(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
基板と、
前記基板の一面側に形成された複数の第１電極と、
前記第１電極の一部分を露出させかつ他部分を覆うように前記基板の一面から突出して形成された複数の電気絶縁性の隔壁と、
前記第１電極の前記露出部分の各々上に形成された有機ＥＬ媒体の層と、前記有機ＥＬ媒体の層上に形成された複数の第２電極とを備え、
前記隔壁の各々の頂部にて開口した複数の凹部が形成されていることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】
複数の発光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレイパネルであって、
基板と、
前記基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極と、
その一部分が前記第１電極を覆うように前記基板の一面から突出して形成されており、かつ前記第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、
前記第１電極の上に形成されており、かつ前記複数の隔壁の間に前記隔壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層と、
前記有機ＥＬ層の上に形成されており、かつ前記複数の隔壁の間に前記有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列される複数の第２電極とを備え、
前記隔壁の各々の頂部にて開口した複数の凹部が形成されていることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】
複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
基板と、
前記基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極と、
その一部分が前記第１電極を覆うように前記基板の一面から突出して形成されており、かつ前記第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、
前記第１電極の上に形成されており、かつ前記複数の隔壁の間に前記隔壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層と、
前記有機ＥＬ層の上に形成されており、かつ前記複数の隔壁の間に前記有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列される複数の第２電極とを備え、
前記隔壁の各々は、所定間隔をおいて平行に伸長する複数本の小隔壁により構成されることでその頂部にて開口した凹部を有することを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項４】
複数の発光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレイパネルであって、
基板と、
前記基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極と、
その一部分が前記第１電極を覆うように前記基板の一面から突出して形成されており、かつ前記第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、
前記第１電極の上に形成されており、かつ前記複数の隔壁の間に前記隔壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層と、
前記有機ＥＬ層の上に形成されており、かつ前記複数の隔壁の間に前記有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列される複数の第２電極とを備え、
前記隔壁の各々は、所定間隔をおいて平行に伸長する複数本の小隔壁により構成されることでその頂部にて開口した凹部を有することを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項５】
前記凹部内に前記有機ＥＬ層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項６】
前記凹部は、その入り口断面積を内部断面積よりも小とすることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項７】
前記隔壁の各々は、その上部に前記基板に平行な方向に突出するオーバハング部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項８】
前記隔壁の各々は、その上部が前記第２電極よりも上方になるように形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項９】
前記基板に前記第１電極を形成した後に、前記基板の前記隔壁が形成される部分とその周囲に絶縁膜を形成し、その後、前記隔壁が形成されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記第２電極は、前記基板の一面上に前記第１電極、前記隔壁及び前記有機ＥＬ媒体の層が形成された後に、前記基板の一面に対して第２電極材料を蒸着して形成されるものであり、その際、前記凹部は、蒸着される前記第２電極材料が入り込むことを許容することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記基板及び前記第１電極が透明であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１２】
