(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コヒーレントな光を感光部材の近傍において，拡がりのある光束に変換し，拡幅された上記光束の一部を感光部材に直接照射して参照光とし，上記感光部材に直接入射することのない上記拡幅された光束の残余を上記感光部材の直前または近傍において光路の方向を感光部材に向かうように変向させると共に拡散部材を介して散乱光に変換して物体光とし，上記参照光と物体光とにより上記感光部材に干渉縞を形成することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの製造方法。
【請求項２】
請求項１において，前記拡幅された光束の光路にプリズムを配置し，このプリズムの第１面に感光部材を密着配置し，上記プリズムの第２面から上記拡幅された光束を入射させ，上記プリズムの第３面に前記変向部材としての反射部材を密着配置して露光することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの製造方法。
【請求項３】
コヒーレントな光を感光部材の近傍において，拡がりのある光束に変換し，拡幅された上記光束の一部を拡散部材を介して散乱光に変換し感光部材に直接照射して物体光とし，上記拡幅された光束の残余を上記感光部材の直前または近傍において光路の方向を感光部材に向かうように変向または発散させて参照光とし，上記参照光と物体光とにより上記感光部材に干渉縞を形成することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの製造方法。
【請求項４】
請求項１または請求項３において，前記拡散部材又は変向もしくは発散させる部材と感光部材とを結ぶ物体光又は参照光の光路の一部又は全体を固形の透光性部材によって構成して露光することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項において，前記感光部材の局部にのみ物体光及び参照光を照射することの出来る相対的に小さい大きさの前記拡散部材及び変向もしくは発散させる部材を複数組配置し，１回の露光工程により複数の上記感光部材の局部に干渉縞を形成し，
その後，上記感光部材，または上記拡散部材と変向もしくは発散させる部材とからなるセットを順次移動し，同様の露光を行うことにより上記感光部材の他の局部に同様の干渉縞を形成することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの製造方法。
【請求項６】
コヒーレントな光を放射する光源と，ホログラムを形成する感光部材を取り付ける保持部材と，この保持部材の近傍に配置され上記光源から放射された光を拡がりのある光束に変換すると共に拡幅された上記光束の一部を参照光として直接感光部材に照射する拡幅照射手段と，上記感光部材に直接入射することのない上記拡幅された光束の残余を物体光としての散乱光に変換する拡散部材と，この拡幅部材の前段または後段において上記拡幅された残余の光束の方向を変更して上記感光部材に入射させる変向部材とを有していることを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項７】
請求項６において，前記拡散部材と前記変向部材とを一体化して変向拡散部材としたことを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７において，前記拡幅された光束の光路中にプリズムを配置し，このプリズムの第１面に感光部材を密着配置し，上記プリズムの第２面から上記拡幅された光束が入射するように前記拡幅照射手段を配置し，上記プリズムの第３面に前記変向部材としての反射光学素子を密着配置したことを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項９】
請求項８において，前記プリズムは，透過光を拡散させることのない第１プリズムと透過光を拡散させる第２プリズムとからなり，上記第１プリズムは前記第１面を形成し，上記第２プリズムは前記第３面を形成することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項１０】
請求項８において，前記プリズムの物体光の光路の一部に透過光を拡散させる拡散部を設けたことを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項１１】
