(57)【要約】【課題】チャンバ内における電極の寿命を正確に判断する。【解決手段】レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
2014017562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
前記充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項２】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項３】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
前記充電器により加えられた充電電圧の値を測定する電圧測定器と、
前記測定された充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項４】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
前記一対の電極間に印加された電圧値を測定する電圧測定器と、
前記一対の電極間を流れる電流値を測定する電流測定器と、
前記測定された電圧値及び電流値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項５】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
前記充電電圧の値に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項６】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電電圧の値に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項７】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
前記充電器により加えられた充電電圧を測定する電圧測定器と、
前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項８】
レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
前記一対の電極間に印加された電圧を測定する電圧測定器と、
前記一対の電極間を流れる電流を測定する電流測定器と、
前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【請求項９】
投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１０】
投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、
前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１１】
投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記充電電圧を測定する工程と、
前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１２】
投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、
前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１３】
投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１４】
投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、
前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１５】
投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記充電電圧を測定する工程と、
前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１６】
投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、
前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
を含むレーザ装置の制御方法。
【請求項１７】
前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項９に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項１８】
前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項１０に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項１９】
前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項１１に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項２０】
前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項１２に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項２１】
前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１３に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項２２】
前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１４に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項２３】
前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１５に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項２４】
前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１６に記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項２５】
レーザチャンバを含みパルスレーザ光を出力するレーザ装置であって、
前記パルスレーザ光のパルスエネルギを計測するエネルギモニタユニットと、
前記パルスエネルギの値に基づき投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
を備えるレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザ装置及びレーザ装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体露光装置（以下、「露光装置」という）においては、半導体集積回路の微細化および高集積化につれて、解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。一般的に、露光用光源には、従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられる。たとえば、露光用のガスレーザ装置としては、波長２４８ｎｍの紫外線のレーザ光を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置、または、波長１９３ｎｍの紫外線のレーザ光を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられる。【０００３】
次世代の露光技術としては、露光装置側の露光用レンズとウエハとの間が液体で満たされる液浸露光が実用化されている。この液浸露光では、露光用レンズとウエハとの間の屈折率が変化するため、露光用光源の見かけの波長が短波長化する。ＡｒＦエキシマレーザ装置を露光用光源として液浸露光が行われた場合には、ウエハには水中において波長１３４ｎｍの波長に相当する紫外光が照射される。この技術をＡｒＦ液浸露光（又はＡｒＦ液浸リソグラフィー）という。【０００４】
ＫｒＦエキシマレーザ装置およびＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振幅は、約３５０〜４００ｐｍと広い。そのため、ＫｒＦ及びＡｒＦレーザ光のような紫外線を透過する材料で投影レンズを構成すると、色収差が発生してしまう場合がある。その結果、解像力が低下してしまう場合がある。そこで、ガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を、色収差が無視できる程度となるまで狭帯域化する必要がある。そのため、ガスレーザ装置のレーザ共振器内には、スペクトル線幅を狭帯域化するために、狭帯域化素子（エタロン、グレーティング等）を有する狭帯域化モジュール（Ｌｉｎｅ  Ｎａｒｒｏｗ  Ｍｏｄｕｌｅ：ＬＮＭ）が設けられる場合がある。以下においては、スペクトル線幅が狭帯域化されるレーザ装置を狭帯域化レーザ装置という。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３４９０１７号公報
【特許文献２】特開２００２−４３２１９号公報
【特許文献３】特開２００２−１５９８６号公報
【特許文献４】特開平１０−２７５９５１号公報
【概要】
【０００６】
レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【０００７】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【０００８】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電器により加えられた充電電圧を測定する電圧測定器と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【０００９】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記一対の電極間に印加された電圧を測定する電圧測定器と、前記一対の電極間を流れる電流を測定する電流測定器と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【００１０】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【００１１】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電電圧の値に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【００１２】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電器により加えられた充電電圧を測定する電圧測定器と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギを算出し、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【００１３】
