(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板に対して転写しようとする半田パターンを形成してなる半田キャリアを製造するに当たり，
光を透過させる性質を有し、透視可能な透光性樹脂シートと半田箔とを重ね合わせると共にこれらをプレスして圧着板となし，
次いで，上記半田箔の表面に液体感光性樹脂を塗布してレジスト薄膜を形成し，
次いで，該レジスト薄膜に露光，現像を行って半田パターンに対応する薄膜パターンを形成し，
次いで，エッチングを行って上記薄膜パターンの内側に半田パターンを形成し，
その後，上記薄膜パターンを除去して上記半田パターンを露出することを特徴とする半田キャリアの製造方法。
【請求項２】
請求項１において，上記透光性樹脂シートは，光を透過させる性質を有する，無機繊維或いは不織布を含有する繊維含有樹脂シートであることを特徴とする半田キャリアの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記プレスの圧力は，１０〜５０ｋｇ/ｃｍ2であることを特徴とする半田キャリアの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において，上記プレスは，透光性樹脂シートが半田箔に対して粘着する温度に加熱して行うことを特徴とする半田キャリアの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において，上記液体感光性樹脂により形成されたレジスト薄膜は，その厚みが２〜２５μｍであることを特徴とする半田キャリアの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において，上記液体感光性樹脂は，エポキシ，アクリル，ポリイミドの樹脂のグループから選ばれる１種又は２種以上であることを特徴とする半田キャリアの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は，高密度で半田厚みが一定な半田パターンを精度良く形成することができる半田キャリアの製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来，プリント配線板としては，図１０に示すごとく，絶縁基板６３の表面に導体回路６５を形成し，該導体回路６５を半田バンプ６２０を介して，マザーボード６７に接合するものがある。プリント配線板６の表面は，上記半田バンプ６２０を除いて，ソルダーレジスト６９により被覆されている。
【０００３】
上記半田バンプ６２０を形成するに当たっては，例えば，図１１に示すごとく，基材６６の表面に半田パターン６２を形成した半田キャリア６０が用いられる。
即ち，図１２に示すごとく，プリント配線板６の導体回路６５の表面に，フラックス（図示略）を塗布する。次いで，プリント配線板６の上面に，上記半田キャリア６０を配置する。このとき，プリント配線板６上の導体回路６５と，半田キャリア６０の半田パターン６２とを位置合わせする。
【０００４】
次に，半田パターン６２をプリント配線板６に密着させて，窒素雰囲気下のリフロー炉に入れ，加熱する。加熱条件は，例えば，ピーク温度を２０５℃とし，１８３℃以上，４０秒間とする。これにより，上記半田パターンの半田が導体回路６５の方へと移行して，図１３にに示すごとく，導体回路６５の表面に半田バンプ６２０が形成される。
【０００５】
上記半田キャリア６０の製造方法としては，従来，例えば，電解半田めっき法，半田蒸着法，無電解半田めっき法，半田ペースト印刷法等を用いて，基材６６の表面に半田パターン６２を形成する方法がある。
【０００６】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の半田キャリアの製造方法においては，以下の問題がある。
電解半田めっき法においては，十分な厚みの半田パターンを形成するに当たって，多大な時間が必要である。また，ダミー回路が必要であるため，ダミー回路の引回しにより半田パターンの高密度化が困難となる。
【０００７】
蒸着法においては，狭ピッチの半田パターンの形成が困難となり，またその塗布量にバラツキが生ずるおそれがある。
