(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が真空チャンバ（１，１１）に接続された管路（３，１３）の他端に真空ポンプ（２，１２）が接続された真空排気装置において、
初期排気期間における上記真空チャンバ（１，１１）内の圧力変化が上記真空チャンバ（１，１１）内に乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、上記真空チャンバ（１，１１）内の圧力が水蒸気圧である水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように、予め設定された排気条件が格納された排気条件格納部（６，１６）と、
上記排気条件格納部（６，１６）に格納された排気条件に従って、上記真空ポンプ（２，１２）の回転数を制御する真空ポンプ制御部を備えたことを特徴とする真空排気装置。
【請求項２】
請求項１に記載の真空排気装置において、
上記真空ポンプ（２）の回転数を検出して検出回転数を表す回転数信号を出力する回転数検出部（５）と、
真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す時間信号を出力する計時部（４）を備えると共に、
上記排気条件格納部（６）に格納されている排気条件は、到達圧力が水蒸気圧となる上記真空ポンプ（２）の回転数である第１目標回転数と、到達圧力が真空圧となる上記真空ポンプ（２）の回転数である第２目標回転数と、上記真空ポンプ（２）の回転数が上記第１目標回転数に至るまでの上記回転数の変化率である第１回転数変化率と、上記真空ポンプ（２）の回転数が上記第１目標回転数を越えて第２目標回転数に至るまでの上記回転数の変化率である第２回転数変化率と、真空排気が開始されてから上記回転数変化率を第２回転数変化率に切り換えるまでの時間であるステージ切替時間であり、
上記真空ポンプ制御部は、上記回転数信号に基づいて、上記真空ポンプ（２）の回転数を第１回転数変化率で上昇させて上記第１目標回転数に到達するとこの第１目標回転数を上記時間信号に基づく経過時間がステージ切替時間に至るまで保持し、上記経過時間がステージ切替時間に至ると、上記真空ポンプ（２）の回転数を第２回転数変化率で上昇させて上記第２目標回転数に到達するとこの第２目標回転数を保持するようになっていることを特徴とする真空排気装置。
【請求項３】
請求項１に記載の真空排気装置において、
上記真空チャンバ（１１）内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する圧力検出部（１５）と、
真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す時間信号を出力する計時部（１４）を備えると共に、
上記排気条件格納部（１６）に格納されている排気条件は、上記真空チャンバ（１１）内圧力と真空排気が開始されてからの経過時間との関係であり、
上記真空ポンプ制御部は、上記圧力信号に基づく上記真空チャンバ（１１）内圧力と上記時間信号に基づく経過時間との関係が、上記排気条件格納部（１６）に格納された真空チャンバ（１１）内圧力と経過時間との関係になるように、上記真空ポンプ（１２）の回転数を制御するようになっていることを特徴とする真空排気装置。
【請求項４】
請求項１に記載の真空排気装置において、
上記真空ポンプ制御部は、
上記排気条件格納部（６，１６）に格納された排気条件に従って、上記真空ポンプ（２，１２）の回転周波数を設定する回転制御部（７，１７）と、
上記設定された回転周波数に従って、上記真空ポンプ（２，１２）の運転周波数を制御するインバータ（８，１８）を有することを特徴とする真空排気装置。
【請求項５】
一端が真空チャンバ（２１，４１）に接続された管路の他端に真空ポンプ（２２，４２）が接続された真空排気装置において、
上記管路に介設された可変流量弁（２８，４５）と、
初期排気期間における上記真空チャンバ（２１，４１）内の圧力変化が上記真空チャンバ（２１，４１）内に乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、上記真空チャンバ（２１，４１）内の圧力が水蒸気圧である水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように、予め設定された排気条件が格納された排気条件格納部（２６，５０）と、
上記排気条件格納部（２６，５０）に格納された排気条件に従って、上記可変流量弁（２８，４５）の開度を制御する流量制御部（２７；４８，４９）を備えたことを特徴とする真空排気装置。
【請求項６】
請求項５に記載の真空排気装置において、
上記真空チャンバ（２１）内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する圧力検出部（２５）と、
真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す時間信号を出力する計時部（２４）を備えると共に、
上記排気条件格納部（２６）に格納されている排気条件は、上記真空チャンバ（２１）内圧力と真空排気が開始されてからの経過時間との関係であり、
上記流量制御部（２７）は、上記圧力信号に基づく真空チャンバ（２１）内圧力と上記時間信号に基づく経過時間との関係が、上記排気条件格納部（２６）に格納された真空チャンバ（２１）内圧力と経過時間との関係になるように、上記可変流量弁（２８）の開度を制御するようになっていることを特徴とする真空排気装置。
【請求項７】
請求項５に記載の真空排気装置において、
上記真空チャンバ（４１）内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する圧力検出部（４７）と、
上記管路の流量を検出して検出流量を表す流量信号を出力する流量検出部（４４）を備えると共に、
上記排気条件格納部（５０）に格納されている排気条件は、上記水蒸気圧期間の開始圧と、上記真空チャンバ（４１）内圧力が上記開始圧に至るまでの上記管路の流量である第１流量と、上記水蒸気圧期間中における上記管路の流量である第２流量であり、
上記流量制御部（４８，４９）は、上記圧力信号に基づく上記真空チャンバ（４１）内圧力が上記開始圧に到るまでは上記管路の流量が上記第１流量になり、以後は上記管路の流量が上記第２流量になるように、上記可変流量弁（４５）の開度を制御するようになっていることを特徴とする真空排気装置。
【請求項８】
請求項５に記載の真空排気装置において、
