(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低温ポンピングされるガスが通過する開口（12）を有する真空容器、
真空容器の中に存在し、極低温に冷却されそしてガスを吸着する吸着剤を支持する吸着低温パネル（130）、および
吸着低温パネル（130）と熱的に繋がれていて極低温に冷却され、真空容器中の開口（12）に面しそして前記開口（12）を通過するガスから吸着剤をシールドする凝縮低温パネル（20）を具備し、
前記凝縮低温パネル（20）は、その凝縮低温パネル（20）から前記開口に向かって凝縮低温パネル（20）の外表面から離れる方向に、個々に延びる、フロスト濃縮表面（32）を有し、
凝縮低温パネルが、シートを巻いて形成されており、キャビティを取り囲む外壁を備え、前記外壁は外壁から曲げられて外壁に開口（24）を形成している複数のルーバー（22）を有していることを特徴とする低温ポンプ。
【請求項２】
低温ポンピングされるガスが通過する開口（12）を有する真空容器、
真空容器の中に存在し、極低温に冷却されそしてガスを吸着する吸着剤を支持する吸着低温パネル（130）、および
吸着低温パネル（130）と熱的に繋がれていて極低温に冷却され、真空容器中の開口（12）に面しそして前記開口（12）を通過するガスから吸着剤をシールドする凝縮低温パネル（20）を具備し、
前記凝縮低温パネル（20）は、その凝縮低温パネル（20）から前記開口に向かって凝縮低温パネル（20）の外表面から離れる方向に、個々に延びる、フロスト濃縮表面（32）を有し、
凝縮低温パネルから離れる方向に延びる表面が、複数のフィン（32）から構成されており、前記フィンは、中点において相互に交差するように配置されていることを特徴とする低温ポンプ。
【請求項３】
低温ポンピングされるガスが通過する開口（12）を有する真空容器、
真空容器の中に存在し、極低温に冷却されそしてガスを吸着する吸着剤を支持する吸着低温パネル（130）、および
吸着低温パネル（130）と熱的に繋がれていて極低温に冷却され、真空容器中の開口（12）に面しそして前記開口（12）を通過するガスから吸着剤をシールドする凝縮低温パネル（20）を具備し、
前記凝縮低温パネル（20）は、その凝縮低温パネル（20）から前記開口に向かって凝縮低温パネル（20）の外表面から離れる方向に、個々に延びる、フロスト濃縮表面（32）を有し、
凝縮低温パネルから離れる方向に延びる表面が、複数のフィン（44）から構成されており、前記フィンは、開口の実質的な部分を延びているプレート（33）から開口に向かって配置されていることを特徴とする低温ポンプ。
【請求項４】
極低温に冷却すべき吸着剤を支持しており、低温ポンピングされるガスが通過する開口（12）に面するプレート（33）を有する低温パネル（20）、および
前記開口（12）に向かって個々に延びる複数の表面（32）を有する、極低温に冷却されるフロスト・コンセントレイター（26）を具備し、前記フロスト・コンセントレイター（26）は前記開口（12）に密接に近接して存在する前記低温パネル（20）の外表面に添付されそしてその外表面の周辺からは距離をおいており、
フロスト・コンセントレイター（26）が複数のフィン（44）からなり、前記フィンはそれらが中点において交差するように配置されている
ことを特徴とする低温パネルの配列。
【請求項５】
低温パネル（20）のシート材料が切断されかつ曲げられており、シート材料から曲げられた部分がその部分により残された開口（24）に隣接してルーバー（22）を形成している、ことを特徴とする、吸着剤を取り囲むシート材料の低温パネルからなる低温パネルの配列。
【請求項６】
低温パネル（20）が、シートを巻いて形成された、キャビティを取り囲む外壁を備えており、前記外壁は外壁から曲げられて外壁に開口（24）を残している複数のルーバー（22）を有している、請求の範囲５の低温パネルの配列。
【発明の詳細な説明】
発明の背景
現在入手可能な低温ポンプは、開いたまたは閉じた極低温（cryogenic）サイクルにより冷却するかどうかにかかわらず、一般に同一の設計の概念に従う。低温の第２段階の配列は、通常４〜25Kの範囲において作動し、一次ポンピング表面である。この表面は通常70〜130Kの温度範囲で作動する高温シリンダーにより取り囲まれており、このようなシリンダーはより低い温度の配列に対して輻射シールドを提供する。輻射シールドは一般にハウジングからなり、このようなハウジングは一次ポンピング表面と排気すべきチャンバーとの間に位置する前の配列の部分を除いて閉じている。このより高い温度、第１段階、前の配列はより高い沸点のガス、例えば、水蒸気のためのポンピング部位として働く。
