(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電析浴が保持されるとともに長尺基板が通過可能な電析槽を備え、該電析槽内を通過する長尺基板の表面に酸化物を堆積させる電析装置において、
前記電析槽の前記長尺基板の進入側および退出側に、それぞれ前記長尺基板を搬送するための電析槽進入ローラーと電析槽退出ローラーを設け、
該電析槽進入ローラーと該電析槽退出ローラーの間に、前記長尺基板を押さえるように支持することによって前記長尺基板の上下動を抑制する規制部材を設けたことを特徴とする電析装置。
【請求項２】
該規制部材を、長尺基板の上部または下部に設けたことを特徴とする請求項１記載の電析装置。
【請求項３】
該規制部材は、ローラー形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の電析装置。
【請求項４】
該規制部材は、フローティング電位となっていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電析装置。
【請求項５】
該規制部材は、誘電体で形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電析装置。
【請求項６】
該規制部材は、その表面が誘電体でコーティングされていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電析装置。
【請求項７】
該誘電体がフッ素樹脂であることを特徴とする請求項５または６に記載の電析装置。
【請求項８】
前記規制部材は、成膜面に接することなく基板を支持することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の電析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電析法（例えば、電解めっき、電解析出）により酸化物、とりわけ酸化亜鉛を基板に堆積させるための電析装置に関し、特に、導電性の高い電析浴を用いた場合であっても、安定した酸化物の電析を可能とした電析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、機能膜の堆積には、抵抗加熱蒸着法、ＣＶＤ法、スパッタ法、スプレー熱分解法、電析法等のいくつかの方法があった。
【０００３】
このうち、水溶液に溶け込んだ材料を電気化学的に基板に堆積させる電析法（Ｅｌｅｃｔｒｏｐｌａｔｉｎｇ…「めっき」と同義。「湿式プロセス」に含まれる）には、以下のような利点があり、長尺基板にも適用することができる。
【０００４】
なお、長尺基板とは、極めて細長い長方形をした薄板で、長手方向に巻き上げてロールの形に保持できるものを指し、ロール基板、ウェブ、フープ材、コイル、テープ、リール材などさまざまな呼称を持つが、以下、長尺基板と統一して記す。
【０００５】
このような長尺基板を用いることにより、連続的に成膜を行うことができるので、装置の稼働率やランニングコストを安くできるなど、工業的には極めて有利なものとなっている。
【０００６】
電析法を用いた場合の第一の利点は、スパッタ法等で用いる真空装置と異なり、膜堆積が極めて簡便となることである。すなわち、電析法では、高価な真空ポンプが必要でないとともに、プラズマを使用するための電源や電極周りの設計に気を遺うことがないため、膜堆積が極めて簡単となる。
【０００７】
電析法を用いた場合の第二の利点は、一般的にランニングコストが安いことである。すなわち、スパッタ法では、ターゲットの製作に人手と装置を要して経費がかかる上、ターゲットの利用効率も２割程度以下となってしまい、ランニングコストが高価となってしまう。また、装置のスループットを上げなければならない場合や、成膜厚が大きい場合には、ターゲット交換の作業がかなりのウェイトを占めることになってしまうため、作業効率が悪かった。
【０００８】
また、ランニングコストの点において、電析法は、スパッタ法以外のＣＶＤ法や真空蒸着法に対しても有利なものとなっている。
【０００９】
電析法を用いた場合の第三の利点は、導電特性・光学特性において有利なことである。すなわち、長尺基板上に形成される膜は、多くの場合、多結晶の微粒子であり、電析法では、真空法で成膜した場合と比較して、遜色のない導電特性・光学特性を示すとともに、ゾルゲル法や有機物を用いたコーティング法、さらにはスプレー・パイロリシス法などと比較しても有利なものとなっている。
【００１０】
電析法を用いた場合の第四の利点は、酸化物を形成する場合であっても、上述した利点があることに加えて、廃液を簡単に処理することができるので、環境に及ぼす影響が小さく、環境汚染を防止するためのコストが高くないことである。
【００１１】
長尺基板に対して成膜を行うことができる電析装置は種々存在するが、例えば、電析槽の長尺基板の進入側および退出側にそれぞれ設けた電析槽進入ローラーと電析槽退出ローラーにより長尺基板を支持搬送しながら、連続的に電析槽内を通過させて、長尺基板の表面に成膜を行うものが知られている。また、このような電析装置では、電析浴を攪拌して電析成膜を均一化するために、電析浴内に攪拌空気を送り込んで噴流を生じさせていた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の電析装置を用いた成膜では、以下のような問題点があった。
【００１３】
すなわち、上述した従来の電析装置を用いて成膜を行った場合、長尺基板が噴流や撹拌空気の影響を受けて上下に振動するため、長尺基板が電析槽進入ローラーや電析槽退出ローラー等の中央を通らずに蛇行し、電析槽内に設置された構造物や壁等に接触するなど、長尺基板の搬送に悪影響を及ぼすおそれがあった。
【００１４】
また、長尺基板が蛇行して、電析槽壁や電析槽内に設置された構造物に接触した際に、長尺基板の幅方向の端部が折れ曲がってしまうおそれもあった。
【００１５】
ところで、この長尺基板を用いて太陽電池を形成するために、長尺基板をＣＶＤプロセスに移す場合に、このような折れ曲がりが一部でもあると、異常放電が発生したり、長尺基板が狭いクリアランスのゲートを通過できない等、プロセス上の障害が発生してしまい、長尺基板全体が不良品となってしまう。
【００１６】
さらに、テンションの片寄りがあると、撹拌空気が長尺基板のテンションの弱い側に片寄って流れ、その影響で長尺基板が電析槽内を傾いた状態で搬送されてしまう。その結果、長尺基板の幅方向でアノードとの距離が異なってくるために、長尺基板の幅方向で膜厚ムラが発生するおそれがある。このため、例えば、太陽電池を形成するために、ＣＶＤプロセスによりアモルファス・シリコンを主体とする半導体層やＩＴＯの透明導電層を形成した際に、特性のばらつきが発生してしまう。
【００１７】
このような現象は、噴流が強いほど顕著であり、また撹拌空気の流量を増加させて撹拌効果を上げようとすればするほど顕著であった。これでは、電析法がランニングコストを安くできるという利点を十分に発揮できないことになる。
【００１８】
本発明に係る電析装置は、上述した事情に鑑み提案されたもので、長尺基板の蛇行を防止して、高い堆積速度で一様な成膜を行うことが可能な電析装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するために、本発明に係る電析装置は、電析浴が保持されるとともに長尺基板が通過可能な電析槽を備え、該電析槽内を通過する長尺基板の表面に酸化物を堆積させる電析装置において、前記電析槽の前記長尺基板の進入側および退出側に、それぞれ前記長尺基板を支持するための電析槽進入ローラーと電析槽退出ローラーを設け、該電析槽進入ローラーと該電析槽退出ローラーの間に、前記長尺基板を押さえるように支持することによって前記長尺基板の上下動を抑制する規制部材を設けたことを特徴とするものである。
【００２０】
また、規制部材を、長尺基板の上部または下部に設けることが好ましい。
【００２１】
また、規制部材は、ローラー形状とすることが好ましい。
【００２２】
また、規制部材は、フローティング電位とすることが好ましい。
【００２３】
また、規制部材を誘電体で形成したり、その表面を誘電体でコーティングすることが好ましい。
【００２４】
さらに、規制部材を誘電体で形成し、あるいはその表面を誘電体でコーティングした場合に、当該誘電体をフッ素樹脂とすることが好ましい。また、前記規制部材は、成膜面に接することなく基板を支持することが好ましい。
【００２５】
【発明の実施の形態】
［電析装置の主要構造］
以下、本発明に係る電析装置の実施形態を説明する。
【００２６】
まず、本発明に係る電析装置の主要な構造について説明する。
【００２７】
本発明に係る電析装置は、主な装置として、酸化亜鉛を電気化学的に堆積せしめる電析浴を保持する電析槽と、電析槽に対してそれぞれの電析浴（電解質溶液）を所定温度に加熱して送る循環槽と、電析槽と循環槽とで保持する全電析浴を一度に溜めることのできる独立した排液槽電析槽とを二組備えている。
【００２８】
本発明に係る電析装置で用いられる電析槽は、耐食性のステンレスまたは耐熱塩化ビニールあるいはＦＲＰなどで構成され、保温性をよくするために断熱材を挟んだ二重構造とすることもある。電析槽は、その内部にアノードと長尺基板との電析のために両電極を有するため、これら両電極からの電流迷走を防ぐよう、槽壁などの金属部が露出しない構成とするのがよく、金属槽を用いる場合には、内部に絶縁体の内張りを設け、さらに、電析槽自体をフロート電位とすることが好ましい。
【００２９】
また、複数の電析槽について異なる濃度の電析浴とすることも可能である。
【００３０】
本発明に係る電析装置で用いられる循環槽は、耐食性で耐熱性に優れたステンレスで構成され、ヒーターが内蔵されて電析浴を加熱する。加熱の効率をよくするために、電析槽と同じく二重構造とすることもできる。また、加熱の効率をよくするために、循環槽を循環していく電析浴が、ヒーターの周りを流れていく流れを形成するとよい。このためには、通常、循環槽の上部から電析浴を戻し、下部から加熱済みの電析浴を電析槽に送ってゆく構造とするのがよい。また、電析浴を電析槽に送る経路を複数設けることにより、さらに加熱の効率をよくすることができる。
【００３１】
本発明に係る電析装置で用いられる排液槽は、少なくとも電析槽の電析浴をすべて保持できる内容量とし、電析槽と循環槽とを合わせた電析浴の容量を保持できるように構成されていることが、一層好ましい。排液槽は、必ずしも耐熱性である必要はないが、緊急時に全ての電析浴を保持する目的のためには、電析槽のように耐熱性の材料で形成することが好ましい。
【００３２】
本発明に係る電析装置で用いられる空気攪拌手段は、電析浴が、電析槽内で長尺基板表面を浴交換できるだけの電析浴の移動をもたらすもので、さらに長尺基板を使用する場合、長尺基板面で空気溜りを形成しないように構成されているものとする。具体的な空気攪拌手段としては、例えば、管に穿ったオリフィスから長尺基板成膜面に浮力でバブルが当たるように形成することができる。この攪拌は、電析浴が常に新鮮なものとして長尺基板面に触れるようにするために、特に堆積速度が大きい場合に重要となる。
【００３３】
なお、本発明に係る電析装置を用いて形成する太陽電池は、図示しないが、基板となる支持体上に、裏面反射層、酸化亜鉛膜等からなる透明導電層、半導体層、透明電極層、集電電極層を形成したものである。
【００３４】
［電析装置の具体的構成］
以下、図面に基づいて、長尺基板に対して酸化亜鉛膜等からなる透明導電層を形成する場合に使用する電析装置の具体的構成を詳しく説明する。
【００３５】
図１は、本発明に係る電析装置の規制部材の実施形態を示すもので、図１（ａ）は、第一の実施形態に係る規制部材の模式的平面図、図１（ｂ）は、第二の実施形態に係る規制部材の模式的平面図をそれぞれ示す。また、図２は、長尺基板に透明導電層を形成する場合に使用する電析装置の具体的構成を示す構成図である。また、図３〜９は、図２に示す電析装置を構成する各装置の拡大図であり、図３は、巻出装置の拡大図、図４は、第一電析槽及び第一循環槽の拡大図、図５は、第二電析槽及び第二循環槽の拡大図、図６は、第一排液槽及び第二排液槽の拡大図、図７は、純水シャワー槽、第一温水槽、第二温水槽、乾燥部、巻取装置の拡大図、図８は、純水加熱槽の拡大図、図９は、排気ダクト付近の拡大図をそれぞれ示す。
【００３６】
図２に示すように、本発明の一実施形態に係る電析装置は、大きく分けて、コイル状に巻かれた長尺基板２００６を送り出すための巻出装置２０１２、第一の電析膜を堆積または処理せしめる第一電析槽２０６６、第二の電析膜を堆積または処理せしめる第二電析槽２１１６、第一電析槽２０６６に加熱された電析浴を循環供給するための第一循環槽２１２０、第二電析槽２１１６に加熱された電析浴を循環供給するための第二循環槽２２２２、第一電析槽２０６６の電析浴を排するに際し一旦浴を貯めるための第一排液槽２１７２、第二電析槽２１１６の電析浴を排するに際し一旦浴を貯めるための第二排液槽２２７４、第一電析槽２０６６内の電析浴内の粉体を取り除き電析浴を清浄化するためのフィルター循環系（第一電析槽フィルター循環フィルター２１６１に繋がる配管系（図４に詳しく示す））、第二電析槽２１１６内の電析浴内の粉体を取り除き電析浴を清浄化するためのフィルター循環系（第二電析槽フィルター循環フィルター２２６３を用いる配管系（図５に詳しく示す））、第一電析槽２０６６と第二電析槽２１１６にそれぞれ浴攪拌用の圧搾空気を送る配管系（圧搾空気導入口２１８２から始まる配管系（図４，５，６に詳しく示す））、電析膜を堆積された長尺基板２００６を純水のシャワーで洗浄するための純水シャワー槽２３６０、第一の純水リンス洗浄を行うための第一温水槽２３６１、第二の純水リンス洗浄を行うための第二温水槽２３６２、これら温水槽２３６１，２３６２に必要な純水の温水を供給するための純水加熱槽２３３９、洗浄された長尺基板２００６を乾燥させるための乾燥部２３６３、膜堆積の完了した長尺基板２００６を再びコイル状に巻き上げるための巻取装置２２９６、電析浴や純水の加熱段階あるいは乾燥段階で発生する水蒸気の排気系（電析水洗系排気ダクト２０２０または乾燥系排気ダクト２３７０で構成される排気系（図４，５，７に詳しく示す））とからなっている。
【００３７】
なお、長尺基板２００６は、図２中左から右へ向かって、巻出装置２０１２、第一電析槽２０６６、第二電析槽２１１６、純水シャワー槽２３６０、第一温水槽２３６１、第二温水槽２３６２、乾燥部２３６３、巻取装置２２９６の順に流れてゆき、所定の電析膜が堆積される。
