【事件の表示】
　特願２００７−　３８８０４「電子銃及び電子線装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１１月　８日出願公開、特開２００７−２９４４１０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴って平成１９年２月２０日（優先日、平成１８年３月２９日）に出願された特願２００７−３８８０４号であって、平成２０年６月２７日付けで手続補正がなされた後、同年７月２９日付け拒絶理由通知によって拒絶理由が通知され、それに対して同年１０月３日付けで意見書が提出されたものの、同年１１月１４日付けで拒絶査定がなされ、この査定を不服として、同年１２月２４日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付けで手続補正がされたものである。
　
II．平成２０年１２月２４日付け手続補正についての補正却下の決定
〔補正却下の決定の結論〕
　平成２０年１２月２４日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
〔理由〕
１．本件補正の目的
　本件補正は、特許請求の範囲を補正するものであって、その補正は、補正前（平成２０年６月２７日付け手続補正によって補正。以下、同じ。）の請求項２ないし１３を削除するとともに、請求項１の、
「　所定のカソード電流密度で電子線を放出する平面あるいは凹面形状のカソード、電子線が通過する穴を有する引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流：Ieの単位をmA, カソード半径：Rcの単位をμm、カソードと引出し電極又はアノード間距離:Dacの単位をｍｍとした時、カソード電流Ieを
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28, 　　Dac　≧　３ｍｍ, あるいは　
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 22/Dac + 32.7, 　　 Dac <　３ｍｍ.　 
の範囲内の値にし、あるいは
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.111Rc - 1.05，　　 Rc ≦１２０μm
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.0332Rc + 8.1，　　１２０ < Rc 
の範囲内の値にする事を特徴とする電子銃。」なる記載を、
「　所定のカソード電流密度で電子線を放出する平面あるいは凹面形状のカソード、電子線が通過する穴を有する引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流：I
eを
cを
cを
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28, 　　Dac　≧　３ｍｍ, あるいは
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 22/Dac + 32.7, 　　  Dac <　３ｍｍ.
の範囲内の値にし、あるいは
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.111Rc - 1.05　　　　 Rc ≦１２０μm
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.0332Rc + 8.1　　　　１２０ < Rc 
の範囲内の値にし
、更に上記引出し電極又はアノードの穴径をその位置でのビーム径より小さくし、ビームを最小径になる手前でトラップするか、或いはアノードあるいは引き出し電極に小さい開口を設け、ビームを最小径になる手前でトラップする
　そこで、本件補正後の請求項１に記載されている発明特定事項により特定される発明(以下、「本願補正発明」という。)が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か、すなわち、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たすか否かについて、以下に検討する。
　
２．本願補正発明
　本願補正発明は、次のとおりのものである。
「　所定のカソード電流密度で電子線を放出する平面あるいは凹面形状のカソード、電子線が通過する穴を有する引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流：IeをmA, カソード半径：Rcをμm、カソードと引出し電極又はアノード間距離:Dacをｍｍとした時、カソード電流Ieを
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28, 　　Dac　≧　３ｍｍ, あるいは
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 22/Dac + 32.7, 　　  Dac <　３ｍｍ.
