【手続補正書】
【提出日】平成26年11月21日(2014.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の直径を有する第１の端部と、該第１の端部の反対側の約２インチの第２の直径を有する第２の端部とを有する圧縮チャンバにおいて、
上記第１の端部と上記第２の端部間に形成され、当該圧縮チャンバの内部空間及び該第１及び第２の端部の中心を結ぶ長軸の周りに円周方向に配置され、該内部空間及び該長軸を画定する内面と、
上記内面から形成され、上記第１の端部から離れ、上記第２の端部に近付くにつれて狭くなる截頭円錐面と、
上記第２の端部に配置され、上記長軸に略揃えられた排出口と、
上記第１の端部に配置され、上記長軸に略垂直であり、該長軸に略揃えられた中心を有するカバーと、
上記カバーの中心の近くに配置され、当該圧縮チャンバに反応混合物を供給する反応混合物噴射口と、
上記長軸の周りに円周方向に配置され、上記カバーに配置され、１つ以上の孔部から構成されて環状形状をなす供給口を有し、調整流体を、上記内面に沿って当該圧縮チャンバに環状形状で供給する環状供給部とを備える圧縮チャンバ。
【請求項２】
上記１つ以上の供給口は、上記反応混合物噴射口の周りに配置されていることを特徴とする請求項１記載の圧縮チャンバ。
【請求項３】
上記環状供給部は、上記反応混合物噴射口の周りに環状形状で配置された１つの連続した供給口を有し、上記調整流体を、上記内面に沿って当該圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項１記載の圧縮チャンバ。
【請求項４】
上記環状供給部は、当該圧縮チャンバの上記内面に沿って配置されていることを特徴とする請求項１記載の圧縮チャンバ。
【請求項５】
上記環状供給部は、当該圧縮チャンバの上記内面上に環状形状で配置された１つの連続した供給口を有し、上記調整流体を、該内面に沿って当該圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項４記載の圧縮チャンバ。
【請求項６】
エネルギ供給ゾーンを有し、該エネルギ供給ゾーン内で反応混合物を生成するエネルギ供給装置と、
第１の直径を有する第１の端部と、該第１の端部の反対側の約２インチの第２の直径を有する第２の端部と、該第１の端部と該第２の端部間に形成され、内部空間及び該第１及び第２の端部の中心を結ぶ長軸の周りに円周方向に配置され、該内部空間及び該長軸を画定する内面とを有し、粒子を生成する圧縮チャンバとを備え、
上記内面から形成され、上記第１の端部から離れ、上記第２の端部に近付くにつれて狭くなる截頭円錐面を有し、
上記圧縮チャンバの第２の端部に、上記長軸に略揃えられた排出口が配置され、
上記圧縮チャンバの第１の端部に、上記長軸に略垂直であり、該長軸に略揃えられた中心を有するカバーが配置され、
上記カバーの中心の近くに、上記エネルギ供給ゾーンから上記圧縮チャンバに上記反応混合物を供給する反応混合物噴射口が配置され、
上記長軸の周りに円周方向に、上記カバーに配置され、１つ以上の孔部から構成されて環状形状をなす供給口を有し、調整流体を、上記内面に沿って上記圧縮チャンバに環状形状で供給する環状供給部が配置されていることを特徴とする粒子生産システム。
【請求項７】
上記エネルギ供給装置は、
処理ガス供給装置から処理ガスが供給され、
上記処理ガスにエネルギを供給して、プラズマ流を形成し、
前駆体供給装置から前駆体物質が供給され、
上記プラズマ流を上記前駆体物質に作用させて、該前駆体物質を蒸発させ、該プラズマ流に飛沫同伴された該蒸発前駆体物質を含む上記反応混合物を形成することを特徴とする請求項６記載の粒子生産システム。
【請求項８】
上記１つ以上の供給口は、上記反応混合物噴射口の周りに配置されていることを特徴とする請求項６記載の粒子生産システム。
【請求項９】
上記環状供給部は、上記反応混合物噴射口の周りに配置された１つの連続した供給口を有し、上記調整流体を、上記内面に沿って上記圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項６記載の粒子生産システム。
【請求項１０】
上記環状供給部は、上記圧縮チャンバの上記内面に沿って配置されていることを特徴とする請求項６記載の粒子生産システム。
【請求項１１】
