(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力軸に加わるトルクを入力軸と出力軸とを連結する連結軸に生じる捩れ角によって検出するトルクセンサにおいて、前記入力軸及び出力軸夫々に取付けられている第１及び第２のギヤと、該第１及び第２のギヤの両方と噛合する第３のギヤと、該第３のギヤの回転中心に対して偏倚する偏倚部を有し、第３のギヤに一体的に取付けられている偏倚体と、第３のギヤの回転に伴う偏倚体の回転に連動して前記入力軸及び出力軸の軸長方向へ移動する移動体と、該移動体の移動量に対応する電気的出力を発生する移動量検出器と、該移動量検出器を支持し、熱膨張または熱収縮発生時の前記移動体及び前記移動量検出器の前記軸長方向の相対的な位置を同じくするように前記入力軸及び出力軸のハウジングに設置されているブラケットとを備えることを特徴とするトルクセンサ。
【請求項２】
前記ブラケットは、前記入力軸及び出力軸と同じ材質によって形成されており、前記ハウジング内で前記入力軸または出力軸が支持されている基準位置と位置を同じくして固定されている請求項１記載のトルクセンサ。
【請求項３】
前記ブラケットは、前記ハウジング内で前記入力軸または出力軸が支持されている基準位置から前記移動体の位置までの前記入力軸及び出力軸の熱変形量と、前記基準位置から前記移動量検出器の支持位置までの前記ハウジング及び前記ブラケットの熱変形量とが略等しくなるような熱膨張率を有する材質によって形成されている請求項１記載のトルクセンサ。
【請求項４】
前記移動体は、前記偏椅体との接触部に潤滑油を供給する油だまりを具備する請求項１乃至３の何れかに記載のトルクセンサ。
【請求項５】
舵輪に繋がる入力軸と、前記舵輪に加わる操舵トルクに基づいて駆動制御される操舵補助用の電動モータと、これに連動する出力軸と、前記入力軸に加わるトルクを前記入力軸及び出力軸を連結する連結軸の捩れ角によって検出する請求項１乃至請求項４の何れかに記載のトルクセンサとを備えることを特徴とする舵取装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は舵輪に加わる操舵トルク等を検出するトルクセンサ及び該トルクセンサの検出結果に基づいて電動モータを駆動し、操舵補助力を発生させる舵取装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車用の舵取装置に電動モータを駆動して操舵補助を行ない、運転者の負担を軽減するものがある。図４は本願出願人により特願平１０−２９４１５４号に提案された舵取装置の要部の構成を示す模式図である。図において１０１は上端部に舵輪（図示せず）が取付けられる上部軸である。該上部軸１０１の下端部には第１ダウエルピン１０３を介して筒状の入力軸１０４及びこれの内側に挿入される連結軸１０５の上端部が連結され、該連結軸１０５の下端部に第２ダウエルピン１０６を介して筒状の出力軸１０７が連結されている。また、出力軸１０７の上端部には入力軸１０４の下端部が挿入されており、入力軸１０４及び出力軸１０７がころがり軸受１０８，１０９を介してハウジング１１１内に夫々支持されている。
【０００３】
このハウジング１１１内には、前記連結軸１０５を介して連結される入力軸１０４及び出力軸１０７の相対変位量により操舵トルクを検出するトルクセンサ１１２と、該トルクセンサ１１２の検出結果に基づいて駆動される操舵補助用の電動モータ（図示せず）の回転を減速して前記出力軸１０７に伝達する減速機構１１４とを備え、舵輪の回転に応じた舵取機構の動作を前記電動モータの回転により補助し、舵取のための運転者の労力負担を軽減するように構成されている。また、出力軸１０７の下端部は、ユニバーサルジョイントを介してラックピニオン式の舵取機構に連結されている。
【０００４】
