(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧気体を細孔から噴出させながら外部に排気するときの騒音を吸音壁で吸音することにより低減する消音器において、
前記高圧気体を噴出する細孔を周面に有し、筒状の高圧気体噴出体と、
前記高圧気体噴出体の一方端を密閉するように設けられた密閉部材と、
前記密閉部材を介して前記高圧気体噴出体の一方端に設けられた内筒消音体と、
前記内筒消音体の周面に対向した前記吸音壁を有し、前記細孔から噴出される高圧気体を流動させて外部に排気する高圧気体流路を形成するように前記吸音壁の一方端が開口された筒状の外筒消音体と
を有することを特徴とする消音器。
【請求項２】
前記吸音壁は、
孔部を有した金属板からなる保護層と、騒音のみを通過させるように多数の空隙を有した焼結金属からなる多孔質層と、騒音エネルギーを消費する吸音層とを高圧気体に接触する側からこの順に有したことを特徴とする請求項１に記載の消音器。
【請求項３】
前記保護層の孔部は、長径方向を高圧気体の流動方向に一致させた長円形状に形成されていることを特徴とする請求項２記載の消音器。
【請求項４】
前記高圧気体噴出体を既存の消音器に連結し、該消音器からの高圧気体を高圧気体噴出体に供給させる連結機構を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の消音器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧気体を大気中に排気する際に発生する騒音を低減する消音器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば大量の高圧気体を大気中に排気する製造プラント等においては、配管から高圧気体を大気中に排気するときの騒音を低減するように、配管の先端部に消音器を設けている場合が多い。従来の一般的な消音器は、図１１（ａ）・（ｂ）に示すように、配管５１の開口を封止板５２で密閉すると共に、この封止板５２および配管５１の周囲に多数の細孔５１ａ・５２ａを形成することによって、大量の高圧気体の流れを細孔５１ａ・５２ａで分割する。そして、端面を開口した吸音材からなる外筒消音体５３により細孔５１ａ・５２ａの周囲を囲むことによって、高圧気体が細孔５１ａ・５２ａから噴出する際のジェット音や気流音等の騒音を外筒消音体５３で吸音しながら高圧気体を開口部５３ａから大気中に排気する構成にされている。
【０００３】
また、従来の消音器には、上記のように構成されたものの他、図１２に示すように、外筒消音体５３の開口部５３ａに吸音板からなる吸音スプリッタ５４を設けることによって、細孔５１ａ・５２ａで生じた騒音が開口部５３ａから直接漏洩しないように構成されたものや、図１３に示すように、外筒消音体５３の側面に開口部５３ａを形成することによって、封止板５２の板面に対して直交方向に進行する騒音を外筒消音体５３の壁面に衝突させて吸音するように構成されたもの、図１４に示すように、外筒消音体５３の開口部５３ａを封止し、外筒消音体５３の吸音部材５５で騒音を吸音しながら周面の小孔５３ｂから高圧気体を排気するように構成されたものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１１および図１３に示すように、外筒消音体５３の端面や側面に開口部５３ａを配置しただけの構成では、多くの騒音が吸音されずに直接的に開口部５３ａから漏洩すると共に、外筒消音体５３で吸音されずに反射した多くの騒音が開口部５３ａから漏洩するため、騒音を十分に低減することができないという問題がある。
【０００５】
