(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気その他のガス若しくは液体を供給元から消費先に導く管路の途中に流体遮断手段と可変絞り手段と管路内圧力を検知する圧力検知手段を流体流れ方向に沿って順次配設するとともに、前記流体遮断手段の開閉状態を検知する開閉検知手段を設け、
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が閉から開への切換直後において、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態を選択可能に構成したことを特徴とする管路内流体圧制御装置。
【請求項２】
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が開状態にあるときに、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態と、前記圧力検知手段よりの検知信号に基づいて可変絞り手段を可変制御する第２の動作状態を選択可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の管路内流体圧制御装置。
【請求項３】
前記請求項２記載の第１の動作状態と第２の動作状態の選択が、圧力検知手段の検知圧力と目標設定圧力との比較により行われることを特徴とする請求項２記載の管路内流体圧制御装置。
【請求項４】
前記請求項２記載の第１の動作状態を実行する手段と第２の動作状態を実行する手段とを分けた構成において、いずれかを選択して可変絞り手段の開き度を制御する選択手段を備えており、第１の動作状態と第２の動作状態の選択が、可変絞り手段の開き度により行われ、可変絞り手段の開き度の小さい方の動作状態を選択することを特徴とする請求項２記載の管路内流体圧制御装置。
【請求項５】
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が閉から開への切換直後において、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態を選択し、その後前記圧力検知手段よりの検知信号に基づいて可変絞り手段を可変制御する第２の動作状態に移行可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の管路内流体圧制御装置。
【請求項６】
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が開状態にあるときに、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態と、前記圧力検知手段よりの検知信号に基づいて可変絞り手段を可変制御する第２の動作状態を選択可能に構成するとともに、
前記一方の動作状態が選択されていない時に、該一方の動作状態の可変絞り手段制御出力を他方の動作状態の制御出力値に追従若しくは一致する方向に制御するようにしたことを特徴とする請求項１記載の管路内流体圧制御装置。
【請求項７】
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が開状態にあるときに、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態と、前記圧力検知手段よりの検知信号に基づいて可変絞り手段を可変制御する第２の動作状態を選択可能に構成するとともに、
前記第１の動作状態の、可変絞り手段の絞り変化速度を、該第１の動作状態が選択されたか否かでその変化速度を異ならしたことを特徴とする請求項１記載の管路内流体圧制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は管路内流体圧制御装置に係り、特に蒸気その他のガス体の圧力制御又は流体の流量制御等、管路内の流体の流れを徐々に変化させて目標とする制御状態に滑らかに移行させる管路内流体圧制御装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
