【事件の表示】
　特願２００４−２０１９８４「基板洗浄装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１２月　２日出願公開、特開２００４−３３７８５８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
理　由
１　手続の経緯
　本件出願は、平成１２年５月３０日に出願した特願２０００−１６０５１２号の一部を、平成１６年７月８日に新たな特許出願としたものであって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　　　　
　平成１６年　７月　８日　本件出願
　平成１８年１２月１１日　拒絶理由通知（起案日）
　平成１９年　２月　２日　意見書・補正書
　平成１９年　３月　２日　拒絶査定（起案日）
　平成１９年　４月　５日　本件審判請求・補正書
　平成２１年　３月２７日　拒絶理由通知（起案日）
　平成２１年　５月２５日　意見書・補正書
　　　
２　本願発明
　本件出願の請求項１ないし９に係る発明は、平成２１年５月２５日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲及び明細書、並びに願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし９に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　　　
「【請求項１】
　ミスト化した洗浄液を基板に供給して洗浄処理を施す基板洗浄装置において、
　洗浄液と加圧された気体とを混合してミストを形成する混合部を備え、
　前記混合部によって形成された前記ミストを吐出する洗浄ノズルであって、
　前記洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面が石英であり、
　前記混合部は、気体を導入するガス導入管、および洗浄液を供給する供給管から構成され、
　前記ガス導入管は、前記混合部まで直線状に延び、更に前記ガス導入管は、フッ素樹脂で形成され、
　前記混合部は、前記ガス導入管の外側を、前記供給管が取り囲む構造で構成されている洗浄ノズルを備えることを特徴とする基板洗浄装置。」
　　
３　引用刊行物
　これに対して、当審で平成２１年３月２７日付けで通知した拒絶理由には、本件出願前に頒布された刊行物である次の刊行物１ないし４が引用されており、各刊行物には以下の技術的事項が記載されている。
　　　
［引用刊行物］
　刊行物１：実願昭５３−１２８４４５号公報（実開昭５５−４６５１７号）のマイクロフィルム
　刊行物２：特開平１０−１５６２２９号公報
　刊行物３：国際公開９８／０１８９６号パンフレット
　刊行物４：特開平９−３０８８６７号公報
　　
（１）刊行物１
ア　第２ページ第２行〜第３ページ第８行
　「本考案のウォータージェットはジェット１、２、３と管５、６コック１０、１２より構成され、圧縮空気をホース継手口１３より入れコック１０、管６を通ってジェットノズル３から出し、水をホース継手口１４から入れコック１２、管５を通ってジェットポンプ２で圧縮空気と混合されスロート１で圧縮加速されジェット水として放出するものである。
　ジェットノズル３はジェットポンプ２にねじ込まれている。管５、６を補強するための補強金具７、８を取り付ける。圧縮空気の流れるコック１０は圧力損失の少ないものを使用する。スロートは十分な長さをとり放出力を下げないようにする。図面では管５、６の一部が略されているが手で握れる長さでよい。
　本考案のウォータージェットは構造が簡単で軽いので故障が少なく片手で作業が可能である。圧縮空気は一般のコンプレッサーの出力７〜８ｋｇ／ｃｍ２でよい。
　本考案のウォータージェットは洗浄面にキズをつけず、凹凸面も簡単に早く洗浄でき、圧縮空気のコンプレッサーは高圧ポンプに比べて設備費が安い。水洗浄の後、圧縮空気のみ放出し水切りを行うことができる。
　このウォータージェットの用途としては、車両の洗浄、火気を使用できない場所での洗浄、鍍金作業における水洗浄と水切りに向いている。」
