【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２７４９２０２号「帯電物体の中和構造、クリーンルーム、搬送装置、居住室、植物栽培室、正負の電荷発生方法、帯電物体の中和方法」の特許無効審判事件についてされた平成１９年９月７日付け審決に対し、知的財産高等裁判所において、審決取消の決定（平成１９年（行ケ）第１０３５７号平成２０年２月１９日）があったので、さらに審理のうえ、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７４９２０２号の請求項１３に記載された発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
１．本件特許第２７４９２０２号の請求項１３〜１５に係る発明についての出願は、１９９３年８月１３日（優先権主張１９９２年８月１４日、日本国）を国際出願日とする出願であって、平成１０年２月２０日にその発明について特許権の設定登録がなされた。
２．その特許について、特許異議申立人中澤佳樹、同恒本昌美より特許異議の申立て（平成１０年異議第７５４８１号）がされ、平成１１年５月１７日に訂正請求がされ、平成１１年７月１５日に訂正請求の手続補正がされ、平成１１年７月３０日付けで「訂正を認める。特許第２７４９２０２号の請求項１ないし７，１４ないし１５、１７ないし２０に係る特許を維持する。」との決定がなされ、確定した。
３．請求人　スンチェ・ハイテック・カンパニー・リミテッドは、平成１８年１０月１７日に本件特許無効審判を請求した。
４．被請求人　大見忠弘、高砂熱学工業株式会社及び浜松ホトニクス株式会社は、平成１９年２月１日に答弁書を提出するとともに、同日付けで明細書の訂正を請求した。
５．請求人は平成１９年４月２０日に弁駁書を提出し、請求の理由を補正した。
６．当審は、上記弁駁書による請求の理由の補正を許可した。
７．被請求人は、平成１９年６月８日に答弁書を提出した。
８．当審は、平成１９年９月７日付けで「訂正を認める。特許第２７４９２０２号の請求項１３ないし１５に記載された発明についての特許を無効とする。」との審決（以下「第一次審決」という。）した。
９．被請求人は、第一次審決に対する訴えを提起（平成１９年（行ケ）第１０３５７号）するとともに、平成２０年１月４日に訂正審判の請求をした。
１０．知的財産高等裁判所は、平成２０年２月１９日に、特許法１８１条２項の規定により、第一次審決の取消しの決定をした。
１１．被請求人は、平成２０年３月１０日に答弁書を提出した。
１２．請求人は、平成２０年５月２日に弁駁書を提出した。
１３．当審は、さらに職権により審理した結果、両当事者に、平成２０年６月６日付けで無効の理由を通知した。
１４．被請求人は、平成２０年７月１０日に意見書を提出した
　
第２　訂正請求
　特許法第１３４条の３第２項の規定により指定された期間内に訂正の請求がなされなかったので、同条第５項の規定により、平成２０年１月４日にした訂正審判の請求書に添付された訂正した明細書を援用した、訂正の請求がされたものとみなす。特許法第１３４条の２第４項の規定により、平成１９年２月１日付けの訂正の請求は取り下げられたものとみなす。
　
１．訂正の内容
　被請求人により請求された訂正の内容は、本件特許発明の明細書（平成１１年７月１５日に補正された平成１１年５月１７日付け訂正明細書。以下「特許明細書等」という。）を上記援用された訂正した明細書（以下「本件訂正明細書」という。）のとおりに訂正しようとするものである。すなわち、以下のとおりである。
　
（訂正事項１）
　特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１４について、「ターゲット電圧６ｋＶ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を帯電物体の周辺の雰囲気空気に直接照射することにより、該雰囲気空気をイオン化させて正イオンと、負イオン及び／又は電子とを生成し、この生成された正イオンにより負電荷を、負イオン及び／又は電子により正電荷を中和することを特徴とする帯電物体の中和方法。」とある記載を、
「
透過型のＸ線ユニットにより
かつターゲット電流を６０μＡ以上
、搬送系における
としての液晶基板
（訂正事項２）
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１３及び１５を削除し、請求項１４以降の項番を繰り上げ、繰り上げた後の請求項１６の引用する請求項の項番を１５とする。
（訂正事項３）
　特許明細書等の第６頁第６〜１０行（特許決定公報第１０頁第３０〜３３行、「発明の開示」の欄の第６段落）の「本発明の帯電中和方法は、ターゲット電圧６ｋＶ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を帯電物体の周辺の雰囲気空気に直接照射することにより、該雰囲気空気をイオン化させて正イオンと、負イオン及び／又は電子とを生成し、この生成された正イオンにより負電荷を、負イオン及び／又は電子により正電荷を中和することを特徴とする。」とある記載を、「本発明の帯電中和方法は、
透過型のＸ線ユニットにより
かつターゲット電流を６０μＡ以上
、搬送系における
としての液晶基板
（訂正事項４）
　特許明細書等の第５頁第７〜９行（特許決定公報第１０頁第９〜１０行、「図面の簡単な説明」の欄）の「図１４は、請求項１５に係る実施例を示す居住室の概念図である。図１５は、請求項１６に係る実施例を示す植物栽培室の概念図である。」とある記載を、「図１４は、
本実施例に係る
本実施例に係る
　
２．訂正の適否について
（１）（訂正事項１）について
　訂正事項１の内、「
透過型のＸ線ユニットにより
ターゲット電流を６０μＡ以上
搬送系における
としての液晶基板
　そうすると、訂正事項１は特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当する。
　また、訂正事項１は特許明細書等に記載した事項の範囲内でするものと認められる。
　さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
（２）（訂正事項２）について 
　訂正事項２の内、請求項１３及び１５を削除する訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当する。
　訂正事項２の内、請求項１４以降の項番を繰り上げ、繰り上げた後の請求項１６の引用する請求項の項番を１５とする訂正は、上記請求項１３及び１５を削除する訂正に付随して、項番を整え、引用する項番を整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。
　また、訂正事項２は特許明細書等に記載した事項の範囲内でするものと認められ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
（３）（訂正事項３）について 
　訂正事項３は、新たな請求項１３に対応して発明の詳細な説明の記載を整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。
　そして、特許明細書等に記載した事項の範囲内でするものと認められ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
（４）（訂正事項４）について 
　訂正事項４は、請求項と対応させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。
　そして、特許明細書等に記載した事項の範囲内でするものと認められ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるものとされる、同法による改正前の特許法第１３４条第２項ただし書の規定に適合し、特許法第１３４条の２第５項において準用する特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるものとされた同法による改正前の特許法第１２６条第２項に規定する要件に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　請求人の主張
１．無効理由１
　請求項１３〜１５に係る特許発明は、本件の優先権主張日前の他の特許出願であって、その出願後に出願公開された甲第１号証（特開平５−３１２９９８号公報）に係る特許出願（特願平４−１２０５０７号）の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本件出願の発明者がその出願前の他の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本件出願の時において、その出願人が他の特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
２．無効理由２
　請求項１３〜１５に係る特許発明は、本件の優先権主張日前に頒布された刊行物である甲第２号証（米国特許第３，８６２，４２７号明細書）に記載された発明であるから、持許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
３．無効理由３
（１）請求項１３〜１５に係る特許発明は、甲第２号証、甲第７号証（特開平２−２９７８５０号公報）及び甲第８号証（特開昭６３−１１０５４１号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（２）請求項１３〜１５に係る特許発明は、甲第５号証（特開平１−２７４３９６号公報）、甲第７号証及び甲第８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
