【事件の表示】
　特願２００２−１１６７７３「アルミニウム材加工治具に付着したアルミニウムのエッチング方法及びそれに用いたアルカリ性溶液の回収方法とその回収装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年１０月３１日出願公開、特開２００３−３０６７８５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１４年４月１８日の出願であって、請求項１、２に係る発明は、平成１９年５月１日付手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１、２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は、次のとおりである。
　「【請求項１】アルミニウム材の加工治具に付着したアルミニウム成分をアルカリ性溶液により溶解し、前記加工治具からアルミニウム材を除去するエッチング処理と、該エッチング処理に用いたアルカリ性溶液を回収する回収処理とからなるアルカリ性溶液の回収方法であって、前記アルカリ性溶液の濃度をＮａＯＨが１００〜４００ｇ／ｌとし、圧力を大気圧以上、０．２MＰa以下、温度を１６３℃以下に温度調整しながらエッチング処理し、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液から水酸化アルミニウムを晶析させ、分離してアルカリ性溶液を回収することを特徴とするアルカリ性溶液の回収方法。」
　ここで、本願明細書の「【００２２】・・・エッチング槽１の圧力としては、大気圧〜０．５ＭＰａ（ゲージ）にされる。設備のメンテナンス等の面から、０．２ＭＰａ程度までが好ましい。」という記載、及び、「【００２３】・・・４００ｇ／ｌの苛性ソーダ溶液の沸点は・・・ゲージ圧０．２ＭＰａでは約１６３℃（「１３６℃」は「１６３℃」の誤記と認められる。）であるが、この沸点程度の温度でアルミニウムを溶解処理する。」という記載を参酌すると、本願発明１の「圧力を大気圧以上、０．２ＭＰａ以下」という特定事項は、「圧力を大気圧以上、０．２ＭＰａ（ゲージ）以下」を指すものと認められる。
　
２．引用例とその記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−３６７１号公報（以下、「引用例１」という。）、及び、特開２０００−３４９０６３号公報（以下、「引用例２」という。）には、次の事項が記載されている。
（１）引用例１：特開平９−３６７１号公報
（１ａ）「【請求項１】　・・・水酸化ナトリウム溶液からなる工具洗浄液を用い・・・アルミニウム材の加工用工具に付着したアルミニウムを、加熱手段を備えた工具洗浄処理槽で加熱下に溶解除去するアルミニウム材加工用工具の洗浄方法において、上記工具洗浄液としてＮａＯＨ濃度１５０〜２５０ｇ／リットルの水酸化ナトリウム溶液を使用し、上記工具洗浄処理槽から工具洗浄液の一部を洗浄老化液として連続的に抜き出し、この抜き出された洗浄老化液中に凝集沈降剤を添加して沈降分離し、得られた上澄液を冷却して加水分解槽に導入し、この加水分解槽で結晶性水酸化アルミニウム種子の存在下に加水分解せしめ、加水分解槽からは懸濁液の一部を抜き出して固液分離し、結晶性水酸化アルミニウムを回収すると共に、得られた清澄液を・・・上記工具洗浄処理槽に再生工具洗浄液として循環せしめることを特徴とするアルミニウム材加工用工具の洗浄方法。」（特許請求の範囲の請求項１）
（１ｂ）「【請求項３】　工具洗浄処理槽では９０〜１１０℃で工具洗浄処理を行ってＡｌ／ＮａＯＨ当量比０．３５〜０．６０の洗浄老化液を抜き出し・・・清澄液を再生工具洗浄液として回収し、工具洗浄処理槽に循環せしめる請求項１・・・に記載のアルミニウム材加工用工具の洗浄方法。」（特許請求の範囲の請求項３）
