(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの検査室に配置され、ウエハの異物を検出する異物検出部と、該検出された異物信号に対して、メモリに設定された異物分類用の処理プログラムにより処理して、検出された異物を分類するデータ処理部とを、それぞれ有する複数の異物検査装置と、管理室に配置され、異物の分布特性などの異物解析をするワークステーションとを、接続ケーブルで接続して構成されたローカル・エリア・ネットワークＬＡＮにおいて、
前記複数の異物検査装置は、前記ウエハの各処理工程に対応して設けられ、それぞれが異物解析のための分類に適した前記各処理工程に共通する同一の前記異物分類用の処理プログラムあるいは前記ウエハの各処理工程に応じて異なる前記異物分類用の処理プログラムとを有し、前記ワークステーションは、ある前記処理工程における異物の付着と離脱の時系列的な変化を解析するものであって、
前記管理室が前記クリーンルームの外に設けられ、該ＬＡＮに、該ワークステーションと前記各異物検査装置のメモリとをソフトウエア処理によりネットワークでリンクする手段を設定し、該ワークステーションは、該各異物検査装置の前記同一の異物分類用の処理プログラムと前記異なる異物分類用の処理プログラムを、それぞれ作成または修正してデバッグするものであり、該作成されまたはデバッグされた前記複数の異物検査装置についての前記同一の異物分類用の処理プログラムあるいは前記異なる異物分類用の処理プログラムの各処理プログラムと、前記各データ処理部に対する送信プログラム、および該各データ処理部のメモリの該処理プログラムに対するアドレスとを、該ワークステーションのハードディスク装置にそれぞれ格納し、該ワークステーションにより該送信プログラムを実行して、該作成されまたはデバッグされた処理プログラムを該データ処理部に対して送信し、それぞれのメモリのアドレスにローディングして前記処理プログラムを一元的に管理することを特徴とする、異物検査装置のプログラム一元管理方法。
【請求項２】
前記ワークステーションにより作成または修正され、各異物検査装置のメモリにローディングする処理プログラムが、同一の処理プログラムのときは、該同一の処理プログラムを、前記各データ処理部に同時に送信することを特徴とする、請求項１記載の異物検査装置のプログラム一元管理方法。
【請求項３】
クリーンルームの検査室に配置され、ウエハの異物を検出する異物検出部と、該検出された異物信号に対して、メモリに設定された異物分類用の処理プログラムにより処理して、検出された異物を分類するデータ処理部とを、それぞれ有する複数の異物検査装置と、前記クリーンルームの外に設けられる管理室に配置され前記処理プログラムが記憶された記憶装置と、前記管理室に配置され前記記憶装置に記憶された前記処理プログラムを前記記憶装置から読出して前記異物検査装置に送信する処理をするプロセッサと、このプロセッサと前記データ処理部とをソフトウエア処理によりネットワークでリンクする手段とを備え、
前記複数の異物検査装置は、前記ウエハの各処理工程に対応して設けられ、それぞれが異物解析のための分類に適した前記各処理工程に共通する同一の前記異物分類用の処理プログラムあるいは前記ウエハの各処理工程に応じて異なる前記異物分類用の処理プログラムとを有し、前記プロセッサは、ある前記処理工程における異物の付着と離脱の時系列的な変化を解析するものであって、前記同一の異物分類用の処理プログラムと前記異なる異物分類用の処理プログラムをそれぞれ作成または修正してデバッグするものであり、前記プロセッサの処理により作成または修正してデバッグされた前記複数の異物検査装置についての前記同一の異物分類用の処理プログラムあるいは前記異なる異物分類用の処理プログラムが前記管理室から送信されて前記異物検査装置の前記メモリの所定のアドレスにローディングされ、前記処理プログラムが一元的に管理されることを特徴とすることを特徴とする、異物検査装置のプログラム一元管理システム。
【請求項４】
