(57)【要約】  【課題】  特定の周波数における振幅の急激な変化が低減された振動装置を実現可能な圧電振動素子ならびにそれを用いた圧電振動装置および携帯端末を提供する。  【解決手段】  第１の方向に沿って交互に配置された複数の電極２１〜２５と複数の圧電体層２７とを少なくとも有しており、電気信号が入力されることによって、第１の方向に垂直な第２の方向に沿って振幅が変化するように第１の方向に屈曲振動する圧電振動素子であって、隣り合う電極同士が圧電体層２７を間に挟んで対向する部分である対向部Ｐ１の第２の方向における中央Ｃ１が、圧電振動素子の第２の方向における中央Ｃ２と異なる位置にあることを特徴とする圧電振動素子ならびにそれを用いた圧電振動装置および携帯端末とする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に沿って交互に配置された複数の電極と複数の圧電体層とを少なくとも有しており、
電気信号が入力されることによって、前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿って振幅が変化するように前記第１の方向に屈曲振動する圧電振動素子であって、
前記第１の方向において隣り合うように配置されているとともに異なる電位に接続される前記電極同士が前記圧電体層を間に挟んで対向する部分である対向部の前記第２の方向における中央が、前記圧電振動素子の前記第２の方向における中央と異なる位置にあることを特徴とする圧電振動素子。
【請求項２】
前記第２の方向に長い形状を有していることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動素子。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電振動素子と、該圧電振動素子の前記第１の方向における一方側の表面に接合された振動板とを少なくとも有しており、
前記対向部の前記第２の方向における中央が、前記振動板の前記第２の方向における中央と異なる位置にあることを特徴とする圧電振動装置。
【請求項４】
前記対向部の前記第２の方向における中央と、前記圧電振動素子の前記第２の方向における中央と、前記振動板の前記第２の方向における中央とが、全て異なる位置にあることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動装置。
【請求項５】
筐体と、該筐体に設けられた請求項３または請求項４に記載の圧電振動装置と、前記圧電振動素子に入力される電気信号を生成する電子回路とを少なくとも有していることを特徴とする携帯端末。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動素子ならびにそれを用いた圧電振動装置および携帯端末に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状の圧電バイモルフ素子を振動板に固定して、圧電バイモルフ素子を振動させることによって振動板を振動させる圧電振動装置が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２３８０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の圧電振動装置は、特定の周波数において振動板の振幅が急激に変化してしまい、振動板の振動によって音声情報を伝達する場合に、伝達する音声情報に歪みが生じてしまうという問題があった。【０００５】
本発明はこのような従来の技術における問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、特定の周波数における振幅の急激な変化が低減された振動装置を実現する圧電振動素子ならびにそれを用いた圧電振動装置および携帯端末を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧電振動素子は、第１の方向に沿って交互に配置された複数の電極と複数の圧電体層とを少なくとも有しており、電気信号が入力されることによって、前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿って振幅が変化するように前記第１の方向に屈曲振動する圧電振動素子であって、前記第１の方向において隣り合うように配置されているとともに異なる電位に接続される前記電極同士が前記圧電体層を間に挟んで対向する部分である対向部の前記第２の方向における中央が、前記圧電振動素子の前記第２の方向における中央と異なる位置にあることを特徴とするものである。【０００７】
