【事件の表示】
　特願２００１−５１４４３７「調節可能な使用波長を有する多層光学素子」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　２月　８日国際公開、ＷＯ０１／０９９０４、平成１５年　２月１８日国内公表、特表２００３−５０６７３２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、日本国を指定国としてパリ条約に基づく優先権主張（米国、優先権主張の日平成１１年８月２日）を伴って、平成１２年８月１日に出願された国際出願である。
　本願について、平成１８年１０月１７日（発送日）に拒絶理由が通知され、それに対して平成１９年３月１日付けで手続補正がなされたものの、同年４月３日（発送日）に拒絶査定がなされ、この査定に対し、同年７月２日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年８月１日に手続補正がされたものである。
　その後当審において、平成２０年５月１３日（発送日）に審尋がなされ、その審尋に対して同年８月１３日に回答書が提出された。
　
II．平成１９年８月１日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）について
１．本件補正の内容
　本件補正は、補正前（平成１９年３月１日付けで補正、以下同様）の、
「【請求項１】電磁波を反射する多層反射体において、複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し第一周波数の電磁波を反射する第一曲率を有する多層構造部(18)と、第二周波数の電磁波を反射するように第一曲率を第二曲率に変化させる移動装置(42)を含む、多層反射体。
【請求項２】前記多層構造部(18)が基板(12)上に被着される、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項３】前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項４】前記第一周波数の電磁波と前記第二周波数の電磁波とがそれぞれｘ線である、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項５】前記移動装置(42)が多層構造部を曲げて第一曲率から第二曲率に変化させる、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項６】前記移動装置が４点で多層構造部に接触して多層構造部を曲げる、請求項５に記載された多層反射体。
【請求項７】光学素子において、複数の反射面を有し、隣接する反射面間に間隔を形成し、第一波長の電磁波を反射する第一曲率から第二波長の電磁波を反射する第二曲率に変化する曲率を有する、多層面(18)を含む、光学素子。
【請求項８】前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している、請求項７に記載された光学素子。
【請求項９】前記第一波長の電磁波と前記第二波長の電磁波とがそれぞれｘ線である、請求項７に記載された光学素子。
【請求項１０】可変曲率のｘ線反射体において、該ｘ線反射体が、基板(12)と、該基板(12)に結合された多層面(18)とを含み、しかも該多層面が複数の反射面を有し、隣り合う反射面間に間隔を形成し、間隔は反射面の積み重ね方向に変化しており、かつまた
　多層面の曲率が変更されると、反射される電磁波の周波数が変化する、可変曲率のｘ線反射体。
【請求項１１】前記多層構造部が放物線形状を有し、放物線形状が前記多層構造部の曲率を変更するために変化せしめられる、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項１２】前記多層構造部が長円形状を有し、長円形状の短半径が前記多層構造部の曲率を変更するために、変化せしめられる、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項１３】多層反射体に多くの周波数の電磁波を反射させる方法において、該方法が、
　電磁波を発生させる段階と、
　前記電磁波を多層反射体(10,26,28)に向ける段階と、
　前記向ける段階中に、ブラッグの法則にしたがって前記電磁波を反射させるために、多層反射体(10)の曲率を調節する段階とを含む、多層反射体に多くの周波数の電磁波を反射させる方法。
【請求項１４】システムであり、
　反射体(10,26,28)に電磁波を向ける電磁エネルギー源(13,30,32)を備え、
　反射体は、
　複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し第一周波数の電磁波を反射する第一曲率を有する多層構造部(18)と、
　第二周波数の電磁波を反射するように多層構造部の第一曲率を第二曲率に変化させる移動装置(42)とを含む、システム。
【請求項１５】電磁エネルギー源(13,30,32)がｘ線を反射体(10,26,28)に向ける、請求項１４に記載されたシステム。
【請求項１６】システムであり、
　光学素子(10,26,28)に電磁波を向ける電磁エネルギー源(13,30,32)を備え、
　光学素子は、
　第一波長の電磁波を反射する第一曲率から第二波長の電磁波を反射する第二曲率に変化する曲率を有する多層面(18)を含む、システム。
