(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、柔軟性を有する容器と、該容器内に１〜５０センチポイズの粘度を有するシリコーン系の絶縁油を介して収容され、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが２０μｍ〜２０ｍｍの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備えた圧力測定器。
【請求項２】
水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが２０μｍ〜２０ｍｍの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備え、前記感圧素子及び電極を電気絶縁性で弾力性を有し、かつ圧力の伝達が可能な樹脂コーティング層で被覆した圧力測定器。
【請求項３】
前記容器がポリアミド製である請求項１に記載の圧力測定器。
【請求項４】
前記共重合体は、フッ化ビニリデンがモノマー比で２０〜９５モル％である請求項１〜３のいずれかに記載の圧力測定器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、例えば爆発現象などによって生じる急激な圧力変化を測定するための圧力測定器に関するものである。さらに詳しくは、高い圧力、変化の速い圧力、短い周期で繰り返される圧力を測定するために使用される圧力測定器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の圧力測定器においては、一般に、圧力を電気信号に変換するため圧電性を示す水晶、電気石、セラッミックス等の無機物の圧電性結晶が感圧素子として用いられている。この感圧素子は金属容器や樹脂容器内に配置される。そして、外部から金属容器や樹脂容器に加えられた圧力を感圧素子が検出し、圧力に応じた電気信号を外部に導出する。
【０００３】
例えば、図１３に示すように、水晶よりなる感圧素子３１の両側には電極３２が取着され、一方の電極３２がステンレス鋼製の容器３３の内面に密着配置されている。一対のリード線３４は両電極３２にそれぞれ接続され、その他端は電線３５に接続され、感圧素子３１に生じた電気信号を外部に導出させる。そして、外部から容器３３に圧力が加わると、感圧素子３１がその圧力をそれに応じた電気信号に変換し、その電気信号電極が３２、リード線３４、電線３５を介して外部に導出される。さらに、図示しない記録装置により、導出された電気信号が記録される。
【０００４】
この圧力測定器を用いることにより、図１４に示すような圧力波形が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような従来の圧力測定器では、一方向からの低い圧力の測定には適しているが、水や有機溶媒などの自由流体中における多方向からの高い圧力の測定には適しておらず、圧力を感度良く測定することができなかった。特に、爆発現象等によって生じる急激に変化する高い圧力を測定する場合には、水晶、電気石、セラッミックス、ロッシェル塩等の感圧素子部分が脆性破壊されるため、測定ができないという問題があった。
【０００６】
しかも、従来の圧力測定器では、感圧素子として無機の圧電性結晶を使用していることから、周波数特性が悪く、変化の早い圧力や周期の短い圧力を感度良く測定することができないという問題があった。
【０００７】
この発明は、以上のような従来技術に存在する問題に着目してなされたものである。その目的とするところは、感圧素子が損傷を受けるのを防止して、急激に変化する高い圧力の測定を行うことができる圧力測定器を提供することにある。その他の目的とするところは、流体中における変化の速い圧力や周期の短い圧力を感度良く測定することができる圧力測定器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の圧力測定器の発明では、水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、柔軟性を有する容器と、該容器内に１〜５０センチポイズの粘度を有するシリコーン系の絶縁油を介して収容され、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが２０μｍ〜２０ｍｍの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備えたものである。
