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【手続補正書】
【提出日】平成26年12月17日(2014.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カレンダー表示機能を有する電子時計であって、
カレンダー情報を表示するカレンダー車と、
前記カレンダー車を駆動する駆動車と、
時針を回転させる筒車と、
前記筒車から前記駆動車まで駆動力を伝達し、かつ、検出車を有する伝達輪列と、
前記検出車が基準位置に回転したことを検出する第一検出部と、を備え、
前記検出車は、前記第一検出部で２４時間毎に検出される被検出部を備えるとともに、前記電子時計の厚さ方向において前記駆動車よりも裏蓋側に配置され、
前記第一検出部は、前記電子時計の厚さ方向において前記駆動車よりも裏蓋側に配置され、前記被検出部を検出することで、前記検出車が前記基準位置にあると判断する
ことを特徴とする電子時計。
【請求項２】
請求項１に記載の電子時計において、
前記被検出部は、前記検出車の厚さ方向で貫通する貫通孔であり、
前記第一検出部は、前記貫通孔に向けて第一検出光を発する発光部と、前記貫通孔を通過した前記第一検出光を受光する受光部とで構成される
ことを特徴とする電子時計。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電子時計において、
時針と、分針と、秒針と、
前記分針を回転させる二番車と、
前記秒針を回転させる秒車と、
前記時針および前記カレンダー車を駆動する第一モーターと、
前記分針、前記二番車、前記秒針および前記秒車を駆動する第二モーターと、を備え、
前記筒車は、前記電子時計の厚さ方向において前記駆動車よりも裏蓋側に配置され、
前記二番車および前記秒車は、前記電子時計の厚さ方向において前記筒車よりも裏蓋側に配置され、
前記筒車に対向する位置には、前記時針の位置を検出する第二検出部と、前記秒針および前記分針の位置を検出する第三検出部とが設けられ、
前記第二検出部および前記第三検出部は、前記電子時計の厚さ方向において前記駆動車よりも裏蓋側に配置され、
前記筒車は、前記筒車の厚さ方向で貫通し、前記第二検出部で検出される第二貫通孔を備えるとともに、前記筒車の厚さ方向で貫通する１２個の第三貫通孔が形成され、
前記二番車には、前記二番車の厚さ方向で貫通する一つの第四貫通孔が形成され、
前記秒車には、前記秒車の厚さ方向で貫通する一つの第五貫通孔が形成され、
前記第二検出部は、第二検出光を出射する第二発光部と、前記第二貫通孔を通過した前記第二検出光を受光する第二受光部と、を備え、
前記第二検出部は、前記筒車が回転して前記第二検出部に対向する位置に移動してきた前記第二貫通孔を通過した前記第二検出光を前記第二受光部が受光することで前記時針の位置を検出し、
前記第三検出部は、第三検出光を出射する第三発光部と、前記第二貫通孔、前記第三貫通孔および前記第四貫通孔を通過した前記第三検出光を受光する第三受光部と、を備え、
前記第三検出部は、前記筒車、前記二番車および前記秒車が回転して、前記第三貫通孔、前記第四貫通孔および前記第五貫通孔の位置が前記電子時計の厚さ方向において揃った際に、これら貫通孔を通過した前記第三検出光を前記第三受光部が受光することで前記秒針および前記分針の位置を検出する
ことを特徴とする電子時計。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月19日(2015.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空調熱処理室に於いて、空気循環を担う送風機が組み込まれた昇降枠の反復昇降移動運転を行う装置であって、室外に設置された電動機の回転を駆動軸に伝え、この駆動軸に装着されたスプロケットを介し装架されたチェーンの一方を昇降枠に連結し、チェーンの、もう一方は送風機を組み込んだ昇降枠の重量と同じ重さを持たせたバランスウエイトに連結させ、この両者を連結するチェーンを、従動軸に組み込まれたスプロケットを介し連輪接続にし、連続反復昇降の手段を持つ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月5日(2015.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定光と前記測定光に対応する参照光と前記測定光を照射した被検体からの戻り光と前記参照光とを合波して得た合波光との少なくとも１つの偏光状態を調整する偏光調整部材と、
前記偏光調整部材を用いて前記被検体の偏光断層画像を取得する断層画像取得手段と、
前記偏光断層画像と前記偏光調整部材の状態を示す表示形態と前記偏光調整部材の状態の変更に関する指示を入力するための表示形態とを表示手段に表示させる表示制御手段と、
前記入力された指示に基づいて、前記偏光調整部材の状態を変更する手段と、
を有することを特徴とする撮影装置。
【請求項２】
前記表示制御手段が、前記偏光断層画像と前記偏光調整部材が配置された角度を前記状態として示す表示形態と前記角度の変更に関する指示を入力するための表示形態とを前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１に記載の撮影装置。
【請求項３】
前記指示を入力するための表示形態を用いて前記偏光調整部材の状態の変更を指示する指示手段を更に有することを特徴とする請求項１又は２に記載の撮影装置。
【請求項４】
前記偏光調整部材の状態の変更が、前記測定光の光路の光軸に対して、時計回り又は反時計回りの何れかであることを特徴とする請求項２又は３に記載の撮影装置。
【請求項５】
前記表示制御手段が、前記異なる偏光に対応するそれぞれの断層画像を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の撮影装置。
【請求項６】
前記表示制御手段が、前記それぞれの断層画像の表示に変えて、それぞれの断層画像の輝度値、または、それぞれの合波した光の信号の波形を表示することを特徴とする請求項５に記載の撮影装置。
【請求項７】
前記被検体の平面画像を取得する平面画像取得手段を更に有し、
前記表示制御手段が、前記被検体における前記偏光断層画像の取得位置を前記平面画像に重畳して表示させることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮影装置。
【請求項８】
前記偏光断層画像が、リターデーション画像、ＤＯＰＵ画像を含むことを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の撮影装置。
【請求項９】
前記表示手段に表示させる画像として、前記リターデーション画像、前記ＤＯＰＵ画像、輝度断層画像とのいずれかを選択する選択手段を更に有し、
前記表示制御手段が、前記選択手段により選択された画像を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項８に記載の撮影装置。
【請求項１０】
前記表示制御手段が、
前記被検体の平面画像と前記リターデーション画像と前記ＤＯＰＵ画像とを前記表示手段の同一画面に並べて表示させ、
