【事件の表示】
　平成　７年特許願第１２６２７１号「真空排気装置、半導体製造装置及び真空処理方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年１２月　３日出願公開、特開平　８−３２１４４８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成７年５月２５日の出願であって、平成１９年１月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年２月２２日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　
第２　本願発明について
　本願の請求項１ないし２１に係る発明は、平成１８年１０月３０日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし２１に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、そのうち、本願の請求項３に係る発明は、以下のとおりである。
「【請求項３】
真空室の内部を排気する排気装置であって、ターボ分子ポンプと該ターボ分子ポンプの排気側に接続された補助ポンプとから構成され、前記ターボ分子ポンプと前記補助ポンプとの間に所定のガスを導入するためのガス導入部を設け、該導入部から所定のガスを導入しながら、前記真空室の内部を排気して、パーティクルが前記真空室へ逆拡散するのを防止した構成としたことを特徴とする真空排気装置。」
　
第３　引用刊行物及び該引用刊行物記載の発明
刊行物１．特開平１−２１９３６７号公報
　原審の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物１（特開平１−２１９３６７号公報）には、第１図ないし第５図、第９図とともに、「真空排気装置」（発明の名称）に関して、以下の事項が記載されている。
ア　「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、分子ポンプと油回転ポンプ又は分子ポンプとメカニカルブースタおよび油回転ポンプの組合せを排気ポンプとする真空排気装置に係り、特に被排気側の油汚染を防止するのに好適な真空排気装置に関する。
［従来の技術〕
　第９図は実開昭５２−９６４０８号公報に記載された分子ポンプとメカニカルブースタおよび油回転ポンプの組合せを排気ポンプとする従来の真空排気装置の一例で示したものである。同図において真空容器１を排気する際、真空容器１の体積が大きいか、又はガス負荷が大きい場合には、本排気ポンプである分子ポンプ２は大型となり十分に低い圧力でしか作動できないので、真空容器１内の圧力を分子ポンプ２が運転できる圧力まで粗引きすることが必要になる。そこで、まず粗引きバルブ３を開きメカニカルブースタ５と油回転ポンプ６にて真空容器１を排気する。真空容器１内の圧力が分子ポンプ２が十分作動する圧力まで低くなつたら粗引きバルブ３を閉じ、分子ポンプ吐出バルブ８を開き、本排気バルブ９を開いて本排気を行なう。排気ポンプの停止時には本排気バルブ９を閉じ、ガスリークバルブ１０を開いてノズル１１により排気ポンプに使われている油よりも離脱エネルギの小さい気体をリークさせて停止させる。
　なお第９図において、１２は本排気配管、１３は粗引き配管、１５は分子ポンプ吐出配管である。
〔発明が解決しようとする課題〕
　近年真空排気装置の真空容器１に関しては、排気に用いる排気ポンプの油の逆拡散による真空容器１内の油汚染が問題となつている。特に到達圧力付近で作動している油回転ポンプ６では油の逆拡散が激しく発生している。この油汚染の発生源である油回転ポンプ６の油の逆拡散を低減させれば、真空容器１内の油汚染を低減させることができる。」（第１頁左下欄第１９行ないし第２頁左上欄第１５行）
イ　「〔実施例〕
　以下、本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。
