【事件の表示】
　特願２００２−５５４８８７「改良された反射防止要素を実装した赤外線検出器」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　７月１１日国際公開，ＷＯ０２／５４４９９，平成１６年　７月１５日国内公表，特表２００４−５２１３２９〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は，平成１３年１２月２０日（パリ条約による優先権主張，平成１２年１２月２９日，米国）を国際出願日とする出願であって，平成１８年１２月２６日付けで拒絶査定がなされ，これに対し，平成１９年４月５日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　そして，本願の請求項１〜４に係る発明は，平成１８年４月４日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて，その特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ，そのうち請求項１に係る発明（以下，「本願発明」という。）は，次のとおりのものである。
　
「赤外線検出器を収容する空洞と，赤外線放射を前記検出器に向けて透過する窓領域とを
備え，前記窓領域と一体の材料から形成された
　
２．引用刊行物の記載事項
（１）原査定の拒絶の理由に引用され，本願特許出願前に頒布された刊行物である，特表平９−５０６７１２号公報（以下，「引用例１」という。）には，図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
（１−ア）「【特許請求の範囲】
１．赤外線検出器アレイの形で作り込まれた赤外線検出器ユニットを有するウエハと，パターニングされた半田層によって該赤外線検出器アレイからシール性をもって離間された赤外線透過性材料のトップキャップウエハとを特徴とする赤外線検出器真空パッケージ。
……
６．上記トップキャップと検出器アレイとを該トップキャップ中にエッチングにより形成された凹部によってさらに離間した請求項１乃至５のいずれか１項に記載のパッケージ。」（１頁１〜２０行）
　
（１−イ）「【発明の詳細な説明】
           赤外線デバイス用集積シリコン真空マイクロパッケージ
  本発明は，赤外線検出及び赤外線シーン投影または放射に関し，特にこれらで使用される小さい素子のアレイのパッケージ技術に関する。」（２頁１〜４行）
　
（１−ウ）「発明の概要
  赤外線デバイスの形成方法及びそれによって形成される赤外線デバイスを開示する。赤外線デバイス（検出器でも放射素子でもよく，また単独型でもアレイ型でもよい）を有するウエハアセンブリが赤外線デバイスを安価にパッケージする方法を提供する。そのウエハは，これから半田ビードにより離された赤外線透過性材料のトップキャップによって覆われて真空に保たれ，いくつかの例ではウエハはトップキャップウエハよりさらに大きく離間して設けられる。
  いずれの場合も，上記の結果として，トップキャップと赤外線デバイスとの間に熱伝導が非常に小さい空間が形成され，その空間は排気されるか，あるいは熱伝導が非常に小さい流体を満たされる。その空間は，一部または全部の半田ビード，トップキャップ中の凹部またはトップキャップの下面に別途付加した材料からなるスペーサ層によって形成することができる。」（５頁１８行〜６頁１行）
　
（１−エ）「図２は，図１に７で示すようなウエハの断面図を示し，そのウエハにはトップキャップウエハ（９ｂ）が取り付けられている。トップキャップウエハ（９ｂ）としては，ＩＲ透過性ウエハを用いるべきである。…
　次に図３には，実施形態のデバイスが「デバイス」レベルまたはチップレベルで描かれており，図示のデバイスは基板またはベースチップ９及びトップカバー１２を有する。トップカバー１２の表面には反射防止層１３が設けられ，その裏面には第２の反射防止層１４が設けられている。（反射防止コーティングに使用される物質は周知である）。本発明によるこのような半部２つを互いに結合することによってこれらの間に空間が形成される。これらの半部を真空中において好ましくは半田層１６，１６ａによって互いに封止することにより，キャビティ２１自体も真空に保たれる。」（６頁１０〜２５行）
　
（１−オ）「十分なキャビティ寸法を確保するための一つの効果的な方法は，トップキャップの表面１５にエッチングによって凹部を形成することである。このエッチングを行うと，半田を溶融させてウエハを互いに押し付けるとき，半田が絞り出されるのを防ぐための端囲い手段が不要であり，トップキャップをエッチバックした部分におけるパッド１５ａと１６の分離が非常に少なく，処理がよくなくても，キャビティは保たれる。」（７頁下から１３〜８行）
　
（１−カ）「もっとも安価にするためには，トップキャップ１２は単結晶シリコンで形成し，赤外線検出または放射領域の吸収を低くすることが望ましい。この材料は，赤外線に対して透過であり，入手も容易である。あるいは，トップキャップウエハ中のウィンドウ，あるいはトップキャップウエハ自体を，多結晶シリコンまたはゲルマニウム，ＧａＡｓ等，種々異なる赤外線透過度を有する他の材料で形成することもできる。例えば，２０で示す構造が赤外線放射構造の場合は，赤外線はトップキャップ１２を透過して送出し，赤外線受光または検出器構造の場合も，周囲からの赤外線をやはりトップキャップ１２を透過してこれらの構造に受光することができる。」（９頁下から９行〜最終行）
　
　以上の記載事項（１−ア）〜（１−カ）および図面を総合すると，引用例１には，
「赤外線検出器アレイの形で作り込まれた赤外線検出器ユニットを有するウエハに対して，キャビティ２１を形成するように離間させつつ封止するために用いられる，赤外線透過性材料からなるトップキャップであって，
その表面１５にエッチングによって形成された凹部を有するトップキャップ１２と，前記トップキャップ１２の前記表面１５に設けられた被膜による反射防止層１４と，前記トップキャップ１２の前記表面１５とは反対側の面に設けられた被膜による反射防止層１３とを有するトップキャップ」の発明（以下，「引用発明１」という。）
