【事件の表示】
　平成　９年特許願第２０８８７５号「ウェーハのカット方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　２月２６日出願公開、特開平１１−　５４４６１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本件出願は、平成９年８月４日の特許出願であって、同１９年２月１９日付けで拒絶の理由が通知され、同年４月２３日に意見書が提出され、同年８月９日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年９月１４日に本件審判の請求がなされ、当審において同２０年７月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年９月１１日に手続補正がなされたものである。 
 　 
２．本願発明
　本願の請求項１ないし２に係る発明は、平成２０年９月１１日に補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められる。
　請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、以下のとおりである。
　
「ダイシング装置を用いてウェーハを所望直径のウェーハに加工する方法であり、
　パルスモーターの制御によってＸ軸方向に移動可能であると共に、回転可能に支持されている前記ダイシング装置のチャックテーブルの所要位置にウェーハを載置する工程と、
　前記チャックテーブルをＸ軸方向に移動させてアライメント手段の直下に位置付け、切削すべき領域の検出を行う工程と、
　前記チャックテーブルを更にＸ軸方向に移動させると共に、スピンドルハウジング内において回転可能に支持されているスピンドルの先端に装着されたブレードを、前記スピンドルをＹ軸方向に運動させることにより、前記チャックテーブルの回転中心から前記所望直径の２分の１離れた位置に位置付ける工程と、
　前記ブレードの近傍に配設された切削水供給ノズルから切削水を供給しながら高速回転する前記ブレードで前記ウェーハを切り込み前記チャックテーブルのみを少なくとも３６０度回転させて切断する工程と、
　切断前のウェーハに形成されていたオリエンテーションフラットと平行に切断後のウェーハの端部を直線状に切断してオリエンテーションフラットを形成する工程と
を含むウェーハのカット方法。」
　
３．刊行物記載の発明
（１）刊行物１
　これに対し、本願出願前に頒布された刊行物であって、当審で通知した拒絶理由に引用された特開平８−１０７１９３号公報（以下「刊行物１」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．段落０００５
「【０００５】
【課題を解決するための手段】このため本発明では、支持基板として機能する半導体ウェハと、活性基板として機能する半導体ウェハを貼り合わせてＳＯＩ基板を製造するに当たり、貼り合わせた半導体ウェハの外周部を除去する方法において、貼り合わせた半導体ウェハに対して略垂直方向に回転するカッターにより前記半導体ウェハの外周部を切断するようにしたものである。」
　
イ．段落０００８
「【０００８】次に本実施例の外周部の除去方法について説明する。図１（ａ）に示すように、平面研削された貼合せウェハ４を水平方向に回転させる。次に、ダイシングマシンに設けられた円盤状のカッター１を活性基板３に対して略垂直方向に回転させ、上方から矢印Ａの方向に降ろしていく。図１（ｂ）に示すように、カッター１が降りるにしたがって、活性基板３と支持基板２は外周部に沿った同一面で略垂直に切断され、カッター１が支持基板２の底面の酸化膜５を切断したところで未接着部を含む外周部はドーナッツ状となり貼合せウェハ４から切り離され、切断が終了する。」
  　
　ここで、貼合せウェハ４は、切断により外周部が除去され、ドーナッツ状となることから、「ウェハ４のみを少なくとも３６０度回転させ」ることは明らかである。
　
　上記記載を、図面を参照しつつ、技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理すると、上記刊行物１には、次の発明（以下「刊行物１発明」という。）が記載されているものと認められる。 
「ダイシングマシンを用いて平面研削された貼合せウェハ４を所望直径のウェハに加工する方法であり、
　回転する円盤状のカッター１で前記ウェハ４を切り込み前記ウェハ４のみを少なくとも３６０度回転させて切断する、
　ウェハの切断方法。」 
 
（２）刊行物２　 
　同じく、当審で通知した拒絶理由に引用された特開平９−１９９４４８号公報（以下「刊行物２」という。）の段落０００７〜０００９には、次のように記載されている。 
　
「【０００７】
【発明の実施の形態】以下本発明のダイシング装置における好適な実施の形態について、図１から図７を参照して詳細に説明する。図１は、第１の実施の形態のダイシング装置の構成を示す平面図であり、図２は同装置の側面図である。このダイシング装置は、ウエハ１を支持する円板状のウエハ支持台１１と、このウエハ支持台１１を回転させる回転機構１２と、ウエハ支持台１１をＸ軸方向に移動させる支持台移動機構１３と、ウエハ１を切断する切断刃（ブレード）１４と、この切断刃１４をＹ軸方向とＺ軸方向にそれぞれ移動させる切断刃移動機構１５とを備えている。
