(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するインクノズルと、このインクノズルに連通していると共にインクを保持しているインク室と、このインク室にインクを供給するインク供給路と、前記インク室を区画形成している周壁に形成され、面外方向に弾性変位可能となっている振動板とを有し、前記インク室の外側において前記振動板に対して隙間を置いて対向板を配置し、該対向板に対向電極を形成し、前記対向電極と前記振動板間の充放電を行うことにより、前記インクノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、
前記対向電極は第１の対向電極と、第２の対向電極とからなり、第１の対向電極は前記振動板との間で充放電を行い、前記インクノズルからインク滴を吐出させ、第２の対向電極は前記振動板との間で充放電を行うことにより単独では前記インクノズルからインク滴を吐出しない程度にインクを振動させることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２の対向電極は複数の振動板間に共通して対向し、複数の振動板との間で充放電を行うことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項２において、
前記インクノズルが１０００ノズル以上で、前記インク室をライン状に配列して区画形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
インクを吐出するインクノズルと、このインクノズルに連通していると共にインクを保持しているインク室と、このインク室にインクを供給するインク供給路と、前記インク室を区画形成している周壁に形成され、面外方向に弾性変位可能となっている振動板とを有し、前記インク室の外側において前記振動板に対して隙間を置いて対向板を配置し、該対向板に対向電極を形成し、前記対向電極と前記振動板間の充放電を行うことにより、前記インクノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの駆動方法において、
前記対向電極は第１の対向電極と、第２の対向電極とからなり、第１の対向電極は前記振動板との間で充放電を行い、前記インクノズルからインク滴を吐出させ、第２の対向電極は前記振動板との間で充放電を行うことにより単独では前記インクノズルからインク滴を吐出しない程度にインクを振動させることを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項５】
請求項４において、
前記第２の対向電極は複数の振動板間に共通して対向し、複数の振動板との間で充放電を行うことを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５において、
前記第２の対向電極は前記振動板との間で充放電を行いインク液滴を吐出させることを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録を必要とする時にのみインク液滴を吐出して記録紙上に付着させるインクジェットヘッドとその駆動方法に関する。さらに詳しくは、本発明はインクジェットヘッドのノズルで増粘または膜化したインクを拡散する動作をインク吐出動作に先立って適切に行なうことの可能なインクジェットヘッドとその駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般にインクジェットヘッドは、インクを加圧してインク滴を吐出するための圧力発生室を備えており、その一端はインク供給路を経てインクタンクに連通し、他端にはインク滴を吐出させるノズル開口が設けられている。そして、圧力発生室の一部を変形しやすく形成してダイヤフラムとして用い、これを電気機械変換手段によって弾性変位させることによってノズル開口からインク滴を吐出する圧力を発生させている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドを用いた記録装置は低騒音、低消費電力等の優れた特徴を有し、情報処理装置用の出力装置として広く普及している。その反面、インクジェットプリンタに於いては、ノズル目詰まりやドット抜けに対する信頼性の低下が課題となっていた。
【０００４】
従来、これらインクジェットヘッドのノズルの目詰まりを防止するために印刷開始前、ないしは印刷の休止期間中にインク滴を数発吐出する動作、いわゆる予備吐出を行っている。即ち、ヘッドを駆動しない状態で長時間プリンタを放置した場合、ヘッド先端のノズルよりインクの溶媒である水分等が蒸発し、その部分のインクの粘度が上昇し、印刷の際にインクが吐出しなくなったり、吐出しても本来の大きさやスピードのインク滴が吐出されなくなる、いわゆるノズル目詰まりを防止するためと、インクの粘度が上昇することにより、ノズルに対するインクのリフィル速度が遅くなり、吐出インク量に対してリフィル量が追いつかず、インクの中に気泡が混入することでインク滴が吐出されなくなる、いわゆる不吐状態を防止するために予備吐出を行っている。