前記リターデーション画像及び前記ＤＯＰＵ画像の取得位置を前記被検体の平面画像に重畳して表示させることを特徴とする請求項８に記載の撮影装置。
【請求項１１】
前記被検体が、被検眼であり、
前記断層画像取得手段が、前記偏光状態を調整された測定光を照射した前記被検眼からの戻り光と、前記測定光に対応する参照光とを合波した光を分割して得た互いに異なる偏光の光に基づいて、前記偏光断層画像を取得することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の撮影装置。
【請求項１２】
測定光と前記測定光に対応する参照光と前記測定光を照射した被検体からの戻り光と前記参照光とを合波して得た合波光との少なくとも１つの偏光状態を調整する偏光調整部材を用いて、前記被検体の偏光断層画像を取得する断層画像取得手段と、
前記偏光調整部材の状態の変更に関する指示を入力するための表示形態を表示手段に表示させる表示制御手段と、
を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項１３】
前記表示制御手段が、前記偏光調整部材の状態の変更として前記偏光調整部材が配置された角度の変更に関する指示を入力するための表示形態を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１２に記載の画像処理装置。
【請求項１４】
測定光と前記測定光に対応する参照光と前記測定光を照射した被検体からの戻り光と前記参照光とを合波して得た合波光との少なくとも１つの偏光状態を調整する偏光調整部材を有する撮影装置の制御方法であって、
前記偏光調整部材を用いて前記被検体の偏光断層画像を取得する工程と、
前記偏光断層画像と前記偏光調整部材の状態を示す表示形態と前記偏光調整部材の状態の変更に関する指示を入力するための表示形態とを表示手段に表示させる工程と、
前記入力された指示に基づいて、前記偏光調整部材の状態を変更する工程と、
を有することを特徴とする撮影装置の制御方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の撮影装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
測定光と前記測定光に対応する参照光と前記測定光を照射した被検体からの戻り光と前記参照光とを合波して得た合波光との少なくとも１つの偏光状態を調整する偏光調整部材を用いて、前記被検体の偏光断層画像を取得する工程と、
前記偏光調整部材の状態の変更に関する指示を入力するための表示形態を表示手段に表示させる工程と、
を有することを特徴とする画像処理方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の画像処理方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撮影装置、撮影装置の制御方法、画像処理装置及び画像処理方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、被検体を撮影する撮影装置、撮影装置の制御方法、被検体の画像を処理する画像処理装置及び画像処理方法に関し、特に、被検眼を断層撮影する撮影装置、撮影装置の制御方法、被検眼の断層画像を処理する画像処理装置及び画像処理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の撮影装置の一つは、
測定光と前記測定光に対応する参照光と前記測定光を照射した被検体からの戻り光と前記参照光とを合波して得た合波光との少なくとも１つの偏光状態を調整する偏光調整部材と、
前記偏光調整部材を用いて前記被検体の偏光断層画像を取得する断層画像取得手段と、
前記偏光断層画像と前記偏光調整部材の状態を示す表示形態と前記偏光調整部材の状態の変更に関する指示を入力するための表示形態とを表示手段に表示させる表示制御手段と、前記入力された指示に基づいて、前記偏光調整部材の状態を変更する手段と、を有する。
また、本発明の画像処理装置の一つは、
測定光と前記測定光に対応する参照光と前記測定光を照射した被検体からの戻り光と前記参照光とを合波して得た合波光との少なくとも１つの偏光状態を調整する偏光調整部材を用いて、前記被検体の偏光断層画像を取得する断層画像取得手段と、
前記偏光調整部材の状態の変更に関する指示を入力するための表示形態を表示手段に表示させる表示制御手段と、を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月10日(2015.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容積形ポンプであって、ポンプヘッド（３）を備え、該ポンプヘッド（３）内に少なくとも１つのポンプ室（６）が設けられており、該少なくとも１つのポンプ室（６）に対応配置されたポンプダイヤフラム（７）を備え、該ポンプダイヤフラム（７）により前記ポンプ室（６）が往復動駆動装置から分離されており、さらに往復動駆動装置を備え、該往復動駆動装置が、長手方向に移動可能に案内された電磁プランジャ（８）を有し、該電磁プランジャ（８）は前記ポンプダイヤフラム（７）の、前記ポンプ室（６）とは反対の側の扁平側に作用しており、前記電磁プランジャ（８）は、コイル（９）によって電磁式に戻し力に抗して吸込み行程にもたらされるようになっている容積形ポンプにおいて、前記コイル（９）は磁気帰路形成エレメント（１０）と協働し、前記電磁プランジャ（８）は案内スリーブ（１５）内に移動可能に案内されており、該案内スリーブ（１５）は、前記磁気帰路形成エレメント（１０）の互いに離反した側（１１，１２）に設けられた差通し開口（１３，１４）を貫通しており、該差通し開口のうち、前記ポンプ室（６）に近い方の差通し開口（１３）は、前記案内スリーブ（１５）の、導入スリーブ（１６）により形成された区分によって貫通されており、前記ポンプ室（６）から遠い方の差通し開口（１４）は、前記案内スリーブ（１５）の、ステータ（１７）により形成された区分によって貫通されており、導磁性の材料から製造されている前記導入スリーブ（１６）と前記ステータ（１７）とは、前記案内スリーブ（１５）の、非導磁性の材料から成る絶縁スリーブ（１８）により形成された区分によって磁気的に互いに分離されていることを特徴とする容積形ポンプ。
【請求項２】
前記案内スリーブ（１５）の前記導入スリーブ（１６）と前記絶縁スリーブ（１８）と前記ステータ（１７）とは、溶接、接着またはこれに類する手段によって互いに結合されている、請求項１記載の容積形ポンプ。
【請求項３】
前記電磁プランジャ（８）は、前記案内スリーブ（１５）の、前記絶縁スリーブ（１８）により形成された区分内に案内されている、請求項１または２記載の容積形ポンプ。
【請求項４】
前記案内スリーブ（１５）の、前記導入スリーブ（１６）により形成された区分は、前記電磁プランジャ（８）を、クリアランスを持って取り囲んでいる、請求項１から３までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項５】
