(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダの加工方法であって、
前記スライダに対向するように配置されたテーブル上に板状の弾性部材を載置し、
この板状の弾性部材上において前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置にワイヤを配置し、
このワイヤ上に弾性を有するシート状の研磨部材保持部材を配置し、
この研磨部材保持部材によって、可撓性を有するフィルム状の研磨部材を保持し、
前記研磨部材保持部材における前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が前記第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、前記研磨部材保持部材を変形させることによって、前記研磨部材を、少なくとも前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接させ、
前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させることによって、少なくとも、前記第１の稜線部分および前記第２の稜線部分の面取り加工を施すことを特徴とするスライダの加工方法。
【請求項２】
媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダの加工方法であって、
前記スライダに対向するように配置されたテーブル上に、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材を載置し、
この変形用部材の凸部上にワイヤを配置し、
このワイヤ上に弾性を有するシート状の研磨部材保持部材を配置し、
この研磨部材保持部材によって、可撓性を有するフィルム状の研磨部材を保持し、
前記研磨部材保持部材における前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が前記第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、前記研磨部材保持部材を変形させることによって、前記研磨部材を、少なくとも前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接させ、
前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させることによって、少なくとも、前記第１の稜線部分および前記第２の稜線部分の面取り加工を施すことを特徴とするスライダの加工方法。
【請求項３】
前記研磨部材を移動させることによって、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させることを特徴とする請求項１または２記載のスライダの加工方法。
【請求項４】
前記第１の稜線部分および第２の稜線部分が曲面状となるように面取り加工を施すことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のスライダの加工方法。
【請求項５】
前記第１の稜線部分および第２の稜線部分が斜面状となるように面取り加工を施すことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のスライダの加工方法。
【請求項６】
前記第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の、レール部における媒体対向面の周縁部、およびスライダの外周面の媒体対向面側の周縁部の面取り加工も行うことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のスライダの加工方法。
【請求項７】
媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダを加工するためのスライダの加工装置であって、
前記第１の稜線部分の面取り加工を施すための第１の加工手段と、
前記第２の稜線部分の面取り加工を施すための第２の加工手段とを備え、
前記第１の加工手段および第２の加工手段は、
スライダを保持するためのスライダ保持手段と、
可撓性を有し、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダに当接可能な研磨部材と、
この研磨部材を、少なくとも、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダの前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持する研磨部材保持手段と、
前記研磨部材によって、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダに対して、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施されるように、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させる摺動手段と
を共有し、
前記研磨部材はフィルム状をなし、前記研磨部材保持手段は、弾性を有し前記研磨部材を保持するシート状の研磨部材保持部材と、この研磨部材保持部材における前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が前記第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、前記研磨部材保持部材を変形させる変形手段とを有し、
前記変形手段は、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置された板状の弾性部材と、この板状の弾性部材上において前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に配置されたワイヤとを有し、前記研磨部材保持部材は、前記ワイヤ上に配置されている
ことを特徴とするスライダの加工装置。
【請求項８】
媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダを加工するためのスライダの加工装置であって、
前記第１の稜線部分の面取り加工を施すための第１の加工手段と、
前記第２の稜線部分の面取り加工を施すための第２の加工手段とを備え、
前記第１の加工手段および第２の加工手段は、
スライダを保持するためのスライダ保持手段と、
可撓性を有し、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダに当接可能な研磨部材と、
この研磨部材を、少なくとも、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダの前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持する研磨部材保持手段と、
前記研磨部材によって、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダに対して、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施されるように、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させる摺動手段と
を共有し、
前記研磨部材はフィルム状をなし、前記研磨部材保持手段は、弾性を有し前記研磨部材を保持するシート状の研磨部材保持部材と、この研磨部材保持部材における前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が前記第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、前記研磨部材保持部材を変形させる変形手段とを有し、
前記変形手段は、前記スライダ保持手段によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置され、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材と、この変形用部材の前記凸部上に配置されたワイヤとを有し、前記研磨部材保持部材は、前記ワイヤ上に配置されている
ことを特徴とするスライダの加工装置。
【請求項９】
前記摺動手段は、前記研磨部材を移動させることによって、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させることを特徴とする請求項７または８記載のスライダの加工装置。
【請求項１０】
前記第１の加工手段および第２の加工手段は、それぞれ、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分が曲面状となるように面取り加工を施すことを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載のスライダの加工装置。
【請求項１１】
前記第１の加工手段および第２の加工手段は、それぞれ、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分が斜面状となるように面取り加工を施すことを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載のスライダの加工装置。
【請求項１２】
前記第１の加工手段および第２の加工手段は、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の、レール部における媒体対向面の周縁部、およびスライダの外周面の媒体対向面側の周縁部の面取り加工も行うことを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記載のスライダの加工装置。
【請求項１３】
媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダを加工するためのスライダの加工装置であって、
前記スライダを保持するためのスライダ保持部材と、
このスライダ保持部材によって保持されたスライダの前記第１の稜線部分および前記第２の稜線部分に当接し、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すための研磨部材とを備え、
前記研磨部材は可撓性を有し、
