(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズをセットして該対物レンズからの反射光点像を得ることにより該対物レンズの傾き角を調整する傾き角調整用光学系と、
前記対物レンズをセットして干渉縞を観測することにより基準面に対する前記対物レンズの傾き角及び傾きの方向を観測する干渉計と、
前記干渉計により観測された干渉縞のデータと波面規格に基づき、表示画面上における前記反射光点像の二次元方向ずれ量を演算するとともに、その演算結果を基にして、前記対物レンズの傾き姿勢のコマ収差に関する許容範囲を意味する画面上目標箇所を算出する演算手段と、
前記干渉縞が波面規格内に入っているか否か判定する判定手段と、
前記演算手段での算出結果に基づいて前記反射光点像と前記画面上目標箇所とを画面に表示するモニターとを備え、
前記画面上において前記画面上目標箇所に向けて前記反射光点像が移動するように前記傾き角調整用光学系において対物レンズの傾きを調整し、調整後の前記対物レンズを前記干渉計にセットして干渉縞を観察したとき、前記干渉縞が波面規格内にあるか否かの判定を前記判定手段によって行うことを特徴とする対物レンズの傾き調整装置。
【請求項２】
前記画面に表示された前記反射光点像の位置を指定することにより、前記画面に前記画面上目標箇所が表示され、前記画面上目標箇所に前記反射光点像を誘導することにより、前記対物レンズの傾きが調整されることを特徴とする請求項１に記載の対物レンズの傾き調整装置。
【請求項３】
前記演算手段は、前記干渉縞のデータに基づき前記対物レンズの傾き量と傾き方向とを抽出してベクトルデータを生成し、該ベクトルデータに基づき前記二次元方向ずれ量を演算することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の対物レンズの傾き調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基準面に対する対物レンズの傾きを調整するのに用いられる対物レンズの傾き調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、光ディスクを用いた情報書込・読取り装置では、光ディスクの情報記録面に対して、光ピックアップの対物レンズが傾いていると、いわゆるコマ収差が生じて、光ディスクへの情報書込みを高密度で行うことができないという問題があり、また、情報読み取りの際にはノイズの原因となるため、光ディスクの情報記録面に対する対物レンズの傾きが所定の規格内に入るように、調整することが行われている。
【０００３】
その対物レンズ１はモールド成形法により成形され、その対物レンズ１には、図１（イ）に示すように、その傾きを検出するために、レンズ部２の外周を囲むようにして環状平面部３が設けられ、その対物レンズ１の傾き調整は例えば以下に説明する手順に従って行われている。
【０００４】
まず、図１（ロ）に示すように、ヘリウムネオンレーザー４からレーザー光Ｐを出射し、このレーザー光Ｐをビームスプリッタ５により偏向させて、光ディスク８の情報記録面９にレーザー光Ｐを照射する。そのレーザー光Ｐの情報記録面９からの反射レーザー光Ｐ´をオートコリメータのコリメートレンズ６により集光し、そのコリメートレンズ６により集光された反射レーザー光Ｐ´を撮像カメラ７上に集光させて、撮像カメラ７上での受光位置を検出する。
【０００５】
次に、図１（ハ）に示すように、光ディスク８の代わりに対物レンズ１をセットする。そして、ヘリウム−ネオンレーザー４からのレーザー光Ｐを同様にビームスプリッタ５により偏向させて対物レンズ１の環状平面部３に照射し、環状平面部３により反射されたレーザー光Ｐ´をコリメートレンズ６により撮像カメラ７に集光して、そのレーザー光Ｐ´の撮像カメラ７上での位置を検出し、光ディスク８により反射されたレーザー光Ｐ´の撮像カメラ７上の位置と対物レンズ１の環状平面部３により反射されたレーザー光Ｐ´の撮像カメラ７上の位置との差により、図１（ニ）に示すように、光ディスク８の情報記録面９の法線Ｎに対する対物レンズ１の光軸Ｏの傾き角θを検出している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、対物レンズ１は傾き調整後、基準面に対する対物レンズの傾き判定を行うために干渉計にセットされ、作業者が目視によって画面に表示された干渉縞の観察を行い、その干渉縞の曲がり具合いによって基準面に対する対物レンズ１の傾き判定を行っている。