(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１０００〜２０００μｍの高さを有する隔壁が形成された、高周波放電を利用するプラズマディスプレイパネルの背面パネルの前面に４００００ｃｐｓ以下の粘度を有する感光性蛍光物質を塗布する段階と、
隔壁が形成された背面パネルの底面まで前記感光性蛍光物質が均一に塗布されるようにこの感光性蛍光物質上に２ｋｇ／ｃｍ2の噴射圧力で窒素ガスを噴射する段階と、
特定の蛍光物質が形成されるべき領域のみに露光、現像及び乾燥を施し、他の領域の蛍光物質を除去する段階と
を各色ごとに順次行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面パネルの製造方法。
【請求項２】
前記感光性蛍光物質が均一に塗布された背面パネルを塑性させる段階を更に包含することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの背面パネルの製造方法。
【請求項３】
前記感光性蛍光物質の塗布段階では、前記背面パネルに対する角度が６０°以上で、スキャン速度が２０ｃｍ／ｍｉｎ以下に移動するスクイーズにより塗布されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの背面パネルの製造方法。
【請求項４】
背面パネルの上部と、前記背面パネルに形成された隔壁の側面及び上部とを含む背面パネルの前面に形成され、摩擦係数が０．０６以下の潤滑薄膜物質からなる潤滑薄膜層と、
前記潤滑薄膜層上に塗布された蛍光物質層と
を含む構造を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面パネル。
【請求項５】
前記潤滑薄膜層は、
ＤＬＮ、ＤＬＣ、ＭｏＳ2 及びポリテトラフルオロエチレンの中の何れか１つを使用して形成されたことを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの背面パネル。
【請求項６】
前記ＤＬＮは、
Ｗ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ａｌ及びＮｂの中の何れか１つを包含することを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの背面パネル。
【請求項７】
前記潤滑薄膜物質は、
屈折率が２．０以上であることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの背面パネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰと称する）の背面パネルの製造方法に係るもので、詳しくは、隔壁の高さにかかわらず、ＰＤＰの放電セルの内部（背面基板とその上面に形成させた隔壁で囲まれた空間）に一定の厚さの蛍光物質を均一に塗布し得るＰＤＰの背面パネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近来、盛んに研究されているＰＤＰは、平面ディスプレイであって、構造が簡単で、大きさに制限がないため、今後平面ディスプレイ市場で大きな役割を果たすことが期待されている。
このＰＤＰは、隔壁により離隔された放電セル内で、Ｈｅ−Ｎｅ又はＮｅ−Ｘｅガスによるプラズマ放電の際に発生する紫外線が背面基板底面や隔壁に塗布されている赤色、緑色、青色の蛍光物質を刺激して励起させ、それらの励起状態の蛍光物質が基底状態に遷移するときに可視光が放出される原理を利用した表示装置であって、各放電セルから放出された可視光線によって文字又はグラフィックを表示する。
【０００３】
