【事件の表示】
　特願２０００−２１３１１０「真空排気装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　８月　３日出願公開，特開２００１−２０７９８４〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は，平成１２年７月１３日（優先権主張平成１１年１１月１７日）の出願であって，平成１９年９月３日付けで補正の却下の決定がなされるととともに拒絶査定がなされ，これに対し，平成１９年１０月１１日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに，同年１１月９日付けで手続補正書が提出されたものである。
　
　
２．平成１９年１１月９日付けの手続補正書による補正（以下「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により，特許請求の範囲の請求項１は，
「粗引ポンプと該ブースタポンプとを備えた真空排気装置において，
　
ブースタポンプを介して気体を吸引する
と
式
　粗引スクリュー真空ポンプ
（Ｂ）
（Ａ）
，ブースタスクリュー真空ポンプの排気側圧力が該ブースタスクリュー真空ポンプの臨界背圧（Ｕ）以下になるまで
　粗引スクリュー真空ポンプのロータ
（１５０ｆ，１５０ｍ；３５０ｆ，３５０ｍ）
（１２０ｆ，１２０ｍ；３２０ｆ，３２０ｍ）
　ブースタスクリュー真空ポンプのスクリュー巻数を，粗引スクリュー真空ポンプのスクリュー巻数より少なくするとともに，
　
ブースタスクリュー真空ポンプが，前記排気側圧力が前記粗引スクリュー真空ポンプで排気されることにより前記臨界背圧以下になるときに，容積圧縮しつつ前記粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度の５倍以上の大きい排気速度で粗引スクリュー真空ポンプ側に排気するようにした
と補正された。
　上記補正は，請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「粗引きポンプ」について「ブースタポンプを介して気体を吸引する」との限定を付加し，「粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度を，粗引ポンプとして機能する大きさとする」ことについて「ブースタスクリュー真空ポンプの排気側圧力が該ブースタスクリュー真空ポンプの臨界背圧（Ｕ）以下になるまで」との限定を付加し，さらに「ブースタスクリュー真空ポンプ」について「排気側圧力が粗引スクリュー真空ポンプで排気されることにより臨界背圧以下になるときに，容積圧縮しつつ前記粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度の５倍以上の大きい排気速度で粗引スクリュー真空ポンプ側に排気するようにした」との限定を付加するものであって，平成１４年法律第２４号改正附則第２条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで，本件補正後の前記請求項１記載された発明（以下「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
（２−１）引用例１
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平４−３１６８５号公報（以下「引用例１」という。）には，図面とともに次の事項が記載されている。
　
・「ここで，多段流体機械の場合は，吐出側の段における流体機械に比較すると吸込側の段における流体機械は圧縮する能力はあまり必要とはされない。その代り，吸引する流体の量を出来るだけ多くする必要がある。吐出側の段で吸引する流体の体積は非常に小さいので，吸込側の段では大量の流体を吸い込んで吐出側の段に送り出すことが必要だからである。」（1ページ右下欄７〜１４行）
　
・「本発明の実施に際して，前記複数対の雌雄のスクリューロータの一対ずつをそれぞれケーシングに収容して複数の流体機械を構成しても良く，或いは，複数対の雌雄のスクリューロータを一つのケーシングに収容しても良い。」（２ページ左上欄２０行〜同ページ右上欄４行）
　