また、図１２および図１４に示すように、開口部５３ａに吸音スプリッタ５４を設けたり、開口部５３ａを密閉して周面の小孔５３ｂから吸音部材５５を介して高圧気体を排気するように構成した場合には、騒音の直接的な漏洩が防止されるため、騒音を十分に低減することはできるが、高圧気体の流動が吸音スプリッタ５４や吸音部材５５により遮られるため、大量の高圧気体を排気することが困難であるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、騒音を十分に低減することができると共に、大量の高圧気体を排気することができる消音器を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、高圧気体を細孔から噴出させながら外部に排気するときの騒音を吸音壁で吸音することにより低減する消音器において、前記高圧気体を噴出する細孔を周面に有し、筒状の高圧気体噴出体と、前記高圧気体噴出体の一方端を密閉するように設けられた密閉部材と、前記密閉部材を介して前記高圧気体噴出体の一方端に設けられた内筒消音体と、前記内筒消音体の周面に対向した前記吸音壁を有し、前記細孔から噴出される高圧気体を流動させて外部に排気する高圧気体流路を形成するように前記吸音壁の一方端が開口された筒状の外筒消音体とを有することを特徴としている。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載の消音器であって、前記吸音壁は、孔部を有した金属板からなる保護層と、騒音のみを通過させるように多数の空隙を有した焼結金属からなる多孔質層と、騒音エネルギーを消費する吸音層とを高圧気体に接触する側からこの順に有したことを特徴としている。上記の構成によれば、高圧気体が高速で流動することにより大きな摩擦応力が吸音壁に生じた場合でも、金属板からなる保護層および焼結金属からなる多孔質層が大きな機械的強度を有しているため、変形や破断等の不具合を生じることがない。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項２記載の消音器であって、前記保護層の孔部は、長径方向を高圧気体の流動方向に一致させた長円形状に形成されていることを特徴としている。上記の構成によれば、保護層の孔部に高圧気体が入り込んで渦流を発生させたときに、この渦流の発生領域を高圧気体の流動方向における前端面付近および後端面付近の小さな領域に制限することができると共に、渦流の発生数を減少させることができる。従って、渦流による気流音の騒音レベルを全体として低下させることができるため、騒音レベルの増大を抑制しながら高圧気体を一層高速で流動させることができ、ひいては大量の高圧気体を大気中に排気することが可能になる。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の消音器であって、前記高圧気体噴出体を既存の消音器に連結し、該消音器からの高圧気体を高圧気体噴出体に供給させる連結機構を備えたことを特徴としている。上記の構成によれば、連結機構により既存の消音器を取り外すことなく新たに消音器を取り付けることができるため、設備の導入コストを低減することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図１ないし図１０に基づいて以下に説明する。本実施の形態に係る消音器は、図１に示すように、円筒中空状に形成された高圧気体噴出体１を有している。高圧気体噴出体１には、一方端の開口を密閉するように密閉部材２が設けられていると共に、高圧気体噴出体１内に送給された高圧気体を噴出するように多数の細孔１ａが周面に形成されている。
【００１２】
上記の高圧気体噴出体１には、後述の吸音壁２０を有した内筒消音体３が密閉部材２を介して設けられていると共に、高圧気体噴出体１および内筒消音体３の周面に対向した吸音壁２１を有した外筒消音体４が設けられている。外筒消音体４は、一方端が開口されており、内筒消音体３との隙間により高圧気体流路１０を形成している。そして、内筒消音体３と外筒消音体４とで形成された高圧気体流路１０は、細孔１ａから噴出された高圧気体を一方端の開口部４ａまで流動させて外部に排気させるようになっている。
【００１３】
上記の内筒消音体３は、半径方向の断面が円筒形状に形成された金属製の内筒部材５を有している。内筒部材５の外周面には、外筒消音体４の内面壁に沿って吸音壁２０が設けられており、吸音壁２０は、保護層８と多孔質層７と吸音層６とが高圧気体流路１０の高圧気体に接触する側からこの順に積層されることにより形成されている。吸音層６は、騒音の吸音効果が大きなグラスウール等の多孔質吸音材からなっている。また、多孔質層７は、吸音層６よりも大きな機械的強度を有した例えばアルミ焼結材等の焼結金属からなっている。尚、焼結金属は、高圧気体の流動を阻止しながら騒音（音波）を透過させるように数十μｍ程度の微小な空隙を多数有している。