コヒーレントな光を放射する光源と，ホログラムを形成する感光部材を取り付ける保持部材と，この保持部材の近傍に配置され上記光源から放射された光を拡がりのある光束に変換する拡幅部材と，拡幅された上記光束の一部を散乱光に変換し物体光として直接感光部材に照射する拡散部材と，上記拡幅された光束の残余を変向もしくは発散させ参照光として上記感光部材の物体光の照射部に入射させる変向部材もしくは発散部材とを有していることを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項１２】
請求項６，請求項７及び請求項１１のいずれか１項において，前記拡散部材又は変向もしくは発散部材と感光部材とを結ぶ物体光又は参照光の光路の一部または全体を固形の透光性部材によって構成することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【請求項１３】
請求項６から請求項１２のいずれか１項において，感光部材の局部にのみ前記物体光と参照光とを照射することの出来る相対的に小さい大きさの前記拡散部材及び変向もしくは発散させる部材とからなるセットを複数組配置すると共に，上記感光部材，または上記拡散部材及び変向もしくは発散部材からなるセットを移動することの出来る移動手段を設け，
上記移動手段を操作し複数回の露光を行うことにより上記感光部材の異なる局部に順次干渉縞を形成することを特徴とするフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，シャープな干渉縞を形成することの出来るフレネル型ホログラムの製造方法及び露光装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
オーバーヘッドプロジェクターやスライドプロジェクターは，同一の場所で同一の表示像を多数の人が見るために用いられている。これらのプロジェクター（投射器）には，いずれもスクリーンが必要であり，上記スクリーンは像を明るく表示すると共に特定の光を効率良く反射するようなものが求められている。このような要求を満たすものとして，ホログラムスクリーンが提案されている（特公平５−８５９１０号公報，特開平５−３３３４３５号公報，特開平５−５９５３号公報等）。
【０００３】
上記各公報に示されたホログラムスクリーンの製造方法は，いわゆる２光束露光法によるものである。しかしながら，２光束露光法では，図２３に示すように，レーザービーム３０を物体光３２と参照光３１を形成する２つの光路に分離した後に，光路中に発生する空気のゆらぎ等によって感光部材８１に形成される干渉縞に乱れが生じやすいという問題がある。そのため干渉縞のシャープさが減少し，ホログラムの効率が低下する。同図において，符号９１はレーザー光源，符号９１１はハーフミラー，符号９１２はミラー，符号９１３，９１４は発散レンズ，符号９２はホログラムに記録される拡散部材である。また，物体光３２における波形の表示は，散乱光であることを模式的に示したものである。
【０００４】
図２３に示すフレネル型ホログラムの２光束露光方法に対して，図２４に示すように，レーザービーム３０の光路を物体光と参照光とに分割しない，いわゆる１光束法によるフレネル型ホログラムの露光方法がある。この方法では，拡散部材９２を感光部材８１に密着して配置するため参照光３１と物体光３２との間に明確な区別がなくなり，ホログラムとしての透明性に欠けスクリーンに指向性が殆ど無くなってしまう。
【０００５】
また，図２４に示す拡散部材９２に換えて，拡散部材を記録したマスターホログラムを用いる方法もある（特開平５−２３２８５４号公報参照）。この場合には，更にマスターホログラムに含まれるノイズがホログラムスクリーンに記録されるという不具合がある。
また，特定の物体をホログラムに記録するするのではなく，図２５に示すように，２つのミラー９３１，９３２の反射光による物体光３２１及び参照光３１から，単純な干渉縞を感光部材８１に形成し，その干渉縞の出来ばえから感光部材８１の感度を評価する方法が知られている。
【０００６】
そして，図２５のミラー９３１，９３２の一方を拡散部材に換えてフレネル型のホログラムスクリーンを形成する方法も考えられる。しかしながら，この場合には物体光３２１（参照光３１）の感光部材８１に対する立体角が小さいため，感光部材８１とミラー９３１，９３２との間の距離を長くする必要があり，その間の長い空気層で空気のゆらぎが生じ，同様に干渉縞の乱れが生じ易いという問題がある。
