Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成27年7月17日(2015.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
突起付き鉄骨を用いたコンクリート構造物の耐震設計システムであって、
前記突起付き鉄骨の属性情報の入力を受け付ける入力装置と、
前記入力装置で入力された前記突起付き鉄骨の属性情報から得られる断面二次モーメントに基づいて、当該突起付き鉄骨に対応する鉄筋径を算出する、情報処理装置と、
前記情報処理装置で算出された鉄筋径を出力する出力装置と、
を備えるコンクリート構造物の耐震設計システム。
【請求項２】
突起付き鉄骨の属性情報と、当該突起付き鉄骨の属性情報に対応する鉄筋径とが予め関連付けられた鉄筋径のデータベースを格納する記憶装置を更に備え、
前記情報処理装置は、前記鉄筋径のデータベースにアクセスし、前記入力装置で入力された前記突起付き鉄骨の属性情報に基づいて、当該突起付き鉄骨に対応する鉄筋径を算出し、
前記出力装置は、前記情報処理装置で算出された鉄筋径を出力する、
請求項１に記載のコンクリート構造物の耐震設計システム。
【請求項３】
前記情報処理装置は、算出された鉄筋径に基づいて、前記コンクリート構造物の地震時の設計計算を行い、
前記出力装置は、地震時の設計計算結果を出力する、
請求項１又は２に記載のコンクリート構造物の耐震設計システム。
【請求項４】
突起付き鉄骨を用いたコンクリート構造物の耐震設計方法であって、
前記突起付き鉄骨の属性情報の入力を受け付ける入力ステップと、
前記入力ステップで入力された前記突起付き鉄骨の属性情報から得られる断面二次モーメントに基づいて、当該突起付き鉄骨に対応する鉄筋径を算出する、情報処理ステップと、
前記情報処理ステップで算出された鉄筋径を出力する出力ステップと、
を含む処理をコンピュータが実行するコンクリート構造物の耐震設計方法。
【請求項５】
突起付き鉄骨を用いたコンクリート構造物の耐震設計プログラムであって、
前記突起付き鉄骨の属性情報の入力を受け付ける入力ステップと、
前記入力ステップで入力された前記突起付き鉄骨の属性情報から得られる断面二次モーメントに基づいて、当該突起付き鉄骨に対応する鉄筋径を算出する、情報処理ステップと、
前記情報処理ステップで算出された鉄筋径を出力する出力ステップと、
を含む処理をコンピュータに実行させるコンクリート構造物の耐震設計プログラム。
【請求項６】
突起付き鉄骨を用いたコンクリート構造物の施工方法であって、
前記突起付き鉄骨の属性情報の入力を受け付ける入力ステップと、前記入力ステップで入力された前記突起付き鉄骨の属性情報から得られる断面二次モーメントに基づいて、当該突起付き鉄骨に対応する鉄筋径を算出し、算出された鉄筋径に基づいて、前記コンクリート構造物の地震時の設計計算を行う情報処理ステップと、前記情報処理ステップで算出された鉄筋径、及び地震時の設計計算結果を出力する出力ステップと、を含む耐震設計工程と、
前記耐震設計工程で得られた結果に基づいて、前記コンクリート構造物を施工する施工工程と、
を備えるコンクリート構造物の施工方法。
【請求項７】
前記施工工程では、環状に形成したプレキャストコンクリート製の型枠を用いて前記コンクリート構造物を施工する、請求項６に記載のコンクリート構造物の施工方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のコンクリート構造物の施工方法によって施工されたコンクリート構造物。
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月1日(2015.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料電池スタックに積層される発電を行わないダミーセルであって、
前記ダミーセルの外観は、前記燃料電池スタックに用いられ発電を行う発電セルの外観と共通する外観を呈する共通外観部と、前記発電セルの外観とは異なる外観を呈する非共通外観部とを有している、ダミーセル。
【請求項２】
請求項１に記載のダミーセルにおいて、
前記非共通外観部は、前記発電セルと前記ダミーセルとを積層して燃料電池スタックを構成した状態において外部から視認可能な位置に設けられている、ダミーセル。
【請求項３】
請求項２に記載のダミーセルにおいて、
前記非共通外観部は、色と形状の少なくとも一方が前記発電セルと異なる、ダミーセル。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のダミーセルにおいて、
前記発電セルは、
膜電極接合体を有するとともに、前記膜電極接合体の外縁をゴム又は樹脂で囲うフレームを有する発電部と、
前記発電部を挟持するセパレータープレートと、
を有し、
前記ダミーセルは、
膜電極接合体を有さずに導電性部材を有するとともに、前記導電性部材の外縁をゴム又は樹脂で囲うフレームを有する非発電部と、
前記発電セルのセパレータープレートと同一の形状を有し、前記非発電部を挟持するセパレータープレートと、
を有し、
前記非共通外観部は、前記ダミーセルの前記フレームの一部である、ダミーセル。
【請求項５】
燃料電池スタックであって、
積層された複数の発電セルを有する第１の積層体と、
前記第１の積層体の積層方向の少なくとも一方の端部に設けられた請求項１〜４のいずれか一項に記載のダミーセルと、
前記複数の発電セル及び前記ダミーセルが積層された第２の積層体の両端に設けられたターミナルプレートと、
を備える、燃料電池スタック。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月25日(2014.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受信回路に接続される受信フィルタと、送信回路に接続される送信フィルタと、アンテナに接続されると共に前記受信フィルタ及び前記送信フィルタに接続された分岐回路とを有するアンテナ共用器において、
前記受信フィルタと前記送信フィルタと前記分岐回路を平面線路で構成し、
前記受信フィルタと前記受信回路とを接続する伝送線路、前記送信フィルタと前記送信回路とを接続する伝送線路及び前記分岐回路と前記アンテナとを接続する伝送線路をそれぞれ導波管で構成し、
前記受信フィルタ、前記送信フィルタ及び前記分岐回路とそれぞれ対応する伝送線路との間に平面線路−導波管変換器を接続したことを特徴とするアンテナ共用器。
【請求項２】
前記導波管は、前記受信フィルタ、前記送信フィルタ及び前記分岐回路が形成された基板が設置される第１の台座と、前記第１の台座と接続される第２の台座とによって形成されていることを特徴とする、請求項１記載のアンテナ共用器。
【請求項３】
前記基板が導波管口を有する金属板を介して前記第１の台座に接合されていることを特徴とする、請求項２記載のアンテナ共用器。
【請求項４】
前記第２の台座は前記導波管を構成する導波管溝を有し、前記導波管溝の端部には少なくとも１段のステップ形状の整合用素子が形成されていることを特徴とする、請求項２又は請求項３記載のアンテナ共用器。
【請求項５】
