【事件の表示】
　特願２０００−５１１１８０「電子光学系の三次球面収差の補正時に一次、二次および三次光軸の像の変形を除去する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　３月１８日国際公開、ＷＯ９９／１３４９０、平成１３年　９月２５日国内公表、特表２００１−５１６１３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯  
　本願は、１９９８年８月２９日（パリ条約による優先権主張外国庁受理１９９７年９月８日、ドイツ国）を国際出願日とする特願２０００−５１１１８０号であって、平成１８年５月１０日付けで拒絶理由通知がされ、同年１１月２１日付けで手続補正がされ、これに対して、平成１９年３月２日付けで拒絶査定がされ、これに対して、同年７月１１日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同日付けで誤訳訂正とともに、手続補正がされたものである。 
　　  
第２．補正却下の決定  
　  
［結論］  
　  
　　平成１９年７月１１日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。  
　  
［理由］  
１．本件補正 
　本件補正は、明細書について補正を行うもので、そのうち特許請求の範囲についてする補正は、その請求項１ないし１３について、以下の補正を行うものである。なお、当審決を通じて、記号「†」は、複素共役を意味する。すなわち複素数αに対する複素共役は、記号「α†」で表現する。
　本件補正は、補正前（平成１８年１１月２１日付け手続補正によって補正。以下同じ。）に 
　 
「【請求項１】
　光軸についてのビーム通路のビーム角度を複素数として、ｎが軸方向の像の変形の位数を示すものとし、次数ｎ＋ｍの非軸像変形ｎ＋ｍがαｎに関して同一の作用を及ぼし、それによってαｎγｍまたはαＮ α†ｎ−ＮγＭ γ†ｍ−Ｍの形式を有するようにビーム角度を測定する段階と、前記像の変形の補償が達成されるまで、前記光軸について前記ビーム通路を変位あるいは傾斜することにより修正することとなし、前記γを複素数として像座標を示すものとするように修正する段階とから成る軸方向の像の変形をαｎまたはαＮα†ｎ−Ｎに比例することによる電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。
【請求項２】
　前記軸外の像の変形をγ†またはγに関して一次だけ高次、すなわちγ１またはγ†の線形とする請求項１に記載の電子光軸系の軸方向の像の変形を除去する方法。
【請求項３】
　α†３γとして定義される４個の対称を具備する軸外四次非点収差まで光軸を移動して、４個の対称によって三次軸非点収差を完全に補正する段階を更に具備する請求項２に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。
【請求項４】
　前記光軸について垂直に、ビーム通路をγ・α３またはγ†・α３のいずれかに限定された四次軸外星形収差まで移動し、２個の対称を備えるＳ３（α３）と定義される三次の星形収差を完全に補償する段階を、さらに具備する請求項２に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。
【請求項５】
　前記ビームの通路の移動または傾斜を中間映像の領域内において、光軸について、垂直に行うようにする請求項１に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。
【請求項６】
　等しい大きさの一対の四重極フィールドで一対の四重極フィールドによって一対の六重極を重ね合わせ、前記一対の六重極の六重極フィールドの符号からの結果と前記六重極フィールドに重ね合わされた前記一対の四重極フィールドとを相互に相反するものとすることからなる六重極を用いて球面収差を補正した電子光学系の二次軸方向のコマの収差を補正する方法。
【請求項７】
　前記六重極フィールドに光学的に並行に移動して前記四重極フィールドを形成する段階を更に具備して成る請求項６により六重極を用いて補正した球面収差で電子光学系の二次光軸のコマを補正する方法。
【請求項８】
　前記初期六重極フィールドに付加六重極フィールドを重ね合わせる段階を具備する初期六重極フィールドを形成する二個の六重極を使用して修正した三次球面収差によって、電子光学系の三個の対称を具備する二次光軸非点収差を補正する方法。
【請求項９】
　さらに前記２個の六重極が相互に仮想のねじりを発生する磁気円形レンズシステムを配置して前記付加六重極フィールドを形成する段階からなる請求項８による電子光学系の三回対称を具備する二次光軸非点収差を補正する方法。
【請求項１０】
　像平面における電子光学系の後部の一次、二次、および三次の変形係数の値を決定する段階と、
　四重極の集束と、その重ね合わせとによって修正される二重の対称の一次軸非点収差を更に補正する段階と、
　二個の六重極をそれと同一の大きさの一対の四重極によって重ね合わせて、六重極フィールドの符号と六重極フィールドとに重ね合わせた前記四重極フィールドの符号からの積とを相互に対向し、三回対称を以て非点収差を付加六重極フィールドを重ね合わせる段階から成る方法で補正する二次軸方向のコマ収差と二次軸非点収差とを補正する段階と、
　非軸変形を一次高くした四重極対称によって、三次非点収差を除去するのに、光軸を軸外四次非点収差が四倍の対称を以て軸非点収差が完全に補償されるまで変位する段階と、
　それによって生ずる一次および二次星形収差を完全に補償し、三次に全くあるいは極く僅かな影響すらも及ぼすことのない調節要素で前記星形収差を除去する段階とから成る軸外変形が一次高い手段により三次星形変形を除去する段階とかな成る六重極をもって電子光学系の三次球面収差の修正時に一次、二次及び三次軸収差を除去する方法。
【請求項１１】
　前記六重極フィールドの軸に平行する光軸を変位して前記四重極フィールドを発生させる段階をさらに具備する請求項１０による六重極により、電子光学系の三次球面収差の補正中に、第一次、第二次および第三次軸方向収差を除去する方法。
【請求項１２】
　二個の六重極を相互に仮想的にねじって、それにより六重極を発生させる段階を更に具備する請求項１０による六重極によって、電子光学系の第三次球面収差の補正時に、第一次、第二次および第三次軸方向収差を除去する方法。
【請求項１３】
　三次軸方向収差を除去するために、中間像の領域における光軸について、垂直方向にビーム経路を移動する段階を更に具備する請求項１０による六重極によって電子光学系の第三次球面収差の補正時に一次、二次及び三次軸方向収差を除去する方法。」 
　 
とあったものを、 
　 
「　　【請求項１】
　電子光学系の光軸上の、４回対称を備えた３次の軸上像収差（Ａ３）を除去する方法であって、
　４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、前記４回対称を備えた３次の軸上収差が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させて前記ビーム路を調整することを特徴とする電子光学系の光軸上の収差を除去する方法。
　　【請求項２】
　電子光学系の光軸上の、２回対称を備えた３次の軸上星形収差（Ｓ３）を除去する方法であって、
　４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトさせて前記ビーム路を調整することを特徴とする電子光学系の光軸上の像収差を除去する方法。
　　【請求項３】
　一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の２次の軸上コマ収差（Ｂ２）を除去する方法であって、
　前記一対の六極子フィールドに一対の四極子フィールドをそれぞれ重畳する、
　ただし、前記一対の四極子フィールドは、互いにフィールドの強さは等しいが、極性は反対である、
　ことを特徴とする電子光学系の２次の軸上コマ収差を除去する方法。
　　【請求項４】
　一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の２次の軸上非点収差（Ａ２）を除去する方法であって、
　前記一対の六極子フィールドのうちの一つの六極子フィールドに、一つの追加の六極子フィールドを重畳させる、
　ただし、前記一つの追加の六極子フィールドは、前記一対の六極子フィールド同士の関係で捻りを実現する、
　ことを特徴とする電子光学系の２次の軸上非点収差を除去する方法。
　　【請求項５】
　一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の一次、二次及び三次の軸上の像収差を除去する方法であって、
（ａ）電子光学系の後段の像平面における一次、二次、および三次の軸上の像収差係数の値を決定するステップと、
（ｂ）焦点を調整して焦点ぼけ（Ｃ１）を除去し、四極子フィールドを重畳させることによって２回対称を備えた１次の軸上非点収差（Ａ１）を除去するステップと、
（ｃ）前記一対の六極子フィールドにそれぞれ重畳するように一対の四極子フィールドを発生させて、２次の軸上のコマ収差（Ｂ２）を除去するステップと、
　ただし、前記一対の四極子フィールドは、互いに、フィールドの強さは等しいが、フィールドの極性は反対である、
（ｄ）前記一対の六極子フィールドのうちの一つの六極子フィールドに重畳する、追加の一つの六極子フィールドを発生させ、３回対称を備えた２次の軸上非点収差（Ａ２）を除去するステップと、
　ただし、前記追加の一つの六極子フィールドは、前記一対の六極子フィールド同士の関係で像の捻りを実現する、
（ｅ）４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、４回対称を備えた３次軸上収差（Ａ３）が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させるステップと、
（ｆ）４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差（Ｓ３）が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトするステップと、を有することを特徴とする、電子光学系の一次、二次及び三次の軸上の像収差を除去する方法。」と補正するものであるところ、その内容は、次の補正事項１乃至補正事項６のとおりである。
　
（１）補正事項１
