(57)【要約】イオン移動度分離装置において、分離電極や流路のアレイ化には制限がある一方、補正電圧を細かく設定すると、補正電圧のスキャン時間の増加を招き、スループットを低減するという課題がある。上記課題は例えば次の手段によって解決される。すなわち、一対の平板電極の少なくとも一つは、第一の導電性を有する第一電極部と、第二の導電性を有する第二電極部と、第一電極部と第二電極部とに挟まれて設置される前記第一の導電性及び前記第二の導電性より小さい第三の導電性を有する第三電極部と、を含み、第一電極部と第二電極部と第三電極部は、流路と垂直になるように並べて設置され、電圧制御部は、第一電極部と第二電極部に各々異なる直流電圧を印加することを特徴とするイオン移動度分離装置。
2014006698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンを生成するイオン源と、
前記イオンのサンプル入口及びサンプル出口の間において流路を画定する、間隔をあけた一対の平板電極と、
前記平板電極間に非対称時間変動電圧と直流電圧とを印加する電圧制御部と、
前記流路方向および前記非対称時間変動電圧が印加される方向の各々に直交する方向に複数に設置される電流検出器と、を有し、
前記一対の平板電極の少なくとも一つは、第一の導電性を有する第一電極部と、第二の導電性を有する第二電極部と、前記第一電極部と前記第二電極部とに挟まれて設置される前記第一の導電性及び前記第二の導電性より小さい第三の導電性を有する第三電極部と、を含み、
前記第一電極部と前記第三電極部と前記第二電極部は、前記流路方向および前記非対称時間変動電圧が印加される方向の各々に直交する方向に並べて設置され、
前記電圧制御部は、前記第一電極部と前記第二電極部に各々異なる直流電圧を印加することを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項２】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、
前記第一電極部又は前記第二電極部は、金属を含み、
前記第三電極部は、酸化金属薄膜、窒化金属薄膜及び有機導電体の何れかを含むことを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項３】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、前記第三電極部は、両端抵抗値が５０Ω以上５ｋΩ以下であることを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項４】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、
前記複数に分割された前記電流検出器の側部と前記電流検出器の前記サンプル出口側とを囲むように設置された電極と、を有することを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項５】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、
前記平板電極と前記サンプル出口を挟んで設置され前記電圧制御部によって印加される電極対を有し、前記電流検出器は、前記電極対を挟んで設置され、前記電圧制御部は、前記電極対に電圧を印加することで前記平板電極間を通過したイオンを前記流路方向に対して直交方向に連続的に加速を行うことを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項６】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、前記電流検出器は、前記流路方向に対して複数設置されていることを特徴とするイオン移動度分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオン移動度分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
イオン移動度によりイオンを分離検出するイオン移動度分離装置は、真空ポンプを必要とせず大気圧下でも動作可能な特性から、環境分析、爆発物探知、違法薬物検知、化学剤探知などのオンサイト測定装置として広く活用されている。イオン移動度分離装置において、イオン源で生成したイオンを高精度に分離した後、高感度、高スループットに検出する技術は、アプリケーションの更なる拡大や誤検知の低減のために、重要とされている。【０００３】
