(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流信号の所定周期分をサンプリングした複数のサンプリングデータを入力し、当該複数のサンプリングデータから前記所定周期分の交流信号を再生する信号再生部と、制御装置からの制御命令を受信すると共に当該制御命令を受信したときに通信割込信号を前記信号再生部に出力する通信部とを備え、前記信号再生部は、前記通信割込信号を入力したときに、前記サンプリングデータの入力に優先して前記通信部からの前記制御命令を通信割込処理によって入力する信号再生装置において、
前記通信割込処理の実行の有無を記憶する記憶部をさらに備え、前記信号再生部は、前記サンプリングデータの入力終了後に前記記憶部の記憶内容に基づいて前記複数のサンプリングデータを再入力して前記所定周期分の交流信号を再生することを特徴とする信号再生装置。
【請求項２】
前記再生した交流信号に基づいて当該交流信号の電気的変量を演算する演算部をさらに備えていることを特徴とする請求項１記載の信号再生装置。
【請求項３】
測定対象物のパラメータを演算する演算部と、前記パラメータを測定するための測定用基準交流信号が印加された前記測定対象物から前記交流信号を検出する検出部と、当該検出された交流信号の所定周期分をサンプリングして前記複数のサンプリングデータとするサンプリング部とをさらに備え、前記演算部は、前記複数のサンプリングデータに基づいて前記信号再生部が再生した交流信号に基づいて前記パラメータを演算することを特徴とする請求項１記載の信号再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、交流信号の所定周期分の信号波形を再生する信号再生装置に関し、より具体的には、交流信号波形から電力や力率などを測定する電力測定器や、波形を観測するオシロスコープ、測定対象物のインダクタンス、キャパシタンスおよびレジスタンスなどのパラメータを演算により測定するＬＣＲ測定装置に適用可能な信号再生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の信号再生装置として、測定対象物である試料のパラメータを測定するために印加された測定用交流信号の試料における両端電圧や試料に流れる電流をサンプリングするサンプリング部と、サンプリング部によってサンプリングされたサンプリングデータを入力してパラメータを演算するＣＰＵと、ＲＳ−２３２Ｃ通信方式に従い外部制御装置との間でシリアル通信を実行する通信部とを備えているＬＣＲ測定装置が従来から知られている。
【０００３】
この従来のＬＣＲ測定装置では、試料の両端電圧などを測定するときには、サンプリング部が、図３に示すように、等間隔でｎ回のサンプリング処理（Ｓ１〜Ｓｎ）を実行することにより、例えば図４（ａ）に示す測定用交流信号の１周期波形についてｎ点（同図では理解を容易にするために９回のサンプリングとしている）のサンプリングデータをＣＰＵに出力する。ＣＰＵは、サンプリングされた電圧データなどを基に試料のパラメータを演算する。この場合、サンプリングデータがｎ点で連続していることにより、ＣＰＵは、同図（ｂ）に示すように、両端電圧波形を再生することができ、この結果、パラメータの演算を行うことができる。
【０００４】
通信部は、外部制御装置からランダムに送信されてくる各種制御命令の有無を監視すると共に、制御命令の出力があったときは、その制御命令を受信すると共に通信割込信号をＣＰＵに出力する。一方、ＣＰＵは、通信割込信号の入力があると、通信割込処理によって他の処理に優先して制御命令を入力する。この場合、ＣＰＵが他の処理に優先して通信割込処理を実行するのは以下の理由からである。すなわち、ＲＳ−２３２Ｃ通信方式では、例えば、１ビットのスタートビット、８ビットのデータビットおよび１ビットのストップビットからなる１つのデータによって１文字分のデータを通信することができる。一方、一般的に、１つの制御命令は、使用者が理解し易い言葉にするため１０〜２０文字によって構成されているため、１文字が受信できない場合であっても、ＣＰＵ側では制御命令を正しく認識することができず通信エラーになってしまう。