(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガスが流入する流入口と、流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングエアー供給パイプが連結されたバーニングチャンバと、前記バーニングチャンバでバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバと、このような処理過程を経た排気ガスが排出される排出口とを含んで構成されるガススクラバーにおいて、
前記バーニングチャンバは、内壁と外壁二重で構成されて、前記内壁と外壁間には断熱材が備わって、
前記内壁は、前記排気ガスに含まれた高腐蝕性成分によって腐蝕される合金で構成されていて、
前記断熱材と内壁間には水供給パイプが内蔵されて前記水供給パイプの端は前記バーニングエアー供給パイプに連結されていて、
前記バーニングチャンバの内壁と外壁間に内蔵された水供給パイプで加熱された水蒸気が前記バーニングエアー供給パイプに注入されて、前記バーニングエアー供給パイプを通して前記バーニングチャンバにはバーニングエアーと水蒸気とが一緒に供給されて、 前記バーニングエアーに含まれた高腐蝕性成分が前記水蒸気と化学反応して、合金腐蝕力が低い生成物に変換されて、前記バーニングチャンバの内壁の腐食を防止することを特徴とするガススクラバー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガススクラバーに関するものであり、さらに詳細には装置内部特に、バーニングチャンバ内部を構成する合金の腐蝕防止手段を備えたガススクラバーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造中に生じる排気ガスには毒性物質が比較的高濃度に含まれているので、このような排気ガスは大気中に放出される前に毒性物質を除去しなければならない。
【０００３】
このように排気ガスの毒性物質を取り除くための排気ガス処理用ガススクラバーは図１に示されたように排気ガスが流入する流入口１と、流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバ３と、前記バーニングチャンバ３でバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバ５と、このような処理過程を経た排気ガスが排出される排出口（図示せず）とを含んで構成される。
【０００４】
そして、前記バーニングチャンバは図２に示されたように排気ガスのバーニング処理のためにバーニングエアーを供給するパイプ１１が連結されて、その外廓は外壁１３ａと内壁１３ｂ二重で形成されて、前記外壁１３ａと内壁１３ｂ間には断熱材１５が具備される。このようなバーニングチャンバ３に流入する排気ガスにはＦ２、ＮＦ３等の装置内部を構成する合金を腐蝕させる成分を含有している。特に、前記バーニングチャンバ３で排気ガスを燃焼させる中排気ガスに含まれたＦ２、ＮＦ３の成分がバーニングチャンバ３の内部を腐蝕させて装置の寿命を短縮させる問題点が生じることである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
それで本発明は前記したような問題を解決して装置内部を構成する合金の腐蝕を防止するための手段を備えたガススクラバーを提供することにその目的がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記したような目的を達成するための本発明のガススクラバーは、一般的なガススクラバーのように排気ガスが流入する流入口と、流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバと、前記バーニングチャンバでバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバと、このような処理過程を経た排気ガスが排出される排出口とを含んで構成される。
【０００７】
前記バーニングチャンバにはバーニングエアーを供給するためのバーニングエアー供給パイプが連結されて、内壁と外壁二重で構成され、前記内壁と外壁間には断熱材が備わるが、本発明では特に前記断熱材と内壁間に水供給パイプが内蔵されて前記水供給パイプの端は前記バーニングエアー供給パイプに連結される。
【０００８】
