(57)【要約】本発明の目的は塵埃を効率よく除去することができ、装置のコスト削減、及びコンパクト化を図ることができるクリーニング装置を提供することにあり、被クリーニング体（Ｓ）の表面（Ｓ１）に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置（１）であって、被クリーニング体（Ｓ）表面（Ｓ１）に接触させるクリーニングローラ（２）と、クリーニングローラ（２）に接触してクリーニングローラ（２）表面の塵埃を除去するブラシローラ（３Ａ、３Ｂ）とを装備する。クリーニングローラ（２）表面の塵埃がブラシローラ（３Ａ、３Ｂ）で除去されるため、塵埃を効率よく除去することが可能となる。
2013183248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、
前記被クリーニング体表面に接触させるクリーニングローラと、
該クリーニングローラに接触して該クリーニングローラ表面の塵埃を除去するブラシ体とを備えていることを特徴とするクリーニング装置。
【請求項２】
さらに、前記ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、
該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、
前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴とする請求項１記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記ブラシ体が複数個装備されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーニング装置。
【請求項４】
複数個の前記ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成されていることを特徴とする請求項３記載のクリーニング装置。
【請求項５】
複数個の前記ブラシ体が同方向に回転するように構成されていることを特徴とする請求項３記載のクリーニング装置。
【請求項６】
前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴とする請求項１又は２記載のクリーニング装置。
【請求項７】
前記ブラシ体が単数個装備されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーニング装置。
【請求項８】
前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴とする請求項７記載のクリーニング装置。
【請求項９】
上記クリーニング装置（１）〜（８）のいずれか２つの装置を用い、前記被クリーニング体表面に接触して塵埃を除去するクリーニングローラが、前記被クリーニング体上面側及び前記被クリーニング体下面側の上下両面側に配置されていることを特徴とするクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置に関し、より詳細には、被クリーニング体が、例えばガラス基板、プリント基板（ＰＣＢ、ＰＣＢＡなど）、フィルム、シート、プラスチック板などの比較的表面平滑性の高いものである場合に好適なクリーニング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被クリーニング体の表面にクリーニングローラを接触させつつ回転させながら、被クリーニング体の表面に付着する塵埃などの異物を静電気力を利用して除去するクリーニングシステムが知られている（特許文献１参照）。【０００３】
そのようなクリーニングシステムでは、クリーニングローラの表面に塵埃が順次蓄積されていくので、その表面より塵埃を取り除くためのメンテナンス作業を定期的に行う必要があった。そこで、本件出願人は、メンテナンス作業を定期的に行うことなく、クリーニングローラによる塵埃の吸着除去動作を、長期に亘って安定して継続できるように、クリーニングローラに接触する転写ローラや帯電制御ローラなどを別途設けたクリーニング装置を先に出願した（特許文献２参照）。【０００４】
図８は、従来のクリーニング装置１００を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。クリーニング装置１００は、クリーニングローラ１１１、転写ローラ１１２、帯電制御ローラ１１３、ブラシローラ１１４、金属ローラ１１５、及びクリーニングブレード１１６を含んで構成されている。【０００５】
クリーニングローラ１１１は、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させるための電荷を表面に帯電し得るものである。クリーニングローラ１１１の被クリーニング体Ｓとの反対側には、クリーニングローラ１１１の表面に接触しながら回転する転写ローラ１１２と、この転写ローラ１１２の表面に接触しながら回転する帯電制御ローラ１１３とが設けられている。【０００６】
