(57)【要約】  印刷用サスペンドメタルマスクにおいては、版枠（３）と、版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュ（１）を有するメッシュと、金属製メッシュ（１）に密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用の開口パターン（５ｂ）が設けられたベースメタル（５）とを備える。ベースメタル（５）は、印刷用開口パターン（５ｂ）が形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は可能な限り除去することにより、ベースメタル（５）の金属部分の面積を縮小する。ベースメタルの印刷に関係がない部分の金属部分には多数の金属面積縮小用孔（５ｄ）を形成し、金属面積縮小用孔に乳剤（１４）を充填して孔を閉塞する。
2014076762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠と、
前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は可能な限り除去することにより、ベースメタルの金属部分の面積を縮小したことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項２】
印刷に関係がない部分の金属部分は、除去する金属部分の比率が１０〜９０％であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項３】
ベースメタルの金属部分の面積を縮小して、印刷基板と線接触するようにしたことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項４】
ベースメタルは、印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分には多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成し、前記金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して孔を閉塞することにより、印刷されないようにしたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項５】
金属面積縮小用ダミー孔は、円形孔であることを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項６】
版枠と、
前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は全て無くし、
前記ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュは、メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにしたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項７】
版枠と、前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施され、かつそれ以外の部分に多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジスト及び前記多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成するとともに、前記ベースメタルのそれ以外の部分に多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルのそれ以外の部分に形成された多数の金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
【請求項８】
版枠と、前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備え、前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は全て無くしたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
公知のパターニング・マスクの代表的な構造を図１５〜図１７に示す。このパターニング・マスクの構造は、日本特許第３５６００４２号公報の図１〜図３に記載されているものと同一のものである。パターニング・マスク２６は、金属製ワイヤからなるメッシュ層２１を備える。メッシュ層２１は、固体要素によって分離された２次元の規則的なパターンの開口２８を有する。メッシュ層２１を部分的に取り囲んでパターン化印刷層２２を配置する。印刷層２２は、ステンシル層２３とシール層２４の２つの部分から形成されており、両方の部分２３、２４ともパターン化され、同じパターンである。ステンシル層２３は、リソグラフィで用いられる標準的なフォトレジスト材料からなり、ステンシル層２３のパターニングは、標準的なリソグラフィ・プロセスで行う。印刷層２２のシール層２４は、ステンシル層２３とまったく同じパターンを有するが、実質上弾性的である点が異なる。シール層２４はステンシル層２３に接着されて、この層とともに印刷層２２を形成している。そして印刷層２２は、メッシュ層２１に機械的に固定されている。ステンシル層２３の材料は、例えばニッケルを電気めっきしてステンシル層２３を形成しても良い。また、メッシュ層２１は、金属またはポリマーのような材料を使用することができる。ステンシル層２３には、ポリマー、レジストまたは金属のような材料を使用することができる。２つの部分からなる印刷層２２およびメッシュ層２１を備えるパターニング・マスク２６は、図１６に示した印刷工程用のパターニング・ツールとして使用することができる。このために、基板２５の実質上平らな表面上にパターニング・マスク２６を下ろす。その後、インク２７を印刷層２２に注入すると、インク２７は、メッシュ層２１の開口を通って印刷層２２のオリフィス内に流れ込む。パターン化印刷層２２は、基板２５と接触している場合、基板２５と印刷層２２との界面に、パターン化印刷層２２のオリフィス２９を充填することができ基板２５に到達するインク２７に対するシールを提供する。インク２７は、それぞれのオリフィス２９の領域に閉じ込められる。【０００３】
図１７にパターニング・マスク２６の他の実施例を示す。ここでは、印刷層２２は、部分的にもメッシュ層２１を取り囲んでおらず、メッシュ層２１の下側に取り付けられているだけであるという点が、図１５〜図１６の実施例と異なる。ステンシル層とメッシュ層より薄くすることができる。さらに、ここではオリフィス２９はメッシュ層２１の開口２８より小さい。【０００４】
また、公知の印刷用サスペンドメタルマスクの構造を図１８に示す。この印刷用サスペンドメタルマスクの構造は、日本特開平１１−１５７０４２号公報の図３に記載されているものと同一のものである。印刷用サスペンドメタルマスクは、版枠（図示せず）に外周を接着固定したスクリーンメッシュ３１の印刷面中央部にメタルマスク３２を接着固定し、スクリーンメッシュ３１のスキージ面側に樹脂３３を塗布固化し、メタルマスク３２の画像透孔部３２ａに合わせて感光乳剤３３に焼付等により透孔３３ａを形成する。この透孔３３ａはどのような手段によって形成しても良く、メタルマスク３２の画像透孔部３２ａより僅かに幅広に形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】日本特許第３５６００４２号公報