　補正前の請求項１の「光軸についてのビーム通路のビーム角度を複素数として、ｎが軸方向の像の変形の位数を示すものとし、次数ｎ＋ｍの非軸像変形ｎ＋ｍがαｎに関して同一の作用を及ぼし、それによってαｎγｍまたはαＮα†ｎ−ＮγＭγ†ｍ−Ｍの形式を有するようにビーム角度を測定する段階と、前記像の変形の補償が達成されるまで、前記光軸について前記ビーム通路を変位あるいは傾斜することにより修正することとなし、前記γを複素数として像座標を示すものとするように修正する段階とから成る軸方向の像の変形をαｎまたはαＮα†ｎ−Ｎに比例することによる電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。」を、補正前の請求項３の「α†３γとして定義される４個の対称を具備する軸外四次非点収差まで光軸を移動して、４個の対称によって三次軸非点収差を完全に補正する段階を更に具備する請求項２に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。」という記載に基づいて、補正後の請求項１において「電子光学系の光軸上の、４回対称を備えた３次の軸上像収差（Ａ３）を除去する方法であって、４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、前記４回対称を備えた３次の軸上収差が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させて前記ビーム路を調整することを特徴とする電子光学系の光軸上の収差を除去する方法。」とする補正。
　
（２）補正事項２
　補正前の請求項１の「光軸についてのビーム通路のビーム角度を複素数として、ｎが軸方向の像の変形の位数を示すものとし、次数ｎ＋ｍの非軸像変形ｎ＋ｍがαｎに関して同一の作用を及ぼし、それによってαｎγｍまたはαＮα†ｎ−ＮγＭγ†ｍ−Ｍの形式を有するようにビーム角度を測定する段階と、前記像の変形の補償が達成されるまで、前記光軸について前記ビーム通路を変位あるいは傾斜することにより修正することとなし、前記γを複素数として像座標を示すものとするように修正する段階とから成る軸方向の像の変形をαｎまたはαＮα†ｎ−Ｎに比例することによる電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。」を、補正前の請求項４の「前記光軸について垂直に、ビーム通路をγ・α３またはγ†・α３のいずれかに限定された四次軸外星形収差まで移動し、２個の対称を備えるＳ３（α３）と定義される三次の星形収差を完全に補償する段階を、さらに具備する請求項２に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。」という記載に基づいて、補正後の請求項２において「電子光学系の光軸上の、２回対称を備えた３次の軸上星形収差（Ｓ３）を除去する方法であって、４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトさせて前記ビーム路を調整することを特徴とする電子光学系の光軸上の像収差を除去する方法。」とする補正。
　
（３）補正事項３
　補正前の請求項６の「等しい大きさの一対の四重極フィールドで一対の四重極フィールドによって一対の六重極を重ね合わせ、前記一対の六重極の六重極フィールドの符号からの結果と前記六重極フィールドに重ね合わされた前記一対の四重極フィールドとを相互に相反するものとすることからなる六重極を用いて球面収差を補正した電子光学系の二次軸方向のコマの収差を補正する方法。」という記載を、補正後の請求項３において「一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の２次の軸上コマ収差（Ｂ２）を除去する方法であって、前記一対の六極子フィールドに一対の四極子フィールドをそれぞれ重畳する、ただし、前記一対の四極子フィールドは、互いにフィールドの強さは等しいが、極性は反対である、ことを特徴とする電子光学系の２次の軸上コマ収差を除去する方法。」とする補正。
　
（４）補正事項４
　補正前の請求項８の「前記初期六重極フィールドに付加六重極フィールドを重ね合わせる段階を具備する初期六重極フィールドを形成する二個の六重極を使用して修正した三次球面収差によって、電子光学系の三個の対称を具備する二次光軸非点収差を補正する方法。」という記載を、補正後の請求項４において「一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の２次の軸上非点収差（Ａ２）を除去する方法であって、前記一対の六極子フィールドのうちの一つの六極子フィールドに、一つの追加の六極子フィールドを重畳させる、ただし、前記一つの追加の六極子フィールドは、前記一対の六極子フィールド同士の関係で捻りを実現する、ことを特徴とする電子光学系の２次の軸上非点収差を除去する方法。」とする補正。
　
（５）補正事項５
　補正前の請求項１０の「像平面における電子光学系の後部の一次、二次、および三次の変形係数の値を決定する段階と、四重極の集束と、その重ね合わせとによって修正される二重の対称の一次軸非点収差を更に補正する段階と、二個の六重極をそれと同一の大きさの一対の四重極によって重ね合わせて、六重極フィールドの符号と六重極フィールドとに重ね合わせた前記四重極フィールドの符号からの積とを相互に対向し、三回対称を以て非点収差を付加六重極フィールドを重ね合わせる段階から成る方法で補正する二次軸方向のコマ収差と二次軸非点収差とを補正する段階と、非軸変形を一次高くした四重極対称によって、三次非点収差を除去するのに、光軸を軸外四次非点収差が四倍の対称を以て軸非点収差が完全に補償されるまで変位する段階と、それによって生ずる一次および二次星形収差を完全に補償し、三次に全くあるいは極く僅かな影響すらも及ぼすことのない調節要素で前記星形収差を除去する段階とから成る軸外変形が一次高い手段により三次星形変形を除去する段階とかな成る六重極をもって電子光学系の三次球面収差の修正時に一次、二次及び三次軸収差を除去する方法。」という記載を、補正後の請求項５において「一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の一次、二次及び三次の軸上の像収差を除去する方法であって、（ａ）電子光学系の後段の像平面における一次、二次、および三次の軸上の像収差係数の値を決定するステップと、（ｂ）焦点を調整して焦点ぼけ（Ｃ１）を除去し、四極子フィールドを重畳させることによって２回対称を備えた１次の軸上非点収差（Ａ１）を除去するステップと、（ｃ）前記一対の六極子フィールドにそれぞれ重畳するように一対の四極子フィールドを発生させて、２次の軸上のコマ収差（Ｂ２）を除去するステップと、ただし、前記一対の四極子フィールドは、互いに、フィールドの強さは等しいが、フィールドの極性は反対である、（ｄ）前記一対の六極子フィールドのうちの一つの六極子フィールドに重畳する、追加の一つの六極子フィールドを発生させ、３回対称を備えた２次の軸上非点収差（Ａ２）を除去するステップと、ただし、前記追加の一つの六極子フィールドは、前記一対の六極子フィールド同士の関係で像の捻りを実現する、（ｅ）４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、４回対称を備えた３次軸上収差（Ａ３）が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させるステップと、（ｆ）４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差（Ｓ３）が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトするステップと、を有することを特徴とする、電子光学系の一次、二次及び三次の軸上の像収差を除去する方法。」とする補正。
　
（６）補正事項６
　補正前の請求項１，２，５，７，９および１１ないし１３を削除する。
　
２．補正の目的要件について
　上記各補正事項について、次に検討する。
　　  
（１）補正事項１について
　補正事項１は、補正前の請求項１における「αｎまたはαＮα†ｎ−Ｎに比例することによる電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法」を、補正前の請求項３の「α†３γとして定義される４個の対称を具備する軸外四次非点収差まで光軸を移動して、４個の対称によって三次軸非点収差を完全に補正する段階を更に具備する請求項２に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法。」という記載に基づいて、補正後の請求項１において「電子光学系の光軸上の、４回対称を備えた３次の軸上像収差（Ａ３）を除去する方法」に限定するものである。しかし、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、前記４回対称を備えた３次の軸上収差が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させて前記ビーム路を調整」という記載は、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」「ビーム路を調整する」とは、如何なる意味であるのか不明確であり、また、何に基づいて「３次の軸上収差が補償されるまで」ビーム路をシフトまたは傾斜させるのか不明確である。すなわち、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整する」という事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトまたは傾斜の方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」とは、「ビーム路を調整する」という事項に如何なる技術的限定を付すための記載であるかが明確でない。したがって、補正事項１は、平成１８年改正前特許法（以下、「特許法」という。）第１７条の２第４項第４号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項１は、補正前の請求項１に係る発明特定事項の「ビーム角度を測定する段階」を削除する補正を含んでおり、いわゆる限定的減縮に該当せず、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項１は、特許法１７条の２第４項各号に掲げる他のいずれの事項を目的とするものにも該当しない。
　
（２）補正事項２について
