(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）圧力制御室と、この圧力制御室に連なる出力ポートとを有するケーシングと、
（ロ）上記ケーシングに装着され圧力制御室内にて先端を離間対向させて配置され、それぞれ異なる空圧源に接続される一対のノズルと、
（ハ）上記一対のノズルの先端間に配置され、各ノズルに対する間隙を増減する方向に移動することにより、出力ポートの圧力を制御するフラッパと、
（ニ）上記ケーシングの支持壁に形成された支持孔を貫通しベアリングを介して回動可能に支持され、一端部が上記圧力制御室内に配置される回動シャフトと、
（ホ）上記圧力制御室内において、上記回動シャフトの一端部と上記フラッパとを連結し、回動シャフトの回動を上記フラッパのノズル間移動に変換する変換手段と、
（ヘ）上記回動シャフトの他端部に連結され、回動シャフトを回動させるアクチュエータと、
を備えたことを特徴とする圧力制御装置。
【請求項２】
上記回動シャフトの回動軸線が上記一対のノズル間のほぼ中央を通り、上記変換手段が、（ｉ）回動シャフトの上記一端部に、回動シャフトの回動軸線から偏心して設けられ、上記フラッパに相対回動可能に挿入された偏心カムと、（ｉｉ）圧力制御室内においてフラッパの回動を規制する回動規制手段と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の圧力制御装置。
【請求項３】
上記回動規制手段が一対のコイルスプリングを有し、このコイルスプリングが、上記一対のノズルに対峙するフラッパの一対の面をそれぞれ押圧付勢することを特徴とする請求項２に記載の圧力制御装置。
【請求項４】
上記回動シャフトの回動軸線が、上記一対のノズルを結ぶ線から離れており、上記フラッパはノズル間に位置する作動部と、この作動部から延出され回動シャフトの上記一端部に固定される延出部とを備え、この延出部が上記変換手段として提供されることを特徴とする請求項１に記載の圧力制御装置。
【請求項５】
上記ケーシングは、上記アクチュエータを収容する気密の収容室を有し、この収容室と上記圧力制御室との間に介在される上記支持壁には、両室を連ねる連絡通路が形成されていることを特徴とする請求項１〜４に記載の圧力制御装置。
【請求項６】
上記回動シャフトの外周とケーシングの支持壁の支持孔の内周との間には、回動シャフトを回動支持するためのベアリングと、圧力制御室を気密にするためのシールリングが回動シャフトの軸方向に離れて介在されていることを特徴とする請求項１〜４に記載の圧力制御装置。
【請求項７】
上記アクチュエータは、アクチュエータの力を増大させて回動シャフトに伝達させる倍力機構を介して、回動シャフトの他端部に連結されていることを特徴とする請求項６に記載の圧力制御装置。
【請求項８】
上記アクチュエータは、ケーシングに固定された永久磁石と、上記回動シャフトと平行をなす一対の支持シャフトを介してケーシングに回動可能に支持された電磁コイルとを有し、
上記倍力機構は、上記一対の支持シャフトのうちの一方に設けられた偏心カムと、アームとを有し、このアームの一端部には上記偏心カムが挿入され、アームの他端部には上記回動シャフトの他端部が固定され、偏心カムの回動によりアームが揺動して回動シャフトに回動力を伝達することを特徴とする請求項７に記載の圧力制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアリークテスタ等に適用されるノズルフラッパ式の圧力制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は特開平７−２９５６５７号公報に記載された圧力制御装置の構成を示す。この圧力制御装置のケーシング１００の内部は圧力制御室１０１として提供され、ケーシング１００の壁には、この圧力制御室１０１に連なる出力ポート１０２が形成されている。ケーシング１００には、圧力制御室１０１内にて先端が対峙する一対のノズル１０３、１０４が設けられている。一方のノズル１０３は正圧源に接続され、他方のノズル１０４は負圧源に接続されている。
【０００３】
圧力制御室１０１内にはフラッパ１０５が設けられている。このフラッパ１０５は、両ノズル１０３、１０４の先端間に配置されている。ケーシング１００には、ロッド１０６が貫通しており、このロッド１０６の先端に上記フラッパ１０５が設けられている。ロッド１０６は、中途部がシールリング１０７を介してケーシング１００に揺動可能に支持されている。このロッド１０６の基端はアクチュエータ１０８に連結されている。
