(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状ワークを洗浄する装置であって、洗浄液を貯留するための貯留タンクと、前記薄板状ワークを収納することが可能で且つ前後方向に厚みの薄い洗浄槽と、洗浄槽の前面に取り付けられ且つ洗浄槽内の薄板状ワークの前面に向けて超音波を放射することのできる超音波発振器と、前記洗浄槽の上部から洗浄槽内に向けてエアを吹き付けることの出来るエアブロー機構と、前記貯留タンク内の洗浄液を洗浄槽に導入し、また洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに導出するための洗浄液導入・導出機構と、洗浄槽内に導入された洗浄液を脱気しながら循環させるための洗浄液脱気・循環機構と、洗浄槽内に純水を導入し、また洗浄槽内の純水を排出するための純水導入・排出機構を備え、前記洗浄槽の上部には、前記薄板状ワークを保持して洗浄槽内に出し入れすることの出来る昇降機構が設けられることを特徴とする薄板状ワークの洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板状ワークの洗浄装置において、この装置には、前記貯留タンク内の汚れた洗浄液がエア圧で送り込まれる容器と、新しい洗浄液をエア圧で貯留タンク内に送り込むための容器が設けられ、これら容器は移動自在にされることを特徴とする薄板状ワークの洗浄装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の薄板状ワークの洗浄装置において、前記洗浄槽の超音波発振方向の厚みは、常温における超音波の１波長以下の厚みであることを特徴とする薄板状ワークの洗浄装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の薄板状ワークの洗浄装置において、前記薄板状ワークは液晶配向用に使用される感光性樹脂版であり、また前記洗浄液はＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）液であることを特徴とする薄板状ワークの洗浄装置。
【請求項５】
薄板状ワークを上方から降下させて前後方向に厚みの薄い洗浄槽内にセットし、この洗浄槽内に貯留タンク内の洗浄液を導入する工程と、この洗浄槽内の洗浄液を脱気しながら循環させつつ洗浄槽の前面から洗浄槽内の薄板状ワークの前面に向けて超音波を放射して薄板状ワークを超音波洗浄する工程と、洗浄後に洗浄槽の上部からエアブロー機構によりエアを吹き付けながら薄板状ワークを上方に引上げるとともに、洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに戻す工程と、洗浄槽内に純水を供給し、薄板状ワークを洗浄槽内に降下させて超音波によりリンスし、必要に応じてこのリンスを複数回繰り返すか、または純水を僅かに供給・排水しつつ連続的にリンスする工程と、薄板状ワークを上方に引上げつつ、前記エアブロー機構により熱風を吹き付けてワークを乾燥させる工程を備えたことを特徴とする薄板状ワークの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶配向用に使用される感光性樹脂版等の薄板状ワークを精密洗浄する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば液晶配向用に使用される感光性樹脂版は、厚み数ミリ程度の薄いポリブタジエン等の樹脂の表面に多数の微細な凹凸が形成されており、このような感光性樹脂版をローラ等に巻き付けて、ガラス基板の表面に塗布される配向膜の表面に接触させながら回転させることにより、配向処理を施すようにしているが、使用回数が重なると微細な凹部内にゴミやカス等が溜まるようになり、従来では、樹脂版の表面を使い捨ての不織布等で拭って洗浄した後、繰り返して使用するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のように不織布等で拭って洗浄する方法は、洗浄作業に労力と手間がかかると同時に、微細な凹部に溜まったゴミやカス等を完全に除去するのが難しく、使用回数が一定に制限されるという問題があった。
