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　特願２００２−５５４７８９「近赤外線分光器を利用した金属膜エッチング工程制御方法及び金属膜エッチング工程用エッチャントの再生方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年　７月１１日国際公開、ＷＯ０２／５４１５５、平成１６年　６月１０日国内公表、特表２００４−５１７４８６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００１年（平成１３年）３月２７日（パリ条約による優先権主張２０００年１２月３０日、大韓民国）を国際出願日とする出願であって、平成１７年８月２６日付け拒絶理由通知に対して、平成１８年２月２７日付けで手続補正がされたが、平成１８年３月１６日付けで拒絶査定され、これに対し、平成１８年６月２０日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、平成１８年７月２０日付けで手続補正がされたものである。
　
第２　平成１８年７月２０日付けの手続補正についての補正却下の決定
〔補正却下の決定の結論〕
　平成１８年７月２０日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
〔理由〕
１．本件補正の内容及び本件補正後の本願発明
　本件補正は、（ａ）補正前の請求項２及び請求項８を削除した点、（ｂ）補正後の請求項１、６に対応する補正前の請求項１、７記載の、エッチャント組成が含有する「多成分」を、「塩酸、硝酸、酢酸、リン酸、フッ酸、シュウ酸、硫酸、及び硝酸二アンモニウムセリウムからなる群より選択される一つ以上の物質と、水とを含有する」ものに限定し、それに伴って補正前の請求項１、７記載の「前記多成分に特徴的な近赤外波長光」及び「前記多成分を分析する」を、「前記エッチャント成分に特徴的な近赤外波長光」及び「前記エッチャント全成分を分析する」と補正した点、及び（ｃ）同じく補正後の請求項１、６に対応する補正前の請求項１、７記載の「多重回帰分析」を、「近赤外光吸収スペクトルの多重回帰分析」に限定した点を含むものであり、上記（ａ）の補正事項は、請求項の削除を目的とするものに該当し、上記（ｂ）及び（ｃ）の補正事項は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後における特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たすか）否かを、その請求項６に係る発明（以下、「本願補正発明」という。）について、以下検討する。
　
　本願補正発明は、本件補正後の明細書の特許請求の範囲の請求項６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
「【請求項６】エッチャント再生方法において、
　前記方法はエッチャントの組成を調整するための再生反応器内のエッチャント組成を近赤外線分光器で分析する過程；
　前記分析した組成を基準組成と比較して前記エッチャントに新しく供給すべき成分を決定する過程；及び、
　前記必要な成分を前記再生反応器内に供給する過程を含み、
　前記エッチャント組成が、塩酸、硝酸、酢酸、リン酸、フッ酸、シュウ酸、硫酸、及び硝酸二アンモニウムセリウムからなる群より選択される一つ以上の物質と、水とを含有し、
　前記エッチャント成分に特徴的な近赤外波長光を前記近赤外線分光器により照射し、近赤外光吸収スペクトルの多重回帰分析により前記エッチャント全成分を分析する、前記方法。」
　
２．引用例及びその記載事項並びに引用発明
（１）これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先権主張日前に頒布された刊行物である特開平７−２７８８４７号公報（以下、「引用例１」という。なお、本引用例１は、原審の平成１７年８月２６日付け拒絶理由通知における「引用文献３」に対応する。）には、図１〜図４とともに、以下の事項が記載されている。
　
〔１ａ〕「【請求項１】処理槽内の薬液濃度をリアルタイムに検知し、その薬液濃度が予め設定された管理限界以下になった時、薬液補充槽から薬液を自動的に補充し、そして予め設定された管理限界以上になった時、前記薬液補充を停止することを特徴とする化学的処理装置における薬液濃度管理方法。」（【特許請求の範囲】の【請求項１】）
