(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
取鍋内の処理前の溶鋼中の酸素濃度を４００ｐｐｍ以上９００ｐｐｍ以下に調整し、該取鍋内の溶鋼中に、該取鍋内の溶鋼面面積の１０％以上８０％以下の平断面積の筒状の浸漬管を浸漬して、該浸漬管内を１００ｔｏｒｒ以下の高真空に減圧すると共に、前記取鍋内に取鍋内溶鋼の均一混合時間τが０．４〜１分となる攪拌力強さの不活性ガスを吹き込んで、前記溶鋼を攪拌しながら、脱炭を行うことを特徴とする溶鋼の減圧精錬方法。
【請求項２】
前記不活性ガスの流量Ｑが、以下の式の範囲を満足する請求項１記載の溶鋼の減圧精錬方法。
Ｑ＝（１００／τ0 ）A Ｌ4 Ｗ／３７１Ｈ2 Ｔ｛ｌｎ（Ｐ1 ／Ｐ0 ）＋０．０６（１−２９８／Ｔ）｝                                            ・・・・・（１）
２４≦τ0 ≦６０                                        ・・・・・（２）
ここで、Ｌ；精錬炉直径（取鍋直径）（ｍ）、Ｈ；浴深（ｍ）、Ｗ；溶鋼量（ｔｏｎ）、Ｑ；ガス流量（Ｎｍ3 ／ｓ）、Ｔ；溶鋼温度（Ｋ）、Ｐ1 ；吹き込み位置の静圧、Ｐ0 ；雰囲気圧力、τ0 ；均一混合時間（ｓｅｃ）
ただし、Ａ＝１０００／３３７とする。
【請求項３】
前記溶鋼中の酸素濃度の調整方法は、溶鋼中の酸素濃度が４００ｐｐｍ未満のときには前記取鍋内の溶鋼に吹酸し、溶鋼中の酸素濃度が９００ｐｐｍを超えるときには前記取鍋内の溶鋼に脱酸剤を添加する請求項１及び２のいずれか１項に記載の溶鋼の減圧精錬方法。
【請求項４】
前記酸素濃度（ｐｐｍ）を均一混合時間（ｍｉｎ）で除した値Ｒが４００以上２２５０以下になるように、前記溶鋼中の酸素濃度及び／又は不活性ガス流量を制御する請求項１〜３のいずれか１項に記載の溶鋼の減圧精錬方法。
【請求項５】
前記浸漬管を入れる前の処理前の溶鋼を覆うスラグが未改質スラグであって、スラグ厚みが２０〜１５０ｍｍである請求項１〜４のいずれか１項に記載の溶鋼の減圧精錬方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶鋼の真空脱ガス処理において、地金の飛散、付着を抑制した状態で、短時間での極低炭素濃度域までの脱炭や脱ガスを可能とする溶鋼の減圧精錬方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明者らは、すでに真空脱ガス装置を用いた脱炭においては、ＣＯガスが溶鋼内部から発生する内部脱炭と、真空雰囲気に暴露されている自由表面でＣＯガスが発生する表面脱炭があり、炭素濃度が約３０ｐｐｍよりも高い領域では内部脱炭が、それ以下の低炭素領域では表面脱炭が主として起こり、極低炭素鋼を効率的に溶製するには表面脱炭の促進が必要であることを明らかにしてきた（鉄と鋼、第８０年（１９９４）、第３巻、２１３ページ以降）。
また、表面脱炭を活性化させるためには、溶鋼内に吹き込まれた不活性ガスの気泡が表面に浮上し破泡する領域である気泡活性面を広くとる必要があることも示し、特開平６−１１６６２４号公報には、この気泡活性面を極限まで広くとり、７ｐｐｍ以下という炭素濃度まで効率的に脱炭する方法として直胴型で大径の浸漬管を取鍋内溶鋼に浸漬し、該浸漬管内部を減圧する真空脱ガス方法を開示した。
この溶鋼の減圧精錬方法は、気泡活性面を全溶鋼表面積の１０％以上で、且つ、浸漬管内の真空表面積の１０〜９５％にして、溶鋼中の炭素濃度が７ｐｐｍ以下の極低炭素鋼を溶製するもので、供給するＡｒガスを０．６〜１５Ｎリットル／分・溶鋼トンの範囲にして、気泡活性面とガスリフト作用により脱炭していた。