【０００４】
上記圧力制御装置では、アクチュエータ１０８により、シールリング１０７を支点にしてロッド１０６が揺動し、これによりフラッパ１０５のノズル１０３、１０４に対する相対位置が調節され、その結果、出力ポート１０２の圧力が制御される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の圧力制御装置では、ロッド１０６がシールリング１０７を支点にして揺動する構造になっており、シールリング１０７が、ロッド１０６を支持する機能と圧力制御室１０１を気密に保持する機能の両機能を担っているので、ロッド１０６を十分に安定して支持するのが困難で、フラッパ１０５の位置制御が不安定になり、また圧力制御室１０１の気密保持が十分でなくなり、その結果、出力ポート１０２圧力制御が不安定になりやすかった。また、ロッド１０６の揺動によりシールリング１０７の劣化が早かった。
【０００６】
本発明は、上記事情を考慮し、安定した高精度の圧力制御を長期にわたって実行することができる圧力制御装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の圧力制御装置は、（イ）圧力制御室と、この圧力制御室に連なる出力ポートとを有するケーシングと、（ロ）上記ケーシングに装着され圧力制御室内にて先端を離間対向させて配置され、それぞれ異なる空圧源に接続される一対のノズルと、（ハ）上記一対のノズルの先端間に配置され、各ノズルに対する間隙を増減する方向に移動することにより、出力ポートの圧力を制御するフラッパと、（ニ）上記ケーシングの支持壁に形成された支持孔を貫通しベアリングを介して回動可能に支持され、一端部が上記圧力制御室内に配置される回動シャフトと、（ホ）上記圧力制御室内において、上記回動シャフトの一端部と上記フラッパとを連結し、回動シャフトの回動を上記フラッパのノズル間移動に変換する変換手段と、（ヘ）上記回動シャフトの他端部に連結され、回動シャフトを回動させるアクチュエータと、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載の圧力制御装置において、上記回動シャフトの回動軸線が上記一対のノズル間のほぼ中央を通り、上記変換手段が、（ｉ）回動シャフトの上記一端部に、回動シャフトの回動軸線から偏心して設けられ、上記フラッパに相対回動可能に挿入された偏心カムと、（ｉｉ）圧力制御室内においてフラッパの回動を規制する回動規制手段と、を含むことを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項２に記載の圧力制御装置において、上記回動規制手段が一対のコイルスプリングを有し、このコイルスプリングが、上記一対のノズルに対峙するフラッパの一対の面をそれぞれ押圧付勢することを特徴とする。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１に記載の圧力制御装置において、上記回動シャフトの回動軸線が、上記一対のノズルを結ぶ線から離れており、上記フラッパはノズル間に位置する作動部と、この作動部から延出され回動シャフトの上記一端部に固定される延出部とを備え、この延出部が上記変換手段として提供されることを特徴とする。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項１〜４に記載の圧力制御装置において、上記ケーシングは、上記アクチュエータを収容する気密の収容室を有し、この収容室と上記圧力制御室との間に介在される上記支持壁には、両室を連ねる連絡通路が形成されていることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項１〜４に記載の圧力制御装置上記回動シャフトの外周とケーシングの支持壁の支持孔の内周との間には、回動シャフトを回動支持するためのベアリングと、圧力制御室を気密にするためのシールリングが回動シャフトの軸方向に離れて介在されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項６に記載の圧力制御装置において、上記アクチュエータは、アクチュエータの力を増大させて回動シャフトに伝達させる倍力機構を介して、回動シャフトの他端部に連結されていることを特徴とする。