の範囲内の値にし、あるいは
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.111Rc - 1.05　　　　 Rc ≦１２０μm
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.0332Rc + 8.1　　　　１２０ < Rc 
の範囲内の値にし、更に上記引出し電極又はアノードの穴径をその位置でのビーム径より小さくし、ビームを最小径になる手前でトラップするか、或いはアノードあるいは引き出し電極に小さい開口を設け、ビームを最小径になる手前でトラップする事を特徴とする電子銃。」
　
３．引用文献
（３−１）引用例１
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開平５−１９０４３０号公報（以下、「引用例１」という。）には、「電子線装置及び電子線縮小転写装置」に関し、以下の技術的事項の記載がある。
（ア）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】　放出される電子線に対して凹面形状のカソードと、該カソードに対して凸面形状で電子線通過孔を有するアノードと、前記カソードから放出される電子線を集束させる集束電極とよりなる電子銃と、
この電子銃から放出される電子線を集束する電子レンズとを有し、
該電子レンズで発生する球面収差を前記電子銃で発生する球面収差で相殺させる事を特徴とする電子線装置。」
（イ）段落【０００６】
「【課題を解決するための手段】本発明による電子線装置は、例えば図１（ａ）に示す如く、放出される電子線に対して凹面形状のカソード（１）と、このカソード（１）に対して凸面形状で電子線通過孔（４ｃ）を有するアノード（４）と、そのカソード（１）から放出される電子線を集束させる集束電極（２）とよりなる電子銃と、この電子銃から放出される電子線を集束する電子レンズ（６）とを有し、この電子レンズ（６）で発生する球面収差をその電子銃（１，２，４）で発生する球面収差で相殺させるようにしたものである。」
（ウ）【図１】
【図１】の（ａ）には、上記（イ）の記載に即し、凹面形状のカソード（１）と、このカソード（１）に対して凸面形状で電子線通過孔（４ｃ）を有するアノード（４）と、そのカソード（１）から放出される電子線を集束させる集束電極（２）とよりなる電子銃の断面図が図示され、前記集束電極（２）はカソード（１）からアノード（４）に向けて拡大する形状であることが見て取れる。
　
　これらの記載からして、引用例１には、
「凹面形状のカソードと、このカソードに対して凸面形状で電子線通過孔を有するアノードと、前記カソードから放出される電子線を集束させる、カソードからアノードに向けて拡大する断面形状を有する集束電極とよりなる電子銃」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
（３−２）引用例２
同じく原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開昭５２−１１５１６１号公報（以下、「引用例２」という。）には、「電子ビーム露光装置用電子銃」に関し、以下の技術的事項の記載がある。
（エ）第１頁左下欄第８〜９行
「　本発明は電子ビーム露光装置用高輝度電子銃の構造に関する。」
（オ）第１頁右下欄第６行〜第２頁右上欄第５行
「　本発明は、第２図に示すように、カソード表面の法線方向に放射された電子のほとんどすべてを陽極の孔を通過するようにし、電子銃電流を有効に利用できるようにしている。
　凹型陰極の一例としてピアス型電子銃と類似の形状の電子銃で、電子の軌道を求めた結果を第３図に示す。この電子銃は２つの同心球体の一部を取った形で、アノードには内側球の外面、カソードには外側球の内面を利用し、ウエーネルト電極を持っている点はピアス型電子銃と全く同じである。しかしこの電子銃を電子ビーム露光装置に用いる場合は、電圧が５〜２０ＫＶと高く、電流が２００μＡと非常に小さい（バービアンス＝５．７×１０−４μＰ）従って、従来のピアス型電子銃の設計が適用できない領域にある。従って軌道計算を行つて最適寸法を決める方法をとった。
　陰極：ＬａＢ６，使用温度：１５００℃，電流密度：１．６Ａ／ｃｍ２　陰極半径：６３ｍｍ，θ＝０．７度，陰極−陽極間距離＝１．０２ｍｍ
　陰極曲率半径：１．５８ｍｍ，陽極曲率半径：０．５６ｍｍ
　ウエーネルト形状：第３図（１／１００縮尺）
