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　特願２００２−５９０４６５「ビーム経路を改善したガス放電レーザ」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１１月２１日国際公開、ＷＯ０２／９３７０２、平成１６年　９月１６日国内公表、特表２００４−５２８７１８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明
　本願は、２００２年４月１７日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００１年５月１１日及び同年１１月１４日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１７年４月１８日及び同年５月２５日に手続補正がなされ、平成１８年４月２７日付けで拒絶理由通知がなされ、同年１１月８日に手続補正がなされたところ、平成１９年５月３０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年９月３日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに、同年１０月３日に手続補正がなされたものである。
　
　そして、その請求項に係る発明は、平成１９年１０月３日付け手続補正書で補正された特許請求の範囲の請求項１〜１７に記載された事項により特定されるものであると認められるところ、請求項４に係る発明は次のものである。
　
「毎秒２，０００パルスを超えるパルス繰返し率で作動することができるレーザであって、
　Ａ）（１）レーザガス、
　（２）放電領域を形成する２つの細長い電極、
　（３）毎秒約４，０００パルス又はそれ以上の範囲の繰返し率で作動する時に、各パルスに続いて、前記放電領域から次のパルスの前に生成された実質的に全ての放電生成イオンを取り除くために、該放電領域において前記レーザガスの十分なガス速度を生み出すための接線型（ｔａｎｇｅｎｔｉａｌ　ｔｙｐｅ）ファン、及び
　（４）少なくとも一つのフィン付き熱交換器を含み、少なくとも１６ｋｗの熱エネルギを前記レーザガスから取り除くことができる熱交換器システム、
　を包含するレーザチャンバモジュールと、
　Ｂ）約５ｍＪ又はそれ以上の正確に制御されたパルスエネルギにより毎秒約４，０００パルス又はそれ以上の繰返し率で前記放電領域からレーザパルスを生成するのに十分な電気パルスを前記電極に供給するように構成されたパルスパワーシステムと、
　Ｃ）ラインナローイング光学モジュールと、
　Ｄ）出力カプラモジュールと、
　を含み、
　該出力カプラモジュール及び前記ラインナローイング光学モジュールは、共振空洞と、前記レーザチャンバモジュールを通るレーザビーム経路とを形成し、該チャンバモジュールから分離してレーザに取り付けられ、
　Ｅ）ビーム経路パージシステムと、
　を更に含み、
　出力ビームを形成するパルスレーザビームを生成するよう構成され、また、該出力ビームの波長及び帯域幅をモニタするための波長計モジュールを含み、更に、前記出力カプラと前記波長計モジュールとの間で前記パージシステムに真空品質の実質的に酸素のないビーム経路をもたらすための密封ベローズシールであって、前記チャンバから前記波長計モジュールを分離するために取り外すことができるように構成された密封ベローズシールを含むことを特徴とするレーザ。」（以下「本願発明」という。）
　
　
２　刊行物の記載事項
（１）引用刊行物１
　本願の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平５−１６７１３５号公報（以下「引用刊行物１」という。）には、図とともに下記の事項が記載されている。
　
ア　「【特許請求の範囲】
【請求項１】  レーザの共振器として使用されている光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体手段間のつなぎに伸縮可能の管ユニットを用いることを特徴とするエキシマレーザ装置。