前記第２の台座は前記導波管を構成する導波管溝を有し、前記導波管溝の端部には傾斜面形状の整合用素子が形成されていることを特徴とする、請求項２又は請求項３記載のアンテナ共用器。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月22日(2014.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
８ビットのデータを送信する場合、８Ｂ１０Ｂ変換後に１０ビットのデータとなる。この１０ビットのデータが１ビット誤りを起こす可能性は１０パターンある。図２Ａ〜図２Ｈは、１０パターンの誤りに対応して、８Ｂ１０Ｂ逆変換した受信データを示す。図中、左側の列のＤ００．０〜Ｄ３１．７は、８Ｂ１０Ｂ変換前の送信データを示し、１ｂｉｔは・・・１０ｂｉｔは、エラーが発生した先頭からのビットの位置を示す。データをＤｘｘ．ｙとすると、ｘｘは０〜３１の下位５ビットに対応し、ｙは０〜７の上位３ビットに対応する。例えば、図２Ａにおいて、送信データのＤ００．０を８ビットから１０ビットに変換したとき、先頭の１ビット目にエラーが発生した場合は、Ｄ００．２の受信データに変換される。また、送信データＤ００．０を８ビットから１０ビットに変換したとき、先頭から３ビット目にエラーが発生した場合は、変換テーブルに対応するデータが存在していないためにNot In Table（ＮＩＴ）エラーとなる。図２Ａ〜図２Ｈを見ると、図２Ａ、図２Ｄ、図２Ｅ、図２Ｈは、６ｂｉｔ〜１０ｂｉｔ（下位５ビット）は全てNot In Table（ＮＩＴ）になることが分かる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図５（ａ）に示すように、ＡＣＫ用応答パケット２００ａは、Ｋ２８．０からなるスタートパケット２１０と、複数（例えば、３つ）の応答情報２２０ａとから構成されている。応答情報２２０ａは、上位３ビットの肯定応答（ＡＣＫ）２２１ａと、レーン３１、３２及び送信パケット１００を特定するための下位５ビットのシーケンスＩＤ２２２とから構成されている。ＡＣＫ用応答パケット２００ａの応答情報２２０ａには、それを第１の送受信装置２に伝送した際に伝送による１ビット誤りが発生した場合でも、ＡＣＫ（肯定応答）とＮＡＫ（否定応答）とを区別可能な符号、例えばＤｘｘ．０を用いる。第２の送受信装置４は、応答情報２２０ａを３回送信することになる。なお、ＡＣＫ用応答パケット２００ａを構成する応答情報２２０ａの数は、３つに限られない。また、スタートパケット２１０は、Ｋ２８．０以外の符号を用いてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
応答パケット生成部４６が応答情報２２０ａとしてＤｘｘ．０を送信した場合、第１の送受信装置２は、図３に示すように、１ビットのエラーによりＤｘｘ．０、Ｄｘｘ．１、Ｄｘｘ．２、Ｄｘｘ．５、Ｄｘｘ．６を受信する可能性がある。したがって、エラー検出部２３１が、Ｄｘｘ．０及びＤｘｘ．３以外のＤｘｘ．１、Ｄｘｘ．２、Ｄｘｘ．５、Ｄｘｘ．６を検出した場合、エラー訂正部２３２は、Ｄｘｘ．１、Ｄｘｘ．２、Ｄｘｘ．５、Ｄｘｘ．６をＤｘｘ．０に訂正する。応答パケット生成部４６が応答情報２２０ｂとしてＤｘｘ．３を送信した場合、第１の送受信装置２は、図３に示すように、１ビットのエラーによりＤｘｘ．３、Ｄｘｘ．４、Ｄｘｘ．７を受信する可能性がある。したがって、エラー検出部２３１が、応答情報２２０ｂとしてＤｘｘ．０及びＤｘｘ．３以外のＤｘｘ．４、Ｄｘｘ．７を検出した場合、エラー訂正部２３２は、Ｄｘｘ．４，Ｄｘｘ．７をＤｘｘ．３に訂正する。また、エラー検出部２３１がＮＩＴエラーを検出した場合、エラー訂正部２３２は、応答パケット２００ａ、２００ｂを破棄する。したがって、Ｎ回全てがＮＩＴエラーでない限り、第１の送受信装置２は、ＡＣＫ／ＮＡＫを正しく受信できることになる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月22日(2014.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記第１及び第２の伝送路は、光信号を伝送する光伝送路であり、
前記第１の送受信装置の前記第１の送信手段は、前記リンク確立用の情報の送信に先立って前記リンク確立用の情報の送信時よりも単位時間当たりの光量が少ない光信号により前記リンク確立用の情報とは異なる確認用の情報を前記複数の第１の伝送路を介してシリアルに送信する複数の光送信部と、前記第２の送受信装置から前記第２の伝送路を介してシリアルに送信された光信号を受信する光受信部とを備え、
前記第２の送受信装置の前記第２の送信手段は、前記リンク確立用の情報の送信に先立って前記リンク確立用の情報の送信時よりも単位時間当たりの光量が少ない光信号により前記リンク確立用の情報とは異なる確認用の情報を前記第２の伝送路を介してシリアルに送信する光送信部と、前記第１の送受信装置から前記複数の第１の伝送路を介してシリアルに送信された光信号を受信する複数の光受信部とを備えた請求項１又は２に記載の送受信システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る送受信システムの構成例を示すブロック図である。
【図２】図２は、リンク確立を説明するための図である。
【図３】図３は、第１の実施の形態に係る第１及び第２の送受信装置間におけるリンク確立の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図４】図４（ａ）は、第１の実施に形態に係る第１の送受信装置の動作の一例を示すフローチャート、図４（ｂ）は、第１の実施の形態に係る第２の送受信装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】図５は、第１の送受信装置が第２の送受信装置よりも先に電源ＯＮとなった場合のリンク確立の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図６】図６は、第２の送受信装置が第１の送受信装置よりも先に電源ＯＮとなった場合のリンク確立の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図７】図７は、本発明の第２の実施の形態に係る送受信システムの構成例を示すブロック図である。
【図８】図８は、第２の実施の形態に係る第１及び第２の送受信装置間におけるリンク確立の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（リンク確立）
ここで、リンク確立を図２を参照し、第１レーン３１及び第２レーン３２のリンクを確立する場合について説明する。使用するＳＥＲＤＥＳによって、パラレル部のビット幅が１０ｂｉｔ、２０ｂｉｔ、３６ｂｉｔ等のように幾つか選択できるものがある。例えば、１６ｂｉｔで使用するように設定した場合、ビット変換部２４Ａ、２４Ｂでは、２つの８Ｂ１０Ｂ変換部２４１、２４２を使用して１６ｂｉｔを２０ｂｉｔ化した後、パラレル／シリアル変換部２６Ａ、２６Ｂにより２０ｂｉｔを１ｂｉｔ化する。この場合は、２０ｂｉｔが１つの固まりとして扱われる。リンク確立を行う場合には、送信側からリンク確立用の情報としてＫ２８．５（１０ｂｉｔ）＋Ｄ２４．３（１０ｂｉｔ）のデータを繰り返し送信してリンク確立の要求を行う。受信側では、シリアル／パラレル変換部４１Ａ、４１Ｂにより１ｂｉｔを１０ｂｉｔ単位に分け、ビット逆変換部４３Ａ、４３Ｂの１０Ｂ８Ｂ変換部４３１、４３２にて上位８ｂｉｔ、下位８ｂｉｔに変換する。受信側のシリアル／パラレル変換部４１Ａ、４１Ｂは、受信データとＫ２８．５＋Ｄ２４．３のデータとを照合し、合致する位置（図２の矢印で示す、先頭２０ｂｉｔと次の２０ｂｉｔとの境目）の頭出し（アライメント調整）を行って、合致した位置に基づいてデータの同期制御等を行ってリンクを確立する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
