Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
浴室の洗い場の立ち上がり壁の上端にカウンターを設けると共にカウンターの上面に水栓を設置し、洗い場の立ち上がり壁の前面側に水栓に対応する位置でスチーム発生装置を設置し、洗面器を上に置くことができる洗面器置き台をカウンターの上面より低い位置でスチーム発生装置の上に配設して成ることを特徴とする浴室のスチームサウナ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、浴室のスチームサウナ装置に関し、詳しくはスチーム発生装置の設置する構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の浴室のスチームサウナ装置にあっては、図３に示すように浴室１の洗い場２でカウンター３′に湯水混合水栓のような水栓４を設置し、この位置で洗い場２の床パン５の立ち上がり壁６の前面側にスチーム発生装置７を設置し、スチーム発生装置７の前面側を前カバー８にて覆い、カウンター３′に前方に円弧状に出っ張る出っ張り部９をカウンター３′と一体に設け、この出っ張り部９でスチーム発生装置７の上面を覆っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例にあっては、スチーム発生装置７の上面を隠すためにカウンター３′に出っ張り部９を設けているが、この出っ張り部９は他の目的ために使用できないためデッドスペースとなり、浴室内の有効スペースを減らすという問題がある。
【０００４】
本発明は叙述の点に鑑みてなされたものであって、本来デッドスペースとなるスチーム発生装置の上面側を洗面器置き台として使用でき、スチーム発生装置による出っ張りを有効スペースとして使用できる浴室のスチームサウナ装置を提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の浴室のスチームサウナ装置は、浴室１の洗い場２の立ち上がり壁６の上端にカウンター３を設けると共にカウンター３の上面に水栓４を設置し、洗い場２の立ち上がり壁６の前面側に水栓４に対応する位置でスチーム発生装置７を設置し、洗面器１０を上に置くことができる洗面器置き台１１をカウンター３の上面より低い位置でスチーム発生装置７の上に配設して成ることを特徴とする。スチーム発生装置７の上面を洗面器置き台１１にて覆うことでスチーム発生装置７の上面を隠して外観よくできるのは勿論、洗面器置き台１１を利用して洗面器１０を上に置くことができてスチーム発生装置７の上面側がデッドスペースとなることなく有効に利用できる。また洗面器１０を洗面器置き台１１の上に置くことで洗面器１０の高さを高くして高齢者でも腰を曲げたりしなくても使用できるようになる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
浴室１内には浴槽１２に隣接するように洗い場２を設けてあり、洗い場２の床パン５に立ち上がり壁６を設けてあり、立ち上がり壁６の上端にカウンター３を一体に設けてある。カウンター３の上面は湯水混合水栓のような水栓４を設置してある。この水栓４に対応する位置で立ち上がり壁６の前面側にはスチーム発生装置７を設置してあり、スチーム発生装置７の前面側にはスチーム発生装置７を覆う前カバー８を配置してある。この前カバー８はスチーム発生装置７の前面側だけでなく上面側も覆うようになっていることが好ましい。前カバー８の下部にはスチーム吹き出し口２０を設けてあり、スチーム吹き出し口２０から浴室１内にスチームを吹き出すようにしてある。スチーム発生装置７は高温のスチームを発生するものであり、ミストノズル１３、ヒータ（図示せず）、電動弁１４、サーモスタット１５、定流量弁１６、止水栓１７、排湯口１８等を有している。スチーム発生装置７の上面の上には洗面器置き台１１が配置され、ブラケット等で立ち上がり壁６に取り付けてある。このように洗面器置き台１１が取り付けられ、洗面置き台１１はカウンター３の上面より一段低くなっている。この洗面器置き台１１には洗面器１０が置かれるが、洗面器１０を置いた状態で洗面器１０が水栓４のスパウト１９の真下に位置するようになっている。このように洗面器１０を洗面器置き台１１の上に置いた状態で使用すると、洗面器１０と高い位置に保持でき、高齢者でも腰を曲げたりすることなく楽に使用できる。またスチーム発生装置７でスチームを発生すると、スチーム吹き出し口２０からスチームを浴室１内に吹き出し、浴室１内にスチームを充満させた状態でスチームサウナ浴ができる。なお、洗面器置き台１１には上記のように洗面器１０を置く以外にその他の物を置くこともできる。
【０００７】
【発明の効果】
本発明は叙述のように浴室の洗い場の立ち上がり壁の上端にカウンターを設けると共にカウンターの上面に水栓を設置し、洗い場の立ち上がり壁の前面側に水栓に対応する位置でスチーム発生装置を設置し、洗面器を上に置くことができる洗面器置き台をカウンターの上面より低い位置でスチーム発生装置の上に配設しているので、スチーム発生装置の上面を洗面器置き台にて覆うことでスチーム発生装置の上面を隠して外観よくできるのは勿論、洗面器置き台を利用して洗面器を上に置くことができてスチーム発生装置の上面側がデッドスペースとなることなく有効に利用できるものであり、また洗面器を洗面器置き台の上に置くことで洗面器の高さを高くして高齢者でも腰を曲げたりしなくても使用できるようになるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例の一部切欠斜視図である。
【図２】同上の要部の拡大断面図である。
【図３】従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  浴室
２  洗い場
４  水栓
６  立ち上がり壁
７  スチーム発生装置
１０  洗面器
１１  洗面器置き台
【図１】
0003591262.tif 000002
【図２】
0003591262.tif 000003
【図３】
0003591262.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エレメントを牽引するケーブルを牽引方向には把持し、引き戻す方向には開放するチャック開放装置をエレメントまたは羽口に取り付けるとともに、発進立坑側及び到達立坑側にそれぞれ反力部材を介してジャッキ及びチャックを設置し、発進立坑側のチャックと到達立坑側のチャック間に、チャック開放装置を通して牽引ストロークより余してケーブルを張り、発進立坑側のチャックを開放し、チャック開放装置と到達立坑側のチャックでケーブルを把持して到達立坑側ジャッキで牽引し、チャック開放装置と到達立坑側のチャックを開放して発進立坑側のチャックでケーブルを把持して発進立坑側ジャッキで引き戻すことにより、ケーブルを前後させてエレメントを前進させ、施工することを特徴とするエレメント牽引施工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は地中にエレメントを推進して施工する施工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