このため、ＣＰＵは、制御命令を確実に受信するためには他の処理に優先的して通信割込を実行することによって確実に制御命令を入力しているのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来のＬＣＲ測定装置には以下の問題点がある。すなわち、通信割込信号が入力されない状態では、図４（ｂ）に示すように両端電圧波形を正確に再生することが可能であるが、図５に示すようにサンプリング処理（Ｓ３）をすべき時点で通信割込信号（ＩＮＴ）の入力があった場合には、図６（ａ）に示すように、本来サンプリングすべき電圧データをサンプリングすることができない。このため、ＣＰＵがサンプリングデータに基づいて再生した両端電圧波形は、同図（ｂ）に示すように、本来サンプリングすべき電圧データが抜けた電圧波形になってしまう。この結果、ＣＰＵは、元の電圧波形を確実に再生することができないため、試料のパラメータを正確に演算することができないという問題点がある。
【０００６】
この場合、制御装置との間での通信を他の専用インターフェース装置などによって実行させ、ＣＰＵがサンプリングデータの入力を終了してから制御命令を読み込むように構成することも可能である。しかし、かかる場合には、特別な専用インターフェース装置を必要とするばかりでなく、何十バイトもの制御命令を記憶させるためのメモリを専用インターフェース装置に配置せざるを得ない結果、信号再生装置の構成が複雑になりコストアップを招くと共に、装置の小型化等の要請に反してしまうことになる。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で、制御装置からの制御命令を確実に受信することができると共に入力した複数のサンプリングデータに基づいて交流信号を正確に再生する信号再生装置を提供することを主目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１に係る信号再生装置は、交流信号の所定周期分をサンプリングした複数のサンプリングデータを入力し、複数のサンプリングデータから所定周期分の交流信号を再生する信号再生部と、制御装置からの制御命令を受信すると共に制御命令を受信したときに通信割込信号を信号再生部に出力する通信部とを備え、信号再生部は、通信割込信号を入力したときに、サンプリングデータの入力に優先して通信部からの制御命令を通信割込処理によって入力する信号再生装置において、通信割込処理の実行の有無を記憶する記憶部をさらに備え、信号再生部は、サンプリングデータの入力終了後に記憶部の記憶内容に基づいて複数のサンプリングデータを再入力して所定周期分の交流信号を再生することを特徴とする。
【０００９】
この信号再生装置では、制御装置から制御命令が出力されると、通信部が、制御命令を受信すると共に信号再生部に通信割込信号を出力する。一方、信号再生部は、サンプリングデータの入力中であっても、通信割込信号を入力した場合には、通信割込処理によって制御装置からの制御命令を入力する。したがって、サンプリングデータの入力処理のタイミングと通信割込処理のタイミングが同時になった場合には、サンプリングデータの入力処理を実行できないときがある。この場合、通信割込処理の実行の有無が記憶部によって記憶され、かつ信号再生部が、サンプリングデータの入力処理を終了した後に、例えば通信割込処理があったことが記憶部に記憶されているときは、サンプリングデータを再入力して所定周期分の交流信号を再生する。この結果、信号再生部は、入力すべき複数のサンプリングデータのすべてを入力した場合にサンプリングデータの入力処理および信号再生処理を終了する。このように、この信号再生装置は、特別なハードウェアを必要としない簡易な構成でありながら、制御装置からの制御命令を確実に受信することができると共に、すべてのサンプリングデータを確実に入力して正確な信号再生を行うことが可能になる。
【００１０】
請求項２に係る信号再生装置は、請求項１記載の信号再生装置において、再生した交流信号に基づいて交流信号の電気的変量を演算する演算部をさらに備えていることを特徴とする。
【００１１】