無電解半田めっき法においては，ダミー回路が不要であるため半田パターンの高密度化を図ることはできる。しかし，その一方で十分な厚みの半田パターンの形成に多大な時間を要するという問題がある。
半田ペースト印刷法においては，印刷時にペースト状の半田がにじみ，隣設する半田パターン同士が接触してしまい，狭ピッチの半田パターンの形成，つまり高密度化が困難となるという問題がある。
【０００８】
本発明はかかる従来の問題点に鑑み，高密度で半田厚みが一定な半田パターンを精度良く形成することができる半田キャリアの製造方法を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題の解決手段】
本発明は，プリント配線板に対して転写しようとする半田パターンを形成してなる半田キャリアを製造するに当たり，
光を透過させる性質を有し、透視可能な透光性樹脂シートと半田箔とを重ね合わせると共にこれらをプレスして圧着板となし，次いで，上記半田箔の表面に液体感光性樹脂を塗布してレジスト薄膜を形成し，次いで，該レジスト薄膜に露光，現像を行って半田パターンに対応する薄膜パターンを形成し，次いで，エッチングを行って上記薄膜パターンの内側に半田パターンを形成し，その後，上記薄膜パターンを除去して上記半田パターンを露出することを特徴とする半田キャリアの製造方法にある。
【００１０】
本発明において最も注目すべきことは，光を透過させる性質を有し、透視可能な透光性樹脂シートと半田箔とからなる圧着板を用いること，半田箔の表面に液体感光性樹脂からなるレジスト薄膜を形成することである。
【００１１】
上記透光性樹脂シートは，それ自体が半田箔に対して接着性を有するものであることが好ましい。かかる透光性樹脂シートとしては，例えば，無機繊維或いは不織布を含有する繊維含有樹脂シートを用いることができる。繊維含有樹脂シートとは，半硬化状の樹脂からなる接着用シートであり，加熱により若干溶融し粘着性を帯びて，相手部材と接着するものである。かかる繊維含有樹脂シートとしては，例えば，ポリイミド樹脂やガラス繊維入りエポキシ樹脂，ビスマレイミドトリアジン樹脂等がある。
【００１２】
上記透光性樹脂シートと半田箔とは，両者を重ね合わせ，これらをプレスする。これにより，上記圧着板が形成される。
上記プレスの圧力は，１０〜５０ｋｇ／ｃｍ２  であることが好ましい。１０ｋｇ／ｃｍ２  未満の場合には，透光性樹脂シートと半田箔と十分に接着しないおそれがある。一方，５０ｋｇ／ｃｍ２  を越える場合には，半田箔が変形し，半田箔が所望の厚みを維持することができないおそれがある。
【００１３】
上記プレスは，透光性樹脂シートが半田箔に対して粘着する温度に加熱して行うことが好ましい。上記粘着温度未満の場合には，半田箔が透光性樹脂シートに強固に接着しないおそれがある。
【００１４】
次に，上記半田箔の表面に液体感光性樹脂を塗布して，レジスト薄膜を形成する。上記液体感光性樹脂としては，例えば，エポキシ，アクリル，ポリイミドの樹脂のグループから選ばれる１種又は２種以上を用いることができる。
上記液体感光性樹脂は，ロールコーター法，ディップ法，スピンコーター法，電着塗装法等を用いて塗布することができる。
【００１５】
上記液体感光性樹脂により形成されたレジスト薄膜は，その厚みが２〜２５μｍであることが好ましい。２μｍ未満の場合には，レジスト薄膜にピンホールが発生し，該レジスト薄膜の内側にある半田箔までがエッチングされるおそれがある。一方，２５μｍを越える場合には，後工程のエッチングの際に半田パターンから薄膜パターンが剥離し，半田パターンが損傷，溶解除去されるおそれがある。
【００１６】
次に，上記レジスト薄膜に，半田パターンの形成に必要なパターン形成用の露光，パターン以外のレジスト膜の除去のための現像を行う。これにより，上記レジスト薄膜から，上記半田パターンに対応する薄膜パターンを形成する。
【００１７】
次に，エッチングを行って，上記薄膜パターンの内側にある半田箔以外の不要な半田箔を除去して半田パターンを形成する。上記エッチングは，例えば，半田箔を溶解することができ且つ薄膜パターンを溶解しない溶液により行う。かかる溶液としては，例えば，塩化鉄，ホウフッ化水素酸等の溶液がある。
【００１８】