上記可変流量弁（２８，４５）が介設されている管路は、上記真空チャンバ（２１，４１）と真空ポンプ（２２，４２）とを接続するメイン管路に両端が接続されると共に、上記メイン管路よりも小径の補助管路であることを特徴とする真空排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等の真空チャンバ内を真空排気する真空排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空チャンバ内を真空排気する真空排気装置として、実開平３−２１５７９号公報，実開平３−２５８７３号公報および特開平３−１６４５８１号公報等がある。このような真空排気装置においては、特に半導体製造装置に適用される場合には、真空排気する際における圧力の急激な変化によって真空チャンバ内に乱流が発生して、ダストが舞い上がるのを抑える必要がある。
【０００３】
そこで、上記実開平３−２１５７９号公報においては、真空チャンバと真空ポンプとを結ぶ管路に流量検出手段と可変流量弁とを介設し、制御器によって流量検出手段からの流量情報に基づいて管路の流量が一定流量になるように可変流量弁の開度を制御している。こうして、排気開始時の流量を押さえて、上記真空チャンバ内に発生する乱流によるダストの舞い上がりを押さえるようにしている。
【０００４】
また、上記実開平３−２５８７３号公報においては、真空チャンバと油回転真空ポンプとを結ぶ管路に流量計を介設し、制御器によって流量計からの流量情報に基づいて管路の流量が一定流量になるように油回転真空ポンプの回転数を制御している。こうして、排気開始時の流量を押さえて、乱流によるダストの舞い上がりを押さえるようにしている。
【０００５】
また、上記特開平３−１６４５８１号公報においては、真空室とロータリー真空ポンプとを結ぶ主排気ラインに圧力感応型流量調整弁が介設されたバイパスラインを設けて、排気開始時には上記バイパスラインを介して排気するようにしている。したがって、排気の極初期時においては、圧力感応型流量調整弁は最大に絞られて排気圧の変化が緩やかになる。こうして、排気開始時の乱流によるダストの舞い上がりを押さえている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記実開平３−２１５７９号公報および実開平３−２５８７３号公報においては、管路の流量が一定流量になるようにしている。これは、乱流によるダストの舞い上がりを防ぐためであるが、ダストの舞い上がりは水分の蒸発時における沸騰によっても発生する。したがって、この沸騰の発生も同時に防ぐためには、管路の流量をさらに抑えた排気が必要となり全体の排気時間短縮には顕著な効果が得られないという問題がある。
【０００７】
また、上記特開平３−１６４５８１号公報においては、ダストの舞い上がりの原因は排気開始時に発生する乱流によるものとの考えに基づいて、排気の極初期時における排気圧の変化が緩やかになるようにしている。ところが、ダストの舞い上がりは水分の蒸発時における沸騰によっても発生する。したがって、排気の極初期時におけるダストの舞い上がりは防止できるものの、水蒸気圧付近（３０Ｔｏｒｒ〜５Ｔｏｒｒ）でのダストの舞い上がりは防止できないという問題がある。
【０００８】
そこで、この発明の目的は、排気開始時および水蒸気圧付近でのダストの舞い上がりを防止し、且つ、排気時間の短縮を図ることができる真空排気装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、一端が真空チャンバに接続された管路の他端に真空ポンプが接続された真空排気装置において、初期排気期間における上記真空チャンバ内の圧力変化が上記真空チャンバ内に乱流が生じない程度の圧力変化になるように，さらに，上記真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧である水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように，予め設定された排気条件が格納された排気条件格納部と、上記排気条件格納部に格納された排気条件に従って，上記真空ポンプの回転数を制御する真空ポンプ制御部を備えたことを特徴としている。
【００１０】
上記構成によれば、ダストが舞い上がり易い初期排気期間においては真空チャンバ内に乱流が生じないように、さらに、水蒸気圧期間においては水分の沸騰が生じないように、上記真空チャンバ内が真空排気される。こうして、初期排気期間のみならず水蒸気圧期間においてもダストの舞い上がりが防止される。
【００１１】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明の真空排気装置において、上記真空ポンプの回転数を検出して検出回転数を表す回転数信号を出力する回転数検出部と、真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す時間信号を出力する計時部を備えると共に、上記排気条件格納部に格納されている排気条件は、到達圧力が水蒸気圧となる上記真空ポンプの回転数である第１目標回転数と，到達圧力が真空圧となる上記真空ポンプの回転数である第２目標回転数と，上記真空ポンプの回転数が上記第１目標回転数に至るまでの回転数の変化率である第１回転数変化率と，上記真空ポンプの回転数が上記第１目標回転数を越えて第２目標回転数に至るまでの回転数の変化率である第２回転数変化率と，真空排気が開始されてから上記回転数変化率を第２回転数変化率に切り換えるまでの時間であるステージ切替時間であり、上記真空ポンプ制御部は、上記回転数信号に基づいて、上記真空ポンプの回転数を第１回転数変化率で上昇させて上記第１目標回転数に到達するとこの第１目標回転数を上記時間信号に基づく経過時間がステージ切替時間に至るまで保持し、上記経過時間がステージ切替時間に至ると、上記真空ポンプの回転数を第２回転数変化率で上昇させて上記第２目標回転数に到達するとこの第２目標回転数を保持するようになっていることを特徴としている。
【００１２】
上記構成によれば、真空ポンプの回転数が、到達圧力が水蒸気圧となる第１目標回転数に至るまでは第１回転数変化率で上昇されて、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化をスムーズにして乱流の発生が抑えられる。さらに、真空ポンプの回転数が上記第１目標回転数に至ると、この第１目標回転数が保持されて、水蒸気圧期間における真空チャンバ内の圧力変化を緩やかにして水分の沸騰が抑えられる。こうして、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりが防止される。
【００１３】