前記トルクセンサ１１２は以下に詳述するように構成されている。即ち、前記入力軸１０４に軸長方向に移動可能として第１傘歯車１１２ａが取付けられており、出力軸１０７に第２傘歯車１１２ｂが固定されている。第１及び第２傘歯車１１２ａ，１１２ｂは、歯部側を夫々対向させた状態で適宜距離隔てて配置されている。３つの第３傘歯車１１２ｃ，１１２ｃ，１１２ｃが前記第１及び第２傘歯車１１２ａ，１１２ｂの周方向に１２０°ずつ隔ててこれらと噛合している。該３つの第３傘歯車１１２ｃ，１１２ｃ，１１２ｃはリング状の保持器１１２ｄによって、連結軸６の軸心回りに転動可能であり、また回転中心回りに回転も可能であるように前記転動の半径方向外側の回転軸を回転可能に片持ち支持された状態で保持されている。１つの第３傘歯車１１２ｃには、その回転軸に両端部が円弧面となっている一方向に長い板状のカム１１２ｅ（偏倚体）が、第３傘歯車１１２ｃの回転軸の保持器１１２ｄによる保持部分より外側にその一端部を回転中心として取付けられている。該カム１１２ｅの上側では円環状のスライダ１１２ｆ（移動体）が入力軸５に遊嵌されている。このスライダ１１２ｆはハウジング１２の内部でスライダ１１２ｆに対向して設けられたばね座との間に介装された第１コイルばね１１２ｇによってその上端面を付勢されていて、下端面が該カム１１２ｅに常に押し付けられるようになっている。スライダ１１２ｆの外周には磁性体製の小片１１２ｊが取付けられており、ハウジング１１１に固定されているトルクセンサ１１２の基板１１２ｋの、磁性体製の小片１１２ｊに対向する位置には、磁気抵抗素子１１２ｉ（移動量検出器）が設けられている。また前記第１、第２、及び第３傘歯車１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃ間のバックラッシを減じ、またスライダ１１２ｆが常に入力軸５の中心軸と平行に動作するように、傘歯車１１２ａ及び前記スライダ１１２ｆの間に第２コイルばね１１２ｈが配置されている。
【０００５】
連結軸１０５が捩れずに入力軸及び出力軸１０４，１０７が回転する場合には、第１及び第２傘歯車１１２ａ，１１２ｂの回転差がないため、第３傘歯車１１２ｃは回転せず、入力軸１０４、出力軸１０７、及び連結軸１０５は一体的に回転する。
【０００６】
連結軸１０５が捩れて入力軸１０４及び出力軸１０７が回転する場合には、第１及び第２傘歯車１１２ａ，１１２ｂに回転差が生じ、このため第３傘歯車１１２ｃが連結軸１０５の捩れ相当量だけ回転して、保持器１１２ｄと共に連結軸１０５の軸心回りに転動する。第３傘歯車１１２ｃと共にカム１１２ｅも回転し、回転量に応じてスライダ１１２ｆが移動する。そしてスライダ１１２ｆに取付けられた磁性体製の小片１１２ｊの移動量に対応した電圧値を有する電気信号が磁気抵抗素子１１２ｉから出力され、該電圧値に応じた値が操舵トルクとして検出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述の如き従来の舵取装置では、入力軸１０４及び出力軸１０７に熱膨張または熱収縮が発生することにより磁性体製の小片１１２ｊの位置が変化し、またハウジング１１１に熱膨張または熱収縮が発生することにより磁気抵抗素子１１２ｉの位置が変化する。入力軸１０４及び出力軸１０７と、ハウジング１１１との熱膨張率の違いにより、前記磁性体製の小片１１２ｊと磁気抵抗素子１１２ｉとの相対的な位置が変化するため、トルクセンサの検出トルクに誤差が発生するという問題があった。
【０００８】
また、カム１１２ｅとスライダ１１２ｆとは、常に接触しており、カム１１２ｅがスライダ１１２ｆに対して摺動しているため、摩耗が発生し、トルクセンサの検出精度が低下するという問題があった。
【０００９】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、移動量検出器をブラケットによって支持し、該ブラケットの材質及び取付け位置を、熱膨張または熱収縮によって移動体及び移動量検出器の相対的な位置に差が発生しないように決定することによって、入力軸、出力軸、及びハウジングに熱膨張または熱収縮が発生するしないに拘らず、正確に操舵トルクを検出するトルクセンサ及び舵取装置を提供することを目的とする。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、移動体と偏倚体との接触部に潤滑油を供給する油だまりを設けることにより、摩耗を軽減し、信頼性を従来に比して向上させたトルクセンサ及び舵取装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