（１ｃ）「工具洗浄処理槽で工具を洗浄して抜き出される洗浄老化液・・・には、アルミニウム分のほかに、アルミニウム材の加工時に使用された潤滑剤由来のカーボン、グラファイト、窒化硼素等の微粒子や、アルミニウム材由来のＭｇ、Ｆｅ，Ｓｉ等の酸化物等がコロイド状やゲル状等の懸濁状態（不溶性不純物）あるいは溶解状態（可溶性不純物）で含有されている。そして・・・この洗浄老化液中に凝集沈降剤を添加して沈降分離し、この老化洗浄液中に含まれている不純物、少なくとも不溶性不純物を可及的に分離除去する。」（【００１１】、【００１２】）
（１ｄ）「実施例２　アルミニウム材の押出加工用ダイスを９５℃で洗浄した後に洗浄老化液として回収され、ＮａＯＨ濃度２１０ｇ／リットル、Ａｌ分７７ｇ／リットル、窒化硼素系微粒子１５ｍｇ／リットル、及び、その他の不溶性金属酸化物微粒子（無水物換算）０．２５ｇ／リットルを含む灰色懸濁状のダイス洗浄老化液１リットルを用い、これに・・・凝集剤・・・を添加し、８５℃で５分間攪拌したのち、これを１リットルのメスシリンダーに入れ、８５℃の恒温水槽内に静置し・・・上澄液８００ｍｌを採取した。次に、得られた上澄液８００ｍｌに結晶性水酸化アルミニウム（ジブサイト）種子１６８ｇ（ジブサイト種子濃度２１０ｇ／リットル）を添加し、５５℃で攪拌下に加水分解させ・・・次いで濾過により固液分離した。・・・得られた結晶は純度９９％以上の美麗な白色であり、また、最終的に回収された濾液はＮａＯＨ濃度２１０ｇ／リットル、Ａｌ分４１ｇ／リットル、グラファイト系微粒子１ｍｇ／リットル以下、及び、その他の不溶性金属酸化物微粒子（無水物換算）１ｍｇ／リットル以下の無色透明の液体であった。」（【００３３】〜【００３５】）
（１ｅ）「比較例２　実施例２で用いたと同じ灰黒色懸濁状のダイス洗浄老化液１リットルを用い、凝集沈降剤を用いた沈降分離に代えてＮｏ．２４の濾紙を用いて８０℃、０．５気圧の条件で吸引濾過し、得られた濾液について加水分解し・・・た。なお、加水分解後の固液分離は、実施例２と同様には実施できず、遠心分離、リバルピング、遠心分離の操作を３回繰り返して行った。・・・得られた結晶は純度９８％の灰色で粘稠状であり、また、最終的に回収された濾液はＮａＯＨ濃度２１０ｇ／リットル、Ａｌ分４５ｇ／リットル、グラファイト系微粒子２ｍｇ／リットル、及び、その他の不溶性金属酸化物微粒子（無水物換算）６ｍｇ／リットルの懸濁不透明な液体であった。」（【００３６】、【００３７】）
　
（２）引用例２：特開２０００−３４９０６３号公報
（２ａ）「本発明の半導体装置の製造方法は、ＫＯＨ溶液の沸点でシリコン基板をエッチングするものとする。反応速度定数は、下記のアーレニウスの式より示される。
　ｋ＝Ａｅ−Ｅａ／ＲＴ　但しｋ：速度定数
　　　Ａ：頻度因子
　　　Ｅａ：活性化エネルギー
　　　Ｒ：気体定数（１．９９Cal/gmoldeg ）
　　　Ｔ：絶対温度（Ｋ）
　である。
この式によれば、温度が１０℃上がると、反応は２倍から３倍速くなることを概算できる。」（【００１０】〜【００１１】）
（２ｂ）「例えば５% ＫＯＨ水溶液は１００℃で・・・２０% ＫＯＨ水溶液は１０６℃で・・・３０% ＫＯＨ水溶液は１１３℃で・・・４０% ＫＯＨ水溶液は１２７℃で、５０% ＫＯＨ水溶液は１４９℃で、６０％ＫＯＨ水溶液は１８９℃でそれぞれ沸騰する。ラウールの法則の沸点上昇を利用して高温の沸点でエッチングをおこなえば、エッチング速度が大きく、しかもエッチング温度が一定に保たれてエッチングが安定化し、良好な再現性がもたらされる。」（【００１２】、【００１３】）