　　　
イ　上記アの記載事項及び図面からみて、刊行物１のウォータージェットは、水と圧縮空気とを混合して気液混合流体を形成する混合部を有し、ジェットノズル３はジェットポンプ２内を混合部まで直線上に延び、前記混合部は、前記ジェットノズル３の外側を前記ジェットポンプ２が取り囲む構造で構成されることが理解できる。
　　
　上記アの記載事項、及び上記イの認定事項を、技術常識を勘案しつつ本願発明に照らして整理すると、刊行物１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　　　
　「水と圧縮空気とを混合して気液混合流体を形成する混合部を備え、
　前記混合部によって形成された気液混合流体を吐出するウォータージェットであって、
　前記混合部は、圧縮空気を導入するジェットノズル３、及び水を供給するジェットポンプ２から構成され、
　前記ジェットノズル３は、ジェットポンプ２内を混合部まで直線上に延び、
　前記混合部は、前記ジェットノズル３の外側を前記ジェットポンプ２が取り囲む構造で構成されているウォータージェット。」
　　　　
（２）刊行物２
ア　段落【０００１】
　「【発明の属する技術分野】この発明は、洗浄用２流体ジェットノズルに関するものであり、さらに詳しくは、半導体基板等の上に付着している汚染物を除去する洗浄用２流体ジェットノズルに関するものである。この発明は、またこの洗浄用２流体ジェットノズルを用いて基板上に付着している汚染物を除去する洗浄装置に関するものである。」
　
イ　段落【００３３】〜【００４３】
「【００３３】また、この発明の洗浄装置は、前記２流体ジェットノズルに供給するガス及び液体の供給圧力を、それぞれ１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2としたことを特徴とするものである。
【００３４】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を、図について説明する。なお、各図を通して同一の符号は、同一または相当の部分を示す。
実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態に係る、洗浄用２流体ジェットノズル１０の構造を示す断面図である。これは、加圧されたガスと液体とを混合して形成した液滴を、気中において噴射し、被洗浄物表面に衝突させることにより洗浄を行うものである。この洗浄用２流体ジェットノズル１０は、ノズル先端の部分で液滴の加速を図る加速管１１を有する加速部Ａと、加圧されたガスと液体を混合して液滴を形成する混合管１２を有する混合部Ｂとから構成されている。混合管１２には、加圧されたガスの流入口２と液体の流入口３が設けられている。
【００３５】この洗浄用２流体ジェットノズル１０の特徴は、液滴を噴出するノズル先端の加速管１１、すなわち図中ａ−ｂ間が円形直管形状で、長さが３０〜２００ｍｍ、管内の断面積が３〜１５ｍｍ2であることである。また、加圧されたガス及び液体が各々配管を通して混合される混合管１２、すなわち図中ｂ−ｃ間は、円形直管形状で、長さが３〜５０ｍｍ、断面積が７〜１００ｍｍ2の空間を有していることである。さらに、前記混合管１２に供給されるガスの流入口２の断面積が７〜２００ｍｍ2、また液体の流入口３の断面積が０．０１〜２０ｍｍ2であることである。
【００３６】具体的な例としては、ノズル先端の加速管１１は、図中ａ−ｂ間の長さが１００ｍｍ、管内の断面積が７ｍｍ2であり、混合管１２は、図中ｂ−ｃ間の長さが３０ｍｍ、断面積が２０ｍｍ2の空間を有しており、ガスの流入口２の断面積が１５ｍｍ2、液体の流入口３の断面積が５ｍｍ2である。
【００３７】図２は、前記洗浄用２流体ジェットノズル１０を備えた、例えば半導体ウエハ用の洗浄装置の構成を示す模式図である。この洗浄装置は、半導体ウエハ５の表面上に付着している汚染物を除去するものである。この洗浄装置は、洗浄用２流体ジェットノズル１０に接続され、洗浄用２流体ジェットノズル１０にガス、及び液体を加圧供給するガス供給手段２ａ、及び液体供給手段３ａを備える。また、この装置は、半導体ウエハ５を保持するステージ６と、ステージ６を回転させるモーター７と、洗浄時の水滴の飛散を防止する洗浄カップ８とを備えている。洗浄カップ８には排気口９が接続されている。また、洗浄用２流体ジェットノズル１０を保持し、移動させるロボットアーム４を備えている。