特許文献１には、ガラスなどの平板絶縁体部材を用いて、イオン移動度分離装置を、小型化、高スループット化する方法が記載されている。平板絶縁体部材を用いることにより、能を上げるために、イオン進行方向に電流検出電極を複数個、設置する方法についても記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６，４９５，８２３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
イオン移動度によりイオンを分離検出するイオン移動度検出器において、イオン源で生成したイオンを高感度、高精度、高スループットに分離検出する技術は重要である。特に、非対称電界印加型イオン移動度検出器では、イオン分離能を高めることとスループットを高めることとは相反するファクターであった。即ち、イオン分離能を高めるために、補正電界を細かく設定することは、測定条件のスキャン時間の増加を招き、スループットを低減する原因となっていた。【０００６】
特許文献１では、分離電極や流路のアレイ化によるスループット向上の記載があるが、分離電極のアレイ化を行うとアレイ電極の間隙の絶縁体部分にチャージアップ起きたり、フリンジングフィールドが発生したりして、分離性能や特化特性が劣化する問題が生じる。特にアレイ間隔が微細化していくとこの問題が顕著に現れてくる。また、流路のアレイ化も壁面との間に生じる摩擦流から分離性能や特化特性が劣化する問題が生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題は例えば次の手段によって解決される。すなわち、イオンを生成するイオン源と、イオンのサンプル入口及びサンプル出口の間において流路を画定する、間隔をあけた一対の平板電極と、平板電極間に非対称時間変動電圧と直流電圧とを印加する電圧制御部と、流路方向および非対称時間変動電圧が印加される方向の各々に直交する方向に複数に設置される電流検出器と、を有し、一対の平板電極の少なくとも一つは、第一の導電性を有する第一電極部と、第二の導電性を有する第二電極部と、第一電極部と第二電極部とに挟まれて設置される第一の導電性及び第二の導電性より小さい第三の導電性を有する第三電極部と、を含み、第一電極部と第三電極部と第二電極部は、前記流路方向および前記非対称時間変動電圧が印加される方向の各々に直交する方向に並べて設置され、電圧制御部は、第一電極部と第二電極部に各々異なる直流電圧を印加することを特徴とするイオン移動度分離装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、非対称電界印加型イオン移動度分離装置において、チャージアップによる分解能の劣化を低減しつつ、同時に複数の補正電圧に対するスペクトルが取得可能となるため、スループットと分離能の両立を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明における構成例の図。
【図２】本発明における構成例の補足図。
【図３】本発明における分離電圧の例の図。
【図４】本発明の効果の説明図。
【図５】本発明の別の構成例の図。
【図６】本発明の別の構成例の効果の説明図。
【図７】本発明の別の構成例の図。
【図８】本発明の別の構成例の効果の説明図。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１０】
図１は、本方式を適用したイオン移動度分離装置の構成図である。大気圧化学イオン源、大気圧光励起イオン源、エレクトロスプレーイオン源、誘電体バリア放電イオン源、などの大気圧イオン源１０で生成したイオン８は、ダイヤフラムポンプなどからなるポンプ１１により生成したガス流１０１により、基板１２と基板１３とスペーサ２０（手前側のスペーサは図示せず）に囲まれた空間に導入される。基板１２と基板１３は、表面に各種の電極を配置する必要性から、ガラス、プラスティック、セラミックなどの絶縁体から構成されると製作が容易になる。また、基板１２と基板１３との間隔ｄは通常５０ｕｍ以上２ｍｍ以下程度に設定される。間隔ｄは、大きいほど後述する分離電圧および補正電圧として高い電圧値が必要になるデメリットがある。