(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）白金族金属及び（イ）酸素イオン伝導性固体電解質の混合物からなる電極材料を（ウ）Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、ＲｅまたはＩｒからなるｄ−ブロック遷移元素群から選ばれた少なくとも１種の遷移金属酸化物により修飾したもの一対を、（エ）酸素イオン伝導性固体電解質からなる基板の表面に被着して設け、該一対の電極の片方を（オ）可燃性ガス酸化触媒で被覆したことを特徴とする一酸化炭素ガス検知素子。
【請求項２】
前記電極材料を構成する（イ）酸素イオン伝導性固体電解質がＣａＯ、ＭｇＯ、またはＭ２Ｏ３ （ここでＭはＹ、またはランタノイド元素から選ばれた１種の希土類元素）で安定化されたＺｒＯ２である請求項１記載の一酸化炭素ガス検知素子。
【請求項３】
前記（エ）酸素イオン伝導性固体電解質がＣａＯ、ＭｇＯ、またはＭ２Ｏ３ （ＭはＹ、またはランタノイド元素から選ばれた１種の希土類元素）で安定化されたＺｒＯ２である請求項１または２記載の一酸化炭素ガス検知素子。
【請求項４】
前記（オ）可燃性ガス酸化触媒がＳｉＯ２ 、ＴｉＯ２ 、ＳｎＯ２ 、ＭｇＯまたはＡｌ２Ｏ３ から選ばれた少なくとも１種の担体にＰｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、ＰｄまたはＡｕの単体、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｃｕ、ＡｇまたはＣｅの酸化物から選ばれた少なくとも１種を担持させたものである請求項１、２または３記載の一酸化炭素ガス検知素子
【請求項５】
前記（ア）白金族金属と（イ）酸素イオン伝導性固体電解質からなる一対の電極材料を前記（エ）酸素イオン伝導性固体電解質からなる基板に被着した後、（ウ）ｄ−ブロック遷移金属酸化物により、該電極材料を該基板と共に修飾してなる請求項１、２、３または４記載の一酸化炭素ガス検知素子。
【請求項６】
予め前記一対の電極材料を（エ）酸素イオン伝導性固体電解質からなる基板に被着したもの全体を、前記ｄ−ブロック遷移金属の化合物が溶解された溶液に浸漬したのち焼成することにより、前記（ウ）ｄ−ブロック遷移金属酸化物によって修飾された電極を製作することを特徴とする請求項１、２、３、４または５記載の一酸化炭素ガス検知素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、天然ガスや石油分解ガス等の化石燃料の燃焼器に取り付けて、燃焼器が不完全燃焼を起こした時に発生する一酸化炭素（ＣＯ）を定量的に検知する一酸化炭素ガス検知素子に関する。更に詳しく述べると、電気化学的反応を利用する固体電解質式一酸化炭素ガス検知素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガス器具などの燃焼器が不完全燃焼を起こした場合に発生する人体に有毒なＣＯを検知する方法として、ＣＯセンサによる直接検知法が従来から検討されている。このような目的に使用されるＣＯセンサとして半導体式、接触燃焼式及び固体電解質式ＣＯセンサが知られている。しかし、半導体式ＣＯセンサは酸素濃度変化の影響を受けやすいという問題点がある。従って、燃焼負荷の変動が大きい燃焼器の排ガスにこれを使用する場合は、正常燃焼であっても燃焼負荷変動により排ガスの酸素濃度が変化するため、不完全燃焼が起きたと誤認するおそれがあり、検知の信頼性が悪い。
【０００３】
また、接触燃焼式ＣＯセンサは、排ガス温度の変化が及ぼすセンサ出力への影響を補正する回路及びＣＯの接触燃焼熱の変化を白金線の電気抵抗変化として取り出すためのブリッヂ回路が必要で回路構成が複雑である。さらに、低濃度ＣＯの検知感度が悪いので、不完全燃焼を低レベルのうちに逸早く検知するには不満足である。
