(57)【要約】成形型を用いて基板の両面に複数のレンズを成形した場合に、成形型より基板を離型する際に、レンズの剥離を抑制できるウエハレンズの製造方法及びそれにより製造される撮像レンズを提供する。第１絞り部ＡＰ１との重複した面積が小さい第１のレンズＬ１を成形した後に、第１の成形型ＭＤ１から基板ＧＰの離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図り、次いで、第１のレンズＬ１を成形した基板ＧＰの反対側の第２面Ｓ２に第２のレンズＬ２を成形した後に、第２の成形型ＭＤ２から基板ＧＰの離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っているのであり、これによりレンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。
2013191035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の一方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第１樹脂層と、前記基板と前記第１樹脂層との間に設けられた第１絞り部と、前記基板の他方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第２樹脂層と、前記基板と前記第２樹脂層との間に設けられた第２絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第１絞り部を形成する工程と、
前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第１転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第１絞り部に重なるように第１の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第１転写型により前記成形面を有する前記第１樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第１成形型から離型する工程と、
前記基板の他方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第２絞り部を形成する工程と、
前記第１樹脂層が形成された前記基板を前記第１成形型から離型した後に、前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第２転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第２絞り部に重なるように第２の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第２転写型により前記成形面を有する前記第２樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第２成形型から離型する工程と、を有し、
光軸方向に見たときに、前記第１絞り部と前記第１樹脂層との重複した面積は、前記基板を挟んで対向する前記第２絞り部と前記第２樹脂層との重複した面積よりも小さいことを特徴とするウエハレンズの製造方法。
【請求項２】
前記第１絞り部と前記第２絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする請求項１に記載のウエハレンズの製造方法。
【請求項３】
前記第１絞り部と前記第１樹脂層との重複した面積は、３ｍｍ2以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハレンズの製造方法。
【請求項４】
基板と、前記基板の対向する面上にそれぞれ設けられ複数の光学面を含む成形面を有する２つの樹脂層と、前記基板と一方の面上の第１樹脂層の間にのみに設けられた絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記絞り部を形成する工程と、
複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第１転写型と、前記基板の他方の面との間に第１の硬化性樹脂材料を介在させて、前記第１樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第１成形型から離型する工程と、