転写ローラ１１２は、クリーニングローラ１１１の表面に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させるための電荷を表面に帯電し得る材料を用いて形成されている。転写ローラ１１２は、クリーニングローラ１１１の表面に接触しながら回転することで、クリーニングローラ１１１と転写ローラ１１２との表面特性の違いに応じた電位差をクリーニングローラ１１１との間に生じる。【０００７】
帯電制御ローラ１１３の芯金１１３ａには外部電源１２０が接続されており、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力により吸着するための電荷を、クリーニングローラ１１１および転写ローラ１１２に対して付与できるようになっている。【０００８】
また、ブラシローラ１１４は、転写ローラ１１２の連れ回り方向と逆方向に回転して転写ローラ１１２の表面に付着している塵埃を掻き取るためのものであり、転写ローラ１１２に接触して回転可能に設けられている。【０００９】
金属ローラ１１５はブラシローラ１１４に接触して設置され、ブラシローラ１１４の連れ回り方向に回転するようになっている。金属ローラ１１５には外部電源１２１が接続され、転写ローラ１１２との間に電位差を生じるように、電圧が印加されるようになっている。また、金属ローラ１１５の近傍には、塵埃を掻き取るためのクリーニングブレード１１６が設けられている。【００１０】
上記したクリーニング装置１００では、クリーニングローラ１１１表面に付着している塵埃が静電気力により転写ローラ１１２に転写（移動）され、転写ローラ１１２に転写された塵埃がブラシローラ１１４によって掻き取られる。このブラシローラ１１４により掻き取られた塵埃が静電気力により金属ローラ１１５に吸着され、金属ローラ１１５に吸着した塵埃がクリーニングブレード１１６によって金属ローラ１１５から掻き取られるようになっている。【００１１】
しかしながら、クリーニング装置１００では、クリーニングローラ１１１表面に付着している塵埃を転写ローラ１１２に転写させているため、クリーニングローラ１１１から転写ローラ１１２への塵埃の転写効率が低下しないように、転写ローラ１１２の材質や表面特性等を適切に選択、設定しなければならない。これら条件が適切でない場合には、クリーニングローラ１１１から転写ローラ１１２への塵埃の転写効率が低下し、クリーニングローラ１１１の清浄度が低下してしまう虞があった。【００１２】
また、クリーニング装置１００では、転写ローラ１１２を設けている分、部品コストがかかると共に、配置スペースも要していたところ、より一層の装置のコスト削減と構造のコンパクト化のための改良が望まれていた。【００１３】
また、上記クリーニング装置１００は、被クリーニング体Ｓが一方向へ搬送される場合を想定して構成されているが、被クリーニング体Ｓが一方向だけでなく、双方向へ搬送される場合においても適切に使用できるクリーニング装置の実現が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２０１０−９９５６５号公報
【特許文献２】特許第４８８６０９７号公報
【発明の概要】
【課題を解決するための手段及びその効果】
【００１５】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、クリーニングローラ表面に付着している塵埃の除去効率を高め、クリーニングローラの清浄度を高めることができ、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができ、しかも、被クリーニング体が一方向だけでなく、双方向へ搬送される場合においても好適に使用することができる利便性の高いクリーニング装置を提供することを目的としている。
【００１６】
上記目的を達成するために本発明に係るクリーニング装置（１）は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、前記被クリーニング体表面に接触させるクリーニングローラと、該クリーニングローラに接触して該クリーニングローラ表面の塵埃を除去するブラシ体とを備えていることを特徴としている。
【００１７】
上記クリーニング装置（１）によれば、前記クリーニングローラに前記ブラシ体を接触させているので、前記クリーニングローラ表面に存在する塵埃を前記ブラシ体で除去することが可能となり、従来の転写ローラが設けられた装置よりも前記塵埃の除去効率を高めることができ、前記クリーニングローラ表面の清浄度を高めることができる。ここで、被クリーニング体表面とは、被クリーニング体と外部空間との境界をなす面を意味し、一方（上側）の面の場合だけでなく、他方（下側）の面の場合も含まれる。
【００１８】
また、本発明に係るクリーニング装置（２）は、上記クリーニング装置（１）において、さらに、前記ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴としている。
