【事件の表示】
　特願２００１−３０４９８８「半導体チップの移送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　４月１１日出願公開、特開２００３−１１０００６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本件発明
　本願は、平成１３年１０月１日の出願であって、その請求項１，２に係る発明は、平成２１年７月２７日付手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１，２に記載されたとおりのものであると認められるところ、請求項１，２に係る発明（以下、「本件発明１，２」という。）は、次のとおりである。
　
「　【請求項１】　半導体チップを嵌め込む収納凹部が上面に形成されたチップ収納トレーの前記収納凹部内に半導体チップを移送するものであって、ダイシングシート上の半導体チップを第１の撮像手段により撮像し、撮像した結果に基づいて位置ずれを補正して吸着支持する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを前記チップ収納トレーに対して相対的に移動させる相対移動手段と、この相対移動手段を制御する制御手段とを備えた半導体チップの移送装置において、前記吸着ヘッドの下方に配置され、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体及びその周囲の部分の像を上方に導く光学系を設け、前記吸着ヘッドの上方に、前記第１の撮像手段と並んで配置され、前記光学系により導かれた像を受光して前記半導体チップを撮像する第２の撮像手段を設け、前記制御手段は、前記第２の撮像手段が撮像した画像から、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体チップの前記吸着ヘッドに対する位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を補正するように前記相対移動手段を制御し、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体チップを前記収納凹部の垂直上方に位置決めし、前記吸着ヘッドを下降させることを特徴とする半導体チップの移送装置。
　　【請求項２】　前記吸着ヘッドが中心軸を中心として水平方向（θ方向）に回転可能であり、前記制御手段は、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体チップの前記吸着ヘッドに対するθ方向の位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を補正するように前記吸着ヘッドを回転させることを特徴とする請求項１に記載の半導体チップの移送装置。」
　
２．当審の拒絶理由
　一方、当審において、平成２１年５月２１日付で通知した拒絶の理由の概要は、本件発明が、本願の出願前に頒布された刊行物である、特開２００１−１６０５６０号公報（以下、「刊行物」という。）に記載された発明及び従来周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　
３．刊行物に記載された発明
ａ．（段落【０００３】〜【０００４】）
「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の技術によれば、順次、隣接した位置の半導体チップ２をピックアップすることから、半導体チップ２のピックアップが終わった後、図８に示すように、認識カメラ７により次にピックアップを行おうとする半導体チップ２Ａの位置を認識する際、突き上げピン４による突き上げが行なわれた直後のウエハーシート１は元の状態に戻っておらず変形している。
【０００４】したがって、図７のような半導体チップ２の吸着順序だと、隣にある次吸着チップ２Ａを認識する際、変化したウエハーシート（粘着シート）１が平らな状態に復帰するのに時間を要し、この復帰前に認識を行なうと、半導体チップ２の角度の関係により照明の反射光が認識カメラ７に入り、不良品と誤認識したり、また認識した半導体チップ２の重心位置にズレが生じるという現象が生じていた。」
ｂ．（段落【００１８】〜【００２０】）
「【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜図５に基づいて説明する。　図１は本発明を用いた設備の外観図である。ダイシングされたウエハーシート１はウエハー供給マガジン部１５よりウエハーステージ１６に搬入後、エキスパンドされ、所定の半導体チップピックアップ位置で位置決めされる。半導体チップピックアップ位置上には、ピックアップする半導体チップ２の位置を認識するウエハー認識カメラ（認識手段の一例）７が取り付けられている。半導体チップ２は移載ヘッド（ピックアップ手段の一例）６の吸着ノズル５により吸着され、トレイ用ステージ１７上のトレイ９の所定位置へ移載される。１８は段積みトレイ供給・収納部を示す。