　
〔１ｂ〕「【産業上の利用分野】
　この発明は、・・・特に半導体装置を製造する場合の半導体ウエハの処理工程の、例えば、エッチング処理工程や洗浄処理工程に用いて好適なものである。以下の説明では、加工物として半導体ウエハを取り挙げ、そのウエットエッチング処理（以下、単に「エッチング処理」と記す）を行う場合について説明する。」（【０００１】）
　
〔１ｃ〕「エッチング処理用の薬液Ｌとしては、ＨＦ、ＢＨＦ、Ｈ3ＰＯ4の混合液などを挙げることができる。」（【０００３】）
　
〔１ｄ〕「【作用】
　それ故、処理槽内の薬液の濃度を、常時、自動的に一定に保つことができ、従って、被加工物に対するエッチング量を安定させることができる。」（【０００９】）
　
〔１ｅ〕「先ず、図１を用いて、この発明の化学的処理装置の一つとしてエッチング装置を取り挙げ、その薬液の薬液濃度管理方法及びその装置を説明する。
　図１において、符号１Ａは全体としてこの発明のエッチング装置を指す。このエッチング装置１Ａは従来技術のエッチング装置１を構成している処理槽２、循環ポンプ３、フィルター４、薬液補充槽５、コントローラ６、バルブ７、８及び各種パイプの他に、薬液濃度測定センサー１１、薬液濃度データ処理装置１２、表示装置１３、プリンター１４、入力装置１５、アラーム装置１６などから構成された薬液濃度管理装置１０を備えている。・・・
　この薬液濃度管理装置１０の入力側に当たる前記薬液濃度測定センサー１１は処理槽２の出口２Ｃに接続されたバルブ７に並列に接続されている。即ち、この薬液濃度測定センサー１１の入口側はパイプ９Ｅでバルブ７Ａを介してバルブ７の入口側のパイプ９Ａに、またその出口側はパイプ９Ｆを介してバルブ７の出口側のパイプ９Ａに接続されている。この薬液濃度測定センサー１１は、例えば、クラボウ（株）からケミカライザーという商品名で販売されているものが好適であり、ファン等の冷却器１１Ａを備えている。この薬液濃度測定センサー１１で測定された測定データはその出力側に接続された伝送ケーブル１７Ａを介して薬液濃度データ処理装置１２へ伝送される。
　また、前記薬液濃度管理装置１０の出力側に当たる前記薬液濃度データ処理装置１２の出力は伝送ケーブル１７Ｂを通じてコントローラ６の入力側に接続されている。」（【００１１】〜【００１２】）
　
〔１ｆ〕「次に、図１及び図２を用いて、この発明のエッチング装置１Ａの薬液濃度管理装置１０の動作を説明する。
　先ず、バルブ７を閉め、バルブ７Ａを開けておく。前記処理槽２の出口２Ｃから流出した薬液Ｌの一部は、パイプ９Ｅを流れ、薬液濃度測定センサー１１に流入する。流入した薬液Ｌの濃度はこの薬液濃度測定センサー１１で検知され、薬液濃度データ処理装置１２へ伝送ケーブル１７Ａを通じて送られ、ＣＰＵ１２Ａでデータ処理されて、その薬液濃度が判定される。その判定結果は伝送ケーブル１７Ｂを通じてコントローラ６に入力され、後記の制御の基になる。この判定結果は時々刻々と表示装置１３へ出力され、監視することができる。・・・
　薬液濃度が、図２に示したような予め設定した管理限界下限２７付近（データ２１部分）になった場合、薬液濃度データ処理装置１２から薬液補充のＯＮ指令が、伝送ケーブル１７Ｂを通じてコントローラ６に伝送され、アラーム１７を発報すると同時に指令を受けたコントローラ６の制御信号で電磁バルブ８が作動して、この電磁バルブ８が開き、薬液補充槽５から前記処理槽２へ薬液の補充が行われる。・・・
　また、そのまま薬液の補充を継続すると、前記処理槽２の薬液濃度は上昇し、図２に示したような管理限界上限２６付近（データ２２部分）まで上昇する。ここまで濃度が上昇した場合、管理限界下限の感知と同様に、薬液濃度測定センサー１１がこの濃度の管理限界上限を感知し、薬液濃度データ処理装置１２で薬液の補充を停止するＯＦＦ指令を出力する。このＯＦＦ指令を受けた前記コントローラ６の制御信号で電磁バルブ８が作動して、この電磁バルブ８が閉じ、薬液補充槽５から前記処理槽２へ薬液の補充を停止する。
・・・
