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　特願２０００−２１１８４９「半導体製造装置のリモート制御システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　１月２５日出願公開、特開２００２−　２７５６７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明
　本願は，平成１２年７月１２日の出願であって，平成２１年４月１７日付けの当審拒絶理由通知に対して，平成２１年６月１８日付け手続補正書により，本願請求項１は，
「１つ又は複数の半導体製造装置と，
　前記１つ又は複数の半導体製造装置に接続される複数の管理装置と，前記半導体製造装置と前記管理装置の間に接続されるルーターと，
　前記複数の管理装置のうちのいずれか１つにアクセスする遠隔操作装置とを含む半導体製造装置のリモート制御システムであって，
　前記管理装置は，前記遠隔操作装置から遠隔制御操作を行うためにＩＰルーティング機能を有するとともに，
　前記遠隔操作装置は，前記複数の管理装置のうちの１つを指定し，
　前記ルーターは，前記遠隔操作装置から管理装置のアドレスの指定がされることにより，前記管理装置とのアクセス制御を行い，
　前記指定されたアドレスと同一のアドレスを有する管理装置は，前記遠隔操作装置が前記指定されたアドレスを有する前記管理装置に接続する際にユーザ認証を行い，
　認証されると，前記遠隔操作装置は，前記管理装置に表示される画面と同様な画面を表示でき，前記管理装置に対して前記管理装置が行う操作と同様な操作を行うことができ，
　前記遠隔操作装置は，リモート操作により前記管理装置の動作パラメータファイルの差し替えを行うことを特徴とする半導体製造装置のリモート制御システム。」と補正された。
　
　この補正によれば，「ルーター」は「半導体製造装置と管理装置の間に接続される」と規定されている。
　しかし，本願の発明の詳細な説明において，「ルーター」に関した記載箇所は下記の摘記事項イ）〜ヘ）のみであり，そこに開示されている「ルーター」は，全て，「遠隔操作装置」または「インターネットもしくはＬＡＮ／ＷＡＮ」と，「管理装置（ホスト装置）」との間に接続されたものであり，関連図面を参酌しても，「半導体製造装置と前記管理装置の間に接続される」構成は開示されていない。また，上記補正された請求項１には，「前記ルーターは，前記遠隔操作装置から管理装置のアドレスの指定がされることにより，前記管理装置とのアクセス制御を行い」と記載されているが，「ルーター」が「アクセス制御」するためには，「管理装置」と「遠隔操作装置」の間に「ルーター」が設置される必要があり，また，「ルーター」は「前記管理装置とのアクセス制御を行」っているのであるから，直接的には，「インターネットまたはＬＡＮ／ＷＡＮ」と「管理装置（ホスト装置）」との間に接続されたものと解するのが相当である。したがって，「前記半導体製造装置と前記管理装置の間に接続されるルーター」との記載は，「インターネットまたはＬＡＮ／ＷＡＮと前記管理装置の間に接続されるルーター」と記載すべきところを誤って記載した明らかな誤記であるから，本願請求項１に係る発明は次のとおりと認める。
　
「１つ又は複数の半導体製造装置と，
　前記１つ又は複数の半導体製造装置に接続される複数の管理装置と，インターネットまたはＬＡＮ／ＷＡＮと前記管理装置の間に接続されるルーターと，
　前記複数の管理装置のうちのいずれか１つにアクセスする遠隔操作装置とを含む半導体製造装置のリモート制御システムであって，
　前記管理装置は，前記遠隔操作装置から遠隔制御操作を行うためにＩＰルーティング機能を有するとともに，
　前記遠隔操作装置は，前記複数の管理装置のうちの１つを指定し，
　前記ルーターは，前記遠隔操作装置から管理装置のアドレスの指定がされることにより，前記管理装置とのアクセス制御を行い，
　前記指定されたアドレスと同一のアドレスを有する管理装置は，前記遠隔操作装置が前記指定されたアドレスを有する前記管理装置に接続する際にユーザ認証を行い，
　認証されると，前記遠隔操作装置は，前記管理装置に表示される画面と同様な画面を表示でき，前記管理装置に対して前記管理装置が行う操作と同様な操作を行うことができ，
