(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定量の前記液状材料を配置する液滴吐出方法であって、
前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、
前記液状材料を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液状材料の少なくとも一部をそのまま前記基板上に配置することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記液状材料を室温以上に加温することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
吐出手段から液晶を吐出して、第１基板上に所定量の前記液晶を配置する液晶装置の製造方法であって、
前記吐出手段は、前記液晶を液滴にして吐出するノズルを有し、
前記液晶を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液晶の少なくとも一部をそのまま前記第１基板上に配置することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項４】
前記第１基板上には、第２基板との貼り合わせ用のシール材が配置され、
前記シール材から離間させて前記所定量の液晶を前記第１基板上に配置することを特徴とする請求項３に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項５】
前記シール材を介して前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせた後に、前記第１基板と前記第２基板との間の空間全体に前記液晶を行き渡らせることを特徴とする請求項４に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項６】
吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定の構成部材を形成する液晶装置の製造方法であって、
前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、
前記液状材料を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液状材料の少なくとも一部をそのまま前記基板上に配置することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項７】
前記構成部材は、液晶装置を構成する配向膜、若しくはカラーフィルタの保護膜であって、
前記液状材料は、前記配向膜、若しくは前記保護膜の構成材料を含有することを特徴とする請求項６記載の液晶装置の製造方法。
【請求項８】
吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定量の前記液状材料を配置する液滴吐出装置であって、
前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、
前記ノズルに前記液状材料を供給する液状材料供給系と、
前記基板上に配置される前記液状材料の量を計測する計測手段とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
前記液状材料を室温以上に加温する温調手段を備えることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の液滴吐出装置を用いて、液晶層、配向膜、及びカラーフィルタの保護膜からなる構成部材群のうち、少なくとも１つの構成部材が形成されることを特徴とする液晶装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液晶装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定量の液状材料を配置する技術に関し、特に、液晶装置などの電気光学装置の製造過程に用いられる液滴吐出方法及び液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板上に所定量の液状材料を定量配置する技術としては、例えば、ディスペンサーを用いて所定量の液状材料を連続的に放出し、それを基板上に配置する技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−３２３６０１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したディスペンサーを用いた液状材料の定量配置技術では、液状材料の吐出量や基板上での液状材料の配置位置を高精度に制御するのが難しく、液状材料の配置ムラが生じやすい。
【０００５】
例えば、液晶装置の製造過程は、電極等が形成された基板上に液晶を定量配置した後、その基板と他の基板とを貼り合わせる工程を含む。このとき、上述した液状材料の配置ムラが生じると、それが表示品質の低下の原因となるおそれがある。
【０００６】
本発明は、上述する事情に鑑みてなされたものであり、液状材料の消費量を低減できるとともに、スループットを大きく低下させることなく、基板上に液状材料を均一に配置することができる液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、低コスト化と品質の向上を図ることができる液晶装置の製造方法及び液晶装置を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、低コストで高品質の液晶装置を備えた電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出方法は、吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定量の前記液状材料を配置する液滴吐出方法であって、前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、前記液状材料を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液状材料の少なくとも一部をそのまま前記基板上に配置することを特徴とする。
上記の液滴吐出方法では、液状材料をノズルを介して液滴にして吐出することから、基板上に配置する液状材料の量や位置を細かく制御でき、液状材料の均一な配置が可能となる。また、ノズルの洗浄に用いた液状材料の少なくとも一部をそのまま基板上に配置するので、液状材料の使用に無駄が少なく、その消費量が低減される。しかも、この場合、ノズルの洗浄と液状材料の定量配置とを少なくとも一部並行して行うことになるので、それらを別々に行う場合に比べて、全体の処理時間が短縮され、スループットの向上が図られる。
【０００８】
上記の液滴吐出方法において、前記液状材料を室温以上に加温するとよい。
これにより、比較的粘度の高い液状材料の使用が可能となる。
【０００９】
本発明の液晶装置の製造方法は、吐出手段から液晶を吐出して、第１基板上に所定量の前記液晶を配置する液晶装置の製造方法であって、前記吐出手段は、前記液晶を液滴にして吐出するノズルを有し、前記液晶を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液晶の少なくとも一部をそのまま前記第１基板上に配置することを特徴とする。
上記の液晶装置の製造方法では、第１基板上に配置する液晶の量や位置を細かく制御することが可能になる。また、液晶の使用に無駄が少なく、その消費量が低減される。
【００１０】
上記の液晶装置の製造方法において、前記第１基板上には、第２基板との貼り合わせ用のシール材が配置され、前記シール材から離間させて前記所定量の液晶を前記第１基板上に配置するのが好ましい。
これにより、液晶の配置時におけるシール材と液晶との接触が防止され、シール材の性能低下が防止される。また、基板上に配置する液晶は、ノズルを介して液滴にして吐出されることから、その配置量や位置が細かく制御され、上記接触が確実に防止される。
【００１１】
この場合において、前記シール材を介して前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせた後に、前記第１基板と前記第２基板との間の空間全体に前記液晶を行き渡らせるのが好ましい。
これにより、シール材と液晶との接触によるシール材の性能低下を抑制できる。例えば、シール材がある程度乾燥した後に、液晶を上記空間全体に行き渡らせることにより、シール材と液晶とが接触しても、シール材の性能低下は少ない。
【００１２】
本発明の液晶装置の製造方法は、吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定の構成部材を形成する液晶装置の製造方法であって、前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、前記液状材料を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液状材料の少なくとも一部をそのまま前記基板上に配置することを特徴とする。
上記の液晶装置の製造方法では、基板上に形成される構成部材の量や位置を細かく制御することが可能になる。また、液状材料の使用に無駄が少なく、その消費量が低減される。
【００１３】
上記の液晶装置の製造方法において、前記構成部材は、液晶装置を構成する配向膜、若しくはカラーフィルタの保護膜であって、前記液状材料は、前記配向膜、若しくは前記保護膜の構成材料を含有してもよい。
これにより、基板上に形成される配向膜や保護膜の量や位置を細かく制御することが可能になる。また、液状材料の使用に無駄が少なく、その消費量が低減される。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定量の前記液状材料を配置する液滴吐出装置であって、前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、前記ノズルに前記液状材料を供給する液状材料供給系と、前記基板上に配置される前記液状材料の量を計測する計測手段とを備えることを特徴とする。
上記の液滴吐出装置では、上記構成により、上記の液滴吐出方法を実施できることから、基板上に配置する液状材料の量や位置を細かく制御できる。また、液状材料を用いてノズルを洗浄し、その洗浄に用いた液状材料の少なくとも一部をそのまま基板上に配置することにより、液状材料の消費量の低減化やスループットの向上が図れる。
【００１５】
上記の液滴吐出装置において、前記液状材料を室温以上に加温する温調手段を備えるとよい。
これにより、比較的粘度の高い液状材料の使用が可能となる。
【００１６】
この液晶装置では、上記の液滴吐出装置を用いて、液晶層、配向膜、及びカラーフィルタの保護膜からなる構成部材群のうち、少なくとも１つの構成部材が形成されることを特徴とする。
この液晶装置は、上記の液滴吐出装置を用いて構成部材が形成されることから、低コスト化や、性能の向上が図れる。
また、本発明の電子機器は、上記の液晶装置を備えることを特徴とする。
