(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルフレームの上端面にペリクル膜が張設され、かつ上記ペリクルフレームの側部に気圧調整用通気孔が設けられていると共に、このペリクルフレームの外側面に上記通気孔を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルターを設けたペリクルにおいて、上記フィルターが外側フィルター部と内側フィルター部とを有し、外側フィルター部より内側フィルター部が大きい孔径を有していることを特徴とする気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル。
【請求項２】
大きい孔径を有する内側フィルター部の最大孔径が小さい孔径を有する外側フィルター部の最小孔径の２倍以上である請求項１記載のペリクル。
【請求項３】
内側フィルター部の厚さが０．０５ｍｍ以上である請求項１又は２記載のペリクル。
【請求項４】
内側フィルター部の厚さがフィルター全厚の２０％以上である請求項１，２又は３記載のペリクル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にＬＳＩ，超ＬＳＩなどの半導体装置や液晶表示板を製造する際の異物よけとして使用される、実質的に波長５００ｎｍ以下の光を用いる露光方式に有用なペリクルに関し、特に気圧調整用の通気孔がペリクルフレームに設けられ、この通気孔を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルターが貼付された気圧調整用のペリクルに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
ＬＳＩ，超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板等の製造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成するのであるが、この場合に用いる露光原版に異物が付着していると、この異物が光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写したパターニングが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板等の性能や製造歩留りの低下を来すという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表面に異物よけのための露光用の光を良く通過させるペリクルを貼着する方法が採用されている。
【０００４】
この場合、異物は、露光原版の表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となるものである。このペリクル膜は通常光を良く通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレン等からなるペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で接着し（米国特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６３−２７７０７号公報参照）、更に、ペリクルフレームの下端には、露光原版に装着するためのポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレーター）が形成される。
【０００５】
また、このペリクルについては、ペリクルを露光原版に貼り付けた状態において、ペリクルフレーム内部の露光原版に囲まれた空間と外部との気圧差をなくすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の小孔を設け、小孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐためのフィルターを設置する等の工夫がされている（実公昭６３−３９３７０３号公報参照）。この場合、気圧調整用通気孔に貼着されるフィルターは、フレームの外側に設けるのが機能上最も好ましい。
【０００６】
しかしながら、気圧調整用通気孔は、通常、孔径が０．０５〜１．０ｍｍと小さく、フィルターを通気孔を覆いこの通気孔対向箇所以外の全面をフレーム外側面に接着すると、フィルターの有効面積が通気孔と同じ面積になる。このため、フィルター孔径が小さいとパーティクルの捕集効率は良好になるが、通気能力が低下し、実用上問題が生じる。また、フィルターをその内面外周縁側のみでフレーム外側面で接着すると、フィルターのフレーム外側面と接着されていない（浮いている）内面とがこすれるおそれがあり、好ましくない。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、パーティクルの捕集効率が良く、かつ通気能力の高い気圧調整用孔保護フィルター付きペリクルを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、ペリクルフレームの側部に形成される気圧調整用通気孔を覆ってペリクルフレーム外側面に取り付けられるフィルターの構成を、内側（通気孔側）でフィルター孔径を大きくし、外側でフィルター孔径を小さくすることにより、フィルターの通気孔と対向する部分以外の内面全面をフレーム外側面と接着し、従ってフィルター内側部におけるフィルターの有効面積が通気孔と同じ面積になっても、フィルター内側部における孔径は大きいので通気性は十分確保される一方、フィルター外側部はフィルター有効面積を通気孔面積より大きくすることができるので、孔径が小さくても通気孔を確保し得、従って全体として十分な通気能力を有し、しかもフィルター外側部の孔径が小さいので異物（パーティクル）捕集効率が優れていることを知見し、本発明をなすに至った。