前記第１樹脂層が形成された前記基板を前記第１成形型から離型した後に、複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第２転写型と、前記基板の一方の面との間に少なくとも一部が前記絞り部に重なるように第２の硬化性樹脂材料を介在させて第２樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第２成形型から離型する工程と、を有することを特徴とするウエハレンズの製造方法。
【請求項５】
前記絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする請求項４に記載のウエハレンズの製造方法。
【請求項６】
前記硬化性樹脂材料は、前記複数の光学転写面毎に個別に付与されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを切断することにより形成されたことを特徴とする撮像レンズ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを積層した後、切断することにより形成されたことを特徴とする撮像レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハレンズの製造方法及びその製造方法により製造された撮像レンズに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンやタブレットＰＣなどの携帯電子機器が急速に普及し、これらの携帯電子機器に搭載される撮像装置用の撮像レンズには、簡素な構成でありながら十分な光学性能を備え、しかも小型で薄型のものが求められている。このような携帯電子機器に適した撮像レンズを安価に大量に製造する方法として、６インチや８インチといったサイズのガラスなどからなる透明基板上（若しくは成形型上）に硬化性樹脂材料を塗布し、成形及び硬化してウエハレンズを作製し、切断して個片化することで撮像レンズを作製する撮像レンズの製造方法が知られている。この製造方法によれば、一度に多数の撮像レンズを作製できることで、コスト面において多大なメリットがある。また、このような撮像レンズの製造方法において、基板の両面にレンズを設けることで、光学特性を向上させることも知られている。【０００３】
しかしこの製造方法によれば、１枚の基板上に数千個というような大量のレンズが形成されるため、離型抵抗が大きくなり、成形型に離型剤を塗布するなどの離型処理を施していても、成形型から離型を行う際に、レンズや基板が破損したり基板とレンズとが剥離したりしやすいという問題がある。基板の両面にレンズが形成されたウエハレンズの製造においては、両面にレンズを成形した後に基板を２つの型から同時に離型することで、基板やレンズに加わるストレスを小さくすることでこのような問題を抑制することも考えられる。しかしながら、基板を２つの型から同時に離型する構成は概して装置構成が複雑になりやすく、汎用の離型装置が使えなかったりコストがかかったりするという新たな問題を生じるから、基板の一方の面に複数のレンズを形成した後、少しずつ成形型から基板を離型し、更に基板の他方の面に複数のレンズを形成した後、少しずつ成形型から基板を離型する作業が行われているというのが実情である。【０００４】
ところで、上述の携帯電子機器に適した撮像レンズにおいても、レンズに入射する不要光をカットしたり、光学性能をさらに高めたりするために、特許文献１、２に示すように、基板とレンズとの間に薄膜状の絞りを設けることが提案されている。基板に付着した薄い絞りを設けることで、金属等からなる別体の絞り部材が不要になり、部品を減らすことができ、またレンズの光軸方向の薄型化に貢献するというメリットがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−７２６６５号公報
【特許文献２】米国特許出願公開第２００９／１４７３６８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、本発明者らの検討によれば、基板とレンズとの間に薄膜状の絞りが設けられていると、基板を成形型から離型させる際に、成形されたレンズが基板から剥離し易くなるという問題があることが判明した。離型の際に基板に加わるストレスを出来るだけ小さくし、時間をかけて離型を行うことでこの問題は緩和されるものの、離型に長時間を要しては撮像レンズ全体の製造時間を短くすることができず、撮像レンズを安価に作製するという目的と相反することになってしまう。また、上述したウエハレンズの製造プロセスは、多数のレンズを同時に成形するために離型抵抗が大きく、レンズや基板の破損を防ぐために、そもそも離型工程に要する時間が長いという課題を有している。基板の両面にレンズを有するウエハレンズの場合は、上述したように２回の離型を時系列的に実行すると、さらに製造時間が長くなってしまうという課題も生じる。【０００７】