そして、一般の交流型プラズマディスプレイパネル（ＡＣ−ＰＤＰ）における１つのセルにおいては、図９に示したように、画像を表示する前面基板（１）と、前面基板（１）と所定間隔を置いて離隔され、前面基板（１）と平行に配置された背面基板（２３）と、前面基板（１）と背面基板（２３）間でそれらの間隔を一定に維持し、セルの間の電気的／光学的干渉が遮断されるように放電セルの内部に放電空間を形成する隔壁（１３）とを備えていた。
【０００４】
前面基板（１）は、隔壁電荷を蓄積し、放電維持電圧を維持し、ガス放電時にイオン衝撃から電極を保護し、イオンの拡散を防止する上部誘電体層（３）と、その表面に形成され、スパッタリングされたプラズマ粒子から上部誘電体層（３）を保護して、寿命を延長するとともに、プラズマ放電時に低イオンエネルギーが表面に衝突したとき、比較的高い２次電子の放出効率を向上させ、酸化物により耐火金属の放電特性の劣化を抑制する保護膜層（９）とを備えている。
保護膜層（９）は、主に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を利用して形成される。
上部誘電体層（３）の内部には、透明電極として、インジウムスズ酸化物（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ；ＩＴＯ）を利用した維持電極（５）と、維持電極（５）に結合された金属のバス電極（７）とを更に備えている。このバス電極と維持電極（５）は前面基板（１）の表面に形成されており、これらを一括して維持電極（５）ということもある。また、この維持電極（５）は図示のように一つのセルに２本平行に配置されている。
【０００５】
一方、背面基板（２３）は、維持電極（５）との間に放電を起こさせるためのアドレス電極（１９）と、アドレス電極（１９）と背面基板（２３）とを接着させる下地層（２１）と、アドレス電極（１９）の上面を覆うように下地層（２１）の上に形成された下部誘電体層（１７）と、下部誘電体層（１７）の上面と隔壁（１３）の表面とに被覆されて、可視光線を発生する蛍光物質（１５）とを備えている。
隔壁（１３）の上端部には、前面基板（１）を通って外部から入射する光を吸収するブラックトップ（１１）が結合されている。本明細書では背面基板とその基板に形成された部材（隔壁をも含めて）を含めて背面パネルという。
【０００６】
このように構成された交流型ＰＤＰにおいては、放電セルの内部空間内に放電ガス、例えば、Ｈｅ−Ｎｅ及びＮｅ−Ｘｅガスの混合ガスが充填された状態で、アドレス電極（１９）と一方の維持電極（５）との間で放電が開始され、維持電極（５）間で継続して放電を発生させると、１４７ｎｍの波長の真空紫外線（ＶＵＶ）が放出される。
その後、真空紫外線が蛍光物質（１５）を励起させ、励起状態の蛍光物質が基底状態に遷移するとき、蛍光物質の種類に応じた赤色、緑色及び青色の可視光が放出されて所望の画像が前面基板（１）を通して表示される。
【０００７】
このように、蛍光物質（１５）は、画像を前面基板に表示するための光を放出するための物質であるので、蛍光物質自体の材料特性を考慮し、放電セルの内部表面に均一な厚さに塗布すべきである。
現在一般的に用いられている蛍光物質の塗布方法としては、スクリーンプリンティング、サンドブラスト、フォトリソグラフィ、電着などがあるが、スクリーンプリンティングとサンドブラストが最も広く用いられている。その他の方法も研究されつつある。
【０００８】
このようなスクリーンプリンティング法を利用する従来のＰＤＰの背面パネルの製造方法を図１０に示す。図示したように、隔壁が形成された背面パネル上にスクリーンマスクを整合した後、それぞれ赤色、緑色及び青色の蛍光物質を塗布していた。
すなわちち、背面パネル上にスクリーンマスクを整合した（ＳＴ１１）後、赤色蛍光物質を印刷及び乾燥させて、赤色蛍光物質を塗布し（ＳＴ１２）、同様に、緑色及び青色蛍光物質を順次各放電セルに塗布していた。
【０００９】