【００１９】
上記クリーニング装置（２）によれば、前記クリーニングローラ表面に静電気力で付着している塵埃が前記ブラシ体によって掻き取られ、該ブラシ体により掻き取られた塵埃が静電気力により前記金属ローラに吸着され、該金属ローラに吸着された塵埃が前記ブレード体によって前記金属ローラから掻き取られるようになっている。従って、前記クリーニングローラによる塵埃の吸着除去動作が安定的に維持されるとともに、従来使用されていた転写ローラが省略された構造とすることで、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができる。
【００２０】
また、本発明に係るクリーニング装置（３）は、上記クリーニング装置（１）又は（２）において、前記ブラシ体が複数個装備されていることを特徴としている。
【００２１】
上記クリーニング装置（３）によれば、前記ブラシ体が複数個装備されているので、前記クリーニングローラに対してブラシ体を複数箇所で摺接させることができ、前記クリーニングローラ表面に付着している塵埃の除去効率を高めることができ、前記クリーニングローラの清浄度を高めることができる。
ここで、前記ブラシ体が複数個装備されている形態とは、前記クリーニングローラと略同じ長さの前記ブラシ体が複数個装備されている形態だけでなく、前記クリーニングローラよりも短い（例えば、半分程度の）長さの複数の前記ブラシ体が、前記クリーニングローラの軸方向にずらされた位置に配設された形態なども含まれる。
【００２２】
また、本発明に係るクリーニング装置（４）は、上記クリーニング装置（３）において、複数個の前記ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成されていることを特徴としている。
【００２３】
上記クリーニング装置（４）によれば、複数個の前記ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成されているので、例えば、２本のブラシ体を用いた場合、各ブラシ体の回転速度に差を設けることにより、前記クリーニングローラを、回転速度が大きい方のブラシ体の連れ回り方向に回転させることができる。従って、各ブラシ体の回転速度の設定によって、前記クリーニングローラを一方向だけでなく、逆方向にも回転させることが可能となり、被クリーニング体の搬送方向を選ばない、すなわち、何れの搬送方向でも対応可能な利便性の高い装置とすることができる。
【００２４】
また、本発明に係るクリーニング装置（５）は、上記クリーニング装置（３）において、複数個の前記ブラシ体が同じ方向に回転するように構成されていることを特徴としている。
【００２５】
上記クリーニング装置（５）によれば、被クリーニング体の搬送方向が一方向でよい場合には、クリーニングローラは一方向にだけ回転させればよいので、複数個の前記ブラシ体を同方向に回転させる構成とすることにより、装置の構成をより簡単なものとしてコストの削減を図ることができる
【００２６】
また、本発明に係るクリーニング装置（６）は、上記クリーニング装置（１）〜（５）のいずれかにおいて、前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴としている。
【００２７】
上記クリーニング装置（６）によれば、前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっているので、前記ブラシ体の回転速度の設定、及びその回転方向によって、前記クリーニングローラの回転速度、及び回転方向を調整することが可能となる。
例えば、複数のブラシ体が互いに同一方向に回転するように構成した場合、各ブラシ体の連れ回り方向に前記クリーニングローラを容易に回転させることが可能となる。一方、各ブラシ体が互いに逆方向に回転するように構成した場合、例えば、２本のブラシ体、各々の回転速度を同じ速度に設定すれば、前記クリーニングローラの回転を停止させる制御が可能となり、各ブラシ体の回転速度を異なる速度に設定することで、前記クリーニングローラを所望の方向へ回転させる制御も可能となる。
【００２８】
例えば、各ブラシ体の回転速度を数段階（例えば、低速、中速、高速）に設定できるようにし、各ブラシ体の回転速度が中速に設定されると、前記クリーニングローラの回転が停止されるように制御され、また、一方のブラシ体の回転速度が低速、他方のブラシ体の回転速度が高速に設定されると、前記クリーニングローラが他方のブラシ体の連れ回り方向に回転するように制御される。
逆に、一方のブラシ体の回転速度が高速、他方のブラシ体の回転速度が低速に設定されると、前記クリーニングローラが一方のブラシ体の連れ回り方向に回転するように制御される。このように、被クリーニング体の搬送方向を、適宜切り換えることが可能となり、双方向の搬送が必要な搬送システムに対応させることができ、利便性の高い装置とすることができる。
