(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を認識する画像認識装置に用いられ、対象物を移動したときの座標と、画像撮像装置が得る画像の座標の位置関係を比較して校正する際に用いられる校正治具において、
凹部を有する位置決め部材と、
位置決め部材の凹部に保持されるほぼ真球のマーク体と、
を備えることを特徴とする画像認識装置用の校正治具。
【請求項２】
マーク体は金属光沢を有し、位置決め部材の凹部を画成する周囲部分は白色で、投影面でみてマーク体のほぼ中央部が光を反射する請求項１に記載の画像認識装置用の校正治具。
【請求項３】
位置決め部材は、対象物を保持して移動するための移動手段に取り付けられ、凹部の大きさはマーク体の直径より小さく、マーク体の中心は位置決め手段の中心軸に一致している請求項２に記載の画像認識装置用の校正治具。
【請求項４】
対象物を認識する画像認識装置に用いられ、対象物を移動したときの座標と、画像認識装置が得る画像の座標の位置関係を比較して校正するための校正方法において、
対象物に位置決め部材を保持し、
位置決め部材の凹部にほぼ真球のマーク体を保持して、ほぼ真球のマーク体の中心と位置決め部材の凹部の中心軸を一致させて、
マーク体の反射光に基づいて、対象物に移動方向を示す座標と、画像認識装置が得る画像の座標の位置関係を校正することを特徴とする画像認識装置用の校正方法。
【請求項５】
画像撮像装置の焦点はマーク体の最大外径部に合わせ、マーク体の最大外径部により位置決め部材の凹部が隠れる請求項４に記載の画像認識装置用の校正方法。
【請求項６】
マーク体の背影となる面が位置決め部材の白い面である請求項５に記載の画像認識装置用の校正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対象物を画像撮像装置により認識する画像撮像装置に用いられて、対象物を移動したときの座標と、画像撮像装置が得る画像の座標の位置関係を比較して校正する際に用いられる校正治具と校正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
対象物をカメラのような画像撮像装置で撮像して、対象物の位置、形、大きさあるいは角度を測定するようになっている画像認識装置では、その測定前に次のような校正（キャリブレーション）作業を行う必要がある。この校正作業とは、カメラの一画素が実際の対象物の何ｍｍに相当するか、カメラが基準座標軸に対して何度傾いているか等を予め測定して、その結果に基づいて、対象物を移動した時の座標と、カメラが得る対象物の画像の座標の位置関係と、を比較して校正する。
【０００３】
図１８は、通常用いられている画像処理装置の一例を示している。
この画像認識装置は、ＸＹテーブル１、カメラ２、リングライト３、サーボコントローラ４、画像処理部５等を備えている。ＸＹテーブル１は、Ｘ，Ｙ方向に移動可能である。リングライト３はＸＹテーブル１を照明する照明具であり、カメラ２は、ＸＹテーブル１に設定されたマーク治具６の画像を取り込んで認識するようになっている。
この種の従来のマーク治具６は、円板状の金属部分７と、マーク８を有しており、金属部分７はＸＹテーブル１の穴１ａにはめこむようにして位置決めされる。
ＸＹテーブル１によりマーク治具６をＸ，Ｙ方向に適宜移動することで、マーク治具６の位置がカメラ２に対して移動することから、カメラ２は、移動したマーク治具６の複数箇所の位置を画像で取り込む。この取り込んだマーク治具６の複数箇所の画像に基づいて、カメラ２の座標軸と、ＸＹテーブル１の基準座標軸（Ｘ，Ｙ方向に関する）の関係を求めるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような構造のマーク治具６を用いると、次のような問題がある。
