(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームを複数枚配列収容するマガジンを供給位置に保持してフレーム配列方向に移動位置決めして所定回収位置まで移動させる位置決め手段と、
前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な方向において規制する規制手段と、
前記回収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出手段とを備えたマガジン位置決め排出装置において、
前記規制手段は、
相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に摩擦部材が設けられて該マガジンを規制する規制部材と、
該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動させる駆動手段と、
前記駆動手段の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発生させる信号発生手段とを備え、
前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置に移動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により挟持して待機するとき、前記信号発生手段からのフィードバックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若しくは所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出させる構成としたこと
を特徴とするマガジン位置決め排出装置。
【請求項２】
前記駆動手段は、ねじ軸と、このねじ軸を回転駆動するパルスモータと、ねじ軸に螺合するナットで構成されてなることを特徴とする請求項１に記載のマガジン位置決め装置。
【請求項３】
前記信号発生手段は、エンコーダであることを特徴とする請求項１に記載のマガジン位置決め装置。
【請求項４】
前記摩擦部材は、ウレタンゴム、合成樹脂若しくは鋼材等で接触面積を小さくしてポイントで押圧する部材からなることを特徴とする請求項１に記載のマガジン位置決め装置。
【請求項５】
フレームを複数枚配列収容するマガジンを供給位置に保持してフレーム配列方向に移動位置決めして所定回収位置まで移動させる位置決め手段と、
前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な方向において規制する規制手段と、
前記回収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出手段と、
前記フレームを前記マガジンとボンディングステージとの間で移送するフレーム移送手段と、
前記ボンディングステージに至ったフレームに対してボンディング作業を施すボンディング手段とを備えたボンディング装置において、
前記規制手段は、
相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に摩擦部材が設けられて該マガジンを規制する規制部材と、
該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動させる駆動手段と、
前記駆動手段の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発生させる信号発生手段とを備え、
前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置に移動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により挟持して待機するとき、前記信号発生手段からのフィードバックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若しくは所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出させる構成としたこと
を特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレーム等のフレームを収容したマガジンを位置決めし且つ空になったマガジンを排出するマガジン位置決め排出装置及び該マガジン位置決め排出装置を備えたボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のワイヤボンディング装置として実開平４−２０２３２号に示すものが知られている。この装置の一例を図１２乃至図１４に示す。