少なくとも１つの圧縮ばね（２２）が、前記電磁プランジャ（８）に作用する戻し力として使用されている、請求項１から４までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項６】
前記少なくとも１つの圧縮ばね（２２）は、前記導入スリーブ（１６）に支持されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項７】
前記ステータ（１７）は、前記案内スリーブ（１５）内の前記電磁プランジャ（８）の吸込み行程を画定している、請求項１から６までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項８】
前記少なくとも１つのポンプダイヤフラム（７）のストロークが調節可能であり、当該容積形ポンプ（１）がポンプハウジング（２）を有し、該ポンプハウジング（２）内に、このために前記案内スリーブ（１５）が長手方向に移動調節可能に配置されている、請求項１から７までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項９】
前記案内スリーブ（１５）は少なくともその外周面の所定の区分に雄ねじ山（１９）を有しており、該雄ねじ山（１９）は、前記ポンプハウジング（２）に対して相対的に位置固定の雌ねじ山と螺合している、請求項１から８までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項１０】
前記案内スリーブ（１５）が、特にその前記絶縁スリーブ（１８）の範囲で内周側に、かつ／または前記電磁プランジャ（８）が外周側に、それぞれ摩擦を減少させる滑り層を有する、請求項１から９までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【請求項１１】
前記滑り層はポリマ層、特にポリテトラフルオロエチレン層またはモリブデンジスルフィド層として形成されている、請求項１０記載の容積形ポンプ。
【請求項１２】
前記磁気帰路形成エレメント（１０）は、好ましくはＵ字形に形成されたコイルブラケットとして形成されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載の容積形ポンプ。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月13日(2015.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口量が可変の絞り装置を備えた光学系と、
コイルを励磁させることで前記絞り装置を駆動するモータと、
前記コイルに対する印加電流を制御する制御手段を有し、撮影モードを動画撮影モードと静止画撮影モードの間で切り替え可能なカメラシステムであって、
前記制御手段は、前記撮影モードが動画撮影モードに設定されている場合にはマイクロステップ駆動による制御を行い、
前記撮影モードが静止画撮影モードに切り替えられ、前記絞り装置の駆動目標位置が変更されたときに、前記印加電流を遮断した際に前記モータに含まれるロータと前記モータに含まれるステータの位置関係が保持されない位相であった場合、
前記位置関係が保持される位相となるまで、前記制御手段は、前記駆動目標位置の変更前の駆動速度よりも高速で前記絞り装置が駆動されるように、前記印加電流を制御することを特徴とするカメラシステム。
【請求項２】
前記位置関係が保持される位相の中で前記駆動目標位置が変更されたときの位相に最も近い位相となるまで、前記制御手段は、前記駆動目標位置の変更前の駆動速度よりも高速で前記絞り装置が駆動されるように、前記印加電流を制御することを特徴とする請求項１に記載のカメラシステム。
【請求項３】
前記位置関係が保持される位相となってから前記絞り装置が前記駆動目標位置に到達するまで、前記制御手段は矩形波駆動による制御を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のカメラシステム。
【請求項４】
撮影モードを動画撮影モードと静止画撮影モードの間で切り替え可能な撮像装置に対して取り外し可能であり、前記撮像装置と通信可能なレンズ装置であり、
開口量が可変の絞り装置を備えた光学系と、
コイルを励磁させることで前記絞り装置を駆動するモータと、
前記コイルに対する印加電流を制御する制御手段を有するレンズ装置であって、
前記制御手段は、前記撮像装置の撮影モードが動画撮影モードに設定されている場合にはマイクロステップ駆動による制御を行い、
前記撮影モードが静止画撮影モードに切り替えられたことを示す情報と、前記絞り装置の駆動目標位置が変更されたことを示す情報を前記撮像装置から受信したときに、前記印加電流を遮断した際に前記モータに含まれるロータと前記モータに含まれるステータの位置関係が保持されない位相であった場合、
前記位置関係が保持される位相となるまで、前記制御手段は、前記駆動目標位置の変更前の駆動速度よりも高速で前記絞り装置が駆動されるように、前記印加電流を制御することを特徴とするレンズ装置。
【請求項５】
前記位置関係が保持される位相の中で前記駆動目標位置が変更されたときの位相に最も近い位相となるまで、前記制御手段は、前記駆動目標位置の変更前の駆動速度よりも高速で前記絞り装置が駆動されるように、前記印加電流を制御することを特徴とする請求項４に記載のレンズ装置。
【請求項６】
前記位置関係が保持される位相となってから前記絞り装置が前記駆動目標位置に到達するまで、前記制御手段は矩形波駆動による制御を行うことを特徴とする請求項４または５に記載のレンズ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一側面としてのカメラシステムは、開口量が可変の絞り装置を備えた光学系と、コイルを励磁させることで前記絞り装置を駆動するモータと、前記コイルに対する印加電流を制御する制御手段を有し、撮影モードを動画撮影モードと静止画撮影モードの間で切り替え可能なカメラシステムであって、前記制御手段は、前記撮影モードが動画撮影モードに設定されている場合にはマイクロステップ駆動による制御を行い、前記撮影モードが静止画撮影モードに切り替えられ、前記絞り装置の駆動目標位置が変更されたときに、前記印加電流を遮断した際に前記モータに含まれるロータと前記モータに含まれるステータの位置関係が保持されない位相であった場合、前記位置関係が保持される位相となるまで、前記制御手段は、前記駆動目標位置の変更前の駆動速度よりも高速で前記絞り装置が駆動されるように、前記印加電流を制御する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他の側面としてのレンズ装置は、撮影モードを動画撮影モードと静止画撮影モードの間で切り替え可能な撮像装置に対して取り外し可能であり、前記撮像装置と通信可能なレンズ装置であり、開口量が可変の絞り装置を備えた光学系と、コイルを励磁させることで前記絞り装置を駆動するモータと、前記コイルに対する印加電流を制御する制御手段を有するレンズ装置であって、前記制御手段は、前記撮像装置の撮影モードが動画撮影モードに設定されている場合にはマイクロステップ駆動による制御を行い、前記撮影モードが静止画撮影モードに切り替えられたことを示す情報と、前記絞り装置の駆動目標位置が変更されたことを示す情報を前記撮像装置から受信したときに、前記印加電流を遮断した際に前記モータに含まれるロータと前記モータに含まれるステータの位置関係が保持されない位相であった場合、前記位置関係が保持される位相となるまで、前記制御手段は、前記駆動目標位置の変更前の駆動速度よりも高速で前記絞り装置が駆動されるように、前記印加電流を制御する。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月29日(2015.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データに基づくトナー像を用紙上に転写する転写手段と、
