(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子に所定の共振周波数を印加すると先端部が楕円振動をする振動体と、
該振動体の先端部に形成された粉体搬送路と、
粉体を貯蔵し、該粉体搬送路に粉体を送り込むホッパと、
前記振動体に対してデューティー比に応じた時間だけ、駆動電圧を与えるデューティー比制御手段と、
該ホッパ内の粉体重量を測定するロードセルと、からなる粉体フィーダにおいて、
間欠的に駆動電圧を与えることで駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータに対してデューティー比に応じた時間だけ、駆動電圧を与えるデューティー比制御手段と、
前記アクチュエータに備わるセンサからのセンサ出力を増幅し、その値を検出するセンサ回路と、からなる制御装置を有し、
前記制御装置は、デューティー比の周期に同期し、前記アクチュエータが停止してから一定時間経過後に、前記センサ出力をフィードバック信号として取り込むことを特徴とする粉体フィーダ。
【請求項２】
請求項１に記載する粉体フィーダにおいて、
デューティー比の最大値が９５％であることを特徴とする粉体フィーダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、デューティー比制御手段により間欠的にアクチュエータを駆動させ、制御対象物の変化量をフィードバックする制御装置に関し、特にかかる制御手段を有する粉体フィーダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
矩形波の１周期あたりの割合（デューティー比）によって、時間平均出力を制御するものとして、例えば、超音波振動子を用いた超音波モータ、ＤＣモータを用いたサーボシステム等が知られている。超音波モータにおいては、電気エネルギーによる圧電素子の機械的変形を用いて振動体に機械的振動を発生させ、駆動電圧のデューティー比を変化させることで、超音波モータの出力を変化させている。
【０００３】
この超音波モータを利用して、縦振動（長さ方向振動）と曲げ振動が同時に生じるように構成すると、その共振周波数において、先端に楕円振動を生じる。そこで、先端にパイプを取り付け、パイプ中に粉体を供給すると、粉体は、楕円振動により一定方向に搬送されるため、粉体フィーダとして利用されることがある。この場合、図１０のブロック図に示すように、荷重センサであるロードセル１１にて粉体量を計測し、そのセンサ出力をアンプ１２で増幅し、その増幅されたセンサ出力電圧をＡ／Ｄコンバータを介して、デューティー比制御手段であるマイクロコンピュータ１３にフィードバックして、その信号に基づき最適なデューティー比を算出し、駆動電圧の印加時間を制御することにより、粉体の輸送量（切り出し量）及び実流量を一定値（ねらい値）に制御している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように矩形波によりアクチュエータを駆動させる場合には、アクチュエータのオン／オフ時にスパイクノイズが発生し、このノイズがセンサ出力に悪影響を及ぼす。例えば、上述した超音波モータにおいては、駆動している期間（アクティブ領域）に、超音波モータへの駆動電圧（共振周波数）が図１１に示す発振回路により与えられている。この発振回路のトランス１次側はトランジスタＴＲ１  とＴＲ２  のｐｕｓｈ−ｐｕｌｌになっている。すなわち、図１２（ａ）に示すように、トランジスタＴＲ１  がオンならＴＲ２  がオフ、あるいはその逆に各トランジスタが作動する。このとき、トランジスタＴＲ１  ，ＴＲ２  のオン／オフのオフ時、すなわち電流を切ろうとする時、高い電圧がトランジスタのコレクタに現われる。
【０００５】
このため、図１２（ａ）に示すトランジスタＴＲ１  ，ＴＲ２  のオン／オフの作動において、トランジスタＴＲ１  ，ＴＲ２  いずれかがオフするときにノイズが発生するので、駆動電圧ＶＡＣＴ  の出力波形は、図１２（ｂ）に示すような波形となり、この駆動電圧ＶＡＣＴ  のノイズが外乱としてセンサ出力に重畳し、センサ出力電圧ＶＣＥＬＬの出力波形が図１２（ｃ）に示すような波形となる。
【０００６】
ここで、図１２（ａ）に示す各トランジスタのオン／オフの１周期Ｔ１  が駆動電圧ＶＡＣＴ  の１周期Ｔ２  に相当する。従って、実際に粉体フィーダを使用したときの駆動電圧ＶＡＣＴ  の波形は図６（ｂ）、センサ出力電圧ＶＣＥＬＬの波形は図６（ｃ）に示すようになる。
