(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線装置の試料支持部に装着されるアタッチメントにおいて、
試料を包囲するカバーと、
該カバーと前記試料との間に設けられる散乱線除去カバーとを有し、
該散乱線除去カバーは、カバー側に面積の大きい開口を有し試料側に面積の小さい開口を有する壁によって形成される
ことを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項２】
請求項１において、前記カバー側の開口は幅及び高さの両方で前記試料側の開口よりも大きいことを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、前記散乱線除去カバーは前記試料に対してＸ線入射側に配設されることを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項において、前記壁は互いに直角な縦壁と横壁との組み合わせによって形成されることを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項において、前記カバーは視覚的に透明でＸ線を透過できる物質によって半球形状に形成されることを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項において、前記Ｘ線装置の試料支持部に取り付けられる本体部を有し、前記カバーは該本体部に着脱可能に固定されることを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項７】
請求項６において、
前記カバーの内周面にネジが形成され、
前記本体部の外周面にネジが形成され、
前記カバー側のネジと前記本体部側のネジとをネジ嵌合させることにより前記カバーが前記本体部に装着される
ことを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項において、前記試料を加熱する加熱手段、前記試料を冷却する冷却手段、前記試料の周りの湿度を変化させる湿度調節手段、及び前記試料の周りを大気とは異なるガス雰囲気に設定する雰囲気調整手段の少なくとも１つを、さらに、有することを特徴とするＸ線装置用アタッチメント。
【請求項９】
Ｘ線装置の試料支持部に装着される試料高温装置において、試料を載置する試料板と、該試料板を加熱する加熱手段と、試料を包囲するカバーと、該カバーと前記試料との間に設けられる散乱線除去カバーとを有し、
該散乱線除去カバーは、カバー側に面積の大きい開口を有し試料側に面積の小さい開口を有する壁によって形成される
ことを特徴とする試料高温装置。
【請求項１０】
試料を支持する試料支持手段と、前記試料に照射するＸ線を発生するＸ線源と、前記試料から発生したＸ線を検出するＸ線検出手段と、前記試料支持手段に装着されるＸ線装置用アタッチメントとを有するＸ線装置において、
前記Ｘ線装置用アタッチメントは請求項１から請求項８のいずれか一項に記載されたものであることを特徴とするＸ線装置。
【請求項１１】
請求項１０において、前記Ｘ線検出手段は２次元Ｘ線検出器を有することを特徴とするＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線装置において試料の周りに設けられるアタッチメント、そのアタッチメントの１つである試料高温装置及びＸ線装置用アタッチメントを用いたＸ線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
試料にＸ線を照射し、そのときに試料から発生するＸ線、例えば試料で回折したＸ線をＸ線カウンタ等といったＸ線検出手段によって検出するＸ線測定を行うＸ線装置は従来から広く知られている。また、試料を試料高温装置等といったアタッチメントに収容した状態で上記のＸ線測定を行うようにしたＸ線装置も知られている。
【０００３】