【０００３】
図１２に示すように、このワイヤボンディング装置は、複数枚のリードフレームＬ＼Ｆを配列収容（紙面に対して垂直な方向において配列）したマガジンＭをローダ１５１に装填する。
【０００４】
このローダ１５１は、前記マガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆのうち例えば最下段の１枚を送り出し、このリードフレームＬ＼Ｆは、図示せぬフレーム移送手段により１対のガイドレール１５７，１５８に沿って案内されてボンディングステージのヒータープレート１５５上に移送される。
【０００５】
前記リードフレームＬ＼Ｆがヒータープレート１５５上に達すると、前記フレーム移送手段はリードフレームＬ＼Ｆを各ＩＣチップ１５３の配列ピッチずつ間欠送りし、ボンディング手段１６０は、各ＩＣチップ１５３とリードフレームに形成されているリード（図示せず）とを導電性のワイヤを用いてボンディング接続する。ボンディングを完了したリードフレームＬ＼Ｆは、前記フレーム移送手段によってローダ１５１と同一の構成を有するアンローダ１６２の空のマガジンＭ内に収容される。
【０００６】
ローダ１５１は、マガジンＭをリードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチずつ下降若しくは上昇（紙面に対して垂直な方向）させて位置決めを行う位置決め手段１６５と、この位置決め手段１６５を搭載した可動ベース１６６と、この可動ベース１６６上に配設されマガジンＭをその移動方向に対して垂直な水平面内において規制する規制手段１６７とを有している。
【０００７】
前記可動ベース１６６は、装置本体の架台１７０上に取り付けられて矢印０方向に位置調整可能となっている。図１３に示す調整手段１７２は、軸受１７４により軸支されたねじ軸１７５と、該ねじ軸１７５に螺合すると共に可動ベース１６６に結合されたナット１７６と、該ねじ軸１７５を回転駆動するパルスモータ１７７とを備えている。
【０００８】
位置決め手段１６５は、軸受１８０を介して可動ベース１６６上に取り付けられたねじ軸１８１と、該ねじ軸１８１を回転駆動するパルスモータ１８２と、該ねじ軸１８１に螺合した昇降部材１８３と、該昇降部材１８３と結合してマガジンＭを担持するマガジン受部１８５と、該マガジン受部１８５の先端部に摺動可能に設けられてマガジンＭを押え保持するチャック１８６とを有している。
【０００９】
また、図１４に示すように、規制手段１６７は、前記可動ベース１６６に対して固定された略Ｌ字状のフレーム１９０と、フレーム１９０の屈曲部の近傍に断面形状がＬ字状の規制部材１９２とを有している。
【００１０】
前記フレーム１９０の一辺には、規制部材１９２と協働してマガジンＭをその幅方向（矢印Ｒ方向）に移動して規制する規制部材１９３が設けられている。この規制部材１９３は、ナット１９４がねじ軸１９５に螺合して移動可能となっている。また、フレーム１９０上にはねじ軸１９５を回転駆動するパルスモータ１９７が固設されている。
【００１１】
また、前記フレーム１９０の他辺には、マガジンＭをその長さ方向（矢印Ｓ方向）に規制するための規制部材２０３が移動可能に取り付けられている。規制部材２０３は、ナット２０４がねじ軸２０５に螺合して移動可能となっている。また、フレーム１９０上にはねじ軸２０５を回転駆動するパルスモータ２０７が固設されている。
【００１２】
次に、ローダ１５１の動作について説明する。
【００１３】
図１４に示す各規制部材１９２、１９３及び２０３により囲まれる空間内に、上方から複数のマガジンＭを重ねて挿入し、図１３に示すマガジン受部１８５上に載置する。図１４に示す各パルスモータ１９７、２０７は正回転して規制部材１９３及び２０３を規制部材１９２に向けて検知手段２１２及び２１３が検知するまで移動させて各マガジンＭを規制する。
【００１４】
次に、図１３に示すパルスモータ１８２が回転して各マガジンＭはマガジン受部１８５と共に収容しているリードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチずつ下降する。このマガジンＭの下降動作に連動して、リードフレームＬ＼Ｆが１枚ずつマガジン外に取り出され、ボンディングが行われる。
【００１５】
先行する最下段のマガジンＭ内のすべてのリードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが終了して該マガジンＭが空になると、図１４に示したマガジンプッシャー２１０が突出動作して上方に位置する後続の２つ目のマガジンＭが規制部材１９２に対して押圧固定する。そして、空になった１つ目のマガジンＭのみがマガジン受部１８５と共に更に下降して回収位置に達したマガジン受部１８５上から回収する。
