(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子放出素子を有する電子源と、前記電子源と対向して設けられる電子線被照射部材と、前記電子源と前記電子線被照射部材との間に配置される導電性を有するスペーサとを備える電子線装置において、
前記スペーサの前記電子源に面する電子源側の端部と前記電子源との間又は前記スペーサの電子ビーム照射部材に面する前記電子ビーム照射部材側の端部と前記電子ビーム照射部材との間に電極を有し、該電極の前記スペーサに面する領域の端部は、前記スペーサの電子源に面する領域の端部または電子ビーム照射部材に面する領域の端部よりも内側に位置することを特徴とする電子線装置。
【請求項２】
電子放出素子を有する電子源と、
前記電子源に対向配置され、電子ビームが照射される表示領域を有する電子ビーム照射部材と、
前記電子源と前記電子ビーム照射部材との間に配置され、前記表示領域よりも長いスペーサとを有する電子線装置において、
前記スペーサの前記電子源に面する電子源側の端部と前記電子源との間又は前記スペーサの前記電子ビーム照射部材に面する電子ビーム照射部材側の端部と前記電子ビーム照射部材との間に電極を有し、
前記表示領域における該電極の前記スペーサに面する領域の端部は、前記スペーサの電子源に面する領域の端部または電子ビーム照射部材に面する領域の端部の内側に位置することを特徴とする電子線装置。
【請求項３】
前記電極は、前記スペーサを前記電子源又は電子線被照射部材に固定する接合材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子線装置。
【請求項４】
前記スペーサは、導電性膜を有するものであり、該導電性膜は、前記スペーサの端部に有する電極と電気的に接続されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の電子線装置。
【請求項５】
前記導電性膜は、前記スペーサの端部に有する電極と積層されるものであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の電子線装置。
【請求項６】
前記電子放出素子が冷陰極素子であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の電子線装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、電子線装置およびその応用である表示装置等の画像形成装置に関するものである。
背景技術
従来から、電子放出素子として熱陰極素子と冷陰極素子の２種類が知られている。このうち冷陰極素子では、たとえば表面伝導型放出素子や、電界放出型素子（以下ＦＥ型と記す）や、金属／絶縁層／金属型放出素子（以下ＭＩＭ型と記す）、などが知られている。
表面伝導型放出素子としては、たとえば、M. I. Elinson, Radio Eng. Electron Phys., 10, 1290, (1965)や、後述する他の例が知られている。
表面伝導型放出素子は、基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面伝導型放出素子としては、前記エリンソン等によるＳｎＯ2 薄膜を用いたものの他に、Ａｕ薄膜によるもの[G. Dittmer:“Thin Solid Films”,9,317(1972)]や、Ｉｎ2 Ｏ3 ／ＳｎＯ2 薄膜によるもの[M. Hartwell and C. G. Fonstad:“IEEE Trans.ED Conf.”,519 (1975)]や、カーボン薄膜によるもの［荒木久  他：真空、第２６巻、第１号、２２（１９８３）］等が報告されている。
これらの表面伝導型放出素子の素子構成の典型的な例として、第２９図に前述のM.Hartwell らによる素子の平面図を示す。同図において、３００１は基板で、３００４はスパッタで形成された金属酸化物よりなる導電性薄膜である。導電性薄膜３００４は図示するようにＨ字形の平面形状に形成されている。該導電性薄膜３００４に後述の通電フォーミングと呼ばれる通電処理を施すことにより、電子放出部３００５が形成される。図中の間隔Ｌは、０．５〜１［ｍｍ］、Ｗは０．１［ｍｍ］で設定されている。尚、図示の便宜から、電子放出部３００５は導電性薄膜３００４の中央に矩形の形状で示したが、これは模式的なものであり、実際の電子放出部の位置や形状を忠実に表現しているわけではない。
M. Hartwellらによる素子をはじめとして上述の表面伝導型放出素子においては、電子放出を行う前に導電性薄膜３００４に通電フォーミングと呼ばれる通電処理を施すことにより電子放出部３００５を形成するのが一般的であった。すなわち、通電フォーミングとは、前記導電性薄膜３００４の両端に一定の直流電圧、もしくは、例えば１Ｖ／分程度の非常にゆっくりとしたレートで昇圧する直流電圧を印加して通電し、導電性薄膜３００４を局所的に破壊もしくは変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態の電子放出部３００５を形成することである。尚、局所的に破壊もしくは変形もしくは変質した導電性薄膜３００４の一部には、亀裂が発生する。前記通電フォーミング後に導電性薄膜３００４に適宜の電圧を印加した場合には、前記亀裂付近において電子放出が行われる。
また、ＦＥ型の例は、たとえば、W. P. Dyke & W. W. Dolan,“Field Emission”, Advance in Electron Physics, 8, 89 (1956)や、あるいは、C. A. Spindt, “Physical Properties of Thin-Film Field Emission Cathodes with Molydenum Cones”, J. Appl. Phys., 47, 5248 (1976)などが知られている。
ＦＥ型の素子構成の典型的な例として、第３０図に前述のC. A. Spindtらによる素子の断面図を示す。同図において、３０１０は基板で、３０１１は導電材料よりなるエミッタ配線、３０１２はエミッタコーン、３０１３は絶縁層、３０１４はゲート電極である。本素子は、エミッタコーン３０１２とゲート電極３０１４の間に適宜の電圧を印加することにより、エミッタコーン３０１２の先端部より電界放出を起こさせるものである。
また、ＦＥ型の他の素子構成として、第３０図のような積層構造ではなく、基板上に基板平面とほぼ平行にエミッタとゲート電極を配置した例もある。
また、ＭＩＭ型の例としては、たとえば、C. A. Mead,“Operation of Tunnel-Emission Devices, J. Appl. Phys., 32, 646(1961)などが知られている。ＭＩＭ型の素子構成の典型的な例を第３１図に示す。同図は断面図であり、図において、３０２０は基板で、３０２１は金属よりなる下電極、３０２２は厚さ１００オングストローム程度の薄い絶縁層、３０２３は厚さ８０〜３００オングストローム程度の金属よりなる上電極である。ＭＩＭ型においては、上電極３０２３と下電極３０２１の間に適宜の電圧を印加することにより、上電極３０２３の表面より電子放出を起こさせるものである。
上述の冷陰極素子は、熱陰極素子と比較して低温で電子放出を得ることができるため、加熱用ヒーターを必要としない。したがって、熱陰極素子よりも構造が単純であり、微細な素子を作成可能である。また、基板上に多数の素子を高い密度で配置しても、基板の熱溶融などの問題が発生しにくい。また、熱陰極素子がヒーターの加熱により動作するため応答速度が遅いのとは異なり、冷陰極素子の場合には応答速度が速いという利点もある。
このため、冷陰極素子を応用するための研究が盛んに行われてきている。
たとえば、表面伝導型放出素子は、冷陰極素子のなかでも特に構造が単純で製造も容易であることから、大面積にわたり多数の素子を形成できる利点がある。そこで、たとえば本出願人による特開昭６４−３１３３２号公報において開示されるように、多数の素子を配列して駆動するための方法が研究されている。
また、表面伝導型放出素子の応用については、たとえば、画像表示装置、画像記録装置などの画像形成装置や、荷電ビーム源、等が研究されている。
特に、画像表示装置への応用としては、たとえば本出願人による米国特許第５，０６，８８３号や特開平２−２５７５５１号公報や特開平４−２８１３７号公報において開示されているように、表面伝導型放出素子と電子ビームの照射により発光する蛍光体とを組み合わせて用いた画像表示装置が研究されている。表面伝導型放出素子と蛍光体とを組み合わせて用いた画像表示装置は、従来の他の方式の画像表示装置よりも優れた特性が期待されている。たとえば、近年普及してきた液晶表示装置と比較しても、自発光型であるためバックライトを必要としない点や、視野角が広い点が優れていると言える。
また、ＦＥ型を多数個ならべて駆動する方法は、たとえば本出願人による米国特許第４，９０４，８９５号に開示されている。また、ＦＥ型を画像表示装置に応用した例として、たとえば、R. Meyer らにより報告された平板型表示装置が知られている[R. Meyer:“Recent Development on Micro-Tips Display at LETI”, Tech. Digest of 4th Int. Vacuum Microelectronics Conf., Nagahama, pp. 6〜9 (1991)]。
また、ＭＩＭ型を多数個並べて画像表示装置に応用した例は、たとえば本出願人による特開平３−５５７３８号公報に開示されている。
上記のような電子放出素子を用いた画像形成装置のうちで、奥行きの薄い平面型表示装置は省スペースかつ軽量であることから、ブラウン管型の表示装置に置き換わるものとして注目されている。
第３２図は平面型の画像表示装置をなす表示パネル部の一例を示す斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切り欠いて示している。
図中、３１１５はリアプレート、３１１６は側壁、３１１７はフェースプレートであり、リアプレート３１１５、側壁３１１６およびフュースプレート３１１７により、表示パネルの内部を真空に維持するための外囲器（気密容器）を形成している。
リアプレート３１１５には基板３１１１が固定されているが、この基板３１１１上には冷陰極素子３１１２が、Ｎ×Ｍ個形成されている。（Ｎ、Ｍは２以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定される。）また、前記Ｎ×Ｍ個の冷陰極素子３１１２は、第３２図に示すとおり、Ｍ本の行方向配線３１１３とＮ本の列方向配線３１１４により配線されている。これら基板３１１１、冷陰極素子３１１２、行方向配線３１１３および列方向配線３１１４によって構成される部分をマルチ電子ビーム源と呼ぶ。また、行方向配線３１１３と列方向配線３１１４の少なくとも交差する部分には、両配線間に絶縁層（不図示）が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。
