(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を保持するための略水平の水平固定棚を複数、垂直方向に所定の間隔で設けた棚段を、ガラス基板搬送用のロボットの周囲に複数個の並べて水平方向断面形状を略多角形とし、且つ各棚段の外部側に各棚段へガラス基板を収納ないし各棚段からガラス基板を取り出すためのガラス基板の流通口を設けたガラス基板ストッカーであって、前記ロボットは、ガラス基板の保持固定および保持固定されたガラス基板の解放ができ、且つ所望の棚段に向かい、水平固定棚と略平行の状態で走行するハンド部と、該ハンド部を略水辺方向に走行させる水平駆動部と、ハンド部の位置を上下方向に移動するための垂直方向駆動部と、ハンド部を所望の棚段に向かい回転させる回転駆動部とを有し、ハンド部を適当に動作させることにより所望の水平固定棚から別の水平固定棚への移動を行うもので、該水平固定棚がある棚段を含め他の棚段への移動もできるものであり、ロボットと複数個の棚段は、クリーン度を制御された清浄な空気ないし窒素ガスの流入部、流出部を除き全体が略密封された状態で、ロボット部の上側ないし下側より、所定のクリーン度に制御された空気ないし窒素ガスを送り込み、各棚段の外部側に排気して、各棚段の水平固定部を清浄に保つようにしたものであることを特徴とするガラス基板用ストッカー。
【請求項２】
請求項１において、各棚段間には仕切が設けられ、且つ、各棚段は上下方向にも複数個仕切りが設けられ、仕切りにより複数の区画を形成していることを特徴とするガラス基板用ストッカー。
【請求項３】
請求項２において、仕切られた１区画ごとにガラス基板の流通口を設けていることを特徴とするガラス基板用ストッカー。
【請求項４】
請求項１ないし３において、ガラス基板の流通口の外部側に開閉できる扉を設けており、且つ、該扉には、排気用の排気孔が設けられていることを特徴とするガラス基板用ストッカー。
【請求項５】
請求項１ないし４において、ロボット部の上側ないし下側より、ポリエステル不織布等からなるプレフィルターとＨＥＰＡフィルターを介して所定のクリーン度に制御された空気ないし窒素ガスが送り込まれることを特徴とするガラス基板用ストッカー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は，物流設備のレイアウトに柔軟性のあるガラス基板用のストッカーに関し、特に、液晶表示装置用のカラーフィルターを形成した表示用パネルやプラズマディスプレイ用の表示パネル等へ用いられるガラス基板用のストッカーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置用のカラーフィルターを形成した表示用パネルやプラズマディスプレイ用の表示パネル等へ用いられるガラス基板の作製においては、その処理工程の途中において一時的な保管が必要な場合があり、ガラス基板サイズに合ったカセットやストッカー（保管庫）に一時的に保管され、再度使用する場合にはこれらのカセットやストッカーから取り出して使用していた。
例えば、図６に示すように、ガラス基板を処理部６３０、処理部６３１、処理部６３２にて各処理を行う際に、処理部６３１で処理したものを、一旦ストッカー内に保管しておく必要がある場合には、処理するガラス基板の数に応じて、複数個のストッカー６００を処理するラインに沿って配置しておき、複数個のストッカー６００に沿い、略平行に走行移動できるガラス基板の移載装置（ロボット）６２０を移動させることにより、処理部６３１からのガラス基板を各ストッカー６００へ収納、ないし各ストッカー６００から処理部６３１へと取り出しを行っていた。
尚、図６においてはストッカー６００内部を分かり易くするため断面の概略図を示している。従来のストッカーは、図６に示すように、ガラス基板６４０を載置するための、複数の水平固定棚６１１からなる棚段６１０を設け、周辺部を外部と遮断し、内部をクリーンに保てるように清浄な空気ないし窒素ガスを流入、流出させており、通常はガラス基板の形状に合ったボックス形状のものであった。
図６に示す移載装置（ロボット）６２０は、ハンド部６２１へガラス基板を真空吸着により保持固定でき、水平方向へ移動でき、且つ、その上下位置、方向を制御できるものである。
