(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
行方向に伸張する複数の両側面電極を少なくとも具備した前面基板と、列方向に伸張する複数のデータ電極を少なくとも具備した後面基板とが放電空間を形成して、所望の色を可視発光する蛍光体層を具備した単位発光画素を区画する隔壁を挟んで対面配置され、前記放電空間内に紫外光発生用の気体が導入されてなる交流面放電型のプラズマディスプレイパネルであって、
前記両側面電極は、前記行方向に伸長するバス電極と、単位発光画素毎に独立して設けられた複数の面電極と、前記バス電極と前記各面電極とを電気的に接続するための各１本の列方向細線電極とからなり、前記各面電極は行方向に伸びる２本又はそれ以上の細線電極と列方向に延びる２本又はそれ以上の細線電極とを含む空間的に分割された放電部からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
行方向に伸長する複数対のスキャン電極とコモン電極とを具備した前面基板と、列方向に伸長する複数のデータ電極を具備した後面基板とが放電空間を形成して、所望の色を可視発光する蛍光体層を具備した単位発光画素を区画する隔壁を挟んで対面配置され、前記放電空間内に紫外光発生用の気体が導入されてなる交流面放電型のプラズマディスプレイパネルであって、
前記スキャン電極と前記コモン電極は、前記行方向に伸長するバス電極と、単位発光画素毎に独立して設けられた複数の面電極と、前記バス電極と前記各面電極とを電気的に接続するための各１本の列方向細線電極とからなり、前記面電極は行方向に伸びる３本又はそれ以上の細線電極と列方向に延びる１本又はそれ以上の細線電極とを含む空間的に分割された放電部からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記蛍光体層は、赤色、緑色、青色をそれぞれ可視発光する複数の種類からなることを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記複数の種類の蛍光体層の内少なくとも一つの蛍光体層を有する放電セルの面電極が、他の蛍光体層を有する放電セルの面電極と異なる形状を有していることを特徴とする請求項３記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記各面電極は、行方向に伸びる最外側の一対の細線電極と列方向に延びる最外側の一対の細線電極とが、四辺をなして矩形を形成していることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記面電極を構成する行方向に伸びる３本又はそれ以上の前記細線電極の列方向間隔は、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって同じであることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記面電極を構成する行方向に伸びる３本又はそれ以上の前記細線電極の列方向間隔は、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって増加することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記面電極を構成する行方向に伸びる３本又はそれ以上の前記細線電極の列方向間隔は、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって減少することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記面電極を構成する前記列方向に伸びる細線電極の数は３本以上であって、かつ、これらの細線電極の行方向間隔は、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって同じであることを特徴とする請求項１、３、４又は５記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記面電極を構成する前記列方向に伸びる細線電極の数は３本以上であって、かつ、これらの細線電極の行方向間隔は、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって増加することを特徴とする請求項１、３、４又は５記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
前記面電極を構成する前記列方向に伸びる細線電極の数は３本以上であって、かつ、これらの細線電極の行方向間隔は、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって減少することを特徴とする請求項１、３、４又は５記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記面電極を構成する前記行方向に伸びる細線電極の数及び前記列方向に伸びる細線電極の数は、それぞれ３本以上であって、かつ、これらの細線電極の列方向間隔及び行方向間隔は、それぞれ、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって同じであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記面電極を構成する前記行方向に伸びる細線電極の数及び前記列方向に伸びる細線電極の数は、それぞれ３本以上であって、かつ、これらの細線電極の列方向間隔及び行方向間隔は、それぞれ、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって増加することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記面電極を構成する前記行方向に伸びる細線電極の数及び前記列方向に伸びる細線電極の数は、それぞれ３本以上であって、かつ、これらの細線電極の列方向間隔及び行方向間隔は、それぞれ、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって減少することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記面電極は、行方向に伸びた複数の細線電極が放電ギャップ部から遠ざかるにつれて所定間隔で広くなるように配置される一方、前記細線電極の長さが前記放電ギャップ部から遠ざかるにつれて所定差で短くなるように配置されていることを特徴とする請求項２、３又は４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
前記面電極を構成する前記行方向に伸びる３本以上の細線電極は間隔が放電ギャップ部から遠ざかるにつれて広くなるようにかつ長さが放電ギャップ部から遠ざかるにつれて短くなるように配置されるとともに相互に１本の列方向に伸びる細線電極によって接続されていることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記行方向に伸長するバス電極が上下に隣接する放電セル間に配置され、該バス電極から前記面電極が上下の放電セルに伸延していることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記バス電極は金属材料からなり、前記面電極は透明導電材料からなることを特徴とする請求項１乃至１７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
前記バス電極は金属材料からなり、前記面電極は前記バス電極と同じ金属材料もしくは異なる金属材料からなることを特徴とする請求項１乃至１７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２０】
前記面金属材料からなる電極の厚さは、５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１９に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２１】
前記スキャン電極、前記コモン電極及び前記データ電極は、ＡｕあるいはＡｕを含む合金、ＡｇあるいはＡｇを含む合金、ＣｕあるいはＣｕを含む合金、ＡｌあるいはＡｌを含む合金、ＣｒあるいはＣｒを含む合金、ＮｉあるいはＮｉを含む合金、ＴｉあるいはＴｉを含む合金、ＴａあるいはＴａを含む合金、ＨｆあるいはＨｆを含む合金、ＭｏあるいはＭｏを含む合金、又はＷあるいはＷを含む合金のいずれか一種あるいは二種以上からなる単層もしくは多層構造を少なくとも一部に有することを特徴とする請求項１乃至２０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プラズマディスプレイパネルに係り、詳しくは、交流面放電型のプラズマディスプレイパネルの面電極構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電場により加速した電子を放電気体に衝突させてそれを励起し、緩和過程を経て放射された紫外光を蛍光体により可視光変換して画像表示を行うプラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ；以下ＰＤＰ）は、大画面・大容量表示の可能な薄型平面画像表示装置として知られている。特に交流（Ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ  Ｃｕｒｒｅｎｔ；以下ＡＣ）放電型のＰＤＰは、発光輝度、発光効率、動作寿命の点で直流（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｃｕｒｒｅｎｔ；以下ＤＣ）放電型のＰＤＰよりも優れている。
【０００３】
従来のこの種のＰＤＰの一例として、例えば特開平１１−１４９８７３号公報に開示されているような構成のものが知られている。図１６及び図１７は、共に同公報に示されている同ＰＤＰの単位セル（単色発光セル）分を示す平面図で、それぞれ同公報の図７及び図８の構造に対応している。以下、図１６及び図１７を用いて従来技術の構成を説明する。
後面基板５１上には、金属から成るデータ電極５２が所定間隔を経て列方向に複数形成されており、その上には、白色誘電体層５３が形成されている。データ電極５２間隙の白色誘電体層５３上には、帯状の隔壁５４が所定間隔を経て列方向に複数形成されており、その側面を含む白色誘電体層５３上には、赤色（ｒ）、緑色（ｇ）、青色（ｂ）をそれぞれ可視発光する各蛍光体層５５ｒ，５５ｇ，５５ｂから成る蛍光体層５５が列方向に繰り返し形成されている。
【０００４】
一方、前面基板５６下には、透明導電材料から成る帯形状面電極５７ａが対を成し所定間隔を経て行方向に複数形成されており、その下には、金属から成るバス電極５８が対を成し所定間隔を経て行方向に複数形成されている。帯形状面電極５７ａとバス電極５８下には、透明誘電体層６１が形成されており、その下には、保護層６２が形成されている。そして、帯形状面電極５７ａとバス電極５８とでスキャン電極５９及びコモン電極６０の維持電極対が構成されている。
