(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス光を一定時間間隔で測定対象物体に照射し、
前記測定対象物体により反射された反射パルス光を受光し、
パルス光の照射開始から所定時間内に受光された反射パルス光について反射パルス光の各々を一定光量に変換すると共に該変換された光量を反射パルス光のパルス数に応じて蓄積し、
前記蓄積した光量に基づいて、前記測定対象物体までの距離を測定する、
距離測定方法。
【請求項２】
所定光量以上の光量を一定光量に変換する空間光変調素子を用いて、一定光量に変換することを特徴とする請求項１記載の距離測定方法。
【請求項３】
パルス光を一定時間間隔で測定対象物体に照射する照射手段と、
前記照射手段により照射されたパルス光が前記測定対象物体で反射した反射パルス光を受光する受光手段と、
パルス光の照射開始から所定時間内に前記受光手段により受光された反射パルス光について反射パルス光の各々を一定光量に変換する光量変換手段と、
前記光量変換手段により変換された光量を反射パルス光のパルス数に応じて蓄積する光量蓄積手段と、
前記光量蓄積手段により蓄積された光量に基づいて、前記測定対象物体までの距離を求める距離測定制御手段と、
を有する距離測定装置。
【請求項４】
前記測定対象物体を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像で得られた測定対象物体の２次元画像と前記距離測定制御手段により求められた距離とを対応付ける対応付け手段と、
をさらに有する請求項３記載の距離測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定対象物体までの距離を測定する距離測定方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、写真フィルムや固体撮像素子などの２次元画像受光面の中心を基点として対象物体との距離を測定する技術が、オートフォーカス技術として実用化されている。ところが、この技術は、結像というその目的から本質的に対象物体上の１点からの距離を測定するものである。
【０００３】
また、対象物体に接触して３次元形状を測定したり反射鏡を用いて三角測量を行うことにより対象物体の３次元形状を測定するいわゆる３次元デジタイザも実用化されているが、対象物体の２次元画像を構成する画素に測定点を対応させるものではない。この他にも対象物体の３次元形状を測定する種々の光計測技術（例えば刊行物「Ｏ  ｐｌｕｓ  Ｅ」第２０２号の８０〜８７ページ及び１１８ページ参照）が提案されているが、対象物体の２次元画像を構成する画素との距離測定を行うものではない。
【０００４】
一方、遠方より非接触で対象物体の３次元形状あるいは対象物体表面の複数点の距離を求める光計測技術も提案されている。例えば、画素間の明度情報に基づく特徴量を利用して対応点を求める装置（特開昭６１−２００４２４号公報参照）や２次元画像の輝度からエッジを求め３次元形状を生成する方法とその装置（特開平５−１８１９８０号公報参照）が開示されている。また、距離計算のデータ量を減らすため、複数輝点の情報から平面を認識し対象物体を連続する平面でとらえる装置（特開平５−２８０９４１号公報参照）や直交する２本のスリット光で不連続境界線の３次元座標を求める装置（特開平６−１０９４４２号公報参照）が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の光計測技術については、以下のような問題点が指摘されている。即ち、２次元画像のみから対象物体の３次元形状あるいは表面の複数点の距離を求める場合、該対象物体を異なる方向から撮像した複数の画像を入手し対応点（複数画像間で対応する点）を決定するが、その際、画像の明るさや形などを認識するための画像処理を行うのが一般的であるので、対象物体表面の反射率や対象物体の形状などによって画像の明るさや形などが変動し、得られた距離データに誤差が生じることがある。また、対象物体に光を照射しその散乱光の中心位置（輝点）に基づいて対応点を決定する場合は、対象物体を光で走査する必要が生じるため、対象物体が動体であるケースには適用困難となる。さらに、いずれの場合でも測定点の増加に応じて距離の計算時間が増大するため、距離測定を実時間で実行することが困難となる。