【請求項２】  レーザチャンバの外側に複数のインバーロッドでフロント側プレートとリア側のプレートを固定するインバータロッドユニットと、少なくともフロントミラーを固定し、筺体で囲われ前記フロント側プレートに固定されたフロント側筺体部と、少なくともリアミラーまたは狭帯域化素子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレートに固定されたリア側筺体部と、前記フロント側プレートと前記レーザチャンバおよびリア側プレートと前記レーザチャンバの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管ユニットを配設したことを特徴とするエキシマレーザ装置。
【請求項３】  伸縮可能の管としてダクトを使用した請求項１または請求項２記載のエキシマレーザ装置。」
　
イ　「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキシマレーザ装置に係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用いられるエキシマレーザ装置の改良に関する。」
　
ウ　「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】・・・エキシマレーザ光は紫外線のレーザ光であるため光学素子は非常に微量なダストまたは有機物質または酸素等の化学物質によって損傷を受け、光学素子の寿命が短くなるという問題がある。・・・」
　
エ　「【０００６】
【課題を解決するための手段】・・・本発明では、レーザの共振器として使用されている光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を少なくとも一個の筺体手段で囲い、清浄気体で前記筺体内をパージするエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ手段と前記筺体手段の間または前記筺体手段間のつなぎに伸縮可能の管ユニットを用いる。また、レーザチャンバの外側に複数のインバーロッドでフロント側プレートとリア側のプレートを固定するインバータロッドユニットと、少なくともフロントミラーを固定し、筺体で囲われ前記フロント側プレートに固定されたフロント側筺体部と、少なくともリアミラーまたは狭帯域化素子を固定し、筺体で囲われ前記リア側プレートに固定されたリア側筺体部と、前記フロント側プレートと前記レーザチャンバおよびリア側プレートと前記レーザチャンバの間の少なくともいずれかに伸縮可能の管ユニットを配設している。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、レーザチャンバと光学素子が入った筺体をつなぐ手段として伸縮可能の管を使用することにより、光学素子をクリーンな環境に設置出来るとともに、レーザチャンバの発熱にともなう熱膨張によるアライメントの狂いがなくなり、レーザチャンバのウインドの脱着が容易となる。」
　
オ　「【０００８】
【実施例】以下に、本発明に係わるエキシマレーザ装置の実施例につき、図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】図１は、本発明のエキシマレーザ装置の１実施例を示す構成図であり、外部ミラーの自然発振の実施例を示す。図１において、エキシマレーザ装置１はレーザチャンバー部５と、フロント側筺体部２０、リア側筺体部３０と、清浄気体供給部３５からなる。レーザチャンバー部５は、レーザチャンバーユニット６と、インバーロッドユニット１０と、伸縮可能な管ユニット１５とからなる。レーザチャンバーユニット６はレーザチャンバー７と、レーザチャンバー７に固設されたフロント側ウインド８およびリア側ウインド９からなる。インバーロッドユニット１０はフロント側プレート１１と、インバーロッド１２と、リア側プレート１３からなり、フロント側プレート１１とリア側プレート１３はインバーロッド１２により固定されている。伸縮可能な管ユニット１５はレーザチャンバー９（当審注：「レーザチャンバー７」の誤りと認める。）に固設された第一のフランジ１６ａ、１６ｂと、フロント側プレート１１に固設された第二のフランジ１７ａ、あるいはリア側プレート１３に固設された第二のフランジ１７ｂと、第一のフランジ１６ａと第二のフランジ１７ａあるいは第一のフランジ１６ｂと第二の１７ｂとの間に装着されるリング１８からなり、第二のフランジ１７ａ、１７ｂの内方にリング１８が固設されており、さらに、リング１８の内方に第一のフランジ１６ａ、１６ｂの外径が枢密に当接され、リング１８と第二のフランジ１６ａ、１６ｂは図示の左右方向に慴動自在に嵌合されている。