マーク治具６は、図１９、図２０で示すような構造になっている。マーク治具６の金属部分７は、その上面側が黒いめっき部分７ａとマーク８を有し、その中央部分には背景として白色のプラスチック部材７ｂが配置されている。この背景用の白色のプラスチック７ｂの中央部には黒色メッキしたマーク８が設けられている。
しかしこのような構造を採用する場合に、図２０に示すように、金属部分７を加工してマーク８を機械加工でできるだけ真円度を出そうとして加工しようとしても、潰れ８ａが生じてしまう。また背景用の白色のプラスチック７ｂも機械加工で穴開けしようとすると、バリ７ｄが生じてしまう。
この結果、図２３に示すようにマーク８の輪郭がぼやけてしまい、マークの画像をほぼ真円のマークとしてカメラが得ることができなくなってしまうという問題があり、十分な校正作業の精度が得られない。
【０００５】
また、図２１と図２２に示すような別の従来のマーク治具では、次のような問題がある。このマーク治具６では、金属部分（位置決め部）７が上面に黒色メッキをした部分７ａを有し、その中央に白のマーク８ｅが貼り付けてある。このマーク８ｅは印刷マークであり、この場合には印刷マーク８ｅの中心と金属部分７の中心を合わせるようにして印刷マーク８ｅを金属部分７の中心線上に上手く印刷するというのがなかなか難しい。
以上のようにして、従来のマーク治具６を高倍率のカメラ用の校正用のマークとして用いる場合には、その加工精度を高めたマーク治具を確保することが難しく、確保できたとしても非常に高価である。
本発明は上記課題を解消し、安価で作ることができ、画素と対象物との対応関係の校正が容易な画像認識装置用の校正治具と画像認識装置用の校正方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、本発明にあっては、対象物を認識する画像認識装置に用いられ、対象物を移動したときの座標と、画像撮像装置が得る画像の座標の位置関係を比較して校正する際に用いられる校正治具において、凹部を有する位置決め部材と、位置決め部材の凹部に保持されるほぼ真球のマーク体と、を備える画像認識装置用の校正治具により、達成される。
本発明では、画像認識装置が対象物を認識する場合に、対象物を移動したときの座標と、画像撮像装置が得る画像の座標の位置関係を比較して校正する際に、位置決め部材の凹部に対して、ほぼ真球のマーク体を保持させる。これにより、画像処理装置は真球のマーク体の画像のみを取り込んで認識することで、画素と対象物との対応関係の校正作業を簡単に行うことができる。
【０００７】
マーク体は金属光沢を有しており、位置決め部材の凹部を画成する周囲部分が白色であって、投影面でみてマーク体のほぼ中央部が光を反射するようにすればマーク体の周囲部分の画像をはっきり得られ、校正作業をより確実にすることができる。
この場合に、凹部の大きさがマーク体の直径よりも小さくなっていれば、凹部はマーク体に隠れるので、凹部の存在は無視することができる。
画像撮像装置の焦点は、マーク体の最大外径部に合わせて、マーク体の最大外径部より位置決め部材の凹部が隠れるようにすることで、位置決め部材の凹部の存在を無視することができる。
マーク体を金属光沢を有する物から白色に変えて、マーク体の背景をよりはっきりと捕らえることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
図１は、本発明の画像認識装置用の校正治具を備える画像認識装置の一例を示している。
画像認識装置１０は、カメラ１１、リングライト１２、テーブルの移動手段２０、サーボコントローラ３０、画像処理部４０、そして校正治具５０等を備えている。
【０００９】
カメラ１１は、たとえばＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ等を採用することができ、その鏡筒部１１ａは、垂直下方向に向いている。リングライト１２は、電源１２ａにより点灯するたとえばリング状の蛍光灯である。リングライト１２は、カメラ１１の鏡筒部１１ａの周囲部分に位置している。リングライト１２は、テーブル移動手段２０のテーブル２１の面に光を照射するものである。