フェースプレート３１１７の下面には、蛍光体からなる蛍光膜３１１８が形成されており、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体（不図示）が塗り分けられている。また、蛍光膜３１１８をなす上記各色蛍光体の間には黒色体（不図示）が設けてあり、さらに蛍光膜３１１８のリアプレート３１１５側の面には、Ａｌ等からなるメタルバック３１１９が形成されている。
Ｄx1〜ＤxmおよびＤy1〜ＤynおよびＨv は、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子である。Ｄx1〜Ｄxmはマルチ電子ビーム源の行方向配線３１１３と、Ｄy1〜Ｄynはマルチ電子ビーム源の列方向配線３１１４と、Ｈv はメタルバック３１１９と各々電気的に接続している。
また、上記気密容器の内部は１０のマイナス６乗Ｔｏｒｒ程度の真空に保持されており、画像表示装置の表示面積が大きくなるにしたがい、気密容器内部と外部の気圧差によるリアプレート３１１５およびフェースプレート３１１７の変形あるいは破壊を防止する手段が必要となる。リアプレート３１１５およびフェースプレート３１１６を厚くすることによる方法は、画像表示装置の重量を増加させるのみならず、斜め方向から見たときに画像のゆがみや視差を生ずる。これに対し、第３２図においては、比較的薄いガラス板からなり大気圧を支えるための構造支持体（スペーサあるいはリブと呼ばれる）３１２０が設けられている。このようにして、マルチビーム電子源が形成された基板３１１１と蛍光膜３１１８が形成されたフェースプレート３１１７間は通常サブミリないし数ミリに保たれ、前述したように気密容器内部は高真空に保持されている。
以上説明した表示パネルを用いた画像表示装置は、容器外端子ＤｘｌないしＤxm、Ｄy1ないしＤynを通じて各冷陰極素子３１１２に電圧を印加すると、各冷陰極素子３１１２から電子が放出される。それと同時にメタルバック３１１９に容器外端子Ｈv を通じて数百［Ｖ］ないし数［ｋＶ］の高圧を印加して、上記放出された電子を加速し、フェースプレート３１１７の内面に衝突させる。これにより、蛍光膜３１１８をなす各色の蛍光体が励起されて発光し、画像が表示される。
以上説明した画像表示装置の表示パネルにおいては、以下のような問題点があった。
冷陰極素子３１１２からの放出電子を加速するためにマルチビーム電子源とフェースプレート３１１７との間には数百Ｖ以上の高電圧（即ち１ｋＶ／ｍｍ以上の高電界）が印加されるため、スペーサ３１２０の表面での沿面放電が懸念される。特に、スペーサ３１２０の近傍から放出された電子の一部がスペーサ３１２０に当たることにより、あるいは放出電子の作用でイオン化したイオンがスペーサに付着することにより、スペーサ帯電をひきおこしている場合は、放電が誘発される可能性がある。
この問題点を解決するために、スペーサに微小電流が流れるようにして帯電を除去する提案がなされている（特開昭５７−１１８３５５号公報、特開昭６１−１２４０３１号公報）。そこでは絶縁性のスペーサの表面に高抵抗膜を形成することにより、スペーサ表面に微小電流が流れるようにしている。ここで用いられている高抵抗膜は酸化スズ、あるいは酸化スズと酸化インジウム混晶薄膜や金属膜である。
高抵抗膜の機能をさらに強化するために、スペーサ３１２０が基板３１１１、あるいは蛍光膜３１１８と接触する面、ならびにその近傍に導電性膜を配置している。これにより高抵抗膜と基板３１１１、及び蛍光膜３１１８の間の電気的接続が確保される。
反面、基板３１１１と蛍光膜３１１８の間に高電圧を印加するときには前記導電性膜が放電の原因となりやすい。これらの放電は、画像表示中に突発的に起こり、画像を乱すだけでなく、放電個所近傍の冷陰極素子３１１２を著しく劣化させ、その後の表示が正常にできなくなるという問題があった。
本発明は上記従来スペーサの欠点を克服するものであり、画像表示時の放電が防止され、良好な表示画像を得ることが可能な画像表示装置を提供するものである。
発明の開示
本願に係る電子線装置の発明の一つは以下のように構成される。
本発明は、電子放出素子を有する電子源と、前記電子源と対向して設けられる電子線被照射部材と、前記電子源と前記電子線被照射部材との間に配置される導電性を有するスペーサとを備える電子線装置において、
前記スペーサの前記電子源に面する電子源側の端部と前記電子源との間又は前記スペーサの電子ビーム照射部材に面する前記電子ビーム照射部材側の端部と前記電子ビーム照射部材との間に電極を有し、該電極の前記スペーサに面する領域の端部は、前記スペーサの電子源に面する領域の端部または電子ビーム照射部材に面する領域の端部よりも内側に位置することを特徴とする電子線装置である。
また、本発明は、電子放出素子を有する電子源と、
前記電子源に対向配置され、電子ビームが照射される表示領域を有する電子ビーム照射部材と、
前記電子源と前記電子ビーム照射部材との間に配置され、前記表示領域よりも長いスペーサとを有する電子線装置において、
前記スペーサの前記電子源に面する電子源側の端部と前記電子源との間又は前記スペーサの前記電子ビーム照射部材に面する電子ビーム照射部材側の端部と前記電子ビーム照射部材との間に電極を有し、
前記表示領域における該電極の前記スペーサに面する領域の端部は、前記スペーサの電子源に面する領域の端部または電子ビーム照射部材に面する領域の端部の内側に位置することを特徴とする電子線装置である。
スペーサの端部に沿った電極により、スペーサの電位のむらが均されると共に、該電極の位置する領域をスペーサの電子源側との当接面の成す領域よりも内側とすることにより、該電極からの放電を抑制することができる。スペーサ端部に沿った電極は、スペーサが電子源の基板面の法線方向と概略直交する方向に長手方向を有するものであるとき、該長手方向に沿って設けられていると好ましい。
ここで、前記スペーサは、前記電子線被照射部材に設けられた電極と電気的に接続されるとよい。前記スペーサは前記電子線被照射部材に設けられた電極上に位置するのが好ましい。ここで電子線被照射部材に設けられた電極とは、例えば放出された電子を制御する電位が与えられる電極であり、より具体的には、例えば放出された電子を加速する電位が与えられる電極である。
本願に係る電子線装置の発明の一つは以下のように構成される。
電子放出素子を有する電子源と、前記電子源と対向して設けられ前記電子源から放出される電子を制御する電位が与えられる制御電極と、前記電子源と前記制御電極との間に配置される導電性を有するスペーサとを備える電子線装置において、
前記スペーサの前記電子源側の端部に沿って電極を有しており、該電極は、前記スペーサの端部における前記電子源側に向いた面がなす領域よりも内側に設けられていることを特徴とする電子線装置。
以上の各発明において、前記スペーサは、前記電子源に設けられた電極と電気的に接続されるとよい。また前記スペーサは前記電子源に設けられた電極上に位置するのが好ましい。ここで電子源に設けられた電極は様々な構成を採用し得るが、例えば電子源に設けられた配線であったりする。特には電子源が有する電子放出素子を駆動する電位を与える配線を用いることができる。
また以上述べた各発明において、前記スペーサの前記端部に沿った電極は、前記スペーサに設けられる電極であるとよい。好適には、前記スペーサの前記端部に沿った電極は、前記スペーサに被膜された低抵抗膜であると良い。
前記スペーサの前記端部に沿って位置する、前記スペーサを前記電子源側に固定する接合材が、スペーサの端部における前記電子源側に向いた面がなす領域よりも内側に設けられているとよい。
このスペーサを電子源に設けられた電極と電気的に接続するためには、好適には、スペーサに設けられた前記電極である低抵抗膜及び／もしくは前記接合材が電子源に設けられた電極と電気的に接続されれば良い。
以上スペーサの電子源側の端部に沿った電極について述べたが、スペーサの電子線被照射部材側もしくは加速電極などの制御電極側の端部に沿った電極においても同様である。
また、前記スペーサの導電性は、スペーサが有する導電性膜によって生じるようにすると良い。
特に、前記スペーサは、導電性膜を有するものであり、該導電性膜は、前記スペーサの端部に沿った電極と電気的に接続されるとよい。
前記スペーサは、導電性膜を有するものであり、該導電性膜は、前記スペーサの端部に沿った電極と接するようにすることにより導電性膜とスペーサの端部に沿った電極とを電気的に接続することができる。特には、前記導電性膜は、前記スペーサの端部に沿った電極と積層されるものであるとよい。
また、前記導電性膜は、前記スペーサを構成する母材上に設けられたものであるとよい。ここで前記母材は、スペーサの導電性が高くなりすぎないようにする観点から、絶縁性の高いものを用いるのが好ましい。また導電性膜としては、帯電抑制もしくは帯電による電子の軌道への影響抑制のためにそのシート抵抗が10の5乗Ω／□以上10の14乗Ω／□以下のものが好適である。スペーサの端部に沿った電極はその導電性が前記導電性膜よりも高いものを用いると良い。
また以上述べた各発明は、前記電子源は前記電子放出素子を複数有する場合に特に好適に適用できる。更には、前記複数の電子放出素子が、複数の行方向配線と該行方向配線と交わる方向に伸びる複数の列方向配線によりマトリックス状に配線されている場合に特に好適である。
また前記電子放出素子としては冷陰極素子が好適である。特に以上のべた発明は、電子放出素子が表面伝導型放出素子である時に好適に適用できる。
また本願は、画像形成装置の発明として、以上のべた電子線装置において、前記電子放出素子が放出する電子が照射されるターゲットを備え、該ターゲットに電子が照射されることにより画像が形成されることを特徴とする画像形成装置の発明を含んでいる。特には、前記ターゲットが蛍光体であるとよい。
発明を実施するための最良の形態
［実施例１］
（１）画像表示装置概要
次に、本発明を適用した画像表示装置の表示パネルの構成と製造法について、具体的な例を示して説明する。
第１５図は、本実施例に用いた表示パネルの斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切り欠いて示している。
図中、１０１５はリアプレート、１０１６は側壁、１０１７はフェースプレートであり、１０１５〜１０１７により表示パネルの内部を真空に維持するための気密容器を形成している。気密容器を組み立てるにあたっては、各部材の接合部に十分な強度と気密性を保持させるため封着する必要があるが、たとえばフリットガラスを接合部に塗布し、大気中あるいは窒素雰囲気中で、摂氏４００〜５００度で１０分以上焼成することにより封着を達成した。気密容器内部を真空に排気する方法については後述する。また、上記気密容器の内部は１０のマイナス６乗［Ｔｏｒｒ］程度の真空に保持されるので、大気圧や不意の衝撃などによる気密容器の破壊を防止する目的で、耐大気圧構造体として、スペーサ１０２０が設けられている。
