【手続補正書】
【提出日】平成27年8月28日(2015.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹ仮想平面のＹ軸に沿って移動するＹ軸スライダに接続したＹ軸ベースと、
前記ＸＹ仮想平面のＸ軸に沿って移動するＸ軸スライダをガイドするＸ軸ガイドに接続したＸ軸ベースとを備え、
前記Ｙ軸ベースと前記Ｘ軸ベースとが前記ＸＹ仮想平面と交差するＺ軸の周りに回転可能に、前記Ｙ軸ベースが前記Ｙ軸スライダに接続し、かつ前記Ｘ軸ベースが前記Ｘ軸ガイドに接続していることを特徴とするＸＹ拘束ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のＸＹ拘束ユニットにおいて、
前記Ｙ軸ベースおよび前記Ｘ軸ベースのうちの少なくとも１つに孔が設けられており、
さらに、前記孔に挿入されるとともに、前記Ｙ軸ベースと前記Ｘ軸ベースとを接続する接続部材とを有し、
さらに、前記孔の内周面と前記接続部材の外周面との間に位置しているベアリング部材を有することを特徴とするＸＹ拘束ユニット。
【請求項３】
前記Ｙ軸スライダと、前記Ｘ軸ガイドと
請求項１または２に記載のＸＹ拘束ユニットとを備えたことを特徴とするステージ装置。
【請求項４】
ＸＹ仮想平面のＹ軸に平行な第１案内面を有する第１Ｙ軸ガイドと、
前記ＸＹ仮想平面のＸ軸に平行な第２案内面を有する第２Ｙ軸ガイドと、
前記第１案内面に沿って前記Ｙ軸に沿って移動可能である第１Ｙ軸スライダと、
前記第２案内面に沿って前記Ｙ軸に沿って移動可能である第２Ｙ軸スライダと、
一端が前記第１Ｙ軸スライダに接続し、且つ他端が前記第２Ｙ軸スライダに接続しているとともに、前記Ｘ軸に平行な第３案内面を有するＸ軸ガイドと、
前記第３案内面に沿って前記Ｘ軸に沿って移動可能であるＸ軸スライダと、
前記第１Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとを接続している第１ＸＹ拘束ユニットと、
前記第２Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとを接続している第２ＸＹ拘束ユニットとを備え、
前記第１ＸＹ拘束ユニットおよび前記第２ＸＹ拘束ユニットは、
前記Ｙ軸スライダに接続したＹ軸ベースと、
前記Ｘ軸ガイドに接続したＸ軸ベースとを備え、
前記Ｙ軸ベースと前記Ｘ軸ベースとが前記ＸＹ仮想平面と交差するＺ軸の周りに回転可能に、前記Ｙ軸ベースが前記Ｙ軸スライダに接続しており、かつ前記Ｘ軸ベースが前記Ｘ軸ガイドに接続していることを特徴とするステージ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のステージ装置において、
前記第１ＸＹ拘束ユニットは、前記第１Ｙ軸スライダに接続しているとともに前記ＸＹ仮想平面に直交する前記Ｚ軸に沿った第１孔を有する第１Ｙ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続した第１Ｘ軸ベースと、前記第１孔に挿入されているとともに前記第１Ｘ軸ベースに固定された第１接続部材と、前記第１孔の内周面と前記第１接続部材の外周面との間に位置している第１ベアリング部材とを有し、
前記第２ＸＹ拘束ユニットは、前記第２Ｙ軸スライダに接続しているとともに前記Ｚ軸に沿った第２孔を有する第２Ｙ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続した第２Ｘ軸ベースと、前記第２孔に挿入されているとともに前記第２Ｘ軸ベースに固定された第２接続部材と、前記第２孔の内周面と前記第２接続部材の外周面との間に位置している第２ベアリング部材とを有し、
前記第１ベアリング部材および前記第２ベアリング部材はいずれも複数のベアリングボールであることを特徴とするステージ装置。
【請求項６】
請求項４に記載のステージ装置において、