【００１６】
１つ目のマガジンが回収されると、マガジン受部１８５は再び上昇して２つ目のマガジンＭの底面に当接して受ける。この時点でマガジンプッシャー２１０は引込動作してマガジンＭをマガジン受部１８５により担持する。以下、１つ目のマガジンと同様の一連の動作が行われ、この２つ目のマガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆに関してもボンディングが行われる。
【００１７】
図１３に示すマガジン排出手段は、二点鎖線及び実線で示す排出位置及び非排出位置の間で往復動自在にしてマガジンＭを排出するための排出部材２１７と、該排出部材２１７を作動させるエアシリンダ機構などの駆動手段（図示せず）とからなる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の装置では、先行のマガジンＭを回収するときにマガジンプッシャー２１０を用いて後続のマガジンを待機させる。このマガジンプッシャー２１０はエアシリンダーを用いているため、エアシリンダーとエアー供給のための配管部品、電磁弁とドライバなど多くの部品を必要とし、原価低減の妨げや、故障率の増加という課題がある。
【００１９】
本発明の目的は、上記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであって、部品点数の削減を図ることにより原価低減等を達成したマガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置を提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、フレームを複数枚配列収容するマガジンを供給位置に保持してフレーム配列方向に移動位置決めして所定回収位置まで移動させる位置決め手段と、前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な方向において規制する規制手段と、前記回収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出手段とを備えたマガジン位置決め排出装置において、前記規制手段は、相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に摩擦部材が設けられて該マガジンを規制する規制部材と、該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動させる駆動手段と、前記駆動手段の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発生させる信号発生手段とを備え、前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置に移動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により挟持して待機するとき、前記信号発生手段からのフィードバックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若しくは所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出させる構成としたものである。
【００２１】
また、本発明の前記駆動手段は、ねじ軸と、このねじ軸を回転駆動するパルスモータと、ねじ軸に螺合するナットで構成されてなるものである。
【００２２】
また、本発明の前記信号発生手段は、エンコーダで構成されてなるものである。
【００２３】
また、本発明の前記摩擦部材は、ウレタンゴム、合成樹脂若しくは鋼材等で接触面積を小さくしてポイントで押圧する部材からなるものである。
【００２４】
また、本発明は、フレームを複数枚配列収容するマガジンを供給位置に保持してフレーム配列方向に移動位置決めして所定回収位置まで移動させる位置決め手段と、前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な方向において規制する規制手段と、前記回収位置に至ったマガジンを排出するマガジン排出手段と、前記フレームを前記マガジンとボンディングステージとの間で移送するフレーム移送手段と、前記ボンディングステージに至ったフレームに対してボンディング作業を施すボンディング手段とを備えたボンディング装置において、前記規制手段は、相対的に可動にして前記マガジンとの当接部に摩擦部材が設けられて該マガジンを規制する規制部材と、該規制部材を制御部からの指令パルスにより移動させる駆動手段と、前記駆動手段の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発生させる信号発生手段とを備え、前記位置決め手段が先行のマガジンを前記回収位置に移動させる際、後続のマガジンを前記規制部材により挟持して待機するとき、前記信号発生手段からのフィードバックパルス信号が得られなくなった後、所定回数若しくは所定時間前記駆動手段へ前記指令パルスを送出させる構成としたものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例としてのワイヤボンディング装置を説明する。