(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物に上下方向から紫外線を照射することができるよう上下に配設された紫外線ランプ（２ａ、２ｂ）と、被処理物を紫外線ランプ間で支持するための被処理物支持手段（３）と、被処理物を搬出するための被処理物搬送手段（４）とを備え、前記被処理物搬送手段（４）は、紫外線ランプ（２ａ、２ｂ）間に張架された少なくとも２本の線状体により構成された紫外線処理装置において、前記被処理物支持手段（３）は、紫外線ランプ（２ａ、２ｂ）間に、被処理物の進行方向に張架された少なくとも２本の線状体により構成され、前記被処理物搬送手段（４）とは被処理物との接触位置が異なるように配置されていることを特徴とする紫外線処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、基板表面に付着した有機化合物被膜を紫外線とオゾンにより分解、除去を行う紫外線処理装置に関するもので、特にリードフレームのような薄く変形しやすい基板表面に付着した有機化合物被膜の分解、除去を良好に行うためのものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品やガラス基板に付着した有機化合物被膜の分解、除去を行う方法として、紫外線とオゾンを用いる方法がある。
【０００３】
この紫外線とオゾンとの作用による有機化合物の分解、除去に使用される紫外線ランプは、波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの紫外線を放射する合成石英製の低圧水銀ランプが一般的である。
【０００４】
波長１８５ｎｍおよび２５４ｎｍの光エネルギーは、ほとんどの有機化合物の分子結合を切断することができ、これにより有機化合物がフリーラジカルや励起状態の分子となる。一方、波長１８５ｎｍの紫外線が大気中の酸素に吸収されると、オゾンが発生する。さらに、このオゾンに波長２５４ｎｍの紫外線が吸収されると、励起酸素原子が生成する。
【０００５】
この強力な酸化力を持つ励起酸素原子やオゾンの熱分解によって発生した基底状態の酸素原子は、紫外線照射によって生成した有機化合物のフリーラジカルや励起状態の分子と反応してＣＯ２  、やＨ２  Ｏのような揮発性物質を生成する。このようなメカニズムで、有機化合物は分解、除去される。
【０００６】
この方法で連続的に基板に付着した有機化合物の分解、除去を行う装置は、ローラーやベルトによって被処理物を搬送するのが一般的である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、表裏両面を処理する場合、被処理物の上下に紫外線ランプを設置して同時に処理しようとすると、ローラーやベルトの影の部分や、ローラーやベルトに長時間接触する部分などの処理が進まないという問題がある。
【０００８】
また、リードフレームを例とする薄い短冊状のものを処理するとき、図３ａのように、被処理物６の長手方向の両端を、例えばローラー１２で支持する方法が採用されるが、この場合、被処理物６が自重で垂れ下がり、被処理物６や被処理物に搭載された部材の変形をもたらすおそれがある。
【０００９】
これを避けるため、第３図ｂに示すような支持方向を採用した場合には、相対的に装置が大型化し、タクトも長くなり生産性の低下をきたしてしまうという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、前記問題点を解決し、表裏両面の同時処理が連続的に可能、かつ小型で生産性の高い紫外線処理装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明の紫外線処理装置は、被処理物に上下方向から紫外線を照射することができるよう上下に配設された紫外線ランプと、被処理物を紫外線ランプ間で支持するための被処理物支持手段と、被処理物を搬出するための被処理物搬送手段とを備え、前記被処理物搬送手段は、紫外線ランプ間に張架された少なくとも２本の線状体により構成された紫外線処理装置において、前記被処理物支持手段は、紫外線ランプ間に、被処理物の進行方向に張架された少なくとも２本の線状体により構成され、前記被処理物搬送手段とは被処理物との接触位置が異なるように配置されていることを特徴としている。
【００１２】
【作用】
本発明にかかる紫外線処理装置によれば、被処理物は、被処理物支持手段と被処理物搬送手段とで交互に支持されながら、少しずつ前進して処理されるので、紫外線照射の影となる部分を残すことなく、上下両面にまんべんに連続して紫外線が照射される。
【００１３】
また、長尺の被処理物であっても、上下に配設した紫外線ランプ間に被処理物の進行方向に張架した複数の線状体で支持できるので、被処理物が自重でたわむことなく、処理される。しかも、搬送部を短くでき、もって装置を小型化することができるとともにタクトを短くすることができる。