この信号再生装置では、演算部が、信号再生部によって再生された交流信号に基づいて電気的変量を正確に演算する。このため信号再生装置を、例えば、電圧形、電流計および電力計などの電気的変量測定装置に適用することができる。
【００１２】
請求項３に係る信号再生装置は、請求項１記載の信号再生装置において、測定対象物のパラメータを演算する演算部と、パラメータを測定するための測定用基準交流信号が印加された測定対象物から交流信号を検出する検出部と、検出された交流信号の所定周期分をサンプリングして複数のサンプリングデータとするサンプリング部とをさらに備え、演算部は、複数のサンプリングデータに基づいて信号再生部が再生した交流信号に基づいてパラメータを演算することを特徴とする。
【００１３】
この信号再生装置では、測定対象物に測定用基準交流信号が印加されると、検出部が測定対象物から交流信号を検出し、サンプリング部が交流信号の所定周期分をサンプリングする。一方、信号再生部が、サンプリングされた複数のサンプリングデータに基づいて交流信号を再生し、演算部が、交流信号に基づいて測定対象物のパラメータを正確に測定する。このため、信号再生装置を、ＬＣＲ測定装置に適用することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る信号再生装置を適用した実施の形態について説明する。
【００１５】
図１は、ＬＣＲ測定装置（信号再生装置）１のブロック図を示している。ＬＣＲ測定装置１は、測定対象物である試料Ｓに所定周波数の基準交流信号である測定用交流信号を印加することによって、試料Ｓに流れる電流と試料Ｓの両端に発生する電圧との両者に基づいて、試料Ｓのパラメータ（インダクタンス、キャパシタンスおよびレジスタンス）を測定するものである。ＬＣＲ測定装置１は、同図に示すように、発振信号出力部２、電流波形検出部（検出部）３、電圧波形検出部（検出部）４および演算通信部５を備えている。
【００１６】
発振信号出力部２は、測定用交流信号を発振する発振部１１、および発振部１１の測定用交流信号を約１Ｖ程度まで増幅するパワーアンプ１２を備えている。この発振信号出力部２では、周波数特性を有する試料Ｓの適正測定周波数に合致するように、発振部１１は、必要な周波数の測定用交流信号を発振可能に構成され、測定者によって選択された周波数の測定用交流信号を発振する。発振部１１の測定用交流信号は、パワーアンプ１２によって増幅され、コネクタＣ１を介して試料Ｓに印加される。試料Ｓに印加された測定用交流信号は、コネクタＣ２を介して電流波形検出部３に入力されると共に、コネクタＣ３，Ｃ４を介して電圧波形検出部４に入力される。
【００１７】
電流波形検出部３は、試料Ｓに流れる電流を検出するものであって、電流検出部としてのオペアンプ２１、可変利得増幅部としてのオペアンプ２２、測定用交流信号の高調波を除去するＬＰＦ（ローパスフィルタ）２３、および電流波形をサンプリングするＳ／Ｈ（サンプルホールド）部（サンプリング部）２４を備えている。この電流波形検出部３では、オペアンプ２１が、試料Ｓに流れる測定用交流信号の電流を電流検出信号として検出し、オペアンプ２２が、電流検出信号を増幅してＬＰＦ２３に出力する。ＬＰＦ２３は、電流検出信号をろ波し、Ｓ／Ｈ部２４に出力する。Ｓ／Ｈ部２４は、後述するＣＰＵ４３の制御下で、入力信号をサンプリングしホールドした電流検出信号をスイッチ３５に出力する。
【００１８】
電圧波形検出部４は、試料Ｓに測定用交流信号が流れるときに発生する試料Ｓの両端電圧を電圧検出信号として検出するものであって、電流検出部としてのオペアンプ３１、可変利得増幅部としてのオペアンプ３２、測定用交流信号の高調波を除去するＬＰＦ３３、電流波形をサンプリングするＳ／Ｈ（サンプルホールド）部（サンプリング部）３４、およびスイッチ３５を備えている。この電流波形検出部４では、オペアンプ３１が、試料Ｓの両端電圧を電圧検出信号として検出し、オペアンプ３２が、電圧検出信号を増幅してＬＰＦ３３に出力する。ＬＰＦ３３は、電圧検出信号をろ波し、Ｓ／Ｈ部３４に出力する。Ｓ／Ｈ部３４は、Ｓ／Ｈ部２４と同じようにして、サンプリングしホールドした電圧検出信号をスイッチ３５に出力する。スイッチ３５は、ＣＰＵ４３からの制御信号（図示せず）によって制御され、Ｓ／Ｈ部２４およびＳ／Ｈ部３４のサンプリング処理に同期してその可動切片を切り替える。この結果、スイッチ３５は、Ｓ／Ｈ部２４からの電流検出信号およびＳ／Ｈ部３４からの電圧検出信号を演算通信部５のＡ／Ｄ変換部４１に交互に出力する。