また、請求項３に係る発明は、請求項１に係る発明の真空排気装置において、上記真空チャンバ内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する圧力検出部と、真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す時間信号を出力する計時部を備えると共に、上記排気条件格納部に格納されている排気条件は，上記真空チャンバ内圧力と真空排気が開始されてからの経過時間との関係であり、上記真空ポンプ制御部は、上記圧力信号に基づく上記真空チャンバ内圧力と上記時間信号に基づく経過時間との関係が上記排気条件格納部に格納された真空チャンバ内圧力と経過時間との関係になるように、上記真空ポンプの回転数を制御するようになっていることを特徴としている。
【００１４】
上記構成によれば、真空チャンバ内の計測圧力と真空排気が開始されてからの実経過時間とが、初期排気期間においては上記真空チャンバ内に乱流が生じないように、さらに、水蒸気圧期間においては水分の沸騰が生じないように、予め設定された上記真空チャンバ内圧力と経過時間との関係になるように、真空ポンプの回転数が制御される。こうして、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりが防止される。
【００１５】
また、請求項４に係る発明は、請求項１に係る発明の真空排気装置において、上記真空ポンプ制御部は、上記排気条件格納部に格納された排気条件に従って，上記真空ポンプの回転周波数を設定する回転制御部と、上記設定された回転周波数に従って，上記真空ポンプの運転周波数を制御するインバータを有することを特徴としている。
【００１６】
また、請求項５に係る発明は、一端が真空チャンバに接続された管路の他端に真空ポンプが接続された真空排気装置において、上記管路に介設された可変流量弁と、初期排気期間における上記真空チャンバ内の圧力変化が上記真空チャンバ内に乱流が生じない程度の圧力変化になるように，さらに，上記真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧である水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように，予め設定された排気条件が格納された排気条件格納部と、上記排気条件格納部に格納された排気条件に従って，上記可変流量弁の開度を制御する流量制御部を備えたことを特徴としている。
【００１７】
上記構成によれば、ダストが舞い上がり易い初期排気期間においては真空チャンバ内に乱流が生じないように、さらに、水蒸気圧期間においては水分の沸騰が生じないように、可変流量弁の開度が制御されて上記真空チャンバ内が真空排気される。こうして、初期排気期間のみならず水蒸気圧期間においてもダストの舞い上がりが防止される。
【００１８】
また、請求項６に係る発明は、請求項５に係る発明の真空排気装置において、上記真空チャンバ内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する圧力検出部と、真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す時間信号を出力する計時部を備えると共に、上記排気条件格納部に格納されている排気条件は，上記真空チャンバ内圧力と真空排気が開始されてからの経過時間との関係であり、上記流量制御部は、上記圧力信号に基づく真空チャンバ内圧力と上記時間信号に基づく経過時間との関係が上記排気条件格納部に格納された真空チャンバ内圧力と経過時間との関係になるように、上記可変流量弁の開度を制御するようになっていることを特徴としている。
【００１９】
上記構成によれば、真空チャンバ内の計測圧力と真空排気が開始されてからの実経過時間とが、初期排気期間においては上記真空チャンバ内に乱流が生じないように、さらに、水蒸気圧期間においては水分の沸騰が生じないように、予め設定された上記真空チャンバ内圧力と経過時間との関係になるように、可変流量弁の開度が制御される。こうして、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりが防止される。
【００２０】
また、請求項７に係る発明は、請求項５に係る発明の真空排気装置において、上記真空チャンバ内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する圧力検出部と、上記管路の流量を検出して検出流量を表す流量信号を出力する流量検出部を備えると共に、上記排気条件格納部に格納されている排気条件は、上記水蒸気圧期間の開始圧と，上記真空チャンバ内圧力が上記開始圧に至るまでの上記管路の流量である第１流量と，上記水蒸気圧期間中における上記管路の流量である第２流量であり、上記流量制御部は、上記圧力信号に基づく上記真空チャンバ内圧力が上記開始圧に到るまでは上記管路の流量が上記第１流量になり、以後は上記管路の流量が上記第２流量になるように、上記可変流量弁の開度を制御するようになっていることを特徴としている。
【００２１】
上記構成によれば、可変流量弁の開度が、真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧期間の開始圧に至るまでは管路の流量が第１流量になるように制御されて、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化をスムーズにして乱流の発生が抑えられる。さらに、上記真空チャンバ内の圧力が上記開始圧に至ると、上記可変流量弁の開度が、管路の流量が第２流量になるように制御されて、水蒸気圧期間における真空チャンバ内の圧力変化を緩やかにして水分の沸騰が抑えられる。
こうして、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりが防止される。
【００２２】
また、請求項８に係る発明は、請求項５に係る発明の真空排気装置において、上記可変流量弁が介設されている管路は、上記真空チャンバと真空ポンプとを接続するメイン管路に両端が接続されると共に、上記メイン管路より小径の補助管路であることを特徴としている。
【００２３】
上記構成によれば、可変流量弁の開度制御によって、応答性良く真空チャンバ内の圧力が制御される。さらに、上記真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧範囲を通過するまでは上記補助管路を介した真空排気を行い、上記真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧範囲を通過した後は、上記メイン管路を介した真空排気を行うことによって、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がり防止と真空排気時間の短縮とが実現される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