本発明の圧電振動装置は、前記圧電振動素子と、該圧電振動素子の前記第１の方向における一方側の表面に一方主面が接合された振動板とを少なくとも有しており、前記対向部の前記第２の方向における中央が、前記振動板の前記第２の方向における中央と異なる位置にあることを特徴とするものである。【０００８】
本発明の携帯端末は、筐体と、該筐体に設けられた前記圧電振動装置と、前記圧電振動素子に入力される電気信号を生成する電子回路とを少なくとも有していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の圧電振動素子によれば、特定の周波数における振幅の急激な変化が低減された振動装置を実現する圧電振動素子を得ることができる。本発明の圧電振動装置によれば、特定の周波数における振幅の急激な変化が低減された圧電振動装置を得ることができる。本発明の携帯端末によれば、歪みの小さい音声情報を伝達可能な携帯端末を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態の第１の例の圧電振動素子を模式的に示す斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、図１に示す圧電振動素子の構造を説明するための平面図である。
【図３】図１に示す圧電振動素子の構造を説明するための図である。
【図４】図１に示す圧電振動素子の構造を説明するための断面図である。
【図５】本発明の実施の形態の第２の例の圧電振動装置を模式的に示す斜視図である。
【図６】図５におけるＤ−Ｄ’線断面図である。
【図７】本発明の実施の形態の第３の例の携帯端末を模式的に示す斜視図である。
【図８】図７におけるＡ−Ａ’線断面図である。
【図９】図７におけるＢ−Ｂ’線断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態の第２の例の圧電振動装置および比較例の圧電振動装置の音圧の周波数依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の圧電振動素子ならびにそれを用いた圧電振動装置および携帯端末を添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１２】
（実施の形態の第１の例）
図１は、本発明の実施の形態の第１の例である圧電振動素子１４を模式的に示す斜視図である。図２（ａ）〜（ｅ）は、圧電振動素子１４が有する電極２１〜２５の形状を模式的に示す平面図である。なお、図２（ａ）〜（ｄ）は、第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）から見た状態を示しており、図２（ｅ）は、第１の方向の他方側（図の−ｚ方向側）から見た状態を示している。また、図３は、第１の方向（図のｚ軸方向）における電極２１〜２５の位置関係と、電極２１〜２５の間に配置された圧電体層２７の分極の状態とを模式的に示す図である。なお、図３においては、積層体２０，第１〜第３の端子電極および圧電体層２７の図示を省略している。
【００１３】
本例の圧電振動素子１４は、第１の方向（図のｚ軸方向）が厚み方向であり、第１の方向に垂直な第２の方向（図のｘ軸方向）が長さ方向であり、第１の方向および第２の方向に垂直な図のｙ軸方向が幅方向である直方体状の形状を有している。また、圧電振動素子１４は、積層体２０と、第１の端子電極４１と、第２の端子電極４２と、第３の端子電極（図示せず）とを有している。
【００１４】
積層体２０の第２の方向の一方側（図の＋ｘ方向側）の端面には、第１の方向（図のｚ軸方向）における両端面に跨るように、第１の端子電極４１および第２の端子電極４２が配置されている。また、積層体２０の第２の方向の他方側（図の−ｘ方向側）の端面には、第３の端子電極（図示せず）が配置されている。
【００１５】
積層体２０は、第１の方向（図のｚ軸方向）に分極された複数層の圧電体層２７と、複数の扁平状の電極２１〜２５とが、第１の方向に沿って交互に配置されて構成されている。電極２３は、積層体２０の第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）の表面に配置されている。電極２５は、積層体２０の第１の方向の他方側（図の−ｚ方向側）の表面に配置されている。電極２１，電極２２および電極２４は、積層体２０の内部に各々複数配置されている。そして、電極２１または電極２２と、電極２３または電極２４または電極２５とが、第１の方向（図のｚ軸方向）において交互に配置されている。また、第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）では、電極２３または電極２４と電極２１とが交互に配置されており、第１の方向の他方側（図の−ｚ方向側）では、電極２４または電極２５と電極２２とが交互に配置されている。