複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、
基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング工程と、
前記第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように前記基板の一面から突出して設けられかつ、その頂部にて開口した複数の凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、
前記第１電極の前記露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工程と、
前記有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
複数の発光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、
基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング工程と、
前記第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように前記基板の一面から突出して設けられかつ、その頂部にて開口した複数個の凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、
前記第１電極の前記露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工程と、
前記有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
前記発光層形成工程は、前記露出した第１電極のうちの所望の部分のみを露出する複数の開口部を有するマスクを前記隔壁の上部に載置する工程と、前記開口部を通じて前記有機ＥＬ媒体を堆積させる工程と、前記開口部が前記第１電極のうち前記有機ＥＬ媒体の堆積されていない部分を露出するように前記マスクを移動させる工程と、を順次繰り返す工程であることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】
前記マスクを前記隔壁の上部に載置する工程は前記開口部が１部の前記凹部を露出せしめる工程であることを特徴とする請求項１４に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
基板と、
前記基板の一面側に形成された複数の第１電極と、
前記第１電極の一部分を露出させかつ他部分を覆うように前記基板の一面から突出して形成された複数の電気絶縁性の隔壁と、
前記第１電極の前記露出部分の各々上に形成された有機ＥＬ媒体の層と、前記有機ＥＬ媒体の層上に形成された複数の第２電極とを備え、
前記隔壁の各々は、その上部にて前記基板に平行な方向に突出するオーバハング部が形成されておりかつその頂部にて開口した凹部が形成されていることを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項１７】
複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、 基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング工程と、
前記第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように前記基板の一面から突出して設けられかつ、その上部にて前記基板に平行な方向に突出するオーバーハング部を有しかつ、その頂部にて開口した凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、
前記第１電極の前記露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工程と、
前記有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機エレクトロルミネセンス素子（有機ＥＬ素子）を用いた有機ＥＬディスプレイパネルとその製造方法に関するものであり、特に、電極が隔壁によって分断して形成される有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、有機ＥＬ素子を用いたディスプレイパネルが知られている。図７は従来におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の配列の一例を示した図である。同図のように、有機ディスプレイパネルの発光画素は、マトリクス状に配置されかつ各々がストライプ方向に伸長する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光部からなる発光画素１０１の複数からなる画像表示配列を有している。
【０００３】
また、図８は、フルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素１０１の基板部１０１ａの概略構造図であり、同図に示すように、基板部１０１ａは透明なガラス等からなる基板１０２上にＩＴＯ等からなる第１電極１０３が設けられてい
る。第１電極１０３は、互いに平行な複数のストライプ状に配列されている。また、第１電極１０３を含む基板１０２上には、電気絶縁性を有する複数の絶縁膜１０４及び隔壁１０５が、第１電極１０３に直交するように所定間隔で配列されて形成されている。また、隔壁１０５は、基板１０２上から突出するように設けられていて、第１電極１０３の一部分を露出せしめるように形成されている。