【００１０】フロント側筺体部２０はフロントミラー２１と、出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集光レンズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフォトダイオード２６と、ウインド２７と、フロント側プレート１１に固設されるフロント側筺体２８とからなる。リア側筺体部３０はリアミラー３１と、リア側プレート１３に固設されるリア側筺体３２とからなる。
【００１１】さらに、フロント側筺体２８とリア側筺体３２は配管３６、３７により清浄気体供給装置３９に接続されている。フロント側筺体部２０では、フロント側ウインド７と、フロントミラー２１と、出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集光レンズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフォトダイオード２６と、ウインド２７とが清浄気体でパージされている。また、同様にリア側筺体部３０ではリア側ウインド８とリアミラー３１とが清浄気体でパージされている。」
　
カ　「【００１５】図２は本発明の狭帯域エキシマレーザ装置の１実施例を示す構成図である。なお、前記実施例と同一部品は同一符号を付し説明を省略する。図２において、狭帯域エキシマレーザ装置４０はレーザチャンバー部５と、フロント側筺体部５０と、伸縮自在の管ユニット６０、リア側筺体部７０と、清浄気体供給部３５からなる。フロント側筺体部５０には、波長検出用のビームスプリツタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およびモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびラインセンサあるいはエリアセンサ５６と、ウインド２７と、後述する伸縮自在の管ユニット６０のフランジ６１を固設しているフロント側筺体５７と、前記と同様にフォトダイオード等からなる。伸縮自在の管ユニット６０はフロント側筺体５７に固設しているフランジ６１と、フロント側プレートに固設されておりフロントミラー２１を収容する筺体６２と、筺体６２に固設されているフランジ６３と、フランジ６１に固設されフランジ６１とフランジ６３の間に装着されるリング６４からなる。フランジ６１の内方にリング６４が固設されており、さらに、リング６４の内方にフランジ６３の外径が枢密に当接され、リング６４とフランジ６３は図示の左右方向に慴動自在に嵌合されている。
【００１６】リア側筺体部７０はフリズム（当審注：「プリズム」の誤りと認める。）７１、７２およびグレーティング７３と、チャンバー７に固設されるリア側筺体７４とからなる。さらに、フロント側筺体５７とリア側筺体７４は配管３６、３７により清浄気体供給装置３９に接続されている。フロント側筺体部５０では、フロント側ウインド８と、フロントミラー２１と、出力光サンプル用のビームスプリッタ２２と、集光レンズ２３と、拡散板２４およびコーン２５およびフォトダイオード２６と、ウインド２７と、波長検出用のビームスプリッタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およびモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびラインセンサあるいはエリアセンサ５６とが清浄気体でパージされている。また、同様にリア側筺体部７０ではリア側ウインド９と、プリズム７１、７２およびグレーティング７３とが清浄気体でパージされている。
【００１７】上記構成において、次に作動について説明する。レーザチャンバー７内で放電励起された光はプリズム７１、７２によりビームをエキスパンドし、その光をグレーディング（当審注：「グレーティング」の誤りと認める。）７３に入反射させたリトロー配置の狭帯域化方式により狭帯域発振させ、フロントミラー２１から出力したレーザ光をビームスプリッタ２２によりサンプルして集光レンズ２３を介して拡散板２４上に集められ、拡散板２４により拡散されたレーザ光はコーン２５により反射されフォトダイオード２６に集められその光強度をフォトダイオード２６により検出している。
