(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光本体部が収納され、空気の清浄度、温度、圧力、湿度等の環境条件がほぼ一定に維持される本体チャンバを含む本体部と、前記本体チャンバ内の空調を行なう空調部とを備えた露光装置であって、
前記空調部の一部を成す冷却部での結露水が一時的に集積される集水部と；
前記集水部内に清浄な水を連続的又は断続的に供給する給水手段とを有する露光装置。
【請求項２】
前記集水部は、前記空調部内部と装置外部とを連通する排水管の一部に設けられ、前記空調部内部と装置外部との圧力差を利用して一定量の水を溜めるＵ字状配管部であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記集水部は、前記空調部内部と装置外部とを連通する排水管の空調部側の端部が接続されたドレインパンであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記集水部内の水の量を直接的又は間接的に検出する検出手段と；
前記検出手段の出力に基づいて前記集水部内にほぼ一定量の水が常時蓄積されるように前記給水手段により供給される水の量を調節する流量調節手段とを更に有する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記検出手段は、前記集水部に流入する水の量を検出する流量センサであることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記検出手段は、前記集水部内に蓄積された水の水面の高さを検出するレベルセンサであることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項７】
前記給水手段からの水の供給は、装置外部にある排水管で行われることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置に係り、特に被露光基板として化学増幅型レジストが塗布された基板を使用するのに好適な露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光装置等の微細加工を行なう装置では、極めて高精度に温度調節をする必要があることから、その温度調節のために空調部が設けられているが、例えば、設定温度に対し±０．１℃の範囲という極めてシビアな温度調節を行う必要から空調系は循環系とする必要がある。このように空気を循環するためには送風機が必要となり、振動等の問題から、送風機を含む空調部は、露光本体部が収納された本体チャンバを含む本体部から独立させる必要がある。
【０００３】
図６には、本体部２から空調部１が独立した状態の従来の露光装置の一例が概略的に示されている。以下、この図６に基づいてこの種の装置における空調系について概略的に説明する。
【０００４】
半導体製造装置においては、清浄度を保つ必要から、レチクルＲ、投影レンズＰＬ等から成る露光本体部が収納された本体チャンバ３内部の圧力は当該本体チャンバ３の外より常に陽圧にする必要がある。この本体チャンバ３内外の圧力差により本体チャンバ３内の空気が外部に漏れ、その漏れ分を外部から供給する必要が生じる。このため、ＯＡ（Ｏｕｔｓｉｄｅ  Ａｉｒ  ｉｎｌｅｔ）口と呼ばれる外気取り込み口６が設けられ、通常のこのＯＡ口６を介して外気の取り込みが自然吸気で行われるようになっている。
【０００５】
一方、本体チャンバ３からの戻り空気は、外部からの供給空気といっしょになって空調部１に入る。空調部１に入った空気は、まずクーラー７によって冷却され、外気取り込みによって外部からもたらされた余分な水分が不図示の放熱フィンで結露し、除かれる。その後ヒーター８で所望の温度まで昇温され、送風ファン９で本体部２に送り込まれる。送風ファン９の下流には温度センサ１１が設置されており、この温度センサ１１の検出値が不図示の制御装置に送られている。そして、この制御装置では、温度センサ１１の出力をモニタしつつ、目標温度との差が零となるようにクーラー７、ヒーター８を制御する。このようにして、いわゆるフィードバック制御により温度調整がなされるようになっている。