例えば蒸気タービンの駆動蒸気圧力制御回路では管路内の蒸気の流れを徐々に変化させて目標とする制御状態に滑らかに移行させる為に、蒸気を供給元（ボイラや蒸気ヘッダ等）から消費先（蒸気タービン）に導く管路の途中に蒸気遮断弁と電気信号若しくは流体圧に基づいて開度が可変可能な可変絞り弁を蒸気流れ方向に沿って配設するとともに、前記可変絞り手段出口側の管路内圧力検知手段により前記圧力を検知しながら該検知信号を圧力制御コントローラに取込んで前記可変絞り弁を可変制御可能に構成されている。
【０００３】
しかしながらかかる従来技術においては、前記蒸気遮断弁を開く前は、前記可変絞り手段出口側の管路内圧力検知手段により検知される蒸気圧力は実質的にゼロ（大気圧）である為に、該圧力検知信号に基づき圧力制御コントローラは可変絞り弁を最大に開く様に作用しており、この状態では、可変絞り弁の絞り作用が全く機能していない為に、蒸気遮断弁を開くと同時に蒸気圧力は目標とする設定圧力を越えてしまい管路内圧力が最大圧力に昇圧してしまう。
【０００４】
また、この時管路内を急激に蒸気が流れてしまうことから、蒸気供給元の蒸気供給ヘダーの圧力を変動させてしまい、他のプロセスに対して大きな外乱を与えてしまう。この様な不都合を防止する為に、圧力制御コントローラの出力を手動操作で可変絞り手段を閉じる状態にしておいてから蒸気遮断弁を開き、その後に圧力制御コントローラによる自動制御動作に基づいて可変絞り弁の開度調節状態に戻せば良いが、手動操作による介入が必要であり、而も均一な運転状態とする事が困難であることの他、誤操作による危険の可能性も増す。
【０００５】
本発明は、徐々に蒸気の流れを増やして、滑らかに蒸気圧力を目標とする設定圧力迄上昇させる操作を、人手によらず全自動で行なうことを可能にした蒸気圧力制御装置を提供することを課題としているが、管路内の流体の流れを徐々に変化させて目標とする制御状態に滑らかに移行させる要請は、前記した蒸気タービンの駆動蒸気圧力制御方式等に限定されず、ガス体の圧力制御又は流体の流量制御等、管路の途中に流体遮断手段と可変絞り手段を有するプロセスであれば種々のプロセスに適用できる。
【０００６】
すなわち本発明の目的は、可変絞り手段入口側に位置する流体遮断手段が開放直後であっても管路内の流体の流れを徐々に変化させて目標とする制御状態に滑らかに移行することの出来る管路内流体圧制御装置を提供する事にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、蒸気その他のガス若しくは液体を供給元から消費先に導く管路の途中に流体遮断手段と可変絞り手段と管路内圧力を検知する圧力検知手段を流体流れ方向に沿って順次配設するとともに、前記流体遮断手段の開閉状態を検知する開閉検知手段を設け、
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が閉から開への切換直後において、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態を選択可能に構成したことを特徴とするものである。
かかる発明によれば、流体遮断手段が閉から開への切換直後においては可変絞り手段を閉状態から徐々に微開される事から、管路内を急激に流体が流れてしまうことなく、徐々に流体の流れを増やして、滑らかに流体圧力を目標とする設定圧力迄上昇させることが出来る。
而も前記操作は、人手によらず全自動で行なうことが出来るために、蒸気供給元のヘダーに対してもプロセスへの蒸気供給安定化を図る事が出来る。
【０００８】
請求項２記載の発明は、
前記流体遮断手段が閉の状態にあるときは可変絞り手段も一律に閉とし、
前記流体遮断手段が開状態にあるときに、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態と、前記圧力検知手段よりの検知信号に基づいて可変絞り手段を可変制御する第２の動作状態を選択可能に構成したことを特徴とする。
【０００９】
