【事件の表示】
　特願２００１−２２２６２号「液処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年８月１６日出願公開、特開２００２−２３１６７８号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　
第１　手続の経緯
　
　本件審判請求に係る出願（以下「本願」という。）は、平成１３年１月３０日の特許出願であって、平成１９年１月１１日付けで拒絶査定がなされ（発送日：同年２月６日）、これに対し、同年３月８日に拒絶査定不服審判が請求され、同年４月９日に手続補正がなされたものである。
　
　
　
第２　平成１９年４月９日の手続補正についての補正却下の決定
　
〔補正却下の決定の結論〕
　
　平成１９年４月９日の手続補正を却下する。
　
〔理　由〕　
　
１．補正後の請求項１及び７に記載された発明
　
　平成１９年４月９日の手続補正（以下「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、
「【請求項１】
　基板に所定の液処理を施す液処理装置であって、
　所定間隔で配置された２枚の板部材と、前記板部材の間に架設され、
複数の基板を所定間隔で係止する
前記係止部材で係止された状態で
　
基板を保持した状態の前記保持手段が収容され、その中で所定の処理液により基板に
　前記チャンバの外部において前記保持手段に対する基板の搬入出を行うために、前記チャンバの外部の所定位置に配置された、前記保持手段にアクセスして前記ホルダーを開閉させるホルダー開閉機構と、
　を具備し、
　前記ホルダー開閉機構は、
　前記ピン部材にアクセスして前記ピン部材を前記板部材側に押し込み、前記ホルダーのロック状態を解除するロック解除機構と、
　前記ロック解除機構によって前記ホルダーのロックが解除されている状態において前記ホルダーにアクセスして前記ホルダーの開閉を行うホルダー駆動機構とを有し、
　
前記チャンバの外部において、前記ホルダー開閉機構により前記ホルダーを開にして基板を前記保持手段に保持させ、その後、前記ホルダー開閉機構により前記ホルダーを閉じ、前記ピン部材を突出さて前記ホルダーをロック状態とし、その状態で前記保持手段を前記処理チャンバに挿入する
と補正された。
（なお、「突出さて」は「突出させて」の誤記と認める。また、下線は当審にて付与した（以下同様）。）
　請求項１についての上記補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「係止部材」について、補正前に「複数の基板を所定間隔で
保持する
係止する
　
　そして、本件補正後の請求項７は、補正前の請求項７の記載と同じ、
「【請求項７】
　前記チャンバは前記保持手段を進入退出させるための搬入出口を有し、
  前記保持手段を回転させるモータと、前記モータが前記チャンバの外部に位置するように前記保持手段を前記チャンバに収納した際に前記搬入出口を閉塞する蓋体と、をさらに具備し、
　前記保持手段と前記モータと前記蓋体とが一体構造を有していることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の液処理装置。」
であるから、請求項１を引用した請求項７についての本件補正も、請求項１と同様に、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして、本件補正後の、請求項１を引用した請求項７に係る発明を、引用形式を用いずに記載すると、次のようになる。
「基板に所定の液処理を施す液処理装置であって、
　所定間隔で配置された２枚の板部材と、前記板部材の間に架設され、複数の基板を所定間隔で係止する係止部材と、前記板部材に取り付けられ、前記係止部材に対して基板を搬入出する際に開閉されるホルダーと、前記板部材に設けられ、前記板部材から突起した状態で前記ホルダーを閉じた状態にロックし、前記板部材に押し込まれた状態で前記ホルダーのロックを解除するピン部材とを有し、複数の基板を前記係止部材で係止された状態で略平行に保持する保持手段と、
