【事件の表示】
　平成９年特許願第１１１７４２号「無機繊維製品」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１１月４日出願公開、特開平１０−２９２２２９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　この出願（以下、「本願」という。）は、平成９年４月１５日の特許出願であって、以降の手続の経緯は以下のとおりのものである。
　
　平成９年５月７日　　　　　　　手続補正書
　平成１４年８月６日　　　　　　手続補正書
　平成１６年８月５日付け　　　　拒絶理由通知
　平成１６年１０月１４日　　　　意見書・手続補正書
　平成１８年７月２０日付け　　　拒絶査定
　平成１８年８月２２日　　　　　審判請求書
　平成１８年１０月２５日　　　　手続補正書（方式）
　
第２　本願発明について
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１６年１０月１４日付け手続補正書の特許請求の範囲に記載された事項により特定される下記のものである。
　
「アルミナシリカ繊維と、アルミナ繊維を主成分とし、有機バインダーおよび無機バインダーのいずれか１種以上を含み、ＮａとＫの合計が５００ｐｐｍ以下であり、Ｃａが１３０ｐｐｍ以下であり、Ｆｅが２００ｐｐｍ以下であり、Ｆｅが２００ｐｐｍ以下であり、Ｃｕが２ｐｐｍ以下であり、Ｎｉが４ｐｐｍ以下である無機繊維製品。」
　
第３　原査定の拒絶の理由の概要
　本願発明についての原査定の拒絶の理由の概要は、「この出願の請求項１〜３に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。」というものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
１.特開平５−２１５４７３号公報（原査定における引用文献１。以下、「刊行物１」という。）
２.特開平４−１０８１１５号公報（原査定における引用文献２。以下、「刊行物２」という。）
　
第４　各刊行物に記載された事項
１　刊行物１
　本願の出願前である平成５年８月２４日に頒布された刊行物である刊行物１には、以下の事項が記載されている。
　
（１ａ）「カサ密度０．３〜０．８ｇ／ｃｍ３ の無機質成形体の内面に、無機繊維製クロスで内側面が被覆されたカサ密度が１．０〜２．０ｇ／ｃｍ３の無機質被覆層が形成された積層体で、前記無機質被覆層が発熱体の支持部とされていることを特徴とする加熱装置。」（請求項１）
　
（１ｂ）「請求項１の無機質成形体が複数の分割品で筒状に形成されていることを特徴とする加熱装置。」（請求項３）
　
（１ｃ）「請求項１の無機質成形体が、アルミナ質繊維、無機質充填材および無機質バインダーから形成されていることを特徴とする加熱装置。」（請求項４）
　
（１ｄ）「請求項１の積層体中に含まれる下記不純物金属元素の含有率が以下の範囲にあることを特徴とする加熱装置。
　ナトリウム（Ｎａ）とカリウム（Ｋ）の合計：２０００ｐｐｍ以下
　銅（Ｃｕ）                              ：    ５０ｐｐｍ以下
　鉄（Ｆｅ）                              ：  ５００ｐｐｍ以下
　ニッケル（Ｎｉ）                        ：    ５０ｐｐｍ以下」（請求項６）
　
（１ｅ）「例えば半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハを加熱処理する各種の工程が含まれる。例えば、酸化処理、拡散処理、ＣＶＤ処理、エピタキシャル処理、ドーピング処理等の工程である。このような加熱処理に使用される加熱装置の一例においては、被処理体である半導体ウエハが配置される処理容器と、この処理容器を取囲むよう配置された断熱材と、この断熱材の内壁に配置された発熱体とを備えてなる。断熱材としては、従来、セラミックファイバが用いられ、発熱体としては、従来、鉄（Ｆｅ）とクロム（Ｃｒ）とアルミニウム（Ａｌ）の合金線であるカンタル（商品名）線等の抵抗発熱体が用いられている。」（段落【０００２】）