リアプレート１０１５には、基板１０１１が固定されているが、該基板上には冷陰極素子１０１２がＮ×Ｍ個形成されている。（Ｎ，Ｍは２以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定される。たとえば、高品位テレビジョンの表示を目的とした表示装置においては、Ｎ＝３０００、Ｍ＝１０００以上の数を設定することが望ましい。）前記Ｎ×Ｍ個の冷陰極素子は、Ｍ本の行方向配線１０１３とＮ本の列方向配線１０１４により単純マトリクス配線されている。前記、１０１１〜１０１４によって構成される部分をマルチ電子ビーム源と呼ぶ。
本発明の画像表示装置に用いるマルチ電子ビーム源は、冷陰極素子を単純マトリクス配線した電子源であれば、冷陰極素子の材料や形状あるいは製法に制限はない。したがって、たとえば表面伝導型放出素子やＦＥ型、あるいはＭＩＭ型などの冷陰極素子を用いることができる。
次に、冷陰極素子として表面伝導型放出素子（後述）を基板上に配列して単純マトリクス配線したマルチ電子ビーム源の構造について述べる。
第１６図に示すのは、第１５図の表示パネルに用いたマルチ電子ビーム源の平面図である。基板１０１１上には、後述の第１８図で示すものと同様な表面伝導型放出素子が配列され、これらの素子は行方向配線１０１３と列方向配線１０１４により単純マトリクス状に配線されている。行方向配線１０１３と列方向配線１０１４の交差する部分には、電極間に絶縁層（不図示）が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。
第１６図のＢ−Ｂ′に沿った断面を、第１７図に示す。
なお、このような構造のマルチ電子源は、あらかじめ基板上に行方向配線１０１３、列方向配線１０１４、電極間絶縁層（不図示）、および表面伝導型放出素子の素子電極と導電性薄膜を形成した後、行方向配線１０１３および列方向配線１０１４を介して各素子に給電して通電フォーミング処理（後述）と通電活性化処理（後述）を行うことにより製造した。
本実施例においては、気密容器のリアプレート１０１５にマルチ電子ビーム源の基板１０１１を固定する構成としたが、マルチ電子ビーム源の基板１０１１が十分な強度を有するものである場合には、気密容器のリアプレートとしてマルチ電子ビーム源の基板１０１１自体を用いてもよい。
また、フェースプレート１０１７の下面には、蛍光膜１０１８が形成されている。本実施例はカラー表示装置であるため、蛍光膜１０１８の部分にはＣＲＴの分野で用いられる赤、緑、青、の３原色の蛍光体が塗り分けられている。各色の蛍光体は、たとえば第２７（ａ）図に示すようにストライプ状に塗り分けられ、蛍光体のストライプの間には黒色の導電体１０１０が設けてある。黒色の導電体１０１０を設ける目的は、電子ビームの照射位置に多少のずれがあっても表示色にずれが生じないようにする事や、外光の反射を防止して表示コントラストの低下を防ぐ事、電子ビームによる蛍光膜のチャージアップを防止する事などである。黒色の導電体１０１０には、黒鉛を主成分として用いたが、上記の目的に適するものであればこれ以外の材料を用いても良い。
また、３原色の蛍光体の塗り分け方は第２７（ａ）図に示したストライプ状の配列に限られるものではなく、たとえば第２７（ｂ）図に示すようなデルタ状配列や、それ以外の配列（例えば第２８図）であってもよい。
なお、モノクロームの表示パネルを作成する場合には、単色の蛍光体材料を蛍光膜１０１８に用いればよく、また黒色導電材料は必ずしも用いなくともよい。
また、蛍光膜１０１８のリアプレート側の面には、ＣＲＴの分野では公知のメタルバック１０１９を設けてある。メタルバック１０１９を設けた目的は、蛍光膜１０１８が発する光の一部を鏡面反射して光利用率を向上させる事や、負イオンの衝突から蛍光膜１０１８を保護する事や、電子ビーム加速電圧を印加するための電極として作用させる事や、蛍光膜１０１８を励起した電子の導電路として作用させる事などである。メタルバック１０１９は、蛍光膜１０１８をフェースプレート基板１０１７上に形成した後、蛍光膜表面を平滑化処理し、その上にＡｌを真空蒸着する方法により形成した。なお、蛍光膜１０１８に低電圧用の蛍光体材料を用いた場合には、メタルバック１０１９は用いない。
また、本実施例では用いなかったが、加速電圧の印加用や蛍光膜の導電性向上を目的として、フェースプレート基板１０１７と蛍光膜１０１８との間に、たとえばＩＴＯを材料とする透明電極を設けてもよい。
第１図は第１５図のＡ−Ａ′の断面模式図であり、各部の番号は第１５図に対応している。スペーサ１０２０は絶縁性部材１の表面に帯電防止を目的とした高抵抗膜１１を成膜し、かつフェースプレート１０１７の内側（メタルバック１０１９等）及び基板１０１１の表面（行方向配線１０１３または列方向配線１０１４）に面したスペーサの当接面に低抵抗膜２１を成膜した部材からなるもので、上記目的を達成するのに必要な数だけ、かつ必要な間隔をおいて配置され、フェースプレートの内側および基板１０１１の表面に接合材１０４１により固定される。また、高抵抗膜１１は、絶縁性部材１の表面のうち、少なくとも気密容器内の真空中に露出している面に成膜されており、スペーサ１０２０上の低抵抗膜２１および接合材１０４１を介して、フェースプレート１０１７の内側（メタルバック１０１９等）及び基板１０１１の表面（行方向配線１０１３または列方向配線１０１４）に電気的に接続される。ここで説明される態様においては、スペーサ１０２０の形状は薄板状とし、行方向配線１０１３に平行に配置され、行方向配線１０１３に電気的に接続されている。
スペーサ１０２０としては、基板１０１１上の行方向配線１０１３および列方向配線１０１４とフェースプレート１０１７内面のメタルバック１０１９との間に印加れる高電圧に耐えるだけの絶縁性を有し、かつスペーサ１０２０の表面への帯電を防止する程度の導電性を有する必要がある。
スペーサ１０２０の絶縁性部材１としては、例えば石英ガラス、Ｎａ等の不純物含有量を減少したガラス、ソーダライムガラス、アルミナ等のセラミックス部材等が挙げられる。なお、絶縁性部材１はその熱膨張率が気密容器および基板１０１１を成す部材と近いものが好ましい。
スペーサ１０２０を構成する高抵抗膜１１には、高電位側のフェースプレート１０１７（メタルバック１０１９等）に印加される加速電圧Ｖａを帯電防止膜である高抵抗膜１１の抵抗値Ｒｓで除した電流が流される。そこで、スペーサの抵抗値Ｒｓは帯電および消費電力からその望ましい範囲に設定される。帯電防止の観点からシート抵抗は１０の１４乗Ω／□以下が好ましく、更には１０の１２乗Ω／□以下であることが好ましい。十分な帯電防止効果を得るためには１０の１１乗Ω／□以下がさらに好ましい。シート抵抗の下限はスペーサ形状とスペーサ間に印加される電圧により左右されるが、１０の５乗Ω／□以上であることが好ましい。更に１０の７乗Ω／□以上であると良い。
高抵抗膜１１に関し、材料の表面エネルギーおよび基板との密着性や基板温度によっても異なるが、一般的に１０ｎｍ以下の薄膜は島状に形成され、抵抗が不安定で再現性に乏しい。一方、膜厚ｔが１μｍ以上では膜応力が大きくなって膜はがれの危険性が高まり、かつ成膜時間が長くなるため生産性が悪い。従って、絶縁材料上に形成された高抵抗膜１１の厚みｔは１０ｎｍ〜１μｍの範囲が望ましい。より好ましくはｍ膜厚は５０〜５００ｎｍであることが望ましい。シート抵抗はρ／ｔであり、以上に述べたＲ／□とｔの好ましい範囲から、高抵抗膜の比抵抗ρは０．１［Ωｃｍ］乃至１０の８乗［Ωｃｍ］が好ましい。さらにシート抵抗と膜厚のより好ましい範囲を実現するためには、ρは１０の２乗乃至１０の６乗Ωｃｍとするのが良い。
スペーサは上述したようにその表面に形成した高抵抗膜１１に電流が流れることにより、あるいはディスプレイ全体が動作中に発熱することによりその温度が上昇する。高抵抗膜１１の抵抗温度係数が大きな負の値であると温度が上昇した時に抵抗値が減少し、スペーサに流れる電流が増加し、さらに温度上昇をもたらす。そして電流は電源の限界を越えるまで増加しつづける。このような電流の暴走が発生する抵抗温度係数の値は経験的に負の値で絶対値が１％以上である。すなわち、高抵抗膜１１の抵抗温度係数は−１％より大きい値であることが望ましい。
帯電防止特性を有する高抵抗膜１１の材料としては、例えば金属酸化物を用いることが出来る。金属酸化物の中でも、クロム、ニッケル、銅の酸化物が好ましい材料である。その理由はこれらの酸化物は二次電子放出効率が比較的小さく、冷陰極素子１０１２から放出された電子がスペーサ１０２０に当たった場合においても帯電しにくいためと考えられる。金属酸化物以外にも炭素は二次電子放出効率が小さく好ましい材料である。特に、非晶質カーボンは高抵抗であるため、スペーサ抵抗を所望の値に制御しやすい。
帯電防止特性を有する高抵抗膜１１の他の材料として、アルミと遷移金属合金の窒化物は遷移金属の組成を調整することにより、良伝導体から絶縁体まで広い範囲に抵抗値を制御できるので好適な材料である。さらには後述する表示装置の作製工程において抵抗値の変化が少なく安定な材料である。かつ、その抵抗温度係数が−１％より大きい値であり、実用的に使いやすい材料である。遷移金属元素としてはＴｉ，Ｃｒ，Ｔａ等があげられる。
合金窒化膜はスパッタ、窒素ガス雰囲気中での反応性スパッタ、電子ビーム蒸着、イオンプレーテイング、イオンアシスト蒸着法等の薄膜形成手段により絶縁性部材上に形成される。金属酸化膜も同様の薄膜形成法で作製することができるが、この場合窒素ガスに代えて酸素ガスを使用する。その他、ＣＶＤ法、アルコキシド塗布法でも金属酸化膜を形成できる。カーボン膜は蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法で作製され、特に非晶質カーボンを作製する場合には、成膜中の雰囲気に水素が含まれるようにするか、成膜ガスに炭化水素ガスを使用する。
スペーサ１０２０を構成する電極である低抵抗膜２１は、高抵抗膜１１を高電位側のフェースプレート１０１７（メタルバック１０１９等）及び低電位側の基板１０１１（配線１０１３、１０１４等）と電気的に接続する為に設けられたものであり、以下では、中間電極層（中間層）という名称も用いる。中間電極層（中間層）は以下に列挙する複数の機能を有することが出来る。
・高抵抗膜１１の電位分布を均一化する。
冷陰極素子１０１２より放出された電子は、フェースプレート１０１７と基板１０１１の間に形成された電位分布に従って電子軌道を成す。スペーサ１０２０の近傍で電子軌道に乱れが生じないようにする為には、高抵抗膜１１の電位分布を全域にわたって制御する必要がある。高抵抗膜１１をフェースプレート１０１７（メタルバック１０１９等）及び基板１０１１（配線１０１３、１０１４等）と直接或いは当接材１０４１を介して接続した場合、接続部界面の接触抵抗の為に、接続状態のむらが発生し、高抵抗膜１１の電位分布が所望の値からずれてしまう可能性がある。これを避ける為に、スペーサ１０２０がフェースプレート１０１７及び基板１０１１と当接するスペーサ端部（当接面３）に沿って、好ましくはその全長域に低抵抗の中間層を設け、この中間層部に所望の電位を印加することによって、高抵抗膜１１全体の電位を制御可能とした。端部に沿って低抵抗膜を設けることによって電位のむらを抑制することができる。なお、低抵抗膜は、スペーサが当接される電極と直接接触する必要はない。後述するように低抵抗膜の上に高抵抗膜を設け、低抵抗膜とスペーサ被当接面側の電極とがそれらの間に高抵抗膜を介して電気的に接続されるようにしても良い。