【００１８】さらに、ビームスプリッタ５１によりサンプルされた光は集光レンズ５２および拡散板５３を介してモニタエタロン５４を透過し、集光レンズ５５の焦点の位置に配置されたラインセンサあるいはエリアセンサ５６により干渉縞を検出して波長を検出している。
【００１９】なお、前記エキシマレーザ装置の１実施例と同様にフロント側筺体部５０あるいはリア側筺体部７０を伸縮可能な管ユニット１５およびフロント側筺体部５０とレーザチャンバー部５との間に伸縮自在の管ユニット６０が使用されている。」
　
キ　「【００２５】図４は、伸縮可能な管ユニット１５あるいは６０の詳細な構成の第２実施例を示す。図４において、管ユニット１５は、ウインドケース８１の外方に配設されたジャバラ等からなるダクト１０１が、サムスクリュー１０２によりフロント側プレート１１に、サムスクリュー１０３でレーザチャンバー７に装着されている。
【００２６】上記構成において、ウインド８の汚れの清掃、あるいは、交換等のときには、フロント側プレート１１のサムスクリュー１０２を緩めてはずし、ジャバラ等のダクト１０１を図示の右方にスライドさせてレーザチャンバーユニット６をインバーロッドユニット１０の外方に取り出す。以下前記第１実施例と同様にウインド８の清掃あるいは交換を行う。」
　
ク　「【００３０】清浄気体の例として窒素あるいはヘリュウム等の不活性ガス・・・をＨＥＰＡ等のフィルタを透過して清浄気体としても良い。」
　
ケ　上記キによれば、「伸縮可能な管ユニット６０」は、「ジャバラ等からなるダクト」及び「緩めてはずすことのできる『サムスクリュー』」を用いて構成する旨記載されているから、「伸縮可能な管ユニット６０」は、「ジャバラからなるダクトが、サムスクリューにより、それぞれフロント側筺体５７及び筺体６２に装着され、清掃あるいは交換等のときに、該サムスクリューを緩めてはずせるように構成され」ている、といえる。
　
　よって、これらの記載を総合すると、引用刊行物１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　
「縮小投影露光装置用の光源として用いられる狭帯域エキシマレーザ装置であって、
　該狭帯域エキシマレーザ装置は、レーザチャンバー部５と、フロント側筺体部５０と、伸縮自在の管ユニット６０と、リア側筺体部７０と、清浄気体供給部３５からなり、
　レーザチャンバー部５は、レーザチャンバーユニット６と、インバーロッドユニット１０と、伸縮可能な管ユニット１５とからなり、レーザチャンバーユニット６は、レーザチャンバー７と、レーザチャンバー７に固設されたフロント側ウインド８およびリア側ウインド９からなり、インバーロッドユニット１０はフロント側プレート１１と、インバーロッド１２と、リア側プレート１３からなり、フロント側プレート１１とリア側プレート１３はインバーロッド１２により固定されており、フロント側プレート１１にはフロントミラー２１を収容する筐体６２が固設されており、
　フロント側筺体部５０は、波長検出用のビームスプリツタ５１と、集光レンズ５２と、拡散板５３およびモニタエタロン５４および集光レンズ５５および干渉縞を検出して波長を検出するラインセンサあるいはエリアセンサ５６と、ウインド２７と、フロント側筺体５７等からなり、
　リア側筺体部７０は、プリズム７１、７２およびグレーティング７３と、レーザチャンバー７に固設されるリア側筺体７４とからなり、レーザチャンバー７内で放電励起された光をプリズム７１、７２によりビームエキスパンドし、その光をグレーティング７３に入反射させたリトロー配置の狭帯域化方式により狭帯域発振させ、
　伸縮可能な管ユニット１５は、レーザチャンバー７に固設された第一のフランジ１６ａ、１６ｂと、フロント側プレート１１に固設された第二のフランジ１７ａ、あるいはリア側プレート１３に固設された第二のフランジ１７ｂと、第一のフランジ１６ａと第二のフランジ１７ａあるいは第一のフランジ１６ｂと第二の１７ｂとの間に装着されるリング１８からなり、第二のフランジ１７ａ、１７ｂの内方にリング１８が固設されており、さらに、リング１８の内方に第一のフランジ１６ａ、１６ｂの外径が枢密に当接され、リング１８と第二のフランジ１６ａ、１６ｂは慴動自在に嵌合されており、
