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　平成　８年特許願第１４８１４５号「縦型ウエハボートの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年１１月２８日出願公開、特開平　９−３０６９８０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯及び本願発明
　本件出願は、平成８年５月１７日の出願であって、同１９年３月１９日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１９年４月２６日に本件審判の請求がされ、当審において同２０年７月３日付けで拒絶理由が通知され、その指定期間内の同２０年９月８日に意見書の提出とともに手続補正がされたものである。
　本件出願の請求項１乃至３に係る発明は、平成２０年９月８日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】
　上下に配設された一対の端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に所定間隔で形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝と、この支持溝と支持溝の間に形成された櫛歯状の支持片とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる縦型ウエハボートの製造方法において、
　前記支柱に、エッジにＲを付したダイヤモンドブレードを用いて、研削加工を行うことにより、
　前記支持溝の底部と前記支持片の基部とが交わる角部に半径0.2〜0.7mmのＲが付けられ、
　前記支持片の厚さをａmm、前記支持溝の深さをｂmm、前記支持溝の隙間をｃmmとしたとき、（ｂ／ａ）×ｃ＞10mmとされ、
　前記支持溝の深さをｂmm、前記支柱の太さから前記支持溝の深さを引いた長さをｄmmとしたとき、ｂ＞ｄとされるように、前記支持溝を形成することを特徴とする縦型ウエハボートの製造方法。」
　
２　引用刊行物
　これに対して、当審で平成２０年７月３日付けで通知した拒絶理由には、本件出願前に頒布された刊行物である下記の刊行物１乃至３が引用されており、このうち、刊行物１及び２には、以下の技術的事項が記載されている。
［引用刊行物］ 
　刊行物１：　特開平２−１２３７３６号公報 
　刊行物２：　特開平６−２２４１４６号公報 
　刊行物３：　特開平８−１０２４４７号公報 
　
（１）刊行物１ 
ア　特許請求の範囲
「多数のウェハ保持溝を刻設してなる複数の支柱と該支柱を支持する支持部とを備えた縦型熱処理炉用ウェハボートにおいて、前記ウェハ保持溝はその底部コーナが所定の曲率を有することを特徴とする縦型熱処理炉用ウェハボート。」
　
イ　第１頁左下欄第１１〜１４行
「〔産業上の利用分野〕
　この発明は、酸化炉、ＣＶＤ、拡散炉等の半導体ウェハの熱処理炉に用いられるウェハボートに関する。」
　
ウ　第３頁左上欄第５行〜右上欄第４行
「〔実施例〕
　以下、本発明を縦型熱処理炉用ウェハボートに適用した一実施例について図面を参照して説明する。
　第１図に示すウェハボート１は材料としては、石英ガラスやＳｉＣが用いられ両端の面板２と３及び面板２と３の間に設けられた４本の支柱４１、４２、４３、４４とから成り、各支柱のうち２本４１、４２はウェハの出入が可能なように広い間隔で設けられ、それぞれ他の２本４３、４４との間に各支柱の熱変形を防止するため、補強ロッド５が取り付けられている（第２図）。更に各支柱４１〜４４にはウェハを保持するための保持溝６が所定ピッチで刻設されている。保持溝６の形状、幅ｄ及び深さｈは搭載するウェハのサイズに応じて設計されるが、第２図及び第３図に示す実施例ではその断面形状は入口が広い略Ｙ字状であり、支柱４１、４２、４３、４４の中心位置を越えない範囲で４〜６ｍｍ程度の深さに刻設される。幅ｄはウェハＷの厚さＤの略２倍である。」
　
エ　第３頁右上欄第５〜１２行
