(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの間仕切り用に供される支柱であって、孔心方向に延びる内側筒体と、この内側筒体に離間状態で被せられる外側筒体と、この外側筒体および上記内側筒体間に一体に介設された長手方向に延びる連結条とを備えて構成され、上記外側筒体には、上記連結条から外れた位置に長手方向に延びる螺着帯が形成され、この螺着帯は、手工具を用いた手作業による押圧操作でスクリューホールを穿設し得る厚さである０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内の厚みに寸法設定され、上記螺着帯の裏面側には、螺着帯を挟むようにして長手方向に延びた一対のねじ板が設けられ、各ねじ板の対向面には、スクリューのねじピッチに対応した長手方向に延びる複数のねじ山が突設され、上記一対のねじ板の一方は、上記連結条によって形成され、同他方は、外側筒体の内面から内側筒体に向かって突設され、かつ、先端縁部が内側筒体の外面から離間した突設条によって形成されていることを特徴とするクリーンルーム用支柱。
【請求項２】
上記外側筒体の外周面には、上記螺着帯を含む位置に長手方向に延びる浅溝が形成され、この浅溝は、溝深さが外側筒体の厚さより浅く設定されていることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用支柱。
【請求項３】
上記内側筒体および外側筒体は、いずれも角筒によって形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のクリーンルーム用支柱。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工場等で採用されるクリーンルームで間仕切り材として用いられるクリーンルーム用支柱に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図７に示すようなクリーンルーム用の支柱１００が知られている。このクリーンルーム用の支柱１００は、僅かな浮遊粉塵の存在も許さない半導体製造工場のクリーンルームにおいて、各製造機器あるいは製造セクション毎に間仕切りを行うときの間仕切り板を支持するために使用されるものであり、通常、アルミニウム合金を原料にした押出し成形によって製造されている。
【０００３】
かかる支柱１００は、中心位置に配設された平面視で正方形状の基礎角筒１１０と、この基礎角筒１１０の各側面の幅方向の中央位置から外部に向けて膨設された長手方向に延びる平面視でコ字状の膨設条１２０と、基礎角筒１１０の四隅の外面位置にそれぞれに一体に形成された長手方向に延びる隅部角筒１３０とを備えて構成されている。
【０００４】
各隅部角筒１３０は、平面視で正方形状に形成されているとともに、長手方向に延びる一稜線部分が削り取られた状態で基礎角筒１１０の角部１１１に嵌め込まれて基礎角筒１１０と一体化された状態になっている。そして、平面視で正方形状であったとしたときの各隅部角筒１３０の孔心は、基礎角筒１１０の対角線の延長線上に位置するとともに、上記対角線を境として左右対称になるように配置されている。
【０００５】
また、膨設条１２０および隅部角筒１３０の基礎角筒１１０の一辺からの突出量は全て同一に寸法設定されている。従って、支柱１００は、平面視で外側の輪郭線に注目すると正方形状になっている。
【０００６】
そして、各膨設条１２０と各隅部角筒１３０との間には、長手方向に延びるねじ溝１０１が形成されているとともに、各ねじ溝１０１の対向面には長手方向に延びるねじ山１０２が複数条突設されている。このねじ山１０２は、対向面で互いに半ピッチずつずらされており、従って、スクリューＳは、これをねじ溝１０１に直交するように差し込んでねじ込むことにより、スクリューＳのねじ山がねじ溝１０１のねじ山１０２に誘導されつつ前進して溝底に向かうことになる。
【０００７】
このような支柱１００においては、例えば、図８に示すように、所定のブラケット１４０の予め穿孔されている挿通孔１４１にスクリューＳを差し通した状態でドライバーＤを用いてねじ溝１０１にねじ込むことにより、切り子を発生させずにブラケット１４０が支柱１００に固定される。
【０００８】
