(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持手段（１、２）と、前記支持手段に結合されるとともに、検出ヘッド（５０；８５；１０１；１３４）を有する少なくとも１個の測定装置（４０；７０；１００；１１９）とを備える機械部品（２０、１２０）の寸法検査装置において、
前記測定装置（４０；７０；１００；１１９）は、
参照部（４３；７２；１０６、１２５）と、
可動アーム（４５；７３；１２９）と、
前記可動アーム（４５；７３；１２９）と前記参照部（４３；７２；１０６、１２５）との間の相互変位を許容する支柱手段（４４；７６；１０４；１３１）とを有し、
前記検出ヘッド（５０；８５；１０１；１３４）は前記参照部（４３；７２；１０６、１２５）に接続され、前記可動アーム（４５；７３；１２９）と接触する可動ステム（５２：８６；１３６）を有し、前記測定装置（４０；７０；１００；１１９）は更に前記参照部（４３；７２；１０６、１２５）と前記可動アーム（４５；７３；１２９）との間の相互参照部を形成する制限止め表面（６２、６３、６５、６８；９３）を有するゼロセット装置（６０；９１；１３２）を含んで、マスタ（２０）上の前記測定装置（４０；７０；１００；１１９）の機械的ゼロセットを行うことを特徴とする寸法検査装置。
【請求項２】
前記検出ヘッド（５０；８５；１０１；１３４）は前記参照部（４３；７２；１０６、１２５）に調整可能に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の寸法検査装置。
【請求項３】
前記支柱手段（７６）は横平面にある回転軸線を形成し、前記可動アーム（７３）はほぼ前記横平面にあるとともに前記参照部（７２）に対して前記回転軸線の回りに旋回可能であり、前記検出ヘッド（８５）の前記可動ステム（８６）は前記横平面上で変位可能であり、前記測定装置（７０）は検査検査される部品（２０）の横肩表面（２０ａ）に接触するため前記可動アーム（７３）の自由端部に結合された少なくとも１個のフィーラ（７８）と前記フィーラ（７８）の変位を前記可動ステム（８６）を伝達する伝達手段（７９、８０、８１、８９、９０）とをさらに有し、前記伝達手段（７９、８０、８１、８９、９０）は前記横平面に対して傾斜し前記可動アーム（７３）のほぼ平面の表面部（７９、８０、８１）を少なくとも１個有することを特徴とする請求項１に記載の縦対称軸線を形成する機械部品（２０、１２０）の寸法検査装置。
【請求項４】
前記横平面は部品（２０）の前記横肩表面（２０ａ）にほぼ平行であり、前記伝達手段は前記可動アーム（７３）の前記傾斜表面部（７９、８０、８１）と前記検出ヘッド（８５）の可動ステム（８６）との両方に協同するアイドラボール（８９）を有することを特徴とする請求項３に記載の寸法検査装置。
【請求項５】
前記支持手段は少なくとも１個の長手部材（１、２）を有する装置であって、装置は少なくとも１個の前記長手部材に調整可能に結合されるとともに、少なくとも１個の前記測定装置（４０；７０；１００；１１９）を支持する少なくとも１個の支持装置（５、２１）を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の寸法検査装置。
【請求項６】
支持手段（１、２）がマスタを支持するとともに、前記支持手段に結合され、少なくとも１個の測定装置（４０）を調整可能な位置に支持する少なくとも１個の支持装置（５、２１）と、参照部に調整可能に結合され、可動ステムの位置を示す電気信号を提供する検出ヘッド（５０）とを有する装置であって、参照部（４３）と可動アーム（４５）とに解除可能に接触する制限止め表面（６３、６８）を有する可動ゼロセット装置（６０）を更に含む請求項１に記載の装置においてマスタ（２０）上の機械的ゼロセットを行う方法において、
前記ゼロセット装置を前記制限止め表面（６３、６８）のうちの１つが前記参照部（４３）と可動アーム（４５）のうちの１つに当接する位置に移動させる工程と、
前記ゼロセット装置を当接位置に保持しつつ、測定装置の調整可能な位置をマスタの方向に変更して可動アームをマスタに接触させるとともに、可動アームと参照部との間の移動の後に、ゼロセット装置の制限止め表面（６３、６８）の他の１つを、参照部（４３）と可動アーム（４５）のうちの他方に接触させる工程と、
測定装置（４０）の位置を支持装置（５、２１）に係止する工程と、
ゼロセット装置を解除する工程と、
検出ヘッド（５０）の位置を参照部（４３）に調整して、可動ステム（５２）が可動アーム（４５）に接触して所定の電気信号が提供される工程と、