特許文献１、２には、薄膜状の絞りを基板上に設け、かつ、基板の両面にレンズを形成した構成を持つウエハレンズの製造において、離型時における基板からのレンズ剥離の問題が考慮されておらず、改善の余地がある。【０００８】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、成形型を用いて基板の両面に複数のレンズを成形した場合に、成形型より基板を離型する際に、レンズの剥離を抑制できるウエハレンズの製造方法及びそれにより製造される撮像レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載のウエハレンズの製造方法は、基板と、前記基板の一方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第１樹脂層と、前記基板と前記第１樹脂層との間に設けられた第１絞り部と、前記基板の他方の面上に設けられ複数の光学面を含む成形面を有する第２樹脂層と、前記基板と前記第２樹脂層との間に設けられた第２絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第１絞り部を形成する工程と、
前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第１転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第１絞り部に重なるように第１の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第１転写型により前記成形面を有する前記第１樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第１成形型から離型する工程と、
前記基板の他方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記第２絞り部を形成する工程と、
前記第１樹脂層が形成された前記基板を前記第１成形型から離型した後に、前記複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第２転写型と、前記基板との間に少なくとも一部が前記第２絞り部に重なるように第２の硬化性樹脂材料を介在させ、前記第２転写型により前記成形面を有する前記第２樹脂層を成形する工程と、
前記基板を前記第２成形型から離型する工程と、を有し、
光軸方向に見たときに、前記第１絞り部と前記第１樹脂層との重複した面積は、前記基板を挟んで対向する前記第２絞り部と前記第２樹脂層との重複した面積よりも小さいことを特徴とする。【００１０】
本発明者らは種々検討した結果、基板上に絞り部を設けると、レンズと基板、及び、絞りと基板では、密着性が異なることに起因して、離型時に絞り部と基板との境を起点に剥離が進展しやすくなることを見出した。この現象は、製造の時間短縮のために離型を速く行おうとするときに顕著に生じる。本発明者らは、前記第１絞り部と前記第１樹脂層との重複した面積が、前記基板を挟んで対向する前記第２絞り部と前記第２樹脂層との重複した面積よりも小さい場合であって、裏面にレンズが形成されていない状態でレンズの成形及び離型を行う場合、前記第１成形型から前記基板を離型させる方が、前記第２成形型から前記基板を離型させるよりも、レンズ剥離を抑制できることを見出した。従って、薄い基板を用いて裏面にレンズが形成されていない状態で他方の面にレンズを成形し離型を行えば、離型時に基板を撓ませることで離型を速く行うことができ、しかも離型の際にレンズが基板から剥離することも抑制することができる。更に、前記基板の一方の面に複数のレンズを形成したときは、前記基板の一方の面に複数のレンズを形成しない場合と比べると、レンズを付着させたことにより基板の剛性が増すため、離型時の基板の撓みを小さくして、基板からのレンズの剥離を抑制することができる。本発明は、これらの知見に基づいてなされたものであり、まず前記第１絞り部と重複する面積が小さい前記第１樹脂層を成形した後に、前記第１成形型から前記基板の離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図りつつ離型に要する時間を短くし、次いで、前記第１樹脂層を成形した前記基板の反対側に前記第２樹脂層を成形した後に、前記第２成形型から前記基板の離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っているのであり、これによりレンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。尚、絞り部とは、所定の径を有する開口と、当該開口の周囲を覆う遮光部とからなる。【００１１】
