【事件の表示】
　平成９年特許願第２４５６００号「基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年３月３０日出願公開、特開平１１−８７３０１号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯  
　本件に係る出願（以下「本願」という。）は、平成９年９月１０日の特許出願であって、平成１８年１０月２７日付けで拒絶査定がなされ（発送日：同年１０月３１日）、これに対し、同年１１月２８日に拒絶査定不服審判が請求され、同年１２月２２日付けで手続補正がなされたものである。 
　
２．平成１８年１２月２２日付け手続補正についての補正却下の決定 
［補正却下の決定の結論］  
　平成１８年１２月２２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　 　  
［理由］  
(1)補正後の請求項１に記載された発明  
　平成１８年１２月２２日付け手続補正（以下「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、　  
「処理液を貯留した処理槽の上方に乾燥部を備え、処理槽に基板を浸漬した後に当該処理槽から前記基板を取り出して乾燥させる基板処理装置であって、前記基板乾燥部は、
　保持溝に基板を嵌合させて保持する基板保持部と、
　有機溶媒蒸気を含む気体を前記基板保持部および基板の側方から吐出する一対の気体供給管を有する気体供給部と、
　前記気体供給部の高さ位置を変更する位置調節機構部と、
　前記気体供給部における気体の吐出角度を変更するための角度調節機構部と、
を有し、
　基板に付着した前記処理液は純水であり、
　前記位置調節機構部は、前記気体供給部と前記処理槽との相対位置を変更することが可能であることを特徴とする基板処理装置。」と補正された（以下「本件補正発明」という。）。  
  
　上記補正は、補正前の請求項２において、基板保持部について「基板を保持する」とあったところを、「保持溝に基板を嵌合させて保持する」と限定し、気体供給部について「気体を吐出する」とあったところを、「気体を前記基板保持部および基板の側方から吐出する一対の気体供給管を有する」と限定し、位置調節機構部について「位置を変更する」とあったところを、「高さ位置を変更する」と限定するものであり、特許請求の範囲を減縮するものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 
　そこで、本件補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項に適合するか）否かについて、以下検討する。  
 　 
(2)刊行物  
(2-1)原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平８−９７１８０号公報（以下「刊行物１」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。 
 　 
ア．「複数の基板を複数の処理液で連続して処理する基板処理装置であって、
前記複数の基板を横方向に回転搬送する基板搬送手段と、
前記複数の
基板を浸漬し得る処理槽を有し
処理液による処理
基板処理装置
　
イ．「図１及び図２において、本発明の一実施例を採用した浸漬型基板洗浄装置１は、例えば２５枚の基板Ｗを収容するキャリアＣの搬入搬出部２と、キャリアＣからの基板Ｗの取り出し又はキャリアＣへの基板Ｗの装填を行う基板移載部３と、キャリアＣの搬入搬出部２と基板移載部３との間でキャリアＣを移載するキャリア移載ロボット４と、
複数枚の基板を一括して洗浄・乾燥処理する引き上げ式の基板洗浄・乾燥部５
　
ウ．「
処理槽１７
の上方空間は、密閉チャンバ１９によって閉鎖的に包囲されている。
密閉チャンバ１９の図５の右側壁面には、蒸気供給口２６が形成されている。蒸気供給口２６からは蒸気発生装置２３で発生したＩＰＡの蒸気が供給される。
　密閉チャンバ１９内には、基板Ｗを保持する保持部材２８が配設されている。
保持部材２８は、多数の保持溝（図示せず）により基板Ｗを主面を対向させた状態で保持する。
　
エ．「基板Ｗがいずれか１つの処理部１０に搬送されると、処理部１０では、密閉蓋２４を開けて、保持部材２８を昇降駆動機構２９により図５に二点鎖線で示す位置まで上昇させる。そして保持部材２８で基板Ｗを受け取る。受け取られた基板Ｗは、昇降駆動機構２９により処理槽１７内に配置される。
処理槽１７には、予め所定の処理のための薬液が貯留されている。
