(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から発する光束を回転駆動される偏向器により偏向させ、走査レンズにより走査対象面上に結像させる走査光学系において、
前記偏向器と前記走査対象面との間の光路中に、回折面を有して前記走査レンズの色収差を補正する回折素子が配置され、該回折素子は、前記走査レンズの光軸との交点における法線が主走査方向において前記光軸に対して傾くように配置され、前記回折面による光路長の付加量が、主走査方向において前記光軸との交点を基準に非対称に変化することを特徴とする走査光学系。
【請求項２】
前記光源から前記偏向器に入射する光束の中心軸と前記走査レンズの光軸とが同一の平面内で所定の角度をなすことを特徴とする請求項１に記載の走査光学系。
【請求項３】
前記回折面による光路長の付加量を、光軸からの主走査方向の距離Ｙ、ｎ次の光路差関数係数Ｐｎ、波長λを用いて、
φ（ｈ）＝（Ｐ１Ｙ＋Ｐ２Ｙ２＋Ｐ３Ｙ３＋Ｐ４Ｙ４＋Ｐ５Ｙ５＋Ｐ６Ｙ６＋…）×λ
により定義される光路差関数φ（ｈ）により表したとき、前記回折素子が前記光源側の端部を前記偏向器に近接させる方向に傾けられている場合にはＰ１≧０の条件を満たし、前記回折素子が前記光源側の端部を前記偏向器から離反させる方向に傾けられている場合にはＰ１＜０の条件を満たすことを特徴とする請求項２に記載の走査光学系。
【請求項４】
前記回折面の巨視的形状は、主走査方向に対応する長手方向の回転軸を有するアナモフィック面であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の走査光学系。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザープリンタ等の光走査ユニットに用いられる走査光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査光学系は、レーザー光源からの光束をポリゴンミラー等の偏向器により偏向、走査させ、ｆθレンズのような走査レンズを介して感光体ドラム等の走査対象面上にスポットとして結像させる。感光体ドラム上のスポットは、ポリゴンミラーの回転に伴って主走査方向に走査し、この際レーザー光をオンオフ変調することにより走査対象面上に静電潜像を形成する。
【０００３】
このような走査光学系において、半導体レーザーの発光波長のばらつきによる描画性能の変化を抑えるためには、光学系の倍率色収差を小さく抑える必要がある。特に、一走査で複数の走査線を形成するために複数の光源を備えたマルチビームの走査光学系においては、各光源毎の発光波長のばらつきを補正するため、倍率色収差の補正が必須となる。一般に、色収差は分散の異なる複数の材質のレンズを組み合わせることにより補正されるが、このような構成ではレンズ数が多くなり、かつ、使用できる材料が制限されるという問題がある。
【０００４】
そこで、屈折型の走査レンズと回折レンズとを組み合わせることにより、倍率色収差を補正する技術が従来から知られている。例えば特開平１１−０９５１４５号公報に開示される光学系は、ポリゴンミラーとｆθレンズとの間に回折面が形成された補正素子を有し、これによりｆθレンズの倍率色収差を補正している。また、この公報には、ポリゴンミラーを回転ノイズ防止用のカバーで覆う場合に、補正素子をそのカバーガラスとして兼用できることが指摘されている。
【０００５】
なお、上記の公報のように光源からポリゴンミラーに入射する光束の中心軸と走査レンズの光軸とが同一の平面内で所定の角度をなす光学系では、ポリゴンミラーをカバーで覆う場合に、光源からポリゴンミラーへの入射光束を透過させる部分と、ポリゴンミラーからの反射光を走査レンズ側へ透過させる部分とにカバーガラスを設ける必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の公報に開示される走査光学系では、補正素子をカバーガラスとして兼用する場合、補正素子がｆθレンズの光軸に対して垂直に配置されているため、これとは別個に光源とポリゴンミラーとの間にもカバーガラスを設けなければならず、かつ、補正素子の表面での不要な反射光がゴースト光として走査対象面に達しやすいという問題がある。