この種のＸ線装置では、Ｘ線検出手段は試料から発生するＸ線を検出することが主な役割であるが、何等の措置も講じておかないと、試料を収容するアタッチメントから発生する不要なＸ線もＸ線検出手段によって取り込まれてしまい、その結果、測定結果が不正確になるおそれがある。
【０００４】
この問題を解消するため、従来、図４に示すように、試料ＳとＸ線検出器５１との間にスリット５２を配置した構造のＸ線装置が知られている。試料Ｓは、例えば、試料Ｓの温度を変化させるためのアタッチメントである温度調整装置５３に収容されている。また、スリット５２は、横方向すなわち矢印Ａ方向に互いに平行に並べられた複数の壁５４によって構成されている。
【０００５】
Ｘ線検出器５１は、１次元Ｘ線検出器としてのＰＳＰＣ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｕｎｔｅｒ：位置感応型比例計数管）によって構成されている。このＰＳＰＣ５１は、周知の通り、線状のＸ線取込み口５６を有し、そのＸ線取込み口５６のいずれかの位置にＸ線が入ったときには、そのＸ線が入った位置すなわちＸ線の回折角度に対応した信号及びそのＸ線の強度に対応した信号を出力する。
【０００６】
図４に示す従来の装置では、Ｘ線源Ｆから放射されたＸ線は発散規制スリット５７によって規制されて試料Ｓへ向けられる。そして、試料Ｓに入射するＸ線が試料Ｓの結晶格子面に対してブラッグの回折条件を満足する関係になるときに、試料Ｓから回折Ｘ線が発生する。この回折Ｘ線はスリット５２を構成する複数の壁５４の間に形成される空間を通ってＸ線取込み口５６に入ってＰＳＰＣ５１に取り込まれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のＸ線装置では、Ｘ線が温度調整装置５３のＸ線通過窓５９を通過するときに不要なＸ線である散乱Ｘ線が発生する。スリット５２は、そのような不要なＸ線がＸ線検出器５１に取り込まれることを防止するために設けられるものである。しかしながら、従来のスリット５２では不要なＸ線がＸ線検出器５１に取り込まれることを十分に防ぐことができなかった。本発明者は、Ｘ線検出器５１によって不要なＸ線が取り込まれることを防止するために種々の実験を行い、その結果、不要なＸ線が発生する個所の近傍でそのＸ線の進行を阻止することが有効であることを知見した。
【０００８】
本発明は、上記の知見に基づいて成されたものであって、試料以外の所から発生する不要なＸ線がＸ線検出器に取り込まれることを防止できるようにすることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
（１）  上記の目的を達成するため、本発明に係るＸ線装置用アタッチメントは、Ｘ線装置の試料支持部に装着されるアタッチメントにおいて、試料を包囲するカバーと、該カバーと前記試料との間に設けられる散乱線除去カバーとを有し、該散乱線除去カバーは、カバー側に面積の大きい開口を有し試料側に面積の小さい開口を有する壁によって形成されることを特徴とする。
【００１０】
この構成のＸ線装置用アタッチメントによれば、試料に入射するＸ線及び試料から出射するＸ線の進行路に不要なＸ線が入り込むことを上記の壁によって阻止できるので、不要なＸ線が測定対象であるＸ線と共にＸ線検出器に取り込まれることを防止でき、その結果、精度の高いＸ線測定を行うことができる。
【００１１】
（２）  上記構成のＸ線装置用アタッチメントにおいて、前記カバー側の開口は幅及び高さの両方で前記試料側の開口よりも大きいことが望ましい。こうすれば、試料に入射するＸ線の入射角度を幅方向及び高さ方向の両方に関して大きくとることができる。
【００１２】
（３）  また、上記構成のＸ線装置用アタッチメントにおいて、前記散乱線除去カバーは前記試料に対してＸ線入射側に配設することができる。こうすれば、試料に入射するＸ線がその試料を覆うカバーを通過するときにそのカバーから発生する不要なＸ線を、散乱線除去カバーの壁によって遮蔽できる。
