(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
渦巻き状の羽根を有する可動スクロールと固定スクロールとを渦巻き部にて互いに組み合わせて、可動スクロールを軸線の周りに一定の半径で公転させることにより、上記両スクロールの組み合わせにより形成される密閉空間を渦巻き部の外側から中心側へと移動させて容積を逐次縮小させて圧縮するようにしたスクロール型ポンプにおいて、可動スクロールを保持するハウジングがステータ、可動スクロールがロータになるように磁気回路を形成して可動スクロールをダイレクトに駆動させるようにし、ステータ側となる鉄心及びコイルの組み合わせは鉄心の内側に突出する歯形部が可動スクロールの外周に設けた歯形部と対向するようにハウジングの表面の円周上に複数個を平面的に配置して該歯形部にコイルを装着して形成し、鉄心の歯形部のコイルに電流を印加することで対向する可動スクロールの歯形部が吸引時にある隙間にて接近するようにし、平面的に磁気回路を構成することにより可動スクロールを駆動させるようにして成ることを特徴とするスクロール型ポンプ。
【請求項２】
渦巻き状の羽根を有する可動スクロールと固定スクロールとを渦巻き部にて互いに組み合わせて、可動スクロールを軸線の周りに一定の半径で公転させることにより、上記両スクロールの組み合わせにより形成される密閉空間を渦巻き部の外側から中心側へと移動させて容積を逐次縮小させて圧縮するようにしたスクロール型ポンプにおいて、可動スクロールを保持するハウジングがステータ、可動スクロールがロータになるように磁気回路を形成して可動スクロールをダイレクトに駆動させるようにし、ステータ側となる鉄心及びコイルの組み合わせは略Ｃ字状の鉄心にて可動スクロールの外周部を上下から挟むようにハウジングの表面の円周上に複数個を立体的に配置して形成し、鉄心と可動スクロールとの隙間は一定に保つようにし、立体的に磁気回路を構成することにより可動スクロールを駆動させるようにして成ることを特徴とするスクロール型ポンプ。
【請求項３】
ロータとなる可動スクロールの部材は永久磁石にて形成することを特徴とする請求項１又は２記載のスクロール型ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスクロール型ポンプに関し、詳しくは可動スクロールを駆動する構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
スクロール型ポンプはその圧縮原理から吸入弁及び吐出弁が不用であること、部品点数が少ないこと、高効率であることの長所を本質的に備えているが、圧縮要素の動作がある半径の円軌道の上を旋回運動を行う（公転運動）という複雑な動きであり、単に回転運動で駆動をするロータリポンプに比べて小型化が進んでいないのが現状である。
【０００３】
近年、この問題を解決するものとして特開昭６４−５３０８５号公報、特開平２−１４０４８３号公報、特開平８−２６１１６７号公報等に開示されるものが提供されている。
【０００４】
特開昭６４−５３０８５号公報に開示されるものは図２２、図２３に示すような構造になっている。固定スクロール１は固定ラップと称される渦巻き状の羽根１ａを有し、可動スクロール２は可動ラップと称される渦巻き状の羽根２ａを有し、羽根１ａと羽根２ａとを組み合わせることにより固定スクロール１と可動スクロール２とを重ね合わせ、可動スクロール２をハウジング３にオルダムリング４を介して保持してある。固定スクロール１の渦巻き状の羽根１ａの外周の位置には吸い込み口５を設けてあり、固定スクロール１の渦巻き状の羽根１ａの中心には吐出口６を設けてある。またハウジング３内には可動スクロール２を旋回運動（公転運動）をするように駆動するための圧電モータ７を配設してある。このように構成せるスクロール型ポンプは圧電モータ７を駆動することにより、固定スクロール１に対して可動スクロール２が旋回して、両スクロール１，２の重ね合わせにより形成される密閉空間８を図２３（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す順に渦巻き部の外側から中心側へ移動させて容積を逐次縮小させるように圧縮させることにより、吸い込み口５から吸い込んだ流体を吐出口６から吐出するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来例である特開昭６４−５３０８５号公報で開示されるものでは、可動スクロール２を旋回するように駆動するために圧電モータ７を用いていることで可動スクロール２を圧電モータ７にて旋回するように直接駆動することができてある程度小型化ができるが、十分に小型化されているといえるものでなかった。また特開平２−１４０４８３号公報で開示されるものも特開昭６４−５３０８５号公報と同様に可動スクロールを圧電モータで駆動するものであって、上記と同様に十分に小型化されているものといえるものでなかった。さらに特開平８−２６１１６７号公報で開示されるものは静電アクチュエータで可動スクロールを旋回するように駆動するようになっているが、これも充分に小型化されているといえるものでなかった。