このスクリーンプリンティング法によって従来のＰＤＰの放電セルに蛍光物質を塗布する過程を図１１により、より詳しく説明する。図１１（Ａ）に示したように、下地層（２１）、アドレス電極（１９）、下部誘電体層（１７）を順次積層させ、さらに隔壁（１３）を形成した背面パネル上にスクリーンマスク（３３）を位置整合し、所定の圧力が加えられるスクイーズ（３１）を利用して、スクリーンマスク（３３）が配置された背面パネル上にペースト状の赤色、緑色及び青色の蛍光物質をそれぞれ印刷する。
【００１０】
その後、スクリーンマスク（３３）を除去すると、図１１（Ｂ）に示したように、蛍光物質（１５）は、隔壁（１３）とほぼ同じ高さに塗布される。ペースト状の蛍光物質（１５）が塗布された背面パネルを乾燥させると、蛍光物質（１５）に含まれた有機溶媒が蒸発し、図１１（Ｃ）に示したように、体積が減少して、下部誘電体層（１７）の上面と隔壁（１３）の側面のみに蛍光物質（１５）が残る。
【００１１】
次に、サンドブラスト法を利用する従来のＰＤＰの背面パネルの製造方法を図１２を用いて説明する。隔壁が形成された背面パネルの前面に赤色、緑色及び青色の蛍光物質をそれぞれ印刷及び乾燥させた（ＳＴ２１、ＳＴ２３、ＳＴ２５）た後、所望のスクリーンマスクを用いて前記赤色、緑色及び青色蛍光物質を露光して現像する（ＳＴ２２、ＳＴ２４、ＳＴ２６）と、該当の放電セルにそれぞれ赤色、緑色及び青色の蛍光物質が隔壁の高さに塗布される。その後、ガラスビーズ（ｇｌａｓｓ  ｂｉｄｓ）を噴射して、赤色、緑色及び青色の蛍光物質を部分的に除去させ、下部誘電体層（１７）及び隔壁（１３）の表面のみに赤色、緑色及び青色の蛍光物質を残す（ＳＴ２７）。
その後、蛍光物質が塗布された背面パネルを塑性して、赤色、緑色及び青色の蛍光物質を形成させる（ＳＴ２８）。
【００１２】
このようにして、従来のスクリーンプリンティング法又はサンドブラスト法によって高さが１００〜２００μｍ程度の隔壁（１３）の全体の高さまで蛍光物質を塗布することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＰＤＰは上記のように、隔壁が低いのでスクリーンプリンティング法やサンドブラスト法によって蛍光物質を塗布しても特に問題はなかった。しかし、放電効率を向上しようとして、最近、高周波放電を利用するＰＤＰが出現してきた。この高周波放電を利用する場合、上下の基板に配置した高周波放電を生じさせる二つの電極間の距離を充分に確保しなければならないため、隔壁の高さを５００〜２０００μｍ程度に高くしなければならない。このように隔壁が高くなると、従来の技術によるスクリーンプリンティング法やサンドブラスト法で蛍光物質を均一に塗布するのが困難になった。蛍光物質が塗布される隔壁は、摩擦係数の高いガラス又はガラス−セラミック材で形成されているため、隔壁にペースト状の蛍光物質を印刷する際、蛍光物質が深い所まで流れず、蛍光物質が均一に塗布されないためである。
【００１４】
上記のように蛍光物質層の厚さがばらつく場合、放電セル毎に放出される可視光の反射がばらついて画像が歪む現象が発生する。
また、放電セル間の光学的干渉を遮断するため高周波放電を利用するＰＤＰの場合、隔壁が高いだけでなく、格子状に形成しなければならなくなり、その格子型隔壁の内面に蛍光物質の厚さを均一に塗布できないだけでなく、赤色、緑色及び青色の蛍光物質を該当の放電セルに塗布するとき、スクリーンマスクの正確な位置決めを行うことが難しいという問題もあった。
【００１５】
そこで、本発明のはこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、第１目的は、隔壁の形状及び高さに拘らずに、背面パネルに蛍光物質が均一に塗布されたＰＤＰを提供することである。
そして、本発明の第２目的は、隔壁の形状及び高さに拘らずに、背面パネルに蛍光物質を均一に塗布することができるＰＤＰの背面パネルの製造方法を提供することである。