【００３８】
［巻出装置］
図３に示すように、巻出装置２０１２には、巻出装置長尺基板ボビン２００１に巻かれたコイル状の長尺基板２００６がセットされており、巻出装置繰出し調整ローラー２００３、巻出装置方向転換ローラー２００４、巻出装置排出ローラー２００５を順に経て長尺基板２００６を送出してゆく。
【００３９】
コイル状の長尺基板２００６には、殊に下引き層が予め堆積されている場合に、長尺基板２００６あるいは層保護のために、インターリーフ（合紙）が巻き込まれた形で供給されてくる。このため、巻出装置２０１２には、巻出装置インターリーフ巻取りボビン２００２が設けられている。したがって、長尺基板２００６にインターリーフが巻き込まれている場合には、長尺基板２００６の繰出しとともに巻出装置インターリーフ巻取りボビン２００２にインターリーフ２００７を巻き取る。長尺基板２００６の搬送方向は矢印２０１０で示されており、巻出装置長尺基板ボビン２００１の回転方向は矢印２００９で示されており、巻出装置インターリーフ巻取りボビン２００２の巻取り方向は矢印２００８で示されている。
【００４０】
巻出装置長尺基板ボビン２００１から排出される長尺基板２００６と、巻出装置インターリーフ巻取りボビン２００２に巻き上げられるインターリーフは、それぞれ搬送開始時の位置と搬送終了時の位置で干渉が起きないようになっている。また、巻出装置２０１２全体は、防塵のため、ヘパフィルターとダウンフローを用いた巻出し装置クリーンブース２０１１で覆われた構造となっている。
【００４１】
［第一電析槽］
図４に示すように、第一電析槽２０６６は、電析浴に対して腐食せずに電析浴を保温できる第一電析浴保持槽２０６５中に、温度制御された電析浴が第一電析浴浴面２０２５となるように保持されている。
【００４２】
この第一電析浴浴面２０２５の位置は、第一電析浴保持槽２０６５内に設けられた仕切板（図示せず）によるオーバーフローで実現されている。仕切板は、電析浴を第一電析浴保持槽２０６５全体で奥側に向かって落とすように設置されており、樋構造により第一電析槽オーバーフロー戻り口２０２４に集められて溢れた電析浴は、第一電析槽オーバーフロー戻り路２１１７を経て第一循環槽２１２０へ至り、ここで加熱されて、再び第一電析槽上流循環噴流管２０６３と第一電析槽下流循環噴流管２０６４とから第一電析浴保持槽２０６５に還流され、オーバーフローを促すに足るだけの電析浴の流入を形成する。
【００４３】
長尺基板２００６は、電析槽入口折返しローラー２０１３（図３に示す）、第一電析槽進入ローラー２０１４、第一電析槽退出ローラー２０１５、電析槽間折返しローラー２０１６を経て、第一電析槽２０６６内を通過する。第一電析槽進入ローラー２０１４と第一電析槽退出ローラー２０１５との間では、少なくも成膜面である長尺基板２００６の下側面（以下、「表面（おもてめん）」と記す）は、電析浴の中にあって、２８個のアノード２０２６〜２０５３と対向している。実際の電析は、長尺基板２００６に負の電位を与えるとともに、アノード２０２６〜２０５３に正の電位を与えて、電析浴中で両者の間に、電気化学反応を伴う電析電流を流すことによって行う。
【００４４】
第一電析槽２０６６におけるアノード２０２６〜２０５３は、七つのアノード載置台２０５４〜２０６０に、各４個ずつ載置されている。各アノード載置台２０５４〜２０６０は、絶縁板を介してそれぞれのアノード２０２６〜２０５３を置く構造となっており、独立の電源から独自の電位を印加されるようになっている。また、アノード載置台２０５４〜２０６０は、電析浴中で長尺基板２００６とアノード２０２６〜２０５３との間隔を保持する機能も担っている。このため、アノード載置台２０５４〜２０６０は、予め決められた間隔を保持するべく、高さ調整ができるように設計製作されていることが好ましい。
【００４５】
第一電析槽退出ローラー２０１５の直前には、第一電析槽裏面電極２０６１が設けられている。この第一電析槽裏面電極２０６１は、浴中で長尺基板２００６の成膜面と反対側の面（以下、「裏面（うらめん）」と記す）に堆積された膜を電気化学的に除去するためのもので、長尺基板２００６に対して第一電析槽裏面電極２０６１を負側の電位とすることで、これを実現する。第一電析槽裏面電極２０６１が実際に効力を持つことは、電界の回り込みによって長尺基板２００６の成膜面と反対側の裏面に電気化学的に付着する膜であって、長尺基板２００６の成膜面に形成されるものと同じ材質の膜が、目視下でみるみる除去されてゆくことで確認される。
【００４６】
第一電析槽退出ローラー２０１５を通過し電析浴から出た長尺基板２００６には、第一電析槽出口シャワー２０６７から電析浴がかけられて、成膜面が乾燥してムラを生じるのを防止している。また第一電析槽２０６６と第二電析槽２１１６との渡り部分に設けられた電析槽間カバー２０１９も、電析浴から発生する蒸気を閉じ込め、長尺基板２００６の成膜面が乾燥するのを防止している。さらに、第二電析槽入口シャワー２０８６も同様の働きをする。
【００４７】
［第一循環槽］
図４に示すように、第一循環槽２１２０は、第一電析槽２０６６中の電析浴の加熱保温ならびに噴流循環を担うものである。上述したように、第一電析槽２０６６でオーバーフローした電析浴は、第一電析槽オーバーフロー戻り口２０２４に集められ、第一電析槽オーバーフロー戻り路２１１７を通り、第一電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２１１８を経て、第一循環槽加熱貯槽２１２１へ至る。第一循環槽加熱貯槽２１２１内には、８本の第一循環槽ヒーター２１２２〜２１２９が設けられており、室温の電析浴を初期加熱する際や、循環によって浴温が低下する電析浴を再加熱して、電析浴を所定の温度に保持する際に機能する。
【００４８】
第一循環槽加熱貯槽２１２１には、二つの循環系が接続されている。すなわち、第一循環槽電析浴上流循環元バルブ２１３０、第一循環槽電析浴上流循環ポンプ２１３２、第一循環槽電析浴上流循環バルブ２１３５、第一循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ２１３６、第一循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管２１３７を経て、第一電析槽上流循環噴流管２０６３から第一電析浴保持槽２０６５へ戻る第一電析槽上流循環還流系と、第一循環槽電析浴下流循環元バルブ２１３９、第一循環槽電析浴下流循環ポンプ２１４２、第一循環槽電析浴下流循環バルブ２１４５、第一循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ２１４８、第一循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管２１４９を経て、第一電析槽下流循環噴流管２０６４から第一電析浴保持槽２０６５へ戻る第一電析槽下流循環還流系とである。
【００４９】
第一電析槽上流循環噴流管２０６３と第一電析槽下流循環噴流管２０６４とから第一電析槽２０６６に戻る電析浴は、第一電析浴保持槽２０６５内での電析浴の交換を効果ならしめるように、第一電析浴保持槽２０６５下部に設けられた第一電析槽上流循環噴流管２０６３と第一電析槽下流循環噴流管２０６４から、それぞれの噴流管に穿かれたオリフィスを経て噴流として還流される。
【００５０】
それぞれの循環還流系での還流量は、主に第一循環槽電析浴上流循環バルブ２１３５または第一循環槽電析浴下流循環バルブ２１４５の開閉度によって制御され、さらに細かい調節は、第一循環槽電析浴上流循環ポンプ２１３２または第一循環槽電析浴下流循環ポンプ２１４２の出口と入口を短絡して接続したバイパス系に設けられた第一循環槽電析浴上流循環ポンプバイパスバルブ２１３３または第一循環槽電析浴下流循環ポンプバイパスバルブ２１４１によって制御される。
【００５１】
バイパス系は、還流量を少なくした場合や、浴温が極めて沸点に近い場合に、ポンプ内でのキャビテーションを防止する役目も果たしている。すなわち、浴液が沸騰気化して液体を送り込めなくなるキャビテーションは、ポンプの寿命を著しく短くしてしまうため、バイパス系によりこれを防止しているのである。
【００５２】
第一電析槽上流循環噴流管２０６３と第一電析槽下流循環噴流管２０６４とにオリフィスを穿って噴流を形成する場合、還流量は、第一電析槽上流循環噴流管２０６３と第一電析槽下流循環噴流管２０６４へ戻す浴液の圧力によってほぼ定まる。これを知るために、第一循環槽電析浴上流循環圧力ゲージ２１３４と第一循環槽電析浴下流循環圧力ゲージ２１４３が設けられており、還流量のバランスは、これらの圧力ゲージ２１３４，２１４３により知ることができる。
【００５３】
オリフィスから吹き出す還流浴液量は、正確にはベルヌーイの定理に従うが、噴流管２９６３，２０６４に穿ったオリフィスが数ミリ以下の径の場合には、第一電析槽上流循環噴流管２０６３ないし第一電析槽下流循環噴流管２０６４全体にわたって噴流量を実質的に一定とすることができる。さらに、還流量が十分に大きい場合には、電析浴の交換が極めてスムーズに行われるので、第一電析槽２０６６がかなり長くとも、電析浴の濃度の均一化や温度の均一化を効果的に図ることができる。なお、第一電析槽オーバーフロー戻り路２１１７は、十分な還流量を流しうる太さを有している。
【００５４】
それぞれの循環還流系に設けられた第一循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ２１３６と第一循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ２１４８は、配管系の歪みを吸収するものであり、特に歪みに対して機械的強度が不足しがちなフランジ絶縁配管などを用いる場合には有効である。
【００５５】
それぞれの循環還流系に設けられた第一循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管２１３７と第一循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管２１４９は、第一電析槽オーバーフロー戻り路２１１７の途中に設けられた第一電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２１１８とともに第一循環槽２１２０と第一電析槽２０６６とを電気的に浮かせるものである。これは、不要な電流経路の形成を絶つことにより、迷走電流を防止して電析電流のほとんどを電気化学的な成膜反応に用いることができる、という本発明者等の知見に基づくものである。
【００５６】
一方の循環還流系には、直接第一循環槽加熱貯槽２１２１へ戻る第一循環槽電析浴バイパス循環フレキシブルパイプ２１４６及び第一循環槽電析浴バイパス循環バルブ２１４７からなるバイパス還流系が設けられている。このバイパス環流系は、第一電析槽２０６６に浴液を還流することなく電析浴の循環を行わしめたい場合、例えば室温から所定温度への昇温時などに用いるものである。
【００５７】
また、第一循環槽２０６６からの一方の循環還流系には、第一電析槽退出ローラー２０１５を通過し電析浴から出た長尺基板２００６に対して、電析浴をかけるための第一電析槽出口シャワー２０６７へ至る送液系が設けられている。この送液系は、第一電析槽出口シャワーバルブ２１５０を介して第一電析槽出口シャワー２０６７へ繋がっている。第一電析槽出口シャワー２０６７からの電析液噴霧量は、第一電析槽出口シャワーバルブ２１５０の開閉度を調節することによって調整される。
【００５８】
第一循環槽加熱貯槽２１２１には、蓋（図示せず）が設けられており、蒸気となって水分が失われゆくのを防止する構造となっている。浴温が高い場合には、蓋の温度も高くなるので、作業の安全面から、蓋の表面に断熱材を貼るなどの考慮が必要である。
【００５９】
第一電析槽電析浴中の粉体を除去するために、フィルター循環系が設けられている。第一電析槽２０６６に対するフィルター循環系は、第一電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイプ２１５１、第一電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２１５２、第一電析槽フィルター循環元バルブ２１５４、第一電析槽フィルター循環サクションフィルター２１５６、第一電析槽フィルター循環ポンプ２１５７、第一電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２１５８、第一電析槽フィルター循環圧力スイッチ２１５９、第一電析槽フィルター循環圧力ゲージ２１６０、第一電析槽フィルター循環フィルター２１６１、第一電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ２１６４、第一電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管２１６５、第一電析槽フィルター循環バルブ２１６６、第一電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバルブ２１６７、第一電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ２１６８、第一電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ２１６９、からなっている。
【００６０】
電析浴は、この経路を第一電析槽フィルター循環方向２１５５、同２１６２、同２１６３の方向に流れてゆく。除去されるべき粉体は、機外から飛び込むこともあるし、また電析反応に応じて、電極表面や浴中で形成されることもある。除去されるべき粉体の最小の大きさは、第一電析槽フィルター循環フィルター２１６１のフィルターサイズで定まる。
【００６１】
第一電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイプ２１５１ならびに第一電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ２１６４は、配管の歪みを吸収して、配管接続部からの液漏れを極小化するとともに、機械強度に劣る絶縁配管を保護し、ポンプを始めとする循環系の構成部品の配置自由度を上げるためのものである。
【００６２】