そして、処理部６３１からストッカー６００の棚段６１０へのガラス基板６４０の収納は、処理部６３１にてガラス基板６４０を移載装置（ロボット）６２０のハンド部６２１に真空吸着により保持固定して状態で所定のストッカー６００へ走行移動し、ハンド部６２１を所定のストッカー６００へ走行させて所定の棚段６１０の水平固定棚６１１の所定の位置に移動させ、ガラス基板を保持するための真空吸着を解除して、ハンド部を走行しストッカーから取り出すことにより、所定の水平固定棚６１１に移しかえていた。
ガラス基板６４０を棚段６１０からの取り出し、処理部６３１へ渡す場合の動作は、上記動作を逆順に行っていた。
この為、▲１▼基板の取り出しに要する時間がかかり過ぎ効率的でない、▲２▼ストッカーのスペース当たりの保管効率が良くない等の問題があった。
また、カセットによる保管には、多量の保管はできず、クリーン環境の確保の面でも問題があった。
【０００３】
一方、液晶表示装置用のカラーフィルターを形成した表示用パネルやプラズマディスプレイ用の表示パネル等へ用いられるガラス基板の作製においては、その処理工程数が多く、ガラス基板を種々の工程ラインへの搬送することが必要であるが、種々の工程の処理部を効率的に限られた領域（スペース）に配置するには、必ずしもこれらの工程ラインを連続的に、ないし直線的に設けると得策でない場合もあり、ガラス基板処理のための各工程ラインの配置に対しては、単に連続的ないし直線的に配置するのではない、効率的な柔軟性のある配置の実現も求められていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の、液晶表示装置用のカラーフィルターを形成した表示用パネルやプラズマディスプレイ用の表示パネル等へ用いられるガラス基板の作製において使用されていたガラス基板用のストッカーは、基板の取り出しが効率的でない、保管効率が良くない、ストッカー内のクリーン度の確保が難しい等の問題があり、その対応が求められており、且つ、ガラス基板作製の各工程ラインの配置に対しては、単に連続的ないし直線的に配置するのではない、効率的な柔軟性のある配置の実現も求められていた。
本発明は、このような状況のもと、基板の取り出しを効率的に行え、ガラス基板の保管効率が良く、ストッカー内のクリーン度を確保できるガラス基板用のストッカーを提供しようとするものであり、同時に、ガラス基板作製の各工程ラインの配置に対し、効率的な柔軟性のある配置の実現を可能とできるストッカーを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のガラス基板用ストッカーは、ガラス基板を保持するための略水平の水平固定棚を複数、垂直方向に所定の間隔で設けた棚段を、ガラス基板搬送用のロボットの周囲に複数個の並べて水平方向断面形状を略多角形とし、且つ各棚段の外部側に各棚段へガラス基板を収納ないし各棚段からガラス基板を取り出すためのガラス基板の流通口を設けたガラス基板ストッカーであって、前記ロボットは、ガラス基板の保持固定および保持固定されたガラス基板の解放ができ、且つ所望の棚段に向かい、水平固定棚と略平行の状態で走行するハンド部と、該ハンド部を略水辺方向に走行させる水平駆動部と、ハンド部の位置を上下方向に移動するための垂直方向（Ｚ軸方向）駆動部と、ハンド部を所望の棚段に向かい回転させる回転駆動部とを有し、ハンド部を適当に動作させることにより所望の水平固定棚から別の水平固定棚への移動を行うもので、該水平固定棚がある棚段を含め他の棚段への移動もできるものであり、ロボットと複数個の棚段は、クリーン度を制御された清浄な空気ないし窒素ガスの流入部、流出部を除き全体が略密封された状態で、ロボット部の上側ないし下側より、所定のクリーン度に制御された空気ないし窒素ガスを送り込み、各棚段の外部側に排気して、各棚段の水平固定部を清浄に保つようにしたものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、各棚段間には仕切が設けられ、且つ、各棚段は上下方向にも複数個仕切りが設けられ、仕切りにより複数の区画を形成していることを特徴とするものである。
そして、上記において、仕切られた１区画ごとにガラス基板の流通口を設けていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、ガラス基板の流通口の外部側に開閉できる扉を設けており、且つ、該扉には、排気用の排気孔が設けられていることを特徴とするものである。
そして、上記において、ロボット部の上側ないし下側より、ポリエステル不織布等からなるプレフィルターとＨＥＰＡフィルターを介して所定のクリーン度に制御された空気ないし窒素ガスが送り込まれることを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】