　補正事項２は、補正前の請求項１における「αｎまたはαＮα†ｎ−Ｎに比例することによる電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法」を、補正前の請求項４の「光軸について垂直に、ビーム通路をγ・α３またはγ†・α３のいずれかに限定された四次軸外星形収差まで移動し、２個の対称を備えるＳ３（α３）と定義される三次の星形収差を完全に補償する段階を、さらに具備する請求項２に記載の電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法」という記載に基づいて、補正後の請求項２において「電子光学系の光軸上の、４回対称を備えた３次の軸上像収差（Ａ３）を除去する方法」に限定するものである。しかし、「４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトさせて前記ビーム路を調整する」という記載は、「４次の軸外星形収差を用いて」「ビーム路を調整する」とは、如何なる意味であるのか不明確であり、また、何に基づいて「３次の軸上収差が補償されるまで」ビーム路をシフトさせるのか不明確である。すなわち、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整する」という事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトの方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、「軸外４次収差を用いて」とは、「ビーム路を調整する」という事項に如何なる技術的限定を付すための記載であるかが明確でない。したがって、補正事項２は、特許法第１７条の２第４項第４号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項１は、補正前の請求項１に係る発明特定事項の「ビーム角度を測定する段階」を削除する補正を含んでおり、いわゆる限定的減縮に該当せず、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項２は、特許法１７条の２第４項各号に掲げる他のいずれの事項を目的とするものにも該当しない。
　
（３）補正事項３について
　補正事項３の、補正後の請求項３における「一対の六極子フィールドに」「それぞれ重畳する」「一対の四極子フィールドは、互いにフィールドの強さは等しいが、極性は反対である」という事項は、補正前の請求項６における「等しい大きさの一対の四重極フィールドで一対の四重極フィールドによって一対の六重極を重ね合わせ、前記一対の六重極の六重極フィールドの符号からの結果と前記六重極フィールドに重ね合わされた前記一対の四重極フィールドとを相互に相反する」とした事項について、発明の詳細な説明の【００１２】の「そのために、補正系においては、１対の六極子が、同一の強度の四極子フィールドによって、それぞれ重ね合わされている。したがって、六極子フィールドの符号と、対応する四極子フィールドの符号とによる積とは、相互に、非対称的、すなわち、反対方向です。」という記載、及び【００２３】の「六極子フィールド１と２とは、ともに同一の符号であり、複数の四極子フィールドＱは異なる符号で，非対称であり、一次光軸に非点収差を招かないようにしてある。」という記載に基づいて、「四極子フィールド」が「互いにフィールドの強さは等しいが、極性は反対である」という限定を付すものであるから、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてなされたものであって、発明特定事項の限定的減縮に該当する。なお、原文におけるAntisymmetrieの訳語は「反対称」であって、「反対称」とは、絶対値に関しては対称で、正負に関しては逆であるいう意味であるのに対して、「非対称」とは対称性を有しないという意味であるので、【００２３】の「非対称」は誤訳であると認められる。また、補正事項３の、補正前の請求項６における「二次軸方向のコマの収差」を、補正後の請求項３において「電子光学系の２次の軸上コマ収差（Ｂ２）」とする補正は、特許法第１７条の２第４項第３号に掲げる誤記の訂正であると認められる。しかし、補正事項３において、補正前の請求項６における「球面収差を補正した電子光学系の二次軸方向のコマの収差を補正する方法」を、補正後の請求項３において「電子光学系の２次の軸上コマ収差を除去する方法」とする補正は、「電子光学系」についての「球面収差を補正した」という限定を削除するものであるから、いわゆる限定的減縮に該当せず、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項３は、特許法１７条の２第４項各号に掲げる他のいずれの事項を目的とするものにも該当しない。
　
（４）補正事項４について
　補正事項４の、補正前の請求項８における「二次光軸非点収差」を、補正後の請求項４において「２次の軸上非点収差（Ａ２）」とする補正は、特許法第１７条の２第４項第３号に掲げる誤記の訂正であると認められる。しかし、補正事項４の、補正前の請求項８における「・・・三次球面収差によって、・・・二次光軸非点収差を補正する方法」を、補正後の請求項４において「２次の軸上非点収差（Ａ２）を除去する方法」とする補正は、「二次光軸非点収差を補正する方法」について「三次球面収差によって」「補正する」という限定を削除するものであるから、いわゆる限定的減縮に該当せず、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものに該当しない。また、補正事項４の、補正後の請求項４における「一つの追加の六極子フィールド」について付された「一対の六極子フィールド同士の関係で捻りを実現する」という限定は、補正前の請求項９の「さらに前記２個の六重極が相互に仮想のねじりを発生する磁気円形レンズシステムを配置して前記付加六重極フィールドを形成する」という記載に基づいたものであると認められるが、「一対の六極子フィールド同士の関係で捻りを実現する」ための「追加の六極子フィールド」と「一対の六極子フィールド」との配置関係が不明確であるので、特許法第１７条の２第４項第４号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項４は、特許法１７条の２第４項各号に掲げる他のいずれの事項を目的とするものにも該当しない。
　
（５）補正事項５について
　補正事項５の、補正後の請求項５における「追加の一つの六極子フィールド」について付された「一対の六極子フィールド同士の関係で像の捻りを実現する」という限定は、上記（４）において検討したように、「一対の六極子フィールド同士の関係で捻りを実現する」ための「追加の六極子フィールド」と「一対の六極子フィールド」との配置関係が不明確である。また、補正後の請求項５における「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、４回対称を備えた３次軸上収差（Ａ３）が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させるステップ」という記載は、上記（１）において検討したように、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整する」という事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトまたは傾斜の方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」とは、「ビーム路を調整する」という事項に如何なる技術的限定を付すための記載であるかが明確でない。さらに、補正後の請求項５における「４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差（Ｓ３）が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトするステップ」という記載は、上記（２）において検討したように、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整する」という事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトまたは傾斜の方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、「軸外４次収差を用いて」とは、「ビーム路を調整する」という事項に如何なる技術的限定を付すための記載であるかが明確でない。したがって、補正事項５は、特許法第１７条の２第４項第４号に掲げる明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当しない。さらに、補正事項５は、特許法１７条の２第４項各号に掲げる他のいずれの事項を目的とするものにも該当しない。
 
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第４項の各号に掲げるいずれかの事項を目的とするものに該当しないので、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 
　  
３．独立特許要件について  
　仮に、上記補正が平成１８年改正前特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものであるとしても、補正後の請求項１ないし５に係る発明は、次に述べるように、特許法第３６条第４項及び第６項第２号に規定する要件を満たしておらず、独立して特許を受けることができないものである。 
　 
（ア）発明の明確性の要件について
（１）請求項１について
　請求項１の「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、前記４回対称を備えた３次の軸上収差が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させて前記ビーム路を調整」という記載は、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」「ビーム路を調整」するとは、如何なる意味であるのか不明確であり、また、何に基づいて「３次の軸上収差が補償されるまで」ビーム路をシフトまたは傾斜させるのか不明確である。すなわち、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整」するという事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトまたは傾斜の方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、ビーム路をどの方向にどれだけシフトまたは傾斜させるのかが明確でない。
