(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプラズマ発光チャネルを有し、
該プラズマ発光チャネルは、第１基板と、該第１基板に対向する第２基板と、該第１基板と第２基板との間に形成されたリブ隔壁と、該第１基板と、該第２基板と、該リブ隔壁によって包囲された空間にイオン化可能なガスを有し、
該第１基板および該第２基板のそれぞれ対向する面は、第１電極および第２電極を有し、
該第１電極はプラズマ発光チャネルの全面に形成された透明電極であって、該プラズマ発光チャネルから発生した光は、光によってアドレスするべく、該第１基板および該第１電極を透過して出射される、光アドレス装置と、
第３基板と、第４基板と、該第３基板と該第４基板との間に挟持された液晶層と、
該第３基板の該液晶層側に設けられた電極層と、
該第４基板の該液晶層側に設けられたマトリクス状に配置された複数の画素電極と、
該複数の画素電極と光導電層を介して電気的に接続された互いに平行なストライプ状の複数の信号電極と、を備え、
該光アドレス装置は、該第４基板の外側に設けられ、該光導電層の少なくとも一部に光を照射し、かつ該光をスイッチングすることによって該光導電層の電気伝導度を変化させ、該画素電極と該信号電極との電気的接続をスイッチングし、そのことによって、該液晶層を光アドレスする液晶表示装置。
【請求項２】
前記第１電極は、前記複数のプラズマ発光チャネルに共通の単一の電極である請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記第１電極は、前記複数のプラズマ発光チャネルごとに形成されたストライプ状の電極である請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項４】
前記第１電極に接続された金属電極を更に有する請求項１から３のいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項５】
前記金属電極の少なくとも一部は、前記第１基板に垂直な方向から見たときに前記リブ隔壁と重なる位置に形成されている請求項４に記載の液晶表示装置。
【請求項６】
複数のプラズマ発光チャネルを有し、
該プラズマ発光チャネルは、第１基板と、該第１基板に対向する第２基板と、該第１基板と第２基板との間に形成されたリブ隔壁と、該第１基板と、該第２基板と、該リブ隔壁によって包囲された空間にイオン化可能なガスを有し、
該第１基板および該第２基板のそれぞれ対向する面は、第１電極および第２電極を有し、
該第１電極および該第２電極は互いに平行なストライプ状の電極であって、該第１電極の少なくとも一部は、該第１基板に垂直な方向から見たときに該リブ隔壁と重なる位置に形成されている、光アドレス装置と、
第３基板と、第４基板と、該第３基板と該第４基板との間に挟持された液晶層と、
該第３基板の該液晶層側に設けられた電極層と、
該第４基板の該液晶層側に設けられたマトリクス状に配置された複数の画素電極と、
該複数の画素電極と光導電層を介して電気的に接続された互いに平行なストライプ状の複数の信号電極と、を備え、
該光アドレス装置は、該第４基板の外側に設けられ、該光導電層の少なくとも一部に光を照射し、かつ該光をスイッチングすることによって該光導電層の電気伝導度を変化させ、該画素電極と該信号電極との電気的接続をスイッチングし、そのことによって、該液晶層を光アドレスする液晶表示装置。
【請求項７】
前記光アドレス装置は、前記第１電極に接続された金属電極を更に有し、
前記第３基板または前記第４基板は、ブラックマトリクスをさらに有し、
該金属電極の少なくとも一部は、前記第１基板に垂直な方向から見たときに、該ブラックマトリクスと重なる位置および／または表示領域外に形成されている、請求項１または６に記載の液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学材料を用いた表示装置に用いられる光アドレス装置を用いた液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置は、その駆動方式によって、電気アドレス方式、熱アドレス方式、および光アドレス方式に分類される。これらのうち、直視型表示装置として現在もっとも多く用いられているのは、電気アドレス方式のパッシブマトリクス（ＰＭ）方式ならびにアクティブマトリクス（ＡＭ）方式である。