【０００５】
この予備吐出におけるインクジェットヘッドの駆動方法として、特開平３−１５５５６号公報に開示されている技術がある。この方法は、インクを吐出可能な値の電力を記録手段に印加して記録を行った後に、インクを吐出可能な値未満の値の電力を記録手段に印加することにより、安定した印字品位の記録を得るものであった。
【０００６】
又、特開平９−３０００７号報ではノズルからインクが吐出しない程度の小パルスを圧電素子に与えてメニスカスを微振動させ、ノズルでのインクの膜化を防止する方法が提案されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の従来の技術にはそれぞれ以下のような解決すべき課題が有った。
【０００８】
前者では印刷に寄与しない不要インクの消費が著しく、インクの寿命が短いという課題が有った。更に、予備吐出を行うためにヘッドを印刷領域以外の場所へ随時移動待避する必要があり印刷時間が長くなるという課題が有った。
【０００９】
後者では、これを静電駆動アクチュエータによるインクジェットヘッドに適用する場合、インクを吐出させずにメニスカスを振動させるための駆動条件設定が困難であり、インクが吐出してしまうか、吐出不良を回避するに十分なメニスカスの振動が得られない不具合が有った。更に、複数の全てのノズルに対する駆動素子に駆動信号を与えて駆動する必要があるため、駆動制御が複雑になる等の課題があった。
【００１０】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、ノズル不使用により一定時間以上ノズルからインク滴を吐出しない状態が続いてもインク不吐出や異常吐出による印刷の不具合を生じないインクジェットヘッドとその駆動方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明のインクジェットヘッドはインクを吐出するインクノズルと、このインクノズルに連通していると共にインクを保持しているインク室と、このインク室にインクを供給するインク供給路と、前記インク室を区画形成している周壁に形成され、面外方向に弾性変位可能となっている振動板とを有し、前記インク室の外側において前記振動板に対して隙間を置いて対向板を配置し、該対向板に対向電極を形成し、前記対向電極と前記振動板間の充放電を行うことにより、前記インクノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記対向電極は第１の対向電極と、第２の対向電極とからなり、第１の対向電極は前記振動板との間で充放電を行い、前記インクノズルからインク滴を吐出させ、第２の対向電極は前記振動板との間で充放電を行うことにより単独では前記インクノズルからインク滴を吐出しない程度にインクを振動させることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のインクジェットヘッドは前記第２の対向電極が複数の振動板間に共通して対向し、複数の振動板との間で充放電を行うことを特徴とする。
【００１３】
加えて、本発明のインクジェットヘッドは前記インクノズルが１０００ノズル以上で、前記インク室をライン状に配列して区画形成したことを特徴とする。
【００１４】
更に、本発明のインクジェットヘッドの駆動方法はインクを吐出するインクノズルと、このインクノズルに連通していると共にインクを保持しているインク室と、このインク室にインクを供給するインク供給路と、前記インク室を区画形成している周壁に形成され、面外方向に弾性変位可能となっている振動板とを有し、前記インク室の外側において前記振動板に対して隙間を置いて対向板を配置し、該対向板に対向電極を形成し、前記対向電極と前記振動板間の充放電を行うことにより、前記インクノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの駆動方法において、前記対向電極は第１の対向電極と、第２の対向電極とからなり、第１の対向電極は前記振動板との間で充放電を行い、前記インクノズルからインク滴を吐出させ、第２の対向電極は前記振動板との間で充放電を行うことにより単独では前記インクノズルからインク滴を吐出しない程度にインクを振動させることを特徴とする。
【００１５】