この場合、前記第１の動作状態と第２の動作状態の選択が、圧力検知手段の検知圧力と目標設定圧力との比較により行われるように構成する事で、検知圧力と目標設定圧力とが接近している場合は、直ちに第２の動作状態に移行する事が出来、安定した制御を速やかに行う事が出来るものである。
又請求項４記載のように前記請求項２記載の第１の動作状態と第２の動作状態の選択が、可変絞り手段の開き度により行われ、可変絞り手段の開き度の小さい方の動作状態を選択することにより、可変絞り手段入口側に位置する流体遮断手段が開放直後であっても管路内の流体の流れを徐々に変化させて目標とする制御状態に滑らかに移行することの出来る。
【００１０】
又請求項５記載のように、前記流体遮断手段が閉から開への切換直後において、可変絞り手段を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態を選択し、その後前記圧力検知手段よりの検知信号に基づいて可変絞り手段を可変制御する第２の動作状態に移行可能に構成してもよい。
更に請求項６記載のように、前記一方の動作状態が選択されていない時に、該一方の動作状態の可変絞り手段制御出力を他方の動作状態の制御出力値に追従若しくは一致する方向に制御するようにすることにより、第１の動作状態と第２の動作状態の切り換え直後における圧力変動を防ぐ事が出来、滑らかな切り換えが可能となる。
例えば第２の動作状態を選択して、流体圧検知手段からの出力が圧力制御コントローラの設定する目標圧力に一致するかまたは接近した状態に一旦なると、可変絞り手段の開き程度を調節して蒸気検知圧力と圧力設定値とが一致する様に作用する、いわゆるフィードバック圧力制御動作を行ない、又可変絞り手段が第１の動作状態の手段で調節される様に選択器が切換っている時には、第２の動作状態の手段は、選択器の出力側の値に追従、一致する様に動作させる。
【００１１】
さらに請求項７記載のように、前記第１の動作状態の、可変絞り手段の絞り変化速度を、該第１の動作状態が選択されたか否かでその変化速度を異ならし、例えば可変絞り手段が第２の動作状態の手段で調節される様に切換った時には、第１の動作状態の手段は、第２の動作状態の作用を阻害しない様に出力の変化速度を早めて第２の動作状態側に追従させる事で、第１動作状態での滑らかな状態変化と、第２の動作状態での迅速な制御との両方の要件を満足出来、理想的な制御が可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図面を参照して本発明の実施形態を例示的に詳しく説明する。但しこの実施形態に記載されている構成要素の種類、その相対的配置等は特に特定的な記載がないかぎりは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
図１は本発明が適用される管路内流体圧制御システムの基本構成図で、蒸気ヘッダ等の蒸気供給元１から管路３を経て蒸気タービン等の蒸気消費先２に蒸気が供給される経路を示し、この管路３上に例えば電磁的若しくは流体圧等により開閉制御される蒸気遮断弁４と電気信号若しくは流体圧に基づいて開度が可変可能な可変絞り弁５と管路３内の蒸気圧を計測（検知）する蒸気圧検知センサ６が直列に設けられており、蒸気消費先２が蒸気を必要としない時には、蒸気遮断弁４を閉じておく。
【００１３】
８は蒸気遮断弁の開閉状態及びその開度を検知する弁開閉検知センサ、１１は弁開閉検知センサ８と蒸気圧検知センサ６との検知信号を取込んで、後記するように可変絞り弁５の絞り開度を制御する圧力制御コントローラ１１である。
圧力制御コントローラ１１は、蒸気の消費が増加すると、蒸気圧検知センサ６で検出する点（可変絞り弁５出口側）の蒸気圧力が低下するので可変絞り弁５の絞りを開き、蒸気圧力を回復させるように構成されている点は前記従来技術と同様であるが、本圧力制御コントローラ１１は特に蒸気遮断弁４を開いた直後においても、管路３内の流体の流れを徐々に変化させて目標とする制御状態に滑らかに移行させるように制御している。
【００１４】
