【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３５１０６２２号発明「終点検出方法およびシステム」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３５１０６２２号の請求項１ないし２０に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯
　原出願　　　　平成　８年　３月２８日
　　　　　　　　（優先権主張平成７年３月２８日、平成８年２月２２日）
　本件出願　　　平成１５年　２月１９日（特許法第４４条適用）
　設定登録　　　平成１６年　１月　９日（特許第３５１０６２２号）
　無効審判請求　平成１８年　４月２４日
　答弁書　　　　平成１８年　８月１６日
　口頭審理　　　平成１８年１０月１８日
　無効理由通知　平成１８年１０月１８日
　意見書　　　　平成１８年１２月　７日
　訂正請求　　　平成１８年１２月　７日
　弁駁書　　　　平成１９年　１月２４日
　
第２．訂正請求について
１．訂正請求の内容
　被請求人が求めた訂正の内容は、特許請求の範囲の請求項１、請求項１１を以下のとおりとするものである。なお、下線は当審で付した。
　
（訂正前）
「【請求項１】　ウエハの研磨の最中に使用する終点検出方法であって、前記方法は、
　研磨表面、及び上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有する研磨パッドで前記ウエハを研磨するステップであり、ここで、
　（ｉ）前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
　（ｉｉ）前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える、ステップと、
　前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通して、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過するステップと、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通過した検出光ビームの反射光を受けるステップと、
　前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定するステップと
　を含む方法。」
「【請求項１１】　ウエハの研磨装置と共に使用する終点検出システムであって、前記システムは、
　研磨表面、及び上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有する研磨パッドであり、ここで、
　（ｉ）前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
　（ｉｉ）前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える、研磨パッドと、
　前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通して、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過する光源と、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通過した検出光ビームの反射光を受け、前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定する検出器と
　を備えるシステム。」
　
（訂正後）
「【請求項１】　
ＣＭＰによる
　研磨表面、及び上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有する研磨パッドで前記ウエハを研磨するステップであり、ここで、
　（ｉ）前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
　（ｉｉ）前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える、ステップと、
　前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通して、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過するステップと、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通過した検出光ビームの反射光を受けるステップと、
　前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定するステップと
　を含む方法。」
「【請求項１１】　ウエハの
ＣＭＰ
　研磨表面、及び上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有する研磨パッドであり、ここで、
　（ｉ）前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
　（ｉｉ）前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える、研磨パッドと、