また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記一対の電極間に印加された電圧を測定する電圧測定器と、前記一対の電極間を流れる電流を測定する電流測定器と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギを算出し、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
【００１４】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００１５】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００１６】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記充電電圧を測定する工程と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００１７】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００１８】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００１９】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００２０】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記充電電圧を測定する工程と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【００２１】
また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】本開示のレーザ装置の構造図
【図２】本開示のレーザ装置における電極の説明図
【図３】本開示のレーザ装置におけるパルスパワーモジュールの説明図
【図４】投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍと電極消耗量Ｒｄとの相関図
【図５】本開示のレーザ装置の制御方法１を説明するフローチャート
【図６】投入エネルギＥｉｎと寿命ショット数Ｂｌｉｆｅとの相関図
【図７】本開示のレーザ装置の制御方法２を説明するフローチャート
【図８】本開示のレーザ装置の制御方法３を説明するフローチャート
【図９】本開示のレーザ装置の制御方法４を説明する説明図
【図１０】本開示のレーザ装置の制御方法４を説明するフローチャート
【図１１】本開示のレーザ装置の制御方法４におけるサブルーチンのフローチャート
【図１２】本開示のダブルチャンバシステムのレーザ装置の構造
【図１３】本開示のダブルチャンバシステムのレーザ装置の制御方法を説明するフローチャート
【実施形態】
【００２３】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示の一例を示し、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。尚、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００２４】
目次
１．エキシマレーザ装置
１．１  課題
１．２  構成
１．３  動作
２．エキシマレーザ装置の寿命の予測方法
２．１  電極寿命の予測とパラメータ
２．２  電極寿命と投入エネルギとの関係
２．３  電極寿命の予測方法１
２．４  電極寿命の予測方法２
２．５  電極寿命の予測方法３
２．６  電極寿命の予測方法４
３．ダブルチャンバシステムの寿命の予測方法
３．１  構成
３．２  動作
３．３  ダブルチャンバシステムの電極寿命の予測方法
【００２５】
１．エキシマレーザ装置
１．１  課題
一般的に、エキシマレーザ装置である半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置は、長時間安定して所望のパルスレーザ光を出力することが求められている。しかしながら、エキシマレーザ装置を長時間レーザ発振させた場合、放電によりレーザチャンバ内の電極が劣化し、所望のエネルギのパルスレーザ光を出力することができなくなってしまう場合がある。
【００２６】
このような、レーザチャンバ内の電極の寿命は、レーザチャンバ内から出射されたレーザパルスの総数が予め定められたしきい値に達したか否かにより予測されていた。しかしながら、レーザチャンバ内の電極の寿命は、電極に投入されるエネルギの大きさによっても変化するため、レーザパルスの総数のみで判断した場合、正確な予測を行うことができない場合もある。
【００２７】
即ち、これまでは、エキシマレーザ装置に搭載されている部品（電極、光学素子）またはモジュール（レーザチャンバ、光学モジュール）等の寿命は、レーザパルスの総数で予測されていた。しかしながら、露光装置の要求に応じて、エキシマレーザ装置から出力されるパルスエネルギを１０ｍJ〜２０ｍJの範囲等で変更できるレーザ装置が求められている。この場合は、投入エネルギや出力されたレーザ光のパルスエネルギによって、部品やモジュールの寿命が異なるため、寿命を正確に予測することができない。よって、このように投入エネルギや出力されたレーザ光のパルスエネルギが変化したとしても、できる限り正確に、部品やモジュールの寿命を予測することのできるレーザ装置が求められている。
【００２８】
１．２  構成
図１に本開示の一態様であるエキシマレーザ装置を示す。このエキシマレーザ装置（本願明細書においては、単にレーザ装置と記載する場合がある）は、レーザチャンバ１０、充電器１２、パルスパワーモジュール（ＰＰＭ：Pulse  Power  Module）１３、レーザ共振器、エネルギモニタユニット１７、制御部３０を含んでいてもよい。レーザチャンバ１０内には、レーザゲイン媒質としてＡｒＦレーザガスが入れられていてもよい。
【００２９】
レーザチャンバ１０は、一対の電極１１ａ及び１１ｂと、レーザ光を透過する２つのウインド１０ａ及び１０ｂと、を含んでいてもよい。
【００３０】
レーザ共振器は、狭帯域化モジュール（ＬＮＭ：Line  Narrowing  Module）１４と、出力結合ミラー（ＯＣ：Output  Coupler）１５を含んでいてもよい。図示はしないが、レーザ共振器の他の形態は、狭帯域化モジュール１４の換わりに高反射ミラー（ＨＲ：High  Reflection  Mirror）を含んでもよい。また、レーザチャンバ１０は、レーザ共振器の光路上に配置されてもよい。
【００３１】
狭帯域化モジュール１４は、プリズム１４ａとグレーティング１４ｂを含んでいてもよい。プリズム１４ａはビームの幅を拡大してもよい。グレーティング１４ｂがリトロー配置され、レーザ装置が目標波長で発振してもよい。
【００３２】
出力結合ミラー１５は、一部のレーザ光を反射し、一部の光を透過させる部分反射ミラーであってもよい。
【００３３】
エネルギモニタユニット１７は、出力結合ミラー１５を透過したレーザ光の光路上に配置されるビームスプリッタ１７ａと集光レンズ１７ｂと光センサ１７ｃとを含んでいてもよい。
【００３４】
パルスパワーモジュール１３は、図１には示されていないコンデンサを含み、電極１１ａ及び１１ｂに接続され、更にスイッチ１３ａを含んでいてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が入力されることで電極１１ａ及び１１ｂの間で放電が生じてもよい。充電器１２は、パルスパワーモジュール１３に設けられているコンデンサに接続されていてもよい。
【００３５】
１．３  動作
制御部３０は、露光装置１００に設けられた露光装置コントローラ１１０から送信された目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号を受信してもよい。
【００３６】
制御部３０は、受信した目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号に基づき、レーザ光のパルスエネルギが目標のパルスエネルギＥｔとなるように充電器１２に所定の充電電圧（Ｖｈｖ）を設定してもよい。制御部３０は、発振トリガ入力から所定時間後にパルスパワーモジュール１３内に設けられたスイッチ１３ａを動作させて、電極１１ａと電極１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。これにより、パルスパワーモジュール１３は、充電器１２により加えられた充電電圧を短パルス化して、電極１１ａと電極１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。
【００３７】
この電圧印加により、電極１１ａと電極１１ｂとの間で放電を発生させ、レーザガスを励起し、励起されたレーザガスより発せられた光を狭帯域化モジュール１４と出力結合ミラー１５との間で共振させ、レーザ発振させてもよい。この際、プリズム１４ａとグレーティング１４ｂによって狭帯域化されたレーザ光が出力結合ミラー１５を透過して出力されてもよい。
【００３８】
出力結合ミラー１５を透過し、ビームスプリッタ１７ａで反射したレーザ光は、光センサｃに入射してもよい。このように、ビームスプリッタ１７ａにおいて一部反射されたレーザ光は、集光レンズ１７ｂを介し光センサ１７ｃに入射してもよい。光センサ１７ｃによりレーザ光のパルスエネルギが検出されてもよい。ビームスプリッタ１７ａを透過したレーザ光は、露光装置１００に入射してもよい。
【００３９】
制御部３０には、記憶部３１が設けられており、その記憶部３１に、充電電圧Ｖｈｖと出力されたパルスエネルギＥの一方又は双方が記憶されてもよい。
【００４０】
