(57)【要約】  撥インク性及びその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な撥インク性組成物の提供、上面に良好な撥インク性を有し、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経ても撥インク性が良好に保持できる硬化膜及び隔壁の提供、及びドット内にインクを均一塗布できる光学素子の提供。  フルオロアルキレン基及び／又はフルオロアルキル基と、加水分解性基とを有する第１の加水分解性シラン化合物を含む混合物の部分加水分解縮合物である第１の化合物と、主鎖が炭化水素鎖であり、フッ素原子を有する側鎖を含み、質量平均分子量（Ｍｗ）が１００〜１００万である第２の化合物と、を含む撥インク性組成物。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フルオロアルキレン基及び／又はフルオロアルキル基と、加水分解性基とを有する第１の加水分解性シラン化合物を含む混合物の部分加水分解縮合物である第１の化合物と、
主鎖が炭化水素鎖であり、フッ素原子を有する側鎖を含み、質量平均分子量（Ｍｗ）が１００〜１００万である第２の化合物と、を含むことを特徴とする、撥インク性組成物。
【請求項２】
前記第１の加水分解性シラン化合物が下式（ｃｘ−１）で表される化合物である、請求項１に記載の撥インク性組成物。
（Ａ−ＲＦ１１）ａ−Ｓｉ（ＲＨ１１）ｂＸ１１（４−ａ−ｂ）・・・（ｃｘ−１）
（ＲＦ１１は、少なくとも１つのフルオロアルキレン基を含む、炭素原子数１〜１６の２価の有機基又はエーテル性酸素原子を含む炭素原子数２〜１６の２価の有機基である。ＲＨ１１は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ１１は加水分解性基である。Ｘ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ａは１又は２、ｂは０又は１、ａ＋ｂは１又は２である。
Ａはフッ素原子又は下式（Ｉ）で表される基である。
−Ｓｉ（ＲＨ１２）ｃＸ１２（３−ｃ）・・・（Ｉ）
(ＲＨ１２は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ｃは０又は１である。
Ｘ１２は加水分解性基である。Ｘ１２が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。)
Ａ−ＲＦ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
【請求項３】
前記混合物がさらに、下式（ｃｘ−２）で表される第２の加水分解性シラン化合物を含む、請求項２に記載の撥インク性組成物。
ＳｉＸ２４・・・（ｃｘ−２）
（Ｘ２は加水分解性基を示し、４個のＸ２は互いに異なっていても同一であってもよい。）
【請求項４】
前記混合物がさらに、下式（ｃｘ−３）で表される第３の加水分解性シラン化合物を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の撥インク性組成物。
（Ｙ−Ｑ３）ｇ−Ｓｉ（ＲＨ３）ｈＸ３（４−ｇ−ｈ）・・・（ｃｘ−３）
（Ｙはエチレン性二重結合を有する基である。
Ｑ３は炭素原子数１〜６のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
ＲＨ３は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ３は加水分解性基である。Ｘ３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ｇは１又は２、ｈは０又は１、ｇ＋ｈは１又は２である。
Ｙ−Ｑ３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
【請求項５】
前記第２の化合物が、エーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基及び／又はエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基を有する側鎖を含む重合体である、請求項１〜４のいずれか一項に記載の撥インク性組成物。
【請求項６】
前記第２の化合物が、酸性基を有する側鎖を含む重合体である、請求項５に記載の撥インク性組成物。
【請求項７】
前記第２の化合物が、エチレン性二重結合を有する側鎖を含む重合体である、請求項５又は６に記載の撥インク性組成物。
【請求項８】
前記第２の化合物が、オキシアルキレン基を有する側鎖を含む重合体である、請求項５〜７のいずれか一項に記載の撥インク性組成物。
【請求項９】
前記第１の化合物に対する前記第２の化合物の質量比が０．０１〜１０である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の撥インク性組成物。
【請求項１０】
フッ素原子の含有率が５〜４０質量％である、請求項１〜９のいずれか一項に記載の撥インク性組成物。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の撥インク性組成物と、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂又はアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）及び溶媒（Ｄ）を含むことを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
さらに、１分子中に２つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない架橋剤（Ｅ）を含む、請求項１１に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
全固形分中の第１の化合物の含有割合が０．０５〜１０質量％であり、第２の化合物の含有割合が０．０１〜５質量％である、請求項１１又は１２に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
全固形分中の前記撥インク性組成物の含有割合が０．０６〜１５質量％である、請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項１５】
請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物を基板表面に塗布し、溶媒（Ｄ）を除去し、露光してなることを特徴とする、硬化膜。
【請求項１６】
請求項１５に記載の硬化膜からなることを特徴とする、隔壁。
【請求項１７】
複数のドットと、請求項１６に記載の隔壁とを備えることを特徴とする、光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撥インク性組成物、ネガ型感光性樹脂組成物、ならびに、該ネガ型感光性樹脂組成物を用いた硬化膜、隔壁及び光学素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro-Luminescence）素子においては、発光層等の有機層をインクジェット（ＩＪ）法にてパターン印刷する方法がある。かかる方法においては、ドットの輪郭に沿って隔壁を設け、その内部に、形成する層の材料を含むインクを注入し、これを乾燥及び／又は加熱等することにより所望のパターン膜を形成する。
上記方法においては、隣接するドット間におけるインクの混色防止とドット内におけるインクの均一塗布のため、隔壁上面は撥インク性を有する一方、隔壁側面は親インク性を有する必要がある。【０００３】
上記隔壁は例えば、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィ法によりパターン形成される。
例えば、感光性樹脂組成物に表面自由エネルギーが小さい撥インク剤を含ませると、塗膜を乾燥させる際に溶媒が蒸発する過程で、撥インク剤がその他の固形成分との間に働く斥力によって空気側（塗膜の上面側）に移行することを利用して、得られる隔壁の上面に撥インク性を付与することができる。かかる方法では、撥インク剤の上面移行性が重要である。また、現像後にドット内に撥インク剤が残存しないことが重要である。【０００４】
有機ＥＬ素子においては、現像後にドット内に残る感光性樹脂組成物の残渣によって、発光層等の有機層が劣化しやすくなる。そこで、ドット内の現像残渣除去のため、インク注入前に基材の表面全体に対して通常、ＵＶ（紫外線）／Ｏ３（オゾン）照射処理を行う。したがって、有機ＥＬ素子においては、ＵＶ／Ｏ３照射処理後も、隔壁上面の撥インク性が良好に保持されることが重要である。【０００５】
従来、撥インク剤としては、炭素−炭素結合を主とする主鎖と、フッ素原子を有する側鎖とを含むアクリル系重合体が知られている（例えば、特許文献１〜４の［実施例］の項を参照）。
しかしながら、アクリル系重合体からなる撥インク剤は、撥インク性の耐ＵＶ／Ｏ３性が低く、有機ＥＬ素子の隔壁用途としては不充分である。【０００６】
特許文献５には、表面自由エネルギーが充分に小さく、形成される隔壁は上面が良好な撥インク性を有し、かつ、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性が良好に保持される、含フッ素加水分解性シラン化合物の加水分解縮合物からなるシリコーン系の撥インク剤を含むネガ型感光性樹脂組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２００４／０４２４７４号
【特許文献２】国際公開第２００７／０６９７０３号
【特許文献３】国際公開第２０１１／０８１１５１号
【特許文献４】国際公開第２０１０／００１９７６号
【特許文献５】国際公開第２０１０／０１３８１６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
有機ＥＬ素子においては、本来、表示に関与しない隔壁部分は線幅がなるべく細いことが好ましい。隔壁の線幅を細くしても、隣接するドット間におけるインクの混色を良好に防止するためには、隔壁上面の撥インク性がより高いことが好ましい。【０００９】
本発明は、撥インク性及びその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁を製造できる撥インク性組成物、並びに該撥インク性組成物を含有し、ドット内に撥インク性組成物が残存しにくい特性を有するネガ型感光性樹脂組成物、該ネガ型感光性樹脂組成物を用いて得られる硬化膜、及び隔壁の提供を目的とする。
さらに、本発明は、上面に良好な撥インク性を有し、ドット内に撥インク剤が残存しにくく、ドット内にインクを均一塗布できる隔壁を有する光学素子の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、以下［１］〜［１７］の構成を有する、撥インク性組成物、ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、隔壁及び光学素子を提供する。【００１１】
［１］フルオロアルキレン基及び／又はフルオロアルキル基と加水分解性基とを有する第１の加水分解性シラン化合物を含む混合物の部分加水分解縮合物である第１の化合物と、
主鎖が炭化水素鎖であり、フッ素原子を有する側鎖を含み、質量平均分子量（Ｍｗ）が１００〜１００万である第２の化合物と、を含むことを特徴とする、撥インク性組成物。
［２］前記第１の加水分解性シラン化合物が下式（ｃｘ−１）で表される化合物である、上記［１］に記載の撥インク性組成物。
（Ａ−ＲＦ１１）ａ−Ｓｉ（ＲＨ１１）ｂＸ１１（４−ａ−ｂ）・・・（ｃｘ−１）
（ＲＦ１１は、少なくとも１つのフルオロアルキレン基を含む、炭素原子数１〜１６の２価の有機基又はエーテル性酸素原子を含む炭素原子数２〜１６の２価の有機基である。  ＲＨ１１は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ１１は加水分解性基である。Ｘ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ａは１又は２、ｂは０又は１、ａ＋ｂは１又は２である。
Ａはフッ素原子又は下式（Ｉ）で表される基である。
−Ｓｉ（ＲＨ１２）ｃＸ１２（３−ｃ）・・・（Ｉ）
（ＲＨ１２は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ｃは０又は１である。
Ｘ１２は加水分解性基である。Ｘ１２が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
Ａ−ＲＦ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
［３］前記混合物がさらに、下式（ｃｘ−２）で表される第２の加水分解性シラン化合物を含む、上記［２］に記載の撥インク性組成物。
ＳｉＸ２４・・・（ｃｘ−２）
（Ｘ２は加水分解性基を示し、４個のＸ２は互いに異なっていても同一であってもよい）
［４］前記混合物がさらに下式（ｃｘ−３）で表される第３の加水分解性シラン化合物を含む、上記［１］〜［３］のいずれかに記載の撥インク性組成物。
（Ｙ−Ｑ３）ｇ−Ｓｉ（ＲＨ３）ｈＸ３（４−ｇ−ｈ）・・・（ｃｘ−３）
（Ｙはエチレン性二重結合を有する基である。
Ｑ３は炭素原子数１〜６のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
ＲＨ３は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ３は加水分解性基である。Ｘ３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ｇは１又は２、ｈは０又は１、ｇ＋ｈは１又は２である。
Ｙ−Ｑ３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。）
［５］前記第２の化合物が、エーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基及び／又はエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基を有する側鎖を含む重合体である、上記［１］〜［４］のいずれかに記載の撥インク性組成物。
［６］前記第２の化合物が、酸性基を有する側鎖を含む重合体である、上記［５］に記載の撥インク性組成物。
［７］前記第２の化合物が、エチレン性二重結合を有する側鎖を含む重合体である、上記［５］又は[６]に記載の撥インク性組成物。
［８］前記第２の化合物が、オキシアルキレン基を有する側鎖を含む重合体である、上記［５］〜［７］のいずれかに記載の撥インク性組成物。
［９］前記第１の化合物に対する前記第２の化合物の質量比が０．０１〜１０である、上記［１］〜［８］のいずれかに記載の撥インク性組成物。