　このような構成となすと、第３図に示す如くカソード面から放射されたすべてのＯ電子はクロスオーバ点付近では軸にほゞ平行な軌跡を持っている。カソード直径とクロスオーバでのＯ電子軌道の直径との比は約１００であるから電流密度は１０４倍にも向上している。
　クロスオーバでの輝度を計算すると
　Ｂ＝……＝１．０４×１０８Ａ／ｃｍ２ｒａｄ２　ＬａＢ６電子銃では従来の使用方法では約１×１０５Ａ／ｃｍ２ｒａｄ２程度の輝度であるから、約３桁も輝度向上が得られた事が判る。
　なお上記実施例ではカソードは凹面であるが、その曲率は大きいので近似的に平面で作っても誤差は少い。従ってアノードのみ凸型でカソードは凹面又は平面即ち非凸面形状でも本発明の効果は得られた。」
（カ）第２図
　第２図には、上記（オ）の記載内容に即し、凹面形状のカソードと、このカソードに対して凸面形状で電子線通過孔を有するアノードと、カソードからアノードに向けて拡大する形状部を具備するウエーネルト電極とよりなる電子銃の断面形状ならびに電子ビームの軌道が図示されている。
　
（３−３）引用例３
　同じく原査定の拒絶の理由に引用された、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開平１１−１７６３６６号公報（以下、「引用例３」という。）には、「ピアス型電子銃」に関し、以下の技術的事項の記載がある。
（キ）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】平面カソード、ウェネルト、第１のアノード、第２のアノードを有するピアス型電子銃において、カソードの半径をウェネルトの内側半径の0.26〜1.0倍、ウェネルトの長さをウェネルトの内側半径の0.48〜0.74倍としたことを特徴とするピアス型電子銃。
【請求項２】　平面カソード、ウェネルト、第１のアノード、第２のアノードを有するピアス型電子銃において、第１のアノードとカソード間の距離をウェネルトの内側半径の2.9〜4.0倍、第１のアノードの長さをウェネルトの内側半径の0.42倍〜0.80倍、第１のアノードの内側半径をウェネルトの内側半径の1.4〜2.2倍としたことを特徴とするピアス型電子銃。
【請求項３】　平面カソード、ウェネルト、第１のアノード、第２のアノードを有するピアス型電子銃において、第２のアノードとカソード間の距離をウェネルトの内側半径の4.9〜6.7倍、第２のアノードの長さをウェネルトの内側半径の1.3倍以上、第２のアノードの内側半径をウェネルトの内側半径の1.0〜2.2倍としたことを特徴とするピアス型電子銃。
【請求項４】　平面カソード、ウェネルト、第１のアノード、第２のアノードを有するピアス型電子銃において、カソードの半径をウェネルトの内側半径の0.26〜1.0倍、ウェネルトの長さをウェネルトの内側半径の0.10〜0.74倍としたことを特徴とするピアス型電子銃。
【請求項５】　平面カソード、ウェネルト、第１のアノード、第２のアノードを有するピアス型電子銃において、第１のアノードとカソード間の距離をウェネルトの内側半径の1.0〜4.0倍、第１のアノードの長さをウェネルトの内側半径の0.10倍〜0.80倍、第１のアノードの内側半径をウェネルトの内側半径の1.4〜2.7倍としたことを特徴とするピアス型電子銃。
【請求項６】　平面カソード、ウェネルト、第１のアノード、第２のアノードを有するピアス型電子銃において、第２のアノードとカソード間の距離をウェネルトの内側半径の3.0〜6.7倍、第２のアノードの長さをウェネルトの内側半径の1.3倍以上、第２のアノードの内側半径をウェネルトの内側半径の1.0〜2.2倍としたことを特徴とするピアス型電子銃。」
（ク）段落【０００５】〜【０００７】
「【０００５】
【発明が解決しようとする課題】電子線投影露光装置で必要とされる電子銃は、広い範囲を一様に証明できるものでなければならない。このとき必要とされるエミッタンスは、2000[μm・mrad]程度以上である。また、電子銃の特性を評価する上で重要なもうひとつの物理量である輝度は、単位断面積、単位立体角当たりの電流値で定義され、電子線投影露光装置用電子銃としては、1000[A/cm2/sr]程度が好ましい。
【０００６】しかしながら、上記の文献で報告されている電子銃において、輝度は十分であるが、エミッタンスの値は700[μm・mrad]（加速電圧100kV）と、まだ一様照明性は十分ではない。
