(57)【要約】  本発明は、板状体（３０）をローラ（５４）で搬送するローラコンベアにおいて、前記板状体（３０）の搬送経路に沿って配置された複数本のローラ（５４）と、転動体（６８）と当該転動体（６８）を挟み転動可能に収容する外輪（７０）と内輪（７４）とを有し、前記複数本のローラ（５４）の各々の軸（５８）を回転自在に支持する樹脂製又は樹脂がコーティングされた樹脂ベアリング（５６）と、前記転動体（６８）、前記転動体（６８）が接する前記外輪（７０）の軌道面（７２）、及び前記転動体（６８）が接する前記内輪（７４）の軌道面（７６）に液体を供給する液体供給装置（６４）と、前記樹脂ベアリング（５６）を囲むカバー（６６）と、を備えたローラコンベアに関する。
2014054590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体をローラで搬送するローラコンベアにおいて、  前記板状体の搬送経路に沿って配置された複数本のローラと、  転動体と当該転動体を挟み転動可能に収容する外輪と内輪とを有し、前記複数本のローラの各々の軸を回転自在に支持する樹脂製又は樹脂がコーティングされた樹脂ベアリングと、  前記転動体、前記転動体が接する前記外輪の軌道面、及び前記転動体が接する前記内輪の軌道面に液体を供給する液体供給装置と、  前記樹脂ベアリングを囲むカバーと、  を備えたローラコンベア。
【請求項２】
前記液体供給装置は、  前記樹脂ベアリングの前記外輪を保持する保持部及び前記液体の流路を備えたホルダ部材と、  前記ホルダ部材の前記流路の入口に前記液体を供給するとともに前記流路の出口から排出された前記液体を前記流路の入口に循環供給する液体循環供給手段と、  を備える請求項１に記載のローラコンベア。
【請求項３】
前記ホルダ部材の前記流路は、前記保持部を挟んで一方側に備えられるとともに前記流路の入口に連通された第１の流路と、前記保持部を挟んで他方側に備えられるとともに前記流路の出口に連通された第２の流路とを有し、  前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記保持部を介して連通される請求項２に記載のローラコンベア。
【請求項４】
前記ホルダ部材の前記第１の流路と前記保持部との間、及び前記保持部と前記第２の流路との間には、前記保持部に前記液体を塞き止める堰堤部材が夫々備えられ、前記保持部に塞き止められる前記液体に、前記転動体の一部、前記外輪の軌道面の一部、及び前記内輪の軌道面の一部が浸漬される請求項３に記載のローラコンベア。
【請求項５】
前記ローラの前記軸は、前記樹脂ベアリングの前記内輪に挿通され、  前記内輪を挟んで両側に位置する前記軸には、摺動防止部材が設けられ、  前記摺動防止部材の端面が前記内輪の端面に当接されるとともに止め具によって前記軸に固定される請求項１から４のいずれか１項に記載のローラコンベア。
【請求項６】
板状体を搬送しながら洗浄する洗浄部と、前記洗浄部によって洗浄された前記板状体を搬送しながら乾燥して清浄化する乾燥・清浄化部と、前記乾燥・清浄化部によって乾燥されて清浄化された前記板状体を検査する検査部とを備えた板状体の検査装置において、  請求項１から５のいずれか１項に記載のローラコンベアが前記乾燥・清浄化部に配置されている板状体の検査装置。
【請求項７】
前記板状体は、ガラス板である請求項６に記載の板状体の検査装置。
【請求項８】
溶融ガラスを帯状ガラス板に成形する成形部と、  前記帯状ガラス板を所定サイズの矩形状のガラス板に切断し、切断された前記ガラス板の周縁部を研削する切断・面取り部と、  周縁部を研削された前記ガラス板を搬送しながら洗浄する洗浄部と、  前記洗浄部によって洗浄された前記ガラス板を搬送しながら乾燥して清浄化する乾燥・清浄化部と、  前記乾燥・清浄化部によって乾燥されて清浄化された前記ガラス板を検査する検査部と、を備えたガラス板の製造装置において、  請求項１から５のいずれか１項に記載のローラコンベアが前記乾燥・清浄化部に配置されているガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ローラコンベア及び板状体の検査装置、並びにガラス板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  液晶ディスプレイ等のＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス板の製造方法の一例として、フロート法と称される成形法を用いたフロート製造方法が知られている。【０００３】  フロート製造方法は、フロートバスに溜められた溶融金属の表面に溶融ガラスを供給して帯状ガラス板に成形する成形工程、前記帯状ガラス板を所定サイズの矩形状のガラス板に切断し、切断したガラス板の周縁部を研削する切断・面取り工程、前記ガラス板の被研磨面を研磨装置によってその被研磨面の微小な凹凸やうねりを研磨して除去する研磨工程、及び検査工程を備える。