【０００３】
近年、表示装置の大型化や高精細化に対するニーズが高まっている。しかしながら、従来の方式の液晶表示装置では、これらのニーズに十分に対応できておらず、市販品で対角２０インチ、試作段階でも対角３０インチ程度が限界となっているのが現状である。とくに、ＰＭ方式では、画素数の増加に伴い、クロストークのためにコントラストが低下するという問題がある。また、ＡＭ方式では、スイッチング素子（特に薄膜トランジスタ：ＴＦＴ）を無欠陥で多数作り込むことが困難であるという問題がある。
【０００４】
これに対し、ＴＦＴのような半導体スイッチング素子を用いないＡＭ方式液晶表示装置として、１９９０年にアメリカのＴｅｋｔｒｏｎｉｘ社のＴ．Ｂｕｚａｋらによってプラズマアドレス方式液晶表示装置（ＰＡＬＣ）が開発された（例えば、特開平１−２１７３９６号公報）。ＰＡＬＣの断面構造を模式的に図１に示す。
【０００５】
ＰＡＬＣ１００は、液晶セルとプラズマセルとを積層した構成をしている。基板１と、誘電体セパレータ４との間に液晶層３が挟持されており、信号電極（列電極）２と、誘電体セパレータ４との間の電位差によって、液晶層３が駆動される。プラズマセルは、基板９と誘電体セパレータ４との間隙が複数のリブ隔壁６で分割された複数のプラズマ放電チャネル５を有している。プラズマ放電チャネル５には、イオン化可能なガスが封入されており、カソード７とアノード８との間に放電パルス電圧を印加することによって、プラズマが発生する。複数のプラズマ放電チャネル５は、信号電極（列電極）２と直交する方向に延びており、カソード７とアノード８とが走査電極（行電極）１０として機能し、線順次走査される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述したＰＡＬＣ方式を用いた液晶表示装置は、ＴＦＴを用いた液晶表示装置に比べ、比較的簡単に大型化を行うことが出来る。しかしながら、ＰＡＬＣに用いられている誘電体セパレータ４はガラスからなる薄板であり、これは高価である上に表示装置が大きくなればなるほど取り扱いが難しく、表示装置作製中に破損する確率が高くなる。
【０００７】
さらに、ＰＡＬＣの駆動時においてこの薄板ガラスのプラズマ側表面は擬似的な電極として働くが、そのガラスの厚さは約５０〜１００ミクロンであり、一般的なネマティック液晶層の厚さである３〜６ミクロンに比べて１０倍以上の厚みを持っている。このためＰＡＬＣを駆動する際には液晶層を有効に駆動する電圧の１０倍以上の電圧を印加する必要が有る。このことは駆動回路の負担を増やすと共に消費電力の増加、それに伴う発熱などの問題を引き起こす。
【０００８】
さらに、上記の薄板ガラスは強度的に脆弱であるので、薄板ガラス上に電極を形成することは非常に困難である。従って、プラズマ放電用の電極は、図１に示したように、基板平面に対して平行に形成される。これは、表示装置の開口率を低下させる原因であり、表示品位を低下させるので好ましくない。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、大型化や高精細化に適した低コスト、高歩留まりな液晶表示装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決する為の手段】
本発明の液晶表示装置は、複数のプラズマ発光チャネルを有し、該プラズマ発光チャネルは、第１基板と、該第１基板に対向する第２基板と、該第１基板と第２基板との間に形成されたリブ隔壁と、該第１基板と、該第２基板と、該リブ隔壁によって包囲された空間にイオン化可能なガスを有し、該第１基板および該第２基板のそれぞれ対向する面は、第１電極および第２電極を有し、該第１電極はプラズマ発光チャネルの全面に形成された透明電極であって、該プラズマ発光チャネルから発生した光は、光によってアドレスするべく、該第１基板および該第１電極を透過して出射される、光アドレス装置と、
第３基板と、第４基板と、該第３基板と該第４基板との間に挟持された液晶層と、
該第３基板の該液晶層側に設けられた電極層と、
該第４基板の該液晶層側に設けられたマトリクス状に配置された複数の画素電極と、
該複数の画素電極と光導電層を介して電気的に接続された互いに平行なストライプ状の複数の信号電極と、を備え、
