【事件の表示】
　特願２００７−１１８８３８「Ｘ線分光器を備えた電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１０月１８日出願公開、特開２００７−２７３４７７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴って平成１３年１０月２４日（優先日、平成１３年２月２７日）に出願された特願２００１−３２６０６６号の一部を新たな特許出願として、平成１９年４月２７日に適法に出願された、いわゆる分割出願であって、平成２０年５月９日付けで拒絶理由が通知され、同年７月１７日付けで拒絶査定がなされた。
　本件は、前記拒絶査定を不服として平成２０年８月２５日に請求された拒絶査定不服審判事件である。
　
２．本願発明
　本願の請求項１ないし８に係る発明は、願書に最初に添付された特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された技術的事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
「真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子が配置されるとともに、端部にＸ線検出器が取り付けられた分光室を有するＸ線分光器をゲートバルブを介して電子顕微鏡の側壁に取り付けた電子顕微鏡であって、電子線が照射された試料から放出される特性Ｘ線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線をＸ線検出器で検出することを特徴とするＸ線分光器を備えた電子顕微鏡。」
　
３．本願出願前に頒布された刊行物
（３−１）引用例１
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平８−２２６９０４号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに以下の技術的事項の記載がある。
（３−１−ａ）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】電子顕微鏡により試料の拡大像を観察すると共に、上記試料の特定部位に電子線を照射して上記試料から放出される特性Ｘ線をＸ線検出器により検出して上記試料の特定部位の元素分析を行う分析電子顕微鏡において、上記Ｘ線検出器は、少なくとも超電導体を含んで構成されてなる超電導検出器であることを特徴とする分析電子顕微鏡。」
（３−１−ｂ）段落【００１５】
「【００１５】図１は、本発明になる分析電子顕微鏡の概略構成図である。まず、透過型電子顕微鏡１０１において、電子銃から放出された電子線はコンデンサレンズ１０２と対物レンズ１０３とにより試料１０４上に収束される。現在、電界放出型の電子銃を用いた透過型電子顕微鏡においては、電子線は０．５ｎｍ以下に収束できる。試料を透過した電子線は、結像レンズ１０５により、例えばカメラ１０６上に結像される。これと同時に、試料１０４上からは様々な方向に特性Ｘ線が放出されており、Ｘ線検出器１０７を設置することにより、この特性Ｘ線の検出が可能である。従って、試料の形状や電子線の照射位置をモニタ１０８で観察することにより、試料の目的とする部位に電子線を絞り込み、Ｘ線検出器１０７により検出されたＸ線のエネルギースペクトルを得ることができる。ただし、エネルギースペクトルは、前置増幅器１０９と波形整形アンプ１１０と波高分析器１１１よりなる信号処理系１１２をＸ線検出器１０７に接続することにより得られる。以上述べたことは、すでに従来より行われていることである。」
（３−１−ｃ）【図１】
　段落【００１５】の記載に即し、【図１】から、透過型電子顕微鏡１０１の側壁にＸ線検出器１０７を具備する室が取り付けられていることが見て取れる。
　
　これらの記載および図面の内容からして、引用例１には以下の発明が記載されている。
「電子顕微鏡により試料の拡大像を観察すると共に、前記試料の特定部位に電子線を照射して前記試料から放出される特性Ｘ線をＸ線検出器により検出して前記試料の特定部位の元素分析を行う分析電子顕微鏡において、Ｘ線検出器を具備する室が電子顕微鏡の側壁に取り付けられ、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線をＸ線検出器に入射させ、その特性Ｘ線のエネルギースペクトルを得るための前置増幅器、波形整形アンプ、波高分析器よりなる信号処理系を前記Ｘ線検出器に接続した電子顕微鏡。」（以下、「引用発明」という。）
　
（３−２）引用例２
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２０００−３９３５９号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに以下の技術的事項の記載がある。
（３−２−ａ）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】光源からの発散光を収束光に変換する収束光生成手段と、前記光源から前記収束光の焦点へ至る光路上に配置された回折格子とを備え、前記回折格子をその格子面の法線に平行に定められた軸の回りに回動させることにより波長走査を行なう円錐回折斜入射分光器に用いられる回折格子において、該回折格子を含む分光光学系の焦点を表す光路関数の展開係数の値が波長走査を行なう波長範囲内の少なくとも１つの波長でほぼ０となるように、該回折格子の溝パターンを示す級数展開式である溝関数の展開係数が決定されていることを特徴とする回折格子。