・高抵抗膜１１をフェースプレート１０１７及び基板１０１１と電気的に接続する。
既に記載したように、高抵抗膜１１はスペーサ１０２０表面での帯電を防止する目的で設けられたものであるが、高抵抗膜１１をフェースプレート１０１７（メタルバック１０１９等）及び基板１０１１（配線１０１３、１０１４等）と直接或いは当接材１０４１を介して接続した場合、接続部界面に大きな接触抵抗が発生し、スペーサ表面に発生した電荷を速やかに除去できなくなる可能性がある。これを避ける為に、フェースプレート１０１７、基板１０１１及び当接材１０４１と接触するスペーサ１０２０の当接面３（一部削除）に低抵抗の中間層を設けた。
低抵抗膜２１は、高抵抗膜１１に比べ十分に低い抵抗値を有する材料を選択すればよく、Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｐｄ等の金属、あるいは合金、及びＰｄ，Ａｇ，Ａｕ，ＲｕＯ2 ，Ｐｄ−Ａｇ等の金属や金属酸化物とガラス等から構成される印刷導体、あるいはＩｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 等の透明導体及びポリシリコン等の半導体材料等より適宜選択される。
接合材１０４１はスペーサ１０２０が、スペーサが当接する被当接面の電極である行方向配線１０１３およびメタルバック１０１９と電気的に接続するように、導電性をもたせる必要がある。すなわち、導電性接着材や金属粒子や導電性フィラーを添加したフリットガラスが好適である。
第２図は、本実施例のスペーサ１０２０と低抵抗膜２１、接合材１０４１の位置関係を、基板１０１１面より（第１図の矢印方向より）見たものである。
第１，２図よりわかるとおり、低抵抗膜２１及び接合材１０４１は、スペーサ端部における電子源基板側もしくはフェースプレート側に向いた面が成す領域（この領域を以下ではスペーサ１０２０の当接面領域ともいう）よりも内側の領域に設けられており、すなわち、低抵抗膜２１及び接合材１０４１はスペーサ１０２０の当接面領域の端部とスペーサの被当接面の間の空間Ｓ１には設けられておらず、低抵抗膜２１及び接合材１０４１の設けられる領域はスペーサ１０２０の当接面領域に完全に含まれる構成になっている。ここでスペーサ端部における電子源基板側もしくはフェースプレート側に向いた面は、スペーサの端面を構成する。該端面はスペーサが当接する面（ここでは電子源基板面及び／もしくはフェースプレート面）と平行な面であることが好ましい。ただし、スペーサ端部において、電子源とフェースプレートの間の雰囲気に主に面する面であるスペーサ側面から電子源基板及び／もしくはフェースプレートと接する／もしくは最近接する点もしくは面に向けて非平行な面（曲率を有する面も含む）を有する場合は、該側面と非平行な面もスペーサ端部における電子源側もしくはフェースプレート側に向いた面を構成する。
ここで、スペーサ１０２０の当接面領域において、該当接面領域の端部から測った、低抵抗膜２１及び接合材１０４１が設けられない領域の幅ｄ１は、該幅の方向に測った当接面領域の幅ｄの１％以上有ると好ましい。更に好ましくは５％以上有るとよい。また該幅ｄ１が大きすぎると低抵抗膜の効果が少なくなるので、ｄ１はｄに対して４５％以下、好ましくは４０％以下、更に好ましくは３０％以下であるとよい。
なお、本実施例では、接合材１０４１もスペーサ１０２０の当接面領域の端部とスペーサの被当接面の間の空間Ｓ１には設けない構成としたが、この条件については、必ずしも満たす必要はない。というのは、スペーサに設けられる低抵抗膜２１は接合材１０４１よりも加速電極に近いため放電が生じ易いのに比べて接合材１０４１の方はより放電を誘発する可能性が低いためである。
この構成により、放電源になりやすい低抵抗膜２１、接合材１０４１の両者への電界集中が緩和され、放電耐圧が高くなる。
なお本実施例においてはフェースプレート１０１７とスペーサ１０２０との界面（陽極側）も、基板１０１１とスペーサ１０２０との界面（陰極側）と同じ構成とした。しかしフェースプレート１０１７とスペーサ１０２０との界面（陽極側）の状態は、放電耐圧に関して、基板１０１１とスペーサ１０２０との界面（陰極側）ほど敏感でないことが分かっており、必ずしもこの形態を取る必要がなく、さまざまな形態を取り得る。
例えばフェースプレート１０１７とスペーサ１０２０の当接する面の側面部５にも低抵抗の中間層を設けることにより、スペーサ１０２０近傍の電位分布に所望の特性を持たせ、放出された電子の軌道を制御することも出来る。
これは次のような場合に有効である。
冷陰極素子１０１２より放出された電子は、フェースプレート１０１７と基板１０１１の間に形成された電位分布に従って電子軌道を成す。スペーサ近傍の冷陰極素子から放出された電子に関しては、スペーサを設置することに伴う制約（配線、素子位置の変更等）が生じる場合がある。このような場合、歪みやむらの無い画像を形成する為には、放出された電子の軌道を制御してフェースプレート１０１７上の所望の位置に電子を照射する必要がある。
この中間層による放出電子の軌道の制御は、上述の中間層の機能の一つであるということができる。
また、Ｄx1〜Ｄxm、Ｄy1〜ＤynおよびＨv は、当該表示パネルと不図示の気密回路とを電気的に接続するために設けた気密構造の電気接続用端子である。
Ｄx1〜Ｄxmはマルチ電子ビーム源の行方向配線１０１３と、Ｄy1〜Ｄynはマルチ電子ビーム源の列方向配線１０１４と、Ｈv はフェースプレートのメタルバック１０１９と電気的に接続している。
また、気密容器内部を真空に排気するには、気密容器を組み立てた後、不図示の排気管と真空ポンプとを接続し、気密容器内を１０のマイナス７乗［Ｔｏｒｒ］程度の真空度まで排気する。その後、排気管を封止するが、気密容器内の真空度を維持するために、封止の直前あるいは封止後に気密容器内の所定の位置にゲッター膜（不図示）を形成する。ゲッター膜とは、たとえばＢａを主成分とするゲッター材料をヒーターもしくは高周波加熱により加熱し蒸着して形成した膜であり、該ゲッター膜の吸着作用により気密容器内は１×１０マイナス５乗ないしは１×１０マイナス７乗［Ｔｏｒｒ］の真空度に維持される。
以上説明した表示パネルを用いた画像表示装置は、容器外端子Ｄx1ないしＤxm、Ｄy1ないしＤynを通じて各冷陰極素子１０１２に電圧を印加すると、各冷陰極素子１０１２から電子が放出される。それと同時にメタルバック１０１９に容器外端子Ｈv を通じて数百［Ｖ］ないし数［ｋＶ］の高圧を印加して、上記放出された電子を加速し、フェースプレート１０１７の内面に衝突させる。これにより、蛍光膜１０１８をなす各色の蛍光体が励起されて発光し、画像が表示される。
通常、冷陰極素子である本発明の表面伝導型放出素子への１０１２への印加電圧は１２〜１６［Ｖ］程度、メタルバック１０１９と冷陰極素子１０１２との距離ｄは０．１［ｍｍ］から８［ｍｍ］程度、メタルバック１０１９と冷陰極素子１０１２間の電圧０．１［ｋＶ］から１０［ｋＶ］程度である。
以上、本発明の実施例の画像表示装置の概要を説明した。
（２）マルチ電子ビーム源の製造方法
次に、前記実施例の表示パネルに用いたマルチ電子ビーム源の製造方法について説明する。本発明の画像表示装置に用いるマルチ電子ビーム源は、冷陰極素子を単純マトリクス配線した電子源であれば、冷陰極素子の材料や形状あるいは製法に制限はない。したがって、たとえば表面伝導型放出素子やＦＥ型、あるいはＭＩＭ型などの冷陰極素子を用いることができる。
ただし、表示画面が大きくてしかも安価な表示装置が求められる状況のもとでは、これらの冷陰極素子の中でも、表面伝導型放出素子が特に好ましい。すなわち、ＦＥ型ではエミッタコーンとゲート電極の相対位置や形状が電子放出特性を大きく左右するため、極めて高精度の製造技術を必要とするが、これは大面積化や製造コストの低減を達成するには不利な要因となる。また、ＭＩＭ型では、絶縁層と上電極の膜厚を薄くてしかも均一にする必要があるが、これも大面積化や製造コストの低減を達成するには不利な要因となる。その点、表面伝導型放出素子は、比較的製造方法が単純なため、大面積化や製造コストの低減が容易である。また、発明者らは、表面伝導型放出素子の中でも、電子放出部もしくは周辺部を微粒子膜から形成したものがとりわけ電子放出特性に優れ、しかも製造が容易に行えることを見いだしている。したがって、高輝度で大画面の画像表示装置のマルチ電子ビーム源に用いるには、最も好適であると言える。そこで、上記実施例の表示パネルにおいては、電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形成した表面伝導型放出素子を用いた。そこで、まず好適な表面伝導型放出素子について基本的な構成と製法および特性を説明し、その後で多数の素子を単純マトリクス配線したマルチ電子ビーム源の構造について述べる。
（表面伝導型放出素子の好適な素子構成と製法）
電子放出部もしくはその周辺部を微粒子膜から形成する表面伝導型放出素子の代表的な構成には、平面型と垂直型の２種類があげられる。
（平面型の表面伝導型放出素子）
まず最初に、平面型の表面伝導型放出素子の素子構成と製法について説明する。
第１８図に示すのは、平面型の表面伝導型放出素子の構成を説明するための平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。図中、１０１１は基板、１１０２と１１０３は素子電極、１１０４は導電性薄膜、１１０５は通電フォーミング処理により形成した電子放出部、１１１３は通電活性化処理により形成した薄膜である。
基板１０１１としては、たとえば、石英ガラスや青板ガラスをはじめとする各種ガラス基板や、アルミナをはじめとする各種セラミクス基板、あるいは上述の各種基板上にたとえばＳｉＯ2 を材料とする絶縁層を積層した基板、などを用いることができる。
また、基板１０１１上に基板面と平行に対向して設けられた素子電極１１０２と１１０３は、導電性を有する材料によって形成されている。たとえば、Ｎｉ，Ｃｒ，Ａｕ，Ｍｏ，Ｗ，Ｐｔ，Ｔｉ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ａｇ等をはじめとする金属、あるいはこれらの金属の合金、あるいはＩｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 をはじめとする金属酸化物、ポリシリコンなどの半導体、などの中から適宜材料を選択して用いればよい。電極を形成するには、たとえば真空蒸着などの製膜技術とフォトリソグラフィー、エッチングなどのパターニング技術を組み合わせて用いれば容易に形成できるが、それ以外の方法（例えば印刷技術）を用いて形成してもさしつかえない。
