【事件の表示】
　平成９年特許願第３１９５１９号「吸引式ガス検知装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年６月８日出願公開、特開平１１−１５３５２６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成９年１１月２０日の出願であって、平成１８年１０月２３日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１２月４日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１８年１２月２８日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１８年１２月２８日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１８年１２月２８日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「ガスサンプリング部を半導体製造設備の排気ダクトに接続し、当該ガスサンプリング部からガス流通路を介してガスを吸引誘導するガス吸引手段を設けると共に、前記ガス流通路に定電位電解式ガス検知素子を設け、ハロゲン化物系ガス及びアンモニアから選ばれる少なくとも一種のガスを被検知ガスとして、前記半導体製造設備における前記被検知ガスの漏洩を検知する吸引式ガス検知装置であって、
　前記定電位電解式ガス検知素子と、前記定電位電解式ガス検知素子から得られる電気信号を前記被検知ガスの検知情報としての信号に変換し、当該検知情報を出力部を介して出力するセンサ制御部とを備えたセンサユニット、及び前記ガス吸引手段と前記出力部とを備えた本体ユニットを異なるケーシングにそれぞれ内装し、前記センサユニットを前記ガスサンプリング部に近接配置してある吸引式ガス検知装置。」
と補正されるとともに、請求項３は削除された。
　上記補正は、補正前の請求項１の「ガスサンプリング部」について、「半導体製造設備の排気ダクトに接続」するとの限定を付加し、同じく「被検知ガス」の検知が、「前記半導体製造設備における前記被検知ガスの漏洩」を検知するこのであるという限定を付加し、同じく「センサユニット」について、「前記ガスサンプリング部に近接配置」するという限定を付加するものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前特許法第１７条の２第４項第１号及び第２号の請求項の削除及び特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。　
　
（２）引用刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物１ないし３には、以下の事項がそれぞれ記載されている。
　
（刊行物１：特開平９−２７４５６号公報の記載事項）
　(1a)「【請求項１】チャンバ内の半導体基板を加熱し、半導体上に薄膜を形成する、あるいは不純物を拡散させる、あるいは酸化する作用のある反応性ガスとキャリアガスを流す半導体製造装置において、チャンバ内のガスをサンプリングして反応性ガスの濃度を常にモニタする機構を具備した半導体製造装置。
・・・
【請求項４】上記反応ガス濃度をモニタする機構が、反応ガスの電気分解にともなう電流を検知する方式（定電位電解法）、あるいは隔膜を通過した反応ガスの酸化還元反応に伴う電流を検知する方式（ガルバニックセル法）であることを特徴とする請求項第１項記載の半導体製造装置。」
　(1b)「【０００７】
【実施例】図３は、請求項１および２に記載した本発明の一実施例である。本装置は反応性ガス濃度測定器２０を具備した常圧の不純物拡散装置である。ロードロック室を介してウエハ５をチャンバ４内に設置した後、キャリアガス配管２を介してチャンバに窒素を導入した。・・・チャンバ内を水素雰囲気にした。・・・反応性ガス測定器により、雰囲気が完全に水素になったことを確認した後、反応ガス配管３を介して水素で０．１％に希釈したジボランガスを１００ｍｌ／ｍｉｎ導入した。・・・反応性ガス濃度測定器２０の指示が１０ｐｐｍになったことを確認し、加熱ランプ８を点灯しウエハを９００℃まで加熱した。・・・このとき用いた反応性ガス測定システムを図５に示す。装置排気管内のガスはフィルタ２５を介してサンプリングラインに導入される。サンプリングラインは吸引ポンプ１１によって吸引される。測定器較正ガス導入用三方弁２３および流量調整バルブ２１、フローメーた２２を通ったサンプリングガスは反応性ガス濃度測定器２０に導入され、ここでキャリアガス中の反応性ガス濃度が測定される。吸引ポンプ１１の排出ガスは再び排気配管に戻るようになっている。このサンプリングラインのガス導入口、排出口にはフレームアレスタ２４を設置し、測定器内で万が一生じた炎がチャンバに達しないような構成となっている。」