スライダの加工装置は、更に、前記研磨部材を、少なくとも、前記スライダ保持部材によって保持されたスライダの前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持する研磨部材保持部材と、前記研磨部材によって、前記スライダ保持部材によって保持されたスライダに対して、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施されるように、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させる駆動装置とを備え、
前記研磨部材はフィルム状をなし、前記研磨部材保持部材は、弾性を有するシート状をなし、
スライダの加工装置は、更に、前記研磨部材保持部材における前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が前記第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、前記研磨部材保持部材を変形させる変形装置を備え、
前記変形装置は、前記スライダ保持部材によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置された板状の弾性部材と、この板状の弾性部材上において前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に配置されたワイヤとを有し、前記研磨部材保持部材は、前記ワイヤ上に配置されている
ことを特徴とするスライダの加工装置。
【請求項１４】
媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダを加工するためのスライダの加工装置であって、
前記スライダを保持するためのスライダ保持部材と、
このスライダ保持部材によって保持されたスライダの前記第１の稜線部分および前記第２の稜線部分に当接し、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すための研磨部材とを備え、
前記研磨部材は可撓性を有し、
スライダの加工装置は、更に、前記研磨部材を、少なくとも、前記スライダ保持部材によって保持されたスライダの前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持する研磨部材保持部材と、前記研磨部材によって、前記スライダ保持部材によって保持されたスライダに対して、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施されるように、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させる駆動装置とを備え、
前記研磨部材はフィルム状をなし、前記研磨部材保持部材は、弾性を有するシート状をなし、
スライダの加工装置は、更に、前記研磨部材保持部材における前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が前記第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、前記研磨部材保持部材を変形させる変形装置を備え、
前記変形装置は、前記スライダ保持部材によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置され、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材と、この変形用部材の前記凸部上に配置されたワイヤとを有し、前記研磨部材保持部材は、前記ワイヤ上に配置されている
ことを特徴とするスライダの加工装置。
【請求項１５】
前記駆動装置は、前記研磨部材を移動させることによって、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して前記研磨部材を摺動させることを特徴とする請求項１３または１４記載のスライダの加工装置。
【請求項１６】
前記研磨部材は、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分が曲面状となるように面取り加工を施すことを特徴とする請求項１３ないし１５のいずれかに記載のスライダの加工装置。
【請求項１７】
前記研磨部材は、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分が斜面状となるように面取り加工を施すことを特徴とする請求項１３ないし１５のいずれかに記載のスライダの加工装置。
【請求項１８】
前記研磨部材は、前記第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の、レール部における媒体対向面の周縁部、およびスライダの外周面の媒体対向面側の周縁部の面取り加工も行うことを特徴とする請求項１３ないし１７のいずれかに記載のスライダの加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、浮上型磁気ヘッド等に用いられるスライダの加工方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置等に用いられる浮上型磁気ヘッドは、一般的に、スライダの後端部に薄膜磁気ヘッド素子を形成して構成されるようになっている。スライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部またはステップ部より流入する空気流によってレール部が磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。
【０００３】
このようなスライダでは、例えば特開平６−２８２８３１号公報に示されるように、スライダが揺れたりして傾いたときに、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の稜線部分（以下、レール部のエッジ部分とも言う。）によって記録媒体を傷つけないように、スライダに対して、レール部のエッジ部分を曲面とする面取り加工（ブレンディング処理とも言う。）を施すことが行われている。なお、この特開平６−２８２８３１号公報に示されているスライダでは、２本のレール部の外側の側面がそのままスライダの側面になっている。
【０００４】
ところで、磁気ヘッド用のスライダは、多数の磁気ヘッド素子がマトリクス状に形成されたウェハを一方向に切断して、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含むバーと呼ばれるブロックを形成し、このバーに対してレール部を形成した後に、バーを切断して各スライダに分離することによって形成される。ここで、上記特開平６−２８２８３１号公報に示されているスライダでは、２本のレール部の外側の側面がそのままスライダの側面になっている。しかしながら、スライダを、上記特開平６−２８２８３１号公報に示されているような形状とした場合には、バーを切断してスライダを形成する際の機械加工によって、レール部に欠け（チッピング）が生じるという問題点がある。
【０００５】
そのため、図２４に示したように、スライダ１１１の側面１１２すなわちバーの切断部よりも所定距離だけ内側にレール部１１３の側面１１４が配置されるように、レール部１１３を形成したスライダが一般的になっている。以下、このような形状のスライダを、２段構造のスライダと言う。
【０００６】
このような２段構造のスライダにおいても、レール部のエッジ部分を曲面とする面取り加工を施すことが行われている。レール部のエッジ部分に対する従来の面取り加工の方法としては、例えば特開平６−１２６４５号公報に示されるように、弾性体上に設けられたダイヤモンド研磨フィルム上でスライダを摺動させる方法がある。図２５は、この従来の面取り加工の方法の概略を説明するための説明図である。この従来の面取り加工では、複数のスライダ１１１を、治具１１５に固定して、例えばシリコーンゴムによって形成された板状の弾性部材１１６上に設けられたダイヤモンド研磨フィルム１１７に対して、図中符号１１８で示す矢印方向に押し付けながら、水平方向の２方向に摺動させて、レール部１１３のエッジ部分１１９の面取りを行うようになっている。
【０００７】
図２６は、図２５に示した方法によって面取り加工を施した後のレール部１１３のエッジ部分１１９近傍（図２５におけるＡ部）を拡大して示したものである。
【０００８】
従来の面取り加工の他の方法としては、特開平２−３０１０１４号公報に示されるように、研磨テープをガイドによって案内しながら往復運動させて、スライダのレール部に対して研磨テープを摺動させる方法がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、記録密度向上のため、スライダの浮上量を小さくすることが要望されている。また、アクセスの高速化のため、スライダの浮上安定性の向上が要望されている。これらの要望を満たすものとして、最近では、負圧スライダが用いられるようになってきた。一般的に、負圧スライダでは、２本のレール部間に、負圧を発生させるための凹部が形成されている。このような負圧スライダでは、記録媒体側となる面が微細な形状となり、特にレール部の高さが従来のスライダに比べて大幅に小さくなっている。
【００１０】
このような負圧スライダでは、レール部の高さが小さいために、図２７に示したように、スライダ１２１が傾いたときに、スライダ１２１の側面１２２とこれに直交するスライダ１２１の記録媒体側となる面１２３との間の稜線部分（以下、スライダのエッジ部分と言う。）１２４が記録媒体１２５に接触して記録媒体１２５を傷つけるおそれがあるという問題点がある。特に、ノート型パーソナルコンピュータ等、可搬型の装置に用いられるハードディスク装置では、スライダが傾き易いため、上述の問題点が顕著となる。
【００１１】
なお、スライダ１２１の傾き方の態様としては、図２７に示したように、スライダ１２１の一方の側部が他方の側部より低くなるように傾く態様の他に、図２８（Ａ）に示したように、スライダ１２１の空気流入側の端部１３１が、空気流出側の端部１３２よりも低くなるように傾く態様や、図２８（Ｂ）に示したように、スライダ１２１の空気流出側の端部１３２が、空気流入側の端部１３１よりも低くなるように傾く態様や、図２９（Ａ）に示したように、スライダ１２１の空気流入側の端部１３１のうちの一方の側部側が、空気流出側の端部１３２における他方の側部側よりも低くなるように傾く態様や、図２９（Ｂ）に示したように、スライダ１２１の空気流出側の端部１３２のうちの一方の側部側が、空気流入側の端部１３１における他方の側部側よりも低くなるように傾く態様等がある。