　第１図は本発明の第１実施例に係り、第９図に示す従来装置と同一又は同等の部分には同一符号を付して説明する。
　真空容器１には、気体を導入するためのリークバルブ２１、本排気配管１２および粗引き配管１３が連結されている。本排気配管１２の他端は本排気ポンプである分子ポンプ２に連結されている。本排気配管１２の途中には本排気バルブ９が設けらている。分子ポンプ２の吐出口には分子ポンプ吐出配管１５が連結されており、この分子ポンプ吐出配管１５の途中には分子ポンプ吐出バルブ８が設けられている。分子ポンプ吐出配管１５の他端は油回転ポンプ６に連結されている。また粗引き配管１３の他端は分子ポンプ吐出バルブ８と油回転ポンプ６との間の分子ポンプ吐出配管１５に連結されている。また粗引き配管１３の途中には粗引きバルブ３が設けられている。油回転ポンプ６の吐出口には油回転ポンプ吐出配管２２が設けらている。
　パージガス微小流量供給機構２３は、油回転ポンプ６の吸込口側、すなわち上流側、駒の実施例では粗引き配管１３が分子ポンプ吐出配管１５と連結する点と油回転ポンプ６との間に設けられており、分子ポンプ吐出配管１５に連結されたパージガス配管２５と、このパージガス配管２５に上流側より順次設けられた微小流量オリフイス２６およびフイルタ２８とから構成されている。」（第２頁右下欄第９行ないし第３頁左上欄第１８行）
ウ　「また本排気時には油回転ポンプ６は分子ポンプ２の後段排気をしているが、分子ポンプ２が到達圧力付近となると油回転ポンプ６もその到達圧力付近の圧力で作動することになり油回転ポンプ６に使われている油は分子ポンプ２の吐出側に激しく逆拡散して分子ポンプ２内の吐出側を汚染する。」（第３頁右上欄第１７行ないし同頁左下欄第３行）
エ　「上記のような油回転ポンプ６が到達圧力付近で作動するときに発生する逆拡散による油汚染を防止するため、真空容器１の粗引き時、分子ポンプ２の本排気時、粗引き時、再生時には、パージガス微小流量供給機構２３により油回転ポンプ６で排気する始めから微量のパージガスを油回転ポンプ６の上流側より流す。本実施例ではパージする気体としてフイルタ２８を通して清浄な空気を使用しており、この清浄な空気は微小オリフイス２６，パージガス配管２５を通つて油回転ポンプ６の上流側へとパージされる。
　なおパージするガスは、化学的に安定な不活性ガスが好ましいが、窒素ガス又は油分を含まない清浄な空気などでも十分効果があり、実験の結果では分子量の大きいガス程少ない流量で効果があることが表１に示すように立証されている。」（第３頁左下欄第１５行ないし同頁右下欄第１０行）
オ　「第５図は本発明の第２実施例に係り、本発明を真空容器１の体積が少ない場合、すなわち、ガス負荷の小さい場合に適用した他の実施例である。この実施例ではガス負荷が小さいため分子ポンプ２が作動できる圧力となる粗引き時間が短いので粗引きは分子ポンプ２も粗引き過程時に運転したまま本排気バルブ９を開き、本排気配管１２を通して行なうことができる。そのため本実施例では粗引き配管系を省くことができる装置が簡単になるという特徴がある。」（第４頁左下欄第７行ないし第１６行）
カ　上記摘記事項イの「パージガス微小流量供給機構２３は、油回転ポンプ６の吸込口側、すなわち上流側、駒の実施例では粗引き配管１３が分子ポンプ吐出配管１５と連結する点と油回転ポンプ６との間に設けられており」という記載と第５図とを参照すると、パージガス微小流量供給機構２３は、分子ポンプ２の吐出側と油回転ポンプ６の上流側との間に設けられていることが、示されている。
　
　以上の記載から、刊行物１には、以下の発明が記載されている。
「真空容器１と、前記真空容器１に連結された分子ポンプ２と、前記分子ポンプ２の吐出側に連結された油回転ポンプ６と、前記分子ポンプ２の吐出側と前記油回転ポンプ６の上流側との間に設けられ、不活性ガス、或いは、窒素ガスをパージガスとして用いるパージガス微小流量供給機構２３とを有し、本排気時に前記パージガスを前記油回転ポンプ６の上流側より流して前記油回転ポンプ６の油の逆拡散による前記真空容器１内の油汚染を防止することを特徴とする真空排気装置。」
