【事件の表示】
　特願２００１−３６５７０３「エクスチェンジャーおよびガス置換方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１５年　６月１３日出願公開、特開２００３−１６８７２７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１３年１１月３０日の特許出願であって、同１８年１１月２８日付で拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１９年２月５日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出され、さらに、同１９年３月７日付で最後の拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１９年５月１０日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同１９年１２月１７日付で上記平成１９年５月１０日付の手続補正について却下の決定がされると共に拒絶をすべき旨の査定がされ、同２０年１月２４日に本件審判の請求がされ、その後、同２０年２月２５日に明細書について手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成２０年２月２５日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２０年２月２５日付の手続補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容の概要
　平成２０年２月２５日付の手続補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について補正をすると共にそれに関連して発明の詳細な説明の一部について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　
（１）補正前
　嫌塵埃物品を収納して運搬するコンテナの内部に汚染対策ガスを充填するために、以下の手段を備えた当該汚染対策ガスと大気とを置換するガスエクスチェンジャー。
（ａ）前記コンテナを収納して密閉できるチャンバーと、
（ｂ）前記チャンバー内に設けられた第１真空室と、
（ｃ）前記チャンバーの中に備えられ、前記収納された状態のコンテナの蓋を開閉できるオープナー手段と、
（ｄ）前記コンテナの蓋を開けることにより当該コンテナと第２真空室のみが連通するように設けられた当該第２真空室と、
（ｅ）前記第１真空室と前記第２真空室とを真空にする真空ポンプと、
（ｆ）前記真空になった第１真空室と第２真空室に前記汚染対策ガスを供給するガス供給手段。
　
（２）補正後
　
開閉される蓋を有し
（ａ）
内部の空間を連通させることなく２つの室に仕切る壁を有し、
（ｂ）前記チャンバー内に設けられた
前記２つの室のうちの１室である
（ｃ）
前記２つの室のうちの他の１室である第２真空室と、
（ｄ）
前記壁の一部を形成し、前記第１真空室に収納された前記コンテナが前記壁に押し当てられた状態で、前記コンテナの蓋と共に、前記壁の一部を開閉して、前記コンテナの内部を、前記第２真空室を介して前記第１真空室と連通させることなく、当該第２真空室のみと連通させる
（ｅ）前記第１真空室
及び
おのおの連通し、前記両真空室を共に
（ｆ）前記真空になった第１真空室
に前記汚染対策ガスを供給するガス路
前記真空になった
前記ガス路から分岐したガス路を有する
　
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、実質的に、チャンバーについて「内部の空間を連通させることなく２つの室に仕切る壁を有し」と、
オープナー手段について「前記壁の一部を形成し、前記第１真空室に収納された前記コンテナが前記壁に押し当てられた状態で、前記コンテナの蓋と共に、前記壁の一部を開閉して、前記コンテナの内部を、前記第２真空室を介して前記第１真空室と連通させることなく、当該第２真空室のみと連通させる」と、真空ポンプについて「前記第１真空室及び前記第２真空室とおのおの連通し」と、また、ガス供給手段について「真空になった第１真空室に前記汚染対策ガスを供給するガス路と前記真空になった第２真空室に前記汚染対策ガスを供給する前記ガス路から分岐したガス路を有する」という事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
　
（１）本願補正発明
　本願補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「ガスエクスチェンジャー」であると認める。