このような支柱１００の一対をブラケット１４０が互いに対向するように配置して各ブラケット１４０上部のねじ溝１０１にガラス材等からなる仕切り板１５０を嵌め込むことにより、支柱１００間に仕切り板１５０が施工されることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような従来の支柱１００にあっては、支柱１００の周面に多くのねじ溝１０１が形成されているため、仕切り板１５０が装着されずに溝壁が外部に露出しているねじ溝１０１内に微細な粉塵が堆積するという問題点が生じる。そして、ねじ溝１０１の溝壁には襞のようにねじ山１０２が形成されているため、このねじ山１０２内には特に粉塵が堆積し易く、しかも微細な振動や気流によってこの堆積した粉塵が飛散し、クリーンルーム内の空気を汚染する。
【００１０】
クリーンルーム内の空気が汚染されると、この汚染空気に暴露されている製造途中の半導体に致命的な悪影響を与えるため、かかる不都合の生じないクリーンルーム用の支柱の開発が嘱望されていた。
【００１１】
本発明は、上記のような状況に鑑みなされたものであり、粉塵の堆積を有効に抑制することが可能なクリーンルーム用支柱を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、クリーンルームの間仕切り用に供される支柱であって、孔心方向に延びる内側筒体と、この内側筒体に離間状態で被せられる外側筒体と、この外側筒体および上記内側筒体間に一体に介設された長手方向に延びる連結条とを備えて構成され、上記外側筒体には、上記連結条から外れた位置に長手方向に延びる螺着帯が形成され、この螺着帯は、手工具を用いた手作業による押圧操作でスクリューホールを穿設し得る厚さである０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内の厚みに寸法設定され、上記螺着帯の裏面側には、螺着帯を挟むようにして長手方向に延びた一対のねじ板が設けられ、各ねじ板の対向面には、スクリューのねじピッチに対応した長手方向に延びる複数のねじ山が突設され、上記一対のねじ板の一方は、上記連結条によって形成され、同他方は、外側筒体の内面から内側筒体に向かって突設され、かつ、先端縁部が内側筒体の外面から離間した突設条によって形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
この発明によれば、螺着帯は、手工具による押圧操作でスクリューホールを穿設し得る厚さに厚みである０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内の厚みに寸法設定されているため、支柱に各種の部材をねじ止めで付設するに際し、手工具の先端にスクリューを保持した状態でスクリューの先端を螺着帯に押し当て、手工具を介して手操作でスクリューを押圧することによりスクリューホールが穿孔される。
【００１４】
そして、一旦スクリューホールが穿孔されると、後は手工具をスクリューのねじ込み方向に回すとよい。そうすると、軸心回りの回転に従ってスクリューホールにねじ込まれていき、スクリューの先端部分は、複数のねじ山が設けられた一対のねじ板間に嵌り込むため、このねじ板間のねじ山に誘導されてねじ止めと同一の作用でねじ込まれ、これによってはスクリューの螺着状態が安定するとともに、付設されるべき部材が支柱に固定されることになる。かかる部材の固定により、クリーンルームの適所に立設された支柱間に仕切り板が施工される。
【００１５】
そして、これら一連のねじ止め操作において、スクリュー孔は手作業による押圧操作によって穿設されるとともに、その後のスクリューのねじ込み操作も手作業で行われるため、電動工具を用いてドリルで孔を明ける場合に比べて孔明け作業時に微細な粉塵が発生するような不都合が起こらず、発塵がない状態でクリーンルーム内に支柱を介した仕切り板の施工を行うことができる。
【００１６】
また、たとえ手作業で孔を明けている際に粉塵が発生したとしても、この粉塵はスクリューの進行に誘導されて内側筒体と外側筒体との隙間部分に落ち込むため、粉塵がクリーンルーム内に飛散する不都合が回避される。
【００１７】
そして、支柱の周面には、従来のクリーンルーム用の支柱に形成されているようなねじ止め用の溝が存在せずに周面が面一状態になっているため、溝内に粉塵が堆積するような従来の不具合は起こらず、従って、振動や空気流に誘引されて溝内に溜まった粉塵が飛散し、これによってクリーンルーム内が汚染されるという従来の問題点が解消される。
