(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
補助治具の粘着シート上に貼着されて加工工程を経た柔軟性薄板状基板を上記粘着シートから剥離する基板剥離装置であって、
柔軟性薄板基板の張り出した部分を下方から突き上げる突き上げ機構と、
柔軟性薄板基板における突き上げ機構により突き上げられた部分を吸い上げて保持する吸い上げ機構と、
この吸い上げ機構に保持された柔軟性薄板基板と上記粘着シートとの間に配されて、上記粘着シートから上記柔軟性薄板状基板を剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段と、
上記剥離力付与手段を上記粘着シートと上記柔軟性薄板状基板との貼着面に沿って移動させる移動手段とを備えており、
この移動手段が、上記粘着シートから剥離された上記柔軟性薄板状基板を載置する基板載置部材を有することを特徴とする基板剥離装置。
【請求項２】
上記剥離力付与手段が、圧縮空気を噴射することにより剥離力を付与するエアナイフであり、
このエアナイフが、上記柔軟性薄板状基板と粘着シートとの仮貼り合わせ目に向けて圧縮空気を吹き付けるように設定されているとともに、
エアナイフから噴射される圧縮空気が上記仮貼り合わせ目に噴射されて生じる吹き返しが、柔軟性薄板状基板と基板載置部材との間を吹き抜けるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の基板剥離装置。
【請求項３】
上記基板載置部材がその基板載置面の基板を受け入れる側の端縁部近傍に複数個の孔部を有することを特徴とする請求項２に記載の基板剥離装置。
【請求項４】
上記剥離力付与手段が、上記柔軟性薄板基板と粘着シートとの仮貼り合わせ目に刃を当てる片刃くさびであることを特徴とする請求項１に記載の基板剥離装置。
【請求項５】
上記剥離力付与手段が、回転することによって上記粘着シートから上記柔軟性薄板基板を捲くり上げて剥離する回転ローラであることを特徴とする請求項１に記載の基板剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示素子に使用される柔軟性薄板状基板が加工工程を経る際に補助治具上に貼着され、加工後、上記補助治具から剥離されるに当たって用いられる基板剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
柔軟性薄板状基板が使用される例として、液晶表示素子の基板が考えられる。液晶表示素子の基板としては、元来、ガラスが用いられるのが一般的であった。ところが、液晶表示素子の薄型、軽量化が図られるなかで、ガラス基板の持つ、厚い、重い、脆いという特質から、このガラス基板に替わって新たにプラスチック基板等の柔軟性薄板状基板の使用が試みられるようになった。
【０００３】
しかし、プラスチック基板の場合、耐熱性が小さいために、薄膜形成等の加熱工程を経ると変形してしまったり、また、剛性に欠けるために、単体での加工に耐え難いといった問題点があった。
【０００４】
そこで、基板を強化する目的で補助治具上に取り付けられて製造加工工程を通すといった案が考え出された。
【０００５】
その一例として、本出願人が先に出願した特願平６−１６５３３２号においては、薄板状のガラスもしくはプラスチックの基板からなる液晶表示素子を製造するに際し、薄板状基板を補助治具上に粘着シートにより貼着させて加工工程を通過させ、その後、この薄板状基板を補助治具から剥離している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この補助治具上に貼着された薄板状基板を剥離する方法としては、例えば、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、基板３６の表面に設けられたフィルム状の保護シート（ラミネート等）３４を剥がす際に用いられているような方法を応用することが考えられる。これは、粘着テープ３５を保護シート３４の隅部に貼着して、粘着テープ３５を引っ張り上げることにより保護シート３４を基板３６から剥がすというものである。
【０００７】