（第２の実施の形態の動作）
第２の実施の形態の動作を図８を参照して説明する。図８は、第２の実施の形態に係る第１及び第２の送受信装置間におけるリンク確立の動作の一例を示すタイミングチャートである。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月1日(2015.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動自転車に用いられる駆動装置（１）において、
少なくとも１つの軸受け（２５）を備えた出力軸（２）が設けられており、電動自転車の少なくとも１つの車輪にトルクを第１の伝達装置（２０，６，７）が伝達するようになっており、これによって、軸受け（２５）に第１の方向への第１の支承力（１００）が作用するようになっており、
入力軸（３）が設けられており、該入力軸（３）に、電動モータ（３０）により発生させられたトルクが作用するようになっており、入力軸（３）から出力軸（２）にトルクを第２の伝達装置（２１，３１）が伝達するようになっており、これによって、軸受け（２５）に第２の方向への第２の支承力（２００）が作用するようになっており、
クランク軸（４）が設けられており、該クランク軸（４）に、ライダにより発生させられたトルクが作用するようになっており、クランク軸（４）から出力軸（２）にトルクを第３の伝達装置（４０，５，２２）が伝達するようになっており、これによって、軸受け（２５）に第３の方向への第３の支承力（３００）が作用するようになっており、
軸受け（２５）に加えられた第３の支承力（３００）を測定するための支承センサ（２６）が設けられており、
第１の支承力（１００）の第１の方向と第２の支承力（２００）の第２の方向とが等しく、
第１の支承力（１００）の第１の方向と第３の支承力（３００）の第３の方向とが互いに直交していることを特徴とする、電動自転車に用いられる駆動装置。
【請求項２】
支承センサ（２６）が、第３の支承力（３００）全てまたは第３の支承力（３００）の一成分を測定するようになっている、請求項１記載の駆動装置。
【請求項３】
第１の伝達装置（２０，６，７）および／または第２の伝達装置（２１，３１）および／または第３の伝達装置（４０，５，２２）が、循環する伝達手段（５，６）および／または単段式の歯車伝動装置（８）および／または多段式の歯車伝動装置（９）を有している、請求項１または２記載の駆動装置。
【請求項４】
単段式の歯車伝動装置（８）が、外側歯列を備えた歯車（２７）と内側歯列を備えた歯車（４３）とを有している、請求項３記載の駆動装置。
【請求項５】
支承センサ（２６）が、軸受け（２５）を取り付けた支承アーム（２６０）を有しており、該支承アーム（２６０）が、固定の支承点（２６１）を中心として旋回可能に支承されていて、弾性的なエレメント（２６２）を介して位置決めされており、これによって、該弾性的なエレメント（２６２）の戻し力（４００）に抗した出力軸（２）の移動が可能であり、戻し力（４００）が、第３の支承力（３００）に対する量を成している、請求項１から４までのいずれか１項記載の駆動装置。
【請求項６】
第２の伝達装置（２１，３１）と第３の伝達装置（４０，５，２２）とが、出力軸（２）に取り付けられたそれぞれ１つのフリーホイール（２３，２４）を有しており、該フリーホイール（２３，２４）が、出力軸（２）から入力軸（３）またはクランク軸（４）へのトルク伝達を阻止している、請求項１から５までのいずれか１項記載の駆動装置。
【請求項７】
駆動装置（１）が、ハウジング（１０）を有しており、該ハウジング（１０）に、出力軸（２）と、入力軸（３）と、クランク軸（４）とが支承されており、かつ／または該ハウジング（１０）に、電動モータ（３０）を支承センサ（２６）の信号に関連して制御する制御装置（１１）が取り付けられている、請求項１から６までのいずれか１項記載の駆動装置。
【請求項８】
電動自転車に用いられる制御装置（１１）において、該制御装置（１１）が、支承センサ（２６）の信号から出力軸（２）の支承力（３００）を算定するようになっており、該支承力（３００）が、ライダにより発生させられたトルクを加えることによって発生させられるようになっており、該トルクに基づき、電動モータ（３０）が、規定されたパターンに従って制御されるようになっており、これによって、電動モータ（３０）が、規定されたトルクを出力軸（２）に伝達するようになっていることを特徴とする、電動自転車に用いられる制御装置。
【請求項９】
制御装置（１１）が、支承力（３００）を弾性的なエレメント（２６２）の戻し力から計算するようになっている、請求項８記載の制御装置。
【請求項１０】
請求項１から７までのいずれか１項記載の駆動装置および／または請求項８または９記載の制御装置を備えた電動自転車。
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月27日(2015.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
被研磨物を回転させながら前記研磨パッドに押圧するトップリングを有する研磨ヘッドと、
前記研磨パッドをドレッシングするドレッサを有するドレッサヘッドと、
前記トップリングが連結されるトップリング駆動軸の少なくとも一部を内部に収容したヘッドカバーとを有し、
前記ヘッドカバーには、その内部にパージガスを導入するパージガス導入部と、前記ヘッドカバーの内部を排気する排気部とが設けられており、
前記ヘッドカバーの内部圧力は前記ヘッドカバーの外部圧力よりもやや高い圧力に設定されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記ヘッドカバー内に導入されるパージガスの圧力は、０．１５〜０．２５ＭＰａで、流量は、４０〜６０Ｌ／ｍｉｎであることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記ヘッドカバーは、複数の板状部材を接合して中空ボックス状に形成され、各部材の接合部には、密閉シールが介装されていることを特徴とする請求項１または２記載の研磨装置。
【請求項４】
前記密閉シールは、ノルシールであることを特徴とする請求項３記載の研磨装置。
【請求項５】
トップリング揺動アーム、トップリング用回転モータ、およびトップリング昇降機構は前記ヘッドカバー内に収容されていることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項６】
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
被研磨物を回転させながら前記研磨パッドに押圧するトップリングを有する研磨ヘッドと、