【００１２】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置されたスライダであって、傾いても、媒体の面を傷つけることを防止できるスライダを得ることができるようにしたスライダの加工方法および装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るスライダの加工方法は、媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダの加工方法であって、少なくとも、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すものである。
【００１４】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、可撓性を有する研磨部材を、少なくとも、第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接させ、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させることによって、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すようにする。
【００１５】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、研磨部材をフィルム状とし、弾性を有するシート状の研磨部材保持部材によって研磨部材を保持し、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させることによって、研磨部材を、少なくとも第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接させるようにする。
【００１６】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、スライダに対向するように配置されたテーブル上に板状の弾性部材を載置し、この板状の弾性部材上において第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置にワイヤを配置し、このワイヤ上に研磨部材保持部材を配置することによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させるようにする。
【００１７】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、スライダに対向するように配置されたテーブル上に、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された弾性部材を載置し、この弾性部材上に研磨部材保持部材を配置することによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させるようにする。
【００１８】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、スライダに対向するように配置されたテーブル上に、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材を載置し、この変形用部材の凸部上にワイヤを配置し、このワイヤ上に研磨部材保持部材を配置することによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させるようにする。
【００１９】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、研磨部材を移動させることによって、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させるようにする。
【００２０】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、第１の稜線部分および第２の稜線部分が曲面状または斜面状となるように面取り加工を施す。
【００２１】
また、本発明に係るスライダの加工方法では、第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の、レール部における媒体対向面の周縁部、およびスライダの外周面の媒体対向面側の周縁部の面取り加工も行ってもよい。
【００２２】
本発明に係るスライダの加工装置は、媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダを加工するためのスライダの加工装置であって、第１の稜線部分の面取り加工を施すための第１の加工手段と、第２の稜線部分の面取り加工を施すための第２の加工手段とを備えたものである。
【００２３】
本発明に係るスライダの加工装置では、第１の加工手段によって、スライダの第１の稜線部分の面取り加工が施され、第２の加工手段によって、スライダの第２の稜線部分の面取り加工が施される。
【００２４】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、第１の加工手段および第２の加工手段が、スライダを保持するためのスライダ保持手段と、可撓性を有し、スライダ保持手段によって保持されたスライダに当接可能な研磨部材と、この研磨部材を、少なくとも、スライダ保持手段によって保持されたスライダの第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持する研磨部材保持手段と、研磨部材によって、スライダ保持手段によって保持されたスライダに対して、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施されるように、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させる摺動手段とを共有するように構成される。
【００２５】
この場合のスライダの加工装置では、スライダ保持手段によって、スライダが保持され、研磨部材保持手段によって、可撓性を有する研磨部材が、少なくとも第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持される。そして、摺動手段によって、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材が摺動されて、研磨部材によって、スライダに対して、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施される。
【００２６】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、研磨部材がフィルム状をなし、研磨部材保持手段が、弾性を有し研磨部材を保持するシート状の研磨部材保持部材と、この研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させる変形手段とを有するように構成される。この場合、研磨部材は研磨部材保持部材によって保持され、変形手段によって研磨部材保持部材が変形されることにより、研磨部材が少なくとも第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接される。
【００２７】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、変形手段が、スライダ保持手段によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置された板状の弾性部材と、この板状の弾性部材上において第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に配置されたワイヤとを有し、研磨部材保持部材が、ワイヤ上に配置されるように構成される。この場合、ワイヤによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材が変形される。
【００２８】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、変形手段が、スライダ保持手段によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置され、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された弾性部材を有し、研磨部材保持部材は、弾性部材上に配置されるように構成される。この場合、弾性部材の凸部によって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材が変形される。
【００２９】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、変形手段が、スライダ保持手段によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置され、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材と、この変形用部材の凸部上に配置されたワイヤとを有し、研磨部材保持部材は、ワイヤ上に配置されるように構成される。この場合、変形用部材の凸部およびワイヤによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材が変形される。
【００３０】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、摺動手段が、研磨部材を移動させることによって、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させるように構成される。
【００３１】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、例えば、第１の加工手段および第２の加工手段が、第１の稜線部分および第２の稜線部分が曲面状または斜面状となるように面取り加工を施すように構成される。
【００３２】
また、本発明に係るスライダの加工装置は、第１の加工手段および第２の加工手段が、第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の、レール部における媒体対向面の周縁部、およびスライダの外周面の媒体対向面側の周縁部の面取り加工も行うように構成してもよい。
【００３３】