　基板を保持した状態の前記保持手段が収容され、その中で所定の処理液により基板に液処理を行うチャンバと、
　前記チャンバの外部において前記保持手段に対する基板の搬入出を行うために、前記チャンバの外部の所定位置に配置された、前記保持手段にアクセスして前記ホルダーを開閉させるホルダー開閉機構と、
　を具備し、
　前記ホルダー開閉機構は、
　前記ピン部材にアクセスして前記ピン部材を前記板部材側に押し込み、前記ホルダーのロック状態を解除するロック解除機構と、
　前記ロック解除機構によって前記ホルダーのロックが解除されている状態において前記ホルダーにアクセスして前記ホルダーの開閉を行うホルダー駆動機構とを有し、
　前記チャンバの外部において、前記ホルダー開閉機構により前記ホルダーを開にして基板を前記保持手段に保持させ、その後、前記ホルダー開閉機構により前記ホルダーを閉じ、前記ピン部材を突出させて前記ホルダーをロック状態とし、その状態で前記保持手段を前記処理チャンバに挿入することを特徴とする液処理装置であり、
　前記チャンバは前記保持手段を進入退出させるための搬入出口を有し、
　前記保持手段を回転させるモータと、前記モータが前記チャンバの外部に位置するように前記保持手段を前記チャンバに収納した際に前記搬入出口を閉塞する蓋体と、をさらに具備し、
　前記保持手段と前記モータと前記蓋体とが一体構造を有していることを特徴とする、液処理装置。」（以下「本件補正発明」という。）
  　
　そこで、本件補正発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項に規定する要件を満たすか）否かについて以下に検討する。
　
　
２．引用例
　
（１）原査定における、本件補正前の請求項７に係る発明に対する拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開２０００−１１４２２８号公報（以下「引用例１」という。）には、図面とともに次の技術事項が記載されている。
　
ａ．「基板に処理を施す基板処理装置であって、
基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内にて基板を保持する保持手段と、
前記保持手段と共に保持される基板を回転する回転手段と、
前記チャンバに処理液を供給して前記チャンバに処理液を貯留させる供給手段と、
前記チャンバから処理液を排出する排出手段と、を備え、
前記
チャンバに貯留された処理液に基板を浸漬して浸漬処理を行う
　
ｂ．「基板処理システム１００は水平姿勢の基板９を上下方向に複数配列して収容するキャリア９１を載置しておくインデクサ部１１０、インデクサ部１１０上の基板９を１枚ずつ取り出す搬送ロボット１２０、並びに基板９に浸漬処理および乾燥処理を施す処理部２００を有する。
　処理部２００は水平姿勢の基板９を上下方向に複数配列した状態で格納するチャンバ２１０、チャンバ２１０の上部の扉としての機能を有する蓋部２２０を有し、蓋部２２０はボールネジあるいはシリンダを利用した昇降駆動源２２１により上下に移動可能とされている。
　また、
蓋部２２０は基板９をチャンバ２１０内で保持する回転ドラム２３０と接続されており、蓋部２２０が上昇するとチャンバ２１０内の基板９が上昇してチャンバ２１０外へと導かれる
　
ｃ．「チャンバ２１０は上部が開口し、垂直方向に中心軸を向ける円筒形状の容器となっており、内側面には多数の処理液供給口２１１が形成されている。処理液供給口２１１は弁２１１ａを介して処理液供給源２１２に接続されており、処理液供給源２１２からチャンバ２１０内へと様々な薬液や純水が処理液として導かれる。」（段落【0023】）
　
ｄ．「
蓋部２２０はチャンバ２１０の上方の開口部を覆うように配置
蓋部２２０が下降した状態ではチャンバ２１０は密閉される
　蓋部２２０はチャンバ２１０内へと延びる回転軸２２２を有しており、回転軸２２２は軸受２２４により回転自在に支持される。また、回転軸２２２はプーリおよびベルトを介してモータ２２３に接続され、
モータ２２３を駆動すると回転軸２２２が回転を行う
　
ｅ．「また、
蓋部２２０内には保持駆動源２２８が設けられており、保持駆動源２２８からは操作軸２２８ａがチャンバ２１０側へと延びている。操作軸２２８ａは保持駆動源２２８により上下動および軸周りの回動を行い、回転ドラム２３０における基板９の保持の操作を行う
