(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷重を受けて前記荷重に応じた検出信号を出力する荷重センサにおいて、
第１の弾性係数を有する第１の弾性部材と、
前記第１の弾性部材の一端に配設され、前記荷重を受けて前記第１の弾性部材を変形させながら所定の方向に変位する第１の変位部材と、
前記第１の弾性部材の変形が所定の値に達したとき、前記第１の変位部材の変位を受けて前記第１の弾性部材のそれ以上の変形を禁止する弾性変形禁止部材と、
前記第１の弾性係数より大なる第２の弾性係数を有し、前記第１の弾性部材に直列に配置される第２の弾性部材と、
前記第１の弾性部材の他端および前記第２の弾性部材の一端に係止されるように配設され、前記第２の弾性部材の初期変位によって前記所定の方向と反対の方向に所定の反力を受けるとともに、前記第１の弾性部材の変形が前記所定の値以下の場合に、前記荷重が前記所定の反力の以下のとき、前記所定の方向に変位せずに前記第１の変位部材の変位を前記第１の弾性部材を介して受け、前記荷重が前記所定の反力を超えたとき、前記第１の変位部材の変位を前記第１の弾性部材を介して受けることにより前記第２の弾性部材を変形させながら前記所定の方向に変位し、前記第１の弾性部材の変形が前記所定の値に達した場合に、前記第１の変位部材の変位を前記弾性変形禁止部材を介して受けることにより前記第２の弾性部材を変形させながら前記所定の方向に変位する第２の変位部材と、
前記第１および第２の変位部材の変位を検出して前記検出信号を出力する検出手段とを備えたことを特徴とする荷重センサ。
【請求項２】
前記第１および第２の弾性部材は、第１および第２のコイルばねであり、
前記第１の変位部材は、前記第１のコイルばねの一端に配設された第１のプレートであり、
前記第２の変位部材は、前記第１のコイルばねの他端および前記第２のコイルばねの一端に配設された第２のプレートであり、
前記弾性変形禁止部材は、前記第１のコイルばねと平行に位置し、前記第１のコイルばねが変形したときに前記第１のプレートに接触する一端を有し、前記算２のプレートに固定されたプレートまたは筒状体である請求項１記載の荷重センサ。
【請求項３】
前記検出手段は、前記第１および第２の変位部材に設けられた第１および第２の磁気発生源と、前記第１および第２の変位部材に設けられて前記第１および第２の磁気発生源との組み合わせにより磁気回路を形成する第１および第２の磁極片と、前記第１および第２の磁極片の変位を検出する第１および第２の変位検出素子と、
前記第１および第２の変位検出素子の出力電圧の変化に基づいて検出信号を出力する演算回路によって構成される請求項１記載の荷重センサ。
【請求項４】
前記演算回路は、前記第１の変位検出素子の出力電圧の変化に基づいて低荷重値を演算し、前記第２の変位検出素子の出力電圧の変化に基づいて高荷重値を演算する請求項３記載の荷重センサ。
【請求項５】
前記演算回路は、前記第２の弾性部材のへたりを補正する補正回路を有する請求項３記載の荷重センサ。
【請求項６】
前記第１の変位部材は、四輪駆動車両用トランスファーの多板クラッチの押圧プレートに与えられるスラスト力を前記荷重として受けて変位する請求項１記載の荷重センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷重センサに関し、特に、低荷重から高荷重にわたって高精度で検出することのできる荷重センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より用いられている荷重センサの１つに歪みゲージがある。歪みゲージは、電気抵抗値が１００〜５００オーム程度を有する所定形状の金属箔を起歪体に接着して構成され、前記起歪体に外力が加わった際の形状変化、すなわち力学量を電気抵抗に変換するものである。歪みゲージは、前記箔型のほかに、ニッケル・銅合金による抵抗線型、半導体を構成要素とする半導体型などがある。歪みゲージは、産業機械に広く用いられており、例えば、射出成形機のキャビティの圧力を検出するために用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の荷重センサによると、耐ノイズ性、温度特性等が良くないため、用途上の制限が生じ、例えば、車両用として使用することができない。
