【事件の表示】
　特願２００２−５８６０９４「ウェーハ処理ツール内のウェーハの移動をスケジューリングするシステムと方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１１月　７日国際公開、ＷＯ０２／８８８５９、平成１６年　８月２６日国内公表、特表２００４−５２６２６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本件出願は、平成１４年４月２６日（優先権主張、平成１３年４月２６日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、同１８年６月２３日付けで拒絶の理由が通知され、同年８月２５日に手続補正がなされ、同年９月２２日付けで拒絶の理由が通知され、同年１１月２４日に意見書が提出され、同１９年３月１３日付けで拒絶の理由が通知され、同年５月１５日に手続補正がなされ、同年６月１８日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同年７月２６日に本件審判の請求がなされ、当審において同２０年７月１７日付けで拒絶理由が通知され、同年９月１９日に手続補正がなされたものである。 
 　 
２．本願発明
　本願の請求項１ないし３９に係る発明は、平成２０年９月１９日に補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３９に記載された事項により特定されるとおりのものと認められる。
　請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、以下のとおりである。
　
「ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理するシステムであって、
　個々のウェーハを受け取るよう動作するロード・モジュールと、
　個々のウェーハを処理するよう動作する処理モジュールと、
　前記ロード・モジュールと前記処理モジュールとの間で個々のウェーハを移送するよう動作するウェーハ移送ユニットと、
　前記ウェーハ処理ツール内で個々のウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラであって、その際前記スケジューラが、前記処理モジュールと前記ウェーハ移送ユニットとによって行われる動作の継続時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成されるスケジューラとを備え、
　前記スケジューラが、
　前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、
　前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルと、
　前記供給サイクルと前記処理サイクルの継続時間と、を決定するよう
構成され、
　前記スケジューラはさらに、前記供給サイクルの継続時間または前記処理サイクルの継続時間を、どちらの継続時間がより長いかに基づいて制限時間として決定し、前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成され、
　前記スケジューラはさらに、
　前記供給サイクルの前記継続時間が前記制限時間として決定されるとき、前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえ、
前記処理サイクルの前記継続時間が前記制限時間として決定されるとき前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるように構成される、システム。」
　
３．刊行物記載の発明
　これに対し、本願優先日前に頒布された刊行物であって、当審で通知した拒絶理由に引用された特開平１０−２０７５２５号公報（以下「刊行物１」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．段落０００１
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、ガラス基板等といった処理対象物に対して所定の処理を施す処理モジュールを複数備えた処理装置に対して、複数の処理対象物を並行して処理させるためのスケジュールを作成して制御する処理制御装置に関する。」
　
イ．段落００１１
「【００１１】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成するために本発明の請求項１に係る処理制御装置は、処理対象物に対して所定の処理を施す処理モジュールを複数備えた処理装置に対して、複数の処理対象物を並行して処理させるためのスケジュールを作成して制御する処理制御装置において、処理対象物を搬送すべき処理モジュールを指定する情報を各処理対象物毎に保持する経路情報保持手段と、処理モジュールにおける所定の処理に要すると予定される時間の情報及び処理対象物の搬送処理に要すると予定される時間の情報を保持する処理予定時間保持手段と、経路情報保持手段と処理予定時間保持手段とが保持する情報に基づいて、各処理対象物毎に処理を完了させるためのスケジュールを各処理対象物毎に作成するスケジュール作成手段と、作成された各処理対象物毎のスケジュールに対して、各処理対象物のスケジュールを連続させたままで、異なる処理対象物の間で同一の処理モジュールにおける処理及び同一の経路における搬送処理の重複を回避して、前記処理対象物間のスケジュールを調整する調整手段と、調整手段により調整された全処理対象物のスケジュールに基づいて複数の処理対象物に対する処理を処理装置に実行させる処理制御手段と、を備えたことを特徴とする。」
　
ウ．段落００２０〜００３０
「【００２０】