軌道下に構造物を構築する場合、相互に継手で嵌合する鋼製エレメントを地中に施工して防護工とするとともに、そのまま本体構造物の一部とすることが行われている。エレメントの施工は、発進側立坑から前面に羽口を取り付けたエレメントを到達側立坑の牽引ジャッキによりＰＣ鋼より線で牽引し、所定距離牽引するごとに単位長のエレメントを継ぎ足し、到達立坑内においてＰＣ鋼より線を巻き取ることにより行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のエレメント施工方法では、到達立坑が周辺の状況により所定の大きさを確保できない場合、牽引したＰＣ鋼より線を巻き取ることが不可能となり、牽引ストローク毎にＰＣ鋼より線を切断している。そのため、ＰＣ鋼より線の再使用ができなくなり、コスト高となってしまう。また、到達立坑が所定の大きさを確保可能な場合であっても、ＰＣ鋼より線の巻き取りスペース部分が過大となり、立坑仮土留工が増加してコスト高になってしまい、また、立坑内掘削量が増加して同様にコスト高となってしまう。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するためのもので、牽引用ケーブルを切断することなくエレメントを地中に施工でき、到達立坑の大きさを縮小可能にして、仮土留工、掘削量を低減化し、コスト削減を図ることを目的とする。
そのために請求項１の発明は、エレメントを牽引するケーブルを牽引方向には把持し、引き戻す方向には開放するチャック開放装置をエレメントまたは羽口に取り付けるとともに、発進立坑側及び到達立坑側にそれぞれ反力部材を介してジャッキ及びチャックを設置し、発進立坑側のチャックと到達立坑側のチャック間に、チャック開放装置を通して牽引ストロークより余してケーブルを張り、発進立坑側のチャックを開放し、チャック開放装置と到達立坑側のチャックでケーブルを把持して到達立坑側ジャッキで牽引し、チャック開放装置と到達立坑側のチャックを開放して発進立坑側のチャックでケーブルを把持して発進立坑側ジャッキで引き戻すことにより、ケーブルを前後させてエレメントを前進させ、施工することを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。
図１は本発明のエレメント牽引施工方法を説明する図である。
軌道下を横断して地下構造物を構築する場合、まず発進立坑２、到達立坑３を掘削して立坑間の盛土壁に土留壁４を施工し、基準エレメント牽引用のケーブル、例えばＰＣ鋼より線１０を水平ボーリングによって到達立坑側から挿入し、エレメントを牽引する反力を得るための反力部材５を施工する。次いで、図示しない架台設備等を設置した後、到達立坑側では反力部材５にＰＣ鋼より線１０を把持するチャック８とエレメント牽引用のジャッキ６を設置し、発進立坑側でも反力部材５にＰＣ鋼より線を把持するチャック９とＰＣ鋼より線１０を引き戻すためのジャッキ７等を設置する。また、発進立坑側では、ジャッキ７に代えてケーブルを引き戻すだけの力を持ったスプリングやゴムバンドでケーブルを支持してもよい。
【０００６】
次いで、地中に推進するエレメント１１を据え付け、このときその前面に掘削用の羽口１２、ＰＣ鋼より線１０を把持するためのチャック１３を取り付ける。チャック１３はエレメントを牽引するときはＰＣ鋼より線１０を把持して牽引力をエレメントに伝達し、ＰＣ鋼より線のみ引き戻すときはこれを開放する機構が備えられており、市販のチャック開放装置を使用することができる。なお、チャック１３は羽口１２の前面に取り付けても良い。本発明では、ＰＣ鋼より線１０を発進立坑側のチャック９と到達立坑側のチャック８間に、エレメントのチャック１３を通して牽引ストロークより余して張り、これを前後させながらエレメントを牽引する。
【０００７】
次に、エレメントの推進について説明すると、発進立坑側のチャック９を開放し、到達立坑側のチャック８、エレメントのチャック１３でＰＣ鋼より線１０を把持し、ジャッキ６により牽引を開始する。このとき、発進立坑側のチャック９からは１回の牽引ストローク分以上の長さだけＰＣ鋼より線１０が余った状態にある。そして、１ストローク分、例えば５０ｃｍ牽引すると、到達立坑側チャック８、エレメントのチャック１３を開放し、発進立坑側のチャック９でＰＣ鋼より線１０を把持し、牽引した１ストローク分だけジャッキ７でＰＣ鋼より線１０を引き戻す。再び、発進立坑側のチャック９を開放し、到達立坑側のチャック８、エレメントのチャック１３でＰＣ鋼より線１０を把持してジャッキ６により牽引した後、到達立坑側チャック８、エレメントのチャック１３を開放し、発進立坑側のチャック９でＰＣ鋼より線１０を把持し、牽引した１ストローク分だけジャッキ７でＰＣ鋼より線１０を引き戻す。こうして順次ＰＣ鋼より線の牽引、引き戻しを繰り返し、１ストロークずつエレメント１１が推進される。そして、単位エレメントが推進されると、次の単位エレメントをボルトや溶接で接続し、同様に牽引、引き戻しを繰り返すことにより、エレメントが施工される。
【０００８】
この方法によれば、牽引用のケーブルは、単に前後動させて使用するだけであるので最初に設置した長さ分だけあれば足り、牽引した分を切断することは必要ではなく、到達立坑の大きさを大幅に縮小することができ、仮土留や掘削量の削減を図ることができる。
【０００９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、牽引用ケーブルを切断することなくエレメントを施工でき、ケーブルのコスト削減を図ることが可能であり、また到達立坑の大きさを縮小することができるので、仮土留や掘削量の削減を図ることができ、コスト減を達成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエレメント牽引施工方法を説明する図である。
【符号の説明】
１…軌道、２…発進立坑、３…到達立坑、４…土留壁、５…反力部材、６…ジャ，７…ジャッキ、８，９…チャック、１０…ＰＣ鋼より線、１１…エレメント、１２…羽口、１３…チャック。
【図１】
0003575755.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下嵌合する上容器と下容器とから成り、上容器は前後の壁間において、手指で握る握り台を設け、一側壁の下端に嵌合用の突起を突設し、上記一側壁に続く底盤部は前部を折り上げ形成した仕切板の前端に嵌合用凹部を垂設して成り、
下容器は前後の壁間において、同じく一側壁を傾斜した傾斜壁として上下容器嵌合時に上容器の一側壁との間に親指挿入部を形成し、傾斜壁下端に続いて底盤部の一部を形成する底板上に上容器の突起を緩嵌する受座を設け、上記底板前端と間隙をとって刃物板を上記底板より下段に設け、刃物板は底板に面した縁を刃部とし、前端上には上容器の嵌合凹部に嵌合する嵌合突起を設けて成る、魚のうろこ落し具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は魚のうろこ落しの分野に属し、手動のうろこ落し具にかかわる。
【０００２】
【従来の技術】