前記用紙上のトナー像を定着する定着手段と、
前記トナー像が形成された用紙を第１のチャートとして出力し、該出力された第１のチャートを読み取った値を用いて階調補正用の変換テーブルを生成するキャリブレーションを実行する手段と、
前記キャリブレーションの実行を制御する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記キャリブレーションの実行指示を受け付けると、前記第１のチャートの出力をする前に、前記第１のチャートとは異なる第２のチャートを予め設定された条件に従って出力して該第２のチャートに熱を吸収させ、前記第２のチャートの出力が完了した後に前記第１のチャートが出力されるよう制御する、
ことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記第２のチャートが前記第１のチャートと同じ画像データを用いて形成されている場合、前記第２のチャートのうち、最後に出力された第２のチャートを、前記第１のチャートとして用いるよう促す表示を行う表示手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記第２のチャートには、予め定められた画像が形成されることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記第２のチャートには、画像が形成されないことを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記第２のチャートの形成に用いられる前記画像は、前記第１のチャートよりも少ない量のトナーで形成可能な画像であることを特徴とする請求項３に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記第２のチャートの出力に用いる用紙は、前記第１のチャートを出力する際に用いる用紙と同じタイプの用紙であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記第２のチャートの出力に用いる用紙は、再生紙であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記第２のチャートは予め指定された枚数出力され、該予め指定された枚数は、設定することができる枚数の上限値が表示されるユーザインタフェース画面を介して設定されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記第２のチャートが出力される際、出力済みの前記第２のチャートの枚数を表示する表示手段をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記第２のチャートを出力する際、出力設定に応じて、用紙の両面又は片面に前記画像を形成することを特徴とする請求項３、５〜９のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１１】
画像データに基づくトナー像を用紙上に転写する転写手段と、前記用紙上のトナー像を定着する定着手段と、前記トナー像が形成された用紙を第１のチャートとして出力し、該出力された第１のチャートを読み取った値を用いて階調補正用の変換テーブルを生成するキャリブレーションを実行する手段と、を有する画像形成装置におけるキャリブレーションの制御方法であって、
前記キャリブレーションの実行指示を受け付けるステップと、
前記受け付けた実行指示に応答して、前記第１のチャートの出力をする前に、前記第１のチャートとは異なる第２のチャートを予め設定された条件に従って出力して該第２のチャートに熱を吸収させ、前記第２のチャートの出力が完了した後に前記第１のチャートを出力するステップと、
を含むことを特徴とするキャリブレーションの制御方法。
【請求項１２】
前記第２のチャートが前記第１のチャートと同じ画像データを用いて形成されている場合、前記第２のチャートのうち、最後に出力された第２のチャートを、前記第１のチャートとして用いるよう促す表示を行うステップをさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２のチャートには、予め定められた画像が形成されることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記第２のチャートには、画像が形成されないことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２のチャートの形成に用いられる前記画像は、前記第１のチャートよりも少ない量のトナーで形成可能な画像であることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記第２のチャートの出力に用いる用紙は、前記第１のチャートを出力する際に用いる用紙と同じタイプの用紙であることを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２のチャートの出力に用いる用紙は、再生紙であることを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記第２のチャートは予め指定された枚数出力され、該予め指定された枚数は、設定することができる枚数の上限値が表示されるユーザインタフェース画面を介して設定されることを特徴とする請求項１１乃至１７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
前記第２のチャートが出力される際、出力済みの前記第２のチャートの枚数を表示するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１１乃至１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
前記第２のチャートを出力する際、出力設定に応じて、用紙の両面又は片面に前記画像を形成することを特徴とする請求項１３、１５〜１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２１】
請求項１１〜２０に記載の方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成27年3月5日(2015.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本開示は、視聴者の位置に応じて光を偏向する液晶プリズム素子を備え、偏向による相対輝度の低下やクロストークの増大を低減する画像表示装置を提供する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