但し、従来のワイヤボンディング装置と同一の構成及び機能を有する部分は説明が重複するため省略し要部のみの説明とする。また、以下の説明において、従来のワイヤボンディング装置と同一の構成部分には同じ参照符号を付している。なお、本実施例では、ワイヤボンディング装置を例として説明するが、本発明はダイボンディング等のボンディング装置にも適用可能である。
【００２６】
本発明によるワイヤボンディング装置は、図１０及び図１１に示す規制手段にその特徴を有しているが、以下の説明では図１乃至図３から順次説明を行う。
【００２７】
図１乃至図３において、マガジン位置決め排出装置としてのローダ１は図１２における各ガイドレール１５７、１５８及びボンディング手段１６０の左側、すなわちリードフレーム搬送方向上流側に配置されている。このローダ１には未ボンディング状態のリードフレームＬ＼Ｆを多数配列収容したマガジンＭが装填され、このマガジンＭからリードフレームＬ＼Ｆを１枚ずつ取り出してボンディング手段１６０に向けて供給する。なお、図１２に示すように各ガイドレール１５７、１５８の右側には、他のマガジン位置決め排出装置として、空のマガジンＭが装填されたアンローダ（図示せず）が配設されている。このアンローダは、前記ボンディング手段１６０によりボンディングされて搬送されてくるリードフレームＬ＼ＦをマガジンＭ内に順次受け入れて配列収納する。このアンローダは上記ローダ１と同一の構成であるのでアンローダについての説明は省略し、ローダ１についてのみ説明する。
【００２８】
ローダ１は、図２乃至図４に示すように位置決め手段５を有している。この位置決め手段５は、多数のリードフレームＬ＼Ｆを収容したマガジンＭを装着してマガジンＭをその収容したリードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチずつ間欠的に下降させて位置決めする。また、図１に示す押出手段６は、前記位置決め手段５によるマガジンＭの間欠的な下降位置決め動作に合わせてマガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆを最下段のものから１枚ずつボンディング位置に向けて移送し押し出す。この押出手段６によりマガジンＭ外に押し出されたリードフレームＬ＼Ｆは、図示しないフレーム移送手段によってボンディング位置に向けて移送され、ボンディング終了後はフレーム移送手段によってアンローダ上のマガジンＭ内に収容される。
【００２９】
前記位置決め手段５は、図４に示すように装置架台１７０に固定されたベース８上に軸受１０を介して矢印Ｚ方向に取付けられたねじ軸１２と、ブラケット１９を介してベース８に取り付けられたねじ軸１２を回転駆動するパルスモータ１３と、ねじ軸１２に螺合した昇降部材１４と、昇降部材１４に結合し、マガジンＭを受けるマガジン受部１５（可動担持部材）とを有している。このマガジン受部１５の位置検出は、パルスモータ１３の回転量に応じたパルス信号を発生するエンコーダ（図示せず）からの信号により検出する構成となっている。
【００３０】
ねじ軸１２の上端部及びパルスモータ１３の出力軸１３ａには夫々歯付ベルト車１２ｂ，１３ｂが嵌着され、これら両歯付ベルト車に歯付ベルト１７が掛け回されている。
【００３１】
ローダ１は、位置決め手段５により移動されるマガジンＭをその移動方向、すなわち各リードフレームＬ＼Ｆの配列方向に対して垂直な面内において規制する規制手段を有する。
【００３２】
図１乃至図３に示すように、前記規制手段は、ベース８上に固設された固定フレーム２１と、各々固定フレーム２１上に矢印Ｇにて示す方向において往復動自在に設けられた一対の可動フレーム２３及び２４と、各可動フレーム２３、２４を夫々移動させる駆動手段２６及び２７と、後述する信号発生手段としてのエンコーダ４０，５０及び７０とを有している。
【００３３】
両可動フレーム２３、２４と固定フレーム２１との間には、トラックレール２９ａ、３０ａ及びスライダ２９ｂ、３０ｂからなる直動案内ユニットが介装されて両可動フレーム２３、２４が矢印Ｇ方向に可動となっている。
