(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状被回転体を載置して回転中心の周りに回転駆動される円柱状のターンテーブルの周囲にこのターンテーブルの回転中心と略同心状に配置されて装置基台に固定された固定テーブルと、
前記固定テーブルの周囲に配置され、この固定テーブルと同一中心にて回動自在な回動テーブルと、
前記固定テーブルに設けられ、前記ターンテーブルの回転中心に対して略等角度間隔で配置された少なくとも３個以上の第１支点と、
一端が前記第１支点により回動自在に保持され、前記ターンテーブルの外周部に沿う向きに配置された円弧状の第１リンクと、
前記第１リンクの他端に回転自在に取り付けられ、この第１リンクが前記第１支点の周りに回動することにより前記ターンテーブルの外周部に接離する第１案内輪と、
前記第１案内輪が前記ターンテーブルの外周部から離反する方向へ前記第１リンクを回動させる向きにこの第１リンクを付勢する付勢体と、
一端が前記第１案内輪の回転中心上に位置する第２支点により前記第１リンクの他端に回動自在に連結された第２リンクと、
前記第２リンクの他端に回転自在に取り付けられ、この第２リンクが前記第２支点の周りに前記ターンテーブルの回転中心方向へ回動したときに前記円盤状被回転体の外周部に当接してこの円盤状被回転体を前記ターンテーブルの回転中心方向へ押圧する第２案内輪と、
前記第２リンクにこの第２リンクの一端側から他端側へ延出して形成されたガイド溝と、
前記回動テーブルに取り付けられ、この回動テーブルを所定方向へ回動させたときに前記第１リンクの円弧状外周部を前記ターンテーブルの回転中心方向へ押圧する第３案内輪と、
前記回動テーブルに設けられて前記ガイド溝に嵌合され、この回動テーブルを所定方向へ回動させたときにこのガイド溝内を移動することにより前記第２案内輪が前記円盤状被回転体の外周部を押圧する位置へ前記第２リンクを前記第２支点の周りに回動させる第３支点と、
を有し、
前記回動テーブルを所定方向へ回動させたときに、前記第１案内輪が前記ターンテーブルの外周部に当接し、ついで、全ての前記第２案内輪が前記ターンテーブルの回転中心方向へ同一量動いて前記円盤状被回転体の外周部を押圧し、この円盤状被回転体を位置決めする円盤状被回転体のセンタリング装置。
【請求項２】
前記第２リンクの下面に当接する受け座を前記第３支点に設けた請求項１記載の円盤状被回転体のセンタリング装置。
【請求項３】
一端が前記固定テーブルに固着され他端が前記第１リンクに固着されて前記ターンテーブルの半径方向へ弾性変形可能な弾性体を設けた請求項１又は２記載の円盤状被回転体のセンタリング装置。
【請求項４】
前記第３案内輪の少なくとも外周部を、前記ターンテーブルの半径方向へ変形可能な弾性部材により形成した請求項１，２又は３記載の円盤状被回転体のセンタリング装置。
【請求項５】
回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段を設けた請求項１，２，３又は４記載の円盤状被回転体のセンタリング装置。
【請求項６】
前記駆動手段としてエアシリンダを設け、このエアシリンダを駆動する圧縮空気流路中に圧縮空気圧を調節する圧力制御手段を設けた請求項５記載の円盤状被回転体のセンタリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブルに載置された光ディスクのガラス原盤などの円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行うための円盤状被回転体のセンタリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクのガラス原盤露光装置において、光ディスクのマスターとなるべきガラス原盤の中心がターンテーブルの回転中心からずれていると、ガラス原盤に対する回転記録中にダイナミックアンバランスによって振動が発生し、ガラス原盤に記録されるトラックピッチなどの記録精度が低下する。近年登場したＤＶＤでは、狭ピッチ化による記録容量の向上が図られており、トラックピッチの記録精度が低下するとＤＶＤの品質低下が著しくなる。
【０００３】
ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブルに載置されたガラス原盤の中心とのセンタリングは、ダイヤルゲージやマイクロメータを使用して作業者が調節する方法が広く採用されており、そのセンタリング精度は作業者の経験により変動する。
【０００４】
これに対し、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブルに載置されたガラス原盤の中心とのセンタリングを、作業者の経験に頼らずに自動的に行えるようにしたセンタリング装置が、特開平７−２４００３７号公報に記載されている。この公報に記載されたセンタリング装置は、ガラス原盤を載置するターンテーブルの周囲にベースプレートを設け、このベースプレート上に少なくとも３個以上のリンクアームを回動自在に等角度間隔で設け、そのリンクアーム上に設けた案内駒がターンテーブルの回転中心に対して同一方向へ等距離移動してガラス原盤の外周部に当接するようにし、この当接によりガラス原盤を位置決めし、ターンテーブルの回転中心とガラス原盤の中心とのセンタリングを行うものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
特開平７−２４００３７号公報に記載されたセンタリング装置では、リンクアーム上に設けられた案内駒により位置決めされるガラス原盤の位置が、ターンテーブルの周囲に配置されたベースプレートとターンテーブルとの位置関係の影響を受ける。つまり、ベースプレートの中心とターンテーブルとの中心とが正確にセンタリングされていないと、ターンテーブルの回転中心とガラス原盤の中心とのセンタリングを正確に行えない。
【０００６】
ベースプレートは重量物であり、このベースプレートをターンテーブルの回転中心に対して正確に位置決めする作業は非常に困難である。
【０００７】
ベースプレートをターンテーブルの回転中心に対して位置決めした後、ベースプレートをネジ止めなどにより固定するが、期間の経過とともにベースプレートが位置ずれを発生することがあり、この位置ずれが発生した場合にはベースプレートを位置調節しなければならず、煩雑である。
【０００８】
また、特開平７−２４００３７号公報に記載されたセンタリング装置では、ターンテーブルの回転中心とガラス原盤の中心とのセンタリング時において、案内駒がガラス原盤を押圧したときにこのガラス原盤から作用する反力を案内駒で受ける。この時、この反力がリンクアームを撓ませる方向のモーメントになるにも関わらず、リンクアームはピボット軸のみで支持されているため、リンクアームが撓むことにより案内駒が傾き、センタリング精度が低下する。
【０００９】
そこで本発明は、ターンテーブルの回転中心に対してこのターンテーブルの周囲に設置された固定テーブルの設置位置がずれていても、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブル上に載置された円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行える円盤状被回転体のセンタリング装置を提供することを目的とする。
【００１０】