　伸縮可能な管ユニット６０は、ジャバラからなるダクトが、それぞれサムスクリューにより、フロント側筺体５７及び筺体６２に装着されており、清掃あるいは交換等のときに、該サムスクリューを緩めてはずせるように構成され、
　さらに、フロント側筺体５７とリア側筺体７４は、配管３６、３７により清浄気体供給装置３９に接続されており、フロント側筺体部５０では、ウインド２７、波長検出用のビームスプリッタ５１、集光レンズ５２、拡散板５３およびモニタエタロン５４および集光レンズ５５およびラインセンサあるいはエリアセンサ５６等が清浄気体でパージされ、また、同様にリア側筺体部７０では、プリズム７１、７２およびグレーティング７３等が清浄気体でパージされて、光学素子が非常に微量なダストまたは有機物質または酸素等の化学物質によって損傷を受けないようにした、狭帯域エキシマレーザ装置。」
　
（２）引用刊行物２
　本願の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開２００１−１１１１４２号公報（以下「引用刊行物２」という。）には、図とともに下記の事項が記載されている。
　
ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光用ＡｒＦエキシマレーザ装置に関し、特に、レーザパルス幅の長いレーザ発振動作を行う露光用ＡｒＦエキシマレーザ装置に関するものである。」
　
イ　「【００１６】現在、商品化されている露光用狭帯域化ＡｒＦエキシマレーザ装置は、発振動作の繰返し周波数（以後、繰返し周波数と記す。）１ｋＨｚ、レーザ光出力が５Ｗのものが一般的であり、・・・。」
　
ウ　「【００２３】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年、露光処理の高スループット化のために、次世代の半導体露光用光源として有力視されているＡｒＦエキシマレーザ装置に対し、繰返し周波数の高繰返し化が要請されている。発明者等は、このような要請に対応するために、繰返し周波数が３ｋＨｚ以上で動作可能な露光用ＡｒＦエキシマレーザ装置を開発した。」
　
エ　「【００３５】図１は、本発明の露光用ＡｒＦエキシマレーザ装置の構成例を示すものである。図中、１はレーザチェンバであり、両端に窓部が設けられ、フッ素ガス、アルゴンガス及びバッファーガス（例えば、ネオンガス）からなる混合ガスであるレーザガスが封入されている。
【００３６】レーザチェンバ１の内部には、所定間隔だけ離間して対向した一対の放電電極２が設けられ、高電圧パルス発生器３より高電圧パルスを印加して放電電極２間に放電を発生させることにより、レーザ媒質であるレーザガスが励起される。
【００３７】レーザチェンバ１内に設置されたファン４によって、レーザガスはレーザチェンバ１内部を循環する。
【００３８】このレーザガス循環により、放電電極２間のレーザガスは、放電発生後次の放電が発生する前に新しいガスに置換されるので、次の放電は安定な放電となる。発明者はレーザチェンバ１のレーザガス循環構造、ファン４の形状等の改良を行い、繰返し周波数３ｋＨｚ以上を実現した。」
　
オ　「【００４４】・・・露光用狭帯域化ＡｒＦエキシマレーザ装置が放出する光の１パルス当たりのエネルギーは、露光装置の性能、ウエーハに塗布されたレジストの性能から、５ｍＪ程度が望ましいとされている・・・。」
　
　よって、これらの記載を総合すると、引用刊行物２には、次の技術的事項が記載されていると認められる。
　
「半導体露光用光源として用いられる露光用ＡｒＦエキシマレーザ装置において、
　発振動作の繰返し周波数が１ｋＨｚのものが一般的であるところ、露光処理の高スループット化のために、繰返し周波数の高繰返し化（３ｋＨｚ以上）が要請されていること、
　また、その放出光の１パルス当たりのエネルギーは、露光装置の性能、ウエーハに塗布されたレジストの性能から、５ｍＪ程度が望ましいとされていること。」
　
　
３　対比、判断
　本願発明と引用発明１を対比する。
　
ア　引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、パルス発振をするレーザであるといえるから、引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、本願発明の「レーザ」に相当するとともに、本願発明の「毎秒２，０００パルスを超えるパルス繰返し率で作動することができるレーザ」と、「毎秒所定のパルス繰返し率で作動することができるレーザ」である点で一致する。