この電子機器では、低コスト化や性能の向上が図れる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
〔第１実施形態〕
（液滴吐出装置）
図１は、本発明の液滴吐出装置の実施の形態の一例を模式的に示している。液滴吐出装置１０は、液状材料を基板２０に向けて吐出する液滴吐出ヘッド２１、基板２０が搭載される基板ステージ２２、基板２０上に配置される液状材料の重量を計測する計測装置２３、及びこれらを統括的に制御する制御装置２５等を備えて構成されている。液滴吐出ヘッド２１及び基板ステージ２２は、チャンバ２８内に配置されており、このチャンバ２８は、内部の温度を管理する温調装置２９を備えている。
【００１８】
基板２０としては、ガラス基板、シリコン基板、石英基板、セラミックス基板、金属基板、プラスチック基板、プラスチックフィルム基板など各種のものを用いることができる。また、これら各種の素材基板の表面に半導体膜、金属膜、誘電体膜、有機膜などが下地層として形成されたものも含まれる。
【００１９】
液滴吐出ヘッド２１は、液体吐出方式により、液状材料（レジスト）をノズルから吐出するものである。液体吐出方式としては、圧電体素子としてのピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ方式、液状材料を加熱し発生した泡（バブル）により液状材料を吐出させる方式等、公知の種々の技術を適用できる。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないという利点を有する。なお、本実施例では、上記ピエゾ方式を用いる。
【００２０】
図２は、ピエゾ方式による液状材料の吐出原理を説明するための図である。図２において、液状材料を収容する液室３１に隣接してピエゾ素子３２が設置されている。液室３１には、液状材料を収容する材料タンクを含む液状材料供給系３４を介して液状材料が供給される。ピエゾ素子３２は駆動回路３３に接続されており、この駆動回路３３を介してピエゾ素子３２に電圧が印加される。ピエゾ素子３２を変形させることにより、液室３１が変形し、ノズル３０から液状材料が吐出される。このとき、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子３２の歪み量が制御され、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子３２の歪み速度が制御される。すなわち、液滴吐出ヘッド２１では、ピエゾ素子３２への印加電圧の制御により、ノズル３０からの液状材料の吐出の制御が行われる。
【００２１】
図１に戻り、液滴吐出ヘッド２１は、基板ステージ２２の上方に配置されるとともに、基板ステージ２２に対して相対的に移動自在に配置されている。
【００２２】
基板ステージ２２は、液滴吐出ヘッド２１の洗浄が行われる予備吐出部４０と、液状材料の定量配置が行われる重量計測部４１とを有している。基板ステージ２２に対する搬出入動作、及び予備吐出部４０と重量計測部４１との間の基板２０の搬送は、搬送アームなどを備える不図示の搬送機構により行われる。
【００２３】
計測装置２３は、例えばロードセルなどを備え、物体の重量を計測するものである。本例では、計測装置２３は、基板ステージ２２の重量計測部４１に搭載された基板２０の重量を計測するように構成されており、その計測結果は制御装置２５に送られる。制御装置２５は、液状材料が配置される前の基板２０の重量を記憶しており、計測装置２３から送られる計測結果と、記憶されている情報とに基づいて、基板２０上に配置された液状材料の重量を求める。
【００２４】
チャンバ２８内の温度は、温調装置２９によって、液状材料の性状、特に液状材料の粘度と温度との相関関係に基づいて、使用する液状材料の粘度が液滴吐出ヘッド２１から良好に吐出される粘度となるように制御される。チャンバ２８の内部の温度を室温以上、例えば３０〜７０℃の範囲内の所定の温度に制御することにより、室温では高粘度の液状材料を低粘度化し、吐出性や、基板上での塗布膜の平坦性を向上させることができる。なお、本例では、チャンバ２８内の温度を制御することにより、液状材料を加温しているが、液滴吐出ヘッドあるいは基板ステージをそれぞれ加温してもよい。
【００２５】
（液滴吐出方法）
次に、本発明の液滴吐出方法について説明する。
図３（ａ）及び（ｂ）は、上記構成の液滴吐出装置１０を用いて、基板２０上に所定量の液状材料を定量配置する例を示している。
【００２６】
まず、図３（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２１のノズルの洗浄（フラッシング）を行う。液滴吐出ヘッド２１のノズルの洗浄は、液状材料供給系３４から液滴吐出ヘッド２１の内部に液状材料を供給するとともに、ノズルからその液状材料を排出させることにより行う。すなわち、液状材料を勢いよく液滴吐出ヘッド２１内を通すことにより、乾燥などによって生じた液滴吐出ヘッド２１のノズルの目詰まりを解消する。なお、洗浄に使用する液状材料は、定量配置する液状材料と同じものである。
【００２７】
洗浄時、基板２０を基板ステージ２２の予備吐出部４０に搭載するとともに、その基板２０の上方に液滴吐出ヘッド２１を配置し、液滴吐出ヘッド２１から排出される液状材料をそのまま基板２０上に配置する。なお、洗浄に必要な液状材料の量は、基板２０上に配置するべき所定量に比べると少ない。
【００２８】
次に、図３（ｂ）に示すように、基板２０を予備吐出部４０から重量計測部４１に移し、その基板２０の上方に洗浄後の液滴吐出ヘッド２１を配置する。そして、液滴吐出ヘッド２１から液状材料を液滴にして繰り返し吐出し、所定量の液状材料を基板２０上に配置する。
【００２９】
このとき、液状材料の配置は、基板２０の重量を計測しながら行う。すなわち、液状材料の配置時、計測装置２３は、重量計測部４１に搭載された基板２０の重量を計測し、その計測結果を制御装置２５に送る。制御装置２５は、計測装置２３から送られる計測結果と、予め記憶している液状材料を配置する前の基板２０の重量に関する情報とに基づいて、基板２０上に配置された液状材料の重量を算出する。そして、その算出結果に基づいて、液状材料の重量が所定量に達すると、液滴吐出ヘッド２１からの液滴の吐出を停止させる。これにより、基板２０上に所定量の液状材料が配置される。なお、基板上に吐出する液状材料の総重量を調整する場合には、吐出される液滴の通常時のドットのサイズよりも小さいサイズのドットで液滴を吐出することで、重量の調整を好適に実施することができる。
【００３０】
本例の液滴吐出方法では、ノズルの洗浄に用いた液状材料の少なくとも一部をそのまま基板上に配置するので、洗浄に使用した液状材料を、基板上に配置すべき液状材料の一部として所定量に含めることができる。そのため、液状材料の使用に無駄が少なく、その消費量が低減される。すなわち、洗浄に使用した液状材料を廃棄する必要がないので、環境にやさしく、従来発生していた廃液処理費用がかからないという利点がある。
また、液状材料の計測は、洗浄後に行うことから、洗浄当初にノズルに目詰まりが生じていても、計測精度に与える影響はほとんどない。しかも、この場合、ノズルの洗浄と液状材料の定量配置とを少なくとも一部並行して行うことになるので、それらを別々に行う場合に比べて、全体の処理時間が短縮され、スループットの向上が図られる。
【００３１】
なお、ノズルの洗浄時は、ピエゾ素子への印加電圧を、通常の液状材料の吐出時よりも高めに設定してもよい。すなわち、従来の液滴吐出装置では、例えば、カラーフィルタを形成するためのインクの吐出動作のように、所望の塗布位置へ正確に液状材料を吐出させるために、液状材料の吐出時のピエゾ素子への印加電圧を微調整する制御が要求されているが、本発明では、吐出された液状材料に飛行曲がり等の変化が生じても構わない。
【００３２】
〔第２実施形態〕
（液晶装置の第１の製造方法）
次に、上述した液滴吐出方法を液晶装置の製造過程に用いた例について説明する。
図４は、パッシブマトリクス型の液晶装置（液晶表示装置）の断面構造を模式的に示している。
液晶装置１００は、透過型のもので、一対のガラス基板１０１，１０２の間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等からなる液晶層１０３が挟まれた構造からなる。さらに、液晶層に駆動信号を供給するためのドライバＩＣ１１３と、光源となるバックライト１１４を備えている。
【００３３】
ガラス基板１０１には、その内面にカラーフィルタ１０４が配設されている。カラーフィルタ１０４は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色からなる着色層１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの着色層１０４Ｒ（１０４Ｇ、１０４Ｂ）間には、ブラックマトリクスやバンクなどからなる隔壁１０５が形成されている。また、カラーフィルタ１０４及び隔壁１０５の上には、カラーフィルタ１０４や隔壁１０５によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するためのオーバーコート膜１０６が配設されている。
【００３４】
オーバーコート層１０６の上には、複数の電極１０７がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜１０８が形成されている。
他方のガラス基板１０２には、その内面に、前記のカラーフィルタ１０４側の電極と直交するようにして、複数の電極１０９がストライプ状に形成されており、これら電極１０９上には、配向膜１１０が形成されている。なお、前記カラーフィルタ１０４の各着色層１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂはそれぞれ、ガラス基板１０２の電極１０９と前記ガラス基板１０１の電極１０７との交差位置に対応する位置に、配置されている。また、電極１０７，１０９は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料によって形成されている。ガラス基板１０２とカラーフィルタ１０４の外面側にはそれぞれ偏向板（図示せず）が設けられている。ガラス基板１０１，１０２同士の間には、これら基板１０１，１０２同士の間隔（セルギャップ）を一定に保持するためのスペーサ１１１と、液晶１０３を外気から遮断するためのシール材１１２とが配設されている。シール材１１２としては、例えば、熱硬化型あるいは光硬化型の樹脂が用いられる。
【００３５】
この液晶装置１００では、上述した配向膜１０８，１１０、オーバーコート膜１０６、及び液晶層１０３のうちの少なくとも１つが上述した液滴吐出方法を用いてガラス基板上に配置される。そのため、それらの材料の消費量を抑え、低コスト化を図ることができる。
【００３６】
図５（ａ）〜（ｄ）は、上記液晶装置１００の製造方法を模式的に示しており、図５（ａ）及び（ｂ）は、ガラス基板上に液晶を定量配置する工程、図５（ｃ）及び（ｄ）は、液晶を封止する工程をそれぞれ示している。
なお、図５（ａ）〜（ｄ）では、簡略化のために、上述したガラス基板上の電極やカラーフィルタ、スペーサなどの図示を省略している。
【００３７】
図５（ａ）及び（ｂ）において、液晶を定量配置する工程では、上述した液滴吐出方法を用いて、ガラス基板１０１上に所定量の液晶を定量配置する。
