【手続補正書】
【提出日】平成27年4月14日(2015.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次側コイルを備えた一次側部材と、二次側コイルを備えた二次側部材とを有し、前記一次側部材又は前記二次側部材が移動体に取り付けられて前記移動体とともに移動し、前記一次側コイルと前記二次側コイルが互いに平行で向かい合わせになるように配置された電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法であって、
一定速度の速度指令値によって前記移動体を移動させ、前記電磁誘導式位置検出器で前記移動体の位置を検出して検出位置を取得する検出位置取得処理と、
前記検出位置と前記二次側コイルのコイルピッチとに基づき、又は、前記検出位置と前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、又は、前記二次側コイルのコイルピッチと前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、所定の移動区間において前記移動体が前記一定速度で移動したことを判断する一定速度判断処理と、
前記移動区間における何れかのコイルピッチの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、前記基準検出位置を取得してからの経過時間と前記一定速度との乗算値を、前記基準検出位置に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理と
を行うことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項２】
請求項１に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項３】
請求項１に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項４】
請求項１に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記補正データ取得処理では、
前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ0とし、
前記移動区間における他の何れかのコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ0＋Ｔとし、
前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を、基準検出位置Ｘ（ｔ0）とし、
前記基準検出位置Ｘ（ｔ0）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）（ｍはインデックス番号）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとし、
Δｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをし、又は、Δｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ0＋ｔ（ｍ））との対応づけをし、
インデックス番号ｍに対応する補正データＥ（ｍ）を、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ0）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ0＋ｔ（ｍ））の式によって算出する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記移動区間を複数とし、これら複数の移動区間で補正データを取得し、これら複数の補正データの平均値を最終的な補正データとすることを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記補正データをフーリエ変換して、スぺクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）メモリに記憶しておき、
前記メモリから成分Ｆ（ｉ）を読み出し、逆フーリエ変換をして補正データを求めること
を特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、第３発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、第４発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
第３発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第４発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
その結果、第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４とスケールコイル１６との間の電磁誘導作用により、スケールコイル１６には下記の（１３）式のような誘起電圧Ｖが発生する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
従って、この場合、閾値を±Ｌとすると、下記の（２２）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。なお、Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）とｎ＊ｐ±Ｌとの関係については、図３（ａ）にも例示している。
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌ      （２２）
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
従って、この場合、閾値を±Ｌとすると、下記の（２４）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌ      （２４）
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
時間ｔ0における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ0）とする。
時間ｔ0＋Ｔ1における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）とする。
移動体２１（スライダ１２）が、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）である所定の移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とする。なお、ここでは電磁誘導式位置検出器１１としてリニア形スケールの例（図１）を示しているため、前記移動量は移動距離である（ロータリ形スケールの場合には回転角度になる）。
この場合の移動時間Ｔ2は前述の一定の移動時間Ｔ1とは異なり、移動体２１（スライダ１２）が前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を移動するのに要したと判断された時間であり、検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）に含まれる誤差の大きさ応じて変わる。
コイルピッチｐは、リニア形スケールの場合には例えば２ｍｍ（ロータリ形スケールの場合には例えば２度）である。
コイルピッチ数ｎは、例えば２５６ピッチとする。
前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）は、例えばスケールコイル１６の１０１番目のコイルピッチｐから、スケールコイル１６の３５６番目（コイルピッチ数ｎが２５６の場合）のコイルピッチｐまでの区間として設定する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）には誤差が含まれているため、検出位置Ｘ（ｔ0）から検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）までの移動量Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）と、理想移動量ｎ＊ｐとの関係は、下記の（２４）式のようになる。
Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≒ｎ＊ｐ      （２５）
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
また、検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）に誤差が含まれていなければ、移動時間Ｔ2は一定の移動時間Ｔ1と同じになるため、検出位置Ｘ（ｔ0）から検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）までの区間において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したとすれば、Ｓ＊Ｔ2とｎ＊ｐは等しくなる。
しかし、実際には検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）には誤差が含まれており、このときの移動時間Ｔ2は一定の移動時間Ｔ1と同じにはならないため、移動量Ｓ＊Ｔ2と理想移動量ｎ＊ｐの関係も、下記の（２６）式となる。
Ｓ＊Ｔ2≒ｎ＊ｐ      （２６）
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
そして、この場合には移動時間Ｔ2が検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）に含まれる誤差の大きさ応じて変わるため、一定速度の判断には上記の（２４）式の関係ではなく、上記の（２５）式の関係を利用することができる。
即ち、Ｓ＊Ｔ2がｎ＊ｐに近ければ、検出位置Ｘ（ｔ0）から検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）までの区間、即ち前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｔ0やＴ2などの時間は検出制御装置１８の検出制御部１８Ａに設けられているクロックのカウント数で計測することができる（他の時間計測手段によって計測するようにしてもよい）。
従って、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ0）を取得してから、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）を取得するまでの経過時間（移動時間）、即ち移動体２１（スライダ１２）が前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を移動するのに要したと判断される移動時間Ｔ2は、検出制御部１８Ａにおいて知ることができる。また、一定速度Ｓとコイルピッチｐとコイルピッチ数ｎは既知の値である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
従って、閾値を±Ｌとすると、下記の（２７）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2≦ｎ＊ｐ＋Ｌ      （２７）
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
（３）  検出位置の補正
その後、検出制御装置１８（検出制御部１８Ｂ）では、移動体２１（スライダ１２）を移動させて実際の作業（例えば工作機械による加工）を行うときなどにおいて、検出位置Ｘ（ｔ）の補正を行う場合には、固定メモリ１８Ｂから補正データＥ（ｍ）を読み出す。
そして、下記の（３１）式に基づき、検出位置Ｘ（ｔ0＋ｔ（ｍ））に固定メモリ１８Ｂから読み出した補正データＥ（ｍ）を加算することによってＸ’（ｔ0＋ｔ（ｍ））を求め、このＸ’（ｔ0＋ｔ（ｍ））を補正した検出位置として出力する。
Ｘ’（ｔ0＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ0＋ｔ（ｍ））＋Ｅ（ｍ）      （３１）
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、前記一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、前記一定速度判断処理（第２の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法によれば、前記一定速度判断処理（第３の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。