　
（２）請求項２について
　請求項２の「４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトさせて前記ビーム路を調整」という記載は、「４次の軸外星形収差を用いて」「ビーム路を調整」するとは、如何なる意味であるのか不明確であり、また、何に基づいて「３次の軸上収差が補償されるまで」ビーム路をシフトさせるのか不明確である。すなわち、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整」するという事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトの方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、ビーム路をどの方向にどれだけシフトまたは傾斜させるのかが明確でない。
　
（３）請求項３について
　請求項３には「一対の六極子フィールドに一対の四極子フィールドをそれぞれ重畳する」という記載、および「一対の四極子フィールドは、互いにフィールドの強さは等しいが、極性は反対である」という記載があるが、「２次の軸上コマ収差（Ｂ２）を除去する」ために、六極子フィールドに対して四極子フィールドを如何なる強度および配向で重畳するのか、「一対の四極子フィールドは、互いにフィールドの強さは等しいが、極性は反対である」という限定のみでは不明確である。
　
（４）請求項４について
　請求項４の「一つの追加の六極子フィールドは、前記一対の六極子フィールド同士の関係で捻りを実現する」との記載で特定される「追加の六極子フィールド」と「一対の六極子フィールド」の各々の「六極子フィールド」の配置関係が不明確である。
　
（５）請求項５について
　請求項５には「電子光学系の後段の像平面における一次、二次、および三次の軸上の像収差係数の値を決定するステップ」という記載があるが、各収差係数はどのようにして決定されるのか不明確である。
　請求項５の「追加の一つの六極子フィールドは、前記一対の六極子フィールド同士の関係で像の捻りを実現する」との記載で特定される「追加の六極子フィールド」と「一対の六極子フィールド」の配置関係が不明確である。
　請求項５の「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて、４回対称を備えた３次軸上収差（Ａ３）が補償されるまで、前記光軸に対してビーム路をシフトまたは傾斜させるステップ」という記載は、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」「ビーム路を調整」するとは、如何なる意味であるのか不明確であり、また、何に基づいて「３次の軸上収差が補償されるまで」ビーム路をシフトまたは傾斜させるのか不明確である。すなわち、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整」するという事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４回対称を備えた軸外４次収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトまたは傾斜の方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、ビーム路をどの方向にどれだけシフトまたは傾斜させるのかが明確でない。
　請求項５の「４次の軸外星形収差を用いて、前記３次の軸上星形収差（Ｓ３）が補償されるまで、前記光軸に対して垂直にビーム路をシフトするステップ」とは、という記載は、「４次の軸外星形収差を用いて」「ビーム路を調整」するとは、如何なる意味であるのか不明確であり、また、何に基づいて「３次の軸上収差が補償されるまで」ビーム路をシフトさせるのか不明確である。すなわち、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定が付された「ビーム路を調整」するという事項は如何なる構成を有するのかが不明確であり、また、「４次の軸外星形収差を用いて」という限定は、ビーム路のシフトの方向および量について如何なる限定を付すものであるのか不明確であって、ビーム路をどの方向にどれだけシフトまたは傾斜させるのかが明確でない。
　
　よって、補正後の請求項１ないし５に係る発明は不明確であるから、補正後の請求項１ないし５に記載された事項により特定される発明は特許法第３６条第６項第２号の規定により、独立して特許を受けることができないものである。
　
（イ）実施可能要件について
（１）４回対称を備えた３次の軸上像収差の除去について
　請求項１に記載された４回対称を備えた３次の軸上像収差に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　　
（ａ）「【００１６】
　一次光軸の像の収差と二次光軸の像の収差とを補正してから、三次光軸の像の収差値、すなわち、４個の対称を備える光軸の非点収差Ａ３と２個の対称を備える星形の収差Ｓ３とを前述の方法で決めることができる。これら光軸の像の収差の補正は、この発明の当初に提起した一般理論に従うものである。すなわち、像の収差を補正するには、高次の光軸の同一の外の光軸の像の収差を利用して、保障し終わるまで、光軸を移動または傾斜することによって実行する。この発明において、像の収差が等しいと言うことは、同じ作用をするということ、すなわち、複素開口角αとその複素共役αとについて同一の関連性があるということである。したがって、像の座標γのパワーは、補正に用いた外の光軸の収差の次数と、補正をすべき光軸の収差の次数との差に一致する。
　　　【００１７】
　多くの応用に当たって、制御すること及び利用することのために、あるいは補正時に生ずる僅かな収差の補正中に、線形従属変数γを備える軸線外収差を用いる。軸の部分にしたがって、例えばαｎとなるので、関連する軸線外の部分は−おそらく線形で−αｎγである。三次光軸の星形収差で、変数はα３となり、軸線外および補正に利用する四次のγ線形星形収差はα３γである。４個の対称を備える三次光軸非点収差α†３を補正するために、四次軸線外光軸非点収差を用いる。
　　　【００１８】
　好ましくは、中間像の範囲内で、光軸の対応する移動によって、軸線外の収差が影響を受けるので、それに対応する調整を行い、すなわち、前述の意味での関連する軸線外の像の収差を利用して、相互補償を行う。
　　　【００１９】
　このようにして、４個の非対称を備える三次点収差と同様に、星形収差を除去することができる。」
　
（ｂ）「【００２５】
　図３は２個の円形レンズ３，４を備えていて、その間に中間像５を生ずるようにした２個の六極子を示す。中間像の面を変えることによって、高次の同一の軸外の像の変形を作り、補償に利用することができる。そのために、一般では線形γまたはγ†の次の高次の軸外変形を利用する。したがって、次数Ｓ３の軸上星形収差を補正するために４次の軸外星形収差α３γを用い、そして、４回対称の３次軸上非点収差の場合、４回対称の４次軸外非点収差を用いる。」
　
　しかし、上記摘記事項（ａ）において「複素開口角α」および「像の座標γ」とは如何なる物理量であるのか、その定義が明確でない。
　また、上記摘記事項（ａ）には、「像の収差を補正するには、高次の光軸の同一の外の光軸の像の収差を利用して、保障し終わるまで、光軸を移動または傾斜することによって実行する。」という記載、および、「中間像の範囲内で、光軸の対応する移動によって、軸線外の収差が影響を受けるので、それに対応する調整を行い、すなわち、前述の意味での関連する軸線外の像の収差を利用して、相互補償を行う」という記載があり、「相互補償」に関して、上記摘記事項（ｂ）には、「中間像の面を変えることによって、高次の同一の軸外の像の変形を作り、補償に利用することができる。」という記載があるが、「中間像の面」をどのように変えるのかについて何ら記載がないために、「光軸を移動または傾斜することによって」４回対称を備えた３次の軸上像収差の除去を行うことは、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
（２）２回対称を備えた３次の軸上星形収差の除去について
　請求項２に記載された２回対称を備えた３次の軸上星形収差に関して、発明の詳細な説明には、上記（１）（ａ）および（ｂ）において摘記したように、「一次光軸の像の収差と二次光軸の像の収差とを補正してから、三次光軸の像の収差値、すなわち、４個の対称を備える光軸の非点収差Ａ３と２個の対称を備える星形の収差Ｓ３とを前述の方法で決めることができる。」という記載、「したがって、次数Ｓ３の軸上星形収差を補正するために４次の軸外星形収差α３γを用い、そして、４回対称の３次軸上非点収差の場合、４回対称の４次軸外非点収差を用いる。」という記載、及び、「このようにして、４個の非対称を備える三次点収差と同様に、星形収差を除去することができる」という記載があるのみであって、２回対称を備えた３次の軸上星形収差の除去についてはどのように行うのか具体的に何ら開示がされていないために、発明の詳細な説明は、２回対称を備えた３次の軸上星形収差の除去について、当業者が十分実施が可能な程度に記載されていない。
　
（３）２次の軸上コマ収差の除去について
　請求項３に記載された２次の軸上コマ収差に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
（ａ）「【００１２】
　二次光軸のコマ収差Ｂ２：
このコマ収差の除去は、いわゆるコマ・スティグマター（ｃｏｍａ ｓｔｉｇｔｉｇｍａｔｏｒ）を用いて行う。そのために、補正系においては、１対の六極子が、同一の強度の四極子フィールドによって、それぞれ重ね合わされている。したがって、六極子フィールドの符号と、対応する四極子フィールドの符号とによる積とは、相互に、非対称的、すなわち、反対方向です。この状態は一次光軸の非点収差を招かない。これら四極子フィールドの強度と配向とは測定したコマ収差で決まる。
　　　【００１３】
　四極子フィールドを作成するには、いろいろな選択手段がある。これは補正系の六極子の中に別の四極子フィールドを形成させることで行うことができる。
　　　【００１４】
　複数の四極子フィールドを形成するには、更に六極子の光軸と平行に光軸を移動しても形成できる。」
　