さらに本発明は、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めするときに、円盤状被回転体から作用する反力により第２案内輪が傾くことを防止し、第２案内輪の傾きによってターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度が低下することを防止できる円盤状被回転体のセンタリング装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置は、円盤状被回転体を載置して回転中心の周りに回転駆動される円柱状のターンテーブルの周囲にこのターンテーブルの回転中心と略同心状に配置されて装置基台に固定された固定テーブルと、前記固定テーブルの周囲に配置され、この固定テーブルと同一中心にて回動自在な回動テーブルと、前記固定テーブルに設けられ、前記ターンテーブルの回転中心に対して略等角度間隔で配置された少なくとも３個以上の第１支点と、一端が前記第１支点により回動自在に保持され、前記ターンテーブルの外周部に沿う向きに配置された円弧状の第１リンクと、前記第１リンクの他端に回転自在に取り付けられ、この第１リンクが前記第１支点の周りに回動することにより前記ターンテーブルの外周部に接離する第１案内輪と、前記第１案内輪が前記ターンテーブルの外周部から離反する方向へ前記第１リンクを回動させる向きにこの第１リンクを付勢する付勢体と、一端が前記第１案内輪の回転中心上に位置する第２支点により前記第１リンクの他端に回動自在に連結された第２リンクと、前記第２リンクの他端に回転自在に取り付けられ、この第２リンクが前記第２支点の周りに前記ターンテーブルの回転中心方向へ回動したときに前記円盤状被回転体の外周部に当接してこの円盤状被回転体を前記ターンテーブルの回転中心方向へ押圧する第２案内輪と、前記第２リンクにこの第２リンクの一端側から他端側へ延出して形成されたガイド溝と、前記回動テーブルに取り付けられ、この回動テーブルを所定方向へ回動させたときに前記第１リンクの円弧状外周部を前記ターンテーブルの回転中心方向へ押圧する第３案内輪と、前記回動テーブルに設けられて前記ガイド溝に嵌合され、この回動テーブルを所定方向へ回動させたときにこのガイド溝内を移動することにより前記第２案内輪が前記円盤状被回転体の外周部を押圧する位置へ前記第２リンクを前記第２支点の周りに回動させる第３支点と、を有し、前記回動テーブルを所定方向へ回動させたときに、前記第１案内輪が前記ターンテーブルの外周部に当接し、ついで、全ての前記第２案内輪が前記ターンテーブルの回転中心方向へ同一量動いて前記円盤状被回転体の外周部を押圧し、この円盤状被回転体を位置決めする。
【００１２】
従って、固定テーブルと同一中心上に設けられた回動テーブルを所定方向へ回動させると、第３案内輪が第１リンクの円弧状外周部をターンテーブルの回転中心方向へ押圧することにより第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接する。さらに、第３支点が回動テーブルと一体に回動することによりこの第３支点が第２リンクのガイド溝内を移動し、第２リンクが第１案内輪の回転中心上に設けられた第２支点を中心として回動することにより各第２リンクに取り付けられた第２案内輪がターンテーブルの回転中心方向へ同一量動き、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めする。そして、第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接した後に、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧するので、円盤状被回転体を押圧している各第２案内輪はターンテーブルの外周部から等距離に位置することになり、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が微小にずれている場合であっても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００１３】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、前記第２リンクの下面に当接する受け座を前記第３支点に設けた。
【００１４】
従って、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第２リンクが撓むことが受け座によって防止され、第２リンクが撓むことに伴なう第２案内輪の傾きが防止され、第２案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下が防止される。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、一端が前記固定テーブルに固着され他端が前記第１リンクに固着されて前記ターンテーブルの半径方向へ弾性変形可能な弾性体を設けた。
【００１６】
従って、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第１リンクが撓むことが弾性体によって防止され、第１リンクが撓むことに伴なう第１案内輪の傾きが防止され、第１案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下が防止される。
請求項４記載の発明は、請求項１，２又は３記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、前記第３案内輪の少なくとも外周部を、前記ターンテーブルの半径方向へ変形可能な弾性部材により形成した。
【００１７】
従って、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が大きくずれている場合には、そのずれを第３案内輪の弾性部材が吸収し、各第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接し、その後、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めする。このため、ターンテーブルの回転中心に対する固定テーブルの設置位置が大きくずれていても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００１８】
請求項５記載の発明は、請求項１，２，３又は４記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段を設けた。
【００１９】
従って、回動テーブルを駆動手段で回動させることによりターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを行え、センタリング作業の作業能率が向上する。
【００２０】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明の円盤状被回転体のセンタリング装置において、前記駆動手段としてエアシリンダを設け、このエアシリンダを駆動する圧縮空気流路中に圧縮空気圧を調節する圧力制御手段を設けた。
【００２１】
従って、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに、圧力制御手段によってエアシリンダを駆動する圧縮空気圧を低くすることにより、円盤状被回転体から第２案内輪に作用する反力が小さくなり、第２案内輪や第１案内輪の傾きが抑えられ、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度が高くなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の第一の実施の形態を図１ないし図３に基づいて説明する。回転中心Ａの周りに回転駆動される円柱状のターンテーブル１が設けられ、このターンテーブル１にはその上端部に載置された円盤状被回転体であるガラス原盤２を固定するエア吸引式の固定機構（図示せず）が設けられている。
【００２３】