このため、作業者の熟練度、個人差によって基準面に対する対物レンズ１の傾き判定にバラツキが生じるという不都合がある。また、作業者が目視によって干渉縞の形状、本数を判断するため、その判定に時間がかかるという問題がある。
【０００７】
近時、光ディスクへの情報書き込みの高密度化を図るため、開口数ＮＡの大きな対物レンズ１を用いた光ピックアップの開発が望まれているが、開口数の大きな対物レンズ１を用いることにするとコマ収差が大きくなるためにその傾き角によるコマ収差への影響度が増大し、そのため、対物レンズ１の情報記録面に対する傾き角θを従来のものに較べて、より小さな範囲内に設定しなければならず、対物レンズ１の傾き角θとして約３´以内に対物レンズ１を傾き調整することが要求されている。
【０００８】
ところが、対物レンズ１の傾き角θを小さくすればするほど、判定すべき干渉縞の曲がり具合いが微妙なものとなり、益々目視による干渉縞の良・否判定が難しくなり、対物レンズ１の傾き調整に時間がかかるという問題が生じる。
【０００９】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的とするところは、干渉縞の目視による観察を必要とせずに、対物レンズの傾き角調整を高精度かつ迅速に行うことのできる対物レンズの傾き調整装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の対物レンズの傾き調整装置は、対物レンズをセットして該対物レンズからの反射光点像を得ることにより該対物レンズの傾き角を調整する傾き角調整用光学系と、前記対物レンズをセットして干渉縞を観測することにより基準面に対する前記対物レンズの傾き角及び傾きの方向を観測する干渉計と、前記干渉計により観測された干渉縞のデータと波面規格に基づき、表示画面上における前記反射光点像の二次元方向ずれ量を演算するとともに、その演算結果を基にして、前記対物レンズの傾き姿勢のコマ収差に関する許容範囲を意味する画面上目標箇所を算出する演算手段と、前記干渉縞が波面規格内に入っているか否か判定する判定手段と、前記演算手段での算出結果に基づいて前記反射光点像と前記画面上目標箇所とを画面に表示するモニターとを備え、前記画面上において前記画面上目標箇所に向けて前記反射光点像が移動するように前記傾き角調整用光学系において対物レンズの傾きを調整し、調整後の前記対物レンズを前記干渉計にセットして干渉縞を観察したとき、前記干渉縞が波面規格内にあるか否かの判定を前記判定手段によって行うことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の対物レンズの傾き調整装置は、請求項１に記載のものにおいて、前記画面に表示された前記反射光点像の位置を指定することにより、前記画面に前記画面上目標箇所が表示され、前記画面上目標箇所に前記反射光点像を誘導することにより、前記対物レンズの傾きが調整されることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の対物レンズの傾き調整装置は、請求項１又は請求項２に記載のものにおいて、前記演算手段は、前記干渉縞のデータに基づき前記対物レンズの傾き量と傾き方向とを抽出してベクトルデータを生成し、該ベクトルデータに基づき前記二次元方向ずれ量を演算することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図２〜図４は本発明に係わる対物レンズの傾き角調整装置のシステム図であって、その図２〜図４において、１０は傾き角調整用光学系、１１は干渉計、１２は画像処理装置、１３はモニター、１４は光ディスク装置、１５は光ピックアップである。傾き角調整用光学系１０は検出光出射系１６と検出光受光系１７とから大略構成されている。