本発明に係る他のスライダの加工装置は、媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダを加工するためのスライダの加工装置であって、スライダを保持するためのスライダ保持部材と、このスライダ保持部材によって保持されたスライダの第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接し、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すための研磨部材とを備えたものである。
【００３４】
本発明に係る他のスライダの加工装置では、スライダ保持部材によってスライダが保持され、研磨部材によって、スライダの第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施される。
【００３５】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、研磨部材が可撓性を有し、更に、研磨部材を、少なくとも、スライダ保持部材によって保持されたスライダの第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持する研磨部材保持部材と、研磨部材によって、スライダ保持部材によって保持されたスライダに対して、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施されるように、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させる駆動装置とを備えるように構成される。
【００３６】
この場合のスライダの加工装置では、スライダ保持部材によって、スライダが保持され、研磨部材保持部材によって、可撓性を有する研磨部材が、少なくとも第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接するように保持される。そして、駆動装置によって、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材が摺動されて、研磨部材によって、スライダに対して、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工が施される。
【００３７】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、研磨部材がフィルム状をなし、研磨部材保持部材が弾性を有するシート状をなし、更に、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させる変形装置を備えるように構成される。この場合、研磨部材は研磨部材保持部材によって保持され、変形装置によって研磨部材保持部材が変形されることにより、研磨部材が少なくとも第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接される。
【００３８】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、変形装置が、スライダ保持部材によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置された板状の弾性部材と、この板状の弾性部材上において第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に配置されたワイヤとを有し、研磨部材保持部材が、ワイヤ上に配置されるように構成される。この場合、ワイヤによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材が変形される。
【００３９】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、変形装置が、スライダ保持部材によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置され、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された弾性部材を有し、研磨部材保持部材が、弾性部材上に配置されるように構成される。この場合、弾性部材の凸部によって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材が変形される。
【００４０】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、変形装置が、スライダ保持部材によって保持されたスライダに対向するように配置されたテーブルと、このテーブル上に載置され、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材と、この変形用部材の凸部上に配置されたワイヤとを有し、研磨部材保持部材が、ワイヤ上に配置されるように構成される。この場合、変形用部材の凸部およびワイヤによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材が変形される。
【００４１】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、駆動装置が、研磨部材を移動させることによって、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させるように構成される。
【００４２】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、例えば、研磨部材が、第１の稜線部分および第２の稜線部分が曲面状または斜面状となるように面取り加工を施すように構成される。
【００４３】
また、本発明に係る他のスライダの加工装置は、研磨部材が、第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の、レール部における媒体対向面の周縁部、およびスライダの外周面の媒体対向面側の周縁部の面取り加工も行うように構成してもよい。
【００４４】
なお、本発明では、スライダの周囲の面を次のように定義する。まず、動作に際して空気が流入する側である空気流入側の面を流入側端面とし、空気が流出する側である空気流出側の面を流出側端面とする。それに対し、空気の流れに沿う方向に形成されており、流入側端面、流出側端面および媒体対向面と交差する面を側面とする。ただし、流入側端面、流出側端面と、媒体対向面と、側面とは、多くの場合には互いに直交している。また、本発明において、レール部の外側の側面とは、スライダに形成されているレール部の個数に関わらず、レール部の側面のうち、スライダの側面に最も近い２つの側面を意味する。
【００４５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係るスライダの加工装置の全体構成を示す正面図である。図３は、図１におけるＢ部を拡大して示す断面図である。図４は、図３におけるＣ部を更に拡大して示したものである。本実施の形態に係る加工装置１０は、スライダに対して、所定のエッジ部分を曲面とする面取り加工（ブレンディング処理）を施す装置である。なお、本実施の形態では、スライダとして、薄膜磁気ヘッドに利用されるスライダの例を挙げている。
【００４６】
加工装置１０は、装置本体１１を備え、この装置本体１１上には、ベース部１２が設けられている。ベース部１２上には、上面をＸ方向（図における左右方向）およびＹ方向（図における紙面に垂直な方向）に移動可能なＸ−Ｙテーブル１３が設けられている。
【００４７】
Ｘ−Ｙテーブル１３は、ベース部１２上に固定された固定プレート１４と、この固定プレート１４上に設けられたＸ方向揺動プレート１５と、このＸ方向揺動プレート１５上に設けられたＹ方向揺動プレート１６とを備えている。図示しないが、固定プレート１４の上面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に延び、ベアリングを有するガイドが設けられている。Ｘ方向揺動プレート１５の下面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に延び、固定プレート１４に設けられたガイドに移動可能に係合する係合部１７が設けられている。そして、この係合部１７が固定プレート１４上のガイドに沿って移動することにより、Ｘ方向揺動プレート１５がＸ方向に移動するようになっている。また、Ｘ方向揺動プレート１５の上面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延び、ベアリングを有するガイド１８が設けられている。Ｙ方向揺動プレート１６の下面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延び、Ｘ方向揺動プレート１５に設けられたガイドに移動可能に係合する係合部１９が設けられている。そして、この係合部１９がガイド１８に沿って移動することにより、Ｙ方向揺動プレート１６がＹ方向に移動するようになっている。Ｘ−Ｙテーブル１３は、本発明における摺動手段または駆動装置に対応する。
【００４８】
Ｙ方向揺動プレート１６上には、板状の弾性部材２１と、この弾性部材２１上において、所定の間隔で、一方向に沿って配置された複数のワイヤ２２と、このワイヤ２２上に配置された弾性を有するシート状の研磨フィルム保持部材２３と、この研磨フィルム保持部材２３上に配置され、この研磨フィルム保持部材２３によって保持される可撓性を有するダイヤモンド研磨フィルム２４とが設けられている。ダイヤモンド研磨フィルム２４は本発明における研磨部材に対応し、研磨フィルム保持部材２３は本発明における研磨部材保持部材に対応する。また、弾性部材２１およびワイヤ２２は、本発明における変形手段または変形装置に対応し、弾性部材２１、ワイヤ２２および研磨フィルム保持部材２３は、本発明における研磨部材保持手段に対応する。弾性部材２１、ワイヤ２２、研磨フィルム保持部材２３およびダイヤモンド研磨フィルム２４については、後で詳しく説明する。
【００４９】
ダイヤモンド研磨フィルム２４の上方には、４本のシャフト２５によって支持された治具位置決め用プレート２６が配置されている。シャフト２５の下端側は、装置本体１１内に挿入され、装置本体１１内に設けられた図示しない駆動装置に連結されている。そして、この駆動装置によってシャフト２５を上下動することにより、治具位置決め用プレート２６が上下動されるようになっている。
【００５０】