を有する機械的ゼロセットを行う方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は回転対称性を有する機械部品の寸法検査装置に関し、縦軸線と第１参照表面が形成される少なくとも１個の長手部材を有する縦支持手段と、縦方向に位置を調整可能に前記縦支持手段に取り外し可能に結合され、モジュール結合部材を有する支持装置であって、この支持装置は、線形案内部と、前記第１参照表面と協同し前記案内部を、前記縦軸線に対して横断する相互平行方向に沿って揃えるための第２参照表面とを形成し、前記モジュール部材の各々を前記縦支持手段に固定するための締結装置を有する締結手段と、検査手段とを備える。
【背景技術】
【０００２】
マシンツール上の機械操作の後に、例えばシャフトやブッシュ等の回転対称性を有する機械部品の複数の寸法及び／又は幾何特性をほぼ同時的に検査するために、検査する部品を適当な方向に支持する部材を有する構造体と必要な検査を行うために部品の各部に接触できるように適当に位置決めされた測定装置とを支持する支持ベースを備えた装置を使用することが知られている。
【０００３】
このような装置あるいはベンチは例えば、Ｎ０．ＷＯ−Ａ−８９０４４５６の国際出願に記載されている。このベンチは支持構造体を有し、この支持構造体は例えば参照平面と２個の縦の開口部と形成する４個の多面バーを有し、部品を移動するＶ形状部材を、これらのバー上のＶ形状部材の配置を決定する２個のボルトによって締結できるようにする。
【０００４】
部品の直径寸法を検査する測定器は、可動の多面バーを有するとともに締結手段を収容する開口部を形成する他の支持部材によって移動される。
【０００５】
Ｎ０．ＷＯ−Ａ−８９０４４５６の国際出願に記載されたベンチは、粗野で安価な構造物と、ベンチを構成するＶ形状支持部材、測定器及び他の部材を有し、支持構造物への関係する接続部は高精度を可能にし顕著なモジュール性と使用のフレキシビィティとを保証する。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的は、例えばシャフトやブッシュ等の回転対称性を有する機械部品の幾何特性を検査する装置を提供することであり、この装置はＮ０．ＷＯ−Ａ−８９０４４５６の国際出願に記載された型の単純で粗野なモジュール構造物を有し、限られた数の部材から構成し検査される部品の形態的特徴が変化するときに迅速で単純な操作を行い、非常に高精度を保証することによって、使用における高いフレキシビィティを与える。
【０００７】
この目的やその他の目的は本発明による装置によって達成され、この装置では長手部材の縦軸線は線形案内部の各々のほぼ中平面を表す平面内にあり、検査手段は関係する案内部に調整可能に結合され少なくとも１個のモジュール部材に結合されている。
【０００８】
本発明によって得られる重要な結果は、種々の要素を調整する可能性を拡張でき調整に必要なことを単純に迅速に行うことができることである。
【０００９】
本発明によって得られる効果の中には、限られた個数の要素を配設することによって種々の構成の装置を組み立てる可能性がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１−９に示される装置あるいはベンチは支持部材を備え、支持部材は、同じ大きさの２個の長手部材あるいは円筒バー１、２と両方のバー１、２の端部に固定された横保持部材３、４とを備え、円筒バー１、２は、第１参照表面を形成し同じ平面、例えば垂直面にある平行な長手軸線を有して違い互いに上下に配列されている。
【００１１】
支持装置は締結手段によってバー１、２に固定されたモジュール結合手段５を備え、例えば各結合手段５はボルト６を有する関係する締結装置によって結合されている。
【００１２】
異なるモジュール部材５はほぼＬ字形状であり同じ厚さを有し、上部の線形案内部７、下方の平たい凹部９を有する平たい当接表面８、側方の表面８に垂直な当接表面１０、および線形案内部７にほぼ平行な軸線を有する貫通孔１１を形成している。各線形案内部７は例えば図１、３、４に示すような関係する案内開口部を形成しているが、異なる形状を有する部分（図１３、１４および以後の関係部分を参照）を備えていてもよい。
【００１３】
モジュール部材５のほぼ横平面上における配置はバー１、２の第１参照平面と関係する当接平面１０、８との間の接触によって形成され、当接平面１０は第２参照平面を形成する凹部９に対応する。バー１、２と当接表面８、１０との配置は相互の横方向に平行な関係する案内部７のアライメントを可能にする。このような配置において、バー１、２の縦軸がある平面は線形案内部７に対する中平面をほぼ表現する。この配置はネジ１２とナット１３を有するボルト６によって取り付けられ、ネジ１２はバー１、２の間であって孔１１内に収納され、ナット１３は当接表面１０と反対側でバー１、２に固定されている。