　
（１ｆ）「しかし、ＭｏＳｉ２ からなる発熱体を用いて高速で昇温させるプロセスを繰返していくと、セラミックファイバからなる断熱材にスポーリングによるクラックが入りやすく、断熱材の劣化が著しいという問題が発生した。なお、スポーリングとは、断熱材の構成材料が粉塵となって飛散する現象をいう。また、半導体ウエハの加熱処理後、高速で降温させるために処理容器の均熱領域に強制的に冷却媒体を流して冷却するプロセスを繰返していくと、劣化した断熱材からパーティクルが発生し、コンタミネーションの原因となる問題も生じた。さらに、ＭｏＳｉ２ からなる発熱体と断熱材との接触部分で両者が反応して発熱体が断線するという問題も生じた。」（段落【０００４】）
　
（１ｇ）「本発明の第１の目的は、耐スポーリング性、耐劣化性、耐反応性の優れた加熱装置を提供することにある。また、本発明の第２の目的は、長期間にわたり安定に昇降温できる加熱装置を提供することにある。」（段落【０００５】）
　
（１ｈ）「無機質成形体が複数の分割品で筒状に形成されていると、精密な構造の積層体が得られる。無機質成形体が、アルミナ質繊維、無機質充填材および無機質バインダーから形成されていると、粉塵等の飛散が少ない。アルミナ質繊維が、Ａｌ２ Ｏ３ を９０ｗｔ％以上含有するものであると、耐熱性が向上する。積層体中に含まれる特定の不純物金属元素の含有率を特定値以下に抑制すると、コンタミネーションが小さくなる。」（段落【０００７】）
　
（１ｉ）「無機質被覆層３１の内側面を被覆する無機繊維製クロス３３としては、アルミナ繊維質クロスが好適であり、無機質成形体３２の内面に無機質被覆層３１の材料を被覆する際に埋設された状態で張り付けられるものであって、無機質成形体３２のクラックおよびパーティクルの発生を抑制するものである。無機質被覆層３１は、アルミナ質繊維、無機質充填材、無機質バインダーにより形成することができ、これらの配合割合は、例えば、アルミナ質繊維／無機質充填材／無機質バインダー＝１０〜１５／４０〜６０／２０〜４０（ｗｔ％）である。」（段落【００１０】）
　
（１ｊ）「アルミナ質繊維としては、通常のＡｌ２ Ｏ３ 成分を７０ｗｔ％程度以上含有するものが使用可能であるが、高温下での再結晶化に伴う繊維の劣化が小さくて耐熱性の良好なＡｌ２ Ｏ３ を９０ｗｔ％以上含有するもので、かつ、他の無機質充填材および無機質バインダーの混合物中への均一分散を良好にして補強効果を促す短繊維が好ましい。かかる短繊維の具体例としては、「ルビール」（ニチアス株式会社製，Ａｌ２ Ｏ３／ＳｉＯ２ ＝９５／５（ｗｔ％））がある。無機質充填材としては、例えばアルミナ粉末、ムライト粉末等を用いることができる。無機質バインダーとしては、例えばコロイダルシリカ、コロイダルアルミナ等を用いることができる。なお、発熱体として二ケイ化モリブデン（ＭｏＳｉ２ ）を使用する場合は、被覆層材料としてアルミナ質繊維、アルミナ粉末およびコロイダルアルミナからなる材料で構成することが好ましい。」（段落【００１１】）
　
（１ｋ）「無機質成形体３２は、無機質繊維、無機質充填材、無機質バインダーにより形成することができ、これらの配合割合は、例えば、無機質繊維／無機質充填材／無機質バインダー＝２０〜６５／３５〜７０／３〜１０（ｗｔ％）である。無機質繊維、無機質充填材、無機質バインダーの具体的材料としては、無機質被覆層３１と同様のものを用いることができる。無機質成形体３２の厚さは、例えば５〜３０ｍｍ程度である。」（段落【００１３】）
　
（１ｌ）「積層体３において、アルカリ金属であるナトリウム（Ｎａ）とカリウム（Ｋ）の合計の含有量が２０００ｐｐｍ以下、重金属である銅（Ｃｕ）の含有量が５０ｐｐｍ以下、重金属である鉄（Ｆｅ）の含有量が５００ｐｐｍ以下、重金属であるニッケル（Ｎｉ）の含有量が５０ｐｐｍ以下であることが好ましい。このような不純物金属元素の含有量を小さく抑制することにより、積層体３の耐スポーリング性がさらに向上し、また、耐コンタミネーションも向上する。」（段落【００１５】）
