【事件の表示】
　特願２００１−１０４１５３「欠陥検査方法及び欠陥検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１０月１８日出願公開、特開２００２−３０３５８６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１３年４月３日の出願であって、平成１９年６月８日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年７月１２日に拒絶査定不服審判の請求がされるとともに、同年８月９日付けで手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　
　
第２　本件補正の補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年８月９日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１．補正後の本願発明
　本件補正は、特許請求の範囲を補正するものであって、平成１８年１２月２５日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１を、
「　　【請求項１】
　予め設定された複数の光学系条件項目から構成される複数のテスト条件を変えながら、
光を
光を
の内、指定した
ディジタル
信号
した欠陥部のコントラスト、欠陥部の明るさ若しくは濃淡差、欠陥部の輝度分布を含む
前記指定した欠陥部の画像と
　上記補正は、「光または荷電粒子のビーム」を「光」に限定し、「光、二次電子、反射電子、透過電子、吸収電子のいずれか」を「光」に限定し、「欠陥部の画像」を「欠陥部の内、指定した欠陥部のディジタル画像信号」に限定し、「複数項目」を「欠陥部のコントラスト、欠陥部の明るさ若しくは濃淡差、欠陥部の輝度分布を含む複数項目」と限定するものであるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
２．引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開昭６２−１１１４２号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の記載がある。
［１ａ］「２．特許請求の範囲
（１）被検査物の表面に光ビームを照射する手段と、前記被検査物の表面からの反射光に基づき前記被検査物の表面における異物を検出する手段とを備え、前記被検査物の表面を走査しながら前記被検査物に対する異物検査を行う異物検査装置であって、同一の被検査物に対する異物検査を条件を変化させて複数回繰り返し、各回の異物検査の結果データを記憶手段に記憶させる動作モードを有することを特徴とする異物検査装置。」（第１頁左下欄第４〜１３行）
［１ｂ］従来の技術として、「　第４図から容易に理解できるように、ホトマルチプライヤの印加電圧を上げて感度曲線Ｓを立ち上げれば、微小な異物に対する検出能は向上するが、感度曲線が飽和するために、検出可能な最大異物粒径は小さくなる（ダイナミックレンジが狭くなる）。逆に、ホトマルチプライヤの印加電圧を下げて、感度曲線Ｓの立ち上がりを緩やかにすれば、大きな異物まで検出できるが（ダイナミックレンジは広がる）、微小な異物の検出能は低下する。」（第１頁右下欄第１９行〜第２頁左上欄第８行）
［１ｃ］「［発明の目的］
　この発明は、前記従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、検査の最適条件を設定するための情報を迅速に得ることができるとともに、最適条件が不明確の場合にも必要な異物検査結果を効率的に得ることができる異物検査装置を提供することにある。」（第２頁右上欄第１５行〜同頁左下欄第１行）
［１ｄ］「　このウエハ用異物検査装置は、偏光レーザ光を利用してウエハ３０上の異物を自動的に検査するものであり、ウエハ３０の上面（被検査面）に、Ｓ偏光レーザ光が照射される。」（第３頁左上欄第１１〜１４行）
［１ｅ］「　プリズム６０を経由して検出系側に入射した反射レーザ光は、スリット７２に設けられたアパーチャ７４を通過し、ホトマルチプライヤ９０へ送られる。」（第３頁右下欄第１９行〜第４頁左上欄第２行）
［１ｆ］「　前記ホトマルチプライヤ９０から出力される検出信号は、増幅器１００により増幅されてからレベル比較回路１０２に入力される。」（第４頁右下欄第１〜３行）