すなわち、図５（ａ）に示すように、ガラス基板１０１に対して液滴吐出ヘッド２１を相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッド２１のノズルから液晶を液滴Ｌｎにして吐出し、その液滴Ｌｎをガラス基板１０１上に配置する。そして、図５（ｂ）に示すように、ガラス基板１０１上に配置される液晶が所定量に達するまで、その液滴Ｌｎの配置動作を複数回繰り返す。ガラス基板１０１上に配置すべき液晶の所定量は、封止後にガラス基板同士の間に形成される空間の容量とほぼ同じである。また、本例では、上述した液滴吐出方法を用いることから、ガラス基板１０１上に配置される液晶は、液滴吐出ヘッド２１の洗浄（フラッシング）時に使用したものを含む。そのため、液晶の使用に無駄が少なく、その消費量が少なくて済む。
【００３８】
液晶の定量配置時、液滴Ｌｎの体積やその配置位置など、液滴Ｌｎの吐出条件が制御される。本例では、液晶を液滴Ｌｎにして基板２０上に配置することから、基板２０上に配置する液晶の量や位置を細かく制御でき、基板２０上への液晶１０３の均一な配置が可能である。
本例では、図５（ａ）に示すように、基板２０上のシール材１１２から離間した位置に液滴Ｌｎを配置する。具体的には、シール材１１２に最も近い液滴Ｌｎの中心位置とシール材１１２との間隔が、液滴Ｌｎの着弾誤差と液滴Ｌｎの半径との合計よりも広くなるように、液滴Ｌｎをガラス基板１０１上に配置する。そのため、シール材１１２と液晶１０３との接触が防止され、シール材１１２の性能低下及び液晶１０３に未硬化のシール材１１２が混濁することによる液晶１０３の劣化が防止される。
【００３９】
次に、図５（ｃ）及び（ｄ）において、所定量の液晶１０３が配置されたガラス基板１０１上にシール材１１２を介して他方のガラス基板１０２を減圧下で貼り合わせる。
具体的には、まず、図５（ｃ）に示すように、シール材１１２が配置されているガラス基板１０１，１０２の縁部に主に圧力をかけ、シール材１１２とガラス基板１０１，１０２とを接着する。その後、所定の時間の経過後、シール材１１２がある程度乾燥した後に、ガラス基板１０１，１０２の外面全体に圧力をかけて、液晶１０３を両基板１０１，１０２に挟まれた空間全体に行き渡らせる。
この場合、液晶１０３がシール材１１２と接触する際には、すでにシール材１１２がある程度乾燥しているので、液晶１０３との接触に伴うシール材１１２の性能低下や液晶１０３の劣化は少ない。なお、先の図４に示したスペーサ１１１の配置は、液晶１０３をガラス基板１０１上に配置した後に行ってもよく、液晶１０３の配置と同時に行ってもよい。液晶の配置と同時に行う場合は、液晶にスペーサを混入しておいてもよい。
【００４０】
ガラス基板１０１，１０２同士を貼り合わせた後、熱や光をシール材１１２に付与してシール材１１２を硬化させることにより、ガラス基板１０１，１０２の間に液晶が封止される。
このようにして製造される液晶装置は、液晶の消費量が少なく、低コスト化が図れる。また、液晶の配置ムラに伴う表示品質の低下が少なく、シール不良も生じにくい。
【００４１】
更に、本発明の液滴吐出装置は、上述したパッシブマトリクス型の液晶装置に限定されず、例えば、アクティブマトリクス型の液晶装置にも好適に採用可能である。
以下、アクティブマトリクス型の液晶装置（液晶表示装置）に用いられる液晶パネルの構成及び動作について、図６〜図９を参照して説明する。
図６は、液晶パネルの画面表示領域を構成するためにマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、及び配線などの等価回路図である。
図７は、データ線、走査線、画素電極、遮光膜などが形成されたアクティブマトリクス基板において相隣接する画素の平面図である。
図８は、図７のＡ−Ａ′線に相当する位置での断面図である。
図９は、アクティブマトリクス基板の２次元的な配線レイアウトを示す平面図である。
なお、これらの図において、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００４２】
図６において、液晶パネルの画面表示領域において、マトリクス状に形成された複数の画素の各々には、画素電極２０４ａを制御するための画素スイッチング用のＴＦＴ２１５が形成されており、画素信号を供給するデータ線２０１ａが当該ＴＦＴ２１５のソースに電気的に接続されている。データ線２０１ａに書き込む画素信号Ｓ１、Ｓ２・・・Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線２０１ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。また、ＴＦＴ２１５のゲートには走査線２０２ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線２０２ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２・・・Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極２０４ａは、ＴＦＴ２１０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ２１０を一定期間だけそのオン状態とすることにより、データ線２０１ａから供給される画素信号Ｓ１、Ｓ２・・・Ｓｎを各画素に所定のタイミングで書き込む。このようにして画素電極２０４ａを介して液晶に書き込まれた所定レベルの画素信号Ｓ１、Ｓ２、・・・Ｓｎは、後述する対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。ノーマリーホワイトモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過不可能とされ、ノーマリーブラックモードであれば、印加された電圧に応じて入射光がこの液晶部分を通過可能とされる。その結果、全体として液晶パネルからは画素信号に応じたコントラストを持つ光が出射する。
【００４３】
ここで、保持された画素信号がリークするのを防ぐことを目的に、画素電極２０４と対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量２２０を付加することが一般的ある。例えば、画素電極２０４ａの電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも３桁も長い時間だけ蓄積容量２２０により保持される。これにより、電荷の保持特性は改善され、コントラスト比の高い液晶表示装置が実現できる。なお、蓄積容量２２０を形成する方法としては、容量を形成するための配線である容量線２０２ｂとの間に形成する場合、あるいは前段の走査線２０２ａとの間に形成する場合のいずれであってもよい。
【００４４】
図７において、液晶パネルのアクティブマトリクス基板上には、マトリクス状に複数の透明な画素電極２０４ａ（点線部２０４ａ′により輪郭が示されている。）が各画素毎に形成され、画素電極２０４ａの縦横の境界領域に沿ってデータ線２０１ａ、走査線２０２ａおよび容量線２０２ｂが形成されている。データ線２０１ａは、コンタクトホール２０５を介してポリシリコン膜からなる半導体層２１０ａのうち後述のソース領域に電気的に接続されており、画素電極２０４ａは、コンタクトホール２０６を介して半導体層２１０ａのうち後述のドレイン領域に電気的に接続されている。また、半導体層２１０ａのうち後述のチャネル形成用領域（図中右下がりの斜線の領域）に対向するように走査線２０２ａ（ゲート電極）が通っている。
【００４５】
図８に示すように、液晶パネル２００は、アクティブマトリクス基板２３０と、これに対向配置される対向基板２４０とを備えている。アクティブマトリクス基板２３０の基体は、石英基板や耐熱性ガラス板などの透明基板２３０ｂからなり、対向基板２４０の基体もまた、石英基板や耐熱性ガラス板などの透明基板２３０ｂからなる。アクティブマトリクス基板２３０には、画素電極２０４ａが設けられており、その上側には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜２８０が形成されている。画素電極２０４ａは、例えば、ＩＴＯ膜等の透明な導電性薄膜からなる。また、配向膜は、例えば、ポリイミド薄膜などの有機薄膜からなる。
【００４６】
アクティブマトリクス基板２３０には、各画素電極２０４ａに隣接する位置に、各画素電極２０４ａをスイッチング制御する画素スイッチング用のＴＦＴ２１５が形成されている。ここに示すＴＦＴ２１５は、ＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造を有しており、走査線２０２ａ（ゲート電極）、走査線２０２ａから供給される走査信号の電界によりチャネルが形成される半導体膜２１０ａのチャネル形成用領域２１０ａ′、走査線２０２ａと半導体層２１０ａとを絶縁するゲート絶縁膜２０７、データ線２０１ａ（ソース電極）、半導体層２１０ａの低濃度ソース領域（ソース側ＬＤＤ領域）２１０ｂ並びに低濃度ドレイン領域（ドレイン側ＬＤＤ領域）１ｃ、及び半導体層２１０ａの高濃度ソース領域２１０ｄ並びに高濃度ドレイン領域２１０ｅを備えている。高濃度ドレイン領域２１０ｅには、複数の画素電極２０４ａのうちの対応する１つが電気的に接続されている。ソース領域２１０ｂ、２１０ｄ、及びドレイン領域２１０ｃ、２１０ｅは、後述のように、半導体層２１０ａにおいてｎ型のチャネルを形成するか、あるいはｐ型のチャネルを形成するかに応じて所定濃度のｎ型用またはｐ型用のドーパントがドープされることにより形成されている。ｎ型チャネルのＴＦＴは、動作速度が速いという利点があり、画素スイッチング用のＴＦＴとして用いられることが多い。
【００４７】
データ線２０１ａ（ソース電極）は、例えば、アルミニウム等の金属膜や金属シリサイド等の合金膜等から構成されている。また、走査線２０２ａ（ゲート電極）、ゲート絶縁膜２０７及び下地保護膜２０８の上には、高濃度ソース領域２１０ｄへ通じるコンタクトホール２０５、及び高濃度ドレイン領域２１０ｅへ通じるコンタクトホール２０６が各々形成された第１層間絶縁膜２０９が形成されている。このソース領域２１０ｄへのコンタクトホール２０５を介して、データ線２０１ａ（ソース電極）は高濃度ソース領域２１０ｄに電気的に接続されている。さらに、データ線２０１ａ（ソース電極）及び第１層間絶縁膜２０９の上には第２層間絶縁膜２１１が形成されている。ここで、画素電極２０４ａは、第２層間絶縁膜２１１の上に形成されているので、ゲート絶縁膜２０７、第１層間絶縁膜２０９及び第２層間絶縁膜２１１には高濃度ドレイン領域２１０ｅに通じるコンタクトホール２０６が形成されている。従って、高濃度ドレイン領域２１０ｅへのコンタクトホール２０６を介して画素電極２０４ａは高濃度ドレイン領域２１０ｅに電気的に接続されている。なお、画素電極２０４ａと高濃度ドレイン領域２１０ｅとは、データ線２０１ａと同時形成されたアルミニウム電極や走査線２０２ａと同時形成されたポリシリコン電極を中継して電気的接続するようにしても良い。
【００４８】