（２ｃ）「加圧下でのＫＯＨ溶液でシリコン基板をエッチングしても良い。加圧下でエッチングすれば、沸点が上昇するので、高温でエッチングできエッチング速度を増大できる。」（【００１４】）
　
３．当審の判断
３−１．引用例記載の発明
　引用例１の摘記事項（１ａ）によれば、アルミニウム材の加工用工具に付着したアルミニウムを、ＮａＯＨ濃度１５０〜２５０ｇ／ｌの水酸化ナトリウム溶液を工具洗浄液として用いて溶解除去し、工具洗浄液の一部を洗浄老化液として抜き出し、この抜き出された洗浄老化液中に凝集剤を添加して沈降分離し、得られた上澄液を結晶性水酸化アルミニウム種子の存在下に加水分解せしめ、固液分離して結晶性水酸化アルミニウムを回収すると共に、得られた清澄液を再生工具洗浄液として循環するアルミニウム材加工用工具の洗浄方法が記載され、さらに、摘記事項（１ｂ）によれば、９０〜１１０℃で工具洗浄処理を行って洗浄老化液を抜き出すこと、摘記事項（１ｃ）によれば、洗浄老化液から沈降分離により除去されるのは不溶性不純物であることが記載されている。
　これらの記載によれば、上記アルミニウム材加工用工具の洗浄方法は、水酸化ナトリウム溶液（アルカリ性溶液に相当）を工具洗浄液として工具に付着したアルミニウムを溶解除去する処理（エッチング処理に相当）と、抜き出された洗浄老化液から再生工具洗浄液（エッチング処理に用いたアルカリ性溶液に相当）を回収する回収処理とからなることが理解できるし、洗浄老化液には、工具に付着したアルミニウムが溶解しているのであるから、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液といえること、及び、沈降分離後の洗浄老化液（上澄液）を結晶性水酸化アルミニウム種子の存在下に加水分解せしめ、固体の結晶性水酸化アルミニウム（固液分離により回収される）を析出させる工程は、水酸化アルミニウムを晶析させる工程といえることも理解できる。
　そこで、引用例１の摘記事項（１ａ）〜（１ｃ）の記載を、再生工具洗浄液（エッチング処理に用いたアルカリ性溶液に相当）を回収する観点で総合すれば、引用例１には、「アルミニウム材の加工用工具に付着したアルミニウム成分をアルカリ性溶液により溶解し、前記加工用工具からアルミニウム材を除去するエッチング処理と、該エッチング処理に用いたアルカリ性溶液を回収する回収処理とからなるアルカリ性溶液の回収方法であって、前記アルカリ性溶液の濃度をＮａＯＨが１５０〜２５０ｇ／ｌとし、温度を９０〜１１０℃に温度調整しながらエッチング処理し、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液から、不溶性不純物を凝集剤により沈降分離除去した後、水酸化アルミニウムを晶析させ、分離してアルカリ性溶液を回収するアルカリ性溶液の回収方法。」（以下、「引用例１発明」という。）が記載されていることになる。　
　　
３−２．対比・判断
（１）本願発明１と引用例１発明とを対比すると、引用例１発明の「加工用工具」は、本願発明１の「加工治具」に相当するから、両者は、
　「アルミニウム材の加工治具に付着したアルミニウム成分をアルカリ性溶液により溶解し、前記加工治具からアルミニウム材を除去するエッチング処理と、該エッチング処理に用いたアルカリ性溶液を回収する回収処理とからなるアルカリ性溶液の回収方法であって、前記アルカリ性溶液の濃度をＮａＯＨが１５０〜２５０ｇ／ｌとし、温度調整しながらエッチング処理し、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液から水酸化アルミニウムを晶析させ、分離してアルカリ性溶液を回収するアルカリ性溶液の回収方法。」で一致し、次の点で相違する。