光制御フィルム１０の下面に入射した光は、プリズム３６によりＺ軸方向に立ち上げられ、上面のレンチキュラーレンズにより集光され、第１液晶プリズム素子３ａに入射する
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第１液晶プリズム素子３ａは、視聴者が画面左端方向に移動したとき、視聴者の移動に合わせて、偏向方向を制御する。第２液晶プリズム素子３ｂは、視聴者が画面右端方向に移動したとき、視聴者の移動に合わせて、偏向方向を制御する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
第１液晶プリズム素子３ａ及び第２液晶プリズム素子３ｂは、外部からの印加電圧の大きさに応じて、透過する光の偏向角度の大きさを制御できる素子である。その原理を簡単に述べる。通常、液晶分子は楕円体形状をしており、長手方向と短手方向とで誘電率が異なる。このため、第１液晶層２０ａ及び第２液晶層２０ｂは、入射光の偏光方向毎に屈折率が異なる複屈折の性質を有する。また、液晶分子の配向（ダイレクタ）の向きが光の偏光方向に対して相対的に変化すれば、第１液晶層２０ａ、第２液晶層２０ｂの屈折率も変化する。そのため、ある印加電圧を与えて発生させた電場により液晶の配向を変化させると、透過する光に対する屈折率が変わるため、光の屈折角である偏向角が変化する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
制御部６は、視聴位置算出部３９によって求められた視聴位置情報に基づいて、液晶プリズム素子に印加する電圧値を制御する。より詳細には、視聴者の視聴位置が、図１Ａに示すように、画面中央から左端側に移動した場合、第１液晶プリズム素子３ａを使って、ユーザの視聴位置に応じた電圧を印加し偏向する。逆に、ユーザの視聴位置が、図１Ａに示すように、画面中央から右端側に移動した場合、第２液晶プリズム素子３ｂを使って光をユーザの視聴位置に応じた電圧を印加し偏向する。また第１プリズム１７ａ、第２プリズム１７ｂ、第１液晶層２０ａ、第２液晶層２０ｂの異常光に対する屈折率を等しく設定しているので、ユーザの視聴位置が画面中央の場合、電圧を印加しない状態に設定される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
尚、印加電圧に対する液晶プリズム素子の偏向角及び光の集光点の位置情報は設計段階で想定できるため、予め印加電圧と位置情報とを関連付けたデータを用意し、画像表示装置１が備える記憶装置に格納しておけば良い。また、製品完成後、キャリブレーションを行って、集光点の位置の補正を行っても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
視聴者が画面中央にいる場合、第１液晶プリズム素子３ａ及び第２液晶プリズム素子３ｂには電圧が印加されない。この、場合第１液晶層２０ａ及び第２液晶層２０ｂの屈折率は１．６となり、第１プリズム１７ａ及び第２プリズム１７ｂの屈折率と等しくなるので、第１液晶プリズム素子３ａ及び第２液晶プリズム素子３ｂに入射した光は、プリズムと液晶素子との界面で屈折されずに、第１液晶プリズム素子３ａ及び第２液晶プリズム素子３ｂをそれぞれ透過する。この場合、画面中央の視聴者の右眼及び左眼に図３に示す配光のピーク値近傍の光が入射し明るい画像が得られる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
比較例と比較した場合、Δｎが変化した時の相対輝度の劣化、クロストークの増大が低減されている。比較例では、第１液晶プリズム素子３ａのみで左側から右側への走査全体を行ない、Δｎをマイナスからプラス側まで変化させている。このため、図５Ｂ及び図５Ｃから分かるように、Δｎがマイナスの時、相対輝度の劣化及びクロストークの増大の割合が大きい。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月19日(2015.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に延在され前記第１方向に交差する第２方向に並設される走査信号線と、前記第２方向に延在され前記第１方向に並設される映像信号線とが形成される表示領域と、前記表示領域の外側に形成され、前記映像信号線に信号を供給する複数の端子からなる端子群と、ドレイン電極が前記映像信号線に接続されると共に、ソース電極が検査用端子に接続され、ゲート電極が検査用の制御信号線を介して共通に接続される複数の第１の薄膜トランジスタからなる点灯検査回路とを備える表示装置であって、
前記検査用の制御信号線と所定の距離で離間して配置される導電性薄膜層と、
前記導電性薄膜層と前記第１の薄膜トランジスタとの間の領域に形成され、ゲート電極が前記検査用の制御信号線に接続される第２の薄膜トランジスタとを備え、
前記第１の薄膜トランジスタにおけるゲート電極とソース・ドレイン電極との間に静電スパークが生じる第１のスパーク発生電圧は、前記検査用の制御信号線と前記導電性薄膜層との間に静電スパークが生じる第２のスパーク発生電圧よりも小さい電圧であることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記第２の薄膜トランジスタは、前記導電性薄膜層よりも前記第１の薄膜トランジスタに近い側に配置されることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記導電性薄膜層は、平面的に見て前記検査用の制御信号線と離間して配置され、前記第１の薄膜トランジスタのゲート電極に接続される前記検査用の制御信号線と同層に形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記第２の薄膜トランジスタは２つ以上の薄膜トランジスタからなり、前記第１の薄膜トランジスタのドレイン電極とソース電極との内の少なくとも一方の電極が電気的に接続されることを特徴とする請求項１乃至３の内の何れかに記載の表示装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の薄膜トランジスタは、同一の製造工程で形成されることを特徴とする請求項１乃至４の内の何れかに記載の表示装置。
【請求項６】
前記導電性薄膜層は絶縁膜を介して重畳配置される少なくとも２層以上の導電性薄膜からなることを特徴とする請求項１乃至５の内の何れかに記載の表示装置。
【請求項７】
前記第１方向及び前記第２方向に屈曲されてなる延在部を備え、
前記屈曲部の一端側は開放され、他端側は前記第２の薄膜トランジスタのドレイン電極とソース電極との内の一方の電極の電極に電気的に接続されることを特徴とする請求項１乃至６の内の何れかに記載の表示装置。
【請求項８】
絶縁膜を介して重畳配置される少なくとも２層以上の導電性薄膜からなる容量部を備え、
前記容量部は前記第２の薄膜トランジスタのドレイン電極とソース電極との内の、少なくとも一方に配置されることを特徴とする請求項１乃至６の内の何れかに記載の表示装置。
