(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光導波路を有する第一及び第二光導波路群と、前記第一の光導波路群の光導波路と前記第二の光導波路群の光導波路は交差し、前記交差部を横断する屈折率整合液と不活性ガスが封入された溝と、前記屈折率整合液を加熱する加熱手段とを有し、前記屈折率整合液を加熱することにより、前記屈折率整合液が前記交差部を横断する位置から出入りするように前記溝中を移動して光路切替する導波路型光部品であって、前記屈折率整合液は、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルのうちいずれか１つであることを特徴とする導波路型光部品。
【請求項２】
前記不活性ガスは、ヘリウムガス、窒素ガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスのうちいずれか１つもしくはこれらの混合ガスであることを特徴とする請求項１に記載の導波路型光部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導波路型光部品に関し、特に、ＦＴＴＤ（ファイバ・トウ・ザ・デスク）や光ＬＡＮ（ローカル・エリア・ネットワーク）等のユーザ系光ネットワーク、あるいは通信処理装置内の光インターコネクションに必須な、波長分割多重通信システム用光スイッチ、マトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、及び光アド・ドロップマルチプレクサの構成要素に適用して有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、急速に普及するマルチメディア通信に対応するため、光化によるネットワークの大容量化が進められている。光波長多重（ＷＤＭ）技術を用いたネットワークは、伝送容量の大幅な増大を可能とするだけでなく、クロスコネクト・交換等のノード機能を含めたネットワーク全体の光化を可能にする技術として注目されている。そのＷＤＭ型ネットワークの実現においては、光通信システムに柔軟性、拡張性、及び信頼性を確保するために、光信号を電気信号に変換することなく、光のままで切り替えられる光スイッチが大量に必要となってくる。このとき、光スイッチに要求される特性として、小型で低消費電力駆動であることはもとより、光学特性において、低クロストークであることが求められる。
【０００３】
前述のような目的を達成するために、各々平行な光軸を有するｍ本の第一の光導波路群と各々平行な光軸を有し、該第一の光導波路群と各々交差するｎ本の第二の光導波路群を有するｍ×ｎ格子状光導波路において、前記第一の光導波路群からの任意の光を前記第二の光導波路群へ切り替えることのできる構造として、前記第一の光導波路群からの光を前記第二の光導波路群へ全反射させる反射壁面を有し、かつ前記反射壁面は、前記第一の光導波路群の入力側寄りに配置されているスリット（溝）を設け、該スリット中に、光の透過が可能な屈折率整合液を適当量充填し、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、かつ前記屈折率整合液と混じりあわない気体として空気で満たされる構成を有し、前記屈折率整合液を駆動させることで光路切替を実現する光スイッチが提案されている（「表面張力熱制御型導波路光スイッチ及びマトリクス型光スイッチ」：特開平８−６２６４５号公報参照）。このとき、前記屈折率整合液として、市販の多成分系メチルフェニルシリコーンオイルが用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の光スイッチにおいては、その構造や製造方法だけが議論され、屈折率整合液の材料自身に着目した検討は全くなされておらず、単に、市販の分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルフェニルシリコーンオイルが用いられているにすぎなかった。また、前記屈折率整合液と混じりあわない気体の材料としては、ハンドリングの簡便性から空気が用いられていた。
【０００５】
屈折率整合液においては、市販の分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルフェニルシリコーンオイルは、高揮発性の低分子量メチルフェニルシリコーンオイルと低揮発性の高分子量メチルフェニルシリコーンオイルが適当な割合で混合しているため、光スイッチを組み立てる際、高揮発性の低分子量メチルフェニルシリコーンオイルだけが選択的に揮発し、屈折率整合液としての機能を果たさなくなるという問題があった。この結果、低クロストークで精度よく完成させることが極めて困難であった。
【０００６】
また、前記屈折率整合液として、前記分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルフェニルシリコーンオイル以外にも、市販のシリコーンオイルとして分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系ジメチルシリコーンオイル、または、分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイル等が候補として存在し、更に、四塩化炭素、ベンゼン、クロロホルム、グリセリン、トルエン等の有機溶剤や、ナトリウム塩、カリウム塩、カルシウム塩、マグネシウム塩、亜鉛塩、アンモニウム塩、乳酸、リン酸、酢酸、硫酸、重炭酸、アスパラギン酸、グルコン酸、クエン酸、ＴＨＡＭ等の電解質を用いた溶液等も候補として存在するが、いずれも、光スイッチを組み立てる際、高揮発性が原因で、光スイッチを、低クロストークで精度よく完成させることができないという問題があった。