【０００７】本発明は、このような状況に鑑みてなされたもので、ピアス型電子銃を最適に設計することにより、電子線投影露光装置に使用できるピアス型電子銃を提供することを課題とする。」
　
（３−４）引用例４
　また、本願優先日前に頒布された刊行物である、特開平９−２６０２３７号公報（以下、「引用例４」という。）には、「電子銃、電子ビーム装置及び電子ビーム照射方法」に関し、以下の技術的事項の記載がある。
（ケ）【特許請求の範囲】の欄
「【請求項１】　先端部が略錐状で先端面を有するカソードと、
該カソードと対向して配置され、光軸部に第１アパーチャが形成されたアノードと、
該カソードの先端面より大きい第２アパーチャが光軸部に形成され、該第２アパーチャの光軸方向位置が該カソードの先端面の位置に略等しくなるように配置され、該カソードを流れる電流を制御するために該カソード電位よりも低い電位が印加される制御電極と、
該カソードと該アノードとの間に該カソードと対向して配置され、アノード電位より低くカソード電位より高い電位が印加され、該カソードの該先端面より小さい第３アパーチャが光軸部に形成された引出電極と、
該引出電極と該アノードとの間に配置され、電子ビームのクロスオーバを形成するために該カソード電位よりも低い電位が印加され、該第３アパーチャより大きい第４アパーチャが光軸部に形成されたレンズ電極と、
を有することを特徴とする電子銃。
……」
（コ）段落【００２２】〜【００２７】
「【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一実施形態を説明する。図１は、電子銃１０の概略構成の、光軸を通る縦断面を示す。図中の構成要素のスケールは正確でない。カソード４０は、例えばＬａＢ6 （ランタンヘキサホライド）で形成され、上部が角柱で下部が略円錐台となっている。カソード４０の先端面に対向して、引出電極４８が配置されている。引出電極４８は、光軸に関し回転対称で、その光軸部にアパーチャＡ３が形成されている。例えば、カソード４０の先端面の直径Ｌ２＝３００μｍに対しアパーチャＡ３の直径Ｌ３＝３０μｍである。
【００２３】カソード４０の先端面が平面で、これに、平坦な引出電極４８が平行に配置され、かつ、アパーチャＡ３の直径よりもカソード４０の先端面直径の方が大きいので、図２に示す如く、引出電極４８の電位Ｖ３をカソード４０の電位Ｖ１より高くしてカソード４０から電子ビームＥＢ１を引き出すと、電子ビームＥＢ１の軌跡は、引出電極４８上でその面にほぼ垂直になる。また、引出電極４８上の、アパーチャＡ３の中心を通る直線上での電流密度分布は、図２（Ｂ）に示す如く、カソード４０の直径Ｌ２に対応した範囲でほぼ一定になる。したがって、アパーチャＡ３を通過した電子ビームＥＢ２の電流密度分布は略均一になる。
……
【００２７】アパーチャＡ３から出た電子ビームＥＢ２のクロスオーバＣＯを形成するために、引出電極４８とアノード４１との間の引出電極４８側に、レンズ電極４２が配置されている。レンズ電極４２は、光軸に関し回転対称で、その中央部に電子ビーム通過用のアパーチャＡ４が形成されている。アパーチャＡ４の直径Ｌ４は、例えば１ｍｍである。」
（サ）【図１】，【図２】
【図１】，【図２】には、前記（コ）の記載に即し、電子銃の概略構成を示す断面図、ならびに、カソード先端部付近の拡大図および引出電極上の電流密度分布が図示され、引出電極に電子ビーム径より小径のアパーチャＡ３が設けられて電子ビームの一部のみがアパーチャＡ３を通過すること、アパーチャＡ３は、クロスオーバＣＯよりもカソード側に位置していることが見て取れる。
　
４．本願補正発明と引用発明との対比
本願補正発明と引用発明とを対比する。
カソードが所定の電流密度で電子線を放出する部材であることは当業者の技術常識であるので、引用発明の「凹面形状のカソード」は、本願補正発明の「所定のカソード電流密度で電子線を放出する」「凹面形状のカソード」に相当し、また、引用発明の「電子線通過孔を有するアノード」が、本願補正発明の「電子線が通過する穴を有する」「アノード」に相当することは明らかである。ここで、引用発明の「カソードから放出される電子線を集束させる」「集束電極」が、一般的に「ウエーネルト電極」と呼ばれる電極であることは当業者の技術常識であって、また、集束電極が光軸について回転対称に配される電極であることも当業者の技術常識に属する事項であるので、引用発明の「カソードからアノードに向けて拡大する断面形状を有する集束電極」は、本願補正発明の「円錐台形状のウエーネルト電極」に相当するといえる。