　
２　刊行物２
　本願の出願前である平成４年４月９日に頒布された刊行物である刊行物２には、以下の事項が記載されている。
　
（２ａ）「アルミナの含有率が４０〜６５重量％の非晶質のアルミナシリカ質繊維からなり、この繊維に含まれるＮａ及びＫの合計が２５０ｐｐｍ以下の範囲で、かつこの繊維に含まれるＦｅが５００ｐｐｍ以下である高耐熱高強度アルミナシリカ質繊維。」（請求項２）
　
（２ｂ）「通常はアルミナ原料およびシリカ原料のいずれも、合成原料を使用する。
…
　従って本発明で使用するアルミナ原料は普通のバイヤー法以外の製法によるものが好ましい。例えば、アンモニウムミョウバン法や有機金属加水分解法等によって得たアルミナを使用するのが好ましい。
　しかし、不純物の多い原料の使用を全く否定するものではない。不純物の多い原料を用いても、不純物を除去する工程を適用すれば、本発明の繊維は製造することが可能である。
　シリカ原料についても、天然珪砂は、不純物合有量、特にアルカリ金属の酸化物の含有量か多いので、本発明では使用しにくい。
　したがって、本発明ではシリカ原料として合成原料の使用が好ましい。このような原料として四塩化ケイ素や各種アルキルシリケートを出発原料とした合成シリカが挙げられる。
　本発明で用いられる原料の例を第１表に示す。比較のために、従来より多く用いられているバイヤー法アルミナ及び天然珪砂（フラタリーサンド）の不純物分析値を示す。
第１表のＡＣＬ−２７、ＣＡＨ−５０１はいずれも高純度アルミナ原料の例である。これらのアルミナは不純物含有量がいずれの元素についても重量で１００ｐｐｍ以下である。
この程度の純度であれは、本発明で使用しうる。Ｐ−３は高純度シリカ原料の例で、不純物元素はほとんどゼロに近い。これも本発明で使用しうる。」（第３頁右下欄第３行〜第４頁左上欄第２０行）
　
（２ｃ）「
　
」（第７頁第３表）
　
第５　当審の判断
１　刊行物１に記載された発明
　刊行物１の上記摘記事項（１ａ）には、「加熱装置」の発明の他、「無機質成形体」そのものの発明も記載されていると認められるところ、（１ａ）中の「無機質成形体」は、上記摘記事項（１ｋ）の記載からみて「無機質繊維／無機質充填材／無機質バインダー＝２０〜６５／３５〜７０／３〜１０（ｗｔ％）」の配合割合で形成されるものであり、上記摘記事項（１ｂ）の記載からみて、「複数の分割品で筒状に形成」されたものである。
　そうすると、刊行物１には、
「無機質繊維／無機質充填材／無機質バインダー＝２０〜６５／３５〜７０／３〜１０（ｗｔ％）で形成され、複数の分割品で筒状に形成された無機質成形体」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
２　本願発明と引用発明との対比・判断
ア　対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、本願発明の「アルミナシリカ繊維」、「アルミナ繊維」も「無機質繊維」であるから、引用発明の「無機質繊維」は、本願発明の「アルミナシリカ繊維と、アルミナ繊維」を含むものといえる。本願発明の「アルミナシリカ繊維と、アルミナ繊維を主成分とし」について、本願明細書の段落【００２４】には「繊維と耐火粉末の重量比は１００：０〜１００：１００であり、繊維と耐火粉末の合計と無機バインダーの重量比は１００：０〜８０：２０である」と記載されているところ、引用発明の「無機質成形体」は「無機質繊維／無機質充填材／無機質バインダー＝２０〜６５／３５〜７０／３〜１０（ｗｔ％）」であり、本願発明と引用発明とでは「無機質繊維」の配合割合について重なり合いが認められるから、引用発明においても「無機質繊維」が主成分となっている態様を含むといえる。