第一電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２１５２ならびに第一電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管２１６５は、大地アースからフロートとした第一電析浴保持槽２０６５が大地アースに落ちることを防止するため、電気的に浮かせることを目的としたものである。
【００６３】
第一電析槽フィルター循環サクションフィルター２１５６は、いわゆる「茶漉し」のような金網であり、大きなごみを取り除き、後に続く第一電析槽フィルター循環ポンプ２１５７や第一電析槽フィルター循環フィルター２１６１を保護するためのものである。
【００６４】
第一電析槽フィルター循環フィルター２１６１は、この循環系の主役であり、電析浴中に混入あるいは発生した粉体を除去するためのものである。
【００６５】
本循環系の電析浴の循環流量は、主に第一電析槽フィルター循環バルブ２１６６により微調整されるとともに、従として第一電析槽フィルター循環ポンプ２１５７に並列に設けられた第一電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２１５８により微調整される。これらのバルブ調整による循環流量を把握するために、第一電析槽フィルター循環圧力ゲージ２１６０が設けられている。また、第一電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２１５８は、流量の微調整の他、フィルター循環流量全体を絞った時に、キャビテーションが発生して第一電析槽フィルター循環ポンプ２１５７が破損することを防止している。
【００６６】
［第一排液槽］
図４，６に示すように、第一電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２１５２を経て、第一電析槽排水バルブ２１５３から第一排液槽２１７２へ電析浴を移送することができる。この移送は、電析浴交換、電析装置のメンテナンス、さらには緊急時に行われるものである。移送される排液としての電析浴は、重力落下にて第一排液槽排液貯槽２１４４へ落とされる。メンテナンスや緊急時の目的のためには、第一排液槽排液貯槽２１４４が、第一電析槽２０６６および第一循環槽２１２０の浴容量の合計を貯めるだけの容量をもつことが好ましい。第一排液槽排液貯槽２１４４には、第一排液槽排液貯槽上蓋２２７７が設置されているとともに、電析浴の重力落下移送を効果的ならしめるために、第一排液槽空気抜き２１７１及び第一排液槽空気抜きバルブ２１７０が設けられている。
【００６７】
図６に示すように、一旦、第一排液槽排液貯槽２１４４に落とされた電析浴は、温度が下がった後、第一排液槽排水バルブ２１７３より建物側の廃水処理施設に送られるか、あるいは第一排液槽排液回収バルブ２１７４、排液回収元バルブ２１７５、排液回収サクションフィルター２１７６と排液回収ポンプ２１７７を経てドラム缶（図示せず）に回収され、然るべき処分が行われる。回収や処分に先立って、第一排液槽排液貯槽２１４４内で、水による希釈や薬液による処理などを行ってもよい。
【００６８】
［攪拌空気導入手段］
図４に示すように、電析浴を攪拌し電析成膜を均一化ならしめるために、第一電析浴保持槽２０６５底部に設置された第一電析槽攪拌空気導入管２０６２に穿った複数のオリフィスから、空気バブルを噴出させるようになっている。
【００６９】
空気バブルとなる空気は、工場に供給される圧搾空気を圧搾空気導入口２１８２（図６に示す）から取り込み、電析浴攪拌用圧搾空気圧力スイッチ２１８３を経て、第一電析槽圧搾空気導入方向２１８４に示される方向で、順に第一電析槽圧搾空気元バルブ２１８５、第一電析槽圧搾空気流量計２１８６、第一電析槽圧搾空気レギュレーター２１８７、第一電析槽圧搾空気ミストセパレーター２１８８、第一電析槽圧搾空気導入バルブ２１８９、第一電析槽圧搾空気フレキシブルパイプ２１９０、第一電析槽圧搾空気絶縁配管２１９１、そして第一電析槽圧搾空気上流側制御バルブ２１９３または第一電析槽圧搾空気下流側制御バルブ２１９２を通り第一電析槽攪拌空気導入管２０６２へ至る。
【００７０】
電析槽間折返しローラー２０１６を経て第二電析槽２１１６に搬送された長尺基板２００６は、第二の電析膜を堆積または処理される。第二の電析膜は第一の電析膜と同一のものであるが、第一の電析膜と第二の電析膜とが一つの膜を形成することもあるし、また同じ材質ながら別の特性を付与された二層の積層であることもあるし（例えば、酸化亜鉛で粒径の異なる層の積層など）、同じ特性を持ちながら別の材質からなる二層の積層であることもあるし（例えば、透明導電膜として酸化インジウムと酸化亜鉛の積層など）、あるいは全く異なる二層の積層であることもある。
【００７１】
さらに、第一電析槽２０６６で低酸化物を堆積し、第二電析槽２１１６で酸化進行処理を行ったり、第一電析槽２０６６で低酸化物を堆積し、第二電析槽２１１６で食刻処理を行ったり、といった組み合わせが可能となる。
【００７２】
したがって、電析浴あるいは処理浴、浴温度、浴循環量、電流密度、攪拌量等の電析または処理条件は、それぞれの目的に合わせて選択される。例えば、電析または処理時間を第一電析槽２０６６と第二電析槽２１１６とで変える必要がある場合には、長尺基板２００６の通過時間を第一電析槽２０６６と第二電析槽２１１６とで変えればよい。そのためには、第一電析槽２０６６と第二電析槽２１１６とで槽の長さを変えたり、または長尺基板２００６の折り返しを行うことで調整する。
【００７３】
［第二電析槽］
図５に示すように、第二電析槽２１１６は、電析浴に対して腐食せずに電析浴を保温できる第二電析浴保持槽２１１５中に、温度制御された電析浴が第二電析浴浴面２０２５となるように保持されている。
【００７４】
この第二電析浴浴面２０２５の位置は、第二電析浴保持槽２１１５内に設けられた仕切板（図示せず）によるオーバーフローで実現されている。仕切板は、電析浴を第二電析浴保持槽２１１５全体で奥側に向かって落とすように設置されており、樋構造により第二電析槽オーバーフロー戻り口２０７５に集められて溢れた電析浴は、第二電析槽オーバーフロー戻り路２２１９を経て第二循環槽２２２２へ至り、ここで加熱されて、再び第二電析槽上流循環噴流管２１１３と第二電析槽下流循環噴流管２１１４とから第二電析浴保持槽２１１５へ還流され、オーバーフローを促すに足るだけの電析浴の流入を形成する。
【００７５】
長尺基板２００６は、電析槽間折返しローラー２０１６（図４に示す）、第二電析槽進入ローラー２０６９、第二電析槽退出ローラー２０７０、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９を経て、第二電析槽２１１６内を通過する。
【００７６】
第二電析槽進入ローラー２０６９と第二電析槽退出ローラー２０７０との間で、長尺基板２００６の表面は、電析浴の中にあって、２８個の第二電析槽アノード２０７６〜２１０３と対向している。実際の電析は、長尺基板２００６に負の電位を与えるとともに、アノードに正の電位を与えて、電析浴中で両者の間に、電気化学反応を伴う電析電流を流すことによって行う。
【００７７】
第二電析槽２１１６におけるアノード２０７６〜２１０３は、七つの第二電析槽アノード載置台２１０４〜２１１０に、各４個ずつ載置されている。アノード載置台２１０４〜２１１０は、絶縁板を介してそれぞれのアノード２０７６〜２１０３を置く構造となっており、独立の電源から独自の電位を印加されるようになっている。また、アノード載置台２１０４〜２１１０は、電析浴中で長尺基板２００６とアノード２０７６〜２１０３との間隔を保持する機能も担っている。このため、アノード載置台２１０４〜２１１０は、予め決められた間隔を保持するべく、高さ調整ができるように設計製作されていることが好ましい。
【００７８】
第二電析槽退出ローラー２０７０の直前に設けられた第二電析槽裏面電極２１１１は、電析浴中で長尺基板２００６の裏面に堆積された膜を電気化学的に除去するためのもので、長尺基板２００６に対して第二電析槽裏面電極２１１１を負側の電位とすることで、これを実現する。第二電析槽裏面電極２１１１が実際に効力を持つことは、電界の回り込みによって長尺基板２００６の成膜面と反対側の裏面に電気化学的に付着する膜であって、長尺基板２００６の成膜面に形成されるものと同じ材質の膜が、目視下でみるみる除去されてゆくことで確認される。
【００７９】
第二電析槽退出ローラー２０７０を通過し電析浴から出た長尺基板２００６には、第二電析槽出口シャワー２２９７から電析浴がかけられて、成膜面が乾燥してムラを生じるのを防止している。また、第二電析槽２１１６と純水シャワー槽２３６０との渡り部分に設けられた純水シャワー槽折返し進入ローラーカバー２３１８も、電析浴から発生する蒸気を閉じ込め、長尺基板２００６の成膜面が乾燥するのを防止している。さらに、純水シャワー槽入口表面純水シャワー２２９９や純水シャワー槽入口裏面純水シャワー２３００（図７に示す）も、電析浴を洗浄して落とすだけでなく、同様の働きをする。
【００８０】
［第二循環槽］
図５に示すように、第二循環槽２２２２は、第二電析槽２１１６中の電析浴の加熱保温ならびに噴流循環を担うものである。上述したように、第二電析槽２１１６でオーバーフローした電析浴は、第二電析槽オーバーフロー戻り口２０７５に集められ、第二電析槽オーバーフロー戻り路２２１９を通り、第二電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２２２０を経て、第二循環槽加熱貯槽２２２３へ至る。第二循環槽加熱貯槽２２２３内には、８本の第二循環槽ヒーター２２２４〜２２３１が設けられており、室温の電析浴を初期加熱する際や、循環によって浴温が低下する電析浴を再加熱して、電析浴を所定の温度に保持する際に機能する。
【００８１】
第二循環槽加熱貯槽２２２３には、二つの循環系が接続されている。すなわち、第二循環槽電析浴上流循環元バルブ２２３２、第二循環槽電析浴上流循環ポンプ２２３４、第二循環槽電析浴上流循環バルブ２２３７、第二循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ２２３８、第二循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管２２３９を経て、第二電析槽上流循環噴流管２１１３から第二電析浴保持槽２１１５に戻る第二電析槽上流循環還流系と、第二循環槽電析浴下流循環元バルブ２２４２、第二循環槽電析浴下流循環ポンプ２２４５、第二循環槽電析浴下流循環バルブ２２４７、第二循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ２２４８、第二循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管２２４９を経て、第二電析槽下流循環噴流管２１１４から第二電析浴保持槽２１１５に戻る第二電析槽下流循環還流系とである。
【００８２】
第二電析槽上流循環噴流管２１１３と第二電析槽下流循環噴流管２１１４とから第二電析槽２１１６に戻る電析浴は、第二電析浴保持槽２１１５内での電析浴の交換を効果ならしめるように、第二電析浴保持槽２１１５下部に設けられた第二電析槽上流循環噴流管２１１３と第二電析槽下流循環噴流管２１１４から、それぞれの噴流管に穿かれたオリフィスを経て噴流として還流される。
【００８３】
それぞれの循環還流系での還流量は、主に第二循環槽電析浴上流循環バルブ２２３７または第二循環槽電析浴下流循環バルブ２２４７の開閉度によって制御され、さらに細かい調節は、第二循環槽電析浴上流循環ポンプ２２３４または第二循環槽電析浴下流循環ポンプ２２４５の出口と入口を短絡して接続したバイパス系に設けられた第二循環槽電析浴上流循環ポンプバイパスバルブ２２３５または第二循環槽電析浴下流循環ポンプバイパスバルブ２２４４によって制御される。
【００８４】
バイパス系は、還流量を少なくした場合や、浴温が極めて沸点に近い時に、ポンプ内でのキャビテーションを防止する役目も果たしている。第一電析槽２０６６の説明でも述べたが、浴液が沸騰気化して液体を送り込めなくなるキャビテーションは、ポンプの寿命を著しく短くしてしまうため、バイパス系によりこれを防止しているのである。
【００８５】
第二電析槽上流循環噴流管２１１３と第二電析槽下流循環噴流管２１１４とにオリフィスを穿って噴流を形成する場合、還流量は第二電析槽上流循環噴流管２１１３と第二電析槽下流循環噴流管２１１４へ戻す浴液の圧力によってほぼ定まる。これを知るために、第二循環槽電析浴上流循環圧力ゲージ２２３６と第二循環槽電析浴下流循環圧力ゲージ２２４６が設けられており、還流量のバランスはこれらの圧力ゲージ２２３６，２２４６により知ることができる。
【００８６】
オリフィスから吹き出す還流浴液量は、正確にはベルヌーイの定理に従うが、噴流管２１１３，２１１４に穿ったオリフィスが数ミリ以下の径の時には、第二電析槽上流循環噴流管２１１３ないし第二電析槽下流循環噴流管２１１４全体にわたって噴流量を実質的に一定とすることができる。さらに、還流量が十分に大きい場合には、電析浴の交換が極めてスムーズに行われるので、第二電析槽２１１６がかなり長くとも、電析浴の濃度の均一化や温度の均一化を効果的に図ることができる。なお、第二電析槽オーバーフロー戻り路２２１９は、十分な還流量を流しうる太さを有している。
【００８７】
それぞれの循環還流系に設けられた第二循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ２２３８と第二循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ２２４８は、配管系の歪みを吸収するものであり、特に歪みに対して機械的強度が不足しがちなフランジ絶縁配管などを用いる場合には有効である。
【００８８】
それぞれの循環還流系に設けられた第二循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管２２３９と第二循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管２２４９は、第二電析槽オーバーフロー戻り路２２１９の途中に設けられた第二電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２２２０とともに第二循環槽２２２２と第二電析槽２１１６とを電気的に浮かせるものである。これは、不要な電流経路の形成を絶つことにより、迷走電流を防止して電析電流のほとんどを電気化学的な成膜反応に用いることができる、という本発明者等の知見に基づくものである。
