(57)【要約】  複数の蒸着材料収容体を回転支持体の上に設け、特定の蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料を加熱させて蒸着材料を蒸発させた場合に、この蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを防止する。  上面が開口された凹部内に蒸着材料Tが収容された複数の蒸着材料収容体3を回転可能な回転支持体10の上に設けて、特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、特定の蒸着材料収容体内における蒸着材料を加熱させて蒸発させるにあたり、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部21が設けられた防着部材20を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うように回転支持体の上に配置させ、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させた。
2014006706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにしたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸着装置において、前記の防着部材を下段部と上段部とを有する段差状に形成し、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部を、防着部材の下段部に設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体と隣接する他の蒸着材料収容体とを分離させる分離凸部を、前記の防着部材と回転支持体との間に設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の蒸着装置において、前記の防着部材と回転支持体との少なくとも一方を昇降させる昇降装置を設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項４に記載の蒸着装置において、前記の昇降装置によって防着部材を昇降させるようにし、この昇降装置により前記の防着部材を、前記の開口部の口縁における下面が、前記の蒸着材料収容体の上面と衝突しない位置まで上昇させた状態で、前記の回転支持体を回転させることを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の蒸着装置において、前記の防着部材における開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の蒸着装置において、前記の蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料を加熱させるにあたり、蒸着材料にビームを照射させることを特徴とする蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置蒸着装置に関するものである。特に、特定の蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射して加熱させ、この蒸着材料を蒸発させた場合に、蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを防止する点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガラス基板等の各種の被処理材の表面に各種の材料を成膜させるのに真空蒸着装置が使用されている。【０００３】
そして、このような蒸着装置においては、各種の蒸着材料を坩堝等の蒸着材料収容体の凹部内に収容させ、プラズマガン等のビーム出射装置からプラズマビーム等のビームを出射し、このビームを前記の蒸着材料収容体の開口された上面から凹部内に収容された蒸着材料に照射させて蒸着材料を蒸発させ、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させて成膜させるようにしている。【０００４】
また、このような蒸着装置においては、被処理材の表面に異なる蒸着材料を順々に蒸着させたり、異なる被処理材の表面に異なる蒸着材料を蒸着させたりする場合等において、被処理材の表面に様々な蒸着材料を順々に効率よく蒸着させるため、例えば、特許文献１，２に示されるように、蒸着材料を収容する複数の蒸着材料収容部を、回転可能な回転体の上面にその周方向に所要間隔を介して凹設し、この回転体に設けられた特定の蒸着材料収容部をビーム照射位置に導き、この蒸着材料収容部内に収容された蒸着材料にビームを照射させて、蒸着材料を蒸発させるようにしたものが用いられている。【０００５】
しかし、このようにビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部に収容された蒸着材料にビームを照射させて、蒸着材料を蒸発させるようにした場合、この蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が被処理材の表面だけではなく、回転体に設けられた他の蒸着材料収容部にも導かれ、蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容部に収容された蒸着材料に混入するという問題があった。【０００６】
このため、特許文献２においては、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部と対向する部分に開口部が設けられた保護カバーを、他の蒸着材料収容部を覆うようにして回転体の上方に所要間隔を介して設け、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が、ビーム照射位置に導かれていない他の蒸着材料収容部内に収容された蒸着材料に混入するのを防止するようにしたものが示されている。【０００７】
しかし、このように保護カバーを回転体の上方に所要間隔を介して設けた場合においても、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が、保護カバーと回転体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるようになり、蒸発された蒸着材料が他の蒸着材料収容部に収容された蒸着材料に混入するのを十分に防止することができず、また蒸発された蒸着材料が保護カバーの下面に付着し、回転体を回転させて他の蒸着材料収容部をビーム照射位置に導く際に、保護カバーの下面に付着した蒸着材料が他の蒸着材料収容部内に落下して収容された蒸着材料に混入するという問題があった。【０００８】
また、前記の保護カバーと回転体との間の隙間を狭くして、蒸発された蒸着材料が、保護カバーと回転体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのを防止することが考えられるが、回転体を回転させて、蒸着材料収容部を順々にビーム照射位置に導く関係上、保護カバーと回転体との間の隙間を狭くするのには限界があり、特定の蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が、保護カバーの下面に付着したり、保護カバーと回転体との間を通して他の蒸着材料収容部に収容された蒸着材料に混入したりするのを適切に防止することは困難であった。【０００９】