また、不織布等からゴミが発生しないよう、周縁部等をレーザでカットした特殊な不織布等を使用し、またこれを使い捨てるため、コストがかかるという問題もあった。
【０００４】
そこで本発明は、液晶配向用の感光性樹脂版等の薄板状ワークを洗浄するにあたり、洗浄に人手や労力を要さず、またゴミやカス等を完全に除去出来るようにして、何回も使用出来るようにすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、薄板状ワークを洗浄する装置として、洗浄液を貯留するための貯留タンクと、薄板状ワークを収納することが可能で且つ前後方向に厚みの薄い洗浄槽と、洗浄槽の前面に取り付けられ且つ洗浄槽内の薄板状ワークの前面に向けて超音波を放射することのできる超音波発振器と、洗浄槽の上部から洗浄槽内に向けてエアを吹き付けることの出来るエアブロー機構と、前記貯留タンク内の洗浄液を洗浄槽に導入し、また洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに導出するための洗浄液導入・導出機構と、洗浄槽内に導入された洗浄液を脱気しながら循環させるための洗浄液脱気・循環機構と、洗浄槽内に純水を導入し、また洗浄槽内の純水を排出するための純水導入・排出機構を設け、前記洗浄槽の上部には、前記薄板状ワークを保持して洗浄槽内に出し入れすることの出来る昇降機構を設けるようにした。
【０００６】
そして請求項５のように、昇降機構によって薄板状ワークを上方から降下させて前後方向に厚みの薄い洗浄槽内にセットし、洗浄液導入・導出機構により洗浄槽内に貯留タンク内の洗浄液を導入するとともに、洗浄液脱気・循環機構によって洗浄槽内の洗浄液を脱気しながら循環させつつ洗浄槽の前面から洗浄槽内の薄板状ワークの前面に向けて超音波を放射して薄板状ワークを超音波洗浄する。
そして、洗浄後に、洗浄槽の上部からエアブロー機構によりエアを吹き付けながら薄板状ワークを上方に引上げるとともに、洗浄液導入・導出機構により洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに戻し、次いで純水導入・排出機構によって洗浄槽内に純水を導入し、薄板状ワークを洗浄槽内に降下させて超音波によりリンス（すすぎ洗い）し、必要に応じてこのリンスを複数回繰り返すか、または純水を僅かに供給・排水しつつ連続的にリンスする。
この際、洗浄後にワークを上方に引上げながらエアブロー処理することにより、次回のリンス効果を高めることが出来る。
そして、最後に薄板状ワークを上方に引上げつつ、エアブロー機構により熱風を吹き付けて乾燥させるようにすれば、一連の洗浄作業がすべて自動化されて洗浄に人手や労力を要さず、また効果的な洗浄を行うことが出来る。
【０００７】
また、洗浄液中に発生させた真空核の微小なキャビテーションの衝撃力で被洗浄物を洗浄するような超音波洗浄中、洗浄液脱気・循環機構により洗浄液中に溶解する気体や洗浄液中に混入する気体やガスを脱気しながら超音波洗浄を行うことにより、超音波の伝播特性を向上させると同時に、キャビテーションの衝撃力を強化することが出来、洗浄効果を一層高めることが出来る。
【０００８】