【００８９】
一方の循環還流系には、直接第二循環槽加熱貯槽２２２３へ戻る第二循環槽電析浴バイパス循環フレキシブルパイプ２２５０及び第二循環槽電析浴バイパス循環バルブ２２５１からなるバイパス還流系が設けられている。このバイパス環流系は、第二電析槽２１１６に浴液を還流することなく電析浴の循環を行わしめたい場合、例えば室温から所定温度への昇温時などに用いるものである。
【００９０】
また、第二循環槽２１６６からの両循環還流系には、第二電析槽進入ローラー２０６９に至る直前に長尺基板２００６に電析浴をかけるための第二電析槽入口シャワー２０６８へ至る送液系と、第二電析槽退出ローラー２０７０を通過し電析浴から出た長尺基板２００６に電析浴をかけるための第二電析槽出口シャワー２２９７へ至る二つの送液系が設けられている。前者の送液系は、第二電析槽入口シャワーバルブ２２４１を介して第二電析槽入口シャワー２０６８へ繋がっており、後者の送液系は、第二電析槽出口シャワーバルブ２２５２を介して第二電析槽出口シャワー２２９７へ繋がっている。
【００９１】
第二電析槽入口シャワー２０６８からの電析液噴霧量は、第二電析槽入口シャワーバルブ２２４１の開閉度を調節することによって、また、第二電析槽出口シャワー２２９７からの電析液噴霧量は、第二電析槽出口シャワーバルブ２２５２の開閉度を調節することによって調整される。
【００９２】
第二循環槽加熱貯槽２２２３は、蓋（図示せず）が設けられており、蒸気となって水分が失われゆくのを防止する構造となっている。浴温が高い場合には、蓋の温度も高くなるので、作業の安全面から、蓋の表面に断熱材を貼るなどの考慮が必要である。
【００９３】
第二電析槽電析浴中の粉体を除去するために、フィルター循環系が設けられている。第二電析槽２１１６に対するフィルター循環系は、第二電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイプ２２５３、第二電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２２５４、第二電析槽フィルター循環元バルブ２２５６、第二電析槽フィルター循環サクションフィルター２２５８、第二電析槽フィルター循環ポンプ２２６０、第二電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２２５９、第二電析槽フィルター循環圧力スイッチ２２６１、第二電析槽フィルター循環圧力ゲージ２２６２、第二電析槽フィルター循環フィルター２２６３、第二電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ２２６６、第二電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管２２６７、第二電析槽フィルター循環バルブ２２６８、第二電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバルブ２２６９、第二電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ２２７０、第二電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ２２７１からなっている。
【００９４】
電析浴は、この経路を第二電析槽フィルター循環方向２２５７、同２２６４、同２２６５の方向に流れてゆく。除去されるべき粉体は、機外から飛び込むこともあるし、また電析反応に応じて、電極表面や浴中で形成されることもある。除去されるべき粉体の最小の大きさは、第二電析槽フィルター循環フィルター２２６３のフィルターサイズで定まる。
【００９５】
第二電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイプ２２５３ならびに第二電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ２２６６は、配管の歪みを吸収して、配管接続部からの液漏れを極小化するとともに、機械強度に劣る絶縁配管を保護し、ポンプを始めとする循環系の構成部品の配置自由度を上げるためのものである。
【００９６】
第二電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２２５４ならびに第二電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管２２６７は、大地アースからフロートとした第二電析浴保持槽２１１５が大地アースに落ちることを防止するため、電気的に浮かせることを目的としたものである。
【００９７】
第二電析槽フィルター循環サクションフィルター２２５８は、いわゆる「茶漉し」のような金網であり、大きなごみを取り除き、後に続く第二電析槽フィルター循環ポンプ２２６０や第二電析槽フィルター循環フィルター２２６３を保護するためのものである。
【００９８】
第二電析槽フィルター循環フィルター２２６３は、この循環系の主役であり、電析浴中に混入あるいは発生した粉体を除去するためのものである。
【００９９】
本循環系の電析浴の循環流量は、主に第二電析槽フィルター循環バルブ２２６８により微調整されるとともに、従として第二電析槽フィルター循環ポンプ２２６０に並列に設けられた第二電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２２５９により微調整される。これらのバルブ調整による循環流量を把握するために、第二電析槽フィルター循環圧力ゲージ２２６２が設けられている。また、第二電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ２２５９は、流量の微調整の他、フィルター循環流量全体を絞った時に、キャビテーションが発生して第二電析槽フィルター循環ポンプ２２６０が破損するのを防止している。
【０１００】
［第二排液槽］
図５，６に示すように、第二電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管２２５４を経て、第二電析槽排水バルブ２２５５から第二排液槽２２７４へ電析浴を移送することができる。この移送は、電析浴交換、電析装置のメンテナンス、さらには緊急時に行われるものである。移送される排液としての電析浴は、重力落下により第二排液槽排液貯槽２２７３に落とされる。メンテナンスや緊急時の目的のためには、第二排液槽排液貯槽２２７３が、第二電析槽２１１６および第二循環槽２２２２の浴容量の合計を貯めるだけの容量をもつことが好ましい。第二排液槽排液貯槽２２７３には、第二排液槽排液貯槽上蓋２２７８が設置されているとともに、電析浴の重力落下移送を効果的ならしめるために、第二排液槽空気抜き２２７６及び第二排液槽空気抜きバルブ２２７５が設けられている。
【０１０１】
図６に示すように、一旦、第二排液槽排液貯槽２２７３に落とされた電析浴は、温度が下がった後、第二排液槽排水バルブ２１８０より建物側の廃水処理施設に送られるか、あるいは第二排液槽排液回収バルブ２１８１、排液回収元バルブ２１７５、排液回収サクションフィルター２１７６と排液回収ポンプ２１７７を経てドラム缶（図示せず）に回収され、然るべき処分が行われる。回収や処分に先立って、第二排液槽排液貯槽２２７３内で、水による希釈や薬液による処理などを行ってもよい。
【０１０２】
［攪拌空気導入手段］
図５に示すように、電析浴を攪拌し電析成膜を均一化ならしめるために、第二電析浴保持槽２１１５底部に設置された第二電析槽攪拌空気導入管２１１２に穿った複数のオリフィスから空気バブルを噴出させるようになっている。
【０１０３】
空気バブルとなる空気は、工場に供給される圧搾空気を圧搾空気導入口２１８２（図６に示す）から取り込み、電析浴攪拌用圧搾空気圧力スイッチ２１８３を経て、第二電析槽圧搾空気導入方向２１９４に示される方向で、順に第二電析槽圧搾空気元バルブ２１９５、第二電析槽圧搾空気流量計２１９６、第二電析槽圧搾空気レギュレーター２１９７、第二電析槽圧搾空気ミストセパレーター２１９８、第二電析槽圧搾空気導入バルブ２１９９、第二電析槽圧搾空気フレキシブルパイプ２２２０、第二電析槽圧搾空気絶縁配管２２０１、そして第二電析槽圧搾空気上流側制御バルブ２２０２または第二電析槽圧搾空気下流側制御バルブ２２７２を通り第二電析槽攪拌空気導入管２１１２へ至る。
【０１０４】
［予備導入系］
図４，５，６に示すように、第一電析槽２０６６や第二電析槽２１１６には、予備の液体または気体が導入できるように、予備導入系が設置されている。電析槽予備導入口２２１３からの液体または気体は、電析槽予備導入バルブ２２１４を介して、第一電析槽予備導入バルブ２２１５、第一電析槽予備導入絶縁配管２２１６を経て第一電析槽２０６６へ送られる。同様に、電析槽予備導入口２２１３からの液体または気体は、電析槽予備導入バルブ２２１４を介して、第二電析槽予備導入バルブ２２１７、第二電析槽予備導入絶縁配管２２１８を経て第二電析槽２１１６へ送られる。
【０１０５】
予備導入系で最も可能性の高いものは、電析浴の能力を長時間一定に保つための保持剤や補充薬であるが、場合によっては、電析浴に溶かす気体であったり、また粉体を除去する酸であったりする。
【０１０６】
［洗浄］
図７に示すように、洗浄は、純水シャワー槽２３６０、第一温水槽２３６１、第二温水槽２３６２の３段で行われる。この洗浄では、第二温水槽２３６２に加温された純水が供給され、その排液が第一温水槽２３６１で用いられ、さらにその排液が純水シャワー槽２３６０で用いられる構成となっている。このことにより、長尺基板２００６は、電析槽での電析を終了した後、次第に純度の高い水で洗われてゆく。
【０１０７】
第二温水槽２３６２は、最も高純度の純水を用いる。この純水は、長尺基板２００６が退出してゆく直前の第二温水槽出口裏面純水シャワー２３０９、第二温水槽出口表面純水シャワー２３１０へ供給される。
【０１０８】
図８に示すように、供給すべき純水は、水洗系純水口２３３７から水洗系純水供給元バルブ２３３８を経て一旦純水加熱槽２３３９に貯められ、純水加熱槽純水加熱ヒーター２３４０〜２３４３で所定の温度に暖められ、純水加熱槽純水送出バルブ２３４４、純水加熱槽純水送出ポンプ２３４６、純水加熱槽圧力スイッチ２３４７、純水加熱槽カートリッジ式フィルター２３４９、純水加熱槽流量計２３５０を通り、一方は第二温水槽出口裏面シャワーバルブ２３５１から第二温水槽出口裏面純水シャワー２３０９（図７に示す）へ至り、他方は第二温水槽出口表面シャワーバルブ２３５２から第二温水槽出口表面純水シャワー２３１０（図７に示す）へ至る。なお、純水を加温するのは、洗浄効果を向上させるためである。
【０１０９】
図７に示すように、シャワー２３０９，２３１０ヘ供給されて第二温水槽温水保持槽２３１７へ溜まった純水は、純水リンス浴を形成する。ここで、長尺基板２００６は静水での洗浄が行われる。また、純水の温度が下がらないようにするため、第二温水槽２３６１には、第二温水槽温水保温ヒーター２３０７が設けられている。
【０１１０】
第一温水槽２３６１へは、第二温水槽温水保持槽２３１７から溢れた純水が、第二温水槽２３６２に設けられた温水槽間連結管２２３２を介して、第一温水槽温水保持槽２３６２へ供給される。第一温水槽温水保持槽２３６２には、第二温水槽２３１７と同様に、第一温水槽温水保温ヒーター２３０４が設置されており、純水の温度を保持するようになっている。さらに、第一温水槽２３６１には、超音波源２３０６が設置されており、積極的に長尺基板２００６表面の汚れを、第一温水槽ローラー２２８２と第二温水槽折返し進入ローラー２２８３の間で除去するようになっている。
【０１１１】
図８に示すように、第一温水槽温水保持槽２３１６からの純水は、純水シャワー槽純水シャワー供給元バルブ２３２３に続いて、純水シャワー槽純水シャワー供給ポンプ２３２５、純水シャワー槽純水シャワー供給圧力スイッチ２３２６、純水シャワー槽純水シャワー供給カートリッジ式フィルター２３２８、純水シャワー槽純水シャワー供給流量計２３２９を経て、純水シャワー槽入口表面純水シャワーバルブ２３３０から純水シャワー槽入口表面純水シャワー２２９９（図７に示す）へ送られるとともに、純水シャワー槽入口裏面純水シャワーバルブ２３３１から純水シャワー槽入口裏面純水シャワー２３００（図７に示す）へ送られる。
【０１１２】
また、この純水は、純水シャワー槽出口裏面純水シャワーバルブ２３３２から純水シャワー槽出口裏面純水シャワー２３０２（図７に示す）へ送られるとともに、純水シャワー槽出口表面純水シャワーバルブ２３３３から純水シャワー槽出口表面純水シャワー２３０３（図７に示す）へ送られる。
【０１１３】
そして、図７に示すように、純水シャワー槽２３６０の入口と出口で、それぞれ長尺基板２００６の表面と裏面に洗浄用シャワー流がかけられる。
【０１１４】
シャワー後の水は、純水シャワー槽受け槽２３１５で受けられ、そのまま第一温水槽温水保持槽２３１６と第二温水槽温水保持槽２３１７の一部と合流して水洗系排水２３３６に捨てられる。通常は、洗浄済みの水にはイオンその他が含まれているため、所定の処理を必要とする。
【０１１５】
洗浄のための純水シャワー槽２３６０、第一温水槽２３６１、第二温水槽２３６２では、長尺基板２００６は、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９、純水シャワー槽ローラー２２８０、第一温水槽折返し進入ローラー２２８１、第一温水槽ローラー２２８２、第二温水槽折返し進入ローラー２２８３、第二温水槽ローラー２２８４、乾燥折返しローラー２２８５へ送られてゆく。また、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９の直後には、純水シャワー槽裏面ブラシ２２９８が設けられており、長尺基板２００６の裏面に付着する比較的大きな粉や付着力の弱い生成物を取り除けるようになっている。
【０１１６】
乾燥部２３６３に至った長尺基板２００６は、まず乾燥部入口で乾燥部入口裏面エアーナイフ２３１１、乾燥部入口表面エアーナイフ２３１２による水切りが行われる。エアーナイフヘの空気の導入は、図８に示すように、乾燥系圧搾空気導入口２３５３、乾燥系圧搾空気圧力スイッチ２３５４、乾燥系圧搾空気フィルターレギュレーター２３５５、乾燥系圧搾空気ミストセパレーター２３５６、乾燥系圧搾空気供給バルブ２３５７を経て、乾燥部入口裏面エアーナイフバルブ２３５８または乾燥部入口表面エアーナイフバルブ２３５９という経路でなされる。
