(57)【要約】  基板収納容器は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板（Ｗ）の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、基板収納空間内に配置され、複数の基板（Ｗ）の縁部を支持可能であり、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに蓋体側基板支持部と協働して、複数の基板（Ｗ）の縁部を側方基板支持部の板部（５１）から離間させて並列させた状態で、複数の基板（Ｗ）を支持する奥側基板支持部（６０）と、を備える。  奥側基板支持部（６０）は、弾性変形可能な脚部（６５、６６）と、脚部（６５、６６）に支持された基板受け部（６１）とを備え、基板受け部（６１）は、基板の表面の端縁（Ｗ３）に当接可能な第１当接面（６２１）を有する第１当接部（６２）と、第１当接面（６２１）に接続された第２当接面（６３１）であって基板の裏面の端縁（Ｗ４）に当接可能な第２当接面（６３１）を有する第２当接部（６３）とを有する。
2013183138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を前記側方基板支持部から離間させて並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
前記奥側基板支持部は、弾性変形可能な脚部と、前記脚部に支持された基板受け部とを備え、前記基板受け部は、前記基板の表面の端縁に当接可能な第１当接面を有する第１当接部と、前記第１当接面に接続された第２当接面であって前記基板の裏面の端縁に当接可能な第２当接面を有する第２当接部とを有する基板収納容器。
【請求項２】
前記奥側基板支持部は、前記基板の一枚毎に対応して設けられ、一の前記奥側基板支持部の脚部は、他の前記奥側基板支持部の脚部とは別個独立して弾性変形可能である請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記基板受け部は、弾性変形可能であり、
前記基板受け部及び脚部は、前記基板受け部の前記第１当接面に、前記側方基板支持部に支持された前記基板の表面の端縁が当接して前記第１当接面が押圧され、且つ、前記基板受け部の前記第２当接面に前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面の端縁が当接して前記第２当接面が押圧されることにより、前記第１当接面と前記第２当接面とで前記基板の端縁を挟むように変形可能である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記脚部は、第１脚部と第２脚部とを有し、前記第１当接部の一端部は、前記第２当接部の一端部に接続され、前記第１当接部の他端部は、前記第１脚部に接続され、前記第２当接部の他端部は、前記第２脚部に接続されている請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記奥側基板支持部の脚部は、前記基板受け部の少なくとも第２当接面に、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面の端縁が当接して前記第２当接面が押圧されることにより、前記基板受け部を、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向へ移動させるように変形可能である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記脚部の一端部は、前記容器本体の内面に接続され、前記脚部の他端部は、前記基板受け部に接続され、前記脚部の一端部は、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向において、前記脚部の他端部よりも手前に位置する請求項５に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記側方基板支持部に支持された前記基板の表面は、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向において、前記第１当接面と前記第２当接面との接続位置よりも手前に位置する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記第１当接面の一端部は、前記第２当接面の一端部に接続され、
前記第２当接面の他端部は、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向において、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面よりも手前に位置する請求項１に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を並列させた状態で複数収納し、衝撃吸収機能を備えた基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部とを備える構成のものが、従来より知られている。
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。【０００３】
蓋体側基板支持部は、蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分に設けられている。蓋体側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。
壁部基板支持部は、蓋体側基板支持部と対をなすように壁部に設けられている。壁部基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。壁部基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、蓋体側基板支持部と協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−５５２５号公報
【特許文献２】特表２００３−５５２０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板が収納された基板収納容器を運搬しているときには、基板収納容器の外部から加わる衝撃が、壁部基板支持部及び蓋体側基板支持部を介して基板に伝達し、基板が破損することがある。このため、基板に衝撃が伝達されることを極力抑制することが要求される。【０００６】