【００３４】
前記駆動手段２６は、図１及び図２に示すように軸受３３を介して固定フレーム２１に取り付けられたねじ軸３４と、ねじ軸３４を回転駆動するパルスモータ３５と、ねじ軸３４に螺合すると共に可動フレーム２３に固着されたナット３６とを有している。
【００３５】
ねじ軸３４の一端部及びパルスモータ３５の出力軸３５ａには各々歯付ベルト車３４ｂ，３５ｂが嵌着され、これら両歯付ベルト車に歯付ベルト３７が掛け回されてパルスモータ３５からの動力がねじ軸３４に伝達される。また、ねじ軸３４の一端部にはカップリング３９を介して信号発生手段としてのエンコーダ４０が連結されている。このエンコーダ４０は、前記パルスモータ３５の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発する。
【００３６】
一方、可動フレーム２４を駆動する駆動手段２７に関しても同様であり、図１及び図３に示すように、軸受４３を介して固定フレーム２１に取り付けられたねじ軸４４と、ねじ軸４４を回転駆動するパルスモータ４５と、ねじ軸４４に螺合すると共に可動フレーム２４に固着されたナット４６とを有している。
【００３７】
ねじ軸４４の一端部及びパルスモータ４５の出力軸４５ａには各々歯付ベルト車４４ｂ，４５ｂが嵌着され、両歯付ベルト車に歯付ベルト４７が掛け回されて動力伝達が行われる。また、ねじ軸４４の一端部にはカップリング４９を介して信号発生手段としてのエンコーダ５０が連結されている。このエンコーダ５０は、前記パルスモータ４５の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発する。
【００３８】
図１及び図３に示すように、可動フレーム２４上には、可動ブラケット５３が矢印Ｈ（図１参照）にて示す方向において往復動自在に設けられている。この可動ブラケット５３は、可動ブラケット５３と可動フレーム２４との間にトラックレール５４ａ及びスライダ５４ｂからなる直動案内ユニットが介装されて可動する。
【００３９】
前記可動ブラケット５３を移動させる駆動手段５６は、軸受６３を介して可動フレーム２４に取付けられたねじ軸６４と、ねじ軸６４を回転駆動するパルスモータ６５と、ねじ軸６４に螺合すると共に可動ブラケット５３に固着されたナット６６とを有している。
【００４０】
ねじ軸６４の一端部及びパルスモータ６５の出力軸６５ａには各々歯付ベルト車６４ｂ、６５ｂが嵌着され、両歯付ベルト車に歯付ベルト６７が掛け回されてパルスモータ６５からの動力がねじ軸６４に伝達される。また、ねじ軸６４の一端部にはカップリング６９を介して信号発生手段としてのエンコーダ７０が連結されている。このエンコーダ７０は、前記パルスモータ６５の回転量に応じたフィードバックパルス信号を発する。
【００４１】
前記可動フレーム２３及び２４並びに可動ブラケット５３には、マガジンＭを規制するための長尺の規制部材７３，７４及び７５が上下方向（矢印Ｚ方向）において延在して配設されている。これら規制部材７３乃至７５は、これらを夫々搭載した可動フレーム２３、２４並びに可動ブラケット５３の作動により互いに相対的に近接及び離間する。
【００４２】
前記規制部材７３は全体として矩形板状に形成され、一対設けられている。また、他の規制部材７４及び７５は１本ずつ設けられ、図１に示すように各々断面形状はＬ字状となっている。マガジンＭは、両規制部材７４及び７５の各一辺に形成された規制面７４ａ、７５ａと前記矩形板状の規制部材７３とによって、リードフレームＬ＼Ｆの移送方向に対して垂直な方向、すなわち該マガジンの幅方向において規制される。また、両規制部材７４及び７５の各他辺に形成された規制面７４ｂ、７５ｂによりマガジンＭの長さ方向、すなわちリードフレーム移送方向における規制が行われる。なお、図２に示すように、規制部材７４には、リードフレームＬ＼Ｆをボンディング位置に向けて搬送する際に該リードフレームＬ＼Ｆを通過させるためのスリット７４ｄが形成されている。
【００４３】
また、図１及び図２に示すように、マガジンＭの幅方向における片側に配置された各規制部材７３には、リードフレーム搬送レベル８０に対応する位置を始めとして、その長手方向に沿って複数のローラ８１が設けられている。
【００４４】
次に、ワイヤボンディング装置の動作について説明する。
【００４５】
まず、本発明によるワイヤボンディング装置において、リードフレームＬ＼Ｆの種類が変更される場合の調整動作について、図５乃至図８を参照して説明する。
【００４６】