【００１６】
電極２１は、積層体２０の側面と間隔を開けて形成された矩形状の本体部２１ａの一方端に、矩形状の引き出し部２１ｂの一方端を接続した構造を有している。引き出し部２１ｂの他方端は第１の端子電極４１に接続されている。電極２２は、積層体２０の側面と間隔を開けて形成された矩形状の本体部２２ａの一方端に、矩形状の引き出し部２２ｂの一方端を接続した構造を有している。引き出し部２２ｂの他方端は第２の端子電極４２に接続されている。電極２３，２４，２５の各々は、長さ方向の一方端のみが積層体２０の側面に露出した矩形状の形状を有している。そして、電極２３，２４，２５の各々の長さ方向の一方端は第３の端子電極（図示せず）に接続されている。
【００１７】
また、電極２１〜２５の間に配置された圧電体層２７は、図３に矢印で示す向きに分極されている。すなわち、第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）では、電極２１から電極２３，２４へ向かう向きに分極されており、第１の方向の他方側（図の−ｚ方向側）では、電極２４，２５から電極２２へ向かう向きに分極されている。そして、圧電振動素子１４を振動させるときには、例えば、電極２１，２２が同電位になり、電極２３，２４，２５が同電位になるとともに、電極２１，２２と電極２３，２４，２５との間に電位差が生じるように交流電圧を加える。これにより、圧電振動素子１４は、ある瞬間に加えられる電界の向きに対する分極の向きが、第１の方向（図のｚ軸方向）における一方側と他方側とで逆転するようにされている。
【００１８】
よって、電気信号が加えられて、ある瞬間に、第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）が、第２の方向（図のｘ軸方向）において伸びるときには、第１の方向の他方側（図の−ｚ方向側）が、第２の方向において縮むようにされている。これにより、圧電振動素子１４は、電気信号が入力されることによって、第２の方向に沿って振幅が変化するように第１の方向に屈曲振動する。このように、圧電振動素子１４は、バイモルフ構造を有する圧電体（圧電バイモルフ素子）で構成されている。
【００１９】
図４は、図１に示す圧電振動素子の構造を説明するための模式的な断面図である。なお、図４においては、図示を容易にするために、第１〜第３の端子電極の図示を省略するとともに、電極２１，電極２２および電極２４が各々１つしかない状態を示している。
【００２０】
本例の圧電振動素子１４は、第１の方向（図のｚ軸方向）において隣り合うように配置されているとともに異なる電位に接続される電極同士が圧電体層２７を間に挟んで対向する部分である対向部Ｐ１の第２の方向（図のｘ軸方向）における中央Ｃ１が、圧電振動素子１４の第２の方向における中央Ｃ２と異なる位置にある。これにより、電気信号が入力されて、圧電振動素子１４が、第２の方向に沿って振幅が変化するように第１の方向（図のｚ軸方向）に屈曲振動したときに、圧電振動素子１４の第２の方向において生じる定在波を分散することができる。よって、例えば、圧電振動素子１４の第１の方向の表面に振動板の主面を接合して、圧電振動素子１４の振動によって振動板を振動させる圧電振動装置を構成したときに、特定の周波数における振幅の急激な変化を低減することができる。すなわち、周波数の変化に応じた振幅の急激な変化が少ない振動特性を有する圧電振動装置を実現することができる。また、本例の圧電振動素子１４は、第２の方向（図のｘ軸方向）に長い形状を有していることから、周波数の変化に応じた振幅の急激な変化がさらに少ない振動特性を有する圧電振動装置を実現することができる。
【００２１】
なお、対向部Ｐ１の第２の方向における中央Ｃ１と、圧電振動素子１４の第２の方向における中央Ｃ２との間隔を大きくすると、特定の周波数における振幅の急激な変化を低減する効果が大きくなるが、発生する振動の強さが全体的に小さくなる。よって、対向部Ｐ１の第２の方向における中央Ｃ１と、圧電振動素子１４の第２の方向における中央Ｃ２との間隔は、所望する特性に応じて適宜設定する。
【００２２】
また、１つの圧電体層２７において、その圧電体層２７を間に挟んで対向するとともに異なる電位に接続される一対の電極の対向部Ｐ１の図のｘ軸方向における中央Ｃ１が、図のｙ軸方向において変化する場合には、図のｙ軸方向のそれぞれの位置におけるＣ１を図のｙ軸方向に平均して求めた位置を、その圧電体層２７におけるＣ１とすれば良い。
【００２３】