［１０］フッ素原子の含有率が５〜４０質量％である、上記［１］〜［９］のいずれかに記載の撥インク性組成物。【００１２】
［１１］上記［１］〜［１０］のいずれかに記載の撥インク性組成物と、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂又はアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）及び溶媒（Ｄ）を含むネガ型感光性樹脂組成物。
［１２］さらに、１分子中に２つ以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない架橋剤（Ｅ）を含む、上記［１１］に記載のネガ型感光性樹脂組成物。【００１３】
［１３］全固形分中の第１の化合物の含有割合が０．０５〜１０質量％であり、第２の化合物の含有割合が０．０１〜５質量％である、上記［１１］又は［１２］に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
［１４］全固形分中の前記撥インク性組成物の含有割合が０．０６〜１５質量％である、上記［１１］〜［１３］のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
［１５］上記［１１］〜［１４］のいずれか一項に記載のネガ型感光性樹脂組成物を基板表面に塗布し、溶媒（Ｄ）を除去し、露光してなることを特徴とする、硬化膜。
［１６］上記［１５］に記載の硬化膜からなることを特徴とする、隔壁。
［１７］複数のドットと、上記［１６］に記載の隔壁とを備えることを特徴とする、光学素子。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の撥インク性組成物は、上面の撥インク性及びその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁を形成できるネガ型感光性樹脂組成物を調製することができ、該ネガ型感光性樹脂組成物を用いて得られる隔壁を有する光学素子は、隔壁の上面に良好な撥インク性を有し、ドット内に撥インク成分が残存しにくい特性を有するため、ドット内にインクを均一に塗布することができ、パターン膜の形成が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明の硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｂ】本発明の硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｃ】本発明の硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｄ】本発明の硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図１Ｅ】本発明の硬化膜からなる隔壁の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図２Ａ】本発明の硬化膜からなる隔壁を用いたパターン膜の製造方法を模式的に示す工程図である。
【図２Ｂ】本発明の硬化膜からなる隔壁を用いたパターン膜の製造方法を模式的に示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本明細書において、「（メタ）アクリロイル基」は、「メタクリロイル基」と「アクリロイル基」の総称である。（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、及び（メタ）アクリル樹脂もこれに準じる。
【００１７】
本明細書において、式（ｘ）で表される基を、単に基（ｘ）と記載することがある。
本明細書において、式（ｙ）で表される化合物を、単に化合物（ｙ）と記載することがある。
ここで、式（ｘ）、式（ｙ）は、任意の式を示している。
【００１８】
本明細書における「側鎖」とは、繰り返し単位が主鎖を構成する重合体において、主鎖を構成する炭素原子に結合する、水素原子又はハロゲン原子以外の基である。
【００１９】
本明細書における「感光性樹脂組成物の全固形分」とは、感光性樹脂組成物が含有する成分のうち後述する硬化膜を形成する成分を指し、感光性樹脂組成物を１４０℃で２４時間加熱して溶媒を除去した残存物から求める。なお、全固形分量は仕込み量からも計算できる。
【００２０】
本明細書においては、感光性樹脂組成物を塗布した膜を「塗膜」、塗膜を乾燥させた膜を「乾燥膜」、さらに乾燥膜を硬化させて得られる膜を「硬化膜」という。
硬化膜は、パターン膜でもよいし、パターンが形成されていない膜でもよい。
本明細書において、隔壁の「上面」には、隔壁の側面は含まれない。
【００２１】
本明細書における「インク」には、光学的及び／又は電気的な機能を有する液体全般が含まれる。
本明細書における「インク」には、インクジェット（ＩＪ）法によるパターン印刷に用いられるインク全般が含まれる。
有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ及び有機ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アレイ等の光学素子において、各種構成要素をＩＪ法によりパターン印刷できる。本明細書における「インク」には、かかる用途に用いられるインクが含まれる。
【００２２】
本明細書における「撥インク性」とは、上記インクをはじく性質であり、撥水性と撥油性の両方を有する。撥インク性は例えば、インクを滴下したときの接触角により評価できる。
本明細書における「耐ＵＶ／Ｏ３性」とは、ＵＶ／Ｏ３照射処理後も撥インク性が良好に保持される特性をいう。
【００２３】
本明細書における「ドット」とは、光学素子における光変調可能な最小領域を示す。有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ、及び有機ＴＦＴアレイ等の光学素子においては、白黒表示の場合には１ドット＝１画素であり、カラー表示の場合には、例えば３ドット（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）等）＝１画素である。
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、本明細書において特に説明のない場合、％は質量％を表す。
【００２５】
［撥インク性組成物］
本発明の撥インク性組成物（以下、撥インク性組成物（Ｃ）ということもある。）は、撥インク性化合物として、下記の第１の化合物と第２の化合物とを含む。なお、未反応の第１の化合物及び第２の化合物の原料は、該撥インク性組成物（Ｃ）に含まれるものとする。
本発明の撥インク性組成物（Ｃ）は、第１の化合物と第２の化合物のみからなることが好ましい。
【００２６】
本発明の撥インク性組成物は、ネガ型感光性樹脂組成物又はポジ型感光性樹脂組成物等に含ませる撥インク剤に適用できる。ネガ型感光性樹脂組成物に適用することが特に好ましい。該組成物は、光学素子の各種構成要素のＩＪ法によるパターン形成における隔壁形成用の組成物として好適である。
隔壁の形成過程で撥インク性組成物が上面に移行し、隔壁上面に薄い撥インク層が形成され、隔壁上面に撥インク性が付与される。なお、本発明の撥インク性組成物は、他の用途にも使用可能である。
【００２７】
本発明者の研究により、第１、及び第２の化合物はいずれも単独で隔壁上面に撥インク性を発現するが、フッ素原子含有率が同じ条件において、第１の化合物と第２の化合物とを併用した場合、それぞれを単独で使用するよりも隔壁上面の撥インク性を向上できることが明らかとなった。その理由は、以下のように考えられる。
【００２８】
第１の化合物を単独で使用しても、ある程度の架橋反応が進み、隔壁上面に薄い撥インク層が形成される。しかしながら、第１の化合物は分子量が、例えば１，０００〜２，０００程度で、各分子の広がりが大きくないため、分子間に隙間が生じやすい。該隙間を、第２の化合物が埋めることで、撥インク性が向上すると考えられる。
【００２９】
本発明者の研究によれば、以下の点も、第１の化合物と第２の化合物とを併用する効果と考えられる。
（１）第２の化合物を単独で使用するよりも、アルカリ現像の際に隔壁上面の撥インク層の除去が抑制され、撥インク性が向上する。
（２）第１の化合物を単独で使用するよりも、ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が向上する。
（３）第１の化合物を単独で使用するよりも、隔壁上面の端部の盛り上がりが発生しにくくなる
【００３０】
（１）の効果を発現できる理由は、以下のように考えられる。
第２の化合物を単独で使用する場合、第２の化合物の質量平均分子量（Ｍｗ）が１０万超であると、隔壁上面に高い撥インク性を付与できるが、アルカリ現像液への溶解性が低下する傾向にある。すなわち、アルカリ現像の際に隔壁上面の撥インク層の一部が除去され、撥インク性が低下すると考えられる。該傾向を生じない第１の化合物を併用することで、アルカリ現像の際に隔壁上面の撥インク層の除去が抑制され、撥インク性が向上すると考えられる。
【００３１】
（２）の効果を発現できる理由は、以下のように考えられる。
第１の化合物を単独で使用する場合、シラノール基同士の反応性が高いため、第１の化合物を含ませた感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が不充分な傾向にある。反応性の低い第２の化合物を併用することで、シラノール基同士の反応が阻害され、感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が向上すると考えられる。
【００３２】
（３）の効果を発現できる理由は、以下のように考えられる。
第１の化合物を単独で使用する場合、隔壁上面の端部に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等によって観察されるレベルの微小な盛り上がりが形成される場合がある。該盛り上がりは、隔壁等として特に支障を来すものではないが、仮にこの盛り上がりが何らかの要因で脱落してしまうと、隔壁の側壁等に撥インク性が付与され、好ましくない。
第１の化合物はシラノール基同士の反応が高いため、非露光部においてもある程度の架橋反応が進み、上記盛り上がりが形成されると考えられる。反応性の低い第２の化合物を併用することで、非露光部におけるシラノール基同士の反応が阻害され、上記盛り上がりの発生が抑えられると考えられる。
なお、本発明者は、この盛り上がりにおいて、他の部分よりもＦ及び／又はＳｉの含有量が多いことを確認している。
【００３３】
（第１の化合物）
第１の化合物は、第１の加水分解性シラン化合物を含む混合物（以下、加水分解性シラン化合物混合物ともいう。）の部分加水分解縮合物である。該加水分解性シラン化合物混合物は、第１の加水分解性シラン化合物を必須成分として含み、任意に、後述する第２〜第５の加水分解性シラン化合物を含む。さらに、第２〜第５の加水分解性シラン化合物以外の加水分解性シラン化合物を含んでもよい。
第１の化合物は、分子量分布を有する組成物である。
【００３４】
＜第１の加水分解性シラン化合物＞
本発明における第１の加水分解性シラン化合物は、フルオロアルキレン基及び／又はフルオロアルキル基と加水分解性基とを有する化合物である。
加水分解性基としては、アルコキシ基、ハロゲン原子、アシル基、イソシアナート基、アミノ基、アミノ基の少なくとも１つの水素がアルキル基で置換された基等が挙げられる。加水分解反応により水酸基（シラノール基）となり、さらに分子間で縮合反応してＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を形成する反応が円滑に進みやすい点から、炭素原子数１〜４のアルコキシ基又はハロゲン原子が好ましく、メトキシ基、エトキシ基又は塩素原子がより好ましく、メトキシ基又はエトキシ基が特に好ましい。
第１の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００３５】
フルオロアルキレン基及び／又はフルオロアルキル基を含む第１の加水分解性シラン化合物を用いることで、第１の化合物はフルオロアルキレン基及び／又はフルオロアルキル基を有する。第１の化合物を含むネガ型感光性樹脂組成物を用いると、隔壁の上面に良好な撥インク性を付与できる。さらに、良好な撥インク性はＵＶ／Ｏ３照射処理を経ても保持される。
なお、第１の加水分解性シラン化合物の上記効果をより発現するためには、第１の加水分解性シラン化合物がフルオロアルキル基、ペルフルオロアルキレン基又はペルフルオロアルキル基を有することがより好ましく、ペルフルオロアルキル基を有することが特に好ましい。また、エーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基も好ましい。すなわち、第１の加水分解性シラン化合物として最も好ましい化合物は、ペルフルオロアルキル基及び／又はエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキル基を有する化合物である。
【００３６】
第１の加水分解性シラン化合物としては、下式（ｃｘ−１）で表される化合物が好ましい。
（Ａ−ＲＦ１１）ａ−Ｓｉ（ＲＨ１１）ｂＸ１１（４−ａ−ｂ）・・・（ｃｘ−１）
式（ｃｘ−１）中、ＲＦ１１は、少なくとも１つのフルオロアルキレン基を含む、炭素原子数１〜１６の２価の有機基又はエーテル性酸素原子を含む炭素原子数２〜１６の２価の有機基である。
ＲＨ１１は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ１１は加水分解性基である。Ｘ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ａは１又は２、ｂは０又は１、ａ＋ｂは１又は２である。
Ａはフッ素原子又は下式（Ｉ）で表される基である。
−Ｓｉ（ＲＨ１２）ｃＸ１２（３−ｃ）・・・（Ｉ）
式（Ｉ）中、ＲＨ１２は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
ｃは０又は１である。
Ｘ１２は加水分解性基である。Ｘ１２が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
また、Ａ−ＲＦ１１が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
【００３７】
化合物（ｃｘ−１）は、２又は３官能性の加水分解性シリル基を１個又は２個有する含フッ素加水分解性シラン化合物である。
【００３８】
ＲＨ１１及びＲＨ１２は、炭素原子数１〜３の炭化水素基が好ましく、メチル基が特に好ましい。
式（ｃｘ−１）中、ａが１であり、ｂが０又は１であることが特に好ましい。
加水分解性基であるＸ１１及びＸ１２の具体例、及び好ましい様態は上記の通りである。
【００３９】