【０００６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ポンプとアクチュエータとを一体化することにより小型、軽量、薄型化が可能になるスクロール型ポンプを提供することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明の請求項１のスクロール型ポンプは、渦巻き状の羽根２ａ，１ａを有する可動スクロール２と固定スクロール１とを渦巻き部にて互いに組み合わせて、可動スクロール２を軸線の周りに一定の半径で公転させることにより、上記両スクロール１，２の組み合わせにより形成される密閉空間８を渦巻き部の外側から中心側へと移動させて容積を逐次縮小させて圧縮するようにしたスクロール型ポンプにおいて、可動スクロール２を保持するハウジング３がステータ、可動スクロール２がロータになるように磁気回路を形成して可動スクロール２をダイレクトに駆動させるようにし、ステータ側となる鉄心９及びコイル１０の組み合わせは鉄心９の内側に突出する歯形部２１が可動スクロール２の外周に複数設けた歯形部２２と対向するようにハウジング３の表面の円周上に複数個を平面的に配置して該歯形部２１にコイル１０を装着して形成し、鉄心９の歯形部２１のコイル１０に電流を印加することで対向する可動スクロール２の歯形部２２が吸引時にある隙間にて接近するようにし、平面的に磁気回路を構成することにより可動スクロールを駆動させるようにして成ることを特徴とする。可動スクロール２をロータとして磁気で可動スクロール２を直接駆動する構造とすることでポンプとアクチュエータとがコンパクトに一体化されるとともに鉄心が一体化でき、小型、軽量、薄型化が可能となる。
【０００８】
また本発明の請求項２のスクロール型ポンプは、渦巻き状の羽根２ａ，１ａを有する可動スクロール２と固定スクロール１とを渦巻き部にて互いに組み合わせて、可動スクロール２を軸線の周りに一定の半径で公転させることにより、上記両スクロール１，２の組み合わせにより形成される密閉空間８を渦巻き部の外側から中心側へと移動させて容積を逐次縮小させて圧縮するようにしたスクロール型ポンプにおいて、可動スクロール２を保持するハウジング３がステータ、可動スクロール２がロータになるように磁気回路を形成して可動スクロール２をダイレクトに駆動させるようにし、ステータ側となる鉄心９及びコイル１０の組み合わせは略Ｃ字状の鉄心９にて可動スクロール２の外周部を上下から挟むようにハウジング３の表面の円周上に複数個を立体的に配置し、鉄心９と可動スクロール２との隙間は一定に保つようにし、立体的に磁気回路を構成することにより可動スクロールを駆動させるようにして成ることを特徴とする。可動スクロール２をロータとして磁気で可動スクロール２を直接駆動する構造とすることでポンプとアクチュエータとがコンパクトに一体化され、小型、軽量、薄型化が可能となる。
【００１３】
また本発明の請求項３のスクロール型ポンプは、請求項１又は２において、ロータとなる可動スクロール２の部材は永久磁石にて形成することを特徴とする。永久磁石とすることで起磁力が強いので、磁気特性を向上させることが可能となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
先ず、図１に示す実施の形態から述べる。渦巻き状の羽根（ラップ）１ａ，２ａを有する固定スクロール１及び可動スクロール２と、可動スクロール２の自転を防止するオルダムリング４と、可動スクロール２を駆動させるための鉄心９及びコイル１０と、可動スクロール２とオルダムリング４と鉄心９を保持するためのハウジング３と、可動スクロール２を一定の半径で公転させるための偏心軸１２と、偏心軸１２をハウジング３との間で回転自由とするための軸受１３等より本発明のスクロール型ポンプが構成されている。上記固定スクロール１と可動スクロール２の渦巻き状の羽根１ａ，２ａの形状は例えばインボリュート関数或いはアブソリュート関数などで形成される。可動スクロール２は底部にキー溝１４が形成されていて、オルダムリング４の上部のキー状の突起１５と嵌め合うことで１自由度移動可能である。またオルダムリング４は底部にキー状の突起１６が上部の突起１５と直交して形成されており、ハウジング３のキー溝１７と嵌め合うことで１自由度移動可能である。