【事件の表示】
　平成　８年特許願第３３１１８５号「スパッタ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　１月１３日出願公開、特開平１０−　　８２５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明 
 　本願は平成８年１２月１１日（パリ条約による優先権主張１９９６年６月１１日、大韓民国）の出願であって、平成１７年７月７日付けで拒絶理由が通知され、その指定期間内である平成１７年１０月１１日に意見書が提出され、平成１７年１２月２日付けで拒絶査定され、平成１８年３月１３日に拒絶査定不服審判請求され、特許法第１６２条に基づき審査官から平成１８年８月１１日付けの拒絶理由が通知され、平成１９年２月１４日付けで意見書及び手続補正書が提出され、さらに、当審から平成２０年６月１３日付けで拒絶理由が通知され、平成２０年９月１７日付けで意見書及び手続補正書が提出されたものである。 
 　本願請求項１〜３に係る発明は、平成２０年９月１７日付け手続補正書により補正された明細書の記載からみて、平成１９年２月１４日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲第１〜３項に記載された事項に特定されるとおりであるものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。 
 　 
 「【請求項１】　反応室１０とロードロック室２０を、ラフィングラインＬ１を介して大気の状態から低真空の状態にラフィングすることができる真空ラフィング手段４０と、 
 　前記反応室１０を高真空にポンピングする第１ポンピング手段３０と、 
 　前記第１ポンピング手段３０と分離して、別途に、ロードロック室２０と真空ラフィング手段４０との間のラフィングラインＬ１から分岐して前記ロードロック室２０を高真空の状態となるようにポンピングする第２ポンピング手段５０と、 
 　前記反応室１０及びロードロック室２０がウェーハの移送時毎に同一の空間を成すことによる真空の漏れを防ぐことができるように前記第１ポンピング手段３０及び第２ポンピング手段５０から分離されて、ディファレンシャルラインＬ４を介して高真空を維持するために前記反応室１０とロードロック室２０をポンピングする第３ポンピング手段６０と、 
 　前記手段の作動に応じて反応室１０及びロードロック室２０と連通する真空ラインを開閉させる多数のバルブと、 
 を備え、 
 て成ることを特徴とするスパッタ装置。」 
 　 
 ２．引用文献１
　当審から発せられた平成２０年６月１３日付け拒絶理由通知書に引用した特開平１−１８３１１２号公報（以下、「引用文献１」という。）には、「半導体ウェハをスパッタ蒸着する為に供されたスパッタ蒸着装置に関」（１頁３〜４行）し、以下の事項が記載されている。
（１）「＜発明が解決しようとする課題＞ 
 　上記構成のスパッタ蒸着装置においては、通常ロードロック室１の真空度が５０ｍｍＴｏｒｒになると、ゲートバルブ２を開いてウエハをクリーニング室３及びスパッタ室４に搬入させる。斯かる際にロードロック室１内の残留ガス例えば水等がウエハとともにクリーニング室３やスパッタ室４内に流入する。その為クリーニング室３及びスパッタ室４内における真空度の質的低下をもたらし、スパッタ膜質の劣化等を引き起す。特に上記真空度の質的低下は、大量のウエハを連続してスパッタ蒸着する場合に著しく・・・・・・多くの問題点を有していた。」（２ページ右上欄２０行〜左下欄１６行） 
（２）「＜作用＞
・・・・・・ロードロック室にはロータリポンプと切換え可能にターボ分子ポンプを接続した為、ロードロック室をより高真空度にすることができ、ゲートバルブの開閉に要する最低真空度を従来より高真空にできるので、流入する残留ガスを大幅に低減させ得る。」（２頁右下欄４行〜３頁左上欄４行）
（３）「＜実施例＞
・・・・・・ロードロック室１とクリーニング室３間をゲートバルブ２によって仕切り、且つクリーニング室３とスパッタ室４間はバルブで仕切ることなく連設した状態に形成している。ロードロック室１には配管５１を介して荒引き排気用のロータリポンプ５が接続されており、この配管５１には・・・・・・切替バルブ５３・・・・・・が・・・・・・取付けられている。更にクリーニング室３及びスパッタ室４には、配管６１を介して排気用のクライオポンプ６が接続されており、該配管６１に・・・・・・可変絞りバルブ６３、排気バルブ６４が取付けられている。又このクライオポンプ６とクリーニング室３及びスパッタ室４を別の配管６６により接続するとともに該配管６６を、前記配管５１から分岐させた配管５５に接続させている。そして、上記配管６６には・・・・・・バルブ６８、切替バルブ５６が夫々設けられている。・・・・・・ロータリポンプ５の配管５１を分岐してその分岐管５７にバルブ９１、９２を設け、これ等バルブ９１、９２間にターボ分子ポンプ９を設ける。・・・・・・ターボ分子ポンプ９は、荒引き排気後のロードロック室１を中真空度、例えば１×１０−４Ｔｏｒｒまで下げる・・・・・・斯かる構成のスパッタ蒸着装置によるデポ・搬送シーケンスについて説明する。