　
回転軸２２２の下端は１対の回転板２３２の一方に接続されており、１対の回転板２３２は上下方向を向く複数の保持桿２３１により一体とされて回転ドラム２３０を構成する
保持桿２３１が基板９を保持した状態でモータ２２３が作動すると基板９が回転軸２２２を中心に回転する
　複数の保持桿２３１のうち１つの保持桿（図２および図３にて符号２３１ａを付す）は保持桿２３１ａの軸から外れた位置を中心として回動可能とされており、この回動動作は操作軸２２８ａが回動中心の部材と係合した後に回動することにより行われる。これにより、図３に示すように
保持桿２３１ａが基板９から離れた状態に回動すると、搬送ロボット１２０が基板９を回転ドラム２３０に対して出し入れ可能な状態となり、逆に、保持桿２３１ａが基板９に接するように回動すると基板９が回転ドラム２３０に対して固定される
　
ｆ．「基板９が搬入されると、インデクサ部１１０の昇降駆動源１１１がキャリア９１から取り出すべき基板９の高さを搬送ロボット１２０のハンド１２１の高さに合わせる。一方、処理部２００側においても
昇降駆動源２２１が蓋部２２０を上昇させ、保持桿２３１の溝のうち基板９を取り込む溝の高さをハンド１２１の高さに合わせる。この状態で、搬送ロボット１２０がキャリア９１から基板９を１枚取り出し、取り出した基板９を保持桿２３１の溝に挿入する
　キャリア９１から保持桿２３１への基板９の移載を繰り返し行い、保持桿２３１には複数の基板９が水平姿勢にて配置される。なお、１つのキャリア９１が空になると、次のキャリア９１が準備されて保持桿２３１には複数のキャリア９１分の基板９が配列される。
　
保持桿２３１の各溝に基板９が挿入されると保持駆動源２２８が操作軸２２８ａを用いて保持桿２３１ａを回動し、複数の基板９が回転ドラム２３０に固定される
昇降駆動源２２１が下降して基板９がチャンバ２１０内に予め貯留されている薬液に浸漬され
　基板９が処理液に浸漬されると、図４に示す制御部２５０が弁２１２ｄを制御してチャンバ２１０内の処理液を各種薬液や純水に切り替え、
基板９に各種薬液処理および洗浄処理を施す
　
ｇ．「乾燥処理が完了すると・・・昇降駆動源２２１が蓋部２２０を上昇させて基板９がチャンバ２１０から取り出される。
　その後、基板９がチャンバ２１０内に導かれた動作と逆の動作により基板９が回転ドラム２３０からインデクサ部１１０のキャリア９１へと搬送される。すなわち、
回転ドラム２３０の保持桿２３１ａが操作軸２２８ａの動作により移動し
　
ｈ．「上記第１の実施の形態では処理部２００に基板９を１枚ずつ搬送しているが、第２の実施の形態と同様に
複数枚の基板９が一度に回転ドラム２３０へと搬送されてもよい
　
　そして、図２の記載より、「１対の回転板２３２」は「所定間隔で配置された」ものであると言え、また、摘記事項ｆの「保持桿２３１の各溝に基板９が挿入される」との記載及び図１〜３の記載より、「保持桿２３１」は、「１対の回転板２３２の間に架設され」、「複数の基板９を各溝に挿入して所定間隔で保持する」ものと言える。
　さらに、摘記事項ｅの「１対の回転板２３２は・・・複数の保持桿２３１により一体とされ」との記載及び図２の記載より、「保持桿２３１ａ」は「一対の回転板２３２に取り付けられ」たものであり、かつ摘記事項ｅの「保持桿２３１ａが基板９から離れた状態に回動すると、搬送ロボット１２０が基板９を回転ドラム２３０に対して出し入れ可能な状態となり、逆に、保持桿２３１ａが基板９に接するように回動すると基板９が回転ドラム２３０に対して固定される」との記載から、「（基板９を保持する）保持桿２３１に対して基板９を搬入出する際に開閉される」ものと言える。
　加えて、摘記事項ｆの「保持桿２３１の各溝に基板９が挿入されると・・・保持桿２３１ａを回動し、複数の基板９が回転ドラム２３０に固定される」との記載、及び、図２、３より、「回転ドラム２３０」は「複数の基板９を保持桿２３１の各溝に挿入した状態で略平行に保持する」ものと言える。
