(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体と、粘弾性体と、圧縮量調整手段との組合わせを有する除振マウントであって、
弾性体と、粘弾性体とは、並列に組合されて第１の台座と第２の台座間に、粘弾性体を内側として内外同心上に設置され、
弾性体は、コイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、コイルばねの空間内に垂直姿勢に保持され、圧縮変形が自由であり、機械または構造物の重量を受けて圧縮され、弾性体に固有の共振倍率を下げるものであり、
第１の台座は床上に設置され、第２の台座は機械または構造物を支えるものであり、
圧縮量調整手段は、第２の台座に支えられ、粘弾性体の頂部を圧下してその圧縮量を変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものであることを特徴とする除振マウント。
【請求項２】
弾性体と、粘弾性体と、拘束手段との組合わせを有する除振マウントであって、
弾性体と、粘弾性体とは、並列に組合されて第１の台座と第２の台座間に設置され、
弾性体は、コイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、コイルばねの空間内に垂直姿勢に保持され、弾性体に固有の共振倍率を下げるものであり、
第１の台座は床上に設置され、第２の台座は機械または構造物を支えるものであり、
拘束手段は、機械または構造物の重量を受けて圧縮される粘弾性体の一部を拘束し、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものであることを特徴とする除振マウント。
【請求項３】
弾性体と、粘弾性体と、圧縮量調整手段と、拘束手段との組合わせを有する除振マウントであって、
弾性体と、粘弾性体とは、並列に組合されて第１の台座と第２の台座間に設置され、
弾性体は、コイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、コイルばねの空間内に垂直姿勢に保持され、弾性体に固有の共振倍率を下げるものであり、
第１の台座は床上に設置され、第２の台座は機械または構造物を支えるものであり、
圧縮量調整手段は、第２の台座に支えられ、機械または構造物の重量を受けて圧縮される粘弾性体の圧縮量を変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものであり、
拘束手段は、機械または構造物の重量を受けて圧縮される粘弾性体の一部を拘束し、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものであり、
圧縮量調整手段と、拘束手段とは、それぞれ単独にまたは併用されるものであることを特徴とする除振マウント。
【請求項４】
前記圧縮量調整手段は、第２の台座にねじ込まれた調整ねじであり、調整ねじは、ねじ込み量の調整により、粘弾性体の圧縮量を調整するものであることを特徴とする請求項１または３に記載の除振マウント。
【請求項５】
粘弾性体は、棒状をなし、第１の台座上に支えられ、拘束手段は、第２の台座に支えられた筒であり、
筒は、第２の台座に対して上下に相対変位が可能であり、粘弾性体の頂部から長さ方向の一定範囲にわたってその一部を筒内に受入れ、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを調整するものであることを特徴とする請求項２又は３に記載の除振マウント。
【請求項６】
弾性体はコイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、粘弾性体を内側として弾性体と粘弾性体とは内外同心上に組み合わされ、
圧縮量調整手段は、第２の台座にねじ込んで粘弾性体の頂部を圧下する調整ねじであり、
拘束手段は、第２の台座に支えられた筒であり、筒内に粘弾性体の一部を受入れて周囲を覆って、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを調整するものであり、調整ねじは、筒の中に差し込まれているものであることを特徴とする請求項３に記載の除振マウント。
【請求項７】