なお，かかる光路内の媒体（空気）のゆらぎによる干渉縞の乱れは，ホログラムスクリーンの場合だけに生ずる問題ではなく，フレネル型ホログラムを製造する場合の一般的な問題である。
【０００７】
【解決しようとする課題】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであり，露光中の光路内の媒体（空気）のゆらぎによる干渉縞の乱れを抑制し，シャープな干渉縞を形成して効率の良いフレネル型ホログラムを製造する方法及びホログラムの露光装置を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
請求項１記載のホログラムの製造方法によれば，感光部材の近傍において，拡がりのある光束に変換し，拡幅された上記光束の一部を感光部材に直接照射して参照光とするから，物体光と参照光の光路が分離した後の感光部材に至る参照光の光路は短くなりその間での媒体（空気）のゆらぎ等の外乱は生じ難くなる。
【０００９】
また，物体光は，感光部材の近傍で拡幅された上記光束の残余を散乱光とすると共に感光部材の直前または近傍において変向する。即ち，変向部材によって感光部材に向かう物体光の角度を自由に変更することが可能であり，ホログラムスクリーンの視域の調整が容易となる。また，物体光と参照光の光路が分離した後の物体光の光路長も短くすることが出来る。
上記のように，物体光と参照光の光路が分離した後の参照光及び物体光の光路が短く，従ってその間での媒体（空気）のゆらぎ等の外乱は生じ難くなり，干渉縞の乱れが生じにくくなる。
そのため，請求項１の製造方法によれば，露光中の干渉縞が安定し，透明度の高いフレネル型ホログラムを製造することができる。
【００１０】
また，請求項３記載のホログラムの製造方法によれば，感光部材の近傍において，拡がりのある光束に変換し，拡幅された上記光束の一部を散乱光に変換し感光部材に直接照射して物体光とするから，物体光と参照光の光路が分離した後の感光部材に至る物体光の光路は短くなりその間での媒体（空気）のゆらぎ等の外乱は生じ難くなる。
【００１１】
また，参照光は，感光部材の近傍で拡幅された上記光束の残余を感光部材の直前または近傍において変向または発散させて感光部材に入射する。従って，物体光と参照光の光路が分離した後の参照光の光路長も短くすることが出来る。
上記のように，物体光と参照光の光路が分離した後の光路はいずれも短く，従ってその間での媒体（空気）のゆらぎ等の外乱は生じ難くなり，干渉縞の乱れが生じにくくなる。
そのため，請求項３の製造方法によれば，露光中の干渉縞が安定し，透明度の高いフレネル型ホログラムを製造することができる。
【００１２】
なお，請求項４記載のように，上記請求項１または請求項３記載の製造方法において，拡散部材又は変向もしくは発散部材と感光部材とを結ぶ物体光又は参照光の光路の一部または全体を固形の透光性部材によって構成すると好適である。
請求項１ないし請求項３の製造方法によって，物体光及び参照光の光路を短くしたとしても，その光路の媒体が空気等の流体であるとゆらぎを皆無とすることが出来ない。しかしながら，参照光または物体光の光路を固形の透光性部材とすることにより，そこでの光路媒体によるゆらぎを皆無にすることができ，一段と光路媒体によるゆらぎを抑制することが可能となるからである。
【００１３】
そして，請求項１の発明において，光路を固形の透光性部材によって形成する上記方法の１つとして，請求項２記載のように，プリズムを用いる方法がある。即ち，拡幅された光束の光路にプリズムを配置し，このプリズムの第１面に感光部材を密着配置し，上記プリズムの第２面から上記拡幅された光束を入射させその一部を参照光とし，上記プリズムの第３面に反射部材を密着配置し，第３面で反射した光を物体光とする。
【００１４】
また，請求項５記載の製造方法によれば，大形の感光部材の全面に渡って，ホログラムスクリーンを形成することが可能となる。即ち，感光部材の局部にのみ物体光又は参照光を照射することの出来る相対的に小さい大きさの拡散部材及び変向もしくは発散させる部材を複数組配置し，１回の露光工程により複数の上記大形の感光部材の局部に干渉縞を形成する。そして，その後上記感光部材，または上記拡散部材及び変向もしくは発散させる部材を移動し，同様の露光を行うことにより感光部材の全面にホログラムを形成することが出来る。