【００１４】
検出光出射系１６は、図５（イ）に詳細に示すように、光源としての半導体レーザー（ＬＤ）１８とコリメートレンズ１９とから大略構成され、レーザー光Ｐ１をビームスプリッタ２０に向けて出射する。ビームスプリッタ２０は対物レンズ１の傾き検出用の検出光としてのレーザー光Ｐ１を対物レンズ１に向けて略垂直（対物レンズ１の光軸Ｏに対して略平行）に照射する役割を果たす。コリメートレンズ１９は半導体レーザー（ＬＤ）１８から出射された拡散レーザー光から対物レンズ１の環状平面部３の直径よりも大きな直径の円形状の平行レーザー光束Ｐ１を形成する役割を果たす。対物レンズ１は、図５（ロ）に拡大して示すように、そのレーザー光Ｐ１によってその全体が照明される。そのレーザー光Ｐ１はレンズ部２と環状平面部３との対物レンズ１の全体によって反射される。
【００１５】
検出光受光系１７は集光用光学部材としてのコリメートレンズ２１と撮像カメラ２２とを備えたオートコリメータから構成され、対物レンズ１により反射されたレーザー光Ｐ２を受光する役割を果たす。対物レンズ１により反射されたレーザー光Ｐ２はコリメートレンズ２１により撮像カメラ２２の撮像面２２ａに集光される。
【００１６】
その撮像面２２ａには、図５（ハ）に示すように、環状平面部３により反射されたレーザー光Ｐ２に基づく反射光点像としてのスポットＳ１が形成される。対物レンズ１の傾き調整時には、その撮像面２２ａにはスポットＳ１と同時に傾き調整治具の反射光点像としてのスポットＳ２が形成され、スポットＳ１の形状は十字形状となるものであるが、その詳細は後述する。
【００１７】
そのスポットＳ１は環状平面部３の全体によって反射されたレーザー光Ｐ２であるので、絞られた反射光点像となる。そのスポットＳ１の大きさは、角度に換算して１分〜２分程度であり、高ＮＡの対物レンズ１の傾き角θを検出するのに充分な程度の大きさとなる。
【００１８】
環状平面部３の全体にレーザー光Ｐ１を照射した場合に、スポットＳ１の大きさが従来に較べて小さくなる理由を以下に述べる。
【００１９】
図６（イ）に示すように、コリメートレンズ２１に入射する反射レーザー光Ｐ２が平行光束であり、その反射レーザー光Ｐ２のビーム径をωとする。このビーム径ωは図６（ロ）に示すようにガウス分布として表現されるビーム強度分布Ｇの中心のピーク強度値を「１」として、光ビームの強度値が１／ｅ２になる箇所での大きさとして定義される。次に、コリメートレンズ２１の焦点面でのビームスポット（ビームウエスト）の大きさをω０とする。
【００２０】
その焦点面でのビームスポットの大きさω０とコリメートレンズ２１に入射する反射レーザー光Ｐ２のビーム径ωとの間には、一般に、
ω０２＝ω２／（１＋（πω２／λｆ）２）  …（１）
の関係がある。
ここで、符号λはレーザー光Ｐ２の波長であり、ｆはコリメートレンズ２１の焦点距離である。
【００２１】
上記（１）式は（πω２／λｆ）２の項は１よりもはるかに大きいので、下記の（２）式に近似的に書き直すことができる。
ω０＝ω／（πω２／λｆ）＝λｆ／πω  …（２）
ここで、コリメートレンズ２１に入射するレーザー光Ｐのビーム径ωが小さい場合をωｓ、コリメートレンズ２１に入射するレーザー光Ｐのビーム径ωが大きい場合をωｂ、ビーム径がωｓのときに焦点面上に形成されるビームスポットの大きさをω０ｓ、ビーム径がωｂのときに焦点面上に形成されるビームスポットの大きさをω０ｂとすると、上記（２）式から、
ω０ｓ＝λｆ／πωｓ  …（３）
ω０ｂ＝λｆ／πωｂ  …（４）
上記（３）、（４）式に基づき、λｆ／πを消去すると、
ω０ｂ／ω０ｓ＝ωｓ／ωｂ  …（５）
【００２２】
そこで、例えば、ビーム径ωｓを０．５ｍｍ、ビーム径ωｂを２．３ｍｍとすると、
ω０ｂ／ω０ｓ＝０．５／２．３＝１／４．６  …（６）
上記（６）式を変形すると、下記の（７）式が得られる。
ω０ｂ＝ω０ｓ／４．６  …（７）
