品の電気特性は、チップ電子部品に印加する検査用電圧（交番電圧）の電圧値と、この検査用電圧の印加によりチップ電子部品にて発生する電流（交流電流）の電流値とに基づき決定することのできる電気特性を意味する。
【００５８】
このような電気特性の代表例としては、静電容量（キャパシタンス）、インダクタンス、インピーダンス、アドミタンスなどが挙げられる。
【００５９】
なお、上記の測定対象のチップ電子部品の種類と、測定する電気特性とは、必ずしも一対一に対応している訳ではない。例えば、上記のチップキャパシタ以外のチップ電子部品について（詳細には、チップキャパシタ以外のチップ電子部品の等価回路に表れるキャパシタについて）、その静電容量を測定することもできる。例えば、チップバリスタの静電容量を測定することもできる。
【００６０】
検査対象の二以上のチップ電子部品としては、所定の同一の電気特性を示すように同一の規格に従って製造されたものが用いられる。
【００６１】
従って、上記の検査対象の二以上のチップ電子部品は、同一の製造ロットのものであることが多いが、このような同一の製造ロットのチップ電子部品に、別のロットのチップ電子部品が混合されたものであってもよい。但し、両者の製造ロットのチップ電子部品は、互いに同一の電気特性を示すように同一の規格に従って製造されたもの（通常は、互いに同一の製品として販売することを目的として製造されたもの）である。
【００６２】
二以上の検査対象のチップ電子部品を、例えば、検査装置１０のチップ電子部品保持板１１の二以上の透孔１１ａのそれぞれに収容することにより、互いに近接した位置に配置することができる。
【００６３】
前記のように、上記の「二以上の検査対象のチップ電子部品を互いに近接した位置に配置する」とは、「互いに近接した位置に配置された少なくとも二個のチップ電子部品を含むように、二以上の検査対象のチップ電子部品を配置する」ことを意味する。
【００６４】
上記の「互いに近接した位置」は、「二個の検査対象のチップ電子部品の距離が１００ｍｍ以下となる位置」であることが好ましく、「二個の検査対象のチップ電子部品の距離が５０ｍｍ以下となる位置」であることが更に好ましく、「二個の検査対象のチップ電子部品の距離が３０ｍｍ以下となる位置」であることが特に好ましい。何れの態様においても、二個の検査対象のチップ電子部品の距離は１ｍｍ以上であることが更に好ましい。
【００６５】
二以上の検査対象のチップ電子部品には、互いに独立した（別々の）検査器１４ａ、１４ｂの各々から検査用電圧が付与される。互いに独立した検査器を用いない（一台の検査器を用いる）のであれば、前記のように各検査器で検出する各チップキャパシタの電気信号が互いに干渉するとの問題（本発明の解決課題）を生じないからである。
【００６６】
二以上の検査対象のチップ電子部品には、各検査器から、互いに同一もしくは略同一の周波数を持つ検査用電圧が印加される。
【００６７】
二以上の検査対象のチップ電子部品に印加される検査用電圧が互いに略同一であるとは、それぞれの検査用電圧の周波数が、そのうちの最も低い周波数より高く、かつ１．１倍以下、好ましくは１．０５倍以下の周波数であることを意味する。
【００６８】
なお、前記の図７及び図９に示すように、チップ電子部品検査装置１０が、期間Ｐ11において、チップキャパシタ１９ａに検査用電圧を印加することを可能とするため、制御器１５は以下のような制御を行なう。
【００６９】
先ず、制御器１５は、切替器２３ａに、時間ｔ0において、チップキャパシタ１９ａに電気的に接続されている開閉器２４ａを閉じ（電気的に導通状態とし）、開閉器２４ｂ、２４ｃを開く（電気的に非導通状態とする）ように指示する信号を供給する。次いで、制御器１５は、検査器１４ａに、時間ｔ11において、検査用電圧の印加の開始を指示する信号（電気エネルギーに関する信号）、そしてチップキャパシタ１９ａにて発生する電流の電流値の検出の開始を指示する信号（検査処理に関する信号）を供給する。