すなわち、オルダムリング４を介することで可動スクロール２は２自由度で移動可能な機構となっている。偏心軸１２はハウジング３の底部中央に形成された穴１８に対して軸受１３を介して回転自由に取り付けられており、また偏心軸１２には軸中心から偏心した位置に穴１２ａが形成されており、可動スクロール２の底部中央に形成された軸が穴１２ａに滑り自由な状態で嵌合されている。固定スクロール１は可動スクロール２、オルダムリング４、鉄心９及びコイル１０を挟んだ状態でハウジング３最外周上面にて固定される。これにより、可動スクロール２とオルダムリング４は軸方向に拘束される。以上の機構により可動スクロール２は自転せずに一定の公転半径で揺動運動（旋回運動）を平面的に行うようになっている。ハウジング３に保持される鉄心９とコイル１０の組み合わせは可動スクロール２を駆動させるためのステータとして可動スクロール２を取り巻くように配置されており、例えば放射状に配置されている。また可動スクロール２は永久磁石或いは鉄系の強磁性体により形成されるものであり、コイル１０に電流を流すことでステータとしての鉄心９に磁界を発生させてそれに伴い、吸引されて駆動されるような磁気回路を形成するようになっている。このようにして放射状に配置された鉄心９とコイル１０に順番に磁界を発生させて可動スクロール２を駆動させることができるようになっている。つまり、可動スクロール２はロータとしてダイレクトに駆動することが可能となっている。
【００２４】
しかしてコイル１０に通電してロータとしての可動スクロール２を駆動することにより、固定スクロール１に対して可動スクロール２が旋回して、両スクロール１，２の重ね合わせにより形成される密閉空間８を従来例で述べた図２３（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す順に渦巻き部の外側から中心側へ移動させて容積を逐次縮小させるように圧縮させることにより、吸い込み口５から吸い込んだ流体を吐出口６から吐出するようになっている。上記のようにポンプとしての機能を果たすためには可動スクロール２と固定スクロール１の重ね合わせにより形成される密閉空間８を渦巻き部の外側から中心側へ移動させ容積を逐次縮小させるように圧縮させるのであるが、可動スクロール２が固定スクロール１に対して自転せずに一定の半径で公転する動作が必要である。そのためには、上記駆動方式に対して自転を防止するための機構及び一定半径で公転させるための機構が必要である。
【００２５】
上記のように本発明のスクロール型ポンプが形成され、可動スクロール２をロータとしてダイレクトに駆動される構造となっているためにポンプとアクチュエータとが一体化されることとなり、小型、軽量、薄型化が可能になるものである。
【００２６】
次に図２に示す実施の形態について述べる。これはロータとしての可動スクロール２を駆動する構造を主に説明するものである。図２（ａ）（ｂ）に示すようにハウジング３に保持される鉄心９とコイル１０の組み合わせは可動スクロール２を駆動するためのステータとして可動スクロール２を取り巻くように放射状に８分割にて配置されている。鉄心９と可動スクロール２との位置関係は、図２（ｂ）（ｃ）に示すように鉄心上部側面（ハウジング３外周側）と可動スクロール２の側面の面取り部２０が吸引時にある隙間にて接近し、鉄心下部上面（ハウジング３中央部付近）と可動スクロール２底面とがある一定の隙間にて接近するような配置である。この配置において、コイル１０に電流を流すことで図２（ｄ）の矢印のような立体的な磁気回路が形成されて可動スクロール２がラジアル方向に吸引される。このコイル電流を図２（ｂ）の▲１▼番→▲２▼番→▲３▼番……と順次印加することにより可動スクロール２は電流を印加されたステータに吸引されて移動する。以上のようにして可動スクロール２をダイレクトに駆動することができる。なお、自転を防止するための機構及び一定の半径で公転させるための機構等は上記例のものと同じである。
【００２７】
次に図３に示す実施の形態について述べる。これはロータとしての可動スクロール２を駆動する構造の他例を示すものである。鉄心９は円環状に一体化された形状でハウジング３の外周の上部に設けられている。この鉄心９には可動スクロール２の外周と対向するように内側に突出する歯形部２１が形成され、この歯形部２１を取り巻くようにコイル１０が装着されている。図３の例の場合、周方向に等間隔に１２の歯数の歯形部２１が設けてあり、各歯形部２１にコイル１０を夫々装着してある。可動スクロール２の外周には鉄心９の歯形部２１と対向するように歯形部２２を設けてあり、本例の場合、周方向に等間隔に１２の歯数の歯形部２２を設けてある。