【事件の表示】
　特願２００４−２０３２８１「プローブカード」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年１月２６日出願公開、特開２００６−２４８４５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本願は、平成１６年７月９日の出願であって、平成１８年９月２６日付けで拒絶理由が通知されたところ、その指定期間内の平成１８年１１月２７日付けで意見書及び手続補正書が提出されたが、平成１８年１２月２２日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１９年１月２５日付けで拒絶査定不服の審判が請求され、その後法定期間内の平成１９年２月２３日付けで、その特許請求の範囲について手続補正がなされたものである。
　
　
【２】補正却下の決定
１．補正の却下の決定の結論
　平成１９年２月２３日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
２．理由
（１）補正の概略
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１を、
「磁気センサに磁界を方向可変に印加するための複数のコイルと、
前記磁気センサの出力信号を検出するためのプローブ群と、
前記複数のコイルおよび前記プローブ群を一体的に有する基部と、を備え、
前記基部は、前記磁気センサとの相対的な位置を変更することなく複数方向の外部磁界に対する前記磁気センサの出力を検査するために前記複数のコイルおよび前記プローブ群を有することを特徴とするプローブカード。」
と補正しようとする事項を含むものである。
　上記請求項１に係る補正は、平成１８年１１月２７日付けの手続補正によって補正された請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「基部」を、「基部は、前記磁気センサとの相対的な位置を変更することなく複数方向の外部磁界に対する前記磁気センサの出力を検査するために前記複数のコイルおよび前記プローブ群を有する」
と限定するものであるから、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）否かについて以下に検討する。
　
（２）刊行物
　当審において発見された特開２００４−１５１０５６号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図面と共に以下の技術事項が記載されている。
（ａ）「プローブカード３３は、枠板３５上に磁界発生用の６個のコイル３ａ〜３ｆが配置され、枠板の窓（中心部）に斜め下方に向けて複数のプローブ針３４が設けられ、枠板の窓の一辺に検知用センサ３６が設けられている構成にした。このプローブ針３４を、ウェハ上の磁界センサ素子の電極に対して、プローブ端子として電気的に接触させた。」（１８頁４−７行）
（ｂ）「プローブ端子は、制御装置３９中の電流源からバイアス電流や検知用電流を磁界センサ素子に対して流したり、制御装置３９中の電圧計により磁界センサ素子（ＭＲ素子）に印加されている電圧等を検出して抵抗値を検出する。」（１８頁７−１０行）
（ｃ）「コイル３ａ〜３ｆは、磁界発生手段であり、磁界センサ素子に回転磁界や任意の方向に任意の大きさの磁界を印加し得るように構成した。」（１８頁１０−１１行）
（ｄ）「（１．磁界発生手段関連の形態）（１−１）本発明にて、磁界発生手段として、互いに直交する方向の磁界を発生して且つ被測定物（地磁気方位センサ）に前記磁界を印加する構成を用いることができる。例えば、複数の電磁コイルを用いる。地磁気方位センサの感磁方向（或いは感磁軸）を含む平面内において、前記磁界発生手段が互いに直交する方向の磁界を発生することが更に望ましい。なお、互いに直交する方向の磁界は、制御手段が磁界発生手段をコントロールすることで得られる合成磁界と言える。この結果、合成磁界は任意に面内で方向大きさを制御できる。本発明にて、前記磁界発生手段は、直流磁界若しくは交流磁界であり、その周波数範囲が直流から１００Ｈｚまでの範囲内にあることが望ましい。」（７頁４０−４９行）
（ｅ）「図７における具体的な測定手順を説明する。まず、制御用コンピュータからの指令により、コイル３ａ〜３ｆに電流が流されて、予め規定された水平方向の磁界がウェハに印加した。同時に、電流源からプローブ針３４を介してウェハ中の磁界センサ素子の電極（パッド電極）にバイアス電流が流される。そして、予め定められた手順で、コイルによる磁界を順次変化させて、その都度、磁界センサ素子中のＭＲ素子の抵抗値をプローブ針３４を介して検出し、検出した抵抗値を制御用コンピュータに取り込み、ウェハ中の磁界センサ素子の良否判定を行った。このように、１つの磁界センサ素子（ＭＲ素子）の判定を終了したら、ステージ３１を磁界センサ素子の１素子分だけずらし、隣接する磁界センサ素子（ＭＲ素子）を同様にして測定・判定した。以下同様に、ステージを間欠的に移動させてウェハ中の全ての磁界センサ素子（ＭＲ素子）を判定した。」（１８頁【００８５】）