・「図示の実施例は本発明の多段スクリュー式流体機械を２段スクリュー式真空ポンプとして構成した実施例を示している。全体を符号１０で示す多段スクリュー式真空ポンプは，吸込側の流体機械である吸込側ポンプ１１と吐出側の流体機械である吐出側ポンプ１２とを含む２段真空ポンプとして構成されており，両者は中間部１５により接続されている。そして，吸込側ポンプ１１には吸込口１３が形成され，吐出側ポンプ１２には吐出口１４が形成されている。」（２ページ左下欄２０行〜同ページ右下欄９行）
　
・「吸込口１３から吸込まれた流体は，吸込側ポンプ１１，中間部１５を介して吐出側ポンプ１２から外部へ排出される。
　２段スクリュー式流体機械１０の到達真空度すなわち吸込口１３における圧力がｌ×ｌ０−３Ｔｏｒｒであれば，中間部１５の圧力は５〜６Ｔｏｒｒ乃至１０Ｔｏｒｒ，吐出口１４の圧力は大気圧となる。ここで，中間部の圧力が１０Ｔｏｒｒであり，吸込側ポンプ１１が吸込む流体の体積を１と仮定し，温度の上昇および流体機械の効率を無視すれば，吐出側ポンプ１２が吸込む（或いは吐き出す）流体の体積は
ｌ×（１×１０−３／１０）
＝１／１００００
　となる。このことから，吐出側ポンプ１２が吸込む流体の体積は吸込側ポンプ１１が吸込む（吐出する）流体の体積よりも小さいことが理解される。換言すれば，吸込側ポンプ１１は吐出側ポンプ１２に比較して大量の空気を吐き出す必要がある。
　これに対して，図示の実施例では前述したように吸込側ポンプ１１は２−４ロータとして構成されており，その雄ロータ一回転当りの吐出量は一般的な５−６ロータの約１．５倍となっているので，大量の空気を吐き出すことが容易になっている。そのため，ロータ１６，１７を大きくしたり，或いは吸込側ポンプ１１の回転数を高くすること無く，大量の流体を吐出側ポンプ１２側へ送り出すことが出来るのである。」（３ページ左上欄８行〜同ページ右上欄１６行）
　
・「また，図示の実施例では吸込側ポンプ１１と吐出側ポンプ１２とをそれぞれ独立したポンプとして構成したが，ケーシングを一体化して構成しても良い。」（３ページ左下欄１〜４行）
　
・第１図には，吸込側のポンプ１１と吐出側のポンプ１２とを中間部１５により直列に接続した２段のポンプが示されている。
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると，引用例には，次の事項からなる発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認めることができる。 
 「吐出側ポンプ１２と吸込側ポンプ１１とを備えた２段スクリュー式真空ポンプにおいて，
　吸込側ポンプ１１を介して空気を吸引する吐出側ポンプ１２と吸込側ポンプ１１とをそれぞれ対の雌雄のスクリューロータをケーシングに収容して構成した，
　２段スクリュー式真空ポンプ」
　
（２−２）引用例２
　同じく，原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−３２４７８０号公報（以下「引用例２」という。）には，図面とともに次の事項が記載されている。
　
・「【請求項３】  上記２段のポンプ部のうち，吸気側の排気量を排気側よりも大きくしたことを特徴とする請求項１に記載の容積式真空ポンプ。」
　
・「【０００２】
【従来の技術】半導体製造等の分野において使用される真空ポンプは，清浄雰囲気を維持するために，ポンプ内部のガス通路に油を使用しないドライ式であることが必要である。ドライ式の２軸容積式真空ポンプには，ルーツ型，スクリュー型等の方式がある。
【０００３】図８に示すのは，スクリュー型のポンプの一種である２本ねじ形ポンプである。・・・」
　
・「【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようなポンプは構造が単純であるが，ロータ１０３，１０４の回転により一定の体積を移動するだけで圧縮機能がなく，１段のポンプのみでは単位排気量あたりの消費動力が大きくなってしまう欠点があった。
【０００５】この欠点を解決する為には，排気量の異なるポンプを，吸気（真空）側に排気量の大なるポンプ，排気（大気）側に排気量の小なるポンプを組合わせればよい。この場合，それぞれの駆動機構を有する２つの異なるポンプを組み合わせる方法と，同じ駆動軸上に２つのねじロータを取り付ける方法とが考えられる。」
　
・「【００１１】請求項２に記載の発明は，上記ねじロータと上記モータ部の間に上記回転軸を支持する軸受を設け，各ねじロータを片持ち支持したことを特徴とする請求項１に記載の容積式真空ポンプである。請求項３に記載の発明は，上記２段のポンプ部のうち，上流側の排気量を下流側よりも大きくしたことを特徴とする請求項１に記載の容積式真空ポンプであるので，吸気圧力が低い範囲において単位排気量あたりの消費動力を小さくすることができる。」