上述した動作を繰り返し行うことにより、各々のパルスにおける充電電圧Ｖｈｖ（Ｖｈｖ１、Ｖｈｖ２、・・・・・、Ｖｈｖｎ）を記憶させてもよい。
【００４１】
制御部３０は、目標のパルスエネルギＥｔと光センサ１７ｃにより検出されたエネルギＥの差ΔＥに基づいて、次のレーザ発振に用いられる充電電圧Ｖｈｖを定めるフィードバック制御を行ってもよい。
【００４２】
制御部３０は、各々のパルスの充電電圧Ｖｈｖ（Ｖｈｖ１、Ｖｈｖ２、・・・・・、Ｖｈｖｎ）に基づいて、レーザチャンバ１０内に設けられている電極１１ａ及び１１ｂの寿命を予測してもよい。
【００４３】
２．エキシマレーザ装置の寿命の予測方法
２．１  電極寿命の予測とパラメータ
レーザチャンバ１０内に設けられている電極１１ａ及び１１ｂの消耗量は、以下のパラメータの影響を受ける場合がある。
【００４４】
１）  電極の放電面の面積Ｓ
２）  電極への投入エネルギＥｉｎ
３）  電極材料毎の消耗速度係数α
これらのパラメータについて、以下に説明する。
【００４５】
１）  電極の放電面の面積Ｓ
まず、電極１１ａ及び１１ｂにより形成される放電領域について図２に基づき説明する。図２（ａ）は、レーザチャンバ１０内に設けられた電極１１ａ及び１１ｂの側面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）における一点鎖線２Ａ−２Ｂにおいて切断した断面図である。レーザチャンバ１０内に配置される一対の電極１１ａ及び１１ｂは、所定の放電領域１１ｈが形成されるように、所定の位置に配置されてもよい。電極１１ａと電極１１ｂとのギャップをＧとする。
【００４６】
ここで、電極１１ａ及び１１ｂの幅をＷ、長さをＬとすると、電極１１ａ及び１１ｂの放電面の面積Ｓを求める式は、Ｓ≒Ｗ×Ｌとなる。
【００４７】
ここで、実際の放電の幅と電極１１ａ及び１１ｂの幅Ｗとが一致しない場合、また、実際の放電の電極長手方向の長さと電極１１ａ及び１１ｂの長さＬとが一致しない場合には、実際に電極１１ａ及び１１ｂの表面で放電する部分に基づいて、放電面の面積Ｓを算出してもよい。放電面の面積Ｓは、使用済み電極の消耗している部分を計測し、それを放電面の面積Ｓとしてもよい。
【００４８】
また、一対の電極１１ａ及び１１ｂにおいて、電極の幅や長さが互いに異なる場合、Ｌを短い方の電極の長さとし、Ｗを狭い方の電極の幅として放電面の面積Ｓを算出してもよい。放電領域１１ｈは一対の電極１１ａと１１ｂとの間の空間であり、その体積はＷ×Ｌ×Ｇで近似される。
【００４９】
２）  電極への投入エネルギＥｉｎ
次に、電極１１ａ及び１１ｂへの投入エネルギＥｉｎについて説明する。図３は、充電器１２、パルスパワーモジュール１３等の電気回路を示す。
【００５０】
パルスパワーモジュール１３は、スイッチ１３ａである半導体スイッチと、磁気スイッチＭＳ１、ＭＳ２、ＭＳ３と、コンデンサＣ０と、コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４を含んでいてもよい。磁気スイッチに印加される電圧の時間積分値がしきい値に達すると、その磁気スイッチに電流が流れ易くなる。以下の説明では、磁気スイッチに電流が流れ易くなっている状態を、磁気スイッチが閉じていると記載する。しきい値は磁気スイッチ毎に異なる値である。
【００５１】
また、スイッチ１３ａはコンデンサＣ０とコンデンサＣ１とを接続する電線に設けられていてもよい。磁気スイッチＭＳ１はコンデンサＣ１とコンデンサＣ２との間に設けられていてもよい。磁気スイッチＭＳ２はコンデンサＣ２とコンデンサＣ３との間に設けられていてもよい。磁気スイッチＭＳ３はコンデンサＣ３とコンデンサＣ４との間に設けられていてもよい。
【００５２】
また、コンデンサＣ０の両端の電極に接続された電圧測定器４１が必要に応じて設けられていてもよい。電圧測定器４１はコンデンサＣ０に印加されている電圧を測定してもよい。また、電極１１ａと電極１１ｂに接続された電圧測定器５１及び、コンデンサＣ４の一方の電極と電極１１ａとの間の回路上に電流測定器５２が必要に応じて設けられていてもよい。電流測定器５２としては例えばカレントプローブであってもよい。電圧測定器５１は電極１１ａと電極１１ｂとの間の電圧を測定してもよい。電流測定器５２は電極１１ａと電極１１ｂとの間の放電の際に流れる電流を測定してもよい。
【００５３】
制御部３０は、コンデンサＣ０に電荷を充電するときの電圧Ｖｈｖの指令値を充電器１２に設定する。この指令値に基づき充電器１２はコンデンサＣ０に印加される電圧がＶｈｖとなるようにコンデンサＣ０に電荷を充電してもよい。
【００５４】
次に、制御部３０から、スイッチ１３ａに信号が送信されると、スイッチ１３ａが閉じ、コンデンサＣ０からコンデンサＣ１へ電流Ｉ１が流れ、コンデンサＣ１が充電されてもよい。
【００５５】
次に、磁気スイッチＭＳ１が閉じ、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２へ電流Ｉ２が流れ、コンデンサＣ２に電荷が充電されてもよい。この際、電流Ｉ２のパルス幅がＩ１のパルス幅よりも短くなってコンデンサＣ２に電荷が充電されてもよい。
【００５６】
次に、磁気スイッチＭＳ２が閉じ、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３へ電流Ｉ３が流れ、コンデンサＣ３に電荷が充電されてもよい。この際、電流Ｉ３のパルス幅がＩ２のパルス幅よりも短くなってコンデンサＣ３に電荷が充電されてもよい。
【００５７】
次に、磁気スイッチＭＳ３が閉じ、コンデンサＣ３からコンデンサＣ４へ電流Ｉ４が流れ、コンデンサＣ４に電荷が充電されてもよい。この際、電流Ｉ４のパルス幅がＩ３のパルス幅よりも短くなってコンデンサＣ４に電荷が充電されてもよい。
【００５８】
このように、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３、コンデンサＣ３からコンデンサＣ４へと電流が順次流れることにより、パルス幅が短くなり、コンデンサＣ４に電荷が充電されてもよい。
【００５９】
この後、コンデンサＣ４からレーザチャンバ１０内に設けられた電極１１ａと電極１１ｂとの間に電圧が印加され、電極１１ａと電極１１ｂとの間におけるレーザガス中において放電が生じてもよい。
【００６０】
電極１１ａ及び１１ｂに投入されるエネルギは、コンデンサＣ０に印加された電圧ＶｈｖとコンデンサＣ０の容量Ｃ０Ｃから計算される。即ち、電極への投入エネルギＥｉｎは、下記（１）に示す式で表わされる。尚、ｋは図３の電気回路の電荷の減衰量を示す係数である。
Ｅｉｎ＝ｋ×Ｃ０Ｃ×（Ｖｈｖ）２／２・・・・・・・（１）
【００６１】
３）  電極材料毎の消耗速度係数α
次に、電極材料毎の消耗速度係数αについて説明する。電極１１ａ及び１１ｂの消耗量は、電極１１ａ及び１１ｂを形成している材料に依存する。このため、電極１１ａ及び１１ｂを形成している材料の消耗速度係数αをあらかじめ測定しておき、電極１１ａ及び１１ｂの寿命を予測する際に用いてもよい。
【００６２】
２．２  電極寿命と投入エネルギとの関係
図４には、電極１１ａ及び１１ｂにおける電極消耗量Ｒｄと電極１１ａ及び１１ｂへの投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの関係について発明者が測定を行った結果を示す。図４に示される結果より、電極１１ａ及び１１ｂにおける電極消耗量Ｒｄと電極１１ａ及び１１ｂへの投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとは、略比例の関係にある。
【００６３】
ここで、図４に示される電極消耗量Ｒｄの値が１０となった場合に、所望のレーザの性能（例えば、所望の出力されるパルスエネルギ）が維持できなくなると定める。このように定めておけば、パルスレーザ発振を繰り返した場合、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが１９０×１０９Ｊとなったときに、電極１１ａ及び１１ｂは、電極の寿命を迎えたと予測することができる。即ち、この場合においては、１９０×１０９Ｊが電極寿命となる投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅとなる。
【００６４】
以上のように、電極１１ａ及び１１ｂにおける電極寿命は、電極１１ａ及び１１ｂに投入したエネルギの積算値に基づき判断することが可能である。
【００６５】
ｉ番目のパルスレーザ発振で電極１１ａ及び１１ｂに投入されるエネルギＥｉｎｉは、上記（１）式により充電電圧ＶＨｖｉとパルスパワーモジュール１３に設けられているコンデンサＣ０の容量Ｃ０Ｃから、下記の（２）に示す式より算出することができる。
Ｅｉｎｉ＝ｋ×Ｃ０Ｃ×（Ｖｈｖｉ）２／２・・・・・・・・・・・（２）
【００６６】
従って、パルスレーザ発振回数がｎのとき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍは、下記の（３）に示す式となる。
Ｅｉｎｓｕｍ＝ΣＥｉｎｉ＝Ｅｉｎ１＋Ｅｉｎ２＋・・・・・・・＋Ｅｉｎｎ
＝ｋ×（Ｃ０Ｃ／２）Σ（Ｖｈｖｉ）２・・・・・・・（３）
【００６７】
電極１１ａ及び１１ｂの消耗速度係数αは、図４に示されるようなグラフに基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに対する電極消耗量Ｒｄの勾配より求めることができる。
αの値が定まったら、電極消耗量Ｒｄは、下記の（４）に示される式によって算出してもよい。
Ｒｄ＝α×Ｅｉｎｓｕｍ
＝ｋ×α×（Ｃ０Ｃ／２）Σ（Ｖｈｖｉ）２・・・・・・（４）
【００６８】
従って、電極１１ａ及び１１ｂの寿命は、電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに基づき予測することができる。
【００６９】
ここで、レーザの性能（例えば、出力されるパルスエネルギ）が維持できなくなる時点での電極１１ａ及び１１ｂの電極消耗量をＲｄｌｉｆｅとすると、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅとの関係は、下記の（５）に示される式となる。
Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅ＝Ｒｄｌｉｆｅ／α・・・・・・・・・・・（５）
【００７０】
（５）に示される式から、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅは、電極消耗量Ｒｄｌｉｆｅと、電極１１ａ及び１１ｂにおける放電面の面積Ｓと、電極１１ａ及び１１ｂの消耗速度係数αから算出することができる。