　前記遠隔操作装置は，リモート操作により前記管理装置の動作パラメータファイルの差し替えを行うことを特徴とする半導体製造装置のリモート制御システム。」（以下，「本願発明」という。）
　
〈摘記事項イ）〜ヘ）〉　
イ）「【００１２】さらに，本発明の実施の形態における半導体製造装置のリモート操作システムにおいて，前記半導体製造装置側のローカルエリアネットワークシステムを各々１台ないし複数台の半導体製造装置と接続された複数台のホスト装置と，前記ホスト装置と接続された通信手段としたルータから構成し，かつ前記遠隔操作装置が通信手段としてルータを有しており，前記ホスト装置と前記遠隔装置との接続をインターネットを介して行い（第３の実施の形態），またはローカルエリアネットワークまたはワイドエリアネットワークを介して行い（第４の実施の形態），そして前記遠隔装置は，前記各ホスト装置の表示画面を個別に表示しかつ操作することが可能となるように構成することもできる。」
ロ）「【００１６】そして前記ホスト装置Ｈは，画像を表示するための表示装置であるＣＲＴ，表示したデータを印刷するプリンタ，データを入力するためのキーボード，ＣＲＴ上の所定の箇所を決定するためのポインティングデバイスであるマウス等の入出力手段Ｉ／Ｏ等が接続され，さらに公衆回線と接続するための通信手段Ｃｏｍであるモデムまたはターミナルアダプタが接続されている。また，ホスト装置Ｈは，前記通信手段Ｃｏｍの代わりに，ＬＡＮを介してインターネット等の外部のネットワークシステムにデータを通信可能なアクセスサーバまたはルータ等のＣｏｍ’と接続する構成とすることもできる。」
ハ）「【００１９】また，半導体製造装置側のシステムと同様に，遠隔操作装置Ｌは，出力装置であるＣＲＴ，表示したデータを印刷するプリンタ，データを入力するためのキーボード，ＣＲＴ上の所定の箇所を決定するためのポインティングデバイスであるマウス等の入出力手段Ｉ／Ｏ等が接続され，そしてさらに公衆回線と接続するための通信手段Ｃｏｍであるモデムまたはターミナルアダプタが接続されている。
また，モデムまたはターミナルアダプタの代わりに，遠隔操作装置Ｌは，ＬＡＮ接続されている場合において，ＬＡＮを介してインターネット等の外部のネットワークシステムにデータを通信可能なルータを接続する構成とすることもできる。」
ニ）「【００３０】実施の形態３．本発明の第３の実施の形態は，図５に示す通り，ルータを用いて回線としてのインターネットを介して半導体製造装置のホスト装置Ｈとクライアント端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシステムの構成例である。この実施の形態において，半導体製造装置側のシステムは，例えば前記第１および第２の実施の形態よりも比較的に大規模の半導体製造会社等のデバイスメーカーであり，また，遠隔操作装置側は，例えば装置のサプライヤー等のメンテナンスを行うサイトである。
【００３１】半導体製造装置側のシステムは，複数台（Ｎ台）の半導体製造装置Ｄ１，Ｄ２・・・ＤＮ，前記半導体製造装置Ｄ１，Ｄ２・・・ＤＮとＲＳ２３２Ｃ等でシリアル接続されたターミナルサーバＴＳ，このターミナルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカードを介して接続されたホスト装置Ｈ１，から構成されたＬＡＮ１，・・・同様にして複数台（Ｍ台）の半導体製造装置Ｄ１，Ｄ２・・・ＤＭ，前記半導体製造装置Ｄ１，Ｄ２・・・ＤＭと接続されたターミナルサーバＴＳ，このターミナルサーバＴＳとイーサネットカード等のＬＡＮカードを介して接続されたホスト装置Ｈｎから構成されたＬＡＮｎ，そして各ホスト装置Ｈ１・・・Ｈｎとイーサネットを介して接続された通信手段Ｃｏｍであるルータとから主として構成されている。」
ホ）「【００３３】一方，端末である遠隔操作装置Ｌは，各ホスト装置Ｈ１，Ｈｎと同様にＸサーバーソフトが導入されているＸ端末機，Ｘウインドウ搭載のＵＮＩＸ，Ｘサーバーエミュレータを搭載したパーソナルコンピュータシステムであり，通信手段Ｃｏｍであるルータ，図示しないキーボード，マウス等の入力手段，ＣＲＴ，プリンタ等の出力手段が接続されている。