【００７０】
また、制御器１５は、切替器２３ｂに、時間ｔ0において、チップキャパシタ１９ｄに電気的に接続されている開閉器２４ｄを閉じ（電気的に導通状態とし）、開閉器２４ｅ、２４ｆを開く（電気的に非導通状態とする）ように指示する信号を供給する。次いで、制御器１５は、検査器１４ｂに、時間ｔ41において、検査用電圧の印加の開始を指示する信号、そしてチップキャパシタ１９ｄにて発生する電流の電流値の検出の開始を指示する信号を供給する。
【００７１】
なお、期間Ｐ11における検査器１４ａからのチップキャパシタ１９ａへの検査用電圧の印加と、期間Ｐ41における検査器１４ｂからのチップキャパシタ１９ｄへの検査用電圧の印加とを、互いに重複することのない時期に実施するため、チップキャパシタ１９ａへの検査用電圧の印加を終了する時間ｔ12から期間Ｄが経過したのちの時間ｔ41において、チップキャパシタ１９ｄへの検査用電圧の印加を開始している。
【００７２】
そして同様にして、チップキャパシタ１９ｄ、チップキャパシタ１９ｂ、チップキャパシタ１９ｅ、チップキャパシタ１９ｃ、そしてチップキャパシタ１９ｆに検査用電圧を印加することを可能とするため、制御器１５は上記の制御と同様の制御を行なう。
【００７３】
なお、期間Ｓ1は、上記信号を切替器２３ａに供給してから開閉器２４ａが閉じるまでに必要な期間（以下「開閉器動作期間」という）である。すなわち、開閉器２４ａは、時間ｔ11において閉じ、そして電気的に導通状態となる。同様に期間Ｓ2、Ｓ3、Ｓ4、Ｓ5、Ｓ6は、それぞれ開閉器２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｆの開閉器動作期間である。
【００７４】
そして本発明のチップ電子部品の検査方法では、上記の各検査器が、各チップ電子部品（例、チップキャパシタ）への検査用電圧の印加を終了したのち、上記検査用電圧の電圧値と上記検査用電圧を印加して検出した上記チップ電子部品の電流の電流値とに基づき、このチップ電子部品の電気特性を決定する前に、上記とは別の検査器から上記とは別のチップ電子部品への検査用電圧の印加を始めることが好ましい。これにより、一台の検査器で二以上のチップ電子部品を順番に検査する場合と比較して、検査対象のチップ電子部品の全てを検査するために必要とされる時間が短くなる。
【００７５】
図７及び図９に示すように、上記のチップ電子部品検査装置１０を用いる場合、検査器１４ａは、例えば、チップキャパシタ１９ａに対して、時間ｔ11において検査用電圧の印加を開始し、そして時間ｔ12において検査用電圧の印加を終了する。次いで検査器１４ａは、上記の検査用電圧の電圧値と、この検査用電圧の印加によりチップキャパシタ１９ａにて発生する電流の電流値とに基づき、時間ｔ13においてチップキャパシタの静電容量（電気特性）を決定する。
【００７６】
このように、検査器１４ａは、上記の時間ｔ11と時間ｔ13との間の期間Ｐ12（以下「電気特性検査期間」という）において、通常は時間ｔ12と時間ｔ13との間の期間にて、上記の電圧値と電流値とに基づき、例えば、データ処理（演算処理）により静電容量を決定する。なお、期間Ｐ22、Ｐ32、Ｐ42、Ｐ52、Ｐ62は、それぞれチップキャパシタ１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆの電気特性検査期間である。
【００７７】
そして、上記のように検査器１４ａが、時間ｔ12においてチップキャパシタ１９ａへの検査用電圧の印加を終了したのち、時間ｔ13において上記電圧値と電流値とに基づきキャパシタの静電容量（電気特性）を決定する前に、具体的には時間ｔ41において、上記とは別の検査器１４ｂから上記とは別のチップキャパシタ１９ｄへの検査用電圧の印加を始めている。
