(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の中央部に形成された固定板電極と、
前記固定板電極の上方に配置され、互いに直交した第１の側部と第２の側部とを有する長方形ステージと、
前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部の近傍部に備えられ、各々互いに平行、かつ長方形ステージの側部と直交する方向に配列された複数の駆動フレームを備える複数の駆動フレーム部と、
前記長方形ステージの第１の側部、第２の側部、及びこれらに対応する各駆動フレーム部にそれぞれ連結され、前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部に平行に延びる複数のスプリング部材と、これらのスプリング部材を支持するためのスプリング支持部材とを備える第１スプリング部と、
前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部にそれぞれ配列されると共に、前記駆動フレーム部の駆動フレームに交互に並んで配列された複数の平行固定フレームを備える固定フレーム部と、
前記各駆動フレーム部の駆動フレームから、前記長方形ステージの第１の側部または第２の側部に、互いに平行に延びる方向に配置された櫛形駆動電極と、
前記櫛形駆動電極と組み合わされ、前記固定フレーム部の各固定フレームから互いに平行に延びる方向に配置された櫛形固定電極と、
前記基板における駆動フレーム部を支持すると共に、弾性バイアスにより櫛形駆動電極の延びる方向で駆動フレーム部を動作させ、駆動フレーム部の駆動フレームに平行に延びる複数のスプリング部材と、これらのスプリング部材を支持するための複数のスプリング支持部材とを備える第２スプリング部と、
を具備することを特徴とするマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ。
【請求項２】
前記各駆動フレーム部の駆動フレームは、補助駆動フレームによって直角に連結され、格子状長方形に形成されることを特徴とする請求項１に記載のマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ。
【請求項３】
前記各固定フレーム部の固定フレームは、各々前記基板に固定され、各固定フレーム部を分離して電気的に結合されて構成されることを特徴とする請求項１または２に記載のマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ。
【請求項４】
前記固定フレーム部の各固定フレームは、前記駆動フレームと補助駆動フレームとによって形成された１つの単位フレームに配置され、
前記固定フレームは、各固定フレーム部に電気的に結合されることを特徴とする請求項２に記載のマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ。
【請求項５】
前記第１スプリング部及び第２スプリング部のスプリング支持部材の端部は、スプリング連結エレメントによって形成され、
前記各スプリング支持部材は、互いに連結するように隣接したスプリング支持部材の間に配置される共に、前記スプリング部材より短い長さを有し、
前記第２スプリング部の一側は、基板に固定されたスプリング支持体に連結されて構成されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ。
【請求項６】
前記第１スプリング部と第２スプリング部のスプリング支持部材は、スプリング部材に対して所定角度でジグザグパターンに配列された複数の連結板を備え、隣接したスプリング部材を連結することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マルチフォールデッドスプリングを有する多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータに係り、特に、ＳＰＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型プローブ顕微鏡）の技術を応用したデータ記憶システムに用いられるＸ−Ｙステージマイクロアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＳＰＭ技術を応用したデータ記憶システムは一般に、記憶媒体、この記憶媒体をステージ上に装着してＸ−Ｙ軸の面内方向で駆動自在に構成されるアクチュエータ、前記記憶媒体に情報を書込んだり、記憶媒体に書込まれた情報の読出しを実行したりするための探針（ｔｉｐ）を少なくとも１つ備えるプローブ、そしてこのような情報の書込みまたは読出しに用いられる情報信号を処理する信号処理部よりなる。
