(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極からそれぞれ構成されている、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置された少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極と、
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第２のＩＤＴ電極側にある第１の反射器電極と、
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第３のＩＤＴ電極側にある第２の反射器電極とを備え、
前記少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極は、前記第１の反射器電極と前記第２の反射器電極との間に配置されており、
前記第１から第３のＩＤＴ電極の内、（１）両側に他のＩＤＴ電極が配置された前記第１のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が第１の平衡型端子の一方に接続されており、他方の櫛形電極が前記第１の平衡型端子の他方に接続されており、（２）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第２のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、（３）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第３のＩＤＴ電極は、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは相異なる側にある一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、（４）前記第２のＩＤＴ電極と前記第１の反射器電極が電気的に接続され、かつ、前記第３のＩＤＴ電極と前記第２の反射器電極が電気的に接続され、（５）前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線と、前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線とは、互いに接続され不平衡端子に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
前記第２のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記第２のＩＤＴ電極の前記一方の櫛形電極は、第２の平衡型端子の一方に接続されており、
前記第３のＩＤＴ電極の前記一方の櫛形電極は、前記第２の平衡型端子の一方に接続されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
前記第１および第２の反射器電極は、接地されており、
前記第２のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第１の反射器電極と接続されることによって接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第２の反射器電極と接続されることによって接地されている請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
前記第１および第２の反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されており、
前記第２のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第１の反射器電極と接続されることによって前記不平衡型端子に接続されており、
前記第３のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第２の反射器電極と接続されることによって前記不平衡型端子に接続されている請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】
前記第１および／または前記第２の反射器電極は、少なくとも２つの分割反射器電極に分割されている請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項７】
前記少なくとも２つの分割反射器電極の内の、前記第２および／または前記第３のＩＤＴ電極に近接する方の分割反射器電極は、直接接地されているかまたは他の前記分割反射器電極を介して接地されている請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項８】
（１）前記第１の反射器電極が分割され、前記第２のＩＤＴ電極の前記他方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されている分割反射器電極に接続されることによって接地されており、
（２）前記第２の反射器電極が分割され、前記第３のＩＤＴ電極の前記他方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されている分割反射器電極に接続されることによって接地されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項９】
（１）前記第１の反射器電極が分割され、前記第２のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されていない分割反射器電極に接続されており、その第２のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されており、
（２）前記第２の反射器電極が分割され、前記第３のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されていない分割反射器電極に接続されており、その第３のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されている請求項８記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１０】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極の電極指ピッチが互いに異なっており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極の電極指ピッチが互いに異なっている請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極のメタライゼーションレシオが互いに異なっており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極のメタライゼーションレシオが互いに異なっている請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１２】
（１）前記第１の反射器電極が少なくとも３つの前記分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の互いに隣接する２つの分割反射器電極の間の間隔が全て同じではなく、
（２）前記第２の反射器電極が少なくとも３つの前記分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の互いに隣接する２つの分割反射器電極の間の間隔が全て同じではない請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１３】
前記分割反射器電極への分割は、前記第１から第３のＩＤＴ電極が配置されている方向と直交する方向で行われている請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１４】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第２のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第３のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されている請求項１３記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１５】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第２のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、接地されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第３のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、接地されている請求項１３記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１６】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の前記第２のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極は、前記第１から第３のＩＤＴ電極が配置されている方向と直交する方向でさらに２つ以上の横分割反射器電極に分割されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の前記第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極は、前記第１から第３のＩＤＴ電極が配置されている方向と直交する方向でさらに２つ以上の横分割反射器電極に分割されている請求項１３記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１７】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、前記不平衡型端子に接続されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、前記不平衡型端子に接続されている請求項１６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１８】
（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、接地されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、接地されている請求項１６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１９】
前記不平衡型端子には、単数または複数の弾性表面波共振器が直列および／または並列に接続されている請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２０】
不平衡型から平衡型または平衡型から不平衡型への変換機能を有する請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２１】
圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極からそれぞれ構成されている、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置された少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極を備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極の内、（１）両側に他のＩＤＴ電極が配置された前記第１のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が第１の平衡型端子の一方に接続されており、他方の櫛形電極が前記第１の平衡型端子の他方に接続されており、（２）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第２のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、（３）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第３のＩＤＴ電極は、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは相異なる側にある一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極からそれぞれ構成されている、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された、（４）両側に他のＩＤＴ電極が配置された第４のＩＤＴ電極と、（５）前記他のＩＤＴ電極の内の一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力される第５のＩＤＴ電極と、（６）前記他のＩＤＴ電極の内の一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力される前記第５のＩＤＴ電極とは相異なる側にある第６のＩＤＴ電極とを有する第１のフィルタトラックと、
前記第１のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極とを有する第２のフィルタトラックとを備え、
前記第１のフィルタトラックと前記第２のフィルタトラックとは、縦続に接続されており、
前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線と、前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線とは、互いに接続されており、
前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線と、前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線とは、互いに接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項２２】
前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは、相等しい側にある請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２３】
前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは、相異なる側にある請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２４】
前記第４のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、不平衡型端子に接続されている請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２５】
前記第４のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、前記第２のフィルタトラックとは反対側に配置されている請求項２４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２６】
前記第２のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第５のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第６のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されている請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２７】
（１）前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して行われる信号の入力または出力の位相と、（２）前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して行われる信号の入力または出力の位相とは、実質上互いに逆相である請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２８】
（１）前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線と、前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線とを接続するための配線のリアクタンス成分と、（２）前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線と、前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線とを接続するための配線のリアクタンス成分とは、実質上互いに等しい請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項２９】
前記第４のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、第２の平衡型端子の一方に接続されており、
前記第４のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、前記第２の平衡型端子の他方に接続されている請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３０】
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第２のＩＤＴ電極側にある第１の反射器電極と、
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第３のＩＤＴ電極側にある第２の反射器電極
と、
前記第４のＩＤＴ電極を基準にして前記第５のＩＤＴ電極側にある第３の反射器電極
と、
前記第４のＩＤＴ電極を基準にして前記第６のＩＤＴ電極側にある第４の反射器電極とを備え、
前記少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極は、前記第１の反射器電極と前記第２の反射器電極との間に配置されており、
前記少なくとも第４から第６のＩＤＴ電極は、前記第３の反射器電極と前記第４の反射器電極との間に配置されている請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３１】
前記第１から第６のＩＤＴ電極の内の少なくとも１個のＩＤＴ電極は、複数の分割ＩＤＴ電極に分割されており、
前記複数の分割ＩＤＴ電極の櫛形電極の内の一方の側に配置されている櫛形電極の全部または一部は、互いに電気的に接続されており、
前記複数の分割ＩＤＴ電極の櫛形電極の内の他方の側に配置されている櫛形電極の全部または一部は、互いに電気的に接続されている請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３２】
前記第１から第６のＩＤＴ電極の内の少なくとも１個のＩＤＴ電極は、２個または３個の分割ＩＤＴ電極に分割されている請求項３１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３３】
前記一対の対向する櫛型電極の互いに隣り合う電極指同士の中心距離は、弾性表面波フィルタの中心周波数λに対して実質上０．９×λ／２
から１．１×λ／２までの範囲の値を有する請求項２１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３４】
圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が第１の平衡型端子の一方に接続される第１のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が第２の平衡端子の一方または不平衡型端子に接続される第２のＩＤＴ電極とを備え、
前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極との間には、リアクタンス素子が接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項３５】
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が前記不平衡型端子に接続される第３のＩＤＴ電極をさらに備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極は、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って、前記第２、第３のＩＤＴ電極が前記第１のＩＤＴ電極の相異なる側に存するよう配置され、
前記第１のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、前記第１の平衡端子の他方に接続されている請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３６】
前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と、前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極との間には、リアクタンス素子が接続されている請求項３５記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３７】
前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは、前記弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置された第１から第３のＩＤＴ電極から見て相異なる側にある請求項３６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３８】
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が前記第１の平衡型端子の他方に接続される第３のＩＤＴ電極をさらに備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極は、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って、前記第１、第３のＩＤＴ電極が前記第２のＩＤＴ電極の相異なる側に存するよう配置されている請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３９】
前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と、前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極との間には、リアクタンス素子が接続されている請求項３８記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４０】