【００１９】図２は一連の半導体チップ２の吸着からトレイ９への移載動作を示す要部拡大正面図である。図２において、ピックアップ位置上に固定してあるウエハー認識カメラ７は、ウエハーシート１上に配されたダイシングされた半導体チップ２を認識する。そして、そのデータをもとに装置全体を制御するメイン制御装置（制御手段の一例）１３は、ウエハーシートＸＹ位置決め装置１１を作動させ、これによりピックアップの対象となる半導体チップ２を、突き上げユニット（突き上げ手段の一例）３の突き上げピン４上に移動させる。同様に、吸着ノズル５を備えた移載ヘッド６も、前記メイン制御装置１３からの制御を受けたヘッド駆動装置１２による移載ロボット８の作動、ならびにウエハーシート位置決め装置１１の作動により、図２の仮想線に示されるように、ピックアップを行なう半導体チップ２上へ移動されて位置決めを行う。
【００２０】次いで、突き上げピン制御装置１０によって制御された突き上げピン４により、ウエハーシート１ごと半導体チップ２を突き上げるとともに、ヘッド駆動装置１２の作動により移載ヘッド６を下降動させ、これにより図３に示されるように吸着ノズル５を介して半導体チップ２を吸着した後、トレイ９の所定の位置に移載する。」
ｃ．（図２）
　トレイ９の上面の所定位置には、半導体チップ２を嵌め込む凹部が形成されていることが、当業者が容易に理解し得るように示されていると認める。
　
　そこで、技術常識を勘案しつつ、上記摘記事項ａ〜ｃを本件発明の記載に沿って整理すると、刊行物には次の発明（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されているということができる。、
「半導体チップを嵌め込む凹部が上面に形成されたトレイの前記凹部内に半導体チップを移載するものであって、ダイシングされたウエハーシート上の半導体チップをウエハー認識カメラにより撮像し、撮像した結果に基づいて位置ずれを補正して吸着支持する吸着ノズルを備えた移載ヘッドと、この移載ヘッドを前記トレイに対して相対的に移動させるヘッド駆動装置と、このヘッド駆動装置を制御する制御手段とを備えた半導体チップの移載装置において、前記制御手段は、前記ヘッド駆動装置を制御し、前記移載ヘッドに吸着支持された半導体チップを前記凹部の垂直上方に位置決めし、前記移載ヘッドを下降させる、半導体チップの移載装置。」（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　
４．対比　 
　本件発明２と刊行物記載の発明とを対比すると、まず、後者の「凹部」、「トレイ」、「ダイシングされたウエハーシート」、「ウエハー認識カメラ」、「移載ヘッド」及び「ヘッド駆動装置」が、前者の「収納凹部」、「チップ収納トレー」、「ダイシングシート」、「第１の撮像手段」、「吸着ヘッド」及び「相対移動手段」にそれぞれ相当することは明白である。次に、後者において半導体チップを「移載」することは、「移送」すると言い換えることもできることは明白であり、このため、後者の「移載装置」も前者の「移送装置」に相当するということができる。
　そうしてみると、両者は以下の点で一致及び相違すると認められる。
＜一致点＞
「半導体チップを嵌め込む収納凹部が上面に形成されたチップ収納トレーの前記収納凹部内に半導体チップを移送するものであって、ダイシングシート上の半導体チップを第１の撮像手段により撮像し、撮像した結果に基づいて位置ずれを補正して吸着支持する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを前記チップ収納トレーに対して相対的に移動させる相対移動手段と、この相対移動手段を制御する制御手段とを備えた半導体チップの移送装置において、前記制御手段は、前記相対移動手段を制御し、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体チップを前記収納凹部の垂直上方に位置決めし、前記吸着ヘッドを下降させる、半導体チップの移送装置。」である点。
＜相違点１＞
　前者は、吸着ヘッドの下方に配置され、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体及びその周囲の部分の像を上方に導く光学系を設け、前記吸着ヘッドの上方に、第１の撮像手段と並んで配置され、前記光学系により導かれた像を受光して半導体チップを撮像する第２の撮像手段を設け、前記第２の撮像手段が撮像した画像から、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体チップの前記吸着ヘッドに対する位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を補正するように相対移動手段を制御するのに対し、後者はこのようなものでない点。