　
・「【００２３】第１ポンプ部５Ａと第２ポンプ部６Ａのねじロータ２８ａ〜２９ｂのねじ３０ａ，３０ｂの形状や寸法は，以下のように設定されている。すなわち，第１のポンプ部５Ａと第２のポンプ部６Ａは回転軸２ａ，２ｂの軸間距離は同じであるが，ねじピッチ，外径，谷径等を変えることにより，第２のポンプ部よりも１回転あたりの排気量を大きくしている（本例では４：１）。」
　
・「【００２６】この容積式真空ポンプにおいては，ねじロータ２８ａ〜２９ｂを軸方向に２つ設けているので，個々のねじロータ２８ａ〜２９ｂの長さは図に示す一体型の場合よりも短縮される。すなわち，通常１組で６巻のねじが必要であるとすると，本例のように吸気側２巻，排気側４巻と２つのポンプに分割すれば，同じ到達真空度であってもそれぞれのねじロータ２８ａ〜２９ｂは短くなる。・・・」
　
・「【００３０】上述したように，第１のポンプ部５Ａは第２のポンプ部６Ａよりも１回転あたりの排気量を大きくしており，定常運転時には，容積式ポンプであっても消費動力を大きくすることなく高真空度を得ることができる。・・・」
　
・「【００３２】本例のような排気量の異なる２種類のポンプを組合わせた場合，定常運転時において，第１のポンプ部５Ａの吸気口１１圧力が１０-2Torr，第２のポンプ部６ａの排気口１２が大気圧とした場合，第１のポンプ部５Ａの排気口３１（＝第２のポンプ部の吸気口３３）の圧力を数 Torr 程度とすることができる。」
　
・「【００３３】ポンプロータの必要トルクは，回転数にはあまり関係なく，ポンプ入口，出口の圧力差により決まるが，第１のポンプ部５Ａの入口，出口の圧力差によるトルクはほとんど無視できるので，運転中の必要トルクは，図４に示すように，第２のポンプ部のみのトルクと同等のトルクで済み，１種類のポンプで駆動する場合に比べて単位排気量あたりの必要動力は小さくて済み，エネルギーを節約することができる。・・・」
　
・「【００４２】（２）２段のうち吸気側ポンプの排気量を排気側ポンプよりも大きくすることにより，吸気圧力が低い範囲において単位排気量あたりの消費動力を小さくすることができた。・・・」
　
・図１には，吸気側ポンプの回転軸と排気側ポンプの回転軸とを同軸にすることが示されている。
　
（３）対比 
　そこで，本願補正発明と引用発明とを比較すると，その機能・作用からみて，後者の「吐出側ポンプ１２」は前者の「粗引ポンプ」に相当し，以下同様に，「吸込側ポンプ１１」は「ブースタポンプ」に，「２段スクリュー式真空ポンプ」は「真空排気装置」に，「空気」は「気体」にそれぞれ相当している。
　また，後者の「対の雌雄のスクリューロータをケーシングに収容して構成」する態様は，前者の「スクリュー式で構成」する態様に相当する。
　したがって，両者は，
「粗引ポンプと該ブースタポンプとを備えた真空排気装置において，
　ブースタポンプを介して気体を吸引する粗引ポンプとブースタポンプとをそれぞれスクリュー式で構成した，
　真空排気装置。」
の点で一致し，以下の点で相違している。
　
［相違点１］
　本願補正発明では，「粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度を，ブースタスクリュー真空ポンプの設計排気速度より小さいが，ブースタスクリュー真空ポンプの排気側圧力が該ブースタスクリュー真空ポンプの臨界背圧（Ｕ）以下になるまで粗引ポンプとして機能する大きさとし」ているのに対して，引用発明では，そのような特定はされていない点。
　
［相違点２］
　本願補正発明では，「粗引スクリュー真空ポンプのロータの回転軸を，ブースタスクリュー真空ポンプのロータの回転軸とは，異なる別の回転軸とし」ているのに対して，引用発明では，そのような特定はされていない点。
　
［相違点３］
　本願補正発明では，「ブースタスクリュー真空ポンプのスクリュー巻数を，粗引スクリュー真空ポンプのスクリュー巻数より少なくする」のに対して，引用発明では，そのような特定はされていない点。
　
［相違点４］
　本願補正発明では，「ブースタスクリュー真空ポンプが，排気側圧力が粗引スクリュー真空ポンプで排気されることにより臨界背圧以下になるときに，容積圧縮しつつ前記粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度の５倍以上の大きい排気速度で粗引スクリュー真空ポンプ側に排気するようにした」のに対して，引用発明では，そのような特定はされていない点。
　
（４）判断 