キーボードからの操作指令に基づき、ワイヤボンディング装置の制御部は、図１に示す各パルスモータ３５、４５及び６５を夫々逆回転させて各ねじ軸３４，４４及び６４を回転駆動して各可動フレーム２３，２４及び可動ブラケット５３を移動させ、各規制部材７３，７４及び７５を図５に示すように外側、すなわち互いに離間する方向に移動させ、夫々の基準位置に位置決めする（第１基準位置）。また、各規制部材７３，７４，７５の相互近接方向における第２基準位置は、各規制部材７３、７４、７５の相互の間隔が最小のマガジンの外径寸法よりも小となるように設定されている。従って、制御部は、各規制部材７３、７４、７５が互いに近接する方向に移動を開始後、前記第２基準位置に至ることによってマガジンが装填されていないことを検知する。また、各規制部材７３、７４、７５が前記第１基準位置から第２基準位置に向う間に各エンコーダ４０，５０及び７０からのフィードバックパルス信号が得られなくなることによってマガジンＭの規制完了及びその存在を検知する。
【００４７】
ここで幅方向規制について説明すると、各規制部材７３，７４，７５が相互に離間して第１基準位置に達すると、各規制部材の間に新たに取り扱うべきリードフレームを収容したマガジンＭを例えば２つ、上下に重ねた状態で上方から挿入してマガジン受部１５上に載置する。
【００４８】
この状態で作動指令が発せられると、例えば、マガジンＭの幅方向片側に位置する規制部材７３を駆動するパルスモータ３５が正回転して図６に示すように規制部材７３が他側の規制部材７４，７５に向けて移動する。これによりマガジンＭは規制部材７３により押圧されて両規制部材７４，７５に押し付けられ、各規制部材７３，７４，７５により幅方向において挾持された状態となる。この挾持状態になると、移動して来た規制部材７３はそれ以上移動できなくなりパルスモータ３５が停止し、エンコーダ４０からのフィードバックパルス信号も得られなくなる。制御部はマガジン幅方向の規制完了と共にマガジンの存在を確認してパルスモータ３５への給電を停止する。
【００４９】
次に、長さ方向規制について説明すると、パルスモータ６５が正回転してマガジンＭの長さ方向で片側に位置する規制部材７５が図７に示す他側の規制部材７４に向けて移動する。これによりマガジンＭは規制部材７５により押圧されて規制部材７４に押し付けられ、両規制部材７４，７５により長さ方向において挾持された状態となる。前記規制部材７３の近接動作と同様の挾持状態になると、規制部材７５はそれ以上移動できなくなりパルスモータ６５が停止し、エンコーダ７０からのフィードバックパルス信号も得られなくなる。前記制御部はマガジン長さ方向の規制完了を確認してパルスモータ６５への給電を停止する。
【００５０】
前記マガジンＭは、各規制部材７３、７４、７５により囲まれた状態で上下方向に移動自在となり、位置決め手段５によるマガジンＭの昇降動作が可能となる。
【００５１】
次に、パルスモータ３５が逆回転すると共にパルスモータ４５が正回転すると、図８に示すように、各規制部材７３、７４、７５がマガジン幅方向に同じ分解能及び同じ速度で同期して移動してリードフレームＬ＼Ｆを案内する経路の中心１１０に対して、マガジンＭの幅方向における中心が一致した時点で停止する。
【００５２】
前記のようにマガジンＭの幅方向中心をリードフレーム搬送経路の中心１１０に一致させるように各規制部材７３、７４、７５を同じ方向に移動させる際（図８に図示の状態）、これらの各規制部材の移動量は、その前工程として行われる一方の規制部材７３のみの第１基準位置から停止位置までの移動量をＷとするならば、Ｗ／２に設定される。
【００５３】
なお、上記マガジンＭの位置出し動作と並行して図１２に示すガイドレール１５７、１５８が、マガジンＭに収容されるリードフレームＬ＼Ｆを搬送できるようにそのレール間隔を調整する。このレール間隔の調整は前記各規制部材７３、７４及び７５の調整と同様に行われる。
【００５４】
上述のようにして、新たに取り扱うべきリードフレームＬ＼Ｆ及びマガジンＭに応じた調整が完了する。制御部は、調整を完了すると、各規制部材７３、７４及び７５並びに各ガイドレール１５７、１５８（図１２参照）の設定位置を記憶手段としてのＲＡＭに入力して記憶させる。そして、再び同種のリードフレームＬ＼Ｆ及びマガジンＭが取り扱われる際にこの記憶した情報を読み出して直ちに位置設定を行う。このように、各規制部材７３、７４、７５並びに各ガイドレール１５７、１５８の位置設定を自動的にデジタル制御にて行い、品種毎のデータを記憶し、必要に応じて該データを読み出すので品種交換時の設定が容易に行え、時間の短縮、作業の簡素化が図られる。
【００５５】
前記幅方向並びに長さ方向の調整完了後、図１に示す押出手段６が作動して２つのマガジンＭのうち、下側のマガジンＭ内に収容されているリードフレームＬ＼Ｆの押出動作について説明する。