が記載されているものと認められる。
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用され，本願特許出願前に頒布された刊行物である，「M. E. Motamedi, W. H. Southwell, and W. J. Gunning, Antireflection surfaces in silicon using binary optics technology, Applied Optics, Vol. 31, No. 22, pp. 4371-4376 (1 August 1992)」（以下，「引用例２」という。）には，図面の図示とともに次の事項が記載されている。
　
（２−ア）「Binary optics processing methods were applied to a silicon substrate to generate an array of small pillars in order to enhance transmission.  The volume fraction of the silicon in the pillars was chosen to simulate a single homogeneous antireflection layer, and the pillar height was targeted to be a quarter-wave thickness.  A mask was generated, using a graphics computer-aided design system; reactive-ion etching was used to generate the pillars.  An improvement in long-wavelength infrared transmission is observed, with diffraction and scattering dominating at shorter wavelengths.」（４３７１頁上段）
（当審仮訳：透過率を向上させるために，小さな柱の配列を形成するよう，シリコン基板にバイナリー光学素子の加工方法が施された。この柱におけるシリコン体積分率は単一の均質な反射防止層を擬態するように選択され，柱の高さは四分の一波長厚を目標とされた。コンピュータ補助デザインシステムを用いることによりマスクが作成され，柱の形成のために反応性イオンエッチングが用いられた。長波長赤外線透過率の向上が観測され，回折及び散乱はより短い波長側に支配的であった。）
　
（２−イ）「Introduction
Infrared optical components, because of their high indices of refraction, can suffer large insertion losses if they are not antireflection coated (e.g., 30% for silicon and 25% for CdTe).  However, long-wavelength infrared detectors are frequently used without coatings to avoid potential performance degradation caused by the elevated temperatures usually required for optical coating.  In addition, coatings for detectors that operate at very long wavelengths (10-30mm) can be rather thick, which increases the possibility of delamination with repeated cycling to cryogenic temperatures.」（４３７１頁下段左欄第１段落）
（当審仮訳：はじめに
赤外線光学要素は，その高い屈折率のために，反射防止被膜を施さなければ大きな挿入損失（例えば，シリコンでは３０％，カドミウムテルルでは２５％）を被りうる。しかしながら，長波長赤外線検出器は，光学的被覆のために通常必要とされる昇温によって引き起こされる潜在的な性能劣化を避けるため，被膜なしにしばしば用いられる。加えて，非常に長い波長（１０〜３０μｍ）で作動する検出器のための被覆は非常に厚く，このため，極低温度への度重なる循環による層間剥離の可能性が高まる。）
　
（２−ウ）「In this paper we report on an experiment to generate pillar arrays on silicon substrates.」（４３７１頁下段左欄最終行〜同右欄１行）
（当審仮訳：この論文において我々は，シリコン基板上に柱の配列を形成する実験について報告する。）
　
（２−エ）「The moth-eye structure discussed here is designed to be the optical equivalent of a quarter-wave antireflection coating.」（４３７１頁下段右欄２２〜２４行）
（当審仮訳：ここで検討される蛾の眼状の構造は，四分の一波長反射防止被膜と光学的な等価となるように設計される。）
　
（２−オ）「Summary
The research presented here indicates that microlithographic techniques, such as those used in binary optics technology, can be used to reduce reflection of optical surfaces.  This indication is especially important for high-refractive-index surfaces and detectors, which may not be able to tolerate conventional coatings.  ...