【０００３】
多重プローブは、同時に１つ以上の情報を前記記憶媒体に書込んだり、読出したりすることができるものである。このため、前記各プローブに備えられる探針は、記憶媒体に所要の距離で近接させる必要がある。したがって、前記多重プローブは、アクチュエータ、及びセンサによって精密に制御して操作されることを必要とする。その際、前記アクチュエータは、多重プローブの探針部を記憶媒体に所要の距離で近接させるように、多重プローブを精密に駆動させる役割を果たす。また、前記センサは、記憶媒体上に書込まれた情報に応じて、前記多重プローブの駆動を感知することにより記憶媒体から情報の読出しを実行する。
【０００４】
前記アクチュエータにおいて、Ｘ軸またはＹ軸方向等の２軸以上での駆動を実行するには、１軸で一方向のみの駆動を実行する場合、駆動部に少なくとも３つの電極が必要である。また、１軸で双方向の駆動を実行する場合には、駆動部に少なくとも５つの電極が必要である。例えば、米国特許５，５３６，９８８号明細書には、このような複数の電極を備えて多軸駆動を可能としたアクチュエータを、半導体装置において選択領域に熱酸化膜を形成させる技術を用いて作製された絶縁体により、単一のシリコン構造物として構成する技術が開示されている。このような方法は、多軸駆動を実行する際に生じる電極に関する問題を解決するものであるが、製造工程が比較的複雑になるという問題がある。
【０００５】
一方、国際学会であるＭＥＭＳ９２（主催者：ｔｈｅ  ＩＥＥＥ  Ｒｏｂｏｔｉｃｓ  ａｎｄ  Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｉｎ  Ｃｏｏｐｅｒａｔｉｏｎ  ｗｉｔｈ  ｔｈｅ  Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅ  Ｃｅｎｔｅｒ）でＰ．Ｆ．Ｉｎｄｅｒｍｕｅｈｌｅ等は、アクチュエータにおける駆動部の２軸駆動を実行するにあたって、電極を１つのみ使用するアクチュエータの製造方法を発表した。この製造方法によれば、アクチュエータの形成に前記のような絶縁体を形成する工程が不要となるのでアクチュエータの製造工程が比較的簡単となる。しかしながら、この方法では、駆動部に１つの電極のみを使用するため、構造上、２軸駆動でカップリングの問題が発生する。
【０００６】
さらに、このようなアクチュエータでは、記憶装置のための大面積ステージを備えたアクチュエータに直ちに適用するに際し、その構造が構造的に不安定な要素を内包していること（すなわち、駆動面の垂直方向を回転軸として回転運動が発生し易い）、そしてマイクロアクチュエータ全体の大きさに対してステージで実際に使用される領域の割合が小さく非効率的であること（ステージとアクチュエータとの間のスプリングの長さによる空間損失）といった問題を有している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前記問題点を解決するために、本発明の第１の目的は、駆動部に１つの電極のみを使用して多軸方向の駆動が実行されるようにして、製造時の絶縁工程を不要とし、製造工程の単純化を図ったマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータを提供することにある。
【０００８】
本発明の第２の目的は、ステージのＸ−Ｙ軸の面内方向での駆動のカップリングが効率的に抑制され得るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータを提供することにある。
【０００９】
本発明の第３の目的は、ステージのＸ−Ｙ軸の面内方向で実行される駆動以外の駆動の発生が効率的に抑制され得るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータを提供することにある。
【００１０】