【００１９】
演算通信部５は、スイッチ３５から出力された電流検出信号および電圧検出信号に基づいて元の電流波形および電圧波形を再生し（図４（ｂ）参照）、両再生波形に基づいて試料Ｓのパラメータを演算すると共に、図示しない外部の制御装置との間で制御命令の受信や演算結果である測定データの送信を行うものである。演算通信部５は、Ａ／Ｄ変換部４１、Ｓ／Ｐ（シリアル−パラレル）変換部４２、ＣＰＵ（信号再生部、演算部）４３、ＲＯＭ４４、ＲＡＭ４５およびＩ／Ｆ（インターフェイス）部（通信部）４６を備えている。以下に、その構成を詳述する。
【００２０】
Ａ／Ｄ変換部４１は、スイッチ３５を介してそれぞれ出力される電流検出信号および電圧検出信号を入力し、アナログ信号である両検出信号をディジタル信号化し、検出データとしてＳ／Ｐ変換部４２に出力する。
【００２１】
Ｓ／Ｐ変換部４２は、電流検出信号に対応する検出データおよび電圧検出信号に対応する検出データがＡ／Ｄ変換部４１からシリアル出力されるため、両データをそれぞれｎビットのパラレルデータであるパラレル検出データに変換すると共に、変換が終了したときにＣＰＵ４３に対して変換終了信号を出力する。
【００２２】
ＣＰＵ４３は、ＲＯＭ４４に記憶されているプログラムに従い各種処理を実行し、Ｓ／Ｐ変換部４２から変換終了信号が出力されたときには、Ｓ／Ｐ変換部４２から両パラレル検出データを取り込んでＲＡＭ４５に一時的に記憶させる。また、ＣＰＵ４３は、後述するＩ／Ｆ部４６から通信割込信号が出力されたときにＩ／Ｆ部４６のメモリに記憶されている制御命令を読み込み、その制御命令に従い各種処理を実行する。
【００２３】
Ｉ／Ｆ部４６は、１バイトのデータ記憶用のメモリを備え、特に限定されないがシリアル・インターフェース規格であるＲＳ−２３２Ｃ通信規格に従い外部制御装置との間で制御命令や各種データの受け渡しを行う。Ｉ／Ｆ部４６は、外部制御装置からスタートビット信号が出力されると、その後に連続して出力されるｎビットのデータ信号（例えば、測定開始命令、測定データの出力命令および測定条件の変更命令などのデータ）を受信し、ストップビット信号を受信したときに、データ信号を１バイトの文字データとしてメモリに記憶させると共に、ＣＰＵ４３に対して通信割込信号を出力する。この場合、ＣＰＵ４３が通信割込処理によって文字データを読み込むときには、例えば１バイトのパラレルデータとしてＣＰＵ４３に出力する。Ｉ／Ｆ部４６は、これらの処理を１バイトの文字データ毎に繰り返して処理することによって、ｎバイトからなる制御命令をＣＰＵ４３に出力する。また、Ｉ／Ｆ部４６は、ＣＰＵ４３からデータ出力信号と共にｎビットの測定データが出力されたときに、測定データをＲＳ−２３２Ｃ通信規格に従ってシリアルデータに変換して外部制御装置に送信する。
【００２４】
次に、ＬＣＲ測定装置１における全体的な動作について、図２を参照して説明する。
【００２５】
最初に、同図（ａ）を参照して、パラメータ測定処理について説明する。まず、ＣＰＵ４３は、内蔵レジスタである割込フラグ（本発明における記憶部に相当する）を「０」にセットする（ステップ５１）。この場合、割込フラグは、「１」にセットされているときはパラレル検出データがＣＰＵ４３に確実に入力されていない可能性があることを意味し、Ｉ／Ｆ部４６から通信割込信号の出力があったとき、およびＣＰＵ４３が測定データを外部制御装置に出力するときなどに「１」にセットされる。
【００２６】