　
イ　引用発明１の「レーザチャンバー７」には、レーザ光を発振、出力するためのレーザガスが含まれることは明らかであり、引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」が、前記「レーザチャンバー７」を含んでいるといえるから、
（ア）引用発明１の「レーザチャンバー７」は、本願発明の「レーザガスを包含するレーザチャンバモジュール」に相当するとともに、
（イ）引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、本願発明の「レーザチャンバモジュールを含み」との事項を備える。
　
ウ　引用発明１の「リア側筺体部７０」は、「プリズム７１、７２およびグレーティング７３と、チャンバー７に固設されるリア側筺体７４とからなり、レーザチャンバー７内で放電励起された光はプリズム７１、７２によりビームをエキスパンドし、その光をグレーティング７３に入反射させたリトロー配置の狭帯域化方式により狭帯域発振させ」るものであり、引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」が、前記「リア側筺体部７０」を含んでいるといえるから、
（ア）引用発明１の「リア側筺体部７０」は、本願発明の「ラインナローイング光学モジュール」に相当するとともに、
（イ）引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、本願発明の「ラインナローイング光学モジュールを含み」との事項を備える。
　
エ　引用発明１の「筐体６２」は、本願発明の「出力カプラモジュール」に相当するとともに、引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、本願発明の「出力カプラモジュールを含み」との事項を備える、といえる。
　
オ　引用発明１の「レーザチャンバー７内で放電励起された光」は、リア側筺体部７０の「グレーティング７３」と、レーザチャンバー７を介して配置され、筺体６２に収容される「フロントミラー２１」との間で狭帯域発振し、前記「筐体６２」と前記「リア側筺体部７０」とが、共振空洞及び「レーザチャンバー７」を通るレーザビーム経路を形成する、といえるから、引用発明１は、本願発明の「該出力カプラモジュール及び前記ラインナローイング光学モジュールは、共振空洞と、前記レーザチャンバモジュールを通るレーザビーム経路とを形成し」との事項を備える。
　
カ　引用発明１の「リア側筺体部７０」及び「筐体６２」は、それぞれ「伸縮可能な管ユニット１５」を介して、「レーザチャンバ−７」と分離して取り付けられているといえるから、引用発明１は、本願発明の「該出力カプラモジュール及び前記ラインナローイング光学モジュールは、該チャンバモジュールから分離してレーザに取り付けられ」との事項を備える。
　
キ　引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、「波長検出用のビームスプリツタ５１と、・・・干渉縞を検出して波長を検出するラインセンサあるいはエリアセンサ５６と、・・・フロント側筺体５７」等からなる「フロント側筺体部５０」を備え、所定波長の出力パルスレーザビームを生成するためのものであるといえるから、
（ア）引用発明１の「フロント側筺体部５０」は、本願発明の「出力ビームを形成するパルスレーザビームを生成するよう構成された波長計モジュール」に相当するとともに、
（イ）引用発明１の「『干渉縞を検出して波長を検出するラインセンサあるいはエリアセンサ５６』等を備えた『フロント側筺体部５０』」と、本願発明の「出力ビームの波長及び帯域幅をモニタするための波長計モジュール」とは、「出力ビームの波長あるいは帯域幅をモニタするための波長計モジュール」である点で一致し、さらに、
（ウ）引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、本願発明の「波長計モジュールを含み」との事項を備える。
　