【０００７】
更に、前記屈折率整合液と混じりあわない気体においては、空気以外に、毒性、引火性、爆発性の無い気体として、ヘリウムガス、窒素ガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガス等が候補として存在し、また、これらの候補を任意の種類混合して使用したり、これらの候補を任意の割合で混合して使用したりすることも可能であるため、その選択肢は無限にあった。
【０００８】
屈折率整合液の材料、及びこれらの屈折率整合液と混じりあわない気体の材料のうち、前記光スイッチにおいては、前記屈折率整合液をスリット近傍に設けた薄膜マイクロヒータの加熱により駆動させることを動作原理としているため、揮発性が小さく、また、前記スリット内の雰囲気下で前記屈折率整合液が高い耐熱性を有するとともに、温度による屈折率変化が小さいことが要求される。
【０００９】
本発明の目的は、前記課題を解決し、揮発性が小さく、スリット内の雰囲気下での屈折率整合液が高い耐熱性を有し、かつ温度による屈折率変化の小さい光スイッチ用屈折率整合液を提供することにある。
本発明の他の目的は、揮発性が小さく、高い耐熱性を有し、かつ温度による屈折率変化の小さい高い信頼性を有する、低クロストークの光スイッチ、マトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、及び光アド・ドロップマルチプレクサを提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
（１）複数の光導波路を有する第一及び第二光導波路群と、前記第一の光導波路群の光導波路と前記第二の光導波路群の光導波路は交差し、前記交差部を横断する屈折率整合液と不活性ガスが封入された溝と、前記屈折率整合液を加熱する加熱手段とを有し、前記屈折率整合液を加熱することにより、前記屈折率整合液が前記交差部を横断する位置から出入りするように前記溝中を移動して光路切替する導波路型光部品であって、前記屈折率整合液は、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルのうちいずれか１つであることを特徴とする導波路型光部品。
【００１１】
（２）前記不活性ガスは、ヘリウムガス、窒素ガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスのうちいずれか１つもしくはそれらの混合ガスである。
【００１２】
すなわち、本発明は、例えば、各々平行な光軸を有するｍ（ｍは整数である）本の第一の光導波路群と各々平行な光軸を有し該第一の光導波路群と各々交差するｎ（ｎは整数である）本の第二の光導波路群を有するｍ×ｎ格子状光導波路において、前記第一の光導波路群からの任意の光を前記第二の光導波路群へ切り替えることのできる構造として、前記第一の光導波路群からの光を前記第二の光導波路群へ全反射させる反射壁面を有し、かつ該反射壁面は前記第一の光導波路群の入力側寄りに配置されているスリット（溝）を設け、該スリット中に、光の透過が可能な屈折率整合液を適当量充填し、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、かつ前記屈折率整合液と混じりあわない不活性ガスで満たされる構成を有し、前記屈折率整合液を前記スリット近傍に設けた薄膜マイクロヒータの加熱により駆動させることで光路切替を実現する光スイッチあるいはマトリクス型光スイッチであり、前記屈折率整合液として、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルを用いる。
【００１３】
さらに、この光スイッチあるいはマトリクス型光スイッチにおいて、前記第一の光導波路群の光軸と前記第二の光導波路群の光軸との交差部のうち、前記第一の光導波路群の各々の光導波路から対応する前記第二の光導波路群の各々の光導波路へ光が進む際に、通過する交差部の数が同じになるように、対角線方向の交差部のみに前記スリットが設けられている多連２×２光スイッチアレイである。
【００１４】
さらには、前記の多連２×２光スイッチアレイと、二つの波長合波器及び二つの波長分波器から構成され、前記多連２×２光スイッチアレイにおける前記第一の光導波路群の各入力ポートと一つの前記波長分波器における各出力ポートが一対一に任意に接続され、前記第一の光導波路群の出力ポートから出力される光の波長と、一つの前記波長合波器の入力ポートに入力すべき光の波長が同一であるポート同士が各々一対一に接続され、前記多連２×２光スイッチアレイにおける前記第二の光導波路群の各入力ポートともう一つの該波長分波器における各出力ポートが一対一に任意に接続され、前記第二の光導波路群の出力ポートから出力される光の波長と、もう一つの該波長合波器の入力ポートに入力すべき光の波長が同一であるポート同士が各々一対一に接続されている光アド・ドロップマルチプレクサである。
以下に、本発明について、本発明による実施形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明による実施形態（実施例）の導波路型光部品の基本的概念を示す模式図である。本実施形態（実施例）の導波路型光部品は、マトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、及び光アド・ドロップマルチプレクサ中の屈折率整合液として、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルを用いた例である。