【００１３】
（４）  また、上記構成のＸ線装置用アタッチメントにおいて、前記壁は互いに直角な縦壁と横壁との組み合わせによって形成することができる。つまり、不要なＸ線を遮蔽するための壁は、縦壁と横壁との組み合わせによって箱型に形成することができる。このように箱型に形成された散乱線除去カバーによれば、散乱線除去カバーをドーム型、すなわち、かまぼこ型に形成する場合に比べてＸ線の除去効率が高くなる。
【００１４】
（５）  また、上記構成のＸ線装置用アタッチメントにおいて、前記カバーは視覚的に透明でＸ線を透過できる物質によって半球形状に形成することができる。カバーを視覚的に透明な物質によって形成すれば、試料を視覚によって認識しながら測定を行うことができるので、好都合である。また、カバーを半球形状に形成すれば、測定者による取り扱いが容易になる。
【００１５】
（６）  また、上記構成のＸ線装置用アタッチメントは、前記Ｘ線装置の試料支持部に取り付けられる本体部を有することができ、前記カバーは該本体部に着脱可能に固定することができる。
【００１６】
（７）  また、カバーを本体部に固定する構造の上記Ｘ線装置用アタッチメントにおいては、前記カバーの内周面にネジを形成し、前記本体部の外周面にネジを形成し、そして、前記カバー側のネジと前記本体部側のネジとをネジ嵌合させることにより前記カバーを前記本体部に装着することができる。この構成によれば、カバーをしっかりと本体部に固定でき、しかもそのための作業が非常に簡単である。
【００１７】
（８）  また、上記構成のＸ線装置用アタッチメントは、前記試料を加熱する加熱手段、前記試料を冷却する冷却手段、前記試料の周りの湿度を変化させる湿度調節手段、及び前記試料の周りを大気とは異なるガス雰囲気に設定する雰囲気調整手段の少なくとも１つを、さらに、有することができる。
【００１８】
加熱手段を有するＸ線装置用アタッチメントは、いわゆる試料高温装置である。また、冷却手段を有するＸ線装置用アタッチメントは、いわゆる試料低温装置である。
【００１９】
（９）  次に、本発明に係る試料高温装置は、Ｘ線装置の試料支持部に装着される試料高温装置において、試料を載置する試料板と、該試料板を加熱する加熱手段と、試料を包囲するカバーと、該カバーと前記試料との間に設けられる散乱線除去カバーとを有し、該散乱線除去カバーは、カバー側に面積の大きい開口を有し試料側に面積の小さい開口を有する壁によって形成されることを特徴とする。
【００２０】
この構成の試料高温装置によれば、試料に入射するＸ線及び試料から出射するＸ線の進行路に不要なＸ線が入り込むことを上記の壁によって阻止できるので、不要なＸ線が測定対象であるＸ線と共にＸ線検出器に取り込まれることを防止でき、その結果、精度の高いＸ線測定を行うことができる。
【００２１】
（１０）  次に、本発明に係るＸ線装置は、試料を支持する試料支持手段と、前記試料に照射するＸ線を発生するＸ線源と、前記試料から発生したＸ線を検出するＸ線検出手段と、前記試料支持手段に装着されるＸ線装置用アタッチメントとを有するＸ線装置において、前記Ｘ線装置用アタッチメントは以上に記載した構成のアタッチメントによって構成されることを特徴とする。
【００２２】
この構成のＸ線装置によれば、試料に入射するＸ線及び試料から出射するＸ線の進行路に不要なＸ線が入り込むことを、散乱線除去カバーとしての壁によって阻止できるので、不要なＸ線が測定対象であるＸ線と共にＸ線検出器に取り込まれることを防止でき、その結果、精度の高いＸ線測定を行うことができる。
【００２３】
（１１）  上記構成のＸ線装置において、前記Ｘ線検出手段は２次元Ｘ線検出器を用いて構成できる。この２次元Ｘ線検出器は、Ｘ線を平面的、すなわち２次元的に検出できる構造のＸ線検出器であり、例えば、Ｘ線乾板、Ｘ線フィルム、面状蓄積性蛍光体を備えたＸ線検出器、面状ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）センサを備えたＸ線検出器等を用いることができる。