【０００６】
また、本体チャンバ３内の空気の清浄度を保つ為に、空調部１を通った空気は、本体チャンバ３に導かれる前に、ＨＥＰＡボックス１３内のＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｅｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）１０により清浄化されるようになっている。
【０００７】
更に、クーラー７による冷却部で結露した水分は、クーラー７の下方部に設置されている排出用受け皿であるドレインパン４に集められ、排水管５を介して装置外に排出されている。
【０００８】
ところで、最近になってクリーンルーム雰囲気中の微量ガスが、縮小投影型露光装置等の半導体製造装置に対して悪影響をもたらすことが判かってきた。これを具体的に説明すると、エキシマレーザをその光源に用いたエキシマレーザ露光装置やＸ線露光装置や電子ビーム露光装置等では、各光源の輝度が不足するのにレジストの高感度で対応しようとの観点から、レジスト中の感光剤として酸発生剤を含み、露光で発生した酸により、続く熱処理（ＰＥＢ）において触媒反応が誘起され、現像液に対して不溶化（ネガ型）又は可溶化（ポジ型）が促進される、高感度の化学増幅型レジスト（ｃｈｅｍｉｃａｌｌｙ  ａｍｐｌｉｆｉｅｄ  ｒｅｓｉｓｔ）が用いられるが、例えば、ポジ型レジストの場合、雰囲気中のｐｐｂレベルの微量な塩基性ガスが、当該ポジ型化学増幅型レジストの表面に発生した酸触媒を中和して表面難溶化層を形成し、露光して現像した後、矩形になるべきレジスト断面が、Ｔシェイプと呼ばれる、Ｔの字に形の似たひさしを形成してしまう現象が生ずる。そのままでは高感度レジストである化学増幅型レジストが用いられないので、オーバーコート等を行わなければならなかったりして、スループットが低下することになる。
【０００９】
また、露光光の短波長化、高照度化に伴い、照明系部材の表面に雰囲気中の微量ガスが曇り物質として析出するという問題も発生している。これは雰囲気中の微量ガスと露光光の間に光化学的相互作用が生じることによる。反応物質としては、空気中のアンモニアガスや硫黄酸化物、有機硅素化合物等が対象として挙がっている。照明系部材の曇り発生の結果として、照度低下が顕著となり、スループットが低減してしまう。
【００１０】
そのため、これらのクリーンルーム雰囲気中の微量な不純物ガスを除去する手段として特開平６−７７１１４号の発明等が提案されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
問題となる微量ガスは、元々クリーンルーム中に存在しているのであるから、何等かの手段によって装置内に入る前に除去してしまえば良いのであるが、前述した空調部の構成がこれを困難としていることが問題となる。
【００１２】
すなわち、温度調節上、ドレインの配管は必要不可欠であり、このドレイン配管によって装置の空調部が外部に開放されている点が問題となり、更に問題なのは、装置の構成上ヒーターやクーラーは送風ファンの直前に置かれることが多く、送風ファンの特性上ドレインパンでは外気に対して陰圧（−３０ｍｍＡｑ．ぐらい）になっている点である。このため、以下のような種々の不都合が生じる。
【００１３】
▲１▼  ドレイン配管は、半導体製造工場内の他のデバイス機器と最終的に結合しており、ドレインパンでは外気に対して陰圧になっているので、ドレインパンに水が溜まっていないときには、他の製造装置由来の不純物ガスがドレイン配管によって装置内に流入してくる可能性がある。
【００１４】
▲２▼  他の製造装置で行われるアルカリ処理や酸性処理等の化学的な工程によって各装置雰囲気内に発生した化学物質が各装置の温調排水に溶け込むことが微視的レベルで発生している。それらの化学物質がドレイン配管によって露光装置内にｐｐｂレベルで流入してくる可能性はかなり大きい。配管系が特に高濃度の化学物質を含む排水でない限り、特に化学的な装置汚染に配慮がなされていない場合が多く、温調排水の配管系は、装置外のクリーンルーム雰囲気と繋がっている場合も有り得る。