相違点：
（イ）本願発明１は、エッチング処理を、「圧力を大気圧以上、０．２MＰa（ゲージ）以下、温度を１６３℃以下に」温度調整しながら行うのに対し、引用例１発明は、エッチング処理を、温度を９０〜１１０℃に温度調整しながら行う点
（ロ）本願発明１は、回収処理が不溶性不純物を凝集剤により沈降分離除去する工程を含むことは記載されていないのに対し、引用例１発明は、回収処理が不溶性不純物を凝集剤により沈降分離除去する工程を含む点
　
（２）上記相違点について検討する。
・相違点（イ）について
(i)本願発明
　本願明細書【００２４】の表１には、ＮａＯＨ（苛性ソーダ）濃度が１００ｇ／ｌ、４００ｇ／ｌのアルカリ性溶液（苛性ソーダ溶液）の圧力と沸点の関係が、次のように記載されている。ここで、「ＭＰａ」は、前示したように「ＭＰａ（ゲージ）」を指す。
「　　　　　　　　　　１００ｇ／ｌ　　　４００ｇ／ｌ
　　大気圧　　　　　　　１０５℃　　　　　１２９℃
　０．０５ＭＰａ　　　　１１７℃　　　　　１３４℃
　０．１  ＭＰａ　　　　１２７℃　　　　　１４３℃
　０．１５ＭＰａ　　　　１３４℃　　　　　１５３℃
　０．２　ＭＰａ　　　　１４０℃　　　　　１６３℃　」
　表１から、アルカリ性溶液は、同一圧力においてはＮａＯＨの濃度が高い程沸点が高く、同一濃度においては圧力が高い程沸点が高いことが看取できるし、大気圧以上、０．２ＭＰａ（ゲージ）以下の圧力で、１００〜４００ｇ／ｌのアルカリ性溶液がとり得る沸点の最高値は、１６３℃であることも看取できる。
　そうであれば、本願発明１の「１６３℃」は、アルカリ性溶液の濃度をＮａＯＨが４００ｇ／ｌとし、圧力を上限の０．２ＭＰａ（ゲージ）とした場合のアルカリ性溶液の沸点であるといえる。
(ii)引用例２の記載を前提とした引用例１発明　
　これに対し、引用例２の摘記事項（２ａ）によれば、温度が１０℃上がると、エッチングの反応速度は２倍から３倍速くなる、すなわち、温度が高い程エッチング速度は速いことが記載され、摘記事項（２ｂ）によれば、エッチング溶液の濃度が高い程沸点が高く、高温の沸点でエッチングを行えばエッチング速度が大きいこと、摘記事項（２ｃ）によれば、加圧下でエッチングを行うと沸点が上昇することが記載されている。
　上記引用例２の記載を前提にすると、引用例１発明は、９０〜１１０℃に温度調整しながらエッチング処理するのであるから、常温の場合よりも増大したエッチング速度が得られるためエッチング時間を短縮できることが理解できるし、大気圧での水の沸点が１００℃であることを考慮すると、９０〜１１０℃（１１０℃は、ＮａＯＨの濃度が２５０ｇ／ｌのアルカリ性溶液の大気圧における沸点あるいはその近傍の温度）の温度調整は大気圧でなされることも理解できる。
(iii)結論
　すると、引用例１発明のエッチング処理は、圧力を大気圧、温度を１６３℃以下である９０〜１１０℃に温度調整しながら行う点で本願発明１と異なるところはないから、相違点（イ）は、実質的な相違点とはなり得ないし、引用例１発明において、エッチング処理を大気圧を越える圧力で行うことにより、さらに増大したエッチング速度を得て、エッチング時間をより短縮できる場合をも包含させることは、引用例２に記載された事項に基づいて当業者が容易に想到することである。
　そして、具体的な数値条件として、圧力の上限を０．２ＭＰａ（ゲージ）とし、温度を９０℃（大気圧）から、ＮａＯＨの濃度が２５０ｇ／ｌのアルカリ性溶液の０．２ＭＰａ（ゲージ）における沸点以下に温度調整しながらエッチング処理するように設定することは、当業者にとって格別困難なことではない。
