(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極と陽極の間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列して、濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填してなる電気脱イオン装置において、
最も陰極側の脱塩室のカチオン交換膜と陰極との間の全体を陰極室とし、
最も陽極側の脱塩室のアニオン交換膜と陽極との間にカチオン交換膜を配置し、このカチオン交換膜と該最も陽極側の脱塩室との間を濃縮室とし、このカチオン交換膜と陽極との間を陽極室としたことを特徴とする電気脱イオン装置。
【請求項２】
請求項１において、該脱塩室の厚さが７ｍｍ以上であり、セルあたりの操作電圧が１〜５０Ｖ／ｃｅｌｌであり、通水ＳＶが３０〜１５０／ｈｒであることを特徴とする電気脱イオン装置。
【請求項３】
請求項２において、被処理水がシリカ及び／又はホウ素を含有することを特徴とする電気脱イオン装置。
【請求項４】
被処理水を複数段の電気脱イオン装置に通水するように接続した純水製造装置であって、最前段の電気脱イオン装置が請求項１ないし３のいずれか１項の電気脱イオン装置である純水製造装置。
【請求項５】
被処理水を複数段の電気脱イオン装置に通水するように接続した純水製造装置であって、最前段の電気脱イオン装置が請求項２又は３の電気脱イオン装置であり、
２段目以降の電気脱イオン装置の脱塩室の厚みが最前段の電気脱イオン装置の脱塩室の厚みよりも薄いことを特徴とする純水製造装置。
【請求項６】
陰極と陽極の間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列して、濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填してなる電気脱イオン装置において、
最も陽極側の脱塩室のアニオン交換膜と陽極との間にアニオン交換膜を配置し、このアニオン交換膜と該最も陽極側の脱塩室との間を濃縮室とし、このアニオン交換膜と陽極との間を陽極室とし、
最も陰極側の脱塩室のカチオン交換膜と陰極との間にカチオン交換膜を配置し、このカチオン交換膜と該最も陰極側の脱塩室との間を濃縮室とし、このカチオン交換膜と陰極との間を陰極室としたことを特徴とする電気脱イオン装置。
【請求項７】
請求項４又は５において、２段目以降の電気脱イオン装置が請求項６の電気脱イオン装置であることを特徴とする純水製造装置。
【請求項８】
請求項７において、２段目以降の電気脱イオン装置の脱塩室及び濃縮室にそれぞれイオン交換体が充填されていることを特徴とする純水製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体、液晶、製薬、食品、電力等の分野の各種産業、民生用又は研究設備で利用される脱イオン水を製造する電気脱イオン装置と、この電気脱イオン装置を用いた純水製造装置に係り、特に、シリカ、ホウ素などの弱電解質の除去率を飛躍的に向上させることができ、超純水製造装置の一次純水システムや回収系に好適な電気脱イオン装置と、この電気脱イオン装置を採用して、比抵抗値１８．０ＭΩ・ｃｍ以上の高水質処理水を低電力で安定して得ることを可能とした純水製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、液晶工場、食品工業、電力工業等の各種産業、民生用ないし研究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図４に示す如く電極（陽極１１、陰極１２）の間に複数のアニオン交換膜１３及びカチオン交換膜１４を交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成し、脱塩室１６にイオン交換体１０を充填した電気脱イオン装置が多用されている。図４において１７は陽極室、１８は陰極室である。
【０００３】
また、図５の通り、最も陽極１１側の脱塩室１６と陽極１１との間にカチオン交換膜１４を配置して陽極室１７と濃縮室１５とを区画形成すると共に、最も陰極１２側の脱塩室１６と陰極１２との間にアニオン交換膜１３を配置して陰極室１８と濃縮室１５とを形成したものも公知である（特公平４−７２５６７号公報、特許第２７５１０９０号公報、特許第２６９９２５６号公報）。