（ｆ）図７には、ウェハ３０を測定対象とし、複数のプローブ針３４をプローブカード３３の中央部に配置し、当該複数のプローブ針３４の周囲に、二つのコイルを対向させるように複数組配置するプローブカード３３が示されている。
　
　上記刊行物１の記載事項及び図面を総合勘案すると、刊行物１には、次の発明が記載されていると認められる。
　「磁界センサ素子に回転磁界や任意の方向に任意の大きさの磁界を印加しうるように構成した複数のコイルと、
制御装置中の電圧計により磁界センサ素子に印加されている電圧等を検出して抵抗値を検出するための複数のプローブ針からなるプローブ端子と、
磁界発生用の複数のコイルが配置され、その中心部の窓に斜め下方に向けて複数のプローブ針が設けられた枠板と、を備えたプローブカードであって、
予め定められた手順で、コイルによる磁界を順次変化させて、その都度、磁界センサ素子中のＭＲ素子の抵抗値をプローブ針を介して検出し、検出した抵抗値を制御用コンピュータに取り込み、ウェハ中の磁界センサ素子の良否判定を行い、１つの磁界センサ素子の判定を終了したら、ステージを磁界センサ素子の１素子分だけずらし、隣接する磁界センサ素子を同様にして測定・判定するように、前記複数のコイルと前記複数のプローブ針からなるプローブ端子とが前記枠板に設けられたことを特徴とするプローブカード」（以下、「刊行物１発明」という。）
　
（３）対比・判断
　本願補正発明と刊行物１発明とを比較すると、
（ア）刊行物１発明の「磁界センサ素子」は、本願補正発明の「磁気センサ」に、また、刊行物１発明の「回転磁界や任意の方向に任意の大きさの磁界を印加しうるように構成した複数のコイル」は、本願補正発明の「磁界を方向可変に印加するための複数のコイル」に相当し、
（イ）刊行物１発明の「制御装置中の電圧計により磁界センサ素子に印加されている電圧等を検出して抵抗値を検出する」ことは、コイルからの磁界の印加により、磁気センサ素子の抵抗値が変わることを検出しているため、磁気センサ素子の出力信号を検出していることに相当する。そして、「複数のプローブ針からなるプローブ端子」は、本願補正発明の「プローブ群」に相当する。
（ウ）刊行物１発明の「磁界発生用の複数のコイルが配置され、その中心部の窓に斜め下方に向けて複数のプローブ針が設けられた枠板」は、刊行物１の図７を参酌するに、複数のコイル及び複数のプローブ針を一体的に有している枠板であることは明かであり、また、プローブカードを構成する基本的な板状構造材であるから、本願補正発明の「基部」に相当する。
（エ）刊行物１発明においては、刊行物１の記載事項（ｅ）にもあるように、「１つの磁界センサ素子の判定を終了したら、ステージを磁界センサ素子の１素子分だけずら」すことで、測定・判定を行っているが、「１つの磁界センサ素子の測定・判定」中には、枠板に一体的に設けられた複数のコイルで予め定められた手順で、コイルによる磁界を順次変化させて、枠板に一体的に設けられた「複数のプローブ針からなるプローブ端子」で、磁気センサ素子の出力信号を測定・判定しているものであるから、１つの磁界センサ素子の測定・判定中には、枠板と磁気センサ素子との相対的な位置を変更していないものである。
　そして、上記（ア）〜（ウ）の各事項から、刊行物１発明の「枠板」に「予め定められた手順で、コイルによる磁界を順次変化させて、その都度、磁界センサ素子中のＭＲ素子の抵抗値をプローブ針を介して検出し、検出した抵抗値を制御用コンピュータに取り込み、ウェハ中の磁界センサ素子の良否判定を行い、１つの磁界センサ素子の判定を終了したら、ステージを磁界センサ素子の１素子分だけずらし、隣接する磁界センサ素子を同様にして測定・判定するように前記複数のコイルと複数のプローブ針からなるプローブ端子」が設けられた点は、本願補正発明の「基部は、前記磁気センサとの相対的な位置を変更することなく複数方向の外部磁界に対する前記磁気センサの出力を検査するために前記複数のコイルおよび前記プローブ群を有する」ことに相当する。
　してみると、上記（ア）〜（エ）の各事項を総合すると、刊行物１発明は、
「磁気センサに磁界を方向可変に印加するための複数のコイルと、
前記磁気センサの出力信号を検出するためのプローブ群と、
前記複数のコイルおよび前記プローブ群を一体的に有する基部と、を備え、
前記基部は、前記磁気センサとの相対的な位置を変更することなく複数方向の外部磁界に対する前記磁気センサの出力を検査するために前記複数のコイルおよび前記プローブ群を有することを特徴とするプローブカード。」
と認められるから、本願補正発明は刊行物１発明と同一である。
　
（４）本件補正についてのむすび
　以上のとおり、本願補正発明は、本願出願前に頒布された刊行物１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
【３】本願発明及び当審の判断
１．本願発明について