（１）前記第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極がその間に配置された二つの反射器電極とを有する第１の弾性表面波共振子と、（２）前記第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極がその間に配置された二つの反射器電極とを有する第２の弾性表面波共振子とを備え、
前記第１の弾性表面波共振子と前記第２の弾性表面波共振子とは、梯子型に接続されている請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４１】
前記不平衡型端子と前記平衡型端子との間に存在する寄生成分と前記リアクタンス素子とによって、共振周波数が通過帯域内に設定された並列共振回路が形成されている請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４２】
前記リアクタンス素子は、インダクタンスである請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４３】
前記圧電基板は、４０以上の実効比誘電率を有する請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４４】
前記圧電基板は、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムを利用して構成されている請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４５】
送信および／または受信を行う送信・受信手段と、
前記送信に利用されるべき送信信号および／または前記受信に利用されるべき受信信号に対してフィルタリングを行う、請求項１または３４記載の弾性表面波フィルタとを備えた通信装置。
【請求項４６】
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が前記不平衡型端子に接続される第３のＩＤＴ電極をさらに備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極は、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って、前記第２、第３のＩＤＴ電極が前記第１のＩＤＴ電極の相異なる側に存するよう配置され、
前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、第１の分割櫛形電極と第２の分割櫛形電極に分割されており、
前記第１の分割櫛形電極は、前記第１の平衡型端子の一方に接続され、
前記第２の分割櫛形電極は、前記第１の平衡型端子の他方に接続されている請求項３４記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波フィルタ、平衡型フィルタ、および通信装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波（ＳＡＷ）を用いたエレクトロメカニカル機能部品は、波の音速が数ｋｍ／ｓであり、波のエネルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を有することからハードウェアの高密度化の流れの中で注目され、インタディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ電極）電極の開発と薄膜作成技術、表面加工技術の進歩によって、レーダ用遅延線、テレビジョン受像機用帯域フィルタなどに実用化され、現在では、通信機器の送受信回路のＲＦ、ＩＦ段のフィルタとして広く使用されている。
【０００３】
近年、対雑音特性の良好化を目的としてＩＣなどの半導体部品の平衡化が進み、ＲＦ段に使用される弾性表面波フィルタにおいても平衡化が求められている。また、近年では、弾性表面波フィルタの前段及び後段に配置されるＩＣ等により、弾性表面波フィルタが不平衡−平衡型端子を有することあるいは平衡−平衡型端子を有することが求められている。また、従来より、ＲＦ段のフィルタとしては、縦モード型の弾性表面波フィルタが広く用いられている。このような弾性表面波フィルタにとっては、平衡度が一つの重要なパラメータになる。
【０００４】
（Ａ）まず、図１２〜１３を参照しながら、従来の不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタについて説明する。
【０００５】
図１２に、従来の不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図１２において、弾性表面波フィルタは、圧電基板１００１上に、第１、第２、第３のＩＤＴ電極１００２、１００３、１００４と第１、第２の反射器電極１００５、１００６とにより構成される。第１のＩＤＴ電極１００２の上側の電極指は平衡型端子の一方１００７に接続され、第１のＩＤＴ電極１００２の下側の電極指は平衡型端子の他方１００８に接続される。また、ＩＤＴ電極１００３、１００４の同じ側の電極指を不平衡型端子１００９に接続し、他方を接地する。以上の構成とすることにより不平衡−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０００６】
図１３に、上記とは別の例として、平衡−平衡型端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図１３において、弾性表面波フィルタは、圧電基板１００１上に、第１、第２、第３のＩＤＴ電極１００２、１００３、１００４と第１、第２の反射器電極１００５、１００６とにより構成される。第１のＩＤＴ電極１００２の上側の電極指は平衡型端子の一方１００７に接続され、第１のＩＤＴ電極１００２の下側の電極指は平衡型端子の他方１００８に接続される。また、ＩＤＴ電極１００３、１００４の同じ側の電極指を平衡型端子１０１０に接続し、ＩＤＴ電極１００３、１００４の他方の側の電極指を平衡型端子１０１１に接続する。以上の構成とすることにより平衡−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０００７】
（Ｂ）つぎに、図２７を参照しながら、従来の不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタについて説明する。
【０００８】
図２７に、従来の不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの概略図を示す。図２７において、弾性表面波フィルタは、それぞれ圧電基板上に配置された１段目のフィルタトラック６及び２段目のフィルタトラック１２から構成される。
【０００９】
１段目のフィルタトラック６は、第１、第２、第３のＩＤＴ電極１、２、３と第１、第２の反射器電極４、５とにより構成される。また、２段目のフィルタトラック１２は、第４、第５、第６のＩＤＴ電極７、８、９と、第３、第４の反射器電極１０、１１とにより構成される。
【００１０】
第１のＩＤＴ電極１の両側には、第２、及び第３のＩＤＴ電極２、３が配置さえており、その両側には、第１、第２の反射器電極４、５が配置されている。また、第４のＩＤＴ電極の両側には、第５、第６のＩＤＴ電極８、９が配置されており、その両側には、第３、第４の反射器電極１０、１１が配置されている。
【００１１】
第１のＩＤＴ電極１は、２段目のフィルタトラック１２の側とは反対側の方にに配置された上部電極１ａと、２段目のフィルタトラック１２の側の方に配置された下部電極１ｂとから構成される。
【００１２】
第２のＩＤＴ電極２は、２段目のフィルタトラック１２の側とは反対側の方にに配置された上部電極２ａと、２段目のフィルタトラック１２の側の方に配置された下部電極２ｂとから構成される。
【００１３】
第３のＩＤＴ電極３は、２段目のフィルタトラック１２の側とは反対側の方にに配置された上部電極３ａと、２段目のフィルタトラック１２の側の方に配置された下部電極３ｂとから構成される。
【００１４】
第４のＩＤＴ電極７は、１段目のフィルタトラック６の側の方に配置された上部電極７ａと、１段目のフィルタトラック６の側とは反対側の方配置された下部電極７ｂとから構成される。
【００１５】
第５のＩＤＴ電極８は、１段目のフィルタトラック６の側の方に配置された上部電極８ａと、１段目のフィルタトラック６の側とは反対側の方配置された下部電極８ｂとから構成される。
【００１６】
第６のＩＤＴ電極９は、１段目のフィルタトラック６の側の方に配置された上部電極９ａと、１段目のフィルタトラック６の側とは反対側の方配置された下部電極９ｂとから構成される。
【００１７】
このように各ＩＤＴ電極はそれぞれ一対の櫛形電極である上部電極と下部電極とから構成されている。
【００１８】
また、第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａは、１段目のフィルタトラック６の２段目のフィルタトラック１２とは反対側に設けられた入力用の不平衡型端子ＩＮに接続されており、第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂは、接地されている。
【００１９】
第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂは、引き回し配線３２によって第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａに接続されている。第２のＩＤＴ電極２の上部電極２ａは接地されている。
【００２０】
第３のＩＤＴ電極３の下部電極３ｂは、引き回し配線３３によって第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａに接続されている。第３のＩＤＴ電極３の上部電極３ａは接地されている。
【００２１】
第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａは、出力用の１対の平衡型端子のうち１段目のフィルタトラック６の側に設けられた平衡型端子ＯＵＴ１に接続されており、第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂは、出力用の１対の平衡型端子のうち、１段目のフィルタトラック６とは反対側に設けられた平衡型端子ＯＵＴ２に接続されている。
【００２２】
第５のＩＤＴ電極８の下部電極８ｂ及び第６のＩＤＴ電極９の下部電極９ｂは、ともに接地されている。
【００２３】
次に、このような従来の弾性表面波フィルタの動作を説明する。
【００２４】
不平衡型端子ＩＮに信号を入力することにより、第１のＩＤＴ電極１で弾性表面波が生じる。そして、弾性表面波は、第１、第２の反射器電極４、５により閉じ込められて複数の共振モードを生じる。この共振モードを利用することによりフィルタ特性が得られ、第２のＩＤＴ電極２及び第３のＩＤＴ電極３でそれぞれ電気信号に変換される。
【００２５】
第２のＩＤＴ電極２で変換された電気信号は、引き回し配線３２を通過して第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａに出力される。また、第３のＩＤＴ電極３で変換された電気信号は、引き回し配線３３を通過して第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａに出力される。このとき、弾性表面波フィルタの各ＩＤＴ電極同士の間隔及び電極指の接続の仕方を予め調整しておくことにより、引き回し配線３２に入力される電気信号と引き回し配線３３に入力される電気信号とは位相が逆相となる。
【００２６】
第５のＩＤＴ電極８に入力された電気信号は、第５のＩＤＴ電極８で弾性表面波に変換され、また、第６のＩＤＴ電極９に入力された電気信号は、第６のＩＤＴ電極９で弾性表面波に変換される。そして、第５のＩＤＴ電極８及び第６のＩＤＴ電極９で変換された弾性表面波は、第３、第４の反射器電極１０、１１により閉じ込められて複数の共振モードを形成する。この共振モードを利用することによりフィルタ特性が得られ、電気信号は、平衡型端子ＯＵＴ１及びＯＵＴ２から出力される。
【００２７】
（Ｃ）つぎに、図４０を参照しながら、従来の平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタについて説明する。
【００２８】
図４０に従来の平衡型端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図４０において、弾性表面波フィルタは、前述した従来の弾性表面波フィルタ（図１２参照）と類似した構成を有しており、圧電基板４１０１上に、第１、第２、第３のインターディジタルトランスデューサ電極（以下、ＩＤＴ電極とする）４１０２、４１０３、４１０４と第１、第２の反射器電極４１０５、４１０６とにより構成される。第１のＩＤＴ電極４１０２の一方の電極指は平衡型端子の一方４１０７に接続され、第１のＩＤＴ電極４１０２の他方の電極指は平衡型端子の他方４１０８に接続される。また、第２、第３のＩＤＴ電極４１０３、４１０４の一方の側の電極指を不平衡型端子４１０９に接続し、他方を接地する。以上の構成とすることにより不平衡型−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【００２９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の弾性表面波フィルタには、つぎのような課題があった。
【００３０】
（Ａ）図１２の弾性表面波フィルタでは、平衡型端子１００７と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線の付近には、第２のＩＤＴ電極１００３と不平衡型端子１００９とを接続する配線や第３のＩＤＴ電極１００４と不平衡型端子１００９とを接続する引き回し配線が存在する。
【００３１】
一方、平衡型端子１００８と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線は、平衡型端子１００７と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線より、第２のＩＤＴ電極１００３と不平衡型端子１００９とを接続する配線や第３のＩＤＴ電極１００４と不平衡型端子１００９とを接続する引き回し配線から離れている。
【００３２】
従って、平衡型端子１００７と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線は、不平衡型端子１００９と第２のＩＤＴ電極１００３や第３のＩＤＴ電極１００４とを接続する引き回し配線との間に、平衡型端子１００８と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線より、高周波的なより大きな寄生成分が存在する。従って平衡度が劣化することになる。
【００３３】
図１３の弾性表面波フィルタでは、平衡型端子１００７と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線の付近には、第２のＩＤＴ電極１００３と平衡型端子１０１０とを接続する引き回し配線、及び第３のＩＤＴ電極１００４と平衡型端子１０１０とを接続する引き回し配線が存在し、これら２つの引き回し配線には位相が実質上等しい信号が流れる。従って、平衡型端子１００７と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線、及び第２のＩＤＴ電極１００３からの引き回し配線との間の高周波的な寄生成分は、平衡型端子１００７と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線、及び第３のＩＤＴ電極１００４からの引き回し配線の間の高周波的な寄生成分と実質上位相が等しくなる。
【００３４】
同様に平衡型端子１００８と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線の付近には、第２のＩＤＴ電極１００３と平衡型端子１０１１とを接続する引き回し配線、及び第３のＩＤＴ電極１００４と平衡型端子１０１１とを接続する引き回し配線が存在し、これら２つの引き回し配線には位相が実質上等しい信号が流れる。従って、平衡型端子１００８と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線、及び第２のＩＤＴ電極１００３からの引き回し配線の間の高周波的な寄生成分は、平衡型端子１００８と第１のＩＤＴ電極１００２とを接続する引き回し配線、及び第３のＩＤＴ電極１００４からの引き回し配線の間の高周波的な寄生成分と実質上位相が等しくなる。
【００３５】
従って、平衡型端子１００７、１００８または平衡型端子１０１０，１０１１から出力された信号には上記の寄生成分が含まれることになり、平衡型端子のそれぞれにアンバランスな寄生成分が生じて、弾性波表面波フィルタの特性が劣化することになる。
【００３６】
このように、従来の弾性表面波フィルタ（図１２〜１３参照）では、ＩＤＴ電極からの引き回し配線同士が空間的に結合したり、入出力ＩＤＴ電極が空間的に結合したりすることにより平衡度が劣化したり、弾性波表面波フィルタの特性が劣化したりすることがあった。
【００３７】
（Ｂ）また、図２７の弾性表面波フィルタでは、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線の付近には、第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂと第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａとを接続する引き回し配線３２や、第３のＩＤＴ電極３の下部電極３ｂと第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａとを接続する引き回し配線３３が存在する。一方、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線の付近には、引き回し配線３２及び引き回し配線３３は存在していない。
【００３８】
このように、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線は、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線より、引き回し配線３２、３３により近い位置に配置されている。
【００３９】
従って、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線や、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線に、アンバランスな寄生成分が存在するために、平衡度が劣化することになると、本発明者は考えている。
【００４０】
このように、従来の弾性表面波フィルタ（図２７参照）では、ＩＤＴ電極からの引き回し配線同士が空間的に結合したり、入出力ＩＤＴ電極同士が空間的に結合したりすることにより平衡度が劣化したり、弾性波表面波フィルタの特性が劣化したりすることがあった。
【００４１】
（Ｃ）また、図４０の弾性表面波フィルタでは、図４１（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、通過帯域において、振幅バランス特性は−１．２ｄＢ〜＋１．０ｄＢ、位相バランス特性は−８°〜＋１０°と大きく劣化している。なお、図４１（Ａ）は従来の９００ＭＨｚ帯の弾性表面波フィルタの通過特性であり、図４１（Ｂ）は従来の９００ＭＨｚ帯の弾性表面波フィルタの通過帯域（９２５ＭＨｚから９６０ＭＨｚまで）の振幅バランス特性であり、図４１（Ｃ）は従来の９００ＭＨｚ帯の弾性表面波フィルタの通過帯域の位相バランス特性である。
【００４２】
ここで、振幅バランス特性とは平衡型端子の一方４１０７と不平衡型端子４１０９との信号振幅と平衡型端子の他方４１０８と不平衡型端子４１０９との信号振幅との振幅差を表したものであり、この値が零となればバランス特性の劣化はない。また、位相バランス特性とは平衡型端子の一方４１０７と不平衡型端子４１０９との信号の位相と平衡型端子の他方４１０８と不平衡型端子４１０９との信号の位相との位相差の１８０度からのずれを表したものであり、この値が零となればバランス特性の劣化はない。
【００４３】
このように、従来の弾性表面波フィルタ（図４０参照）では、重要な電気的特性の一つであるバランス特性の劣化が大きかった。なお、その劣化原因に関する詳細な議論が少なかった。
【００４４】
本発明は、上記課題を考慮し、より良好なフィルタ特性を有する弾性表面波フィルタ、平衡型フィルタ、および通信装置を提供することを目的とするものである。
【００４７】
第１の本発明は、圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極からそれぞれ構成されている、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置された少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極と、
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第２のＩＤＴ電極側にある第１の反射器電極と、
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第３のＩＤＴ電極側にある第２の反射器電極とを備え、
前記少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極は、前記第１の反射器電極と前記第２の反射器電極との間に配置されており、
前記第１から第３のＩＤＴ電極の内、（１）両側に他のＩＤＴ電極が配置された前記第１のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が第１の平衡型端子の一方に接続されており、他方の櫛形電極が前記第１の平衡型端子の他方に接続されており、（２）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第２のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、（３）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第３のＩＤＴ電極は、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは相異なる側にある一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、（４）前記第２のＩＤＴ電極と前記第１の反射器電極が電気的に接続され、かつ、前記第３のＩＤＴ電極と前記第２の反射器電極が電気的に接続され、（５）前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線と、前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線とは、互いに接続され不平衡端子に接続されている弾性表面波フィルタである。
【００４８】