したがって、本発明の目的は、例えば、車両用としても使用できるように、耐ノイズ性、温度特性等に優れ、かつ広い範囲の荷重を高精度で検出することができる荷重センサを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するため、荷重を受けて前記荷重に応じた検出信号を出力する荷重センサにおいて、第１の弾性係数を有する第１の弾性部材と、前記第１の弾性部材の一端に配設され、前記荷重を受けて前記第１の弾性部材を変形させながら所定の方向に変位する第１の変位部材と、前記第１の弾性部材の変形が所定の値に達したとき、前記第１の変位部材の変位を受けて前記第１の弾性部材のそれ以上の変形を禁止する弾性変形禁止部材と、前記第１の弾性係数より大なる第２の弾性係数を有し、前記第１の弾性部材に直列に配置される第２の弾性部材と、前記第１の弾性部材の他端および前記第２の弾性部材の一端に係止されるように配設され、前記第２の弾性部材の初期変位によって前記所定の方向と反対の方向に所定の反力を受けるとともに、前記第１の弾性部材の変形が前記所定の値以下の場合に、前記荷重が前記所定の反力の以下のとき、前記所定の方向に変位せずに前記第１の変位部材の変位を前記第１の弾性部材を介して受け、前記荷重が前記所定の反力を超えたとき、前記第１の変位部材の変位を前記第１の弾性部材を介して受けることにより前記第２の弾性部材を変形させながら前記所定の方向に変位し、前記第１の弾性部材の変形が前記所定の値に達した場合に、前記第１の変位部材の変位を前記弾性変形禁止部材を介して受けることにより前記第２の弾性部材を変形させながら前記所定の方向に変位する第２の変位部材と、前記第１および第２の変位部材の変位を検出して前記検出信号を出力する検出手段とを備えたことを特徴とする荷重センサを提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面をもとに説明する。
図１は本発明による荷重センサを示す。２室構造に作られているハウジング１は、１端に開口１ａが設けられており、この開口１ａに可動プレート２（第１の変位部材）が配設されている。ハウジング１の内部の第１室１ｂと第２室１ｃの間にも開口１ｄが設けられており、この開口１ｄには可動プレート３（第２の変位部材）が配設されている。可動プレート３は、第１室１ｂ内に突出する円筒部３ａ（弾性変形禁止部材）を有している。この円筒部３ａは、後述するコイルばね９のストッパとして機能する。
【０００６】
可動プレート２の内面にはマグネット４（第１の磁気発生源）が装着され、このマグネット４の両脇には、磁性材料による一対の磁極片５ａ，５ｂが立設され、マグネット４の磁気回路の一部を形成している。磁極片５ａ，５ｂの先端部に形成された間隙内には、変位検出素子６が配設され、支持片７および台座部８を介して可動プレート３に取り付けられている。可動プレート３の円筒部３ａ内には、先端面が可動プレート２の内面に接する第１の弾性部材としてのコイルばね９（ばね定数ＫＡ  を有する）が配設され、可動プレート２を可動プレート３から離間する方向に附勢している。
【０００７】
同様に、可動プレート３の内面にはマグネット１０（第２の磁気発生源）が装着されており、このマグネット１０の両脇には、磁性材料による一対の磁極片１１ａ，１１ｂが立設されている。磁極片１１ａ，１１ｂの先端部に形成された間隙内には、変位検出素子１２が配設されている。変位検出素子１２は、支持片１３を介して電子回路１４のケース面に取り付けられている。電子回路１４は、変位検出素子６，１２に所定の電圧を印加すると共に、その出力信号を処理する。さらに、ハウジング１の第２室１ｃ内には、可動プレート３を第１室１ｂ方向へ附勢するコイルばね１５（第２の弾性部材）が配設されている。このコイルばね１５は、ばね定数ＫＢ  を有する。
【０００８】
