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　特願２００１−３１８９８５「ヘッドアセンブリおよび記録媒体駆動装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　４月２５日出願公開、特開２００３−１２３４１６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯・本願発明
　本願は、平成１３年１０月１７日の出願であって、平成１８年２月８日付けの拒絶査定に対し、同年３月１６日に拒絶査定不服審判が請求され、その後当審から平成２１年１月２１日付けで通知した拒絶理由に対して、平成２１年３月３０日付けで手続補正がされたものである。
　そして、本願の特許請求の範囲の請求項１ないし４に係る発明は、平成２１年３月３０日付けで手続補正された特許請求の範囲の、請求項１ないし４に記載されたとおりのものであると認められ、そのうち、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「支持部材と、ヘッドスライダと、前記支持部材および前記ヘッドスライダの間に配置されて、前記支持部材に固着される基部端から第１方向に沿って延び、先端で前記ヘッドスライダに固着される長尺の第１圧電アクチュエータと、前記支持部材および前記ヘッドスライダの間に配置されて、前記支持部材に固着される基部端から、第１方向に平行であって反対向きに規定される第２方向に沿って延び、先端で前記ヘッドスライダに固着される長尺の第２圧電アクチュエータと、前記第１および第２圧電アクチュエータの前記基部端に固定される第１取り出し電極と、前記第１および第２圧電アクチュエータの前記先端から第１および第２圧電アクチュエータの表面に沿って第１および第２圧電アクチュエータの前記基部端に向かって延びる第２取り出し電極とを備え、前記第１および第２圧電アクチュエータは、電圧の非印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限に伸張し、ヘッドスライダの基準姿勢を確立し、電圧の印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限の伸張から収縮し、前記基準姿勢から回転中心回りで一方向にのみ広がる領域内でヘッドスライダの姿勢を変化させる偶力を生み出し、前記第１および第２圧電アクチュエータは、前記基部端側で前記第１取り出し電極に接続される露出端から前記先端に向かって前記支持部材の表面に対して直立姿勢で延びる複数の第１内部電極層と、前記第１内部電極層同士の間に配置されて、前記先端側で前記第２取り出し電極に接続される露出端から前記基部端に向かって前記支持部材の表面に対して直立姿勢で延びる複数の第２内部電極層と、前記第１および第２内部電極層の間に前記支持部材に対して直立姿勢で挟み込まれる活性層とを備えることを特徴とするヘッドアセンブリ。」
　
　
２．引用例
（１）当審の拒絶の理由に引用された、国際公開第９８／１９３０４号パンフレット（以下「引用例１」という。）には、次の記載がある（以下、引用した記載の下線は、当審で付した。）。
　
（ア）「技術分野　
　本発明は、
記録／再生ヘッドと、記録／再生ヘッド位置決め機構
　
（イ）
「図２に、本発明の磁気ヘッドの構成例
固定部43は枠状であり、変位発生部41および可動部44を包囲する構造となっている。可動部44はスライダ２に、固定部43はサスペンション３に、それぞれ接着等により連結されている
　
同図に示すアクチュエータ全体は、所定箇所に電極層45を設けた圧電・電歪材料の板状体に２つの孔部を形成することにより、変位発生部41、固定部43および可動部44を形成した構造となっている。この構造は、以降で説明する図２〜図５に示すアクチュエータにおいても同様である
　なお、同図では、
変位発生部41を明示するため、電極層45が変位発生部表面に存在するように図示しているが、通常、電極層はアクチュエータ表面には露出しておらず、後述するように各電極層の表面に、カバー部としての圧電・電歪材料層が存在する構造とされる。以降の図示例についても同様である
　
変位発生部41において一対の電極層45に挟まれた圧電・電歪材料層が、PZT等のいわゆる圧電材料から構成されている場合、圧電・電歪材料層には、通常、変位性能向上のための分極処理が施されている。
　同図の構成において、
一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比率が変化し、これによって両変位発生部は前記板状体の面内、すなわちアクチュエータの面内において同方向に撓む。
固定部43に対し可動部44が、電圧無印加時の位置を中央として図中矢印方向に揺動する