上記の後面基板５１と前面基板５６とは、互いの構造物を内側にして張り合わされており、基板周縁部に設けたシール部によって気密封止されている。そして、その内部には、気体原子や気体分子から成る紫外光発生用の放電気体が所定圧力で封入されている。
【０００５】
次に従来技術の動作方法を説明する。１ライン毎に独立して信号電圧パルスが印加されているデータ電極５２と線順次走査で書込電圧パルスが印加されているスキャン電極５９との間で対向放電による書込放電を起こし、壁電荷やプライミング粒子（電子やイオン）を生成してセルの選択操作を行う。選択されたセルは、書込電圧パルスに引き続き維持電圧パルスが印加されているスキャン電極５９とコモン電極６０との間で面放電による維持放電を起こし、蛍光体層５５を可視発光させてセルの表示操作を行う。
【０００６】
ここで、図１６及び図１７に示す従来構造では、帯形状面電極５７ａが複数のセルにまたがって広範囲に形成されているため、維持電極面積に比例して流れる維持電流（維持放電に付随して流れる電流）が大きく、消費電力が大きいという課題があった。消費電力が大きいと、駆動回路への負担が増すばかりでなく、パネルの発熱量もまた増加してしまうため、信頼性面においても問題があった。
また、図１６及び図１７に示す従来構造では、縦・横方向に隣接するセルへと維持放電によるプラズマが広がりやすく、隣接セル間の放電干渉による誤点灯や誤消灯が起こりやすいという課題があった。
【０００７】
一般に選択セルをパネル全面に均一性よく発光表示させるためには、書込電圧（データ電極５２−スキャン電極５９間で書込放電を起こすことのできる電位差）や、維持電圧（スキャン電極５９−コモン電極６０間で維持放電を起こすことのできる電位差）を高くして強い放電を発生させ、より多くの壁電荷やプライミング粒子を生成して書込動作から維持動作への遷移性を改善する対策がとられる。しかしながら、隣接セル間で放電干渉が起こりやすいと、書込電圧や維持電圧を高くすることができなくなってしまう。なぜならば、書込電圧や維持電圧を高くして強い放電を発生させると、選択セルに隣接する非選択セルでも点灯放電や消灯放電が発生して非選択セルの誤点灯や誤消灯が発生してしまうからである。これは、ＰＤＰの表示画質を著しく劣化させてしまう結果となる。
一方、隣接セル間の放電干渉を抑制するために、書込電圧や維持電圧を低くしてしまうと、書込動作から維持動作への遷移性が損なわれ、正常な発光表示を行わせることができなくなり、やはり、ＰＤＰの表示画質を劣化させる結果となってしまう。つまり、図１６及び図１７に示す従来構造では、動作マージンを広げて表示画質を向上させることが困難であった。
【０００８】
上述の課題を解決するため、例えば特開平８−２２７７２号公報に開示されているような構成のＰＤＰが提供されている。図１８及び図１９は、共に同公報に示されている同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図で、それぞれ同公報の図７（ｂ）及び図７（ａ）の構造に対応している。
図１８に示す従来構造では、単位セル毎に配置された長方形状の透明電極によって面電極５７ｂが構成され、それら長方形状面電極５７ｂが非放電ギャップ６４側に設けられたバス電極５８によって行方向に連結されて維持電極対（スキャン電極５９とコモン電極６０）が構成されている。一方、図１９に示す従来構造では、単位セル毎に配置されたＴ字形状の透明電極によって面電極５７ｃが構成され、それらＴ字形状面電極５７ｃが非放電ギャップ６４側に設けられたバス電極５８によって行方向に連結されて維持電極対（スキャン電極５９とコモン電極６０）が構成されている。なお、バス電極５８に関しては、特開平８−２２７７２号公報の図７（ｂ）及び図７（ａ）には記載がないが、一般的なＰＤＰの構造からバス電極５８があるものとして説明した。
【０００９】
図１８及び図１９の従来構造では共に、面電極５７ｂ，５７ｃを単位セル毎に独立して設けることで図１７に示す従来構造よりも維持電極面積を減少させて維持電流を低減している。また、列方向の面電極長（放電ギャップ６３を形成する）と行方向の面電極長とを最適化することで発光効率を最大としながら放電開始電圧を減少させて消費電力を低減している。特に図１９に示す従来構造では、図１７に示す従来構造よりも大幅に消費電力が低減できるため、単位セル毎の発熱量も減少できるとしている。これらのことに関しては、特開平８−２２７７２号公報の段落番号［００１９］、［００２５］及び［００２６］の内容にそれぞれ記載されている。
【００１０】
また、前述のような課題を解決するため、例えば特開平８−２５００３０号公報に開示されているような構成のＰＤＰが提供されている。図２０及び図２１は、共に同公報に示されている同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図で、それぞれ同公報の図２及び図４の構造に対応している。
図２０に示す従来構造では、維持電極対となる維持電極（サスティン電極）７２Ａの透明電極（透明導電膜）７２に、セル毎に互いに対向して突出する突出部７２ａが設けられていると共に、バス電極（金属膜）７３が透明電極７２の内側辺部７２ｂを越える状態で設けられていることにより、透明電極７２の突出部７２ａが部分的に覆われ、突出部７２ａの基部７２ｃとバス電極７３との間にセル毎に独立した界面抵抗が形成されている。一方、図２１に示す従来構造では、透明電極７２の突出部７２ａを頭部７２ｅの幅より細くしてＴ字形状にした例を示している。この図２１の構造によれば、図２０に示した維持電極７２Ａよりも突出部７２ａの面積を小さくすることができるので、放電電流をより低減させることが可能となるとされている。
なお、透明電極７２としてはＩＴＯ（酸化インジュム錫）またはＳｎ０２（酸化錫）が用いられ、バス電極７３としてはＡｌ（アルミニウム）またはＡｌ合金が用いられている。そして、データ電極７９が維持電極（サスティン電極）７２Ａと交差するように設けられている。
【００１１】
図２０及び図２１の従来構造では、バス電極７３を低抵抗なＡｌまたはＡｌ合金により形成することで電圧降下による電圧パルスの波形なまりを軽減して駆動マージンの改善や発光輝度ムラの抑制を図っている。その上、単位セル毎に独立した界面抵抗を、透明電極７２の突出部７２ａの基部７２ｃとバス電極７３との間に設けることで維持電流のピーク値を減少させて消費電力の低減を可能にしている。さらに、図１６及び図１７の隔壁５４に相当した部分には面電極５７ａに相当した透明電極７２の突出部７２ａが存在しないため、横隣接セル間での誤放電も減少できるとしている。これらのことに関しては、特開平８−２５００３０号公報の段落番号［００２５］、［００２６］及び［００２８］の内容にそれぞれ記載されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の各公報に記載された従来のＰＤＰでは、それぞれ以下に説明するような問題がある。
まず、特開平８−２２７７２号公報に開示されている図１８に示す従来構造では、維持放電によるプラズマが太く長く伸びて発光輝度を高くできる反面、維持電極面積が広いために、同特開平８−２２７７２号公報に開示されている図１９に示す従来構造よりも維持電流が増加してしまい、発光効率が低くなるという課題があった。
【００１３】
次に、図１９に示す従来構造では、維持放電によるプラズマが細く長く伸びて発光効率を高くできる反面、維持電極面積が狭いために、図１８に示す従来構造よりも維持電流が減少してしまい、発光輝度が低くなるという課題があった。つまり、図１８と図１９に示す従来構造では、発光輝度と発光効率とを両立させることができなかった。
また、図１８に示す従来構造には、図１９に示す従来構造よりも縦・横方向に隣接するセルへと維持放電によるプラズマが広がりやすく、隣接セル間の放電干渉による誤点灯や誤消灯が起こりやすいという課題が残っていた。
【００１４】
さらに、特開平８−２５００３０号公報に開示されている図２０及び図２１の従来構造を含めた、図１８及び図１９に示す従来構造では、製造工程中にＡｌ電極（例えばバス電極５８）が透明電極（例えば面電極５７ｂ，５７ｃ）から部分的あるいは全体的に剥離してしまったり、パネル動作中にＡｌ電極と透明電極とが部分的あるいは全体的に分離してしまい、両者の間で導通不良が起こったり、主にＡｌ電極のパターニング工程中に生じるＡｌ電極−透明電極間の電池腐食によって双方の電極自体が消失してしまう等の信頼性にかかわる課題があった。
【００１５】
一般に酸化物を形成しやすいＡｌ電極と酸化物である透明電極との相性は悪く、様々な問題が生じることはよく知られていることである。これは、Ａｌ２Ｏ３（酸化アルミニウム）の方が透明電極を構成する材料、例えばＩｎ２Ｏ３（酸化インジウム）やＳｎ０２（酸化スズ）よりも熱力学的に安定なためである。この結果、Ａｌ電極と透明電極との界面では、Ａｌ電極の酸化に伴う透明電極の還元が生じ、絶縁膜の形成や界面準位の増加による電気抵抗の増加が引き起こされてしまう。特開平８−２５００３０号公報中の技術で界面抵抗が形成されるのはこのためである。
【００１６】
上述の反応は、熱エネルギーが加わることでさらに加速され、透明電極の還元に伴う黒化現象を引き起こす。これは、主に酸化物である透明電極が還元されたことによって金属元素が析出するためであるが、結果的に透明電極の透過率を減少させて発光輝度を低下させる要因となってしまう。
さらに、Ａｌ電極−透明電極間の酸化還元反応によってその界面状態は疎密になり、バス電極５８として用いられているＡｌ電極が面電極５７ｂ，５７ｃとして用いられている透明電極から剥がれてしまう問題も生じる。このバス電極５８は、電圧パルスの波形なまりを軽減し、単位セル毎に配置された面電極５７ｂ，５７ｃに所定の電圧パルスを印加するためのものであるから、これは、パネル動作上大きな問題となる。
【００１７】
その上、例えばＡｌ電極をポジ型フォトレジストをマスクに用い、エッチングしてパターニングするような工程では、ポジ型フォトレジストを現像する際に用いる有機アルカリ現像液によってＡｌ電極が腐食されてしまい、Ａｌ電極にピンホールが生じてしまう。そして、このピンホールを通じて現像液（電解質溶液）が透明電極にまで達すると、Ａｌ電極と透明電極との間で現像液を介した電流回路が形成されてしまい、両者の間で酸化還元電位差を駆動力としたＡｌ電極の溶解（酸化）とそれに伴う透明電極の消失（還元）が起こってしまう。この現象は、電池腐食反応と呼ばれ、結果的にＡｌ電極と透明電極の双方を消失させてしまうか電極としての特性を著しく劣悪にさせてしまう。
【００１８】
この原因は、Ａｌ電極の酸化還元電位が透明電極よりも卑側（透明電極の酸化還元電位がＡｌ電極よりも貴側）であるために、Ａｌ電極が酸化する際に生じた電子が透明電極に流れ込み、流れ込んだ電子によって透明電極が還元されてしまうことにある。但し、この電位差を駆動力とした酸化還元反応は、熱を駆動力とした場合よりも深刻である。それは、腐食反応が電気化学的な反応であることに由来している。