前記第１ＸＹ拘束ユニットは、前記第１Ｙ軸スライダに接続した第１Ｙ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続するとともに前記ＸＹ仮想平面に直交する前記Ｚ軸に沿った第１孔を有する第１Ｘ軸ベースと、前記第１孔に挿入されているとともに前記第１Ｙ軸ベースに固定された第１接続部材と、前記第１孔の内周面と前記第１接続部材の外周面との間に位置している第１ベアリング部材とを有し、
前記第２ＸＹ拘束ユニットは、前記第２Ｙ軸スライダに接続した第２Ｙ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続するとともに前記Ｚ軸に沿った第２孔を有する第２Ｘ軸ベースと、前記第２孔に挿入されているとともに前記第２Ｙ軸ベースに固定された第２接続部材と、前記第２孔の内周面と前記第２接続部材の外周面との間に位置している第２ベアリング部材とを有し、
前記第１ベアリング部材および前記第２ベアリング部材はいずれも複数のベアリングボールであることを特徴とするステージ装置。
【請求項７】
請求項４に記載のステージ装置において、
前記第１ＸＹ拘束ユニットは、前記第１Ｙ軸スライダに接続しているとともに前記ＸＹ仮想平面に直交するＺ軸に沿った第１孔を有する第１Ｙ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続した第１Ｘ軸ベースと、前記第１孔に挿入されているとともに前記第１Ｘ軸ベースに固定された第１接続部材と、前記第１孔の内周面と前記第１接続部材の外周面との間に位置している第１ベアリング部材とを有し、
前記第２ＸＹ拘束ユニットは、前記第２Ｙ軸スライダに接続した第２Ｙ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続しているとともに前記Ｚ軸に沿った第２孔を有する第２Ｘ軸ベースと、前記第２孔に挿入されているとともに前記第２Ｙ軸ベースに固定された第２接続部材と、前記第２孔の内周面と前記第２接続部材の外周面との間に位置している第２ベアリング部材とを有し、
前記第１ベアリング部材および前記第２ベアリング部材はいずれも複数のベアリングボールであることを特徴とするステージ装置。
【請求項８】
請求項５、６、または７のいずれかに記載のステージ装置において、
前記第１Ｘ軸ベース、前記第２Ｘ軸ベース、前記第１Ｙ軸ベース、前記第２Ｙ軸ベース、前記第１接続部材、前記第２接続部材、前記第１ベアリング部材および前記第２ベアリング部材は、セラミックスからなることを特徴とするステージ装置。
【請求項９】
請求項５、６、または７のいずれかに記載のステージ装置において、
前記第１ＸＹ拘束ユニットは、前記第１接続部材を周方向に取り囲むとともに、前記第１ベアリング部材を介して、前記Ｚ軸に沿って互いに離れた一対の第１ベアリングＯリングをさらに有し、
前記第２ＸＹ拘束ユニットは、前記第２接続部材を周方向に取り囲むとともに、前記第２ベアリング部材を介して、前記Ｚ軸に沿って互いに離れた一対の第２ベアリングＯリングをさらに有することを特徴とするステージ装置。
【請求項１０】
請求項５、６、または７のいずれかに記載のステージ装置において、
前記第１Ｙ軸スライダに載置された第１支持用ボールと、
前記第２Ｙ軸スライダに載置された第２支持用ボールと、
一端が前記Ｘ軸ガイドに接続しているとともに、他端が前記第１支持用ボールに支持された第１アームと、
一端が前記Ｘ軸ガイドに接続しているとともに、他端が前記第２支持用ボールに支持された第２アームとをさらに備えていることを特徴とするステージ装置。
【請求項１１】
請求項５、６、または７のいずれかに記載のステージ装置において、
前記第１ＸＹ拘束ユニットおよび前記第２ＸＹ拘束ユニットをそれぞれ２つずつ備えており、
２つの前記第１ＸＹ拘束ユニットは、前記ＸＹ仮想平面において、前記Ｘ軸ガイドを介して互いに離れており、
２つの前記第２ＸＹ拘束ユニットは、前記ＸＹ仮想平面において、前記Ｘ軸ガイドを介して互いに離れていることを特徴とするステージ装置。