治具位置決め用プレート２６の上方には、４本のシャフト２７によって支持された加圧部材位置決め用プレート２８が配置されている。シャフト２７の下端側は、装置本体１１内に挿入され、装置本体１１内に設けられた図示しない駆動装置に連結されている。そして、この駆動装置によってシャフト２７を上下動することにより、加圧部材位置決め用プレート２８が上下動されるようになっている。
【００５１】
治具位置決め用プレート２６には、治具３１が挿通される複数の孔が形成されている。加圧部材位置決め用プレート２８には、治具位置決め用プレート２６に形成された孔に対応する位置に、それぞれ加圧部材位置決め用枠体３３が取り付けられている。各加圧部材位置決め用枠体３３には、それぞれ３つの孔が形成されている。加圧部材位置決め用プレート２８上には、加圧部材収納部３４が設けられ、この加圧部材収納部３４内に、複数の加圧部材３５が設けられている。各加圧部材３５は、加圧部材位置決め用枠体３３に形成された孔に挿通される軸部３５ａと、この軸部３５ａの上端部に連結された重り部３５ｂとを有している。加圧部材３５の軸部３５ａは、加圧部材位置決め用枠体３３に形成された孔に挿通され、その先端部が、治具位置決め用プレート２６に形成された孔に挿通された治具３１の上端部に当接するようになっている。これにより、各治具３１に対して、それぞれ、３つの加圧部材３５の荷重が加えられるようになっている。図３に示したように、治具３１には、複数のスライダ５０が固定されるようになっている。
【００５２】
装置本体１１内には、Ｘ方向揺動用モータ４１が設けられている。Ｘ方向揺動用モータ４１の駆動軸には、円板状の回転部材４２が取り付けられ、この回転部材４２上においてＸ方向揺動用モータ４１の駆動軸に対して偏心した位置には、ベアリングを有するカム４３が取り付けられている。Ｘ方向揺動プレート１５の下面には、Ｙ方向に延び、カム４３を誘導するためのガイド４４が設けられている。そして、Ｘ方向揺動用モータ４１を回転させると、カム４３が回転し、このカム４３がガイド４４に沿って移動することにより、ガイド４４およびＸ方向揺動プレート１５がＸ方向に揺動するようになっている。なお、ベース部１２および固定プレート１４には、回転部材４２およびカム４３が挿通される孔が形成されている。
【００５３】
装置本体１１内には、Ｙ方向揺動用モータ４５が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ４５の駆動軸には、円柱状の回転部材４６が取り付けられ、この回転部材４６上においてＹ方向揺動用モータ４５の駆動軸に対して偏心した位置には、ベアリングを有するカム４７が取り付けられている。Ｙ方向揺動プレート１６の下面には、Ｘ方向に延び、カム４７を誘導するためのガイド４８が設けられている。そして、Ｙ方向揺動用モータ４５を回転させると、カム４７が回転し、このカム４７がガイド４８に沿って移動することにより、ガイド４８およびＹ方向揺動プレート１６がＹ方向に揺動するようになっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４およびＸ方向揺動プレート１５には、回転部材４６およびカム４７が挿通される孔が形成されている。
【００５４】
ここで、本実施の形態に係る加工装置１０によって加工されるスライダ５０について説明する。本実施の形態に係る加工装置１０によって加工されるスライダ５０は、薄膜磁気ヘッドに利用されるものであり、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、スライダ５０の側面よりも内側にレール部の外側の側面が配置されるようにレール部が形成されたものである。
【００５５】
図２は、このようなスライダ５０の形状の一例を示したものである。この図に示したスライダ５０は、負圧スライダであり、表面が媒体対向面となる２本のレール部５３を有すると共に、スライダ５０の側面５２すなわちバーの切断部よりも所定距離だけ内側にレール部５３の外側の側面５４が配置されるように、レール部５３が形成されている。
【００５６】
図２において、動作の際における空気の流れる方向を、符号６６で示している。スライダ５０では、空気が流入する側である空気流入側の面を流入側端面ＬＥとし、空気が流出する側である空気流出側の面を流出側端面をＴＲとする。また、それに対し、空気の流れに沿う方向に形成されており、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲおよび媒体対向面と交差する面を側面とする。ただし、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲと、媒体対向面と、側面とは、多くの場合には互いに直交している。また、図２に示したスライダ５０において、レール部５３の外側の側面５４とは、レール部５３の側面のうち、スライダの側面５２に最も近い２つの側面である。
【００５７】
２本のレール部５３の間は、凹部形状の負圧発生部５５になっている。レール部５３の幅は、空気流入側から空気流出側まで均一ではなく、空気流入側の幅が大きく、次いで空気流出側の幅が大きく、中間部分の幅が最も小さくなっている。また、レール部５３における空気流入側の端部近傍には、端部側ほど高さの低くなるテーパ部６０が形成されている。また、スライダ５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子５７と、この磁気ヘッド素子５７に接続された端子５８が形成されている。このようなスライダ５０では、レール部５３の高さ（負圧発生部５５の深さ）は、数μｍ（例えば０．５〜５μｍ）程度である。また、スライダ５０の側面５２とレール部５３の外側の側面５４との間の幅は、数十μｍ（例えば１０〜６０μｍ）程度である。
【００５８】
なお、図２に示したスライダ５０は、符号５０ａで示した大部分が、例えばアルティック（Ａｌ  ２Ｏ  ３・ＴｉＣ）によって形成され、符号５０ｂで示した空気流出側の一部が、磁気ヘッド素子５７や端子５８を囲うアルミナ（Ａｌ  ２Ｏ  ３）によって形成されている。
【００５９】
次に、図３および図４を参照して、治具３１、スライダ５０、弾性部材２１、ワイヤ２２、研磨フィルム保持部材２３およびダイヤモンド研磨フィルム２４について詳しく説明する。これらの図に示したように、治具３１には、その下端側に、複数の治具固定部３１ａが設けられており、各治具固定部３１ａに対して、加工対象となるスライダ５０が、例えば接着によって固定されるようになっている。
【００６０】
弾性部材２１上に設けられたワイヤ２２は、治具３１に固定されたスライダ５０のレール部５３の媒体対向面とレール部５３の外側の側面５４との間の第１の稜線部分６１およびスライダ５０の側面５２とこれに直交するスライダ５０の記録媒体（磁気ディスク）側となる面５９との間の第２の稜線部分６２に対応する位置に配置されている。そのため、ワイヤ２２上に配置された研磨フィルム保持部材２３およびこの研磨フィルム保持部材２３によって保持されたダイヤモンド研磨フィルム２４は、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対応する部分が第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンド研磨フィルム２４は、少なくとも、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接するようになっている。なお、ワイヤ２２の両端部は、例えば、Ｙ方向揺動プレート１６の端部に形成された突起部に縛りつけて固定されている。
【００６１】
弾性部材２１は、例えば、シリコーンゴムによって形成され、硬度は例えば３０であり、厚みは例えば５ｍｍである。
【００６２】
ワイヤ２２は、例えば、ナイロン（商品名）等の合成繊維やステンレス鋼等によって形成されている。ワイヤ２２の外径は、ダイヤモンド研磨フィルム２４が第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接するように、治具３１に固定された隣り合うスライダ５０間の距離（以下、分離幅と言う。）ｄ等に応じて適宜に設定されるが、０．０５〜０．４ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。また、ワイヤ２２の外径は、分離幅ｄよりも大きいことが好ましい。ここでは、一例として、分離幅ｄを０．２ｍｍとし、ワイヤ２２の外径を０．２８５ｍｍとしている。
【００６３】
研磨フィルム保持部材２３は、例えば、シリコーンゴムによって形成され、硬度は例えば５０であり、厚みは０．１〜０．３ｍｍが好ましい。ここでは、一例として厚みを０．３ｍｍとしている。
【００６４】
ダイヤモンド研磨フィルム２４は、例えば、可撓性フィルム上に研磨材層を形成して構成されている。可撓性フィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）によって形成されている。研磨材層は、例えば、ダイヤモンド粒子をバインダと共に可撓性フィルム上に塗布した後、乾燥することによって形成される。また、ここでは、一例として、ダイヤモンド粒子の粒径を０．２５μｍとし、可撓性フィルムの厚みを４μｍとし、研磨材層の厚みを３μｍとし、ダイヤモンド研磨フィルム２４全体の厚みを７μｍとしている。
【００６５】
また、Ｘ−Ｙテーブル１３によるＹ方向の揺動幅は、Ｘ方向の揺動幅よりも大きいことが好ましい。上述のように分離幅ｄを０．２ｍｍとし、ワイヤ２２の外径を０．２８５ｍｍとした場合には、Ｘ方向の揺動幅は０．０５〜０．１５ｍｍが好ましく、Ｙ方向の揺動幅は３〜１０ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、Ｘ方向の揺動幅を０．０８ｍｍとし、Ｙ方向の揺動幅を５ｍｍとしている。
【００６６】
次に、本実施の形態に係る加工装置１０の作用について説明する。なお、以下の説明は、本実施の形態に係るスライダの加工方法の説明を兼ねている。
【００６７】
加工装置１０を用いてスライダ５０を加工する場合には、まず、治具３１に対して、加工対象となる複数のスライダ５０を、記録媒体側となる面が下側となるように、例えば接着によって固定する。なお、この時点におけるスライダ５０は、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含み媒体対向面となる面の研磨が終了した後のバーに対して、イオンミリング等によってレール部を形成した後に、バーを切断して得られたものである。
【００６８】