【０００４】
また、隔壁が形成されない第１電極１０３の部分の各々上に、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体１０６の薄膜が形成されている。さらに、各有機ＥＬ媒体１０６の薄膜上にはその伸長方向に沿って第２電極１０７が形成されている。
【０００５】
各隔壁１０５は、互いに隣り合う第２電極を隔離して互いにショートするのを防止する役割を有する。
そのため、隔壁１０５は、図８に示すように、隣り合う第２電極１０７間をできるだけ隔離させるために、その断面が逆台形形状等のオーバハング形状となるように形成するのが望ましい。
【０００６】
また、一般的に有機ＥＬ媒体１０６は湿気に弱く、また、隔壁１０５も湿気に弱い材料を用いる場合があるため、発光画素１０１は、図９に示す基板部１０１ａが有する基板１０２の隔壁１０５及び有機ＥＬ媒体１０６が形成される面側をガラス管や保護膜等を用いて封止して形成される。図９は、発光画素１０１の封止例を示す断面図であり、図９（ａ）は接着剤１１０及びガラス管１０８によって封止された発光画素１０１を、第１電極１０３の伸長方向に沿った断面図で示し、図９（ｂ）は透湿性の低い保護膜１０９によって封止された発光画素１０１を、第１電極１０３の伸長方向に沿った断面図で示している。
【０００７】
発光画素１０１は、概略このように構成されて、第１電極１０３及び第２電極１０７を駆動した場合に、駆動される第１電極１０３及び第２電極１０７の交差する部分の有機ＥＬ媒体１０６が発光し、基板１０２を通じて表示される。
【０００８】
また、図１０は、発光画素１０１の製造工程の一例を示す断面図である。
先ず、図１０（ａ）において、パターンニング工程により、基板１０２上にＩＴＯ等の導電性透明膜からなる第１電極１０３を形成する。次に、第１電極１０３が形成された基板１０２上に、断面が基板に垂直な軸Ｘに対する傾斜角度θで表されるオーバハング角の略逆台形形状を有する隔壁１０５を形成する。
【０００９】
次に、図１０（ｂ）に示すように、第１電極１０３が露出する領域上に、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）等の発光色に対応する有機ＥＬ媒体１０６の薄膜
を、所定パターンで型抜きされた蒸着マスク１１１と隔壁１０５によって、それぞれ区分けして形成する。
【００１０】
次に、図１０（ｃ）に示すように、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ等の抵抗率の低い金属
を、基板１０２にほぼ垂直な方向から基板１０２全面に対して蒸着させることにより、複数の第２電極１０７を一斉に形成する。
【００１１】
なお、図１０（ｃ）に示す工程の場合に、図示せぬ蒸発源から発する上記金属の蒸気が、同図に示すように、基板に垂直な方向から蒸着されるので、隔壁１０５のオーバハング形状を有する壁側面には上記金属が蒸着されず、上記金属が一部隔壁１０５上に蒸着される場合でも、有機ＥＬ媒体１０６上に蒸着されて形成される第２電極１０７と繋がらない。
【００１２】
複数の第２電極１０７は、以上のような製造工程を経て、隣り合う第２電極１０７が隔壁１０５によって分断されて、各有機ＥＬ媒体１０６上に一斉に形成される。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、第２電極１０７を上述した方法で形成する場合に、隔壁１０５が一部欠損する場合や、隔壁１０５の周囲にゴミや微粒子（パーティクル）等が付着している場合があり、このような場合に、第２電極１０７を形成すべく蒸着を行うと、隣り合う第２電極１０７が隔壁１０５を乗り越えて繋がって形成される場合がある。
【００１４】
図１１は、このような場合に形成される第２電極１０７を示した断面図であ
る。同図から分かるように、パーティクル（図中黒色で示した部分）が隔壁１０５の側面（図１１では両側面）に付着している場合は、パーティクルによって隔壁１０５のオーバハング形状が覆われてしまうので、その隔壁１０５の両側の形成される有機ＥＬ媒体１０６、第２電極１０７が一体に繋がって形成されてしまう。このため、隣り合う第２電極１０７がショートしてしまうといった問題がある。
【００１５】
本発明は上述の問題点に鑑みなされたものであり、複数の第２電極を隔壁によって確実に分断して一斉に形成することのできる有機ＥＬディスプレイパネルとその製造方法を提供するものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、基板の一面側に形成された複数の第１電極と、第１電極の一部分を露出させかつ他部分を覆うように基板の一面から突出して形成された複数の電気絶縁性の隔壁と、第１電極の露出部分の各々上に形成された有機ＥＬ媒体の層と、有機ＥＬ媒体の層上に形成された複数の第２電極とを備え、隔壁の各々の頂部にて開口した複数の凹部が形成されていることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項２記載の発明は、複数の発光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極と、その一部分が第１電極を覆うように基板の一面から突出して形成されており、かつ第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、第１電極の上に形成されており、かつ複数の隔壁の間に隔壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層と