第２の本発明は、前記第２のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されている第１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００４９】
第３の本発明は、前記第２のＩＤＴ電極の前記一方の櫛形電極は、第２の平衡型端子の一方に接続されており、
前記第３のＩＤＴ電極の前記一方の櫛形電極は、前記第２の平衡型端子の一方に接続されている第１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５０】
第４の本発明は、前記第１および第２の反射器電極は、接地されており、
前記第２のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第１の反射器電極と接続されることによって接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第２の反射器電極と接続されることによって接地されている第２の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５１】
第５の本発明は、前記第１および第２の反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されており、
前記第２のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第１の反射器電極と接続されることによって前記不平衡型端子に接続されており、
前記第３のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第２の反射器電極と接続されることによって前記不平衡型端子に接続されている第２の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５２】
第６の本発明は、前記第１および／または前記第２の反射器電極は、少なくとも２つの分割反射器電極に分割されている第２の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５３】
第７の本発明は、前記少なくとも２つの分割反射器電極の内の、前記第２および／または前記第３のＩＤＴ電極に近接する方の分割反射器電極は、直接接地されているかまたは他の前記分割反射器電極を介して接地されている第６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５４】
第８の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が分割され、前記第２のＩＤＴ電極の前記他方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されている分割反射器電極に接続されることによって接地されており、
（２）前記第２の反射器電極が分割され、前記第３のＩＤＴ電極の前記他方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されている分割反射器電極に接続されることによって接地されている第７の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５５】
第９の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が分割され、前記第２のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されていない分割反射器電極に接続されており、その第２のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されており、
（２）前記第２の反射器電極が分割され、前記第３のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の接地されていない分割反射器電極に接続されており、その第３のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されている第８の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５６】
第１０の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極の電極指ピッチが互いに異なっており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極の電極指ピッチが互いに異なっている第６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５７】
第１１の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極のメタライゼーションレシオが互いに異なっており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の少なくとも２つの分割反射器電極のメタライゼーションレシオが互いに異なっている第６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５８】
第１２の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が少なくとも３つの前記分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の互いに隣接する２つの分割反射器電極の間の間隔が全て同じではなく、
（２）前記第２の反射器電極が少なくとも３つの前記分割反射器電極に分割され、その分割反射器電極の内の互いに隣接する２つの分割反射器電極の間の間隔が全て同じではない第６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００５９】
第１３の本発明は、前記分割反射器電極への分割は、前記第１から第３のＩＤＴ電極が配置されている方向と直交する方向で行われている第６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６０】
第１４の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第２のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極の一方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第３のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、前記不平衡型端子に接続されている第１３の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６１】
第１５の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第２のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、接地されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極の他方の電極は、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極に接続されており、その第３のＩＤＴ電極の一方の電極が接続されている前記分割反射器電極は、接地されている第１３の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６２】
第１６の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第１の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の前記第２のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極は、前記第１から第３のＩＤＴ電極が配置されている方向と直交する方向でさらに２つ以上の横分割反射器電極に分割されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２の反射器電極を構成する前記分割反射器電極の内の前記第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極は、前記第１から第３のＩＤＴ電極が配置されている方向と直交する方向でさらに２つ以上の横分割反射器電極に分割されている第１３の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６３】
第１７の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、前記不平衡型端子に接続されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、前記不平衡型端子に接続されている第１６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６４】
第１８の本発明は、（１）前記第１の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第２のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、接地されており、
（２）前記第２の反射器電極が前記少なくとも２つの分割反射器電極に分割され、前記第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極がさらに前記２つ以上の横分割反射器電極に分割されている場合、その横分割反射器電極の内の何れかは、接地されている第１６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６５】
第１９の本発明は、前記不平衡型端子には、単数または複数の弾性表面波共振器が直列および／または並列に接続されている第２の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６６】
第２０の本発明は、不平衡型から平衡型または平衡型から不平衡型への変換機能を有する第１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６７】
第２１の本発明は、圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極からそれぞれ構成されている、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置された少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極を備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極の内、（１）両側に他のＩＤＴ電極が配置された前記第１のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が第１の平衡型端子の一方に接続されており、他方の櫛形電極が前記第１の平衡型端子の他方に接続されており、（２）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第２のＩＤＴ電極は、一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、（３）前記他のＩＤＴ電極の内の前記第３のＩＤＴ電極は、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは相異なる側にある一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力され、
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極からそれぞれ構成されている、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された、（４）両側に他のＩＤＴ電極が配置された第４のＩＤＴ電極と、（５）前記他のＩＤＴ電極の内の一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力される第５のＩＤＴ電極と、（６）前記他のＩＤＴ電極の内の一方の櫛形電極が引き回し配線を介して信号が入力または出力される前記第５のＩＤＴ電極とは相異なる側にある第６のＩＤＴ電極とを有する第１のフィルタトラックと、
前記第１のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極と、前記第３のＩＤＴ電極とを有する第２のフィルタトラックとを備え、
前記第１のフィルタトラックと前記第２のフィルタトラックとは、縦続に接続されており、
前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線と、前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線とは、互いに接続されており、
前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線と、前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための前記引き回し配線とは、互いに接続されている弾性表面波フィルタである。
【００６８】
第２２の本発明は、前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは、相等しい側にある第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００６９】
第２３の本発明は、前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは、相異なる側にある第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７０】
第２４の本発明は、前記第４のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、不平衡型端子に接続されている第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７１】
第２５の本発明は、前記第４のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、前記第２のフィルタトラックとは反対側に配置されている第２４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７２】
第２６の本発明は、前記第２のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第５のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されており、
前記第６のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、接地されている第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７３】
第２７の本発明は、（１）前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して行われる信号の入力または出力の位相と、（２）前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して行われる信号の入力または出力の位相とは、実質上互いに逆相である第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７４】
第２８の本発明は、（１）前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線と、前記第５のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線とを接続するための配線のリアクタンス成分と、（２）前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線と、前記第６のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極に対して信号の入力または出力を行うための引き回し配線とを接続するための配線のリアクタンス成分とは、実質上互いに等しい第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７５】
第２９の本発明は、前記第４のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、第２の平衡型端子の一方に接続されており、
前記第４のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、前記第２の平衡型端子の他方に接続されている第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７６】
第３０の本発明は、前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第２のＩＤＴ電極側にある第１の反射器電極と、
前記第１のＩＤＴ電極を基準にして前記第３のＩＤＴ電極側にある第２の反射器電極
と、
前記第４のＩＤＴ電極を基準にして前記第５のＩＤＴ電極側にある第３の反射器電極
と、
前記第４のＩＤＴ電極を基準にして前記第６のＩＤＴ電極側にある第４の反射器電極とを備え、
前記少なくとも第１から第３のＩＤＴ電極は、前記第１の反射器電極と前記第２の反射器電極との間に配置されており、
前記少なくとも第４から第６のＩＤＴ電極は、前記第３の反射器電極と前記第４の反射器電極との間に配置されている第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７７】
第３１の本発明は、前記第１から第６のＩＤＴ電極の内の少なくとも１個のＩＤＴ電極は、複数の分割ＩＤＴ電極に分割されており、
前記複数の分割ＩＤＴ電極の櫛形電極の内の一方の側に配置されている櫛形電極の全部または一部は、互いに電気的に接続されており、
前記複数の分割ＩＤＴ電極の櫛形電極の内の他方の側に配置されている櫛形電極の全部または一部は、互いに電気的に接続されている第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７８】
第３２の本発明は、前記第１から第６のＩＤＴ電極の内の少なくとも１個のＩＤＴ電極は、２個または３個の分割ＩＤＴ電極に分割されている第３１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００７９】
第３３の本発明は、前記一対の対向する櫛型電極の互いに隣り合う電極指同士の中心距離は、弾性表面波フィルタの中心周波数λに対して実質上０．９×λ／２
から１．１×λ／２までの範囲の値を有する第２１の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８０】
第３４の本発明は、圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が第１の平衡型端子の一方に接続される第１のＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が第２の平衡端子の一方または不平衡型端子に接続される第２のＩＤＴ電極とを備え、
前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極との間には、リアクタンス素子が接続されている弾性表面波フィルタである。
【００８１】
第３５の本発明は、前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が前記不平衡型端子に接続される第３のＩＤＴ電極をさらに備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極は、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って、前記第２、第３のＩＤＴ電極が前記第１のＩＤＴ電極の相異なる側に存するよう配置され、
前記第１のＩＤＴ電極の他方の櫛形電極は、前記第１の平衡端子の他方に接続されている第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８２】
第３６の本発明は、前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と、前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極との間には、リアクタンス素子が接続されている第３５の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８３】
第３７の本発明は、前記第２のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極とは、前記弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置された第１から第３のＩＤＴ電極から見て相異なる側にある第３６の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８４】
第３８の本発明は、前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が前記第１の平衡型端子の他方に接続される第３のＩＤＴ電極をさらに備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極は、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って、前記第１、第３のＩＤＴ電極が前記第２のＩＤＴ電極の相異なる側に存するよう配置されている第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８５】
第３９の本発明は、前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極と、前記第３のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極との間には、リアクタンス素子が接続されている第３８の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８６】
第４０の本発明は、（１）前記第１のＩＤＴ電極と、前記第１のＩＤＴ電極がその間に配置された二つの反射器電極とを有する第１の弾性表面波共振子と、（２）前記第２のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極がその間に配置された二つの反射器電極とを有する第２の弾性表面波共振子とを備え、
前記第１の弾性表面波共振子と前記第２の弾性表面波共振子とは、梯子型に接続されている第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８７】