４．訂正後の発明について
　訂正後の請求項１３に係る発明についても、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
５．請求の理由の補正の許可の決定について
　平成１９年４月２０日の弁駁書による請求の理由の補正は、特許法第１３１条の２第２項第１号の規定に基づいて審判長が許可したものであり、手続上の違法はなく、当該決定の違法性を争うことは当該規定の趣旨を逸脱するものであり、さらに同条第４項にはこの決定に対して不服を申し立てることができないと規定されていて、被請求人の補正の許可が違法とする主張は失当である。
　しかも被請求人は審決後に訂正審判を請求し、差し戻し決定を得たのであるから、そのような被請求人が審決前の上記手続の違法性を争うことは許されないというべきである。
　
第４　被請求人の各答弁書における（「第３　請求人の主張」に対する）主張
１．無効理由１について
　甲第１号証に記載された発明は、主要波長として２〜２０Åまたは２〜１５Åの波長範囲の軟Ｘ線を利用するものであって、主要波長２Å未満の波長の軟Ｘ線を利用せず、不適切であるとして排除しており、発明として記載されていないことは明らかである。
　ターゲット電圧５ｋＶ、ターゲット電流２０μＡが挙げられるが、あくまでも例示にすぎない。
　したがって、特許法第２９条の２の規定に特許を受けることができないとはいえない。
２．無効理由２について
　甲第２号証には、好ましくは、Ｘ線は、３００kｅＶ未満のエネルギーを有する電子によって生成される旨の記載があるのみで、ターゲットで発生するＸ線の最短波長が０．０４１Å以上ということである。
　これは一般のＸ線波長帯域の下限値０．１Åを下回りＸ線波長の下限値を特定するものではない。また、上限値も特定されていない。
　３００ｋｅＶ未満のエネルギーを有するとの記載があるとしても、具体的なターゲット電圧を把握することはできない。
　甲第２号証に示されたＸ線源の構造を考えると軟Ｘ線を利用することはあり得ない。
　したがって、請求項１３〜１５に係る特許発明は、甲第２号証に記載された発明ではない。
３．無効理由３について
（１）に対して
ア．ターゲット電流について
　Ｘ線強度がターゲット電流に比例するとしても、軟Ｘ線による除電効果がターゲット電流に比例するとは限らない。
　本件明細書の図６のように除電時間が短くなるものの反比例とはなっていない。
　ターゲット電流が６０μＡ以下では、除電速度とターゲット電流は比例するものの、６０μＡ以上では除電速度の向上は飽和するから、飽和した除電時間短縮化の効果が得られ臨界的意義を有する。
　除電時間は条件によって多少異なるものの、通常の条件の範囲内において、ターゲット電流に対して略同様の傾向を示す。上記本件明細書の図６には４通りの条件について示されている。
　したがって、ターゲット電流６０μＡ以上は臨界的意義を有している。
イ．ターゲット電圧について
　本件発明の「波長」は強度が大きい主要なピーク波長であることは明らかである。
　本件明細書の図５に示すように、ターゲット電圧６ｋＶ以上のときに除電時間短縮に関して格別の効果があるから、ターゲット電圧を６ｋＶ以上で発生させた軟Ｘ線を用いることにより特に除電効果が高いという効果を奏し、ターゲット電圧６ｋＶ以上は不要限定であるとはいえない。
　よって、ターゲット電圧とターゲット電流に技術的意義がある。
ウ．１Å以上２Å未満のＸ線波長について
（ア）甲第２号証のＸ線スペクトルについて
　甲第２号証の発明は、ターゲット電圧が３００ｋｅＶであるものの、一般にＸ線管は甲第４号証に記載される図２．２０のようにターゲット電圧を大きくするとターゲット電流が大きくなってしまうものではなく、ターゲット電圧とターゲット電流とは互いに独立に設定されうるものであるから、ターゲット電圧が３００ｋｅＶとし、最短波長を０．０４１ÅのＸ線としても、そのＸ線スペクトルが、９ｋｅＶのターゲット電圧のＸ線スペクトルより大きくなっているとはいえない。甲第４号証の図２．２０は信用もできない。
　さらに、ターゲットで発生するＸ線の波長分布とターゲット電圧の関係を述べてはいるものの、Ｘ線管の外部の雰囲気へ照射されるＸ線の波長ではない。
　甲第２号証は、ターゲット電圧が３００ｋｅＶであるように硬Ｘ線を利用するものであり、Ｘ線源の構造を考えると軟Ｘ線を利用するものではない。
（イ）本件発明の効果、甲第２号証との差異
　したがって、本願発明は照射距離を特定するまでもなく硬Ｘ線を利用する場合に比して波長１Å以上の軟Ｘ線を利用することで格別の効果を有し、照射距離を限定する必要はない。
　よって、甲第２号証に記載された発明は軟Ｘ線の利用について記載しておらず、利用することもない。
エ．甲第７及び８号証にはターゲット電流を６０μＡ以上の或る値とするＸ線管が記載されているとしても、ターゲット電流６０μＡ以上で発生させた軟Ｘ線を用いて雰囲気をイオン化する発明については記載がない。
　したがって、本件発明は甲第２，７及び８号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（２）に対して
ア．甲第５号証について
　甲第５号証に記載された１５ｋｅＶのエネルギーを有するＸ線とは、ターゲット電圧が１５ｋｅＶを意味するのではなく、Ｘ線のエネルギーが１５ｋｅＶ、波長０．８３Åの１点のみを意味している。
　甲第５号証の１５ｋｅＶというＸ線エネルギーは遮蔽の容易さを考慮した上で、比較的低エネルギーのＸ線として示されたものであるから、遮蔽の容易さを考慮したときに比較的低エネルギーが好ましいとの観点の下に、利用を想定しているＸ線波長域のうちでもっとも低いエネルギーとして選んでいることから、利用を想定しているＸ線波長域が０．８３Å以下であることは明らかであり、軟Ｘ線の利用を想定していない。遮蔽を考慮するならばさらに長波長を挙げればいいのであるから、寧ろ軟Ｘ線の利用を排除している。
　また、甲第５号証には、ターゲット電圧やターゲット電流について何ら言及がない。
イ．甲第７及び８号証について
　甲第７及び８号証にはターゲット電流を６０μＡ以上の或る値とするＸ線管が記載されているとしても、ターゲット電流６０μＡ以上で発生させた軟Ｘ線を用いて雰囲気をイオン化する発明については記載がない。
ウ．ターゲット電流、ターゲット電圧について
　（１）ア．及びイ．の主張と同じく、ターゲット電圧とターゲット電流に技術的意義がある。
エ．甲第５号証に記載された発明は軟Ｘ線の利用を考慮せず、利用を排除している。また、甲第７及び８号証においても軟Ｘ線の利用を記載していない。このように雰囲気に照射するＸ線の波長の点のみを採り上げても甲第５，７及び８号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたとものではない。
オ．本件発明の商業的成功について
　本件出願当時、硬Ｘ線が工業用途に利用され、軟Ｘ線は利用されず、硬Ｘ線を利用の際には邪魔者とされていたものを、本件発明は波長１Å以上の軟Ｘ線（特に１Å以上２Å未満の軟Ｘ線）を利用することで、雰囲気のイオン化や除電を効率的に行うことができ、しかも、硬Ｘ線と比べて遮蔽が容易であり安全性の点でも有利であるとして本発明者により想到されたものである。
　乙第５号証（稲葉仁、「ＬＣＤ製造における静電気対策　静電気対策の基本フローと除電対策」、クリーンテクノロジー、2004.4、p.26-32）及び乙第６号証（山本稔、「液晶製造工程における静電気対策とその管理手法」、クリーンテクノロジー、2004.7、p.13-19）に紹介されているように、本件発明は、例えば半導体製品や液晶パネル等の製造工程において必須の技術となっており、商業的成功を成し遂げている。
　この商業的成功は、半導体製品や液晶パネル等の製造工程におけるような限られた空間にＸ線管や除電対象物を配置せざるを得ない条件において、主要なピーク波長１Å以上の軟Ｘ線（特に１Å以上２Å未満の軟Ｘ線）を利用するという本件発明の特徴に基づく。
　甲第２及び５号証記載の発明のような硬Ｘ線の利用は不適切である。
４．訂正後の発明について
　訂正後の請求項１３に係る発明である本件訂正発明は、ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流を６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を用い、その軟Ｘ線を液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射することで、雰囲気空気を効率的にイオン化して液晶基板を効率的に除電することができる。
　加えて、透過型のＸ線ユニットを用いることで、照射範囲を広くすることができるとともに、ターゲットで発生した軟Ｘ線を外部へ効率的に出力することができるので、雰囲気空気を効率的にイオン化して、液晶基板を効率的に除電することができ、さらに、透過型のＸ線ユニットが小型化可能であるので、配置スペースが限られる液晶基板の搬送系においてもＸ線ユニットの配置の自由度が高い。
　このようにすることで、クリーンルーム内で空気の流れを作ることなく除電が可能となり、液晶基板の製造工程において最適な除電をすることが可能となる。
（１）無効理由１〜３（１）について
　甲第１、２、７及び８号証に記載された発明は、上記本件訂正発明の特徴的な各要件を有しておらず、本件訂正発明はこれら特徴的な各要件を有することにより格別の効果を有するから、無効理由１〜３（１）を有していないことは明らかである。