前記研磨パッドをドレッシングするドレッサを有するドレッサヘッドと、
少なくともドレッサ用回転モータを内部に収容したヘッドカバーとを有し、
前記ヘッドカバーには、その内部にパージガスを導入するパージガス導入部と、前記ヘッドカバーの内部を排気する排気部とが設けられており、
前記ヘッドカバーの内部圧力は前記ヘッドカバーの外部圧力よりもやや高い圧力に設定されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
前記ヘッドカバー内に導入されるパージガスの圧力は、０．１５〜０．２５ＭＰａで、流量は、４０〜６０Ｌ／ｍｉｎであることを特徴とする請求項６記載の研磨装置。
【請求項８】
前記ヘッドカバーは、複数の板状部材を接合して中空ボックス状に形成され、各部材の接合部には、密閉シールが介装されていることを特徴とする請求項６または７記載の研磨装置。
【請求項９】
前記密閉シールは、ノルシールであることを特徴とする請求項８記載の研磨装置。
【請求項１０】
主ドレッサ揺動アームは前記ヘッドカバー内に収容されていることを特徴とする請求項６記載の研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、研磨パッドを支持する研磨テーブルと、被研磨物を回転させながら前記研磨パッドに押圧するトップリングを有する研磨ヘッドと、前記研磨パッドをドレッシングするドレッサを有するドレッサヘッドと、前記トップリングが連結されるトップリング駆動軸の少なくとも一部を内部に収容したヘッドカバーとを有し、前記ヘッドカバーには、その内部にパージガスを導入するパージガス導入部と、前記ヘッドカバーの内部を排気する排気部とが設けられており、前記ヘッドカバーの内部圧力は前記ヘッドカバーの外部圧力よりもやや高い圧力に設定されていることを特徴とする研磨装置である。
本発明の好ましい態様は、トップリング揺動アーム、トップリング用回転モータ、およびトップリング昇降機構は前記ヘッドカバー内に収容されていることを特徴とする。
本発明の他の態様は、研磨パッドを支持する研磨テーブルと、被研磨物を回転させながら前記研磨パッドに押圧するトップリングを有する研磨ヘッドと、前記研磨パッドをドレッシングするドレッサを有するドレッサヘッドと、少なくともドレッサ用回転モータを内部に収容したヘッドカバーとを有し、前記ヘッドカバーには、その内部にパージガスを導入するパージガス導入部と、前記ヘッドカバーの内部を排気する排気部とが設けられており、前記ヘッドカバーの内部圧力は前記ヘッドカバーの外部圧力よりもやや高い圧力に設定されていることを特徴とする研磨装置である。
本発明の好ましい態様は、主ドレッサ揺動アームは前記ヘッドカバー内に収容されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成27年6月15日(2015.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炊飯釜を温水により洗浄する洗浄機と、
配米され炊飯水が投入された炊飯釜を受け入れ、所定時間の浸漬を行う浸漬装置と、
浸漬後の炊飯釜を受け入れ、炊飯を行う炊飯部と、
炊飯後の炊飯釜を受け入れ、蒸らしを行う蒸らし部と、
を備える排熱利用型炊飯設備であって、
前記洗浄機から排出される温排水が流れる温排水用配管を、前記蒸らし部の下方に一本又は複数本配設することを特徴とする排熱利用型炊飯設備。
【請求項２】
炊飯釜を温水により洗浄する洗浄機と、
配米され炊飯水が投入された炊飯釜を受け入れ、所定時間の浸漬を行う浸漬装置と、
浸漬後の炊飯釜を受け入れ、炊飯を行う炊飯部と、
炊飯後の炊飯釜を受け入れ、蒸らしを行う蒸らし部と、
を備える排熱利用型炊飯設備であって、
前記洗浄機から排出される温排水が流れる温排水用配管を、前記浸漬装置の下方に一本又は複数本配設することを特徴とする排熱利用型炊飯設備。
【請求項３】
炊飯釜を温水により洗浄する洗浄機と、
配米され炊飯水が投入された炊飯釜を受け入れ、所定時間の浸漬を行う浸漬装置と、
浸漬後の炊飯釜を受け入れ、炊飯を行う炊飯部と、
炊飯後の炊飯釜を受け入れ、蒸らしを行う蒸らし部と、
を備える排熱利用型炊飯設備であって、
前記洗浄機から排出される温排水が流れる温排水用配管を、前記蒸らし部及び浸漬装置の下方にそれぞれ一本又は複数本配設することを特徴とする排熱利用型炊飯設備。
【請求項４】
前記炊飯部において炊飯釜から排出される蒸気が流れる蒸気用配管を前記蒸らし部の下方に配設される温排水用配管に接続し、前記蒸気を前記温排水用配管内に流入させる請求項１又は３記載の排熱利用型炊飯設備。
【請求項５】
前記温排水用配管の出口側端部に空気吸入用配管を接続し、該空気吸入用配管から空気を吸入することで、前記温排水用配管内に流入する蒸気を前記温排水と逆方向に流動させて前記洗浄機に設けられる蒸気ダクトから排出する請求項４記載の排熱利用型炊飯設備。
【請求項６】
炊飯釜を温水により洗浄する洗浄機と、
配米され炊飯水が投入された炊飯釜を受け入れ、所定時間の浸漬を行う浸漬装置と、
浸漬後の炊飯釜を受け入れ、炊飯を行う炊飯部と、
炊飯後の炊飯釜を受け入れ、蒸らしを行う蒸らし部と、
を備える排熱利用型炊飯設備であって、
前記洗浄機から排出される温排水が流れる温排水用配管を、前記蒸らし部及び／又は浸漬装置に一本又は複数本配設することを特徴とする排熱利用型炊飯設備。
【請求項７】
前記炊飯部において炊飯釜から排出される蒸気が流れる蒸気用配管を前記蒸らし部及び／又は浸漬装置に配設される温排水用配管に接続し、前記蒸気を前記温排水用配管内に流入させる請求項６記載の排熱利用型炊飯設備。
【請求項８】
前記温排水用配管の出口側端部に空気吸入用配管を接続し、該空気吸入用配管から空気を吸入することで、前記温排水用配管内に流入する蒸気を前記温排水と逆方向に流動させて前記洗浄機に設けられる蒸気ダクトから排出する請求項７記載の排熱利用型炊飯設備。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、前記温排水用配管の出口側端部に空気吸入用配管を接続し、該空気吸入用配管から空気を吸入することで、前記温排水用配管内に流入する蒸気を前記温排水と逆方向に流動させて前記洗浄機に設けられる蒸気ダクトから排出することが好ましい。
また、上記目的を達成するため、本発明は、炊飯釜を温水により洗浄する洗浄機と、配米され炊飯水が投入された炊飯釜を受け入れ、所定時間の浸漬を行う浸漬装置と、浸漬後の炊飯釜を受け入れ、炊飯を行う炊飯部と、炊飯後の炊飯釜を受け入れ、蒸らしを行う蒸らし部と、を備える排熱利用型炊飯設備であって、前記洗浄機から排出される温排水が流れる温排水用配管を、前記蒸らし部及び／又は浸漬装置に一本又は複数本配設することを特徴とする。
本発明は、前記炊飯部において炊飯釜から排出される蒸気が流れる蒸気用配管を前記蒸らし部及び／又は浸漬装置に配設される温排水用配管に接続し、前記蒸気を前記温排水用配管内に流入させることが好ましい。