【請求項１７】電磁エネルギー源(13,30,32)がｘ線を光学素子(10,26,28)に向ける、請求項１６に記載されたシステム。
【請求項１８】前記電磁波は、ｘ線を含む、請求項１３に記載された方法。」
との特許請求の範囲の記載を、
「【請求項１】電磁波を反射する多層反射体において、複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し第一周波数の電磁波を反射する第一曲率を有する多層構造部(18)と、第二周波数の電磁波を反射するように第一曲率を第二曲率に変化させる移動装置(42)を含む、多層反射体
であり、前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している、
【請求項２】前記多層構造部(18)が基板(12)上に被着される、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項３】前記第一周波数の電磁波と前記第二周波数の電磁波とがそれぞれｘ線である、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項４】前記移動装置(42)が多層構造部を曲げて第一曲率から第二曲率に変化させる、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項５】前記移動装置が４点で多層構造部に接触して多層構造部を曲げる、請求項４に記載された多層反射体。
【請求項６】光学素子において、複数の反射面を有し、隣接する反射面間に間隔を形成し、第一波長の電磁波を反射する第一曲率から第二波長の電磁波を反射する第二曲率に変化する曲率を有する、多層面(18)を含む、光学素子
であり、前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している、
【請求項７】前記第一波長の電磁波と前記第二波長の電磁波とがそれぞれｘ線である、請求項
６
【請求項８】可変曲率のｘ線反射体において、該ｘ線反射体が、
　基板(12)と、該基板(12)に結合された多層面(18)とを含み、しかも該多層面が複数の反射面を有し、隣り合う反射面間に間隔を形成し、間隔は反射面の積み重ね方向に変化しており、かつまた
　多層面の曲率が変更されると、反射される電磁波の周波数が変化する、可変曲率のｘ線反射体。
【請求項９】前記多層構造部が放物線形状を有し、放物線形状が前記多層構造部の曲率を変更するために変化せしめられる、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項１０】前記多層構造部が長円形状を有し、長円形状の短半径が前記多層構造部の曲率を変更するために、変化せしめられる、請求項１に記載された多層反射体。
【請求項１１】多層反射体に多くの周波数の電磁波を反射させる方法において、該方法が、
電磁波を発生させる段階と、前記電磁波を多層反射体(10,26,28)に向ける段階と、
　前記向ける段階中に、ブラッグの法則にしたがって前記電磁波を反射させるために、多層反射体(10)の曲率を調節する段階とを含む、多層反射体に多くの周波数の電磁波を反射させる方法
において、
多層反射体は複数の反射面を有して隣接する反射面間に間隔を形成し、前記間隔が反射面の積み重ね方向に変化している、
【請求項１２】システムであり、
　反射体(10,26,28)に電磁波を向ける電磁エネルギー源(13,30,32)を備え、
　反射体は、
　複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し第一周波数の電磁波を反射する第一曲率を有
し、前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している、
　第二周波数の電磁波を反射するように多層構造部の第一曲率を第二曲率に変化させる移動装置(42)とを含む、システム。
【請求項１３】電磁エネルギー源(13,30,32)がｘ線を反射体(10,26,28)に向ける、請求項
１２
【請求項１４】システムであり、
　光学素子(10,26,28)に電磁波を向ける電磁エネルギー源(13,30,32)を備え、
　光学素子は、
　第一波長の電磁波を反射する第一曲率から第二波長の電磁波を反射する第二曲率に変化する曲率を有する多層面(18)を含
み、
多層面は複数の反射面を有して隣接する反射面間に間隔を形成し、前記間隔が反射面の積み重ね方向に変化している、
【請求項１５】電磁エネルギー源(13,30,32)がｘ線を光学素子(10,26,28)に向ける、請求項
１４
【請求項１６】前記電磁波は、ｘ線を含む、請求項
１１
　と補正するものである。
　
２．本件補正の目的
　上記本件補正後の記載と、補正前の記載を対比すると、