次に、このスライダ５０が固定された治具３１を、治具位置決め用プレート２６に形成された孔に挿通し、スライダ５０を研磨フィルム保持部材２３に当接させる。また、加圧部材３５の軸部３５ａを治具３１の上端部に当接させ、図３において符号６５で示す矢印方向に、治具３１に対して圧力を加える。このとき、ワイヤ２２上に配置された研磨フィルム保持部材２３およびこの研磨フィルム保持部材２３によって保持されたダイヤモンド研磨フィルム２４は、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対応する部分が第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２側に突出するように変形している。そのため、ダイヤモンド研磨フィルム２４は、少なくとも、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接する。
【００６９】
次に、Ｘ方向揺動用モータ４１およびＹ方向揺動用モータ４５を駆動して、Ｘ−Ｙテーブル１３をＸ方向およびＹ方向に揺動させ、ダイヤモンド研磨フィルム２４を、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対して摺動させる。これにより、スライダ５０に対して、第１の稜線部分６１を曲面とする面取り加工と第２の稜線部分６２を曲面とする面取り加工が同時に施される。その結果、図４に示したように、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２が曲面となったスライダ５０が得られる。
【００７０】
なお、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に面取り加工によって形成される曲面の曲率半径は、好ましい範囲内で、適宜に設定される。
【００７１】
以上説明したように、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２が曲面となって、傾いても第１の稜線部分６１や第２の稜線部分６２によって記録媒体の面を傷つけることを防止できるスライダ５０を得ることができる。
【００７２】
また、負圧を発生させないスライダに比べて負圧スライダの方が、傾いたときに第１の稜線部分６１が記録媒体に接触する可能性が大きいので、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法は、特に、負圧スライダを加工する場合に効果が顕著になる。
【００７３】
また、本実施の形態では、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２の面取り加工の際に、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２以外の、レール部５３における媒体対向面の周縁部、およびスライダ５０の外周面の媒体対向面側の周縁部もダイヤモンド研磨フィルム２４に接触し、これらの部分の面取り加工も同時に行われる。これにより、図２７ないし図２９に示したように、スライダ５０が種々の態様で傾いたとしても、記録媒体を傷つけることを防止できるスライダ５０を得ることができる。
【００７４】
また、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法では、ダイヤモンド研磨フィルム２４を変形させて、このダイヤモンド研磨フィルム２４をスライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接させるようにしている。この場合、ダイヤモンド研磨フィルム２４を、弾性を有する研磨フィルム保持部材２３によって保持せずに、例えば特開平２−３０１０１４号公報に示されるように単にガイド等によって支持して、ダイヤモンド研磨フィルム２４がスライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接するように変形させ、且つダイヤモンド研磨フィルム２４をスライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対して摺動させると、ダイヤモンド研磨フィルム２４が切れやすく、安定してスライダ５０の加工を行うことが困難になる。これに対し、本実施の形態では、ダイヤモンド研磨フィルム２４を、弾性を有する研磨フィルム保持部材２３によって保持するようにしたので、ダイヤモンド研磨フィルム２４が切れることを防止でき、安定してスライダ５０の加工を行うことができる。
【００７５】
また、本実施の形態では、Ｘ−Ｙテーブル１３上に板状の弾性部材２１を載置し、この弾性部材２１上にワイヤ２２を設けたので、Ｘ−Ｙテーブル１３上に直接ワイヤ２２を設ける場合に比べて、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対するダイヤモンド研磨フィルム２４の当接の仕方を、複数のスライダ５０について均一化することができる。
【００７６】
図５は、本発明の第２の実施の形態に係るスライダの加工装置における要部を示す断面図である。本実施の形態に係る加工装置は、第１の実施の形態に係る加工装置において、ワイヤ２２を設けず、また、弾性部材２１の代わりに弾性部材７１を設けたものである。弾性部材７１は、その上面において、第１の実施の形態におけるワイヤ２２に対応する位置に、凸部７２を直線的に形成したものである。凸部７２の上端側の形状は、ワイヤ２２の上端側の形状と同様の円弧状の形状とするのが好ましい。研磨フィルム保持部材２３は、弾性部材７１の凸部７２上に設けられる。これにより、研磨フィルム保持部材２３およびこの研磨フィルム保持部材２３によって保持されたダイヤモンド研磨フィルム２４は、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対応する部分が第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２側に突出するように変形し、少なくとも、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接する。
【００７７】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００７８】
図６ないし図８は、本発明の第３の実施の形態に係るスライダの加工装置を示し、図６は加工装置における要部を示す断面図、図７は加工装置における治具の周辺を正面側より見た断面図、図８は加工装置における治具の周辺を側面側より見た断面図である。これらの図に示したように、本実施の形態に係る加工装置は、第１の実施の形態に係る加工装置において、弾性部材２１の代わりに変形用部材８１を設けたものである。この変形用部材８１は、その上面において、第１の実施の形態におけるワイヤ２２に対応する位置に直線的に形成された複数の凸部８２を有している。凸部８２は、矩形の断面形状を有している。各凸部８２の上面には、それぞれワイヤ２２が配置されている。研磨フィルム保持部材２３は、ワイヤ２２の上に設けられている。これにより、研磨フィルム保持部材２３およびこの研磨フィルム保持部材２３によって保持されたダイヤモンド研磨フィルム２４は、変形用部材８１の凸部８２およびワイヤ２２によって、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対応する部分が第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２側に突出するように変形され、少なくとも、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に当接する。
【００７９】
変形用部材８１は、凸部８２の形成の容易さから、剛体によって形成されるのが好ましい。ここでは、変形用部材８１は、例えばステンレス鋼によって形成されている。凸部８２の幅ｄ１  や高さｄ２  は、分離幅ｄ等に応じて適宜に設定されるが、凸部８２の幅ｄ１  は０．０５〜０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましく、凸部８２の高さｄ２  は０．１０〜０．５０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一例として、分離幅ｄを０．２ｍｍとし、凸部８２の幅ｄ１  を０．１５ｍｍ、高さｄ２  を０．１５ｍｍとしている。
【００８０】
ワイヤ２２は、例えば、ナイロン（商品名）等の合成繊維やステンレス鋼等によって形成されている。ワイヤ２２の外径は、分離幅ｄ等に応じて適宜に設定されるが、本実施の形態では、０．０３〜０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一例として、ワイヤ２２の外径を０．０９ｍｍとしている。
【００８１】
研磨フィルム保持部材２３は、例えば、シリコーンゴムによって形成されている。研磨フィルム保持部材２３の硬度は、３０〜６０が好ましいが、研磨量を多くする場合ほど、柔らかいものを用いるのが好ましい。ここでは、一例として、研磨フィルム保持部材２３の硬度を５０としている。また、研磨フィルム保持部材２３の厚みは、０．１０〜０．３０ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、研磨フィルム保持部材２３の厚みを０．１５ｍｍとしている。
【００８２】
ダイヤモンド研磨フィルム２４は、例えば、可撓性フィルム上に研磨材層を形成して構成されている。可撓性フィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）によって形成されている。研磨材層は、例えば、ダイヤモンド粒子をバインダと共に可撓性フィルム上に塗布した後、乾燥することによって形成される。また、ここでは、一例として、ダイヤモンド粒子の粒径を０．２５μｍとしている。可撓性フィルムの厚みは０〜６μｍが好ましい。可撓性フィルムの厚みが０μｍの場合とは、可撓性フィルムを用いずに、ダイヤモンド粒子とバインダによってダイヤモンド研磨フィルム２４を形成する場合である。ここでは、一例として、可撓性フィルムの厚みを、４μｍまたは２μｍとしている。
【００８３】
本実施の形態では、変形用部材８１の凸部８２上に配置されたワイヤ２２は、変形用部材８１の凸部８２に対して若干移動できるようになっている。以下、このことにより生ずる効果について説明する。
【００８４】
図６には、個々に分離されたスライダ５０が治具３１に対して取り付けられている様子を示しているが、始めは、治具３１に対してバーが接着され、治具３１に固定された状態でバーを切断することによって、バーが個々のスライダ５０に分離されるようになっている。