本構成において、鉄心９の隣り合う歯形部２１の３つのコイル１０（２つのコイル１０でもよい）に電流を印加することで対向する可動スクロール２の歯形部２２が吸引時にある隙間にて接近するような配置であり、図３の矢印のように平面的に磁気回路が形成されて可動スクロール２がラジアル方向に吸引されるようになっている。このコイル電流を外周に沿って順次印加することにより可動スクロール２は電流印加されたステータに吸引されて移動する。以上のようにして可動スクロール２をダイレクトに駆動することができる。なお、自転を防止するための機構及び一定の半径で公転させるための機構等は上記例のものと同じである。本実施の形態の構造の場合、スクロール型ポンプの小型、軽量、薄型化が可能である他、鉄心９が一体化できる。
【００２８】
次に図４に示す実施の形態について述べる。これもロータとしての可動スクロール２を駆動する構造の他例を示すものである。図４（ａ）に示すようにハウジング３に保持される鉄心９とコイル１０の組み合わせは可動スクロール２を駆動させるためのステータとして可動スクロール２を取り巻くように放射状に１２個配置されている。鉄心９と可動スクロール２の位置関係は、図４（ｂ）に示すように略Ｃ字状の鉄心９にて可動スクロール２の外周部を上下から挟むような配置である。なお、鉄心９と可動スクロール２との隙間は一定に保つようになっている。この配置において、コイル１０に電流を流すことで立体的な磁気回路が形成されて可動スクロール２が吸引される。このコイル電流を▲１▼番→▲２▼番→▲３▼番……と順次印加することにより可動スクロール２は電流印加されたステータに吸引されて移動する。以上のようにして可動スクロール２をダイレクトに駆動することができる。なお、自転を防止するための機構及び一定の半径で公転させるための機構等は上記例のものと同じである。
【００２９】
次に図５に示す実施の形態について述べる。これもロータとしての可動スクロール２を駆動する構造の他例を示すものである。図５（ａ）に示すようにハウジング３に保持される鉄心９とコイル１０の組み合わせは可動スクロール２を駆動させるためのステータとして可動スクロール２の下部に放射状に４分割にて配置される。この鉄心９と可動スクロール２の位置関係は図５（ｂ）に示すように略コ字状の鉄心９の上面にある一定の隙間を確保しながら可動スクロール２の底面が配置されるようになっている。この配置において、コイル１０に電流を流すことで図５（ｂ）の矢印のような立体的な磁気回路が形成されて可動スクロール２が吸引される。このコイル電流を順次印加することにより可動スクロール２は電流印加されたステータ側に吸引されて移動する。以上のようにして可動スクロール２をダイレクトに駆動することができる。なお、自転を防止するための機構及び一定の半径で公転させるための機構等は上記例のものと同じである。
【００３０】
次に図６に示す実施の形態について述べる。これはステータとしての鉄心９の構造に関するものである。ステータとしての鉄心９は電流印加に伴う磁束の向きに平行となるように、例えばケイ素鋼鈑のような強磁性体薄板２３を図６（ａ）の状態から図６（ｂ）の状態に積層して形成されている。これにより鉄心９内部に発生する渦電流を抑制することができ、磁気特性を向上させることが可能である。
【００３１】
次に図７に示す実施の形態について述べる。これはスクロール型ポンプを構成する部材の材質に関するものである。ステータとしての鉄心９やロータとしての可動スクロール２は磁気回路を形成するために磁性体であるが、それらに接する磁気回路を形成しない部位の材質は非磁性体からなる構造としてある。この非磁性体で形成する部材としては、図７に示すような固定スクロール１、オルダムリング４、ハウジング３、偏心軸１２等がある。非磁性体の材質としてはプラスチック等がある。このように固定スクロール１、オルダムリング４、ハウジング３、偏心軸１２等を非磁性体で形成すると磁束漏れを防止することができる。
【００３２】
次に図８に示す実施の形態について述べる。これもスクロール型ポンプを構成する部材の材質に関するものである。本例の場合、図８に示すような可動スクロール２の部材を鉄心等の強磁性体により形成してある。これにより可動スクロール２はステータ側で発生した磁力線の張力によって引き込まれて移動するのである。上記のように可動スクロール２の部材を鉄心等の強磁性体とすることで、ロータ内の磁気回路上でのギャップが少なくなり、磁気特性を向上させることが可能である。
【００３３】
次に図９に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２の部材の材質の他例に関するものである。図９（ａ）に示すようなロータとしての可動スクロール２の部材を永久磁石により形成してある。永久磁石としては例えばフェライト系、希土類系等がある。これにより可動スクロール２はステータ側で発生した磁極に対応するように吸引されて移動するのである。上記のように可動スクロール２の部材を永久磁石とすることで起磁力が強いので、磁気特性を向上させることが可能である。
