(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に張設された一対のベルトを有するベルトコンベアによってリードフレームが搬送されて、その搬送途中に設定された検査ステーションにて外観検査が実施されるリードフレーム外観検査装置において、
前記一対のベルトは弾性材料が用いられてそれぞれ形成されており、
前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトは他方のベルトに対して搬送方向と直角方向にコンベア幅変更装置によって移動されるように構成されており、コンベア幅変更装置はコントローラに制御されることにより前記ベルトの移動量を変更調整するように構成されており、
前記コンベアの検査ステーションには前記リードフレームを前記ベルトコンベアの弾性力に抗して押し下げる押さえ装置が設備されていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。
【請求項２】
前記検査ステーションには、前記一対のベルトを含む平面に対して水平移動する検査実行装置が設置されていることを特徴とする請求項１に記載のリードフレーム外観検査装置。
【請求項３】
リードフレームについて複数の項目の外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記リードフレームについて複数の検査項目の外観検査を実行する検査実行部と、
前記複数の検査項目を選択して指定する検査項目選定部と、
この検査項目選定部で選定された複数の検査項目について良品数をそれぞれ計数する各選定検査項目良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定検査項目良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した検査項目を検索する検索部と、
この検索部によって検索された検査項目について前記検査項目選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された検査項目について検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された検査項目について検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、
を備えていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。
【請求項４】
複数の単位リードフレームが連続した多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実行する検査実行部と、
前記単位リードフレームを選択して指定する単位リードフレーム選定部と、
この単位リードフレーム選定部で選定された各単位リードフレームについて良品数をそれぞれ計数する各選定単位リードフレーム良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定単位リードフレーム良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した単位リードフレームを検索する検索部と、
この検索部によって検索された単位リードフレームについて前記単位リードフレーム選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、
を備えていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載のリードフレーム外観検査装置であって、
請求項３に記載の各部を備えていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、リードフレーム外観検査技術、特に、半導体装置の組立に用いられるリードフレームのめっき状態や、インナリードの変形等の外観を自動的に検査するリードフレームの外観検査技術に関し、例えば、半導体装置の製造工場におけるリードフレーム受け入れ検査工程や、リードフレームの製造工場における出荷検査工程に利用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近の半導体技術分野におけるパッケージング技術は、半導体装置の高集積、高機能化に伴って多ピン化とともに、狭ピッチ化（ピンピッチを狭くする）の傾向にある。したがって、半導体装置の組立てに使用されるリードフレームは、かかる傾向に伴い、リード変形のない高信頼度のものが要求される。
このため、半導体装置の製造工場においては、リードフレームの受け入れ検査が実施されている。
【０００３】
そして、このリードフレームの受け入れ検査工程においては、全数検査または無作為抽出による抜き取り検査が実施されている。
【０００４】
なお、リードフレームを述べてある例としては、株式会社工業調査会発行「電子材料のはんだ技術」１９８５年１月１５日発行  Ｐ１８３〜Ｐ１８５、がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、リードフレームの受け入れ検査に使用されるリードフレーム外観検査装置として、リードフレームがコンベアによって搬送されて、その搬送途中に設定された検査ステーションにおいて、テレビカメラが用いられた画像認識によって外観検査が実施されるように構成されているものが考えられた。
しかしながら、前記したリードフレーム外観検査装置においては、検査対象であるリードフレームの品種が変更される都度に、コンベアの幅の変更や、検査ステーションに設備されたテレビカメラの焦点合わせのような人手による作業が必要になるため、リードフレーム外観検査装置の稼働効率が低下するという問題点がある。
【０００６】
また、全数検査においては検査時間が長くなるという問題点がある。他方、無作為抽出による抜き取り検査においては、未検査品の中に含まれる不良品を見逃す危険性があるため、検査作業の信頼性が低いという問題点がある。
【０００７】
本発明の目的は、装置の稼動効率や検査作業の能率および信頼性を高めることができるリードフレーム外観検査装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【００１０】
すなわち、互いに平行に張設された一対のベルトを有するベルトコンベアによってリードフレームが搬送されて、その搬送途中に設定された検査ステーションにて外観検査が実施されるリードフレーム外観検査装置において、
前記一対のベルトは弾性材料が用いられてそれぞれ形成されており、