【０００６】
また、他の光計測技術として、特開平２−１９７９６６号公報には、対象物体を撮像した複数の画像を逐次、空間光変調素子によって変調し、その変調結果と対象物体の特徴パターンとのパターンマッチングを行うことで対応点決定を行う装置が示されているが、対象物体を撮像した画像の状態に左右される事には変わりない。また、特開平５−２６４２４７号公報には対象物体に複数の波長の光を照射して得られる原色のビデオ信号から対象物体の傾きを求め３次元形状を推定する方法が開示され、特開平６−３４３２３号公報には対象物体からの反射スリット光を分割し対象物体との距離を得る装置が開示されているが、これらの技術も対象物体の表面の反射率に影響されるのは同様である。
【０００７】
さらに、対象物体との距離を画素ごとに得る方法として特開平３−１３９７７２号公報では、対象物体にスペクトル・パターンを投影し分光感度の異なるセンサで画像入力を行う際に、スペクトル・パターンをセンサのダイナミックレンジが最大になるよう空間的に変調し、その前後の画像間で演算を行う方法及び装置が提案されているが、この技術も反射スペクトルを用いるため、対象物体の表面の反射率に影響されるところは同じである。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解消するために成されたものであり、測定対象物体表面の反射状態に左右されることなく、短い処理時間で測定対象物体までの距離を測定することができる距離測定方法及び装置を提供する事を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の距離測定方法は、パルス光を一定時間間隔で測定対象物体に照射し、前記測定対象物体により反射された反射パルス光を受光し、パルス光の照射開始から所定時間内に受光された反射パルス光について反射パルス光の各々を一定光量に変換すると共に該変換された光量を反射パルス光のパルス数に応じて蓄積し、前記蓄積した光量に基づいて、前記測定対象物体までの距離を測定する、ことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２記載の距離測定方法は、請求項１記載の距離測定方法において、所定光量以上の光量を一定光量に変換する空間光変調素子を用いて、一定光量に変換することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３記載の距離測定装置は、パルス光を一定時間間隔で測定対象物体に照射する照射手段と、前記照射手段により照射されたパルス光が前記測定対象物体で反射した反射パルス光を受光する受光手段と、パルス光の照射開始から所定時間内に前記受光手段により受光された反射パルス光について反射パルス光の各々を一定光量に変換する光量変換手段と、前記光量変換手段により変換された光量を反射パルス光のパルス数に応じて蓄積する光量蓄積手段と、前記光量蓄積手段により蓄積された光量に基づいて、前記測定対象物体までの距離を求める距離測定制御手段と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４記載の距離測定装置は、請求項３記載の距離測定装置において、前記測定対象物体を撮像する撮像手段と、前記撮像手段による撮像で得られた測定対象物体の２次元画像と前記距離測定制御手段により求められた距離とを対応付ける対応付け手段と、をさらに有することを特徴とする。
【００１３】
上記請求項１記載の距離測定方法では、パルス光を一定時間間隔で測定対象物体に照射し、該測定対象物体により反射された反射パルス光を受光する。
【００１４】
ここで、パルス光が照射されてから測定対象物体で反射されその反射パルス光が受光されるまでの時間は、測定対象物体までの距離に比例する。その上、反射パルス光のパルス数は、反射パルス光の光量とは違い、測定対象物体表面の反射状態によって変動することはない。
【００１５】
従って、パルス光の照射開始から所定時間内に受光された反射パルス光のパルス数は、測定対象物体までの距離に応じて変化することになり、前記距離が短い場合パルス数は多くなり、前記距離が長い場合パルス数は少なくなる。
【００１６】