更にまた、本発明のインクジェットヘッドの駆動方法は、前記第２の対向電極が複数の振動板間に共通して対向し、複数の振動板との間で充放電を行うことを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。
【００１６】
更に加えて、本発明のインクジェットヘッドの駆動方法は、前記第２の対向電極は前記振動板間にで充放電を行いインク液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、第２の対向電極と振動板の間で補助的な充電を行って振動板を対向壁に部分的に当接させ、不要なインク滴を吐出させることなくインクノズルのメニスカスやインク系の振動を生じさせるので、メニスカスにおけるインクの膜化をインク滴を吐出させることなく防止し、インク流路内のインクを拡散してインクの溶媒の蒸発によるインクの粘度増加もまた防止することができる。
【００１８】
また、本発明によれば第２の対向電極は複数の振動板に共通して設けられているので、インクノズル数の増加に伴う第２対向電極への配線が複雑にならず、如何なるインクノズル数でも、即ち１０００ノズル以上となるライン状のヘッドを構成した場合でも、そのノズル数の如何によらず、少なくとも１本の第２の対向電極への配線で第２の対向電極を駆動することができる。
【００１９】
更に、本発明によれば、第１の対向電極と第２の対向電極を同時に振動板間で充放電することにより、第１の対向電極のみに充放電して振動板を駆動するよりも多くのインク量を有するインク滴を吐出させることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００２１】
図１は本発明を適用したインクジェットヘッドの分解斜視図であり、図２はその内のガラス基板の平面図であり、図３は同じくインクジェットヘッドの部分断面図である。
【００２２】
これらの図に示すように、インクジェッドヘッド１は、シリコン基板２を挟み、上側に同じくシリコン製のノズルプレート３、下側にシリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板４がそれぞれ積層された３層構造となっている。中央のシリコン基板２には、その表面からエッチングを施すことにより、独立した５つのインク室５と、１つの共通インク室６と、この共通インク室６を各インク室５に連通しているインク供給路７としてそれぞれ機能する溝が加工されている。これらの溝がノズルプレート３によって塞がれて、各部分５、６、７が区画形成されている。
【００２３】
ノズルプレート３には、各インク室５の先端側の部分に対応する位置に、インクノズル１１が形成されており、これらが各インク室５に連通している。また、共通インク室６が位置しているガラス基板４の部分には、これに連通するインク供給口１２が形成されている。インクは、外部の図示しないインクタンクから、インク供給口１２を通って共通インク室６に供給される。共通インク室６に供給されたインクは、各インク供給路７を通って、独立した各インク室５に供給される。
【００２４】
独立した各インク室５は、その底壁５１が薄肉とされて、面外方向、すなわち、図１において上下方向に弾性変位可能な振動板として機能するように設定されている。したがって、この底壁５１の部分を、以後の説明の都合上、振動板と称して説明することもある。
【００２５】
次に、シリコン基板２の下側に位置しているガラス基板４においては、その上面であるシリコン基板２との接合面には、シリコン基板２の各インク室５に対応した位置に、浅くエッチングされた凹部９が形成されている。したがって、各インク室５の底壁５１は、非常に僅かの隙間Ｇを隔てて凹部９が形成されたガラス基板からなる対向壁の表面９１に対峙している。
【００２６】
ここで、各インク室５の底壁５１は、各インク室側の共通電極として機能する。そして、各インク室の底壁５１に対峙するように、ガラス基板４の凹部表面９１には、第１の対向電極であるセグメント電極１０が形成されている。各インク室５の底壁５１の表面はシリコンの酸化膜からなる絶縁層１５により覆われている。このように、インク室５の底壁５１の表面に形成した絶縁層１５と隙間Ｇを挟み、各インク室底壁５１すなわち振動板と、対応する各セグメント電極１０が対向電極を形成している。
【００２７】
図３に示すように、これらの対向電極の間に駆動電圧を印加するための電圧印加手段２１は、図示していない外部からの印字信号に応じて、これらの対向電極間の充放電を行う。電圧印加手段２１の一方の出力は個々のセグメント電極１０に接続され、他方の出力はシリコン基板２に形成された共通電極端子２２に接続されている。シリコン基板２自体は導電性をもつため、この共通電極端子２２から底壁５１の共通電極に電圧を供給することができる。また、より低い電気抵抗で共通電極に電圧を供給する必要がある場合には、例えば、シリコン基板の一方の面に金等の導電性材料の薄膜を蒸着やスパッタリングで形成すればよい。本実施例では、シリコン基板２の流路形成面側に導電膜を形成し共通電極２２を設けてある。