前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトは他方のベルトに対して搬送方向と直角方向にコンベア幅変更装置によって移動されるように構成されており、コンベア幅変更装置はコントローラに制御されることにより前記ベルトの移動量を変更調整するように構成されており、
前記コンベアの検査ステーションには前記リードフレームを前記ベルトコンベアの弾性力に抗して押し下げる押さえ装置が設備されていることを特徴とする。
【００１１】
また、リードフレームについて複数の項目の外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記リードフレームについて複数の検査項目の外観検査を実行する検査実行部と、
前記複数の検査項目を選択して指定する検査項目選定部と、
この検査項目選定部で選定された複数の検査項目について良品数をそれぞれ計数する各選定検査項目良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定検査項目良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した検査項目を検索する検索部と、
この検索部によって検索された検査項目について前記検査項目選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された検査項目について検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された検査項目について検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
さらに、複数の単位リードフレームが連続した多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実行する検査実行部と、
前記単位リードフレームを選択して指定する単位リードフレーム選定部と、
この単位リードフレーム選定部で選定された各単位リードフレームについて良品数をそれぞれ計数する各選定単位リードフレーム良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定単位リードフレーム良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した単位リードフレームを検索する検索部と、
この検索部によって検索された単位リードフレームについて前記単位リードフレーム選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、を備えていることを特徴とする。
【００１３】
【作用】
前記した第１の手段によれば、検査対象物であるリードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの幅が変更された際には、コンベアの幅が変更後のリードフレームの幅に自動的に変更調整されるため、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができる。さらに、検査実行装置がコンベアに対して移動調整されるように構成されている場合には、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの検査対象位置が変更されても、検査実行装置の相対変位により自動的に対処することができる。
【００１４】
また、検査ステーションにおいて、フローティング支持されたリードフレームは押さえ装置によって押し下げられるため、リードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は、リードフレームの厚さ如何にかかわらず常に一定である。したがって、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの厚さが変更された場合においても、検査ステーションにおけるリードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は変更されないため、検査ステーションにおける焦点合わせ等の人手による微調整は省略することができる。
【００１５】
前記した第２の手段によれば、選定された検査項目のうち良品が連続する検査項目について選定が自動的に解除され、解除された検査項目については抜き取り検査がスキップ回数設定部により自動的に実行されるため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い検査項目を求めて、当該検査項目について検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００１６】
前記した第３の手段によれば、多連リードフレームのうち良品が連続する単位リードフレームについて選定が自動的に解除され、解除された単位リードフレームについては抜き取り検査がスキップ回数設定部により自動的に実行されるため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い単位リードフレームを求めて、当該単位リードフレームについて検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００１７】
【実施例】
図１は本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示す一部省略斜視図である。図２は本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示すブロック図である。図４以降はその作用を説明するための各説明図である。
【００１８】
本実施例において、本発明に係るリードフレーム外観検査装置は、多連リードフレームを各単位リードフレーム毎に複数の項目について外観検査を実施するように構成されている。
【００１９】
ここで、リードフレーム外観検査装置の検査対象物、すなわち、リードフレーム外観検査装置のワークである多連リードフレームについて簡単に説明する。一般に、多連リードフレームは複数個の単位リードフレームが一列または複数列に整列されて構成されており、半導体装置の製造工場においては、多数規格の多連リードフレームが使用されている。各規格の多連リードフレームは幅や厚さ、長さ、単位リードフレームの配列や個数、形状や構造等の諸条件について種々に相違している。したがって、リードフレーム外観検査装置はそのワークである多連リードフレーム（以下、ワークという。）１の各規格について外観検査を各単位リードフレーム（以下、リードフレームという。）２毎に、適正にしかも能率的に実施し得るように構成されていることが望ましい。
【００２０】
