(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
差動トランスに駆動信号を与える駆動手段と、前記駆動信号を処理して基準信号として出力する基準信号処理手段と、差動トランスからの出力信号を処理する出力信号処理手段と、前記基準信号処理手段からの基準信号と前記出力信号処理手段からの出力信号とを差動増幅する差動増幅手段とを備える変位検出装置において、
前記基準信号処理手段からの基準信号を、前記駆動手段にフィードバックして前記駆動信号の振幅を一定値に調整する振幅調整手段を備えることを特徴とする変位検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の変位検出装置において、
前記振幅調整手段には、差動トランスの種類に応じた基準値が与えられ、該振幅調整手段は、前記基準値に対応する前記一定値に振幅を調整することを特徴とする変位検出装置。
【請求項３】
請求項２記載の変位検出装置において、
前記差動増幅手段には、前記基準信号処理手段からの基準信号に代えて前記振幅調整手段の前記基準値が与えられ、この基準値と前記出力信号処理手段からの出力信号とを差動増幅することを特徴とする変位検出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の変位検出装置において、
前記基準信号処理手段は、交流の前記駆動信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変換する変換回路とを備え、
前記出力信号処理手段は、差動トランスからの出力信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変換する変換回路とを備え、
前記両増幅回路および前記両変換回路の少なくとも一方を熱結合させることを特徴とする変位検出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の変位検出装置において、
前記駆動手段は、直流バイアスを重畳した駆動信号を出力するものであり、
前記差動トランスの出力信号に重畳された直流バイアスのレベルに基づいて、異常を検出する検出手段を備えることを特徴とする変位検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、工場における部品や組み立て品などの寸法や形状あるいは圧力による変位などを精密に測定するのに好適な変位検出装置に関し、更に詳しくは、差動トランスを用いた変位検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８は、従来例の変位検出装置の構成図である。
【０００３】
同図において、１は差動トランス２および感度調節抵抗３を有するセンサであり、差動トランス２は、図示しない可動コアと、この可動コアの周囲に配設された二つのコイル４，５とを備えている。
【０００４】
この差動トランス２の二つのコイル４，５は、直列に接続されており、発振器６から増幅器７を介して与えられる駆動信号としての交流電圧によって駆動され、その中間接続点から出力信号を与える。
【０００５】
この変位検出装置は、ハーフブリッジ型のトランスジューサであり、交流電圧で駆動される二つのコイル４，５のインダクタンスは、可動コアの位置の関数となっており、可動コアが二つのコイル４，５の中央に位置する場合には、各コイル４，５に発生する誘導電圧は等しく、この中心位置から可動コアが変位すると、一方のコイル４または５の誘導電圧が増加し、他方のコイル５または４の誘導電圧が減少するものである。この可動コアには、例えば、部品等の測定対象に接触する接触子が取り付けられており、この接触子の変位を検出するものであり、部品等の測定対象の寸法や形状の測定に利用される。
【０００６】
この差動トランス２の二つのコイル４，５の中間接続点からの出力信号は、可動コアの変位に応じて振幅が変化した交流出力であり、増幅器８で増幅された後、ＡＣ／ＤＣ変換器９で全波整流されて差動増幅器１０の非反転入力部に与えられる。この差動増幅器１０の反転入力部には、増幅器７から差動トランス２に与えられる交流電圧が、増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２を介して基準信号として与えられる。
【０００７】
差動増幅器１０では、基準信号と差動トランス２の出力信号とを差動増幅して、可動コアの変位に対応した出力を与える。
【０００８】