この（７）式は、ビーム径ωｂが２．３ｍｍのレーザー光をコリメートレンズ２１に入射させた場合、ビーム径ωｓが０．５ｍｍのレーザー光をコリメートレンズ２１に入射させた場合のビームスポットの大きさω０ｓに較べて、ビームスポットの大きさω０ｂが約１／５になることを意味しており、一般的に、コリメートレンズ２１に入射するビーム径を大きくすれば、焦点面上に形成されるビームスポットの径が小さくなることを意味する。
【００２３】
従って、対物レンズ１の直径に対して十分大きなビーム径のレーザー光Ｐ１を対物レンズ１に照射すれば、対物レンズ１の環状平面部３により反射されてコリメートレンズ２１に入射するレーザー光Ｐ２のビーム径が大きくなり、その結果、焦点面上に形成されるビームスポットＳ１の大きさが小さくなる。この他にも、ビームスポットの径が小さくなる理由はあるが、これについては、本発明と直接関連しないのでその詳細な説明は省略する。
【００２４】
光ピックアップ１５は、図２〜図４に示すように、光ディスク装置１４のガイドレール２３に可動可能に支持されている。その図２〜図４において、符号２４はガイドレール２３の支柱である。その光ディスク装置１４にはスピンドル２５が設けられ、そのスピンドル２５の上部には光ディスク８（図１（ロ）参照）が取り付けられるものであるが、ここでは、対物レンズ１の傾き調整のためダミーディスクとしてのカバーガラス２６が設けられている。その光ピックアップ１５はそのガイドレール２３に沿って、光ディスク装置１４の内周側と外周側との間で往復動される。その光ディスク装置１４の外周側には対物レンズの傾き角調整光学系１０が設けられ、その光ディスク装置１４の内周側（スピンドル２５の配置側）には干渉計１１が傾き角調整光学系１０に隣接して設けられている。ここで、干渉計１１をスピンドル２５の側に設けることにしたのは、カバーガラス２６の半径を小さくすることができ、傾き調整装置そのものの小型化を図るためである。
【００２５】
この干渉計１１は、コリメートレンズ２７とビームスプリッタ２８と、コーナキューブ２９、３０と、結像レンズ３１と、撮像カメラ３２とからなる。その撮像カメラ３２の出力と撮像カメラ２２の出力とは画像処理装置１２に入力されている。この画像処理装置１２は、パーソナルコンピュータ３３、入力手段としてのキーボード３４、マウス３５、モニタ１３等を有する。
【００２６】
光ディスク装置１４には、レーザー照射系としての光源部３６が設けられている。この光源部３６はレーザー光Ｐ３を発生し、このレーザー光Ｐ３は通常情報書込・読取り用に用いられるが、対物レンズ１の傾き角が規格内にあるか否かを検査するため、光ピックアップ１５が干渉計１１にセットされた際には、干渉縞測定用レーザー光として用いられる。
【００２７】
光ピックアップ１５には、光源部３６から出射されたレーザー光Ｐ３を対物レンズ１の他面側に向けて偏向する立ち上げミラー３７と、対物レンズ１を搭載するレンズホルダー３８とから大略構成される。そのレーザー光Ｐ３は平行光束として対物レンズ１のレンズ部２に入射される。
【００２８】
レンズホルダー３８には図７（イ）に拡大して示すように円錐形状の受け面３８ａが形成されている。対物レンズ１の環状平面部３がその受け面３８ａに当接されて、対物レンズ１がレンズホルダー３８に支持されている。この対物レンズ１の傾きを調整するには、図２に示すように、光ピックアップ１５を傾き角調整光学系１０の真下に移動させ、傾き調整治具３９を用いて対物レンズ１の傾き調整を行う。
【００２９】
その傾き調整治具３９は図７（イ）、（ロ）に拡大して示すように、爪３９ａを有し、この爪３９ａを環状平面部３に当て、環状平面部３に加わる各爪３９ａの押圧力を加減することにより、対物レンズ１の傾きが調整される。
【００３０】
レーザー光Ｐ１を照射すると、レーザー光Ｐ１は環状平面部３により反射されて反射レーザー光Ｐ２となり、ビームスプリッタ２０を透過してコリメートレンズ２１に導かれ、このコリメートレンズ２１により集光され、既に述べたように、図５（ハ）に示すスポットＳ１が撮像面２２ａに形成される。その撮像カメラ２２の出力はモニタ１３に拡大映像として出力され、画面１３ａにスポットＳ１が図２に示すように表示される。