【０００４】
一方、固体電解質式ＣＯセンサは、固体電解質の表面に一対の電極を被着して設け、この一対のうち片方の電極を可燃性ガス酸化触媒で被覆し、他方の電極を露出した状態に構成したものである。このＣＯセンサは、例えば微量の可燃性ガスを含む空気などが露出した電極と直接に接触すると、この電極に吸着された可燃性ガスと酸素の電気化学的反応が起こり、一方、可燃性ガス酸化触媒によって覆われた電極においては、可燃性ガスは触媒によって酸化されるので電極には到達せず、その結果両電極での電気化学反応の間に差が生じるため、その差に応じた起電力が発生するという原理を利用するものである。
【０００５】
例えば特公昭５８−４９８５号明細書には、固体電解質として酸素イオン伝導性固体電解質を利用した固体電解質式ＣＯセンサが開示されている。このＣＯセンサを排ガス中で用いると、可燃性ガスが存在しなければたとえ温度や酸素濃度が変化しても起電力を生じないので、不完全燃焼の誤認は起こらず、検知の信頼性が高い。然し、不完全燃焼時に発生するＣＯの濃度を定量的に求めたい場合には問題がある。
【０００６】
すなわち、化石燃料の不完全燃焼時にはＣＯと共に水素（Ｈ２ ）が発生し、両者の発生比率が燃焼負荷により変化するので、ＣＯ濃度を定量的に検知するためには、妨害ガスであるＨ２ に関して検知感度が低いことが必要である。然しながら、従来の固体電解質式ＣＯセンサは、Ｈ２ 検知感度がＣＯ検知感度を上回るため、定量的なＣＯ濃度検知は困難であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、化石燃料を使用する燃焼器の不完全燃焼を検知するに当たり、このような従来技術の欠点を克服して、燃焼負荷変動が大きい燃焼器の排ガス用に適し、信頼性の高い一酸化炭素ガス検知素子及びその製造方法を提供することを目的とする。すなわち、本発明は従来の固体電解質式ＣＯセンサを改良して、Ｈ２ 検知感度を相対的に低下させることによって、排ガス中のＣＯ濃度を定量的に検知できるようにすることを課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、固体電解質式ＣＯセンサの或る種の電極材料を特定の遷移金属酸化物で修飾することにより、化石燃料の燃焼排ガス中のＣＯに対して通常半量乃至同量程度存在するＨ２ がＣＯの検知感度に対して妨害的に及ぼす影響を顕著に低減乃至は排除できるという事実を見出し、検知素子に関する本発明を完成した。
【０００９】
すなわち本発明の一酸化炭素ガス検知素子は、（ア）白金族金属と（イ）酸素イオン伝導性固体電解質との混合物からなる電極材料を（ウ）長周期型周期表の第４周期元素、第５周期元素（但しＡｇ、Ｃｄは除く）、ＲｅまたはＩｒからなるｄ−ブロック遷移元素群から選ばれた少なくとも１種の遷移金属酸化物により修飾したもの一対を、（エ）酸素イオン伝導性固体電解質からなる基板の表面に被着して設け、該一対の電極の片方を（オ）可燃性ガス酸化触媒で被覆し、他方の電極は排ガスに露出したままの状態にあるように構成することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の構成に用いる（エ）酸素イオン伝導性固体電解質は、電極を被着するための基板として使用するものであり、一般的に融点よりかなり低い温度で高いイオン伝導性を示す固体を意味するが、酸素イオン（Ｏ２−）伝導性を有することが必須であり、ジルコニア（ＺｒＯ２ ）を主成分とし、これにアルカリ土類元素または希土類元素の酸化物を混合し固形化したものが用いられる。一般的には次に列記するような物質がＯ２−伝導効果を有している。
【００１１】
（ａ）希土類酸化物を添加したジルコニア
（ｂ）ＭｇＯまたはＣａＯで安定化したジルコニア