一般に魚のうろこ落しはほうちょうや熊手ようのもので行っているが、その際にうろこが飛散しその片づけに手数がかかっている。また、ほうちょう等では柄を持ち刃先でうろこ落しをするため、うろこ落しが細かくなり手数をかけていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は手動のうろこ落しにおいて、うろこを飛散させることなく収容するとともに、握力による押しつけによってうろこ落しができるようにしようとするものである。
【０００４】
上記の課題に対しこの発明の魚のうろこ落し具は、上下嵌合する上容器と下容器とから成り、上容器は前後の壁間において、手指で握る握り台を設け、一側壁の下端に嵌合用の突起を突設し、上記一側壁に続く底盤部は前部を折り上げ形成した仕切板の前端に嵌合用凹部を垂設して成り、
下容器は前後の壁間において、同じく一側壁を傾斜した傾斜壁として上下容器嵌合時に上容器の一側壁との間に親指挿入部を形成し、傾斜壁下端に続いて底盤部の一部を形成する底板上に上容器の突起を緩嵌する受座を設け、上記底板前端と間隙をとって刃物板を上記底板より下段に設け、刃物板は底板に面した縁を刃部とし、前端上には上容器の嵌合凹部に嵌合する嵌合突起を設けて成る。
【０００５】
【実施例】
この発明の実施例を図によって説明すると、概要は図１に示す上容器ａ部と図３に示す下容器ｂ部とから成り、図５に上容器ａと下容器ｂを嵌合した状態を断面にして示している。
【０００６】
上容器ａは図１において、上部に掌を置ける奥行きと左右幅の握り台１を前後の側壁２間に設け、左側壁３を垂直状とし、左側壁３下端に突起４を奥行き方向の前後に突設している。底盤部５は左側壁３に続く底板６とそれより折り上げて握り台１よりも右方へ伸びた仕切板７とから成り、仕切板７の前端に半球状の嵌合凹部８を垂設している。嵌合凹部８は奥行き方向の前後に設けられる。図２において側壁２が鎖線により右側部が切除された場合を示しているが、この場合には底盤部５は底板６を支点として仕切板７が上下遊動可能となり、下容器ｂとの嵌合時に後記のように使用される。
【０００７】
上容器ａは上記の構成であるから、握り台１に掌を置き、側壁３に親指を当接し、握り台１と側壁２、３と底盤部５に囲まれた空間９に指を入れて握ると確実に把持される。
上容器ａは合成樹脂製で、握り台１内は空洞である。
【０００８】
下容器ｂは図３において、奥行き方向の前後の側壁１０間に上容器ａが嵌入し外形上一体化する形状をとっている。したがって、上部は握り台１に当接し、下部は上容器の底盤部５に当接するが、下容器ｂの図において左の外方への傾斜壁１１により上容器の左側壁３との間に親指挿入部１２が形成され側壁１０がその前後を塞ぐ形状となっている。
底盤部１３は傾斜壁１１に続く底板１４と刃物板１５とから成り、底板１４上には上容器の突起４が緩く嵌入できる受座１６が奥行き方向の前後に設けられ、刃物板１５は底板１４と所要の間隙をとり、かつ、底板１４よりも下段の位置で側壁１０間に設けられる。上記所要の間隙は図５に示すように、握り台１の中央からの垂線下に刃物板１５左端の刃部１８が位置するようにとることが望ましい。刃部１８と底板１４間には斜め下向きの刃口１７が形成される。刃物板１５の右端に上容器の嵌合凹部８に嵌合する突起１９を奥行き方向の前後に突設している。
【０００９】
上記突起１９は図４に示すように傾斜することが望ましい。それは、上容器の突起４を下容器の受座１６に緩挿し、次いで上容器の嵌合凹部８を下容器の突起１９に押しかぶせたときに、嵌合凹部８の半球状内の内広がりによって突起１９を保持し、反対に離脱しようとする動きには凹部の開口周縁により係止しようとするためである。
また、（０００６）に記した仕切板７が上下遊動可能であると、嵌合凹部８と突起１９との嵌合時に仕切板７を揚げて嵌合の見当がつけられるので、嵌合を行いやすくなる。
下容器ｂは上容器ａと同様の合成樹脂で作られる。
【００１０】
上容器ａを下容器ｂに入れ、突起４を受座１６に緩挿し嵌合凹部８を突起１９に押しかぶせると上下容器ａ、ｂは一体となり、親指挿入部１２と握り台１の下方の空間９とは上容器の底盤部５によって底面が仕切られる。さらに、下容器の底盤部１３には傾め下方へ開口した刃口１７と刃部１８とが位置し、刃口１７に続く上方に底盤部５、１３に囲まれたうろこ溜り２０が形成される。
【００１１】
上記嵌合したこの発明のうろこ落し具を使用するには、親指を同挿入部１２に入れ空間９に他の手指を入れて握り台１を握り、図６に示すように下容器の底盤部１３を魚の腹に当て刃物板１５を押し動かすと、うろこは刃部１８に剥がれてうろこ溜り２０に溜まる。
【００１２】
この発明によれば、握り台の中央から垂線下に刃部が位置されるから、握力による押しつけによってのうろこ落しとなって効率がよく、剥がされたうろこは握り台を一体とした上容器と、刃部を一体にした下容器とで形成されるうろこ溜まりに飛散しないで収容されるから、その際に指を汚さずに、上容器と下容器とは、左方では上容器の突起を下容器の受座に緩挿し、右方では上容器の嵌合凹部の半休状内の内広がりによって下容器の突起を保持するから、解体し易く、うろこ溜まりは分解されて露出するから清掃し易い効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の上容器の斜視図。
【図２】図１の縦断面図。
【図３】この発明の下容器の斜視図。
【図４】図３の縦断面図。
【図５】上下容器の嵌合時の縦断面図。
【図６】この発明うろこ落し具の使用を示す正面図。
【符号の説明】
ａ  上容器
ｂ  下容器
１  握り台
２  側壁
３  左側壁
４  突起
５  底盤部
６  底板
７  仕切板
８  嵌合凹部
９  空間
１０  側壁
１１  傾斜壁
１２  親指挿入部
１３  底盤部
１４  底板
１５  刃物板
１６  受座
１７  刃口
１８  刃部
１９  突起
２０  うろこ溜り
【図１】
0003575795.tif 000002
【図２】
0003575795.tif 000003
【図３】
0003575795.tif 000004
【図４】
0003575795.tif 000005
【図５】
0003575795.tif 000006
【図６】
0003575795.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電池が並列接続されるとともにそれらが直列接続されて収納される電池ケースであって、直列の電池間において電池の長手方向に可動の絶縁板を設け、絶縁板の板厚を電池の＋極の高さ以下にするとともに、絶縁板には＋極が通る孔または切り欠きを設け、絶縁板の片面において並列の電池の−極間にまたがる金属片を設けた電池ケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電池ケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電池を電源として、より高電圧かつ高容量を得るための電池電源装置としては、例えば図４に示すものが考えられる。この図において、１〜４はそれぞれ定格１．５Ｖの電池であり、定格１．５Ｖの電池が直列接続されるとともにそれらが並列接続されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、使用される電池に新旧の電池が混在している場合、例えば、電池４のみが古い電池でその電圧が例えば０．