「更に、溝底部７の２つのコーナ８はそれぞれ直角ではなく、所定の曲率半径ｒで形成されている。曲率半径ｒは大きいければ大きいほどコーナ８への応力集中が少ないが、ウェハエッジのチッピングを防止するため、ウェハサイズとの兼ね合いで定められ、例えば直径５又は６インチのウェハでは通常厚さが０．６〜０．７ｍｍであり、ｒの値は０．２〜０．４ｍｍが適当である。」
　
オ　第３頁左下欄第１０〜１３行
「この際、支柱に刻設された溝６底部のコーナ８が曲率半径ｒを有しているため、応力集中が然るべく緩和され、支柱強度を相対的に増加することができる。」
　
　摘記事項ウ及び第３，４図の記載によれば、保持溝６と保持溝６の間に櫛歯状の支持片が形成されることは明らかである。
　また、刊行物１には、縦型熱処理炉用ウエハボートについて記載されているが、縦型熱処理炉用ウエハボートの製造方法も記載されているとすることができる。
　そこで、これらの事項を、技術常識を勘案しながら本願発明に照らして整理すると、刊行物１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
 「上下に配設された一対の面板２，３と、これらの面板２，３を連結する複数本の支柱４１〜４４と、前記支柱に所定ピッチで刻設された、半導体ウエハを挿入支持させるための保持溝６と、この保持溝６と保持溝６の間に形成された櫛歯状の支持片とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる縦型熱処理炉用ウエハボートの製造方法において、
　保持溝６の溝底部７の２つのコーナ８に０．２〜０．４ｍｍの曲率半径ｒが付けられるように、前記保持溝を形成する縦型熱処理炉用ウエハボートの製造方法。」
　
（２）刊行物２ 
ア　段落【０００１】
「【産業上の利用分野】
　本発明は、半導体ウエハなどの円形板状の被処理体に対して熱処理を行うために用いられる熱処理用ボートに関する。」
　
イ　段落【０００４】
「そして各支柱１３〜１６には、図１０に示すように各ウエハＷが挿入されてその周縁部を支持するようにウエハＷの厚さよりも若干上下の幅が長い溝部１７が形成されており、手前側の２本の支柱１３、１４の間から搬送アーム２１により溝部１７に対してウエハＷの着脱が行われる。」
　
ウ　段落【００２６】
「図４及び図５の例では、（ａ）に示すように支柱４（５Ａ、５Ｂ）の肉厚方向と交差する方向に、縦断面形状が円形あるいは楕円形の穴６１、６２を開け、（ｂ）に示すように支柱４（５Ａ、５Ｂ）の内側からこれら穴６１、６２に向けて切削して、ウエハＷの外周縁が接触しない溝部４１（５１）を形成している。」
　
エ　図４、図５及び図１０の記載によれば、溝部１７，４１の深さをｂｍｍ、支柱１３，４の太さから前記支持溝の深さを引いた長さをｄｍｍとしたとき、ｂ＞ｄとされていることが看取できる。
　
　これらの事項からみて、刊行物２には、次の事項が記載されているものと認められる。
「熱処理用ボートにおいて、支柱に形成される溝部の深さをｂｍｍ、支柱の太さから前記支持溝の深さを引いた長さをｄｍｍとしたとき、ｂ＞ｄとされていること。」 
　
３　対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「面板２，３」は本願発明の「端板」に相当し、以下同様に、「所定ピッチで刻設された」は「所定間隔で形成された」に、「保持溝６」は「支持溝」に、「保持溝６の溝底部７の２つのコーナ８」は「支持溝の底部と前記支持片の基部とが交わる角部」に、「曲率半径ｒ」は「Ｒ」に、「縦型熱処理炉用ウエハボート」は「縦型ウエハボート」に、それぞれ相当することが明らかである。
　そして、引用発明における「０．２〜０．４ｍｍの曲率半径ｒ」は、本願発明における「半径0.2〜0.7mmのＲ」に含まれるものである。
　したがって、両者の一致点と相違点は次のとおりと認められる。
［一致点］
「上下に配設された一対の端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に所定間隔で形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝と、この支持溝と支持溝の間に形成された櫛歯状の支持片とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる縦型ウエハボートの製造方法において、