【００２８】
図４はインクジェットヘッド１の部分断面図である。図４はセグメント電極１０と振動板５１の間に駆動電圧を印加したときの振動板５１とメニスカスの動作を示す。このように構成したインクジェットヘッド１においては、電圧印加手段２１からの駆動電圧が対向電極間に印加されると、対向電極間に充電された電荷によるクーロン力が発生し、底壁（振動板）５１はセグメント電極１０の側へ撓み、インク室５の容積が拡大する。次に、電圧印加手段２１からの駆動電圧を解除して対向電極間の電荷を放電すると、振動板５１はその弾性復帰力によって復帰し、インク室５の容積が急激に収縮する。この時発生するインク圧力により、インク室５を満たすインクの一部が、このインク室に連通しているインクノズル１１からインク滴として吐出する。
【００２９】
しかるに、本例では、以下に説明するように、振動板５１と対向するセグメント電極１０とは別に、同じく振動板５１に対向する補助電極１０１を形成して、セグメント電極１０が対向する振動板５１の部分とは独立して充放電が可能なようにしてある。
【００３０】
第２の対向電極である補助電極１０１は図１及び図２に示すように、振動板５１に対向してガラス基板４の凹部表面９１に、セグメント電極１０とは独立して形成されている。補助電極１０１は図中、独立した４つの複数の振動板５１に対向し、補助電極それぞれは１つの電極として導通している。図示した例の如く、補助電極１０１は複数の振動板間で導通していても良いし、それぞれ独立していても良い。
【００３１】
補助電極１０１を複数の振動板５１間で１つの電極として導通して適用する場合には、電極の数がノズル数の増加に伴い増加することが無く、電極の配線のために必要となるインクジェットヘッド１の面積を増やさなくてよいため、ヘッド１を大型化せずに済む。また、補助電極１０１を、各振動板５１間で独立して用いた場合には、補助電極１０１は独立して駆動することが可能となる効果を有する。この場合には、配線ピッチを更に細かくする等の更なる工夫を行う。
【００３２】
図５はインクジェットヘッド１の部分断面図である。図５は補助電極１０１と振動板５１の間に駆動電圧を印加した時の振動板５１とメニスカスの動作を示す。補助電極１０１と振動板５１の間に電圧印加手段２１からの駆動電圧が対向電極間に印加されると、対向電極間に充電された電荷によるクーロン力が発生し、底壁（振動板）５１は補助電極１０１の側へ撓み、インク室５の容積が拡大すると共に、ノズル１１部のインクと空気の境目であるメニスカスはノズルのインク室５側に引き込まれる。次に、電圧印加手段２１からの駆動電圧を解除して対向電極間の電荷を放電すると、振動板５１はその弾性復帰力によって復帰し、インク室５の容積が急激に収縮する。この時発生するインク圧力は前述のセグメント電極１０の充放電により発生した圧力より小さいため、インク滴を吐出するには至らず、メニスカスは振動して減衰し復元する。補助電極１０１と振動板５１の間の充放電を繰り返すことにより、メニスカスを継続的に振動させ、ノズル１１近傍のインクとインク室５を満たすインクを攪拌することができる。
【００３３】
図６はインクジェットヘッド１の部分断面図である。図６は補助電極１０１及びセグメント電極１０の両方の対向電極と振動板５１の間に駆動電圧を印加した時の振動板５１とメニスカスの動作を示す。補助電極１０１及びセグメント電極１０の両方の対向電極と振動板５１の間に電圧印加手段２１からの駆動電圧がに印加されると、対向電極間に充電された電荷によるクーロン力が発生し、底壁（振動板）５１は補助電極１０１及びセグメント電極１０の側へ撓み、インク室５の容積が拡大する。すなわち、振動板５１全体が撓め、インク室５の容積は最も拡大する。  次に、電圧印加手段２１からの駆動電圧を解除して対向電極間の電荷を放電すると、振動板５１全体はその弾性復帰力によって復帰し、インク室５の容積が急激に収縮する。この時発生するインク圧力により、インク室５を満たすインクの一部が、このインク室に連通しているインクノズル１１からインク滴として吐出する。このときのインク圧力は最も大きな圧力を発生することが可能となるため、セグメント電極１０のみにて振動板５１を駆動してインク滴を吐出する場合とは異なるインク量を有するインク滴を吐出することが可能となる。
【００３４】
図７は、本発明を適用したインクジェットヘッドの駆動制御装置の概略ブロック図である。この図に示す駆動制御装置２１により駆動制御されるインクジェットヘッドは図１に示すものと同一である。
【００３５】