変位検出素子６，１２には、磁気センサに属するＭＲ素子（磁性薄膜磁気抵抗素子）を用いている。このＭＲ素子は、Ｎｉ−Ｆｅ等の磁性金属蒸着薄膜を用いて抵抗素子を形成したものであり、この抵抗素子に平行な磁界を加えると、電流の向きと磁界の方向が平行のときに内部抵抗が最大になり、直交すると最小になる特性を有している。また、両者の方向が同じでも、ＭＲ素子を通過する磁界の強さ（磁束密度）に応じて抵抗値が変化する。本発明では、この磁束密度の変化を利用してセンサを構成している。さらに、ＭＲ素子は、耐熱性が良く、温度係数が小さく、弱磁界で動作し、かつ高感度であるという特徴を有している。したがって、ＭＲ素子は車両用として使用するセンサには最適である。
【０００９】
図１の荷重センサにおいては、可動プレート２に荷重Ｆが加わると、可動プレート２は荷重Ｆの大きさに応じて、可動プレート３側へ移動する。このとき、可動プレート２と共に磁極片５ａ，５ｂが移動し、変位検出素子６に及ぼすマグネット４の磁束密度が変化する。このとき、磁気回路が、マグネット４→磁極片５ａ→変位検出素子６→磁極片５ｂ→マグネット４の経路で形成され、変位検出素子６の磁界中に介在する面積が可動プレート２の移動で変化し、付与される磁束密度に応じて変位検出素子６の出力電圧（検出電圧）が変化する。
【００１０】
可動プレート３は、可動プレート２に加わる荷重Ｆがコイルばね１５の附勢力を上回ると移動を開始する。したがって、可動プレート２が移動しない限り可動プレート３が移動することはない。可動プレート３の移動と共に磁極片１１ａ，１１ｂが移動し、変位検出素子１２に及ぼすマグネット１０の磁束密度が変化し、変位検出素子６の場合と同様にして磁気回路が形成され、変位検出素子１２に与えられる磁束密度の変化に応じて出力電圧（検出電圧）が変化する。可動プレート２が円筒部３ａの先端面に当接するほどの強い荷重Ｆが加わると、以後は、可動プレート２と可動プレート３が一体的に移動するが、変位量の検出は変位検出素子１２のみになり、変位検出素子６の検出値は一定値になる。
【００１１】
以上のように、本発明の荷重センサは、印加された荷重Ｆをコイルばね９，１５による弾性部材でストロークの変化に置換し、そのストロークの変化を変位検出素子６，１２で検出している。そして、比較的小さな荷重Ｆから大きな荷重Ｆに至るまで検出できるように、ばね定数Ｋの異なる弾性部材を２段構成に配置した２個のセンサ部分により荷重センサを構成している。この構成により、車両のＦＲベースの４ＷＤ車のイニシャル荷重を検出するセンサに用いた場合、高精度に検出できるようになる。
【００１２】
図２は図１の荷重Ｆに応じた荷重センサの各部の変化を示す。図２においては、変位状態をわかり易くするため、説明に必要のない部品の図示を省略している。（ａ）は荷重Ｆ（外力）が小さい時、（ｂ）は荷重Ｆが中位の時、（ｃ）は荷重Ｆが大きい時である。荷重Ｆが小さい時、可動プレート２に加わる力が小さいため、コイルばね９による反力ＦＡ０によって可動プレート２は移動しない。したがって、変位検出素子６，１２のいずれにも出力信号は発生しない。このとき、円筒部３ａ（ストッパ）の先端面と可動プレート２の内面との間の距離は、Ｌ０  である。
【００１３】
次に、中程度の荷重Ｆが印加されると、図２の（ｂ）に示すように、可動プレート２は可動プレート３側へ距離Ｌだけ移動する。このとき、荷重Ｆはコイルばね１５の附勢力を越えるため、コイルばね９が圧縮され、さらにコイルばね１５を圧縮するので、可動プレート３も反力ＦBを受けながら距離ＬBだけ移動する。そして、可動プレート２と円筒部３ａの距離は、図２の（ａ）のＬ0からＬAに縮まる。可動プレート２の移動距離Ｌは、以下の式で表される。そして、図２の（ｂ）の状態においては、電子回路１４に変位検出素子６，１２の２つの検出信号が入力される。
Ｌ＝（Ｌ0−ＬA）＋ＬB
【００１４】
次に、図２の（ｃ）に示すように、大きな荷重Ｆが可動プレート２に印加されると、可動プレート２および可動プレート３の各移動距離は図２の（ｂ）の状態から、更に大きくなる。このとき、可動プレート２の内面は、円筒部３ａの先端面に当接した状態になり、コイルばね９の反力は最大（ＦＡ  ＭＡＸ  ）になる。これ以上の荷重Ｆに対しては、可動プレート２と可動プレート３が一体となって移動し、変位検出素子１２からの検出量のみが変化する。