【０００９】
請求項２に記載の発明では、水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが２０μｍ〜２０ｍｍの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備え、前記感圧素子及び電極を電気絶縁性で弾力性を有し、かつ圧力の伝達が可能な樹脂コーティング層で被覆したものである。
【００１０】
請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記容器がポリアミド製である。
請求項４に記載の発明では、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記共重合体は、フッ化ビニリデンがモノマー比で２０〜９５モル％である。
【００１２】
【作用】
請求項１、３に記載の発明においては、圧力測定器が水などの流体中に浸漬された状態で圧力が加えられると、その圧力は感圧素子を構成する有機高分子材料に伝達される。そして、この有機高分子材料により、その圧力に比例した電気信号が発生される。この電気信号を記録することにより、圧力を測定することができる。この圧力測定においては、有機高分子材料のもつ粘弾性などの特性により、感圧素子の損傷を防止しつつ、高い圧力や変化の速い圧力を感度良く測定することができる。また、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが２０μｍ〜２０ｍｍの感圧素子が、１〜５０センチポイズの粘度を有するシリコーン系の絶縁油を介して柔軟性を有する容器内に収容されていることから、外部から加えられた圧力は容器、絶縁油を介して感圧素子に伝達される。このため、高い圧力を効率良く測定できると同時に、強い衝撃圧力に対して感圧素子を保護することができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明では、感圧素子が樹脂コーティング層で被覆され、この樹脂コーティング層が圧力伝達可能に形成されていることから、外部から加えられた高い圧力がこの樹脂コーティング層を介して感圧素子に連続的に伝達される。また、樹脂コーティング層は電気絶縁性であるため、感圧素子で発生した電気信号が樹脂コーティング層を介して漏れるのが防止される。
【００１４】
請求項４に記載の発明では、感圧素子を構成する共重合体は、フッ化ビニリデンがモノマー比で２０〜９５モル％であることから、外部から受ける圧力を感度良く、忠実に電気信号に変換することができる。
【００１６】
請求項１、２に記載の発明では、感圧素子を構成する有機高分子材料がフッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体であるため、外部から受ける圧力を一層感度良く、その圧力に対応した電気信号に変換することができる。
【００１７】
【実施例】
（第１実施例）
以下に、この発明を具体化した第１実施例について、図１〜６に基づいて説明する。
【００１８】
図１〜３に示すように、感圧素子１１は円柱状をなし、周囲から加えられる圧力に比例した電気信号を発生する有機高分子材料により形成されている。この感圧素子１１は、圧電性を示す有機高分子であればいずれも使用することができる。例えば、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンの共重合体等の有機フッ素系高分子、シアン系高分子が挙げられる。これらのうち、ポリフッ化ビニリデンの他、フルオロアルキレンとフッ化ビニリデンとの共重合体が、製造が容易であり、また圧電定数、誘電率の大きさから望ましい。
【００１９】