【０００４】  前記検査工程は、研磨終了したガラス板をブラシ洗浄した後、高圧水によって洗浄する洗浄工程、エアナイフノズルからの圧縮空気をガラス板に噴射してガラス板を乾燥・清浄化する乾燥・清浄化工程、及び被研磨面の平坦度（うねりピッチに対するうねり高さの比率）を測定する平坦度測定工程を備える。【０００５】  これらの工程を経ることによって、ガラス板が、ＦＰＤ用ガラス板に適した厚さ０．２〜１．５ｍｍであって平坦度の高いガラス板に製造される。【０００６】  特許文献１には、ＦＰＤ用ガラス板を対象とするバッチ式の研磨装置が開示されている。特許文献１の研磨装置は、ガラス板を吸着して保持する吸着シートと、この吸着シートが張設された膜枠とからなる膜体を備えている。この研磨装置によれば、膜体と膜体が取り付けられるキャリアとの間に加圧流体を供給し、吸着シートに吸着保持されたガラス板の被研磨面を加圧流体の圧力によって研磨パッドに押し付けるとともに、ガラス板と研磨パッドとを相対的に回転（自転及び／又は公転）させて被研磨面を研磨する。また、研磨時には、スラリが研磨パッドと被研磨面との間に供給される。なお、研磨パッドによって研磨されるガラス板の被研磨面は、ＦＰＤの製造工程においてＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）又はＣＦ（Ｃｏｌｏｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）が作製される面であり、高精度の平坦度が要求される面である。【０００７】  一方、平坦度測定工程では、研磨後のガラス板の被研磨面の平坦度がＴＦＴ又はＣＦの作製に適した規格値内に収まっているか否かが検査される。この平坦度の検査は、例えば特許文献２に開示された平坦度測定装置（検査装置）を用いて行われる。【０００８】  特許文献２の平坦度測定装置によれば、周期的な明暗を有するパターンをガラス板に照射し、ガラス板を透過したパターン又は反射したパターンを受光し、受光画像における明暗周期のずれ（ガラス板に照射されたパターンにおける明暗周期に対するずれ）を検出するためにガラス板に照射されたパターンにおける明暗周期に対応したサイズの受光画像における領域の明暗を平均化し、平均化された信号に基づいてガラス板の平坦度を算出する。【０００９】  上記のように、研磨工程（研磨装置）にて被研磨面が研磨されたガラス板は、検査工程（平坦度測定装置）によって被研磨面の平坦度が検査されるが、研磨終了したガラス板にはスラリが付着しているため、検査工程の前記洗浄工程によってガラス板に付着したスラリが洗い落とされる。その後、平坦度測定装置において、ガラス板に残存した水滴、塵による誤検出���防止するために、検査工程の前記乾燥・清浄化工程においてエアナイフノズルからの圧縮空気によって水滴、塵を除去し、ガラス板を乾燥・清浄化した後に、平坦度測定装置による平坦度測定を実施している。なお、平坦度測定は、ガラス板を研磨しないガラス板の製造方法、例えばフュージョン法でも実施される。【００１０】  また、ガラス板は、研磨装置から平坦度測定装置まで、複数本のローラからなるローラコンベアによって連続搬送されるが、前記エアナイフノズルを有する乾燥ラインに敷設されたローラの軸受は、軸受から漏れたグリスがガラス板に付着しないように、グリスを使用しない自己潤滑性のあるフッ素樹脂等の樹脂製、又はフッ素樹脂等の樹脂が軸受鋼にコーティングされたベアリング（以下、樹脂ベアリングという）が使用されている。また、セラミックス製の転動体を有する樹脂ベアリングもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】日本国特開２００４−１２２３５１号公報
【特許文献２】日本国特許第３４１１８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】  しかしながら、グリスを使用しない樹脂ベアリングであっても、樹脂ベアリングの磨耗によって樹脂の粉塵が発生し、その粉塵が飛散してガラス板に付着した場合には、平坦度測定装置による検査工程で誤検出を招くという問題があった。【００１３】  本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ローラが樹脂ベアリングによって支持されたローラコンベアであって、樹脂ベアリングから発生した粉塵の飛散を抑制できるローラコンベア及び板状体の検査装置、並びにガラス板の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】  本発明は、前記目的を達成するために、板状体をローラで搬送するローラコンベアにおいて、前記板状体の搬送経路に沿って配置された複数本のローラと、転動体と当該転動体を挟み転動可能に収容する外輪と内輪とを有し、前記複数本のローラの各々の軸を回転自在に支持する樹脂製又は樹脂がコーティングされた樹脂ベアリングと、前記転動体、前記転動体が接する前記外輪の軌道面、及び前記転動体が接する前記内輪の軌道面に液体を供給する液体供給装置と、前記樹脂ベアリングを囲むカバーと、を備えたローラコンベアを提供する。