(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）の組成を有する強誘電体単結晶：
ｘ［Ａ］ｙ［Ｂ］ｚ［Ｃ］−ｐ［Ｐ］ｎ［Ｎ］      （Ｉ）
（式中、
Ａはマグネシウムニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］または亜鉛ニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］であり、
Ｂはチタン酸鉛［ＰｂＴｉＯ３］であり、
Ｃはタンタル酸リチウム［ＬｉＴａＯ３］またはニオブ酸リチウム［ＬｉＮｂＯ３］であり、
Ｐは白金、金、銀、パラジウムおよびロジウムからなる群から選ばれる金属であり、
Ｎはニッケル、コバルト、鉄、ストロンチウム、スカンジウム、ルテニウム、銅およびカドミウムからなる群から選ばれる金属の酸化物であり、
ｘは０．６５より大きく、０．９８より小さい数であり、
ｙは０．０１より大きく、０．３４より小さい数であり、
ｚは０．０１より大きく、０．１より小さい数であり、
ｐおよびｎは各々０．０１より大きく、５より小さい数である）。
【請求項２】
直径が５ｃｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の単結晶。
【請求項３】
室温誘電常数が５，０００以上であることを特徴とする請求項１記載の単結晶。
【請求項４】
（１）（ａ）マグネシウムニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］および亜鉛ニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］のいずれか一成分、（ｂ）チタン酸鉛［ＰｂＴｉＯ３］、および（ｃ）タンタル酸リチウム［ＬｉＴａＯ３］を各々０．６５〜０．９８、０．０１〜０．３４および０．０１〜０．１の範囲の相対モル量で混合し、
（２）前記混合物に、前記成分（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の総量を基準として、（ｄ）白金、金、銀、パラジウムおよびロジウムからなる群から選ばれる金属、および（ｅ）ニッケル、コバルト、鉄、ストロンチウム、スカンジウム、ルテニウム、銅およびカドミウムからなる群から選ばれる金属の酸化物を各々０．０５〜５重量％の量で加え、
（３）生成混合物を、有機溶媒を分散媒質として粉砕混合し、乾燥および焼成した後、粉末に粉砕し、
（４）得られた粉末を高温高圧の下で溶融した後、徐冷して結晶化すること
を含む請求項１記載の強誘電体単結晶の製造方法。
【請求項５】
前記段階（３）において、焼成が８５０〜１，０００℃の範囲の温度で１〜１０時間行われることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記段階（４）において、１，３００〜１，５００℃の範囲の高温と２０〜２００ｐｓｉ範囲の高圧下で溶融した後、８０〜１００時間にわたって徐々に室温まで冷却することを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項７】
白金または白金−ロジウム合金またはイリジウム素材の坩堝を用いて前記段階（４）を行うことを特徴とする請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記坩堝が直径５ｃｍ以上のものであることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項９】
請求項１記載の強誘電体単結晶から加工されたウエハ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、卓越した強誘電体特性、圧電体特性、電気機械的特性、電気光学的特性を有する、商業的に容易に電子デバイスとして使用できる直径５ｃｍ以上の強誘電体セラミック単結晶およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