　上記相違点について検討する。
［相違点１及び相違点３について］
　引用例２には，消費電力を小さくするために，２段のスクリュー型ポンプにおいて，吸気側のポンプの排気量を，排気側のポンプの排気量より大きくし，加えて，吸気側ポンプのねじロータのねじ巻数を，排気側ポンプのねじロータのねじ巻数より少なくすることが示されている。
　そして，各ポンプの排気量が一回転あたりの排気量（段落【００２３】及び【００３０】を参照。）であり，各ポンプの回転軸は同軸にされ（【図１】を参照。），同じ単位時間の回転数で駆動されることから，設計排気速度（一回転あたりの気体移送容積（＝一回転あたりの排気量）に単位時間の回転数を乗じた値）についてみると，吸気側のポンプの設計排気速度が，排気側のポンプの設計排気速度より大きくされている（すなわち，排気側のポンプの設計排気速度が，吸気側のポンプの設計排気速度より小さくされている）ことは明らかである。
　そうすると，引用例２には，消費電力を小さくするために，２段のスクリュー型ポンプにおいて，排気側のポンプ（本願補正発明の「粗引スクリュー真空ポンプ」に相当。以下同様。）の設計排気速度を，吸気側のポンプ（「ブースタースクリュー真空ポンプ」）の設計排気速度より小さくし，加えて，吸気側ポンプのねじロータのねじ巻数（「スクリュー巻数」）を，排気側ポンプのねじロータのねじ巻数より少なくすることが示されているものといえる。
　ところで，ポンプにおいて，排気側の圧力が臨界背圧を超えると良好な動作ができなくなるため，臨界背圧を超えないようにすることは技術常識（必要であれば，特開平１−２３９７５１号公報（特に，２ページ左上欄７〜１０行及び２ページ左上欄２０行〜同ページ右上欄５行）及び特開昭５６−１４６０８３号公報（特に，２ページ右上欄２〜７行及び３ページ右上欄１６行〜同ページ左下欄７行）を参照。）であるから，引用発明において，吐出側ポンプ１２の設計排気速度を，吸込側ポンプ１１の排気側圧力が該吸込側ポンプ１１の臨界背圧以下になるまで粗引ポンプとして機能する大きさとすることは当然のことといえる。
　そして，消費電力を小さくすることは，真空排気装置の技術分野において一般的な課題であり，引用発明においても考慮すべき課題といえるから，かかる課題のもとに，引用発明に引用例２に記載された事項を適用することにより，上記相違点１及び相違点３に係る本願補正発明の構成とすることは当業者が容易に想到することができたものと認められる。
　
［相違点２について］
　多段スクリュー真空ポンプにおいて，後段のポンプのロータの回転軸を前段のポンプのロータの回転軸とは異なる別の回転軸とすることは，本願の出願前に周知の事項（以下，「周知事項１」という。）であるから，同じスクリュー式の真空ポンプに係る引用発明に上記周知事項１を適用して，上記相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは当業者が容易に想到することができたものと認められる。
　上記周知事項１は，例えば，特開昭６２−２８４９９４号公報（特に，２ページ右下欄７〜１８行の「このスクリュー真空ポンプ２台を用いてそれぞれ前段ポンプ１９，後段ポンプ２０とし，前段ポンプ１９の吐出口１８ａと後段ポンプ２０の吸入口１６ｂを接続して２段スクリュー真空ポンプを構成する。駆動モータ２２は後段ポンプ２０を直接駆動すると共に，歯車２３，２４，２５によって前段ポンプに動力を供給する。歯車２５と前段ポンプ１９のロータ軸の間には電磁クラッチ２７が設けられ，被排気室２１と前段ポンプの吸入口１６ａの間に設けた圧力スイッチ２６により電磁クラッチ２７を作動させて，動力を前段ポンプ１９のロータに伝達する。」との記載及び第３図を参照。）及び特開平５−１８３７８号公報（特に，段落【０００６】〜【０００９】の「図１は本願の発明を実施する２段スクリュー真空ポンプを示す図面であるが，本願の発明を良く理解するために，そのうちの公知部分について説明する。　図において，真空容器２１は，前段ポンプ２２の前段吸込口２７に接続され，その前段ポンプ２２の前段吐出口２８は，中間通路２３により後段ポンプ２４の後段吸込口２９に接続されている。　他方，駆動機２５の出力軸には，増速ギヤ２６が設けられ，その増速ギヤ２６は，両ポンプＡ１，Ａ２の雄ロータ７Ａ，７Ｂに連係されている。　そして，真空容器２１内の気体は，前段ポンプ２２，中間通路２３及び後段ポンプ２４を介し後段吐出口３０から吐出され，真空容器２１内が高真空度に維持されるようになっている。」との記載及び第１図を参照。）等に開示されている。
　