本発明は、前記温排水用配管の出口側端部に空気吸入用配管を接続し、該空気吸入用配管から空気を吸入することで、前記温排水用配管内に流入する蒸気を前記温排水と逆方向に流動させて前記洗浄機に設けられる蒸気ダクトから排出することが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の排熱利用型炊飯設備は、前記温排水用配管の出口側端部に空気吸入用配管を接続し、該空気吸入用配管から空気を吸入することで、前記温排水用配管内に流入する蒸気を前記温排水と逆方向に流動させて前記洗浄機に設けられる蒸気ダクトから排出することとすれば、炊飯部用の排気ダクトが不要となり、建設コストを大幅に削減することができる。
本発明の排熱利用型炊飯設備によれば、洗浄機から排出される温排水が流れる温排水用配管を、蒸らし部及び／又は浸漬装置に一本又は複数本配設することで、蒸らし部にあっては炊飯釜内の温度と雰囲気温度との差が少なくなり、前記炊飯釜内における結露水が減少して美味しい米飯に仕上げることができ、浸漬装置にあっては米粒による吸水速度を高めることで、浸漬時間を短縮することができるため、前記洗浄機から炊飯設備外へ排出される温排水の排熱を有効利用することができる。
また、本発明の排熱利用型炊飯設備によれば、洗浄機から排出される温排水は、蒸らし部及び／又は浸漬装置に配設される温排水用配管を流れた後に、温度が下がった状態で当該設備外へ排出されることとなるため、外部へ直接排出した場合における環境への影響を少なくできる。
本発明の排熱利用型炊飯設備は、炊飯部において炊飯釜から排出される蒸気が流れる蒸気用配管を前記蒸らし部及び／又は浸漬装置に配設される温排水用配管に接続し、前記蒸気を前記温排水用配管内に流入させることとすれば、前記蒸気が前記温排水用配管を流れる温排水を加温するとともに、前記蒸らし部における雰囲気も加温するため、前記炊飯部から当該設備外へ排出される蒸気の排熱についても有効利用することができる。
また、本発明の排熱利用型炊飯設備は、前記温排水用配管の出口側端部に空気吸入用配管を接続し、該空気吸入用配管から空気を吸入することで、前記温排水用配管内に流入する蒸気を前記温排水と逆方向に流動させて前記洗浄機に設けられる蒸気ダクトから排出することとすれば、炊飯部用の排気ダクトが不要となり、建設コストを大幅に削減することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月9日(2015.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各面が色区分された少なくとも１個の立方体のダイス又はコマの面の数に分けたルーレットと、対応する各面がダイスと同じ色区分になっている少なくとも１個の立方体のコマと、正方形のマス目が連続した方眼のボードとからなり、前記ボードの任意のマス目にスタートとゴールの表示をしたことを特徴とする双六ゲーム具。
【請求項２】
請求項１に記載のダイスとコマの各面が異なる図形で区分されていることを特徴とする双六ゲーム具。
【請求項３】
請求項１に記載のコマにプレイヤー識別のための図形を表示したことを特徴とする双六ゲーム具。
【請求項４】
請求項１、請求項２、請求項３に記載のコマの各面には、その一部に反対面と同一色または同図形が表示されていることを特徴とする双六ゲーム具。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月22日(2014.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を発生するＸ線管と、
前記Ｘ線管からＸ線を発生するために前記Ｘ線管に印加される高電圧を発生する高電圧発生部と、
前記Ｘ線管から発生され被検体を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
前記Ｘ線管を回転軸回りに回転可能に支持する支持機構と、
前記Ｘ線検出器からの出力に基づいてＣＴ画像を繰り返し発生する発生部と、
前記ＣＴ画像上のＣＴ値の時間変化率を算出する時間変化率算出部と、
前記時間変化率に応じて前記Ｘ線管からのＸ線の発生周期を繰り返し決定する発生周期決定部と、
を具備するＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項２】
前記時間変化率は、前記繰り返し発生されたＣＴ画像のうちの最新のＣＴ画像と前記最新のＣＴ画像よりも前に発生されたＣＴ画像との間の時間差に対するＣＴ値変化の比率である、請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項３】
前記発生周期は、前記時間変化率に反比例する、請求項２記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項４】
前記時間変化率算出部は、ユーザからの指示に従って又は画像処理により設定された、前記ＣＴ画像上の単一の関心領域に限定して前記時間変化率を算出する、請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項５】
前記時間変化率算出部は、ユーザからの指示に従って又は画像処理により設定された、前記ＣＴ画像上の複数の関心領域について複数の時間変化率をそれぞれ算出し、
前記発生周期決定部は、前記複数の時間変化率に応じて前記発生周期を決定する、
請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項６】
前記発生周期をユーザ所望の数値に変更または設定するための指示を入力する操作部、をさらに備える請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項７】
前記発生周期に従って前記Ｘ線管からＸ線が発生されるように前記高電圧発生部をリアルタイムで制御する制御部、をさらに備える請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記発生周期決定部により決定された最新の発生周期と設定値との差分が閾値よりも小さい場合、前記設定値に従って前記Ｘ線管からＸ線が発生されるように前記高電圧発生部を制御し、前記差分が前記閾値よりも大きい場合、前記最新の発生周期に従って前記Ｘ線管からＸ線が発生されるように前記高電圧発生部を制御する、請求項７記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項９】
前記閾値を、ユーザ所望の数値に変更または設定するための指示を入力する操作部、をさらに備える請求項８記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項１０】
前記発生周期決定部は、前記発生周期とＸ線継続時間とに基づいてＸ線停止時間を算出し、
前記制御部は、前記Ｘ線停止時間の算出後、前記算出されたＸ線停止時間だけ前記Ｘ線管からＸ線を発生させないように前記高電圧発生部を制御し、前記Ｘ線停止時間が経過されたことを契機として、前記発生周期に従って前記Ｘ線管からＸ線が発生されるように前記高電圧発生部を制御する、
請求項７記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項１１】
前記時間変化率算出部は、前記ＣＴ画像が発生される毎に前記時間変化率を繰り返し算出する、請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【請求項１２】