５Ｖに低下しているような場合には、新品の電池３には２．５Ｖの電圧が加わっていることになり、この電池３が矢印方向の大電流で過充電されてしまい、電池３が発熱して数分後には激しく液漏れを発生するという解決すべき課題があることが見い出された。本発明はこのような解決すべき課題を鑑み、新旧の電池が混在使用された場合でも、電池の発熱や液漏れを発生しない電池ケースを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明を要約すると、複数の電池が並列接続されるとともにそれらが直列接続されて収納される電池ケースであって、直列の電池間において電池の長手方向に可動の絶縁板を設け、絶縁板の板厚を電池の＋極の高さ以下にするとともに、絶縁板には＋極が通る孔または切り欠きを設け、絶縁板の片面において並列の電池の−極間にまたがる金属片を設けた電池ケースである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を説明するが、それはあくまで本発明に基づいて採択された例示的な実施形態であり、本発明をその実施形態に特有な事項に基づいて限定解釈してはならず、本発明の技術的範囲は、請求項に示した事項さらにはその事項と実質的に等価である事項に基づいて定めなければならない。
【０００６】
まず、本発明の前提となる図１（Ａ）〜（Ｃ）の接続形態は、複数の電池が並列接続されるとともにそれらが直列接続された電池電源装置である。図１（Ａ）に基づいて詳述すると、１〜４はそれぞれ定格１．５Ｖの電池であり、電池１，３と電池２，４がそれぞれ並列接続されるとともに、それらが直列接続されている。このような接続形態の場合、例えば電池４が、その電圧が低下している古い電池であっても、電池２から電池４に加わる電圧が１．５Ｖ以上になることがないため、電池２から電池４に図の矢印方向の電流が流れても、電池４が過充電されることがないから、電池４が発熱したり、液漏れを発生したりすることはない。なお、このような接続形態は、電池１〜４が内部抵抗の小さいアルカリ電池である場合により効果的である。また、図１（Ｂ）（Ｃ）に示すような接続形態の電池電源装置でも同様に効果がある。
【０００７】
次に、本発明の実施形態を示す図２，３は前述した接続形態を効果的に実施できる電池ケース５である。この電池ケース５には、複数の電池１，３と複数の電池２，４がそれぞれ並列接続されるとともに、それらが直列接続されて収納される。そして、直列の電池１，２間及び電池３，４間において電池の長手方向に可動の絶縁板６を設け、絶縁板６の板厚を電池の＋極７の高さ以下にするとともに、絶縁板６には＋極７が通る孔８（または切り欠きでもよい）を設け、絶縁板６の片面において並列の電池２，４の−極９，９間にまたがる金属片１０を設けている。金属片１０は略平板状のものでもよいし、図示のような線状のものでもよい。そして、金属片１０の中央は、電池の浮き上がり防止用として絶縁板６の垂直部６ａの上端中央に形成した略Ｖ状の係止片１１の基部下面に形成した溝１２に挿入係止され、金属片１０の両端は、絶縁板６の水平部６ｂの両側付近において図示されない孔に挿入係止されている。
【０００８】
さらに詳述すれば、電池ケース５は溝形状の絶縁ケースであり、その片端には＋極７が共通に接触する金属接触片１３が配置され、金属接触片１３の内面側には＋極７が収まる孔１４（または凹部）が形成されている。電池ケース５の他端にはコイルバネ状の金属接触片１５が配置され、−極９が金属接触片１５に接触するものである。そして、金属接触片１５，１５は共通の金属引出片１６に連接されている。絶縁板６の下端にはその垂直部６ａに比べてやや広幅の水平部６ｂが形成され、水平部６ｂの両側は電池ケース５の両側面の内面下端に形成された溝１７にスライド可能に嵌め込まれている。なお、電池１〜４を電池ケース５に着脱しやすくするために、絶縁板６が可動とされている。また、電池の浮き上がり防止用として電池ケース５の他端中央にも略Ｖ状の係止片１８が形成されている。
【０００９】
図２（Ａ）は電池１〜４を正規に収納しようとしている場合を示し、電池１，３の−極９，９は金属接触片１５，１５に接触し、電池２，４の＋極７，７は金属接触片１３に接触し、電池１，３の＋極７，７は絶縁板６の孔８，８を通って、金属片１０に共通に接触し、電池２，４の−極９，９は金属片１０に共通に接触して、電池１，３と電池２，４がそれぞれ並列接続されるとともに、それらが直列接続される。そして、電池２，３，４を図２（Ａ）に示すように収納し、電池１の収納方向を図示とは逆方向にした場合には、その−極９は絶縁板６の介在により金属片１０に接触しない。従って、電池１，３同士が順極性方向にループ接続されてしまうことはないため、電池１，３の発熱危険が回避されるという利点もある。このことは、電池１，２，４を図２（Ａ）に示すように収納し、電池３の収納方向を図示とは逆方向にした場合にも同様である。なお、電池２や電池４を図２（Ａ）とは逆方向にしても、それらの−極９は孔１４の奥方に位置する金属接触片１３に接触することはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ本発明の前提となる電池の接続形態図
【図２】（Ａ）本発明の実施形態を示す電池ケースの斜視図
（Ｂ）同絶縁板の斜視図
【図３】（Ａ）図２（Ａ）の長手方向断面図
（Ｂ）同直交方向の断面図
【図４】従来例による電池の接続形態図
【符号の説明】
１〜４  電池
５  電池ケース
６  絶縁板
７  ＋極
８  孔
９  −極
１０  金属片
【図１】
0003575734.tif 000002
【図２】
0003575734.tif 000003
【図３】
0003575734.tif 000004
【図４】
0003575734.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負極活物質に亜鉛を用いる二次電池であって、銀で亜鉛粒子の表面を被覆した粉末を、負極活物質として用いることを特徴とするアルカリ二次電池。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルカリ二次電池、詳しくは充放電サイクル寿命を向上できるアルカリ二次電池に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種電気機器の小型高性能化、携帯電話やノートパソコン等のポータブル電子機器が広く普及し、これらの電源として小型で高容量の二次電池が要求されている。これらの要求に答えるものとして、エネルギー密度が大きく且つ経済性に優れた負極活物質に亜鉛を用いる二次電池の研究が広く行われている。しかしながらこのような従来の技術において、溶解反応を伴う亜鉛二次電池は充放電の繰り返しにより、亜鉛の針状結晶であるデンドライトの析出（充電時）や実質的活物質の減少等に伴う亜鉛極の劣化が大きく、サイクル寿命が短いという欠点があった。
【０００３】