該光アドレス装置は、該第４基板の外側に設けられ、該光導電層の少なくとも一部に光を照射し、かつ該光をスイッチングすることによって該光導電層の電気伝導度を変化させ、該画素電極と該信号電極との電気的接続をスイッチングし、そのことによって、該液晶層を光アドレスするものであり、そのことによって上記目的が達成される。
【００１１】
前記第１電極は、前記複数のプラズマ発光チャネルに共通の単一の電極であってもよい。
【００１２】
前記第１電極は、前記複数のプラズマ発光チャネルごとに形成されたストライプ状の電極であってもよい。
【００１３】
前記第１電極に接続された金属電極を更に有してもよい。
【００１４】
前記金属電極の少なくとも一部は、前記第１基板に垂直な方向から見たときに前記リブ隔壁と重なる位置に形成されていることが好ましい。
【００１５】
本発明の光アドレス装置は、複数のプラズマ発光チャネルを有し、該プラズマ発光チャネルは、第１基板と、該第１基板に対向する第２基板と、該第１基板と第２基板との間に形成されたリブ隔壁と、該第１基板と、該第２基板と、該リブ隔壁によって包囲された空間にイオン化可能なガスを有し、該第１基板および該第２基板のそれぞれ対向する面は、第１電極および第２電極を有し、該第１電極および該第２電極は互いに平行なストライプ状の電極であって、該第１電極の少なくとも一部は、該第１基板に垂直な方向から見たときに該リブ隔壁と重なる位置に形成されている、光アドレス装置と、
第３基板と、第４基板と、該第３基板と該第４基板との間に挟持された液晶層と、
該第３基板の該液晶層側に設けられた電極層と、
該第４基板の該液晶層側に設けられたマトリクス状に配置された複数の画素電極と、
該複数の画素電極と光導電層を介して電気的に接続された互いに平行なストライプ状の複数の信号電極と、を備え、
該光アドレス装置は、該第４基板の外側に設けられ、該光導電層の少なくとも一部に光を照射し、かつ該光をスイッチングすることによって該光導電層の電気伝導度を変化させ、該画素電極と該信号電極との電気的接続をスイッチングし、そのことによって、該液晶層を光アドレスするものであり、そのことによって上記目的が達成される。
【００１７】
前記光アドレス装置は、前記第１電極に接続された金属電極を更に有し、前記第３基板または前記第４基板は、ブラックマトリクスをさらに有し、該金属電極の少なくとも一部は、前記第１基板に垂直な方向から見たときに、該ブラックマトリクスと重なる位置および／または表示領域外に形成する構成としてもよい。
【００１８】
以下、作用について説明する。
【００１９】
本発明による光アドレス装置のプラズマ発光チャネルの放電用電極の一方は、透明電極からなり、プラズマ発光チャネルの全面に形成されている。従って、放電用電極による開口率の低下が抑制される。また、本発明の他の光アドレス装置は、ストライプ状の一対の放電用電極を用いるが、ストライプ状電極の少なくとも一部がリブ隔壁やブラックマスクと重なる位置または表示領域外に形成されるので、放電電極による開口率の低下が少ない。
【００２０】
本発明の液晶表示装置のは、光導電層を介して画素電極（またはストライプ状電極）に電気的に接続された信号電極と、光導電層に光照射する複数の光源とを有している。光導電層に選択的に光照射することによって、信号電極に接続される画素電極（例えば、行を線順次的に）を選択することができる。従って、対向電極（例えば、列電極）と画素電極との間に印加された電圧を、光源のスイッチングによって線順次走査することができる。即ち、液晶層を光アドレスすることができる。液晶層に電圧を印加するための電極、光導電層および光源の配置は種々に選択することができる。
【００２１】
本発明による液晶表示装置は、従来のＰＡＬＣのプラズマセルと類似した構成の光アドレス装置を用いるが、光を用いてアドレスするので、ＰＡＬＣのように非常に薄いガラスシートを用いる必要がない。即ち、光の強度と光導電層の感度とが十分であれば、プラズマ発光部と光導電層との間に設けられる基板の厚さに制限はなく、製造工程でのハンドリング等を考慮して適宜設計することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２３】
（実施形態１）