また、特開平６−４９５２７号公報では、精錬の初期に３００ｔｏｒｒ以下の高真空にし、末期に低真空で気泡活性面の泡立ち高さを低くして脱炭していた（以下、０ｔｏｒｒに近い方を高真空とし、圧力が高い方を低真空とする）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、溶鋼の脱炭反応を効率的に進めるためには、気泡活性面の面積や浸漬管形状だけでなく、吹き込む不活性ガスの流量、浸漬管内の真空度、ガス吹き込み位置（方法）についても総合的に組み合わせて制御する必要があることが分かった。ところが、以上の公報で示されていた技術だけでは、最適条件が充分に開示されておらず、例えば、１５分以内等短時間に１０ｐｐｍ以下さらには７ｐｐｍ以下の炭素濃度に到達させ、かつ、地金飛散をほぼ完全に抑制して効率的精錬を実施するための条件については、全く明確に示されていなかった。
また、前記特開平６−１１６６２４号公報に示す溶鋼の減圧精錬方法では、減圧前の溶鋼中の酸素量によって、脱炭容量係数や到達炭素濃度が大きく変動することや突沸等による精錬の支障等を考慮しておらず、例えば酸素量が不足する場合に以下の問題があった。
１）供給するＡｒガスを前記気泡活性面積を確保するために、如何に供給しても速い脱炭容量係数が得られない。
２）脱炭容量係数を確保するために、真空度を高くするとエジェクター等の付帯設備が大型化し、吸引の為の蒸気等のエネルギーが多量に必要となり、しかも、さほど脱炭容量係数は大きくならないために、脱炭精錬時間が長くなり、耐火物等の損耗が増加する。
３）絶対的な脱炭量の不足から到達炭素濃度が高くなり、極炭素鋼が得られない。
【０００４】
また、特開平６−４９５２７号公報に示す溶鋼の減圧精錬方法にも、以下の問題があった。
４）前記特開平６−１１６６２４号公報と基本的に同じ問題（１）、２））があった。
５）精錬を初期（高真空）と末期の低真空に分けるため、精錬に時間を要し、耐火物の損耗が大きくなる。
６）如何に脱炭を促進する手だてを行っても到達炭素濃度の低い極低炭素鋼の溶製が困難である。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、前記公報で開示した後の引き続く研究によって、地金の飛散や付着を抑制した状態で、極低炭素濃度域までの脱炭や脱ガスを、短時間に且つ確実に安定的に処理するという減圧精錬方法の工業的確立に発展させる高効率な溶鋼の減圧精錬方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う請求項１記載の溶鋼の減圧精錬方法は、取鍋内の処理前の溶鋼中の酸素濃度を４００ｐｐｍ以上９００ｐｐｍ以下に調整し、該取鍋内の溶鋼中に、該取鍋内の溶鋼面面積の１０％以上８０％以下の平断面積の筒状の浸漬管を浸漬して、該浸漬管内を１００ｔｏｒｒ以下の高真空に減圧すると共に、前記取鍋内に取鍋内溶鋼の均一混合時間τが０．４〜１分となる攪拌力強さの不活性ガスを吹き込んで、前記溶鋼を攪拌しながら、脱炭を行う。
【０００６】
請求項２記載の溶鋼の減圧精錬方法は、請求項１記載の溶鋼の減圧精錬方法において、前記不活性ガスの流量Ｑが、以下の式の範囲を満足するように決定する。
Ｑ＝（１００／τ0 ）A Ｌ4 Ｗ／３７１Ｈ2 Ｔ｛ｌｎ（Ｐ1 ／Ｐ0 ）＋０．０６（１−２９８／Ｔ）｝                                          ・・・・・（１）
２４≦τ0 ≦６０                                      ・・・・・（２）
ここで、Ｌ；精錬炉直径（取鍋直径）（ｍ）、Ｈ；浴深（ｍ）、Ｗ；溶鋼量（ｔｏｎ）、Ｑ；ガス流量（Ｎｍ3 ／ｓ）、Ｔ；溶鋼温度（Ｋ）、Ｐ1 ；吹き込み位置の静圧、Ｐ0 ；雰囲気圧力、τ0 ；均一混合時間（ｓｅｃ）