また、洗浄槽で洗浄した後、洗浄槽内の洗浄液を貯留タンクに戻し、空になった洗浄槽内に純水を導入してリンスするようにすれば、洗浄からリンスに至るまでの一連の洗浄作業を一つの槽で行うことが出来、例えば洗浄液槽やリンス槽等の複数の槽を使用するような多槽式洗浄装置に較べて省スペース化や装置の小型化が図られる。
また、洗浄槽を薄板状ワークに形状に合わせて、厚みの薄い洗浄槽にすることにより、一層の省スペース化が図られ、また、厚みの薄い方向に超音波を発振して洗浄やリンスを行えば、キャビテーションの衝撃力を強めた状態で洗浄、リンスを行うことが出来、洗浄、リンス効果を高めることが出来る。
ここで、薄板状ワークとしては、例えば表面に凹凸形状が形成されて凹部等にゴミが溜まり易い金属板やガラス版や樹脂板等が適用可能である。
【０００９】
また本発明では、前記貯留タンク内の汚れた洗浄液がエア圧で送り込まれる容器と、新しい洗浄液をエア圧で貯留タンク内に送り込むための容器を設け、これら容器を移動自在にした。
そして洗浄液が汚れてきた場合には、汚れた洗浄液をこれら容器を使用して交換するようにすれば、手軽に交換が出来て便利である。
【００１０】
また本発明では、前記洗浄槽の超音波発振方向の厚みを、常温における超音波の１波長以下の厚みであるようにした。
このように洗浄槽の厚みを１波長（λ）以下の厚みにすれば、洗浄槽のより薄型化、小型化が図られるが、この際、発振波と対向壁から反射される反射波の山と山とが強め合うような厚み、例えば３／４λ等に設定すれば、キャビティの衝撃力の強い箇所を設定出来るため好ましい。
【００１１】
また本発明では、前記薄板状ワークを液晶配向用に使用される感光性樹脂版であるようにし、また前記洗浄液はＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）液であるようにした。
このような液晶配向用の感光性樹脂版をＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）液で洗浄するような装置に適用すれば好適である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について添付した図面に基づき説明する。
ここで図１は本発明に係る洗浄装置の正面方向から見た一部断面図、図２は同側面方向から見た説明図、図３は同平面方向から見た説明図、図４は洗浄槽の拡大断面図、図５はエアブロー部の説明図、図６は洗浄槽の厚みと超音波振動の波長との関係を示す説明図、図７、図８は本洗浄装置のシステム構成図である。
【００１３】
本発明に係るワークの洗浄技術は、例えば液晶配向用に使用される感光性樹脂版等の薄板状ワークを精密洗浄するにあたり、洗浄に人手や労力を要さず、またワークに付着するゴミやカス等を完全に除去することにより、使用回数を増やすことが出来るようにされており、まず洗浄装置の構成概要について図１乃至図６に基づき説明する。
【００１４】
本洗浄装置１は、上下二段に仕切られる機台２と、この機台２の下段正面側内部に配設される薄型洗浄槽３と、この洗浄槽３の正面側に配設される超音波発振器４と、機台２の上段正面側に配設される観音開き式の開閉扉５を備えており、機台２の上段と下段との間には、ワークＷを保持して洗浄槽３内に出し入れすることの出来る昇降機構６が設けられている。
【００１５】
そして洗浄槽３の後面側の空間部には、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）液等の洗浄液を貯留する貯留タンク７が配設され、この貯留タンク７と前記洗浄槽３との間には、後述する洗浄液導入・導出機構が配設されている。
【００１６】
また、機台２より後側の補助台８内には、貯留タンク７から排出される汚れた洗浄液を受けることが出来る容器としての排液キャニスター９と、貯留タンク７に向けて新しい洗浄液を供給するための容器としての新液キャニスター１０がそれぞれの台車１１に搭載されて移動自在にされている。