【０００４】
なお、濃縮室１５から流出した濃縮水の一部を陽極室１７及び陰極室１８に流す。
【０００５】
電気脱イオン装置は、水解離によってＨ＋イオンとＯＨ−イオンとを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から脱塩処理に広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を奏し、純水製造装置などに組み込まれて広く使用されている。
【０００６】
ところで、一般に電気脱イオン装置では限界電流密度以上の電流を流して脱塩を行うが、この時、前述のように水解離が生じてＯＨ−、Ｈ＋が発生し、電荷を運ぶようになる。このＨ＋イオンのイオン移動度は３４９．７ｃｍ２Ω−１ｅｑ−１で、他のイオンのイオン移動度（３０〜７０ｃｍ２Ω−１ｅｑ−１）に比べ、圧倒的に速い（イオン移動度は無限希釈溶液におけるデータ、日本化学会編「化学便覧」参照）。このため、特に脱塩室の厚みＷが大きくなると、水解離が生じたときにイオン移動度の違いによる移動速度の差が広がり、Ｈ＋は速やかにに濃縮室側に排出され、ＯＨ−イオンが脱塩室に取り残され易い。また、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋などの多価のカチオンやアニオンは比較的容易に濃縮室側に排出されるが、Ｎａ＋、Ｋ＋は１価であると共に、Ｈ＋イオンが電荷を運ぶ役割をしているため、脱塩室に残り易い。この結果として、処理水中にＮａＯＨ、ＫＯＨ等の１価のアルカリ金属水酸化物が含有されるようになり、処理水（脱イオン水）のｐＨはアルカリ性となる。
【０００７】
なお、同様の理由で濃縮水は、ｐＨが逆に酸性となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
図４に示す電気脱イオン装置にあっては、陽極室１７内にアニオンが移動してくると共に陰極室１８内にカチオンが移動してくるので、陽極室１７及び陰極室１８の電気抵抗は小さいが、陰極室１８において炭酸カルシウム等のスケールが発生しやすい。
【０００９】
図５に示す電気脱イオン装置にあっては、陰極室１８へのカルシウムイオン等のカチオンの流入が最も陰極１２側のアニオン交換膜１３によって阻止されるので、陰極室１８でのスケールの発生は防止される。しかしながら、この場合、電極水の塩類が脱塩されてしまうため、必要電流値を確保するためのイオンが不足してしまい、脱塩室内のイオン交換樹脂が再生されてくると、電気抵抗が著しく増大してしまう問題があった。
【００１０】
本発明は、上記の問題点を解決し、陰極室におけるスケール発生が防止されると共に、電極間の電気抵抗も小さい電気脱イオン装置と、この電気脱イオン装置を用いた純水製造装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明（請求項１）の電気脱イオン装置は、陰極と陽極の間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列して、濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填してなる電気脱イオン装置において、最も陰極側の脱塩室のカチオン交換膜と陰極との間の全体を陰極室とし、最も陽極側の脱塩室のアニオン交換膜と陽極との間にカチオン交換膜を配置し、このカチオン交換膜と該最も陽極側の脱塩室との間を濃縮室とし、このカチオン交換膜と陽極との間を陽極室としたことを特徴とするものである。
【００１２】
かかる電気脱イオン装置にあっては、陰極室のカチオン濃度が高く、電極間の電気抵抗が小さい。この陰極室でのスケール発生を防止するには、陰極室に流入する電極水のｐＨを低く（酸性）とする。このためには、この電極水として用いられる濃縮室流出水のｐＨを低くすれば良く、このためには脱塩室の厚さを大きくすれば良い。
【００１３】
本発明の純水製造装置は、被処理水を複数段の電気脱イオン装置に通水するように接続した純水製造装置であって、最前段の電気脱イオン装置がこのような本発明の電気脱イオン装置であることを特徴とする。
【００１４】
この前段側の電気脱イオン装置の陰極室におけるスケール発生を防止するために、該前段側の電気脱イオン装置の陰極室に導入する電極水のｐＨを低くするのが好ましく、このためには、上記の通り、該前段側の電気脱イオン装置として脱塩室の厚さを７ｍｍ以上とし、濃縮室からｐＨの低い濃縮水を流出させ、この濃縮水の一部を陰極室に流入させるのが好ましい。とくに、この前段側の電気脱イオン装置の操作電圧を１〜５０Ｖ／ｃｅｌｌとし、通水ＳＶを３０〜１５０／ｈｒとすることが好ましい。