更に、本発明の第３目的は、高さが５００μｍ以上で、何れかの形状に形成された隔壁を有する背面パネル上に蛍光物質が均一に塗布されているＰＤＰを提供することにある。
且つ、本発明の第４目的は、高さが５００μｍ以上で、何れかの形状に形成された隔壁を有する背面パネルに蛍光物質を均一に塗布することができるＰＤＰの背面パネルの製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成する、本発明に係るＰＤＰの背面パネルは、
隔壁が形成された背面パネルの前面に形成された潤滑薄膜層と、
潤滑薄膜層の上面に塗布された蛍光物質層とを備えていることを特徴とする。
本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法の第１実施態様においては、隔壁が形成された背面パネルに潤滑物質を塗布して、潤滑薄膜を形成する段階と、
潤滑薄膜の上面に蛍光物質を塗布する段階とを含むことを特徴とする。
本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法の第２実施態様においては、隔壁が形成された背面パネルの前面に感光性蛍光物質を塗布する段階と、
感光性蛍光物質が隔壁が形成された背面パネルの底部まで均一に塗布されるように圧縮ガスを背面パネルの前面から噴射する段階と、
特定の蛍光物質が形成されるべき領域のみに露光、現象及び乾燥を施し、他の色の領域では除去する段階とを順次行うことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、従来のＰＤＰと同じ構成部材には同じ参照符号を付してある。
本実施形態に係るＰＤＰの背面パネルは、隔壁（１３）の表面及び下部誘電膜（１７）の表面に潤滑薄膜層（７１）を形成させ、その表面に蛍光物質層（１５）が塗布されている。以下さらに詳述する。
【００１８】
図１が１実施形態の断面図である。図示のように、本実施形態に係るＰＤＰの背面パネルは、背面基板（２３）の上面に下地層（２１）が形成され、各セルごとにアドレス電極（１９）が下地層（２１）の上に配置され、アドレス電極（１９）を包み込むように下地層（２１）の上に下部誘電体層（１７）が形成され、その上に隔壁（１３）が配置されている。これらの構成自体は隔壁の形状が異なるだけで実質的には従来の構造と同じである。本実施形態はさらに、下部誘電体層（１７）及び隔壁（１３）の表面に潤滑薄膜（７１）が塗布されている。そしてその潤滑薄膜（７１）の上に赤色、緑色又は青色の蛍光物質層（１５）が塗布されている。
【００１９】
潤滑薄膜（７１）は、誘電体層（１７）と隔壁（１３）の表面に形成されて、それらの表面に蛍光物質を均一に塗布させる役割を果たす。その潤滑薄膜の材料は、低い摩擦係数を有するものであるべきで、具体的には、０．０６以下の低い摩擦係数を有する材料を用いて形成するが、例えば、ＤＬＮ（Ｄｉａｍｏｎｄ−Ｌｉｋｅ  Ｎａｎｏ−ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ−Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）、ＭｏＳ２、ポリテトラフルオロエチレン（商標名テフロン）などを使用する。
また、潤滑薄膜は、蛍光物質を均一に塗布させると共に、蛍光物質層から反射される背面光を効率的に反射させる役割を果たすために、２．２以上の屈折率を有するものが好ましい。
潤滑薄膜（７１）に用いられる各材料別の摩擦係数及び屈折率を次の表１に示す。
【００２０】
【表１】
0003546167.tif 000002
【００２１】
上記表１に示したように、潤滑薄膜に用いられる材料は、いずれも０．０３〜０．０５の摩擦係数及び２．０以上の高い屈折率を有し、０．０８〜０．０９の摩擦係数を有するソーダライムガラス、又は、０．１２〜０．１４の摩擦係数を有するＳｉＯ２薄膜、若しくは、Ｓｉ３Ｎ４薄膜のような材料よりも優れた特性を有する。