本発明は、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に衝撃が伝達されることを極力抑制できる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を前記側方基板支持部から離間させて並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、前記奥側基板支持部は、弾性変形可能な脚部と、前記脚部に支持された基板受け部とを備え、前記基板受け部は、前記基板の表面の端縁に当接可能な第１当接面を有する第１当接部と、前記第１当接面に接続された第２当接面であって前記基板の裏面の端縁に当接可能な第２当接面を有する第２当接部とを有する基板収納容器に関する。
に関する。【０００８】
また、前記奥側基板支持部は、前記基板の一枚毎に対応して設けられ、一の前記奥側基板支持部の脚部は、他の前記奥側基板支持部の脚部とは別個独立して弾性変形可能であることが好ましい。【０００９】
また、前記基板受け部は、弾性変形可能であり、前記基板受け部及び脚部は、前記基板受け部の前記第１当接面に、前記側方基板支持部に支持された前記基板の表面の端縁が当接して前記第１当接面が押圧され、且つ、前記基板受け部の前記第２当接面に前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面の端縁が当接して前記第２当接面が押圧されることにより、前記第１当接面と前記第２当接面とで前記基板の端縁を挟むように変形可能であることが好ましい。【００１０】
また、前記脚部は、第１脚部と第２脚部とを有し、前記第１当接部の一端部は、前記第２当接部の一端部に接続され、前記第１当接部の他端部は、前記第１脚部に接続され、前記第２当接部の他端部は、前記第２脚部に接続されていることが好ましい。【００１１】
また、前記奥側基板支持部の脚部は、前記基板受け部の少なくとも第２当接面に、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面の端縁が当接して前記第２当接面が押圧されることにより、前記基板受け部を、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向へ移動させるように変形可能であることが好ましい。【００１２】
また、前記脚部の一端部は、前記容器本体の内面に接続され、前記脚部の他端部は、前記基板受け部に接続され、前記脚部の一端部は、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向において、前記脚部の他端部よりも手前に位置することが好ましい。【００１３】
また、前記側方基板支持部に支持された前記基板の表面は、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向において、前記第１当接面と前記第２当接面との接続位置よりも手前に位置することが好ましい。【００１４】
また、前記第１当接面の一端部は、前記第２当接面の一端部に接続され、前記第２当接面の他端部は、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面から表面へと向かう方向において、前記側方基板支持部に支持された前記基板の裏面よりも手前に位置することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に衝撃が伝達されることを極力抑制できる基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る基板収納容器の容器本体等を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態に係る基板収納容器を示す側方視断面図である。
【図４】第１実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナを示す側方視拡大断面図である。
【図５】第１実施形態に係る基板収納容器を示す平面視断面図である。
【図６】第１実施形態に係る基板収納容器に基板を保持した様子を示す平面視断面図である。
【図７】第１実施形態に係る基板収納容器の基板受け部によって基板を支持する様子を示す模式図であり、（ａ）は基板を支持する前の状態を示し、（ｂ）は基板を支持している状態を示す。
【図８】第２実施形態に係る基板収納容器の容器本体等を示す斜視図である。
【図９】第２実施形態に係る基板収納容器の基板受け部によって基板を支持する様子を示す模式図であり、（ａ）は基板を支持する前の状態を示し、（ｂ）は基板を支持している状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。図２は、第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、第１実施形態に係る基板収納容器１を示す側方視断面図である。図４は、第１実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナを示す側方視拡大断面図である。図５は、第１実施形態に係る基板収納容器１を示す平面視断面図である。図６は、第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗを保持した様子を示す平面視断面図である。図７は、第１実施形態に係る基板収納容器１の基板受け部６１によって基板Ｗを支持する様子を示す模式図であり、（ａ）は基板Ｗを支持する前の状態を示し、（ｂ）は基板Ｗを支持している状態を示す。
【００１８】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図３における左方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図３における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図３における紙面の表面から裏面へと向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
【００１９】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図６等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
【００２０】
図１〜図３に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、リアリテーナ６と、フロントリテーナ７とを有している。
