【事件の表示】
　特願２００２−　９０３６３「圧電アクチュエータを用いた微動ステージ装置の位置決め制御方法及び制御装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年１０月１０日出願公開、特開２００３−２８８１２１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　この出願は、平成１４年３月２８日の特許出願であって、同１８年５月２３日付で拒絶の理由が通知され、同年７月４日に意見書及び手続補正書が提出され、同１９年１月３０日付で拒絶の理由が通知され、同年４月２日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年９月２０日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同年１０月２３日に本件審判の請求がされるとともに手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲を含む明細書について補正をするものであって、補正前後の請求項１の記載は以下のとおりである。
　
(１)　補正前の請求項１
「圧電アクチュエータを用いた微動ステージ装置の位置決め制御方法において、
　指令値と前記微動ステージの現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと、
　前記偏差が前記圧電アクチュエータの制限電圧値に基づく予め定めた粗動ピッチより大きい場合には、前記圧電アクチュエータに対して開ループ制御を実行するステップと、
　前記偏差が前記粗動ピッチより小さい場合には、前記圧電アクチュエータに対して閉ループ制御を実行するステップと、を含むことを特徴とする圧電アクチュエータを用いた微動ステージ装置の位置決め制御方法。」
　
(２)　補正後の請求項１
「圧電アクチュエータを用いた微動ステージ装置の位置決め制御方法において、
　指令値と前記微動ステージの現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと、
　前記偏差が前記圧電アクチュエータの制限電圧値に基づく予め定めた粗動ピッチより大きい場合には、
　
前記指令値と前記現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと、前記偏差を前記粗動ピッチで除算するステップと、前記除算による商の回数だけ、
を含み、
　前記偏差が前記粗動ピッチより小さい場合には、
　
前記除算による余りの偏差に基づいて、
　
２　補正の適否　　　
　請求項１における補正は、指令値と現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと前記偏差を粗動ピッチで除算するステップとを含み、前記除算による商の回数だけ、圧電アクチュエータに対して開ループ制御を実行し、前記除算による余りの偏差に基づいて、前記圧電アクチュエータに対して閉ループ制御を実行するという限定事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
　
(１)　補正発明
　補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、上記１の(２)の補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
　
(２)　引用例記載事項
　この出願前に頒布された刊行物である特開平５−１５４７４３号公報（以下「引用例１」という。）及び特開昭６４−８５５６１号公報（以下「引用例２」という。）には、以下のとおり記載されている。
　
ア　引用例１
(ア)　１欄２−１０行
「【請求項１】位置決め用アクチュエータとして圧電素子を用い、まず、位置決め精度が相対的に高くない粗動位置決めモードを行い、このモードでは該圧電素子にコンデンサーを直列に接続し、開ループで位置制御の駆動を行ない、ついで、位置決め精度が相対的に高い微動位置決めモードでは該圧電素子と該コンデンサーの直列接続を解き該圧電素子のみをアクチュエータとし、閉ループで位置制御の駆動を行なうことを特徴とする圧電素子を用いた位置決め方法。」
　
(イ)　５欄４８行−６欄６行
「【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明する。
【００２２】図１は、本発明の一実施例に係る圧電素子を用いた位置決め装置の構成である。同図において、１は圧電素子であり、負荷となるステージ２を鉛直方向に変位させるためのアクチュエータとして機能する。図示のように、ステージ２の変位はホルダ３に取り付けられた非接触の位置センサ４によって検出され、センサアンプ５によって電気信号に変換される。」
　
(ウ)　６欄１９行−７欄３行