前記発生周期決定部は、前記時間変化率に応じて前記発生周期を繰り返し算出する、請求項１記載のＸ線コンピュータ断層撮影装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本実施形態に係るＸ線コンピュータ断層撮影装置は、Ｘ線を発生するＸ線管と、前記Ｘ線管からＸ線を発生するために前記Ｘ線管に印加される高電圧を発生する高電圧発生部と、前記Ｘ線管から発生され被検体を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、前記Ｘ線管を回転軸回りに回転可能に支持する支持機構と、前記Ｘ線検出器からの出力に基づいてＣＴ画像を繰り返し発生する発生部と、前記ＣＴ画像上のＣＴ値の時間変化率を算出する時間変化率算出部と、前記時間変化率に応じて前記Ｘ線管からのＸ線の発生周期を繰り返し決定する発生周期決定部と、を具備する。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月23日(2015.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複合高吸収性コア構造体を形成する方法であって、
第１の可撓性材料シートに向けて、平均直径を有する第１の複数の発泡接着剤フィラメントを噴霧することと、
前記第１の可撓性材料シートに向けて、前記フィラメントの前記平均直径よりも大きい平均直径を有する高吸収性粒状物材料の粒子を噴霧することと、
前記フィラメントが、前記粒子の表面エリア部分をコーティングしないまま前記粒子を部分的にコーティングするように、前記フィラメントと前記粒子とを前記第１の可撓性材料シートから離隔したエリアで混合することと、
高吸収性層を形成するように、前記部分的にコーティングされた粒子と前記接着剤とを前記第１の可撓性材料シートに塗布することと、
前記第１の可撓性材料シートと第２の可撓性材料シートとの間に前記高吸収性層を位置決めするように、前記第２の可撓性材料シートを前記高吸収性層に直接又は間接的に貼り付けることとを含み、
前記第１の可撓性材料シート又は前記第２の可撓性材料シートのうちの少なくとも一方は、液体が前記高吸収性層に浸透し、前記コーティングされていない表面エリア部分と接触し、前記高吸収性粒状物材料によって吸収されることを可能にするように、液体透過性である、方法。
【請求項２】
単数又は複数の前記液体透過性のシートは不織材料を更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記高吸収性コア構造体を用いて使い捨て衛生用品を製造することを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記高吸収性粒状物材料を噴霧することは、粉末形態のＳＡＰを噴霧することを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１のシート又は前記第２のシートのうちの一方は液体不透過性である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の可撓性材料シートに向けて、前記粒子の前記平均直径よりも小さい平均直径を有するフィラメントを含む第２の複数の接着剤フィラメントを噴霧することと、
前記粒子の表面エリア部分をコーティングしないまま前記粒子を部分的にコーティングするように、前記第１の複数の接着剤フィラメント及び前記第２の複数の接着剤フィラメントからの接着剤フィラメントと前記粒子を混合することと、
を更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の複数の接着剤フィラメント及び前記第２の複数の接着剤フィラメントを噴霧することは、前記第１の複数の接着剤フィラメント及び前記第２の複数の接着剤フィラメントを第１の概ね線形のアレイ及び第２の概ね線形のアレイで噴霧することを更に含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の複数の接着剤フィラメント及び前記第２の複数の接着剤フィラメントを、高吸収性粒状物材料の粒子に向けて、合流するようにして噴霧することを更に含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の複数の接着剤フィラメントを噴霧することは、発泡接着剤フィラメントを噴霧することを更に含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の複数の接着剤フィラメントを噴霧することは、発泡接着剤フィラメントを噴霧することを更に含む、請求項６に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月16日(2015.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面照射型の撮像装置の製造方法であって、
前記撮像装置は、
入射光を受ける第１面と、前記第１面の反対側にある第２面とを有し、光電変換部及びトランジスタが形成された半導体基板と、
前記トランジスタに接続されたコンタクトプラグと、
前記入射光のうち前記光電変換部を透過した光を遮断する遮断部とを備え、
前記製造方法は、
前記半導体基板の前記第２面の上に層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層の一部をエッチングにより除去して、前記コンタクトプラグを形成するための第１開口を形成する工程と、
前記層間絶縁層の他の一部をエッチングにより除去して、前記遮断部を形成するための第２開口を形成する工程とを有し、
前記第１開口を形成する工程において、前記第１開口が前記層間絶縁層を貫通するまでエッチングを行い、
前記第２開口を形成する工程において、前記第２開口が前記層間絶縁層を貫通する前にエッチングを停止することを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記層間絶縁層の上に、前記コンタクトプラグが形成されるべき位置及び前記遮断部が形成されるべき位置を露出させるマスクパターンを形成する工程を有し、
前記マスクパターンを用いたエッチングを行うことにより、前記第１開口と前記第２開口とが並行して形成され、
前記マスクパターンのうち前記遮断部が形成されるべき位置を露出させる部分の幅は、前記マスクパターンのうち前記コンタクトプラグが形成されるべき位置を露出させる部分の幅よりも狭く、
前記第２開口が前記層間絶縁層を貫通する前に、前記第１開口が前記トランジスタの前記コンタクトプラグとの接続面に到達することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記第１開口を形成する工程と、前記第２開口を形成する工程とは、条件の異なるエッチングによって別々の工程として行われることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項４】
前記第２開口を形成するためのエッチングを、前記層間絶縁層が貫通する前に停止するように調整された時間だけ行うことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
前記半導体基板は、前記光電変換部の周囲に素子分離領域をさらに有し、