【発明の実施の形態】本発明に係る処理制御装置を備えた装置の一例としてクラスタ型枚葉式半導体製造装置を図１を参照して説明する。この半導体製造装置は、基板（材料）に対して一連の処理を施す処理装置Ｐと、処理装置Ｐによる一連の処理を制御する処理制御装置Ｃとを備えている。そして、処理装置Ｐと処理制御装置Ｃとは、回線Ｌを介して接続され、前記両装置Ｐ、Ｃ間の制御等のデータは当該回線Ｌを介して伝送される。
【００２１】処理装置Ｐは、処理対象の材料を格納したカセットを保持する搬入モジュールＣＭ（ＩＮ）と、一連の処理が施された材料を格納したカセットを保持する搬出モジュールＣＭ（ＯＵＴ）と、材料に所定の処理を施す処理モジュールＰＭ１及びＰＭ２と、前記各モジュール間の材料の搬送処理を行う搬送ロボットＴＭと、搬入モジュールＣＭ（ＩＮ）及び搬出モジュールＣＭ（ＯＵＴ）を制御するカセットモジュールコントローラＣＭＣと、処理モジュールＰＭ１及びＰＭ２を制御する処理モジュールコントローラＰＭＣと、搬送ロボットＴＭを制御する搬送ロボットコントローラＴＭＣとを備えている。
【００２２】処理制御装置Ｃは、処理装置の状態等を表示するディスプレイＤＰと、材料に対する処理装置による一連の処理を制御するクラスタコントローラＣＣと、処理の制御に必要な情報を格納するメモリＭと、を備えている。
【００２３】したがって、上記した半導体製造装置では、クラスタコントローラＣＣがメモリＭの情報に基づいて、カセットモジュールコントローラＣＭＣ、処理モジュールコントローラＰＭＣ、搬送ロボットコントローラＴＭＣ、を制御することによって、各材料に対する一連の処理が施されている。
【００２４】ここで、第一実施例に係る処理制御装置の機能構成図を図２を参照して説明する。この処理制御装置は、材料を搬送すべき処理モジュールを指定する情報を保持する経路情報処理手段１と、処理モジュールによる所定の処理に要すると予定される時間の情報及び材料の搬送処理に要すると予定される時間の情報を保持する処理予定時間保持手段２と、経路情報保持手段１と処理予定時間保持手段２とが保持する情報に基づいて、各材料毎に処理を完了させるためのスケジュールを各材料毎に作成するスケジュール作成手段３と、作成された各材料毎のスケジュールに対して、各材料のスケジュールを連続させたままで、異なる材料の間で同一の処理モジュールにおける処理及び同一の経路における搬送処理の重複を回避して、前記材料間のスケジュールを調整する調整手段４と、調整手段４により調整された全材料のスケジュールに基づいて複数の材料に対する処理を処理装置に実行させる処理制御手段５と、を備えている。
【００２５】経路情報保持手段１は、各材料毎に、当該材料を搬送する処理モジュールと、当該モジュールで行う処理の種類との情報を保持している。なお、上記した情報は、例えば、オペレータによるキーボード等の入力手段（図示せず）による指示に基づいて設定される。例えば、図３に示すように、オペレータから材料１に対して処理モジュールＰＭ１で処理Ａを行い、次いで、処理モジュールＰＭ２で処理Ｂを行う指定があり、材料２に対して処理モジュールＰＭ１で処理Ａを行う指定があり、材料３に対して処理モジュールＰＭ１で処理Ａを行い、次いで、処理モジュールＰＭ２で処理Ｂを行う指定があった場合には、図４（ａ）に示すように、各材料毎に処理モジュール及び当該処理モジュールでの処理が設定されて保持される。
【００２６】処理予定時間保持手段２は、図４（ｂ）に示すように、処理モジュールＰＭ１又はＰＭ２において処理Ａに要すると予定される時間と、処理モジュールＰＭ１又はＰＭ２において処理Ｂに要すると予定される時間と、カセットモジュールＣＭ（ＩＮ）から処理モジュールＰＭ１又はＰＭ２へ材料を搬送する処理に要すると予定される時間と、処理モジュールＰＭ１又はＰＭ２からカセットモジュールＣＭ（ＯＵＴ）に材料を搬送する際に要すると予定される時間と、処理モジュールＰＭ１とＰＭ２との間で材料を搬送する処理に要すると予定される時間と、を保持している。
【００２７】・・・。
【００２８】スケジュール作成手段３は、経路情報処理手段１に保持されている各材料毎に、搬入カセットモジュールＣＭ（ＩＮ）から搬出カセットモジュールＣＭ（ＯＵＴ）へ搬送すべき処理モジュールを含めた一連の処理に対する処理の経路を作成する。次いで、各材料毎に、前記作成した経路における所定の処理及び搬送処理に要すると予定される時間を処理予定時間保持部２から取り出し、前記作成した経路における各所定の処理及び搬送処理を開始する時間として、処理開始時点からの時間を設定したスケジュールを作成する。
【００２９】例えば、経路情報処理手段１に図４（ａ）に示す情報が保持され、処理予定時間保持手段２に図４（ｂ）に示す情報が保持されている場合には、図４（ｃ）に示すように各材料毎のスケジュールが作成される。ここで、図４（ｃ）のスケジュールを視覚的に分かりやすくすると図４（ｄ）に示すようになる。
【００３０】材料１のスケジュールを例に取ると、経路情報処理手段１に保持されている処理モジュールＰＭ１で処理Ａを行い、処理モジュールＰＭ２で処理Ｂを行うといった情報に基づいて、搬入カセットモジュールＣＭ（ＩＮ）から処理モジュールＰＭ１への搬送処理、処理モジュールＰＭ１での処理Ａ、処理モジュールＰＭ１から処理モジュールＰＭ２への搬送処理、処理モジュールＰＭ２での処理Ｂ、処理モジュールＰＭ２から搬出カセットモジュールＣＭ（ＯＵＴ）への搬送処理、という一連の処理の経路が作成され、前記各処理に要すると予定される時間の情報が処理予定時間保持手段２から取り出され、各処理の予定時間が累積されて前記各処理の開始時間がスケジュールとして設定される。」
　
　上記記載を、図面を参照しつつ、技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理すると、上記刊行物１には、次の発明（以下「刊行物１発明」という。）が記載されているものと認められる。 
「半導体基板処理装置Ｐ内で半導体基板を処理する処理制御装置であって、
　個々の半導体基板を受け取るよう動作する搬入モジュールＣＭ（ＩＮ）・搬出モジュールＣＭ（ＯＵＴ）と、