【００２１】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５及びリアリテーナ６が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板Ｗ（図６参照）を収納可能である。
【００２２】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２３】
蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、リアリテーナ６と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、リアリテーナ６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。
【００２４】
容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
【００２５】
図１〜図３に示すように、第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有する容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００２６】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には後述のように、最大で２５枚の基板Ｗ（図６等参照）を収納可能である。
【００２７】
上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００２８】
また、図５に示すように、第１側壁２５には、側方板係止部２５１Ａ、２５１Ｂが設けられている。また、第２側壁２６には、側方板係止部２６１Ａ、２６１Ｂが設けられている。側方板係止部２５１Ａ、２５１Ｂ、２６１Ａ、２６１Ｂは、第１側壁２５、第２側壁２６の部分であって前後方向Ｄ１における中程の部分に、前後方向Ｄ１において所定の間隔で離間した位置関係で、対をなして設けられている。
【００２９】
また、第１側壁２５の内面の部分であって、側方板係止部２５１Ａ、２５１Ｂよりも後方向Ｄ１２の部分には、リアリテーナ係止部２５２が設けられている。同様に、第２側壁２６の内面の部分であって、側方板係止部２５１Ａ、２５１Ｂよりも後方向Ｄ１２の部分には、リアリテーナ係止部２６２が設けられている。
【００３０】
図２に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３３とフランジ固定部２３４とが上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３３は、上壁２３の外面から上方向Ｄ２１へ突出し、略前後方向Ｄ１へ延びている。フランジ固定部２３４には、トップフランジ（図示せず）が固定される。トップフランジとは、上壁２３に固定され、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３１】
図２に示すように、下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に一体成形されており、下壁２４の左右両端縁に沿って前後方向Ｄ１に延びている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。
【００３２】
基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、図５に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂が一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、挿入する際のガイドの役割をする部材である。
【００３３】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図３に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００３４】
板部支持部５２は、上下方向Ｄ２に延びる部材により構成されている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。
【００３５】
図５に示すように、板部支持部５２は、第１側壁係止部５２１を有している。第１側壁係止部５２１は、前後方向Ｄ１において所定の間隔で離間した位置関係で対をなして設けられており、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた側方板係止部２５１Ａ、２５１Ｂ、２６１Ａ、２６１Ｂに係止可能である。第１側壁係止部５２１が側方板係止部２５１Ａ、２５１Ｂ、２６１Ａ、２６１Ｂに係止されることにより、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００３６】
図５に示すように、リアリテーナ６は、奥側基板支持部としての壁部基板支持部６０と支持部固定部材６７とを有している。支持部固定部材６７は、側壁後部係止部６７１を有しており、側壁後部係止部６７１は、リアリテーナ係止部２５２、２６２に係止可能である。側壁後部係止部６７１がリアリテーナ係止部２５２、２６２に係止されることによって、リアリテーナ６は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
【００３７】
支持部固定部材６７においては、それぞれ壁部基板支持部６０が、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。図６に示すように、壁部基板支持部６０は、後述のように、基板Ｗが基板収納容器１に収納されているときの基板Ｗの中心Ｃから左右方向Ｄ３に延ばした仮想的な直径を示す直線Ｘを基準として、中心角で１５°〜７０°の範囲にそれぞれ配置されており、第１実施形態では、中心角で３０°（α１）〜５０°（α２）の範囲にそれぞれ配置されている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。
【００３８】
図３等に示すように、壁部基板支持部６０は、基板受け部６１と脚部６４とを備えている。基板受け部６１は、第１当接部を構成する長方形の平板状の第１板部６２と、第２当接部を構成する長方形の平板状の第２板部６３と、を有している。第１板部６２は、表面と裏面とを有しているが、表面の法線は、斜め下方Ｄ２２且つ斜め前方向Ｄ１１に向いている。図７に示すように、第１板部６２の表面は第１当接面６２１を構成する。同様に、第２板部６３は、表面と裏面とを有しているが、表面の法線は、斜め上方Ｄ２１且つ斜め前方向Ｄ１１に向いている。第２板部６３の表面は第２当接面６３１を構成する。