【００５６】
図９（ａ）は、リードフレームＬ／Ｍのうち最下段の１枚が押し出される時のマガジン受部１５及び各マガジンＭのリードフレーム搬送レベル８０に対する位置を示している。
【００５７】
図９（ｂ）は、１つ目のマガジンＭ内のすべてのリードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが終了した状態におけるマガジン受部１５及び各マガジンＭのリードフレーム搬送レベル８０に対する位置を示している。
【００５８】
図９（ｃ）及び（ｄ）は、１つ目、すなわち下段のマガジンＭ内のすべてのリードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが終了して該マガジンＭが空になると、上方に位置する２つ目のマガジンＭが規制部材７４、７５に対して押圧固定され、空になった１つ目のマガジンＭのみがマガジン受部１５と共に更に下降させられて回収位置に達し、該マガジン受部１５上から回収される過程を示す。
【００５９】
次に、図９（ｄ）に示す１つ目のマガジンＭ、つまり先行の空のマガジンを回収する際に後続の２つ目のマガジンＭを待機させる動作について図１０を参照して説明する。
【００６０】
図１０の▲１▼及び▲２▼に示すように、マガジンＭは前側の規制部材７３に対して隙間ｅを隔てられているため、後側の規制部材７４，７５に対しては円滑に摺接し、マガジン受部１５と共に下降するが、この下降により先行のマガジンＭが最下段のローラ８１を外れると、図２に示すパルスモータ３５が正回転して規制部材７３が他方の規制部材７４（及び７５）に向けて近接する。つまり、図１０の▲３▼に示すように、規制部材７３が後続のマガジンＭに密着し、前後の規制部材７３，７４（及び７５）がこの後続のマガジンＭを挟み込み落下しないように保持して待機状態とする。
【００６１】
図１に示すパルスモータ３５への指令パルスが制御部からの指令により発せられると、パルスモータ３５は駆動され、図５及び図６に示す各規制部材７３が第１基準位置から第２基準位置に向けて移動する。このとき、エンコーダ４０からのフィードバックパルス信号は、前記パルスモータ３５の回転量に応じた信号が得られる。図１１は、このフィードバックパルス信号をＯＮで示している。そして、前記規制部材７３がマガジンＭを挟持すると、前記フィードバックパルス信号は得られなくなる。図１１はこれをＯＦＦで示している。
【００６２】
しかしながら、本発明によるボンディング装置では、このフィードバックパルス信号が得られなくなった後、すなわちＯＦＦとなった後も制御部は更に指令パルスを所定回数若しくは所定時間送りその後パルスモータを停止する。図１１では、指令パルスＯＮの連続した指令状態を示している。これはフィードバックパルス信号が得られなくなった後に指令パルスを更に送ることによりマガジンを確実に保持させるための安全率をみるためである。
【００６３】
こうすることによって、規制部材７３はマガジンＭを確実に保持してマガジンＭの落下を防止する。
【００６４】
このようにして後続のマガジンＭが待機状態とされ、図１０の▲４▼及び図１１に示すように、空になった先行のマガジンＭのみがマガジン受部１５と共に更に下降して回収位置に至る。
【００６５】
１つ目のマガジンＭが回収されると、図９の（ｅ）に示すようにマガジン受部１５が再び上昇して２つ目のマガジンＭの底面に当接する。この時点で、前記パルスモータ３５が逆回転して規制部材７３，７４，７５による２つ目のマガジンＭの挟持状態が解除され、２つ目のマガジンＭがマガジン受部１５により担持される。このときの規制部材７３の戻り量は、あらかじめ設定されたパルスモータ３５の回転角度により決定される。
【００６６】
なお、本実施例では、規制部材７３を作動させて２つ目、つまり後続のマガジンＭを待機状態とするが、装置の左右方向で移動する規制部材７５を作動させて該マガジンＭを狭持状態としてもよい。
【００６７】
前記２つ目のマガジンＭがマガジン受部１５上に担持されたら、以下、１つ目のマガジンに対すると同様の一連の動作が行われ、この２つ目のマガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆに関してもボンディングが行われる。なお、図９（ｄ）に示すように、この時、更に次のマガジンＭ（二点鎖線で示す）が追加される。
【００６８】
図２に示すように、マガジンＭの回収位置には受台１１１が設けられており、マガジン受部１５が最下降位置に至るとマガジンＭは受台１１１上に載置される。なお、マガジンＭは、マガジン受部１５が最下降位置に達するよりも少し上方で受台１１１の上面に当接して載置され、図９（ｄ）に示すように、マガジン受部１５は最下降位置に達した時点でマガジンＭから離脱する。なお、図９（ｄ）において、この離脱の距離をαで示している。