（ｃ）希土類酸化物を添加した二酸化トリウム
（ｄ）希土類酸化物またはＣａＯを添加した酸化セリウム
（ｅ）ＳｒＯ、ＢａＯ、Ｙ２ Ｏ３ 、Ｌａ２ Ｏ３ 、Ｇｄ２ Ｏ３ 、Ｎｂ２ Ｏ５ またはＷＯ３ を添加した三酸化二ビスマス
特に、ジルコニアを主成分とした酸素イオン伝導性固体電解質は公知の酸素センサなどに多数適用されている。本発明では、Ｏ２−伝導性に加えて耐久性等の実用的観点から特に優れている上記（ａ）または（ｂ）を（エ）酸素イオン伝導性固体電解質として用いる。
【００１２】
一般的に、サ−メット電極の材料としては、（ア）白金族金属とジルコニア、二酸化トリウム、酸化セリウム、三酸化二ビスマス、または酸素イオン伝導性固体電解質として列記したようにこれらの１種に希土類酸化物、アルカリ土類金属酸化物等を添加してなる（ａ）乃至（ｅ）群の酸化物の１種とを混合し、成型したものが使用できる。しかし、本発明の電極の構成要素である（イ）酸素イオン伝導性固体電解質としては実用的見地から、上記（ａ）または（ｂ）が特に好ましく用いられる。
【００１３】
（ア）白金族金属として、白金（Ｐｔ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）の単体金属または２種以上の合金が使用できる。好ましい電極材料として、例えばＰｔ−ＺｒＯ２ 、Ｐｔ−ＺｒＯ２ −ＭｇＯ、Ｐｔ−ＺｒＯ２ −ＣａＯ、Ｐｔ−ＹＳＺ（イットリア安定化ジルコニア）を例示するが、これに限定されるものではない。
【００１４】
上記（ア）と混合する（イ）酸素イオン伝導性固体電解質は、（エ）酸素イオン伝導性固体電解質と同種であっても、または異なっても効果が有るが、検知素子の耐久性の点から同種であることが好ましい。特に、（エ）酸素イオン伝導性固体電解質としてＹＳＺを用いる場合は、電極材料としてＰｔ−ＹＳＺが好ましい。
【００１５】
本発明の構成に用いる電極は、上記電極材料を（ウ）長周期型周期表の第４周期元素、第５周期元素（但しＡｇ、Ｃｄは除く）、ＩｒまたはＲｅからなるｄ−ブロック遷移元素群から選ばれた少なくとも１種の遷移金属酸化物によって修飾したものである。すなわち、ｄ−ブロック遷移元素として知られる元素のなかでＳｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔｃ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、ＲｅまたはＩｒの酸化物の少なくとも１種が用いられる。これらは、検知素子の作動温度、素子のまわりの雰囲気中に存在するＣＯ及びＨ２  の濃度などの使用条件を選択すれば、有効に使用することができる。特にＶ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎは後に実施例で示すように広い使用条件下で、またＣｏは添加量が或る程度以上であれば同様に広い使用条件下で、顕著な効果が有り、また作動温度やガス濃度などの条件によっては、この他にＴｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ、Ｉｒなども効果があり、好ましい。
【００１６】
本発明において、上記電極材料の修飾は、電極材料に少量の（ウ）遷移金属酸化物を結果的に添加することを意味するが、添加の態様は均一混合であっても良く、また電極表面に比較的多く内部に少ないように不均一であっても良い。
【００１７】
本発明において、電極材料の修飾の方法は、当業界で常用される全ての方法を使用することができる。例えば、上記遷移金属の無機化合物或は錯化合物を溶解した水溶液中に成型した電極材料を浸漬し乾燥し焼成する方法、上記遷移金属酸化物等をタ−ゲットとし不活性ガスをスパッタガスとして用いるスパッタリング法、あるいは電極材料の粉末に遷移金属酸化物の粉末を混合し成型し焼成する方法などを例示することができるが、これに限定されるものではない。
