【手続補正書】
【提出日】平成26年11月12日(2014.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明された試料を光学的に捕捉するための方法であって、
照明光が少なくとも１つの平面内で空間的に構造化されて該試料に当たり、該試料の複数の画像が該試料上の構造の様々な位置で検出器によって記録され、該複数の画像から光学的断面画像および解像度の少なくとも一方が高められた画像が計算される方法において、
該試料の方向で、対物レンズの瞳内もしくは該対物レンズの瞳と共役な平面内または該瞳の近傍に回折パターンが形成され、該回折パターンに、様々な位相遅延の領域を備える構造化された位相プレートが割り当てられ、該位相プレートが、少なくとも１つの回折次数に対して、該対物レンズの瞳に回折次数が到達する前に、照明光の様々な位相位置を該試料上で調整するために移動されることを特徴とする方法。
【請求項２】
中間画像面内において、空間的な周期的構造体を介して照明光の構造化が行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記構造体がＮ回の対称性、Ｎ＝２，４，６，．．．を有し、前記試料内でＮ／２の空間方向で構造化を行うために、該構造体が、瞳内または瞳の近傍で、光軸に関して対称な照明パターンを形成する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記位相プレートが、様々な位相遅延を有する少なくとも部分的に円弧状の領域により円形に形成されており、光軸の周りで回転可能である、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記様々な位相遅延が、様々な屈折率および様々なプレート厚の少なくとも一方によって調整される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
色補正のために、前記位相遅延が、光軸に対して垂直な方向で変更される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記位相プレートが連続的に回転または変位され、画像記録と同期され、先行の領域と位相遅延の異なる領域に達したときに画像記録が行われる、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記位相プレートが離散的ステップで回転／変位される、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
変位可能な絞りを介して前記回折次数が選択され、該変位可能な絞りは、対物レンズの瞳内もしくは対物レンズの瞳と共役な平面内またはその近傍に配置されている、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記絞りが、対向する通過開口部を備える円形のマスクであり、光軸の周りで回転する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
絞りおよび位相プレートが、相互に結合された回転可能／変位可能な２つのエレメント上に配置されている、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
照明された試料を光学的に捕捉するための、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の方法であって、
照明光が少なくとも１つの平面内で空間的に構造化されて該試料に当たり、該試料の複
数の画像が該試料上の構造の様々な位置で検出器によって記録され、該複数の画像から光学的断面画像および解像度の少なくとも一方が高められた画像が計算され、
構造化された照明作用を該試料上で生じさせる光分布が、瞳内またはその近傍で生じる、方法。
【請求項１３】
前記光分布が、照明方向で前記瞳の前方にある平面内における周期的構造体の回折像に対応する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記光分布が、ファイバの出力部によって形成される、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記ファイバの出力部が、マイクロレンズ、微小構造体およびコーティングの少なくとも一つを有する、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記構造化の位相位置が、前記ファイバから出射する光の相対位相の変化によって変更される、請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記光分布が、異なるファイバ出力部への切換えによって変更される、請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記照明光のスペクトル組成が変更され、
前記瞳面とファイバの出力部との間で中間的結像が行われる、請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
照明された試料を光学的に捕捉するための、請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の方法であって、
照明光が少なくとも１つの平面内で空間的に構造化されて該試料に当たり、該試料の複数の画像が該試料上の構造の様々な位置で検出器によって記録され、該複数の画像から光学的断面画像および解像度の少なくとも一方が高められた画像が計算され、
回折像または光分布が、瞳面と共役な平面内に形成され、中間的結像によって、複数の反射領域を備える透明なビームスプリッタの平面内に伝達され、該ビームスプリッタが、該回折像または光分布を、該反射領域を介して試料の方向にさらに導く、方法。
【請求項２０】
照明された試料を光学的に捕捉するための装置であって、
照明光を少なくとも１つの平面内で空間的に構造化して該試料に当て、該試料の複数の画像を該試料上の構造の様々な位置で検出器が記録し、該複数の画像から光学的断面画像および解像度の少なくとも一方が高められた画像を計算する装置において、
該試料の方向で、対物レンズの瞳内もしくは該瞳の近傍に、または該対物レンズの瞳と共役な平面内に回折パターンを形成し、該回折パターンに、様々な位相遅延の領域を備える構造化された位相プレートを割り当て、該位相プレートが、少なくとも１つの回折次数に対して、該対物レンズの瞳に回折次数が到達する前に、照明光の様々な位相位置を該試料上で調整するために移動可能に構成されていることを特徴とする装置。
【請求項２１】