この従来例では、測定範囲（ストローク）の異なるセンサ１、すなわち、種類の異なるセンサ１にも対応できるように、センサ１自体に、感度調節抵抗３が設けられる一方、差動トランス２の出力信号を増幅する増幅器８には、ゲイン切替抵抗１３が設けられ、センサ１の種類に応じて、増幅器８のゲインを切り替えるようにしている。
【０００９】
また、この従来例では、差動トランス２の出力信号ラインに、プルダウン抵抗１４を接続する一方、ＡＣ／ＤＣ変換器９からの出力を、閾値と比較して断線出力を与える比較器１５を備えている。センサ１を接続するセンサケーブル等の断線時において、例えば、少なくともセンサ駆動信号側Ａ１が切断したとき、または、少なくともセンサ出力信号ラインＡ２が切断したときには、センサ出力の交流信号が伝わらず、プルダウン抵抗１４によって０Ｖになり、比較器１５によって断線を検出することができる。また、センサ１のＧＮＤ側Ａ３のみが断線したときは、センサ駆動信号が、コイル４、コイル５で分圧されないために、センサ駆動信号がそのまま出力されることになり、センサ出力範囲をオーバーし、それが比較器１５で検出されることになる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来例では、高精度な寸法測定などを行えるようにするためには、差動トランス２からの微小な出力信号を、高ＳＮ比で高安定に出力させねばならず、差動トランス２を駆動するとともに、差動増幅器１０における基準信号となる増幅器７の出力は、安定している必要がある。このため、精密で高安定な発振器およびオペアンプなどの増幅器を必要とする上、高ＳＮ比や高安定度を得るために、温度補償用の演算回路等を含む専用のＩＣを用いる場合があり、高価になってしまう。
【００１１】
また、センサ１は、その種類によって感度が相違するために、センサ１の種類毎に、ゲイン切り替え抵抗１３によって増幅器８のゲインを切り替えており、このため、感度の低いセンサ１では、ゲインを上げることで、ＳＮ比が低下しまう。さらに、差動増幅器１０に与えられる基準信号と差動トランス２の出力信号との処理系統は、同じ特性を有することが、望ましいのであるが、差動トランス２の出力信号の処理系統は、基準信号の処理系統と異なり、ゲインを切り替える構成であるために、部品の温度特性を揃えにくく、部品を熱的にバランスよく配置するのが困難であり、高安定化の阻害要因となっている。
【００１２】
また、差動トランス２からの交流の出力信号に基づいて、センサケーブル等の断線を検出しているために、例えば、センサ１の感度を高めるなどの目的で、差動トランス２を高インダクタンス化した場合には、センサケーブル等の断線が生じた場合に、コイル４あるいはコイル５の両端の信号線の間に生じる容量結合によって、差動トランス２からの交流の出力信号が不安定となって、確実に断線を検出することができない。この場合、容量結合の影響を受けないようにプルダウン抵抗１４の抵抗値を小さくすることが考えられるが、プルダウン抵抗１４の抵抗値を小さくすると、差動トランス２の直線性が悪くなるという難点がある。なお、プルダウン抵抗に代えてプルアップ抵抗を用いた場合も同様である。
【００１３】
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、高精度の変位検出が可能な安価な変位検出装置を提供することを主たる目的とし、さらには、確実な断線検出を可能にすることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上述の目的を達成するために、次のように構成している。
【００１５】
すなわち、本発明の変位検出装置は、差動トランスに駆動信号を与える駆動手段と、前記駆動信号を処理して基準信号として出力する基準信号処理手段と、差動トランスからの出力信号を処理する出力信号処理手段と、前記基準信号処理手段からの基準信号と前記出力信号処理手段からの出力信号とを差動増幅する差動増幅手段とを備える変位検出装置において、前記基準信号処理手段からの基準信号を、前記駆動手段にフィードバックして前記駆動信号の振幅を一定値に調整する振幅調整手段を備えている。
【００１６】
本発明によると、駆動信号を処理して基準信号として出力する基準信号処理手段からの基準信号を、駆動手段にフィードバックして駆動信号の振幅を一定値に調整する振幅調整手段を備えているので、オープンループ処理であった従来例のように、精密で高安定な発振器およびオペアンプなどの増幅器を必要とすることなく、簡単な回路構成で安定な駆動信号を得て差動トランスを駆動できる一方、差動増幅手段に対して安定な基準信号を与えることができる。
【００１７】