【００２３】さて、上述の位置決め装置の構成において、端子Ｒからは所定の位置へステージ２を位置決めさせるための目標信号が加えられる。まず、粗動位置決めモードではスイッチ１２はオン状態であり、Ｒの目標信号はドライバ１０の入力側に加えられる。このとき、補償器１１に設けられたスイッチ１３もオンであり、補償器出力をリセットして零となす。さらに、この状態の時、スイッチ９はオフの状態にする。したがって、Ｒから加えられた目標信号はドライバ１０を通って、圧電素子１とコンデンサー８とを直列接続したものに印加される。このとき、補償器１１の出力は零なので閉ループは構成されていない。したがって、粗動位置決めモードでは圧電素子１とコンデンサー８とが直列接続されたもの全体をアクチュエータと成し、これを開ループの状態で駆動することになる。したがって、高速な粗動位置決めが実現される。
【００２４】次に、微動位置決めモード状態では、スイッチ１２，１３はオフとなり、スイッチ９はオンとなる。したがって、位置の閉ループ制御が構成され、Ｒから印加される目標信号によって微小位置決めがなされる。
【００２５】なお、図１に示したようにスイッチ９，１２，１３の開閉は端子Ｃから加えられる論理入力によって制御されている。この論理入力による粗・微動位置決めモードの切り換えは、センサアンプ５の出力を比較回路を通して得られた出力を端子Ｃへの入力とすることによって実現される。あるいは、ステージ２上にＩＣウエハーがある場合には、ＩＣウエハー上方に存在するレンズあるいはＣＣＤ素子を用いた位置計測手段の出力の比較回路出力を使ってもよい。さらには、いずれの位置計測手段を用いる場合でも、粗・微動の切り換えは、［偏差］＝［位置設定値］−［現在位置］、［偏差の１段差分］、［偏差の２段差分］、［ドライバ１０への操作量変化分］を観測データとするファジー規則によって実現されてもよい。」
　
　上記摘記事項より、引用例１には、次の事項が記載されていると認める。
「圧電素子（１）を用いたステージ（２）を位置決めする位置決め装置の位置決め方法において、
　位置設定値と、ステージ（２）の変位を検出する位置センサ（４）の検出値との偏差を演算するステップと、
　偏差に応じて粗動に切り換えられた場合には、
　前記圧電素子（１）に対して粗動位置決めを行う開ループ制御を実行するステップと、
　偏差に応じて微動に切り換えられた場合には、
　前記圧電素子（１）に対して微動位置決めを行う閉ループ制御を実行するステップと、を含む圧電素子（１）を用いた位置決め装置の位置決め方法。」（以下「引用例１記載の発明」という。）
　
イ　引用例２
(ア)　２頁右下欄３−１１行
「そこで、この発明は、このような従来技術の問題点に着目してなされたもので、載置テーブルで代表される移動体とべースで代表される固定体との間の摺動部分を無くした非接触の状態で移動体を支持することにより、移動体が移動する際の摩擦熱や摩耗塵の発生を防止し、微少位置決めの低下要因を除去して、より高精度な安定した位置決めを行うことができるリニアステップ駆動装置を提供することを、その目的としている。」
　
(イ)　１０頁右上欄４行−左下欄１８行
「また、本実施例は、構造が簡単で省スペース化を推進できる構造ながら、とくに、Z方向に対して吸引，反発の両支持手段を有しているので、剛性の高い支持ができ、移動体のZ方向位置調整精度が高くなり、また移動時には載置テーブル２６を小さな駆動力で移動させることができる。
　なお、前述した実施例では、非接触捕捉機構は流体としての空気流により行うとしたが、本発明は必ずしもこれに限定されることなく、磁気的結合に基づくリニアパルスモー夕を利用してもよい。
　また、前述した実施例では、第１，第２の圧電素子４０，４２の設定ストローク，即ち粗動ピッチを４段階の微動に分割するとしたが、本発明はこれに限定されることなく、圧電素子の定格最大ストロークを微細に分割して微動ピッチを決定するとしてもよい。例えば、直流電圧４００〔Ｖ〕印加時に最大ストロークが２０〔μｍ〕である圧電素子を用いたとき、電圧変化を１〔Ｖ〕づつとして、この１〔Ｖ〕変化により５／１００〔μｍ〕の微動ピッチを得るようにすれば、より微細な位置決めをなし得る。
　さらに、前記コントローラ１４は、パルス発生器、ゲート回路，カウンタ等の電子回路で行うようにしたが、この代わりにマイクロコンピュータを使用し、前述した機能をマイクロコンピュータに格納するプログラムにより実現することもできる。
　さらにまた、指令する送り量がアクチュエー夕の設定ストローク（即ち、粗動ピッチ）以上の場合には、その粗動で賄いうるストロークを粗動ピッチに対応した電圧の印加による一回の粗動で行い、最終の粗動ピッチ以下のストロークを微動で行って、これにより所望の送り量に合わせるとしてもよく、このように移動制御すれば微動を飛ばす分だけその移動速度を向上させることができる。」
　
　上記摘記事項より、引用例２には、次の事項が記載されていると認める。
「圧電素子（４０，４２）を用いたリニアステップ駆動装置において、
　指令する送り量が圧電素子（４０，４２）の粗動ピッチ以上の場合には、載置テーブル（２６）を粗動ピッチで移動する粗動位置決めを行い、