【００１５】
また、本発明（請求項６）の電気脱イオン装置は、陰極と陽極の間に複数のカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列して、濃縮室と脱塩室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填してなる電気脱イオン装置において、最も陽極側の脱塩室のアニオン交換膜と陽極との間にアニオン交換膜を配置し、このアニオン交換膜と該最も陽極側の脱塩室との間を濃縮室とし、このアニオン交換膜と陽極との間を陽極室とし、最も陰極側の脱塩室のカチオン交換膜と陰極との間にカチオン交換膜を配置し、このカチオン交換膜と該最も陰極側の脱塩室との間を濃縮室とし、このカチオン交換膜と陰極との間を陰極室としたことを特徴とするものである。
【００１６】
後段側の電気脱イオン装置は、万が一、前段側の電気脱イオン装置から硬度成分がリークしてきた場合を考慮して請求項６の電気脱イオン装置を採用し、濃縮室での塩類濃度上昇を防止するのが好ましい。
【００１７】
この後段側の電気脱イオン装置として、この請求項６の電気脱イオン装置において脱塩室及び濃縮室にそれぞれイオン交換体が充填されたものを用いることにより、処理水質が向上することが認められた。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜３を参照して実施の形態について説明する。図１〜３はそれぞれ実施の形態に係る電気脱イオン装置の模式的な断面図である。
【００１９】
この実施の形態においても、陽極１１、陰極１２の間に複数のアニオン交換膜１３及びカチオン交換膜１４を交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成し、脱塩室１６にイオン交換体１０を充填している。
【００２０】
図１の電気脱イオン装置にあっては、最も陰極１２側の脱塩室１６のカチオン交換膜１４と陰極１２との間の全体を陰極室１８とし、最も陽極１１側の脱塩室１６のアニオン交換膜１３と陽極１１との間にカチオン交換膜１４を配置し、このカチオン交換膜１４と該最も陽極１１側の脱塩室１６との間を濃縮室１５とし、このカチオン交換膜１４と陽極１１との間を陽極室１７としている。
【００２１】
図２の電気脱イオン装置にあっては、最も陽極１１側の脱塩室１６のアニオン交換膜１３と陽極１１との間にアニオン交換膜１３を配置し、このアニオン交換膜１３と該最も陽極１１側の脱塩室１６との間を濃縮室１５とし、このアニオン交換膜１３と陽極１１との間を陽極室１７とし、最も陰極１２側の脱塩室１６のカチオン交換膜１４と陰極１２との間にカチオン交換膜１４を配置し、このカチオン交換膜１４と該最も陰極１２側の脱塩室１６との間を濃縮室１５とし、このカチオン交換膜１４と陰極１２との間を陰極室１８としている。
【００２２】
図１，２にあっては、脱塩室１６にのみイオン交換体を充填している。
【００２３】
図３の脱塩室は、図２の電気脱イオン装置において、脱塩室１６だけでなく濃縮室１５にもイオン交換体を充填している。
【００２４】
本発明においては、脱塩室の厚さは７ｍｍ以上とするのが好ましい。特に、電気効率の点から、処理水のｐＨを効率良く上げるためには、脱塩室の厚さは８〜３０ｍｍとするのが好ましい。なお、本発明において、脱塩室の厚みとは図のＷで示す如く、陽極１１、陰極１２間の脱塩室１６の厚みを指す。
【００２５】
脱塩室のイオン交換体１０は、アニオン交換体とカチオン交換体との混合層が最も良く、印加電圧を上昇させた場合には、アニオン交換体の単独層でも同様の効果が得られる。もちろん、混合層とアニオン交換体層の組み合わせでも構わない。
【００２６】
なお、カチオン交換層とアニオン交換層を少なくとも一組交互に充填した複層イオン交換体の場合又はＷＯ９７／３４６９６中のＦＩＧ５に示されたシーアイランド方式の充填方法では、上述の如く脱塩室の厚さを７ｍｍ以上としても、処理水比抵抗値が上昇してしまい、ｐＨは中性を示した。これは、ナトリウムイオンなどの１価のカチオンがカチオン交換層で除去されてしまうためである。
【００２７】