インクジェットヘッドの駆動制御装置２１はインクジェットヘッド制御部２０２を有し、このインクジェットヘッド制御部２０２は、ＣＰＵを中心に構成されている。すなわち、ＣＰＵには外部装置２０３からバスを介して印刷情報が供給される。ＣＰＵには、内部バスを介してＲＯＭ、ＲＡＭおよびキャラクタジェネレータ２０４が接続されており、ＲＡＭ内の記憶領域を作業領域として用いて、ＲＯＭ内に格納されている制御プログラムを実行し、キャラクタージェネレータ２０４から発生するキャラクター情報に基づき、インクジェットヘッド駆動用の制御信号を生成する。制御信号はゲートアレイ２０５および駆動パルス発生回路２０６を介して、印刷情報に対応した駆動制御信号となって、コネクタ２０７を経由して、ヘッド基板２０８に形成されたヘッドドライバＩＣ２０９に供給される。ヘッドドライバＩＣ２０９では、供給された駆動制御信号および電源回路２１０から供給される駆動電圧Ｖｐ及び論理ゲートアレー２０５から伝送された信号に基づき、インクジェットヘッド１の駆動すべきインクノズル１１に対応するインク室５と対向壁９１に形成された対向電極すなわち、駆動すべきセグメント１０及び補助電極１０１に駆動パルス信号Ｐｗを当該対向電極間に所定のタイミングで印加する。この結果、駆動電圧パルス信号Ｐｗが印加されたセグメント電極１０に対応するインクノズル１１からインク液滴が吐出される。また、駆動電圧パルス信号Ｐｗが印加された補助電極１０１ではメニスカスが振動される。
【００３６】
ここで、セグメント電極１０に印加する駆動パルス幅Ｐｗと補助電極１０１に印加する駆動パルス幅Ｐｗは同じ駆動パルス幅でもよいし、異なる電圧と通電時間からなる駆動波形であってもよい。セグメント電極１０に印加する駆動信号と補助電極１０１に印加する駆動信号が異なる場合には、駆動パルス発生回路２０６にてそれぞれ異なる波形を形成し、何れの波形をどの対向電極間に印加するかは、論理ゲートアレイ２０５にて出力される信号に従い、ヘッドドライバＩＣ２０９にて選択する。
【００３７】
例えば、長時間不使用状態であったインクノズルに対応するノズルが存在することを駆動制御装置にて監視し、このような場合に、インクジェットヘッド１の補助電極１０１を駆動してメニスカスの振動を行うことにより、インク吐出を正常に行わせるようにすることが可能となる。
【００３８】
このように、本例のインクジェットヘッド１の駆動制御装置２１では、インクジェットヘッド１の駆動状況に基づき、インクジェットヘッド１のセグメント電極１０及び補助電極１０１への駆動電圧のパルス幅Ｐｗを選択して印加しているので、長時間不使用状態にあったノズルに対しても確実にノズル部でのインクの物性の変化に起因したインク吐出特性の変動を補償して、常に安定したインク吐出特性を得ることを可能としている。
【００３９】
次に、図８は、本発明のインクジェットヘッドの駆動方法の対向電極間の電圧波形の例を示してある。ここで、対向電極間の電位は交互に反転する様に構成さている。これは静電駆動されるインクジェットヘッドの特性を安定化させるためのものである。本発明は、本実施例において示した、これらの交互に反転させる駆動波形の組み合わせにとらわれるものではなく電位を交互に反転させなくともその作用と効果にはかわりない。
【００４０】
図８に示す例では、図７で示した駆動制御装置２１の駆動パルス２０６で生成された駆動パルスは、ヘッドドライバＩＣ２０９にて共通電極２２即ち振動板５１、セグメント電極１０と、補助電極１０１を選択されて通電される。
【００４１】
図８では、インクジェットヘッド１の駆動方法を大別して４つの駆動パターン分けて示している。図の右側よりメニスカス振動の駆動パターンで補助電極１０１部のみを充放電して駆動するものである。図中の波形によりメニスカスは４回以上振動する。インク吐出１はセグメント電極１０部のみを充放電して駆動し、インクを吐出するものである。図では２回インク吐出１のインク吐出がなされる。インク吐出２はセグメント電極１０部と補助電極１０１部が同時に充放電されて、振動板５１が全面で撓んで駆動される。図示される波形では２回のインク吐出２のインク吐出がなされる。非駆動の場合は、共通電極２１即ち、振動板５１の電位とセグメント電極１０及び補助電極１０１の対向電極が常に同電位となる様にそれぞれ通電されている。このときインク滴の吐出、メニスカスの振動は行われない。
【００４２】
以上の実施例では主に、図１に示されるように、ノズル数が４ノズルの例について説明した。本発明では、振動板とセグメント電極間の充放電にて駆動される構成としているので、インクジェットヘッドの駆動にて消費される電力はごく僅かであり、多ノズルにてインクジェットヘッドを構成した場合でも、ヘッド全体で消費する電力は僅かであり、低消費電力が実現できるといった更なる効果を有する。
【００４３】