本発明の第４の目的は、構造物を効率的に配置させることによって、ステージを拡大した場合にも、高密度な記憶装置が具現化されるマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための本発明の第１の目的を達成するために、本発明は、基板と、前記基板の中央部に形成された固定板電極と、前記固定板電極の上方に配置され、互いに直交した第１の側部と第２の側部とを有する長方形ステージと、前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部の近傍部に備えられ、各々互いに平行、かつ長方形ステージの側部と直交する方向に配列された複数の駆動フレームを備える複数の駆動フレーム部と、前記長方形ステージの第１の側部、第２の側部、およびこれらに対応する各駆動フレーム部にそれぞれ連結され、前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部に平行に延びる複数のスプリング部材と、これらのスプリング部材を支持するためのスプリング支持部材とを備える第１スプリング部と、前記長方形ステージの第１の側部と第２の側部にそれぞれ配列されると共に、前記駆動フレーム部の駆動フレームに交互に並んで配列された複数の平行固定フレームを備える固定フレーム部と、前記各駆動フレーム部の駆動フレームから、前記長方形ステージの第１の側部または第２の側部に、互いに平行に延びる方向に配置された櫛形駆動電極と、前記櫛形駆動電極と組み合わされ、前記固定フレーム部の各固定フレームから互いに平行に延びる方向に配置された櫛形固定電極と、前記基板における駆動フレーム部を支持すると共に、弾性バイアスにより櫛形駆動電極の延びる方向で駆動フレーム部を動作させ、駆動フレーム部の駆動フレームに平行に延びる複数のスプリング部材と、これらのスプリング部材を支持するための複数のスプリング支持部材とを備える第２スプリング部とを具備することを特徴とするマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータを提供する（請求項１）。
【００１２】
前記の本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイクロアクチュエータにおいて、前記各駆動フレーム部の駆動フレームは、補助駆動フレームによって直角に連結され、格子状長方形に形成されてもよい（請求項２）。
また、前記各固定フレーム部の固定フレームは、各々前記基板に固定され、各固定フレーム部を分離して電気的に結合されて構成されることが望ましい（請求項３）。
【００１３】
さらにまた、前記の本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイクロアクチュエータにおいて、前記固定フレーム部の各固定フレームは、前記駆動フレームと補助駆動フレームとによって形成された１つの単位フレームに配置され、前記固定フレームは、各固定フレーム部に電気的に結合されてもよい（請求項４）。
そして、前記第１スプリング部及び第２スプリング部のスプリング支持部材の端部は、スプリング連結エレメントによって形成され、前記各スプリング支持部材は、互いに連結するように隣接したスプリング支持部材の間に配置される共に、前記スプリング部材より短い長さを有し、前記第２スプリング部の一側は、基板に固定されたスプリング支持体に連結されて構成されることが望ましい（請求項５）。
【００１４】
そしてまた、前記の本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのマイクロアクチュエータにおいて、前記第１スプリング部と第２スプリング部のスプリング支持部材は、スプリング部材に対して所定角度でジグザグパターンに配列された複数の連結板を備え、隣接したスプリング部材を連結することが望ましい（請求項６）。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態について、添付した図面に基づき詳細に説明する。図１は、本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータの一実施形態を模式的に示す平面図である。図１を参照すると、本発明に係る一実施形態のマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータは、基板１１の上面中央に記憶媒体（図示省略）が装着され、互いに直交する第１の側部及び第２の側部を有する長方形のステージ４１が配置されて構成される。
【００１６】
ステージ４１の周囲には、第１の側部と第２の側部に隣接し、各々の近傍部に隣接したステージの各辺と直交する方向に配列された複数の駆動フレーム３３ａ、及びこれらを互いに連結する補助駆動フレーム３３ｂを具備する格子状長方形の駆動フレーム部３３が配置される。
【００１７】