操作において、より高い沸点のガス、例えば、水蒸気は前の配列上に凝縮する。より低い沸点のガスはその配列を通過し、そして輻射シールド内の体積の中に入り、そして第２段階の配列上に凝縮する。第２段階の配列の温度またはそれ以下において働く、吸着剤、例えば、炭またはモレキュラーシーブでコーティングされた表面は、また、非常に低い沸点のガスを除去するために、この体積内に設けられている。吸着剤の負荷を減少させるために、一般に、吸着剤は、第２段階の配列に保護されている表面に配置される。ガスがポンピング表面に吸着されて、チヤンバー内の真空の程度が上がる。
発明の要約
輻射シールドが低温パネルの配列の回りに密接に適合する低温ポンプにおいて、輻射シールドと低温パネルの配列との間に制限される空間が存在する。この設計の低温ポンプにおいて、低温ポンピングするガスが通過する開口に密接する低温パネルの配列の表面上により低い沸点のガスが高度に凝縮する傾向が存在する。これが起こったとき、これらの凝縮するガスからのフロストは輻射シールドと低温パネルの配列との間のギャップを有意に狭くし、開口から遠く離れた低温パネルの配列上の凝縮表面に、あるいは吸着物質でコーティングされた表面に、他のガスが到達する能力を制限する。輻射シールドと低温パネルの配列との間のギャップが有意に狭い場合、低温ポンプのポンピング速度は大きく減少する。
本発明は、凝縮するガスにより生ずるフロスト（frost）が、とくに低温ポンピングされるガスが通過する開口に密接する区域において、密接に適合する輻射シールドと低温パネルの配列との間のギャップを有意に狭くするのを防止し、これにより低温ポンプをいっそう効率よくかつより高い速度で作動し続けるようにする。
本発明は、密接に適合する低温パネルの配列と輻射シールドとの間のフロストの蓄積を制限する、低温ポンプ、およびその中の低温パネルを提供する。ガスは真空容器中の開口を通して低温ポンピングされる。真空容器内に、極低温に冷却されそしてガスを吸着する吸着剤を支持する低温パネルが存在する。極低温に冷却される凝縮低温パネルは真空容器中の開口に面し、そして開口を通過する凝縮するガスから吸着低温パネルをシールドするそらせ装置として作用する。凝縮するガスのためのフロスト・コンセントレイター（frost  concentrator）の表面は、凝縮低温パネルに添付されそして凝縮低温パネルから真空容器中の開口に向かって延びている。真空容器中の開口に密接して近接する凝縮低温パネルの外表面に、フロスト・コンセントレイターは添付されるか、あるいはそれから形成されている。
真空容器の開口を介して低温ポンピングされるガスの一部が、突出している表面に凝縮される。コンセントレイターは表面上のフロストの通常の分布を変更し、輻射シールドと凝縮低温パネルとの間のギャップにおけるフロストの蓄積の量を減少する。この方法において、輻射シールドと凝縮低温パネルとの間のギャップは有意に開いた状態に保持され、これにより他のガスはギャップを通過し、そして真空容器中の開口から遠く離れた凝縮低温パネルの表面上に凝縮することができるか、あるいは吸着物質により吸着されることができる。さらに、フロスト・コンセントレイターはガスの非常に効率よい凝縮装置であるので、吸着剤をシールドする凝縮低温パネルの能力を緩和することができる。
本発明の好ましいフロスト・コンセントレイターは真空容器の開口の実質的な部分を延びており、そして互いにそれらの中点において交差するある数のフィンから作られている。フロスト・コンセントレイターは凝縮低温パネルの上部または側面に添付することができる。
本発明の凝縮低温パネルの１つの形態はある数の開口を有する中空シリンダーであり、対応する数のルーバーは外壁から突起している。凝縮低温パネルは金属材料の板から作られており、そして吸着物質、好ましくは炭を支持する低温パネルを実質的に取り囲む。この系列のそらせ板および開口は非常に低い沸点のガスを凝縮低温パネルの内部にアクセスさせるすると同時に凝縮低温パネル内の吸着剤をより高い沸点のガスから実質的にシールドする。凝縮低温パネル内に取り囲まれた吸着剤を支持する低温パネルは、長方形の断面を有する中空構造であることができ、ここで炭の粒子はこの構造の外表面に接着されている。
