(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉末のエポキシ樹脂組成物を予備成形して得られる充填率が９０％以上のエポキシ樹脂組成物タブレットであって、上記粉末の最大粒径が  ２ｍｍ以下であることを特徴とするエポキシ樹脂組成物タブレット。
【請求項２】
エポキシ樹脂組成物がビフェニル型エポキシ樹脂を含むエポキシ樹脂組成物である請求項１記載のエポキシ樹脂組成物タブレット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、成形性、信頼性に優れたエポキシ樹脂組成物タブレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
樹脂封止型半導体装置は、一般にダブレット状の封止樹脂を、加熱した金型のポットに投入し、素子およびフレームが予めセットされたキャビティ部に移送注入するトランスファー成形法で封止して製造されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、タブレット状の封止樹脂は、通常粉砕した樹脂組成物を金型を用いて圧縮製造されるため、必然的にある量の気体（空気）成分を含んでいる。この気体成分は樹脂が溶融してキャビティ部に流れ込むとき同時にキャビティ内に入り込み、パッケージ内部或いは外部表面に発生する巣の原因となる。このような内外部巣は、外観上問題であるばかりでなく、耐湿信頼性や耐熱衝撃性などの半導体装置の信頼性にも大きく影響する。
【０００４】
近年の半導体パッケージの大型化・薄型化に伴い、この巣の問題は一層深刻になってきている。高信頼性封止樹脂として最近多く検討されているビフェニル型エポキシ樹脂を用いた封止樹脂において、特に巣が発生しやすいという欠点があった。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、樹脂封止型半導体装置の内部或いは外部に巣が発生しにくく、成形性、信頼性に優れたエポキシ樹脂組成物タブレットを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、エポキシ樹脂組成物の粉末の粒径を制御することによって巣の発生が激減することを見いだし、本発明を完成したものである。
【０００７】
即ち、本発明は、
粉末のエポキシ樹脂組成物を予備成形して得られる充填率が９０％以上のエポキシ樹脂組成物タブレットであって、上記粉末の最大粒径が  ２ｍｍ以下であることを特徴とするエポキシ樹脂組成物タブレットである。
【０００８】
以下、本発明を詳細に説明する。
【０００９】
本発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、タブレットに使用できるものであればよく、エポキシ樹脂、フェノール樹脂系硬化剤、硬化促進剤、充填剤、その他を含むものである。次に、エポキシ樹脂組成物の各成分について説明する。
【００１０】
エポキシ樹脂としては、１  分子中に  ２個のエポキシ基を有するものであればよく、特に限定するものではない。エポキシ樹脂の具体的なものとして、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールのノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡのノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡのグリシジルエーテル、トリ（ヒドロキシフェニル）アルカンのエポキシ樹脂、テトラ（ヒドロキシフェニル）アルカンのエポキシ樹脂、ビスヒドロキシビフェニル系エポキシ樹脂、各種臭素化エポキシ樹脂等が挙げられ、これらは単独または  ２種以上混合して使用することができる。
【００１１】
本発明において、より好ましくはエポキシ樹脂の全部又は一部に化１の構造を有するビフェニル型エポキシ樹脂を使用することである。このエポキシ樹脂を使用した場合に内外部巣が発生しやすいからである。
【００１２】
【化１】
0003573565.tif 000002
【００１３】
エポキシ樹脂の硬化剤としては、分子中にフェノール性水酸基を有するものであればいかなるものでもよく、フェノールあるいはアルキルフェノール類とヒドロキシベンズアルデヒドとの縮合によって得られるものを使用することができる。例えば、トリス（ヒドロキシフェニル）メタン、トリス（ヒドロキシメチルフェニル）メタン、トリス（ヒドロキシフェニル）プロパン、トリス（ヒドロキシフェニル）メチルメタン、各種ノボラックタイプのフェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、テルペンフェノール樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール樹脂、ナフトール樹脂等が挙げられ、これらは単独又は  ２種以上混合して使用することができる。これらの樹脂は半導体装置の信頼性を確保するため、樹脂中に含まれる遊離のフェノール類の濃度が  １％以下であることが望ましい。
【００１４】
エポキシ樹脂とフェノール樹脂硬化剤の配合割合は、硬化剤であるフェノール樹脂のフェノール性水酸基数とエポキシ樹脂のエポキシ基数の比（フェノール性水酸基数／エポキシ基数）が  ０．１〜  ２．５の範囲になるように配合することが望ましい。この比が  ０．１未満では硬化反応が十分に起こりにくく、また、  ２．５を超えると硬化物の特性、特に耐湿性が劣り好ましくない。
【００１５】
硬化促進剤としては、樹脂の硬化反応を促進させるもので、通常の封止材料の硬化促進剤として使用できるものは、広く使用することができる。硬化促進剤として具体的なものは、２−メチルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール等のイミダゾール類、ジアザビシクロウンデセン等のジアザビシクロアルケン類やその塩類、トリフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、その他有機金属化合物等が挙げられる。