本実施形態による液晶表示装置２００を模式的に図２に示す。液晶表示装置２００は、光アドレス装置２００ａと、対向電極１２を有する基板１１と、これらの間に挟持された液晶層１３とを有している。対向電極１２は、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）などの透明導電材料を用いて、表示領域のほぼ全面に形成されている。必要に応じて、カラーフィルタを形成してもよい。
【００２４】
光アドレス装置２００ａは、基板１９と基板２４との間隙が複数のリブ隔壁２０で分割された複数のストライプ状のプラズマ発光チャネル２１を有している。プラズマ発光チャネル２１には、イオン化可能なガスが封入されており、第１電極２２と第２電極２３との間に交流電圧を印加することによって、プラズマが発生する。第１電極２２は、複数のプラズマ発光チャネル２１に共通の単一の電極として形成しても良いし、各プラズマ発光チャネル２１毎に、ストライプ状の電極として形成してもよい。開口率を高めるために、第１電極２２は、少なくともプラズマ発光チャネル２１の全面に形成することが好ましい。
【００２５】
基板１９の液晶層１３側の面（プラズマ発光チャネル２１とは反対側）の表面には、液晶層１３側から、信号電極１４、光導電層１５、画素電極１６が形成されている。画素電極１６は、マトリクス状に配置された複数のドット状の電極である。信号電極１４は、互いに平行な複数のストライプ状の電極であり、プラズマ発光チャネル２１の延びる方向と直交する方向に延びている。信号電極１４と画素電極１６とは、光導電層１５を介して接続されている。光導電層１５は、複数の信号電極１４と複数の画素電極１６に対して共通の単一の光導電膜として形成しても良いし、それぞれの信号電極１４毎に、ストライプ状の光導電膜を形成しても良い。勿論、画素電極１６毎に、ドット状の光導電膜を形成することもできる。
【００２６】
また、画素電極１６の端部（リブ隔壁２０に対応する位置）の下には、絶縁層１７で覆われた金属配線１８が形成されている。金属配線１８／絶縁層１７／画素電極１６は蓄積容量（補助容量）として機能する。この例では、金属配線１８を信号電極１４と直交する方向（プラズマ発光チャネル２１と平行な方向）に延びるストライプ状の電極として形成したが、これに限られない。
【００２７】
光アドレス装置２００ａの発光効率を高めるために、プラズマ発光チャネル２１に封入するガスの種類やガス圧およびプラズマ発光チャネルの構造（空間の大きさ）等を最適化すればよい。例えば、紫外線を発光させる場合には、例えば、ヘリウム、キセノンやこれらの混合ガスを用いることができる。さらに、これらの混合ガスに水銀を混合することによって近紫外線を発光させることができる。また、可視光を発光させる場合には、ネオンとキセノンの混合ガスなどを用いるか、または、プラズマ発光チャネル２１の内壁に適切な蛍光体を塗布し、紫外線を可視光に変換する構成としてもよい。アドレス用の光として紫外線を用いると透過型液晶表示装置を形成することができるという利点がある。
【００２８】
本発明による液晶表示装置においては、光アドレス用の光源からの光の強度と光導電層の感度とが十分であれば、液晶セルと光アドレス装置２００ａとの間に設けられる基板１９の材料や厚さに制限はなく、製造工程の歩留まりを考慮して適宜設定することができる。紫外線を用いる場合には、例えば、石英基板や溶融シリカ基板などを用いることができる。また、大画面の表示装置を構成する場合には、基板１９を複数の基板で構成してもよい。
【００２９】
光導電層１５の材料は、アドレス用の光に対して電気伝導度が十分に変化する材料を、アドレス用の光の波長や強度および装置の構成を考慮して、公知の材料から選択すればよい。紫外線に対しては、例えば、酸化チタンを用いることができる。また、可視光に対しては、アモルファスシリコンを用いることができる。
【００３０】
プラズマ発光を用いた表示装置として、いわゆるプラズマ表示装置（ＰＤＰ）が知られている。ＰＤＰは、プラズマ発光された紫外線を蛍光体で可視光に変換し、その可視光を表示に用いる、自発光型の表示装置である。それに対し、本発明による液晶表示装置においては、プラズマ発光によって得られた光を、画素をアドレスするために用いる。表示に用いる光は、従来の液晶表示装置と同様に、透過型の場合にはバックライトからの光であり、反射型の場合には周囲光である。従って、プラズマ発光の強度は光導電層の電気伝導度を十分に変化させることが可能であればよく、比較的弱い光を用いることができる。例えば、プラズマ発光による紫外線を用いる場合においては、その輝線を用いる必要がなく、光導電層の感度や基板の透過率特性を考慮して、最適化すればよい。