【００１５】
図３は印加される荷重Ｆと各可動プレートの変位Ｌの関係を示している。図中の太い実線は荷重特性であり、コイルばね９（ばねＡ）と１５（ばねＢ）の機能範囲をばね定数（ＫＡ  、ＫＢ  ）で示している。図２の（ａ）に示す荷重Ｆが反力ＦＡ０以下であれば、可動プレート２の変位はＬ＝０である。反力ＦＡ０を上回る荷重Ｆが可動プレート２に加わると、可動プレート２は距離Ｌを移動する。このとき、コイルばね９（ばねＡ）はばね定数ＫＡ  により反力を形成しており、図３のＬ１  の点まで持続する。Ｌ１  は以下の式で示される。
Ｌ１  ＝（ＦＢ０−ＦＡ０）／ＫＡ  
【００１６】
次に、図２の（ｂ）のように、可動プレート２と可動プレート３が移動可能な荷重Ｆ（＞ＦＢ０）が可動プレート２に印加されると、可動プレート２，３が共に移動する。このとき、ばね定数は、コイルばね９（ばねＡ）と１５（ばねＢ）を合成したものとなり、次式で与えられる。この動作状態におけるばね定数の変化は、可動プレート２が円筒部３ａに当接するまでとなる。
ばね定数＝ＫＡ  ・ＫＢ  ／（ＫＡ  ＋ＫＢ  ）
【００１７】
次に、図２の（ｃ）のように、可動プレート２が円筒部３ａに当接すると、コイルばね９の圧縮は固定され、以後は、コイルばね１５のみが荷重Ｆに応じて変化する。したがって、コイルばね１５のばね定数ＫＢ  のみが機能する状態になる。図２の（ｃ）に示すように、コイルばね１５（ばね定数ＫＢ  ）のみが機能する状態における距離Ｌ２  は、以下の式で示される。
Ｌ２  ＝Ｌ０  ＋ＬＢ０
【００１８】
図４は電子回路１４の構成を示す。電子回路１４は、変位検出素子６，１２の出力電圧が入力される判別回路１６と、この判別回路１６の出力信号に対して所定の補正を実施する補正回路１７を備えて構成される。判別回路１６は、変位検出素子６，１２の抵抗変化を電圧値に変換する機能のほか、コイルばね１５のへたり量を検出して補正量を演算する機能、および特性の切り替わりポイントを判別する機能を備えている。補正回路１７は、判別回路１６からのデータ（コイルばね１５のへたりの補正、および特性の切り替わりポイント）を基に出力特性（荷重−出力電圧）を補正する。
【００１９】
図５は判別回路１６の特性切り替わりポイントの判別を示す。コイルばね９（ばねＡ）のみが機能している領域、コイルばね９（ばねＡ）と１５（ばねＢ）が機能している領域、コイルばね１５（ばねＢ）のみが機能している領域のそれぞれは、ばね定数特性が異なる。そこで、その切り替え点（特性変化点）を判別する。
【００２０】
判別回路１６では、コイルばね１５のへたり量も検出する。コイルばね１５は高荷重のときに機能するように構成されている。このため、長年にわたって使用される車両では、コイルばね１５がへたりを生じても検出精度が低下しないようにする必要がある。そこで、へたりのない、あるいは少ない１段目のコイルばね９を用いて２段目のコイルばね１５のへたり量を検出する。
【００２１】
図６は補正回路１７の補正処理を示す。この補正処理は、図５のように判別した特性切り替わりポイントとへたり量を基に、荷重−センサ出力（電圧）の特性が直線になるように補正し、荷重の大きさによらずリニアな特性が得られるようにしている。
【００２２】
図７はコイルばねのへたり補正が無い場合の荷重−変位特性を示す。この特性はコイルばね１５と変位検出素子１２を含むセンサ部分についてであり、実線は初期時の荷重特性であり、へたりが無いためにリニアな特性を示している。破線は経年変化によりへたりが生じた荷重特性を示し、検出精度にばらつきを与えることになる。へたりによる荷重・変位特性は、両端を除けば平行移動した特性になる。
【００２３】
図８はコイルばねのへたりに補正が施された荷重−変位特性を示す。図中、ばねＡは低荷重用のコイルばね９であり、この応力は小さいため、へたりは精度に影響を与えないレベルに収まる。したがって、コイルばね９（ばねＡ）のへたりは無視することができる。ばねＢは高荷重用のコイルばね１５であり、検出精度を低下させるへたりが生じる可能性が大きい。
