【手続補正書】
【提出日】平成26年11月12日(2014.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送信フィルタ及び受信フィルタのいずれか一方のフィルタの通過帯域が前記送信フィルタ及び前記受信フィルタの他方のフィルタの通過帯域より低い前記送信フィルタ及び前記受信フィルタを備えるデュプレクサであって、
前記送信フィルタ及び前記受信フィルタは、それぞれラダー状に接続された直列共振子及び並列共振子を含み、
前記一方のフィルタの前記直列共振子と前記他方のフィルタの前記並列共振子が第１共振子として第１チップに形成され、前記一方のフィルタの前記並列共振子と前記他方のフィルタの前記直列共振子が第２共振子として前記第１チップとは異なる第２チップに形成されることを特徴とするデュプレクサ。
【請求項２】
前記第１共振子の電気機械結合係数は、前記第２共振子の電気機械結合係数より小さいことを特徴とする請求項１に記載のデュプレクサ。
【請求項３】
前記第１共振子の周波数温度係数は、前記第２共振子の周波数温度係数より小さいことを特徴とする請求項１または２に記載のデュプレクサ。
【請求項４】
前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償膜を含まない非温度補償型圧電薄膜共振子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項５】
前記第１共振子を構成する直列共振子と並列共振子の複数の層は１つの層を除いて膜厚が等しく、且つ、前記第２共振子を構成する直列共振子と並列共振子の複数の層は１つの層を除いて膜厚が等しいことを特徴とする請求項４に記載のデュプレクサ。
【請求項６】
前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子はタンタル酸リチウム基板を用いたＬＴ型弾性表面波共振子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項７】
前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子はタンタル酸リチウム基板をサファイア基板上に貼り付けた基板を用いたＬＴ／Ｓａ型弾性表面波共振子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項８】
前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子は弾性表面波共振子のうちラブ波を利用したラブ波型弾性表面波共振子であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項９】
前記温度補償膜は、シリコン酸化物またはシリコン窒化物を主成分とすることを特徴とする請求項４〜８のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項１０】
前記圧電薄膜は、窒化アルミニウムを主成分とすることを特徴とする請求項４〜９のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項１１】
前記第１チップ及び前記第２チップは、それぞれ実装基板にフリップチップにより搭載されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のデュプレクサ。
【請求項１２】
前記送信フィルタに含まれる前記第１共振子と前記第２共振子同士、並びに前記受信フィルタに含まれる前記第１共振子と前記第２共振子同士は、それぞれ前記実装基板におけるダイアタッチ層上に形成された配線を介して、互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項１１に記載のデュプレクサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、送信フィルタ及び受信フィルタのいずれか一方のフィルタの通過帯域が前記送信フィルタ及び前記受信フィルタの他方のフィルタの通過帯域より低い前記送信フィルタ及び前記受信フィルタを備えるデュプレクサであって、前記送信フィルタ及び前記受信フィルタは、それぞれラダー状に接続された直列共振子及び並列共振子を含み、前記一方のフィルタの前記直列共振子と前記他方のフィルタの前記並列共振子が第１共振子として第１チップに形成され、前記一方のフィルタの前記並列共振子と前記他方のフィルタの前記直列共振子が第２共振子として前記第１チップとは異なる第２チップに形成されることを特徴とするデュプレクサである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記構成において前記第１共振子の電気機械結合係数は、前記第２共振子の電気機械結合係数より小さい構成とすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記構成において、前記第１共振子の周波数温度係数は、前記第２共振子の周波数温度係数より小さい構成とすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記構成において、前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償膜を含まない非温度補償型圧電薄膜共振子である構成とすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記構成において、前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子はタンタル酸リチウム基板を用いたＬＴ型弾性表面波共振子である構成とすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記構成において、前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子はタンタル酸リチウム基板をサファイア基板上に貼り付けた基板を用いたＬＴ／Ｓａ型弾性表面波共振子である構成とすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記構成において、前記第１共振子は圧電薄膜並びに前記圧電薄膜を挟んで対向する下部電極及び上部電極を含む複数の層からなり且つ前記圧電薄膜の弾性定数の温度係数と逆符号の温度係数を有する温度補償膜が前記上部電極と前記下部電極との間に挟まれた温度補償型圧電薄膜共振子であり、前記第２共振子は弾性表面波共振子のうちラブ波を利用したラブ波型弾性表面波共振子である構成とすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記構成において、前記第１チップ及び前記第２チップは、それぞれ実装基板にフリップチップにより搭載されている構成とすることができる。