【事件の表示】
　平成１１年特許願第１２０５６３号「搬送システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１０月１３日出願公開、特開２０００−２８６３１８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成１１年４月２７日（優先日、平成１１年１月２７日）の特許出願であって、平成１８年６月５日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１８年８月２１日に意見書が提出されるとともに、明細書について手続補正がなされたが、同１９年２月２０日付けで拒絶すべき旨の査定がされ、同１９年３月２９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同１９年４月２５日付けで明細書について手続補正がなされたものである。
　
２．平成１９年４月２５日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年４月２５日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正の内容の概要
　平成１９年４月２５日付けの手続補正は、特許請求の範囲について補正を行うとともにそれに関連して発明の詳細な説明の一部を補正するものであって、請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
ア．補正前の【請求項１】
「少なくとも１列に配置された複数のウェハ処理装置と、
　前記複数のウェハ処理装置の列に沿って敷設された案内レールと、
　前記案内レールに沿って移動可能に設けられた移動体と、
　前記移動体に設けられ、ウェハを１枚のみ保持し、かつ他の装置との間でウェハの授受を行うウェハ授受手段と
　を具備し、
　前記ウェハ授受手段が、前記複数のウェハ処理装置のうち１のウェハ処理装置にウェハを渡し、
　前記１のウェハ処理装置が、前記ウェハに処理を行い、
　前記ウェハ授受手段が、前記１のウェハ処理装置から前記ウェハを取り出し、
　前記ウェハ授受手段が前記ウェハを取り出すと、前記移動体が、前記１のウェハ処理装置の次の処理を行うウェハ処理装置のウェハ授受位置に移動する
　ことを特徴とする搬送システム。」
イ．補正後の【請求項１】
「少なくとも１列に配置された複数のウェハ処理装置と、
　前記複数のウェハ処理装置の列に沿って敷設された案内レールと、
　前記案内レールに沿って移動可能に設けられた移動体と、
　前記移動体に設けられ、ウェハを１枚のみ保持
する保持部を有
前記移動体が移動しているときも前記保持部がウェハを保持したままにすることによってウェハを１枚ずつ搬送し、
他の処理装置に前記保持部を侵入させることにより
処理
　を具備し、
　前記ウェハ授受手段が、前記複数のウェハ処理装置のうち１のウェハ処理装置にウェハを渡し、
　前記１のウェハ処理装置が、前記ウェハに処理を行い、
　前記ウェハ授受手段が、前記１のウェハ処理装置から前記ウェハを取り出し、
　前記ウェハ授受手段が前記ウェハを取り出すと、前記移動体が、前記１のウェハ処理装置の次の処理を行うウェハ処理装置のウェハ授受位置に移動する
　ことを特徴とする搬送システム。」
（２）補正の適否
　上記特許請求の範囲についての補正は、「ウェハ授受手段」が「保持部」を有している点及び他の装置との間でウェハの授受を行う点を、「前記移動体が移動しているときも前記保持部がウェハを保持したままにすることによってウェハを１枚ずつ搬送し、かつ他の処理装置に前記保持部を侵入させることにより」行う点を限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかである。
　そこで、補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
　
ア．本件補正発明
　本件補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、前記（１）イに示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められる。
　
イ．引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平６−１６２０６号公報（以下、「刊行物」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（ア）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームにおけるウエハ搬送システムに関する。」
（イ）段落【００１７】
「図１は、クリーンルーム内における機器、装置の配設例を示したもので、１０は搬送レール、２０は搬送レール１０上を走行する装置間搬送装置（この例では、磁気浮上型のリニアモータ式搬送装置）であり、図２の（Ａ）に示すように、台車２１上に移載装置（ウエハ枚葉移載可能な移載ロボット）２２を備えている。台車２１は、また、ウエハ落下防止装置２３を備えている。このウエハ落下防止装置２３は台車幅方向に移動可能なスライド式である。３１〜３７はウエハを処理するためのウエハ処理装置であって、搬送レール１０に沿って配設され、１つの処理ラインを構成している。これらのウエハ処理装置３１〜３７はウエハ枚葉授受口ＡとＢを有している。３８は移載装置用の電源装置（例えば、バッテリの自動充電／自動交換装置）である。」