【００２９】
また、本発明に係るクリーニング装置（７）は、上記クリーニング装置（１）又は（２）において、前記ブラシ体が単数個装備されていることを特徴としている。
【００３０】
上記クリーニング装置（７）によれば、前記ブラシ体が前記クリーニングローラと逆方向に回転するようにし、前記ブラシ体による前記クリーニングローラ表面からの塵埃の掻き取りが効率的に行える構成とすることにより、装置の構成をより簡単なものとしてコストの削減を図ることができる。
【００３１】
また、本発明に係るクリーニング装置（８）は、上記クリーニング装置（７）において、前記ブラシ体の回転速度が任意に設定可能となっていることを特徴としている。
【００３２】
上記クリーニング装置（８）によれば、前記被クリーニング体表面に存在する塵埃の状況に応じて前記回転速度を最適なものに設定することができる。
【００３３】
また、本発明に係るクリーニング装置（９）は、上記クリーニング装置（１）〜（８）のいずれか２つの装置を用い、前記被クリーニング体表面に接触して塵埃を除去するクリーニングローラが、前記被クリーニング体上面側及び前記被クリーニング体下面側の上下両面側に配置されていることを特徴としている。
【００３４】
上記クリーニング装置（９）によれば、前記被クリーニング体の上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、極めて作業効率の高いクリーニング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示す側面図である。
【図２】実施の形態に係る潔浄装置を正面下方から見た斜視図である。
【図３】実施の形態に係るクリーニング装置を背面下方から見た斜視図である。
【図４】図３におけるIV−IV線要部断面図である。
【図５】別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
【図６】さらに別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
【図７】さらに別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
【図８】従来のクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明に係るクリーニング装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
【００３７】
クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの表面（この場合、下面）Ｓ１にクリーニングローラ２の表面を接触させつつ回転させながら、被クリーニング体Ｓに対して相対移動させ、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃（例えば、導体あるいは誘電体などの微小な塵埃）を、クリーニングローラ２に付与された静電気力を利用して取り除くものである。
【００３８】
クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ２と、このクリーニングローラ２に接触してクリーニングローラ２表面の塵埃を除去する２本のブラシローラ３Ａ、３Ｂと、これらブラシローラ３Ａ、３Ｂに接触して各ブラシローラ３Ａ、３Ｂから塵埃を受取る金属ローラ４と、この金属ローラ４に付着した塵埃を除去するブレード５とを含んで構成されている。
【００３９】
これらクリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、金属ローラ４は、絶縁性を有する部材（図示せず）に回転可能に支持され、また、クリーニング装置１には、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、金属ローラ４に電荷を付与するための、後述する電荷付与機構が設けられている。
【００４０】
クリーニングローラ２は、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させる電荷を表面に帯電し得るものであり、クリーニングローラ２表面の帯電性を利用して塵埃を静電気力により吸着するものである。
【００４１】
クリーニングローラ２の斜め下方には、クリーニングローラ２の表面に接触しながら相互に逆方向に回転し、クリーニングローラ２の表面の塵埃を除去する左右一対のブラシローラ３Ａ、３Ｂが設けられている。ブラシローラ３Ａ、３Ｂは、個別に回転速度を設定することが可能な構成となっており、ブラシローラ３Ａ、３Ｂは、クリーニングローラ２との間で電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。
【００４２】
ブラシローラ３Ａ、３Ｂは、芯金３ａに、合成樹脂製のブラシ部（毛部）３ｂを有するものである。ブラシ部３ｂの断面外形状は、特に限定されるものではなく、例えば、円形状、楕円形状、多角形形状、波曲線形状、又は曲線と直線とが組み合わされて構成された形状のものなどが採用され得る。