特に、回転支持体の上面に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を設け、この蒸着材料収容体が回転支持体から上方に突出する場合においては、前記のような保護カバーを設けても、回転支持体と保護カバーとの間の隙間が大きくなり、特定の蒸着材料収容体から蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを十分に防止することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】実開昭６２−１１０２６３号公報
【特許文献２】特開２００４−２５６８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記のように、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体をビーム照射位置等の加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の開口を通して凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射させて蒸着材料を加熱させ、この蒸着材料を蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。【００１２】
すなわち、本発明においては、前記のような蒸着装置において、ビーム照射位置等の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料に、ビームを照射させて蒸着材料を加熱させ、この蒸着材料を蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる場合に、蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを適切に防止することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明においては、前記のような課題を解決するため、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにした。【００１４】
このように、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、蒸着材料収容体を露出させる開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させると、ビームが照射されて蒸着材料収容体の開口された上面から蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれるのが抑制され、この防着部材の下面と回転支持体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのが防止される。特に、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の上面を、前記の開口部の口縁における防着部材の上面よりも上に位置させると、蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれるのが一層抑制され、この防着部材の下面と回転支持体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのが一層防止されるようになる。【００１５】
ここで、前記のように加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部を有する防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させるにあたっては、前記の防着部材を下段部と上段部とを有する段差状に形成し、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部を防着部材の下段部に設けるようにすることができる。【００１６】
また、前記の蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体と隣接する他の蒸着材料収容体とを分離させる分離凸部を、前記の防着部材と回転支持体との間に設けると、分離凸部が設けられた防着部材の下面と回転支持体との間の隙間が一層狭くなり、蒸着材料収容体の開口された上面から蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれたとしも、分離凸部が設けられた防着部材の下面と回転支持体との間において抑止され、蒸発した蒸着材料が他の蒸着材料収容体に導かれるのが一層防止されるようになる。【００１７】
また、前記の蒸着装置において、加熱位置に導かれた特定の蒸着材料収容体から蒸着材料を蒸発させて、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させた後、回転支持体に支持された他の蒸着材料収容体を加熱位置に導くにあたっては、前記の防着部材と回転支持体との少なくとも一方を昇降させる昇降装置を設けるようにすることができる。【００１８】
そして、前記の昇降装置によって防着部材を昇降させる場合には、この昇降装置により前記の防着部材を、前記の開口部の口縁における下面が、前記の蒸着材料収容体の上面と衝突しない位置まで上昇させた状態で、前記の回転支持体を回転させ、次の蒸着材料収容体を加熱位置に導くようにする。そして、このように次の蒸着材料収容体を加熱位置に導いた後は、前記の昇降装置によって防着部材を下降させ、次の蒸着材料収容体の開口された上面を、開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させるようにする。【００１９】
また、前記の蒸着装置において、前記の防着部材の開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させると、防着部材の開口部の口縁が熱によって変形するのが耐熱リングによって抑制されると共に、開口部の口縁に付着する蒸着材料の塊が、この耐熱リングの上面部における外周側に向かって下方に傾斜した面に沿って防着部材の上に導かれ、防着部材を昇降させる場合等に、開口部の口縁に付着した蒸着材料の塊が、回転支持体の上や他の蒸着材料収容体内に落ちたりするのが防止される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の蒸着装置においては、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させるにあたり、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させるようにしたため、ビームが照射されて蒸着材料収容体の開口された上面から蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれるのが抑制され、防着部材の下面に付着したり、この防着部材の下面と回転支持体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのが防止される。【００２１】