第４１の本発明は、前記不平衡型端子と前記平衡型端子との間に存在する寄生成分と前記リアクタンス素子とによって、共振周波数が通過帯域内に設定された並列共振回路が形成されている第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８８】
第４２の本発明は、前記リアクタンス素子は、インダクタンスである第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００８９】
第４３の本発明は、前記圧電基板は、４０以上の実効比誘電率を有する第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００９０】
第４４の本発明は、前記圧電基板は、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムを利用して構成されている第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００９３】
第４５の本発明は、送信および／または受信を行う送信・受信手段と、
前記送信に利用されるべき送信信号および／または前記受信に利用されるべき受信信号に対してフィルタリングを行う、第１または３４の本発明の弾性表面波フィルタとを備えた通信装置である。
【００９４】
第４６の本発明は、前記圧電基板上に配置された一対の対向する櫛形電極から構成された、一方の櫛形電極が前記不平衡型端子に接続される第３のＩＤＴ電極をさらに備え、
前記第１から第３のＩＤＴ電極は、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って、前記第２、第３のＩＤＴ電極が前記第１のＩＤＴ電極の相異なる側に存するよう配置され、
前記第１のＩＤＴ電極の一方の櫛形電極は、第１の分割櫛形電極と第２の分割櫛形電極に分割されており、
前記第１の分割櫛形電極は、前記第１の平衡型端子の一方に接続され、
前記第２の分割櫛形電極は、前記第１の平衡型端子の他方に接続されている第３４の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００９５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００９６】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。なお、図１は実施の形態１における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００９７】
なお、第１のＩＤＴ電極１０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極１０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極１０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極１０５は本発明の第１の反射器電極に対応し、第２の反射器電極１０６は本発明の第２の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方１０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、平衡端子の他方１０８は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、不平衡端子は１０９は本発明の不平衡型端子に対応する。
【００９８】
図１において、１０１は圧電基板であり、この圧電基板１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板１０１の上には、第１のＩＤＴ電極１０２と第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４と第１、第２の反射器電極１０５、１０６とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【００９９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、第１のＩＤＴ電極１０２の上部電極１０２ａは平衡型端子の一方１０７に接続され、第１のＩＤＴ電極１０２の下部電極１０２ｂは平衡型端子の他方１０８に接続される。また、第２のＩＤＴ電極１０３の上部電極１０３ａは不平衡型端子１０９に接続され、下部電極１０３ｂは接地される。第３のＩＤＴ電極１０４の下部電極１０４ｂは不平衡型端子１０９に接続され、上部電極１０４ａは接地される。
【０１００】
このように、上述の弾性表面波フィルタは不平衡型−平衡型の端子を有する構成となり、不平衡型端子１０９からの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、第１のＩＤＴ電極１０２の上部電極１０２ａと下部電極１０２ｂの電極指の数は同数である。
【０１０１】
以上の構成とすることにより、不平衡型端子１０９に接続される第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４からの引き回し配線と平衡型端子１０７、１０８に接続される第１のＩＤＴ電極１０２からの引き回し配線とのアンバランスな空間的な結合による平衡度の劣化を抑えることができ、良好な平衡度を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０１０２】
すなわち、不平衡型端子１０９からの信号経路を構造的に上下逆側から接続するようにしたことにより、第２のＩＤＴ電極１０３及び第３のＩＤＴ電極１０４からの引き回し配線と平衡型端子１０７に接続される第１のＩＤＴ電極１０２からの引き回し配線との空間的な結合は、第２のＩＤＴ電極１０３及び第３のＩＤＴ電極１０４からの引き回し配線と平衡型端子１０８に接続される第１のＩＤＴ電極１０２からの引き回し配線との空間的な結合と実質上同一になる。従って平衡度の劣化を抑えることが出来る。
【０１０３】
また、第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４における電極指の配置は弾性表面波が打ち消し合わないような構成となる。すなわち、不平衡型端子１０９に接続される第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４の上部電極１０３ａ、下部電極１０４ｂをプラス（＋）とし、接地される電極をマイナス（−）とすると、図２（Ａ）に示すように同相の配置になっている。
【０１０４】
なお、図２（Ｂ）に示す構成であっても、本発明の効果は同様である。図２（Ｂ）は第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４の上部電極と下部電極の配置を電極指が一つ分ずらした構成である。この場合には、第１のＩＤＴ電極１０２の極性が逆となるだけで、本発明による効果は同様である。
【０１０５】
また、第２のＩＤＴ電極１０３の上部電極１０３ａと第３のＩＤＴ電極１０４の下部電極１０４ｂとが不平衡型端子１０９に接続されるとしたが、これは第２のＩＤＴ電極１０３の下部電極１０３ｂと第３のＩＤＴ電極１０４の上部電極１０４ａとが不平衡型端子１０９に接続されていてもよい。すなわち、第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４への信号経路の接続を構造的に上下逆側から行うようにすれば、本発明の実施の形態と同様の効果が得られる。
【０１０６】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。なお、図３は実施の形態２における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１０７】
本実施の形態の弾性表面波フィルタは、不平衡型端子３０９が第１の弾性表面波共振子３１０を直列に介して入力端子ＩＮに接続され、第１の弾性表面波共振子３１０と不平衡型端子３０９との間に第２の弾性表面波共振子３１１が並列に接続されている点を特徴としている。
【０１０８】
なお、第１のＩＤＴ電極３０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極３０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極３０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極３０５は本発明の第１の反射器電極に対応し、第２の反射器電極３０６は本発明の第２の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方３０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、平衡端子の他方３０８は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、不平衡端子は３０９は本発明の不平衡型端子に対応する。
【０１０９】
図３において、３０１は圧電基板であり、この圧電基板３０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板３０１の上には、第１のＩＤＴ電極３０２と第２、第３のＩＤＴ電極３０３、３０４と第１、第２の反射器電極３０５、３０６とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【０１１０】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、第１のＩＤＴ電極３０２の上部電極３０２ａは平衡型端子の一方３０７に接続され、第１のＩＤＴ電極３０２の下部電極３０２ｂは平衡型端子の他方３０８に接続される。また、第２のＩＤＴ電極３０３の上部電極３０３ａは不平衡型端子３０９に接続され、下部電極３０３ｂは接地される。第３のＩＤＴ電極３０４の下部電極３０４ｂは不平衡型端子３０９に接続され、上部電極３０３ａは接地される。このように、上述の弾性表面波フィルタは不平衡型−平衡型の端子を有する構成となり、不平衡型端子３０９からの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、第１のＩＤＴ電極３０２の上部電極３０２ａと下部電極３０２ｂの電極指の数は同数である。
【０１１１】
さらに、不平衡型端子３０９は第１の弾性表面波共振子３１０を直列に介して入力端子ＩＮに接続され、第１の弾性表面波共振子３１０と不平衡型端子３０９の間には、第２の弾性表面波共振子３１１が並列に接続され、弾性表面波共振子３１１の一端は接地されている。第１の弾性表面波共振子３１０と第２の弾性表面波共振子３１１は減衰極を形成するために挿入した。また、平衡型端子３０７、３０８はそれぞれ出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２に接続される。なお、ＩＮ、ＯＵＴ１、ＯＵＴ２の接続に関しては、ワイヤーボンディング実装やフェースダウン実装などにより、圧電基板外の端子に引き出される構成となる。
【０１１２】
ここで、本実施の形態の弾性表面波フィルタにおける平衡度特性を、図４（Ａ）〜（Ｂ）を利用して説明する。
【０１１３】
なお、図４（Ａ）に示すのは、比較のための従来の構成（すなわち、不平衡型端子に接続される第２、第３のＩＤＴ電極の接続として図１２に示す従来構成）を用いたときの特性である。すなわち、図４（Ａ）は、図１２の弾性表面波フィルタの不平衡型端子１００９から平衡型端子１００７への信号と不平衡型端子１００９から平衡型端子１００８への信号との振幅差と位相差を示している。なお、弾性表面波フィルタが完全に平衡であるという理想的な状態にあると仮定した場合には、不平衡型端子１００９から平衡型端子１００７への信号と不平衡型端子１００９から平衡型端子１００８への信号との位相は１８０度異なる。図４（Ａ）の位相差は、この理想的な状態からのずれをプロットしたものである。
【０１１４】
そして、図４（Ｂ）に示すのは、本実施の形態における９００ＭＨｚ帯の弾性表面波フィルタの平衡度特性である。図４は、ＩＮからＯＵＴ１への信号とＩＮからＯＵＴ２への信号の振幅差と位相差を表している。なお、図３の弾性表面波フィルタが完全に平衡であるという理想的な状態にある場合には、ＩＮからＯＵＴ１への信号とＩＮからＯＵＴ２への信号とは位相が１８０度異なる。図４（Ｂ）の位相差とは、この理想的な状態からのずれをプロットしたものである。
【０１１５】
図４（Ａ）〜（Ｂ）からわかるように、本実施の形態における弾性表面波フィルタの平衡度特性は、振幅差、位相差ともに従来に比べ改善している。９２５ＭＨｚから９６０ＭＨｚの範囲において、従来構成では、振幅差が２．２ｄＢ（−１．２ｄＢから＋１．０ｄＢ）であるのに対し、本発明の構成では１．５ｄＢ（−０．８ｄＢから＋０．７ｄＢ）と０．７ｄＢの改善が得られている。また、位相差に関しては、従来構成では１９°（−７°から＋１２°）であるのに対し、本発明の構成では１３°（−５°から＋８°）と６°の改善が得られている。
【０１１６】
以上説明したように、不平衡型端子に接続される第２、第３のＩＤＴ電極と平衡型端子に接続される第１のＩＤＴ電極の引き回し配線による空間的なアンバランスな結合を抑えることができ、良好な平衡度を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０１１７】
なお、本実施形態においては、不平衡側を入力、平衡側を出力としたが、入力と出力が逆であってもかまわない。
【０１１８】
また、本実施の形態では、不平衡型端子３０９は第１の弾性表面波共振子３１０を直列に介して入力端子ＩＮに接続され、第１の弾性表面波共振子３１０と不平衡型端子３０９の間には、第２の弾性表面波共振子３１１が並列に接続されるとして説明したが、これに限らない。第１の弾性表面波共振子３１０及び第２の弾性表面波共振子３１１のいずれか一方を備えていなくても構わない。また、不平衡型端子３０９を２つ以上の弾性表面波共振子を直列に介して入力端子ＩＮに接続しても構わない。さらに、これら複数の弾性表面波共振子に２つ以上の弾性表面波共振子を並列に接続しても構わない。要するに、不平衡型端子３０９とＩＮとの間には弾性表面波フィルタとして適切な特性が得られる限り直列及び／または並列に任意の個数の弾性表面波共振子を挿入しても構わない。
【０１１９】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。なお、図５は実施の形態３における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１２０】
なお、第１のＩＤＴ電極５０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極５０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極５０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極５０５は本発明の第１の反射器電極に対応し、第２の反射器電極５０６は本発明の第２の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方５０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、平衡端子の他方５０８は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、不平衡端子は５０９は本発明の不平衡型端子に対応する。
【０１２１】
図５において、５０１は圧電基板であり、この圧電基板５０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板５０１の上には、第１のＩＤＴ電極５０２と第２、第３のＩＤＴ電極５０３、５０４と第１、第２の反射器電極５０５、５０６とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【０１２２】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、第１のＩＤＴ電極５０２の上部電極５０２ａは平衡型端子の一方５０７に接続され、第１のＩＤＴ電極５０２の下部電極５０２ｂは平衡型端子の他方５０８に接続される。また、第２のＩＤＴ電極５０３の上部電極５０３ａは第１の反射器電極５０５を介して不平衡型端子５０９に接続され、下部電極５０３ｂは接地される。第３のＩＤＴ電極５０４の下部電極５０４ｂは第２の反射器電極５０６を介して不平衡型端子５０９に接続され、上部電極５０３ａは接地される。
【０１２３】
このように、上述の弾性表面波フィルタは不平衡型−平衡型の端子を有する構成となり、不平衡型端子５０９からの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、第１のＩＤＴ電極５０２の上部電極５０２ａと下部電極５０２ｂの電極指の数は同数である。
【０１２４】
以上の構成とすることにより、平衡度は従来に比べ改善することができる。９２５ＭＨｚから９６０ＭＨｚの範囲において、従来構成では、振幅差が２．２ｄＢ（−１．２ｄＢから＋１．０ｄＢ）であるのに対し、本発明の構成では１．８ｄＢ（−１．０ｄＢから＋０．８ｄＢ）と０．４ｄＢの改善が得られている。また、位相差に関しては、従来構成では１９°（−７°から＋１２°）であるのに対し、本発明の構成では１６°（−６°から＋１０°）と３°の改善が得られる。なお、位相差の定義は実施の形態２と同様である。
【０１２５】
本実施の形態の弾性表面波フィルタの構成では、第２、第３のＩＤＴ電極への信号経路への引き回しをより小さくすることができるので、引き回しによる抵抗、インダクタ成分による特性劣化をより抑え、基板上の電極配置や端子配置の自由度をより高めることが可能となる。
【０１２６】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。なお、図６は実施の形態４における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１２７】
なお、第１のＩＤＴ電極６０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極６０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極６０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極６０５は本発明の第１の反射器電極に対応し、第２の反射器電極６０６は本発明の第２の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方６０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、平衡端子の他方６０８は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、不平衡端子は６０９は本発明の不平衡型端子に対応する。
【０１２８】
図６において、６０１は圧電基板であり、この圧電基板６０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板６０１の上には、第１のＩＤＴ電極６０２と第２、第３のＩＤＴ電極６０３、６０４と第１、第２の反射器電極６０５、６０６とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。また、第１の反射器電極６０５は第１、第２、第３の分割反射器電極６０５ａ、６０５ｂ、６０５ｃとにより構成され、第２の反射器電極６０６は第４、第５、第６の分割反射器電極６０６ａ、６０６ｂ、６０６ｃとにより構成される。
【０１２９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、第１のＩＤＴ電極６０２の上部電極６０２ａは平衡型端子の一方６０７に接続され、第１のＩＤＴ電極６０２の下部電極６０２ｂは平衡型端子の他方６０８に接続される。また、第２のＩＤＴ電極６０３の上部電極６０３ａは第３の分割反射器電極６０５ｃを介して不平衡型端子６０９に接続され、下部電極６０３ｂ、第１、第２の分割反射器電極６０５ａ、６０５ｂは接地される。第３のＩＤＴ電極６０４の下部電極６０４ｂは第６の分割反射器電極６０６ｃを介して不平衡型端子６０９に接続され、上部電極６０３ａ、第４、第５の分割反射器電極６０６ａ、６０６ｂは接地される。
【０１３０】
このように、上述の弾性表面波フィルタは不平衡型−平衡型の端子を有する構成となり、不平衡型端子６０９からの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、第１のＩＤＴ電極６０２の上部電極６０２ａと下部電極６０２ｂの電極指の数は同数である。
【０１３１】
以上の構成とすることにより、平衡度は従来に比べ改善することができる。９２５ＭＨｚから９６０ＭＨｚの範囲において、従来構成では、振幅差が２．２ｄＢ（−１．２ｄＢから＋１．０ｄＢ）であるのに対し、本発明の構成では１．７ｄＢ（−１．０ｄＢから＋０．７ｄＢ）と０．５ｄＢの改善が得られている。また、位相差に関しては、従来構成では１９°（−７°から＋１２°）であるのに対し、本発明の構成では１３°（−５°から＋８°）と６°の改善が得られる。なお、本実施の形態の位相差の定義は実施の形態２と同様である。
【０１３２】
さらに、本構成においては、第２、第３のＩＤＴ電極６０３、６０４と信号経路として用いている第３、第６の分割反射器電極との間に、第１、第２、第４、第５の分割反射器電極を接地している構成としているため、信号経路からのＩＤＴ電極への空間的な結合をさらにより小さくでき、実施の形態３よりもさらにより良好な特性が得られている。また、第２、第３のＩＤＴ電極への信号経路への引き回しをより小さくすることができるので、引き回しによる抵抗、インダクタ成分による特性劣化をより抑え、基板上の電極配置や端子配置の自由度をより高めることが可能となる。
【０１３３】
また、本構成においては、下部電極６０２ｂと第１の分割反射器電極６０５ａ、及び上部電極６０３ａと第４の分割反射器電極６０６ａとを共通にして接地としているため、接地端子を引き出すことができ、基板上の電極配置の自由度をさらにより大きくすることができる。
【０１３４】
なお、第１、第４の分割反射器電極は接地としているが、これは接地としない構成であってもかまわない。
【０１３５】
また、第３、第６の分割反射器電極を信号経路としているが、これは第２、第３、第５、第６の分割反射器電極を信号経路としてもかまわない。第２、第３のＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極が接地あるいは信号経路から分離されていれば、空間的な結合は抑えることができ、本発明の効果は同様となる。
【０１３６】
また、分割反射器電極に関しては、第１、第２、第３の分割反射器電極６０５ａ、６０５ｂ、６０５ｃを、図７に示すように、第１、第２、第３の分割反射器電極７０１ａ、７０１ｂ、７０１ｃのような構成としてもかまわない。図７において、第１、第２、第３の分割反射器電極７０１ａ、７０１ｂ、７０１ｃはそれぞれ、電極指ピッチＰ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ１ｃ、電極部分Ｍ１ａ、Ｍ１ｂ、Ｍ１ｃと自由表面基板部分Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ、Ｓ１ｃの比であるメタライゼーション・レシオη１ａ＝Ｍ１ａ／Ｓ１ａ、η１ｂ＝Ｍ１ｂ／Ｓ１ｂ、η１ｃ＝Ｍ１ｃ／Ｓ１ｃが異なる分割反射器電極を用いてもかまわない。