本発明の他の実施態様においては、前記振幅調整手段には、差動トランスの種類に応じた基準値が与えられ、該振幅調整手段は、前記基準値に対応する前記一定値に振幅を調整するものである。
【００１８】
本発明によると、差動トランスの種類に応じて、すなわち、差動トランスの感度に応じて、差動トランスを駆動する駆動信号の振幅を調整するので、ゲインを切り替える従来例のように、ＳＮ比が低下することがない。また、従来例のようにゲインを切り替える構成でないので、基準信号処理手段と出力信号処理手段との処理を同じにすることができ、部品の温度特性を揃えたり、部品を熱的にバランスよく配置することが可能となる。
【００１９】
本発明の一実施態様においては、前記差動増幅手段には、前記基準信号処理手段からの基準信号に代えて前記振幅調整手段の前記基準値が与えられ、この基準値と前記出力信号処理手段からの出力信号とを差動増幅するものである。
【００２０】
本発明によると、フィードバックされた基準信号と基準値とに基づいて、振幅調整手段は、駆動信号の振幅を、前記基準値に対応する振幅になるように調整するので、基準信号と基準値とが略等しくなり、基準信号に代えて、基準値を差動増幅手段に与えても同様の作用効果を奏することができる。
【００２１】
本発明のさらに他の実施態様においては、前記基準信号処理手段は、交流の前記駆動信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変換する変換回路とを備え、前記出力信号処理手段は、差動トランスからの出力信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変換する変換回路とを備え、前記両増幅回路および前記両変換回路の少なくとも一方を熱結合させている。
【００２２】
ここで、熱結合させるとは、例えば、パッケージの共用化や部品の配置などによって熱結合させることをいう。
【００２３】
本発明によると、基準信号をフィードバックさせているので、基準信号処理手段における温度変動などが自動的に補正される一方、増幅および変換といった同じ処理を行う基準信号処理手段と出力信号処理手段とを熱結合するので、両処理手段における温度変動等が同じになり、後段の差動増幅手段でその変動分が相殺されて高精度の変位検出が可能となる。
【００２４】
本発明の他の実施態様においては、前記駆動手段は、直流バイアスを重畳した駆動信号を出力するものであり、前記差動トランスの出力信号に重畳された直流バイアスのレベルに基づいて、異常を検出する検出手段を備えている。
【００２５】
本発明によると、差動トランスの出力信号に重畳されている直流バイアスのレベルに基づいて、異常を検出するので、センサケーブル等が断線すると、差動トランスの出力信号に重畳されている直流バイアスのレベルが所定の範囲から外れるので、断線を検出することができ、しかも、差動トランスを高インダクタンス化した場合の断線に際しても、容量結合の影響を受けることなく、確実に断線を検出することができ、プルダウン抵抗またはプルアップ抵抗の抵抗値を小さくする必要がない。また、駆動手段が故障したような場合にも、差動トランスの出力信号に重畳されている直流バイアスのレベルが所定の範囲から外れるので、かかる故障も検出できることになる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面によって、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００２７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の一つの実施の形態に係る変位検出装置１７の構成図であり、上述の従来例に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００２８】
センサ１は、センサケーブルによって変位検出装置１７に接続されるものであって、従来例と同様に、差動トランス２と、感度調節抵抗３とを有している。差動トランス２は、図示しない可動コアと、この可動コアの周囲に配設された二つのコイル４，５とを有している。
【００２９】
この差動トランス２の二つのコイル４，５は、直列に接続されており、発振器６から増幅器７を介して与えられる駆動信号としての交流電圧によって駆動され、その中間接続点から出力信号が与えられる。この実施の形態では、発振器６および増幅器７によって、差動トランス２を駆動する駆動手段が構成される。
【００３０】