前記プロセッサは、ワークステーションに設けられ、前記記憶装置に記憶された前記処理プログラムは、前記ワークステーションにおいて作成されあるいは修正されたものであって、異物を分類するためのデータを含む請求項３記載の異物検査装置のプログラム一元管理システム。
【請求項５】
前記複数の異物検査装置は、各処理工程に対応して設けられ、前記ワークステーションは、ＩＣチップの品質に対する異物の影響などを統計的に解析する処理をするものである請求項４記載の異物検査装置のプログラム一元管理システム。
【請求項６】
前記異物を分類するためのデータには、異物のサイズを検出のための輝度信号のレベルを区分するデータが含まれている請求項４記載の異物検査装置のプログラム一元管理システム。
【請求項７】
前記複数の各異物検査装置のメモリにローディングする前記処理プログラムが、同一の処理プログラムのときは、該同一の処理プログラムを、前記各データ処理部に同時に送信することを特徴とする、請求項４記載の異物検査装置のプログラム一元管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、異物検査装置のプログラム一元管理方法およびプログラム一元管理システムに関し、詳しくは、ローカル・エリア・ネットワーク（ＬＡＮ）構成された、複数の異物検査装置のプログラムを一元的に管理する管理方法およびネットワーク・ファイル・システムで管理室と結合された異物検査装置のプログラムを一元的に管理する一元管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体のＩＣチップは、素材のシリコンウエハの表面を、多段階の処理工程により処理して形成される。形成されたＩＣチップに異物が付着していると、その品質が低下または劣化するので、各ウエハは素材または各処理工程ごとに、異物検査装置により異物の有無が検査されている。なお、異物検査装置はクリーンルーム内に設置される。
図３は異物検査装置２の基本構成を示す。異物検査装置２は異物検出部２１とデータ処理部２２よりなり、以下その検査方法の概略を説明する。
被検査のウエハ１は、異物検出部２１のスピンドル２１１  に装着されてモータ（Ｍ）２１２  により回転し、また制御回路（ＣＯＮＴ）２１６  により制御された移動機構２１５  によりその半径方向に移動する。このウエハ１の表面に対して検出光学系２１４  よりレーザビームＬＴ  が投射されて走査され、表面に付着した異物はレーザビームＬＴ  を散乱し、散乱光ＬＲ  は検出光学系２１４  により検出される。検出信号はデータ処理部２２の信号処理回路２２１  に逐次に入力して、これに設定された適当な閾値によりノイズが除去されて異物信号が抽出され、ついでＡ／Ｄ変換器（Ａ／Ｄ）２２２  によりデジタル化されてマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）２２３に入力する。ＭＰＵ２２３  は、メモリ（ＭＥＭ）２２４に設定されている処理プログラムを実行して、異物信号のレベルの高低により、異物をサイズ別、例えば大（Ｌ），中（Ｍ），小（Ｓ）の３段階に分類して異物分類データが作成される。これに対して、モータ２１２  に付加された回転角度検出器２１３  によりウエハ１の回転角度が検出され、検出された回転角度信号と、移動機構２１５  よりえられる半径位置信号とがＭＰＵ２２３  につねに入力しており、これらにより異物の存在位置のＸＹ座標値が算出され、異物分類データとともにメモリ（ＭＥＭ）２２３  に一時記憶される。記憶された各異物分類データとそれぞれのＸＹ座標値は、当該ウエハ１の検査終了時点で一括して出力部２２４  に出力されて、プリントされ、またはマップ表示される。
【０００３】
最近においては、ＩＣチップの生産量の増加に伴ってウエハ１の検査数量が増大しており、これに対処するために複数の異物検査装置２を設け、ウエハ１は並列に検査されている。また、ウエハ１の各処理工程における異物の時系列変化などを解析するために、異物解析機能を有するワークステーションＥＷＳを設け、これに各異物検査装置２を接続して、いわゆるローカル・エリア・ネットワークＬＡＮが構成され、各異物検査装置２においては、解析に必要な異物分類データを作成してＥＷＳに転送している。