【００７１】
電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたか否かは、下記の（６）式の関係になったときに寿命を迎えたと判断してもよい。電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたと判断された場合には、電極が寿命を迎えた旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅ＜Ｅｉｎｓｕｍ・・・・・・・・・・・・・（６）
【００７２】
更には、電極１１ａ及び１１ｂの寿命が近いことを知るため、下記の（７）に示される式の関係となったときに電極の寿命が近い旨の判断を行ってもよい。電極の寿命が近い旨の判断がされた場合には、電極の寿命が近い旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。尚、βは０．８≦β＜１の範囲の値でもよい。
β×Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅ＜Ｅｉｎｓｕｍ・・・・・・・・・・・（７）
【００７３】
上記においては、充電電圧Ｖｈｖｉは充電器１２において設定された値を用いた場合について説明した。しかしながら、図３に示される電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出してもよい。図３に示される電圧測定器５１及び電流測定器５２により測定された電極１１ａ及び１１ｂに印加される電圧値と電流値に基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出してもよい。
【００７４】
２．３  電極寿命の予測方法１
図５に基づき、レーザ装置の制御方法、特に電極寿命の予測方法について説明する。
【００７５】
最初に、制御部３０は、ステップＳ１０２において、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、読込まれた投入エネルギの積算値をＥｉｎｓｕｍとしてもよい。既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍ＝０としてもよい。
【００７６】
次に、制御部３０は、ステップＳ１０４において、充電器１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖを読み込んでもよい。
【００７７】
次に、制御部３０は、ステップＳ１０６において、充電器１２により、コンデンサＣ０に電圧Ｖｈｖを印加してもよい。
【００７８】
次に、制御部３０は、ステップＳ１０８において、レーザチャンバ１０内における電極１１ａと電極１１ｂとの間において、放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ１１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ１０４に移行してもよい。この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。レーザ光がエネルギモニタユニット１７により検出されたか否かにより判断してもよい。
【００７９】
次に、ステップＳ１１０において、投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。具体的には、下記（１）式に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。尚、ｋは係数である。
Ｅｉｎ＝ｋ×Ｃ０Ｃ×（ＶＨｖ）２／２・・・・・・・（１）
【００８０】
次に、制御部３０は、ステップＳ１１２において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、ステップＳ１１０において算出した投入エネルギＥｉｎを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとしてもよい。
【００８１】
次に、制御部３０は、ステップＳ１１４において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているものと判断された場合には、ステップＳ１１６に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ１０４に移行してもよい。
【００８２】
次に、ステップＳ１１６において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命となったためレーザチャンバ１０が寿命である旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。また、外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
【００８３】
次に、制御部３０は、ステップＳ１１８において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ１０４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０のシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂ間のギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
【００８４】
投入エネルギＥｉｎの他の算出方法について説明する。投入エネルギＥｉｎの算出は、電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器４１によるコンデンサＣ０の電圧の測定は、ステップＳ１０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器４１により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖと置き換えて投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【００８５】
また、電圧測定器５１及び電流測定器５２において測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。この場合、電圧測定器５１及び電流測定器５２における電圧及び電流の測定は、ステップＳ１０８の工程等において併せて行ってもよい。また、電圧測定器５１において測定された電圧と、電流測定器５２において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【００８６】
２．４  電極寿命の予測方法２
次に、図６に基づき、電極寿命の他の予測方法について説明する。図６に示される電極寿命の予測方法は、投入エネルギＥｉｎと寿命となるショット数Ｂｌｉｆｅとの関係に基づき判断されてもよい。
【００８７】
具体的には、図６に示される投入エネルギＥｉｎと、電極が寿命を迎えるショット数Ｂｌｉｆｅの関係について、試験により予め計測されてもよい。これにより得られる寿命ショット数Ｂｌｉｆｅ＝ｆ（Ｅｉｎ）の近似関数が制御部３０の記憶部３１に記憶されてもよい。寿命ショット数Ｂｌｉｆｅ＝ｆ（Ｅｉｎ）の近似関数から投入エネルギＥｉｎが変化した際の寿命が予測されてもよい。
【００８８】
下記（８）に示される式より寿命指標値Ｌｆを算出し、１＜Ｌｆとなった場合には、電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたと判断してもよい。
Ｌｆ＝Σ１／ｆ（Ｅｉｎｉ）・・・・・・・・・・・・・・・（８）
【００８９】
寿命指標値Ｌｆが、１＜Ｌｆとなった場合には、電極が寿命を迎えた旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。尚、寿命指標値Ｌｆが、０．８≦Ｌｆ≦１の範囲の値となった場合には、電極の寿命が近い旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
【００９０】
図７に基づき、この電極寿命の予測方法について、より詳細に説明する。
【００９１】
最初に、制御部３０は、ステップＳ２０２において、現時点の寿命指標値Ｌｆを読み込んでもよい。現時点の寿命指標値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときの寿命指標値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、寿命指標値Ｌｆ＝０としてもよい。
【００９２】
次に、制御部３０はステップＳ２０４において、充電器１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖを読み込んでもよい。
【００９３】
次に、制御部３０はステップＳ２０６において、充電器１２により、充電電圧Ｖｈｖとなるように、コンデンサＣ０に電圧を印加してもよい。
【００９４】
次に、制御部３０はステップＳ２０８において、レーザチャンバ１０内における電極１１ａと電極１１ｂとの間において放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ２１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ２０４に移行してもよい。尚、この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。また、レーザ光がエネルギモニタユニット１７において検出されたか否かにより判断してもよい。
【００９５】
次に、制御部３０はステップＳ２１０において、投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。具体的には、前記（１）式に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【００９６】
次に、制御部３０はステップＳ２１２において、ステップＳ２１０において算出された投入エネルギＥｉｎに基づき寿命ショット数ＢｌｉｆｅをＢｌｉｆｅ＝ｆ（Ｅｉｎ）の近似式より算出してもよい。
【００９７】
次に、制御部３０はステップＳ２１４において、現在の寿命指標値Ｌｆに、ステップＳ２１２において算出された寿命ショット数Ｂｌｉｆｅの逆数を加え、新たな寿命指標値Ｌｆとしてもよい。
【００９８】