【００１６】
（実施例１）
本実施例１の光スイッチは、図１に示すように、光導波路基板５の表層部に、各々平行な光軸を有する三本の第一の光導波路群１と、これらと交差し各々平行な光軸を有する三本の第二の光導波路群２からなる３×３格子状光導波路が構成されている。さらに、前記第一の光導波路群１の入力側寄りに配置されたスリット壁面で、該第一の光導波路群１のＡ側からの光を前記第二の光導波路群２のＤ側へ全反射させ、前記第二の光導波路群の入力側寄りに配置されたスリット壁面で、前記第二の光導波路群１のＣ側からの光を前記第一の光導波路群２のＢ側へ全反射させる両側反射壁面を有するスリット（溝）３が、前記第一の光導波路群１の光軸と前記第二の光導波路群２の光軸との交差部のうち、前記第一の光導波路群１の各々の光導波路と前記第二の光導波路群２の各々の光導波路が互いに一意に対応する交差部に形成されている。
【００１７】
前記スリット３中に光の透過が可能な屈折率整合液４として、例えば、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルのうちいずれか１つが適当量充填されており、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、かつ前記屈折率整合液と混じりあわない空気、または、ヘリウムガス、窒素ガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスのうちいずれか１つもしくはそれらの混合ガスの不活性ガスが充填されている。
【００１８】
さらに、光スイッチング動作（光路切替）に必要な該屈折率整合液の駆動は、薄膜マイクロヒータで屈折率整合液４を前記スリット３の近傍に設けた薄膜マイクロヒータ（図示していない）で加熱することにより駆動させることで光路切替を実現する光スイッチや、この光スイッチを用いたマトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、あるいは光アド・ドロップマルチプレクサを、低クロストークで精度よく完成させることができた。
【００１９】
一方、屈折率整合液４として、従来の分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系ジメチルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルフェニルシリコーンオイル、分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイル等の市販のシリコーンオイルを用いた場合、高揮発性の低分子量メチルフェニルシリコーンオイルだけが選択的に揮発し、屈折率整合液としての機能を果たさなくなり、この結果、各々平行な光軸を有する三本の第一の光導波路群１と各々平行な光軸を有し、前記第一の光導波路群１と各々交差する三本の第二の光導波路群２を有する３×３格子状光導波路において、前記第一の光導波路群１からの任意の光を前記第二の光導波路群２へ切り替えることのできる構造として、前記第一の光導波路群１からの光を前記第二の光導波路群２へ全反射させる反射壁面を有し、該反射壁面は前記第一の光導波路群１の入力側寄りに配置されているスリット（溝）３を設け、該スリット３中に、光の透過が可能な前記屈折率整合液４を適当量充填し、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、かつ前記屈折率整合液４と混じりあわない気体（空気、または、不活性ガス）で満たされる構成を有し、前記屈折率整合液４を前記スリット３近傍に設けた薄膜マイクロヒータで加熱することにより駆動させることで光路切替を実現する光スイッチや、この光スイッチを用いたマトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、あるいは光アド・ドロップマルチプレクサを、低クロストークで精度よく完成させることができなかった。
【００２０】
同様に、前記屈折率整合液４として、四塩化炭素、ベンゼン、クロロホルム、グリセリン、トルエン等の有機溶剤を用いた場合、これらの有機溶剤は、一般に揮発性が高く、常温、常圧化で短時間に完全に蒸発するため、各々平行な光軸を有する三本の第一の光導波路群１と各々平行な光軸を有し、前記第一の光導波路群１と各々交差する三本の第二の光導波路群２を有する３×３格子状光導波路において、前記第一の光導波路群１からの任意の光を前記第二の光導波路群２へ切り替えることのできる構造として、前記第一の光導波路群１からの光を前記第二の光導波路群２へ全反射させる反射壁面を有し、該反射壁面には前記第一の光導波路群１の入力側寄りに配置されているスリット（溝）３を設け、該スリット３中に、光の透過が可能な前記屈折率整合液４を適当量充填し、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、前記屈折率整合液４と混じりあわない気体（空気、または、不活性ガス）で満たされる構成を有し、前記屈折率整合液４を前記スリット３近傍に設けた薄膜マイクロヒータで加熱することにより駆動させることで光路切替を実現する光スイッチや、この光スイッチを用いたマトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、あるいは光アド・ドロップマルチプレクサを構成することができなかった。