上記環状供給部は、上記圧縮チャンバの上記内面上に環状形状で配置された１つの連続した供給口を有し、上記調整流体を上記内面に沿って上記圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項１０記載の粒子生産システム。
【請求項１２】
反応混合物を調整する調整方法において、
第１の直径を有する第１の端部と、該第１の端部の反対側の約２インチの第２の直径を有する第２の端部と、該第１の端部と該第２の端部間に形成され、内部空間及び該第１及び第２の端部の中心を結ぶ長軸の周りに円周方向に配置され、該内部空間及び該長軸を画定する内面とを有し、該内面から形成され、該第１の端部から離れ、該第２の端部に近付くにつれて狭くなる截頭円錐面と、該第１の端部に配置され、該長軸に略垂直であり、該長軸に略揃えられた中心を有するカバーとを備える圧縮チャンバを準備するステップと、
エネルギ供給装置に前駆体物質が粉末の形で供給され、該エネルギ供給装置によって、プラズマ流を該前駆体物質に作用させて、該前駆体物質を蒸発させ、該プラズマ流に飛沫同伴された該蒸発前駆体物質を含む上記反応混合物を形成するステップと、
上記反応混合物を、上記圧縮チャンバの上記カバーの中心の近くに配置された反応混合物噴射口を介して、該圧縮チャンバの内部空間に流すステップと、
調整流体を、上記長軸の周りに円周方向に配置された１つ以上の供給口を有し、上記圧縮チャンバの上記内面に沿って該圧縮チャンバに環状形状で供給する環状供給部を介して、該圧縮チャンバの内部空間に流すステップと、
上記反応混合物を、上記圧縮チャンバの内部空間で冷却して、冷却混合物を形成するステップと、
上記冷却混合物を、上記圧縮チャンバの上記第２の端部に配置され、上記長軸に略揃えられた排出口に流すステップとを有し、
上記環状供給部は、上記反応混合物噴射口の周りで上記カバーに配置され、１つ以上の孔部から構成されて環状形状をなす供給口を備え、上記調整流体を、上記内面に沿って上記圧縮チャンバに供給し、
上記環状供給部は、上記調整流体が、上記反応混合物とは異なるポートを介して上記圧縮チャンバの内部空間に供給されるように、上記反応混合物噴射口とは異なり、
上記カバー上に配置された１つ以上の供給口は、上記圧縮チャンバの長軸に対して略平行の方向の１つ以上の開口を含むことを特徴とする調整方法。
【請求項１３】
上記環状供給部は、上記反応混合物噴射口の周りに環状形状で配置された複数の供給口を有し、上記調整流体を、上記内面に沿って上記圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項１２記載の調整方法。
【請求項１４】
上記環状供給部は、上記反応混合物噴射口の周りに環状形状で配置された１つの連続した供給口を有し、上記調整流体を、上記内面に沿って上記圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項１２記載の調整方法。
【請求項１５】
他の環状供給部が、上記圧縮チャンバの上記内面に沿って配置されていることを特徴とする請求項１２記載の調整方法。
【請求項１６】
上記他の環状供給部は、上記圧縮チャンバの上記内面上に環状形状で配置された複数の供給口を有し、上記調整流体を、該内面に沿って該圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項１５記載の調整方法。
【請求項１７】
上記他の環状供給部は、上記圧縮チャンバの上記内面上に環状形状で配置された１つの連続した供給口を有し、上記調整流体を、該内面に沿って該圧縮チャンバに供給することを特徴とする請求項１５記載の調整方法。
【請求項１８】
上記反応混合物を圧縮チャンバの内部空間に流すステップの前に、
処理ガス供給装置から、処理ガスを上記エネルギ供給装置に供給するステップと、
上記エネルギ供給装置によって、上記処理ガスにエネルギを供給して、上記プラズマ流を形成するステップと、
前駆体供給装置から、上記前駆体物質を上記エネルギ供給装置に供給するステップと、
上記エネルギ供給装置によって、上記プラズマ流を上記前駆体物質に作用させて、該前駆体物質を蒸発させ、該蒸発前駆体物質が該プラズマ流に飛沫同伴された上記反応混合物を形成するステップとを更に有する請求項１２記載の調整方法。
【請求項１９】
上記調整流体は、上記反応混合物が上記圧縮チャンバに流れる温度よりも低い温度で該圧縮チャンバに流され、