【００１８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、上記外側筒体の外周面には、上記螺着帯を含む位置に長手方向に延びる浅溝が形成され、この浅溝は、溝深さが外側筒体の厚さより浅く設定されていることを特徴とするものである。
【００１９】
この発明によれば、外側筒体の浅溝を各種の支持金具の位置決め用として利用することが可能になり、支持金具を介した仕切り板の施工を高精度で行うことが可能になるとともに、支持金具の側縁部が浅溝の溝壁に当たることにより支持金具の位置設定が確実に行われ、これによって支柱を介した仕切り板を含む構築物の保形性が良好になる。
【００２０】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、上記内側筒体および外側筒体は、いずれも角筒によって形成されていることを特徴とするものである。
【００２１】
この発明によれば、支柱は、平面視で矩形状を呈する角筒によって形成されているため、平面視で矩形状に空間を仕切るような間仕切りを行うのに好適なものになる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係るクリーンルーム用支柱の一実施形態を示す斜視図であり、図２はその平面図である。これらの図に示すように、支柱１０は、アルミニウム合金を原料として押出し成形により製造されるものであり、平面視で正方形状を呈した内側筒体２０と、一辺の長さが内側筒体２０より大きい平面視で正方形状の外側筒体３０と、内側筒体２０の各外側面および外側筒体３０の各内側面間に架設された長手方向に延びる各対向面当りそれぞれ一対の連結条（ねじ板）４０と、外側筒体３０の各内側面から各連結条４０に隣設した状態で内側筒体２０に向かって突設された長手方向に延びる突設条（ねじ板）５０とを備えた基本構成を有している。
【００２３】
上記内側筒体２０は、本実施形態では平面視の正方形状の一辺の外寸法が２１ｍｍに設定されているとともに、厚み寸法が１．２ｍｍに設定されている。
【００２４】
上記外側筒体３０は、本実施形態では平面視の正方形状の一辺の外寸法が４２ｍｍに設定されている。かかる外側筒体３０は、各外側面の幅方向の中央位置に形成された長手方向に延びる浅溝３１を有している。この浅溝３１は、各種の金具を支柱１０に装着するときに利用されるものであり、本実施形態においては、溝幅が２２ｍｍに寸法設定されているとともに、溝深さが１ｍｍに寸法設定されている。かかる幅広で浅い浅溝３１を外側筒体３０の外側面に設けても、溝内に粉塵が堆積するような不都合は生じない。
【００２５】
上記連結条４０は、内側筒体２０を外側筒体３０内に同心で固定するためのものであり、内側筒体２０の角部から若干中央部寄りの位置と、この位置から所定寸法離間した中央部近傍とに支柱１０の全長に亘って延びるように二条が設けられている。かかる連結条４０は、厚み寸法が内側筒体２０のそれより若干厚めに寸法設定されている。
【００２６】
上記突設条５０は、一対の連結条４０間の中央部と、内側筒体２０の幅方向の中央位置に設けられた連結条４０の側方位置とに外側筒体３０の内側面から内側筒体２０の外側面に向けて支柱１０の全長に亘るように二条が突設されている。この突設条５０の先端縁部は内側筒体２０の外側面から若干離間するように寸法設定されている。
【００２７】
そして、本発明においては、図１に一点鎖線間の点描で示すように、浅溝３１の溝底部分に連結条４０と突設条５０との間に外側筒体３０の全長に亘って延びる、スクリューＳを螺着するための螺着帯６０が形成されている。そして、この螺着帯６０は、厚み寸法が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内に設定されている。
【００２８】
螺着帯６０をこのような厚み寸法にすることにより、ドライバーＤの先端にスクリューＳの頭部を保持させた状態でスクリューＳの先端を螺着帯６０に押し当てて押圧する手操作によって螺着帯６０にスクリューホール６１を容易に穿孔することができるようになっている。因みに、本実施形態においては、螺着帯６０の厚み寸法は０．２ｍｍに設定されている。
【００２９】
そして、上記連結条４０および突設条５０の各対向面には、長手方向の全長に亘って延びる複数本のねじ山６２がそれぞれ設けられている。このねじ山６２は、螺着帯６０を貫通したスクリューＳのねじ山を誘導する雌ねじの役割を果すものであり、対向したねじ山６２は、互いに１／２ピッチずらされた状態で形成されている。従って、螺着帯６０を貫通したスクリューＳは、ドライバーＤによって軸心回りに回転させられることにより、そのねじ山が隣設したねじ山６２間のねじ溝に嵌り込み、これによってスクリューＳの螺着