【００７８】
すなわち、チップキャパシタ１９ａへの検査用電圧の印加を終了する時間ｔ12と、次のチップキャパシタ１９ｄへの検査用電圧の印加を開始する時間ｔ41との間の期間Ｄは、上記時間ｔ12と検査器１４ａがチップキャパシタ１９ａの静電容量を決定する時間ｔ13との間の期間よりも短いことが好ましい。
【００７９】
同様に、上記の検査器１４ｂが、時間ｔ42においてチップキャパシタ１９ｄへの検査用電圧の印加を終了したのち、時間ｔ43においてチップキャパシタ１９ｄの静電容量を決定する前に、具体的には時間ｔ21において、上記とは別の検査器１４ａから上記とは別のチップキャパシタ１９ｂへの検査用電圧の印加を始めている。そして以降も同様の手順により、チップキャパシタ１９ｅ、チップキャパシタ１９ｃ、そしてチップキャパシタ１９ｆへの検査用電圧の印加を始めている。
【００８０】
図１０は、従来のチップ電子部品の検査方法において、合計で６個のチップ電子部品１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆを検査する場合に、各検査器から各チップキャパシタ（チップ電子部品）に検査用電圧を印加する時期を示す図である。図１０に記入した横軸は時間を表している。
【００８１】
検査器１４ａは、時間ｔ11から時間ｔ12までの期間Ｐ11において、チップキャパシタ１９ａに検査用電圧を印加する。また同様に、検査器１４ａは、時間ｔ21から時間ｔ22までの期間Ｐ21において、チップキャパシタ１９ｂに検査用電圧を印加する。そして同様に、検査器１４ａは、時間ｔ31から時間ｔ32までの期間Ｐ31において、チップキャパシタ１９ｃに検査用電圧を印加する。
【００８２】
検査器１４ｂは、時間ｔ41から時間ｔ42までの期間Ｐ41において、チップキャパシタ１９ｄに検査用電圧を印加する。また同様に、検査器１４ｂは、時間ｔ51から時間ｔ52までの期間Ｐ51において、チップキャパシタ１９ｅに検査用電圧を印加する。そして同様に、検査器１４ｂは、時間ｔ61から時間ｔ62までの期間Ｐ61において、チップキャパシタ１９ｆに検査用電圧を印加する。
【００８３】
図１０を用いて説明する従来のチップ電子部品の検査方法で、二以上の検査器を用いる目的は、二個のチップキャパシタ（チップ電子部品）に互いに重複する時期に検査用電圧を印加して、チップキャパシタの静電容量を二個ずつ同時に検査することにより検査時間を短くすることである。
【００８４】
例えば、期間Ｐ11における検査器１４ａからのチップキャパシタ１９ａへの検査用電圧の印加と、期間Ｐ41における検査器１４ｂからのチップキャパシタ１９ｄへの検査用電圧の印加とを、互いに重複する時期に実施することにより、高速（短時間）での検査を実現している。
【００８５】
但し、前記のように、例えば、期間Ｐ11にて検査用電圧が印加されるチップキャパシタ１９ａにて発生する電気信号（電圧や電流）に、期間Ｐ41にて検査用電圧が印加されるチップキャパシタ１９ｄにて発生する電気信号（電圧や電流）に基づき発生するノイズが混入する。また、チップキャパシタ１９ｄにて発生する電気信号にも、チップキャパシタ１９ａにて発生する電気信号に基づき発生するノイズが混入する。すなわち各々のチップキャパシタにて発生する電気信号が互いに干渉する。同様に、チップキャパシタ１９ｂ、１９ｅにて発生する電気信号もまた互いに干渉し、またチップキャパシタ１９ｃ、１９ｆにて発生する電気信号もまた互いに干渉する。
【００８６】
従って、従来のチップ電子部品の検査方法では、二台もしくはそれ以上の検査器を用いて二以上のチップキャパシタの電気特性を高速（短時間）にて検査することは可能である。例えば、図１０に示すように、６個のチップキャパシタを時間ｔ0と時間ｔ1との間の期間（時間）にて検査することができる。しかしながら、上記のように各チップキャパシタで発生する電気信号が互いに干渉するため、各々のチップキャパシタの電気特性の検査の精度は低下する。