前記遮断部の少なくとも一部は、前記素子分離領域の上に配置されることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項６】
前記遮断部は、前記第２開口に埋め込まれた金属層であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項７】
前記遮断部は、前記第２開口に形成されたエアギャップであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項８】
前記遮断部を覆う位置に反射層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項９】
前記反射層は、前記コンタクトプラグに接続される配線パターンのパターニング工程において並行してパターニングされることを特徴とする請求項８に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記反射層は、前記コンタクトプラグに接続される配線パターンの一部であることを特徴とする請求項８に記載の製造方法。
【請求項１１】
前記遮断部は、前記半導体基板の前記第２面から遠ざかる方向に延びた筒状の形状を有することを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項１２】
前記遮断部は、前記半導体基板の前記第２面から遠ざかる方向に延びた柱状の形状を有することを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項１３】
裏面照射型の撮像装置であって、
入射光を受ける第１面と、前記第１面の反対側にある第２面とを有し、光電変換部及びトランジスタが形成された半導体基板と、
前記半導体基板の前記第２面の上に形成された層間絶縁層と、
前記トランジスタに接続されたコンタクトプラグと、
前記入射光のうち前記光電変換部を透過した光を遮断する遮断部とを備え、
前記遮断部と前記半導体基板との間に、前記層間絶縁層の一部が配されたことを特徴とする撮像装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の撮像装置と、
前記撮像装置からの信号を処理する信号処理装置とを備えることを特徴とするカメラ。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月16日(2015.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面照射型の撮像装置の製造方法であって、
前記撮像装置は、
入射光を受ける第１面と、前記第１面の反対側にある第２面とを有し、光電変換部及びトランジスタが形成された半導体基板と、
前記トランジスタに接続されたコンタクトプラグと、
前記入射光のうち前記光電変換部を透過した光を遮断する遮断部とを備え、
前記製造方法は、
前記半導体基板の前記第２面の上に第１絶縁層を形成し、前記第１絶縁層の上に層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層の一部及び前記第１絶縁層の一部をエッチングにより除去して、前記コンタクトプラグを形成するための第１開口を形成する工程と、
前記層間絶縁層の他の一部をエッチングにより除去して、前記遮断部を形成するための第２開口を形成する工程とを有し、
前記第１開口を形成する工程において、前記第１開口が前記トランジスタに到達し、
前記第２開口を形成する工程において、前記第１絶縁層がエッチング停止層として機能することによって、前記第２開口と前記半導体基板との間に前記第１絶縁層の少なくとも一部が残されることを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記第１絶縁層の上に第２絶縁層を形成し、前記第２絶縁層のうち前記コンタクトプラグを形成すべき位置にある部分を除去し、その後に前記層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層の上に、前記コンタクトプラグ及び前記遮断部が形成されるべき位置を露出させるマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンを用いてエッチングを行って、前記層間絶縁層のうち、前記コンタクトプラグが形成されるべき位置にある部分と前記遮断部が形成されるべき位置にある部分とを同時に除去する工程であって、前記コンタクトプラグが形成されるべき位置のエッチングにおいて前記第１絶縁層がエッチング停止層として機能し、前記遮断部が形成されるべき位置のエッチングにおいて前記第２絶縁層がエッチング停止層として機能する、工程と、
前記マスクパターンを用いてエッチングを行って、前記第１絶縁層のうち前記コンタクトプラグが形成されるべき位置にある部分と、前記第２絶縁層のうち前記遮断部が形成されるべき位置にある部分とを同時に除去する工程であって、前記遮断部が形成されるべき位置のエッチングにおいて前記第１絶縁層がエッチング停止層として機能する、工程とを有することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記第１絶縁層及び前記第２絶縁層はそれぞれ、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜との積層構造を有することを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記半導体基板は、前記光電変換部の周囲に素子分離領域をさらに有し、
前記遮断部の少なくとも一部は、前記素子分離領域の上に配置されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
前記遮断部は、前記第２開口に埋め込まれた金属層であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項６】
前記遮断部は、前記第２開口に形成されたエアギャップであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項７】
前記遮断部を覆う位置に反射層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項８】
前記反射層は、前記コンタクトプラグに接続される配線パターンのパターニング工程において並行してパターニングされることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
【請求項９】
前記反射層は、前記コンタクトプラグに接続される配線パターンの一部であることを特徴とする請求項７に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記遮断部は、前記半導体基板の前記第２面から遠ざかる方向に延びた筒状の形状を有することを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項１１】
前記遮断部は、前記半導体基板の前記第２面から遠ざかる方向に延びた柱状の形状を有することを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の製造方法。