次に，上記薄膜パターンを除去して半田パターンを露出する。薄膜パターンの除去は，例えば，薄膜パターンを溶解することができ且つ半田パターンを溶解しない溶液により行う。かかる溶液としては，例えば半田溶解防止剤入りの苛性ソーダ，塩化メチレン等の溶液がある。
【００１９】
上記半田パターンは，例えば，従来例において述べたように，プリント配線板上に半田バンプとして転写された後，プリント配線板とマザーボードとを接合するために用いられるが，半田パターンの用途はこれに限定されることはない。
【００２０】
【作用及び効果】
本発明の半田キャリアの製造方法においては，透光性樹脂シートと半田箔とを圧着した圧着板を用いている。半田箔は，一定の厚みを有するため，上述の方法によりエッチングすることにより，一定の厚みを有する半田パターンが得られる。
また，透光性樹脂シートは，光を透過させる性質を有する。そのため，透光性樹脂シートを透視して半田キャリアの半田パターンとプリント配線板の導体回路とを，正確に且つ容易に位置合わせを行うことができ，精度良く導体回路上に半田バンプを形成することができる。
【００２１】
また，半田箔の表面に形成する薄膜パターンは，薄膜状の液体感光性樹脂からなる。そのため，薄膜パターンは，半田箔から剥離しにくいものとなる。それ故，薄膜パターンの幅が細い場合にも，エッチングの際に薄膜パターンが半田パターンから剥離することもない。故に，半田パターンを正確にエッチング形成することができる。従って，エッチング精度が良く，半田パターンの狭ピッチ化，即ち，高密度化に対応することができる。
【００２２】
また，液体感光性樹脂からなる薄膜パターンは，露光，現像により形成される。そのため，プリント配線板の回路形成と同様に，精度良くファインな薄膜パターンを形成することができ，半田パターンの高密度化を達成することができる。
【００２３】
本発明によれば，高密度で半田厚みが一定な半田パターンを精度良く形成することができる半田キャリアの製造方法を提供することができる。
【００２４】
【実施例】
実施例１
本発明の実施例にかかる半田キャリアの製造方法について，図１〜図８を用いて説明する。
本例により製造される半田キャリア３は，図８に示すごとく，透光性樹脂シート１の表面に半田パターン２を形成したものである。透光性樹脂シート１上の半田パターン２は，プリント配線板６の導体回路６５上に転写される（図１２参照）。
【００２５】
次に，上記半田キャリアの製造方法について説明する。
まず，図１に示すごとく，透光性の繊維含有樹脂シートよりなる透光性樹脂シート１を準備する。その厚みは，０．１ｍｍである。繊維含有樹脂シートは，ガラス繊維強化エポキシ樹脂よりなる。
また，図２に示すごとく，厚み０．０４ｍｍの半田箔２０を準備する。半田箔の組成は，Ｓｎ６３重量％，Ｐｂ３７重量％である。
【００２６】
次に，図３に示すごとく，透光性樹脂シート１と半田箔２０とを重ね合わせると共に，これらを上下方向からプレス機８によりプレスする。これにより，図４に示すごとく，透光性樹脂シート１と半田箔２０とよりなる圧着板３０が得られる。  上記プレスの圧力は，２０ｋｇ／ｃｍ２  である。プレスは，透光性樹脂シートが半田箔に対して粘着する温度の１６０℃に加熱して行った。
【００２７】
次いで，図５に示すごとく，上記半田箔２０の表面に液体感光性樹脂をロールコーター法により塗布して，厚み５〜１０μｍのレジスト薄膜５０を形成する。液体感光性樹脂は，エポキシアクリレートである。
次に，図６に示すごとく，レジスト薄膜５０に，形成しようとする薄膜パターンに対応する露光マスク（図示略）を用いて，１０００ｍＪの光を照射して露光する。次いで，１０％炭酸水素ナトリウム溶液をスプレーしてレジスト薄膜５０の現像を行い，半田パターンに対応する薄膜パターン５を形成する。
【００２８】
次いで，図７に示すごとく，半田箔２０のエッチングを行って薄膜パターン５の内側に半田パターン２を形成する。エッチングは，塩化鉄溶液に圧着板を浸漬することにより行う。
その後，図８に示すごとく１０％水酸化ナトリウム溶液をスプレーすることにより薄膜パターン５を除去して，半田パターン２を露出する。これにより，上記半田キャリア３が得られる。
【００２９】
次に，本例の作用効果について説明する。