尚、補助台８の側方には、制御盤２３（図３）を配設している。
【００１７】
前記昇降機構６は、ボールネジ１２に螺合し且つサーボモータ１３の作動によって昇降自在な昇降体１４と、この昇降体１４から前方に張出すアーム１５に取付けられるワーク保持板１６を備えており、昇降体１４の左右端の前面には、機台２のレールにスライド自在に係合する一対のガイド１７（図３）が設けられている。
そしてワーク保持板１６の前面に薄板状ワークＷの保持部が形成されている。
【００１８】
また、前記洗浄槽３の後面側には、オーバーフロー槽１８（図２）が設けられ、また、洗浄槽３の上部には、洗浄槽３内に向けてエアを吹き付けることの出来るエアブロー部２０が設けられている。更に、洗浄槽３の周辺には、洗浄槽３内の洗浄液を脱気しながら循環させることの出来る後述の洗浄液脱気・循環機構と、洗浄槽３内に純水を導入または排出するための純水導入・排出機構が配設されている。
【００１９】
洗浄槽３は、図４にも示すように、ワーク保持板１６の形状に合わせて、前後方向の厚みが薄い薄型形状にされ、超音波発振器４は洗浄槽３の前面に取付けられている。そして、この洗浄槽３の前後方向の厚みは、実施例では、図６に示すように、超音波発振器４が発振する常温状態での波長λに対して１／２λ＋１／４λ（３／４λ）とされており、発振波と反射波の山と山とが重なり合って、強力な衝撃力のキャビテーションが発生するようにしている。
【００２０】
前記エアブロー部２０は、図５に示すように、洗浄槽３の上部に沿って取り付けられる左右一対の長尺状の角パイプ部２１と、この角パイプ部２１内に配設される丸パイプ部２２を備えており、角パイプ部２１の内側下端コーナ部にはエアブロー孔２１ｈが設けられるとともに、丸パイプ部２２のエア吹出し部は外側方向上部に設けられている。
そして、丸パイプ部２２のエア吹出し部から吹出されたエアが角パイプ部２１の内部で回り込み、エアブロー孔２１ｈから斜め下方に向けて吹出されるようにしている。
因みに、このようなエアを吹出し構造を採用しているのは、エアブロー孔２１ｈから吹出されるエアの流れと吹出し量を均一ならしめるためである。
【００２１】
次に、本洗浄装置１のシステム構成について、図７及び図８に基づき説明する。
まず、貯留タンク７内の洗浄液を洗浄槽３に導入し、また洗浄槽３内の洗浄液を貯留タンク７内に導出するための洗浄液導入・導出機構から説明する。
この洗浄液導入・導出機構は、洗浄槽３と貯留タンク７との間に接続される洗浄液回路Ａと、オーバーフロー槽１８と洗浄液回路Ａとの間に接続されるオーバーフロー回路Ｂと、貯留タンク７にエア圧をかけることの出来るエア圧回路Ｃと、貯留タンク７内を減圧にするための真空引き回路Ｄを備えており、洗浄液回路Ａは、貯留タンク７への接続側で第１、第２回路Ａ１、Ａ２に分岐するとともに、エア圧回路Ｃの上流側にはエア源３０が設けられ、真空引き回路Ｄの延出部には、真空ポンプ３１が設けられている。
【００２２】
そして、貯留タンク７内の洗浄液を洗浄槽３に導入する際は、エア圧回路Ｃから貯留タンク７内に加圧エアを送り込んで、洗浄液を洗浄液第１回路Ａ１から圧送するようにし、洗浄槽３内の洗浄液を貯留タンク７に導出する際は、真空ポンプ３１により真空引き回路Ｄを通して貯留タンク７内を減圧し、洗浄液第２回路Ａ２を通して洗浄液を吸引するようにしている。
【００２３】
このため、洗浄液回路Ａの途中には、エアバルブａ、ｂが配設され、オーバーフロー回路Ｃの途中には、エアバルブｄが配設され、エア圧回路Ｃの途中には、エアバルブｅが配設されるとともに、真空引き回路Ｄの途中には、エアバルブｆが配設され、それぞれの回路の開閉制御が行われるようにしている。
