(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層方向に所定ピッチで複数の基板を保持するサイズの異なる複数種類のカセットを選択的に取付可能にしたカセット取付部と、
このカセット取付部に取り付けられる前記カセットに対向して設けられ、該カセットに対して基板を吸着保持して取り出し・返却を行なう吸着保持腕と、
前記カセット取付部に取り付けられる最大サイズのカセットの側面のうち前記複数の基板の積層方向に平行な側面の検知を行なうように設けられ、前記カセット取付部に取り付けられた前記カセットのサイズを検知する無接触センサと、
この無接触センサの検知結果から基板サイズを判定する制御部と
を具備したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記カセット取付部は、前記カセットのサイズに対応する所定の移動ピッチで上下動するエレベータ機構部を有し、
前記制御部は、前記基板サイズの判定結果に基づき前記エレベータ機構部の移動ピッチを設定することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記エレベータ機構部は、基板サイズに応じて移動ピッチが異なり、
前記制御部は、基板サイズに応じて前記エレベータ機構部の上下方向の移動ピッチを設定することを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記カセットは、積層方向のピッチが異なる６インチ用ウエハカセットと８インチ用ウエハカセットからなることを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記制御部は、予め設定された基板サイズに対して前記無接触センサで検知したカセットサイズが一致するかを判断し、一致すると判断したときに前記エレベータ機構部に予め設定した基板サイズに応じた移動ピッチで駆動する駆動信号を送出することを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記カセット取付部は、サイズの異なる複数種類のカセットの共通領域に各カセットが正しくセットされたかを検出するカセット有無センサを設けたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記カセットは、積層方向の所定ピッチが異なる６インチ用ウエハカセットと８インチ用ウエハカセットからなり、
前記カセット取付部は、前記６インチ用ウエハカセットと８インチ用ウエハカセットで上下方向の移動ピッチの異なるエレベータ機構部を有し、
前記無接触センサは、検知領域が前記８インチ用ウエハカセットのみ占有する領域を横切るように配置され、
前記制御部は、該無接触センサで８インチ用ウエハカセットを検知したときに前記エレベータ機構部を８インチ用ウエハカセットに対応する移動ピッチに設定し、８インチ用ウエハカセットが検知されないときに６インチ用ウエハカセットに対応する移動ピッチに設定することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハやフラットディスプレイのガラス基板などをカセットから所定位置に搬送するために用いられる基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数のウェハなどの基板を保持したカセットから所望の基板を取り出すとともに、この取り出された基板を目視により観察するマクロ検査を実現した基板搬送装置が実用化されている。
【０００３】
ところで、このようなマクロ検査が行われるウェハには、種々のサイズのものが存在し、例えば、６インチウェハや８インチウェハなどがあるが、これらウェハは、その径寸法の相違に応じて、ウェハを保持するカセットの大きさも異なり、特に、６インチウェハと８インチウェハのカセットでは、ウェハの積層方向のピッチも異なっている。
【０００４】
このため、従来のウェハ搬送装置では、これら異なるカセットに対しても、カセットから所望するウェハを取り出すとともに、この取り出されたウェハのマクロ検査などを行った後、再びカセットの元の位置に返却するような一連の動作を支障なく実行するには、６インチウェハおよび８インチウェハのカセットの種類を事前に検知することで、カセットからのウェハの取り出しピッチを切換え、ウェハ取出しの際のウェハの破損などを防止するようにしている。
【０００５】