　先ず、切替バルブ５３、５６を開にし、ロータリポンプ５を駆動させてロードロック室１、クリーニング室３及びスパッタ室４を夫々荒引き排気する。・・・・・・ロードロック室１の真空度が５０ｍｍＴｏｒｒに達したことが確認されると同時に、バルブ９２、９３を開とし、ターボ分子ポンプ９の真空排気に切換える。・・・・・・更にクリーニング室３及びスパッタ室４では、上記荒引き排気の後に切替バルブ５６を閉とし、可変絞りバルブ６３、排気バルブ６４を開としてクライオポンプ６により真空排気を行う・・・・・・所謂到達真空度（５×１０−７Ｔｏｒｒ）となるまでクライオポンプ６は駆動する」（３ページ左上欄１２行〜右下欄１９行）
（４）「本発明のスパッタ蒸着装置を示す構成図」と題された第１図には、上記（３）においてて適示したスパッタ蒸着の装置の構成が視認され、ターボ分子ポンプ９が設けられている分岐管５７のバルブ９３はロードロック室に直接つながっていることを見取ることができる。
　上記（３）〜（４）の記載事項・視認事項について検討する。
（あ）上記（３）を参照すると、「クリーニング室３及びスパッタ室４」は「別の配管６６」に接続され、「該配管６６を、前記配管５１から分岐させた配管５５に接続させている」し、「ロードロック室１には配管５１を介して荒引き排気用のロータリポンプ５が接続されて」いるから、「クリーニング室３及びスパッタ室４」も「荒引き排気用のロータリポンプ５が接続されて」いるといえる。 
（い）上記（３）において、「切替バルブ５３、５６を開にし、ロータリーポンプ５を駆動させ」ていること、及び「バルブ９２、９３を開とし、ターボ分子ポンプ９の真空排気に切換え」ていること、並びに、「荒引き排気の後に切替バルブ５６閉とし、可変絞りバルブ６３、排気バルブ６４を開としてクライオポンプ６により真空排気を行う」ことからみて、各ポンプの作動に応じて配管を開閉するバルブを有しているといえる。 
 　そこで、上記（あ）及び（い）の検討を踏まえ、上記（３）〜（４）の記載事項を本願発明の記載ぶりに則して整理すると、引用文献１には、 
 「クリーニング室とスパッタ室４に配管６６、５５、５１を介して、また、ロードロック室１に配管５１を介して接続された荒引き排気用のロータリポンプ５と、 
　前記クリーニング室３及び前記スパッタ室４に接続されたクライオポンプ６と、 
　前記ロードロック室１と前記荒引き排気用ロータリポンプ５との前記配管５１を分岐し及び前記ロードロック室１に直接つながる分岐管５７を介して前記ロードロック室１を中真空度とするターボ分子ポンプ９と、 
　前記各ポンプの作動に応じて前記クリーニング室３と前記スパッタ室４及び前記ロードロック室１と接続される配管を開閉させる多数のバルブと、 
を備え、
て成るスパッタ蒸着装置」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。 　
３．対比・判断
　ここで、本願発明と引用発明とを対比する。
（か）引用発明の「クリーニング室３とスパッタ室４」は、本願発明の「反応室１０」に相当することは明らかである。 
（き）引用発明の「荒引き排気用のロータリポンプ５」は上記（３）に記載のように、荒引き排気を行い５０ｍｍＴｏｒｒの真空度にするものであるから、本願第１発明の「低真空の状態にラフィングすることができる真空ラフィング手段４０」に相当し、また、「配管６６、５５、５１」は、この「荒引き排気用のロータリポンプ５」と本願第１発明の「反応室１０」に相当する「クリーニング室３及びスパッタ室４」、及び「ロードロック室１」を接続しているから本願発明の「ラフィングラインＬ１」に相当する。 
 （く）上記（４）の「所謂到達真空度（５×１０−７Ｔｏｒｒ）となるまでクライオポンプ６は駆動する」との記載から、引用発明の「クライオポンプ６」は、本願発明の「高真空にポンピングする第１ポンピング手段３０」に相当するといえる。 
