(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つの面に複数の電極が配列形成されて成る第１の接続対象部材と、１つの面に複数の電極が配列形成されて成る第２の接続対象部材と、を、その複数の電極の間の位置合せを行い、これら電極間を対応接続して電気的に接続するための電気的接続形成用装置であって、次の各構成を有することを特徴とする電気的接続形成用装置。
（イ）前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材それぞれを、その複数の電極が互いに向い合うように保持固定する、第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部
（ロ）前記第１の接続対象物固定部に保持固定された第１の接続対象部材と、前記第２の接続対象物固定部に保持固定された第２の接続対象部材との間の間隔を、その電気的接続工程の進行状態に応じて制御する部材間隔制御部
（ハ）絶縁薄板の表面及び裏面それぞれに、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極の配列と対応して、これら複数の電極の配列ピッチの複数分の１のピッチでこれら複数の電極の複数倍の本数の位置検出用配線が配列形成されたプローブと、このプローブの、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極間への挿入、及びこれら複数の電極間からの引抜き制御を行うプローブ移動制御部と、前記複数の電極間に挿入されたプローブの位置検出用配線に対し予め設定された信号を供給してこれら位置検出用配線から得られる信号の情報に基づいて、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間の相対的な位置ずれ量を算出する電極間位置ずれ量算出部と、を含む電極間位置ずれ検出部
（ニ）前記電極間位置ずれ量算出部で算出された位置ずれ量に基づいて前記第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部の相対位置を制御し、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間の位置合せを行う電極間位置合せ機構部
（ホ）前記電極間位置合せ機構部により電極間の位置合せが完了した前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間を対応接続して、これら第１の接続対象部材・第２の接続対象部材間の電気的接続を形成する、電気的接続実行手段
【請求項２】
前記第１の接続対象部材は、その外形寸法が前記第２の接続対象部材の外形寸法より大きい部材であり、前記第１の接続対象物固定部は、前記第２の接続対象物固定部の下方に配置されて前記第１の接続対象部材を機械的手段により保持固定する構造を有し、前記第２の接続対象物固定部は、前記第２の接続対象部材を、真空チャック方式、又は吸着方式、又は粘着方式により保持固定する構造を有して成る、請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項３】
前記電極間位置ずれ検出部は、その電極間位置ずれ量算出部が、そのプローブの位置検出用配線に対し交流信号を供給し、前記プローブの位置検出用配線が第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極に対し非接触状態で得られた、これら位置検出用配線からの信号に基づいて、電極間の位置ずれ量を算出するものである請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項４】
前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極それぞれが、その配列方向と交差する方向に長く延びた形状である場合に、前記電極間位置ずれ検出部は、その電極間位置ずれ量算出部が、算出する電極間の位置ずれ量の中に、第１の接続対象部材の複数の電極それぞれの、長手方向の軸に対する第２の接続対象部材の対応する電極の、長手方向の軸の角度のずれを含むものである請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項５】
前記電極間位置ずれ検出部は、そのプローブが、その絶縁薄板としてメンブレンを用いたものである請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項６】
前記電極間位置合せ機構部が、第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部の相対位置の制御を、アクチュエータ方式、又は静電リニア駆動方式により行うものである請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項７】
前記電気的接続実行手段が、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間に、異方導電性接続フィルムを供給するＡＣＦ供給部と、前記異方導電性接続フィルムを前記第１の接続対象部材の複数の電極形成部分と前記第２の接続対象部材の複数の電極形成部分との間に挟みつけて加熱処理し、これら複数の電極間を対応接続して固定する接続固定部と、を備えて成る請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項８】