【００３９】
図７に示すように、長方形の第１板部６２の一端部である一の長辺は、長方形の第２板部６３の一端部である一の長辺と一致した位置関係で接続されている。即ち、長方形の第１板部６２の第１当接面６２１の一の長辺６２１Ａと、長方形の第２板部６３の第２当接面６３１の一の長辺６３１Ａとは一致して、第１当接面６２１と第２当接面６３１とは接続されている。一致している一の長辺６２１Ａと一の長辺６３１Ａとは、下壁２４の内面に平行な位置関係を有して延びている。
【００４０】
第１当接面６２１と第２当接面６３１との接続位置の部分（一の長辺６２１Ａ及び一の長辺６３１Ａ）は、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの上面である表面Ｗ１よりも上側に位置している。換言すれば、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの表面Ｗ１は、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの下面である裏面Ｗ２から上面である表面Ｗ１へと向かう方向において、第１当接面６２１と第２当接面６３１との接続位置よりも手前に位置している。
【００４１】
第１当接面６２１においては、後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗがリアリテーナ６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの上面（表面Ｗ１）の縁部の端縁Ｗ３が当接可能である。第２当接面６３１においては、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗがリアリテーナ６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの下面（裏面Ｗ２）の縁部の端縁Ｗ４が当接可能である。
【００４２】
図３に示すように、脚部６４は、第１脚部６５と第２脚部６６とを有している。第１脚部６５、第２脚部６６は、それぞれ長方形の平板状である。図７に示すように、第１脚部６５の一の長辺６５Ａは、支持部固定部材６７に固定されている。従って、第１脚部６５の一の長辺６５Ａは、支持部固定部材６７を介して第１側壁２５、又は第２側壁２６に固定されている。第１脚部６５の他の長辺６５Ｂは、第１板部６２の他端部である他の長辺６２Ｂに接続されている。同様に、第２脚部６６の一の長辺６６Ａは、支持部固定部材６７に固定されている。従って、第２脚部６６の一の長辺６６Ａは、支持部固定部材６７を介して第１側壁２５、又は第２側壁２６に固定されている。第２脚部６６の他の長辺６６Ｂは、第２板部６３の他端部である他の長辺６３Ｂに接続されている。
従って、第１板部６２の第１当接面６２１と、第２板部６３の第２当接面６３１との接続部分（一の長辺６２１Ａ、６３１Ａ）に平行な方向（図７における紙面の表側と裏側とを結ぶ方向）から見た壁部基板支持部６０は、図７に示すような、Ｍ字形状を有している。第２脚部６６、第２板部６３、第１板部６２、第１脚部６５は、下から上に向かってこの順で配置されている。
【００４３】
第２当接面６３１の他端部である他の長辺６３１Ｂは、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２よりも下側に位置している。換言すれば、第２当接面６３１の他端部である他の長辺６３１Ｂは、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２から表面Ｗ１へと向かう方向において、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２よりも手前に位置している。
２５個の壁部基板支持部６０のうちの１３個の壁部基板支持部６０は、後方寄りの位置に、上下方向Ｄ２に一列に配置されている。２５個の壁部基板支持部６０のうちの残りの１２個の壁部基板支持部６０は、当該１３個の壁部基板支持部６０よりも前方向Ｄ１１の位置において、上下方向Ｄ２に一列に配置されている。
【００４４】
後方寄りの１３個の壁部基板支持部６０と前方向Ｄ１１寄りの１２個の壁部基板支持部６０とは、図３に示す側方視で、前後方向Ｄ１において互い違いの位置関係で下から上へ１つずつ配置されている。即ち、後方寄りの１３個の壁部基板支持部６０の第１板部６２の第１当接面６２１と、第２板部６３の第２当接面６３１とが接続されて形成された接続線（以下「後方側接続線６０１」とする）と、前方向Ｄ１１寄りの１２個の壁部基板支持部６０の第１板部６２の第１当接面６２１と、第２板部６３の第２当接面６３１とが接続されて形成された接続線（以下「前方側接続線６０２」とする）とは、図３に示す側方視で一致する位置関係にはなっていない。後方側接続線６０１と前方側接続線６０２とは平行であり、上から下へ交互に並べられた位置関係を有する。これにより、後方Ｄ１２寄りの１３個の壁部基板支持部６０と、前方向Ｄ１１寄りの１２個の壁部基板支持部６０とで、上から下へ向かって交互に、２５枚の半導体ウェーハを支持することが可能である。
【００４５】
第１板部６２、第２板部６３、第１脚部６５、及び第２脚部６６は、弾性変形可能な材料により構成されている。弾性変形可能な材料としては、ＰＥＥ（ポリエーテルエステルエラストマー）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等が挙げられる。第１実施形態では、ＰＥＥが用いられている。このような材料により構成され、前述のように壁部基板支持部６０は、基板Ｗの一枚毎に対応して設けられているため、一の壁部基板支持部６０の脚部６４は、他の壁部基板支持部６０の脚部６４とは別個独立して弾性変形可能である。この結果、一の壁部基板支持部６０は、他の壁部基板支持部６０とは別個独立して弾性変形可能である。また、第１板部６２、第２板部６３、第１脚部６５、及び第２脚部６６の弾性変形の程度は、これらの材料の選択よりコントロールすることが可能であり、これ以外にも、これらの有する形状によりコントロールすることが可能である。
【００４６】
蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図２、図５、図６に示すように、蓋体３の外周縁部においては、シール部材嵌合溝３１が蓋体３の外周縁部に沿って形成されている。シール部材嵌合溝３１においては、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥ製、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等の環状のシール部材４が嵌め込まれている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００４７】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、蓋体３の外周縁部は、シール部材４を介して容器本体２の開口周縁部２８の内周縁部に当接する。これにより、シール部材４は蓋体３の外周縁部と開口周縁部２８の内周縁部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００４８】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００４９】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００５０】
蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置において、蓋体３の左右方向Ｄ３における幅の半分程度の幅を有して、上下方向Ｄ２に蓋体３の上端部近傍から下端部近傍に至るまで形成されている。凹部３４を形成している蓋体３の内面においては、フロントリテーナ係止部３５が左右方向Ｄ３において対をなして設けられている。
【００５１】
凹部３４においては、フロントリテーナ７が設けられている。即ち、フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって容器本体２の容器本体開口部２１を閉塞しているときに基板収納空間２７を形成している部分、即ち、基板収納空間２７に対向する部分に配置されている。フロントリテーナ７は、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、フロントリテーナ脚部７２と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３とを有している。一対の縦枠体７１、フロントリテーナ脚部７２、及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形されている。フロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体側基板支持部を構成する。
【００５２】
フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。
【００５３】
図３、図４に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、フロントリテーナ第１当接面７３３を有する受け部上部７３１と、フロントリテーナ第２当接面７３４を有する受け部下部７３２とを有している。フロントリテーナ第１当接面７３３の法線は、斜め下方向Ｄ２２且つ斜め後方向Ｄ１２を向いている。フロントリテーナ第２当接面７３４の法線は、斜め上方向Ｄ２１且つ斜め後方向Ｄ１２を向いている。
【００５４】
フロントリテーナ第１当接面７３３においては、基板収納空間２７内に基板Ｗ（図６等参照）が収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗがリアリテーナ６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの上面の縁部の端縁Ｗ３の前部が当接する。フロントリテーナ第２当接面７３４においては、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗがリアリテーナ６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの下面の縁部の端縁Ｗ４の前部が当接する。これにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、複数の基板Ｗの縁部を支持することができる。
【００５５】
フロントリテーナ脚部７２は、右側脚部７２１と連結脚部７２２と左側脚部７２３とを有している。右側脚部７２１は、右側のフロントリテーナ基板受け部７３から右方向Ｄ３２へ延びている。連結脚部７２２は、左右方向Ｄ３に所定の間隔を隔てて配置された２つのフロントリテーナ基板受け部７３を連結する。左側脚部７２３は、左側のフロントリテーナ基板受け部７３から左方向Ｄ３１へ延びている。
【００５６】
右側脚部７２１と、右側のフロントリテーナ基板受け部７３と、連結脚部７２２と、左側のフロントリテーナ基板受け部７３と、左側脚部７２３と、は、一体成形されることにより、この順で互いに接続され、左右方向Ｄ３に延びている。このように一体成形された右側脚部７２１、右側のフロントリテーナ基板受け部７３、連結脚部７２２、左側のフロントリテーナ基板受け部７３、及び左側脚部７２３は、平行な位置関係で所定の間隔で離間して、上下方向Ｄ２に２５個配置されている。右側脚部７２１の右端は右側の縦枠体７１に一体成型されて接続されており、左側脚部７２３の左端は左側の縦枠体７１に一体成型されて接続されている。
【００５７】
対をなしている縦枠体７１においては、それぞれ蓋体係止部７１１、７１１が設けられている。蓋体係止部７１１、７１１は、蓋体３のフロントリテーナ係止部３５に係止可能である。右側の縦枠体７１及び左側の縦枠体７１において、それぞれ蓋体係止部７１１、７１１が蓋体３のフロントリテーナ係止部３５に係止されることにより、フロントリテーナ７は蓋体３に固定される。蓋体３のフロントリテーナ係止部３５に対する蓋体係止部７１１、７１１の係止が解除されることにより、フロントリテーナ７は蓋体３から取り外される。
【００５８】
次に、基板Ｗを基板収納空間２７に収納するときの動作について説明する。まず、蓋体３の全ての上側ラッチ部３２Ａ及び下側ラッチ部（図示せず）を、蓋体３の上辺及び下辺から突出していない状態として、蓋体３を容器本体２の開口周縁部２８から取り外す。次に、２５枚の基板Ｗをそれぞれ基板支持板状部５に載置し、２５枚の基板Ｗが基板支持板状部５に支持された状態とする。次に、蓋体３を開口周縁部２８に当接させる。
【００５９】