この結果、本発明の蒸着装置においては、回転支持体により加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口を通して、蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射させて蒸着材料を蒸発させ、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させる際に、前記の蒸着材料収容体から蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に導かれて他の蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料に混入するのが適切に防止されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係る蒸着装置において、回転支持体によりビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体に向けてビーム出射装置からビームを出射させ、この蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料にビームを照射させて蒸着材料を蒸発させ、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させる状態を示した概略説明図である。
【図２】前記の実施形態における蒸着装置において、防着部材と蒸着材料収容体と回転支持体とを示した分解斜視図である。
【図３】前記の実施形態における蒸着装置において、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された複数の蒸着材料収容体を、回転支持体の上面に周方向に所要間隔を介して設けられた各保持凹部内に保持させた状態を示した概略斜視図である。
【図４】前記の実施形態における蒸着装置において、蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を回転支持体の周方向に設けられた各保持凹部内に保持させた状態で、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が開口部を通して露出するようにして防着部材を回転支持体の上に配置させた状態を示した概略平面図である。
【図５】前記の実施形態における蒸着装置において、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体の上面が、防着部材の開口部の上面より上に位置するようにして、防着部材を回転支持体の上に配置させた状態で、蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射させる状態を示し、（Ａ）は半径方向の部分断面説明図、（Ｂ）は周方向の部分断面説明図である。
【図６】前記の実施形態における蒸着装置において、回転支持体の上に配置された防着部材を上方に持ち上げた状態で、蒸着材料収容体を保持させた回転支持体を回転させて、別の蒸着材料収容体をビーム照射位置に導く状態を示した概略斜視図である。
【図７】前記の実施形態における蒸着装置において、前記の回転支持体の上に着脱自在に装着させる円板部材に、分離凸部と環状凸部とを設けた状態を示した分解斜視図である。
【図８】前記の実施形態における蒸着装置において、前記の防着部材における開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させた状態を示した部分断面説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態に係る蒸着装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る蒸着装置は下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。【００２４】
この実施形態の蒸着装置においては、図１に示すように、真空チャンバー１の底部から回転装置２の回転軸２ａを真空チャンバー１内に導入させ、円板状になった回転支持体１０の中心部をこの回転軸２ａに保持させて、この回転軸２ａを中心にして前記の回転支持体１０を回転させるようにしている。なお、回転装置２の回転軸２ａを真空チャンバー１内に導入させる部分から、外気が真空チャンバー１内に侵入しないようにシール部材２ｂを設けている。【００２５】
また、前記の回転支持体１０の上面に、図２及び図３に示すように、その周方向に所要間隔を介して複数（図に示す例では４つ）の保持凹部１１を設けると共に、各保持凹部１１間を分離させて回転支持体１０の上面を４等分するように、三角形の突状からなる分離凸部１２を中心部から放射状に設けると共に、回転支持体１０の上面の外周に沿って上方に突出した環状凸部１３を設けている。【００２６】
そして、前記の回転支持体１０の上面に設けられた各保持凹部１１に、図３に示すように、上面が開口された凹部内に蒸着材料Ｔが収容された各蒸着材料収容体３を保持させ、各蒸着材料収容体３の上面が前記の分離凸部１２よりも上方に位置するようにしている。【００２７】
また、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を露出させる開口部２１が設けられた平面円形状の防着部材２０を、他の蒸着材料収容体３の上面を覆うようにして前記の回転支持体１０の上に配置させるようにしている。【００２８】
また、この防着部材２０は、その外径が前記の回転支持体１０よりも若干大径になっており、この防着部材２０の外周に沿って下方に延出された側壁部２０ｃによって、前記の回転支持体１０の外周側を覆うようにしている。【００２９】
また、この防着部材２０の直径方向両側の位置に、それぞれ防着部材２０の外周からそれぞれ反対方向に突出する突出片２２を設け、この両側の突出片２２をそれぞれ真空チャンバー１の底部から真空チャンバー１内に導入された昇降装置４における昇降ロッド４ａに保持させ、この昇降装置４における昇降ロッド４ａによって前記の防着部材２０を回転支持体１０の上方において昇降させるようにしている。なお、昇降装置４における昇降ロッド４ａを真空チャンバー１内に導入させる部分から、外気が真空チャンバー１内に侵入しないようにシール部材４ｂを設けている。【００３０】
ここで、前記の防着部材２０は、前記の開口部２１が設けられた扇形状の下段部２０ａと、この下段部２０ａよりも高くなったその他の上段部２０ｂとを有する段差状に形成されている。【００３１】
そして、この実施形態の蒸着装置においては、前記の図１に示すように、真空チャンバー１の側部に設けられたプラズマガン等のビーム出射装置５からプラズマビーム等のビームＢを出射させ、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の凹部内に収容された蒸着材料ＴにビームＢを照射させて蒸着材料Ｔを蒸発させ、蒸発された蒸着材料Ｔを真空チャンバー１内の上部に配置された被処理材Ｗの表面に蒸着させるようにしている。【００３２】