単結晶とは、一般のセラミック成分が粉末として存在するため粒子の境界を有し無秩序な状態として存在するに比べて、粒子境界がない一つの規則的な配列を有する均質な状態をいう。そして、単結晶は、このような規則的な物理的状態に基づいて一般のセラミックスとは全く違う物理的、電気電子的、光学的、電気光学的特性を提供するため、無線通信用表面弾性波（ＳＡＷ）素子、光通信用光変調器、医療用、軍事用超音波探触子など多くの先端デバイスの製造に用いられる。
【０００３】
このような単結晶のうち、知能性緩和型強誘電体特性を有している単結晶は、知能性を有しているためセンサーとして使用することができ、単結晶が占める空間において最も密接している原子および分子の秩序整然とした配列のため微細加工が可能であり、粒径が存在していないため、高い圧電性、電気機械的、電気光学的特性などを示す。本願において、緩和型という用語は、大部分の電気部品や素子、材料、機器などが有している深刻な問題である、物理的特性値の温度依存性を緩和するのに優れたものをいう。
【０００４】
このような優れた特性に基づいて緩和型知能性強誘電体単結晶は、結晶に応力を加えたとき電圧が発生するか、反対に電圧を加えたとき歪みが発生する圧電性を用いて、超音波発生素子、アクチュエータ、マイクロホン、有線・無線通信用表面弾性波（ＳＡＷ）素子などに使用することができる。また、優れた電気光学的特性を有するため、光通信用機能性素子である光変調器、光スイッチなどに有用な素材である。
【０００５】
しかし、前記のように優れた特性を有し、多くの先端デバイスへの応用が期待される単結晶素材であっても、商業的価値を有する直径５ｃｍ（２インチ）以上の結晶は、製造が非常に難しいため、いままで商用化されていないのが実情である。これに関するこれまでの研究報告は次の通りである。
【０００６】
ロシアの科学者スモレンスキ（Ｇ．  Ａ．  Ｓｍｏｌｅｎｓｋｉｉ）とアグラノブスカヤ（Ａ．  Ｉ．  Ａｇｒａｎｏｖｓｋａｙａ）は、新しい緩和型強誘電体セラミックス組成の一つであるマグネシウムニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３、以下ＰＭＮという］に関して初めて報告した［文献Ｓｏｖ．  Ｐｈｙｓ．  Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  ｖｏｌ．１，  １４２９（１９５９）参照］。以後、ボナー（Ｗ．  Ａ．  Ｂｏｎｎｅｒ）とウイタート（Ｌ．  Ｇ．  Ｖａｎ  Ｕｉｔｅｒｔ）は、カイロポーロス（Ｋｙｒｏｐｏｕｌｏｓ）法を用いて数ｍｍから２ｃｍ以下の大きさのＰＭＮ単結晶を成長させたことを報告している［文献Ｍａｔｅｒ．  Ｒｅｓ．  Ｂｕｌｌ．  Ｖｏｌ．  ２，  １３１（１９６７）参照］。また、セター（Ｎ．  Ｓｅｔｔｅｒ）とクロース（Ｌ．  Ｅ．  Ｃｒｏｓｓ）は、フラックス方法を用いて直径１ｃｍのＰＭＮ単結晶を成長させたことを報告している［文献Ｊ．  Ｃｒｙｓｔ．  Ｇｒｏｗｔｈ，  Ｖｏｌ．  ５０，  ｐ５５５（１９８０）参照］。さらに、ノムラ（Ｓ．  Ｎｏｍｕｒａ）とウチノ（Ｋ．  Ｕｃｈｉｎｏ）は、この物質が有する種々の特性とそのＰＴ化合物であるＰＭＮ−ＰＴ単結晶（０．６７Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３・０．３３ＰｂＴｉＯ３）に関する特性を報告している［文献Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ  Ｖｏｌ．５０，  ｐ１０７−２０３（１９８３）参照］。この報告によれば、これらの物質の単結晶は、圧電特性、電気機械的特性、強誘電性、超伝性などに優れた特性を有すると記載されている。
【０００７】