【請求項９】
前記導電性薄膜層は、薄膜トランジスタからなることを特徴とする請求項１乃至６の内の何れかに記載の表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月19日(2014.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリビニルアルコール系樹脂フィルムにヨウ素が吸着配向している偏光フィルムであっ
て、
ホウ素含有量が１〜３.５重量％の範囲内にあり、
吸収軸方向を長辺とする２mm×１０mmの大きさに裁断し、８０℃で４時間加熱したとき
に、その吸収軸方向への収縮力が２.８Ｎ以下であり、かつ
直交色相のｂ値が−２.２〜＋０.５の範囲内にあることを特徴とする偏光フィルム。
【請求項２】
前記収縮力が２.１Ｎ以下であり、前記直交色相のｂ値が−１.０〜０の範囲内にある、
請求項１に記載の偏光フィルム。
【請求項３】
ポリビニアルアルコール系樹脂フィルムに対して、ヨウ素を吸着させる染色工程、ホウ
酸処理工程及び水洗工程をこの順に施し、かつ前記ホウ酸処理工程又はそれより前の段階
において一軸延伸する延伸工程を施し、
前記ホウ酸処理工程と前記水洗工程との間に前記ポリビニルアルコール系樹脂フィルム
を乾燥する一次乾燥工程を施して、偏光フィルムを製造する方法であって、
前記一次乾燥工程は、該一次乾燥工程に入る直前のポリビニルアルコール系樹脂フィル
ムの水分率をＷ0 、該一次乾燥工程を経た後、水洗工程に入る前のポリビニルアルコール
系樹脂フィルムの水分率をＷ1 としたときに、下式（１）：
水分減少率＝〔（Ｗ0−Ｗ1）／Ｗ0〕×１００         （１）
で示される水分減少率が５〜９５重量％の範囲内となるように行われる、
偏光フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記一次乾燥工程は、前記水分減少率が３０〜８０重量％の範囲内となるように行われ
る、請求項３に記載の製造方法。
【請求項５】
前記一次乾燥工程は、４０〜３００℃の温度で１〜１００秒間行われる、請求項３又は４
に記載の製造方法。
【請求項６】
前記一次乾燥工程は、前記ポリビニルアルコール系樹脂フィルムに対して、熱風を吹き
付ける手段、発熱部材に直接接触させる手段、及び輻射エネルギーを照射する手段からな
る群より選ばれる少なくとも一つの手段によって行われる、請求項３〜５のいずれかに記
載の製造方法。
【請求項７】
前記水洗工程を経た後の前記ポリビニルアルコール系樹脂フィルムに対して、最終乾燥
工程を施す、請求項３〜６のいずれかに記載の製造方法。
【請求項８】
請求項１又は２に記載の偏光フィルムと、該偏光フィルムの少なくとも片面に形成され
た透明保護層とを備えることを特徴とする偏光板。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月27日(2014.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
基本的レンズデータを以下の表４に示す。
【表４】
2013148834.tif 000001
2013148834.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月19日(2015.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
演奏者による演奏操作子の操作によって供給される楽曲のノートデータを順次受信する受信手段と、
この受信手段により所定時間経過毎に受信されたノートデータに基づいて演奏操作回数を算出する算出手段と、
同一の練習形態ごとに、最新の演奏操作回数と、当該最新の演奏操作回数より以前の演奏操作回数とに基づいて、前記演奏者の演奏状態を評価する演奏状態評価手段と、
を備えた演奏評価装置。
【請求項２】
前記演奏評価装置はさらに、前記算出手段により演奏操作回数が算出される毎に、当該算出された演奏操作回数を、複数の練習形態のいずれかひとつと対応付けて所定の記憶手段に記憶させる演奏操作回数記憶手段を有し、
前記演奏状態評価手段は、同一の前記練習形態ごとに、前記記憶手段に最新に記憶された演奏操作回数と、当該最新の演奏操作回数より以前に前記記憶手段に記憶された演奏操作回数とに基づいて、前記演奏者の演奏状態を評価する、請求項１に記載の演奏評価装置。
【請求項３】
前記演奏評価装置はさらに、前記演奏状態評価手段による演奏状態の評価を表す画像を所定の表示手段に表示させる演奏状態表示手段をさらに有し、
前記演奏状態評価手段は、前記記憶手段に最新に記憶された演奏操作回数と、当該最新の演奏操作回数より以前でかつ直近に前記記憶手段に記憶された演奏操作回数とに基づいて、前記演奏者の演奏に対するモチベーションの変動を、前記演奏状態として評価するとともに、前記演奏状態表示手段は前記演奏状態の評価演奏状態の評価を表す画像として、当該モチベーションの変動の評価を表す画像を表示する請求項２に記載の演奏評価装置。
【請求項４】
前記演奏評価装置はさらに、前記演奏状態評価手段による演奏状態の評価を表す画像を所定の表示手段に表示させる演奏状態表示手段をさらに有し、
前記演奏状態評価手段は、前記演奏者の演奏技術レベルの変動を、前記演奏状態として評価するとともに、前記演奏状態表示手段は前記演奏状態の評価演奏状態の評価を表す画像として、当該演奏技術レベルの変動の評価を表す画像を表示する請求項２又は３に記載の演奏評価装置。
【請求項５】
前記演奏操作回数記憶手段は、
前記受信手段が所定時間毎に受信したノートが属する前記楽曲の小節を識別する小節識別手段と、
この識別された小節が所定数以上連続しているか否かを判別することにより、前記楽曲全体の演奏か部分の演奏かを判別する連続性判別手段と、
前記識別された楽曲の小節毎に割り当てられた演奏形態に基づいて、前記所定時間毎の演奏形態を判別する演奏形態判別手段と、
前記連続性判別手段及び演奏形態判別手段の判別結果に基づいて、前記算出手段により算出された演奏操作回数に対応すべき練習形態を決定する決定手段と、
を備えた請求項２に記載の演奏評価装置。
【請求項６】
前記演奏状態評価手段は、
前記最新の演奏操作回数に対応付けられた練習形態と同一の練習形態に対応する演奏操作回数を前記演奏操作回数記憶手段から全て読み出し、当該読み出された演奏操作回数に基づいて標準偏差及び平均値を算出する標準偏差算出手段と、
前記最新の演奏操作回数に基づく偏差値を算出する偏差値算出手段と、
前記算出された標準偏差及び平均値に基づく基準値と、この算出された偏差値との関係に基づいて、前記演奏技術レベルの変動を評価する評価手段と、
を備えた請求項４に記載の演奏評価装置。
【請求項７】
演奏評価装置として用いられるコンピュータに、
演奏者による演奏操作子の操作によって供給される楽曲のノートデータを順次受信する受信ステップと、
この所定時間経過毎に受信されたノートデータに基づいて演奏操作回数を算出する算出ステップと、
同一の練習形態ごとに、最新の演奏操作回数と、当該最新の演奏操作回数より以前でかつ直近の演奏操作回数とに基づいて、前記演奏者の演奏状態を評価する演奏状態評価ステップと、