この変位検出装置１７は、ハーフブリッジ型のトランスジューサであり、交流電圧で駆動される二つのコイル４，５のインダクタンスは、可動コアの位置の関数となっており、可動コアが二つのコイル４，５の中央に位置する場合には、各コイル４，５に発生する誘導電圧は等しく、この中心位置から可動コアが変位すると、一方のコイル４または５の誘導電圧が増加し、他方のコイル５または４の誘導電圧が減少するものである。この可動コアには、例えば、部品等の測定対象に接触する接触子が取り付けられており、この接触子の変位を検出するものであり、部品等の測定対象の寸法や形状の測定に利用される。
【００３１】
この差動トランス２の二つのコイル４，５の中間接続点からの出力信号は、可動コアの変位に応じて振幅が変化した交流出力であり、増幅器８で増幅された後、ＡＣ／ＤＣ変換器９で全波整流されて差動増幅器１０の非反転入力部に与えられる。この実施の形態では、増幅器８およびＡＣ／ＤＣ変換器９によって、差動トランス２の出力信号を処理する出力信号処理手段が構成される。
【００３２】
差動増幅器１０の反転入力部には、増幅器７から差動トランス２に与えられる交流電圧が、増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２を介して基準信号として与えられる。この実施の形態では、増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２によって、駆動信号を処理して基準信号として出力する基準信号処理手段が構成される。
【００３３】
差動増幅器１０では、基準信号と差動トランス２の出力信号とを差動増幅して、可動コアの変位に対応した出力を与える。
【００３４】
この実施の形態では、測定範囲（ストローク）の異なるセンサ１、すなわち、種類の異なるセンサ１にも対応できるように、センサ１自体に、感度調節抵抗３が設けられる一方、差動トランス２の出力信号を増幅する増幅器８には、ゲイン切替抵抗１３が設けられ、センサ１の種類に応じて、増幅器８のゲインを切り替えるようにしている。
【００３５】
また、この実施の形態では、差動トランス２の出力信号ラインに、プルダウン抵抗１４を接続する一方、ＡＣ／ＤＣ変換器９からの出力を、閾値と比較して断線出力を与える比較器１５を備えている。
【００３６】
以上の構成は、上述の従来例と同様である。
【００３７】
この実施の形態では、高価な発振器６や増幅器７あるいは専用のＩＣを用いることなく、高精度な変位検出を可能とするために、差動トランス２を駆動するとともに、差動増幅器１０の基準信号となる増幅器７の出力を、高安定にするために、基準信号処理手段を構成するＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号を、駆動手段にフィードバックして差動トランス２を駆動する交流電圧の振幅を一定値に調整する振幅調整手段１６を備えている。
【００３８】
この振幅調整手段１６は、内部に基準値を有し、ＡＤ／ＤＣ変換器１２からの基準信号が、その基準値になるように、発振器６からの交流電圧の振幅を調整する振幅調整回路を備えている。
【００３９】
このように、フィードバック制御によって、差動トランス２に与える駆動信号の振幅を一定値に保つので、安定した駆動信号によって、差動トランス２を駆動できる一方、この駆動信号を処理して差動増幅器１０に与えられる基準信号も安定したものとなり、オープンループ処理の従来例のように、精密で高安定な発振器およびオペアンプなどの増幅器を必要とすることなく、安価で高精度な変位検出が可能となる。
【００４０】
また、温度変動による影響も、振幅調整回路の基準値のみに集約されることになり、温度補償用の演算回路等を設けることなく、高安定化が図れることになる。
【００４１】
（実施の形態２）
図２は、本発明の他の実施の形態に係る変位検出装置１７ａの構成図であり、上述の実施の形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００４２】
上述の実施の形態では、従来例と同様に、センサ１の種類に応じて、ゲイン切替抵抗１３によって、増幅器８のゲインを切り替えるようにしていたのに対して、この実施の形態では、センサ１ａの種類に応じて、振幅調整手段１６ａの基準電圧を切り替えるようにしている。
【００４３】
すなわち、この実施の形態では、センサ１ａは、差動トランス２とは別に、感度調節抵抗３ａを有しており、この感度調節抵抗３ａと抵抗１８とによって分圧された電圧が、基準電圧として振幅調整手段１６ａに与えられるようになっている。振幅調整手段１６ａは、この基準電圧とＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号とをオペアンプ１９で比較し、その差がなくなるように、振幅調整回路２０によって、駆動信号の振幅を調整している。