本実施例において、図７に示されているように、ワーク１は便宜上、リードフレーム２が３個、１列横隊に整列されているものとする。各リードフレーム２は四角形の枠形状に形成された外枠（フレーム）３と、外枠３内に突設された一対のタブ吊りリード４と、両タブ吊りリード４、４の先端に吊持されたタブ５と、外枠３内のタブ５の両脇に配されて外枠３に架設された一対のダム部材６と、両ダム部材６、６にタブ５の方向に突設されて先端部がタブ５に近接配置された複数本のインナリード７と、両ダム部材６、６に各インナリード７とそれぞれ一連となるように突設された複数本のアウタリード８とを備えている。そして、ボンダビリティーを高めるために、インナリード７には銀めっき被膜９が部分的に被着されている。なお、各リードフレーム２を区別して説明する必要がある場合には、第１リードフレーム２ａ、第２リードフレーム２ｂおよび第３リードフレーム２ｃという。
【００２１】
本実施例に係るリードフレーム外観検査装置１０は、ワークである多連リードフレーム１を搬送するためのベルトコンベア１１を備えており、このベルトコンベア１１はワーク１を一方向に搬送するように水平に敷設されている。ベルトコンベア１１のベルトはゴムまたは樹脂の弾性材料が用いられて、断面が円形のベルト形状に形成されており、２本のベルト１２、１３が互いに平行に張設されている。一方のベルト（以下、可動側ベルトという。）１３は他方のベルト（以下、固定側ベルトという。）１２に対して、搬送方向と直角方向に平行移動し得るように構成されている。すなわち、可動側ベルト１３の中間位置にはコンベア幅変更用送りねじ装置１４が可動側ベルト１３を平行移動させるように設備されており、この送りねじ装置１４はサーボモータ１５によって回転駆動されるように構成されている。サーボモータ１５はコントローラ１６に制御されることにより、送りねじ装置１４による可動側ベルト１３の平行移動量を変更調整するようになっている。そして、サーボモータ１５のコントローラ１６は後記する中央演算処理装置（以下、ＣＰＵという。）３０に構築されたコンベア幅制御部３１の指令を受けて、サーボモータ１５の回転を制御するようになっている。
【００２２】
一方、ベルトコンベア１１の搬送途中には上流側から順次、第１検査ステーション、第２検査ステーションおよび第３検査ステーションがそれぞれ設定されている。各検査ステーションにはストッパ１７およびワーク検出装置１８がそれぞれ設備されている。なお、ストッパ１７およびワーク検出装置１８は図の理解の便宜上、図１では第３検査ステーションについてのみ図示されている。ストッパ１７はベルトコンベア１１によって送られて来るワーク１を検査ステーションの所定位置に停止させるように構成されている。ワーク検出装置１８は光学式検出装置によって構成されており、ベルトコンベア１１によって送られて来るワーク１を検査ステーションの所定位置で検出し、ベルトコンベア１１の搬送を間欠停止させるように構成されている。
【００２３】
また、各検査ステーションには押さえ装置１９がそれぞれ設備されている。この押さえ装置１９は各ステーションにおいてコンベアベルト１２、１３間に支持されたワーク１をコンベアベルト１２、１３の弾性力に抗して上から押さえて押し下げるように構成されている。そして、各検査ステーションにおいて、コンベアベルト１２、１３の弾性力によりフローティング支持されたワーク１は押さえ装置１９によって押し下げられるため、ワーク１の押さえ装置１９によって押さえられる面の水平高さ位置は、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定である。したがって、ワーク１の品種の変更に伴ってワーク１の厚さが変更された場合においても、各検査ステーションにおけるワーク１の押さえ装置１９によって押さえられる面の水平高さ位置は変更されないため、各検査ステーションにおける人手による微調整は省略することができる。
【００２４】
図３（ａ）に示されているように、第１検査ステーション２１には第１検査実行装置２２が設備されており、第１検査実行装置２２はベルトコンベア１１に対して水平移動するＸＹテーブル２０の上に搭載されている。第１検査実行装置２２はテレビカメラと、その画像を処理して所望の情報を認識する画像認識回路と、認識した情報に基づいて良品不良品の判定を実行する判定回路とを備えており、リードフレーム２のインナリード７に関する検査を実行するように構成されている。第１検査実行装置２２の検査項目としては、インナリード７における銀めっき被膜９の大きさ、位置ずれ、汚れ、品質、傷、むら、インナリードのＸＹ方向（平面内）での変形、がある。
【００２５】
図３（ｂ）に示されているように、第２検査ステーション２３には第２検査実行装置２４が設備されており、第２検査実行装置２４はベルトコンベア１１に対して水平移動するＸＹテーブル２０の上に搭載されている。なお、図１では便宜上、第２検査実行装置２４だけが図示されている。第２検査実行装置２４はテレビカメラと、その画像を処理して所望の情報を認識する画像認識回路と、認識した情報に基づいて良品不良品の判定を実行する判定回路とを備えており、リードフレーム２の全体に関する外観検査を実行するように構成されている。第２検査実行装置２４の分解能は第１検査実行装置２２の分解能よりも低く設定されている。第２検査実行装置２４の検査項目としては、リードフレーム２における汚れや、傷、がある
【００２６】
図３（ｃ）に示されているように、第３検査ステーション２５には第３検査実行装置２６が設備されており、第３検査実行装置２６はベルトコンベア１１に対して水平移動するＸＹテーブル２０の上に搭載されている。第３検査実行装置２６は投光部と受光部とから構成された光学式表面変位計と、その受光部からの測定結果を処理して所望の情報を認識する認識回路と、認識した情報に基づいて良品不良品の判定を実行する判定回路とを備えており、インナリード７のＺ方向（厚さ方向）の曲がりを検査するようにされている。
【００２７】
ちなみに、投光部は半導体レーザと投光レンズとから構成されており、半導体レーザから投光された波長６００〜１０００ｎｍのレーザ光が投光レンズによってビームウエスト数μｍのレーザビームに集光されて、リードフレーム２のインナリード７部分の上面に垂直方向から投光するように構成されている。受光部は集光レンズとホトセンサとしての位置検出素子とを備えており、投光部からリードフレーム２の上面に投光されて、リードフレーム２面により反射された反射光が集光レンズによって集光され、位置検出素子に結像されるように構成されている。位置検出素子には認識回路が接続されている。
【００２８】
また、本実施例に係るリードフレーム外観検査装置１０はＣＰＵ３０を備えており、ＣＰＵ３０はパーソナルコンピューターやワークステーションおよびマイクロコンピューター等から構築されている。ＣＰＵ３０はコンベア幅制御部３１と、検査実行装置の位置制御部３２と、検査項目制御部４０と、検査リードフレーム制御部５０とを備えている。