ここで、ＴＦＴ２１５は、好ましくは上述のようにＬＤＤ構造をもつが、低濃度ソース領域２１０ｂ及び低濃度ドレイン領域２１０ｃに相当する領域に不純物イオンの打ち込みを行わないオフセット構造を有していてもよい。また、ＴＦＴ２１５は、ゲート電極２０２ａをマスクとして高濃度で不純物イオンを打ち込み、自己整合的に高濃度ソースおよびドレイン領域を形成したセルフアライン型のＴＦＴであってもよい。
【００４９】
なお、本実施形態では、ＴＦＴ２１５のゲート電極（データ線２０２ａ）をソース−ドレイン領域２１０ｂ及び２１０ｅ間に１個のみ配置したシングルゲート構造としたが、これらの間に２個以上のゲート電極を配置してもよい。この際、各々のゲート電極には同一の信号が印加されるようにする。このようにデュアルゲート（ダブルゲート）或いはトリプルゲート以上でＴＦＴを構成すれば、チャネルとソース−ドレイン領域接合部のリーク電流を防止でき、オフ時の電流を低減することが出来る。これらのゲート電極の少なくとも１個をＬＤＤ構造或いはオフセット構造にすれば、さらにオフ電流を低減でき、安定したスイッチング素子を得ることが出来る。
【００５０】
本実施形態では、ＴＦＴ２１５のゲート絶縁膜２０７をゲート電極２０２ａに対向する位置から延設して誘電体膜として用いるとともに、半導体２１０ａを延設して第１電極２１０ｆとし、さらにこれらに対向する容量線２０２ｂの一部を第２電極とすることにより、蓄積容量２２０が構成されている。すなわち、半導体２１０ａの高濃度ドレイン領域２１０ｅが、データ線２０１ａ及び走査線２０２ａの下にまで延設されて、同じくデータ線２０１ａ及び走査線２０２ａに沿って延びる容量線２０２ｂにゲート絶縁膜２０７（誘電体膜）を介して対向配置されて、第１電極（半導体層）２１０ｆとされている。ここで、蓄積容量２２０の誘電体としての絶縁膜２０７は、高温酸化によりポリシリコン膜上に形成されるＴＦＴ２１５のゲート絶縁膜２０７に他ならないので、薄くてかつ高耐圧の絶縁膜とすることができる。それ故、蓄積容量２１５は、比較的小面積で大容量の蓄積容量として構成できる。その結果、データ線２０１ａ下の領域および走査線２０２ａに並列する領域（即ち、容量線２０２ｂが形成された領域）という開口領域を外れたスペースを有効に利用して、画素電極２０４ａに対する蓄積容量を増大させることができる。
【００５１】
このように構成したアクティブマトリクス基板２３０において、図７及び図８に示すように、隣接する画素電極２０４ａの境界領域にはデータ線２０１ａ、走査線２０２ａ及び容量線２０２ｂが通っているものの、これらの配線を通して、あるいはこれらの配線と画素電極２０４ａとの隙間を通って光が漏れると、表示の品位を低下させてしまう。そこで、本実施形態では、アクティブマトリクス基板２３０の基体たる透明基板２３０ｂと下地保護膜２０８の間には、各画素電極２０４ａの縦横の境界領域に沿って高融点金属もしくはその合金であるＴｉ（チタン）、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）、Ｔａ（タンタル）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｐｄ（パラジウム）などからなる遮光膜２１２ａ（図７における左下がりの斜線領域）を形成してある。この遮光膜２１２ａは、平面的には、半導体層２１０ａのチャネル形成用領域を含むＴＦＴ２１５の形成領域、データ線２０１ａ、走査線２０２ａ及び容量線２０２ｂに対して、アクティブマトリクス基板２３０の裏面側から見て重なる位置に形成されている。
【００５２】
一方、対向基板２４０には、その全面に渡って対向電極２４１が形成され、その表面には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜（図示せず）が形成されている。対向電極２４１も、例えば、ＩＴＯ膜などの透明導電性薄膜からなる。また、対向基板２４０の配向膜も、ポリイミド薄膜などの有機薄膜からなる。対向基板２４０には、各画素の開口領域以外の領域に対向基板側遮光膜２４２がマトリクス状に形成されている。このため、対向基板２４０の側からの入射光はＴＦＴ２１５の半導体層２１０ａのチャネル形成用領域２１０ａ′やＬＤＤ領域２１０ｂ、２１０ｃに届くことはない。さらに、対向基板側の遮光膜２４２は、コントラストの向上、色材の混色防止などの機能を有する。
【００５３】
このように構成したアクティブマトリクス基板２３０と対向基板２４０とは、画素電極２０４ａと対向電極２４１とが対面するように配置され、かつ、これらの基板間には、後述するシール材により囲まれた空間内に液晶２５０が封入され、挟持される。液晶２５０は、画素電極２０４ａからの電界が印加されていない状態で配向膜により所定の配向状態をとる。液晶２５０は、例えば一種または数種のネマティック液晶を混合したものなどからなる。なお、シール材は、アクティブマトリクス基板２３０と対向基板２４０とをそれらの周辺で貼り合わせるための光硬化樹脂や熱硬化性樹脂などからなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー或いはガラスビーズ等のスペーサがギャップ材として配合されている。
【００５４】
このように構成した液晶パネル２００において、アクティブマトリクス基板２３０は、図９に示すように構成される。アクティブマトリクス基板２３０には、ＴＦＴを用いて回路構成されたデータ線駆動回路３０１及び走査線駆動回路３０４が形成され、これらのデータ線駆動回路３０１及び走査線駆動回路３０４はそれぞれ、複数のデータ線２０１ａ、走査線２０２ａ及び容量線２０２ｂに各々電気的に接続されている。また、アクティブマトリクス基板２３０にはサンプリング回路３０５が形成され、このサンプリング回路３０５には、図示しない制御回路から即時表示可能な形式に変換された画像信号が画像信号線３０６を介して供給される。従って、走査線駆動回路３０４がパルス的に走査線２０２ａに順番に走査信号を送るのに合わせて、データ線駆動回路３０１はサンプリング回路３０５を駆動し、画像信号に応じた信号電圧をデータ線２０１ａに送る。
【００５５】
その結果、各画素では、図６、図８及び図９において、画素信号Ｓ１、Ｓ２、・・・Ｓｎが画素電極２０４ａと対向基板２４０の対向電極２４１との間で一定期間保持され、液晶２５０は、画素毎に印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化する。それ故、例えば、対向基板２４０の側から入射した光（入射光Ｌ１）のうち、通過可能な液晶部分に入射された光のみが、アクティブマトリクス基板２３０の側から出射されてくるので、所定の表示を行うことができる。
【００５６】
以下、上述した液晶表示装置用のアクティブマトリクス基板２３０の製造方法を図１０〜図１４を参照して説明する。
図６〜図１０は、いずれもアクティブマトリクス基板２３０の製造方法を示す工程断面図である。
なお、図１０〜図１４には、図７のＡ−Ａ′線に相当する位置での断面を表してある。
【００５７】
図１０（ａ）に示すように、前記のアクティブマトリクス基板２３０を多数取りできる大型基板２３０ａを用意する。この大型基板２３０ａについては、縦型拡散炉内で、Ｎ２（窒素）などの不活性ガス雰囲気、かつ、約９００℃〜約１３００℃の高温雰囲気中で熱処理を行い、後に実施される高温プロセスにおいて歪みが少なくなるように前処理しておいてもよい（熱処理工程）。すなわち、製造プロセスにおける最高温度（本形態では、ゲート絶縁膜を形成する際の１１５０℃の温度）に合わせて予め大型基板２３０ａを最高温度と同等の温度か、あるいはそれ以上の温度で熱処理しておく。例えば、製造プロセスにおける最高温度が１１５０℃であれば、この前処理工程では大型基板２３０ａを１１５０℃位で３０秒から３０分間、加熱する。ここで、１１５０℃という温度は、大型基板２３０ａを構成する材料の歪点に近い温度である。
【００５８】
次に、大型基板２３０ａの全面に、高融点金属もしくはその合金であるＴｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｐｄなどの金属単体あるいは合金をスパッタ等により、１０００オングストローム〜３０００オングストローム程度の層厚で形成した後（成膜工程）、この金属膜上にフォトリソグラフィ技術を用いてレジストマスクを形成し、このレジストマスクを介して金属膜に対しエッチングを行うことにより、図１０（ｂ）に示すように、遮光膜２１２ａを形成する。
なお、遮光膜２１２ａは、ＴＦＴ２１５の半導体層のうちチャンネル領域２１０ａ、ソース領域２１０ｂ、２１０ｄ、ドレイン領域２１０ｃ、２１０ｅ、データ線２０１ａ、走査線２０２ａおよび容量線２０２ｂ（図７及び図８参照）を形成すべき領域の少なくとも一部を大型基板２３０ａの裏面から見て覆うように形成される。
【００５９】
次に、図１０（ｃ）に示すように、遮光膜２１２ａの上に、例えば、常圧又は減圧ＣＶＤ法等によりＴＥＯＳ（テトラ・エチル・オルソ・シリケート）ガス、ＴＥＢ（テトラ・エチル・ボートレート）ガス、ＴＭＯＰ（テトラ・メチル・オキシ・フォスレート）ガス等を用いて、ＮＳＧ（ノンシリケートガラス）、ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＳＧ（ボロンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ボロンリンシリケートガラス）などのシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等からなる下地保護膜２０８を形成する。下地保護膜２０８の層厚は、約５００オングストローム〜１５０００オングストローム、好ましくは約６０００オングストローム〜８０００オングストロームの厚さとなる。或いは、減圧ＣＶＤ法等により高温酸化シリコン膜（ＨＴＯ膜）や窒化シリコン膜を約５００オングストロームの比較的薄い厚さに堆積し、厚さ約２０００オングストロームの多層構造を持つ下地保護膜２０８を形成しても良い。更に、このようなシリケートガラス膜に重ねて又は代えて、ＳＯＧ（スピンオンガラス：紡糸状ガラス）をスピンコートして又はＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）処理を施すことにより、平坦な膜を形成しても良い。このように、下地保護膜２０８の上面をスピンコート処理又はＣＭＰ処理により平坦化しておけば、その上に後でＴＦＴ２１５を形成しやすいという利点がある。なお、下地保護膜２０８に対し、ホットウォール型装置内で、約９００℃のアニール処理を施すことにより、汚染を防ぐと共に平坦化を施してもよい（熱処理工程）。
【００６０】
次に、図１１（ａ）に示すように、下地保護膜２０８の上に、約４５０℃〜約５５０℃、好ましくは約５００℃の比較的低温環境中で、流量約４００ｃｃ／ｍｉｎ〜約６００ｃｃ／ｍｉｎのモノシランガス、ジシランガス等を用いた減圧ＣＶＤ（例えば、圧力が約２０Ｐａ〜４０ＰａのＣＶＤ）により、アモルファスシリコン膜を形成する。その後、ホットウォール型装置内で、約６００℃〜約７００℃にて約１時間〜約１０時間、好ましくは、約４時間〜約６時間のアニール処理を窒素雰囲気中で施することにより、ポリシリコン膜２６０を約５００オングストローム〜約２０００オングストロームの厚さ、好ましくは約１０００オングストロームの厚さとなるまで固相成長させる。
【００６１】