【０００７】
一方、補正素子であるカバーガラスをｆθレンズの光軸に対して傾ければ、２つの透過部分を単一のカバーガラスで覆うことはできるが、この場合には、補正素子がｆθレンズの光軸に対して垂直な場合と比較して、倍率色収差によるスポットのズレ量が大きくなる。
【０００８】
この発明は、上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、走査レンズの倍率色収差補正用の回折面をポリゴンカバーのカバーガラス上に設けた場合にも、カバーガラスの枚数を増やすことなく、ゴースト光の影響を抑え、倍率色収差によるスポットのズレ量を小さく抑えることが可能な走査光学系の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる走査光学系は、上記の目的を達成させるため、光源から発する光束を回転駆動される偏向器により偏向させ、走査レンズにより走査対象面上に結像させる構成において、偏向器と走査対象面との間の光路中に、回折面を有して走査レンズの色収差を補正する回折素子を、走査レンズの光軸との交点における法線が主走査方向において光軸に対して傾くように配置し、回折面による光路長の付加量を、主走査方向において光軸を基準に非対称に変化するよう設定したことを特徴とする。
【００１０】
上記の構成によれば、回折素子を走査レンズの光軸に対して傾けて配置した場合に発生する色収差補正作用の非対称成分の少なくとも一部を、回折面による光路長の付加量の変化を非対称にすることにより相殺することができ、倍率色収差を小さく抑えることが可能となる。
【００１１】
回折面による光路長の付加量は、光軸からの主走査方向の距離Ｙ、ｎ次の光路差関数係数Ｐｎ、波長λを用いて、
φ（ｈ）＝（Ｐ１Ｙ＋Ｐ２Ｙ２＋Ｐ３Ｙ３＋Ｐ４Ｙ４＋Ｐ５Ｙ５＋Ｐ６Ｙ６＋…）×λ
により定義される光路差関数φ（ｈ）により表わされる。光源から偏向器に入射する光束の中心軸と走査レンズの光軸とが同一の平面内で所定の角度をなすとき、１次の光路差関数係数Ｐ１は、回折素子が光源側の端部を偏向器に近接させる方向に傾けられている場合にはＰ１≧０の条件を満たし、回折素子が光源側の端部を偏向器から離反させる方向に傾けられている場合にはＰ１＜０の条件を満たすことが望ましい。
【００１２】
なお、回折面の巨視的形状は、主走査方向に対応する長手方向の回転軸を有するアナモフィック面とすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明にかかる走査光学系の実施形態を説明する。実施形態の光学系は、レーザープリンターのレーザー走査ユニットに使用され、入力される描画信号にしたがってＯＮ／ＯＦＦ変調されたレーザー光を感光体ドラム等の走査対象面上で走査させ、静電潜像を形成する走査光学系である。この明細書では、走査対象面上でスポットが走査する方向を主走査方向、これに直交する方向を副走査方向と定義し、各光学素子の形状、パワーの方向性は、走査対象面上での方向を基準に説明することとする。
【００１４】
実施形態にかかる走査光学系は、主走査方向の平面図である図１に示されるように、光源である半導体レーザー１０から発した発散光をコリメートレンズ１１により平行光束とし、副走査方向に正のパワーを有するシリンドリカルレンズ１２を介して偏向器であるポリゴンミラー１４に入射させる。ポリゴンミラー１４の反射面１４ａで反射、偏向されたレーザー光は、ｆθレンズ２０、および補正用レンズ３０を介して収束され、走査対象面４０上に主走査方向に走査するスポットを形成する。
【００１５】