素子電極１１０２と１１０３の形状は、当該電子放出素子の応用目的に合わせて適宜設計される。一般的には、電極間隔Ｌは通常は数百オングストロームから数百マイクロメーターの範囲から適当な数値を選んで設計されるが、なかでも表示装置に応用するために好ましいのは数マイクロメーターより数十マイクロメーターの範囲である。また、素子電極の厚さｄについては、通常は数百オングストロームから数マイクロメーターの範囲から適当な数値が選ばれる。
また、導電性薄膜１１０４の部分には、微粒子膜を用いる。ここで述べた微粒子膜とは、構成要素として多数の微粒子を含んだ膜（島状の集合体も含む）のことをさす。微粒子膜を微視的に調べれば、通常は、個々の微粒子が離間して配置された構造か、あるいは微粒子が互いに隣接した構造か、あるいは微粒子が互いに重なり合った構造が観測される。
微粒子膜に用いた微粒子の粒径は、数オングストロームから数千オングストロームの範囲に含まれるものであるが、なかでも好ましいのは１０オングストロームから２００オングストロームの範囲のものである。また、微粒子膜の膜厚は、以下に述べるような諸条件を考慮して適宜設定される。すなわち、素子電極１１０２あるいは１１０３と電気的に良好に接続するのに必要な条件、後述する通電フォーミングを良好に行うのに必要な条件、微粒子膜自身の電気抵抗を後述する適宜の値にするために必要な条件、などである。具体的には、数オングストロームから数千オングストロームの範囲のなかで設定するが、なかでも好ましいのは１０オングストロームから５００オングストロームの間である。
また、微粒子膜を形成するのに用いられうる材料としては、たとえば、Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｂなどをはじめとする金属や、ＰｄＯ，ＳｎＯ2 ，Ｉｎ2 Ｏ3 ，ＰｂＯ，Ｓｂ2 Ｏ3 などをはじめとする酸化物や、ＨｆＢ2 ，ＺｒＢ2 ，ＬａＢ6 ，ＣｅＢ6 ，ＹＢ4 ，ＧｄＢ4 などをはじめとする硼化物や、ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，ＴａＣ，ＳｉＣ，ＷＣなどをはじめとする炭化物や、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＨｆＮなどをはじめとする窒化物や、Ｓｉ，Ｇｅなどをはじめとする半導体や、カーボン、などがあげられ、これらの中から適宜選択される。
以上述べたように、導電性薄膜１１０４を微粒子膜で形成したが、そのシート抵抗値については、１０の３乗から１０の７乗［オーム／□］の範囲に含まれるよう設定した。
なお、導電性薄膜１１０４と素子電極１１０２および１１０３とは、電気的に良好に接続されるのが望ましいため、互いの一部が重なりあうような構造をとっている。その重なり方は、第１８図の例においては、下から、基板、素子電極、導電性薄膜の順序で積層したが、場合によっては下から基板、導電性薄膜、素子電極の順序で積層してもさしつかえない。
また、電子放出部１１０５は、導電性薄膜１１０４の一部に形成された亀裂状の部分であり、電気的には周囲の導電性薄膜よりも高抵抗な性質を有している。亀裂は、導電性薄膜１１０４に対して、後述する通電フォーミングの処理を行うことにより形成する。亀裂内には、数オングストロームから数百オングストロームの粒径の微粒子を配置する場合がある。なお、実際の電子放出部の位置や形状を精密かつ正確に図示するのは困難なため、第１８図においては模式的に示した。
また、薄膜１１１３は、炭素もしくは炭素化合物よりなる薄膜で、電子放出部１１０５およびその近傍を被覆している。薄膜１１１３は、通電フォーミング処理後に、後述する通電活性化の処理を行うことにより形成する。
薄膜１１１３は、単結晶グラファイト、多結晶グラファイト、非晶質カーボン、のいずれか、もしくはその混合物であり、膜厚は５００［オングストローム］以下とするが、３００［オングストローム］以下とするのがさらに好ましい。なお、実際の薄膜１１１３の位置や形状を精密に図示するのは困難なため、第１８図においては模式的に示した。
以上、好ましい素子の基本構成を述べたが、実施例においては以下のような素子を用いた。
すなわち、基板１０１１には青板ガラスを用い、素子電極１１０２と１１０３にはＮｉ薄膜を用いた。素子電極の厚さｄは１０００［オングストローム］、電極間隔Ｌは２［マイクロメーター］とした。
微粒子膜の主要材料としてＰｄもしくはＰｄＯを用い、微粒子膜の厚さは約１００［オングストローム］、幅Ｗは１００［マイクロメータ］とした。
次に、好適な平面型の表面伝導型放出素子の製造方法について説明する。
第１９（ａ）〜（ｄ）図は、表面伝導型放出素子の製造工程を説明するための断面図で、各部材の表記は第１８図と同一である。
１）まず、第１９（ａ）図に示すように、基板１０１１上に素子電極１１０２および１１０３を形成する。
形成するにあたっては、あらかじめ基板１０１１を洗剤、純水、有機溶剤を用いて十分に洗浄後、素子電極の材料を堆積させる。（堆積する方法としては、たとえば、蒸着法やスパッタ法などの真空成膜技術を用いればよい。）その後、堆積した電極材料を、フォトリソグラフィー・エッチング技術を用いてパターニングし、（ａ）に示した一対の素子電極（１１０２と１１０３）を形成する。
２）次に、第１９（ｂ）図に示すように、導電性薄膜１１０４を形成する。
形成するにあたっては、まず前記（ａ）の基板に有機金属溶液を塗布して乾燥し、加熱焼成処理して微粒子膜を成膜した後、フォトリソグラフィー・エッチングにより所定の形状にパターニングする。ここで、有機金属溶液とは、導電性薄膜に用いる微粒子の材料を主要元素とする有機金属化合物の溶液である。（具体的には、本実施例では主要元素としてＰｄを用いた。また、実施例では塗布方法として、ディッピング法を用いたが、それ以外のたとえばスピンナー法やスプレー法を用いてもよい。）
また、微粒子膜で作られる導電性薄膜の成膜方法としては、本実施例で用いた有機金属溶液の塗布による方法以外の、たとえば真空蒸着法やスパッタ法、あるいは化学的気相堆積法などを用いる場合もある。
３）次に、第１９（ｃ）図に示すように、フォーミング用電源１１１０から素子電極１１０２と１１０３の間に適宜の電圧を印加し、通電フォーミング処理を行って、電子放出部１１０５を形成する。
通電フォーミング処理とは、微粒子膜で作られた導電性薄膜１１０４に通電を行って、その一部を適宜に破壊、変形、もしくは変質せしめ、電子放出を行うのに好適な構造に変化させる処理のことである。微粒子膜で作られた導電性薄膜のうち電子放出を行うのに好適な構造に変化した部分（すなわち電子放出部１１０５）においては、薄膜に適当な亀裂が形成されている。なお、電子放出部１１０５が形成される前と比較すると、形成された後は素子電極１１０２と１１０３の間で計測される電気抵抗は大幅に増加する。
通電方法をより詳しく説明するために、第２０図に、フォーミング用電源１１１０から印加する適宜の電圧波形の一例を示す。微粒子膜で作られた導電性薄膜をフォーミングする場合には、パルス状の電圧が好ましく、本実施例の場合には同図に示したようにパルス幅Ｔ１の三角波パルスをパルス間隔Ｔ２で連続的に印加した。その際には、三角波パルスの波高値Ｖpfを、順次昇圧した。また、電子放出部１１０５の形成状況をモニターするためのモニターパルスＰｍを適宜の間隔で三角波パルスの間に挿入し、その際に流れる電流を電流計１１１１で計測した。
実施例においては、たとえば１０のマイナス５乗［ｔｏｒｒ］程度の真空雰囲気下において、たとえばパルス幅Ｔ１を１［ミリ秒］、パルス間隔Ｔ２を１０［ミリ秒］とし、波高値Ｖpfを１パルスごとに０．１［Ｖ］ずつ昇圧した。そして、三角波を５パルス印加するたびに１回の割合で、モニターパルスＰｍを挿入した。フォーミング処理に悪影響を及ぼすことがないように、モニターパルスの電圧Ｖpmは０．１［Ｖ］に設定した。そして、素子電極１１０２と１１０３の間の電気抵抗が１×１０の６乗［オーム］になった段階、すなわちモニターパルス印加時に電流計１１１１で計測される電流が１×１０のマイナス７乗［Ａ］以下になった段階で、フォーミング処理にかかわる通電を終了した。
なお、上記の方法は、本実施例の表面伝導型放出素子に関する好ましい方法であり、たとえば微粒子膜の材料や膜厚、あるいは素子電極間隔Ｌなど表面伝導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて通電の条件を適宜変更するのが望ましい。
４）次に、第１９（ｄ）図に示すように、活性化用電源１１１２から素子電極１１０２と１１０３の間に適宜の電圧を印加し、通電活性化処理を行って、電子放出特性の改善を行う。
通電活性化処理とは、前記通電フォーミング処理により形成された電子放出部１１０５に適宜の条件で通電を行って、その近傍に炭素もしくは炭素化合物を堆積せしめる処理のことである。（図においては、炭素もしくは炭素化合物よりなる堆積物を部材１１１３として模式的に示した。）なお、通電活性化処理を行うことにより、行う前と比較して、同じ印加電圧における放出電流を典型的には１００倍以上に増加させることができる。
具体的には、１０のマイナス４乗ないし１０のマイナス５乗［ｔｏｒｒ］の範囲内の真空雰囲気中で、電圧パルスを定期的に印加することにより、真空雰囲気中に存在する有機化合物を起源とする炭素もしくは炭素化合物を堆積させる。堆積物１１１３は、単結晶グラファイト、多結晶グラファイト、非晶質カーボン、のいずれかか、もしくはその混合物であり、膜厚は５００［オングストローム］以下、より好ましくは３００［オングストローム］以下である。
通電方法をより詳しく説明するために、第２１（ａ）図に、活性化用電源１１１２から印加する適宜の電圧波形の一例を示す。本実施例においては、一定電圧の矩形波を定期的に印加して通電活性化処理を行ったが、具体的には、矩形波の電圧Ｖacは１４［Ｖ］、パルス幅Ｔ３は１［ミリ秒］、パルス間隔Ｔ４は１０［ミリ秒］とした。なお、上述の通電条件は、本実施例の表面伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面伝導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて条件を適宜変更するのが望ましい。
第１９（ｄ）図に示す１１１４は該表面伝導型放出素子から放出される放出電流Ｉe を捕捉するためのアノード電極で、直流高電圧電源１１１５および電流計１１１６が接続されている。（なお、基板１０１１を、表示パネルの中に組み込んでから活性化処理を行う場合には、表示パネルの蛍光面をアノード電極１１１４として用いる。）活性化用電源１１１２から電圧を印加する間、電流計１１１６で放出電流Ｉe を計測して通電活性化処理の進行状況をモニターし、活性化用電源１１１２の動作を制御する。電流計１１１６で計測された放出電流Ｉe の一例を第２１（ｂ）図に示すが、活性化電源１１１２からパルス電圧を印加しはじめると、時間の経過とともに放出電流Ｉe は増加するが、やがて飽和してほとんど増加しなくなる。このように、放出電流Ｉe がほぼ飽和した時点で活性化用電源１１１２からの電圧印加を停止し、通電活性化処理を終了する。