【０１１７】
乾燥部２３６３に供給される空気は、特に水滴等を含むと不都合なので、乾燥系圧搾空気ミストセパレーター２３５６の役割は重要である。すなわち、乾燥部２３６３に供給される空気は、乾燥系圧搾空気ミストセパレーター２３５６により水滴等が除去される。
【０１１８】
図７に示すように、長尺基板２００６は、続いて乾燥折返しローラー２２８５から巻取装置進入ローラー２２８６に搬送される過程で、並列して設けたＩＲランプ２３１３の輻射熱によって乾燥が行われる。ＩＲランプ２３１３の輻射熱が十分であれば、電析膜を成膜後、長尺基板２００６をＣＶＤ装置などの真空装置に投入しても不都合は生じない。長尺基板２００６の乾燥時には、水切りによる霧の発生と、ＩＲランプ輻射による水蒸気の発生があるため、排気ダクトに繋がる乾燥部排気口２３１４は不可欠である。
【０１１９】
図９に示すように、乾燥系排気ダクト２３７０に集められた水蒸気は、乾燥系凝縮器２３７１でそのほとんどが水に戻り、乾燥系凝縮器排水ドレイン２３７３へ捨てられ、一部は乾燥系排気２３７４へ捨てられてゆく。なお、水蒸気に有害気体を含む場合には、排気は所定の処理を行うべきである。
【０１２０】
［巻取装置］
図７に示すように、巻取装置２２９６には、巻取装置進入ローラー２２８６、巻取装置方向転換ローラー２２８７、巻取り調整ローラー２２８８が設けられており、この順で長尺基板２００６を長尺基板巻上げボビン２２８９にコイル状に巻取ってゆく。また、巻取装置２２９６には、インターリーフ繰り出しボビン２２９０が設けられており、堆積した層保護が必要な場合には、インターリーフ繰出しボビン２２９０からインターリーフを繰出し、長尺基板２００６に巻き込ませる。
【０１２１】
長尺基板２００６の搬送方向は、矢印２２９２で示されており、長尺基板巻上げボビン２２８９の回転方向は矢印２２９３で示されており、インターリーフ繰出しボビン２２９０の巻取り方向は矢印２２９４で示されている。図７中、長尺基板巻上げボビン２２８９へ巻き上げられる長尺基板２００６と、インターリーフ繰出しボビン２２９０から繰り出されるインターリーフは、それぞれ搬送開始時の位置と搬送終了時の位置で干渉が起きないようになっている。また、巻取装置２２９６の全体は、防塵のために、ヘパフィルターとダウンフローを用いた巻取装置クリーンブース２２９５で覆われた構造となっている。
【０１２２】
巻取装置２２９６に設けた巻取装置方向転換ローラー２２８７には、長尺基板２００６の蛇行を修正する機能が付与されている。すなわち、巻取装置方向転換ローラー２２８７と巻取り調整ローラー２２８８との間に設置された蛇行検知器（図示せず）からの信号に基づいて、油圧のサーボで巻取装置方向転換ローラー２２８７を巻取装置進入ローラー２２８６側にセットされた軸を中心として振ってやることで、蛇行の修正が可能となる。
【０１２３】
巻取装置方向転換ローラー２２８７の制御は、図７中、近似的に手前側あるいは奥側へのローラーの移動であり、その移動の向きは、蛇行検出器からの長尺基板蛇行検出方向と逆である。また、サーボのゲインは、長尺基板２００６の搬送速度によるが、一般に大きなものを必要としない。数百メートルの長さの長尺基板２００６を巻き上げても、その端面はサブミリの精度で揃えられる。
【０１２４】
［排気ダクト］
電析浴や温水を室温より高い温度で使うと、必然的に水蒸気が発生する。特に８０℃を越える温度の場合には、水蒸気の発生はかなりのものとなる。槽の浴面から発生する水蒸気は、槽の浴面上に溜まり、電析装置の隙間から勢いよく吹き出したり、蓋の開閉時に大量の放出を見たり、また電析装置の隙間から水滴となって流れ落ちたりして、電析装置の操作環境を悪化させる。このため、電析水洗系排気ダクト２０２０を介して強制的に吸引排気させるのが好ましい。
【０１２５】
図４に示すように、第一電析槽２０６６の第一電析槽上流排気口２０２１、第一電析槽中流排気口２０２２、第一電析槽下流排気口２０２３には、電析水洗系排気ダクト２０２０が連通接続されている。
【０１２６】
また、図５に示すように、第二電析槽２１１６の第二電析槽上流排気口２０７１、第二電析槽中流排気口２０７２、第二電析槽下流排気口２０７３には、電析水洗系排気ダクト２０２０が連通接続されている。
【０１２７】
さらに、図９に示すように、純水シャワー槽２３６０の純水シャワー槽排気口２３０１、第一温水槽２３６１の第一温水槽排気口２３０５、第二温水槽２３６２の第二温水槽排気口２３０８には、電析水洗系排気ダクト２０２０が連通接続されている。
【０１２８】
図９に示すように、電析水洗系排気ダクト２０２０に集められた水蒸気は、絶縁フランジ２３６５を通り、電析水洗系排気ダクト凝縮器２３６６でそのほとんどが水に戻り、電析水洗系排気ダクト凝縮器排水ドレイン２３６８へ捨てられ、一部は電析水洗系排気２３６９へ捨てられてゆく。なお、水蒸気に有害気体を含む場合には、排気は所定の処理を行うべきである。
【０１２９】
また、本実施形態に係る電析装置では、排気ダクト２０２０をステンレスで構成したので、第一電析槽２０６６の第一電析浴保持槽２０６５及び第二電析槽２１１６の第二電析浴保持槽２１１５を大地アースからフロート電位とするために、電析水洗系排気ダクト基幹絶縁フランジ２３６５と電析水洗系排気ダクト水洗側絶縁フランジ２３６４を設け、電気的に切り離した。
【０１３０】
［基板］
本実施形態に係る電析装置で用いられる基板材料は、膜成膜面に電気的な導通がとれ、電析浴に侵されないものならどのような材料であってもよく、例えばＳＵＳ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｆｅ、などの金属が用いられる。また、金属コーティングを施したＰＥＴフィルムなども利用可能である。これらの中で、素子化プロセスを後工程で行うには、ＳＵＳが長尺基板２００６として優れている。
【０１３１】
ＳＵＳは、非磁性ＳＵＳ、磁性ＳＵＳのいずれも適用することができる。代表的な非磁性ＳＵＳはＳＵＳ３０４であり、研磨性に優れていて０．１ｓ程度の鏡面とすることも可能である。代表的な磁性ＳＵＳはフェライト系のＳＵＳ４３０であり、磁力を利用した搬送において有効に利用される。
【０１３２】
基板表面は、平滑であってもよいし、粗面でもあってもよい。ＳＵＳの表面性は、その圧延プロセスにおいて圧延ローラーの種類を変えたりすることにより変更することができる。例えば、ＢＡと称するＳＵＳは鏡面に近く、２Ｄと称するＳＵＳは凹凸が顕著である。いずれの面においても、ＳＥＭ（電子顕微鏡）下での観察では、ミクロン単位の快れなどが目立つことがある。太陽電池基板としては、大きなうねり状の凹凸よりも、ミクロン単位の構造の方が、太陽電池の特性に対して良い方向にも悪い方向にも大きく反映する。
【０１３３】
さらに、これら基板は別の導電性材料が成膜されていてもよく、電析の目的に応じて選択される。場合によっては、酸化亜鉛のごく薄層を予め他の方法で形成しておくことが、電析法での堆積速度を安定的に向上することができて好ましい。確かに、電析法はコストが安く済むのがメリットであるが、多少高価な方法を付加的に採用しても、総合的にコストダウンが可能ならば、２方式の併用は有利である。
【０１３４】
［インターリーフ］
堆積された膜を保護するインターリーフとしては、ノーメックスを代表とする不織布や、ＰＥＴを代表とする樹脂フィルム等を利用することができる。ＰＥＴなどの樹脂フィルムは、さらに柔らかいＣｕやＡｌの金属を薄くコートしたものを利用することも可能である。もちろん、樹脂のフィルムは、あまり高温だと溶けたり融着を起こしたりするので、予め長尺基板２００６が十分な温度にまで冷えていることを確認する必要がある。インターリーフは、結局のところ捨ててしまうことになるので、低価格化技術の点から、高価な材料はできるだけ避けることが好ましい。
【０１３５】
［テンション］
長尺基板２００６を巻出装置長尺基板ボビン２００１と長尺基板巻上げボビン２２８９との間に張る張力は、長尺基板２００６の幅ｌｃｍあたり０．０５〜５０ｋｇとする。テンションが弱すぎると、長尺基板２００６が不用意に垂れ下がったり、所定の搬送パスから外れたり、ローラーからずれて端部を擦ったり、あるいは蛇行修正の制御性を著しく悪化させる。反対に、テンションが強すぎると、長尺基板２００６自体が伸びたり、あるいは搬送に片寄りがある場合には、幅方向の端部だけ伸びていわゆる「ワカメ」状になって、装置全体を歪ませることがある。
【０１３６】
テンションは、長尺基板巻上げボビン２２８９を巻き上げる力と、巻出装置長尺基板ボビン２００１の軸に取り付けられたクラッチ（パウダークラッチなどが利用される）との滑りから、発生させることができる。この場合、テンションの大きさにかかわらず搬送経路がほとんど変わらないとともに、中間のローラーをすべて従動ローラーとすることができるので、ローラーを始めとする搬送構成部品配置の設計自由度は極めて高くなる。一方、非搬送時にはテンションが発生しないので、長尺基板２００６が静止時に垂れ下がるのを防止するために、別のロック手段が必要となる。
【０１３７】
テンションは、その軸を移動できるテンションローラーの類を用いることでも発生させることができる。この場合、テンションの制御やモニターは容易であるが、テンションローラーの位置が変化するため、そのストロークをとるための設計が必要であり、またローラーの平行度がずれて蛇行が発生しやすい。
【０１３８】
さらにまた、テンションは、中間のローラーを、長尺基板２００６と摩擦が起こる方向に積極的に動かすことによっても発生させることができる。この方法では、搬送経路は変わらず、また、静止中でもテンションが働くという利点がある。一方、動摩擦と静止摩擦が大きく異なるような材料では、設計は面倒である。
【０１３９】
テンションは、当然のことながら、水平に接触するローラーよりも、その周を大きく覆う形で搬送されるローラーに対して、その効果をもたらす。その効果を期待するものとしては、巻取りローラーはもちろん、給電ローラーや蛇行修正ローラーが挙げられる。
【０１４０】
［搬送速度］
長尺基板２００６の搬送速度は、専ら、必要な電析膜の膜厚と、その成膜速度との兼ね合いから決定される。実際には、第一電析槽２０６６と第二電析槽２１１６に合計５６個のアノードがあり、それぞれの膜堆積速度の総和で、長尺基板２００６の搬送速度が決められる。
【０１４１】
本実施形態に係る電析装置では、長尺基板２００６の搬送速度を、０．５ｍ／ｍｉｎ〜５ｍ／ｍｉｎの範囲で設計した。また、実験において、最低の設計速度であっても、最高の設計速度であっても、５００ｍ以上の長尺基板２００６に対して、８５℃の昇温状態で良好なる搬送のもと、酸化亜鉛の堆積が可能であることを実証した。
【０１４２】
［規制部材］
規制部材は、図１に示すように、電析槽において、長尺基板１０００の進入側および退出側にそれぞれ設けられた電析槽進入ローラー１００１と電析槽退出ローラー１００２との間に設置されており、長尺基板１０００の上下動を抑制する働きを担っている。
【０１４３】
図１（ａ）に示す第一の実施形態では、２個の規制部材１００３，１００４が設置されており、図１（ｂ）に示す第二の実施形態では、５個の規制部材１００３，１００５，１００６，１００７，１００４が設置されている。
【０１４４】
なお、電析槽進入ローラー１００１および電析槽退出ローラー１００２と、各規制部材間の距離は、例えば、図１（ａ）、（ｂ）にそれぞれ示すようになっている。すなわち、図１（ａ）に示す第一の実施形態では、電析槽進入ローラーと規制部材１００３の距離が４００ｍｍ、規制部材１００３，１００４間の距離が、４，５００ｍｍ、規制部材１００４と電析槽退出ローラー１００２の距離が４００ｍｍとなっている。また、図１（ｂ）に示す第二の実施形態では、電析槽進入ローラーと規制部材１００３の距離が４００ｍｍ、規制部材１００３，１００５間の距離と、規制部材１００７，１００４間の距離がそれぞれ７５０ｍｍ、規制部材１００５，１００６間と、規制部材１００６，１００７間の距離がそれぞれ１，５００ｍｍ、規制部材１００４と電析槽退出ローラー１００２の距離が４００ｍｍとなっている。これらの距離は、電析槽の長さ等に応じて、適宜変更して実施することができる。
【０１４５】
また、図１に示す電析槽進入ローラー１００１および電析槽退出ローラー１００２は、図２以下において、それぞれ第一電析槽進入ローラー２０１４および第一電析槽退出ローラー２０１５に相当するとともに、第二電析槽進入ローラー２０６９および第二電析槽退出ローラー２０７０に相当するものである。
【０１４６】
また、図１に示す長尺基板１０００は、図２以下において示す長尺基板２００６に相当するものである。
【０１４７】
規制部材は、例えば、ローラー、ブレード、ロッド等により構成することができ、長尺基板１０００が搬送中に上下動することを抑制する。また、この規制部材は、長尺基板１０００の傾きを抑えたり、不必要な電流迷走経路を形成させない等の機能を満たすべきである。特に、長尺基板１０００の表面に与える損傷が少ないという点からすると、ローラーにより規制部材を構成することが好ましい。
【０１４８】
本発明に係る電析装置に適用可能なローラーの構成としては、突っ張りポールの様なものを軸にしてパイプが回転するローラーや、樹脂で円筒を形成し、金属製の棒を軸にしたローラーや、回転する円筒部分がスポンジのローラー等が考えられる。なお、ローラーの表面の摩擦が十分少ない場合には、ローラー自身が回転する必要はない。また、ローラー自身は、自らの駆動により回転するものであってもよく、従動して回転するものであってもよい。要するに、規制部材に要求される機能としては、長尺基板１０００を上部あるいは下部から支えて、長尺基板１０００の上下動を抑制することが重要である。
【０１４９】
規制部材を電気的に浮かせるために、規制部材をナイロンやポリエチレンなどの誘電体で形成してもよいし、また、金属表面を誘電体でコーティングしてもよい。さらに、規制部材の設置部に樹脂を挟み込んで絶縁をとることもできる。規制部材に使用する誘電体は、耐熱、耐薬品性等の点で有利であるフッ素樹脂であることが好ましい。
【０１５０】
先に述べたように、規制部材は、搬送中の長尺基板１０００の上下動を抑制するという機能を有している。すなわち、規制部材を設置しない場合には、アノードと長尺基板１０００間の距離が、長尺基板１０００の上下動により不規則に変化することがあり、成膜を行った際に、膜厚ムラの原因となったり、蛇行の原因となってしまう。
【０１５１】