ここで、この実施形態においては、図６に示すように、前記の昇降装置４に設けられた昇降ロッド４ａにより、前記の防着部材２０を上昇させた後、前記の回転装置２により回転軸２ａを中心にして蒸着材料収容体３が保持された回転支持体１０を回転させ、被処理材Ｗに蒸着させる蒸着材料Ｔが収容された蒸着材料収容体３をビーム照射位置に導き、その後、前記の昇降装置４に設けられた昇降ロッド４ａにより、防着部材２０を下降させるようにする。【００３３】
そして、このように防着部材２０を下降させて、図１、図４及び図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、この防着部材２０の下段部２０ａに設けられた開口部２１内にビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を導き入れ、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、前記の防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の上面より上に突出させると共に、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を保持する部分を区画するようにして回転支持体１０の上面に放射状に設けられた２つの分離凸部１２を、開口部２１が設けられた扇形の下段部２０ａの下面の下に位置させ、防着部材２０の下段部２０ａの下面と回転支持体１０の上面との隙間が非常に狭くなるようにしている。【００３４】
そして、このようにビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の上面よりも突出させた状態で、前記のようにビームＢをこの蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔに照射させて、この蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔを蒸発させる。【００３５】
このようにすると、蒸着材料収容体３の開口された上面から蒸発した蒸着材料Ｔが、蒸着材料収容体３と防着部材２０の開口部２１との間を通して防着部材２０の下面側に流れ込むのが防止されると共に、蒸発した蒸着材料Ｔが防着部材２０の下面側に流れ込んだとしても、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を保持する部分を区画するようにして回転支持体１０の上面に設けられた前記の２つの分離凸部１２により、この防着部材２０の下段部２０ａの下面と回転支持体１０の上面との隙間が非常に狭くなっているため、防着部材２０の下面側に流れ込んだ蒸着材料Ｔが、防着部材２０の下段部２０ａの下面と回転支持体１０の上面との隙間を通して他の蒸着材料収容体３に導かれるのが防止される。【００３６】
この結果、この実施形態の蒸着装置においては、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔを蒸発させて被処理材Ｗの表面に蒸着させる際に、前記の蒸着材料収容体３から蒸発された蒸着材料Ｔが、他の蒸着材料収容体３に導かれて他の蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔに混入するのが適切に防止されるようになる。【００３７】
また、この実施形態の蒸着装置においては、前記の分離凸部１２が三角形の突状になっているため、前記のように防着部材２０を昇降させる際に、この分離凸部１２の上に蒸着材料Ｔの塊が落ちたとしても、この蒸着材料Ｔの塊が分離凸部１２から回転支持体１０の上に転げ落ちて、蒸着材料Ｔの塊が分離凸部１２と防着部材２０の下面との間に挟まるということもなくなる。【００３８】
なお、この実施形態においては、回転支持体１０の上面自体に分離凸部１２と環状凸部１３とを設けるようにしたが、図７に示すように、回転支持体１０の上面に着脱自在に装着させる円板部材３０を用いるようにし、この円板部材３０の中央部に回転支持体１０に装着させる取付穴部３１を設けると共に、前記の回転支持体１０における保持凹部１１に対応した貫通孔３２を設け、この円板部材３０の上面に、中央の取付穴部３１から放射状に三角形の突状からなる分離凸部３３を設けると共に、円板部材３０の上面の外周に沿って上方に突出した環状凸部３４を設けるようにすることもできる。このように、回転支持体１０の上面に円板部材３０を着脱自在に装着させると、防着部材２０の下面側に蒸着材料Ｔが流れ込んで、この円板部材３０に蒸着材料Ｔが付着したとしても、この円板部材３０を回転支持体１０の上面から離脱させて簡単に交換できるようになる。【００３９】
また、この実施形態においては、前記のようにビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の上面より上に突出させるようにしたが、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の下面より上に位置させるようにした場合においても、蒸着材料収容体３の開口された上面から蒸発した蒸着材料Ｔが、蒸着材料収容体３と防着部材２０の開口部２１との間を通して防着部材２０の下面側に流れ込むのが抑制されるようになる。【００４０】
また、前記の実施形態の蒸着装置において、図８に示すように、前記の防着部材２０の開口部２１の口縁に耐熱リング２３を装着させ、この耐熱リング２３の上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させるようにすると、防着部材２０の開口部２１の口縁が熱によって変形するのが耐熱リング２３によって抑制されると共に、開口部２１の口縁に付着した蒸着材料Ｔが、防着部材２０を昇降させる際に剥がれて片鱗となっても、この耐熱リング２３の上面部における外周側に向かって下方に傾斜した面に沿って防着部材２０の上に導かれ、回転支持体１０の上や他の蒸着材料収容体３内に落ちたりするのが防止されるようになる。【００４１】
さらに、前記の実施形態の蒸着装置においては、蒸着材料Ｔにビーム出射装置５からビームＢを照射させて、蒸着材料Ｔを加熱させるようにしたが、電気ヒーター等の加熱手段（図示せず）を設けて、蒸着材料Ｔを加熱させることも可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１  真空チャンバー
２  回転装置、２ａ  回転軸、２ｂ  シール部材
３  蒸着材料収容体
４  昇降装置、４ａ  昇降ロッド、４ｂ  シール部材
５  ビーム出射装置
１０  回転支持体
１１  保持凹部
１２  分離凸部
１３  環状凸部
２０  防着部材、２０ａ  下段部、２０ｂ  上段部、２０ｃ  側壁部
２１  開口部
２２  突出片
２３  耐熱リング
３０  円板部材
３１  取付穴部
３２  貫通孔
３３  分離凸部
３４  環状凸部
Ｂ  ビーム
Ｔ  蒸着材料
Ｗ  被処理材
【図１】
2014006706.tif 000003
【図２】
2014006706.tif 000004
【図３】