ターンテーブル１の周囲にはこのターンテーブル１の回転中心Ａと略同心状に円筒状の固定テーブル３が配置されている。固定テーブル３は、小径部４と大径部５とから形成され、大径部５が図示しない装置基台に固定されている。小径部４の外周部には、リング状の回動テーブル６が軸受７を介してこの小径部４の周りに回動自在に取り付けられている。
【００２４】
小径部４の上端面には、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して略等角度間隔で３個の第１支点８ａ，８ｂ，８ｃが取り付けられている。これらの第１支点８ａ，８ｂ，８ｃには、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの一端が回動自在に保持されている。これらの第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃは円弧状に形成され、ターンテーブル１の外周部に沿う向きに配置されている。第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの他端には第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃが固定され、これらの第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃには、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃが第１支点８ａ，８ｂ，８ｃの周りに回動することによりターンテーブル１の外周部に接離する第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃが回転自在に取り付けられている。
【００２５】
第１支点８ａ，８ｂ，８ｃの外周には、付勢体である捩りコイルスプリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃが配置されている。これらの捩りコイルスプリング１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、その一端が小径部４の上端面に固定され、他端が第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの下面に固定され、第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃがターンテーブル１の外周部から離反する方向へ第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃを回動させる向きにこれらの第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃを付勢している。
【００２６】
第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃには円弧状に形成された第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの一端が回動自在に連結され、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの他端には第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃが回転自在に取り付けられている。これらの第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃの周りにターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ回動したときにガラス原盤２の外周部に当接し、このガラス原盤２をターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ押圧する。
【００２７】
また、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃには、その一端側から他端側へ延出した円弧状のガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃが形成されている。
【００２８】
回動テーブル６には、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して略等角度間隔で３個の第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃと、３個の第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃとが取り付けられている。第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃは、回動テーブル６を時計周り方向へ回動させたときに、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの円弧状外周部をターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ押圧する。第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃは、ガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内に移動自在に嵌合され、回動テーブル６を時計周り方向へ回動させたときにガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの他端側へ移動することにより、第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧する方向へ第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃを回動させる。
【００２９】
固定テーブル３の大径部５には、支軸１８によりこの支軸１８の周りに回動自在に駆動手段であるエアシリンダ１９が回動自在に取り付けられている。回動テーブル６には外周側へ突出したリンク２０が固定されており、エアシリンダ１９のロッド２１の先端部とリンク２０の先端部とが支軸２２により回動自在に連結されている。
【００３０】
エアシリンダ１９には電磁弁２３と２つの圧縮空気流路２４，２５とを介してエアポンプ２６が接続されている。一方の圧縮空気流路２４はセンタリング動作時に圧縮空気が供給される流路であり、他方の圧縮空気流路２５はセンタリング開放時に圧縮空気が供給される流路である。圧縮空気流路２４の途中には、センタリング動作時に供給される圧縮空気圧を調節する圧力制御手段２７が設けられている。
【００３１】
このような構成において、ガラス原盤２をターンテーブル１上に載置した後、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２の中心とのセンタリングを行う。図１は、センタリングを行う前の状態を示し、図２及び図３は、センタリングを行った状態を示している。
【００３２】
このセンタリング時には、ロッド２１が縮む方向へエアシリンダ１９を駆動させ、回動テーブル６を時計周り方向へ回動させ、この回動テーブル６と一体に第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃと第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃとを回動させる。
【００３３】