【００１５】
▲３▼  ドレインパンには、装置の設置条件によっては、常にクーラーでの結露水が溜まっていることがあり、その場合には工場配管から直接外気が装置内に混入されることは無いが、溜まっている結露水を介在して間接的に混入してくる可能性があり、いずれにしても問題となる。
【００１６】
▲４▼  工場配管の影響が小さい場合でも、ドレインパンに結露水が溜まっている場合、陰圧の影響で長時間流れ出ることがないため、循環している空気中の微量ガスが溶解し、濃縮された後、微生物等が繁殖したりして、露光装置に悪影響をもたらすガスの２次供給源となる可能性がある。
【００１７】
本発明はかかる従来技術の有する不都合に鑑みてなされたもので、その目的は、化学増幅型レジストの表面難溶化層の発生や光学材料の曇りによる照度低下等の弊害の発生を効果的に抑制することができる露光装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、露光本体部が収納され、空気の清浄度、温度、圧力、湿度等の環境条件がほぼ一定に維持される本体チャンバを含む本体部と、前記本体チャンバ内の空調を行なう空調部とを備えた露光装置であって、前記空調部の一部を成す冷却部での結露水が一時的に集積される集水部と；前記集水部内に清浄な水を連続的又は断続的に供給する給水手段とを有する。本明細書において、清浄な水とは、アンモニア等の不純物や微生物が少なくともｐｐｂレベル以下まで除去された水を意味する。
【００１９】
これによれば、空調部により空調が行なわれると、冷却部での結露水が集水部に一時的に集積されるが、これと同時に集水部内には、給水手段によって清浄な水が連続的又は断続的に供給される。このため、集水部には、十分な量の水が常に溜っており、しかもこの集水部内の水は外部に流れ続ける。このため、結露水等の排水に含まれている溶解した不純物が希釈されることになり、不純物の濃縮が阻止可能となり、また、集水部内での不純物の濃縮も阻止される。更に、本発明によれば、集水部に上流から清浄な水が常に流入するので、集水部内の水に含まれる物質は排出され続けるため、集水部以降からの配管系よりもたらせる不純物の間接的な混入、即ち再放出を阻止することが可能となる。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の露光装置において、前記集水部は、前記空調部内部と装置の外部とを連通する排水管の一部に設けられ、前記空調部内と装置外部との圧力差を利用して一定量の水を溜めるＵ字状配管部であることを特徴とする。
【００２１】
これによれば、集水部が、空調部内部と装置の外部とを連通する排水管の一部に設けられ、空調部内と装置外部との圧力差を利用して一定量の水を溜めるＵ字状配管部であることから、上流より結露水と共に清浄な水が集水部内に流れ込めば、特別な制御装置等を用いる事無く内外圧力差で定まる一定量の水を確実に集水部内に溜めることができると共に、この一定量を超える分の水は常に外部に流出し続ける。
【００２２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の露光装置において、前記集水部は、排水管の前記空調部側の端部が接続されたドレインパンであることを特徴とする。
【００２３】
これによれば、集水部が、排水管の空調部側の端部が接続されたドレインパンであることから、露光装置がソリッドな床の上に設置されていて、請求項２に記載の発明のようなＵ字状配管部を形成するのに必要な高低差が確保出来ない場合であっても、集水部を確保できる。この場合には、ドレイン排水用の配管の高さよりも常にドレインパンの水の水面が高くなるような量の水がドレインパン内に溜るようにすることが望ましい。このようにすれば、ドレインパンより下流側の配管からの不純物を含む空気が直接装置内に逆流するのを防ぐことができる。
【００２４】