前記電気的接続実行手段が、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の種類、並びにこれら第１の接続対象部材と第２の接続対象部材との間の電気的接続方法の種類に応じてその構成、構造の入れ替えができる、請求項１記載の電気的接続形成用装置。
【請求項９】
請求項１記載の電気的接続形成用装置における、電極間位置ずれ検出部のプローブが、その位置検出用配線それぞれの表面に、針状突起を設けて成る、電気的接続形成用装置。
【請求項１０】
請求項１記載の電気的接続形成用装置における、電極間位置ずれ検出部は、そのプローブが、その絶縁薄板の表面及び裏面に、位置検出用配線に加え、第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極の配列と対応して、その配列方向に延びる複数本の電極軸方向位置ずれ検出用配線を、予め設定された間隔で前記位置検出用配線とは電気的に絶縁されて交差するように配備して成り、その電極間位置ずれ量算出部が、算出する位置ずれ量の中に、前記複数本の電極軸方向位置ずれ検出用配線に対し予め設定された信号を供給してこれら電極軸方向位置ずれ検出用配線から得られる信号の情報に基づいて、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間の各電極軸方向の位置ずれ量を含むように構成された電気的接続形成用装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気的接続形成用装置に関し、特に、それぞれ複数の電極が配列形成されて成る２つの接続対象部材を、その複数の電極の間の位置合せを行ってこれら電極間を対応接続し、電気的に接続するための電気的接続形成用装置に属する。
【０００２】
【従来の技術】
電子装置の小型化、高密度実装化に伴って、実装用基板や親側回路部材への電子部品の搭載、接続、及びフレキシブル配線板等の配線接続における、狭ピッチ化、多芯化、小型化が進展しており、これらの接続対象部材を、直接、目視確認によりその間の接続を行うことは極めて困難になっており、顕微鏡等により拡大した像を利用して接続対象部材間の電極位置合せを行い、その電気的接続を形成するのが一般的となってきている。
【０００３】
図９（ａ）〜（ｃ）は、このような、従来の電気的接続形成用装置の一例の、構成、動作等について説明するための、接続対象部材を中心とした斜視図及び側面図である。この図９（ａ）〜（ｃ）では、接続対象部材である実装用基板８００とフレキシブル配線板９００との間を電気的に接続する場合の例を示し、実装用基板８００は、絶縁基板８１０の表面に複数の電極８２０が配列形成された構成、構造となっており、フレキシブル配線板９００は、フレキシブル基板９１０の表面に複数の電極９２０が配列形成された構成、構造となっていて、電気的接続用形成装置は、実装用基板８００の複数の電極８２０とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０との間の位置合せを行って、これら複数の電極８２０，９２０間を、相対向させて対応接続し、これら実装用基板８００とフレキシブル配線板９００との間を電気的に接続する。
【０００４】
複数の電極８２０，９２０の間の位置合せ用の構成、構造としては（図示省略）、微細な電極（８２０，９２０）、配線等の位置を光学的に拡大して画像などとして表示するためのレンズ、ミラー等やＣＣＤなどを含む電極位置拡大検出部と、その位置検出結果に応じて複数の電極８２０，９２０間の位置合せ制御を行う、電極間位置合せ機構部と、を含む。
【０００５】
また、電極位置拡大検出部としては、図９（ａ）に矢印で示すように、接続対象物の実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の電極形成部分をその両面から観察する両面観察型のものや、図９（ｂ）に矢印で示すように、赤外線等を透過させて電極位置を検出する透過型などがある。
【０００６】
電極間位置合せ機構部は、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００それぞれを保持固定し、その相対的な位置を、前述の位置検出結果に応じて変化させて位置合せを行う。
また、多くの場合、位置検出、位置合せのため、実装用基板８００等にマーカーをパターニングして設ける必要がある。
この電気的接続形成用装置には、当然、位置合せが済んだ、接続対象部材間の電気的接続を実行するための、電気的接続実行手段が設けられており、図９（ｃ）には、その１つの例によって形成された、異方導電性接続フィルム６５０を用いた電気的接続構造が示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の電気的接続形成用装置は、接続対象部材の微細な電極、配線等の位置を、光学的に拡大して画像表示等を行い位置検出するための、レンズ、ミラー、ＣＣＤなどを含む電極位置拡大検出部と、その検出結果に応じて接続対象部材の複数の電極間の位置合せを行う電極間位置合せ機構部と、位置合せが済んだ接続対象部材間の電気的接続を行うための電気的接続実行手段と、を含み、また、電極位置の検出には、両面観察型及び透過型があり、更に、位置検出、位置合せとして多くの場合、接続対象部材には、そのためのマーカーが設けられた構成、構造となっているので、レンズ、ミラー、及びＣＣＤなどの高価な部品を必要とし、かつこれら部品の保持、操作のための構造が複雑かつ大型化するだけでなく、その位置検出結果に基づく位置合せ機構も、複雑かつ大型化して（両面観型はより一層大型化する）その操作も複雑となり、装置全体が高価で大型化、操作が難しくなる、という問題点があり、また、透過型の場合には、赤外線等を透過しない接続対象部材には使用できず、部材材質が限定される、という問題点や、少なくともマーカー部分は透過性の材質を使用する必要があって、接続対象部材そのものが高価になるという問題点があり、更に、マーカーがパターニングされて設けられているため、汎用性に欠ける、という問題点があり、更にまた、位置合せ結果の確認は、光学的な確認しかできず、電極間に対する、電気的直接的な確認ができないため、電極間の電気的接続に対する間接的確認に過ぎない、という問題点がある。