【００４４】
この実施の形態によれば、センサ１ａの種類、すなわち、センサ１ａの感度に応じて、差動トランス２に与えられる駆動信号の振幅が調整されるので、増幅器８のゲインを切り替える構成に比べて、ＳＮ比の変化が少なく、感度の低いセンサであっても高ＳＮ比を確保できることになる。
【００４５】
さらに、バイアス切替抵抗１３が不要となって、増幅器８およびＡＣ／ＤＣ変換器９からなる出力信号処理手段における処理と、増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２からなる基準信号処理手段における処理とが、同じとなり、部品の温度特性を揃えたり、熱的バランスをとった部品配置を行ったり、さらには、後述のような熱結合を行うことにより、両処理手段における変動を同じにして差動増幅器１０でそれを相殺することができ、これによって、高精度な変位検出が可能となる。なお、感度調節抵抗３や分圧用の抵抗１８は、センサを接続するためのコネクタや変位検出装置１７ａに設けるようにしてもよい。
【００４６】
その他の構成および効果は、上述の実施の形態と同様である。
【００４７】
上述のように、振幅調整手段１６ａは、基準電圧とＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号との差がなくなるように、駆動信号の振幅を調整しているので、基準電圧とＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号とは、等しくなる。
【００４８】
そこで、他の実施の形態として、図３に示されるように、差動増幅器１０には、ＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号を入力するのではなく、基準電圧を入力してもよい。また、同様に、図１の実施の形態においても、ＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号を差動増幅器１０に入力するのではなく、図１の振幅調整手段１６内部の基準電圧を、差動増幅器１０に入力してもよい。
【００４９】
（実施の形態３）
図４は、本発明のさらに他の実施の形態に係る変位検出装置１７ｂの構成図であり、上述の実施の形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００５０】
上述の各実施の形態では、従来例と同様に、差動トランス２からの交流の出力信号に基づいて、センサケーブル等の断線を検出していたのに対して、この実施の形態では、駆動信号となる発振器６の交流電圧に、直流バイアス重畳回路２１によって直流バイアスを重畳する一方、増幅器８から与えられる差動トランス２の出力信号に重畳されている直流バイアスをローパスフィルタ２２で分離し、その直流バイアスのレベルに基づいて、比較器１５ａによって、センサケーブル等の断線あるいは駆動手段の故障を検出するようにしている。この実施の形態では、ローパスフィルタ２２および比較器１５ａによって、異常を検出する検出手段が
構成される。
【００５１】
この実施の形態によれば、センサケーブル等が断線すると、差動トランス２の出力信号に重畳されている直流バイアスのレベルが所定の範囲から外れるので、比較器１５ａで断線を検出することができる。すなわち、例えば、少なくともセンサ駆動信号側Ａ１が切断したとき、または、少なくともセンサ出力信号ラインＡ２が切断したときには、直流バイアスが重畳されたセンサ出力が伝わらず、プルダウン抵抗１４によって０Ｖになり、比較器１５ａによって断線を検出することができる。また、センサのＧＮＤ側Ａ３のみが断線したときは、センサ駆動信号が、コイル４、コイル５で分圧されないために、センサ駆動信号がそのまま出力されることになり、直流バイアスが所定のレベルをオーバーし、それが比較器１５ａで検出されることになる。
【００５２】
また、この実施の形態では、駆動手段が故障したような場合にも、差動トランス２の出力信号に重畳されている直流バイアスのレベルが所定の範囲から外れるので、かかる故障も検出できることになる。
【００５３】
上述の各実施の形態と同様にフィードバック制御を行っているので、駆動手段に異常が生じてその出力が変動したような場合には、その変動を補正するように制御するので、駆動手段の異常の検出が困難であったが、この実施の形態では、駆動手段で重畳した直流バイアスのレベルを監視しているので、かかる異常も故障として検出できることになる。
【００５４】
