【事件の表示】
　特願２００１−　５７７１１「アッシング装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　９月１３日出願公開、特開２００２−２６１１５６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本件出願は、平成１３年３月２日の特許出願であって、同１９年６月２０日、同年９月２８日に手続補正がなされたが、同年１１月１５日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年１２月１７日に本件審判の請求がなされ、同２０年１月１５日に手続補正（以下「本件補正」という。）がなされ、同年１２月１６日に回答書が提出されたものである。
　
第２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲、及び対応する発明の詳細な説明について補正をするものであって、請求項１について、補正前後の記載は、以下のとおりである。
　
（１）補正前
「基板をアッシング処理するための処理室と、
　前記処理室内に設けられ前記基板を載置及び加熱し上面に複数の穴部が設けられたサセプタとを有するアッシング装置であって、
　前記基板を前記サセプタから浮かせるよう前記複数の穴部に嵌入される複数のピンを有し、前記ピンの側面に形成された環状溝に環状バネが嵌められることを特徴とするアッシング装置。」
　
（２）補正後
「基板をアッシング処理するための処理室と、
　前記処理室内に設けられ前記基板を載置及び加熱し上面に複数の穴部が設けられたサセプタとを有するアッシング装置であって、
　前記基板を前記サセプタから浮かせるよう前記複数の穴部に嵌入される複数のピンを有し、前記ピンの側面に形成された環状溝に
耐熱性材料で構成される
　
２．補正の適否　　　
　本件補正の特許請求の範囲の補正後の請求項１についての補正は、環状バネについて、「耐熱性材料で構成される」なる事項を付加するものであり、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか否か（いわゆる独立特許要件）について検討する。
　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、上記１．（２）のとおりのものと認める。
　
（２）刊行物に記載された発明
　これに対し、原査定で引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である実願平４−６６３６４号（実開平６−２３２４４号）のＣＤ−ＲＯＭ（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
ア．段落０００１
「【０００１】
    【産業上の利用分野】
　本考案は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板等の基板を加熱または冷却するために、加熱手段または冷却手段のうちの少なくとも一方を備えた熱板とを有する基板の熱処理装置に関する。」
　
イ．段落０００６
「【０００６】
　本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理板とその上に配置される基板との間の所定の微小な隙間を高精度に設定することができ、またその隙間の大きさを容易に変更できる基板の熱処理装置を提供することを目的とする。」
　
ウ．段落００１０〜００１２
「【００１０】
　（第１実施例）
　図１は、本考案に係る基板の熱処理装置の第１実施例を示す一部破断全体斜視図であり、加熱手段としての板状ヒータ１を押さえ板２によって密着させたアルミニウムやセラミックなどを材料とした熱板３と、熱板３の上面に設けられた伝熱プレート６とで処理板４が構成される。
　伝熱プレート６には、３個の貫通孔５…が正三角形の頂点の位置関係で形成されており、貫通孔５…それぞれには、基板支持部材としてのボール７がはめ込まれている。ボール７…それぞれの直径は伝熱プレート６の厚みよりも大きく、すなわち、ボール７…それぞれの上下方向高さは伝熱プレート６の厚みよりも大きい。・・・。
  【００１１】
　前記熱板３の上面に環状の溝８が形成されるとともに、熱板３内に溝８に連通する空気流路９が形成され、その空気流路９に、真空ポンプなどの真空吸引源１０が配管１１を介して接続され、伝熱プレート６を真空吸引力によって熱板３の上面に載置密着させ、熱板３から伝熱プレート６に良好に伝熱できるとともに熱板３に対して伝熱プレート６を容易に着脱できるように構成されている。
  【００１２】
　前記貫通孔５…それぞれは、その上端に、図２の（ａ）の要部の断面図に示すように、開口径がボール７の径よりもやや小となった狭口部１５が形成され、伝熱プレート６を熱板３の上面に載置密着した状態でのボール７の上方への移動を抑制し、ボール７が抜け出すことが無いように構成されている。」
　
エ．段落００１４
「【００１４】
　（第２実施例）
　図３は、第２実施例の要部の断面図であり、第１実施例と異なるところは次の通りである。
　基板支持部材として、ボール７…に代えて上端側が小径の凸部材１３が抜け止め状態で貫通孔５内にはめ込まれ、第１実施例と同様に、伝熱プレート６を厚みの異なるものに交換したり、凸部材１３を上下方向の高さの異なるものに交換したりすることによって、伝熱プレート６の上面とその上に支持される被処理基板Ｗとの隙間Ｄを適宜調整して加熱条件を変えることにより被処理基板Ｗを加熱すべき所要温度に加熱するようになっている。・・・。
　第１実施例のボール７や第２実施例の凸部材１３などをして基板支持部材と総称する。」
　
オ．段落００１７
「【００１７】
　また、上記従来例では、貫通孔５…として、抜け止めのための狭口部１５を形成して、抜け止め状態で伝熱プレート６の下面側からボール７…や凸部材１３…をはめ込んでいるので、基板支持部材が容易に外れてしまうことがないが、これに限らず、抜け止めのための狭口部１５を形成せずに、上側から基板支持部材をはめ込めきるように構成するものでも良い。」
　
　これらの記載事項、特にオ．を、図面を参照しつつ、技術常識を考慮しながら補正発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物発明」という。）が記載されていると認める。