【００３４】そして，半導体製造装置側のシステムと遠隔操作装置Ｌとは，インターネットを介して接続可能な構成となっており，インターネットの出入口には各ルータＣｏｍ’，Ｃｏｍ’が設置されている。半導体製造装置側のシステムに接続されたルータでは，インターネットアドレス，半導体製造装置側のシステムの保有するプライベートな内部アドレスの保管，アクセス制限等の中継やアクセスコントロールを行っている。」
ヘ）「【００３６】実施の形態４．本発明の第４の実施の形態は，図６に示す通り，ルータを用いて回線としＬＡＮまたはＷＡＮを用いて半導体製造装置のホスト装置Ｈとクライアント端末である遠隔操作装置Ｌ側とを接続したシステムの構成例である。この実施の形態において，半導体製造装置側のシステムは，半導体製造会社等のデバイスメーカーにおける製造ラインであり，そして遠隔操作装置側は例えば同一会社における半導体製造の管理部署等の別のセクションである。」
　
第２　引用発明
　当審における拒絶の理由に引用された，本願出願前公知の特開２０００−１８８２５２号公報（平成１２年７月４日公開，以下「引用文献」という。）には，以下の事項が記載されている。
　
１．「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体製造工場などにおいて，ソフトウエアプログラムのバージョンアップにより機能追加や不具合の修正を可能とするＬＡＮ対応の半導体露光装置，ＬＡＮを利用した半導体製造装置および半導体デバイスの製造方法に関するものである。」（第２頁第２欄）
２．「【０００３】また半導体製造工場のネットワーク化が進み，半導体露光装置（ステッパ）はイーサネット等の標準ネットワークプロトコル（ＴＣＰ／ＩＰ，ＮｅｔＷａｒｅ，ＡｐｐｌｅＴａｌｋ等）により，各種のＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）接続機器や専用／公衆回線網を用いて接続されることが多くなっている。標準的なネットワーク技術の発展と普及により，ネットワークに接続した半導体露光装置管理装置（サーバ）より，ネットワークを介してステッパを制御することができるようになってきている。
【０００４】上記のソフトウエアバージョンアップ時において、ソフトウエアの機能追加等によって新規のパラメータ追加やパラメータ入力範囲の変更があった場合に、該バージョンアップ対象のステッパに固有の適切なパラメータ値を自動的に設定できないため、該ステッパのオペレータがクリーンルーム内の装置まで赴き、適切なパラメータ値を設定してから運用を開始しなければならなかった。このため、バージョンアップ後にすみやかに運用を開始できないという問題が発生していた。」（第２頁第２欄）
３．「【００１５】
【実施例】（第１の実施例）図１は，本発明の実施例における半導体露光装置のハードウエアシステム構成を説明するブロック図である。図１において，１０１はコンソール用ＣＰＵであり，半導体露光装置のコンソール表示とコンソールコマンド入力による操作の制御を司る。１０２はＣＰＵ１０１が実行プログラムを格納したりデータを格納するためのＲＡＭ，　１０３はプログラムを格納するためのＲＯＭ，　１０４はデータおよびプログラムを格納するために用いられる記憶媒体　（ハードディスク等）　を内蔵する補助記憶装置である。本発明に係わるソフトウエアのバージョンアップにおいて，　新規追加や入力範囲変更がなされる各ステッパに固有のオフセット値やシステムオフセット値等のパラメータ値は，　補助記憶装置１０４上に保存される。パラメータ値の保存方法は，補助記憶装置１０４上に一般的なファイルシステムを構成しファイルとして管理する方法や，関連データベース等のデータベースを構成して検索，設定，値の呼び出し等を行う方法等の種々の方法がある。補助記憶装置１０４には一般にハードディスク等の磁気ディスク装置を用いることが多いが，装置の構成や露光作業の性質，運用の違いによって，フラッシュメモリやＮＶ−ＲＡＭ（不揮発性メモリ），ＥＥＰ−ＲＯＭといったソフトウエア的な書き換えが可能な部品を用いる場合もある。１０５は，イーサネット通信網１０８により外部装置と通信を行うためのＬＡＮインタフェイスである。ＬＡＮインタフェイス１０５で通信を行う場合のプロトコルはＴＣＰ／ＩＰ等の標準的ネットワークプロトコルが用いられることが多いがＡｐｐｌｅＴａｌｋやＮｅｔＷａｒｅといった一般的に普及しているプロトコルを用いてもかまわない。１０６はコンソール装置でありオペレータ（操作者）は本装置よりコンソール用ＣＰＵ１０１に対する指令を行うことができる。