また、小さいほど、壁面付近での乱流、イオンの拡散、および分離電極間での分離電圧によるイオン運動などでイオンの透過率が低下するデメリットがある。イオン８は、ガス流１０１より受ける力と分離電極１、２の間に形成される電源５１、５２、５３による形成される非対称電場と補正電場との合成力により、進行方向１０５のように進行する。分離電極１、２の通過時間ｔは、数ｍｓ以上数１００ｍｓ以下程度であり、これは、ポンプでのガス流量Ｆ、分離電極間間隔ｄ、分離電極間奥行きｗ、分離電極間進行方向長さｌにより、ｔ＝Ｆ／ｄｗｌで決定される。通過時間が短いほど、透過率が高くなるメリットがあり、通過時間が長いほど高い分解能が得られるメリットがある。分離電極間を通過したイオンは、正イオンであれば、正イオン検出電極３に、負イオンであれば、負イオン用検出電極４に到達する。なお、イオンを効率的に検出電極に到達させるため、正イオン検出電極３と負イオン検出電極４との間には、数Ｖ以上数１０Ｖ以下の直流電圧を印加する。検出電極に到達したイオンは信号処理部５６へと送られ、微弱電流アンプ５４により増幅された後、リコーダ５５に信号として記録される。また、図１に図示しないが、電極間を通過しなかったイオンは、基板１２または、基板１３に到達し電荷を消失するため信号として検出されない。また、図１では正イオンの信号処理部のみ記載しているが、負イオンの場合も負イオン用検出電極４に到達以降の信号処理過程は同様である。【００１１】
図２を用いて、実施例１の補足説明を行う。図２は、図１を基板１２と平行な面で切り出した基板１２および基板１３上の平面図である。イオン８は、ガス流１０１に沿ってイオン進行方向１０５のように進行する。【００１２】
スペーサ２０の近くでは、ガスの流れが乱れるため、イオン分離部としてはスペーサ２０近傍（２ｄ程度）以外を使用することが望ましい。この場合には、分離電極を導電性の高い部分（２ａ、２ｃ）と導電性の低い部分（２ｂ）とに分割しておくことで、この部分（２ｂ）に印加する電圧値を低く抑えたりする工夫が可能である。導電性の高い部分（２ａ、２ｃ）は金属などで、導電性の低い部分（２ｂ）は半導電性を有しており、例えば酸化金属薄膜、窒化金属薄膜や有機導電体などで製作することが可能である。たとえば、２ａ，２ｂ，２ｃの幅が各々１ｃｍである場合には、２ｂの領域のみを導電性の低く物質で製作することで、約１／３の消費電力となり、温度上昇による分離電極２の損傷のリスクを低減できる。導電性の低い部分（２ｂ）は、両端抵抗が５０Ω以上、５ｋΩ以下程度とする。両端抵抗が大きいほど、周囲の電気ノイズの影響が大きくなったり、分離電圧が中央付近で歪んだりするデメリットがあり、両端抵抗を小さくすると、消費電力が多くなり、温度上昇による分離電極２の損傷が起こるリスクがある。しかし、上記範囲の両端抵抗であれば、どちらの問題も解決される。検出電極３、４はスペーサ近辺を除いて設置することで検出電極と信号処理部の数を低減したりすることでも、２ｂに印加する電圧値を低く抑えたりする工夫が可能である。一方、特許文献１のように分割した電極に異なるＤＣ電圧を印加した場合には、電極間の絶縁体部分にチャージアップなどが起こることで電界が乱れ、分解能が劣化する問題がある。【００１３】
分離電極１と分離電極２との間には、電源５１、５２、５３により、非対称電圧である分離電圧（ＳＶ）と校正電圧（ＣＶ）との合成電圧が印加される。図３に、印加される分離電圧の一例を示す。本合成波は、（数１）で示され、周波数ｆが１．５ＭＨｚと３ＭＨｚの正弦波の和の例を示している。ここで、Ｖｍａｉｎは、低周波数（ここでは１．５ＭＨｚ）の成分の振幅、  Ｖｓｕｂ  は、高周波数（ここでは３．０ＭＨｚ）の成分の振幅であり、Ｖｓｕｂ／  Ｖｍａｉｎ  を１／５から１／２程度に設定することで矩形波形に擬した波形を作成することができる。位相差については、これらの矩形波の比率が高くなるように設定する。
（数１）
合成波＝ＶｍａｉｎＳｉｎ（２πｆｔ）＋ＶｓｕｂＣｏｓ（２π（２ｆ）ｔ＋φ）
非対称電圧である分離電圧（ＳＶ）には、これ以外にも矩形波など様々なバリエーションがあるが、上記のように高周波とその倍波を用いることで、単一のコイルで数ｋＶの非対称電圧を比較的、容易に生成することが可能である。【００１４】
校正電圧は、ｘ方向の位置（図２中参照）により異なり、２ａ、２ｃに印加する電圧を各々Ｖａ、Ｖｃ、導電性の低い部分２ｂの幅をｓとすれば、（数２）で表される。
（数２）
ＣＶ（ｘ）＝Ｖａ＋（Ｖｃ−Ｖａ）ｘ／ｓ