（ｂ）「【００２３】
　図１において、光軸は点線で水平に引いて示してある。六極子１と２とは、円形レンズ３と４とによって構成される光学系の外方に配置してある。２次の軸上コマ収差Ｂ２を補正するために、文字Ｑで示すように、両六極子１と２の中に１つの四極子フィールドが重畳されており、それらは相互に逆方向である。六極子フィールドは六極子１と２との相互に作用するように重ね合わせてある。六極子フィールド１と２とは、ともに同一の符号であり、複数の四極子フィールドＱは異なる符号で，非対称であり、一次光軸に非点収差を招かないようにしてある。四極子フィールドを測定したコマ収差の数値強度および配向を調整して補償してある。四極子フィールドを直接発生させる他に、その光軸を六極子の軸と平行に移動して、移動した光軸とは別個に四極子フィールドをはっきりと発生させることもできる。」
　
　上記摘記事項（ａ）および（ｂ）において、「六極子フィールドの符号と、対応する四極子フィールドの符号とによる積とは、相互に、非対称的、すなわち、反対方向」であり、「六極子フィールド１と２とは、ともに同一の符号であり、複数の四極子フィールドＱは異なる符号で，非対称であり、一次光軸に非点収差を招かないようにしてある」ことが記載されている。また、四極子フィールドの調整に関しては、「四極子フィールドを測定したコマ収差の数値強度および配向を調整して補償してある」という記載があるが、原文における前記記載の対応する箇所はZur Kompensierung sind die Quadrupolfelder Staerke und Richtung dem Wert der gemessen Koma einzustellen.であって（なお、前記摘記箇所において、a-ウムラウトはaeと表記した。）、「補償のために四極子フィールドは測定したコマ収差の数値に強度および配向が調整してある」という意味である。しかし、四極子フィールドの強度および配向を測定したコマ収差の数値に基づいてどのように調整するのかについて何ら記載がないために、四極子フィールドを調整することによって２次の軸上コマ収差の除去を行うことは、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。また、上記摘記事項（ａ）には、「複数の四極子フィールドを形成するには、更に六極子の光軸と平行に光軸を移動しても形成できる」という記載があるが、「六極子」と重ね合わされ、かつ、「六極子の光軸と平行に光軸を移動して」形成された「四極子フィールド」とは如何なるものであるのか不明確であるために、「六極子」と重ね合わされ、かつ、「六極子の光軸と平行に光軸を移動して」形成された「四極子フィールド」を当業者が実施することが可能ではない。
　なお、上記記載における「非対称」は、上記「２．補正の目的要件について」の（３）において指摘したように「反対称」の誤訳であると認められる。
　
（４）３回対称を備えた２次の軸上非点収差の除去について
　請求項４に記載された３回対称を備えた２次の軸上非点収差に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
（ａ）「【００１５】
　３個の対称を備える二次光軸の非点収差Ａ２：
強度と方向とが決まっている収差係数で決まる１個の付加六極子フィールドにより、この３個の対称を備える二次光軸の非点収差を補正する。それには、その１個の六極子フィールドを形成させる。さらに、このフィールドの形成には、補正系の六極子を仮想的にねじって、３個の対称を備えるフィールドを作る。１つの磁気円形レンズを２個の六極子の間に配置するか、あるいは既設の六極子を利用して形成する。この方法は、サイズと配列とを自由に選択することができる六極子フィールドを生成するための１つの１２極レンズを使用するために必要な通路を省略できるという利点がある。」
　
（ｂ）「【００２４】
　図２は３個の対称を備える二次光軸の非点収差の補正を示す略図である。その補正を行うために、１個の六極子フィールドが補正されるべき収差値の強度と方向とに該当するように生成されている。２個の六極子１と２との間に、磁気円形レンズ系３，４が配置してある。これによって、写像されるべきビーム通路のラーモアねじりが行われ、相互に関連して２個の六極子１，２の仮装歪曲収差を生ずる。これはまた光度を調節することのできる六極子フィールドΨ３を発生させる。」
　
　上記摘記事項（ａ）および（ｂ）において、「強度と方向とが決まっている収差係数で決まる１個の付加六極子フィールドにより、この３個の対称を備える二次光軸の非点収差を補正する。それには、その１個の六極子フィールドを形成させる。さらに、このフィールドの形成には、補正系の六極子を仮想的にねじって、３個の対称を備えるフィールドを作る。」という記載があり、「２個の六極子１と２との間に、磁気円形レンズ系３，４が配置してある。これによって、写像されるべきビーム通路のラーモアねじりが行われ、相互に関連して２個の六極子１，２の仮装歪曲収差を生ずる。これはまた光度を調節することのできる六極子フィールドΨ３を発生させる。」という記載があるが、前記記載において、「補正系の六極子を仮想的にねじって、３個の対称を備えるフィールドを作る。」という記載があり、「２個の六極子１，２」の各々の「六極子フィールド」がねじって配置されているのか、「２個の六極子１，２」に対して「付加六極子フィールド」がねじって配置されているのか不明確である。また、「２個の六極子１，２」及び「付加六極子フィールド」をどのような強度および配向で配置するのかについて何ら記載がないために、「２個の六極子１，２」及び「付加六極子フィールド」をねじって配置することによって３回対称を備えた２次の軸上非点収差の除去を行うことは、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
（５）各収差係数の決定について
　請求項５に記載された各収差係数の決定に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
「【０００７】
　調整エラーを除去するための必須条件の第一のステップは、それぞれの収差係数の値を決定することである。従来の技術における周知の方法に対する決定的な相違点は、像の収差を通常多数のレンズから構成されている全光学系の後方で像の平面において測定することである。その結果、像の収差を全体、しかも相互に重畳させた状態でとらえるものである。それぞれの像の収差の係数の値を決定するために、光軸に対して傾斜したビーム路で、それぞれの像が記録される。その際、それぞれの像は照射軸の方位と傾斜角が相互に異なっている。ここにおいて、像の数が非常に多いので、方程式系を決定する。
　　　【０００８】
　回析により、あるいは数学的解法のフェリー変換によって、回析図形を作成するように数値を求める。回析図から、像の収差Ｃ１、Ａ１を周知の方法で求める。この発明はエフ・ツエムリン（Ｆ．Ｚｅｍｌｉｎ）外著「限外顕微鏡３（１９７８）４９」（Ｕｌｔｒａｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ３（１９７８）４９）を参考にしている。さらに４個の複合調整収差と実際の球面収差とをアイコナールによって導かれる方程式系によって決定することができる（ツエムリンａａｏ参照）。とくに、９つの方程式から成る前述の方程式系の５個の像の収差を得て解法する。このようにして、消去すべき収差係数をきめる。」
　
　上記摘記事項において、「フェリー変換」という記載があるが、原文の対応箇所の記載はFouriertransformationであって、「フーリエ変換」であるから、前記記載は誤訳である。また、上記摘記事項においては、回析あるいはフーリエ変換によって作成された回析図形から像の収差Ｃ１、Ａ１を求める旨の記載、および、求められる収差の係数が５個である旨の記載がある。しかし、発明の詳細な説明の記載を参照すると、「一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の一次、二次及び三次の軸上の像収差を除去する方法」においては、Ｃ１，Ａ１，Ａ２，Ｂ２，Ａ３，Ｓ３の少なくとも６個の収差の係数を求める必要があり、また、通常の電子光学系においては、収差としては、球面収差、コマ収差、非点収差の他に、像面湾曲収差、歪曲収差がある。したがって、発明の詳細な説明には、収差Ａ２，Ｂ２，Ａ３，Ｓ３、及び、像面湾曲収差、歪曲収差をどのようにして求めるのかについて十分な開示がなされておらず、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
（６）低次の収差への影響について
　請求項５に記載された低次の収差への影響に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
「【００２０】
　以上に述べた三次の像の収差の補正を行うと、原則として、低次の収差に影響を与える。
　　　【００２１】
　それにより、三次の像の収差の補正の終了時に結果として生じた二次および一次の収差を測定しなくてはならず、次いで（再度）前述した方法で補正しなくてはならない。適当な調整素子を利用して、三次の収差に影響を与えることなく、あるいは極く僅か影響するだけで、一次および二次の像を補正することができる。」
　
　上記摘記事項において、三次の像の収差の補正の終了時に結果として生じた二次および一次の収差を、再度、適当な調整素子を利用して、三次の収差に影響を与えることなく、一次および二次の像を補正する旨の記載があるが、三次の収差に影響を与えることなく、再度、一次および二次の像を補正することがどのようにして可能となるのか、発明の詳細な説明には十分な開示がなされておらず、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
　よって、補正後の請求項１ないし５に記載された事項により特定される発明は、発明の詳細な説明が、補正後の請求項１ないし５に係る発明を当業者が十分実施できる程度に記載されたものではないから、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしておらず、独立して特許を受けることができないものである。 
　  
４．本件補正についての結び  
　  
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第３項及び第４項の規定に適合しておらず、また、仮に特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮に該当しているとしても、請求項１ないし５に係る発明は特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項の規定により準用する同法第１２６条第５項の規定に違反する。 