シリンドリカルレンズ１２は、コリメートレンズ１１側のレンズ面が副走査方向にのみ正のパワーを持つシリンダー面、ポリゴンミラー１４側のレンズ面が平面として構成されている。シリンドリカルレンズ１２のパワーは、シリンドリカルレンズ１２により形成される線像がポリゴンミラー１４の反射面１４ａの近傍に位置するよう定められている。
【００１６】
ポリゴンミラー１４の周囲には、図１に破線で示すようにノイズ防止用のカバー１５が取り付けられており、このカバー１５のカバーガラスとして回折素子１６が取り付けられている。回折素子１６は、ポリゴンミラー１４側の面１６ａが平坦面であり、ｆθレンズ２０側の面１６ｂの一部にｆθレンズ２０の倍率色収差を補正するための回折面が光軸との交点Ａを中心に形成されている。
【００１７】
実施形態の走査光学系は、半導体レーザー１０からポリゴンミラー１４に入射する光束の中心軸Ａｘ０とｆθレンズ２０の光軸Ａｘ１とが同一の平面内（主走査平面内）で所定の角度をなして交差するため、カバー１５には半導体レーザー１０からポリゴンミラー１４への入射光束を透過させる部分と、ポリゴンミラー１４からの反射光をｆθレンズ２０側へ透過させる部分とにカバーガラスを設ける必要がある。
【００１８】
実施形態の回折素子１６は、光軸との交点Ａにおける法線Ａｘ２がｆθレンズ２０の光軸Ａｘ１に対して傾くように配置されている。また、回折素子１６は、法線Ａｘ２と光軸Ａｘ１とが一致する場合を基準として、回折素子１６の半導体レーザー１０側の端部がポリゴンミラー１４に対して近接する方向（図中時計回り方向）に傾くよう配置されており、これにより１枚の回折素子１６で上記の２つの光路がカバーされている。
【００１９】
ポリゴンミラー１４で反射された光束は、主走査方向にはほぼ平行光として、副走査方向には発散光としてｆθレンズ２０に入射する。ｆθレンズ２０は、ポリゴンミラー１４側から第１レンズ２１と第２レンズ２２とが配列して構成されている。第１レンズ２１と第２レンズ２２とは、いずれも光軸回りに回転対称なレンズ面のみから構成されるレンズであり、ｆθレンズ２０は全体として正のパワーを有している。
【００２０】
補正用レンズ３０は、走査対象面４０側に近接して配置された像面湾曲補正用の長尺のレンズであり、そのｆθレンズ２０側のレンズ面は、副走査方向の実効的な屈折力が中心から周辺に向けて漸減するアナモフィック面であり、副走査方向に強い正のパワーを有する。補正用レンズ３０を透過した光束は、主走査、副走査の両方向に関して収束光となり、走査対象面４０上にビームスポットを形成する。
【００２１】
次に、図２及び図３に基づき、回折素子１６の形状について説明する。図２は、回折素子１６をｆθレンズ２０側から見た正面図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【００２２】
回折素子１６は、図２及び図３に示されるように、その長手方向の一方側が半導体レーザー１０からの光束を透過させる非回折領域Ｒ１、他方側がポリゴンミラー１４からの反射光を透過させる回折領域Ｒ２として形成されている。回折素子１６のポリゴンミラー１４側の面１６ａは非回折領域Ｒ１が平面、回折領域Ｒ２が回転対称な非球面である。ただし、面１６ａの回折領域Ｒ２は曲率が小さいため、図３では平面として示されている。一方、回折素子１６のｆθレンズ２０側の面１６ｂは、非回折領域Ｒ１が平面、回折領域Ｒ２が回折面として形成されている。
【００２３】
回折面は、光軸との交点を中心に、光路長の付加量が主走査方向において非対称となるように形成されている。回折面は、図３に示すように階段状の領域を有し、各領域の境界は図２に示すように主走査方向に対して垂直になる。回折面による光路長の付加量は、主走査方向にのみ変化し、一つの主走査方向の位置においては、付加量は副走査方向の位置にかかわらず一定である。なお、図２及び図３では、理解を容易にするため階段状の領域の数を実際より少なく、かつ、領域間の段差を実際より誇張して示している。輪帯は、図３に示されるように、光軸との交点Ａにおける法線Ａｘ２に対して垂直な平面であり、階段状に光軸との交点Ａ上が最も低く（ポリゴンミラー１４に近く）、周辺に向けて徐々に高く（ポリゴンミラー１４から遠く）なるよう加工されており、回折面は全体として凹面である。なお、回折素子１６は、光軸との交点Ａの近傍ではパワーを持たず、かつ、解説面の巨視的形状はトーリック面である。