［１ｇ］「　レベル比較回路１０２は、検出信号のレベルを各閾値と比較し、各閾値との比較結果を示す２進コードを出力する。」（第４頁右下欄第１０〜１２行）
［１ｈ］「　また、ホトマルチプライヤ９０の感度設定のために、ラッチ回路１２０および可変分圧回路１２２が設けられている。可変分圧回路１２２は、外部から供給される一定電圧Ｖを、ラッチ回路１２０の保持情報に応じた分圧比で分圧してホトマルチプライヤ９０に印加するものである。その分圧比は、低感度、中感度、高感度号の３段階に切り換え可能である。ラッチ回路１２０には、インターフェイス回路１０８を介して、データ処理システム１３０より感度指定情報がセットされる。」（第５頁左上欄第１８行〜同頁右上欄第７行）
［１ｉ］「　この異物検査装置は、動作モードとして、設定された条件下で各ウエハを１回検査する通常モード、印刷結果を異物マップなどの形でＸ−Ｙプロッタで印刷出力したり、ＣＲＴディスプレイ装置で表示したりするモードなどの他に、検査条件（この実施例ではホトマルチプライヤ９０の感度）を変えながら、各ウエハの異物検査を複数回繰り返し、それぞれの検査結果を記憶保存する自動条件変更検査モードを有し、いずれの動作モードもキーボードから指定できる。この自動条件変更検査モードがこの発明に直接関係するので、そのモードでの動作に付いて、以下説明する。」（第５頁右上欄第１７行〜同頁左下欄第８行）
［１ｊ］「　このように、検査条件の１つであるホトマルチプライヤ９０の感度を低、中、高と変化させながら、同一のウエハに対する異物検査が合計３回実行され、その異物検査の結果データがフロッピーディスク装置１３４に格納される。そして、かかる検査の結果データ、または、それに基づいた異物マップを、例えばＸ−ＹプロッタまたはＣＲＴディスプレイ装置で出力させ、それに基づき最適感度を容易に判定し、その判定結果に従い、迅速容易に最適感度を設定できる。」（第７頁左上欄第６〜１５行）
［１ｋ］「　例えば、前記実施例では、検査条件として、感度のみ変化させているが、ホトマルチプライヤの出力信号のレベル比較用の閾値、偏光レーザ光の照射角度など、他の条件も変化させてもよい。」（第７頁右上欄第３〜６行）
［１ｌ］「［発明の効果］
　以上詳述したように、この発明によれば、同一の被検査物に対する異物検査を条件を変化させて複数回繰り返し、各回の異物検査の結果データを記憶手段に記憶させる動作モードが異物検査装置に付与されるため、様々な検査条件下での異物検査の結果データを自動的に得て、その結果データから最適条件を容易に判定し、迅速容易に最適な検査条件を設定できるとともに、最適条件が不明確な場合、そのような動作モードにおいて得られる様々な条件下での異物検査の結果データから、最適な条件下での異物検査の結果データを選別して採用することができ、人手の介入により、条件を再設定して再試験する場合よりも、検査のための時間および手数を大幅に削減できる、などの効果を達成できる。」（第７頁左下欄第２〜１８行）
　上記［１ａ］、［１ｄ］〜［１ｈ］、［１ｊ］の記載によれば、引用例には、
「ホトマルチプライヤ９０の感度設定のために感度指定情報がセットされ、検査条件の１つであるホトマルチプライヤ９０の感度を低、中、高と変化させながら、同一のウエハに対し、ウエハ３０にＳ偏光レーザ光が照射され、検出系側に入射した反射レーザ光がホトマルチプライヤ９０へ送られ、ホトマルチプライヤ９０から出力される検出信号がレベル比較回路１０２に入力され、レベル比較回路１０２が２進コードを出力する異物検査が合計３回実行され、その異物検査の結果データがフロッピーディスク装置１３４に格納され、検査の結果データ、または、それに基づいた異物マップを、ＣＲＴディスプレイ装置で出力させる、異物検査方法。」の発明（以下、「引用例発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
３．対比
　本願補正発明と引用例発明とを対比する。
（ア）引用例発明の「ホトマルチプライヤ９０の感度設定のために感度指定情報がセットされ、検査条件の１つであるホトマルチプライヤ９０の感度を低、中、高と変化させながら」と本願補正発明の「予め設定された複数の光学系条件項目から構成される複数のテスト条件を変えながら」とは、「予め設定された光学系条件項目から構成されるテスト条件を変えながら」である点で共通する。
（イ）引用例発明の「ウエハ３０にＳ偏光レーザ光が照射され、検出系側に入射した反射レーザ光がホトマルチプライヤ９０へ送られ」は、本願補正発明の「光を被検査対象基板に照射することによって被検査対象基板から発生する光を検出して」に相当する。