図４は、クリーンルーム内に配置された複数ｎの異物検査装置２−１，  ２−２，  〜２−ｎと、管理室に配置されたＥＷＳ３とにより構成され、現に実用されているＬＡＮ１０を示す。
ＥＷＳ３は、メインコンピユータ（Ｍ・ＣＰＵ）３１と、ハードディスク装置（ＨＤ）３２、ブラウン管デイスプレイ（ＣＲＴ）３３、プリンタ（ＰＲＮＴ）３４、およびインタフェース（ＩＮＴ）３５よりなり、各異物検査装置２のＭＰＵ２２３  は、接続ケーブル４により、ＩＮＴ３５を介してＭ・ＣＰＵ３１に接続される。
図５は、各異物検査装置２によりそれぞれ分類され、ＥＷＳ３に転送される転送データの一例を示す。転送データには、ロットデータとウエハデータおよび座標データがあり、ロットデータは、検査装置番号／ロット番号／ウエハ種別／処理工程番号、ウエハデータは、ウエハ番号／異物の総個数／サイズＬ，Ｍ，Ｓのそれぞれの個数、また座標データは、サイズ別のＸ，Ｙ座標値に、それぞれ分類される。これらは各異物検査装置２からＥＷＳ３に転送されてＨＤ３２に記憶され、Ｍ・ＣＰＵ３１により適時に読出して、各処理工程に対する異物の時系列データなど作成され、ＣＲＴ３３にマップ表示され、またはＰＲＮＴ３４にプリントされて、処理工程間における異物の付着と離脱の時系列的な変化、またはＩＣチップの品質に対する異物の影響などが統計的に解析されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
さて、上記のＬＡＮ１０においては、各異物検査装置２の処理プログラムの作成や修正と、そのデバッグおよびＭＥＭ２２４  に対するローディングなどのプログラム管理は、各装置ごとに行われている。しかし、クリーンルーム内で、このような各作業を行うことは、非能率であり、また塵埃管理上からも好ましくないなどの欠点がある。
この発明は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、具体的には、前記した各異物検査装置２の処理プログラムを、ＥＷＳ３により作成または修正してデバッグし、異物検査装置２に対して送信してそれぞれのＭＥＭ２２４  にローディングする、プログラムの一元管理方法を提供することを目的とする。
さらにこの発明の他の目的は、作成または修正した各異物検査装置の処理プログラムを送信してそれぞれのメモリにローディングする、ネットワーク・ファイル・システムで管理室と結合された異物検査装置のプログラムを一元的に管理する異物検査装置のプログラム一元管理システムを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明は、異物検査装置のプログラム一元管理方法であって、複数の異物検査装置がウエハの各処理工程に対応して設けられ、それぞれが異物解析のための分類に適した各処理工程に共通する同一の異物分類用の処理プログラムあるいはウエハの各処理工程に応じて異なる異物分類用の処理プログラムとを有していてワークステーションＥＷＳがある処理工程における異物の付着と離脱の時系列的な変化を解析するものであって、
前記のローカル・エリア・ネットワークＬＡＮに対して、ＥＷＳ（あるいはＭＰＵ，ＣＰＵ等のプロセッサ）と各異物検査装置のメモリとをソフトウエア処理によるネットワークリンク手段を設定する。ＥＷＳは、各異物検査装置の同一の異物分類用の処理プログラムと異なる異物分類用の処理プログラムをそれぞれ作成または修正してデバッグするものであり、作成されまたはデバッグされた複数の異物検査装置についての同一の異物分類用の処理プログラムあるいは異なる異物分類用の処理プログラムの各処理プログラムと、各データ処理部に対する送信プログラム、および各データ処理部のメモリの処理プログラムに対するアドレスとを、ＥＷＳのハードディスク装置にそれぞれ格納する。ＥＷＳにより送信プログラムを実行して、デバッグされた各処理プログラムを各データ処理部に対して順次に送信し、それぞれのメモリのアドレスにローディングするものである。