【００１９】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、発光輝度と発光効率とを両立させ、さらに、隣接セル間の放電干渉による誤点灯や誤消灯を抑制し、従来よりも低消費電力で動作マージンの広い交流面放電型のプラズマディスプレイパネルを提供することを目的としている。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、行方向に伸張する複数の両側面電極を少なくとも具備した前面基板と、列方向に伸張する複数のデータ電極を少なくとも具備した後面基板とが放電空間を形成して、所望の色を可視発光する蛍光体層を具備した単位発光画素を区画する隔壁を挟んで対面配置され、前記放電空間内に紫外光発生用の気体が導入されてなる交流面放電型のプラズマディスプレイパネルに係り、前記両側面電極は、前記行方向に伸長するバス電極と、単位発光画素毎に独立して設けられた複数の面電極と、前記バス電極と前記各面電極とを電気的に接続するための各１本の列方向細線電極とからなり、前記各面電極は行方向に伸びる２本又はそれ以上の細線電極と列方向に延びる２本又はそれ以上の細線電極とを含む空間的に分割された放電部からなることを特徴としている。
【００２１】
請求項２記載の発明は、行方向に伸長する複数対のスキャン電極とコモン電極とを具備した前面基板と、列方向に伸長する複数のデータ電極を具備した後面基板とが放電空間を形成して、所望の色を可視発光する蛍光体層を具備した単位発光画素を区画する隔壁を挟んで対面配置され、前記放電空間内に紫外光発生用の気体が導入されてなる交流面放電型のプラズマディスプレイパネルに係り、前記スキャン電極と前記コモン電極は、前記行方向に伸長するバス電極と、単位発光画素毎に独立して設けられた複数の面電極と、前記バス電極と前記各面電極とを電気的に接続するための各１本の列方向細線電極とからなり、前記面電極は行方向に伸びる３本又はそれ以上の細線電極と列方向に延びる１本又はそれ以上の細線電極とを含む空間的に分割された放電部からなることを特徴としている。
【００２２】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のプラズマディスプレイに係り、上記蛍光体層は、赤色、緑色、青色をそれぞれ可視発光する複数の種類から成ることを特徴としている。
【００２３】
請求項４記載の発明は、請求項３記載のプラズマディスプレイに係り、上記複数の種類の蛍光体層の内少なくとも一つの蛍光体層を有する放電セルの面電極が、他の蛍光体層を有する放電セルの面電極と異なる形状を有していることを特徴としている。
【００２４】
また、請求項５記載の発明は、請求項１記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記各面電極は、行方向に伸びる最外側の一対の細線電極と列方向に延びる最外側の一対の細線電極とが、四辺をなして矩形を形成していることを特徴としている。
【００２５】
請求項６記載の発明は、請求項２乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する行方向に伸びる３本又はそれ以上の前記細線電極の列方向間隔は、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって同じであることを特徴としている。
【００２６】
請求項７記載の発明は、請求項２乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する行方向に伸びる３本又はそれ以上の前記細線電極の列方向間隔は、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって増加することを特徴としている。
【００２７】
請求項８記載の発明は、請求項２乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する行方向に伸びる３本又はそれ以上の前記細線電極の列方向間隔は、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって減少することを特徴としている。
【００２８】
請求項９記載の発明は、請求項１、３、４又は５記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記列方向に伸びる細線電極の数は３本以上であって、かつ、これらの細線電極の行方向間隔は、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって同じであることを特徴としている。
【００２９】
請求項１０記載の発明は、請求項１、３、４又は５記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記列方向に伸びる細線電極の数は３本以上であって、かつ、これらの細線電極の行方向間隔は、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって増加することを特徴としている。
【００３０】
請求項１１記載の発明は、請求項１、３、４又は５記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記列方向に伸びる細線電極の数は３本以上であって、かつ、これらの細線電極の行方向間隔は、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって減少することを特徴としている。
【００３１】
請求項１２記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記行方向に伸びる細線電極の数及び前記列方向に伸びる細線電極の数は、それぞれ３本以上であって、かつ、これらの細線電極の列方向間隔及び行方向間隔は、それぞれ、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって同じであることを特徴としている。
【００３２】
請求項１３記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記行方向に伸びる細線電極の数及び前記列方向に伸びる細線電極の数は、それぞれ３本以上であって、かつ、これらの細線電極の列方向間隔及び行方向間隔は、それぞれ、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって増加することを特徴としている。
【００３３】
請求項１４記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記行方向に伸びる細線電極の数及び前記列方向に伸びる細線電極の数は、それぞれ３本以上であって、かつ、これらの細線電極の列方向間隔及び行方向間隔は、それぞれ、前記単位発光画素の行方向中心軸から外側に向かって、前記単位発光画素の列方向中心軸から外側に向かって減少することを特徴としている。
【００３４】
請求項１５記載の発明は、請求項２、３又は４記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極は、行方向に伸びた複数の細線電極が放電ギャップ部から遠ざかるにつれて所定間隔で広くなるように配置される一方、前記細線電極の長さが前記放電ギャップ部から遠ざかるにつれて所定差で短くなるように配置されていることを特徴としている。
【００３５】
請求項１６記載の発明は、請求項２記載のプラズマディスプレイパネルに係り、前記面電極を構成する前記行方向に伸びる３本以上の細線電極は間隔が放電ギャップ部から遠ざかるにつれて広くなるようにかつ長さが放電ギャップ部から遠ざかるにつれて短くなるように配置されるとともに相互に１本の列方向に伸びる細線電極によって接続されていることを特徴としている。
【００３６】
請求項１７記載の発明は、請求項１記載のプラズマディスプレイに係り、上記行方向に伸長するバス電極が上下に隣接する放電セル間に配置され、該バス電極から上記面電極が上下の放電セルに伸延していることを特徴としている。
【００３７】
請求項１８記載の発明は、請求項１乃至１７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイに係り、上記バス電極は金属材料から成り、上記面電極は透明導電材料から成ることを特徴としている。
【００３８】
請求項１９記載の発明は、請求項１乃至１７のいずれか１に記載のプラズマディスプレイに係り、上記バス電極は金属材料から成り、上記面電極は上記バス電極と同じ金属材料もしくは異なる金属材料から成ることを特徴としている。
【００３９】
請求項２０記載の発明は、請求項１９記載のプラズマディスプレイに係り、上記金属材料から成る面電極の厚さは、５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることを特徴としている。
【００４０】
請求項２１記載の発明は、請求項１乃至２０のいずれか１に記載のプラズマディスプレイに係り、上記スキャン電極、上記コモン電極及び上記データ電極は、ＡｕあるいはＡｕを含む合金、ＡｇあるいはＡｇを含む合金、ＣｕあるいはＣｕを含む合金、ＡｌあるいはＡｌを含む合金、ＣｒあるいはＣｒを含む合金、ＮｉあるいはＮｉを含む合金、ＴｉあるいはＴｉを含む合金、ＴａあるいはＴａを含む合金、ＨｆあるいはＨｆを含む合金、ＭｏあるいはＭｏを含む合金、又はＷあるいはＷを含む合金のいずれか一種あるいは二種以上から成る単層もしくは多層構造を少なくとも一部に有することを特徴としている。
【００４１】
【発明の実施の形態】
前提
まず、この発明の完成のきっかけとなった解析結果について説明する。
次式は、プラズマ中に投入される電力と消費される電力とのおよその関係を示したものである。
Ｐｔ＝Ｐｂ＋Ｐｒ＋Ｐｗ
上記式において、Ｐｔはプラズマ中への全投入電力、Ｐｂはプラズマを維持するためにバルク中で消費される電力、Ｐｒは放射により消費される電力、Ｐｗは放電空間を形成する側壁で電荷再結合等により消費される電力を、それぞれ示している。
【００４２】
ここで、発光輝度や発光効率を改善するためには、全消費電力Ｐｔに占める紫外光の放射電力Ｐｒの割合を増やせばよいから、上記式より、全消費電力Ｐｔに占めるバルク中で消費される電力Ｐｂや側壁で電荷再結合等により消費される電力Ｐｗの割合を減らせばよいことになる。しかしながら、バルク中での電力損失Ｐｂは、プラズマを維持するために必要なものであるから、その割合を減らすことは困難である。一方、側壁での電力損失Ｐｗは、プラズマを隔壁から離すようにすればある程度は低減できる要素である。つまり、図１８や図１９に示す従来構造のように、隔壁５４から離れた面電極構造が有効な解決手段となる。なお、上述したこの効果は、特開平８−２２７７２号公報や特開平８−２５００３０号公報には全く記載されていない。
【００４３】
また、ＰＤＰにおいては、セル全面にわたって高密度に均一性よくプラズマを生成する必要は全くない。それは、発光表示に関して維持放電によるプラズマがセル全体に広がることが重要なのではなく、可視発光に寄与する蛍光体層に効果的に紫外光が照射されることが重要だからである。したがって、発光効率の改善には、微小な維持放電領域を空間的にも時間的にもセル全体に離散させて設けることが極めて有効な手段となる。そのためには、空間的にも時間的にも独立した微小な維持放電領域をセル全体に分布させればよいが、個々の維持放電領域を完全に独立して制御することは非常に困難であるため、空間的に幾つかの領域に分割された維持放電部を有する面電極構造が有効な対策となる。