【００１５】  本発明によれば、樹脂ベアリングの転動体と、転動体が接する外輪の軌道面と、転動体が接する内輪の軌道面とに、液体供給装置から液体を供給したので、樹脂の磨耗によって発生した樹脂の粉塵を液体に混入させることができ、また、樹脂ベアリングはカバーによって囲まれているので、前記粉塵の飛散を抑制できる。更に、液体が潤滑剤として機能するので、樹脂ベアリングの使用寿命が延びる。【００１６】  樹脂ベアリングは、外輪、内輪、転動体、及び保持器から構成されており、転動体、転動体と保持器との摺動面、転動体が接する外輪の軌道面、及び転動体が接する内輪の軌道面は発塵箇所である。この発塵箇所に液体を供給して、発生した樹脂の粉塵を液体に封じ込めることが本発明の特徴である。【００１７】  〔樹脂ベアリングの定義〕  本発明の樹脂ベアリングとは、ベアリングを構成する外輪、内輪、転動体、及び保持器のうち少なくとも一つの部材が樹脂製又は樹脂がコーティングされたものをいう。しかしながら、前記部材のうち少なくとも一つの部材を、樹脂がコーティングされていない軸受鋼が露出したものとすると、樹脂ベアリングの自己潤滑性が低下する。このため、好適な樹脂ベアリングの構成としては、全ての部材が樹脂製、又は軸受鋼に樹脂がコーティングされたものがよい。【００１８】  樹脂ベアリングの全ての部材が樹脂製のときの樹脂の材料は特に限定されないが、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷ‐ＰＥ：ｕｌｔｒａ  ｈｉｇｈ  ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  ｗｅｉｇｈｔ‐ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）、ポリテトラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ：ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ)、またはポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ：ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ）が好ましい。コーティングする樹脂の材料は特に限定されないが、自己潤滑性を有する、フッ素樹脂またはポリイミド樹脂が好ましい。軸受（転動体、外輪、及び内輪）の材料は、特に限定されないが、硬くて耐摩耗性を有する、セラミックまたは高炭素クロム鋼が好ましい。【００１９】  また、強度、寿命、及び軽量化の観点から、外輪、内輪、及び保持器を超高分子量ポリエチレン製とし、転動体をセラミックス製とすることが更に好適である。【００２０】  本発明の一態様は、前記液体供給装置は、前記樹脂ベアリングの前記外輪を保持する保持部及び前記液体の流路を備えたホルダ部材と、前記ホルダ部材の前記流路の入口に前記液体を供給するとともに前記流路の出口から排出された前記液体を前記流路の入口に循環供給する液体循環供給手段と、を備えることが好ましい。【００２１】  本発明の一態様���よれば、樹脂ベアリングの外輪を保持し固定する保持部を備えたホルダ部材に、液体の流路を備えたので、流路をホルダ部材と別に設ける必要はなく、よって、部品点数を削減できる。液体は、液体循環供給手段によって流路の入口に供給され、流路を通過中に樹脂ベアリングの転動体と、転動体が接する外輪の軌道面と、転動体が接する内輪の軌道面とに供給される。そして、流路の出口から排出された液体は、液体循環供給手段によって流路の入口に循環供給される。なお、液体の循環路にフィルタを設け、このフィルタによって液体に混入している粉塵を捕獲すれば、常にクリーンな液体を流路に供給できる。【００２２】  本発明の一態様は、前記ホルダ部材の前記流路は、前記保持部を挟んで一方側に備えられるとともに前記流路の入口に連通された第１の流路と、前記保持部を挟んで他方側に備えられるとともに前記流路の出口に連通された第２の流路とを有し、前記第１の流路と前記第２の流路とは、前記保持部を介して連通されることが好ましい。【００２３】  本発明の一態様によれば、流路の入口から第１の流路に供給された液体は、第１の流路を流れて保持部に流入する。これによって、保持部に保持されている樹脂ベアリングに液体が供給される。そして、樹脂ベアリングに供給された液体は、保持部から第２の流路に流入して第２の流路を流れ、流路の出口から排出される。このような第１の流路及び第２の流路をホルダ部材に備えることによって、樹脂ベアリングに液体を円滑に供給できる。