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、装置全体が安価で小型化できて、しかも操作が容易となり、接続対象部材も、その材質に制約されることなく、かつマーカーも不要となって汎用性が向上し、しかも接続対象部材間の位置合せ結果、電気的接続結果が、電気的に直接確認できて、信頼性の高い電気的接続が得られる電気的接続形成用装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気的接続形成用装置は、１つの面に複数の電極が配列形成されて成る第１の接続対象部材と、１つの面に複数の電極が配列形成されて成る第２の接続対象部材と、を、その複数の電極の間の位置合せを行い、これら電極間を対応接続して電気的に接続するための電気的接続形成用装置であって、上記目的を達成するために次の各構成を有することを特徴とする。
（イ）前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材それぞれを、その複数の電極が互いに向い合うように保持固定する、第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部
（ロ）前記第１の接続対象物固定部に保持固定された第１の接続対象部材と、前記第２の接続対象物固定部に保持固定された第２の接続対象部材との間の間隔を、その電気的接続工程の進行状態に応じて制御する部材間隔制御部
（ハ）絶縁薄板の表面及び裏面それぞれに、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極の配列と対応して、これら複数の電極の配列ピッチの複数分の１のピッチでこれら複数の電極の複数倍の本数の位置検出用配線が配列形成されたプローブと、このプローブの、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極間への挿入、及びこれら複数の電極間からの引抜き制御を行うプローブ移動制御部と、前記複数の電極間に挿入されたプローブの位置検出用配線に対し予め設定された信号を供給してこれら位置検出用配線から得られる信号の情報に基づいて、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間の相対的な位置ずれ量を算出する電極間位置ずれ量算出部と、を含む電極間位置ずれ検出部
（ニ）前記電極間位置ずれ量算出部で算出された位置ずれ量に基づいて前記第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部の相対位置を制御し、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間の位置合せを行う電極間位置合せ機構部
（ホ）前記電極間位置合せ機構部により電極間の位置合せが完了した前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間を対応接続して、これら第１の接続対象部材・第２の接続対象部材間の電気的接続を形成する、電気的接続実行手段
【００１０】
また、前記第１の接続対象部材は、その外形寸法が前記第２の接続対象部材の外形寸法より大きい部材であり、前記第１の接続対象物固定部は、前記第２の接続対象物固定部の下方に配置されて前記第１の接続対象部材を機械的手段により保持固定する構造を有し、前記第２の接続対象物固定部は、前記第２の接続対象部材を、真空チャック方式、又は吸着方式、又は粘着方式により保持固定する構造を有して構成される。
【００１１】
また、前記電極間位置ずれ検出部は、その電極間位置ずれ量算出部が、そのプローブの位置検出用配線に対し交流信号を供給し、前記プローブの位置検出用配線が第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極に対し非接触状態で得られた、これら位置検出用配線からの信号に基づいて、電極間の位置ずれ量を算出するものであり、また、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極それぞれが、その配列方向と交差する方向に長く延びた形状である場合に、前記電極間位置ずれ検出部は、その電極間位置ずれ量算出部が、算出する電極間の位置ずれ量の中に、第１の接続対象部材の複数の電極それぞれの、長手方向の軸に対する第２の接続対象部材の対応する電極の、長手方向の軸の角度のずれを含むものであり、更に、前記電極間位置ずれ検出部は、そのプローブが、その絶縁薄板としてメンブレンを用いたものである構成を有している。
【００１２】