　前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通して、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過する光源と、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通過した検出光ビームの反射光を受け、前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定する検出器と
　を備えるシステム。」
　
２．訂正請求についての当審の判断
　訂正請求について検討する。
　上記訂正は、ウエハの研磨形態を「ＣＭＰ」に特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とし、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張、変更するものでもない。
　したがって、上記訂正は、特許法第１３４条の２第１項の規定に適合し、同条第５項で準用する特許法第１２６条第３項、第４項の規定にも適合するので、上記訂正を認める。
　
第３．請求人の主張
　請求人は、本件特許の請求項１ないし２０に係る発明（以下「本件発明１ないし２０」という。）を無効とするとの審決を求めている。
　その理由は、概要、以下のとおりである。ただし、その後、撤回したものは省略した。
　
１．特許請求の範囲の記載要件違反（特許法第３６条第６項）
　本件発明１ないし２０の発明特定事項である「光ビーム」は、一般光も含むものであるが、発明の詳細な説明では「レーザービーム」、「コリメートされた光」についての記載はあるが、一般光についての記載はない。
　したがって、本件発明１ないし２０は、発明の詳細な説明に記載した発明でないものを含む。
　
２．明細書の記載要件違反（特許法第３６条第４項）
（１）研磨パッドについて
　光ビーム透過性を有する研磨パッドとされるＥＸ２０００又はＩＣ１０００は、入手不可能であり、入手できても光透過性がないから、実施できる程度の記載がない。
（２）図９、図１０について
　図９、図１０のデータの具体的条件等が不明であり、研磨中にスラリー厚は変化するから、このような結果となるとは考えられない。
（３）図１３について
　基板には、配線部と非配線部があり、両者の干渉信号が混在する。よって、図１３のように干渉信号に周期性が現れるとは限らないから、研磨終了検知のためには、２サイクル以上必要であり、オーバー研磨となる。
（４）段落００１６について
　段落００１６のように、所定の波長のみを通すフィルタをかけると、状態が様々なウエハの検出はできない。
（５）均一性の尺度について
　均一性を得るためには、ウエハ全領域を測定する必要があるが、段落００５９の装置では、ウエハの一部分しか測定できない。均一性の尺度を測定することについて、実施できる程度の記載がない。
（６）図１６のデータについて
　図１６は、記載方法に不備があり、本システムにより取得したものではない。出所不明である。
　
３．進歩性違反（特許法第２９条第２項）
　本件発明１〜４、８、１１〜１４、１８は、本件出願の原出願の優先日前に頒布された刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４．被請求人の主張
　これに対し、被請求人は、本件審判請求は成り立たないとの審決を求めている。
　その理由の概要は、以下のとおりである。
　
１．特許請求の範囲の記載要件違反（特許法第３６条第６項）
　発明の詳細な説明における説明は、一例にすぎない。一般光も利用できることは技術常識から明らかである。
　
２．明細書の記載要件違反（特許法第３６条第４項）
（１）研磨パッドについて
　特定の研磨パッドを必須とするものではないから、それが入手不可能だからといって直ちに実施できないというものではない。
（２）図９、図１０について
　本件発明のウインドウはウエハと接触可能であり、スラリー量は最小となるから、スラリー厚が変化するという請求人の主張は、前提が異なる。特許図面は、補助的な性質のものにすぎない。
（３）図１３について
　不要な成分は除去可能であるから、周期性が生じる。信号の生じ方により、１サイクル以下での検出も可能である。
（４）段落００１６について
　配線などの構造体に関する周波数をカットする旨の段落００４７の記載を考慮すれば、問題はない。
（５）均一性の尺度について
　ウエハ表面の様々な領域が通過する旨の段落００５７の記載を考慮すれば、問題はない。
（６）図１６のデータについて
　誇張して表現する旨の段落００５７の記載を考慮すれば、問題はない。特許図面は、補助的な性質のものにすぎない。
　
３．進歩性違反（特許法第２９条第２項）
　独立請求項である請求項１、請求項１１に係る発明のプラグと、甲第１３号証の透明窓材とは、構成、作用効果ともに異なる。
　他の請求項は、請求項１、又は請求項１１に従属するものであるから、同様に進歩性を有する。
　
第５．無効理由通知
　当審において、審判請求時の証拠に加え、請求人からその後提出され参考資料とされた甲第２２号証を職権で採用の上、無効理由を通知した。
　無効理由の概要は、以下のとおりである。
　
１．進歩性違反（特許法第２９条第２項）
　本件発明１〜２０は、本件出願の原出願の優先日前に頒布された刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
２．明細書の記載要件違反（特許法第３６条第４項）
　上記第３．２．に同じ。
　
第６．進歩性違反についての当審の判断