その後、近年イ・サングらは、初めてブリッジマン方法を用いて１ｃｍ級のＰＭＮ単結晶を成長させるのに成功し、その優れた物理的特性を報告した［文献Ａｐｐｌ．  Ｐｈｙｓ．  Ｌｅｔｔｓ．  Ｖｏｌ．  ７４，  Ｎｏ．７，  １０３０（１９９９）参照］。また、中国の科学者ルオ（Ｌｕｏ）らは、補完されたブリッジマン方法を用いて直径２．５ｃｍのＰＭＮ−ＰＴ単結晶を成長させ、その物性を発表した［１９９９  ＩＥＥＥ  Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ  ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ−１００９］。
【０００８】
しかし、前記従来のＰＭＮ−ＰＴ組成とその組成を用いた単結晶の製造方法では、研究用や試験用としてしか使用できない直径２．５ｃｍ以下の単結晶の製造が報告されているだけである。このような大きさでは現在のデバイス製造工程用として使用可能な最小限のウエハの大きさである直径５ｃｍにならないため、前記単結晶素材を用いたデバイスの開発はされていないのが実情である。これまで報告された単結晶製造法のうち最も再現性に優れた方法であるフラックス成長方法では、商業的大量生産には使用できない不均一な大きさの単結晶が得られるだけであるという短所があった。
【０００９】
過去４０年間、緩和型強誘電体単結晶に対する研究が引続けて行われたにも拘わらず、商業化デバイスへの適用が不可能であった最大の理由は、鉛成分を大量含有している前記強誘電体物質の特性上、既存の一般的な単結晶成長法によっては直径５ｃｍ以上の大きな結晶を安定的に生産できなかったからである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の目的は、先端無線通信、超音波探触子、光通信用超高速変調器などのデバイスの製造に適合する新たな組成の知能性緩和型強誘電体単結晶を、商業化可能な５ｃｍ以上の結晶直径に製造する方法を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の一実施態様によれば、下記一般式（Ｉ）の組成を有する強誘電体単結晶が提供される：
ｘ［Ａ］ｙ［Ｂ］ｚ［Ｃ］−ｐ［Ｐ］ｎ［Ｎ］      （Ｉ）
（式中、
Ａはマグネシウムニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］または亜鉛ニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］であり、
Ｂはチタン酸鉛［ＰｂＴｉＯ３］であり、
Ｃはタンタル酸リチウム［ＬｉＴａＯ３］またはニオブ酸リチウム［ＬｉＮｂＯ３］であり、
Ｐは白金、金、銀、パラジウムおよびロジウムからなる群から選ばれる金属であり、
Ｎはニッケル、コバルト、鉄、ストロンチウム、スカンジウム、ルテニウム、銅およびカドミウムからなる群から選ばれる金属の酸化物であり、
ｘは０．６５より大きく、０．９８より小さい数であり、
ｙは０．０１より大きく、０．３４より小さい数であり、
ｚは０．０１より大きく、０．１より小さい数であり、
ｐおよびｎは各々０．０１より大きく、５より小さい数である）。
【００１２】
また、本発明の一実施態様によれば、（１）（ａ）マグネシウムニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］および亜鉛ニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］のいずれか一成分、（ｂ）チタン酸鉛［ＰｂＴｉＯ３］および（ｃ）タンタル酸リチウム［ＬｉＴａＯ３］を各々０．６５〜０．９８、０．０１〜０．３４および０．０１〜０．１の範囲の相対モル量で混合し、
（２）前記混合物に、前記成分（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の総量を基準として（ｄ）白金、金、銀、パラジウムおよびロジウムからなる群から選ばれる金属および（ｅ）ニッケル、コバルト、鉄、ストロンチウム、スカンジウム、ルテニウム、銅およびカドミウムからなる群から選ばれる金属の酸化物を各々０．０５〜５重量％の量で加え、
