【事件の表示】
　特願２００４−１７５０２６「液晶パネル及びその露光方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　１月２７日出願公開、特開２００５−　２５１８２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１６年６月１４日（パリ条約による優先権主張２００３年６月３０日、大韓民国）の出願であって、平成１８年１２月２６日に手続補正がなされたところ、平成１９年１月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年５月７日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに同年６月１日付けで手続補正がなされ、その後平成２０年９月２６日付けで当審において拒絶理由が通知され、平成２１年１月２９日付けで手続補正がなされたものである。
　
　そして、その請求項に係る発明は、平成２１年１月２９日付け手続補正書で補正された特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるものであると認められるところ、請求項１に係る発明は次のものである。
　
「多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループ、及び前記第１液晶パネルグループの周りに位置する第１周辺領域を露光する段階と、
　多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループ、及び前記第１液晶パネルグループと隣り合う前記第２液晶パネルグループの周りに位置する第２周辺領域を露光する段階とを含んでおり、
　各々の液晶パネルグループの液晶パネルは相互に接触していて、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は重なっていて、前記第２液晶パネルグループは前記第１液晶パネルグループより大きく、前記第１液晶パネルグループ及び第１周辺領域と前記第２液晶パネルグループ及び第２周辺領域は、前記第２液晶パネルグループ及び第２周辺領域の大きさに相当する同じマスクにより露光され、前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループが露光される時に遮断手段により遮断されることを特徴とする液晶パネルの露光方法。」（以下「本願発明」という。）
　
　
２．刊行物の記載事項
　本願の優先日前に頒布され、当審の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平１１−５２５８３号公報（以下「引用刊行物」という。）には、図面とともに下記の事項が記載されている。
　
ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板上にパターンを形成するプロキシミティ露光装置に係り、特にフォトマスクよりも大きなガラス基板に対して露光を行うことのできるプロキシミティ露光装置に関する。」
　
イ　「【０００２】
　・・・（略）・・・。液晶ディスプレイは、フォトリソグラフィ技術によりガラス基板の表面に微細なパターンを描画して作られる。露光装置はこの微細パターンをガラス基板上に描画するものである。この露光装置としては、マスクパターンをレンズ又はミラーを用いてガラス基板上に投影するプロジェクション方式と、フォトマスクとガラス基板との間に微小なギャップを設けてマスクパターンを転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式の露光装置は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能が劣るものの、照射光学系が非常にシンプルであり、スループットが高く、装置コストから見たコストパフォーマンスも優れており、生産性の高い量産用装置に適したものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】プロキシミティ方式の露光装置においては、フォトマスクとガラス基板との間隔が微小ギャップ（セパレーションギャップ）となるようにガラス基板の位置決め制御、いわゆるプロキシミティギャップ制御を行っているが、このプロキシミティギャップ制御の高速化が露光装置のスループットを向上する上での重要な課題である。ところが、液晶ディスプレイのサイズが大型化するに伴って、ガラス基板のサイズも３００×４００ｍｍのものから、１０型クラスのパネルを４面取れる３６０×４６０ｍｍ〜３７０×４７０ｍｍへと移行し、現在では１０．４〜１２．１型クラスのパネルを６面又は１５型クラスのパネルを２面取ることのできる５５０×６５０ｍｍ以上のサイズのガラス基板に対してプロキシミティ方式の露光装置を適用することが命題となっている。ガラス基板のサイズが大型化されると、プロキシミティギャップ制御の高速化が困難になるという問題を有する。・・・（略）・・・。本発明は、フォトマスクよりも大きなサイズのガラス基板に対してプロキシミティ露光を行うことのできるプロキシミティ露光装置を提供することを目的とする。」
　
ウ　「【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添付図面に従って説明する。図２は本発明に係るプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。図では、ローダユニット５、基板搬送ユニット６及びアライメントステージユニット７について示し、他の部分については省略している。・・・（略）・・・。
　・・・（略）・・・。
【０００８】アライメントステージユニット７は、露光チャック２、チルティングＺステージ１０及びガラス基板アライメントステージ１１などで構成される。露光チャック２は基板搬送用ユニット６によって搬送されたガラス基板１を吸着保持する。・・・（略）・・・。