１．本件発明
　本件発明１ないし２０は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１ないし２０に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。
　
「【請求項１】　ＣＭＰによるウエハの研磨の最中に使用する終点検出方法であって、前記方法は、
　研磨表面、及び上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有する研磨パッドで前記ウエハを研磨するステップであり、ここで、
　（ｉ）前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
　（ｉｉ）前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える、ステップと、
　前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通して、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過するステップと、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通過した検出光ビームの反射光を受けるステップと、
　前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定するステップと
　を含む方法。
【請求項２】　前記研磨するステップは、ポリウレタンから作られたウィンドウを有する研磨パッドで研磨するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】　前記研磨するステップは、添加物を有するポリウレタンを備える非透過性部分を有する研磨パッドで研磨するステップを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】　前記ウィンドウは上面を有し、前記研磨表面と前記上面とは同一平面上にある、請求項１に記載の方法。
【請求項５】　前記研磨パッドの底面は、前記ウィンドウに調心され、かつ前記ウィンドウに伸びる取り除かれた部分を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】　研磨パッドは、研磨面を有する第１の層と、研磨面と反対側の第２の層とを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】　前記プラグは、前記第１の層内に位置する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】　前記ウィンドウは、完全に前記研磨表面と前記研磨パッドの底面との間に配置される、請求項１に記載の方法。
【請求項９】　前記反射光を使用するステップは、周期的な干渉信号を検出するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】　前記反射光を使用するステップは、周期的な干渉信号によって現れるサイクルの数を計数するステップを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】　ウエハのＣＭＰ研磨装置と共に使用する終点検出システムであって、前記システムは、
　研磨表面、及び上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有する研磨パッドであり、ここで、
　（ｉ）前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
　（ｉｉ）前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える、研磨パッドと、
　前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通して、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過する光源と、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッド内の前記ウィンドウを通過した検出光ビームの反射光を受け、前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定する検出器と
　を備えるシステム。
【請求項１２】　前記ウィンドウは、ポリウレタンから作られている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】　前記研磨パッドは、添加物を有するポリウレタンを備える非透過性部分を有する、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】　前記ウィンドウは上面を有し、前記研磨表面と前記上面とは同一平面上にある、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１５】　前記研磨パッドの底面は、前記ウィンドウに調心され、かつ前記ウィンドウに伸びる取り除かれた部分を含む、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１６】　研磨パッドは、研磨面を有する第１の層と、研磨面と反対側の第２の層とを含む、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１７】　前記プラグは、前記第１の層内に位置する、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】　前記ウィンドウは、完全に前記研磨表面と前記研磨パッドの底面との間に配置される、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１９】　前記検出器は、周期的な干渉信号を検出する、請求項１１に記載のシステム。