ただし、Ａ＝１０００／３３７とする。
【０００７】
請求項３記載の溶鋼の減圧精錬方法は、請求項１及び２のいずれか１項に記載の溶鋼の減圧精錬方法において、前記溶鋼中の酸素濃度の調整方法は、溶鋼中の酸素濃度が４００ｐｐｍ未満のときには前記取鍋内の溶鋼に吹酸し、溶鋼中の酸素濃度が９００ｐｐｍを超えるときには前記取鍋内の溶鋼に脱酸剤を添加する。
請求項４記載の溶鋼の減圧精錬方法は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の溶鋼の減圧精錬方法において、前記酸素濃度（ｐｐｍ）を均一混合時間（ｍｉｎ）で除した値Ｒが４００以上２２５０以下になるように、前記溶鋼中の酸素濃度及び／又は不活性ガス流量（溶鋼の攪拌時間）を制御する。
請求項５記載の溶鋼の減圧精錬方法は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の溶鋼の減圧精錬方法において、前記浸漬管を入れる前の処理前の溶鋼を覆うスラグが未改質スラグであって、スラグ厚みが２０〜１５０ｍｍである。
【０００８】
本願発明者は、従来の溶鋼の減圧精錬方法である取鍋内の溶鋼表面積の１０〜８０％を占める浸漬管を浸漬して取鍋の底部から不活性ガスを吹き込んで脱炭する方法において、溶鋼中の酸素濃度と均一混合時間に着目し、これらの適正範囲を規定しておき、減圧処理を行う前に、補正することによって脱炭容量係数を確保すると共に、酸素濃度を均一混合時間で除した値Ｒと脱炭容量係数Ｖの間に一定の関係があることをつきとめた。
図３に示すように酸素濃度を均一混合時間で除した値Ｒと脱炭容量係数Ｖの関係は、値Ｒが４００以上２２５０以下の範囲内で略一定の直線になっている。通常は、値Ｒがこの範囲内に入るようにすると、安定した脱炭容量係数Ｖを得ることができる。値Ｒが４００未満では、溶鋼内で、部分的に酸素量が足りなくなるため脱炭が進行せず、脱炭容量係数Ｖが急激に小さくなってしまうことを示している。値Ｒが２２５０を超える範囲では、スピッティングや付着地金によって炭素ピックアップが起こり、操業そのものに支障をきたすと共に脱炭容量係数Ｖの低下があることを示している。
なお、直線部分の両側の変曲点は、値Ｒが４００以上２２５０以下の範囲に入っていて、範囲内で脱炭容量係数Ｖは下がり始めているが、実際の操業時には、問題のない範囲である。
【０００９】
処理前の溶鋼中の酸素濃度は、４００ｐｐｍ以上９００ｐｐｍ以下の範囲に規定されている。溶鋼中の酸素濃度が４００ｐｐｍ未満の場合には、溶鋼中の炭素と化合する酸素量に限界があるため、攪拌のためのＡｒガス（不活性ガスの一例）の量を増加させても脱炭が進行せず、脱炭精錬時間が長くなる。また、溶鋼中の酸素濃度が９００ｐｐｍを超える場合には酸素が過剰となるため、減圧の初期には、スピッティングや突沸による地金付き等の支障が発生し、炭素ピックアップの要因にもなる。
このため、減圧前に前記の範囲内に酸素濃度を調整しておくことで、一定の脱炭容量係数を確保することができる。
【００１０】
次に、浸漬管内の減圧時の圧力は、１００ｔｏｒｒ以下の高真空にするが、さらには５ｔｏｒｒ以下にすることが望ましい。
高真空中でＡｒガスにより攪拌しながら脱炭するので、過剰な酸素を極力少なくして、脱炭容量係数を十分に確保しながら精錬できるので高清浄、かつ極低炭素鋼を溶製できる。
均一混合時間は、０．４分以上１分以下になるように、不活性ガスの流量を規定する。
均一混合時間は、攪拌力の強さを表す値で、所定量の混合物が全体に均一に混合するまでの時間を表し、これが短いほど攪拌力が強いことを表す。この均一混合時間は、例えばトレーサーとして０．０１重量％程度の銅などを投入して測定を行い、銅が全体に均一になる状態までの時間をいう。均一混合時間が０．４分未満になると、攪拌力が強すぎて炭素ピックアップの原因になり、１分を超えると、脱炭している部分の酸素が部分的に足りなくなり脱炭が進まなくなるので適当ではない。