【００１４】
また、保護層８は、多孔質層７に対して高圧気体が大きな流速で接触しないように多数の孔部８ａを有した金属板からなっている。保護層８の孔部８ａは、図５に示すように、長円形状に形成されており、長径方向が高圧気体の流動方向に対して一致されている。尚、孔部８ａは、図６に示すように、円形状であっても良いが、長円形状および円形状の孔部８ａが同一の開口率で存在するのであれば、高圧気体が孔部８ａの端面付近で渦流となることによる騒音の発生を低減させるように、上述の長径方向が高圧気体の流動方向に対して一致した長円形状であることが望ましい。
【００１５】
一方、図１に示すように、外筒消音体４は、上述の内筒消音体３よりも大きな径を有し、半径方向の断面が円筒形状に形成された金属製の外筒部材１５を有している。外筒部材１５は、軸心が外筒消音体４の軸心と一致し、高圧気体流路１０の流路面積を細孔１ａから開口部４ａに至るまで一定にするように形成されている。この外筒部材１５の内周面には、吸音壁２１が設けられている。吸音壁２１は、保護層１８と多孔質層１７と吸音層１６とが高圧気体流路１０の高圧気体と接触する側からこの順に積層されることにより形成されている。吸音層１６は、グラスウール等の多孔質吸音材からなっており、多孔質層１７は、アルミ焼結材等の焼結金属からなっている。また、保護層１８は、多数の孔部１８ａを有した金属板からなっており、保護層１８の孔部１８ａは、図５に示すように、長径方向が高圧気体の流動方向に対して一致した長円形状に形成されている。
【００１６】
上記のように構成された消音器１１は、図２に示すように、継ぎ手配管２２および蓋部材２６からなる連結機構２７を備えている。継ぎ手配管２２は、一方端が高圧気体噴出体１に連結されており、他方端が蓋部材２６を介して既存の消音器２３に連結されている。既存の消音器２３は、周面に細孔２５ａが形成された高圧気体噴出体２５と、細孔２５ａを囲むように形成された外筒消音体２４とを有しており、外筒消音体２４の開口部は、上述の蓋部材２６により継ぎ手配管２２に集合されている。尚、消音器１１は、既存の消音器２３が無ければ、高圧気体噴出体１が図示しない高圧気体配管に直結されていても良い。
【００１７】
上記の構成において、消音器の動作について説明する。先ず、既存の消音器２３が存在する場合には、この消音器２３の開口部に蓋部材２６が接合された後、継ぎ手配管２２を介して消音器１１の高圧気体噴出体１が連結される。これにより、既存の消音器２３の取り外し作業を行わなくても、新たに消音器１１を取り付けることができるため、設備の導入コストが低減したものになる。
【００１８】
次に、高圧気体が図示しない高圧気体配管を介して高圧気体噴出体２５内に流入されると、高圧気体噴出体２５の細孔２５ａから高圧気体が外筒消音体２４内に噴出すると共に、この高圧気体の噴出に伴ってジェット音や気流音等の騒音が発生する。そして、騒音の一部は、外筒消音体２４により吸音され、騒音の残部は、高圧気体と共に蓋部材２６および継ぎ手配管２２を介して消音器１１の高圧気体噴出体１内に流入する。
【００１９】
高圧気体噴出体１内に流入した高圧気体は、図３（ａ）・（ｂ）に示すように、高圧気体噴出体１の周面に形成された細孔１ａから外筒消音体４の内壁面方向に噴出し、高圧気体流路１０を流動して開口部４ａから大気中に排気される。この際、細孔１ａと開口部４ａとの間における高圧気体流路１０は、流路面積が細孔１ａから開口部４ａに至るまで一定にされていると共に、高圧気体の流動を阻害する吸音スプリッタや曲げ加工等の障害物を有していない。従って、高圧気体流路１０を流動する高圧気体は、内筒消音体３および外筒消音体４による壁面の摩擦を除けば、通気抵抗を受けることがない。これにより、消音器１１は、大きな流速で高圧気体を流動させることができるため、大量の高圧気体を大気中に排気することが可能になる。
【００２０】