＜第１実施の形態＞
図１は本実施の形態の真空排気装置における構成図である。
真空チャンバ１と真空ポンプ２とを開閉弁Ｖ１が介設された管路３で接続している。タイマ４は、開閉弁Ｖ１が開放されて真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す計時信号を出力する。回転数検出部５は、真空ポンプ２の回転数を検出して回転数を表す回転数信号を出力する。
回転制御部７は、排気条件格納部６に格納された種々排気条件に従って真空ポンプ２の最適回転周波数を設定し、この設定された最適回転周波数を表す周波数信号を上記計時信号および回転数信号に基づいてインバータ８に送出する。そうすると、インバータ８は、上記周波数信号に基づいて、真空ポンプ２の運転周波数を制御する。
【００２５】
ここで、上記真空ポンプ２における回転数と到達圧力との関係は、図２に示すように、回転数が２３４００ｒｐｍで到達圧力は水蒸気圧である５Ｔｏｒｒとなり、３００００ｒｐｍで真空圧である１０−５Ｔｏｒｒとなる。
そこで、本実施の形態においては、図３（ｂ）に示すように、真空ポンプ２の回転数を０ｒｐｍ（排気速度０ｌ／ｍｉｎ）から変化率１００００ｒｐｍ／ｍｉｎでスムーズに上げて（すなわち、排気速度を上げて）初期排気時の乱流を防止する。こうして、真空ポンプ２の回転数が２３４００ｒｐｍ（到達圧力が５Ｔｏｒｒ）に到達するとその回転数２３４００ｒｐｍを保持して真空チャンバ１内の圧力変化を抑えて水分の沸騰を防止し、ダストの舞い上がりを防止する。そして、上記真空チャンバ１内の水分が蒸発する時間が経過した後は、ダストの舞い上がりは発生しないので高い変化率２００００ｒｐｍ／ｍｉｎで回転数を上げて排気時間の短縮を図る。
【００２６】
このように、上記真空チャンバ１内圧力が水蒸気圧期間における最低圧近傍になるまでの第１ステージとそれ以後の第２ステージとの２つのステージに分けて真空ポンプ２の運転周波数を制御することによって、排気開始時および水蒸気圧付近でのダストの舞い上がりを効果的に防止すると共に、排気時間の短縮を図るのである。
【００２７】
上述のような真空ポンプ２の回転数パターンを指定するために、上記排気条件格納部６には、図４に示すような第１ステージにおける真空ポンプ２の目標回転数Ａ１，回転数変化率Ｂ１およびステージ切替時間Ｃ１と、第２ステージにおける目標回転数Ａ２，回転数変化率Ｂ２およびステージ切替時間Ｃ２と、初期回転数Ａ０とを、上記排気条件として格納しておくのである。
【００２８】
図５は、上記回転制御部７によって行われる真空ポンプ２の回転数制御動作のフローチャートである。以下、図５のフローチャートに従って、上記構成を有する真空排気装置の動作について詳細に説明する。
【００２９】
ステップＳ１で、上記排気条件格納部６から図４に示す排気条件がＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）（図示せず）にロードされる。
ステップＳ２で、上記ＲＡＭから初期回転数Ａ０＝０ｒｐｍが読み出されて真空ポンプ２の回転周波数に変換される。そして、この初期回転周波数を表す周波数信号がインバータ８に出力される。こうして、真空ポンプ２が初期回転数Ａ０で回転される。
ステップＳ３で、例えば本真空排気装置全体の制御を司る真空排気制御部（図示せず）からの弁制御信号に基づいて、上記開閉弁Ｖ１が開放されているか否かが判別される。その結果、開放されていればステップＳ４に進んで真空排気が開始される。
【００３０】
ステップＳ４で、上記ＲＡＭから第１ステージにおける回転数変化率Ｂ１＝１００００ｒｐｍ／ｍｉｎが読み出されて真空ポンプ２の回転周波数の変化に変換され、この回転周波数の変化を表す周波数信号が順次インバータ８に出力される。こうして、真空ポンプ２の回転数が回転数変化率Ｂ１で上昇されて真空チャンバ１内が真空排気される。
ステップＳ５で、上記タイマ４がセットされて、真空排気が開始されてからの経過時間の計時が開始される。
【００３１】
ステップＳ６で、上記回転数検出部５からの回転数信号に基づく真空ポンプ２の回転数が、上記ＲＡＭに格納されている第１ステージの目標回転数Ａ１＝２３４００ｒｐｍに到達したか否か判別される。その結果、到達していればステップＳ７に進む。
ステップＳ７で、上記目標回転数Ａ１に相当する周波数信号がインバータ８に出力され続けて、真空ポンプ２が目標回転数Ａ１で等速運転される。
ステップＳ８で、上記タイマ４からの計時信号に基づく上記経過時間が、上記ＲＡＭに格納されている第１ステージのステージ切替時間Ｃ１＝６ｍｉｎに達したか否かが判別される。その結果、達していればステップＳ９に進む。
【００３２】
ステップＳ９で、上記ＲＡＭから第２ステージにおける回転数変化率Ｂ２＝２００００ｒｐｍ／ｍｉｎが読み出されて真空ポンプ２の回転周波数の変化に変換され、この回転周波数の変化を表す周波数信号が順次インバータ８に出力される。こうして、真空ポンプ２の回転数が回転数変化率Ｂ２で上昇されて、第１ステージから第２ステージに切り替わるのである。
ステップＳ１０で、上記回転数検出部５からの回転数信号に基づく真空ポンプ２の回転数が、上記ＲＡＭに格納されている第２ステージの目標回転数Ａ２＝３００００ｒｐｍに到達したか否か判別される。その結果、到達していればステップＳ１１に進む。
【００３３】
ステップＳ１１で、上記目標回転数Ａ２に相当する周波数信号がインバータ８に出力され続けて、真空ポンプ２が目標回転数Ａ２で等速運転される。
ステップＳ１２で、上記タイマ４からの計時信号に基づく上記経過時間が、上記ＲＡＭに格納されている第２ステージのステージ切替時間Ｃ２＝１０ｍｉｎに達したか否かが判別される。その結果、達していれば回転数制御動作を終了する。
【００３４】
このような真空ポンプ２の回転数制御が実行された際における真空チャンバ１内の圧力変化は、図３（ａ）に示すように、ダストの舞い上がりが発生し易い初期排気期間Ａおよび水蒸気圧期間Ｂにおいて緩やかになる。その結果、期間Ａにおける真空チャンバ１内での乱流の発生が抑えられる一方、期間Ｂにおける真空チャンパ１内での水分の沸騰が防止されて、ダストの舞い上がりが防止されるのである。
【００３５】