しかしながら、このような方法は、非常に貼着力の弱いものには適しているが、上記の加工工程に耐えうるだけの貼着力を持って治具上に貼付されたものを剥離するにはその剥離力が小さすぎる。
【０００８】
また、補助治具から剥離する基板が、特に、液晶表示素子の基板であるというような場合は、剥離力を充分に加えてただ単に治具から剥離しさえすれば良いというものでもない。すなわち、液晶表示素子用の基板等である場合には、
▲１▼基板上面に形成された薄膜を破壊することなく、
▲２▼補助治具との接着面である基板下面に傷を付けることなく、
▲３▼静電気等により基板を帯電させることなく、
確実に補助治具からの剥離が行われねばならない。
【０００９】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、補助治具から柔軟性薄板状基板を剥離するに際し、基板に悪影響を及ぼすことなく、確実に基板を剥離することのできる基板剥離装置の提供を目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の基板剥離装置は、補助治具の粘着シート上に貼着されて加工工程を経た柔軟性薄板状基板を上記粘着シートから剥離する基板剥離装置であって、柔軟性薄板基板の張り出した部分を下方から突き上げる突き上げ機構と、柔軟性薄板基板における突き上げ機構により突き上げられた部分を吸い上げて保持する吸い上げ機構と、この吸い上げ機構に保持された柔軟性薄板基板と上記粘着シートとの間に配されて、上記粘着シートから上記柔軟性薄板状基板を剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段と、上記剥離力付与手段を上記粘着シートと上記柔軟性薄板状基板との貼着面に沿って移動させる移動手段とを備えており、この移動手段が、上記粘着シートから剥離された上記柔軟性薄板状基板を載置する基板載置部材を有することを特徴としている。
【００１１】
この構成によれば、補助治具と柔軟性薄板状基板との間、すなわち貼着面上に補助治具から柔軟性薄板状基板を剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段が設けられ、また、この剥離力付与手段は貼着面に沿って剥離方向に移動する。これにより、剥離力が補助治具と柔軟性薄板状基板との貼着部に直接的、継続的に付与される。
【００１２】
また、本発明の基板剥離装置に、上記粘着シートから上記柔軟性薄板状基板を剥離する際に、上記柔軟性薄板状基板が帯びた電荷を消失させる除電手段を備えてもよい。
この構成によれば、柔軟性薄板状基板が補助治具から剥離される際に帯びた電荷を除去する除電手段が設けられている。これにより、柔軟性薄板状基板が除電される。
【００１３】
また、上記除電手段として、イオン化された空気を上記柔軟性薄板状基板に吹き付けるイオン中和手段を用いてもよい。
この構成によれば、イオン化された空気を柔軟性薄板状基板に供給することとなる。これにより、電荷を帯びた柔軟性薄板状基板に、これとは逆極性の電荷を持った空気が供給されて、中和される。
【００１４】
また、上記剥離力付与手段として、圧力流体を噴射することにより剥離力を付与する流体噴射手段を用いてもよい。
この構成によれば、剥離力が圧力流体を噴射しての圧力によるものであるため、柔軟性薄板状基板に対して機械的に無接触な状態で剥離が行われる。
【００１５】
また、上記流体噴射手段として、エアナイフを用いてもよい。この構成によれば、圧力流体として圧縮空気が使用される。
【００１６】
また、このエアナイフが、上記柔軟性薄板状基板と粘着シートとの仮貼り合わせ目に向けて圧縮空気を吹き付けるように設定されているとともに、エアナイフから噴射される圧縮空気が上記仮貼り合わせ目に噴射されて生じる吹き返しが、柔軟性薄板状基板と基板載置部材との間を吹き抜けるように設定されていることが好ましい。
【００１７】
これにより、エアナイフから噴射された圧縮空気の吹き返しが柔軟性薄板状基板と基板載置部材との間を吹き抜けて、柔軟性薄板状基板の剥離部分を浮き上がらせる。また、剥離後の柔軟性薄板状基板は、基板載置部材上に載置される。
【００１８】