【００１４】
縦方向に沿って縦対称軸線を形成する例えばシャフトなどの検査部品２０の位置を決定するために、２個の制限部材１４、１５が、図２に示すように、ボルト６によって円筒バー１、２に取り付けられている。
【００１５】
さらに他の支持装置と検査手段が、関係する案内部７に調整可能に結合されモジュール部材５に締結されている。
【００１６】
図３は特にＶ形状の支持装置２１を示す。図２のベンチに示したようにこれらの装置２１の２個は検査されるシャフト２０を支持し縦軸線の支持位置を形成する。装置２１は、関係する結合部材５の線形案内部７の開口部に収納されフェザー２４を有する２個のベース部材２２、２３と、シャフト２０用のＶ形状支持座部を形成する２個の支持部材２５、２６とを備えている。調整シャフト２７はその軸心の回りに回転自在に結合部材５に取り付けられ中心部材２８によって支持されている。シャフト２７は横水平方向であっ案内部７に平行に位置決めされており、その端部はベース部材２２、２３のネジ孔に左右でネジ結合している。部材２２、２３の一つから突き出た端部で例えばセットされシャフト２７が回転することは、部材２２、２３を互いに向かい合う方向および離れる方向に変位させ、検査される部品２０の名目的寸法が変化するときに関係する部材２５、２６の前進後退する横変位を調整する。
【００１７】
調整参照制限止め部２９、３０はネジ３１、３２によって部材２５、２６に固定されるようになっており、これによって、制限止め部２９に対して図３に示すように、制限止め部の回転変位を可能にし中心位置に位置決めする。制限止め部２９、３０（あるいはそれらの少なくとも１個）は、前述の方法でシャフト２７に操作することによって部材２５、２６の往復可能な横位置を調整するとき、前記中心位置に位置決めされる。正しい位置決めは部材２５、２６によって形成されたＶ形状の座部に支持された部品２０と制限止め部２９、３０との間で接触が生じたときに得られる。制限部材２９、３０は、部品２０の名目的寸法が変化したときに、検査される部品２０の軸線が縦の同一方向に揃うように維持することを可能にする。
【００１８】
この結果、横の検査位置は一義的に形成される。
【００１９】
支持部材２５、２６の横位置が形成されると、この位置は、部材２２のみを図面で概略的に示すように迅速固定／固定解除の装置３３によってベース部材２２、２３の各々を固定部材５に固定することによって、保持される。装置３３はレバー３５の端部に結合され案内部７に収容されたアンカー部材３４を有し、レバー３５は、反対位置でカム３６に旋回可能に結合され、カム３６は部材２２の開口部３７に収容され開口部３７の適当な形状の表面に接触している。ピン３８は、部材２２の孔にネジ結合によって結合されており、図に示すようにカム３６の斜方表面に接触する傾斜端部を有する。ピン３８をカム３６へ向かって押し付けカム３６の部分を開口部３７の表面に接触させることによって、カム３６が回転変位され、この結果アンカー部材３４が持ち上がり、アンカー部材３４は案内部７の表面に押し付けられ、固定作用が完了する。
【００２０】
図４は図３に示すものと同等なモジュール部材５を示し、モジュール部材５はシャフト２０の直径を検査する検査手段を移動させる。
【００２１】
このような検査手段は、調整可能に部材５の線形案内部７に結合された２個の等価な測定装置４０を備えている。各装置４０は、案内部７に収容されたフェザー４２を有するベース部４１を有するほぼ一体的な部材と、前述したものと
（３３）と等価であって図４にその開口部３７が示される迅速固定／固定解除の装置と、を備えている。ベース部４１は、フェザー４２を移動させる固定された参照部分４３と、支点手段を形成する厚さ減少部と関係する回転軸線とを有する部分４４と、厚さ減少部を有する部分４４の変形によって前記回転軸線の回りの限定された回転変位を可能にする可動部材すなわちアーム４５と、を備えている。アーム４５は自由端において、横方向に沿って互いにほぼ平行な３個のシート部４６（図５）と、３個のシート部４６の一つに結合されたフィーラ４７とを形成している。
【００２２】
案内部７に平行な軸線を有する第１貫通孔４８と第２貫通孔４９はベース部４１の固定部分４３に形成されている。
【００２３】