【００３１】
本実施例による光アドレス装置２００ａおよび液晶表示装置２００の動作原理を図３を参照しながら説明する。なお、蓄積容量は簡単のために省略する。
【００３２】
選択されたプラズマ発光チャネル２１内の電極２２および電極２３との間に交流電圧を印加することによって、プラズマ発光チャネル２１内のガスがイオン化され、プラズマが発生する。プラズマはそのガスの種類やガス圧によって種々の波長の光を発生する（図３（ａ））。
【００３３】
この光は基板１９および画素電極１６を通過し、光導電層１５に照射される。光照射された光導電層１５は、その電気伝導度が増加し、導電体となり、画素電極１６と信号電極１４とが電気的に接続される。光導電層１５が導電状態の時に、対向電極１２と信号電極１４との間に駆動電圧を印加すると、画素電極１６と対向電極１２との間の液晶層１３に電圧が印加され、画素に対応する領域の液晶層１３ａが駆動される（図３（ｂ））。
【００３４】
次に、電極２２と２３との間の電圧を切り、プラズマ発光を停止すると、光導電層１５の電気伝導度は低下し絶縁体となり、画素電極１６と信号電極１４とは電気的に絶縁される。画素電極１６、光導電層１５と対向電極１２とこれらの間の液晶層１３はキャパシタとして機能するので、先に印加された駆動電圧に対応する電荷が画素電極１６上に保持され、液晶層１３ａの駆動状態は保持される（いわゆるサンプルホールドである）（図３（ｃ））。蓄積容量を形成することによって、さらに、電荷保持特性を改善することができる。
【００３５】
プラズマ発光が停止した状態（消光状態）では、対向電極１２と信号電極１４との間に駆動電圧を印加しても、画素電極１６と信号電極１４とは、電気的に切り離されているので、画素電極１６上の液晶層１３は駆動されない。次のフレーム（またはフィールド）で、プラズマ発光チャネル２５ａが選択される期間（プラズマ発光する期間）に、画素電極１６に新たな駆動電圧が印加される。消光状態において、対向電極１２と信号電極１４との間に電圧を印加した場合に駆動される液晶層は、信号電極１４上の液晶層に限られるので、この部分をブラックマトリクス等で覆っておけば表示品質の低下の問題はない。
【００３６】
本実施例による光アドレス装置２００ａおよび液晶表示装置２００は、例えば、以下の方法で形成することができる。図４Ａ〜４Ｃを参照しながらその製造方法を説明する。
【００３７】
図４Ａ（ａ）および（ｂ）に示すように、約１．１ｍｍ厚のガラス基板１１上に厚さ約５０ｎｍのＩＴＯ（対向電極）をスパッタ法により形成し、対向電極１２を形成する。必要に応じて、配向膜やカラーフィルタを形成してもよい。
【００３８】
図４Ｂ（ａ）〜（ｄ）に示すように、例えば、約１．１ｍｍ厚のガラス基板２４に対し、例えば、ニッケルを約１μｍ厚にスパッタ法で堆積し、エッチングによりストライプ状の電極２３を形成する（図４Ｂ（ａ）および（ｂ））。この上に、ガラスペーストを厚み約２０μｍになるように塗布・焼成し、絶縁層２６を形成し、絶縁層２６の上に、約２００ｎｍの酸化マグネシウム層２７を形成する（図４Ｂ（ｃ））。得られた基板の表面に、スクリーン印刷法により約３００μｍのリブ隔壁２０を、例えばガラスペーストを用いて形成する（図４Ｂ（ｄ））。
【００３９】
図４Ｃ（ａ）〜（ｆ）に示すように、まず、約０．７ｍｍ厚の基板１９上に、約１５ｎｍ厚の透明導電膜２２をスパッタ法により全面に形成する。次に、ガラスペーストを厚み２０μｍになるように塗布・焼成し、絶縁層２８を形成し、その後、約２００ｎｍ厚の酸化マグネシウム層２９を形成する（図４Ｃ（ａ））。紫外線をアドレス光として用いる場合には、基板１９の材料として、紫外線を透過する材料（例えば、石英や溶融シリカ）を用いることが好ましく、加えて、信号電極１４部分（以下に述べる）に対応した位置に、透明電極２２／絶縁層２８／酸化マグネシウム２９を形成しない領域を設けることが好ましい（図４Ｄ）。
【００４０】
さらに、基板１９の反対側の面に約０．１μｍ厚のアルミを蒸着し、ストライプ状にエッチングし、アルミ配線１８を形成する（図４Ｃ（ｂ））。得られたアルミ配線１８を陽極酸化することにより、その表面に酸化膜１７を形成する（図４Ｃ（ｃ））。その上に、約１５ｎｍ厚の透明導電膜をスパッタ法により形成し、ドット状にエッチングして画素電極１６を形成する（図４Ｃ（ｄ））。ここで、このアルミ配線１８／酸化膜１７／画素電極１６の構造が蓄積容量として働く。