次に、ＣＰＵ４３は、サンプリング処理を開始する。この処理では、ＣＰＵ４３は、まず最初に回数レジスタをｘ＝１にセットすると共に、Ｓ／Ｈ部２４およびＳ／Ｈ部３４にサンプリング処理（図４（ａ）参照）をそれぞれ実行させ、かつスイッチ３５を交互に切り替えてＡ／Ｄ変換部４１に電流検出信号および電圧検出信号を入力させる（ステップ５２）。次いで、ＣＰＵ４３は、Ｓ／Ｐ変換部４２から変換終了信号が出力されたか否かを監視する（ステップ５３）。変換終了信号が出力されたときは、ＣＰＵ４３は、両パラレル検出データを取り込みＲＡＭ４５に記憶させた（ステップ５４）後に、回数レジスタを１アップする（ステップ５５）。次いで、ＣＰＵ４３は、回数レジスタの値がｎ＋１に達したか否かを判別し（ステップ５６）、ｎ＋１に達していないと判別したときには、ステップ５３〜５６を繰り返す。なお、実際には、ＣＰＵ４３が電流検出信号に基づくパラレル検出データおよび電圧検出信号に基づくパラレル検出データの両者をＳ／Ｐ変換部４２から取り込むために、Ｓ／Ｐ変換部４２は、両パラレル検出データの変換が終了した毎に変換終了信号をそれぞれ出力する。このため、ＣＰＵ４３は、電流検出信号に基づくステップ５３および５４と、電圧検出信号に基づくステップ５３および５４とを並行して処理する。ただし、これに限らず、独立した２つのステップ５２〜５６をそれぞれ並行してＣＰＵ４３に処理させるなど適宜変更することが可能である。
【００２７】
回数レジスタがｎ＋１に達していると判別したときは、ＣＰＵ４３は、割込フラグが「１」にセットされているか否かを判別する（ステップ５７）。割込フラグが「１」になっていると判別したときは、ＣＰＵ４３は、サンプリング処理中に通信割込処理によって外部制御装置との間で通信があり、図６（ａ）に示すようにサンプリング処理がｎ回連続して実行されなかったものとして、ステップ５１〜ステップ５６を繰り返して実行する。この結果、以上の処理を再度実行することによって、ＣＰＵ４３は、確実に連続してｎ回のパラレル検出データを入力することができる。
【００２８】
次に、ＣＰＵ４３は、サンプリングされた電流検出信号および電圧検出信号を元の電流波形および電圧波形に再生する（図４（ｂ）参照）と共に、再生した両波形に基づき公知の手法によって試料Ｓのパラメータ（インダクタンス、キャパシタンス、レジスタンス）を演算する（ステップ５８）。次いで、ＣＰＵ４３は、データ出力信号および測定データをＩ／Ｆ部４６にそれぞれ出力した（ステップ５９）後に、パラメータ測定処理を終了する（ステップ６０）。
【００２９】
次に、通信割込処理について、同図（ｂ）を参照して説明する。
【００３０】
ＣＰＵ４３は、Ｉ／Ｆ部４６からの通信割込信号の有無を監視することにより外部制御装置からの文字データをＩ／Ｆ部４６が受信したか否かを監視する（ステップ６１）。受信があったと判別したときは、ＣＰＵ４３は、通信割込処理によって受信処理を開始し（ステップ６２）、Ｉ／Ｆ部４６から連続して出力される文字データをそれぞれ取り込むことによって制御命令を受信する。次いで、外部装置に対して送信すべきデータがあるか否かを判別し（ステップ６３）、データがあると判別したときは、通信割込処理によって送信処理を開始し（ステップ６４）、データをＩ／Ｆ部４６に出力する。これにより、Ｉ／Ｆ部４６は、データをＲＳ−２３２Ｃ通信規格に従ったシリアルデータに変換して外部制御装置に送信する。次に、ＣＰＵ４３は、割込フラグを「１」にセットし（ステップ６５）、通信割込処理を終了する（ステップ６６）。この結果、ＣＰＵ４３がサンプリング処理を実行中のときには、再度サンプリング処理が実行されることになる。
【００３１】
以上のように、この実施形態に係るＬＣＲ測定装置１では、ＣＰＵ４３が、Ｓ／Ｈ部２４およびＳ／Ｈ部３４からのパラレル検出データを入力中に、Ｉ／Ｆ部４６との間でデータの受け渡しを行ったときに、割込フラグが「１」にセットされることによって再度サンプリング処理を実行する。このため、ＣＰＵ４３は、連続してｎ回のサンプリング処理に基づくパラレル検出データを確実に入力することができる結果、電流波形および電圧波形を正確に再生することができ、これにより、パラメータの演算を正確に行うことができる。
【００３２】
なお、本発明は、本実施形態において説明したＲＳ−２３２Ｃ通信規格によって通信する場合に限定されず、ＲＳ−４２２，４２３，４８５通信規格によって通信する場合に適用できるのは勿論である。本発明は、ＣＰＵ４３によるパラレル検出データの入力中には外部装置側が通信の実行を待機することが可能に構成されている通信規格（例えば、ＧＰ−ＩＢ通信規格）を除き、サンプリング処理に優先してＣＰＵ４３が通信割込処理を実行する通信方式を採用する場合のすべてに適用することができる。
