【手続補正書】
【提出日】平成26年12月19日(2014.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内面を有する案内部材と、
前記案内面との間で液体静圧軸受を構成する軸受面を有し、前記案内面に向けて与圧が付与された状態で配置され、前記案内部材に沿って移動する可動体と、
前記軸受面と前記案内面との間に液体を供給する液体供給手段と、を備えた液体案内装置において、
前記可動体には、前記軸受面が移動方向に複数並べて配置され、
前記複数の軸受面には、それぞれ、前記案内面に向けて開口する凹部に配置された液体供給孔から、前記液体供給手段によって液体が供給され、
前記可動体の重心よりも前記移動方向前方にある前記凹部では、前記凹部の中心よりも前記移動方向前方に前記液体供給孔が形成され、
前記可動体の重心よりも前記移動方向後方にある前記凹部では、前記凹部の中心よりも前記移動方向後方に前記液体供給孔が形成されている、
ことを特徴とする液体案内装置。
【請求項２】
前記液体供給孔は、それぞれの前記凹部内の前記液体供給孔の幾何学的重心となる液体供給点と前記可動体の重心とのそれぞれの前記移動方向の距離の総和が、前記凹部の中心と前記可動体の重心とのそれぞれの前記移動方向の距離の総和よりも、大きくなるように配置されている、
ことを特徴とする、請求項１に記載の液体案内装置。
【請求項３】
案内面を有する案内部材と、
前記案内面との間で液体静圧軸受を構成する軸受面を有し、前記案内面に向けて与圧が付与された状態で配置され、前記案内部材に沿って移動する可動体と、
前記軸受面と前記案内面との間に液体を供給する液体供給手段と、を備えた液体静圧直動案内装置において、
前記可動体には、前記軸受面が移動方向に複数並べて配置され、
前記複数の軸受面には、それぞれ、前記案内面に向けて開口する凹部と、前記凹部の底面もしくは壁面に配置されて前記液体供給手段から液体が供給される液体供給孔とが形成され、
前記液体供給孔は、それぞれの前記凹部内の前記液体供給孔の幾何学的重心となる液体供給点と前記可動体の重心とのそれぞれの前記移動方向の距離の総和が、前記凹部の中心と前記可動体の重心とのそれぞれの前記移動方向の距離の総和よりも、大きくなるように配置されている、
ことを特徴とする液体案内装置。
【請求項４】
前記複数の液体供給点は、前記可動体の移動方向に垂直で、かつ前記可動体の重心を通る仮想平面に対して対称に配置されている、
ことを特徴とする、請求項２または３に記載の液体案内装置。
【請求項５】
前記液体供給手段は、加圧流体供給装置から供給される加圧流体を流体経路を介して前記液体供給孔に供給する、
ことを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項に記載の液体案内装置。
【請求項６】
前記液体供給孔は、前記凹部の底面に形成されている、
ことを特徴とする請求項１乃至５いずれか一項に記載の液体案内装置。
【請求項７】
前記液体供給孔は、前記凹部の壁面に形成されている、
ことを特徴とする請求項１乃至６いずれか一項に記載の液体案内装置。
【請求項８】
前記凹部の開口面の形状は、正方形、長方形、円形または楕円形のいずれかである、
ことを特徴とする請求項１乃至７いずれか一項に記載の液体案内装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体案内装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、例えば超精密加工機などに用いられる、液体静圧軸受を備えた液体案内装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