（３）生成混合物を、有機溶媒を分散媒質として粉砕混合し、乾燥および焼成した後粉末に粉砕し、
（４）得られた粉末を高温高圧の下で溶融した後、徐冷して結晶化することを含む強誘電体単結晶の製造方法が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をより詳細に説明する。
【００１４】
本発明に係る強誘電体単結晶は、構成成分の固相反応（第１段階反応）と溶融結晶化反応（第２段階反応）を通じて製造される、均質な化合物組成を有する新たな物質である。本発明の単結晶は、これまで報告された単結晶より高い電気機械結合係数と圧電性を示し、透光度が６０％以上であり、電気光学係数が高いため、超音波発生デバイス、無線通信用ＳＡＷ素子、光通信用機能性素子である光変調器に有用に使用できる。
【００１５】
本発明に示す組成の単結晶製造過程を具体的にみると、まず、反応原料として、マグネシウムニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］および亜鉛ニオブ酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３］のいずれか一成分と、チタン酸鉛［ＰｂＴｉＯ３］と、タンタル酸リチウム［ＬｉＴａＯ３］またはニオブ酸リチウム［ＬｉＮｂＯ３］を各々０．６５〜０．９８、０．０１〜０．３４および０．０１〜０．１の範囲の相対モル量で混合する。
【００１６】
生成混合物に、前記三つの成分の総量を基準として、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）およびロジウム（Ｒｈ）からなる群から選ばれる金属およびニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、鉄（Ｆｅ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、スカンジウム（Ｓｃ）、ルテニウム（Ｒｕ）、銅（Ｃｕ）およびカドミウム（Ｐｄ）からなる群から選ばれる金属の酸化物を０．０５〜５重量％の量で加える。
【００１７】
次いで、生成混合物を、有機溶媒を分散媒質として粉砕混合した後、乾燥および焼成する。有機溶媒としては、エチルアルコール、イソプロピルアルコールなどのような溶媒を使用することができる。乾燥は、通常の方法に従って、すなわち、乾燥機を用いて、たとえば、１５０〜２００℃範囲の温度で行うことができ、焼成はたとえば、８５０〜１０００℃の温度範囲で１時間〜１０時間行うことができる。
【００１８】
このようにして得られた物質は、新たな組成のセラミック粉末であるが、実際には原子および分子水準または化合物が有する固有な格子特性のような物理化学的特性は依然として非常に不均一な状態である。したがって、このような不均一な化合物の状態を組成および物理化学的に均質な化合物にするために引続いて第２段階に溶融結晶化工程を行う。
【００１９】
溶融結晶化段階においては、第１段階の固相反応を経たセラミック粉末を直径５ｃｍ以上の白金坩堝または白金ロジウム合金坩堝またはイリジウム坩堝で密閉状態にして、高温高圧で溶融した後、徐冷して結晶化する。溶融は、１，３００〜１，５００℃の範囲の高温と２０ｐｓｉ〜２００ｐｓｉの高圧で完全に溶解することによって行い、徐冷は８０〜１００時間にわたって徐々に室温に冷却することによって行う。この段階によって、原子や分子水準および物質の格子構造までも均質になるため、第１段階後のセラミック粉末とは物理化学的に全く違う特性を示す均質な組成の化合物が得られる。また、坩堝の直径を自在に大きくすることができるため、大きな直径の円柱状に製作することもできる。
【００２０】
【実施例】
以下、本発明を下記実施例によってさらに詳細に説明する。ただし、下記実施例は本発明を例示するためのみのものであり、本発明の範囲を制限しない。
【００２１】
実施例１：強誘電体単結晶の製造