2014006706.tif 000005
【図４】
2014006706.tif 000006
【図５】
2014006706.tif 000007
【図６】
2014006706.tif 000008
【図７】
2014006706.tif 000009
【図８】
2014006706.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月4日(2014.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにし、前記の防着部材を下段部と上段部とを有する段差状に形成し、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部を、防着部材の下段部に設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにし、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体と隣接する他の蒸着材料収容体とを分離させる分離凸部を、前記の防着部材と回転支持体との間に設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにし、前記の防着部材における開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の蒸着装置において、前記の防着部材と回転支持体との少なくとも一方を昇降させる昇降装置を設けたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項４に記載の蒸着装置において、前記の昇降装置によって防着部材を昇降させるようにし、この昇降装置により前記の防着部材を、前記の開口部の口縁における下面が、前記の蒸着材料収容体の上面と衝突しない位置まで上昇させた状態で、前記の回転支持体を回転させることを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の蒸着装置において、前記の蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料を加熱させるにあたり、蒸着材料にビームを照射させることを特徴とする蒸着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置に関するものである。特に、特定の蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射して加熱させ、この蒸着材料を蒸発させた場合に、蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを防止する点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガラス基板等の各種の被処理材の表面に各種の材料を成膜させるのに真空蒸着装置が使用されている。
【０００３】
そして、このような蒸着装置においては、各種の蒸着材料を坩堝等の蒸着材料収容体の凹部内に収容させ、プラズマガン等のビーム出射装置からプラズマビーム等のビームを出射し、このビームを前記の蒸着材料収容体の開口された上面から凹部内に収容された蒸着材料に照射させて蒸着材料を蒸発させ、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させて成膜させるようにしている。
【０００４】
また、このような蒸着装置においては、被処理材の表面に異なる蒸着材料を順々に蒸着させたり、異なる被処理材の表面に異なる蒸着材料を蒸着させたりする場合等において、被処理材の表面に様々な蒸着材料を順々に効率よく蒸着させるため、例えば、特許文献１，２に示されるように、蒸着材料を収容する複数の蒸着材料収容部を、回転可能な回転体の上面にその周方向に所要間隔を介して凹設し、この回転体に設けられた特定の蒸着材料収容部をビーム照射位置に導き、この蒸着材料収容部内に収容された蒸着材料にビームを照射させて、蒸着材料を蒸発させるようにしたものが用いられている。
【０００５】
しかし、このようにビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部に収容された蒸着材料にビームを照射させて、蒸着材料を蒸発させるようにした場合、この蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が被処理材の表面だけではなく、回転体に設けられた他の蒸着材料収容部にも導かれ、蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容部に収容された蒸着材料に混入するという問題があった。
【０００６】
このため、特許文献２においては、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部と対向する部分に開口部が設けられた保護カバーを、他の蒸着材料収容部を覆うようにして回転体の上方に所要間隔を介して設け、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が、ビーム照射位置に導かれていない他の蒸着材料収容部内に収容された蒸着材料に混入するのを防止するようにしたものが示されている。
【０００７】
しかし、このように保護カバーを回転体の上方に所要間隔を介して設けた場合においても、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が、保護カバーと回転体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるようになり、蒸発された蒸着材料が他の蒸着材料収容部に収容された蒸着材料に混入するのを十分に防止することができず、また蒸発された蒸着材料が保護カバーの下面に付着し、回転体を回転させて他の蒸着材料収容部をビーム照射位置に導く際に、保護カバーの下面に付着した蒸着材料が他の蒸着材料収容部内に落下して収容された蒸着材料に混入するという問題があった。
【０００８】
また、前記の保護カバーと回転体との間の隙間を狭くして、蒸発された蒸着材料が、保護カバーと回転体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのを防止することが考えられるが、回転体を回転させて、蒸着材料収容部を順々にビーム照射位置に導く関係上、保護カバーと回転体との間の隙間を狭くするのには限界があり、特定の蒸着材料収容部から蒸発された蒸着材料が、保護カバーの下面に付着したり、保護カバーと回転体との間を通して他の蒸着材料収容部に収容された蒸着材料に混入したりするのを適切に防止することは困難であった。
【０００９】
特に、回転支持体の上面に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を設け、この蒸着材料収容体が回転支持体から上方に突出する場合においては、前記のような保護カバーを設けても、回転支持体と保護カバーとの間の隙間が大きくなり、特定の蒸着材料収容体から蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを十分に防止することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】実開昭６２−１１０２６３号公報