【００３８】次にこの洗浄装置の動作について説明する。半導体ウエハ５をステージ６に固定し、モーター７により所定の回転数で回転する。ガス供給手段２ａからの加圧したガスと、液体供給手段３ａからの加圧した液体は、図１に示すように、ガス流入口２、及び液体流入口３を通って洗浄用２流体ジェットノズル１０の混合管１２内に供給される。洗浄用２流体ジェットノズル１０内の混合部Ｂでは、すなわち混合管１２の図中ｂ−ｃ間では、ガスと液体とが混合され、液体は粒状の液滴１に変化する。液滴１は、洗浄用２流体ジェットノズル１０内のノズル先端の加速部、すなわち加速管１１の図中ａ−ｂ間でガスの流れによって加速され、粒径は更に小さくなり、ノズル先端から噴出される。
【００３９】噴出した液滴１は、図２に示すように、半導体ウエハ５表面に衝突し、半導体ウエハ５表面上に付着している汚染物を除去する。半導体ウエハ５から除去された汚染物と、半導体ウエハ５の表面衝突後に飛散した液滴１と、洗浄用２流体ジェットノズル１０から噴出したガス流とは、排気口９より洗浄カップ８内から排出される。洗浄時、半導体ウエハ５全面を洗浄するために、洗浄用２流体ジェットノズル１０を保持し、移動させるロボットアーム４によって、洗浄用２流体ジェットノズル１０を半導体ウエハ５の表面に沿って水平方向に移動させている。　
【００４０】図３は、図１８に示した従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０と比較した、この実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル１０のガスの供給圧力とガスの流量との関係（流量特性）を示すグラフである。図３において、流量線３−１は、図１に示したこの実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル１０のガス流量を示すもので、先に具体例として説明したように、加速部Ａの内径が３ｍｍ（断面積は７ｍｍ2）、混合部Ｂの内部断面積が２０ｍｍ2のものである。また、流量線３−２は、図１８に示した従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０のガス流量を示すもので、先に具体例として説明したように第１の管路７２の内径が４．３５ｍｍ（断面積は１５ｍｍ2）、第２の管路７３の外径が６．８ｍｍ、第２の管路７３の外側の第１の管路７２の内部断面積が６．８ｍｍ2のものである。
【００４１】図３から解るように、ガスの供給圧力が同じ場合、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０と比較して、本発明の洗浄用２流体ジェットノズル１０は、ガスの流量が大きくなる。これは、従来の技術の説明で述べたように、図１８に示した従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０では、第１の管路７２は直管であり、第２の管路７３の外側の、ガスが通過する第１の管路７２の内部断面積は、図中ａ−ｂ間の断面積より小さくなる。従って、ガスの流量は、第２の管路７３の外側の、通路の一番狭い、第１の管路の内部断面積によって律速されて、すなわち速度が制限されて、少なくなる。
【００４２】図４は、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０と比較した、この実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル１０のガスの供給圧力と液滴の噴出速度との関係を示すグラフである。図４において、速度線４−１は、この実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル１０の液滴の噴出速度を示し、速度線４−２は、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０の液滴の噴出速度を示す。図４から解るように、ガスの供給圧力が同じ場合、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０と比較して、本発明の洗浄用２流体ジェットノズル１０は液滴の噴出速度が速くなる。