第１発明に係るトルクセンサは、入力軸に加わるトルクを入力軸と出力軸とを連結する連結軸に生じる捩れ角によって検出するトルクセンサにおいて、前記入力軸及び出力軸夫々に取付けられている第１及び第２のギヤと、該第１及び第２のギヤの両方と噛合する第３のギヤと、該第３のギヤの回転中心に対して偏倚する偏倚部を有し、第３のギヤに一体的に取付けられている偏倚体と、第３のギヤの回転に伴う偏倚体の回転に連動して前記入力軸及び出力軸の軸長方向へ移動する移動体と、該移動体の移動量に対応する電気的出力を発生する移動量検出器と、該移動量検出器を支持し、熱膨張または熱収縮発生時の前記移動体及び前記移動量検出器の前記軸長方向の相対的な位置を同じくするように前記入力軸及び出力軸のハウジングに設置されているブラケットとを備えることを特徴とする。
【００１２】
第１発明に係るトルクセンサによれば、ブラケットを設けることにより、熱膨張または熱収縮が発生するしないに拘らず、移動体及び移動量検出器の入力軸及び出力軸の軸長方向の相対的な位置を同じくしているため、入力軸と出力軸との相対角変位によってのみ、移動体と移動量検出器との前記軸長方向の相対的な位置の変化が発生する。従って、熱膨張または熱収縮による操舵トルクの検出誤差の発生を防ぐことが可能となる。
【００１３】
第２発明に係るトルクセンサは、前記ブラケットは、前記入力軸及び出力軸と同じ材質によって形成されており、前記ハウジング内で前記入力軸または出力軸が支持されている基準位置と位置を同じくして固定されていることを特徴とする。
【００１４】
第２発明に係るトルクセンサによれば、ブラケットが入力軸及び出力軸と同じ材質で形成されることによって、ブラケットと入力軸及び出力軸とが同じ熱膨張率を有し、またハウジング内において入力軸または出力軸を支持している基準位置と軸長方向に同じ位置においてブラケットがハウジングに取付けられるため、前記基準位置から移動体までの前記入力軸及び出力軸の熱変形量と、ブラケットの取付け位置から移動量検出器までのブラケットの熱変形量とは略等しくなり、熱膨張または熱収縮による操舵トルクの検出誤差の発生を防ぐことが可能となる。
【００１５】
第３発明に係るトルクセンサは、前記ブラケットは、前記ハウジング内で前記入力軸または出力軸が支持されている基準位置から前記移動体の位置までの前記入力軸及び出力軸の熱変形量と、前記基準位置から前記移動量検出器の支持位置までの前記ハウジング及び前記ブラケットの熱変形量とが略等しくなるような熱膨張率を有する材質によって形成されていることを特徴とする。
【００１６】
第３発明に係るトルクセンサによれば、ブラケットを適宜の熱膨張率を有する材質によって形成することにより、ハウジング内において入力軸または出力軸をその軸長方向に固定している基準位置から移動体の位置までの入力軸及び出力軸の熱変形量と、前記基準位置から移動量検出器の支持位置までのハウジング及びブラケットの熱変形量とを略等しくする。このため、熱膨張または熱収縮による操舵トルクの検出誤差の発生を防ぐことが可能となる。
【００１７】
第４発明に係るトルクセンサは、前記移動体は、前記偏椅体との接触部に潤滑油を供給する油だまりを具備することを特徴とする。
【００１８】
第４発明に係るトルクセンサによれば、移動体に油だまりを設けることによって、移動体と偏椅体との接触部に絶えず潤滑油が供給され、摩耗を軽減することが可能となる。
【００１９】
第５発明に係る舵取装置は、舵輪に繋がる入力軸と、前記舵輪に加わる操舵トルクに基づいて駆動制御される操舵補助用の電動モータと、これに連動する出力軸と、前記入力軸に加わるトルクを前記入力軸及び出力軸を連結する連結軸の捩れ角によって検出する第１乃至第４発明の何れかのトルクセンサとを備えることを特徴とする。