テーブル移動手段２０は、テーブル２１を、Ｘ及びＹ方向に適宜移動して位置決めする手段である。テーブル移動手段２０は、テーブル２１、ベース２２，２３を有している。ベース２２は、Ｘ軸用のモータ２４及びボールねじ２５を備えている。ボールねじ２５は、ベース２３に設けられているナット（図示せず）に噛み合っており、モータ２４の駆動によりボールねじ２５が回転すると、ボールねじ２５がベース２３を直動ガイド２６に沿ってＸ方向に移動して位置決め可能である。
【００１０】
同様にしてベース２３は、Ｙ方向用のモータ２７とボールねじ２８を有している。ボールねじ２８は、テーブル２１の下に設けられているナット（図示せず）に噛み合っており、モータ２７の駆動によりボールねじ２８が回転すると、テーブル２１は直動ガイド２９に沿ってＹ方向に移動して位置決め可能である。
このようにしてテーブル２１はＸ，Ｙ方向に適宜移動して位置決めできるものである。
【００１１】
サーボコントローラ３０は、上述したモータ２４，２７の駆動を制御する。サーボコントローラ３０、画像処理部３０、電源１２ａは制御部１００で制御される。
画像処理部４０は、カメラ１１が撮像しているテーブル２１上の校正治具５０の画像を処理する装置である。
サーボコントローラ３０はこの画像処理部４０へテーブルのＸＹ座標位置を送る。
【００１２】
次に、図２を参照すると、この画像認識装置１０は、たとえば電子部品ＰＡの実装装置に用いることができる。この図２の実装装置は、上述したテーブル移動手段２０を備えており、テーブル移動手段２０はベース３１に設定されている。対象物であるテーブル２１の上には、たとえばプリント配線板ＯＢが着脱可能に設定できる。このプリント配線板ＯＢに対しては、ヘッド３２が部品ＰＡを装着することができる。このヘッド３２は部品ＰＡをたとえば真空吸着して保持しており、ヘッド３２は制御部１００の指令により移動操作手段３３により、Ｚ方向に移動して位置決めすることができる。
【００１３】
次に、図１と図２の校正治具５０の構造について説明する。
校正治具５０は、位置決め部材５１とほぼ真球状のマーク体５２を備えている。まず位置決め部材５１は、図１、図３及び図４で示すように、はめこみ部分５１ａとフランジ部分５３を有している。はめこみ部分５１ａは、図１のテーブル２１の穴２１ａに対してはめこむようになっている。つまり穴２１ａの内径は、はめこみ部分５１ａの外径とほぼ一致している。フランジ部分５３の外径ははめこみ部分５１ａの外径よりも大きくなっており、その中央部分には背景部材５４がはめこんで取り付けられている。この背景部材５４は、たとえば白色のプラスチックであり、プラスチックとしては、メタアクリルを使うことができる。
【００１４】
それに対して、フランジ部分５３及びはめこみ部分５１ａは、一体となっており、たとえば金属で作られていて、金属の種類としては機械構造用炭素鋼Ｓ４５Ｃを用いることができる。
背景部材５４の中央には凹部５６が形成されている。図３の凹部５６の内径Ｄ１は、上述したマーク体５２の最大外径部の直径Ｌに比べて小さく設定されている。
【００１５】
図４のようにフランジ部分５３の上面５３ａはたとえば黒くメッキされている。従って、背景部材５４は白色のプラスチックであり、かつその上面５３ａが黒のメッキであるので、白黒の色分けにより、背景部材５４のリング形の外輪郭がはっきり浮き出るようになっている。
そしてほぼ真球のマーク体５２は、この背景部材５４の中央において凹部５６に置かれることになる。マーク体５２は、たとえば鋼球を用いることができる。この鋼球としては、たとえば通常用いられている炭素鋼の鋼球やステンレス鋼の鋼球を用いることができる。この種の鋼球は、その真円度がたとえば３μｍという高精度であるのに対して、従来用いられている印刷のマーク体の真円度はせいぜい２０μｍ程度にしかならない。
この種の鋼球としては、実用上たとえば玉軸受用の鋼球を用いることが可能である。
【００１６】