上述のごとく、本実施の形態においては、初期排気期間Ａおよび水蒸気圧期間Ｂにおける真空チャンバ１内の圧力変化が緩やかになるように予め設定された真空ポンプ２の目標回転数Ａ１・Ａ２，回転数変化率Ｂ１・Ｂ２およびステージ切替時間Ｃ１・Ｃ２を、排気条件格納部６に格納しておく。そして、回転制御部７およびインバータ８によって、回転数変化率Ｂ１・Ｂ２で真空ポンプ２の回転数を上げて目標回転数Ａ１・Ａ２に至った後は等速運転を行い、ステージ切替時間Ｃ１・Ｃ２が経過すると次のステージへの切り換えまたは回転数制御動作を終了するようにしている。
したがって、上記両期間Ａ，Ｂにおける真空チャンバ１内での乱流の発生もしくは水分の沸騰を抑えて、ダストの舞い上がりを防止できるのである。また、回転数変化率Ｂ２および各ステージ切替時間Ｃ１，Ｃ２を最適に設定することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
【００３６】
＜第２実施の形態＞
図６は本実施の形態の真空排気装置における構成図である。
真空チャンバ１１と真空ポンプ１２とを接続する管路１３には、開閉弁Ｖ２を介設している。タイマ１４は、上記開閉弁Ｖ２が開放されて真空排気が開始されてからの経過時間を計時して経過時間を表す計時信号を出力する。圧力検出部１５は、上記真空チャンバ１１内の圧力を検出して検出圧力を表す圧力信号を出力する。
回転制御部１７は、排気条件格納部１６に格納された排気条件に従って真空ポンプ１２の最適回転周波数を上記計時信号および圧力信号に基づいて設定し、この設定された最適回転周波数を表す周波数信号をインバータ１８に送出する。そうすると、インバータ１８は、上記周波数信号に基づいて、真空ポンプ１２の運転周波数を制御する。
【００３７】
本実施の形態においては、図３（ａ）に示すような真空チャンバ１１内圧力の時間変化を実現するために、図７に示すような経過時間と真空チャンバ１１内の圧力との関係を表すテーブル、初期回転数Ａ０、および、排気時間Ｃを、排気条件格納部１６に格納しておくのである。そして、回転制御部１７は、上記圧力信号に基づく真空チャンバ１１内圧力の時間変化が排気条件格納部１６に格納されたパターンになるように真空ポンプ１２の回転数を制御するのである。
尚、図７に示すような経過時間と真空チャンバ１１内の圧力との関係は、図３（ａ）と同様に初期排気時の圧力変化をスムーズにして乱流の発生を防止するために、真空排気の経過時間が０ｍｉｎ〜３ｍｉｎの初期排気期間における圧力変化ΔＰが４６０Ｔｏｒｒになるように設定している。さらに、上記水蒸気圧付近での圧力変化を緩やかにして水分の沸騰を防止するために、真空チャンバ１１内の圧力が３０Ｔｏｒｒ〜５Ｔｏｒｒの水蒸気圧期間における時間変化ΔＴが２ｍｉｎになるように設定している。
【００３８】
図８は、上記回転制御部１７によって行われる真空ポンプ１２の回転数制御動作のフローチャートである。以下、図８のフローチャートに従って、上記構成を有する真空排気装置の動作について詳細に説明する。
【００３９】
ステップＳ２１で、上記排気条件格納部１６から図７に示すような排気条件がＲＡＭにロードされる。
ステップＳ２２で、上記ＲＡＭから初期回転数Ａ０＝０ｒｐｍが読み出されて真空ポンプ１２の回転周波数に変換される。そして、この初期回転周波数を表す周波数信号がインバータ１８に出力される。こうして、真空ポンプ１２が初期回転数Ａ０で回転される。
ステップＳ２３で、上記開閉弁Ｖ２が開放されているか否かが判別される。その結果、開放されていればステップＳ２４に進んで真空排気が開始される。
ステップＳ２４で、上記タイマ１４がセットされて、真空排気が開始されてからの経過時間の計時が開始される。
【００４０】
ステップＳ２５で、上記タイマ１４からの時間信号に基づく上記経過時間が排気条件格納部１６に格納されたテーブルにおける経過時間に達すると、圧力検出部１５からの圧力信号が取り込まれる。
ステップＳ２６で、上記圧力信号に基づく真空チャンバ１１内の圧力が、上記ＲＡＭに格納されている対応する経過時間における設定圧力以下であるか否か判別される。その結果、以下であればステップＳ２７に進み、そうでなければステップＳ２８に進む。
【００４１】
ステップＳ２７で、上記インバータ１８に出力されている周波数信号が、この周波数信号に基づく回転周波数よりも予め設定されている所定周波数分だけ低い回転周波数を表す周波数信号に切り換えられる。こうして、真空チャンバ１１内の圧力が上記設定圧力になるように、真空ポンプ１２の回転数が低下される。そうした後、ステップＳ２９に進む。
ステップＳ２８で、上記インバータ１８に出力されている周波数信号が、現在の回転周波数よりも上記所定周波数分だけ高い回転周波数を表す周波数信号に切り換えられる。こうして、上記真空チャンバ１１内の圧力が上記設定圧力になるように、真空ポンプ１２の回転数が上昇される。
ステップＳ２９で、上記タイマ１４からの計時信号に基づく上記経過時間が、上記ＲＡＭに格納されている排気時間Ｃ＝１０ｍｉｎに達したか否かが判別される。その結果、達していれば回転数制御動作を終了する。一方、達していなければ上記ステップＳ２５に戻って、次の経過時間における真空チャンバ１１内の圧力が上記設定圧力以下か否かの判定に移行する。
そして、上記経過時間が排気時間Ｃ＝１０ｍｉｎに達すると回転数制御動作を終了するのである。
【００４２】
上述のごとく、本実施の形態においては、ダストの舞い上がりが発生し易い初期排気期間および水蒸気圧期間における真空チャンバ１１内の圧力変化が緩やかになるように予め設定された経過時間と真空チャンバ１１内圧力との関係を、上記排気条件格納部１６に格納する。そして、回転制御部１７およびインバータ１８によって、真空チャンバ１１内圧力の時間変化が上記設定圧力の変化パターンになるように真空ポンプ１２の回転数を制御するようにしている。
したがって、上記両期間における乱流の発生もしくは水分の沸騰を抑えて、ダストの舞い上がりを防止できるのである。また、上記両期間以外の期間における真空チャンバ１１内の圧力変化を大きく設定することによって、排気時間の短縮を図ることができるのである。
【００４３】
＜第３実施の形態＞
図９は本実施の形態の真空排気装置における構成図である。
真空チャンバ２１，真空ポンプ２２，タイマ２４，圧力検出部２５および排気条件格納部２６は、図６に示す真空チャンバ１１，真空ポンプ１２，タイマ１４，圧力検出部１５および排気条件格納部１６と同じ構成を有して同様に動作する。
管路２３には、可変コンダクタンスバルブ２８が介設されている。
バルブコンダクタンス制御部２７は、排気条件格納部２６に格納された図７に示すような排気条件（但し、初期回転数Ａ０は格納されていない）に従って、圧力検出部２５からの圧力信号に基づいて可変コンダクタンスバルブ２８のコンダクタンスを制御する。
【００４４】
図１０は、上記バルブコンダクタンス制御部２７によって行われるバルブコンダクタンス制御動作のフローチャートである。以下、図１０のフローチャートに従って、上記構成を有する真空排気装置の動作について詳細に説明する。