次に、制御部３０はステップＳ２１６において、寿命指標値Ｌｆが１を超えているか否かを判断してもよい。寿命指標値Ｌｆが１を超えているものと判断された場合には、ステップＳ２１８に移行してもよい。一方、寿命指標値Ｌｆが１を超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ２０４に移行してもよい。
【００９９】
次に、制御部３０はステップＳ２１８において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えためレーザチャンバ１０が寿命を迎えた旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
【０１００】
次に、ステップＳ２２０において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ２０４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０におけるシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂ間のギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
【０１０１】
投入エネルギＥｉｎの算出は、電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器４１によるコンデンサＣ０の電圧の測定は、ステップＳ２０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器４１により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖと置き換えて投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【０１０２】
また、電圧測定器５１及び電流測定器５２において測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。この場合、電圧測定器５１及び電流測定器５２における電圧及び電流の測定は、ステップＳ２０８の工程等において併せて行ってもよい。また、電圧測定器５１において測定された電圧と、電流測定器５２において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【０１０３】
２．５  電極寿命の予測方法３
図８に基づき電極寿命の更に他の予測方法について説明する。
【０１０４】
最初に、制御部３０は、ステップＳ３０２において、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出してもよい。具体的には、制御部３０が、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅから、読込まれた投入エネルギの積算値を引き、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出してもよい。また、現在までに電極１１ａ及び１１ｂに投入された投入エネルギの積算値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極１１ａ及び１１ｂに投入された投入エネルギの積算値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われている場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値は０としてもよい。この場合には、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬは投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅに等しくなる。
【０１０５】
次に、制御部３０は、ステップＳ３０４において、充電器１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖを読み込んでもよい。
【０１０６】
次に、制御部３０は、ステップＳ３０６において、充電器１２により、コンデンサＣ０に電圧Ｖｈｖを印加してもよい。
【０１０７】
次に、制御部３０は、ステップＳ３０８において、レーザチャンバ１０内における電極１１ａと電極１１ｂとの間において、放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ３１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ３０４に移行してもよい。尚、この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。また、レーザ光がエネルギモニタユニット１７において検出されたか否かにより判断してもよい。
【０１０８】
次に、制御部３０は、ステップＳ３１０において、投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。具体的には、前記（１）に示す式に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【０１０９】
次に、制御部３０は、ステップＳ３１２において、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬから、ステップＳ３１０において算出した投入エネルギＥｉｎを減ずることにより、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとしてもよい。
【０１１０】
次に、制御部３０は、ステップＳ３１４において、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０よりも小さいか否かを判断してもよい。投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０よりも小さいと判断された場合には、ステップＳ３１６に移行してもよい。一方、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０よりも小さくはないと判断された場合には、ステップＳ３０４に移行してもよい。
【０１１１】
次に、制御部３０は、ステップＳ３１６において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたためレーザチャンバ１０が寿命を迎えた旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等にレーザチャンバ１０が寿命を迎えた旨を表示してもよい。
【０１１２】
次に、制御部３０は、ステップＳ３１８において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ３０４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０におけるシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂにおけるギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂにおける位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂにおける位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
【０１１３】
投入エネルギＥｉｎの算出は、電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器４１によるコンデンサＣ０の電圧の測定は、ステップＳ３０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器４１により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖと置き換えて投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【０１１４】
また、電圧測定器５１及び電流測定器５２において測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。この場合、電圧測定器５１及び電流測定器５２における電圧及び電流の測定は、ステップＳ３０８の工程等において併せて行ってもよい。また、電圧測定器５１において測定された電圧と、電流測定器５２において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
【０１１５】
２．６  電極寿命の予測方法４
次に、更に他の電極寿命の予測方法について説明する。
【０１１６】
電極寿命を予測する場合には、パルスレーザ光のパルスエネルギＥをモニタして、パルスエネルギＥの値に対応した投入エネルギＥｉｎの値より、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを近似してもよい。
【０１１７】
例えば、図９に示すように、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１０ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎａ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｂ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｃ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｄ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１５ｍＪ以上である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｅ（Ｊ）としてもよい。
【０１１８】
このようにして得られた投入エネルギＥｉｎの値より、下記の（９）に示す式に基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを近似してもよい。
Ｅｉｎｓｕｍ≒ｎａ×Ｅｉｎａ＋ｎｂ×Ｅｉｎｂ＋ｎｃ×Ｅｉｎｃ＋ｎｄ×Ｅｉｎｄ＋ｎｅ×Ｅｉｎｅ・・・・・・・・・・・・・・・（９）