【００２１】
また、ナトリウム塩、カリウム塩、カルシウム塩、マグネシウム塩、亜鉛塩、アンモニウム塩、乳酸、リン酸、酢酸、硫酸、重炭酸、アスパラギン酸、グルコン酸、クエン酸、ＴＨＡＭ等の電解質を用いた溶液を屈折率整合液４として用いた場合、僅かではあるが、前記屈折率整合液４と混じりあわない気体中に蒸発したり、また、前記屈折率整合液４と混じりあわない気体としての空気に含まれる二酸化炭素ガスや水蒸気を僅かではあるが吸収することで、屈折率の不整合を起こすため、各々平行な光軸を有する三本の第一の光導波路群１と各々平行な光軸を有し、前記第一の光導波路群１と各々交差する三本の第二の光導波路群２を有する３×３格子状光導波路において、前記第一の光導波路群１からの任意の光を前記第二の光導波路群２へ切り替えることのできる構造として、前記第一の光導波路群１からの光を前記第二の光導波路群２へ全反射させる反射壁面を有し、該反射壁面には前記第一の光導波路群１の入力側寄りに配置されているスリット（溝）３を設け、該スリット３中に、光の透過が可能な前記屈折率整合液４を適当量充填し、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、かつ該屈折率整合液４と混じりあわない気体（空気、または、不活性ガス）で満たされる構成を有し、前記屈折率整合液４を前記スリット３近傍に設けた薄膜マイクロヒータで加熱することにより駆動させることで光路切替を実現する光スイッチや、この光スイッチを用いたマトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、あるいは光アド・ドロップマルチプレクサにおいて、十分なクロストーク値を達成することができなかった。
【００２２】
これに対して、本実施例１では、各々平行な光軸を有するｍ本の第一の光導波路群１と各々平行な光軸を有し該第一の光導波路群１と各々交差するｎ本の第二の光導波路群２を有するｍ×ｎ格子状光導波路において、前記第一の光導波路群１からの任意の光を前記第二の光導波路群２へ切り替えることが可能で、かつ前記第二の光導波路群２からの任意の光を前記第一の光導波路群１へ切り替えることのできる構造として、前記第一の光導波路群１からの光を前記第二の光導波路群２へ全反射させる第一の反射壁面と、前記第二の光導波路群２からの光を該第一の光導波路群１へ全反射させる第二の反射壁面とを併せ持つ、いわゆる、両側反射壁面を有し、かつ前記第一の反射壁面は、前記第一の光導波路群１の入力側寄りに配置され、また、前記第二の反射壁面には、前記第二の光導波路群２の入力側寄りに配置されているスリット（溝）３を設け、該スリット３中に、光の透過が可能な屈折率整合液４を適当量充填し、その他の部分は光が光導波路と溝壁面の界面で全反射し、かつ該屈折率整合液４と混じりあわない気体（空気、または、不活性ガス）で満たされる構成を有し、前記屈折率整合液４を、前記スリット３近傍に設けた薄膜マイクロヒータで加熱することにより駆動させることで光路切替を実現する光スイッチや、この光スイッチを用いたマトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、あるいは光アド・ドロップマルチプレクサにおいて、前記屈折率整合液４として、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイル、または、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイル、または、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルを用いたときのみ、十分なクロストーク値を有した特性で安定的に構成することができた。
【００２３】
前記本実施例１の分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルにおいては、十分なクロストーク値を有するとともに、以下の通り、高い耐熱性を有している。すなわち、前記スリット３中に分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルが適当量充填されており、その他の部分は空気が充填されている光スイッチと同等の系においては、約３２０℃という耐熱性を有していた。
【００２４】
一方、同様の系において、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイルは１７５℃程度の耐熱性しかない。
また、前記スリット３中に分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルが適当量充填されており、その他の部分は不活性ガスとしてのアルゴンガスが充填されている光スイッチと同等の系においては、約３６０℃というさらに高い耐熱性を有していた。これは、不活性ガス雰囲気下においては、約３２０℃から始まる熱酸化反応が抑えられたためである。
【００２５】
前記の結果より、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルは、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイルより高い耐熱性を有していることが分かった。また、前記スリット３中に、前記屈折率整合液と混じりあわない気体として、不活性ガスのアルゴンガスが充填されている場合には、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルは、さらに優れた高い耐熱性を有していた。本実施例１では、不活性ガスとしてアルゴンガスを用いたが、このアルゴンガス以外にも、窒素ガス、ヘリウムガス、ネオンガス、クリプトンガス、キセノンガス等、または、これらの混合ガスを用いても同様の効果を得ることができることは明白である。