【００２４】
任意の荷重ＦＣ  をばねＢに与えたときのばねＢの初期時（へたりの無い状態）の変位をＬＢ  とし、これを予め検出して判定回路１６にストアしておく。一方、任意の荷重ＦＣ  をばねＡに与えたときのばねＡの変位をＬＡ  とする。次に、任意の荷重ＦＣ  をへたりを有するばねＢに与え、そのときのばねＢの変位ＬＢ  ′を検出する。この検出結果に基づき、へたりに基づく変位の変化量ΔＬは、
ΔＬ＝ＬＢ  ′−ＬＢ  
で求めることができる。
【００２５】
以上述べた変化量ΔＬ、図５の切り替わりポイント、および変位検出素子６，１２の出力が判定回路１６から補正回路１７へ与えられる。補正回路１７は、これらの入力に基づいて所定の演算を実行し、図６の荷重・センサ出力のリニアな特性を出力する。
【００２６】
図９は本発明による荷重センサを車両（４ＷＤ車）のトランスファーに適用した例を示す。トランスファーは、エンジンからの動力を後輪に伝えると共に前輪に選択的に伝達し、４ＷＤ駆動と２ＷＤ駆動の切り替えを行うために用いられる。トランスファーは、トランスファーケース２０、エンジン出力が伝達されると共に後輪の駆動軸となるシャフト２１、このシャフト２１とスプロケット２２ｄの間に設けられた多板クラッチ２２、多板クラッチ２２を押圧するプレッシャープレート２３、このプレッシャープレート２３にスラスト力を伝えるためにトランスファーケース２０のピボット軸受け２５に支持されたレバー２４、このレバー２４の他端に一端が係合するリンク２６、このリンク２６の他端に係合して矢印Ｘ方向に移動可能な押圧部材２７、この押圧部材２７に隣接配置された荷重センサ２８、この荷重センサ２８を収容するシリンダ部２９、ロッド３０を介して荷重センサ２８の可動プレート２（不図示）にスラスト力を伝えるスラスト力発生装置３１、前輪駆動用シャフト３２、多板クラッチ２２の回転力を前輪駆動用シャフト３２に伝達するためのチェーン３３を備えて構成されている。
【００２７】
多板クラッチ２２は、シャフト２１の軸方向に一定間隔に取り付けられたインナークラッチ板２２ａ、このインナークラッチ板２２ａを覆うようにしてシャフト２１に遊嵌されたクラッチケーシング２２ｂ、インナークラッチ板２２ａに交互に位置するようにしてクラッチケーシング２２ｂの内周面に固定されたアウタークラッチ板２２ｃを備えている。多板クラッチ２２の一端は、チェーン３３に噛合するスプロケット２２ｄに結合している。前輪駆動用シャフト３２は、チェーン３３に噛合するスプロケット３２ａに結合している。
【００２８】
スラスト力発生装置３１を駆動するためにモータ３４が設けられ、その回転は減速ギヤ３５，３６，３７を介してスラスト力発生装置３１に伝達される。モータ３４を制御するために制御部３８が設けられている。制御部３８は、運転者が２ＷＤと４ＷＤを切り換えるボタン操作（またはレバー操作）を行ったとき、その操作に応じて発せられた指示に従ってモータ３４の回転数制御およびオン／オフ制御を実行する。
【００２９】
次に、以上の構成によるトランスファーの動作を説明する。２ＷＤとして使用しているとき、エンジンの駆動力はシャフト２１を介して後輪に伝達されるが、多板クラッチ２２が機能していないために、アウタークラッチ板２２ｃは回転せず、前輪駆動用シャフト３２には駆動力が伝達されない。運転者が４ＷＤに切り替える操作をすると、その指示が制御部３８に入力され、制御部３８はモータ３４を回転させる。減速ギヤ３５，３６，３７により減速されたモータ３４の回転力は、スラスト力発生装置３１に伝達される。スラスト力発生装置３１は回転力をスラスト力に変換し、このスラスト力をロッド３０を介して荷重センサ２８に伝達する。荷重センサ２８は印加されたスラスト力を検出し、その検出値を検出データとして制御部３８へ送出する。
【００３０】