　この発明のエッチング装置１Ａを用いた場合のエッチング量を図３に示した。この発明のエッチング装置１Ａでは、常時、処理槽２の薬液の濃度がほぼ一定に保たれるので、図３に示したように被加工物に対するエッチング量が安定する。また、この発明のエッチング装置１Ａでは、図４に示したように、薬液Ｌの使用量をほぼ必要最低限の量で済ませることができ、薬液の無駄な消費を防ぐことができる。」（【００１４】〜【００１７】）
　
（２）上記引用例１の摘記事項〔１ａ〕〜〔１ｆ〕及び図１〜図４の記載を総合勘案すると、引用例１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「処理槽内の薬液濃度をリアルタイムに検知し、その薬液濃度が予め設定された管理限界以下になった時、薬液補充槽から薬液を自動的に補充し、そして予め設定された管理限界以上になった時、前記薬液補充を停止することを特徴とする化学的処理装置における薬液濃度管理方法において、
　前記化学的処理装置が、半導体装置を製造する場合の半導体ウエハのウエットエッチング処理工程を行うためのものであり、
　前記ウエットエッチング処理用の薬液が、ＨＦ、ＢＨＦ、Ｈ3ＰＯ4の混合液であり、
　前記処理槽内の薬液濃度をリアルタイムに検知する手段が、前記処理槽の出口から流出した薬液の一部の濃度を検知する、クラボウ（株）からケミカライザーという商品名で販売されている薬液濃度測定センサーであり、
　常時、処理槽の薬液の濃度がほぼ一定に保たれる、薬液濃度管理方法。」
　
３．対比・判断
　そこで、本願補正発明と引用発明とを対比する。
　
（ア）引用発明における「薬液」は、ウエットエッチング処理用であるから、本願補正発明における「エッチャント」に相当する。
（イ）引用発明において検知乃至管理の対象となる、薬液即ちエッチャントの「濃度」は、本願補正発明における「エッチャントの組成」乃至「エッチャント組成」に相当する。
（ウ）引用発明における「処理槽」は、常時その内部の薬液の濃度即ちエッチャントの組成がほぼ一定に保たれるように、薬液補充槽から薬液が補充されるものであるから、本願補正発明における「エッチャントの組成を調整するための再生反応器」乃至「再生反応器」に相当する。
（エ）引用発明における「クラボウ（株）からケミカライザーという商品名で販売されている薬液濃度測定センサー」は、近赤外線波長光を薬液に照射して得られた分光特性により薬液の濃度を測定する装置としてよく知られたものであるから、本願補正発明における「近赤外線分光器」であって、「エッチャント成分に特徴的な近赤外波長光を照射し」、エッチャントの成分を分析するものに対応する。
（オ）引用発明における「予め設定された管理限界」の薬液濃度は、本願補正発明における「基準組成」に相当する。
（カ）引用発明において、「クラボウ（株）からケミカライザーという商品名で販売されている薬液濃度測定センサー」を用いて「処理槽内の薬液濃度をリアルタイムに検知」することは、本願補正発明における「エッチャントの組成を調整するための再生反応器内のエッチャント組成を近赤外線分光器で分析する過程」に相当する。
（キ）引用発明において、（リアルタイムに検知された）薬液濃度が予め設定された管理限界以下になった時、薬液補充槽から薬液を自動的に補充し、そして予め設定された管理限界以上になった時、前記薬液補充を停止することは、本願補正発明における「分析した組成を基準組成と比較してエッチャントに新しく供給すべき成分を決定する過程」及び「必要な成分を再生反応器内に供給する過程」に相当する。
（ク）上記（カ）、（キ）を考慮すると、引用発明における「化学的処理装置における薬液濃度管理方法」は、本願補正発明における「エッチャント再生方法」に相当する方法であるといえる。
　
　してみると、本願補正発明と引用発明とは次の点で一致する。
　
＜一致点＞
「エッチャント再生方法において、
　前記方法はエッチャントの組成を調整するための再生反応器内のエッチャント組成を近赤外線分光器で分析する過程；
　前記分析した組成を基準組成と比較して前記エッチャントに新しく供給すべき成分を決定する過程；及び
　前記必要な成分を前記再生反応器内に供給する過程を含み、
　前記エッチャント成分に特徴的な近赤外波長光を前記近赤外分光器により照射し、エッチャントの成分を分析する、前記方法。」
　
　一方で、本願補正発明と引用発明とは次の点で相違する。
　
＜相違点１＞