中間画像面内において、空間的な周期的構造体が、照明光を構造化するために配置されている、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記構造体がＮ回の対称性、Ｎ＝２，４，６，．．．を有し、
前記試料内でＮ／２の空間方向で構造化を行うために、該構造体が、瞳内または瞳の近傍で、光軸に関して対称な照明パターンを形成する、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記位相プレートが、様々な位相遅延を有する少なくとも部分的に円弧状の領域により円形に形成されており、光軸の周りで回転可能である、請求項２０乃至２２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２４】
前記様々な位相遅延を、様々な屈折率および位相プレートの様々なプレート厚の少なくとも一方によって実現する、請求項２０乃至２３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２５】
色補正のために、前記位相遅延を、光軸に対して垂直な方向で変更する、請求項２０乃至２４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２６】
前記位相プレートが連続的に回転可能または変位可能であり、画像記録と同期され、先行の領域と位相遅延の異なる領域に達したときに画像記録を行う、請求項２０乃至２５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２７】
前記位相プレートが離散的ステップで回転可能または変位可能である、請求項２０乃至２６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２８】
前記回折次数を選択するための変位可能な絞りが対物レンズの瞳内もしくはその近傍に、または対物レンズの瞳と共役な平面内に配置されている、請求項２０乃至２７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２９】
絞りが、対向する通過開口部を備える円形のマスクであり、光軸の周りで回転可能である、請求項２０乃至２８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３０】
絞りおよび位相プレートが、相互に結合された回転可能または変位可能な２つのエレメント上に配置されている、請求項２０乃至２９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３１】
前記結合が伝達部を介して行われる、請求項３０記載の装置。
【請求項３２】
前記絞りおよび位相プレートの少なくとも一方の駆動が、ステップモータによって行われる、請求項３０または３１に記載の装置。
【請求項３３】
照明された試料を光学的に捕捉するための、請求項２０乃至３２に記載のいずれか１項に記載の装置であって、
照明光を少なくとも１つの平面内で空間的に構造化して該試料に当て、該試料の複数の画像を該試料上の構造の様々な位置で検出器が記録し、該複数の画像から光学的断面画像および解像度の少なくとも一方が高められた画像を計算し、
構造化された照明作用を該試料上で生じさせる光分布を形成する手段が、瞳内またはその近傍に設けられている装置。
【請求項３４】
前記光分布が、前記瞳の前方にある中間画像面内における周期的構造体の回折像に対応する、請求項３３に記載の装置。
【請求項３５】
前記光分布を、ファイバの出力部が形成する、請求項３３または３４に記載の装置。
【請求項３６】
前記ファイバの出力部が、マイクロレンズおよび微小構造体およびコーティングの少なくとも一つを有する、請求項３５に記載の装置。
【請求項３７】
前記構造化の位相位置を、前記ファイバから出射する光の位相を変化させる手段によって変更する、請求項３５または３６に記載の装置。
【請求項３８】
前記光分布を、異なるファイバ出力部に切り換える手段が変更する、請求項３５乃至３７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３９】
前記照明光のスペクトル組成を、切り換える手段が変更する、請求項３３乃至３８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４０】
前記瞳面とファイバの出力部との間で中間結像を行う、請求項３５乃至３９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４１】
ファイバの端部を顕微鏡のビーム路に収容／結合するためのプラグインモジュールが設けられている、請求項３５乃至４０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４２】
前記光を試料の方向に偏向させるためのミラーが設けられている、請求項３３乃至４１のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４３】
前記ファイバの端部が、顕微鏡の瞳の縁部に配置されている、請求項３５乃至４２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４４】
前記ファイバが光軸に対して垂直に前後に並べて配置されている、請求項３５乃至４３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４５】
前記ファイバが光軸に対して平行に上下に重ねて配置されている、請求項３５乃至４４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４６】
照明された試料を光学的に捕捉するための装置であって、
照明光を少なくとも１つの平面内で空間的に構造化して該試料に当て、該試料の複数の画像を該試料上の構造の様々な位置で検出器が記録し、該複数の画像から光学的断面画像および解像度の少なくとも一方が高められた画像を計算し、
回折像または光分布を、瞳面と共役な平面内に形成し、有利には中間的結像によって、複数の反射領域を備える透明なビームスプリッタの平面内に結像し、該ビームスプリッタが、該光を、該反射領域を介して試料の方向にさらに導く、請求項２０乃至４５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４７】
前記ビームスプリッタが、瞳内または瞳の近傍に配置されている、請求項４６に記載の装置。
【請求項４８】
顕微鏡において用いられる、請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項４９】
顕微鏡において用いられる、請求項２０乃至４７のいずれか１項に記載の装置。