(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の主面がガラス基板からなる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さを基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法において、
耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、平面型表示パネルの前記主面の特定領域を除いた、端部側面を含む表面領域の全体を覆い、前記特定領域をウエットエッチングする工程を含むことを特徴とする平面型表示パネルの製造方法。
【請求項２】
少なくとも一方の主面がガラス基板からなる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さを基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法において、
耐エッチング性を有する材料で構成された支持台により、前記平面型表示パネルの前記主面の特定領域を含まず、端部側面を含む表面領域の一部を覆うように、前記平面型表示パネルを支持し、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、前記平面型表示パネルの前記特定領域を除いた前記支持台に覆われていない表面領域の全体を覆い、前記特定領域をウエットエッチングする工程を含むことを特徴とする平面型表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記樹脂フィルムにより、前記平面型表示パネルの前記特定領域を含む表面領域を覆った後、前記特定領域上を覆う前記樹脂フィルムを切り取ることにより、前記特定領域を露出させる工程を含むことを特徴とする請求項１または２記載の平面型表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記樹脂フィルムは、フェノール系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、ポリプロピレン、フッ素樹脂からなるグループより選ばれた一つであることを特徴とする請求項１乃至３記載の平面型表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネルの間にエッチング液が侵入することを防止するように、前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネルをプレス、熱圧着、熱溶着により密着させる工程を含むことを特徴とする請求項１乃至４記載の平面型表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面型表示装置（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ  ｄｅｖｉｃｅ）の製造方法に関し、とりわけ、平面型表示装置を形成するための平面型表示パネルの製造方法及び平面型表示パネルに用いられるガラス基板の加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、平面型表示パネルとして用いられるものに、エレクトロルミネセント（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ：以降、「ＥＬ」と略称する）表示装置、液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ：以降、「ＰＤＰ」と略称する）、プラズマアドレス液晶表示装置（Ｐｌａｓｍａ  Ａｄｄｒｅｓｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ：以降、「ＰＡＬＣ」と略称する）等が上げられる。
【０００３】
これらの平面型表示パネルは、表示面等を構成する部材としてガラス基板を用いることが多い。そして、平面型表示パネルのそれぞれの特性に合わせてそれらガラス基板を加工することが望まれている。
【０００４】
例えば、単色表示のＥＬ表示装置のガラス基板に、カラーフィルタを付加してカラーＥＬ表示装置を得る場合に、可能な限りガラス基板の厚さを薄くすることにより、カラーフィルタと薄膜ＥＬ素子を近接することが望まれている。