第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃが時計周り方向へ回動することにより、これらの第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃが第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの円弧状外周部をターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ押圧し、第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃがターンテーブル１の外周部に当接する。
【００３４】
さらに、第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃが時計周り方向へ回動することにより、これらの第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃはガイド溝１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を移動し、この移動に伴って第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃの回転中心上に設けられた第２支点１０ａ，１０ｂ，１０ｃを中心として回動する。そして、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃに取り付けられた第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがターンテーブル１の回転中心Ａ方向へ同一量動き、第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧してこのガラス原盤２を位置決めし、センタリングが終了する。
【００３５】
このセンタリングにおいて、第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃがターンテーブル１の外周部に当接した後に第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧するので、各第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃはターンテーブル１の外周部から等距離に位置することになる。このため、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して固定テーブル３の設置位置が微小にずれている場合であっても、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００３６】
ここで、第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃの構造に関して、その外周部又は全体を弾性部材により形成し、この弾３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃがターンテーブル１の外周部に当接したときに必要に応じてターンテーブル１の半径方向へ変形するようにしてもよい。
【００３７】
第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃをこのような構造とすることにより、ターンテーブル１の回転中心Ａに対して固定テーブル３の設置位置が大きくずれている場合には、第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃが第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの円弧状外周部を押圧したときに第３案内輪１６ａ，１６ｂ，１６ｃの弾性部材が変形してそのずれを吸収することができ、各第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃをターンテーブル１の外周部に当接させることができる。このため、ターンテーブル１の回転中心Ａに対する固定テーブル３の設置位置が大きくずれている場合でも、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２の中心とのセンタリングを正確に行える。
【００３８】
また、このセンタリング時における回動テーブル６の回動を、エアシリンダ１９を駆動させることにより行うため、センタリングの作業能率が向上する。
【００３９】
さらに、センタリング時において第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧したときにエアシリンダ１９に供給される圧縮空気圧を圧力制御手段２７によって低くすることにより、ガラス原盤２から第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃに作用する反力が小さくなる。そして、その反力による第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃや第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの撓みが抑えられ、これにより、第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃや第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃの傾きが抑えられ、ターンテーブル１の回転中心Ａとガラス原盤２中心とのセンタリング精度が高くなる。
【００４０】
つぎに、本発明の第二の実施の形態を図４ないし図６に基づいて説明する。なお、図１ないし図３において説明した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も省略する。この実施の形態では、第一の実施の形態で説明した構造に加えて、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃと、弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃとが設けられている。
【００４１】
受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃは第３支点１７ａ，１７ｂ，１７ｃの外周部に設けられ、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃの上端部が第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの下面に当接されている。弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃは棒状に形成されており、その一端が小径部４の上端部に固着され、他端が第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの下面に固着され、ターンテーブル１の半径方向へ変形可能に設けられている。
【００４２】
このような構成において、センタリング時に第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃがガラス原盤２の外周部を押圧したとき、その押圧に対する反力がガラス原盤２から第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃや第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃに作用する。しかし、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃを設けることにより、ガラス原盤２から作用する反力によって第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが撓むことが防止される。さらに、弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃを設けることにより、ガラス原盤２から作用する反力によって第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃが撓むことが防止される。