筒は、調整ねじにねじ込まれ、調整ねじに対して高さが調整されるものであることを特徴とする請求項５又は６に記載の除振マウント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機械器具又は構造体の振動を防止する除振マウントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械器具又は構造体の防振マウントとして従来よりコイルばねとオイルダンパーとの組合せや、防振ゴムなどが一般に用いられてきたが、コンピュータや通信機器に用いる電子デバイスの回路パターンを形成するＩＣ露光機や回路パターンを読み取る３次元測定器のように１μｍ以下の精度を問題とする機器類では自励振動や外来の振動の影響を阻止する必要性が高く、床から機器類に伝えられる振動を減衰する除振装置の性能が機械の性能を左右する重要な要素となる。
【０００３】
このような目的に適合した除振マウントとして、弾性体と、粘弾性体との組み合わせによる除振装置が開発された。この装置は、例えば図８に示すように、弾性体（コイルばね）２１と円柱状の粘弾性体（エポキシ樹脂）２２との組合わせを用い、粘弾性体２２をコイルばね２１の中に入れ、粘弾性体２２の両端と、コイルばね２１の両端とにフランジ２３を取り付け、弾性体２１と粘弾性体２２との複合体に作用する荷重方向の弾性中心を粘弾性体側に包蔵させて両者を一体にねじ２４で緊締したものである。
【０００４】
この装置を機械器具或いは構造体の支持に用いれば、水平方向（横方向）と垂直方向（縦方向）に加えられる外力に対して大きな減衰性を得ることができる（特開平６３−３０６２８号参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記除振マウントにおいて、垂直方向に加えられる外力に対して除振性能を上げるため、すなわち、除振マウントの共振周波数を低くするために、負荷荷重によるコイルばねの圧縮量をできるだけ大きくするようにばねが選定されるが、負荷荷重によるコイルばねの圧縮量をできるだけ大きくするようにばねが選定されると、確かに、垂直方向に軟らかな性能が得られるものの、同時に水平方向にも同じ特性が強く現れてくる。
【０００６】
もっとも、垂直方向のコイルばねのたわみ量は、ばねの線材同士の接触によって限界に達するが、横方向では、ばねのアスペクト比にもよるが、コイルばねのたわみによって座屈を生ずるという問題がある。
【０００７】
座屈とは、コイルばねが横方向に柔らかくなりすぎて水平方向のばね性が失われ、コイルばねに加えられる横からの力に耐えきれずに横ずれを生じてしまう現象である。コイルばねに座屈が生じたときには、もはや機械器具又は構造体を支持することができない。
【０００８】
このような問題を解消するために発明者は先に圧縮量の大きいコイルばねを用い、水平方向、垂直方向に除振機能を持たせ、しかも横ずれを生じさせない除振マウントを開発し、その結果、コイルばねの圧縮量をできるだけ大きくするようにばねを選定して共振周波数を低く抑えることができた（特願２０００−２６２７０８号参照）。本発明は上記除振マウントを実際に機械あるいは構造物の除振マウントとして使用する場合の問題点をさらに解決したものである。
【０００９】
本発明の目的は、除振マウントとして機械あるいは構造物の設置現場に据え付けるに際して共振周波数又は共振倍率（減衰ｄＢ）の微調整を可能とした除振マウントを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明による除振マウントにおいては、  弾性体と、粘弾性体と、圧縮量調整手段との組合わせを有する除振マウントであって、
弾性体と、粘弾性体とは、並列に組合されて第１の台座と第２の台座間に、粘弾性体を内側として内外同心上に設置され、
弾性体は、コイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、コイルばねの空間内に垂直姿勢に保持され、圧縮変形が自由であり、機械または構造物の重量を受けて圧縮され、弾性体に固有の共振倍率を下げるものであり、
第１の台座は床上に設置され、第２の台座は機械または構造物を支えるものであり、
圧縮量調整手段は、第２の台座に支えられ、粘弾性体の頂部を圧下してその圧縮量を変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものである。
【００１１】
また、弾性体と、粘弾性体と、拘束手段との組合わせを有する除振マウントであって、
弾性体と、粘弾性体とは、並列に組合されて第１の台座と第２の台座間に設置され、
弾性体は、コイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、コイルばねの空間内に垂直姿勢に保持され、弾性体に固有の共振倍率を下げるものであり、
第１の台座は床上に設置され、第２の台座は機械または構造物を支えるものであり、