【００２４】
次に、上述した走査光学系の具体的な数値例である実施例を３例示す。
実施例の説明の前に、回折面の表現形式について説明する。回折面の形状は、光軸からの距離ｈにおける光軸と回折面との交点での接平面からのサグ量ＳＡＧ（ｈ）で表すことができ、かつ、そのサグ量ＳＡＧ（ｈ）は以下の式（１）で表される。
ＳＡＧ（ｈ）＝Ｘ（ｈ）＋Ｓ（ｈ）  …（１）
ここで、Ｘ（ｈ）は回折面の巨視的形状（ベースカーブ）で、以下のように表される。
Ｘ（ｈ）＝ｈ２／［ｒ［１＋√（１−（κ＋１）ｈ２／ｒ２）］］＋Ａ４ｈ４＋Ａ６ｈ６＋Ａ８ｈ８＋Ａ１０ｈ１０…（２）
上式中、ｒは光軸上の曲率半径、κは円錐係数、Ａ４，Ａ６，Ａ８，Ａ１０はそれぞれ４次、６次、８次、１０次の非球面係数である。
【００２５】
一方、回折面が持つべき光路長付加量φ（ｈ）は、光軸からの高さｈの点の光軸からの主走査方向の距離Ｙ、ｎ次の光路差関数係数をＰｎ、波長をλとして、以下の式（３）により求められる。
φ（ｈ）＝（Ｐ１Ｙ＋Ｐ２Ｙ２＋Ｐ３Ｙ３＋Ｐ４Ｙ４＋Ｐ５Ｙ５＋Ｐ６Ｙ６＋…）×λ  …（３）
式（１）中のＳ（Ｙ）は、この光路長付加量φ（Ｙ）に基づいて以下の式（４）により求められる値であり、主走査方向に変化する階段状のサグ量を表す。
Ｓ（ｈ）＝［｜ＭＯＤ（Δφ（ｈ）＋Ｃ，−１）｜−Ｃ］λ／［ｎ−１］  …（４）
ここで、ＭＯＤ（Ｘ、Ｙ）はＸをＹで割った剰余を与える関数、Ｃは輪帯の境界位置の位相を設定する定数であり、０から１の任意の値をとる（以下の実施例では、Ｃ＝０．５）。
また、回折レンズ面の各輪帯の番号Ｎは、光軸上の領域を０として、以下の式（５）により表される。ＩＮＴ（Ｘ）は、Ｘの整数部分を与える関数である。
Ｎ＝ＩＮＴ（｜Δφ（ｈ）／λ＋Ｃ｜）    …（５）
【００２６】
【実施例１】
表１は、実施例１の走査光学系におけるシリンドリカルレンズ１２より走査対象面４０側の構成を示す。表中の記号ｆは走査光学系の主走査方向の焦点距離、ｒｙは各光学素子の主走査方向の曲率半径、ｒｚは副走査方向の曲率半径（回転対称面の場合には省略）、ｄは面間の光軸上の距離、ｎは波長７８０ｎｍでの屈折率である。
【００２７】
表中、第１面及び第２面がシリンドリカルレンズ１２、第３面がポリゴンミラー１４のミラー面、第４面及び第５面が回折素子１６、第６面及び第７面がｆθレンズ２０の第１レンズ２１、第８面及び第９面が第２レンズ２２、第１０面及び第１１面が補正用レンズ３０を示す。回折素子１６は、光軸との交点Ａにおける法線Ａｘ２がｆθレンズ２０の光軸Ａｘ１に対して半導体レーザー１０が配置された側に１０度傾くように配置されている。
【００２８】
【表１】
0003548499.tif 000002
【００２９】
第１面はシリンドリカル面、第２面、第３面、第８面は平面、第９面、第１１面は球面である。また、第４面、第６面、第７面は回転対称な非球面であり、その形状は上記の式（２）で表される。これらの非球面の円錐係数、非球面係数は以下の表２に示される。
【００３０】
【表２】
0003548499.tif 000003
【００３１】
第５面は回折面である。回折面は、トーリック面をベースカーブとして、所定の光路差関数で表される回折レンズ構造を形成することにより構成されている。回折面のベースカーブを規定するトーリック面は、主走査方向の形状が上記の式（２）で示される非円弧曲線であり、この曲線を主走査方向と平行な回転軸を中心に回転させた軌跡として定義される。この非円弧曲線を定義する円錐係数、非球面係数、回折レンズ構造を規定する光路差関数の係数は、以下の表３に示されている。なお、回折面の回折成分の設計波長７８０ｎｍでの焦点距離は１１４１．１ｍｍである。
【００３２】
【表３】
0003548499.tif 000004