【００４３】
ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転方向は、互いに逆方向に回転する方向に固定されている。回転方向が切り換わる構成にすると、クリーニングローラ２などと摺接するブラシ部３ｂの接触方向が変わることとなり、その際の毛先の跳ね返り等により塵埃が飛び散り、また、クリーニングローラ２との摺接状態の変化により塵埃除去効率が低下する虞があるからである。
【００４４】
ブラシローラ３Ａ、３Ｂの下方には、ブラシローラ３Ａに対し連れ回り方向に接触しながら回転する一方、ブラシローラ３Ｂに対し連れ回り方向と逆方向に接触しながら回転する金属ローラ４が配設されている。この金属ローラ４も、クリーニングローラ２との間で所定の電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。この金属ローラ４は、ブラシローラ３Ａ、３Ｂから塵埃を取り除くものである。
【００４５】
金属ローラ４の近傍には、金属ローラ４の表面上に付着する塵埃を先端掻き取り部にて掻き取るブレード５が配設され、ブレード５によって金属ローラ４の表面上に付着する塵埃が掻き取られ、図示しない塵埃回収部に回収されるようになっている。ブレード５は、例えば、合成樹脂製（例えば、熱硬化性ウレタン樹脂）の弾性体などで形成され、保持具（図示せず）により保持されている。
【００４６】
上記したクリーニング装置１では、ブラシローラ３Ａ、３Ｂそれぞれの回転速度を任意の回転速度に設定（変速）することが可能に構成されているため、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度の設定状態によって、クリーニングローラ２を一方向だけでなく、逆方向にも回転させることが可能となっている。
【００４７】
例えば、ブラシローラ３Ａの回転速度をブラシローラ３Ｂの回転速度よりも高めた場合、クリーニングローラ２を、回転速度が大きい方のブラシローラ３Ａの連れ回り方向（矢印α´方向）に回転させることができ、被クリーニング体Ｓを矢印α方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となっている。
【００４８】
一方、ブラシローラ３Ｂの回転速度をブラシローラ３Ａの回転速度よりも高めた場合、クリーニングローラ２を、回転速度が大きい方のブラシローラ３Ｂの連れ回り方向（矢印β´方向）に回転させることができ、被クリーニング体Ｓを矢印β方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となっている。
また、ブラシローラ３Ａとブラシローラ３Ｂとの回転速度を同じ速度に設定して、クリーニングローラ２の回転を停止させる制御も可能となっている。
【００４９】
ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度の設定方法は、種々の方法が採用され得るが、例えば、それぞれ３段階（低速、中速、高速）に設定（変速）切換ができるように構成し、これら回転速度の組み合わせ、すなわち、ブラシローラ３Ａを高速、ブラシローラ３Ｂを低速とする組み合わせ、ブラシローラ３Ａを低速、ブラシローラ３Ｂを高速とする組み合わせ、又はブラシローラ３Ａ、３Ｂをともに中速とする組み合わせ等により、上記したクリーニングローラ２の回転方向の切換制御を容易に行える構成となっている。
【００５０】
上記クリーニング装置１によれば、クリーニングの対象である被クリーニング体Ｓに付着している塵埃にクリーニングローラ２が接触すると、塵埃が被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１から除去され、クリーニングローラ２の表面に吸着される。
【００５１】
このクリーニングローラ２が回転して、クリーニングローラ２の表面に吸着されている塵埃がブラシローラ３Ａ、３Ｂと接触すると、塵埃はブラシローラ３Ａ、３Ｂによってクリーニングローラ２の表面から掻き取られ、その後、金属ローラ４の表面に吸着される。この金属ローラ４の回転に伴い、金属ローラ４の表面に付着している塵埃はやがてブレード５によって掻き取られる。
【００５２】
上記構成により、塵埃はクリーニングローラ２の表面上から効率良くブラシローラ３Ａ、３Ｂによって掻き取られ、被クリーニング体Ｓの表面Ｓ１上に戻されることがない。従って、長期間に亘って塵埃の吸着動作を継続して行うことが可能になっている。
【００５３】
図２は、実施の形態に係るクリーニング装置１を正面下方から見た斜視図であり、図３は、背面下方から見た斜視図である。また、図４は、図３におけるIV−IV線要部断面図である。
【００５４】