　また、引用発明の「無機質成形体」は「無機質バインダー」を含むものであるから、本願発明と同様に「有機バインダーおよび無機バインダーのいずれか１種以上を含」んでいるといえる。さらに、本願発明の「無機繊維製品」とは、本願明細書の段落【００３２】、【００４１】の記載からみて単に無機繊維を含む配合物を成形したものを含むものと認められ、引用発明の「無機質成形体」も「無機質繊維」を含む「複数の分割品で筒状に形成された…成形体」であることから、引用発明の「無機質成形体」は本願発明の「無機繊維製品」であるといえる。
　そうすると、両者は、
「無機質繊維を主成分とし、有機バインダーおよび無機バインダーのいずれか１種以上を含む、無機繊維製品」
という点で一致し、以下の点で相違すると認められる。
　
相違点１：「無機質繊維」について、本願発明では、「アルミナシリカ繊維と、アルミナ繊維」とからなるのに対し、引用発明では、特定されていない点
　
相違点２：無機繊維製品中の金属の含有量について、本願発明では、「ＮａとＫの合計が５００ｐｐｍ以下であり、Ｃａが１３０ｐｐｍ以下であり、Ｆｅが２００ｐｐｍ以下であり、Ｆｅが２００ｐｐｍ以下であり、Ｃｕが２ｐｐｍ以下であり、Ｎｉが４ｐｐｍ以下である」のに対し、引用発明では、「無機質成形体」中の金属の含有量が不明である点
　
イ　判断
（ア）相違点１について
　引用発明の「無機質成形体」は、上記摘記事項（１ｅ）及び（１ｆ）からみて、半導体ウエハを加熱処理する加熱装置の断熱材の一構成要素として用いられるものと認められ、上記摘記事項（１ｃ）及び（１ｈ）からみて、無機質繊維としてアルミナ質繊維が用いられている。
　工業炉等の加熱装置の断熱材として、アルミナシリカ繊維とアルミナ繊維を混合して用いることは周知技術であるから（この点について、例えば、特開平７−１０６４１号公報の請求項１、特開平９−８７０４６号公報の段落【０００１】及び【００２７】及び【００４３】、特開昭５６−１１３９８３号公報の第３頁左上欄第１５〜２０行及び第７頁左上欄の「特定の例」の表、特開平９−４９８５号公報の段落【００１５】を参照）、引用発明において、「無機質繊維」としてアルミナシリカ質繊維とアルミナ繊維とからなるものを用いることは当業者が容易に想到し得たことといえる。
　
（イ）相違点２について
　刊行物１の上記摘記事項（１ａ）には、「無機質成形体」の他、「無機繊維製クロス」及び「無機質被覆層」からなる「積層体」が記載されており、「無機繊維製クロス」は上記摘記事項（１ｉ）の記載からみてアルミナ繊維質クロスが用いられるものであり、「無機質被覆層」は上記摘記事項（１ｉ）の記載からみてアルミナ質繊維、無機質充填材、無機質バインダーから形成されるものであり、また、「積層体」は上記摘記事項（１ｄ）の記載からみて、不純物金属元素の含有率が
「ナトリウム（Ｎａ）とカリウム（Ｋ）の合計：２０００ｐｐｍ以下
　銅（Ｃｕ）                              ：    ５０ｐｐｍ以下
　鉄（Ｆｅ）                              ：  ５００ｐｐｍ以下
　ニッケル（Ｎｉ）                        ：    ５０ｐｐｍ以下」
の範囲にあるものである。引用発明の「無機質成形体」は、上記摘記事項（１ｃ）、（１ｈ）〜（１ｋ）の記載からみて「無機繊維製クロス」及び「無機質被覆層」と同様の材料からなるものであるから、「積層体」の「不純物金属元素の含有率」と同程度の「不純物金属元素の含有率」を含んでいるものと認められる。
　また、刊行物１の上記摘記事項（１ｌ）には「このような不純物金属元素の含有量を小さく抑制することにより、積層体３の耐スポーリング性がさらに向上し、また、耐コンタミネーションも向上する」と記載されており、耐スポーリング性や耐コンタミネーションを向上させるためには不純物金属元素の含有量をできるだけ小さくする必要があることが開示されていると認められる。
　さらに、刊行物２の上記摘記事項（２ａ）〜（２ｃ）の記載からみて、「アルミナシリカ質繊維」において、高純度の合成物を用いる等により、繊維に含まれるＮａ及びＫの合計が２５０ｐｐｍ以下の範囲で、かつこの繊維に含まれるＦｅが５００ｐｐｍ以下であり、カルシウム（Ｃａ）が１ｐｐｍ以下のものを得ることは可能であると認められる。