【００３４】
次に図１０に示す実施の形態について述べる。これも可動スクロール２の部材の材質の他例に関するものである。図１０に示すようなロータとしての可動スクロール２の部材をプラスチックマグネットにより形成してある。プラスチックマグネットの部材としては、例えばフェライト系、希土類系磁石を基本成分としてナイロン系の樹脂材料を配合させたものがある。これにより、可動スクロール２はステータ側で発生した磁極に対応するように吸引されて移動するのである。このように可動スクロール２の部材としてプラスチックマグネットを利用することで他部品と同様にプラスチックの射出成形等による製作が可能となり、量産化においては生産性、コスト等において好都合である。
【００３５】
次に図１１に示す実施の形態について述べる。これも可動スクロール２の部材の材質の他例に関するものである。ロータとしての可動スクロール２の部材は磁気回路を形成する部位のみプラスチックマグネットとし、その他の部位は別材質にて形成される構造となっている。すなわち、可動スクロール２は外周部２４と外周部２４以外の渦巻き状の羽根２ａ等を有するスクロール本体部２５とで構成されており、磁気回路の一部となる外周部２４は例えばリング状にプラスチックマグネットにて形成し、その他のスクロール本体部２５は固定スクロール１との関係においてポンプ特性として必要となる摺動性、耐磨耗性、強度等の機械的特性に優れた樹脂系材料により形成する構造としている。このような構造の可動スクロール２の製作方法としては２種の樹脂材料による２重射出成形等がある。このように外周部２４をプラスチックマグネットにてリング状に薄く形成することにより着磁特性を向上させることができると共に渦巻き状の羽根２ａ等を有するスクロール本体部２５はポンプ特性を向上させる特性を持った材質を選択することができる。
【００３６】
次に図１２に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２の磁石の極性に関するものである。ロータとしての可動スクロール２の磁気回路を形成する部分が永久磁石或いはプラスチックマグネットにて形成されるが、この永久磁石やプラスチックマグネットにて形成される磁石部２６を円環状のような環状にし、この永久磁石やプラスチックマグネットの磁石部２６の極性をラジアル方向にＳ−Ｎ（またはＮ−Ｓ）となるように形成される。このような構造とすると図２に示す実施の形態で述べた立体的な磁気回路を形成させる場合に好都合である。
【００３７】
次に図１３に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２の磁石の極性の他例に関するものである。ロータとしての可動スクロール２は永久磁石或いはプラスチックマグネットにて形成されるが、本例の場合、この可動スクロール２の外周に沿って形成される極性は円周方向にＳ，Ｎが交互に形成される構造となっている。このような構造とすると図３に示す実施形態で述べた平面的な磁気回路を形成させる場合に好都合である。
【００３８】
次に図１４に示す実施の形態について述べる。これも可動スクロール２の磁石の極性の他例に関するものである。ロータとしての可動スクロール２は永久磁石或いはプラスチックマグネットにて形成されるが、本例の場合、可動スクロール２の極性を軸方向（板厚方向）に変化する構造としてある。このような構造とすると、図４に示す実施形態で述べた立体的な磁気回路を形成させる場合に好都合である。
【００３９】
次に図１５に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２の旋回半径を拘束する機構に関するものである。図１５に示すように偏心軸１２は円柱状に形成され、ハウジング３の底部中央に形成された穴１８に対して軸受１３を介して回転自由に取り付けられている。この偏心軸１２は軸中心から偏心した位置（偏心量：Ｒ）に円形の穴１２ａが形成されており、可動スクロール２の底部の中央に形成された軸が穴１２ａに嵌め込まれて軸と穴１２ａが滑り自由な状態で組み合わせられる。これにより可動スクロール２を一定の半径Ｒで公転させることが可能となる。このようにすることで可動スクロール２と固定スクロール１との半径方向の隙間をできるだけ小さくし、ポンプとしての圧縮性能を向上させることが可能となる。
【００４０】