この際、画素スイッチング用のＴＦＴ２１５をｎチャネル型とする場合には、当チャネル形成用領域にＳｂ（アンチモン）、Ａｓ（砒素）、Ｐ（リン）などのＶ族元素のドーパンドを僅かにイオン注入等によりドープしてもよい。また、画素スイッチング用ＴＦＴ２１５をｐチャネル型とする場合には、Ｂ（ボロン）、Ｇａ（ガリウム）、Ｉｎ（インジウム）などのIII族元素のドーパンドを僅かにイオン注入等によりドープしても良い。なお、アモルファスシリコン膜を経ないで、減圧ＣＶＤ法等によりポリシリコン膜２６０を直接形成しても良い。あるいは、減圧ＣＶＤ法等により堆積したポリシリコン膜にシリコンイオンを打ち込んで一旦非晶質化（アモルファス化）し、その後アニール処理等により再結晶化させてポリシリコン膜２６０を形成しても良い。
【００６２】
次に、図１１（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程等により、図７に示したパターンの半導体層２１０ａを形成する。すなわち、データ線２０１ａ下で容量線２０２ｂが形成される領域、及び走査線２０２ａに沿って容量線２０２ｂが形成される領域には、ＴＦＴ２１５を構成する半導体層２１０ａから延設された第１電極２１０ｆを形成する。
【００６３】
次に、図１１（ｃ）に示すように、ＴＦＴ２１５を構成する半導体層２３０ａと共に第１電極２１０ｆを、ホットウォール型装置内で約９００℃〜約１３００℃の温度、好ましくは約１１５０℃の温度により熱酸化することにより、約３００オングストロームの比較的薄い熱酸化シリコン膜を形成し（熱処理工程）、さらに減圧ＣＶＤ法等により高温酸化シリコン膜（ＨＴＯ膜）や窒化シリコン膜を約５００オングストロームの比較的薄い厚さに堆積し（成膜工程）、多層構造を持つゲート絶縁膜２、及び蓄積容量形成用の誘電体膜を形成する。この結果、第１電極２１０ｆの厚さは、約３００オングストローム〜約１５００オングストロームの厚さ、好ましくは約３５０オングストローム〜約５００オングストロームの厚さとなり、容量形成用の誘電体膜（ゲート絶縁膜２０７）の厚さは、約２００オングストローム〜約１５００オングストロームの厚さ、好ましくは約３００オングストローム〜約１０００オングストロームの厚さとなる。
【００６４】
ここで、ポリシリコン膜２１０は、縦型拡散炉内での約１１５０℃の温度条件下での熱酸化のみで単一層構造を持つゲート絶縁膜２０７を形成してもよい（熱処理工程）。
【００６５】
また、ポリシリコン層２１０のうち、第１電極２１０ｆとなる半導体層部分に、例えば、Ｐイオンをドーズ量約３×１０１０／ｃｍ２でドープして低抵抗化させておく。
【００６６】
次に、図１１（ｄ）に示すように、減圧ＣＶＤ法等によりポリシリコン膜２０２を堆積した後、リン（Ｐ）を熱拡散し、ポリシリコン膜２０２を導電化する。又は、Ｐイオンをポリシリコン膜２０２の成膜と同時に導入したドープドシリコン膜を用いても良い。
【００６７】
次に、図１２（ａ）に示すように、レジストマスクを用いたフォトリソグラフィ工程、エッチング工程等により、図７に示したパターンの走査線２０２ａ（ゲート電極）及び容量線２０２ｂを形成する。これらの容量線２０２ｂ及び走査線２０２ａの層厚は、例えば、約３５００オングストロームである。
【００６８】
次に、図１２（ｂ）に示すように、図８に示したＴＦＴ２１５を、ＬＤＤ構造を持つｎチャネル型のＴＦＴとする場合、半導体層２１０ａに、まず低濃度ソース領域２１０ｂ及び低濃度ドレイン領域２１０ｃを形成するために、走査線２０２ａ（ゲート電極）を拡散マスクとして、ＰなどのＶ族元素のドーパント２６０を低濃度で（例えば、Ｐイオンを１×１０１３／ｃｍ２〜３×１０１３／ｃｍ２のドーズ量にて）ドープする。これにより走査線２０２ａ（ゲート電極）下の半導体層２１０ａは、チャネル形成用領域２１０ａ′となる。この不純物のドープにより容量線２０２ｂ及び走査線２０２ａも低抵抗化される。
【００６９】
続いて、図１２（ｃ）に示すように、ＴＦＴ２１５の高濃度ソース領域２１０ｄおよび高濃度ドレイン領域２１０ｅを形成するために、走査線２０２ａ（ゲート電極）よりも幅の広いマスクでレジストマスク２６２を走査線２０２ａ（ゲート電極）上に形成した後、同じくＰなどのＶ族元素のドーパンド２６１を高濃度で（例えば、Ｐイオンを１×１０１５／ｃｍ２〜３×１０１５／ｃｍ２のドーズ量にて）ドープする。また、ＴＦＴ２１５をｐチャネル型とする場合、半導体層２１０ａに、低濃度ソース領域２１０ｂ及び低濃度ドレイン領域２１０ｃ並びに高濃度ソース領域２１０ｄ及び高濃度ドレイン領域２１０ｅを形成するために、ＢなどのIII族元素のドーパンドを用いてドープする。なお、低濃度のドープを行わずに、オフセット構造のＴＦＴとしても良く、走査線２０２ａ（ゲート電極）をマスクとして、Ｐイオン、Ｂイオン等を用いたイオン注入技術によりセルフアライン型のＴＦＴとしても良い。この不純物のドープにより容量線２０２ｂ及び走査線２０２ａはさらに低抵抗化する。
【００７０】
これらの工程と同時並行して、ｎチャネル型ＴＦＴ及びｐチャネル型ＴＦＴから構成される相補型構造を持つデータ線駆動回路３０１及び走査線駆動回路３０４等の周辺回路（図９参照）をアクティブマトリクス基板２３０上の周辺部に形成する。このように、本実施の形態において画素スイッチング用ＴＦＴ２１５はポリシリコンＴＦＴであるので、画素スイッチング用ＴＦＴ２１５の形成時にほぼ同一工程で、データ線駆動回路３０１及び走査線駆動回路３０４等の周辺回路を形成することができ、製造上有利である。
【００７１】
次に、図１２（ｄ）に示すように、ＴＦＴ２１５における走査線２０２ａ（ゲート電極）、容量線２０２ｂ及び走査線２０２ａを覆うように、例えば、常圧又は減圧ＣＶＤ法やＴＥＯＳガス等を用いて、ＮＳＧ（ノンシリケートガラス）、ＰＳＧ（リンシリケートガラス）、ＢＳＧ（ボロンシリケートガラス）、ＢＰＳＧ（ボロンリンシリケートガラス）などのシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等からなる第１層間絶縁膜２６４を形成する（成膜工程）。第１層間絶縁膜２６４の層厚は、約５０００オングストローム〜約１５０００オングストロームが好ましい。
【００７２】
次に、高濃度ソース領域２１０ｄ及び高濃度ドレイン領域２１０ｅを活性化するために、ホットウォール型装置内で約１０００℃のアニール処理を２０分程度行った後（熱処理工程）、図１２（ｅ）に示すように、データ線２０１ａ（ソース電極）に対するコンタクトホール２０５を、反応性エッチング、反応性イオンビームエッチング等のドライエッチング、あるいはウエットエッチングにより形成する。
【００７３】
次に、図１３（ａ）に示すように、第１層間絶縁層２６４の上に、スパッタ処理等により、Ａｌ等の低抵抗金属や金属シリサイド等の金属膜２６６を、約１０００オングストローム〜約５０００オングストロームの厚さ、好ましくは約３０００オングストロームに堆積する（成膜工程）。
【００７４】
次に、図１３（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程等により、データ線２０１ａ（ソース電極）を形成する。
【００７５】
次に、図１３（ｃ）に示すように、データ線２０１ａ（ソース電極）上を覆うように、例えば、常圧又は減圧ＣＶＤ法やＴＥＯＳガス等を用いて、ＮＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＢＰＳＧなどのシリケートガラス膜、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等からなる第２層間絶縁膜２６７を形成する（成膜工程）。あるいは、このようなシリケート膜に代えて、または重ねて、有機膜やＳＯＧをピンコートして、もしくはＣＭＰ処理を施して平坦な膜を形成してもよい。ここで、第２層間絶縁膜２６７の層厚は、約５０００オングストローム〜約１５０００オングストロームが好ましい。
【００７６】
次に、図１４（ａ）に示すように、ＴＦＴ２１５において、画素電極２０４ａと高濃度ドレイン領域２１０ｅとを電気的接続するためのコンタクトホール２０６を、反応性エッチング、反応性イオンビームエッチング等のドライエッチングにより形成する。この際に、反応性エッチング、反応性イオンビームエッチングのような異方性エッチングにより、コンタクトホール２０６を形成した方が、開孔形状をマスク形状とほぼ同じにできるという利点がある。また、ドライエッチングとウエットエッチングとを組み合わせて開孔すれば、コンタクトホール２０６をテーパ状にできるので、配線接続時の断線を防止できるという利点がある。
【００７７】
次に、図１４（ｂ）に示すように、第２層間絶縁膜２６７の上に、スパッタ処理等により、ＩＴＯ膜等の透明導電性薄膜２６９を、約５００オングストローム〜約２０００オングストロームの厚さに堆積する（成膜工程）。
【００７８】
次に、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程等により透明導電性薄膜２６９をパターニングして、図１４（ｃ）に示すように、画素電極２０４ａを形成する。なお、液晶パネル２００を反射型の液晶表示装置に用いる場合には、アルミニウムなどの反射率の高い不透明な材料から画素電極２０４ａを形成する。
【００７９】
次に、画素電極２０４ａに上にポリイミド系の配向膜の塗布液を塗布した後、所定のプレティルト角を持つように且つ所定方向でラビング処理を施すこと等により、配向膜２８０が形成される。
【００８０】
そして、大型基板２３０ａに対して対向基板用の大型基板を貼り合わせた後、個々のパネルに切断してから、あるいは大型基板２３０ａをアクティブマトリクス基板２３０に切断してから対向基板を貼り合わせた後、液晶を封入する。
【００８１】
ここで、本実施形態においては、上記アクティブマトリクス基板２３０を、マザーガラス基板投入時のサイズのまま処理を行うアレイ製造により製造してもよい。その後、組み立て工程の途中の行程であるラビング工程が実施され、ラビング工程後に、上述のパネルの切断が実施される。これにより、張り合わせ時の基板の反りの影響を低減すると共に、１枚の基板に要するアライメント処理の処理時間を短縮してスループットを向上させることができる。
【００８２】
例えば、アクティブマトリクス基板２３０に対して洗浄を行った後、配向膜となるポリイミド（ＰＩ）を塗布する。次に、アクティブマトリクス基板表面の配向膜（配向膜２８０に相当）に対して、ラビング処理を施す。
この場合、アクティブマトリクス基板２３０については、次に切断工程を行うようになっている。切断工程においては、種々の手法によって、アクティブマトリクス基板２３０を任意の大きさに切断する。例えば、ダイヤモンドカッターを用いたスクライブ処理、レーザーカッター、純水を用いたダイシング或いはウォータージェット等の手法が考えられる。
【００８３】
スクライブ処理は、所定の深さのスクライブ溝を形成し、スクライブ溝部分を破断することで、ＴＦＴ基板を切断する。レーザーカッターを利用する場合には、アクティブマトリクス基板２３０上に形成する素子間にカッティング用の隙間を設ける必要がある。レーザーカッターを用いた場合には、熱によって切断面の角が丸まるので、基板の損傷等の発生及び発生したガラス片による歩留まりの低下を防止することができるという利点がある。
【００８４】
図１５は、切断工程におけるアクティブマトリクス基板の切断方法を示している。図１５においては、基板を４分割した例を示している。
図１５（ａ）は、ラビング工程時の基板を示し、図６（ｂ）は、切断工程の途中の状態を示し、図１５（ｃ）は切断後の状態を示している。
