【手続補正書】
【提出日】平成27年4月10日(2015.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する液体流路と、前記液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、前記液体流路に前記液体を供給する液体供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）第一の面側に、前記吐出エネルギー発生素子と、前記第一の面から突出する部材とを有し、かつ前記第一の面から前記第一の面と反対側の第二の面まで貫通する前記液体供給口としての貫通口を有する基板を用意する工程と、
（２）前記基板及び前記部材の上に第一のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第一のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
（３）前記第一のネガ型感光性樹脂層に第一の露光によって第一の潜像を形成する工程と、
（４）前記第一の潜像が形成された第一のネガ型感光性樹脂層の上に第二のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第二のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
（５）前記第二のネガ型感光性樹脂層に第二の露光によって第二の潜像を形成する工程と、
（６）前記第一の潜像及び前記第二の潜像を現像処理によって除去することにより、前記液体流路及び前記吐出口を形成する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記部材を前記吐出エネルギー発生素子を駆動するための共通配線として機能するように形成する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記共通配線は金メッキを含んで形成される請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記部材を前記吐出エネルギー発生素子に電力を供給するための端子として機能するように形成する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記端子は金メッキを含んで形成される請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記工程（２）において、前記第一のネガ型感光性ドライフィルムの未露光時のＴｇ以上の温度で前記第一のネガ型感光性樹脂層を形成する請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記工程（２）において、前記部材の高さに表面を合わせて前記第一のネガ型感光性樹脂層を形成する請求項１乃至６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層は真空中で形成される請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記部材は、前記工程（６）において前記第一のネガ型感光性樹脂層を現像処理することで得られる流路壁部材の内部に配置される位置に形成される請求項１乃至８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第一の潜像の少なくとも一部は前記液体流路のパターンに形成され、前記第二の潜像の少なくとも一部は前記吐出口のパターンに形成される請求項１乃至９のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで、本発明の一形態は、
液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する液体流路と、前記液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、前記液体流路に前記液体を供給する液体供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）第一の面側に、前記吐出エネルギー発生素子と、前記第一の面から突出する部材とを有し、かつ前記第一の面から前記第一の面と反対側の第二の面まで貫通する前記液体供給口としての貫通口を有する基板を用意する工程と、
（２）前記基板及び前記部材の上に第一のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第一のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
（３）前記第一のネガ型感光性樹脂層に第一の露光によって第一の潜像を形成する工程と、
（４）前記第一の潜像が形成された第一のネガ型感光性樹脂層の上に第二のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第二のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
（５）前記第二のネガ型感光性樹脂層に第二の露光によって第二の潜像を形成する工程と、
（６）前記第一の潜像及び前記第二の潜像を現像処理によって除去することにより、前記液体流路及び前記吐出口を形成する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法である。
なお本明細書中で、前記工程（１）に記載される部材を「高さ調整部材」と呼ぶことがある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、第一のネガ型感光性樹脂層９の表面は、高さ調整用部材５の表面にならうように形成することが好ましい。つまり、高さ調整用部材の高さに表面を合わせて第一のネガ型感光性樹脂層を形成することが好ましい。さらに換言すると、第一のネガ型感光性樹脂層の厚さと高さ調整用部材５の厚さ（高さ）が等しくなるように第一のネガ型感光性樹脂層を形成することが好ましい。このように第一のネガ型感光性樹脂層を形成するために、第一のネガ型感光性ドライフィルムの未露光時のＴｇ（ガラス転移温度）以上で第一のネガ型感光性樹脂層を形成することが好ましい。また、第一のネガ型感光性ドライフィルムにローラ等で圧力をかけて第一のネガ型感光性樹脂層を形成することが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
なお、Ｔｇ以上の温度で圧力をかけて転写した第一のネガ型感光性樹脂層は、その一部が供給口３に流れ込む場合があるが、この流れ込んだ部分は後工程で除去される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
第一のネガ型感光性ドライフィルムの材料としては、エポキシ樹脂を用いた。また、第一のネガ型感光性ドライフィルムの材料には、感光性を持たすためにトリアリールスルホニウム塩を光開始剤として含ませている。また、この感光性ドライフィルムは、ｉ線ステッパーキヤノン製ＦＰＡ３０００ｉ５＋（商品名）を使用して５０００Ｊで露光すると残膜１００％となるようなネガ型レジストであるように調整した。本材料を用いて平均膜厚が１５μｍとなるようにドライフィルムを作製した。本材料の未硬化でのＴｇが約６０℃なので、７０℃で０．５ＭＰａの圧力で、真空中で、前記シリコン基板に前記ドライフィルムを貼りつけ、１４μｍの共通配線高さに表面を合わせて表面が平坦となるように基板上に第一のネガ型感光性樹脂層を形成した。この時、高さ調整用部材に対して垂直方向（基板面と平行な方向）にローラーを動かして転写した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
第一のネガ型感光性樹脂層は、実施例１と同じドライフィルムを用いて形成した。具体的には、本材料の未硬化でのＴｇが約６０℃なので、７０℃で、０．５ＭＰａの圧力で、真空中で、ドライフィルムを貼りつけ、１４μｍの端子高さに表面を合わせて表面が平坦となるように基板上に第一のネガ型感光性樹脂層を形成した。この時、高さ調整用部材に対して垂直方向（基板面と平行な方向）にローラーを動かして転写した。なお、端子は分離しているが、間隔（中心同士の距離）は３０μｍから６０μｍであり、転写ローラー径が６０ｍｍであるため、端子が分離していることの影響はない。