請求項８の発明は、請求項７に記載の圧力制御装置上記アクチュエータは、ケーシングに固定された永久磁石と、上記回動シャフトと平行をなす一対の支持シャフトを介してケーシングに回動可能に支持された電磁コイルとを有し、上記倍力機構は、上記一対の支持シャフトのうちの一方に設けられた偏心カムと、アームとを有し、このアームの一端部には上記偏心カムが挿入され、アームの他端部には上記回動シャフトの他端部が固定され、偏心カムの回動によりアームが揺動して回動シャフトに回動力を伝達することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態をなす圧力制御装置について、図１、図２を参照して説明する。この圧力制御装置は、ケーシング１を備えている。このケーシング１は、箱形状のベースケーシング１０と、その上に設置された厚肉の矩形板形状のヘッドケーシング２０とを有している。
【００１３】
ベースケーシング１０は、円筒形状の筒部材１１と、この筒部材１１の下端開口を塞ぐようにして支持された下蓋１２と、筒部材１１の上端に螺合してこの上端開口を塞ぐ上蓋１３（支持壁）とで構成されている。筒部材１１と下蓋１２との間にはシールリング１４が介在され、筒部材１１と上蓋１３との間にもシールリング１５が介在されており、これにより、ベースケーシング１０の内部空間は、気密をなす収容空間１６として提供されることになる。収容空間１６の左端（図１）には、起立した支持板１７が配置され、この支持板１７の上下端はネジ１８により下蓋１２，上蓋１３に連結されている。ネジ１８のヘッド部と蓋１２，１３との間にもシールリング１９が設けられており、収容空間１６のシール性を確保している。
【００１４】
上記ヘッドケーシング２０は、上下方向に延びる断面円形の貫通孔２１を有している。ヘッドケーシング２０は、上記ベースケーシング１０の上蓋１３にネジ等（図示しない）で固定され、両者の間にはシールリング２２が介在されている。上記貫通孔２１の上端開口はカバー２３でふさがれており、このカバー２３はヘッドケーシング２０の上面にネジ等（図示しない）で固定されている。両者の間にはシールリング２４が介在されている。上記貫通孔２１の内周面，上蓋１３，カバー２３により圧力制御室２５が画成されている。この圧力制御室２５は、上蓋１３に形成された連絡通路１３ａを介して、前述した収容室１６に連なっている。これら圧力制御質２５と収容室１６は、外部に対して気密をなしている。
【００１５】
ヘッドケーシング２０には、一対のノズル装着孔２６，２７が貫通形成されている。これらノズル装着孔２６，２７は、貫通孔２１の直径方向に、すなわち水平方向に延びるとともに、一直線上に配置されている。ノズル装着孔２６，２７の内端は圧力制御室２５内に開口している。また、ヘッドケーシング２０には、圧力制御室２５に通じる出力ポート２８及びセンサ装着孔２９が水平に貫通形成されている。出力ポート２８には、図示しない継手およびパイプを介して圧力供給対象が接続されている。センサ装着孔２９には、圧力センサ３０が気密をなして装着されている。
【００１６】
上記ノズル装着孔２６，２７には、ボルト形状のノズル３１，３２がそれぞれ螺合により装着されている。ノズル３１，３２は一直線上に配置されている。ノズル３１，３２の先端は圧力制御室２５の内周面から圧力制御室２５内に突出しており、互いに所定の間隔をおいて対向している。ノズル３１，３２は、その軸心に沿って延びる縦穴３１ａ，３２ａをそれぞれ有している。縦穴３１ａ，３２ａの一端は、ノズル３１，３２の先端面に開口し、他端はノズル３１，３２の中途部に位置している。ノズル３１，３２は、さらにこの縦穴３１ａ，３２ａの他端から軸心と直交する方向に延び、ノズル３１，３２の周面に開口する横穴３１ｂ，３２ｂをそれぞれ有している。
【００１７】
上記ノズル３１とノズル装着孔２６の内周面との間には、ノズル３１の軸心方向に離れた２つのシールリング３３が介在されており、これらシールリング３３間には、ノズル３１の外周面とノズル装着孔２６の内周面により気密の環状空間３４が形成されている。ヘッドケーシング１０には、圧力ポート３５が形成されており、この圧力ポート３５は、上記環状空間３４およびノズル３１の穴３１ａ，３１ｂを介して、圧力制御室２５に連なっている。この圧力ポート３５には、図示しない継手およびパイプを介して正圧空気源３６（空圧源）が接続されている。