【００１１】
浸漬管の平断面積を、取鍋内の溶鋼面の面積の１０％以上８０％以下に規定する。
１０％未満の場合、Ａｒガスの広がり面積が浸漬管の平断面積と同じになり、溶鋼が循環しなくなるという問題が生ずる。また、浸漬管の厚みを考慮すると８０％を超えた場合にはサンプリングが不可能となり、操業に支障をきたすと共に、スラグ等が付着して取鍋内に入らなくなる場合がある。これらの理由を考慮して、前記面積は１５％以上６５％以下にすると好ましい。
【００１２】
転炉から取鍋に流出してくるスラグは、鋼の性質を高めるために還元される場合があるが、これを未改質のまま２０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下の厚みにして溶鋼表面を覆っておく（未改質とは、還元していないという意である）。
転炉から流出してくるスラグ中には、ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 等の酸化物を含み、鉄分の量としては２０重量％程度含まれている。浸漬管内で脱炭が進行し、溶鋼中の酸素濃度が減ってきたときには、スラグ中の酸化物から溶鋼に対して酸素を供給することができる。スラグ厚みが２０ｍｍ未満になると、酸素供給量が足りなくなる場合があり、また、１５０ｍｍを超えると酸素供給量が過剰になり、溶鋼中に酸化物が残って製品の品質劣化の原因となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
【００１４】
本発明の第１の実施の形態に係る溶鋼の減圧精錬装置１０は、図１に示すように、取鍋１１中に入った溶鋼１２とスラグ１３に、酸素ランス１４と添加シュート１５を備えた大径の浸漬管１６を挿入して構成される。以下詳細に説明する。
溶鋼１２は、予め酸素濃度が測定されている。酸素濃度が４００ｐｐｍ未満の場合、酸素が酸素ランス１４から溶鋼１２表面に吹き付けられ、鋼中に補給される。また、９００ｐｐｍを超える場合には、炭材、Ａｌ、Ｓｉ等の脱酸剤を、添加シュート１５から投入し、鋼中から酸素を除去する。
規定の酸素濃度になった後、浸漬管１６内は、蒸気エジェクター等の吸引設備によって、１００ｔｏｒｒ以下、さらには５ｔｏｒｒ以下の高真空にまで、減圧される。そして、吹き込み口１８から不活性ガスの一例であるＡｒガスを吹き込んで、溶鋼１２を攪拌する。浸漬管１６内は高真空に減圧されているので、気泡活性面積も大きく、攪拌力も大きいので、能率よく作業を行うことができる。
【００１５】
均一混合時間の測定には、例えばトレーサーとして０．０１重量％程度の銅などを投入して測定を行い、銅が全体に均一になった状態となる均一混合時間が０．４分以上１分以内になるようにＡｒガスの流量Ｑを調整する。
トレーサーの投入ができない場合には、実験式である前記の（１）式に（２）式の範囲になる任意の均一混合時間τの値を代入することによって最適な流量Ｑを求めることもできる。
溶鋼１２は処理前の未改質スラグ１３で覆われている。転炉で脱炭処理が行われた後のスラグであるので、このスラグ中には、ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 等の酸化物が還元されないまま含まれている。処理中の溶鋼中の酸素濃度が少なくなると、自動的に溶鋼１２に接触しているスラグ１３中から溶鋼１２中に酸素が供給される。スラグ厚さ１００ｍｍ程度の時に、溶鋼１２中の酸素濃度に換算して略２００ｐｐｍ相当の酸素を供給することができる。これによって溶鋼１２中で脱炭するときの酸素不足を防ぐことができる。