【００１６】
無機充填剤としては、一般に封止材料として使用されるものであれば、特に制限されるものではなく、広く使用することができる。具体的な無機充填剤として、例えば、溶融シリカ、結晶性シリカ、アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられ、これらは単独又は  ２種以上混合して使用することができる。
【００１７】
本発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、上述したエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、無機充填剤等を含むが、本発明の目的に反しない範囲において、他の成分、例えば、三酸化アンチモンなどの難燃助剤、天然ワックス、合成ワックス類、直鎖脂肪酸やその金属塩、酸アミド類、エステル類、バラフィン類等の離型剤、カーボンブラック、二酸化チタンなどの顔料、シリコーンオイル、シリコーンゴム、各種プラスチック粉末、各種エンジニアリングプラスチック粉末、ＡＢＳ樹脂やＭＢＳ樹脂の粉末等の低応力化剤等を適宜添加配合することができる。
【００１８】
上述した各成分を配合し、例えばヘンシェルミキサー等のミキサーによって十分混合し、さらに熱ロールによる溶融処理または  ２軸の押出機等による溶融混合処理を行った後、冷却粉砕してエポキシ樹脂組成物を製造することができる。粉砕した粉末の最大粒径は  ２ｍｍ以下であることが望ましい。より好ましくは最大粒径が  ２ｍｍ以下であって、最大粒径  １ｍｍ以下の粒子が全体の６０重量％以下であることである。最大粒径が  ２ｍｍを超えると、タブレット内に残存する空気が原因となって、半導体パッケージに巣が発生し好ましくない。粒径の小さい粒子を多く使用することによって、タブレット内に残存する空気のかたまりが小さく分断され、キャビティに入っていったとしても、成形時の圧力でつぶれてしまうものと思われる。この場合にタブレットの充填率は９０％以上、好ましくは９５％以上であることが望ましい。充填率が９０％未満では、例えば減圧しても巣に対して十分な効果を上げることができず好ましくない。
【００１９】
【発明の実施形態】
以下、本発明を実施例によって具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。以下の実施例および比較例において「部」とは「重量部」を意味する。
【００２０】
実施例１
ビフェニル型エポキシ樹脂（エポキシ当量  １９３）  ４．９部、ビスフェノールＡ型臭素化エポキシ樹脂（エポキシ当量  ４６０）  ２．０部、フェノールノボラック樹脂（フェノール水酸基当量  １０４）  ３．１部、トリフェニルホスフィン  ０．１５  部、カルナバワックス  ０．３部、球状溶融シリカ（平均粒径２０μｍ）８７．０部、カーボンブラック  ０．３部、三酸化アンチモン  ２．０部、およびエポキシシランカップリング剤  ０．４部を、ヘンシェルミキサー中で各成分を配合混合して６０〜１３０  ℃の加熱ロールで混練し、冷却した後粉砕してエポキシ樹脂組成物を調製した。
【００２１】
次いで、この粉砕されたエポキシ樹脂組成物を、最大粒径  ２ｍｍとなるよう粒径調整を行った後、圧縮プレスで充填密度９５％の直径３０ｍｍの円柱状のダブレットを成形し、エポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２２】
実施例２
実施例１のエポキシ樹脂組成物における粒径の替わりに、粒径  ２ｍｍを６０％と粒径  １ｍｍを４０％を用いた以外はすべて実施例１と同様に処理してエポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２３】
実施例３
実施例１のエポキシ樹脂組成物における粒径の替わりに、粒径  ２ｍｍを４０％と粒径  １ｍｍを６０％を用いた以外はすべて実施例１と同様に処理してエポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２４】
実施例４
実施例１のエポキシ樹脂組成物における粒径の替わりに、粒径  １ｍｍを  １００％用いた以外はすべて実施例１と同様に処理してエポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２５】
比較例１
実施例１のエポキシ樹脂組成物における粒径の替わりに、粒径  ３ｍｍを超えるものを  １００％用いた以外はすべて実施例１と同様に処理してエポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２６】
比較例２
実施例１のエポキシ樹脂組成物における粒径の替わりに、粒径  ３ｍｍのものを  １００％用いた以外はすべて実施例１と同様に処理してエポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２７】
比較例３
実施例１のエポキシ樹脂組成物における粒径の替わりに、粒径  ３ｍｍを６０％と粒径  １ｍｍを４０％を用いた以外はすべて実施例１と同様に処理してエポキシ樹脂組成物タブレットを製造した。
【００２８】
実施例１〜４および比較例１〜３で製造したエポキシ樹脂組成物タブレットを用いて、１８０  ℃に加熱した金型内にトランスファー注入し、１５ｍｍ角のダミーチップを搭載したボディサイズ３２ｍｍ角（厚さ  ３．５ｍｍ）のＱＦＰを成形した。これらのパッケージについて外観巣および内部巣を観察したので、その結果を表１に示した。本発明はいずれも巣の発生が少なく、本発明の効果を確認することができた。
【００２９】
【表１】
0003573565.tif 000003
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明および表１から明らかなように、本発明のエポキシ樹脂タブレットは、半導体装置の樹脂封止において内部或いは外部に巣が発生しにくく、成形性、信頼性に優れたものである。