（ウ）段落【００２４】、【００２５】
「専用カセット１０１を、図２の（Ａ）に示すように、所定位置に移載された装置間搬送装置２０は、装置３１〜３７のうちの指定された装置（例えば、ウエハ処理装置３２）の前まで走行して所定位置に停止する。装置間搬送装置２０の走行時はウエハ落下防止装置２３が台車２１上の専用カセット１０１の全面までスライドされ、専用カセット１０１からのウエハの抜け出しを防いでいる。
　所定位置に停止した装置間搬送装置２０の移載ロボット２２は専用カセット１０１から指定されたウエハ（例えば、ウエハＷ１）を指定された枚数だけピックアツプし、ウエハ処理装置３２のウエハ枚葉授受口Ａからウエハ処理装置３２内の図示しない移載装置へ移載する。ウエハＷ１を受け取ったウエハ処理装置３２は当該ウエハＷ１を処理したのち、装置間搬送装置２０が処理済みのウエハＷ１を集荷に来るのを待つ。処理済みウエハを集荷する装置間搬送装置２０は、指定された１もしくは複数のウエハ処理装置のウエハ枚葉授受口Ｂを通して処理済みのウエハを受取り、台車２１上の専用カセット１０１に格納してＩ／Ｆ装置４０まで走行する。」
（エ）段落【００３１】
「…工程間搬送用の搬送装置９５が、ウエハを直接、または１もしくは２枚のウエハを収納したカセットを搬送してくるようなシステムの場合は、Ｉ／Ｆ装置４０として、このウエハを専用カセット１０１にうつしかえることなく、装置間搬送装置へ移載する機能を持たせる場合もある。この場合、装置間搬送装置としては、図３に符号２６で示すような枚葉搬送機能だけを持つ小形の装置間搬送装置とし、ウエハ処理装置側に、装置間搬送装置２６上のウエハＷｎを取り込み、また装置間搬送装置２６上へウエハＷｎを移載する枚葉移載型の移載ロボット２５を内蔵させる。」
　
　そうしてみると、上記記載事項及び第１、３図の記載からみて、刊行物には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「少なくとも１列に配置された複数のウェハ処理装置と、前記複数のウェハ処理装置の列に沿って敷設された搬送レールと、前記搬送レールに沿って移動可能に設けられた装置間搬送装置と、ウェハ処理装置に設けられ、ウェハを１枚のみ保持し、ウェハの授受を行う移載ロボットとを具備し、前記移載ロボットが、ウェハ処理装置にウェハを取り込み、前記ウェハ処理装置が、前記ウェハに処理を行い、前記移載ロボットが、前記ウェハ処理装置から前記ウェハを取り出し、前記移載ロボットが前記ウェハを取り出し、前記装置間搬送装置上に移載すると、前記装置間搬送装置が、前記ウェハ処理装置の次の処理を行うウェハ処理装置のウェハ授受位置に移動する搬送システム。」
　
ウ．対比
　本件補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明における「搬送レール」、「装置間搬送装置」は、それぞれ、本件補正発明の「案内レール」、「移動体」に相当する。そして、引用発明の「移載ロボット」は、ウェハを保持し、ウェハ処理装置と移動体との間でウェハの授受を行う点で、本件補正発明の「ウェハ授受手段」と共通している。
　また、刊行物には、移載ロボットが保持部を有する点が記載されていないが、保持部が存在しないと、ウェハの移動を行うことができないので、引用発明における移載ロボットは保持部を有していることは明らかである。
　さらに、ウェハの移動に関して、引用発明の「移載ロボットがウェハ処理装置にウェハを取り込み」と本件補正発明の「ウェハ授受手段が複数のウェハ処理装置のうち１のウェハ処理装置にウェハを渡し」とは、「移動体からウェハ処理装置にウェハを移載し」という限りで共通し、以下、同様に、「移載ロボットがウェハ処理装置からウェハを取り出し、前記装置間搬送装置上に移載する」と「ウェハ授受手段が前記１のウェハ処理装置から前記ウェハを取り出し」とは、「ウェハ処理装置から移動体にウェハを移載し」という限りで共通する。
　したがって、両者の一致点及び相違点は、次のとおりと認められる。
（ア）一致点
「少なくとも１列に配置された複数のウェハ処理装置と、前記複数のウェハ処理装置の列に沿って敷設された案内レールと、前記案内レールに沿って移動可能に設けられた移動体と、ウェハを１枚のみ保持する保持部を有したウェハ授受手段とを具備し、移動体からウェハ処理装置にウェハを移載し、前記ウェハ処理装置が、ウェハに処理を行い、ウェハ処理装置から移動体にウェハを移載し、ウェハを移載すると、移動体が、前記ウェハ処理装置の次の処理を行うウェハ処理装置のウェハ授受位置に移動する搬送システム。」である点。
（イ）相違点
　ウェハ授受手段が設けられている場所が、本件補正発明は、移動体であるのに対し、引用発明は、ウェハ処理装置である点。また、それに伴い、本件補正発明は、ウェハ授受手段が、前記移動体が移動しているときも前記保持部がウェハを保持したままにすることによってウェハを１枚ずつ搬送し、かつ他の処理装置に前記保持部を侵入させることにより他の処理装置との間でウェハの授受を行うものであって、複数のウェハ処理装置のうち１のウェハ処理装置にウェハを渡し、前記１のウェハ処理装置が、前記ウェハに処理を行い、前記ウェハ授受手段が、前記１のウェハ処理装置から前記ウェハを取り出し、前記ウェハ授受手段が前記ウェハを取り出すと、移動体が、前記１のウェハ処置装置の次の処理を行うウェハ処理装置のウェハ授受位置に移動しているのに対し、引用発明は、ウェハ授受手段が、ウェハ処理装置にウェハを取り込み、ウェハに処理が行われた後、ウェハ処理装置からウェハを取り出し、移動体上に移載する点。