【０００９】
従って、本発明は、ペリクルフレームの上端面にペリクル膜が張設され、かつ上記ペリクルフレームの側部に気圧調整用通気孔が設けられていると共に、このペリクルフレームの外側面に上記通気孔を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルターを設けたペリクルにおいて、上記フィルターが外側フィルター部と内側フィルター部とを有し、外側フィルター部より内側フィルター部が大きい孔径を有していることを特徴とする気圧調整用孔保護フィルター付きペリクルを提供する。
【００１０】
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明のペリクルは、例えば図１に示すように、四角枠状のペリクルフレーム１の上端面にペリクル膜２が張設され、かつ下端面にレチクル貼着用粘着剤層３が形成された構成とすることができるが、この場合、図１，２に示すように、ペリクルフレーム１の側部に気圧調整用通気孔４が形成され、この通気孔４を覆ってペリクルフレーム１の外側面にパーティクル侵入防止用フィルター５が取り付けられているものである。
【００１１】
ここで、フィルター５は、内側（通気孔４側）の孔径が大きく、外側の孔径が小さく形成されており、孔径の大きい内側フィルター部５ａを覆って孔径の小さい外側フィルター部５ｂが積層された積層構造を有している。そして、上記フィルター５の内面が、上記通気孔４に対向する部分を除く全面においてフレーム１外側面に接着されている。
【００１２】
この場合、上記通気孔４は、０．３〜２．０ｍｍ、特に０．４〜０．７ｍｍ程度の直径を有するように形成することが好適である。
【００１３】
また、フィルター５はその内側フィルター部５ａの孔径が３〜１００μｍ、特に１０〜３０μｍであり、外側フィルター部５ｂの孔径が０．１〜３．０μｍ、特に０．３〜１．０μｍであることが好ましく、この場合内側フィルター部５ａの最大孔径が外側フィルター部５ｂの最小孔径の２倍以上、特に５倍以上であることが好ましい。
【００１４】
更に、フィルター５は、その厚さが０．１〜０．５ｍｍ、特に０．２〜０．４ｍｍに形成されることが有効であるが、本発明の目的から上記内側フィルター部５ａは０．０５ｍｍ以上、特に０．１ｍｍ以上であることが好ましく、またフィルター５の全厚に対し２０％以上、特に２０〜５０％であることが好ましい。なお、フィルター面積は通常通気孔面積の５０倍以上、特に１００倍以上とすることが有効面積を確保する点から好適である。
【００１５】
【実施例】
以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００１６】
〔実施例１〕
縦１４９ｍｍ，横１２２ｍｍ，高さ５．８ｍｍ，幅２ｍｍのアルミフレームの上端面に、パーフルオロブテニルビニルエーテルを主成分とする重合体からなる厚さ１．６３μｍのペリクル膜を貼り付け、更に上記フレームの短辺側部中央部に直径０．５ｍｍの気圧調整用通気孔を形成した。
【００１７】
一方、孔径１０μｍの内側フィルター部上に、これと同じ厚さの孔径１μｍの外側フィルター部が積層された２層構造を有し、縦４ｍｍ，横１０ｍｍ，全厚み０．２５ｍｍのフィルターを用意し、このフィルターを、上記通気孔を覆い、通気孔と対向する部分以外の内面全面を上記アルミフレームに接着することによりフレームに取り付けた。
【００１８】
このようにして得られたペリクルを石英基板に貼り付け、２５０ｍｍＨｇ下に置いたところ、ペリクル膜が５ｍｍ程度膨らんだ。そのまま放置すると、約３０分後にペリクル膜は元の形状に戻った。
【００１９】
〔実施例２〕
内側フィルター部の孔径が１０μｍで厚さが０．０５ｍｍであり、外側フィルター部の孔径が１μｍで厚さが０．２ｍｍであるフィルターを用いる以外は実施例１と同様にしてペリクルを得た。
【００２０】
得られたペリクルを、実施例１と同様にして石英基板に貼着して評価したところ、ペリクル膜は最初５ｍｍ程度膨らんだが、そのまま放置すると、約３０分で元の形状に戻った。
【００２１】
〔比較例〕
孔径が１μｍの単層構造で、縦４ｍｍ，横１０ｍｍ，厚み０．２ｍｍのフィルターを用いた以外は、実施例１と同様にペリクルを得た。
【００２２】
得られたペリクルを、実施例１と同様にして評価したところ、ペリクル膜は最初５ｍｍ程度膨らみ、そのまま放置しても、元に戻るのに約９０分もかかった。
【００２３】
【発明の効果】
本発明のペリクルによれば、気圧調整用の通気孔付近のフィルター部孔径を大きくすることで、その外側の小孔径フィルター部の有効面積を高めることができ、このため異物捕集効率を低下させることなく通気能力を上げることができるものであり、従って気圧変動のある環境下、例えば露光原版（レチクル）にペリクルを貼り付けた状態で空輸するような場合において、確実にかつ迅速にフレーム内外の気圧調整がなされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】フィルターをペリクルフレームに取り付けた状態を説明する拡大断面図である。
【符号の説明】
１  ペリクルフレーム
２  ペリクル膜
３  レチクル貼着用粘着剤層
４  気圧調整用通気孔
５  フィルター
５ａ  内側フィルター部
５ｂ  外側フィルター部
【図１】
0003575516.tif 000002
【図２】
0003575516.tif 000003