【手続補正書】
【提出日】平成26年12月1日(2014.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
一次記憶装置２２は、コンピュータの初期動作に必要な制御プログラムを記憶したマスクＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリおよび、コンピュータの動作に必要な制御プログラムを記憶し、制御部２１の演算処理を実行する際に生ずる各種データを一時記憶するＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ等の揮発性メモリとで構成される。
二次記憶装置２３は、ハードディスクドライブ、若しくはソリッドステートドライブ等の読み出しが可能なディスクドライブ、可搬式の記録媒体４１からデータの読み出しが可能なＣＤ−ＲＯＭドライブ等の装置である。記録媒体４１には、本実施の形態１に係るコンピュータプログラム４２が読み出し可能に記録されている。本実施の形態１に係るコンピュータプログラム４２は、コンピュータ読み取り可能に記録された可搬式メディアであるＣＤ（Compact Disc）−ＲＯＭ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）−ＲＯＭ、ＢＤ（Blu-ray（登録商標） Disc）等の記録媒体４１を介すなどしてハードディスクドライブやソリッドステートドライブで構成されるディスクドライブに記録されている。制御部２１はこれらコンピュータプログラム４２が記録された記録媒体４１又はディスクドライブなどから、コンピュータプログラム４２を読み出し、一次記憶装置２２に記憶させる。また、言うまでもなく、光ディスクは、記録媒体４１の一例であり、フレキシブルディスク、磁気光ディスク、外付けハードディスク、半導体メモリ等にコンピュータプログラム４２をコンピュータ読み取り可能に記録し、二次記憶装置２３にて読み出すように構成しても良い。また、通信網に接続されている図示しない外部コンピュータから本発明に係るコンピュータプログラム４２をダウンロードするようにしても良い。
通信部２４は、外部の遠隔操作装置４、遠隔操作用端末５等との間で情報を送受信するためのインタフェースである。通信部２４による各種情報の送受信は制御部２１によって制御される。
端末インタフェース部２５は、半導体処理装置１に対する操作の要求又は許可を受け付けると共に該操作を実行するための第１及び第２端末装置３１，３２との間で情報を送受信するためのインタフェースである。
また、二次記憶装置２３のディスクドライブは、データベース２０を記憶している。データベース２０は、本実施の形態１に係る操作制限方法を実施するために必要な各種情報を記憶している。例えば、データベース２０は、使用者の本人認証や権限及び資格の確認に必要な情報を記憶する使用者ＤＢ２０ａ、半導体処理装置１に対する重要な操作に必要な権限や資格、操作の要求又は許可を受け付けることが許された端末装置の端末ＩＤ、ログの通知先などの各種情報を記憶する重要操作ＤＢ２０ｂを有する。また、データベース２０は、半導体処理装置１による作業予定を示した情報を記憶している。作業予定は、実行すべき作業を記述した肯定的情報であっても良いし、実行すべきでは無い作業を記述した否定的情報であっても良く、また、肯定的情報及び否定的情報の組み合わせであっても良い。作業予定は、使用者から予め受け付けた操作の要求であるため、広義には操作の要求に含まれる。更に、データベース２０は、半導体処理装置１に対する操作に必要な時間を、複数の操作毎に記憶している。一般的に、操作に必要な時間は操作内容によって異なる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図３は、使用者ＤＢ２０ａのレコードレイアウトの一例を概念的に示す説明図である。使用者ＤＢ２０ａは、複数の列、例えば「使用者ＩＤ」列、「使用者名」列「認証情報」列、各々の操作に関する「権限」列、「資格」列等から構成されており、各行には、各列に格納された情報を有する。
「使用者ＩＤ」列と「使用者名」列とは、半導体処理装置１の使用者をそれぞれ識別する識別情報と名称とを格納し、「認証情報」列は、各使用者を認証するためのパスワードなどの認証情報を格納している。各々の操作に関する「権限」列及び「資格」列は、前記使用者の持つ操作の権限及び資格を重要操作内容に対応付けて格納している。権限及び資格は、第１属性情報及び第２属性情報の一例である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図８は操作実行処理を示すフローチャートである。制御部２１は、操作要求処理が正常に終了すると、操作実行処理に移る。操作実行処理に於いては、制御部２１は要求された操作に対応する予め準備されている操作プログラムを呼び出して実行する。ここではそれらの操作プログラムに共通する判断要件を記述する。まず、操作プログラムには、要求された操作が、その操作を実現する為の１つ以上の詳細操作からなる構成として記述されており、制御部２１は、その詳細操作ごとに詳細操作条件確認を行う（ステップＳ５１）。
詳細操作条件の確認には、要求された操作もしくはその操作を構成する一連の詳細操作に半導体製造装置が対応できる状態にあるかどうか、その操作の重要度に応じた端末を操作する使用者による確認のための打鍵応答、又は使用者の本人認証の再確認などが含まれる。また、詳細操作条件の確認には、ステップＳ４３で複数人作業を受理してから操作内容に応じた所定時間が経過していないかどうかの確認を含めても良い。ステップＳ４３で複数人作業を受理してからの経過時間は、制御部２１が図示しない計時部に計時させることによって把握し、所定の経過時間が経過した場合、操作可能化状態を解除するように構成すると良い。更に、セーフティーの観点から問題がない場合は操作可能化状態を解除し、問題がある場合には、しかるべき自動プロシジャーが設定可能なときには、所定の手順に沿って操作可能化状態を解除する。自動プロシジャーが設定困難な場合には、半導体処理装置１の使用者を呼び、該使用者による確認指示を受け付けた後に操作可能化状態を解除するように構成しても良い。また、操作内容に応じた所定時間は、例えば操作プログラムが記憶している。制御部２１は、詳細操作が正当、つまり、詳細操作を実行する条件が満たされているか否かを判定する（ステップＳ５２）。詳細操作が正当であると判定した場合（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、制御部２１は、操作プログラムに記述された当該詳細操作を実行する（ステップＳ５３）。次いで、制御部２１は、実行された詳細操作が正常に終了したか否かを判定する（ステップＳ５４）。正常に終了したと判定した場合（ステップＳ５４：ＹＥＳ）、制御部２１は、操作プログラムに記述された全ての詳細操作を実行したか否かを判定する（ステップＳ５５）。実行されていない操作があると判定した場合（ステップＳ５５：ＮＯ）、制御部２１は、処理をステップＳ５１に戻し、全ての詳細操作が終了するまでステップＳ５１〜ステップＳ５５の処理を繰り返す。全ての詳細操作を実行したと判定した場合（ステップＳ５５：ＹＥＳ）、制御部２１は、操作正常終了処理を行って（ステップＳ５６）、図６の複数人作業処理に戻る。詳細操作条件確認で正当と認められない場合（ステップＳ５２：ＮＯ）、又は一の詳細操作が正常に終了しなかったと判定した場合（ステップＳ５４：ＮＯ）、制御部２１は、当該状況に対応した異常終了処理を行って（ステップＳ５７）、図６の複数人作業処理に戻る。