コンソール装置１０６の表示装置としては，ＣＲＴや液晶表示装置，ＥＬパネル，あるいはプラズマディスプレイ等が一般的に用いられる。またコンソール装置１０６の入力装置としてはコマンドをキー入力するためのキーボードが用いられることが多いが，電子ペンによるぺン入力装置（タブレット）やタッチパネル等で構成されることもある。１０９は外部記憶装置である。外部記憶装置１０９としてはＦＤＤ（フロッピディスクドライブ）やＭＯＤ（光磁気ディスクドライブ）といったものが考えられる。技術の発展によってＤＶＤ−ＲＡＭ等の新規メディアを取り扱うことができるドライブが普及した場合は，該新規外部記憶装置が用いられる。本例において，新プログラムのバージョンアップは基本的に，該外部記憶装置１０９からメディアに格納したデータを読み出して補助記憶装置１０４上のプログラムに対して行われる。ただし，ネットワーク１０８を介してサーバから新プログラムを転送しバージョンアップを行う方式をとることも可能である。このような，新プログラムをサーバより転送する方式を用いる場合，該外部記憶装置１０９は本実施例において必須ではない。１１０は，半導体露光装置を構成する各種の制御装置を全体制御するメインＣＰＵである。メインＣＰＵ１１０とコンソール用ＣＰＵ１０１はメインＣＰＵバス１０７によって接続されて半導体露光装置として動作する。１１１は，半導体製造用のウエハに対して露光するための光源を制御する照明装置，１１２は半導体製造用のウエハに対して露光するパターンを描いたレチクル　（フォトマスク）　の搬入搬出等を制御するためのレチクル駆動装置，１１３は半導体製造用のウエハをステップアンドリピートの方式で露光するためにＸＹステージ上などでウエハを駆動制御するためのステージ駆動装置，１１４は半導体製造用のウエハを正確な位置決めをして制御するためのアライメント用ＴＶシステムである。これら１１１，１１２，１１３，１１４の各装置は，周辺機器用バス１１５によりメインＣＰＵ１１０の制御下におかれる。周辺機器用バス１１５は，本例ではＳＣＳＩを用いているが，どのような汎用の標準バスで構成されていても構わない。」（第３頁第４欄〜第４頁第５欄）
４．「【００１６】本例で説明する方式によって設定するパラメータ値は，これらの装置に付随する機械的あるいは電気的パラメータオフセット値や，ソフトウエア的な使用方法を選択する設定値，コンソールの動作内容をユーザの好ましいものとして記憶・設定するユーザ設定値等，その他様々のものが対象となる。」（第４頁第５〜６欄）
５．「【００１７】図２は，本発明の実施例に係わる半導体製造装置のネットワーク接続形態の一例を示す図面である。ステッパ２０１１，２０１２は，イーサネット通信網１０８を介してサーバ２０２に接続される。サーバ２０２は，ネットワーク上に接続された各ステッパに対して各種リモート指示や報告データ収集，データファイルの分類保持管理，データファイルの新規作成・編集等を行う管理装置である。サーバ２０２は，各ステッパへイーサネット通信網１０８を介して，本発明に係わるバージョンアップ後の新プログラムで必要となる新規または入力範囲変更のあったパラメータ値をステッパ２０１１〜２０１２に対して転送する手段を有する。
【００１８】データの転送手段としては標準的なＬＡＮの機能を用いる。ＬＡＮによるデータ転送方式としてはＴＣＰ／ＩＰのソケットインタフェイスを用いたり，ＦＴＰ（ファイル転送プロトコル）を用いることが簡単であり一般的に利用されているが，どのような独自のプロトコルや方式を採用してもかまわない。パラメータの格納方式にデータベースを用いている場合は，ネットワーク拡張されたＳＱＬコマンドを各ステッパに対して送信する方法も考えられる。」（第４頁第６欄）
６．「【００１９】図３は，本発明の実施例におけるサーバ２０２のハードウエアシステム構成を説明するブロック図である。図３において，３０１はサーバ用ＣＰＵであり，　サーバのプログラム実行を司る。３０２はサーバ用ＣＰＵ３０１が実行プログラムを格納したりデータを格納するためのサーバ用ＲＡＭ，３０３はブート用プログラム等を格納するためのサーバ用ＲＯＭ，３０４はデータおよびプログラムを格納するために用いられるサーバ用補助記憶装置（ハードディスク等）である。サーバ用補助記憶装置３０４はメモリバス３０８から周辺装置用の入出力インタフェイス３０９を介して接続される。