また、上記エアナイフとして、イオン化された空気を上記柔軟性薄板状基板に吹き付けるものを用いてもよい。この構成によれば、エアナイフからイオン化された空気が噴射される。これにより、補助治具から柔軟性薄板状基板を剥離するエアが同時に除電も行う。
【００１９】
また、上記基板載置部材が、その基板載置面の基板を受け入れる側の端縁部近傍に複数個の孔部を有していることも好ましい。
この構成によれば、基板載置部材の基板載置面には複数個の孔部が設けられている。これにより、柔軟性薄板状基板と基板載置部材との間におこる圧縮空気の吹き返し空気の一部が基板載置部材上側から基板載置面の孔部を通って基板載置部材の下側に逃げて、吹き返し風速を弱める。
【００２０】
また、上記剥離力付与手段として、上記柔軟性薄板基板と粘着シートとの仮貼り合わせ目に刃を当てる片刃くさびを用いてもよい。
さらに、上記剥離力付与手段として、回転することによって上記粘着シートから上記柔軟性薄板基板を捲くり上げて剥離する回転ローラを用いてもよい。
これらにより、補助治具からの柔軟性薄板状基板の剥離を確実に行うことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
〔実施例１〕
本発明の一実施例について図１ないし図７に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００２２】
図１に示すように、本実施例に係る基板剥離装置１は、装置本体２と装置本体２上に設置された１軸ロボット３とからなる。
【００２３】
装置本体２の上端には剥離装置ベッド４が設置されており、その中央部には対象ワークを載置するための吸着テーブル５が設けられている。この吸着テーブル５は、装置本体２内部に設置された吸着テーブル用コンバム６に接続されていて、吸着テーブル５上に載置された対象ワークを吸着して固定する。
【００２４】
吸着テーブル５の基板剥離開始位置の近傍には、突き上げ機構７が設けられている。この突き上げ機構７は、斜め上下方向に運動して吸着テーブル５上に載置された対象ワークの突き上げ機構７側に張り出した部分を一時、下方から突き上げる。
【００２５】
この突き上げ機構７よりやや吸着テーブル５から遠ざかった基板剥離開始位置の近傍には、移動機構８が設けられている。移動機構８は、剥離手段であるエアナイフ９と、このエアナイフ９の上方に位置するスクレイパー１０とを有し、装置本体２に内蔵された駆動源であるインダクションモーター１１とタイミングベルト１２との連動により、水平方向に移動する。
【００２６】
エアナイフ９は、装置本体２に内蔵された図示しない圧縮空気発生装置およびイオン発生器１３に接続されている。圧縮空気発生装置から発生された圧縮空気はイオン発生器１３内を通過することによりイオン化圧縮空気１４となり、エアナイフ９で更に絞られてから噴射される。すなわち、エアナイフ９は剥離手段であると共に、除電手段も兼ねている。また、イオン化圧縮空気１４の噴射は水平方向移動しながら行われる。また、エアナイフ９の形状は、図２に示す通りであり、３か所にスリット状の空気噴出口９ａ〜９ｃが設けられている。尚、更なる詳細については、後述する。
【００２７】
スクレイパー１０は、剥離された基板を載置する。図３（ａ）ないし（ｃ）に示すように、その形状は、板状で、基板の受け入れ側を除く三方の端縁部には載置された基板が滑り落ちないようにリブ１０ａ…が設けられている。載置面１０ｂには、多数の小さな空気抜孔１０ｃ…が設けられており、基板の受け入れ側を底辺とするほぼピラミッド状に配列されている。また、同図（ｄ）に示すように、空気抜穴１０ｃ…の載置面１０ｂ側の周縁部には基板に傷を付けないように面取り仕上げが施されている。そして、載置面１０ｂとは反対側の下面に設けられた取り付け部１０ｄ・１０ｄにより移動機構８に取り付けられて、水平方向移動を行う。
【００２８】
また、剥離装置ベッド４上には、除電ブロア３１が、後述する１軸ロボット３の支持脚１５を挟んで吸着テーブル５と対峙する位置に設置されている。除電ブロア３１からは、装置本体２内部の図示しないイオン発生器から供給されたイオン化エアが、吸着テーブル５上の対象ワークに向かって吹き付けられる。このため、対象ワークの上面（吸着テーブル５との吸着面の反対面）の帯電が除去される。
【００２９】