スラスト力発生装置３１によるスラスト力は、荷重センサ２８を介して押圧部材２７およびリンク２６に順次伝達され、レバー２４の他端が図の左方向に押される。この結果、プレッシャープレート２３がインナークラッチ板２２ａおよびアウタークラッチ板２２ｃを当接させ、クラッチケーシング２２ｂがシャフト２１と一体に回転する。クラッチケーシング２２ｂの回転は、スプロケット２２ｄを介してチェーン３３に伝達され、前輪駆動用シャフト３２が回転する。この時点で、シャフト２１と共に前輪駆動用シャフト３２が回転し、４ＷＤ状態になる。なお、スラスト力発生装置３１が発するスラスト力に応じて、多板クラッチ２２のインナークラッチ板２２ａとアウタークラッチ板２２ｃの結合度は変化し、前輪への回転力の伝達状態を変えることができる。多板クラッチ２２における結合状態を制御値に保つため、制御部３８は、荷重センサ２８の検出値と、制御部３８に設定されている設定値とを比較し、その偏差が０になるようにモータ３４の回転数を制御する。
【００３１】
ダイレクト駆動式の４ＷＤ車においては、後輪のシャフト２１のスラスト軸圧を荷重センサ２８で検出し、これを４ＷＤの駆動力配分の制御に用いている。荷重センサ２８を用いて最適配分制御を行うためには、比較的小さな荷重の検出が行え、温度やノイズの影響を受けず、かつ小型で低コストであることが要求される。この要求は、図１に示した本発明の荷重センサを用いることによって満たされる。すなわち、２つの弾性部材と２つの可動プレートによる２段構造のセンサ部を備え、耐ノイズ性と温度特性の条件を満たしたＭＲ素子を用いた構成にしたことにより、高精度の制御が可能になる。
【００３２】
上記実施の形態においては、変位検出素子としてＭＲ素子を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、同程度の特性とコンパクトさを備えた変位検出素子であれば、種類は問わない。
【００３３】
また、可動プレート２とコイルばね９、および可動プレート３とコイルばね１５のそれぞれは、固定されていてもよいし、単に接触している状態であってもよい。
【００３４】
さらに、マグネット４，１０は、電磁石であってもよい。また、マグネットおよび磁極片と、変位検出素子との位置関係は、入れ代わった構成であってもよい。
【００３５】
上記実施の形態においては、電子回路１４をハウジング１内に設けたが、ハウジング１から離れた場所に設置し、リード線（またはケーブル）で変位検出素子と接続する構成にすることもできる。
【００３６】
【発明の効果】
以上より明らかな如く、本発明の荷重センサによれば、可動部材と弾性部材によるセンサ機構を直列に配置した２段構成とし、印加された荷重に応じて２つのセンサ機構を連続的に作動させ、それぞれの可動部材の変位量（移動量）を検出するようにしたので、耐ノイズ性と温度特性の要求を満たすことができ、車両に適用されて広い範囲の荷重を高精度で検出することがきる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による荷重センサを示す断面図である。
【図２】本発明の荷重センサの荷重Ｆに応じた各部の変化を示す説明図である。
【図３】印加される荷重Ｆと各可動プレートの変位Ｌの関係を示す特性図である。
【図４】図１の電子回路の詳細構成を示すブロック図である。
【図５】図４の判別回路の特性切り替わりポイントの判別を示す説明図である。
【図６】図４の補正回路の補正処理を示す説明図である。
【図７】コイルばねのへたり補正が無い場合の荷重−変位特性を示す特性図である。
【図８】コイルばねのへたり補正が施された荷重−変位特性を示す特性図である。
【図９】本発明による荷重センサが適用された車両（４ＷＤ車）のトランスファーを示す断面図である。
【符号の説明】
１  ハウジング
２  可動プレート
３  可動プレート
４  マグネット
５ａ，５ｂ，１１ａ，１１ｂ  磁極片
６，１２  変位検出素子
７  支持片
８  台座部
９，１５  コイルばね
１０  マグネット
１４  電子回路
１６  判別回路
１７  補正回路
【図１】
0003577420.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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