状態が確実になる。
【００３０】
以下、図３および図４を基にクリーンルーム内での仕切り板の施工の一実施形態について説明する。図３は、仕切り板を施工する前の分解斜視図であり、図４は仕切り板の組立て斜視図である。なお、これらの図においては、図示を容易にするために仕切り板として非常に小さいものを採用しているが、実際はこれより格段に大きい仕切り板が採用される。
【００３１】
まず、長尺の支柱１０がそれぞれ所定の長さ寸法に切断されて縦支柱１１と梁材１２とされる。そして、これら縦支柱１１および梁材１２を互いに連結して枠体１３にするため、およびこの枠体１３に仕切り板１４を取り付けるために各種の金具７０が用意される。本実施形態においては、仕切り板１４として透明な合成樹脂製の板材が採用されている。
【００３２】
上記金具７０としては、縦支柱１１と梁材１２との連結位置に内側から装着されるＬ形ブラケット７１と、直列に多数並設される枠体１３の端の部分に用いられて仕切り板１４を支持するための片側押え板７２と、隣接した枠体１３間の連結部分に用いられて各枠体１３に支持される両側の仕切り板１４を止めるための両側押え板７３とが採用される。
【００３３】
上記Ｌ形ブラケット７１は、直角に折り曲げられた状態のブラケット本体７１ａと、このブラケット本体７１ａの外面側の幅方向の中央位置で長手方向に延びるように膨設された膨設部７１ｂとからなっている。ブラケット本体７１ａは、幅寸法が支柱１０の幅寸法と同一に寸法設定されているとともに、膨設部７１ｂの幅寸法が支柱１０の浅溝３１の幅寸法より僅かに短く寸法設定されている。そして、かかるＬ形ブラケット７１の長手方向の端部における幅方向の中央位置にはスクリューＳを通す挿通孔７４が穿設されている。
【００３４】
従って、縦支柱１１の上下端部の側面に梁材１２の端面を当接させた状態で、それぞれの浅溝３１に膨設部７１ｂが嵌り込むようにＬ形ブラケット７１を両者（縦支柱１１および梁材１２）の当接部分の内側に装着した上で、スクリューＳを挿通孔７４を介してその先端を螺着帯６０に押し当て、ドライバーＤ（図１）で押圧してスクリューホール６１を明けた後、ドライバーＤの回動操作でスクリューＳをねじ込むことにより、支柱１０と縦支柱１１とがＬ形ブラケット７１を介して一体に連結されることになる。
【００３５】
上記片側押え板７２は、長尺の押え板本体７２ａと、この押え板本体７２ａの幅方向の一方の側縁部および幅方向の略中央部から突設された長手方向に延びる一対の突条７２ｂとからなっている。押え板本体７２ａの幅寸法は、支柱１０の幅寸法の略半分に設定されている。また、突条７２ｂは、基端側と先端側との間の寸法が浅溝３１の溝深さ寸法に仕切り板１４の厚み寸法を加えた値になるように押え板本体７２ａからの突出量が設定されている。また、押え板本体７２ａの突条７２ｂ間に対応した部分には、所定ピッチで複数の挿通孔７４が穿設されている。
【００３６】
従って、押え板本体７２ａの幅方向の中央部に設けられた突条７２ｂを浅溝３１の溝壁に当接させた状態で、スクリューＳの先端を挿通孔７４を介して浅溝３１の溝底の螺着帯６０に押し付け、上記と同様の方法で螺着することにより、片側押え板７２が縦支柱１１に固定されることになる。
【００３７】
上記両側押え板７３は、幅寸法が支柱１０のそれと同一に寸法設定された押え板本体７３ａと、この押え板本体７３ａの裏面側に設けられた４本の突条７３ｂとを備えて構成されている。一対の外側の突条７３ｂ間の外寸法は、浅溝３１の溝幅寸法より僅かに狭く寸法設定されているとともに、一対の内側の突条７３ｂは、その端縁面が３条形成された螺  着帯６０の中央のものを挟んだ状態で浅溝３１の溝底に当接するように設置位置が設定されている。かかる両側押え板７３にも内側の突条７３ｂに対応した位置に挿通孔７４が穿設されている。
【００３８】
従って、押え板本体７３ａの外側の一対の突条７３ｂを浅溝３１に嵌め込んだ状態で、スクリューＳの先端を挿通孔７４を介して浅溝３１の溝底の螺着帯６０に押し付けて螺着することにより、両側押え板７３が縦支柱１１に固定されることになる。
【００３９】
以下、図５を基にこれらの金具７０を用いた枠体１３への仕切り板１４の組み付け操作について説明する。図５は、仕切り板１４の組み付け操作の手順を説明するための説明図であり、（イ）は、枠体１３の下部の梁材１２に両側押え板７３が取り付けられた状態、（ロ）は、仕切り板１４の下端縁部が下部の梁材１２と両側押え板７３の上側の嵌込み溝に嵌め込まれた状態、（ハ）は、左右側の縦支柱１１に片側押え板７２および両側押え板７３がそれぞれ取り付けられた状態、（ニ）は、上側の梁材１２に両側押え板７３が取り付けられた状態をそれぞれ示している。