【００４１】
さらに、この上にスパッタ法により約０．１μｍの酸化チタン膜を光導電層１５として形成する（図４Ｃ（ｅ））。この上に、例えば、アルミを用いて、ストライプ状の信号電極１４を形成する。信号電極１４とアルミ配線１８とのストライプ方向は互いに直交している。必要に応じて、配向膜を形成してもよい。
【００４２】
次に、信号電極１４と電極２３のストライプ方向が互いに直交し、電極２２と電極２３が対向するように、基板１９と基板２４とを貼りあわせ、リブ隔壁２０で形成される溝の内部を減圧した後に、例えば、ヘリウムとキセノンの混合ガスを封入し、プラズマ発光チャネル２１を形成する。
【００４３】
最後に、対向電極１２と信号電極１４とが対向するように、基板１１と基板１９とを、例えば５μｍのスペーサーを介して貼りあわせ、この空隙にネマティック液晶材料を注入し、液晶層１３を形成し、液晶表示装置２００が得られる。液晶層１３は、従来のアクティブマトリクス型液晶表示装置に用いられている液晶材料を用いて形成することができる。例えば、ネマティック液晶、コレステリック液晶などの液晶材料を用いることができる。
【００４４】
液晶表示装置２００の電極２２と電極２３との間に、約１５０Ｖの交流電圧を印加することにより、ヘリウムとキセノンの混合ガスをプラズマ化し、紫外光を発生させることができる。紫外線を発光した状態で、対向電極１２と信号電極１４との間に、駆動電圧を印加することにより、画素電極１６上の液晶層１３を駆動することができる。
【００４５】
なお、電荷保持時間は、画素電極１６の下のアルミ配線１８の幅や酸化膜１７の厚み、種類（酸化膜１７上にさらに窒化シリコンをスパッタする等）などを変えることにより、変更が可能なことは言うまでもない。
【００４６】
プラズマ発光チャネルの構造および材料は上記の例に限られず、発光波長に応じて、ガス種、ガス圧、放電電圧（直流または交流や電圧値）を考慮して適宜設定すればよい。絶縁層や酸化マグネシウム層を省略することもできる。
【００４７】
（実施形態２）
実施形態１の光アドレス装置および液晶表示装置を大型化すると、ＩＴＯなどの透明導電材料は電気伝導率が比較的低いので、電極２２をＩＴＯで形成すると、信号電圧の遅延、電圧波形の歪や振幅の低下等の問題を生じる場合がある。本実施形態では、上記の問題を回避するために、透明電極に電気的に接続された金属電極を形成する。
【００４８】
本実施形態の装置においては、実施形態１の液晶表示装置２００の基板１９と電極２２との間に、例えば、アルミを用いて金属電極を形成する。用いられる金属材料は、アルミに限られずＩＴＯよりも電気抵抗の低い材料であればよい。
【００４９】
金属電極の好ましい配置を図５を参照しながら説明する。液晶表示装置２００の表示領域を図５（ａ）の参照符号５０で表される領域であるとする。基板１９に透明電極２２を形成する前、または後に、図５（ｂ）に示す金属電極５１および金属電極５２を形成する。金属電極５１は表示領域５０外に形成され、金属電極５２は表示領域５０内のリブ隔壁２０（図２参照）に対応する位置に形成されることが好ましい。また、対向基板（図２の基板１１）にブラックマトリクスを形成する場合には、基板面から見て、金属電極５２がブラックマトリクスと重なるように形成することが好ましい。
【００５０】
（実施形態３）
本実施形態では、放電用電極として、金属材料からなるストライプ状の電極を形成する。その他の構成は、実施形態１と同様なので、詳細な説明は省略する。
【００５１】
図６を参照しながら、本実施形態を説明する。基板６１（実施形態１の基板１１に対応）にカラーフィルタ層６３（例えば、Ｒ：６３ａ、Ｇ：６３ｂを含む）とブラックマトリクス６４とが形成されている。基板６９（実施形態１の基板１９に対応）には、例えば、ニッケル配線からなる電極７２（実施形態１の電極２２に対応）が形成されている。この電極７２は、平行部７２ａと凸部７２ｂを有し、平行部７２ａはリブ隔壁８０と、凸部７２ｂはブラックマトリクス６４と、基板６１に垂直な方向から見たときにそれぞれ重なる位置に形成されている。また、基板７４（実施形態１の基板２４に対応）上には、例えば、ニッケル配線からなる電極７３（実施形態１の電極２３に対応）が形成されている。