【００４３】具体的な例として、先に説明したのと同様に、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０のノズル先端部の内径が４．３５ｍｍ（断面積は１５ｍｍ2）、本発明の洗浄用２流体ジェットノズル１０のノズル先端部の加速管１１の内径が３ｍｍ（断面積は７ｍｍ2）の場合を想定する。本発明の洗浄用２流体ジェットノズル１０での液滴の噴出速度は、ガスの供給圧力が約３ｋｇｆ／ｃｍ2で音速度に達することができる。従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０での液滴の噴出速度は、ガスの供給圧力が約７ｋｇｆ／ｃｍ2で、２２４ｍ／ｓｅｃである。従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０で音速度に達するには、ガスの供給圧力が１０ｋｇｆ／ｃｍ2以上必要である。従って、本発明の洗浄用２流体ジェットノズルは、ガスの供給圧力がより低圧で液滴の噴出速度を高めることができる。」　　
　　
ウ　段落【００６０】〜【００６７】
「【００６０】実施の形態２．図１１は、この発明の他の実施の形態に係る、洗浄用２流体ジェットノズル２０の断面図である。この洗浄用２流体ジェットノズル２０は、ノズル先端の部分で液滴の加速を図る加速管２１からなる加速部Ａと、加圧されたガスと液体を混合して液滴を形成する混合管２２を含む混合部Ｂとから構成されている。混合管２２には、加圧されたガスの流入口２と、混合管２２の側壁を貫通して混合管２２中に液体の流入口３が開口し、その先端部分が混合管２２と同軸状に配置された液体の流入管２３が設けられている。
【００６１】この洗浄用２流体ジェットノズル２０の特徴は次のとおりである。加圧されたガス及び液体が混合される混合部Ｂ（図中ｂ−ｄ間）のうちの図中ｃ−ｄ間は、従来の技術と同様に、外管（第１の管路２２）にガス、内管（第２の管路２３）に液体が流れる２重管の構造になっており、違いとしては、この部分のガスが通過する第２の管路２３の外側の、第１の管路２２の内部断面積が、ノズル先端の加速管１１（図中ａ−ｂ間）の断面積よりも大きい点である。従って、ガスは、混合部Ｂ内の２重管のところで律速されることがなく、すなわち速度が制限されることがなく、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０より低い供給圧力で大流量が得られるので、液滴の噴出速度が速く、洗浄力が高い。
【００６２】また、この洗浄用２流体ジェットノズル２０のもう１つの特徴は、混合部Ｂ内の第２の管路２３の出口から先で、加速管２１に接続されるまでの間（図中ｂ−ｃ間）で、第１の管路２２が加速管２１の断面積まで徐々に細くなっている点である。これにより、図中ｂ−ｃ間のガスの速度は、流体抵抗力の損失を受けることなく、徐々に速くなる。第２の管路２３の出口３から吐出した液滴１は、このガスの流れにより徐々に加速され、より微細化される。従って、図１に示した実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル１０よりも、液滴１の粒径が小さく、かつ液滴１の噴出速度が速くなり、洗浄力が高い。
【００６３】この洗浄用２流体ジェットノズル２０の具体的な例としては、ノズル先端の加速部Ａ（図中ａ−ｂ間）の長さが１００ｍｍ、管内の断面積が７ｍｍ2であり、混合部Ｂ（図中ｂ−ｄ間）の図中ｂ−ｃ間の長さが２０ｍｍ、図中ｃ−ｄ間の長さが２０ｍｍ、図中ｃ−ｄ間の第２の管路２３の外側のガスが流れる部分の断面積が２０ｍｍ2、ガスの流入口２の断面積が２０ｍｍ2、液体の流入口３の断面積が３ｍｍ2である。さらに第１の管路２２と第２の管路２３はともに円管形状で、混合部Ｂの図中ｃ部において同心円状に配置されているものである。このように構成することにより、液滴がより微細化され、かつ液滴の噴出速度が速く、従って洗浄力の高い洗浄用２流体ジェットノズルを実現することができる。