イオン交換体の種類は、被処理水よりもｐＨが１．０以上高い処理水が得られるものが好ましく、ビーズ状、繊維状のイオン交換樹脂、繊維や不織布等にグラフト重合を利用して交換基を導入したグラフト重合交換体のいずれであっても良く、何ら制限されるものではない。
【００２８】
良好な水質を得るためには、イオン交換体としては均一寸法のビーズ状のイオン交換樹脂が好ましい。この「均一寸法のイオン交換樹脂」とはビーズの９０％が平均ビーズ寸法の１０％以内にあり、ビーズ混合物内におけるアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の相対平均寸法が少なくとも０．８のものを指す。
【００２９】
本発明においては、好ましくは上述のような構成を採用した電気脱イオン装置を次のような運転方法で運転する。
【００３０】
脱塩室セルに印加する電圧は１〜５０Ｖ／ｃｅｌｌ、好ましくは１０〜３０Ｖ／ｃｅｌｌとする。また、被処理水通水ＳＶは３０〜１５０／ｈｒ、好ましくは５０〜１００／ｈｒとする。印加電圧が低すぎる場合又は被処理水通水ＳＶが高すぎる場合は処理水に塩化物イオン等の１価のアニオンやシリカ、ホウ素が漏出する。逆に印加電圧が高すぎる場合又は被処理水通水ＳＶが低すぎる場合は１価のカチオンが除去される傾向を示し、上記印加電圧及び通水ＳＶの範囲外では、本発明で期待される効果が得られない。
【００３１】
なお、本発明に用いられるイオン交換膜は均質膜及び不均質膜のいずれでも良く、好ましくは、例えば（株）トクヤマからネオセンプタＡＨＡ、ＣＭＢの名称で販売されているポリオレフィン系の強塩基性、弱酸性の官能基を有した均質型のイオン交換膜が好ましい。
【００３２】
特に、本発明の電気脱イオン装置は、被処理水中の硬度成分を５０％以上、ホウ素、シリカ等の弱電解物質を９０％以上除去できるものが好ましく、このような処理効率を得るためには、特に上記構成において、脱塩室厚みを１０〜２０ｍｍとし、脱塩室のイオン交換体は混合層とし、通水ＳＶを５０〜１００／ｈｒ、印加電圧を１５〜３０Ｖ／ｃｅｌｌとするのが好ましい。
【００３３】
このような本発明の電気脱イオン装置は、特に、被処理水として水道水、河川水、地下水等の原水を逆浸透膜装置によって処理したシリカ及び／又はホウ素を含有する水を処理する電気脱イオン装置として好適である。
【００３４】
次に、本発明の純水製造装置について説明する。
【００３５】
本発明の純水製造装置は、被処理水を複数段の電気脱イオン装置に通水するように電気脱イオン装置を接続し、最前段の電気脱イオン装置として上述の本発明の電気脱イオン装置を用いるものである。
【００３６】
好適な純水製造装置としては、ＲＯ膜装置、前段電気脱イオン装置及び後段電気脱イオン装置の順で直列に接続した純水製造装置、或いは、活性炭装置、ＲＯ膜装置、前段電気脱イオン装置及び後段電気脱イオン装置の順で直列に接続した純水製造装置が挙げられる。
【００３７】
本発明においては、後段電気脱イオン装置としては、図１〜３の電気脱イオン装置のいずれでも良いが、好ましくは図２，３とくに図３の電気脱イオン装置を用いるのが望ましい。
【００３８】
前段電気脱イオン装置として、脱塩室の厚みが７ｍｍ以上、特に８〜３０ｍｍの電気脱イオン装置を用い、後段電気脱イオン装置として脱塩室の厚みが２．０〜６．０ｍｍの電気脱イオン装置を用いて通水することにより、前段電気脱イオン装置でシリカ、ホウ素等の弱電解物質や硬度成分を除去して得られた処理水を、後段電気脱イオン装置で更に処理して残留シリカやホウ素を除去すると共に、前段電気脱イオン装置からリークしたアルカリ成分を除去して高水質の処理水を得ることができる。
【００３９】
この場合、前段電気脱イオン装置の水回収率は処理水水質の維持の面で６０〜９０％とするのが好ましいが、後段電気脱イオン装置の水回収率は９５％以上、例えば、９５〜９９％の水回収率であっても、前述の如く、スケール障害等を引き起こすことなく良好な水質の処理水を得ることができる。
【００４０】
なお、前段電気脱イオン装置において印加電圧又は電流を上昇させると、前段電気脱イオン装置の処理水ｐＨが高くなるので、後段電気脱イオン装置で更に残留するシリカやホウ素を除去することを目的とする場合には、前段電気脱イオン装置の処理水の排出配管にｐＨ計を取り付けてｐＨを監視し、このｐＨ値が最適ｐＨ、好ましくは８．５以上、より好ましくは９．０〜１０．５程度となるように、前段電気脱イオン装置の印加電圧や電流を制御するのが好ましい。
【００４１】
