【事件の表示】
　特願２００２−２５５１８７「微粒子発生方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月２５日出願公開、特開２００４−　８９８６６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１４年８月３０日の出願であって、平成１９年２月１５日付けで拒絶理由が通知され、平成１９年４月１９日付けで意見書が提出され、平成１９年８月３日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成１９年９月６日付けで拒絶査定に対する審判請求がなされるととも平成１９年１０月９日付けの手続補正書によって明細書を補正する手続補正がされ、その後、当審において平成２１年４月７日付けで書面による審尋がされ、平成２１年６月１２日付けで回答書が提出されたものである。　
　　
第２．平成１９年１０月９日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年１０月９日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．本件補正後の本願発明
　平成１９年１０月９日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、
　「【請求項１】　液体を噴霧し、発生した霧状液体粒子から慣性分別して微細液滴部分を分別した後、加熱したキャリアガスと接触させて液体粒子を熱的乾燥させてさらに微粒子化
した液滴と
　上記補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明特定事項である「液体粒子」を「さらに微粒化した液滴」とすることによって、「液体粒子」を限定するものであって、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるかについて、以下に検討する。
　
２．引用文献記載の発明
（１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特表２０００−５１７２４３号公報（以下、「引用文献」という。）には、例えば、以下の記載がある。
　　
ア．「９．ガス流内にエーロゾル粒子の流れを形成するための噴霧器において、
  出口オリフィスを通してガス流内へ運ばれる液滴を収容する室と；
  上記出口オリフィスに整合し、液滴を受け取って大粒の液滴を除去するインパクタ板であって、第１の室内に位置するインパクタ板と；
  上記第１の室から延び、上記インパクタ板に衝突した後にガス流内に担持された液滴のための第２の出口オリフィスと；
を有することを特徴とする噴霧器。
１０．  請求の範囲第９項に記載の噴霧器において、上記第２の出口オリフィスからの放出が行われる第２の室と、上記第２の室内に位置し、上記第２のオリフィスを通って運ばれた液滴を受け取って流れから大粒の液滴を除去する第２のインパクタ板とを備え、当該第２の室が、そこから延びた、液滴を運ぶための第３の出口オリフィスを有することを特徴とする噴霧器。
１１．  表面上に蒸着されるべき所望の材料の粒子を含んだエーロゾルを提供する方法において、
  表面上に蒸着される所望の材料を含む液体を提供する工程と；
  室内で液体をエーロゾルの形へと減寸する減寸工程と；
  エーロゾルを出口へ運ぶために上記室を通るガス流を提供する工程と；
  上記減寸工程で生じたエーロゾル粒子の蒸着効率を高めるため上記室から放出される前にエーロゾルの特徴を修正する工程と；
を有することを特徴とする方法。
１２．  請求の範囲第１１項に記載の方法において、エーロゾルの特徴を修正する上記工程が内部分離器を通るようにエーロゾルを運ぶ工程と、噴霧器からエーロゾルを放出する前にガス流から大粒のエーロゾル粒子を除去する工程とを有することを特徴とする方法。」（公報第３ページ第１１行ないし同第４ページ第５行）
　
イ．「 本発明は、表面上での粒子の蒸着速度を高め、無駄な消費量を減少させることにより、エーロゾル粒子の蒸着効率を増大させるためのエーロゾル発生器を提供する。エーロゾル粒子はガス内に懸濁された小さな固体又は液体の粒子である。
所望の材料のエーロゾル粒子は溶液又は懸濁液内に所望の材料を含む液体を微粒化（噴霧化）することにより得ることができ、その液体は揮発性であり、所望の材料のエーロゾル粒子を形成するために液滴から蒸発できる。本発明はこのように形成された粒子上の電荷を制御する方法を提供し、ウエファー上での蒸着を一層均一にするためにエーロゾル粒子の寸法をも制御する。噴霧によりエーロゾル粒子を発生させる場合、噴霧器内での液体の飛散のため、ある望ましくない大粒の液滴も発生することを避け得ない。超音波噴霧器又は圧縮ガス噴霧器を使用して、エーロゾルを形成するために液体を微粒化する場合、エーロゾル粒子は普通幅広い粒子寸法範囲にわたって分布する。液体の飛散により生じた大粒の液滴は空気流により蒸着室内に運ばれ、ウエファー上に蒸着して不均一な蒸着パターンを生じさせる虞れがある。不均一な蒸着は望ましくなく、高質のウエファーを得るためには避けねばならない。