入出力インタフェイス３０９には一般にＳＣＳＩやＩＤＥ等が利用されている。本例の構成において，ソフトウエアのバージョンアップに伴い新規追加するパラメータ値や入力範囲変更のあるパラメータ値は，サーバ側の補助記憶装置３０４上に保存される。サーバの操作者はサーバのコンソール装置３０５から該パラメータをステッパのバージョンアップ前に準備し保存する。３０６は，　イーサネット通信網１０８と通信を行うためのＬＡＮインタフェイスである。ＬＡＮインタフェイス３０６で通信を行う場合のプロトコルはＴＣＰ／ＩＰ等の標準的ネットワークプロトコルが用いられることが多いが，ＡｐｐｌｅＴａｌｋやＮｅｔＷａｒｅといった一般的に普及しているプロトコルを用いてもかまわない。３０５はコンソール装置でありサーバ操作者は本装置よりサーバに対する指令を行うことができる。コンソール装置３０５の表示装置としては，ＣＲＴや液晶表示装置，ＥＬパネル，あるいはプラズマディスプレイ等が一般的に用いられる。またコンソール装置の入力装置としてはコマンドをキー入力するためのキーボードが用いられることが多いが，　電子ペンによるペン入力装置（タブレット）やタッチパネルなどで構成されることもある。３０７は，サーバ用ＣＰＵ３０１とコンソール装置３０５およびＬＡＮインタフェイス３０６とを接続するＣＰＵバスであり，３０８は，サーバ用ＣＰＵ３０１と各メモリ３０２〜３０４とを接続するためのメモリバスである。」（第４頁第６欄〜第５頁第７欄）
　
　上記摘記事項４に記載された「パラメータ」は，同摘記事項６によれば，「新規追加するパラメータ値や入力範囲変更のあるパラメータ値は，サーバ側の補助記憶装置３０４上に」，サーバの操作者によって準備され保存されることで，変更されている。
　
　したがって，上記引用文献には，以下の発明が開示されている。
「複数の半導体製造装置と，
　前記複数の半導体製造装置に接続される管理装置であって，
　前記管理装置のパラメータの変更を行う半導体製造装置の制御システム。」（以下，「引用発明」という。）
　
第３　対比
　本願発明と引用発明を対比検討する。
　
　引用発明の「パラメータ」と本願発明の「動作パラメータ」に実質的な相違はないから，　両者は，
「１つ又は複数の半導体製造装置と，
　前記１つ又は複数の半導体製造装置に接続される管理装置であって，
　前記管理装置の動作パラメータの変更を行う半導体製造装置の制御システム。」の点で一致し，次の点で相違する。
　
（相違点１）　　
　本願発明は「管理装置」を複数備えており，また，「前記複数の管理装置のうちのいずれか１つにアクセスする遠隔操作装置」も備わっており，全体として，「リモート制御」を可能にした「リモート制御システム」であるが，引用発明は，「管理装置」は単数であり，遠隔装置もない。
（相違点２）
　本願発明では，遠隔操作装置によるリモート操作を事項するために，「インターネットまたはＬＡＮ／ＷＡＮと管理装置の間に接続されるルーター」を備え，「前記管理装置は，前記遠隔操作装置から遠隔制御操作を行うためにＩＰルーティング機能を有」しており，「前記遠隔操作装置は，前記複数の管理装置のうちの１つを指定し，
　前記ルーターは，前記遠隔操作装置から管理装置のアドレスの指定がされることにより，前記管理装置とのアクセス制御を行」っているが，引用発明にそれらの構成はない。
（相違点３）
　本願発明では，操作性向上のため，「前記遠隔操作装置は，前記管理装置に表示される画面と同様な画面を表示でき，前記管理装置に対して前記管理装置が行う操作と同様な操作を行うことができ」るようになっているが，引用発明に前記構成はない。
（相違点４）
　本願発明では，安全性向上のため，「指定されたアドレスと同一のアドレスを有する管理装置は，前記遠隔操作装置が前記指定されたアドレスを有する前記管理装置に接続する際にユーザ認証を行」っているが，引用発明にユーザ認証に係る構成はない。
　（相違点５）
　動作パラメータに関して，本願発明は「動作パラメータファイル」とファイル形式を採用しており，変更に際しては，差し替えで行っているが，引用発明は，ファイル形式であるか，差し替えであるかは不明である。
　
第４　当審の判断
　そこで，上記相違点について検討する。
（相違点１）について
