【手続補正書】
【提出日】平成27年10月13日(2015.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する基板に処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、
基板下面を水平に吸着保持するための保持面を備えた基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸周りに回転させるための回転駆動部と、
前記基板から振り切られた処理液を受けるカップと、
前記基板保持部に保持された基板の上方から処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部と一体に形成されると共に、当該基板保持部に保持された基板の周囲に配置され、前記基板の周縁部の上面の高さと同じか、この高さよりも低い高さ位置に設けられ、処理液を案内する案内面と、前記基板保持部に保持された基板の外周面に対向する内周部を備えるガイド部と、
前記基板保持部と共に一体的に回転し、前記ガイド部との間で前記カップへ向けて処理液を案内する回転カップと、を備えたことを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
前記内周部は、前記基板保持部に保持された基板の外周面に対して隙間を介して形成され、
前記隙間の下方側の基板保持部には、当該隙間内に入り込んだ処理液を受けるための溝部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記内周部は、その縦断面形状が、前記基板の外周面側へ向いた傾斜面を有することを特徴とする請求項１または２に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記溝部は、前記基板保持部に保持された基板よりも外方側へ広がる縦断面形状を有し、
前記内周部は、その縦断面形状が、前記基板の外周面側へ向いた傾斜面を有し、前記傾斜面は、前記基板の外周面側から前記案内面へ向けて高くなる上面側傾斜面と、前記基板の外周面側から前記溝部の上面の外方側に向けて低くなる下面側傾斜面で形成されることを特徴とする請求項２に記載の液処理装置。
【請求項５】
前記ガイド部には、前記溝部内の処理液を前記カップに向けて排出するための排液流路が設けられ、
前記溝部には、前記溝部内の処理液を前記排液流路に向けて案内するための排液流路入口が設けられていることを特徴とする請求項２、４に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記排液流路は、前記ガイド部に案内される処理液の流れと合流する位置に向けて前記溝部内の処理液を排出する排液流路出口を有することを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記溝部には、基板の下面側の周縁部へ向けて気体を供給する気体吐出口が設けられ、
前記ガイド部には、前記気体吐出口に気体を供給する給気流路が設けられていることを特徴とする請求項２、４、５、６のいずれか一つに記載の液処理装置。
【請求項８】
前記溝部は、前記基板保持部に保持された基板の下面よりも低い位置に形成されていることを特徴とする請求項２、４、５、６、７のいずれか一つに記載の液処理装置。
【請求項９】
前記ガイド部は、前記基板保持部に保持された基板の外周面に接触する内周部を備えることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項１０】
前記基板保持部は、前記保持面を介して基板を加熱するための加熱機構を備えていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一つに記載の液処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の液処理装置は、回転する基板に処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、
基板下面を水平に吸着保持するための保持面を備えた基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸周りに回転させるための回転駆動部と、
前記基板から振り切られた処理液を受けるカップと、
前記基板保持部に保持された基板の上方から処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部と一体に形成されると共に、当該基板保持部に保持された基板の周囲に配置され、前記基板の周縁部の上面の高さと同じか、この高さよりも低い高さ位置に設けられ、処理液を案内する案内面と、前記基板保持部に保持された基板の外周面に対向する内周部を備えるガイド部と、