このとき、各基板の裏面Ｗ２の前部の端縁Ｗ４は、各フロントリテーナ７のフロントリテーナ第２当接面７３４に当接して後方向Ｄ１２へ押される。これにより、図７（ａ）に示すように、各基板Ｗの裏面Ｗ２の後部の端縁Ｗ４は、壁部基板支持部６０の第２当接面６３１に当接し、第２当接面６３１上を滑り上がる。そして、各基板Ｗの表面Ｗ１の後部の端縁Ｗ３は、壁部基板支持部６０の第１当接面６２１に当接する。そして更に、基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３、裏面Ｗ２の端縁Ｗ４が、それぞれ第１当接面６２１、第２当接面６３１を後方向Ｄ１２へ押すことにより、図７（ｂ）に示すように、第１脚部６５、第２脚部６６、第１板部６２、及び第２板部６３は弾性変形し、第１当接面６２１と第２当接面６３１とで基板Ｗの後部の端縁Ｗ３、Ｗ４を挟む。
同様に、各基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４の前部は、フロントリテーナ７のフロントリテーナ第２当接面７３４上を滑り上がる。そして各基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３の前部は、フロントリテーナ７のフロントリテーナ第１当接面７３３に当接する。
【００６０】
これにより、複数の基板Ｗの縁部の端縁Ｗ３、Ｗ４の後部は、リアリテーナ６の壁部基板支持部６０により支持され、複数の基板Ｗの縁部の端縁Ｗ３、Ｗ４の前部は、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３により支持される。即ち、壁部基板支持部６０は、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３と協働して、複数の基板Ｗの縁部を基板支持板状部５から離間させ、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間した状態で、且つ、互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗを支持する。
【００６１】
次に、蓋体３の全ての上側ラッチ部３２Ａ及び下側ラッチ部（図示せず）を、蓋体３の上辺及び下辺から突出している状態として、蓋体３を開口周縁部２８に固定させて開口周縁部２８に装着し、蓋体３で容器本体開口部２１を閉塞する。これにより、２５枚の基板Ｗは、基板収納空間２７に収納される。
【００６２】
上記構成の第１実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、基板収納容器１は、基板収納空間２７内において蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と協働して、複数の基板Ｗの縁部を側方基板支持部（基板支持板状部５）から離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを支持する奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）を備えている。
【００６３】
そして、奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）は、弾性変形可能な脚部６４と、脚部６４に支持された基板受け部６１とを備え、基板受け部６１は、基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３に当接可能な第１当接面６２１を有する第１当接部（第１板部６２）と、第１当接面６２１に接続された第２当接面６３１であって基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４に当接可能な第２当接面６３１を有する第２当接部（第２板部６３）とを有する。このため、基板収納容器１の運搬時に、脚部６４は、弾性変形して基板収納容器１の外部から加わる衝撃を吸収することができ、これにより、基板収納容器１に収納された複数の基板Ｗに、衝撃が伝達されることを極力抑制することができる。
【００６４】
また、奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）は、基板Ｗの一枚毎に対応して設けられ、一の奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）の脚部６４は、他の奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）の脚部６４とは別個独立して弾性変形可能であるため、各脚部６４において、別個独立して、基板収納容器１の外部から加わる衝撃を吸収することができる。このため、より効果的に、基板収納容器１に収納された複数の基板Ｗに衝撃が伝達されることを抑制することができる。
【００６５】
また、基板受け部６１は、弾性変形可能であり、脚部６４は、第１脚部６５と第２脚部６６とを有し、第１当接部（第１板部６２）の一端部は、第２当接部（第２板部６３）の一端部に接続され、第１当接部（第１板部６２）の他端部は、第１脚部６５に接続され、第２当接部（第２板部６３）の他端部は、第２脚部６６に接続されている。このため、基板受け部６１及び脚部６４は、基板受け部６１の第１当接面６２１に、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３が当接して第１当接面６２１が押圧され、且つ、基板受け部６１の第２当接面６３１に側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４が当接して第２当接面６３１が押圧されることにより、第１当接面６２１と第２当接面６３１とで基板Ｗの端縁を挟むように変形することができる。これにより、蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）とで基板Ｗを支持しているときに、基板Ｗの縁部を側方基板支持部（基板支持板状部５）から離間させた状態とすることができる。
【００６６】
また、側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの表面Ｗ１は、側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２から表面Ｗ１へと向かう方向において、第１当接面６２１と第２当接面６３１との接続位置よりも手前に位置するため、蓋体３により容器本体開口部２１を塞ぐことにより、蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）とで基板Ｗを支持したときに、基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４が第２当接面６３１に当接し、基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３が第１当接面６２１に当接するまで、基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４は、第２当接面６３１を滑り上がることができる。