【００２０】
第５発明に係る舵取装置によれば、第１発明乃至第４発明の何れかのトルクセンサを用いているため、操舵トルクの検出誤差の発生を防止することが可能となる。
【００２１】
また、摩耗を軽減し、装置の信頼性を従来に比べ向上させることが可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
実施の形態１
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。図１は本発明に係る舵取装置の実施の形態１の要部の構成を示す模式図である。
【００２３】
図において、２は上端部に舵輪（図示せず）が取付けられる上部軸である。該上部軸２の下端部には第１ダウエルピン４を介して筒状の入力軸５及びこれの内側に挿入される連結軸６の上端部が連結されており、該連結軸６の下端部に第２ダウエルピン７を介して筒状の出力軸８が連結されている。また出力軸８の上端部には入力軸５の下端部が挿入されており、入力軸５及び出力軸８は、両軸を収納するハウジング１２内に軸受９，１０を介して回転が可能に支持されている。軸受１０がハウジング１２に取付けられている位置Ｍは、ハウジング１２に入力軸５及び出力軸８を取付ける基準位置であり、軸受１０がハウジング１２に固定され、出力軸８が軸受１０に嵌着されている。このため、熱膨張または熱収縮による変形が発生した場合においても、基準位置Ｍにおける入力軸５及び出力軸８並びにハウジング１２の相対位置は変化しない。これに対し、入力軸５と軸受９との間には熱変形による軸長方向の位置変化を吸収するために摺動可能になっており、軸受９がハウジング１２に取付けられている位置では、熱膨張または熱収縮発生時に入力軸５及び出力軸８並びにハウジング１２の相対位置が変化する。
【００２４】
このハウジング１２内には、前記連結軸６を介して連結される入力軸５及び出力軸８の回転方向の相対変位量により操舵トルクを検出するトルクセンサ１３と、該トルクセンサ１３の検出結果に基づいて駆動される操舵補助用の電動モータ（図示せず）の回転を減速して前記出力軸８に伝達する減速機構１５とを備え、舵輪の回転に応じた舵取機構の動作を前記電動モータの回転により補助し、舵取のための運転者の労力を軽減するように構成されている。また、出力軸８の下端部は、ユニバーサルジョイントを介してラックピニオン式の舵取機構に連結されている。
【００２５】
前記トルクセンサ１３は以下に詳述するように構成されている。即ち、前記入力軸５に軸長方向に移動可能として第１傘歯車１３ａが取付けられており、出力軸８に第２傘歯車１３ｂが固定されている。第１及び第２傘歯車１３ａ，１３ｂは、歯部側を夫々対向させた状態で適宜距離隔てて配置されている。３つの第３傘歯車１３ｃ，１３ｃ，１３ｃが前記第１及び第２傘歯車１３ａ，１３ｂの周方向に１２０°ずつ隔ててこれらと噛合している。該３つの第３傘歯車１３ｃ，１３ｃ，１３ｃはリング状の保持器１３ｄによって、連結軸６の軸心回りに転動可能であり、また回転中心回りに回転も可能であるように前記転動の半径方向外側の回転軸を回転可能に片持ち支持された状態で保持されている。１つの第３傘歯車１３ｃには、その回転軸に両端部が円弧面となっている一方向に長い板状のカム１３ｅが、第３傘歯車１３ｃの回転軸の保持器１３ｄによる保持部分より外側にその一端部を回転中心として取付けられている。該カム１３ｅの上側では円環状のスライダ１３ｆが入力軸５に遊嵌されている。このスライダ１３ｆはハウジング１２の内部でスライダ１３ｆに対向して設けられたばね座との間に介装された第１コイルばね１３ｇによってその上端面を付勢されていて、下端面が該カム１３ｅに常に押し付けられるようになっている。
【００２６】