　なお、引用例１発明のアルカリ性溶液のＮａＯＨの濃度は１５０〜２５０ｇ／ｌであって、本願発明１のアルカリ性溶液のＮａＯＨの濃度１００〜４００ｇ／ｌの範囲内であるから、大気圧以上、０．２ＭＰａ（ゲージ）以下の圧力において、引用例１発明のアルカリ性溶液がとり得る沸点は、本願発明１のアルカリ性溶液がとり得る沸点の範囲（前示のとおり上限は１６３℃）内にあることは、上記引用例２の記載からみても明らかである。
　してみると、相違点（イ）は、実質的な相違点ではないか、引用例２の記載から当業者が適宜なし得たことである。
　
・相違点（ロ）について
　引用例１の摘記事項（１ｃ）によれば、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液（洗浄老化液）には、アルミニウム分のほかに、アルミニウム材の加工時に使用された潤滑剤由来のカーボン、グラファイト、窒化硼素等の微粒子や、アルミニウム材由来のＭｇ、Ｆｅ，Ｓｉ等の酸化物等がコロイド状やゲル状等の懸濁状態（不溶性不純物）として含有されており、これら不溶性不純物を沈降分離除去することが記載されているから、引用例１発明において、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液から沈降分離除去される不溶性不純物は、潤滑剤由来のカーボン、グラファイト、窒化硼素等の微粒子や、アルミニウム材由来のＭｇ、Ｆｅ，Ｓｉ等の酸化物等であることが理解できるところ、これら不溶性不純物は、徐々にエッチング槽内に蓄積されてゆくものである。
　そうであれば、蓄積された不溶性不純物の量が少ない場合や、水酸化アルミニウムの晶析、分離に際し、不溶性不純物の含有が問題とならない場合には、不溶性不純物の凝集剤による沈降分離工程を省略すること、すなわち相違点（ロ）の構成を採用することは、当業者にとって困難なことではない。
　そして、本願発明１の奏する効果も引用例１、２の記載から予測される範囲のものであって、格別顕著なものとは認められない。
　したがって、本願発明１は、引用例１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　
３−３．審判請求人の主張について　　
　審判請求人は、審判請求書の平成１９年１０月３１日付の手続補正書において、「ロ．・・・本願発明は・・・高濃度にアルミニウムを溶解させることにより、明示はしていないが、凝集剤を使用することなく水酸化アルミニウムを晶析することができるようになった」（２頁１９〜３１行）旨を主張している。しかし、次の（１）〜（３）の事項を考慮すれば、失当な主張であるとせざるをえない。
（１）引用例１発明は、不溶性不純物を沈降分離除去する際に凝集剤を使用するものの、水酸化アルミニウムを晶析させる際には凝集剤を使用しないのであるから、凝集剤を使用することなく水酸化アルミニウムを晶析する点で、引用例１発明と、本願発明１とに差異はないものである。
（２）本願明細書には、「【００３９】（実施例２）エッチング槽・・・の苛性ソーダの濃度２００ｇ／ｌで、０．１ＭＰａに加圧し、１３０℃に加熱し、アルミニウムを溶解し、廃苛性ソーダ溶液を抽出し、貯留槽に貯留した。貯留槽から抽出した苛性ソーダ溶液の組成は、Ｔ−ＮａＯＨが１８０〜２１０ｇ／ｌ，Ｔ−Ａｌが６０〜８０ｇ／ｌ・・・であった。抽出した廃苛性ソーダ溶液を晶析槽で処理し、水酸化アルミニウムを晶析して沈殿させ、底部から水酸化アルミニウム濃厚スラッジを排出した。上部の上澄み層を汲み出して、エッチング槽で使用した。この上澄み層の組成は、Ｔ−ＮａＯＨが１８０〜２１０ｇ／ｌ，Ｔ−Ａｌが２５〜４０ｇ／ｌ・・・であった。」と記載されている。