【請求項２０】　前記検出器は、周期的な干渉信号によって現れるサイクルの数を計測する、請求項１９に記載のシステム。」
　
２．刊行物記載の発明
（１）甲第１３号証
　本件出願の原出願の優先日前に頒布された刊行物である甲第１３号証（特開平７−５２０３２号公報）には、以下の記載がある。
　
ア．第３ページ第３欄第３９〜４２行
「本発明方法において、定盤及び研磨布の回転中心と周縁との間に設けた窓からウエハの研磨面の光の反射状態を見て研磨状態を判定すれば、研磨を中断せずに研磨状態の終点を知ることが出来る」
イ．第４ページ第５欄第７〜２９行
「図１、図２に示した実施例について説明する。定盤１は直径３００ｍｍ、厚さ１０ｍｍのアルミニウム製の円盤で、その中心の片面に定盤１を回転するための軸が固定してある。定盤１の軸を固定した面の反対側の面には、中心から放射状に伸びる近接した２本の直線で囲まれ、中心付近から周縁近くまで伸びた溝２が設けてある。・・・溝２の長手方向中央には、直径１０ｍｍの貫通孔３が設けられ、溝２の反対側では円錐状に拡大している。貫通孔３の溝２側にはパイレックス透明ガラス製の透明窓材４が嵌め込まれ、研磨液が漏れないようにしてある。
　定盤１の溝２を有する面には、・・・ウレタン含浸ポリエステル不織布からなる研磨布５が張り付けられ、溝２に相当する部分は溝２と同形に切り抜かれて、研磨布窓６が形成されている。透明窓材４は定盤１の表面より約０.５ｍｍ突出するが、研磨布５の弾性を考慮しても研磨布５の表面より十分低くなっている。
　定盤１の溝２の反対側には透明窓材４の回転路に面して研磨するウエハ７の研磨面に光を照射しその反射光を受光するプローブ９が配置されている。」
　
　これら記載事項を、技術常識を勘案しつつ、本件発明１に照らして整理すると、甲第１３号証には、以下の発明が記載されている（以下「甲１３発明」という。）
「ウエハの研磨の最中に使用する終点検出方法であって、前記方法は、
　研磨表面を有し、研磨布窓内に透明窓材が配される研磨布で前記ウエハを研磨するステップであり、ここで、
前記透明窓材は、定盤の貫通孔に嵌め込まれており、
　前記研磨布内に配される前記透明窓材を通して、検出光を研磨されるウエハのウエハ研磨面に透過するステップと、
　前記ウエハ研磨面で反射され、前記研磨布内に配される前記透明窓材を通過した検出光の反射光を受けるステップと、
　前記ウエハ研磨面で反射された検出光の反射光を使用して、研磨終点を決定するステップと
　を含む方法。」
　
（２）甲第２２号証
　本件出願の原出願の優先日前に頒布された刊行物である甲第２２号証（特開平５−３０９５５８号公報）には、以下の記載がある。
　
ア．第２ページ第１欄第２〜９行
「研磨対象ウェーハの所定の厚さに等しい波長の光を研磨対象ウェーハに全反射角で入射し、前記研磨対象ウェーハを光が透過したとき、または研磨対象ウェーハの所定の厚さに等しい波長の光を研磨対象ウェーハに偏光角で入射し、前記研磨対象ウェーハから反射する偏光を遮断するように配設された偏光板を前記偏光が通過したとき、研磨を終了することを特徴とする貼り合わせウェーハの研磨方法。」
イ．第２ページ第２欄第７〜２０行
「上記のような研磨方法で貼り合わせウェーハの一方、すなわちＳＯＩウェーハについて、その厚さの大部分を研磨により除去し、１μｍないしそれ以下の層を素子形成層として均一な厚さに残すことは極めて困難である。特に、素子形成層の厚さのばらつきが大きく、±０．５μｍ程度の精度であるため、ＳＯＩ半導体基板の製造歩留りが低い。また、貼り合わせウェーハをウェーハ研磨機から取り外してＳＯＩウェーハの厚さを測定する方法では、作業能率を向上させることができない。本発明は上記従来の問題点に着目してなされたもので、ＳＯＩ半導体基板の製造工程において、素子形成層であるＳｉ層を高精度に、かつ能率よく所望の厚さに研磨するための貼り合わせウェーハの研磨方法を提供することを目的としている。」
ウ．第３ページ第３欄第２８〜４５行
「貼り合わせウェーハをマウントプレートに貼着したままＳＯＩウェーハの厚さを管理することができ、所望の厚さに到達した時点で研磨を終了させることができる。・・・これらの図において、ウェーハ研磨機のポリシングパッド１は透明体で、パッド駆動装置２により回転および昇降する駆動軸２ａの先端に固着されている。マウントプレート３は、たとえばＳｉＯ２からなる透明体で、前記ポリシングパッド１の上方にレーザ発振器４、波長変換装置５がそれぞれ配設されている。マウントプレート３の下方には光検出器６が設けられ、光検出器６の出力配線は制御装置７に接続されている。」
エ．第３ページ第４欄第５〜２９行
