【手続補正書】
【提出日】平成26年12月24日(2014.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に処理液を供給する処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、
上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記フィルタ装置の一次側であって、上記処理液貯留容器の二次側の上記供給管路に設けられる切換弁と、
上記ポンプ、供給制御弁及び切換弁を制御する制御手段と、を具備し、
上記供給制御弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
被処理基板に処理液を供給する処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、
上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記フィルタ装置の一次側であって、上記供給管路に介設された上記処理液中の気体を脱気する脱気機構と、を具備することを特徴とする液処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液処理装置において、
上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、
上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、をさらに具備し、
上記制御手段は、上記開閉弁を制御し、
上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、その後、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする液処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液処理装置において、
上記ポンプの吸入側に設けられた吸入側開閉弁をさらに具備し、上記制御手段により、上記供給制御弁、上記開閉弁、上記切換弁及び上記吸入側開閉弁を閉じた状態で、上記ポンプ部分を負圧にすることを特徴とする液処理装置。
【請求項５】
請求項２に記載の液処理装置において、
上記ポンプの吐出側と上記脱気機構の一次側とを接続する循環管路と、
上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、をさらに具備し、
上記制御手段は、上記開閉弁を制御し、
上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、その後、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする液処理装置。
【請求項６】
処理液を貯留する処理液貯留容器と被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記フィルタ装置の一次側であって、上記処理液貯留容器の二次側の上記供給管路に設けられる切換弁と、
上記ポンプ、供給制御弁及び切換弁を制御する制御手段と、を具備する液処理装置に用いられる液処理方法であって、
上記供給制御弁、及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、顕在化した気泡を上記供給管路の外部に排出する脱気工程を備えることを特徴とする液処理方法。
【請求項７】
処理液を貯留する処理液貯留容器と被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記フィルタ装置の一次側であって、上記供給管路に介設された上記処理液中の気体を脱気する脱気機構と、を具備する液処理装置に用いられる液処理方法であって、
上記ポンプの駆動により、上記脱気機構で上記処理液中の気体を脱気し、この脱気した上記処理液を上記フィルタ装置に供給することを特徴とする液処理方法。
【請求項８】
請求項６に記載の液処理方法において、
上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、
上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、をさらに具備し、
上記制御手段は、上記開閉弁を制御し、
上記供給制御弁を開くと共に上記開閉弁を閉じ、上記ポンプを駆動させることで上記被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給工程と、
上記処理液供給工程を行わない時に上記供給制御弁を閉じると共に上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動させることで上記循環管路と上記供給管路との間で上記処理液を循環させる循環工程と、を含み、
上記脱気工程は、上記循環工程に含まれることを特徴とする液処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するために、この発明の液処理装置は、  被処理基板に処理液を供給する処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、  上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、  上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、  上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、  上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、  上記フィルタ装置の一次側であって、上記処理液貯留容器の二次側の上記供給管路に設けられる切換弁と、  上記ポンプ、供給制御弁及び切換弁を制御する制御手段と、を具備し、  上記供給制御弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することを特徴とする（請求項１）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このように構成することにより、処理液供給ノズルから被処理基板に処理液の供給が停止されている状態（アイドル状態）で、フィルタ装置に滞留する処理液と供給管路の処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、この発明の液処理装置は、  被処理基板に処理液を供給する処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、  上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、  上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、  上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、  上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、  上記フィルタ装置の一次側であって、上記供給管路に介設された上記処理液中の気体を脱気する脱気機構と、を具備することを特徴とする（請求項２）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このように構成することにより、供給管路の処理液中の気体を脱気することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項１に記載の液処理装置において、上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、をさらに具備し、上記制御手段は、上記開閉弁を制御し、上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、その後、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させてもよい（請求項３）。