続いて純水による洗浄が行われる。
処理液供給口２０から純水が所定時間供給され
　純水のオーバーフローが終了すると、
蒸気供給口２６からＩＰＡ蒸気を供給する。
基板Ｗを保持部材２８により徐々に引き上げる。
基板Ｗに水滴が残留し
　
基板Ｗを一点鎖線で示す位置まで引き上げると、
基板Ｗの表面に
純水と置換した
基板Ｗを乾燥させる。
　
オ．上記摘記事項エ及び【図5】の記載によれば、
処理槽１７の上方に乾燥部を備えたこと
　
カ．上記摘記事項ウ及び【図5】の記載によれば、
ＩＰＡ蒸気を保持部材２８及び基板Ｗの右側壁面から供給すること
　
　上記記載事項及び図面の記載内容からみて、刊行物１には、次の発明が記載されている。
　
「処理液が貯留された処理槽１７の上方に乾燥部を備え、処理槽１７に基板Ｗを浸漬した後に処理槽１７から基板Ｗを引き上げて乾燥部において基板Ｗを乾燥処理させる基板処理装置であって、
　乾燥部は、保持溝により基板Ｗを保持する保持部材２８と、ＩＰＡ蒸気を保持部材２８及び基板Ｗの右側壁面から供給するＩＰＡ蒸気供給口２６とを有し、基板Ｗの表面に残留した処理液は純水である基板処理装置。」
　
(2-2)本願の出願前に頒布された刊行物である特開昭６１−８９２８号公報（以下「刊行物２」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。
　
ア．「基板１は、搬送中において、ローラコンベア６の上方及び下方に設けられ、タンク１１に取付けられた管１２、１３のノズル１４、１５から吹出される
窒素等のホットガスにより水滴等が除去され、乾燥が行なわれる。
　
イ．「発明の目的
　本発明は、
基板乾燥の条件を最適にするためにホットガス吹出しノズルの高さ位置、角度を容易に変えられる
　発明の構成
　本発明の装置は、コンベアにより搬送される水洗された基板の上方及び下方に、基板に対して乾燥用ガスを吹きつける複数個のノズルを配した装置であって、前記ノズルを配する管と、ガス供給用管との間をシールを有する偏心フランジにより連結したことにより、
ノズルの高さ位置、角度を容易に変えられる
　
ウ．「以下、本発明の一実施例について、第３図にもとずき説明する。図において、１６は基板、１７は基板１６を搬送するローラコンベア、１８、１９は軸受、２０は駆動モーター、２１は駆動側プーリ、２２は丸ベルト、２３は従動側プーリ、２４は他のローラへの伝達用丸ベルトである。２５はガス供給管、２６はフレーム、２７は偏心フランジ、
２８はノズル付管
　駆動モーター２０からの回転は駆動プーリ２１、丸ベルト２２、従動プーリ２３によりローラー１７に伝達されて、基板１６を搬送する。
基板１６は搬送中においてノズル付管２８、３８のノズル２９、３９から吹き出す５０°〜６０°Ｃの窒素ガスにより水分が除去され乾燥される。
ノズル付管２８、３８は、第４図に示すように、偏心フランジ２７、３７への取付け位置を回転方向に変えることによりノズル２９、３９の方向をＣ及びＤ方向に変えることができる。また偏心フランジ２７、３７と、ガス供給管２５、３５との取付け位置を回転方向に変えることによりノズル付管２８、３８を高さ方向Ｅ、Ｆ方向に変えることができる。
　
エ．上記摘記事項ウ及び第３図の記載によると、基板処理装置が、
偏心フランジ２７とガス供給管２５との取付け位置を回転方向に変えることにより、ノズル付管２８の高さを変えることのできる機構と、ノズル付き管２８の偏心フランジ２７への取付け位置を回転方向に変えることにより、ノズル付き管２８のノズル２９の方向を変えることのできる機構
ノズル付管２８と基板を搬送する面との相対的な高さ位置を変えられるようにしたこと
　
　上記記載事項及び図面の記載内容からみて、刊行物２には、次の発明が記載されている。  
　
「基板乾燥の条件を最適にするために
　窒素ガスをノズル２９から吹き出すノズル付管２８と、
　ノズル付管２８の高さを変えることのできる機構と、
　ノズル付き管２８のノズル２９の方向を変えることのできる機構と
　を有し、
　ノズル付管２８の高さを変えることのできる機構は、ノズル付管２８と基板を搬送する面との相対的な高さ位置を変える
　基板乾燥装置。」
　
(3)対比
　本件補正発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。  
　刊行物１に記載された発明の「処理槽１７」は、その構成及び機能からみて、本件補正発明の「処理槽」に相当し、以下同様に、
　「乾燥部」は「乾燥部」及び「基板乾燥部」に、
　「引き上げ」は「取り出し」に、
　「保持溝により基板Ｗを保持する保持部材２８」は「保持溝に基板を嵌合させて保持する基板保持部」に、