（２）無効理由３（２）について
　上記第４の３．の「（２）に対して」で述べたことに加え、本件訂正発明でさらに加えられた特徴的な要件も記載されていないから、無効理由３（２）も有していない。
５．請求の理由の補正の許可の決定について
　特許法第１３１条の２第２項は、請求の理由の要旨を変更する補正について、同条第２項第１号及び第２号の何れにも該当しないとき、審判長の許可は為されてはならないとしているから、新たに甲第５号証を追加し、無効理由３（２）を主張する補正についてした許可処分は違法である。
　
第４　当審が通知した無効の理由の概要
　本件特許の請求項１３〜１５に係る発明（以下「本件特許発明１３〜１５」という。）は、本件の優先権主張日前日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その優先権主張日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許発明１３〜１５に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
刊行物１　特開平１−２７４３９６号公報（甲第５号証）
刊行物２　米国特許第３，８６２，４２７号明細書（甲第２号証、３００ＫｅＶ未満の電子によるＸ線をコンテナ内に放射して自由イオンを生成し、静電場を中和することが示される。）
刊行物３　特公昭３９−１７０１号公報（放射線を繊維布に放射し、空気をイオン化して繊維布の静電気を中和させることが示される。）
刊行物４　特開昭５８−１９７６９７号公報（紫外線を帯電物体に照射し、ガスの電離作用で除電することが示される。）
刊行物５　特開平１−２８１１９０号公報（搬送中の液晶用のガラス板に対向して設けた除電バーで静電気を除去することが示される。）
刊行物６　特開平２−６１６１３号公報（搬送機構上の液晶表示器用の透明電極基板に電離空気を吹き付けて静電気を中和することが示される。）
刊行物７　特開平１−１０７４９７号公報（ＩＣパッケージ搬送工程においてイオン流を吹き付けて静電気を除去することが示される。周知例として。）
　
第５　請求人の意見書における（「第４　当審が通知した無効の理由の概要」に対する）主張
１．刊行物１について
（１）内部室１９で０．８３Åの硬Ｘ線が吸収される割合は１．８％程度であって、刊行物１に記載の発明は実施不可能なものである。
　また、気体をイオン化するために必要なＸ線波長及びイオン化の効率向上のためのターゲット電圧やターゲット電流について何ら想定されていない。
（２）刊行物１には「内部室の大きさ及びＸ線管29のフィラメント電流と陽極電圧とを含むその他の試験された変数は、非常に少ししか動作に影響しなかった。」と記載されてターゲット電圧及びターゲット電流の何れも除電効率に影響を与えないことが明言され、Ｘ線波長、ターゲット電圧及びターゲット電流の何れについても放電時間との関係が示されていない。
（３）すなわち、刊行物１は本件訂正発明を想到する際に示唆となり得ないだけでなく、引用発明を認定する刊行物として不適切なものであり、本件訂正発明を想到することの妨げとなるから、引用発明としての適格性を欠く。Ｘ線波長、ターゲット電圧及びターゲット電流が除電効果に与える影響を否定するものであるから、対比判断の資料に供し得ない。
２．本件訂正発明の効果および進歩性について
（１）本件訂正発明は、ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流を６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を用い、その軟Ｘ線を液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射することで、雰囲気空気を効率的にイオン化して、液晶基板を効率的に除電することができる。
　加えて、透過型のＸ線ユニットを用いることにより、照射範囲を広くすることができるとともに、ターゲットで発生した軟Ｘ線を外部へ効率的に出力することができるので、雰囲気空気を効率的にイオン化して、液晶基板を効率的に除電することができ、さらに、透過型のＸ線ユニットが小型化可能であるので、配置スペースが限られる液晶基板の搬送系においてもＸ線ユニットの配置の自由度が高い。
　本件訂正発明では、硬Ｘ線を用いる場合に比較して、比較的短い距離の範囲において高密度のイオンを生成することができる一方、イオンが生成される範囲が限られる。
　拡がり角が大きい透過型のＸ線ユニットを用いることにより、反射型のＸ線ユニットを用いる場合に比較して、イオンが生成される範囲を広くでき、Ｘ線ユニットの必要数を少なくでき、低コスト化を図ることができる。
　すなわち、搬送系における液晶基板を高効率かつ低コストで除電することができる。
（２）本件訂正発明では、刊行物１，５〜７に記載された発明のごとくクリーンルーム内で空気の流れを作る必要がなく、空気の流れによる粉塵を巻き上げることがなく、液晶基板の液晶基板の製造工程において最適な除電をすることが可能となる。
（３）刊行物２に記載された発明はＸ線源１０の構造を考えると、軟Ｘ線を利用することはあり得ず、短波長の硬Ｘ線を利用するに留まる。
　刊行物２に記載された発明で利用する短波長の硬Ｘ線は、本件訂正発明の１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線に近接するとはいえない。
　刊行物２に記載された発明で利用する短波長の硬Ｘ線は除電効率が悪い。
（４）刊行物３は原子炉で発生させた中性子をβ線標識物に当ててβ線を発生させ、雰囲気空気をイオン化して除電することが記載されており、原子炉や被爆防止の設備が大掛かりで非現実的である。
（５）刊行物４は紫外線を用いて雰囲気空気をイオン化して除電することが記載されており、オゾンが発生する。
（６）特に、Ｘ線波長、ターゲット電圧及びターゲット電流の何れもが除電効果に影響を与えないとする刊行物１の記載内容から本件訂正発明の効果は予測し得ない。
　
第６　本件特許発明 
　前述のとおり、訂正請求は認められるから、本件特許の請求項１３に係る発明（以下「本件特許発明」という。）は、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１３に記載された次のとおりのものである。
「透過型のＸ線ユニットによりターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流を６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を、搬送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射することにより、該雰囲気空気をイオン化させて正イオンと、負イオン及び／又は電子とを生成し、この生成された正イオンにより負電荷を、負イオン及び／又は電子により正電荷を中和することを特徴とする帯電物体の中和方法。」
　
 第７　無効理由の検討
　まず、当審が通知した無効の理由について検討する。
１．引用刊行物
（１）引用刊行物１（刊行物１、甲第５号証）
　引用刊行物１には、図１〜６とともに以下の事項が記載されている。
ア．「所定の領域でイオン化されたガス環境を与える方法において、
　囲まれた流路に沿って前記領域へ加圧されたガスの流れを導くこと、
　前記所定の領域から隔離された位置で前記囲まれた流路の所定の部分へ電離放射線を導くことにより前記ガスの流れをイオン化すること、
　前記流路の前記所定の部分の外へ伝播する放射線の漏洩を抑制すること、及び
　前記所定の領域で前記囲まれた流路から前記イオン化されたガスの流れを放出すること、
の工程を含むことを特徴とするガスイオン化方法。」（特許請求の範囲の請求項１）
イ．「本発明は所定の領域における大気のイオン含有量の制御に関するものである。更に詳細には、この領域内の物体への静電荷の累積を抑制するために所定の領域においてイオン化された大気を維持する方法及び装置に関するものである。」（第４頁右上欄第３〜７行）
ウ．「静電気の蓄積の究極的な放電は望ましくない結果を生じ得て、ある種の環境では一定の工業的生産品のような物品に痛烈な損傷を起こし得る。小型化された半導体電子素子の製造では顕著な例が起こる。静電放電は集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様のもの内の導電路を破壊し得て、製造工程の間のそのように生産品の高い廃棄率の重要な原因となる。静電荷はまた、製品に不利に影響し得る塵埃粒子及びその他の汚染物の付着を誘引し引き起こす。
　そのような生産品の製造は、潜在的な汚染物を除去するため及びまた生産品上への静電荷の形成を抑制するために、クリーンルームと名付けられた範囲で実行される。製品を取り囲む空気中の自由イオンの高水準の維持は、そのような電荷の形成を抑制するために大変有効な技術の一つである。空気中の成分ガスの正及び負のイオンが反対極性の電荷累積へ静電的に誘引され、それで電荷の交換によってそのような累積を中和する。」（第４頁右上欄第１５行〜左下欄第１３行）
エ．「特定の例では酸素を含まない不活性のガスを使用する必要はなく、その場合に装置11は前述の目的とは異なる目的用に用いられる。例えば特定の領域で空気から微粒子の物質を除去するのが目的の場合には、内部室19を通る空気が用いられ得る。
　放射線の源泉は好適に、内部室の一端で薄い窓31を通して内部室19内へＸ線21を導くように位置決めされたＸ線管29である。」（第７頁左上欄第１０〜１７行）