尚、ｎａは、パルスエネルギＥが、１０ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｂは、パルスエネルギＥが、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｃは、パルスエネルギＥが、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｄは、パルスエネルギＥが、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｅは、パルスエネルギＥが、１５ｍＪ以上のパルスレーザ光のショット数
次に、この電極寿命の予測方法について、図１０に基づきより詳細に説明する。
【０１１９】
最初に、制御部３０は、ステップＳ３３２において、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、読込まれた投入エネルギの積算値をＥｉｎｓｕｍとしてもよい。既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値であってもよい。具体的には、レーザチャンバ１０が、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍ＝０としてもよい。
【０１２０】
次に、制御部３０は、ステップＳ３３４において、レーザ発振したか否かを判断してもよい。具体的には、エネルギモニタユニット１７における光センサ１７ｃにおいて、パルスレーザ光を検出したか否かにより、レーザ発振したか否かを判断してもよい。レーザ発振したものと判断された場合には、ステップＳ３３６に移行してもよい。一方、レーザ発振していないものと判断された場合には、ステップＳ３３４を繰り返してもよい。
【０１２１】
次に、エネルギモニタユニット１７における光センサ１７ｃは、ステップＳ３３６において、パルスレーザ光のパルスエネルギＥを計測してもよい。
【０１２２】
次に、制御部３０は、ステップＳ３３８において、後述するパルスエネルギの範囲を特定するサブルーチンを行ってもよい。これにより、ステップＳ３３６において計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥより、対応する投入エネルギＥｉｎを得てもよい。
【０１２３】
次に、制御部３０は、ステップＳ３４０において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、ステップＳ３３８おいて得られた投入エネルギＥｉｎを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとしてもよい。
【０１２４】
次に、制御部３０は、ステップＳ３４２において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているものと判断された場合には、ステップＳ３４４に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ３３４に移行してもよい。
【０１２５】
次に、ステップＳ３４４において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命となったためレーザチャンバ１０が寿命である旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。また、外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
【０１２６】
次に、制御部３０は、ステップＳ３４６において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ３３４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０のシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂ間のギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
【０１２７】
次に、図１１に基づき図１０のステップＳ３３８におけるパルスエネルギの範囲を特定するサブルーチンについて説明する。このサブルーチンは、制御部３０において行われるものであって、ステップＳ３３６において計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥより、対応する投入エネルギＥｉｎを得るサブルーチンであってもよい。
【０１２８】
最初に、ステップＳ３５２において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ未満であるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ未満である場合には、ステップＳ３５４に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ未満ではない場合には、ステップＳ３５６に移行してもよい。
【０１２９】
次に、ステップＳ３５４において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎａと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
【０１３０】
次に、ステップＳ３５６において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満の範囲内にあるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満の範囲内にある場合には、ステップＳ３５８に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満の範囲内にはない場合には、ステップＳ３６０に移行してもよい。
【０１３１】
次に、ステップＳ３５８において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｂと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
【０１３２】
次に、ステップＳ３６０において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満の範囲内にあるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満の範囲内にある場合には、ステップＳ３６２に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満の範囲内にはない場合には、ステップＳ３６４に移行してもよい。
【０１３３】
次に、ステップＳ３６２において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｃと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
【０１３４】
次に、ステップＳ３６４において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満の範囲内にあるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満の範囲内にある場合には、ステップＳ３６６に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満の範囲内にはない場合には、ステップＳ３６８に移行してもよい。
【０１３５】
次に、ステップＳ３６６において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｄと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
【０１３６】
次に、ステップＳ３６８において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｅと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
【０１３７】
３．ダブルチャンバエキシマレーザ装置の寿命の予測方法
３．１  構成
ダブルチャンバエキシマレーザ装置について説明する。図１２に示されるように、ダブルチャンバエキシマレーザ装置は、ＭＯ２００、ＰＯ３００、制御部２３０、高反射ミラー２６１、２６２を含んでいてもよい。ＭＯとＰＯは、それぞれmaster  oscillator、power  oscillatorの略語である。
【０１３８】
ＭＯ２００は、図１に示されるレーザ装置と同様の構造であってもよい。具体的には、ＭＯ２００は、ＭＯレーザチャンバ２１０、ＭＯ充電器２１２、ＭＯパルスパワーモジュール２１３、レーザ共振器、ＭＯエネルギモニタユニット２１７を含んでいてもよい。
【０１３９】
ＭＯレーザチャンバ２１０は、一対の電極２１１ａ及び２１１ｂと、レーザ光が透過する２つのウインド２１０ａ及び２１０ｂと、を含んでいてもよい。
【０１４０】
レーザ共振器は、狭帯域化モジュール２１４と、ＭＯ出力結合ミラー２１５を含んでいてもよい。ＭＯレーザチャンバ２１０は、レーザ共振器の光路上に配置されてもよい。
【０１４１】
狭帯域化モジュール２１４は、プリズム２１４ａとグレーティング２１４ｂを含んでいてもよい。プリズム２１４ａはビームの幅を拡大してもよい。グレーティング２１４ｂがリトロー配置され、レーザ装置が目標波長で発振してもよい。
【０１４２】
ＭＯ出力結合ミラー２１５は、一部のレーザ光を反射し、一部のレーザ光を透過させる部分反射ミラーであってもよい。
【０１４３】
ＭＯエネルギモニタユニット２１７は、ＭＯ出力結合ミラー２１５を透過したレーザ光の光路上に配置されるビームスプリッタ２１７ａと集光レンズ２１７ｂと光センサ２１７ｃとを含んでいてもよい。
【０１４４】
ＭＯパルスパワーモジュール２１３は、図１２には示されていないコンデンサを含んでおり、電極２１１ａ及び２１１ｂに接続され、更にスイッチ２１３ａを含んでいてもよい。スイッチ２１３ａにトリガ信号が入力されることで電極２１１ａ及び２１１ｂの間で放電が生じてもよい。ＭＯ充電器２１２は、ＭＯパルスパワーモジュール２１３に設けられているコンデンサに接続されていてもよい。
【０１４５】
ＰＯ３００は、ＰＯレーザチャンバ３１０、ＰＯ充電器３１２、ＰＯパルスパワーモジュール３１３、レーザ共振器、ＰＯエネルギモニタユニット３１７を含んでいてもよい。
【０１４６】
ＰＯレーザチャンバ３１０は、一対の電極３１１ａ及び３１１ｂと、レーザ光が透過する２つのウインド３１０ａ及び３１０ｂと、を含んでいてもよい。
【０１４７】
レーザ共振器は、部分反射ミラー３１８とＰＯ出力結合ミラー３１５を含んでいてもよい。ＰＯレーザチャンバ３１０は、レーザ共振器の光路上に配置されてもよい。