【００２２】
このように摩擦係数の低い潤滑薄膜（７１）は、蛍光物質の流れに対して、低い抵抗特性を維持し、隔壁の高さ又は形状（ストライプ形状、若しくは格子形（長方形、正四角形、円形））に拘らずに、放電セル内部の深い底面まで均一に蛍光物質が塗布されるようにする。
そして、大きい屈折率を有する前記潤滑薄膜（７１）は、蛍光物質（１５）の背面光を殆ど反射させて、背面光による干渉を防止し、可視光線の発光効率を増大させる。
例えば、ＤＬＮ薄膜は、添加する金属の種類に従って屈折率が変わるが、それをまとめて、次の表２に示す。
【００２３】
【表２】
0003546167.tif 000003
【００２４】
以下、前記した潤滑薄膜材料を用い、本実施形態に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法について説明する。
図２は、ＰＤＰの背面パネルに潤滑薄膜を形成するための高周波−コスパッタリング（ＲＦ−ｃｏｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）装置を示したブロック図である。高周波−コスパッタリング装置は、図示されたように、チャンバー（４０）と、該チャンバー（４０）にガスを注入させるためのマスフロー制御器（Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）（４５、４７、４９）と、チャンバー内に設けられた基板ホールダ（４１）と、シリコンターゲット（５１）、金属ターゲット（５３）及びカーボンターゲット（５５）と、高周波信号を生成する高周波発生器（５９、６５）と、高周波発生器（５９、６５）から出力される高周波信号を各ターゲットに伝達するために、マッチングさせる高周波整合器（５７，６３）とを備えている。
【００２５】
この高周波−コスパッタリングを利用して、背面パネルへの潤滑薄膜の形成方法を説明する。
先ず、隔壁が形成された設けられた背面パネル（４３）を基板ホールダ（４１）に固定させ、真空ポンプを利用してチャンバー（４０）の内部を１０−７Ｔｏｒｒの高真空状態にさせた後、第１〜第３マスフロー制御器（４５、４７、４９）から３〜５ｍＴｏｒｒ、５０ｓｃｃｍの圧力下で１００：３０：１０の混合比率のＡｒ、ＣＨ４及びＯ２ガスをチャンバー（４０）の内部に注入する。
【００２６】
その後、前記したようなガス注入状態でプラズマが形成されると、Ａｒガスの加速イオンがシリコンターゲット（５１）、Ｗ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ａｌ及びＮｂのような金属ターゲット（５３）及びカーボンターゲット（５５）に衝突して、各ターゲットの各元素をスパッタリングする。
このようにしてスパッタリングされた元素は、チャンバーに注入されたＣＨ４及びＯ２の分解イオンと反応して、背面パネル（４３）の前面にＤＬＮ薄膜が形成される。
このとき、シリコンターゲット（５１）とカーボンターゲット（５５）には、高周波整合器（５７、６３）と高周波発生器（５９、６５）から高周波電圧がそれぞれ印加され、金属ターゲット（５３）には、直流電源供給部（６１）から直流電源が供給される。
且つ、各ターゲットの大きさを４インチを基準にする場合、シリコンターゲット（５１）には１５０〜３００Ｗａｔｔ、カーボンターゲット（５５）には２００〜３５０Ｗａｔｔ、金属ターゲット（５３）には５００〜７００Ｗａｔｔの電源がそれぞれ供給される。
【００２７】
このような条件下で高周波−コスパッタリング法で形成されるＤＬＮ薄膜は、ａ：（Ｃ−Ｈ）ネットワーク構造とａ：（Ｓｉ−Ｏ）ネットワーク構造とが金属イオンを介して結合された構造であって、２．０以上の高い屈折率を示し、数十Åの未結晶状態で０．０３程の極めて低い摩擦係数特性を示す。従って、ＤＬＮ薄膜は、蛍光物質の流れに対して低い抵抗特性が維持されて、隔壁が高い場合にも、蛍光物質が均一な厚さに塗布されるようになる。