【００１５】
なお，請求項１から請求項５記載のホログラムの製造方法は，ホログラムスクリーンの製作にのみ有効なものではなく，拡散部材以外の光学素子（例えばレンズ，ミラー，プリズム等）をホログラムに記録する場合にも，効果的である。
【００１６】
上記請求項１記載の製造方法は，請求項６記載のホログラム露光装置を用いて実現することが出来る。即ち，ホログラムを形成する感光部材を保持部材に取り付け，光源からコヒーレントな光を放射し，拡幅照射手段を介して保持部材の近傍で上記光源から放射された光を拡がりのある光束に変換すると共に拡幅された上記光束の一部を参照光として直接感光部材に照射する。そして，拡幅された光束の残余を拡散部材によって散乱光に変換し，変向部材により光路の方向を変更して物体光として感光部材に入射させる。
なお，上記拡散部材と前記変向部材とは，請求項７記載のように一体化して変向拡散部材とすることができる（実施形態例１，図１の符号２１参照）。
【００１７】
また，前記請求項３記載の製造方法は，請求項１１記載の露光装置によって実現することが出来る。即ち，ホログラムを形成する感光部材を保持部材に取り付け，光源からコヒーレントな光を放射し，拡幅手段を介して保持部材の近傍で上記光源から放射された光を拡がりのある光束に変換する。そして，拡幅された上記光束の一部を拡散部材を介して散乱光に変換して物体光として直接感光部材に照射し，拡幅された光束の残余を変向もしくは発散させる部材により光路の方向を変更もしくは発散し参照光として感光部材に入射させる。
【００１８】
そして，上記請求項６，請求項７または請求項１１記載の露光装置において，請求項１２記載のように，前記拡散部材と感光部材とを結ぶ物体光の光路の一部または全体を固形の透光性部材によって構成すると好適である。即ち，前記請求項４の発明の説明において述べたように，光路を固形の透光性部材とすることにより，そこでの光路媒体（空気）の揺らぎを皆無にすることが出来るからである。
【００１９】
そして，請求項６記載の発明において，光路を固形の透光性部材によって形成する具体的方法の１つとして，請求項７記載のように，プリズムを用いる方法がある。即ち，拡幅された光束の光路にプリズムを配置し，このプリズムの第１面に感光部材を密着配置し，上記プリズムの第２面から上記拡幅された光束を入射させその一部を参照光とし，上記プリズムの第３面に反射部材を密着配置し，第２面から入射し第３面で反射した光を物体光とする。その結果，プリズム内での物体光及び参照光の光路の媒体の揺らぎを皆無にすることができ，より安定したシャープな干渉縞を形成することが出来る。
【００２０】
なお，上記請求項７記載のプリズムは，請求項８記載のように，透過光を拡散させることのない第１プリズムと透過光を拡散させる第２プリズムとによって構成することができる。このように構成することにより，上記第２プリズムが拡散部材を兼ね，かつ上記第１，第２プリズムが物体光及び参照光の光路を固形の透光性部材によって形成し，光路での媒体（空気）の揺らぎを抑制することが出来る。
また，請求項９記載のように，上記請求項７記載のプリズムの物体光の光路の一部に透過光を拡散させる拡散部を設けて，別個に拡散部材を配置することなく散乱光を形成することも出来る。
【００２１】
一方，前記請求項５記載の製造方法は，請求項１３記載のホログラム露光装置を用いて実現することが出来る。即ち，感光部材の局部にのみ物体光を照射することの出来る相対的に小さい大きさ拡散部材及び変向もしくは発散部材からなるセットを複数組配置すると共に，感光部材，または上記拡散部材及び変向もしくは発散部材のセットを移動することの出来る移動手段を設ける。そして，上記移動手段を操作し複数回の露光を感光部材に行うことにより異なる局部に順次干渉縞を形成し，感光部材の全面にホログラムを形成することが出来る。そして，大形のホログラムスクリーンを製作することができる。
【００２２】
なお，請求項６から請求項１３記載のホログラム露光装置は，ホログラムスクリーンの製作においてのみ有効なものではなく，拡散部材以外の光学素子（例えばレンズ，ミラー，プリズム等）をフレネル型ホログラムとして記録する露光装置にも，効果的である。
また，上記各発明において，光源から感光部材に至る参照光及び物体光の光路長は，物体光及び参照光のいずれの場合にも，可干渉距離以下にする必要があることは，いうまでもない。