【０００９】フォトマスク３は上面マスクホルダ４Ｕと下面マスクホルダ４ＤＦ及び４ＤＲによって、その周辺付近を吸着保持されるようになっている。・・・（略）・・・。
　・・・（略）・・・。
【００１１】図４は、露光シャッタの詳細構成を示す図である。露光シャッタ７１は露光ユニットからの紫外線を曙光するものであり、シャッタアーム７２に取り付けられている。シャッタアーム７２はスライドガイド７３及び７４に沿ってシャッタ方向すなわちＸ軸方向にスライド移動する。・・・（略）・・・。」
　
エ　「【００１２】次に、図１を用いて、本発明のプロキシミティ露光装置の露光動作について説明する。・・・（略）・・・。図１（Ａ）は、上面マスクホルダ４Ｕと下面マスクホルダ４ＤＦ及び４ＤＲとによってフォトマスク３が吸着保持され、基板搬送ユニット６によってガラス基板１が露光チャック２上に搬送された後の状態を示す。この状態を便宜上原点位置と呼ぶ。この原点位置の状態から、プロキシミティ露光装置の動作を制御する制御ユニットは、次のように処理を進める。まず、基板アライメントステージ１１のＺ軸を駆動して、ガラス基板１、露光チャック２及びステップテーブル４１を上昇させて、所定のステップ開始位置に位置決めする。ステップテーブル４１を駆動して、ガラス基板及び露光チャック２をアンローダユニット側（＋Ｘ方向）にステップ移動させる。ここで、アンローダユニットはローダユニット５の反対側に位置するものであり、図面中には図示されてない。３点接触型のチルト駆動モータを駆動して、プロキシミティ制御位置までガラス基板１を上昇する。そして、所定時間経過後にギャップ検出器を用いてプロキシミティギャップ制御を行い、アライメント検出器を用いて高精度アライメントを行う。それぞれの検出系すなわちギャップ検出器及びアライメント検出器などを退避させて、１回目の露光を行う。基板アライメントステージ１１のＺ軸を駆動して、ガラス基板１、露光チャック２及びステップテーブル４１を前記ステップ位置まで下降して、今度はステップテーブル４１をローダユニット５側（−Ｘ方向）にステップ移動させる。そして、同様にプロキシミティギャップ制御、高精度アライメント、検出系の退避を行い、露光シャッタ７１をローダユニット５側からガラス基板１とフォトマスク３の上部に進入させて、１回目の露光で既に露光された部分が感光しないように遮光して２回目の露光を行う。すなわち、この実施の形態では、１回目の露光でパターン４枚分の露光を行い、２回目の露光でパターン２枚分の露光を行っている。なお、１回目で２枚分、２回目で４枚分の露光をしてもよいことはいうまでもない。」
　
オ　図１（Ａ）〜（Ｃ）から、以下の（ア）及び（イ）が見て取れる。
（ア）ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル６枚分の露光を行うこと。
（イ）フォトマスク３は液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを有すること。
　
カ　上記イ〜オから、引用刊行物には、ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル６枚分の露光を行う「液晶ディスプレイパネルの露光方法」が記載されている、といえる。
　
キ　上記エ及び図１から、液晶ディスプレイパネル２枚分の露光と液晶ディスプレイパネル４枚分の露光とは、フォトマスク３とガラス基板１とを相対移動して行なわれる、といえる。
　
ク　図１に示されたプロキシミティ露光時における動作状態では、まず液晶ディスプレイパネル４枚分を１回目の露光で露光し（図１（Ｂ））、次に液晶ディスプレイパネル２枚分を２回目の露光で露光している（図１（Ｃ））が、上記エ（【００１２】）には、「なお、１回目で２枚分、２回目で４枚分の露光をしてもよいことはいうまでもない。」と記載されているから、引用刊行物には、まず、図１（Ｃ）に示されたように、露光シャッタ７１をガラス基板１とフォトマスク３の上部に進入させることにより液晶ディスプレイパネル４枚分の部分を遮光して前記ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル２枚分を露光し、次いで、図１（Ｂ）に示されたように、液晶ディスプレイパネル４枚分を２回目の露光で露光する動作状態についても記載がされている、といえる。
　
　よって、これらの記載を総合すると、引用刊行物には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「フォトマスク３とガラス基板１との間に微小なギャップを設けてマスクパターンを転写するプロキシミティ方式の露光方法を用いて、該ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル６枚分の露光を行う液晶ディスプレイパネルの露光方法であって、
　液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを有するフォトマスク３を用い、
　まず、露光シャッタ７１を前記ガラス基板１と前記フォトマスク３の上部に進入させることにより液晶ディスプレイパネル４枚分の部分を遮光して前記ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル２枚分のパターンを露光し、次いで、前記ガラス基板１と前記フォトマスク３とを相対移動して液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを露光する液晶ディスプレイパネルの露光方法。」
　
　
３．対比、判断
　本願発明と引用発明を対比する。
　
ア　引用発明の「液晶ディスプレイパネルの露光方法」は、本願発明の「液晶パネルの露光方法」に相当する。
　
イ　引用発明は、「ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル２枚分のパターンを露光し、・・・液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを露光」するものであり、前記「液晶ディスプレイパネル４枚分のパターン」の方が前記「液晶ディスプレイパネル２枚分のパターン」よりも大きいといえるから、