また、スライダ１３ｆの外周には磁性体製の小片１３ｊが取付けられており、これに対向する位置に磁気抵抗素子１３ｉが配されている。該磁気抵抗素子１３ｉは、ハウジング１２に矩形板状のブラケット１８を介して固定されているトルクセンサ１３の基板１３ｋに取付けられている。スライダ１３ｆ付近のハウジング１２の一部には開口部が設けられており、該開口部を塞ぐように前記ブラケット１８がハウジング１２に固定されている。該ブラケット１８は、ハウジング１２の前記出力軸８の取付けの基準位置Ｍと軸長方向に同じ位置に固定されており、入力軸５及び出力軸８と同材質によって形成されている。このことによって、基準位置Ｍから磁性体製の小片１３ｊまでの距離と、基準位置Ｍから磁気抵抗素子１３ｉまでの距離とは、熱膨張または熱収縮が発生した場合においても略同一であり、磁性体製の小片１３ｊ及び磁気抵抗素子１３ｉの相対位置は、熱膨張及び熱収縮の影響を受けない。
【００２７】
また、前記第１、第２、及び第３傘歯車１３ａ，１３ｂ，１３ｃ間のバックラッシを減じ、またスライダ１３ｆが常に入力軸５の中心軸と平行に動作するように、傘歯車１３ａ及び前記スライダ１３ｆの間に第２コイルばね１３ｈが配置されている。
【００２８】
以下に、この様な構成の舵取装置の動作を説明する。
【００２９】
連結軸６が捩れずに入力軸及び出力軸５，８が回転する場合には、第１及び第２傘歯車１３ａ，１３ｂの回転差がないため、第３傘歯車１３ｃは回転せず、入力軸５、出力軸８、及び連結軸６は一体的に回転する。
【００３０】
連結軸６が捩れて入力軸５及び出力軸８が回転する場合には、第１及び第２傘歯車１３ａ，１３ｂに回転差が生じ、このため第３傘歯車１３ｃが連結軸６の捩れ相当量だけ回転して、保持器１３ｄと共に連結軸６の軸心回りに転動する。第３傘歯車１３ｃと共にカム１３ｅも回転し、回転量に応じてスライダ１３ｆが移動する。そしてスライダ１３ｆに取付けられた磁性体製の小片１３ｊの移動量に対応した電圧値を有する電気信号がが磁気抵抗素子１３ｉから出力され、該電圧値に応じた値が操舵トルクとして検出される。
【００３１】
以上の如き構成により、舵取装置内の温度が上昇（下降）した場合、入力軸５並びに出力軸８、ハウジング１２、及びブラケット１８は、夫々の熱膨張率に従って膨張（収縮）する。入力軸５及び出力軸８と、ブラケット１８とは同じ材質で形成されており、熱膨張率も等しく、また両者共、基準位置Ｍでハウジング１２に取付けられているため、基準位置Ｍからの熱膨張（熱収縮）による位置の変化は同じである。従って、入力軸５及び出力軸８側の磁性体製の小片１３ｊと、ブラケット１８側の磁気抵抗素子１３ｉとの相対位置は、熱膨張（熱収縮）の影響を受けずに略一定となる。このため、熱膨張または熱収縮によるトルクセンサ１３の検出誤差の発生を防止することが可能となる。
【００３２】
実施の形態２
図２は本発明に係る舵取装置の実施の形態２の模式図である。
【００３３】
本実施の形態２の舵取装置におけるトルクセンサ１３は、ブラケット１８が、磁気抵抗素子１３ｉが配置されている検出位置Ｌに対して基準位置Ｍと反対の位置の取付け位置Ｎに固定されている。また、入力軸５及び出力軸８は材質Ａで形成されており、ハウジング１２は材質Ｂで形成されており、ブラケット１８は材質Ｃで形成されている。
【００３４】
そして、次の条件を満たす様に、材質Ａ，Ｂ，Ｃは選定されている。
【００３５】
〔条件〕
ｌ１  ×（ＣＢ  −ＣＡ  ）×ΔＴ−ｌ２  ×（ＣＣ  −ＣＢ  ）×ΔＴ≒０
但し、ｌ１  は基準位置Ｍから検出位置Ｌまでの距離、ｌ２  は検出位置Ｌから取付け位置Ｎまでの距離、ＣＡ  ，ＣＢ  ，ＣＣ  は夫々材質Ａ，Ｂ，Ｃの熱膨張率、ΔＴは温度変化を示している。その他、実施の形態１と同様の部分については、同じ符号を付し説明を省略する。
【００３６】