前記基板保持部と共に一体的に回転し、前記ガイド部との間で前記カップへ向けて処理液を案内する回転カップと、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記液処理装置は、下記の構成を備えていてもよい。  
（ａ）前記内周部は、前記基板保持部に保持された基板の外周面に対して隙間を介して形成され、前記隙間の下方側の基板保持部には、当該隙間内に入り込んだ処理液を受けるための溝部が設けられていること。前記内周部は、その縦断面形状が、前記基板の外周面側へ向いた傾斜面を有すること。または前記溝部は、前記基板保持部に保持された基板よりも外方側へ広がる縦断面形状を有し、前記内周部は、その縦断面形状が、前記基板の外周面側へ向いた傾斜面を有し、前記傾斜面は、前記基板の外周面側から前記案内面へ向けて高くなる上面側傾斜面と、前記基板の外周面側から前記溝部の上面の外方側に向けて低くなる下面側傾斜面で形成されること。前記ガイド部には、前記溝部内の処理液を前記カップに向けて排出するための排液流路が設けられ、前記溝部には、前記溝部内の処理液を前記排液流路に向けて案内するための排液流路入口が設けられていること。前記排液流路は、前記ガイド部に案内される処理液の流れと合流する位置に向けて前記溝部内の処理液を排出する排液流路出口を有すること。前記溝部には、基板の下面側の周縁部へ向けて気体を供給する気体吐出口が設けられ、前記ガイド部には、前記気体吐出口に気体を供給する給気流路が設けられていること。前記溝部は、前記基板保持部に保持された基板の下面よりも低い位置に形成されていること。
（ｂ）前記ガイド部は、前記基板保持部に保持された基板の外周面に接触する内周部を備えること。
（ｃ）前記基板保持部は、前記保持面を介して基板を加熱するための加熱機構を備えていること。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
次に、基板保持機構３０を構成する保持部３１（基板保持部）の詳細な構成について説明する。  
図３、及び図４の一部破断平面図に示すように、保持部３１がウエハＷを水平に保持する保持面３１１には、円板形状に形成された保持部３１の周方向に沿って、溝状の凹部３１２が同心円状に複数本、形成されている。これらの凹部３１２のうち、最外周側の凹部３１２はウエハＷの周縁部付近に設けられている。図４に示すように、互いに隣り合う位置に配置された凹部３１２は、保持面３１１を径方向に切り欠いて形成された凹部３１２によって互いに連通している。一方、保持部３１の中心部には、保持部３１を支持する支柱部３２内を通って外部の真空ポンプ３６へと接続された真空排気路３２１の末端部が開口している（図３参照）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
上述の構成を備えた保持部３１において、保持面３１１上にウエハＷを載置すると、凹部３１２は、ウエハＷと保持部３１の本体とに囲まれた空間を形成し、真空排気路３２１を介してこの空間（凹部３１２）内を減圧することにより、保持面３１１へ向けてウエハＷの下面を吸着保持するバキュームチャックが構成される。保持部３１に形成された凹部３１２や真空排気路３２１、真空ポンプ３６は、保持部３１にウエハＷを吸着保持するための吸着機構に相当する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
一方、ガイド部３４側においては、案内面３４７が、溝部３４１の外周側の上面を覆うように伸び出して既述の内周部３４６を形成している。本例において前記内周部３４６の縦断面形状には、図５に示すように、ウエハＷの外周面側から案内面３４７へ向けて高くなる上面側傾斜面と、ウエハＷの外周面側から溝部３４１の上面の外方側に向けて低くなる下面側傾斜面が形成されている。この結果、隙間３４２内に進入した処理液６は、外周方向へ向けて高くなる上面側傾斜面の上面に沿って案内面３４７に効率よく案内される。また、隙間３４２内に進入した処理液６は、外周方向へ向けて低くなる下面側傾斜面に沿って溝部３４１内へと効率よく案内される。この上面側傾斜面と下面側傾斜面とが、ウエハＷの外周面側にて交差することにより、前記内周部３４６は、ウエハＷの外周面へ向けて先鋭な先端部を備えることになる。