本発明のガラス基板用ストッカーは、上記のような構成にすることにより、基板の取り出しを効率的に行え、ガラス基板の保管効率が良く、ストッカー内のクリーン度を確保でき、且つ、ガラス基板作製の各工程ラインの配置に対し、効率的な柔軟性のある配置の実現を可能とできるストッカーの提供を可能とするものである。
詳しくは、ガラス基板を保持するための略水平の水平固定棚を複数設けた棚段をガラス搬送用のロボットの周囲に複数個の並べ、略水平方向の断面形状を多角形としたガラス基板を収納するためのストッカーであることより、ガラス基板の保管効率を良いものとすると同時に、各棚段に置かれたガラス基板をその棚段の方向で出し入れができるものとしており、ロボットの回りの全方向に対してのガラス基板の出し入れを可能としている。
そして、ロボットは、ガラス基板の保持固定および保持固定されたガラス基板の解放ができ、且つ所望の棚段に向かい、水平固定棚と略平行の状態で走行するハンド部と、該ハンド部を略水辺方向に走行させる水平駆動部と、ハンド部の位置を上下方向に移動するための垂直方向（Ｚ軸方向）駆動部と、ハンド部を所望の棚段に向かい回転させる回転駆動部とを有し、ハンド部を適当に動作させることにより所望の水平固定棚から別の水平固定棚への移動を行うもので、該水平固定棚がある棚段を含め他の棚段への移動もできるものであることより、ストッカー内で、ガラス基板の位置の置き換えができ、ガラス基板を外部から取り入れた棚段とは別の方向の棚段から基板の取り出しができるものとし、即ち、製造工程において、連続的ないし直線的に配置されていない、工程ライン間をストッカーにより効率的に連結させることが可能で、結果として、ガラス基板作製の各工程ラインの配置に対し、効率的な柔軟性のある配置の実現を可能としている。そして、一つの工程ラインから次の工程ラインへの段取りも必要とせず、基板の取り出しを効率的に行えるものとしている。
そしてまた、ロボットと複数個の棚段は、全体が略密封された状態で、ロボット部の上側ないし下側より、所定のクリーン度に制御された空気ないし窒素ガスを送り込み、各棚段には外部側に排気用の排気孔を設けて、各棚段の水平固定部を清浄に保つようにしたものあることより、ストッカー内のクリーン度を確保できるものとしている。
具体的には、ロボット部の上側ないし下側には、ポリエステル不織布等からなるプレフィルターとＨＥＰＡフィルターを介して所定のクリーン度に制御された空気ないし窒素ガスが送り込まれることにより、これを達成している。
また、各棚段間には仕切が設けられ、格棚段は上下方向にも複数個仕切りが設けら狭い仕切られた１区画を形成していることにより、ロボットの動作、基板出し入れの動作による影響、特にクリーン面での影響を他の区画へ及ばないものとしている。
また、仕切られた１区画ごとにガラス基板の流通口を設けていることにより、ガラス基板の収納、取り出しの自由度を上げている。
そして、ガラス基板の流通口の外部側に開閉できる扉を設け、且つ、扉には、排気用の排気孔が設けられていることにより、クリーン面での安全性を確保できるものとしている。
【０００７】
【実施例】
本発明のガラス基板用ストッカーの実施例を挙げ、図にもとづいて説明する。図１は、本実施例のガラス基板のストッカーの上面図、図２は図１のＡ１−Ａ２での断面の概略図、図３は正面図である。
図１、図２、図３中、１００はストッカー、１１０は棚段、１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄは区画、１１１は水平固定棚、１１２は棚受け、１１３はガラス基板流通口、１１４は扉、１１４Ａは排気孔、１１６、１１７は仕切り、１２０はロボット、１２１はハンド部、１２１は固定部、１２２は水平駆動部、１２２Ａは溝（レール）部、１２３は回転駆動部、１２４は上下駆動部、１３０はフィルター部、１３１はプレフィルター、１３２はＨＥＰＡフィルター、１３３はファン、１４０はガラス基板である。
本実施例のガラス基板用ストッカー１００は、図１に示すように、ロボット１２０の回りに、保管用のガラス基板１４０を保持する水平固定台１１１を略６角形状に配置したもので、水平固定台１１１は図２に示すように棚状に設けられ、且つ仕切り１１６を設けて棚段１１０を形成している。そして各棚段１１０間は仕切り１１７により仕切られ区画を形成している。本実施例では水平固定棚１１１を１０個毎に仕切っている。