　補正後の請求項１と補正前の請求項３、ならびに、補正後の請求項６と補正前の請求項８は、それぞれ実質的の相違しないので、本件補正は、補正前の請求項１と請求項７を削除するとともに、補正前の請求項３と請求項８を、補正後の請求項１と請求項６とするとともに、補正前の請求項１３ならびに１６に記載した発明を特定するために必要な事項である「多層反射体」ならびに「多層面」に「複数の反射面を有して隣接する反射面間に間隔を形成し、前記間隔が反射面の積み重ね方向に変化している」との限定を付して補正後の請求項１１ならびに１４とし、補正前の請求項１４に記載した発明を特定するために必要な事項である「間隔」を「前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している」との限定を付して補正後の請求項１２とするものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第４項第１号ならびに第２号の、特許請求の範囲の削除ならびに減縮を目的とするものということができ、補正後の請求項１に記載された発明についてみれば、補正前の請求項３として既に記載されていた発明であって、何ら補正が為されていない発明ということができる。
　そこで、以下において、本件補正後の請求項１に記載された発明を審理の対象として検討する。
　
III．本願発明について
１．本願発明
　本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「電磁波を反射する多層反射体において、複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し第一周波数の電磁波を反射する第一曲率を有する多層構造部(18)と、第二周波数の電磁波を反射するように第一曲率を第二曲率に変化させる移動装置(42)を含む、多層反射体であり、前記間隔が反射層の積み重ね方向に変化している、多層反射体。」
　
２．引用文献（以下の摘記における下線は、当審で付加した。）
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先権主張の日前に頒布された刊行物である、特開平８−１０５８５０号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の技術的事項の記載がある。
（ア）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】イオンビームにより照射される試料の照射点と，
該照射点から発生する特性Ｘ線を所定曲率半径を有する分光素子により分光させる分光中心
上記分光素子の曲率半径を変化させる曲率変化機構
【請求項２】
上記曲率変化機構が，加圧方向にのみ変形する平行バネ構造で支持された加圧部材に加える加圧力を調整することにより分光素子の曲率を変化させる
（イ）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は，半導体材料等の材料評価，構造解析等を行うためのＸ線分析装置に係り，詳しくは，高エネルギーイオンビームをプローブとして，
試料から発生する特性Ｘ線を分光分析する波長分散型のＸ線分析装置に関する。
（ウ）段落【０００８】〜段落【００１０】
「【０００８】
【実施例】……（中略）……
　ここに，図１は本発明の一実施例に係るＸ線分析装置の構成を示す模式図，
図２は実施例に係る結晶湾曲機構の構成を示す断面図
　図１において，実施例に係るＸ線分析装置１は，試料３をイオンビームにより走査するためのイオンビーム発生器２，収束レンズ１２，偏向装置１５を備えたイオンビーム走査手段と，上記試料３を所定位置に配置させた真空容器１３と，イオンビームにより照射された試料３から発生する特性Ｘ線を分光し集光させるＸ線分光器（分光手段）４と，分光された特性Ｘ線の波長と強度とを測定する比例計数管（Ｘ線検出手段）７とを備えて構成されている。
【０００９】上記構成において，イオンビーム発生器２で発生させた高エネルギーイオンビーム１０を真空ダクト１１方向に引出し，図示しないスリットやイオン種選別用フィルタにより整形し，収束レンズ１２により収束させ，ロードロック機構を備えた真空容器１３内に配した試料３にミクロンサイズの照射スポットで照射する。イオンビーム１０により照射された試料３からビーム照射範囲の構成元素がもつ電子が励起されることにる特性Ｘ線１４が発生する。
この特性Ｘ線１４はＸ線分光器（分光手段）４の分光素子５により回析され，更に干渉効果によって下式（１）による波長λのＸ線のみが分光される。
　　
２・ｄ・ｓｉｎθ＝ｎ・λ…（１）
　
ここで，ｄは
多層膜構造である場合には多層膜周期，θは特性Ｘ線１４の分光素子５への入射角度，ｎ＝１，２，３…は回折光の次数を示し，通常は強度が最も強いｎ＝１を対象とする。
　
上記分光素子５は，素子の曲率半径を変化させる曲率変化機構６に保持され，該曲率変化機構６は回転ステージ８に搭載されている。分光素子５は曲率変化機構６により分光波長λに対応して，下式（２）で示される曲率半径２・Ｒで湾曲される。
　　
２・Ｒ・ｓｉｎθ＝Ｌ…（２）
　上式（２）におけるＲは，試料３のイオンビーム照射点，分光素子５の中心点，上記比例計数管７によるＸ線測定点（分光素子５による集光焦点）が配置されたローランド円の半径，Ｌは上記イオンビーム照射点と分光素子５の中心点及び該中心点と上記Ｘ線測定点との間の距離で，分光波長によらず一定に保たれる。……（中略）……  　
【００１０】
上記曲率変化機構６は，図２に示すように構成されている。同図に示すように，分光素子５は複合平行バネ構造を有して一体的に形成された湾曲部１８によって保持されている。この湾曲部１８の複合平行バネの中心部位に対してモータ２０の駆動力をウォームギア１９及び細目ネジ２１を介して加圧することにより，分光素子５は複合平行バネの弾性変形を介して湾曲変形される。