　また、摘記事項ｂの「蓋部２２０は基板９をチャンバ２１０内で保持する回転ドラム２３０と接続されており、蓋部２２０が上昇するとチャンバ２１０内の基板９が上昇してチャンバ２１０外へと導かれる」との記載、摘記事項ｆの「昇降駆動源２２１が蓋部２２０を上昇させ、保持桿２３１の溝のうち基板９を取り込む溝の高さをハンド１２１の高さに合わせる。この状態で、搬送ロボット１２０がキャリア９１から基板９を１枚取り出し、取り出した基板９を保持桿２３１の溝に挿入する」との記載、摘記事項ｈの「複数枚の基板９が一度に回転ドラム２３０へと搬送されてもよい」との記載、及び図３の記載より、回転ドラム２３０に対する「基板９の搬入出」が、蓋部２２０が上昇した状態、すなわち「チャンバ２１０の外部」で行われるものと理解できる。
　さらに、摘記事項ｅの「蓋部２２０内には保持駆動源２２８が設けられており、保持駆動源２２８からは操作軸２２８ａがチャンバ２１０側へと延びている」との記載、及び図２、３より、「操作軸２２８ａ」は「蓋部２２０の所定位置」に配置されていると言える。
　加えて、摘記事項ｄの「蓋部２２０はチャンバ２１０の上方の開口部を覆うように配置され、・・・蓋部２２０が上昇すると基板９は蓋部２２０とともにチャンバ２１０外へと取り出される」との記載及び図３の記載より、チャンバ２１０の上方の「開口部」が「（複数の基板９を保持した）回転ドラム２３０を進入退出させるため」のものであることは明らかであり、また、摘記事項ｄの「モータ２２３を駆動すると回転軸２２２が回転を行う」との記載及び摘記事項ｅの「回転軸２２２の下端は１対の回転板２３２の一方に接続されており、１対の回転板２３２は上下方向を向く複数の保持桿２３１により一体とされて回転ドラム２３０を構成する。・・・保持桿２３１が基板９を保持した状態でモータ２２３が作動すると基板９が回転軸２２２を中心に回転する」との記載より、「モータ２２３」が「回転ドラム２３０」を回転させていることも明らかである。
　また、摘記事項ｄの「蓋部２２０が下降した状態ではチャンバ２１０は密閉される」との記載及び図２の記載から、「蓋部２２０が下降した」状態すなわち「回転ドラム２３０をチャンバ２１０に収納した」状態では、「モータ２２３がチャンバ２１０の外部に位置する」ものであり、このとき「チャンバ２１０の開口部を密閉する」のであるから、「蓋部」は、「モータ２２３がチャンバ２１０の外部に位置するように回転ドラム２３０をチャンバ２１０に収納した際にチャンバ２１０の開口部を密閉する」ものと言える。
　また、摘記事項ｂの「蓋部２２０は・・・回転ドラム２３０と接続されており」との記載及び図２、３の記載より、「回転ドラム２３０」と「モータ２２３」と「蓋部２２０」とは、「一体構造を有している」ものと言える。
　
　したがって、上記記載事項及び図１〜３を総合すると、引用例１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　
　チャンバ２１０に貯留された処理液に基板９を浸漬して浸漬処理を行う基板処理装置であって、
　所定間隔で配置された１対の回転板２３２と、１対の回転板２３２の間に架設され、複数の基板９を各溝に挿入して所定間隔で保持する保持桿２３１と、一対の回転板２３２に取り付けられ、保持桿２３１に対して基板９を搬入出する際に開閉される保持桿２３１ａとを有し、複数の基板９を保持桿２３１の各溝に挿入した状態で略平行に保持する回転ドラム２３０と、
　基板９を保持した状態の回転ドラム２３０が収容され、処理液により基板９に各種薬液処理および洗浄処理を施すチャンバ２１０と、
　チャンバ２１０の外部において回転ドラム２３０に対する基板９の搬入出を行うために、蓋部２２０の所定位置に配置された、回転ドラム２３０の保持桿２３１ａを回動する操作軸２２８ａと、
　を具備し、
　チャンバ２１０の外部において、操作軸２２８ａにより保持桿２３１ａを回動して保持桿２３１の各溝に基板９が挿入されると、操作軸２２８ａにより保持桿２３１ａを回動して複数の基板９を回転ドラム２３０に固定し、回転ドラムに固定された基板９を下降させてチャンバ２１０内の処理液に浸漬する、基板処理装置であり、
　チャンバ２１０は回転ドラム２３０を進入退出させるための開口部を有し、