　「ＩＰＡ蒸気」は「有機溶媒蒸気を含む気体」
　「右側壁面」は「側方」に、
　「供給」は「吐出」に、
　「ＩＰＡ蒸気供給口２６」は「気体供給部」に、
　「基板Ｗの表面に残留した」は「基板に付着した」
それぞれ相当する。 
　そして、刊行物１に記載された発明の「ＩＰＡ蒸気を保持部材２８及び基板Ｗの右側壁面から供給する」は、本件補正発明の「有機溶媒蒸気を含む気体を前記基板保持部および基板の側方から吐出する」と同義である。
　
　したがって、上記両者の一致点及び相違点は、次のとおりである。　　　　 
　
［一致点］  
「処理液を貯留した処理槽の上方に乾燥部を備え、処理槽に基板を浸漬した後に当該処理槽から前記基板を取り出して乾燥させる基板処理装置であって、前記基板乾燥部は、
　保持溝に基板を嵌合させて保持する基板保持部と、
　有機溶媒蒸気を含む気体を前記基板保持部および基板の側方から吐出する気体供給部と、
有し、
　基板に付着した処理液は純水である
基板処理装置。」
　
［相違点１］ 
　気体供給部について、
　本件補正発明では、一対の気体供給管であるのに対して、
　刊行物１に記載された発明では、右側壁面に蒸気供給口２６を形成した点。
　
［相違点２］
　本件補正発明では、気体供給部の高さ位置を変更する位置調節機構部と気体供給部における気体の吐出角度を変更するための角度調節機構部とを有し、位置調節機構部は、気体供給部と処理槽との相対位置を変更することが可能であるのに対して、
　刊行物１に記載された発明では、この発明特定事項を具備していない点。
　
(4)当審の判断  
　以下、上記相違点について検討する。 
　まず、上記相違点１について検討する。
　基板処理装置の技術分野において、気体供給部を基板保持部と基板の側方から吐出する一対の気体供給管から構成することは、本願出願前周知の技術事項である（例えば、特開平７−２５４５８５号公報の補正前の段落【0025】、【図3】、特開昭６０−２５４６２０号公報の第2頁右下欄第14行乃至第3頁左上欄第5行、第4図参照。）。
　したがって、刊行物１に記載された発明に周知の技術事項を組み合わせて、上記相違点１における本件補正発明の構成に到達することは当業者であれば容易である。
　
　次に上記相違点２について検討する。
　本件補正発明と刊行物２に記載された発明とを対比する。  
　刊行物２に記載された発明の「窒素ガス」は、その構成及び機能からみて、本件補正発明の「気体」に相当し、以下同様に、
　「吹き出す」は「吐出する」に、
　「ノズル付管２８」は「気体供給管を有する気体供給部」に、
　「ノズル付管の高さを変えることのできる機構」は「気体供給部の高さ位置を変更する位置調節機構部」に、
　「ノズル付き管２８のノズル２９の方向を変えることのできる機構」は「気体供給部における気体の吐出角度を変更するための角度調節機構部」に、
　それぞれ相当する。
　
　そして、刊行物２に記載された発明の「ノズル付管２８と基板を搬送する面との相対的な高さ位置を変えること」は、「ノズル付管２８」（「気体供給部」）と基板を搬送する面上の被処理物との相対位置を変更することを意味する。一方、本件補正発明の「気体供給部と処理槽との相対位置を変更すること」は、処理槽と基板保持部に保持された基板との相対位置は乾燥時は固定されていることから、気体供給部と基板（「被処理物」）との相対位置を変更することを意味する。したがって、刊行物２に記載された発明の「ノズル付管２８と基板を搬送する面との相対的な高さ位置を変えること」と本件補正発明の「気体供給部と処理槽との相対位置を変更すること」とは、「気体供給部と被処理物との相対位置を変更すること」なる点で共通するものである。
　また、刊行物２に記載された発明の「基板乾燥装置」は、基板を乾燥させる装置であり、本件補正発明の「基板処理装置」も、基板を乾燥させる機能を有するから、刊行物２に記載された発明の「基板乾燥装置」は、本件補正発明の「基板処理装置」に相当する。
　
　したがって、刊行物２に記載された発明は、
「気体を吐出する気体供給管を有する気体供給部と、
　気体供給部の高さ位置を変更する位置調節機構部と、
　気体供給部における気体の吐出角度を変更するための角度調節機構部と
を有し、
　位置調節機構部は、気体供給部と被処理物との相対位置を変更することが可能である
　基板処理装置。」
と言い換えることができる。
　
　そして、刊行物１に記載された発明と刊行物２に記載された発明とは、共に、基板の乾燥機能を有する基板処理装置であるという同一の技術分野に属する発明であるから、刊行物１に記載された発明の基板処理装置に、乾燥条件を最適にするために刊行物２に記載された発明を適用して、上記相違点２における本件補正発明の構成に到達することは当業者であれば容易である。