【００３３】
また、本実施形態では、Ｉ／Ｆ部４６を用いる場合について説明したが、本発明は、Ｉ／Ｆ部４６を特に必要とするものでなく、ＣＰＵ４３が外部の制御装置と直接通信する場合にも適用することができる。かかる場合には、Ｉ／Ｆ部４６を不要にすることにより回路構成をより簡略化することができると共に装置のコストダウンをさらに図ることができる。
【００３４】
さらに、本実施形態では、本発明における記憶部をＣＰＵ４３の内蔵レジスタによって構成したが、これに限らず、ＲＡＭなどを用いて構成してもよい。
【００３５】
また、本発明は、本実施形態で示したＳ／Ｈ部２４およびＳ／Ｈ部３４のサンプリング方法や試料Ｓのパラメータの演算方法にも限定されない。例えば、Ｓ／Ｈ部２４によってサンプリングされた後にＳ／Ｈ部３４がサンプリングすることによって電流検出信号および電圧検出信号をそれぞれ生成してもよい。すなわち、電流波形または電圧波形などをサンプリングし、サンプリングしたデータに基づいて試料Ｓのパラメータを演算するという測定方法を採用するすべてのＬＣＲ測定装置に適用することができる。
【００３６】
さらに、本実施形態では、本発明をＬＣＲ測定装置に適用する例について説明したが、これに限らず、電圧波形を観測するオシロスコープや、電圧計、電流計電力計および積算電流・電力計などの電気的変量を測定する装置にも適用できる。
【００３７】
さらに、本実施形態では、測定用交流信号の１周期分を再生する例について説明したが、本発明は、半周期や複数周期など所定周期分を再生する信号再生装置に適用可能である。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように請求項１に係る信号再生装置によれば、通信割込処理の実行によってサンプリング処理が確実に実行されなかった場合であっても、信号再生部によってサンプリング処理や信号再生処理が再度実行される結果、特別なハードウェアを必要としない簡易な構成でありながら、連続する複数のサンプリングデータのすべてを確実に入力することが可能になり、この結果、交流信号を正確に再生することができる。また、サンプリングデータの入力に優先して通信割込処理を行うため、制御装置からの制御命令を確実に受信することができる。
【００３９】
また、請求項２に係る信号再生装置によれば、簡易な構成で電気的変量を正確に測定することができる電気的変量測定装置を構成することができる。
【００４０】
さらに、請求項３に係る信号再生装置によれば、簡易な構成で測定対象物のパラメータを正確に測定することができるＬＣＲ測定装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るＬＣＲ測定装置のブロック図である。
【図２】（ａ）はパラメータ測定処理のフローチャートであり、（ｂ）は通信割込処理のフローチャートである。
【図３】サンプリング処理が連続してｎ回行われているときの処理を表す図である。
【図４】（ａ）はＳ／Ｈ部によるサンプリングを説明するための図であり、（ｂ）はＡ／Ｄ変換部によるアナログ−ディジタル変換を説明するための図である。
【図５】通信割込処理がありサンプリング処理が連続してｎ回行われなかったときの処理を表す図である。
【図６】（ａ）は図５に示す処理のときにおけるＳ／Ｈ部によるサンプリング処理を説明するための図であり、（ｂ）は図５に示す処理のときにおけるＡ／Ｄ変換部によるアナログ−ディジタル変換処理を説明するための図である。
【符号の説明】
１  ＬＣＲ測定装置
２４  Ｓ／Ｈ部
３４  Ｓ／Ｈ部
４３  ＣＰＵ
４５  ＲＡＭ
４６  Ｉ／Ｆ部
Ｓ  試料
【図１】
0003587924.tif 000002
【図２】
0003587924.tif 000003
【図３】
0003587924.tif 000004
【図４】
0003587924.tif 000005
【図５】
0003587924.tif 000006
【図６】
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