【０００５】
ＥＬ表示装置は、自発光表示装置であり、視認性が良く、視野角が広く、コントラストが高い等の優れた特性を有している。このため、ＯＡ機器、ＦＡ機器などの表示装置として広く用いられている。
【０００６】
従来のＥＬ表示装置の製造方法及び構造を、図５に基づいて概略的に説明する。まず、ＩＴＯ（インジュウム錫酸化物）薄膜からなる複数の帯状の下部透明電極３が、ガラス基板２の一方面上に形成される。次に、下部絶縁層４と発光層５と上部絶縁層６とが、全ての下部電極３の上に、この順で順次的に積層される。前記上部絶縁膜６及び前記下部絶縁膜４は、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2若しくはＴｉＯ2などの酸化膜、又は、Ｓｉ3Ｎ4などの窒化物からなる。そして、前記発光層５はＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＳｒＳなどからなる母材に発光中心としてＭｎなどを微量に添加した組成を有する。
【０００７】
続いて、Ａｌなどの金属膜からなる帯状の複数の上部電極７が、上部絶縁膜６上に形成される。各下部透明電極３の長手方向とは、ガラス基板２の一方面８の法線方向１３から見た場合、直交する。法線方向１３から見て、各下部透明電極３と各上部電極７とが交差する部分が、それぞれ薄膜ＥＬ素子になる。なお、発光層５の結晶性改善のために、発光層５が形成された後、または上部絶縁膜６が形成された後に、真空中または不活性ガス中でのアニールが行われる。これにより、ＥＬ素子が完成する。
【０００８】
続いて、ガラス基板２の前記一方面８と封止ガラス基板９とを間隔をあけて対向させて、エポキシ樹脂１０によって接着する。最後に、保護物質層１１を形成するために、ガラス基板２と封止ガラス基板９との間の間隔に、気体状または液体状の保護物質が封入される。エポキシ樹脂１０とシリカゲル等の保護物質層１１とが、シール部１２を構成する。以上の工程によって、ＥＬ表示パネル１が完成する。
【０００９】
さらに、ＥＬ表示パネル１を駆動するための周辺回路等を付加して、従来のＥＬ表示装置を完成する。
【００１０】
しかし、これまで広く実用化された従来のＥＬ表示装置の表示色は単色であり、カラー化が他の表示装置に比べて遅れているのが現状であった。このため、近年、ＥＬ表示装置のカラー化に関する研究が広く行われている。そして、ＥＬ表示装置のカラー化を実現する最も有効な方法の一つとして、上述した単色表示のＥＬ表示装置にカラーフィルタを付加して多色表示を実現することが提案されている。
【００１１】
ところが、ＥＬ表示装置の製造方法は、上述したようにアニールを伴い高温になる。このため、耐熱性を持たないカラーフィルタは、アニールを伴うＥＬ発光層の形成後に付加する必要がある。
【００１２】
また、ＥＬ発光層の形成後にカラーフィルタを付加する場所としては、薄膜ＥＬ素子の直上は、薄膜ＥＬ素子のピンホール等の微小欠陥により生じる微小放電が影響してカラーフィルタを変質させることがあり好ましくない。そして、封止ガラス基板９の主面についても、シリカゲル等の保護物質がカラーフィルタ部と薄膜ＥＬ素子の間に介在することになるため表示にボケや歪みが生じることになり好ましくない。従って、カラーフィルタ部を付加する場所としては、薄膜ＥＬ素子が形成されたガラス基板２の裏面が望ましいとされている。
【００１３】
しかし、上記構成に従ってカラーフィルタ部を付加すると、カラーフィルタ部と薄膜ＥＬ素子の間はガラス基板の厚さだけ離間することになる。通常、ガラス基板の厚みは０．７〜１．１ｍｍ程度であるため、薄膜ＥＬ素子とカラーフィルタ部の間は前記ガラス基板の厚みだけ離間することになる。この結果、薄膜ＥＬ素子の発光する光がカラーフィルタを通して視認できる有効視野角が狭くなる。即ち、良好な色彩が得られる視角範囲が狭くなる。従って、自発光表示装置の特徴である広視野角の利点が損なわれることになる。
【００１４】
このため、単色表示のＥＬ表示装置にカラーフィルタを付加する場合、可能な限りガラス基板の厚さを薄くすることにより、カラーフィルタと薄膜ＥＬ素子を近接させることが望まれている。
【００１５】
一方、液晶表示装置、とりわけ反射型液晶表示装置において、裏面側ガラス基板の厚さをできるだけ薄くすることが提案されている。
【００１６】