図２は、本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータに適用される櫛形駆動電極と櫛形固定電極の構造を模式的に示す主要部の抜粋斜視図である。図２に示されるように、前記各駆動フレーム３３ａには、前記ステージ４１の各辺に平行に延びる複数の櫛形駆動電極２２が平行に延びて形成される。そして、後述する固定フレーム２１には、対応する駆動フレーム３３ａの櫛形駆動電極２２と交互に並んで配置された櫛形固定電極３２が形成される。また、図１に示されるように、前記ステージ４１と前記駆動フレーム部３３との間には第１スプリング部３１が配置される。
【００１８】
前記第１スプリング部３１は、図３に示されるように、ステージ４１の対応する辺に平行に延びており、互いに並んで配置された複数の長方形スプリング部材３１ａと、これらの間に配置されたスプリング部材３１ａよりも短いスプリング支持部材３１ｂとを具備する。前記スプリング部材３１ｂは、ジグザグパターンに所定角度だけ傾けて連結された連結板３６より構成されており、質量が比較的小さく、かつスプリング部材３１ａを支持するための充分な剛性を有するものである。
【００１９】
長方形のスプリング部材３１ａは、長方形の２つの長辺のうち、スプリング支持部材３１ｂが連結された区間を除いて弾性バイアスが発生する部分のビームスプリングエレメント３７と、長方形の２つの短辺に配置されてビームスプリングエレメント３７の端部を連結し、かつ支持し得る充分な剛性を有するビームスプリング連結エレメント３８よりなる。第１スプリング部３１では、所望の変形方向の剛性と、その変形方向の垂直方向の剛性とが相対的に大きくなるように、ビームスプリングエレメント３７の長さとスプリング部材３１ａの個数とが決定される。後述する第２スプリング部３５も、このような第１スプリング部３１の構造と同一な構造を有する。
【００２０】
図４は、第２スプリング部３５と駆動メインフレーム部３３に含まれる駆動メインフレーム３３ａとの位置関係を示す図であって、図１のＡ−Ａ線断面図である。駆動フレーム部３３の内側には固定フレーム部を構成する固定フレーム２１が配置されている。各固定フレーム２１は各駆動フレーム３３ａと交互に並んで配置されている。したがって、固定フレーム２１は格子体をなす駆動フレーム部３３で四角領域の内側に１つずつ備えられる（図２参照）。そして、ステージ４１の各辺に対応する領域単位に固定フレーム２１は、配線電極１７により電気的に接続されて基板１１の各コーナ部に備えられた固定フレーム電極パッド１３に接続されている。駆動フレーム部３３も第２スプリング部３５と支持体１２上に形成された駆動フレーム電極パッド１８を通じて外部の回路（図示省略）と電気的に接続されている。
【００２１】
図５は、ステージ４１と第１スプリング部３１及びこれに連結された駆動フレーム部３３との位置関係を示す図であって、図１のＢ−Ｂ線断面図である。ステージ４１の各近傍に備えられた駆動フレーム部３３は、複数の第２スプリング部３５によって支持されている。第２スプリング部３５（図４参照）は、駆動フレーム部３３を、各々基板１１に対して支持すると共に、弾性バイアスにより櫛形駆動電極２２の延長方向に駆動フレーム部３３を動作させるものであり、各駆動フレーム部３３の駆動フレーム３３ａと平行に延びる複数のスプリング部材３１ａと、これらスプリング部材３１ａを支持するスプリング支持部材３１ｂとを具備する。各第２スプリング部３５は各々、その一側が駆動フレーム部３３に連結され、その他側は基板１１に備えられたスプリング支持体１２に連結されている。
【００２２】
一方、固定板電極１４は、基板１１の上に設けられたステージ４１の下方に配置され、配線電極１５によって基板１１の１つのコーナ部に備えられた固定板電極パッド１６に接続されている。
【００２３】
図６は、本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを有する多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータの駆動を実行するために適用される、所定の電圧を印加するため電源の配列を示す図面である。本発明にあっては、ステージ４１をＸ−Ｙ軸の面内方向で移動自在とするために、櫛形駆動電極２２と櫛形固定電極３２との間の電位差による静電気力を用いる。すなわち、本発明で用いる静電気力は、各軸に沿った駆動方向に発生され、ステージ４１を中心として、右方向をＸ軸の正方向、左方向をＸ軸の負方向、上方をＹ軸の正方向、下方をＹ軸の負方向として、これら４つの方向に作用するものである。
【００２４】