次に図１６に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２が駆動時に自転しないように拘束する機構に関するものである。可動スクロール２の底部に径方向にキー溝１４が形成されていて、オルダムリング４の上部のキー状の突起１５とキー溝１４が嵌め合うことで１自由度移動可能となっている。またオルダムリング４の底部にキー状の突起１６が上部の突起１５と直交して形成されており、ハウジング３の径方向のキー溝１７と嵌め合うことで１自由度移動可能である。すなわち、オルダムリング４を介することにより可動スクロール２はハウジング３に対して図１６の矢印に示すようにＸ，Ｙの２軸移動可動な機構となる。したがって、可動スクロール２はハウジング３に対して自転しないように拘束された機構になっている。このように可動スクロール２を自転しないようにすることで可動スクロール２は固定スクロール１との干渉を防止し、ポンプとしての圧縮性能を向上させることが可能である。
【００４１】
次に図１７に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２に対して半径方向にコンプライアンス機構を有する構造としたものである。例えば偏心軸１２の偏心穴となる穴１２ａが半径方向にばね等によるコンプライアンス機構を具備させることにより、偏心量を可変できるようにしてある。つまり、図１７（ａ）に示すように偏心軸１２には直径方向に摺動溝２７を設けてあり、この摺動溝２７には摺動体２８を摺動自在に配置してあり、摺動体２８をばね２９にて付勢してあり、摺動体２８に偏心穴となる穴１２ａを設けてあり、可動スクロール２の中心の軸３０を穴１２ａに嵌め込んである。これにより偏心穴となる穴１２ａと滑り自由な状態で組み合わせられる可動スクロール２は旋回半径を可変にすることが可能である。従って、図１７（ｂ）に示すように可動スクロール２と固定スクロール１とを組み合わせる時に夫々の渦巻き状の羽根２ａ，１ａをコンプライアンスが効くように押さえ付けておけば、多少の位置ずれがあったとしても可動スクロール２の旋回に伴って旋回半径が変化して、常に密着状態とすることが可能である。このようにすることで、旋回半径を可変として、可動スクロール２と固定スクロール１とのそれぞれの渦巻き状の羽根２ａ，１ａを半径方向に密着状態とし、ポンプとしての圧縮性能を向上させることが可能である。
【００４２】
次に図１８に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２に対して軸方向にコンプライアンス機構を有する構造としたものである。これは図に示すように偏心軸１２の偏心穴である穴１２ａの内部にばね３１を内装してあり、穴１２ａに嵌め込んだ軸３０を軸方向に付勢してある。これにより偏心穴である穴１２ａと滑り自由な状態で組み合わされる可動スクロール２は軸方向にコンプライアンス機構を有することとなる。従って、可動スクロール２と固定スクロール１とを組み合わせる時に夫々の渦巻き状の羽根２ａ，１ａの部分をコンプライアンスが効くように押さえ付けておけば、常に軸方向に密着状態とすることが可能である。このように可動スクロール２を固定スクロール１に軸方向に密着させることができるので、ポンプとしての圧縮性能を向上させることが可能である。
【００４３】
次に図１９に示す実施の形態について述べる。これはスクロールの圧縮室から吐出空気の一部を可動スクロール２を固定スクロール１に軸方向に押し付けるための背圧に利用するものである。図に示すように固定スクロール１では中央部の吐出口６から外周部のハウジング３との合わせ面に向かって貫通穴３３を形成してある。さらにハウジング３では外周部の固定スクロール１との合わせ面から中央部の可動スクロール２との接触面に向かって貫通穴３４を形成してある。これにより、固定スクロール１の中央部の吐出口６とハウジング３中央部の可動スクロール２との接触面とが貫通穴３３，３４でつながる。従って、固定スクロール１、可動スクロール２、ハウジング３及び偏心軸１２を組み合わせたとき可動スクロール２と固定スクロール１との夫々の渦巻き状の羽根２ａ，１ａによって形成される密閉空間８から吐出される圧縮気体の一部が吐出口６からハウジング３中央部の可動スクロール２との接触面まで到達する。これにより、圧縮気体が可動スクロール２底面を固定スクロール１に対して軸方向に押し付ける構造となる。このように可動スクロール２を固定スクロール１に軸方向に密着させることができるので、ポンプとして圧縮性能を向上させることが可能である。
【００４４】