このように、該イオン進行方向、および該非対称電圧の各々に直交する方向（ｘ方向）の位置により、補正電圧が異なることから、検出器をｘ方向に複数個、配置することで、同時に補正電圧の異なるスペクトル情報を得ることが可能であるｘ軸上の各校正電圧の高さに基づいて、各検出器のｘ軸での位置を決めることも出来る。検出器は一定間隔に配置する場合もあるし、所望の校正電圧を得るために一定間隔で配置しないことも出来る。図４は本方式の有用性を示した説明図である。ＳＶ＝２．１ｋＶ，Ｖａ＝−３Ｖ，Ｖｂ＝３Ｖを印加したとき、正イオン検出電極３（約３９ｃｈａｎｎｅｌ）での検出例である。サンプルとしては、質量数も近く、分子構造ともに類似した２−（２−ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）−Ｎ−ｍｅｔｈｙｌｅｔｈａｎａｍｉｎｅ分子イオンと、３，４−Ｍｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｐｈｅｎｅｔｈｙｌａｍｉｎｅ分子イオンを測定した。ＣＶ＝０．２Ｖ付近では、２−（２−ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）−Ｎ−ｍｅｔｈｙｌｅｔｈａｎａｍｉｎｅ分子イオンのみが強く検出されるのに対し、ＣＶ＝１．１Ｖ付近では３，４−Ｍｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｐｈｅｎｅｔｈｙｌａｍｉｎｅ分子イオンのみが強く検出される。従来例では、補正電圧を−３Ｖから、３Ｖまで時間的にスキャンしたため、同様のデータを取得するには長時間を要していたが、本技術を用いることで、異なる補正電圧での透過特性データが同時に検出可能となり、１０倍以上の高速化が可能となった。また、特許文献１のように分割した電極に異なるＤＣ電圧を印加した場合と異なり、分解能を損なわず、スペクトルが取得できることがわかる。【００１５】
また、絶縁体にイオンが衝突することで、チャージアップが起こるとイオンの透過率が低減したり、イオン分離性能が低下したりするが、基板１２、基板１３において、イオン通過経路に近接する部分には電極１４、電極１５のように電極を設置することでチャージアップを防止することができる。電極１５のようにＲＦ電圧が印加される分離電極１の入口端部に直流電場で形成された領域を用いることで、分離電極１の端部に生じる漏れ出し電界によりイオンが曲げられて透過率が低下する現象を低減することができる。
【実施例２】
【００１６】
図５は、本方式を適用した第２の実施例のイオン移動度分離装置の構成図である。イオン源からイオンが分離電極１、２の間を通過するまでは、実施例１と同様であるが、本実施例では分離電極を通過した後に飛行時間型イオン移動度分離と組み合わせを行なった。メッシュ電極５、６電極間には数Ｈｚ以上数１００Ｈｚ以下間隔で直流パルス電圧を印加する。これにより、分離電極１、２を通過した後のイオン９は正イオンであれば進行方向１０２に負イオンであれば進行方向１０３へと加速される。メッシュ電極５と検出電極３、およびメッシュ電極６と検出電極４には各々進行方向に略平行な電場が形成される。この平行電場の生成は、図示しないが平板電極や、導電性材料でコーティングした部材を用いることで実現可能である。平行電場の中では、イオン移動度が大きいイオンほど早く進行する。このため、飛行時間を計測することで、イオン移動度によるイオン種の分離を行なうことが可能である。また、本実施例では、ｘ方向の位置により、補正電圧が異なる条件を設定できるので、イオンに対して補正電圧条件と飛行時間を同時に取得することが可能である。【００１７】
図６に本方式の効果を説明する説明図を示す。サンプルとして、ＡからＥの５種類のイオンを検出した例を示す。イオン種Ａから生じる信号６１はイオン種Ｂから生じる信号６２とは、検出電極のｘ座標（補正電圧に対応）では分離できないが、飛行時間により、分離が可能である。一方、イオン種Ｃから生じる信号６３はイオン種Ｂから生じる信号６２とは、飛行時間情報では分離できないが、検出電極のｘ座標（補正電圧に対応）により、分離が可能である。このように、本実施例を用いることで、２次元の高い分離性能を短時間で測定することができる。
【実施例３】
【００１８】