ク　引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、「伸縮可能な管ユニット６０は、ジャバラからなるダクトが、それぞれサムスクリューにより、フロント側筺体５７及び筺体６２に装着されており、清掃あるいは交換等のときに、該サムスクリューを緩めてはずせるように構成され」るとともに、「フロント側筺体５７とリア側筺体７４は配管３６、３７により清浄気体供給装置３９に接続されており、フロント側筺体部５０では、・・・波長検出用のビームスプリッタ５１、・・・ラインセンサあるいはエリアセンサ５６等が清浄気体でパージされ、また、同様にリア側筺体部７０では、プリズム７１、７２およびグレーティング７３等が清浄気体でパージされて、光学素子が・・・酸素等の化学物質によって損傷を受けないようにし」ているから、
（ア）引用発明１の「（配管３６、３７によりフロント側筺体５７とリア側筺体７４に接続された）清浄気体供給装置３９」は、本願発明の「ビーム経路パージシステム」に相当するとともに、
（イ）引用発明１の「（それぞれサムスクリューにより、フロント側筺体５７及び筺体６２に装着されており、清掃あるいは交換等のときに、該サムスクリューを緩めてはずせるように構成された）ジャバラからなるダクト」は、本願発明の「前記出力カプラと前記波長計モジュールとの間で前記パージシステムに真空品質の実質的に酸素のないビーム経路をもたらすための密封ベローズシールであって、前記チャンバから前記波長計モジュールを分離するために取り外すことができるように構成された密封ベローズシール」に相当するといえ、また、
（ウ）引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」は、本願発明の「密封ベローズシールを含み」との事項を備えるといえる。
　
　したがって、両者は、　  
「毎秒所定のパルス繰返し率で作動することができるレーザであって、
　Ａ）（１）レーザガス、
　を包含するレーザチャンバモジュールと、
　Ｃ）ラインナローイング光学モジュールと、
　Ｄ）出力カプラモジュールと、
　を含み、
　該出力カプラモジュール及び前記ラインナローイング光学モジュールは、共振空洞と、前記レーザチャンバモジュールを通るレーザビーム経路とを形成し、該チャンバモジュールから分離してレーザに取り付けられ、
　Ｅ）ビーム経路パージシステムと、
　を更に含み、
　出力ビームを形成するパルスレーザビームを生成するよう構成され、また、該出力ビームの波長あるいは帯域幅をモニタするための波長計モジュールを含み、更に、前記出力カプラと前記波長計モジュールとの間で前記パージシステムに真空品質の実質的に酸素のないビーム経路をもたらすための密封ベローズシールであって、前記チャンバから前記波長計モジュールを分離するために取り外すことができるように構成された密封ベローズシールを含むレーザ。」
である点で一致し、次の点で相違する。　  
 　  
相違点
［相違点１］
　本願発明のレーザは、毎秒２，０００パルスを超えるパルス繰返し率で作動することができるものであって、レーザチャンバモジュールが、放電領域を形成する２つの細長い電極、毎秒約４，０００パルス又はそれ以上の範囲の繰返し率で作動する時に、各パルスに続いて、前記放電領域から次のパルスの前に生成された実質的に全ての放電生成イオンを取り除くために、該放電領域において前記レーザガスの十分なガス速度を生み出すための接線型（ｔａｎｇｅｎｔｉａｌ　ｔｙｐｅ）ファン、及び、少なくとも一つのフィン付き熱交換器を含み、少なくとも１６ｋｗの熱エネルギを前記レーザガスから取り除くことができる熱交換器システムを包含するとともに、約５ｍＪ又はそれ以上の正確に制御されたパルスエネルギにより毎秒約４，０００パルス又はそれ以上の繰返し率で前記放電領域からレーザパルスを生成するのに十分な電気パルスを前記電極に供給するように構成されたパルスパワーシステムを含むのに対し、引用発明のレーザは、その作動パルス繰返し率が明らかでなく、レーザチャンバモジュールが、上記のような２つの細長い電極、接線型（ｔａｎｇｅｎｔｉａｌ　ｔｙｐｅ）ファン、及び、熱交換器システムを包含しているかどうか明らかではなく、さらに、上記のようなパルスパワーシステムを含んでいるのかどうか明らかでない点。
［相違点２］
　波長計モジュールが、本願発明では、出力ビームの波長及び帯域幅をモニタするためのものであるのに対し、引用発明１では、出力ビームの波長あるいは帯域幅をモニタするものである点。