また、洗浄液第１回路Ａ１の途中には、フィルタｚ等が配設されている。
因みに、貯留タンク７内の洗浄液が洗浄槽３に送り込まれた後、貯留タンク７内の圧力を抜くため、貯留タンク７には大気開放回路Ｖが接続され、この大気開放回路Ｖの途中にはエアバルブｑが配設されている。
【００２４】
次に、洗浄槽３内に導入された洗浄液を脱気しながら循環させる洗浄液脱気・循環機構について説明する。
洗浄液脱気・循環機構は、洗浄槽３に接続される洗浄液循環回路Ｅと、この洗浄液循環回路Ｅの途中に配設される中空糸の洗浄水脱気モジュール３２及び循環ポンプ３３を備えており、洗浄水脱気モジュール３２には、真空引き回路Ｆが接続されている。そしてこの真空引き回路Ｆの延出部には、真空ポンプ３４が配設されている。
【００２５】
そして真空ポンプ３４を作動させることによって、洗浄槽３内の洗浄液を洗浄水脱気モジュール３２に導いて洗浄液に含まれる空気やガス等を脱気した後、脱気した洗浄液を循環ポンプ３３によって再び洗浄槽３内に戻すようにしている。このため、洗浄液循環回路Ｅの途中には、洗浄槽３と洗浄水脱気モジュール３２の間にエアバルブｇが配設され、循環ポンプ３３の下流側にフィルタｚ等が配設され、また、真空引き回路Ｆの途中には、エアバルブｈ、ｉが配設されて、それぞれの回路の開閉制御が行われるようにしている。
因みに、前記真空ポンプ３４は、以下に述べる純水から脱気する際にも使用するようにしており、洗浄液からの脱気と、純水からの脱気の両方に兼用するようにしている。
【００２６】
次に、洗浄槽３内に純水を導入し、または洗浄槽３内の純水を排出するための純水導入・排出機構について説明する。
純水導入・排出機構は、純水供給源３５と洗浄槽３との間に配設される純水導入回路Ｇと、この純水導入回路Ｇの途中に配設される中空糸の純水脱気モジュール３６と、洗浄槽３内の純水を排水部３７に導くための純水排出回路Ｈを備えており、純水脱気モジュール３６には、前記真空引き回路Ｄの途中に接続される接続回路Ｊが接続されている。
【００２７】
そして真空ポンプ３４を作動させることによって、純水供給源３５から供給される純水を純水脱気モジュール３６に導き、純水に含まれる空気等のガスを脱気した後、脱気した純水を洗浄槽３内に導入するようにしている。
このため、純水導入回路Ｇの途中には、エアバルブｋやフィルタｚ等が配設され、また、接続回路Ｊにもエアバルブｍが配設されて回路の開閉制御が行われるようにしている。
【００２８】
また、前記純水排出回路Ｈは、その一端側が前記洗浄水回路Ａの三方弁のエアバルブｂに接続され、他端側が排水部３７に向けて延出しており、その途中には、各フィルタｚから排出される排水ラインやその他の回路等から排出される排水ラインが接続されている。（図中、代表例を黒丸印で示す。）
そして洗浄槽３内の純水や回路等の途中から排水される水を排水部３７に流し込んで排水出来るようにされている。
【００２９】
また、前記純水導入回路Ｇのうち、純水供給源３５と純水脱気モジュール３６の間には、洗浄槽３内が汚れた際、洗浄槽３を洗浄するための洗浄回路Ｓが接続されており、ハンドスプレー等の純水吐出部３８から純水を流すことが出来るようにされており、この洗浄回路Ｓの途中にもフィルタｚ等が配設されている。
因みに、この洗浄回路Ｓには、フィルタｚが汚染されるのを防止するため、常に僅かながら純水を流し続けるようにしている。
【００３０】
次に前記エアブロー部２０からエアを吹き付けることの出来るエアブロー機構について説明する。
エアブロー機構は、前記エア源３０とエアブロー部２０の間に配設されるエアブロー回路Ｔと、前記エアブロー部２０を備えており、エアブロー回路Ｔの途中には、オンオフが制御可能なヒータ４０が配設されている。
【００３１】