また、前記電極間位置合せ機構部が、第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部の相対位置の制御を、アクチュエータ方式、又は静電リニア駆動方式により行うものであり、また、前記電気的接続実行手段が、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間に、異方導電性接続フィルムを供給するＡＣＦ供給部と、前記異方導電性接続フィルムを前記第１の接続対象部材の複数の電極形成部分と前記第２の接続対象部材の複数の電極形成部分との間に挟みつけて加熱処理し、これら複数の電極間を対応接続して固定する接続固定部と、を備えて構成される。
【００１３】
また、前記電気的接続実行手段が、前記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の種類、並びにこれら第１の接続対象部材と第２の接続対象部材との間の電気的接続方法の種類に応じてその構成、構造の入れ替えができるように構成される。
【００１４】
また、前記電気的接続形成用装置における、電極間位置ずれ検出部のプローブが、その位置検出用配線それぞれの表面に、針状突起を設けて構成される。更にまた、前記電気的接続形成用装置における、電極間位置ずれ検出部は、そのプローブが、その絶縁薄板の表面及び裏面に、位置検出用配線に加え、第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極の配列と対応して、その配列方向に延びる複数本の電極軸方向位置ずれ検出用配線を、予め設定された間隔で前記位置検出用配線とは電気的に絶縁されて交差するように配備して成り、その電極間位置ずれ量算出部が、算出する位置ずれ量の中に、前記複数本の電極軸方向位置ずれ検出用配線に対し予め設定された信号を供給してこれら電極軸方向位置ずれ検出用配線から得られる信号の情報に基づいて、前記第１の接続対象部材の複数の電極と前記第２の接続対象部材の複数の電極との間の各電極軸方向の位置ずれ量を含むように構成される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態は、１つの面に複数の電極が配列形成されて成る第１の接続対象部材と、１つの面に複数の電極が配列形成されて成る第２の接続対象部材と、を、その複数の電極の間の位置合せを行い、これら電極間を対応接続して電気的に接続するための電気的接続形成用装置であって、次の各構成を有することを特徴とする。
（イ）上記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材それぞれを、その複数の電極が互いに向い合うように保持固定する、第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部
（ロ）上記第１の接続対象物固定部に保持固定された第１の接続対象部材と、上記第２の接続対象物固定部に保持固定された第２の接続対象部材との間の間隔を、その電気的接続工程の進行状態に応じて制御する部材間隔制御部
（ハ）絶縁薄板の表面及び裏面それぞれに、上記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極の配列と対応して、これら複数の電極の配列ピッチの複数分の１のピッチでこれら複数の電極の複数倍の本数の位置検出用配線が配列形成されたプローブと、このプローブの、上記第１の接続対象部材及び第２の接続対象部材の複数の電極間への挿入、及びこれら複数の電極間からの引抜き制御を行うプローブ移動制御部と、上記複数の電極間に挿入されたプローブの位置検出用配線に対し予め設定された信号を供給してこれら位置検出用配線から得られる信号の情報に基づいて、上記第１の接続対象部材の複数の電極と上記第２の接続対象部材の複数の電極との間の相対的な位置ずれ量を算出する電極間位置ずれ量算出部と、を含む電極間位置ずれ検出部
（ニ）上記電極間位置ずれ量算出部で算出された位置ずれ量に基づいて上記第１の接続対象物固定部及び第２の接続対象物固定部の相対位置を制御し、上記第１の接続対象部材の複数の電極と上記第２の接続対象部材の複数の電極との間の位置合せを行う電極間位置合せ機構部
（ホ）上記電極間位置合せ機構部により電極間の位置合せが完了した第１の接続対象部材の複数の電極と第２の接続対象部材の複数の電極との間を対応接続して、これら第１の接続対象部材・第２の接続対象部材間の電気的接続を形成する、電気的接続実行手段
【００１６】
このような構成、構造とすることにより、レンズ、ミラー、ＣＣＤなどの高価な部品を必要とせず、また、構造も、移動量が少なく水平方向、垂直方向の移動で済んで単純化、小型化されて、装置全体を安価に構成することができ、かつ、操作も、最初の接続対象部材の装着後は自動化されているので、単純、容易であり、しかも直接、電気的に電極位置及び位置ずれの検出、位置合せの確認ができるので、信頼性の高い電気的接続が得られ、また、接続対象部材に対する材質の制約がなくなり、かつマーカーも不要となって汎用性が向上する。
【００１７】
【実施例】
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
図１（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施例を示す、接続対象部材装着前の斜視図、及びその装着後の主要部の斜視図、図２（ａ）〜（ｃ）はそのプローブの斜視図、プローブと２つの接続対象部材との間の配置関係を示す側面図、及び電極位置検出方法を説明するための隣接配線間導通特性図、図３（ａ）〜（ｈ）はその動作手順を示す側面図である。
【００１８】