前記水供給パイプの一端では水が注入されて、注入された水は前記バーニングチャンバの内壁と外壁間に内蔵された水供給パイプを沿って移動しながら加熱されて水蒸気になる。前記水供給パイプは前記バーニングエアー供給パイプに連結されるので水蒸気は前記バーニングエアー供給パイプに注入されてバーニングエアーと一緒にバーニングチャンバに供給される。このようにバーニングチャンバに供給された水蒸気はバーニングチャンバ内部で合金腐食性物質と化学反応して他の物質に変化させるようになって、したがって、バーニングチャンバ内部構成合金の腐蝕を防ぐことができることである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付した例示図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
図３は、本発明による装置内部腐蝕防止手段を備えたバーニングチャンバの一部折欠斜視図である。
【００１１】
このようなバーニングチャンバも図１に示された一般的なガススクラバーすなわち、排気ガスが流入する流入口１と、流入した排気ガスをバーニング処理するためのバーニングチャンバ３と、前記バーニングチャンバ３でバーニング処理された排気ガスから水溶性有害物質を取り除くためのウェッティングチャンバ５と、このような処理過程を経た排気ガスが排出される排出口（図示せず）とを含んで構成されるガススクラバーで用いられる。
【００１２】
図３に示された本発明によるバーニングチャンバ３は排気ガスをバーニング処理するためにバーニングエアーを供給するパイプ２１が連結されていて、チャンバを形成して流入した排気ガスと接触する内壁２３ｂと外観を形成する外壁２３ａの二中壁で構成される。前記外壁２３ａと内壁２３ｂ間には熱の放出を防ぐための断熱材２５が備わって、前記内壁２３ｂと断熱材２５間には水供給パイプ２７が内蔵される。
【００１３】
このように構成された本発明のガススクラバーではバーニングチャンバ３の壁を沿って内蔵された水供給パイプ２７に水が流入して、この水がパイプを沿って移動しながらバーニングチャンバの熱によって加熱されて水蒸気化される。そして、このような水蒸気は水供給パイプ２７と連結されたバーニングエアー供給パイプ２１に注入されて、バーニングエアーと一緒にバーニングチャンバ３内部に供給されることである。
【００１４】
このように流入した水蒸気は、前記バーニングチャンバ３内部の排気ガス中Ｆ２、ＮＦ３と化学反応してＨＦ、ＨＯＦ、ＨＮＯ２、ＦＮＯ２等に変化させるようになる。
【００１５】
その化学反応を取り調べれば次のようである。
２Ｆ２＋２Ｈ２Ｏ→４ＨＦ＋Ｏ２
ＮＦ３＋Ｈ２Ｏ→２ＨＦ＋ＮＯＦ
２ＮＦ３＋３Ｈ２Ｏ→３ＨＦ＋３ＨＯＦ＋Ｎ２
ＮＦ３＋２Ｈ２Ｏ→３ＨＦ＋ＨＮＯ２
ＮＦ３＋２Ｈ２Ｏ→２ＨＦ＋ＦＮＯ２＋Ｈ２
【００１６】
前記化学反応により生成された生成物であるＨＦ、ＨＯＦ、ＨＮＯ２、ＦＮＯ２等はＦ２、ＮＦ３に比べて合金腐蝕力が著しく低くて装置の耐久力を向上させることができ、前記生成物は水に対する溶解度が高くてバーニングチャンバを経た排気ガスの次の処理段階であるウェッティングチャンバで溶解処理できるので全体的に排気ガス処理効率を向上させることができることである。
【００１７】
【発明の効果】
以上で説明したように本発明によるガススクラバーは排気ガス中装置内部合金を腐蝕させることができるＦ２、ＮＦ３をバーニングチャンバで水蒸気と化学反応させてＨＦ、ＨＯＦ、ＨＮＯ２、ＦＮＯ２等に変換させるので装置の耐久力を向上させて寿命を延長させることができる効果がある。また、前記の化学反応による生成物は水に対する溶解度が高くてウェッティングチャンバにおける処理も容易であるという利点がある。
【００１８】
共にこのような腐蝕成分処理に用いられる水蒸気生成のためにはバーニングチャンバのバーニング処理に用いられた熱を再使用するのでエネルギー効率も向上させる効果がある。
【００１９】
以上では本発明の望ましい実施例に対して示してまた説明したが、本発明は前記した実施例に限らず、以上請求範囲で請求する本発明の要旨を逸脱しない範囲内で該発明の分野で通常の知識を有する者であれば誰でも多様な変形実施が可能なことはもちろんであり、そのような変形は請求範囲の記載範囲内にあるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般的なガススクラバーの構成を示した斜視図、
【図２】図１のガススクラバーのバーニングチャンバの一部折欠斜視図、
【図３】図１のような一般的なガススクラバーに用いられることができる本発明による内部腐蝕防止手段を備えたバーニングチャンバの一部折欠斜視図である。
【符号の説明】
３：バーニングチャンバ
２１：バーニングエアー供給パイプ
２３ａ：外壁
２３ｂ：内壁
２５：断熱材
２７：水供給パイプ
【図１】
0003556181.tif 000002
【図２】
0003556181.tif 000003
【図３】
0003556181.tif 000004