図３のように、凹部５６の内径Ｄ１がマーク体５２の最大外径部の直径Ｌより小さく設定しているのは、図１のカメラ１１が上方から校正治具５０を撮像した場合に、凹部５６がマーク体５２の最大外径部５２Ｒにより隠れて写らないようにするためである。
また背景部材５４が白色になっているのは、このカメラ１１が背景部材５４を白く捕らえることができ、上からみたマーク体５２の外周部５２ｇが鏡面反射してリングライト１２の照明光がカメラ１１側に戻ってこないようにすることで、図５のようにマーク体５２の外周部５２ｇは黒くカメラで撮像できる。このように校正作業を行う時には、マーク体５２は黒く写り、その周囲の背景部材５４が白く写り、この白地に黒く写ったマーク体５２の画像を、図５のようにきれいな円形輪郭で撮像できることになる。
【００１７】
より具体的には、図６に示すようにリングライト１２からの光ＬＴは、マーク体５２の中心軸ＣＬを中心とする領域Ｒ１で反射し、その反射した光ＬＴはカメラ１１側に戻っていくが、更にその周囲部分の領域Ｒ２は、斜め方向上に反射し、更に外側の領域Ｒ３（最大外径部５２Ｒに対応）で反射する光ＬＴは、側方に反射してしまうことになる。従って、図５に示すように、カメラ１１は、マーク体５２の中心部分が白く写りその周辺に向かうに従って黒く写ることになる。
そしてマーク体５２の最大外径部５２Ｒは、背景部材５４の白に対して、強いコントラストでほぼ真円状の輪郭を浮き上がらせることができる。
このような結果を得るためには、マーク体５２は、通常の軸受用の鋼球のように金属光沢を有しているものが好ましい。
【００１８】
次に、このような校正治具５０を用いた校正方法の一例を説明する。
図７〜図９は、カメラ１１の取り込み用の画像ＩＭのｋ−ｌ座標系Ｊと、図１のテーブル２１のｘ−ｙ座標系Ｈを示している。この座標系Ｊと座標系Ｈは、任意の角度θ分傾いている。つまり、カメラ１１の向きとテーブル２１の向きが一致していない状態であることを一例として示している。
カメラの座標系Ｊ、テーブル２１の座標系Ｈ及びカメラ１１の座標系（単位ピクセル）ｋ−ｌを、図１１に示している。図１１においては、座標系Ｈ及び座標系Ｊは、単位がｍｍであり、単位ピクセルの座標系ｋ−ｌは、α−β座標系Ｊを、α，β座標軸に沿って伸縮した座標系である。
【００１９】
図１１においてＯＲはカメラの原点座標（ｘ０，ｙ０）を示している。またθは、座標系Ｈと座標系Ｊの傾き角度を示している。
図１１に示す各要素の説明が図１２に示してある。図１２において、ベクトルＸｉは、マーク体５２の位置を、テーブル２１の座標系Ｈで表わしたベクトルである。ベクトルＸａは、カメラ１１の原点座標ＯＲ（ｘ０，ｙ０）を、テーブル２１の座標系Ｈで表わしたベクトルである。
ベクトルＸｂは、カメラ１１の原点座標ＯＲ（ｘ０，ｙ０）からマーク体５２の位置座標（Ｘｉ，Ｙｉ）までを、テーブル２１の座標系Ｈで表わしたベクトルである。ベクトルＰは、ベクトルＸｂをカメラ１１の座標系Ｊで表わしたベクトルである。従ってベクトルＸｂはベクトルＰと等しい。
ベクトルＲは、ベクトルＰをカメラ１１のピクセル座標系ｋ−ｌで表わしたベクトルである。
【００２０】
図１３は、ベクトルＸｉとベクトルＲの関係を示している。ベクトルＸｉは、（ｘａ，ｙａ）、α、β、ｘｐ，ｙｐなどで表すことができる。
図１４は、カメラ１１で取り込む時の１点目、２点目、３点目の各マーク体５２の座標のベクトルＸｉを示し、ベクトルＲについても示している。その他ベクトルＸａ，Ｘｂについても同様な表現ができる。
この１点目のマーク体５２の座標Ｘｉ１は図７に示しており、２点目のマーク体の座標Ｘｉ２は図８に示しており、３点目のマーク体の座標Ｘｉ３は図９に示している。ベクトルＸｉ１，ベクトルＸｉ２，ベクトルＸｉ３は一次独立な位置にとる。
【００２１】
ここで図１５に示すように、ｘａ，ｙａ，Ｓ，ｔ，θは固定値であるので、図１５のような式が成り立つ。なお、θは上述したように傾斜角であり、ｔはカメラ画像のβ方向の１ピクセルが何ｍｍに相当するかの倍率である。