 （け）引用発明の「分岐管５７」は「荒引き排気用のロータリポンプ５」に接続する「配管５１から分岐し」ているから、本願発明の「ロードロック室２０と真空ラフィング手段４０との間のラフィングラインＬ１から分岐して」いるものに相当する。そして、引用発明の「分岐管５７を介して前記ロードロック室１を中真空度とするターボ分子ポンプ９」は、「分岐管５７」に接続されているから、本願発明の「第２のポンピング手段」に相当する。そして、この「ターボ分子ポンプ」は 「第１ポンピング手段」である「クライオポンプ６」とは別体であるから、「第１ポンピング手段３０と分離して、別途に」あるものといえる。
 （こ）引用発明の「前記クリーニング室３と前記スパッタ室４及びロードロック室１と接続される配管」、「スパッタ蒸着装置」は、それぞれ、本願発明の「真空ライン」、「スパッタ装置」に相当することは明らかである。 
　そうすると、本願発明と引用発明は、共に、 
「反応室１０とロードロック室２０を、ラフィングラインＬ１を介して大気の状態から低真空の状態にラフィングすることができる真空ラフィング手段４０と、 
　前記反応室１０を高真空にポンピングする第１ポンピング手段３０と、 
　前記第１ポンピング手段３０と分離して、別途に、ロードロック室２０と真空ラフィング手段４０との間のラフィングラインＬ１から分岐して前記ロードロック室２０を真空の状態となるようにポンピングする第２ポンピング手段５０と、 
　前記手段の作動に応じて反応室１０及びロードロック室２０と連通する真空ラインを開閉させる多数のバルブと、 
を備え、
て成るスパッタ装置」 
 の発明である点で一致し、 
相違点１：第２のポンピング手段につき、本願発明では、高真空の状態になるようにポンピングできるものであるのに対し、引用発明では中真空度になるようにポンピングできるものである点、 
相違点２：第２のポンピング手段につき、本願発明ではラフィングラインＬ１から分岐してポンピングしているのに対し、引用発明ではラフィングラインＬ１から分岐してポンピングすると共にロードロック室１直接つながってポンピングしている点、
相違点３：本願発明が「反応室１０及びロードロック室２０がウェーハの移送時毎に同一の空間を成すことによる真空の漏れを防ぐことができるように第１ポンピング手段３０及び第２ポンピング手段５０から分離されて、ディファレンシャルラインＬ４を介して高真空を維持するために前記反応室１０とロードロック室２０をポンピングする第３ポンピング手段６０」を有しているのに対し、引用発明はかかる手段を有していない点、 
で相違している。 
　そこで、これら相違点について検討する。
　まず、引用発明が「解決しようとする課題」についてみてみると、上記（１）及び（２）の記載を参照すると、引用発明は、ロードロック室内のガスが反応室（クリーニング室３とスパッタ室４）へ流入することを防止することを「解決しようとする課題」としているとみることができる。
（さ）相違点１について
　ロードロック室内の真空の程度が高ければ高いほど上記「解決しようとする課題」はより確実に解決できることは明らかであるといえるから、第２ポンピング手段を高真空の状態にすることができるものとすることは、当業者であれば困難なくなしえたことである。
（し）相違点２について
　ポンピング手段の真空引きを行うための機械的能力（容量）やライン（管）の長さ、径などを調整することによって、第２のポンピング手段を、別途ロードロック室に直接つなげなくても、ラフィングラインから分岐してポンピングさえすればロードロック室のポンピングは十分に行えることは当業者にとって自明であるから、引用発明において相違点２に係る本願発明の特定事項をなすことは当業者にとって困難とはいえない。
（す）相違点３について
　高真空を維持するためのポンピング手段は多数あればあるほど、反応室（クリーニング室３とスパッタ室４）及びロードロック室は高真空に維持できることは明らかであるし、このポンピングに当たり、反応室（クリーニング室３とスパッタ室４）及びロードロック室とポンピング手段とをどのようなライン（管）系でつなぐのかは、反応室（クリーニング室３とスパッタ室４）及びロードロック室に要求される真空度や他のポンピング手段の能力などに応じて当業者が適宜決定するものといえる。そうすると、引用発明において上記相違点３に係る本願発明の特定事項をなすことは当業者にとって困難とはいえない。
　そして、本願発明の奏する作用・効果は当業者であれば当然に予想できた程度のものである。 
　　  
 ４．むすび 
 　以上のとおり、本願発明は、引用文献１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない。 
 　したがって、その余の請求項について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 
 　よって、結論のとおり審決する。