【００２４】  本発明の一態様は、前記ホルダ部材の前記第１の流路と前記保持部との間、及び前記保持部と前記第２の流路との間には、前記保持部に前記液体を塞き止める堰堤部材が夫々備えられ、前記保持部に塞き止められる前記液体に、前記樹脂ベアリングの転動体の一部、前記外輪の軌道面の一部及び前記内輪の軌道面の一部が浸漬されることが好ましい。【００２５】  本発明の一態様によれば、堰堤部材によって保持部に供給された液体を塞き止めたので、樹脂ベアリングの転動体の一部、外輪の軌道面の一部及び内輪の軌道面の一部が液体に常に浸漬された状態となる。これにより、樹脂ベアリングからの粉塵の飛散を大幅に抑制できる。【００２６】  本発明の一態様は、前記ローラの前記軸は、前記樹脂ベアリングの前記内輪に挿通され、前記内輪を挟んで両側に位置する前記軸には、摺動防止部材が設けられ、前記摺動防止部材の端面が前記内輪の端面に当接されるとともに止め具によって前記軸に固定されることが好ましい。【００２７】  本発明の一態様によれば、摺動防止部材のストッパ作用によって、ローラの軸が内輪に対して軸方向に摺動せず、摺動に起因する発塵を防止できるので、樹脂ベアリングからの発塵量を従来よりも低減できる。これによって、粉塵の飛散をより一層抑制できる。【００２８】  また、本発明は、前記目的を達成するために、板状体を搬送しながら洗浄する洗浄部と、前記洗浄部によって洗浄された前記板状体を搬送しながら乾燥して清浄化する乾燥・清浄化部と、前記乾燥・清浄化部によって乾燥されて清浄化された前記板状体を検査する検査部とを備えた板状体の検査装置において、本発明のローラコンベアが前記乾燥・清浄化部に配置されている��状体の検査装置を提供する。【００２９】  本発明の板状体の検査装置によれば、発明のローラコンベアを乾燥・清浄化部に配置したので、板状体に前記粉塵が付着することに起因する検査装置の誤検出の発生頻度を大幅に低減できる。【００３０】  本発明の一態様は、前記板状体が、ガラス板であることが好ましい。【００３１】  本発明の一態様によれば、ガラス板の検査装置の乾燥・清浄化部に本発明のローラコンベアを配置したので、ガラス板の検査精度が大幅に向上する。【００３２】  また、本発明は、溶融ガラスを帯状ガラス板に成形する成形部と、  前記帯状ガラス板を所定サイズの矩形状のガラス板に切断し、切断された前記ガラス板の周縁部を研削する切断・面取り部と、  周縁部を研削された前記ガラス板を搬送しながら洗浄する洗浄部と、前記洗浄部によって洗浄された前記ガラス板を搬送しながら乾燥して清浄化する乾燥・清浄化部と、前記乾燥・清浄化部によって乾燥されて清浄化された前記ガラス板を検査する検査部とを備えたガラス板の製造装置において、  本発明のローラコンベアが前記乾燥・清浄化部に配置されているガラス板の製造装置を提供する。【００３３】  本発明の一態様によれば、ガラス板の検査装置の乾燥・清浄化部に本発明のローラコンベアを配置したので、ガラス板の検査精度が大幅に向上したガラス板を製造できる。
【発明の効果】
【００３４】  本発明のローラコンベアによれば、樹脂ベアリングから発生した樹脂の粉塵の飛散を抑制できる。これにより、本発明の板状体の検査装置によれば、板状体に前記粉塵が付着したことに起因する誤検出の発生頻度を大幅に低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、液晶ディスプレイ用のガラス板製造装置及びガラス板検査装置の各工程を示したブロック図である。
【図２】図２は、図１のガラス板検査装置の構成を示した平面図である。
【図３】図３は、図１のガラス板検査装置の洗浄装置及び乾燥・清浄化装置の構成を示した側面図である。
【図４】図４は、ローラコンベアの構成を詳細に示した平面図である。
【図５】図５は、図４のＡ−Ａ′線から見たローラコンベアの正面図である。
【図６】図６は、樹脂ベアリング及びホルダ部材を上方から見た組立斜視図である。
【図７】図７は、図６のホルダ部材を下方から見た斜視図である。
【図８】図８は、ホルダ部材を含む液体供給装置の構成を示したブロック図である。
【図９】図９は、ホルダ部材に固定された樹脂ベアリングがカバーによって囲まれた斜視図である。
【図１０】図１０は、図９においてカバーを取り外した樹脂ベアリング及びホルダ部材の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】  以下、添付図面に従って本発明に係るローラコンベア及び板状体の検査装置の好ましい実施の形態を詳説する。
【００３７】  実施の形態では、液晶ディスプレイ用のガラス板製造装置に設置されたガラス板検査装置（板状体の検査装置）に適用されるローラコンベアについて説明する。しかしながら、本発明のローラコンベアが適用される装置は、ガラス板検査装置に限定されない。つまり、ローラコンベアのローラを支持するベアリングから発生した粉塵が、板状体に付着することを防止する装置であれば、本発明のローラコンベアを適用できる。また、板状体として液晶ディスプレイ用のガラス板を例示するが、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の他のＦＰＤ用ガラス板でもよい。また、ガラス板に限定されるものではなく、金属製、又は樹脂製の板状体であってもよい。