【特許文献２】特開２００４−２５６８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記のように、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体をビーム照射位置等の加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の開口を通して凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射させて蒸着材料を加熱させ、この蒸着材料を蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。
【００１２】
すなわち、本発明においては、前記のような蒸着装置において、ビーム照射位置等の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料に、ビームを照射させて蒸着材料を加熱させ、この蒸着材料を蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる場合に、蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に収容された蒸着材料に混入するのを適切に防止することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る第１の蒸着装置においては、前記のような課題を解決するため、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにし、前記の防着部材を下段部と上段部とを有する段差状に形成し、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部を防着部材の下段部に設けるようにした。
【００１４】
このように、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、蒸着材料収容体を露出させる開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させると、ビームが照射されて蒸着材料収容体の開口された上面から蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれるのが抑制され、この防着部材の下面と回転支持体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのが防止される。特に、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の上面を、前記の開口部の口縁における防着部材の上面よりも上に位置させると、蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれるのが一層抑制され、この防着部材の下面と回転支持体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのが一層防止されるようになる。
【００１５】
また、本発明に係る第２の蒸着装置においては、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにし、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体と隣接する他の蒸着材料収容体とを分離させる分離凸部を、前記の防着部材と回転支持体との間に設けた。
【００１６】
そして、第２の蒸着装置のように、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体と隣接する他の蒸着材料収容体とを分離させる分離凸部を、前記の防着部材と回転支持体との間に設けると、分離凸部が設けられた防着部材の下面と回転支持体との間の隙間が一層狭くなり、蒸着材料収容体の開口された上面から蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれたとしも、分離凸部が設けられた防着部材の下面と回転支持体との間において抑止され、蒸発した蒸着材料が他の蒸着材料収容体に導かれるのが一層防止されるようになる。
【００１７】
また、本発明に係る第３の蒸着装置においては、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を、回転可能な回転支持体の上に周方向に複数設け、前記の回転支持体により特定の蒸着材料収容体を加熱位置に導き、この蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料を加熱して、この蒸着材料を前記の開口を通して蒸発させて被処理材の表面に蒸着させる蒸着装置において、前記の加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させ、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置するようにし、前記の防着部材における開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させたようにした。
【００１８】
そして、第３の蒸着装置のように、前記の防着部材の開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させると、防着部材の開口部の口縁が熱によって変形するのが耐熱リングによって抑制されると共に、開口部の口縁に付着する蒸着材料の塊が、この耐熱リングの上面部における外周側に向かって下方に傾斜した面に沿って防着部材の上に導かれ、防着部材を昇降させる場合等に、開口部の口縁に付着した蒸着材料の塊が、回転支持体の上や他の蒸着材料収容体内に落ちたりするのが防止される。
【００１９】
また、前記の各蒸着装置において、加熱位置に導かれた特定の蒸着材料収容体から蒸着材料を蒸発させて、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させた後、回転支持体に支持された他の蒸着材料収容体を加熱位置に導くにあたっては、前記の防着部材と回転支持体との少なくとも一方を昇降させる昇降装置を設けるようにすることができる。
【００２０】
そして、前記の昇降装置によって防着部材を昇降させる場合には、この昇降装置により前記の防着部材を、前記の開口部の口縁における下面が、前記の蒸着材料収容体の上面と衝突しない位置まで上昇させた状態で、前記の回転支持体を回転させ、次の蒸着材料収容体を加熱位置に導くようにする。そして、このように次の蒸着材料収容体を加熱位置に導いた後は、前記の昇降装置によって防着部材を下降させ、次の蒸着材料収容体の開口された上面を、開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させるようにする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の蒸着装置においては、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体を露出させる開口部が設けられた防着部材を、他の蒸着材料収容体の上面を覆うようにして回転支持体の上に配置させるにあたり、加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面を、前記の開口部の口縁における防着部材の下面よりも上に位置させるようにしたため、ビームが照射されて蒸着材料収容体の開口された上面から蒸発した蒸着材料が、この蒸着材料収容体と前記の開口部との間を通して防着部材の下面側に導かれるのが抑制され、防着部材の下面に付着したり、この防着部材の下面と回転支持体との間を通して他の蒸着材料収容体に導かれるのが防止される。