第１の加水分解性シラン化合物としては、下式（ｃｘ−１ａ）で表される化合物が特に好ましい。
Ｄ−ＲＦ１２−Ｑ１１−ＳｉＸ１１３・・・（ｃｘ−１ａ）
式（ｃｘ−１ａ）中、ＲＦ１２は炭素原子数２〜１５のエーテル性酸素原子を含んでいてもよいペルフルオロアルキレン基である。  
Ｑ１１は炭素原子数１〜１０のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
Ｘ１１は加水分解性基である。３個のＸ１１は互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｄはフッ素原子又は下式（Ｉａ）で表される基である。
−Ｑ１２−ＳｉＸ１２３・・・（Ｉａ）
式（Ｉａ）中、Ｘ１２は加水分解性基である。３個のＸ１２は互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｑ１２は炭素原子数１〜１０のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
【００４０】
式（ｃｘ−１ａ）において、Ｄがフッ素原子である場合、ＲＦ１２は、炭素原子数４〜８のペルフルオロアルキレン基、又は炭素原子数４〜１０のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基が好ましく、炭素原子数４〜８のペルフルオロアルキレン基がより好ましく、炭素原子数６のペルフルオロアルキレン基が特に好ましい。
また、式（ｃｘ−１ａ）において、Ｄが基（Ｉａ）である場合、ＲＦ１２は、炭素原子数３〜１５のペルフルオロアルキレン基、又は炭素原子数３〜１５のエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基が好ましく、炭素原子数４〜６のペルフルオロアルキレン基が特に好ましい。
【００４１】
ＲＦ１２が上記した基であると、本発明の撥インク性組成物によって、上面の撥インク性とその耐ＵＶ／Ｏ３性が良好な隔壁を形成できる、ネガ型感光性樹脂組成物が得られ、かつ、化合物（ｃｘ−１ａ）は溶媒への溶解性に優れる。
【００４２】
ＲＦ１２の構造としては、直鎖構造、分岐構造、環構造、部分的に環を有する構造等が挙げられ、直鎖構造が好ましい。
【００４３】
ＲＦ１２の具体例としては、以下の基が挙げられる。
−（ＣＦ２）４−、−（ＣＦ２）６−、−（ＣＦ２）８−、
−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−。−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＦ２−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２−、−ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−、−ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ（ＣＦ３）−。
【００４４】
Ｑ１１及びＱ１２においては、右側の結合手にＳｉが、左側の結合手にＲＦ１２がそれぞれ結合するとして表示した場合、具体的には、−（ＣＨ２）ｉ１−（ｉ１は１〜５の整数。）、−ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）ｉ２−（ｉ２は１〜４の整数。）、−ＳＯ２ＮＲ１−（ＣＨ２）ｉ３−（Ｒ１は水素原子、メチル基、又はエチル基であり、ｉ３は１〜４の整数であり、Ｒ１と（ＣＨ２）ｉ３との炭素原子数の合計は４以下の整数である。）、又は−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＲ１−（ＣＨ２）ｉ４−（Ｒ１は上記同様であり、ｉ４は１〜４の整数であり、Ｒ１と（ＣＨ２）ｉ４との炭素原子数の合計は４以下の整数である。）で表される基が好ましい。Ｑ１１及びＱ１２としては、ｉ１が２〜４の整数である−（ＣＨ２）ｉ１−がより好ましく、−（ＣＨ２）２−が特に好ましい。
【００４５】
なお、ＲＦ１２がペルフルオロアルキレン基である場合、Ｑ１１及びＱ１２としては、−（ＣＨ２）ｉ１−で表される基が好ましい。ｉ１は２〜４の整数がより好ましく、ｉ１は２が特に好ましい。
ＲＦ１２がエーテル性酸素原子を含むペルフルオロアルキレン基である場合、Ｑ１１及びＱ１２としては、−（ＣＨ２）ｉ１−、−ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）ｉ２−、−ＳＯ２ＮＲ１−（ＣＨ２）ｉ３−、又は−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＲ１−（ＣＨ２）ｉ４−で表される基が好ましい。なかでも、−（ＣＨ２）ｉ１−がより好ましく、ｉ１が２〜４の整数がさらに好ましく、ｉ１は２が特に好ましい。
【００４６】
Ｄがフッ素原子の場合、化合物（ｃｘ−１ａ）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。Ｆ（ＣＦ２）４ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、Ｆ（ＣＦ２）８ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、Ｆ（ＣＦ２）３ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、Ｆ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３。
【００４７】
Ｄが基（Ｉａ）である場合、化合物（ｃｘ−１ａ）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）４ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、（ＣＨ３Ｏ）３ＳｉＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）２ＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２）２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３。
なかでも、Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、又はＦ（ＣＦ２）３ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３が特に好ましい。
【００４８】
本発明において、化合物（ｃｘ−１ａ）としては、なかでも、Ｆ（ＣＦ２）６ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、又はＦ（ＣＦ２）３ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３が特に好ましい。
【００４９】
加水分解性シラン化合物混合物における第１の加水分解性シラン化合物の含有割合は、該混合物から得られる部分加水分解縮合物におけるフッ素原子含有率が５〜５５質量％、より好ましくは１０〜４０質量％、特に好ましくは１５〜３０質量％となる割合であることが好ましい。第１の加水分解性シラン化合物の含有割合が上記範囲の下限値以上であると、硬化膜の上面に良好な撥インク性を付与でき、上限値以下であると、該混合物中の他の加水分解性シラン化合物との相溶性が良好になる。
【００５０】
＜第２の加水分解性シラン化合物＞
本発明における第２の加水分解性シラン化合物は、下式（ｃｘ−２）で表される化合物である。
ＳｉＸ２４・・・（ｃｘ−２）
式（ｃｘ−２）中、Ｘ２は加水分解性基を示し、４個のＸ２は互いに異なっていても同一であってもよい。Ｘ２としては、前記Ｘ１１及びＸ１２と同様の基が用いられる。
化合物（ｃｘ−２）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００５１】
化合物（ｃｘ−２）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。また、化合物（ｃｘ−２）として、必要に応じて、その複数個を予め部分加水分解縮合して得た部分加水分解縮合物を用いてもよい。
具体例として、Ｓｉ（ＯＣＨ３）４、Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）４、Ｓｉ（ＯＣＨ３）４の部分加水分解縮合物（例えば、コルコート社製のメチルシリケート５１（商品名））、Ｓｉ（ＯＣＨ２ＣＨ３）４の部分加水分解縮合物（例えば、コルコート社製のエチルシリケート４０、エチルシリケート４８（いずれも商品名））等である。
【００５２】
加水分解性シラン化合物混合物に化合物（ｃｘ−２）を含ませることで、第１の化合物を含むネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜において、撥インク性組成物（Ｃ）が上面移行した後の造膜性を高められる。すなわち、化合物（ｃｘ−２）中の加水分解性基の数が多いことから、上面移行した後に部分加水分解縮合物同士が良好に縮合し、上面全体に薄い膜を形成できる（造膜性に優れる）と考えられる。
また、加水分解性シラン化合物混合物に化合物（ｃｘ−２）を含ませることで、第１の化合物は炭化水素系の溶媒に溶解しやすくなる。
【００５３】
加水分解性シラン化合物混合物における第２の加水分解性シラン化合物の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物の１モルに対して、０．０１〜５モルが好ましく、０．０５〜３モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると撥インク性組成物（Ｃ）の造膜性が良好であり、上限値以下であると、硬化膜の上面に良好な撥インク性を付与できる。
【００５４】
＜第３の加水分解性シラン化合物＞
本発明における第３の加水分解性シラン化合物は、下式（ｃｘ−３）で表される加水分解性シラン化合物である。
（Ｙ−Ｑ３）ｇ−Ｓｉ（ＲＨ３）ｈＸ３（４−ｇ−ｈ）・・・（ｃｘ−３）
式（ｃｘ−３）中、Ｙはエチレン性二重結合を有する基である。
Ｑ３は炭素原子数１〜６のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
ＲＨ３は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ３は加水分解性基である。Ｘ３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ｇは１又は２、ｈは０又は１、ｇ＋ｈは１又は２である。
Ｙ−Ｑ３が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
【００５５】
ＲＨ３としては、前記ＲＨ１１及びＲＨ１２と同様の基が用いられる。
Ｘ３としては、前記Ｘ１１及びＸ１２と同様の基が用いられる。
【００５６】
Ｙとしては、（メタ）アクリロイルオキシ基又はビニルフェニル基が好ましく、（メタ）アクリロイルオキシ基が特に好ましい。
Ｑ３の具体例としては、炭素原子数２〜６のアルキレン基、フェニレン基等が挙げられる。なかでも、−（ＣＨ２）３−が好ましい。
ｇが１であり、ｈが０又は１であることが好ましい。
化合物（ｃｘ−３）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００５７】
化合物（ｃｘ−３）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、
［ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３］ＳｉＣＨ３（ＯＣＨ３）２、
［ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２）３］ＳｉＣＨ３（ＯＣ２Ｈ５）２。
【００５８】
加水分解性シラン化合物混合物にエチレン性二重結合を有する基Ｙを含む化合物（ｃｘ−３）を含ませることで、ネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる隔壁の製造において、撥インク性組成物（Ｃ）の隔壁上面での定着性を向上できる。
【００５９】
化合物（ｃｘ−３）はエチレン性二重結合を有する基Ｙを有するため、ネガ型感光性樹脂組成物の露光時に、この基を介して撥インク性化合物同士あるいは撥インク性化合物とネガ型感光性樹脂組成物中のエチレン性二重結合を有する他成分とが共重合することができる。これらの作用効果によって、露光後に、撥インク性組成物（Ｃ）が硬化膜上面に化学的に結合することから、定着性が向上すると考えられる。
【００６０】
加水分解性シラン化合物混合物における第３の加水分解性シラン化合物の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物の１モルに対して、０．１〜５モルが好ましく、０．５〜４モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、撥インク性組成物（Ｃ）の上面移行性及び定着性が良好であり、また、撥インク性組成物の貯蔵安定性が良好である。上限値以下であると撥インク性組成物（Ｃ）の撥インク性が良好である。
【００６１】
＜第４の加水分解性シラン化合物＞
本発明における第４の加水分解性シラン化合物は、下式（ｃｘ−４）で表される化合物である。
（ＲＨ４）ｊ−ＳｉＸ４（４−ｊ）・・・（ｃｘ−４）
式（ｃｘ−４）中、ＲＨ４は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。ＲＨ４が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
Ｘ４は加水分解性基である。Ｘ４が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ｊは２又は３である。
【００６２】
ＲＨ４としては、前記ＲＨ１１及びＲＨ１２と同様の基が用いられる。
Ｘ４としては、前記Ｘ１１及びＸ１２と同様の基が用いられる。
化合物（ｃｘ−４）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００６３】
化合物（ｃｘ−４）の具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
（ＣＨ３）３−Ｓｉ−ＯＣＨ３、（ＣＨ３ＣＨ２）３−Ｓｉ−ＯＣＨ２ＣＨ３、（ＣＨ３）３−Ｓｉ−ＯＣＨ２ＣＨ３、（ＣＨ３ＣＨ２）３−Ｓｉ−ＯＣＨ３、（ＣＨ３）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）２、（ＣＨ３）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ２ＣＨ３）２、（ＣＨ３ＣＨ２）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ２ＣＨ３）２、（ＣＨ３ＣＨ２）２−Ｓｉ−（ＯＣＨ３）２。