　回転ドラム２３０を回転させるモータ２２３と、モータ２２３がチャンバ２１０の外部に位置するように回転ドラム２３０をチャンバ２１０に収納した際にチャンバ２１０の開口部を密閉する蓋部２２０と、をさらに具備し、
　回転ドラム２３０とモータ２２３と蓋部２２０とが一体構造を有している、基板処理装置。
　
　
（２）同じく、原査定における、本件補正前の請求項７に係る発明に対する拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開平１１−２１４３４８号公報（以下「引用例２」という。）には、図面とともに次の技術事項が記載されている。
　
ｉ．「上記基板乾燥処理装置は、図２及び図３に示すように、上部に基板例えば半導体ウエハＷ（以下にウエハという）の搬入・搬出口２１を有し、下部には・・・乾燥処理室２０と、・・・乾燥処理室２０内に回転可能に配設される横軸型回転手段例えばロータ３０と、乾燥処理室２０の外部に配設され、ロータ３０を回転駆動するモータ３１と、ロータ３０に架設され、複数のウエハＷを上記ウエハ搬送チャック１９との間で起立整列状態で受渡し可能に保持する基板保持手段例えばウエハホルダ４０と、上記ウエハホルダ４０と係脱可能に係合し、このウエハホルダ４０をロータ３０に対して搬入・搬出する搬出入手段例えばウエハガイド５０とで主に構成されている。
　・・・乾燥処理室２０における搬入・搬出口２１の開口部付近には、図３及び図４に示すように、ロータ３０の上方からロータ３０の全域に向けて、洗浄液例えば純水を噴射可能な１又は複数（図面では２個の場合を示す）の洗浄液供給手段例えば純水供給ノズル８０が配設されている。・・・ウエハＷを保持したウエハホルダ４０をロータ３０に架設した状態で、純水供給ノズル８０のノズル体８１からウエハＷに向けて純水を噴射することにより、ウエハＷの洗浄処理を行うことも可能である。」（段落【0023】〜【0024】）
　
ｊ．「一方、上記ロータ３０は、図６に示すように、一対の円板３２と、これら円板３２の下部間を連結する複数例えば４本の連結棒３３とからなるロータ基部３４と、このロータ基部３４の円板３２の中心部に突設された回転軸３５と、ロータ３０に架設されるウエハホルダ４０にて保持される複数枚例えば５０枚のウエハＷの上部を押える押え機構３６とを具備してなり、上記回転軸３５を介して乾燥処理室２０内に水平に配設され、一方の回転軸３５に連結するモータ３１の駆動によって水平軸を中心として回転可能に形成されている。
　この場合、押え機構３６は、図３及び図６に示すように、
各円板３２の上部両側に回転自在に枢着される枢軸３６ａに取り付けられるアーム３６ｂと、これらアーム３６ｂの自由端部に水平状に突設すべく対峙するアーム３６ｂ間に架設される多数のＶ字状溝３７ａを列設した例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂製の押え部材３７
押え操作手段３８は、図１０に示すように、後述する固定機構４４の係脱操作手段例えば操作シリンダ４７の操作によって枢軸３６ａに係脱可能に連結して乾燥処理室２０の外側壁に設けられる揺動リンク３８ａと、この揺動リンク３８ａの自由端部を縦溝３９ａ内に摺動自在に嵌挿すると共に、乾燥処理室２０の外部に設けられた水平ガイド溝３８ｂ内に摺動自在に嵌挿される摺動子３９と、摺動子３９を水平ガイド溝３８ｂに沿って摺動するシリンダ３８ｃとで構成されている
　上記のように構成される押え機構３６において、シリンダ３８ｃを駆動すると、揺動リンク３８ａが回転（揺動）して枢軸３６ａ及びアーム３６ｂを回転すると共に、アーム３６ｂの自由端部に連結する
押え部材３７を、図９の二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に移動して、ウエハホルダ４０にて保持されたウエハＷの上部を押える
　上記固定機構４４は、上記枢軸３６ａを構成する段付円筒状の受部材４５と、この受部材４５に対して接離可能な係止部材４６と、係止部材４６を受部材４５に対して係脱移動する係脱操作手段例えば操作シリンダ４７とで主要部が構成されている。具体的には、図１３に示すように、受部材４５（枢軸３６ａ）は、ロータ３０の円板３２に突設される大径部４５ａと小径部４５ｂとからなる段付筒体にて形成されており、この受部材すなわち段付筒体４５の小径部４５ｂが、ロータ３０の円板３２に貫通状に固定された大径部４５ａと同径のブッシュ４８内に回転自在に嵌挿されている。また、段付筒体４５の段部における対向する２箇所に長孔状受溝４５ｃが設けられており、この