オ．「本発明の好適な形では、遮蔽する必要を最小化するために比較的低エネルギーのＸ線を与えるように選択され調節される。15keV のエネルギーを有するＸ線は、例えば、プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫通することが可能であり、従って内部室19内で窒素を能率的にイオン化する。
　Ｘ線管29を付勢するための電気的な要素は、管のフィラメント33及び制御グリット34用の低電圧電力源32と管の陽極37用の高電圧発生器36とを含み、これらの要素は普通の設計のものでよい。」（第７頁右上欄第３〜１３行）
カ．「電離室ハウジング18及びＸ線管29は、装置からの放射線の漏洩を防止するために、少なくとも一部がＸ線吸収材で形成された遮蔽覆い51内に配列される。例えば、１ミリメートル厚さの鉛が15keVのエネルギーのＸ線の放出を防止する。」（第７頁左下欄第１８行〜右下欄第２行）
キ．「この特別例の電離室ハウジング18は、３インチの直径と4.5 インチの高さである内部室19を有する直立したプレキシグラスの円筒である。」（第７頁右下欄第１５〜１７行）
ク．「配管中の湾曲が可能な量に回避された場合及び出口取付部品62を含む配管を通る流路の直径の変化も可能な限り回避された場合に、反対極性のイオンの電荷交換による、又流体送達配管28の内壁との接触によるイオンの中和は低減される。」（第８頁左上欄第１６行〜末行）
ケ．「イオン化されたガスが流体送達配管のような導管内の封入された流れとして使用される点へ配送されることにおいて、この装置11は電荷抑制用の従来のイオン化システムとは異なる。使用される点に近い位置で周囲の空気を単純にイオン化する従来の方法に対抗するから、自由イオンのこのような配管は、最初に考えると不適当な手段であるように見える。外見上は、隣接する壁面との及び相互間での電荷交換からイオン損失の問題が非常に悪化させられる。我我は、このシステムの一定のキー助変数が適当に相互に関係付けられた場合には、イオンの充分高い濃度が数フィート以上の距離に対して制限されたガスの流れの中に維持され得ることを見出した。
　特に、前述の動作に本質的に似た電荷抑制装置11の動作は、その装置が10インチ角の平板(67pfのキャパシタンス)を1000ボルトから100 ボルト迄放電するのに必要な時間を秒で測定する充電平板モニターから18インチ離れて流体送達配管28の出口を置くことによって評価された。この測定された放電時間は流体送達配管28からのイオン出力に反比例する。イオン出力の増加はより低い放電時間に帰着する。
　イオン出力に最も明確な影響を伴う変数はガスの流量，流体送達配管28の直径及び流体送達配管の長さであることを試験が示した。内部室の大きさ及びＸ線管29のフィラメント電流と陽極電圧とを含むその他の試験された変数は、非常に少ししか動作に影響しなかった。他の変数を一定に保持した流体送達配管材料及び内部室19の材料の異なる形式を用いた試験は、同様の結果を生じた。」（第８頁左下欄第９行〜右下欄第１９行）
コ．「管の長さは装置の配置と作業位置での作業空間とによって一般的に指令されるが、可能な限り短くなければならず、前述のように約６フィートをなるべく超えてはならない。」（第１０頁右上欄第３〜６行）
　
　イ．及びウ．の記載から、物体への静電荷の累積を抑制するために、イオン化された大気を維持する方法であって、
半導体電子素子の製造において、集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様のものである生産品上への静電荷の形成を抑制するために、上記生産品である製品を取り囲む空気中の自由イオンの高水準の維持により、そのような電荷の形成を抑制するものであって、空気中の成分ガスの正及び負のイオンが反対極性の電荷累積へ静電的に誘引され、それで電荷の交換によってそのような累積を中和する方法が記載されているといえる。
　そして、製品を取り囲む空気中の自由イオンは、空気中の成分ガスの正及び負のイオンであり、このような正及び負のイオンが製品上の反対極性の電荷累積へ静電的に誘引され、それで電荷の交換によって、そのような製品上の静電荷の累積を中和するのであるから、空気中の正のイオンは製品上の負の静電荷に、また、空気中の負のイオンは製品上の正の静電荷と電荷の交換によって静電荷を中和するものである。
　ア．及びエ．の記載から、Ｘ線管29からのＸ線によりイオン化するガスに空気を含むものであり、このイオン化された空気を用いるといえる。
　オ．の「遮蔽する必要を最小化するために比較的低エネルギーのＸ線を与えるように選択され調節される」との記載から、遮蔽する必要を最小化するため、比較的低エネルギーのＸ線を選択する、つまり、遮蔽する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低いものにしようとする旨の示唆があるといえる。また、オ．の「15keV のエネルギーを有するＸ線は、例えば、プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫通することが可能であり、従って内部室19内で窒素を能率的にイオン化する。」との記載は、「15keV のエネルギーを有するＸ線」を例示し、例示のＸ線は、プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫通することが可能であるから、内部室19内で能率的にイオン化するというものと解される。そうすると、上記オ．の記載は、遮蔽する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低くしようとするものの、同時に、薄い窓31を貫通することが可能で、能率的にイオン化することが必要で、その例として15keVのエネルギーを有するＸ線が示されていると解される。
　ク．及びケ．の記載は、従来、使用される点に近い位置で周囲の空気を単純にイオン化する方法があること、この従来の方法に対し、流体送達配管28を用いると、不適当な手段に見えるが、流体送達配管28内での反対極性のイオンの電荷交換による、又流体送達配管28の内壁との接触によるイオンの中和は、配管の湾曲や流路の直径の変化が回避され、さらに、一定のキー助変数である、ガスの流量，流体送達配管28の直径及び流体送達配管の長さが適当に相互に関係付けられた場合、低減されて、イオンの充分高い濃度が数フィート以上の距離に対して維持されること、及びそのイオンの出力は出口におかれた平板を放電する放電時間で評価され、イオン出力の増加はより低い放電時間に帰着することを意味するものと認められる。
　さらにコ．の記載は、それでも可能な限り、管の長さは、短くすべきであると述べるものである。
　
　上記の事項を総合すると、上記引用刊行物１には以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「15keV のエネルギーを有するＸ線を例とする、Ｘ線管29からのＸ線を、プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫通させて、空気に照射することにより、該空気をイオン化させて、該空気中の成分ガスの正及び負のイオンを生成させ、
　さらに流体送達配管28によりこのイオン化された空気の流れを導き、その出口から放出して集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様のものである製品を取り囲む空気中の上記正及び負のイオンである自由イオンを高水準に維持し、空気中の正のイオンは製品上の負の静電荷に、また、空気中の負のイオンは製品上の正の静電荷と電荷の交換によって静電荷を中和することによる製品上の静電荷の累積を中和する方法。」
　
（２）引用刊行物２（刊行物２、甲第２号証）
　引用刊行物２には、第１〜５図とともに以下の事項が記載されていると認められる。
ア．「An array of X-ray sources is mounted on the upper surface of a container of flammable fluids. Each X-ray source includes a high voltage generator, an electron accelerating tube and an X-ray target. Each X-ray source is also housed in a metallic enclosure which maintains the source in a water and gas tight manner. The X-rays which are formed as wide angle beams produce free ions within the gaseous region within the container, and these ions neutralize any undesirable electrostatic fields which form within the gas-filled regions inside the container.」（ABSTRACT、請求人による和訳：可燃性流体のコンテナの上部表面にＸ線源のアレイが配置されている。各Ｘ線源は、高電圧発生器、電子加速管及びＸ線ターゲットを備えている。また、各Ｘ線源は、防水及び防ガスの方法で当該Ｘ線源を維持する金属製封入容器内に収容されている。広角ビームとして形成されたＸ線は、上記コンテナ内のガス領域内で自由イオンを生成し、これらのイオンが、コンテナ内のガス充満領域内に形成された望ましくない静電場を中和させる。）