【００４０】
まず、Ｌ形ブラケット７１を用いて縦支柱１１および梁材１２を連結することについては先に説明済みである。そして、得られた枠体１３に対する仕切り板１４の組み付けにおいては、まず、図５の（イ）に示すように、下側の梁材１２にスクリューＳを用いて両側押え板７３を取り付ける。こうすることによって下側の梁材１２と押え板本体７３ａとの間に仕切り板１４の下縁部を嵌め込むための溝が形成された状態になる。
【００４１】
この状態で仕切り板１４の下縁部をこの嵌込み溝に嵌め込むことによって、図５の（ロ）に示すように、仕切り板１４が下部の梁材１２の両側押え板７３によってのみ支持された状態になる。
【００４２】
ついで、左側の縦支柱１１にスクリューＳを用いて片側押え板７２を取り付けるとともに、右側の縦支柱１１に両側押え板７３を取り付ける。こうすることによって、図５の（ハ）に示すように、仕切り板１４の左右の縁部が片側押え板７２および両側押え板７３によって押えられた状態になる。
【００４３】
そして、最後に上側の梁材１２に両側押え板７３を取り付けることにより、図５の（ニ）に示すように、枠体１３に片側押え板７２および両側押え板７３を介して仕切り板１４が取り付けられた状態になる。
【００４４】
そして、このような枠体１３の組み立て操作、および得られた枠体１３への仕切り板１４の組み付け操作において、各金具７０の支柱１０への取り付けに際し、作業者の手操作のみによる押圧力と回動力とによってスクリューＳを支柱１０にねじ込むようにしているため、電動工具を用いた場合に生じる微細な粉塵が発生するようなことはなく、クリーンルーム内の粉塵汚染を有効に防止することができる。
【００４５】
また、支柱１０の外面には、従来の支柱１００（図７）に設けられているような外方に向かって開放したねじ溝１０１が存在しないため、ねじ溝１０１に粉塵が堆積し、振動や気流で堆積した粉塵が飛散してクリーンルームを汚染するような不都合も生じない。
【００４６】
以上詳述したように、本発明の支柱１０は、主にクリーンルームの間仕切り用として使用されるものであり、孔心方向に延びる内側筒体２０と、この内側筒体２０に離間状態で被せられる外側筒体３０と、この外側筒体３０および内側筒体２０間に介設される長手方向に延びた連結条４０とを備えた基本構成を有し、外側筒体３０には、連結条４０から外れた位置に長手方向に延びる螺着帯６０が形成され、この螺着帯６０は、手工具を用いた手作業による押圧操作でスクリューホール６１を穿設し得る厚さに寸法設定されているため、支柱１０に各種の金具７０をねじ止めで取り付けるに際し、手工具の先端にスクリューＳを保持した状態でスクリューＳの先端を螺着帯６０に押し当て、手工具を介して手操作でスクリューＳを押圧することによりスクリューホール６１が穿孔される。
【００４７】
そして、一旦スクリューホール６１が穿孔されると、後は手工具をスクリューＳのねじ込み方向に回す。そうすると、スクリューホール６１の内周面がスクリューＳのねじ溝に嵌り込んで雌ねじの役割を果すため、スクリューＳは、軸心回りの回転に従ってスクリューホール６１にねじ込まれていき、金具７０が支柱１０に固定されることになる。かかる金具７０の固定により、クリーンルームの適所に立設された支柱１０間に仕切り板１４を施工することができる。
【００４８】
これら一連のねじ止め操作において、スクリューホール６１は手作業による押圧操作によって穿設されるとともに、その後のスクリューのねじ込み操作も手作業で行われるため、孔明け作業時に微細な粉塵が発生するような不都合が起こらず、発塵がない状態でクリーンルーム内に支柱１０を介した仕切り板１４の施工を行うことができる。
【００４９】
また、たとえ手作業で孔を明けている際に粉塵が発生したとしても、この粉塵はスクリューＳの進行に誘導されて内側筒体２０と外側筒体３０との隙間部分に落ち込むため、粉塵がクリーンルーム内に飛散するような不都合を回避することができる。
【００５０】
そして、支柱１０の周面には、従来のクリーンルーム用の支柱１０に形成されているようなねじ止め用のねじ溝１０１（図７）が存在せずに周面が略面一状態になっているため、ねじ溝１０１内に粉塵が堆積するような従来の不具合は起こらず、従って、振動や空気流に誘引されてねじ溝１０１内に溜まった粉塵が飛散し、これによってクリーンルーム内が汚染されるという従来の問題点を解消することができる。