また、請求項３に記載の液処理装置において、上記ポンプの吸入側に設けられた吸入側開閉弁をさらに具備し、上記制御手段により、上記供給制御弁、上記開閉弁、上記切換弁及び上記吸入側開閉弁を閉じた状態で、上記ポンプ部分を負圧にするのがよい（請求項４）。
また、請求項２に記載の液処理装置において、上記ポンプの吐出側と上記脱気機構の一次側とを接続する循環管路と、上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、をさらに具備し、上記制御手段は、上記開閉弁を制御し、上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、その後、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させてもよい（請求項５）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、請求項６に記載の発明の液処理方法は、  処理液を貯留する処理液貯留容器と被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、  上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、  上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、  上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、  上記フィルタ装置の一次側であって、上記処理液貯留容器の二次側の上記供給管路に設けられる切換弁と、  上記ポンプ、供給制御弁及び切換弁を制御する制御手段と、を具備する液処理装置に用いられる液処理方法であって、  上記供給制御弁、及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、顕在化した気泡を上記供給管路の外部に排出する脱気工程を備えることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
このような方法を用いることにより、被処理基板への処理液の供給を行わないアイドル状態で、フィルタ装置に滞留する処理液を供給管路の処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、請求項７に記載の発明の液処理方法は、処理液を貯留する処理液貯留容器と被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、  上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、  上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、 上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、  上記フィルタ装置の一次側であって、上記供給管路に介設された上記処理液中の気体を脱気する脱気機構と、を具備する液処理装置に用いられる液処理方法であって、  上記ポンプの駆動により、上記脱気機構で上記処理液中の気体を脱気し、この脱気した上記処理液を上記フィルタ装置に供給することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このような方法を用いることにより、処理液中の気体の脱気を行うことができ、フィルタに付着している気泡を容易に除去できる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、請求項８に記載の発明の液処理方法は、請求項６に記載の液処理方法において、上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、をさらに具備し、上記制御手段は、上記開閉弁を制御し、上記供給制御弁を開くと共に上記開閉弁を閉じ、上記ポンプを駆動させることで上記被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給工程と、上記処理液供給工程を行わない時に上記供給制御弁を閉じると共に上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動させることで上記循環管路と上記供給管路との間で上記処理液を循環させる循環工程と、を含み、  上記脱気工程は、上記循環工程に含まれることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（１）請求項１，３，４，６，８に記載の発明によれば、不使用状態で、フィルタ装置に滞留する処理液と供給管路の処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、顕在化した気泡を供給管路の外部に排出することができるので、使用時にダミー吐出を行うことなく、処理液中のパーティクルの増加を抑制することができる。そのため、処理液を無駄に消費することなく処理液中のパーティクルの増加を効率的に防止することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
（２）請求項２，７に記載の発明によれば、供給管路の処理液中の気体を脱気することができる。そのため、上記（１）に加えて、更に被処理基板に供給される処理液への気体の混入を抑制することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
一方、半透膜チューブ８２は容器８１内に配置され、かつ両ポート８３，８４に接続されている。そして、全体が例えば四弗化エチレン系あるいはポリオレフィン系の中空糸膜によって形成されている。そのため、ポンプＰの駆動時に半透膜チューブ８２内にレジスト液Ｌを流入させ、容器８１内の半透膜チューブ８２周辺の空気を図示しない排気ポンプを駆動させて排気することで半透膜チューブ８２周辺の空気が減圧され、レジスト液Ｌ中の気体を顕在化させることができる。顕在化された気体は、上記排気ポンプの駆動により排出管８６を介して外部に排出される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
このように構成することにより、脱気機構８０によってレジスト液Ｌ中に溶存する気体を外部に排出することができるため、供給管路５１又は循環管路５５で循環するレジスト液Ｌ中の気体を脱気することができる（脱気工程）。また、脱気されたレジスト液Ｌをフィルタ装置５２ａに供給することができる。そのため、ウエハＷに供給されるレジスト液Ｌへの気体の混入を抑制することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
次に、図２０，２１に基づいて、ダイヤフラムポンプ内のレジスト液Ｌ中の気体を顕在化させ、顕在化した気体を外部に吐出する工程について説明する。なお、切換弁Ｖ４ａ，Ｖ５ａ、吸入側の開閉弁Ｖ３３、第１及び第２の開閉弁Ｖ３４，Ｖ３５、給排切換弁Ｖ３６、循環制御弁５６は図１９に示されるこのコントローラ２００に接続され、このコントローラ２００からの制御信号に基づいて開閉動作を行う。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
気泡顕在化工程及び気泡移動工程を複数回行うことで、トラップタンク５３に貯留されているレジスト液Ｌの貯留量が図示しないレベルセンサによって検知されるセンサーラインＩ２以下になると、図２１に示すように循環制御弁５６が閉じた状態で切換弁Ｖ５ａ６が開き、トラップタンク５３内の気泡がドレイン管５１ｄを介して外部に排出される（脱気工程）。このとき、第３の開閉弁Ｖ６が開き、バッファタンク６１に貯留されているレジスト液Ｌの一部が第２の処理液供給管路５１ｂを介してトラップタンク５３に流入する。第３の開閉弁Ｖ６はトラップタンク５３に流入されるレジスト液Ｌの液面がセンサーラインＩ１に達した時に閉じられ、トラップタンク５３へのレジスト液Ｌの流入が終了する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１９】
2014082513.tif 000001