【００２３】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本例は，図１に示すように，コヒーレントな光３０を放射する光源１１と，ホログラムを形成する感光部材８１を取り付ける保持部材１２と，保持部材１２の近傍に配置され光源１１から放射された光３０を拡がりのある光束３０１，３０２に変換すると共に拡幅された光束３０２の一部を参照光３１として直接感光部材８１に照射する拡幅照射手段（発散レンズ１５及びコリメートレンズ１６）と，感光部材８１に直接入射することのない拡幅された光束３０２の残余を物体光３２としての散乱光に変換する拡散部材（変向拡散部材２１）と，光路の方向を変更して物体光３２を感光部材８１に入射させる変向部材（変向拡散部材２１）とを有するフレネル型ホログラムスクリーンの露光装置１である。
【００２４】
なお，上記拡散部材と変向部材とは変向拡散部材２１として一体化されている。また，同図において，符号１３はコヒーレント光３０を反射させるミラーであり，ミラー１３で反射された光３０は，発散レンズ１５で発散光束３０１とされた後，コリメートレンズ１６によって平行光束３０２に変換される。
また，光源１１から感光部材８１に至る光路長は，物体光３２及び参照光３１のいずれの場合にも，可干渉距離以下である。
【００２５】
光源１１から放射される光３０は，例えば，波長５１４．５ｎｍのレーザー光であり，感光部材８１は，例えば，フォトポリマである。
また，変向拡散部材２１は，透過光を拡散させるスリガラス，オパールガラス等の裏面に反射部材としてのアルミ膜を設けたものである。
【００２６】
上記露光装置１を用いたホログラムの製造方法によれば，感光部材８１の近傍において，拡がりのある平行光束３０２に変換し，拡幅された光束３０２の一部を感光部材８１に直接照射して参照光３１とする。従って，物体光３２と参照光３１の光路が分離した後の感光部材８１に至る参照光３１の光路は短くなりその間での媒体（空気）のゆらぎ等の外乱は生じ難い。
【００２７】
一方，物体光３２は，感光部材８１の近傍で拡幅された光束３０２の残余を，変向拡散部材２１を介して散乱光とすると共に感光部材８１の直前において変向する。そして，変向拡散部材２１によって感光部材８１に向かう物体光３２の角度を自由に変更することができると共に感光部材８１に向かう反射光を容易に拡幅もしくは発散させることが可能となる。従って，図２５の光学系と異なり物体光３２と参照光３１の光路が分離した後における物体光３２の光路長も短くすることが出来る。
【００２８】
上記のように，本装置１によれば物体光３２と参照光３１の光路が光束３０２において分離した後の光路を短くすることができ，従って，その間での媒体（空気）のゆらぎ等の外乱は生じ難くなり，感光部材８１に形成される干渉縞の乱れが生じにくくなる。
そのため，本例の露光装置１を用いたホログラムスクリーンの製造方法によれば，露光中の干渉縞が安定し，透明度の高いフレネル型ホログラムスクリーンを製造することができる。
【００２９】
実施形態例２
本例は，図２に示すように，実施形態例１において，拡幅された発散光束３０１を平行光束に変換せず参照光３１と物体光３２にすると共に拡散部材２２と変向部材としての平面鏡２３とを別体としたもう一つの実施形態例である。そのため，図１のコリメートレンズ１６を必要としない。
また，拡散部材２２と感光部材８１との間の光路長を実施形態例１よりも長くすることができる。また，平面鏡２３を用いて物体光３２の入射角度を調整し，ホログラムスクリーンの視域を調整することができる。
その他については，実施形態例１と同様ではある。
【００３０】
実施形態例３
本例は，図３に示すように，実施形態例１において，拡幅された発散光束３０１を平行光束に変換せず参照光３１と物体光３２を形成すると共に変向拡散部材２１１に凹面鏡の反射特性を持たせたものである。
そのため，変向拡散部材２１１で反射する発散光の中の中央部の回りの反射光のみが感光部材８１に入射するようにすることができる。発散光の中央部に存在する光には色分散が少なく，その色分散の少ない発散光が感光部材８１に入射するから，完成したホログラムスクリーンの色分散が少なく，再現性の良いホログラムスクリーンを得ることができる。
【００３１】
実施形態例４
本例は，図４に示すように，実施形態例２において，拡幅された発散光束３０１をコリメートレンズ１６を介して平行光束３０２に変換し，参照光３１と物体光３２としたものである。その他については，実施形態例２と同様である。
【００３２】
実施形態例５