【００５１】
また、螺着帯６０の裏面側には、螺着帯６０を挟むようにして長手方向に延びたねじ板としての連結条４０および突設条５０を設けているとともに、これらの対向面には、スクリューＳのねじピッチに対応した長手方向に延びる複数のねじ山６２が突設されているため、外側筒体３０の外周面から螺着帯６０を貫通したスクリューＳの先端部分は、複数のねじ山６２が設けられた連結条４０および突設条５０間に嵌り込み、これらのねじ山６２に誘導されてねじ止めと同一の作用でねじ込まれ、これによってはスクリューＳの螺着状態を安定させることができる。
【００５２】
また、外側筒体３０の外周面には、螺着帯６０を含む位置に長手方向に延びる浅い（本実施形態においては溝深さが外側筒体３０の厚さより浅く設定されている）浅溝３１が形成されているため、外側筒体３０の浅溝３１を各種の支持金具（上記の実施形態においてはＬ形ブラケット７１）の位置決め用として利用することができ、Ｌ形ブラケット７１を介した枠体１３の施工を高精度で行うことができるとともに、Ｌ形ブラケット７１の側縁部が浅溝３１の溝壁に当たることにより支持金具の位置設定が確実に行われ、これによって支柱１０を介した仕切り板１４を含む構築物（上記の実施形態では枠体１３）の保形性を良好なものにすることができる。
【００５３】
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下の内容をも包含するものである。
【００５４】
（１）上記の実施形態においては、連結条４０および突設条５０の対向面にねじ山６２を設けてねじ板としての機能を付与しているが、本発明は、連結条４０および突設条５０をねじ板として利用することに限定されるものではなく、突設条５０の設置および連結条４０へのねじ山６２の形成を省略することができる。そして、ねじ板が存在しない状態であっても、一旦スクリューホール６１が穿孔されると、スクリューホール６１の内周面がスクリューのねじ溝に嵌り込んで雌ねじの役割を果すため、スクリューＳは、軸心回りの回転に従ってスクリューホール６１にねじ込まれていき、金具７０が支柱１０に固定される。
【００５５】
（２）上記の実施形態においては、内側筒体２０は平面視で正方形状の一辺の長さが２１ｍｍに設定されているとともに、外側筒体３０の一辺の長さは４２ｍｍに設定されているが、本発明は、支柱１０の寸法が上記の値であることに限定されるものではなく、規模に応じて各種の寸法にすることができる。
【００５６】
（３）上記の実施形態においては、螺着帯６０の厚み寸法は０．２ｍｍに設定されているが、０．２ｍｍに限定されるものではなく、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内であれば厚み寸法を任意に設定することができる。因みに、０．１ｍｍ未満であると、螺着帯６０が薄過ぎることにより破損し易く確実なねじ止めを行うことができなくなる一方、０．５ｍｍを越えると螺着帯６０が厚過ぎることにより手操作で穿孔し得なくなるからである。
【００５７】
（４）上記の実施形態においては、螺着帯６０は押出し成形法によって製造の当初から外側筒体３０と一体に形成されているが、こうする代わりに押出し成形の後に薄い板体を溝に被せて溶接することによって形成させてもよい。
【００５８】
（５）上記の実施形態においては、支柱１０は平面視で正方形状に形成されているが、本発明は、支柱１０が平面視で正方形状であることに限定されるものではなく、各種の形状にすることができる。図６は、支柱における他の平面視の形状を示すものであり、（イ）は円形のもの、（ロ）は三角形のもの、（ハ）は六角形のもの、（ニ）は八角形のものをそれぞれ例示している。またこれらに限らず、内側の筒の形状と外側の筒の形状とを異ならせるようにしてもよい。
【００５９】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、支柱の外側筒体に形成された螺着帯は、手工具による押圧操作でスクリューホールを穿設し得る厚さである０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲内の厚みに設定されているため、支柱に各種の部材をねじ止めで付設するに際し、手工具の先端にスクリューを保持した状態でスクリューの先端を螺着帯に押し当て、手工具を介して手操作でスクリューを押圧することによりスクリューホールを穿孔することができる。