【００８５】
図１５の例は、スクライブ処理を示しており、アクティブマトリクス基板は、スクライブ処理によって基板の中心近傍を通る十字状にスクライブ溝７１が形成される（図１５（ｂ））。そして、図１５（ｃ）に示すように、スクライブ溝７１に沿って４つに切断する。切断された各基板は、図１５の例では扇形で略同一形状である。なお、４分割ではなく、２分割や適宜の分割数で分割してもよく、切断後の形状は、同一形状でなくてもよい。
切断は、チップ単位までに分割せずに、一のＴＦＴ基板を所定数の分割数で分割する。分割は、アクティブマトリクス基板上に形成されている素子のレイアウトに応じて行われる。また、基板の反りの影響を小さくするためには、いずれの方向にも長さを短くするようにした方がよい。
【００８６】
図１５の例では、切断後の各基板は、直角に交わる２辺を有しており、アライメントに利用可能である。なお、図１５のアクティブマトリクス基板には、切断後にアライメント処理に用いるためのアライメントマーク７２が予め形成されている。図１５（ｂ）のアライメントマーク７２の位置は、元々アクティブマトリクス素子の形成に利用されていない部分にあり、４分割する場合のアライメントマークの形成位置として有利である。
【００８７】
切断された基板は、並列処理のために夫々各ラインに搬送される。各ラインでは、切断された板の形状及び形成されている素子位置等に応じて装置が構成されている。
【００８８】
次に、切断された各基板に、洗浄工程が行われる。この洗浄工程は、アクティブマトリクス基板のラビング処理によって生じた塵埃、及び切断工程によって生じた塵埃を除去するためのものである。
【００８９】
洗浄工程が終了すると、シール材及び導通材（図示せず）を形成する。シール材は、例えば、ディスペンス塗布によって形成する。なお、シール材をスクリーン印刷法によって形成してもよい。シール材を形成した後、次に、切断されたアクティブマトリクス基板２３０に各素子位置で夫々対向基板２４０を貼り合わせ、アライメントを施しながら圧着し、シール材を硬化させる。
【００９０】
シール材を硬化させて形成された各液晶空セルは、切断工程においてアクティブマトリクス基板の面積が比較的小さくなっていることから、反りが生じている場合でも、基板の各位置の反りの大きさの差は比較的小さい。即ち、空セル内のギャップ分布はいずれのセルにおいても略一様である。
【００９１】
また、貼り合わせ時におけるアクティブマトリクス基板の面積が比較的小さく、形成されている素子数が比較的少ないので、１枚の基板に対するアライメント処理は比較的短時間で終了する。従って、加工済みセルと未加工のセルとの間でシール硬化の時間差が少なく、セルの品質のばらつきは少ない。
【００９２】
次に、シール材の一部に設けた切り欠きから液晶を封入し、切り欠きを塞いで液晶を封止する。液晶封入工程では、圧力の管理を行いながら、液晶封入量を制御し、セルギャップを均一にする。貼り合わせ後の空セルのギャップ分布が一様であるので、液晶封入時のセルギャップの調整が比較的容易であり、セルギャップが均一な液晶セルを得ることができる。
【００９３】
最後に、液晶が封入されて検査が行われた液晶セルをセル毎に分断して、液晶パネルを得る。
【００９４】
このように本実施の形態においては、組み立て工程の途中のラビング工程後にＴＦＴ基板を所定の分割数で切断して以後の工程を実施しており、貼り合わせ工程におけるギャップ分布の分布むらを低減して、セルギャップを均一にしギャップむらが生じることを防止することができる。また、複数に分断したアクティブマトリクス基板上で貼り合わせを実施していることから、１枚の基板上の素子に対するアライメント処理を短時間で実施することができ、スループットを向上させることができると共に、経時変化を抑制して素子の品質のばらつきを抑制することができる。
【００９５】
このように、本例では、上述した液滴吐出方法を用いることから、封入される液晶は、液滴吐出ヘッド２１の洗浄（フラッシング）時に使用したものを含む。そのため、液晶の使用に無駄が少なく、その消費量が少なくて済む。
従って、製造される液晶装置は、低コスト化が図れる。また、液晶の配置ムラに伴う表示品質の低下が少なく、シール不良も生じにくい。
【００９６】
〔第３実施形態〕
（液晶装置の第２の製造方法）
上記第２の実施形態では、本発明の液滴吐出装置をパッシブマトリクス型及びアクティブマトリクス型の液晶装置の形成に採用し、該液晶装置を構成する液晶層の液晶封入に適用したが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、液晶装置を構成する配向膜（例えば、上述の配向膜１０８，１１０等に相当する）を、第１の実施形態に示した液滴吐出方法を用いて形成してもよい。
以下、本実施形態では、液晶装置における配向膜を、本発明の液滴吐出装置を用いて形成する製造課程を説明する。なお、第２の実施形態で説明した配向膜に関する記述と重複する部分については、説明を省略する。また、上述の説明に使用した構成部材と同一の部材については、以下、同一の符号を付して説明する。
【００９７】
本実施形態において、液滴吐出装置は、第１の実施形態に示した液滴吐出装置と同一の装置が採用される。また、配向膜の材料は、上述の通り、ポリイミドなどの有機材料からなり、例えば、ポリイミド樹脂３％、及び溶剤９７％等の成分構成を有するものである。
【００９８】
液滴吐出ヘッド２１の動作、ノズル３０の吐出及び基板ステージ２２の動作は、制御装置２５により制御される。これらの動作パターンを予めプログラムしておけば、配向膜の材料の塗布領域や塗布条件に応じて塗布パターンを変更することも容易である。
【００９９】
図１６を参照して、液滴吐出ヘッド２１のノズル３０のピッチと、主走査方向（描画方向）の走査ピッチについて説明する。
図１６は、液滴吐出ヘッド２１から吐出された配向膜の材料の液滴が滴下された状態を示す平面図である。ここで、例えば、カラーフィルタ基板３００のＩＴＯ膜上に、配向膜の材料の液滴が主走査方向（Ｘ方向）に１０μｍ、副走査方向（Ｙ方向）に１００μｍの間隔で、配向膜の材料の液滴が滴下されるとする。この場合、副走査方向における液滴の間隔ｙは、ノズル３０のピッチＰと同じであり、主走査方向における液滴の間隔ｘは、液滴吐出ヘッド２１の走査速度と吐出周波数とに依存する。
【０１００】
図１７〜図２１は、本実施形態に係る液滴の配置例を示す平面図である。
図１７に示すように、本発明の液滴吐出方法により配向膜の材料の描画を行う時には、副走査方向（主走査方向と直交する方向）の吐出間隔（ヘッドに複数のノズルがある場合には、それらのノズルピッチ）及び主走査方向の吐出間隔のそれぞれを、基板上で濡れ広がる前の着弾直前（＝着弾直後、以下、単に「着弾直前」と表記する）の液滴径（上記例では、３０〜４０μｍ、符号ａ）には、以下の間隔にして、その間隔を超えて配向膜の材料の液滴が基板に配置されないようにすることが望ましい。
すなわち、副走査方向及び主走査方向のそれぞれのピッチを着弾径に合わせるのではなく、着弾する寸前の液滴径以下に合わせて、配向膜の材料の液滴を基板上に配置していく。このように、図１７では、着弾し濡れ広がる前の状態の液滴同士が繋がるため、すじやムラの発生が抑制される。
なお、各ピッチは、必ずしも着弾する寸前の液滴径よりも小さい必要はない。図１７では、隣接する上記液滴同士が重なっているが、重なっている必要がない。図１８に示すように、上記液滴同士が繋がって単一の薄膜を形成するためには、隣接する上記液滴同士が接触しさえすればよい。
【０１０１】
図１８に示すように、液滴吐出ヘッド２１に複数のノズル３０が形成されている場合には、ノズル３０間のピッチＰｙを、上記した“濡れ広がる前の着弾直前の液滴径以下の間隔”とする。また、描画方向（主走査方向）において、液滴を吐出する間隔（ピッチ）Ｐｘについても、同様に、上記した“濡れ広がる前の着弾直前液滴径以下の間隔）とする。
【０１０２】
図１７及び図１８に示した方法で描画すると、液滴が濡れ広がる前のものが隣の液滴の濡れ広がる前のものと重なるために、滴下痕は映らない。上記のように、描画時に液滴の配置を行うときには、隣り合う液滴同士の間隔（主走査方向及び副走査方向のそれぞれ）が“濡れ広がる前の液滴径以下”となるように行う。
【０１０３】
図１９の配置例は、図１７及び図１８と異なり、主走査方向の偶数列目の濡れ広がる着弾直前の液滴が、奇数列目の濡れ広がる前の着弾直前の液滴に比べて、濡れ広がる前の着弾直前の液滴の径の概ね半分だけ、副走査方向にずれた位置に滴下される。
【０１０４】
図２０は、図１９における液滴の液滴中心位置を互いに接近させた配置を示している。図１７では、符号９２で示す四つの円弧で囲まれた領域は、上記液滴ではなく、そこから濡れ広がった部分である。そのため、理論上微小ではあるがムラとなる。これに対して、図２０では、ある任意の上記液滴は、その外周部が周方向全域に亘って、他の上記液滴と重なっている。従って、ムラが発生することはない。
【０１０５】
上記の配置例を実現する方法としては、２種類の方法がある。
一つ目の方法は、複数列目の上記液滴を描画するときには、図１９の矢印Ｙｅに示すように、奇数列目の上記液滴を描画したときに比べて、液滴吐出ヘッド２１を液滴の径の半分だけ副走査方向に基板に対して相対的にずらして描画する方法である。
二つ目の方法は、図２１に示すように、一対の（複数の）液滴吐出ヘッド２１を互いに上記液滴の径の半分だけ、副走査方向にずらした位置で固定してなるヘッド群２１ａを基板に対して走査（主走査）させる。奇数列目の上記液滴を描画するときには、そのヘッド群２１ａのうちの第１のヘッド２１のノズル３０から上記液滴を吐出させ、偶数列目の上記液滴を描画するときには、そのヘッド群２１ａのうちの第２のヘッド２１のノズル３０から上記液滴を吐出させる。
【０１０６】
このように、本実施形態では、基板に着弾した直後であって、濡れ広がる前の状態の液滴が、その液滴に隣接する他の液滴の同じ状態のものと互いに接触する位置に滴下されるように、液滴を吐出する。
【０１０７】
次に、本発明の液滴吐出方法で配向膜の材料を塗布する塗布方法について説明する。
図２２は、ウェハー３０１上で複数のチップ３０２が形成される場合を示している。複数のチップ３０２のそれぞれが、例えば、携帯電話用の液晶パネルとして構成される。液滴吐出ヘッド２１に形成された複数のノズル３０を用いて、複数のチップ３０２に対して同時に配向膜の材料の液滴を吐出する。
この場合、量産性を上げるためには、一回の主走査（Ｘ方向）で、液滴吐出ヘッド２１が有する液滴吐出ヘッド２１の延在方向の一端側から他端側の全てのノズル３０を使用して、ウェハー３０１上のなるべく広範囲のチップ３０２に対して配向膜の材料の液滴を塗布するのがよい。
【０１０８】
図２２において、ウェハー３０１の左端からチップ３０２が、符号３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃ…３０２ｚの列に並んでいる。この場合、同図に示すように、液滴吐出ヘッド２１の一端部側のノズル３０をチップ３０２ａの液滴配置位置に合わせると、液滴吐出ヘッド２１の他端部側のノズル３１が、チップ３０１ｃの途中位置に位置したとする。
【０１０９】
