【手続補正書】
【提出日】平成27年1月5日(2015.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から発せられた光ビームを反射偏向させる、偏向角度範囲が４０°以下のガルバノミラーと、偏向された光ビームを被走査面上で集束させるｆθレンズとを有する走査光学系において、
前記ｆθレンズが実質的に、ガルバノミラー側から順に、正の屈折力を有する球面レンズである第１レンズ、負の屈折力を有する球面レンズである第２レンズ、および正の屈折力を有する球面レンズである第３レンズが配置されてなるものであり、
ｆθレンズ全系の焦点距離をｆ、前記第１レンズの焦点距離をｆ1として下記条件式（１）が満足されていることを特徴とする走査光学系。
１．５４２ ≦ ｆ／ｆ1 ≦ ７．８２８  ・・・（１）
【請求項２】
下記条件式（１’）が満足されている請求項１記載の走査光学系。
２．１２５ ≦ ｆ／ｆ1 ≦ ７．２６４  ・・・（１’）
【請求項３】
下記条件式（２）が満足されている請求項１記載の走査光学系。
０．００３ ≦ １／ｆ1 ≦ ０．０１５  ・・・（２）
【請求項４】
下記条件式（２‘）が満足されている請求項１記載の走査光学系。
０．００４ ≦ １／ｆ1 ≦ ０．０１４  ・・・（２’）
【請求項５】
前記第２レンズの焦点距離をｆ2として下記条件式（３）が満足されている請求項１から４いずれか１項記載の走査光学系。
−０．２９０ ≦ ｆ2／ｆ ≦ −０．１３７  ・・・（３）
【請求項６】
前記第３レンズの焦点距離をｆ3として下記条件式（４）が満足されている請求項１から５いずれか１項記載の走査光学系。
０．３８３ ≦ ｆ3／ｆ ≦ １．２７１  ・・・（４）
【請求項７】
偏向された光ビームを、前記被走査面としての蓄積性蛍光体シート上で集束させるものである請求項１から６いずれか１項記載の走査光学系。
【請求項８】
請求項１から７いずれか１項記載の走査光学系を経た光ビームにより、被走査面を走査するように構成された光走査装置。
【請求項９】
前記被走査面が蓄積性蛍光体シートである請求項８記載の光走査装置。
【請求項１０】
請求項９記載の光走査装置を備え、該光走査装置により走査された蓄積性蛍光体シートの部分から発せられた輝尽発光光を検出して、前記蓄積性蛍光体シートに蓄積記録されている放射線画像を読み取る構成を有することを特徴とする放射線画像読取装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この工業用の放射線画像記録読取システムにおいて解像性能を評価する方法として、ＩSO 17636-2、EN（欧州規格）14784-1が規定するものが知られている。それらにおいては、EN462-5で規定されるDuplex wire と呼ばれる二本の針金で解像性能を計測することが求められている（「非破壊検査」第61巻、第4号、2012年、p.146参照）。この二本の針金を用いる解像性能評価方法は、それらを並べたものを蓄積性蛍光体シートに記録した後、読取処理によって針金の並び方向に関する読取信号を得、その読取信号において針金部分の全体を示す信号強度幅に対して、針金間の隙間による信号振れ幅がどの程度の割合（％）確保されるかを調べるものである。この割合は、解像性の高い放射線画像を再生するためには、２０％以上必要であると一般に言われている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明による走査光学系は、
光源から発せられた光ビームを反射偏向させる、偏向角度範囲が４０°以下のガルバノミラーと、偏向された光ビームを被走査面上で集束させるｆθレンズとを有する走査光学系において、
ｆθレンズが実質的に、ガルバノミラー側から順に、正の屈折力を有する球面レンズである第１レンズ、負の屈折力を有する球面レンズである第２レンズ、および正の屈折力を有する球面レンズである第３レンズが配置されてなるものであり、
ｆθレンズ全系の焦点距離をｆ、第１レンズの焦点距離をｆ1として下記条件式
１．５４２ ≦ ｆ／ｆ1 ≦ ７．８２８  ・・・（１）
が満足されていることを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また本発明の走査光学系は、被走査面を蓄積性蛍光体シートとして、その上で光ビームを集束させるものであることが望ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
他方、本発明による光走査装置は、以上説明した本発明の走査光学系を経た光ビームにより、被走査面を走査するように構成されたことを特徴とするものである。なおこの本発明による光走査装置は、被走査面を蓄積性蛍光体シートとするものであることが望ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
被走査面７は、本例の場合は前述した蓄積性蛍光体シートである。この蓄積性蛍光体シート７は一例として工場設備、発電や石油精製用等のプラント、さらには船舶、航空機等を構成する工業製品の非破壊検査に用いられ、検査においては、検査対象物を透過したＸ線等の放射線が該シート７に照射される。それにより蓄積性蛍光体シート７には、検査対象物の透過放射線画像情報に対応した強度分布を有する放射線エネルギーが蓄積記録される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