  更に、大きなエーロゾル粒子は蒸着室内へエーロゾルを運ぶチューブ内で蒸着し易い。時間が経つと、チューブは粒子を形成するために使用される材料の層で覆われ、これが随伴されて室内に運ばれ、次いで望ましくない汚物としてウエファー上に蒸着する虞れがある。」（公報第５ページ第２６行ないし同第６ページ第１６行）
　
ウ．「第１図は、圧縮ガス噴霧器１２を使用してエーロゾルを形成するために液体１１を微粒化（噴霧化）するエーロゾル発生装置１０の概略構成図である。噴霧器１２は高速ガスジェットを形成するための１以上のノズル（１つのみのノズル１４を図示する）を有する。圧縮ガス源１７は高速ガス流を提供する。微粒化すべき液体はチューブ１８を通してノズル１４内へ吸入される。ノズル１４へ入った液体１６は高速ガス流により剪断され、蒸着すべき所望の粒子材料を含む液滴を形成し、これらの液滴は外側ハウジング２２の室２０内へ吐き出される。
  先に述べたように、形成された液滴は普通、液体１６の電気特性のため、ある程度自然にチャージされる。液滴上の電荷を増大させるため、誘導電極２４がノズルから少し離れて位置し、ノズルと整合しでいる。電源２６を使用して誘導電極と微粒化ノズル１４との間に電位差を確立させる。誘導電極２４とノズル１４との間に生じた電位差はノズルにおいて電界を形成させ、ガスジェットにより液滴がノズルにて形成されるときに、電気的又は静電気的な電荷を液滴上に発生させる。この方法で発生する液滴上の電気的な電荷のレベルは電極とノズル１４との間の電位差を調整することにより調整することができる。第１図は、ハウジング２２、及び、ノズル１４を形成したブロック１５が電気的に相互接続され、同電位にあることを示す。
  噴霧器により形成された望ましくない大きさの液滴を除去するため、慣性インパクタの１以上のステージを設ける。図示のように、分割壁３０はこの壁を貫通する１以上のチューブ即ちノズル３２を有し、室２０からの出口を形成する。第１のインパクタ板３４はハウジング上に支持され、チューブ即ちノズル３２と整合する。インパクタ板はチューブ即ちノズル３２の軸線に垂直な表面を有する。ガス流出口室２０はチューブ即ちノズル３２を通るように液滴を運ぶ。チューブ即ちノズル３２を通った高速ガスは表面に導かれ、この表面上に液滴を衝突させる。インパクタの切り捨て(cut-point)直径より大きな液滴は大質量の液滴による衝突によって除去され、衝突にとって不十分な質量の小さな液滴やエーロゾル粒子はガス流により運ばれて室３６を通り、室３６の後壁を形成する壁４０に装着したチューブ即ちノズル３８から出る。第２のインパクタ板４２はチューブ即ちノズル３８に整合しており、大きな液滴がこれに衝突してガス流から除去される。これらのインパクタの切り捨て直径より小さな液滴のみを担持したエーロゾルは次いで、出口４６を通して室４４から放出される。
  望ましくない大粒の液滴の完全な除去を保証するため、数個のこのような慣性衝突ステージを直列に設けることができる。２つの衝突ステージを示したが、ある重大な応用においては、ガス流から望ましくない大粒の液滴を完全に除去するのを保証するのに必要なら、３つ、４つ又はそれ以上のステージを設けることができる。」（公報第７ページ第１９行ないし同第８ページ第２５行）
　
エ．「噴霧器により形成された望ましくない大きさの液滴を除去するため、慣性インパクタの１以上のステージを設ける。図示のように、分割壁７４はこの壁を貫通するチューブ即ちノズル７６を有し、室５９からの出口を形成する。第１のインパクタ板７８はハウジング上に支持され、チューブ即ちノズル７６と整合する。インパクタ板７８はチューブ即ちノズル７６の軸線に垂直な表面を有する。ガス流出口室５９はチューブ即ちノズル７６を通して室８０内へ液滴を運ぶ。チューブ即ちノズル７６を通った高速ガスは表面に導かれ、この表面上に液滴を衝突させる。インパクタの切り捨て直径より大きな液滴は大質量の液滴による衝突によって除去され、衝突にとって不十分な質量の小さな液滴はガス流により運ばれて室８０を通り、室８０の後壁を形成する壁８３に装着したチューブ即ちノズル８２から出る。第２のインパクタ板８４はチューブ即ちノズル８２に整合しており、残りの大粒の液滴がこれに衝突してガス流から除去される。これらのインパクタの切り捨て直径より小さな液滴を含むエーロゾルは次いで、出口８８を通して室８６から放出される。」（公報第９ページ第２５行ないし同第１０ページ第９行）
　
（２）引用文献記載の発明
　ここで、上記記載事項（１）ア．ないしエ．及び図面の記載から、次のことが分かる。
  　
オ．液体１１を微細化（噴霧化）するエーロゾル発生装置で、噴霧器１２は高速ガスジェットを形成するノズル１４があり、ノズル１４へ入った液体１６は高速ガス流により粒子材料を含む液滴を形成し、発生した粒子材料を含む液滴は外側ハウジング２２の室２０内へ吐き出されることから、液体を微粒化するエローゾル発生装置を用いた噴霧発生方法であることが分かる。
　　