【００６７】
また、第１当接面６２１の一端部６２１Ａは、第２当接面６３１の一端部６３１Ａに接続され、第２当接面６３１の他端部６３１Ｂは、側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２から表面Ｗ１へと向かう方向において、側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２よりも手前に位置するため、蓋体３により開口を塞ぐことにより、蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と奥側基板支持部（壁部基板支持部６０）とで基板Ｗを支持するときに、基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４が第２当接面６３１に当接し、基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３が第１当接面６２１に当接するまで、基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４は、第２当接面６３１を滑り上がることができる。
【００６８】
以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器について説明する。図８は、第２実施形態に係る基板収納容器の容器本体２を示す斜視図である。図９は、第２実施形態に係る基板収納容器の基板受け部６１によって基板Ｗを支持する様子を示す模式図であり、（ａ）は基板Ｗを支持する前の状態を示し、（ｂ）は基板Ｗを支持する前の状態を示す。
【００６９】
第１実施形態では、１つの壁部基板支持部６０の脚部６４は、第１脚部６５と第２脚部６６との２つを有していたが、第２実施形態では、第１脚部と第２脚部との２つを有しておらず、１つの傾斜脚部６５Ｃのみを有する点で、第１実施形態とは異なる。また、第１板部６２Ｃ及び第２板部６３Ｃは、容易に変形しない樹脂により構成され、第１板部６２Ｃは第２板部６３Ｃに対する姿勢が容易に変化しないように硬く接続されている点で、第１実施形態とは異なる。蓋体３を含めこれら以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。なお、第１板部６２Ｃ及び第２板部６３Ｃについては、構成材料の樹脂の選択だけでなく、形状・構造を工夫すること（例えば厚く構成すること）等により、第２板部６３Ｃに対する第１板部６２Ｃの姿勢が容易に変化しないように硬くすることが可能である。
【００７０】
第１板部６２Ｃ及び第２板部６３Ｃは、基板Ｗが当接し押圧した程度では容易に変形しない樹脂、例えば、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）により構成されており、第２実施形態では、ＰＣにより構成されている。また、第１実施形態と同様に、長方形の第１板部６２Ｃの第１当接面６２１Ｃの一の長辺６２１Ｄと、長方形の第２板部６３Ｃの第２当接面６３１Ｃの一の長辺６３１Ｄとは、一致しており、これにより第１当接面６２１Ｃと第２当接面６３１Ｃとは接続されている。但し、前述のように容易に変形しない樹脂により構成されているため、第１板部６２Ｃは第２板部６３Ｃに対する姿勢が容易に変化しないように硬く接続されている。
【００７１】
脚部６４Ａは、傾斜脚部６５Ｃを有している。傾斜脚部６５Ｃは、長方形の平板状である。傾斜脚部６５Ｃの一の長辺６５Ｄは、支持部固定部材６７に固定されることにより、支持部固定部材６７を介して第１側壁２５又は第２側壁２６に接続されている。傾斜脚部６５Ｃの他の長辺６５Ｅは、前述の第１板部６２Ｃの第１当接面６２１Ｃの一の長辺６２１Ｄと、第２板部６３Ｃの第２当接面６３１Ｃの一の長辺６３１Ｄとの接続位置に接続されている。傾斜脚部６５Ｃは、第１板部６２Ｃ、第２板部６３Ｃと同様に、後述のように、基板受け部６１Ａの第２当接面６３１Ｃに、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁が当接して、第２当接面６３１Ｃが後方向Ｄ１２へ押圧されることにより、基板受け部６１Ａを上方向Ｄ２１へ移動させるように弾性変形可能な材料、例えば、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）により構成されており、第２実施形態では、ＰＣにより構成されている。また、このように基板受け部６１Ａを上方向Ｄ２１へ移動させるためには、傾斜脚部６５Ｃを構成する材料であって、弾性変形しやすい材料として、ＰＯＥ，ＰＥＥ等を用いることもできる。また、傾斜脚部６５Ｃを構成する材料を選択する以外に、傾斜脚部６５Ｃの形状（例えば薄くする、細くする、スプリングのような形状にする等）を工夫することにより弾性変形量を調整可能である。
【００７２】
傾斜脚部６５Ｃの一端部である当該一の長辺６５Ｄは、基板支持板状部５に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２から表面Ｗ１へと向かう方向において、傾斜脚部６５Ｃの他端部である当該他の長辺６５Ｅよりも手前側、即ち、下側に配置されている。このため、第１板部６２Ｃの第１当接面６２１Ｃと、第２板部６３Ｃの第２当接面６３１Ｃとの接続部分（６２１Ｄ、６３１Ｄ）に平行な方向（図９における紙面の表側と裏側とを結ぶ方向）から見た壁部基板支持部６０Ａは、図９に示すような、ｙ字形状を有している。
【００７３】
次に、第２実施形態による基板収納容器の基板収納空間２７に、基板Ｗを収納するときの動作について説明する。まず、蓋体３の全ての上側ラッチ部３２Ａ（図１等参照）及び下側ラッチ部（図示せず）を、蓋体３の上辺及び下辺から突出していない状態として、蓋体３を容器本体２の開口周縁部２８から取り外す。次に、２５枚の基板Ｗをそれぞれ基板支持板状部５に載置して、基板Ｗが基板支持板状部５により支持された状態とする。次に、蓋体３を開口周縁部２８に当接させる。
【００７４】