本例の半田キャリアの製造方法においては，透光性樹脂シート１と半田箔２０とを圧着した圧着板３０を用いている。半田箔２０は，一定の厚みを有するため，上述の方法によりエッチングすることにより，一定の厚みを有する半田パターン２が得られる。
また，透光性樹脂シート１は，光を透過させる性質を有する。そのため，透光性樹脂シートを透視して半田キャリアの半田パターンとプリント配線板の導体回路とを，正確に且つ容易に位置合わせを行うことができ，精度良く導体回路６５上に半田バンプ６２０を形成することができる（図１３参照）。
【００３０】
また，半田箔２０の表面に形成する薄膜パターン５は，薄膜状の液体感光性樹脂からなる。そのため，薄膜パターン５は，半田箔２０から剥離しにくいものとなる。それ故，薄膜パターン５の幅が細い場合にも，図７に示すごとく，エッチングの際に薄膜パターン５が半田パターン２から剥離することもない。故に，半田パターンを正確にエッチング形成することができる。従って，エッチング精度が良く，半田パターン２の狭ピッチ化，即ち，高密度化に対応することができる。
【００３１】
また，液体感光性樹脂からなる薄膜パターン５は，露光，現像により形成される。そのため，プリント配線板の回路形成と同様に，精度良くファインな薄膜パターンを形成することができ，半田パターン２の高密度化を達成することができる。
【００３２】
実施例２
本例においては，エッチングの際の薄膜パターンの耐剥離性に関する測定を行った。
測定に当たっては，図９に示すごとく，薄膜パターンを種々の幅Ｗに形成し，実施例１と同様に，半田箔のエッチングを行った。薄膜パターンとしては，実施例１の液体感光性樹脂を用いた。薄膜パターンの厚みは，１０μｍである。
比較のために，厚み２５μｍのドライフィルムについても同様の測定を行った。
【００３３】
その結果，液体感光性樹脂の場合（本発明）には，薄膜パターンの幅Ｗが８０μｍ以下となったときに，エッチングの際に半田箔から薄膜パターンが剥離した。
一方，ドライフィルムの場合（比較例）には，薄膜パターンの幅Ｗが１８０μｍ以下となったときに剥離を生じてしまった。
このことから，液体感光性樹脂からなる薄膜パターンは，その厚みが薄いために，エッチングの際に半田箔から剥離しにくいものであることが分かる。
【００３４】
即ち，幅Ｗの狭い薄膜パターンの場合には，複合合金である半田はエッチング精度が悪く，どうしても半田パターンの外周部はオーバーハングしてしまう。そのため，厚みの大きい薄膜パターンは半田パターンから剥離してしまう。特に，厚みが大きく，剛性の高いドライフィルムを用いた薄膜パターンは，半田パターンの表面から剥離しやすくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の透光性樹脂シートの説明図。
【図２】実施例１の半田箔の説明図。
【図３】実施例１の，透光性樹脂シートと半田箔とをプレスする方法を示す説明図。
【図４】実施例１の，透光性樹脂シートと半田箔とよりなる圧着板の説明図。
【図５】実施例１の，レジスト薄膜を形成した圧着板の説明図。
【図６】実施例１の，薄膜パターンを形成した圧着板の説明図。
【図７】実施例１の，エッチング後の圧着板の説明図。
【図８】実施例１の，半田キャリアの説明図。
【図９】実施例２の，薄膜パターンの幅を示す説明図。
【図１０】従来例の，半田バンプを形成したプリント配線板の説明図。
【図１１】従来例の，半田キャリアの説明図。
【図１２】従来例の，半田バンプの形成方法を示す説明図。
【図１３】従来例の，半田がプリント配線板上に移行した状態を示す説明図。
【符号の説明】
１．．．透光性樹脂シート，
２．．．半田パターン，
２０．．．半田箔，
３．．．半田キャリア，
３０．．．圧着板，
５．．．薄膜パターン，
５０．．．レジスト薄膜，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0003577783.tif 000010
【図１０】
0003577783.tif 000011
【図１１】
0003577783.tif 000012
【図１２】
0003577783.tif 000013
【図１３】
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