「貼り合わせウェーハ１１は、２枚の単結晶Ｓｉウェーハを絶縁層ＳｉＯ２を介して貼り合わせたいわゆるＳＯＩ基板で、直接接着技術によって形成される貼り合わせ型ＳＯＩ基板の製造工程に従って、素子形成層の所定の厚さ近くまでＳｉ単結晶層を研磨したものである。・・・レーザ発振器４によって発振されたレーザ光は、波長変換装置５により所定の波長λすなわちＳＯＩウェーハの目標厚さをｔ1 としたとき、λ＝ｔ1 となるように変換された後、ポリシングパッド１とスラリー１０とを透過して貼り合わせウェーハ１１に全反射角θで入射される。・・・ｔ＝λになると、それまで上部Ｓｉ層１１ａの上面で全反射していた光の一部が上部Ｓｉ層１１ａを透過し、更にＳｉＯ２層１１ｂ、下部Ｓｉ層１１ｃ、ワックス層１２、マウントプレート３を透過してマウントプレート３の下方に進む。光検出器６はこの透過光を検出すると制御装置７に信号を出力し、制御装置７はパッド駆動装置２に研磨終了指令信号を送る」
　
　ここで、被請求人は、甲第２２号証における「ポリシングパッド」は、「ポリシングパッド」と称しているが、以下の理由から「ラッピング用プラテン」であると主張している。
　すなわち、甲第２２号証の上記ウ、図１より、甲第２２号証のポリシングパッドは、回転、昇降する駆動軸の先端に固着され、一体物であるから、ポリシングパッドは剛性を有する必要がある。してみると、甲第２２号証のポリシングパッドは、「厚さ数ｍｍの布状であり、プラテンに固定されて用いられるもの」という、ＣＭＰ用パッドの一般的定義に該当せず、剛性を有する研磨部材で研磨を行うという作用からみて、むしろラッピング用プラテンである。
　
　しかしながら、以下（ア）〜（エ）の理由により、被請求人の主張は採用できない。
（ア）「ポリシング」と「ラッピング」は、共に研磨の一種であるが、被請求人の意見書第２６〜３６ページにみられるごとく、研磨精度、パッドの有無等により、区別されることが技術常識であり、当業者が「ラッピング」を「ポリシング」と誤用するとは考えにくいこと。
（イ）「パッド」を表面に貼付したプラテンを、その機能の面から、プラテンを含めて「パッド」と称することは、乙第６号証（「ＣＭＰ技術体系」精密工学会）の図１、図１０、当審で発見した特開平１−３０６１７２号公報より、ありうると認められるのに対し、プラテンのみでパッドを有さないものを「パッド」と称することは考えにくいこと。なお、甲第２２号証に、「ポリシングパッド」が「一体物」と明記されているものではない。
（ウ）甲第２２号証の「ポリシングパッド」を「ポリシング」用の「パッド」が表面に貼付されたプラテンと解した場合、甲第２２号証において、特に矛盾は生じないこと。例えば、被請求人が主張する「所望の厚さ」のための「研磨」が、「ポリシング」を意味しないとまでは認められない。
（エ）上記エより、甲第２２号証の研磨対象である貼り合わせウェーハは、既に「素子形成層の所定の厚さ近くまでＳｉ単結晶層を研磨したもの」であるから、「ラッピング」よりも高精度の「ポリシング」を行う蓋然性が高いと考えられること。
　
　また、被請求人は、甲第２２号証の「パッド」がポリマーであるとすると、屈折率を利用した検出は不可能であるから、この点からも、この「パッド」はガラスであり、「ラッピング用プラテン」である旨、主張する。
　
　しかしながら、以下（オ）〜（キ）の理由により、被請求人の主張は採用できない。
（オ）甲第２２号証出願当時、透明なポリシングパッドが、甲第２７号証（特開昭６１−７６２６０号公報）、甲第２８号証（特開昭６３−１３４１６２号公報）、甲第２９号証（特開平５−１０２１１３号公報）に示されるごとく周知であったこと。
（カ）甲第２２号証には「パッド」の材質についての記載はないから、かかる「パッド」が、たとえポリマーではないとしても、直ちに「ガラス」であると認めることはできないこと。
（キ）甲第１３号証にみられるごとく、光を利用したウエハの研磨終端検出においては、「屈折率」以外の光の性質を利用するものが既知であるから、屈折率以外の光の性質を利用するものを含む上位概念の技術思想としての認定が可能であること。
　
　以上から、甲第２２号証には、以下の発明が記載されている（以下「甲２２発明」という。）
「貼り合わせウェーハをマウントプレートに貼着し、ポリシングパッドによる研磨中に使用する終点検出方法であって、ポリシングパッド、ポリシングパッドが貼付されたプラテン、マウントプレートを透明体とし、プラテン側からマウントプレート側へ光を照射するもの。」
　
（３）甲第１６号証
　本件出願の原出願の優先日前に頒布された刊行物である甲第１６号証（特開平５−８０２０１号公報）には、以下の記載がある。
　
ア．第２ページ第１欄第２〜７行
「二官能基以上のポリイソシアナートと、硫黄原子を有するポリオール化合物が一種以上存在し、しかもその場合硫黄原子含有量が少なくとも２０重量％以上のポリオールとを、−ＮＣＯ基／−ＯＨ基＝０．５〜１．５モルの比率で反応させて得られる硫黄原子含有ポリウレタン系プラスチックレンズ。」
イ．第３ページ第４欄第６〜１２行
「このようにして得られる本発明に係わるポリウレタン系プラスチックレンズは・・・次のような特徴を有している。
　１．強靱なプラスチックレンズが得られる。
　２．無色透明なプラスチックレンズが得られる。」
　
　以上から、甲第１６号証には、以下の発明が記載されている（以下「甲１６発明」という。）
「透明なポリウレタン系プラスチックレンズ。」
　
３．本件発明１についての対比・判断
（１）対比
　本件発明１と甲１３発明とを対比する。
　甲１３発明の「研磨布」は本件発明１の「研磨パッド」に相当する。同様に「光」は「光ビーム」に、「ウエハ研磨面」は「ウエハ表面」に、それぞれ相当する。
　また、甲１３発明の「研磨布内に配される前記透明窓材を通して」と、本件発明１の「研磨パッド内の前記ウィンドウを通して」とは、「研磨パッド部分を光が通り」である限りにおいて一致する。