　　
（２）引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平６−４８５０８号公報（以下「引用例」という。）の記載内容は以下のとおりである。
ア　引用例記載の事項
　引用例には以下の事項が記載されている。
「【０００１】【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに用いられる可搬式密閉コンテナ等のガスパージ方法に関する。
【０００２】【従来の技術】例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、クリーンルーム内での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板等を収納したウエハカセットを可搬式の密閉コンテナに収納して行なう。
【０００３】更に、近年、半導体ウエハの自然酸化による酸化膜の成長を防止するために、上記密閉コンテナの内部雰囲気を窒素Ｎ２ガスや乾燥空気等のウエハにとって不活性なガスで置換するようにしている。
【０００４】このＮ２ガスパージ機能を備えた密閉コンテナの１例を図６に示す。同図において、１０は可搬式の密閉コンテナ（ＰＯＤ）１の本体、１１は本体１０の開口部１２に設けられたフランジ、１３、１３Ａはシール材、１４は把手、２０は密閉コンテナの蓋、３０は半導体ウエハＷを収納したウエハカセットである。４０は半導体の表面処理装置の密閉型のケースであって、図示しない表面処理用の反応炉や昇降装置を含む搬送機構等を収納している。４２はウエハカセット出し入れ用の開口であって、ケース４０の上壁４１の一部に設けられている。この上壁４１には、一端が開口４２の周面に開口し、他端が不活性ガスボンベ（この例ではＮ２ガスボンベ）５０に接続される給ガス管４４Ａが設けられるとともに、一端が開口４２の周面に開口し、他端がボツクス外に開口する排ガス管４４Ｂが設けられている。４５Ａは給気弁、４５Ｂは排気弁である。４６は上記昇降装置１００の昇降台であって、開口４２内に、当該開口４２の周面との間に隙間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有している。４０Ａは密閉コンテナ１のフランジ１１を押さえるロック機構である。なお、密閉型のケース４０内は、窒素Ｎ２ガス雰囲気であり、わずかに大気圧以上に予圧されている。
【０００５】上記密閉コンテナの蓋２０は中空体であって、例えば図７に示すような錠機構を有している。２４はカムで、２５は板状のロックアームであって、転動子２５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち支持されている。２６は支点部材、２７はばねである。カム軸２８は昇降台４６の上壁中央から蓋２０内に伸び、昇降台４６上に蓋２０が同心に載置された時にカム４４とスプライン係合する。昇降台４６はカム軸２８を所定角度だけ回動するカム軸駆動機構２９を内蔵しており、このカム軸駆動機構２９とカム軸２８は解錠／施錠機構を構成している。なお、本体１０の開口部１２の内周面には、ロックアーム２５が係合する凹所１２Ａが形成されている。
【０００６】【発明が解決しようとする課題】このように、近年では、窒素Ｎ２ガスを充満した密閉コンテナに上記ウエハカセットを入れて搬送・保管するようにしているが、密閉コンテナ内を窒素Ｎ２ガス等の不活性ガスで置換するだけでは、当該密閉コンテナの内表面や、ウエハカセット、このウエハカセットに収納したカセットの表面に付着したＨ２ＯやＯ２（以下、吸着・吸蔵気体や液体）を充分に除去することができないので、時間の経過とともにこれらが密閉コンテナ内へ出てきて、密閉コンテナ内のＨ２ＯやＯ２の濃度が上昇し、ウエハに自然酸化による酸化膜の形成が生じ、歩留りが低下する。
【０００７】これを防ぐために本発明者等は、可搬式密閉コンテナ内を真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージする方法を提案した。
【０００８】すなわち、図４に示すように、配管６８、６９を通してそれぞれ真空源９０と不活性ガス源５０に連絡された密閉ボックス６０の上壁６０Ｕ上に密閉コンテナ１を載置し、底蓋２０を解錠したのち昇降台４６を例えば鎖線で示す位置まで下げて（底蓋２０も鎖線で示す位置まで下がる）、密閉コンテナ１内を密閉ボックス６０内と連通させ、真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージする。９１、９２は開閉弁である。図４では、前記ロック機構４０Ａの図示は省いてある。