一方、１軸ロボット３は、吸着テーブル５近傍の、突き上げ機構７と対向する位置に立設する支持脚１５により支持されている。支持脚１５には、傾斜して本体部１６が取り付けられており、本体部１６からは突き上げ機構７に対峙するようにアーム１７が延びている。このアーム１７の先端部には伸縮部１８と吸着パッド１９とからなる吸い上げ機構２０が設けられている。伸縮部１８は、図示しない駆動源によって伸縮移動し、吸着パッド１９は、装置本体２に内蔵された吸着パッド用コンバム２１に接続されている。そして、吸着テーブル５上の対象ワークの突き上げ機構７により突き上げられた部分にまで伸縮部１８が伸長し、その先端の吸着パッド１９で一時的に吸い上げて保持する。
【００３０】
そして、これら基板剥離装置１を構成する機構の全操作は、剥離装置ベッド４上の端部に設けられた操作盤２２への入力によって行われ、装置本体２に内蔵された制御盤２３によって制御されている。
【００３１】
ところで、この基板剥離装置１にて剥離処理が施される対象ワークは、図４に示すように、柔軟性薄板状基板２４が、補助治具２５である粘着シート２６および治具プレート２７に仮貼付された、すなわち、治具プレート２７上に接着された粘着シート２６上に貼着されたものである。
【００３２】
さらに、図５に示すように、治具プレート２７の突き上げ機構７にかかる隅部が三角形に切り取り加工されており、基板２４の隅部（切り捨て部）２４ａが突き上げ機構７上に張り出して、下方から突き上げ機構７により突き上げられ易くなっている。
【００３３】
次に、この基板剥離装置１を用いた実際の剥離動作について説明する。
【００３４】
まず、吸着テーブル５上に補助治具２５に仮貼付された状態の基板２４を隅部２４ａが突き上げ機構７上に張り出すようにセットした後、操作盤２２の起動スイッチを押して、吸着固定させる。次に、基板２４の隅部２４ａを突き上げ機構７が下方から突き上げて、補助治具２５より剥離する。この際、図６に示すように、吸い上げ機構２０の伸縮部１８が伸長し、その先端の吸着パッド１９が押し上げられた隅部２４ａに達すると吸い上げを実行する。そして、図７に示すように、基板２４と粘着シート２６との仮貼り合わせ目（境目）に向けて、エアナイフ９からイオン化圧縮空気１４を更に絞り込んで噴射して、剥離を行う。このとき、基板２４が浮き上がる迄、吸着パッド１９による吸い上げは保持される。さらに、エアナイフ９は剥離前進を続け、エアナイフ９の上方のスクレイパー１０が、剥離された基板２４と粘着シート２６との間に入り込んだときに、吸い上げ機構２０は吸着を解除し、伸縮部１８が収縮して、吸着パッド１９はスクレイパー１０が通過可能な位置まで後退（上昇）する。
【００３５】
この状態から、エアナイフ９がイオン化圧縮空気１４を噴射しながらさらに剥離前進して、基板２４は補助治具２５から剥離されていく。
【００３６】
この間、イオン化圧縮空気１４が基板２４と粘着シート２６との仮貼り合わせ目に噴射されて生じる吹き返しは、基板２４とスクレイパー１０との間を吹き抜ける。基板２４の剥離部分はこの吹き抜ける空気により浮き上がり、また、スクレイパー１０上に擦れることはない。
【００３７】
そして、完全に剥離された後、基板２４はスクレイパー１０上に軟着、載置される。
【００３８】
尚、剥離開始時には、上記の吹き返しが強いため、基板２４がスクレイパー１０に引き寄せられる。これに対して、空気抜孔１０ｃ…により吹き返しの空気をスクレイパー１０の下側に逃がして、吹き返しを弱めることで、引き寄せを防止することができる。
【００３９】
つまり、基板２４の剥離過程において、既に剥離された部分は、基板２４とスクレイパー１０との間を吹き抜ける空気により、空中に浮き上がった状態で保持され、また、完全に基板２４の剥離が完了するとスクレイパー１０上に軟着、載置されるので、剥離途中および剥離後の基板２４に傷、屈曲などの破損が生じることを防止することができる。
【００４０】
エアナイフ９から噴出される剥離のためのイオン化圧縮空気１４の風量については、このエアナイフ９の空気噴出口９ａ〜９ｃの開口サイズと、圧縮空気発生装置から供給される圧縮空気圧との関係から決定される。
【００４１】