更に、遷移金属酸化物による修飾は、電極材料のみを修飾しても良く、先に電極材料を酸素イオン伝導性固体電解質である基板に被着したもの全体を浸漬法などで修飾しても良い。
【００１８】
本発明の構成に用いる（オ）可燃性ガス酸化触媒は、ＣＯ、Ｈ２ などの可燃性ガスを酸化する触媒作用を有するものであれば良い。例えば、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、ＰｄまたはＡｕの単体、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｃｕ、ＡｇまたはＣｅの酸化物、或はこれらの２種以上の組み合わせが用いられ、通常、これらをＳｉＯ２ 、ＴｉＯ２ 、ＳｎＯ２ 、ＭｇＯ、Ａｌ２ Ｏ３ などの担体に担持させて使用する。特にγ−Ａｌ２ Ｏ３ の粉末を塩化白金酸水溶液に浸漬し、乾燥後還元してＰｔをγ−Ａｌ２ Ｏ３ に担持させたものが好ましく常用されるが、これに限定されるものではない。
【００１９】
本発明において、（オ）可燃性ガス酸化触媒による電極の被覆は、可燃性ガスが触媒に接触せずに直接に電極に到達することの無いように、完全に閉鎖的でなければならない。しかし、電極と触媒を必ずしも密着させる必要は無く、触媒からなる被覆層と電極との間に空隙が有っても良い。
【００２０】
本発明の電極と（エ）酸素イオン伝導性固体電解質である基板との被着は、電極と基板と排ガスが接する３相界面がなるべく多くなるような態様であれば良く、当業界で常用される全ての方法が用いられる。例えば、基板上に白金族金属コロイドを塗布し乾燥しさらに遷移金属化合物溶液を散布し焼成する方法、或は基板上に白金族金属を電子線蒸着法により被着したのち遷移金属酸化物を添加する方法などを例示することができるが、これに限定されるものではない。
【００２１】
本発明の検知素子の構成を模式的に表わす図１により、本発明の素子の作用を簡単に説明する。化石燃料の燃焼で生じる排ガス６が矢印の方向に流れる中で、本発明の検知素子をヒ−タ−５により適正な作動温度に保持して使用すると、不完全燃焼が起こった場合は排ガス中にＣＯ及びＨ２ が同時に含有されるが、このＣＯ及びＨ２ は、排ガスとこれに露出した修飾電極１と酸素イオン伝導性固体電解質である基板３とが接する３相界面において、酸素イオン伝導性である基板３から供給される酸素イオンＯ２−と電気化学的に反応する。そして、本発明の修飾電極１はＣＯの電気化学反応を定量的に進めるが、一方、Ｈ２ の電気化学反応は比較的に抑制するという選択性に顕著な効果がある。他方、可燃性ガス酸化触媒４で被覆された修飾電極２においては、ＣＯおよびＨ２ は酸化触媒４で酸化されてそれぞれＣＯ２ 及びＨ２ Ｏに変わるので、修飾電極２には到達せず、上記の電気化学反応は起こらない。この違いにより、両電極の間には起電力が生じ、この値が指示計器７に表示される。
【００２２】
【実施例】
本発明の検知素子の製作方法について代表例を記し、ＣＯ及びＨ２ の検知感度について、本発明の検知素子を用いた結果と従来技術の検知素子を用いた結果を比較して記載した。
【００２３】
［実施例１］
酸素イオン伝導性固体電解質基板上への電極の被着とヒ−ターの形成
イットリア（Ｙ２ Ｏ３ ）５モル％とジルコニア（ＺｒＯ２ ）９５モル％とからなるイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）の粉末と白金（Ｐｔ）の粉末を、全粉末中のＰｔの体積比率が５０体積％となるように混合し、常用の有機溶媒、バインダー、界面活性剤の適量と共に良く混合して、電極材料用のペーストを調製した。次いで、Ｙ２ Ｏ３ を５モル％含有するＹＳＺのグリーンシート（厚さ０．３ｍｍ）を基板として用い、この基板上の同一面に上記ペーストを約１ｍｍ角の正方形の形状で、互いに０．３ｍｍ間隔に離した一対としてスクリーン印刷した。また、基板の裏面にはアルミナ（Ａｌ２ Ｏ３ ）ペースト及び白金（Ｐｔ）ペーストを用いて、スクリーン印刷によりアルミナ絶縁膜及びヒーターを形成した。これを十分に乾燥した後、１４５０℃で焼成した。こうして得られた電極材料の厚さは１０μｍであった。この電極に接するように起電力の出力取り出し用リード線を白金（Ｐｔ）ペーストで印刷して形成し、１４５０℃で焼成した。