［相違点４について］
　上記［相違点１及び相違点３について］の検討において述べたとおり，引用例２には，消費電力を小さくするために，２段のスクリュー型ポンプにおいて，排気側のポンプの設計排気速度を，吸気側のポンプの設計排気速度より小さくすること，すなわち，吸気側のポンプの設計排気速度を，排気側のポンプの設計排気速度より大きくすることが示されている。
　また，ポンプにおいて，排気側の圧力が臨界背圧を超えると良好な動作ができなくなるため，臨界背圧を超えないようにすることは技術常識であるから，引用発明において，吸込側ポンプ１１が，排気側圧力が吐出側ポンプ１２で排気されることにより臨界背圧以下になることは当然のことといえる。
　さらに，スクリューポンプにおいて，容積圧縮することはこの出願前に周知の事項（以下，「周知事項２」という。）」である。
　上記周知事項２は，例えば，特開平１１−１０７９５１号公報（特に，段落【０００２】の「この種の容積形ポンプの排気運転に際しては，排出口までの移送中に所定の圧縮率で容積を減少した気体移送室が次々と連続的に排出口に連通し，大気中への排気がなされる。」との記載及び図２を参照。），特開平１１−２３６８９１号公報（特に，段落【００２２】の「このように構成された本実施形態の真空ポンプにおいては，駆動手段３０の電動機３１によって雄スクリュウロータ２１が駆動され，伝動ギヤ３２，３３を介して両ロータ２１，２２が同期駆動されると，これら前記複数の螺旋状の流体移送室が，前記吸入側の移送区間では容積を所定値まで増加させて吸気作用をなし，前記中間の移送区間では所定容積で移送され，前記排出側の移送区間では容積を減少させて排出作用をなす。」との記載及び図１を参照。）及び特開昭６１−１５２９９０号公報（特に，４ページ左上欄３〜９行の「ロータの回転に伴い気体は吸入ポート６３からロータ歯溝とケーシングによって形成される作動室に吸い込まれ，吐出ポート６４から吐出される。作動室６７，７０はロータの回転に伴い容積一定のまま気体を移送するが，さらにロータが回転した位置にある作動室７２，７３はロータの回転に伴いその容積を減少させ気体を内部圧縮する。」との記載及び第６図を参照。）等に開示されている。
　そうすると，消費電力を小さくするという課題のもとに，引用発明に引用例２に記載された事項を適用するするとともに，上記周知事項２を適用することにより，「吸込側ポンプ１１（ブースタスクリュー真空ポンプ）が，排気側圧力が吐出側ポンプ１２（粗引スクリュー真空ポンプ）で排気されることにより臨界背圧以下になるときに，容積圧縮しつつ前記吐出側ポンプ１２（粗引スクリュー真空ポンプ）の設計排気速度より大きい排気速度で吐出側ポンプ１２（粗引スクリュー真空ポンプ）側に排気する」ようにすることは，当業者が容易に想到し得るものといえる。
　そして，ブースタスクリュー真空ポンプが，粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度の５倍以上の大きい排気速度で排気することについては，本願の当初明細書中に，段落【００３６】〜【００３７】の「また，本発明の真空排気装置は，前記粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度が，前記ブースタスクリュー真空ポンプの設計排気速度の１／５〜１／１００であることを特徴とする。　この構成により，従来に比べてエネルギー効率が高い真空排気装置をより確実に得ることができる。なお，ブースタスクリュー真空ポンプの設計排気速度に対して，粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度小さければ小さいほど消費電力は低く押さえることができるが，粗引ポンプの設計排気速度を小さくし過ぎると，被真空容器を大気圧から到達圧力にするまでの過渡期において排気時間が長くなってしまうという弊害が生じる。したがって，消費電力及び排気時間の両方を考慮して，粗引ポンプの設計排気速度をブースタポンプ設計排気速度の１／５〜１／１００とした。」との記載，及び，段落【００６４】の「ここで，ブースタスクリューポンプＡの設計排気速度に対して，粗引スクリューポンプＢの設計排気速度が小さければ小さいほど消費電力を低く押さえることができるが，粗引ポンプの設計排気速度を小さくし過ぎると，被真空容器を大気圧から到達圧力にするまでの過渡期において排気時間が長くなってしまうという弊害が生じる。したがって，消費電力及び排気時間の両方を考慮して，ブースタポンプＡの設計排気速度に対する粗引ポンプＢの設計排気速度は，１／５〜１／１００とするのが好ましい。」との記載があるところ，設計排気速度の最適化を図った程度のものといえ，その臨界的意義を認めることはできないことから，当業者が適宜なし得る設計的事項と認められる。