そして、ワークＷを洗浄して上部に引上げる際、エアブロー部２０からエアを吹出すことにより、ワークＷの表面に付着する洗浄液を払拭しながら引上げることが出来るようにされ、また、最終段階のリンスが終了してワークＷを引上げる際は、ヒータ４０によってエアを加熱し、熱風を吹き付けることが出来るようにされている。
そして、エアブロー回路Ｔの途中には、エアバルブｎが配設されて回路の開閉制御が行われるようにしている。
【００３２】
尚、エアブロー回路Ｔから洗浄槽３内に吹出されたエアを排気するため、前記洗浄液回路Ａのうち、洗浄槽３との接続部付近には、排気回路Ｕが接続されており、この排気回路Ｕの途中には、エアバルブｐが配設されるとともに、この排気回路Ｕは不図示の排気部に接続されている。（尚、図中、二重丸印は排気部に接続されている部分である。）
【００３３】
次に、貯留タンク７内の洗浄液が汚れた際に交換するための機構について、図８をも参照しつつ説明する。
貯留タンク７内の洗浄液が汚れた時、汚れた洗浄液を抜き出して前記補助台８内に移動自在に収納されている排液キャニスター９に移し替えると同時に、前記新液キャニスター１０から新しい洗浄液を受ける必要がある。
【００３４】
このため、まず排液キャニスター９側のシステム構成について説明すると、前記洗浄液第１回路Ａ１の途中に洗浄液排出回路Ｘが接続され、この洗浄液排出回路Ｘは、図８に示すように、排液キャニスター９に接続されている。そしてこの洗浄液排出回路Ｘの途中には、回路を開閉制御するためのエアバルブｒが設けられている。
また、排液キャニスター９には、容器内のガスを逃がすことの出来る排気回路Ｌが接続されており、この排気回路Ｌの途中には、エアバルブｔが配設されている。
【００３５】
そして、貯留タンク７内の汚れた洗浄液を排液キャニスター９に移し替える際は、前記エア圧回路Ｃを通して貯留タンク７内を加圧し、洗浄液を押し出して移し替えるようにしている。
【００３６】
次に、新液キャニスター１０側のシステム構成について説明すると、新液キャニスター１０には前記エア源３０に接続されるエア圧回路Ｙと、貯留タンク７に接続される新液供給回路Ｍを備えており、エア圧回路Ｙには、エアバルブｊが設けられ、新液供給回路Ｍには、エアバルブｙが設けられている。
そして、新しい洗浄液を送り込む際は、エア圧によって押し込むようにしている。
【００３７】
以上のような洗浄装置１を使用した洗浄方法について説明する。
まず、機台２の開閉扉５を開けてワーク保持板１６にワークＷをセットした後、昇降機構６によりワーク保持板１６とワークＷを洗浄槽３内に降下させる。
【００３８】
ワークＷが洗浄槽３内にセットされると、洗浄槽３内に洗浄液を導入する。
すなわち、洗浄液回路Ａのエアバルブａを開くと同時に、エアバルブｂを洗浄液回路Ａ側に切替え、エア圧回路Ｃのエアバルブｅを開くことにより、貯留タンク７内の洗浄液を加圧して洗浄槽３内に送り込む。そして洗浄液をオーバーフロー槽１８まで導入すると、洗浄液回路Ａのエアバルブａを閉じるとともに、エア圧回路Ｃのエアバルブｅを閉じ、大気開放回路Ｖのエアバルブｑを開いて貯留タンク７内の圧力を除去した後、同エアバルブｑを閉じる。
【００３９】
次いで、洗浄槽３内で超音波発振器４よる超音波洗浄を開始すると同時に、洗浄液脱気・循環機構により洗浄液に含まれる空気やその他のガスを脱気しながら循環させることにより、洗浄効果を高めるようにする。
すなわち、洗浄液循環回路Ｅのエアバルブｇを開くと同時に、真空ポンプ３４及び循環ポンプ３３を作動させ、洗浄液脱気モジュール３２を通して洗浄液を循環させることにより、洗浄液に含まれるガス等を脱気する。
尚、この洗浄の際、ワークＷを上下に揺動させることにより、洗浄効果を一層高めるようにしても良い。
【００４０】
一方、この洗浄と同時に、貯留タンク７内を真空ポンプ３１により真空引きして減圧しておく。