【００２４】
電極材料の修飾
硝酸ニッケル、硝酸コバルトなど、水溶性の各種遷移金属およびアルカリ土類金属無機化合物を０．０２モル／ｌの濃度（但し、塩化カルシウム、臭化セリウムは０．０１モル／ｌ）に溶解した水溶液を用意し、上記のようにして電極材料を被着した基板全体をそれぞれの溶液中に常温で約１分間程度浸漬した後、よく乾燥し、６００℃で１０分間焼成し、本発明の修飾電極を得た。
【００２５】
可燃性ガス酸化触媒による電極の被覆
アルミナ粉末（γ−Ａｌ２ Ｏ３ ）にＰｔを１．５重量％含浸させた酸化触媒の粉末を常用の有機溶媒、バインダー、界面活性剤の適量と共に混合してペーストを調製した。これを一対の修飾電極の片方のみを覆うように約０．０５ｍｍの厚さに印刷して酸化触媒層を形成し、９００℃で３時間焼成した。こうして、修飾する遷移元素及びアルカリ土類元素１９種類について、一酸化炭素ガス検知素子を製作した。
センサの組み立て
この検知素子を台座に取り付け、ヒーター制御回路、出力取り出し回路、出力表示回路を組み込み、ＣＯセンサを構成した。
【００２６】
検知試験
上記のようにして構成したＣＯセンサのヒーター部分に一定電圧を印加することにより、検知素子を作動温度４００℃及び５００℃に保ち、それぞれ空気とＣＯの混合ガス及び空気とＨ２ の混合ガスを用いて、ガスの濃度を変えてセンサの起電力を測定した。測定値及びこの値から求めた感度比（ＣＯの起電力／Ｈ２ の起電力）を表１及び表２に示した。
【００２７】
［比較例１］
上記実施例１において電極材料を被着した基板を遷移金属化合物水溶液に浸して焼成する操作を行わなかった以外は、実施例１と同様にして製作した検知素子を用いて、ガス組成などを上記と同様に変えて起電力を測定し、表１及び表２に併せて示した。
【００２８】
表１及び表２から、ＣＯとＨ２ での検知素子の出力比を比較した時、ＣＯでの出力の方がＨ２ での出力より大きくなる（ＣＯ／Ｈ２ 感度比＞１）、すなわちＣＯ検知の選択性に特に良い効果を示す修飾用遷移元素としてＶ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎが挙げられることが判る。またＣｒ（試料Ｎｏ．３）は全ての測定条件を通じて比較例１（試料Ｎｏ．ＩＶ）と比べると、ＣＯ検知選択性が良くなり、修飾効果が有ることが判る。更にＴｉ（試料Ｎｏ．１）は作動温度を４００℃に選べば、比較例１（試料Ｎｏ．ＩＶ）と対比してＣＯ検知選択性が良くなることが判る。この他に、作動温度やガス濃度などの条件を適当に選択することによって、Ｃｏ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｅ、Ｉｒも比較例１（試料Ｎｏ．ＩＶ）と比べてＣＯ検知選択性が改良され、好ましいことが判る。
【００２９】
［実施例２］
実施例１と同様にしてＹＳＺ基板に電極材料とヒーターを取り付けたものを、それぞれ濃度０．２モル／ｌ及び０．５モル／ｌの硝酸コバルト水溶液に常温で１分間程度浸した後、よく乾燥し、６００℃で１０分間焼成した以後は実施例１と同様にして、それぞれ本発明の検知素子を製作した。この素子を用いて実施例１と同様にガス濃度を変えて、センサの出力を測定した。測定値及びこれから求めた感度比を表３及び表４に示した。