この第１の実施例は、外形寸法が大きい方の第１の接続対象部材として、絶縁基板８１０の１つの面に複数の電極８２０が配列形成されて成る実装用基板８００とし、第２の接続対象部材として、フレキシブル基板９１０の１つの面に複数の電極９２０が配列形成されて成るフレキシブル配線板９００として、その複数の電極８２０，９２０の間の位置合せを行い、これら電極８２０，９２０間を対応接続して電気的に接続する場合の、電気的接続形成用装置であって、２つの接続対象物固定部１００，２００と、部材間隔制御部３００と、電極間位置ずれ検出部４００と、電極間位置合せ機構５００と、を備えて成り、その詳細は次のとおりである。なお、この第１の実施例では、電気的接続実行手段は省略されている。
【００１９】
まず、接続対象物固定部１００は、接続対象物固定部２００の下方に配置されて、実装用基板８００を、電極形成面を上にして、機械的手段（例えば、基板先端部分をはめ込む等）により保持固定し、接続対象物固定部２００は、フレキシブル配線板９００を、電極形成面を下にして、真空ポンプ２１０を用いた真空チャック方式により、保持固定する。なお、接続対象物固定部２００の接続対象部材の保持固定方法としては、このほかに、吸着方式や、粘着材、ゲル状物質等による粘着方式などがある。
次に、部材間隔制御部３００は、接続対象物固定部２００の一端を保持してこの接続対象物固定部２００を上下に移動させ、接続対象物固定部１００に保持固定された実装用基板８００と、接続対象物固定部２００に保持固定されたフレキシブル配線板９００との間の間隔、その電気的接続工程の進行状態に応じて制御する。
【００２０】
また、電極間位置ずれ検出部４００は、メンブレン製の絶縁薄板４１１の表面及び裏面それぞれに、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の複数の電極８２０，９２０の配列と対応して、これら複数の電極８２０，９２０の配列ピッチの複数分の１のピッチ（この実施例では１／８のピッチ）でこれら複数の電極８２０，９２０の複数倍（この実施例では８倍）の本数の位置検出用配線４１２，４１３が配列形成されたプローブ４１０と、このプローブ４１０を、実装用基板８００の複数の電極８２０形成部分とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０形成部分との間へ挿入制御し、かつこれらの間から引き抜き制御するプローブ移動制御部４２０と、複数の電極８２０，９２０の間に挿入されたプローブ４１０の位置検出用配線４１２，４１３に対し、予め設定された信号（例えば、図２（ｂ）のように、電極８２０，９２０と直接接触する場合、直流電圧又は交流電圧）を供給してこれら位置検出用配線４１２，４１３から得られる情報（例えば、図２（ｃ）のように、隣接配線間の導通情報）に基づいて、実装用基板８００の複数の電極８２０及びフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０の相対的な位置を検出し、これら複数の電極８２０，９２０の間の相対的なずれの量を算出する電極間位置ずれ量算出部４３０と、を含んで構成される。
【００２１】
そして電極間位置合せ機構５００は、接続対象物固定部２００を保持している部材間隔制御部３００を、電極間位置ずれ量算出部４３０で算出された位置ずれ量に基づいて移動制御し、実装用基板８００の複数の電極８２０とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０との間の位置合せを行う。この移動制御には、アクチュエータ方式や静電リニア駆動方式などが用いられる。
【００２２】
次に、この第１の実施例における、電極間位置ずれ量の検出、位置合せ動作等の手順について、図３を参照しながら説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、接続対象物固定部２００を上に引き上げて実装用基板８００を接続対象物固定部１００に、電極形成面を上にして機械的手段により保持固定し、実装用基板８００の上にフレキシブル配線板９００を、その電極形成面を下にし、かつこれらの電極形成部分を大略合わせるように載せた後、図３（ｂ）に示すように、接続対象物固定部２００を下げて、これにフレキシブル配線板９００を、真空チャック方式により保持固定する。
【００２３】
次に、図３（ｃ）に示すように、フレキシブル配線板９００を保持固定している接続対象物固定部２００を上方に引き上げ、図３（ｄ）に示すように、プローブ４１０を、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の電極形成部分に挿入移動し、図３（ｅ）に示すように、接続対象物固定部２００を下げて、実装用基板８００の複数の電極８２０形成部分と、フレキシブル配線板９００の複数の電極９２０形成部分との間にプローブ４１０を挟みつける。この状態のこの部分を拡大した例が図２（ｂ）に示されており、複数の電極８２０，９２０は位置検出用配線４１２，４１３のうちの少なくとも４本に必ず、直接接触する。
【００２４】
この図３（ｅ）及び図２（ｂ）の状態で電極８２０，９２０間の位置ずれ量の算出が行われる。この位置ずれ量は、例えば、位置検出用配線の４１２側、４１３側それぞれに対し、隣接する位置検出用配線間の導通の有無（オン，オフ）を検出して（導通があればその隣接する２本の配線に電極が接触していることを示す）、複数の電極８２０，９２０の位置を相対的に検出し、これら電極の相対的な位置から算出することができる（図２（ｃ）参照）。
【００２５】