【００８５】
図９（Ａ）および図１０（Ａ）は、それぞれ、治具３１に対してバー８５が接着された状態を示し、図９（Ｂ）および図１０（Ｂ）は、それぞれ、図９（Ａ）、図１０（Ａ）に示した状態から、バー８５を切断して個々のスライダ５０に分離した状態を表している。なお、図９（Ａ），（Ｂ）は、治具３１に対してバー８５が正確に接着された場合を表し、図１０（Ａ），（Ｂ）は、治具３１に対するバー８５の接着位置がずれた場合を表している。
【００８６】
ここで、バー８５を個々のスライダ５０に分離する際、分離位置（切断位置）８６は、バー８５を基準にして設定される。そのため、図１０（Ａ）に示したように、治具３１に対するバー８５の接着位置がずれた場合には、図１０（Ｂ）に示したように、治具３１に対して、個々のスライダ５０の位置がずれることになる。
【００８７】
一方、変形用部材８１の凸部８２は、治具３１を基準して位置決めされる。そのため、上述のように、治具３１に対するバー８５の接着位置がずれた場合には、図１０（Ｂ）に示したように、変形用部材８１の凸部８２の位置とスライダ５０の分離位置とがずれることになる。従って、もしも、本実施の形態においてワイヤ２２がなかった場合には、隣接する２つのスライダ５０に対してダイヤモンド研磨フィルム２４が不均一に当たり、スライダ５０の面取り加工が不均一になるおそれがある。
【００８８】
これに対し、本実施の形態では、変形用部材８１の凸部８２上に配置されたワイヤ２２が、変形用部材８１の凸部８２に対して若干移動できることから、図１０（Ｂ）に示したように、変形用部材８１の凸部８２の位置とスライダ５０の分離位置とがずれたとしても、ワイヤ２２によって隆起された研磨フィルム保持部材２３およびダイヤモンド研磨フィルム２４が、分離位置に入り込むことにより、ワイヤ２２が分離位置に対応する位置に移動する。その結果、隣接する２つのスライダ５０に対してダイヤモンド研磨フィルム２４が均一に当たり、スライダ５０の面取り加工を均一に行うことが可能となる。
【００８９】
なお、第１の実施の形態においても、ワイヤ２２を移動可能とすることにより、程度の差はあれ、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。また、第２の実施の形態においても、弾性部材７１の凸部７２が変形可能であることから、程度の差はあれ、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００９０】
ところで、スライダ５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子５７が形成されている。従って、スライダ５０の空気流出側の端部における稜線部分は、面取り加工を行うにしても、加工の程度を抑えることが好ましい。本実施の形態では、変形用部材８１の凸部８２上にワイヤ２２を配置し、そのワイヤ２２上に研磨フィルム保持部材２３を配置しているため、隣接する凸部８２間の部分では、変形用部材８１の上面と研磨フィルム保持部材２３との間に大きな隙間が生じる。その結果、隣接する凸部８２間の部分では、スライダ５０に対するダイヤモンド研磨フィルム２４の当たり方が緩くなる。そのため、本実施の形態によれば、スライダ５０の空気流出側の端部における稜線部分の面取り加工の程度を抑えることが可能となる。
【００９１】
以上のことから、本実施の形態は、本出願における最良の形態と言える。本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００９２】
次に、本発明が適用されるスライダについて説明する。本発明が適用されるスライダは、表面が媒体対向面となるレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置されて、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分とこの第１の稜線部分よりも外側に配置された第２の稜線部分とを含み、互いにレール部の媒体対向面に対する高さの異なる複数の稜線部分を有するスライダである。このようなスライダには、図２に示したような形状のものの他にも、例えば図１１ないし図１８に示したような種々の形状のものが存在する。
【００９３】
図１１（Ａ），（Ｂ）、図１２、図１３は、それぞれ、２段構造のスライダ５０の例を示したものである。これらの例では、互いに、レール部５３の形状が異なっている。また、これらの例では、いずれも、レール部５３における空気流入側の端部近傍には、テーパ部６０が形成されている。また、スライダ５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子５７が形成されている。
【００９４】
図１４ないし図１６は、レール部５３の媒体対向面の他に、レール部５３の媒体対向面に対する高さの異なる２つの面を有する３段構造のスライダ５０の例を示したものである。なお、図１４はスライダ５０の平面図、図１５はスライダ５０の正面図、図１６はスライダ５０の側面図である。このスライダ５０は、２本のレール部５３と、空気流入部に形成されたステップ部１５１と、中央部分から空気流出側にかけて形成された負圧発生部１５２とを有している。レール部５３の外側の側面は、スライダ５０の側面よりも内側に配置されている。このスライダ５０では、レール部５３の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分６１と、この第１の稜線部分６１よりも外側に配置され、スライダ５０の側面５２とこれに直交するスライダ５０の記録媒体（磁気ディスク）側となる面との間の第２の稜線部分６２の他に、図１４におけるステップ部１５１の上面とステップ部１５１の外側の側面との間の第３の稜線部分６３が存在する。このスライダ５０に対して、本発明の各実施の形態を用いて面取り加工を施した場合には、少なくとも、第１の稜線部分６１と第２の稜線部分６２とが面取りされる。第３の稜線部分６３は、第１の稜線部分６１と第２の稜線部分６２の中間の位置に存在するため、スライダ５０の形状によっては、記録媒体に接触する可能性がある場合と接触する可能性がない場合とがある。第３の稜線部分６３が記録媒体に接触する可能性がある場合には、第３の稜線部分６３は、面取り加工時に、ダイヤモンド研磨フィルム２４に接触し、面取りされる。第３の稜線部分６３が記録媒体に接触する可能性がない場合には、第３の稜線部分６３は、面取り加工時に、ダイヤモンド研磨フィルム２４に接触しない可能性があり、面取りされない場合もあるが、記録媒体に接触する可能性もないため、問題はない。
【００９５】
図１７は、図１１に示した例のスライダ５０の面取り加工後の状態を示す斜視図である。この図に示したように、本発明の各実施の形態によれば、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２の面取り加工の際に、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２以外の、レール部５３における媒体対向面の周縁部、およびスライダ５０の外周面の媒体対向面側の周縁部もダイヤモンド研磨フィルム２４に接触するため、これらの部分も面取りされた形状となる。
【００９６】
次に、本発明の各実施の形態によってスライダ５０の稜線部分を曲面状に面取り加工する場合における稜線部分の曲面の曲率半径の好ましい範囲について説明する。始めに、図１８に示した２段構造のスライダ５０の例を用いて、曲率半径の測定方法の一例を説明する。ここで用いた曲率半径の測定方法では、まず、触針式表面粗さ計を用いて、面取り加工後のエッジ部分（稜線部分と角部分とを含む。）の形状を測定する。触針式表面粗さ計としては、英国ランク  テーラー
ホブソン（Ｒａｎｋ  Ｔａｙｌｏｒ−Ｈｏｂｓｏｎ）社製「タリステップ（Ｔａｌｙｓｔｅｐ）」（商品名）を用いた。なお、触針には、先端部の曲率半径が２μｍのものを用いた。
【００９７】
図１９ないし図２１は、それぞれ、図１８における矢印１６１〜１６３に沿って、形状を測定した結果を示したものである。これらの図において、横軸は水平方向の位置、縦軸は垂直方向の位置を表している。なお、これらの図では、図１９中に示したように、横軸の尺度と縦軸の尺度は相違している。矢印１６１，１６２に沿って測定した場合には、それぞれ２つのエッジ部分を通過するため、測定によって得られる形状は、図１９、図２０に示したように、２つの曲面部分を含んだものになっている。一方、矢印１６３に沿って測定した場合には、１つエッジ部分のみを通過するため、測定によって得られる形状は、図２１に示したように１つの曲面部分のみを含んだものになっている。
【００９８】
ここで用いた曲率半径の測定方法では、上述のようにして形状を測定した測定結果を用いて、図１９や図２０に示したような２つの曲面部分を含んだ形状の場合には、２つの曲面部分を含む円を想定し、その円の曲率半径を求め、図２１に示したような１つの曲面部分のみを含んだ形状の場合には、その１つの曲面部分を含む円を想定し、その円の曲率半径を求めた。その結果、図１９の場合には曲率半径が約７０μｍであり、図２０の場合には曲率半径が約２５０μｍであり、図２１の場合には約１０μｍであるという測定結果が得られた。
【００９９】
次に、上述の測定方法に基づいて測定した稜線部分の曲面の曲率半径の好ましい範囲を求めるため、耐衝撃性能テストを行った。その結果を以下に示す。なお、この耐衝撃性能テストでは、記録媒体とスライダとを所定の衝撃値で接触させ、その後、記録媒体が実使用可能か否かを判定した。以下では、実使用可能な場合を“ＯＫ”で表し、実使用可能ではない場合を“ＮＧ”と表している。また、衝撃値における“Ｇ”は重力加速度を表している。
【０１００】
0003566075.tif 000002
なお、曲率半径が４μｍの場合と１０μｍの場合は、１つの曲面部分のみを含んだ形状の場合であり、曲率半径が５０μｍの場合と１００μｍの場合は、２つの曲面部分を含んだ形状の場合である。
【０１０１】
磁気ヘッドでは、５００Ｇ以上の衝撃値に対する耐衝撃性が望まれている。従って、上記の結果より、曲率半径が１０μｍであれば問題がない。従って、目安としては、１０μｍ以上が、稜線部分の曲率半径の好ましい範囲と言える。ただし、必要とされる耐衝撃性は、記録媒体の硬さや表面の粗さ等の条件によって異なるため、条件によっては、曲率半径が４μｍ程度でも、実使用に耐えうることが考えられる。
【０１０２】