　エッチャントの組成が、本願補正発明では、「塩酸、硝酸、酢酸、リン酸、フッ酸、シュウ酸、硫酸、及び硝酸二アンモニウムセリウムからなる群より選択される一つ以上の物質と、水とを含有」するものであるのに対して、引用発明では、「ＨＦ、ＢＨＦ、Ｈ3ＰＯ4の混合液」である点。
　
＜相違点２＞
　エッチャント成分に特徴的な近赤外波長光を近赤外線分光器により照射して行う分析について、本願補正発明では、「近赤外光吸収スペクトルの多重回帰分析によりエッチャント全成分を分析する」のに対して、引用発明では、そのような多重回帰分析によりエッチャント全成分を分析するか否か不明な点。
　
　以下、上記相違点１、２について検討する。
　
＜相違点１について＞
　ＨＦ（フッ化水素酸）やＨ3ＰＯ4（リン酸）は、下記の参考文献１、２に記載されるように、通常は水溶液であるから、引用発明において、エッチャントの組成として開示される「ＨＦ、ＢＨＦ、Ｈ3ＰＯ4の混合液」も、その成分であるフッ化水素酸やリン酸に含まれる水が当然に含有されているものと認められる。
　してみると、引用発明における上記「ＨＦ、ＢＨＦ、Ｈ3ＰＯ4の混合液」は、本願補正発明における「塩酸、硝酸、酢酸、リン酸、フッ酸、シュウ酸、硫酸、及び硝酸二アンモニウムセリウムからなる群より選択される一つ以上の物質と、水とを含有」するエッチャント組成の内、リン酸及びフッ酸と、水とを含有するように選択された一態様のものと実質的に相違するものではない。
　よって、上記相違点１は、実質的なものではない。
　
参考文献１：化学大辞典編集委員会編，「化学大辞典７」，縮刷版，共立出版株式会社，１９６４年１月，ｐ．８６５−８６６
〔参１〕「ふっかすいそさん　弗化水素酸，　フッ酸・・・
フッ化水素は水と任意の割合に混合し，その水溶液をフッ化水素酸とよぶ．・・・市販品は４６〜５０％のフッ化水素を含む．」
　
参考文献２：東京理科大学理工学辞典編集委員会編，「理工学辞典」，初版，株式会社日刊工業新聞社，１９９６年３月，ｐ．１５４１
〔参２〕「リン（燐）酸・・・
十酸化四リン（燐）Ｐ4Ｏ10が加水分解を受けてできる酸の総称．・・・通常はオルト燐酸を単に燐酸という．十酸化四燐に十分の水を作用させるか，赤燐を濃硝酸で酸化することによって得られる．Ｈ3ＰＯ4＝９８．０．・・・７５〜８９％水溶液として市販されている．」
　
＜相違点２について＞
　近赤外領域に吸収特性を有する成分を複数含有する液体混合物に近赤外波長光を照射し、これによって得られる近赤外光吸収スペクトルを多重回帰分析（重回帰分析）することにより上記液体混合物中に含まれる上記各成分の濃度を同時に測定する手法は、下記の周知例１〜４に記載されるように、本願の優先権主張日前既に周知のものにすぎず、このように周知の手法を引用発明におけるエッチャントの各成分の濃度の測定、即ちエッチャント組成の分析に用いて本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
周知例１：特表平５−５０２３００号公報
〔周１ａ〕「パラフィン類、イソパラフィン類、芳香族類、ナフテン類またはオレフィン類を成分として含有する複雑な炭化水素混合物中の炭化水素および置換炭化水素を分析して成分濃度を測定する方法において、・・・（ａ）・・・に対して、８８０〜９７４、・・・２，０５８〜２，１３０ｎｍ帯域の少なくとも１つの波長で近赤外吸光度を測定し、（ｂ）上記測定した各吸光度またはそれらの数学的関数を求め、（ｃ）個々の独立した変数として上記吸光度または関数を用いて多重回帰分析、部分最小二乗解析またはその他の統計学的処理を行い、（ｄ）上記独立した変数に対する重み定数または同値を決定および適用し、（ｅ）公知の組成物を用いて上記工程を実施して、機器をキャリブレーションし、かつ前記重み定数または同値を測定し、（ｆ）未知組成物を用いて上記工程を繰り返し、公知物質を用いて上記キャリブレーション中に測定された上記重み定数または同値を適用して１つまたは複数のＰＩＡＮＯ成分濃度を示す１つまたは複数のシグナルを出力させることを特徴とする方法。」（第１頁左欄第２〜２５行）
　
〔周１ｂ〕「パラフィン類、イソパラフィン類、芳香族類、ナフテン類またはオレフィン類（すなわち、ＰＩＡＮＯ）の個々の成分の測定を教示する数多くの技術が・・・に記載されている。」（第２頁右上欄第１１〜１３行）
　
周知例２：特開平８−１７８８４２号公報