、有機ＥＬ層の上に形成されており、かつ複数の隔壁の間に有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列される複数の第２電極とを備え、隔壁の各々の頂部にて開口した複数の凹部が形成されていることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項３記載の発明は、複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極と、その一部分が第１電極を覆うように基板の一面から突出して形成されており、かつ第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、第１電極の上に形成されており、かつ複数の隔壁の間に隔壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層と、有機ＥＬ層の上に形成されており、かつ複数の隔壁の間に有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列される複数の第２電極とを備え、隔壁の各々は、所定間隔をおいて平行に伸長する複数本の小隔壁により構成されることでその頂部にて開口した凹部を有することを特徴とする。
また、請求項４記載の発明は、複数の発光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極と、その一部分が第１電極を覆うように基板の一面から突出して形成されており、かつ第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、第１電極の上に形成されており、かつ複数の隔壁の間に隔壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層と、有機ＥＬ層の上に形成されており、かつ複数の隔壁の間に有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列される複数の第２電極とを備え、隔壁の各々は、所定間隔をおいて平行に伸長する複数本の小隔壁により構成されることでその頂部にて開口した凹部を有することを特徴とする。
【００１９】
また、請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、凹部内に有機ＥＬ層が設けられていることを特徴とする。
また、請求項６記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、凹部は、その入り口断面積を内部断面積よりも小とすることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項７記載の発明は、請求項１乃至６のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、隔壁の各々は、その上部に、基板に平行な方向に突出するオーバハング部を有することを特徴とする。
【００２１】
また、請求項８記載の発明は、請求項１乃至７のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、隔壁の各々は、その上部が第２電極よりも上方になるように形成されていることを特徴とする。
【００２２】
また、請求項９記載の発明は、請求項１乃至８のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、基板に第１電極を形成した後に、基板の隔壁が形成される部分とその周囲に絶縁膜を形成し、その後、隔壁が形成されることを特徴とする。
【００２３】
また、請求項１０記載の発明は、請求項１乃至９のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、第２電極は、基板の一面上に第１電極、隔壁及び有機ＥＬ媒体の層が形成された後に、基板の一面に対して第２電極材料を蒸着して形成されるものであり、その際、凹部は、蒸着される第２電極材料が入り込むことを許容することを特徴とする。
【００２４】
また、請求項１１記載の発明は、請求項１乃至１０のいずれか１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、基板及び第１電極が透明であることを特徴とする。
【００２５】
また、請求項１２記載の発明は、複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング工程と、第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように基板の一面から突出して設けられかつ、その頂部にて開口した複数の凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、第１電極の露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工程と、有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２６】
また、請求項１３記載の発明は、複数の発光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング工程と、第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように基板の一面から突出して設けられかつ、その頂部にて開口した複数個の凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、第１電極の露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工程と、有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２７】