この結果から、Ｃｏは浸漬溶液の濃度を上げることにより感度比＞１となり特に好ましいことが判る。また総じて、電極を修飾するための遷移金属化合物溶液の濃度を濃くすると、ＣＯ検知の選択性に顕著な効果が有ること、更にまた遷移金属元素の添加量によらず修飾の効果が有ることが理解される。
【００３０】
［実施例３］
Ｎｉで修飾した実施例１の検知素子を用いて、空気にＣＯ及びＨ２ の両方を混合した混合ガスについて、作動温度４００℃においてガス組成を変えてセンサ出力を測定し、結果を図２に示した。
この結果から、混合ガス中のＣＯ濃度が５００ｐｐｍ乃至１０００ｐｐｍの場合には、Ｈ２ 濃度をＣＯに対して０−８０％の範囲で変動させてもセンサ出力は殆ど一定の値を示し、更にＣＯ濃度が２０００ｐｐｍの場合にもＨ２ 濃度の増加がセンサ出力に及ぼす影響は極く僅かであり、ＣＯの定量的検知の信頼性が高いことが判る。
【００３１】
【表  １】
0003573551.tif 000002
【００３２】
【表２】
0003573551.tif 000003
【００３３】
【表３】
0003573551.tif 000004
【００３４】
【表４】
0003573551.tif 000005
【００３５】
【発明の効果】
表１、表  ２、表  ３及び表４から明らかな通り、従来技術の検知素子ではＣＯによる起電力の出力がＨ２ のものよりも約１対３の割合で小さい。これに対して、Ｖ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎなどで修飾した本発明の検知素子では逆にＣＯによる起電力の出力がＨ２ によるものより大きく、人命に危険の有るＣＯの検知感度において著しく優れている。また、その他のｄ−ブロック遷移元素で修飾した場合についてもＣＯ検知の選択性の点で従来技術より優れた効果が有る。
然も、図２から明らかなように本発明の検知素子は、化石燃料の不完全燃焼のようなＣＯとＨ２ が共存する排ガスにおいて、センサ出力は一定のＣＯ濃度についてはＨ２ 濃度が変化しても一定の値を示し、特に、ＣＯ濃度が希薄な状態でのＣＯの定量的検知の信頼性が極めて優れている。その結果、燃料の組成が変化した場合や僅かに不完全燃焼が始まったばかりの場合でも、ＣＯ濃度の変化を逸早く検知して燃焼を正常化させる制御信号を発信できるなど、実用上の利点が大きい。
【００３６】
また、本発明の検知素子は適正な作動温度が４００℃−５００℃であり、通常の排ガス温度の変動範囲５０℃−２００℃より画然として高いので、起電力の温度補正回路を要しない簡素なＣＯセンサを構成できるのに加えて、燃焼負荷の大きい燃焼器に信頼性良く使用できる。
【００３７】
なお、Ｎｉで修飾した本発明の検知素子を用いて、空気の流れに夫々ＣＯまたはＨ２ を導入した瞬間、または導入を止めた瞬間からセンサ出力が一定になる迄の所要時間（応答時間、単位は分）を測定し、結果を図３に示したが、応答時間はいずれの場合も高々１分であり、電極を修飾することによりガス応答性が悪化するような不利な点は見られない。
【００３８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検知素子の構成を説明するための模式図。
【００３９】
【図２】空気とＣＯとＨ２ の混合ガスについて、種々の水準においてＣＯ濃度を一定にしてＨ２ 濃度を変えた時、本発明の検知素子を組み込んだＣＯセンサの出力が変化しないことを示す図。
【００４０】
【図３】本発明の検知素子を組み込んだＣＯセンサのガス応答性を示す図。
【００４１】
【符号の説明】
１、２・・・修飾電極
３    ・・・酸素イオン伝導性固体電解質である基板
４    ・・・可燃性ガス酸化触媒
５    ・・・作動用ヒーター
６    ・・・排ガス
７    ・・・出力指示計器
【図１】
0003573551.tif 000006
【図２】
0003573551.tif 000007
【図３】
0003573551.tif 000008