図２は本発明の実施形態に係る圧力制御コントローラの信号の流れとその制御要素を示す。図中、５は可変絞り弁、６は蒸気圧検知センサ６、８は蒸気遮断弁４の開閉状態検知センサで、前記圧力制御コントローラ１１内には、前記蒸気遮断弁４が開状態にあるときに、可変絞り弁５を閉状態から徐々に微開して行く第１の動作状態を作り出す信号Ｙ１０を生成する第１コントロール部１２と、前記蒸気圧検知センサ６よりの検知信号に基づいて可変絞り弁５を可変制御する第２の動作状態の信号を生成する第２コントロール部１３と、前記２つの動作状態を選択する選択部１４からなる。
尚、本実施形態では圧力制御コントローラを電気回路的に捉えて説明しているが、油圧その他の流体圧シーケンスを用いて圧力制御コントローラを形成する事は任意である。
【００１５】
第１コントロール部１２は、可変絞り弁閉設定信号発生器Ｃ２  と可変絞り弁最大開度設定信号発生器Ｃ３  と、蒸気遮断弁４の開閉状態を検知する検知センサ８よりの信号に基づいて信号発生器Ｃ２  、Ｃ３  を切り換える切換スイッチＴ１  及び信号変化率制限器Ｖ１  とよりなる。
第２コントロール部１３は、蒸気圧検知センサ６の検知信号を取込んで、蒸気消費先２で消費する蒸気量が変化した場合でも前記蒸気圧力を一定に保つ様に、可変絞り弁５の絞り開度を制御するコントロール部本体Ｒ１  と、管路３内の目標圧力（設定値）信号発生器Ｃ１  と、前記蒸気圧検知センサ６の検知信号と信号発生器Ｃ１  よりの設定値を比較し、両者が一致した際に、言換えれば検知圧力が目標設定圧力に達した際に信号ｂを出力する比較器若しくは偏差演算器Ｍ１  （信号モニタ）からなる。
選択部１４は、蒸気遮断弁４の開閉状態が「開」状態を表わす信号ａと比較器若しくは偏差演算器Ｍ１  よりの信号ｂを取込んでコントロール部本体Ｒ１  の動作状態を「自動調節」状態に切換える信号ｃをコントロール部本体Ｒ１  側に出力するロジック演算器Ｌ１  及び低位信号選択器Ａ１  からなる。
【００１６】
かかる構成の圧力制御コントローラ１１の動作を、蒸気遮断弁４が閉で蒸気を遮断している状態から一定圧力制御状態に至る迄の作用を説明する。
最初、蒸気遮断弁４が閉じている状態では、蒸気圧検知センサ６で検出される蒸気圧力はゼロ（蒸気タービン側の圧力）で、従来の圧力制御装置では、圧力制御コントローラが可変絞りを全開まで開いてしまうことは前記従来技術の項で説明した通りである。
一方、本実施形態の圧力制御コントローラ１１では、第１コントロール部１２で、検知センサ８が蒸気遮断弁４が閉状態にある事を検知しているので、圧力制御コントローラ１１は、その第１の動作状態に移る前の、可変絞り弁５が閉じた状態にある信号Ｙ１  を発生させる。
【００１７】
具体的には蒸気遮断弁４が閉状態にある信号ａ’により切換スイッチＴ１  を信号発生器Ｃ２  側に切換えており、信号変化率制限器Ｖ１  を経てＹ１０で発生器Ｃ２  の信号を保持する。低位信号選択器Ａ１  では（発生器Ｃ２  の信号が低位信号であるため）Ｙ１０の値が選ばれて調節出力値Ｙ１  となる。従って可変絞り弁５は、設定信号発生器Ｃ２  で定められる閉状態となる。
【００１８】
次に蒸気消費先２に蒸気を流し始める為に、蒸気遮断弁４を開いた時の作用を説明する。
蒸気遮断弁４が開かれた事を、弁の開閉状態を検知する手段８が検知して、圧力制御コントローラ１１内の信号ａの状態が成立する。信号ａはスイッチＴ１  を発生器Ｃ３  側に切換えて、信号変化率制限器Ｖ１  で定められた割合で、徐々に信号Ｙ１０の値を発生器Ｃ２  の値から発生器Ｃ３  の値に向けて変化させる。この期間では、ロジック演算器Ｌ１  の出力信号ｃが成立していないので、第２コントロール部１３のコントローラ本体Ｒ１  は自動調節状態にはならずその出力の値はＹ１  に追従している。
【００１９】
従って、低位信号選択器Ａ１  は第１コントロール部１２の信号Ｙ１０の値を選択しているので、Ｙ１  は徐々に発生器Ｃ３  の値に向けて変化することとなり、可変絞り弁５が徐々に開き始める。
可変絞り弁５が開き始めると蒸気遮断弁４が開いている状態であることを開閉検知センサ８で検知し、信号ａをロジック演算器Ｌ１  に出力するとともに、蒸気が蒸気消費先２に供給される。その供給量が蒸気消費先２の要求する量に対して十分な量に達すると、蒸気圧検知センサ６で検出される検知圧力Χ１  が上昇し、やがては、圧力制御コントローラ１１が自動で圧力調節する目標設定圧力が格納されている発生器Ｃ１  の設定値Χ２  に接近する。