【０００９】この方法では、コンテナ１の内部を、一旦、真空にするので、コンテナ１や底蓋２０の内表面部に付着している水分や酸素、コンテナ１内の図示されていないウエハやウエハカセットの表面部に付着している水分や酸素がこれら内表面部や表面部からに蒸発して内表面や表面から離脱し、外部へ排気され、その後、コンテナ１はＮ２ガスで置換されることになる。」
「【００１２】コンテナ内部を真空引きする図４の場合、コンテナ１の内部と外部との間に圧力差が生じるため、コンテナ１の本体１０はその圧力差に耐える必要があった。そこで、コンテナを肉厚にして負圧耐力を増加させるか、負圧に耐える特殊構造にする必要があるが、これらはコストの上昇を招くと同時に重量が増加し持ち運びし難いという問題がある。
【００１３】本発明はこの問題を解消するためになされたもので、真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージする場合に、上記圧力差を問題にする必要のない密閉コンテナのガスパージ方法を提供することを目的とする。」
「【００１９】【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説明する。
【００２０】図１において、密閉ボックス８０は仕切り壁８０Ａで本体部Ａとコンテナ収納部であるパージ室Ｂとに区画されている。８３は密閉ボックス８０の蓋であって、図示しないヒンジ機構で開閉可能に取り付けられている。本体部Ａと収納部Ｂとは仕切り壁８０Ａに形成した通孔（連通孔）８１を通して連通し、この通孔８１の下端開口はフィルタ８２で覆われている。仕切り壁８０Ａはコンテナ１が載置される台座として利用され、この仕切り壁８０Ａに開口８２が形成されている。昇降台４６は、開口８５内に、当該開口８５の周面との間に隙間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有している。他の構成は図４のものと同じであるので、同一符号を付してある。
【００２１】本実施例では、密閉ボックス８０の本体部Ａ内とコンテナ収納部であるパージ室Ｂ内とが通孔８１を通して連通するので、本体部Ａ、パージ室Ｂおよびコンテナ１内が全て同圧になる。従って、コンテナ１に前記した内外圧力差が作用せず、コンテナ１を肉厚にしたり特殊構造にしたりする必要がない。」
「【００２３】また、本実施例では、真空排気用の配管６８の一端、給ガス用の配管６９の一端ともに密閉ボックス８０の本体部Ａに開口しているが、パージ室Ｂに開口させてもよく、また、例えば、真空排気用の配管６８の一端はパージ室Ｂに開口させ、給ガス用の配管６９の一端は本体部Ａに開口させてもよい。」
「【００２５】密閉ボックス８０の本体部Ａとコンテナ収納部であるパージ室Ｂとは、真空引きを行なう場合に、互いに連通すればよいので、図３に示すように、孔開閉機構、例えば、電磁弁８１Ａを有する管８１Ｂを通孔８１に通し、真空引きを行なっている間だけ、電磁弁８１Ａを開弁して本体部Ａとパージ室Ｂとが連通するようにしてもよい。真空引き後は、コンテナ収納部であるパージ室Ｂは蓋を開けるために常圧に戻すことは勿論である。」
「【００２６】【発明の効果】本発明は以上説明した通り、コンテナの内外圧力差が無い状態で、真空引きおよびガス置換が行なわれるから、コンテナとしては従来のままのコンテナを使用することができる利点がある。」
　
イ　引用例記載の発明
　引用例記載の事項を本願補正発明に照らして整理すると引用例には以下の発明が記載されていると認める。
　開閉される蓋２０を有し半導体ウエハや液晶基板等を収納して運搬するコンテナ１の内部に窒素Ｎ２ガスや乾燥空気等の不活性なガスを充填するために、以下の手段を備えた当該不活性なガスと大気とを置換する装置。
（ａ）内部の空間を通孔８１により連通させて２つの室に仕切る仕切り壁８０Ａを有し、前記コンテナ１を収納して密閉できる密閉ボックス８０と、
（ｂ）前記密閉ボックス８０内に設けられた前記２つの室のうちの１室であるパージ室Ｂと、
（ｃ）前記２つの室のうちの他の１室である本体部Ａと、
（ｄ）前記仕切り壁８０Ａの一部を形成し、前記パージ室Ｂに収納された前記コンテナ１が前記仕切り壁８０Ａに押し当てられた状態で、前記コンテナ１の蓋２０と共に、前記仕切り壁８０Ａの一部を開閉して、前記コンテナ１の内部を、前記本体部Ａだけでなく、当該本体部Ａと前記通孔８１とを介して前記パージ室Ｂとも連通させる蓋２０の解錠／施錠機構を内蔵した昇降台４６と、
（ｅ）配管６８を通して前記本体部Ａと連通すると共に当該本体部Ａと前記通孔８１とを介して前記パージ室Ｂと連通し、前記本体部Ａ及び前記パージ室Ｂを共に真空にする真空源９０と、