図７は、本方式を適用した第３の実施例のイオン移動度分離装置の構成図である。イオン源からイオンが分離電極１、２の間を通過するまでは、実施例１と同様であるが、本実施例では分離電極を通過した後の検出に２次元アレイ状の検出電極１８、１９を用いた。検出電極１８、１９の間には、数Ｖ程度の直流電圧を印加する。これにより、分離電極１、２を通過した後のイオン９は正イオンであれば検出電極１８に負イオンであれば検出電極１９側へと加速される。イオン移動度が大きなイオンほど分離電極から近い（検出電極のｙ座標が小さい）電極に到達する。また、検出電極のｘ座標により、各々補正電圧が異なるイオンに対する飛行時間データを取得することが可能である。【００１９】
図８に本方式の効果を説明する説明図を示す。サンプルとして、ＡからＥの５種類のイオンを検出した例を示す。イオン種Ａから生じる信号７１はイオン種Ｂから生じる信号７２とは、検出電極のｘ座標（補正電圧に対応）では分離できないが、検出電極のｙ座標（イオン移動度に対応）により、分離が可能である。一方、イオン種Ｃから生じる信号７３はイオン種Ｂから生じる信号７２とは、検出電極のｙ座標（イオン移動度に対応）では分離できないが、検出電極のｘ座標（補正電圧に対応）により、分離が可能である。このように、本実施例を用いることで、２次元の高い分離性能を短時間で測定することができる。【００２０】
なお、本実施例ではイオン源として大気圧イオン源を用いた例を記述したが、高圧、および低圧で生成したイオンを用いて実施例１から実施例３のいずれの分離装置と組み合わせることは可能である。【００２１】
また、イオン移動分離機構を大気圧に設置した例を記述したが、イオン移動度分離が可能とされる低真空から高圧下においても、本分離装置を設置することも可能である。【００２２】
また、本実施例では、検出器として検知電流計と微弱電流アンプの組み合わせを例を記述したが、電荷結合素子  （Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）や相補型金属酸化膜半導体（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）などの半導体検出器や電子増倍管などのイオン検出方式と組み合わせることは可能である。
【符号の説明】
【００２３】
１…分離電極（導電性電極）、２…分離電極、３…検出電極（正イオン用）、４…検出電極（負イオン用）、５…メッシュ電極、６…メッシュ電極、８…イオン、９…イオン、１０…イオン源、１１…ポンプ、１２…基板、１３…基板、１４…電極、１５…電極、１８…検出電極（正イオン用）、１９…検出電極（負イオン用）、２０…スペーサ、５０…制御部、５１…電源、５２…電源、５３…電源、５４…アンプ、５５…データレコーダ、５６…信号処理部、５７…パルス加速電源、６１…サンプルＡ由来の信号、６２…サンプルＢ由来の信号、６３…サンプルＣ由来の信号、６４…サンプルＤ由来の信号、６５…サンプルＥ由来の信号、７１…サンプルＡ由来の信号、７２…サンプルＢ由来の信号、７３…サンプルＣ由来の信号、７４…サンプルＤ由来の信号、７５…サンプルＥ由来の信号、１０１…ガスの流れ方向、１０２…イオンの進行方向、１０３…イオンの進行方向、１０５…イオンの進行方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年11月2日(2015.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
校正電圧は、ｘ方向の位置（図２中参照）により異なり、２ａ、２ｃに印加する電圧を各々Ｖａ、Ｖｃ、導電性の低い部分２ｂの幅をｓとすれば、（数２）で表される。
（数２）
ＣＶ（ｘ）＝Ｖａ＋（Ｖｃ−Ｖａ）ｘ／ｓ
このように、該イオン進行方向、および該非対称電圧の各々に直交する方向（ｘ方向）の位置により、補正電圧が異なることから、検出器をｘ方向に複数個、配置することで、同時に補正電圧の異なるスペクトル情報を得ることが可能である。ｘ軸上の各校正電圧の高さに基づいて、各検出器のｘ軸での位置を決めることも出来る。検出器は一定間隔に配置する場合もあるし、所望の校正電圧を得るために一定間隔で配置しないことも出来る。図４は本方式の有用性を示した説明図である。ＳＶ＝２．１ｋＶ，Ｖａ＝−３Ｖ，Ｖｃ＝３Ｖを印加したとき、正イオン検出電極３（約３９ｃｈａｎｎｅｌ）での検出例である。