【００３１】
その傾き調整治具３９により、スポットＳ１の位置を見つつ対物レンズ１の傾き（傾きの方向及び傾きの量）を調整を行うものであるが、環状調整治具３９を用いて対物レンズ１を傾けたとしても、環状調整治具３９を傾ける方向と対物レンズ１が実際に傾く方向とは必ずしも一致しない。また、環状調整治具３９の傾き量と対物レンズ１の傾き量とも必ずしも一致しない。従って、スポットＳ１を所望の方向に所定量移動させたい場合に、スポットＳ１のみを見つつ対物レンズ１の傾き調整を行うことにすると、スポットＳ１が必ずしも環状調整治具３９を傾けた方向と同じ方向に移動するとは限らないから、調整作業を迅速に行うことが難しい。できれば、環状調整治具３９をどの方向にどれだけ傾けたら、対物レンズ１がどの方向にどれだけ傾くかを認識できるようにすることが迅速に調整作業を行う上で望ましい。
【００３２】
そこで、この発明の実施の形態では、環状調整治具３９の傾き方向及び傾き量を認識できるようにしている。すなわち、環状調整治具３９の傾き方向及び傾き量も認識できるようにするため、環状調整治具３９の上面を鏡面３９ｂとし、平行レーザー光Ｐ１のビーム径を鏡面３９ｂに照射される大きさとして、この鏡面３９ｂにより平行レーザー光Ｐ１の一部を反射させ、この鏡面３９ｂにより反射されたレーザー光Ｐ２に基づくスポットＳ２が撮像面２２ａにスポットＳ１と共に形成されるようにしている。このスポットＳ２は、環状調整治具３９を傾けると、その環状調整治具３９の傾き方向及び傾き量に一対一に対応して撮像面２２ａ上を移動する。
【００３３】
このようにすれば、スポットＳ２の画面１３ａ上での動きの方向、動きの量とスポットＳ１の画面１３ａ上での動きの方向、動きの量との関係を認識でき、スポットＳ１を所望の方向に所望の量だけ動かしたい場合、環状調整治具３９の調整に基づくスポットＳ２の移動方向に対してスポットＳ１がどの方向に移動するかを見つつ、環状調整治具３９の傾き方向を調整し、これによりスポットＳ１を所望の方向に所望の量だけ迅速に移動させることができる。すなわち、対物レンズ１の傾き調整を迅速に行うことができる。
【００３４】
なお、環状平面部３に達する平行レーザー光Ｐ１の一部は、環状調整治具３９の端縁３９ｃ〜３９ｆにより回折され、この回折による散乱効果が発生するため、端縁３９ｃと３９ｅを結ぶ線分Ｌ１と直交する方向の散乱成分の光と端縁３９ｄと３９ｆを結ぶ線分Ｌ２と直交する方向の散乱成分の光とが撮像面２２ａに達するため、環状平面部３により反射された平行レーザー光Ｐ２に基づくスポットＳ１が図５（ハ）に示すように、十字形状に歪むことになるが、そのスポットＳ１の大きさは角度にして約３分程度であり、スポットＳ１の中心を決定するのに支障はないので、高ＮＡの対物レンズ１の傾き角θを検出するのに充分な程度の大きさである。
【００３５】
光ピックアップ１５は、対物レンズ１の傾き調整後、図３に示すように、干渉計１１の真下に移動される。図４に示すように、光源部３６は干渉計１１の真下にセットされると共にオンされ、レーザー光Ｐ３が出射される。レーザー光Ｐ３は立ち上げミラー３７によって対物レンズ１に向けて偏向される。そのレーザー光Ｐ３は対物レンズ１により収束されてカバーガラス２６に導かれる。カバーガラス２６は光ディスク８をエミュレートする役割を果たす。そのカバーガラス２６を透過したレーザー光Ｐ３はコリメートレンズ２７により集光され、光路Ｘを通ってビームスプリッタ２８に導かれる。そのビームスプリッタ２８に導かれたレーザー光Ｐ３はコーナーキューブ２９に向かう光路Ｘ１とコーナーキューブ３０に向かう光路Ｘ２とに分割される。コーナーキューブ２９に向かう光路Ｘ１とコーナーキューブ３０に向かう光路Ｘ２とに分割されたレーザー光Ｐ３は光路Ｘ３で合成され、結像レンズ３１により撮像カメラ３２に結像され、撮像カメラ３２により受光される。その撮像カメラ３２の受光出力はモニター１３に向けて出力され、対物レンズ１がカバーガラス２６に対して傾いていると干渉縞が発生し、図４に示すように、画面１３ａ上にこの干渉縞Ｋが表示される。その干渉縞Ｋの本数は対物レンズ１の傾き角に依存し、干渉縞Ｋの形状は対物レンズ１の傾きの方向に依存する。