但し、放電開始電圧が高くなるような面電極構造では、消費電力が増加してしまい、発光効率を低下させる結果となるため、できるだけ放電を起こしやすい面電極構造であることが要求される。また、面電極間で高い電位差を生じる放電ギャップ部が増加してしまうと、それに伴って負グロー領域もまた増加してしまうため、発光輝度は上昇するものの、大きな瞬電流（放電開始初期に流れる電流）が流れてしまい、発光効率を低下させる要因になってしまう。この原因は、面電極間の両端、言い換えればプラズマの両端に生じる電位差の大半が負グロー領域に加わるためで、電離や励起が最も盛んに行われる反面、最も電力が消費される領域でもあるからである。したがって、発光輝度と発光効率とを両立させるためには、陽光柱領域のような電圧降下が小さい割に紫外光の放射効率が高い領域を広げるようにした方が得策となる。
【００４４】
なお、特開平１１−１４９８７３号公報の段落番号［０００７］に、図１７に示す従来構造では、紫外光の発生する領域が放電ギャップ６３部近傍に集中してしまうため、発光効率が悪い旨の記述がある。一方、同公報の段落番号［００１９］には、図１９に示す従来構造では、細長い面電極が単位セル毎に島状に独立して形成されているため、維持放電が放電ギャップ６３部に集中せず、バス電極５８方向へと徐々に弱まりながら広がり、発光効率が向上する旨の記述がある。しかしながら、実際には、面電極がセル全体に広がっている図１７に示す従来構造よりも放電ギャップ６３部がセル中央に孤立して存在している図１９に示す従来構造の方が放電ギャップ６３部に放電が集束しやすく、広がりにくい結果となっている。すなわち、同公報記載の論旨で発光効率が向上することはない。また、放電が弱まりながら広がっていくという作用よりは、むしろ放電が狭小部に沿って細長く発生するために、プラズマの体積が従来よりも減少し、結果的に蛍光体層５５に照射される紫外光の強度が減少して、蛍光体の輝度飽和が緩和されたと考える方が妥当である。いずれにしても特開平１１−１４９８７３号公報に記載の面電極構造に関する作用や効果については、上記した特開平８−２２７７２号公報ならびに特開平８−２５００３０号公報中に記載された作用や効果を逸脱するものではないし、凌駕するものでもない。
【００４５】
一方、書込動作から維持動作への遷移性を維持しながら縦・横隣接セル間の放電干渉を抑制するためには、書込放電（対向放電）を起こすデータ電極５２とスキャン電極５９間、そして、維持放電（面放電）を起こすスキャン電極５９とコモン電極６０間で放電を起こしやすい領域と壁電荷を蓄積しやすい領域とを備え、且つ縦・横隣接セル間へとプラズマが拡散しにくいような要素を盛り込む必要がある。これは、発光輝度と発光効率を両立させる上でも重要である。なぜならば、放電開始電圧が上がってしまうと、消費電力もまた増加してしまうからである。
放電を起こしやすくするためには、特開平８−２２７７２号公報の段落番号［００１８］の記載と同公報の第４図に示されるように、いわゆる放電の面積効果、体積効果によって放電領域を広く取ることが有効な手段となる。また、パッシェンの法則（電場及び温度が一定の下で火花放電を起こすのに必要な最小電圧がガス圧力と電極間距離との積の関数として与えられる法則）に従うような放電ギャップ部を形成し、そこで起こる放電をトリガーにして主放電を誘発するような方法もある。さらに、電場を著しく歪ませて主放電に進展させる方法（電場歪みトリガ）もある。
【００４６】
しかしながら、荷電粒子が加速されやすく、多量に生成されるような放電発生部では、他の部位よりも保護層６２の劣化が大きくなるため、このような部位を面電極部に設けてしまうと、維持放電の度に保護層６２の劣化が著しく進んでしまい、パネルとしての動作寿命を縮める結果となる。したがって、信頼性上は、放電の面積効果や体積効果を利用する方が好ましいことになる。
また、隔壁５４等を利用せず、面電極構造の工夫だけによって縦・横隣接セル間の放電干渉を抑制するためには、初期放電ができるだけ放電ギャップ部に集束して起こり、主放電が縦・横隣接セルに及びにくくする必要がある。この点において図１９に示す従来構造は、初期放電が放電ギャップ６３部に集束しやすい上、縦・横縦隣接セルに向かって面電極５７ｃ幅が狭くなっているため、面電極５７ｃ上の誘電体層６１表面から延びる電気力線の影響も縦・横隣接セルには及びにくく、結果的に縦・横隣接セル間の放電干渉が抑制されやすくなっている。
【００４７】
但し、図１９に示す従来構造には、プラズマがセル全体に広く分布しないため、発光輝度が低く、発光効率も十分には改善されないという欠点がある。逆にその欠点を補おうとして面電極５７ｃ面積を広げてしまうと、上述したように、隣接セル間の放電干渉が起こりやすくなるという別な欠点を生んでしまう。つまり、従来の面電極５７ｂ，５７ｃ構造では、このトレードオフの関係を解決することができなかった。
しかしながら、それは、上述した空間的に幾つかの領域に分割された微小な維持放電部を有する面電極構造によって解決可能である。すなわち、ここにはじめて発光特性（発光輝度，発光効率）と電圧特性（書込動作から維持動作への遷移性，隣接セル間の放電干渉性）とを両立できる共通解が得られたことになる。
【００４８】
以上の解析結果からわかるように、所望の面電極構造を実現するためには、微細な構成要素を空間的に配置する必要が生じる。そこで、この発明を実施するにあたっては、高精度なパターン形成が可能なフォトリソグラフィープロセス（フォトレジストをマスクに電極材料をパターニングするプロセス）を用いることにした。さらに、２次元的な面電極構造を探索する場合、セル空間をマトリクス状に分割し、ある基本構成要素について単位ブロック毎の配列を解析的に取り扱うことが有効になることから、この発明の実施例では、単純化した基本要素により面電極構造を構成することにした。
【００４９】
次に、上述の解析結果に基づいて、図面を参照してこの発明の実施の形態について説明する。
◇第１実施例
図１は、この発明の第１実施例であるＰＤＰの構成を示す部分切断斜視図、図２は同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
この例のＰＤＰは、図２に示すように、単位セル分の面電極が、行方向に伸びた複数の細線電極７Ａが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等間隔で配置されており、それら行方向細線電極７Ａの左右端が列方向に伸びた細線電極７Ｂにより連結されて横スリット形状の面電極７ｄが構成されている。そして、横スリット形状面電極７ｄの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｂと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００５０】
この例のＰＤＰを構成するセルの大きさは、一例として（列方向寸法Ｙ）１０５０μｍ×（行方向寸法Ｘ）３５０μｍであり、これらのセルが集積されて図１のＰＤＰが構成されている。図１のＰＤＰは、面電極部以外は図１６に示したものと略同じ構造である。ソーダライムガラスから成る後面基板１上には、厚さが略２００ｎｍ、幅が略１００μｍのＣｒ（クロム）から成るデータ電極２がセル縦中心軸を通って列方向に複数形成されており、その上には、厚さが略２０μｍのＰｂＯ（酸化鉛）、ＳｉＯ２（酸化シリコン）、Ｂ２Ｏ３（酸化ホウ素）、ＴｉＯ２（酸化チタン）、ＺｒＯ２（酸化ジルコニウム）等から成る白色誘電体層３が形成されている。そして、白色誘電体層３上には、高さが略１１０μｍ、上部幅が略５０μｍ、下部幅が略１７０μｍのＰｂＯ、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３等から成る略台形状の隔壁４が横隣接セル間の列方向に複数形成されており、その側面を含む白色誘電体層３上には、厚さ１２〜１５μｍの赤色（ｒ）、緑色（ｇ）、青色（ｂ）をそれぞれ可視発光する各蛍光体層５ｒ，５ｇ，５ｂから成る蛍光体層５が繰り返し形成されている。
【００５１】
一方、ソーダライムガラスから成る前面基板６下には、厚さが略１００ｎｍ、幅が略２０μｍのＩＴＯ（スズ添加酸化インジウム）から成る横スリット形状面電極７ｄが隔壁４から離れた位置にセル横中心軸を挟み対を成して複数形成されており、横スリット形状面電極７ｄの一部を含む前面基板６下には、厚さが略２００ｎｍ、幅が略５０μｍのＣｒから成るバス電極８が横スリット形状面電極７ｄに接続されて行方向に対を成して複数形成されている。そして、バス電極８を含む横スリット形状面電極７ｄ下には、厚さが略２０μｍのＰｂＯ、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３等から成る透明誘電体層１１が形成されており、その下には、厚さが略１μｍのＭｇＯ（酸化マグネシウム）から成る保護層１２が形成されている。
【００５２】
上記の後面基板１と前面基板６とは、互いの構造物を内側にして張り合わされており、基板周縁部に設けたフリットガラスシールによって気密封止されている。そして、その内部には、Ｈｅ（ヘリウム：略６７．９％）−Ｎｅ（ネオン：略２９．１％）−Ｘｅ（キセノン：略３％）から成る紫外光発生用の放電気体が圧力が略５３．３ｋＰａ（Ｐａｓｃａｌ）で封入されている。
なお、放電ギャップ１３長（維持放電を発生させる側の面電極間隔）と非放電ギャップ１４長（維持放電を発生させない側の面電極間隔）は、それぞれ略９０μｍと略２００μｍであり、バス電極８は、放電ギャップ１３端から略３００μｍ離れた位置に形成されている。また、横スリット形状面電極７ｄを構成している行方向細線電極７Ａと列方向細線電極７Ｂの長さは、共に略２６０μｍであり、行方向細線電極７Ａの間隔は、略４０μｍである。そして、横スリット形状面電極７ｄは、隔壁４から略２０μｍ程度離間している。
【００５３】
図２に示す横スリット形状面電極７ｄの構造では、維持放電を起こし、プラズマを拡張させる電気力線の発生箇所である行方向細線電極７Ａが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等間隔に分割形成されている。これにより、必要十分な維持電極面積で維持放電を起こし、プラズマをセル全体に広く分布させることができるようになるため、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。その結果、消費電力を低減することが可能となる。また、縦・横隣接セルへと面電極７ｄが広がっていないので、隣接セル間の放電干渉による誤点灯や誤消灯も抑制できるようになる。
【００５４】
図３は、この発明の第１実施例であるＰＤＰの第１の変形例を示す単位セル分の平面図である。この第１の変形例では、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｃが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比（２倍）間隔で広くなるように配置されており、それら行方向細線電極７Ｃの左右端が列方向に伸びた細線電極７Ｄにより連結されて横スリット形状の面電極７ｅが構成されている。そして、横スリット形状面電極７ｅの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｄと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００５５】