上記調整流体は、上記反応混合物が上記圧縮チャンバに流れる流速よりも速い流速で該圧縮チャンバに流されることを特徴とする請求項１２記載の調整方法。
【請求項２０】
上記調整流体は、不活性ガスであることを特徴とする請求項１２記載の調整方法。
【請求項２１】
上記不活性ガスは、アルゴンであることを特徴とする請求項２０記載の調整方法。
【請求項２２】
上記供給口は、上記カバーの面に垂直な向きに配置されていることを特徴とする請求項１２記載の調整方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、一側面として、第１の直径を有する第１の端部と、第１の端部の反対側の約２インチの第２の直径を有する第２の端部とを有する圧縮チャンバを提供する。圧縮チャンバは、第１の端部と第２の端部間に形成された内面を有する。内面は、圧縮チャンバの内部空間及び長軸の周りに円周方向に配置され、内部空間及び長軸を画定する。截頭円錐面は、内面から形成されている。截頭円錐面は、第１の端部から離れ、第２の端部に近付くにつれて狭くなる。排出口は、第２の端部に配置されている。排出口は、長軸に略揃えられている。カバーは、圧縮チャンバの第１の端部に配置されている。カバーは、長軸に略垂直であり、長軸に略揃えられた中心を有する。反応混合物噴射口（reactive mixture injection port）は、カバーの中心の近くに配置されている。反応混合物噴射口は、圧縮チャンバに反応混合物を供給する。環状供給部（annular supply portion）は、長軸の周りに円周方向に配置されている。環状供給部は、内面に沿って、圧縮チャンバに、調整流体を供給する１つ以上の孔部から構成されて環状形状をなす供給口を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、他の側面として、粒子生産システム（particle production system）を提供する。粒子生産システムは、エネルギ供給ゾーンを有するエネルギ供給装置を備える。エネルギ供給装置は、エネルギ供給ゾーン内で反応混合物を生成する。また、粒子生産システムは、第１の直径を有する第１の端部と、第１の端部の反対側の約２インチの第２の直径を有する第２の端部と、第１の端部と第２の端部間に形成された内面とを有する圧縮チャンバを備える。内面は、内部空間及び長軸の周りに円周方向に配置され、内部空間及び長軸を画定する。截頭円錐面は、内面から形成され、第１の端部から離れ、第２の端部に近付くにつれて狭くなる。排出口は、第２の端部に配置され、長軸に略揃えられている。カバーは、圧縮チャンバの第１の端部に配置されている。カバーは、圧縮チャンバの長軸に略垂直な位置に配置されている。更に、カバーは、圧縮チャンバの長軸に略揃えられた中心を有する。反応混合物噴射口は、カバーの中心の近くに配置され、エネルギ供給ゾーンから圧縮チャンバに反応混合物を供給する。環状供給部は、長軸の周りに円周方向に配置されている。環状供給部は、圧縮チャンバの内面に沿って、圧縮チャンバに、調整流体を供給する１つ以上の孔部から構成されて環状形状をなす供給口を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、更に他の側面として、反応混合物を調整する調整方法を提供する。調整方法は、第１の直径を有する第１の端部と、第１の端部の反対側の約２インチの第２の直径を有する第２の端部と、第１の端部と第２の端部間に形成された内面とを有する圧縮チャンバを準備するステップを有する。内面は、内部空間及び長軸の周りに円周方向に配置され、内部空間及び長軸を画定する。截頭円錐面は、内面から形成され、第１の端部から離れ、第２の端部に近付くにつれて狭くなる。カバーは、圧縮チャンバの第１の端部に、圧縮チャンバの長軸に略垂直な位置に配置されている。更に、カバーは、圧縮チャンバの長軸に略揃えられた中心を有する。圧縮チャンバのカバーの中心の近くに配置された反応混合物噴射口を介して、圧縮チャンバの内部空間に反応混合物を流す。圧縮チャンバの内面に沿って環状に形成され、環状供給部を介して圧縮チャンバの内部空間に調整流体を流す。環状供給部は、圧縮チャンバの長軸の周りに円周方向に配置された１つ以上の孔部から構成されて環状形状をなす供給口を有する。圧縮チャンバの内部空間内で反応混合物を冷却して、冷却混合物を形成する。冷却混合物を、圧縮チャンバの第２の端部に配置された排出口に流す。排出口は、圧縮チャンバの長軸に略揃えられている。