【００６４】
加水分解性シラン化合物混合物において化合物（ｃｘ−２）を用いる場合、ネガ型感光性樹脂組成物を硬化してなる隔壁において、その上面の端部に盛り上がりが形成される場合がある。これは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等によって観察されるレベルの微小なものである。本発明者は、この盛り上がりにおいて、他の部分よりもＦ及び／又はＳｉの含有量が多いことを確認した。
上記盛り上がりは隔壁等として特に支障を来すものではないが、本発明者は、化合物（ｃｘ−２）の一部を加水分解基の数の少ない化合物（ｃｘ−４）に置き換えることで、上記盛り上がりの発生が抑えられることを見出した。
加水分解基の数の多い化合物（ｃｘ−２）によって生成されるシラノール基同士の反応により、撥インク性組成物（Ｃ）の造膜性が増す。しかしながら、その反応性が高いために、上記盛り上がりが起こると考えられる。
一方、化合物（ｃｘ−２）の一部を加水分解基の数の少ない化合物（ｃｘ−４）に置き換えることで、シラノール基同士の反応が抑えられ、上記盛り上がりの発生が抑えられると考えられる。
【００６５】
加水分解性シラン化合物混合物における第４の加水分解性シラン化合物の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物の１モルに対して、０．０５〜５モルが好ましく、０．３〜３モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、隔壁上面の端部の盛り上がりを抑制できる。上限値以下であると撥インク性組成物（Ｃ）の撥インク性が良好である。
【００６６】
＜第５の加水分解性シラン化合物＞
本発明における第５の加水分解性シラン化合物は、メルカプト基と加水分解性基を有し、フルオロアルキレン基及びフルオロアルキル基を有しない化合物である。
加水分解性基としては、第１の加水分解性シラン化合物の加水分解性基と同様のものを用いることができる。
第５の加水分解性シラン化合物は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００６７】
メルカプト基を含む第５の加水分解性シラン化合物を用いることで、ネガ型感光性樹脂組成物において、より低露光量での露光が可能となる。第５の加水分解性シラン化合物中のメルカプト基が連鎖移動性を有し、後述するアルカリ可溶性樹脂又はアルカリ可溶性単量体（Ａ）の有するエチレン性二重結合等と結び付きやすく、光硬化を促進させるためと考えられる。
また、メルカプト基を含む第５の加水分解性シラン化合物はｐＫａが１０程度であり、アルカリ溶液中で脱プロトン、すなわち解離しやすい。
ここで、ｐＫａ＝−ｌｏｇ１０Ｋａで表され、式中、Ｋａは酸解離定数を示す。そのため、メルカプト基が、ネガ型感光性樹脂組成物の現像時のアルカリ可溶性を高めると考えられる。
【００６８】
第５の加水分解性シラン化合物としては、下式（ｃｘ−５）で表される化合物が好ましい。
（ＨＳ−Ｑ５）ｐ−Ｓｉ（ＲＨ５）ｑＸ５（４−ｐ−ｑ）・・・（ｃｘ−５）
式（ｃｘ−５）中、Ｑ５は炭素原子数１〜１０のフッ素原子を含まない２価の有機基である。
ＲＨ５は炭素原子数１〜６の炭化水素基である。
Ｘ５は加水分解性基である。Ｘ５が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
ｐは１又は２、ｑは０又は１、ｐ＋ｑは１又は２である。
ＨＳ−Ｑ５が複数個存在する場合、これらは互いに異なっていても同一であってもよい。
【００６９】
Ｘ５としては、前記Ｘ１及びＸ２と同様の基が用いられる。
Ｑ５としては、炭素原子数１〜１０のアルキレン基が好ましく、炭素原子数１〜５のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数１〜３のアルキレン基が特に好ましい。
ＲＨ５としては、前記ＲＨ１１及びＲＨ１２と同様の基が用いられる。
【００７０】
化合物（ｃｘ−５）の具体例としては、ＨＳ−（ＣＨ２）３−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、ＨＳ−（ＣＨ２）３−Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２等が挙げられる。
【００７１】
加水分解性シラン化合物混合物における第５の加水分解性シラン化合物の含有割合は、第１の加水分解性シラン化合物の１モルに対して、０．１２５〜１８モルが好ましく、０．１２５〜８モルが特に好ましい。含有割合が上記範囲の下限値以上であると、ネガ型感光性樹脂組成物において、より低露光量での露光が可能となる。上限値以下であると撥インク性組成物（Ｃ）の撥インク性が良好である。
【００７２】
＜その他の加水分解性シラン化合物＞
加水分解性シラン化合物混合物は、第１〜５の加水分解性シラン化合物以外の任意の加水分解性シラン化合物を１種又は２種以上含むことができる。
その他の加水分解性シラン化合物としては、オキシアルキレン基と加水分解性基を有し、フルオロアルキレン基及びフルオロアルキル基を有しない加水分解性シラン化合物が挙げられる。具体的には、例えば、ＣＨ３Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋＳｉ（ＯＣＨ３）３（ポリオキシエチレン基含有トリメトキシシラン）（ここで、ｋは例えば約１０である。）等が挙げられる。
【００７３】
＜好ましい加水分解性シラン化合物の組み合わせ＞
第１の化合物が、化合物（ｃｘ−１ａ）を含み、化合物（ｃｘ−２）〜（ｃｘ−５）を任意で含み、さらに化合物（ｃｘ−１ａ）中の基Ｄがフッ素原子である混合物の部分加水分解縮合物である場合の、平均組成式を下式（ＩＩ）に示す。
【００７４】
［Ｄ−ＲＦ１２−Ｑ１１−ＳｉＯ３/２］ｎ１・［ＳｉＯ２］ｎ２・［（Ｙ−Ｑ３）ｇ−Ｓｉ（ＲＨ３）ｈＳｉＯ（４−ｇ−ｈ）/２］ｎ３［（ＲＨ４）ｊ−ＳｉＯ（４−ｊ）/２］ｎ４・［（ＨＳ−Ｑ５）ｐ−Ｓｉ（ＲＨ５）ｑＯ（４−ｐ−ｑ）/２］ｎ５・・・（ＩＩ）
式（ＩＩ）中、ｎ１〜ｎ５は構成単位の合計モル量に対する各構成単位のモル分率である。ｎ１＞０、ｎ２≧０、ｎ３≧０、ｎ４≧０、ｎ５≧０、ｎ１＋ｎ２＋ｎ３＋ｎ４＋ｎ５＝１である。その他の各符号は、上述の通りである。なお、Ｄはフッ素原子である。
【００７５】
実際は加水分解性基又はシラノール基が残存した生成物（部分加水分解縮合物）であるので、この生成物を化学式で表すことは困難である。式（ＩＩ）で表される平均組成式は、第１の化合物において加水分解性基又はシラノール基の全てがシロキサン結合となったと仮定した場合の化学式である。また、式（ＩＩ）において、化合物（ｃｘ−１ａ）、及び（ｃｘ−２）〜（ｃｘ−５）にそれぞれ由来する単位は、ランダムに配列していると推測される。
【００７６】
式（ＩＩ）で表される平均組成式中の、ｎ１：ｎ２：ｎ３：ｎ４：ｎ５は、加水分解性シラン化合物混合物における化合物（ｃｘ−１ａ）、及び（ｃｘ−２）〜（ｃｘ−５）の仕込み組成と一致する。
各成分のモル比は、各成分の効果のバランスから設計される。
ｎ１は、０．０５〜０．４が好ましい。
ｎ２は、０〜０．８が好ましく、０．０５〜０．６が特に好ましい。
ｎ３は、０〜０．８が好ましく、０．２〜０．５が特に好ましい。
ｎ４は、０〜０．５が好ましく、０．０５〜０．３が特に好ましい。
ｎ５は、０．０５〜０．９が好ましく、０．０５〜０．４が特に好ましい。
なお、上記各成分の好ましいモル比は、化合物（ｃｘ−１ａ）中のＤが基（Ｉａ）である場合も同様である。
【００７７】
第１の化合物の質量平均分子量（Ｍｗ）は、５００以上が好ましく、１０００以上がより好ましい。また、１００万未満が好ましく、１００００未満がより好ましい。６０００以下が特に好ましい。
質量平均分子量（Ｍｗ）が下限値以上であると、撥インク剤としての第１の化合物が上面移行しにくい。上限値未満であると、第１の化合物の溶媒への溶解性が良好になる。さらに、上限値未満であると、第１の化合物の溶媒への溶解性が良好になる。
第１の化合物の質量平均分子量（Ｍｗ）は、製造条件により調節できる。
【００７８】
＜部分加水分解縮合物の製造＞
第１の化合物は、上述した加水分解性シラン化合物混合物を、公知方法により加水分解及び縮合反応させることで製造できる。
この反応には、通常用いられる塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、あるいは、酢酸、シュウ酸、マレイン酸等の有機酸を触媒として用いることが好ましい。また水酸化ナトリウムなどの無機アルカリ、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドなどの有機アルカリ、ジブチル錫ジラウレートなど金属錯体なども触媒として好ましい。
上記反応には公知の溶媒を用いることができる。
【００７９】
（第２の化合物）
第２の化合物は、主鎖が炭化水素鎖であり、フッ素原子を有する側鎖を含み、質量平均分子量（Ｍｗ）が１００〜１００万の化合物である。質量平均分子量（Ｍｗ）が３０００以上が好ましく、５０００以上がより好ましい。また、３０万以下が好ましく、２０万以下がより好ましい。
【００８０】
第２の化合物は、エーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基及び／又はエーテル性酸素原子を含んでいてもよいフルオロアルキル基を有する側鎖を含む重合体であることが好ましい。
【００８１】
第２の化合物は、フルオロアルキル基を含む重合単位を有する重合体であることが好ましい。フルオロアルキル基を有する重合単位は、フルオロアルキル基を有する重合性単量体を重合させることにより重合体に導入することが好ましい。
また、反応部位を有する重合体に適宜化合物を反応させる各種変性方法によって、フルオロアルキル基を重合体に導入することもできる。
【００８２】
フルオロアルキル基は直鎖状でもよく、分岐状でもよい。
フルオロアルキル基の具体例としては、以下の構造が挙げられる。
−ＣＦ３、−ＣＦ２ＣＦ３、−ＣＦ２ＣＨＦ２、−（ＣＦ２）２ＣＦ３、−（ＣＦ２）３ＣＦ３、−（ＣＦ２）４ＣＦ３、−（ＣＦ２）５ＣＦ３、−（ＣＦ２）６ＣＦ３、−（ＣＦ２）７ＣＦ３、−（ＣＦ２）８ＣＦ３、−（ＣＦ２）９ＣＦ３、−（ＣＦ２）１１ＣＦ３、−（ＣＦ２）１５ＣＦ３。
【００８３】
フルオロアルキル基は、エーテル性酸素原子を含んでいてもよい。
フルオロアルキル基がエーテル性酸素原子を含む場合の具体例としては、以下の構造が挙げられる。
−ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２）５ＣＦ３、
−ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｒ１ＣＦ３、
−ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）ｒ２Ｃ６Ｆ１３、
−ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）ｒ３Ｃ３Ｆ７。
上記式中、ｒ１は１〜８の整数、ｒ２は１〜４の整数、ｒ３は１〜５の整数である。
【００８４】
フルオロアルキル基は、撥インク性が良好になる点で、ペルフルオロアルキル基であることが好ましい。
フルオロアルキル基の炭素原子数は４〜１５であることが好ましい。撥インク性に優れ、また、第２の化合物を製造する際に、フルオロアルキル基を有する単量体と後述する該単量体以外の単量体との相溶性が良好となる。
【００８５】
フルオロアルキル基を有する単量体としては、ＣＨ２＝ＣＲ４ＣＯＯＲ５Ｒｆ、ＣＨ２＝ＣＲ４ＣＯＯＲ６ＮＲ４ＳＯ２Ｒｆ、ＣＨ２＝ＣＲ４ＣＯＯＲ６ＮＲ４ＣＯＲｆ、ＣＨ２＝ＣＲ４ＣＯＯＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）Ｒ５Ｒｆ、ＣＨ２＝ＣＲ４ＣＲ４＝ＣＦＲｆ等が挙げられる。
上記式中、それぞれ、Ｒｆはフルオロアルキル基であり、Ｒ４は水素原子又はメチル基であり、Ｒ５は単結合又は炭素数１〜６の２価有機基であり、Ｒ６は炭素数１〜６の２価有機基である。
Ｒ５、及びＲ６の具体例としては、−ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２（ＣＨ２）３ＣＨ２−及び−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−が挙げられる。
上記の重合性単量体は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００８６】
第２の化合物は、第２の化合物のアルカリ可溶性が良好となる点で、酸性基を有する側鎖を含む重合体であることが好ましい。
なお、フルオロアルキル基を有する側鎖に酸性基が含まれていてもよい。また、フルオロアルキル基を有する側鎖とは別に、酸性基を有し、フルオロアルキル基を有さない側鎖があってもよい。
酸性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基及びスルホン酸基からなる群から選ばれる少なくとも１つの酸性基又はその塩が好ましい。
【００８７】
第２の化合物は、光架橋性を有し、隔壁形成過程において上層で硬化し、撥インク性が持続するようになる点で、エチレン性二重結合を有する側鎖を含む重合体であることが好ましい。
１つの側鎖に２以上のエチレン性二重結合を含む重合体が特に好ましい。
なお、フルオロアルキル基を有する側鎖にエチレン性二重結合が含まれていてもよい。
また、フルオロアルキル基を有する側鎖とは別に、エチレン性二重結合を有し、フルオロアルキル基を有さない側鎖があってもよい。
【００８８】
第２の化合物は、オキシアルキレン基を有する側鎖を含む重合体であってもよい。オキシアルキレン基は、複数のオキシアルキレン基が連結したポリオキシアルキレン鎖（ＰＯＡ鎖）の形態で、含まれていてもよい。オキシアルキレン基としては、オキシエチレン基、オキシプロピレン基が挙げられ、オキシエチレン基が好ましい。
オキシアルキレン基自体は光架橋性を有しないが、オキシアルキレン基を有する第２の化合物は、エチレン性二重結合を有する場合と同様、隔壁形成過程において上層で硬化し、撥インク性が持続するようになる。オキシアルキレン基は親水性を有するので、現像液に対する濡れ性を高める効果もある。
なお、フルオロアルキル基を有する側鎖にオキシアルキレン基が含まれていてもよい。また、フルオロアルキル基を有する側鎖とは別に、オキシアルキレン基を有し、フルオロアルキル基を有さない側鎖があってもよい。
【００８９】
第２の化合物は、酸性基を有する側鎖、エチレン性二重結合を有する側鎖、及びオキシアルキレン基を有する側鎖のうち１種以上の側鎖を含むことができる。１つの側鎖に、酸性基、エチレン性二重結合、及びオキシアルキレン基のうち２種以上が含まれていてもよい。
【００９０】