電極間位置ずれ量が算出できたところで、フレキシブル配線板９００を上方に引き上げ、図３（ｆ）に示すように、この電極間位置ずれ量に応じてフレキシブル配線板９００を水平方向に移動させ、この後図３（ｅ）に戻って、再度電極間位置ずれ量の算出を行い、位置ずれ量がゼロとなったかどうかの確認、すなわち、電極間位置合せが完了したかどうかを確認し、位置ずれ量がゼロであれば次のの図３（ｇ）の手順に移り、ゼロでなければ、図３（ｆ）に戻って、その位置ずれ量に応じてフレキシブル配線板９００の水平方向移動を行い、図３（ｅ）に戻る、という動作をくり返す。
【００２６】
図３（ｆ）では、フレキシブル配線板９００を上方に引き上げてプローブ４１０を実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の間から引き抜き、続いて図３（ｈ）に示すように、フレキシブル配線板９００を下げて、その複数の電極９２０を実装用基板８００の複数の電極８２０と対応接触させ、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００を重ね合せた状態でこれらの電極形成部分を、例えばクリップ等で挟持、固定して、その電気的接続が完了する。
【００２７】
この第１の実施例においては、電極間位置ずれ検出部４００が、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の電極形成部分の隙間に挟み込まれる、薄板状のプローブ４１０と、このプローブ４１０の電極形成部分への挿入、引抜きの制御を行うプローブ移動制御部４２０と、電極間位置ずれ量算出部４３０とを備えて成り、電気的にも機械的にも形成が容易で、構造も簡単で小型化することができ、部材間隔制御部３００は、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の着脱やプローブ４１０の挿抜のために、接続対象物固定部２００を上下方向にわずかに移動するだけであるので、構造は簡単で小型化することができ、また、電極間位置合せ機構５００も、フレキシブル配線板９００を電極間位置ずれ量だけ水平方向に移動させるだけで済むので、構造が簡単で小型化することができ、従って、装置全体を構造が簡単で小型化した安価なものとすることができ、電極間位置ずれ量の算出や、これに基づく電極間位置合せ等も自動的に行われるので、操作も容易となる。
【００２８】
また、電極間位置ずれの検出、及び電極間位置合せの確認が、電極８２０，９２０に対して直接、電気的に行われるので、接続対象部材（実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００等）に対する材質の制約はなくなり、マーカーも不要となって汎用性を向上させることができ、かつ、電気的接続に対する信頼性も向上させることができる。
【００２９】
この第１の実施例において、実装用基板８００の複数の電極８２０それぞれ、及びフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０それぞれは、通常、これら電極の配列方向と直交する方向に長く延びた形状を成しており、プローブ４１０は、その位置検出用配線４１２，４１３の長手方向が電極８２０，９２０の長手方向に対し平行となるように配置される。このとき、実装用基板８００は機械的手段によって接続対象物固定部１００に保持固定されるので、実装用基板８００の複数の電極８２０それぞれはその長手方向の軸を、プローブ４１０の位置検出用配線４１２それぞれの軸と平行になるように配置することは容易であるが、フレキシブル配線板９００の真空チャック方式等により接続対象物固定部２００に保持固定されるため、その複数の電極９２０の長手方向の軸がプローブ４１０の位置検出用配線４１３の軸に対し、平行でないように配置されることもある。
【００３０】
このようなときのために、電極間位置ずれ量算出部４３０には、その算出する電極間の位置ずれ量の中に、実装用基板８００の複数の電極８２０それぞれの、長手方向の軸に対するフレキシブル配線板９００の、対応する電極９２０の、長手方向の軸の角度のずれを含むように、演算する機能を持たせる。位置検出用配線４１３に対する電極９２０の平行の度合は、隣接配線間導通のオンとなる数が最少のとき、最高となる。複数の電極９２０の配列分布状態は既知であるので、隣接配線間導通のオンとなる最少値は既知であり、この最少値に対する、実測した隣接配線間導通のオンである数から、角度ずれの量を算出することができる。
【００３１】
電極間位置合せ機構５００は、この角度ずれの量に応じてフレキシブル配線板９００の角度合せをすることになるが、要するに、隣接配線間導通のオンとなる数が最少となるように、フレキシブル配線板９００の角度調整をすればよい。
【００３２】
なお、この第１の実施例における位置合せ、角度合せの精度は、複数の電極８２０，９２０の配列ピッチに対する位置検出用配線４１２，４１３の配列ピッチの細かさによって決定され、後者の配列ピッチが細かい程、その精度は高くなる。前者に対する後者の配列ピッチは、できれば１／１０以下となるようにするのが望ましい。
【００３３】
図４（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施例の、プローブと２つの接続対象部材との間の配置関係を示す側面図、及び電極位置検出方法を説明するための隣接配線間インピーダンス特性図である。