検出装置は軸方向に可動な測定ヘッド５０を備えており、測定ヘッド５０は第１貫通孔４８に挿入され、クランプブラケット５１を有する締結手段によって固定されている。既知のタイプのこのヘッドは、フィーラ４７の反対側でアーム４５の自由端部に接触し横方向においてフィーラ４７と揃っている軸方向可動ステム５２と、可動ステム５２の軸方向位置の電気的指示信号を与える図示しない変換手段とを備えている。図２に参照番号５３で示し概略的に示す処理表示手段は、図示しない方法で、両方の測定手段４０のヘッド５０の変換手段に電気ケーブル５４によって電気的に結合されており、信号処理し検査される直径の寸法に関して表示する。
【００２４】
クランプブラケット５１（図６に示す）はＵ形状に曲がった板５５を備え、板５５はＵ部の脚部で第１貫通孔４８とほぼ揃った２個の貫通孔５６を有する。ヘッド５０は孔５６に挿入される。取り付けネジ５７は、Ｕ部のベースにおいて板５５のネジ孔５５へ結合され、ベース部４１の領域に接触する端部を有する。貫通孔５６の各々の輪郭は一般に円形形状であり２個の傾斜線形部５９を有し、傾斜線形部５９はさらにネジ５７のほぼ２点でヘッド５０の側部表面に接触している。このようにしてヘッド５０は特別の精度と確実性で、ある位置に取り付けられ、この位置は、傾斜部５９と対向し、前記２個の点で形成されるとともにヘッドの側部表面と孔４８の制限表面部との間の接触領域によって形成される。
【００２５】
迅速ゼロセット装置６０は、長手の円筒形状を有し、固定部４３の第２貫通孔４９に部分的に収納されており、第１および第２制限止め表面６２、６３を形成する第１端部におけるノブ６１と、第３止め表面６５を形成する円形フランジ６４と、第２端部にありアーム４５の貫通孔６７に収納され第４制限止め表面６８を形成する小さな直径を有する部分と、固定部４３と第１制限止め表面６２との間に配設された圧縮スプリング６９とを備えている。迅速ゼロセット装置６０は、以後に記載するように測定装置５０を取り付ける前に、関係する線形案内部７における測定装置４０の横位置を迅速に調整することを可能にする。
【００２６】
検査手段はシャフト２０の縦寸法を検査するための補足的装置７０を備えている。
【００２７】
図７、８、９は前記補足的装置７０の一つを示し、補足的装置７０は、前述した部材と同様な方法で調整可能に結合部材５の一つの案内部７に結合されたベース支持部７１と、垂直な軸線の回りに方向の調整を可能にベース支持部７１によって支持された参照部あるいはフレーム７２と、横平面内にある軸線、特に垂直な回転軸線の回りの旋回運動を行うためにフレーム７２に旋回可能に結合された可動アーム７３とを備えている。フレーム７２に対して固定された結合ピン７４はベース支持部７１のシートに部分的に収納され、上述した垂直な軸線を形成し、図４および６に示すブラケット５１に類似した取付ブラケット７５はピン７４を固定し支持部７１にフレーム７２を固定する。
【００２８】
アーム７３に対する前記の垂直回転軸線を形成する支点手段は、一対の薄板部７６を備え、薄板部７６の両者をフレーム７２とフランジ７７とにアーム７３と一体に結合している。
【００２９】
探子７８はアーム７３の自由端部に結合されている。可動アーム７３の反対端部における伝達手段は、前記横平面すなわち図７の平面に対して傾斜した３個のほぼ平面表面部７９、８０、８１を備え、フレーム７２に形成された３個の貫通孔８２、８３、８４の各々は対応する傾斜した表面部７９、８０、８１に面している。
【００３０】
図４に示すヘッド５０に全く類似した検出ヘッドは、フランジ８７とブラケット８８によってフレーム７２に結合され、前述の横平面上で特に垂直方向に配列されており、可動ステム８６は貫通孔８３に部分的に収納され傾斜部８０に面している。伝達手段はまたアイドル部材、特にボール８９を有し、ボール８９は可動ステム８６と傾斜部８０との間に両者に接触して位置し、アーム７３の旋回運動の結果として前記垂直方向に沿って前者（８６）の変位を可能にする。ボール８９は、図７、８、９に部分的に示し参照番号９０で示すように、フレーム７２の壁部と傾斜表面部７９、８０、８１の各々によって形成された適当なリムとによって前述したような配列に維持されている。
【００３１】
ゼロセット装置９１はフレーム７２によって形成された孔８４の中に収納され、フレーム７２に固定された結合部材９４にネジ結合によって固定された調整ノブ９３付きのステム９２を備えている。ステム９２の丸められずれた端部は傾斜表面領域８１に面し、ノブ９３の制限止め表面は装置９１のゼロセットの構成を形成する。
【００３２】
図１ー９に示す装置の作用は次の通りである。  
装置の種々の部材は、最初は縦および横方向に荒く位置決めされており、制限部材１４、１５と、Ｖ形状装置２１上の標準部品あるいは”マスタ”２０の支持部との間に持ち込むことが可能になる。”マスタ”２０は検査されるシャフトの名目的寸法を有する。したがって、制限部材１４、１５はマスタ２０の端部に当接されバー１、２に固定され、マスタ２０の縦位置を形成する。