　
エ．相違点についての検討
（ア）相違点について
　複数のウェハ処理装置と移動体との間でウェハの授受を行う搬送システムにおいて、ウェハ授受手段を、移動体側に設けることは、特開平９−２７５１２７号公報（特に、公報第６頁右欄第１９行目〜第７頁左欄第３行目の記載参照）、特開平８−１６２５１５号公報（特に、公報第５頁左欄第１０行目〜第２２行目及び同頁同欄第３５行目〜第４２行目の記載参照）、特開平７−２４５２８５号公報（特に、公報第４頁左欄第２０行目〜第４８行目の記載参照）、特開平７−９４５７２号公報（特に、公報第５頁左欄第３６行目〜第４０行目の記載参照）にみられるように、本願出願前より周知の技術であり、当該周知の技術を引用発明に採用して、ウェハ授受手段を移動体に設けることに困難性はない。そして、ウェハ授受手段を移動体に設けることにより前記移動体が移動しているときも前記保持部がウェハを保持したままにすることによってウェハを１枚ずつ搬送し、かつ他の処理装置に前記保持部を侵入させることにより他の処理装置との間でウェハの授受を行うものとなることは自明の事項である。また、ウェハ授受手段を移動体に設けることに伴って、ウェハの授受に関して、ウェハ授受手段が、複数のウェハ処理装置のうち１のウェハ処理装置にウェハを渡し、前記１のウェハ処理装置が、前記ウェハに処理を行い、前記ウェハ授受手段が、前記１のウェハ処理装置から前記ウェハを取り出し、前記ウェハ授受手段が前記ウェハを取り出すと、移動体が、前記１のウェハ処理装置の次の処理を行うウェハ処理装置のウェハ授受位置に移動するようにすることは、当業者が容易に成し得る事項である。
　なお、請求人は、審判請求書において、
「なお、たとえウェハを１枚ずつ搬送する枚葉搬送機構により複数の処理装置間を結ぶ技術が知られていたとしても、当業者がその技術と引用例１の技術とを組み合わせることは困難である。引用例１の段落００２７には、「専用カセット１０１を空の状態や少数枚（１もしくは２枚程度）格納状態で搬送するような効率の悪い搬送態様が殆ど生じない。」、すなわち、専用カセット１０１に１枚だけウェハを格納して搬送することは効率が悪いと記載されている。すなわち、引用例１に触れた当業者がこれとウェハを１枚ずつ搬送する搬送機構とを組み合わせることは引用例１の記載内容と矛盾することになってしまうので、当業者が引用例１とウェハを１枚ずつ搬送する搬送機構とを組み合わせることはできない。」との主張を行っている。しかしながら、刊行物１の段落【００３１】には、ウェハを１枚ずつ搬送することに関する示唆があり、引用発明において、ウェハを１枚ずつ搬送することを適用することに困難性はない。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
（イ）本件補正発明の効果について
　本件補正発明の特定事項によりもたらされる効果も、引用発明及び周知の技術から十分予測できる範囲内のものであって格別顕著なものとはいえない。
（ウ）したがって、本件補正発明は、引用発明及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
オ．むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しないものであるから、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
（１）本願発明
　平成１９年４月２５日付の手続補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１乃至１９に係る発明は、平成１８年８月２１日付け手続き補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、前記２．（１）アに示す特許請求の範囲の請求項１乃至１９に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、前記２．（１）アに示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　
（２）引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、前記２．（２）イに示したとおりである。
　
（３）対比・検討
　本願発明は、前記２．（１）で検討した本件補正発明から、「ウェハ授受手段」が「保持部」を有しているという事項、他の装置との間でウェハの授受を行う点を、「前記移動体が移動しているときも前記保持部がウェハを保持したままにすることによってウェハを１枚ずつ搬送し、かつ他の処理装置に前記保持部を侵入させることにより」行うという事項を削除したものである。
　そうすると、本願発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が前記２．（２）エで示したとおり、引用発明及び刊行物２に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。