(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象領域内の２次元情報を取得する第１のセンサ手段と、前記対象領域と比較して相対的に狭い領域内の対象領域内の２次元情報または３次元情報を取得する第２のセンサ手段とを含む、遠近が未知の対象物を認識する位置姿勢認識装置において：
前記第１のセンサ手段により取得された対象物の情報を含む２次元情報と、前記第１のセンサ手段の位置及び姿勢とに基づいて、前記対象物と前記第１のセンサ手段とを結ぶ３次元空間上の直線を求める手段と；
前記第２のセンサ手段による前記対象物の認識が可能になる該第２のセンサ手段の位置及び姿勢を前記３次元空間上の直線から求める手段と；前記第２のセンサ手段を前記求めた位置及び姿勢に移動させる手段とを備え、
前記移動手段により前記第２のセンサ手段を前記求めた位置及び姿勢に移動させた後に、前記第２のセンサ手段により前記対象物の２次元情報または３次元的な位置姿勢情報を取得することにより、前記対象物の２次元情報または３次元情報を認識することを特徴とする、認識装置。
【請求項２】
前記第２のセンサ手段は２次元情報を取得するものであり、
前記第２のセンサ手段が、前記第１のセンサ手段を兼ねていることを特徴とする、請求項１に記載された認識装置。
【請求項３】
前記第２のセンサ手段は、光照射手段と受光手段を備え、３次元的な位置姿勢測定を行なう機能を有していることを特徴とする、請求項１に記載された認識装置。
【請求項４】
前記第２のセンサ手段が備える前記受光手段が、２次元情報を取得する２次元センサであることを特徴とする、請求項３に記載された認識装置。
【請求項５】
前記第２のセンサ手段が、前記第１のセンサ手段を兼ねていることを特徴とする、請求項４に記載された認識装置。
【請求項６】
前記第２のセンサ手段が前記対象物の認識を行なう位置及び姿勢が、前記光照射手段の光照射方向が前記空間上の前記直線に一致するように決定されることを特徴とする、請求項３〜請求項５のいずれか１項に記載された認識装置。
【請求項７】
前記第２のセンサ手段が前記対象物の認識を行なう位置及び姿勢が、前記受光手段の光軸方向が前記空間上の前記直線に一致するように決定されることを特徴とする、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載された認識装置。
【請求項８】
前記空間上の直線を求める手段、あるいは、前記第２のセンサ手段の位置及び姿勢を求める手段が、産業用ロボットのロボットコントローラに設けられていることを特徴とする、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載された、認識装置。
【請求項９】
前記移動手段が産業用ロボットである、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載された、認識装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、種々のファクトリオートメーションに適用可能な位置姿勢認識装置に関し、更に詳しく言えば、２次元情報を取得するセンサと３次元情報を取得するセンサとを適宜併用した複合的な位置姿勢計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
製造ラインにおける組み立て作業、加工作業等においては、各種のセンサを用いて種々の対象物の位置や形状を検出することが頻繁に行なわれる。通常、対象物の位置を大局的に計測するには２次元画像を取得出来るセンサが有効である。例えば、ＣＣＤカメラを用いる場合、光学系（レンズ）を適当に選択することによって比較的広い視野を持たせることが容易である。これに対して、局所的な位置や形状を３次元的に計測するにはレーザセンサが有効である。
【０００３】
レーザセンサはロボットの手先部に搭載が容易であり、レーザセンサの出力をロボットコントローラに取り入れるようにした場合、至近距離から対象物へレーザビームを投射して対象物の細部の位置、形状等を精密且つリアルタイムに計測出来る等の特徴を有している。そのため、レーザセンサはロボットシステム等に頻繁に装備され、例えば、アーク溶接、シーリング、計測などの分野で広く利用されている。
【０００４】