【００２８】
このように、表１及び表２に示す特性を有する潤滑薄膜（７１）は、高周波−コスパッタリング法、蒸着法及びＩＢＣＤ（Ｉｏｎ−Ｃｌｕｓｔｅｒ  Ｂｅａｍ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｍｅｔｈｏｄ）方法の何れかを施して隔壁（１３）が形成されている背面パネルの前面に１０００〜１００００Åの厚さに成膜させる。又、必要に応じて、潤滑物質の応力及び潤滑薄膜内に含まれた不活性元素を除去するため、約５００℃以下で熱処理して、蛍光物質（１５）を塗布することもできるが、このときには、潤滑薄膜層が形成された後、スクリーンプリンティング又はサンドブラスト法を施す。
【００２９】
更に、スクリーンプリンティングを利用してＰＤＰの背面パネルを製造する方法は、図３に示したように、隔壁が設けられている背面パネルの前面に潤滑薄膜を塗布し（ＳＴ３１）た後、スクリーンマスクを整列させ（ＳＴ３２、ＳＴ３４、ＳＴ３６）て、赤色、緑色及び青色の蛍光物質をそれぞれ印刷及び乾燥し（ＳＴ３３、ＳＴ３５、ＳＴ３７）て、背面パネル上に蛍光物質を塗布する。
【００３０】
蛍光物質の塗布段階を図４（Ａ）〜（Ｄ）を用いてさらに詳しく説明する。先ず、図４（Ａ）に示したように、背面基板（２３）の上面にアドレス電極（１９）、下地層（２１）、下部誘電体層（１７）及び隔壁（１４）が順次積層形成された背面パネル上面に潤滑薄膜（７１）を塗布し、図４（Ｂ）に示したように、潤滑薄膜（７１）が塗布された背面パネル上にスクリーンマスク（３３）を位置整合した後、所定の圧力が加えられるスクイーズ（３１）を利用して、スクリーンマスク（３３）が配置された背面パネルの上面にペースト状の赤色、緑色及び青色の蛍光物質（１５）を印刷する。
【００３１】
このとき、ペースト状の蛍光物質（１５）は、潤滑薄膜（７１）が低い抵抗特性を有するため、隔壁（１３）の深い所まで塗布される。
その後、ペースト状の蛍光物質（１５）が充填された放電セルからスクリーンマスク（３３）を除去すると、図４（Ｃ）に示したように、隔壁（１３）とほぼ同じ高さに蛍光物質（１５）が塗布された状態になる。
次いで、ペースト状の蛍光物質（１５）を乾燥させると、ペースト状の蛍光物質内に含まれた有機溶媒が蒸発して、図４（Ｃ）に示したように、蛍光物質（１５）の体積が減少して、潤滑薄膜（７１）の表面に均一な蛍光物質層（１５）が形成される。
【００３２】
更に、サンドブラスト法でＰＤＰの背面パネルを製造する方法を説明すると、図５に示したように、隔壁を形成させた背面パネルの前面に潤滑薄膜を塗布し（ＳＴ４１）、潤滑薄膜が塗布された背面パネルの前面に赤色、緑色及び青色の蛍光物質をそれぞれ印刷／乾燥させる（ＳＴ４２、ＳＴ４４、ＳＴ４６）。このとき、スクリーンマスクを利用して各蛍光物質を露光させた後、現像することにより該当領域に対して所望の蛍光物質が隔壁の高さに塗布されるようになる（ＳＴ４３、ＳＴ４５、ＳＴ４７）。
その後、サンドブラスト法を施して蛍光物質を部分的に除去して、潤滑薄膜の表面に均一な厚さの蛍光物質を残して、背面パネルを塑性して背面パネルを完成する。
【００３３】
しかし、このような方法によると、所定の高さの以下（例えば、５００μｍ）の隔壁を有する背面パネルの場合には、潤滑薄膜を塗布した後、その上面に蛍光物質を塗布することができるが、高周波放電を利用するＰＤＰのように、隔壁の高さが１０００〜２０００μｍ程になる場合には、蛍光物質を均一に塗布することが難しい。
【００３４】
本発明は、高い隔壁を有する背面パネルに対しても蛍光物質の均一な塗布を可能とするもので、以下図面を用いてさらに説明する。