反射型液晶表示装置は、一対の対向するガラス基板の間に液晶層を介在してなる液晶表示パネルの裏面に反射板を配置したものである。この反射型液晶表示装置は、時計、電卓、電子手帳等、各種電子機器の表示装置に広く利用されている。
【００１７】
上記反射型液晶表示装置は、その表面側偏光板を通って入射し、両基板間の液晶層を通った後、裏面側偏光板により透過・遮断されて像光となった光を、この裏面側偏光板の外面に配置した上記反射板で反射させて表示するものである。
【００１８】
しかし、上記反射型液晶表示装置は、反射板で反射された像光を素子の表面側から観察するものであるため、表示を斜め方向から見ると、表示像が、明部と暗部の境界がぼけた像となってしまうという問題をもっている。
【００１９】
これは裏面側基板での光の屈折によるもので、反射型液晶表示装置の表示を表示面（表面側偏光面）に対して垂直な方向から見た場合は裏面側基板での光の屈折はなく、したがって反射板で反射された反射光は入射時の経路と同じ経路を通って出射するが、表示面に対して斜め方向から表示を見ると、裏面側基板での光の屈折によって、反射光の経路が入射時の経路からずれ、その結果、表示像の輪郭がボケてしまう。
【００２０】
このため、上記反射型液晶表示装置では、その両基板のうち、少なくとも裏面側ガラス基板の厚さをできるだけ薄くすることが提案されている。
【００２１】
上述した、反射型液晶表示装置の裏面側ガラス基板の厚さを薄くする手段としては、特開平５−２４９４２３号公報に開示されている。ここでは、反射型液晶表示装置を形成するための液晶表示パネルの裏面側ガラス基板の周縁部を除いた表面領域について、フッ酸をベースとしたエッチング液を用いてエッチングすることが開示されている。尚、この開示では、エッチングを行わない液晶表示パネルの表面領域はレジストマスクを用いるマスキング方法により保護していた。また、前記裏面側ガラス基板の周縁部をエッチングしないのは、エッチング後のガラス基板の強度をある程度保つためである。
【００２２】
その他に、近年、ＰＤＰやＰＡＬＣを製造する場合において、ガラス基板の一方の主面をエッチングすることにより、ストライプ状の窪み形状のプラズマ室を形成することが提案されている。この場合、ガラス基板のプラズマ室を形成する領域以外にレジストマスクによるマスキングを施し、その後、前記ガラス基板をフッ酸をベースとしたエッチング液に一定時間浸すことによりエッチングして、プラズマ室を形成する領域のガラス基板の主面に窪みを設けることにより、プラズマ室を得ることが提案されている。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した、単色表示のＥＬ表示装置にカラーフィルタを付加してカラーＥＬ表示装置を実現する場合に、図５に示した単色のＥＬ表示パネルのガラス基板２をフッ酸を主成分としたエッチャントによりエッチングし、そこにカラーフィルタ部を付加する方法が、特願平１０−０１６０８６号に提案されている。
【００２４】
この提案では、完成したＥＬ表示パネル１のガラス基板２の主面の周縁部を除いた領域について選択的にエッチングを行う。ガラス基板２のエッチングがＥＬ表示パネルの製造工程の完了した後に行われるのは、ガラス基板２を薄くエッチングした部分が、ＥＬ表示パネルの製造工程中に破損する可能性があるためである。また、ガラス基板２の主面の周縁部をエッチングしないのは、エッチング後のガラス基板２の強度をある程度確保する必要があるためである。
【００２５】
このため、この提案では、レジストマスクを用いてＥＬ表示パネルのエッチングを行わない領域をマスキングしてエッチングを行っていた。しかし、一般に、レジストは焼成を経るまでは流体であるため、水平面上には表面張力を用いて形成することができるが、側面などの垂直な面には形成されにくい。このため、ＥＬ表示パネルの主面にはレジストを良好に形成できるものの、ＥＬ表示パネルの端部側面にはレジストを十分形成できない。この結果、ＥＬ表示パネルの端部側面で不用意なエッチングが行われて、端部側面のガラス基板部分が薄くなり、破損しやすくなる等の要因になった。従って、レジストマスクを用いるマスキング方法によれば、ＥＬ表示パネルの表面全体に十分なマスキングができないという問題点があった。
【００２６】
また、フッ酸をベースとしたエッチング液を用いてエッチングする場合、レジストマスクを用いるマスキング方法によれば、現状のレジストマスクのフッ酸に対する耐久性が不十分であることから、ＥＬ表示パネルの表面全体に十分なマスキングができないという問題点があった。