〔周２ａ〕「フェノール類、二価アルコール及びアルカリ土類金属酸化物又はアルカリ土類金属水酸化物、更に必要に応じて硫黄を反応させて得られる反応生成物及び中間生成物中の二価アルコールの成分濃度を分析する方法において、
　（１）相互に異なる、既知の二価アルコールの成分濃度を有する複数個の基準試料の各々について、
　（ａ）近赤外分光分析計を使用して、８００〜２５００ｎｍ帯域の少なくとも１つの波長領域で吸光度対波長関係を求め、
　（ｂ）各波長領域の吸光度対波長関係を波長により一次微分した関数、二次微分した関数及び更に高次微分した関数のうちのいずれかの関数を選定し、
　（ｃ）各波長領域で特定波長をそれぞれ選定し、
　（ｄ）特定波長に対して、選定した関数の関数値を算出し、
　（ｅ）工程（ｂ）で選定した関数を独立変数とする二価アルコールの成分濃度の関数からなるキャリブレーション方程式について、各試料の二価アルコールの既知成分濃度と工程（ｄ）で求めた各試料の関数値とに基づいて、多重回帰解析法及び部分最小二乗解析法を含む統計学的処理のいずれかを行って、上記キャリブレーション方程式のオフセット定数及び独立変数に対する重み定数を決定して、近赤外分光分析計で測定した吸光度に基づき二価アルコールの成分濃度を算出するキャリブレーション方程式を確立し、
　（２）次いで、近赤外分光分析計を使用して、測定試料について上記工程（ａ）及び（ｄ）を実施し、更に得た関数値に基づきキャリブレーション方程式に従って測定試料の二価アルコール成分濃度を算出することを特徴とする二価アルコールの成分濃度の分析方法。」（【特許請求の範囲】の【請求項２】）
　
周知例３：特開平８−２９３３２号公報
〔周３ａ〕「所望の波長間を反復走査させた単色光を標準液および被検液に透過させてその吸光度を検出し、その検出信号に基づいて、多変量解析における主成分分析法により、多成分水溶液中の各成分の濃度値を求める多成分水溶液の分析方法であって、
　校正段階にて、既知濃度のｋ個の成分の標準液の１５００ｎｍ〜１８５０ｎｍにおける近赤外スペクトルを成分組成比を変えてｎ個測定し、各スペクトルのｐ個の吸光度値からなるｎ行ｐ列の応答行列から、指定した因子の数ｍのｐ行ｍ列の負荷行列とｍ行ｋ列の間行列とを求め、推定段階にて、純水を含めた未知濃度のｋ個の成分よりなる被検液の波長１５００ｎｍ〜１８５０ｎｍにおける近赤外スペクトルのｐ個の吸光度値を求め、その吸光度値群と、前記校正段階で求めた負荷行列と間行列とから、行列演算により、前記ｋ個の成分の濃度値を求めることを特徴とする多成分水溶液の分析方法。」（【特許請求の範囲】の【請求項１】）
　
〔周３ｂ〕「未知濃度の成分の１つに純水を含めたことにより、図４の吸光度スペクトルに示されるように、走査範囲である１５００ｎｍ〜１８５０ｎｍの波長域にて、純水５３とアンモニア水５４の吸光度の差が明瞭に表れていることから、同範囲内にて、特に半導体プロセスに用いられるアンモニア水や過酸化水素の水溶液の濃度をそれぞれ精度よく検出することができる。なお、５１，５２は水の吸収波長、５５は波長１５００ｎｍ〜１８５０ｎｍの波長域を示す。」（【００２４】）
　
〔周３ｃ〕「水の比較的に弱い吸光度スペクトル５１，５２に近い近赤外領域を使用しているので、純水も未知濃度の１成分として独立に測定することができ、濃度合計値が１００％になるか否かで測定値の確認ができる。」（【００２８】）
　
周知例４：特開２０００−１３１２２８号公報
〔周４ａ〕「【発明の属する技術分野】
　本発明は、紫外領域と近赤外領域で特性吸収をするサンプルの特性値（濃度など）を測定する方法に関するものである。・・・
　　【従来の技術】
　薬液の濃度の管理は、たとえば半導体製造工程において、半導体ウエハの洗浄，エッチングなどのウエット処理工程において必要である。」（【０００１】〜【０００２】）
　
〔周４ｂ〕「【発明の実施の形態】
　以下、添付の図面を参照して本発明の実施の形態の測定法を説明する。
　この測定法では、紫外線と近赤外線を使用して、紫外線と近赤外線の両方で吸収をする液体の特性値(たとえば濃度)を測定する。この方法を用いて測定する薬液の具体例として、アンモニアと過酸化水素の混合液、塩酸と過酸化水素の混合液、硫酸と過酸化水素の混合液、フッ酸と過酸化水素の混合液、フッ酸とオゾンの混合液、フッ酸と硝酸と酢酸の混合液、リン酸と硝酸と酢酸の混合液がある。概して、Ｃ＝Ｃ、Ｃ＝Ｏ、Ｎ＝Ｎの２重結合を有している分子を含む混合液である。・・・