【００３８】  図１は、液晶ディスプレイ用のガラス板製造装置１０、及びガラス板検査装置１２の各工程を示したブロック図である。
【００３９】  ガラス板製造装置１０の製造工程は、成形装置（成形部）による成形工程１４、切断・面取り装置（切断・面取り部）による切断・面取り工程１６、特許文献１等に開示された研磨装置による研磨工程１８、洗浄装置（洗浄部）による洗浄工程２０、乾燥・清浄化装置（乾燥・清浄化部）による乾燥・清浄化工程２２、及び特許文献２等に開示された平坦度測定装置（検査部）による平坦度測定工程２４からなる。また、ガラス板検査装置１２の検査工程は洗浄工程２０、乾燥・清浄化工程２２、及び平坦度測定工程２４からなる。
【００４０】  成形工程１４は、フロートバスに溜められた溶融金属の表面に溶融ガラスを供給して帯状ガラス板に成形する工程である。切断・面取り工程１６は、前記帯状ガラス板を所定サイズの矩形状のガラス板に切断し、切断したガラス板の周縁部を研削する工程である。研磨工程１８は、ガラス板の被研磨面の微小な凹凸やうねりを研磨して除去する工程である。洗浄工程２０は、研磨終了したガラス板をブラシ洗浄した後、高圧水によって洗浄し、ガラス板に付着したスラリ、研磨屑を除去する工程である。乾燥・清浄化工程２２は、圧縮空気をガラス板に噴射してガラス板を乾燥・清浄化する工程である。平坦度測定工程２４は、ガラス板の被研磨面の平坦度を測定する工程である。これらの工程を経ることによってガラス板が、液晶ディスプレイ用のガラス板に適した厚さであって平坦度の高いガラス板を得ることができる。  上記のガラス板の製造方法はフロート法によるものだが、本実施形態はフュージョン法などにも適用できる。なお、フュージョン法など、火造り面を素子形成面とする製造方法によってガラス板を製造する場合、研磨工程１８は省略される。
【００４１】  図２は、ガラス板検査装置１２の構成を概略的に示した平面図であり、図３は、ガラス板検査装置１２の洗浄装置（洗浄工程２０：図１参照）２６、及び乾燥・清浄化装置（乾燥・清浄化工程２２：図１参照）２８の構成を示した側面図である。
【００４２】  図２の如く、研磨工程１８で被研磨面が研磨されたガラス板３０は、ローラコンベア３２によって、洗浄装置２６を構成するブラシ洗浄部３４と高圧水噴射装置４０、４２（図３参照）、及び乾燥・清浄化装置２８を順次通過して平坦度測定工程２４の平坦度測定装置に搬入される。なお、ローラコンベア３２のうち、乾燥・清浄化装置２８に敷設されるローラコンベア３６が樹脂ベアリングを備えた実施の形態のローラコンベアである。また、図２では、ガラス板３０を分かり易く図示するために、実線ではなく二点鎖線で示している。
【００４３】  図４は、ローラコンベア３６の構成を詳細に示した平面図であり、図５は、図４のＡ−Ａ′線から見た正面図である。
【００４４】  ローラコンベア３６の各ローラは、軸５８とガラス板３０の下面に当接される複数の円盤体６０、６０…とから構成され、複数の円盤体６０が軸５８に所定の間隔をもって配置されている。図２では煩雑さを避けるため円盤体６０の図示を省略し、円盤体６０よりも径の小さい樹脂ベアリング５６及び軸５８のみを概略的に図示している。また、図４及び図５に示すように、ガラス板３０の下面に当接する円盤体６０の外周部には、ゴム製又は樹脂製のリング状緩衝部材６１が取り付けられており、ガラス板３０の下面に傷が付くのを防止している。
【００４５】  図４及び図５の如く軸５８の両端部は、乾燥・清浄化装置２８のケーシング４８から外方に突出して配置され、ギア機構５７を介して駆動部５９に連結されている。軸５８は、駆動部５９からの動力がギア機構５７を介して伝達されることにより回転駆動され、これによって円盤体６０が回転されてガラス板３０が搬送される。
【００４６】  図２に示したブラシ洗浄部３４は、ローラコンベア３２の上方に配置され、ガラス板３０の被研磨面の鉛直方向を軸に、水平方向に回転する複数台の回転ブラシ３８、３８…を備える。ガラス板３０は、ローラコンベア３２によって搬送されながら被研磨面に当接されて回転される回転ブラシ３８、３８…によって、被研磨面に付着したスラリ及び研磨塵が除去される。
【００４７】  高圧水噴射装置４０は、図３に示すようにローラコンベア３２を挟んで上方に配置され、高圧水噴射装置４２は、ローラコンベア３２を挟んで下方に配置されている。図３の左側の矢印で示すように、ガラス板３０はローラコンベア３２によって搬送されながら、高圧水噴射装置４０のノズル４４から噴射された高圧水によってその被研磨面（上面）が洗浄され、高圧水噴射装置４２のノズル４６から噴射された高圧水によってその下面が洗浄される。