レーザセンサは、レーザ光をスポット光ビームで走査するものと、スリット光を投射するものとがある。いずれの型のレーザセンサを用いた場合も、スポット光ビームあるいはスリット光を対象物面上に確実に投射しなければならない。対象物がある程度の精度で一定位置に位置決めされていれば、該一定位置の近傍位置をロボットにアプローチ位置として予め教示しておくことで、スポット光ビームあるいはスリット光を対象物面上に投射される状態を迅速に現出することは容易である。
【０００５】
しかし、アプリケーションによっては、対象物の位置決めが行なわれず未知の場合や、位置決めの精度に信頼性がない場合が少なくない。そのような場合には、ロボットなどの移動手段を用いて移動させながらレーザセンサのスポット光ビームあるいはスリット光をプローブに用いて対象物をサーチし、対象物を発見しなければ、レーザセンサによるメインの計測（例えば、形状測定）を開始することが出来ない。
【０００６】
レーザセンサは元来広範囲の測定には不向きであるから、対象物サーチとそれに続く対象物へのアプローチ動作に時間を要し、場合によっては、対象物を確実にサーチすること自体が困難な場合もあり得る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本願発明の目的は、対象物の位置や姿勢が未知であっても、例えばレーザセンサのように比較的狭い領域のセンシングしか出来ないセンサの使用を可能にし、しかも、同センサによる対象物の２次元情報または３次元情報の認識を適正な位置と姿勢で確実に行えるようにした認識装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本願発明に従った認識装置は、先ず前提構成として、対象領域内の２次元情報を取得する第１のセンサ手段と、同対象領域と比較して相対的に狭い領域内の対象領域内の情報を取得する第２のセンサ手段とを含む。ここで、第２のセンサ手段が取得する情報は、２次元情報あるいは３次元情報である。
【０００９】
そして、本願発明の認識装置は、遠近が未知の対象物を認識するものであって、第１のセンサ手段により取得された対象物の情報を含む２次元情報と、第１のセンサ手段の位置及び姿勢とに基づいて、同対象物と第１のセンサ手段とを結ぶ３次元空間上の直線を求める手段と、第２のセンサ手段による同対象物の認識が可能になる該第２のセンサ手段の位置及び姿勢を前記直線から求める手段と、第２のセンサ手段を前記求めた位置及び姿勢に移動させる手段とを備える。
【００１０】
そして、本願発明の認識装置は、この移動手段により第２のセンサ手段を上記の求めた位置及び姿勢に移動させた後に、第２のセンサ手段により同対象物の２次元情報または３次元的な位置姿勢情報を取得することにより、同対象物の２次元情報または３次元情報を認識する。
【００１１】
第２のセンサ手段は２次元情報を取得するものであり、且つ、第１のセンサ手段が第２のセンサ手段を兼ねていても良い。また、第２のセンサ手段は、光照射手段と受光手段を備え、３次元的な位置姿勢測定を行なう機能を有していても良い。
【００１２】
その場合、この受光手段を２次元情報を取得する２次元センサとしても良く、更に、第２のセンサ手段に第１のセンサ手段を兼ねさせることも可能である。
【００１３】
第２のセンサ手段が光照射手段と受光手段を備え、３次元的な位置姿勢測定を行なう機能を有していいる場合、第２のセンサ手段が対象物の認識を行なう位置及び姿勢は、光照射手段の光照射方向が上記の求められた直線（対象物と第１のセンサ手段とを結ぶ直線）に一致すように決定されて良く、また、受光手段の光軸方向が同直線に一致するように決定されても良い。
【００１４】
以上のいずれのケースにあっても、上記の３次元空間上の直線を求める手段、あるいは、第２のセンサ手段の位置及び姿勢を求める手段は、産業用ロボットのロボットコントローラに設けられていて良い。また、第２のセンサ手段を認識を行なう適所として求められた位置及び姿勢に移動させる手段として、産業用ロボットを用いることが出来る。
【００１５】
本願発明の重要なポイントは、比較的広域内で２次元情報を取得出来る第１のセンサ手段で対象物を先ず見付け、その際に第１のセンサ手段と対象物とを結ぶ空間（現実の３次元空間）上の「直線」を求め、この「求められた直線」を、比較的狭い領域内での２次元情報または３次元情報を取得するに適した第２のセンサ手段の「対象物の認識（観測）に適した位置と姿勢」を定めるために利用した点にある。