【００１４】
【実施例】
実施例について図面を参照して説明する。本発明の一実施例の概略を示す図１ａ、ｂにおいて、処理室なるランプハウス１の中に、上下に紫外線ランプ２ａ、２ｂが設置されている。
【００１５】
紫外線ランプ２ａ、２ｂの間には、ＳＵＳ製のワイヤよりなる被処理物支持手段３が被処理物の進行方向（図１では左から右方向）に張架されている。この実施例では３本で構成されている。
【００１６】
被処理物支持手段３の隣には、同じくワイヤよりなる被処理物搬送手段４が３本張架され、その両端は駆動機構５に固定されている。この駆動機構５は、カム等により、被処理物搬送手段４を上昇、前進、下降、後退の順に駆動させることができるよう構成されている。
【００１７】
７は被処理物６を外部の供給部（図示せず）から搬送してくるためのローラーであり、上昇下降ができるよう構成されている。８は照射理済被処理物を搬出するためのローラーであり、やはり上昇下降ができるよう構成されている。
【００１８】
ローラーコンベヤ７により被処理物支持手段３、被処理物搬送手段４の上まで運ばれてきた被処理物６は、ローラーコンベヤ７が下降することにより被処理物支持手段３に載せられる。次に、被処理物搬送手段４が上昇し、被処理物６を載せランプハウス１方向に所定のピッチで前進し、停止し下降することにより、被処理物６は被処理物支持手段３で支持される。
【００１９】
この間に、下降した被処理物搬送手段４は最初の位置まで後退する。被処理物搬送手段４が下降している間にローラーコンベヤ７により新たに運ばれてきた次の被処理物６が、ローラーコンベヤ７が下降することにより被処理物支持手段３に載せられる。
【００２０】
一方、ランプハウス１内で被処理物支持手段３により支持されながら上下方向から紫外線照射処理をうけている被処理物６は、新たな被処理物６をのせて上昇する被処理物搬送手段４の動作によって被処理物支持手段３から持ち上げられ、新たな被処理物６をランプハウス１内へ搬送する被処理物搬送手段４の進行に伴って、図１の右方向へ移動する。
【００２１】
この一連の動作により、被処理物６は連続して紫外線照射処理される。照射処理の終了した被処理物は、被処理物搬送手段４により、ランプハウス１の出口部であらかじめ待機しているローラーコンベヤ８の上まで運ばれ、ローラーコンベヤ８が上昇し、ローラーコンベヤ８に乗り移り、ローラーコンベヤ８によって外部の収納部（図示せず）に運ばれる。
【００２２】
この実施例なる装置を用いて、図２に示す、チップ９を搭載し金線１０をボンディングしたリードフレーム１１の処理を行った結果、金線１０及びリードフレーム１１に変形を生じることなく、表裏及びチップ９に付着した有機化合物を良好に除去するこができた。
【００２３】
尚、本発明において、線状体とは、一本の連続した線体のみを意味するのではなく、複数の線体もしくは薄片体が接続され全体として線状をなし、本発明の作用効果を損なうことなく被処理物の支持、搬送の機能を発揮する部材の総称である。また、この実施例では被処理物支持手段３と被処理物搬送手段４とを、いずれも３本ずつの線状体で構成しているが、少なくとも各々２本あれば被処理物の支持、搬送が可能であり、その本数は、被処理物の形状、寸法、線状体の強度等により適宜、選択することができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２５】
すなわち、ワイヤーのような細い部材を用いて搬送するため影が少なくなるに加え、支持手段と搬送手段とが交互に被処理物の別の部分に接触するので、非照射部分が無く、表裏の全面処理が良好にできる。
【００２６】
また、搬送手段は揺動を行う駆動機構に固定されているので、ドラムによってワイヤを連続して送り出す方式に生じるスリップに起因するトラブルが生じず、安定した搬送を行うことができるとともに、発塵も低減する。
さらに、支持手段と搬送手段との位置を適切に設定することにより、被処理物の自重による変形を防止することができる。その結果、リードフレームのような短冊状のものでも、図３ｂのように、短辺を搬送方向に向けることができるため、搬送部を短くでき、もって装置を小型化することができるとともにタクトを短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】被処理物の例であるリードフレームを示す図である。
【図３】従来の被処理物支持手段の例を示す図である。
【符号の説明】
１  ランプハウス
２ａ、２ｂ  紫外線ランプ
３    被処理物支持手段
４    被処理物搬送手段
５    駆動機構
６    被処理物
７  ローラーコンベヤ
８  ローラーコンベヤ
９  チップ
１０  金線
１１  リードフレーム
１２  ローラー
【図１】
0003570013.tif 000002
【図２】
0003570013.tif 000003
【図３】
0003570013.tif 000004