この電極７３は、平行部７３ａと凸部７３ｂを有し、平行部７３ａはリブ隔壁８０と、凸部７３ｂはブラックマトリクス６４と、基板６１に垂直な方向から見たときにそれぞれ重なる位置に形成されている。本実施形態では、ガラスペーストと酸化マグネシウム層を省いてある。このように、プラズマ放電用の電極７２および電極７３をブラックマトリクス６４やリブ隔壁８０と少なくとも一部を重ねることによって、プラズマ放電用の電極による開口率の低下を抑制することができる。なお、これらの電極の凸部をすべてのブラックマトリクス下に配置する必要はなく、装置の構成に応じて改変してもよい。例えば、赤、緑、青の３原色のカラーフィルタをワンセットとして、その両側にのみ配置してもよい。本実施形態の光アドレス装置は、電極７２と電極７３との間に、例えば、２００Ｖの直流（パルス）電圧を印加することによって、プラズマ発光を起こすことができる。
【００５２】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、新しい光アドレス装置およびそれを用いた新しい方式の液晶表示装置が提供される。本発明による液晶表示装置は、ＴＦＴなどのアクティブ素子を必要としないので、高い歩留まりで比較的安価に製造できる。さらに、光によってアドレスするので、従来のＰＡＬＣで必要とされるきわめて薄い（約５０μｍ程度）誘電体セパレータを必要とせず、従来のＰＡＬＣよりも比較的安価に高歩留まりで作製できる上に、従来のＰＡＬＣに比べて低電圧で駆動できる液晶表示装置を提供することができる。
【００５３】
本発明による光アドレス装置のプラズマ発光チャネルの放電用電極の一方は、透明電極からなり、プラズマ発光チャネルの全面に形成されている。従って、放電用電極による開口率の低下が抑制される。また、本発明の他の光アドレス装置は、ストライプ状の一対の放電用電極を用いるが、ストライプ状電極の少なくとも一部がリブ隔壁やブラックマトリクスと重なる位置または表示領域外に形成されるので、放電電極による開口率の低下が少ない。
【００５４】
本発明における透過型の表示装置においてバックライトを置く場合に、バックライトと表示装置との間に紫外線吸収層（例えば高分子からなるフィルムなど）を適時追加しても構わない。また、本発明による液晶表示装置では、液晶層の構造には制限がなく（例えばホスト−ゲスト型液晶、コレステリック液晶、高分子分散型液晶など）公知の液晶層を広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のＰＡＬＣの断面構造を模式的に示す図である。
【図２】本発明による液晶表示装置の一例を示す模式的な断面図である。
【図３】本発明における液晶表示装置の動作原理を示す模式的な断面図である。
【図４Ａ】本発明による液晶表示装置の製造方法の例を示す概略図である。
【図４Ｂ】本発明による液晶表示装置の製造方法の例を示す概略図である。
【図４Ｃ】本発明による液晶表示装置の製造方法の例を示す概略図である。
【図４Ｄ】本発明による液晶表示装置に用いられる中間の基板の構成例を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明による光アドレス装置の金属配線の配置例を示す模式図である。
【図６】本発明による液晶表示装置の金属配線の配置例を示す模式図である。
【符号の説明】
１  ガラス基板
２  信号（列）電極
３  液晶層
４  誘電セパレータ
５  プラズマ放電部
６  リブ隔壁
７  カソード
８  アノード
９  ガラス基板
１０  走査（行）電極
１１  第１基板
１２  対向電極
１３  液晶層
１４  信号電極（列電極）
１５  光導電層
１６  画素電極（ドット状）
１７  絶縁層
１８  金属配線
１９  基板
２０  リブ隔壁
２１  プラズマ発光チャネル
２２  第１電極（放電用電極）
２３  第２電極（放電用電極）
２４  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５】
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【図６】
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