【０１３７】
また、第１、第２の分割反射器電極７０１ａ、７０１ｂの間隔Ｌ１と第２、第３の分割反射器電極７０１ｂ、７０１ｃの間隔Ｌ２とを異ならせてもよい。この場合には、分割反射器電極の反射特性のスプリアス周波数を異ならせることにより帯域外の減衰量を良好とすることが可能となる。
【０１３８】
なお、第１、第２、第３の分割反射器電極について説明したが、この構成は、第１、第２、第３の分割反射器電極６０５ａ、６０５ｂ、６０５ｃだけでなく、第４、第５、第６の分割反射器電極６０６ａ、６０６ｂ、６０６ｃにも適用できるものである。
【０１３９】
以上の構成とすることにより、平衡度が良好な帯域外減衰量に優れる弾性表面波フィルタを実現することができる。
【０１４０】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。なお、図８は実施の形態５における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１４１】
なお、第１のＩＤＴ電極８０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極８０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極８０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極８０５は本発明の第１の反射器電極に対応し、第２の反射器電極８０６は本発明の第２の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方８０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、平衡端子の他方８０８は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、不平衡端子は８０９は本発明の不平衡型端子に対応する。
【０１４２】
図８において、８０１は圧電基板であり、この圧電基板８０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。
【０１４３】
圧電基板８０１の上には、第１のＩＤＴ電極８０２と第２、第３のＩＤＴ電極８０３、８０４と第１、第２の反射器電極８０５、８０６とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【０１４４】
また、第１の反射器電極８０５は横方向に分割され、第１の上部反射器電極８０５ａと第１の下部反射器電極８０５ｂとにより構成され、第２の反射器電極８０６は第２の上部反射器電極８０６ａと第２の下部反射器電極８０６ｂとにより構成される。
【０１４５】
また、上述の弾性表面波フィルタにおいて、第１のＩＤＴ電極８０２の上部電極８０２ａは平衡型端子の一方８０７に接続され、第１のＩＤＴ電極８０２の下部電極８０２ｂは平衡型端子の他方８０８に接続される。第２のＩＤＴ電極８０３の上部電極８０３ａは第１の上部反射器電極８０５ａを介して不平衡型端子８０９に接続され、下部電極８０３ｂ、第１の下部反射器電極８０５ｂは接地される。第３のＩＤＴ電極８０４の下部電極８０４ｂは第２の下部反射器電極８０６ｂを介して不平衡型端子８０９に接続され、上部電極８０３ａ、第２の上部反射器電極８０６ａは接地される。
【０１４６】
このように、上述の弾性表面波フィルタは不平衡型−平衡型の端子を有する構成となり、不平衡型端子８０９からの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、第１のＩＤＴ電極８０２の上部電極８０２ａと下部電極８０２ｂの電極指の数は同数である。
【０１４７】
以上の構成とすることにより、平衡度は従来に比べ改善することができる。９２５ＭＨｚから９６０ＭＨｚの範囲において、従来構成では、振幅差が２．２ｄＢ（−１．２ｄＢから＋１．０ｄＢ）であるのに対し、本発明の構成では１．７ｄＢ（−１．０ｄＢから＋０．７ｄＢ）と０．５ｄＢの改善が得られている。また、位相差に関しては、従来構成では１９°（−７°から＋１２°）であるのに対し、本発明の構成では１３°（−５°から＋８°）と６°の改善が得られる。なお、本実施の形態の位相差の定義は、実施の形態２と同様である。
【０１４８】
本構成においては、第１の上部反射器電極８０５ａと第２の下部反射器電極８０６ｂとを介しているので、第２、第３のＩＤＴ電極への信号経路への引き回しをより小さくすることができるので、引き回しによる抵抗、インダクタ成分による特性劣化をより抑え、基板上の電極配置や端子配置の自由度をより高めることが可能となる。
【０１４９】
また、本構成においては、下部電極８０２ｂと第１の下部反射器電極８０５ｂ、及び上部電極８０３ａと第２の上部反射器電極８０６ａとを共通にして接地としているため、接地端子を引き出すことができ、基板上の電極配置の自由度をさらにより大きくすることができる。
【０１５０】
なお、反射器電極８０５、８０６は、図９に示すような構成であってもかまわない。図９において、第１及び第２の反射器電極９０１、９０２はそれぞれ２つの分割反射器電極に分割され、さらに、入力ＩＤＴ電極に近接する分割反射器電極が上部反射器電極と下部反射器電極とにより構成される構成である。図９に示す構成であっても、本発明の平衡度改善の効果は同様であり、また電極配置の自由度を上げるという効果に関しても同様に得られるものである。なお、第１の反射器電極９０１は本発明の第１の反射器電極に対応し、第２の反射器電極９０２は本発明の第２の反射器電極に対応する。
【０１５１】
（実施の形態６）
以下、本発明の実施の形態６の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図１０は実施の形態６における弾性表面波フィルタの概略図である。
【０１５２】
上記実施の形態では、不平衡−平衡型端子を有する弾性表面波について説明したが、実施の形態６では、平衡−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタについて説明する。
【０１５３】
実施の形態１と同一の部分については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１５４】
なお、平衡端子１１１は本発明の第２の平衡型端子の一方に対応する。
【０１５５】
図１０において、圧電基板１０１の上には、第１のＩＤＴ電極１０２と第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４と第１、第２の反射器電極１０５、１０６とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【０１５６】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、第１のＩＤＴ電極１０２の上部電極１０２ａは平衡型端子の一方１０７に接続され、第１のＩＤＴ電極１０２の下部電極１０２ｂは平衡型端子の他方１０８に接続される。また、第２のＩＤＴ電極１０３の上部電極１０３ａは平衡型端子１１０に接続され、下部電極１０３ｂは平衡型端子１１１に接続される。また、第３のＩＤＴ電極１０４の下部電極１０４ｂは平衡型端子１１０に接続され、上部電極１０３ａは平衡型端子１１１に接続される。
【０１５７】
このように、上述の弾性表面波フィルタは平衡型−平衡型の端子を有する構成となり、平衡型端子１１０及び平衡型端子１１１からの信号経路はそれぞれ構造的に上下逆側からの接続となる。また、第１のＩＤＴ電極１０２の上部電極１０２ａと下部電極１０２ｂの電極指の数は同数である。
【０１５８】
以上の構成とすることにより第２のＩＤＴ電極の上部電極１０３ａを平衡型端子１１０に接続する引き回し配線と、第３のＩＤＴ電極１０４の上部電極１０４ａを平衡型端子１１１に接続する引き回し配線とに流れる信号が互いに逆の位相になる。また、第２のＩＤＴ電極の下部電極１０３ｂを平衡型端子１１１に接続する引き回し配線と、第３のＩＤＴ電極１０４の下部電極１０４ｂを平衡型端子１１０に接続する引き回し配線とに流れる信号が互いに逆の位相になる。
【０１５９】
従って、これらの引き回し配線から空間的に漏れる信号は左側と右側で位相が逆になっているので、上部電極１０２ａを平衡型端子１０７に接続する引き回し配線への影響を軽減出来る。また、下部電極１０２ｂを平衡型端子１０８に接続する引き回し配線への影響を軽減出来る。従って弾性表面波フィルタの特性が劣化することを抑えることが出来る。
【０１６０】
第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４における電極指の配置は、図１１（Ａ）に示すように、実施の形態１と同様であり、弾性表面波が打ち消し合わないような構成となる。ずなわち、平衡型端子１１０、１１１に接続される第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４の上部電極１０３ａ、下部電極１０４ｂをプラス（＋）とし、平衡型端子１１１に接続される電極をマイナス（−）とすると、図１１（Ａ）に示すように同相の配置になっている。
【０１６１】
なお、、図１１（Ｂ）に示す構成であっても本発明の効果は同様である。図１１（Ｂ）は、第２、第３のＩＤＴ電極の上部電極と下部電極の配置を電極指一つ分だけずらした構成である。この場合には、第１のＩＤＴ電極１０２の極性が逆となるだけで、本発明の実施の形態による効果は同様である。
【０１６２】
また、第２のＩＤＴ電極１０３の上部電極１０３ａと第３のＩＤＴ電極１０４の下部電極１０４ｂとが平衡型端子１１０に接続されるとしたが、これは第２のＩＤＴ電極１０３の下部電極１０３ｂと第３のＩＤＴ電極１０４の上部電極１０４ａとが平衡型端子１１０に接続されていてもよい。すなわち、第２、第３のＩＤＴ電極１０３、１０４への信号経路の接続を構造的に上下逆側から行うようにすれば、本発明の実施の形態と同様の効果が得られる。
【０１６３】
なお、実施の形態２〜５の各実施の形態の弾性表面波フィルタの対応する部分を実施の形態６の弾性表面波フィルタに置き換えてもよい。このようにすれば不平衡−平衡型弾性表面波フィルタについて上記各実施の形態で得られたのと同等の効果を平衡−平衡型表面波フィルタについても得ることが出来る。
【０１６４】
（実施の形態７）
以下、本発明の実施の形態７の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図１４は実施の形態７における弾性表面波フィルタの概略図である。
【０１６５】
本実施の形態の弾性表面波フィルタは、不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタである。
【０１６６】
なお、第４のＩＤＴ電極７は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第５のＩＤＴ電極８は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第６のＩＤＴ電極９は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応し、第１のＩＤＴ電極１は本発明の第４のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極２は本発明の第５のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極３は本発明の第６のＩＤＴ電極に対応する。また、第３の反射器電極１０は本発明の第１の反射器電極に対応し、第４の反射器電極１１は本発明の第２の反射器電極に対応し、第１の反射器電極４は本発明の第３の反射器電極に対応し、第２の反射器電極５は本発明の第４の反射器電極に対応する。また、ＯＵＴ１は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、ＯＵＴ２は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、ＩＮは本発明の不平衡型端子に対応する。
【０１６７】
図１４において、弾性表面波フィルタは、それぞれ圧電基板上に配置された１段目のフィルタトラック６及び２段目のフィルタトラック１２から構成される。
【０１６８】
１段目のフィルタトラック６は、第１、第２、第３のＩＤＴ電極１、２、３と第１、第２の反射器電極４、５とにより構成される。また、２段目のフィルタトラック１２は、第４、第５、第６のＩＤＴ電極７、８、９と、第４、第５の反射器電極１０、１１とにより構成される。
【０１６９】
第１のＩＤＴ電極１の両側には、第２、及び第３のＩＤＴ電極２、３が配置されており、その両側には、第１、第２の反射器電極４、５が配置されている。これらの各ＩＤＴ電極及び反射器電極は弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている。また、第４のＩＤＴ電極の両側には、第５、第６のＩＤＴ電極８、９が配置されており、その両側には、第３、第４の反射器電極１０、１１が配置されている。これらの各ＩＤＴ電極及び反射器電極は弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されている。そして、１段目のフィルタトラック６と２段目のフィルタトラック１２とは、縦続に接続されて２段の縦モードフィルタを構成している。
【０１７０】
なお、図１４では、第１のＩＤＴ電極１と第４のＩＤＴ電極７とは互いに対向して配置されており、第２のＩＤＴ電極２と第５のＩＤＴ電極８とは互いに対向して配置されており、第３のＩＤＴ電極３と第６のＩＤＴ電極９とは互いに対向して配置されているとして図示しているが、これに限らない。例えば、図１４において、１段目のフィルタトラック６を２段目のフィルタトラック１２に対して第１のＩＤＴ電極１、第２のＩＤＴ電極２、及び第３のＩＤＴ電極が配置されている方向に平行移動させた弾性表面波フィルタや、１段目のフィルタトラック６と２段目のフィルタトラック１２とを異なった圧電基板上に形成した弾性表面波フィルタであっても本実施の形態と同等の効果を得ることが出来る。要するに、本実施の形態の弾性表面波フィルタは、１段目のフィルタトラック６と２段目のフィルタトラック１２とが、縦続に接続されて２段の縦モードフィルタを構成していさえすれよい。
【０１７１】
第１のＩＤＴ電極１は、上部電極１ａと、下部電極１ｂとから構成されており、第２のＩＤＴ電極２は、上部電極２ａと、下部電極２ｂとから構成されており、第３のＩＤＴ電極３は、上部電極３ａと、下部電極３ｂとから構成されており、第４のＩＤＴ電極７は、上部電極７ａと、下部電極７ｂとから構成されており、第５のＩＤＴ電極８は、上部電極８ａと、下部電極８ｂとから構成されており、第６のＩＤＴ電極９は、上部電極９ａと、下部電極９ｂとから構成されている。このように各ＩＤＴ電極はそれぞれ一対の櫛形電極である上部電極と下部電極とから構成されている。
【０１７２】
また、第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａは、入力用の不平衡型端子ＩＮに接続されており、第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂは、接地されている。
【０１７３】
第２のＩＤＴ電極２の上部電極２ａは、引き回し配線１３によって第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａに接続されている。第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂは接地されている。
【０１７４】
第３のＩＤＴ電極３の下部電極３ｂは、引き回し配線１４によって第６のＩＤＴ電極９の下部電極９ｂに接続されている。第３のＩＤＴ電極３の上部電極３ａは接地されている。
【０１７５】
第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａは、出力用の１対の平衡型端子のうち一方の平衡型端子ＯＵＴ１に接続されており、第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂは、出力用の１対の平衡型端子のうち、他方の平衡型端子ＯＵＴ２に接続されている。
【０１７６】
第５のＩＤＴ電極８の下部電極８ｂ及び第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａは、ともに接地されている。
【０１７７】
また、引き回し配線１３、１４は、第１のＩＤＴ電極１などの各ＩＤＴ電極が形成されている圧電基板上で引き回されている。なお、このとき引き回し配線１３と引き回し配線１４のリアクタンス成分が同じになるように引き回すことが好ましい。なお、引き回し配線１３、１４を圧電基板上で引き回す代わりに、圧電基板の下地基板で引き回しても構わない。
【０１７８】
なお、ＩＮ、ＯＵＴ１、ＯＵＴ２の接続に関しては、ワイヤーボンディング実装やフェースダウン実装などにより、圧電基板外の端子に引き出される構成となる。
【０１７９】
また、上記の各ＩＤＴ電極及び各反射器電極では、互いに隣合う電極指の中心間隔が０．９×λ／２から１．１×λ／２までの範囲になるようにした。このようにすることによりバルク放射損を抑えることが出来、フィルタのロスを小さくすることが出来る。
【０１８０】
次に、このような本実施の形態の弾性表面波フィルタの動作を説明する。
【０１８１】
不平衡型端子ＩＮに信号を入力することにより、第１のＩＤＴ電極１で弾性表面波が生じる。そして、弾性表面波は、第１、第２の反射器電極４、５により複数の共振モードを生じる。この共振モードを利用することによりフィルタ特性が得られ、第２のＩＤＴ電極２及び第３のＩＤＴ電極３でそれぞれ電気信号に変換される。
【０１８２】
第２のＩＤＴ電極２で変換された電気信号は、引き回し配線１３を通過して第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａに出力される。また、第３のＩＤＴ電極３で変換された電気信号は、引き回し配線１４を通過して第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａに出力される。このとき、弾性表面波フィルタの各ＩＤＴ電極同士の間隔及び電極指の配置を予め調整しておくことにより、引き回し配線１３に入力される電気信号と引き回し配線１４に入力される電気信号とは位相が互いに逆相になる。
【０１８３】
第５のＩＤＴ電極８に入力された電気信号は、第５のＩＤＴ電極８で弾性表面波に変換され、また、第６のＩＤＴ電極９に入力された電気信号は、第６のＩＤＴ電極９で弾性表面波に変換される。そして、第５のＩＤＴ電極８及び第６のＩＤＴ電極９で変換された弾性表面波は、圧電基板を伝搬する。伝搬した弾性表面波は、第３、第４の反射器電極１０、１１で反射されることにより、複数の共振モードを生じる。
【０１８４】
この共振モードを利用することによりフィルタ特性が得られ、平衡型端子ＯＵＴ１及びＯＵＴ２から出力される。
【０１８５】
本実施の形態の弾性表面波フィルタはこのように動作する。
【０１８６】
これまでの実施の形態においては、アンバランスな寄生成分によるバランス特性劣化の改善を示した。つぎに、バランス特性劣化原因の明確化を行う。
【０１８７】
本発明者は、従来の弾性表面波フィルタ（図２７参照）のフィルタ特性と、このような本実施の形態の弾性表面波フィルタ（図１４参照）のフィルタ特性とをともにシミュレーションして比較してみた。
【０１８８】
また、本発明者は、前述した実施の形態１の弾性表面波フィルタ（図１参照）のフィルタ特性や従来の弾性表面波フィルタ（図１２参照）のフィルタ特性に関しても同様なシミュレーションを行った。
【０１８９】
以下では、（１）従来の弾性表面波フィルタ（図１２参照）のフィルタ特性、および実施の形態１の弾性表面波フィルタ（図１参照）のフィルタ特性に関してまず説明し、（２）従来の弾性表面波フィルタ（図２７参照）のフィルタ特性、および本実施の形態の弾性表面波フィルタ（図１４参照）のフィルタ特性に関してつぎに説明する。
【０１９０】
（１）図４２に、従来の弾性表面波フィルタ（図１２参照）のフィルタ特性をシミュレーションにより求める際の条件を示し、図４７にその条件に従って求められたフィルタ特性（振幅バランス特性および位相バランス特性）を示す。振幅バランス特性および位相バランス特性は、本発明者が発生を予想した二箇所の寄生容量（容量成分４３０１）がともに０．１ｐＦである場合と、それらがともに０．２ｐＦである場合とについて図示されている。
【０１９１】
このようなシミュレーションにより求められたフィルタ特性は、実験により求められるフィルタ特性（図４１参照）と同様の傾向を示しており、本発明者が行った前述のような寄生容量の発生の予想は、的確であるといえる。
【０１９２】
図４８に、実施の形態１の弾性表面波フィルタ（図１参照）のフィルタ特性をシミュレーションにより求める際の条件を示し、図４９にその条件に従って求められたフィルタ特性（振幅バランス特性および位相バランス特性）を示す。振幅バランス特性および位相バランス特性は、本発明者が発生を予想した二箇所の寄生容量がともに０．１ｐＦである場合と、それらがともに０．２ｐＦである場合とについて図示されている。なお、図４３（Ａ）〜（Ｂ）には、振幅バランス特性および位相バランス特性それぞれに関して、寄生容量と通過帯域における最大値および最小値との関係を示している。
【０１９３】
このようなシミュレーションにより求められたフィルタ特性は、実験により求められるフィルタ特性と同様の傾向を示しており、本発明者が行った前述のような寄生容量の発生の予想は、的確であるといえる。
【０１９４】
（２）さて、図１５に、従来の図２７の弾性表面波フィルタのフィルタ特性をシミュレーションにより求める際の条件を示し、図１６にその条件に従って求められたフィルタ特性を示す。
【０１９５】
また、図１７に、本実施の形態の図１４の弾性表面波フィルタのフィルタ特性をシミュレーションにより求める際の条件を示し、図１８にその条件に従って求められたフィルタ特性を示す。
【０１９６】
まず、従来の弾性表面波フィルタについては、図１５に示すように、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線と、引き回し配線３２とが接近しているので、これらの引き回し配線により寄生容量３４が形成されると仮定した。また、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線と、引き回し配線３３とが接近しているので、これらの引き回し配線により寄生容量３５が形成されると仮定した。また、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線は、引き回し配線３２及び引き回し配線３３から離れているので、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線は引き回し引き回し配線３２とも引き回し配線３３とも寄生容量を形成することはないと仮定した。
【０１９７】