【００６４】実施の形態３．図１２は、この発明の他の実施の形態に係る、洗浄用２流体ジェットノズル３０の断面図である。この洗浄用２流体ジェットノズル３０は、ノズル先端の部分で液滴の加速を図る加速管３１からなる加速部Ａ（図中ａ−ｂ）と、加圧されたガスと液体を混合して液滴を形成する混合管３２を含む混合部Ｂ（図中ｂ−ｄ）とから構成されている。混合管３２には、加圧されたガスの流入口２と、混合管３２の側壁を貫通して混合管３２中に液体の流入口３が開口し、その先端部分が混合管３２と同軸状に配置された液体の流入管３３が設けられている。さらに、この液体の流入管３３の中にガスの流入管３４が同軸状に配置され、３重管構造になっている。加圧されたガス及び液体が混合された後の、混合部Ｂの図中ｂ−ｃ間と、ノズル先端の加速部Ａ（図中ａ−ｂ間）は、図１１の実施の形態と同じである。
【００６５】この洗浄用２流体ジェットノズル３０の特徴は、次のとおりである。すなわち、この洗浄用２流体ジェットノズル３０は、混合部Ｂの図中ｃ−ｄ間において、その中をガスが通過する第１の管路３２と、第１の管路３２の外側から、第１の管路３２の側壁を貫通し、第１の管路３２内にまでその先端部が延び、その中を液体が通過する第２の管路３３と、さらに第２の管路３３の外側から、第２の管路３３の側壁を貫通し、第２の管路３３内にまでその先端部が延び、その中をガスが通過する第３の管路３４とを備えている。また、第３の管路３４の先端部と、第２の管路３３の先端部は、第１の管路３２が延びる方向と同じ方向に延びている。
【００６６】図１１に示した実施の形態と同様に、この３重管構造の部分、図中ｃ−ｄ間のガスが通過する第２の管路３３の外側の、第１の管路３２の内部断面積は、ノズル先端の加速部Ａ（図中ａ−ｂ間）の断面積よりも大きい。第３の管路３４の先端部では、第３の管路３４からでたガスと、第２の管路３３内を流れる液体とが混合して液滴が形成され、第１の管路３２内で更にガスの流れにより液滴の微細化が促進される。
【００６７】結果として、図１あるいは図１１で示した実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズルによる液滴よりもより微細な液滴が得られ、また液滴の噴出速度が速くなる。具体的な例としては、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０での液滴の粒径が約２０μｍ、図１で示した実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル１０での液滴の粒径が約１０μｍ、図１１で示した実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル２０での液滴の粒径が約５μｍ、図１２で示した本実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル３０での液滴の粒径が約２μｍである。従って、本実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズル３０での洗浄力は、従来の洗浄用２流体ジェットノズル７０はもとより、図１あるいは図１１で示した実施の形態の洗浄用２流体ジェットノズルよりも高い。」　　
　　
　上記アないしウの記載事項をふまえると、刊行物２には、次の事項（以下「刊行物２事項」という。）が記載されているものと認められる。　　
　
　「洗浄用２流体ジェットノズルを洗浄装置に用いること、及び、洗浄用２流体ジェットノズルは、混合部Ｂで液体と加圧されたガスとを混合して液滴を形成し、液滴を噴出するものであり、その液滴が基板に供給されることで洗浄処理が施されること。」
　
（３）刊行物３　　