例えば、３２０（ｍｍ）×３２４（ｍｍ）の方形状の基板を剥離する際には、この３つの空気噴出口９ａ〜９ｃの開口サイズを含めたエアナイフ９の詳細な寸法について、図２を参照に言及すれば、噴出口厚さ（Ｔ）＝０．１５±０．０１（ｍｍ）、総噴出口幅（ａ＋ｂ＋ｃ）＝８５〜９０（ｍｍ）、エアナイフ幅（Ａ）＝２００（ｍｍ）であることが好ましい。これは、表１に示すような実験データに基づいて割り出されたものである。この実験は、寸法３２０（ｍｍ）×３２４（ｍｍ）の補助治具上に貼着された基板に対して、一般工場用圧縮空気（５ｋｇ／ｃｍ２）をエアナイフから噴射したときの、基板の剥離度を調べたものである。尚、表中のレギュレーター圧は、圧縮空気噴射時の圧力低下値を示している。さらに、この実験より割り出された概略寸法のエアナイフを用いて、剥離に最適な噴射圧縮空気の風量とエアナイフの最適寸法を決定するための基板の剥離実験を行い、その結果を示したのが表２である。そして、この表より、上記のようにエアナイフ９の形状、寸法が決定された。
【００４２】
【表１】
0003565336.tif 000002
【００４３】
【表２】
0003565336.tif 000003
【００４４】
また、エアナイフ９から噴射される剥離エアがイオン化圧縮空気１４であるためにもたらされる、剥離の際に基板２４が帯びた電荷を除去する除電効果は、以下に示す実験の結果から明らかである。
【００４５】
この実験は、剥離のための圧縮空気として、イオン発生器（ＨＵＧＬＥ  製、ＥＳＣＡ４１１）使用によるイオン化圧縮空気を用いた場合と、イオン発生器を使用しない一般工場用圧縮空気を用いた場合とのそれぞれにおける剥離前および剥離後の基板２４の帯電状態を測定したものである。気温２４℃、湿度５０％という環境下で、まず、図８（ａ）に示すように、基板２４の測定ポイント▲１▼〜▲３▼における帯電量を静電気測定器（ＳＳＤ  製、ＳＴＡＴＩＲＯＮ−Ｍ２  型）にて測定した。そして、同図（ｂ）に示すように、エアナイフ９からイオン化圧縮空気および一般工場用圧縮空気をそれぞれ噴射して、基板２４を補助治具２５から剥離した。剥離後のそれぞれの基板２４の測定ポイント▲１▼〜▲３▼における帯電量を測定し、結果を示したものが表３および表４である。表３はイオン化圧縮空気を用いた場合の、表４は一般工場用圧縮空気を用いた場合の結果を表したものである。イオン化圧縮空気による剥離後の平均最大帯電量は０．３２ＫＶであり、一般工場用圧縮空気による剥離後の平均最大帯電量は２．１ＫＶであり、除電手段としてイオン化圧縮空気を用いることによる除電効果は顕著である。
【００４６】
【表３】
0003565336.tif 000004
【００４７】
【表４】
0003565336.tif 000005
【００４８】
以上のように、本実施例に係る基板剥離装置１においては、補助治具２５から基板２４を剥離するのに、直接に基板２４と粘着シート２６との仮貼り合わせ目に向けて、エアナイフ９から更に絞り込んだイオン化圧縮空気１４が噴射される。これにより、確実に補助治具２５からの基板２４の剥離が実行される。また、エアナイフ９は移動機構８に搭載されて、基板２４の貼着面に沿って移動する。これにより、エアナイフ９による剥離動作が継続的に実施されるので、さらに確実に剥離を行なうことができる。また、風圧を利用した機械的接触のない剥離であるため、基板２４に傷が付くことがない。また、噴射されるエアがイオン化圧縮空気１４であるために、剥離の際に生じる静電気が中和され、基板２４の除電が行われる。これにより、基板２４上に形成された薄膜電極等に悪影響を及ぼすこともない。また、イオン化圧縮空気１４を送り込むだけで除電が行えるので除電操作が簡便である。さらに、イオン化圧縮空気１４は剥離処理後に回収する必要がないので、基板剥離装置１の構造が複雑になることはない。
【００４９】
〔実施例２〕
次に、本発明の他の実施例について図９および図１０に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００５０】
本実施例においては、図９に示すように、基板剥離装置２９において移動機構８に搭載される剥離手段が片刃くさび３０であり、また、除電手段として、イオン化空気を噴出させるための図示しないノズルが移動機構８に搭載されている点で前記実施例１と異なっている。尚、除電手段としては、除電ガンや除電バーを用いてもよい。