【特許文献２】日本特開平１１−１５７０４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、金属製ワイヤからなるメッシュ層に印刷パターン形成用の感光乳剤を塗布してなる、乳剤版と呼ばれるものは、柔軟性があり、スキージング時に基板へ線接触するため、メタルマスク版に比べてスキージングによる空気溜まりが少なく、版離れは良好であるが、メッシュ層の金属製ワイヤが細いため、耐久性に乏しいものであった。一方、メタルマスク版は、金属部分が多いため、マスク全体が硬く、スキージング時に基板へ面接触するため、乳剤版に比べてスキージングによる空気溜まりが多く、版離れが悪かった。【０００７】
また、四角形の版枠にコンビネーションメッシュを紗張りし、このコンビネーションメッシュの中央部に設けたステンレスメッシュにニッケル等からなるベースメタルを接合めっきにより接合した印刷用サスペンドメタルマスクでは、ベースメタルの金属部分の面積が大きく柔軟性に欠けるため、タッチパネルパターン等の印刷を行う際に、版離れの遅れにより印刷擦れが発生している。特に版離れの遅れによる印刷擦れはパターンの大面積部に顕著に発生する。また、パターンに細線部と大面積部とがあるため、めっき時に板厚のばらつきが発生し易くなるという問題があった。【０００８】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ベースメタルの金属部分の面積を小さくして柔軟性を持たせることにより、版離れを改善した印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る印刷用サスペンドメタルマスクにおいては、版枠と、版枠の内側に外周を接着固定して張設され、中央部に金属製メッシュが設けられたコンビネーションメッシュと、金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用の開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたものにおいて、ベースメタルは、印刷用の開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は可能な限り除去することにより、ベースメタルの金属部分の面積を縮小したものである。【００１０】
また、印刷に関係がない部分の金属部分は、除去する金属部分の比率が１０〜９０％である。【００１１】
また、ベースメタルの金属部分の面積を縮小して、印刷基板と線接触するようにしたものである。【００１２】
また、ベースメタルは、印刷用の開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分には多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成し、前記金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して孔を閉塞することにより、印刷されないようにしたものである。【００１３】
また、金属面積縮小用ダミー孔は、円形孔である。【００１４】
また、ベースメタルは、印刷用の開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は全てを無くし、ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュは、メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにしたものである。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、ベースメタルの印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は可能な限り除去することにより、ベースメタルの金属部分の面積を縮小したので、ベースメタルの柔軟性が良くなり、空気抜け性が向上して版離れを良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な各構成要素を分離して示す斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の接合めっき工程を示す断面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の接合めっきが終了した状態を示す断面図である。
【図４】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の接合状態からセットを解除した状態を示す断面図である。
【図５】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法のベースメタルからＳＵＳ母材を剥離している状態を示す断面図である。
【図６】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法のベースメタルの開口レジストを剥離する前の状態を示す断面図である。
【図７】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法のベースメタルの開口レジストを剥離して完成した印刷用サスペンドメタルマスクを示す断面図である。
【図８】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図である。
【図９】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの要部構成を示す拡大平面図である。
【図１０】従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図である。
【図１１】この発明の実施の形態１における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合（点接触）と従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合（面接触）の版離れ状態を比較して示す説明図である。
【図１２】この発明の実施の形態２における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図である。
【図１３】この発明の実施の形態３における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタル用ＳＵＳ母材表面をビーズブラスト等で粗した状態を示す顕微鏡写真である。
【図１４】この発明の実施の形態３における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタル用ＳＵＳ母材表面をビーズブラスト等で粗した状態を更に拡大して示す顕微鏡写真である。
【図１５】従来のパターニング・マスクを示す横断面図および平面図である。
【図１６】従来の印刷ステップにおける基板上のパターニング・マスクを示す横断面図である。
【図１７】従来のパターニング・マスクの他の例を示す断面図である。
【図１８】従来の印刷用サスペンドメタルマスクを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
この発明をより詳細に説明するため、添付の図面に従ってこれを説明する。なお、各図中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化ないし省略する。
【００１８】
実施の形態１.