カ．第１のインパクタ板３４はチューブ即ちノズル３２の軸線に垂直な表面を有する。ガス流出口室２０はチューブ即ちノズル３２を通るように液滴を運ぶ。チューブ即ちノズル３２を通った高速ガスは表面に導かれ、この表面上に液滴を衝突させ、大きな液滴は大質量の液滴による衝突によって除去され、衝突にとって不十分な質量の小さな液滴やエーロゾル粒子はガス流により運ばれて室３６を通り、室３６の後壁を形成する壁４０に装着したチューブ即ちノズル３８から出ることから、発生した粒子材料を含む液滴から望ましくない大きさの液滴を除去する慣性インパクタを用いて分別して小さな液滴を分別していることが分かる。
　
キ．第２のインパクタ板４２はチューブ即ちノズル３８に整合しており、大きな液滴がこれに衝突してガス流から除去され、これらのインパクタの切り捨て直径より小さな液滴のみを担持したエーロゾルは次いで、出口４６を通して室４４から放出されることから、第１のインパクタ板３４を用いて小さな液滴を分別し、さらに第２のインパクタ板４２を用いて小さな液滴やエーロゾル粒子を分別し、ガス流に乗せて運んでいることがわかる。
　
ク．噴霧器により形成された望ましくない大きさの液滴を完全に除去するために、インパクタ板を用いる慣性インパクタのステージは２つの衝突ステージで構成されていることが分かる。　
　
　以上（１）ア．ないしエ．及び上記オ．ないしキのことから、引用文献には以下の発明が記載されているといえる。
　「液体１１を噴霧し、発生した粒子材料を含む液滴から望ましくない大きさの液滴を除去する慣性インパクタを用いて分別して衝突にとって不十分な質量の液滴やエーロゾル粒子を分別した後、さらに、ガス流に乗せて小さな液滴とする液体を微粒化するエローゾル発生装置を用いた噴霧発生方法。」（以下、「引用文献記載の発明」という。）
　
　３．対比　　
　本願補正発明と引用文献記載の発明とを対比すると、引用文献記載の発明における「液体１１」は、その機能・目的からみて本願補正発明における「液体」に相当する。同様に引用文献記載の発明における「粒子材料を含む液滴」は、本願補正発明における「霧状液体粒子」に、「衝突にとって不十分な質量の液滴やエーロゾル粒子」は「微細液滴部分」に、「液体の噴霧方法」は「液体微粒子発生方法」に各々相当する。そして、引用文献記載の発明における「ガス流に乗せて」は、本願発明における「キャリアガスと接触させて」に、「キャリヤガスを用いて」の限りにおいて相当し、引用文献記載の発明における「小さな液滴」は本願補正発明における「さらに微細化した液滴」に「小さな液滴」である限りにおいて相当し、引用文献記載の発明における「発生した粒子材料を含む液滴から望ましくない大きさの液滴を除去する慣性インパクタを用いて分別した後」は、本願補正発明における「発生した霧状液体粒子から慣性分別して微細液滴部分を分別した後」に他ならないことから、本願補正発明と引用文献記載の発明とは
　「液体を噴霧し、発生した霧状液体粒子から慣性分別して微細液滴部分を分別し、キャリアガスを用いて液体粒子を小さな液滴とする液体微粒子発生方法。」の点で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点〉
　本願補正発明においては、微細液滴部分を分別した後、加熱したキャリアガスと接触させて液体粒子を熱的乾燥させてさらに微粒子化するのに対して、引用文献記載の発明においては、液滴を微粒子化させるものの、液滴をさらに微粒化させる手段が本願発明のように特定されていない点（以下、「相違点」という。）。
　　
４．判断
　相違点について検討する。
　一般に、キャリアガスを用いて、液滴をさらに小さくする手段として液体を熱的に蒸発させることは周知技術（例えば、特開平１１−１４６１２号公報参照）であり、相違点に係る本願補正発明のように加熱したキャリヤガスと接触させ液体粒子を熱的乾燥させてさらに微粒子化させることは、上記周知技術から当業者が容易に推考し得るものである。
　しかも、本願補正発明は、全体でみても、引用文献記載の発明及び前述した周知技術から予測できる作用効果以上の顕著な作用効果を奏するものとも認められない。
　以上から、本願補正発明は、引用文献記載の発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
　　
第３．本願発明について
１．以上のとおり、平成１９年１０月９日付けの手続補正は却下されたため、本願の請求項１に係る発明は、出願当初の明細書及び図面の記載からみて、その明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの以下のもの（以下、「本願発明」という。）である。
　
　「液体を噴霧し、発生した霧状液体粒子から慣性分別して微細液滴部分を分別した後、加熱したキャリアガスと接触させて液体粒子を熱的乾燥させてさらに微粒子化することを特徴とする液体微粒子発生方法。」
　
２．引用文献記載の発明
　引用文献には、上記第２．［理由］２．のとおりのものが記載されている。
　
３．対比、判断
　本願補正発明は、本願発明をさらに限定するものであることから、本願補正発明が、上記のとおり、引用文献記載の発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである以上、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。