　個々の半導体基板を処理するよう動作する処理モジュールＰＭ１、ＰＭ２と、
　前記搬入モジュールＣＭ（ＩＮ）・搬出モジュールＣＭ（ＯＵＴ）と前記処理モジュールとの間で個々の半導体基板を移送するよう動作する搬送ロボットＴＭと、
　前記半導体基板処理装置Ｐ内で個々の半導体基板を移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジュール作成手段３であって、その際前記スケジュール作成手段３が、前記処理モジュールと前記搬入モジュールＣＭ（ＩＮ）・搬出モジュールＣＭ（ＯＵＴ）とによって行われる動作の予定される時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成されるスケジュール作成手段３とを備えるシステム。」 
 　 
４．対比・判断 
　刊行物１発明の「半導体基板」、「処理装置Ｐ」、「処理制御装置」、「搬入モジュールＣＭ（ＩＮ）・搬出モジュールＣＭ（ＯＵＴ）」、「搬送ロボットＴＭ」、「予定される時間」は、それぞれ本願発明の「ウェーハ」、「処理ツール」、「システム」、「ロード・モジュール」、「ウェーハ移送ユニット」、「継続時間」に相当する。
　刊行物１発明の「スケジュール作成手段３」と、本願発明の「スケジューラ」とは、「スケジュール手段」である限りにおいて、一致する。
　
　そうすると、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致する。 
「ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理するシステムであって、
　個々のウェーハを受け取るよう動作するロード・モジュールと、
　個々のウェーハを処理するよう動作する処理モジュールと、
　前記ロード・モジュールと前記処理モジュールとの間で個々のウェーハを移送するよう動作するウェーハ移送ユニットと、
　前記ウェーハ処理ツール内で個々のウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジュール手段であって、その際前記スケジュール手段が、前記処理モジュールと前記ウェーハ移送ユニットとによって行われる動作の継続時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成されるスケジュール手段とを備えるシステム。」 
 　 
　そして、以下の点で相違する。
　スケジュール手段について、本願発明は、「前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルと、前記供給サイクルと前記処理サイクルの継続時間と、を決定するよう構成され」、さらに、「前記供給サイクルの継続時間または前記処理サイクルの継続時間を、どちらの継続時間がより長いかに基づいて制限時間として決定し、前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成され」、さらに、「前記供給サイクルの前記継続時間が前記制限時間として決定されるとき、前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえ、前記処理サイクルの前記継続時間が前記制限時間として決定されるとき前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるように構成される」が、刊行物１発明は、そのようなものでない点。
　
　相違点について、検討する。
　生産管理において、生産効率の向上は、当然の課題である。
　その手法として、一連の生産工程を、工程のまとまり等を考慮して個々の工程に分割し、各工程に要する時間（本願発明の「係属時間」に相当する。）をもとに、最も時間を要する工程に注目して生産スケジュールを作成することは、拒絶理由で引用した特開平９−６８５７号公報の段落０００５にみられるごとく周知である。
　刊行物１発明において、かかる周知技術を踏まえ、連続生産により効率化を図る場合は、搬入・搬出工程と処理工程があり、あるバッチから次のバッチへの処理時間間隔は、搬入・搬出工程、処理工程のうちの、長時間を要する方の工程に左右されること（本願発明の「制限時間として決定」に相当する。）が明らかである。
　すなわち、本願発明の「ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルと、前記供給サイクルと前記処理サイクルの継続時間と、を決定する」こと、及び「供給サイクルの継続時間または前記処理サイクルの継続時間を、どちらの継続時間がより長いかに基づいて制限時間として決定し、前記制限時間に基づいてスケジュールを生成する」ことは、連続生産により効率化を図る場合に適宜なしうる設計的事項にすぎない。
　このように、バッチ間の処理時間間隔が、長時間を要する方の工程に左右されることから、そうでない工程は、長時間を要する工程の処理時間内の適宜のタイミングで行えば十分である。
　よって、長時間を要する工程にそうでない工程をそろえること、すなわち、「供給サイクルの継続時間が制限時間として決定されるとき、処理サイクルを供給サイクルにそろえ、処理サイクルの継続時間が制限時間として決定されるとき供給サイクルを処理サイクルにそろえるように構成」することは、適宜なしうる設計的事項にすぎない。
　
　なお、このような技術思想は、生産管理における「ガントチャート」、特開平１１−１７６７１７号公報の図８、特開平８−２８７１４０号公報の図３、図５、図６、特開２０００−９９１１１号公報の図５、特開平１１−８３８号公報の図１３にもみられるごとく格別なものではない。
　
　また、かかる相違点により、格別の技術的意義が生じるとも認められない。
　
５．むすび 
　本願発明は、刊行物１発明、周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものであるから、結論のとおり審決する。