図１はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な各構成要素を分離して示す斜視図、図２〜図７はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の製造工程を示す断面図である。図８はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図、図９はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの要部構成を示す拡大平面図、図１０は従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図、図１１はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合（点接触）と従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合（面接触）の版離れ状態を比較して示す説明図である。
【００１９】
この発明の印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法に必要な構成要素は、図１に示すように、中央部に設けられた通電性を有するステンレスメッシュ又はニッケルメッシュからなる金属製メッシュ１及びこの金属製メッシュ１の外側に設けられたテトロンメッシュ２とからなるコンビネーションメッシュが内側に張設された四角形状の金属製版枠３と、ベースメタル用ＳＵＳ母材４上に設けられ、印刷用開口パターンが形成される部分に印刷開口パターン形成用レジスト５ａが施されたベースメタル５と、テトロンメッシュ６が張設された四角形状の接合補助用金属製版枠７と、この接合補助用金属製版枠７のテトロンメッシュ６とベースメタル用ＳＵＳ母材４との間に介装されるスポンジ８とから構成される。なお、四角形状の金属製版枠３に張設されるメッシュは、中央部の金属製メッシュ１と外側のテトロンメッシュ２とからなるコンビネーションメッシュが好適であるが、コンビネーションメッシュでなく、通電性を有する金属製メッシュ１の単体からなる一枚物であっても良い。また、上記ベースメタル５には、印刷開口パターン形成用レジスト５ａの他に、金属部分の面積を縮小するためのダミー孔を多数形成するために、多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジスト（図示せず）を施しておく。この金属面積縮小用ダミー孔（図示せず）をベースメタル５に多数形成することにより、金属部分の面積が縮小され、ベースメタル５の柔軟性を向上させることができる。また、ベースメタル５は、めっき成長側がスキージ面となり、ベースメタル用ＳＵＳ母材４側が印刷面と接触する面となる。例えば、フィルム状の印刷基板に印刷する場合、ベースメタル５の印刷面と接触する面に粗さが無く滑らか（鏡面に近い）であると、空気の通り道ができずに密着してしまう恐れがある。したがって、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面を鏡面仕上げとした場合は、ベースメタル５の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くすることが考えられる。一方、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面を予めビーズブラスト、バフ研磨等で粗くした場合は、ベースメタル５の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くする必要はない。
【００２０】
印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法の接合めっき工程に当たっては、図２に示すように、右側に四角形状の金属製版枠３を配置し、左側に四角形状の接合補助用金属製版枠７を配置する。そして、金属製版枠３の金属製メッシュ１と重合位置するようにベースメタル５を配置し、金属製版枠３と接合補助用金属製版枠７を互いに重合させて粘着テープ９等で締結固定し、ベースメタル用ＳＵＳ母材４及びスポンジ８を介してベースメタル５と金属製メッシュ１が互いに密着状態となるようにセットする。この密着状態にセットしたものを陰極１０に接続するとともに電気的に導通させて、スルファミン酸ニッケル浴が入っためっき槽１１内に収容し、ニッケル１２を陽極１３に接続することにより、ベースメタル５と金属製メッシュ１の間で接合めっきを行い、両者を一体的に接合する。この接合めっき量は、通常片側２μｍとし、電鋳めっきと同じめっき法を用いる。また、陽・陰極電流密度は約０．５Ａ／ｄｍ２の低電流を用いることにより、接合めっき量の均一性向上と金属製メッシュ１の断線を防止することができる。
【００２１】
次に、接合めっき工程が終了したら、上記密着状態にセットしたものをめっき槽１１から取り出し（図３参照）、粘着テープ９を取り外して密着状態にセットしたものを解除する（図４参照）。次に、ベースメタル５からベースメタル用ＳＵＳ母材４を剥離する（図５及び図６参照）。ベースメタル５は、めっき成長側がスキージ面となり、ベースメタル用ＳＵＳ母材４側が印刷面と接触する面となる。例えば、フィルム状の印刷基板に印刷する場合、ベースメタル５の印刷面と接触する面に粗さが無く滑らか（鏡面に近い）であると、空気の通り道ができずに密着してしまう恐れがある。したがって、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面を鏡面仕上げとした場合は、ベースメタル５の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くすることが考えられる。