【請求項１２】
請求項５、６、または７のいずれかに記載のステージ装置において、
前記第１Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとの第１連結部において、前記第１Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとの間に介在した第１介在Ｏリングと、
前記第２Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとの第２連結部において、前記第２Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとの間に介在した第２介在Ｏリングとをさらに備え、
前記第１Ｙ軸スライダ、前記第２Ｙ軸スライダおよび前記Ｘ軸ガイドのそれぞれの内部には、前記第１連結部および前記第２連結部において互いにつながった排気経路が形成されていることを特徴とするステージ装置。
【請求項１３】
請求項５、６、または７のいずれかに記載のステージ装置において、真空チャンバの内部に収容されて用いられることを特徴とするステージ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＸＹ拘束ユニットおよびステージ装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明のＸＹ拘束ユニットは、ＸＹ仮想平面のＹ軸に沿って移動するＹ軸スライダに接続したＹ軸ベースと、前記ＸＹ仮想平面のＸ軸に沿って移動するＸ軸スライダをガイドするＸ軸ガイドに接続したＸ軸ベースとを備え、前記Ｙ軸ベースと前記Ｘ軸ベースとが前記ＸＹ仮想平面と交差するＺ軸の周りに回転可能に、前記Ｙ軸ベースが前記Ｙ軸スライダに接続し、かつ前記Ｘ軸ベースが前記Ｘ軸ガイドに接続している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他のＸＹ拘束ユニットは、前記Ｙ軸ベースおよび前記Ｘ軸ベースのうちの少なくとも１つに孔が設けられており、さらに、前記孔に挿入されるとともに、前記Ｙ軸ベースと前記Ｘ軸ベースとを接続する接続部材とを有し、さらに、前記孔の内周面と前記接続部材の外周面との間に位置しているベアリング部材を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のステージ装置は、前記Ｙ軸スライダと、前記Ｘ軸ガイドと上述したＸＹ拘束ユニットを備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の他のステージ装置は、ＸＹ仮想平面のＹ軸に平行な第１案内面を有する第１Ｙ軸ガイドと、前記ＸＹ仮想平面のＸ軸に平行な第２案内面を有する第２Ｙ軸ガイドと、前記第１案内面に沿って前記Ｙ軸に沿って移動可能である第１Ｙ軸スライダと、前記第２案内面に沿って前記Ｙ軸に沿って移動可能である第２Ｙ軸スライダと、一端が前記第１Ｙ軸スライダに接続し、且つ他端が前記第２Ｙ軸スライダに接続しているとともに、前記Ｘ軸に平行な第３案内面を有するＸ軸ガイドと、前記第３案内面に沿って前記Ｘ軸に沿って移動可能であるＸ軸スライダと、前記第１Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとを接続している第１ＸＹ拘束ユニットと、前記第２Ｙ軸スライダと前記Ｘ軸ガイドとを接続している第２ＸＹ拘束ユニットとを備え、前記第１ＸＹ拘束ユニットおよび前記第２ＸＹ拘束ユニットは、前記Ｙ軸スライダに接続したＹ軸ベースと、前記Ｘ軸ガイドに接続したＸ軸ベースとを備え、前記Ｙ軸ベースと前記Ｘ軸ベースとが前記ＸＹ仮想平面と交差するＺ軸の周りに回転可能に、前記Ｙ軸ベースが前記Ｙ軸スライダに接続しており、かつ前記Ｘ軸ベースが前記Ｘ軸ガイドに接続している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】