である。
Ｓはカメラ画像のα方向の１ピクセルが何ｍｍに相当するかの倍率のことである。
【００２２】
図１６は、図１５の（６）式及び（７）式を足し合わせた結果である座標変換マトリックスを示している。
図１７は、図１６の座標変換マトリックスを図１５の（１）式に代入して、カメラの原点座標ＯＲ（ｘａ，ｙａ）を求めて、図１４の座標変換マトリックスの（図１０）式と、カメラ１１の原点座標ＯＲが求まった結果、カメラ上の任意のピクセル座標を図１３の（０）式でテーブル２１の座標系Ｈに変換することを示している。
【００２３】
次に、図７〜図９を参照して、カメラ１１が１点目のマーク体５２、２点目のマーク体５２及び３点目のマーク体５２の位置を検出して、座標変換マトリックス（０）式とカメラ１１の原点座標ＯＲを求めて、カメラの任意のピクセル座標系（ｋ−ｌ）を、（０）式でＸＹテーブル座標系Ｈに変換する。
図１０に示すステップＳ１〜Ｓ９では、サーボモータ３０がテーブル移動手段２０のモータ２４，２７を制御し、かつ画像処理部４０がカメラ１１で取り込んだ校正治具５０のマーク体５２の中心位置を求める。
【００２４】
図１０ステップＳ１では、マーク体５２が写る位置に、カメラ１１を移動する。これにより、カメラ１１は図７のマーク体５２の１点目の座標Ｐ１（ベクトルＸｉ１）（ｘｉ１，ｙｉ１）を、取り込む（ステップＳ２）。
そして、図１０のステップＳ３において画像処理部４０が画像処理により１点目の座標Ｐ１のマーク体５２の中心位置を求める。これはカメラ１１上のピクセル（ｘ１ｐ，ｙ１ｐ）に対応する。
【００２５】
次に、テーブル２１を移動して、カメラ１１が図８のようにカメラ１１がマーク体５２の２点目の座標Ｐ２（ベクトルＸｉ２）（ｘｉ２，ｙｉ２）を取り込む（ステップＳ５）。そして画像処理部４０が画像処理により２点目のマーク体５２の中心位置を求める。このマーク体５２の中心位置は、ピクセル（ｘ２ｐ，ｙ２ｐ）に対応する（ステップＳ６）。
【００２６】
次に、図９のように、テーブル２１を移動して、マーク体５２の３点目の座標Ｐ３（ベクトルＸｉ３）（ｘｉ３，ｙｉ３）を画像として取り込む（ステップＳ７）。そして画像処理により、マーク体５２の中心位置を求める（ステップＳ９）。このマーク体５２の中心位置は、ピクセル（ｘ３ｐ，ｙ３ｐ）に対応する。
【００２７】
そして、ステップＳ１０に示すように、上述した図１５〜図１７の（０）式〜（１１）式の処理を行えば、カメラの一画素（ピクセル）が実際の対象物であるテーブル２１上の何ｍｍに相当するか、あるいはカメラ１１が図７のようにθで表わすように何度傾いているかを、対象物の画像認識による測定の前に、キャリブレーション（校正）をすることができる。つまり、ピクセルがテーブル２１に載せようとするたとえばプリント配線板の何ｍｍに対応するかを出せる。
【００２８】
本発明では、ほぼ真球状のマーク体５２は、たとえば市販されている高精度な鋼球を使用することにより、安い価格でほぼ真円に近いマークとして位置決め部材の凹部に対して用いることができる。これにより、画像認識時の校正精度を向上させることができる。
また図３の位置決め部材５１と、ほぼ真球状のマーク体５２の中心決めは、機械加工によって開けられた背景部材５４の凹部５６の穴位置で決まるために、最小限のずれに押えることができ、画像認識時のキャリブレーション精度を向上させることができる。
【００２９】
従来のように機械加工によって作られたマークでは、その周辺にバリのあるエッジ部分の弛れによるキャリブレーション精度の低下が生じていたが、本発明の図３に示すような校正治具５０を用いることによりこのような問題はなくなる。
背景部材５４が、マーク体５２のカメラ１１側から見て後ろ側にあり、その背景面となる背景部材５４の上面が、カメラ１１の焦点高さＦＰＰよりも後ろ側（下側）にあるために、背景部材５４に付いたゴミやキズにはカメラ１１の焦点が合わず、従来の治具に比べてノイズが少ない画像が得られ、キャリブレーション精度を向上させることができる。つまり、カメラ１１の焦点高さＦＰＰは、マーク体５２の最大外径部５２Ｒに位置させることが好ましい。