　
　したがって、両者は以下の点で一致する。
「ウエハの研磨の最中に使用する終点検出方法であって、前記方法は、
　研磨表面を有する研磨パッドで前記ウエハを研磨するステップであり、ここで、
　前記研磨パッド部分を光が通り、検出光ビームを研磨されるウエハのウエハ表面に透過するステップと、
　前記ウエハ表面で反射され、前記研磨パッドを通過した検出光ビームの反射光を受けるステップと、
　前記ウエハ表面で反射された検出光ビームの反射光を使用して、研磨終点を決定するステップと
　を含む方法。」
　
　そして、以下の点で相違する。
（相違点１）研磨に関し、本件発明１はＣＭＰ（化学機械研磨）であるが、甲１３発明は不明である点。
（相違点２）研磨パッド部分を光が通ることに関し、
本件発明１は、研磨パッドが上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有し、前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備える
ものであるが、
甲１３発明は、透明窓材が定盤の貫通孔に嵌め込まれており、その結果、研磨パッド窓内に透明窓材が配されるものである点。
　
（２）判断
　相違点１について検討する。
　甲１３発明における研磨が実質的にＣＭＰであることは、被請求人が平成１８年１２月７日付け意見書の第３ページで認めており、これに関し、請求人、被請求人間に争いはない。
　したがって、この点に、実質的な相違はない。
　仮に、甲１３発明における研磨がＣＭＰ（化学機械研磨）でなく、機械研磨作用のみであるとしても、化学研磨作用が生じるか否かが、光を利用したウエハの終端検出に影響を与えるものではないから、単に研磨をより特定したものにすぎず、この点に特許性は認められない。
　
　相違点２について検討する。
　甲２２発明は、研磨パッドに光を透過させてウエハの終端検出を行うものであり、甲１３発明と、ウエハの終端検出という同一技術分野に属するものである。
　甲１３発明は、研磨パッドが光を透過しないものであることを前提に、研磨パッドに窓を形成し、その窓から研磨液の漏れを防ぐために、透明窓材を定盤の貫通孔に嵌め込んだものであり、検出のための装置の製造に相応の工数を必要とするものである。
　してみると、甲１３発明を前提に、甲２２発明に接した当業者は、光を透過させるパッドによれば、研磨パッドに窓を形成すること、透明窓材を定盤の貫通孔に嵌め込むことという装置の製造上の工数が不要となり、製造効率が向上することを容易に理解できることが、明らかである。
　したがって、甲１３発明に甲２２発明を適用し、本件発明１の相違点２に係る事項とすることに困難性は認められない。
  　
　また、これら相違点を総合しても、格別の作用効果が生じるとも認められない。
　よって、本件発明１は、甲１３発明、甲２２発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　なお、仮に、甲第２２号証の「パッド」が、被請求人の主張するとおりガラスであり、「ラッピング用プラテン」であったとすると、甲第２２号証には、以下の発明が記載されていることとなる。
「貼り合わせウェーハをマウントプレートに貼着し、ラッピング用プラテンによる研磨中に使用する終点検出方法であって、研磨する側の部材であるラッピング用プラテン、ウエハが貼着される部材であるマウントプレートの両者を透明体とし、プラテン側からマウントプレート側へ光を照射するもの。」
　かかる技術思想たる発明を踏まえると、上記同様、製造効率向上の観点から、甲１３発明の「研磨する側の部材」である研磨パッドを、光を透過するものとすることに困難性は認められない。
　したがって、被請求人の主張を採用したとしても、本件発明１の進歩性の判断に影響はない。
　
４．本件発明２についての対比・判断
　本件発明２と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明１」における一致点、相違点に加え、以下の点で相違する。
（相違点３）研磨パッドに関し、本件発明２はポリウレタンから作られたウインドウを有するものであるが、甲１３発明は不明である点。
　
　相違点３について検討する。
　ポリウレタンからなる研磨パッドそれ自体は周知であり、透明なポリウレタンも甲第１６号証のとおり、既知のものである。
　してみると、光を通過させる必要のある研磨パッドのウインドウをポリウレタンとすることは、設計的事項にすぎない。
　よって、本件発明２は、甲１３発明、甲２２発明、甲１６発明、及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．本件発明３についての対比・判断
　本件発明３と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明２」における一致点、相違点に加え、以下の点で相違する。
（相違点４）研磨パッドに関し、本件発明３は添加物を有するポリウレタンを備える非透過性部分を有するものであるが、甲１３発明は不明である点。
　
　相違点４について検討する。
　研磨パッドにおいて、光を透過する必要のあるウインドウ以外の材質については、「光を利用した終端検出」との関連性は薄いことから、添加物を加えるか否かは、当業者が適宜選択すべき設計的事項にすぎない。