また、同様に後段電気脱イオン装置の処理水の排出配管に比抵抗計及びシリカ計を取り付け、後段電気脱イオン装置の処理水の比抵抗値、シリカ濃度を監視し、これらの値が目標値に到達するよう前段及び／又は後段電気脱イオン装置の印加電圧や電流を制御するのが好ましい。
【００４２】
この純水製造装置において、前段電気脱イオン装置の処理水（脱塩室の流出水）は後段電気脱イオン装置の電極室、脱塩室及び濃縮室にそれぞれ分配されて給水され、後段電気脱イオン装置の脱塩室の流出水が処理水として取り出される。通常、前段電気脱イオン装置及び後段純水製造装置の電極室の流出水は排水として系外へ排出される。
【００４３】
本発明の純水製造装置では、電気脱イオン装置を３機以上設けてもよい。
【００４４】
【実施例】
以下に比較例及び実施例を挙げて本発明の効果をより具体的に説明する。なお、以下の実施例及び比較例では、電気脱イオン装置を２機直列に接続した。電気脱イオン装置としては、栗田工業（株）製「ピュアエースＰＡ−２００」処理量；１００Ｌ／ｈｒを用いた。
【００４５】
比較例１
イオン交換膜として下記のものを用い、また、脱塩室に充填するイオン交換樹脂として下記のアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とをアニオン交換樹脂：カチオン交換樹脂＝６：４（体積比）で混合したものを用い、図５に示すような電気脱イオン装置を組み立てた。なお、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂は超純水で十分に洗浄したものを用いた。各電気脱イオン装置のセル枚数及び脱塩室の厚みは表１のとおりである。この電気脱イオン装置に表１に示す条件で通水を行い、処理水の導電率及びシリカ濃度の測定結果を表１に示した。
【００４６】
アニオン交換膜  ：（株）トクヤマ製「ネオセプタＡＨＡ」
カチオン交換膜  ：（株）トクヤマ製「ネオセプタＣＭＢ」
アニオン交換樹脂：三菱化学（株）製「ＳＡ１０Ａ」
カチオン交換樹脂：三菱化学（株）製「ＳＫ１Ｂ」
【００４７】
【表１】
0003570350.tif 000002
【００４８】
実施例１
前段電気脱イオン装置として図１のものを用い、後段電気脱イオン装置として図３のものを用い、表２で示す条件で通水を行ったこと以外は同様にして処理し、処理水の導電率及びシリカ濃度の測定結果を表２に示した。
【００４９】
【表２】
0003570350.tif 000003
【００５０】
表１に示すように、比較例１では通水初期は電流が流れたが、３ヵ月後には電流値が低下してきた（定電圧運転）。これは、Ｎａ，Ｃｌ型のイオン交換樹脂が再生され、電極室内の導電率が低下したためである。そのため、シリカ除去率が悪化してしまった。
【００５１】
これに対し、実施例１では、表２の通り、３ヵ月後でも電流値を確保できた。
【００５２】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によると、電気脱イオン装置の電極室内の電気抵抗増加を防ぎ、省電力で高純度の処理水を得ることができる。
【００５３】
また、本発明の純水製造装置によれば、このような本発明の電気脱イオン装置を、複数段に接続して用いることにより、高純度の純水を容易かつ効率的に製造することができ、かつ安価な純水製造装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電気脱イオン装置の実施の形態を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明の電気脱イオン装置の他の実施の形態を示す模式的な断面図である。
【図３】本発明の電気脱イオン装置の別の実施の形態を示す模式的な断面図である。
【図４】従来の電気脱イオン装置の構成を示す模式的な断面図である。
【図５】従来の電気脱イオン装置の構成を示す模式的な断面図である。
【符号の説明】
１０  イオン交換体
１１  陽極
１２  陰極
１３  アニオン交換膜
１４  カチオン交換膜
１５  濃縮室
１６  脱塩室
１７  陽極室
１８  陰極室
【図１】
0003570350.tif 000004
【図２】
0003570350.tif 000005
【図３】
0003570350.tif 000006
【図４】
0003570350.tif 000007
【図５】
0003570350.tif 000008