【０００７】
よって、センサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値をフィードバックする際に、図６（ｄ）に示すようなタイミングＡ，Ｂ，Ｃ，…でデータサンプリングを行なうと、ノイズを含んだセンサ出力値をフィードバック信号として取り込んでしまい、アクチュエータを正確に制御できず、制御システムの精度が極端に悪化するという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、デューティー比制御手段により間欠的にアクチュエータを駆動させ、制御対象物の変化量をフィードバックするアクチュエータの制御を、より高精度に制御することができる装置を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、粉体搬送量の制御をより高精度で行なうことができる粉体フィーダを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１の発明によれば、間欠的に駆動電圧を与えることで駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータに対してデューティー比に応じた時間だけ、駆動電圧を与えるデューティー比制御手段と、前記アクチュエータに備わるセンサからのセンサ出力を増幅し、その値を検出するセンサ回路とからなる制御装置において、デューティー比の周期に同期し、前記アクチュエータが停止してから一定時間経過後に、前記センサ出力をフィードバック信号として取り込むことを特徴とする。
【００１０】
ここで、間欠的な駆動とは、矩形波で駆動する期間と駆動しない期間とが交互に現れる駆動を指し、必ずしも一定の期間の繰り返しでなくともよい。
【００１１】
アクチュエータの停止直後から一定時間経過後にフィードバック信号を取り込むことにより、確実にスイッチングノイズが重畳していないセンサ出力をフィードバックすることが可能となる。なぜなら、アクチュエータ停止直後は、フィードバック信号であるセンサ出力がスイッチングノイズの影響を受ける可能性があるため、一定時間経過後にフィードバック信号を取り込むことにより、確実に影響を受けないようにできるからである。
【００１２】
請求項２の発明によれば上記問題点を解決するために、請求項１に記載するアクチュエータの制御装置において、デューティー比の最大値が９５％であることを特徴とする。
【００１３】
アクチュエータの駆動期間を最大で９５％に設定することで、アクチュエータの停止期間を確保することにより、確実にスイッチングノイズが重畳していないセンサ出力をフィードバックすることが可能となる。
【００１４】
請求項３の発明によれば上記問題点を解決するために、圧電素子に所定の共振周波数を印加すると先端部が楕円振動をする振動体と、該振動体の先端部に形成された粉体搬送路と、粉体を貯蔵し、前記粉体搬送路に粉体を送り込むホッパと、前記振動体に対してデューティー比に応じた時間だけ、駆動電圧を与えるデューティー比制御手段と、前記ホッパ内の粉体重量を測定するロードセルとからなる粉体フィーダにおいて、請求項１または請求項２に記載するいずれかのアクチュエータの制御手段を有することを特徴とする。
【００１５】
振動体は先端部が楕円振動するため、先端部に取り付けられた粉体供給パイプも楕円振動する。すると、ホッパからパイプ中に供給された粉体は、この楕円振動により横方向（振動体の縦方向振動に対する直角方向で、振動体の曲げ方向振動に対して平行な方向）に加速を受け移動する。従って、粉体を搬送することができる。
【００１６】
この場合において、圧電素子に印加する交流駆動電圧をオン／オフ制御しているので、振動体が駆動されている期間は粉体が搬送される。従って、駆動期間と停止期間との比、即ち、デューティー比によって、粉体の搬送量を制御し、さらに、ロードセルで粉体の重量をセンシングして、そのセンサ出力をスイッチングノイズが重畳しないタイミングにて、フィードバック制御しているので、より高精度に粉体の搬送量を制御することができる。
【００１７】