　
第４　対比
　本願の請求項３に係る発明（以下、「本願発明３」という。）と刊行物１に記載された発明（以下、「刊行物１発明」という。）とを対比する。
　刊行物１発明の「真空容器１」、「分子ポンプ２」、「油回転ポンプ６」、「不活性ガス、或いは、窒素ガス」、「パージガス微小流量供給機構２３」は、それぞれ、本願発明３の「真空室」、「分子ポンプ」、「補助ポンプ」、「所定のガス」、「ガス導入部」に相当し、また、刊行物１発明は、「真空排気装置」であるので、刊行物１発明の「真空容器１と、前記真空容器１に連結された分子ポンプ２と、前記分子ポンプ２の吐出側に連結された油回転ポンプ６と、前記分子ポンプ２の吐出側と前記油回転ポンプ６の上流側との間に設けられ、不活性ガス、或いは、窒素ガスをパージガスとして用いるパージガス微小流量供給機構２３」は、本願発明３の「真空室の内部を排気する排気装置であって、」「分子ポンプと該」「分子ポンプの排気側に接続された補助ポンプとから構成され、前記」「分子ポンプと前記補助ポンプとの間に所定のガスを導入するためのガス導入部を設け」たことに相当する。
　すると、本願発明３と刊行物１発明とは、
「真空室の内部を排気する排気装置であって、分子ポンプと該分子ポンプの排気側に接続された補助ポンプとから構成され、前記分子ポンプと前記補助ポンプとの間に所定のガスを導入するためのガス導入部を設けたことを特徴とする真空排気装置。」である点で一致し、以下の点で、一応相違する。
　
　相違点１
　本願発明３は、「ターボ分子ポンプ」を備えているのに対して、刊行物１発明は、「分子ポンプ２」を備えている点。
　相違点２
　本願発明３は、「該導入部から所定のガスを導入しながら、前記真空室の内部を排気して、パーティクルが前記真空室へ逆拡散するのを防止した構成」を備えているのに対して、刊行物１発明は、「本排気時に前記パージガスを前記油回転ポンプ６の上流側より流して前記油回転ポンプ６の油の逆拡散による前記真空容器１内の油汚染を防止する」構成を備えている点。
　
第５　当審の判断
　相違点１について
（ａ）刊行物１発明の「分子ポンプ」は、本願発明３の「ターボ分子ポンプ」の上位概念であり、「分子ポンプ」には、「ターボ分子ポンプ」が含まれており、また、例えば、以下の周知文献１に記載されているように、真空排気装置において、「ターボ分子ポンプ」を用いることは、周知技術であり、「分子ポンプ」といえば、「ターボ分子ポンプ」が、一般的に使用されている。
　よって、相違点１については、本願発明３と刊行物１発明は、実質的には相違していない。
　周知文献１．実願昭６３−１３９１６号（実開平１−１１８１９０号）のマイクロフィルム（原審の拒絶理由通知に引用）（第４図、及び、明細書第２頁第１２ないし１７行、明細書第３頁第１３ないし１６行の記載を参照）には、「従来、主として１０−１Ｐａより低圧の清浄な高真空領域を得る手段としては、・・・気体輸送式のターボ分子ポンプを用いる手段が実用されている」（明細書第２頁第１２ないし１７行）こと、「また、第４図の手段は、補助真空ポンプ２２から油分子が逆流しない様に該補助真空ポンプ２２の前段側にパージガスの導入手段３０ｅを設けたものである。」（明細書第３頁第１３ないし１６行）ことが、記載されている。
（ｂ）仮に、相違点１が、相違しているとしても、刊行物１発明の「分子ポンプ２」として、上記（ａ）に記載の周知技術である、「ターボ分子ポンプ」を採用することは、当業者が適宜なし得たことである。
　
　相違点２について