【００５１】
図１０に示すように、この基板剥離装置２９を用いた剥離動作においては、片刃くさび３０が基板２４と粘着シート２６との仮貼り合わせ目に直接にその刃を当てて削ぎ剥し、削ぎ剥された基板２４はスクレイパー１０に載置されながら、片刃くさび３０は更に剥離前進を続ける。また、この際、これと平行してノズルからは基板２４の剥離面に向けてイオン化空気が吹き付けられる。そして、この状態は剥離が完全に終了するまで実行される。
【００５２】
以上のように、本実施例に係る基板剥離装置２９においては、基板２４と粘着シート２６との仮貼り合わせ目に片刃くさび３０が直接に当てられて削ぎ剥がしが行われる。これにより、確実に基板２４の剥離が行われる。また、剥離動作と平行してノズルから基板２４の剥離面に向けてイオン化空気が吹き付けられるので、剥離の際に生じる静電気が中和されて、基板２４の除電が行われる。これにより、基板２４上に形成された薄膜電極等に悪影響を及ぼすこともない。
【００５３】
〔実施例３〕
次に、本発明のさらに他の実施例について図１１および図１２に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００５４】
本実施例においては、図１１に示すように、基板剥離装置３２において移動機構８に搭載される剥離手段が回転ローラ３３である点で前記実施例２と異なっている。
【００５５】
回転ローラ３３は、図１２に示すように、基板２４と粘着シート２６との間に配されて、図中矢印Ａ方向に回転して、基板２４を粘着シート２６から捲くり上げて引き剥す。
【００５６】
従って、本実施例に係る基板剥離装置３２においては、基板２４と粘着シート２６との仮貼り合わせ目を、回転ローラ３３が回転しながら捲くり上げて引き剥がす。これにより、完全に基板２４の剥離が行われる。また、剥離動作と平行してノズルから基板２４の剥離面に向けてイオン化空気が吹き付けられるので、剥離の際に生じる静電気が中和されて、基板２４の除電が行われる。これにより、基板２４上に形成された薄膜電極等に悪影響を及ぼすこともない。
【００５７】
尚、前記の実施例１ないし３の他に、例えば、図１３に示すような方法での剥離も考えられる。この方法は、基板２４の一端をクランプして、斜め上方に引き上げるもので、例えばロボット等にティーチングを行って、代用させることが可能である。
【００５８】
【発明の効果】
以上のように、本発明の基板剥離装置は、補助治具の粘着シート上に貼着されて加工工程を経た柔軟性薄板状基板を上記粘着シートから剥離する基板剥離装置であって、柔軟性薄板基板の張り出した部分を下方から突き上げる突き上げ機構と、柔軟性薄板基板における突き上げ機構により突き上げられた部分を吸い上げて保持する吸い上げ機構と、この吸い上げ機構に保持された柔軟性薄板基板と上記粘着シートとの間に配されて、上記粘着シートから上記柔軟性薄板状基板を剥離する剥離力を付与する剥離力付与手段と、上記剥離力付与手段を上記粘着シートと上記柔軟性薄板状基板との貼着面に沿って移動させる移動手段とを備えており、この移動手段が、上記粘着シートから剥離された上記柔軟性薄板状基板を載置する基板載置部材を備えている構成である。
【００５９】
これにより、補助治具からの柔軟性薄板状基板の剥離を確実に行うことができるという効果を奏する。
【００６０】
また、本発明の基板剥離装置に、上記粘着シートから上記柔軟性薄板状基板を剥離する際に、上記柔軟性薄板状基板が帯びた電荷を消失させる除電手段を備えてもよい。
これにより、柔軟性薄板状基板が帯電することによる悪影響、例えば柔軟性薄板状基板上に薄膜電極が形成されている場合、帯電によりこれが破壊される等の事態が引き起こされることを防止することができるという効果を奏する。
【００６１】
また、上記除電手段として、イオン化された空気を上記柔軟性薄板状基板に吹き付けるイオン中和手段を用いてもよい。
これにより、イオン化空気を送り込むだけで除電が行えるので、除電操作が簡便であるという効果を奏する。
【００６２】
また、上記剥離力付与手段として、圧力流体を噴射することにより剥離力を付与する流体噴射手段を用いてもよい。
これにより、剥離の際の機械的接触のために柔軟性薄板状基板が傷付くという事態を防止することができるという効果を奏する。
