(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カップ内に基板を保持して回転せしめるチャックを配置するとともに、カップ外側にカップ内と連通しその一辺の長さがカップ外径に略等しい矩形状ケースを設け、カップの側壁内側に支持片を介して整流リングを取り付け、更に前記矩形状ケースの四隅のうち少なくとも一隅の底部に排気兼廃液口を設け、この排気兼廃液口の上部には、カップ内からの気体及び液体を前記排気兼廃液口に誘導する整流板を設けていることを特徴とする回転処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の回転処理装置において、前記排気兼排液口には異物回収部材を着脱自在に設けたことを特徴とする回転処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の回転処理装置において、前記排気兼排液口の上方のケース上面にはメンテナンス口が形成されていることを特徴とする回転処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェーハやガラス基板等の基板の表面に形成された被膜に対して現像を施したり、基板表面に洗浄液を供給して洗浄等を行う回転処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハやガラス基板等の基板を回転せしめるとともに、基板の表面に現像液等の液体を供給して所定の処理を行う装置として、特開平８−３２１４６０号公報に開示される装置が知られている。
【０００３】
この装置は、リング状をなすカップ内に基板を保持して回転せしめるチャックを配置するとともに、カップ外側に平面視で四角形をなすケース（外カップ）を配置し、このケース底面とカップ底面との間を迂回通路とし、この迂回通路を介して清浄な空気を基板の下面側に供給し、供給した清浄な空気を基板下面に沿って径方向外側に導くようにしている。
【０００４】
また、上記装置にあっては、排液ダクトと排気ダクトを別々に設け、排液ダクトはリング状をなすカップの外周部からケース底面を貫通して下方に垂下し、排気ダクトは前記排液ダクトよりも径方向内側部においてケース底面を貫通して下方に垂下している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の回転処理装置にあっては、基板を収納するリング状カップ自体に排液或いは排気ダクトが開口しているため、乱流が生じやすい。
また、従来の回転処理装置にあっては、排液或いは排気ダクトが開口している箇所が特に排液や排気が集中する箇所ではないので、排液或いは排気の効率がよくない。
更に、従来の回転処理装置にあっては、ケースの四隅には空間が形成されるが、この空間は単に通気路として作用するだけであり、スペースの有効利用が図られていない。しかも、近年の基板の大型化に伴う回転処理装置の大型化により、処理中に破損した基板を回収するためにカップを外し、それをまた元に戻すためには多大な労力と時間を要する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明に係る回転処理装置は、カップ内に基板を保持して回転せしめるチャックを配置するとともに、カップ外側にカップ内と連通しその１辺の長さがカップ外径に略等しい矩形状ケースを設け、この矩形状ケースの四隅のうちの少なくとも一隅の底部に排気兼排液口を設けた。
このような構成とすることで、カップ内で乱流が生じにくくなり、且つ排気兼排液の効率が高まる。
【０００７】
前記排気兼排液口には異物回収部材を着脱自在に設けることが好ましい。このような構成とすることで、回転処理中に基板が破損した場合でも、破片の回収を容易に行うことができる。
【０００８】
また、前記排気兼排液口の上部には、カップ内からの気体及び液体を前記排気兼排液口に誘導する整流板を設けることが好ましい。このような構成とすることで、効率よく、排液及び排気を排気兼排液口に誘導することができる。
【０００９】
更に、前記排気兼排液口の上面にメンテナンス口を形成することが好ましい。このような構成とすることで、前記異物回収部材の装着及び取り外し等を簡単に行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る回転処理装置の全体側面図、図２は同回転処理装置の平面図、図３は同回転処理装置のＡ−Ａ拡大縦断面図、図４は図３の要部拡大図である。本発明の回転処理装置を現像装置として使用した例を以下に示す。
【００１１】
図１に示すように、本発明に係る回転処理装置１はダクトＤ及びフィルタＦからなる清浄空気の吹き出し部の下方に配置され、また床Ｇはすのこ状になっており、そのまま清浄空気が下方に抜ける構造になっており、微細な塵が現像処理中に表面に付着しにくい雰囲気になっている。
【００１２】
回転処理装置１は、平面視で矩形状をなすケース２内にリング状カップ３を配置している。このカップ３は側壁４と底部５から構成され、側壁４は上方に向かって徐々にその径が小さくなり、上端開口には整流筒６が設けられている。この整流筒６はシリンダユニット７にて昇降可能とされ、回転処理装置１内に基板Ｗを投入する際には下降して基板Ｗの搬入の邪魔にならないようにし、現像処理中は上昇し、カップ３内に乱流が生じにくくしている。
【００１３】
一方、前記カップ３の底部５の中央部には開口８が形成され、開口８にはスピンナー軸９が挿通し、このスピンナー軸９はベース１０に取り付けたモータ１１にて回転せしめられるとともにシリンダユニット１２の作動で昇降動可能とされ、更にスピンナー軸９の上端には基板Ｗを吸着保持するチャック１３が取り付けられている。