なお、この第１の変形例におけるセルの構成は、面電極７ｅ部以外は図２に示したものと略同じである。横スリット形状面電極７ｅを構成している行方向細線電極７Ｃと列方向細線電極７Ｄの長さは、それぞれ略２６０μｍと２５０μｍであり、行方向細線電極７Ｃの間隔は、放電ギャップ１３側から略１０，２０，４０，８０μｍの順で広くなっている。
【００５６】
図３に示す横スリット形状面電極７ｅの構造では、行方向細線電極７Ｃが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比間隔で広くなるように分割形成されている。これにより、必要十分な維持電極面積でプラズマをセル全体に広く分布させることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、図２に示す面電極７ｄの構造よりも放電ギャップ１３部の面電極７ｅの面積が増加するために、放電の面積効果によって書込放電や維持放電が起こしやすくなり、書込動作から維持動作への遷移性が改善できるようになる。その上、放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって電気力線密度が減少していくので、図２に示す面電極７ｄの構造よりも縦隣接セル間の放電干渉がより一層抑制できるようになる。
【００５７】
図４は、この発明の第１実施例であるＰＤＰの第２の変形例を示す単位セル分の平面図である。この第２の変形例では、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｅが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比（１／２倍）間隔で狭くなるように配置されており、それら行方向細線電極７Ｅの左右端が列方向に伸びた細線電極７Ｆにより連結されて横スリット形状の面電極７ｆが構成されている。そして、横スリット形状面電極７ｆの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｆと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００５８】
なお、この第２の変形例におけるセルの構成は、面電極７ｆ部以外は図２に示したものと略同じである。横スリット形状面電極７ｆを構成している行方向細線電極７Ｅと列方向細線電極７Ｆの長さは、それぞれ略２６０μｍと２５０μｍであり、行方向細線電極７Ｅの間隔は、放電ギャップ１３側から略８０，４０，２０，１０μｍの順で狭くなっている。
【００５９】
図４に示す横スリット形状面電極７ｆの構造では、行方向細線電極７Ｅが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比間隔で狭くなるように分割形成されている。これにより、必要十分な維持電極面積でプラズマをセル全体に広く分布させることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって電気力線密度が増加していくので、図２に示す面電極７ｄの構造よりも放電ギャップ１３部で発生させた維持放電によるプラズマをセル全体に伸長させやすくなり、蛍光体層５に満遍なく紫外光を照射できるようになる。
【００６０】
以上のように、第１及び第２の変形例を含む第１実施例（図２乃至図４）中に例示した面電極７ｄ〜７ｆの構造では、行方向細線電極７Ａ、７Ｃ、７Ｅの左右両端がそれぞれ列方向細線電極７Ｂ、７Ｄ、７Ｆにより連結された構成となっているが、行方向細線電極７Ａ、７Ｃ、７Ｅは、左右片端だけで連結されていてもよいし、中心部で連結されていてもかまわない。また、バス電極８と接続される列方向細線電極７Ｂ、７Ｄ、７Ｆの位置は、面電極の中心に限定されるものではない。
【００６１】
◇第２実施例
図５は、この発明の第２実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。この第２実施例のＰＤＰの構成が、上述の第１実施例のそれと大きく異なるところは、面電極を縦スリット形状に形成するようにした点である。
すなわち、この例では、図５に示すように、列方向に伸びた複数の細線電極７Ｈがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等間隔で配置されており、それら列方向細線電極７Ｈの上下端が行方向に伸びた細線電極７Ｇにより連結されて縦スリット形状の面電極７ｇが構成されている。そして、縦スリット形状面電極７ｇの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｈと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００６２】
なお、この例におけるセルの構成は、面電極７ｇ部以外は図２に示したものと略同じである。縦スリット形状面電極７ｇを構成している列方向細線電極７Ｈと行方向細線電極７Ｇの長さは、共に略２６０μｍであり、列方向細線電極７Ｈの間隔は、略４０μｍである。
【００６３】
図５に示す縦スリット形状面電極７ｇの構造では、列方向細線電極７Ｈがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等間隔に分割形成されている。これにより、必要十分な維持電極面積で維持放電を起こし、プラズマをセル全体に広く分布させることができるようになるため、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。その結果、消費電力を低減することが可能となる。また、縦・横隣接セルへと面電極７ｇが広がっていないので、隣接セル間の放電干渉による誤点灯や誤消灯も抑制できるようになる。
【００６４】
図６は、この発明の第２実施例であるＰＤＰの第１の変形例を示す単位セル分の平面図である。この第１の変形例では、列方向に伸びた複数の細線電極７Ｊが行方向にセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比（３倍）間隔で広くなるように配置されており、それら列方向細線電極７Ｊの上下端が行方向に伸びた細線電極７Ｉにより連結されて縦スリット形状の面電極７ｈが構成されている。そして、縦スリット形状面電極７ｈの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｊと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００６５】
なお、この第１の変形例におけるセルの構成は、面電極７ｈ部以外は図２に示したものと略同じである。縦スリット形状面電極７ｈを構成している列方向細線電極７Ｊと行方向細線電極７Ｉの長さは、共に略２６０μｍであり、列方向細線電極７Ｊの間隔は、セル縦中心軸側から略２０，６０μｍの順で広くなっている。
【００６６】
図６に示す縦スリット形状面電極７ｈの構造では、列方向細線電極７Ｊがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比間隔で広くなるように分割形成されている。これにより、必要十分な維持電極面積でプラズマをセル全体に広く分布させることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、図５に示す面電極７ｇの構造よりも放電ギャップ１３部の面電極７ｈの面積が増加するために、放電の面積効果によって書込放電や維持放電が起こしやすくなり、書込動作から維持動作への遷移性が改善できるようになる。その上、セル縦中心軸から隔壁４部へ向かって電気力線密度が減少していくので、図５に示す面電極７ｇ構造よりも横隣接セル間の放電干渉がより一層抑制できるようになる。
【００６７】
図７は、この発明の第２実施例であるＰＤＰの第２の変形例を示す単位セル分の平面図である。この第２の変形例では、列方向に伸びた複数の細線電極７Ｌがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比（１／３倍）間隔で狭くなるように配置されており、それら列方向細線電極７Ｌの上下端が行方向に伸びた細線電極７Ｋにより連結されて縦スリット形状の面電極７ｉが構成されている。そして、縦スリット形状面電極７ｉの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｌと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００６８】
なお、この第２の変形例におけるセルの構成は、面電極７ｉ部以外は図２に示したものと略同じである。縦スリット形状面電極７ｉを構成している列方向細線電極７Ｌと行方向細線電極７Ｋの長さは、共に略２６０μｍであり、列方向細線電極７Ｌの間隔は、セル縦中心軸側から略６０，２０μｍの順で狭くなっている。
【００６９】
図７に示す縦スリット形状面電極７ｉの構造では、列方向細線電極７Ｌがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比間隔で狭くなるように分割形成されている。これにより、必要十分な維持電極面積でプラズマをセル全体に広く分布させることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、セル縦中心軸から隔壁４部へ向かって電気力線密度が増加していくので、図５に示す面電極７ｇの構造よりも放電ギャップ１３部で発生させた維持放電によるプラズマをセル全体に伸長させやすくなり、蛍光体層５に満遍なく紫外光を照射できるようになる。
【００７０】
以上のように、第１及び第２の変形例を含む第２実施例（図５乃至図７）中に例示した面電極７ｇ〜７ｉ構造では、列方向細線電極７Ｈ、７Ｊ、７Ｌの上下両端が行方向細線電極７Ｇ、７Ｉ、７Ｋにより連結された構成となっているが、列方向細線電極７Ｈ、７Ｊ、７Ｌは、上下片端だけで連結されていてもよいし、中心部で連結されていてもかまわない。また、バス電極８と接続される列方向細線電極７Ｈ、７Ｊ、７Ｌの位置は、面電極の中心に限定されるものではない。
【００７１】
◇第３実施例
図８は、この発明の第３実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。この第３実施例のＰＤＰの構成が、上述の第１実施例のそれと大きく異なるところは、面電極をメッシュ形状に形成するようにした点である。
すなわち、この例では、図８に示すように、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｍが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等間隔で配置されており、列方向に伸びた複数の細線電極７Ｎがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等間隔で配置されている。そして、それら行方向細線電極７Ｍと列方向細線電極７Ｎとが互いに交差してメッシュ形状の面電極７ｊが構成されており、メッシュ形状面電極７ｊの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｎと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００７２】