サンプルとしては、質量数も近く、分子構造ともに類似した２−（２−ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）−Ｎ−ｍｅｔｈｙｌｅｔｈａｎａｍｉｎｅ分子イオンと、３，４−Ｍｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｐｈｅｎｅｔｈｙｌａｍｉｎｅ分子イオンを測定した。ＣＶ＝０．２Ｖ付近では、２−（２−ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）−Ｎ−ｍｅｔｈｙｌｅｔｈａｎａｍｉｎｅ分子イオンのみが強く検出されるのに対し、ＣＶ＝１．１Ｖ付近では３，４−Ｍｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｐｈｅｎｅｔｈｙｌａｍｉｎｅ分子イオンのみが強く検出される。従来例では、補正電圧を−３Ｖから、３Ｖまで時間的にスキャンしたため、同様のデータを取得するには長時間を要していたが、本技術を用いることで、異なる補正電圧での透過特性データが同時に検出可能となり、１０倍以上の高速化が可能となった。また、特許文献１のように分割した電極に異なるＤＣ電圧を印加した場合と異なり、分解能を損なわず、スペクトルが取得できることがわかる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンを生成するイオン源と、
前記イオンのサンプル入口及びサンプル出口の間において流路を画定する、間隔をあけた一対の平板電極と、
前記平板電極間に非対称時間変動電圧と直流電圧とを印加する電圧制御部と、
前記流路方向および前記非対称時間変動電圧が印加される方向の各々に直交する方向に複数に設置される電流検出器と、を有し、
前記一対の平板電極の少なくとも一つは、第一の導電性を有する第一電極部と、第二の導電性を有する第二電極部と、前記第一電極部と前記第二電極部とに挟まれて設置される前記第一の導電性及び前記第二の導電性より小さい第三の導電性を有する第三電極部と、を含み、
前記第一電極部と前記第三電極部と前記第二電極部は、前記流路方向および前記非対称時間変動電圧が印加される方向の各々に直交する方向に並べて設置され、
前記電圧制御部は、前記第一電極部と前記第二電極部に各々異なる直流電圧を印加することを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項２】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、
前記第一電極部又は前記第二電極部は、金属を含み、
前記第三電極部は、酸化金属薄膜、窒化金属薄膜及び有機導電体の何れかを含むことを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項３】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、前記第三電極部は、両端抵抗値が５０Ω以上５ｋΩ以下であることを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項４】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、
前記平板電極及び前記電流検出器は絶縁平面基板上に形成されており、
前記絶縁平面基板上の前記平板電極及び前記電流検出器とは異なる領域に、前記平板電極と前記電流検出器とは異なる電圧が印加される電極が設けられていることを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項５】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、
前記電流検出器の検出面にイオンを加速して進行させるための一対の加速電極が、前記電流検出器のイオンを検出する面と平行方向であって前記サンプル出口を挟むように配置され、前記一対の前記電流検出器により挟まれるように設けられていることを特徴とするイオン移動度分離装置。
【請求項６】
請求項１に記載のイオン移動度分離装置において、前記電流検出器は、前記流路方向に対して複数設置されていることを特徴とするイオン移動度分離装置。
【国際調査報告】
2014006698.tif 000011
2014006698.tif 000012
2014006698.tif 000013
2014006698.tif 000014