仕切り１１６、１１７により仕切られた１区画毎に、ガラス基板流通口１１３が設けられ、その外部側に扉１１４が外部に向け開くことができるように設けられている。
尚、図１においては、分かり易くするため、ロボット１２０全体はは点線にて省略して示し、ガラス基板を保持固定するためのハンド部のみを図示してあり、図２においても、ロボット１２０はその構成の特徴部のみを示してある。
また、図２においては、分かり易くするため、区画１１０ｄにのみ水平固定棚１１１とガラス基板１４０を、その数を少なくして示してある。
【０００８】
ロボット１２０は、図２に示すように、ガラス基板１４０の保持固定および保持固定されたガラス基板１４０の解放ができ、且つ所望の棚段１１０に向かい、水平固定棚１１１と略平行の状態で走行するハンド部１２１と、該ハンド部１２１を略水辺方向に走行させる水平駆動部１２２と、ハンド部１２１と水平駆動部１２２とを一体的に、回転させる回  転駆動部１２３と、上下移動させる上下駆動部１２４とを持つ。
水平駆動部１２２はガラス基板１４０をハンド部１２１にて保持固定し棚段１１０から取り出すのに十分な移動をできるもので、ハンド部は固定部１２１Ａに固定された状態で固定部１２１とともに水平駆動部１２２の溝（レール）１２２Ａに沿い移動する。
回転駆動図１２３は所望の棚段１１０にハンド部１１１、水平駆動部１２２を向けるため３６０度（±１８０°）の動作を可能としている。
また、上下駆動部１２４は、棚段１１０の上から下までの各仕切られた区画に保管されたガラス基板１４０を収納ないし取り出しができるように、その可動範囲を設定されて、且つ所定の位置で停止できるようになっている。
尚、図２においては図示していないが、水平駆動部１２２とこれにより水平駆動するハンド部１２２、固定部１２１Ａはともに、上下駆動部１２４の溝（レール）に沿い上下移動する。
尚、図２における矢印は各部の移動方向を示したものである。
【０００９】
ロボット１２０と各棚段１１０とは全体を外部に対し、清浄な空気を流入、流出させる箇所以外は、密閉するように作られている。
ロボット１２０との上部にフィルター部１３０を設け、ここから外部の空気をファン１３３により内部に流入している。そして、仕切り１６６、１６７により仕切られた、各区画に付いている扉１１４に設けられた排気孔１１４Ａより流出するようになっている。尚、扉１１４の排気孔１１４Ａにはラフなフィルターを設けておくと、クリーン度を確保する上では安全と言える。
また、扉を開いた状態でも扉側から正常な空気が流出するようにストッカー内部を外部に比べ高い圧に保持できるようになっている。
【００１０】
図３は、本実施例のガラス基板用ストッカー１００の正面図であるが、全体を密閉する材質としてはステンレスを用いたが、これには限定されない。
扉１１４部は軽くするため排気孔１１４Ａを設ける部分のみをステンレスとして他をアクリル樹脂にて作製した。
【００１１】
ロボットの各部の動作は、制御部（図示していない）を介してなされ、安全性を高めるため、種々のセンサーを設け、その動作を管理している。
【００１２】
図４は、ストッカーの外部側から扉１１４を開き、各棚段１１０に向かって見た水平固定棚１１１の状態を示しているが、図４（ａ）は大サイズのガラス基板１４０Ａを治具４１０を介して水平固定棚１１１上に載置した場合の図を示しており、図４（ｂ）は、小サイズのガラス基板１４０Ｂを治具４１０を介して水平固定棚１１１上に載置した場合の図を示している。
このように、水平固定棚１１１へは、異なるサイズのガラス基板を搭載することが可能である。
図４に示す水平固定棚１１１は、３種類の幅サイズに対応できるものであるが、サイズについては３種に限定されず、治具４１０の数を増やすことによりもっと多種サイズに対応することもできる。尚、４１０Ａは治具４１０を固定する固定部である。
【００１３】
次に、図５を用いて、製造工程のレイアウトとストッカーの動作を関連つけて簡単に説明する。
図５は、ストッカー１００の周辺に、ガラス基板移動用のコンベア５２０、５２１、５２２、５２３とこれとそれぞれ接続した各工程の処理部５１０、５１１、５１２、５１３とが配置されている場合を示してある。
図５の場合、処理部５１０で処理されたガラス基板１４０は、ベルトコンベア５２０を介して一旦ストッカー１００の棚段１１０Ａに収納される。
次いで、ガラス基板１４０はロボット１２０により棚段１１０Ａから、別の棚段１１０Ｂへと移動される。