　よって、本件発明３は、甲１３発明、甲２２発明、甲１６発明、及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．本件発明４についての対比・判断
　本件発明４と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明１」における一致点、相違点に加え、以下の点で相違する。
（相違点５）研磨パッドに関し、本件発明４は、ウインドウが上面を有し、研磨表面とウインドウ上面とは同一表面上にあるものであるが、甲１３発明は不明である点。
　
　相違点５について検討する。
　甲１３発明に甲２２発明を適用したものにおいては、ウインドウはパッドの一部であるから、ウインドウが上面を有することは明らかであり、また、特段の事情のない限り、研磨表面とウインドウ上面とを同一平面とすることが自然である。すなわち、この点は、当然考慮すべき設計的事項にすぎない。
　よって、本件発明４は、甲１３発明、甲２２発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
７．本件発明５についての対比・判断
　本件発明５と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明１」における一致点、相違点１を有し、相違点２に代え以下の相違点６を有する。
（相違点６）研磨パッド部分を光が通ることに関し、
本件発明５は、研磨パッドが上面及び下面を有する中実な透明物質のウィンドウを有し、前記ウィンドウは、前記研磨パッドの一部であって、光ビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する、前記研磨パッドの前記一部を備え、又は
前記ウィンドウは、前記パッド内に形成されたプラグであって、光ビームに対して部分的に透過性を有するプラグを備え、
前記研磨パッドの底面は、前記ウィンドウに調心され、かつ前記ウィンドウに伸びる取り除かれた部分を含む
ものであるが、
甲１３発明は、透明窓材が定盤の貫通孔に嵌め込まれており、その結果、研磨パッド窓内に透明窓材が配されるものである点。
　
　相違点６について検討する。
　甲２２発明は、研磨パッドに光を透過させてウエハの終端検出を行うものであり、甲１３発明と、ウエハの終端検出という同一技術分野に属するものである。
　甲１３発明は、研磨パッドが光を透過しないものであることを前提に、研磨パッドに窓、すなわち取り除かれた部分を形成し、その取り除かれた部分から研磨液の漏れを防ぐために、透明窓材を定盤の貫通孔に嵌め込んだものであり、検出のための装置の製造に相応の工数を必要とするものである。
　してみると、甲１３発明を前提に、甲２２発明に接した当業者は、透明窓材に代えて、光を透過させるパッドでも良いことを容易に予測しうることが明らかである。
　したがって、甲１３発明に甲２２発明を適用し、適用に際しては、光が透過する必要がある部分であるウインドウであるプラグのみ透明とし、本件発明５の相違点６に係る事項とすることに困難性は認められない。
　よって、本件発明５は、甲１３発明、甲２２発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
８．本件発明６〜７についての対比・判断
　本件発明７と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明１」における一致点、相違点に加え、以下の点で、一応相違する。
（相違点７）研磨パッドに関し、本件発明７は研磨面を有する第１の層と、研磨面と反対側の第２の層とを含み、プラグが第１の層内に位置するものであるが、甲１３発明は不明である点。
　
　相違点７について検討する。
　研磨パッドは、研磨面である第１の層と、その反対側の第２の層とを当然有するものであるから、この点は、実質的には相違点ではない。
　また、プラグが第１の層内に位置する点については、上記相違点６についての検討に基づき、甲１３発明に甲２２発明を適用した場合、当然、プラグが第１の層内に位置することとなる。
　したがって、本件発明７は、甲１３発明、甲２２発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　また、本件発明６は、本件発明７の発明特定事項の一部を欠くものであるから、同様の理由により、本件発明６は、甲１３発明、甲２２発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
９．本件発明８についての対比・判断
　本件発明８と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明１」における一致点、相違点に加え、以下の点で相違する。
（相違点８）ウインドウに関し、本件発明８は完全に研磨表面と研磨パッドの底面の間に配置されるものであるが、甲１３発明は不明である点。
　
　相違点８について検討する。
　ウインドウは、光を透過されるためのものであるから、その機能からみて、研磨表面と研磨パッドの底面の間から突出することは、不自然である。
　すなわち、甲１３発明に甲２２発明を適用したものにおいては、当然、ウインドウが完全に研磨表面と研磨パッドの底面の間に配置されることとなるから、この点は、当然考慮すべき設計的事項にすぎない。
　よって、本件発明８は、甲１３発明、甲２２発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
１０．本件発明９〜１０についての対比・判断