あるいは、本発明の凝縮低温パネルは、半径方向に食い違った外壁を有する金属材料の板から作られた中空構造であることができ、ある数の開口が壁の間に存在する。半径方向に食い違った壁は、非常に低い沸点のガスを凝縮低温パネルの内部にアクセスさせるすると同時に、凝縮低温パネル内の吸着剤をより高い沸点のガスから実質的にシールドする。
【図面の簡単な説明】
本発明の以上の目的および他の目的、特徴および利点は図面の好ましい態様のいっそう特定した説明から明らかとなるであろう。図面において、同様な数字は異なる図面を通じて同一の部分を意味する。図面は必ずしも一定の割合で表されていず、その代わり本発明の原理を例示するとき強調されている。
第１図は、上部に開口を有する低温ポンプのための本発明の好ましい態様の断面平面図である。この図面は輻射シールドの中に取り囲まれたシリンダー状凝縮低温パネルの上部に添付された、フロスト・コンセントレイターを示す。
第２図は、第１図に示す本発明の同一態様の断面側面図である。
第３図は、上部に開口を有する低温ポンプのための本発明の別の態様の断面平面図であり、輻射シールドの中に取り囲まれた多角形の凝縮低温パネルの上部に添付された、フロスト・コンセントレイターを示す。
第４図は、第３図に示す本発明の同一態様の断面側面図である。
第５図は、ガスを低温ポンピングするための開口が凝縮低温パネルの軸に対して垂直であるとときの、本発明の好ましい態様の断面平面図である。この態様において、フロスト・コンセントレイターはシリンダー状凝縮低温パネルの側面に添付されている。
第６図は、フロスト・コンセントレイターを見る方向から見た第５図に示す、本発明の態様の断面側面図を示す。
第７図は、ガスを低温ポンピングするための開口が凝縮低温パネルの軸に対して垂直であるとときの、本発明の別の断面平面図である。この態様において、フロスト・コンセントレイターは多角形の凝縮低温パネルの側面に添付されている。
第８図は、フロスト・コンセントレイターを見る方向から見た第７図に示す、本発明の態様の断面側面図を示す。
第９図は、輻射シールドの中に取り囲まれた普通の凝縮低温パネルのそらせ装置の上部に添付された、フロスト・コンセントレイターを示す、本発明の別の態様の断面平面図である。
第10図は、コールド・フィンガーをさらに示す第９図に示す本発明の断面側面図である。
第11図は、３次元の構造体に折り畳まれる前の多角形の凝縮低温パネルの平面図である。
第12図は、吸着性物質が外表面のいくつかに接着されている低温パネルの斜視図である。
第13図は、外表面に接着した吸着性物質を有する低温パネル、吸着性物質の低温パネルを実質的に取り囲むシリンダー状凝縮低温パネル、およびフランジと低温パネルとの間の通路をつくるフランジを有する輻射シールドを示す本発明の断面側面図である。
第14図は、フロスト・コンセントレイターの別の態様の斜視図である。
第15図は、フロスト・コンセントレイターの他の別の態様の平面図である。
第16図は、フロスト・コンセントレイターの追加の態様の平面図である。
第17図は、フロスト・コンセントレイターの利益をもたない凝縮低温パネルの上表面上にフロストの沈着を有する低温ポンプの断面側面図である。
第18図は、フロストの沈着に関してフロスト・コンセントレイターを使用する利点を示す本発明の断面側面図である。
好ましい態様の詳細な説明
第１図および第２図は、低温ポンプの中にガスを低温ポンピングするための開口を上部に有する低温ポンプについての本発明の好ましい態様を描写する。ゲート弁が開きそしてガスが前の配列14の上を通るとき、ガスは開口12を通して低温ポンプ10に入る。前の配列14は70〜130Kに冷却され、そしてより高い沸点のガス、例えば、水蒸気を凝縮する。より低い沸点のガス、例えば、水素およびアルゴンは前の配列14を通過し、そして輻射シールド18の内部に入る。輻射シールド18は低温ポンプ10の真空容器の壁16により実質的に取り囲まれている。輻射シールド18は一般に70〜130Kの温度に冷却され、そしてシリンダー状低温パネル20のための輻射シールドを提供する。
第17図は、本発明のフロスト・コンセントレイターをもたないとき起こりうる問題を図解する。シリンダー状低温パネル20の外部上で凝縮するガス、例えば、開口12を通して低温ポンプ160の輻射シールド18の内部の中に入るアルゴンは、凝縮低温パネル164の上表面166上で高度に凝縮する傾向がある。それ自体示されていないが、配列164は開いていてそらせ板とともに、ガスを配列内の吸収剤へ流れさせる。凝縮するガスは、凝縮低温パネル164と輻射シールド18との間のギャップ28を有意に狭くするフロストのブランケット162を凝縮低温パネル164の上表面166上に形成する。その結果、ガスは凝縮低温パネル164のより低い表に対して制限されアクセスを有し、これによりポンピング速度および低温ポンプ160の効率を減少する。本発明は、配列と輻射シールドとの間のギャップから離れる方向にフロストを集めるためにフロスト・コンセントレイターを使用することによって、フロストの沈着により引き起こされる問題を処理する。