（ａ）刊行物１発明は、「本排気時に前記パージガスを前記油回転ポンプ６の上流側より流して」いるので、「本排気時に」、「油汚染」の原因である「油」は、「パージガス」により押し流されて、「油回転ポンプ６」から排気されるという原理で、「前記油回転ポンプ６の油の逆拡散による前記真空容器１内の油汚染を防止」しているものと認められる。一方、本願の明細書の「【００１７】この理由の詳細は現在のところ明らかでないが、次のように考えられる。即ち、ターボ分子ポンプと補助ポンプの間に不活性ガスを導入することにより、ターボ分子ポンプの排気側と補助ポンプの間は、分子流領域から粘性流領域となってターボ分子ポンプで一旦真空室外に排気されたプロセスガス分子はそのまま粘性流によって移動し補助ポンプで排気されるため、逆拡散が起こり難くなるためと考えられる。」の記載を参照すると、本願発明３の「該導入部から所定のガスを導入しながら、前記真空室の内部を排気して、」「前記真空室へ逆拡散するのを防止した構成」においては、「所定のガス」により「パーティクル」が「補助ポンプ」側へ押し流されるものと解される。したがって、刊行物１発明と本願発明３の逆拡散防止の原理は同等であると認められる。
（ｂ）また、刊行物１発明の「油汚染」の「油」は、本願発明３の「パーティクル」に相当する。
（ｃ）よって、上記（ａ）、（ｂ）の記載によると、刊行物１発明の「本排気時に前記パージガスを前記油回転ポンプ６の上流側より流して前記油回転ポンプ６の油の逆拡散による前記真空容器１内の油汚染を防止する」ことは、本願発明３の「該導入部から所定のガスを導入しながら、前記真空室の内部を排気して、パーティクルが前記真空室へ逆拡散するのを防止した構成」に相当するから、相違点２については、本願発明３と刊行物１発明は、実質的には相違していない。
（ｄ）仮に、上記（ｂ）の記載とは異なり、刊行物１発明の「油汚染」の「油」が、本願発明３の「パーティクル」に相当しないとしても、以下のとおりである。
（ｄ−１）上記（ａ）に記載のように、刊行物１発明において、「本排気時に」、「油汚染」の原因である「油」が、「パージガス」により押し流される際に、前記油回転ポンプ６の上流側に、油ではない何らかのパーティクルが存在すれば、油と同様に、「パージガス」により押し流されることは、明らかであり、刊行物１発明のように「本排気時に前記パージガスを前記油回転ポンプ６の上流側より流して前記油回転ポンプ６の油の逆拡散による前記真空容器１内の油汚染を防止する」ことにより、本願発明３と同様に、「該導入部から所定のガスを導入しながら、前記真空室の内部を排気して、パーティクルが前記真空室へ逆拡散するのを防止」していることは、明らかであるから、相違点２については、本願発明３と刊行物１発明は、実質的には相違していない。
（ｄ−２）また、上記（ａ）に記載のように、刊行物１発明において、「本排気時に」、「油汚染」の原因である「油」が、「パージガス」により押し流される際に、前記油回転ポンプ６の上流側に、油ではない何らかのパーティクルが存在すれば、油と同様に、「パージガス」により押し流されることは、明らかであるから、刊行物１発明の「本排気時に前記パージガスを前記油回転ポンプ６の上流側より流して前記油回転ポンプ６の油の逆拡散による前記真空容器１内の油汚染を防止する」際に、油ではない何らかのパーティクルの存在を考慮して、本願発明３の如く、「該導入部から所定のガスを導入しながら、前記真空室の内部を排気して、パーティクルが前記真空室へ逆拡散するのを防止した構成」を備えるようにすることは、当業者が適宜なし得たことである。
　
　したがって、本願の請求項３に係る発明は、刊行物１に記載された発明であり、仮に、そうでないとしても、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第６　むすび
　以上のとおり、本願の請求項３に係る発明は、特許法第２９条第１項第３号の発明に該当し、また、平成１８年８月２４日付けの拒絶理由通知の理由２．で示したとおり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本願の他の請求項に係る発明についての検討をするまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。