例えば、インクジェットヘッドを構成するノズル数が１０００ノズルとなる場合には、１０００のノズルを列状に配置し、ノズルと同数のインク室もまた同様に１列にそれぞれ区画形成する。前述の補助電極もまた、同数を同様に１列に配置する。この様に構成することにより、ライン状のインクジェットヘッドを得ることが可能となる。本発明によれば、この様なライン状のインクジェットヘッドを構成した場合でも、補助電極を駆動するための配線数は１本にて十分であり、前述の実施例にて示した効果に加えて、更に、低消費電力で、コンパクトなライン状のインクジェットヘッドを実現可能である効果を有する。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のインクジェットヘッド及びその駆動方法においては、対向電極を第１の電極と第２の電極に分割し、第２の対向電極と振動板の間で補助的な充電を行って振動板を対向壁に部分的に当接させ、不要なインク滴を吐出させることなくインクノズルのメニスカスやインク系の振動を生じさせてることができるようになる。これにより、メニスカスにおけるインクの膜化をインク滴を吐出させることなく防止し、インク流路内のインクを拡散してインクの溶媒の蒸発によるインクの粘度増加もまた防止する効果を有する。
【００４５】
この様に、本発明のインクジェットヘッド及びその駆動方法によれば、インク滴の吐出に先だって、第２の電極を駆動すれば、印刷に寄与しないインクの消費なくして、ノズル不使用により一定時間以上ノズルからインク滴を吐出しない状態が続いた後でも、インク不吐出や異常吐出による印刷の不具合を生じない効果を有する。
【００４６】
また、本発明によれば、第２の対向電極は複数の振動板に共通して設けられているので、インクノズル数の増加に伴う第２対向電極への配線が増加せず、如何なるインクノズル数でも、少なくとも１本の第２の対向電極への配線で可能となり、インクジェットヘッドの配線数の増加や回路とインクジェットヘッドを結線する配線数の増加を伴わずして、上述の優れた効果を、得ることが可能となる。
更に、本発明によれば、第１の対向電極と第２の対向電極を同時に振動板間で充放電することにより、第１の対向電極のみに充放電して振動板を駆動するよりも多くのインク量を有するインク滴を吐出させることができ、インクの吐出効率を向上する効果も有する。
【００４７】
加えて、本発明によれば、インクノズルが１０００ノズル以上で、前記インク室をライン状に配列して区画形成することが可能であり、これにより、低消費電力のライン状のインクジェットヘッドを容易に得ることが可能となる効果を有する。また、これらライン状のインクジェットヘッドでは予備吐出を行う必要が極力少なくなるため、予備吐出にて消費する印刷に寄与しない無駄なインクの消費を極力抑えることが可能となる。この効果はこのライン状のインクジェットヘッドを構成するインクノズルの数が多ければ多いほど大きな効果となる。
【００４８】
このように、本発明によれば、インクジェットヘッドの信頼性維持、優れた印刷品の確保、使用インク節約等が可能となる等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したインクジェットヘッド概略分解斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図１に示すインクジェットヘッドの概略断面図である。
【図４】図１に示すインクジェットヘッドの概略断面図である。
【図５】図１に示すインクジェットヘッドの概略断面図である。
【図６】図１に示すインクジェットヘッドの概略断面図である。
【図７】本発明を適用したインクジェットヘッドの駆動制御装置の概略ブロック図である。
【図８】図１のインクジェットヘッドの駆動に使用する駆動電圧パルスの例を示す信号波形図である。
【符号の説明】
１      インクジェットヘッド
２      シリコン基板
３      ノズルプレート
４      ガラス基板
５      インク室
６      共通インク室
７      インク供給路
５１    振動板（インク室の底壁）
９      凹部
１０    セグメント電極
１０１  補助電極
１１    インクノズル
１２    インク供給口
２１    電圧印加手段
２２    共通電極端子
【図１】
0003551051.tif 000002
【図２】
0003551051.tif 000003
【図３】
0003551051.tif 000004
【図４】
0003551051.tif 000005
【図５】
0003551051.tif 000006
【図６】
0003551051.tif 000007
【図７】
0003551051.tif 000008
【図８】
0003551051.tif 000009