第１図、第２図および第18図に示すように、輻射シールド18の内部の中に入るより低い沸点のガスの一部分はフロスト・コンセントレイター26上で凝縮する。より低い沸点のガス、例えば、アルゴンが輻射シールド18の内部の中に位置するシリンダー状低温パネル20の上表面34に到達できる前に、フロスト・コンセントレイター26はそれらのガスをフィン32上に凝縮させる。凝縮するガスはフロスト・コンセントレイター26の表面上にフロストのブランケット170を形成する。これらのガスが上表面34上で凝縮するのを防止することによって、シリンダー状低温パネル20と輻射シールド18との間のギャップ28は凝縮するガスにより有意に狭くならない。その結果、他のガスはシリンダー状低温パネル20の下表面およびシリンダー状低温パネル20内に収容された炭箱130（第12図）に対してよりすぐれたアクセスを有する。ギャップ28が有意に狭くなるのを防止することによって、ポンピング速度および低温ポンプ10の効率は改良される。
フロスト・コンセントレイター26は種々の設計の形態を取ることができる。第14図〜第16図に示すフロスト・コンセントレイター26の別の態様は、形状を除外する各設計は低温ポンプ10の開口に向かって延びる複数の表面を有することにおいて、互いに共通する。第14図は、中点において交差してアスタリスク形構造を形成する複数の半径方向のフィン44および放射フィン44を取り囲みかつそれらに接触する円形壁42を有する。フィン44および円形壁42をプレート33上に取り付けられている。第15図は、直角で互いに交差してグリップ形構造体を形成する、プレート33に取り付けらた複数のフィン52を有するフロスト・コンセントレイター50の平面図を示す。第15図に見られる態様は互いに直角で交差するわずかに４枚のフィン52を示すが、任意の数のフィン52または角度を使用することができる。第16図はプレート33に取り付けらた複数のフィン62を有するフロスト・コンセントレイター60の平面図を示し、これらのフィン62はそれらの配置が円形であるように、互いに対して平行でありかつ変化する長さをもつ。フィン62の数は変化することができ、そして平面図は長方形または任意の他の形状であることができる。
第１図および第２図の好ましい態様において、フロスト・コンセントレイター26はガスを低温ポンピングする開口の実質的な部分を延びており、そして４〜25Kの範囲の温度に冷却する。フロスト・コンセントレイター26は、中点において交差してアスタリスク形構造を形成する複数の金属の放射フィン32から構成されている。このアスタリスク形構造はプレート33上に取り付けられている。プレート33はシリンダー状低温パネル20へのフロスト・コンセントレイター26の取り付けを促進する。あるいは、フィン32はすぐれた熱伝導体である非金属材料から作られている。一般に、フィン32の高さは約１インチであるが、この高さは変化させることができる。
シリンダー状低温パネル20は炭箱130（第12図）をより高い沸点のガスからシールドすると同時に吸着のための炭箱130への低沸点ガスのアクセスを可能とする。シリンダー状低温パネル20は一般に４〜25Kの範囲の温度に冷却され、そしてその表面上により低い沸点のガス、例えば、アルゴンを凝縮させる。シリンダー状低温パネル20は金属材料の板から製作される。シリンダー状低温パネル20の壁から打ち抜かれ複数のそらせ板22が、たシリンダー状低温パネル20から外方に放射している。そらせ板は平らな金属板に切断し、次いでこの金属板をシリンダーにロールを用いて形成するか、あるいはカップをは金属板から深絞りし、次いで切断してそらせ板を形成することができる。
好ましい態様において、そらせ板22を45゜の角度で外方に角度をもたせるが、種々の角度を使用できる。さらに、好ましい態様において、そらせ板22は直線であるが、別の態様において、そらせ板22は曲がりを組み込むことができる。複数のそらせ板の開口24はそらせ板22の形成から生じ、そしてそらせ板の開口24の数はそらせ板22の数に相当する。輻射シールド18の表面に対して垂直の方向から来るより高い沸点のガスから、そらせ板の開口24の実質的な部分がシールドされるように、そらせ板22に角度をもたせる。これはより高い沸点のガスがシリンダー状低温パネル20の内部に入るのを防止するとき有効である。なぜなら、より高い沸点のガスは一般に輻射シールド18からはね返るからである。