【００４５】
ステップＳ３１で、上記排気条件格納部２６から排気条件がＲＡＭにロードされる。
ステップＳ３２で、例えば本真空排気装置全体の制御を行う真空排気制御部（図示せず）に対して真空ポンプ２２の駆動が指令された後タイマ２４がセットされて、真空排気が開始されてからの経過時間の計時が開始される。
【００４６】
ステップＳ３３で、上記タイマ２４からの時間信号に基づいて圧力検出部２５からの圧力信号が取り込まれる。
ステップＳ３４で、上記圧力信号に基づく真空チャンバ２１内の圧力が設定圧力以下であるか否か判別される。その結果、以下であればステップＳ３５に進み、そうでなければステップＳ３６に進む。
【００４７】
ステップＳ３５で、上記可変コンダクタンスバルブ２８のコンダクタンスを予め設定されている所定値だけ下げる制御信号が可変コンダクタンスバルブ２８に出力される。こうして、真空チャンバ２１内の圧力が上記設定圧力になるように、可変コンダクタンスバルブ２８のコンダクタンスが低下される。そうした後、ステップＳ３７に進む。
ステップＳ３６で、上記可変コンダクタンスバルブ２８のコンダクタンスを上記所定値だけ上げる制御信号が可変コンダクタンスバルブ２８に出力される。こうして、真空チャンバ２１内の圧力が上記設定圧力になるように、可変コンダクタンスバルブ２８のコンダクタンスが上昇される。
ステップＳ３７で、上記タイマ２４からの計時信号に基づく上記経過時間が排気時間Ｃ＝１０ｍｉｎに達したか否かが判別される。その結果、達していればバルブコンダクタンス制御動作を終了する。一方、達していなければ上記ステップＳ３３に戻って、次の経過時間における真空チャンバ２１内の圧力が上記設定圧力以下か否かの判定に移行する。
そして、上記経過時間が排気時間Ｃ＝１０ｍｉｎに達するとバルブコンダクタンス制御動作を終了するのである。
【００４８】
このように、本実施の形態においては、ダストの舞い上がりが発生しやすい初期排気期間および水蒸気圧期間における真空チャンバ２１内の圧力変化が緩やかになるように予め設定された経過時間と真空チャンバ２１内の圧力との関係を上記排気条件格納部２６に格納し、バルブコンダクタンス制御部２７によって、真空チャンバ２１内圧力の時間変化が上記設定圧力の変化パターンになるように可変コンダクタンスバルブ２８のコンダクタンスを制御するようにしている。
したがって、上記両期間における排気流の乱流の発生もしくは水分の沸騰を抑えて、ダストの舞い上がりが防止されるのである。また、上記両期間以外の期間における真空チャンバ１１内の圧力変化を大きく設定することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
【００４９】
図９に示す真空排気装置においては、可変コンダクタンスバルブ２８を真空チャンバ２１と真空ポンプ２２とを接続する大径のメイン管路２３に設けているために、真空チャンバ２１の内圧の制御応答が悪い。
そこで、図１１に示すように、真空チャンバ２１と真空ポンプ２２とを開閉弁３１が介設されたメイン管路３０で接続する。また、可変コンダクタンスバルブ３３と開閉弁３４とが直列に介設されてメイン管路３０より小さい口径を有する補助管路３２によって、メイン管路３０における開閉弁３１の上流と下流とを接続する。そして、補助管路３２に介設された可変コンダクタンスバルブ３３のコンダクタンスを上記バルブコンダクタンス制御部２７によって制御するように真空排気装置を構成するのである。こうすることによって、真空チャンバ２１の内圧の制御応答を改善できる。
【００５０】
＜第４実施の形態＞
図１２は本実施の形態の真空排気装置における構成図である。
真空チャンバ４１と真空ポンプ４２とを開閉弁Ｖ３が介設されたメイン管路４３で接続し、流量検出部４４，可変コンダクタンスバルブ４５および開閉弁Ｖ４が直列に介設されてメイン管路４３より小さい口径を有する補助管路４６で、メイン管路４３における開閉弁Ｖ３の上流と下流とを接続している。
上記流量検出部４４は、補助管路４６の流量を検出して検出流量を表す流量信号を出力する。圧力検出部４７は、真空チャンバ４１内の圧力を検出して圧力信号を出力する。
【００５１】
バルブコンダクタンス制御部４９は、上記流量信号に基づいて可変コンダクタンスバルブ４５のコンダクタンスを制御する。
真空排気制御部４８は、排気条件格納部５０に格納された排気条件に従って、圧力検出部４７からの圧力信号に基づいて、真空ポンプ４２の駆動と開閉弁Ｖ３，Ｖ４の開閉制御とバルブコンダクタンス制御部４９への動作指令とを行って、本真空排気装置による真空排気動作を制御する。
【００５２】
本実施の形態においては、図３（ａ）に示すような真空チャンバ４１内圧力の時間変化を実現するために、図１３に示すように真空排気動作を行う。
すなわち、上記真空チャンバ４１内の圧力が水蒸気圧期間の開始圧Ｐ１＝３０Ｔｏｒｒに至るまでは、流量Ｑ１＝２０ＳＬＭで補助管路４６を介して真空排気を行う。さらに、水蒸気圧期間の終了圧Ｐ２＝５Ｔｏｒｒに至るまでは、流量Ｑ２＝３ＳＬＭで補助管路４６を介してスロー排気を行う。そして、以後はメイン管路４３を介して真空排気を行うのである。
【００５３】
そして、上述のような真空排気動作を実現するために、上記排気条件格納部５０には、図１２に示すように、流量Ｑ１＝２０ＳＬＭ、流量Ｑ２＝３ＳＬＭ、開始圧Ｐ１＝３０Ｔｏｒｒ、終了圧Ｐ２＝５Ｔｏｒｒ、真空排気終了圧Ｐ３＝３×１０−３Ｔｏｒｒ、Ｐ１でＱ１→Ｑ２の切り換えを行うこと、Ｐ２で補助管路４６→メイン管路４３の切り換えを行うことを、上記排気条件として格納しておくのである。
【００５４】
図１４は、上記真空排気制御部４８およびバルブコンダクタンス制御部４９によって行われる真空排気制御動作のフローチャートである。以下、図１４のフローチャートに従って、上記構成を有する真空排気装置の動作について詳細に説明する。
尚、上記真空排気制御動作のフローチャートにおけるステップＳ４４，Ｓ４７はバルブコンダクタンス制御部４９による動作であり、その他のステップは真空排気制御部４８による動作である。
【００５５】
ステップＳ４１で、上記排気条件格納部５０から排気条件がＲＡＭにロードされる。
ステップＳ４２で、上記開閉弁Ｖ３，Ｖ４が共に閉鎖される。
ステップＳ４３で、上記開閉弁Ｖ４が開放される。
ステップＳ４４で、上記流量検出部４４からの流量信号に基づく流量が設定流量Ｑ１＝２０ＳＬＭになるように、可変コンダクタンスバルブ４５のコンダクタンスが制御される。こうして、補助管路４６の流量がＱ１に設定されて真空排気が開始される。
【００５６】