【００８７】
これに対して、本発明のチップ電子部品の検査方法では、図９に示すように、例えば、６個のチップキャパシタを時間ｔ0と時間ｔ2との間の期間（時間）にて検査する。従って、上記の従来のチップ電子部品の検査方法と比較して、本発明のチップ電子部品の検査方法では検査に必要な時間は長くなる（時間ｔ2＞時間ｔ1）。しかしながら、本発明のチップ電子部品の検査方法では、検査対象のチップキャパシタへの検査用電圧の印加を、互いに重複することのない時期に実施するため、上記のように各チップキャパシタで発生する電気信号が互いに干渉することがない。このため、本発明の検査方法を実施することにより、上記従来のチップ電子部品の検査方法と比較すると検査時間は若干長くなるものの、二台以上の検査器を用いて大量のチップキャパシタ（チップ電子部品）の電気特性を高速（短時間）に高精度にて検査することができる。
【００８８】
以下では、本発明のチップ電子部品の検査方法を実施するために用いられる検査装置（本発明のチップ電子部品の検査装置）の構成と好ましい実施態様とについて、詳細に説明する。
【００８９】
図２に示すチップ電子部品検査装置１０が備えるチップ電子部品保持板１１は、その形状に特に制限はないが、通常は円盤状の形状に設定される。
【００９０】
チップ電子部品保持板１１の二以上の透孔１１ａは、チップ電子部品保持板の表面に、複数の同心円上で、この同心円を等分割した位置に配置される。
【００９１】
チップ電子部品検査装置１０では、チップ電子部品保持板１１の中心と周縁との間にて直径方向に並ぶ合計で６個の透孔に収容された６個のチップ電子部品毎に、チップキャパシタの電気特性の検査が行なわれる。チップ電子部品保持板１１の中心と周縁との間にて直径方向に並ぶ透孔の数は、２〜２０個の範囲内にあることが好ましく、４〜１２個の範囲内にあることが更に好ましい。
【００９２】
チップ電子部品保持板１１は、基台４１に、例えばベース板４５、そして中心軸４２を介して回転可能に設置（固定）されていて、その背面側に配設された回転駆動装置４３を作動させることにより、中心軸４２の周囲を間欠的に回転する。なお、チップ電子部品保持板１１が「間欠的に回転する」とは、チップ電子部品保持板１１の回転方向（回転の周方向）に互いに隣接する二個の透孔の各々と、チップ電子部品保持板１１の回転の中心位置とを結ぶ二本の直線が形成する角度（鋭角）毎に回転することを意味する。
【００９３】
チップ電子部品保持板１１の透孔のそれぞれには、チップ電子部品収容部３１において、検査対象のチップキャパシタ（チップ電子部品）が、その電気特性を検査するため、一時的に収容される。
【００９４】
図３に示すように、チップ電子部品収容部３１には、上記チップ電子部品保持板１１の前方側（図３にて左側）に、チップ電子部品保持カバー４４が配設されている。チップ電子部品保持板１１の後方側（図３にて右側）には、ベース板４５が配設されている。ベース板４５には、それぞれチップ電子部品保持板１１の側の表面にて開口する複数の気体排出通路４５ａが形成されている。各々の気体排出通路は、気体排出装置（代表例、真空ポンプ）４６に接続されている。気体排出装置４６を作動させると、気体排出通路４５ａから気体が排出され、チップ電子部品保持板１１とベース板４５との間の間隙が減圧された状態になる（大気圧よりも小さな圧力になる）。
【００９５】