内周部をウエハＷの外周面側へ向けて先鋭になるように加工することにより、隙間３４２内に進入した処理液６は、案内面３４７と溝部３４１内へとさらに効率よく案内される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図５に示すように、溝部３４１の外周面側には、溝部３４１に落下した処理液６を排液流路３４３に向けて案内する開口部である排液流路入口３４３ａが形成されている。さらに、溝部３４１の外周面側には、溝部３４１に落下した処理液６を排液流路入口３４３ａへ向けて案内するための傾斜面３４８が設けられている。また排液流路３４３の排出流路出口３４３ｂは、ガイド部３４の案内面３４７上を流れ、保持部３１から振り切られる処理液６の流れと合流する位置に向けて、排液流路３４３内の処理液６を排出する位置に開口している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
さらに溝部３４１には、隙間３４２を介してウエハＷの周縁部下面側へ進入した処理液６のさらなる回り込みを防止し、ウエハＷの乾燥を促進するために、ウエハＷの周縁部下面側へ向けて気体を吹き付けるための気体吐出口３４４ａが設けられている（図４、図５）。気体吐出口３４４ａは、溝部３４１の内周側の側壁面に開口し、ウエハＷの周縁部の下面側へ向けて気体を吐出する。既述のように溝部３４１は、その縦断面形状がウエハＷの周縁部の下面の下方側から案内面３４７の下方側へかけて広がる空間を構成している。そのため、気体吐出口３４４ａから吐出された気体は、ウエハＷ内周側の位置から外周側に向けて吐出された後、ウエハＷの周縁部の下方側へ向けて供給されるので、隙間３４２を介してウエハＷの周縁部下面側へ進入した処理液６のさらなる回り込みを防止できる。
一方、気体吐出口３４４ａに気体を供給する給気流路３４４は、ガイド部３４の底面側に向けて伸び、その気体の気体入口３４４ｂは保持部３１の下面側に開口して保持部３１の下方側の領域から気体を取り込む。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
本例において、給気流路３４４の気体入口３４４ｂが開口している保持部３１の下面側は、保持部３１を支持する支柱部３２の周囲を囲むように配置された筒状の囲み部材５３によって囲まれている。また、図３、図４に示すように給気流路３４４は、保持部３１下面の気体入口３４４ｂから、上面から見て上方側の気体吐出口３４４ａへ向けて、外周方向に広がるように形成されている。その場合、図４の一部破断図に示すように、給気流路３４４の幅が気体入口３４４ｂから気体出口３４４ａに向かって広くするように形成してもよい。囲み部材５３により囲まれた空間内のチャンバ２０の底面には、当該空間内に清浄空気などの気体を供給するための給気管５３１が接続されている。この結果、囲み部材５３とチャンバ２０の底面、及び保持部３１で囲まれる空間内に供給された気体は、給気流路３４４に流入する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
溝部３４１内に落ちた処理液６は、溝部３４１の外周面側に設けられた傾斜面３４８に案内されて排液流路３４３の排液流路入口３４３ａに向かって流れ、溝部３４１内の気体と共に排液流路３４３内に進入する。排液流路３４３内を流れた処理液６や気体は、保持部３１から振り切られる処理液６の流れと、排液流路３４３の排液流路出口３４３ｂにて合流し、同じ回収カップ５０ａ〜５０ｃに排出される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
隙間３４２内に進入した処理液６は、傾斜面３４６ａに案内されて案内面３４７へ向けて流出する。また、溝部３４１内に処理液が落下した場合には、リンス洗浄時や振り切り乾燥時などに保持部３１の回転速度を上昇させて、溝部３４１内の処理液を隙間３４２へ向けて排出するとよい。さらに、図５に示した例と同様に、入口が前記傾斜面３４６ａへ向けて開口する排液流路３４３をガイド部３４に設けてもよい。なお、図６においては図示を省略したが、ウエハＷの下面側の周縁部を乾燥した状態に維持するため、当該周縁部に向けて気体を吹き付けるための給気流路３４４を、溝部３４１内に開口するように設けてもよいことは勿論である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
この他、ガイド部３４に設けられる案内面３４７は平坦な構成とする場合に限られない。例えば回転カップ３５の下面と同様に、外縁側へ向けて下方へと湾曲した案内面３４７により、回収カップ５０ａ〜５０ｃへ向けて処理液を案内してもよい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2015088598.tif 000001