【００４８】  洗浄装置２６を通過したガラス板３０は、乾燥・清浄化装置２８のケーシング４８内にローラコンベア３２によって搬入される。そして、ケーシング４８内に配置されたローラコンベア３６による搬送中に、ガラス板３０に付着している水滴、塵等が複数本のエアナイフノズル５０、５２（図２及び図３では各１本）からの圧縮空気によって除去される。図２の下側の矢印及び図３の右側の矢印で示すように、エアナイフノズル５０、５２を通過したガラス板３０は、平坦度測定工程２４に搬送される。なお、エアナイフノズル５０、５２が配置された乾燥・清浄化空間４９は、ケーシング４８によって密閉されている。よって、乾燥・清浄化空間４９には、ケーシング４８の外に浮遊する粉塵は侵入しない。また、図２〜図４では、エアナイフノズル５０、５２を上下に一対配置しているが、間隔をもって複数対のエアナイフノズルをケーシング４８内に配置してもよい。
【００４９】  エアナイフノズル５０はローラコンベア３６の上方であってガラス板３０の搬送方向に沿って設置される。エアナイフノズル５２はローラコンベア３６の下方であってガラス板３０の搬送方向に沿って設置されている。また、エアナイフノズル５０とエアナイフノズル５２とは上下方向で対をなすように設置されている。更に、エアナイフノズル５０、５２は、ガラス板３０に付着した水滴、塵等を効率よく除去するために、図２の如くガラス板３０の搬送方向に対して所定角度傾斜して配置されている。
【００５０】  更にまた、ローラコンベア３６は、エアナイフノズル５２からの圧縮空気がガラス板３０の下面に効率よく噴射されるように、図２、図４及び図５の如くエアナイフノズル５２が配設される部分が分断されている。
【００５１】  すなわち、ローラコンベア３６を構成する複数本のローラのうち、図２の符号の５４で示したローラに着目すると、このローラ５４は、エアナイフノズル５２の配設位置を避けて２本のローラ５４Ａ、５４Ｂに分割されている。そして、ケーシング４８から外部に突出したローラ５４Ａの左端部は不図示の一般的なベアリング（軸受鋼製のベアリング）に支持され、ケーシング４８内に位置するローラ５４Ａの右端部が実施の形態の樹脂ベアリング５６に支持されている。また、ケーシング４８から外部に突出したローラ５４Ｂの右端部は不図示の一般的なベアリング（軸受鋼製のベアリング）に支持され、ケーシング４８内に位置するローラ５４Ｂの左端部が樹脂ベアリング５６に支持されている。すなわち、ケーシング内に配置されたベアリングに樹脂ベアリング５６が適用されている。
【００５２】  なお、ローラコンベア３６を構成する他の複数本のローラについては、基本的にはローラ５４と同様の構成なので、その説明は省略する。
【００５３】  次に、樹脂ベアリング５６を備えたローラコンベア３６の基本的な構成、及び作用について説明する。
【００５４】  図６は、樹脂ベアリング５６及び樹脂ベアリング５６を支持する略直方体形状のホルダ部材６２を上方から見た組立斜視図、図７は、ホルダ部材６２を下方から見た斜視図、図８は、ホルダ部材６２を含む液体供給装置６４の構成を示したブロック図であり、ホルダ部材６２においては正面図であって、図６に示した堰堤部材１００を見せるために一部を破断して示している。図９は、ホルダ部材６２に固定された樹脂ベアリング５６が透明樹脂製のカバー６６によって囲まれた斜視図であり、図１０は、図９においてカバー６６を取り外した樹脂ベアリング５６及びホルダ部材６２の側面図である。
【００５５】  図４及び図５に示した実施の形態のローラコンベア３６は、ケーシング４８内でベアリングから漏出したグリスが検査前のガラス板３０に付着しないように、ケーシング４８内に配置されるベアリングとして、グリスを使用しない自己潤滑性を備えた樹脂ベアリング５６が使用されている。そして、図６の如く樹脂ベアリング５６の転動体６８、転動体６８が接する外輪７０の内周面である軌道面７２、転動体６８が接する内輪７４の外周面である軌道面７６、及び転動体６８を保持する保持器（不図示）に液体（例えば純水、市水、または地下水等の水）を供給する、図８の液体供給装置６４が設けられている。また、図９の如く樹脂ベアリング５６を囲むカバー６６が設けられている。なお、図６に示した太矢印は、ホルダ部材６２に対する樹脂ベアリング５６の組み付け方向を示し、細矢印は、ホルダ部材６２における前記液体の流れ方向を示している。
【００５６】  上記構成により実施の形態のローラコンベア３６によれば、樹脂ベアリング５６の転動体６８、転動体６８が接する外輪７０の軌道面７２、転動体６８が接する内輪７４の軌道面７６、及び保持器に、液体供給装置６４から液体が供給されるので、樹脂ベアリング５６の磨耗によって発生した樹脂の粉塵が液体に混入する。これにより、樹脂ベアリング５６からの発塵量を低減でき、また、樹脂ベアリング５６から発生した粉塵のうち、液体に混入されなかった粉塵は、樹脂ベアリング５６がカバー６６によって囲まれているため、カバー６６の外に飛散しない。したがって、実施の形態のローラコンベア３６によれば、樹脂ベアリング５６から発生した粉塵の飛散を抑制できる。