【００２４】
Ｘ線乾板は、比較的硬質で適宜の面積を有するベース基板の片側表面又は両側表面にハロゲン化銀を主成分とする乳剤を膜状に設けて成る平面状のＸ線検出要素である。Ｘ線を露光したＸ線乾板を現像することにより、そのＸ線乾板の表面に２次元的な、すなわち平面的なＸ線分布を求めることができる。
【００２５】
Ｘ線フィルムは、プラスチックフィルム、例えば厚さの薄い可撓性を有するプラスチックフィルムの片側又は両側表面にハロゲン化銀を主成分とする乳剤を膜状に設けて成る平面状のＸ線検出要素である。このＸ線フィルムにおいても、Ｘ線を露光したＸ線フィルムを現像することにより、そのＸ線フィルムの表面に２次元的な、すなわち平面的なＸ線分布を求めることができる。
【００２６】
面状蓄積性蛍光体を備えたＸ線検出器は、Ｘ線の受光面に面状の蓄積性蛍光体を設けて成る、エネルギ蓄積型の放射線検出要素である。この蓄積性蛍光体は、蓄積性蛍光体物質、例えばＢａＦＢｒ：Ｅｒ２＋の微結晶を可撓性フィルム、平板状フィルム、その他の部材の表面に塗布等によって成膜したものである。この蓄積性蛍光体は、Ｘ線等をエネルギの形で蓄積することができ、さらにレーザ光等といった輝尽励起光の照射によりそのエネルギを外部に光として放出できる性質を有する物体である。
【００２７】
つまり、蓄積性蛍光体にＸ線等を照射すると、その照射された部分に対応する蓄積性蛍光体の内部にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄積性蛍光体にレーザ光等といった輝尽励起光を照射すると上記潜像エネルギが光となって外部へ放出される。この放出された光を光電管等によって検出することにより、潜像の形成に寄与したＸ線の回折角度及び強度を測定できる。この蓄積性蛍光体は従来のＸ線フィルムに対して１０〜６０倍程度の感度を有し、さらに１０６〜１０８程度に及ぶ広いダイナミックレンジを有する。
【００２８】
面状ＣＣＤセンサを備えたＸ線検出器は、ＣＣＤ、すなわち電荷結合素子をＸ線受光面に平面的に配置して成るＸ線検出器である。ＣＣＤは、例えばシリコン基板上に複数の電極を絶縁膜を挟んで直線状又は面状に並べることによって形成された電極アレイを有し、この電極アレイをＸ線取込み口に対応して配置したものがＣＣＤ検出器である。
【００２９】
電極アレイを構成する個々の電極に対応する位置にＸ線が当たると、当該電極の下に電荷が蓄積され、さらに電極と基板との間に電圧を次々に与えることにより、蓄積された電荷を転送して外部へ出力するものである。
【００３０】
２次元Ｘ線検出器を用いた本発明の構成においては、平面的に分散するＸ線の全てがその２次元Ｘ線検出器によって同時に検出される。それ故、不要なＸ線を検出してしまう可能性も高くなる。しかしながら、この２次元Ｘ線検出器に対して本発明に係る散乱線除去カバーを用いれば、２次元Ｘ線検出器が不要なＸ線で露光されることを確実に防止できる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係るＸ線装置及びＸ線装置用アタッチメントの一実施形態を示している。本実施形態に例示したＸ線装置用アタッチメントは試料高温装置である。ここに示すＸ線装置１は、Ｘ線を発生するＸ線源Ｆと、試料Ｓを支持する支持部材２と、試料支持部材２に固定状態で装着された試料高温装置３と、試料Ｓから発生するＸ線を検出するＸ線検出器４とを有する。
【００３２】
Ｘ線検出器４は、そのＸ線受光面に蓄積性蛍光体を平面的に設けて成る２次元Ｘ線検出器として構成されている。このＸ線検出器４は、蓄積性蛍光体面を内面として試料Ｓを中心とする円筒形状に湾曲している。Ｘ線源Ｆは、例えば、加熱されて熱電子を放出するフィラメント（図示せず）と、そのフィラメントに対向して配置されたターゲット（図示せず）とによって構成できる。
【００３３】