ア　請求の範囲の１５（明細書第２９ページ）
「１５．　前記基板の端部を支持する部材、前記ノズルの部材、前記発振子を前記洗浄液から遮蔽する部材、前記ポンプ又は細管において、前記洗浄液又はその原液あるいは原ガスと接触する部分は、石英、シリコン、炭化珪素、アルミナ、サファイヤ、アモルファスカーボン、又は酸化膜若しくはフッ化膜により表面を不動態化した金属、又はフッ素樹脂その他の耐食性樹脂であることを特徴とする請求項２〜１２のいずれかに記載の洗浄装置。」
　　
イ　明細書第１ページ第６〜７行
「本発明は、基板の洗浄装置及び洗浄方法に係り、特に、半導体ウエハやＬＣＤ用基板を少量の洗浄液で高速洗浄を可能とする超小型洗浄装置に関する。」
　　
ウ　明細書第９ページ第２６行〜第１０ページ第１行
「即ち、例えば、酸化膜を除去し、超純水リンス洗浄する場合を考える。従来のように、フッ酸供給系と純水供給系とを別ラインで供給すると、所定のフッ酸液をノズルから供給して酸化膜をエッチングし、その後超純水でウエハ表面をリンスする場合においては、フッ酸で酸化膜を除去した後のベアのシリコン表面はパーティクルが付着しやすく、リンス洗浄用の超純水を供給するためにバルブを開けると、バルブからパーティクルが発生しシリコン表面が汚染されてしまうという問題があった。」
　
エ　明細書第１３ページ第１２〜１４行
「図５のポンプは、発塵の少ない石英、サファイア等の無機材料、発塵の少ないフッ素樹脂等の有機系樹脂材料を用いたものである。特に、フッ酸系の薬液に対してはサファイア製のものを用いるのが好ましい。」
　
オ　明細書第１４ページ第１６〜２２行
「本発明において、ノズル配管、バルブ、ポンプ等の材質としては、特に、可動部、摺動部等発塵し易い部分には、有機系樹脂を避け、無機系の金属、絶縁体を用いるのが好ましく、例えば、石英、シリコン、炭化珪素、アルミナ、サファイア、アモルファスカーボン、酸化膜・フッ化膜処理した金属、表面にアルミナ膜を形成したもの（例えはアルマイト処理した後、研磨したもの）又はフッ素樹脂その他の耐食性樹脂等が、使用する薬液の種類により適宜選択される。また、ＳＵＳ３１６Ｌ、アルミニウム及びその合金等も用いることができる。」
　
カ　上記エの記載事項からみて、石英が発塵、すなわちパーティクルの発生の少ない材料であることが理解できる。
　
　上記アないしオの記載事項、及び上記カの認定事項をふまえると、刊行物３には、次の事項（以下「刊行物３事項」という。）が記載されているものと認められる。
　　
　「基板洗浄装置のノズル部材における洗浄液と接触する部分を、パーティクル発生の少ない材料である石英とすること。」
　　
（４）刊行物４　　
ア　段落【０００５】
「【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態によるランプのガラス面の清掃装置を示すが、これは全体として１で示され、水タンク２内には超純水３を収容して蓋４で外部からほこりが入らないようにしている。これには水管５が接続されており、液圧ポンプ６により水管７側に圧送するようにしている。その下流側端部は図では詳細に示されているが、上流側と同様な構成であり、ステンレスで成るパイプ８に等しく、図２にその分解斜視図が示されているミスト発生装置９が螺着されている。また、これら構成物の内面（超純水に接する面）はパーティクルの発生も極力おさえるこ（当審注：「おさえること」の誤記と認める。）ができる材料（例えば石英ガラスやミガキステンレス）を使用するこ（当審注：「使用すること」の誤記と認める。）によって構成物により生成する水アカ、ほこり等の発生を防止している。これから図示するように、ミストＭが噴出されランプ１０のガラス面１０ａに吹き付けられる。」
　
　上記アの記載事項をふまえると、刊行物４には、次の事項（以下「刊行物４事項」という。）が記載されているものと認められる。
　　
　「ミスト発生装置９の超純水に接する面に、パーティクルの発生を極力抑えることのできる材料である石英ガラスを用いること。」
　　