  Several features in the date are worthy of comment.  First, over 90% surface transmittance is achieved near the peak at 14 mm.  Enhanced transmittance is also achieved from 15 to 25 mm.」（４３７５頁右欄１５〜２９行）
（当審仮訳：要約
ここで提示された研究は，バイナリー光学素子技術に用いられているような微細リソグラフィー技術が，光学的表面の反射を低減するために用いうることを示している。このことは，従来型の被覆を許容することができないかもしれない高屈折率の表面や検出器には，特に重要である。
いくつかの特徴についてコメントするに値する。第一に，１４μｍのピーク近くにおいて９０％を超える表面透過率が達成される。また，１５〜２５μｍの範囲で透過率の向上が達成される。）
　
　以上の記載事項（２−ア）〜（２−オ）および図面を総合すると，引用例２には，
「赤外線検出器等に用いられる高屈折率の赤外線光学要素の表面反射を低減するための反射防止構造であって，前記光学要素基板上に蛾の眼状に形成された柱の配列からなる反射防止構造」の発明（以下，引用発明２という。）
が記載されているものと認められる。
　
３．対比
　本願発明と引用発明１とを対比すると，その機能・構造からみて，引用発明１の「赤外線検出器アレイの形で作り込まれた赤外線検出器ユニット」，「トップキャップ１２」は，それぞれ，本願発明の「赤外線検出器」，「パッケージカバー」に相当する。そして，引用発明１のトップキャップ１２の表面１５に形成された「凹部」は，当該赤外線検出器ユニットが形成されたウエハに対して十分な寸法のキャビティ２１を形成するためのものである（上記記載事項（１−オ）参照）から，本願発明の「赤外線検出器を収容する空洞」に相当する。
　また，引用発明１の「トップキャップ１２」は，赤外線透過性材料から構成され，赤外線を赤外線検出器ユニットに向けて透過させるものである（上記記載事項（１−カ）参照）ことからみて，当然に赤外線放射を赤外線検出器ユニットに向けて透過する領域を備えるものであるから，引用発明１の「トップキャップ１２」と本願発明の「パッケージカバー」とは，「赤外線放射を前記検出器に向けて透過する窓領域」を備え，かつ，「窓領域と一体の材料から形成された」ものである点で共通しているといえる。
　
　したがって，両者は，
「赤外線検出器を収容する空洞と，赤外線放射を前記検出器に向けて透過する窓領域とを備え，前記窓領域と一体の材料から形成されたパッケージカバー。」
の点で一致し，次の点で相違する。
　
［相違点］
　本願発明においては，パッケージカバーの内面が，「前記窓領域を透過する赤外線放射に対する反射防止要素を形成するように形作られ間隔を空けて配置された柱のフィールドを有する」ものであるのに対して，引用発明においては，トップキャップ１２の表面１５には「被膜による反射防止層１４」が形成されている点。
　
４．判断
　以下，上記相違点について検討する。
　
　本願発明と引用発明２とを対比すると，引用発明２の反射防止構造は，本願発明の用語を用いて表現すれば，「赤外線放射に対する反射防止要素を形成するように形作られ間隔を空けて配置された柱のフィールド」といえる。
　そして，引用発明１と引用発明２とはいずれも「赤外線検出器」に関する発明であって，引用発明２は，引用発明１のように被膜による反射防止層を赤外線検出器等に適用した場合に内在する問題を解決するために，本願発明と同様の反射防止構造を有するものである。
　してみると，引用発明１において，トップキャップ１２の表面に形成される被膜による反射防止層に代えて，引用発明２の反射防止構造を適用し，上記相違点に係る本願発明の構成とすることは，当業者にとって格別の技術的困難性がなく，容易になし得る事項であるといえる。
　
　また，本願発明の効果も，引用発明１及び引用発明２から予測される程度のものにすぎず，格別顕著なものとはいえない。
　
　なお，請求人は，審判請求書における請求の理由において，引用発明１との相違点として，あるいは引用発明１と引用発明２とを仮に組み合わせた発明との相違点として，本願発明に係るパッケージカバーは「単一ピースの材料から形成される」ものである点を随所で主張している（平成１９年６月１４日付け手続補正書の２頁１７〜４２行，同３頁９〜１７行，同４頁３６〜４１行等参照）。しかしながら，本願の請求項１にはパッケージカバーの他の面については何ら規定されておらず，そして，本願の明細書又は図面においてパッケージカバーの「他の（上の）面に反射防止被膜１３６を付ける」ことは何ら排除されていないどころか積極的に示唆されている（本願の明細書段落【００２２】，図３参照）のであるから，当該請求人の主張は採用できない。
　さらに，請求人は，審判請求書における請求の理由において，本願発明の課題（光学要素が空洞中に形成される窓であるとき，空洞内に有効な反射防止要素を付けることは困難）がいずれの引用例にも開示されていない点，及び，本願発明による有利な効果（深いキャビティにおいて被膜を適用することの問題を取り除くだけでなく，両者を形成するためのオペレーションの処理が同じであるため，反射防止エレメントとキャビティとを別々に製造するための製造コストを低減させることが出来る）を主張している（平成１９年６月１４日付け手続補正書の３頁１８〜４２行参照）が，明細書の記載に基づく主張ではないことに加えて，製造方法上の課題や効果に関する主張に過ぎず，本願発明が「物」の発明であることからみて，当該請求人の主張は採用できない。
　
５．結び
　以上のとおり，本願発明は，引用例１及び２に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであり，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は，拒絶されるべきものである。
　
　よって，結論のとおり審決する。