（ウ）本願明細書の段落【０００１】には、「被検査対象基板上の異物、形状不良、スクラッチなどの欠陥」と記載されていることから、本願において用いられる「欠陥」は「異物」を包含するものである。このため、引用例発明の「異物検査方法」は、本願補正発明の「欠陥検査方法」に相当する。そして、引用例発明は「同一のウエハに対し」異物検査が実行されるものであるから、引用例発明の「ホトマルチプライヤ９０から出力される検出信号がレベル比較回路１０２に入力され、レベル比較回路１０２が２進コードを出力する異物検査が合計３回実行され」ることと本願補正発明の「画像信号をＡ／Ｄ変換して得られたディジタル画像信号を基に前記被検査対象基板上での欠陥部を見付ける一連のテスト検査を行」うこととは、「信号をＡ／Ｄ変換して得られたディジタル信号を基に前記被検査対象基板上での欠陥部を見付ける一連のテスト検査を行」うことである点で共通する。
（エ）引用例発明の「検査の結果データ、または、それに基づいた異物マップを、ＣＲＴディスプレイ装置で出力させる」ことと本願補正発明の「該一連のテスト検査結果として、前記各テスト条件において被検査対象基板上に見付けられた欠陥部の内、指定した欠陥部のディジタル画像信号から算出した欠陥部のコントラスト、欠陥部の明るさ若しくは濃淡差、欠陥部の輝度分布を含む複数項目の特徴量の情報を、前記複数のテスト条件ごとに前記指定した欠陥部の画像と並べて画面上に表示する」こととは、「該一連のテスト検査結果を、画面上に表示する」ことである点で共通する。
　したがって、両者は、
「予め設定された光学系条件項目から構成されるテスト条件を変えながら、光を被検査対象基板に照射することによって被検査対象基板から発生する光を検出して、信号をＡ／Ｄ変換して得られたディジタル信号を基に前記被検査対象基板上での欠陥部を見付ける一連のテスト検査を行い、該一連のテスト検査結果を、画面上に表示することを特徴とする欠陥検査方法。」である点で一致し、以下の点で相違する。
［相違点１］光学系条件項目が、本願補正発明では複数であるのに対し、引用例発明では複数ではない点。
［相違点２］検出された信号を、本願補正発明では画像信号に変換してからＡ／Ｄ変換するのに対し、引用例発明では画像信号に変換せずに２進コードにする点。
［相違点３］表示されるテスト検査結果が、本願補正発明では指定した欠陥部のコントラスト、明るさ若しくは濃淡差、輝度分布を含む複数項目の特徴量の情報と、指定した欠陥部の画像を、テスト条件ごとに並べて表示するのに対し、引用例発明では検査の結果データまたはそれに基づいた異物マップを表示するものの、指定した異物の上記複数項目の特徴量の情報と画像をテスト条件ごとに並べて表示するものではない点。
　
４．判断
［相違点１］について
　引用例の［１ｋ］には、検査条件について、「ホトマルチプライヤの出力信号のレベル比較用の閾値、偏光レーザ光の照射角度など、他の条件も変化させてもよい。」と記載されている。ここで例示されている偏光レーザ光の照射角度は、光学系条件項目に該当するものである。
　したがって、引用例発明において、他の条件も変化させてもよいとの示唆に基づいて、光学系条件項目を複数とすることは当業者が容易に想到しうることである。
　
［相違点２］について
　画像信号をＡ／Ｄ変換し、これに基づいて欠陥の検査を行うことは周知である。例えば、特開平８−１６２５１１号公報の段落【００３４】には、イメージセンサ１２ａから得られる被検査対象物１上のパターンの二次元の画像信号を、Ａ／Ｄ変換器１５ａによりＡ／Ｄ変換すること、二次元のディジタル画像信号を比較して欠陥１８として検出することが記載されている。また、特開平９−１３３６３６号公報の段落【０１６３】には、ＩＴＶカメラ１１２から出力された映像信号をディジタル化して画像データに変換し、この画像データを画像処理して少なくとも半導体ウエハ１４の表面に形成されているパターンの不均一性から形状欠陥を検出することが記載されている。さらに、特開２０００−３１１９２５号公報の段落【００１５】には、外観検査装置において、ウェハ表面の画像を得て、Ａ／Ｄ変換手段７によってディジタル信号に変換することが記載されている。
　したがって、引用例発明において、検出された信号を画像信号に変換してからＡ／Ｄ変換し、これに基づいて欠陥の検査を行うようにすることは、当業者が容易に想到しうることである。
　
［相違点３］について