【０００８】回転機構１２は、Ｘ方向移動部材１３２に回転自在に軸受けされる回転軸１２１と、この回転軸１２１を回転駆動する回転用モータ（図示せず）とから構成され、回転軸１２１の上部に同軸状にウエハ支持台１１が固定されている。支持台移動機構１３は、基台１３１上の長さ方向にＸ軸方向移動部材１３２の下部側が摺動自在に形成され、このＸ軸方向移動部材１３２がＸ軸方向移動用モータ（図示せず）の駆動によってＸ軸方向に移動できるように構成される。切断刃１４は、スピンドル１４１に回転自在に取付けられ、スピンドル１４１は図示しないモータによって駆動されるように構成される。
【０００９】切断刃移動機構１５は、スピンドル１４１を支持するスピンドル支持部１５１を備え、このスピンドル支持部１５１の後端がＺ軸方向（垂直方向）に延びるＺ軸方向部材１５２に案内自在に形成され、Ｚ軸方向移動用モータ（図示せず）の駆動によりスピンドル支持部１５１がＺ軸方向に移動できるように構成される。さらに、Ｚ軸方向部材１５２の下部はＹ軸方向移動部材１５３上に一体に接続されるとともに、Ｙ軸方向移動部材１５３の下部側は、基台１５４の長さ方向に摺動自在に形成され、Ｙ軸方向移動用モータ（図示せず）の駆動によりＹ軸方向移動部材１５３がＹ軸方向に移動できるように構成される。」
　
　上記記載を、図面を参照しつつ、技術常識を踏まえ整理すると、刊行物２には、以下の事項（以下「刊行物２事項」という。）が記載されていると認める。 
「ウエハ１が、回転可能に支持されているダイシング装置のウエハ支持台１１の所要位置に載置され、ウエハ支持台１１が、Ｘ軸方向に移動可能であり、回転切断刃１４のスピンドル１４１がＹ軸方向に移動可能なダイシング装置。」 
 　 
４．対比・判断 
　刊行物１発明の「ダイシングマシン」、「切断方法」は、それぞれ本願発明の「ダイシング装置」、「カット方法」に相当する。
刊行物１発明の「貼合せウェハ４」と、本願発明の「ウェーハ」は、「ウエハ」である限りにおいて一致する。
　刊行物１発明の「回転する円盤状のカッター１」と、本願発明の「回転可能に支持されているスピンドルの先端に装着されたブレード」は、「回転切断具」である限りにおいて一致する。
　刊行物１発明の「ウェハ４のみを少なくとも３６０度回転させて切断する」と、本願発明の「チャックテーブルのみを少なくとも３６０度回転させて切断する」は、本願発明の「ウェーハ」がチャックテーブルの所要位置に載置されることから、「ウエハのみを少なくとも３６０度回転させて切断する」である限りにおいて一致する。
　
　そうすると、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致する。 
「ダイシング装置を用いてウエハを所望直径のウエハに加工する方法であり、
　回転切断具で前記ウエハを切り込み前記ウエハのみを少なくとも３６０度回転させて切断する、
　ウエハのカット方法。」 
 　 
　そして、以下の点で相違する。
　相違点１：ウエハについて、本願発明は、「ウェーハ」であるが、刊行物１発明は、「貼合せウェハ４」である点。
　相違点２：回転切断具について、本願発明は、「スピンドルハウジング内において回転可能に支持されているスピンドルの先端に装着されたブレード」であるが、刊行物１発明は、「回転する円盤状のカッター１」である点。
　相違点３：本願発明は、ウエハが「回転可能に支持されているダイシング装置のチャックテーブルの所要位置に載置」され、チャックテーブルが「パルスモーターの制御によってＸ軸方向に移動可能」であり、ブレードのスピンドルが「Ｙ軸方向に運動」できるものであるが、刊行物１発明は、明らかでない点。
　相違点４：本願発明は、「チャックテーブルをＸ軸方向に移動させてアライメント手段の直下に位置付け、切削すべき領域の検出を行う工程」を有するが、刊行物１発明は、明らかでない点。
　相違点５：本願発明は、「チャックテーブルを更にＸ軸方向に移動させると共に」、回転切断具を、「スピンドルをＹ軸方向に運動させることにより、前記チャックテーブルの回転中心から前記所望直径の２分の１離れた位置に位置付ける工程」を有するが、刊行物１発明は、有しない点。
　相違点６：本願発明は、「ブレードの近傍に配設された切削水供給ノズルから切削水を供給しながら」切断するが、刊行物１発明は、明らかでない点。
　相違点７：本願発明は、「切断前のウェーハに形成されていたオリエンテーションフラットと平行に切断後のウェーハの端部を直線状に切断してオリエンテーションフラットを形成する工程」を有するが、刊行物１発明は、明らかでない点。
　
　相違点１について、検討する。
　刊行物１発明の「貼合せウェハ」も、本願発明の「ウェーハ」の一形態であるから、この点は、実質的相違点ではない。
　仮に、本願発明の「ウエーハ」が「貼合せ」たものを含まないとしても、「貼合せ」でない「ウエーハ」は例をあげるまでもなく周知であり、切断対象をウエーハとすることに格別の困難性はない。
　