次に図２０に示す実施の形態について述べる。これは可動スクロール２の固定スクロール１に対する位置検出機構を有するものである。図に示すように例えばステータとしての鉄心９の上部の上面に位置センサー３５を可動スクロール２側に向けて設置してある。この位置センサー３５はステータの励磁により、可動スクロール２の外周の側面が最も接近した場合に検知するように設定調整しておく。なお、この位置検出装置としての位置センサー３５はすべてのステータ部に設置する構造となっている。このように位置検出装置としての位置センサー３５を設けると、可動スクロール２の現位置を検知することができるので、回転開始時に最初に励磁すべきコイル１０が明確となる。また位置検知から単位時間当たりの検出回数すなわち回転数を算出することが可能となる。
【００４５】
次に図２１に示す実施の形態について述べる。これは吐出する流体である吐出気体の圧力を検出する機構を有するものである。図に示すように固定スクロール１の中央部の吐出口６と接続された空気回路３６の途中に圧力センサー３７を設置して吐出口６からの吐出気体の圧力を検知することができる構造としてある。このようにすることで、ポンプ動作時の吐出圧を常に検知し、過大な圧力上昇を防止することが可能である。また目的に合った圧力設定が可能である。
【００４６】
【発明の効果】
上記のように本発明は、叙述の如く可動スクロールを保持するハウジングがステータ、可動スクロールがロータになるように磁気回路を形成して可動スクロールをダイレクトに駆動させるようにしているので、可動スクロールをロータとして磁気で可動スクロールを直接駆動する構造とすることでポンプとアクチュエータとがコンパクトに一体化され、小型、軽量、薄型化が可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を説明するための分解斜視図である。
【図２】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は組み立て状態の平面から見た断面図、（ｃ）は（ｂ）の正面から見た断面図、（ｄ）はステータ部分の斜視図である。
【図３】同上の他例を説明するための平面図である。
【図４】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は要部の斜視図である。
【図５】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は要部正面から見た断面図である。
【図６】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は組み立て状態の斜視図である。
【図７】同上の他例を説明するための分解斜視図である。
【図８】同上の他例を説明するため斜視図である。
【図９】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は可動スクロールの斜視図、（ｂ）は要部の斜視図である。
【図１０】同上の他例を説明するための斜視図である。
【図１１】同上の他例を説明するための分解斜視図である。
【図１２】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部の斜視図である。
【図１３】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は概略斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図１４】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は概略斜視図、（ｂ）は要部の斜視図である。
【図１５】同上の他例を説明するための図であって、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は要部の平面図である。
【図１６】同上の他例を説明するため分解斜視図である。
【図１７】同上の他例の説明するための図であって、（ａ）は偏心軸の構造を説明する説明図、（ｂ）は組み立て状態の正面から見た断面図である。
【図１８】同上の他例を説明するための正面から見た断面図である。
【図１９】同上の他例を説明するための正面から見た断面図である。
【図２０】同上の他例を説明するための斜視図である。
【図２１】同上の他例を説明するための断面図である。
【図２２】従来例を説明する断面図である。
【図２３】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は従来例の動作を説明する説明図である。
【符号の説明】
１  固定スクロール
１ａ  羽根
２  可動スクロール
２ａ  羽根
８  密閉空間
９  鉄心
１０  コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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