試料高温装置３は、図２に示すように、適宜の締結手段、例えばネジ、接着剤等によって試料支持部材２に固定される本体部６と、この本体部６の上端に載せられる試料板７と、試料板７の上面に固定される散乱線除去カバー８と、本体部６の上端に固着されるカバー９とを有する。
【００３４】
カバー９は、視覚的に透明で且つＸ線を透過できる物質、例えば透明プラスチックによって半球形状、すなわちドーム形状に形成される。カバー９の内周面の底部にはネジ１１が形成され、一方、本体部６の外周面の上端にはネジ１７が形成される。カバー９のネジ１１を本体部６のネジ１７に押し当て、さらに矢印Ｂのようにカバー９の全体を回すことにより、カバー９を本体部６の上端に固着できる。
【００３５】
試料板７は適宜の物質、例えばステンレスによって円盤形状に形成され、その中央部には環状突起１２によって区画される試料載置部１３が設けられる。測定対象である試料Ｓはその試料載置部１３に載せられる。試料板７は、カバー９を本体部６に固着したときに、その本体部６の上端に接触した状態で固定される。
【００３６】
散乱線除去カバー８は、カバー９側に大きい開口１４ａを有し試料Ｓ側に小さい開口１４ｂを有する壁１６によって構成されている。壁１６はＸ線を通過させない物質、例えばステンレスによって形成される。本実施形態では、壁１６は縦壁１６ａと横壁１６ｂとの組み合わせによって箱型、すなわち断面形状が正方形又は長方形の方形状に形成されている。また、散乱線除去カバー８は、適宜の締結手段、例えばネジ、接着剤等によって試料板７の上面又はカバー９の内面に固定される。
【００３７】
散乱線除去カバー８は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、試料ＳにＸ線Ｒ０が入射する側、すなわち試料Ｓに対して入射Ｘ線側に配設される。また、散乱線除去カバー８は、カバー９側の開口１４ａが試料Ｓ側の開口１４ｂに比べて幅Ｗ及び高さＨの両方に関して大きく設定されている。また、カバー側の開口１４ａの幅方向Ｗの大きさは、Ｘ線測定において予定される面内回転角度φよりも大きい寸法に設定される。また、カバー側の開口１４ａの高さ方向Ｈの大きさは、Ｘ線測定において予定されるＸ線入射角度θよりも大きい寸法に設定される。
【００３８】
図２において、本体部６は円筒形状に形成され、その内部には棒状ヒータ１８が設けられる。棒状ヒータ１８はその内部にコイルその他の発熱体が内蔵され、その上面が発熱面となっている。棒状ヒータ１８の発熱体に通電が成されるとその発熱体が発熱し、この熱は本体部６の上端面を介して試料板７に伝達して、この試料板７が加熱され、これにより、試料Ｓが高温に加熱される。
【００３９】
棒状ヒータ１８の発熱体への通電量は所定のプログラムに基づいてコントローラによって制御され、これにより、試料Ｓの温度がプログラムに従って変化する。なお、試料Ｓの温度変化を正確に行うために、棒状ヒータ１８の周りに冷却手段、例えば冷却フィン（図示せず）を設けることができる。
【００４０】
図１において、試料高温装置３を支持する支持部材２は測角装置、すなわちゴニオメータ１９によって駆動される。また、ゴニオメータ１９はω回転装置２１及びφ回転装置２２を有する。ω回転装置２１は、入射Ｘ線Ｒ０の光路に対して直角方向に延びるω軸線を中心として試料高温装置３、従って試料Ｓを回転させる。この回転により、試料Ｓに入射するＸ線Ｒ０の入射角度θを変化させることができる。
【００４１】
また、φ回転装置２２は、試料Ｓを通り前記ω軸線に直交するφ軸線を中心として試料高温装置３、従って試料Ｓを回転、いわゆる面内回転させる。この面内回転により、試料Ｓ内の結晶格子面の入射Ｘ線Ｒ０に対する向きを変化させることができる。
【００４２】
ω回転装置２１及びφ回転装置２２は任意の構造によって構成できるが、例えば、パルスモータ等といった回転角度を高精度に制御可能な動力源と、その動力源の回転を支持部材２に伝達する動力伝達手段とを含む構造を採用できる。上記の動力伝達手段は、例えば、ウオームとウオームホイールとから成る動力伝達機構によって構成できる。
【００４３】