　そうすると、引用発明において、耐スポーリング性や耐コンタミネーションを向上させることを目的として、高純度の合成物を用いる等により、「無機質成形体」の「不純物金属元素」について「ＮａとＫの合計が５００ｐｐｍ以下であり、Ｃａが１３０ｐｐｍ以下であり、Ｆｅが２００ｐｐｍ以下であり、Ｆｅが２００ｐｐｍ以下であり、Ｃｕが２ｐｐｍ以下であり、Ｎｉが４ｐｐｍ以下である」ものとすることは当業者が容易に想到し得たことといえる。
　
（ウ）本願発明の効果について
　本願発明の効果は、本願明細書の段落【００４８】の「本発明の無機繊維製品によると、加熱による繊維の結晶化を抑制できて、耐熱性が向上し、粉塵の発生が極めて少なく、被加熱物との汚染反応性も少ない。この理由により、本発明の無機繊維製品を使用すれば、被加熱物を汚染することがなく、被加熱物の品質および生産量の向上が可能になる」ことであると認められる。
　一方、引用発明においても、上記摘記事項（１ｌ）には「このような不純物金属元素の含有量を小さく抑制することにより、積層体３の耐スポーリング性がさらに向上し、また、耐コンタミネーションも向上する」と記載されており、さらに、この「耐スポーリング性」及び「耐コンタミネーション」について、上記摘記事項（１ｆ）には「セラミックファイバからなる断熱材にスポーリングによるクラックが入りやすく、断熱材の劣化が著しいという問題が発生した。なお、スポーリングとは、断熱材の構成材料が粉塵となって飛散する現象をいう。…劣化した断熱材からパーティクルが発生し、コンタミネーションの原因となる問題も生じた」と記載されており、引用発明も、「耐熱性」の向上や「汚染反応性」の低下の効果が奏せられると認められるから、本願発明は引用発明に比べて顕著な効果を奏するとは認められない。
　
（２）請求人の主張について
　請求人は、平成１８年８月２２日付け審判請求書についての平成１８年１０月２５日付け手続補正書において、「本願発明は、引用文献１とは根本的に技術的思想が異なり、引用文献１の記載より当業者により適宜なしうるものではありません。たとえば、引用文献１の００１２段落には、「無機質被覆層（３１）の表面は、急熱急冷による構成材料（パーティクル）の粉塵化による飛散防止のため、その表面荒さは２０μｍ以下とすることが好ましい。」とあり、粉塵の発生を解消するために表面荒さを規定する知見が開示されています。すなわち、これは、本願発明のように粉塵の発生を解消するために不純物の濃度を規定するという思想とは根本的に異なっています」、「引用文献１には、不純物濃度を規定することによって、得られる無機繊維製品の、使用中の粉塵の発生を解消するという技術的思想は開示されていません。そして、当然ながら、引用文献１に開示されている程度の不純物濃度の規定のみでは、本願発明が解決しようとする粉塵の発生を解消することは、本願明細書の００２６段落、表４および表５の比較例の記載内容からも明らかなように、不可能であります」旨述べている。
　しかしながら、上記（１）（イ）及び（ウ）でも述べたように、引用発明においても耐スポーリング性を向上、耐コンタミネーション、すなわち「劣化した断熱材からパーティクルが発生」することを抑制することを目的としており、この目的のために不純物金属元素の含有量をできるだけ小さくする必要があること、すなわち、粉塵の発生を解消するために不純物の濃度をできるだけ小さくするという思想が開示されていると認められる。そして、不純物金属元素の含有量をできるだけ小さくすれば粉塵の発生を解消できることは刊行物１から当業者の予測し得る事項であると認められるから、請求人の上記主張を採用することはできない。
　
３　まとめ
　したがって、本願発明は、刊行物１〜２に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、その余の請求項に係る発明については検討するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。