　さらに、気体供給部と処理槽に固定された被処理物（基板）との相対位置の変更に際し、気体供給部の処理槽への取付位置はそのままで、被処理部に対向する気体供給部の部分のみ位置変更するか、気体供給部の処理槽への取付位置を変更するかのどちらを選択するかは当業者が適宜なし得たものである。
　また、本件補正発明の奏する効果についてみても、刊行物１及び２に記載された発明及び周知の技術事項により奏される効果の範囲内のものである。
　したがって、本件補正発明は、刊行物１及び２に記載された発明及び周知の技術事項に基いて当業者が容易に想到し得たものである。 
　よって、本件補正発明は、刊行物１及び２に記載された発明及び周知の技術事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。　  
　
(5)むすび  
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項で準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、平成１８年改正前特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条の規定により却下すべきものである。  
 　  
３．本願発明について  
(1)本願発明  
　平成１８年１２月２２日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成１８年６月２３日付けで手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。  
 　  
「処理液を貯留した処理槽の上方に乾燥部を備え、処理槽に基板を浸漬した後に当該処理槽から前記基板を取り出して乾燥させる基板処理装置であって、前記基板乾燥部は、
　基板を保持する基板保持部と、
　有機溶媒蒸気を含む気体を吐出する気体供給部と、
　前記気体供給部の位置を変更する位置調節機構部と、
を有し、
　基板に付着した前記処理液は純水であり、
　前記位置調節機構部は、前記気体供給部と前記処理槽との相対位置を変更することが可能であることを特徴とする基板処理装置。」
　
(2)刊行物 
(2-1)原査定の拒絶の理由に引用した刊行物１、刊行物１の記載事項、及び、刊行物１に記載された発明は、前記「２．(2)刊行物(2-1)」に記載したとおりである。 
　
(2-2)
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平８−２９６９６８公報（以下「刊行物３」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。
　
ア．「本発明は、外面に付着した水滴等の液体をエアー噴射により吹き飛ばして
除水（乾燥）する除水機
　
イ．「本発明の目的は、従来に比べ、エアーノズル１個当たりの噴射領域を広くできるばかりでなく、
除水効果も良く、
エアー量も節約できる効率の高い除水機を提供する
　
ウ．「昇降台板１２は、箱状カバー９の天井部の外側に装着されたハンドル２１を回すことにより案内ロッド１１に沿って昇降させることができるので、
上側エアー噴射ユニット３のエアーノズル１５・１６はその高さを調整できる。
被処理物Ｗ
　
エ．「上下の固定型エアーノズル１６からのエアーは、いわばエアーカーテンを形成して被処理物Ｗの搬送に逆らうように斜め前方へ噴射されるので、旋回型エアーノズル１５によって吹き飛ばされた水滴等が箱状カバー９から出る被処理物Ｗに再び付着するのを防止できる。
上側エアー噴射ユニット３のエアーノズル１５・１６の高さは、ハンドル２１を操作することにより、被処理物Ｗの大きさなどに応じて調整できる。なお、下側のエアーノズル１５・１６の高さも調整できるようにしてもよい
　【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複数のエアーノズルを共通のエアーボックスに旋回自在に突設支承するとともに、湾曲形状として噴射口を斜めに指向させ、エアー噴射によって生ずる反力により各エアーノズルを自動的に旋回させるので、
各エアーノズルからの噴射エアー
　
オ．上記摘記事項エ及び【図3】の記載によれば、除水（乾燥）機内に設けた
エアー噴射ユニット３の高さを調整できる機構部を備え、高さを調整できる機構部は、エアー噴射ユニット３の搬送面に対する高さを調整すること
　
　上記記載事項及び図面の記載内容からみて、刊行物３には、次の発明が記載されている。