そこで、請求項１記載の距離測定方法では、パルス光の照射開始から所定時間内に受光された反射パルス光について反射パルス光の各々を一定光量に変換する。これにより、測定対象物体表面の反射状態によって反射パルス光の各々の光量が変動しても、その光量変動の影響を無くし、反射パルス光の各々より常に一定光量を得ることができる。
【００１７】
上記のようにして反射パルス光の各々を一定光量に変換すると共に、該変換された光量を反射パルス光のパルス数に応じて蓄積する。これにより、パルス光の照射開始から所定時間内に受光された反射パルス光のパルス数、即ち測定対象物体までの距離に応じた光量が蓄積される。
【００１８】
ここでは、測定対象物体までの距離が短い場合、反射パルス光のパルス数が多くなるので、蓄積した光量は多くなる。一方、測定対象物体までの距離が長い場合、反射パルス光のパルス数が少なくなるので、蓄積した光量は少なくなる。
【００１９】
そこで、このような測定対象物体までの距離と蓄積した光量との相関関係、即ち測定対象物体までの距離が短くなるに従い蓄積した光量が多くなるという相関関係を利用して、蓄積した光量より測定対象物体までの距離を測定する。
【００２０】
これにより、測定対象物体表面の反射状態の影響により反射パルス光の各々の光量が多少変動してもその変動の影響を無くし、従来のような距離計算を行うことなく、測定対象物体までの距離を精度良く且つ実時間で測定することができる。
【００２１】
なお、上記で反射パルス光の各々を一定光量に変換する際には、請求項２に記載したように、所定光量以上の光量を一定光量に変換する空間光変調素子を用いることができる。この空間光変調素子は、書込部（受光部）と読取部（変調部）から構成され、書込部では予め定めた所定光量以上の光が照射されると、複数の画素が形成され、これらの画素毎に所定光量に対応する物理量（例えば、抵抗率）が保存される。これと共に、書込部は読取部の対応画素へ作用し、一定光量の読み取り出力が可能な状態にする。これにより、空間光変調素子では、１パルス光を一定光量に変換することができる。
【００２２】
上記のような距離測定方法に基づく距離測定を実行する距離測定装置として、請求項３記載の距離測定装置を挙げることができる。
【００２３】
この請求項３記載の距離測定装置では、照射手段によってパルス光を一定時間間隔で測定対象物体に照射し、照射されたパルス光が測定対象物体で反射した反射パルス光を受光手段によって受光する。
【００２４】
そして、パルス光の照射開始から所定時間内に受光手段により受光された反射パルス光について、光量変換手段によって反射パルス光の各々を一定光量に変換していき、該変換された光量を光量蓄積手段によって反射パルス光のパルス数に応じて（即ち、（一定光量×反射パルス光のパルス数）に相当する光量を）蓄積する。
【００２５】
ここでは、測定対象物体までの距離が短いほど、蓄積される光量が多くなるので、この相関関係を利用して、距離測定制御手段によって前記蓄積された光量より測定対象物体までの距離を求める。
【００２６】
さらに、請求項４記載の距離測定装置では、撮像手段によって測定対象物体を撮像し、対応付け手段によって、撮像で得られた測定対象物体の２次元画像と、距離測定制御手段によって求められた測定対象物体までの距離とを対応付けることができる。これにより、測定対象物体が複数存在する場合、複数の測定対象物体を撮像した２次元画像と各測定対象物体までの距離とを対応付けることができる。即ち、距離情報付き２次元画像を得ることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明に係る距離測定方法及び装置の実施形態を説明する。まず、本発明に係る距離測定装置の構成を説明する。
【００２８】
図１に示すように、距離測定装置１０は、パルス光を一定間隔で射出するパルス光源１２Ａ及び読み出し光を射出する読み出し光源１２Ｂで構成された光源１２と、ＣＣＤ等で構成された撮像素子１４Ａ、レンズ１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ、ハーフミラー１４Ｅ、１４Ｆ、１４Ｈ、及びミラー１４Ｇで構成された撮像部１４と、受光部１６Ａ、光反射部１６Ｂ及び変調部１６Ｃで構成された空間光変調素子１６と、レンズ１８Ａ及びハーフミラー１８Ｂで構成された縮小投影部１８と、距離測定装置１０の各構成機器の動作を制御する制御部２０と、画情報を記憶するメモリとしての画像記憶部２２と、読み出し光源１２Ｂからの読み出し光を遮断するシャッタ２４と、ハーフミラー１４Ｆにより図１において右方向に反射された光を遮断するシャッタ２６と、を含んで構成されている。