本例は，図５に示すように，実施形態例２において，拡幅された光束３０１の光路中にプリズム２５を配置し，このプリズム２５の第１面２５１に感光部材８１を密着配置し，プリズム２５の第２面２５２から拡幅された光束３０１が入射するように発散レンズ１５を配置し，プリズム２５の第３面２５３に平面鏡２３を密着配置したもう一つの実施形態例である。
【００３３】
参照光３１及び物体光３２の光路の一部を固形の透光性部材であるプリズム２５とすることにより，プリズム２５内では媒体の揺らぎを皆無にすることができ，一段と安定した干渉縞を形成することが可能となる。
その他については，実施形態例２と同様である。
【００３４】
実施形態例６
本例は，図６に示すように，実施形態例１において，拡幅された光束３０２の光路中にプリズム２５を配置し，このプリズム２５の第１面２５１に感光部材８１を密着配置し，プリズム２５の第２面２５２から拡幅された光束３０１が入射するように発散レンズ１５を配置し，プリズム２５の第３面２５３に拡散部材２１を密着配置したもう一つの実施形態例である。
【００３５】
参照光３１及び物体光３２の光路の一部を固形の透光性部材であるプリズム２５とすることにより，プリズム２５内では媒体の揺らぎを皆無にすることができ，一段と安定した干渉縞を形成することが可能となる。
その他については，実施形態例１と同様である。
【００３６】
実施形態例７
本例は，図７に示すように，実施形態例５において，プリズムを透過光を拡散させることのない第１プリズム２６１と透過光を拡散させる第２プリズム２６２とによって構成し，第２プリズム２６２が拡散部材を兼ねるようにしたもう一つの実施形態例である。その他については，実施形態例５と同様である。
【００３７】
実施形態例８
本例は，図８に示すように，実施形態例７において，プリズムを透明な２つのプリズム２７１，２７２によって構成すると共に両プリズム２７１，２７２の境界部に透過光を拡散させる拡散部２７３を配置したもう一つの実施形態例である。本例は，拡散部２７３の厚さを薄くできるために，実施形態例７よりも視域を限定したホログラムスクリーンを得ることが出来る。
その他については，実施形態例７と同様である。
【００３８】
実施形態例９
本例は，図９に示すように，実施形態例２において，拡散部材２２に換えて透過型の光学素子（レンズ２８）を物体光３２の光路に配置し，ホログラムにレンズ２８を記録する実施形態例である。
その他については，実施形態例２と同様である。
【００３９】
実施形態例１０
本例は，図１０，図１１に示すように，感光部材８１の局部８１１（図１１）にのみ物体光３２を照射することの出来る相対的に小さな大きさの拡散部材２２及び反射部材（平面鏡）２３を複数組配置すると共に感光部材８１を同図の矢印Ａで示すように平行移動することの出来る図示しない移動手段を設け，上記移動手段を操作し複数回の露光を行うことにより感光部材の異なる局部８１１に順次干渉縞を形成するホログラムの露光装置１である。同図において符号２２１は，非拡散性の透光部材である。
【００４０】
即ち，図１１に示すように，感光部材８１の表面に一定の間隔で，拡散部材２２と反射部材２３とを複数組配置する。そして，感光部材８１の局部８１１に直接入射した参照光３１と，拡散部材２２を透過したのち反射部材２３で反射して局部８１１に入射した物体光３２とにより，局部８１１に干渉縞を形成する。
【００４１】
局部８１１に所望の干渉縞が形成されたら，感光部材８１を移動し，別の局部８１１に同様の干渉縞を形成し，感光部材８１の全面にホログラムスクリーンを形成する。上記のように，複数回を露光を行うことにより，大形のホログラムスクリーンを形成することができる。
その他については，実施形態例１と同様である。
【００４２】
実施形態例１１
本例は，図１２に示すように，実施形態例１０において，複数の前記拡散部材２２及び反射部材２３の間を透光部材２２２を介して連結して一体化したもう一つの実施形態例である。これによって，感光部材８１と密着させるときに空間があかず，ノイズが映りこまないという効果を得ることができる。その他については，実施形態例１０と同様である。
【００４３】
実施形態例１２
本例は，図１３に示すように，実施形態例１０において，反射部材２３を設けないで隣接する拡散部材２２の間に発散部材として参照光３１を発散させるレンズ２４を設けた露光装置１の実施形態例である。