この場合、ドレインパンへ連続的又は断続的に清浄な水を流すことで、水への溶解度の高いアンモニア等の極性分子が随時ドレインパン内の水に溶け込み、かつ装置外へ排出されるので、準ケミカルフィルターとしてドレインパンが機能することになる。
【００２５】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか一項に記載の露光装置において、前記集水部内の水の量を直接的又は間接的に検出する検出手段と；前記検出手段の出力に基づいて前記集水部内にほぼ一定量の水が常時蓄積されるように前記供水手段により供給される水の量を調節する流量調節手段とを更に有する。
【００２６】
ここで、直接的な検出手段としては、例えば集水部内の水の水面の高さを検出するレベルセンサが挙げられる。また、間接的な検出手段としては、集水部から流出する水の流量を検出する流量センサや、請求項５に記載の発明のような集水部に流入する結露水を含む水の総流量を検出する流量センサが挙げられる。
【００２７】
この請求項４に記載の発明によれば、流量調節手段により集水部内にほぼ一定量の水が常時蓄積されるように給水手段により供給される水の量が調節されるので、例えば、集水部をドレインパンで構成する場合に、ドレイン排水用の配管の高さよりも常にドレインパンの水の高さが高くなる量に設定し、しかもドレインパンの水が淀むことのないように、ある一定値以上の流量を確保できるようになる。
【００２８】
【実施例】
《第１実施例》
以下、本発明の第１実施例を図１ないし図４に基づいて説明する。ここで、前述した従来例と同一若しくは同等の構成部分については同一の符号を用いるものとする。
【００２９】
図１には第１実施例に係る露光装置の概略平面図が示されている。この図１に示される露光装置は、空調部１と本体部２の２部分から構成される。
【００３０】
本体部２は、本体チャンバ３を備えており、この本体チャンバ３内には、光源、照明部（いずれに図示省略）、レチクルＲ、投影光学系ＰＬ、ステージ、ウエハ（いずれも図示省略）等を有する露光本体部が収納されている。そして、エキシマレーザや水銀ランプ等の不図示の光源から射出された露光光が、各種レンズやミラー等からなる不図示の照明系で必要な波長、大きさ、及び照度均一性に整形されて、所定のパターンが形成されたレチクルＲを照明し、このレチクルＲに形成されたパターンが投影光学系ＰＬを介して不図示のステージ上に載置された不図示の被露光基板としてのウエハに転写されるようになっている。このウエハとしては、化学増幅型レジストが塗布されたものが使用される。本体チャンバ３の内部は、環境条件（清浄度、温度、圧力、湿度等）がほぼ一定に維持されている。
【００３１】
本体部２の入口、即ち、本体チャンバ３の上流側（図１における右側）にはＨＥＰＡボックス１３が設けられている。このＨＥＰＡボックス１３の内部には、本体チャンバ３内に流入する空気を清浄化するＨＥＰＡフィルター（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｅｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）１０が設けられている。更に、本実施例では、このＨＥＰＡフィルター１０の上流側に、特開平６−７７１１４号に開示されているように、化学増幅型レジストのいわゆるＴシェイプ対策のためのケミカルフィルタ１６が設けられている。ここで、ケミカルフィルタとは、化学物質除去用のエアフィルタの総称であり、特にその不純物の除去機構や構成材料は問わない。
【００３２】
また、ＨＥＰＡボックス１３内のケミカルフィルタ１６の近傍には、後述する温度調節のための温度センサ１１が配置されている。
【００３３】
本体チャンバ１３の最下流側（図１における左側）には、本体チャンバ１３内の空気をリターンダクト１４内に戻すための通路であるリターン部１２が形成されている。
【００３４】
空調部１は、本体チャンバ３内の空調を行なうための構成部分で、冷却部を構成するクーラー７、加温部を構成するヒーター８及び送風ファン９等を備えている。クーラー７の下方、即ち図１における紙面奥側には、図示しない放熱フィンで結露した水分の排出用受け皿であるドレインパン４が配置され、このドレインパン４には、排水管５の一端が接続されている。