……」
（３−２−ｂ）段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は円錐回折斜入射分光器及びそれに適した不等間隔溝回折格子の設計に関する。」
（３−２−ｃ）段落【０００４】
「【０００４】本発明はこのような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、円錐回折斜入射分光器の収差を極めて少なくするように設計された回折格子、及びそのような回折格子を備える円錐回折斜入射分光器を提供することにある。」
（３−２−ｄ）段落【００２５】
「【００２５】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る回折格子は、収差を極めて少なくするような溝間隔を解析的方法により求め、その溝間隔で格子溝を設けたため、これを用いて円錐回折斜入射分光器を構成すれば、従来品よりも遥かに高い精度の分光分析が可能となる。」
　
（３−３）引用例３
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平４−２４５２３号公報（以下、「引用例３」という。）には、図面とともに以下の技術的事項の記載がある。
（３−３−ａ）第２頁左下欄第２〜１３行
「　凹面回折格子は、回折格子と凹面鏡の両機能を合わせ持ち、それ自身でスペクトルの分散と収束が可能であるため、分光器を小型化できる利点をもっている。そして、不等間隔格子溝配列の凹面回折格子は、スペクトルの平面結像が可能であり、これが近年発展著しいＣＣＤなとの半導体デバイス（光電面が平面である）と結合して、凹面回折格子型マルチチャネル分光器として結実した。この分光器によれば、空間分解機能と同時に電子的走査による時間分解機能を遂行でき、多波長スペクトルの時間的強度変化を高速で計測することも可能である。」
　
（３−４）引用例４
　また、本願の拒絶査定の時に提示された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平６−７６７８０号公報（以下、「引用例４」という。）には、図面とともに以下の技術的事項の記載がある。
（３−４−ａ）段落【０００２】〜【０００３】
「【０００２】
【従来の技術】Ｘ線マイクロアナライザは、試料表面に電子ビームを照射し、その電子ビームによって発生する特性Ｘ線、２次電子、反射電子等を観察することによって、元素の同定、定量、または分布等を調べる装置である。Ｘ線マイクロアナライザにおいて、特性Ｘ線を効率よく正確に分光検出することは重要な事項であり、その特性Ｘ線の分光検出を行うＸ線分光器には大別して波長分散型Ｘ線分光器とエネルギー分散型Ｘ線分光器の２つが知られている。
【０００３】前記波長分散型Ｘ線分光器の多くは、ブラックの回折条件を利用した単結晶（及び擬似単結晶）分光器を用いているが、回折格子分光器を用いるものも知られている。試料上の微小点から発生して空間に発散してきたＸ線には、試料組成に対応した各エネルギー値、すなわち各波長値を有した特性Ｘ線が含まれている。この特性Ｘ線をその波長に応じて分光し、各波長値とその波長値のＸ線強度を検出するものが波長分散型Ｘ線分光器であり、分光器と検出器、及び両者をある条件のもとで駆動する機械系によって構成される。」
　
（３−５）引用例５
　また、本願の拒絶査定の時に提示された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平６−２６７４８７号公報（以下、「引用例５」という。）には、図面とともに以下の技術的事項の記載がある。
（３−５−ａ）段落【００２０】
「【００２０】電子線１の照射により、試料３表面からは２次電子も放出される。図中の検出器１０は、この２次電子を検出するための２次電子検出器である。ここで、電子線１を試料３表面上に走査しながら照射して、この照射電子線の走査に伴なう試料表面からの放出２次電子を検出することによって、試料３表面の２次電子像が得られる。この２次電子像を用いると、試料３表面上の分析すべき残留物が存在する位置を容易に把握でき、それにより、試料３表面上の分析すべき領域の設定が容易にできる。」
（３−５−ｂ）段落【００２４】
「【００２４】＜実施例３＞実施例１，２では、光を用いて試料３の表面を加熱していた。しかし、試料３表面の加熱は他の方法を用いても可能である。本実施例は、超小型のヒータを用いて試料表面の局所加熱を行なう方法についてのものである。図５にその具体的な装置構成を示した。電子線１の照射により試料表面から発生した蛍光Ｘ線２は回折格子１７に入射して分光され、Ｘ線検出器１８でもって検出される。Ｘ線検出器１８は２次元検出器であり、多波長のスペクトル観測を同時に行うことができる。試料３の加熱は、超小型のヒータ１６を用いて試料（ウエハ）の裏面から行なわれる。ヒータ１６の加熱面の大きさは１ｍｍφ程度であるため、試料３の局所領域のみを加熱することができる。」
　
４．対比（一致点・相違点）
　本願発明と上記引用発明とを対比する。
　引用発明の「Ｘ線検出器を具備する室」が、本願発明の「Ｘ線検出器が取り付けられた」「室」に相当することは明らかである。