そこで、従来、特開平９−１３９４１５号公報に開示されるように、大きさの異なるカセットを収納する第１のカセット部材と第２のカセットのいずれかのカセット部材が取付けられたときにオン動作する第１の押しスイッチと、第２のカセットが取付けられたときにオン動作する第２の押しスイッチを設け、これら押しスイッチのオン動作の状態により第１のカセット部材および第２のカセットを検知するものがある。この場合、第２の押しスイッチは、第１のカセットが取付けられる第１の領域の外側で、第２のカセットが取付けられる第２の領域よりも内側に配置され、第２のカセットが取付けられることで、この第２のカセット底部の一部で押し操作され、第２のカセットを検知するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような構成によると、一般に基板を収納するカセットは、メーカによって種々の形状があり、同じ基板サイズのカセットでも、カセットの大きさは、それほど変らないもののカセット底部の周縁部分の形状は異なることが多い。このため異なるメーカのカセットが混在して使われるような場合、第２  の押しスイッチが押し操作されないことがあり、カセットサイズの識別が誤って行われるばかりか、基板取出しの際の基板の破損などを招くおそれもあった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、確実に基板サイズの識別を行うことができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、積層方向に所定ピッチで複数の基板を保持するサイズの異なる複数種類のカセットを選択的に取付可能にしたカセット取付部と、このカセット取付部に取り付けられる前記カセットに対向して設けられ、該カセットに対して基板を吸着保持して取り出し・返却を行なう吸着保持腕と、前記カセット取付部に取り付けられる最大サイズのカセットの側面のうち前記複数の基板の積層方向に平行な側面の検知を行なうように設けられ、前記カセット取付部に取り付けられた前記カセットのサイズを検知する無接触センサと、この無接触センサの検知結果から基板サイズを判定する制御部とを具備したことを特徴としている。
【００１１】
この結果、本発明によれば、選択されたカセットを無接触センサで検知することにより、同じ基板サイズのカセットについて、セット底部の形状の異なるものについても、カセットごとの基板サイズを確実に識別することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に従い説明する。
【００１３】
図１は、本発明が適用されるウェハ搬送装置の概略構成を示している。図において、１はウェハ搬送装置本体で、後述するエレベータ機構部１ａとマクロ検査部３を有している。このウェハ搬送装置本体１に隣接して選択供給されたウェハ８（８’）のミクロ検査を行うミクロ検査部２を配置することでウェハ検査装置が構成される。
【００１４】
このウェハ搬送装置本体１には、マクロ検査部３に隣接して大きさの異なる基板、例えばを６インチウェハ８を収納したカセット４１または８インチウェハ８’を収納したカセット４２を選択的に取付け可能にしたカセット取付け部としてエレベータ機構部１ａを有している。このエレベータ機構部１ａは、それぞれの大きさのウェハ８（８’）を積層方向に所定ピッチをもって複数枚保持したカセット４１、４２に対応し所定の移動ピッチで上下動可能になっている。
【００１５】
この場合、エレベータ機構部１ａ上でのカセット４１、４２の取付け方法は、図２（ａ）に示すように、各カセット４１、４２に各別に収納される６インチウェハ８および８インチウェハ８’の中心が一致するようにしたセンタ合わせ方式を採用している。
【００１６】
一方、エレベータ機構部１ａには、カセット４１、４２が正しくセットされたかを検出するための第１のセンサ１０とカセット４１、４２を識別するための第２のセンサ１１を設けている。第１のセンサ１０は、例えば押しスイッチからなるもので、カセット４１、４２を取付けた際に共通に占有する図中ハッチングを付して示す領域Ｂ内に配置され、これらカセット４１、４２のいずれかが取付けられると、カセット４１、４２を検知するようになっている。この場合、カセット４１、４２の底面に設けられた連結部材の位置を検出するようにすれば、１個のセンサ１０で全てのカセットを検知することができる。また、第２のセンサ１１は、発光素子１１ａと受光素子１１ｂを有する透過式センサからなるもので、８インチ用カセット４２を取付けた際にのみ占有する図中ハッチングを付して示す領域Ａを所定の高さで横切るように配置され、８インチ用カセット４２が取付けられると、発光素子１１ａから受光素子１１ｂへ透過される光が遮られカセット４２を検知するようになっている。この場合、第２のセンサ１１は、検知領域が図２（ａ）に示すようにカセット４１前方で、カセット４２を取付けた際にのみ占有する領域Ａを横切るように配置されている。
【００１７】
装置本体１には、カセット４１（４２）に対向してウェハ搬送手段としてのウェハ取出し／返却腕５およびセンタテーブル６を設けている。ウェハ取出し／返却腕５は、カセット４１（４２）に対して図示しないガイドに沿って前進および後退する直線移動機構と、後退位置で上下方向に移動する上下移動機構を有していて、カセット４１（４２）方向に前進して、カセット４１（４２）内のウェハ８（８’）を吸着保持するとともに、後退しながら取出し、後退位置での下方向の移動によりウェハ８（８’）をセンタテーブル６上に受渡し、また、センタテーブル６上のウェハ８（８’）を吸着保持するとともに、一旦上方向に移動し、さらにカセット４１（４２）方向に前進してカセット４１（４２）内にウェハ８（８’）を返却するような一連の動きを可能にしている。
【００１８】
マクロ検査部３を構成するセンタテーブル６は、載置されたウェハ８（８’）を吸着保持するとともに、旋回動作可能にしている。この場合、センタテーブル６の旋回動作は、センタテーブル６に載置されたウェハ８（８’）の表面観察の際に図示しない操作機構により実行されるもので、この旋回動作によりウェハ８（８’）表面をいろいろなマクロ角度から観察できるようにしている。