【００３５】
本体チャンバ３内は、清浄度を保つために、常に陽圧に保たれており、そのため本体チャンバ３の前面等や不図示のインラインインターフェイス部等から空気が外部に漏れており、この漏れ分の外気を取り入れるため、装置の側壁の一部にリターンダクト１４に連通するＯＡ部６が設けられている。本実施例では、化学増幅型レジストのいわゆるＴシェイプ対策のため等の目的で、ＯＡ部６を介して装置内部に取り込まれる空気中の化学物質（不純物）を除去して清浄な空気のみを装置内に取り入れるため、ケミカルフィルタ１６と同様のケミカルフィルタ１７がこの０Ａ部６に設けられ、このケミカルフィルタ１７からの発塵の装置内への混入を考慮してＨＥＰＡフィルタ１９がその内部側に設置されている。ここで、ＨＥＰＡフィルタ１９自体の圧力損失が大きい場合には、必要供給量を確保するために、図示のような送風ファン１８をケミカルフィルタ１７とＨＥＰＡフィルタ１９との間に設置することが望ましい。
【００３６】
ここで、上述のようにして構成された露光装置の空調について説明する。
【００３７】
本体チャンバ１３内を通過し、リターン部１２を介してリターンダクト１４内に戻された空気は、外部からの空気供給口であるＯＡ部６から取り入れられた空気と一緒になって空調部１に入る。空調部１に入った空気は、まずクーラー７によって冷却され、外気取り込みによって外部からもたらされる余分な水分は不図示の放熱フィンで結露し、除かれる。その後ヒーター８で所望の温度まで昇温され、送風ファン９で本体部２に送り込まれる。
【００３８】
本体部２に入った空気は、ケミカルフィルタ１６及びＨＥＰＡフィルタ１０により清浄化され、微小粒子を含まないという意味で清浄度の高い空気のみが、本体チャンバ３に供給される。
【００３９】
ここで、空調部１から本体部２に供給される空気は、前述した従来例と同様に、図示しない制御装置により、温度センサ１１の出力に基づいてクーラー７、ヒーター８が制御され、いわゆるフィードバック制御により温度調整がなされるようになっている。
【００４０】
更に、本実施例では、図２に示されるように、ドレインパン４に一端が接続された配水管５の一部には、当該排水管５を介して装置外に排出される温調排水に対して、ドレインより後の配管からの外気の混入を防ぐ為に、集水部を構成するＵ字状配管部としてのトラップ１５が設けられている。
【００４１】
ここで、このトラップ１５の原理については図３に基づいて説明する。
【００４２】
図３に示されるように、Ｕ字管の端点Ａ点とＢ点の間には圧力差があり、点Ａの方が点ＢよりΔＰ［ｍｍＡｑ．］だけ圧力が高いとする。Ｕ字管内に水がないときは、その圧力勾配に従って、空気が流れていく。
【００４３】
Ｕ字管に水を入れると圧力差が無いときには、水柱の高さがｈで両水面が均衡するが、圧力差ΔＰ［ｍｍＡｑ．］が生じると、Ａ点とＢ点での圧力差に応じてそれぞれの水面が高さｈよりもそれぞれ１／２ΔＰ移動し、高低差ΔＰ［ｍｍ］を生じる。従って、圧力差に耐えるトラップには、図３に示されるように、均衡時の水面の高さｈがΔＰ／２より高くなるような量の水が入っている必要がある。
【００４４】
実際に、トラップ１５を通過する排水は、工場の配管に流れる必要があるので、トラップ１５の形状は、図４に示されるように逆Ｓ字状になっている。
【００４５】
ところで、送風ファン９により空調部１の内部は空調部１の外に比べて陰圧になっている。外部との圧力差をΔＰ［ｍｍＡｑ．］とすると、図２及び図４に示されるように、外部に設けられたトラップ１５の水面は排水排出面の高さｈ０  よりΔＰ［ｍｍ］高くなる。そのため、本実施例では、図２に示される排水排出面の高さｈ０  から配管５の下面までの高さｈは、ΔＰ［ｍｍ］より充分高くとっている。
【００４６】