なお、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面を予めビーズブラスト、バフ研磨等で粗くして、ベースメタル５の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することを省略しても良い。その後、ベースメタル５と金属製メッシュ１の接合部がめっきにより一体的に接合されている金属製版枠３のベースメタル５から印刷開口パターン形成用レジスト５ａ及び金属面積縮小ダミー孔形成用レジスト（図示せず）を剥離することにより、印刷用開口パターン５ｂ及び金属面積縮小用ダミー孔（図示せず）が形成される。これにより、この発明の実施の形態１の印刷用サスペンドメタルマスクが完成する（図７参照）。なお、図１〜図７においては、ベースメタル５の印刷開口パターン形成用レジスト５ａ及び印刷用開口パターン５ｂは、簡略化してイメージのみを示したものである。また、多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジスト及び金属面積縮小用ダミー孔はいずれも図示していない。
【００２２】
図８はベースメタル５の構成を模式化して示したものであり、実際のものとは相違する。図９はベースメタル５の構成を拡大して示したものである。図８〜図９において、ベースメタル５は、印刷用開口パターン５ｂが形成される部分の周囲の金属部分は数ｍｍ程度を残すようにしている。また、それ以外の印刷に関係がなく必要でない部分の金属部分は可能な限り除去するようにしている。すなわち、印刷に関係がなく必要でない部分の金属部分に、直径約３０ｍｍ程度の多数の金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄを、互いに隣接するダミー円形孔５ｄの相互間の間隔が約５ｍｍとなるように形成することにより、ベースメタル５の金属部分の面積を少なくしている。このダミー円形孔５ｄは、垂直線に対して約３０°の角度を持って縦方向に１列となるように形成されており、水平線に対して約６０〜６７.５°の角度を持って斜め方向に１列となるように形成されている。このダミー円形孔５ｄは、各１個のダミー円形孔５ｄを見ると、その左右に隣接して配置されるダミー円形孔５ｄは同じ水平位置ではなく、縦方向に千鳥状にずれるように配置されている。また、ダミー円形孔５ｄは、垂直線及び水平線に対して角度を付けずに縦横方向に一直線に形成しても良い。なお、ダミー円形孔５ｄを形成することにより除去する金属部分の比率は、理論上１〜９９％であるが、実際には１０〜９０％程度が好ましく、２０〜８０％、３０〜７０％、４０〜６０％、５０％前後であっても良い。これにより、金属部分を少なくした分、ベースメタル５の柔軟性が良くなり、ベースメタル５自体の柔軟性と空気抜け性を向上させて、版離れを良くすることができる。なお、形成された金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄは、図８の左側半分に示すように、当初は開口しているが、形成後は図８の右側半分に示すように、金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄに感光乳剤１４を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにしている。また、金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄに充填された感光乳剤１４は、毛細管現象により表面が平らにならずに凹形状となる。したがって、ベースメタル５の表面と感光乳剤１４の表面とは面一にならず段差ができるので、ベースメタル５が印刷基板１５と密着して離れ難くなることを防止することができる。また、金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄは、円形孔であるため、めっき時の電流密度や、上下、左右方向の伸び率が同じとなるので、スリット孔や格子孔よりも作り易く、好適であるが、スリット孔や格子孔であっても良い。また、金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄは、スキージの当たりが進行方向にずれるように２２．５°の角度を付けている。
【００２３】
図１０は従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を模式化して示したものであり、実際のものとは異なる。図１０において、ベースメタル５は、印刷用開口パターン５ｂが形成される部分の一部が開口しているだけであり、それ以外の部分は全て金属部分が残っている。したがって、金属部分が多くある分、ベースメタル５自体がハード構成となり、ベースメタル５の柔軟性にも欠けているものである。
【００２４】
図１１はこの発明の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合（点接触）と従来の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルを用いた場合（面接触）の版離れ状態を比較して示す説明図である。従来の場合は、ベースメタル５の金属部分が多く残っている分、柔軟性にも欠けるので、図１１ａに示すように、ベースメタル５が湾曲して印刷基板１５と面接触することになり、版離れが悪くなるが、この発明によれば、ベースメタル５の金属部分を少なくして、柔軟性を良くしたので、図１１ｂに示すように、ベースメタル５が湾曲でなく角度を持って折れ曲がるので、印刷基板１５と点接触することになり、版離れが良くなる。これにより、例えば特殊形状の基板に対するダメージを小さくすることが可能となる。
【００２５】
実施の形態２.
