【事件の表示】
　特願２００２−２５３７３５「研磨布用ドレッシング装置及び研磨布のドレッシング方法並びにワークの研磨方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月２５日出願公開、特開２００４−　９０１４２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明
　本件出願は、平成１４年８月３０日の特許出願であって、同１９年１月５日付けで拒絶理由が通知され、同１９年３月１９日に意見書の提出とともに手続補正がされ、その後、同１９年８月１６日付けで再度拒絶理由が通知され、同１９年１０月１８日に意見書の提出とともに手続補正がされたが、同２０年３月７日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同２０年４月９日に本件審判の請求がされた。
　本件出願の請求項１乃至９に係る発明は、平成１９年１０月１８日付けで補正がされた明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至９に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項２に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「【請求項２】　研磨布を貼付した上定盤と下定盤を具備する両面研磨装置に対し、前記研磨布をドレッシングするための研磨布用ドレッシング装置であって、少なくとも、研磨布と接してドレッシングを行うドレス面を有するドレッシング手段と、該ドレッシング手段を保持する保持手段と、前記ドレッシング手段のドレス面の角度を調整する角度調整手段とを具備し、前記角度調整手段が、前記ドレッシング手段と保持手段を連結するエアバック又はボールジョイントからなるものであり、前記ドレッシング手段のドレス面がドレッシングを行うときに前記定盤の形状に応じて角度が調整されて前記研磨布と接触するものであり、前記ドレッシング手段を２つ具備し、各ドレッシング手段のドレス面が上下に向いてそれぞれ独立して角度が調整されるものであることを特徴とする研磨布用ドレッシング装置。」
　
２　刊行物記載事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に頒布された刊行物である特開２００１−２４６５５０号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の技術的事項が記載されている。
　
(１)　刊行物１の記載内容
ア　第２頁第１欄第３５行〜第２欄第４０行
「【発明の属する技術分野】
　本発明は半導体ウエハ等の基板を研磨する研磨装置に関し、ターンテーブル上に配置された研磨パッド又は砥粒を含む研磨プレートの研磨面を削って目立て等再生・修整（以下、「ドレッシング」と称する）を行うドレッサーの構成に特徴を有する研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の研磨装置は図１に示すように、上面に研磨パッド（研磨布）２を設けたターンテーブル１と半導体ウエハ等の被研磨基板（図示せず）を保持するトップリング３を具備し、該トップリング３の下面に保持した被研磨基板をターンテーブル１上面の研磨パッド２の研磨面に押圧すると共に、該研磨面に砥液を供給し、ターンテーブル１を矢印Ａ方向に回転し、トップリング３を矢印Ｂ方向に回転し、研磨パッド２と被研磨基板の相対運動により、該被研磨基板を平坦且つ鏡面に研磨している。なお、研磨パッド２に替え砥粒を含んだ研磨プレートを設ける場合もある。なお、図中、４はターンテーブル駆動モータ、５は減速機である。
【０００３】上記構成の研磨装置において、何枚かの被研磨基板を研磨すると、研磨パッド２の研磨面が経時変化や目詰まり等を起こして研磨効率が低下するという問題がある。そこで、通常は所定枚数の被研磨基板を研磨したら、或いは目詰まり等で研磨効率が低下した場合、ドレッサー６により研磨パッド２の研磨面を削って、ドレッシングを行っている。
【０００４】上記ドレッサー６はドレッサープレート７と該ドレッサープレート７を支持するドレッサーシャフト８を具備し、該ドレッサーシャフト８は図示しない回転機構で矢印Ｃ方向に回転するようドレッサー旋回アーム１０に回転支持されている。ドレッサー旋回アーム１０は旋回モータ１１により矢印Ｄ方向に旋回するようになっており、該旋回モータ１１を含むドレッサー旋回アーム１０はエアシリンダ１２で矢印Ｅ方向に上下動できるようになっている。ドレッサーシャフト８の回転力は回転力伝達ピン９でドレッサープレート７に伝達される。