請求項２に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項１に記載の発明において、前記第１絞り部と前記第２絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする。【００１２】
前記第１絞り部と前記第２絞り部が、前記基板に付着される黒色レジスト材料であると、別体の絞り部材が不要になるとともに、ウエハレンズの光軸方向の厚みを小さくできる半面、離型時における基板との密着性が不足しやすく、本発明の効果が特に顕著である。【００１３】
請求項３に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項１又は２に記載の発明において、前記第１絞り部と前記第１樹脂層との重複した面積は、３ｍｍ2以下であることを特徴とする。【００１４】
例えば本発明の製造方法により製造したウエハレンズを、撮像レンズに用いた場合、用途やサイズ等により、絞り部の径は様々であるが、光学的な理由によって基板の表裏で絞り部の径が異なる場合は、絞り部とレンズとの重なりの小さい方を先に成形することで、本発明の効果が得られる。但し、第１絞り部と第１樹脂層との重複面積が大きすぎると、離型時の離型速度とレンズの剥離防止とを両立することが難しくなるので、前記第１絞り部と前記第１樹脂層との重複した面積は、３ｍｍ2以下であると好ましい。２ｍｍ2以下であるとさらに好ましい。【００１５】
請求項４に記載のウエハレンズの製造方法は、基板と、前記基板の対向する面上にそれぞれ設けられ複数の光学面を含む成形面を有する２つの樹脂層と、前記基板と一方の面上の第１樹脂層の間にのみに設けられた絞り部とを備えるウエハレンズの製造方法であって、
前記基板の一方の面上に、前記複数の光学面に対応づけて前記絞り部を形成する工程と、
複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第１転写型と、前記基板の他方の面との間に第１の硬化性樹脂材料を介在させて、前記第１樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第１成形型から離型する工程と、
前記第１樹脂層が形成された前記基板を前記第１成形型から離型した後に、複数の光学面に対応する複数の光学転写面を有する第２転写型と、前記基板の一方の面との間に少なくとも一部が前記絞り部に重なるように第２の硬化性樹脂材料を介在させて第２樹脂層を成形した後に、前記基板を前記第２成形型から離型する工程と、を有することを特徴とする。【００１６】
本発明では、まず前記基板の絞り部がない一方の面に樹脂層を成形した後に、前記第１成形型から前記基板の離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図りつつ、離型を速く行うことができる。次いで、前記基板の他方の面に樹脂層を成形した後に、前記第２成形型から前記基板の離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っているのであり、これによりレンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。【００１７】
請求項５に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項４に記載の発明において、前記絞り部は、前記基板に付着される黒色レジスト材料からなることを特徴とする。【００１８】
前記絞り部が、前記基板に付着される黒色レジスト材料であると、別体の絞り部材が不要になるとともに、ウエハレンズの光軸方向の厚みを小さくできる半面、離型時における基板との密着性が不足しやすく、本発明の効果が特に顕著である。【００１９】
請求項６に記載のウエハレンズの製造方法は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明において、前記硬化性樹脂材料は、前記複数の光学転写面毎に個別に付与されることを特徴とする。【００２０】
前記硬化性樹脂材料は、前記複数の光学転写面に個別に付与されると、個片化する際の切断作業が容易になり、また、離型時に基板を撓ませやすくなる半面、剥離の起点がレンズ毎に生じやすくなるので、本発明の効果が特に顕著である。【００２１】
請求項７に記載のレンズユニットは、請求項１〜６のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを切断することにより形成されたことを特徴とする。【００２２】