【００３６】
この観測により得られた干渉縞Ｋが波面規格内にないときには、再び光ピックアップ１５を傾き角調整光学系１０の真下に移動させて、対物レンズ１の傾きを調整し、その傾き調整後、干渉計１１の真下に移動させて再度干渉縞Ｋの観測を行う。干渉縞が波面規格内になるまで、この調整及び観測が繰り返し行われ、干渉縞が波面規格内にあると判断されたときには、対物レンズ１をレンズホルダー３８に接着により固定し、傾き調整作業を終了するものであり、その詳細を以下に説明する。
【００３７】
画像処理装置１２はその干渉縞Ｋの干渉出力信号をデジタル信号に変換し、これにより、干渉縞Ｋのデジタルデータが得られる。その画像処理装置１２には干渉縞の波面規格値がデジタルデータとして予め保存されている。画像処理装置１２は観測により得られた干渉縞Ｋのデジタルデータと波面規格値のデジタルデータとを比較し、観測により得られた干渉縞が波面規格に合致しているか否かを判定する。
【００３８】
まず、図３に示すように、対物レンズ１を搭載した光ピックアップ１５を干渉計１１にセットして、図４に示すようにレーザー光Ｐ３を照射して波面検査を行う（図８のＳ．１参照）。次に、画像処理装置１２は観測された干渉縞Ｋが波面規格に合致しているか否かを判定する（Ｓ．２）。すなわち、観測された干渉縞Ｋから傾き量のデータと傾き方向のデータとを抽出してベクトルデータを生成し、干渉縞Ｋの基準波面データに対するずれ量とずれ方向とが波面規格範囲内に入っているか否かを判定する。観測された干渉縞が波面規格に合致しているときには、対物レンズ１の傾き角調整を行わずにそのまま処理を終了し、合致していないときには、光ピックアップ１５を傾き角調整用光学系１０に向けて移動させてこれにセットし、対物レンズ１の傾き角調整を開始する（Ｓ．３）。
【００３９】
その対物レンズ１を傾き角調整用光学系１０にセットすると、図９（イ）に示すように、画面１３ａにスポットＳ１とスポットＳ２とが表示される（Ｓ．４）。次に、入力手段としてのキーボド３４又はマウス３５を操作して、図９（ロ）に示すように画面１３ａに表示されているカーソル４０をスポットＳ１に合致させてから位置を確定する。すると、スポットＳ１の画面上の位置が記憶される（Ｓ．５）。画像処理装置１２は、干渉計１１により観測された干渉縞のデータと波面規格に基づき、表示画面１３ａ上におけるスポットＳ１（反射光点像）の二次元方向ずれ量を演算するとともに、その演算結果を基にして、対物レンズ１の傾き姿勢のコマ収差に関する許容範囲を意味する画面上目標箇所Ｍを算出し、図９（ハ）に示すように画面１３ａに画面上目標箇所Ｍを表示する（Ｓ．６）。作業者は、この画面上目標箇所Ｍに向けてスポットＳ１が移動するようにスポットＳ２を見ながら対物レンズ１の傾きを調整し（Ｓ．７）、図９（ニ）に示すように、画面上目標箇所ＭにスポットＳ１を合わせる。
【００４０】
そして、環状調整治具３９を対物レンズ１から離間させて、再び、光ピックアップ１５を干渉計１１にセットして、干渉縞Ｋの波面検査を行い（Ｓ．８）、画像処理装置１２は観測された干渉縞が波面規格に合致しているか否かを判定する（Ｓ．９）。環状調整治具３９の爪３９ａによる押圧力を解除すると、対物レンズ１の傾きが若干ずれることがあるからである。干渉縞Ｋが波面規格外のときには、干渉縞Ｋのデータを更新して再びＳ．３ないしＳ．９の処理を繰り返し、波面規格内にあるときには、対物レンズ１を接着剤によりレンズホルダー３８に固定して処理を終了する。
【００４１】
なお、図９において、符号Ｌｘ、Ｌｙは図示を略す調整機構の縦・横座標を示す十字線であり、符号Ｌ０はその調整機構の座標原点を示している。
【００４２】