【００１６】
図２に酸素濃度Ｓと脱炭容量係数Ｖ、到達炭素値Ｃ又は鋼中介在物指数Ｋの関係を示す。脱炭容量係数Ｖは、酸素濃度が４００ｐｐｍと９００ｐｐｍの点で変曲点を持ち、最大値は９００ｐｐｍ付近である。到達炭素値Ｃは脱炭容量係数Ｖと逆の傾きを持ち、到達炭素値Ｃを最低にできるのも酸素濃度が９００ｐｐｍ付近である。この点を超すと、炭素ピックアップによって脱炭容量係数Ｖが低下すると共に、脱炭終了後に鋼中に酸素が残留する。この酸素がＡｌ、Ｓｉ、Ｍｎ等と化合し、鋼中に過剰な酸化物を生成する。グラフの鋼中介在物指数Ｋに示すように酸素濃度９００ｐｐｍを超すと酸素が残留するため、鋼中介在物も急激に増加する。これが製品表面に露出すると割れの原因となり、内部に存在すると強度を悪化させるので、酸素濃度を９００ｐｐｍ以下に調整しておくことが必要である。
また、上記のように酸素の濃度を４００ｐｐｍ以上９００ｐｐｍ以下に調整しておき、ガス流量Ｑを均一混合時間が０．４分以上１分以内になる範囲に調整することによって、一定以上の脱炭容量係数を確保でき、耐火物の溶損や鋼中介在物の増加も抑えることができるようになった。
【００１７】
本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態において、処理前の酸素濃度と、均一混合時間に着目して制御方法を変化させたものである。
処理前の溶鋼の酸素濃度を均一混合時間で除した値Ｒを計算し、この値Ｒが４００以上２２５０ｐｐｍ／分以内に入るように、酸素濃度及び／又は不活性ガス流量Ｑを調整することで、脱炭容量係数Ｖを図３に示す範囲内にすることができる。４００ｐｐｍ／分付近では、脱炭領域内で酸素量の不足のため脱炭容量係数Ｖが下がり始めているが、目標とする炭素値が高い場合は、問題なく実施できる範囲である。また、２２５０ｐｐｍ／分付近でも脱炭領域内で酸素量が過剰であるため炭素ピックアップが始まり、脱炭容量係数Ｖが下がり始めているが、耐火物の溶損にはつながらない程度の範囲なので許容できる範囲である。
この範囲に入るように酸素濃度及び／又は不活性ガス流量Ｑを調整することで減圧精錬処理を最適に行うことができる。値Ｒの量を酸素濃度及び／又は不活性ガス流量Ｑで制御するので、より安定して大きい脱炭容量係数が得られ、且つ、制御の自由度が高く簡便に管理できる。
【００１８】
【実施例】
以下のように実験を行った。
内径４．４ｍの３５０ｔ取鍋に内径２．２ｍの浸漬管を浸漬し（浸漬管の平断面積の取鍋内の溶鋼面の面積に対する割合が２５％）、中を２ｔｏｒｒに減圧した。そして、溶鋼の酸素濃度を調整して、溶鋼の酸素濃度が４００ｐｐｍの場合と９００ｐｐｍについて、脱炭精錬を行った。その結果、溶鋼の酸素濃度が４００ｐｐｍの場合では、処理時間が２５分で、到達炭素濃度が１２ｐｐｍとなり、溶鋼の酸素濃度が９００ｐｐｍの場合では、処理時間が２０分で、到達炭素濃度が８ｐｐｍを達成し、介在物も少なく、総合的に良い結果が得られた。
また、内径３．５ｍの１７５ｔ取鍋に内径１．８１ｍの浸漬管を浸漬し（浸漬管の平断面積の取鍋内の溶鋼面の面積に対する割合が２８％）、中を１ｔｏｒｒに減圧した。そして、均一混合時間は６０秒で溶鋼の酸素濃度が４００ｐｐｍの場合と、均一混合時間が２５秒で溶鋼の酸素濃度が９００ｐｐｍの場合について脱炭精錬を行った。その結果、均一混合時間は６０秒で溶鋼の酸素濃度が４００ｐｐｍの場合には、処理時間２５分で、到達炭素濃度が１０ｐｐｍを達成し、均一混合時間は２５秒で、溶鋼の酸素濃度が９００ｐｐｍとした場合では、処理時間１６分で、到達炭素濃度が４ｐｐｍを達成でき、いずれの場合も介在物も少なく、総合的に良好な結果が得られた。