量産性を上げるには、液滴吐出ヘッド２１の図２２に示す配置状態において全てのノズル３０を使用対象とするのがよい。すなわち、一回目の主走査で、チップ３０２ａ及び３０２ｂの全ての領域、並びにチップ３０２ｃの途中までの領域に対して、液滴を塗布し、二回目の主走査で、チップ３０２ｃの残りの半分とチップ３０２ｄ以降に液滴を塗布するのがよい。このように、液滴吐出ヘッド２１の長手方向の一端部から他端部までの全てノズル２１を使用対象とすることで、ウェハー３０１条の複数のチップ３０２のうち、全てのチップ３０２の全ての塗布に要する、主走査の回数を少なく抑えることができる。この方法は、量産性に適しており、通常一般には、この方法が採られる。
【０１１０】
しかしながら、上記の方法では、図２３に示すように、一つのチップ３０２ｃに対して、２（複数）回の主走査で配向膜の材料の液滴を塗布することになる。そのため、チップ３０２ｃにおいて配向膜の材料が塗布されるべきエリア（塗布エリア）内には、一回目の主走査で塗布された配向膜の材料の塗布領域の端部に空気との界面３０５が生じる。その後、二回目の主走査が行われ、その界面３０５の部分にも配向膜の材料の液滴が塗布されるが、その界面３０５の部分は、滴下（塗布）ムラとなる。
【０１１１】
ここで、上記塗布エリアとは、配向膜の材料（液状体）を塗布すべき領域であって、塗布ムラの発生を避けたい面積的に最大の単位の領域（本例ではチップ３０２ａ〜３０２ｚのそれそれ）である。換言すれば、塗布エリアとは、その全面が一様に塗布されるべき面積的に最大の単位エリア（本例ではチップであるが、１つのウェハーで単一の基板を構成するときの基板を含む）である。塗布エリアは、一般には、単一のパネル内に表示エリアである。
【０１１２】
そこで、図２３及び図２４に示すように、複数の塗布エリア（本例ではチップ３０２ａ〜３０２ｚのそれぞれ）の中で、その全ての領域を一回の主走査では塗布することができない塗布エリア（本例ではチップ３０２ｃ）がある場合には、その塗布エリア（本例ではチップ３０２ｃ）に対しては、その回の主走査では配向膜の材料の液滴を塗布しない。
【０１１３】
すなわち、図２４のように、チップ３０２ｃの途中位置までしか液滴吐出ヘッド２１がカバーしていない状態で、液滴吐出ヘッド２１の主走査が行われる場合には、チップ３０２ｃは、その全ての領域をその一回の主走査では塗布することができない。このような状況において、その主走査が行われるときには、チップ３０２ｃ上に位置する符号３０ｂで示すノズルからは、配向膜の材料の液滴が吐出されないように制御する。それらのノズル３０ｂから配向膜の材料の液滴を吐出させないことによって、チップ３０２ｃ上の配向膜の材料と空気との界面ができないようにし、塗布ムラを防止する。
【０１１４】
このように、初回の走査では、チップ３０２ａ及び３０２ｂに配向膜の材料の液滴を塗布される。なお、符号３０ａで示すノズルは、元々、この図の位置での主走査では、配向膜の材料の液滴が吐出されないノズルである。符号３０ａで示すノズルの位置は、配向膜の材料の液滴を吐出すべきエリアではない（チップが存在しない）ためである。
【０１１５】
次いで、図２４に示す位置から、液滴吐出ヘッド２１が矢印Ｙ方向に副走査を行い、その結果、図２５に示すように、前回（１回目の主走査）に塗布されなかったチップ３０２ｃにおいて、その全ての領域が２回目の主走査で塗布できる位置に液滴吐出ヘッド２１が至ると、その２回目の主走査では、そのチップ３０２ｃに対して配向膜の材料の液滴の塗布を行う。
【０１１６】
この２回目の主走査においても、１回目の主走査時と同様に、複数の塗布エリア（本例ではチップ３０２ａ〜３０２ｚのそれぞれ）の中で、その全ての領域を一回の主走査では塗布できない塗布エリア（本例ではチップ３０２ｅ）がある場合には、その塗布エリア（本例ではチップ３０２ｅ）に対しては、その主走査では配向膜の材料の液滴を塗布しない、という動作が行われる。以後、同様に、３回目以降の主走査が行われる。
【０１１７】
上記例においては、各回の主走査時に、２列のチップ３０２ずつ配向膜の材料の液滴を吐出する（初回はチップ３０２ａ及び３０２ｂ、２回目はチップ３０２ｃ及び３０２ｄ）と共に、３列目のチップ３０２の位置に対するノズル３０からは配向膜の材料の液滴を吐出しない（初回はチップ３０２ｃ、２回目は３０２ｅ）。配向膜の材料の液滴の塗布対象が図２２のウェハー３０１とは異なる場合、すなわち、ウェハー上のチップ大きさや配置が図２２のものとは異なる場合には、各回の主走査時に、何列のチップずつ配向膜の材料の液滴を吐出し、何列目のチップの位置に対応するノズル３０から配向膜の材料を吐出しないかが変わってくる。ここでは、例えば、以下の式から、各回の主走査時に配向膜の材料の液滴を吐出すべきチップの列数を求めることができる。
【０１１８】
ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌ
を満たすｎの最大値を求める。
但し、図２２に示すように、ｄ１は、チップ３０２の幅（液滴吐出ヘッド２１の延在方向に沿うチップ３０２の辺の長さ、より正確には、チップ３０２における液晶膜を形成すべき領域の幅）であり、ｄ２は、チップ３０２間の間隔（より正確には、互いに隣接するチップ３０２における液晶膜を形成すべき領域同士の間隔）であり、Ｌは、液滴吐出ヘッド２１の延在方向の長さ（より正確には、液滴吐出ヘッド２１の延在方向の一端部のノズル３０と他端部のノズル３０との間の長さ）である。
【０１１９】
１回目の主走査では、そのｎ回目のチップまで配向膜の材料の液滴を塗布し、（ｎ＋１）列目のチップの位置に対応するノズル３０からは配向膜の材料の液滴を吐出しない。
２回目の主走査では、その（ｎ＋１）列目を起算点としてｎ列目（ｎ＋１−１＋ｎ）のチップまで配向膜の材料の液滴を塗布し、（ｎ＋１−１＋ｎ＋１）列目のチップの位置に対応するノズル３０からは配向膜の材料の液滴を吐出しない。
【０１２０】
図２２の例では、
２×ｄ１＋（２−１）×ｄ２≦Ｌ
３×ｄ１＋（３−１）×ｄ２＞Ｌ
が成立するため、ｎの最大値は、２である。
１回目の主走査では、その２列目のチップ（３０２ａ及び３０２ｂ）まで配向膜の材料の液滴を塗布し、（２＋１＝３）列目もチップ（３０２ｅ）の位置に対応するノズル３０からは配向膜の材料の液滴を吐出しない。
２回目の主走査では、その（２＋１＝３）列目を起算点として２列目（２＋１−１＋２＝４）のチップ（３０２ｃ及び３０２ｄ）まで配向膜の材料の液滴を塗布し、（２＋１−１＋２＋１＝５）列目のチップ（３０２ｅ）の位置に対応するノズル３０からは配向膜の材料の液滴を吐出しない。
【０１２１】
上記のように、複数列のチップ３０２に対し配向膜の材料の液滴が塗布されるときの各回の主走査は、ｎ×ｄ１＋（ｎ−１）×ｄ２≦Ｌを満たすｎの最大値の列ずつ行われる。これにより、ある一つのチップ３０２が複数回の主走査で配向膜の材料が塗布されることはない。なお、上記ｎの値は、運転員がプログラムに予め入力し、その入力されたｎの値に従って、液滴吐出ヘッド２１による配向膜の材料の液滴の塗布が行われることができる。
【０１２２】
すなわち、単一回の主走査が行われたときに、いずれもチップ（塗布エリア）３０２をとってみても、単一のチップ３０２内に配向膜の材料の塗布が行われた領域と配向膜の材料の塗布が行われていない領域とが双方存在することがない。いずれのチップ３０２をとってみても、単一のチップ３０２は、その単一のチップ３０２内の全ての塗布エリアが必ず単一回主走査によって配向膜の材料が塗布される。このように、単一回の主走査によって単一の塗布エリアの全ての領域に配向膜の材料の塗布が行われることにより、その単一の塗布エリア上には、配向膜の材料（液状体）と気相の界面ができないため、スキャンの継ぎ目は、表示領域にムラとして出現しない。
【０１２３】
なお、図２２の液滴吐出ヘッド２１は、各チップ３０２上で、図１７に示すように、配向膜の材料の液滴が濡れ広がる前のものが隣の液滴の濡れ広がる前のものと重なるようなノズル３０間のピッチに形成され、かつ、主走査方向の吐出間隔もそのように行われる。
【０１２４】
また、上記に代えて、図２２の液滴吐出ヘッド２１は、各チップ３０２上で、図２０に示すように、配向膜の材料の液滴が濡れ広がる前のものが隣の液滴の濡れ広がる前のものと重なるようなノズル３０間のピッチに形成され、かつ主走査方向の吐出間隔もそのように行われることができる。この場合、図２０に示すように、ある任意の配向膜の材料の上記液滴（図１９の符号ａ）は、その外周部が周方向全域に亘って、他の配向膜の材料の上記液滴（図１９の符号ａ）と重なる。
【０１２５】
図２６は、本実施形態の変形例を示したものである。
図２２では、単一の塗布エリアの幅ｄ１よりも液滴吐出ヘッド２１の長さＬが大きく、１回の主走査で少なくとも１つの塗布エリアの全ての領域を塗布することができる。これに対し、図２６では、単一のウェハー３１０上に、単一の基板３１１が形成される。図２６のケースでは、塗布エリア（基板３１１）が図２２のケースの塗布エリア（チップ３０２）に比べて大きい。単一回の主走査で、塗布エリアの全ての領域を塗布するためには、基板３１１の幅ｄ１‘と同じ範囲には、ノズル３０が形成されている必要がある。
【０１２６】
単一の液滴吐出ヘッド２１の長さでは、基板３１１の幅ｄ１‘よりも小さい場合には、複数の液滴吐出ヘッド２１Ａ、２１Ｂを連結させることで、幅ｄ１’と同じ範囲にノズル３０が位置するようにする。また、図２２に示すように、単一の液滴吐出ヘッド２１の長さが塗布エリア（チップ３０２）のチップ幅ｄ１よりも大きい場合であっても、単一回の主走査でより広範囲の塗布エリアを塗布するために、複数の液滴吐出ヘッド２１が連結されることができる。
【０１２７】
この場合、連結される複数の液滴吐出ヘッド２１Ａ、２１Ｂのノズル２１のピッチ▲１▼と▲３▼とは、互いに同じであり、規定のピッチに合うように設置される（図１７及び図２０参照）。
【０１２８】
更に、複数の液滴吐出ヘッド２１Ａ、２１Ｂの連結部のノズルピッチ▲２▼は、規定されているノズルピッチ▲１▼と同じ長さとなるように設置する。例えば、▲１▼＝▲２▼＝▲３▼＝３０〜４０μｍとすることが望ましい。
【０１２９】
このように、本実施形態の液晶装置の製造方法によれば、液滴吐出ヘッドが複数のスキャンを行って表示エリアに配向膜の材料を滴下する場合、その表示エリア内にスキャンの数だけ配向膜の材料と空気の界面が生じ、その部分が描画ムラとなっていたが、本実施形態では、配向膜の材料の滴下を１度の描画（スキャン）でパネルの表示範囲内全てに行うことで、表示エリア内に配向膜の材料と空気との界面を無くし、配向膜の材料の滴下ムラを防止する。
更に、本例では、上述した液滴吐出方法を用いることから、配向膜の材料は、液滴吐出ヘッド２１の洗浄（フラッシング）時に使用したものを含む。そのため、配向膜の材料の使用に無駄が少なく、その消費量が少なくて済む。
従って、製造される液晶装置は、低コスト化が図れる。
【０１３０】
〔第４実施形態〕
（液晶装置の第３の製造方法）
上記第３の実施形態では、液晶装置を構成する配向膜を、第１の実施形態に示した液滴吐出方法を用いて形成させる場合について説明したが、同様に、液晶装置を構成する保護膜（例えば、上述のオーバーコート膜１０６に相当する）を上述の液滴吐出方法を用いて形成させてもよい。
【０１３１】
以下、本実施形態では、液晶装置におけるカラーフィルタの製造方法を詳述すると共に、カラーフィルタ上に形成される保護膜を、本発明の液滴吐出装置を用いて形成する製造課程を説明する。なお、第２の実施形態で説明したカラーフィルタに関する記述と重複する部分については、説明を省略する。また、上述の説明に使用した構成部材と同一の部材については、以下、同一の符号を付して説明する。