イ．「Preferably, the X-rays are produced by electrons with energies less than 300 kiloelectron volts. A source of electrical power (not shown) operates the high voltage generator 24. In operation, the X-ray source 10 develops wide angle beams of X-rays which radiate into the region within the container as shown at 30 in FIG. 1 and 32 in FIG. 3.」（第３欄第２９〜３５行、請求人による和訳：好ましくは、Ｘ線は３００ＫｅＶ未満のエネルギーを有する電子によって生成される。電力源（図示せず）は高電圧発生器２４を動作させる。動作中、Ｘ線源１０は、図１の３０及び図３の３２に示されたようにコンテナ内の領域へ放射されるＸ線の広角ビームを生成する。）
（３）引用刊行物３（刊行物３）
　引用刊行物３には、第１〜７図とともに以下の事項が記載されている。
ア．「静電気を発生している箇所に放射線を照射することにより静電気を発生している箇所の空気をイオン化してこの空気を導電媒体として静電気を中和させることがすでに行われている。・・・（中略）・・・例えば第１図に示すように繊維の作業工程にあつては種々の装置との摩擦または繊維自体の摩擦によつて静電気を発生するが特にガイドローラーＡによつて移送される際に帯電している繊維布Ｂに対して例えばラジウムを線源とする放射性物質Ｃよりα線を該繊維布Ｂに照射するかあるいはβ線を照射するかして繊維布Ｂの帯電を除去するものがある。」（第１頁右欄第１〜１３行）
（４）引用刊行物４（刊行物４）
　引用刊行物４には、第１〜５図とともに以下の事項が記載されている。
ア．「本発明は、光照射によるガスの電離作用を利用して帯電物体を除電する除電方法に関する。」（第１頁左下欄第１３〜１４行）
イ．「第１図に示すように、一定のガス雰囲気中において帯電物体１を絶縁材製の支持台２に支持しておき、その上方より水銀ランプ３によつて紫外線を照射する。
　本発明者は、この第１実施例について次のような条件で実験を行い、帯電物体２の電位を電位測定器４で測定した。
　ガス……１気圧、通常の空気
　水銀ランプ……低圧石英ランプ
　紫外線の最短波長及びそのエネルギー……１８５０Å、６．７ｅＶ
　　　　　　　　（あるいは２５３７Å、４．９ｅＶ）
　電位測定器……エレクトロメータ
　水銀ランプと帯電物体間の距離……１５０mm
　帯電物体と電位測定器間の距離……２０mm
　帯電物体の長さ及び厚さ………８５mm、０．５mm
　この測定データを第４図に示す。この図より明らかなように、帯電物体１が正帯電をしている場合もまた負帯電をしている場合も、実線で示すように、その電位が紫外線照射により時間の推移に従つて減衰している。これは、水銀ランプ３よりの紫外線の光のエネルギー（６．７ｅＶ）が空気の電離電圧（約１２．５ｅＶ）より小さいにもかかわらず、空気がイオン化され、それによつて帯電物体１が除電されていることを示している。」（第２頁左上欄末行〜左下欄第５行）
（５）引用刊行物５（刊行物５）
ア．「（１）ガラス板を順次繰出す供給部とガラス板清掃室を備え、清掃室には供給されるガラス板を搬送する搬送コンベアと、このコンベアの下方に設けた昇降台及びコンベア上方に走行可能に設けられる吸引ノズルを備え、昇降台を上昇しコンベア上のガラス板を載置し吸引ノズルの移行によりガラス板上面に付着する微細物を吸引除去すると共に、昇降台上面には吸引口を開口しガラス板を吸着保持し、少なくとも吸引ノズルによる吸気はフィルタにより除塵し清浄空気として清掃室に供給することを特徴とする液晶板用ガラス板清掃装置。
（２）搬送コンベアによるガラス板搬入路適所に除電バーを対設し、走行するガラス板に帯電する静電気を除去することを特徴とする請求項１記載の液晶板用ガラス板清掃装置。」（特許請求の範囲）
イ．「搬送コンベアによるガラス板搬入路適所に除電バーを対設し、走行するガラス板に帯電する静電気を除去することが除塵を効果的に行うのに有効である。」（第２頁右上欄第５〜８行）
ウ．「図中４７は除電バーであり、搬送中のガラス板Ａに対向して設けたもので、ガラス板Ａに帯電する静電気を除去するようにしたものであり、必要により設ける。」（第３頁左上欄第１６〜１９行）
（６）引用刊行物６（刊行物６）
ア．「第１図において、１１は板状の電子部品、例えば液晶表示器用の透明電極基板で、前述のように、ガラス板等による基板上に複数の透明電極を所定形状に配置し、かつその表面を配向膜によって被覆している。この透明電極基板１１は導電性材料によるステージ１２上に設置され、ラビング処理用の布等を巻いたローラ１３により表面がこすられ、ラビング処理される。」（第２頁右下欄第１１〜１８行）
イ．「前記導電体１５の搬送路１４ａとの対向面１５ａは、ステージ１２から離れるに従って搬送路１４ａとの間隔が開くように設定されているので、透明電極基板１１の図示右方への移動に伴い、透明電極基板１１の電圧は徐々に上昇しようとする。しかし、搬送路１４ａ上には除電器１７が設けられており、搬送路１４ａを通る透明電極基板１１に対して電離空気を吹き付け、静電気を中和させるので、透明電極基板１１での電圧上昇はほとんど生じない。」（第３頁左下欄第１〜９行）
（７）引用刊行物７（刊行物７）
ア．「第３図において、ゴムローラ１によってＩＣパッケージ２を搬送する工程において、ＩＣパッケージ２は絶縁物であり、静電気が帯電する。この静電気を、イオン発生器３で生成したイオン流４を吹きつけて除去するように取付けたものが静電気除去装置４である。」（第１頁左下欄第１５行〜右下欄第１行）
　
２．対比、判断
　本件特許発明と引用発明とを対比すると、後者の「Ｘ線管29」は前者の「Ｘ線ユニット」に対応し、後者はＸ線管29からのＸ線を照射するのであるから、当然、そのＸ線管は何らかのターゲット電圧及びターゲット電流が設定され、それに応じた波長のＸ線が発生されるものである。
　また、後者は、Ｘ線を空気に照射することにより、該空気を含むガスをイオン化させて、該空気中の成分ガスの正及び負のイオンを生成させるものであるから、前者と同様に、空気をイオン化させて正イオンと、負イオン及び／又は電子とを生成するものである。
　後者の「集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様のものである製品」及び「製品を取り囲む空気」は前者の「帯電物体」及び「帯電物体の周辺の雰囲気空気」に相当し、後者の、イオン化された空気の流れを導き、その出口から放出して集積回路ウェーハ、マイクロチップ及びその他同様のものである製品を取り囲む空気中の上記正及び負のイオンである自由イオンを高水準に維持し、空気中の正のイオンは製品上の負の静電荷に、また、空気中の負のイオンは製品上の正の静電荷と電荷の交換によって静電荷を中和することによる製品上の静電荷の累積を中和する方法は、前者の、この生成された正イオンにより負電荷を、負イオン及び／又は電子により正電荷を中和する帯電物体の中和方法に対応する。
　したがって、本件特許発明と引用発明とは、
「Ｘ線ユニットにより発生させたＸ線を、空気に照射することにより、該空気をイオン化させて正イオンと、負イオン及び／又は電子とを生成し、この生成された正イオンにより負電荷を、負イオン及び／又は電子により正電荷を中和する帯電物体の中和方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。
Ａ：Ｘ線ユニット（Ｘ線管）について、本件特許発明が透過型としているのに対して引用発明は透過型でない点。
Ｂ：Ｘ線について、本件特許発明は、ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流を６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線であるのに対して、引用発明はＸ線管29からのＸ線であって、15keV のエネルギーを有するＸ線である点。
Ｃ：本件特許発明は、Ｘ線を空気に直接照射するものであるのに対して引用発明は直接照射するのか否か明確でない点。
Ｄ：本件特許発明は「搬送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気に」「照射することにより、該雰囲気空気をイオン化」するものであるのに対して、引用発明はそうでない点。
　
　そこで、上記相違点について検討する。
ア．相違点Ａについて
　透過型のＸ線ユニットは例えば特開平２−２９７８５０号公報（甲第７号証）や刊行物２等にも示されるように、周知のものである。そして刊行物２に記載のものは除電のために用いるものでもある。そうすると、引用発明のＸ線ユニットとして透過型のものを用いることは当業者が適宜なし得る選択的事項といえ、その効果についても、その構成に付随するものであって、格別であるとはいえない。
　
イ．相違点Ｂについて
（ア）１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線について
　引用発明の15keVのエネルギーを有するＸ線は、０．８２７Åの波長である。そして、引用刊行物１の１．（１）オ．の記載は、遮蔽する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低くしようとすることを示唆しており、同時に薄い窓31を貫通することが可能な例として０．８２７Åの波長のＸ線が示されているといえるのであるから、上記示唆に基づいてより遮蔽を容易にするために、例示のＸ線のエネルギーはより低く、つまり０．８２７Åの波長をより長いＸ線を用いようと考えることに困難性は認められない。