上記において、ＥＷＳにより作成または修正され、各異物検査装置のメモリにローディングする処理プログラムが、同一の処理プログラムのときは、この同一の処理プログラムを、各データ処理部に同時に送信する。
さらに、この発明の異物検査装置のプログラム一元管理システムの特徴は、  検査室に配置され、ウエハの異物を検出する異物検出部と、該検出された異物信号を、メモリに設定された処理プログラムにより処理するデータ処理部とを、それぞれ有する複数の異物検査装置と、管理室に配置され前記の処理プログラムが記憶された記憶装置と、管理室に配置され記憶装置に記憶された処理プログラムを記憶装置から読出して異物検査装置に送信する処理をするプロセッサと、このプロセッサとデータ処理部とをソフトウエア処理によりネットワークでリンクする手段とを備えていて、複数の異物検査装置がウエハの各処理工程に対応して設けられ、それぞれが異物解析のための分類に適した各処理工程に共通する同一の異物分類用の処理プログラムあるいはウエハの各処理工程に応じて異なる異物分類用の処理プログラムとを有し、プロセッサがある処理工程における異物の付着と離脱の時系列的な変化を解析するものであって、同一の異物分類用の処理プログラムと異なる異物分類用の処理プログラムをそれぞれ作成または修正してデバッグするものであり、複数の異物検査装置についての同一の異物分類用の処理プログラムあるいは異なる異物分類用の送信された処理プログラムが異物検査装置のメモリの所定のアドレスにローディングされるものである。
【０００６】
【作用】
上記のプログラム一元管理方法においては、ＮＦＳ（ネットワーク・ファイル・システム）により、ＥＷＳ（あるいはＭＰＵ，ＣＰＵ等のプロセッサ）と各異物検査装置のメモリとがソフトウエア的にリンクして、ＥＷＳよりの、各異物検査装置に対する処理プログラムの送信と、それぞれメモリに対するローディングとが可能となる。ＥＷＳにおいては、各異物検査装置の処理プログラムがそれぞれ作成または修正されてデバッグされ、これらの処理プログラムと、各データ処理部に対する送信プログラム、および各データ処理部のメモリの処理プログラムに対するアドレスとが、ＥＷＳのハードディスク装置にそれぞれ格納される。ＥＷＳによる送信プログラムの実行により、デバッグされた各処理プログラムは各データ処理部に対して順次に送信されて、各メモリのアドレスにそれぞれローディングされる。このように、各異物検査装置の処理プログラムがＥＷＳにより一元的に管理されるので、従来、各異物検査装置ごとになされたプログラム管理の非能率と、塵埃管理上の好ましくない欠点が解消される。また、ＥＷＳにより作成または修正され、各異物検査装置のメモリにローディングする各処理プログラムが、同一の処理プログラムのときは、この処理プログラムの作成または修正と、そのデバッグは１回で済み、これが各データ処理部に同時に送信されて、作業がさらに効率化される。
【０００７】
【実施例】
図１は、この発明を前記した図４のローカル・エリア・ネットワークＬＡＮ１０に適用した一実施例を示す。ＬＮＡ１０は、従来と同様に複数の異物検査装置２−１〜２−ｎとワークステーションＥＷＳ３よりなるが、この発明においては、ＬＡＮ１０（図ではＥＷＳ３のＭ・ＣＰＵ３１）に、前記したソフトウエア処理手段のネットワーク・ファイルシステム（ＮＦＳ）を設定して、ＥＷＳ３（ＥＷＳ３のＭ・ＣＰＵ３１）と各異物検査装置２のメモリ（ＭＥＭ）２２４  とをソフトウエア的にネットワークでリンクする。ＥＷＳ３のハードディスク装置（ＨＤ）３２に対して、送信プログラムと、各異物検査装置２のメモリ（ＭＥＭ）２２４  の処理プログラムに対するアドレスとを、予めローディングしておく。
各異物検査装置２の処理プログラムを、新に作成し、または従来のものを修正するときは、これらのプログラミングとデバックとをＥＷＳ３により行って、ＨＤ３２にローディングする。ローディングされた処理プログラムをＰＧ  で示す。