＜相違点２＞
　吸着ヘッドが、前者では中心軸を中心として水平方向（θ方向）に回転可能であり、制御手段は、前記吸着ヘッドに吸着支持された半導体チップの前記吸着ヘッドに対するθ方向の位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を補正するように前記吸着ヘッドを回転させるのに対し、後者ではこのような特定がない点。
　
５． 当審の判断　 
　以下、上記各相違点について検討する。
　
5.1　＜相違点１＞について
　吸着ヘッドの下方に配置され、前記吸着ヘッドに吸着支持された部品及びその周囲の部分の像を上方に導く光学系を設け、前記吸着ヘッドの上方に配置され、前記光学系により導かれた像を受光して部品を撮像する撮像手段を設け、前記撮像手段が撮像した画像から、前記吸着ヘッドに吸着支持された部品の前記吸着ヘッドに対する位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を補正するように吸着ヘッド移動手段を制御する部品の移送装置は、当審の拒絶理由通知において例示した、特開２０００−１３３９９７号公報（とくに、段落【００３１】〜【００３３】及び【００４３】〜【００５４】参照。）、特開平６−１２０６９４号公報（とくに、段落【００１４】〜【００１６】参照。）及び特開平３−２７０８９３号公報（とくに、特許請求の範囲の請求項１及び第６ページ右上欄第１３行〜左下欄第２０行参照。）に見られるように、従来周知の技術である。
　一方、刊行物には摘記事項ａにおいて、第１の撮像手段を用いて半導体チップと吸着ヘッドとの位置を合わせても、なお、吸着支持された半導体チップと吸着ヘッドとの間に位置ずれが生じる可能性が示唆されているということができる。
　したがって、刊行物記載の発明の第１の撮像手段による半導体チップと吸着ヘッドとの位置合わせに加えて、上記周知技術を適用することによって、周知技術の撮像手段を第２の撮像手段として、吸着支持された半導体チップの吸着ヘッドに対する位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量を補正するようにすることは、当業者であれば容易に想到し得るものである。
　装置のコンパクト化等の課題は、当業者であれば常に念頭におくものであり、その解決のために第２の撮像手段を第１の撮像手段と並んで配置することは、当業者が適宜なしえる設計に過ぎない。 
　
5.2　＜相違点２＞について
　吸着ヘッドを、中心軸を中心として水平方向（θ方向）に回転可能とし、算出されたθ方向の位置ずれ量を補正するように前記吸着ヘッドを回転させることも、上記周知例（特開２０００−１３３９９７号公報、特開平６−１２０６９４号公報及び特開平３−２７０８９３号公報）に記載されているため、＜相違点２＞に係る発明特定事項を本件発明２のものとすることも、周知技術の適用により当業者が容易になしえるものである。
　
　なお、審判請求人は平成２１年２月１４日付回答書及び同年７月２１日付意見書において、刊行物には「吸着支持するときに例えばダイシングシートの微振動によって半導体チップが吸着ヘッドに対してずれる可能性がある」との課題の記載も示唆もないため、周知技術を刊行物記載の発明に組み合わせることには困難性がある旨主張している。しかしながら、上記5.1項で述べたように「吸着支持するときに半導体チップが吸着ヘッドに対してずれる可能性」は刊行物の摘記事項ａに示唆されているため、ずれを生じる原因に関わらず、周知技術を刊行物記載の発明の発明に適用することに困難性はないので、上記主張を採用することはできない。
　
5.3　まとめ
　本件発明２の作用効果には、刊行物記載の発明及び従来周知の技術から普通に予測される範囲を超えるものを見出すこともできない。
　よって、本件発明２は刊行物記載の発明及び従来周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものというべきである。
　
６． むすび
　以上の通り、本件発明２は、刊行物記載の発明と及び従来周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるところ、本件発明２は本件発明１の発明特定事項をすべて含むものであるから、本件発明１も本件発明２と同様の理由により、刊行物記載の発明と及び従来周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。したがって、本件発明１，２は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。