【００６３】
また、上記流体噴射手段として、エアナイフを用いてもよい。
これにより、噴射されるものが空気であるため、例えば水等と違って、噴射後の回収が不要である等、取扱いが簡単であるという効果を奏する。
【００６４】
また、このエアナイフが、上記柔軟性薄板状基板と粘着シートとの仮貼り合わせ目に向けて圧縮空気を吹き付けるように設定されているとともに、エアナイフから噴射される圧縮空気が上記仮貼り合わせ目に噴射されて生じる吹き返しが、柔軟性薄板状基板と基板載置部材との間を吹き抜けるように設定されていることが好ましい。
【００６５】
これにより、柔軟性薄板状基板の剥離過程において、既に剥離された部分は吹き返しにより空中に浮き上がった状態で保持され、また、完全に剥離が完了すると基板載置部材上に軟着、載置されるので、剥離途中および剥離後の柔軟性薄板状基板に傷、屈曲などの破損が生じることを防止することができるという効果を奏する。
【００６６】
また、上記エアナイフとして、イオン化された空気を上記柔軟性薄板状基板に吹き付けるものを用いてもよい。
これにより、剥離のための部材と除電のための部材を同一化できるので、装置を簡素化することができるという効果を奏する。
【００６７】
また、上記基板載置部材が、その基板載置面の基板を受け入れる側の端縁部近傍に複数個の孔部を有していることも好ましい。
これにより、剥離開始時点での吹き返し風速が強く、柔軟性薄板状基板が基板載置部材に引き寄せられるという事態を防止することができるという効果を奏する。
【００６８】
また、上記剥離力付与手段として、上記柔軟性薄板基板と粘着シートとの仮貼り合わせ目に刃を当てる片刃くさびを用いてもよい。
さらに、上記剥離力付与手段として、回転することによって上記粘着シートから上記柔軟性薄板基板を捲くり上げて剥離する回転ローラを用いてもよい。
これらにより、補助治具からの柔軟性薄板状基板の剥離を確実に行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１における基板剥離装置の一部を切り欠いた正面図である。
【図２】本発明の実施例１におけるエアナイフの形状を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図３】本発明の実施例１におけるスクレイパーの構造を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）は孔部の断面図である。
【図４】本発明の実施例１ないし３における対象ワークの正面図である。
【図５】図４の対象ワークを示すもので、（ａ）は全体の斜視図、（ｂ）は隅部の拡大斜視図である。
【図６】本発明の実施例１における基板剥離装置の動作時の状態を示す説明図である。
【図７】本発明の実施例１におけるエアナイフによる剥離動作を示す正面図である。
【図８】本発明の実施例１におけるイオン化圧縮空気による除電効果を示すために行われた帯電量測定実験に係り、（ａ）は基板上の測定ポイントを示す平面図、（ｂ）は基板の剥離方法を示す正面図である。
【図９】本発明の実施例２における基板剥離装置の一部を切り欠いた正面図である。
【図１０】本発明の実施例２における片刃くさびによる剥離動作を示す正面図である。
【図１１】本発明の実施例３における基板剥離装置の一部を切り欠いた正面図である。
【図１２】本発明の実施例３における回転ローラによる剥離動作を示す正面図である。
【図１３】本発明の実施例におけるクランプ機構による剥離動作を示す正面図である。
【図１４】従来例の剥離動作を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
１    基板剥離装置
８    移動機構（移動手段）
９    エアナイフ（剥離力付与手段、除電手段、イオン中和手段、流体噴射手段）
１０    スクレイパー（基板載置部材）
１０ｃ  空気抜孔（孔部）
１３    イオン発生器（除電手段）
２４    柔軟性薄板状基板
２５    補助治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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