請求項４の発明のアクチュエータの制御装置によれば、上記問題点を解決するために、ＰＷＭ（パルス幅変調）制御手段によって間欠的に駆動されるモータと、前記モータに備わるセンサからのセンサ出力を増幅し、その値を検出するセンサ回路と、ＰＷＭ信号の立ち上がりエッジを検出し、その検出信号を出力する検出装置と、前記検出信号に対応して、前記センサ出力を取り込むサンプリング装置と、前記サンプリング値をＰＷＭ制御手段にフィードバックするフィードバック手段と、を有することを特徴とする。
【００１８】
上記制御装置によれば、ＰＷＭ信号の周期に同期化して、センサ出力をフィードバック信号として取り込むことにより、ノイズが重畳していないフィードバック信号を取り込むことができ、より精度良くモータを制御することが可能となる。従って、このモータ制御装置をロボットの腕の駆動モータやＮＣ工作機のテーブルの位置決めモータ等に適応すれば、より高精度にロボットの腕を動かしたり、テーブルの位置決め等を行なうことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を図面を参照しつつ詳細に説明する。第１の実施の形態に係る粉体フィーダの構造を図１に示す。
振動体１０は、いわゆるリニア型超音波モータであり、平板リング形状の圧電素子１を２枚、図示しない電極板を介して積層し、この両面を、略円柱状の金属ホーン２ａおよび略円筒状の金属バックホーン２ｂで挟んだ構造となっている。この振動体１０は、バックホーン２ｂと圧電素子１の中央部を貫通する透孔を経由して挿入され、一端がホーン２ａに締結されたボルト３によって、固定部材４に固定されている。
このホーン２ａの先端部２ｃは、二面取りされ、後述するパイプを貫挿するための貫通孔２ｄが設けられている。
【００２０】
貫通孔２ｄには、内部を粉体が流通する粉体供給パイプ２０が貫挿・固着されている。この粉体供給パイプ２０の図中左側の端部２１は、やや下方に屈曲させられており、図中右側から搬送された粉体Ｐがパイプ２０の端部２１から落下移動しやすいようにされている。
一方、パイプ２０の図中右側の端部２２は、逆にやや上方に屈曲させられ、ホッパ本体３０から供給される粉体Ｐを、容易に図中左側へ搬送できるようにされている。
【００２１】
ホッパ本体３０は、粉体Ｐを貯蔵し、パイプ２０へ徐々に粉体を供給するためのものであって、底部３１は漏斗状になっている。この底部３１にはチューブ３２がつながれており、チューブ３２の他端は、粉体供給パイプ２０の端部２２につながれている。従って、ホッパ本体３０に投入された粉体Ｐは、チューブ３２を経由して、パイプ２０に供給される。なお、チューブ３２は、振動体１０の振動を妨げないように屈曲自在の材質が選択され、本例では、ナイロンチューブを用いている。
【００２２】
図２に、振動体１０の入力インピーダンスの周波数特性を、インピーダンスアナライザで測定した結果を示す。この結果から、振動体１０の共振周波数Ｆｒは、約２９．４ｋＨｚであることが判る。この共振周波数Ｆｒで駆動した場合には、大きく振動する。従って、本実施例では、振動体１０を駆動させるために、共振周波数Ｆｒを有する交流電圧を印加している。
【００２３】
ここで、振動体１０を共振周波数で駆動した場合の振動の様子を説明する。
共振周波数で圧電素子１を駆動すると、圧電素子が伸び縮みするため、振動体１０は、図３に示すように屈曲振動する。この振動は、図中上下方向への伸び縮みの振動（縦振動）と、図中横方向への曲げ振動（撓み振動）との合成振動である。
【００２４】
この振動の一周期分についてさらに詳細に説明すると、図４に示すように振動をしている。なお、図４では、先端部（図中下端部）の動きを判りやすくするため、先端中央部に黒点を打っている。まず、ｔ＝０（図４（ａ））では、先端部（黒点）は右側に位置するように曲げられている。ついで、１／４周期後のｔ＝π／２（図４（ｂ））では、振動体は縮み、先端部（黒点）は図中上側に位置している。さらに、ｔ＝π（図４（ｃ））では、先端部（黒点）が左側に位置するように曲げられている。さらに１／４周期後のｔ＝３π／２（図４（ｄ））では、振動体は伸び、先端部（黒点）は図中下側に位置している。従って、一周期分について黒点の動きをたどってゆくと、図４に示すように楕円運動をしていることが判る。
【００２５】
従って、この先端部にパイプを取り付け、パイプ中に粉体を供給すると、粉体は浮き上がりながらも図中左方向への加速を受けて、左側へ搬送されてゆくこととなる。