【００１８】
同様に、上記ノズル３２の外周面とノズル装着孔２７の内周面との間には、２つのシールリング３３が介在されており、これらシールリング３３間には、気密の環状空間３７が形成されている。ヘッドケーシング１０には、もう一つの圧力ポート３８が形成されており、この圧力ポート３８は、上記環状空間３７およびノズル３２の穴３２ａ，３２ｂを介して、圧力制御室２５に連なっている。この圧力ポート３８には、図示しない継手およびパイプを介して負圧空気源３９（空圧源）が接続されている。
【００１９】
図１に戻るが、ベースケーシング１０の上蓋１３の中央には、垂直に貫通する支持孔１３ｂが形成されている。この支持孔１３ｂには、回動シャフト４０が貫通し、ベアリング４１により回転可能に支持されている。この回動シャフト４０の回動軸線は、図においてＬ１で示されている。この回動軸線Ｌ１は、ノズル３１，３２間の中央に位置し、ノズル３１，３２の軸線と直交している。
【００２０】
上記回動シャフト４０の上端部は圧力制御室２５内に配置され、その中心軸線Ｌ２が上記回動軸線Ｌ１から偏心しており、偏心カム４０ａとなっている。圧力制御室２５内において、この偏心カム４０ａは、上下に間隔をもって配した２つのベアリング４２を介して、フラッパ４３に相対回動自在に挿入されている。
【００２１】
上記フラッパ４３は、両ノズル３１，３２の先端間に配置されている。フラッパ４３の各ノズル３１、３２に対向する部分は切り欠かれて平坦面となっており、この平坦面に形成された凹部には、ゴムパッド４４がはめ込まれている。フラッパ４３の各平坦面と各ノズル３１、３２の間には、コイルスプリング４５（回動規制手段）が配設されており、これら一対のコイルスプリング４５によって、フラッパ４３が回り止めされている。なお、上記偏心カム４０ａとこのコイルスプリング４５により、後述するように回動シャフト４０の回動をフラッパ４３のノズル３１，３２間移動に変換するための変換手段が構成されている。
【００２２】
回動シャフト４０は、ベースケーシング１０の収容室１６内に収容されたアクチュエータ５０により回動される。アクチュエータ５０は、ガルバノメータと似た構成を有しており、永久磁石５１と電磁コイル５２を備えている。永久磁石５１は、前述した支持板１７に固定された鉄心５３に取り付けられている。電磁コイル５２はコ字形をなし、その上辺部が回動シャフト４０の下端に固定され、その下辺部が支持シャフト５４に固定されている。この支持シャフト５４は、ベースケーシング１０の下蓋１２にベアリング５５を介して回動可能に支持されている。この支持シャフト５４の回動軸線は、上記回動シャフト４０の回動軸線Ｌ１と一致している。なお、下蓋１２には、電磁コイル５２のリード線を引き出すためのシール端子５６が設けられている。
【００２３】
次に作用を説明する。アクチュエータ５０の電磁コイル５２に通電すると、電磁コイル５２と永久磁石５１の磁力の相互作用により、電磁コイル５２が回動し、これにより回動シャフト４０が回動する。この場合、電磁コイル５２に供給する電流値により回動シャフト４０の回動角度が決まる。
【００２４】
電磁コイル５２への供給電流値がゼロの状態、すなわち回動シャフト４０が中立位置にある時、偏心カム４０ａの中心軸線Ｌ２は、ノズル３１，３２の先端間の中央位置にあり、フラッパ４３の一方のゴムパッド４４とノズル３１の先端との間の距離は、他方のゴムパッド４４とノズル３２の先端との間の距離と等しくなっている。この時、例えば、正圧空気源３６からノズル３１を経て圧力制御室２５に供給される正圧と、負圧空気源３９からノズル３２を経て圧力制御室２５に供給される負圧とが均衡し、出力ポート２８から出力される圧力を、大気圧とほぼ等しくすることができる。
【００２５】
電磁コイル５２への供給電流が一方の方向に流れた状態では、回動シャフト４０が例えば図２において時計回り方向に回動し、偏心カム４０ａの中心軸線Ｌ２が、ノズル３１から離れノズル３２に近づき、これによりフラッパ４３がノズル３２に向かって移動する。その結果、出力ポート２８から出力される圧力は、正圧となる。この供給電流が大きくなるにしたがって回動シャフト４０の回動角度が大きくなり、出力圧力も上昇する。供給電流が最大になると、偏心カム４０ａの中心軸線Ｌ２が、ノズル３１，３２の軸線上に位置し、ノズル３２に最も近づく。この時、ゴムパッド４４がノズル３２の先端開口を塞ぐので、出力ポート２８の圧力は正圧空気源３６と等しい圧力（正圧の最大値）となる。