下記表１に示す反応原料を計量して混合した後、０．５”ジルコニアボールミルでエタノールを分散媒質として粉砕混合した。次いで、生成混合物を１５０℃の温度に制御した電気炉で乾燥し、蓋のあるアルミナ坩堝で９２０℃の温度で６時間焼成した。焼成した物質をさらにボールミルで均一に粉砕した。
【００２２】
前記セラミック粉末を白金坩堝に入れ、封止した後、高温結晶成長炉（１，５００℃、１００ｐｓｉ）で２０時間静置して完全に溶融した後、１２０時間にわたって徐々に２０℃に冷却して透明で均質な組成の単結晶を得た。
【００２３】
【表１】
0003561238.tif 000002
試験例１：誘電性、電気機械的特性および圧電性試験
前記実施例１で得られた単結晶の超音波診断器用探触子製造のための特性を測定するために、前記単結晶の両面を０．５ｍｍ厚さに研磨し、超音波洗浄器で洗浄した後、両面にＤＣマグネトロンスパッター（Ｍｏｄｅｌ  ＫＶＳＣ  Ｔ５０５０、韓国真空科学（Ｋｏｒｅａ  Ｖａｃｕｕｍ  Ｓｃｉｅｎｃｅ））により１５ｘ１５ｍｍのクロム電極を形成した。
【００２４】
ＨＰ  ４１９２Ａ  ＬＦインピーダンス分析器（米国ヒューレットパッカード（Ｈｅｗｌｅｔｔ−Ｐａｃｋａｒｄ  Ｃｏ．）製品）を用いて１ｋＨｚ  ０．５Ｖｒｍｓで測定したキャパシタンスと損失（ｄｉｓｓｉｐａｔｉｏｎ）を用いて、前記単結晶の誘電常数と誘電損失を計算した。
【００２５】
また、圧電特性として、前記単結晶に３ｋＶ／ｃｍの電界を１２０℃で３０分間印加して分極処理した後、共振、半共振法を用いて分極方向振動モードの電気機械結合係数（ｋ３３）と圧電電荷係数（ｄ３３）を計算した。前記電気機械結合係数は、圧電体に電場を印加したとき、電気エネルギーが機械的エネルギーに変化する効率を意味し、分極方向振動モードの圧電電荷係数（ｄ３３）は、軸方向に一定な圧縮または引張応力を加えたとき、軸方向から発生する電荷量（Ｄ３）の尺度である。
【００２６】
前記単結晶および従来物質の誘電常数と誘電損失、圧電係数および電気機械結合係数の特性値を比べて下記表２に示す。
【００２７】
【表２】
0003561238.tif 000003
前記表において、本発明のデータ以外のものは、文献［Ｋ．  Ｈ．  Ｈｅｌｌｗｅｇｅ  ｅｔ  ａｌ．，  Ｌａｎｄｏｌｔ−Ｂｏｒｎｓｔｅｉｎ，  Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ｄａｔａ  ａｎｄ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ  Ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｓ  ｉｎ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，  ｐｐ１２５，  Ｓｐｒｉｎｇ−Ｖｅｒｌａｇ  Ｂｅｒｌｉｎ  ＮＹ  １９８１］および文献［Ｒｏｎａｌｄ  Ｅ  ＭｃＫｅｉｇｈｅｎ，  ”Ｄｅｓｉｇｎ  Ｇｕｉｄｅｌｉｎｅｓ  ｆｏｒ  Ｍｅｄｉｃａｌ  Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ  Ａｒｒａｙｓ”：ｐｒｅｓｅｎｔｅｄ  ａｔ  ｔｈｅ  ＳＰＩＥ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  ｏｎ  Ｍｅｄｉｃａｌ  Ｉｍａｇｉｎｇ，  Ｓａｎ  Ｄｉｅｇｏ，  ＣＡ，  １９９８］を参照した。
【００２８】
試験例２：ＳＡＷフィルタの製造
下記工程に従って、本発明による単結晶を用いて表面弾性波フィルタを製造した。
【００２９】
まず、実施例１で製造した圧電単結晶基板の表面を、有機質除去に広く用いられるＤＥＣＯＮＥＸ（Ｂｏｒｅｒ  ｃｈｅｍｉの製品）５％と脱イオン水９５％からなる溶液を用いて４０℃で２０分間超音波洗浄し、ゆすいだ後、半導体表面洗浄工程を経て洗浄した。
【００３０】