以下、上記構成より成るＸ線装置についてその動作を説明する。図２において、Ｘ線装置の支持部材２に固定されている試料高温装置３の本体部６からカバー９を取り外して試料板７を外部へ露出させ、その露出した試料板７の試料載置部１３に測定対象である試料Ｓを載せる。そして、カバー９を本体部６へネジ込んで固着する。
【００４４】
次に、図１において、ω回転装置２１を作動して入射Ｘ線Ｒ０の試料Ｓに対する入射角度θを試料Ｓに固有の値にセットし、さらに、棒状ヒータ１８へ通電を行ってそれを発熱させて、試料Ｓの温度を所定のプログラムに従って昇温及び降温させたり、一定の温度に維持したりする。
【００４５】
試料Ｓの温度が所定のプログラムに従って変化あるいは一定に維持されるのと同時に、Ｘ線源Ｆを始動してＸ線を発生する。発生したＸ線は、発散規制スリット２３によって試料Ｓへ向かうものが選択され、さらに、必要に応じてコリメータ２４によって微小径の平行Ｘ線ビームに成形されて試料Ｓへ照射される。
【００４６】
コリメータ２４から出射したＸ線はカバー９を通過し、さらに散乱線除去カバー８を通過して、試料Ｓへ照射される。試料Ｓに入射するＸ線Ｒ０と試料Ｓ内の結晶格子面との間でブラッグの回折条件が満足されると、その試料ＳでＸ線が回折する。この回折Ｘ線Ｒ１は回折角度２θで進行して蓄積性蛍光体型の２次Ｘ線検出器４へ到達してその蓄積性蛍光体面を露光する。
【００４７】
この露光により、蓄積性蛍光体面には、試料Ｓに固有の露光像パターンがエネルギ潜像として蓄積される。エネルギ潜像が蓄積されたＸ線検出器４は、Ｘ線装置１から取り外されて、図示しないＸ線画像読取り装置の所定の読取り位置に装着されて読取り処理を受ける。具体的には、蓄積性蛍光体面の全面をレーザ光等といった輝尽励起光によって走査し、その走査時に蓄積性蛍光体面から放出される光を光電変換器によって検出し、その検出結果に基づいて、Ｘ線検出器４の蓄積性蛍光体面に保持された潜像の形成に寄与したＸ線の回折角度及び強度を演算によって求める。
【００４８】
図１において、試料ＳへＸ線Ｒ０が照射されるとき、そのＸ線Ｒ０はカバー９を通過する。この通過時、Ｘ線が通過した所のカバー９から散乱Ｘ線が発生する。この散乱Ｘ線は、試料Ｓからの回折Ｘ線を測定することから見れば不要なＸ線である。この散乱Ｘ線のうちＸ線検出器４へ向かって進行する成分は、散乱線除去カバー８の壁１６に当たってその進行を阻止され、その結果、Ｘ線検出器４へ到達することが無い。
【００４９】
仮に、散乱Ｘ線がＸ線検出器４へ到達すると、試料Ｓからの回折Ｘ線Ｒ１とは関係の無い所に露光像が形成されてしまうので、測定結果が不正確になるおそれがある。また、散乱Ｘ線がＸ線検出器４を広く露光することにより、測定結果におけるバックグラウンド成分が高くなって、本来測定しなければならない微小な露光データがそのバックグラウンド成分に隠されて検出できなくなるおそれもある。これに対し、本実施形態のように散乱線除去カバー８を用いれば、カバー９からの散乱Ｘ線がＸ線検出器４へ向かって進行することを阻止できるので、Ｘ線検出器４によって高精度のＸ線測定を行うことができる。
【００５０】
なお、本実施形態では、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、散乱線除去カバー８を構成する壁１６のカバー９側の開口１４ａが、その幅方向Ｗ及び高さ方向Ｈの両方に関して、試料Ｓ側の開口１４ｂよりも広く形成されているので、カバー９のＸ線通過点に発生する散乱Ｘ線を漏れなく遮蔽することができる。また、開口１４ａをそのように広く形成したので、入射Ｘ線Ｒ０の面内回転角度φ及び入射角度θを広く取ることができる。
【００５１】
また、試料Ｓに関してＸ線入射側に発生する散乱Ｘ線は、Ｘ線検出器４を広く露光するおそれがあるが、試料Ｓの入射Ｘ線側に配設された散乱線除去カバー８はそのようなＸ線入射側に発生する散乱Ｘ線を発生源の近傍で抑えることができ、よって、散乱Ｘ線を遮蔽する効率が非常に高い。
【００５２】