請求項８に記載のレンズユニットは、請求項１〜６のいずれかに記載のウエハレンズの製造方法により製造されたウエハレンズを積層した後、切断することにより形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、成形型を用いて基板の両面に複数のレンズを成形した場合に、成形型より基板を離型する際に、離型に要する時間を短くし、かつ、離型時のレンズの剥離を抑制できるウエハレンズの製造方法及びそれにより製造されるレンズユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１の実施形態にかかるウエハレンズＷＬを製造する工程（ａ）〜（ｈ）を説明するための概略図である。
【図２】ウエハレンズＷＬ、ＷＬ’を組み合わせて積層型レンズを製造する工程（ａ）、（ｂ）を説明するための概略図である。
【図３】第２の実施形態にかかるウエハレンズＷＬ”を製造する工程（ａ）〜（ｈ）を説明するための概略図である。
【図４】ウエハレンズＷＬの斜視図である。
【図５】（ａ）はレンズＬ１を光軸方向に見た図、（ｂ）はレンズＬ２を光軸方向に見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、ウエハレンズの製造方法にかかる各工程を示す図であるが、レンズの形状やサイズは代表的な例を模式的に誇張して示したものであり、これに限定されるものではなく、種々変更可能である。
【００２６】
（第１の実施形態）
まず、図１（ａ）に示すように、第１面Ｓ１と第２面Ｓ２を有する平行平板ガラス（もしくは樹脂）製の基板ＧＰを準備し、図１（ｂ）に示すように、基板ＧＰの、第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２に、黒色レジスト材料を塗布して、マスク露光及び現像を行うことにより、後述するレンズ部に対応する位置に等間隔に配置された、複数のドーナツ状の第１絞り部ＡＰ１及び第２絞り部ＡＰ２を形成する（図４も参照）。フォトリソ法等を用いて、絞り部を基板上に形成することで、金属製の絞り部材を別体で設ける必要がなく、光軸方向の厚みも小さくすることができる。なお、基板ＧＰの厚みは0.2〜0.7mm程度であり、離型時にある程度撓ませることができるものである。絞り部の形成については、例えば特開２０１０−７２６６５号公報に開示された技術を用いることができる。黒色塗料を用いてスクリーン印刷やインクジェットによる印刷で絞り部を形成してもよい。
【００２７】
次いで、光硬化性樹脂材料である第１の樹脂材料ＰＬ１を第１の成形型ＭＤ１のマトリクス状に並んだ複数のキャビティ（光学転写面）ＭＤ１ｃ内に、適量だけ個別滴下する。
そして、図１（ｃ）に示すように、第１の成形型ＭＤ１を基板ＧＰに接近させ、基板ＧＰの第１面Ｓ１上の第１絞り部ＡＰ１に対応する位置で、第１の樹脂材料ＰＬ１を基板ＧＰと第１の成形型ＭＤ１とで挟み込む。
【００２８】
かかる状態で、外部からＵＶ光などの所定波長の光を照射することで第１の樹脂材料ＰＬ１が硬化するので、これにより基板ＧＰの第１面Ｓ１に、第１のレンズ（第１樹脂層）Ｌ１が形成されることとなる。樹脂材料を個別滴下することで、光軸に垂直な方向に並ぶレンズ間に間隔ができるので、個片化の際にレンズの破損がしにくくなり、切断作業が容易になる。また、樹脂が基板全面を覆わないので、第１樹脂層成形後の離型時の基板の撓みを阻害しにくくなる。
【００２９】
次に、図１（ｄ）に示すように、第１の成形型ＭＤ１を固定した状態で、基板ＧＰの第１面Ｓ１の周囲の一部に楔状の（基板ＧＰの一部を把持する構成でも良い。以下同じ）治具ＺＧを差し込み、第１の成形型ＭＤ１から遠ざかる方向に少しずつ移動させると、基板ＧＰは治具ＺＧ側から第１の成形型ＭＤ１より離型し離れてゆくが、このとき第１のレンズＬ１が基板ＧＰ上に貼り付いたまま離型される。尚、図１（ｅ）に示すように、第１のレンズＬ１は、光学面ＯＰ１と、その周囲のフランジ部ＦＬ１とを有するが、その境界は、光学面ＯＰ１及びフランジ部ＦＬ１より第１面Ｓ１に近くなっている。即ち、フランジ部ＦＬ１は、第１の樹脂材料ＰＬ１の量がばらついたでも、キャビティＭＤ１ｃから溢れないように機能する。光学面ＯＰ１及びフランジ部ＦＬ１の表面が成形面を構成する。
【００３０】
ついで、図１（ｅ）に示すように基板ＧＰを反転し、第１のレンズＬ１を上面側とし、第２面Ｓ２を基板ＧＰの下面側とする。なお、本実施形態では成形型に樹脂材料を供給しており、気泡の抑制等に有利であるが、これに限るものではなく、基板側に供給してもよい。
【００３１】