なお、上述の通電条件は、本実施例の表面伝導型放出素子に関する好ましい条件であり、表面伝導型放出素子の設計を変更した場合には、それに応じて条件を適宜変更するのが望ましい。
以上のようにして、第１９（ｅ）図に示す平面型の表面伝導型放出素子を製造した。
（垂直型の表面伝導型放出素子）
次に、電子放出部もしくはその周辺を微粒子膜から形成した表面伝導型放出素子のもうひとつの代表的な構成、すなわち垂直型の表面伝導型放出素子の構成について説明する。
第２２図は、垂直型の基本構成を説明するための模式的な断面図であり、図中の１０１１は基板、１２０２と１２０３は素子電極、１２０６は段差形成部材、１２０４は微粒子膜を用いた導電性薄膜、１２０５は通電フォーミング処理により形成した電子放出部、１２１３は通電活性化処理により形成した薄膜、である。
垂直型が先に説明した平面型と異なる点は、素子電極のうちの片方（１２０２）が段差形成部材１２０６上に設けられており、導電性薄膜１２０４が段差形成部材１２０６の側面を被覆している点にある。したがって、第１８図の平面型における素子電極間隔Ｌは、垂直型においては段差形成部材１２０６の段差高Ｌｓとして設定される。なお、基板１０１１、素子電極１２０２および１２０３、微粒子膜を用いた導電性薄膜１２０４については、前記平面型の説明中に列挙した材料を同様に用いることが可能である。また、段差形成部材１２０６には、たとえばＳｉＯ2 のような電気的に絶縁性の材料を用いる。
次に、垂直型の表面伝導型放出素子の製法について説明する。第２３（ａ）〜（ｆ）図は、製造工程を説明するための断面図であり、各部材の表記は第２２図と同一である。
１）まず、第２３（ａ）図に示すように、基板１０１１上に素子電極１２０３を形成する。
２）次に、第２３（ｂ）図に示すように、段差形成部材を形成するための絶縁層を積層する。絶縁層は、たとえばＳｉＯ2 をスパッタ法で積層すればよいが、たとえば真空蒸着法や印刷法などの他の成膜方法を用いてもよい。
３）次に、第２３（ｃ）図に示すように、絶縁層の上に素子電極１２０２を形成する。
４）次に、第２３（ｄ）図に示すように、絶縁層の一部を、たとえばエッチング法を用いて除去し、素子電極１２０３を露出させる。
５）次に、第２３（ｅ）図に示すように、微粒子膜を用いた導電性薄膜１２０４を形成する。形成するには、前記平面型の場合と同じく、たとえば塗布法などの成膜技術を用いればよい。
６）次に、前記平面型の場合と同じく、通電フォーミング処理を行い、電子放出部を形成する。（第１９（ｃ）図を用いて説明した平面型の通電フォーミング処理と同様の処理を行えばよい。）
７）次に、前記平面型の場合と同じく、通電活性化処理を行い、電子放出部近傍に炭素もしくは炭素化合物を堆積させる。（第１９（ｄ）図を用いて説明した平面型の通電活性化処理と同様の処理を行えばよい。）
以上のようにして、第２３（ｆ）図に示す垂直型の表面伝導型放出素子を製造した。
（表示装置に用いた表面伝導型放出素子の特性）
以上、平面型と垂直型の表面伝導型放出素子について素子構成と製法を説明したが、次に表示装置に用いた素子の特性について述べる。
第２４図に、表示装置に用いた素子の、（放出電流Ｉe ）対（素子印加電圧Ｖf ）特性、および（素子電流Ｉf ）対（素子印加電圧Ｖf ）特性の典型的な例を示す。なお、放出電流Ｉe は素子電流Ｉf に比べて著しく小さく、同一尺度で図示するのが困難であるうえ、これらの特性は素子の大きさや形状等の設計パラメータを変更することにより変化するものであるため、２本のグラフは各々任意単位で図示した。
表示装置に用いた素子は、放出電流Ｉe に関して以下に述べる３つの特性を有している。
第一に、ある電圧（これを閾値電圧Ｖthと呼ぶ）以上の大きさの電圧を素子に印加すると急激に放出電流Ｉe が増加するが、一方、閾値電圧Ｖth未満の電圧では放出電流Ｉe はほとんど検出されない。
すなわち、放出電流Ｉe に関して、明確な閾値電圧Ｖthを持った非線形素子である。
第二に、放出電流Ｉe は素子に印加する電圧Ｖf に依存して変化するため、電圧Ｖf で放出電流Ｉe の大きさを制御できる。
第三に、素子に印加する電圧Ｖf に対して素子から放出される電流Ｉe の応答速度が速いため、電圧Ｖf を印加する時間の長さによって素子から放出される電子の電荷量を制御できる。
以上のような特性を有するため、表面伝導型放出素子を表示装置に好適に用いることができた。たとえば多数の素子を表示画面の画素に対応して設けた表示装置において、第一の特性を利用すれば、表示画面を順次走査して表示を行うことが可能である。すなわち、駆動中の素子には所望の発光輝度に応じて閾値電圧Ｖth以上の電圧を適宜印加し、非選択状態の素子には閾値電圧Ｖth未満の電圧を印加する。駆動する素子を順次切り替えてゆくことにより、表示画面を順次走査して表示を行うことが可能である。
また、第二の特性かまたは第三の特性を利用することにより、発光輝度を制御することができるため、階調表示を行うことが可能である。
（多数素子を単純マトリクス配線したマルチ電子ビーム源の構造）
次に、上述の表面伝導型放出素子を基板上に配列して単純マトリクス配線したマルチ電子ビーム源の構造について述べる。
第１６図に示すのは、第１５図の表示パネルに用いたマルチ電子ビーム源の平面図である。基板上には、第１８図で示したものと同様な表面伝導型放出素子が配列され、これらの素子は行方向配線電極１００３と列方向配線電極１００４により単純マトリクス状に配線されている。行方向配線電極１００３と列方向配線電極１００４の交差する部分には、電極間に絶縁層（不図示）が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。
第１６図のＢ−Ｂ′に沿った断面を、第１７図に示す。
なお、このような構造のマルチ電子源は、あらかじめ基板上に行方向配線電極１０１３、列方向配線電極１０１４、電極間絶縁層（不図示）、および表面伝導型放出素子の素子電極と導電性薄膜を形成した後、行方向配線電極１０１３および列方向配線電極１０１４を介して各素子に給電して通電フォーミング処理と通電活性化処理を行うことにより製造した。
（３）駆動回路構成（および駆動方法）
第２５図は、ＮＴＳＣ方式のテレビ信号に基づいてテレビジョン表示を行う為の駆動回路の概略構成をブロック図で示したものである。同図中、表示パネル１７０１は前述した表示パネルに相当するもので、前述した様に製造され、動作する。また、走査回路１７０２は表示ラインを走査し、制御回路１７０３は走査回路へ入力する信号等を生成する。シフトレジスタ１７０４は１ライン毎のデータをシフトし、ラインメモリ１７０５は、シフトレジスタ１７０４からの１ライン分のデータを変調信号発生器１７０７に入力する。同期信号分離回路１７０６はＮＴＳＣ信号から同時信号を分離する。
以下、第２５図の装置各部の機能を詳しく説明する。
まず表示パネル１７０１は、端子Ｄx1ないしＤxmおよび端子Ｄy1ないしＤyn、および高圧端子Ｈv を介して外部の電気回路と接続されている。このうち、端子Ｄx1ないしＤxmには、表示パネル１７０１内に設けられているマルチ電子ビーム源、すなわちｍ行ｎ列の行列状にマトリクス配線された冷陰極素子を１行（ｎ素子）ずつ順次駆動してゆく為の走査信号が印加される。一方、端子Ｄy1ないしＤynには、前記走査信号により選択された１行分のｎ個の各素子の出力電子ビームを制御する為の変調信号が印加される。また、高圧端子Ｈv には、直流電圧源Ｖa より、たとえば５［ｋＶ］の直流電圧が供給されるが、これはマルチ電子ビーム源より出力される電子ビームに蛍光体を励起するのに十分なエネルギーを付与する為の加速電圧である。
次に、走査回路１７０２について説明する。同回路は、内部にｍ個のスイッチング素子（図中、Ｓ１ないしＳｍで模式的に示されている）を備えるもので、各スイッチング素子は、直流電圧源Ｖx の出力電圧もしくは０［Ｖ］（グランドレベル）のいずれか一方を選択し、表示パネル１７０１の端子Ｄx1ないしＤxmと電気的に接続するものである。Ｓ１ないしＳｍの各スイッチング素子は、制御回路１７０３が出力する制御信号Ｔscanに基づいて動作するものだが、実際にはたとえばＦＥＴのようなスイッチング素子を組合わせる事により容易に構成することが可能である。なお、前記直流電圧源Ｖx は、第２４図に例示した電子放出素子の特性に基づき走査されていない素子に印加される駆動電圧が電子放出しきい値電圧Ｖth電圧以下となるよう、一定電圧を出力するよう設定されている。
また、制御回路１７０３は、外部より入力する画像信号に基づいて適切な表示が行なわれるように各部の動作を整合させる働きをもつものである。次に説明する同期信号分離回路１７０６より送られる同期信号Ｔsyncに基づいて、各部に対してＴscanおよびＴsft およひＴmry の各制御信号を発生する。同期信号分離回路１７０６は、外部から入力されるＮＴＳＣ方式のテレビ信号から、同期信号成分と輝度信号成分とを分離する為の回路である。同期信号分離回路１７０６により分離された同期信号は、良く知られるように垂直同期信号と水平同期信号より成るが、ここでは説明の便宜上、Ｔsync信号として図示した。一方、前記テレビ信号から分離された画像の輝度信号成分を便宜上ＤＡＴＡ信号と表すが、同信号はシフトレジスタ１７０４に入力される。
シフトレジスタ１７０４は、時系列的にシリアルに入力される前記ＤＡＴＡ信号を、画像の１ライン毎にシリアル／パラレル変換するためのもので、前記制御回路１７０３より送られる制御信号Ｔsft に基づいて動作する。すなわち、制御信号Ｔsft は、シフトレジスタ１７０４のシフトクロックであると言い換えることもできる。シリアル／パラレル変換された画像１ライン分（電子放出素子ｎ素子分の駆動データに相当する）のデータは、Ｉd1ないしＩdnのｎ個の信号として前記シフトレジスタ１７０４より出力される。
ラインメモリ１７０５は、画像１ライン分のｗ＠タを必要時間の間だけ記憶する為の記憶装置であり、制御回路１７０３より送られる制御信号Ｔmry にしたがって適宜Ｉd1ないしＩdnの内容を記憶する。記憶された内容は、Ｉ′d1ないしＩ′dnとして出力され、変調信号発生器１７０７に入力される。
変調信号発生器１７０７は、前記画像データＩ′d1ないしＩ′dnの各々に応じて、電子放出素子１０１５の各々を適切に駆動変調する為の信号源で、その出力信号は、端子Ｄy1ないしＤynを通じて表示パネル１７０１内の電子放出素子１０１５に印加される。
第２４図を用いて説明したように、本発明に係わる表面伝導型放出素子は放出電流Ｉe に対して以下の基本特性を有している。すなわち、電子放出には明確な閾値電圧Ｖth（後述する実施例の表面伝導型放出素子では８［ｖ］）があり、閾値Ｖth以上の電圧を印加された時のみ電子放出が生じる。また、電子放出閾値Ｖth以上の電圧に対しては、第２４図のグラフのように電圧の変化に応じて放出電流Ｉe も変化する。このことから、本素子にパルス状の電圧を印加する場合、たとえば電子放出閾値Ｖth以下の電圧を印加しても電子放出は生じないが、電子放出閾値Ｖth以上の電圧を印加する場合には表面伝導型放出素子から電子ビームが出力される。その際、パルスの波高値Ｖm を変化させることにより出力電子ビームの強度を制御することが可能である。また、パルスの幅Ｐw を変化させることにより出力される電子ビームの電荷の総量を制御することが可能である。