そこで、規制部材を用いて、長尺基板１０００を上部あるいは下部から押さえるように支持することにより、成膜中の噴流や撹拌空気による長尺基板１０００の上下動を抑えることができる。
【０１５２】
ところで、堆積する膜の性質上、規制部材が成膜面に接することが好ましくない場合には、長尺基板１０００を上部から支えることが好ましい。一方、長尺基板１０００のセッテッングを容易にするという点では、長尺基板１０００を下部から支えることが好ましい。
【０１５３】
また、規制部材を設置することにより、撹拌空気が長尺基板１０００のテンションの弱い側に片寄って流れた場合であっても、その影響により、長尺基板１０００が電析槽内を傾いた状態で搬送されることを防止することができる。
【０１５４】
［ローラー］
本実施形態に係る電析装置に用いられるローラーは、上述した規制部材のローラーとは異なり、長尺基板２００６の搬送経路を定めることの他に、長尺基板２００６に必要な電位を印加することと、不必要な電流迷走経路を形成しない等の機能を満たすべきである。
【０１５５】
搬送の経路を定めることは特に重要で、初期に平行度がしっかりと出ていることはもちろん、電析浴の温度が高温（例えば９０℃）に上がって、大きな浴槽が熱膨張を起こしても、位置の変位が最小に抑えられているべきである。実際には、サブミリのガタは許容できるが、平行度に関しては１００分台の精度が昇温時に確保されていることが好ましい。平行度のずれ、ねじれは、特に電析槽内での長尺基板２００６の片寄りを生じてしまい、この場合には、非常にしばしば端部擦れを起こすとともに、いわゆる「ワカメ」が発生してしまう。
【０１５６】
長尺基板２００６のコシがある場合には、平行ローラーを用いて、特に表面加工を考慮する必要はないが、Ａｌホイルなどの様に軟らかな基板の場合には、ローラーをクラウンと呼ぶ太鼓型に膨らませたり、水切り用の溝を設けることが好ましい。また、その場合には、ローラーを従動にするだけのテンションがかからないこともあって、ローラーを同期駆動することが効果的である。
【０１５７】
ローラーを電気的に浮かせるために、ナイロンやポリエチレンなどの樹脂によりローラーを形成することもできるし、また、金属ローラーの軸を樹脂製とすることもできる。さらに、軸受けの設置部に樹脂の部材を挟み込んで絶縁をとることもできる。
【０１５８】
長尺基板２００６に直接ブラシ等で給電を行ったり、あるいは浴を介して給電するのでなければ、給電ローラーと呼ばれる電位を与えるローラーを、少なくとも一本設けることが好ましい。電析部分に近いローラーを給電ローラーとすることができれば、電析電流に係る電気経路の設計は最もすっきりとする。
【０１５９】
電析浴と触って電析浴中の化学物質が反応するため、給電ローラーをアノード近傍に置けない場合には、ブラシ給電や浴給電など他方式の代替もしくは併用を考慮すべきである。これは、長尺基板２００６の抵抗がメートルあたり０．０１Ω程度あって、数十Ａの電析電流を用いる場合には、極めて大きな熱損失が発生するからである。
【０１６０】
蛇行修正では、概念として、ローラーの平行度を出すことにより、ほとんどずれない搬送系を確立し、ほんの少しずれる分を巻上げ直前で修正することが好ましい。この場合、修正量を検知し、フィードフォワードまたはフィードバック系で修正量を蛇行修正ローラーに返してやればよい。フィードフォワード系は、計算は厄介であるが、秒あたり数ｍを越える高速のシステムに向いている。一方、フィードバック系は、高速の搬送には不向きであるが、構成を簡便なものとすることができる。
【０１６１】
いずれの場合にも、修正しようとする方向に長尺基板２００６を動かす蛇行修正ローラーを持つことが好ましい。本実施形態に係る電析装置では、巻取装置方向転換ローラー２２８７が、蛇行修正ローラーを兼ねている。修正しようとする方向に長尺基板２００６を動かすためには、長尺基板２００６との摩擦が大きい方が好ましい。一方、修正移動を起こしたことによる長尺基板２００６の歪みを吸収するためには、長尺基板２００６が蛇行修正ローラー上で滑ることが好ましい。実際に用いられる摩擦の大きさは、テンションを含めて、実験的に決められる。場合によっては、長尺基板２００６との間で摩擦を最適化する材質を選んだり、表面を粗面加工すると効果がある。修正しようとする方向に長尺基板２００６を動かすために、ローラー全体が平行移動するように構成されてもよいし、また、ある程度離れた軸を支点に、首振り運動をするような形（タンジェント・ローラーと呼ぶ）でもよい。平行移動ローラーは大きなずれに対して効果がある。一方、タンジェント・ローラーは、装置構成が簡単になる。
【０１６２】
［槽・管・その他浴保持材の電気的構成］
迷走電流を減らして、流れる電流をほとんどすべて電析に寄与させ、長尺基板２００６とアノード間に流れる電流とするために、電析槽、それに繋がる配管、さらには浴保持槽内の部品などは、絶縁処理をすることが好ましい。基本的には、アノードと長尺基板２００６とを直接に、あるいは浴を介して、接する金属部分を最小とすることにより、流れる電流をほとんどすべて電析に寄与させることができる。
【０１６３】
また、フロート電位とすることにより迷走電流を少なくすることができるため、本実施形態に係る電析装置では、電析槽や基板搬送ローラーを構成する金属部分を大地アースから浮かした構造としている。絶縁配管、径の太いフランジ絶縁配管、オーバーフロー戻り系に製作した絶縁フランジ、排気ダクト中に設けた絶縁フランジなどは、すべてこの目的のためのものである。
【０１６４】
［絶縁フランジ］
電気的に切り離しておきたい配管部には、塩化ビニールや耐熱塩化ビニール等の絶縁体で形成されたフランジ付き配管を用いることが好ましい。本実施形態に係る電析装置の第一電析槽オーバーフロー戻り路２１１７に設けられた第一電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２１１８、第二電析槽オーバーフロー戻り路２２１９に設けられた第二電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ２２２０、電析水洗系排気ダクト２０２０に設けられた電析水洗系排気ダクト水洗側絶縁フランジ２３６４および電析水洗系排気ダクト基幹絶縁フランジ２３６５などは、四角の断面をもつ導管に設けられており、導管端部に口金を製作し、それらを絶縁性ゴムを挟んで絶縁ボルトで締め付けている。絶縁性のゴムは、例えばバイトン（商品名）のように高温下において使用することができるが、圧縮すると突然導電性を示すものがあり、その選択には注意が必要である。
【０１６５】
［電析浴］
電析浴は、基本的にビーカーなどの小さな実験装置で確認したものを使用することができる。太陽電池下引き層に適用する光閉込め効果を有し、凹凸を有する酸化亜鉛の堆積については、例えば、少なくとも硝酸イオンと、亜鉛イオンを含有してなる水溶液が好ましく使用できる。硝酸イオン、亜鉛イオン濃度は、好ましくは０．００２ｍｏｌ／ｌ〜３．０ｍｏｌ／ｌ、さらに好ましくは０．０ｍｏｌ／ｌ〜１．５ｍｏｌ／ｌ、最適には０．０５ｍｏｌ／ｌ〜０．７ｍｏｌ／ｌである。また、異常性成長防止のために、サッカロースまたはデキストリンを含む電析浴を用いる場合には、サッカロースの濃度は、好ましくは５００ｇ／ｌ〜１ｇ／ｌ、さらに好ましくは１００ｇ／ｌ〜３ｇ／ｌとし、デキストリンの濃度は、好ましくは１０ｇ／ｌ〜０．０１ｇ／ｌ、さらに好ましくは１ｇ／ｌ〜０．０２５ｇ／ｌとすることにより、光閉じ込め効果に適したテクスチャー構造の酸化亜鉛薄膜を効率よく形成することができる。
【０１６６】
また、電析浴の温度を６０℃以上とすることにより、異常成長の少ない均一な酸化亜鉛薄膜を効率よく形成することができる。
【０１６７】
電析浴が高温で、蒸気の発生が顕著な場合は、排気ダクトを設けて蒸気を吸引することが好ましい。排気ダクトを設けることにより、電析装置の隙間から蒸気やその凝結した水滴が出てくるのを防止することができる。
【０１６８】
また、槽に蓋が設置されている場合には、蓋を開けた際に水蒸気が吹き出してきて危険である。したがって、この場合にも、排気ダクトを設けることが好ましい。
【０１６９】
電析浴からの蒸気発生・排気吸引によって液量が減る場合には、純水を定期的に補給するとよい。
【０１７０】
［槽・配管の断熱構造］
昇温された浴や純水を保持・給排水する槽・配管は、断熱構造とすることが、省エネルギーならびに危険防止の意味から好ましい。槽の断熱構造は、グラスウール等の断熱材を挟んだ二重壁構造とする他、外側に断熱材を張ることでも実現することができる。配管の断熱構造は、一般に、断熱材でカバーすることで実現することができる。
【０１７１】
［電析条件］
電析を行うにあたっては、長尺基板２００６に負の電位を印加するとともに、アノードに正の電位を印加して、電気化学反応を駆動する。膜厚の制御を行うために、電流制御により電析を行うのが適当である。電流は、電流密度で規定することが好ましく、０．３〜１００ｍＡ／ｃｍ２の範囲で設定する。
【０１７２】
［アノード］
アノードとしては、溶解性アノードとして純度２Ｎないし４Ｎの亜鉛板を使用することができる。長尺基板２００６の表面が汚れている場合には、希硝酸で軽く洗えばよい。アノードヘの給電線は、ＳＵＳボルトで締め付ける構成にすることが、確実な電気接触を長期間保証できて好ましい。非溶解性アノードとして、ＳＵＳやＰｔを使うこともできる。
【０１７３】
特に、溶解性アノードを使用する場合には、発生する酸化亜鉛粉が電析浴中に発塵してゆくことを防止するために、溶解性アノードをアノードバッグで包むことが好ましい。アノードバッグの材質としては、浴中で侵されない木綿やアミド樹脂繊維などが使用でき、適当なメッシュ状とすることが好ましい。メッシュの目の大きさは、電析浴が確実に表面に触り、かつ発塵する粉体の最大の大きさを規定して定める。例えば、一般的なメッシュ目の大きさは、０．５ｍｍから数ｍｍを選択する。
【０１７４】
［電析電源］
電析を行うための各電源は、フロート出力を持っていることが好ましい。また、電圧制御として、所定の電位を印加すると、電流が吸い込み方向に流れる可能性がある場合には、吸い込み型の電源とすべきである。
【０１７５】
各電源は、単一の、あるいは取りまとめられた複数のアノードに電位を印加し、電流を流す。電源同士の干渉を防ぐために、アノード同士を結ぶ電流の経路は、できるだけ出現しないようにしておくことが好ましい。このために、テフロンや塩化ビニールなどの絶縁板を浴中に設置することが効果的である。
【０１７６】
［ポンプ］
ポンプは、基本的に十分な流量を稼げることが必要であるが、同時に、キャビテーションを防止することができる配置とすべきである。特に、９０℃を越える温度では、吸引しようとする負圧で一気に水が蒸発してしまい、ポンプ内部の送液フィンを気体が空回りするという、キャビテーション現象を起こしやすい。一旦、キャビテーションが起きるとポンプが空転し、しばしば焼き付きが生じたり、フィンが割れたりする等、ポンプの破損につながる。キャビテーションの発生によるポンプの破損を防止するためには、ポンプをなるべく低い位置に配置して浴液が押し込まれる構成、すなわち負圧が発生しにくい構成とすることが好ましい。
【０１７７】
［バルブ］
バルブは、手動のものであってもよく、自動のものであってもよい。また、誤動作を減らすために、自動弁と手動弁を直列に配置してもよい。
【０１７８】
本実施形態に係る電析装置のバルブのいくつかは、所定の条件に基づいて調整され、流量を制御するものである。その代表が、第一循環槽電析浴上流循環バルブ２１３５、第一循環槽電析浴下流循環バルブ２１４５、第一電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバルブ２１６７、第一電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ２１６８、第一電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ２１６９、第一電析槽フィルター循環バルブ２１６６、第一電析槽圧搾空気導入バルブ２１８９、第一電析槽攪拌空気上流側制御バルブ２１９３、第一電析槽攪拌空気下流側制御バルブ２１９２あるいは、第二循環槽電析浴上流循環バルブ２２３７、第二循環槽電析浴下流循環バルブ２２４７、第二電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバルブ２２６９、第二電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ２２７０、第二電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ２２７１、第二電析槽フィルター循環バルブ２２６８、第二電析槽圧搾空気導入バルブ２１９９、第二電析槽攪拌空気上流側制御バルブ２２０２、第二電析槽攪拌空気下流側制御バルブ２２７２などである。また、シャワーやエアーナイフに至るバルブも、所定の条件に基づいて調整され、流量を制御している。
【０１７９】
［フィルター］
浴液系に用いられるフィルターは、カートリッジ式フィルターで代表されるサブミクロンから１０ミクロン程度の粒子を除去するためのフィルターと、数ミリ以上の大きさのゴミを除去するための、基本的に金網からなるサクションフィルターの類に大別される。
【０１８０】
粒子除去フィルターは、内部で発生する粉体を浴液系から積極的に除去するために必要とされる。このフィルターサイズにより、最終的に巻き上がる長尺基板２００６上に成膜された膜に残るゴミのサイズが定められる。したがって、必要なフィルターサイズは、膜の必要な特性に基づいて決定される。
【０１８１】
サクションフィルターは、ポンプやバルブの破損防止のために用いられる。
【０１８２】
空気系に用いられるフィルターは、主に圧搾空気に混じるオイルミストや水分を取り除くためのものである。
【０１８３】
［配管］
配管の太さは、当該配管における必要な流量から定められるが、大きな流量が必要な部分では、呼び径４０Ａ以上とすることが好ましい。本実施形態に係る電析装置にあっては、図２において、太い管として示した部分は呼び径４０Ａを用い、細い管として示した部分は呼び径２５Ａを用いている。
【０１８４】
管の材質は、ステンレスが極めて好条件で使用されるが、電気的接続が好ましくない場合には、耐熱塩化ビニールなどの管を一部だけ使用することも可能である。また、継手による接続は、細い管や同一材料ではインサートで十分であるが、塩化ビニールとステンレスの太い管の接続には、熱膨張収縮の繰り返しで液漏れが発生するのを防止するために、フランジ継手を使うことが好ましい。