そして、共振周波数で駆動する時間割合を調整、即ち、デューティー比を変化させて、粉体搬送量（切り出し量）を調整する。このとき、ホッパ本体３０内の粉体Ｐの重量をロードセル１１にて計測し、その出力信号をマイコンシステム１３にフィードバックしている。このフィードバック信号を基にして、マイコンシステム１３内で最適に算出されたデューティー比制御信号を駆動回路へ送り、デューティー比に応じた時間だけ駆動電圧ＶＡＣＴ  を振動体１０に印加することによって、粉体Ｐの切り出し量及び実流量を制御している。本実施例では、マイコンシステム１３をデューティー比制御手段として用いている。
【００２６】
しかし、従来の制御装置では、デューティー比制御信号のアクティブ期間Ｔａ・インアクティブ期間Ｔｉに関係なく、フィードバック信号であるロードセルのセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬをデューティー比制御手段に取り込んでいた。従って、図６（ｄ）に示すタイミングＡ，Ｂ，Ｃ，…、すなわちデューティー比制御信号のアクティブ期間Ｔａに、ロードセルからのセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬをデューティー比制御手段に取り込むと、ノイズが重畳したセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬに基づいてデューティ比が算出されるため、設定された切り出し量及び実流量に制御することができなかった。
【００２７】
そこで、本発明においては、ロードセルのセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬの取り込みを、デューティー比制御信号のインアクティブ期間Ｔｉに同期して行なうようにした。本実施の形態では、サンプルタイミングの同期化はマイコンのプログラムソフトにより行なった。
【００２８】
図６に基づいて、本発明の制御方法について説明する。
図６（ａ）は、振動体１０を間欠的に駆動させるためのタイミングクロック（デューティー比クロック）を示す。このクロック信号は、デューティー比制御手段により作られている。なお、図６（ａ）では、アクティブ期間ＴａをＬｏｗ  、インアクティブ期間ＴｉをＨｉｇｈとして表現している。デューティー比は、１周期におけるアクティブ期間Ｔａの割合で表し、Ｔａ／（Ｔａ＋Ｔｉ）で算出される。
【００２９】
図６（ｂ）に、圧電素子１に印加する駆動電圧ＶＡＣＴ  の変化を示す。印加電圧の大きさ自身は変化していないが、アクティブ期間Ｔａにおいては、共振周波数Ｆｒの交流電圧が印加され、一方、インアクティブ期間Ｔｉにおいては、駆動電圧が印加されない。
【００３０】
圧電素子１に、図６（ｂ）のような駆動電圧ＶＡＣＴ  が印加されると、振動体１０は振動する。この場合に、共振周波数Ｆｒで駆動すると、振動体１０は共振して大きく振動し、しかも、先端部が楕円振動となる。一方、駆動電圧を印加しない場合には、振動体１０は振動しない。
【００３１】
図６（ｃ）に、ロードセル１１から出力されるセンサ出力電圧ＶCELLの変化を示す。出力電圧は、時間の経過に従いホッパ本体３０内の粉体Ｐの重量が減少するため、小さくなっていく。また、アクティブ期間Ｔａにおいては、前述したトランジスタのスイッチングノイズが重畳していることがわかる。
【００３２】
図６（ｅ）に、フィードバック信号、すなわちセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値をＡ／Ｄコンバータに取り込むサンプルタイミングを示す。サンプルタイミングＧ，Ｈ，…はデューティー比クロックと同期化して、インアクティブ期間Ｔｉ内になっている。本実施例では、インアクティブ期間Ｔｉの開始直後から数ｍｓｅｃ経過後にデータのサンプリングを行なっている。これは、インアクティブ期間Ｔｉの開始直後では、スイッチングノイズの影響を受ける可能性が大きいため、確実に影響を受けないようにするためである。従って、確実にスイッチングノイズが重畳していないセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値をフィードバックすることが可能となる。
【００３３】