【００２９】
コンベア幅制御部３１は前記したコンベア幅変更調整用サーボモータ１５のコントローラ１６に接続されている。コンベア幅制御部３１はワーク１としての多連リードフレームの品種が変更された際に、変更後のワーク１の多連リードフレーム幅をコントローラ１６に指令するように構成されている。例えば、この制御部３１は、変更後のワーク１の品種が製品番号によって指定された場合に、製品番号と多連リードフレーム幅とが予め対応されたテーブルに対して指定された製品番号に対応する多連リードフレーム幅を検索して、検索した多連リードフレーム幅をコントローラ１６に指令するように構成されている。
【００３０】
検査実行装置の位置制御部３２は各検査ステーションにそれぞれ設備されたＸＹテーブル２０を駆動制御するコントローラ２０ａに接続されている。ところで、ワーク１の品種の変更に伴ってリードフレームの配列やリードフレームの大きさが変更された際には、テレビカメラの視野やレーザ表面変位計の観測位置が変動するため、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置を修正する必要がある。そこで、この必要性に対処するために、検査実行装置の位置制御部３２が設備されている。つまり、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置は、この位置制御部３２によるＸＹテーブル２０の後述する制御によって、ワーク１の品種の変更に伴い変更後のワーク１の条件に自動的に変更調整される。
【００３１】
検査項目制御部４０は、ワーク１について外観検査すべき複数の項目が全て記憶されている全検査項目記憶部４１と、全検査項目記憶部４１に記憶された全検査項目のうちから複数の検査項目を選択して指定する検査項目選定部４２と、この検査項目選定部４２で指定された各検査項目について良品数をそれぞれ計数する各選定検査項目良品計数部（以下、各計数部という。）４３ａ、４３ｂ・・・と、良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部４４と、この連続良品数設定部４４の設定値と前記各計数部４３ａ、４３ｂ・・・の現在の計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した検査項目を検索する検索部４５と、この検索部４５によって検索された検査項目について前記検査項目選定部４２の指定を解除する解除部４６と、選定が解除された検査項目について検査しなかったスキップ回数を計数する各選定検査項目スキップ回数計数部（以下、スキップ回数計数部という。）４７ａ、４７ｂ・・・と、選定が解除された検査項目について検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部４８と、スキップ回数設定部４８の設定値と前記スキップ回数計数部４７ａ、４７ｂ・・・の計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部４７ａ、４７ｂ・・・の計数値Ｍをクリアするスキップ回数クリア部４９とを備えている。
【００３２】
そして、検査項目選定部４２は前記した第１検査実行装置２２、第２検査実行装置２４および第３検査実行装置２６にそれぞれ接続されており、これら検査実行装置に指定された検査を実行させるようになっている。全検査項目記憶部４１に記憶された検査項目としては、第１検査実行装置２２の検査項目としてのインナリード７における銀めっき被膜９の大きさ、位置ずれ、汚れ、品質、傷、むら、インナリードのＸＹ方向（平面内）での変形、第２検査実行装置２４の検査項目としてのリードフレーム２における汚れや、傷、第３検査実行装置２６の検査項目としてのインナリード７のＺ方向（厚さ方向）の曲がりがある。
【００３３】
検査リードフレーム制御部５０は、ワーク１について外観検査すべき複数のリードフレーム２が記憶されている全リードフレーム記憶部５１と、検査すべき各リードフレームを選択して指定する検査リードフレーム選定部５２と、この検査リードフレーム選定部５２で選定された各リードフレームについて良品数をそれぞれ計数する各選定リードフレーム良品計数部５３ａ、５３ｂ・・・と、良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部５４と、連続良品数設定部５４の設定値と各選定リードフレーム良品計数部５３ａ、５３ｂ・・・の現在の計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致したリードフレームを検索する検索部５５と、この検索部５５によって検索されたリードフレームについて前記検査リードフレーム選定部５２の指定を解除する解除部５６と、選定が解除されたリードフレームについて検査しなかったスキップ回数を計数する選定リードフレームスキップ回数計数部５７と、選定が解除されたリードフレームについて検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部５８と、スキップ回数設定部５８の設定値と各選定リードフレームスキップ回数計数部５７ａ、５７ｂ・・・の計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに各選定リードフレームスキップ回数計数部５７ａ、５７ｂ・・・の計数値をクリアするスキップ回数クリア部５９と、を備えている。
【００３４】
そして、検査リードフレーム制御部５０は前記した第１検査実行装置２２、第２検査実行装置２４および第３検査実行装置２６にそれぞれ接続されており、これら検査実行装置に指定された抜き取り検査を実行させるようになっている。
【００３５】
次に作用を説明する。
ワーク１がベルトコンベア１１の上にローディング装置（図示せず）によって払い出されると、ワーク１はベルトコンベア１１によってアンローディング方向に搬送されて行く。その搬送途中に設定された第１検査ステーション２１、第２検査ステーション２３、第３検査ステーション２５において、ワーク１はＣＰＵ３０によって指令された外観検査を実施される。
【００３６】
ワーク１が検査ステーションに送られて来てストッパ１７に当接するとともに、検査ステーションにワーク１が送られて来たことがワーク検出装置１８によって検出されると、ベルトコンベア１１の搬送作動は自動的に間欠停止される。
【００３７】
そして、ベルトコンベア１１の搬送が間欠停止されると、各検査ステーションにおいて、コンベアベルト１２、１３の弾性力によりフローティング支持されたワーク１は、押さえ装置１９によって押し下げられる。この状態において、ワーク１はコンベアベルト１２、１３の弾性力によりフローティング支持されることによって、押さえ装置１９の押さえ面に下から押接された状態になっている。このコンベアベルト１２、１３の押さえ装置１９への押接力は、ベルト１２、１３の材質や張力の調整によって制御することができる。