受溝４５ｃとブッシュ４８の先端の対向する２箇所に設けられた凹溝４８ａとが互いに合致し得る
係止部材４６は、段付筒体４５内に摺動自在に嵌挿され、スプリング４９ａの弾発力によって常時受部材４５から離隔する方向に位置する操作軸４９ｂの先端部に交差状に突設されており、スプリング４９ａの弾発力によって常時小径部４５ｂ側の受溝４５ｃとブッシュ４８の凹溝４８ａ内に係合されている（図１３及び図１４参照）。したがって、この状態では係止部材４６がロータ３０の円板３２に固着されたブッシュ４８に係合しているため、押え部材３７はウエハＷの上部を押えた状態にロックされる
　また、
操作シリンダ４７を駆動してピストンロッド４７ａを伸長して操作軸４９ｂをスプリング４９ａの弾発力に抗して突出することにより、係止部材４６がブッシュ４８の凹溝４８ａから押し出されて段付筒体４５の大径部４５ａ側の受溝４５ｃ内に移動する。したがって、この状態では押え部材３７のロック状態が開放され、アーム３６ｂは回転可能となり、押え部材３７によるウエハＷの押えは解除可能となる
この状態で、押え操作手段３８のシリンダ３８ｃを駆動することにより、アーム３８ｂを介して押え部材３７をウエハＷの上部押え位置から側方へ退避することができる
　
ｋ．「その後、・・・ウエハガイド５０が下降してウエハＷを保持した状態のウエハホルダ４０を乾燥処理室２０内のロータ３０に架設（図２４参照）した後、・・・ウエハホルダ４０がロータ３０に固定される一方、押え機構３６の作動によりウエハＷの上部が押え部材３７によって押えられる。また、蓋体２５が移動して乾燥処理室２０の搬入・搬出口２１を閉じた後、引寄せ機構２７の作動により蓋体２５が搬入・搬出口２１側に密接される（図２５参照）。
　その後、モータ３１の駆動によってロータ３０が回転して、ウエハＷに付着する水分が除去される。」（段落【0049】〜【0050】）
　
　そして、摘記事項ｊの「各円板３２の上部両側に回転自在に枢着される枢軸３６ａに取り付けられる・・・アーム３６ｂ間に架設される・・・押え部材３７」との記載、「押え部材３７を、図９の二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に移動して、ウエハホルダ４０にて保持されたウエハＷの上部を押えることができる」との記載、「アーム３８ｂを介して押え部材３７をウエハＷの上部押え位置から側方へ退避することができる」との記載及び図６、９より、「押え部材３７」は、「各円板３２に取り付けられ、（ウエハホルダ４０にて保持された）ウエハＷを搬入出する際に連結棒３３に対して開閉される」ものと言える。
　また、摘記事項ｊの「係止部材４６は、・・・スプリング４９ａの弾発力によって常時受部材４５から離隔する方向に位置する操作軸４９ｂの先端部に交差状に突設されており、スプリング４９ａの弾発力によって常時・・・ブッシュ４８の凹溝４８ａ内に係合され・・・、この状態では係止部材４６がロータ３０の円板３２に固着されたブッシュ４８に係合しているため、押え部材３７はウエハＷの上部を押えた状態にロックされる」との記載、「操作シリンダ４７を駆動してピストンロッド４７ａを伸長して操作軸４９ｂをスプリング４９ａの弾発力に抗して突出することにより、係止部材４６がブッシュ４８の凹溝４８ａから押し出され・・・、この状態では押え部材３７のロック状態が開放され・・・る」との記載、及び図１３〜１５より、「操作軸４９ｂ」は、「受部材４５から離隔する方向に位置する」状態すなわち「円板３２から突起した状態」で、「押え部材３７を閉じた状態にロックする」とともに、「ピストンロッド４７ａ」の伸長により「スプリング４９ａの弾発力に抗して突出」させられて「係止部材４６がブッシュ４８の凹溝４８ａから押し出され」る、すなわち「ピストンロッド４７ａ」により「円板３２側に押し込まれる」ことによって、「押え部材３７のロックを解除する」ものであると言える。