 　平成１９年２月２３日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１−７に係る発明は、平成１８年１１月２７日付けの手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１−７に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「磁気センサに磁界を方向可変に印加するための複数のコイルと、
前記磁気センサの出力信号を検出するためのプローブ群と、
前記複数のコイルおよび前記プローブ群を一体的に有する基部と、
を備えることを特徴とするプローブカード。」
　
２．刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６２−５５９７７号公報（以下、「刊行物２」という。）及び特開平１１−３３９２３１号公報（以下、「刊行物３」という。）には、以下の点が記載されている。
　なお、当審において発見された刊行物１の記載事項は、前記「【２】２．（２）」に記載したとおりである。
　
＜刊行物２の記載事項＞
（ｇ）「ｌは磁気センサチップ２が多数個形成されたウェハー、１０はウェハーテストステーションで、ウェハー１内の各チップ２に対し接触可能な複数個のテストプローブ針が植設されるものである」（２頁左上欄１０−１４行）
（ｈ）「このテストプローブ針３〜６には、・・・・チップ２からの検出信号を受ける電圧源８に接続されたテストプローブ針４、５とが含まれる。」（２頁左上欄１５行−右上欄１行）
（ｉ）「さらに、本例では磁界発生手段となるコイルプローバ１１及び交流発振器９がウェハーテストステーション１０に一体的に構成され、」（２頁右上欄１−４行）
（ｊ）「コイルプローバ１１に磁界を生じさせた後、所定の磁気センサチップ２の上方に近接させ、このチップ２に磁界を印加する。それと同時にこの場合４個のテストプローブ針３〜６をチップ２上の電極部に接触させ、磁気センサの電気的特性を測定することにより磁気センサのテストを行なうことができる。そして、上記したテスト操作を、ウェハー１を順次移動させながら、繰り返すことによって、ウェハー全体のテストを行なうことができる。」（２頁右上欄１０−１９行）
（ｋ）図には、ウェハーテストステーションの下面ウェハー側に、テストプローブ針及びコイルプローバが一体的に設けられ、ウェハー上の磁気センサチップのテストを行っていることが示されている。
　
　上記刊行物２の記載事項及び図面を総合勘案すると、刊行物２には、次の発明が記載されていると認められる。
「磁気センサチップに磁界を印加し磁界発生手段となるコイルプローバと、
ウェハー内の各磁気センサチップに対し接触可能でかつ磁気センサチップからの検出信号を受ける複数個のテストプローブ針と、を有するウェハテストステーションにおいて、
前記複数個のテストプローブ針が植設され、前記コイルプローバが一体的に構成されているウェハーテストステーション」（以下、「刊行物２発明」という。）
　
＜刊行物３の記載事項＞
（ｌ）「本発明は、スピンバルブ型の磁気抵抗効果素子等の特性を評価する際に用いられる磁気抵抗効果素子の評価装置及びその評価方法に関する。」（２頁１欄３１−３３行）
（ｍ）「一対の電磁石６から発生した磁場の極性を変化させ、スピンバルブ素子１に印加される磁界を変化させる。このようにスピンバルブ素子１に印加する磁界を変化さた状態で、センス電流の電圧値を電圧計８にて測定する。」（４頁第５欄２６−３０行）
　
　
３．対比
　本願発明と刊行物２発明とを比較すると、
刊行物２発明の「磁気センサチップ」、「コイルプローバ」、「検出信号を受ける」及び「複数個のテストプローブ針」は、それぞれ本願発明の「磁気センサ」、「コイル」、「出力信号を検出する」及び「プローブ群」に相当するから、両者は、
「磁気センサに磁界を印加するコイルと、
磁気センサの出力信号を検出するためのプローブ群と、
前記コイルおよび前記プローブ群を一体的に有する装置」
の点で一致し、以下の点で相違する。
　
＜相違点１＞
　本願発明では、磁気センサに磁界を印加するコイルが「磁界を方向可変に印加するための複数のコイル」であるのに対して、刊行物２発明では、そのような構成を有していない点。
＜相違点２＞
　本願発明では、「前記複数のコイル及びプローブ群を一体的に有する」のが「基部」であり、装置全体が「プローブカード」であるのに対して、刊行物２発明では、「前記コイル及びプローブ群を」どのように「一体的に有する」のかが不明であり、「プローブカード」の記載がない点。
　
４．判断
＜相違点１について＞
　磁気センサの検査に際して、磁界を印加する場合に、「磁界を方向可変に印加するための複数のコイル」を設けることは、刊行物３、刊行物１に記載されるように周知の技術にすぎず、刊行物２発明においても、検査対象としての磁気センサの種類及び検査項目等に応じて、前記周知の「磁界を方向可変に印加するための複数のコイル」を設けることは、当業者の設計事項の範囲のものである。また、その作用効果も当業者の予測しうる程度のものである。
　