（ｆ）前記真空になった前記本体部Ａに不活性ガス源５０から前記不活性なガスを供給する配管６９を有し、前記真空になったパージ室Ｂには前記本体部Ａと前記通孔８１とを介して前記不活性なガスを供給する不活性ガス供給手段。 
　
（３）対比
　補正発明と引用例記載の発明とを対比すると以下のとおりである。
　引用例記載の発明の「半導体ウエハや液晶基板等」及び「窒素Ｎ２ガスや乾燥空気等の不活性なガス」は、それぞれ補正発明の「嫌塵埃物品」及び「汚染対策ガス」に相当することが明らかである。
　また、引用例記載の発明の「密閉ボックス８０」は、内部の空間を２つの室に仕切る壁を有し、コンテナを収納して密閉できるチャンバーであるという限りで、補正発明の「チャンバー」と共通しており、そして、引用例記載の発明の「パージ室Ｂ」及び「本体部Ａ」は、それぞれ補正発明の「第１真空室」及び「第２真空室」に相当する。
　また、引用例記載の発明の「蓋２０の解錠／施錠機構を内蔵した昇降台４６」は、壁の一部を形成し、第１真空室に収納されたコンテナが壁に押し当てられた状態で、前記コンテナの蓋と共に、前記壁の一部を開閉して、前記コンテナの内部を、第２真空室と連通させるオープナー手段であるという限りで、補正発明の「オープナー手段」と共通している。
　また、真空源としては真空ポンプがごく普通であることを考慮すると、引用例記載の発明の「真空源９０」は、第１真空室及び第２真空室と連通し、前記両真空室を共に真空にする真空ポンプであるという限りで、補正発明の「真空ポンプ」と共通している。
　また、引用例記載の発明の「不活性ガス供給手段」における「配管６９」及び「通孔８１」は、汚染対策ガスを供給するガス路ということができるものであり、引用例記載の発明の「不活性ガス供給手段」は、真空になった第１真空室と第２真空室とに汚染対策ガスを供給するガス路を有するガス供給手段であるという限りで、補正発明の「ガス供給手段」と共通している。
　さらに、引用例記載の発明は「ガスと大気とを置換する装置」と表現されているが、補正発明と同様に「ガスと大気とを置換するガスエクスチェンジャー」と表現できるものである。
　したがって、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の点で一致しているということができる。
　
［一致点］
　開閉される蓋を有し嫌塵埃物品を収納して運搬するコンテナの内部に汚染対策ガスを充填するために、以下の手段を備えた当該汚染対策ガスと大気とを置換するガスエクスチェンジャー。
（ａ’）内部の空間を２つの室に仕切る壁を有し、前記コンテナを収納して密閉できるチャンバーと、
（ｂ）前記チャンバー内に設けられた前記２つの室のうちの１室である第１真空室と、
（ｃ）前記２つの室のうちの他の１室である第２真空室と、
（ｄ’）前記壁の一部を形成し、前記第１真空室に収納された前記コンテナが前記壁に押し当てられた状態で、前記コンテナの蓋と共に、前記壁の一部を開閉して、前記コンテナの内部を、前記第２真空室と連通させるオープナー手段と、
（ｅ’）前記第１真空室及び前記第２真空室と連通し、前記両真空室を共に真空にする真空ポンプと、
（ｆ’）前記真空になった第１真空室と第２真空室とに前記汚染対策ガスを供給するガス路を有するガス供給手段である点。
　そして、補正発明と引用例記載の発明とは、以下の点で相違している。
　
［相違点］　
　本願補正発明では、チャンバーの内部の空間を２つの室に仕切る壁は、内部の空間を連通させることがなく、オープナー手段は、コンテナの内部を、第２真空室を介して第１真空室と連通させることなく、当該第２真空室のみと連通させ、真空ポンプは、第１真空室及び第２真空室とおのおの連通し、また、ガス供給手段は、第１真空室に汚染対策ガスを供給するガス路と第２真空室に前記汚染対策ガスを供給する前記ガス路から分岐したガス路を有しているのに対して、引用例記載の発明では、チャンバーの内部の空間を２つの室に仕切る壁は、内部の空間を連通させる通孔８１を備えており、オープナー手段は、コンテナの内部を、第２真空室だけでなく、当該第２真空室と上記通孔８１とを介して第１真空室とも連通させ、真空ポンプは、配管６８を通して前記第２真空室と連通すると共に当該第２真空室と上記通孔８１とを介して第１真空室と連通し、また、ガス供給手段は、第２真空室に汚染対策ガスを供給する配管６９を有しており、第１真空室には、上記第２真空室と上記通孔８１とを介して汚染対策ガスを供給する点。
　
（４）相違点の検討