　(1c)「【００１０】図１０は請求項１及び４に記載した本発明の別の実施例を示すものであり、定電位電解法によるガス濃度測定器の原理図である。本測定器は目的とする成分ガスの電解反応の際に生ずる電流を測定する方法である。作用電極４６に反応ガスが接すると電極上で電解反応が起こる。そこで生じた水素イオンによって対極４３上でも反応が起こり、外部回路に電流が流れる。その電流を電流計４２で検知し、ガス濃度に変換して出力する。」
　(1d)【図５】には、チャンバ排気管１５、ガス導入口及び排出口でチャンバ排気管１５に接続したサンプリングライン、サンプリングラインのガス導入口側に配置された反応性ガス濃度測定器２０、ガス排出口側に配置された吸引ポンプ１１を有する、反応ガス測定システムのサンプリング配管図が記載されている。（第４頁【図５】）
　(1e)【図１０】には、定電位電解法によるガス濃度測定器の原理図として、作用電極４６、対極４３、照合電極４４、電流計４２、増幅器４１を回路で接続したものが記載されている。（第５頁【図１０】）
　
（刊行物２：実願昭６３−１６７８２９号（実開平２−８７０２２号）のマイクロフィルムの記載事項）
　(2a)「第１図は本考案に係る酸欠ガス感知機能付きヘルメットの一実施例を示したものである。
　１はヘルメット本体で、その頭部前面には、低消費電力タイプの限界電流式の酸素センサ２が組み付けられ、また頭部には、種々の部品からなる駆動部本体が適宜ケーシング３等に内蔵されて組み付けられ、さらに上記酸素センサ２とこの駆動部本体との間はヘルメット本体１内部等に配線されたリード線４により接続されている。
　上記ケーシング３内の駆動部本体は、例えば第２図の如くで、上記酸素センサ２からの信号を受ける、各種の電気回路からなる処理部５と、この処理部５での処理により駆動されるブザー等の警報音発生装置６、ＬＥＤ、ミニチュアランプ等の警報光発生装置７または液晶板等の酸素濃度標示部８の少なくとも一つと、上記各部に必要な電力を供給する乾電池等からなる電源部９とからなる。」（明細書第４頁１７行〜１１行）
　(2b)「この場合、ヘルメットを一々脱ぐのは面倒であるため、例えば第３図〜第４図に示したように、上記駆動部本体の酸素濃度表示部８、警報音発生装置６および警報光発生装置７をコンパクトな吊り下げ用のケーシング１１中に納め、例えばヘルメットの顎紐１２、１２等に取り付けるとよい。
・・・
　また、上記駆動部本体の電源部９のみ、あるいは駆動部本体の全部を、例えば第５図に示したように、腰携帯用のケーシング１４に組み込んで、作業者のベルト１５等に取り付けるようにすることも可能である。」（明細書第６頁１２行〜第７頁８行）
　
（刊行物３：特開平９−１９６８３０号公報の記載事項）
　(3a)「【００６３】（実施の形態１）図１は、この発明の実施の形態１に係る固体捕集装置１００を示す一部破断斜視図である。捕集管１には測定対象物質を吸着する吸着剤２が挿入されている。また、捕集管１の下流側には、センサ部３ａ、３ｂが設けられている。４は導管である。この導管４の一端は、捕集管１の下流側端部に接続されている。一方、導管４の他端は、制御装置付きポンプ５に接続されている。６は、ユーザに取り付けるためのクリップである。」
　(3b)「【００７２】図３は、図１に示した固体捕集装置１００の構成を示す概略構成図である。制御装置付きポンプ５は、制御部５０とポンプ部５１とで構成される。制御部５０は、半導体ガスセンサ３１ａ、３１ｂのヒータに定電流を流す定電流回路５２と、センサ部３ａ、３ｂの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換回路５３と、Ａ／Ｄ変換回路からの信号に基づき所定の処理を行うＣＰＵ５４と、破過が生じた旨などの表示を行う表示部５５と、ユーザに警報を発するブザー５６と、ポンプ部５１の運転を開始してから破過が生じるまでの時間を計測するタイマ５７とから構成されている。ポンプ部５１は、電動ファンを用いて吸引するものであり、その吸引力は０．２リットル／分である。また、ポンプ部５１は、充電式の小型バッテリー（図示省略）から電力供給を受ける。」
　(3c)「【００７５】図５は、固体捕集装置１００の装着状態を示す説明図である。捕集管１は、クリップ６によりユーザＭの衣類肩部に取り付ける。制御装置付きポンプ５は、ユーザＭのベルトなどに固定する。ユーザＭは、固体捕集装置１００を取り付けたまま、作業を行う。」