　  
　したがって、本件補正は、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。  
　 
第３．原査定の理由
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１３に係る発明は、「第２［理由］１．」に示す本件補正前の請求項１ないし１３に記載された事項により特定されるものである。 
　
　一方、原査定の拒絶の理由の概要は、次のとおりである。
　
「この出願は、明細書及び図面の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項ならびに第６項第１号および第２号に規定する要件を満たしていない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
・請求項１−１０
　当該拒絶理由を通じて、記号「†」は、複素共役を意味する。すなわち複素数αに対する複素共役は、記号「α†」で表現する。
（１）αとγの定義について：
　以下の理由により、請求項１−５、１０に係る発明におけるαおよびγの定義が明確でない。
（ａ）請求項の記載において複素数αが定義されておらず、また、発明の詳細な説明を参酌しても、αの定義が明確でない。
（ｂ）請求項１の「γを像の座標の両部分の複素数とする」との記載について：
（ｃ）「両部分」とは、どの部分とどの部分であるのかが明確でない。
（ｄ）像の座標から複素数γをどのように定義するのかが明確でない。
　
（２）請求項１の「その量と偏角とを複素数αに組合わせて」との記載について：
（ａ）「その量」とは、どの量であるのかが明確でない。
（ｂ）「偏角」とは、どの角度であるのかが明確でない。
（ｃ）「組合わせる」とは、「その量」と「偏角」と「複素数α」との３者の間の如何なる演算を意味するのかが明確でない。
（ｄ）請求項１の「αｎについて同一の作用」とは、如何なる作用が同一であるのかが明確でない。
（３）請求項１の「αｎγｍまたはαＮα†ｎ−ＮγＭγｍ−Ｍの形状」とは、如何なる形状であるのかが明確でない。
（４）請求項１の「αｎまたはαＮαｎ−Ｎ」との記載は、不明りょうである。
　すなわちαＮαｎ−Ｎ＝αｎであるため、上記記載は、「αｎまたはαｎ」と同じ意味であって、「または」が何と何との選択であるのかが明りょうでない。
　
（５）サポート要件および実施可能要件について：
　発明の詳細な説明及び図面においては、三次光軸の星型変形α３を補正するために四次のγ線形星型変形α３γを用いた補正例、すなわちｎ＝３、ｍ＝１の場合の実施例しか記載がされておらず、一般的なｎおよびｍの値にまで当該補正方法が拡張できることは、自明でない。
　また、三次光軸の星型変形α３を補正するためのｍの値として、１以外に如何なる値をとり得るのか、ｎが３以外の場合の変形は、同様の理屈で補正できるのかが、当業者が容易にその発明を実施できる程度に明確に記載されていない。
　また、３以外のｎの値をとる変形について、どのような収差を利用すれば補正できるのかが明確に記載されていない。
　
（６）請求項２について：
　請求項２記載の発明は、「軸外変形を一次だけ高次とすること」であるのか、「軸外変形をγまたはγ†の線形とすること」であるのかが明確でない。
　すなわち、「一次だけ高次とする」とは、たとえばαｎをαｎ＋１となるように補正することであり、γまたはγ†の線形とすることとは異なるものである。
　
（７）請求項３の「（α†３γ）」、請求項４の「（γ−α３またはγ†．α３）」および「（α３）」について：
　請求項の記載に括弧書きを用いた場合、括弧内の事項は、発明を特定するための事項であるか否かが明確でないため、当該請求項に係る発明の構成が明確にならない。
　また、「（γ−α３またはγ†．α３）」との記載については、γとα３との差を作ることの技術的意義が不明確であり、演算「．」は如何なる演算子である
のかが定義されていない。
　なお、当該拒絶理由通知における他の理由を通知するにあたり、括弧内の記載はすべて無視して請求項に係る発明を認定した。
　
（８）請求項３について：
　どのようにして「４個の対象を備える軸外四次非点収差」を全て補償しうるのかが、発明の詳細な説明には、当業者が容易に実施できる程度に明確に記載されていない。
　
　請求項４について：
（９）何を「光軸について垂直に移動する」のかが明確でない。
（１０）当該請求項に係る発明は、三次軸非点収差全てを補正対象とするものであるのか、三次の星型変形Ｓ３のみを補正対象とするものであるのかが明確でない。
（１１）「四次軸外星型収差が三次軸非点収差を完全に補償する」との表現について、収差が収差を補償するとの表現は、日本語として不明りょうである。
　
　請求項５について：
（１２）「前記請求項の各項に記載の方法」との表現は、具体的にどの請求項を引用しているのかが明確でない。
（１３）「中間像の領域」とは、どの部分であるのかが明確でない。
　
　請求項６について：
（１４）「２個の六極子のそれぞれに同一強度の四極子フィールドを重ね合わせ」ることは、発明の詳細な説明には、記載も示唆もされていない。
　すなわち、発明の詳細な説明には、【００１２】段落に、「１対の六極子が同一の強度の六極子フィールドによって、それぞれ重ねあわされている」ことは記載されているが、六極子と同一の強度の四極子を重ね合わせることは、記載も示唆もされていない。
（１５）「六極子フィールドの符号による結果」とは、六極子フィールドの符号に関する如何なる試験の結果であるのかが明確でない。
（１６）「六極子に重ねられた四極子による結果」とは、四極子による如何なる試験の結果であるのかが明確でない。
（１７）「互いに反する」とは、四極子と六極子のフィールドの如何なる特性が互いに反するものであるのかが明確でない。
　すなわち、四極子と六極子とは、回転対称性やフィールドの方向が異なる全く異質なフィールドであり、両者の如何なる物性を比較すればよいのかが明確でない。
　
（１８）請求項７について：
　「四極子の光軸を六極子の光軸と平行に移動」とは、如何なる構成を意味しているのかが明確でない。
　すなわち請求項６の「重ね合わせて」との記載との間の整合性が明確でない。
　
　請求項８について：
（１９）付加六極子フィールドを何に重ね合わせるのかが明確でない。（２０）「六極子を用いて」の六極子は、「付加六極子フィールド」を指すのか、他の何らかの六極子を指すのかが明確でない。
（２１）「三個の対称を備える二次光軸非点収差」は、付加六極子フィールドによって補正するのか、六極子によって補正するのか、あるいはさらに別の補正部材を追加するのかが明確でない。
　
　請求項９について：
（２２）「仮装ねじり」とは、どのようなねじり方であるのかが明確でない。
（２３）請求項９の「隣接する六極子」、「六極子フィールド」および「２個の六極子」と、請求項８の「六極子」および「付加六極子フィールド」とのそれぞれの技術的関連性が明確でない。
　
　請求項１０について：
（２４）「周知の方法」とは、具体的に如何なる方法に限定する記載であるのかが明確でない。
（２５）「一次、二次および三次の光軸」とは、それぞれどの光軸であるのかが明確でない。
　すなわち、発明の詳細な説明には、一次光軸、二次光軸、三次光軸については、何ら説明がされていない。
（２６）「四極子フィールドを重ね合わせて」とは、四極子フィールドを何に重ね合わせるのかが明確でない。
（２７）「補正を行った後」とは、どの非点収差の補正を指しているのかが明確でない。
（２８）「ほとんど影響しない」とは、どの程度の影響を与えるものまでが含まれるのかが明確でない。
（２９）「特別の調整素子」とは、何がどのように特別であるのかが明確でないため、調整素子の具体的構成が明確でない。
（３０）「三次球面収差の補正中に」との記載があるが、三次球面収差は、どのステップで補正するのかが明確でない。
　
　なお、この出願は、出願内容が著しく不明確であるから、請求項１−１０に係る発明については、新規性、進歩性等の特許要件についての審査を行っていない。」
　
第４．当審の判断 
１．特許法第３６条第６項第１号について 
　
（１）請求項１には、「軸方向の像の変形の位数」ｎ、「非軸像変形」の次数ｎ＋ｍについては何ら限定が付されていないが、発明の詳細な説明及び図面においては、三次光軸の星型変形α３を補正するために四次のγ線形星型変形α３γを用いた補正例、すなわちｎ＝３、ｍ＝１の場合の実施例しか記載がされていない。したがって、それ以外の無数の値を包含するｎ、ｍが発明の詳細な説明に記載したものであるとはいえない。
　
（２）請求項１０には、「二個の六重極をそれと同一の大きさの一対の四重極によって重ね合わせ」るという記載があるが、発明の詳細な説明には、【００１２】において「１対の六極子が同一の強度の六極子フィールドによって、それぞれ重ね合わされている。」という記載があるのみであって、「二個の六重極をそれと同一の大きさの一対の四重極によって重ね合わせ」ることについては記載も示唆もされていない。
　
（３）請求項１０には「一次および二次星形収差」という記載があるが、発明の詳細な説明には、「一次および二次星形収差」については、何ら説明がされていない。
　
　したがって、請求項１ないし３、５、１０ないし１３に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではない。 
　 
　よって、本件出願の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第１号の規定を満たしていない。 
　 
２．特許法第３６条第６項第２号について 
　
（１）請求項１ないし４の記載において複素数αが定義されておらず、また、発明の詳細な説明を参酌しても、αについて【００１６】において「複素開口角α」という記載があるのみで、その定義が明確でない。
　
（２）請求項１ないし４の記載における複素数γの定義が不明確である。すなわち、請求項１には、「γを複素数として像座標を示すものとするように修正する」という記載があるのみであり、発明の詳細な説明を参酌しても、γについて【００１６】において「像の座標γ」という記載があるのみで、その定義が明確でない。
　
（３）請求項１には「αｎに関して同一の作用」という記載があるが、如何なる作用が同一であるのかが明確でない。
　
（４）請求項１には「αｎγｍまたはαＮα†ｎ−ＮγＭγ†ｍ−Ｍの形式を有するようにビーム角度を測定する」という記載があるが、如何なる意味か不明確である。