４　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明の「水」は、本願発明の「洗浄液」に相当する。以下同様に、「圧縮空気」は「加圧された気体」に、「圧縮空気を導入するジェットノズル３」は「気体を供給するガス導入管」に、「水を供給するジェットポンプ２」は「洗浄液を供給する供給管」に、「ウォータージェット」は「洗浄ノズル」に、相当する。
　本願発明における「ガス導入管は、混合部まで直線状に延び」の「直線状」に関して、本件明細書段落【００４５】の、「なお、気体ＧやミストＭと、ガス導入管１５ｂや洗浄ノズル７の内壁部とが衝突してパーティクルが発生する恐れがあるので、衝突部分を低減すべくガス導入管１５ｂや洗浄ノズル７本体は円筒形の形状であり、ガス導入管１５ｂは混合部２９まで直線状に延びている方が望ましい。」との記載をふまえると、直線上に延びる点は、ガス導入管の内面の形状が円筒形の形状であることを意味するものであることとは別に、ガス導入管が直線状に延びる点を意味するものと理解されるから、引用発明の「ジェットノズル３は、ジェットポンプ２内を混合部まで直線上に延び」る点は、本願発明の「ガス導入管は、混合部まで直線状に延び」る点に相当する。
　引用発明の「水と圧縮空気とを混合して気液混合流体を形成する混合部」と、本願発明の「洗浄液と加圧された気体とを混合してミストを形成する混合部」とは、「洗浄液と加圧された気体とを混合して気液混合流体を形成する混合部」という限りにおいて共通する。
　引用発明の「混合部によって形成された気液混合流体を吐出するウォータージェット」と、本願発明の「混合部によって形成されたミストを吐出する洗浄ノズル」とは、「混合部によって形成された気液混合流体を吐出する洗浄ノズル」という限りにおいて共通する。　
　したがって、両者の一致点及び相違点は、次のとおりと認められる。
　　　
＜一致点＞
「洗浄液と加圧された気体とを混合して気液混合流体を形成する混合部を備え、
　前記混合部によって形成された気液混合流体を吐出する洗浄ノズルであって、
　前記混合部は、気体を供給するガス導入管、および洗浄液を供給する供給管から構成され、
　前記ガス導入管は、混合部まで直線状に延び、
　前記混合部は、前記ガス導入管の外側を前記供給管が取り囲む構造で構成されている洗浄ノズル。」の点。
　　　　
＜相違点１＞
　本願発明は、洗浄ノズルが「ミスト化した洗浄液を基板に供給して洗浄処理を施す基板洗浄装置」に備えられた「基板洗浄装置」であって、洗浄ノズルの「混合部」で形成される気液混合流体が「ミスト」であり、洗浄ノズルから「ミストを吐出する」のに対し、
　引用発明は、洗浄ノズルであるウォータージェットが基板洗浄装置に備えられるものではなく、混合部で形成される気液混合流体がジェット水であり、洗浄ノズルからミストではなくジェット水を吐出する点。　
　
＜相違点２＞
　本願発明は、「洗浄ノズルの少なくとも混合部の内壁面が石英」であるのに対し、
　引用発明は、洗浄ノズルであるウォータージェットの混合部の内壁面の材質が不明な点。
　　
＜相違点３＞
　本願発明は、ガス導入管が「フッ素樹脂で形成され」ているのに対し、
　引用発明は、ガス導入管であるジェットノズル３の材質が不明な点。
　　　
５　相違点についての検討
（１）相違点１ついて　　
　刊行物２には、上記３（２）に示したとおりの刊行物２事項である、「洗浄用２流体ジェットノズルを洗浄装置に用いること、及び、洗浄用２流体ジェットノズルは、混合部Ｂで液体と加圧されたガスとを混合して液滴を形成し、液滴を噴出するものであり、その液滴が基板に供給されることで洗浄処理が施されること。」が記載されている。
　ここで、刊行物２事項の「洗浄用２流体ジェットノズル」は本願発明の「洗浄ノズル」ということができる。以下同様に、「洗浄装置」は「基板洗浄装置」と、「液体」は「洗浄液」と、「ガス」は「気体」と、「液滴」は「ミスト化した洗浄液」あるいは「ミスト」と、「噴出」は「吐出」と、いうことができる。
　そうすると、刊行物２事項は、「洗浄ノズルを基板洗浄装置に用いること、及び、洗浄ノズルは、混合部Ｂで洗浄液と加圧された気体とを混合してミストを形成し、ミストを吐出するものであり、そのミスト化した洗浄液が基板に供給されることで洗浄処理が施されること。」と言い換えることができる。