次に、ガラス基板１４０は、ベルトコンベア５２１を介して処理部５１１へ送られ処理された後、次の処理部５１２へベルトコンベア５２４介して搬送された後、ベルトコンベア５２２を介してストッカー１００の棚段１１０Ｃに収納される。
この後、ガラス基板１４０はロボット１２０により棚段１１０Ｃから、別の棚段１１０Ｄへと移動され、次の処理部５１３へ、ベルトコンベア５２３介して送られる。
このように、本実施例のストッカー１００を用いることにより、製造における各工程ラインを連続的ないし直線的に接続する必要のないものとしており、結果として、限られた領域（スペース）における製造の工程ラインを柔軟的に配置することを可能としている。
【００１４】
【効果】
本発明は、上記のように、ガラス基板の取り出しを効率的に行え、ガラス基板の保管効率が良く、ストッカー内のクリーン度を良い状態で確保できるガラス基板用ストッカーの提供を可能としいる。同時に、ガラス基板製造における各工程ラインを連続的ないし直線的に接続する必要のない、限られた領域（スペース）における製造の工程ラインを柔軟的に配置できるガラス基板用ストッカーの提供を可能としいる。
特に、液晶表示装置用のカラーフィルターを形成した表示用パネルやプラズマディスプレイ用の表示パネル等へ用いられるガラス基板を作製する際には、良い状態で、ガラス基板を収納することができ、且つ、製造工程のレイアウトを柔軟にでき、多品種対応、量産対応の面でも有用である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のガラス基板用のストッカーの上面図
【図２】実施例のガラス基板用のストッカーの断面図
【図３】実施例のガラス基板用のストッカーの正面図
【図４】水平固定棚を説明するための図
【図５】処理部の配置とストッカー動作とを説明するための図
【図６】従来のガラス基板用ストッカーを説明するための図
【符号の説明】
１００                  ストッカー
１１０                  棚段
１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ    区画
１１１                  水平固定棚
１１３                  ガラス基板の流通口
１１４                  扉
１１４Ａ                排気孔
１１６、１１７          仕切り
１２０                  ロボット
１２１                  ハンド部
１２１Ａ                固定部
１２２                  ハンド駆動部
１２２Ａ                溝（レール）
１２３                  回転駆動部
１２４                  上下駆動部
１３０                  フィルター部
１３１                  プレフィルター
１３２                  ＨＥＰＡフィルター
１３３                  ファン
１４０                  ガラス基板
１４０Ａ、１４０Ｂ      ガラス基板
４１０                  治具
４１０Ａ                治具固定部
５１０、５１１、５１２、５１３          処理部
５２０、５２１、５２２、５２３、５２３  ベルトコンベア
１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ  棚段
６００                  ストッカー
６１０                  棚段
６１１                  水平固定棚
６２０                  移載装置（ロボット）
６２１                  ハンド部
６３０、６３１、６３２  処理部
６４０                  ガラス基板
６５０                  ベルトコンベア
【図１】
0003585611.tif 000002
【図２】
0003585611.tif 000003
【図３】
0003585611.tif 000004
【図４】
0003585611.tif 000005
【図５】
0003585611.tif 000006
【図６】
0003585611.tif 000007