　
（５）請求項１には「軸方向の像の変形をαｎまたはαＮα†ｎ−Ｎに比例することによる電子光学系の軸方向の像の変形を除去する方法」という記載があるが、如何なる意味か不明確である。
　
（６）請求項２には「軸外の像の変形をγまたはγに関して一次だけ高次、すなわちγ１またはγの線形とする」という記載があるが、如何なる意味か不明確である。すなわち、「γ†またはγに関して一次だけ高次」とするとは、たとえばγｎをγｎ＋１となるようにすることであり、「γ１またはγ†の線形とする」こととは異なるものである。
　
（７）請求項３には「軸外四次非点収差まで光軸を移動」という記載があるが、光軸をどの方向にどれだけ移動させるのかが明確でない。すなわち、「軸外四次非点収差」という用語は、光軸の移動量及び移動方向を特定する表現ではない。
　
（８）請求項４には「ビーム通路を…四次軸外星形収差まで移動」という記載があるが、光軸をどの方向にどれだけ移動させるのかが明確でない。すなわち、「四次軸外星形収差」という用語は、光軸の移動量及び移動方向を特定する表現ではない。
　
（９）請求項６における「一対の六重極の六重極フィールドの符号からの結果と前記六重極フィールドに重ね合わされた前記一対の四重極フィールドとを相互に相反するものとする」という記載の意味が不明確である。すなわち、「六極子フィールドの符号による結果」とは、六極子フィールドの符号に関して如何なる処理を施した結果であるのかが明確でない。また、前記「六極子に重ねられた四極子による結果」と「四重極フィールド」とが「互いに反する」とは、如何なる意味であるのかが明確でない。
　
（１０）請求項７には、「六重極フィールドに光学的に並行に移動して前記四重極フィールドを形成する」という記載があるが、如何なる意味かかが明確でない。すなわち、請求項７が引用する請求項６には「六重極フィールド」と「四重極フィールド」とが「重ね合わされ」ることが記載されているが、「六重極フィールド」と「四重極フィールド」とが「重ね合わされ」ることと、「六重極フィールドに光学的に並行に移動して前記四重極フィールドを形成する」こととがどのようにして両立するのかが明確でない。
　
（１１）請求項８には、「初期六重極フィールドに付加六重極フィールドを重ね合わせる」という記載があるが、如何なる構成によって「付加六重極フィールドを重ね合わせる」のかが不明確である。
　
（１２）請求項９には、「仮想のねじり」という記載があるが、どのようなねじりであるのかが明確でない。
　
（１３）請求項１０には、「二個の六重極をそれと同一の大きさの一対の四重極によって重ね合わせて」という記載があるが、如何なる意味か不明確である。すなわち、六重極と四重極とは、対称性や配向方向が異なる多重極であり、両者の如何なる物理量を比較して「同一の大きさ」であるとしているのか不明確である。
　
（１４）請求項１０には、「六重極フィールドの符号と六重極フィールドとに重ね合わせた前記四重極フィールドの符号からの積とを相互に対向し」という記載があるが、如何なる意味か不明確である。
　
（１５）請求項１０には、「極く僅かな影響すらも及ぼすことのない」という記載があるが、どの程度の影響を与えるものまでが含まれるのかが明確でない。
　
（１６）請求項１０の「一次および二次星形収差」とはどのような収差であるのか不明確である。すなわち、発明の詳細な説明には、「一次および二次星形収差」については、何ら説明がされていない。
　
（１７）請求項１０には「前記星形収差」という記載があるが、如何なる「星形収差」であるのか不明確である。すなわち、当該記載よりも前には「一次および二次星形収差」という記載があるが、「一次および二次星形収差」とはどのような収差であるのか不明確である。また、同請求項には、「三次星形変形」という記載もあるが、前記「三次星形変形」という記載は、「前記星形収差」よりも後にある。
　
（１８）請求項１０には「電子光学系の三次球面収差の修正時に一次、二次及び三次軸収差を除去する方法」という記載があるが、三次球面収差は、如何なる段階で補正するのかが明確でない。すなわち、請求項１０には、各収差を除去する段階についての記載があるが、三次球面収差を除去する段階についての記載がない。
　
（１９）請求項１１には、「六重極フィールドの軸に平行する光軸を変位して前記四重極フィールドを発生させる」という記載があるが、如何なる意味かかが明確でない。すなわち、請求項１１が引用する請求項１０には「六重極」と「四重極」とを「重ね合わせ」ることが記載されているが、「六重極」と「四重極」とを「重ね合わせ」ることと、「六重極フィールドの軸に平行する光軸を変位して前記四重極フィールドを発生させる」こととがどのようにして両立するのかが明確でない。
　
（２０）請求項１１には、「電子光学系の三次球面収差の補正中に、第一次、第二次および第三次軸方向収差を除去する」との記載があるが、三次球面収差は、如何なる段階で補正するのかが明確でない。すなわち、請求項１１が引用する請求項１０には、各収差を除去する段階についての記載があるが、三次球面収差はどの段階と段階との間で補正するのかが明確でない。
　
（２１）請求項１１および１２には、「第一次、第二次および第三次軸方向収差」という記載があるが、それぞれ如何なる収差であるのかが明確でない。
　
（２２）請求項１２には、「二個の六重極を相互に仮想的にねじって」という記載があるが、どのようにねじるのかが明確でない。
　
（２３）請求項１２および１３には「電子光学系の三次球面収差の補正時に一次、二次及び三次軸収差を除去する方法」という記載があるが、三次球面収差は、如何なる段階で補正するのかが明確でない。すなわち、請求項１２および１３が引用する請求項１０には、各収差を除去する段階についての記載があるが、三次球面収差はどの段階と段階との間で補正するのかが明確でない。
　
（２４）請求項１３には、「三次軸方向収差を除去するために、中間像の領域における光軸について、垂直方向にビーム経路を移動する」という記載があるが、、光軸をどの方向にどれだけ移動させるのかが明確でない。
　
　したがって、請求項１ないし１３に係る発明は明確ではない。 
　 
　よって、本願の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号の規定を満たしていない。 
　 
３．特許法第３６条第４項について 
　
（１）４個の対称を備える三次軸非点収差の補正について
　請求項３に記載された４個の対称を備える三次軸非点収差に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　　
（ａ）「【００１６】
　一次光軸の像の変形と二次光軸の像の変形とを補正してから、三次光軸の像の変形値、すなわち、４個の対称を備える光軸の非点収差Ａ３と２個の対称を備える星形の収差Ｓ３とを前述の方法で決めることができる。これら光軸の像の収差の補正は、この発明の当初に提起した一般理論に従うものである。すなわち、像の収差を補正するには、高次の光軸の同一の外の光軸の像の収差を利用して、保障し終わるまで、光軸を移動または傾斜することによって実行する。この発明において、像の変形が等しいと言うことは、同じ作用をするということ、すなわち、複素開口角αとその複素共役αとについて同一の関連性があるということである。したがって、像の座標γのパワーは、補正に用いた外の光軸の収差の次数と、補正をすべき光軸の収差の次数との差に一致する。
　　　【００１７】
　多くの応用に当たって、制御すること及び利用することのために、あるいは補正時に生ずる僅かな収差の補正中に、線形従属変数γを備える軸線外収差を用いる。軸の部分にしたがって、例えばαｎとなるので、関連する軸線外の部分は−おそらく線形で−αｎγである。三次光軸の星形収差で、変数はα３となり、軸線外および補正に利用する四次のγ線形星形収差はα３γである。４個の対称を備える三次光軸非点収差α†３を補正するために、四次軸線外光軸非点収差を用いる。
　　　【００１８】
　好ましくは、中間像の範囲内で、光軸の対応する移動によって、軸線外の収差が影響を受けるので、それに対応する調整を行い、すなわち、前述の意味での関連する軸線外の像の収差を利用して、相互補償を行う。
　　　【００１９】
　このようにして、４個の非対称を備える三次点収差と同様に、星形収差を除去することができる。」
　
（ｂ）「【００２５】
　図３は２個の円形レンズ３，４を備えていて、その間に中間像５を生ずるようにした２個の六極子を示す。中間像の面を変えることによって、高次の同一の軸外の像の変形を作り、補償に利用することができる。そのために、一般では線形γまたはγ†の次の高次の軸外変形を利用する。それゆえ、Ｓ３次光軸の星形収差を補正するために、四次の軸外星形収差α３γと４個の対称を備える三次軸非点収差とで、４個の対称を備える四次の軸外非点収差を用いる。」
　
　しかし、上記摘記事項（ａ）において「複素開口角α」および「像の座標γ」とは如何なる物理量であるのか、その定義が明確でない。
　また、上記摘記事項（ａ）には、「像の収差を補正するには、高次の光軸の同一の外の光軸の像の収差を利用して、保障し終わるまで、光軸を移動または傾斜することによって実行する。」という記載、および、「中間像の範囲内で、光軸の対応する移動によって、軸線外の収差が影響を受けるので、それに対応する調整を行い、すなわち、前述の意味での関連する軸線外の像の収差を利用して、相互補償を行う」という記載があり、「相互補償」に関して、上記摘記事項（ｂ）には、「中間像の面を変えることによって、高次の同一の軸外の像の変形を作り、補償に利用することができる。」という記載があるが、「中間像の面」をどのように変えるのかについて何ら記載がないために、「光軸を移動または傾斜することによって」４個の対称を備える三次軸非点収差の補正を行うことは、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
（２）２個の対称を備える三次の星形変形の補正について
　請求項４に記載された２個の対称を備える三次の星形変形に関して、発明の詳細な説明には、上記（１）（ａ）および（ｂ）において摘記したように、「一次光軸の像の収差と二次光軸の像の収差とを補正してから、三次光軸の像の収差値、すなわち、４個の対称を備える光軸の非点収差Ａ３と２個の対称を備える星形の収差Ｓ３とを前述の方法で決めることができる。」という記載、「したがって、次数Ｓ３の軸上星形収差を補正するために４次の軸外星形収差α３γを用い、そして、４回対称の３次軸上非点収差の場合、４回対称の４次軸外非点収差を用いる。」という記載、及び、「このようにして、４個の非対称を備える三次点収差と同様に、星形収差を除去することができる」という記載があるのみであって、２個の対称を備える三次の星形変形の補正についてはどのように行うのか具体的に何ら開示がされていないために、発明の詳細な説明は、２個の対称を備える三次の星形変形の補正について、当業者が十分実施が可能な程度に記載されていない。