【００２７】
さらに、レジストマスクを用いるマスキング方法の場合、基板上にレジストを塗布し、プリベーク（前焼成）、マスク露光、ポストベーク（後焼成），現像、エッチング、レジスト剥離という複数の工程が必要になり、特に、パターニングを行うマスク露光、現像の工程においては、高価な露光装置、マスク用の化学材料、現像用の化学薬品を必要とするため、製造工程が高価で複雑になるという問題点があった。
【００２８】
また、上述した特開平５−２４９４２３号公報に開示された反射型液晶表示装置を形成するための液晶表示パネルの裏面側ガラス基板のエッチング工程においても、レジストマスクを用いるマスキング方法を用いていた。従って、上記と同様の問題点を持っていた。
【００２９】
また、ＰＤＰやＰＡＬＣの製造工程においても、ガラス基板の主面をエッチングしてプラズマ室を形成する場合に、レジストマスクを用いるマスキング方法が提案されていた。従って、上記と同様の問題点を持っていた。
【００３０】
本発明は、以上のような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、エッチング工程におけるマスキングが良好に行える平面型表示パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【００３１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載の平面型表示パネルの製造方法は、少なくとも一方の主面がガラス基板からなる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さを基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法において、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、平面型表示パネルの前記主面の特定領域を除いた、端部側面を含む表面領域の全体を覆い、前記特定領域をウエットエッチングする工程を含むことを特徴としている。
【００３２】
請求項２記載の平面型表示パネルの製造方法は、少なくとも一方の主面がガラス基板からなる平面型表示パネルの製造方法であって、前記平面型表示パネルのガラス基板からなる主面の特定領域の厚さを基準厚さに加工する平面型表示パネルの製造方法において、耐エッチング性を有する材料で構成された支持台により、前記平面型表示パネルの前記主面の特定領域を含まず、端部側面を含む表面領域の一部を覆うように、前記平面型表示パネルを支持し、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより、前記平面型表示パネルの前記特定領域を除いた前記支持台に覆われていない表面領域の全体を覆い、前記特定領域をウエットエッチングする工程を含むことを特徴としている。
【００３３】
請求項３記載の平面型表示パネルの製造方法は、請求項１または２記載の平面型表示パネルの製造方法において、前記樹脂フィルムにより、前記平面型表示パネルの前記特定領域を含む表面領域を覆った後、前記特定領域上を覆う前記樹脂フィルムを切り取ることにより、前記特定領域を露出させる工程を含むことを特徴としている。
【００３４】
請求項４記載の平面型表示パネルの製造方法は、請求項１乃至３記載の平面型表示パネルの製造方法において、前記樹脂フィルムは、フェノール系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、ポリプロピレン、フッ素樹脂からなるグループより選ばれた一つであることを特徴としている。
【００３５】
請求項５記載の平面型表示パネルの製造方法は、請求項１乃至４記載の平面型表示パネルの製造方法において、前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネルの間にエッチング液が侵入することを防止するように、前記樹脂フィルムと前記平面型表示パネルをプレス、熱圧着、熱溶着により密着させる工程を含むことを特徴としている。
【００３６】
以下、上記構成による作用を説明する。本発明によれば、平面型表示パネルの主面の特定領域を除いた、端部側面を含む表面領域の全体を、耐エッチング性を有する樹脂フィルムにより覆うので、特に、平面型表示パネルの端部側面について確実に覆うことができる。このため、平面型表示パネルの端部側面に不用意なエッチングが行われないので、ガラス基板が薄くなったり破損したりすることはない。従って、十分なマスキングが平面型表示パネルの表面全体に行える。