【００３３】
第１０面は、光軸から離れた位置での副走査方向の曲率半径が主走査方向の断面形状とは無関係に設定された回転軸を持たない非球面であり、主走査方向の断面形状は前記の式（２）、主走査方向の各位置ｈにおける副走査方向の曲率半径ｒｚ（ｈ）は、光軸上での副走査方向の曲率半径をｒｚ０として、以下の式（６）により求められる。
１／ｒｚ（ｈ）＝（１／ｒｚ０）＋Ｂ１ｈ＋Ｂ２ｈ２＋Ｂ３ｈ３＋Ｂ４ｈ４＋Ｂ５ｈ５＋Ｂ６ｈ６＋Ｂ７ｈ７＋Ｂ８ｈ８  …（６）
第１０面を規定する各係数は、以下の表４に示される。
【００３４】
【表４】
0003548499.tif 000005
【００３５】
続いて、図４及び図５に基づいて、上記の走査光学系における回折素子１６の配置と倍率色収差との関係について説明する。各グラフは、設計波長である７８０ｎｍのレーザー光により走査対象面上に形成されるスポット位置を基準として、７９０ｎｍのレーザー光により走査対象面上に形成されるスポットの主走査方向のズレを像高（主走査方向の走査位置）に応じてプロットしたものである。各図の横軸は倍率色収差量（単位：ｍｍ）、縦軸は像高（単位：ｍｍ）を示している。像高は、光軸上を０とし、半導体レーザー１０が設けられている側をマイナス、反対側をプラスとして符号を付している。
【００３６】
色収差補正用の回折素子が設けられていない場合には、図４（Ａ）に示すように、倍率色収差はマイナス像高からプラス像高にかけて単調に増加する。これを補正するために、光路長の付加量が光軸に対して対称に変化する回折素子を光軸Ａｘ１に対して垂直に配置すると、図４（Ｂ）に示すように、倍率色収差は小さくなる。ただし、カバーガラスとして用いる場合には、回折素子１６とは別個に半導体レーザー１０からの光束を入射させるカバーガラスが必要となり、かつ、ゴーストの影響を受けやすい。
【００３７】
ここで、上記の垂直配置の状態から、上記の回折素子を図１中時計回りに１０度回転させる。この場合には、半導体レーザー１０からの光束と、ポリゴンミラー１４からの反射光とを１枚の回折素子により透過させることができる。しかしながら、回折素子１６の一方の端部がポリゴンミラー１４に対して近接し、他方の端部がポリゴンミラー１４から離反するため、同一の偏向角の光束が、離反する側では光軸との交点Ａから遠い階段領域に入射し、近接する側では光軸との交点Ａに近い階段領域に入射する。光路長の付加量が光軸に対して対称に変化する回折素子の倍率色収差の補正効果は、光軸との交点Ａからの距離に応じて次第に大きくなるため、離反する側では色収差が補正過剰、近接する側では補正不足となる。このため、倍率色収差は図４（Ｃ）に示すような弓形となる。この状態では、軸上での収差はゼロになるものの、周辺部での収差量がかなり大きくなる。図４（Ａ）と比較すると、プラス像高では補正過剰、マイナス像高では補正不足となっていることが理解できる。
【００３８】
図５（Ａ）は、実施例１の配置における倍率色収差を示す。光路差関数係数の奇数次の項を含ませて回折面による光路長の付加量を光軸との交点に対して非対称にすることにより、斜め配置に起因する色収差補正効果の非対称成分を打ち消し、各像高において倍率色収差の発生を小さく抑えることができる。なお、実施例１では、回折素子１６が半導体レーザー１０側の端部をポリゴンミラー１４に近接させる方向に傾けられており、Ｐ１＝０でＰ１≧０の条件を満たしている。
【００３９】
【実施例２】
次に、実施例２について説明する。実施例２は、実施例１に対して回折素子１６を変更して構成され、光学系の他の構成は実施例１と同一である。以下の表５及び表６は、それぞれ実施例２にかかる走査光学系における回折素子１６のポリゴンミラー側の面１６ａ（表１の第４面）、及びｆθレンズ２０側の面１６ｂ（表１の第５面）を規定する各係数を示す。すなわち、表５には、回転対称非球面である第４面１６ａを規定する軸上の曲率半径ｒ、円錐係数κ、各非球面係数Ａｎが示される。また、表６には、回折面のベースカーブであるトーリック面を規定する主走査、副走査方向の曲率半径ｒｙ、ｒｚ、非円弧曲線を規定する円錐係数κ、各非球面係数Ａｎと、回折レンズ構造を規定する光路差関数係数とが示される。