図１２はこの発明の実施の形態２における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルの構成を示す平面図である。
【００２６】
上記実施の形態１では、ベースメタル５は、印刷用開口パターン５ｂが形成される部分の周囲の金属部分は数ｍｍ程度を残し、それ以外の印刷に関係がなく必要でない部分の金属部分に、直径約３０ｍｍ程度の多数の金属面積縮小用ダミー円形孔５ｄを、互いに隣接するダミー円形孔５ｄの相互間の間隔が約５ｍｍとなるように形成することにより、ベースメタル５の金属部分の面積を少なくしているが、この実施の形態２においては、図１２に示すように、ベースメタル５は、印刷用開口パターン５ｂが形成される部分の周囲の金属部分は数ｍｍ程度を残しているが、それ以外の印刷に関係がなく必要でない部分は、全ての金属部分を無くしている。すなわち、印刷用開口パターン５ｂが形成される部分の周囲数ｍｍ以外には、ベースメタル５の金属部分は存在せず、金属製メッシュ１が存在するのみである。これにより、ベースメタル５の金属部分の多くを無くした分、ベースメタル５の柔軟性が良くなり、ベースメタル５自体の柔軟性と空気抜け性を向上させて、版離れを良くすることができる。なお、印刷用開口パターン５ｂが形成される部分の周囲数ｍｍ以外の部分に位置する金属製メッシュ１は、図１２の左側半分に示すように、当初は金属製メッシュ１が開口しているが、印刷に関係がない部分の金属製メッシュ１は、図１２の右側半分に示すように、金属製メッシュ１の開口に感光乳剤１４を充填してメッシュ開口を閉塞することにより、印刷されないようにしている。この実施の形態２の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルは、上記実施の形態１の印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタルよりも柔軟性に富んだものとなるが、その分強度の方は弱くなる。
【００２７】
実施の形態３.