また、各ＩＤＴ電極及び各反射器電極は、引き回し配線３２に入力される信号の位相と、引き回し配線３３に入力される信号の位相とが、逆相になるように配置した。
【０１９８】
このようなシミュレーション条件によりシミュレーションを行った結果、従来の弾性表面波フィルタについては、図１６に示すフィルタ特性が得られた。
【０１９９】
図１６（Ａ）に、シミュレーションによって求められた、従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す。また、図１６（Ｂ）にシミュレーションによって求められた、従来の弾性表面波フィルタの振幅バランスを示す。なお、振幅バランスとは、不平衡型端子ＩＮから入力信号を入力した場合に、平衡型端子ＯＵＴ１に出力される信号の振幅と、平衡型端子ＯＵＴ２に出力される信号の振幅との比（単位：デシベル）をプロットしたものである。なお、弾性表面波フィルタが完全に平衡であるという理想的な状態にあると仮定した場合には、平衡型端子ＯＵＴ１から検出される信号と、平衡型端子ＯＵＴ２から検出される信号とは等振幅でかつ位相は互いに１８０度異なる。従って振幅バランスの絶対値が大きいほど理想的な平衡状態からのずれが大きいことになる。図１６（Ｃ）にシミュレーションによって求められた、従来の弾性表面波フィルタの位相バランスを示す。なお、位相バランスとは、不平衡型端子ＩＮから入力信号を入力した場合に、平衡型端子ＯＵＴ１に出力される信号の位相と平衡型端子ＯＵＴ２に出力される信号の位相との差（単位：度）をプロットしたものである。なお、弾性表面波フィルタが完全に平衡であるという理想的な状態にあると仮定した場合には、平衡型端子ＯＵＴ１から検出される信号と、平衡型端子ＯＵＴ２から検出される信号とは等振幅でかつ位相は互いに１８０度異なる。従って、位相バランスとは、平衡型端子ＯＵＴ１から検出される信号の位相と平衡型端子ＯＵＴ２から検出される信号の位相との位相差が１８０度から何度ずれているかを示すものである。従って位相バランスの絶対値が大きいほど理想的な平衡状態からのずれが大きいことになる。
【０２００】
次に、本実施の形態の図１４に示す弾性表面波フィルタについては、図１７に示すように、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線と、引き回し配線１３とが接近しているので、これらの引き回し配線により寄生容量３６が形成されると仮定した。また、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線と、引き回し配線１４とが接近しているので、これらの引き回し配線により寄生容量３７が形成されると仮定した。
【０２０１】
一方、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線は、引き回し配線１４には接近していないので、これらの引き回し配線同士は寄生容量を形成しないと仮定した。また、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線は、引き回し配線１３には接近していないので、これらの引き回し配線同士は寄生容量を形成しないと仮定した。
【０２０２】
また、各ＩＤＴ電極及び各反射器電極は、引き回し配線１３に入力される信号の位相と、引き回し配線１４に入力される信号の位相とが、互いに逆相になるように配置した。
【０２０３】
このようなシミュレーション条件によりシミュレーションを行った結果、本実施の形態の弾性表面波フィルタについては、図１８に示すフィルタ特性が得られた。
【０２０４】
図１８（Ａ）にシミュレーションによって求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す。また、図１８（Ｂ）にシミュレーションによって求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの振幅バランスを示す。また、図１８（Ｃ）にシミュレーションによって求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの位相バランスを示す。
【０２０５】
図１６と図１７とを比較すると、図１７（Ａ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの周波数特性は、通過帯域外で減衰極が得られており、通過帯域外で急峻に減衰する特性になっている。これに対して図１６（Ａ）に示す従来の弾性表面波フィルタの周波数特性は、通過帯域外で減衰極が得られておらず、急峻に減衰する特性にはなっていない。
【０２０６】
また、図１８（Ｂ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの振幅バランスは、広い周波数領域に渡って良好な特性が得られている。これに対して、図１６（Ｂ）に示す従来の弾性表面波フィルタの振幅バランスは、図１８（Ｂ）よりは振幅バランスが劣化している。
【０２０７】
また、図１８（Ｃ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの位相バランスは、広い周波数領域に渡って良好な特性が得られている。これに対して、図１６（Ｃ）に示す従来の弾性表面波フィルタの位相バランスは、図１８（Ｃ）よりは位相バランスが劣化している。
【０２０８】
このように、本実施の形態の弾性表面波フィルタの特性と従来の弾性表面波フィルタの特性とをシミュレーションによって求めた場合、本実施の形態の弾性表面波フィルタの方が、従来の弾性表面波フィルタより良好な平衡度を有し、かつ良好な周波数特性を有するという結果が得られた。
【０２０９】
この結果は、次のように解釈することが出来る。すなわち、本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線と、引き回し配線１３とによって形成される寄生成分と、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線と、引き回し配線１４とによって形成される寄生成分とが実質上同一になるので、良好な平衡度及び良好な周波数特性を有する弾性表面波フィルタが得られたと考えることが出来る。ところが、従来の弾性表面波フィルタでは、平衡型端子ＯＵＴ１と第４のＩＤＴ電極７の上部電極７ａとを接続する引き回し配線と、引き回し配線３２、３３とで形成される寄生成分と、平衡型端子ＯＵＴ２と第４のＩＤＴ電極７の下部電極７ｂとを接続する引き回し配線と、引き回し配線３２、３３とで形成されるアンバランスな寄生成分とが、異なっているために、本実施の形態の弾性表面波フィルタよりは平衡度及び周波数特性がともに劣化したものと考えることが出来る。
【０２１０】
さらに、本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、引き回し配線１３に入力される信号の位相と引き回し配線１４に入力される信号の位相とを互いに逆相になるようにしたことによっても、本実施の形態の弾性表面波フィルタの特性が良好になった原因であると考えられることが出来る。
【０２１１】
次に、本実施の形態の図１４の弾性表面波フィルタの特性と従来の図２７の弾性表面波フィルタの特性を実験により求めてみた。
【０２１２】
すなわち、図１９に、実験により求めた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの特性を示し、図２０に、実験により求めた、従来の弾性表面波フィルタの特性を示す。
【０２１３】
すなわち、図１９（Ａ）に、実験により求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの周波数特性を示し、図１９（Ｂ）に、実験により求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの振幅バランスを示し、図１９（Ｃ）に、実験により求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの位相バランスを示す。
【０２１４】
また、図２０（Ａ）に、実験により求められた、従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示し、図２０（Ｂ）に、実験により求められた、従来の弾性表面波フィルタの振幅バランスを示し、図２０（Ｃ）に、実験により求められた、従来の弾性表面波フィルタの位相バランスを示す。
【０２１５】
図１９と図２０とを比較すると、図１９（Ａ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの周波数特性は、通過帯域外で減衰極が得られており、かつ通過帯域外で急峻な減衰特性が得られている。これに対して図２０（Ａ）に示す従来の弾性表面波フィルタの周波数特性は、通過帯域外で減衰極が得られておらず、通過帯域外で急峻な減衰特性が得られていない。
【０２１６】
また、図１９（Ｂ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの振幅バランスは、広い周波数領域に渡って良好な特性が得られている。これに対して、図２０（Ｂ）に示す従来の弾性表面波フィルタの振幅バランスは、図１９（Ｂ）よりは振幅バランスが劣化している。
【０２１７】
また、図１９（Ｃ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの位相バランスは、広い周波数領域に渡って良好な特性が得られている。これに対して、図２０（Ｃ）に示す従来の弾性表面波フィルタの位相バランスは、図１９（Ｃ）よりは位相バランスが劣化している。
【０２１８】
このように、シミュレーションにより求めた場合と、実験により求めた場合とで、同様の傾向が得られた。すなわち、いずれの場合にせよ、本実施の形態の弾性表面波フィルタの方が従来の弾性表面波フィルタよりも、良好な平衡度及び良好な周波数特性が得られる。
【０２１９】
このように、引き回し配線１３と第５のＩＤＴ電極８との接続を、引き回し配線１４と第６のＩＤＴ電極９との接続に対して上下逆にすることによって、平衡型端子ＯＵＴ１からの引き回し配線との寄生成分による影響と、平衡型端子ＯＵＴ２からの引き回し配線との寄生成分による影響とを実質上ほぼ同一とすることが出来るので、平衡度の劣化を抑えることが出来、良好な特性を有する弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【０２２０】
なお、各ＩＤＴ電極における電極指の配置は弾性表面波が打ち消し合わないような構成となる。ずなわち、不平衡型端子ＩＮに接続される第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａをプラス（＋）とし、接地される第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂをマイナス（−）とすると、図２１に示すように電極指の極性が同相の配置になっている。従って、図２２に示すような構成であっても、各ＩＤＴ電極における電極指の配置が弾性表面波が打ち消し合わないような構成であれば、本実施の形態と同等の効果を得ることが出来る。すなわち、図２２は、第２、第３のＩＤＴ電極２、３の上部電極２ａ、３ａと下部電極２ｂ、３ｂの配置を電極指一つ分だけずらし、また、第４、第５のＩＤＴ電極の上部電極８ａ、９ａ、と下部電極８ｂ、９ｂとの配置を電極指一つ分だけずらした構成である。また、第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂと第５のＩＤＴ電極８の下部電極８ｂとを引き回し配線１５によって接続し、第３のＩＤＴ電極３の上部電極３ａと第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａとを引き回し配線１６で接続した構成である。
【０２２１】
このように、図１４の弾性表波フィルタの引き回し配線１３、１４の接続を図２２のように上下逆転させた場合であっても、本実施の形態と同等の効果を得ることが出来る。なお、電極に重み付けを施す場合は、これに限るものでない。ここで、電極に重み付けを施すとは、例えば図１４の第１のＩＤＴ電極１では、各電極指は上部電極１ａから引き出されている電極指と下部電極１ｂから引き出されている電極指とが交互に配列されているが、少なくともいずれか一つの電極指を逆側の電極から引き出すようにした場合を意味している。
【０２２２】
なお、本実施の形態では、不平衡型端子ＩＮに信号が入力され、一対の平衡型端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２から信号が出力されるとして説明したが、これに限らない。一対の平衡型端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２から信号を入力し、不平衡型端子ＩＮから信号を出力しても、本実施の形態と同等の効果を得ること出来る。
【０２２３】
また、本実施の形態では、各ＩＤＴ電極及び各反射器電極は、引き回し配線１３に入力される信号の位相と、引き回し配線１４に入力される信号の位相とが、互いに逆相になるように配置されているとして説明したが、これに限らない。各ＩＤＴ電極及び各反射器電極を、引き回し配線１３に入力される信号の位相と、引き回し配線１４に入力される信号の位相とが互いに同相になるように配置してもよい。
【０２２４】
引き回し配線１３に入力される信号の位相と、引き回し配線１４に入力される信号の位相とが互いに同相になるように配置した場合について、本実施の形態の弾性表面波フィルタのフィルタ特性と従来の弾性表面波フィルタのフィルタ特性とをともにシミュレーションにより求めて比較してみた。
【０２２５】
従来の弾性表面波フィルタについては、上述した図１５のシミュレーション条件において、第２のＩＤＴ電極２や第５のＩＤＴ電極８の配置を調整することによって、引き回し配線３２に入力される信号の位相と引き回し配線３３に入力される信号の位相とが互いに同相になるように配置した。それ以外のシミュレーション条件は、図１５のシミュレーション条件と同様である。
【０２２６】
また、本実施の形態の弾性表面波フィルタについては、上述した図１７のシミ
ュレーション条件において、第３のＩＤＴ電極３や第６のＩＤＴ電極９の配置を調整することによって、引き回し配線１３に入力される信号の位相と引き回し配線１４に入力される信号の位相とが互いに同相になるように配置した。それ以外のシミュレーション条件は図１７のシミュレーション条件と同様である。
【０２２７】
図２８に、このようなシミュレーション条件でシミュレーションを行い、その結果求められた、従来の弾性表面波フィルタのフィルタ特性を示す。すなわち、図２８（Ａ）は、シミュレーションにより求められた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性であり、図２８（Ｂ）は、シミュレーションにより求められた、従来の弾性表面波フィルタの位相バランスである。
【０２２８】
また、図２９に、このようなシミュレーション条件でシミュレーションを行い、その結果求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタのフィルタ特性を示す。すなわち、図２９（Ａ）は、シミュレーションにより求められた本実施の形態の弾性表面波フィルタの周波数特性であり、図２９（Ｂ）は、シミュレーションにより求められた、本実施の形態の弾性表面波フィルタの位相バランスである。
【０２２９】
図２８と図２９とを比較すると、図２９（Ａ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの周波数特性は、通過帯域外で減衰極が得られており、通過帯域外で急峻に減衰する特性になっている。これに対して図２８（Ａ）に示す従来の弾性表面波フィルタの周波数特性は、通過帯域外で減衰極が得られておらず、急峻に減衰する特性にはなっていない。
【０２３０】
また、シミュレーションによる振幅バランスについては、図示していないが、本実施の形態の弾性表面波フィルタの方が従来の弾性表面波フィルタより若干良好となる傾向が認められた。
【０２３１】
また、図２９（Ｂ）に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタの位相バランスは、図２８（Ｂ）に示す従来の弾性表面波フィルタより２度程度位相バランスが優れている。このように若干ではあるが、本実施の形態の弾性表面波フィルタの方が位相バランスが優れている。
【０２３２】
さらに、図２９に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタのフィルタ特性を図１５のシミュレーション条件すなわち引き回し配線の信号の位相が逆相になる場合の従来の弾性表面波フィルタのシミュレーションを行った結果である図１６のフィルタ特性とを比較すると、振幅バランス及び位相バランスについてはともかく、周波数特性については、図２９に示す本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、減衰極が得られているのに対して、図１６のフィルタ特性では減衰極が得られていない。従って周波数特性については、引き回し配線３２に入力される信号の位相と引き回し配線３３に入力される信号の位相とが互いに同相である場合の本実施の形態の弾性表面波フィルタの方が、従来の弾性表面波フィルタで引き回し配線に入力される信号の位相を互いに逆相にしたものよりも明らかに良好な特性を有している。
【０２３３】
このように、各ＩＤＴ電極及び各反射器電極を、引き回し配線１３に入力される信号の位相と、引き回し配線１４に入力される信号の位相とが互いに同相になるように配置した場合であっても、従来の弾性表面波フィルタよりは良好な周波数特性を得ることが出来る。
【０２３４】
（実施の形態８）
以下、本発明の実施の形態８の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図２３は実施の形態８における弾性表面波フィルタの概略図である。
【０２３５】
本実施の形態の弾性表面波フィルタは、前述した実施の形態７と同様に、不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタである。
【０２３６】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタのうち前述した実施の形態７と同一部分には同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【０２３７】
図２３において、弾性表面波フィルタは、それぞれ圧電基板上に配置された１段目のフィルタトラック６及び２段目のフィルタトラック１２から構成される。
【０２３８】
１段目のフィルタトラック６は、第１、第２、第３のＩＤＴ電極１、２、３と第１、第２の反射器電極４、５とにより構成される。また、２段目のフィルタトラック１２は、第４、第５、第６のＩＤＴ電極７、８、９と、第４、第５の反射器電極１０、１１とにより構成される。
【０２３９】
本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、前述した実施の形態７で図１４を用いて説明した弾性表面波フィルタとは異なり、第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂと第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａとが引き回し配線１７によって接続されいる。
【０２４０】
これ以外は、前述した実施の形態７と同様である。
【０２４１】
次に、このような本実施の形態の動作を前述した実施の形態７との相違点を中心に説明する。
【０２４２】
本実施の形態でも前述した実施の形態７と同様、引き回し配線１７に入力される信号の位相と引き回し配線１８に入力される信号の位相とは互いに逆相になるように、各ＩＤＴ電極が予め配置されているものとする。
【０２４３】
前述した実施の形態７では、引き回し配線１３は、第２のＩＤＴ電極２の上部電極２ａから引き回されているために、引き回し配線１３は、不平衡型端子ＩＮと第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａとを接続する引き回し配線と近接して配置される構成となる。従って、これらの引き回し配線同士が結合することを考慮すると、本実施の形態に示すように、引き回し配線１７及び引き回し配線１８は、それぞれ第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂ及び第３のＩＤＴ電極３の下部電極３ｂから引き回されている構成が好ましい。すなわち、本実施の形態の弾性表面波フィルタではいずれの引き回し配線１７、１８も第１の実施の形態よりも不平衡型端子ＩＮと第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａとを接続する引き回し配線から遠い位置に配置されている。従って、引き回し配線１７及び引き回し配線１８と、不平衡型端子ＩＮと第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａとを接続する引き回し配線との寄生成分の影響は、前述した実施の形態７よりも小さくなる。
【０２４４】
このように、不平衡型端子ＩＮと第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａとを接続する引き回し配線との結合が前述した実施の形態７より小さくなるように引き回し配線１７及び引き回し配線１８が配線されているので、良好なフィルタ特性を有する弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【０２４５】
なお、各ＩＤＴ電極における電極指の配置は前述した実施の形態７と同様に弾性表面波が打ち消し合わないような構成となる。
【０２４６】
従って、図２４に示すような構成であっても、各ＩＤＴ電極における電極指の配置が弾性表面波が打ち消し合わないような構成であれば、本実施の形態と同等の効果を得ることが出来る。すなわち、図２４は、第４、第５のＩＤＴ電極８、９の上部電極８ａ、９ａと下部電極８ｂ、９ｂの配置を電極指一つ分だけずらした構成である。また、第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂと第５のＩＤＴ電極７の下部電極８ｂとを引き回し配線１９によって接続し、第３のＩＤＴ電極３の下部電極３ｂと第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａとを引き回し配線２０で接続した構成である。
【０２４７】
このように、図２３の弾性表波フィルタの引き回し配線１７、１８の接続を図２４のように上下逆転させた場合であっても、本実施の形態と同等の効果を得ることが出来る。
【０２４８】
（実施の形態９）
以下、本発明の実施の形態９の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図２５は実施の形態９における弾性表面波フィルタの概略図である。
【０２４９】
本実施の形態の弾性表面波フィルタは、前述した実施の形態７と同様に、不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタである。
【０２５０】
本実施の形態の弾性表面波フィルタのうち前述した実施の形態７と同一部分には同一を付して詳細な説明を省略する。