しかし、デューティー比が１００％のとき、すなわち、連続駆動のときは、振動体１０の振動が停止するインアクティブ期間Ｔｉがないため、スイッチングノイズが重畳していないセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬをマイコンシステム１３にフィードバックすることができない。そこで、本実施の形態では、図７に示すように、デューティー比の最大値を９５％に設定して、インアクティブ期間Ｔｉを確保し、それに同期したサンプルタイミングＪ，Ｋ，…を設定している。よって、確実にスイッチングノイズが重畳していないセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値をフィードバックすることが可能となる。
【００３４】
以上説明した通り第１の実施の形態に係る粉体フィーダによれば、ロードセル１１からのセンサ出力の取り込みタイミングＧ，Ｈ，…、あるいはＪ，Ｋ，…を、インアクティブ期間Ｔｉの周期に同期させたので、スイッチングノイズが重畳していないセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬをマイコンシステム１３にフィードバックする。従って、正確なフィードバック信号に基づき、デューティー比の算出を行なうため、より高精度に粉体Ｐの搬送量を制御することが可能となる。
【００３５】
続いて、第２の実施の形態に係るＤＣモータのサーボシステムを図８に示す。本実施例では、アクチュエータとしてＤＣモータ５０が用いられ、そのセンサ出力としてＤＣモータの電圧値を検出し、その値をアンプ５８で増幅して、増幅した電圧値でフィードバックをかけて、モータ５０の速度を制御している。また、ＰＷＭ（パルス幅変調）制御手段５１を用いて、ＰＷＭ信号をアンプ５２で増幅して、その増幅されたＰＷＭ信号にてＤＣモータ５０を駆動させている。
【００３６】
図９に基づいて、本実施の形態の制御方法について説明する。
図９（ａ）は、ＤＣモータ５０を間欠的に駆動させるためのタイミングクロックであるＰＷＭ波形を示す。なお、図９（ａ）では、アクティブ期間ＴａをＨｉｇｈ
、インアクティブ期間ＴｉをＬｏｗ  として表現している。
また、図９（ａ）のＰＷＭ波形がＤＣモータ５０の駆動電圧の変化であるから、アクティブ期間ＴａにおいてＤＣモータ５０が駆動され、インアクティブ期間ＴｉにおいてはＤＣモータ５０が駆動されないことになる。
【００３７】
図９（ｂ）に、センサ５３から出力されるセンサ出力電圧の変化を示す。モータをオン／オフさせる場合、モータに含まれるインダクタンスにより、モータのオフ時に大きな誘導起電力が生じるためノイズが発生して、このノイズがセンサ出力に外乱として重畳する。
従って、センサ出力電圧の波形に、図９（ｂ）に示す通り、ＤＣモータ５０のオフ時（インアクティブ期間Ｔｉの初期）において、センサ出力電圧にノイズが重畳していることがわかる。
【００３８】
図９（ｃ）に、フィードバック信号、すなわちセンサ出力を取り込むサンプルタイミングを示す。サンプルタイミングＭ，Ｎ，…はデューティー比クロックと同期化して、アクティブ期間Ｔａ内になっている。このサンプルタイミングＭ，Ｎ，…は、図８に示すＰＷＭ波形の立ち上がりエッジを検出する検出回路５４、遅延回路５５、及びサンプルボード５６からなる電子回路５７により、ＤＣモータ５０の駆動開始から必要最適な遅延時間経過後にデータサンプリングを行なうように設定されている。
従って、第１の実施の形態と同様に、ノイズが重畳していないセンサ出力をフィードバックすることができ、より最適にＤＣモータ５０の速度を制御することが可能となる。
【００３９】
以上説明した通り第２の実施の形態に係るサーボシステムによれば、ＤＣモータからのセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値のサンプルタイミングＭ，Ｎ，…を、アクティブ期間Ｔａの周期に同期させたので、ノイズが重畳していないセンサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値をフィードバックできる。従って、より高精度にＤＣモータ５０の速度を制御することが可能となる。
また、第１の実施の形態のようにマイコンを使用せずに、簡単な電子回路５７にて、センサ出力電圧ＶＣＥＬＬの値のサンプルタイミングＭ，Ｎ，…を、アクティブ期間Ｔａの周期に同期させている。従って、安価に本発明に係る制御装置を実現化することができる。
【００４０】