　
（３）対比・判断
　上記刊行物１の記載事項（上記(1a)〜(1e)）からみて、刊行物１には、
「半導体製造装置のチャンバ排気管にガス導入口及び排出口で接続したサンプリングラインを設け、サンプリングラインのガス導入口側に、作用極と対極間上でのガスの電解反応により作用極と対極間の外部回路に流れる電流を検知しガス濃度に変換して出力する、定電位電解法による反応性ガス濃度測定器を配置し、サンプリングラインのガス排出口側に吸引ポンプ１１を配置した反応ガス測定システム」の発明（以下、「刊行物１発明」という。」が記載されていると認められる。
　
　そこで、本願補正発明と刊行物１発明とを比較する。
（ア）刊行物１発明の「ガス導入口」、「サンプリングライン」、「排気管」、「吸引ポンプ」、「反応ガス測定システム」は、本願補正発明における「ガスサンプリング部」、「ガス流通路」、「排気ダクト」、「ガス吸引手段」、「吸引式ガス検知装置」にそれぞれ相当する。
（イ）刊行物１発明の「作用極と対極間上でのガスの電解反応により作用極と対極間の外部回路に流れる電流を検知しガス濃度に変換して出力する、電位電解法による反応性ガス濃度測定器」のうち「作用極と対極」と「作用極と対極間の外部回路」の部分は併せて、本願補正発明の「定電位電解式ガス検知素子」に相当し、「作用極と対極間の外部回路に流れる電流を検知しガス濃度に変換して出力する」部分は、本願補正発明の「定電位電解式ガス検知素子から得られる電気信号を前記被検知ガスの検知情報としての信号に変換し、当該検知情報を出力部を介して出力するセンサ制御部」に相当する。
　したがって、両者の間には、以下の一致点及び相違点がある。
　
（一致点）
　ガスサンプリング部を排気ダクトに接続し、当該ガスサンプリング部からガス流通路を介してガスを吸引誘導するガス吸引手段を設けると共に、前記ガス流通路に定電位電解式ガス検知素子を設けた吸引式ガス検知装置であって、
　前記定電位電解式ガス検知素子と、前記定電位電解式ガス検知素子から得られる電気信号を前記被検知ガスの検知情報としての信号に変換し、当該検知情報を出力部を介して出力するセンサ制御部と、前記ガス吸引手段と前記出力部とを備えた吸引式ガス検知装置である点。
　
（相違点１）
　排気ダクトが、本願補正発明では、半導体製造設備に接続されており、排気中に含まれるハロゲン化物系ガス及びアンモニアから選ばれる少なくとも一種のガスを被検知ガスとして、半導体製造設備における被検知ガスの漏洩を検知するものであるのに対して、刊行物１発明では半導体製造装置のチャンバに接続され、チャンバ内の反応性ガスの濃度を測定するものであり、ガスは漏洩したものではなくその種類を特定していない点。
　
（相違点２）
　本願補正発明は、定電位電解式ガス検知素子とセンサ制御部とで「センサユニット」を構成し、ガス吸引手段と出力部とで「本体ユニット」を構成し、それぞれ異なるケーシングに内装しているのに対して、刊行物１発明では、このようなケーシングに内装したユニットを構成していない点。
　
（相違点３）
　本願補正発明では、センサユニットが、ガスサンプリング部に近接配置されているのに対して、刊行物１発明では、反応ガス濃度測定器は、サンプリングラインのガス導入口側に配置されているが、ガス導入口に近接配置しているか明らかでない点。
　
　そこで、上記各相違点について以下に検討する。
（相違点１について）
　半導体製造工場などにおいて、製造工程で発生する有害ガスの漏洩を検出するための検出装置を排気ダクトなどに設けることは、例えば、実願昭６３−１４８４１２号（実開平１−８４１８６号）のマイクロフィルム、特開平３−１０６４１６号公報、特開平９−５７０４６号公報にも記載されるとおり、本願出願前広くに行われていることである。
　そして、刊行物１発明は、半導体製造工程で使用するガスを測定するという点で、上記周知技術と共通するものであるから、刊行物１発明の反応性ガス測定システムを半導体製造設備の漏洩ガスの検知装置として用い、排気管を半導体製造設備に接続されたものとし、半導体製造工程において使用される処理ガスとして、本願出願前によく知られている、ハロゲン化物系ガス及びアンモニアを漏洩ガスとして検知することは、当業者が容易になし得たものといえる。
　
（相違点２について）