【００３０】
ところで本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。たとえば、図３の背景部材５４は、白色プラスチックを用いていて、フランジ部分５３に埋込み、マーク体５２の外周部分が黒く写る（図５参照）ことを利用して、その白黒のコントラストからマーク体５２を円形マークとして画像認識し、キャリブレーションしているが、これに限らず、外乱光によってマーク体５２の外周も光る場合には、マーク体は、黒色のメッキを施すようにしてもよい。
また背景部材５４として白色のプラスチックを埋込むのではなく、白系統の塗装をフランジ部分５３の上面の中央部分（凹部５６の周囲部分）に施してもよい。また背景部材５４を暗い色のメッキ処理をする場合に、マーク体５２に白色もしくはカメラ画像上で明るく写る色で塗装することで、円形マークのコントラストを得ても勿論構わない。背景を黒くした場合には、マーク体を使用せずに精度の良い白色のプラスチックボールを使用することも考えられる。
図３のマーク体５２は、凹部５６の角部に対して接着剤で接着することで、マーク体５２が凹部５６からはずれないようにすることができる。
【００３１】
以上のようにして対象物をカメラの画像で捕らえて、その形、大きさ、位置角度の情報を画像処理によって得るような画像認識装置では、一画素がテーブルのような対象物上の実際の何ｍｍに相当するか、カメラが基準座標軸に対して何度傾いているかを、対象物測定前に高精度でキャリブレーションすることができる。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、安価で作ることができ、画素と対象物との対応関係の校正が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の画像認識装置の校正治具の好ましい実施の形態を有する画像認識装置の一例を示す斜視図。
【図２】図１の画像認識装置が、電子部品の装置用に用いられている例を示す斜視図。
【図３】図１の校正治具を示す一部断面を有する側面図。
【図４】図３の校正治具の平面図。
【図５】図３と図４の校正治具のマーク体の反射光の様子を示す図。
【図６】マーク体の反射光の様子を示す側面図。
【図７】１点目の座標をカメラで捕らえた様子を示す図。
【図８】２点目の座標をカメラで捕らえた様子を示す図。
【図９】３点目の座標をカメラで捕らえた様子を示す図。
【図１０】１点目〜３点目の座標を捕らえた時の画像処理例を示す図。
【図１１】テーブルの座標系、カメラの座標系、及びカメラの座標系（単位ピクセル）の関係を示す図。
【図１２】図１１の各要素を説明する図。
【図１３】ベクトルＸｉとベクトルＲの関係を示す図。
【図１４】１点目〜３点目の座標のベクトルＸｉ１〜Ｘｉ３及びベクトルＲを示す図。
【図１５】１点目〜３点目の座標の関係を示す図。
【図１６】座標変換マトリックスを示す図。
【図１７】座標変換マトリックスとカメラの原点座標から、カメラ上の任意のピクセル座標を求める様子を示す図。
【図１８】従来の画像認識装置の一例を示す斜視図。
【図１９】図１８の従来の画像認識装置に用いられているマーク体の一例を示す平面図。
【図２０】図１９のマークの側面図。
【図２１】従来の別のマークの平面図。
【図２２】図２１のマークの側面図。
【図２３】従来のマークにおける輪郭の不鮮明さを示す図。
【符号の説明】
１１・・・カメラ、１２・・・リングライト（照明手段）、２０・・・テーブル移動手段、２１・・・テーブル（対象物）、５０・・・校正治具、５１・・・位置決め部材５２・・・マーク体、５６・・・凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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