クリーニング装置１は、フレームユニット１０により一体構造としてユニット化されている。フレームユニット１０は、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４を回転可能に支持する矩形形状をした左右の側板部１１、１２と、これら側板部１１、１２の四隅を互いに連結する上側アングル部材１３、１４と下側アングル部材１５、１６とを含んで構成されている。
【００５５】
側板部１１、１２は、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂）の材質で構成され、側板部１１、１２には、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４の各回転軸を取り付けるための取付孔が所定の位置にそれぞれ形成されている。
【００５６】
これら各取付孔には、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４の回転軸が挿着される軸受１７ａがそれぞれ組み込まれ、これら各軸受１７ａの外輪部に電極部１７ｂが電気的に接触するように組み込まれている。また、これら各取付孔の外側面には、軸受１７ａが取付孔から外れないように固定するための絶縁性の輪状の蓋部材１７ｃが取り付けられている。
【００５７】
電極部１７ｂから軸受１７ａを介して、クリーニングローラ２、ブラシローラ３Ａ、３Ｂ、及び金属ローラ４に対し、それぞれ所定の電荷を与えることが可能になっている。これら各貫通孔に組み込まれた軸受１７ａ及び電極部１７ｂを含んで電荷付与機構が構成されている。
【００５８】
側板部１１に挿着されたブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転軸の端部には、それぞれ絶縁体で形成されたプーリー１８、１９が装着されている。また、側板部１２に挿着された金属ローラ４の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたプーリー２０が装着されている。
【００５９】
下側アングル部材１５、１６の一端側底面には、略Ｌ字形状をした取付板２１の一辺側が固定され、取付板２１の他辺側に、補助板２２を介して、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂが取り付けられている。取付板２１の他辺側には、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの回転軸を挿通させる挿通孔２１ａが、左右２箇所に長孔形状で形成され、また、補助板２２を固定する固定部材（ボルト）４１を取り付けるため取付孔２１ｂが、挿通孔２１ａの両側にそれぞれ長孔形状で形成されている。取付板２１の挿通孔２１ａに挿通されたブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの回転軸の先端部にそれぞれ絶縁体で形成されたプーリー２４、２５が装着されている。
【００６０】
ブラシローラ３Ａのプーリー１８とブラシ駆動モータ２３Ａのプーリー２４とが伝動ベルト２６で巻回され、同様にブラシローラ３Ｂのプーリー１９とブラシ駆動モータ２３Ｂのプーリー２５とが伝動ベルト２７で巻回されている。ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの個々を駆動制御することによりブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度をそれぞれ所定の速度に設定（変速）することが可能となっている。
【００６１】
また、下側アングル部材１５、１６の他端側底面には、略Ｌ字形状をした取付板２８の一辺側が固定され、取付板２８の他辺側に、金属ローラ駆動モータ３０が取り付けられた補助板２９が固定部材（ボルト）４２で取り付けられている。取付板２８の他辺側には、補助板２９を固定部材（ボルト）４２で固定するための取付孔２８ａが左右に数か所形成され、補助板２９の上部には、固定部材４２を挿着するための挿着孔２９ａが、左右２箇所に長孔形状で形成されている。
【００６２】
補助板２９の略中央部付近には、金属ローラ駆動モータ３０の回転軸３０ａを通す挿通孔２９ｂが形成され、挿通孔２９ｂに挿通された金属ローラ駆動モータ３０の回転軸３０ａの先端部に絶縁体で形成されたプーリー３１が装着されている。そして、金属ローラ４のプーリー２０と金属ローラ駆動モータ３０のプーリー３１とが、伝動ベルト３２で巻回され、金属ローラ駆動モータ３０を駆動制御することにより金属ローラ４の回転速度を所定の速度に設定することが可能となっている。
【００６３】
図４に示すように、ブレード５は、ブレード取付部３３に固定されている。このブレード５により剥離された塵埃を収集する塵埃回収部（図示せず）が、ブレード５の下側に取り付けられている。
【００６４】