電圧と分極とは向きが同じなので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。
　また、この構成では、両変位発生部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加してもよい。すなわち、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加してもよい。このときの可動部44の揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加する上記場合の約２倍となる。ただし、この場合、揺動の一方の側では変位発生部を伸長させることになり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。したがって、
分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆となることがないようにする。この場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とするものとなる
　
（ウ）「
図４
アクチュエータの外枠を構成する枠状の固定部43と、固定部43に包囲された可動部44と、これらを結ぶＬ字型の梁部とを有する。梁部は、図４では２本存在し、
アクチュエータの外形形状は、面内に対し垂直でかつ可動部44の中央を通る対称軸（図中のＺ軸）について回転対称
　これらの構成において
、両変位発生部が同時に収縮または同時に伸長するような電圧を印加すると、可動部44は前記対称軸を中心とする回転運動をし、電磁変換素子１は弧状の軌跡を描く。これらの構成では、スライダを回転駆動する
　なお、これらの構成において、梁部のうち変位発生部41と可動部44との間にある領域を、図３におけるヒンジ部421のように、アクチュエータ面内方向の剛性が変位発生部41のそれに比べ低くなるような形状として、ヒンジ部としての働きをもたせてもよい。
　これらの構成では、固定部43と可動部44との間のスリット状孔部の長手方向と平行に、すなわち前記スリット状孔部を縦断するように梁部を形成しているため、変位発生部41の長さを大きくとれ、その結果、可動部44の回転角を大きくできる。ただし、必要に応じ、前記スリット状孔部を横断するように梁部を設ける構成としてもよい。」（明細書２３頁２１〜２４頁１３行）
　
（エ）「また、
図４
図４では２回回転対称
磁気ヘッドへの取り付けの際には、回転運動の中心軸とスライダの所定の回転中心位置とを一致させる
　
（オ）「
アクチュエータは、変位発生部に、両側を電極層に挟まれた圧電・電歪材料層が少なくとも１層存在する構成であればよいが、好ましくは、このような圧電・電歪材料層が２層以上積層された積層型のものであることが好ましい
必要とされる伸縮量、製造しやすさ等の各種条件に応じて適宜選択すればよいが、通常、５〜50μｍ程度である
圧電・電歪材料層の積層数の上限は特になく、目的とする厚さの変位発生部が得られるように適宜決定すればよい。
　上記図示例では、変位発生部の領域を示すために電極層の形状を単純化して表しているが、実際には、
例えば図25Aに示すような構造の内部電極層を設け、さらに、図25Bに示すように、これらの内部電極層に接続される端子電極を設ける
　
（カ）「
図25Bは、図25Aに示す内部電極層を設けた場合の端子電極の構成例
固定部43側面に露出した内部電極層G1、A1、B1それぞれの端面と接続する端子電極G0、A0、B0が、固定部43の側面に形成されている
　
（キ）「
製造方法
　以下、本発明で用いるアクチュエータの製造方法の具体例として、セラミックス圧電・電歪材料を用いる場合について説明する。
  
セラミックス圧電・電歪材料の板状体の作製
この薄板状焼結体を適当な寸法に切断した後、形状加工を行ってもよい
  次に、薄板状焼結体に、孔部や切り欠きを設ける形状加工を施す。薄板状焼結体からは、通常、複数のアクチュエータを切り出すが、この切り出しも形状加工の際に同時に行う。形状加工に際しては、まず、薄板状焼結体の全面にフォトレジスト層を形成する。次いで、パターン露光を行った後、現像し、隣接するアクチュエータとの境界部や、孔部、切り欠きに対応する領域のフォトレジストを除去する。次いで、フォトレジストに被覆されていない領域をサンドブラスト加工により除去して、
複数のアクチュエータを切り出すと共に目的とする形状のアクチュエータを得る。形状加工後、フォトレジストを除去し、必要に応じて端子電極を形成する
　
（ク）図４には、固定部４３と、可動部４４と、端部でこれらを結ぶ２本のＬ字型の梁部とで形成されたアクチュエータ４が図示されている。
　Ｌ字型の梁部は、変位発生部４１と、変位発生部４１と可動部４４との間にある領域とで、Ｌ字型形状であることが図示されている。