以上の如き構成により、舵取装置内の温度が上昇（下降）した場合、入力軸５並びに出力軸８、ハウジング１２、及びブラケット１８は、夫々の熱膨張率ＣＡ  ，ＣＢ  ，ＣＣ  に従って膨張（収縮）する。前記条件を満たす様に夫々の材質は選定されており、入力軸５及び出力軸８の基準位置Ｍから検出位置Ｌまでの熱変形量ｌ１  ×ＣＡ  ×ΔＴと、ハウジング１２及びブラケット１８の基準位置Ｍから検出位置Ｌまでの熱変形量（ｌ１  ＋ｌ２  ）×ＣＢ  ×ΔＴ−ｌ２  ×ＣＣ  ×ΔＴとは略等しい。従って、入力軸５及び出力軸８側の磁性体製の小片１３ｊと、ハウジング１２及びブラケット１８側の磁気抵抗素子１３ｉとの相対位置は熱膨張（熱収縮）の影響を受けずに略一定となる。このため、熱膨張または熱収縮によるトルクセンサ１３の検出誤差の発生を防止することが可能となる。
【００３７】
実施の形態３
図３は本発明に係る舵取装置の実施の形態３の模式図である。
【００３８】
本実施の形態２の舵取装置におけるトルクセンサ１３は、スライダ１３ｆの上面に油だまり１３ｌが設けられており、該油だまり１３ｌにグリースが充填されている。また、油だまり１３ｌからカム１３ｅとスライダ１３ｆとの接触部分に細孔が繋がっており、該接触部分に常にグリースが供給されるようになっている。その他、実施の形態１と同様の部分については、同じ符号を付し説明を省略する。
【００３９】
以上の如き構成により、トルクセンサ１３のカム１３ｅとスライダ１３ｆとの接触部分の摩耗を軽減し、トルクセンサ１３の信頼性を従来と比べ向上させることが可能となる。
【００４０】
【発明の効果】
以上詳述した如く第１発明に係るトルクセンサによれば、移動体及び移動量検出器の入力軸及び出力軸の軸長方向の相対位置に熱膨張または熱収縮による差が生じることを、ブラケットを設けることによって防止しているため、熱膨張または熱収縮が発生したときの検出誤差の発生を防止し、高精度に検出を行うことが可能となる。
【００４１】
第２発明に係るトルクセンサによれば、ブラケットの材質が入力軸及び出力軸と同じものであるため、熱膨張率も等しく、移動体と移動量検出器の相対位置が熱膨張または熱収縮による影響を受けずに略一定となる。このため、熱膨張または熱収縮による検出誤差の発生を防止することが可能となる。
【００４２】
第３発明に係るトルクセンサによれば、ブラケットを適宜の熱膨張率を有する材質によって形成することにより、ハウジング内において入力軸または出力軸をその軸長方向に固定している基準位置から移動体の位置までの入力軸及び出力軸の熱変形量と、前記基準位置から移動量検出器の支持位置までのハウジング及びブラケットの熱変形量とを略等しくする。このため、移動体と移動量検出器との相対位置が熱膨張または熱収縮による影響を受けずに略一定となり、熱膨張または熱収縮による検出誤差の発生を防止することが可能となる。
【００４３】
第４発明に係るトルクセンサによれば、偏椅体と移動体との接触部分の摩耗を軽減し、信頼性を従来と比べ向上させることが可能となる。
【００４４】
第５発明に係る舵取装置によれば、第１発明乃至第４発明のいずれかのトルクセンサを用いているため、操舵トルクの検出誤差の発生を防止することが可能となる。
【００４５】
また、摩耗を軽減し、装置の信頼性を従来に比べ向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る舵取装置の実施の形態１の要部の構成を示す模式図である。
【図２】本発明に係る舵取装置の実施の形態２の要部の構成を示す模式図である。
【図３】本発明に係る舵取装置の実施の形態３の要部の構成を示す模式図である。
【図４】特願平１０−２９４１５４号に提案された舵取装置の要部の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
２  上部軸
５  入力軸
６  連結軸
８  出力軸
１３  トルクセンサ
１３ａ  第１傘歯車
１３ｂ  第２傘歯車
１３ｃ  第３傘歯車
１３ｅ  カム（偏椅体）
１３ｆ  スライダ（移動体）
１３ｇ  第１コイルばね
１３ｈ  第２コイルばね
１３ｉ  磁気抵抗素子（移動量検出器）
１３ｊ  磁性体製の小片
【図１】
0003559923.tif 000002
【図２】
0003559923.tif 000003
【図３】
0003559923.tif 000004
【図４】
0003559923.tif 000005