　本願補正発明と引用例記載の発明との相違点は、結局、本願補正発明では、その図面に示されているように、真空ポンプ及び汚染対策ガス源を、それぞれ分岐管を介して第１真空室と第２真空室とに連通させているので、コンテナ内部を、第２真空室を介して第１真空室と連通させることなく、第２真空室のみと連通させることができるようにしたのに対して、引用例記載の発明では、真空ポンプ及び汚染対策ガス源を、それぞれ配管を介して第２真空室と連通させ、第１真空室とは、第２真空室と連通する通孔８１を介して連通させている点に帰着する。
　ところで、上記（２）アに摘記したように、引用例の段落【００２３】には、真空排気用の配管６８の一端、及び給ガス用の配管６９の一端は、本体部Ａに開口させる代わりにパージ室Ｂに開口してもよいことが記載されており、また、流体源を複数の室と連通させるに当たって、分岐管を介して各室と連通させるか、あるいは、流体源に直結する室以外の他の室とは各室間を連通する内部通路を介して連通させるかは、工事のし易さ、費用、全体の見栄え等を勘案して適宜選択すればよい単なる設計的な事項にすぎず、そうすると、引用例記載の発明において、真空ポンプ及び汚染対策ガス源を第１真空室と連通させるために、通孔８１に代えて分岐管で連通させることにより本願補正発明のように構成することに格別の困難性は見当たらない。
　また、上記（２）アに摘記したように、引用例の段落【０００８】には、従来例の改善型として密閉コンテナ１内を密閉ボックス６０内とのみ連通させ、真空引きしたのちに不活性ガスでガスパージすることが記載されており、更に、段落【００２５】には、密閉ボックス８０の本体部Ａとコンテナ収納部であるパージ室Ｂとを、真空引きを行なう場合だけ、電磁弁８１Ａを開弁して互いに連通し、それ以外は閉弁することも記載されており、これらを勘案すると、引用例には、真空ポンプ及び不活性ガス源を、パージ室Ｂ（第１真空室）と本体部Ａ（第２真空室）とに連通させて両真空室を共に真空にし、真空になった本体部Ａ（第２真空室）に不活性ガスを供給することも記載されている。
　そうすると、本願補正発明によってもたらされる効果も、引用例記載の発明から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本願補正発明は、引用例記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　むすび
　よって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願出願の発明について
　
１　本願出願の発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願出願の請求項に係る発明は、平成１９年２月５日付手続補正書により補正された明細書及び願書に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願出願の発明」という。）は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「ガスエクスチェンジャー」である。
　
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２（２）に示したとおりである。
　
３　対比・検討
　本願出願の発明は、上記第２の２で検討した補正発明から、実質的に、チャンバーについて「内部の空間を連通させることなく２つの室に仕切る壁を有し」と、オープナー手段について「前記壁の一部を形成し、前記第１真空室に収納された前記コンテナが前記壁に押し当てられた状態で、前記コンテナの蓋と共に、前記壁の一部を開閉して、前記コンテナの内部を、前記第２真空室を介して前記第１真空室と連通させることなく、当該第２真空室のみと連通させる」と、真空ポンプについて「前記第１真空室及び前記第２真空室とおのおの連通し」と、また、ガス供給手段について「真空になった第１真空室に前記汚染対策ガスを供給するガス路と前記真空になった第２真空室に前記汚染対策ガスを供給する前記ガス路から分岐したガス路を有する」という事項を削除したものである。
　そうすると、本願出願の発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が上記第２の２（４）末尾で示したとおり、引用例記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願出願の発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　したがって、本願出願の発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本願出願の請求項２ないし請求項１２に係る発明について検討するまでもなく、本願出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。