そして，図１４に示すように，拡幅された平行光束３０２の一部は，拡散部材２２を経て散乱光に変換され物体光３２として感光部材８１の局部８１２に入射する。一方，平行光束３０２の一部は発散レンズ２４によって発散した光束３０３となり，その一部は参照光３１として同様に局部８１２に入射し，局部８１２に干渉縞が形成される。
【００４４】
上記参照光３１と物体光３２により局部８１２に所望の干渉縞が形成されたら，感光部材８１を矢印Ａのように移動し，別の局部８１２に同様の干渉縞を形成し，感光部材８１の全面にホログラムスクリーンを形成する。そして，複数回の露光を行うことにより，大形のホログラムスクリーンを形成することができる。
その他については，実施形態例１０と同様である。
【００４５】
実施形態例１３
本例は，図１５に示すように，実施形態例１２において，拡散部材２２に換えて透過散乱レンズ２５を配置し，透明な発散レンズ２４と透過散乱レンズ２５とを交互に配置し蠅の目レンズ状に構成したもう一つの実施形態例である。これにより，１回の露光により干渉縞を形成する局部８１２の面積を実施形態例１２の場合よりも広くすることができる。
その他については，実施形態例１２と同様である。
【００４６】
実施形態例１４
本例は，図１６に示すように，実施形態例１１において，拡散部材２２に換えて実施形態例１（図１）に示したと同様の変向拡散部材２１を透光部材２２２を介して複数配置したものである。その他については，実施形態例１１と同様である。
【００４７】
実施形態例１５
本例は，図１７に示すように，実施形態例１０において，プリズム２５の２つの面に拡散部材２２と反射部材２３とを配置した実施形態例５に示したのと同様のセットを複数配置したもう一つの実施形態例である。これにより，実施形態例５において述べたように，プリズム２５での揺らぎの抑制作用を得ることができる。
その他については，実施形態例１０と同様である。
【００４８】
実施形態例１６
本例は，図１８に示すように，実施形態例１５において，拡幅された光束を平行光３０２から発散光３０１に変更した他の実施形態例である。
その他については，実施形態例１５と同様である。
【００４９】
実施形態例１７
実施形態例１６では感光部材８１に均一なホログラムを形成したが，本例は，図１９に示すように，実施形態例１６において，プリズム２５４〜２５７の角度をそれぞれ異なる値とし，感光部材８１の面内に同時に形成するホログラムを不均一なものとすることの出来る実施形態例である。
その他については，実施形態例１６と同様である。
【００５０】
実施形態例１８
本例は，図２０に示すように，実施形態例１５において，光源の内部に拡幅部材を設けて，拡幅された平行光３０２を放射する光源１１０を用いた実施形態例である。そのため，発散レンズ１５及びコリメートレンズ１６は不要となる。
【００５１】
実施形態例１９
本例の露光装置１０は，図２１に示すように，拡散反射する球形の内壁面４１０を有するハウジング４１の一部に感光部材８１を取り付け，上記ハウジング４１に設けた入射窓４１１から図１に示したのと同様の光学系を経てレーザー光３０を入射させる。そして，ハウジング４１に入射したレーザー光３０は，拡幅部材としての凸面反射鏡又は凸面反射ハーフミラー４２を介して発散され，黒塗りの矢印で示す１次反射光３０５の一部は参照光３１１として感光部材８１に直接入射する。
【００５２】
そして，他の１次反射光３０５は，ハウジング４１の内壁面４１０で拡散反射され単一または複数回反射して矢印で示すＮ次反射光３０６（Ｎ＝２，３，・・・）となり，物体光３２１として感光部材８１に入射する。
その結果，感光部材８１には，上記参照光３１１と物体光３２１とによる干渉縞が形成され，ホログラムは拡散体を記録したホログラムスクリーンとなる。
【００５３】
内壁面４１０には，反射拡散性の物質または白色塗料が塗布されており，入射レーザー光３０を散乱させる。即ち，内壁面４１０には酸化アルミニウムや酸化バリウムを主成分とする白色塗料，またはガラスビーズ粉末等の散乱性の高い物質が塗布されている。そして，ハウジング４１の内部は，大気もしくは樹脂等の透光性の高い物質で満たされている。
【００５４】
その他については実施形態例１と同様であり，同様の効果を得ることができる。
なお，入射窓４１１からハウジング４１内に入射させる光は，レーザービームに限定する必要はなく，平行光や発散光であってもよい。
【００５５】
実施形態例２０