　なお、本件審判請求人は、審判請求書の「請求の理由」の４頁１８−２９行において、上記刊行物３（下記「請求の理由」においては、引用文献２と記載されている。）について、
「そして、引用文献２には、・・・直線上に配置された一対の電磁石６からは一方向の磁場が形成されるにとどまる。そして、引用文献２の場合、電磁石６の極性を入れ替えたとしても、磁場が１８０°変化するにとどまり、例えば９０°のように磁場を０°から１８０°の間で変化させることはできない。また、引用文献２には、磁気センサに印加する磁界の方向を１８０°以下に設定、変化させることについて何ら記載も示唆もない。
　これに対し、本願発明の場合、プローブ群と隣接して配置したコイルが形成する磁場を種々に設定することにより、磁気センサチップに印加される磁場を任意の角度に設定することができる。」
との主張を行っているが、本願発明においては、「磁界を方向可変に印加する」と特定されているだけであり、当該「方向」が、どのような「方向」であるのかは特定されていない。
　一方、本件審判請求人も認めているように、刊行物３に記載された磁場の方向は、電磁石の極性を変化させることで、０度と１８０度の逆向きとなる二方向間を可変としていることになるから、これは、磁界を複数の方向で可変としたものである。
　したがって、本件審判請求人の上記主張は、これを採用できない。
　
＜相違点２について＞
　刊行物２の記載事項（ｇ）には、「１０はウェハーテストステーションで、ウェハー１内の各チップ２に対し接触可能な複数個のテストプローブ針が植設されるものである」のように、ウェハーテストステーションにテストプローブ針が植設されている旨記載されている。
　また、刊行物２の記載事項（ｉ）には、「・・・磁界発生手段となるコイルプローバ１１・・・がウェハーテストステーション１０に一体的に構成され」ることが記載されており、刊行物２の図面には、ウェハーステーションの下面ウェハー側に複数のテストプローブ針とコイルプローバが一体的に設けられていることが示されている。
　さらに、刊行物２の記載事項（ｊ）には、「コイルプローバ１１に磁界を生じさせた後、所定の磁気センサチップ２の上方に近接させ、このチップ２に磁界を印加する。
それと同時に
　一方、一般的なウェハーを対象とするテスト装置において、「テストステーション」という名称は、検査用の各種回路を内蔵するテストヘッド自体、或いは、当該テストヘッドと、被検査対象と直接接触させるプローブ針を植設保持するプローブカードおよび両者を接続する各種ボード等を含む複合構造体を指すことが普通であり、また、直接テストヘッドにテストプローブ針を植設することは一般的ではないことは、当業者において常識である。
　してみると、刊行物２の図面において、ウェハーテストステーション自体の具体的な構造は示されていないが、前記のように、複数個のテストプローブ針が植設され、ウェハーテストステーションの下面ウェハー側にテストプローブ針とコイルプローバが一体的に設けられ、且つ、磁界を印加させるために磁気センサチップの上方にコイルを近接させるのと同時に、複数個のテストプローブ針をチップ上の電極部に接触させることから、
上記テスト装置に関する一般常識を勘案すれば、ウェハーテストステーションの下面ウェハー側に、プローブカードを設け、当該プローブカードの基本的な板状の本体である「基部」に、コイルプローバと複数個のテストプローブ針とを一体的に設けることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　なお、刊行物３，１に記載されているような複数方向の磁界を印加させるための複数のコイルを用いる際には、これら複数のコイルをプローブ針と一体的に配置することは、その実施化に際して当然に設計される事項である。
　
　なお、本件審判請求人は、審判請求書の請求の理由の３頁下から１０行〜４頁４行において、上記刊行物２（下記「請求の理由」においては、引用文献１と記載されている。）について、
「引用文献１には、複数のコイル及びプローブ群を基部に一体に設ける構成については何ら開示も示唆もない。・・・引用文献１の場合、ウェハーテストステーション内には、交流発信器、電流源、電圧源を有し、テストプローブ針とコイルプローバとが植設されている構成で一体となっている。このような引用文献１の場合、コイルプローバに磁界を発生させ、磁界を磁気センサチップに
印加した後、
との主張を行っているが、刊行物２の記載事項（ｊ）には、「コイルプローバ１１に磁界を生じさせた後、所定の磁気センサチップ２の上方に近接させ、このチップ２に磁界を印加する。
それと同時に
印加した後、
　したがって、本件審判請求人の上記主張は採用できない。
　
　上記の相違点１，２についての検討結果から、本願発明は、刊行物２に記載された発明及び刊行物３、刊行物１に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明（請求項１に係る発明）は、刊行物２に記載された発明及び刊行物３、刊行物１に記載された周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。