【００２６】
電磁コイル５２への供給電流が上記とは逆方向に流れた状態では、回動シャフト４０が例えば図２において反時計回り方向に回動し、偏心カム４０ａの中心軸線Ｌ２が、ノズル３２から離れノズル３１に近づき、これによりフラッパ４３がノズル３１に向かって移動する。その結果、出力ポート２８から出力される圧力は、負圧となる。この供給電流が大きくなるにしたがって回動シャフト４０の回動角度が大きくなり、出力圧力も負圧の度合を高める。供給電流が最大になると、偏心カム４０ａの中心軸線Ｌ２が、ノズル３１，３２の軸線上に位置し、ノズル３１に最も近づく。この時、ゴムパッド４４がノズル３１の先端開口を塞ぐので、出力ポート２８の圧力は負圧空気源３７と等しい圧力（負圧の最大値）となる。
【００２７】
圧力センサ３０は、圧力制御室２５内の圧力、ひいては出力ポート２８の圧力を検出する。図示しないコンピュータ等の制御手段は、圧力センサ３０の検出圧力に基づいてアクチュエータ５０をフィードバック制御することで、所望の出力圧力を精度良く得ることができる。
【００２８】
上述したように、回動シャフト４０が回動軸線Ｌ１の回りに回動し、ベアリング４１によって安定して支持される。したがって、回動シャフト４０の位置制御を安定して行うことができ、ひいては、圧力制御を安定して行うことができる。また、偏心カム４０ａのカム作用を利用してフラッパ４３が変位させるので、アクチュエータ５０からの回動トルクが比較的弱くても、確実に回動シャフト４０を回動させることができ、高精度の圧力制御を行うことができる。
【００２９】
ところで、圧力制御室２５は、外部に対して気密状態にしなければならない。本実施例では、回転シャフト４０と上蓋１３との間にシールリング（図１において想像線で示すようなシールリング４９）を介在させず、アクチュエータ５０を収容する収容空間１６を気密に保持している。すなわち、圧力制御室２５単独での気密にこだわらず圧力制御室２５と収容空間１６を合わせた空間での気密性保持を図っている。こうすれば、回動シャフト４０は、シールリングの摩擦抵抗の影響を受けず、アクチュエータ５０からの比較的弱い回動トルクで回動することができ、より一層高精度の制御を行うことができる。
【００３０】
また、本実施形態では、連絡通路１３ａを形成して、圧力制御室２５と収容空間１６を積極的に同圧にしている。このようにすれば、圧力制御室２５の圧力を変えた時に、圧力制御室２５と収容空間１６との間でのベアリング４１を介しての少量ずつの空気移動による、圧力制御室２５の圧力の不安定性を回避できる。また、空気の移動経路を連絡通路１３ａにするのでベアリング４１を空気がほとんど通過しなくなり、ベアリング４１の潤滑油等がエア中に混入するのを避けることができる。
【００３１】
なお、上記実施形態の変形例として、上蓋１３に連絡通路１３ａを形成せず、回転シャフト４０と上蓋１３の内周面との間に、図１において想像線で示すシールリング４９を介在させて圧力制御室２５単独での気密を保持することもできる。この場合でも偏心カム４０ａを有する回転シャフト４０を用いたことの上述の利点は確保できる。この場合、後述の第２実施形態のようにアクチュエータ５０と回動シャフト４０との間に倍力機構を介在させれば、シールリング４９の摩擦抵抗があっても、より高精度の圧力制御を行うことができる。
【００３２】
次に本発明の第２実施形態の圧力制御装置について図３〜図５を参照して説明する。この実施形態において、第１実施形態に対応する構成部には同番号を付してその詳細な説明を省略する。また、空圧源も第１実施形態と同様であるので図示を省略する。本実施形態では、ヘッドケーシング２０の貫通孔２１の上部２１ａは断面長円形状をなし、下部２１ｂは断面真円形状をなす。この貫通孔２１の下部２１ｂには、ベースケーシング１０とは別部材をなす閉塞部材６０（支持壁）の上部が、シールリング６１を介して気密に挿入されている。閉塞部材６０は、ベースケーシング１０の上蓋１３に固定されている。閉塞部材６０の上部にはその中心から外れて支持孔６０ａが形成されており、この支持孔６０ａに、回動シャフト６５が回動可能に貫通支持されている。
【００３３】
上記回動シャフト６５の回動軸線Ｌ３は、一対のノズル３１，３２を結ぶ線から離れている。支持孔６０ａの内周と回動シャフト６５の外周との間には、上から順にシールリング６６とベアリング６７が軸方向に離れて介在されている。回動シャフト６５の下端は、ベアリング６８を介してベースケーシング１０の上蓋１３に回動可能に支持されている。