【００６９】
また、図２に示すようにマガジン排出手段は、各々二点鎖線及び実線で示す排出位置及び非排出位置の間で往復動自在にしてマガジンＭを排出するための排出部材１１７と、この排出部材１１７をその出力軸１１８ａの往復動によって作動させる駆動手段としての（エア）シリンダ機構１１８とからなる。
【００７０】
また、図１０に示す規制部材７３に設けられた各ローラ８１は、規制部材７３の一端にて固定された板ばね８１ａの自由端部に装着されており、図１０の▲３▼に示すように、規制部材７３のマガジンＭに対する近接動作に伴って該板ばね８１ａが撓む。
【００７１】
図１０に示す前記規制部材７３のマガジンＭとの当接部には、ウレタンゴムやネオプレーンゴム、合成樹脂など、比較的高い摩擦係数を有する摩擦部材７３ｃが貼設されており、これによって後続のマガジンＭをしっかりと保持することが可能となっている。また、鋼材等で接触面積を小さくしてポイントで押圧する部材であってもよい。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、先行のマガジンを回収する際に後続のマガジンを待機させるために、マガジンを規制する作用をなす規制部材を兼用している。よって、部品点数の大幅な削減が可能となり、原価低減や信頼性の向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るワイヤボンディング装置の一部断面を含む平面図である。
【図２】図１の一部断面を含むＡ−Ａ矢視図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図４】図１の一部断面を含むＣ−Ｃ矢視図である。
【図５】図１乃至図４に示したワイヤボンディング装置の動作説明図である。
【図６】図１乃至図４に示したワイヤボンディング装置の動作説明図である。
【図７】図１乃至図４に示したワイヤボンディング装置の動作説明図である。
【図８】図１乃至図４に示したワイヤボンディング装置の動作説明図である。
【図９】図１乃至図４に示したワイヤボンディング装置の動作説明図である。
【図１０】図１乃至図４に示したワイヤボンディング装置の動作説明図である。
【図１１】図１０に示す規制部材のタイムチャートである。
【図１２】従来のワイヤボンディング装置の平面図である。
【図１３】図１２に示したワイヤボンディング装置の一部断面を含む側面図である。
【図１４】図１２に示したワイヤボンディング装置の要部の平面図である。
【符号の説明】
Ｍ                                マガジン
Ｌ＼Ｆ                            リードフレーム（フレーム）
１                                ローダ（マガジン位置決め排出装置）
５                                位置決め手段
６                                押出手段
８                                ベース
１３、３５、４５、６５            パルスモータ
１４                              昇降部材
１５                              マガジン受部（可動担持部材）
２１                              固定フレーム
２３、２４                        可動フレーム
２６、２７、５６                  駆動手段
４０、５０、７０、１１３          エンコーダ
５３                              可動ブラケット
７３、７４、７５                  規制部材
８０                              リードフレーム搬送レベル
１１１                            受台
１１７                            排出部材
１５５                            ヒータープレート
１５７、１５８                    ガイドレール
１７０                            装置架台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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