また、対向部Ｐ１の図のｘ軸方向における中央Ｃ１の位置が異なる圧電体層２７が存在する場合には、各々の圧電体層２７におけるＣ１の位置を全ての圧電体層２７について平均し、その平均的なＣ１を圧電振動素子１４の図のｘ軸方向における中央Ｃ２と異ならせれば良い。なお、この場合には、それぞれの対向部Ｐ１の面積によって重み付けした上で平均を求める必要がある。例えば、４層の圧電体層２７において、圧電振動素子１４の第２の方向（図のｘ軸方向）の一端から対向部Ｐ１の中央Ｃ１迄の距離が、それぞれｘ１，ｘ２，ｘ３，ｘ４であり、対向部Ｐ１の面積が、それぞれｓ１，ｓ２，ｓ３，ｓ４である場合には、圧電振動素子１４の第２の方向の一端からの距離ｘ５が、ｘ５＝（ｘ１ｓ１＋ｘ２ｓ２＋ｘ３ｓ３＋ｘ４ｓ４）／（ｓ１＋ｓ２＋ｓ３＋ｓ４）となる位置を平均的な対向部Ｐ１の中央Ｃ１の位置とし、その位置を圧電振動素子１４の中央Ｃ２と異ならせれば良い。
【００２４】
本例の圧電振動素子１４において、積層体２０は、例えば、長さ１８ｍｍ〜２８ｍｍ程度、幅１ｍｍ〜６ｍｍ程度、厚み０．２ｍｍ〜１．０ｍｍ程度とすることができる。また、電極２１〜２５の長さは、例えば１７ｍｍ〜２５ｍｍ程度、電極２１〜２５の幅は、例えば０．５ｍｍ〜１．５ｍｍ程度とすることができる。
【００２５】
積層体２０を構成する圧電体層２７は、例えば、チタン酸鉛（ＰＴ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、Ｂｉ層状化合物、タングステンブロンズ構造化合物等の非鉛系圧電体材料等を好適に用いて形成することができるが、他の圧電材料を用いても構わない。圧電体層２７の１層の厚みは、例えば０．０１〜０．１ｍｍ程度に設定することができる。電極２１，２２，２４は、例えば、銀や銀とパラジウムとの合金等の金属成分に加えて、セラミック成分やガラス成分を含有させたものを好適に用いて形成することができるが、他の既知の金属材料を用いて形成しても構わない。電極２３，２５および第１〜第３の端子電極は、銀からなる金属成分およびガラス成分を含有することが望ましいが、銀以外の金属であっても構わない。
【００２６】
このような圧電振動素子１４は、例えば次のような方法によって作製することができる。まず、圧電材料の粉末にバインダー、分散剤、可塑剤、溶剤を添加して掻き混ぜて、スラリーを作製し、得られたスラリーをシート状に成形し、グリーンシートを作製する。次に、グリーンシートに導体ペーストを印刷して電極２１，２２，２４となる電極パターンを形成し、この電極パターンが形成されたグリーンシートを積層し、プレス装置を用いてプレスして積層成形体を作製する。その後、脱脂および焼成し、所定寸法にカットすることにより積層体を得る。次に、電極２３，２５ならびに第１の端子電極４１，第２の端子電極４２および第３の端子電極（図示せず）を形成するための導体ペーストを印刷し、所定の温度で焼付けた後に、第１〜第３の端子電極を通じて直流電圧を印加して圧電体層２７の分極を行う。このようにして、圧電振動素子１４を得ることができる。
【００２７】
なお、例えば、積層体２０の第１の方向（図のｚ軸方向）における端面に電極が露出していると問題が生じる場合には、圧電体等からなる保護層を設けても構わない。その場合には、保護層の厚みを充分に薄くすることが望ましい。
【００２８】
（実施の形態の第２の例）
図５は、本発明の実施の形態の第２の例の圧電振動装置１５を模式的に示す斜視図である。図６は、図５におけるＤ−Ｄ’線断面図である。なお、図５，図６においては、作図を容易にするために、圧電振動素子１４の詳細な構造の図示を省略している。また、本例においては、前述した実施の形態の第１の例と異なる点について説明し、同様の構成要素には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する。本例の圧電振動装置１５は、前述した実施の形態の第１の例の圧電振動素子１４と、振動板１２とを有している。
【００２９】
振動板１２は、矩形の薄板状の形状を有しており、圧電振動素子１４の第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）の表面に、一方主面（図の−ｚ方向側の主面）が接合されている。なお、圧電振動素子１４と振動板１２とは、圧電振動素子１４の長さ方向と振動板１２の幅方向とが一致するように接合されている。また、圧電振動素子１４と振動板１２とを接合する接合部材としては、例えば、接着剤や両面テープ等の、既知の種々の接合部材を用いることができる。振動板１２は、種々の既知の材料を用いて構成することができる。例えば、アクリル樹脂やガラス等の剛性および弾性が大きい材料を好適に用いて振動板１２を形成することができる。また、振動板１２の厚みは、例えば、０．４ｍｍ〜１．５ｍｍ程度に設定される。このような構成を有する本例の圧電振動装置１５は、電気信号を加えて圧電振動素子１４を屈曲振動させることによって振動板１２を振動させる圧電振動装置として機能する。