【００１６】
具体的な手順に即して言えば、先ず、第１のセンサで対象領域の２次元画像を取得し、同２次元画像を処理して対象物を２次元画像上で見つけ出し、２次元画像上での対象物の位置を検出する。ここで、「対象領域」は、対象物が存在する可能性があると考えられる範囲をカバーし得る領域のことである。
【００１７】
この段階で判ることは、対象物の（現実の３次元）空間上の位置が第１のセンサのカメラが同対象物を捉えている「視線」上にあることである。即ち、対象物の遠近は未知である。この「視線」は、周知のように、カメラレンズのレンズ中心と結像面上の同対象物の結像位置とを結ぶ直線として、第１のセンサのカメラキャリブレーションで得られれたデータから決定出来る。
【００１８】
即ち、キャリブレーションによって得られるデータから、「結像面上の同対象物の結像位置」乃至「画像上の対象物の位置」と、「視線の位置と方向」との関係を知ることが出来る。
【００１９】
一般的に言えば、画像空間（２次元）上の位置（ｕ、ｖ）が判れば、同位置を通る視線（直線）が判る。この視線（直線）が表わす方程式は「視線方程式」とも呼ばれる。
【００２０】
そこで、この視線を「第１のセンサと対象物を結ぶ直線」として利用出来る。なお、より厳密に言えば、「対象物の位置」は、「対象物上のある点（代表点という）の位置」の意味であり、「第１のセンサと対象物を結ぶ直線」とは、「第１のセンサと対象物上の代表点を結ぶ直線」のことである。
【００２１】
さて、このようにして得られる「第１のセンサと対象物を結ぶ直線」は、第２のセンサを用いて行なうより詳細な認識（例えば、対象物のより正確な位置、姿勢、形状、寸法など）に適した位置と姿勢を定めるにあたって有効利用される。何故ならば、対象物は間違いなく求められた「空間上の直線」上に存在するのであるから、同直線上あるいはその近傍に第２のセンサを移動させ、同直線と整合する方位に第２のセンサの視野を向けるような姿勢をとれば、対象物を確実にとらえることが出来る。
【００２２】
例えば、第２のセンサが光照射手段と受光手段を備え、３次元的な位置姿勢測定を行なう機能を有していれば、光照射の方向あるいは受光手段の光軸の方向を基準にして第２のセンサの姿勢を決めれば良い。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１は、本願発明の１つの実施形態に係る３次元位置姿勢認識システムの全体配置の概要を説明する図である。一例として、システムはロボット（産業用ロボット；以下同じ）によるワークのハンドリング（ピックアップと搬送）に適用されている。ここで、ワークは複数個がそれぞれ位置や姿勢がバラバラな状態にある。ハンドリング作業をこのような状態から開始するに際して、本システムはその特徴を発揮する。
【００２４】
同図に示したように、システム全体は、ロボットコントローラ１、画像処理装置２、レーザセンサ（本体部。以下、同様）１０、レーザセンサ制御部２０、ＣＣＤカメラ３０並びにロボット４０から構成されている。レーザセンサ１０は、ロボット４０の手先部（ツール先端点ＴＣＰの近傍）に搭載されているが、ＣＣＤカメラ３０は外部、例えばワークパレット５０の上方に設置され、画像処理装置２とともに広域用センサ（第１のセンサ手段）を構成する。そのために、その設置位置と姿勢は、視野３１がワークＷの供給領域であるワークパレット５０の全体をカバー出来るように定められている。
【００２５】
前述した、画像空間（２次元）上の位置（ｕ、ｖ）と視線（直線）との関係をＣＣＤカメラ３０について予め知っておくためのキャリブレーションは完了済みとする。画像上の位置（ｕ、ｖ）と３次元座標系（適当に設定されたワーク座標系）上での位置同関係を表わすデータは、画像処理装置２内のメモリに格納されている。
【００２６】
狭域用センサ（第２のセンサ手段）として採用されているレーザセンサ１０は、周知のスポット光投射型あるいはスリット光投射型いずれであっても良いが、ここでは後者を採用したケースについて、図２を参照図に加えて述べる。
【００２７】
レーザセンサ１０のレーザ光照射部１３は、レーザ発振器１１及び１２を備え、光検出部（受光部）１４は受光素子１４ａと結像用の光学系１４ｂを有している。レーザ発振器１１及び１２は、照射口付近に装備された円柱レンズを通してそれぞれスリット光ＬＢ１、ＬＢ２を出力する。