　ここで、引用発明の「特性Ｘ線をＸ線検出器により検出」すること、ならびに「試料から放出される特性Ｘ線をＸ線検出器に入射させ、その特性Ｘ線のエネルギースペクトルを得るための前置増幅器、波形整形アンプ、波高分析器よりなる信号処理系を前記Ｘ線検出器に接続」することと、本願発明の「試料から放出される特性Ｘ線を不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線をＸ線検出器で検出する」ことを対比すると、特性Ｘ線の不等間隔回折格子面への入射の有無において相違するものの、いずれの「Ｘ線検出器」も「試料から放出される特性Ｘ線」が「入射」されるものであって、前記「Ｘ線検出器」が、その「特性Ｘ線を検出」することは明らかであるので、両者は「試料から放出される特性Ｘ線を入射させ、その特性Ｘ線をＸ線検出器で検出するＸ線検出器を備えた」点で一致している。
　　
　そうすると、本願発明と引用発明とは、
（一致点）
「Ｘ線検出器が取り付けられた室を電子顕微鏡の側壁に取り付けた電子顕微鏡であって、電子線が照射された試料から放出される特性Ｘ線を入射させ、その特性Ｘ線をＸ線検出器で検出するＸ線検出器を備えた電子顕微鏡。」である点で一致し、次の点で相違する。
（相違点１）
　電子顕微鏡の側壁に取り付けられている「Ｘ線検出器が取り付けられた室」が、
本願発明は（ア）「真空ポンプで排気され」「ゲートバルブを介して」電子顕微鏡の側壁に取り付けられているとともに、（イ）「Ｘ線分光器」であって、「不等間隔回折格子が配置されるとともに、端部にＸ線検出器が取り付けられた分光室」であるのに対し、
引用発明は、単に電子顕微鏡の側壁に取り付けられているにすぎず、前記（ア）、（イ）の構成について記載がない点。
（相違点２）
　Ｘ線検出器に入射させて検出する特性Ｘ線が、
本願発明は、特性Ｘ線を「不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線」であるとしているのに対し、
引用発明は、特性Ｘ線そのものを入射、検出し、その後の信号処理によりエネルギースペクトルを得ている点。
　
５．検討・判断
　上記相違点について検討する。
（５−１）（相違点１）の（イ）と（相違点２）について
　最初に、上記「（相違点１）」の「（イ）」の事項と「（相違点２）」について、両者は互いに密接に関連する事項であるので、併せて検討する。
　引用発明はＸ線の分光、すなわち、Ｘ線のエネルギーに応じたＸ線の分離を行うものではないものの、「特性Ｘ線のエネルギースペクトルを得るための前置増幅器、波形整形アンプ、波高分析器よりなる信号処理系を前記Ｘ線検出器に接続」していることからして、検出した特性Ｘ線について、信号処理を行ってＸ線のスペクトル分析を行っていることは明らかである。
　ここで、電子顕微鏡に回折格子を組み合わせ、電子線を試料に照射して得られる特性Ｘ線を、回折格子で分光して分光された回折Ｘ線を検出、すなわちスペクトル分析、して試料の分析をすることは、引用例４，５に記載されているように、本願の優先日前に周知の事項にすぎない。そして、不等間隔回折格子を用いた高精度の分光分析が可能な回折格子は引用例２に記載されているように、また、不等間隔回折格子を用いて分光されたスペクトルをＣＣＤで検出してスペクトル分析を行う小型化された分光器は引用例３に記載されているように、本願の優先日前に公知の事項である。さらに、回折格子で分光された回折Ｘ線を検出するためには、検出器を回折格子の後方に配する必要があることは明らかであるし、回折格子で分光を行う際に入射光を回折格子面に斜めに入射させることは技術常識であって、不等間隔回折格子面に斜めに特性Ｘ線を入射させる必要があることも明らかである。
　一方、本願発明の「Ｘ線分光器」が、特性Ｘ線をエネルギーに応じて分離してスペクトル分析を行うためのものであることは明らかである。
　してみると、引用発明において、Ｘ線のスペクトル分析を行うために設けられているＸ線検出器に接続された前置増幅器、波形整形アンプ、波高分析器よりなる信号処理系に代えて、回折格子の一種である不等間隔回折格子を用いて回折Ｘ線を検出するよう構成し、「Ｘ線検出器が取り付けられた室」を、「不等間隔回折格子が配置されるとともに、端部にＸ線検出器が取り付けられた分光室であるＸ線分光器」とするとともに、特性Ｘ線を「不等間隔回折格子面に斜めに入射させ、その回折Ｘ線」を検出するよう構成することは、当業者が容易に想到し得る事項である。
　
（５−２）（相違点１）の（ア）について
　次に、上記「（相違点１）」の「（ア）」の事項について検討する。
　電子源等の励起源を用いて試料を照射する照射室の側壁に、試料から放出される特性Ｘ線を検出する室を設けた分析装置において、照射室と特性Ｘ線を検出する室それぞれに独立した排気装置を設けるとともに両者をゲートバルブを介して接続することは、例えば特開平４−２７０９５３号公報（段落【０００３】，【０００４】，【０００６】，【００３８】，【図５】参照）、特開平７−２３９３１０号公報（段落【００９３】，【０１０７】，【図１６】参照）に記載されているように、本願の優先日前に周知の事項にすぎない。
　してみると、電子顕微鏡の側壁に取り付ける「Ｘ線検出器が取り付けられた室」を、「真空ポンプで排気され」「ゲートバルブを介して」取り付けるよう構成する点に格別の困難性を見出すことはできない。
　
　そして、本願発明が奏する作用効果も、引用発明ならびに引用例２，３に記載された技術的事項および周知の事項から示唆される範囲のものにすぎない。
　よって、本願発明は、引用発明ならびに引用例２，３に記載された技術的事項および周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明することができたものである。
　
６．むすび
　上記のとおり、本願の請求項１に係る発明は、本願の優先日前に頒布された刊行物である引用例１に記載された発明ならびに引用例２，３に記載された技術的事項および周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。