を実行させるプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の演奏評価装置は、
演奏者による演奏操作子の操作によって供給される楽曲のノートデータを順次受信する受信手段と、
この受信手段により所定時間経過毎に受信されたノートデータに基づいて演奏操作回数を算出する算出手段と、
同一の練習形態ごとに、最新の演奏操作回数と、当該最新の演奏操作回数より以前の演奏操作回数とに基づいて、前記演奏者の演奏状態を評価する演奏状態評価手段と、
を備えることを特徴とする。
また、本発明のプログラムは、
演奏評価装置として用いられるコンピュータに、
演奏者による演奏操作子の操作によって供給される楽曲のノートデータを順次受信する受信ステップと、
この所定時間経過毎に受信されたノートデータに基づいて演奏操作回数を算出する算出ステップと、
同一の練習形態ごとに、最新の演奏操作回数と、当該最新の演奏操作回数より以前でかつ直近の演奏操作回数とに基づいて、前記演奏者の演奏状態を評価する演奏状態評価ステップと、
を実行させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月20日(2014.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
連通孔を塞ぐためには、まず仮栓１１を仮栓保持部６７に取り付けて、立上り管部７の開口部に仮栓１１を挿入する。溝部７１に手回しクランクを取り付けて仮栓挿入具６１を回転させ立上り管部７に先端部６３を螺入させ、仮栓１１を連通孔に挿入する。
なお、噴出するガスが外に漏れないようにするため、上記の作業は、図１および図３に示すように、透明ビニル製のノーブローガスバック７３を用いて行う。また、仮栓挿入具６１等の必要な工具や部品はあらかじめノーブローガスバック７３内に入れておく。
【手続補正書】
【提出日】平成27年8月7日(2015.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】発光モジュール
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板の間隔を保持する導電性のスペーサと、を有し、
前記第１の基板に、発光素子の第１の電極と、前記第１の電極上に開口部を有する隔壁と、前記第１の電極上の発光層と、前記発光層を介して前記第１の電極と重なる領域を有する前記発光素子の第２の電極と、が設けられており、
前記導電性のスペーサは、前記隔壁と重なる位置で前記第２の電極と電気的に接続されていることを特徴とする発光モジュール。
【請求項２】
第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板の間隔を保持する導電性のスペーサと、を有し、
前記第１の基板に、発光素子の第１の電極と、前記第１の電極上に開口部を有する隔壁と、前記第１の電極上の発光層と、前記発光層を介して前記第１の電極と重なる領域を有する前記発光素子の第２の電極と、が設けられており、
前記導電性のスペーサは、前記隔壁と重なる位置で前記第２の電極と電気的に接続されており、前記第２の電極に生じる電圧降下を緩和する機能を有することを特徴とする発光モジュール。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記導電性のスペーサは、角部が曲面で面取りされた先端を備え、
前記先端が前記第２の電極と電気的に接続されていることを特徴とする発光モジュール。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記導電性のスペーサは、第１の層と、第２の層と、を備え、
前記第１の層は、前記第２の層よりも前記第２の基板に近い側に配置されており、
前記第１の層における外光の反射率は、前記第２の層における外光の反射率よりも低いことを特徴とする発光モジュール。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月2日(2014.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記複数の第１の入力ノードのそれぞれから前記第１の出力ノードまでの間に接続された複数の論理ゲート回路のそれぞれのファンアウトと、前記第２の入力ノードから前記第２の出力ノードまでの間に接続された複数の論理ゲート回路のそれぞれのファンアウトは、互いに等しい、請求項２に記載の半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
ラッチ回路ＬＴ６は、インバータ回路Ｇ１２及びＮＯＲゲート回路Ｇ１３が循環接続された構成を有しており、ＮＯＲゲート回路Ｇ１３の出力ノードとインバータ回路Ｇ１２の入力ノードとの間にはトランスファゲート回路ＴＧ７が接続されている。また、ＮＯＲゲート回路Ｇ１３の他方の入力ノードには、リセット信号ＲＳＴが供給される。ラッチ回路ＬＴ６への入力信号は、前段のラッチ回路ＬＴ５からトランスファゲート回路ＴＧ６を介して与えられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図１０に示すように、ラッチ回路ＬＴ８は、図８に示したラッチ回路ＬＴ０のインバータ回路Ｇ３がＮＯＲゲート回路Ｇ１９に置き換えられた構成を有している。その他の回路構成は、図８に示したラッチ回路ＬＴ０と同じである。ＮＯＲゲート回路Ｇ１９の他方の入力ノードには、リセット信号ＲＳＴが供給される。図９に示すように、ラッチ回路ＬＴ８の出力信号はラッチ回路ＬＴ９に供給される。ラッチ回路ＬＴ９は、図８に示したラッチ回路ＬＴ０と同じ回路構成を有している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
ＮＡＮＤゲート回路Ｇ３０は３入力のＮＡＮＤゲート回路であり、第１の入力ノードには分周クロック信号ＰＣＬＫＲ０が供給され、第２の入力ノードにはＮＡＮＤゲート回路Ｇ３４の出力信号が供給され、第３の入力ノードにはイネーブル信号ＭＤＷＬＶが供給される。ＮＡＮＤゲート回路Ｇ３４は、２入力のＮＡＮＤゲート回路であり、一方の入力ノードには分周クロック信号ＰＣＬＫＦ０が供給され、他方の入力ノードにはイネーブル信号ＭＤＷＬＶが供給される。かかる構成により、波形図である図１４に示すように、内部クロック信号ＰＣＬＫＲ０がハイレベルであり、且つ、内部クロック信号ＰＣＬＫＦ０がローレベルである期間だけ、内部クロック信号ＰＣＬＫ０がローレベルとなる。その他の期間においては、内部クロック信号ＰＣＬＫ０の論理レベルはハイレベルに固定される。ここで、内部クロック信号ＰＣＬＫＲ０と内部クロック信号ＰＣＬＫＦ０は、内部クロック信号ＣＬＫの１／２クロックサイクル分だけ位相がずれていることから、内部クロック信号ＰＣＬＫ０がローレベルとなる期間は、内部クロック信号ＣＬＫの１／２クロックサイクルの期間となる。この期間は、内部クロック信号ＣＬＫの４クロックサイクルごとに出現する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