フルオロアルキレンとしては、１つの水素をフッ素で置換したモノフルオロエチレンが使用可能であり、１〜２個の水素を残し、他の水素をフッ素で置換したトリフルオロエチレン等が好ましく、全ての水素をフッ素で置換したヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン等のパーフルオロアルキレンがさらに好ましい。さらに、トリフルオロ塩化エチレン、テトラフルオロアルコキシエチレン等を使用することもできる。
【００２０】
加えて、感度が高く感圧素子の小型化が可能な観点から、常法に従い分極処理をしたポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレン等のフルオロアルキレンとの共重合体が好ましい。その共重合体の組成は、通常フッ化ビニリデンがモノマー比で２０〜９５モル％が好ましく、２０〜８５モル％がさらに好ましい。
【００２１】
この感圧素子１１は、板状、塊状、円盤状の物など測定する圧力の大きさに合わせて各種形状のものが用いられる。特に、製造性、加工性及び耐久性の観点から、厚み２０ｍｍ以下の薄い板状の物が望ましく、厚み１０ｍｍ以下の薄い板状、円盤状のものがさらに望ましい。その大きさは、測定する圧力に対して十分な分極を生じるサイズが必要である。
【００２２】
すなわち、１０ｂａｒ程度以下の圧力ならば、厚さ１０μｍから１０ｍｍ、直径１から１５ｍｍ程度の円盤状、または同程度の大きさの多角形状のものが望ましい。１０ｂａｒ程度以上の圧力ならば、厚さ２０μｍから２０ｍｍ、直径３から２５ｍｍ程度の円盤状、または同程度の大きさの多角形状のものが望ましい。さらに、複数の感圧素子を積層し一つの感圧素子１１として使用することもできる。なお、各図における感圧素子１１は誇張して大きく描かれている。
【００２３】
一対の電極１２ａ，１２ｂは、円板状をなし、感圧素子１１の上下両面に接合されている。これらの電極１２ａ，１２ｂは、感圧素子１１の表面に密着し、感圧素子１１内部に発生した圧力に応じた分極を電気信号として外部に導出できる電気伝導性を持つものであればいずれも使用することができる。例えば、金属、金属酸化物、グラファイトや、ポリアセチレン等の電気伝導性有機物が用いられる。これらのうち、製造性、電気伝導性、感圧素子との密着性の観点から、望ましくはアルミニウム、金、銀、銅、錫などの金属を蒸着、メッキ、溶射した物が用いられる。さらに望ましくは、アルミニウムを蒸着したものが用いられる。
【００２４】
一対のリード線１３ａ，１３ｂの一端は前記電極１２ａ，１２ｂに接続され、感圧素子１１からの電気信号を導出する。このリード線１３ａ，１３ｂは、電極１２ａ，１２ｂからの電気信号を正確に導通することのできる素材であればいずれも用いられる。そのサイズは、測定する圧力による振動に耐えうる強度が得られるように設定される。望ましくは、直径５ｍｍ以下の単線または撚り線、厚み５ｍｍ以下の板状体が用いられる。更に望ましくは直径３ｍｍ以下の単線、撚り線、厚み２ｍｍ以下の板状体が用いられる。最も望ましくは直径１ｍｍ以下の単線、撚り線、厚み１ｍｍ以下の板状体が用いられる。
【００２５】
また、その材質としては、銅、アルミニウム等が望ましい。更に望ましくは、製造性、価格、入手性から、銅または錫、銀をメッキした銅が用いられる。なお、リード線１３ａ，１３ｂは必ずしも２本が同じ形状である必要はなく、一方を板状線とし、他方を単線にしたりして、適宜組み合わせることもできる。
【００２６】
ほぼ直方体状をなす容器１４は、前記リード線１３ａ，１３ｂが挿通された蓋体１５を加熱溶融して接合し一体化した状態で密閉される。この密閉空間内には絶縁油１６が収容されるとともに、前記感圧素子１１が絶縁油１６内に浮かんだ状態で支持される。この容器１４は、柔軟性があり、外部から加えられた圧力を内部の絶縁油１６に伝達することのできる有機高分子、無機高分子あるいは薄い金属などの素材により形成される。
【００２７】
有機高分子としては、ビニル系、ビニリデン系、ポリアミド系、エステル系、パラフィン系、芳香族系等の合成高分子、合成ゴム系、シリコーンゴム系、天然ゴム系高分子が、柔軟性があり、加工も容易なため使用される。これらのうち、特にポリアミド系高分子が望ましい。無機高分子としては、シリコーン樹脂、シリコーンゴムが使用される。薄い金属としては、ステンレス鋼、鉄、青銅、アルミニウム、チタン等が使用される。これらのうち、ステンレス鋼とチタンが耐食性、耐久性が良いことから望ましい。