【００３８】
ここで、押さえ装置１９の押さえ面の水平高さ位置は予め設定されているため、押さえ装置１９によって押さえられるワーク１上面の水平高さ位置は、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定である。したがって、ワーク１の品種の変更に伴ってワーク１の厚さが変更された場合においても、各検査ステーションにおけるワーク１の押さえ装置１９によって押さえられる面の水平高さ位置は変更されずに常に一定に維持されるため、各検査ステーションにおける人手による修正のための微調整作業は、省略することができる。
【００３９】
そして、各検査ステーション２１、２３、２５にそれぞれ供給されたワーク１は、押さえ装置１９によって水平高さ位置をそれぞれ規定された状態において、各検査実行装置２２、２４、２６によって外観検査をそれぞれ実行され、各検査実行装置２２、２４、２６の検査結果はＣＰＵ３０にそれぞれ送信される。
【００４０】
ここで、ワーク１の水平高さ位置は押さえ装置１９によって常に一定に維持されているため、第１検査実行装置２２および第２検査実行装置２４におけるテレビカメラはその焦点距離が常に一定に維持される状態になる。その結果、テレビカメラの撮像は常に一定に維持されることになるため、第１検査実行装置２２および第２検査実行装置２４における検査精度は、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定に維持されることになる。同様に、第３検査実行装置２６におけるレーザ表面変位計の基準距離も常に一定に維持される状態になるため、第３検査実行装置２６における検査精度も、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定に維持されることになる。
【００４１】
所定の外観検査の終了後、ベルトコンベア１１の終端に搬送されると、ワーク１はアンローディング装置（図示せず）によってベルトコンベア１１の上から払い出される。
【００４２】
ところで、ワーク１の品種の変更に伴ってリードフレーム幅が変更された際には、変更後のリードフレーム幅によってはベルトコンベア１１によるワーク１の搬送が不可能になるため、ベルトコンベア１１の幅、すなわち、固定側のベルト１２と可動側のベルト１３との間隔を変更調整する必要がある。
【００４３】
本実施例においては、ベルトコンベア１１のベルト１２と１３との間隔は、ワーク１の品種の変更に伴うワーク１の幅の変更に対応して変更後のワーク１の幅に自動的に変更調整される。したがって、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができるため、段取り時間を大幅に短縮することができ、リードフレーム外観検査装置の稼働効率を高めることができる。
【００４４】
すなわち、コンベア幅制御部３１はワーク１としての多連リードフレームの品種が変更された際に、変更後のワーク１のリードフレーム幅に対応する制御信号をコンベア幅変更用サーボモータ１５のコントローラ１６に指令する。この指令により、コントローラ１６はサーボモータ１５を制御してコンベア幅変更用送りねじ装置１４を回転駆動させて、図４（ａ）に示されているように、可動側ベルト１３を固定側ベルト１２に対して変更後のワーク１の幅に対応する移動量だけ移動させる。この可動側ベルト１３の移動によってベルトコンベア１１の幅が変更後のワーク１の幅に一致されるため、品種変更後のワーク１はベルトコンベア１１によって適正に搬送される状態になる。
【００４５】
また、ワーク１の品種の変更に伴ってリードフレームの配列やリードフレームの大きさが変更された際には、テレビカメラの視野やレーザ表面変位計の測定ポイントが変動するため、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置を変更調整する必要がある。
【００４６】
本実施例においては、各検査実行装置２２、２４、２６がＸＹテーブル２０の上にそれぞれ搭載され、このＸＹテーブル２０が位置制御部３２によって制御されるように構成されているため、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置は、ワーク１の品種の変更に伴い変更後のワーク１の条件に自動的に変更調整される。したがって、人手による各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置の変更調整作業を省略することができるため、段取り時間を大幅に短縮することができ、リードフレーム外観検査装置の稼働効率を高めることができる。
【００４７】
すなわち、検査実行装置の位置制御部３２はワーク１としての多連リードフレームの品種が変更された際に、変更後のワーク１の各リードフレーム２に設定された基準位置の座標をＸＹテーブル２０のコントローラ２０ａに指令する。この指令により、図４（ｂ）に示されているように、コントローラ２０ａはＸＹテーブル２０を変更後のワーク１における各リードフレーム２の座標に対応するように順次シフトさせる。このＸＹテーブル２０のシフト作動により、各検査実行装置２２、２４、２６の基準位置は変更後のワーク１における各リードフレーム２の基準位置に一致されるため、各検査実行装置２２、２４、２６は変更後のワーク１における各リードフレーム２についての外観検査を順次適正に実行して行くことができる。
【００４８】
次に、検査項目制御部４０の作用を図５について説明する。
この検査項目制御部４０は全数検査を実行し、一定数連続して不良が発生しなかった場合に、不良が発生しなかった検査項目についてのその後の検査を省略する制御を実行する。そして、検査が省略された分だけ、検査時間が短縮されるため、リードフレーム外観検査装置の稼働効率が高められることになる。
【００４９】
自動検査がスタートされる前に、検査項目の選定機能を働かせる条件となる連続良品回数Ｖが連続良品数設定部４４に設定される（ステップ６１）。
【００５０】
また、自動検査がスタートされる前に、検査項目の自動省略機能が働いた時に抜き取り検査を実行する抜き取り間隔（スキップ回数に相当する。）を決めるスキップ回数Ｗが、スキップ回数設定部４８に設定される（ステップ６２）。
【００５１】
自動検査がスタートされる（ステップ６３）。そして、検査項目選定部４２において、検査すべき項目が選定される。すなわち、全検査項目記憶部４１から選定された検査項目が読み出される。ちなみに、スタート時点においては、全ての検査項目が選定されることになる（ステップ６４）。
【００５２】