【０１４８】
ＰＯ出力結合ミラー３１５は、一部のレーザ光を反射し、一部のレーザ光を透過させる部分反射ミラーであってもよい。
【０１４９】
ＰＯエネルギモニタユニット３１７は、ＰＯ出力結合ミラー３１５を透過したレーザ光の光路上に配置されるビームスプリッタ３１７ａと集光レンズ３１７ｂと光センサ３１７ｃとを含んでいてもよい。
【０１５０】
ＰＯパルスパワーモジュール３１３は、図１２には示されていないコンデンサを含み、電極３１１ａ及び３１１ｂに接続され、更にスイッチ３１３ａを含んでいてもよい。スイッチ３１３ａにトリガ信号が入力されることで電極３１１ａ及び３１１ｂの間で放電が生じてもよい。ＰＯ充電器３１２は、ＰＯパルスパワーモジュール３１３に設けられているコンデンサに接続されていてもよい。
【０１５１】
３．２  動作
制御部２３０は、露光装置１００に設けられた露光装置コントローラ１１０から送信された目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号を受信してもよい。
【０１５２】
制御部２３０は、受信した目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号に基づき、ＰＯ３００から出力されるレーザ光のパルスエネルギが目標のパルスエネルギＥｔとなるように、ＭＯ充電器２１２に所定の充電電圧（Ｖｈｖｍｏ）を設定し、ＰＯ充電器３１２にも所定の充電電圧（Ｖｈｖｐｏ）を設定してもよい。
【０１５３】
制御部２３０は、発振トリガ入力から所定時間後にＭＯパルスパワーモジュール２１３内に設けられたスイッチ２１３ａを動作させて、電極２１１ａと電極２１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。スイッチ２１３ａの動作から予め定められた更に他の所定時間後にＰＯパルスパワーモジュール３１３内に設けられたスイッチ３１３ａを動作させて、電極３１１ａと電極３１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。
【０１５４】
制御部２３０から送信されたトリガ信号をＭＯパルスパワーモジュール２１３のスイッチ２１３ａが受信した場合にＭＯレーザチャンバ２１０の電極２１１ａと２１１ｂとの間で放電が生じてもよい。
【０１５５】
ＭＯレーザチャンバ２１０の電極２１１ａと２１１ｂとの間で放電が発生すると、レーザガスが励起され、励起されたレーザガスより光が発生し得る。その光がＭＯ出力結合ミラー２１５と狭帯域化モジュール２１４との間で共振し、レーザ発振し得る。プリズム２１４ａとグレーティング２１４ｂによって狭帯域化されたレーザ光の一部はＭＯ出力結合ミラー２１５を透過して出力されてもよい。出力されたレーザ光の一部がビームスプリッタ２１７ａで反射し、そのパルスエネルギＥｍｏがＭＯエネルギモニタユニット２１７において検出され、検出されたパルスエネルギＥｍｏの値は、制御部２３０に送信されてもよい。
【０１５６】
ＭＯ２００より出力され、ビームスプリッタ２１７ａを透過したレーザ光（シード光）は、高反射ミラー２６１及び２６２において反射され、ＰＯ３００に設けられた部分反射ミラー３１８に入射してもよい。
【０１５７】
部分反射ミラー３１８では、入射したレーザ光の一部が透過し、ＰＯレーザチャンバ３１０の電極３１１ａと３１１ｂとの間の空間に入射してもよい。ＭＯ２００から出力されたレーザ光が部分反射ミラー３１８を介し、ＰＯレーザチャンバ３１０の電極３１１ａと３１１ｂとの間の空間に存在するタイミングで、ＰＯレーザチャンバ３１０内の電極３１０ａと３１０ｂとの間で放電させ、レーザガスを励起してもよい。
【０１５８】
これにより、ＰＯ３００に入射したレーザ光は増幅され、ＰＯ出力結合ミラー３１５を透過しレーザ光が出力されてもよい。ＰＯ出力結合ミラー３１５を透過し出力されたレーザ光の一部がビームスプリッタ３１７ａで反射し、そのパルスエネルギＥｐｏがＰＯエネルギモニタユニット３１７において検出され、検出されたパルスエネルギＥｐｏの値は、制御部２３０に送信されてもよい。
【０１５９】
ＭＯ２００における充電電圧Ｖｈｖｍｏの制御では、パルスエネルギＥｍｏの値に基づき、ＭＯ２００の次の出力光エネルギが所定のパルスエネルギＥｍｏｔに近づくように充電電圧をフィードバック制御してもよい。
【０１６０】
ＰＯ３００における充電電圧Ｖｈｖｐｏの制御では、パルスエネルギＥｐｏの値に基づき、ＰＯ３００の次の出力光エネルギが目標のパルスエネルギＥｔに近づくように、充電電圧をフィードバック制御してもよい。
【０１６１】
制御部２３０は、充電電圧ＶｈｖｍｏとパルスエネルギＥｍｏに基づいて、ＭＯ２００におけるＭＯレーザチャンバ２１０内の電極２１１ａ及び２１１ｂの電極寿命の判断を行ってもよい。
【０１６２】
制御部２３０は、充電電圧ＶｈｖｐｏとパルスエネルギＥｐｏに基づいて、ＰＯ３００におけるＰＯレーザチャンバ３１０内の電極３１１ａ及び３１１ｂの電極寿命の予測を行ってもよい。予測方法の詳細は後に説明される。
【０１６３】
更に、ＭＯ２００に搭載されていたチャンバが、その後、ＰＯ３００に搭載された場合には、充電電圧Ｖｈｖｍｏ、パルスエネルギＥｍｏ、充電電圧Ｖｈｖｐｏ、パルスエネルギＥｐｏに基づいて、電極の電極寿命の予測を行ってもよい。予測方法の詳細は後に説明される。
【０１６４】
この場合、チャンバをＭＯ２００からＰＯ３００に移動させた場合においても、電極の電極寿命の予測を正確に行うことが可能となる。
【０１６５】
３．３  ダブルチャンバエキシマレーザ装置の電極寿命の予測方法
図１３に基づきレーザ装置の制御方法であって、ダブルチャンバエキシマレーザ装置の電極寿命の予測方法について説明する。ダブルチャンバエキシマレーザ装置の電極寿命の予測方法の主要部分は、図５で説明された予測方法がＭＯ２００とＰＯ３００それぞれに適用されている。
【０１６６】
最初に、制御部２３０は、ステップＳ４０２において、現在までに電極２１１ａ及び２１１ｂに投入された投入エネルギの積算値を読み込み、読込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏとしてもよい。既に電極２１１ａ及び２１１ｂに投入されたエネルギの積算値は、ＭＯレーザチャンバ２１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極２１１ａ及び２１１ｂに投入されたエネルギの積算値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極２１１ａ及び２１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極２１１ａ及び２１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏ＝０としてもよい。
【０１６７】
次に、制御部２３０は、ステップＳ４０４において、ＭＯ充電器２１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖｍｏを読み込んでもよい。
【０１６８】
次に、制御部２３０は、ステップＳ４０６において、ＭＯ充電器２１２により、コンデンサＣｍｏ０に電圧Ｖｈｖｍｏを印加してもよい。そのコンデンサの容量はＣｍｏ０Ｃである。
【０１６９】
次に、制御部２３０は、ステップＳ４０８において、ＭＯレーザチャンバ２１０内における電極２１１ａと電極２１１ｂとの間において放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ４１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ４０４に移行してもよい。尚、この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ２１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。レーザ光がＭＯエネルギモニタユニット２１７により検出されたか否かにより判断してもよい。
【０１７０】
次に、ステップＳ４１０において、投入エネルギＥｉｎｍｏを算出してもよい。具体的には、下記（１０）に示す式に基づき投入エネルギＥｉｎｍｏを算出してもよい。尚、ｋｍｏは係数である。
Ｅｉｎｍｏ＝ｋｍｏ×Ｃｍｏ０Ｃ×（Ｖｈｖｍｏ）２／２・・・・・（１０）
【０１７１】
次に、ステップＳ４１２において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏに、ステップＳ４１０において算出した投入エネルギＥｉｎｍｏを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏとしてもよい。
【０１７２】
次に、ステップＳ４１４において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏが、ＭＯ２００の投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｍｏを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｍｏを超えているものと判断された場合には、ステップＳ４１６に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｍｏを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ４０４に移行してもよい。
【０１７３】
次に、ステップＳ４１６において、電極２１１ａ及び２１１ｂが寿命を迎えたためＭＯレーザチャンバ２１０が寿命を迎えた旨を図示されていない外部装置等に通報してもよい。ステップＳ４１６において、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用しているものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用するため移動させる旨の要求をその外部装置等に通報してもよい。この後、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用されていたチャンバがＰＯレーザチャンバ３１０の位置へ移動されてもよい。
【０１７４】
次に、ステップＳ４１８において、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用するため、チャンバを移動したか否かを判断してもよい。チャンバを移動したものと判断された場合には、ステップＳ４２２に移行する。一方、チャンバを移動していないものと判断された場合には、ステップＳ４０４に移行する。