【００１９】
一方、センタテーブル６を囲むようにウェハ保持腕７を配置し、マクロ検査部３を構成している。このウェハ保持腕７は、ウェハ８（８’）の中心方向に延出される複数のウェハ保持部７０１を有し、これにウェハ保持部７０１の吸着部によりセンタテーブル６上のウェハ８（８’）を裏面側から吸着保持するようになっている。
【００２０】
また、このようなウェハ保持腕７は、回転軸９により回動可能に支持されていて、回転軸９を中心に所定角度回動させることで、保持したウェハ８（８’）を裏返し、裏面のマクロ観察を可能にするようになっている。
【００２１】
図３は、このように構成したウェハ搬送装置におけるウェハサイズ検出回路を示している。図において、１２はウェハ搬送装置本体１に内蔵されたＣＰＵで、このＣＰＵ１２には、上述した第１のセンサ１０および第２のセンサ１１を接続し、また、エレベータ駆動部１３を接続し、さらに、表示駆動部１４を介して表示部１５を接続している。
【００２２】
ＣＰＵ１２は、装置全体の制御を司るもので、ここでは、第１のセンサ１０および第２のセンサ１１の検知結果から、６インチウェハ用カセット４１または８インチウェハ用カセット４２を選別するとともに、ウェハサイズを判断するようになっている。エレベータ駆動部１３は、ＣＰＵ１２での判断結果により、カセット４１、４２に対するエレベータ機構部１ａの移動量のピッチを設定するものである。また、表示部１５は、ＣＰＵ１２での指令や判定結果などを表示するものである。
【００２３】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００２４】
まず、ウェハサイズを自動検出する場合、装置本体１の操作パネル９１を操作して自動検出モードを指定すると、図４に示すフローチャートが実行される。
【００２５】
この場合、ステップ４０１で、装置本体１のエレベータ機構部１ａにカセット４１（４２）を取付けると、ステップ４０２で、ウェハサイズの自動検出が開始され、ステップ４０３で、第１のセンサ１０がカセット４１（４２）を検出したかを判断する。ここで、カセット４１（４２）が検出されない場合は、カセット４１（４２）の取付けを忘れているか、取付けが不完全であると判断し、ステップ４０４で、表示部１５にエラー表示を行う。
【００２６】
一方、ステップ４０３で、第１のセンサ１０がカセット４１（４２）を検出すると、ステップ４０５に進み、第２のセンサ１１がカセット４２を検出したかを判断する。ここで、カセット４２が検出されない場合は、装置本体１のエレベータ機構部１ａに取付けられたカセットは、６インチウェハ８用のものと判断され、ステップ４０６に進み、エレベータ駆動部１３に、６インチウェハ用カセット４１に対するエレベータ機構部１ａの移動量のピッチを設定し、この後、ステップ４０７で、カセット４１に収納されたウェハ８に対するマクロ検査部３でのマクロ検査およびミクロ検査部２でのミクロ検査が実行される。
【００２７】
一方、ステップ４０５で、第２のセンサ１１がカセット４２を検出した場合は、装置本体１のカセット取付け部１ａに取付けられたカセットは、８インチウェハ用のものと判断して、ステップ４０８に進み、エレベータ駆動部１３に、８インチウェハ用カセット４２に対するエレベータ機構部１ａの移動量のピッチを設定し、この後、ステップ４０７で、８インチ用カセット４２に収納されたウェハ８’に対するマクロ検査部３でのマクロ検査およびミクロ検査部２でのミクロ検査が実行される。
【００２８】
次に、ウェハサイズをマニュアルで検出する場合は、図５に示すフローチャートが実行される。
【００２９】
この場合、ステップ５０１で、エレベータ機構部１ａにカセット４１（４２）を取付け、ステップ５０２で、操作パネル９１上にて６インチまたは８インチのウェハサイズを設定するための図示しない設定スイッチを操作する。すると、ステップ５０３で、表示部１５に設定されたウェハサイズを表示するとともに、エレベータ駆動部１３に、設定されたウェハサイズのカセット４１（４２）に対するエレベータ機構部１ａの移動量のピッチが設定される。
【００３０】
この状態から、ステップ５０４で、ウェハサイズの検出が開始され、ステップ５０５で、第１のセンサ１０がカセット４１（４２）を検出したかを判断する。ここで、カセット４１（４２）が検出されない場合は、カセット４１（４２）の取付けを忘れているか、取付けが不完全であると判断し、ステップ５０６で、表示部１５にエラー表示を行う。
【００３１】
また、ステップ５０５で、第１のセンサ１０がカセット４１（４２）を検出すると、ステップ５０７に進み、第２のセンサ１１が８インチ用カセット４２を検出したかを判断する。ここで、カセット４２が検出されない場合は、エレベタ機構部１ａに取付けられたカセットは、６インチウェハ用のものと判断されるが、ステップ５０８で、予め図示しない設定スイッチにより設定されたウェハサイズと一致するか判断する。ここで一致すれば、エレベータ駆動部１３より６インチカセット４１に対応する駆動信号がエレベータ機構部１ａに送られ、ウェハ取出し／返却腕５によりカセット４１内から選択供給された６インチウェハ８は、ステップ５０９で、マクロ検査部３でのマクロ検査およびミクロ検査部２でのミクロ検査が実行される。また、ステップ５０８で、一致しなければ、ステップ５１０で、表示部１５にカセットサイズが異なる旨の表示を行う。