　粗動ピッチで移動した後、指令する送り量が圧電素子（４０，４２）の粗動ピッチ以下になった場合には、載置テーブル（２６）を微動ピッチで移動する微動位置決めを行うこと。」（以下「引用例２記載の技術的事項」という。）
　
(３)　対比
　補正発明と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「圧電素子」は、補正発明の「圧電アクチュエータ」に相当しており、以下同様に、「ステージを位置決めする位置決め装置」は「微動ステージ装置」に、「位置決め方法」は「位置決め制御方法」に、「位置設定値」は「指令値」に、「ステージの変位を検出する位置センサ」は「微動ステージの現在位置検出手段」にそれぞれ相当していることが明らかである。
　また、引用例１記載の発明の「偏差に応じて粗動に切り換えられた場合には、前記圧電アクチュエータに対して粗動位置決めを行う開ループ制御を実行するステップと、偏差に応じて微動に切り換えられた場合には、前記圧電アクチュエータに対して微動位置決めを行う閉ループ制御を実行するステップ」は、「偏差に応じて、前記圧電アクチュエータに対して粗動位置決めを行う開ループ制御を実行するステップと、偏差に応じて、前記圧電アクチュエータに対して微動位置決めを行う閉ループ制御を実行するステップ」であることに限り、補正発明の「偏差が前記圧電アクチュエータの制限電圧値に基づく予め定めた粗動ピッチより大きい場合には、前記指令値と前記現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと、前記偏差を前記粗動ピッチで除算するステップと、前記除算による商の回数だけ、前記圧電アクチュエータに対して開ループ制御を実行するステップとを含み、前記偏差が前記粗動ピッチより小さい場合には、前記除算による余りの偏差に基づいて、前記圧電アクチュエータに対して閉ループ制御を実行するステップ」と一致している。
　
　以上のとおりであるので、両者は、次の「位置決め制御方法」で一致している。
「圧電アクチュエータを用いた微動ステージ装置の位置決め制御方法において、
　指令値と前記微動ステージの現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと、
　前記偏差に応じて、
　前記圧電アクチュエータに対して粗動位置決めを行う開ループ制御を実行するステップと、
　前記偏差に応じて、
　前記圧電アクチュエータに対して微動位置決めを行う閉ループ制御を実行するステップと、を含む圧電アクチュエータを用いた微動ステージ装置の位置決め制御方法。」
　
　そして、両者は、次の点で相違している。
　「偏差に応じて、圧電アクチュエータに対して粗動位置決めを行う開ループ制御を実行するステップと、前記偏差に応じて、前記圧電アクチュエータに対して微動位置決めを行う閉ループ制御を実行するステップ」が、補正発明では、「偏差が圧電アクチュエータの制限電圧値に基づく予め定めた粗動ピッチより大きい場合には、指令値と現在位置検出手段の検出値との偏差を演算するステップと、前記偏差を前記粗動ピッチで除算するステップと、前記除算による商の回数だけ、前記圧電アクチュエータに対して開ループ制御を実行するステップとを含み、前記偏差が前記粗動ピッチより小さい場合には、前記除算による余りの偏差に基づいて、前記圧電アクチュエータに対して閉ループ制御を実行するステップ」であるのに対し、引用例１記載の発明では、そのようなものではない点。
　
(４)　相違点の検討
　そこで、上記相違している点について、以下検討する。
　上記引用例２には、上記(２)のイのとおりの技術的事項が記載されており、引用例２記載の技術的事項と引用例１記載の発明とは、圧電素子を用いた装置に関するものである点で技術分野が共通しており、また、引用例２記載の技術的事項の指令する送り量は、引用例１記載の発明の偏差に対応するものであることが明らかであるので、引用例１記載の発明の粗動位置決めに引用例２記載の技術的事項の粗動位置決めを採用して、偏差に応じて、圧電アクチュエータに対して粗動位置決めを行う開ループ制御を実行するステップを、偏差が圧電アクチュエータの粗動ピッチより大きい場合には、圧電アクチュエータに対して粗動ピッチで移動する開ループ制御を実行するステップに変更することに格別の困難性はない。
　そして、偏差が圧電アクチュエータの粗動ピッチより大きい場合に、粗動ピッチで移動する回数が、偏差を粗動ピッチで除算した商に一致するものとなることは、技術常識より明らかであるので、偏差を粗動ピッチで除算し、除算による商の回数だけ、圧電アクチュエータに対して開ループ制御を実行することは、例えば、原審で引用された特開平８−２７２４４７号公報（５欄２９行−６欄１４行参照）にも偏差と移動量とから移動回数を演算して移動させることが記載されているように、必要に応じて適宜なされる設計的事項にすぎない。