拘束手段は、機械または構造物の重量を受けて圧縮される粘弾性体の一部を拘束し、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものである。
【００１２】
また、弾性体と、粘弾性体と、圧縮量調整手段と、拘束手段との組合わせを有する除振マウントであって、
弾性体と、粘弾性体とは、並列に組合されて第１の台座と第２の台座間に設置され、
弾性体は、コイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、コイルばねの空間内に垂直姿勢に保持され、弾性体に固有の共振倍率を下げるものであり、
第１の台座は床上に設置され、第２の台座は機械または構造物を支えるものであり、
圧縮量調整手段は、第２の台座に支えられ、機械または構造物の重量を受けて圧縮される粘弾性体の圧縮量を変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものであり、
拘束手段は、機械または構造物の重量を受けて圧縮される粘弾性体の一部を拘束し、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを変化させることによって、弾性体の共振倍率を低下させたままで弾性体と、粘弾性体との組合せによって設定される共振周波数を調整するものであり、
圧縮量調整手段と、拘束手段とは、それぞれ単独にまたは併用されるものである。
【００１３】
また、前記圧縮量調整手段は、第２の台座にねじ込まれた調整ねじであり、調整ねじは、ねじ込み量の調整により、粘弾性体の圧縮量を調整するものである。
【００１４】
また、粘弾性体は、棒状をなし、第１の台座上に支えられ、拘束手段は、第２の台座に支えられた筒であり、
筒は、第２の台座に対して上下に相対変位が可能であり、粘弾性体の頂部から長さ方向の一定範囲にわたってその一部を筒内に受入れ、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを調整するものである。
【００１６】
また、弾性体はコイルばねであり、粘弾性体は、棒状をなし、粘弾性体を内側として弾性体と粘弾性体とは内外同心上に組み合わされ、
圧縮量調整手段は、第２の台座にねじ込んで粘弾性体の頂部を圧下する調整ねじであり、
拘束手段は、第２の台座に支えられた筒であり、筒内に粘弾性体の一部を受入れて周囲を覆って、圧縮変形が自由となる粘弾性体の非拘束長さを調整するものであり、
調整ねじは、筒の中に差し込まれているものである。
【００１７】
また、筒は、調整ねじにねじ込まれ、調整ねじに対して高さが調整されるものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明による除振マウントの実施の形態を図によって説明する。図１に、本発明による除振マウントの除振機構のメカニズムを示す。図１において、弾性体（コイルばね）１の共振周波数ｆ0は、近似的に式（１）であらわされる。
ｆ0＝５／√たわみ量（ｃｍ）・・・・（１）
【００１９】
また、図１（ａ）に示す弾性体１と、粘弾性体２との組み合わせにおける除振マウントの減衰ｄＢは、除振マウントの上端をＵ、下端をＤとして、式（２）のとおりである。
ｄＢ＝２０ｌｏｇＵの振動／Ｄの振動・・・（２）
【００２０】
図１（ｂ）において、曲線Ａは、弾性体１の共振周波数がｆ0のときの弾性体１の振動伝達特性を示している。図は、説明を分かりやすくするため、サージングの波形は図示を省略してある。（１）式により、曲線Ａにおける共振周波数ｆ0を下げるには、垂直方向のたわみ量を大きくすることである。
【００２１】
共振周波数ｆ0を下げることによって、曲線Ｂのように共振周波数ｆ0を頂点とした領域の共振倍率が上昇する。共振周波数ｆ0を下げることによって上昇した弾性体の共振倍率は、その弾性体１に粘弾性体２を組合せることによって、下げることができる。曲線Ｃは、曲線Ｂの特性の弾性体１に粘弾性体２を組合わせた除振マウントの特性を示している。
【００２２】
図に明らかな通り、曲線Ｂは、曲線Ａよりも共振周波数が低下するが、弾性体１に粘弾性体２を組合わせた除振マウントの減衰曲線Ｃは、曲線Ｂよりも共振周波数が増大するものの、曲線Ａの共振周波数に匹敵し、かつ共振倍率が大幅に低下して優れた減衰性能の振動伝達特性が得られる。なお、説明を分かりやすくするため、曲線Ａと同様にサージング波形は図示を省略してある。
【００２３】
図１に明らかなように、弾性体の共振周波数は、たわみ量の大小によって決定され、弾性体に粘弾性体を組合わせることによって、弾性体の共振倍率が低下するだけでなく、共振周波数を変化させることができることがわかる。
【００２４】