　
　上記（ア）ないし（ク）によれば、図４の構成例に示された磁気ヘッドとその位置決め機構について、引用例には、
「サスペンションと、
　スライダと、
　枠状に形成され、接着剤等でサスペンションに連結される固定部と、固定部に包囲され、接着剤等でスライダに連結される可動部と、前記固定部と可動部を結ぶ２本のＬ字型の梁部とが一体に形成され、外形形状が可動部の中央を通る対称軸に回転対称であるアクチュエータとを備え、
　前記２本のＬ字型の梁部には、変位発生部が形成され、
　各変位発生部は、分極処理が施された圧電・電歪材料層から構成され、前記圧電・電歪材料層の分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆となることがないようにすることにより、収縮を生じさせる電圧のみが印加され、
　両変位発生部は、電圧の印加時に可動部の中央を通る対称軸を中心としてスライダを回転駆動させる応力を生み、
　両変位発生部は、両側を電極層に挟まれた圧電・電歪材料層が２層以上積層された積層型である磁気ヘッド及びその位置決め機構。」
との発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
（２）同じく当審の拒絶の理由に引用された、特開平５−１６７１２４号公報（以下、「引用例２」という。）には、次の記載がある。
（ケ）「【０００２】
【従来の技術】圧電素子を積層化して構成した圧電アクチュエータは変位は小さいが、応答速度は速く、圧力も大きい。このため特に微小変位の精密制御用アクチュエータとしての要求が強い。例えば、半導体デバイス製造装置における精密位置決め、細胞操作作用のマイクロマニピュレータ、光学系におけるミラーやレンズなどの位置、傾角あるいは焦点距離の制御、工作機械における誤差補正、ＯＡ機器のプリンターの印字ヘッドなど多方向に使用されている。
【０００３】圧電素子は、ひずみまたは応力を加えると電荷が誘起され、逆に電圧を加えると、ひずみまたは応力が生じる。圧電セラミックス素子は粉末を焼成し多結晶体とし、これに直流電圧を印加し、残留分極を生じさせ圧電性を得る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように圧電素子は分極処理を必要とするため、圧電素子を用いた装置製造時には、必ず分極処理後に装置に組み込んでいる。しかし、時間の経過や温度の上昇によって分極が破壊されるので、長時間使用しない場合など圧電素子としての機能を発揮しなくなるという問題点があった。」
　
（コ）「【００１６】
分極処理制御部３は、圧電アクチュエータ１を組み込んだ本体装置が装置の使用開始時などのに行う自己診断時
【００１７】また、
分極処理制御部３は、電源投入時に分極処理を分極処理部２に指示する
【００１８】また、
分極処理制御部３は、圧電アクチュエータ装置が稼働中、一定の期間ごとに分極処理を分極処理部へ指示する
【００１９】また
分極処理制御部３にマニアルスイッチを設けて操作者が分極処理の指示をできる
　
３．対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「サスペンション」は、本願発明の「支持部材」に相当する。
　引用発明の「スライダ」は、本願発明の「ヘッドスライダ」に相当する。
　
　引用発明の「アクチュエータ」の「変位発生部」は、「両側を電極層に挟まれた」「圧電・電歪材料層から構成され」、駆動電圧を印加することにより「スライダを回転駆動させる」要素であるから本願発明の「圧電アクチュエータ」に相当する。
　また、引用発明の「アクチュエータ」において、固定部はサスペンションに、可動部はスライダに、それぞれ接着剤等で連結、すなわち、実質的に固着されることが明らかであるから、２本の「変位発生部」が、それぞれ端部を「固定部」と「可動部」に連結される構造は、本願発明の第１及び第２の圧電アクチュエータと比較して、
「前記支持部材および前記ヘッドスライダの間に配置されて、前記支持部材に（固定部を介して）固着される基部端から第１方向に沿って延び、先端で前記ヘッドスライダに（可動部を介して）固着される長尺の第１圧電アクチュエータと、
　前記支持部材および前記ヘッドスライダの間に配置されて、前記支持部材に（固定部を介して）固着される基部端から、第１方向に平行であって反対向きに規定される第２方向に沿って延び、先端で（可動部を介して）前記ヘッドスライダに固着される長尺の第２圧電アクチュエータと、」を備えることに相当する。
　