前記のように洗浄した単結晶基板の表面に、スパッタリング法によってアルミニウム合金（Ａｌ−０．５％Ｃｕ）を１０００Å以上の厚さに蒸着してコンバータを製造した。コンバータは、圧電単結晶基板に電気的な信号を伝達する入力コンバータと、変換された電気的な信号を圧電単結晶基板から外部に伝達するための出力コンバータとからなり、前記圧電単結晶基板上に半導体工程を通じてパターン化して形成した。すなわち、感光剤を約１μｍの厚さでスピンコーターを用いてアルミニウム薄膜上に塗布した後、フォトマスクを覆い、感光剤をＵＶに露光させた後、現像作業を行ってフォトマスクと同一な感光剤パターンをアルミニウム薄膜上に形成させ、その後リン酸、硝酸、酢酸を含むアルミニウム蝕刻溶液を用いた湿式蝕刻法によって、感光剤を塗布しなかった部分のアルミニウム合金薄膜を除去することによってアルミニウム薄膜のパターンを形成した後、最後に感光剤除去溶液を用いて感光剤を除去することによって表面弾性波フィルタを製造した。
【００３１】
図１は、このようにして製造された表面弾性波フィルタを示す写真である。図１に示した表面弾性波フィルタの入力コンバータ反射特性の周波数応答を図２に示す。周波数応答は、表面弾性波フィルタに対してオン−ウエハプローブ（Ｏｎ−ｗａｆｅｒ  ｐｒｏｂｅ）を用いてネットワークアナライザー（Ｎｅｔｗｏｒｋ  Ａｎａｌｙｚｅｒ）で測定し、測定の際にインピーダンス整合をしなかったため表面弾性波電波損失などを含むフィルタの挿入損失の正確な値は測定できなかったが、圧電単結晶基板の表面弾性波速度とコンバータ電極間隔によって決定される表面弾性波フィルタの中心周波数を測定した結果である。
【００３２】
図１の表面弾性波フィルタのコンバータ電極間隔（λ）は４０μｍであり、図２に示す表面弾性波フィルタの入力コンバータ反射特性の中心周波数は１４２ＭＨｚであるため、本発明に係る表面弾性波フィルタに用いた実施例１の圧電単結晶基板の表面弾性波電波速度は５，８４０ｍ／ｓｅｃである。
【００３３】
本発明による単結晶基板は表面弾性波フィルタのコンバータ電極間隔（λ）を２．８μｍとして製作すると、次世帯移動体通信ＩＭＴ（ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  ｍｏｂｉｌｅｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ）−２０００用表面弾性波フィルタの製造に適用することができる。
【００３４】
試験例３：電気光学性能試験
文献［Ｆｅｒｎａｎｄｏ  Ａｇｕｌｌｏ−Ｌｏｐｅｚ，  Ｊｏｓｅ  Ｍａｎｕｅｌ  Ｃａｂｒｅｒａ，  Ｆｅｒｎａｎｄｏ  Ａｇｕｌｌｏ−Ｒｕｅｄａ，  Ｅｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｓ，  ｐｐ４９  Ａｃａｄｅｍｉｃ  Ｐｒｅｓｓ，  １９９４］に記載の試験方法に従って、実施例で得られた単結晶に外部電場を加えたとき、光学的性質が変わる現象を測定して（すなわち、１次電気光学係数を得ることによって）前記単結晶の光変調器製作用基板としての使用可能性を確認した。
【００３５】
基板は、組成によって若干の差はあるが、その値は略５０−１００ｐｍ／ｖであり、既存の材料であるニオブ酸リチウム（ＬＮ）やタンタル酸リチウム（ＬＴ）から得られる値である３０−５０ｐｍ／ｖの２倍程であることを確認した。
【００３６】
【発明の効果】
本発明の新たな組成の知能性緩和型強誘電体単結晶は、高い誘電常数、低い誘電損失、優れた電気機械結合特性と圧電性を示し、透光度が６０％以上であり、電気光学係数が高いため、超音波発生デバイス、無線通信用ＳＡＷ素子、光通信用機能性素子など種々の素子製作に有用に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る単結晶を用いて製造した表面弾性波フィルタのパターン写真。
【図２】図１の表面弾性波フィルタの周波数応答特性を示す図。
【図１】
0003561238.tif 000004
【図２】
0003561238.tif 000005