　また、引用例１記載の発明の微動位置決めに引用例２記載の技術的事項の微動位置決めを採用して、偏差に応じて、圧電アクチュエータに対して微動位置決めを行う閉ループ制御を実行するステップを、開ループ制御を実行して、偏差が粗動ピッチより小さくなった場合には、開ループ制御の実行を終了した後の偏差に基づいて圧電アクチュエータに対して微動ピッチで移動する閉ループ制御を実行するステップに変更することに格別の困難性はなく、そして、この出願の明細書の発明の詳細な説明の段落【００１５】−【００１８】、【００２１】の記載より、補正発明の「前記偏差が前記粗動ピッチより小さい場合には、前記除算による余りの偏差に基づいて」の「偏差が前記粗動ピッチより小さい場合」とは、除算による商の回数だけ圧電アクチュエータに対して開ループ制御を実行して、偏差が粗動ピッチより小さくなった場合を意味することを含み、「除算による余りの偏差」とは、計算上の余りではなく、開ループ制御の実行を終了した後の偏差を意味することを含むと解される。
　したがって、補正発明の「前記偏差が前記粗動ピッチより小さい場合には、前記除算による余りの偏差に基づいて、前記圧電アクチュエータに対して閉ループ制御を実行するステップ」は、引用例１記載の発明の微動位置決めに引用例２記載の技術的事項の微動位置決めを採用するこにより、当業者が容易に想到することができたことである。
　請求人は、平成２０年８月２９日付け回答書において、原審で引用された特開平８−２７２４４７号公報との差違を主張するが、前記のとおり、除算により回数を求めることは、そもそも設計的事項にすぎない。
　
　さらに、圧電アクチュエータを用いた移動装置において、圧電アクチュエータの印加電圧を高くすれば移動ピッチが大きくなり、移動に要する時間を短縮することができることは、技術常識より明らかであり、また、印加電圧を高くすると圧電アクチュエータが破壊する虞があるので、印加電圧を制限することは、例えば、実公平７−９３９５号公報（２欄５−９行参照）に記載されているように従来周知である。
　したがって、引用例１記載の発明において、粗動ピッチを圧電アクチュエータの制限電圧値に基づいて予め定めることに格別の困難性はない。
　請求人は、審判請求理由、及び回答書において、「制限電圧値」の技術的意義を主張しているが、前記のとおり、周知技術を適用したにすぎない。
　また、補正発明が奏する作用効果についても、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術的事項及び上記従来周知の事項から当業者が予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
　よって、補正発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術的事項及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　むすび
　以上のとおりであるので、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について 
１　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、この出願の請求項１乃至５に係る発明は、願書に添付された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認めるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２の１の(１)の補正前の請求項１に示したとおりである。
　
２　引用例記載事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された引用例は、上記引用例１及び２であり、その記載事項は、上記第２の２の(２)に示したとおりである。
　
３　対比・判断
　本願発明は、上記第２の２で述べたとおり、補正発明の特定事項から、上記限定事項が省かれたものである。
　そうすると、上記第２の２の(４)で検討したとおり、補正発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術的事項及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、補正発明の特定事項から上記限定事項が省かれた本願発明についても、同様の理由により、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術的事項及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の技術的事項及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、この出願の請求項２乃至５に係る発明について判断するまでもなく、この出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。