　引用発明の「両変位発生部」は、「圧電・電歪材料の分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆となることがないようにすることにより、収縮を生じさせる電圧のみが印加され」るので、本願発明の「第１および第２の圧電アクチュエータ」が「電圧の非印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限に伸張し」、及び「電圧の印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限の伸張から収縮」すると同様の動作をするものである。
　引用発明の「両変位発生部は、電圧の印加時に可動部の中央を通る対称軸を中心としてスライダを回転駆動させる」ことは、「収縮を生じさせる電圧のみが印加され」ることと併せると、本願発明の「回転中心回りで一方向にのみ広がる領域内でヘッドスライダの姿勢を変化させる」ことに相当する。
　引用発明の「可動部の中央を通る対称軸を中心としてスライダを回転駆動させる応力」は、スライダを変位させる力のことであるから、本願発明の「偶力」に相当する。
　引用発明の「磁気ヘッド及びその位置決め機構」は、磁気ヘッドに加えて、支持部材、スライダ、及び当該スライダの姿勢を変化させる「変位発生部」を備えているから、本願発明の「ヘッドアセンブリ」に相当する。
　
　以上のことからすると、本願発明と引用発明は次の点で一致する。
＜一致点＞
「支持部材と、
　ヘッドスライダと、
　前記支持部材および前記ヘッドスライダの間に配置されて、前記支持部材に（固定部を介して）固着される基部端から第１方向に沿って延び、先端で（可動部を介して）前記ヘッドスライダに固着される長尺の第１圧電アクチュエータと、
　前記支持部材および前記ヘッドスライダの間に配置されて、前記支持部材に（固定部を介して）固着される基部端から、第１方向に平行であって反対向きに規定される第２方向に沿って延び、先端で（可動部を介して）前記ヘッドスライダに固着される長尺の第２圧電アクチュエータとを備え、　
　前記第１および第２圧電アクチュエータは、電圧の非印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限に伸張し、電圧の印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限の伸張から収縮し、回転中心回りで一方向にのみ広がる領域内でヘッドスライダの姿勢を変化させる偶力を生み出（す）、　
　ヘッドアセンブリ。」
　
　一方、次の各点で相違する。 
＜相違点＞ 
（１）本願発明では「第１および第２圧電アクチュエータ」の「基部端」と「先端」がそれぞれ、「支持部材」と「ヘッドスライダ」とに固着しているのに対し、引用発明は、サスペンションに対しては「枠状に形成された固定部」を介して、スライダに対しては「固定部に包囲された可動部」を介して、それぞれ固着している点。
　
（２）本願発明では、
「前記第１および第２圧電アクチュエータの前記基部端に固定される第１取り出し電極と、
　前記第１および第２圧電アクチュエータの前記先端から第１および第２圧電アクチュエータの表面に沿って第１および第２圧電アクチュエータの前記基部端に向かって延びる第２取り出し電極と」を備えると特定されるのに対し、引用発明では、「取り出し電極」について特定がない点。
　
（３）ヘッドスライダの「基準姿勢」について、本願発明は第１および第２圧電アクチュエータに対し「電圧の非印加時」に基準姿勢を確立し、「電圧の印加時」に「基準姿勢」から姿勢を変化させると特定するのに対して、引用発明は「基準姿勢を確立」することについて特定していない点。
　
（４）第１および第２圧電アクチュエータを、本願発明は「基部端側で第１取り出し電極に接続される露出端から先端に向かって支持部材の表面に対して直立姿勢で延びる複数の第１内部電極層と、第１内部電極層同士の間に配置されて、先端側で第２取り出し電極に接続される露出端から基部端に向かって支持部材の表面に対して直立姿勢で延びる複数の第２内部電極層と、第１および第２内部電極層の間に支持部材に対して直立姿勢で挟み込まれる活性層とを備える」ことを特定しているのに対して、引用発明は「両側を電極層に挟まれた圧電・電歪材料層が２層以上積層された積層型である」としている点。
　
４．当審の判断
　上記各相違点について検討する。
相違点（１）について
　上記「３．対比」での検討でも明らかにしたとおり、引用発明において、固定部はサスペンションに、可動部はスライダに、それぞれ接着剤等で連結、すなわち、実質的に固着されることが明らかであるから、引用発明の「固定部」及び「可動部」は、単に変位部材とサスペンション又はスライダとの間に介在するにすぎず、変位発生部は、端部において実質的にサスペンション又はスライダに固着されており、一方で、本願発明が、圧電アクチュエータと、支持部材又はヘッドスライダとの間に中間的な部材が介在しないと明示的に特定しているわけでもないことからすると、相違点（１）は、実質的な相違点ではない。