この状態を、検知圧力Ｘ１  と設定値Ｘ２  とを比較監視している比較器若しくは偏差演算器Ｍ１  が判別し、検知圧力Ｘ１  が発生器Ｃ１  として設定されている目標設定値Ｘ２  に一致又は接近すると信号ｂをロジック演算器Ｌ１  に出力させる。
ロジック演算器Ｌ１  では検知圧力Ｘ１  が目標設定圧力に達した到達信号ｂと、蒸気遮断弁開信号ａが入力されることにより、第２コントロール部１３のコントローラ本体Ｒ１  に「自動調節」状態に切換信号ｃを出力させる。
【００２０】
コントローラ本体Ｒ１  では、切換信号ｃの入力により「自動調節」状態に切換わると、それまでＹ１  の値に追従していた出力を初期値として、検知圧力Ｘ１  が設定値Ｘ２  に一致する様に出力値Ｙ１  を増／減して調節動作を行なう。
この時点から、低位信号選択器Ａ１  では、第２コントロール部１３のコントローラ本体Ｒ１  側を選択する様に切換わり、第１コントロール部１２側の信号Ｙ１０に代って、第２コントロール部１３のコントローラ本体Ｒ１  の出力をＹ１  に出力する様になり、可変絞り弁５が圧力調節動作をする。
第１コントロール部１２側の信号Ｙ１０が低位信号選択器Ａ１  で選ばれなくなった後も、信号Ｙ１０の値は発生器Ｃ３  に向って変化して行くので、第１コントロール部１２側の信号Ｙ１０が第２コントロール部１３のコントローラ本体Ｒ１  の調節動作を阻害する事は無い。
【００２１】
次に前記図２に示すロジック演算器Ｌ１  の構成例を、図３を参照して説明する。
切換信号ｃは論理積演算器２２の出力となっており、蒸気遮断弁開信号ａと論理和演算器２１の出力の両方が成立している時に切換信号ｃが出力する。また論理和演算器２１の出力は到達信号ｂ又は切換信号ｃのいずれかが成立していれば出力される。すなわち切換信号ｃは、蒸気遮断弁開信号ａと到達信号ｂが共に成立した時点で出力され、その後は到達信号ｂの状態に係わらず蒸気遮断弁開信号ａが成立しなくなる迄、切換信号ｃの出力状態が保持される。従って、蒸気遮断弁４が開いた後に検知圧力Ｘ１  が目標に達すると切換信号ｃが成立して、第２コントロール部１３のコントローラ本体Ｒ１  を「自動調節」状態とし、その後は蒸気遮断弁４が閉じるまで、この状態を保持する様な動作を実現できる。尚、このロジック演算器Ｌ１  の動作は、この説明の方法に限らず、他に手動操作による切換や、可変絞り調節する動作に対応する様に変更してもよい。
【００２２】
図４は圧力制御コントローラの動作を一部変更した他の実施形態を示す。
図４における圧力制御コントローラの制御要素は、図２とほぼ同一であるが、図２の信号選択器Ａ１  の部分が、外部の選択器９となっており、そして選択器９よりの出力側の値の入力値Ｘ３  をコントローラ本体Ｒ１  側にフィードバックしている。
これによりコントローラ本体Ｒ１  の出力は、該コントローラ本体Ｒ１  が切換信号ｃによって「自動調節」動作を行なっていない場合においても、第１コントロール部１２側の信号Ｙ１０の状態、言換えれば可変絞り弁５の実際の開度状態に追従できる。尚、図４の第１の動作状態を実行する出力値Ｙ２０は図２のＹ１０と、切換スイッチＴ２  は、図２のＴ１  と、信号変化率制限器Ｖ２  は図２のＶ１  と、可変絞り機構閉設定信号発生器Ｃ４  は図２のＣ２  と、可変絞り機構最大開度設定信号発生器Ｃ５  は図２のＣ３  と、調節出力値Ｙ２  は図２のＹ１  と夫々対応する。
【００２３】
図５は図２の圧力制御コントローラの内、第１コントロール部１２を改良した他の実施形態を示す。
第１コントロール部１２は、可変絞り弁閉設定信号発生器Ｃ６  と可変絞り弁最大開度設定信号発生器Ｃ７  と、蒸気遮断弁４の開閉状態を検知する検知センサ８よりの信号に基づいて信号発生器Ｃ６  、Ｃ７  を切り換える切換スイッチＴ３  及び信号変化率制限器Ｖ３  とを含む点は図２と同様であるが、可変絞り弁５を徐々に開く変化速度の設定信号発生器Ｃ８  の信号と可変絞り弁５を徐々に開く変化速度の設定信号発生器Ｃ９  の信号とを切り換える切り換えスイッチＴ４  を設け、信号変化率切換信号ｄの信号に基づいて切り換え可能に構成している。