【００３７】
また、耐エッチング性を有する材料で構成された支持台と耐エッチング性を有する樹脂フィルムの両方を、平面型表示パネルを覆うためのマスクとして用いることから、平面型表示パネルが支持台により覆われている表面領域については、樹脂フィルムによるマスキングが必要ない。このため、樹脂フィルムは平面型表示パネルの表面領域の全体を覆わなくてよい。従って、樹脂フィルムの貼付けが容易に行うことができ、また、樹脂フィルムの使用量を少なくすることができる。結果として、十分なマスキングが平面型表示パネルの表面全体に行える。
【００３８】
さらに、平面型表示パネルの表面領域を樹脂フィルムで完全に覆った後、エッチングの必要な特定領域の樹脂フィルムを切り取ることにより、エッチングの必要な表面領域のパターニングを行うことができる。このため、従来のレジストマスクによるパターニングと比較して、安価に容易にパターニングを行うことができる。
【００３９】
さらに、樹脂フィルムとして、フェノール系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、ポリプロピレン、フッ素樹脂を用いることにより、ガラスをエッチングするためのフッ酸等のエッチング液に対して十分な耐久性を得ることができる。従って、十分なマスキングが平面型表示パネルの表面全体に行える。
【００４０】
さらに、樹脂フィルムと平面型表示パネルとの間にエッチング液が侵入することを阻止する場合に、樹脂フィルムをプレス、熱圧着、熱溶着により両者を密着させて侵入を阻止する。このため、十分なマスキングが平面型表示パネルの表面全体に行える。
【００４１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について以下に説明する。本発明の実施の形態では、特に、カラーＥＬ表示装置の製造工程において、カラーフィルタ部を付加するＥＬ表示パネルのガラス基板をエッチングする工程について説明する。
【００４２】
（実施の形態１）
本実施の形態で用いられるＥＬ表示パネルは、従来の技術において説明し、図５に示したＥＬ表示パネル１と基本的に同じ構成のものを用いる。
【００４３】
但し、ガラス基板２としては、ノンアルカリガラスで、厚さ１．１ｍｍのガラス基板１６を用いた。
【００４４】
本実施の形態について図１（ａ）、図１（ｂ）を用いて説明する。尚、図１（ａ）、図１（ｂ）において、ＥＬ表示パネル１４は、エッチングの施されるガラス基板１６と、薄膜ＥＬ素子部、シール部、封止ガラスを含む裏面部１８により示されている。
【００４５】
本実施の形態では、図１（ａ）に示すように、ＥＬ表示パネル１４を、耐エッチング性の高い樹脂フィルム１５で表面全体を覆うように保護した。樹脂フィルム１５としては、塩化ビニル系の樹脂フィルムを用いた。樹脂フィルム１５の材料としては、前記したものの他、フェノール系樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリフェニレンオキシド、ポリプロピレン、フッ素樹脂等を用いることができる。
【００４６】
この場合、樹脂フィルム１５により、ＥＬ表示パネル１４のガラス基板１６の各辺から裏面部１８を覆うように折り込んだ。このため、ＥＬ表示パネル１４を密封するためには、この折り込んだ部分を互いに貼りあわせる必要がある。そして、その貼り合わせた部分からエッチング液が浸入しないように、貼り合わせ部付近の樹脂フィルム１５をプレス、熱溶着、熱圧着により互いに接着し、ＥＬ表示パネル１４を密封した。
【００４７】
また、さらに好ましくは、樹脂フィルム１５とＥＬ表示パネル１４との間に気泡が入らないように樹脂フィルム１５とＥＬ表示パネル１４との接する面の全てをプレス、熱溶着、熱圧着して両者を密着させることができる。これは、樹脂フィルム１５とＥＬ表示パネル１４との間に気泡が残っていた場合、エッチングにより発生するエネルギーから温度が５０℃〜６０℃程度になることから、残っていた気泡が膨張して樹脂フィルム１５を破損するためである。
【００４８】