【請求項１２】
裏面照射型の撮像装置の製造方法であって、
前記撮像装置は、
入射光を受ける第１面と、前記第１面の反対側にある第２面とを有し、光電変換部及びトランジスタが形成された半導体基板と、
前記トランジスタに接続されたコンタクトプラグと、
前記入射光のうち前記光電変換部を透過した光を遮断する遮断部とを備え、
前記製造方法は、
前記半導体基板の前記第２面の上に第１絶縁層を形成し、前記第１絶縁層の上に層間絶縁層を形成する工程と、
前記層間絶縁層の一部をエッチングにより除去して、前記コンタクトプラグを形成するための第１開口、および前記遮断部を形成するための第２開口を形成する工程とを有し、
前記エッチングにおいて、前記層間絶縁層のエッチングレートが、前記第１絶縁層のエッチングレートよりも高いことを特徴とする製造方法。
【請求項１３】
前記第１開口と前記第２開口とが並行して形成されることを特徴とする請求項１２に記載の製造方法。
【請求項１４】
裏面照射型の撮像装置であって、
入射光を受ける第１面と、前記第１面の反対側にある第２面とを有し、光電変換部及びトランジスタが形成された半導体基板と、
前記半導体基板の前記第２面の上に形成された第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の上に形成された層間絶縁層と、
前記トランジスタに接続されたコンタクトプラグと、
前記入射光のうち前記光電変換部を透過した光を遮断する遮断部とを備え、
前記遮断部は前記層間絶縁層の少なくとも一部を貫通し、前記遮断部と前記半導体基板との間に前記第１絶縁層が配されたことを特徴とする撮像装置。
【請求項１５】
前記第１絶縁層と前記層間絶縁層の間に、前記遮断部により貫通された第２絶縁層をさらに備えることを特徴とする請求項１４に記載の撮像装置。
【請求項１６】
前記トランジスタは前記光電変換部の電荷を転送する転送トランジスタであり、
前記コンタクトプラグは前記転送トランジスタの転送ゲートに接続され、
前記遮断部の一部は前記転送ゲートの上に配され、
前記第１絶縁層は、前記遮断部の前記一部と前記転送ゲートとの間に配置されることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の撮像装置。
【請求項１７】
前記第１絶縁層は、前記トランジスタのゲート絶縁膜とは異なる材料を含むことを特徴とする請求項１４乃至１６の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１８】
請求項１４乃至１７の何れか１項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置からの信号を処理する信号処理装置とを備えたことを特徴とするカメラ。
【手続補正書】
【提出日】平成27年5月22日(2015.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気信号を送信または受信するためのデバイスと、
電気信号を前記デバイスへ伝送するか、または前記デバイスからの電気信号を伝送するためのリジッド基板と、
前記デバイスと前記リジッド基板とを電気的に接続するためのフレキシブル基板と、
前記リジッド基板に設けられ、前記リジッド基板と前記フレキシブル基板とを脱着可能に接続するためのコネクタとを備え、
前記フレキシブル基板において、前記コネクタとの接続部が第１主表面に設けられており、前記接続部における電気信号の伝送路のインピーダンスを調整するためのインピーダンス調整部が、第２主表面の、前記接続部と対向する領域に設けられている、回路モジュール。
【請求項２】
前記インピーダンス調整部はグランドパターンである、請求項１に記載の回路モジュール。
【請求項３】
前記コネクタのグランドノードとの前記接続部であるグランド用接続部から前記グランドパターンへの伝送路のインピーダンスは、前記グランド用接続部から前記コネクタのグランドノードへの伝送路のインピーダンスより大きい、請求項２に記載の回路モジュール。
【請求項４】
前記デバイスには、電気信号を送信するための送信用デバイスと、電気信号を受信するための受信用デバイスとがあり、
前記フレキシブル基板における前記コネクタとの接続部は、前記フレキシブル基板の第１主表面に設けられており、
前記送信用デバイスへの電気信号の伝送路のインピーダンスは、前記受信用デバイスからの電気信号の伝送路のインピーダンスよりも小さく、
前記インピーダンス調整部は、前記フレキシブル基板の第２主表面における領域であって、前記接続部のうち前記送信用デバイスへの電気信号の伝送路となる接続部、と対向する領域に設けられている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の回路モジュール。
【請求項５】
前記フレキシブル基板に、前記接続部である、グランド用接続部、前記受信用デバイスからの電気信号の伝送路となる信号用接続部、グランド用接続部、の並びが含まれており、
前記第２主表面における、前記信号用接続部と対向する領域にはグランドパターンがない、請求項４に記載の回路モジュール。
【請求項６】
前記接続部には、信号用接続部と、グランド用接続部とがあり、
前記グランド用接続部は、前記第１主表面におけるグランドパターンに接続されており、
前記信号用接続部は、ビアを介して前記フレキシブル基板の第２主表面に接続されている、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の回路モジュール。
【請求項７】
前記デバイスには、電気信号を送信するための送信用デバイスと、電気信号を受信するための受信用デバイスとがあり、
前記フレキシブル基板として、前記送信用デバイスと前記リジッド基板とを電気的に接続するための送信用フレキシブル基板と、前記受信用デバイスと前記リジッド基板とを電気的に接続するための受信用フレキシブル基板とが一体化されており、
前記コネクタとして、前記リジッド基板と前記送信用フレキシブル基板とを脱着可能に接続するための送信用コネクタと、前記リジッド基板と前記受信用フレキシブル基板とを脱着可能に接続するための受信用コネクタとが一体化されている、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の回路モジュール。
【請求項８】
電気信号を光信号に変換して送信するか、または光信号を受信して電気信号に変換するための光デバイスと、
電気信号を前記光デバイスへ伝送するか、または前記光デバイスからの電気信号を伝送するための光通信用リジッド基板と、
前記光デバイスと前記光通信用リジッド基板とを電気的に接続するためのフレキシブル基板と、
前記光通信用リジッド基板に設けられ、前記光通信用リジッド基板と前記フレキシブル基板とを脱着可能に接続するためのコネクタと、
前記光信号に変換すべき電気信号を生成して前記光通信用リジッド基板へ出力するか、または前記光通信用リジッド基板によって伝送された前記光デバイスからの電気信号を処理するための処理部とを備え、
前記フレキシブル基板において、前記コネクタとの接続部が第１主表面に設けられており、前記接続部における電気信号の伝送路のインピーダンスを調整するためのインピーダンス調整部が、第２主表面の、前記接続部と対向する領域に設けられている、光通信装置。