　一方、薄い窓31について、引用発明でも、プラスチック，アルミニューム又はベリリウム製のものを例示しているように、各種の材質が知られており、材質や厚み等によりこれを貫通する際の吸収も大きく異なること〔必要あれば、「岩波　理化学辞典　第４版」１９８７年１０月１２日発行、岩波書店（甲第３号証）及び「ENERGY DISPERSIVE X-RAY FLUORESCENCE ANALYSIS」1989年発行、POLISH SCIENTIFIC PUBLISHERS（甲第１３号証）等参照〕も当業者にとって周知の事項である。例えば、アルミニュームとベリリュームでは貫通のしやすさは大きく異なると考えられ、引用発明はこれらを一括して薄い窓31とし、これを貫通するＸ線として、０．８２７Åの波長のＸ線を例示するのであるから、薄い窓31の具体的構成やイオン化の能率等の各種の条件を考慮・変更しつつ、より貫通しやすい薄い窓を採用する等して、Ｘ線の波長をより長く設定することは、当業者が格別の困難性を要することなくなし得ることである。そして、そのようにより長い波長を選択しようとするに際し、上記例示の長波長側の近傍に着目し、１Å以上２Å未満の波長を選択することは当業者にとって適宜なし得る設計的事項であるといえる。例えば、特開昭５８−３２２００号公報（甲第６号証）の第５図にも示されるように、１５ｋＶのターゲット電圧で１〜２Åの波長を含む（ピーク波長でもある）Ｘ線を発生するＸ線管は周知であり、このような周知のＸ線管を用いるように、当該範囲を選択することに困難性はない。
　また、１及び２Åの具体的数値の技術的意義について、本件明細書には「発生するＸ線の波長は、電子が照射されるターゲットによって異なるが、１オングストローム〜数百オングストロームの波長範囲の軟Ｘ線を用いることが好ましい。特に、１オングストローム〜数十オングストロームの軟Ｘ線が好ましい。」（本件訂正明細書の第６頁第２４〜２６行）と記載されているのみであって、軟Ｘ線を用いることが好ましいとするものの、具体的に１及び２Åという値がいかなる臨界的意義を有するのか記載されていないだけでなく、硬Ｘ線に対して軟Ｘ線がどう良いのかも記載されていない。そうすると、上記のように、１Å以上２Å未満の波長を選択することは、当業者が適宜なし得ることといえる。上記特開昭５８−３２２００号公報に示されるような周知の１Å以上２Å未満の波長のＸ線を発生するＸ線管を用いることに困難性はない。
　なお、軟Ｘ線、通常のＸ線及び硬Ｘ線の区別は、Ｘ線の波長によってのみなされるものであるから、上記のような周知の１Å以上２Å未満の波長のＸ線は、当然、本件特許発明における軟Ｘ線であるといえ、軟Ｘ線という用語とすることも格別ではない。
　
（イ）ターゲット電圧６ｋＶ以上とすることについて
(i)本件特許発明は、Ｘ線の発生源として、本件明細書及び図面に図３として示されるようなＸ線ユニット（本件訂正明細書の第６頁第１１〜２１行）から、つまりＸ線管から発生させるものであって、ターゲット電圧を変化させるものである。そして、通常このようなＸ線管の場合、最短波長から長波長側へ広く波長が分布するものである。そうすると、１Å以上２Å未満の波長のＸ線は、被請求人も平成１９年６月８日付け答弁書第１５頁第１１〜１３行で述べるように、ピーク波長が１Å以上２Å未満の波長のＸ線を含むものと解される。
　上記ターゲット電圧６ｋＶという値は、最短波長２．０６７ÅのＸ線に対応するものであるから、１Å以上２Å未満の波長のＸ線を得るには、そもそもターゲット電圧６ｋＶを越えなければならないのであって、そのようなターゲット電圧とすることは容易である。
(ii)また、引用発明は遮蔽する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーを低くしようとするものの、薄い窓31を貫通することが可能で能率的にイオン化することが必要であるというのであるから、低すぎると窓を貫通できず能率的にイオン化できず、より高いエネルギーのＸ線は窓をより貫通し効率的にイオン化できるというものでもあることは当業者に明らかである。また、装置の薄い窓のみならず、Ｘ線管自身も発生するＸ線に係る特性を個別に有するものであり、例えばターゲットやそれを支持する基板、Ｘ線管の外囲器の窓等は、ターゲットにおけるＸ線発生後において影響を有する部材である。さらに、装置のその他の構成もＸ線のスペクトルに影響を与えるものと考えられる。
　そうすると、ターゲット電圧を上げるとイオンが増え、それに従って除電時間が短くなるということは当業者が普通に想到することであるから、より短い除電時間、大きいイオン出力を求めて、要求される除電時間となるように電圧を設定することは容易であり、さらに、上記のようにターゲット電圧は各条件に応じて設定するものであって、上記の各条件が限定されないのであるから、ターゲット電圧を６ｋＶ以上とすることは当業者が容易に設定できたことといえる。
(iii)その上、本件明細書及び図面において、ターゲット電圧を限定するの根拠となる図５については、図４の実験装置による実験結果であるところ、除電時間やイオン出力は電圧のみならず、引用刊行物１に示されるような窓の構造による影響、さらにその他、Ｘ線管の構成や特性、その電流、チャンバの構造、ガスの種類や湿度、流速などにも関連することことは、当業者に明らかである。そうすると、図４の実験装置以外の装置にも共通する値とはいえず、それぞれの装置や要求に応じて当業者が適宜設定し得る値であるといえる。さらに本件の図３のＸ線ユニットも、発生した基体やさらにＸ線ユニットの外囲器を通過しており、これらの影響も当然に受けるものである。
　そうすると、６ｋＶという値に、格別の臨界的、技術的意義は認められず、当業者が適宜採用しうる値であるともいえる。
　
（ウ）ターゲット電流を６０μＡ以上とすることについて
(i)Ｘ線管の出力がターゲット電流と相関があることは当業者に自明である。
　引用刊行物１でも上記１．（１）のケ．で摘示したように「電荷抑制装置11の動作は、・・・放電するのに必要な時間を・・・測定する・・・ことによって評価され」「この測定された放電時間は・・・イオン出力に反比例する。イオン出力の増加はより低い放電時間に帰着する。」と記載されており、本件特許発明と同様に除電時間でイオン出力を計測している。
　当業者が求める出力や除電時間に応じて出力を設定することは当業者が普通になす設計事項である。
　そしてそれを達成するよう、その限界値より大きな電流と限定することに格別の意義は認められない。
(ii)ところで、ターゲット電流とイオン出力、除電時間の関係についても上記（イ）(iii)で述べたと同様に、各条件で変わるものである。例えば、Ｘ線管の特性、ガスの種類や流速、チャンバの構造などにも関連することことは、請求人の平成１９年４月２０日付け弁駁書第２０頁第１〜８行にも記載されるように当業者に明らかである。
　したがって、そのターゲット電流は各条件に応じて設定されるものであって、６０μＡという値を装置や要求に応じて設定することは当業者が適宜設定することといえる。そして、それより短くなるように６０μＡ以上とすることも設計事項である。
　特開平２−２９７８５０号公報（甲第７号証）及び特開昭６３−１１０５４１号公報（甲第８号証）等に示されるように、６０μＡ以上のターゲット電流を流すＸ線管は周知であって、６０μＡ以上という値を選択することに困難性はない。
(iii)さらに、本件の図面、図６についても検討を進める。図６において、ターゲット電流が６０μＡまでは電流の増加に応じて除電時間が減少しており、６０μＡ以上ではそれに比べて減少が少なくなっている。つまりターゲット電流の増加に対する効果が飽和しているといえる。
　装置や条件により特性が異なることは上記したとおりであるが、図６において、飽和するその電流を限定するのであれば、もっとも効率的な電流といえるものの、これを越える飽和する電流とすると、電流を増加してもイオンがあまり増加せず、結局効率等とは関係なく、単により大きな出力となるように、電流を設定するというにすぎない。本件明細書でも「電流依存性は、電圧依存性に比べて小さいが、短時間の中和を行うためには、ターゲット電流を６０μＡ以上とすることが好ましい。」（本件訂正明細書第１１頁第１７〜１８行）と記載するのみであって、この値以上とすることについての格別の効果も認められない。この点からも、上記数値限定が格別のものとはいえない。
　
（エ）以上のように、ターゲット電圧６ｋＶ以上、ターゲット電流を６０μＡ以上及び１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線とすることは、それぞれ、上記（ア）〜（ウ）で検討したとおりであり、かつ、これらの限定が合わされた、ターゲット電圧６ｋＶ以上、ターゲット電流を６０μＡ以上として発生させた、１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線であることについて検討しても、そのことによる予期し得ない、格別の作用・効果が生じるものとは認められない。
　したがって、上記相違点Ｂに係る本件特許発明の構成とすることは当業者が容易になし得たことといえる。
　
ウ．相違点Ｃについて
　本件特許発明の「空気に直接照射する」とは、Ｘ線を照射することとどう異なるのか、Ｘ線源が限定されるものでも、そのＸ線源から出たＸ線からの具体的な照射のための構成が限定されるものでもないため、その技術的意味が必ずしも明確でない。