次に、図１（ｂ）に示されるように、エッチングされるガラス基板１６の特定領域に合わせて樹脂フィルム１５を切り抜いてパターニングし、ガラス基板１６の露出部分を形成する。この切り取り手段としては、パターニングの位置合わせ精度の要求に応じて選定することが出来る。本実施の形態の場合は、ＥＬ表示パネル１４の表示領域より若干広めに特定領域を設定すれば、カラーフィルタ部を埋め込むことが可能であるため、カッターにより手作業でミリ単位精度の切り取りを行った。
【００４９】
本実施の形態の場合、上記パターニングは樹脂フィルム１５を切り取る工程だけであった。このため、レジストマスクを用いるマスクキング方法のように、大かがりなパターニング装置の使用や、複数の工程の実施を行わなくてよい。また、樹脂フィルム１５が透明又は半透明であれば、ガラス基板上に予め記された特定領域を目測することができるので、切り取り作業をさらに容易に行うことができる。
【００５０】
また、よりに高い精度で特定領域の切り取り作業を行う必要がある場合は、樹脂フィルム１５を切り取るカッター等を高い精度で制御する産業用ロボット等を用いることが出来る。
【００５１】
さらに、切り取り作業終了後、切り取られた特定領域の境界付近の樹脂フィルムについてプレス、熱溶着、熱圧着を施し、樹脂フィルム１５のエッジからのエッチング液が浸入することを防止した。尚、切り取り作業前の樹脂フィルムのプレス、熱溶着、熱圧着が十分に行われていれば、切り取り作業終了後のプレス、熱溶着、熱圧着は省略することもできる。
【００５２】
このように樹脂フィルム１５により端部側面を含めて確実にマスキングしたＥＬ表示パネル１４を、フッ酸を主成分としたエッチング液に５〜１５時間程度浸して、化学的にガラス基板１６のエッチングを進めた。この結果、ガラス基板１６は、エッチング開始前に厚み１．１ｍｍであったが、エッチング終了時点では、特定領域で厚さ１００μｍ以下までエッチングされ、そして、特定領域以外で厚さ１．１ｍｍを保っていた。
【００５３】
最後に、エッチングが終了した後、マスクとして用いた樹脂フィルム１５は、ＥＬ表示パネル１４から容易に取り外すことができた。
【００５４】
（実施の形態２）
本実施の形態で用いられるＥＬ表示パネルは、実施の形態１と同様のＥＬ表示パネル１４を用いる。
【００５５】
本実施の形態について図２（ａ）、図２（ｂ）を用いて説明する。尚、図２（ａ）、図２（ｂ）において、ＥＬ表示パネル１４は、エッチングの施されるガラス基板１６と、薄膜ＥＬ素子部、シール部、封止ガラスを含む裏面部１８により示されている。
【００５６】
本実施の形態では、図２（ａ）に示すように、ＥＬ表示パネル１４を、耐エッチング性の高い樹脂製の支持台１７の上に固定した。支持台１７は、ＥＬ表示パネル１４の裏面と側面をほぼ覆うことができるようにトレー状に加工されている。支持台１７に用いる樹脂材料としては塩化ビニル系を用いた。
【００５７】
次に、図２（ｂ）に示すように、前記樹脂フィルム１５を、支持台１７とガラス基板１６の一部の領域上にプレス、熱圧着、熱溶着により貼り付けた。この場合、ガラス基板１６の特定領域のみが露出され、かつ、ガラス基板１６と支持台１７との隙間を跨ぐように貼り付けた。
【００５８】
本実施の形態によれば、樹脂フィルム１５がガラス基板１６の側面部及びＥＬ表示パネル１４の裏面部１８まで覆わないため、樹脂フィルム１５を折り込む必要がなくなる。このため、ガラス基板１６のエッジが十分に面取りされていない場合等に、そのエッジに対して樹脂フィルム１５を折り込んで、樹脂フィルム１５を破損することを防止できる。即ち、本実施の形態は、樹脂フィルム１５を支持台１７とＥＬ表示パネル１４の表面上に貼り付けるだけで、安全、確実にマスキングを行うことが出来る。
【００５９】
また、図２（ｂ）に示すように、特定領域を含むガラス基板１６の主面と、支持台１７の端面を同一平面にしているので、樹脂フィルム１５のマスキングをさらに良好に行うことができた。
【００６０】
また、図３に示すように、ガラス基板１６のエッチングを行う特定領域１９が、ガラス基板１６の周縁部を除いた四角形状の領域である場合、樹脂フィルム１５をテープ状にして、エッチングされる特定領域１９の各辺に対して位置合わせを行いながら樹脂フィルム１５のテープを、図３のようにガラス基板１６の周縁部と支持台１７の一部の領域に貼り付けてマスキングを行うことができる。この方法によれば、より簡単に迅速にマスキングを完了することができる。また、樹脂フィルムの使用量についても少なく抑えることができる。
【００６１】