また、本実施形態の散乱線除去カバー８は、縦壁１６ａと横壁１６ｂとを組み合わせた箱型に形成されているので、例えば、散乱線除去カバー８をドーム型、すなわち、かまぼこ型に形成する場合に比べて、散乱Ｘ線を回収、すなわち遮蔽する効率が非常に高い。また、本実施形態の散乱線除去カバー８は、視覚的に透明なプラスチックによって形成されているので、Ｘ線測定中の試料Ｓの状態を視覚によって確認できる。
【００５３】
また、本実施形態の試料高温装置３においては、半球状に形成されたカバー９の全体が本体部６に対して着脱できるので、試料板７に対する試料Ｓの着脱を非常に簡単に行うことができる。
【００５４】
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【００５５】
例えば、図１の実施形態では、試料を加熱する手段を有する試料高温装置３をＸ線装置用アタッチメントとして考えたが、Ｘ線装置用アタッチメントはそのような試料高温装置に限られず、以下のような種々の装置が考えられる。例えば、試料を冷却する冷却手段を有する試料冷却装置や、試料の周りの湿度を変化させる湿度調節手段を有する装置や、試料の周りを大気とは異なったガス雰囲気に設定する雰囲気調整装置等といった各種の装置をＸ線装置用アタッチメントとして考えることができる。これら各種の装置は、いずれも、試料を包囲するカバーを有する点で共通している。
【００５６】
また、図１の実施形態では、受光面に蓄積性蛍光体を平面的に備えたＸ線検出器を２次元Ｘ線検手段として用いたが、２次元Ｘ線検出器としてはこれ以外のＸ線検出器、例えば、Ｘ線乾板、Ｘ線フィルム、２次元ＣＣＤ検出器等を用いることができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明に係るＸ線装置用アタッチメント、Ｘ線高温装置及びＸ線装置によれば、試料に入射するＸ線及び試料から出射するＸ線の進行路に不要なＸ線が入り込むことを壁によって阻止できるので、不要なＸ線が測定対象であるＸ線と共にＸ線検出器に取り込まれることを防止でき、その結果、精度の高いＸ線測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＸ線装置用アタッチメント、Ｘ線高温装置及びＸ線装置のそれぞれの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す試料高温装置を分解して示す斜視図である。
【図３】図２に示す試料高温装置の主要部を示し、（ａ）はその平面断面図、（ｂ）はその側面断面図である。
【図４】従来のＸ線装置の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１            Ｘ線装置
２            支持部材
３            試料高温装置（Ｘ線装置用アタッチメント）
４            Ｘ線検出器
６            試料高温装置の本体部
７            試料板
８            散乱線除去カバー
９            カバー
１４ａ          カバー側の開口
１４ｂ          試料側の開口
１６            壁
１６ａ          縦壁
１６ｂ          横壁
１８            棒状ヒータ
１９            ゴニオメータ
Ｆ            Ｘ線源
Ｈ            開口の高さ
Ｒ０，Ｒ１    Ｘ線
Ｓ            試料
Ｗ            開口の幅
θ            Ｘ線入射角
２θ            Ｘ線回折角
φ            面内角度
【図１】
0003581848.tif 000002
【図２】
0003581848.tif 000003
【図３】
0003581848.tif 000004
【図４】
0003581848.tif 000005