第２の化合物は、酸性基を有する側鎖、エチレン性二重結合を有する側鎖、及びオキシアルキレン基を有する側鎖以外の任意の基を有する側鎖を含むことができる。
【００９１】
酸性基を有し、フルオロアルキル基を有さない側鎖の導入方法としては、フルオロアルキル基を有する単量体と、酸性基を有し、フルオロアルキル基を有さない単量体とを共重合させる方法が好ましい。また、反応部位を有する重合体に適宜化合物を反応させる各種変性方法によって、酸性基を重合体に導入することもできる。
【００９２】
カルボキシル基を有する単量体としては、（メタ）アクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸及びこれらの塩が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９３】
フェノール性水酸基を有する単量体としては、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。また、これらのベンゼン環の１個以上の水素原子が、メチル、エチル、ｎ−ブチル等のアルキル基、メトキシ、エトキシ、ｎ−ブトキシ等のアルコキシ基、ハロゲン原子、アルキル基の１個以上の水素原子がハロゲン原子に置換されたハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、又はアミド基に置換された化合物が挙げられる。
【００９４】
スルホン酸基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アリルオキシプロパンスルホン酸、（メタ）アクリル酸−２−スルホエチル、（メタ）アクリル酸−２−スルホプロピル、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロキシプロパンスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸及びこれらの塩が挙げられる。
【００９５】
反応部位を有する重合体に適宜化合物を反応させる各種変性方法によって、カルボキシル基を重合体に導入する方法としては、例えば、（１）水酸基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後に酸無水物を反応させる方法、（２）エチレン性二重結合を有する酸無水物をあらかじめ共重合させ、後に水酸基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。
【００９６】
水酸基を有する単量体の具体例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ビス（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９７】
水酸基を有する単量体は、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン鎖（ＰＯＡ鎖）を有する単量体であってもよい。
例えば、ＣＨ２＝ＣＨＯＣＨ２Ｃ６Ｈ１０ＣＨ２Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋ１Ｈ、ＣＨ２＝ＣＨＯＣ４Ｈ８Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋ１Ｈ、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＣ２Ｈ４Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋ１Ｈ、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣ２Ｈ４Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋ１Ｈ、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＣ２Ｈ４Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋ２（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｋ３Ｈ、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣ２Ｈ４Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋ２（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｋ３Ｈ等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
上記式中、ｋ１は１〜１００の整数、ｋ２は０〜１００の整数、ｋ３は１〜１００の整数、ｋ２＋ｋ３は１〜１００である。
【００９８】
酸無水物としては、１分子中に２個以上のカルボキシル基を有する化合物の酸無水物が挙げられる。無水ピバリン酸及び無水トリメリット酸が挙げられる。また、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水フタル酸、無水３−メチルフタル酸、無水メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、無水３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、無水ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、２−ブテン−１−イルスシニックアンハイドライド等のエチレン性二重結合を有する酸無水物が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９９】
水酸基を有する化合物としては、１つ以上の水酸基を有している化合物であればよく、前記に示した水酸基を有する単量体の具体例、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール等のセルソルブ類、２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類が挙げられる。なかでも分子内に１個の水酸基を有する化合物が好ましい。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１００】
上記方法によれば、酸性基を含む側鎖、酸性基とエチレン性二重結合を含む側鎖、あるいは酸性基とオキシアルキレン基を含む側鎖の導入が可能である。
【０１０１】
水酸基及び酸性基を含まず、ポリオキシアルキレン鎖（ＰＯＡ鎖）を有する単量体、例えば、下式（ＰＯＡ−１）、（ＰＯＡ−２）で表される単量体を用いることもできる。
ＣＨ２＝ＣＲ７１−ＣＯＯ−Ｗ−（Ｒ７２−Ｏ）ｋ４−Ｒ７３  ・・・（ＰＯＡ−１）、
ＣＨ２＝ＣＲ７１−Ｏ−Ｗ−（Ｒ７２−Ｏ）ｋ４−Ｒ７３  ・・・（ＰＯＡ−２）
（Ｒ７１は、水素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数７〜２０のアリール基で置換されたアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、又は炭素数３〜２０のシクロアルキル基である。
Ｒ７２は炭素原子数１〜５のアルキレン基である。
Ｒ７３は炭素原子数１〜４のアルキル基である。
Ｗは、単結合又は炭素数が１〜１０のフッ素原子を有さない２価の有機基である。
ｋ４は６〜３０の整数である。）
【０１０２】
その他、所望の組成に応じて、公知の単量体及び反応を適宜選択することで、酸性基を有する側鎖、エチレン性二重結合を有する側鎖、及びオキシアルキレン基を有する側鎖のうち、１種又は２種以上の側鎖を含む第２の化合物を得ることができる。
【０１０３】
撥インク性組成物（Ｃ）中における、第１の化合物に対する第２の化合物の質量比（第２の化合物の質量／第１の化合物の質量）は、０．０１〜１０が好ましく、０．０２〜５がより好ましく、０．０５〜２が特に好ましい。
また、撥インク性組成物（Ｃ）中におけるフッ素原子の含有率は、５〜４０質量％であることが好ましく、１０〜３５質量％がより好ましく、１３〜３２質量％がさらに好ましい。この範囲であれば、撥インク性組成物（Ｃ）の撥インク性及びネガ型感光性樹脂組成物中の他成分との相溶性等の特性が良好となる。
【０１０４】
［ネガ型感光性樹脂組成物］
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、光硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂又はアルカリ可溶性単量体（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、上記の撥インク性組成物（Ｃ）及び溶媒（Ｄ）を含有する。必要に応じて、架橋剤（Ｅ）、着色剤（Ｆ）等を含有してもよい。
【０１０５】
（アルカリ可溶性樹脂又はアルカリ可溶性単量体（Ａ））
アルカリ可溶性樹脂には符号（ＡＰ）、アルカリ可溶性単量体には符号（ＡＭ）を付して、それぞれ説明する。
【０１０６】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、１分子中に酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）が分子中にエチレン性二重結合を有することで、ネガ型感光性樹脂組成物の露光部は、光重合開始剤（Ｂ）から発生したラジカルにより重合して硬化する。このように硬化した露光部はアルカリ現像液にて除去されない。
また、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）が分子中に酸性基を有することで、アルカリ現像液にて、硬化していないネガ型感光性樹脂組成物の非露光部を選択的に除去できる。その結果、所望のパターンの硬化膜、すなわち隔壁を形成できる。
【０１０７】
酸性基としては、カルボキシ基、フェノール性水酸基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
エチレン性二重結合としては、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基、ビニルオキシアルキル基等の付加重合性を有する二重結合が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
なお、エチレン性二重結合が有する水素原子の一部又は全ては、メチル基等のアルキル基で置換されていてもよい。
【０１０８】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂（Ａ−１）、エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とが導入された樹脂（Ａ−２）等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１０９】
樹脂（Ａ−１）は、例えば、以下の（ｉ）又は（ｉｉ）の方法で合成できる。
（ｉ）側鎖に酸性基以外の反応性基、例えば、水酸基、エポキシ基等の反応性基を有する単量体と、側鎖に酸性基を有する単量体とを共重合させ、反応性基を有する側鎖と、酸性基を有する側鎖とを有する共重合体を得る。次いで、この共重合体と、上記反応性基に対して結合し得る官能基及びエチレン性二重結合を有する化合物を反応させる。又は、側鎖にカルボキシ基等の酸性基を有する単量体を共重合させた後、酸性基に対して結合し得る官能基及びエチレン性二重結合を有する化合物を反応後に酸性基が残る量、反応させる。
【０１１０】
（ｉｉ）上記（ｉ）と同様の酸性基以外の反応性基を側鎖に有する単量体と、この反応性基に対して結合し得る官能基及び保護されたエチレン性二重結合を有する化合物を反応させる。次いで、この単量体と側鎖に酸性基を有する単量体とを共重合させた後、エチレン性二重結合の保護を外す。又は、側鎖に酸性基を有する単量体と、側鎖に保護されたエチレン性二重結合を有する単量体とを共重合させた後、エチレン性二重結合の保護を外す。
なお、（ｉ）及び（ｉｉ）は溶媒中で実施することが好ましい。
【０１１１】
上記方法のうちでも、（ｉ）の方法が好ましく用いられる。以下、（ｉ）の方法について具体的に説明する。
【０１１２】
反応性基として水酸基を有する単量体としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ビス（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【０１１３】
反応性基として水酸基を有する単量体を用いる場合、共重合させる酸性基を有する単量体は、後述のカルボキシ基を有する単量体の他に、リン酸基を有する単量体として、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート等が挙げられる。水酸基を反応性基として有する単量体と酸性基を有する単量体との共重合は、従来公知の方法で行うことができる。
【０１１４】
得られた共重合体と反応させる、水酸基に対して結合し得る官能基及びエチレン性二重結合を有する化合物としては、エチレン性二重結合を有する酸無水物、イソシアナート基とエチレン性二重結合とを有する化合物、塩化アシル基とエチレン性二重結合とを有する化合物等が挙げられる。
エチレン性二重結合を有する酸無水物としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ｃｉｓ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、２−ブテン−１−イルサクシニックアンハイドライド等が挙げられる。
イソシアナート基とエチレン性二重結合とを有する化合物としては、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、１，１−ビス（（メタ）アクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート等が挙げられる。
塩化アシル基とエチレン性二重結合とを有する化合物としては、（メタ）アクリロイルクロライド等が挙げられる。
【０１１５】
反応性基としてエポキシ基を有する単量体としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。
反応性基としてエポキシ基を有する単量体と共重合させる酸性基を有する単量体としては、上記水酸基を反応性基として有する単量体で説明したものと同様の単量体が使用でき、エポキシ基を反応性基として有する単量体と酸性基を有する単量体の共重合についても、従来公知の方法で行うことができる。
【０１１６】