なお、この例におけるセルの構成は、面電極７ｊ部以外は図２に示したものと略同じである。メッシュ形状面電極７ｊを構成している行方向細線電極７Ｍと列方向細線電極７Ｎの長さは、共に略２６０μｍであり、行方向細線電極７Ｍと列方向細線電極７Ｎの間隔は、共に略４０μｍである。
【００７３】
図８に示すメッシュ形状面電極７ｊの構造では、行方向細線電極７Ｍが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等間隔に分割形成されており、列方向細線電極７Ｎがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等間隔に分割形成されている。これにより、図２や図５に示す面電極７ｄ，７ｇ構造よりも維持電極面積が増加するため、維持放電によるプラズマをより確実にセル全体へと広げることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、図２や図５に示す面電極７ｄ，７ｇ構造よりも放電ギャップ１３部の面電極７ｊの面積が増加するため、書込放電や維持放電がより起こしやすくなり、書込動作から維持動作への遷移性がより改善できるようになる。さらに、縦・横隣接セルへと面電極７ｊが広がっていないので、隣接セル間の放電干渉も抑制できるようになる。
【００７４】
図９は、この発明の第３実施例であるＰＤＰの第１の変形例を示す単位セル分の平面図である。この第１の変形例では、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｏが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比（２倍）間隔で広くなるように配置されており、列方向に伸びた複数の細線電極７Ｐがセル縦中心軸から隔壁４部に向かって等比（３倍）間隔で広くなるように配置されている。そして、それら行方向細線電極７Ｏと列方向細線電極７Ｐとが互いに交差してメッシュ形状面電極７ｋが構成されており、メッシュ形状面電極７ｋの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｐと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００７５】
なお、この第１の変形例におけるセルの構成は、面電極７ｋ部以外は図２に示したものと略同じである。メッシュ形状面電極７ｋを構成している行方向細線電極７Ｏと列方向細線電極７Ｐの長さは、それぞれ略２６０μｍと２５０μｍである。そして、行方向細線電極７Ｏの間隔は、放電ギャップ１３側から略１０，２０，４０，８０μｍの順で広くなっており、列方向細線電極７Ｐの間隔は、セル縦中心軸側から２０，６０μｍの順で広くなっている。
【００７６】
図９に示すメッシュ形状面電極７ｋの構造では、行方向細線電極７Ｏが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比間隔で広くなるように分割形成されており、列方向細線電極７Ｐがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比間隔で広くなるように分割形成されている。これにより、図３や図６に示す面電極７ｅ，７ｈ構造よりも維持電極面積が増加するため、維持放電によるプラズマをより確実にセル全体へと広げることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、図３や図６に示す面電極７ｅ，７ｈの構造よりも放電ギャップ１３部の面電極７ｋの面積が増加するため、書込放電や維持放電がより起こしやすくなり、書込動作から維持動作への遷移性がより改善できるようになる。さらに、放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって電気力線密度が減少し、セル縦中心軸から隔壁４部へ向かって電気力線密度が減少していくので、縦・横隣接セル間の放電干渉がより一層抑制できるようになる。
【００７７】
図１０は、この発明の第３の実施例であるＰＤＰの第２の変形例を示す単位セル分の平面図である。この第２の変形例では、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｑが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比（１／２倍）間隔で狭くなるように配置されており、列方向に伸びた複数の細線電極７Ｒがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比（１／３倍）間隔で狭くなるように配置されている。そして、それら行方向細線電極７Ｑと列方向細線電極７Ｒとが互いに交差してメッシュ形状面電極７ｌが構成されており、メッシュ形状面電極７ｌの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｒと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００７８】
なお、この第２の変形例におけるセルの構成は、面電極７ｌ部以外は図２に示したものと略同じである。メッシュ形状面電極７ｌを構成している行方向細線電極７Ｑと列方向細線電極７Ｒの長さは、それぞれ略２６０μｍと２５０μｍである。そして、行方向細線電極７Ｑの間隔は、放電ギャップ１３側から略８０，４０，２０，１０μｍの順で狭くなっており、列方向細線電極７Ｒの間隔は、セル縦中心軸側から６０，２０μｍの順で狭くなっている。
【００７９】
図１０に示すメッシュ形状面電極７ｌの構造では、行方向細線電極７Ｑが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比間隔で狭くなるように分割形成されており、列方向細線電極７Ｒがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等比間隔で狭くなるように分割形成されている。これにより、図４や図７に示す面電極７ｆ，７ｉ構造よりも維持電極面積が増加するため、維持放電によるプラズマをより確実にセル全体へと広げることができるようになり、発光輝度や発光効率が向上できるようになる。また、図４や図７に示す面電極７ｆ，７ｉ構造よりも放電ギャップ１３部の面電極７ｌの面積が増加するため、書込放電や維持放電がより起こしやすくなり、書込動作から維持動作への遷移性がより改善できるようになる。さらに、図４や図７に示す面電極７ｆ，７ｉ構造よりも放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって電気力線密度が増加し、セル縦中心軸から隔壁４部へ向かって電気力線密度が増加していくので、放電ギャップ１３部で発生させた維持放電によるプラズマをセル全体により伸長させやすくなり、蛍光体層５により満遍なく紫外光を照射できるようになる。
【００８０】
以上のように、第１及び第２の変形例を含む第３実施例（図８乃至図１０）中に例示した面電極７ｊ〜７ｌ構造においても、バス電極８と接続される列方向細線電極７Ｒの位置は、面電極の中心に限定されるものではない。
【００８１】
表１は、以上の第１実施例乃至第３実施例（図２乃至図１０）によって得られた各ＰＤＰの電圧特性と発光特性をまとめたものである。ここで、誤点灯電圧マージンとは、非選択セルの最小面放電開始電圧Ｖｆｍｉｎから選択セルの最大維持放電開始電圧Ｖｓｍａｘを差し引いた値｜Ｖｆｍｉｎ−Ｖｓｍａｘ｜であり、この値が大きいほど誤放電しにくくなる。つまり、動作マージンを広く取ることができるようになる。
【００８２】
【表１】
0003587118.tif 000002
【００８３】
表１から明らかなように、図３（第１実施例の第１の変形例）と図６（第２実施例の第１の変形例）に示した面電極構造を有するＰＤＰが優れていることがわかる。この結果から、書込動作から維持動作への遷移性を改善するためには、放電ギャップ１３を構成する領域（スキャン電極９−コモン電極１０間とデータ電極２−スキャン電極９間）にある程度の電極面積を確保した方がよいこと、隣接セル間の放電干渉を抑制するためには、放電ギャップ１３から縦・横隣接セルへと向かって電気力線密度を減少させた方がよいこと等が明らかとなった。特に放電ギャップ１３に対して直交する方向へ多段階的に維持放電部を設けると、放電開始初期に流れる瞬電流のピーク値が減少できて発光効率の改善や信頼性の向上にも好ましいことが例えば特開平８−３１５７３５公報中にも開示されている。そこで、図３と図６の面電極構造をベースにしてより無駄を省略した面電極構造への改善を試みた。
【００８４】
◇第４実施例
図１１は、この発明の第４実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。この第４実施例のＰＤＰの構成が、上述の第１実施例のそれと大きく異なるところは、面電極をアンテナ形状に形成するようにした点である。
すなわち、この例では、図１１に示すように、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｓが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比（２倍）間隔で広くなるように配置されており、それら行方向細線電極７Ｓの長さがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等差（略２０μｍ×左右）で短くなるように配置されている。そして、列方向に伸びた細線電極７Ｔにより連結されてアンテナ形状の面電極７ｍが構成されており、アンテナ形状面電極７ｍの中心から列方向に伸びた細線電極７Ｔと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００８５】
なお、この例におけるセルの構成は、面電極７ｍ部以外は図２に示したものと略同じである。アンテナ形状面電極７ｍを構成している列方向細線電極７Ｔの長さは、略２５０μｍである。また、行方向細線電極７Ｓの間隔は、放電ギャップ１３側から略１０，２０，４０，８０μｍの順で広くなっており、その長さは、放電ギャップ１３側から略２６０，２２０，１８０，１４０，１００μｍの順で短くなっている。
【００８６】
図１１に示すアンテナ形状面電極７ｍの構造では、行方向細線電極７Ｓが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比間隔で広くなるように配置されており、それら行方向細線電極７Ｓの長さがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等差で短くなるように配置されている。これにより、図３や図６に示す面電極７ｅ，７ｈ構造よりも小さい維持電極面積で図９に示す面電極７ｋ構造に近い発光輝度が得られるようになるため、図３や図６に示す面電極７ｅ，７ｈ構造よりも高い発光効率が得られるようになる。また、図９に示す面電極７ｋ構造と同等の書込動作から維持動作への遷移性を有しながら図３や図６に示す面電極７ｅ，７ｈ構造よりも隣接セル間の放電干渉が起こりにくくなるため、図３、図６、図９に示すどの面電極７ｅ，７ｈ，７ｋ構造よりも動作マージンを広くすることができるようになる。