【０００５】また、ドレッサープレート７はエアシリンダ１２により、ドレッサーシャフト８を介して研磨パッド２上に押圧されるようになっている。ドレッサープレート７の下面にはダイヤモンド粒を埋め込んだ部材（ダイヤモンドペレット等）又はセラミック材等の硬質材からなる環状突起７ａ又はペレットが設けられている。ドレッサーシャフト８とターンテーブル１の回転によるドレッサープレート７と研磨パッド２の相対運動により、該研磨パッド２の研磨面は削られ、ドレッシングが行われる。
【０００６】研磨パッド２のドレッシングに際して、研磨面の削り量はドレッサープレート７の押圧力に比例するから、押圧力を大きくすれば研磨パッド２の削り量、即ち研磨パッド２の消耗量が大きくなる。そこで研磨パッド２の消耗量の少ないドレッシングを行うにはドレッサープレート７の押圧力を小さくすること、即ち押圧力の低荷重化が必要である。しかしながら、上記構成の研磨装置のように、エアシリンダ１２で旋回モータ１１、ドレッサー旋回アーム１０を含むドレッサー６を上下動させる構成では、ドレッサープレート７の押圧力の低荷重化を精度良く実現することは困難となる。
【０００７】また、ドレッサープレート７の研磨パッドに対する追従性も悪く、更にドレッサー６はドレッサープレート７を傾動自在に支持するため、ボール軸受１３又は自動調芯コロ軸受を必要とする等構造が複雑になるという問題があった。」
　
イ　第３頁第３欄第４２行〜第４欄第３３行
「【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図面に基いて説明する。図２は本発明に係る研磨装置に用いるドレッサーの構成例を示す図である。なお、本発明に係る研磨装置のドレッサーを除く部分は図１の研磨装置と略同一であるのでその説明は省略する。
【００１６】本ドレッサー６は図２に示すように、中空のドレッサーシャフト１５の下端にベローズ１４を介してドレッサープレート７を取付けた構成である。また、ドレッサーシャフト１５の中空部１５ａにはロータリージョイント１６を介して加圧空気源（図示せず）から加圧空気１７が供給されるようになっている。ドレッサーシャフト１５は図１に示す研磨装置のドレッサー旋回アーム１０に回転自在に支持され、回転機構により矢印Ｃ方向に回転できるようになっている。
【００１７】上記のようにドレッサーシャフト１５の下端にベローズ１４を介してドレッサープレート７を取付けた構成のドレッサー６を具備する研磨装置において、ドレッサー旋回アーム１０を旋回させ、ドレッサー６をターンテーブル１上の研磨パッド２上のドレッシング位置まで移動させ、更にエアシリンダ１２でドレッサー旋回アーム１０と共にドレッサー６を下降（ドレッサープレート７の環状突起７ａ又はペレットの下面と研磨パッド２の上面の間に若干の間隙が生じる程度に下降）させる。
【００１８】上記状態から、ベローズ１４の内部にロータリージョイント１６及びドレッサーシャフト１５の中空部１５ａを通して加圧空気１７を供給することにより、該ベローズ１４は下降し、ドレッサープレート７を研磨パッド２に押圧する。この時の押圧力はベローズ１４の内部に供給する加圧空気１７の量で設定されるから、押圧力を０から任意の値に設定することが極めて容易となり、押圧力の低荷重化も容易となる。
【００１９】また、ドレッサープレート７の背面を上下に伸縮自在で傾動自在なベローズ１４で支持し押圧することになるので、ドレッサープレート７の研磨パッド２面に対する追従性が極めて良好となる。また、ドレッサー６の構成をドレッサーシャフト１５の下限にベローズ１４を介してドレッサープレート７を取り付ける構成とすることにより、従来構造のドレッサーに比較しその構造が極めて簡単になる。なお、ベローズ１４は伸縮傾動自在で且つ回転方向に剛性のあるものであれば、格別の限定はない。」
　
(２)　刊行物１記載の発明
　刊行物１において、ドレッサープレート（７）が研磨パッド（２）と接してドレッシングを行うドレス面を有していることは、技術常識より明らかである。また、刊行物１の段落【０００７】、【００１９】の記載からみて、ベローズ（１４）又はボール軸受（１３）が、ドレッサープレート（７）のドレス面の角度を調整するものであり、ドレッサープレート（７）のドレス面がドレッシングを行うときに前記研磨パッド（２）の形状に応じて角度が調整されて前記研磨パッド（２）と接触することは明らかである。
　そこで、これらの事項を技術常識を勘案しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物１には、次の発明（以下「刊行物１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