上記実施の形態３においては、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面の粗さが少ない場合、ベースメタル５の印刷面と接触する面の粗さが少なく滑らかな鏡面仕上げに近い面となるので、例えば、フィルム状の印刷基板に印刷する場合、空気の通り道ができずに密着してしまう恐れがある。そこで、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面の粗さが少ない場合は、ベースメタル５の印刷面と接触する面を後で研磨剤が入っている不織布で研磨することにより、粗くすると、開口不良が発生しにくく、均一性に優れたものとなる。なお、研磨剤が入っている不織布の代わりにサンドペーパーで研磨することもできる。また、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面を予めビーズブラスト等で粗くして、ベースメタル５の印刷面と接触する面を後でサンドペーパーや研磨剤が入っている不織布で研磨することを省略しても良い。ブラストに使用する砥剤は、ビーズ以外に鋼球等の球状物を用いることもできる。図１３はこの発明の実施の形態３における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタル用ＳＵＳ母材表面をビーズブラスト等で粗した状態を示す顕微鏡写真、図１４はこの発明の実施の形態３における印刷用サスペンドメタルマスクのベースメタル用ＳＵＳ母材表面をビーズブラスト等で粗した状態を更に拡大して示す顕微鏡写真である。ビーズブラストは、ベースメタル５のめっき皮膜が２〜２５μｍと薄膜であるが、ＳＵＳ母材４から剥がし易くなる。
【００２８】
なお、比較例として、セラミック＃１０００で研磨したメタルマスクを用意した。このメタルマスクは、算術平均粗さＲａ：０．０７２μｍ、最大高さＲｍａｘ：１．５１６μｍ、十点平均粗さＲｚ：１．００４μｍ、凹凸の平均間隔Ｓｍ：９２．３μｍであり、印刷すると擦れが発生した。これに対し、試験例１は、ベルト＃１０００で研磨したメタルマスクであり、算術平均粗さＲａ：０．０８０μｍ、最大高さＲｍａｘ：２．１１２μｍ、十点平均粗さＲｚ：０．８５２μｍ、凹凸の平均間隔Ｓｍ：２４１．７μｍであり、印刷すると擦れが発生しなかった。また、試験例２は、サンドペーパー＃４００で研磨したメタルマスクであり、算術平均粗さＲａ：０．０６０μｍ、最大高さＲｍａｘ：１．７５６μｍ、十点平均粗さＲｚ：０．８１２μｍ、凹凸の平均間隔Ｓｍ：２８６．８μｍであり、印刷すると擦れが発生しなかった。また、試験例３は、サンドペーパー＃１０００で研磨したメタルマスクであり、算術平均粗さＲａ：０．０９６μｍ、最大高さＲｍａｘ：３．１４４μｍ、十点平均粗さＲｚ：１．４１２μｍ、凹凸の平均間隔Ｓｍ：１３６．２μｍであり、印刷すると擦れが発生しなかった。また、試験例４は、ベースメタル用ＳＵＳ母材４の表面を予めビーズブラスト２．０で粗くした場合で、算術平均粗さＲａ：０．１３２μｍ、最大高さＲｍａｘ：２．９０４μｍ、十点平均粗さＲｚ：１．４８０μｍ、凹凸の平均間隔Ｓｍ：１７４．３μｍのメタルマスクであり、印刷すると擦れが発生しなかった。これらの試験例１〜４は、いずれも擦れが無く印刷結果が良好であるが、試験例１は再現性が低く、試験例２〜３はフリーハンド加工であることから、安定性が悪い。しかし、試験例４は擦れが改善されると同時に、細線部の断線もなく印刷結果が良好である。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
この発明は、ベースメタルの金属部分の面積を小さくして柔軟性を持たせ、版離れを改善する印刷用サスペンドメタルマスクに適用することができる。
【符号の説明】
【００３０】
１  金属製メッシュ
２  テトロンメッシュ
３  金属製版枠
４  ベースメタル用ＳＵＳ母材
５  ベースメタル
５ａ  印刷開口パターン形成用レジスト
５ｂ  印刷用開口パターン
５ｄ  金属面積縮小用ダミー円形孔
６  テトロンメッシュ
７  接合補助用金属製版枠
８  スポンジ
９  粘着テープ
１０  陰極
１１  めっき槽
１２  ニッケル
１３  陽極
１４  感光乳剤
１５  印刷基板
２１  メッシュ層
２２  印刷層
２３  ステンシル層
２４  シール層
２５  基板
２６  パターニング・マスク
２７  インク
２８  開口
２９  オリフィス
３１  スクリーンメッシュ
３２  メタルマスク
３２ａ  画像透孔部
３３  樹脂（感光乳剤）
３３ａ  透孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年4月3日(2015.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠と、
前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、残した金属部分の周囲に位置する印刷に関係がない部分の金属部分には多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成することにより、ベースメタルの金属部分の面積を縮小し、前記金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して孔を閉塞することにより、印刷されないようにしたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項２】
印刷に関係がない部分の金属部分は、除去する金属部分の比率が１０〜９０％であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項３】
ベースメタルの金属部分の面積を縮小して、印刷基板と線接触するようにしたことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項４】
金属面積縮小用ダミー孔は、円形孔であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項５】
版枠と、
前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は全て無くし、
前記ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュは、メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにしたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項６】
版枠と、前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備え、前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、残した金属部分の周囲に位置する印刷に関係がない部分の金属部分には多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成することにより、ベースメタルの金属部分の面積を縮小したスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施され、かつそれ以外の部分に多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジスト及び前記多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成するとともに、前記ベースメタルのそれ以外の部分に多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルのそれ以外の部分に形成された多数の金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
【請求項７】