　一般に、ガス検知装置において、装置の使用上の便宜を考慮して、ガス検知素子をガスを検知したい位置付近に配置し、検知した情報を表示する出力部や吸引ポンプ等の他の部分は、検知した情報の管理や装置の配置がしやすい場所に配置すること、また、一箇所に配置するものをまとめて一つのケーシングに内装して配置することは、例えば、刊行物２（上記(2a)(2b)）に、酸素センサをヘルメットに装着し、駆動部本体をケーシングに内蔵し顎紐に装着したり腰携帯用ケーシングに内蔵し装着する酸欠ガス感知機能付きヘルメットが記載され、刊行物３（上記(3a)〜(3c)）に、センサ部を有する捕集管を肩に装着し、これと導管で接続された制御装置付きポンプをベルト等に装着して用いる固体捕集装置が記載されるように、本願出願前に周知である。
　そうすると、刊行物１発明の反応性ガス測定システムを半導体製造設備の漏洩ガスの検知装置として用いた際に、ガス検知素子とそれに付随している電流を検知しガス濃度に変換して出力する手段を一つのケーシングに内装してユニットとしてガスを検知したい場所付近に配置し、ガス吸引手段及び出力部を異なるケーシングに内装してユニットとして管理や設置のしやすい場所に配置することは、当業者が容易になし得たものといえる。
　
（相違点３について）
　ガス分析装置等において、分析対象ガスを直ちにガス分析計に導入させることは、例えば、実願平４−２３８８５号（実開平５−７７７５０号）のＣＤ−ＲＯＭ、（【０００２】）にも記載されるように、状況に応じて当然に行うことであるから、刊行物１発明において、上記相違点２で記載したように検知素子ならびにこれに付随する部分を一つのユニットとしてガスを検知したい場所付近に配置する際に、その配置をガスサンプリング部に近接した位置とすることは、当業者が適宜になし得たものといえる。
　
（本願補正発明の効果について）
　ガス検知遅れを解消しながらも、集中管理が容易である等の本願明細書に記載された本願補正発明の効果は、刊行物１ないし３の記載及び周知技術から予測しうるものであり、格別顕著なものとはいえない。
　
　したがって本願補正発明は、刊行物１ないし３に記載された発明、及びこの出願日前周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
  
３．本願発明について
（１）本願発明
　平成１８年１２月２８日付けの手続補正は上記のとおり却下されることとなったので、本願請求項１ないし３に係る発明は、平成１８年６月１９日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるとおりのものであり、請求項１に係る発明は以下のとおりのもと認める。
　
「ガスサンプリング部からガス流通路を介してガスを吸引誘導するガス吸引手段を設けると共に、前記ガス流通路に定電位電解式ガス検知素子を設け、ハロゲン化物系ガス及びアンモニアから選ばれる少なくとも一種のガスを被検知ガスとして検知する吸引式ガス検知装置であって、
　前記定電位電解式ガス検知素子と、前記定電位電解式ガス検知素子から得られる電気信号を前記被検知ガスの検知情報としての信号に変換し、当該検知情報を出力部を介して出力するセンサ制御部とを備えたセンサユニット、及び前記ガス吸引手段と前記出力部とを備えた本体ユニットを異なるケーシングにそれぞれ内装してある吸引式ガス検知装置。」（以下、「本願発明」という。）
　
（２）引用刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物およびその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　本願発明は前記「２．（３）」で検討した本願補正発明から、「ガスサンプリング部」について、「半導体製造設備の排気ダクトに接続」する構成、被検知ガスの検知が「半導体製造設備における前記被検知ガスの漏洩を検知する」ものであるという構成、「センサユニット」について、「ガスサンプリング部に近接配置」するという構成を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）」において検討したとおり、刊行物１ないし３に記載された発明及周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであることから、本願発明も同様の理由により、刊行物１ないし３に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１ないし３に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その他の請求項に係る発明についての判断を示すまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。