【００４０】
実施例２の回折素子１６は、実施例１と同様に、光軸との交点Ａにおける法線Ａｘ２がｆθレンズ２０の光軸Ａｘ１に対して半導体レーザー１０が配置された側に１０度傾くように配置されている。なお、回折面の回折成分の設計波長７８０ｎｍでの焦点距離は１１３３．０ｍｍである。
【００４１】
【表５】
0003548499.tif 000006
【００４２】
【表６】
0003548499.tif 000007
【００４３】
図５（Ｂ）は、実施例２の配置における倍率色収差を示す。実施例１同様、倍率色収差の発生を小さく抑えることができる。なお、実施例２では、回折素子１６が半導体レーザー１０側の端部をポリゴンミラー１４に近接させる方向に傾けられており、Ｐ１＝１．０６１９０でＰ１≧０の条件を満たしている。
【００４４】
【実施例３】
次に、実施例３について説明する。実施例３は、実施例１に対して回折素子１６を変更して構成され、光学系の他の構成は実施例１と同一である。以下の表７及び表８は、それぞれ実施例３にかかる走査光学系における回折素子１６のポリゴンミラー側の面１６ａ（表１の第４面）、及びｆθレンズ２０側の面１６ｂ（表１の第５面）を規定する各係数を示す。
【００４５】
実施例３の回折素子１６は、実施例１、２とは異なり、光軸との交点Ａにおける法線Ａｘ２がｆθレンズ２０の光軸Ａｘ１に対して半導体レーザー１０が配置された側とは反対側に１０度傾くように配置されている。なお、回折面の回折成分の設計波長７８０ｎｍでの焦点距離は９８４．２ｍｍである。
【００４６】
【表７】
0003548499.tif 000008
【００４７】
【表８】
0003548499.tif 000009
【００４８】
図５（Ｃ）は、実施例３の配置における倍率色収差を示す。実施例１同様、倍率色収差の発生を小さく抑えることができる。なお、実施例３では、回折素子１６が半導体レーザー１０側の端部をポリゴンミラー１４から離反させる方向に傾けられており、Ｐ１＝−１．４０６９３でＰ１＜０の条件を満たしている。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、走査レンズの倍率色収差を補正するための回折素子が、光軸に対して主走査方向に傾いて配置されている場合にも、倍率色収差を小さく抑えることかできる。したがって、ポリゴンカバーのカバーガラスを回折素子として兼用する場合にも、カバーガラスの枚数を増やすことなくゴースト光の影響を抑え、倍率色収差によるスポットのズレ量を小さく抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態にかかる走査光学系の主走査方向の説明図。
【図２】図１の走査光学系に用いられる回折素子の正面図。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図。
【図４】（Ａ）は回折素子が設けられていない場合、  （Ｂ）は光軸対称な回折素子が光軸に対して垂直に配置された場合、（Ｃ）は光軸対称な回折素子が光軸に対して傾いて配置された場合の倍率色収差をそれぞれ示すグラフ。
【図５】（Ａ）は実施例１、  （Ｂ）は実施例２、（Ｃ）は実施例３の走査光学系の倍率色収差をそれぞれ示すグラフ。
【符号の説明】
１０  半導体レーザー
１４  ポリゴンミラー
１６  回折素子
Ａ  光軸との交点
２０  ｆθレンズ
３０  補正用レンズ
４０  走査対象面
【図１】
0003548499.tif 000010
【図２】
0003548499.tif 000011
【図３】
0003548499.tif 000012
【図４】
0003548499.tif 000013
【図５】
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