　そして、引用発明の「ウォータージェット」と刊行物２事項の「洗浄用２流体ジェットノズル」とは、ともに、ジェット式の洗浄ノズルであり、かつ、液体と気体を混合し、加速して吐出する点で共通する。
　してみると、刊行物２事項をふまえ、引用発明の洗浄ノズルであるウォータージェットを基板洗浄装置に用いるとともに、そのウォータージェットの混合部でミストを形成し、ウォータージェットからミストを吐出するようにし、そのミスト化した洗浄液を基板に供給して洗浄処理を行うようにして基板洗浄装置とすることは、当業者が容易になし得たことである。　
　
（２）相違点２について
　刊行物３には、上記３（３）で示したとおりの刊行物３事項である、「基板洗浄装置のノズル部材における洗浄液と接触する部分を、パーティクル発生の少ない材料である石英とすること。」が記載されている。
　刊行物４には、上記３（４）で示したとおりの刊行物４事項である、「ミスト発生装置９の超純水に接する面に、パーティクルの発生を極力抑えることのできる材料である石英ガラスを用いること。」が記載されている。
　ここで、引用発明の「ウォータージェット」、刊行物３事項の「ノズル部材」及び刊行物４事項の「ミスト発生装置９」は、いずれも、洗浄に用いられ、かつ、それらを構成する部材は、洗浄液に接触する箇所を当然に有する点で共通する。
　さらに、刊行物３の、「リンス洗浄用の超純水を供給するためにバルブを開けると、バルブからパーティクルが発生しシリコン表面が汚染されてしまうという問題があった。」（上記３（３）ウ）との記載からみて、刊行物３には、基板の洗浄においては、その洗浄液へのパーティクルの混入が基板の汚染につながることが示唆されているといえる。
　そうすると、刊行物３事項や刊行物４事項をふまえ、引用発明の洗浄ノズルであるウォータージェットを基板洗浄装置に用いることに併せて、そのウォータージェットの洗浄液と接触する箇所をパーティクル発生の少ない材料である石英とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　その際、引用発明における混合部の内壁面では洗浄液が接触することは明らかであって、その混合部を石英にできないとする特段の理由もないから、混合部の内壁面を含め引用発明のジェットポンプ２の洗浄液と接する箇所を石英とすることは、当業者が当然なし得た事項にすぎない。
　　
（３）相違点３について
　刊行物３には、明細書第１３ページ第１２〜１４行（上記３（３）エ）に、フッ素樹脂も発塵、すなわちパーティクルの発生の少ない材料であることが記載され、請求の範囲１５（上記３（３）ア）に、「前記ノズルの部材、・・・又は細管において、前記洗浄液又はその原液あるいは原ガスと接触する部分は、石英・・・、又はフッ素樹脂その他の耐食性樹脂であること」が記載されている。
　さらに、フッ素樹脂は、ガス導入管に一般的に用いられているものにすぎない（例えば、特開昭６０−２５４６２０号公報の第２頁下右欄第１４〜１５行、第３頁上左欄第１８行〜上右欄第３行、特開昭６３−１０９１１６号公報の第２頁下左欄第１２〜１４行参照。）。
　そうすると、引用発明のガス導入管であるジェットノズル３をフッ素樹脂とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
（４）本願発明の効果について
　本願発明の効果についてみても、引用発明、刊行物２事項、刊行物３事項及び周知事項から当業者が十分予測できる範囲のものであって、格別顕著なものとはいえない。
　　
（５）まとめ
　したがって、本願発明は、引用発明、刊行物２事項、刊行物３事項及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　
６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、刊行物２事項、刊行物３事項及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。