得られた共重合体と反応させる、エポキシ基に対して結合し得る官能基及びエチレン性二重結合を有する化合物としては、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物等が挙げられる。かかる化合物の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸及びこれらの塩、二塩基酸の場合はモノエステル等が挙げられる。なお、ここで生じた水酸基とカルボン酸の脱水縮合部分が環状構造の一部をなす酸無水物とを反応させ、樹脂（Ａ−１）中にカルボキシ基を導入してもよい。
【０１１７】
反応性基としてカルボキシ基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸及びこれらの塩、二塩基酸の場合はモノエステル等が挙げられる。なお、これらの単量体は上述した酸性基を有する単量体としても用いられる。
【０１１８】
反応性基としてカルボキシ基を有する単量体を用いる場合、上記の通り、この単量体を重合させる。得られた重合体と反応させる、カルボキシ基に対して結合し得る官能基及びエチレン性二重結合を有する化合物としては、エポキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物が挙げられる。かかる化合物としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。なお、この場合、カルボキシ基を有する重合体と反応させる、カルボキシ基に対して結合し得る官能基及びエチレン性二重結合を有する化合物の量は、反応後に重合体においてカルボキシ基が酸性基として側鎖に残る量とする。
【０１１９】
樹脂（Ａ−２）は、エポキシ樹脂と、後述するカルボキシ基とエチレン性二重結合とを有する化合物とを反応させた後に、多価カルボン酸又はその無水物とを反応させることにより合成することができる。
具体的には、エポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させることにより、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合が導入される。次に、エチレン性二重結合が導入されたエポキシ樹脂に、多価カルボン酸又はその無水物を反応させることにより、カルボキシ基を導入することができる。
【０１２０】
エポキシ樹脂としては特に限定されず、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、下式（Ａ−２ａ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、下式（Ａ−２ｂ）で表されるフルオレニル置換ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、下式（Ａ−２ｃ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂等が挙げられる。
【０１２１】
【化１】
2014046209.tif 000003
（ｖは１〜５０の整数であり、２〜１０の整数が好ましい。またベンゼン環の水素原子はそれぞれ独立に、炭素原子数１〜１２のアルキル基、ハロゲン原子、又は、一部の水素原子が置換基で置換されていてもよいフェニル基で置換されていてもよい。）
【０１２２】
【化２】
2014046209.tif 000004
（Ｒ３１、Ｒ３２、Ｒ３３及びＲ３４は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子又は炭素原子数が１〜５のアルキル基であり、ｗは０又は１〜１０の整数である。）
【０１２３】
【化３】
2014046209.tif 000005
（ベンゼン環の水素原子は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜１２のアルキル基、ハロゲン原子、又は一部の水素原子が置換基で置換されていてもよいフェニル基で置換されていてもよい。ｚは０又は１〜１０の整数である。）
【０１２４】
なお、式（Ａ−２ａ）〜（Ａ−２ｃ）で表されるエポキシ樹脂と、カルボキシ基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、多価カルボン酸無水物を反応させる場合、多価カルボン酸無水物として、ジカルボン酸無水物及びテトラカルボン酸二無水物の混合物を用いることが好ましい。
【０１２５】
カルボキシ基とエチレン性二重結合とを有する化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸及びこれらの塩が挙げられる。当該化合物が二塩基酸の場合はモノエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸が特に好ましい。
【０１２６】
アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）としては、現像時の硬化膜の剥離が抑制されて、高解像度のパターンを得ることができる点、ラインパターンの直線性が良好である点、平滑な硬化膜表面が得られやすい点で、樹脂（Ａ−２）を用いることが好ましい。
樹脂（Ａ−２）としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、又は式（Ａ−２ａ）〜（Ａ−２ｃ）で表されるエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂が特に好ましい。
【０１２７】
アルカリ可溶性単量体（ＡＭ）としては、例えば、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する単量体（Ａ−３）が好ましく用いられる。酸性基及びエチレン性二重結合は、アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）と同様である。
単量体（Ａ−３）としては、２，２，２−トリアクリロイルオキシメチルエチルフタル酸等が挙げられる。
【０１２８】
ネガ型感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂（ＡＰ）又はアルカリ可溶性単量体（ＡＭ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中のアルカリ可溶性樹脂又はアルカリ可溶性単量体（Ａ）の含有割合は、５〜８０質量％が好ましく、１０〜６０質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性及び現像性が良好である。
【０１２９】
（光重合開始剤（Ｂ））
本発明における光重合開始剤（Ｂ）は、光重合開始剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されず、光によりラジカルを発生する化合物が好ましい。
【０１３０】
光重合開始剤（Ｂ）としては、メチルフェニルグリオキシレート、９，１０−フェナンスレンキノン等のα−ジケトン類；ベンゾイン等のアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、２−（４−トルエンスルホニルオキシ）−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２，２'−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン類；アントラキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン、１，４−ナフトキノン等のキノン類；２−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸（ｎ−ブトキシ）エチル等のアミノ安息香酸類；フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物；アシルホスフィンオキシド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等の過酸化物；１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、アセチルオキシム等のオキシムエステル類、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ｎ−ブチルアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、ジエチルアミノエチルメタクリレート等の脂肪族アミン類；２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、１，４−ブタノールビス（３−メルカプトブチレート）、トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）等のチオール化合物等が挙げられる。
【０１３１】
光重合開始剤（Ｂ）のなかでも、ベンゾフェノン類、アミノ安息香酸類、脂肪族アミン類、チオール化合物等は、その他のラジカル開始剤と共に用いると、増感効果を発現することがあり好ましい。
光重合開始剤（Ｂ）としては、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、又は２，４−ジエチルチオキサントンが好ましい。さらに、これらとベンゾフェノン類、例えば、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンとの組み合わせが特に好ましい。
光重合開始剤（Ｂ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１３２】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の光重合開始剤（Ｂ）の含有割合は、０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましく、５〜１５質量％が特に好ましい。含有割合が上記範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の光硬化性及び現像性が良好である。
【０１３３】
（撥インク性組成物（Ｃ））
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の第１の化合物の含有割合は０．０５〜１０質量％が好ましく、０．１〜３質量％がより好ましく、０．２〜１質量％が特に好ましい。
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の第２の化合物の含有割合は０．０１〜５質量％が好ましく、０．０３〜２質量％がより好ましく、０．０５〜０．５質量％が特に好ましい。
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の撥インク性組成物（Ｃ）の含有割合は、０．０６〜１５質量％が好ましく、０．１３〜５質量％がより好ましく、０．２５〜１．５質量％が特に好ましい。
ネガ型感光性樹脂組成物中において、第１の化合物に対する第２の化合物の質量比（第２の化合物の質量／第１の化合物の質量）は、０．０１〜１０が好ましく、０．０２〜５がより好ましく、０．０５〜２が特に好ましい。前記質量比の範囲であると、ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性、撥インク性、その耐ＵＶ／Ｏ３性、光硬化性及び現像性が良好である。
【０１３４】
（溶媒（Ｄ））
本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物は、溶媒（Ｄ）を含有することで粘度が低減され、ネガ型感光性樹脂組成物の基材表面への塗布がしやすくなる。その結果、均一な膜厚のネガ型感光性樹脂組成物の塗膜が形成できる。
溶媒（Ｄ）としては公知の溶媒が用いられる。
【０１３５】
ネガ型感光性樹脂組成物における溶媒（Ｄ）の含有割合は、５０〜９９質量％が好ましく、６０〜９５質量％がより好ましく、６５〜９０質量％が特に好ましい。
【０１３６】
（架橋剤（Ｅ））
本発明における架橋剤（Ｅ）としては、１分子中に２個以上のエチレン性二重結合を有し、酸性基を有しない化合物が好ましい。ネガ型感光性樹脂組成物が架橋剤（Ｅ）を含むことにより、露光時におけるネガ型感光性樹脂組成物の硬化性が向上し、低い露光量でも隔壁を形成することができる。
【０１３７】
架橋剤（Ｅ）としては、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ε−カプロラクトン変性トリス−（２−アクリロキシエチル）イソシアヌレート、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン、ウレタンアクリレート等が挙げられる。
【０１３８】
光反応性の点からは、多数のエチレン性二重結合を有することが好ましい。例えば、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ウレタンアクリレート等が好ましい。
架橋剤（Ｅ）は、１種を単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１３９】
ネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の架橋剤（Ｅ）の含有割合は、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５５質量％が特に好ましい。
【０１４０】
（着色剤（Ｆ））
本発明における着色剤（Ｆ）としては、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、ペリレン系黒色顔料、具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。赤色顔料、青色顔料及び緑色顔料等の有機顔料及び／又は無機顔料の混合物を用いることもできる。
本発明のネガ型感光性樹脂組成物における全固形分中の着色剤（Ｆ）の含有割合は、１５〜６５質量％が好ましく、２０〜５０質量％が特に好ましい。上記範囲であると得られるネガ型感光性樹脂組成物は感度が良好であり、また、形成される隔壁は遮光性に優れる。
【０１４１】
（その他の成分）
本発明におけるネガ型感光性樹脂組成物はさらに、必要に応じて、熱架橋剤、高分子分散剤、分散助剤、シランカップリング剤、微粒子、リン酸化合物、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤等の他の添加剤を１種又は２種以上含有してもよい。
【０１４２】
［隔壁］
本発明の隔壁は、上記のネガ型感光性樹脂組成物を基材表面に塗布し、露光及び現像してなるパターンを有する硬化膜である。
以下、隔壁の製造方法の一例を、図１Ａ〜１Ｅを用いて説明するが、隔壁の製造方法は以下に限定されない。
【０１４３】