また、高圧気体が高圧気体流路１０を高速で流動すると、高圧気体流路１０を形成する内筒消音体３および外筒消音体４に大きな摩擦応力が生じることになる。例えば高圧気体の流速を１２０ｍ／ｓ、高圧気体密度を１．０ｋｇ／ｍ3 であるとすると、両消音部材３・４の表面に０．０７ｋｇｆ／ｃｍ2 の摩擦応力が生じることになる。そして、この摩擦応力は、図１に示すように、両消音体３・４の高圧気体流路１０側に配置された保護層８・１８および多孔質層７・１７に主に作用することになるが、保護層８・１８および多孔質層７・１７は、それぞれ金属板および焼結金属の大きな機械的強度を有した材質からなっているため、両消音体３・４が変形や破断等の不具合を生じることはない。
【００２１】
また、高圧気体が保護層８・１８に接触しながら流動すると、図４に示すように、保護層８・１８の孔部８ａ・１８ａに高圧気体が入り込み、高圧気体の流動方向における前端面付近および後端面付近に渦流が発生する。そして、この渦流による気流音が騒音を引き起こし、高圧気体の流速が大きくなるほど渦流が拡大して気流音の騒音レベルが増大する。この際、孔部８ａ・１８ａは、図５に示すように、長径方向を高圧気体の流動方向に一致した長円形状に形成されており、図６の同一の開口率で孔部８ａ・１８ａを円形状に形成した場合と比較すると、渦流の発生領域が高圧気体の流動方向における前端面付近および後端面付近の小さな領域に制限されていると共に、渦流の発生数が減少されている。従って、消音器１１は、渦流による気流音の騒音レベルを全体として低下させることができるため、騒音レベルの増大を抑制しながら高圧気体を一層高速で流動させることができ、ひいては大量の高圧気体を大気中に排気することが可能になる。
【００２２】
次に、高圧気体が細孔１ａから高圧気体流路１０に噴出すると、図１に示すように、噴出時にジェット音や気流音等の騒音が発生し、この騒音は、大量の高圧気体を大気中に排気させようとする程増大する。噴出時に生じた騒音は、上述の消音器２３からの騒音と共に各細孔１ａを中心に球面状に拡大しながら伝播する。この際、細孔１ａが高圧気体噴出体１の周面にのみ形成されているため、球面状に伝播する騒音の大部分は、周面に対向された外筒消音体４の吸音壁２１に到達する。吸音壁２１に到達した騒音は、保護層１８の孔部１８ａおよび多孔質層１７の微小な空隙を通過してグラスウール等の多孔質吸音材からなる吸音層１６に到達する。そして、図７の吸音率の周波数との関係から、騒音エネルギーの約７０％が消費されることになる。一方、残りの３０％の騒音エネルギーを有した騒音は、外筒消音体４から内筒消音体３方向に反射し、内筒消音体３の吸音壁２０に反射波として入射する。そして、上記の内筒消音体３の場合と同様の動作により吸音層６において、７０％の騒音エネルギーが消費され、残りの３０％の騒音エネルギーが反射波として外筒消音体４方向に進行する。これにより、消音器１１は、大量の高圧気体を排気することにより大きな騒音が細孔１ａ付近で発生した場合でも、上述の消音部材３・４間の反射および入射を繰り返すことによって、騒音エネルギーを順次低減して外部に漏洩する騒音を十分に低減することが可能になっている。
【００２３】
次に、上述の動作による消音器１１の消音性能を確認するため、下記の試験を行った。即ち、図８（ａ）に示すように、本実施形態の消音器１１（Ａ）を用意すると共に、図８（ｂ）に示すように、配管５１および封止板５２に細孔５１ａ・５２ａを形成した第１比較用消音器６１（Ｂ）と、図８（ｃ）に示すように、外筒消音体５３の開口部５３ａに吸音スプリッタ５４を配設した第２比較用消音器６２（Ｃ）とを用意した。
【００２４】
この後、高圧気体の種類や単位時間当たりの排気条件が同一となるように調整しながら、高圧気体を各消音器１１・６１・６２の高圧気体噴出体１・５１・５１に供給した。そして、開口部４ａ・５３ａ・５３ａにおける流速と、開口部４ａ・５３ａ・５３ａから４５度方向に１ｍ離れた地点における騒音スペクトルとを測定した。
【００２５】
この結果、本実施形態の消音器１１が１５０ｍ／ｓ、第１比較用消音器６１が１４０ｍ／ｓ、第２比較用消音器６２が１２０〜１７０ｍ／ｓの流速であることが判明した。また、騒音スペクトルは、図９の関係が得られた。これにより、本実施形態の消音器１１（Ａ）と第１比較用消音器６１（Ｂ）との関係においては、全周波数域に渡って本実施形態の消音器１１（Ａ）が優れた消音性能を発揮し、特に１ｋＨｚ以上の周波数域においては、騒音を１０〜１５ｄＢ低減できる消音性能を発揮することが判明した。また、本実施形態の消音器１１（Ａ）と第２比較用消音器６２（Ｃ）との関係においては、６００Ｈｚ以上の周波数域で本実施形態の消音器１１が優れた消音性能を発揮していることが判明した。