　また、仮に、引用発明において、変位発生部とサスペンション又はスライダとの間に、「固定部」または「可動部」が中間に介在する点に、本願発明との間に実質的な相違を認めるとしても、一般的に、固着される２つの要素の間に中間的な要素を介在させるか否かは、分野を問わず適宜決めることのできる設計事項にすぎないから、引用発明においても、変位発生部を、「固定部」又は「可動部」のような、中間に介在する部材を用いないで、端部を直接サスペンション又はスライダに固着する程度のことは当業者が容易に想到しうることである。
　
相違点（２）について
　電極の位置は、素子の配置や接続の都合を考慮して適宜決定されることにすぎないところ、引用例１においても、図２５に示される実施例には、端子電極を固定部の端面に近接して形成（上記（カ）参照。）することが示されているように、端子電極は電気的接続が行われる箇所であるから、可動部近傍を避けて固定部近傍に設けることは自然な設計である。
　したがって、引用発明の変位発生部を、例えば特開２０００−３３２３１２号公報に示されるように、電極層同士を互いに間に配置した周知の圧電素子とした場合には、両端部すなわち固定部側端部と可動部側端部に端子電極が形成されることになるから、可動部側端部の端子電極を素子の表面に沿って固定部側に延ばして接続可能とすることは、前記図２５に示される端子位置を参照することにより当業者が容易に想到しうることである。
　
相違点（３）について
　引用例２には、圧電アクチュエータの分極処理をする時を、使用される装置にアクチュエータが配置された後の、装置の使用開始時、電源投入時、稼働中、操作者の指示する時とすることが記載されている。
　してみれば、引用発明の両変位発生部がサスペンションとスライダの間に配置された磁気ヘッドにおいて、記録トラックに電磁変換素子を追従させる制御時の両変位発生部の印加電圧が、分極減衰のおそれがない分極の向きと常に同じくなるように、サスペンションおよびスライダの間に両変位発生部が配置された後に両変位発生部の分極を確立し、電圧の非印加時に電圧の印加方向に直交する向きに最大限に伸張し、スライダの基準姿勢を確立する両変位発生部とすることは、引用例２に記載された発明を参照することにより、当業者が容易に想到しうることである。
　なお、引用発明では、上記「（イ）」を参照すると、「バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とする」ので、中央から逆にバイアス電圧による変位分だけオフセットした位置が「基準位置」となることは自明である。可動範囲の中央位置が基準位置とならない点は、本願発明においても同様である。
　
相違点（４）について
　引用例１の上記（カ）には、内部電極に接続される端子電極は、内部電極の端面に形成されることが記載されており、また、基部端側で取り出し電極に接続される露出端から先端に向かって延びる複数の内部電極層と、内部電極層同士の間に配置されて、先端側で取り出し電極に接続される露出端から基部端に向かって延びる複数の内部電極層と、両内部電極層の間に挟み込まれる活性層とを備えた圧電セラミックの構成は周知（前記特開２０００−３３２３１２号公報の、内部電極層１の露出した端面に形成された外部電極３と、内部電極層間の圧電セラミック層２を参照。）である。
　引用発明の変位発生部は、長手方向に収縮動作をする態様で用いられるものであるから、内部電極がサスペンションの表面に対して、積層状態であるか直立姿勢であるかによっては、動作上、特段の相違が生じるわけでもなく、本願明細書にも、単に異なる実施形態として、いずれでもよい旨の開示がなされていたにすぎない程度のものである。
　すると、引用発明の変位発生部を、固定部及び可動部を介さず直接スライダ及びサスペンションに固着するときに、基部端側で端子電極に接続される露出端から先端に向かって支持部材の表面に対して直立姿勢で延びる複数の内部電極層と、内部電極層同士の間に配置されて、先端側で端子電極に接続される露出端から基部端に向かって支持部材の表面に対して直立姿勢で延びる複数の内部電極層と、両内部電極層の間に支持部材に対して直立姿勢で挟み込まれる活性層とを備えるようにすることは、当業者が適宜選択しうる態様の一つにすぎない。
　
　以上のとおりであるから、上記各相違点は、格別なものではなく、また、前記各相違点を総合的に検討しても本願発明の奏する効果は、当業者が当然に予測しうるものにすぎない。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、引用例１及び２に記載された発明、並びに周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項について検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。