また、請求項１４記載の発明は、請求項１２又は１３に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法において、発光層形成工程は、露出した第１電極のうちの所望の部分のみを露出する複数の開口部を有するマスクを隔壁の上部に載置する工程と、該開口部を通じて有機ＥＬ媒体を堆積させる工程と、該開口部が該第１電極のうち有機ＥＬ媒体の堆積されていない部分を露出するようにマスクを移動させる工程と、を順次繰り返す工程であることを特徴とする。
【００２８】
また、請求項１５記載の発明は、請求項１４に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法において、該マスクを該隔壁の上部に載置する工程は該開口部が１部の該凹部を露出せしめる工程であることを特徴とする。
また、請求項１６記載の発明は、複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、該基板の一面側に形成された複数の第１電極と、該第１電極の一部分を露出させかつ他部分を覆うように該基板の一面から突出して形成された複数の電気絶縁性の隔壁と、該第１電極の該露出部分の各々上に形成された有機ＥＬ媒体の層と、該有機ＥＬ媒体の層上に形成された複数の第２電極とを備え、該隔壁の各々は、その上部にて該基板に平行な方向に突出するオーバハング部が形成されておりかつその頂部にて開口した凹部が形成されていることを特徴とする。
また、請求項１７記載の発明は、複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であって、基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング工程と、該第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように該基板の一面から突出して設けられかつ、その上部にて該基板に平行な方向に突出するオーバーハング部を有しかつ、その頂部にて開口した凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、該第１電極の該露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工程と、該有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２９】
【作用】
本発明は以上のように構成したので、有機ＥＬディスプレイパネルの第２電極を一斉に蒸着形成する場合において、隔壁の側面にパーティクルがあり第２電極材料が隔壁を取り囲むように連続して付着するような場合であっても、隔壁の突出上部に形成した１又は複数の凹部によって付着した第２電極材料が確実に分断されるので、隔壁を挟んで位置する第２電極のショートを確実に防止できる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に好適な各実施形態について以下に説明する。
・第１の実施形態
図１は本発明の第１の実施形態におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程を示す図である。
先ず、図１（ａ）に示すように、予め第１電極１０３が所定の形状にパターンニングされた基板１０２上に複数の隔壁１２０を形成する。隔壁１２０は、例えば有機物等の材料からなり電気絶縁性を有し、第１電極１０３とほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長して形成される。
【００３１】
また、各隔壁１２０は、複数（図１では３つ）の小隔壁１２０ａからなり、各隔壁１２０が構成する小隔壁１２０ａは、第１電極１０３上において所定間隔で互いに平行に位置し、互いに電気的に開放するように形成される。
【００３２】
各隔壁１２０は、先に述べた従来における隔壁１０５と同様に、基板１０２上に隔壁材料を後述する第２電極１０７が形成される高さよりも高くなるように所定の厚さに形成する。
【００３３】
また、各小隔壁１２０ａは、図１（ａ）に示すように、先に説明した従来の隔壁１０５と同様に、その断面形状が基板１０２に垂直な軸Ｘに対し所定の傾斜角度θ３  で表されるオーバハング角の略逆台形形状になるように形成する。なお、図１（ａ）では、隔壁１２０の両側面の傾斜角度をθ３  と異なる値のθ４  としたが、同一の値としても良い。
【００３４】
このような小隔壁１２０ａを所定間隔で平行に形成すれば隔壁１２０が形成され、隣り合う小隔壁１２０ａの間に入り口断面積が内部断面積よりも小となる凹部１２０ｂが形成される。また、各凹部１２０ｂは、後述する第２電極１０７を蒸着により形成する場合に蒸着される第２電極材料が入り込むことを許容する程度にその開口形状が形成される。
【００３５】
次に、図１（ｂ）に示す発光層形成工程にて、各隔壁１２０の間に露出する第１電極１０３の部分の各々上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する。図１（ｂ）では、左から順に赤（Ｒ）、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、・・・となるように３色の有機ＥＬ媒体１０６をそれぞれ第１電極１０３上に形成し、それぞれ少なくとも１層からなる発光層を形成する。
【００３６】