そして、チップ電子部品保持板１１を、図３に記入した矢印４９が示す方向に間欠的に回転させながら、チップ電子部品供給装置（図２：４７）によりチップ電子部品保持カバー４４の内側にチップキャパシタ１９を供給し、気体排出装置４６を作動させてチップ電子部品保持板１１とベース板４５との間の間隙を減圧状態にする。これにより、チップ電子部品保持板１１の各々の透孔１１ａにチップキャパシタが一時的に収容される。なお、チップ電子部品保持板１１とベース板４５との間の間隙は減圧された状態にあるため、チップ電子部品保持板１１に収容されたチップキャパシタ１９が、図３にて最も上の気体排出通路４５ａよりも上方の位置に移動した場合にも、チップキャパシタ１９が透孔１１ａから出て落下することはない。
【００９６】
上記のチップ電子部品保持板１１の間欠的な回転移動により、チップ電子部品保持板の透孔に収容されたチップキャパシタは、図２及び図４に示すチップ電子部品検査装置１０のチップ電子部品検査部３２に送られる。
【００９７】
図４に示すように、各チップキャパシタを、その電気特性の検査器に電気的に接続するため、チップ電子部品保持板の各透孔１１ａの両開口部に近接した位置には、一対の電極端子１２ａ、１２ｂが配置されている。
【００９８】
電極端子１２ａは、その周囲に配設された電気的に絶縁性の筒体５１を介して、ベース板４５に固定されている。電極端子１２ａ及びベース板４５のチップ電子部品保持板１１の側の表面は、一つの平滑な平面が形成されるように、例えば、研磨加工が施される。
【００９９】
電極端子１２ｂは、電極端子支持板５３に固定されている。電極端子支持板５３は、直動駆動装置（図２：５４）に固定されている。
【０１００】
上記直動駆動装置を作動させ、電極端子支持板５３をチップ電子部品保持板１１の側に移動させることにより、電極端子支持板５３に支持された各電極端子１２ｂもまた、チップ電子部品保持板１１の側に移動する。これにより、各チップキャパシタは、電極端子１２ａ、１２ｂの間に挟まれる。従って、各チップキャパシタの電極２２ａは電極端子１２ａに電気的に接続され、そして電極２２ｂは電極端子１２ｂに電気的に接続される。これにより、各チップキャパシタは、一対の電極端子１２ａ、１２ｂを介して、各検査器に電気的に接続される。
【０１０１】
なお、一対の電極端子が配置されるチップ電子部品保持板の各透孔の両開口部に「近接した位置」とは、各透孔にチップ電子部品が収容されたときに、各電極端子が各チップ電子部品に電気的に接続される位置、あるいは各電極端子が移動可能な構成とされている場合には、各電極端子を移動させることにより各チップ電子部品に電気的に接続させることが可能な位置を意味する。
【０１０２】
そして、チップ電子部品検査部３２では、チップ電子部品保持板１１の直径方向に一列に並ぶ６個のチップキャパシタ１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆ毎に、上記の本発明の検査方法に従って、その電気特性が検査される。
【０１０３】
図７に示すチップ電子部品検査装置１０が備える検査器１４ａ、１４ｂは、静電容量の検査器である。検査器１４ａ、１４ｂはそれぞれ、電源５５、電圧計５６、そして電流計５７を備えている。電源５５にて発生した検査用電圧は、切替器２３ａ又は切替器２３ｂを介して、各チップキャパシタに印加される。検査用電圧の電圧値は電圧計５６により測定される。検査用電圧の付与により各チップキャパシタにて発生する電流の電流値は電流計５７により測定される。上記電圧値及び電流値を高精度にて測定するため、各検査器には、増幅器５８と電気抵抗器５９とが備えられている。
【０１０４】
なお、図２に示すチップ電子部品検査装置のチップ電子部品検査部３２の周方向に、別の検査器（上記検査器１４ａ、１４ｂとは別の電気特性を検査する検査器）に電気的に接続する一対の電極端子を更に配設することもできる。
【０１０５】
電気特性を検査したチップキャパシタは、チップ電子部品保持板１１の間欠的な回転移動により、図２及び図５に示すチップ電子部品検査装置１０のチップ電子部品排出部３３に送られる。
【０１０６】