　
（３）二次光軸のコマ収差の補正について
　請求項６に記載された二次光軸のコマ収差に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
（ａ）「【００１２】
　二次光軸のコマ収差Ｂ２：
　このコマ収差の除去は、いわゆるコマ・スティグマター（ｃｏｍａ　ｓｔｉｇｔｉｇｍａｔｏｒ）を用いて行う。そのために、補正系においては、１対の六極子が同一の強度の六極子フィールドによって、それぞれ重ね合わされている。したがって、六極子フィールドの符号による位相と関連する四極子フィールドの符号による位相とは反対称的、すなわち、相互に対称が反する。この状態は一次光軸の非点収差を招かない。これら四極子フィールドの強度と配向とは測定したコマ収差で決まる。
　　　【００１３】
　四極子フィールドを作成するには、いろいろな選択手段がある。これは補正系の六極子の中に別の四極子フィールドを形成させることで行うことができる。
　　　【００１４】
　複数の四極子フィールドを形成するには、更に六極子の光軸と平行に光軸を移動しても形成できる。」
　
（ｂ）「【００２３】
　図１において、光軸は点線で水平に引いて示してある。六極子１と２とは、球面レンズ３と４とによって構成される光学系の外方に配置してある。文字Ｑで示す二次光軸のコマ収差を補正するために、四極子フィールドが六極子１と２とに重ね合わせてある。これらの六極子は相互に作用する。六極子フィールドは六極子１と２との相互に作用するように重ね合わせてある。六極子フィールド１と２とは、ともに同一の符号であり、複数の四極子フィールドＱは異なる符号で，非対称であり、一次光軸に非点収差を招かないようにしてある。四極子フィールドを測定したコマ収差の数値強度および配向を調整して補償してある。四極子フィールドを直ちに生成せずに、その光軸を六極子の軸と平行に移動して、移動した光軸とは別個に四極子フィールドをはっきりと発生させることもできる。」
　
　上記摘記事項（ａ）および（ｂ）において、「六極子フィールドの符号と、対応する四極子フィールドの符号とによる積とは、相互に、非対称的、すなわち、反対方向」であり、「六極子フィールド１と２とは、ともに同一の符号であり、複数の四極子フィールドＱは異なる符号で，非対称であり、一次光軸に非点収差を招かないようにしてある」ことが記載されている。また、四極子フィールドの調整に関しては、「四極子フィールドを測定したコマ収差の数値強度および配向を調整して補償してある」という記載があるが、原文における前記記載の対応する箇所はZur Kompensierung sind die Quadrupolfelder Staerke und Richtung dem Wert der gemessen Koma einzustellen.であるが、「補償のために四極子フィールドは測定したコマ収差の数値に強度および配向が調整してある」という意味である。しかし、四極子フィールドの強度および配向を測定したコマ収差の数値に基づいてどのように調整するのかについて何ら記載がないために、四極子フィールドを調整することによって二次光軸のコマ収差の補正を行うことは、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。また、上記摘記事項（ａ）には、「複数の四極子フィールドを形成するには、更に六極子の光軸と平行に光軸を移動しても形成できる」という記載があるが、「六極子」と重ね合わされ、かつ、「六極子の光軸と平行に光軸を移動して」形成された「四極子フィールド」とは如何なるものであるのか不明確であるために、「六極子」と重ね合わされ、かつ、「六極子の光軸と平行に光軸を移動して」形成された「四極子フィールド」を当業者が実施することが可能ではない。
　なお、上記記載における「非対称」は、上記「２．補正の目的要件について」の（３）において指摘したように「反対称」の誤訳であると認められる。
　
（４）二次光軸非点収差の補正について
　請求項８に記載された二次光軸非点収差に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
（ａ）「【００１５】
　３個の対称を備える二次光軸の非点収差Ａ２：
　強度と方向とが決まっている収差係数で決まる付加六極子フィールドにより、この３個の対称を備える二次光軸の非点収差を補正する。それには、その六極子フィールドを形成させる。さらに、このフィールドの形成には、補正系の六極子を仮想的にねじって、３個の対称を備えるフィールドを作る。磁気球面レンズを２個の六極子の間に配置するか、あるいは既設の六極子を利用して形成する。この方法は、サイズと配列とを自由に選択することができる六極子フィールドを生成するための二極レンズを使用するために必要な通路を省略できるという利点がある。」
　
（ｂ）「【００２４】
　図２は３個の対称を備える二次光軸の非点収差の補正を示す略図である。その補正を行うために、六極子フィールドが補正されるべき変形値の強度と方向とに該当するように生成されている。２個の六極子１と２との間に、磁気球面レンズ系３，４が配置してある。これによって、写像されるべきビーム通路のラーモアねじりが行われ、相互に関連して２個の六極子１，２の仮装歪曲収差を生ずる。これはまた光度を調節することのできる六極子フィールドψ３を発生させる。」
　
　上記摘記事項（ａ）および（ｂ）において、「強度と方向とが決まっている収差係数で決まる１個の付加六極子フィールドにより、この３個の対称を備える二次光軸の非点収差を補正する。それには、その１個の六極子フィールドを形成させる。さらに、このフィールドの形成には、補正系の六極子を仮想的にねじって、３個の対称を備えるフィールドを作る。」という記載があり、「２個の六極子１と２との間に、磁気円形レンズ系３，４が配置してある。これによって、写像されるべきビーム通路のラーモアねじりが行われ、相互に関連して２個の六極子１，２の仮装歪曲収差を生ずる。これはまた光度を調節することのできる六極子フィールドΨ３を発生させる。」という記載があるが、前記記載において、「補正系の六極子を仮想的にねじって、３個の対称を備えるフィールドを作る。」という記載があり、「２個の六極子１，２」の各々の「六極子フィールド」がねじって配置されているのか、「２個の六極子１，２」に対して「付加六極子フィールド」がねじって配置されているのか不明確である。また、「２個の六極子１，２」及び「付加六極子フィールド」をどのような強度および配向で配置するのかについて何ら記載がないために、「２個の六極子１，２」及び「付加六極子フィールド」をねじって配置することによって二次光軸非点収差の補正を行うことは、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
（５）各収差係数の決定について
　請求項１０に記載された各収差係数の決定に関して、発明の詳細な説明には、次の記載がある。
　
「【０００７】
　調整エラーを除去するための必須条件の第一のステップは、それぞれの収差計数の値を決定することである。像の変形を通常いろいろなレンズから構成されている光学系の後方で測定する従来の技術における周知の方法と比較して明らかに異なるところは、像の面において測定することである。したがって、像の変形を完全に、しかも相互に重ね合わせた状態でとらえるものである。それぞれの像の変形の係数の値を決定するために、それぞれの像が相互に光軸の傾斜角と方位角とが異なる場合には、像を光軸に対して傾斜させてビームで記録する。ここにおいて、像の数が非常に多いので、方程式系を決定する。
　　　【０００８】
　回析により、あるいは数学的解法のフェリー変換によって、回析図形を作成するように数値を求める。回析図から、像の収差Ｃ１、Ａ１を周知の方法で求める。この発明はエフ・ツエムリン（Ｆ．Ｚｅｍｌｉｎ）外著「限外顕微鏡３（１９７８）４９」（Ｕｌｔｒａｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ３（１９７８）４９）を参考にしている。さらに４個の複合調整収差と実際の球面収差とをアイコナールによって導かれる方程式系によって決定することができる（ツエムリンａａｏ参照）。とくに、９つの方程式から成る前述の方程式系の５個の像の収差を得て解法する。このようにして、消去すべき収差係数をきめる。」
　
　上記摘記事項において、「フェリー変換」という記載があるが、原文の対応箇所の記載はFouriertransformationであって、「フーリエ変換」であるから、前記記載は誤訳である。また、上記摘記事項においては、回析あるいはフーリエ変換によって作成された回析図形から像の収差Ｃ１、Ａ１を求める旨の記載、および、求められる収差の係数が５個である旨の記載がある。しかし、発明の詳細な説明の記載を参照すると、「一対の六極子フィールドを備えた電子光学系の一次、二次及び三次の軸上の像収差を除去する方法」においては、Ｃ１，Ａ１，Ａ２，Ｂ２，Ａ３，Ｓ３の少なくとも６個の収差の係数を求める必要があり、また、通常の電子光学系においては、収差としては、球面収差、コマ収差、非点収差の他に、像面湾曲収差、歪曲収差がある。したがって、発明の詳細な説明には、収差Ａ２，Ｂ２，Ａ３，Ｓ３、及び、像面湾曲収差、歪曲収差をどのようにして求めるのかについて十分な開示がなされておらず、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
（６）低次の収差への影響について
　上記「第２．補正却下の決定」の「３．独立特許要件について」において検討したように、請求項１０に記載された低次の収差への影響に関して、発明の詳細な説明には、三次の収差に影響を与えることなく、再度、一次および二次の像を補正することがどのようにして可能となるのかについて十分な開示がなされておらず、当業者に過度の試行錯誤を強いるものである。
　
　したがって、発明の詳細な説明が、請求項１ないし１３に係る発明を当業者が十分実施できる程度に記載されたものではない。
　
　よって、本願の明細書の記載は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。 
　
第５　結び 
　以上のとおり、本願は、特許法第３６条第４項および第６項第１号並びに第２号に規定する要件を満たしていないので、本願は拒絶されるべきである。 
　 
　よって、結論のとおり審決する。