　
「基板Ｗを配置及び加熱し上面に複数の貫通孔５が設けられた処理板４とを有する熱処理装置であって、
　前記基板Ｗを前記処理板４との間に所定の隙間を設定するよう前記複数の貫通孔５に上側から嵌入される複数の基板支持部材を有する熱処理装置。」
　
（３）対比
　補正発明と刊行物発明とを対比する。
　刊行物発明の「配置」、「貫通孔５」、「処理板４」、「所定の隙間を設定する」は、それぞれ補正発明の「載置」、「穴部」、「サセプタ」、「浮かせる」に相当する。
　刊行物発明の「熱処理装置」と、補正発明の「アッシング装置」とは、「熱処理装置」である限りにおいて一致する。
　刊行物発明の「基板支持部材」と、補正発明の「ピン」とは、「支持部材」である限りにおいて一致する。
　
　したがって、補正発明と刊行物発明とは、次の点で一致している。
「基板を載置及び加熱し上面に複数の穴部が設けられたサセプタとを有する熱処理装置であって、
　前記基板を前記サセプタから浮かせるよう前記複数の穴部に嵌入される複数の支持部材を有する熱処理装置。」
　
　そして、補正発明と刊行物発明とは、以下の点で相違している。
　相違点１：「熱処理装置」について、補正発明は「基板をアッシング処理するための処理室」を有し、サセプタが「処理室内に設けられ」る「アッシング装置」であるが、刊行物発明は、明らかでない点。
　相違点２：「支持部材」について、補正発明は、「側面に形成された環状溝に耐熱性材料で構成される環状バネが嵌められる」「ピン」であるが、刊行物発明は、そのようなものでない点。
　
（４）相違点の検討
　相違点１について検討する。
　熱処理装置として、基板をアッシング処理するための処理室を有し、サセプタが処理室内に設けられるアッシング装置は、特開２０００−３０６８９６号公報、特開２０００−２１８１５０号公報、特開平１１−２８３９７０号公報にみられるごとく周知であり、刊行物発明の熱処理装置を、かかるアッシング装置とすることは、必要に応じてなしうる設計的事項にすぎない。
　
　相違点２について検討する。
　刊行物発明の基板支持部材は、上側から嵌入されるものであるから、嵌入可能なように「ピン」とすることは設計的事項である。
　請求人は、審判請求理由において、基板支持部材が「凸部材」であることを前提とした主張を行っているが、刊行物１記載のものの「凸部材１３」は、下側から嵌入され、「狭口部１５」により、抜けを防止するためのものであり、刊行物１記載のものにおいて、上側から嵌入されるものとする以上、あえて加工・製造に工数のかかる「凸部材」とする必要はないから、請求人の主張は、採用できない。
　基板支持部材をピンとする場合、上記摘記事項（２）のオにみられるごとく、「抜け止めのための狭口部１５」を形成しないこととなるから、「基板支持部材が容易に外れてしまうことがない」ように、何らかの手段を考慮する必要があることは予測されるところである。
　請求人は、審判請求理由において、刊行物１記載のものについて、「上側から基板支持部材を嵌入する際は抜けを防止する技術を意図的に排除することが記載されており、さらにまた固定することは考えられていません。」と主張する。
　しかし、刊行物１には、「抜けを防止する技術」を「意図的に排除する」とは明記されておらず、請求人の主張は根拠がない。
　ところで、「部材側面に形成された環状溝に環状バネを嵌める」ことで、部材の位置保持を行うものは、原査定で引用した実願平２−１２８４２４号（実開平４−８５７６８号）のマイクロフイルムのアタッチメント２６、同じく実願昭６２−３４０１４号（実開昭６３−１４０３２７号）のマイクロフイルムの弾性部材２、当審の審尋で引用した特開平１０−１３５２２８号公報の脱落防止部材２０にみられるごとく周知である。
　したがって、刊行物発明に、上側から嵌入されるピン状部材が容易に外れてしまうことがないように、かかる周知技術を採用することは必要に応じてなしうる事項にすぎず、その際に、刊行物発明は「熱処理装置」であるから、それに適合するよう「環状バネ」を「耐熱性材料で構成される」ものとすることは、前記特開平１０−１３５２２８号公報（特に段落００３４）の脱落防止部材２０が耐熱性材料である「ステンレス鋼」とされているごとく、当然考慮すべき設計的事項である。
　
　また、これら相違点を総合勘案しても、格別な技術的意義が生じるとは認められない。
　
　以上のことから、補正発明は、刊行物発明、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　したがって、本件補正は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
４．回答書の主張について
　請求人は、前記回答書で、「特許請求の範囲を請求項３、４に限定する用意がありますので、請求項３、４について意見を述べます。」としている。
　しかし、特許請求の範囲を請求項３、４に限定する旨の、特許法に基づく手続補正がなされたものではないから、請求人の主張は採用できない。
　請求人の便宜のため、請求項３、４について、一応検討する。
　請求項３で特定する楔作用による抜け止め機能については、特開平１０−８９５６７号公報の抜け止めウエッジリング４にみられるごとく周知である。
　請求項４で特定する窒化物で形成したバネについては、特開平１１−１４７７６９号公報、特開平１０−２９９８０３号公報、特開平８−１４２９４号公報にみられるごとく周知である。
　よって、請求項３、４に限定したとしても、特許性の主張は困難と思われる。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１に係る発明は、平成１９年９月２８日付けで補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２．１．（１）に示す請求項１に記載されたとおりである。
　
２．刊行物等
　これに対して、原査定の際にあげられた刊行物及びその記載内容は、上記第２．２．（２）に示したとおりである。
　
３．対比・検討
　本願発明は、補正発明において付加された事項を削除するものである。
そうすると、本願発明も、上記第２．２．（４）と同様の理由により、刊行物発明、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。