かかる構成により、内部データストローブ信号ＩＤＱＳがローレベルの期間においては、クロックトインバータ回路Ｇ５３は活性化しているが、クロックトインバータ回路Ｇ５５が非活性状態であることから、ラッチ回路ＬＴ１３に保持されているデータがスキュー検出信号ＳＫＥＷとして出力される。一方、内部データストローブ信号ＩＤＱＳがハイレベルの期間においては、クロックトインバータ回路Ｇ５３が非活性化し、代わりにクロックトインバータ回路Ｇ５５が活性化する。このため、内部データストローブ信号ＩＤＱＳがローレベルからハイレベルに変化する時点における内部クロック信号ＰＣＬＫＤの論理レベルによって、スキュー検出信号ＳＫＥＷの論理レベルが決まる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
本願の技術思想は、信号伝送回路を有する半導体装置に適用できる。更に、図面で開示した各回路ブロック内の回路形式、その他の制御信号を生成する回路は、実施例が開示する回路形式に限られない。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月21日(2014.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビームによって基板に描画を行う荷電粒子ビーム装置であって、
前記荷電粒子ビームを前記基板に照射する照射部と、
前記荷電粒子ビームの照射位置を計測する計測器と、
補正情報に基づいて前記計測器による計測結果を補正して補正照射位置を生成し、前記基板の上における前記荷電粒子ビームの照射位置を前記補正照射位置に基づいて制御する制御部と、を備え、
前記計測器は、第１ナイフエッジおよび第２ナイフエッジを含むプレートと、センサとを含み、
前記計測器に入射する前記荷電粒子ビームのうちの少なくとも一部が前記プレートによって遮断されることによって前記プレートが変形し、
前記センサは、前記荷電粒子ビームが前記第１ナイフエッジおよび前記第２ナイフエッジを横切るように前記荷電粒子ビームが前記計測器に対して相対的に走査されながら前記計測器に入射する前記荷電粒子ビームのうち他の一部を検出し、
前記制御部は、前記センサによる検出結果に基づいて、変形した前記プレートの前記第１ナイフエッジと前記第２ナイフエッジとの間隔を決定し、前記間隔に基づいて前記補正情報を生成する、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
【請求項２】
前記基板を保持するステージを更に備え、前記制御部は、前記荷電粒子ビームが前記計測器に対して相対的に走査されるように前記照射部の動作および前記ステージの少なくとも一方を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項３】
前記プレートは、前記計測器に入射する前記荷電粒子ビームの前記一部が前記プレートによって遮断されることによって発生する熱によって膨張する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項４】
第１荷電粒子ビームおよび第２荷電粒子ビームによって基板に描画を行う荷電粒子ビーム装置であって、
前記第１荷電粒子ビームおよび前記第２荷電粒子ビームを前記基板に照射する照射部と、
前記第１荷電粒子ビームおよび前記第２荷電粒子ビームの照射位置を計測する計測器と、
補正情報に基づいて前記計測器による計測結果を補正して補正照射位置を生成し、前記基板の上における前記第１荷電粒子ビームおよび前記第２荷電粒子ビームの照射位置を前記補正照射位置に基づいて制御する制御部と、を備え、
前記計測器は、第１ナイフエッジ、第２ナイフエッジおよび第３ナイフエッジを含むプレートと、センサとを含み、
前記計測器に入射する前記第１荷電粒子ビームのうちの少なくとも一部および前記第２荷電粒子ビームのうちの少なくとも一部が前記プレートによって遮断されることによって前記プレートが変形し、
前記センサは、前記第１荷電粒子ビームが前記第１ナイフエッジおよび前記第２ナイフエッジを横切るように前記第１荷電粒子ビームが前記計測器に対して相対的に走査されながら前記計測器に入射する前記第１荷電粒子ビームのうち他の一部を検出し、前記センサは、前記第２荷電粒子ビームが前記第２ナイフエッジおよび前記第３ナイフエッジを横切るように前記第２荷電粒子ビームが前記計測器に対して相対的に走査されながら前記計測器に入射する前記第２荷電粒子ビームのうち他の一部を検出し、
前記制御部は、前記センサによる検出結果に基づいて、変形した前記プレートの前記第１ナイフエッジと前記第３ナイフエッジとの間隔を決定し、前記間隔に基づいて前記補正情報を生成する、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置を用いて基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた該基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項６】
荷電粒子ビームの照射位置を計測する計測装置であって、
第１ナイフエッジおよび第２ナイフエッジを含むプレートと、センサと、演算部とを備え、
前記計測装置に入射する前記荷電粒子ビームのうちの少なくとも一部が前記プレートによって遮断されることによって前記プレートが変形し、
前記センサは、前記荷電粒子ビームが前記第１ナイフエッジおよび前記第２ナイフエッジを横切るように前記荷電粒子ビームが前記プレートに対して相対的に走査されながら前記計測装置に入射する前記荷電粒子ビームのうち他の一部を検出し、
前記演算部は、前記センサによる検出結果に基づいて、変形した前記プレートの前記第１ナイフエッジと前記第２ナイフエッジとの間隔を決定し、前記間隔に基づいて前記補正情報を生成し、前記補正情報に基づいて、計測された前記荷電粒子ビームの照射位置を補正する、
ことを特徴とする計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】荷電粒子ビーム装置、デバイス製造方法および計測装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の１つの側面は、荷電粒子ビームによって基板に描画を行う荷電粒子ビーム装置に係り、前記荷電粒子ビーム装置は、前記荷電粒子ビームを前記基板に照射する照射部と、前記荷電粒子ビームの照射位置を計測する計測器と、補正情報に基づいて前記計測器による計測結果を補正して補正照射位置を生成し、前記基板の上における前記荷電粒子ビームの照射位置を前記補正照射位置に基づいて制御する制御部と、を備え、前記計測器は、第１ナイフエッジおよび第２ナイフエッジを含むプレートと、センサとを含み、前記計測器に入射する前記荷電粒子ビームのうちの少なくとも一部が前記プレートによって遮断されることによって前記プレートが変形し、前記センサは、前記荷電粒子ビームが前記第１ナイフエッジおよび前記第２ナイフエッジを横切るように前記荷電粒子ビームが前記計測器に対して相対的に走査されながら前記計測器に入射する前記荷電粒子ビームのうち他の一部を検出し、前記制御部は、前記センサによる検出結果に基づいて、変形した前記プレートの前記第１ナイフエッジと前記第２ナイフエッジとの間隔を決定し、前記間隔に基づいて前記補正情報を生成する。