そして、検査項目選定部４２において、まず、第１検査項目（例えば、銀めっき被膜９の大きさ）が選定されているか否かが、参照される（ステップ６５）。第１検査項目が選定されている場合には、検査項目選定部４２の指令により、第１検査項目の検査が所定の第１検査実行装置２２において実行される（ステップ６６）。
【００５３】
第１検査項目についての検査結果は良品か否かが、第１検査項目に対応する第１良品計数部４３ａによって当該項目の検査を実行した第１検査実行装置２２に参照される（ステップ６７）。
【００５４】
検査結果が良品（ＹＥＳ）である場合、第１良品計数部４３ａの計数値Ｎがカウントアップされる（ステップ６８）。
【００５５】
そして、検索部４５において、第１良品計数部４３ａでカウントアップされた現在の計数値Ｎが、連続良品数設定部４４に設定された設定値Ｖと一致するかが比較される（ステップ６９）。
【００５６】
不一致（ＮＯ）の場合は、ステップ６５へ進む。すなわち、第２検査項目（例えば、銀めっき被膜９の位置ずれ）についての検査に進む。
【００５７】
一致（ＹＥＳ）の場合は、検索部４５は解除部４６に一致した旨の信号を送信し、解除部４６は検査項目選定部４２に第１検査項目についての選定を解除させる。解除はステップ７２において選定が更新されるまで使用される（ステップ７０）。以降、第１検査項目については、スキップ回数Ｗ迄、検査されないことになる。つまり、第１検査項目については、抜き取り検査が実行されることになる。
【００５８】
第１検査項目についての選定が解除されると、第１良品計数部４３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ７０’）。そして、ステップ６５へ進む。
【００５９】
他方、ステップ６７において、検査結果が不良品（ＮＯ）である場合、第１良品計数部４３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ７１）。
【００６０】
また、検査項目選定部４２において、第１検査項目の選定が更新される（ステップ７２）。そして、ステップ６５に進む。すなわち、第２検査項目についての検査に進む。
【００６１】
ところで、ステップ６５において、第１検査項目の選定が解除されていた場合（ＮＯ）には、検査は実行されず第１検査項目に対応する第１スキップ回数計数部４７ａの計数値Ｍがカウントアップされる（ステップ７３）。
【００６２】
そして、スキップ回数クリア部４９において、第１スキップ回数計数部４７ａでカウントアップされた現在の計数値Ｍが、スキップ回数設定部４８に設定された設定値Ｗと一致するかが比較される（ステップ７４）。
【００６３】
不一致（ＮＯ）の場合は、スキップ回数クリア部４９はステップ６５へ進ませる。すなわち、第２検査項目についての検査に進む。
【００６４】
一致（ＹＥＳ）の場合は、スキップ回数クリア部４９は第１スキップ回数計数部４７ａの計数値Ｍをゼロクリアさせる（ステップ７５）。そして、ステップ６６へ戻り、第１検査項目についての外観検査を第１検査実行装置２２をして実行させる。
【００６５】
以上のルーチンが各検査項目毎に実行されて行く。検査項目選定部４２で選定された検査項目全てについてルーチンが終了すると、ワーク１における検査すべきリードフレーム２が終了したかが参照される（ステップ７６）。
【００６６】
そして、残りのリードフレーム２が有る場合、すなわち、検査が終了しない（ＮＯ）の場合には、ステップ６５へ進む。
【００６７】
残りのリードフレーム２が無い場合、すなわち、検査が終了した（ＹＥＳ）の場合には、当該ワーク１についての検査が終了される（ステップ７７）。そして、ベルトコンベア１１により、検査済みのワーク１が検査ステーションから送り出され、次回のワーク１が検査ステーションに送り込まれる。
【００６８】
以上のルーチンが繰り返されることにより、全検査項目についてワーク１の全数検査が実行されつつ、検査を省略することができる項目が自動的に選定されて、抜き取り検査が自動的に実施されて行くことになる。
【００６９】
次に、検査リードフレーム制御部５０の作用を図６について説明する。
この検査リードフレーム制御部５０は各ワーク１の各リードフレーム２について全数検査を実行し、リードフレームについて一定数連続して不良が発生しなかった場合に、不良が発生しなかったリードフレームについてその後の検査を省略する制御を実行する。そして、検査が省略された分だけ検査時間が短縮されるため、検査作業の効率が高められることになる。
【００７０】
自動検査がスタートされる前に、リードフレームの選定機能を働かせる条件となる連続良品回数Ｖが連続良品数設定部５４に設定される（ステップ８１）。
【００７１】
また、自動検査がスタートされる前に、リードフレームの自動省略機能が働いた時に抜き取り検査を実行する抜き取り間隔（スキップ回数に相当する。）を決める良品スキップ回数Ｗが、スキップ回数設定部５８に設定される（ステップ８２）。
【００７２】
自動検査がスタートされる（ステップ８３）。そして、検査リードフレーム選定部５２において、検査すべきリードフレーム２が選定される。ちなみに、スタート時点においては、全てのリードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃが選定されることになる（ステップ８４）。
【００７３】
まず、検査リードフレーム選定部５２において、まず、第１リードフレーム２ａが選定されているか否かが参照される（ステップ８５）。第１リードフレーム２ａが選定されている場合には、検査リードフレーム選定部５２の指令により、第１リードフレーム２ａの検査が各検査実行装置２２、２４、２６において実行される（ステップ８６）。
【００７４】
第１リードフレーム２ａについての検査結果は良品か否かが、第１リードフレーム２ａに対応する第１良品計数部５３ａによって各検査実行装置２２、２４、２６に参照される（ステップ８７）。
【００７５】
検査結果が良品（ＹＥＳ）である場合、第１良品計数部５３ａの計数値Ｎがカウントアップされる（ステップ８８）。
【００７６】
そして、検索部５５において、第１良品計数部５３ａでカウントアップされた現在の計数値Ｎが、連続良品数設定部５４に設定された設定値Ｖと一致するかが比較される（ステップ８９）。
【００７７】
不一致（ＮＯ）の場合は、ステップ８５へ進む。すなわち、第２リードフレーム２ｂについての検査に進む。
【００７８】
一致（ＹＥＳ）の場合は、検索部５５は解除部５６に一致した旨の信号を送信し、解除部５６は検査リードフレーム選定部５２に第１リードフレーム２ａについての選定を解除させる。解除はステップ９２において選定が更新されるまで保持される。（ステップ９０）。以降、第１リードフレーム２ａについては、スキップ回数Ｗ迄、検査されないことになる。つまり、第１リードフレーム２ａについては、抜き取り検査が実行されることになる。