　そこで、本件明細書及び図面を参照すると、特許請求の範囲の請求項６〜９において「６．　プロセス装置へ被処理物体を搬送するための搬送室を有する搬送装置において、前記搬送室内の雰囲気ガスに１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線を直接照射しえるようにして軟Ｘ線ユニットを配設した搬送装置であり、
　前記搬送室を、１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線に対して透明な材質により形成したことを特徴とする搬送装置。
７．　前記１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線に対して透明な材質としてポリイミドを用いることを特徴とする請求項６記載の搬送装置。
８．　プロセス装置へ被処理物体を搬送するための搬送室を有する搬送装置において、前記搬送室内の雰囲気ガスに１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線を直接照射しえるようにして軟Ｘ線ユニットを配設した搬送装置であり、
　前記搬送室を、Ｃｒ／Ｆｅ（原子比）が１以上の熱酸化不動態膜を表面に有するステンレス鋼により形成するとともに、搬送室の適宜の位置に１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線を直接照射するための入射口を設け、該入射口を介して１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線を搬送室内の雰囲気ガスに直接照射するようにしたことを特徴とする搬送装置。
９．　前記入射口に、外部側に突出するポート部を設け、該ポート部の長さを、ポート部の先端開口から搬送室内の被処理物体を見込むことができないような長さに設定し、該ポート部の先端開口に１Å〜数百Åの波長の軟Ｘ線に対して透明な材質からなるフィルタを設けたことを特徴とする請求項８記載の搬送装置。」と記載されるように、軟Ｘ線に対して透明な材質からなる部材を通して、軟Ｘ線を照射する場合も「直接照射」するとしている。
　また、本件明細書及び図面において、透過型のＸ線ユニットの実施例とされる図３のＸ線ユニットも、本件訂正明細書第６頁第１１〜１９行に「軟Ｘ線領域の電磁波を発生させるためのＸ線ユニットとしては、例えば、図３に示すようなＸ線ユニットを用いることが好ましい。すなわち、このＸ線ユニットは、Ｘ線透過性の基体３４上に電子を受けてＸ線を放射する材料よりなる薄いターゲット膜３３が形成されているターゲット３５を用い、また、電子源（フィラメント３１）とターゲット３５との間にグリッド電極３２が設けられているもの（例えば、特開平２−２９７８５０号公報）を用いることが好ましい。このＸ線ユニット３０は、ターゲット膜３３が薄いため電子源とは反対側からＸ線３７が放射される、いわゆる透過型であるため小型化が可能であり、従って、任意の場所に配設することができるという利点を有している。」と記載され、図３に図示されるように、ターゲット３５で生じたＸ線は、Ｘ線透過性の基体３４を貫通し、かつＸ線ユニット３０の外囲を構成する基体に面する部材を貫通してＸ線が出てくるものであり、フィルタや壁を通らない場合においても、これらの部材を通過するものである。
　そうすると、フィルタや壁等を通過しても「直接照射」するとするものであり、また、透過型のＸ線ユニットの具体的構成やＸ線の具体的スペクトル分布が限定されるものではなく、さらに透過型のＸ線ユニットの実施例においても、ターゲットで発生したＸ線は部材を通過してから空気をイオン化するものであることから、Ｘ線自身が直接空気をイオン化するように照射される、或いは、Ｘ線管からのＸ線が軟Ｘ線に対して透明な材質から以外の部材を通過することなく照射されるという意味と解される。
　したがって、引用発明もＸ線をプラスチック，アルミニューム又はベリリウム製の薄い窓31を貫通させて、空気に照射するするものであって、引用刊行物１の図１を参照しても薄い窓31以外には何も介さないでＸ線管29から照射するものであるから、薄い窓を貫通したＸ線は直接、空気に照射されるものであるといえる。
　また、薄い窓31の材質として例示される、ベリリュームやプラスチックは、Ｘ線を良く貫通させる材質として周知のものであり、さらに、薄い窓31の材質がＸ線を良く通過するものの方が良いことも明らかであるから、これを軟Ｘ線に対して透明な材質として、Ｘ線を直接照射するようなすことも当業者に容易である。
　さらに、たとえ、Ｘ線管から出たＸ線が何も通過しないで、空気に照射されるとの意味であるとしても、例えば、引用刊行物２に窓を介さずに直接空気をイオン化するものが記載されているように、引用発明の薄い窓31での損失をなくすべく、これを除外することも容易である。引用発明は内部室とＸ線管を別に設けるものであるが、これを一体として薄い窓をなくすことに格別の困難性は認められない。
　したがって、相違点Ｃに係る本件特許発明の構成とすることは当業者にとって容易である。
　
エ．相違点Ｄについて
（ア）引用刊行物１の第８頁左下欄第１３〜１４行に「使用される点に近い位置で周囲の空気を単純にイオン化する従来の方法」が記載され、引用発明についても、「管の長さ」は「可能な限り短くなければならず」〔１．（１）オ．〕と、より近い場所にしようとすることが示唆されている。
　また、引用刊行物２〜４には、軟Ｘ線ではないものの、帯電物体の周辺雰囲気、つまり帯電物体を含めてその周辺の雰囲気に電離のためのＸ線、放射線、紫外線等の電離線を照射し、帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化し除電するものが示されていて従来周知といえ、さらに引用刊行物２と４は軟Ｘ線に上下に近接する波長の硬Ｘ線及び紫外線でもある。
　そうすると、引用発明において、より近くでイオン化するように、上記引用刊行物２〜４に記載の周知の事項に倣って、帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射することにより、該雰囲気空気をイオン化するようなすことは、当業者が容易になし得たことである。
　なお、引用発明は、Ｘ線により生成された正及び負のイオンを流体送達配管28によりこのイオン化された空気の流れを導くものであるものの、従来の方法に対して不適当と思われる、流体送達配管28によりイオン化された空気を導く方法が、ある条件では欠点にならないというにすぎないのであって、帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射してイオン化することができないというものではない。
　さらに、引用発明は、上記イ．（ア）で摘示したように、遮蔽する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低くしようとすることの示唆とともに、15keVのエネルギーを有するＸ線を例示するものであるから、帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射する場合においても、引用発明と同様に、遮蔽する必要を最小化するためにＸ線のエネルギーは低くしようとすることは当業者が通常考慮することであって、この場合においても、１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線とすることは、上記イ．（ア）で述べたとおり、当業者にとって容易である。
　
（イ）引用発明は、集積回路ウェーハ，マイクロチップ及びその他同様のものである製品を取り囲む空気中の上記正及び負のイオンである自由イオンを高水準に維持し、製品上の静電荷の累積を中和するものである。そして生産品はクリーンルームで製造され、当該場所の製品を取り囲む空気中の自由イオンの高水準を維持するものである〔１．（１）ウ．〕。
　一般に、引用刊行物７に示されるように、半導体等の製造における搬送時に静電気を除去することは、半導体の製造において常套手段である。また、クリーンルーム等で製造される半導体装置の１つとして液晶基板も周知のものであって、液晶基板の製造において、その搬送時、静電気を除去することも、例えば引用刊行物５や６等に示されているように、周知である。
　そうすると、除電される帯電物体を、搬送系における液晶基板とすることは、当業者が適宜なし得たことであるといえ、その場合に照射されるのは、上記（ア）で述べたように帯電物体の周辺の雰囲気空気であるから、搬送系における帯電物体としての液晶基板の周辺の雰囲気空気となる。
　
（ウ）ここで、「周辺の雰囲気空気」という記載では、「周辺」という用語が、どの範囲まで指すのか明確でなく、且つ雰囲気空気が流れている場合の上流を含むのか否かも規定しておらずこれを含んでいるのか否かも明確でない（クリーンルーム内の上方に設けられるものも含んでいるとも解され得る。）。
　そこで、本件明細書及び図面を参照すると、特許請求の範囲の請求項１及び２に、「１．　帯電物体の周辺の雰囲気空気に向けてターゲット電圧６ｋＶ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を直接照射しえる適宜の位置に軟Ｘ線ユニットが配設されていることを特徴とする帯電物体の中和構造。