【００２９】
パルス光源１２Ａからのパルス光は、ハーフミラー１４Ｆ、レンズ１４Ｄを透過した後、ハーフミラー１８Ｂで反射され、レンズ１８Ａを介して測定対象物体３０に照射される。この測定対象物体３０からの反射光は、レンズ１８Ａを介してハーフミラー１８Ｂを透過し空間光変調素子１６の受光部１６Ａにより受光される。
【００３０】
なお、パルス光源１２Ａから射出されるパルス光の波長及び発光光量は、測定対象物体３０で反射された反射パルス光の受光部１６Ａによる受光量が予め定めたしきい値Ｊよりも大きくなるよう設定されている（詳細は後述する）。
【００３１】
また、レンズ１８Ａは所定の焦点距離を有しているため、距離測定範囲が定まっている。その距離測定範囲内において要求される距離測定精度に応じて、パルス光源１２Ａからのパルス光の発光時間間隔及び照射時間が予め設定されている。即ち、発光時間間隔を短くすることでパルス数が増加し、距離測定精度は向上する。なお、距離測定範囲を広くとるために、ピンホールレンズ等の焦点深度が深いレンズ、焦点距離が可変なズームレンズを用いて縮小投影部１８を構成しても良い。
【００３２】
一方、読み出し光源１２Ｂからの読み出し光は、レンズ１４Ｂを透過した後、ハーフミラー１４Ｅで反射され、変調部１６Ｃに照射される。その反射光はハーフミラー１４Ｅ、レンズ１４Ｃ、ハーフミラー１４Ｈを透過して撮像素子１４Ａにより受光される。
【００３３】
空間光変調素子１６では、図３（Ａ）に示すように受光部１６Ａに導かれた反射パルス光１回の光量がしきい値Ｊ以上の場合、変調部１６Ｃでの読み出し光量は一定の光量Ｋに設定され、受光部１６Ａに導かれた反射パルス光１回の光量がしきい値Ｊ未満の場合、変調部１６Ｃでの読み出し光量は光量０に設定される。
【００３４】
撮像素子１４Ａでは、このような読み出し光量を、測定点からの反射パルス数に応じた光量として蓄積する。この蓄積された光量値より各画素毎の距離に応じた画像（即ち、各画素の光量値が距離に応じた光量値に設定された画像、以下、距離画像と称する）が得られ、この距離画像は画像記憶部２２に格納される。
【００３５】
なお、光反射部１６Ｂは、読み出し光源１２Ｂからの読み出し光が受光部１６Ａへ進入すること及び測定対象物体３０からの反射光が変調部１６Ｃへ進入することを阻止し、受光部１６Ａと変調部１６Ｃとを光学的に分離するため設けたものである。また、上記では、パルス光でなく連続光を用いても変調部１６Ｃの読み出し光量を２値化することができるが、連続光ではパルス１回と等価になってしまうため、上記のように距離に応じたパルス数を光量に変換して検出することができず、距離と反射とを分離することができない。よって、本実施形態の距離測定装置１０では、パルス光を用いている。
【００３６】
ところで、図１の距離測定装置１０において測定対象物体３０を撮像する場合は、図示しない光源からの光が測定対象物体３０に照射され、その反射光がミラー１８Ｂ、１４Ｆ、１４Ｇ、１４Ｈで順に反射され、距離画像を得たものと共通の撮像素子１４Ａへ導かれる。撮像素子１４Ａによる撮像で得られた測定対象物体３０の画像（以下、前述した距離画像と区別するため濃淡画像と称する）は画像記憶部２２に格納される。
【００３７】
さらに、距離測定装置１０では、画像記憶部２２に格納した距離画像と濃淡画像とを各画素毎に対応させて、距離情報付き画像を形成する機能（詳細は後述）を有する。
【００３８】
次に、本実施形態における作用として、上記距離測定装置１０で実行される距離測定処理を説明する。
【００３９】
距離測定装置１０のオペレータにより距離測定処理の実行が指示されると、制御部２０により図４の制御ルーチンが実行開始される。まず、図４のステップ１００では、距離画像の形成処理のサブルーチン（図５参照）が実行される。
【００４０】
図５のステップ１０２では、シャッタ２４を開きシャッタ２６を閉じる。これにより、測定対象物体３０からの反射パルス光がミラー１４Ｆ、１４Ｇ、１４Ｈを経たルートで撮像素子１４Ａに投影されることがなくなり、読み出し光源１２Ｂからの読み出し光が空間光変調素子１６の変調部１６Ｃに照射される。