上述したように、耐エッチング保護されたＥＬ表示パネル１４を、実施の形態１と同様にフッ酸を主成分としたエッチング液に５〜１５時間程度浸してエッチングを実施した。この結果、ガラス基板１６は、エッチング開始前に厚み１．１ｍｍであったが、エッチング終了時点では、特定領域で厚さ１００μｍ以下までエッチングされ、そして、特定領域以外で厚さ１．１ｍｍを保っていた。
【００６２】
最後に、エッチングが終了した後、マスクとして用いた樹脂フィルム１５及び支持台１７は、ＥＬ表示パネル１４から容易に取り外すことができた。
【００６３】
また、本実施の形態で挙げる支持台１７については、図２（ａ）、図２（ｂ）に示したものの他に、図４に示すように複数のＥＬ表示パネル１４をセットすることができる支持台１７を用いることもできる。これにより、一回のエッチングに供するＥＬ表示パネル１４の枚数を多くすることが出来るため、スループットを飛躍的に高くすることが出来る。尚、図４については、図２（ａ）、図２（ｂ）と同一の部材について、同一の符号を付しているので説明を省略する。
【００６４】
また、本発明は、上述したカラーＥＬ表示装置の製造方法にのみ適用されるものではなく、例えば、反射型液晶表示装置の裏面側ガラス基板を薄板化するためにエッチングする場合にも、本発明の製造方法を適用することができる。
【００６５】
さらに、本発明は、ＰＤＰやＰＡＬＣを製造する場合において、ガラス基板の主面の一部をエッチングすることにより、プラズマ室を形成する場合においても適用することができる。本発明を適用すれば、プラズマ室を形成する領域以外のガラス基板の表面領域をエッチング液から確実に保護することができる。但し、この場合、パターニングは、ガラス基板の主面に形成されるプラズマ室がＰＤＰやＰＡＬＣの絵素領域の大きさであるため、μ単位の精度を必要とする。即ち、上述した発明の実施の形態１、２についてのパターニング工程より厳しい基準によりパターニングを行う必要がある。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の平面型表示パネルの製造方法によれば、平面型表示パネルの端部側面も含めて表面全体を確実にマスキングできるので、効果的な選択エッチングを実現できる。このため、エッチングの必要ない箇所にダメージを与えることがないという効果を奏する。
【００６７】
さらに、本発明の平面型表示パネルの製造方法によれば、樹脂フィルムを切り取ることによりエッチングの必要な領域のパターニングを行うため、従来のレジストマスクによるパターニングと比較して、容易にパターニングを行うことができ、パターニングの位置決めも簡単に行えるという効果を奏する。
【００６８】
さらに、ＰＤＰやＰＡＬＣに用いられるガラス基板についてプラズマ室等を作成するために加工する場合においても、ガラス基板のエッチングが必要ない箇所にダメージを与えることがないという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１によるＥＬ表示パネルのマスキング工程を示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態２によるＥＬ表示パネルのマスキング工程を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２によるＥＬ表示パネルのマスキングの形態を示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態２によるＥＬ表示パネルの別のマスキングの形態を示す断面図である。
【図５】従来のＥＬ表示パネルの断面図である。
【符号の説明】
１  ＥＬ表示装置
２  ガラス基板
３  下部透明電極
４  下部絶縁膜
５  発光層
６  上部絶縁膜
７  上部電極
８  ガラス基板の一方面
９  封止ガラス基板
１０  保護物質層
１１  エポキシ樹脂
１２  シール部
１３  一方面の法線方向
１４  ＥＬ表示パネル
１５  耐エッチング性を有する樹脂フィルム
１６  ガラス基板
１７  耐エッチング性を有する支持台
１８  ＥＬ表示パネルの裏面部
１９  ガラス基板の特定領域
【図１】
0003550027.tif 000002
【図２】
0003550027.tif 000003
【図３】
0003550027.tif 000004
【図４】
0003550027.tif 000005
【図５】
0003550027.tif 000006