本例は，図２２に示すように，実施形態例１９のハウジング４１と凸面反射ハーフミラー４２からなる拡幅部材とを複数設けて，１回の露光により感光部材８１の複数の局部に干渉縞を形成する露光装置１０である。そして，図示しない移動手段が設けられており，感光部材８１を移動して感光部材８１の異なる位置に順次干渉縞を形成する。
その他については，実施形態例１９と同様である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図２】実施形態例２のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図３】実施形態例３のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図４】実施形態例４のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図５】実施形態例５のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図６】実施形態例６のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図７】実施形態例７のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図８】実施形態例８のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図９】実施形態例９のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１０】実施形態例１０のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１１】図１０の拡散部材及び反射部材近傍の拡大図。
【図１２】実施形態例１１のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１３】実施形態例１２のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１４】図１３の拡散部材及び反射部材近傍の拡大図。
【図１５】実施形態例１３のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１６】実施形態例１４のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１７】実施形態例１５のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１８】実施形態例１６のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図１９】実施形態例１７のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図２０】実施形態例１８のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図２１】実施形態例１９のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図２２】実施形態例２０のホログラム露光装置のシステム構成図。
【図２３】従来のホログラムスクリーンの露光光学系のシステム構成図（２光束法）。
【図２４】他の従来のホログラムスクリーンの露光光学系のシステム構成図（１光束法）。
【図２５】感光部材の感度試験用のホログラムを形成する露光光学系のシステム構成図。
【符号の説明】
３０１，３０２・・・拡幅された光束，
３１・・・参照光，
３２・・・物体光，
８１・・・感光部材，
【図１】
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【図２】
0003581212.tif 000003
【図３】
0003581212.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003581212.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003581212.tif 000008
【図８】
0003581212.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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