【００４１】
次のステップ１０４ではパルス光源１２Ａからのパルス光を測定対象物体３０に一定時間照射し、次のステップ１０６では測定対象物体３０で反射した反射パルス光を空間光変調素子１６の受光部１６Ａに投影する。
【００４２】
図２には、各測定点で反射され空間光変調素子１６の受光部１６Ａに導かれた反射パルス光の様子を示している。なお、発光間隔及び照射時間で決まる全パルス数を２０とした。この図２に示すようにパルス光を測定対象物体３０に照射開始してから所定の測定時間内（パルス数１８回に相当）に、近い測定対象物体３０Ａの測定点Ｐ１  では反射パルスは１０回、遠い測定対象物体３０Ｂの測定点Ｐ２  では反射パルスは１回生じる。
【００４３】
各測定点での反射パルス光の光量は、距離による減衰と反射状態の両方の影響を含んでいるため、異なる値となる。このため、空間光変調素子１６では、受光部１６Ａに導かれた１つの反射パルス光の光量がしきい値Ｊ以上の場合、変調部１６Ｃでの読み出し光量を一定光量Ｋに変換し、１つの反射パルス光の光量がしきい値Ｊ未満の場合、変調部１６Ｃでの読み出し光量を光量０に変換する。
【００４４】
その一方で、パルス光源１２Ａから射出されるパルス光の波長及び発光光量は、反射パルス光の受光部１６Ａによる受光量が上記しきい値Ｊ以上になるよう設定されている。即ち、空間光変調素子１６の受光部１６Ａで反射パルス光を受光した画素については、その受光量がしきい値Ｊ以上になり、変調部１６Ｃでの読み出し光量が一定光量Ｋとなる。一方、空間光変調素子１６の受光部１６Ａで反射パルス光を受光していない画素については、その受光量がしきい値Ｊ未満なので、変調部１６Ｃでの読み出し光量が光量０となる。
【００４５】
これにより、測定対象物体３０の表面の反射状態によって１つの反射パルス光の光量が変動しても、その光量変動の影響を無くし、空間光変調素子１６の受光部１６Ａで反射パルス光を受光したか否かに応じて、変調部１６Ｃでの読み出し光量が光量Ｋと光量０とで切り替わることになる。
【００４６】
次のステップ１０８では反射パルス１回当たりで等しい光量（上記読み出し光量Ｋ）として空間光変調素子１６の変調部１６Ｃより各画素毎の光量を読み出し、次のステップ１１０では所定の読み出し時間内の反射パルス数に比例した各画素毎の光量を撮像素子１４Ａに蓄積する。この蓄積された光量値より距離情報が得られる。
【００４７】
例えば、受光部１６Ａにおける１つの画素で複数パルス数の反射パルスが受光された場合、撮像素子１４Ａにおける対応する画素では、反射パルス数に比例した読み出し光量が蓄積されることになる。
【００４８】
図２に示すように近い測定対象物体３０Ａの測定点Ｐ１  では反射パルスは１０回なので、図３（Ｂ）に示すようにこの近い測定点Ｐ１  に対応する読み出し光量の蓄積値は１０Ｋとなり、遠い測定対象物体３０Ｂの測定点Ｐ２  では反射パルスは１回なので、図３（Ｂ）に示すようにこの遠い測定点Ｐ２  に対応する読み出し光量の蓄積値はＫとなる。
【００４９】
次のステップ１１２では反射パルス数に比例した各画素毎の光量に基づく画像（各画素毎の距離に応じた距離画像）を画像記憶部２２に格納して、図４の主ルーチンへリターンする。
【００５０】
図４の主ルーチンで次のステップ１２０では、濃淡画像の形成処理のサブルーチン（図６参照）が実行される。図６のステップ１２２では、シャッタ２４を閉じてシャッタ２６を開く。これにより、測定対象物体３０からの反射光がミラー１４Ｆ、１４Ｇ、１４Ｈを経たルートで撮像素子１４Ａに投影されることになり、読み出し光源１２Ｂからの読み出し光はシャッタ２４で遮断される。
【００５１】
次のステップ１２４では、図示しない光源からの光を測定対象物体３０に照射し、測定対象物体３０からの反射光をミラー１４Ｆ、１４Ｇ、１４Ｈを経て撮像素子１４Ａに直接投影する。なお、このとき測定対象物体３０からの反射光は空間光変調素子１６の受光部１６Ａに投影されるが、空間光変調素子１６内の光反射部１６Ｂによって変調部１６Ｃへの該反射光の進入が阻止される。
【００５２】