更に、溶鋼の酸素濃度／均一混合時間が４００と２２００の場合について、脱炭精錬を行ったが、到達炭素濃度がそれぞれ１０ｐｐｍ、４ｐｐｍを達成でき、介在物も少なく、清浄度も極めて良好であり、操業性が良く、耐火物の損耗も殆どなく、総合的に最も優れた結果が得られた。
次に、精錬の条件である溶鋼の酸素濃度、均一混合時間、又は溶鋼の酸素濃度／均一混合時間等を前記の各条件と同じにして、浸漬管の平断面の取鍋内の溶鋼面の面積に対する割合を１５〜６５％、スラグの厚みを５０〜１５０ｍｍに変化させた場合についても実施したが、前記の実施した順番に従って良い結果となった。
【００１９】
【発明の効果】
請求項１〜５記載の溶鋼の減圧精錬方法においては、処理前の溶鋼の酸素濃度を４００ｐｐｍ以上９００ｐｐｍ以下に調整してあるので、脱炭容量係数が大きく、到達炭素濃度の低い極低炭素鋼を溶製できる。そして、迅速な脱炭を行うことができるので、処理時間が短く、かつ取鍋や浸漬管等の耐火物の損耗が防止できる。
さらに、浸漬管内を１００ｔｏｒｒ以下の高真空に減圧するので、過剰な酸素を極力少なくして、脱炭容量係数を十分に確保しながら精錬できるので、高清浄、かつ極低炭素鋼を溶製できる。
そして、取鍋内の均一混合時間τが０．４〜１分になるようにして前記溶鋼の攪拌を行うので、処理時間が短く、かつ取鍋や浸漬管等の耐火物の損耗が防止できる。
【００２０】
請求項２記載の溶鋼の減圧精錬方法は、ガス流量Ｑを計算によって求めることができるので、適正な操業条件を容易に行うことができ、安定した脱炭精錬が可能になる。
請求項３記載の溶鋼の減圧精錬方法は、取鍋内の溶鋼に吹酸し、又は脱酸剤を添加することによって酸素濃度の調整行うので、操業の基本的な形態を損じることなく簡便に調整を行うことができる。
請求項４記載の溶鋼の減圧精錬方法は、酸素濃度（ｐｐｍ）を均一混合時間（ｍｉｎ）で除した値Ｒによって不活性ガス流量（溶鋼の攪拌時間）を制御するので、脱炭容量係数をより好ましい範囲にすることができ、効率よく処理ができると共に耐火物の損耗等を抑えることができる。そして、減圧精錬方法の工業的確立に発展させることができる。
請求項５記載の溶鋼の減圧精錬方法は、処理前の溶鋼を覆うスラグが未改質スラグであるので、溶鋼中の酸素を強制的に脱炭に使用した後、不足した酸素をスラグ中から溶鋼中に供給できる。また、スラグが溶鋼中の炭素の脱炭の際に改質されるので、処理後のスラグ中の酸化物による溶鋼の汚染（介在物）がなく、高洗浄度の極低炭素の溶鋼を溶製できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る溶鋼の減圧精錬方法における溶鋼の減圧精錬装置の正断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る溶鋼の減圧精錬方法における脱炭容量係数Ｖ、到達炭素値Ｃ及び鋼中介在物指数Ｋと酸素濃度Ｓの関係を示すグラフである。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る溶鋼の減圧精錬方法における脱炭容量係数Ｖと酸素濃度／均一混合時間の値Ｒの関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１０  溶鋼の減圧精錬装置            １１  取鍋
１２  溶鋼                          １３  スラグ
１４  酸素ランス                    １５  添加シュート
１６  浸漬管                        １８  吹き込み口
【図１】
0003561414.tif 000002
【図２】
0003561414.tif 000003
【図３】
0003561414.tif 000004