本発明の傾き調整装置は、光ディスク装置１４のガイドレール２３を利用することにより、光ピックアップ１５を移動させて、対物レンズ１の傾き調整を行っているので、対物レンズ１の傾き角調整用光学系１０と干渉計１１とを一体にＸＹテーブルに支持させ、光ピックアップ１５に対して傾き調整装置全体をＸＹテーブルで移動させる従来の傾き調整装置に較べて、対物レンズの傾き調整装置の小型化を図ることができる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置によれば、干渉縞の目視による観察を必要とせずに、対物レンズの傾き角の調整を高精度かつ迅速に行うことができるという効果を奏する。
また、対物レンズの傾き調整装置の小型化を図ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】対物レンズの傾き角調整用光学系としてオートコリメータを用いて対物レンズの傾き角度の検出を説明するための説明図であって、（イ）はその対物レンズの形状を示す平面図、（ロ）は光ディスクの情報記録面に検出光を照射した状態を示す傾き角調整用光学系の説明図、（ハ）は対物レンズの環状平面部に検出光を照射した状態を示す傾き角調整用光学系の説明図、（二）は光ディスクの情報記録面に対する対物レンズの傾き角度の説明図である。
【図２】本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置のシステム図であって、対物レンズを傾き角調整光学系の真下にセットして傾き調整を行っている状態を示す図である。
【図３】本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置のシステム図であって、対物レンズを干渉計の真下にセットして干渉縞の観測を行う直前の状態を示す図である。
【図４】本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置のシステム図であって、対物レンズを干渉計の真下にセットして干渉縞の観測を行っている状態を示す図である。
【図５】本発明の対物レンズの傾き角調整用光学系を用いて対物レンズの傾き角度の検出を説明するための説明図であって、（イ）は図２〜図４に示す対物レンズの傾き角調整用光学系の詳細光学図、（ロ）は検出光により対物レンズが略垂直に照明されている状態を説明するための拡大図、（ハ）はその対物レンズにより反射された検出光に基づき撮像面に形成されたスポットの説明図である。
【図６】対物レンズの環状平面部の全体にレーザー光を照射した場合に形成されるビームスポットが小さくなる理由を説明するための説明図であって、（イ）はその理由を説明するための光学模式図、（ロ）は環状平面部により反射された平行レーザー光の強度分布を示すグラフである。
【図７】本発明に係わる対物レンズの傾き調整の説明図で、（イ）は傾き調整用の環状調整治具によりレンズホルダーに保持された対物レンズの傾き調整を説明するための側面図、（ロ）は（イ）に示す環状調整治具を上面から目視した平面図である。
【図８】本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置を用いて対物レンズの傾き調整手順を説明するためのフロー図である。
【図９】図２に示すモニターの画面に表示されたスポットの説明図であって、（イ）はスポットが画面に表示された状態を示し、（ロ）はそのスポットの画面上の位置をカーソルにより指定した状態を示す図、（ハ）はその画面上に傾き角目標位置を表示した状態を示す図、（ニ）はその傾き角目標位置にスポットを誘導した状態を示す図である。
【符号の説明】
１  対物レンズ
２  レンズ部
３  環状平面部
１０  傾き角調整用光学系
１１  干渉計
１２  画像処理装置（演算手段と判定手段）
１３  モニター
Ｓ１  スポット（反射光点像）
Ｍ  画面上目標箇所
Ｓ２  スポット（反射光点像）
【図１】
0003581702.tif 000002
【図２】
0003581702.tif 000003
【図３】
0003581702.tif 000004
【図４】
0003581702.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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