【００３３】
マスタ２０の軸線を正しい横方向に位置合わせするために、制限止め部２９、３０を中心位置に配置することによって、また制限部材２９、３０がマスタ２０の表面に接触するまでシャフト２７を回転させ支持部材２５、２６を互いに近かづけることによって、各々のＶ形状装置２１を調整することが必要である。
【００３４】
検査手段は最初装置の縦方向に沿って調整することによって、また関係する結合部材５を円筒バー１、２上にボルト６によって固定することによって位置決めされ、これによってフィーラ４７を検査される直径断面と対応させるようにし、フィーラ７８（また関係する案内部７に沿った関係する案内装置７０の横方向を調整することによって）をマスタ２０の横肩表面２０ａすなわち関係する縦の検査位置と対応させるようにする。前記の第１の段階では、検査ヘッド５０、８５は関係する測定装置４０、７０に結合されていない。
【００３５】
測定装置４０（図４）は、固定部分４３に対して第２制限止め部表面６３を当接させるように迅速ゼロセット装置６０のノブ６１を同時に作用させることによって、関係する結合部材５の案内部７に沿った変位を介して、部品（マスタ）２０へ向かって移動させられる。フィーラ４７が部品２０の表面に接触したときに、厚さの小さい部分４４の限られた変形によりアーム４５と各装置６０の第４制限止め表面６８とが他のものに当接するまで変位が継続し、これによってフィーラ４７の機械的参照位置が形成される。この後、各ベース部４１は、迅速固定／固定解除装置３３によって部材５に固定され、ノブ６１が弛められる。
【００３６】
このように各ゼロセット装置６０は静止位置に戻り、この静止位置は、スプリング６９による押し付けと、表面６５とベース部４１とが当接することとによって決定される。
【００３７】
従って、測定ヘッド５０が関係する孔４８へ挿入され軸線方向へ変位され、このようにして可動ステム５２はアーム４５に接触させられ、処理表示手段５３へ送られた信号によってヘッド５０の”ゼロ”条件が検出される。この”ゼロ”条件が検出されると、取付ブラケット５１によって取付が完了する。
【００３８】
迅速ゼロセット装置６０の制限止め表面６３、６８は、上述のゼロセット操作が実行されたときに各アーム４５の十分な（予備セットされた）プレストロークが確保されるように、すなわちフィーラ４７と、前記プレストローク以下の量の名目的寸法より小さい半径方向寸法を有する部品２０との間の接触が確保されるように、配置される。
【００３９】
さらに、制限止め表面６５によって形成されたゼロセット装置６０の静止位置は各アーム４５に対して十分な余分ストロークを保証し、すなわちアーム４５と表面６８との間の十分の空間を保証し、これによって半径方向寸法が名目的寸法を部品２０に接触するときにフィーラ４７を自由に変位できるようにする。
【００４０】
測定装置７０に関しては、縦および横方向の位置が一度荒く調整され、関係する結合部材５がバー１、２に固定されベース支持部７１が案内部７へ固定されると、フレーム７２の位置決めはピン７４から取付ブラケット７５を弛めることによって、またフィーラ７８が横表面２０ａに対して押し付けられるように垂直軸線の回りにフレーム７２を回転させることによって、調整される。
【００４１】
この回転の間に、アーム７３とフレーム７２との間の相互位置は、薄板部７６の部分的歪みに対応して傾斜表面部８１とステム９２端部との間に生じる接触によって回転方向に保持され、装置９１のゼロセットの配置に保持され、かつ図示しない適当な除去可能な機械的制限止め部によってあるいは手動によってアーム７３およびフィーラ７８をマスタ２０の表面２０ａへ向かって押し付けることによる反対回転方向に保持される。この表面２０ａとの接触が生じるとき、フレーム７２はブラケット７５によって固定され、アーム７３へ押し付けることが弛められ、ステム９２端部はノブ９３に作用することによって表面部８１から離される。この後、ボール８９表面部８０に接触するように変位しヘッド８５は、処理表示手段７によって検出されるヘッド８５自身のゼロ条件に対応して、図７に示すようにブラケット８８によってフランジ８７へ固定される。
【００４２】
続いてマスタ２０を取り除くとアーム７３が機械的静止位置に戻され、この機械的静止位置はアーム７３のプレストロークと余分ストロークとを保証し装置９１のゼロセットによって形成される。
【００４３】
傾斜表面部７９、８０、８１および関係する孔８２、８３、８４を配置することは、特定アプリケーションに利用可能なスペースが変化するときに、表面７９、８０、８１のいずれかにおいて、ボール８９を間におき、フランジ８７とブラケット８８によって測定ヘッド８５を固定することを可能にする。ほぼ同等な方法で、孔８２あるいは孔８３に部分的に収納されたゼロセット装置９１の位置を、これらの孔８２、８３の一つにおいて結合部材９４を固定することによって、変えることが可能である。