このような結果から、除振マウントの共振周波数は粘弾性体の種類によっても決定されることが予想され、粘弾性体の材料を選定することが重要な要素である。材料の違い、形状の違いによって除振マウントの共振周波数は決定されるが，同じ材料で同一形状の粘弾性体であっても、圧縮量、有効長さ（非拘束長さ）の違いによっても共振倍率を低下させたままで、共振周波数の制御が可能である。したがって、除振マウントに用いた粘弾性体の圧縮量、有効長さを調整することによって、床振動と、除振マウントによって支えられる機械または構造物との共振を避けることができる。
【００２５】
図２に本発明による除振マウントの１実施形態を示す。図２（ａ）において、この実施形態に示す除振マウントは、弾性体１と、粘弾性体２と、圧縮量調整手段３と、拘束手段４との組合わせを有する除振マウントである。
【００２６】
この実施形態において、弾性体１はコイルばねである。以下この実施形態において、弾性体１は、コイルばね１として説明する。粘弾性体２は、棒状をなし、弾性体１と、粘弾性体２とは、並列に組合されて第１の台座５と第２の台座６間に設置されたものである。この実施形態において、粘弾性体２を内側として弾性体１と粘弾性体２とは、図２（ｂ）に示すように内外同心上に組み合わされている。
【００２７】
第１の台座５は、床上に設置される基台であり、第２の台座６は機械または構造物を支え支持台であり、いずれもコイルばね１の周囲を覆うカバー７を一体に有している。コイルばね１の両端は、カラー８，９を用いて第１の台座５及び第２の台座６にそれぞれ保持されており、粘弾性体２は、カラー８上に設立してコイルばね１の空間内に垂直姿勢で保持されている。圧縮量調整手段３は、第２の台座６にねじ込んで粘弾性体２の頂部を圧下する調整ねじである。
【００２８】
拘束手段４は、第２の台座６に支えられた筒である。以下、この実施形態において、圧縮量調整手段は、調整ねじ３として、また、拘束手段は筒４として説明する。筒４は、粘弾性体２の頂部から長さ方向の一定範囲にわたってその一部を筒内に受入れ、圧縮変形が自由となる粘弾性体２の非拘束長さＬを調整するものである。
【００２９】
調整ねじ３は、第２の台座６に設けたナット１０のねじ穴にねじ込み、カラー９を通して粘弾性体２の頂部に向き合わせて筒４内に差し込まれているものである。図２には、筒４は、第２の台座６のカラー９に固定した一定長さの筒を示した。したがって、この例では、粘弾性体２の非拘束長さを変えるには筒自体を交換しなければならないが、第２の台座に対して上下に相対変位が可能な筒を用いれば、筒の高さを調節して粘弾性体の非拘束長さを調整することができる。
【００３０】
図３は、ねじ穴１１を筒４の上底に設け、筒４を調整ねじ３にねじ込み、そのねじ込み量の調整により、粘弾性体の非拘束長さを無段階に調整する例である。さらに、ビス１２を筒４の外周一部から差し込み、その先端を調整ねじ３に圧接することにより、粘弾性体２の非拘束長さＬを自由な長さに定めてその位置に筒を固定できる。この例では、調整ねじ３にねじ込まれた筒４は、調整ねじ３に対して相対的な高さが調整されることになる。
【００３１】
本発明において、弾性体には、圧縮量の大きいコイルばね１を用いており、コイルばね１は、図１（ｂ）に示した曲線Ｂの減衰特性を有するものである。本発明の除振マウントは、曲線Ｂの振動伝達特性を有する弾性体（コイルばね）１に粘弾性体２を組合わせたもので、その減衰特性は、曲線Ｃに示すとおりである。コイルばね１の共振周波数ｆ0は、粘弾性体２を組合わせることによって共振周波数がに変化することは前述のとおりである。
【００３２】
拘束手段に用いた筒４の長さによって決定される粘弾性体２の非拘束長さＬが一定である場合において、機械または構造物を設置すべき床の共振周波数を測定し、その測定結果に基づき床の共振周波数に一致しないように除振マウントの設計が行われるのであるが、現場施工に際して床の共振周波数が除振支持に問題が生ずるようであれば、本発明の除振マウントを用いて機械または構造物を支持するに先立って調整ねじ３のねじ込み量を調整する。
【００３３】
調整ねじ３を深くねじ込んだときには、除振マウント上に機械または構造物を支持したときに、コイルばね１が機械または構造物の重量をうけて沈み、粘弾性体２は、頂部が調整ねじ３の下端に強く押し下げられて大きく圧縮される。
【００３４】
逆に調整ねじ３を浅くねじ込んだときは、粘弾性体２の圧縮量は小さい。いずれの場合も粘弾性体２の圧縮の程度に応じて除振マウントの共振周波数が変化する。これは、拘束手段である筒４を粘弾性体２の一部にかぶせて粘弾性体２の非拘束長さＬを変えたときでも同じである。
【００３５】