図１Ａに示すように、基材１０の表面全体にネガ型感光性樹脂組成物を塗布して、塗膜２１を形成する。このとき、塗膜２１中には撥インク性を有する第１の化合物及び第２の化合物が全体的に溶解し、均一に分散している。なお、図中、撥インク性組成物（Ｃ）は模式的に示してあり、実際にこのような粒子形状で存在しているわけではない。
【０１４４】
次に図１Ｂに示すように、塗膜２１を乾燥させて、乾燥膜２２とする。乾燥方法としては、加熱乾燥、減圧乾燥及び減圧加熱乾燥等が挙げられる。
溶媒（Ｄ）の種類にもよるが、加熱乾燥の場合、加熱温度は５０〜１２０℃が好ましく、７０〜１２０℃がより好ましく、８０〜１２０℃がさらに好ましい。
この乾燥過程において、撥インク性組成物（Ｃ）は乾燥膜の上面及びその近傍に移行する。
【０１４５】
次に図１Ｃに示すように、所定パターンの開口部３１を有するフォトマスク３０を介して、乾燥膜２２に対して、光Ｌを照射し、露光する。乾燥膜２２を露光した後の膜を露光膜２３と称す。露光膜２３において、２３Ａは露光部、２３Ｂは非露光部である。この工程において、露光部２３Ａが光硬化する。
【０１４６】
照射する光Ｌとしては、可視光；紫外線；遠紫外線；ＫｒＦエキシマレーザ光、ＡｒＦエキシマレーザ光、Ｆ２エキシマレーザ光、Ｋｒ２エキシマレーザ光、ＫｒＡｒエキシマレーザ光、Ａｒ２エキシマレーザ光等のエキシマレーザ光；Ｘ線；電子線等が挙げられる。
照射する光Ｌとしては、波長１００〜６００ｎｍの光が好ましく、３００〜５００ｎｍの光がより好ましく、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）又はｇ線（４３６ｎｍ）を含む光が特に好ましい。
【０１４７】
露光方式としては、全面一括露光、スキャン露光等が挙げられる。同一箇所に対して複数回に分けて露光してもよい。この際、複数回の露光条件は同一でも同一でなくても構わない。
露光量は、上記いずれの露光方式においても、例えば、５〜１，０００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５〜５００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、５〜３００ｍＪ／ｃｍ２がさらに好ましく、５〜２００ｍＪ／ｃｍ２が特に好ましく、５〜５０ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。なお、露光量は、照射する光の波長、ネガ型感光性樹脂組成物の組成、塗膜の厚さ等により、適宜好適化される。
【０１４８】
単位面積当たりの露光時間は特に制限されず、用いる露光装置の露光パワー及び必要な露光量等から設計される。なお、スキャン露光の場合、光の走査速度から露光時間が求められる。
単位面積当たりの露光時間は通常１〜６０秒程度である。
【０１４９】
次に図１Ｄに示すように、アルカリ現像液を用いた現像を行い、所望パターンを有する硬化膜２４が形成される。硬化膜２４においては、先の露光における露光部２３Ａが凸部２４Ａとなり、非露光部２３Ｂがパターン開口部２４Ｂとなる。
なお、この工程において、非露光部２３Ｂの撥インク性組成物（Ｃ）はアルカリ現像液に良好に溶解し、パターン開口部２４Ｂには残存しない。
【０１５０】
パターンを有する硬化膜２４は、図１Ｅに示すように、さらに加熱してもよい。加熱温度は１３０〜２５０℃が好ましく、１８０〜２５０℃がより好ましく、２００〜２３０℃がさらに好ましい。加熱により撥インク性組成物（Ｃ）は硬化膜内に強固に結合し、より表面近くで薄い層を形成する。
【０１５１】
上記加熱後、有機ＥＬ素子の発光層等の有機層をＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁等の用途では、通常、パターン開口部２４Ｂ内に残るネガ型感光性樹脂組成物の現像残渣を除去するために、基材１０に対してＵＶ／Ｏ３照射処理がなされる。
【０１５２】
本発明のネガ型感光性樹脂組成物によれば、上面が良好な撥インク性を有し、かつ、ＵＶ／Ｏ３照射処理を経てもその撥インク性を良好に保持され、ドット内に撥インク剤が残存しない特性を有する隔壁が形成される。
【０１５３】
本発明の隔壁は、ＩＪ法にてパターン印刷を行う際に、インク注入領域を画定する隔壁として利用できる。
本発明の隔壁は上面が良好な撥インク性を有するので、ＩＪ法にてパターン印刷を行う際に、隔壁で囲まれた領域内に均一にインクを塗布できる。また、隔壁を超えて所望しない領域にインクが注入されることを抑制し、インクを所望パターンで良好に印刷することが可能となる。
図２Ａに示すように、硬化膜２４を形成した後（図１Ｅ）、インクジェットヘッド４０からインク５１を滴下して、硬化膜２４のパターン開口部２４Ｂにインク５１を注入する。次いで乾燥及び／又は加熱等して溶媒を除去し、図２Ｂに示すように、所望のパターン膜５２が得られる。
【０１５４】
［光学素子］
本発明の光学素子は、複数のドットと上記の本発明の隔壁とを備える。
光学素子としては、有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ、有機ＴＦＴアレイ素子等が挙げられる。
【０１５５】
有機ＴＦＴアレイ素子とは、複数のドットが平面視マトリクス状に配置され、各ドットに画素電極とこれを駆動するためのスイッチング素子としてＴＦＴが設けられ、ＴＦＴのチャネル層を含む半導体層として有機半導体層が用いられる素子である。
有機ＴＦＴアレイ素子は、有機ＥＬ素子あるいは液晶素子等に、ＴＦＴアレイ基板として備えられる。
【０１５６】
有機ＥＬ素子は例えば、以下のように製造できる。
ガラス等の透光性基板にスズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）等の透光性電極をスパッタ法等によって成膜する。この透光性電極は必要に応じてパターニングされる。
次に、本発明のネガ型感光性樹脂組成物を用い、塗布、露光及び現像を含むフォトリソグラフィ法により、各ドットの輪郭に沿って、平面視格子状に隔壁を形成する。
次に必要に応じて、公知方法により隔壁で囲まれたドットに対して親インク化処理を施す。
次に、ドット内に、ＩＪ法により、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、正孔阻止層及び電子注入層の材料をそれぞれ塗布及び乾燥して、これらの層を順次積層する。ドット内に形成される有機層の種類及び数は適宜設計される。
最後に、アルミニウム等の反射電極を蒸着法等によって形成する。
【実施例】
【０１５７】
実施例に基づいて、本発明について説明するが、本発明は、これらに限定して解釈されるものではない。例１〜１０、例１４及び例１５が実施例であり、例１１〜１３が比較例である。【０１５８】
各測定は以下の方法で行った。
［数平均分子量（Ｍｎ）及び質量平均分子量（Ｍｗ）］
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として、数平均分子量（Ｍｎ）及び質量平均分子量（Ｍｗ）を測定した。ゲルパーミエーションクロマトグラフィーとしては、ＨＰＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）を使用した。カラムとしては、ｓｈｏｄｅｘ  ＬＦ−６０４を３本接続したものを使用した。検出器としては、ＲＩ（Refractive Index）検出器を使用した。標準物質としては、ＥａｓｉＣａｌ  ＰＳ１（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）を使用した。さらに、数平均分子量及び質量平均分子量を測定する際は、カラムを３７℃で保持し、溶離液としては、テトラヒドロフランを用い、流速を０．２ｍＬ／分とし、測定サンプルの０．５質量％テトラヒドロフラン溶液４０μＬを注入した。【０１５９】
［フッ素原子含有率］
第１の化合物及び第２の化合物におけるフッ素原子の含有率（質量％）は、１，４−ジトリフルオロメチルベンゼンを標準物質として、１９Ｆ  ＮＭＲ測定により算出した。また、撥インク性組成物（Ｃ）のフッ素原子含有率は、第１の化合物及び第２の化合物の含有量、並びに第１の化合物及び第２の化合物のフッ素原子含有率から算出した。【０１６０】
［エチレン性二重結合（Ｃ＝Ｃ）の含有量］
第１の化合物及び第２の化合物におけるエチレン性二重結合（Ｃ＝Ｃ）の含有量は、原料の配合割合から理論的に算出した。【０１６１】
［酸価］
第２の化合物における酸価は、原料の配合割合から理論的に算出した。【０１６２】
各例において用いた化合物の略号を以下に示す。
（第１の化合物の原料）
化合物（ｃｘ−１）に相当する化合物（ｃｘ−１１）：ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（旭硝子社製）、化合物（ｃｘ−１２）：ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＣＨ３）（ＯＣＨ３）２、
化合物（ｃｘ−２）に相当する化合物（ｃｘ−２１）：Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４（コルコート社製）、化合物（ｃｘ−２２）：Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４の部分加水分解縮合物（コルコート社製、商品名：エチルシリケート４８）、
化合物（ｃｘ−３）に相当する化合物（ｃｘ−３１）：ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（東京化成工業社製）、
化合物（ｃｘ−４）に相当する化合物（ｃｘ−４１）：（ＣＨ３）３ＳｉＯＣＨ３（東京化成工業社製）、
化合物（ｃｘ−５）に相当する化合物（ｃｘ−５１）：ＳＨ（ＣＨ２）３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（信越化学工業社製、商品名：ＫＢＭ−８０３）、
その他の加水分解性シラン化合物（ｃｘ−６１）：ＣＨ３Ｏ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｋＳｉ（ＯＣＨ３）３（ポリオキシエチレン基含有トリメトキシシラン、式中、ｋは約１０である。）。
ＤＢＴＤＬ：ジブチル錫ジラウレート【０１６３】
（第２の化合物の原料）
Ｃ６ＦＭＡ：ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６Ｆ。
ＭＡＡ：メタクリル酸。
２−ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート。
ＰＭＥ−４００：ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＣＨ３（α-メチル-ω-メタクリロイルオキシポリ（オキシエチレン）、式中のｋは分子間の平均値を示し、ｋは約９である。日本油脂社製、商品名：ブレンマーＰＭＥ−４００）。
ＩＢＭＡ：イソボルニルメタクリレート。
Ｖ−６５：２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（和光純薬社製）。
ｎ−ＤＭ：ｎ−ドデシルメルカプタン。
ＢＥＩ：１，１−（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート（昭和電工社製、商品名：カレンズＢＥＩ）。
ＡＯＩ：２−アクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工社製、商品名：カレンズＡＯＩ）。
ＤＢＴＤＬ：ジブチル錫ジラウレート。
ＴＢＱ：t−ブチル−ｐ−ベンゾキノン。
ＭＥＫ：２−ブタノン。【０１６４】
（アルカリ可溶性樹脂（ＡＰ））
Ａ−１１： クレゾールノボラック型エポキシ樹脂をアクリル酸、次いで１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸と反応させて、アクリロイル基とカルボキシル基とを導入し、その後、ヘキサンで精製した樹脂、固形分７０質量％、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ。
Ａ−１２：ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂にカルボキシル基とエチレン性二重結合を導入した樹脂（日本化薬社製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＺＡＲ−２００２Ｈ、固形分７０質量％、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ）。
Ａ−１３：上式（Ａ−２ａ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂（日本化薬社製、商品名：ＺＣＲ−１６４２Ｈ、質量平均分子量（Ｍｗ）：５，８００、酸価：１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分：７０質量％）。
Ａ−１４：式（Ａ−２ｂ）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂（固形分：７０質量％、ＰＧＭＥＡ：３０質量％。酸価７０ｍｇＫＯＨ／ｇ。）。【０１６５】
（光重合開始剤（Ｂ））
ＩＲ９０７：２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン（ＢＡＳＦ社製、商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ９０７）。
ＯＸＥ０２：１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）（ＢＡＳＦ社製、商品名：ＯＸＥ０２エタノン）。
ＯＸＥ０１：１．２−オクタンジオン,１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−,２−（０−ベンゾイルオキシム）（ＢＡＳＦ社製、商品名：ＯＸＥ０１）。【０１６６】
（増感剤）
ＥＡＢ：４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（東京化成工業社製）。
ＮＲ１：トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート（昭和電工社製、商品名：カレンズＭＴ  ＮＲ１）。
ＰＥ１：ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）（昭和電工社製、商品名：カレンズＭＴ  ＰＥ１）。
ＢＴＴ：２−メルカプトベンゾチアゾール【０１６７】
（溶媒（Ｄ））
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート。
ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル。
ＥＤＭ：ジエチレングリコールエチルメチルエーテル。