【００２４】
すなわち本実施形態は、信号変化率制限器Ｖ３  が信号変化率を切換える信号ｄによって、信号発生器Ｃ８  、または発生器Ｃ９  に定められる異なった変化率の動作に変わる様に構成されている。
この実施形態の作用の一例を説明する。
蒸気遮断弁４を開いた直後の、第１コントロール部１２よりの出力信号Ｙ３０に基づいて可変絞り弁５を徐々に開いている状態では、蒸気供給元１に変動を与えない様にするとともに、管路３や蒸気消費先２が急激に蒸気で加熱されたり、発生するドレン水が悪影響を及ぼさない様にする為には、可変絞り弁５よりの蒸気の供給量を少量ずつを変化するように変化率を設定する必要がある。
【００２５】
一方、圧力制御コントローラが第２コントロール部１３により「自動調節」動作状態になった後は、第１の動作状態を実行する第１コントロール部１２よりの出力信号Ｙ３０が第２の第２コントロール部１３による「自動調節」動作状態側の作用を阻害しない様に、極力すみやかに信号発生器Ｃ７  に定められる可変絞り弁５の最大開度相当値まで逃がす事が必要である。
図５に示される構成で、信号変化率を切換える信号ｄを、圧力制御コントローラが第１の動作状態から、第２コントロール部１３による「自動調節」動作状態（第２の動作状態）に切換わる信号ｃに連動して生成させる方法で実現できる。他に信号ｄを成立させる条件として選択器９で信号Ｙ３０が選択されているかどうかを判別して行なってもよい。
【００２６】
【発明の効果】
以上に説明した様に、本発明によれば、人手によることなく、蒸気を流し始めた最初の段階から、定常的な圧力調節動作状態まで、滑らかに移行させる事が可能となるので、蒸気を通気させる操作の安全性を増すと同時に、省力化も図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明が適用される管路内流体圧制御システムの基本構成図である。
【図２】図２は本発明の実施形態に係る圧力制御コントローラの信号の流れとその制御要素を示す詳細構成図である。
【図３】図２中のＬ１ロジック演算器の詳細構成図である。
【図４】図４は本発明の他の実施形態に係る圧力制御コントローラの信号の流れとその制御要素を示す詳細構成図である。
【図５】図５は本発明の他の実施形態に係る圧力制御コントローラの第１コントロール部の信号の流れとその制御要素を示す詳細構成図である。
【符号の説明】
１    流体供給元
２    流体消費先
３    管路
４    流体遮断手段
５    可変絞り手段
６    流体圧検知手段
８    流体遮断手段の開閉状態及び開度を検知する手段
９    選択器
１１    圧力制御コントローラ
１２  第１コントロール部
１３  第２コントロール部
１４  選択部
２１  論理和（ＯＲ）演算器
２２  論理積（ＡＮＤ）演算器
Ｘ１    検知入力値
Ｘ２    設定値
Ｘ３    選択器の出力側の値の入力値
Ｙ１  、Ｙ２    調節出力値
Ｙ１０〜Ｙ３０  第１の動作状態を作り出す信号若しくは出力値
Ｒ１    第２コントロール部のコントローラ本体
Ｍ１    比較器若しくは偏差演算器
Ａ１    低位信号選択器
Ｔ１〜Ｔ４  スイッチ
Ｖ１〜Ｖ３  信号変化率制限器
Ｌ１    ロジック演算器
Ｃ１    設定値信号発生器
Ｃ２、Ｃ４、Ｃ６  可変絞り手段閉設定信号発生器
Ｃ３、Ｃ５、Ｃ７  可変絞り手段最大開度設定信号発生器
Ｃ８  、Ｃ９    可変絞り手段を徐々に開く変化速度の設定信号発生器
ａ    流体遮断手段の「開」状態を表わす信号
ａ’  流体遮断手段の「閉」状態を表わす信号
ｂ    検知圧力Ｘ１が「目標設定圧力に達した」状態を表わす信号
ｄ    信号変化率を切換える信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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