【００８７】
この例のＰＤＰにおける面電極７ｍの構造では、放電ギャップ１３側の行方向細線電極７Ｓが長く、非放電ギャップ１４側に向かって徐々に短くなる場合を例示したが、逆の構成（放電ギャップ１３側の行方向細線電極７Ｓが短く、非放電ギャップ１４側に向かって徐々に長くなる場合）であってもかまわない。この場合、放電開始電圧が上昇してしまうものの、過渡的放電がセル全体に広がるようになるため、発光輝度や発光効率を改善することが可能となる。
【００８８】
◇第５実施例
図１２は、この発明の第５実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。この第５実施例のＰＤＰの構成が、上述の第１実施例のそれと大きく異なるところは、面電極をスネーク形状に形成するようにした点である。
すなわち、この例では、図１２に示すように、行方向に伸びた複数の細線電極７Ｕが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等比（２倍）間隔で広くなるように配置されており、それら行方向細線電極７Ｕの長さがセル縦中心軸から隔壁４部へ向かって等差（略２０μｍ×左右）で短くなるように配置されている。そして、行方向細線電極７Ｕの左右端が列方向に伸びた細線電極７Ｖにより連結されてスネーク形状の面電極７ｎが構成されており、スネーク形状面電極７ｎから列方向に伸びた細線電極７Ｖと行方向に伸びたバス電極８とが接続されて維持電極対（スキャン電極９とコモン電極１０）が構成されている。
【００８９】
なお、この例におけるセルの構成は、面電極７ｎ部以外は図２に示したものと略同じである。スネーク形状面電極７ｎを構成している行方向細線電極７Ｕの間隔は、放電ギャップ１３側から略１０，２０，４０，８０μｍの順で広くなっており、その長さは、放電ギャップ１３側から略２６０，２２０，１８０，１４０，１００μｍの順で短くなっている。また、列方向細線電極７Ｖの長さは、放電ギャップ１３側から略５０，６０，８０，１２０μｍの順で長くなっている。
【００９０】
図１２に示すスネーク形状面電極７ｎの構造では、図１１に示す面電極７ｍの構造と同等の特性を有しながら、図１１に示す面電極７ｍの構造よりも瞬電流のピーク値を減少させることができるようになる。その理由は、図１２に示す面電極７ｎの構造が実質的に１本の蛇行した細線電極により構成されているためである。これにより、放電ギャップ１３部で放電開始初期に流れる瞬電流は、図１１に示す面電極７ｍの構造よりも長い経路を経てバス電極８に流れ込むようになり、面電極７ｎ自身の抵抗による電圧降下によって図１１に示す面電極７ｍの構造よりもバス電極８に流れ込む電流量が減少することになる。この結果、図１２に示す面電極７ｎの構造では、図１１に示す面電極７ｍの構造よりも瞬電流のピーク値が低減されることになり、発光効率が改善されることになる。
【００９１】
この例のＰＤＰにおける面電極７ｎの構造では、放電ギャップ１３側の行方向細線電極７Ｕが長く、非放電ギャップ１４側に向かって徐々に短くなる場合を例示したが、逆の構成（放電ギャップ１３側の行方向細線電極７Ｕが短く、非放電ギャップ１４側に向かって徐々に長くなる場合）であってもかまわない。この場合、放電開始電圧が上昇してしまうものの、過渡的放電がセル全体に広がるようになるため、発光輝度や発光効率を改善することが可能となる。
【００９２】
表２は、以上の第４実施例及び第５実施例（図１１及び図１２）によって得られた各ＰＤＰの電圧特性と発光特性をまとめたものである。
【００９３】
【表２】
0003587118.tif 000003
表２から明らかなように、電圧特性及び発光特性ともに第４実施例及び第５実施例によるＰＤＰの方が、図１７乃至図１９に示す従来のＰＤＰよりも優れていることがわかる。
【００９４】
なお、この例におけるセルの構成は、面電極７ｎ部以外は図２に示したものと略同じである。図１７に示す面電極５７ａは、縦幅（列方向面電極長）が略３８０μｍの帯形状である。図１８に示す面電極５７ｂは、縦幅（列方向面電極長）が略３８０μｍ、横幅（行方向面電極長）が略２６０μｍの長方形状である。図１９に示す面電極５７ｃは、縦幅（列方向面電極長）が略３００μｍ、横幅（行方向面電極長）が略８０μｍの縦長方形と縦幅（列方向面電極長）が略８０μｍ、横幅（行方向面電極長）が略２６０μｍの横長方形とから成るＴ字形状である。
【００９５】
ここで、表２から明らかなように、図１７と図１９に示す従来のＰＤＰの発光輝度と発光効率を比較すると、図１７に示す従来構造から図１９に示す従来構造へと変更することで発光輝度は略８％程度低下するものの、発光効率は略１８％向上することがわかる。一方、図１７に示す従来のＰＤＰと図１２に示すこの発明の第５実施例によるＰＤＰの発光輝度と発光効率を比較すると、図１７に示す従来構造から図１２に示す第５実施例の構造へと変更することで発光輝度は略８％程度低下するものの、発光効率は略４９％も向上することがわかる。発光効率が高いと、維持放電回数を増やして輝度を上げても消費される電力が少なくて済むので、同じ消費電力で比較した場合には、図１１や図１２に示すこの発明の第４実施例及び第５実施例によるＰＤＰの方が従来知られているどのＰＤＰよりも高い発光輝度を実現することができる。この結果、従来知られているどのＰＤＰよりも消費電力を低減することができる。その上、従来知られているどのＰＤＰよりも動作マージンを広げられるため、従来得ることのできなかった高品位な表示画質を実現することが可能になる。
【００９６】
この発明によるＰＤＰでは、微細配線を橋渡しにして面電極７ｄ〜７ｎ部とバス電極８部とが接続されているため、従来構造と比して誤点灯電圧マージンを大きくすることができる。従来は、バス電極８部を非放電ギャップ１４部に接近させて配置すると、放電干渉を起こしやすい欠点があったが、この発明では、バス電極８部を非放電ギャップ１４部、つまり、隣接するセルに近接して設けても放電干渉が起こりにくいので、従来よりもセルの開口率を上げることができるようになる。この結果、より一層発光輝度や発光効率を向上させることが可能となる。この効果は、従来知られているどのＰＤＰにも見あたらない。
【００９７】
また、この発明のＰＤＰでは、複数の微小放電部のディメンジョンを独立に制御することが可能である。このため、従来よりもプラズマの発生状態を制御しやすく、電圧特性や発光特性を改善しやすいという大きな効果を有している。この効果もまた従来知られているどのＰＤＰにも見られない。
【００９８】
◇第６実施例
図１３は、この発明の第６実施例であるＰＤＰの単位画素（赤色発光単位セル，緑色発光単位セル，青色発光単位セルの３セル分）分を示す平面図である。この第６実施例のＰＤＰの構成が、上述の第４実施例のそれと大きく異なるところは、面電極をアンテナ形状に形成する場合、赤色セル、緑色セル及び青色セルに応じて各アンテナ形状面電極を構成する行方向細線電極の数を異ならせるようにした点である。
すなわち、この例では、図１３に示すように、赤色セル用アンテナ形状面電極７ｍｒ、緑色セル用アンテナ形状面電極７ｍｇ及び青色セル用アンテナ形状面電極７ｍｂは、いずれも行方向に伸びた等しい長さの複数の細線電極７Ｗが放電ギャップ１３部から非放電ギャップ１４部へ向かって等間隔で配置されていて、列方向に伸びた細線電極７Ｘにより連結されて各アンテナ形状が構成されているが、行方向細線電極７Ｗの数は、面電極７ｍｒ、面電極７ｍｇ、面電極７ｍｂの順に多く配置されている。このような特徴は、以下のような理由に基づいている。
【００９９】
上述のような赤色セル、緑色セル及び青色セルをそれぞれ構成する赤色可視発光用蛍光体（ｒ）、緑色可視発光用蛍光体（ｇ）及び青色可視発光用蛍光体（ｂ）の内、特に青色可視発光用蛍光体（ｂ）は、製造工程中での特性劣化が著しく、他の蛍光体に比べて発光輝度の低下が大きい問題がある。このため、従来は、製造されたＰＤＰの色温度が低下する結果となっていた。それゆえ、図１３に示すように、赤色セル、緑色セル及び青色セル毎に、それぞれの蛍光体の発光輝度特性に応じて各面電極７ｍｒ、面電極７ｍｇ及び面電極７ｍｂを構成している行方向細線電極７Ｗ（微小放電部）の数を調整することにより、従来困難であった色温度の向上が容易に達成できるようになる。
【０１００】
すなわち、この例によれば、各セル毎に独立して任意の発光輝度特性を持たせることができるので、様々な発光輝度特性を有するＰＤＰを実現することができるようになる。
【０１０１】
なお、この例では、等間隔で配置された行方向細線電極の数により色温度を制御する場合を例示したが、行方向細線電極は等間隔に配置する必要はなく、またその長さも等しい必要はない。例えば、行方向細線電極の面積を変化させてもよく、また各セル毎に異なる形状や面積を有する面電極を配置するようにしてもよい。さらに、各蛍光体の電気的特性のばらつきにより書込電圧が各セル間でばらつくことがあるが、これに関しても、例えば対向及び面放電ギャップを形成する部分の電極面積や形状を各セル毎に独立して制御することで、各セル間の書込電圧のばらつきを軽減させることができるようになる。この結果、パネル面内での放電ばらつきが減少するので、従来よりも動作マージンを改善することができるようになる。
【０１０２】
◇第７実施例
図１４は、この発明の第７実施例であるＰＤＰの構成を示す部分切断斜視図、図１５は同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。この第７実施例のＰＤＰの構成が、上述の第４実施例のそれと大きく異なるところは、面電極をアンテナ形状に形成する場合、両側面電極に適用するようにした点である。
すなわち、この例では、図１４及び図１５に示すように、両側面電極２０のバス電極８は上下に隣接する放電セル間の隔壁４上に配置されて、この共通のバス電極８から発光放電を担う両側アンテナ形状面電極７ｏが上下のセルに伸延している。ここで、両側アンテナ形状面電極７ｏは、いずれも行方向に伸びた等しい長さの複数の細線電極７Ｙが放電ギャップ１３部からバス電極８部へ向かって等間隔で配置されていて、列方向に伸びた細線電極７Ｚによりバス電極８に連結されている。
【０１０３】
この例によれば、図１５に示すように、空間的に分割された両側アンテナ形状面電極７ｏを用いて両側面電極２０を構成することにより、上下に隣接するセルの放電を独立に制御することができるようになるので、通常の面放電パネルで必要とされていた広い非放電ギャップが不要になり、面電極をセル内の広い領域に渡って形成することができる。これにより、分割された放電領域を形成するこの発明の面電極の特長をより有効に生かすことができるため、発光効率の大幅な向上を図ることができる。
【０１０４】
なお、この例では、両側アンテナ形状面電極７ｏにより両側面電極２０を構成する例で示したが、両側アンテナ形状面電極７ｏに限らず、前述の各実施例及び変形例で示した各面電極によっても両側面電極２０を構成することができる。また、面電極は透明電極で形成しても、バス電極と同様に金属電極で形成してもよい。また、この例で示した両側面電極２０の駆動には特別な波形信号が必要であるが、これには例えば特願平１１−３６５６１９号で示した波形信号を適用することにより実現することができる。また、駆動との関連で、バス電極８の上下部にそれぞれ伸延する両側アンテナ形状面電極７ｏの形状を異ならせるようにしてもよい。