【００４３】
そして、第２リンク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの撓みが防止されることにより第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃの傾きが防止され、第１リンク９ａ，９ｂ，９ｃの撓みが防止されることにより第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃの傾きが防止される。従って、受け座２８ａ，２８ｂ，２８ｃ及び弾性体２９ａ，２９ｂ，２９ｃを設けることにより、センタリング時において第２案内輪１４ａ，１４ｂ，１４ｃや第１案内輪１１ａ，１１ｂ，１１ｃが傾くことによるセンタリング精度の低下を防止することができる。
【００４４】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、ターンテーブルの回転中心とこのターンテーブル上に載置された円盤状被回転体の中心とのセンタリング時において、一端を固定テーブルに回動自在に取り付けた第１リンクの他端に設けた第１案内輪がターンテーブルの外周部に当接し、ついで、この第１案内輪の回転中心上に位置する第２支点を中心として回動する第２リンクの他端に取り付けられた第２案内輪がターンテーブルの回転中心方向へ同一量動き、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧してこの円盤状被回転体を位置決めする。従って、円盤状被回転体を押圧している各第２案内輪はターンテーブルの外周部から等距離に位置することになり、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が微小にずれている場合であっても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行うことができる。
【００４５】
請求項２記載の発明によれば、第２リンクの下面に当接する受け座を第３支点に設けたので、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第２リンクが撓むことを受け座によって防止でき、第２リンクが撓むことに伴なう第２案内輪の傾きを防止でき、第２案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下を防止できる。
【００４６】
請求項３記載の発明によれば、一端が固定テーブルに固着され他端が第１リンクに固着されてターンテーブルの半径方向へ弾性変形可能な弾性体を設けたので、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときに円盤状被回転体から作用する反力によって第１リンクが撓むことを弾性体によって防止でき、第１リンクが撓むことに伴なう第１案内輪の傾きを防止でき、第１案内輪が傾くことによるターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度の低下を防止できる。
【００４７】
請求項４記載の発明によれば、第３案内輪の少なくとも外周部をターンテーブルの半径方向へ変形可能な弾性部材により形成したので、ターンテーブルの回転中心に対して固定テーブルの設置位置が大きくずれている場合には、そのずれを第３案内輪の弾性部材により吸収でき、センタリング時には各第１案内輪をターンテーブルの外周部に当接させることができ、その後、第２案内輪を円盤状被回転体の外周部に押圧してこの円盤状被回転体を位置決めすることができる。従って、ターンテーブルの回転中心に対する固定テーブルの設置位置が大きくずれている場合であっても、ターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリングを正確に行うことができる。
【００４８】
請求項５記載の発明によれば、回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段を設けたので、センタリング時にはこの駆動手段によって回動テーブルを回動させることによりセンタリングを行うことができ、センタリング作業の作業能率を向上させることができる。
【００４９】
請求項６記載の発明によれば、回動テーブルを所定方向へ回動させる駆動手段としてエアシリンダを設け、このエアシリンダを駆動する圧縮空気流路中に圧縮空気圧を調節する圧力制御手段を設けたので、第２案内輪が円盤状被回転体の外周部を押圧したときにおけるエアシリンダを駆動する圧縮空気圧を低くすることにより、円盤状被回転体から第２案内輪に作用する反力を小さくすることができ、これにより第２案内輪や第１案内輪の傾きを抑えてターンテーブルの回転中心と円盤状被回転体の中心とのセンタリング精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す平面図である。
【図２】センタリング動作時の状態を示す平面図である。
【図３】その一部を破断にして示す正面図である。
【図４】本発明の第二の実施の形態を示す平面図である。
【図５】センタリング動作時の状態を示す平面図である。
【図６】その一部を破断にして示す正面図である。
【符号の説明】
１        ターンテーブル
２        円盤状被回転体
３        固定テーブル
６        回動テーブル
８ａ，８ｂ，８ｃ    第１支点
９ａ，９ｂ，９ｃ    第１リンク
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ    第２支点
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ    第１案内輪
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ    付勢体
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ    第２リンク
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ    第２案内輪
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ    ガイド溝
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ    第３案内輪
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ    第３支点
１９      駆動手段，エアシリンダ
２７      圧力制御手段
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ    受け座
２９ａ，２９ｂ，２９ｃ    弾性体
Ａ      ターンテーブルの回転中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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