　前記支持溝の底部と前記支持片の基部とが交わる角部に半径0.2〜0.7mmのＲが付けられるように、前記支持溝を形成する縦型ウエハボートの製造方法。」である点。
［相違点１］
　本願発明では、「支柱に、エッジにＲを付したダイヤモンドブレードを用いて、研削加工を行うことにより、」支持溝の底部と前記支持片の基部とが交わる角部にＲが付けられるように、支持溝を形成するのに対し、引用発明では、曲率半径ｒをどのように付けるのか明らかでない点。
［相違点２］
　本願発明では、「支持片の厚さをａmm、前記支持溝の深さをｂmm、前記支持溝の隙間をｃmmとしたとき、（ｂ／ａ）×ｃ＞10mmとされ、
　前記支持溝の深さをｂmm、前記支柱の太さから前記支持溝の深さを引いた長さをｄmmとしたとき、ｂ＞ｄとされるように、」支持溝を形成するのに対し、引用発明では、そのように特定されていない点。
　
４　相違点についての検討
（１）相違点１について
　ウエハボートの支柱に形成される支持溝を、ダイヤモンドブレードを用いて研削加工を行うことにより形成することは、例えば、特開平７−２７３０５６号公報の段落【００２３】等に記載されるように従来周知の事項であるとともに、エッジにＲを付したブレードを用いて溝底部の角部にＲを付与することも、例えば、特開平６−９９３４２号公報の段落【００１０】〜【００１１】等に記載されるように従来周知の事項にすぎない。
　してみると、引用発明において、エッジにＲを付したダイヤモンドブレードを用いて、研削加工を行うことにより、支持溝の底部と前記支持片の基部とが交わる角部にＲが付けられるように、支持溝を形成することは当業者が容易になし得たことである。
　
（２）相違点２について
　まず、支持溝の深さｂ及び支柱の太さから前記支持溝の深さを引いた長さｄについて検討するに、ｂ及びｄをどの程度の寸法にするかは、ウエハ支持の安定性や支柱全体の強度等を考慮して適宜決定することのできる設計的事項である。そして、ｂ＞ｄとすることについては、刊行物２にも記載されている事項であるから、引用発明において、支持溝の深さをｂｍｍ、支柱の太さから前記支持溝の深さを引いた長さをｄｍｍとしたとき、ｂ＞ｄとすることに格別困難性はない。
　次に、支持片の厚さをａmm、前記支持溝の深さをｂmm、前記支持溝の隙間をｃmmとしたとき、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとすることについて検討する。
　上記支持溝の隙間ｃは、支持するウエハのサイズ、厚さ、ウエハ出し入れ時の作業性等を考慮して当業者が適宜設定すべき設計的事項であり、各支持片の厚さａも、例えば、ウエハの収容枚数、支持強度等を考慮して適宜決定すべき設計的事項である。また、支持溝の深さｂについても、ウエハのサイズ、及び支持片の厚さａとの関係で支持片基部の強度等を考慮して当業者が適宜設定すべき設計的事項である。
　そして、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとすることについて、本願明細書には、段落【００３１】に、「支持溝５４の間には、櫛歯状の支持片５５がある。本発明においては、この支持片５５の基部の厚さをａｍｍ、支持溝５４の深さをｂｍｍ、支持溝５４の底部の隙間（溝幅）をｃｍｍとしたとき、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとする。これによって、半導体ウエハＷのたわみの発生を防止し、半導体ウエハＷの上下方向の挿入間隔を狭めて、より多数の半導体ウエハを支持することが可能となる。」と記載されているだけであり、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとすることに格別臨界的な意義を認めることができない。
　してみると、引用発明において、支持片の厚さをａｍｍ、支持溝の深さをｂｍｍ、前記支持溝の隙間をｃｍｍとしたとき、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとすることは、当業者が適宜設定することのできる設計的事項にすぎないものである。