さらに、従来例では、差動トランス２を高インダクタンス化した場合には、センサケーブル等が断線したときに、仮想線で示されるコイル４あるいはコイル５の両端の信号線の間に生じる容量結合Ｃによって、差動トランス２からの交流の出力信号が不安定となって、確実に断線を検出することができなかったけれども、この実施の形態では、直流バイアスのレベルに基づいて断線を検出するので、かかる容量結合の影響を受けることなく、確実に断線を検出できることになる。したがって、プルダウン抵抗１４の抵抗値を小さくする必要がなく、差動トランス２の直線性を悪くすることもない。
【００５５】
なお、プルダウン抵抗１４に代えてプルアップ抵抗を用いた場合にも同様に適用できるものである。
【００５６】
また、この実施の形態では、上述の実施の形態２と同様に、増幅器８およびＡＣ／ＤＣ変換器９からなる出力信号処理手段と、増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２からなる基準信号処理手段との部品の温度特性を揃えたり、熱的バランスをとった部品配置を行ったり、さらには、熱結合を行うようにして両処理手段における変動を同じにして差動増幅器１０でそれを相殺するようにしている。
【００５７】
次に、熱結合の構成について説明する。図５は、基準信号処理手段および出力信号処理手段をそれぞれ構成するＡＣ／ＤＣ変換器１２，９の詳細構成を示す回路図である。
【００５８】
基準信号処理手段のＡＣ／ＤＣ変換器１２は、二つのオペアンプ２３，２４を備えるとともに、整流用の二つのダイオード２５，２６を備えている。出力信号処理手段のＡＣ／ＤＣ変換器９は、同様に、二つのオペアンプ２７，２８を備えるとともに、整流用の二つのダイオード２９，３０を備えている。
【００５９】
この実施の形態では、これらオペアンプ２３，２４，２７，２８を、図６に示される４個入りのオペアンプ３１で構成するとともに、二つのダイオード２５，２９；２６，３０を、図７に示されるダイオードアレイ３２でそれぞれ構成している。すなわち、パッケージを共用化することによって、熱結合したものである。
【００６０】
その他の構成および効果は、上述の実施の形態と同様である。
【００６１】
（その他の実施の形態）
上述の実施の形態では、ＡＣ／ＤＣ変換器９，１２を熱結合した構成を示したけれども、増幅器８，１１を熱結合してもよいのは勿論である。
【００６２】
上述の実施の形態では、部品等の測定対象の寸法や形状の測定に適用して説明したけれども、本発明は、ダイヤフラム等の変位を検出して圧力を検出する用途にも適用できるのは勿論である。
【００６３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、フィードバック制御によって、差動トランスを駆動する駆動信号の振幅を一定値に制御しているので、オープンループ処理であった従来例のように、精密で高安定な発振器およびオペアンプなどの増幅器を必要とすることなく、簡単な回路構成で安定な駆動信号を得て差動トランスを駆動できることになり、安価な構成で、高精度の変位検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施の形態の構成図である。
【図２】本発明の他の実施の形態の構成図である。
【図３】本発明の更に他の実施の形態の構成図である。
【図４】本発明の更に他の実施の形態の構成図である。
【図５】図４のＡＣ／ＤＣ変換器の要部の回路図である。
【図６】熱結合を説明するためのオペアンプの図である。
【図７】熱結合を説明するためのダイオードアレイの図である。
【図８】従来例の構成図である。
【符号の説明】
１，１ａ                    センサ
２                          差動トランス
４，５                      コイル
６                          発振器
７，８，１１                増幅器
９，１２                    ＡＣ／ＤＣ変換器
１０                        差動増幅器
１６，１６ａ                振幅調整手段
２１                        直流バイアス重畳回路
【図１】
0003548752.tif 000002
【図２】
0003548752.tif 000003
【図３】
0003548752.tif 000004
【図４】
0003548752.tif 000005
【図５】
0003548752.tif 000006
【図６】
0003548752.tif 000007
【図７】
0003548752.tif 000008
【図８】
0003548752.tif 000009