上記実施の形態においては、圧電素子を駆動源とした超音波モータを用いた粉体フィーダ、あるいはＤＣモータを用いたサーボシステムについて例示したが、本発明の制御装置はこれに限定されることはなく、間欠的に駆動するアクチュエータを最適に制御する装置として広く用いることができる。
たとえば、プラスチックの溶着、加工等に用いる超音波ウェルダーなどの超音波加工機の出力制御などに用いることができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明した通り本発明のアクチュエータの制御装置によれば、間欠的に駆動電圧を与えることで駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータに対してデューティー比に応じた時間だけ、駆動電圧を与えるデューティー比制御手段と、前記アクチュエータに備わるセンサからのセンサ出力を増幅し、その値を検出するセンサ回路と、からなり、デューティー比の周期に同期し、前記アクチュエータが停止してから一定時間経過後に、前記センサ出力をフィードバック信号として取り込むことで、ノイズが重畳していないフィードバック信号を取り込むことができ、より精度良くアクチュエータを制御することが可能となる。
また、このような制御手段を有する粉体フィーダによれば、確実に正確なフィードバック信号を取り込むことができるので、設定流量値に対する補正をより精度良く行なうことができ、粉体の切り出し量並びに実流量をより正確にコントロールすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る粉体フィーダの構造を示す一部切り欠き断面図である。
【図２】振動体の入力インピーダンスの周波数特性を示すグラフである。
【図３】振動体の共振時の振動の様子を示す模式図である。
【図４】振動体の共振時の振動の様子を１／４周期毎に示した模式図である。
【図５】第１の実施の形態に係る粉体フィーダのシステムを示したブロック図である。
【図６】第１の実施の形態に係る粉体フィーダのシステムの作動状況を示す説明図であり、（ａ）は駆動期間と非駆動期間を切り替えるタイミングを示し、（ｂ）は振動体に印加される駆動電圧を示し、（ｃ）はロードセルからのセンサ出力電圧を示し、（ｄ）は、従来技術でのサンプルタイミングを示し、（ｅ）は本発明でのサンプルタイミングを示す。
【図７】第１の実施の形態に係る粉体フィーダのシステムにおいて、デューティー比最大（９５％）での作動状況を示す説明図であり、（ａ），（ｂ），（ｃ）、及び（ｅ）は図６と同様である。
【図８】第２の実施の形態に係るモータの制御システムを示したブロック図である。
【図９】第２の実施の形態に係るモータの制御システムの作動状況を示す説明図であり、（ａ）は駆動期間と非駆動期間を切り替える信号（ＰＷＭ信号）を示し、（ｂ）はセンサからのセンサ出力電圧を示し、（ｃ）はサンプルタイミングを示す。
【図１０】従来の粉体フィーダのシステムを示したブロック図である。
【図１１】振動体に駆動電圧を印加する共振周波数発振回路の回路図である。
【図１２】ノイズの発生原理を示した説明図であり、（ａ）は図１１に示す発振回路のトランジスタの作動状態を示し、（ｂ）は振動体に印加される駆動電圧を示し、（ｃ）はロードセルからのセンサ出力電圧を示す。
【符号の説明】
１      圧電素子
２ａ    金属ホーン
２ｂ    バックホーン
２ｃ    先端部
２ｄ    貫通孔
３      ボルト
４      固定部材
２０    粉体供給パイプ
３０    ホッパ本体
３１    底部
３２    チューブ
Ａ，Ｂ，Ｃ，…、Ｇ，Ｈ，…    サンプルタイミング
Ｐ      粉体
ＶＡＣＴ    駆動電圧
ＶＣＥＬＬ  センサ出力電圧
【図１】
0003577177.tif 000002
【図２】
0003577177.tif 000003
【図３】
0003577177.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003577177.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003577177.tif 000008
【図８】
0003577177.tif 000009
【図９】
0003577177.tif 000010
【図１０】
0003577177.tif 000011
【図１１】
0003577177.tif 000012
【図１２】
0003577177.tif 000013