【００４４】
したがって、縦直線寸法を検査することを可能にする装置７０の全体的な縦方向の大きさは特に小さい。このことは主に、傾斜部７９、８０、８１の一つとボール８９との伝達手段に起因し、また、横平面内で測定ヘッド８５を軸線方向に動かす配置に起因し、この横平面はフィーラ７８の変位方向とほぼ垂直にあり部品２０の横表面２０ａに平行であり、アーム７３および支点手段７６はほぼこの横平面内にある。
【００４５】
二つの異なる方向に沿って部品の移動を行うボール８９の存在によって、アーム７３の運動は、ステム８６の変位軸線に対し横の方向に力をかけることなくほぼ自由に可動ステム８６の運動を可能にし、これによってヘッド８５と装置７０全体の正しい動きを保証する。
【００４６】
さらに、アーム７３の測定変位すなわちフィーラ７８と表面２０ａとの間の接触によるアームの変位が傾斜部８０（または７９または８１）をヘッド８５から離れさせ、この結果ヘッド８５の部分であり既知の図示しない弾性手段によって押されてステム８６を外方へ変位させるように、表面部７９、８０、８１の傾斜は構成されている。この特殊な構成のために、また傾斜表面部８０と可能ステム８６との間にあるボール８９の作用のために、可動部品の間の摩擦は測定装置７０の正しい作用の下では無視できる。
【００４７】
調整作業が一度完了するとマスタが除去され部品２０によって置換され、ヘッド５０、８５によって処理表示手段５３へ供給される信号に基づいて寸法が検査される。
【００４８】
図１０は異なる測定装置１００を示し、測定装置１００は前出の図で示したベンチのモジュール部材５の一つに結合可能であり、その測定ヘッドによって例えば軸線移動する測定ヘッド１０１によって直径の大きさの検査が可能になる。測定装置１００は、迅速固定／固定解除装置３３で部材５の部分７に直接的に固定されて固定ベース部１０２と、支点手段と回転の長手軸線を形成する厚さの減少した一体部材１０４によって固定部１０２に結合された振動フレーム１０３とを備えている。振動フレーム１０３は、図４に示され同じ参照番号によって部材が同定されるベース部４１に全体的に等価な一体部材１０５と、固定された調整可能なフィーラ１０７を有する参照部１０６とを備えている。制限手段１０８とバネ１０９を有する押し付け手段が固定部１０２と参照部１０６とに結合されており、厚さ減少部材１０４によって形成される回転軸の回りの振動フレーム１０３の位置決めし振動フレーム１０３の変位を制限する。
【００４９】
検査位置にあるＶ形状支持装置２１上の配置されたマスタ２０で調整工程を行う間、ベース部１０２の位置は案内部７に沿って調整されフィーラ４７をマスタ２０の表面に接触するように移動させ、迅速ゼロセット装置６０のノブ６１に作用させ、そのような位置は装置３３によって固定される。フィーラ１０７の横位置はそれからマスタ２０の表面に接触するように調節され、図４に示した装置４０を参照して説明したのと同様な作用で、ヘッド１０１はブラケット５１によって一体部材１０５に固定される。
【００５０】
厚さ減少部材１０４を有する一体部材の構成はかなりの強さの力を与え、この力は、例えばフィーラ１０７、４７と部品２０の表面との間の摩擦の結果として、垂直軸線の回りのねじれを生じさせる傾向にある。このことは、検査位置に部品を位置決めすると、固定フィーラ１０７と可動フィーラ４７は直径をなす対向する位置で部品２０の表面に接触し、この接触点は前密に部品２０の縦軸に厳密に垂直な方向に沿って揃っている。
【００５１】
前述し示したことに加えて、多数の異なる装置が調整可能に関係するモジュール部材５に取り付けられ、モジュール部材５は前述したようにバー１、２に固定されている。このような異なる装置の中には、制限されない例として、次のようなものがある。すなわち、部品２０を回転させ例えば部品２０の真円度を評価するための自動化された駆動装置、例えば支持中心を有するＶ形状装置２１に対して異なる形状と大きさの部品２０の支持装置、あるいは接触あるいは非接触測定ヘッドを有する異なる検査手段等がある。
【００５２】
図１１は、異なる実施例による単なる例としての装置あるいはベンチを示し、ブッシュのような回転対称性を有する内径寸法を検査するためのものである。
【００５３】
図１１に示されるベンチは、２個の円筒バー１、２を有する図１、２に示したものと同等な支持装置を備え、２個の円筒バー１、２にモジュール結合部材５がボルト６によって取り付けられている。
【００５４】