（ア）引用発明の「液晶ディスプレイパネル２枚分のパターン」及び「液晶ディスプレイパネル４枚分のパターン」は、それぞれ、本願発明の「多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループ」及び「多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループ」に相当するとともに、引用発明は、本願発明の「前記第２液晶パネルグループは前記第１液晶パネルグループより大きく」なる事項を備える。
（イ）また、引用発明は、本願発明の「多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループを露光する段階と、多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループを露光する段階とを含」む、といえる。
　
ウ　引用発明は、「液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを有するフォトマスク３を用い、まず、露光シャッタ７１を前記ガラス基板１と前記フォトマスク３の上部に進入させることにより液晶ディスプレイパネル４枚分の部分を遮光して前記ガラス基板１上に液晶ディスプレイパネル２枚分のパターンを露光し、次いで、前記ガラス基板１と前記フォトマスク３とを相対移動して液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを露光する」から、
（ア）引用発明の「液晶ディスプレイパネル４枚分のパターンを有するフォトマスク３」は、本願発明の「第２液晶パネルグループの大きさに相当するマスク」に相当するとともに、引用発明は、本願発明の「前記第１液晶パネルグループと前記第２液晶パネルグループは、前記第２液晶パネルグループの大きさに相当する同じマスクにより露光され」なる事項を備える。
（イ）また、引用発明の「露光シャッタ７１」は、本願発明の「遮断手段」に相当するとともに、引用発明は、「露光シャッタ７１を・・・進入させることにより液晶ディスプレイパネル４枚分の部分を遮光」するから、本願発明の「前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループが露光される時に遮断手段により遮断される」なる事項を備える。
 　 
　したがって、両者は、　  
「多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループを露光する段階と、
　多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループを露光する段階とを含んでおり、
　前記第２液晶パネルグループは前記第１液晶パネルグループより大きく、前記第１液晶パネルグループと前記第２液晶パネルグループは、前記第２液晶パネルグループの大きさに相当する同じマスクにより露光され、前記第２液晶パネルグループは、前記第１液晶パネルグループが露光される時に遮断手段により遮断される液晶パネルの露光方法。」
である点で一致し、次の各点で相違する。　  
 　  
相違点
［相違点１］
　本願発明は、多数の液晶パネルがある第１液晶パネルグループを露光する段階において前記第１液晶パネルグループの周りに位置する第１周辺領域を露光し、多数の液晶パネルがある第２液晶パネルグループを露光する段階において前記第１液晶パネルグループと隣り合う前記第２液晶パネルグループの周りに位置する第２周辺領域を露光し、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域は重なっていて、前記第１液晶パネルグループ及び第１周辺領域と前記第２液晶パネルグループ及び第２周辺領域は、前記第２液晶パネルグループ及び第２周辺領域の大きさに相当する同じマスクにより露光されるのに対し、引用発明は、露光に用いられるマスクが第２液晶パネルグループ及び第２周辺領域の大きさに相当するものであるかどうか不明であり、第１液晶パネルグループ及び第２液晶パネルグループの各露光段階において第１周辺領域及びこれと重なる第２周辺領域とを露光するのかどうか不明な点。
［相違点２］
　各々の液晶パネルグループの液晶パネルが、本願発明では、相互に接触しているのに対し、引用発明では、相互に接触していない点。
　
　上記相違点につき検討する。
［相違点１］について
　液晶表示素子基板の露光領域を複数に分割し、各露光領域の露光を繰り返して所望のパターンを合成する際に、各露光領域の周辺部をも露光し、該周辺部を重ね合わせ露光することは本願の優先日前に周知であり（必要なら、特開２００１−６０５４６号公報（【０００２】、【０００３】）、特開２００１−２１５７２２号公報（【０００４】、【０００５】）、特開２００１−１１０７０８号公報（【０００３】、【０００４】）参照。）、この周知技術を引用発明に適用し、露光に用いるマスクを第２液晶パネルグループ及び第２周辺領域の大きさに相当するものとなして上記［相違点１］に係る本願発明の構成となすことは、当業者が容易に行うことができることである。
［相違点２］について
　複数の液晶パネルを、相互に接触させて製造するものは本願の優先日前に周知であり（例えば、特開平１１−４４８７８号公報（【００３０】〜【００３２】、図３）、特開昭５５−１５１７３号公報（第３頁左上欄第１〜９行、第１図）、特開２０００−２３１０８７号公報（【００１２】〜【００１４】、図１、図２）参照。）、この周知技術を引用発明に適用して、上記［相違点２］に係る本願発明の構成となすことは、当業者が容易に行うことができることである。
　
　そして、本願発明によってもたされる効果は、上記引用刊行物に記載された発明及び各周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び各周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。