　引用例発明は、引用例の［１ｃ］の記載によれば、異物検査装置において「検査の最適条件を設定する」ことを目的としているが、引用例の［１ｂ］には、微小な異物に対する最適条件と大きな異物に対する最適条件が異なることが記載されている。このため、異物検査装置において検査の最適条件を設定しようとする際には、最適に検査をしようとする異物を特定して検査の結果を得る必要があることは自明である。したがって、異物検査の検査の最適条件を設定するにあたり、検出信号のうち、特定の異物に該当する検出信号を指定して表示させることは、当業者が容易に想到しうることである。
　また、異物などの欠陥の評価を行うに際し、コントラスト、明るさ、濃淡差、輝度分布などの特徴量や、欠陥の画像に基づいて評価を行うことは、例えば特開平８−１６２５１１号公報の段落【００３５】や【００９１】、特開平９−１３３６３６号公報の段落【０１６９】や【０２２７】、特開２０００−３１１９２５号公報の段落【００２０】に記載されるように周知である。そして信頼性を高めるため、複数の基準に基づいて比較を行うことも一般に行われることであるから、周知の評価基準のうち、コントラスト、明るさ若しくは濃淡差、輝度分布および画像を表示するように設定することは、当業者が適宜なし得ることである。
　さらに、引用例発明は、引用例の［１ｌ］の記載によれば、「様々な条件下での異物検査の結果データから、最適な条件下での異物検査の結果データを選別して採用」するための方法である。選別を行うために複数のデータの表示を行う際、選別し易いよう並べて表示することは、当業者であれば適宜設定しうることであり、格別な創作能力を要することとはいえない。
　以上より、引用例発明において、表示される検査の結果データを、指定した異物について表示するようにし、表示する項目を、一般に用いられている評価基準である、コントラスト、明るさ若しくは濃淡差、輝度分布の特徴量の情報と、指定した異物の画像とし、検査条件ごとに並べて表示するように設定することは、当業者が容易に想到しうることである。
　
　そして、本願補正発明の効果は、引用例および周知技術から当業者が予測できる範囲のものであって、格別なものであるとはいえない。
　したがって、本願補正発明は、引用例に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
第３　本願発明
１．本願発明の認定
　本件補正は上記のとおり、却下されることとなったので、本願の請求項１〜１２に係る発明は、平成１８年１２月２５日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１〜１２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められ、その請求項１に係る発明は以下のとおりである。
「　　【請求項１】
　予め設定された複数の光学系条件項目から構成される複数のテスト条件を変えながら、光または荷電粒子のビームを被検査対象基板に照射することによって被検査対象基板から発生する光、二次電子、反射電子、透過電子、吸収電子のいずれかを検出して画像信号に変換し、該変換された画像信号をＡ／Ｄ変換して得られたディジタル画像信号を基に前記被検査対象基板上での欠陥部を見付ける一連のテスト検査を行い、該一連のテスト検査結果として、前記各テスト条件において被検査対象基板上に見付けられた欠陥部の画像から算出した複数項目の特徴量の情報を、前記複数のテスト条件ごとに並べて画面上に表示することを特徴とする欠陥検査方法。」（以下、「本願発明」という。
　
２．引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例およびその記載事項は、前記「第２　２．引用刊行物記載の発明」に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明は、本願補正発明における「光または荷電粒子のビーム」を「光」とする限定、「光、二次電子、反射電子、透過電子、吸収電子のいずれか」を「光」とする限定、「欠陥部の画像」を「欠陥部の内、指定した欠陥部のディジタル画像信号」とする限定、「複数項目」を「欠陥部のコントラスト、欠陥部の明るさ若しくは濃淡差、欠陥部の輝度分布を含む複数項目」とする限定を、それぞれ除いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに限定したものに相当する本願補正発明が、前記「第２　４．判断」に記載したとおり、引用例に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その他の請求項に係る発明について言及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。