【００２８】
また、レーザセンサ１０は、レーザセンサ制御部２０を介して画像処理装置２に接続されている。ＣＣＤカメラ３０も、画像処理装置２に接続されている。このように、画像処理装置２は、レーザセンサ（本体部１０と制御部２０）とＣＣＤカメラ３０で共用される。
【００２９】
回線２４を介して画像処理装置２からレーザセンサの動作指令を受けると、レーザ駆動部２１、２２がレーザ発振器１１、１２を駆動し、レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２を発生させる。
【００３０】
対象物面上の反射点Ｓ１（スリット光ＬＢ１の任意の１本のビームＬ１の入射点）、Ｓ２（スリット光ＬＢ２の任意の１本のビームＬ２の入射点）で拡散反射されたレーザ光は、光学系１４ｂにより反射点Ｓ１、Ｓ２の位置に応じて受光素子１４ａ上に像を作る。該受光素子には、ＣＣＤなどが利用出来る。本例では、受光素子１４ａとして２次元ＣＣＤアレイが使用されている。
【００３１】
図３には、２つのレーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２が乗る平面、その交線ＬＣ、光照射部１３、光検出部１４等の位置関係が描かれている。レーザセンサ１０に関するキャリブレーションは完了しており、その結果（キャリブレーションデータ）は画像処理装置２内のメモリに格納されている。レーザセンサ１０のキャリブレーションデータには、２つのレーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２が乗る平面（２つ）がレーザセンサ１０の本体に対してなす位置と姿勢（固定的な値）が含まれる。また、交線ＬＣについても、それら平面のデータから随時計算し得る。
【００３２】
従って、レーザセンサ１０の本体（センサに固定された座標系の位置、姿勢）とロボットに設定された座標系（ロボット座標系；例えばロボット４０のアーム先端に固定された座標系）との関係を求めておけば、レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２が乗る平面及び交線ＬＣのロボット座標系上での位置と方向が既知となる。周知のように、この関係は一般に４行×４列の同次変換行列で表わされ、レーザセンサのキャリブレーションで求められる。ここでは、このキャリブレーションも完了し、そのデータは画像処理装置２内のメモリに格納されている。
【００３３】
以下、図４〜図６を参照図に加えて本実施形態におけるシステムの動作のプロセスを説明する。
通常、画像処理装置２はロボットコントローラ１からワーク検出指令が来るのを待っている（Ｓ１）。ワーク検出指令を受信したならば、ワーク検出のための処理シーケンスが進み、ＣＣＤカメラに撮影指令が出力され（Ｓ２）、ワークＷの画像を含むワークパレット５０全体の２次元画像が取得され、画像処理装置２内のフレームメモリに格納される（Ｓ３）。
【００３４】
この画像の一例を示せば図５のようになっている。図５において、符号７０は検出されたワークＷの代表点（例えばワーク輪郭画像の重心）であり、この代表点７０の２次元画像上の位置（ｕ７０、ｖ７０）が、画像処理装置２内で画像処理プロセッサを用いて求められる。更に、この２次元画像上の位置（ｕ７０、ｖ７０）に対応する視線３２が、キャリブレーションで得たデータから計算される。
【００３５】
ワークＷを代表する点７０はこの視線上にあるから、この視線の位置、姿勢（ワーク座標系上での方程式）が、この段階で判っている「ワークＷの位置、姿勢（の情報）」となる。ここではこれをロボット座標系上のデータに変換したものを求める（Ｓ４）。なお、この変換には、ロボットコントローラ１のメモリに格納されている座標系設定データ（ロボット座標系とワーク座標系の関係を表わす４行×４列の同次変換行列）が利用される。
【００３６】
ここで注意すべきことは、点７０で代表されるワークＷの位置には、不確定さが残っていることである。即ち、図６に示すように、透視変換の原理により、ワークＷ（代表点７０）の３次元空間上での位置は視線３２上に限定されるが、ワークＷとカメラ３０との間の距離が未知なので、視線３２上での遠近は判らない。例えば、位置７５と位置７６の判別が出来ない。
【００３７】