　測定に用いる分光測定装置は、紫外線測定部と近赤外線測定部とからなる。両測定部に共通の分光器のセルに導入した同じ液体サンプルについて紫外線と近赤外線を透過し、透過強度を紫外線測定部と近赤外線測定部により測定する。
・・・
　測定に用いる重回帰式（検量線）は次のように求められる。まず、紫外線と近赤外線の複数波長で既知特性値のサンプルの吸光度データを測定する。そして、・・・測定により得られた複数波長の近赤外線吸光度データを、近赤外線分光に関係する装置変動に影響されないように変換する。・・・
　最後に、上述の変換され、及び／又は、分散を一致された前記の紫外線と近赤外線のデータを説明変数として、サンプルの特性値（たとえば液体の濃度）を求めるための重回帰式を求める。・・・
　未知特性値のサンプルの測定においては、測定データから装置変動の影響を除く。次に、得られたデータを重回帰式（検量線）に代入して、未知サンプルの特性値を求める。」（【０００６】〜【０００９】）
　
　そして、本願補正発明の効果は、引用発明及び上記周知事項から予測可能な範囲のものであって、格別顕著でない。
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び上記周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．本件補正についてのむすび
　以上のとおりであるから、本願補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１．本願発明
　平成１８年７月２０日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜８に係る発明は、平成１８年２月２７日付けの手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項７に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「【請求項７】エッチャント再生方法において、
　前記方法はエッチャントの組成を調整するための再生反応器内のエッチャント組成を近赤外線分光器で分析する過程；
　前記分析した組成を基準組成と比較して前記エッチャントに新しく供給すべき成分を決定する過程；及び、
　前記必要な成分を前記再生反応器内に供給する過程を含み、
前記エッチャント組成が多成分を含有し、前記多成分に特徴的な近赤外波長光を前記近赤外線分光器により照射し、多重回帰分析により前記多成分を分析する、前記方法。」
　
２．引用例及びその記載事項並びに引用発明
　原査定の拒絶の理由で引用された引用例１及びその記載事項並びに引用発明は、前記「第２　〔理由〕２．」に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明は、上記「第２　〔理由〕」で検討した本願補正発明から、エッチャント組成が含有する「多成分」に係る「塩酸、硝酸、酢酸、リン酸、フッ酸、シュウ酸、硫酸、及び硝酸二アンモニウムセリウムからなる群より選択される一つ以上の物質と、水とを含有する」との限定を解除し、それに伴って「前記エッチャント成分に特徴的な近赤外波長光」及び「前記エッチャント全成分を分析する」との記載を「前記多成分に特徴的な近赤外波長光」及び「前記多成分を分析する」とし、さらに、「多重回帰分析」に係る「近赤外光吸収スペクトルの」との限定を解除したものに相当する。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「第２　〔理由〕３．」に記載したとおり、引用発明及び上記周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び上記周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明（本願請求項７に係る発明）は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、その余の請求項について論及するまでもなく、本願は、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。