２．　前記雰囲気空気は帯電物体方向に向かう気流空気であり、該帯電物体よりも上流側における空気に向けて軟Ｘ線領域の電磁波を直接照射しえるように、前記軟Ｘ線ユニットが配設されていることを特徴とする請求項１記載の帯電物体の中和構造。」と記載されており、請求項２の「前記雰囲気空気」は請求項１の「帯電物体の周辺の雰囲気空気」を指すものであるから、ここでいう「周辺」とは、「帯電物体方向に向かう気流空気であり、該帯電物体よりも上流側における空気」を含む範囲であるといえる。そうすると、明細書の記載からみて、周辺が、まさにその至近のみを指すとまではいえない。なお、「直接」との用語が付加されたとしても、特許請求の範囲の請求項１の記載が上記のようであるから、「帯電物体方向に向かう気流空気であり、該帯電物体よりも上流側における空気」を含む範囲であるといえる。
　一方、本件明細書には「コロナ放電法では、・・・残留電位をさげるためにイオン生成器を除電物体から遠ざけざるを得なかった。それに対して、本発明では、除電物体周辺では常に同数の正負電荷が生成されていることから、・・・所望の位置までＸ線ユニットを除電物体に近づけることができ、高い除電性能を達成することができる。」（本件訂正明細書第８頁第１１〜１８行）と記載されており、上記記載では、コロナ放電法によるものに比してＸ線ユニットを除電物体に近づけることができ、「除電物体周辺」で常に同数の正負電荷が生成できるとするものであって、「除電物体周辺」とはコロナ放電法に比して除電物に近く、正負電荷が除電物体を除電できる程度の距離とも解し得る。
　しかしながら、空気に流れが無い場合のみならず、上記のように気流空気を含めると解しうるものであるから、その範囲はまさに至近のみならず、ある程度の範囲をもっている（正負電荷が消失しない範囲）ともいえる。
　なお、液晶基板の搬送系に関する実施例が図１０及び１７であるとしても、特許請求の範囲の記載について、以上のように解されるものであるから、上記実施例の位置関係、流れがないもののみを指しているとはいえない。　
　そうすると、本件特許発明が空気を流さなくてもよいものであるとすることはできない。
　
　また、たとえ流さなくてもよい程の範囲を指すとしても、引用刊行物２〜４に、空気の流れを用いなくいてもよいほどの帯電物体至近の雰囲気を電離するものが示されているのであるから（引用刊行物２〜４のものは雰囲気ガスを流していない。）、その効果が格別であるとはいえない。
　
　したがって、相違点Ｄに係る本件特許発明の構成とすることも、当業者が容易になし得たことといえる。
　
オ．まとめ
　そして上記相違点Ａ〜Ｄを合わせ考えても、本件特許発明の効果が格別であるとはいえない。
　以上のように、本件特許発明については、引用発明、引用刊行物２〜７に記載の発明及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
３．被請求人の主張（第５の意見書における主張）に対して
　当審が通知した無効の理由に対して、被請求人は、意見書において「第５　請求人の意見書における主張」のように主張するので、これについて検討する。
（１）引用刊行物１について（第５の１．について）
ア．引用刊行物１に記載の発明は実施不可能であるとの主張について、内部室１９で０．８３Åの硬Ｘ線が吸収される割合は１．８％程度であるとしても、その限りにおいて電離可能なことは明らかであり、効率が悪いとしても、実施不可能であるとはいえない。除電についての実験結果も示されている。そして、引用刊行物１の記載から１．（１）の引用発明を当業者が認定できるものである。
イ．ターゲット電圧及びターゲット電流の何れも除電効率に影響を与えないことが明言され、Ｘ線波長、ターゲット電圧及びターゲット電流の何れについても放電時間との関係が示されていないとの主張について
　引用刊行物１の「イオン出力に最も明確な影響を伴う変数はガスの流量，流体送達配管28の直径及び流体送達配管の長さであることを試験が示した。内部室の大きさ及びＸ線管29のフィラメント電流と陽極電圧とを含むその他の試験された変数は、非常に少ししか動作に影響しなかった。他の変数を一定に保持した流体送達配管材料及び内部室19の材料の異なる形式を用いた試験は、同様の結果を生じた。」〔１．（１）ケ．〕との記載は、ガスの流量，流体送達配管28の直径及び流体送達配管の長さがイオン出力に最も明確な影響を及ぼし、フィラメント電流と陽極電圧は非常に少ししか動作に影響しなかったとするものの、全く影響がないというものではない。
　Ｘ線管の出力がターゲット電流と相関があり、より大きな出力がより多くのイオンを発生することは、当業者にとって自明の事項であるから、たとえ少ししか影響しないとしても、その値を決めるに当たって最適な値を求めるべく、実験等を行うことは当業者が通常行うことといえる。そして、より効率的にイオン化すること、より多くの出力を得ようとするために、ターゲット電流の値を一定値以上に設定することが当業者に格別のこととはいえない。
　また、引用発明は流体送達配管28によりこのイオン化された空気の流れを導くものであるから、上記引用刊行物１の〔１．（１）ケ．〕の記載は、この流体送達配管28に係る変数の影響が大きいというものとも解される。
　そして、上記２．エ．（ア）で述べたように、引用発明において、より近くでイオン化するように、上記引用刊行物２〜４に倣って、帯電物体の周辺の雰囲気空気に照射することにより、該雰囲気空気をイオン化するようなすことは、当業者が容易になし得たことといえるから、その際、流体送達配管28が関係しなくなるので、当業者が通常、イオンの出力に影響が大きいと考える、ターゲット電流について、その値を実験等により設定しようとすることは、当業者が容易になすことともいえる。
　Ｘ線波長、ターゲット電圧及びターゲット電流を、本件特許発明のように設定なすことは、上記２．イ．で述べたとおりである。
ウ．本件特許発明は従来のコロナ放電法や紫外線照射に変えて、１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を用いたのであって、本件明細書には硬Ｘ線に対していかに良いのかも記載されていないのであるから、15keVのエネルギーを有するＸ線を照射してイオン化する引用刊行物１から引用発明を認定することが不適切であるとはいえない。
　
（２）本件特許発明の効果および進歩性について（第５の２．について）
ア．ターゲット電圧６ｋＶ以上かつターゲット電流を６０μＡ以上で発生させた１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線を用い、その軟Ｘ線を液晶基板の周辺の雰囲気空気に直接照射することは上記２．イ．〜エ．で述べたとおりであり、その効果も格別であるとはいえない。
イ．透過型のＸ線ユニットを用いることは、上記２．ア．で述べたとおりであり、照射範囲を広くすることができることや、ターゲットで発生した軟Ｘ線を外部へ効率的に出力することができ、小型化可能である等の効果は、透過型のＸ線ユニットを用いたことに付随する効果にすぎず、雰囲気空気を効率的にイオン化して、液晶基板を効率的に除電することができ、配置スペースが限られる液晶基板の搬送系においてもＸ線ユニットの配置の自由度が高い等の効果についても、上記２．ア．〜エ．で述べたようになすに際して、上記透過型のＸ線ユニットを用いたことに付随する効果に関連して、当業者が容易に予測できたことといえる。照射範囲を広くすることができるのであるから、イオンが生成される範囲を広くでき、Ｘ線ユニットの必要数を少なくでき、低コスト化を図るとの効果についても同様である。
　硬Ｘ線を用いる場合に比較して、比較的短い距離の範囲において高密度のイオンを生成することができ、イオンが生成される範囲が限られることについても、当該効果は明細書に記載されるものではなく、かつ、軟Ｘ線は吸収されやすいことから、当業者が普通に想到し得る効果であるともいえる。
ウ．空気の流れを作る必要がないことについては、上記２．エ．（ウ）で述べたように、本件特許発明の効果とはいえず、かつ、当業者が容易に想到し得ることでもある。
エ．引用刊行物２〜４については、帯電物体の周辺雰囲気、つまり帯電物体を含めてその周辺の雰囲気に電離のためのＸ線、放射線、紫外線等の電離線を照射し、帯電物体の周辺の雰囲気をイオン化し除電するものの周知例として引用するものであって、当該引用刊行物２〜４に記載の周知の事項に倣って、帯電物体の周辺の雰囲気空気にＸ線を照射することが当業者にとって容易であるとすることに不都合はない。
　本件特許発明の１Å以上２Å未満の波長は、その値に格別の臨界的意義を有するものではなく、軟Ｘ線は、硬Ｘ線と紫外線とに隣接する波長の範囲であるから、２．イ．（ア）で述べたように、１Å以上２Å未満の波長の軟Ｘ線とすることは当業者が容易になし得たことである。そもそも本願明細書には１Å以上２Å未満の波長についての臨界的意義が記載されておらず、かつ出願時の明細書には、２Åという値についての記載もない。
　なお、引用刊行物３は放射性物質を用いることが示されていて、原子炉を必須とするとはいえない。
　引用刊行物１の記載内容から本件特許発明の効果が予測し得ないとの主張〔第５の２．の（６）〕についても、上記（１）で述べたようであるから、採用できない。
　
　よって、本件特許発明は、引用発明、引用刊行物２〜７に記載の発明及び周知の事項に基づいて当業者が容易に想到し得たものというべきである。
　
第８　むすび
　以上のとおり、本件特許発明は引用刊行物１〜７に記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるから、他の無効理由１、無効理由２並びに無効理由３の（１）及び（２）について検討するまでもなく、本件特許発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、同法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。