【００５７】  また、実施の形態のローラコンベア３６を備えたガラス板検査装置１２によれば、ガラス板３０に前記粉塵が付着することに起因する、平坦度測定工程２４での誤検出の発生頻度を大幅に低減できるので、平坦度測定装置によるガラス板３０の検査精度が大幅に向上する。
【００５８】  なお、実施の形態の樹脂ベアリング５６は、強度、寿命、及び軽量化の観点から外輪７０、内輪７４、及び前記保持器が超高分子量ポリエチレン製であり、転動体６８がセラミックス製である。また、樹脂ベアリング５６に供給された液体が潤滑剤として機能するので、樹脂ベアリング５６の使用寿命が延びるという利点もある。
【００５９】  次に、液体供給装置６４の特徴について説明する。
【００６０】  液体供給装置６４は、図８の如く略直方体形状のホルダ部材６２と液体循環装置（液体循環供給手段）７８とを備える。ホルダ部材６２は、その上面に、樹脂ベアリング５６の外輪７０の下半分を嵌合によって保持する円弧状の凹曲面を有する保持部８０を備えるとともに、図６の如く液体の溝状の流路８２を備えている。また、図７に示すホルダ部材６２の下部の一方端には、流路８２（図６参照）の入口８４が設けられるとともに、他方端には流路８２の出口８６が設けられている。
【００６１】  図８の液体循環装置７８は、流路８２の入口８４に液体を供給するとともに、流路８２の出口８６から排出された液体を流路８２の入口８４に循環供給する、ポンプ８８を備えた循環路９０を有する。流路８２の入口８４から供給された液体は、ホルダ部材６２に備えられた上昇路９２を介して、ホルダ部材６２の上面の流路８２に供給され、流路８２を通過した後、ホルダ部材６２に備えられた下降路９４を介して出口８６から排出される。
【００６２】  このように構成された液体供給装置６４によれば、樹脂ベアリング５６が固定される保持部８０を備えたホルダ部材６２に、液体の流路８２を備えたので、流路８２をホルダ部材６２と別に設ける必要はなく、よって、部品点数を削減できる。
【００６３】  また、液体は、液体循環装置７８によって流路８２を通過中に樹脂ベアリング５６の転動体６８と、転動体６８が接する外輪７０の軌道面７２と、転動体６８が接する内輪７４の軌道面７６とに供給される。そして、流路８２の出口８６から排出された液体は、ポンプ８８によって流路８２の入口８４に循環供給される。なお、液体の循環路９０にフィルタを設け、このフィルタによって液体に混入している粉塵を捕獲すれば、常に粉塵の含有量が少ない液体を流路８２に供給できる。
【００６４】  次に、流路８２の特徴について説明する。
【００６５】  ホルダ部材６２の流路８２は、図６の如く第１の流路９６と第２の流路９８とを備えている。また、第１の流路９６と第２の流路９８とは保持部８０を介して連通されている。
【００６６】  第１の流路９６は、保持部８０の円弧状の凹曲面を挟んで一方側に備えられるとともに、流路８２の入口８４に上昇路９２を介して連通されている。第２の流路９８は、保持部８０の円弧状の凹曲面を挟んで他方側に備えられるとともに、下降路９４を介して流路８２の出口８６に連通されている。上昇路９２は、第１の流路９６の一端に設けられ、下降路９４は、第２の流路９８の他端に設けられているが、上昇路９２及び下降路９４の設置場所は特に限定されず、各流路の中央に設けてもよい。なお、第２の流路９８の他端とは、前記第１の流路９６の一端が設けられている側とは反対側のことである。
【００６７】  このように構成された流路８２によれば、流路８２の入口８４から上昇路９２を介して第１の流路９６に供給された液体は、第１の流路９６を流れて、保持部８０に流入する。これによって、保持部８０に保持されている樹脂ベアリング５６に液体が供給される。そして、樹脂ベアリング５６に供給された液体は、保持部８０から第２の流路９８に流入して第２の流路９８を流れ、下降路９４を介して流路８２の出口８６から排出される。このような第１の流路９６、及び第２の流路９８をホルダ部材６２に備えることによって、樹脂ベアリング５６に液体を円滑に供給できる。
【００６８】  次に、第１の流路９６と第２の流路９８の特徴について説明する。
【００６９】  ホルダ部材６２の第１の流路９６と保持部８０との間、及び保持部８０と第２の流路９８との間には、保持部８０に液体を塞き止める（貯留する）堰堤部材１００、１０２が夫々備えられている。これにより、保持部８０に塞き止められた液体に、樹脂ベアリング５６の転動体６８の一部、外輪７０の軌道面７２の一部、及び内輪７４の軌道面７６の一部が浸漬されている。