【０１７５】
次に、ステップＳ４２２において、現在までの投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏを投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏとしてもよい。尚、この場合、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用するためチャンバを移動しているため、ＭＯレーザチャンバ２１０であったものとＰＯレーザチャンバ３１０となったものとは同一である。しかしながら、説明等の便宜上、これらにおける参照符号等は異なるものとして説明する。
【０１７６】
次に、ステップＳ４２４において、ＰＯ充電器３１２において設定されている充電電圧Ｖｈｖｐｏを読み込んでもよい。
【０１７７】
次に、ステップＳ４２６において、ＰＯ充電器３１２により、コンデンサＣｐｏ０に電圧Ｖｈｖｐｏを印加してもよい。そのコンデンサの容量はＣｐｏ０Ｃである。
【０１７８】
次に、ステップＳ４２８において、ＰＯレーザチャンバ３１０内における電極３１１ａと電極３１１ｂとの間において放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ４３０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ４２４に移行してもよい。この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ３１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。レーザ光がＰＯエネルギモニタユニット３１７において検出されたか否かにより判断してもよい。
【０１７９】
次に、ステップＳ４３０において、投入エネルギＥｉｎｐｏを算出してもよい。具体的には、下記（１１）に示す式に基づき投入エネルギＥｉｎｐｏを算出してもよい。尚、ｋｐｏは係数である。
Ｅｉｎｐｏ＝ｋｐｏ×Ｃｐｏ０Ｃ×（Ｖｈｖｐｏ）２／２・・・・・（１１）
【０１８０】
次に、ステップＳ４３２において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏに、ステップＳ４３０において算出した投入エネルギＥｉｎｐｏを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏとしてもよい。
【０１８１】
次に、ステップＳ４３４において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｐｏを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｐｏを超えているものと判断された場合には、ステップＳ４３６に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｐｏを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ４２４に移行してもよい。
【０１８２】
次に、ステップＳ４３６において、電極３１１ａ及び３１１ｂが寿命となったためＰＯレーザチャンバ３１０が寿命である旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
【０１８３】
次に、ステップＳ４３８において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ４２４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、ＰＯレーザチャンバ３１０におけるシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。
【０１８４】
投入エネルギの他の算出方法について説明する。ＭＯパルスパワーモジュール２１３とＰＯパルスパワーモジュール３１３は、図３の回路と同様の回路であってもよい。ＭＯパルスパワーモジュール２１３とＰＯパルスパワーモジュール３１３と、図３の回路との違いは、各磁気スイッチのインダクタンスと各コンデンサの容量の値である。
【０１８５】
投入エネルギＥｉｎｍｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定されたコンデンサＣｍｏ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、その電圧測定器によるコンデンサＣｍｏ０の電圧の測定は、ステップＳ４０８の工程等において併せて行われてもよい。または、その電圧測定器により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖｍｏと置き換えて投入エネルギＥｉｎｍｏを算出してもよい。
【０１８６】
投入エネルギＥｉｎｐｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定されたコンデンサＣｐｏ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、その電圧測定器によるコンデンサＣｐｏ０の電圧の測定は、ステップＳ４２８の工程等において併せて行われてもよい。または、その電圧測定器により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖｐｏと置き換えて投入エネルギＥｉｎｐｏを算出してもよい。
【０１８７】
投入エネルギの更に他の算出方法について説明する。投入エネルギＥｉｎｍｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定された電極２１１ａ及び２１１ｂ間の電圧値、及び図示されていない電流測定器により測定された放電の際に流れる電流値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器及び電流測定器による電圧及び電流の測定は、ステップＳ４０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器により測定された電圧と、電流測定器により測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎｍｏが算出されてもよい。
【０１８８】
投入エネルギＥｉｎｐｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定された電極３１１ａ及び３１１ｂ間の電圧値、及び図示されていない電流測定器により測定された放電の際に流れる電流値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器及び電流測定器における電圧及び電流の測定は、ステップＳ４２８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器において測定された電圧と、電流測定器において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎｐｏが算出されてもよい。
上記においては、ステップＳ４１６において、電極の寿命をチャンバの寿命とし、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０としてチャンバを移動する場合について説明した。しかしながら、チャンバの移動に代えて電極を交換することにより対応してもよく、また、電極のギャップを調整することにより所望のレーザ特性が得られる場合には、電極のギャップを調整することにより対応してもよい。
【０１８９】
また、上記においては、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用する場合について説明したが、ＰＯレーザチャンバ３１０として使用していたものをＭＯレーザチャンバ２１０として使用するため移動してもよい。
【０１９０】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０１９１】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、及び添付の特許請求の範囲に記載される不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【０１９２】
本国際出願は、２０１２年７月２６日に出願された日本国特許出願２０１２−１６６２９２号に基づく優先権を主張するものであり、日本国特許出願２０１２−１６６２９２号の全内容を本国際出願に援用する。
【符号の説明】
【０１９３】
１０        レーザチャンバ
１０ａ      ウインド
１０ｂ      ウインド
１１ａ      電極
１１ｂ      電極
１２        充電器
１３        パルスパワーモジュール（ＰＰＭ）
１３ａ      スイッチ
１４        狭帯域化モジュール（ＬＮＭ）
１４ａ      プリズム
１４ｂ      グレーティング
１５        出力結合ミラー
１７        エネルギモニタユニット
１７ａ      ビームスプリッタ
１７ｂ      集光レンズ
１７ｃ      光センサ
３０        制御部
３１        記憶部
４１        電圧測定器
５１        電圧測定器
５２        電流測定器
１００      露光装置
１１０      露光装置コントローラ
Ｃ０        コンデンサ
Ｃ１〜Ｃ４        コンデンサ
ＭＳ１〜ＭＳ３    磁気スイッチ
【図１】
2014017562.tif 000003
【図２】
2014017562.tif 000004
【図３】
2014017562.tif 000005
【図４】
2014017562.tif 000006
【図５】
2014017562.tif 000007
【図６】
2014017562.tif 000008
【図７】
2014017562.tif 000009
【図８】
2014017562.tif 000010
【図９】
2014017562.tif 000011
【図１０】
2014017562.tif 000012
【図１１】
2014017562.tif 000013
【図１２】
2014017562.tif 000014
【図１３】
2014017562.tif 000015
【国際調査報告】
2014017562.tif 000016
2014017562.tif 000017
2014017562.tif 000018
2014017562.tif 000019