前述の本実施例１により、前記スリット中に充填される屈折率整合液と混じり合わない気体として、不活性ガスを用いることの優位性を実証した。
【００２６】
（実施例２）
従来、市販の屈折率整合液として分子量分布図のピークが二つ以上となる多成分系メチルフェニルシリコーンオイルが用いられている。前記多成分系メチルフェニルシリコーンオイルは、高揮発性の低分子量メチルフェニルシリコーンオイルと低揮発性の高分子量メチルフェニルシリコーンオイルが適当な割合で混合しているため、光スイッチを組み立てる際、高揮発性の低分子量メチルフェニルシリコーンオイルだけが選択的に揮発し、この結果、光スイッチを低クロストークで精度よく完成させることができなかった。
一方、本実施例２では、屈折率整合液として、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルが用いられる場合、高揮発性の低分子量メチルフェニルシリコーンオイルが含有されていないため、光スイッチを組み立てる際、揮発の問題が発生せず、この結果、光スイッチを低クロストークで精度よく完成させることができた。このときのクロストーク値は、−５０ｄＢ以下であった。
本実施例２により、前記スリット中に充填される屈折率整合液として、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系シリコーンオイルを用いることの優位性を実証した。
【００２７】
（実施例３）
屈折率ｎと温度ｔの関係は、ローレンツ・ローレンツの関係式をｔで偏微分することにより、以下の数１の式のように表せられる。
【００２８】
【数１】
0003570956.tif 000002
ここで、ｄは密度（単位ｋｇ／ｍ３）、［Ｒ］は分子屈折を表す。屈折率の温度変化は、密度に起因する項（右辺第一項）と分子屈折に起因する項（右辺第二項）との和で表されることが分かる。さらに、分子屈折に起因する項は温度によって殆ど変化しないので、前記数１の式は以下の数２の式のように近似される。
【００２９】
【数２】
0003570956.tif 000003
従って、屈折率の温度変化を検討する際には、密度に起因する項の数２の式だけを考察すればよい。
【００３０】
本実施例３の光スイッチ、マトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、及び光アド・ドロップマルチプレクサアレイでは、温度変化に伴う屈折率変化が小さいことが望まれるので、前記数２の式により、大きな密度をもち、且つ、温度変化に伴う密度変化の小さいシリコーンオイルを選定すればよいことが分かる。この点においても、屈折率整合液として、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルは、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイルや分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルより有利である。なぜなら、メチル基とフェニル基、水素基の分子量の違いにより、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルの平均分子量は、分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系ジメチルシリコーンオイル、及び分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルハイドロジェンシリコーンオイルの平均分子量より大きいため、大きな密度をもち、且つ、温度変化に伴う密度変化が小さくなるからである。
前述の本実施例３により、前記スリット中に充填される屈折率整合液として、メチルフェニルシリコーンオイルを用いることの優位性を実証した。
【００３１】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【００３２】
【発明の効果】
本願において開示される発明によって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
本発明によれば、スリット（溝）中に充填される屈折率整合液として分子量分布図のピークが一つとなる単一成分系メチルフェニルシリコーンオイルを使用しているため、揮発性が小さく、高い耐熱性を有するとともに、温度による屈折率変化が小さいといった優れた特性も併せ持つことができる。
また、その他の部分が屈折率整合液と混じりあわない不活性ガスで満たされる場合には、さらに高い耐熱性を有することができる。
これらにより屈折率変化の小さい高い信頼性を有し、低クロストークの光スイッチ、マトリクス型光スイッチ、多連２×２光スイッチアレイ、及び光アド・ドロップマルチプレクサ等の導波路型光部品を実現することができるという著しい効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明による実施形態（実施例）の導波路型光部品の基本的概念を示す模式図である。
【符号の説明】
１…第一の光導波路群、２…第二の光導波路群、３…スリット（溝）、４…屈折率整合液、５…光導波路基板。
【図１】
0003570956.tif 000004