(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマエッチング処理において発生する反応生成物光を用いた試料のエッチング終点判定方法において、
エッチング終点と判定するための基準データとして反応生成物光の光量データのうち、所定のＴ１時間内に得られる反応生成物光の光量を収集すると共に、前記収集した反応生成物光の光量を所定の値になるようにコンピューターを用いて前処理を行い、
終点判定の対象となるプラズマエッチングの処理開始から前記所定のＴ１時間内に得られる反応生成物光の光量を収集し、前記収集した反応生成物光の光量を前記所定の値となるようにコンピューターを用いて前処理したものを計測データとし、
前記前処理された基準データと前記前処理された計測データの時間ｔにおける光量の差を前記所定のＴ１時間の開始点から最後まで求め、前記求めた光量の差の絶対値の合計が許容値未満であれば、エッチング終点と判定し、許容値以上であれば前記計測データの収集時間をΔｔ時間進めることを特徴とするエッチング終点判定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はエッチング終点判定方法に係り、特に反応生成物光の光量の変化を基にエッチングの終点を判定するのに好適なエッチング終点判定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のエッチング終点判定は、特開昭５９−９４４２３号公報に記載のように、エッチング過程で生成される反応生成物の発光強度を時間的に二次微分することにより行うものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術では生成光にノイズが混入すると誤って終点と判定してしまう心配があった。
【０００４】
すなわち従来の２次微分法による終点判定では、反応生成光の光量を２次微分することによって、結果が正であれば下に凸、負であれば上に凸であることを捉えることが可能である。終点判定はこのことを利用して２次微分の結果が、負側である値を越えた時点で終点としていた。しかし、生成光の中にノイズが混入すると、ノイズの混入したタイミングで光量が突然変化するために、この変化が２次微分の結果に現れることとなり、誤って終点と判定する原因になっていた。
【０００５】
本発明の目的は、計測した反応生成物の光量のデータ中にノイズが発生しても正確な終点判定を行うことのできるエッチング終点判定方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、プラズマエッチング処理において発生する反応生成物光を用いた試料のエッチング終点判定方法において、エッチング終点と判定するための基準データとして反応生成物光の光量データのうち、所定のＴ１時間内に得られる反応生成物光の光量を収集すると共に、前記収集した反応生成物光の光量を所定の値になるようにコンピューターを用いて前処理を行い、終点判定の対象となるプラズマエッチングの処理開始から前記所定のＴ１時間内に得られる反応生成物光の光量を収集し、前記収集した反応生成物光の光量を前記所定の値となるようにコンピューターを用いて前処理したものを計測データとし、前記前処理された基準データと前記前処理された計測データの時間ｔにおける光量の差を前記所定のＴ１時間の開始点から最後まで求め、前記求めた光量の差の絶対値の合計が許容値未満であれば、エッチング終点と判定し、許容値以上であれば前記計測データの収集時間をΔｔ時間進めることにより達成される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図１〜図３により説明する。まず図２に終点判定装置の構成を示す。図２に示すように終点判定装置は、エッチング処理室１で発生するプラズマ発光を、特定波長のみ通過させる分光装置２を通して光電変換素子３に導き、ここで電気信号に変換し、増幅器４及びＡ／Ｄ変換器５を通過させ、数値化された値としてコンピュータ６に取り込む。入力されたデータに基づきコンピュータ６により終点判定が実施される。
【０００８】
次にコンピュータ６内にて処理される終点判定処理について説明する。コンピュータ６の処理は、まずエッチング終点と判定するための基準データとなる反応生成物光の光量データをＴ１時間収集し、光量の面積がＮとなるように各時間での光量を前処理を行う（図１のステップ１０に相当）。前処理は処理前の時間ｔ０での光量をｆｂ（ｔ０）、面積をＭ、処理後の光量をｆａ（ｔ０）とすると、ｆａ（ｔ０）＝（Ｎ／Ｍ）×ｆｂ（ｔ０）で表すことができる。ここで面積とは光量に計測時間間隔を掛けたものである。図３（ａ）に前処理後の、時間ｔ１からｔ２間の基準データ７を示す。
【０００９】
次に図３（ｂ）に示すように、計測データ８によって終点判定を行うために、エッチング開始後に終点判定を行う時間ｔ４のＴ１時間前のｔ３から、ｔ４までの光量を保存しておき、基準データ７と同様に面積がＮとなるように前処理を行う（図１のステップ１１に相当）。
【００１０】
次に図３（ｃ）に示すように基準データ７と計測データ８とをそれぞれのデータ取り入れ開始点を基準として、その点から同じ時間ｔ１０での光量について比較する。初期値としてｔ１０＝０にセットする（図１のステップ１２に相当）。また、終点判定を行うための変数ｃｏｍｐに０をセットする（図１のステップ１３に相当）。基準データ７及び計測データ８の各開始点からｔ１０経過した時点における基準データ７の光量をｆ１（ｔ１０）、計測データ８の光量をｆ２（ｔ１０）とし、ｆ１（ｔ１０）とｆ２（ｔ１０）の差Ｓを求め絶対値をｃｏｍｐに加える（図１のステップ１４に相当）。この後ｔ１０をＴ１と比較する（図１のステップ１５に相当）。ｔ１０＝Ｔ１に達していなければ、ｔ１０に一定時間Ｔａを加える（図１のステップ１６に相当）。この後、ｆ１（ｔ１０）とｆ２（ｔ１０）の計算を実行を繰り返す。
【００１１】
ｔ10＝Ｔ1 に達していれば、compの値を許容値ＬＩＭＩＴと比較する（図１のステップ１７に相当）。compが許容値未満であれば、基準データと計測データは同じ形状であると判断し、エッチング終点と判定する（図１のステップ１８に相当）。compが許容値以上であれば、２つのデータは異なる形状であるとしてエッチング終点ではないと判定する（図１のステップ１９に相当）。このとき、図３（ｂ）に示すように終点判定を行う時間ｔ4を一定時間ΔＴ進め（図１のステップ２０に相当）、計測データ前処理より処理を開始する。以下、エッチング終点まで処理を繰り返し実行する。
【００１２】
本実施例によれば、反応生成光にノイズが混入した場合でも、生成光の全体の変化によりエッチング終点を判定するため、ノイズは許容値によってキャンセル（無視）することが可能で、正確に終点判定を行うことができる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明は、計測した反応性生物の光量のデータ中のノイズによる影響に対して、より正確な終点判定が可能となるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエッチング終点判定方法を示すフローチャート図である。
【図２】本発明の方法を実施するための終点判定装置の構成を示す概略図である。
【図３】図２の装置のコンピュータに取り込まれる基準データと計測データ及び処理内容を示す図である。
【符号の説明】
１…エッチング処理室、２…分光器、３…光電変換素子、４…増幅器、５…Ａ／Ｄ変換器、６…コンピュータ、７…基準データ、８…計測データ。
【図１】
0003587646.tif 000002
【図２】
0003587646.tif 000003
【図３】
0003587646.tif 000004