【００３０】
そして、本例の圧電振動装置１５は、圧電振動素子１４における隣り合うように配置されているとともに異なる電位に接続される電極同士が圧電体層２７を間に挟んで対向する部分である対向部Ｐ１の第２の方向（図のｘ軸方向）における中央Ｃ１が、振動板１２の第２の方向における中央Ｃ３と異なる位置にある。これにより、振動板１２の第２の方向において生じる定在波を分散することができるので、振動板１２の振動において、特定の周波数における振幅の急激な変化を低減することができる。すなわち、本例の圧電振動装置１５によれば、周波数の変化に応じた振幅の急激な変化が少ない振動特性を有する圧電振動装置を得ることができる。
【００３１】
また、本例の圧電振動装置１５は、圧電振動素子１４における隣り合う電極同士が圧電体層２７を間に挟んで対向する部分である対向部Ｐ１の第２の方向（図のｘ軸方向）における中央Ｃ１と、圧電振動素子１４の第２の方向における中央Ｃ２と、振動板１２の第２の方向における中央Ｃ３とが、全て異なる位置にある。これにより、振動板１２の第２の方向において生じる定在波をさらに分散することができるので、特定の周波数における振幅の急激な変化をさらに低減することができる。
【００３２】
なお、対向部Ｐ１の第２の方向における中央Ｃ１と、振動板１２の第２の方向における中央Ｃ３との間隔を大きくすると、振動板１２の振動特性において特定の周波数に生じるピークのレベルを低減する効果が大きくなるが、発生する振動の強さが全体的に小さくなる。よって、対向部Ｐ１の第２の方向における中央Ｃ１と、振動板１２の第２の方向における中央Ｃ３との間隔は、所望する特性に応じて適宜設定する。
【００３３】
（実施の形態の第３の例）
図７は、本発明の実施の形態の第３の例の携帯端末を模式的に示す斜視図である。図８は、図７におけるＡ−Ａ’線断面図である。図９は、図７におけるＢ−Ｂ’線断面図である。なお、図８および図９においては、圧電振動素子１４の詳細な構造の図示を省略している。また、本例においては、前述した実施の形態の第２の例と異なる点について説明し、同様の構成要素には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する。本例の携帯端末は、図５，図６に示した実施の形態の第２の例の圧電振動装置１５と、電子回路１７と、ディスプレー１８と、筐体１９とを有している。
【００３４】
電子回路１７は、圧電振動素子１４に入力される電気信号を生成する。また、電子回路１７には、ディスプレー１８に表示させる画像情報を処理する回路や、通信回路等の他の回路が含まれていても良い。なお、電子回路１７と圧電振動素子１４とは図示せぬ配線を介して接続されている。
【００３５】
ディスプレー１８は、画像情報を表示する機能を有する表示装置であり、例えば、液晶ディスプレー，プラズマディスプレー，および有機ＥＬディスプレー等の既知のディスプレーを好適に用いることができる。また、ディスプレー１８は、タッチパネルのような入力装置を有するものであっても良い。
【００３６】
筐体１９は、１つの面が開口した箱状の形状を有している。筐体１９は、既知の種々の材料を用いて形成することができる。例えば、剛性および弾性が大きい合成樹脂等の材料を好適に用いて形成することができるが、金属等の他の材料を用いて形成しても構わない。
【００３７】
本例の携帯端末において、圧電振動装置１５は、筐体１９の開口部に設けられている。振動板１２は、ディスプレー１８よりも外側に配置されてディスプレー１８と一体化されており、ディスプレー１８を保護するカバーとして機能している。また、振動板１２は、一方主面（図の−ｚ方向側の主面）の周囲のみが、筐体１９に接合されており、筐体１９に振動可能に取り付けられている。なお、筐体１９と振動板１２とは、例えば、接着剤や両面テープ等の、既知の種々の接合部材を用いて接合することができる。また、振動板１２は、タッチパネルのような入力装置を有するものであっても構わない。
【００３８】
このような構成を有する本例の携帯端末は、圧電振動素子１４を振動させることによって、振動板１２を振動させて音響を発生させることができる。そして、この音響によって音声情報を人に伝達することができる。また、振動板１２または筐体１９を直接または他の物を介して耳などの人体の一部に接触させて振動を伝えることによって音声情報を伝達してもよい。
【００３９】
本例の携帯端末は、特定の周波数における振幅の急激な変化が低減された圧電振動装置１５を用いて音声情報を伝達することから、歪みの小さい高品質な音声情報を伝達可能な携帯端末を得ることができる。