【０２５１】
なお、第４のＩＤＴ電極２１は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応する。
【０２５２】
図２５において、弾性表面波フィルタは、それぞれ圧電基板上に配置された１段目のフィルタトラック６及び２段目のフィルタトラック１２から構成される。
【０２５３】
１段目のフィルタトラック６は、前述した実施の形態７と同様に第１、第２、第３のＩＤＴ電極１、２、３と第１、第２の反射器電極４、５とにより構成される。また、２段目のフィルタトラック１２は、前述した実施の形態７と同様に第４、第５、第６のＩＤＴ電極２１、８、９と、第４、第５の反射器電極１０、１１とにより構成される。
【０２５４】
本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、前述した実施の形態７とは異なり、第４のＩＤＴ電極２１が、第１の分割ＩＤＴ電極２２、及び第２の分割ＩＤＴ電極２３に分割されている。
【０２５５】
すなわち、第１の分割ＩＤＴ電極２２の上部電極２２ａ及び下部電極２２ｂのうち１段目のフィルタトラック６の側の方に配置されている上部電極２２ａは一対の平衡型端子のうち平衡型端子ＯＵＴ１に接続されている。また、第１の分割ＩＤＴ電極２２の上部電極２２ａ及び下部電極２２ｂのうち１段目のフィルタトラック６の側とは反対側の方に配置されている下部電極２２ｂは、接地されている。
【０２５６】
また、第２の分割ＩＤＴ電極２３の上部電極２３ａ及び下部電極２３ｂのうち、第１のフィルタトラック６の側とは反対側の方に配置されている下部電極２３ｂは、一対の平衡型端子のうち平衡型端子ＯＵＴ２に接続されている。第２の分割ＩＤＴ電極２３の上部電極２３ａ及び下部電極２３ｂのうち、第１のフィルタトラック６の側に配置されている上部電極２３ａは接地されている。
【０２５７】
これ以外は、前述した実施の形態７と同様である。
【０２５８】
次に、このような本実施の形態の動作を前述した実施の形態７との相違点を中心に説明する。
【０２５９】
本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、第４のＩＤＴ電極２１を第１の分割ＩＤＴ電極２２と第２の分割ＩＤＴ電極２３とに分割したことにより、平衡型端子ＯＵＴ１と平衡型端子ＯＵＴ２との間のアイソレーションを確保することが出来るようになる。
【０２６０】
また、第４のＩＤＴ電極２１の電極指の本数が同数であり、電極指の幅が同数であり、隣接する電極指の中心間隔が同じであるという条件では、第４のＩＤＴ電極２１を第１の分割ＩＤＴ電極２２及び第２の分割ＩＤＴ電極２３に分割した方が、第４のＩＤＴ電極２１を分割しない場合に比べて、平衡型端子ＯＵＴ１及び平衡型端子ＯＵＴ２のインピーダンスが高い。従って、第４のＩＤＴ電極２１を第１の分割ＩＤＴ電極２２及び第２の分割ＩＤＴ電極２３に分割することにより、第４のＩＤＴ電極２１の電極指の本数などの条件を一定にしたままで、フィルタの周波数特性が実質上同一であって、平衡型端子ＯＵＴ１及びＯＵＴ２の出力インピーダンスが高い弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【０２６１】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、第２のＩＤＴ電極４の上部電極４ａと第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａとを引き回し配線１３によって接続し、第３のＩＤＴ電極３の下部電極３ｂと第６のＩＤＴ電極９の下部電極９ｂとを引き回し配線１４によって接続したが、これに限らない。第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂと第５のＩＤＴ電極８の下部電極８ｂとを引き回し配線１３によって接続し、第３のＩＤＴ電極３の上部電極３ａと第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａとを引き回し配線１４で接続しても構わない。なお、この場合には各弾性表面波フィルタは弾性表面波を打ち消し合わないように配置されているものとする。
【０２６２】
また、前述した実施の形態８で説明したように、１段目のフィルタトラック６において、第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂから引き回し配線１３を引き回しても構わない。この場合には不平衡型端子ＩＮと第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａとを接続する引き回し配線との寄生成分の影響を小さくすることが出来る。
【０２６３】
また、同様に、前述した実施の形態８で説明した弾性表面波フィルタの第３のＩＤＴ電極を本実施の形態の第４のＩＤＴ電極２１の部分と同様に第１の分割ＩＤＴ電極２２と第２の分割ＩＤＴ電極２３に分割しても構わない。
【０２６４】
（実施の形態１０）
以下、本発明の実施の形態１０の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図２６は実施の形態１０における弾性表面波フィルタの概略図である。
【０２６５】
本実施の形態の弾性表面波フィルタは、前述した実施の形態９と同様に、不平衡−平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタである。
【０２６６】
本実施の形態の弾性表面波フィルタのうち前述した実施の形態９と同一部分には同一を付して詳細な説明を省略する。
【０２６７】
なお、第４のＩＤＴ電極２６は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応する。
【０２６８】
図２６において、弾性表面波フィルタは、それぞれ圧電基板上に配置された１段目のフィルタトラック６及び２段目のフィルタトラック１２から構成される。
【０２６９】
１段目のフィルタトラック６は、前述した実施の形態７と同様に第１、第２、第３のＩＤＴ電極１、２、３と第１、第２の反射器電極４、５とにより構成される。また、２段目のフィルタトラック１２は、前述した実施の形態７と同様に第４、第５、第６のＩＤＴ電極２６、８、９と、第４、第５の反射器電極１０、１１とにより構成される。
【０２７０】
本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、前述した実施の形態９とは異なり、第４のＩＤＴ電極２６が、第１の分割ＩＤＴ電極２７、第２の分割ＩＤＴ電極２８、及び第３の分割ＩＤＴ電極２９にに分割されている。
【０２７１】
すなわち、第１の分割ＩＤＴ電極２７の上部電極２７ａ及び下部電極２７ｂのうち１段目のフィルタトラック６の側の方に配置されている上部電極２７ａは一対の平衡型端子のうち平衡型端子ＯＵＴ１に接続されている。また、第１の分割ＩＤＴ電極２７の上部電極２７ａ及び下部電極２７ｂのうち１段目のフィルタトラック６の側とは反対側の方に配置されている下部電極２７ｂは、接地されている。
【０２７２】
また、第２の分割ＩＤＴ電極２８の上部電極２８ａ及び下部電極２８ｂのうち、第１のフィルタトラック６の側の方に配置されている上部電極２８ａは、第１の分割ＩＤＴ電極２７の上部電極２７ａに接続されている。第２の分割ＩＤＴ電極２８の上部電極２８ａ及び下部電極２８ｂのうち、第１のフィルタトラック６の側とは反対側の方に配置されている下部電極２８ｂは、第３の分割ＩＤＴ電極２９の上部電極２９ａ及び下部電極２９ｂのうち、１段目のフィルタトラック６の側とは反対側の方に配置されている下部電極２９ｂに接続されている。
【０２７３】
また、第３の分割ＩＤＴ電極２９の上部電極２９ａ及び２９ｂのうち、１段目のフィルタトラック６の側の方に配置されている上部電極２９ａは接地されている。また、第３の分割ＩＤＴ電極２９の下部電極２９ｂは、一対の平衡型端子のうち平衡型端子ＯＵＴ２に接続されている。
【０２７４】
これ以外は、前述した実施の形態９と同様である。
【０２７５】
次に、このような本実施の形態の動作を前述した実施の形態９との相違点を中心に説明する。
【０２７６】
第４のＩＤＴ電極２６の電極指の本数が同数であり、電極指の幅が同数であり、隣接する電極指の中心間隔が同じであるという条件では、第４のＩＤＴ電極２６を第１の分割ＩＤＴ電極２７及び第２の分割ＩＤＴ電極２８及び第３の分割ＩＤＴ電極２９に分割した方が、第４のＩＤＴ電極２６を分割しない場合に比べて、平衡型端子ＯＵＴ１及び平衡型端子ＯＵＴ２のインピーダンスが高くなる。従って、第４のＩＤＴ電極２６を第１の分割ＩＤＴ電極２７及び第２の分割ＩＤＴ電極２８及び第３の分割ＩＤＴ電極２９に分割することにより、第４のＩＤＴ電極２８の電極指の本数などの条件を同じにした場合には、平衡型端子ＯＵＴ１及びＯＵＴ２の出力インピーダンスが高い弾性表面波フィルタを実現することが出来る。さらに、第４のＩＤＴ電極２６の電極指の本数などの条件を同じにした場合には、第４のＩＤＴ電極２８を分割した場合の弾性表面波フィルタの特性は、第４のＩＤＴ電極２８を分割していない場合の弾性表面波フィルタと実質上同じ特性になる。
【０２７７】
従って、第４のＩＤＴ電極２８を分割することにより分割前のフィルタ特性を変えずに平衡型端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２のインピーダンスが高い弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【０２７８】
さらに、第２の分割ＩＤＴ電極２８の電極指の本数と、第１及び第３の分割ＩＤＴ電極２７、２９の電極指の本数との比を調整することにより、平衡型端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２のインピーダンスを調整することが出来る。
【０２７９】
このように第４のＩＤＴ電極２６を分割することによりインピーダンスの制御が可能になる。
【０２８０】
なお、前述した実施の形態８で説明したように、１段目のフィルタトラック６において、第２のＩＤＴ電極２の下部電極２ｂから引き回し配線１３を引き回しても構わない。この場合には不平衡型端子ＩＮと第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａとを接続する引き回し配線との寄生成分の影響を小さくすることが出来る。
【０２８１】
なお、本実施の形態７〜１０では、第４の分割ＩＤＴ電極を分割ＩＤＴ電極に分割したが、これに限らず、第１、第２、第３、第４、第５、第６のＩＤＴ電極の全部または一部を分割ＩＤＴ電極に分割しても構わない。例えば第１のＩＤＴ電極を分割ＩＤＴ電極に分割した場合には、不平衡型端子ＩＮのインピーダンスが高い弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【０２８２】
また、本実施の形態７〜１０では、各ＩＤＴ電極を分割する分割数は、２または３であるとして説明したが他の分割数であっても構わない。
【０２８３】
また、本実施の形態７〜１０では、不平衡型端子ＩＮは、第１のＩＤＴ電極１
の上部電極１ａの側の方に配置されている、すなわち１段目のフィルタトラック６の２段目のフィルタトラック１２とは反対側の方に配置されており、第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａが不平衡型端子ＩＮに接続されているとして説明したが、これに限らない。不平衡型端子ＩＮが第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂの側に配置されている、すなわち１段目のフィルタトラック６の２段目のフィルタトラック１２の側の方に配置されており、第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂが不平衡型端子ＩＮに接続されていても構わない。また、不平衡型端子ＩＮが第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａの側の方に配置されており、第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂが不平衡型端子ＩＮに接続されていても構わない。また、不平衡型端子ＩＮが第１のＩＤＴ電極１の下部電極１ｂの側の方に配置されており、第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａが不平衡型端子ＩＮに接続されていても構わない。
【０２８４】
また、本実施の形態７〜１０では、第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａが不平衡型端子ＩＮに接続されているとして説明したが、これに限らない。これらの弾性表面波フィルタについては、第１のＩＤＴ電極１の上部電極１ａ及び下部電極１ｂがそれぞれ、一対の平衡型端子ＯＵＴ１及びＯＵＴ２とは別の一対の平衡型端子の一方及び他方に接続されていても構わない。この場合には、平衡型−平衡型の弾性表面波フィルタが得られる。そして、この別の平衡型端子の一方から引き回される引き回し配線と、１段目のフィルタトラック６と２段目のフィルタトラック１２とを接続する引き回し配線との間の寄生成分は、この別の平衡型端子の他方から引き回される引き回し配線と、１段目のフィルタトラック６と２段目のフィルタトラック１２とを接続する引き回し配線との間の寄生成分と同程度になるので、同等の効果を得ることが出来る。
【０２８５】
また、本実施の形態７〜１０では、１段目のフィルタトラック６の下側に２段目のフィルタトラック１２が配置されているとして説明したが、これに限らず、各ＩＤＴ電極及び不平衡型端子ＩＮ及び一対の平衡型端子の引き回し配線による接続を変えずに、１段目のフィルタトラック６の上側に２段目のフィルタトラック１２を配置しても構わない。
【０２８６】
また、本実施の形態７〜１０では、第２のＩＤＴ電極２の上部電極２ａ及び下部電極２ｂのうち引き回し配線が接続されていない方の電極は接地されており、第３のＩＤＴ電極３の上部電極３ａ及び下部電極３ｂのうち引き回し配線が接続されていない方の電極は接地されているとして説明したが、これに限らない。第２のＩＤＴ電極２に接続されている引き回し配線に流れる信号の位相と第３のＩＤＴ電極３に接続されている引き回し配線に流れる信号の位相とが互いに逆相になっている場合には、これらの電極を接地する代わりに、互いに電気的に接続しても構わない。
【０２８７】
また、本実施の形態７〜１０では、第５のＩＤＴ電極８の上部電極８ａ及び下部電極８ｂのうち引き回し配線が接続されていない方の電極は接地されており、第６のＩＤＴ電極９の上部電極９ａ及び下部電極９ｂのうち引き回し配線が接続されていない方の電極は接地されているとして説明したが、これに限らない。第５のＩＤＴ電極８に接続されている引き回し配線に流れる信号の位相と第６のＩＤＴ電極９に接続されている引き回し配線に流れる信号の位相とが互いに逆相になっている場合には、これらの電極を接地せず、互いに電気的に接続しても構わない。
【０２８８】
（実施の形態１１）
以下、本発明の実施の形態１１の弾性表面波フィルタについて、主として図３０を参照しながら説明する。
【０２８９】
なお、第１のＩＤＴ電極３１０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極３１０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極３１０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極３１０５、第２の反射器電極３１０６は、本発明の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方３１０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、不平衡端子は３１０９は本発明の不平衡型端子に対応する。また、リアクタンス素子３１１０は、本発明のリアクタンス素子に対応する。
【０２９０】
弾性表面波フィルタ（図３０）の構成について説明する前に、弾性表面波フィルタのバランス特性の劣化原因に関しての考察を行う。ＲＦ段に使用される広帯域な特性を必要とするような弾性表面波フィルタでは、一般的に、リチウム酸タンタル（ＬｉＴａＯ3）やリチウム酸ニオブ（ＬｉＮｂＯ3）などの圧電基板が広く用いられており、このような基板の実効比誘電率はそれぞれ４８、４９程度と大きい値である。ここで、実効比誘電率とは圧電基板の比誘電率テンソルε11Tとε33Tを用いて、
【０２９１】
【数１】
（（ε11T）×（ε33T））1／2
と定義する。
【０２９２】
弾性表面波フィルタにおいては、圧電基板の実効比誘電率が大きいので、ＩＤＴ電極間の空間的な結合だけでなく、圧電基板中のＩＤＴ電極同士の寄生成分による結合や、他にも、ＩＤＴ電極を端子に接続するために要する配線などにも寄生成分が生じる。ここまで配線同士のアンバランスな寄生成分の低減によるバランス特性の改善についていろいろ述べてきたが、図４２に、これらの寄生成分を考慮した構成を示す。図４２は、図４０の弾性表面波フィルタに寄生成分として、ＩＤＴ電極間に容量成分４３０１を仮定した構成となる。図４１に示す構成で容量成分４３０１の容量値を変化させて、９００ＭＨｚ帯のフィルタに関して解析を行った結果を図４３に示す。圧電基板としては、ＬｉＴａＯ3を用いている。
【０２９３】
図４３（Ａ）〜（Ｂ）はそれぞれ通過帯域における振幅バランス特性、位相バランス特性の最大値と最小値を示している。図４３（Ａ）〜（Ｂ）に示すように、容量値が大きくなる程バランス特性が劣化している。即ち、ＩＤＴ電極間の寄生成分による結合が大きい程、弾性表面波フィルタのバランス特性が劣化するということが明らかになった。
【０２９４】
次に、前述のバランス特性の劣化を改善する弾性表面波フィルタの構成について述べる。図３０に本発明の平衡型端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図３０において、弾性表面波フィルタは、圧電基板３１０１上に、第１、第２、第３のインターディジタルトランスデューサ電極（以下、ＩＤＴ電極とする）３１０２、３１０３、３１０４と第１、第２の反射器電極３１０５、３１０６とにより構成される。
【０２９５】
第１のＩＤＴ電極３１０２の一方の電極指は平衡型端子の一方３１０７に接続され、第１のＩＤＴ電極３１０２の他方の電極指は平衡型端子の他方３１０８に接続される。また、第２、第３のＩＤＴ電極３１０３、３１０４の一方の側の電極指を不平衡型端子３１０９に接続し、他方を接地する。さらに、第１のＩＤＴ電極と第２、第３のＩＤＴ電極３１０３、３１０４との間にリアクタンス素子３１１０を介して接続する。この場合には、平衡型端子の一方３１０７と不平衡型端子３１０９との間にリアクタンス素子が配置される構成となる。以上の構成とすることにより不平衡型−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０２９６】
図３１に示すのは、リアクタンス素子としてインダクタを配置した場合の弾性表面波フィルタの特性である。圧電基板としては、ＬｉＴａＯ3を用いている。さらに、ＩＤＴ電極間や空間的な結合等の寄生成分と配置されるインダクタンスとにより形成される並列共振の共振周波数が通過帯域内となるように設定されている。図３１において、（Ａ）は通過特性であり、（Ｂ）は通過帯域の振幅バランス特性、（Ｃ）は通過帯域の位相バランス特性である。図３１より、通過帯域において、振幅バランス特性は−０．２ｄＢ〜＋０．２ｄＢ、位相バランス特性は−４°〜＋１°であり、図４１の従来の弾性表面波フィルタの特性に比べて、通過特性を劣化させることなくバランス特性が改善している。
【０２９７】
なお、本実施の形態１１においては、第１のＩＤＴ電極と第２、第３のＩＤＴ電極３１０３、３１０４との間として、平衡型端子の一方３１０７と不平衡型端子３１０９との間にリアクタンス素子を配置したが、これは、平衡型端子の他方３１０８と不平衡型端子３１０９との間にリアクタンス素子を配置しても構わない。また、図３２に示すように、第１のＩＤＴ電極と第２のＩＤＴ電極３１０３との間に第１のリアクタンス素子３３０１を、第１のＩＤＴ電極と第３のＩＤＴ電極３１０４との間に第２リアクタンス素子３３０２を配置しても、ＩＤＴ電極間や空間的な結合等の寄生成分がリアクタンス素子との並列共振を形成して、その共振周波数を通過帯域内に設定されていればバランス特性改善の効果は同様に得られる。なお、第１のリアクタンス素子３３０１、第２のリアクタンス素子３３０２は、本発明のリアクタンス素子に対応する。
【０２９８】
（実施の形態１２）
以下、本発明の実施の形態１２の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図３３に本発明の平衡型端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図３３において、弾性表面波フィルタは、圧電基板３４０１上に、第１、第２、第３のＩＤＴ電極３４０２、３４０３、３４０４と第１、第２の反射器電極３４０５、３４０６とにより構成される。
【０２９９】
第１のＩＤＴ電極３４０２の一方の電極指は平衡型端子の一方３４０７に接続され、第１のＩＤＴ電極３４０２の他方の電極指は平衡型端子の他方３４０８に接続される。また、第２のＩＤＴ電極３４０３の一方の電極指と第３のＩＤＴ電極３４０４の他方の電極指を不平衡型端子３４０９に接続し、第２のＩＤＴ電極３４０３の他方の電極指と第３のＩＤＴ電極３４０４の一方の側の電極指を接地する。図３０の構成とは、不平衡型端子に接続される第３のＩＤＴ電極の電極指が上下逆側という点で異なる。以上の構成とすることにより不平衡型−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０３００】
図３４に示すのは、図３３に示した弾性表面波フィルタの特性図である。圧電基板としては、ＬｉＴａＯ3を用いている。図３４において、（Ａ）は通過特性であり、（Ｂ）は通過帯域の振幅バランス特性、（Ｃ）は通過帯域の位相バランス特性である。図３４より、通過帯域において、振幅バランス特性は−０．８ｄＢ〜＋０．６ｄＢ、位相バランス特性は−５°〜＋８°であり、図４１の従来の弾性表面波フィルタの特性に比べてバランス特性が改善している。
【０３０１】
このように、第２、第３のＩＤＴ電極３４０３、３４０４と不平衡型端子３４０９との接続に関して、第２、第３のＩＤＴ電極３４０３、３４０４の電極指の上下逆側からの接続とすることによりバランス特性が改善される。
【０３０２】
さらに、第１のＩＤＴ電極と第２、第３のＩＤＴ電極３４０３、３４０４との間にリアクタンス素子を介して接続する。図３５に示すように、平衡型端子の一方３４０７と不平衡型端子３４０９との間に第１のリアクタンス素子３６０１が配置され、平衡型端子の他方３４０８と不平衡型端子３４０９との間に第２のリアクタンス素子３６０２が配置される構成となる。
【０３０３】