　相違点２について、検討する。
　本願発明の「スピンドルハウジング内において回転可能に支持されているスピンドルの先端に装着されたブレード」は、発明の詳細な説明の段落００１８の「ブレード１９は、図３に示すように、スピンドルハウジング２０内において回転可能に支持されているスピンドル２１の先端に装着されて高速回転する円板状の刃であり、フランジ等によってスピンドル２１に固定され」によれば「円板状の刃」を含むものである。
　刊行物１発明の「回転する円盤状のカッター１」は、回転する以上、スピンドルを有する。
　したがって、刊行物１発明の「回転する円盤状のカッター１」は、本願発明の「スピンドルハウジング内において回転可能に支持されているスピンドルの先端に装着されたブレード」に包含されることとなる。
　よって、この点は実質的相違点ではない。
　
　相違点３について、検討する。
　刊行物２事項は、上記のとおり「ウエハ１が、回転可能に支持されているダイシング装置のウエハ支持台１１の所要位置に載置され、ウエハ支持台１１が、Ｘ軸方向に移動可能であり、回転切断刃１４のスピンドル１４１がＹ軸方向に移動可能なダイシング装置」である。
　これを本願発明に照らすと、刊行物２事項の「ウエハ支持台１１」は本願発明の「チャックテーブル」に、刊行物２事項の「回転切断刃１４」は前記相違点２を考慮すると本願発明の「ブレード」に相当する。
　そこで、本願発明に照らし、刊行物２事項を書き改めると、以下のとおりである。
「ウエハが、回転可能に支持されているダイシング装置のチャックテーブルの所要位置に載置され、チャックテーブルが、Ｘ軸方向に移動可能であり、ブレードのスピンドルがＹ軸方向に移動可能なダイシング装置。」
　刊行物１発明は、「切断方法」を実施するための機構が明らかでないことから、そのための機構として、刊行物２事項を採用することは、必要に応じてなしうる設計的事項にすぎない。
　本願発明は、チャックテーブルのＸ軸方向移動手段が「パルスモーターの制御」と特定されているが、移動手段として「パルスモーターの制御」によるものは、例をあげるまでもなく周知である。
　よって、相違点３は、格別なものではない。
　
　相違点４について、検討する。
　ウエハのダイシングに先立ち、ウエハの位置を検出し、位置決めを行うものは、特開平６−２２４２９６号公報、特開平８−２６４６２２号公報、特開平３−１９１５４８号公報にみられるごとく周知である。
　そして、正確なダイシングのためには、位置決めが望ましいことから、刊行物１発明に、かかる周知技術を適用し、相違点４に係る事項とすることに困難性は認められない。
　
　相違点５について、検討する。
　本願発明におけるかかる工程は、発明の詳細な説明の段落０００２〜０００５、００１１の記載からみて、大口径のウエハを「小口径」とするためのものである。
　刊行物１発明においても、必要な加工サイズに即したカッター位置とすることは当然のことにすぎない。
　また、そのための機構については、相違点３として検討したとおりである。
　
　相違点６について、検討する。
　切削水を供給しながら切削を行うものは、特開平２−２１５５０５号公報、実願平４−１６４７８号（実開平５−６６９９２号）のＣＤ−ＲＯＭ、特開平４−３４８５４６号公報にみられるごとく周知である。
　よって、相違点６は、周知技術の付加にすぎない。
　
　相違点７について、検討する。
　ウエハの処理、加工の際の位置決めのため、オリエンテーションフラットを設けることは、特開平１−２２５５１０号公報、特開平７−２４０４５２号公報、実願昭６２−３０７２号（実開昭６３−１１００３９号）のマイクロフイルム、特開平５−２９３９６６号公報にみられるごとく周知である。
　このように、オリエンテーションフラットは、処理、加工の際の位置決めのためのものであるから、処理、加工の際の位置決めのために、切断前のウエハとしてオリエンテーションフラットを有するものを用いるとともに、切断後のウエハに対してもオリエンテーションフラットを形成することは、当業者が、位置決めの便宜のため配慮する設計事項にすぎない。
　その際、ウエハの切断前のオリエンテーションフラットの回転位置に対して、工数をかけてまで、切断後のオリエンテーションフラットを形成するための回転位置を変える必然性はないから、切断後のオリエンテーションフラットを切断前のそれと平行に形成することは、自然なことである。
　なお、請求人は、平成２０年９月１１日の意見書で、「加工後においても結晶方位を判別すること」ができるという効果を主張している。
　請求人が自認するとおり、かかる効果は当初明細書には記載されていないから、根拠を欠くものである。さらに、前記特開平５−２９３９６６号公報の段落００２６によれば、結晶方位と、ダイシング方向すなわちオリエンテーションフラットの方向との関係が重要であることが示されているから、かかる効果は格別なものではない。
　
　また、各相違点を総合勘案しても、格別の技術的意義が生じるとは認められない。
　
５．むすび 
　本願発明は、刊行物１発明、刊行物２事項、及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものであるから、結論のとおり審決する。