　生産ラインを有する工場の各製造装置に対して，工場内外の遠隔操作装置でリモート制御することは，当審の拒絶理由通知で引用している特開平１０−１６１７０７号公報に示されているように単なる周知技術であり，たとえ半導体製造の分野に限っても，同じく引用した特開平１０−９７９６６号公報，特開平７−３２６６４９号公報に示されているように周知技術にすぎない。また，半導体製造分野において，製造工場の大規模化は普く知られた事実であるから，「管理装置」を複数化することも当業者が当然行う技術的変更にすぎない。してみると，引用発明において，「管理装置」を複数にし，しかも遠隔装置によるリモート制御を付加する程度のことは，周知技術の単なる付加，周知技術による設計的変更といえ，また，「いずれか１つにアクセスする」との構成も，前記周知技術の付加に伴って発生する自明の技術事項でしかない。
（相違点２）について
　管理装置を複数化し，遠隔操作を可能とするためには，管理装置を選択するためのルーティングが当然に必要であり，そのために，管理装置からみて遠隔操作装置側にルーターを備える必要があることも当然の技術的事項にすぎない。また，上記「第２　引用発明」中の摘記事項２，３，５，６には，引用発明中の「管理装置」及び「半導体製造装置」間のイーサネット通信網はＴＣＰ／ＩＰで実行されているから，この通信網との整合性を考慮すれば，ルーティングをＩＰルーティングとすることはきわめて自然な選択である。したがって，「インターネットまたはＬＡＮ／ＷＡＮと前記管理装置の間に接続されるルーター」を備え，「前記管理装置は，前記遠隔操作装置から遠隔制御操作を行うためにＩＰルーティング機能を有」しており，「前記遠隔操作装置は，前記複数の管理装置のうちの１つを指定し，
　前記ルーターは，前記遠隔操作装置から管理装置のアドレスの指定がされることにより，前記管理装置とのアクセス制御を行」うようにする程度のことは，ネットワークとしてインターネットが標準になっている本願出願時において，ほとんど自明的に必要となる技術的事項を単に付加したものにすぎない。
（相違点３）について
　遠隔操作装置において，リモート制御対象装置の画面と同様な画面を表示できるようにし，また，同様な操作を行えるようにすることは，当審の拒絶理由通知において引用した特開平７−３２６６４９号公報に示されているように，周知技術であるから，リモート制御対象装置として「管理装置」を前提とすると，「遠隔操作装置は，前記管理装置に表示される画面と同様な画面を表示でき，前記管理装置に対して前記管理装置が行う操作と同様な操作を行うことができ」るようにする程度のことは，前記周知技術の単なる適用にすぎない。
（相違点４）について
　セキュリティ等の安全性向上のために「ユーザ認証」をすることは技術常識であり，半導体製造において動作パラメータファイルを差し替える点に関して，当審の拒絶理由通知において引用した特開昭６２−２５４２０号公報にも明らかに示されているから，アクセスされる管理装置においてユーザ認証を行うことは技術常識の単なる適用にすぎない。したがって，アクセスされる管理装置である「指定されたアドレスと同一のアドレスを有する管理装置」において，「遠隔操作装置が前記指定されたアドレスを有する前記管理装置に接続する際にユーザ認証を行」う点についても，格別な創意工夫を要するとすることはできない。
（相違点５）について
　半導体製造における動作パラメータの変更を容易にするため，ファイル形式を採用し，変更に際しては，このファイルの差し替えで行うことは，例えば，当審の拒絶理由通知において引用した特開昭６２−２５４２０号公報の従来例として記載されているように周知といえる技術であるから，引用発明の「（動作）パラメータの変更」の実施に際して，「動作パラメータファイル」を採用し，そのパラメータの変更を差し替えで行う程度のことに，格別な創意工夫を見出すことはできない。
　
　以上のように，本願発明は，周知である，遠隔操作装置によるリモート制御を実施すべく，技術的にみれば，周知技術を適宜寄せ集めた程度のものであり，その作用・効果も，引用発明，各周知技術及び技術常識に基づいて当業者が予測できる範囲のものである。
　
第５　むすび
　以上のとおりであるから，本願の請求項１に係る発明は，引用発明，各周知技術及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められ，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって，結論のとおり審決する。