即ち、本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法の実施形態は、図６に示したように、比較的高い隔壁を有するＰＤＰの背面パネルに対して、スクリーンマスクを使用せず赤色感光性蛍光物質をパネル前面に塗布した後、そこに圧縮ガスを噴射して放電セルの上にある蛍光物質の塗布膜を底の方に押し付けながら、ガスの圧力により蛍光物質が隔壁の表面に均一に塗布されるようにする（ＳＴ５１）。
【００３５】
このようにして、蛍光物質が隔壁の表面に均一に塗布されると、マスクを赤色の箇所に位置整合させて、赤色の蛍光物質が塗布された放電セルを紫外線に露出させて現像し、その露光された赤色の蛍光物質以外の赤色の蛍光物質を除去した後、乾燥させる（ＳＴ５２）。すなわち、一旦全てのセルに赤の蛍光物質を塗布して、あとで赤以外セルでその赤の蛍光物質を除去する。
同様に、緑色及び青色の蛍光物質を放電セルへ塗布処理して、放電セルに均一に赤色、緑色及び青色の蛍光物質層を順次形成させる。
【００３６】
以下、前記赤色の蛍光物質の塗布方法に対し、図７（Ａ）〜（Ｄ）を参照して説明する。
先ず、図７（Ａ）に示したように、背面基板（２３−１）上に隔壁（１３−１）を形成させた後、その上に赤色の感光性蛍光物質を塗布する。このとき、スクリーンを使用せず、粘度が約４００００ｃｐｓ以下の感光性蛍光物質（３１−１）を隔壁（１３−１）が設けられた背面パネルの上にそのまま注いだ後、所定の圧力が加えられるスクイーズ（３１−１）を利用してパネルの前面に蛍光物質を塗布する。この場合、スクイーズ（３１−１）を背面パネルに対し６０°以上傾斜して、２０ｃｍ／ｍｉｎのスキャン速度で１〜２回ほど、前記蛍光物質（１５−１）をスキャンして、背面パネルに均一状の蛍光物質を塗布させる。
【００３７】
そして、隔壁（１３−１）の高さが５００μｍ以上の場合、蛍光物質（１５−１）が全ての放電セルに被覆されても、隔壁（１３−１）の深い所までは到達されない。例え、蛍光物質（１５−１）を１００℃以上に加熱しても、放電セル上の蛍光物質（１５−１）に開穴される比率は４０％に及ばず、蛍光物質（１５−１）の隔壁の最下端部まで流れ落ちる比率は、全体の３０％に過ぎない。
【００３８】
このような問題を解決するため、図７（Ｂ）に示したように、窒素（Ｎ２）のような圧縮ガスを放電セルに被覆された蛍光物質の上から噴射して隔壁（１３−１）の内部表面に蛍光物質を均一に塗布させる。この場合、窒素ガスを２ｋｇ／ｃｍ２の噴射圧力で蛍光物質塗布膜上に噴射して、各放電セルに被覆された蛍光物質の塗布膜（１５−２）に穴をあけるとともに、ガスの圧力により蛍光物質（１５−１）が隔壁（１３−１）の表面に沿って下に流れさせる。
【００３９】
このとき、放電セル上の蛍光物質塗布膜（１５−２）が開穴される比率は１００％で、特に、圧縮ガスにより約９５％以上の蛍光物質が隔壁の最下端部まで均一に到達する。
その後、背面パネルを約１２０℃下で約２０分間乾燥させた後、図７（Ｃ）に示したように、背面パネル上にマスクを位置整合させて、赤色の蛍光物質が塗布される放電セルのみを紫外線に露出させ、その以外の部分は、マスクにより紫外線に露出されないようにする。次いで、前記紫外線に露出された背面パネルを２ｋ／ｃｍ２の圧力の細いＤ．Ｉ．水で約１分間洗浄して、図７（Ｄ）に示したように、露出部位上の蛍光物質のみを残して、その以外の蛍光物質は全て除去する。
同様に、緑色及び青色の蛍光物質層に対しても前記した処理を施して蛍光物質を塗布する。
【００４０】
従って、本発明に係る蛍光物質の塗布方法によると、背面パネルの前面に厚膜を塗布した後、窒素のような不活性ガスを利用して、隔壁が５００μｍ以上の高い隔壁を有する放電セルに均一な蛍光物質層を塗布することができる。