【００４０】
（変形例）
本発明は上述した実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更，改良が可能である。
【００４１】
例えば、上述した実施の形態の第１の例においては、圧電振動素子１４が１６層の圧電体層２７を有する例を示したが、これに限定されるものではない。圧電体層２７の数は、これより多くても少なくても構わない。
【００４２】
また、前述した実施の形態の第２および第３の例においては、実施の形態の第１の例の圧電振動素子１４を有する例を示したが、これに限定されるものではなく、他の形態の圧電振動素子を有するものであっても構わない。
【００４３】
また、前述した実施の形態の第３の例においては、振動板１２の振動によって音情報を伝達する携帯端末の例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、人間の指が振動板１２に接触したときに、振動板１２を振動させて指に振動を伝達して、指が振動板１２に接触したことを明確に伝えるような携帯端末であっても構わない。
【００４４】
また、前述した実施の形態の第３の例においては、ディスプレー１８のカバーが振動板１２として機能する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、ディスプレー１８そのものが振動板１２として機能するものであっても構わない。
【実施例】
【００４５】
次に、本発明の圧電振動装置の具体例について説明する。図５，図６に示した本発明の実施の形態の第２の例の圧電振動装置の特性を測定した。【００４６】
振動板１２は、長さが１０４ｍｍで、幅が５９ｍｍで、厚み０．７ｍｍのガラス板を使用し、第１の方向の他方側（図の−ｚ方向側）の主面の周囲を４ｍｍの幅でアルミニウムの枠に接着して固定した。接着には厚み０．１５ｍｍの両面テープを使用した。振動素子１４は、長さ２３．５ｍｍで、幅が３．３ｍｍで、厚みが０．５ｍｍの直方体状とした。また、振動素子１４は、厚みが３０μｍ程度の圧電体層２７と内部電極２１〜２５とが交互に積層された構造とし、圧電体層２７の総数は１６層とした。圧電振動素子１４における隣り合う電極同士が圧電体層２７を間に挟んで対向する部分である対向部Ｐ１の第２の方向（図のｘ軸方向）における中央Ｃ１と圧電振動素子１４の第２の方向における中央Ｃ２との差を０．４ｍｍとした。圧電体層２７は、Ｚｒの一部をＳｂで置換したチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成した。振動板１２と圧電振動素子１４との接着には、不織布の基材の両面にアクリル系粘着剤が塗布された厚みが０．１６ｍｍの両面テープを使用し、振動素子１４の第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）の表面の全体を振動板１２に貼り付けた。圧電振動素子１４の対向部Ｐ１の第２の方向（図のｘ軸方向）における中央Ｃ１と、振動板１２の第２の方向における中央Ｃ３との差を１０．８ｍｍとした。【００４７】
そして、作製した圧電振動装置が発生する音の音圧の周波数依存性を評価した。評価に際しては、振動板１２の第１の方向の一方側（図の＋ｚ方向側）の表面から１０ｍｍ離れた位置にマイクを設置した。そして、振動素子１４に、実効値１０．６Ｖの正弦波信号を入力し、マイクで検出される音圧を評価した。その評価結果を図１０のグラフに実線で示す。また、圧電振動素子における隣り合う電極同士が圧電体層を間に挟んで対向する部分である対向部の中央と、圧電振動素子の中央と、振動板の中央とが全て一致した比較例の圧電振動装置の評価結果を図１０のグラフに点線で示す。なお、図１０のグラフにおいて、横軸は周波数を示し、縦軸は音圧を示す。図１０に示すグラフによれば、本発明の圧電振動装置は、比較例の圧電振動装置と比較すると、周波数の変化による音圧の急激な変化が低減されており、特に低周波側において滑らかで良好な音圧特性が得られている。これにより本発明の有効性が確認できた。
【符号の説明】
【００４８】
１２：振動板
１４：圧電振動素子
１５：圧電振動装置
１７：電子回路
２１，２２，２３，２４，２５：電極
２７：圧電体層
Ｐ１：対向部
Ｃ１：対向部の第２の方向における中央
Ｃ２：圧電振動素子の第２の方向における中央
Ｃ３：振動板の第２の方向における中央
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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