各異物検査装置２に対する処理プログラムＰＧ  の送信においては、Ｍ・ＣＰＵ３１により送信プログラムを実行すると、処理プログラムＰＧ  が読出されて各異物検査装置２に対して順次に送信され、それぞれのＭＥＭ２２４  にローディングされる。各異物検査装置２の処理プログラムＰＧ  が同一のときは、ＥＷＳ３から同時に送信して各ＭＥＭ２２４  に同時にローディングされる。
【０００８】
図２により、処理プログラムの修正の一例を説明する。
前記した図５の転送データにおいては、ウエハ１より検出された異物は、サイズが大中小（Ｌ，Ｍ，Ｓ）の３段階に分類されているが、異物解析には、このような大まかな分類方法では不十分であるので、されらに細かい段階に分類することが必要とされている。すなわち、図２に示すように、ロットデータは従来のままであるが、ウエハデータには、従来のウエハ番号と異物の総個数に、輝度信号（図３における異物信号）のレベルＬを複数ｎ（例えば１０２４）の段階Ｌ０  〜Ｌｎ  に区分し、各段階（Ｌ０  〜Ｌ１）……（Ｌｎ−１  〜Ｌｎ）の個数を付加する。また、座標データは各段階別に、ＸとＹの座標値を分類する。この分類に適するように、従来の分類用の処理プログラムは、ＥＷＳ３において修正されてデバッグされ、上記により、各異物検査装置２に対して同時に送信され、それぞれのＭＥＭ２２４  にローディングされる。
上記の例は、各異物検査装置２の処理プログラムがすべて同一の場合であるが、それぞれが異なる出力プログラムの場合には、これらは順次に送信される。
以上により、この発明のプログラムの一元管理方法によれば、処理プログラムの作成と修正、およびローディング作業は極めて容易となるわけである。
【０００９】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明のプログラム一元管理方法によれば、各異物検査装置の処理プログラムは、ＥＷＳ（あるいはプロセッサ）においてそれぞれ作成または修正されてデバッグされ、各データ処理部に対して順次に、または同時に送信されて、各メモリにそれぞれローディングされるもので、従来、各異物検査装置ごとになされたプログラム管理の非能率と、塵埃管理上の好ましくない欠点が解消され、複数の異物検査装置を有し、これら装置が管理室とソフトウエア処理手段で結合するシステムにおけるプログラム管理の効率の向上に寄与する効果には、大きいものがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明を適用したローカル・エリア・ネットワークＬＡＮの一実施例における構成図である。
【図２】図２は、この発明を適用する処理プログラムの修正の一例の説明図である。
【図３】図３は、異物検査装置の基本構成図である。
【図４】図４は、複数ｎ組の異物検査装置と、ワークステーションとにより構成されたＬＡＮの構成図である。
【図５】図５は、ＬＡＮにおける転送データの一例の説明図である。
【符号の説明】
１…ウエハ、
２…異物検査装置、２１…異物検出部、２１１  …スピンドル、２１２  …モータ（Ｍ）
２１３  …回転角度検出器、２１４  …検出光学系、２１５  …移動機構、
２１６  …制御回路（ＣＯＮＴ）、２２…データ処理部、２２１  …信号処理回路、
２２２  …Ａ／Ｄ変換器、２２３  …マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、
２２４  …メモリ（ＭＥＭ）、２２５  …出力部、
３…異物解析用のワークステーション（ＥＷＳ）、
３１…メイン・コンピユータ（Ｍ・ＣＰＵ）、３２…ハードディスク装置（ＨＤ）
３３…ブラウン管ディスプレイ（ＣＲＴ）、３４…プリンタ（ＰＲＮＴ）、
３５…インタフェース（ＩＮＴ）、
４…接続ケーブル、
１０…この発明の対象のローカル・エリア・ネットワークＬＡＮ、
ＮＦＳ…ネットワーク・ファイルシステム、Ｌ…輝度信号のレベル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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