また、亜鉛は平衡電位が水素発生電位より卑な金属であるため、充電により生成した活性化亜鉛は水素ガスを発生してアルカリ電解液に溶解する。この現象を軽減させるために、従来は水素過電圧の高い錫、鉛等による銅系集電体のメッキ、または亜鉛との合金を作り、自己放電を抑え水素ガスの発生を軽減させようとする提案がなされていた。この場合、前者は活物質の減少や活物質上の反応を制御することは出来ず、また後者は亜鉛活物質の表面積の減少による容量の低下をきたすことから、その効果は充分ではなくサイクル性の悪さから亜鉛極を用いた二次電池は実用化がなされていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように従来のアルカリ亜鉛二次電池には、放電時における亜鉛の溶解性の問題からサイクル特性が悪いという問題があった。
このため本発明は、負極活物質として亜鉛を用いるアルカリ二次電池において亜鉛極の劣化を軽減し、サイクル寿命の長いアルカリ亜鉛二次電池を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、かかる課題を解決するために鋭意研究したところ、銀で被覆された亜鉛粉を負極活物質として用いると充放電サイクル寿命が伸びることを見出し、本発明を提出することができた。
すなわち本発明は、負極活物質に亜鉛を用いる二次電池であって、銀で亜鉛粒子の表面を被覆した粉末を、負極活物質として用いることを特徴とするアルカリ二次電池を提供するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の構成による効果作用については現在のところ明確ではないが、下記のように推察される。
【０００７】
本発明においては、銀イオンを含む溶液中に亜鉛の粉末を存在させると、亜鉛粒子の表面において亜鉛が溶出すると同時に亜鉛粒子の表面に銀が析出し、最終的に亜鉛粒子の表面が銀で被覆される。この場合、亜鉛粒子の表面を覆った銀は多孔質の状態であるため亜鉛粉は活物質としての機能を失わない。また銀と亜鉛の緊密なネットワークにより、充電時のデンドライトの発生が被覆金属の銀によって抑制されることが判明した。
【０００８】
また銀と亜鉛との接触面積が極めて大きいため、例えば銅集電体に析出して不働態となる亜鉛化合物の量は少なく極めて薄い析出状態となり、電気抵抗が低くなる。このため均一な活物質全体で進行され、導電性の顕著な低下を防ぐことができ、結果として充放電サイクル寿命を向上させることができる。
以下実施例をもって詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。
【０００９】
【実施例】
平均粒径７μｍの亜鉛粉を湿式法で強撹拌しながら０．０３規定硝酸で亜鉛粉をエッチングした後、硝酸銀水溶液を銀として、亜鉛粉に対してそれぞれ０．５％、１．０％、３．０％、５．０％となるように定量ポンプを使用して加える。上記亜鉛粉を銀で被覆した後、脱水、洗浄処理して室温にて真空乾燥した。このようにして得た被覆亜鉛粉５０部と酸化亜鉛粉５０部とポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）５部とを加えて結着させた負極活物質を圧延ロール・油圧プレスを用い、厚さ０．１５ｍｍ、サイズ３．５×５．０ｃｍの銅パンチングメタルに貼り付け、全体の厚さが０．６ｍｍの負極を作成した。
次いで得られた各負極を、セパレータとしてのナイロン性不織布・セロファンを介して公知の焼結式水酸化ニッケル正極と捲回し、電解液として酸化亜鉛を飽和させた４５％のＫＯＨ水溶液に０．５％水酸化インジウムを加えて公称容量５００ｍＡｈの密閉型アルカリ亜鉛二次電池を作成した。得られた上記の密閉型アルカリ亜鉛二次電池を２０℃の雰囲気下で、２６０ｍＡの充電電流で２時間充電した後、２６０ｍＡで１．０Ｖまで放電した時の放電容量を５０、１００、１５０、２００サイクル目において測定し、その結果を表１に示した。
【００１０】
【表１】
0003575578.tif 000002
【００１１】
【比較例】
被覆処理をしない亜鉛粉（平均粒径７μｍ）に酸化亜鉛を５０部混合したものに対して、ＰＴＦＥを５部の割合で添加したものを実施例と同様に操作して密閉型アルカリ亜鉛電池を作成して放電容量を測定した。その結果を表１に併せて示した。
表１の結果から、比較例に示す被覆処理を施さない密閉型アルカリ亜鉛二次電池に比べて、本発明の銀で亜鉛粉を被覆した亜鉛電極を用いた密閉型アルカリ亜鉛二次電池は、サイクルと共に放電容量の低下が穏やかであると共に大幅にサイクル寿命が長く、放電効率も大きくなることが明確となった。
【００１２】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、負極活物質に銀で被覆された亜鉛粉を使用することによって、デンドライト生成によるショートや、電気化学的な亜鉛極の不働態化、負極活物質からの亜鉛の溶出を有効に抑制することができるから、サイクル寿命が長く且つ放電容量の大きいアルカリ亜鉛二次電池を提供することができる。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｐＨ測定装置に用いられるｐＨセンサにおいて、
液絡セラミックと、
この液絡セラミック側面を覆う絶縁膜と、
この絶縁膜の表面の一部にＩｒＯｘ膜で形成された指示電極と、
前記絶縁膜及び前記指示電極を保持すると共に内部に内部液を保持するホルダーと、
前記内部液内に配置された参照電極と
を備えたことを特徴とするｐＨセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ｐＨ測定装置に用いられるｐＨセンサに関し、特に測定可能対象物が多く、小型で、取扱が容易なｐＨセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のｐＨセンサはガラス電極を用いてそのガラス膜の内外に生じる電位差を検出することにより被測定液のｐＨを測定するのが一般的であり、図２はこのような従来のｐＨセンサの一例を示す構成図である。
【０００３】
図２において１はガラス膜、２は内部緩衝液、３は塩化銀電極等の内部電極、４はガラス支持管、５は液絡セラミック、６は参照電極、７はホルダー、８はＫＣｌ溶液等の内部液、９及び１０は出力端子、１００は被測定液である。
【０００４】
ガラス膜１はガラス支持管４に溶着され、ガラス膜１内部には内部緩衝液２が充填される。この内部緩衝液２中には内部電極３が配置され、内部電極３からの出力は出力端子９に出力される。
【０００５】
一方、液絡セラミック５はホルダー７により保持され、内部には内部液８が充填される。この内部液８中には参照電極６が配置され、参照電極６からの出力は出力端子１０に出力される。
【０００６】
ここで、図２に示す従来例の動作を説明する。ガラス膜１及び液絡セラミック５は被測定液１００内に配置される。内部電極３は内部緩衝液２を介してガラス膜１の内壁に電気的に接続されるので、出力端子９にはガラス膜１の内壁に生じる電位が出力される。
【０００７】
一方、参照電極６は内部液８、液絡セラミック５及び被測定液１００を介してガラス膜１の外壁に電気的に接続されるので、出力端子１０にはガラス膜１の外壁に生じる電位が出力される。
【０００８】
従って、出力端子９及び１０の電位差を検出することにより被測定液１００のｐＨを測定することができる。