ステップＳ４５で、上記圧力検出部４７からの圧力信号に基づいて、真空チャンバ４１内の圧力が水蒸気圧期間の開始圧Ｐ１＝３０Ｔｏｒｒに到達したか否かが判別される。その結果、到達していればステップＳ４６に進む。
ステップＳ４６で、上記バルブコンダクタンス制御部４９に流量切り換えが指令される。
ステップＳ４７で、上記流量検出部４４からの流量信号に基づく流量が設定流量Ｑ２＝３ＳＬＭになるように、可変コンダクタンスバルブ４５のコンダクタンスが制御される。こうして、補助管路４６の流量がＱ２（＜Ｑ１）に設定されて、水分が蒸発する際における沸騰の発生が防止される。こうして、ダストの舞い上がりが防止される。
【００５７】
ステップＳ４８で、上記圧力検出部４７からの圧力信号に基づいて、真空チャンバ４１内の圧力が水蒸気圧期間の終了圧Ｐ２＝５Ｔｏｒｒに到達したか否かが判別される。その結果、到達していればステップＳ４９に進む。
ステップＳ４９で、上記開閉弁Ｖ３が開放される。
ステップＳ５０で、上記開閉弁Ｖ４が閉鎖される。こうして、排気管路が補助管路４６からメイン管路４３に切り換えられる。
ステップＳ５１で、上記圧力検出部４７からの検出信号に基づいて、真空チャンバ４１内の圧力が真空排気終了圧Ｐ３＝３×１０−３Ｔｏｒｒに到達したか否かが判別される。その結果、到達していれば真空排気制御動作を終了する。
【００５８】
このように、本実施の形態においては、ダストの舞い上がりが発生し易い初期排気期間および水蒸気圧期間における真空チャンバ４１内の圧力変化が緩やかになるように、補助管路４６の流量Ｑ１，Ｑ２と、水蒸気圧期間の開始圧Ｐ１および終了圧Ｐ２と、開始圧Ｐ１で流量Ｑ１から流量Ｑ２に切り換えること、終了圧Ｐ２で排気管路を補助管路４６からメイン管路４３に切り換えることを、排気条件格納部１６に格納しておく。そして、真空排気制御部４８およびバルブコンダクタンス制御部４９によって、圧力検出部４７からの検出信号に基づく真空チャンバ４１内の圧力が開始圧Ｐ１に到達すると補助管路４６の流量をＱ１からＱ２に切り換え、終了圧Ｐ２に到達すると排気管路を補助管路４６からメイン管路４３に切り換えるようにしている。
したがって、排気開始期間における排気流の乱流、および、水蒸気圧期間における水分の沸騰を抑えて、ダストの舞い上がりを防止できるのである。また、上記水蒸気圧期間が過ぎた後は、補助管路４６より大径のメイン管路４３で排気することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
【００５９】
尚、第１，第２実施の形態においては、回転制御部７，１７は真空ポンプ２，１２の最適回転周波数を設定し、この設定された最適回転周波数に従ってインバータ８，１８によって真空ポンプ２，１２の運転周波数を制御することによって、真空ポンプ２，１２の回転数を制御するようにしている。しかしながら、この発明における真空ポンプ２，１２の回転数制御はこれに限定されるものではなく、例えば真空ポンプ２，１２の電動機に供給される電圧あるいは電流を制御しても差し支えない。
また、この発明における回転数制御動作，バルブコンダクタンス制御動作および真空排気制御動作のアルゴリズムは、図５，図８，図１０および図１４に示すフローチャートに限定されるものではない。
また、上記各排気条件格納部６，１６，２６，５０に格納される排気条件の内容は、上記各実施の形態に記載されている内容に限定されるものではない。
【００６０】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項１に係る発明の真空排気装置は、真空ポンプ制御部によって、排気条件格納部に格納されている排気条件に従って、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化が乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように真空ポンプの回転数を制御するので、ダストが舞い上がり易い初期排気期間においては乱流が生じないように、さらに、水蒸気圧期間においては水分の沸騰が発生しないように、上記真空チャンバ内が真空排気される。
したがって、初期排気期間のみならず水蒸気圧期間においてもダストの舞い上がりを防止できる。さらに、初期排気期間および水蒸気圧期間以外のダストが舞い上がりにくい期間における真空ポンプの回転数を上げることによって、ダストの舞い上がりを防止しつつ排気時間の短縮を図ることができるのである。
【００６１】
また、請求項２に係る発明の真空排気装置における真空ポンプ制御部は、真空ポンプの回転数を第１回転数変化率で上昇させるので、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化をスムーズにして乱流の発生を抑えることができる。
さらに、回転数検出部からの回転数信号に基づく真空ポンプの実回転数が第１目標回転数（到達圧力が水蒸気圧となる回転数）に到達すると、この第１目標回転数を保持するので、水蒸気圧期間における真空チャンバ内の圧力変化を緩やかにして水分の沸騰を抑えることができる。
さらに、計時部からの時間信号に基づく経過時間がステージ切替時間に到達すると、上記真空ポンプの回転数を第２回転数変化率で上昇させるので、上記第２回転数変化率を上記第１回転数変化率よりも大きく設定することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
すなわち、この発明によれば、容易に、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりを防止しつつ排気時間の短縮を図ることができる。
【００６２】
また、請求項３に係る発明の真空排気装置における真空ポンプ制御部は、圧力検出部からの圧力信号に基づく真空チャンバ内の実圧力と計時部からの時間信号に基づく実経過時間との関係が、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化が乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように、予め設定された真空チャンバ内圧力と経過時間との関係になるように、真空ポンプの回転数を制御するので、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりを防止できる。
さらに、上記初期排気期間および水蒸気圧期間以外の期間における上記真空チャンバ内の圧力変化を大きく設定することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
【００６３】