この第２の実施例は、電極間位置ずれ検出部４００の電極間位置ずれ量算出部４３０が、プローブ４１０の位置検出用配線４１２，４１３に対し供給する信号を交流とし、これら位置検出用配線４１２，４１３から得られる情報を、隣接配線間のインピーダンスとして、このインピーダンスの大小により、複数の電極８２０，９２０の位置の検出、及びこれら複数の電極８２０，９２０の間の位置ずれ量の算出を行うようにしたもので、図４（ａ）にしめすように、プローブ４１０の位置検出用配線４１２，４１３と複数の電極８２０，９２０との間を非接触とすることができる。
【００３４】
このように、非接触とすることで、プローブ４１０の位置検出用配線４１２，４１３や、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の電極８２０，９２０に酸化や腐蝕が発生したり、実装用基板８００等に反りが発生したりしたような場合であっても、また、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の、電極８２０，９２０を含む表面に保護膜が形成されているような場合でも、安定して電極位置の検出及び電極間位置ずれ量の算出等を行うことができる。また、プローブ４１０の、位置検出用配線４１２，４１３を含む表面に保護膜を形成することができ、プローブ４１０が損傷するのを防止することができる。
なお、そのほかの構成、構造及び作用効果は第１の実施例と同様である。
【００３５】
図５（ａ），（ｂ）は本発明の第３の実施例の、プローブの斜視図、及びこのプローブと２つの接続対象部材との間の配置関係を示す拡大側面図である。
この第３の実施例のプローブ４１０ａは、その位置検出用配線４１２，４１３それぞれの表面に、これら表面から突出する針状突起４１４を設けた構成、構造となっている。
【００３６】
このような構成、構造とすることにより、直接接触型の位置ずれ検出の場合に、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の電極８２０，９２０の表面が酸化したり腐蝕しているような場合であっても、位置検出用配線４１２，４１３と電極８２０，９２０との間を低抵抗で確実に接触接続することができて、安定して電極位置の検出、及び電極間位置ずれ量の算出ができるようになる。
なお、そのほかの構成、構造、及び作用効果は第１の実施例と同様である。
【００３７】
図６は本発明の第４の実施例を示す斜視図、図７（ａ）〜（ｃ）はこの第４の実施例の、電気的接続実行部の動作手順を示す側面図である。
この第４の実施例は、前述の第１の実施例で省略されていた電気的接続実行手段を、具体的な形で、電気的接続実行部６００として示したものである。
【００３８】
そして、この電気的接続実行部６００は、位置合せ済みの、実装用基板８００の複数の電極８２０とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０との間に、異方導電性接続フィルム（略称ＡＣＦ）６５０を供給するＡＣＦ供給部６１０（部材間隔制御部３００内に装備されている）と、この異方導電性接続フィルム６５０を実装用基板８００の複数の電極８２０とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０との間に挟みつけて加熱処理し、これら複数の電極８２０，９２０間を対応接続し、かつ固定する接続固定部６２０（接続対象物固定部１００，２００内に装備されている）と、を備えて構成される。
【００３９】
この第４の実施例において、電極間の位置ずれ検出、及びその検出結果に基づく電極間位置合せの動作は、第１の実施例と同様であり、図３の（ａ）〜（ｇ）がその動作手順を示す。そして、図３（ｈ）が電気的接続の実行動作手順を示すが、第４の実施例では、この部分が図７（ａ）〜（ｃ）と入れ替る形となる。
【００４０】
次に、この電気的接続の実行動作手順について図７を参照しながら説明する。実装用基板８００及びフレキシブル基板９００の電極間位置合せが完了した後（図３（ｇ）の後）、図７（ａ）に示すように、異方導電性接続フィルム６５０を実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の複数の電極８２０，９２０の間に供給し、図７（ｂ），（ｃ）に示すように、フレキシブル配線板９００が固定されている接続対象物固定部２００を下方に下げて行き、異方導電性接続フィルム６５０を必要量だけ切断してこれを実装用基板８００の複数の電極８２０とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０との間に挟みつける。
【００４１】
そして、この状態（図７（ｃ））で、接続固定部６２０により加熱処理し、複数の電極８２０，９２０間を対応接続すると同時に固定し、電気的接続が完了する。
【００４２】
この第４の実施例においては、電気的接続実行部６００が、実装用基板８００とフレキシブル配線板９００との間を、異方導電性接続フィルム６５０により電気的に接続する場合の例を示したが、接続対象部材間の電気的接続方法の種類（例えば、電極間直接接触型でクリップ、粘着テープ等による固定等）に応じ、また、接続対象部材そのものの種類に応じて、電気的接続実行手段の構成、構造を変えることができ、また、入れ替え可能な（オフション化）構造とすることもできる。
【００４３】
これら実施例においては、接続対象部材の実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００を、作業者がその電極８２０，９２０の大略位置を把握して接続対象物固定部１００，２００に装着した後は、電気的接続の実行まで自動的に行われるので、作業者による作業内容は極めて単純かつ容易となる。
【００４４】