【００２８】
容器１４の大きさは、内部に絶縁油１６、感圧素子１１、電極１２ａ，１２ｂ、リード線１３ａ，１３ｂを収納できるものであり、感圧素子１１と容器１４の間に両者がぶつからない程度の隙間を有することが望ましい、具体的には０．０１ｍｍ以上の隙間を有することが望ましい
容器１４における圧力を内部に伝達する部分の厚みは、測定する圧力が加わっても破裂しない強度を有する厚みである。例えば、金属板にあっては０．０１ｍｍ以上の厚みを有することが望ましく、０．０５ｍｍ以上の厚みを有することがさらに望ましい。ポリアミド系高分子にあっては、０．１ｍｍ以上の厚みを有することが望ましく、０．３ｍｍ以上の厚みを有することがさらに望ましい。
【００２９】
容器１４は全体が同じ厚みである必要は必ずしもなく、例えば容器１４のうち外部からの圧力を内部の絶縁油１６に伝達する部分を上記のように圧力の伝達が容易な薄い構造とし、それ以外部分については強度的に有利なように厚い構造とすることができる。
【００３０】
前記絶縁油１６としては、使用温度で液状からぺースト状の物質であればいずれも使用することができる。通常は、炭化水素系、シリコーン系等の油状物質が使用される。望ましくは、絶縁性、耐久性の良いシリコーン系の絶縁油が良い。さらに望ましくは、１００センチポイズ以下の粘度のシリコーン系の絶縁油が良い。最も望ましくは、１〜５０センチポイズの粘度で絶縁抵抗が１メガオーム以上のシリコーンオイルが用いられる。
【００３１】
図５に示すように、リード線１３ａ，１３ｂの他端は絶縁材１７により被覆された電線１８に接続され、さらに図示しない記録装置に接続される。この電線１８としては、耐電気ノイズ性、入手性の観点からＪＩＳ規格の同軸ケーブルが好適である。リード線１３ａ，１３ｂと電線１８の接続点はテープ、樹脂等で電気的に絶縁することが望ましく、自己融着テープが好適である。
【００３２】
絶縁被覆部１９は、絶縁材料により、容器１４から導出され電線１８に接続されるリード線１３ａ，１３ｂを被覆して絶縁性を確保している。
さて、図５に示すように、水２０の中には爆薬２１が配置されるとともに、圧力測定器が配置される。そして、爆薬２１を爆発させると、その圧力が水２０を介して圧力測定器の容器１４に加えられる。容器１４に加えられたその衝撃圧力は、絶縁油１６を介して感圧素子１１に伝達される。感圧素子１１ではその圧力を感知し、圧力に応じた電気信号を発する。その電気信号は、リード線１３ａ，１３ｂ、電線１８を介して導出される。
【００３３】
この実施例の圧力測定においては、有機高分子材料のもつ粘弾性などの特性に基づいて、感圧素子１１が脆性破壊されるのを防止しつつ、高い圧力を測定できるとともに、変化の速い圧力や短い周期で繰り返される圧力を感度良く測定することができる。従って、感圧部分に圧電性結晶を使用した従来の圧力測定器よりも高い圧力まで測定することが可能である。加えて、水中における測定では、有機高分子材料と水との音響インピーダンスが近く、従来の圧力測定器よりも忠実な測定を行うことができる。
【００３４】
ここで、この第１実施例においては、容器１４として、直径１５ｍｍ厚み１．０ｍｍのポリアミド製のものを使用した。感圧素子１１として、厚み５０μｍに延伸された適当な大きさのシート状のポリフッ化ビニリデンを使用し、表面にはアルミニウムを両面に蒸着し、常法に従い１ＭＶ／ｃｍの電位勾配になる電圧を印加して６０〜８０℃で所定の圧電性が生じるまで分極処理を行った後、直径１０ｍｍに切り出したものを使用した。
【００３５】
電極１２ａ，１２ｂとしては、上記の両面に蒸着したアルミニウムを利用した。リード線１３ａ，１３ｂとしては、直径０．５ｍｍの錫メッキ銅線を使用した。絶縁油１６としては、２０センチポイズの粘度のシリコーンオイルを使用した。リード線１３ａ，１３ｂには市販の同軸ケーブルを接続した後、自己融着テープにて接続部分を絶縁した。
【００３６】