従って、入力信号に応じて、電子放出素子を変調する方式としては、電圧変調方式、パルス幅変調方式等が採用できる。電圧変調方式を実施するに際しては、変調信号発生器１７０７として、一定長さの電圧パルスを発生し、入力されるデータに応じて適宜パルスの波高値を変調するような電圧変調方式の回路を用いることができる。また、パルス幅変調方式を実施するに際しては、変調信号発生器１７０７として、一定の波高値の電圧パルスを発生し、入力されるデータに応じて適宜電圧パルスの幅を変調するようなパルス幅変調方式の回路を用いることができる。
シフトレジスタ１７０４やラインメモリ１７０５は、デジタル信号式のものでもアナログ信号式のものでも採用できる。すなわち、画像信号のシリアル／パラレル変換や記憶が所定の速度で行われればよいからである。
デジタル信号式を用いる場合には、同期信号分離回路１７０６の出力信号ＤＡＴＡをデジタル信号化する必要があるが、これには同期信号分離回路１７０６の出力部にＡ／Ｄ変換器を設ければよい。これに関連してラインメモリ１１５の出力信号がデジタル信号かアナログ信号かにより、変調信号発生器に用いられる回路が若干異なったものとなる。すなわち、デジタル信号を用いた電圧変調方式の場合、変調信号発生器１７０７には、例えばＤ／Ａ変換回路を用い、必要に応じて増幅回路などを付加する。パルス幅変調方式の場合、変調信号発生器１７０７には、例えば高速の発振器および発振器の出力する波数を計数する計数器（カウンタ）および計数器の出力値と前記メモリの出力値を比較する比較器（コンパレータ）を組み合せた回路を用いる。必要に応じて、比較器の出力するパルス幅変調された変調信号を電子放出素子の駆動電圧にまで電圧増幅するための増幅器を付加することもできる。
アナログ信号を用いた電圧変調方式の場合、変調信号発生器１７０７には、例えばオペアンプなどを用いた増幅回路を採用でき、必要に応じてシフトレベル回路などを付加することもできる。パルス幅変調方式の場合には、例えば、電圧制御型発振回路（ＶＣＯ）を採用でき、必要に応じて電子放出素子の駆動電圧まで電圧増幅するための増幅器を付加することもできる。
このような構成をとりうる本発明の適用可能な画像表示装置においては、各電子放出素子に、容器外端子Ｄx1乃至Ｄxm、Ｄy1乃至Ｄynを介して電圧を印加することにより、電子放出が生じる。高圧端子Ｈv を介してメタルバック１０１９あるいは透明電極（不図示）に高圧を印加し、電子ビームを加速する。加速された電子は、蛍光膜１０１８に衝突し、発光が生じて画像が形成される。
ここで述べた画像表示装置の構成は、本発明を適用可能な画像形成装置の一例であり、本発明の思想に基づいて種々の変形が可能である。入力信号についてはＮＴＳＣ方式を挙げたが、入力信号はこれに限るものではなく、ＰＡＬ、ＳＥＣＡＭ方式など他、これより多数の走査線からなるＴＶ信号（例えば、高品位ＴＶ）方式をも採用できる。
第２６図は、前記説明の表面伝導型放出素子を電子ビーム源として用いたディスプレイパネルに、たとえばテレビジョン放送をはじめとする種々の画像情報源より提供される画像情報を表示できるように構成した多機能表示装置の一例を示すための図である。
図中２１００はディスプレイパネル、２１０１はディスプレイパネルの駆動回路、２１０２はディスプレイコントローラ、２１０３はマルチプレクサ、２１０４はデコーダ、２１０５は入出力インターフェース回路、２１０６はＣＰＵ、２１０７は画像生成回路、２１０８および２１０９および２１１０は画像メモリーインターフェース回路、２１１１は画像入力インターフェース回路、２１１２および２１１３はＴＶ信号受信回路、２１１４は入力部である。
（なお、本表示装置は、たとえばテレビジョン信号のように映像情報と音声情報の両方を含む信号を受信する場合には、当然映像の表示と同時に音声を再生するものであるが、本発明の特徴と直接関係しない音声情報の受信、分離、再生、処理、記憶などに関する回路やスピーカーなどについては説明を省略する。）
以下、画像信号の流れに沿って各部の機能を説明してゆく。
まず、ＴＶ信号受信回路２１１３は、たとえば電波や空間光通信などのような無線伝送系を用いて伝送されるＴＶ画像信号を受信する為の回路である。受信するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、たとえば、ＮＴＳＣ方式、ＰＡＬ方式、ＳＥＣＡＭ方式などの諸方式でもよい。また、これらよりさらに多数の走査線よりなるＴＶ信号（たとえばＭＵＳＥ方式をはじめとするいわゆる高品位ＴＶ）は、大面積化や大画素数化に適した前記ディスプレスパネルの利点を生かすのに好適な信号源である。ＴＶ信号受信回路２１１３で受信されたＴＶ信号は、デコーダ２１０４に出力される。
また、ＴＶ信号受信回路２１１２は、たとえば同軸ケーブルや光ファイバーなどのような有線伝送系を用いて伝送されるＴＶ画像信号を受信するための回路である。前記ＴＶ信号受信回路２１１３と同様に、受信するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、また本回路で受信されたＴＶ信号もデコーダ２１０４に出力される。
また、画像入力インターフェース回路２１１１は、たとえばＴＶカメラや画像読み取りスキャナーなどの画像入力装置から供給される画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ２１０４に出力される。
また、画像メモリーインターフェース回路２１１０は、ビデオテープレコーダー（以下ＶＴＲと略す）に記憶されている画像信号はデコーダ２１０４に出力される。
また、画像メモリーインターフェース回路２１０９は、ビデオディスクに記憶されている画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ２１０４に出力される。
また、画像メモリーインターフェース回路２１０８は、いわゆる静止画ディスクのように、静止画像データを記憶している装置から画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた静止画像データはデコーダ２１０４に出力される。
また、入出力インターフェース回路２１０５は、本表示装置と、外部のコンピュータもしくはコンピュータネットワークもしくはプリンターなどの出力装置とを接続するための回路である。画像データや文字・図形情報の入出力を行うのはもちろんのこと、場合によっては本表示装置の備えるＣＰＵ２１０６と外部との間で制御信号や数値データの入出力などを行うことも可能である。
また、画像生成回路２１０７は、前記入出力インターフェース回路２１０５を介して外部から入力される画像データや文字・図形情報や、あるいはＣＰＵ２１０６より出力される画像データや文字・図形情報にもとずき表示用画像データを生成するための回路である。本回路の内部には、たとえば画像データや文字・図形情報を蓄積するための書き換え可能メモリーや、文字コードに対応する画像パターンが記憶されている読み出し専用メモリーや、画像処理を行うためのプロセッサーなどをはじめとして画像の生成に必要な回路が組み込まれている。
本回路により生成された表示用画像データは、デコーダ２１０４に出力されるが、場合によっては前記入出力インターフェース回路２１０５を介して外部のコンピュータネットワークやプリンターに出力することも可能である。
また、ＣＰＵ２１０６は、主として本表示装置の動作制御や、表示画像の生成や選択や編集に係わる作業を行う。
たとえば、マルチプレクサ２１０３に制御信号を出力し、ディスプレイパネルに表示する画像信号を適宜選択したり組み合わせたりする。また、その際には表示する画像信号に応じてディスプレイパネルコントローラ２１０２に対して制御信号を発生し、画面表示周波数や走査方法（たとえばインターレースかノンインターレースか）や一画面の走査線の数など表示装置の動作を適宜制御する。
また、前記画像生成回路２１０７に対して画像データや文字・図形情報を直接出力したり、あるいは前記入出力インターフェース回路２１０５を介して外部のコンピュータやメモリーをアクセスして画像データや文字・図形情報を入力する。
なお、ＣＰＵ２１０６は、むろんこれ以外の目的の作業にも係わるものであって良い。たとえば、パーソナルコンピュータやワードプロセッサなどのように、情報を生成したり処理する機能に直接係わっても良い。
あるいは、前述したように入出力インターフェース回路２１０５を介して外部のコンピュータネットワークと接続し、たとえば数値計算などの作業を外部機器と協同して行っても良い。
また、入力部２１１４は、前記ＣＰＵ２１０６に使用者が命令やプログラム、あるいはデータなどを入力するためのものであり、たとえばキーボードやマウスのほか、ジョイスティック、バーコードリーダー、音声認識装置など多様な入力機器を用いる事が可能である。
また、デコーダ２１０４は、前記２１０７ないし２１１３より入力される種々の画像信号を３原色信号、または輝度信号とＩ信号、Ｑ信号に逆変換するための回路である。なお、同図中に点線で示すように、デコーダ２１０４は内部に画像メモリーを備えるのが望ましい。これは、たとえばＭＵＳＥ方式をはじめとして、逆変換するに際して画像メモリーを必要とするようなテレビ信号を扱うためである。また、画像メモリーを備える事により、静止画の表示が容易になる。あるいは前記画像生成回路２１０７およびＣＰＵ２１０６と協同して画像の間引き、補間、拡大、縮小、合成をはじめとする画像処理や編集が容易に行えるようになるという利点が生まれるからである。
また、マルチプレクサ２１０３は、前記ＣＰＵ２１０６より入力される制御信号にもとずき表示画像を適宜選択するものである。すなわち、マルチプレクサ２１０３はデコーダ２１０４から入力される逆変換された画像信号のうちから所望の画像信号を選択して駆動回路２１０１に出力する。その場合には、一画面表示時間内で画像信号を切り替えて選択することにより、いわゆる多画面テレビのように、一画面を複数の領域に分けて領域によって異なる画像を表示することも可能である。
また、ディスプレイパネルコントローラ２１０２は、前記ＣＰＵ２１０６より入力される制御信号にもとずき駆動回路２１０１の動作を制御するための回路である。
まず、ディスプレイパネルの基本的な動作に係わるものとして、たとえばディスプレイパネルの駆動用電源（図示せず）の動作シーケンスを制御するための信号を駆動回路２１０１に対して出力する。
また、ディスプレイパネルの駆動方法に係わるものとして、たとえば画面表示周波数や走査方法（たとえばインターレースかノンインターレースか）を制御するための信号を駆動回路２１０１に対して出力する。