この視線３２の情報（ロボット座標系上）は、「第１のセンサ手段と対象物を結ぶ直線」を表わす情報としてロボットコントローラ１に送られる（Ｓ５）。
【００３８】
次に、ロボット４０に搭載されたレーザセンサ１０（第２のセンサ手段）を用いて対象物Ｗを認識（計測）するに適した位置、姿勢が計算される（Ｓ６）。この計算は、ロボットコントローラ１内で行なわれて良い。この計算において使われる条件の１つは、「視線３２と交線ＬＣ（図３参照）を一致させる」という条件である。レーザセンサ１０の遠近の条件については、予め適当な付加条件を課しておけば良い。
【００３９】
付加条件は、例えばワーク座標系をパレット５０上にＸＹ平面が乗るように設定しておき、「ロボット４０の位置のワーク座標系上でのＺ座標値が一定値Ｚ０  である」とすれば良い。ロボットコントローラ１は、これら条件の下で算出された位置、姿勢へロボット４０を移動させる。なお、レーザセンサ１０の交線ＬＣの「向き」を指定する情報が必要になるが、これについても、上記ワーク座標系を使って、ロボット４０の姿勢の１成分（ワーク座標系上）に条件を付けておけば良い（レーザセンサ１０が下向きとなるようなロボット姿勢の指定）。
【００４０】
この移動が完了した時点で、レーザセンサ１０は、レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２を、その交線ＬＣが視線３２に一致し、交線ＬＣが点７０で対象物７０に遭遇するように照射し得る状態にある。
【００４１】
移動が終るとロボットコントローラ１から画像処理装置２へ移動完了が伝えられる。すると、画像処理装置２はレーザセンサ１０に撮影指令（動作指令）を出力する（Ｓ７）。すると、レーザセンサ１０が動作し、レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２が照射され、その交線ＬＣは点７０で対象物７０に遭遇する（Ｓ８）。
【００４２】
ここで、レーザセンサ１０は３次元センサであるから、点７０で代表される対象物の３次元位置が計測出来る。また、レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢに対応する反射像（受光素子１４ａ上）から、対象物Ｗの姿勢なども検出出来る（Ｓ９）。
【００４３】
従って、ワークＷが他のワークの上に斜めに乗り上げているような場合や、ワークＷの高さが一定でない場合であっても、それら（高さ、傾斜など）を検出することが出来る。そのため、その高さ、傾斜に合わせてロボット４０による把持時の位置、姿勢を制御することが可能となる。
【００４４】
なお、一旦、レーザセンサ１０の交線ＬＣで対象物Ｗを捉えた後であれば、ロボット４０の位置あるいは姿勢を少量変えて点７０以外に交線ＬＣを入射させる条件で測定を行ない、より詳細な情報を得ることも容易である。
【００４５】
次に、図７は別の実施形態（変形実施形態）で使用可能な配置を示している。この変形実施形態は、パレット５０の大きさ（広域センサの要カバー範囲）が余り大きくない場合に適している。
【００４６】
図７に示した配置が上記実施形態（図１）と異なっているのは、レーザセンサの受光部に第１のセンサ手段の役割を兼備させることに対応して、ＣＣＤカメラ３０がロボット４０に、レーザセンサ１１０の受光部１４０として搭載されていることである。光照射部１３０は、レーザセンサ１０の光照射部１３と同様である。その他は、変形実施形態は図１に示した配置と共通した構成を有している。
【００４７】
但し、レーザセンサ１１０のＣＣＤカメラ３０は、前述の実施形態と同様の撮影時に２次元画像を取得するために使用するモードと、レーザセンサ１１０のレーザスリット光の反射光検知のモードの切換使用が可能なように画像処理装置２あるいはロボットコントローラ１に格納されるシステム動作のためのソフトウェアが変更されている。また、ＣＣＤカメラ３０と同様のキャリブレーションが受光部（結像レンズ付きであることに注意）１４について完了し、キャリブレーションで得たデータが画像処理装置２０のメモリに格納済みであるとする。
【００４８】
本変形実施形態におけるシステムの動作のプロセスの概略は次のようになる。なお、前述の実施形態と重複する説明は極力避ける。
【００４９】