支持部品１２０用装置は、ボルト１１１によってバー１、２に結合され調整可能な支持部材１１０を備え水平な支持部材１１２を有し、支持部材１１２は高さが調整可能であり中心合わせ装置１１３を移動させるものであり、中心合わせ装置１１３は部品１２０の位置決めのための４個の調整ピン１１４を有し、図１１で２個の調整ピン１１４のみが示されている。
【００５５】
単純化のために非常に模式的な方法で、外形外径を検査する測定装置１１５を有する検査手段が示されており、固定フレーム１１６と、部品１２０の外表面に接触する関係するフィーラを有する可動部品１１７と、フレーム１１６に対して部品１１７のほぼ直線的変位を可能にする例えば”パラレログラム”型として知られた結合部材１１８と、関係する固定フレーム１１６に対して部品１１７の位置を検出する（図示しない）変換手段とを備えている。
【００５６】
測定装置１１９は図１０の装置１００とほぼ類似な構成を有し、結合部材５の案内部７に調整可能に結合され迅速固定／固定解除装置３３によって固定される固定ベース部材１２１と、縦の回転軸線を形成する厚さ減少部材を有する一体部材１２３によって固定部材１２１に結合された振動フレーム１２２とを備えている。真おづフレーム１２２は一体部材１２４と、固定された調整可能なフィーラ１２６で部材１２４へ固く固定された参照部材１２５とを備えている。制限手段１２７とバネ１２８付きの釣合手段は固定部材１２１と参照部材１２５に結合され、厚さ減少部材を有する部材１２３によって形成された軸線の回りの振動フレーム１２２の変位を位置決めし制限する。
【００５７】
一体部材１２４は一方の自由端部でフィーラ１３０を有する可動アーム１２９を支持し、支点手段を形成し参照部材１２５に対してアーム１２９の変位を可能にする厚さ減少部材付きの第２の一体部材１３１を備えている。迅速ゼロセット装置１３２はノブ１３３と、弾性手段と、制限止め表面とを備え、図４、１０に示す装置６０の一つにほぼ類似する構成と作用を有する。軸方向移動の検査ヘッド１３４を備える検出装置は、ブラケット１３５によって参照部材１２５に対して固定された一体部材１２４に結合され、可動アーム１２９の際２の自由端と接触する可動ステム１３６を有する。ケーブル１３７はヘッド１３４を処理表示ユニット１５３と電気的に結合する。
【００５８】
マスタ１２０に対して実行されるゼロセット操作の間、装置１３２の制限止め表面部の配置によって一体部材１３１の所定の歪みに対応するフィーラ１３０の位置を形成するためにノブ１３３を駆動し、固定されたフィーラ１２６の位置をフィーラ１２６もまた同じ表面に接触するように調整することによってフィーラ１３０を部品１２０の内側表面に接触させる必要がある。ノブ１３３を弛めた後、ヘッド１３４は、ユニット１５３によって検出された”ゼロ”条件を示す信号に対応し、可動ステム１３６をアーム１２９に接触させて、ブラケット１３５によって固定される。
【００５９】
マスタ１２０を除去することによって、一体部材１２４（特に厚さ減少部を有する部材１３１）の機械的静止位置は可動ステム１２９の適当量のプレストロークを形成し、フィーラ１２６、１３０を検査される部品１２０の表面との接触を保証する。
【００６０】
装置の種々の要素は図１−１２を参照して説明したものと異なる構成的特色を有してもよい。固定ブラケット５１、７５、８８、１３５あるいはこれらのいくつかは、例えば音字機能を有する既知の装置によって置換してもよい。
【００６１】
モジュール結合部材や固定／固定解除装置はまた異なる構成であってもよい。図１３および１４は概略的にモジュール結合部材５’を示し、モジュール結合部材５’は、案内開口部でなくＴ型外形を有する線形案内部７’と、このような案内部７’に結合される部材例えばＶ形状支持装置２１’のベース部材とを備えている。支持装置２１’は、図３の装置２１に完全に等価であり、かつ後述する構造上の相違はベース部材２２’と案内部７’との間の調整可能結合部を与える部材に関するのみであるということは注目に値する。
【００６２】
横平面に平行に広がるベース部材２２’の横側面は、案内部７’のＴ形状の外形のシートを形成する閉じたＬ形状エッジ２４’、２４”を備えている。ベース部材２２’は案内部７’に平行に延びる第１貫通孔３７’と、第１貫通孔３７’に垂直でありこれと連通する第２貫通孔３７”とを備え、両者の貫通孔３７’、３７”は迅速固定／固定解除装置３３’を収容している。特に第２貫通孔３７”上方傾斜表面を有する摩擦シュー３４’を収納し、第１貫通孔３７’は２個の付勢部材３６’、３６”を有し、各々の付勢部材３６’、３６”は上方表面の一つに接触する下方に傾斜する表面を有する。調整ネジ３８’は付勢部材３６’の貫通孔に部分的に収納され付勢部材３６”のネジ孔に結合されたネジ端部を有する。圧縮バネ３５’付勢部材３６’、３６”の間に介在され、互いに各部材を引き離すようにしている。