且つ、圧縮噴射法を施して、別途の潤滑薄膜を要せずに、高い隔壁を有する背面パネル上に蛍光物質を均一に塗布することが可能となる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るＰＤＰの背面パネル及びその製造方法においては、隔壁の高さが５００μｍ以下の場合は、背面パネルに蛍光物質を塗布する以前に、摩擦係数の小さい潤滑薄膜を塗布することで、蛍光物質を均一な厚さに塗布することが可能となると共に、屈折率の高い潤滑薄膜を利用して、蛍光物質の背面光を反射させるため、背面光による光干渉を防止し、発光効率を向上することができるという効果がある。
且つ、隔壁の高さが５００μｍ以上の場合は、スクリーンマスクを使用せず、背面パネルの前面に蛍光物質を充分に塗布した後、該蛍光物質の表面に圧縮ガスを噴射して、隔壁の深い所まで均一な厚さの蛍光物質を形成することができるという効果がある。
又、隔壁の形状及び高さに関わらずに、均一な厚さの蛍光物質を塗布することができるため、本発明により製造されたＰＤＰでは、可視光量の差による画像の歪みが発生されず、製品の信頼性を向上することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＰＤＰの背面パネルの構造を示した縦断面図である。
【図２】本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造時に使用される高周波−コスパッタリング（ＲＦ−ｃｏｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）装置を示したブロック図である。
【図３】スクリーンプリンティング法を利用する本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法を示したフローチャートである。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）、スクリーンプリンティング法を利用する本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法を示した工程縦断面図である。
【図５】サンドブラスト法を利用する本発明に係るＰＤＰの背面パネルの製造方法を示したフローチャートである。
【図６】本発明に係る高い隔壁を有するＰＤＰの背面パネルの製造方法し示したフローチャートである。
【図７】（Ａ）〜（Ｄ）、本発明に係る高い隔壁を有するＰＤＰの背面パネルの製造方法を示した工程縦断面図である。
【図８】本発明に係る高い隔壁を有するＰＤＰの背面パネルの製造方法によるＰＤＰの背面パネルを示した縦断面図である。
【図９】一般の交流型ＰＤＰ（ＡＣ−ＰＤＰ）における１つのセルの構造を示した縦断面図である。
【図１０】スクリーンプリンティング法を利用する従来のＰＤＰの背面パネルの製造方法を示したフローチャートである。
【図１１】（Ａ）〜（Ｃ）、スクリーンプリンティング法を施して、従来のＰＤＰの放電セルに蛍光物質を塗布する方法を示した工程縦断面図である。
【図１２】サンドブラスト法を利用する従来のＰＤＰの背面パネルの製造方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
１：前面基板
３：上部誘電体層
５：維持電極
７：バス電極
９：保護膜層
１１：ブラックトップ（Ｂｌａｃｋ  ｔｏｐ）
１３，１３−１：隔壁
１５，１５−１：蛍光物質
１５−２：蛍光物質の塗布膜
１７：下部誘電体層
１９：アドレス電極
２１：下地層
２３、２３−１：背面パネル
３１，３１−１：スクイーズ
３３，３３−１：スクリーンマスク
４０：チャンバー
４１：基板ホルーダ
４３：基板
４５，４７，４９：マスフロー制御器
５１：シリコンターゲット
５３：金属ターゲット
５５：カーボンターゲット
５７，６３：高周波整合器
５９，６５：高周波発生器
６１：直流電源供給部
７１：潤滑薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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