（エ）図２
　図２には、曲率変化機構６の構成を示す側面図が図示されている。
　
　これらの記載からして、引用例には、
「回析ならびに干渉効果によって波長λのＸ線のみを分光するための多層膜周期を有する多層膜構造の分光素子であって、前記分光素子が複合平行バネ構造を有して一体的に形成された湾曲部を有する曲率変化機構に保持され、前記複合平行バネの中心部位を加圧することにより、前記分光素子を、分光波長λに対応して、２・Ｒ・ｓｉｎθ＝Ｌで示される曲率半径２・Ｒで湾曲変形させることができる、多層膜構造の分光素子。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
３．本願発明と引用発明との対比
　そこで、本願発明と、引用発明とを対比する。
　引用発明の（ａ）「Ｘ線」が、本願発明の（ａ’）「電磁波」の一種であることは当業者の技術常識である。そして、引用発明の（ｂ）「回析ならびに干渉効果によって」「Ｘ線」「を分光」することが、本願発明の（ｂ’）「電磁波を反射する」ことに相当し、引用発明の（ｃ）「多層膜周期を有する多層膜構造の分光素子」が、本願発明の（ｃ’）「複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し」「電磁波を反射する」「多層構造部」からなる「多層反射体」に相当することも、当業者の技術常識に鑑みれば明らかである。
　また、引用発明の（ｄ）「分光素子が複合平行バネ構造を有して一体的に形成された湾曲部を有する曲率変化機構に保持され」ること、ならびに、（ｅ）「前記複合平行バネの中心部位を加圧することにより、前記分光素子を、分光波長λに対応して、２・Ｒ・ｓｉｎθ＝Ｌで示される曲率半径２・Ｒで湾曲変形させることができる」ことは、それぞれ、本願発明において、多層反射体が（ｄ’）「第一曲率を有する」こと、ならびに、（ｅ’）「第一曲率を第二曲率に変化」することと実質的に同義であるということができるので、引用発明の（ｆ）「曲率変化機構」は、本願発明の（ｆ’）「移動装置」に相当する機構であるということができる。
　さらに、引用発明の（ｇ）「分光素子を、分光波長λに対応して、２・Ｒ・ｓｉｎθ＝Ｌで示される曲率半径２・Ｒで湾曲変形させる」ことは、周波数に対応して分光素子の曲率を変化させることを意味するので、本願発明の（ｇ’）「第一周波数の電磁波を反射する第一曲率」から、「第二周波数の電磁波を反射するように第一曲率を第二曲率に変化させる」ことと一致することも明らかである。
　
　してみると、本願発明と引用発明とは、
「電磁波を反射する多層反射体において、複数の反射層を有し隣接する反射層間に間隔を形成し第一周波数の電磁波を反射する第一曲率を有する多層構造部と、第二周波数の電磁波を反射するように第一曲率を第二曲率に変化させる移動装置を含む、多層反射体。」
という点で一致し、以下の点で相違する。
＜相違点＞
　本願発明は、（多層反射体の反射層間の）「間隔が反射層の積み重ね方向に変化している」のに対し、引用発明はそのような構造を具備していない点（以下、「相違点」という。）。
　
４．検討・判断
　上記相違点について検討する。
　多層膜からなるＸ線の反射体において、異なる波長のＸ線を反射し得るよう多層膜の層間間隔を厚さ方向に変化させることは、拒絶査定時に周知技術として提示された特開平２−２１０２９９号公報のみならず、特開昭６２−２２６０４７号公報、特開平６−２７３００号公報にも見られるように、本願の優先権主張の日前、当業者に周知の事項にすぎない。
　してみると、多くのＸ線波長を反射し得るよう、多層反射体の反射層間の間隔を厚さ方向、すなわち、反射層の積み重ね方向に変化させるよう構成することは、当業者が格別の困難なく想到し得る事項である。
　
　そして、本願発明が奏する作用効果も、引用発明ならびに周知事項から、当業者が予測できる範囲のものである。
　よって、本願発明は、引用発明ならびに周知事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　なお、請求人は本件審判の請求の理由中で、多層膜内の膜間の間隔が多層膜の積み重ね方向に変化している構造を多層膜曲率可変反射体に適用した結果、
ｉ）電磁波源と電磁波被照射体対象との間の位置関係に誤差が生じても、反射体の曲率を僅かに変化させることで、電磁波を効率的に反射することが可能となる。
ii）電磁波の周波数が変化しても、反射体の曲率を僅かに変化させることで、様々な電磁波を効率的に反射することが可能となる。
iii）異なる形状の多層膜反射体構造を形成する必要が無くなる。
との作用効果を主張する。
　しかしながら、上記の作用効果については本願の出願の願書に最初に添付した明細書の翻訳文又は図面には何ら記載がないばかりでなく、多層反射体の反射層間の間隔を反射層の積み重ね方向に変化させることなく、単に曲率可変とした反射体を採用することによって達成しうる作用効果と認められるので、前記請求人の主張を採用することはできない。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明ならびに周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、その余の請求項に記載された発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。