　
　してみると、本願補正発明と引用発明とは、
「所定のカソード電流密度で電子線を放出する凹面形状のカソード、電子線が通過する穴を有するアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有する電子銃。」の点で一致し、以下の相違点１，２の点で相違する。
〈相違点１〉
　「カソード電流」に関して、
本願補正発明は、「カソード電流：IeをmA, カソード半径：Rcをμm、カソードと引出し電極又はアノード間距離:Dacをｍｍとした時、カソード電流Ieを
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28, 　　Dac　≧　３ｍｍ, あるいは
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 22/Dac + 32.7, 　　  Dac <　３ｍｍ.
の範囲内の値にし、あるいは
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.111Rc - 1.05　　　　 Rc ≦１２０μm
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.0332Rc + 8.1　　　　１２０ < Rc 
の範囲内の値」とするのに対し、
引用発明は、カソード電流を如何に設定するか、記載されていない点。
〈相違点２〉
ビームと電極等との関係について、
本願補正発明は、「上記引出し電極又はアノードの穴径をその位置でのビーム径より小さくし、ビームを最小径になる手前でトラップするか、或いはアノードあるいは引き出し電極に小さい開口を設け、ビームを最小径になる手前でトラップする」としているのに対し、
引用発明は、そのような関係について記載されていない点。
　
５．検討・判断
　上記各相違点について検討する。
（５−１）相違点１について
　電子銃を設計する際、軌道計算を行って電流密度、陰極半径、陰極−陽極間距離、陰極曲率半径、陽極曲率半径、ウエーネルト形状等を最適化して高輝度を得ること、あるいは、カソードの半径、カソードとアノード間の距離等々を最適化して用途に応じた適当なエミッタンスや輝度を得ることは、上記（エ）〜（カ）、あるいは、上記（キ）〜（ク）に摘記したように、引用例２あるいは引用例３に記載されている。また、拒絶査定の時に提示された文献である特開２００３−３４６６９９号公報の段落【００１５】には、所定の電子銃形状において電子銃電流（本願補正発明のカソード電流に相当すると認められる）を変化させた際の輝度変化についても記載されており、所定の電子銃形状においてカソード電流を変化させることによって輝度が変化することは、本願優先日当時周知の事項であるし、例えば、第４６回真空に関する連合講演会講演予稿集（日本真空協会　平成１７年１１月１１日　独立行政法人科学技術振興機構受入）にも記載されているごとく、あらかじめ電子銃形状を定めた上でビーム電流（本願補正発明のカソード電流に相当すると認められる）の最適化を図ることも、最適化の一手法として当業者に周知の事項にすぎない。（なお、前記予稿に基づいた発表の具体的内容については、「Journal of the Vacuum Society of Japan（真空）」(Vol.49,No.3,2006) “46th Vacuum Symposium Proceedings (Tokyo 2005) ”pp189-191としても頒布されている。）
　してみると、本願優先日当時の技術水準からして、電子銃について様々なシミュレーションを行って電子銃に関して最適化を行うに際し、電子銃構造に応じてカソード電流を最適化することは、引用発明、引用例２，３に記載された技術的事項、ならびに、当業者に周知の事項に基づいて当業者が適宜行い得る事項にすぎず、カソード電流の最適化に際し、どのようなパラメータに基づいて最適化を行うか、あるいは、いかなる範囲の値をカソード電流の最適値として設定するかは、電子銃に求められる性能に応じて当業者が適宜選択し得る事項である。
　したがって、上記相違点１のカソード電流範囲に係る事項に、格別の進歩性を見いだすことはできない。
　
（５−２）相違点２について
　電子ビームの電流密度分布を均一化してビームの調整を容易にするため、引出電極に電子ビーム径より小径のアパーチャＡ３をクロスオーバＣＯよりもカソード側に設け、電子ビームの一部のみをアパーチャＡ３を通過させるよう構成することは、引用例４に記載されている（前記（ケ）〜（サ）参照）ように本願優先日前に公知の事項である。