あるいは、非常に低い沸点のガスがシリンダー状低温パネル20の内部に入るように、そらせ板22に角度をもたせる。非常に低い沸点のガスはそらせ板の開口24に直接入るか、あるいはまずそらせ板22からはね返ることによって入る。したがって、シリンダー状低温パネル20はその中に収容された炭箱130をより高い沸点のガスからシールドして、ガスが炭上に凝縮するのを防止する。そらせ板の開口24は非常に低い沸点のガス、例えば、水素がシリンダー状低温パネル20の内部に入ることができるようにし、ここでそれらのガスはシリンダー状低温パネル20内に収容された炭箱130（第12図）により吸着される。
前の配列14および輻射シールド18はコールド・フィンガー30により冷却されるが、フロスト・コンセントレイター26、シリンダー状低温パネル20および炭箱130（第12図）はコールド・フィンガー31により冷却される。両者のコールド・フィンガー30および31は冷凍ユニット150により冷却される。
第３図および第４図は、第１図および第２図に示す低温ポンプ10に類似する本発明の態様である低温ポンプ70を示す。低温ポンプ70は低温ポンプ10（第１図および第２図）同一方法で作動し、唯一の差は輻射シールド18の内部を占有する多角形の低温パネル72を有する。
多角形の低温パネル72は４つの面78および４つの面79を有し、これらの面は半径方向に食い違っており、面78は面79より大きい半径を有する。各面78は面79の次に存在し、スリット76がそれらの間に存在する。スリット76は輻射シールド18から垂直に見たとき小さく、そして輻射シールド18から垂直以外の角度で見たときより大きいように、スリット76はある角度で配向されている。この方法において、輻射シールド18から垂直にはね返る、り高い沸点のガスは多角形の低温パネル72に入るのを実質的に防止されるが、輻射シールド18から垂直以外の角度ではね返る非常に低い沸点のガスの一部分は多角形の低温パネル72の内部に入ることができる。別の態様において、任意の数の面78、面79またはスリット76が存在することができる。炭箱130（第12図）は多角形の低温パネル72内に収容されており、そして多角形の低温パネル72の壁中のスリット76は低沸点ガス、例えば、水素の炭箱130（第12図）へのアクセスを可能とする。面78および面79の半径方向の食い違いは多角形の低温パネル72の低沸点ガスの通過を可能とするが、輻射シールド18に対して垂直に動き、面78または面79に突き当たる可能性のあるより高い沸点のガスを凝縮させる。
第11図は、３次元の構造に折り畳む前の多角形の低温パネル72を示す。好ましい態様において、多角形の低温パネル72は高い熱伝導性の材料、例えば、銅の板から作られる。あるいは、多角形の低温パネル72はすぐれた導体である板材料から作ることができる。面78および面79を折り畳み、そしてタブ80を基部内の対応するスロットの中に挿入して多角形の低温パネル72の構造を安定化する。ウィング82を隣接する面78と出会うまで内方に折り畳む。ウィング82が設けられているので、スリット76（第４図）が多角形の低温パネル72の上端までは延びていない。フロスト・コンセントレイター26（第４図）上に凝縮しないガスは、多角形の低温パネル72の上表面74（第４図）上に凝縮する可能性が最も強い。したがって、スリット76（第４図）が多角形の低温パネル72の上端まで延びていないので、非凝縮性ガス（低沸点ガス）が炭箱130（第12図）に接近することを遅らせることなく、多角形低温パネル72にガスが凝縮することを促進する。さらに、多角形の低温パネル72の上部にスリット76を到達させないことによって、多角形の低温パネル72の上表面74上に凝縮する過剰のガスが、多角形の低温パネル72内に収容された炭箱130（第12図）上に凝縮するのが防止される。フロスト・コンセントレイター26（第４図）は、多角形の低温パネル72の上部84（第３図および第11図）に添付される。