　
「除水効果を良くするために、
上側エアー噴射ユニット３の高さを調整できる機構部を備え、高さを調整できる機構部は、上側エアー噴射ユニット３の被処理物Ｗの搬送面に対する高さを調整するようにした除水（乾燥）機。」
　
(3)対比・判断 
　本願発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。 
　刊行物１に記載された発明の「処理槽１７」は、その構成及び機能からみて、本願発明の「処理槽」に相当し、以下同様に、
　「乾燥部」は「乾燥部」及び「基板乾燥部」に、
　「引き上げ」は「取り出し」に、
　「保持部材２８」は「基板保持部」に、
　「ＩＰＡ蒸気」は「有機溶媒蒸気を含む気体」
　「供給」は「吐出」に、
　「ＩＰＡ蒸気供給口２６」は「気体供給部」に、
それぞれ相当する。 
　
　ゆえに、上記両者の一致点及び相違点は、次のとおりである。　　　　 
　
［一致点］  
「処理液を貯留した処理槽の上方に乾燥部を備え、処理槽に基板を浸漬した後に当該処理槽から基板を取り出して乾燥させる基板処理装置であって、前記基板乾燥部は、
　基板を保持する基板保持部と、
　有機溶媒蒸気を含む気体を吐出する気体供給部と、
を有し、
　基板に付着した前記処理液は純水である
基板処理装置。」
　
［相違点］ 
　本願発明では、気体供給部の位置を変更する位置調節機構部を有し、位置調節機構部は、気体供給部と処理槽との相対位置を変更することが可能であるのに対して、
　刊行物１に記載された発明では、この発明特定事項を具備していない点。
　
　次に上記相違点について検討する。
　本願発明と刊行物３に記載された発明とを対比する。  
　刊行物３に記載された発明の「上側エアー噴射ユニット３」は、その構成及び機能からみて、本願発明の「気体供給部」に相当し、同様に、
　「高さを調整できる機構部」は「位置を変更する位置調節機構部」に相当する。
　そして、刊行物３に記載された発明の「上側エアー噴射ユニット３の被処理物Ｗの搬送面に対する高さを調整するようにした」は、「エアー噴射ユニット３」（「気体供給部」）と搬送面上の被処理物との相対位置を調整により変更可能とすることを意味する。
　一方、本願発明の「気体供給部と処理槽との相対位置を変更すること」は、処理槽と基板保持部に保持された基板との相対位置は乾燥時は固定されていることから、気体供給部と基板（「被処理物」）との相対位置を変更することを意味する。したがって、刊行物３に記載された発明の「上側エアー噴射ユニット３の被処理物Ｗの搬送面に対する高さを調整するようにした」と本願発明の「気体供給部と処理槽との相対位置を変更すること」とは、「気体供給部と被処理物との相対位置を変更すること」なる点で共通するものである。
　また、刊行物３に記載された発明の「除水（乾燥）機」は、被処理物を乾燥させる装置であり、一方、本願発明の「基板処理装置」も、基板を乾燥させる機能を有するから、両者は「乾燥機能を有する装置」という点で共通するものである。
　
　したがって、刊行物３に記載された発明は、
「乾燥効果を良くするために、
気体供給部の位置を変更する位置調節機構部を備え、位置調節機構部は、気体供給部と被処理物との相対位置を変更する
　乾燥機能を有する装置。」
と言い換えることができる。
　
　そして、刊行物１に記載された発明と刊行物３に記載された発明とは、共に、乾燥機能を有する装置であるという同一の技術分野に属する発明であるから、刊行物１に記載された発明の基板処理装置に、乾燥効果を良くするために刊行物３に記載された発明を適用して、上記相違点における本願発明の構成に到達することは当業者であれば容易である。
　さらに、気体供給部と処理槽に固定された被処理物（基板）との相対位置の変更に際し、気体供給部の処理槽への取付位置はそのままで、被処理部に対向する気体供給部の部分のみ位置変更するか、気体供給部の処理槽への取付位置を変更するかのどちらを選択するかは当業者が適宜なし得たものである。
　また、本願発明の奏する効果についてみても、刊行物１及び３に記載された発明により奏される効果の範囲内のものである。
　したがって、本願発明は、刊行物１及び３に記載された発明に基いて当業者が容易に想到し得たものである。 
 　 
(4)むすび 
　以上のとおりであるから、本願の請求項１に係る発明は、刊行物１、２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　
　したがって、本願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 
　
　よって、結論のとおり審決する。