これは、例えばスリット形状の開口１１１ａを有する蒸着マスク１１１を用いて以下の手順にて行われる。
即ち、先ず、各隔壁１２０の間に露出する第１電極１０３の部分の各一つに蒸着マスク１１１の開口１１１ａを位置合わせした後、隔壁１２０の突出した上部に蒸着マスク１１１を載置して、１番目（例えば赤（Ｒ））の有機ＥＬ媒体１０６を例えば蒸着等の方法を用いて所定厚さに成膜する。基板１０２は蒸気流に対し自由な角度で行っても良いが、蒸気流が各小隔壁１２０ａのオーバハング形状の壁面部分を回り込むようにすることが望ましい。
【００３７】
次に、例えば蒸着マスク１１１を隔壁１２０を１個分ずらして位置合わせした後、隔壁１２０上に蒸着マスク１１１を載置して、２番目（例えば青（Ｂ））の有機ＥＬ媒体１０６を所定厚さに成膜する。
【００３８】
次に、例えば蒸着マスク１１１を隔壁１２０を１個分ずらして位置合わせした後、隔壁１２０上に蒸着マスク１１１を載置して、３番目（例えば緑（Ｇ））の有機ＥＬ媒体１０６を所定厚さに成膜する。
【００３９】
このように、一つの開口１１１ａが一つの第１電極１０３の部分から隔壁を挟んで隣接する一つの第１電極１０３の部分を露出するように配置されるように蒸着マスク１１１を順次移動せしめる工程を繰り返しながら露出した第１電極１０３の部分に、対応する有機ＥＬ媒体を成膜することによって、第１電極１０３上に３色に色分けした有機ＥＬ媒体１０６を形成することができる。
【００４０】
また、上記手順によれば、隔壁１２０があるので、蒸着マスク１１１の位置合わせ、移動載置した蒸着の際に、蒸着マスク１１１によって有機ＥＬ媒体１０６の層を傷つけることがない。
【００４１】
図１（ｂ）に示す有機ＥＬ媒体１０６（Ｒ）、（Ｂ）、（Ｇ）はこのような手順で成膜されたものであり、したがって、有機ＥＬ媒体１０６（Ｒ）、（Ｂ）、（Ｇ）は隔壁１２０の間に露出する第１電極１０３の部分をそれぞれ全面に亘って覆うことになる。
【００４２】
また、図１（ｂ）では、蒸着マスク１１１の開口１１１ａの位置を有機ＥＬ媒体１０６（Ｂ）を蒸着する場合で示しているが、開口１１１ａの境界は、常に３個の小隔壁１２０ａのうち中央の小隔壁１２０ａに載置されるように位置合わせされるので、開口１１１ａ内に位置する凹部１２０ｂ内の第１電極１０３上にも有機ＥＬ媒体１０６（Ｂ）が全面に亘って覆うことになる。
【００４３】
したがって、この手法を用いて蒸着マスク１１１を移動させて各色Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）を順次蒸着した場合は、全ての凹部１２０ｂ内の第１電極１０３の部分にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれかの有機ＥＬ媒体１０６が被覆される。
【００４４】
次に、図１（ｃ）に示すように、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ等の抵抗率の低い金属からなる第２電極材料を、基板１０２にほぼ垂直な方向から基板１０２全面に対して蒸着することにより、複数の第２電極１０７を一斉に形成する。
本発明の第１の実施形態におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極はこのようにして形成される。
【００４５】
なお、第２電極１０７を蒸着形成する際には、図示せぬ蒸発源から発する第２電極材料の放射角度が小隔壁１２０ａの傾斜角度（図１（ａ）中のθ３  ）及び隔壁１２０の両側面の傾斜角度（図１（ａ）中のθ４  ）よりも小さな角度となるように注意する。もし、放射角度が隔壁１２０の両側面の傾斜角度（図１（ａ）ではθ４  ）よりも大きくなると、隔壁１２０の側面に第２電極材料が付着する場合があるので、隣り合う第２電極１０７が隔壁１２０を乗り越えて接合して形成されるおそれがあるが、放射角度が隔壁１２０の両側面の傾斜角度θ４  よりも小さければその心配はない。
【００４６】
また、この場合に、既に有機ＥＬ媒体１０６が各凹部１２０ｂ内の第１電極１０３上に全面被覆されているので、入り込んだ第２電極材料は第１電極１０３とショートすることがない。
【００４７】
また、図２は、一部の隔壁１２０の両側面にパーティクルが付着している場合に形成された第２電極１０７の断面構造図である。この場合においても、第２電極材料は各凹部１２０ｂに入り込むため、各小隔壁１２０ａどうしが第２電極材料によって接合されて隣り合う第２電極１０７が接合されて形成されることはない。
【００４８】
・第２の実施形態（絶縁膜の追加）
第２の実施形態における発光画素は、先に述べた第１の実施形態における発光画素の第１電極１０３を形成した後に、基板１０２上の隔壁１２０が形成される部分とその周囲に絶縁膜１２１を形成し、その後、隔壁１２０を形成してなるものである。
【００４９】
図３に、予め第１電極１０３が形成された基板１０２上に形成される絶縁膜１２１のパターンの各一例を平面図及び断面図と共にそれぞれ示す。
図３中、（ａ）は、基板１０２上の各小隔壁１２０ａが形成される部分とその周囲に絶縁膜１２１を形成した例であり、各隔壁１２０の周囲及び各隔壁が構成する各小隔壁１２０ａの間に形成された凹部１２０ｂの底部に絶縁膜を形成している。
【００５０】
また、（ｂ）は、各隔壁１２０毎に絶縁膜１２１を形成した例であり、基板１０２上の各隔壁１２０が形成される部分とその周囲に形成することで、各隔壁１２０が構成する各小隔壁１２０ａが形成される部分とその周囲に絶縁膜１２１を形成している。また、（ｃ）は、マトリクス状に配列された画素部分を除く部分全体に絶縁膜を形成した例である。
【００５１】
また、図４は、本発明の第２の実施形態におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程を示す図である。