ＥＤＧＡＣ：ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート。【０１６８】
（架橋剤（Ｅ））
Ａ９５５０Ｗ：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合品（新中村化学工業社製、商品名：ＮＫエステル  Ａ−９５５０Ｗ）。
ＵＸ５００２Ｄ：多官能ウレタンアクリレートオリゴマー（日本化薬社製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＵＸ−５００２Ｄ−Ｐ２０）。
ＡＤＰＨ：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（新中村化学工業社製、商品名：ＮＫエステル  Ａ−ＤＰＨ）。
ＡＢＰＥＦ：９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン（新中村化学工業社製、商品名：ＮＫエステル  Ａ−ＢＰＥＦ）。【０１６９】
（着色剤（Ｆ））
混合有機顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９及び高分子分散剤の１０：５：５：５の混合物（固形分：２５質量％、ＰＧＭＥＡ：７５質量％。）。
（その他）
ＢＨＴ：重合禁止剤（２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール）。
ＸＤ１０００：多官能エポキシ樹脂（日本化薬社製、商品名：ＸＤ１０００）。【０１７０】
［合成例１：化合物（ＣＸ−１）の合成］
撹拌機を備えた１，０００ｃｍ３の三口フラスコに、化合物（ｃｘ−１１）の１４．５ｇ、化合物（ｃｘ−２１）の３２．９ｇ、化合物（ｃｘ−３１）の２１．９ｇ、化合物（ｃｘ−４１）の２１．９ｇ及び化合物（ｃｘ−５１）の８．８ｇを入れて、加水分解性シラン化合物混合物を得た。次いで、この混合物にＰＧＭＥＡの３２０．２ｇを入れて、原料溶液とした。
得られた原料溶液に、１質量％硝酸水溶液を９８．７ｇ滴下した。滴下終了後、４０℃で５時間撹拌して、化合物（ＣＸ−１）の溶液（化合物濃度：１０質量％、以下、（ＣＸ−１）溶液ともいう。）を得た。
なお、反応終了後、反応液をガスクロマトグラフィを使用して測定し、原料としての各化合物が検出限界以下になったことを確認した。
原料組成及び評価結果（数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）、フッ素原子含有率、及びエチレン性二重結合の含有量）を表１に示す。【０１７１】
［合成例２〜６：化合物（ＣＸ−２）〜（ＣＸ−６）］
原料組成を表１に示すものとした以外は、合成例１と同様にして、化合物（ＣＸ−２）〜（ＣＸ−６）の溶液（いずれも化合物濃度：１０質量％、以下、各溶液を（ＣＸ−２）〜（ＣＸ−６）液ともいう。）を得た。
評価結果（数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）、フッ素原子含有率、及びエチレン性二重結合の含有量）を表１に示す。【０１７２】
【表１】
2014046209.tif 000006
【０１７３】
［合成例７：化合物（ＣＹ−１）の合成］
撹拌機を備えた内容積１，０００ｃｍ３のオートクレーブに、ＭＥＫの４２０．０ｇ、Ｃ６ＦＭＡの８１．０ｇ、ＭＡＡの１８．０ｇ、２−ＨＥＭＡの８１．０ｇ、重合開始剤Ｖ−６５の５．０ｇ及びｎ−ＤＭの４．７ｇを仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させた。さらに７０℃にて５時間加熱し、重合開始剤を不活性化し、共重合体１の溶液を得た。共重合体１は、数平均分子量（Ｍｎ）が５，５４０であり、質量平均分子量（Ｍｗ）が１３，２００であった。
次いで、撹拌機を備えた内容積３００ｃｍ３のオートクレーブに、上記共重合体１の溶液の１３０．０ｇ、ＢＥＩの３０．５ｇ、ＤＢＴＤＬの０．１２ｇ及びＴＢＱの１．５ｇを仕込み、撹拌しながら、４０℃で２４時間反応させ、粗重合体を合成した。得られた粗重合体の溶液にヘキサンを加えて再沈精製した後、真空乾燥し、６５．６ｇの化合物（ＣＹ−１）を得た。
原料組成、収量及び得られた化合物の評価結果（数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）、フッ素原子含有率、エチレン性二重結合の含有量、及び酸価）を表２に示す。【０１７４】
［合成例８：化合物（ＣＹ−２）の合成］
上記共重合体１の溶液、ＡＯＩ、ＤＢＴＤＬ及びＴＢＱを表２に示す組成で用いた以外は、合成例７と同様にして、化合物（ＣＹ−２）を得た。【０１７５】
［合成例９：化合物（ＣＹ−３）の合成］
撹拌機を備えた内容積１，０００ｃｍ３のオートクレーブに、表２に示す組成で、ＭＥＫ、Ｃ６ＦＭＡ、ＭＡＡ、２−ＨＥＭＡ、ＰＭＥ−４００及び重合開始剤Ｖ−６５を仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させた。さらに７０℃にて５時間加熱し、重合開始剤を不活性化して、化合物（ＣＹ−３）の溶液を得た。ロータリーエバボレータにて、温度５０℃にて溶媒を留去し、その後、真空乾燥して、化合物（ＣＹ−３）を得た。【０１７６】
［合成例１０〜１１：化合物（ＣＹ−４）〜（ＣＹ−５）の合成］
原料組成を表２に示すものとした以外は、合成例９と同様にして、化合物（ＣＹ−４）〜（ＣＹ−４）を得た。【０１７７】
［合成例１２：化合物（ＣＹ−６）］
化合物（ＣＹ−６）として、大日本インキ社製の商品名：メガファックＲＳ１０２を用意した。
この化合物は下記繰り返し単位を有する重合体である。なお、ｍ２／ｍ１＝３〜４である。
【化４】
2014046209.tif 000007
【０１７８】
［合成例１３：化合物（ＣＹ−７）の合成］
表２に示す原料組成で、ＭＥＫ、Ｃ６ＦＭＡ、ＭＡＡ、２−ＨＥＭＡ及び重合開始剤Ｖ−６５を用いた以外は、合成例７の共重合体１と同様の方法で、共重合体２の溶液を得た。共重合体２は、数平均分子量（Ｍｎ）が３２，４００であり、質量平均分子量（Ｍｗ）が６９，３２０であった。
表２に示す原料組成で、上記共重合体２の溶液、ＡＯＩ、ＤＢＴＤＬ、及びＴＢＱを用いた以外は、例５と同様の方法で、化合物（ＣＹ−７）を得た。【０１７９】
化合物（ＣＹ−２）〜化合物（ＣＹ−７）の原料組成、収量及び評価結果（数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）、フッ素原子含有率、エチレン性二重結合の含有量、及び酸価）を表２に示す。【０１８０】
【表２】
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【０１８１】
［例１：ネガ型感光性樹脂組成物及び隔壁の製造］
（ネガ型感光性樹脂組成物の製造）
合成例１で得た化合物（ＣＸ−１）の１．５ｇ（化合物（ＣＸ−１）を固形分として０．１５ｇ含有、残りは溶媒のＰＧＭＥＡ）、合成例７で得た化合物（ＣＹ−１）の０．０１５ｇ、Ａ−１１の１６．０７ｇ（固形分は１１．２５ｇ、残りは溶媒のＰＧＭＥＡ）、ＩＲ９０７の１．２１ｇ、ＥＡＢの１．１２５ｇ、Ａ９５５０Ｗの１１．２５ｇ、ＰＧＭＥＡの５５．０ｇ及びＥＤＭの２０．０ｇを２００ｃｍ３の撹拌用容器に入れ、５時間撹拌してネガ型感光性樹脂組成物を製造した。原料組成を表３に示す。
表中、固形分合計量とは、ネガ型感光性樹脂組成物全量に対する溶媒（Ｄ）を除く全ての固形分の量（質量％）である。
固形分組成は、全固形分量に対する各固形原料の量（質量％）で示してある。
溶媒（Ｄ）組成は、組成物全量に対する各溶媒（Ｄ）の量（質量％）で示してある。
表３には、第２の化合物の質量／第１の化合物の質量についても合わせて示してある。【０１８２】
（隔壁の製造）
１０ｃｍ四方のガラス基板をエタノールで３０秒間超音波洗浄し、次いで、５分間のＵＶ／Ｏ３処理を行った。ＵＶ／Ｏ３処理には、ＵＶ／Ｏ３発生装置としてＰＬ２００１Ｎ−５８（センエンジニアリング社製）を使用した。２５４ｎｍ換算の光パワーは１０ｍＷ／ｃｍ２であった。なお、以下の全てのＵＶ／Ｏ３処理においても本装置を使用した。
上記洗浄後のガラス基板表面に、スピンナを用いて、上記ネガ型感光性樹脂組成物を塗布した後、１００℃で２分間ホットプレート上で乾燥させ、膜厚２．４μｍの乾燥膜を形成した。
得られた乾燥膜に対して、開口パターン（２．５ｃｍ×５ｃｍ）を有するフォトマスクを介して、３６５ｎｍ換算の露光パワーが２５ｍＷ／ｃｍ２である超高圧水銀ランプのＵＶ光を、全面一括で露光量として１００ｍＪ／ｃｍ２を照射した。露光の際に、３３０ｎｍ以下の光はカットした。また、乾燥膜とフォトマスクとの離間距離は５０μｍとした。
次いで、上記露光処理後のガラス基板を２．３８質量％テトラメチル水酸化アンモニウム水溶液に４０秒間浸漬して現像し、非露光部を水により洗い流し、乾燥させた。次いで、これをホットプレート上、２３０℃で６０分間加熱することにより、フォトマスクの開口パターンに対応したパターンを有する隔壁（硬化膜）を得た。【０１８３】
得られた隔壁については、以下の評価を実施した。評価結果は表３に示す。
＜ネガ型感光性樹脂組成物の相溶性＞
製造直後のネガ型感光性樹脂組成物を用い、上記乾燥膜の形成条件で、乾燥膜を得た。得られた乾燥膜を肉眼で観察し、下記基準に基づき評価を行った。
○（良好）：膜は透明無色である。△（可）：膜が白く濁るが、異物は見られない。×（不良）：膜が白く濁り、膜中に異物が見られる。【０１８４】
＜ネガ型感光性樹脂組成物の貯蔵安定性＞
６０℃で３０日間保存したネガ型感光性樹脂組成物を用い、上記乾燥膜の形成条件で、乾燥膜を得た。得られた乾燥膜を肉眼で観察し、下記基準に基づき評価した。
ネガ型感光性樹脂組成物中に大きな異物があれば、スピンコート時に異物が外周に向けて引きずられ、得られる膜に放射状の筋が生じる。
○（良好）：異物及び放射状の筋なし。△（可）：異物が見えるが放射状の筋なし。×（不良）：放射状の筋あり。【０１８５】
＜硬化膜の膜厚＞
レーザ顕微鏡（キーエンス社製、装置名：ＶＫ−８５００）を用いて測定した。【０１８６】
＜隔壁上面の撥インク性及びその耐ＵＶ／Ｏ３性＞
得られた硬化膜上面のＰＧＭＥＡ接触角を下記の方法で測定した。
静滴法により、ＪＩＳ  Ｒ３２５７「基板ガラス表面のぬれ性試験方法」に準拠して、硬化膜上面３ヶ所にＰＧＭＥＡ滴を載せ、各ＰＧＭＥＡ滴について測定した。液滴は２μＬ／滴とし、測定は２０℃で行った。接触角は、３測定値の平均値から求めた。なお、ＰＧＭＥＡは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの略号である。
硬化膜が形成されたガラス基板に対して、表面全体に、ＵＶ／Ｏ３照射処理を３分間（光量は２５４ｎｍ換算で１，８００ｍＪ／ｃｍ２）行った後、再度、硬化膜上面のＰＧＭＥＡ接触角を上記方法にて測定した。【０１８７】
＜隔壁上面のＳＥＭ観察＞
得られた隔壁上面のＳＥＭ観察を行い（５，０００倍、キーエンス社製、装置名：３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡  ＶＥ−９８００）、隔壁上面の端部の盛り上がりの有無を観察し、下記基準に基づき評価した。
○（良好）：隔壁上面の端部に盛り上がりが観られなかった。△（可）：隔壁上面の端部に盛り上がりが観られた。【０１８８】
［例２〜１５］
例１において、ネガ型感光性樹脂組成物を表３に示す組成に変更した以外は、同様の方法で、ネガ型感光性樹脂組成物及び隔壁を製造し、評価した。評価結果は表３に示す。【０１８９】
【表３】
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表３中、「％」は全て「質量％」である。【０１９０】
（結果のまとめ）
第１の化合物及び第２の化合物を併用した、すなわち撥インク性組成物（Ｃ）を用いた例１〜１０、例１４、及び例１５では、隔壁上面は優れた撥インク性を有し、その撥インク性はＵＶ／Ｏ３処理後も良好に維持された。
ＵＶ／Ｏ３照射処理前の評価において、例１〜１０、例１４及び例１５の隔壁上面の撥インク性は、質量平均分子量（Ｍｗ）１０万超の第２の化合物のみを使用した例１３の隔壁上面と同等であった。
ＵＶ／Ｏ３照射処理前の評価において、例１〜１０、例１４及び例１５の隔壁上面の撥インク性は、第１の化合物のみを使用した例１１、及び質量平均分子量（Ｍｗ）が５万以下の第２の化合物のみを使用した例１２よりも高かった。【０１９１】
第１の化合物及び第２の化合物を併用した例１〜１０のネガ型感光性樹脂組成物は、貯蔵安定性も良好であった。第１の化合物のみを使用した例１１に対して向上が見られた。【０１９２】
第１の化合物及び第２の化合物を併用した例１〜１０では、隔壁上面の端部の盛り上がりが見られず、きれいな形状の隔壁を形成することができた。第１の化合物のみを使用した例１１に対して、向上が見られた。【０１９３】
第２の化合物のみを使用した例１２、及び例１３のネガ型感光性樹脂組成物は、ＵＶ／Ｏ３処理後の隔壁上面の撥インク性が著しく低下した。
【産業上の利用可能性】
【０１９４】
本発明の撥インク性組成物は、有機ＥＬ素子、液晶素子のカラーフィルタ及び有機ＴＦＴアレイ等の光学素子において、インクジェット法によるパターン印刷を行う際の隔壁形成用の感光性樹脂組成物、あるいはそれに含ませる撥インク剤等として好適に用いることができる。
また、本発明の撥インク性組成物を含有する感光性樹脂組成物から形成された隔壁は、有機ＥＬ素子において、発光層等の有機層をＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁（バンク）、あるいは液晶素子において、カラーフィルタをＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁（この隔壁はブラックマトリクス（ＢＭ）を兼ねることができる。）、さらには有機ＴＦＴアレイにおいて、導体パターン又は半導体パターンをＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁、並びにＴＦＴのチャネル層をなす有機半導体層、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、ゲート配線、及びソース配線等をＩＪ法にてパターン印刷するための隔壁として利用できる。【０１９５】
なお、２０１２年９月２４日に出願された日本特許出願２０１２−２０９０８４号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
【符号の説明】
【０１９６】
１０：基材、２１：塗膜、２２：乾燥膜、２３：露光膜、２３Ａ：露光部、２３Ｂ：非露光部、２４：硬化膜、２４Ａ：凸部、２４Ｂ：パターン開口部、３０：フォトマスク、４０：インクジェットヘッド、５１：インク、５２：パターン膜、Ｌ：光。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【国際調査報告】
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