なお、上記各実施の形態では、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２が曲面状となるように面取り加工を施す例を挙げたが、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２の角をそいで、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２が斜面状となるように面取り加工を施すようにしてもよい。図２２は、このように第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２が斜面状となるように面取り加工を施した場合の図３におけるＣ部を拡大して示したものである。このように、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２が斜面状となるように面取り加工を施す場合には、各実施の形態において、Ｘ−Ｙテーブル１３をワイヤ２２または凸部７２，８２の長手方向（Ｙ方向）にのみ駆動する。なお、第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に面取り加工によって形成される斜面の角度は、好ましい範囲内で、適宜に設定される。
【０１０３】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、例えば、本発明における面取り加工は、稜線部分を図２３（Ａ）に示したような曲面状にしたり、稜線部分を図２３（Ｂ）に示したような斜面状にしたりする場合に限らず、稜線部分を図２３（Ｃ）に示したような斜面部分と曲面部分とを含むような形状にしたり、稜線部分を、角度が徐々に変化する複数の面からなる形状にするような場合も含む。
【０１０４】
また、実施の形態では、スライダを固定し、Ｘ−Ｙテーブル１３によってダイヤモンド研磨フィルム２４を移動させることによって、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対してダイヤモンド研磨フィルム２４を摺動させるようにしたが、ダイヤモンド研磨フィルム２４を固定し、治具３１を動かしてスライダ５０を移動（揺動）させることによって、スライダ５０の第１の稜線部分６１および第２の稜線部分６２に対してダイヤモンド研磨フィルム２４を摺動させるようにしてもよい。
【０１０５】
また、本発明は、２段構造のスライダに限らず、図１４ないし図１６に示したような３段構造や、４段以上の構造のスライダにも適用することができる。２段構造のスライダでは、第２の稜線部分は、スライダの媒体対向面とスライダの側面との間の稜線部分となる。３段以上の構造のスライダにおいて、第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された稜線部分が複数存在する場合には、本発明では、それらの稜線部分のうちの１つが、面取りされた形状とされる第２の稜線部分となる。本発明は、第１の稜線部分および第２の稜線部分以外の稜線部分については、面取りする場合も、面取りしない場合も含む。
【０１０６】
また、実施の形態では、加工対象としてのスライダとして、負圧スライダの例を挙げたが、本発明は、負圧を発生させないスライダの加工にも適用することができる。
【０１０７】
また、本発明は、磁気ヘッド用のスライダの加工以外でも、端部が２段以上の段差を有する構造になっている物において、段差を有する複数の稜線部分を面取り加工する場合にも応用することが可能である。例えば、本発明は、他の用途のスライダ、例えば光記録方式や光磁気記録方式による情報の記録または再生を行うためのヘッド（ピックアップ）用のスライダにも適用することが可能である。
【０１０８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のスライダの加工方法またはスライダの加工装置によれば、媒体対向面の一部を構成するレール部を有すると共に、レール部の外側の側面の少なくとも一部がスライダの側面よりも内側に配置され、少なくとも、レール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間の第１の稜線部分と、この第１の稜線部分よりも、よりスライダの側面側に配置された第２の稜線部分とを有するスライダに対して、少なくとも、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すようにしたので、傾いても、媒体の面を傷つけることを防止できるスライダを得ることができるという効果を奏する。
【０１０９】
また、本発明のスライダの加工方法またはスライダの加工装置によれば、可撓性を有する研磨部材を、少なくとも、第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接させ、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対して研磨部材を摺動させることによって、第１の稜線部分および第２の稜線部分の面取り加工を施すようにしたので、更に、第１の稜線部分の面取り加工と第２の稜線部分の面取り加工とを同時に行うことができるという効果を奏する。
【０１１０】
また、本発明のスライダの加工方法またはスライダの加工装置によれば、研磨部材をフィルム状とし、弾性を有するシート状の研磨部材保持部材によって研磨部材を保持し、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させることによって、研磨部材を、少なくとも第１の稜線部分および第２の稜線部分に当接させるようにしたので、更に、フィルム状の研磨部材が切れることを防止でき、安定してスライダの加工を行うことができるという効果を奏する。
【０１１１】
また、本発明のスライダの加工方法またはスライダの加工装置において、スライダに対向するように配置されたテーブル上に板状の弾性部材を載置し、この板状の弾性部材上において第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置にワイヤを配置し、このワイヤ上に研磨部材保持部材を配置することによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させるようにした場合には、更に、複数のスライダに対して同時に加工を施す場合に、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対する研磨部材の当接の仕方を、複数のスライダについて均一化することができるという効果を奏する。
【０１１２】
また、本発明のスライダの加工方法またはスライダの加工装置において、スライダに対向するように配置されたテーブル上に、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する位置に凸部が形成された変形用部材を載置し、この変形用部材の凸部上にワイヤを配置し、このワイヤ上に研磨部材保持部材を配置することによって、研磨部材保持部材における第１の稜線部分および第２の稜線部分に対応する部分が第１の稜線部分および第２の稜線部分側に突出するように、研磨部材保持部材を変形させるようにしてもよい。
【０１１３】
この場合には、更に、複数のスライダに対して同時に加工を施す場合に、スライダの位置がずれていても、第１の稜線部分および第２の稜線部分に対する研磨部材の当接の仕方を、複数のスライダについて均一化することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るスライダの加工装置の全体構成を示す正面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るスライダの加工装置の加工対象となるスライダの形状の一例を示す斜視図である。
【図３】図１におけるＢ部を拡大して示す断面図である。
【図４】図３におけるＣ部を拡大して示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るスライダの加工装置における要部を示す断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係るスライダの加工装置における要部を示す断面図である。
【図７】図６に示した加工装置における治具の周辺を正面側より見た断面図である。
【図８】図６に示した加工装置における治具の周辺を側面側より見た断面図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係るスライダの加工装置の効果を説明するための説明図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係るスライダの加工装置の効果を説明するための説明図である。
【図１１】２段構造のスライダの例を示す平面図である。
【図１２】２段構造のスライダの例を示す平面図である。
【図１３】２段構造のスライダの例を示す平面図である。
【図１４】３段構造のスライダの例を示す平面図である。
【図１５】３段構造のスライダの例を示す正面図である。
【図１６】３段構造のスライダの例を示す側面図である。
【図１７】図１１に示した例のスライダの面取り加工後の状態を示す斜視図である。
【図１８】２段構造のスライダの例を示す正面図である。
【図１９】図１８に示したスライダのエッジ部分の形状を測定した結果を示す特性図である。
【図２０】図１８に示したスライダのエッジ部分の形状を測定した結果を示す特性図である。
【図２１】図１８に示したスライダのエッジ部分の形状を測定した結果を示す特性図である。
【図２２】第１の稜線部分および第２の稜線部分が斜面状となるように面取り加工を施した場合の磁気ヘッドスライダの要部を示す説明図である。
【図２３】本発明における面取り加工の例を示す説明図である。
【図２４】スライダの形状の一例を示す斜視図である。
【図２５】従来のスライダに対する面取り加工の方法の概略を説明するための説明図である。
【図２６】図２５に示した方法によって面取り加工を施した後のレール部のエッジ部分近傍Ａ部を拡大して示す説明図である。
【図２７】スライダの傾き方の態様を示す説明図である。
【図２８】スライダの傾き方の態様を示す説明図である。
【図２９】スライダの傾き方の態様を示す説明図である。
【符号の説明】
１０…加工装置、２１…弾性部材、２２…ワイヤ、２３…研磨フィルム保持部材、２４…ダイヤモンド研磨フィルム、３１…治具、５０…スライダ、５３…レール部、６１…第１の稜線部分、６２…第２の稜線部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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