画像処理装置２がロボットコントローラ１からワーク検出指令を受信したならば、レーザセンサ制御部２０に通常撮影モードの動作指令が出力され、ワークＷの画像を含むワークパレット５０全体の２次元画像がＣＣＤカメラ３０によって取得され、画像処理装置２内のフレームメモリに格納される。
【００５０】
この画像の例は図５に示した通りである。前述の実施形態と同様に、代表点７０の２次元画像上の位置（ｕ７０、ｖ７０）から視線３２が、キャリブレーションで得たデータを使って計算される。
【００５１】
この視線３２（即ち、レーザセンサ１１０の受光部１４０の受光軸）の情報（ロボット座標系上）は、「第１のセンサ手段と対象物を結ぶ直線」を表わす情報としてロボットコントローラ１に送られる。
【００５２】
次に、ロボット４０に搭載されたレーザセンサ１１０（第２のセンサ手段）を用いて対象物Ｗを認識（計測）するに適した位置、姿勢が計算される。この計算はは、ロボットコントローラ１内で行なわれて良い。この計算において使われる条件は、前述の実施形態と同様で良い。即ち、「視線３２と交線ＬＣ（図３参照）を一致させる」という条件と、レーザセンサ１１０の遠近の条件を定める適当な付加条件である。
【００５３】
この移動が完了するとロボットコントローラ１から画像処理装置２へ移動完了が伝えられ、画像処理装置２はレーザセンサ１１０にレーザスリット光撮影モードでの撮影指令を出力する。すると、レーザセンサ１１０が動作し、レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２が照射され、その交線ＬＣは点７０で対象物７０に遭遇する。レーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２の反射像は、ＣＣＤカメラ３０の受光素子上に結像する。画像処理装置２は、レーザセンサ１０の通常の機能を遂行するためのソフトウェア処理に従って検出結果を解析し、対象物Ｗの３次元的な位置、姿勢取得する。
【００５４】
なお、上述した２つの実施形態では、第２のセンサ手段は３次元センサとしたが、用途によっては、２次元センサでも良い。その場合でも、例えば、第１のセンサで定めた「対象物と第１のセンサを結ぶ直線」に基づいて認識位置・姿勢（対象物の認識を行なうセンサの位置と姿勢）を定めることが出来る点に変わりはない。
【００５５】
また、上述の各実施形態ではセンサの移動手段にロボットを使用したが、センサの位置、姿勢を制御出来るものであれば、他の移動手段（例えば姿勢制御可能なＸＹＺテーブル）が使用されても良いことは明らかである。
【００５６】
【発明の効果】
本願発明によれば、対象物の位置、高さ、姿勢などが不特定なケースであっても、第１のセンサ手段の取得する２次元画像を利用して定められる「対象物と第１のセンサを結ぶ直線」に基づいて、第２のセンサ手段による認識位置・姿勢を対象物の捉え損ねなしに適正に定められるので、各種の作業の自動化に資するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の１つの実施形態に係る３次元位置姿勢認識システムの全体配置の概要を説明する図である。
【図２】レーザセンサの構成と動作の概要を説明するための図である。
【図３】２つのレーザスリット光ＬＢ１、ＬＢ２が乗る平面、その交線ＬＣ、光照射部１３、光検出部１４等の位置関係を描いた図である。
【図４】実施形態における動作のプロセスを説明するフローチャートである。
【図５】第１のセンサ手段により取得される２次元画像のの一例を示した図である。
【図６】視線と対象物の関係について説明する図である。
【図７】図７は別の実施形態（変形実施形態）で使用可能な配置を示している。
【符号の説明】
１  ロボットコントローラ
２  画像処理装置
１０、１１０  レーザセンサ（本体部）
１１、１２  レーザ発振器
１３、１３０  レーザ光照射部
１４、１４０  光検出部（受光部）
１４ａ  受光素子（２次元ＣＣＤアレイ）
１４ｂ  結像用の光学系
２０  レーザセンサ制御部
３０  ＣＣＤカメラ
３２  視線
４０  ロボット
７０  ワークの代表点
Ｗ  ワーク
ＬＢ１、ＬＢ２  レーザスリット光
ＬＣ  ＬＢ１、ＬＢ２の交線
【図１】
0003556589.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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