また、場合によっては表示画像の輝度やコントラストや色調やシャープネスといった画質の調整に係わる制御信号を駆動回路２１０１に対して出力する場合もある。
また、駆動回路２１０１は、ディスプレイパネル２１００に印加する駆動信号を発生するための回路であり、前記マルチプレクサ２１０３から入力される画像信号と、前記ディスプレイパネルコントローラ２１０２より入力される制御信号にもとずいて動作するものである。
以上、各部の機能を説明したが、第２６図に例示した構成により、本表示装置においては多様な画像情報源より入力される画像情報をディスプレイパネル２１００に表示する事が可能である。
すなわち、テレビジョン放送をはじめとする各種の画像信号はデコーダ２１０４において逆変換された後、マルチプレクサ２１０３において適宜選択され、駆動回路２１０１に入力される。一方、ディスプレイコントローラ２１０２は、表示する画像信号に応じて駆動回路２１０１の動作を制御するための制御信号を発生する。駆動回路２１０１は、上記画像信号と制御信号にもとずいてディスプレイパネル２１００に駆動信号を印加する。
これにより、ディスプレイパネル２１００において画像が表示される。これらの一連の動作は、ＣＰＵ２１０６により総括的に制御される。
また、本表示装置においては、前記デコーダ２１０４に内蔵する画像メモリや、画像生成回路２１０７およびＣＰＵ２１０６が関与することにより、単に複数の画像情報の中から選択したものを表示するだけでなく、表示する画像情報に対して、たとえば拡大、縮小、回転、移動、エッジ強調、間引き、補間、色変換、画像の縦横比変換などをはじめとする画像処理や、合成、消去、接続、入れ換え、はめ込みなどをはじめとする画像編集を行う事も可能である。また、本実施例の説明では特に触れなかったが、上記画像処理や画像編集と同様に、音声情報に関しても処理や編集を行なうための専用回路を設けても良い。
したがって、本表示装置は、テレビジョン放送の表示機器、テレビ会議の端末機器、静止画像および動画像を扱う画像編集機器、コンピュータの端末機器、ワードプロセッサをはじめとする事務用端末機器、ゲーム機などの機能を一台で兼ね備えることが可能で、産業用あるいは民生用として極めて応用範囲が広い。
なお、第２６図は、表面伝導型放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルを用いた表示装置の構成の一例を示したにすぎず、これのみに限定されるものでない事は言うまでもない。たとえば、第２６図の構成要素のうち使用目的上必要のない機能に係わる回路は省いても差し支えない。またこれとは逆に、使用目的によってはさらに構成要素を追加しても良い。たとえば、本表示装置をテレビ電話機として応用する場合には、テレビカメラ、音声マイク、照明機、モデムを含む送受信回路などを構成要素に追加するのが好適である。
本表示装置においては、とりわけ表面伝導型放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルが容易に薄形化できるため、表示装置全体の奥行きを小さくすることが可能である。それに加えて、表面伝導型放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルは大画面化が容易で輝度が高く視野角特性にも優れるため、本表示装置は臨場感にあふれ迫力に富んだ画像を視認性良く表示する事が可能である。
［実施例２］
本発明の実施例２について、実施例１と違う点のみ説明する。
第３図及び第４図はそれぞれ、本実施例の画像表示装置の断面模式図、本実施例のスペーサ１０２０と低抵抗膜２１及び接合材１０４１の位置関係を基板１０１１面より（第３図の矢印方向より）見た図、であり実施例１の第１図及び第２図に対応する。
実施例１と違うのは、基板１０１１とスペーサ１０２０を固定する接合材１０４１がないことである。つまり、スペーサ１０２０はフェースプレート１０１７とのみ接合材１０４１によって固定されていることである。
本実施例においても低抵抗膜２１は、スペーサ１０２０の基板１０１１側の当接面に完全に含まれる構成になっており、放電源になりやすい低抵抗膜２１への電界集中が緩和され、放電耐圧が高くなる。
この構成によれば、陰極側において放電源になりやすいものの一つである導電性接合材１０４１を省くことができるだけでなく、組立て工程も簡素化できる。
反面、緩衝材、充填材として機能していた接合材１０４１がなくなるため、フェースプレート１０１７、基板１０１１間ギャップや、配線表面の平滑性などに、より高い精度が要求される。
なおスペーサ周りの構成は、上記記載の接合材の機能、実施例１に記載の陽極側の特徴等を踏まえ、種々選択される。具体的には、スペーサ１０２０の基板１０１１側、フェースプレート１０１７側において、低抵抗膜２１、接合材１０４１それぞれの有無が選択される。
スペーサ1020の基板1011側には、少なくとも低抵抗膜21、接合材1041のうちの少なくとも一方を設け、スペーサの電位のむらを抑制する効果を与え、一方のみを設ける時には、それが当接面領域に完全に含まれるようにし、低抵抗膜21と接合材1041の両方を設ける場合は、少なくともスペーサに設けられる電極である低抵抗膜21は当接面領域に完全に含まれるようにする。接合材1041のみを設ける場合は、それがスペーサの電位のむらを抑制する電極として機能する。またスペーサを介して電流を流すことを考慮すると、フェースプレート1017側においても低抵抗膜21もしくは接合材1041の少なくともいずれかを用いてフェースプレート1017の電極（本実施例ではアノード電極を兼ねるメタルバック）との電気的接続を良好にするのが好ましい。
［実施例３］
本発明の実施例３について、実施例１と違う点のみ説明する。
第５図は本実施例の画像表示装置の断面模式図であり、実施例１の第１図に対応する。
実施例１と違うのはスペーサの形であり、第５図のように断面が中膨れの６角形をしている。
本実施例においても、低抵抗膜２１及び接合材１０４１は当接面領域に完全に含まれる位置に設けられている。
本実施例で述べたように、本願発明を適用できるスペーサの形状は様々である。例えば、第６図に示すように断面形状が上広がりになっているものなどを用いることができる。
なお、上記の条件の範囲でスペーサの周りの構成（スペーサ１０２０の両側の低抵抗膜２１、接合材１０４１それぞれの有無や形成する範囲）は実施例２で述べたのと同様に、種々選択され得る。
［実施例４］
以上のべた実施例においては、スペーサの端部に沿って設けられる電極である低抵抗膜２１が、スペーサの帯電抑制もしくはスペーサの帯電による電子軌道への影響を抑制するための導電性を有する膜である高抵抗膜１１の形成前に形成され、低抵抗膜２１が高抵抗膜１１の上に形成される例を示した。
しかしながら、本願発明はその構成に限定されるものではない。高抵抗膜１１が低抵抗膜２１を被覆する構成にしても良い。その構成を第７図に示す。この構成においてもスペーサの電位のむらを緩和する作用が得られる。また低抵抗膜２１と電子源に設けられる電極である配線１０１３やフェースプレートに設けられる加速電極であるメタルバック１０１９との間に高抵抗膜１１が介在しても、２１と電子源に設けられる電極である配線１０１３やフェースプレートに設けられる加速電極であるメタルバック１０１９との間に電気抵抗としては、高抵抗膜１１の膜厚方向の抵抗であるので、電気的な接続は実現できる。
［実施例５］
第８、９図に示すように、スペーサの長さが表示領域巾Ａよりも大きい場合は、低抵抗膜２１がスペーサ長手方向の端面まで伸びた構成とすることも可能である。
その理由を以下に示す。
低抵抗膜２１をスペーサ長手方向の端面まで伸ばしても低抵抗膜の端部は表示領域の外側に位置する。表示領域の外側では、フェイスプレートからの反射電子が到達しにくいので放電は生じにくい。ただし、表示領域内においては、実施例１で述べた第２図に対応する第９図に示すように低抵抗膜２１はスペーサの当接面領域の内側にしている。これにより表示領域内での放電を抑制している。
すなわち、本願発明の実施の際には、スペーサの上下端部の間に加速電位と電子源を駆動する電位との差である加速電圧などの高電界（スペーサの端部にある電極が関わる放電を生じ得る電界）がかかる領域においては、スペーサ端部に沿って設けられる電極は、スペーサの端部における前記電子源側及び／もしくは電子源被照射部材（もしくは加速電極などの制御電極）に向いた面がなす領域よりも内側に設けられるのが望ましい。ただし例えば表示領域外であって、スペーサの上下に加速電圧が印可されない領域や、表示領域の内外を問わず、高電界がかかる領域であっても放電による影響が許容できる範囲であれば、かならずしも上記条件を満たす必要はない。
また、第１０、１１図に示すように、フェイスプレート側の低抵抗膜２１と電子源側の低抵抗膜２１のいずれか一方のみをスペーサの長手方向の端部まで延ばした構成としても良い。
また、第１２図に示すように、フェースプレート側の低抵抗膜２１と電子源側の低抵抗膜２１それぞれのスペーサ長手方向に沿った長さを、
電子源側の低抵抗膜の長さ  ＞  フェースプレート側の低抵抗膜の長さとしてもよい。
［実施例６］
本実施例では、スペーサの長手方向が電子源の基板の法線方向と概略平行である構成を示す。
第１３図は柱状絶縁性部材の中心軸を通過する任意の面での断面図である。
スペーサ１０２０は、柱状をなす絶縁性部材１からなり、柱状絶縁性部材１のフェースプレートの内側面、及び電子源基板の表面（行方向配線または列方向配線）に当接する面に低抵抗膜２１を成膜し、かつ絶縁性部材１表面に高抵抗膜１１を成膜した部材からなるものである。
スペーサ１０２０は、行方向配線上に一定の間隔をおいて配置され、行方向配線に電気的に接続されている。
ここで、低抵抗膜２１は高抵抗膜１１を介して行方向配線と電気的に接続され、またその配置領域は第１４図に示すとおりスペーサ１０２０の当接面領域に完全に含まれる構成になっている。
本実施例の構成においては、低抵抗膜２１によりスペーサの長手方向に電荷を移動させるものではなく、スペーサの電位を均す電極としての低抵抗膜２１は、スペーサにおける電子源側もしくはフェースプレート側に概略向いた面である当接面がなす領域の面積の２０％以上に設けられていることが好ましい。
更には、より安定な電気的コンタクトを得るためには、５０％以上に設けられていることがより好ましい。
産業上の利用可能性
以上説明したように本発明によれば、スペーサの当接面に、接合材及び低抵抗層の当接面が全て含まれるので、低抵抗層への電界集中による放電を防ぐことができる。
また、電子源面及び電極面の垂線方向の接合材及び低抵抗層の正射影が、スペーサの正射影内にすべて含まれるので、接合材及び低抵抗膜からの電界放出電子の直接入射でスペーサの電子源面近傍が負に帯電することで、低抵抗層及びスペーサと電子源面接点近傍の電界が弱められ、放電を防ぐことができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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