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のｐＨセンサではガラス電極を用いているために小型化がしにくく、破損などの危険性から医療分野、食品分野等での応用がしにくく、また、固形物のｐＨ測定が容易ではない。さらに、性質上、ガラス電極表面に水和層を形成する必要があり、ガラス電極を水溶液中で保存等しなければならないと言った問題点がある。
従って本発明の目的は、測定可能対象物が多く、小型で、取扱が容易なｐＨセンサを実現することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、
ｐＨ測定装置に用いられるｐＨセンサにおいて、
液絡セラミックと、
この液絡セラミック側面を覆う絶縁膜と、
この絶縁膜の表面の一部にＩｒＯｘ膜で形成された指示電極と、
前記絶縁膜及び前記指示電極を保持すると共に内部に内部液を保持するホルダーと、
前記内部液内に配置された参照電極と
を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】
ガラス電極を用いることなく、指示電極と液絡セラミックとを一体形成することにより、小型化が容易になり、破損の心配がないので医療分野、食品分野等での応用が可能になり、水和層が不要になって取扱も容易になる。
【００１１】
また、指示電極と液絡セラミックとが絶縁膜を隔てて平面状に配置されることにより、測定対象物は溶液だけではなく面接触が可能な測定対象物であれば測定が可能となる。
【００１２】
【実施例】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るｐＨセンサの一実施例を示す斜視図及び拡大図である。図１中（Ａ）はｐＨセンサ全体の斜視図、（Ｂ）は前記斜視図の液絡セラミック部分を拡大した拡大図である。
【００１３】
図１において１１はＩｒＯｘ膜等で形成した指示電極、１２は液絡セラミック、１３は参照電極、１４は電気的及び化学的に絶縁をする絶縁膜、１５はホルダー、１６はＫＣｌ溶液等の内部液、１７及び１８は出力端子である。
【００１４】
図１中（Ｂ）に示すように円柱状の液絡セラミック１２の側面は絶縁膜１４に覆われ、さらに、絶縁膜１４の表面の一部分には膜状の指示電極１１が形成される。指示電極１１及び絶縁膜１４はホルダー１５で保持され、ホルダー１５内部には内部液１６が充填され、内部液１６中には参照電極１３が配置される。
【００１５】
また、指示電極１１及び参照電極１３からの出力は出力端子１７及び１８にそれぞれ出力される。
【００１６】
但し、図１中”イ”の部分には指示電極１１が形成されていないので、充填された内部液１６は液絡セラミック１２の上面で接液するが、指示電極１１とは接液していない。また、図１中”ロ”の部分は指示電極１１とセラミック１２とが絶縁膜１４を隔てて平面状に配置される。
【００１７】
ここで、図１に示す実施例の動作を説明する。図１中”ロ”の部分に測定対象物が接すると、測定対象物のｐＨ値により指示電極１１と液絡セラミック１２との間で電位差が生じる。液絡セラミック１２で生じた電位は内部液１６を介して参照電極１３に電気的に接続されるので、出力端子１７及び１８間の電位差を測定することにより、ｐＨ測定をすることができる。
【００１８】
この結果、ガラス電極を用いることなく、指示電極１１と液絡セラミック１２とを一体形成することにより小型化が容易になる。
【００１９】
また、破損の心配もなく医療分野、食品分野等での応用が可能になり、水和層が不要になって取扱も容易になる。
【００２０】
さらに、図１中”ロ”に示すように指示電極１１と液絡セラミック１２とが絶縁膜１４を隔てて平面状に配置されているので、測定対象物は溶液だけではなく、面接触が可能な測定対象物であれば測定が可能となる。例えば、肉、魚等の半固体物の鮮度の判断に応用することが可能になる。
【００２１】
なお、前述の説明においては液絡セラミック１２を円柱状の形状としたが、もちろんこれに限るわけではなく、また、図１中”ロ”に示す部分は必ずしも平面状である必要はなく、曲面等であっても良い。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
指示電極と液絡セラミックとを一体形成することにより、測定可能対象物が多く、小型で、取扱が容易なｐＨセンサが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るｐＨセンサの一実施例を示す斜視図及び拡大図である。
【図２】従来のｐＨセンサの一例を示す構成図である。
【符号の説明】
１  ガラス膜
２  内部緩衝液
３  内部電極
４  ガラス支持管
５，１２  液絡セラミック
６，１３  参照電極
７，１５  ホルダー
８，１６  内部液
９，１０，１７，１８  出力端子
１１  指示電極
１４  絶縁膜
１００  被測定液
【図１】
0003575562.tif 000002
【図２】
0003575562.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゆで中華麺を製造する際に、小麦粉１００重量部に対して０.０５〜０.１重量部のこんにゃく精粉を、かん水と共に小麦粉に混入して麺を作り、これをゆで上げることを特徴とするゆで中華麺の製造方法。
【請求項２】
前記こんにゃく精粉を水に溶かし、２時間以上低温で放置した後、かん水と共に小麦粉及び副原料と撹拌することを特徴とする、請求項１に記載のゆで中華麺の製造方法。
【請求項３】
キトサミンを併用添加することを特徴とする、請求項１に記載のゆで中華麺の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、こんにゃく精粉を混入したゆで中華麺の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
うどん・そば・中華麺等の製麺にあたり、種々の副原料或いは品質改良剤を添加混入することは広く行われているが、麺のゆで伸び防止に大変効果のある物質を添加して成功したことは無い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
麺類はゆでると、ゆで上がり直後からゆで伸びが始まり、麺本来のおいしさである腰の強さ・口当たり・のどごしの良さが失われる。そのため、利便性のある惣菜用ゆで中華麺を得ることができなかった。
そこで、本発明は、ゆで上げた後に長時間低温保存しても伸びの無い、ゆで中華麺の製造方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、ゆで中華麺を製造する際に、小麦粉１００重量部に対して０.０５〜０.１重量部のこんにゃく精粉を、かん水と共に小麦粉に混入して麺を作り、これをゆで上げることを特徴とする。
詳しくは、上記こんにゃく精粉を水に溶かし、２時間以上定温で放置した後、かん水と共に小麦粉及び副原料と撹拌する。この時、キトサミンを併用添加することができる。
【０００５】
【作用】
こんやく精粉とかん水を混入した中華麺は、ゆで上げるとこんやく精粉のグルコマンナンと小麦粉のグルテンが結合し、グルテンに水分が浸入するのを防止するため、長時間低温保存しても伸びが無く、つるつるした食感と腰の強さを持つゆで中華麺となる。