【００２６】
尚、第１比較用消音器６１（Ｂ）および第２比較用消音器６２（Ｃ）との関係においては、１．５ｋＨｚ未満で第２比較用消音器６２（Ｃ）が優れた消音性能を発揮する一方、１．５ｋＨｚ以上で第１比較用消音器６１（Ｂ）が優れた消音性能を発揮しており、第２比較用消音器６２（Ｃ）における吸音スプリッタ５４が十分に消音性能を発揮していない。この理由は、１００ｍ／ｓを越えるような高速の高圧気体を流すと、吸音スプリッタ５４で高圧気体の流れが乱され、余剰な渦流による新たな気流音が発生するからであると推察される。従って、高圧気体を１０数ｍ／ｓ程度の低速で流して排気する場合には、吸音スプリッタ５４を備えた第２比較用消音器６２（Ｃ）が最も消音効果が高いと考えられるが、高圧気体を高速で流して排気する場合には、本実施形態の消音器１１（Ａ）が高圧気体の流れを乱さずに排気するため、最も優れた消音効果を発揮することになる。
【００２７】
次に、内筒消音体３および外筒消音体４の保護層８・１８に形成された孔部８ａ・１８ａの形状により騒音レベルが変化することを確認した。即ち、図５および図６に示すように、円形状および長円形状の孔部８ａ・１８ａを同一の開口率で有した保護層８・１８を準備し、これらの保護層８・１８を備えた内筒消音体３および外筒消音体４を消音器１１にセットした。尚、長円形状の孔部８ａ・１８ａは、長径方向が高圧気体の流動方向に一致するように設定した。
【００２８】
この後、消音器１１に１００ｍ／ｓを越えるような高速の高圧気体を流したときの騒音スペクトルを測定したところ、図１０に示すように、１ｋＨｚ以上の周波数域で円形状の孔部８ａ・１８ａを有した消音器１１の方が、長円形状の孔部８ａ・１８ａを有した消音器１１よりも大きな騒音レベルであるという結果が得られた。また、消音器１１に低速の高圧気体を流したときの騒音スペクトルを測定したところ、全周波数域において騒音レベルに差がないという結果が得られた。これにより、長径方向を高圧気体の流動方向に一致させた長円形状の孔部８ａ・１８ａを有すると、高圧気体を高速で流して排気する際に最も高い吸音性能を発揮する消音器１１になることが確認された。
【００２９】
尚、本実施形態においては、図１に示すように、外筒消音体４内に内筒消音体３を配置した構成にすることによって、高圧気体噴出体１の細孔で発生した騒音を外筒消音体４と内筒消音体３とで入射および反射させながら低減させるようになっているが、これに限定されることはない。即ち、消音器１１は、高圧気体を噴出する細孔１ａを周面に有し、一方端が密閉された筒状の高圧気体噴出体１と、高圧気体噴出体１の周面に対向した吸音壁２０を有し、この吸音壁２０の一方端を開口した筒状の外筒消音体４とを有した構成であれば良い。そして、この構成であれば、最小限の通気抵抗により大きな流速で高圧気体を流動させることができるため、大量の高圧気体を大気中に排気することが可能である。さらに、高圧気体噴出体１の一方端が密閉されることによって、外筒消音体４の開口から直接外部に漏洩する騒音が僅かになるため、大きな騒音が高圧気体噴出体の細孔付近で発生した場合でも、外部に漏洩する騒音を十分に低減することができる。
【００３０】
【発明の効果】
請求項１の発明は、高圧気体を細孔から噴出させながら外部に排気するときの騒音を吸音壁で吸音することにより低減する消音器において、前記高圧気体を噴出する細孔を周面に有し、筒状の高圧気体噴出体と、前記高圧気体噴出体の一方端を密閉するように設けられた密閉部材と、前記密閉部材を介して前記高圧気体噴出体の一方端に設けられた内筒消音体と、前記内筒消音体の周面に対向した前記吸音壁を有し、前記細孔から噴出される高圧気体を流動させて外部に排気する高圧気体流路を形成するように前記吸音壁の一方端が開口された筒状の外筒消音体とを有する構成である。
【００３１】