次に、図４に基づいて実施の形態に係るクリーニング装置１のクリーニング動作を説明する。本実施の形態では、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度が、それぞれ３段階（低速、中速、高速の所定値）に設定切換ができるように構成されているものとして説明する。ただし、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度の設定（変速）方法は、この形態に限定されるものではない。
【００６５】
まず、被クリーニング体Ｓを矢印α方向に搬送しながらクリーニングする場合、ブラシローラ３Ａの回転速度が高速となるように、他方、ブラシローラ３Ｂの回転速度が低速となるように、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの駆動切換制御を行う。当該駆動切換制御は、例えば、被クリーニング体Ｓを搬送する搬送用コンベア（図示せず）の動作（搬送方向の切換動作）と連動するように構成することが望ましい。
【００６６】
上記駆動切換制御により、ブラシローラ３Ａの回転速度がブラシローラ３Ｂの回転速度よりも大きくなるので、クリーニングローラ２が、ブラシローラ３Ａの連れ回り方向（矢印α´方向）に回転することとなり、被クリーニング体Ｓを矢印α方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となる。
【００６７】
また、被クリーニング体Ｓの搬送を一時中断する場合等、搬送用コンベア（図示せず）の流れを一時停止させる場合においては、ブラシローラ３Ａの回転速度が中速となるように、同時にブラシローラ３Ｂの回転速度も中速となるように、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの駆動切換制御を行う。
【００６８】
上記駆動切換制御により、ブラシローラ３Ａの回転速度とブラシローラ３Ｂの回転速度とが同じ速度になるので、クリーニングローラ２の回転を停止させることができ、被クリーニング体Ｓの搬送を、一時中断させることが可能となる。
【００６９】
また、被クリーニング体Ｓを矢印α方向とは逆方向の矢印β方向に搬送しながらクリーニングする場合、ブラシローラ３Ａの回転速度が低速となるように、他方、ブラシローラ３Ｂの回転速度が高速となるように、ブラシ駆動モータ２３Ａ、２３Ｂの駆動切換制御を行う。当該駆動切換制御も、例えば、被クリーニング体Ｓを搬送する搬送用コンベア（図示せず）の動作（搬送方向の切換動作）と連動するように構成することが望ましい。
【００７０】
上記駆動切換制御により、ブラシローラ３Ｂの回転速度がブラシローラ３Ａの回転速度よりも大きくなるので、クリーニングローラ２が、ブラシローラ３Ｂの連れ回り方向（矢印β´方向）に回転することとなり、被クリーニング体Ｓを矢印β方向に搬送しながらクリーニングを行うことが可能となる。
【００７１】
上記実施の形態に係るクリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２にブラシローラ３Ａ、３Ｂを接触させているので、クリーニングローラ２表面に存在する塵埃を複数個のブラシローラ３Ａ、３Ｂで除去することが可能となり、従来の転写ローラが設けられた装置（図８参照）よりも塵埃の除去効率を高めることができ、クリーニングローラ２表面の清浄度を高めることができる。
【００７２】
また、上記クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２表面に静電気力で吸着された塵埃がブラシローラ３Ａ、３Ｂによって掻き取られ、ブラシローラ３Ａ、３Ｂにより掻き取られた塵埃が静電気力により金属ローラ４に吸着され、金属ローラ４に吸着された塵埃がブレード５によって金属ローラ４から掻き取られるので、クリーニングローラ２による塵埃の吸着動作が安定的に永く維持されるとともに、従来使用されていた転写ローラが省略された構造とすることで、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができる。
【００７３】
また、上記クリーニング装置１によれば、複数個のブラシローラ３Ａ、３Ｂが互いに逆方向に回転するように構成され、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度が任意に設定可能となっているので、ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度に差を設けることにより、クリーニングローラ２を一方向だけでなく、逆方向にも回転させることが可能であり、被クリーニング体Ｓを一方向だけでなく、逆方向にも搬送することができる。ブラシローラ３Ａ、３Ｂの回転速度を同じにすることで、クリーニングローラ２の回転を停止させることもでき、何れの搬送方向でも対応可能な利便性の高い装置とすることができる。
【００７４】
上記実施の形態では、クリーニングローラ２表面の塵埃を除去するブラシ体として、２本のブラシローラ３Ａ、３Ｂを用いた場合について説明したが、ブラシローラを３本以上用いた構成とすることもできる。