すなわち、真空引き回路Ｄのエアバルブｆを開いて真空ポンプ３１を作動させて貯留タンク７内を減圧する。
【００４１】
洗浄が完了すると、洗浄液を貯留タンク７に戻す。
すなわち、洗浄液回路Ａのエアバルブａを開いて、洗浄槽３内の洗浄液を減圧状態の貯留タンク７に導出させ、洗浄槽３内が空になると、エアバルブａを閉じてオーバーフロー回路Ｂのエアバルブｄを開き、オーバーフロー槽１８内の洗浄液を貯留タンク７に戻す。
【００４２】
そしてこの間、ワークＷの引上げが開始され、この引上げの際、エアブロー機構によりワークＷに向けてエアが吹き付けられ、付着する洗浄液を払拭して次回のリンス効率を良くするよう図られる。
すなわち、エアブロー回路Ｔのエアバルブｎを開いてエア源３０からの加圧エアをエアブロー部２０から吹出し、ワークＷに付着する洗浄液を払拭するとともに、排気回路Ｕのエアバルブｐを開いて排気する。
そしてワークＷの引上げが完了すると、真空引き回路Ｄのエアバルブｆを閉じ、また大気開放回路Ｖのエアバルブｑを開いて貯留タンク７内を大気圧状態にする。
【００４３】
ワークＷの引上げが完了すると、洗浄槽３内に純水が導入されてリンス（すすぎ洗い）が開始される。
すなわち、純水導入回路Ｇのエアバルブｋが開くと同時に、真空ポンプ３４が作動して、純水脱気モジュール３６により含有ガス等が脱気された純水が洗浄槽３に導入された後、オーバーフロー槽１８内に導入され、エアバルブｋが閉じる。
そしてその間にワークＷが降下し、洗浄槽３内にセットされる。
そして超音波発振器４により超音波リンスが行われる。
【００４４】
そして１回目のリンスが完了すると、洗浄槽３内の純水とオーバーフロー槽１８内の純水が排水部３７に排水される。
すなわち、洗浄液回路ｂのエアバルブｂの三方弁が純水排出回路Ｈ側に切り替えられると同時に、エアバルブａが開かれて洗浄槽３内の純水が排水部３７に流され、その後、オーバーフロー回路Ｂのエアバルブｄが開かれて、オーバーフロー槽１８内の純水も排水部３７に流される。
【００４５】
その後、洗浄槽３内に再び純水が導入され、同様なリンス作業が複数回繰り返されるが、このようなリンス作業に代わりに、純水を僅かづつ流して排水しながら連続的にリンスすることも可能である。
そして、最後のリンスが完了してワークＷを引上げる際は、エアブロー機構により熱風が吹き付けられる。
すなわち、エアブロー回路Ｔのヒータ４０が作動し、例えば６０〜８０度程度の温度に高められたエアがエアブロー部２０から吹出される。
この際、必要に応じてワークＷを上下動させて乾燥効率を高めるようにしても良い。
【００４６】
以上のような要領で１サイクルが終了するが、次に、洗浄液が汚れた場合の要領について説明する。
貯留タンク７の洗浄液が汚れた場合、洗浄液排出回路Ｘのエアバルブｒを開くと同時に、排気回路Ｌのエアバルブｔを開き、エア圧回路Ｃのエアバルブｅを開いて貯留タンク７内を加圧し、洗浄液を廃液キャニスター９に送り込む。
そして洗浄液が送り込まれた廃液キャニスター９は、台車１１によって運び出され、処理業者等に引渡される。
【００４７】
一方、新しい洗浄液の供給は、新液供給回路Ｍのエアバルブｙを開くと同時に、エア圧回路Ｙのエアバルブｊを開いて、新液キャニスター１０内の洗浄液を貯留タンク７内に送り込む。
そして以上のような一連の操作は制御盤２３で制御することにより自動制御するようにしている。
【００４８】
以上のような洗浄装置１を使用して超音波洗浄を行うことにより、液晶配向用に使用される感光性樹脂版のようなワークＷの場合、従来の使用回数に較べて３〜４倍程度長く使用出来ることが確認された。
【００４９】
尚、近年、液晶配向用の感光性樹脂版は、そのサイズがどんどん大型化し、例えば幅７４０ｍｍ×長さ１０５０ｍｍ×厚み２．８４ｍｍのようなサイズになっている。