図２において、ドレインパン４の上方には、いわゆるロート状の集水管２３が配置されており、この集水管２３の下端部には、検出手段としての流量センサ２０が設置されている。また、集水管２３の一方の側壁を化学的に安定してクリーンな材質から成る給水手段としての純水供給配管２１の一端が貫通しており、この純水供給配管２１を介して不図示の濾過装置を経て化学的に洗浄された純水（清浄な水）が少量であるが集水管２３に常に供給され、当該集水管２３でクーラー７からの結露水と一緒になってドレインパン４に供給されている。
【００４７】
通常は、空調部１内のクーラー７により、雰囲気中の過剰な水分は結露し、ドレインパン４に集められ、ドレインパン４で集められた水が配水管５を通ってトラップ１５に導かれるが、露光装置の設置環境によっては、ほとんど結露水が無い場合があり、かかる場合に配水管５を介して微量ガス等の不純物を含む汚れた空気が逆流することが考えられる。このような場合に、本実施例のように、不図示の濾過装置を経て化学的に洗浄された純水をドレインパン４に常に供給すれば、配水管５を介してトラップ１５内に十分な量の水を溜めることができ、これにより上記汚れた空気が装置内に流入するのを阻止できる。
【００４８】
また、常時純水をドレインパン４内に供給するようにしたのは、上記と反対に、結露水が多い場合でも、クーラー７の不図示の冷却フィンからの析出物や、雰囲気中の微量ガスがドレインパン４内の水に溶け込んで、不純物の濃縮が進行することが考えられるが、かかる場合に常時純水をドレインパン４内に供給することにより、排水に含まれている溶解した不純物が希釈され、ドレインパンにおける不純物濃縮を阻止することが可能になるからである。
【００４９】
更に本実施例では、純水供給配管２１の出口には当該純水供給配管２１から集水管２３内に供給される純水の流量を検出する流量センサ２４が設けられている。また、この純水供給配管２１には、電磁バルブ２２が設けられており、この電磁バルブ２２の開閉度の調整により純水供給配管２１からの純水の供給量を調整できるようになっている。
【００５０】
すなわち、トラップ１５内には、常に一定量以上の水がないとその機能を果たせず、またトラップへの流入量が少ないと、同じ水が長時間淀んでしまうことになるが、このようなことがないように、本実施例では、制御装置２５により、流量センサ２４と流量センサ２０の出力がモニタされ、ドレインパン４内、ひいてはトラップ１５内に流れ込む水の量が一定量以上になるように、電磁バルブ２２の開閉度が調整されるようになっている。この説明から明らかなように、本実施例では、制御装置２５と電磁バルブ２２とによって流量調節手段が構成されている。
【００５１】
以上説明したように、本第１実施例によると、ドレインパン４等のトラップ１５より上流の部位から清浄な水を常時流すことにより、トラップ１５内には常に一定量の水を溜め、しかもトラップ１５内の水に含まれる物質は排出され続けるため、トラップ１５以降からの配管系よりもたらされる不純物の間接的な混入、即ち再放出を阻止することが可能となる。
【００５２】
また、露光装置の内部循環系に化学物質除去フィルタを設置した場合、その寿命をかなり延ばすことが出来る。
【００５３】
なお、上記第１実施例のように、集水管２３を設置するスペースのないときには、流量センサ２０を排水管５の接続口に取り付け、集水管２３を省略しても良い。
【００５４】
また、上記実施例では、純水の供給量及びドレインパン４への水の供給量を流量センサ２０、２４で検出しつつ、常に純水を供給し続ける場合を例示したが、本発明がこれに限定されるものではなく、制御系を簡単にするために、集水管２３や流量センサ２０、２４を設けることなく、タイマー等を用いて純水供給配管２１から例えば１時間に１回１リットル程度の純水を断続的に供給するようにしても良く、あるいは水の供給を作業者が任意に行えるような構成にしても良い。
【００５５】
また、純水供給を露光装置内部ではなく、配管５のような露光装置外部で行っても良いが、重要なことは、ドレインより後の配管からの外気の混入を防ぐために、ドレイン配管後にトラップを設置することである。
【００５６】
従って、空調系が複数存在し、ドレイン配管が複数に分かれている場合には、トラップは各配管ごとに設置し、トラップより後で各配管が集合するように構成する必要がある。