【００２２】
この結果、本発明の蒸着装置においては、回転支持体により加熱位置に導かれた蒸着材料収容体の開口を通して、蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射させて蒸着材料を蒸発させ、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させる際に、前記の蒸着材料収容体から蒸発された蒸着材料が、他の蒸着材料収容体に導かれて他の蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料に混入するのが適切に防止されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係る蒸着装置において、回転支持体によりビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体に向けてビーム出射装置からビームを出射させ、この蒸着材料収容体内に収容された蒸着材料にビームを照射させて蒸着材料を蒸発させ、この蒸着材料を被処理材の表面に蒸着させる状態を示した概略説明図である。
【図２】前記の実施形態における蒸着装置において、防着部材と蒸着材料収容体と回転支持体とを示した分解斜視図である。
【図３】前記の実施形態における蒸着装置において、上面が開口された凹部内に蒸着材料が収容された複数の蒸着材料収容体を、回転支持体の上面に周方向に所要間隔を介して設けられた各保持凹部内に保持させた状態を示した概略斜視図である。
【図４】前記の実施形態における蒸着装置において、蒸着材料が収容された蒸着材料収容体を回転支持体の周方向に設けられた各保持凹部内に保持させた状態で、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体の開口された上面が開口部を通して露出するようにして防着部材を回転支持体の上に配置させた状態を示した概略平面図である。
【図５】前記の実施形態における蒸着装置において、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体の上面が、防着部材の開口部の上面より上に位置するようにして、防着部材を回転支持体の上に配置させた状態で、蒸着材料収容体の凹部内に収容された蒸着材料にビームを照射させる状態を示し、（Ａ）は半径方向の部分断面説明図、（Ｂ）は周方向の部分断面説明図である。
【図６】前記の実施形態における蒸着装置において、回転支持体の上に配置された防着部材を上方に持ち上げた状態で、蒸着材料収容体を保持させた回転支持体を回転させて、別の蒸着材料収容体をビーム照射位置に導く状態を示した概略斜視図である。
【図７】前記の実施形態における蒸着装置において、前記の回転支持体の上に着脱自在に装着させる円板部材に、分離凸部と環状凸部とを設けた状態を示した分解斜視図である。
【図８】前記の実施形態における蒸着装置において、前記の防着部材における開口部の口縁に耐熱リングを装着させ、この耐熱リングの上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させた状態を示した部分断面説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態に係る蒸着装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る蒸着装置は下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
【００２５】
この実施形態の蒸着装置においては、図１に示すように、真空チャンバー１の底部から回転装置２の回転軸２ａを真空チャンバー１内に導入させ、円板状になった回転支持体１０の中心部をこの回転軸２ａに保持させて、この回転軸２ａを中心にして前記の回転支持体１０を回転させるようにしている。なお、回転装置２の回転軸２ａを真空チャンバー１内に導入させる部分から、外気が真空チャンバー１内に侵入しないようにシール部材２ｂを設けている。
【００２６】
また、前記の回転支持体１０の上面に、図２及び図３に示すように、その周方向に所要間隔を介して複数（図に示す例では４つ）の保持凹部１１を設けると共に、各保持凹部１１間を分離させて回転支持体１０の上面を４等分するように、三角形の突状からなる分離凸部１２を中心部から放射状に設けると共に、回転支持体１０の上面の外周に沿って上方に突出した環状凸部１３を設けている。
【００２７】
そして、前記の回転支持体１０の上面に設けられた各保持凹部１１に、図３に示すように、上面が開口された凹部内に蒸着材料Ｔが収容された各蒸着材料収容体３を保持させ、各蒸着材料収容体３の上面が前記の分離凸部１２よりも上方に位置するようにしている。
【００２８】
また、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を露出させる開口部２１が設けられた平面円形状の防着部材２０を、他の蒸着材料収容体３の上面を覆うようにして前記の回転支持体１０の上に配置させるようにしている。
【００２９】
また、この防着部材２０は、その外径が前記の回転支持体１０よりも若干大径になっており、この防着部材２０の外周に沿って下方に延出された側壁部２０ｃによって、前記の回転支持体１０の外周側を覆うようにしている。
【００３０】
また、この防着部材２０の直径方向両側の位置に、それぞれ防着部材２０の外周からそれぞれ反対方向に突出する突出片２２を設け、この両側の突出片２２をそれぞれ真空チャンバー１の底部から真空チャンバー１内に導入された昇降装置４における昇降ロッド４ａに保持させ、この昇降装置４における昇降ロッド４ａによって前記の防着部材２０を回転支持体１０の上方において昇降させるようにしている。なお、昇降装置４における昇降ロッド４ａを真空チャンバー１内に導入させる部分から、外気が真空チャンバー１内に侵入しないようにシール部材４ｂを設けている。
【００３１】
ここで、前記の防着部材２０は、前記の開口部２１が設けられた扇形状の下段部２０ａと、この下段部２０ａよりも高くなったその他の上段部２０ｂとを有する段差状に形成されている。
【００３２】
そして、この実施形態の蒸着装置においては、前記の図１に示すように、真空チャンバー１の側部に設けられたプラズマガン等のビーム出射装置５からプラズマビーム等のビームＢを出射させ、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の凹部内に収容された蒸着材料ＴにビームＢを照射させて蒸着材料Ｔを蒸発させ、蒸発された蒸着材料Ｔを真空チャンバー１内の上部に配置された被処理材Ｗの表面に蒸着させるようにしている。