図６に示されるように、本発明で用いられる静電気力の大きさは、各軸に沿った方向によって独立して形成された固定フレーム２１（図１）の櫛形固定電極３２（図１）と、駆動フレーム電極２２（図１）との間に、電源７３、７４、７５、７６によって印加される電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄによって決定される。すなわち、電源７３、７４、７５、７６によって印加される電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄを適宜調節することにより、静電気力の大きさが制御され、このようにしてステージ４１の移動量を適切に調節することができる。
【００２５】
なお、ステージ４１が重力、及びその他の外部荷重によって、駆動面に垂直な方向に動くこともあり得るが、このような動きを防止するためには、固定板電極１４とステージ４１との間に、電源７７を備えて、この電源７７から所要の電圧Ｖｅを印加することにより、固定板電極１４とステージ４１との間に予め所定の引力を作用させるように構成するのが有効である。
【００２６】
また、図１に示される駆動フレーム部３３が、１つの電極のみを有するシングルステージを駆動する原理を、図７に示す単純化したモデルを用いて説明する。
図７に示されるシングルステージ４１をＸ軸の正方向に駆動させる場合、ステージ４１に対してＹ軸方向に配列された、櫛形駆動電極２２ｘの左右両端と噛み合うように形成されている２つの櫛形固定電極３２ｘの間の電位差、ならびに櫛形駆動電極２２ｘ’の左右両端と噛み合うように形成されている２つの櫛形固定電極３２ｘ’の間の電位差を調整することによって、櫛形駆動電極２２ｘおよび２２ｘ’に働く静電気力を調整してシングルステージ４１をＸ軸の正方向に駆動することができる。すなわち、２つの櫛形固定電極３２ｘの電位を調整して、櫛形駆動電極２２ｘの電位に対して、２つの櫛形固定電極３２ｘのうち、右側の櫛形固定電極を左側の櫛形固定電極に比べて電位を低くし、さらに、同時に、櫛形駆動電極２２ｘ’の電位に対して２つの櫛形固定電極３２ｘ’のうち、右側の櫛形固定電極を左側の櫛形固定電極に比べて電位を低くすれば、図８に示すような方向の静電気力６１が生起される。
このようにして生起された静電気力６１によって、ステージ４１がＸ軸の正方向に移動するようになる（５１）。その際、駆動フレーム部３３ｘ、３３ｘ’に連結された第２スプリング部３５ｘ、３５ｘ’が、駆動方向に伸縮することによって駆動フレーム部３３ｘ、３３ｘ’が駆動方向に動作可能に構成される（図７参照）。
【００２７】
また、図７に示される駆動フレーム部３３ｘ、３３ｘ’に連結されている第１スプリング部３１ｘ、３１ｘ’は、スプリングが変形することなく、駆動フレーム部３３ｘ、３３ｘ’に沿ってＸ軸の正方向に動きながら、他の一方に連結されているステージ１１を駆動方向、すなわちＸ軸の正方向に移動させる。
【００２８】
その際、ステージ４１と、Ｙ軸方向に駆動するときに動作する駆動フレーム部３３ｙ及び３３ｙ’との間に連結された第１スプリング部３１ｙ、３２ｙ’は、駆動フレーム部３３ｙ、３３ｙ’に支持され、ステージ４１はＸ軸方向に伸縮するようになる。一方、ステージ４１がＹ軸方向に駆動する場合には、駆動フレーム部３３ｙ、３３ｙ’がＸ軸方向に駆動するときと同じ原理によって駆動される。２軸駆動を実行するために、図８、図９に各々示すような静電気力６１（Ｘ軸の正方向）、静電気力６２（Ｙ軸の負方向）が作用した場合のステージ４１の変位の状態５２は、図８と図９に破線と実線とで示されるステージ４１の変位と同一である（Ｘ軸の正方向（図８に示される実線で示されるステージ４１）、Ｙ軸の負方向（図９に示される実線で示されるステージ４１））。
【００２９】
このような本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータの動作機構は、Ｘ−Ｙ軸方向で生じる駆動が、互いに重畳された結果として発生すると見なすことができる。すなわち、第１スプリング部３１ｘ、３１ｘ’、３１ｙ、３１ｙ’は、それぞれの駆動方向に対して駆動フレーム３３ｘ、３３ｘ’、３３ｙ、３３ｙ’が駆動するとき、ステージ４１を前記駆動フレーム部の駆動方向に移動させる役割を果たすと同時に、ステージ４１が前記駆動フレームの駆動方向と直交した方向に移動する場合は、ステージ４１を移動可能に変形させる役割を同時に果たす。その際、スプリングの構造は、マルチフォールデッド状となって、カップリングの影響は充分に抑えられる。
【００３０】
図１０は、マルチフォールデッドスプリングである第２スプリング部３５（図４参照）の変形前の状態を示す。
図１１及び図１２は、前記駆動フレーム部が、駆動（８１、８２の矢印方向に駆動）される場合、マルチフォールデッドスプリングである第２スプリング部３５（図４参照）が実際に変形する様子を示す図である。図１１は、第２スプリング部３５が伸びた状態を示す図であり、図１２は、第２スプリング部３５が縮んだ状態を示す図である。第１スプリング部３１においても、このような第２スプリング部３５と同様の変形を呈する。