【０１０５】
以上のように、この発明の各実施例によれば、従来成し得なかった発光輝度と発光効率との両立が可能となり、動作マージンをも大幅に改善することができるようになる。さらに、各セル毎に独立して発光輝度や電圧特性を制御することができるので、従来よりも色温度の向上や電圧ばらつきの軽減が容易となる。つまり、この発明によれば、従来では得られなかった優れたＰＤＰを得ることができる。
【０１０６】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば空間的に幾つかの領域に分割された微小放電部を有する面電極構造であれば、微小放電部の形状を最適化することでより有意義な特性改善が図られることは言うまでもない。したがって、実施例とは異なり、バス電極８によって放電ギャップ１３が形成され、面電極７ｄ〜７ｏによって非放電ギャップ１４が形成されていてもよいし、面電極７ｄ〜７ｏが複数のセルにまたがって形成されていてもかまわない。そして、第１実施例乃至第３実施例（図１乃至図１０）に例示した面電極７ｄ〜７ｌ構造は、第４実施例（図１１）や第５実施例（図１２）に例示した面電極７ｍ，７ｎ構造のような略台形状、あるいは略三角形状をしていてもよいし、その構成は、制限を受けるものではない。
【０１０７】
また、例えば１セル内の異なる位置に同じ放電ギャップを有する複数の面電極対を配置したような場合には、統計的な放電確率が向上し、放電ミスが改善されるため、従来よりも書込動作に要する時間を短縮することが可能になる。この結果、動作マージンをさらに改善することができるようになる。さらに、１セル内の異なる位置に異なる放電ギャップを有する複数の面電極対を配置したような場合には、放電発生箇所が空間的にも時間的にも離散するため、より一層発光輝度や発光効率が改善できるようになる。
【０１０８】
さらに、この発明によれば、ＰＤＰを構成している面電極７ｄ〜７ｏを金属材料だけで構成することが可能である。なぜならば、この発明のＰＤＰでは、面電極７ｄ〜７ｏを構成する複数の放電部が微細であり、また、高い発光輝度と発光効率が得られるため、遮光性を有する金属材料だけで面電極７ｄ〜７ｏを形成しても高品位な表示画質を維持することができるからである。この場合、面電極７ｄ〜７ｏをバス電極８と同一材料・同一工程で形成することができるようになるため、従来必須とされてきた透明導電材料による面電極の形成が省略できるようになり、製造工程数を減少させることができるようになる。この結果、従来よりも製造コストを削減することが可能になる。
【０１０９】
なお、金属材料から成る面電極７ｄ〜７ｏをバス電極と別に形成しても問題はない。この場合、面電極７ｄ〜７ｏに用いる金属材料の厚さを略５０ｎｍ以下とすれば可視光透過率が増加するので、より発光輝度や発光効率が上げられる。但し、略５ｎｍ以下になると、二次元的な金属膜形成がうまく行われず、金属膜部が島状化してしまい、部分的に電気導通されない領域が生じてしまうので、好ましくない。これは、面電極７ｄ〜７ｏが透明導電材料から成る場合も同様である。また、面電極７ｄ〜７ｏやバス電極８、つまり、スキャン電極９とコモン電極１０およびデータ電極２に用いる金属材料としては、Ａｕ（金）あるいはＡｕを含む合金、Ａｇ（銀）あるいはＡｇを含む合金、Ｃｕ（銅）あるいはＣｕを含む合金、ＡｌあるいはＡｌを含む合金が好ましい。その理由は、電気抵抗が低いためである。この場合、電圧パルスの波形なまりが少なく、発光輝度ムラ等を改善することができるようになる。
【０１１０】
また、Ｃｒ（クロム）あるいはＣｒを含む合金、Ｎｉ（ニッケル）あるいはＮｉを含む合金、Ｔｉ（チタン）あるいはＴｉを含む合金、Ｔａ（タンタル）あるいはＴａを含む合金、Ｈｆ（ハフニウム）あるいはＨｆを含む合金も好適な金属材料である。その理由は、融点が高く、ＰＤＰプロセスに適合しやいことに加えて、耐食性が高いために、端子接続部の信頼性が向上できるからである。また、Ｍｏ（モリブデン）あるいはＭｏを含む合金、Ｗ（タングステン）あるいはＷを含む合金も好適な金属材料である。その理由は、電気抵抗が低く、可視光反射率も低いからである。可視光反射率が低ければ、明所でのコントラストが改善できる。
そして、上記の電極構造は、単一金属材料から成る単層構造でもよいし、複数の金属材料から成る多層構造でもよい。多層構造の場合は、お互いの欠点を補うことが可能になる。例えば絶縁体材料との密着性が悪いＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの下に絶縁体材料との密着性が良いＡｌ，Ｃｒ，Ｎｉを設けてもよいし、耐食性の低いＣｕ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｗの上に耐食性の高いＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｈｆを設けてもよい。
【０１１１】
上述した技術の一部は、従来のＰＤＰにも応用することができる。例えば図１６及び図１７に示す帯形状面電極５７ａに、この発明のようなスリット形状やメッシュ形状を持たせれば、有意義な発光効率改善を図ることができる。このように、この発明の技術は、電極を用いて放電を発生させる全てのＰＤＰに適用可能である。
【０１１２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のプラズマディスプレイパネルによれば、電気力線の発生箇所である面電極部を空間的に幾つかの領域に分割された微小放電部で形成し、必要十分な電極面積でセル全体にプラズマを広げられるようにしたので、従来よりも大幅に消費電力を低減することが可能となり、従来のＰＤＰよりも発光輝度や発光効率を飛躍的に向上させることができる。
また、この発明のプラズマディスプレイパネルによれば、放電ギャップ部から非放電ギャップ部へ、セル縦中心軸から隔壁部へ向かって電気力線密度を減少させるようにしたので、書込動作から維持動作への遷移性が改善できる上、縦・横隣接セル間の放電干渉がより一層抑制できるようになり、従来よりも動作マージンを広げることができるようになる。この結果、従来よりも表示画質を向上させることが可能となる。
また、この発明のプラズマディスプレイパネルによれば、放電ギャップ部から非放電ギャップ部へ、セル縦中心軸から隔壁部へ向かって電気力線密度を増加させるようにしたので、放電ギャップ部で発生させた維持放電によるプラズマがセル全体に伸長させやすくなり、蛍光体層に満遍なく紫外光を照射できるようになる。このため、従来よりも発光輝度や発光効率が向上できるようになる。
また、この発明のプラズマディスプレイパネルによれば、放電ギャップ部から非放電ギャップ部へ向かって扇状に電気力線密度を減少させるようにしたので、より高い次元で発光特性（発光輝度，発光効率）と電圧特性（書込動作から維持動作への遷移性，隣接セル間の放電干渉性）とを両立できるようになる。このため、従来知られているどのＰＤＰよりも消費電力を少なく、また、動作マージンを広くすることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例であるＰＤＰの構成を示す部分切断斜視図である。
【図２】同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図３】この発明の第１実施例であるＰＤＰの第１の変形例の単位セル分を示す平面図である。
【図４】この発明の第１実施例であるＰＤＰの第２の変形例の単位セル分を示す平面図である。
【図５】この発明の第２実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図６】この発明の第２実施例であるＰＤＰの第１の変形例の単位セル分を示す平面図である。
【図７】この発明の第２実施例であるＰＤＰの第２の変形例の単位セル分を示す平面図である。
【図８】この発明の第３実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図９】この発明の第３実施例であるＰＤＰの第１の変形例の単位セル分を示す平面図である。
【図１０】この発明の第３実施例であるＰＤＰの第２の変形例の単位セル分を示す平面図である。
【図１１】この発明の第４実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図１２】この発明の第５実施例であるＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図１３】この発明の第６実施例であるＰＤＰの単位画素分を示す平面図である。
【図１４】この発明の第７実施例であるＰＤＰの構成を示す部分切断斜視図である。
【図１５】同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図１６】従来のＰＤＰの構成を示す部分切断斜視図である。
【図１７】同ＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図１８】従来のＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図１９】従来のＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図２０】従来のＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【図２１】従来のＰＤＰの単位セル分を示す平面図である。
【符号の説明】
１      後面基板
２      データ電極
３      白色誘電体層
４      隔壁
５      蛍光体層（赤色発光用５ｒ，緑色発光用５ｇ，青色発光用５ｂ）
６      前面基板
７Ａ，７Ｃ，７Ｅ，７Ｇ，７Ｉ，７Ｋ，７Ｍ，７Ｏ，７Ｑ，７Ｓ，７Ｕ，７Ｗ，７Ｙ      行方向細線電極
７Ｂ，７Ｄ，７Ｆ，７Ｈ，７Ｊ，７Ｌ，７Ｎ，７Ｐ，７Ｒ，７Ｔ，７Ｖ，７Ｘ，７Ｚ      列方向細線電極
７ａ      帯形状面電極
７ｂ      長方形状面電極
７ｃ      Ｔ字形状面電極
７ｄ，７ｅ，７ｆ      横スリット形状面電極
７ｇ，７ｈ，７ｉ      縦スリット形状面電極
７ｊ，７ｋ，７ｌ      メッシュ形状面電極
７ｍ      アンテナ形状面電極
７ｎ      スネーク形状面電極
７ｍｒ      赤色セル用アンテナ形状面電極
７ｍｇ      緑色セル用アンテナ形状面電極
７ｍｂ      青色セル用アンテナ形状面電極
７ｏ      両側アンテナ形状面電極
８      バス電極
９      スキャン電極
１０      コモン電極
１１      透明誘電体層
１２      保護層
１３      放電ギャップ
１４      非放電ギャップ
２０      両側面電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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