【００６３】
ベース部材２２’はＬ形状エッジ２４’、２４”と案内部７’のＴ形状外形部との間の協同によってモジュール部材５’に結合されている。案内部７’に沿ってベース部材２２’の横位置を調整するときに、付勢部材３６’、３６”は調整ネジ３８’の作用によって、また圧縮バネ３５’の作用により、互いに引き離されており、摩擦シュー３４’がＴ形状外形部上を滑れるようになっている。ベース部材２２’が位置決めされるとき、ネジ３８’は付勢部材３６’、３６”を互いに圧縮バネ３５’の作用に抗する方向に動かし、傾斜表面部の亜諌の協同によって摩擦シュー３４’を下方へ付勢する。
【００６４】
このようにしてベース部材２２’の位置が固定される。
【００６５】
上述したことにより、検査ベンチの製造および組立上の単純性は、使用のフレキシビリティと関係する機械の取り替え操作の単純性および迅速性と同様に、明らかである。
【００６６】
基本的要素（バー１、２と、当接表面８−１０および線形案内部７と有するモジュール結合部材５）の生産とベンチの構成とを可能にする加工と組立の操作性が容易で安価であることは、単純な手段によってかつ限られたコストで装置の高度はモジュール性を確実にする。
【００６７】
本装置の他の重要な特色は極めてコンパクトであり、また種々の部材のモジュール性であり、縦方向に一定の全体の大きさを有しモジュール部材５によって厚さが形成され、多数の検査を行うのに空間が制限される場合においても用いることが可能である。
【００６８】
さらに、関係する締結手段６、３３を横から接近させることができ、従って検査される部品２０（または１２０）の存在によって邪魔されず、種々の部材の調整操作を極めて簡単な方法で行うことができる。
【００６９】
測定ヘッド５０、８５、１０１、１３４の軸方向の移動は、単純な機械的操作によって、異なる検査ヘッドで置換することができ、異なる検査ヘッドは、例えばダイアルゲージや異なるタイプの機械的あるいは電気機械的な測定器等で可動フィーラ４７、７８、１３０の位置や変位を検出し指示することが可能である。  縦方向を形成する支持手段は図に示した２個のバーの代わりに単一の中心部材から構成されていてもよい。この長手部材と対応するモジュール部材とは適当な面取り部と、異なる支持および参照表面と、モジュール部材を締結し前述したものとほぼ同様な方法で揃えるための半径方向の固定部（ボルト６に代えて）とを有する。
【００７０】
さらに、図において支持手段（１、２）の縦方向と線形案内部７は水平平面上で示されているが、支持装置、支持装置および検査手段は異なる配置でもよく、例えばバー１、２は垂直に配置されシャフト２０を中心を有しモジュール部材５の案内部７に結合された支持装置によって垂直に支持されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明による装置のいくつかの要素を示す概略的な斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例の装置を示す斜視図である。
【図３】図２の線III-III に沿う図２に示す装置の断面図であり、単純に明解に示すためにある部分は省略され他の部分はさらに断面で示されている。
【図４】図２の線IV-IV に沿う図２に示す装置の断面図であり、単純に明解に示すためにある部分は省略され他の部分はさらに断面で示されている。
【図５】線V-V に沿う図４に示す装置の部分切り欠き縦断面である。
【図６】図４に示す装置の後部を示す面である。
【図７】図２の線VII-VII に沿う図２に示す装置の断面図であり、単純に明解に示すためにある部分は省略され他の部分はさらに断面で示されている。
【図８】図７の線VIII-VIII に沿う図２に示す要素の断面図である。
【図９】図７の線IX-IX に沿う図２に示す要素の断面図である。
【図１０】図１および図２に示すものと類似し、異なる要素を有する装置を示す断面図である。
【図１１】本発明の他の他の実施例の装置の後部を示す部分断面図である。
【図１２】図１１の線XII-XII に沿う図１１に示す装置の断面図であり、単純に明解に示すためにある部分は省略され他の部分はさらに断面で示されている。
【図１３】他の実施例の装置を示す部分断面図である。
【図１４】図１３の線XIV-XIV に沿う図１３に示す装置の詳細を示す断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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