【００３３】
ここで、この実施形態においては、図６に示すように、前記の昇降装置４に設けられた昇降ロッド４ａにより、前記の防着部材２０を上昇させた後、前記の回転装置２により回転軸２ａを中心にして蒸着材料収容体３が保持された回転支持体１０を回転させ、被処理材Ｗに蒸着させる蒸着材料Ｔが収容された蒸着材料収容体３をビーム照射位置に導き、その後、前記の昇降装置４に設けられた昇降ロッド４ａにより、防着部材２０を下降させるようにする。
【００３４】
そして、このように防着部材２０を下降させて、図１、図４及び図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、この防着部材２０の下段部２０ａに設けられた開口部２１内にビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を導き入れ、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、前記の防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の上面より上に突出させると共に、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を保持する部分を区画するようにして回転支持体１０の上面に放射状に設けられた２つの分離凸部１２を、開口部２１が設けられた扇形の下段部２０ａの下面の下に位置させ、防着部材２０の下段部２０ａの下面と回転支持体１０の上面との隙間が非常に狭くなるようにしている。
【００３５】
そして、このようにビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の上面よりも突出させた状態で、前記のようにビームＢをこの蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔに照射させて、この蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔを蒸発させる。
【００３６】
このようにすると、蒸着材料収容体３の開口された上面から蒸発した蒸着材料Ｔが、蒸着材料収容体３と防着部材２０の開口部２１との間を通して防着部材２０の下面側に流れ込むのが防止されると共に、蒸発した蒸着材料Ｔが防着部材２０の下面側に流れ込んだとしても、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３を保持する部分を区画するようにして回転支持体１０の上面に設けられた前記の２つの分離凸部１２により、この防着部材２０の下段部２０ａの下面と回転支持体１０の上面との隙間が非常に狭くなっているため、防着部材２０の下面側に流れ込んだ蒸着材料Ｔが、防着部材２０の下段部２０ａの下面と回転支持体１０の上面との隙間を通して他の蒸着材料収容体３に導かれるのが防止される。
【００３７】
この結果、この実施形態の蒸着装置においては、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔを蒸発させて被処理材Ｗの表面に蒸着させる際に、前記の蒸着材料収容体３から蒸発された蒸着材料Ｔが、他の蒸着材料収容体３に導かれて他の蒸着材料収容体３内に収容された蒸着材料Ｔに混入するのが適切に防止されるようになる。
【００３８】
また、この実施形態の蒸着装置においては、前記の分離凸部１２が三角形の突状になっているため、前記のように防着部材２０を昇降させる際に、この分離凸部１２の上に蒸着材料Ｔの塊が落ちたとしても、この蒸着材料Ｔの塊が分離凸部１２から回転支持体１０の上に転げ落ちて、蒸着材料Ｔの塊が分離凸部１２と防着部材２０の下面との間に挟まるということもなくなる。
【００３９】
なお、この実施形態においては、回転支持体１０の上面自体に分離凸部１２と環状凸部１３とを設けるようにしたが、図７に示すように、回転支持体１０の上面に着脱自在に装着させる円板部材３０を用いるようにし、この円板部材３０の中央部に回転支持体１０に装着させる取付穴部３１を設けると共に、前記の回転支持体１０における保持凹部１１に対応した貫通孔３２を設け、この円板部材３０の上面に、中央の取付穴部３１から放射状に三角形の突状からなる分離凸部３３を設けると共に、円板部材３０の上面の外周に沿って上方に突出した環状凸部３４を設けるようにすることもできる。このように、回転支持体１０の上面に円板部材３０を着脱自在に装着させると、防着部材２０の下面側に蒸着材料Ｔが流れ込んで、この円板部材３０に蒸着材料Ｔが付着したとしても、この円板部材３０を回転支持体１０の上面から離脱させて簡単に交換できるようになる。
【００４０】
また、この実施形態においては、前記のようにビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の上面より上に突出させるようにしたが、ビーム照射位置に導かれた蒸着材料収容体３の上面を、防着部材２０に設けられた開口部２１の口縁における防着部材２０の下面より上に位置させるようにした場合においても、蒸着材料収容体３の開口された上面から蒸発した蒸着材料Ｔが、蒸着材料収容体３と防着部材２０の開口部２１との間を通して防着部材２０の下面側に流れ込むのが抑制されるようになる。
【００４１】
また、前記の実施形態の蒸着装置において、図８に示すように、前記の防着部材２０の開口部２１の口縁に耐熱リング２３を装着させ、この耐熱リング２３の上面部を内周側から外周側に向かって下方に傾斜させるようにすると、防着部材２０の開口部２１の口縁が熱によって変形するのが耐熱リング２３によって抑制されると共に、開口部２１の口縁に付着した蒸着材料Ｔが、防着部材２０を昇降させる際に剥がれて片鱗となっても、この耐熱リング２３の上面部における外周側に向かって下方に傾斜した面に沿って防着部材２０の上に導かれ、回転支持体１０の上や他の蒸着材料収容体３内に落ちたりするのが防止されるようになる。
【００４２】
さらに、前記の実施形態の蒸着装置においては、蒸着材料Ｔにビーム出射装置５からビームＢを照射させて、蒸着材料Ｔを加熱させるようにしたが、電気ヒーター等の加熱手段（図示せず）を設けて、蒸着材料Ｔを加熱させることも可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１  真空チャンバー
２  回転装置、２ａ  回転軸、２ｂ  シール部材
３  蒸着材料収容体
４  昇降装置、４ａ  昇降ロッド、４ｂ  シール部材
５  ビーム出射装置
１０  回転支持体
１１  保持凹部
１２  分離凸部
１３  環状凸部
２０  防着部材、２０ａ  下段部、２０ｂ  上段部、２０ｃ  側壁部
２１  開口部
２２  突出片
２３  耐熱リング
３０  円板部材
３１  取付穴部
３２  貫通孔
３３  分離凸部
３４  環状凸部
Ｂ  ビーム
Ｔ  蒸着材料
Ｗ  被処理材
【国際調査報告】
2014006706.tif 000011
2014006706.tif 000012
2014006706.tif 000013
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