そして、図５に示したように、爆薬２１として一般の産業用含水爆薬２００ｇと圧力測定器を水２０の中にセットし、爆発に伴う圧力波形を１ｍの距離で測定し記録した。その圧力と時間との関係を図６に示した。図６からわかるように、この実施例の圧力測定器により、良好な圧力波形が得られるとともに、２００ｂａｒ以上の高いピーク圧力を測定することができる。
（第２実施例）
次に、この発明を具体化した第２実施例について、図７，８に従って説明する。
【００３７】
図７，８に示したように、容器をコップ型の容器本体１４ａと厚い蓋体１５とで構成し、容器本体１４ａは直径１５ｍｍ、厚み１．０ｍｍのポリアミド製、蓋体１５の部分にはリード線１３ａ，１３ｂを内部に貫通させた直径１３ｍｍ、長さ２０ｍｍのエポキシ樹脂製のものを使用し、両者を接着剤により結合させた。容器本体１４ａは外部からの圧力を感圧素子１１に伝達するために薄く形成し、蓋体１５は強度を保持するために厚く形成した。なお、容器本体１４ａと蓋体１５とを嵌合や溶接などの手段で一体化することもできる。
【００３８】
この容器以外は、実施例１と同様にして圧力測定器を製作した。そして、第１実施例と同様の爆薬２１を用い、この圧力測定器にて爆発時の衝撃圧力を測定した。その圧力波形は、第１実施例の図６とほぼ同様であった。従って、この実施例の圧力測定器により、２００ｂａｒ以上の高い圧力を測定することができる。また、この実施例では、容器を容器本体１４ａと厚い蓋体１５で構成し、蓋体１５を接着剤で容器本体１４ａに接合したことから、製造および組立が容易になるとともに、薄い容器本体１４ａ部分で圧力の伝達を可能とし、厚い蓋体１５部分で容器の強度を保持することができる。
（第３実施例）
次に、この発明を具体化した第３実施例について説明する。
【００３９】
感圧素子１１として、厚み５０μｍの適当な大きさのシート状のものを用い、フッ化ビニリデンとフッ化プロピレンのモノマーモル比が１：１の共重合体で形成した。さらに、その両面にはアルミニウムを蒸着し、分極処理を行った後、直径１０ｍｍに切り出した。このような感圧素子１１以外は、第２実施例と同様にして圧力測定器を製作した。
【００４０】
そして、第２実施例と同様の爆薬２１を用い、この圧力測定器にて爆発時の衝撃圧力を測定した。その圧力波形を図９に示した。この図９からわかるように、２００ｂａｒ以上の高い圧力の測定ができる上に、爆薬２１からの発生圧力に忠実に対応した圧力波形が得られた。従って、感圧素子１１として、フッ化ビニリデンとフッ化プロピレンの共重合体を用いた方が、第１実施例のポリフッ化ビニリデンを用いた場合よりも、圧力測定における感度を高めることができる。
（第４実施例）
次に、この発明を具体化した第４実施例について、図１０，１１に基づいて説明する。
【００４１】
樹脂コーティング層２２は、感圧素子１１および電極１２ａ，１２ｂの外面全体を覆っている。この場合、前記容器１４および絶縁油１５が省略されている。この樹脂コーティング層２２としては、電気絶縁性が良好で弾力性のあるものが使用される。通常、シリコーン系、フッ素系、炭化水素系の物質が使用される。特に、シリコーン系、フッ素系のゴムが耐久性および絶縁性の観点から好ましい。
【００４２】
この実施例では、樹脂コーティング層２２を、フッ素系ゴムを溶剤に分散させ、これをスプレー塗布により感圧素子１１および電極１２ａ，１２ｂの外面に数回吹き付けた後、溶剤を揮散させることにより形成した。この樹脂コーティング層２２の厚みは、平均５０μｍ程度である。
【００４３】
なお、感圧素子１１としては、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとのモノマーのモル比で１：１の共重合体で、厚み５０μｍのシート状とした。
そして、第１実施例と同様にして、爆薬２１の爆発時の衝撃圧力を測定したところ、良好な圧力波形が得られ、２００ｂａｒ以上の高い圧力測定ができ、しかも圧力測定における感度を向上させることができた。。
（比較例）
比較例として、圧力測定器に市販のＰＣＢ社１０２Ａ型圧力センサーを用いた以外は、実施例１と同様に２００ｇの含水爆薬を用い、圧力を爆薬から１ｍの距離で測定した。しかし、圧力測定器が破損して測定できなかった。
【００４４】
そこで、含水爆薬の量を１／２に減じ、圧力測定器に加わる圧力を３／４に減じて再度試験を行い、圧力の変化を測定した。その圧力波形を図１４に示す。