【０１８５】
［循環量］
浴液の循環量は、温度を均一化し、使用されてゆく電析浴の濃度を均一化するために十分な量を確保すべきである。例えば、数百リットルの電析浴に対して、数十ｌ／ｍｉｎ以上あればよい。循環浴液は、アノード面や長尺基板２００６面を動いて、常に新たな電析浴を補給する流れを形成していることが好ましい。
【０１８６】
［攪拌空気量］
空気攪拌は、本実施形態に係る電析装置においては、極めて有効な浴液の攪拌手段である。例えば、数百リットルの電析浴に対して、数ｍ３／ｈｒ程度以上の流量であることが好ましい。空気攪拌を行うには、空気を小さなバブルとして放出することが、攪拌効果を高める上で好ましい。このためには、例えば、攪拌空気をオリフィスから電析浴に吹き出す構成とすればよい。
【０１８７】
また、長尺基板２００６下に空気溜りができてしまうと、電析反応が進まないので、成膜が進まない。このため、吹き出された空気は、淀まずに浮き上がってゆくこと必要である。
【０１８８】
［裏面電極］
長尺基板２００６の裏面に成膜される不必要な電析膜は、裏面電極で除去される。裏面電極には、長尺基板２００６に対して負の電位を印加する。このため、特に電析用の電源との干渉を防ぐために、両者は互いにフロート出力である必要がある。一つの電析槽に設置した裏面電極あたり、１Ａ〜３０Ａの電流が用いられる。
【０１８９】
裏面電極の材質は、水素過電圧の高いＴｉやＳＵＳなどが好ましい。長尺基板２００６の裏面より剥ぎ取られて裏面電極部に溜まる酸化亜鉛などの電析物は、繰り返し利用するために、装置外で機械的に剥ぎ取ってもよいし、また裏面電極を使い捨てとして電極ごとに廃棄してもよい。
【０１９０】
【実施例】
上述した規制部材を用いた電析装置の具体的な実施例１〜３を、図１に基づいて説明する。
【０１９１】
なお、以下の説明において、電析槽入口折返しローラー２０１３、電析槽間折返しローラー２０１６、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９は、それぞれ、図３、図４、図５に示されている。
【０１９２】
［実施例１］
実施例１は、図１（ａ）に示すように、電析槽進入ローラー１００１と電析槽退出ローラー１００２との間に、２個の規制部材１００３，１００４を設置して実験を行った。
【０１９３】
この実施例１では、ローラー１００３，１００４は、ＳＵＳで形成されており、フローティング電位となっている。また、ＳＵＳ４３０からなる長尺基板１０００は、電析槽進入ローラー１００１および電析槽退出ローラー１００２を通して搬送される。
【０１９４】
なお、実施例１の実験は、上述した構成に対応するように、図２に示す電析装置に対して、ローラーを組み込んで行った。
【０１９５】
使用した電析浴は、０．２ｍｏｌ／ｌの硝酸亜鉛であり、８０℃に保持されている。硝酸亜鉛は、亜鉛のイオンもしくは錯イオンを浴中に存在せしめるとともに、同時に硝酸イオンを浴中に存在せしめて、これらの共同作用で、電気化学的に長尺基板１０００の表面に酸化亜鉛を電析させるものである。また、電析浴は、酸化亜鉛膜からなる透明導電層の一様性を高めるために、さらにデキストリンを０．１ｇ／ｌ含有するものとした。電析浴の電導度は、６５ｍＳ／ｃｍであった。
【０１９６】
上述した条件の下で、長尺基板１０００を１２７０ｍｍ／ｍｉｎの搬送速度で搬送し、電析浴中に噴流および撹拌空気を発生させ、長尺基板１０００にかかるテンションを１００ｋｇとして実験を行った。
【０１９７】
実施例１の実験では、噴流、撹拌空気の影響をほとんど受けず、長尺基板１０００が上下に振動するのを抑えることができた。また、撹拌空気が長尺基板１０００のテンションの弱い側に片寄って流れ、その影響で、長尺基板１０００が電析槽内を傾いた状態で搬送されることもなく、長尺基板１０００の両端部から電析槽上部までの高さの差が５ｍｍ程度で収まった。
【０１９８】
その結果、長尺基板１０００を８００ｍ搬送した時点で、電析槽入口折返しローラー２０１３、電析槽間折返しローラー２０１６、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９の中心と長尺基板１０００の中心とのズレが、それぞれ２ｍｍ、２ｍｍ、３ｍｍ以内に収まった。
【０１９９】
また、長尺基板１０００の搬送速度を３５０ｍｍ／ｓとしたところ、長尺基板１０００上に、１ミクロン厚で一様であり、かつ１ミクロン程度の凹凸が形成された酸化亜鉛膜からなる透明導電層を、連続的に形成することができた。
【０２００】
尚、電析槽進入ローラー１００１、電析槽退出ローラー１００２の間に設置されている全てのローラーの電位をアースに落として検討を行った。
【０２０１】
この場合では、アノードと長尺基板１０００間の電流分布が、アース電位となっているローラーによって起こる迷走電流によって変化し、アノードと長尺基板１０００間の距離を１０ｍｍにセットすると、形成される膜に大幅な膜厚ムラが発生し、太陽電池を形成した際に特性の大きなばらつきが発現してしまった。
【０２０２】
これに対して、上述したように、本発明に係る規制部材の一実施形態であるフローティング電位のローラーを設置した場合には、アノードと長尺基板１０００間の電流分布に影響を与えることがなく、また、迷走電流も発生しなかった。その結果、酸化亜鉛膜からなる透明導電層は、成膜領域で干渉環が一つに入るなど、一様であった。さらに、長尺基板１０００の搬送速度を３５０ｍｍ／ｓとしたところ、長尺基板１０００上に、１ミクロン厚で一様であり、かつ１ミクロン程度の凹凸が形成された酸化亜鉛膜からなる透明導電層を、連続的に形成することができた。
【０２０３】
［比較例１］
比較例１は、電析槽進入ローラー１００１および電析槽退出ローラー１００２の間に設置されている全てのローラーを取り除いて検討を行った。
【０２０４】
この比較例１では、長尺基板１０００の搬送中に、長尺基板１０００が、噴流と撹拌空気の影響を受けて上下に振動し、さらに撹拌空気が長尺基板１０００のテンションの弱い側に片寄って流れた。その影響で、長尺基板１０００が、電析槽内を傾いた状態で搬送され、長尺基板１０００の両端部から電析槽上部までの高さの差が２０ｍｍを超えてしまった。
【０２０５】
その結果、長尺基板１００を８００ｍ搬送した時点で、電析槽入口折返しローラー２０１３、電析槽間折返しローラー２０１６、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９の中心と長尺基板１０００の中心が、それぞれ１０ｍｍ、１２ｍｍ、１５ｍｍずれてしまい、長尺基板１０００が電析槽内の構造物や壁等に接触して、幅方向の端部が折れ曲がってしまった。そればかりか、長尺基板１０００が傾いて搬送されたため、アノードと長尺基板１０００間の距離が長尺基板１０００の幅方向で違ってしまい、アノードと長尺基板１０００間の距離を２０ｍｍにセットすると、形成される膜に大幅な膜厚ムラが発生し、太陽電池を形成した際に特性の大きなばらつきが発現してしまった。
【０２０６】
また、相対的な距離の違いを少なくするために、アノードと長尺基板１０００間の距離を５０ｍｍと大きくとると、成膜速度は一桁以上小さくなり、電析装置としての要求仕様をまったく満足しない値となった。
【０２０７】
これに対して、上述した実施例１のように、本発明に係る規制部材の一実施形態であるローラーを設置した場合には、最初に長尺基板１０００をセットした位置からのズレが３ｍｍ以内となり、ズレ量を大幅に低減することができた。また、アノードと長尺基板１０００間の距離も、長尺基板１０００の幅方向でほとんど変化しなかった。その結果、酸化亜鉛膜からなる透明導電層は、成膜領域で干渉環が一つに入るなど、一様であった。さらに、長尺基板１０００の搬送速度を３５０ｍｍ／ｓとしたところ、長尺基板１０００上に、１ミクロン厚で一様であり、かつ１ミクロン程度の凹凸が形成された酸化亜鉛膜からなる透明導電層を、連続的に形成することができた。
【０２０８】
［実施例２］
実施例２は、図１（ｂ）に示すように、電析槽進入ローラー１００１と電析槽退出ローラー１００２との間に、５個の規制部材１００３，１００５，１００６，１００７，１００４を設置して実験を行った。
【０２０９】
その他の条件は、上述した実施例１の実験と同様である。
【０２１０】
なお、実施例２の実験は、上述した構成に対応するように、図２に示す電析装置に対して、ローラーを組み込んで行った。
【０２１１】
実施例２の実験では、噴流、撹拌空気の影響をほとんど受けず、長尺基板１０００が上下に振動するのを抑えることができた。また、撹拌空気が長尺基板１０００のテンションの弱い側に片寄って流れ、その影響で、長尺基板１０００が電析槽内を傾いた状態で搬送されることもなく、長尺基板１０００の両端部から電析槽上部までの高さの差が２ｍｍ程度で収まった。
【０２１２】
その結果、長尺基板１０００を１０００ｍ搬送した時点で、電析槽入口折返しローラー２０１３、電析槽間折返しローラー２０１６、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９の中心と長尺基板１０００の中心とのズレが、それぞれ１ｍｍ、０．５ｍｍ、１ｍｍと、最初にセットした位置から１ｍｍ以内に収まった。
【０２１３】
さらに、長尺基板１０００の搬送速度を３００ｍｍ／ｓとしたところ、長尺基板１０００上に１ミクロン厚で極めて一様であり、かつ１ミクロン程度の凹凸の形成された酸化亜鉛膜からなる透明導電層を、連続的に形成することができた。
【０２１４】
［実施例３］
実施例３では、上述した実施例１のローラーに替えて、ＳＵＳにテフロンコーテイングを施したローラーを用いて実験を行った。
【０２１５】
その他の条件は、上述した実施例１の実験と同様である。
【０２１６】
なお、実施例３の実験は、上述した構成に対応するように、図２に示す電析装置に対して、ローラーを組み込んで行った。
【０２１７】
実施例３の実験では、噴流、撹拌空気の影響をほとんど受けず、長尺基板１０００が上下に振動するのを抑えることができた。また、撹拌空気が長尺基板１０００のテンションの弱い側に片寄って流れ、その影響で、長尺基板１０００が電析槽内を傾いた状態で搬送されることもなく、長尺基板１０００の両端部から電析槽上部までの高さの差が５ｍｍ程度で収まった。
【０２１８】
その結果、長尺基板１０００を９００ｍ搬送した時点で、電析槽入口折返しローラー２０１３、電析槽間折返しローラー２０１６、純水シャワー槽折返し進入ローラー２２７９の中心と長尺基板１０００の中心とのズレが、それぞれ２ｍｍ、２ｍｍ、２ｍｍと、最初にセットした位置から２ｍｍ以内に収まった。
【０２１９】
さらに、長尺基板１０００の搬送速度を２００ｍｍ／ｓとしたところ、長尺基板１０００上に１．２ミクロン厚で極めて一様であり、かつ１ミクロン程度の凹凸の形成された酸化亜鉛膜からなる透明導電層を、連続的に形成することができた。
【０２２０】
実施例３では、ＳＵＳにテフロンコーティングを施しているために、ローラーをフローティング電位とすることなく、上述した実施例１または実施例２と同様の効果が得られ、電析装置の構成を簡便にすることができた。
【０２２１】
【発明の効果】
本発明に係る電析装置は、長尺基板の上下動を抑制するための規制部材を備えている。
【０２２２】
したがって、規制部材を設置していない従来の電析装置と比較して、長尺基板の上下動を抑制して、成膜時の膜厚ムラや、長尺基板の蛇行を防止することができる。このため、材料コストが低減されることとなり、太陽電池製作のコストを大きく低減することが可能となる。
【０２２３】
また、規制部材をローラ形状とすることにより、長尺基板の損傷を最小限に抑えることができるので、この点においても、材料コストが低減されることとなり、太陽電池製作のコストを大きく低減することが可能となる。
【０２２４】
また、規制部材をフローティング電位とすることにより、迷走電流を防止して、アノードと長尺基板間の電流分布に影響を与えることがなくなり、この点においても、材料コストが低減されることとなり、太陽電池製作のコストを大きく低減することが可能となる。
【０２２５】
また、規制部材を誘電体で形成することにより、規制部材を積極的にフローテイング電位とすることなく、上述したと同様の効果を得ることができ、装置コストが低減されることとなり、この点においても、太陽電池製作のコストを大きく低減することが可能となる。
【０２２６】
また、規制部材を誘電体でコーティングすることにより、規制部材を積極的にフローティング電位とすることなく、上述したと同様の効果を得ることができ、装置コストが低減されることとなり、この点においても、太陽電池製作のコストを大きく低減することが可能となる。
【０２２７】
さらに、規制部材を形成する誘電体をフッ素樹脂にしたり、規制部材をフッ素樹脂でコーティングすることすることにより、耐熱性、耐薬品性に優れるとともに、装置の維持が容易となって、装置コストが低減されることとなり、この点においても、太陽電池製作のコストを大きく低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電析装置の規制部材を示すもので、（ａ）は、第一の実施形態に係る規制部材の模式的平面図、図１（ｂ）は、第二の実施形態に係る規制部材の模式的平面図。
【図２】本発明に係る電析装置の一実施形態を示す構成図。
【図３】図２に示す巻出装置の拡大図。
【図４】図２に示す第一電析槽及び第一循環槽の拡大図。
【図５】図２に示す第二電析槽及び第二循環槽の拡大図。
【図６】図２に示す第一排液槽及び第二排液槽の拡大図。
【図７】図２に示す純水シャワー槽、第一温水槽、第二温水槽、乾燥部、巻取装置の拡大図。
【図８】図２に示す純水加熱槽の拡大図。
【図９】図２に示す排気ダクト付近の拡大図。
【符号の説明】
１０００  長尺基板
１００１  電析槽進入ローラー
１００２  電析槽退出ローラー
１００３〜１００７  規制部材（ローラー）
２００１  巻出装置長尺基板ボビン
２００２  巻出装置インターリーフ巻取りボビン
２００３  巻出装置繰出し調整ローラー
２００４  巻出装置方向転換ローラー
２００５  巻出装置排出ローラー
２００６  長尺基板
２００７  巻取りインターリーフ
２００８  インターリーフ巻取り方向
２００９  巻出装置長尺基板ボビン回転方向
２０１０  長尺基板巻出し方向
２０１１  巻出装置クリーンブース
２０１２  巻出装置
２０１３  電析槽入口折返しローラー