《第２実施例》
次に、本発明の第２実施例を図５に基づいて説明する。ここで、前述した従来例及び第１実施例と同一若しくは同等の構成部分については同一の符号を用いると共に、その説明を簡略化し若しくは省略する。
【００５７】
図５には、第２実施例の主要部が示されている。この第２実施例では、図５に示されるように、前述した第１実施例における集水管２３、流量センサ２０、２４が省略され、純水供給配管２１からドレインパン４に直接純水が供給され、ドレインパン４から排水管５に流出する水の流量を配水管５の接続口に設置された流量センサ２５によって検出している点に特徴を有する。その他の部分の構成は第１実施例と同一である。
【００５８】
この第２実施例では、図５に示されるように、排水管５の高さよりドレインパン４の水面の高さが高くなる程度、ドレインパン４に常に水が溜まるように清浄な水が供給されており、ドレインパン４内の水が淀むことのないように、ドレイン排水量が流量センサ２５によってチェックされ、ある一定量以上の水が常にドレインパン４内に存在するようになっている。すなわち、このように構成することにより、ドレインパン４自体が第１実施例のトラップ１５と同等の集水部の機能を果たす。
【００５９】
また、ドレインパン４へ連続的又は断続的に水を流すことで、水への溶解度の高いアンモニア等の極性分子が随時ドレインパン４内の水に溶け込み、かつ装置外へ排出されるので、準ケミカルフィルターとしてドレインパンが機能することになる。
【００６０】
以上説明したように、本第２実施例によると、ドレインパン４自体が第１実施例のトラップ１５と同等の機能を果たすことから、前述した第１実施例と同様に、工場配管からの不純物の露光装置内への混入、及びドレインパン４での不純物の濃縮を阻止することが出来、結果として露光装置内部の化学的雰囲気を常に清浄に保つことが出来る。
【００６１】
本第２実施例は、露光装置がソリッドな床の上に設置されていて、トラップ形成に必要な高低差が確保出来ない場合に有効である。
【００６２】
なお、上記第２実施例では、ドレイン排水量を検知する流量センサ２５によって検出手段を構成する場合を例示したが、これに代えてドレインパン４内の水の水面の高さを検出するレベルセンサにより検出手段を構成してもよい。要は、集水部としてのドレインパン４内に一定量の水が存在し、ドレインパン４が第１実施例のトラップ１５と同等の機能を果たしていることを検知できれば足りる。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、集水部以降からの配管系よりもたらせる不純物の間接的な混入、集水部内での不純物の濃縮を阻止することができ、これにより、化学増幅型レジストの表面難溶化層の発生や光学材料の曇りによる照度低下等の弊害の発生を効果的に抑制することができるという従来にない優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例に係る露光装置を示す概略平面図である。
【図２】図１の装置のドレインパン近傍の構成を示す説明図である。
【図３】図２のトラップの原理を説明するための図である。
【図４】図２のトラップを取り出して示す図である。
【図５】第２実施例の主要部の構成を示す説明図である。
【図６】従来例に係る露光装置を示す概略平面図である。
【符号の説明】
１  空調部
２  本体部
３  本体チャンバ
４  ドレインパン（集水部）
７  クーラー（冷却部）
１５  トラップ（集水部）
２０  流量センサ（検出手段）
２１  純水供給配管（給水手段）
２２  電磁バルブ（流量調節手段の一部）
２５  制御装置（流量調節手段の一部）
【図１】
0003550626.tif 000002
【図２】
0003550626.tif 000003
【図３】
0003550626.tif 000004
【図４】
0003550626.tif 000005
【図５】
0003550626.tif 000006
【図６】
0003550626.tif 000007