第５図および第６図は、低温ポンピングすべきガスのための開口92がシリンダー状低温パネル94の軸に対して垂直に位置する場合のための、低温ポンプ100を示す。シリンダー状低温パネル94はシリンダー状低温パネル20（第１図および第２図）に類似するが、ただしシリンダー状低温パネル94の側面にフロスト・コンセントレイター96を添付するために、フラット98がシリンダー状低温パネル94の側面に配置されている。フロスト・コンセントレイター96は開口92に面するように位置する。これはガスが開口92を通して低温ポンピングされてフロスト・コンセントレイター96上に凝縮するのを可能とし、これにより過剰のガスが開口92に最も近いシリンダー状低温パネル94の表面106上に凝縮するのを防止される。過剰のガスが表面106上に凝縮するのを防止することによって、輻射シールド90とシリンダー状低温パネル94との間のギャップ104は有意に狭くならない。これにより、ガスは開口92の反対側のシリンダー状低温パネル94の表面に容易にアクセスすることができるか、あるいは炭箱130（第12図）上に凝縮するためにそらせ板の開口24に入ることができる。
第７図および第８図は、低温ポンピングすべきガスのための開口92が多角形の低温パネル72の軸に対して垂直に位置する場合のための、低温ポンプ110を示す。多角形の低温パネル72は多角形の低温パネル72（第３図および第４図）に類似するが、ただしフロスト・コンセントレイター96は多角形の低温パネル72の側面に面78で添付されている。
低温ポンプ110は第５図および第６図に描写されている低温ポンプ100のそれと同様な方法で作動する。フロスト・コンセントレイター96は開口92に面するように位置する。これにより、ガスは開口92を通して低温ポンピングされてフロスト・コンセントレイター96上に凝縮することができ、過剰のガスは開口92に最も近い多角形の低温パネル72の表面112上に凝縮するのを防止される。過剰のガスが表面112上に凝縮するのを防止することによって、輻射シールド90とシリンダー状低温パネル72との間のギャップ104は有意に狭くならない。これにより、ガスは開口92の反対側のシリンダー状低温パネル72の表面に容易にアクセスすることができるか、あるいは炭箱130（第12図）上に凝縮するためにスリット76に入ることができる。
第９図および第10図は、輻射シールド18の内部を占有する普通の低温パネル122を有する低温ポンプ120を示す。フロスト・コンセントレイター26は普通の低温パネル122の上部に添付されている。開口12を通して低温ポンピングされそして輻射シールド18の内部に入るガスの一部分はフロスト・コンセントレイター26上に凝縮する。これにより、過剰のガスは普通の低温パネル122の上表面124上に凝縮するのを防止され、これにより凝縮するガスが輻射シールド18と普通の低温パネル122との間のギャップ126が有意に狭くするのを防止される。
第12図は、低温パネル20、72および94（第１図〜第７図に示す）内に収容される炭箱130を示す。炭箱130の本体は長方形の断面を有する中空の箱であるが、シリンダーであるか、あるいは他の形態であることができる。炭箱130の基部136は、開いた下部をもつ中空のディスクの構造を有する。炭の粒子132は４つの面134に接着剤により接着されている。炭箱130が４〜25Kの範囲の温度に冷却されたとき、炭の粒子132は低沸点ガス、例えば、水素を吸着する。他の吸着性物質を炭の代わりに使用することができる。
第13図は、シリンダー状低温パネル20内に取り囲まれた炭箱130を示す。第13図に描写されている態様において、シリンダー状低温パネル20は炭箱130の基部136上に静止する。別の態様において、シリンダー状低温パネル20は炭箱130の基部136の上に適合する。フランジ140は輻射シールド18の下部から突起し、そしてフランジ140と基部136との間のギャップ142をもって基部136を取り囲む。フランジ140の目的は、米国特許出願第07/647,848号、1991年１月30日提出に開示されているような、冷却されたコールド・フィンガー上に凝縮するガスの量を制限する狭い通路を提供することである。
本発明をその好ましい態様を参照してとくに示しかつ説明したが、理解されるように、本発明の精神および範囲から逸脱しないで種々の変化および変更が可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１５】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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