２０１４  第一電析槽進入ローラー
２０１５  第一電析槽退出ローラー
２０１６  電析槽間折返しローラー
２０１７  電析槽入口折返しローラーカバー
２０１８  第一電析浴保持槽カバー
２０１９  電析槽間カバー
２０２０  電析水洗系排気ダクト
２０２１  第一電析槽上流排気口
２０２２  第一電析槽中流排気口
２０２３  第一電析槽下流排気口
２０２４  第一電析槽オーバーフロー戻り口
２０２５  第一電析浴浴面
２０２６〜２０５３  第一電析槽アノード
２０５４〜２０６０  第一電析槽アノード載置台
２０６１  第一電析槽裏面電極
２０６２  第一電析槽攪拌空気導入管
２０６３  第一電析槽上流循環噴流管
２０６４  第一電析槽下流循環噴流管
２０６５  第一電析浴保持槽
２０６６  第一電析槽
２０６７  第一電析槽出口シャワー
２０６８  第二電析槽入口シャワー
２０６９  第二電析槽進入ローラー
２０７０  第二電析槽退出ローラー
２０７１  第二電析槽上流排気口
２０７２  第二電析槽中流排気口
２０７３  第二電析槽下流排気口
２０７４  第二電析浴浴面
２０７５  第二電析槽オーバーフロー戻り口
２０７６〜２１０３  第二電析槽アノード
２１０４〜２１１０  第二電析槽アノード載置台
２１１１  第二電析槽裏面電極
２１１２  第二電析槽攪拌空気導入管
２１１３  第二電析槽上流還流噴流管
２１１４  第二電析槽下流還流噴流管
２１１５  第二電析浴保持槽
２１１６  第二電析槽
２１１７  第一電析槽オーバーフロー戻り路
２１１８  第一電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ
２１１９  第一電析槽オーバーフロー戻り方向
２１２０  第一循環槽
２１２１  第一循環槽加熱貯槽
２１２２〜２１２９  第一循環槽ヒーター
２１３０  第一循環槽電析浴上流循環元バルブ
２１３１  第一循環槽電析浴上流循環方向
２１３２  第一循環槽電析浴上流循環ポンプ
２１３３  第一循環槽電析浴上流循環ポンプバイパスバルブ
２１３４  第一循環槽電析浴上流循環圧力ゲージ
２１３５  第一循環槽電析浴上流循環バルブ
２１３６  第一循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ
２１３７  第一循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管
２１３８  第二電析浴保持槽カバー
２１３９  第一循環槽電析浴下流循環元バルブ
２１４０  第一循環槽電析浴下流循環方向
２１４１  第一循環槽電析浴下流循環ポンプバイパスバルブ
２１４２  第一循環槽電析浴下流循環ポンプ
２１４３  第一循環槽電析浴下流循環圧力ゲージ
２１４４  第一排液槽排液貯槽
２１４５  第一循環槽電析浴下流循環バルブ
２１４６  第一循環槽電析浴バイパス循環フレキシブルパイプ
２１４７  第一循環槽電析浴バイパス循環バルブ
２１４８  第一循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ
２１４９  第一循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管
２１５０  第一循環槽出口シャワーバルブ
２１５１  第一電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイプ
２１５２  第一電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管
２１５３  第一電析槽排水バルブ
２１５４  第一電析槽フィルター循環元バルブ
２１５５  第一電析槽フィルター循環方向
２１５６  第一電析槽フィルター循環サクションフィルター
２１５７  第一電析槽フィルター循環ポンプ
２１５８  第一電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ
２１５９  第一電析槽フィルター循環圧力スイッチ
２１６０  第一電析槽フィルター循環圧力ゲージ
２１６１  第一電析槽フィルター循環フィルター
２１６２  第一電析槽フィルター循環方向
２１６３  第一電析槽フィルター循環方向
２１６４  第一電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ
２１６５  第一電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管
２１６６  第一電析槽フィルター循環バルブ
２１６７  第一電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバルブ
２１６８  第一電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ
２１６９  第一電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ
２１７０  第一排液槽空気抜きバルブ
２１７１  第一排液槽空気抜き
２１７２  第一排液槽
２１７３  第一排液槽排水バルブ
２１７４  第一排液槽排液回収バルブ
２１７５  排液回収元バルブ
２１７６  排液回収サクションフィルター
２１７７  排液回収ポンプ
２１７８  排液回収口
２１７９  排液槽共通排水口
２１８０  第二排液槽排水バルブ
２１８１  第二排液槽排液回収バルブ
２１８２  圧搾空気導入口
２１８３  電析浴攪拌用圧搾空気圧力スイッチ
２１８４  第一電析槽圧搾空気導入方向
２１８５  第一電析槽圧搾空気元バルブ
２１８６  第一電析槽圧搾空気流量計
２１８７  第一電析槽圧搾空気レギュレーター
２１８８  第一電析槽圧搾空気ミストセパレーター
２１８９  第一電析槽圧搾空気導入バルブ
２１９０  第一電析槽圧搾空気フレキシブルパイプ
２１９１  第一電析槽圧搾空気絶縁配管
２１９２  第一電析槽攪拌空気下流側制御バルブ
２１９３  第一電析槽攪拌空気上流側制御バルブ
２１９４  第二電析槽圧搾空気導入方向
２１９５  第二電析槽圧搾空気元バルブ
２１９６  第二電析槽圧搾空気流量計
２１９７  第二電析槽圧搾空気レギュレーター
２１９８  第二電析槽圧搾空気ミストセパレーター
２１９９  第二電析槽圧搾空気導入バルブ
２２００  第二電析槽圧搾空気フレキシブルパイプ
２２０１  第二電析槽圧搾空気絶縁配管
２２０２  第二電析槽攪拌空気上流側制御バルブ
２２０３  電析槽系純水導入口
２２０４  電析槽系純水導入バルブ
２２０５  第一加熱貯槽純水導入フレキシブルパイプ
２２０６  第一加熱貯槽純水導入バルブ
２２０７  第一電析槽純水導入バルブ
２２０８  第一電析槽純水導入絶縁配管
２２０９  第二加熱貯槽純水導入フレキシブルパイプ
２２１０  第二加熱貯槽純水導入バルブ
２２１１  第二電析槽純水導入バルブ
２２１２  第二電析槽純水導入絶縁配管
２２１３  電析槽予備導入口
２２１４  電析槽予備導入バルブ
２２１５  第一電析槽予備導入バルブ
２２１６  第一電析槽予備導入絶縁配管
２２１７  第二電析槽予備導入バルブ
２２１８  第二電析槽予備導入絶縁配管
２２１９  第二電析槽オーバーフロー戻り路
２２２０  第二電析槽オーバーフロー戻り路絶縁フランジ
２２２１  第二電析槽オーバーフロー戻り方向
２２２２  第二循環槽
２２２３  第二循環槽加熱貯槽
２２２４〜２２３１  第二循環槽ヒーター
２２３２  第二循環槽電析浴上流循環元バルブ
２２３３  第二循環槽電析浴上流循環方向
２２３４  第二循環槽電析浴上流循環ポンプ
２２３５  第二循環槽電析浴上流循環ポンプバイパスバルブ
２２３６  第二循環槽電析浴上流循環圧力ゲージ
２２３７  第二循環槽電析浴上流循環バルブ
２２３８  第二循環槽電析浴上流循環フレキシブルパイプ
２２３９  第二循環槽電析浴上流循環フランジ絶縁配管
２２４０  第二循環槽入口シャワーフレキシブルパイプ
２２４１  第二循環槽入口シャワーバルブ
２２４２  第二循環槽電析浴下流循環元バルブ
２２４３  第二循環槽電析浴下流循環方向
２２４４  第二循環槽電析浴下流循環ポンプバイパスバルブ
２２４５  第二循環槽電析浴下流循環ポンプ
２２４６  第二循環槽電析浴下流循環圧力ゲージ
２２４７  第二循環槽電析浴下流循環バルブ
２２４８  第二循環槽電析浴下流循環フレキシブルパイプ
２２４９  第二循環槽電析浴下流循環フランジ絶縁配管
２２５０  第二循環槽電析浴バイパス循環フレキシブルパイプ
２２５１  第二循環槽電析浴バイパス循環バルブ
２２５２  第二電析槽出口シャワーバルブ
２２５３  第二電析槽フィルター循環戻りフレキシブルパイプ
２２５４  第二電析槽フィルター循環戻りフランジ絶縁配管
２２５５  第二電析槽排水バルブ
２２５６  第二電析槽フィルター循環元バルブ
２２５７  第二電析槽フィルター循環方向
２２５８  第二電析槽フィルター循環サクションフィルター
２２５９  第二電析槽フィルター循環ポンプバイパスバルブ
２２６０  第二電析槽フィルター循環ポンプ
２２６１  第二電析槽フィルター循環圧力スイッチ
２２６２  第二電析槽フィルター循環圧力ゲージ
２２６３  第二電析槽フィルター循環フィルター
２２６４  第二電析槽フィルター循環方向
２２６５  第二電析槽フィルター循環方向
２２６６  第二電析槽フィルター循環フレキシブルパイプ
２２６７  第二電析槽フィルター循環フランジ絶縁配管
２２６８  第二電析槽フィルター循環バルブ
２２６９  第二電析槽フィルター循環系電析浴上流戻りバルブ
２２７０  第二電析槽フィルター循環系電析浴中流戻りバルブ
２２７１  第二電析槽フィルター循環系電析浴下流戻りバルブ
２２７２  第二電析槽攪拌空気下流側制御バルブ
２２７３  第二排液槽排液貯槽
２２７４  第二排液槽
２２７５  第二排液槽空気抜きバルブ
２２７６  第二排液槽空気抜き
２２７７  第一排液槽排液貯槽上蓋
２２７８  第二排液槽排液貯槽上蓋
２２７９  純水シャワー槽折返し進入ローラー
２２８０  純水シャワー槽ローラー
２２８１  第一温水槽折返し進入ローラー
２２８２  第一温水槽ローラー
２２８３  第二温水槽折返し進入ローラー
２２８４  第二温水槽ローラー
２２８５  乾燥折返しローラー
２２８６  巻取装置進入ローラー
２２８７  巻取装置方向転換ローラー
２２８８  巻取り調整ローラー
２２８９  長尺基板巻上げボビン
２２９０  インターリーフ繰出しボビン
２２９２  長尺基板巻取り方向
２２９３  長尺基板巻取りボビン回転方向
２２９４  インターリーフ繰出しボビン回転方向
２２９５  巻取装置クリーンブース
２２９６  巻取装置
２２９７  第二電析槽出口シャワー
２２９８  純水シャワー槽裏面ブラシ
２２９９  純水シャワー槽入口表面純水シャワー
２３００  純水シャワー槽入口裏面純水シャワー
２３０１  純水シャワー槽排気口
２３０２  純水シャワー槽出口裏面純水シャワー
２３０３  純水シャワー槽出口表面純水シャワー
２３０４  第一温水槽温水保温ヒーター
２３０５  第一温水槽排気口
２３０６  第一温水槽超音波源
２３０７  第二温水槽温水保温ヒーター
２３０８  第二温水槽排気口
２３０９  第二温水槽出口裏面純水シャワー
２３１０  第二温水槽出口表面純水シャワー
２３１１  乾燥部入口裏面エアーナイフ
２３１２  乾燥部入口表面エアーナイフ
２３１３  ＩＲランプ
２３１４  乾燥部排気口
２３１５  純水シャワー槽受け槽
２３１６  第一温水槽温水保持槽
２３１７  第二温水槽温水保持槽
２３１８  純水シャワー槽折返し進入ローラーカバー
２３１９  第一温水槽折返し進入ローラーカバー
２３２０  第二温水槽折返し進入ローラーカバー
２３２１  乾燥部カバー
２３２２  温水槽間連結管
２３２３  純水シャワー槽純水シャワー供給元バルブ
２３２４  純水シャワー槽純水シャワー供給ポンプバイパスバルブ
２３２５  純水シャワー槽純水シャワー供給ポンプ
２３２６  純水シャワー槽純水シャワー供給圧力スイッチ
２３２７  純水シャワー槽純水シャワー供給圧力ゲージ
２３２８  純水シャワー槽純水シャワー供給カートリッジ式フィルター
２３２９  純水シャワー槽純水シャワー供給流量計
２３３０  純水シャワー槽入口表面純水シャワーバルブ
２３３１  純水シャワー槽入口裏面純水シャワーバルブ
２３３２  純水シャワー槽出口裏面純水シャワーバルブ
２３３３  純水シャワー槽出口表面純水シャワーバルブ
２３３４  第一温水槽温水保持槽排水バルブ
２３３５  第二温水槽温水保持槽排水バルブ
２３３６  水洗系排水
２３３７  水洗系純水口
２３３８  水洗系純水供給元バルブ
２３３９  純水加熱槽
２３４０〜２３４３  純水加熱槽純水加熱ヒーター
２３４４  純水加熱槽純水送出バルブ
２３４５  純水加熱槽純水送出ポンプバイパスバルブ
２３４６  純水加熱槽純水送出ポンプ
２３４７  純水加熱槽圧力スイッチ
２３４８  純水加熱槽圧力ゲージ
２３４９  純水加熱槽カートリッジ式フィルター
２３５０  純水加熱槽流量計
２３５１  第二温水槽出口裏面シャワーバルブ
２３５２  第二温水槽出口表面シャワーバルブ
２３５３  乾燥系圧搾空気導入口
２３５４  乾燥系圧搾空気圧力スイッチ
２３５５  乾燥系圧搾空気フィルターレギュレーター
２３５６  乾燥系圧搾空気ミストセパレータ
２３５７  乾燥系圧搾空気供給バルブ
２３５８  乾燥部入口裏面エアーナイフバルブ
２３５９  乾燥部入口表面エアーナイフバルブ
２３６０  純水シャワー槽
２３６１  第一温水槽
２３６２  第二温水槽
２３６３  乾燥部
２３６４  電析水洗系排気ダクト水洗側絶縁フランジ
２３６５  電析水洗系排気ダクト基幹絶縁フランジ
２３６６  電析水洗系排気ダクト凝縮器
２３６７  電析水洗系排気ダクト熱交換グリッド
２３６８  電析水洗系排気ダクト凝縮器排水ドレイン
２３６９  電析水洗系排気
２３７０  乾燥系排気ダクト
２３７１  乾燥系凝縮器
２３７２  乾燥系熱交換グリッド
２３７３  乾燥系凝縮器排水ドレイン
２３７４  乾燥系排気
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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