また、請求項４に係る発明の真空排気装置における真空ポンプ制御部は、排気条件格納部に格納された排気条件に従って真空ポンプの回転周波数を設定する回転制御部と、上記設定された回転周波数に従って上記真空ポンプの運転周波数を制御するインバータを有するので、排気条件格納部に格納されている排気条件に従った真空ポンプの回転数制御を、容易に且つ正確に行うことができる。
【００６４】
また、請求項５に係る発明の真空排気装置は、流量制御部によって、排気条件格納部に格納された排気条件に従って、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化が乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように、可変流量弁の開度を制御するので、ダストが舞い上がり易い初期排気期間および水蒸気圧期間においては乱流あるいは水分の沸騰が生じないように上記真空チャンバ内が真空排気される。
したがって、初期排気期間のみならず水蒸気圧期間においてもダストの舞い上がりを防止できる。さらに、初期排気期間および水蒸気圧期間以外のダストが舞い上がりにくい期間における上記可変流量弁の開度を大きくすることによって、ダストの舞い上がりを防止しつつ排気時間の短縮を図ることができるのである。
【００６５】
また、請求項６に係る発明の真空排気装置における流量制御部は、圧力検出部からの圧力信号に基づく真空チャンバ内の実圧力と計時部からの時間信号に基づく実経過時間との関係が、初期排気期間における上記真空チャンバ内の圧力変化が乱流が生じない程度の圧力変化になるように、さらに、水蒸気圧期間においては沸騰が生じない程度の圧力変化で水分を蒸発させるように、設定された上記真空チャンバ内圧力と経過時間との関係になるように可変流量弁の開度を制御するので、初期排気期間および水蒸気圧期間におけるダストの舞い上がりを防止できる。
さらに、上記初期排気期間および水蒸気圧期間以外の期間における上記真空チャンバ内の圧力変化を大きく設定することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
【００６６】
また、請求項７に係る発明の真空排気装置における流量制御部は、圧力検出部からの圧力信号に基づく真空チャンバ内圧力が水蒸気圧期間の開始圧に至るまでは、初期排気期間において乱流が生じない圧力変化になるように設定された第１流量になるように可変流量弁の開度を制御するので、初期排気期間における真空チャンバ内の圧力変化をスムーズにして乱流の発生を抑えることができる。
さらに、上記真空チャンバ内の圧力が開始圧に至ると、水蒸気圧期間において水分の沸騰が生じない程度の圧力変化になるように設定された第２流量になるように上記可変流量弁の開度が制御されるので、水蒸気圧期間における真空チャンバ内の圧力変化を緩やかにして沸騰の発生を抑えることができる。
さらに、上記水蒸気圧期間以降の期間における上記真空チャンバ内の圧力変化を大きく設定することによって、排気時間の短縮を図ることができる。
【００６７】
また、請求項８に係る発明の真空排気装置における可変流量弁が介設されている管路は、真空チャンバと真空ポンプとを接続するメイン管路に両端が接続されて上記メイン管路より小さい径を有する補助管路であるので、上記可変流量弁の開度制御によって、応答性良く上記真空チャンバ内の圧力を制御できる。
さらに、上記真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧範囲を通過するまでは上記補助管路を介した真空排気を行い、上記真空チャンバ内の圧力が水蒸気圧範囲を通過した後は、上記メイン管路を介した真空排気を行うことによって、真空排気時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の真空排気装置における一実施の形態を示す構成図である。
【図２】図１における真空ポンプの回転数と到達圧力との関係を示す図である。
【図３】図１における真空ポンプの回転数パターンと真空チャンバ内圧力の変化とを示す図である。
【図４】図１における排気条件格納部に格納される排気条件の一例を示す図である。
【図５】図１における回転制御部によって行われる真空ポンプの回転数制御動作のフローチャートである。
【図６】図１とは異なる真空排気装置の構成図である。
【図７】図６における排気条件格納部に格納される真空排気の経過時間と真空チャンバ内圧力との関係の説明図である。
【図８】図６における回転制御部によって行われる真空ポンプの回転数制御動作のフローチャートである。
【図９】図１および図６とは異なる真空排気装置の構成図である。
【図１０】図９におけるバルブコンダクタンス制御部によって行われるバルブコンダクタンス制御動作のフローチャートである。
【図１１】図９に示す真空排気装置の変形例の説明図である。
【図１２】図１，図６および図９とは異なる真空排気装置の構成図である。
【図１３】図１２に示す真空排気装置が行う真空排気動作の説明図である。
【図１４】図１２における真空排気制御部およびバルブコンダクタンス制御部によって行われる真空排気制御動作のフローチャートである。
【符号の説明】
１，１１，２１，４１…真空チャンバ、    ２，１２，２２，４２…真空ポンプ、
４，１４，２４…タイマ、              ５…回転数検出部、
６，１６，２６，５０…排気条件格納部、
７，１７…回転制御部、                ８，１８…インバータ、
１５，２５，４７…圧力検出部、
２７，４９…バルブコンダクタンス制御部、
２８，３３，４５…可変コンダクタンスバルブ、
３０，４３…メイン管路、              ３１，３４，Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４…開閉弁、
３２，４６…補助管路、                ４４…流量検出部、
４８…真空排気制御部。
【図１】
0003550879.tif 000002
【図２】
0003550879.tif 000003
【図３】
0003550879.tif 000004
【図４】
0003550879.tif 000005
【図５】
0003550879.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003550879.tif 000008
【図８】
0003550879.tif 000009
【図９】
0003550879.tif 000010
【図１０】
0003550879.tif 000011
【図１１】
0003550879.tif 000012
【図１２】
0003550879.tif 000013
【図１３】
0003550879.tif 000014
【図１４】
0003550879.tif 000015