　してみると、引用発明において、「アノードの穴径をその位置でのビーム径より小さくし、ビームを最小径になる手前でトラップするか、或いはアノードに小さい開口を設け、ビームを最小径になる手前でトラップする」よう構成し、空間電荷効果によって生じる不要な電子ビームを取り除いて必要な電子ビームのみを利用できるようにすること、すなわち、引用発明に相違点２に係る事項を付加することは、引用発明ならびに引用例４に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に想到し得る事項である。
　
　そして、本願補正発明が奏する作用効果も、引用発明、引用例２ないし４に記載された技術的事項、ならびに、当業者に周知の事項から、当業者が予測できる範囲のものである。
よって、本願補正発明は、引用発明および引用例２ないし４に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．本件補正についての結び
　以上のとおり、本願補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たさないものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
III．本願発明について
１．本願発明
　平成２０年１２月２４日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲に記載された発明は、平成２０年６月２７日付け手続補正書によって補正された、特許請求の範囲の請求項１ないし１３に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「所定のカソード電流密度で電子線を放出する平面あるいは凹面形状のカソード、電子線が通過する穴を有する引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流：Ieの単位をmA, カソード半径：Rcの単位をμm、カソードと引出し電極又はアノード間距離:Dacの単位をｍｍとした時、カソード電流Ieを
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 92.8/Dac + 9.28, 　　Dac　≧　３ｍｍ, あるいは
　　0.388/Dac - 0.046 ≦ Ie ≦ 22/Dac + 32.7, 　　 Dac <　３ｍｍ.
の範囲内の値にし、あるいは
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.111Rc - 1.05，　　 Rc ≦１２０μm
　　0.0196Rc - 0.5　≦ Ie　≦ 0.0332Rc + 8.1，　　１２０ < Rc 
の範囲内の値にする事を特徴とする電子銃。」
　
２．引用文献
　原査定の拒絶の理由で引用された引用文献、および、その記載事項は、前記「II．〔理由〕３．引用文献」の「（３−１）引用例１」ないし「（３−３）引用例３」に記載したとおりである。
　
３．本願発明と引用発明との対比、検討・判断
　本願発明は、上記「II．〔理由〕２．本願補正発明」で検討した本願補正発明の発明特定事項である、ビームと電極等との関係に関する、「更に上記引出し電極又はアノードの穴径をその位置でのビーム径より小さくし、ビームを最小径になる手前でトラップするか、或いはアノードあるいは引き出し電極に小さい開口を設け、ビームを最小径になる手前でトラップする」という限定的事項を削除したものに相当する。
　そうすると、本願発明と引用発明とは、上記「II．〔理由〕４．本願補正発明と引用発明との対比」において一致するとした点で一致し、「〈相違点１〉」として相違するとした点で相違する。
　そして、前記「〈相違点１〉」は、上記「II．〔理由〕５．検討・判断」の「（５−１）相違点１について」で述べたとおり、引用発明、引用例２，３に記載された技術的事項、ならびに、当業者に周知の事項に基づいて当業者が適宜選択し得る事項にすぎないので、本願発明も、同様の理由により、引用発明および引用例２、３に記載された技術的事項、ならびに、当業者に周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。