図６と図１４の比較から明らかなように、第１実施例による圧力測定器は、２００気圧という高い圧力の衝撃波まで測定が可能である。しかも、図１４では１１０μｓｅｃあたりにＶ字型の異常な波形が記録されているのに対し、第１実施例の圧力測定器ではそのような異常は見られない。
【００４５】
なお、この発明は次のように構成を変更して具体化することも可能である。
（イ）図１２（ａ）に示すように、容器の一端側ほど薄くなるようにテーパ状に構成すること。図１２（ｂ）に示すように、容器の一端側ほど薄くなるようにテーパ状にし、端部に一定の厚みを有するように構成すること。図１２（ｃ）に示すように、容器を円柱状に構成すること。図１２（ｄ）に示すように、容器を球状に構成すること。
（ロ）この発明の圧力測定器で変化の速い圧力、短い周期で繰り返される圧力を測定すること。
（ハ）第４実施例において、感圧素子１１としてポリフッ化ビニリデンにより形成したものを用いること。
【００４６】
さらに、前記実施例より把握される技術的思想について、以下に記載する。
（１）感圧素子を薄い板状に形成した請求項１に記載の圧力測定器。このように構成すれば、圧力測定器の製造や加工を容易にできるとともに、その耐久性を向上させることができる。
（２）感圧素子に一対の薄い電極を取着するとともに、これら電極にリード線を接続して電気信号を外部へ導出可能に構成した請求項１に記載の圧力測定器。この構成により、感圧素子で発生した電気信号を電極、リード線を介して容易に取り出すことができる。
（３）絶縁油は、粘度１〜５０センチポイズのシリコーン系の絶縁油である請求項１に記載の圧力測定器。この構成によれば、圧力を感度良く伝達できるとともに、絶縁性と耐久性を向上させることができる。
（４）容器を容器本体と蓋体とにより構成し、蓋体に一対のリード線を貫通支持し、リード線の先端に電極を介して感圧素子を取付けた請求項１に記載の圧力測定器。このように構成すれば、感圧素子を容器内に容易に収容することができるとともに、感圧素子を絶縁油中に支持することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１、３に記載の発明によれば、感圧素子が損傷を受けるのを防止して、急激に変化する高い圧力の測定を行うことができる。また、流体中における変化の速い圧力や周期の短い圧力を感度良く測定することができる。
【００４８】
請求項２に記載の発明によれば、樹脂コーティング層により感圧素子が損傷を受けるのを防止できるとともに、感圧素子で発生した電気信号が樹脂コーティング層を介して漏れるのを防止することができる。
【００４９】
請求項４の発明によれば、外部から受ける高い圧力を感度良く測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例の圧力測定器を示す縦断面図。
【図２】図１の２−２線における断面図。
【図３】圧力測定器を示す斜視図。
【図４】圧力測定器の組立を示す分解斜視図。
【図５】圧力測定器と爆薬を水中に配置し圧力測定する状態の断面図。
【図６】圧力測定器により測定された時間と圧力の関係を示すグラフ。
【図７】第２実施例の圧力測定器を示す縦断面図。
【図８】図７の８−８線における断面図。
【図９】第３実施例における時間と圧力の関係を示すグラフ。
【図１０】第４実施例の圧力測定器を示す縦断面図。
【図１１】同じく第４実施例の圧力測定器を示す横断面図。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）は、この発明の別例を示す容器の斜視図。
【図１３】従来の圧力測定器の一例を示す部分縦断面図。
【図１４】従来の圧力測定器に基づく時間と圧力の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１１…感圧素子、１４…容器、１６…絶縁油、２２…樹脂コーティング層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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