図８は本発明の第５の実施例の、プローブの斜視図である。
この第５の実施例は、電極間位置ずれ検出部（４００）のプローブ４１０ｂが、その絶縁薄板４１１の表面及び裏面に、位置検出用配線４１２ｂ，４１３ｂに加え、実装用基板８００及びフレキシブル配線板９００の複数の電極８２０，９２０の配列と対応して、その配列方向に延びる複数本（この実施例では８本）の電極軸方向位置ずれ検出用配線４１６，４１７を、電極８２０，９２０の長さの複数分の１（この実施例では１／８）の間隔で位置検出用配線４１２ｂ，４１３ｂとは電気的に絶縁されて直交するように配備されて成り、電極間位置ずれ検出部（４００）の電極間位置ずれ量算出部（４３０）が、算出する位置ずれ量の中に、複数本の電極軸方向位置ずれ検出用配線４１６，４１７に対し予め設定された信号を供給してこれら電極軸方向位置ずれ検出用配線４１６，４１７から得られる信号の情報に基づいて、実装用基板８００の複数の電極８２０とフレキシブル配線板９００の複数の電極９２０との間の電極軸方向の位置ずれ量を含むように、構成されている。
【００４５】
このような構成、構造とすることにより、複数の電極８２０，９２０の間を、その電極配列方向及び各電極軸方向の２次元で位置合せすることができて、接続される電極８２０，９２０の間の接触面積が増大し、接触抵抗は低減して、より一層、良好な電気的接続を得ることができる。
なお、そのほかの構成、構造、及び作用効果は、第１の実施例と同様である。また、電極軸方向位置ずれ検出用配線４１６，４１７の部分を、別のプローブとして形成するようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、第１，第２の接続対象物固定部に、複数の電極が互いに向い合うように保持固定された第１の接続対象部材と第２の接続対象物との間の間隔を、その電気的接続工程の進行状態に応じて制御する部材間隔制御部を設け、絶縁薄板の表面及び裏面それぞれに、第１，第２の接続対象部材の、複数の電極の配列と対応して、これら複数の配列ピッチの複数分の１のピッチでこれら複数の電極の複数倍の本数の位置検出用配線が配列形成されたプローブを、第１，第２の接続対象部材の複数の電極間へ挿入し、このプローブの位置検出用配線に対し予め設定された信号を供給してこれら位置検出用配線から得られる信号の情報に基づいて、第１の接続対象部材の複数の電極と第２の接続対象部材の複数の電極との間の相対的な位置ずれ量を算出する、電極間位置ずれ検出部を設け、この電極間位置ずれ検出部で算出された位置ずれ量に基づいて、第１，第２の接続対象部材の複数の電極間の相対的な位置を制御してその位置合せを行う電極間位置合せ機構部を設けて、電気的接続実行手段により、電極間の位置合せが完了した第１，第２の接続対象部材の複数の電極間を対応接続してこれら接続対象部材間を電気的に接続する、構成、構造とすることにより、従来のようにレンズ、ミラー、及びＣＣＤなどの高価な部品を必要とせず、また構造も、移動量が少なく、水平方向、垂直方向の移動だけで済んで単純化、小型化されて、装置全体を安価に構成することができ、操作も、最初に接続対象部材を装着した後は、全て自動化されているので、単純かつ容易であり、しかも、直接、電気的に、電極位置及び位置ずれの検出、位置合せの確認ができるので、信頼性の高い電気的接続を得ることができ、更に、接続対象部材に対する材質の制約がなくなり、マーカーも不要となって、汎用性が向上する、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す、接続対象部材装置前の斜視図、及びその装着後の主要部の斜視図である。
【図２】図１に示された実施例の、プローブの斜視図、プローブと２つの接続対象部材との間の配置関係を示す側面図、及び電極位置検出方法を説明するための隣接配線間導通特性図である。
【図３】図１に示された実施例の動作手順を示す側面図である。
【図４】本発明の第２の実施例の、プローブと２つの接続対象部材との間の配置関係を示す側面図、及び電極位置検出方法を説明するための隣接配線間インピーダンス特性図である。
【図５】本発明の第３の実施例の、プローブの斜視図、及びこのプローブと２つの接続対象部材との間の配置関係を示す拡大斜視図である。
【図６】本発明の第４の実施例を示す斜視図である。
【図７】図６に示された実施例の、電気的接続実行部の動作手順を示す側面図である。
【図８】本発明の第５の実施例の、プローブの斜視図である。
【図９】従来の電気的接続形成用装置の一例の、電極位置検出手段を説明するための２つの接続対象部材の斜視図、及びその電気的接続結果を示す側面図である。
【符号の説明】
１００，２００  接続対象物固定部
２１０  真空ポンプ
３００  部材間隔制御部
４００  電極間位置ずれ検出部
４１０，４１０ａ，４１０ｂ  プローブ
４１１  絶縁薄板
４１２，４１２ｂ，４１３，４１３ｂ  位置検出用配線
４１４，４１５  針状突起
４１６，４１７  電極軸方向位置ずれ検出用配線
４２０  プローブ移動制御部
４３０  電極間位置ずれ量算出部
５００  電極間位置合せ機構
６００  電気的接続実行部
６１０  ＡＣＦ供給部
６２０  接続固定部
６５０  異方導電性接続フィルム
８００  実装用基板
８１０  絶縁基板
８２０  電極
９００  フレキシブル配線板
９１０  フレキシブル基板
９２０  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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