表１に、実施例１の走査光学系の基本レンズデータを示す。なお以下においては、ミラー４ａと被走査面７との間に存在する要素から見てミラー４ａ側を後方側、被走査面７側を前方側と称することとする。表１において、Ｓｉの欄にはミラー４ａの表面を１番目とし、次に前方側に有る構成要素の後方側の面を２番目として、前方側に向かうに従い順次増加するように構成要素に面番号を付したときのｉ番目（ｉ＝１、２、３、…）の面番号を示す。Ｒｉの欄にはｉ番目の面の曲率半径を示し、Ｄｉの欄にはｉ番目の面とｉ＋１番目の面との光軸Ｚ上の面間隔を示している。なお、面番号７の面に関して、上記ｉ＋１番目の面は被走査面である。また、Ｎｄｊの欄には最も後方側のレンズを１番目として前方側に向かうに従い順次増加するｊ番目（ｊ＝１、２、３）のレンズのｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率を示し、νｄｊの欄にはｊ番目のレンズのｄ線に対するアッベ数を示している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
なお表１の曲率半径Ｒおよび面間隔Ｄの値の単位はｍｍである。また表１中では、所定の桁でまるめた数値を記載している。また曲率半径の符号は、面形状が後方側に凸の場合を正、前方側に凸の場合を負としている。以上述べた表記の仕方は、後述する表２〜８においても同様である。
【表１】
2015014717.tif 000001
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
＜実施例２＞
図２に、実施例２の走査光学系の断面図を示す。この実施例２の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、およびメニスカスレンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表２に、実施例２の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表２】
2015014717.tif 000002
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
＜実施例３＞
図３に、実施例３の走査光学系の断面図を示す。この実施例３の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、および両凸レンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表３に、実施例３の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表３】
2015014717.tif 000003
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
＜実施例４＞
図４に、実施例４の走査光学系の断面図を示す。この実施例４の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、および両凸レンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表４に、実施例４の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表４】
2015014717.tif 000004
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
＜実施例５＞
図５に、実施例５の走査光学系の断面図を示す。この実施例５の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、および両凸レンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表５に、実施例５の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表５】
2015014717.tif 000005
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
＜実施例６＞
図６に、実施例６の走査光学系の断面図を示す。この実施例６の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、および両凸レンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表６に、実施例６の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表６】
2015014717.tif 000006
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
＜比較例１＞
図７に、本発明に対する比較例１の走査光学系の断面図を示す。この比較例１の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、およびメニスカスレンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表７に、比較例１の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表７】
2015014717.tif 000007
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
＜比較例２＞
図８に、本発明に対する比較例２の走査光学系の断面図を示す。この比較例２の走査光学系は、光ビーム入射側から被走査面側に向かって順にガルバノミラー４のミラー４ａ、メニスカスレンズである正の第１レンズＬ１、両凹レンズである負の第２レンズＬ２、および両凸レンズである正の第３レンズＬ３を配置して構成されている。表８に、比較例２の走査光学系の基本レンズデータを示す。
【表８】
2015014717.tif 000008
【表９】
2015014717.tif 000009