「研磨パッド（２）を設けたターンテーブル（１）を具備する研磨装置に対し、前記研磨パッド（２）をドレッシングするためのドレッサー（６）であって、少なくとも、研磨パッド（２）と接してドレッシングを行うドレス面を有するドレッサープレート（７）と、該ドレッサープレート（７）を保持するドレッサー旋回アーム（１０）と、前記ドレッサープレート（７）のドレス面の角度を調整するベローズ（１４）又はボール軸受（１３）とを具備し、前記ベローズ（１４）又はボール軸受（１３）が前記ドレッサープレート（７）とドレッサー旋回アーム（１０）を連結するものであり、前記ドレッサープレート（７）のドレス面がドレッシングを行うときに前記研磨パッド（２）の形状に応じて角度が調整されて前記研磨パッド（２）と接触するものであるドレッサー。」
　
　
３　対比
　本願発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の発明の「研磨パッドを設けた」は、本願発明の「研磨布を貼付した」に相当しており、以下同様に、「ドレッサー」は「研磨布用ドレッシング装置」に、「ドレッサープレート」は「ドレッシング手段」に、「ドレッサー旋回アーム」は「保持手段」にそれぞれ相当し、「ベローズ又はボール軸受」は「エアバック又はボールジョイント」に相当するとともに「角度調整手段」に相当していることが明らかである。
　また、刊行物１記載の発明の「ターンテーブルを具備する研磨装置」は、定盤を具備する研磨装置であることに限り、本願発明の「上定盤と下定盤を具備する両面研磨装置」と共通している。
　さらに、刊行物１記載の発明では、ドレッシング手段のドレス面はドレッシングを行うときに研磨布の形状に応じて角度が調整されるものであるが、研磨布は定盤に貼付されているので、ドレッシング手段のドレス面はドレッシングを行うときに定盤の形状に応じて角度が調整されものであることが明らかである。
　従って、両者の一致点及び相違点は、次のとおりと認められる。
［一致点］
　「研磨布を貼付した定盤を具備する研磨装置に対し、前記研磨布をドレッシングするための研磨布用ドレッシング装置であって、少なくとも、研磨布と接してドレッシングを行うドレス面を有するドレッシング手段と、該ドレッシング手段を保持する保持手段と、前記ドレッシング手段のドレス面の角度を調整する角度調整手段とを具備し、前記角度調整手段が、前記ドレッシング手段と保持手段を連結するエアバック又はボールジョイントからなるものであり、前記ドレッシング手段のドレス面がドレッシングを行うときに前記定盤の形状に応じて角度が調整されて前記研磨布と接触するものである研磨布用ドレッシング装置。」である点。
［相違点］
　本願発明では、研磨装置が研磨布を貼付した上定盤と下定盤を具備する両面研磨装置であり、ドレッシング手段を２つ具備し、各ドレッシング手段のドレス面が上下に向いてそれぞれ独立して角度が調整されるものであるのに対し、刊行物１記載の発明では、そのように特定されていない点。
　
４　相違点についての検討
　上記相違点について検討する。
　研磨布を貼付した上定盤と下定盤を具備する両面研磨装置は、例えば、特開平１１−１２３６５８号公報、特開２０００−４２８９８号公報等にも記載されているように従来周知のものである。
　また、両面研磨装置において、上下の研磨面のそれぞれに対してドレッシング手段を設けることも、原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−１７０７２０号公報の図１及び段落【０００７】〜【０００９】、並びに原査定の備考欄に引用された実願昭５２−３９８２５号（実開昭５３−１３４２８９号）のマイクロフィルムの第６頁第５〜７行等に記載されているほか、上記特開２０００−４２８９８号公報の図６及び段落【００３３】等に記載されているように従来周知の事項にすぎない。
　してみると、刊行物１記載の発明の研磨布用ドレッシング装置に上記従来周知の事項を採用し、研磨布を貼付した上定盤と下定盤を具備する両面研磨装置に対し前記研磨布をドレッシングするための研磨布用ドレッシング装置とし、ドレッシング手段を２つ具備し、各ドレッシング手段のドレス面が上下に向くように設けることに格別の困難性はない。その際に、各ドレッシング手段のドレス面がそれぞれ独立して角度が調整されるものとなることは、刊行物１記載の発明に上記従来周知の事項を採用することに伴う自明の事項にすぎない。
　また、本願発明の作用効果についてみても、刊行物１記載の発明、従来周知の事項より当業者が十分予測できる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５　むすび
　以上のとおりであり、本願発明は、刊行物１記載の発明、及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。