【００１４】
また、前記底部５は２枚の上板１４と下板１５にて構成され、これら上板１４及び下板１５は中央の開口８から径方向外側に向かって下方に傾斜し、上板１４の表面にはフッ素樹脂コーティングを施し、表面に落下した現像液がスムーズに流れるようにし、また下板１５には複数個のドレン排出口１６を、上板１４と下板１５が下方に傾斜し合流するところに複数の排液の排出口２６を設け、上板１４と下板１５との間のトラップ空間に積極的に現像液や洗浄液を取り込み、これら液体が回転軸受けの部分に廻り込まないようにしている。
【００１５】
また、前記上板１４及び下板１５は支持片１７を介して前記ベース１０に取り付けられ、この支持片１７の上端部には小寸法の基板Ｗに現像処理を施す際に使用する整流リング１８を位置調整可能に取り付け、一方、前記カップ３の側壁４内側に支持片１９を介して大寸法の基板Ｗに現像処理を施す際に使用する整流リング２０を位置調整可能に取り付けている。尚、大寸法の基板Ｗに現像処理を施す際には、整流リング１８は取り外しておく。
【００１６】
一方、ケース２内とリング状カップ３内とは開口２１を介して連通しており、特にケース２の四隅部のうちの少なくとも一隅部の底面には、排気兼排液口２２が形成され、この排気兼排液口２２内の少なくとも１箇所には金網などから構成される異物回収部材２３が、着脱可能に設けられている。
【００１７】
また、ケース２の排気兼排液口２２の上部にはリング状カップ３内からの気体及び液体を排気兼排液口２２に誘導する整流板２４が配置され、更に、ケース２の排気兼排液口２２の上面にはメンテナンス口２５が形成されている。
ここで、排気兼排液口２２はケース２の四隅部のうちの少なくとも一隅部としたが、四隅部の対角部の２箇所または四隅の４箇所に設けると排気、排液のバランスがよい。
【００１８】
以上において、露光処理が終了した基板Ｗに現像処理を施す場合を例にとって説明すると、シリンダユニット１２の作動でスピンナー軸９とともにチャック１３を上昇せしめ、また同時にシリンダユニット７の作動で整流筒６を下降せしめた状態で、基板Ｗを側方から搬送してきてチャック１３上に載置する。
【００１９】
この後、シリンダユニット１２を逆方向に作動させて、更に図示しないノズルから基板Ｗ表面に現像液を供給し液盛りする。そして、回転処理直前にシリンダユニット７を逆方向に作動させて整流筒６を上昇せしめる。現像液の供給ノズルとしては、例えば、スリットノズルが好ましい。
【００２０】
上記のように基板Ｗ表面に現像液を液盛りして所定時間経過したならば、モータ１１を駆動して基板Ｗを回転せしめ、基板Ｗ上に盛られた現像液を除去する。このときの回転速度は５〜２００ｒｐｍとする。また、回転時間は０．１〜１０秒とする。
【００２１】
この回転速度は、現像液を乾燥させる際の回転速度に比べて極めて低速であり、このように低速で回転せしめることで、基板Ｗから遠心力により除去される現像液の速度を遅くし、基板Ｗから飛散する現像液のうちの多くの割合の現像液がカップ底部５を構成する上板１４上に落下し、上板１４の傾斜に沿って径方向外側に向かって流れ、排液の排出口２６を介して図示しない現像液回収ポケット内に流れ込み、ポンプの駆動でタンクに回収され、再利用に供される。
【００２２】
回収されなかった現像液及び排液は整流板２４に導かれて排気兼排液口２２から外部に排出される。
また、万一、基板Ｗが破損した場合には、小さな破片が異物回収部材２３内に回収されるので、基板Ｗの回転を停止した後、メンテナンス口２５から手を差し込んで異物回収部材２３を取り外し、異物回収部材２３内に入った破片を取り除き、再び異物回収部材２３を排気兼排液口２２にセットし、次の処理に備える。尚、異物回収部材２３の形状は自由であるので、その断面形状が直方形でも正方形でも逆台形でもいずれでもよい。
【００２３】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明に係る回転処理装置によれば、カップ内に基板を保持して回転せしめるチャックを配置するとともに、カップ外側にカップ内と連通しその１辺の長さがカップ外径に略等しい矩形状ケースを設け、この矩形状ケースの四隅の少なくとも１隅の底部に排気兼排液口を設けたので、カップ内で乱流が生じにくく、且つ排気兼排液の効率を高めることができる。
【００２４】
特に、排気兼排液口に異物回収部材を着脱自在に設ければ、回転処理中に基板が破損した場合でも、破片の回収を容易に行うことができ、また、排気兼排液口に、カップ内からの気体及び液体を前記排気兼排液口に誘導する整流板を設ければ、排液及び排気を効率よく排気兼排液口に誘導することができ、更に、排気兼排液口上方の矩形状ケース上面にメンテナンス口を形成すれば、異物回収部材の装着及び取り外し等を簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る回転処理装置の全体側面図
【図２】同回転処理装置の平面図
【図３】同回転処理装置のＡーＡ拡大縦断面図
【図４】図３の要部拡大図
【符号の説明】
１…回転処理装置、２…矩形状ケース、３…リング状カップ、４…カップの側壁、５…カップの底部、６…整流筒、７，１２…シリンダユニット、８…開口、９…スピンナー軸、１０…ベース、１１…モータ、１３…チャック、１４…上板、１５…下板、１６…ドレン排出口、１７…支持片、１８，２０…整流リング、２１…開口、２２…排気兼排液口、２３…異物回収部材、２４…整流板、２５…メンテナンス口、２６…排液の排出口。
【図１】
0003559987.tif 000002
【図２】
0003559987.tif 000003
【図３】
0003559987.tif 000004
【図４】
0003559987.tif 000005