　本件発明１０と甲１３発明とを対比すると、両者は、「本件発明１」における一致点、相違点に加え、以下の点で相違する。
（相違点９）本件発明１０は反射光を使用するステップが、周期的な干渉信号によって現れるサイクルの数を計数するものであるが、甲１３発明は不明である点。
　
　相違点９について検討する。
　反射光を、周期的な干渉信号によって現れるサイクルの数を計数することは、甲第８号証（学会論文）、甲第９号証（「日経エレクトロニクス」論文）にみられるごとく周知である。
　よって、本件発明１０は、甲１３発明、甲２２発明、及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　また、本件発明９は、本件発明１０の発明特定事項の一部を欠くものであるから、同様の理由により、本件発明９は、甲１３発明、甲２２発明、及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
１１．本件発明１１〜２０についての対比・判断
　本件発明１１〜２０は「システム」であり、それぞれ、本件発明１〜１０の「方法」を「システム」に変えたものに相当する。
　両者は、実質的にカテゴリーの差にすぎないから、本件発明１１〜２０についても、本件発明１〜１０と同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第７．特許請求の範囲の記載要件違反についての当審の判断
　第６で検討したとおり、本件発明１〜２０は、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、無効とされるべきものである。
　よって、他の理由については、必ずしも判断する必要はないが、紛争の早期解決の観点から、上記第３．１．の点について、一応、判断を示す。
　
　「レーザービーム」、「コリメートされた光」以外の光であっても、精度は別にして、終端検出が可能であることは、請求人、被請求人間に争いはない（「口頭審理調書」参照）。
　したがって、請求項１ないし２０の「光」を、一実施形態にすぎない「レーザービーム」、「コリメートされた光」と特定すべき理由はない。
　
第８．明細書の記載要件違反についての当審の判断
　前記のとおり、明細書の記載要件違反についても、必ずしも判断する必要はないが、上記第３．２．の（１）〜（６）について、一応、判断する。
　
（１）研磨パッドについて
　請求人は、ＥＸ２０００又はＩＣ１０００なる特定のパッドが、入手しえないこと、これらが光透過性を有さないことから、発明の実施ができないと主張している。
　しかし、これら特定のパッドは、あくまでパッドの一つの例にすぎないから、特定のパッドが、入手しえない、あるいは、光透過性を有さないことをもって、直ちに発明の実施ができないとまでは、認められない。
　
（２）〜（６）について
　これらは、いずれも終端を検出するための光の処理に関するものである。
　ところで、本件発明１ないし２０は、被請求人が意見書第４９ページで主張するごとく、「研磨パッド」に特徴があるものである。
　終端を検出するための光の処理については、甲第１３号証、乙第２３号証（特開平４−２５５２１８号公報）に詳細な記載がないことからみても、既知の技術であったと認められる。
　してみると、終端を検出するための光の処理に関し、不明確な記載があったとしても、既知の技術を考慮することで、発明の実施をすることができるものと認められる。
　
　上記のとおり（２）〜（６）を個々に検討する必要性はないが、以下のとおり、一応検討したとしても、請求人の主張は採用できない。
　一般論として、ある特定の場合に、実施しえない可能性があるとしても、発明が実施できないとまでは言えないことに留意する必要がある。
　
（２）図９、図１０について
　本件発明のウインドウは、研磨すべきウエハと接触可能であるから、スラリーの影響はほとんどないと認められる。また、図面は、補助的な性質のものであるから、理解を容易にする程度で十分であり、時間の周期の一致が求められるものではない。
　乙１号証（特表平１１−５１２９７７号公報）、乙第２８号証（特開２００５−３４０６７９号公報）も、このことを示唆している。
（３）図１３について
　本件明細書の段落００４５〜００４７、乙第６号証の第２６３ページの記載、及び被請求人の意見書第６８〜７６ページの説明によれば、不要な成分は除去可能であるから、検出は可能である。
（４）段落００１６について
　そもそもフィルタは、目的に応じて適宜選択されるべきものであるところ、段落００４７〜００４８の記載、及び被請求人の意見書第７６〜７８ページの説明を踏まえれば、実施できないとまでは認められない。
（５）均一性の尺度について
　段落００５７の記載、及び被請求人の意見書第７８〜８３ページの説明を踏まえれば、実施できないとまでは認められない。
（６）図１６のデータについて
　特許図面は、補助的な性質のものにすぎず、各軸の単位が必須なものではない。
　
第９．むすび
　本件発明１ないし２０に係る明細書、図面の記載は、特許法第３６条に規定する要件を満たすものである。
　しかしながら、本件発明１ないし２０は、本件出願の原出願の優先日前に頒布された刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明１ないし２０は、特許法第１２３条第１項第２号に該当するので、無効とされるべきである。
　審判費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。