【０００６】
【実施例】
（１）麺製造（中華麺）
【表１】
0003575874.tif 000002
【０００７】
以上の配合物を真空ミキサー６００Ｇの気圧でミキシングした後、麺帯を作り、それを熟成・圧延切り出し後、麺にした。
（２）調理
実施例前記（１）項で出来た麺を、熱湯（１００℃）で６０秒ゆで、冷水で洗い、冷蔵保存した。
（３）テスト結果
ゆで上げより１２時間冷蔵保存後、湯洗いして調味液（スープ）と一緒に食べたが、麺はゆで伸びせず、腰も強く麺の風味も劣化していなかった。
【０００８】
【発明の効果】
本発明によれば、長時間低温保存しても伸びが無く、腰の強いゆで中華麺を製造することができる。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銀、銅等の抗菌性金属を利用した無機系抗菌剤により基材に対して、表面粗さが中心線平均粗さ（Ｒａ）で１０μｍ以上２ｍｍ以下に、且つ粗さピッチで１００μｍ以上１０ｍｍ以下に生成にしたことを特徴とする抗菌性膜。
【請求項２】
銀、銅等の抗菌性金属を利用した無機系抗菌剤を基材に対して分散させ、表面粗さが中心線平均粗さ（Ｒａ）で１０μｍ以上２ｍｍ以下に、且つ粗さピッチで１００μｍ以上１０ｍｍ以下に生成したことを特徴とする抗菌性膜。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、液体中に存在する病害菌に抗菌作用を及ぼす抗菌性膜に関する。
【０００２】
【従来技術】
液体中に存在する病害菌に対し抗菌効果を得る為には、有機系抗菌剤や無機系抗菌剤を液体中に添加する方法が一般的である。液体中に有機系抗菌剤や無機系抗菌剤を添加する場合の形態は、溶液状にするか或いは溶剤に抗菌剤を分散させて分散液として使用したり、粉末状態のまま添加する場合もある。この場合、有機系抗菌剤は分子状態となり液体中の病害菌に付着する。また、無機系抗菌剤は微粉末の状態やイオン状態となって病害菌に作用し抗菌効果が得られる。その他、有機系抗菌剤や無機系抗菌剤を、直接液体中に投入するのではなく抗菌フィルターとして液体中に設置し、フィルターに接触することにより液体中の病害菌の繁殖を抑制させるものもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したように液体中に抗菌剤を直接噴霧・添加すると、病害菌に対しては積極的に効果が現れるが、液体そのものの性質が変化したり、微粉末や溶解したイオンが環境に対して悪影響を及ぼす場合がある。また、この方法によると添加した直後での抗菌効果は高いが効果の持続性は殆ど期待できない。従って、抗菌効果を長期間持続させるためには、継続的に抗菌剤を添加する必要があって、ランニングコストが高くなる。
【０００４】
また、抗菌フィルターを使用する方法は、環境に対してもランニングコスト的にも有効であるが、処理する液体が非常に少量であったり、容器（液体通路）表面にしか液体が存在しないような、少量の液体で抗菌フィルターに通過させることが困難な場合には効果的ではない。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、処理液体が少量であっても高い抗菌効果が得られ、ランニングコストが低く且つ環境に対する影響が殆ど無い抗菌性膜を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための請求項１に記載の抗菌性膜は、銀、銅等の抗菌性金属を利用した無機系抗菌剤により基材に対して、表面粗さが中心線平均粗さ（Ｒａ）で１０μｍ以上２ｍｍ以下に、且つ粗さピッチで１００μｍ以上１０ｍｍ以下に生成にしたことを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載の抗菌性膜は、銀、銅等の抗菌性金属を利用した無機系抗菌剤を基材に対して分散させ、表面粗さが中心線平均粗さ（Ｒａ）で１０μｍ以上２ｍｍ以下に、且つ粗さピッチで１００μｍ以上１０ｍｍ以下に生成したことを特徴とする。
【０００７】
【発明の作用】
上記抗菌性膜は、銀、銅等の抗菌性金属をポーラス性を有するセラミックスなどの無機材料粉末に担持した形態で使用することが可能である。担持方法は種々あるが、液体中に溶出しないような方法により実施されたものが望ましく通常イオン交換法が用いられる。生成された抗菌性膜は、膜そのものが無機系抗菌剤であるのが理想的であるが膜の基材への密着性や膜強度、膜コストの面から、無機系抗菌剤を膜表面に分散させた抗菌性膜でも十分な効果が得られる。
【０００８】
また、上記抗菌性膜を生成するための無機系抗菌剤の使用量は、抗菌処理をする対象となる液体中の病害菌の数量・種類、液体の存在する環境等により大きく影響されるため、予めテーブル試験により必要十分量を把握することが重要となる。抗菌性膜を生成する基材は、有機系、無機系を問わず使用することができる。
【０００９】
表面性状は表面粗さが中心線平均粗さ（以下Ｒａという）で１０μｍ以上２ｍｍ以下とする必要がある。Ｒａが１０μｍ未満であると、液体中に存在する病害菌と膜表面に存在する抗菌剤の接触効率が低下し良い抗菌効果が得られない。また、Ｒａが２μｍ以上であると液体自体の流れが不均一となりこれも抗菌効果を低下させる。
【００１０】
また、粗さピッチは１００μｍ以上１０ｍｍ以下であることが望ましい。粗さピッチが１００μｍ未満であると液体の流れが不均一となり、粗さピッチが１０ｍｍ以上になると接触効率の向上が望めない。ここで粗さピッチとは、膜表面の凹凸の隣り合うト凸部若しくは凹部間の距離をいう（以下同じ）。
【００１１】
【発明の実施形態】
（実施例１）
酸化アルミニウムを主成分として製造されたセラミックス製容器の内表面をブラスト処理しＲａ５０μｍ、粗さピッチ２００μｍとした。その表面に結晶化ガラス銀系抗菌剤のスラリーを付着させた後、７５０℃で1時間保持して実施例１の無機抗菌性膜を得た。
【００１２】
（実施例２）
上記と同様の表面ブラスト処理を施したセラミックス製容器の内表面に、無機銀系抗菌剤を分散させた有機系接着剤（エポキシ系）を塗布し、実施例２の無機抗菌性膜を得た。
【００１３】
（比較例１）
無処理セラミックスの基材（Ｒａ５μｍ、粗さピッチ１０μｍ）表面に実施例２と同様の抗菌膜処理を実施し比較例１を得た。
【００１４】
（比較例２）
セラミックス製容器の内表面を機械加工によりＲａ；５ｍｍ、粗さピッチ；５０ｍｍとした後、表面に実施例２と同様の抗菌膜処理を実施し比較例２を得た。
【００１５】
上記各実施例及び比較例によって得られた抗菌性膜を施したセラミックス製容器に植物の根腐れ菌として知られるピシュームヘリコイダス菌の遊走子調整液を深さ１０ｍｍで浸し、抗菌効果を確認した。その結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
0003575801.tif 000002
【００１７】
以上の結果、本発明品によれば処理液の量が少なくても、また動きの少ない液体に対しても安定した抗菌効果を得ることが可能になった。
【００１８】
【発明の効果】