版枠と、前記版枠の内側に外周を接着固定して張設され、少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着重合させて接合めっきにより一体接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備え、前記ベースメタルは、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分は残し、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分は全て無くしたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年10月19日(2015.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠と、
前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分とに分けられ、
前記印刷に関係がある部分の金属部分は、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、
前記印刷に関係がない部分の金属部分は、全体に多数の金属面積縮小用ダミー孔が形成されて金属部分の面積が縮小された状態で柔軟性が付与されており、
前記金属面積縮小用ダミー孔は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されていることを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項２】
印刷に関係がない部分の金属部分は、除去する金属部分の比率が１０〜９０％であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項３】
金属面積縮小用ダミー孔は、円形孔であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項４】
版枠と、
前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
前記金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクにおいて、
前記ベースメタルは、前記印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分とに分けられ、
前記印刷に関係がある部分の金属部分は、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、
前記印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分に存在する前記金属製メッシュの開口は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されていることを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスク。
【請求項５】
版枠と、前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備え、前記ベースメタルは、前記印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分とに分けられ、前記印刷に関係がある部分の金属部分は、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、前記印刷に関係がない部分の金属部分は、全体に多数の金属面積縮小用ダミー孔が形成されて金属部分の面積が縮小された状態で柔軟性が付与されており、前記金属面積縮小用ダミー孔は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されているスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施され、かつそれ以外の部分に多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジスト及び前記多数の金属面積縮小ダミー孔形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成するとともに、前記ベースメタルのそれ以外の部分に多数の金属面積縮小用ダミー孔を形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルのそれ以外の部分に形成された多数の金属面積縮小用ダミー孔に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
【請求項６】
版枠と、前記版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、前記金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備え、前記ベースメタルは、前記印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分とに分けられ、前記印刷に関係がある部分の金属部分は、前記印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、前記印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分に存在する前記金属製メッシュの開口は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されているスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法であって、
所定部分に印刷開口パターン形成用レジストが施された前記ベースメタルと前記金属製メッシュとを一体接合する工程と、
前記ベースメタルから前記印刷開口パターン形成用レジストを剥離することにより、前記ベースメタルの所定部分に印刷用開口パターンを形成する工程と、
前記ベースメタルの所定部分に形成された印刷用開口パターンは開口したままとし、前記ベースメタルの金属部分の存在しない部分の金属製メッシュの開口に乳剤を充填して開口を閉塞することにより、印刷されないようにする工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用サスペンドメタルマスクの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明に係る印刷用サスペンドメタルマスクにおいては、版枠と、版枠の内側に外周が張設されている少なくとも中央部に通電性のある金属製メッシュを有するメッシュと、
金属製メッシュに密着した状態で接合され、印刷用開口パターンが設けられたベースメタルとを備えたものにおいて、ベースメタルは、印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分とに分けられ、印刷に関係がある部分の金属部分は、印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、印刷に関係がない部分の金属部分は、全体に多数の金属面積縮小用ダミー孔が形成されて金属部分の面積が縮小された状態で柔軟性が付与されており、金属面積縮小用ダミー孔は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されているものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、ベースメタルは、印刷開口パターンが形成される印刷に関係がある部分の金属部分と、それ以外の印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分とに分けられ、印刷に関係がある部分の金属部分は、印刷用開口パターンが形成される部分の周囲の金属部分として存在し、印刷に関係がない部分の金属部分が存在しない部分に存在する金属製メッシュの開口は、乳剤が充填された状態で全て閉塞されているものである。
【国際調査報告】
2014076762.tif 000021
2014076762.tif 000022
2014076762.tif 000023
2014076762.tif 000024