直動案内装置として、液体静圧軸受を備えた液体案内装置（液体静圧直動案内装置）が知られている。静圧軸受とは、可動体の軸受面と案内部材の案内面との間の軸受隙間に、強制的に加圧流体を供給することによって潤滑流体膜を形成し、この潤滑流体膜の圧力によって可動体を非接触で浮上させる方式の軸受である。作動流体に液体を用いる液体静圧軸受においては、多くの場合、図８（ａ）に示すように、可動体２に、軸受面３（斜格子領域）に開口した凹部４が形成されている。なお、図８（ｂ）に示すように、軸受面３から凹部４の開口面５（梨地領域）を除いた部分をランド６（格子領域）と呼ぶ。したがって、軸受面３は凹部４の開口面５とランド６とから成る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、案内面を有する案内部材と、前記案内面との間で液体静圧軸受を構成する軸受面を有し、前記案内面に向けて与圧が付与された状態で配置され、前記案内部材に沿って移動する可動体と、前記軸受面と前記案内面との間に液体を供給する液体供給手段と、を備えた液体案内装置において、前記可動体には、前記軸受面が移動方向に複数並べて配置され、前記複数の軸受面には、それぞれ、前記案内面に向けて開口する凹部に配置された液体供給孔から、前記液体供給手段によって液体が供給され、前記可動体の重心よりも前記移動方向前方にある前記凹部では、前記凹部の中心よりも前記移動方向前方に前記液体供給孔が形成され、前記可動体の重心よりも前記移動方向後方にある前記凹部では、前記凹部の中心よりも前記移動方向後方に前記液体供給孔が形成されていることを特徴とする液体案内装置にある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
＜第１の実施形態＞
本発明の第１の実施形態について、図１ないし図５を用いて説明する。まず、液体案内装置の概略構成について、図１（ａ）を用いて説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［液体案内装置］
本実施形態の液体案内装置（以下、液体静圧直動案内装置とする）は、図１（ａ）に示す様に、案内部材１ａと、可動体２と、液体供給手段である加圧液体供給装置９とを備える。案内部材１ａは、例えばレール状の部材で、片面に可動体２の移動方向と平行な案内面１を有する。可動体２は、例えば、超精密加工機のワークを載置するステージなどであり、不図示の駆動機構により案内部材１ａに沿って、図１（ａ）の矢印方向（左右方向）に移動自在に配置されている。駆動機構としては、例えばボールねじ機構などが挙げられる。即ち、案内部材１ａと平行に雄ねじを配置し、可動体２に設けた雌ねじ部にこの雄ねじをボールを介して螺合させる。そして、モータを駆動して雄ねじを回転させることにより、可動体２が雄ねじと雌ねじ部との螺合に基づき雄ねじに沿って移動する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
加圧液体供給装置９は、例えばポンプなどで、軸受面３と案内面１との間に一定の圧の液体を供給する。本実施形態の場合、加圧液体供給装置９から可動体２の流体経路９ａを介して、軸受面３と案内面１との間に液体（加圧流体）を供給している。また、流体経路９ａの上流には、図示しない絞りを設け、加圧液体供給装置９から送られる加圧液体の圧力を一旦下げてから、流体経路９ａに送るようにしている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本実施形態の場合、液体供給点Ｐが次の条件を満たす様に、複数の液体供給孔７を配置している。即ち、それぞれの凹部内の液体供給点Ｐと可動体２の重心Ｇとのそれぞれの移動方向の距離の総和が、凹部の中心Ｎと可動体２の重心Ｇとのそれぞれの移動方向の距離の総和よりも、大きくなるように、各液体供給孔７を配置している。本実施形態の場合、複数の軸受面３と、複数の凹部４と、複数の液体供給孔７とが、可動体２の移動方向に垂直で、かつ可動体２の重心Ｇを通る仮想平面Ｍに対して対称に配置されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図１（ａ）内の位置関係で言えば、可動体２の重心Ｇより左側にある液体静圧軸受の凹部４では、その凹部４の中心Ｎより左側に液体供給点Ｐが位置する。一方、可動体２の重心Ｇより右側にある液体静圧軸受の凹部４では、その凹部４の中心Ｎより右側に液体供給点Ｐが位置している。即ち、可動体２の重心Ｇよりも移動方向前方にある凹部４では、凹部４の中心Ｎよりも移動方向前方に液体供給孔７が形成される。一方、可動体２の重心Ｇよりも移動方向後方にある凹部では、凹部４の中心Ｎよりも移動方向後方に液体供給孔７が形成される。