【０１３２】
図２７は、カラーフィルタ１０４の製造方法を工程順に模式的に示している。まず、ガラス基板１０１の表面に透光性のない樹脂材料によって隔壁１０５を矢印Ｂ方向から見て格子状パターンに形成する。格子状パターンの格子穴の部分１２０は、フィルタエレメント１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂが形成される領域、すなわちフィルタエレメント領域である。この隔壁１０５によって形成される個々のフィルタエレメント領域１２０の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例えば、３０μｍ×１００μｍ程度に形成される。
【０１３３】
隔壁１０５は、フィルタエレメント領域１２０に供給されるフィルタエレメント材料の流動を阻止する機能及びブラックマトリクスの機能を併せて有する。また、隔壁１０５は、任意のパターニング手法、例えばフォトリソグラフィ法によって形成され、さらに必要に応じてヒータによって加熱されて焼成される。
【０１３４】
隔壁１０５の形成後、図２７（ｂ）に示すように、フィルタエレメント材料の液滴１２１を各フィルタエレメント領域１２０に供給することにより、各フィルタエレメント領域１２０をフィルタエレメント材料１１０４で埋める。図２７（ｂ）において、符号１１０４ＲはＲ（赤）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１１０４ＧはＧ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、そして符号１１０４ＢはＢ（青）の色を有するフィルタエレメント材料を示している。
【０１３５】
各フィルタエレメント領域１２０に所定量のフィルタエレメント材料が充填されると、ヒータによって基板１０１を例えば７０℃程度に加熱して、フィルタエレメント材料の溶媒を蒸発させる。この蒸発により、図２７（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料１１０４の体積が減少し、平坦化する。体積の減少が激しい場合には、カラーフィルタとして十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料の液滴の供給とその液滴の加熱とを繰り返して実行する。以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する各色フィルタエレメント１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂが形成される。
【０１３６】
以上によりフィルタエレメント１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂが形成された後、それらのフィラメント１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂを完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、第１の実施形態に示した液滴吐出方法を用いてオーバーコート層１０６を形成する。このオーバーコート層１０６は、フィルタエレメント１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂ等の保護及びカラーフィルタ１０４の表面の平坦化のために形成される。
【０１３７】
このように、本例では、上述した液滴吐出方法を用いることから、オーバーコート層１０６の材料は、液滴吐出ヘッド２１の洗浄（フラッシング）時に使用したものを含む。そのため、オーバーコート層の材料の使用に無駄が少なく、その消費量が少なくて済む。
従って、製造される液晶装置は、低コスト化が図れる。
【０１３８】
〔第５実施形態〕
（電子機器）
次に、本発明の電子機器の具体例について説明する。
図２８は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図２８において、６００は携帯電話本体を示し、６０１は先の図４に示した液晶装置を備えた液晶表示部を示している。
図２９は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図２９において、７００は情報処理装置、７０１はキーボードなどの入力部、７０３は情報処理本体、７０２は先の図４に示した液晶装置を備えた液晶表示部を示している。
図３０は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図３０において、８００は時計本体を示し、８０１は先の図４に示した液晶装置を備えた液晶表示部を示している。
図２８〜図３０に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるので、低コスト化が図れるとともに、表示品質の低下やシール不良が生じにくい。
【０１３９】
なお、上記の実施形態では、パッシブマトリクス型や、ＴＦＴをスイッチング素子として用いたアクティブマトリクス型の液晶装置を採用したが、例えば、ＴＦＤ（Thin Film Diode：薄膜ダイオード）をスイッチング素子として用いたアクティブマトリクス型の液晶装置とすることもできる。
【０１４０】
また、上記の実施形態では、定量配置される液状材料としては、液晶装置に用いられる液晶や配向膜材料、及び保護膜用液状材料（オーバーコート膜用材料など）を取り上げたが、本発明は、これらの液状材料に限定されるものではない。その他、採用可能である液状材料としては、レジスト（フォトレジスト）、カラーインク、ＳＯＧ（Spin On Glass）、低誘電率層間絶縁膜を形成するためのＬｏｗ-ｋ材料、その他揮発性液状材料など他の液状材料、金属等の微粒子を含む液状体、有機ＥＬの発光層材料、正孔注入輸送層材料などが挙げられる。例えば、第２の実施形態では、金属膜上にフォトリソグラフィ技術を用いてレジストマスクを形成し、遮光膜２１２ａを形成する工程について触れたが、このレジストの塗布方法の代替えとして、本発明の液滴吐出方法を採用することも可能である。
【０１４１】
また、上記の実施形態の電子機器は液晶装置を備えるものとしたが、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ型表示装置等、他の電気光学装置を備えた電子機器とすることもできる。
【０１４２】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【０１４３】
【発明の効果】
本発明の液状材料の配置方法及び配置装置によれば、液状材料をノズルを介して液滴にして吐出することにより、基板上に液状材料を均一に配置することができる。また、ノズルの洗浄に用いた液状材料の少なくとも一部をそのまま基板上に配置することにより、液状材料の消費量を低減するとともに、スループットの低下を防止できる。
【０１４４】
本発明の液晶装置の製造方法及び液晶装置によれば、低コスト化と品質の向上が図られる。
【０１４５】
本発明の電子機器によれば、低コストで高品質の液晶装置を備え、性能の向上が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施の形態の一例を模式的に示す図である。
【図２】ピエゾ方式による液状材料の吐出原理を説明するための図である。
【図３】液滴吐出装置を用いて、基板上に所定量の液状材料を定量配置する例を示す図である。
【図４】液晶装置（液晶表示装置）の断面構造の一例を模式的に示す図である。
【図５】液晶装置の製造方法を模式的に示す図であり、（ａ）及び（ｂ）は、ガラス基板上に液晶を定量配置する工程、（ｃ）及び（ｄ）は、液晶を封止する工程をそれぞれ示している。
【図６】液晶パネルの画面表示領域を構成するためにマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、及び配線などの等価回路図である。
【図７】図６に示す液晶パネルにおいて、アクティブマトリクス基板に形成された各画素の構成を示す平面図である。
【図８】図７のＡ−Ａ′線に相当する位置での断面図である。
【図９】図６に示す液晶パネルに用いたアクティブマトリクス基板の構成を示す等価回路図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、液晶パネルのアクティブマトリクス基板の製造方法を示す工程断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）は、液晶パネルのアクティブマトリクス基板の製造方法において、図１０に示す工程に続いて行う各工程の工程断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は、液晶パネルのアクティブマトリクス基板の製造方法において、図１１に示す工程に続いて行う各工程の工程断面図である。
【図１３】（ａ）〜（ｃ）は、液晶パネルのアクティブマトリクス基板の製造方法において、図１２に示す工程に続いて行う各工程の工程断面図である。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は、液晶パネルのアクティブマトリクス基板の製造方法において、図１３に示す工程に続いて行う各工程の工程断面図である。
【図１５】製造工程中のガラス基板の状態を示す説明図である。
【図１６】液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドの動作を示す説明図である。
【図１７】基板に滴下された液滴の配置例を示す平面図である。
【図１８】基板に滴下された液滴の他の配置例を示す平面図である。
【図１９】基板に滴下された液滴の他の配置例を示す平面図である。
【図２０】基板に滴下された液滴の他の配置例を示す平面図である。
【図２１】基板に滴下された液滴の他の配置例を示す平面図である。
【図２２】基板に滴下される液滴の吐出例を示す平面図である。
【図２３】基板に滴下される液滴の他の吐出例を示す平面図である。
【図２４】液滴の吐出例の一の動作を示す平面図である。
【図２５】液滴の吐出例の他の動作を示す平面図である。
【図２６】基板に滴下される液滴の他の吐出例を示す平面図である。
【図２７】カラーフィルタの製造工程を示す断面図である。
【図２８】本発明の電子機器を、液晶表示装置を備えた携帯電話に適用した例を示す図である。
【図２９】本発明の電子機器を、液晶表示装置を備えた携帯型情報処理装置に適用した例を示す図である。
【図３０】本発明の電子機器を、液晶表示装置を備えた腕時計型電子機器に適用した例を示す図である。
【符号の説明】
１０…液滴吐出装置、２０，１０１，１０２…基板、２１…液滴吐出ヘッド（吐出手段）、２２…基板ステージ、２３…計測装置（計測手段）、２５…制御装置、２８…チャンバ、２９…温調装置（温調手段）、３０…ノズル、３４…液状材料供給系、１００…液晶装置、１０３…液晶、１１２…シール材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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