なお、第１のＩＤＴ電極３４０２は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第２のＩＤＴ電極３４０３は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極３４０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極３４０５、第２の反射器電極３４０６は、本発明の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方３４０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、不平衡端子は３４０９は本発明の不平衡型端子に対応する。また、第１のリアクタンス素子３６０１、第２のリアクタンス素子３６０２は、本発明のリアクタンス素子に対応する。
【０３０４】
図３６（Ａ）〜（Ｃ）に示すのは、リアクタンス素子としてインダクタを配置した場合の弾性表面波フィルタの特性である。圧電基板としては、ＬｉＴａＯ3を用いている。さらに、ＩＤＴ電極間や空間的な結合等の寄生成分と配置されるインダクタンスとにより形成される並列共振の共振周波数が通過帯域内となるように設定されている。図３６において、（Ａ）は通過特性であり、（Ｂ）は通過帯域の振幅バランス特性、（Ｃ）は通過帯域の位相バランス特性である。図３６より、通過帯域において、振幅バランス特性は−０．２ｄＢ〜＋０．４ｄＢ、位相バランス特性は−１°〜＋２°であり、図４０の従来の弾性表面波フィルタの特性に比べて、バランス特性が大きく改善している。また、図３３の構成における弾性表面波フィルタの特性に比べてもバランス特性が改善している。
【０３０５】
なお、本実施の形態１２においては、平衡型端子の一方３４０７と不平衡型端子３４０９との間に第１のリアクタンス素子３６０１が配置され、平衡型端子の他方３４０８と不平衡型端子３４０９との間に第２のリアクタンス素子３６０２が配置される構成として説明したが、これは、どちらか一方にリアクタンス素子が配置される構成であっても、ＩＤＴ電極間や空間的な結合等の寄生成分がリアクタンス素子との並列共振を形成して、その共振周波数を通過帯域内に設定されていればバランス特性改善の効果は同様に得られる。
【０３０６】
また、図５０に示されているように、第１のＩＤＴ電極３１０２を２分割して平衡性を実現しても構わない。さらに、この場合には、ＩＤＴ電極の容量を小さくし、そのインピーダンスをより高くとることができる。
【０３０７】
（実施の形態１３）
以下、本発明の実施の形態１３の弾性表面波フィルタについて図面を参照にして説明する。図３７に本発明の平衡型端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。
【０３０８】
なお、第２のＩＤＴ電極３８０３は本発明の第１のＩＤＴ電極に対応し、第１のＩＤＴ電極３８０２は本発明の第２のＩＤＴ電極に対応し、第３のＩＤＴ電極３８０４は本発明の第３のＩＤＴ電極に対応する。また、第１の反射器電極３８０５、第２の反射器電極３８０６は、本発明の反射器電極に対応する。また、平衡端子の一方３８０７は本発明の第１の平衡型端子の一方に対応し、平衡端子の他方３８０８は本発明の第１の平衡型端子の他方に対応し、不平衡端子は３８０９は本発明の不平衡型端子に対応する。また、第１のリアクタンス素子３８１０、第２のリアクタンス素子３８１１は、本発明のリアクタンス素子に対応する。
【０３０９】
図３７において、弾性表面波フィルタは、圧電基板３８０１上に、第１、第２、第３のＩＤＴ電極３８０２、３８０３、３８０４と第１、第２の反射器電極３８０５、３８０６とにより構成される。
【０３１０】
第２のＩＤＴ電極３８０３の一方の電極指は平衡型端子の一方３８０７に接続し、第３のＩＤＴ電極３８０４の一方の電極指は平衡型端子の他方３８０８に接続される。また、第１のＩＤＴ電極３８０２の一方の電極指は不平衡型端子の一方３８０７に接続される。さらに、第１のＩＤＴ電極の一方の電極指と第２、第３のＩＤＴ電極３８０３、３８０４の一方の電極指との間にはそれぞれ第１、第２のリアクタンス素子３８１０、３８１１を介して接続される。即ち、図３７に示すように、平衡型端子の一方３８０７と不平衡型端子３８０９との間に第１のリアクタンス素子３８１０が配置され、平衡型端子の他方３８０８と不平衡型端子３８０９との間に第２のリアクタンス素子３８１１が配置される構成となる。以上の構成とすることにより不平衡型−平衡型端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０３１１】
以上の構成の弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極間や空間的な結合等の寄生成分が第１、第２のリアクタンス素子３８１０、３８１１との並列共振を形成して、その共振周波数を通過帯域内に設定することにより、良好なバランス特性を有する弾性表面波フィルタを実現することができる。また、本構成においては、第１のＩＤＴ電極３８０２の電極指本数よりも、第２、第３のＩＤＴ電極の電極指本数を少ない構成であるので、本実施の形態１１〜１２に比べて、平衡型端子側のインピーダンスを高く設定できる。
【０３１２】
なお、本実施の形態では弾性表面波フィルタを用いて説明したが、図３８（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、少なくとも一つの平衡型端子を有するフィルタであれば、本実施の形態と同様の構成とすることにより、良好なバランス特性を有するフィルタが得られる（ただし、図３８（Ａ）と（Ｂ）とは電気的に等価であり、図３８（Ｂ）に示されているようにリアクタンス素子３９０５′、３９０６′が並列に接続されてもよい）。
【０３１３】
たとえば、フィルタ３９０１において、不平衡型端子３９０２と平衡型端子の一方３９０３にリアクタンス素子３９０５を配置して、平衡型端子と不平衡型端子との間に生じる寄生成分とリアクタンス素子３９０５とにより並列共振の共振周波数が通過帯域内となるように設定することにより、良好なバランス特性が得られる。このようにして、図３０に示されている弾性表面波フィルタと類似した構成が得られるが、リアクタンス素子３９０５が圧電基板上に形成されている必要はない。なお、不平衡型端子３９０２と不平衡型端子３１０９（図３０参照）とが対応し、平衡型端子の一方３９０３と平衡型端子の一方３１０７（図３０参照）とが対応し、平衡型端子の他方３９０４と平衡型端子の他方３１０８（図３０参照）とが対応する。
【０３１４】
また、フィルタ３９０１において、不平衡型端子３９０２と平衡型端子の一方３９０３にリアクタンス素子３９０５′、３９０６′を配置して、平衡型端子と不平衡型端子との間に生じる寄生成分とリアクタンス素子３９０５′、３９０６′とにより並列共振の共振周波数が通過帯域内となるように設定することにより、良好なバランス特性が得られる。このようにして、図３２に示されている弾性表面波フィルタと類似した構成が得られるが、リアクタンス素子３９０５′、３９０６′が圧電基板上に形成されている必要はない。
【０３１５】
また、フィルタ３９０１において、不平衡型端子３９０２と平衡型端子の一方３９０３にリアクタンス素子３９０５″を配置し、不平衡型端子３９０２と平衡型端子の他方３９０４にリアクタンス素子３９０６″を配置して、平衡型端子と不平衡型端子との間に生じる寄生成分とリアクタンス素子３９０５″、３９０６″とにより並列共振の共振周波数が通過帯域内となるように設定することにより、良好なバランス特性が得られる。このようにして、図３５、３７に示されている弾性表面波フィルタと類似した構成が得られるが、リアクタンス素子３９０５″、３９０６″が圧電基板上に形成されている必要はない。なお、不平衡型端子３９０２と不平衡型端子３４０９（図３５参照）とが対応し、平衡型端子の一方３９０３と平衡型端子の一方３４０７（図３５参照）とが対応し、平衡型端子の他方３９０４と平衡型端子の他方３４０８（図３５参照）とが対応する。また、不平衡型端子３９０２と不平衡型端子３８０９（図３７参照）とが対応し、平衡型端子の一方３９０３と平衡型端子の一方３８０７（図３７参照）とが対応し、平衡型端子の他方３９０４と平衡型端子の他方３８０８（図３７参照）とが対応する。
【０３１６】
なお、本実施の形態１１〜１３においては、不平衡−平衡型の弾性表面波フィルタに関して説明したが、これは平衡−平衡型の弾性表面波フィルタであっても、リアクタンス素子の接続の仕方が異なるだけであり、ＩＤＴ電極間や空間的な結合等の寄生成分とリアクタンス素子との並列共振の共振周波数を通過帯域内に設定することにより、バランス特性改善の効果は同様に得られる。
【０３１７】
また、本実施の形態１１〜１３においては圧電基板としてＬｉＴａＯ3を用いて説明したが、これはＬｉＮｂＯ3などの他の圧電基板でもよく、圧電基板の実効比誘電率が大きい程その効果は大きく、ＬｉＴａＯ3やＬｉＮｂＯ3などの実効比誘電率が４０以上の圧電基板であれば十分な効果が得られる。
【０３１８】
また、本実施の形態１１〜１３においては、リアクタンス素子としてインダクタンスを用いて説明したが、これに限るものではなく、伝送回路等を組み合わせてもよく、即ち、端子間に生じる容量成分を通過帯域内において打ち消し合うような構成とすることにより、同様の改善効果が得られる。
【０３１９】
また、リアクタンス素子は、圧電基板上に形成されても、パッケージや実装基板に形成されても構わない。また、チップ部品であってもよい。
【０３２０】
また、本実施の形態では１段の弾性表面波フィルタについて説明したが、これは複数の弾性表面波フィルタを縦続に接続した構成であっても構わない。
【０３２１】
また、本実施の形態１１〜１３においては、３電極の縦モード型フィルタを用いて説明したが、これは２電極や４電極（図５０参照）、５電極の縦モード型フィルタであっても、弾性表面波共振子を用いた梯子型や対称格子型のフィルタ構成であっても、同様に平衡型端子と他の端子との間にリアクタンス素子を配置する構成であれば、バランス特性に関して同様の効果が得られる。
【０３２２】
また、本発明にかかる実施の形態の、５電極構成を有する弾性表面波フィルタの構成図である図４４に示されているように、弾性表面波の伝搬方向に実質的に沿って配置されたＩＤＴ電極５００１〜５００５を備え、（１）ＩＤＴ電極５００１は、一方の櫛形電極が平衡型端子の一方５０１１に接続されており、他方の櫛形電極が平衡型端子の他方５０１２に接続されており、（２）ＩＤＴ電極５００２は、一方の櫛形電極が不平衡端子５０２０に接続されており、（３）ＩＤＴ電極５１０３は、ＩＤＴ電極５００２の一方の櫛形電極とは相異なる側にある一方の櫛形電極が不平衡端子５０２０に接続されており、（４）ＩＤＴ電極５１０４は、一方の櫛形電極が平衡型端子の一方５０１１に接続されており、他方の櫛形電極が平衡型端子の他方５０１２に接続されており、（５）ＩＤＴ電極５１０５は、一方の櫛形電極が平衡型端子の一方５０１１に接続されており、他方の櫛形電極が平衡型端子の他方５０１２に接続されている弾性表面波フィルタは、本発明に含まれる。
【０３２３】
また、端子を接続するためのパッド電極は、ＩＤＴ電極のバスバー電極と引き回し電極を介して接続されていてもよいし、ＩＤＴ電極のバスバー電極と一体的に構成されていてもよい。
【０３２４】
より具体的には、本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタにおける、パッド電極のバスバー電極との接続に関する説明図（その１）である図４５に示されているように、パッド電極５１０１がバスバー電極５２０１、５２０４と引き回し電極５３０１を介して接続され、パッド電極５１０２がバスバー電極５２０２と引き回し電極５３０２を介して接続され、パッド電極５１０３がバスバー電極５２０３と引き回し電極５３０３を介して接続されているような弾性表面波フィルタは、本発明に含まれる。また、本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタにおける、パッド電極のバスバー電極との接続に関する説明図（その２）である図４６に示されているように、パッド電極５１０４がバスバー電極５２０２と一体的に構成され、パッド電極５１０５がバスバー電極５２０３と一体的に構成されているような弾性表面波フィルタは、本発明に含まれる。
【０３２５】
（実施の形態１４）
以下、本発明の実施の形態１４の通信機器について図面を参照にして説明する
。図３９に示すのは、本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタ、または平衡型フィルタを用いた通信機器４００１のブロック図である。
【０３２６】
図３９において、送信回路から出力される送信信号は、送信増幅器４００２、送信フィルタ４００３、スイッチ４００４を介してアンテナ４００５より送信される。また、アンテナ４００５より受信された受信信号は、スイッチ４００４、受信フィルタ４００６、受信増幅器４００７を介して受信回路に入力される。ここで、送信増幅器４００２は平衡型であり、スイッチ４００４は不平衡型であるので、送信フィルタ４００３は不平衡−平衡型端子を有する構成となる。また、受信増幅器４００７は平衡型であり、スイッチ４００４は不平衡型であるので、受信フィルタ４００６は不平衡−平衡型端子を有する構成となる。
【０３２７】
本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタ、または平衡型フィルタを通信機器４００１の送信フィルタ４００３、または受信フィルタ４００６に適用することにより、バランス特性の劣化による送信時の変調精度劣化を抑えることができ、また、バランス特性の劣化による受信時の感度劣化を抑えることができ、高性能な通信機器を実現することができる。
【０３２８】
なお、本実施の形態１４において、送信フィルタ４００３、受信フィルタ４００６を不平衡−平衡型として説明したが、これはスイッチ４００４が平衡型の場合には、送信フィルタ４００３、受信フィルタ４００６を平衡型とすればよい。この場合にも、送信フィルタ４００３、受信フィルタ４００６にリアクタンス素子を付加してバランス特性を改善することにより、高性能な通信機器を実現することができる。
【０３２９】
また、スイッチ４００４が平衡型、送信増幅器４００２、または受信増幅器４００７が不平衡型の場合には、送信フィルタ４００３、または受信フィルタ４００６の平衡型と不平衡型の入出力端子を入れ替えることにより同様の効果が得られる。
【０３３０】
また、通信機器４００１において、送信と受信とを切り換える手段としてスイッチ４００４を用いて説明したが、これは共用器であっても構わない。
【０３３１】
また、本発明の弾性表面波フィルタや平衡型フィルタを用いた通信機器とは、携帯電話端末、ＰＨＳ端末、自動車電話端末、携帯電話の無線基地局、無線により通信を行う無線装置などを含む。要するに本発明の通信機器とは、高周波信号を用いて通信を行う機器であって、その機器の機能を実現する回路の一部に本発明の弾性表面波フィルタが用いられている機器でありさえればよい。
【０３３２】
【発明の効果】
以上説明したところから明らかなように、本発明は、より良好なフィルタ特性を有する弾性表面波フィルタ、平衡型フィルタ、および通信装置を提供することができるという長所を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの構成図
【図２】（Ａ）本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの電極指配置図
（Ｂ）本発明の実施の形態１における、また別の弾性表面波フィルタの電極指配置図
【図３】本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの構成図
【図４】（Ａ）従来の弾性表面波フィルタの特性を説明するための説明図
（Ｂ）本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの特性を説明するための説明図
【図５】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの構成図
【図６】本発明の実施の形態４における弾性表面波フィルタの構成図
【図７】本発明の実施の形態４における反射器電極の構成図
【図８】本発明の実施の形態５における弾性表面波フィルタの構成図
【図９】本発明の実施の形態５における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１０】本発明の実施の形態６における弾性表面波フィルタの構成図
【図１１】（Ａ）本発明の実施の形態６における弾性表面波フィルタの電極指配置図
（Ｂ）本発明の実施の形態６における、また別の弾性表面波フィルタの電極指配置図
【図１２】従来の弾性表面波フィルタの構成図
【図１３】従来の弾性表面波フィルタの構造図
【図１４】本発明の実施の形態７における弾性表面波フィルタの概略図
【図１５】従来の弾性表面波フィルタのシミュレーション条件を示す図
【図１６】（Ａ）シミュレーションにより求められた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図
（Ｂ）シミュレーションにより求められた従来の弾性表面波フィルタの振幅バランスを示す図
（Ｃ）シミュレーションにより求められた従来の弾性表面波フィルタの位相バランスを示す図
【図１７】本発明の実施の形態７における弾性表面波フィルタのシミュレーション条件を示す図
【図１８】（Ａ）本発明の実施の形態７におけるシミュレーションにより求められた弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図
（Ｂ）本発明の実施の形態７におけるシミュレーションにより求められた弾性表面波フィルタの振幅バランスを示す図
（Ｃ）本発明の実施の形態７におけるシミュレーションにより求められた弾性表面波フィルタの位相バランスを示す図
【図１９】（Ａ）本発明の実施の形態７における実験により求められた弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図
（Ｂ）本発明の実施の形態７における実験により求められた弾性表面波フィルタの振幅バランスを示す図
（Ｃ）本発明の実施の形態７における実験により求められた弾性表面波フィルタの位相バランスを示す図
【図２０】（Ａ）実験により求められた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図
（Ｂ）実験により求められた従来の弾性表面波フィルタの振幅バランスを示す図
（Ｃ）実験により求められた従来の弾性表面波フィルタの位相バランスを示す図
【図２１】本発明の実施の形態７における各ＩＤＴ電極の配置方法を説明する図
【図２２】本発明の実施の形態７における別の弾性表面波フィルタの概略図
【図２３】本発明の実施の形態８における弾性表面波フィルタの概略図
【図２４】本発明の実施の形態８における別の弾性表面波フィルタの概略図
【図２５】本発明の実施の形態９における弾性表面波フィルタの概略図
【図２６】本発明の実施の形態１０における弾性表面波フィルタの概略図
【図２７】従来の弾性表面波フィルタの概略図
【図２８】（Ａ）引き回し配線の信号の位相が互いに同相の場合の従来の弾性表面波フィルタのシミュレーションによる周波数特性を示す図
（Ｂ）引き回し配線の信号の位相が互いに同相の場合の従来の弾性表面波フィルタのシミュレーションによる位相バランスを示す図
【図２９】（Ａ）本発明の実施の形態７における引き回し配線の信号の位相が互いに同相の場合の弾性表面波フィルタのシミュレーションによる周波数特性を示す図
（Ｂ）本発明の実施の形態７における引き回し配線の信号の位相が互いに同相の場合の弾性表面波フィルタのシミュレーションによる位相バランスを示す図
【図３０】本発明の実施の形態１１における弾性表面波フィルタの構成図
【図３１】（Ａ）本発明の実施の形態１１における弾性表面波フィルタの通過特性を示す図
（Ｂ）本発明の実施の形態１１における弾性表面波フィルタの振幅バランス特性を示す図
（Ｃ）本発明の実施の形態１１における弾性表面波フィルタの位相バランス特性を示す図
【図３２】本発明の実施の形態１１における他の弾性表面波フィルタの構成図
【図３３】本発明の実施の形態１２における弾性表面波フィルタの構成図
【図３４】（Ａ）本発明の実施の形態１２における弾性表面波フィルタの通過特性を示す図
（Ｂ）本発明の実施の形態１２における弾性表面波フィルタの振幅バランス特性を示す図
（Ｃ）本発明の実施の形態１２における弾性表面波フィルタの位相バランス特性を示す図
【図３５】本発明の実施の形態１２における他の弾性表面波フィルタの特性図
【図３６】（Ａ）本発明の実施の形態１２における他の弾性表面波フィルタの通過特性を示す図
（Ｂ）本発明の実施の形態１２における他の弾性表面波フィルタの振幅バランス特性を示す図
（Ｃ）本発明の実施の形態１２における他の弾性表面波フィルタの位相バランス特性を示す図
【図３７】本発明の実施の形態１３における弾性表面波フィルタの構成図
【図３８】（Ａ）本発明の実施の形態における弾性表面波フィルタへのリアクタンス素子の付加に関する説明図（その１）
（Ｂ）本発明の実施の形態における弾性表面波フィルタへのリアクタンス素子の付加に関する説明図（その２）
（Ｃ）本発明の実施の形態における弾性表面波フィルタへのリアクタンス素子の付加に関する説明図（その３）
【図３９】本発明の実施の形態１４における通信機器の構成を示すブロック図
【図４０】従来の弾性表面波フィルタの構成図
【図４１】（Ａ）従来の弾性表面波フィルタの通過特性を示す図
（Ｂ）従来の弾性表面波フィルタの振幅バランス特性を示す図
（Ｃ）従来の弾性表面波フィルタの位相バランス特性を示す図
【図４２】寄生成分を考慮した場合の弾性表面波フィルタの構成図
【図４３】弾性表面波フィルタの振幅、及び位相バランス特性を示す図
【図４４】本発明にかかる実施の形態の、５電極構成を有する弾性表面波フィルタの構成図
【図４５】本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタにおける、パッド電極のバスバー電極との接続に関する説明図（その１）
【図４６】本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタにおける、パッド電極のバスバー電極との接続に関する説明図（その２）
【図４７】従来の弾性表面波フィルタのシミュレーションモデルの振幅バランス特性および位相バランス特性に関する説明図
【図４８】本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタのシミュレーションモデルの説明図
【図４９】本発明にかかる実施の形態の弾性表面波フィルタのシミュレーションモデルの振幅バランス特性および位相バランス特性に関する説明図
【図５０】本発明の実施の形態における弾性表面波フィルタの構成図
【符号の説明】
１０１  圧電基板
１０２  第１のＩＤＴ電極
１０２ａ  第１のＩＤＴ電極の上部電極
１０２ｂ  第１のＩＤＴ電極の下部電極
１０３  第２のＩＤＴ電極
１０３ａ  第２のＩＤＴ電極の上部電極
１０３ｂ  第２のＩＤＴ電極の下部電極
１０４  第３のＩＤＴ電極
１０４ａ  第３のＩＤＴ電極の上部電極
１０４ｂ  第３のＩＤＴ電極の下部電極
１０５  第１の反射器電極
１０６  第２の反射器電極
１０７  平衡型端子の一方
１０８  平衡型端子の他方
１０９  不平衡型端子
【図１】
0003566267.tif 000002
【図２】
0003566267.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
0003566267.tif 000050
【図５０】
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