　
　上記相違点につき検討する。
［相違点１］について
　エキシマレーザ装置のレーザチャンバ内に、放電領域を形成する２つの細長い電極を設けるものは本願の優先日前に周知であり（例えば、特開平１１−８４３１号公報（【請求項１】）、特開２０００−３４０８６９号公報（【請求項１】）、特開２００１−１５８３１号公報（【請求項１】）参照。）、エキシマレーザ装置のレーザチャンバ内に、レーザガスを循環させるためにタンジェンシャルブロア（接線型ファン）を設けるものは本願の優先日前に周知であり（例えば、前記特開平１１−８４３１号公報（【０００２】）、前記特開２０００−３４０８６９号公報（【０００５】）、特開平９−２２８９８６号公報（【０００３】）参照。）、また、レーザガスから熱を抜き取るために水冷フィン熱交換機を設けるものは本願の優先日前に周知であるから（例えば、特開平１１−１９１６６０号公報（【０００９】）、特開平１０−２２３９５５号公報（【００１６】）、特開平１１−１９１６４８号公報（【０００８】）参照。）、引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」も、その「レーザチャンバー７」に「放電領域を形成する２つの細長い電極」、「タンジェンシャルブロア（接線型ファン）」及び「水冷フィン熱交換機」を備えるものとなし、前記電極に、所定の繰返し率で「放電領域からレーザパルスを生成するのに十分な電気パルスを供給するパルスパワーシステム」を含むものとなすことは、当業者が必要に応じて適宜になし得る事項であるところ、引用刊行物２には、上記２（２）のとおり、「半導体露光用光源として用いられる露光用ＡｒＦエキシマレーザ装置において、発振動作の繰返し周波数が１ｋＨｚのものが一般的であるところ、露光処理の高スループット化のために、繰返し周波数の高繰返し化（３ｋＨｚ以上）が要請されていること、また、その放出光の１パルス当たりのエネルギーは、露光装置の性能、ウエーハに塗布されたレジストの性能から、５ｍＪ程度が望ましいとされていること」との技術的事項が記載され、露光用のエキシマレーザ装置において、繰返し周波数の高繰返し化（３ｋＨｚ以上）を行うことが本願の優先日前に要請されていたといえるから、引用発明１の「狭帯域エキシマレーザ装置」において、繰返し周波数の高繰返し化を行うべく、その「タンジェンシャルブロア（接線型ファン）」を「毎秒約４，０００パルス又はそれ以上の範囲の繰返し率で作動する時に、各パルスに続いて、前記放電領域から次のパルスの前に生成された実質的に全ての放電生成イオンを取り除くために、該放電領域において前記レーザガスの十分なガス速度を生み出す」ものとなし、その「水冷フィン熱交換機」により「少なくとも１６ｋｗの熱エネルギを前記レーザガスから取り除くことができる熱交換器システム」を構成するとともに、前記「パルスパワーシステム」が、「約５ｍＪ又はそれ以上の正確に制御されたパルスエネルギにより毎秒約４，０００パルス又はそれ以上の繰返し率で前記放電領域からレーザパルスを生成するのに十分な電気パルスを前記電極に供給するように構成された」ものとなして、上記［相違点１］に係る本願発明の構成となすことは、当業者が容易に行い得ることである。
［相違点２］について
　エキシマレーザ装置において、出力ビームの波長と帯域幅を検出するものは、本願の優先日前に周知であり（例えば、特開２０００−２８６４９５号公報（【００３５】〜【００３７】、図１）、特開２０００−１５１００１号公報（【００３５】、図４）参照。）、引用発明１において、波長計モジュールが出力ビームの波長及び帯域幅をモニタするようになすことは、当業者が容易に行い得ることである。
　
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明１、上記技術的事項及び上記周知技術から予測し得る程度のものである。  
 　  
　したがって、本願発明は、引用刊行物１に記載された発明、引用刊行物２に記載された技術的事項及び上記周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１に記載された発明、引用刊行物２に記載された技術的事項及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。