【００３１】
本発明に係るマイクロアクチュエータは記憶装置に好適に使われるものであって、駆動部に１つの電極を使用して多軸駆動を行い、絶縁工程が不要なので製造工程を単純化することが可能となる。そして、一定の大きさを有する記憶媒体のメディアを載置するステージを装着してもＸ−Ｙ軸方向の面内運動以外の他の運動が相対的に発生しにくいスプリング支持構造を有する。２軸駆動時にスプリングによって発生するカップリング現象は、マルチフォールデッドスプリング構造により生じることなく、特に駆動装置の全面積においてステージ面積（記憶面積）が最大となるように効率的にステージの面積を使用できる構造を有する。
【００３２】
以上、本発明は、添付した図面に示される一実施形態に基づいて説明されたが、この実施形態は例示的なものに過ぎず、当業者であれば、この実施形態から各種の多様な変形、及び均等な他の実施形態が可能であることを容易に理解し得る。したがって、本発明の真の保護範囲は特許請求の範囲によってのみ決まるべきである。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明した通りに構成される本発明によれば、駆動部に１つの電極を使用して多軸駆動を行い、絶縁工程が不要なので製造工程の単純化を図ることができ、マルチフォールデッドスプリング構造によって相異なる方向のカップリング運動が排除されるマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータの一実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータに適用される櫛形駆動電極と櫛形固定電極の構造を模式的に示す主要部の抜粋斜視図である。
【図３】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータに適用されるスプリング部の概略的な構造を、模式的に示す抜粋斜視図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線の断面図である。
【図５】図１のＢ−Ｂ線の断面図である。
【図６】マルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータの作動時に電力を供給する電源の配置図である。
【図７】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動のためのシングルステージマイクロアクチュエータの作動原理を説明するための単純化した模型図である。
【図８】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータの一方向の駆動を説明するための単純化した模型図である。
【図９】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータの二方向の駆動を説明するための単純化した模型図である。
【図１０】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータにおいて、変形前のマルチフォールデッドスプリングを模式的に示す図面である。
【図１１】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータにおいてマルチフォールデッドスプリングが伸びたときのスプリングの変形形状を模式的に示す図面である。
【図１２】本発明に係るマルチフォールデッドスプリングを用いた多軸駆動シングルステージマイクロアクチュエータにおいてマルチフォールデッドスプリングが縮んだときのスプリングの変形形状を模式的に示す図面である。
【符号の説明】
１１    基板
１３    固定フレーム電極パッド
１４    固定板電極
１５、１７    配線電極
１６    固定板電極パッド
１８    駆動フレーム電極パッド
２１    固定フレーム
２２    櫛形駆動電極
３１    第１スプリング部
３２    櫛形固定電極
３３    駆動フレーム部
３３ａ  駆動フレーム
３３ｂ  補助駆動フレーム
３５    第２スプリング部
３６    連結板
３７    ビームスプリングエレメント
３８    ビームスプリング連結エレメント
４１    ステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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