【００７０】  このような堰堤部材１００、１０２を備えた第１の流路９６、及び第２の流路９８によれば、堰堤部材１００、１０２によって保持部８０に供給された液体を塞き止めることができるので、樹脂ベアリング５６の下部に位置する転動体６８、その転動体６８が接する外輪７０の軌道面７２、及びその転動体６８が接する内輪７４の軌道面７６が液体に常に液没（浸漬）された状態となる。これにより、樹脂ベアリング５６からの粉塵の飛散を大幅に抑制できる。
【００７１】  なお、堰堤部材１００の上部中央には、第１の流路９６から保持部８０に液体を流し込む凹状の切欠き１０４が備えられ、堰堤部材１０２の上部中央には、保持部８０から第２の流路９８に液体を流し込む凹状の切欠き１０６が備えられている。切欠き１０４、１０６の底部の高さ、すなわち、保持部８０に塞き止められる液体の水面が、保持部８０に固定された樹脂ベアリング５６の図８中二点鎖線で示す内輪７４の軌道面７６の最下点７６Ａよりも上方に設定されている。これによって、樹脂ベアリング５６の転動体６８の一部、その転動体６８が接する外輪７０の軌道面７２の一部、及びその転動体６８が接する内輪７４の軌道面７６の一部が液体に常に浸漬される。
【００７２】  ところで、図１０の如くローラコンベア３６のローラの軸５８は、一対の摺動防止部材１０８、１０８を介して樹脂ベアリング５６の内輪７４に固定されている。すなわち、その固定方法は、まず、軸５８を内輪７４に挿通させる。次に、内輪７４の両端面それぞれの方向から、軸５８に円輪状の摺動防止部材１０８、１０８を嵌める。次いで、それぞれの摺動防止部材１０８、１０８の内輪７４に対向する端面を内輪７４の両側端面に接触させる。つまり、摺動防止部材１０８、１０８によって内輪７４を挟む。なお、摺動防止部材１０８の外径は内輪７４の外径以下が好ましい。摺動防止部材１０８の外径が内輪７４の外径以下であれば、液体の流れを阻害しない。そして最後に、摺動防止部材１０８の外周面から内周面に向けて設けられた貫通ねじ孔に、ねじ（止め具）１１０、１１０を挿通して、２つの摺動防止部材１０８、１０８を軸５８に固定する。これによって、ローラコンベア３６のローラの軸５８が、摺動防止部材１０８、１０８を介して樹脂ベアリング５６の内輪７４に固定される。
【００７３】  ローラの軸５８は内輪７４に対し、摺動防止部材１０８、１０８のストッパ作用によって軸方向に摺動しない。よって、前記摺動に起因する樹脂ベアリング５６の内輪７４からの発塵も防止できるので、粉塵の飛散をより一層抑制できる。
【００７４】  また、図８の如く液体供給装置６４は、液体循環装置７８の循環路９０に液体の供給を開始及び停止する電磁バルブ（バルブ）１１２を備えている。電磁バルブ１１２を必要に応じて開閉することによって、液体の供給を開始及び停止できる。
【００７５】  更に、電磁バルブ１１２による液体の供給の開始動作及び停止動作は、制御部１１４によって制御されている。樹脂ベアリング５６に液体を常に供給する必要がない場合には、制御部１１４によって電磁バルブ１１２を所定時間毎に開閉制御して、液体の供給の開始動作及び停止動作を行えばよい。また、制御部１１４は、節電のために必要時のみポンプ８８を稼働する。すなわち、制御部１１４は、ポンプ８８の稼働／停止も制御する。
【００７６】  本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。  本出願は、２０１２年１０月５日出願の日本特許出願２０１２−２２２７６１に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【００７７】  １０…ガラス板製造装置、１２…ガラス板検査装置、１４…成形工程、１６…切断・面取り工程、１８…研磨工程、２０…洗浄工程、２２…乾燥・清浄化工程、２４…平坦度測定工程、２６…洗浄装置、２８…乾燥・清浄化装置、３０…ガラス板、３２…ローラコンベア、３４…ブラシ洗浄部、３６…ローラコンベア、３８…回転ブラシ、４０、４２…高圧水噴射装置、４４、４６…ノズル、４８…ケーシング、４９…乾燥・清浄化空間、５０、５２…エアナイフノズル、５４…ローラ、５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃ…ローラ、５６…樹脂ベアリング、５７…ギア機構、５８…軸、５９…駆動部、６０…円盤体、６１…リング状緩衝部材、６２…ホルダ部材、６４…液体供給装置、６６…カバー、６８…転動体、７０…外輪、７２…軌道面、７４…内輪、７６…軌道面、７６Ａ…最下点、７８…液体循環装置、８０…保持部、８２…流路、８４…流路の入口、８６…流路の出口、８８…ポンプ、９０…循環路、９２…上昇路、９４…下降路、９６…第１の流路、９８…第２の流路、１００、１０２…堰堤部材、１０４、１０６…切欠き、１０８…摺動防止部材、１１０…ねじ、１１２…電磁バルブ、１１４…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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