【００６０】
そして、一旦スクリューホールが穿孔されると、手工具をスクリューのねじ込み方向に回すことによりスクリューは、軸心回りの回転に従ってスクリューホールにねじ込まれていき、付設されるべき部材を支柱に固定することができる。
【００６１】
そして、スクリュー孔は手作業による押圧操作によって穿設されるとともに、その後のスクリューのねじ込み操作も手作業で行われるため、発塵がない状態でクリーンルーム内に支柱を介した仕切り板の施工を行うことができる。
【００６２】
また、支柱の周面には、従来のクリーンルーム用の支柱に形成されているようなねじ止め用の溝が存在せずに周面が面一状態になっているため、溝内に粉塵が堆積するような不具合は起こらず、従って、振動や空気流に誘引されて溝内に溜まった粉塵が飛散し、これによってクリーンルーム内が汚染されるという従来の問題点を解消することができる。
【００６３】
さらに、螺着帯の裏面側に螺着帯を挟むようにして長手方向に延びた一対のねじ板を設け、各ねじ板の対向面にスクリューのねじピッチに対応した長手方向に延びる複数のねじ山を突設したため、外側筒体の外周面から螺着帯を貫通したスクリューの先端部分は、複数のねじ山が設けられた一対のねじ板間に嵌り込み、このねじ板間のねじ山に誘導されてねじ止めと同一の作用でねじ込まれ、これによってはスクリューの螺着状態を確実なものにすることができる。
【００６４】
請求項２記載の発明によれば、外側筒体の外周側の螺着帯を含む位置に長手方向に延びる浅溝を設けたため、この浅溝を各種の支持金具の位置決め用として利用することが可能になり、支持金具を介した仕切り板の施工を高精度で行うことができるとともに、支持金具の側縁部が浅溝の溝壁に当たることにより支持金具の位置決めが確実に行われ、これによって支柱を介した仕切り板を含む構築物の保形性を良好なものにすることができる。
【００６５】
請求項３記載の発明によれば、内側筒体および外側筒体をいずれも角筒によって形成したため、支柱を、平面視で矩形状に空間を仕切るような間仕切りを行うのに好適なものになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るクリーンルーム用支柱の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す支柱の平面図である。
【図３】仕切り板を施工する前の支柱および金具の分解斜視図である。
【図４】仕切り板の組立て斜視図である。
【図５】仕切り板の組み付け操作の手順を説明するための説明図であり、（イ）は、枠体の下部の梁材に両側押え板が取り付けられた状態、（ロ）は、仕切り板の下端縁部が下部の梁材１２と両側押え板７３の上側の嵌込み溝に嵌め込まれた状態、（ハ）は、左右側の縦支柱１１に片側押え板７２および両側押え板７３がそれぞれ取り付けられた状態、（ニ）は、上側の梁材１２に両側押え板７３が取り付けられた状態をそれぞれ示している。
【図６】支柱における他の平面視の形状を示すものであり、（イ）は円形のもの、（ロ）は三角形のもの、（ハ）は六角形のもの、（ニ）は八角形のものをそれぞれ例示している。
【図７】従来のクリーンルーム用の支柱を示す斜視図である。
【図８】図７に示す支柱に仕切り板が施工された状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  支柱              １１  縦支柱
１２  梁材              １３  枠体
１４  仕切り板          ２０  内側筒体
３０  外側筒体          ３１  浅溝
４０  連結条（ねじ板）  ５０  突設条（ねじ板）
６０  螺着帯            ６１  スクリューホール
６２  ねじ山            ７０  金具
７１  Ｌ形ブラケット７１
７１ａ  ブラケット本体
７１ｂ  膨設部          ７２  片側押え板
７２ａ  板本体          ７２ｂ  突条
７３  両側押え板        ７３ａ  板本体
７３ｂ  突条            ７４  挿通孔
Ｄ  ドライバー          Ｓ  スクリュー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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