更に、光硬化性樹脂材料である第２の樹脂材料ＰＬ２を、上述したキャビティＭＤ１ｃに対応して形成された第２の成形型ＭＤ２の一列又はマトリクス状に並んだ複数のキャビティ（光学転写面）ＭＤ２ｃ内に、適量だけ個別滴下する。そして、図１（ｆ）に示すように、第２の成形型ＭＤ２を基板ＧＰに接近させ、基板ＧＰの第２面Ｓ２上の第２絞り部ＡＰ２に対応する位置で、第２の樹脂材料ＰＬ２を基板ＧＰと第２の成形型ＭＤ２とで挟み込む。
【００３２】
かかる状態で、外部からＵＶ光などの所定波長の光を照射することで第２の樹脂材料ＰＬ２が硬化するので、これにより基板ＧＰの第２面Ｓ２に、第２のレンズ（第２樹脂層）Ｌ２が形成されることとなる。なお、第２樹脂材料は第１樹脂材料と同じものを用いてもよいし、異なる種類のものを用いてもよい。
【００３３】
次に、図１（ｇ）に示すように、第２の成形型ＭＤ２を固定した状態で、基板ＧＰの第２面Ｓ２の周囲の一部に楔状の治具ＺＧを差し込み、第２の成形型ＭＤ２から遠ざかる方向に移動させると、基板ＧＰは治具ＺＧ側から第２の成形型ＭＤ２より離型し離れてゆくが、このとき第２のレンズＬ２が基板ＧＰ上に貼り付いたまま離型される（図１（ｈ））。これにより図４に示すようなウエハレンズＷＬが形成される。尚、図５（ｂ）に示すように、第２のレンズＬ２も、光学面ＯＰ２と、その周囲のフランジ部ＦＬ２とを有するが、その境界は、光学面ＯＰ２及びフランジ部ＦＬ２より第２面Ｓ２に近くなっている。光学面ＯＰ２及びフランジ部ＦＬ２の表面が成形面を構成する。なお、図４には、基板の表面のレンズのみを図示されているが、基板の裏面にもレンズが形成されている。
【００３４】
図５（ａ），（ｂ）は、レンズＬ１、Ｌ２を光軸方向に見た図である。図５（ａ）、（ｂ）を参照して、光軸方向から見たときに、第１絞り部ＡＰ１と第１のレンズＬ１との重複したドーナツ状の面積（上図中のハッチング領域）の内径がφ１で、外径がφ２であり、また第２絞り部ＡＰ２と第２のレンズＬ２との重複したドーナツ状の面積（下図中のハッチング領域）の内径がφ３で、外径がφ４であるときに、以下の式が成立する。
π（（φ２−φ１）／２）2＜π（（φ４−φ３）／２）2      （１）
【００３５】
本実施形態によれば、上述した式（１）に従い、第１絞り部ＡＰ１との重複した面積が小さい第１のレンズＬ１を成形した後に、第１の成形型ＭＤ１から基板ＧＰの離型を行うことで、密着性の高いレンズを成形し、基板の裏面にレンズのない状態で基板を撓ませて離型を行うことにより、レンズ剥離の抑制を図りつつ、比較的短時間で離型を行うことができる。次いで、第１のレンズＬ１を成形した基板ＧＰの反対側の第２面Ｓ２に第２のレンズＬ２を成形した後に、第２の成形型ＭＤ２から基板ＧＰの離型を行うことで、更にレンズ剥離の抑制を図っている。これにより、レンズ剥離の発生を最小限に抑えることができる。
【００３６】
更に、同様な工程を経て、基板ＧＰ’に第１のレンズＬ１’と第２のレンズＬ２’を有する別のウエハレンズＷＬ’を形成した後に、基板ＧＰ、ＧＰ’に形成した不図示のアライメントマークなどを基準として、図２（ａ）に示すように、２つのウエハレンズＷＬ、ＷＬ’の各レンズの光軸を合わせつつ、スペーサＳＰを介してウエハレンズＷＬ、ＷＬ’を重ね合わせ、接着剤を塗布して固定する。
【００３７】
その後、ウエハレンズＷＬ及びＷＬ’を接合した中間生成体ＩＭから、基板の平面方向に並ぶレンズ間を、図２（ａ）に示す点線で示す位置でダイシングすることにより切断して、図２（ｂ）に示すようなレンズユニットＬＳを得ることができる。尚、中間生成体ＩＭを切断することなく、そのまま複眼用レンズユニットとして用いることもできる。つまり、平面方向に並ぶ各積層レンズ部がそれぞれ異なる位置に結像することで得られる複数の画像を合成してより解像度の高い画像を得るいわゆる複眼型撮像装置に用いられる複眼用レンズユニットとして用いることができる。本例のレンズユニットＬＳは、物体側から、物体側に凸の第１レンズＬ１，像側に凹の第２レンズＬ２，物体側に凸の第３レンズＬ２’、像側に凹の第４レンズＬ１’からなり、第２絞り部ＡＰ２の開口径が最も小さく、それより第１絞り部ＡＰ１及び第３絞り部ＡＰ２’の開口径が大きく、更に第４絞り部ＡＰ１’の開口径が最も大きくなっている。具体的な例としては、各レンズの重複部の面積の比率が、Ｌ１：Ｌ２：Ｌ１’：Ｌ２’＝２．２７：１．３５：１．６３：１．８８とすることができる。もちろん、光学特性が損なわれない範囲でこれらの比率を変化させてもよい。絞り部とレンズとの重複部分の面積を光学特性が損なわれない範囲で変えることにより、離型時のレンズの剥離防止と離型時間の短縮とを両立させることができる。