　現に，２段スクリュー真空ポンプにおいて，前段ポンプの排気速度を，後段ポンプの排気速度の５倍以上としたものが，特開平５−１８３７８号公報（特に，段落【００１０】の「そのため，吸込圧の低い稀薄な気体を吸込む前段ポンプ２２は，より多くの気体を取り込めるように，排気速度を大きくし，他方，後段ポンプ２４は，小量の気体を排気すればよいことと，全体の小型化のために，前段ポンプ２２の１５〜７０％の小さな排気速度にされている。」との記載を参照。）に示されている。
　よって，引用発明において，引用例２に記載された事項及び周知事項２を適用して，上記相違点４に係る本願補正発明の構成とすることは，当業者が容易に想到することができたものと認められる。
　
　そして，本願補正発明の全体構成により奏される作用効果は，引用発明，引用例２に記載された事項，周知事項１及び周知事項２から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　したがって，本願補正発明は，引用発明，引用例２に記載された事項，周知事項１及び周知事項２に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
 （５）むすび 
 　以上のとおり，本件補正は，平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
３．本願発明について 
　本件補正は上記のとおり却下されたので，本願の請求項１に係る発明（以下，同項記載の発明を「本願発明」という。）は，平成１９年３月１２日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される，以下のとおりのものである。
「粗引ポンプとブースタポンプとを備えた真空排気装置において，
　粗引ポンプとブースタポンプをそれぞれスクリュー真空ポンプで構成し，
　粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度を，ブースタスクリュー真空ポンプの設計排気速度より小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとし，
　粗引スクリュー真空ポンプのロータの回転軸を，ブースタスクリュー真空ポンプのロータの回転軸とは異なる別の回転軸とし，
　ブースタスクリュー真空ポンプのスクリュー巻数を，粗引スクリュー真空ポンプのスクリュー巻数より少なくしたことを特徴とする真空排気装置。」
　
（１）引用例 
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は，前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断 
　本願発明は，前記「２．（１）」で検討した本願補正発明から，「粗引きポンプ」の限定事項である「ブースタポンプを介して気体を吸引する」との構成を省き，「粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度を，粗引ポンプとして機能する大きさとする」ことについての限定事項である「ブースタスクリュー真空ポンプの排気側圧力が該ブースタスクリュー真空ポンプの臨界背圧（Ｕ）以下になるまで」との構成を省き，さらに「ブースタスクリュー真空ポンプ」の限定事項である「排気側圧力が粗引スクリュー真空ポンプで排気されることにより臨界背圧以下になるときに，容積圧縮しつつ前記粗引スクリュー真空ポンプの設計排気速度の５倍以上の大きい排気速度で粗引スクリュー真空ポンプ側に排気するようにした」との構成を省いたものである。
　そうすると，本願発明と引用発明とを対比した場合の相違点は，実質的に上記「２．（３）」で挙げた相違点１，相違点２及び相違点３となるから，上記「２．（４）」における検討内容を踏まえれば，本願発明は引用発明，引用例２に記載された事項及び周知事項１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）むすび 
　以上のとおり，本願発明は，引用発明，引用例２に記載された事項及び周知事項１に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　よって，結論のとおり審決する。