　
　なお、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとしたことの技術的意味について、平成２０年９月８日付け意見書には、
「ｂ／ａは、支持溝の深さと支持片の厚さとの比であって、ｂ／ａが大きくなれば曲げ応力に対して弱くなります。ｃは溝幅なので、研削砥石の太さにも反映し、ｃが大きくなれば加工時の負荷が高くなり、支持片が破損しやすくなります。このように、ｂ／ａ及びｃは、共に研削時の割れやすさの指標となります。
　一方、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとする必要性について説明しますと、まず、溝幅ｃについては、ウエハの撓み（８”ウエハでは通常１ｍｍ程度）と、移搭載機械の上下動の逃げ分（０．５ｍｍ程度）、そしてウエハ厚み（０．８ｍｍ）分を合計する値以上は必要なので、１＋０．５＋０．８＝２．３ｍｍ程度が下限となります。ここで、移搭載機械の上下動の逃げ分というのは、ウエハを搭載して支持溝に挿入し、ウエハを支持片上に載置して後退する機械が、ウエハを支持片上に載せて後退するときに必要な上下動のための距離を意味します。
　そして、支持片の厚さａと、溝幅ｃとを加えたものが、ウエハ１枚を支持するのに必要なピッチになりますが、長さ８００ｍｍのボートで１５０枚のウエハを処理するとなると、ピッチは８００／１５０＝５．３ｍｍとなります。したがって、支持片の厚さは５．３−２．３＝３ｍｍが上限となります。
　一方、ウエハの横方向の移載遊びを考えると、溝深さの下限は５ｍｍは必要と考えられます。
　　・・・（中略）・・・
　そして、実用上は、ウエハのスリップ防止のためには、少なくともｂ＝１０ｍｍが必要であり、ウエハ１７５枚処理のために、ａ＝２．２７ｍｍ、ｃ＝２．３ｍｍを採用するとした場合、破損リスクパラメータは、（１０／２．２７）×２．３＝１０．１３となり、（ｂ／ａ）×ｃが１０ｍｍを超えたボートが必要になります。
　すなわち、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍは、ウエハのスリップを防止できる程度に溝が深く、ウエハを移搭載機械に搭載して支持溝に挿入し、ウエハを支持片上に載置して後退する作業を安全に行うことができ、かつ、より多数枚のウエハを搭載できるウエハボートを作ろうとしたときに生じる破損リスクパラメータを意味します。」と記載されている。
　しかしながら、上記記載は本願明細書には何ら記載されていないばかりか、上記記載によれば、ｃについてはウエハの撓み・厚み及び移搭載機械の上下動の逃げ分を考慮して設定され、ａについてはウエハボートの寸法及び収納枚数から定まるピッチ（ａ＋ｃ）に基づいて設定され、ｂについてはウエハの横方向の移載遊びを考慮してスリップ防止できる程度に設定されることが示されているにすぎない。
　してみると、ａ〜ｃの各寸法は、上記各事項をそれぞれ考慮しつつ製造時の支持片の強度との兼ね合いで適宜設定することができるものと認められ、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとすることに格別臨界的な意義を認めることができない。
　また、上記記載によれば、（ｂ／ａ）とｃは、それぞれ曲げ応力に対する弱さ及び支持片の破損しやすさを表しているから、（ｂ／ａ）×ｃ＞１０ｍｍとすれば、支持片の強度が極めて弱く割れやすいウエハボートも含まれることになり、そのような範囲に設定することにも技術的な意味は認められない。
　
　そして、本願発明の作用効果についてみても、引用発明、刊行物２に記載の事項及び従来周知の事項から当業者が十分予測しうる範囲内のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　
　したがって、本願発明は、引用発明、刊行物２に記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５　むすび
　以上のとおりであり、本願発明は、引用発明、刊行物２に記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。