【００３４】
圧力制御室２５内に配置されるフラッパ７０は、貫通孔２１の上部２１ａに対応して細長く形成されており、ノズル３１，３２間に位置する作動部７１と、この作動部７１から上記回動軸線Ｌ３に向けて延出する延出部７２とを有している。作動部７１には、ノズル３１，３２に対峙する面に凹部が形成されており、この凹部に、ゴムパッド７３がはめ込まれている。上記延出部７２の端部は、上記回動シャフト６５の上端部（圧力制御室２５内に配置された一端部）に、ネジ７５で固定されている。回動シャフト６５の回動に伴いフラッパ７０が回動して、その作動部７１がノズル３１，３２間で移動するようになっており、それ故、フラッパ７０の延出部７２は、変換手段としての役割を担う。
上記フラッパ７０のノズル３１，３２に対峙する面は、一対のコイルスプリング４５で押圧されており、中立位置を維持される。なお、このコイルスプリング４５はなくてもよい。
【００３５】
他方、ベースケーシング１０では、上下一対の支持シャフト８１，８２が、それぞれベアリング８３，８４を介して上蓋１３，下蓋１２に回動可能に支持されている。アクチュエータ５０の駆動コイル５２はこれら支持シャフト８１，８２に固定されている。なお、支持シャフト８１，８２の回動軸線Ｌ４は、筒部材１１と同軸をなし、回動シャフト６５の回動軸線Ｌ３と平行をなして離れている。
【００３６】
上記閉塞部材６０の下面には補助収容室６９が形成されており、この補助収容室６９はベースケーシング１０の上蓋１３で塞がれている。この補助収容室６９には、上記回動シャフト６５の下端部が配置されるとともに、支持シャフト８１の上端部が配置されており、両者は補助収容室６９に収容された倍力機構９０を介して連結されている。
【００３７】
上記倍力機構９０は、特に図４に良く示されているように、アーム９１を有している。このアーム９１の一端部には回動シャフト６５の下端部が貫通し、ネジ９２で固定されている。アーム９１の他端部は薄肉部９１ａとなっている。アーム９１には、補助板９３（アーム９１の一部を構成する）がネジ９４で固定されており、この補助板９３と薄肉部９１ａが協働して収容凹部９５を構成している。他方、支持シャフト８１の上端部には、この支持シャフト８１の回動軸線Ｌ４に対して偏心したリング形状の偏心カム９６がネジ９７により固定されている。この偏心カム９６の外周にはベアリング９８が取り付けられ、このベアリング９８が上記収容凹部９５の対峙する２面に接した状態で、収容凹部９５に収容されている。
【００３８】
本実施形態では、収容室１６および補助収容室６９が気密をなしていない。圧力制御室２５は、シールリング６６により補助収容室６９に対して気密に隔絶されている。
【００３９】
次に作用を説明する。アクチュエータ５０の電磁コイル５２に通電すると、支持シャフト８１，８２が回動する。すると、偏心カム９６にベアリング９８を介してはめ込まれたアーム９１が揺動し、それに伴い回動シャフト６５が回動し、フラッパ７０の作動部７１がノズル３１，３２間で移動する。その結果、第１実施形態と同様にして出力ポート２８の圧力が制御される。
【００４０】
上記圧力制御装置では、アクチュエータ５０と回動シャフト６５との間に、偏心カム９６とアーム９１（てこ）とを有する倍力機構９０が介在されており、回動シャフト６５を強い力で回動させることができ、回動シャフト６５の周りに設けたシールリング６６の摺動抵抗があっても、確実に回動シャフト６５を回動させることができ、圧力制御を安定して行うことができる。
なお、回動シャフト６５にシールリング６６を配したので、比較的狭い圧力制御室２５を単独で気密状態にすることができ、圧力制御を応答性良く実行することができる。また、圧力制御室２５がアクチュエータ５０で発生する熱の影響を受けるのを防止することができる。
【００４１】
なお、上記第２実施形態において、第１実施形態と同様に回動シャフト６５を直接アクチュエータ５０に連結してもよい。この場合、収容空間１６，補助収容空間６９を気密にし、圧力制御室２５と収容空間１６とを、閉塞部材６０および上蓋１３に形成した連絡通路を介して連通させ、シールリング６６を省くのが好ましい。
【００４２】
本発明は上記実施形態に制約されず、種々の形態が可能である。
回動シャフトの回動をフラッパのノズル間移動に変換する手段や、倍力機構は、上記実施形態の外に種々採用可能である。