　ここで、トータルＡｌ分（Ｔ−Ａｌ）の濃度（ｇ／ｌ）と、トータルＮａＯＨ（Ｔ−ＮａＯＨ）の濃度（ｇ／ｌ）の比を、「Ａｌ／ＮａＯＨ比」と表すと、本願発明１のアルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液（廃苛性ソーダ溶液）のＡｌ／ＮａＯＨ比は、０．２８〜０．４４（６０〜８０／１８０〜２１０）であり、このアルカリ性溶液から、Ａｌ／ＮａＯＨ比が０．１２〜０．２２（２５〜４０／１８０〜２１０）のアルカリ性溶液（上澄み層）を回収することが理解できるし、高濃度にアルミニウムを溶解させる濃度は、Ａｌ／ＮａＯＨ比で０．２８〜０．４４であることも理解できる。
　これに対し、引用例１の摘記事項（１ｄ）によれば、実施例２においては、９５℃でエッチングした後に回収されたアルミニウム含有量が増加したアルカリ性液（洗浄老化液）は、ＮａＯＨ濃度２１０ｇ／ｌ、Ａｌ分７７ｇ／ｌであり、最終的に回収されたアルカリ性溶液（濾液）は、ＮａＯＨ濃度２１０ｇ／ｌ、Ａｌ分４１ｇ／ｌであることが記載されている。この記載から、アルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液（洗浄老化液）、及び、回収されたアルカリ性溶液（濾液）についてＡｌ／ＮａＯＨ比を計算すると、それぞれ０．３７（７７／２１０）、０．２０（４１／２１０）となるから、引用例１発明は、Ａｌ／ＮａＯＨ比が０．３７のアルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液から、Ａｌ／ＮａＯＨ比が０．２０のアルカリ性溶液を回収するものであって、高濃度にアルミニウムを溶解させる濃度は、Ａｌ／ＮａＯＨ比で０．３７である場合を包含することが理解できる。
　してみると、高濃度にアルミニウムを溶解させる濃度においても、Ａｌ／ＮａＯＨ比に関して、引用例１発明（０．３７）と、本願発明１（０．２８〜０．４４）とに差異はないものである。
（３）引用例１の摘記事項（１ｅ）によれば、不溶性不純物を凝集剤により沈降分離除去しない比較例２について、実施例２で用いたと同じアルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液（洗浄老化液）を用いて回収したアルカリ性溶液（濾液）は、ＮａＯＨ濃度２１０ｇ／ｌ、Ａｌ分４５ｇ／ｌであることが記載されている。すると、引用例１発明において、不溶性不純物を凝集剤により沈降分離除去しなくても、Ａｌ／ＮａＯＨ比が０．３７のアルミニウム含有量が増加したアルカリ性溶液から、Ａｌ／ＮａＯＨ比が０．２１（４５／２１０）のアルカリ性溶液を回収できるのであって、回収したアルカリ性溶液のＡｌ／ＮａＯＨ比も本願発明１（０．１２〜０．２２）と差異はない。
（４）まとめ
　以上の通りであるから、アルミニウム含有量が増加したアルカリ溶液とアルミニウムを回収した後のアルカリ溶液について、具体的な測定値に基づいて凝集剤添加による不純物除去の作用効果を比較したが、引用例１発明と本願発明１とで格別の相違があるとすることができない。
　そうであれば、引用例１発明において、不溶性不純物を凝集剤により沈降分離除去しない場合でも、本願発明１と同程度に水酸化アルミニウムを晶析、分離することができるといえる。
　以上のとおり、審判請求人の主張は失当であるから、上記判断を覆す必要性はないものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明１は、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、その余の発明について検討するまでもなく本願は拒絶すべきものである。
　よって、上記のとおり審決する。