請求項２の発明は、請求項１に記載の消音器であって、前記吸音壁は、孔部を有した金属板からなる保護層と、騒音のみを通過させるように多数の空隙を有した焼結金属からなる多孔質層と、騒音エネルギーを消費する吸音層とを高圧気体に接触する側からこの順に有した構成である。上記の構成によれば、高圧気体が高速で流動することにより大きな摩擦応力が吸音壁に生じた場合でも、金属板からなる保護層および焼結金属からなる多孔質層が大きな機械的強度を有しているため、変形や破断等の不具合を生じることがないという効果を奏する。
【００３２】
請求項３の発明は、請求項２記載の消音器であって、前記保護層の孔部は、長径方向を高圧気体の流動方向に一致させた長円形状に形成されている構成である。上記の構成によれば、保護層の孔部に高圧気体が入り込んで渦流を発生させたときに、この渦流の発生領域を高圧気体の流動方向における前端面付近および後端面付近の小さな領域に制限することができると共に、渦流の発生数を減少させることができる。従って、渦流による気流音の騒音レベルを全体として低下させることができるため、騒音レベルの増大を抑制しながら高圧気体を一層高速で流動させることができ、ひいては大量の高圧気体を大気中に排気することが可能になるという効果を奏する。
【００３３】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の消音器であって、前記高圧気体噴出体を既存の消音器に連結し、該消音器からの高圧気体を高圧気体噴出体に供給させる連結機構を備えた構成である。上記の構成によれば、連結機構により既存の消音器を取り外すことなく新たに消音器を取り付けることができるため、設備の導入コストを低減することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】消音器の概略構成を示す説明図である。
【図２】連結機構を介して既存の消音器に接続された状態を示す説明図である。
【図３】消音器内を高圧気体が流動する状態を示した説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】渦流の発生状態を示す説明図である。
【図５】孔部が長円形状に形成された状態を示す説明図である。
【図６】孔部が円形状に形成された状態を示す説明図である。
【図７】吸音率と周波数との関係を示すグラフである。
【図８】消音器の概略構成図であり、（ａ）は内筒消音体を有した消音器、（ｂ）は高圧気体噴出体の周面および一端面に細孔を有した消音器、（ｃ）は吸音スプリッタを備えた消音器である。
【図９】図８における各消音器の騒音レベルと周波数との関係を示すグラフである。
【図１０】長円形状および円形状の孔部を備えた消音器の騒音レベルと周波数との関係を示すグラフである。
【図１１】従来の消音器の概略構成を示す説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図１２】従来の消音器の概略構成を示す説明図である。
【図１３】従来の消音器の概略構成を示す説明図である。
【図１４】従来の消音器の概略構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１  高圧気体噴出体
２  密閉部材
３  内筒消音体
４  外筒消音体
５  内筒部材
６  吸音層
７  多孔質層
８  保護層
８ａ  孔部
１０  高圧気体流路
１１  消音器
１５  外筒部材
１６  吸音層
１７  多孔質層
１８  保護層
１８ａ  孔部
２０  吸音壁
２１  吸音壁
２２  継ぎ手配管
【図１】
0003550014.tif 000002
【図２】
0003550014.tif 000003
【図３】
0003550014.tif 000004
【図４】
0003550014.tif 000005
【図５】
0003550014.tif 000006
【図６】
0003550014.tif 000007
【図７】
0003550014.tif 000008
【図８】
0003550014.tif 000009
【図９】
0003550014.tif 000010
【図１０】
0003550014.tif 000011
【図１１】
0003550014.tif 000012
【図１２】
0003550014.tif 000013
【図１３】
0003550014.tif 000014
【図１４】
0003550014.tif 000015