図４に、除振マウントに組み込まれた粘弾性体の圧縮量を変化させたときの垂直方向の共振周波数の変化を示す。図４（ａ）は、粘弾性体を組み込まないときの弾性体（コイルばね）の垂直方向の減衰特性である。鉛直方向の共振周波数は、１．７Ｈｚ、共振倍率は、３７．５ｄＢである。図４（ｂ）〜（ｄ）は、順に除振マウントに組み込んだ粘弾性体の頂部を順に１．５ｍｍ、４．５ｍｍ、７．５ｍｍまで圧縮したときの除振マウントの減衰特性を示す図である。
【００３６】
図に明らかなとおり、粘弾性体の圧縮量をふやしていくにしたがって、共振周波数がわずかずつ高くなり、逆に共振倍率は低くなる。この例では、共振周波数が２Ｈｚから４Ｈｚに、共振倍率が５ｄＢに近づいて行くことがわかる。
【００３７】
図５は、除振マウントに組み込まれた粘弾性体の非拘束長さを変化させたときの水平方向の共振周波数の変化を示す。図５（ａ）は、粘弾性体を組み込まないときの弾性体（コイルばね）の水平方向の減衰特性である。水平方向の共振周波数は０．７Ｈｚ、共振倍率は、２９．４ｄＢである。図５（ｂ）〜（ｄ）は、粘弾性体の非拘束長さを１５ｍｍに設定したままで、粘弾性体を順に１．５ｍｍ、４．５ｍｍ、７．５ｍｍまで圧縮したときの除振マウントの水平方向の減衰特性を示す図である。
【００３８】
図に明らかなように水平方向の共振周波数についても、垂直方向の共振周波数と同様に、粘弾性体を圧縮していくにしたがって，徐々に高くなっていくことがわかる。図６、図７の（ｂ）〜（ｄ）にそれぞれ粘弾性体の非拘束長さを１２ｍｍ、９ｍｍに設定したままで、粘弾性体を順に１．５ｍｍ、４．５ｍｍ、７．５ｍｍまで圧縮したときの水平方向の共振周波数と共振倍率の変化を示す。いずれも、粘弾性体を圧縮していくにしたがって、徐々に高くなっていく傾向を示すが、図５〜図７を比較してわかるように粘弾性体の圧縮量が同じであれば、非拘束長さが短くなるにしたがって、水平方向の共振周波数が高くなっていくことがわかる。表１に、図５〜図７に示した水平方向の特性について、粘弾性体の非拘束長さと、粘弾性体圧縮量を変えたときの水平方向の共振周波数と、共振倍率の値を示す。
【００３９】
【表１】
0003543758.tif 000002
【００４０】
【発明の効果】
以上のように本発明によるときには、除振マウントの共振周波数を、粘弾性体の圧縮量あるいは非拘束長さといった粘弾性体の性状を変化させることにより、共振倍率を低下させたままで、共振周波数を制御することができる。したがって、本発明によれば，圧縮量調整手段及び拘束手段を工場内での設計条件として取り入れるほか、床振動の測定値に基づいて設計された除振マウントの共振周波数を施工現場において微妙に調節することによって、床振動との共振を避けることが可能となり、設計の自由度を大幅に上げることができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、除振マウントの基本的構成を示す図、（ｂ）は、弾性体及び除振マウントの減衰特性を示す図である。
【図２】（ａ）は、本発明の一実施形態を示す除振マウントの断面側面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】拘束手段の他の実施形態を示す図である。
【図４】粘弾性体を圧縮した場合における除振マウントの垂直方向の減衰特性を示すグラフである。
【図５】粘弾性体の非拘束長さを１５ｍｍに保ったままで粘弾性体を順次圧縮していった場合における除振マウントの水平方向の減衰特性を示すグラフである。
【図６】粘弾性体の非拘束長さを１２ｍｍに保ったままで粘弾性体を順次圧縮していった場合における除振マウントの水平方向の減衰特性を示すグラフである。
【図７】粘弾性体の非拘束長さを９ｍｍに保ったままで粘弾性体を順次圧縮していった場合における除振マウントの水平方向の減衰特性を示すグラフである。
【図８】除振マウントの従来例を示す図である。
【符号の説明】
１  弾性体
２  粘弾性体
３  圧縮量調整手段（調整用ねじ）
４  拘束手段（筒）
５  第１の台座
６  第２の台座
７  カバー
８，９  カラー
１０  ナット
１１  ねじ穴
１２  ビス
【図１】
0003543758.tif 000003
【図２】
0003543758.tif 000004
【図３】
0003543758.tif 000005
【図４】
0003543758.tif 000006
【図５】
0003543758.tif 000007
【図６】
0003543758.tif 000008
【図７】
0003543758.tif 000009
【図８】
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