図５に示すように、チップ電子部品排出部３３には、上記チップ電子部品保持板１１の前方側（図５にて下側）に、複数個の透孔６１ａが形成されたチューブ支持カバー６１が配設されている。チューブ支持カバー６１の透孔６１ａの各々には、チップキャパシタ（例えば、チップキャパシタ１９ａ）の通路を構成するチューブ６２が接続される。但し、図２においては、チューブ支持カバー６１の透孔６１ａの各々に接続されるチューブ６２のうちの一部のチューブのみを記入してある。
【０１０７】
また、チップ電子部品保持板１１の後方側（図５にて上側）に配置されたベース板４５には、それぞれチップ電子部品保持板１１の側の表面にて開口する複数の気体供給通路４５ｂが形成されている。各々の気体供給通路４５ｂは、加圧気体供給装置６３に接続されている。
【０１０８】
加圧気体供給装置６３を作動させると、気体供給通路４５ｂに加圧気体が供給され、例えば、チップ電子部品保持板１１の透孔１１ａに収容されたチップキャパシタ１９ａに加圧気体が噴射される。これにより、チップキャパシタは、チューブ６２に排出される。
【０１０９】
例えば、上記のチップキャパシタ１９ａは、図２に示すチューブ支持カバー６１に形成された複数個の透孔６１ａのうち、最も外周側にある合計で１０個の透孔６１ａを通過する。この１０個の透孔６１ａは、それぞれチューブ６２を介してチップ電子部品収容容器６４に接続されている。
【０１１０】
従って、上記のチップキャパシタ１９ａは、上記のチューブ支持カバー６１の１０個の透孔６１ａに接続された合計で１０本のチューブ６２の何れかを介して、検査した電気特性に応じたチップ電子部品収容容器６４に収容される。
【符号の説明】
【０１１１】
１０  チップ電子部品検査装置
１１  チップ電子部品保持板
１１ａ  透孔
１２ａ、１２ｂ  電極端子
１４ａ、１４ｂ  検査器
１５  制御器
１５ａ  制御システム
１９、１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、１９ｅ、１９ｆ  チップキャパシタ
２１  キャパシタ本体
２２ａ、２２ｂ  電極
２３ａ、２３ｂ  切替器
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｆ  開閉器
２５  制御器
３１  チップ電子部品収容部
３２  チップ電子部品検査部
３３  チップ電子部品排出部
４１  基台
４２  中心軸
４３  回転駆動装置
４４  チップ電子部品保持カバー
４５  ベース板
４５ａ  気体排出通路
４５ｂ  気体供給通路
４６  気体排出装置
４７  チップ電子部品供給装置（パーツフィーダ）
４９  チップ電子部品保持板の回転方向を示す矢印
５１  筒体
５２  電極支持板
５３  電極端子支持板
５４  直動駆動装置
５５  電源
５６  電圧計
５７  電流計
５８  増幅器
５９  電気抵抗器
６１  チューブ支持カバー
６１ａ  透孔
６２  チューブ
６３  加圧気体供給装置
６４  チップ電子部品収容容器
８０  チップ電子部品検査装置
【図１】
2014010623.tif 000003
【図２】
2014010623.tif 000004
【図３】
2014010623.tif 000005
【図４】
2014010623.tif 000006
【図５】
2014010623.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
2014010623.tif 000010
【図９】
2014010623.tif 000011
【図１０】
2014010623.tif 000012
【国際調査報告】
2014010623.tif 000013
2014010623.tif 000014
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