【００５２】
先ず、図４（ａ）に示すように、予め第１電極１０３が所定の形状にパターンニングされた基板１０２上に、少なくとも後に隔壁１２０を形成しようとする部分とその周囲（凹部１２０ｂ底面を含む）に絶縁膜１２１を密着形成する。絶縁膜１２１は、例えば樹脂等を用いて形成される電気絶縁性を有する皮膜である。
【００５３】
次に、図４（ｂ）に示すように、各絶縁膜１２１上に複数（ここでは３つ）の小隔壁１２０ａからなる隔壁１２０をそれぞれ形成する。この隔壁の形成方法
は、先の第１の実施形態（図１（ａ）参照）において説明したのと同じ手法なのでここではその説明を省略する。
【００５４】
次に、図４（ｃ）に示す発光層形成工程にて、各隔壁１２０の間に露出する第１電極１０３の部分の各々上に有機ＥＬ媒体１０６を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する。これは、先の図１（ｂ）に示した発光層形成工程と同様の工程で行われるのでここではその説明を省略する。
【００５５】
次に、図４（ｄ）に示すように、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ等の抵抗率の低い金属からなる第２電極材料を、基板１０２に垂直な方向から基板１０２全面に対して蒸着することにより、複数の第２電極１０７を一斉に形成する。
【００５６】
また、小隔壁１２０ａ及び隔壁１２０の両側面の根元付近において、第２電極材料が有機ＥＬ媒体１０６の形成範囲を越えて蒸着されたとしても予めその部分に絶縁膜１２１が形成されているので、第２電極１０７は第１電極１０３とショートして形成されることはない。
【００５７】
なお、上述した各実施形態において、各隔壁１２０は断面が略逆台形形状の３つの小隔壁１２０ａを所定間隔で平行に形成し、電気的に開放された２つの凹部１２０ｂを形成した例で示したが、これに限らず、凹部１２０ｂは３つ以上の複数個で形成しても良い。
【００５８】
また、凹部１２０ｂの断面形状は、逆台形形状に限らず、オーバハング形状であれば良い。即ち、小隔壁１２０ａが例えば図５に示すような断面形状で形成されていれば、凹部１２０ｂは断面がオーバハング形状となる。
【００５９】
図５は、小隔壁のその他の実施例を示す図である。図５中（ａ）〜（ｄ）は同一材料で形成した例であり（ｅ）は、隔壁の上部を別材料で形成した例である。
【００６０】
また、図５中（ｄ）、（ｅ）の小隔壁の突出上部は、それぞれ基板１０２に平行な方向に突出するオーバハング形状を有する。
なお、図５（ａ）〜（ｅ）に示す小隔壁の突出上部にさらに凹部を設けても良い。
【００６１】
また、各小隔壁１２０ａは、必ずしも所定間隔で別個に形成される必要はな
く、例えば図６に示すように、複数の小隔壁１２０ａ底面が繋がって１つの隔壁１２０として形成されたものであっても良い。
【００６２】
その場合、各小隔壁１２０ａの間に形成される凹部１２０ｃは、それぞれ断面が先に述べたオーバハング形状を有していれば、第２電極１０７形成時における第１電極１０３と第２電極１０７のショート防止に対しなお一層効果的である。ただし、１本の隔壁に凹部１２０ｃを形成するよりは、複数本の小隔壁１２０ａを所定間隔に形成する方が製造上は容易である。
図６は、隔壁のその他の実施例を示す図である。
【００６３】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成したため、有機ＥＬディスプレイパネルの第２電極を一斉に蒸着形成する場合において、隔壁の側面にパーティクルがあり第２電極材料が隔壁を取り囲むように連続して付着するような場合であっても、隔壁の突出上部に形成した１又は複数の凹部によって付着した第２電極材料が確実に分断されるので、隔壁を挟んで位置する第２電極のショートを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程を示す図である。
【図２】隔壁の両側面にパーティクルが付着している場合に形成された第２電極の断面構造図である。
【図３】本発明の第２の実施形態における絶縁膜のパターンの一例を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程を示す図である。
【図５】小隔壁のその他の実施例を示す図である。
【図６】隔壁のその他の実施例を示す図である。
【図７】従来におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の配列の一例を示した図である。
【図８】従来におけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の基板部の概略構造図である。
【図９】従来における発光画素の封止例を示す断面図である。
【図１０】従来における発光画素の製造工程の一例を示す断面図である。
【図１１】従来における発光画素の隣り合う第２電極が隔壁１０５を乗り越えて繋がって形成される様子を示した断面図である。
【符号の説明】
１０１・・・・発光画素
１０１ａ・・・基板部
１０２・・・・基板
１０３・・・・第１電極
１０４・・・・絶縁膜
１０５・・・・隔壁
１０６・・・・有機ＥＬ媒体
１０７・・・・第２電極
１０８・・・・ガラス管
１０９・・・・保護膜
１１０・・・・接着剤
１１１・・・・蒸着マスク
１１１ａ・・・開口
１２０・・・・隔壁
１２０ａ・・・小隔壁
１２０ｂ・・・凹部
１２０ｃ・・・凹部
１２１・・・・絶縁膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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