本発明の抗菌性膜によれば、トレーや配管中などに留まった水溶液の中の病害菌に対して有効的に抗菌効果を発揮でき、無機系抗菌剤により基材に対して、表面粗さが中心線平均粗さ（Ｒａ）で１０μｍ以上２ｍｍ以下に、且つ粗さピッチは１００μｍ以上１０ｍｍ以下に生成したから、液体中に存在する病害菌と膜表面に存在する抗菌剤の接触効率が低下することがなく、良好な抗菌効果が得られるとともに、液体自体の流れが不均一となることもなく、接触効率の向上が期待でき抗菌効果を低下させることがない。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に配線層を設ける工程と、
前記配線層上に減圧化学気相成長法にて窒化膜を設ける工程と、
ＴＥＯＳとオゾンを用い、ＴＥＯＳよりオゾンを多くして、常圧化学気相成長法にて、前記窒化膜上にシリコン酸化膜を設ける工程と、
を有することを特徴とする半導体素子の製造方法。
【請求項２】
前記配線はメモリセルの構成に用いられるものであることを特徴とする請求項１記載の半導体素子の製造方法。
【請求項３】
前記シリコン酸化膜は層間絶縁膜として用いられるものであることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体素子の製造方法。
【請求項４】
前記層間絶縁膜には、ホトリソグラフィによりコンタクトホールが形成されることを特徴とする請求項３記載の半導体素子の製造方法。
【請求項５】
前記配線上方にはキャパシタのストレイジノードが形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の半導体素子の製造方法。
【請求項６】
前記配線はゲート配線として用いられ、該配線は多結晶シリコンからなるとともに、該配線にはサイドウォールが設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の半導体素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、半導体素子における層間絶縁膜形成時の平坦化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２に従来の層間絶縁膜の形成法を示し、以下に説明する。
【０００３】
図２（ａ）はＤＲＡＭ（ダイナミックラムダムアクセスメモリ）のセル部の断面図である。１はシリコン単結晶基板であり、２は素子分離のためのフィールド酸化膜（５０００Å）である。３はゲート酸化膜で９００℃のドライ酸化によって２００Åの厚さで形成されている。４はゲートワードラインでシランを用いた減圧の化学気相成長法（ＬＰ−ＣＶＤ法）で堆積した多結晶シリコン（４０００Å）にリン拡散をおこなった第１層配線層である。５はＬＤＤ構造を有するＭＯＳトランジスタをつくるためのゲートサイドウォールである。
【０００４】
次に図２（ｂ）において、図２（ａ）で作成したゲート配線を絶縁するために、シランと酸素を約４００℃で常圧にて反応させるＡＰ−ＣＶＤ法でシラン酸化膜６を堆積させる。これによって以後の工程で形成される電荷蓄積用のキャパシタノードやビットラインとゲート配線との絶縁を保つ。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上述べたシランと酸素を反応させるＡＰ−ＣＶＤ法によるシリコン酸化膜は段差被覆性が悪く、起伏が大きくなりその後に行なうセルコンタクトホールの開孔におけるホトリソグラフィ工程に支障をきたしたりする。またゲート配線間の狭いところではボイドやスリットができるため、セルのストーレイジノード形成で堆積する多結晶シリコンのエッチング残りなどが生じる。
【０００６】
この発明は以上述べたシランと酸素を用いるＡＰ−ＣＶＤ法のシリコン酸化膜による問題を除去するために、ＴＥＯＳ（ｔｅｔｒａｅｔｈｙｌｏｒｔｈｓｉｌｉｃａｔｅ）とオゾンを用いたＡＰ−ＣＶＤ法により酸化膜を形成し、段差被覆性が良く、下地形状の平坦化に優れたシリコン酸化膜を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前述の目的のため、この発明は層間絶縁膜形成において、シリコン窒化膜をＬＰ−ＣＶＤ法またはプラズマ−ＣＶＤ法で薄く表面を被覆した後、ＴＥＯＳとオゾンをＡＰ−ＣＶＤ法で反応させてシリコン酸化膜を堆積するようにしたものである。
【０００８】
【作用】
本発明は、前述したように層間絶縁膜形成法において、先ず薄い窒化膜を形成した後、ＴＥＯＳとオゾンを用いたＡＰ−ＣＶＤ法によるシリコン酸化膜の自己平坦化作用の特性を利用できるようにしたので、絶縁膜形成後表面が平らになり、その後の各種形成工程に支障を与えず、品質が向上する。
【０００９】
【実施例】
以下、図１を用いて本発明の実施例を説明する。
【００１０】
図１（ａ）で１はシリコン単結晶基板であり、２は素子分離のためのフィールド酸化膜（５０００Å）である。３はゲート酸化膜で９００℃のドライ酸化によって２００Åの厚さで形成されている。４はゲートワードラインでシランを用いたＬＰ−ＣＶＤ法で堆積した多結晶シリコン４０００Åにリン拡散をおこなった第１層配線層である。５はＬＤＤ構造を有するＭＯＳトランジスタをつくるためのゲートサイドウォールである。以上は従来例と同様である。
【００１１】
次に、図１（ｂ）において、ＬＰ−ＣＶＤ法でジクロルシランとアンモニアとを８００℃で反応させてシリコン窒化膜７を２００Å表面に形成する。
【００１２】
次に図１（ｃ）のように、ＴＥＯＳとオゾンをＡＰ−ＣＶＤ法によって、オゾンとＴＥＯＳにおいては、ＴＥＯＳに対してＯ３  を多過の状態にしＯ３  ／ＴＥＯＳの流量比を大きくし、段差被覆形状が最もなだらかになる温度３８０℃前後にて８のシリコン酸化膜を堆積させる。
【００１３】
図１（ｂ）のシリコン窒化膜７を敷かない場合、前述の自己平坦化現象が起きる成膜条件では下地に対して選択的に成膜するため、図３のようにシリコン酸化膜８が付き易い部分と付きにくい部分で厚くなったり薄くなったりして、表面が荒れ、良好なシリコン酸化膜形成ができないのである。
【００１４】
【発明の効果】
以上の説明したように、この発明の層間絶縁膜形成法によれば、先ず薄い窒化膜を形成した後ＴＥＯＳとオゾンを用いたＡＰ−ＣＶＤ法によるシリコン酸化膜の自己平坦化作用の特性を利用できるようにしたので、絶縁膜形成後、表面が平らになり、その後のセルコンタクトホールの開孔のためのホトリソグラフィ工程のマージンが広げられるばかりか、キャパシタのストーレイジノード作成時の多結晶シリコンのエッチング残りの問題も防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の説明図。
【図２】従来例の説明図。
【図３】下層窒化膜を堆積しない場合の成膜形状。
【符号の説明】
１    基板
２    フィールド酸化膜
３    ゲート酸化膜
４    第１層配線層
５    サイドウォール
７    シリコン窒化膜
８    シリコン酸化膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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