【００３８】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について、図３を参照して説明する。なお、以下の説明で説明した箇所以外は第１実施形態と同様である。まず、図３（ａ）に示すように、第１面Ｓ１と第２面Ｓ２を有する平行平板ガラス（もしくは樹脂）製の基板ＧＰを準備するが、図３（ｂ）に示すように、基板ＧＰの第２面Ｓ２にのみ、等間隔にドーナツ状の黒いレジストを塗布して、第２絞り部ＡＰ２を形成する。
【００３９】
次いで、光硬化性樹脂材料である第１の樹脂材料ＰＬ１を第１の成形型ＭＤ１の一列又はマトリクス状に並んだ複数のキャビティ（光学転写面）ＭＤ１ｃ内に、適量だけ個別滴下する。これは上述した実施形態と同様な位置である。そして、図３（ｃ）に示すように、第１の成形型ＭＤ１を基板ＧＰに接近させ、第１の樹脂材料ＰＬ１を基板ＧＰと第１の成形型ＭＤ１とで挟み込む。
【００４０】
かかる状態で、外部からＵＶ光などの所定波長の光を照射することで第１の樹脂材料ＰＬ１が硬化するので、これにより基板ＧＰの第１面Ｓ１に、第１のレンズ（樹脂層）Ｌ１が形成されることとなる。
【００４１】
次に、図３（ｄ）に示すように、第１の成形型ＭＤ１を固定した状態で、基板ＧＰの第１面Ｓ１の周囲の一部に楔状の治具ＺＧを差し込み、第１の成形型ＭＤ１から遠ざかる方向に移動させると、基板ＧＰは治具ＺＧ側から第１の成形型ＭＤ１より離型し離れてゆくが、このとき第１のレンズＬ１が基板ＧＰ上に貼り付いたまま離型される。
【００４２】
ついで、図３（ｅ）に示すように基板ＧＰを反転し、第１のレンズＬ１を上面側とし、第２面Ｓ２を基板ＧＰの下面側とする。
【００４３】
更に、光硬化性樹脂材料である第２の樹脂材料ＰＬ２を、上述したキャビティＭＤ１ｃに対応して形成された第２の成形型ＭＤ２の一列又はマトリクス状に並んだ複数のキャビティ（光学転写面）ＭＤ２ｃ内に、適量量だけ個別滴下する。そして、図３（ｆ）に示すように、第２の成形型ＭＤ２を基板ＧＰに接近させ、基板ＧＰの第２面Ｓ２上の第２絞り部ＡＰ２に対応する位置で、第２の樹脂材料ＰＬ２を基板ＧＰと第２の成形型ＭＤ２とで挟み込む。
【００４４】
かかる状態で、外部からＵＶ光などの所定波長の光を照射することで第２の樹脂材料ＰＬ２が硬化するので、これにより基板ＧＰの第２面Ｓ２に、第２のレンズ（樹脂層）Ｌ２が形成されることとなる。
【００４５】
次に、図３（ｇ）に示すように、第２の成形型ＭＤ２を固定した状態で、基板ＧＰの第２面Ｓ２の周囲の一部に楔状の治具ＺＧを差し込み、第２の成形型ＭＤ２から遠ざかる方向に移動させると、基板ＧＰは治具ＺＧ側から第２の成形型ＭＤ２より離型し離れてゆくが、このとき第２のレンズＬ２が基板ＧＰ上に貼り付いたまま離型される。これにより第１面Ｓ１に絞り部がないウエハレンズＷＬ”が形成される（図３（ｈ））。
【００４６】
本実施形態によれば、第１のレンズＬ１と基板ＧＰとの間に絞り部がないので、第１のレンズＬ１を成形した後に、第１の成形型ＭＤ１から基板ＧＰの離型を行うことで、レンズ剥離の抑制を図り、次いで、第１のレンズＬ１を成形した基板ＧＰの反対側の第２面Ｓ２に第２のレンズＬ２を成形した後に、第２の成形型ＭＤ２から基板ＧＰの離型を行うことで、第２の絞り部ＡＰ２が形成されていても、両面でのレンズ剥離の抑制を図ることができる。基板の一方の面には絞りがないため、レンズと基板の密着性が高く、基板を撓ませて離型することで速く離型を行うことができる。尚、このようにして形成されたウエハレンズＷＬ”は、図２に示すように、別のウエハレンズと組み合わせて切断した後に、レンズユニットを形成できる。
【００４７】
本発明は、明細書に記載の実施形態に限定されるものではなく、他の変形例を含むことは、本明細書に記載された実施形態や技術思想から本分野の当業者にとって明らかである。明細書の記載及び実施形態は、あくまでも例証を目的としており、本発明の範囲は後述するクレームによって示されている。例えば、ウエハレンズの積層は２層のみならず、３層以上でも良い。又、レンズや絞り部の形状は円形に限られず、非円形でも良く、その場合でも、重複した領域の面積同士を比較する。
【符号の説明】
【００４８】
ＡＰ１ 第１の絞り部
ＡＰ２ 第２の絞り部
ＦＬ１ フランジ部
ＦＬ２ フランジ部
ＧＰ 基板
ＩＭ 中間生成体
Ｌ１ 第１のレンズ
Ｌ２ 第２のレンズ
ＬＳ レンズユニット
ＭＤ１ 第１の成形型
ＭＤ１ｃ キャビティ
ＭＤ２ 第２の成形型
ＭＤ２ｃ キャビティ
ＯＰ１ 光学面
ＯＰ２ 光学面
ＰＬ１ 第１の樹脂材料
ＰＬ２ 第２の樹脂材料
Ｓ１ 第１面
Ｓ２ 第２面
ＳＰ スペーサ
ＷＬ、ＷＬ’、ＷＬ” ウエハレンズ
ＺＧ 治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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