これを例えば多槽式の自動洗浄装置で処理しようとすると、ＮＭＰ液の洗浄槽や純水のリンス槽等をそれぞれ複数配設してワークＷを一定方向に送りながら処理する必要があり、占有スペースが増すととともに、設備構成が大型化し、設備コストも数倍程度になるが、本発明の洗浄装置１は極めて小型化され、コンパクト化が図られているため、設備構成が容易で且つ安価に構成出来る。
【００５０】
尚、本発明は以上のような実施形態に限定されるものではない。本発明の特許請求の範囲に記載した事項と実質的に同一の構成を有し、同一の作用効果を奏するものは本発明の技術的範囲に属する。
例えばワークＷは、液晶配向用の感光性樹脂版洗浄液以外の薄板状ワークであっても良く、また洗浄液はＮＭＰ液に限られるものではない。
更に、洗浄液を交換するための排液キャニスター９や新液キャニスター１０は必須の構成要件ではない。
【００５１】
【発明の効果】
以上のように本発明は、薄板状ワークを洗浄する装置において、洗浄液を貯留する貯留タンクと、薄板状ワークを収納することが可能で且つ前後方向に厚みの薄い洗浄槽と、洗浄槽の前面に取り付けられ且つ洗浄槽内の薄板状ワークの前面に向けて超音波を放射することのできる超音波発振器と、洗浄槽の上部からエアを吹き付け可能なエアブロー機構と、貯留タンクと洗浄槽との間で洗浄液をやりとりする洗浄液導入・導出機構と、洗浄槽内の洗浄液を脱気・循環させる洗浄液脱気・循環機構と、洗浄槽内に純水を導入・排出する純水導入・排出機構と、薄板状ワークを保持して洗浄槽内に出し入れすることの出来る昇降機構によって洗浄装置を構成し、薄板状ワークを洗浄槽内にセットした後、洗浄槽内に洗浄液を導入し、洗浄液脱気・循環機構によって洗浄槽内の洗浄液を脱気しながら循環させつつ洗浄槽の前面から洗浄槽内の薄板状ワークの前面に向けて超音波を放射して薄板状ワークを洗浄し、その後、ワークを引上げながらエアを吹き付けて洗浄液を払拭し、次いで洗浄槽内に純水を導入してリンスし、最後にワークに向けて熱風を吹き付けて乾燥させるようにしたため、一連の洗浄作業が自動化されて洗浄に人手や労力を要さず、また洗浄効果を高めることが出来る。
また、装置構成もコンパクト化されて省スペース化が図れる。
【００５２】
また、貯留タンク内の汚れた洗浄液がエア圧で送り込まれる容器と、新しい洗浄液を貯留タンクに送り込むことの出来る容器を設け、これら容器を移動自在にすれば、汚れた洗浄液の交換を手軽に行うことが出来て便利である。
また、洗浄槽の超音波発振方向の厚みを、常温における超音波の１波長以下の厚みにすれば、洗浄槽の薄型化、小型化が図られ、しかもキャビティの衝撃力の強い箇所を設定出来て都合が良い。
そして、薄板状ワークとして液晶配向用に使用される感光性樹脂版とし、また洗浄液としてＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）液にすれば、本発明の洗浄装置や洗浄方法を適用するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄装置の正面方向から見た説明図
【図２】同側面方向から見た説明図
【図３】同平面方向から見た説明図
【図４】洗浄槽の拡大断面図
【図５】エアブロー部の説明図
【図６】洗浄槽の厚みと超音波振動の波長との関係を示す説明図
【図７】洗浄装置のシステム基本構成図
【図８】洗浄液を交換するためのシステム構成図
【符号の説明】
１…洗浄装置、３…洗浄槽、４…超音波発振器、６…昇降機構、７…貯留タンク、９…排液キャニスター、１０…新液キャニスター、２０…エアブロー部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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