例えば、２の倍数のローラ（４本、６本など）をクリーニングローラ２に対して左右対称に配設し、右側の複数のブラシローラ群と、左側の複数のブラシローラ群とで、これらブラシローラ群を互いに逆方向に回転するように構成することで、上記と同様な制御を行うことができる。この場合は、左右のブラシローラ群に対応する金属ローラを適宜配設（増設）することが好ましい。
【００７５】
また、上記実施の形態では、２本のブラシローラ３Ａ、３Ｂが配設され、互いに逆方向に回転するように構成されているが、クリーニングローラ２の回転方向が一方向のみでよい（すなわち、被クリーニング体Ｓの搬送方向が一方向のみでよい）場合には、ブラシローラ３Ａ、３Ｂを同一方向に回転させる構成とすればよい。
【００７６】
また、クリーニングローラ２の回転方向が一方向のみでよい場合には、ブラシローラを１本で構成してもよく、この場合には、図５に示したようなクリーニング装置１Aの構成とし、ブラシローラ３がクリーニングローラ２と逆方向に回転するようにし、ブラシローラ３によるクリーニングローラ２表面からの塵埃の掻き取りが効率的に行える構成とする。図５に示したようなクリーニング装置１Aの構成とすれば、装置の構成を簡単なものとしてさらなるコストの削減を図ることができる。
また、逆にブラシローラを３本以上使用した構成とすることもできる。
【００７７】
また、上記実施の形態では、クリーニングローラ２と略同じ長さのブラシローラ３Ａ、３Ｂを使用した場合について説明したが、クリーニングローラ２とは異なる長さのブラシローラを複数本組み合わせて使用する構成としてもよい。例えば、クリーニングローラ２よりも短い（例えば、半分程度の）長さの複数のブラシローラを採用して、クリーニングローラ２の軸方向にずらした位置に配設する形態としてもよい。かかる形態によれば、短いブラシローラを使用することで部品コストを削減することができ、また、構造のコンパクト化を図ることができる。
【００７８】
また、上記実施の形態では、クリーニング装置１を被クリーニング体Ｓの下側に配設し、被クリーニング体Ｓの下面をクリーニングする場合について説明したが、図６に示したように、クリーニング装置１Bを被クリーニング体Ｓの上側に配設し、被クリーニング体Ｓの上面をクリーニングする構成とすることもできる。
【００７９】
また、図７に示したように、クリーニング装置１Aを被クリーニング体Ｓの下側に配設し、クリーニング装置１Bを上側に配設し、被クリーニング体Ｓの上下面を同時にクリーニングするクリーニング装置１Cを構成してもよい。クリーニングローラ２が、被クリーニング体S上面側及び前記被クリーニング体S下面側の上下両面側に配置されることにより、被クリーニング体Sの上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、極めて作業効率の高いクリーニング装置１Cを提供することができる。
【００８０】
クリーニング装置をクリーニング装置１Bのように被クリーニング体Ｓの上側に配設する場合には、被クリーニング体Ｓの表面の凹凸等の形状に応じて上面を適切に押圧できるように、クリーニングローラ２を上下に揺動可能な構成としておくことが好ましい。例えば、フレームユニット１０全体を上下に揺動可能とする構成、又はクリーニングローラ２を円弧に沿って揺動可能とする回動支持機構（図示せず）をフレームユニット１０に別途設け、該回動支持機構の回転軸を中心にクリーニングローラ２を上下方向に回動（揺動）させる構成などが採用され得る。
【００８１】
また、ブレード５の取付位置は、図４に示した位置に限定されるものではなく、フレームユニット１０の構造などを考慮して、金属ローラ４から塵埃を掻き取るのに適した位置に配設することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
ガラス基板、プリント基板、フィルム、シート、プラスチック板など半導体装置搭載用として多く使用される基板の塵埃を除去するクリーニング装置であって、半導体装置分野に広く利用可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１              クリーニング装置
１A,1B,1C      クリーニング装置
２              クリーニングローラ
３Ａ、３Ｂ      ブラシローラ
３              ブラシローラ
４              金属ローラ
５              ブレード
１０            フレームユニット
１１、１２      側板部
１３、１４      上側アングル部材
１５、１６      下側アングル部材
２３Ａ、２３Ｂ  ブラシ駆動モータ
３０            金属ローラ駆動モータ
S              被クリーニング体
S1            表面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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