一方のノズルに正圧または負圧を供給し、他方のノズルを大気解放としてもよい（つまり大気圧の空圧源に接続する）。
また、両方のノズルを圧力の異なる正圧としてもよいし、両方のノズルを圧力の異なる負圧としてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、回動シャフトでフラッパを変位させる構成とし、回動シャフトをベアリングで長期にわたって安定して支持することができる。その結果、フラッパの位置制御を安定して高精度に行うことができ、ひいては圧力制御を長期にわたって高精度に行うことができる。
請求項２の発明によれば、回動シャフトの回動を、偏心カムと回動規制手段を用いてフラッパのノズル間移動に変換するので、アクチュエータの力が比較的弱くても、高精度の圧力制御を確実に行うことができる。
請求項３の発明によれば、一対のコイルスプリングを用いることにより、偏心カムの回動に伴うフラッパの横方向変位（ノズル間の移動方向と直交する方向の変位）を許容しながらフラッパの回動規制を行うことができる。また、構成も比較的簡単である。
請求項４の発明によれば、フラッパの端部を回動シャフトに固定しただけで、回動シャフトの回動に伴いフラッパをノズル間移動させることができ、構成を簡略化することができる。
【００４４】
請求項５の発明によれば、圧力制御室単独での気密にこだわらずアクチュエータを収容する収容空間と圧力制御室を合わせた空間での気密性保持を図るので、回動シャフトの外周からシールリングを省くことができる。その結果、シールリングの摩擦抵抗の影響を受けず、アクチュエータからの比較的弱い回動トルクでも回動することができ、より一層高精度の制御を行うことができる。また、連絡通路を形成して、圧力制御室と収容空間を積極的に同圧にしているので、圧力制御室の圧力を変えた時に、圧力制御室と収容空間との間でのベアリングを介しての少量ずつの空気移動による、圧力制御室の圧力の不安定性を回避できる。
請求項６の発明によれば、回動シャフトと支持孔の内周との間にベアリングとシールリングを介在させたので、比較的狭い圧力制御室を気密にすることができ、圧力制御の応答性を高めることができる。
請求項７の発明によれば、倍力機構を用いることにより、シールリングの摩擦抵抗があっても回動シャフトの回動が円滑に行われ、圧力制御を高精度で行うことができる。
請求項８の発明によれば、アクチュエータを永久磁石と電磁コイルにより構成したので、構成を簡略化することができる。また、このアクチュエータが比較的弱い回動トルクしか発生することができなくても、倍力機構が偏心カムとアーム（てこ）を用いて構成されているので、回動シャフトに十分な回動トルクを付与でき、高精度の圧力制御を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係わる圧力制御装置の縦断面図である。
【図２】図１のＩＩーＩＩ矢視断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係わる圧力制御装置の縦断面図である。
【図４】図３のＩＶーＩＶ矢視断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ矢視断面図である。
【図６】従来例の概略構成図である。
【符号の説明】
１  ケーシング
１３  上蓋（支持壁）
１３ａ  連絡通路
１３ｂ  支持孔
１６  収容室
２５  圧力制御室
２８  出力ポート
３１，３２  ノズル
３６  正圧空気源（空圧源）
３９  負圧空圧源（空圧源）
４０  回動シャフト
４０ａ  偏心カム（変換手段）
４１  ベアリング
４３  フラッパ
４５  コイルスプリング（回動規制手段，変換手段）
５０  アクチュエータ
５１  永久磁石
５２  電磁コイル
６０  閉塞部材（支持壁）
６０ａ  支持孔
６５  回動シャフト
６６  シールリング
６７  ベアリング
７０  フラッパ
７１  作動部
７２  延出部（変換手段）
８１，８２  支持シャフト
９０  倍力機構
Ｌ１，Ｌ３  回動シャフトの回動軸線
Ｌ２  偏心カムの中心軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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