そして、次のステップ１２６では上記投影された反射光を撮像素子１４Ａで撮像し、該反射光による測定対象物体３０の濃淡画像を得る。さらに、次のステップ１２８では前記撮像で得られた濃淡画像を画像記憶部２２に格納して、図４の主ルーチンへリターンする。
【００５３】
図４の主ルーチンで次のステップ１４０では、前記ステップ１００で形成した距離画像と前記ステップ１２０で形成した濃淡画像とを各画素毎に対応付ける。これにより、例えば、図７に示すように複数の測定対象物体３０Ａ、３０Ｂを撮像した２次元画像と各測定対象物体までの距離とを対応付けることができ、距離情報付き画像を得ることができる。測定対象物体３０Ａ上の測定点Ｐ１  については、その２次元画像データと距離情報（例えば２メートル）とを得、測定対象物体３０Ｂ上の測定点Ｐ２  については、その２次元画像データと距離情報（例えば４メートル）とを得ることができる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態によれば、測定対象物体３０からの１つの反射パルス光を各画素毎に一定光量Ｋに変換した上で、各画素毎の反射パルス数に比例した光量を撮像素子１４Ａに蓄積するので、測定対象物体３０の表面の反射状態に左右されることなく、実時間で測定対象物体３０までの距離情報を得ることができる。
【００５５】
また、本実施形態では、共通の撮像素子１４Ａによって、測定対象物体３０の濃淡画像と共に距離に応じた距離画像を得るので、該濃淡画像と距離画像とを各画素毎に容易に短い処理時間で対応させることができる、という利点がある。
【００５６】
なお、図４の制御ルーチンにおいて、ステップ１００の距離画像の形成処理とステップ１２０の濃淡画像の形成処理とは実行の順番を逆にしても良い。
【００５７】
また、得られた距離情報付き画像は、３次元ＣＡＤデータや産業用ロボットの位置制御データ、医療・教育・販売などの３次元映像資料とするための３次元画像変換に用いることができる。
【００５８】
なお、上記実施形態では、距離画像形成時と濃淡画像形成時とでシャッタ２４の開閉状態を切り替えたが、読み出し光源１２Ｂの点灯状態を切り替えても良い。即ち、距離画像形成時に読み出し光源１２Ｂを点灯させ、濃淡画像形成時には読み出し光源１２Ｂを消灯させる。このようにすることで、シャッタ２４は不要となる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、測定対象物体表面の反射状態の影響により反射パルス光の１パルスの光量が多少変動してもその変動の影響を無くし、従来のような距離計算を行うことなく、測定対象物体までの距離を精度良く且つ実時間で測定することができる。
【００６０】
特に、請求項４記載の発明によれば、距離情報付き２次元画像を得ることができ、測定対象物体が複数存在する場合、複数の測定対象物体を撮像した２次元画像と各測定対象物体までの距離とを対応付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明の実施形態における距離測定装置の概略構成図である。
【図２】距離が異なる２つの測定点での反射パルス光のパルス数を示す図である。
【図３】（Ａ）は反射パルス１回の光量と空間光変調素子の変調部での読み出し光量との関係を示すグラフであり、（Ｂ）は測定点からの反射パルス数と撮像素子に蓄積される読み出し光量との関係を示すグラフである。
【図４】距離測定処理の制御ルーチンを示す流れ図である。
【図５】距離画像の形成処理のサブルーチンを示す流れ図である。
【図６】濃淡画像の形成処理のサブルーチンを示す流れ図である。
【図７】図４の距離測定処理により得られた距離情報付き２次元画像の一例を示す図である。
【符号の説明】
１０    距離測定装置
１２Ａ  パルス光源
１４    撮像部
１４Ａ  撮像素子
１６    空間光変調素子
１６Ａ  受光部
１６Ｃ  変調部
２０    制御部
２２    画像記憶部
３０    測定対象物体
【図１】
0003570160.tif 000002
【図２】
0003570160.tif 000003
【図３】
0003570160.tif 000004
【図４】
0003570160.tif 000005
【図５】
0003570160.tif 000006
【図６】
0003570160.tif 000007
【図７】
0003570160.tif 000008