【００７９】
第１リードフレーム２ａについての選定が解除されると、第１良品計数部５３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ９０’）。そして、ステップ８５へ進む。すなわち、第２リードフレーム２ｂについての検査に進む。
【００８０】
他方、ステップ８７において、検査結果が不良品（ＮＯ）である場合、第１良品計数部５３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ８１）。
【００８１】
また、検査リードフレーム選定部５２において、第１リードフレーム２ａの選定が更新される（ステップ９２）。そして、ステップ８５に進む。
【００８２】
ところで、ステップ８５において、第１リードフレーム２ａの選定が解除されていた場合（ＮＯ）には、検査は実行されず第１リードフレーム２ａに対応する第１スキップ回数計数部５７ａの計数値がカウントアップされる（ステップ９３）。
【００８３】
そして、スキップ回数クリア部５９において、第１スキップ回数計数部５７ａでカウントアップされた現在の計数値Ｍが、スキップ回数設定部５８に設定された設定値Ｗと一致するかが比較される（ステップ９４）。
【００８４】
不一致（ＮＯ）の場合は、スキップ回数クリア部５９はステップ８５へ進ませる。すなわち、第２リードフレーム２ｂについての検査に進む。
【００８５】
一致（ＹＥＳ）の場合は、スキップ回数クリア部５９は第１スキップ回数計数部５７ａの計数値Ｍをゼロクリアさせる（ステップ８５）。そして、ステップ８６へ戻り、第１リードフレーム２ａについての外観検査を各検査実行装置２２、２４、２６をして実行させる。
【００８６】
以上のルーチンが各リードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃ毎に実行されて行く。検査リードフレーム選定部５２で選定された全てのリードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃについてルーチンが終了すると、ワーク１における検査すべきリードフレーム２が全て終了したかが参照される（ステップ９６）。
【００８７】
そして、残りのリードフレーム２が有る場合、すなわち、検査が終了しない（ＮＯ）の場合には、ステップ８５へ進む。
【００８８】
残りのリードフレーム２が無い場合、すなわち、検査が終了した（ＹＥＳ）の場合には、当該ワーク１についての検査が終了される（ステップ９７）。そして、ベルトコンベア１１により、検査済みのワーク１が検査ステーションから送り出され、次回のワーク１が検査ステーションに送り込まれる。
【００８９】
以上のルーチンが繰り返されることにより、ワーク１が全リードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃについて全数検査が実行されつつ、検査を省略することができるリードフレームが自動的に選定されて行くことになる。
【００９０】
本実施例において、前記した検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とは併用されている。そして、両者が併用されていることにより、それぞれ単独で使用される場合に比べて、検査の作業効率がより一層向上される。
【００９１】
ここで、次に示す表１は、本実施例によって第１ワークが検査されている場合における検査項目選定部４２および検査リードフレーム選定部５２の選定（ＯＮ）状態、解除（ＯＦＦ）状態を示しており、表２は、同じく第２ワークの場合における両者４２、５２のＯＮ、ＯＦＦを示している。表１においては、ＯＦＦしている検査項目はないが、第１リードフレームがＯＦＦしている。表２においては、第３検査項目がＯＦＦしているが、ＯＦＦしているリードフレームはない。この表１と表２との比較から明らかな通り、検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とを併用した方が、各検査作業回数を減少させることができるため、検査時間を短縮することができ、検査の作業能率を高めることができる。
0003573489.tif 000002
【００９２】
前記実施例によれば、次の効果が得られる。
（１）  コンベア幅が自動的に変更調整されるように構成することにより、検査対象物であるリードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの幅が変更された際に、コンベアの幅が変更後のリードフレームの幅に自動的に変更調整されるため、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができる。
【００９３】
（２）  検査実行装置をＸＹテーブルに搭載することにより、各検査実行装置をベルトコンベア上のワークに対して移動させることができるため、多連多列リードフレーム（マルチリードフレーム）や単位リードフレームの配置が変更された場合に対処することができる。
【００９４】
（３）  検査ステーションにおいて、フローティング支持されたリードフレームを押さえ装置によって押し下げるように構成することにより、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの厚さが変更された場合においても、検査ステーションにおけるリードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は変更されないため、検査ステーションにおける焦点合わせ等の人手による微調整は省略することができる。
【００９５】
（４）  選定された検査項目のうち良品が連続する検査項目について選定が自動的に解除され、解除された検査項目については抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成されているため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い検査項目を求めて、当該検査項目について検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００９６】
（５）  多連リードフレームのうち良品が連続する単位リードフレームについて選定が自動的に解除され、解除された単位リードフレームについては抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成されているため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い単位リードフレームを求めて、当該単位リードフレームについて検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００９７】