【００３２】
一方、ステップ５０７で、カセット４２が検出された場合は、エレベータ機構部１ａに取付けられたカセットは、８インチウェハ用のものと判断されるが、ステップ５１１で、予め図示しない設定スイッチにより設定されたウェハサイズと一致するか判断する。ここで一致すれば、エレベータ駆動部１３より８インチカセット４１に対応する駆動信号がエレベータ機構部１ａに送られ、ウェハ取出し／返却腕５によりカセット４２内から選択供給された８インチウェハ８’は、ステップ５１２で、マクロ検査部３でのマクロ検査およびミクロ検査部２でのミクロ検査が実行される。また、ステップ４１１で、一致しなければ、ステップ５１３で、表示部１５にカセットサイズが異なる旨の表示を行う。
【００３３】
従って、このようにすれば、カセット４１（４２）が共通に占有する第１の領域Ｂ内に配置された第１のセンサ１０とともに、検知領域がカセット４２のみが占有する第２の領域Ａを横切るように配置された発光素子１１ａと受光素子１１ｂを有する透過式センサからなる第２のセンサ１１を用いるようにしたので、従来、同じウェハサイズのカセットについて、カセットの大きさは、それほど変らないもののカセット底部の周縁部分の形状は異なることが多く、このため異なるメーカのカセットが混在して使われるような場合、カセットサイズの識別が誤って行われることが多々あったが、これら同じウェハサイズのカセットについて、セット底部の形状の異なるものについても、カセットごとのウェハサイズを確実に識別することができる。
【００３４】
また、第２のセンサ１１として発光素子１１ａと受光素子１１ｂを有する透過式センサを採用することにより、第２のセンサ１１の配置を、カセット４２の高さ方向の任意の位置に設定することができるので、装置本体１上のスペースを有効に利用できる。
【００３５】
この透過式センサに代えて選択されたカセットに検出信号を送出し、このカセットからの反射信号を受信する超音波反射式センサや光学反射センサなどの無接点センサを援用することもできる。
【００３６】
なお、上述した実施の形態でのカセット取付け部１ａ上のカセット４１、４２の取付け方法として、各カセット４１、４２に各別に収納される６インチウェハおよび８インチウェハの中心が一致するようにしたセンタ合わせ方式を採用した例を述べたが、図２（ｂ）に示すように各カセット４１、４２に各別に収納される６インチウェハおよび８インチウェハの前方端部が一致するようにした前合わせ方式を採用したものにも適用できる。この場合、第２のセンサ１１は、検知領域がカセット４１後方で、カセット４２を取付けた際にのみ占有する領域Ａを横切るように配置される。また、図２（ｃ）に示すように各カセット４１、４２に各別に収納される６インチウェハおよび８インチウェハの後方端部が一致するようにした後合わせ方式を採用したものにも適用できる。この場合、第２のセンサ１１は、検知領域がカセット４１前方で、カセット４２を取付けた際にのみ占有する領域Ａを横切るように配置される。また、上述した実施の形態では、基板として半導体ウェハについて適用した例を示したが、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板に適用できることはいうまでもない。また、上述した実施の形態では、カセット側を昇降させるためにエレベータ機能を持たせたが、搬送アーム側を昇降させる方式を採用した場合は、カセット取付け部は、カセットを載置する機能を有すれば足りる。
【００３７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、同じ基板サイズのカセットについて、セット底部の形状の異なるものについても、カセットごとの基板サイズを確実に識別することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】一実施の形態の第１および第２のセンサの位置関係を説明するための図。
【図３】一実施の形態に用いられるウェハサイズ検出回路の概略構成を示す図。
【図４】一実施の形態の自動検出動作を説明するためのフローチャート。
【図５】一実施の形態のマニュアル検出動作を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
１…ウェハ搬送装置本体
１ａ…エレベータ機構部
２…ミクロ検査部
３…マクロ検査部
４１．４２…カセット
５…返却腕
６…センタテーブル
７…ウェハ保持腕
７０１…ウェハ保持部
８．８’…ウェハ
９…回転軸
１０…第１のセンサ
１１…第２のセンサ
１１ａ…発光素子
１１ｂ…受光素子
１３…エレベタ駆動部
１４…表示駆動部
１５…表示部
【図１】
0003573634.tif 000002
【図２】
0003573634.tif 000003
【図３】
0003573634.tif 000004
【図４】
0003573634.tif 000005
【図５】
0003573634.tif 000006