このとき、各基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４の前部は、各フロントリテーナ７（図３等参照）のフロントリテーナ第２当接面７３４に当接して後方向Ｄ１２へ押される。これにより、図９（ａ）に示すように、各基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４の後部は、壁部基板支持部６０Ａの第２当接面６３１Ｃに当接し、第２当接面６３１Ｃ上を滑り上がる。このとき、傾斜脚部６５Ｃは、基板受け部６１を上方向Ｄ２１へ移動させるように変形する。そして、図９（ｂ）に示すように、各基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３の後部は、壁部基板支持部６０の第１当接面６２１Ｃに当接する。
同様に、各基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４の前部は、フロントリテーナ７のフロントリテーナ第２当接面７３４（図４参照）に当接し、フロントリテーナ第２当接面７３４上を滑り上がる。そして各基板Ｗの表面Ｗ１の端縁Ｗ３の前部は、フロントリテーナ７のフロントリテーナ第１当接面７３３に当接する。
【００７５】
これにより、複数の基板Ｗの縁部の端縁Ｗ３、Ｗ４の後部は、壁部基板支持部６０Ａにより支持され、複数の基板Ｗの縁部の端縁Ｗ３、Ｗ４の前部は、フロントリテーナ７により支持される。即ち、壁部基板支持部６０Ａは、蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と協働して、複数の基板Ｗの縁部を基板支持板状部５から離間させ、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間した状態で、且つ、互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗを支持する。
【００７６】
次に、蓋体３の全ての上側ラッチ部３２Ａ（図１等参照）及び下側ラッチ部（図示せず）を、蓋体３の上辺及び下辺から突出している状態として、蓋体３を開口周縁部２８に固定させて開口周縁部２８に装着し、蓋体３で容器本体開口部２１を閉塞する。これにより、２５枚の基板Ｗは、壁部２０により取り囲まれて形成された基板収納空間２７に収納される。
【００７７】
上記構成の第２実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
脚部６５Ｃの一端部６５Ｄは、支持部固定部材６７を介して、容器本体２の内面を構成する第１側壁２５又は第２側壁２６の内面に接続され、脚部６５Ｃの他端部６５Ｅは、基板受け部６１Ａに接続され、脚部６５Ｃの一端部は、側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２から表面Ｗ１へと向かう方向において、脚部６５Ｃの他端部６５Ｅよりも手前に位置する。このため、奥側基板支持部（壁部基板支持部６０Ａ）の脚部６５Ｃは、基板受け部６１Ａの少なくとも第２当接面６３１Ｃに、側方基板支持部（基板支持板状部５）に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２の端縁Ｗ４が当接して第２当接面６３１Ｃが押圧されることにより、基板受け部６１Ａを、側方基板支持部に支持された基板Ｗの裏面Ｗ２から表面Ｗ１へと向かう方向へ移動させるように変形可能とすることができる。これにより蓋体側基板支持部（フロントリテーナ基板受け部７３）と奥側基板支持部（壁部基板支持部６０Ａ）とで基板Ｗを支持しているときに、基板Ｗの縁部を基板支持板状部５から離間させた状態とすることができる。
【００７８】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、本実施形態では、壁部基板支持部６０は、容器本体２に設けられており、蓋体３には設けられていなかったが、この構成に限定されない。
例えば、上述した壁部基板支持部６０と同様の支持部が、実施形態のフロントリテーナ７のフロントリテーナ脚部７２及びフロントリテーナ基板受け部７３に代えて設けられてもよい。このような構成とすることで、基板Ｗの前後を支持する当該支持部及び壁部基板支持部６０のそれぞれにおいて、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器の外部から加わる衝撃を吸収することができる。
【００７９】
また、基板支持板状部５の隣接する板部５１は、互いに離間して平行な位置関係で配置されていたが、厳密に平行な位置関係でなくてもよく、並列されていればよい。
【００８０】
また、第１実施形態では、第１板部６２及び第２板部６３は、第１脚部６５及び第２脚部６６と同様に、弾性変形可能に構成されたが、この構成に限定されない。例えば、第１板部６２及び第２板部６３は、容易に変形しないような材料により構成されていてもよく、あるいは、容易に変形しないような形状により構成されていてもよい。
また、第２実施形態では、第１板部６２Ｃ及び第２板部６３Ｃは、容易に変形しない材料により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、第１板部及び第２板部は、弾性変形可能な材料により構成されていてもよく、あるいは、弾性変形可能な形状により構成されていてもよい。
【００８１】
また、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。例えば、基板支持板状部は、本実施形態の基板支持板状部５の構成に限定されない。
また、後方向Ｄ１２寄りの１３個の壁部基板支持部６０と前方向Ｄ１１よりの１２個の壁部基板支持部６０とは、互い違いの位置関係で配置されていたが、互い違いの位置関係に限定されない。上下方向Ｄ２において所定の狭い間隔で離間して、基板を並列させることができる構成であればよい。
【符号の説明】
【００８２】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
５  基板支持板状部
６  リアリテーナ
７  フロントリテーナ
２０  壁部
２１  容器本体開口部
６０  壁部基板支持部
６１  基板受け部
６４  脚部６４
６２  第１板部
６３  第２板部
６５  第１脚部
６６  第２脚部
７２  フロントリテーナ脚部
７３  フロントリテーナ基板受け部
６２１  第１当接面
６２１Ａ、６３１Ａ  一の長辺
６３１  第２当接面
７３３  フロントリテーナ第１当接面
７３４  フロントリテーナ第２当接面
Ｗ  基板
Ｗ１  表面
Ｗ２  裏面
Ｗ３  基板の上面（表面）の縁部の端縁
Ｗ４  基板の下面（裏面）の縁部の端縁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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