（６）  検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とを併用することにより、それぞれ単独で使用される場合に比べて、検査の作業効率をより一層高めることができる。
【００９８】
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００９９】
検査ステーションにおいてワークをフローティング支持するコンベアは、弾性を有するベルトを使用して構成するに限らず、ローラコンベアや滑りコンベア等において検査ステーションの部分を独立懸架構造に構成してもよい。
【０１００】
また、コンベアをＣＰＵ制御により送り量を正確に変更調整することができるように構成し、検査実行装置をコンベアと直交する一軸テーブルに搭載してもよい。
【０１０１】
検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とは、それぞれ単独で使用してもよい。
【０１０２】
検査ステーションの数や、検査実行装置の具体的構造は前記実施例に限定されるものではなく、検査項目やリードフレームの諸条件に対応して適宜選定することが望ましい。
【０１０３】
ワークは多連リードフレームや多連多列リードフレーム（多連リードフレームが幅方向に複数列に並べられて一体化されているリードフレーム）に限らず、単一のリードフレームでもよいし、リードフレームがテープ状に連続されたテープ状リードフレームでもよい。
【０１０４】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野である半導体装置の製造工程における受け入れ検査工程に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、リードフレーム外観検査装置全般に適用することができる。
【０１０５】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
【０１０６】
コンベア幅が自動的に変更調整されるように構成することにより、検査対象物であるリードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの幅が変更された際には、コンベアの幅が変更後のリードフレームの幅に自動的に変更調整されるため、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができる。また、検査ステーションにおいて、フローティング支持されたリードフレームを押さえ装置によって押し下げるように構成することにより、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの厚さが変更された場合においても、検査ステーションにおけるリードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は変更されないため、検査ステーションにおける焦点合わせ等の人手による微調整は省略することができる。
【０１０７】
選定された検査項目のうち良品が連続する検査項目について選定が自動的に解除され、解除された検査項目については抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成することにより、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い検査項目を求めて、当該検査項目について検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【０１０８】
多連リードフレームのうち良品が連続する単位リードフレームについて選定が自動的に解除され、解除された単位リードフレームについては抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成することにより、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い単位リードフレームを求めて、当該単位リードフレームについて検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示す一部省略斜視図である。
【図２】本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示すブロック図である。
【図３】各検査ステーションを示す各側面断面図である。
【図４】その作用を説明するための各説明図である。
【図５】検査項目制御部の作用を説明するためのフローチャート図である。
【図６】検査リードフレーム制御部の作用を説明するためのフローチャート図である。
【図７】多連リードフレームを示す平面図である。
【符号の説明】
１…ワーク（多連リードフレーム）、２…リードフレーム（単位リードフレーム）、３…外枠（フレーム）、４…タブ吊りリード、５…タブ、６…ダム部材、７…インナリード、８…アウタリード、９…銀めっき被膜、１０…リードフレーム外観検査装置、１１…ベルトコンベア、１２…固定側ベルト、１３…可動側ベルト、１４…コンベア幅変更用送りねじ装置、１５…サーボモータ、１６…コントローラ、１７…ストッパ、１８…ワーク検出装置、１９…押さえ装置、２０…ＸＹテーブル、２１…第１検査ステーション、２２…第１検査実行装置、２３…第２検査ステーション、２４…第２検査実行装置、２５…第３検査ステーション、２６…第３検査実行装置、３０…ＣＰＵ（中央演算処理装置）、３１…コンベア幅制御部、３２…検査実行装置の位置制御部、４０…検査項目制御部、４１…全検査項目記憶部、４２…検査項目選定部、４３ａ、４３ｂ・・・…選定検査項目良品計数部、４４…連続良品数設定部、４５…検索部、４６…解除部、４７ａ、４７ｂ・・・…選定検査項目スキップ回数計数部、４８…スキップ回数設定部、４９…スキップ回数クリア部、５０…検査リードフレーム制御部、５１…全リードフレーム記憶部、５２…検査リードフレーム選定部、５３ａ、５３ｂ・・・…選定リードフレーム良品計数部、５４…連続良品数設定部、５５…検索部、５６…解除部、５７ａ、５７ｂ・・・…選定リードフレームスキップ回数計数部、５８…選定リードフレームスキップ回数設定部、５９…スキップ回数クリア部。
【図１】
0003573489.tif 000003
【図２】
0003573489.tif 000004
【図３】
0003573489.tif 000005
【図４】
0003573489.tif 000006
【図５】
0003573489.tif 000007
【図６】
0003573489.tif 000008
【図７】
0003573489.tif 000009