　加えて、摘記事項ｊの「押え操作手段３８は、・・・操作シリンダ４７の操作によって枢軸３６ａに係脱可能に連結して乾燥処理室２０の外側壁に設けられる揺動リンク３８ａと、・・・乾燥処理室２０の外部に設けられた水平ガイド溝３８ｂ内に摺動自在に嵌挿される摺動子３９と、・・・シリンダ３８ｃとで構成されている」との記載及び図１０、１３から、「操作シリンダ４７のピストンロッド４７ａ」及び「押え操作手段３８」は、乾燥処理室２０の外側壁付近に設けられるものであることが判る。
　また、摘記事項ｊの「押え部材３７のロック状態が開放され、・・・この状態で、押え操作手段３８のシリンダ３８ｃを駆動することにより、アーム３８ｂを介して押え部材３７をウエハＷの上部押え位置から側方へ退避することができる」との記載より、「押え操作手段３８」は、「押え部材３７のロックが解除されている状態において、押え部材３７が架設されたアーム３６ｂにアクセスして押え部材３７の開閉を行う」ものと言える。
　さらに、摘記事項ｊの「受溝４５ｃと・・・凹溝４８ａとが互いに合致し得るように構成されている」との記載、「係止部材４６は、・・・スプリング４９ａの弾発力によって常時受部材４５から離隔する方向に位置する操作軸４９ｂの先端部に交差状に突設され・・・スプリング４９ａの弾発力によって常時・・・ブッシュ４８の凹溝４８ａ内に係合され・・・、押え部材３７はウエハＷの上部を押えた状態にロックされる」との記載及び図１４から、「押え部材３７」を閉じる（すなわち受溝４５ｃと凹溝４８ａが合致する）と、スプリング４９ａの弾発力によって「係止部材４６」が「ブッシュ４８の凹溝４８ａ内」に係合されるとともに「操作軸４９ｂ」が「受部材４５から離隔する方向」に位置、すなわち「円板３２側から突出」して、「押え部材３７をロック状態とする」ものであることは明らかである。
　
　したがって、上記記載事項及び図６、９〜１５を総合すると、引用例２には、次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。
　
　ウエハＷの純水による洗浄処理を行うことが可能な乾燥処理室２０を有する、半導体ウエハＷの基板乾燥処理装置であって、
　一対の円板３２と、これら円板３２を連結する連結棒３３と、各円板３２に取り付けられ、ウエハＷを搬入出する際に連結棒３３に対して開閉される、アーム３６ｂ間に架設された押え部材３７と、円板３２から突起した状態で押え部材３７を閉じた状態にロックし、円板３２側に押し込まれることによって押え部材３７のロックを解除する操作軸４９ｂとを有し、複数のウエハＷを保持するロータ３０と、
　ウエハＷを保持した状態のロータ３０が収容され、その中で純水によりウエハＷに洗浄処理を行うことが可能な乾燥処理室２０と、
　乾燥処理室２０の外側壁付近に配置され、それぞれロータ３０の操作軸４９ｂ及びアーム３６ｂにアクセスして押え部材３７を開閉させる、ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８とを具備し、
　ピストンロッド４７ａは、操作軸４９ｂにアクセスして操作軸４９ｂを円板３２側に押し込み、押え部材３７のロック状態を解除するものであり、
　押え操作手段３８は、ピストンロッド４７ａによって押え部材３７のロックが解除されている状態において、押え部材３７が架設されたアーム３６ｂにアクセスして押え部材３７の開閉を行うものであって、
　ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８により押え部材３７を開にしてウエハＷをロータ３０に保持させ、その後、押え操作手段３８により押え部材３７を閉じ、操作軸４９ｂを円板３２側から突出させて押え部材３７をロック状態とする、基板乾燥処理装置。
　
　
３．対比
　
　本件補正発明と引用発明１とを対比する。
　
　引用発明１における「基板処理装置」は、「チャンバに貯留された処理液に基板を浸漬して浸漬処理を行う」のであるから、本件補正発明における、「基板に所定の液処理を施す液処理装置」に相当する。
　また、引用発明１における「１対の回転板２３２」は、本件補正発明における「２枚の板部材」に相当し、以下同様に、
「保持桿２３１」は「係止部材」に、
「保持桿２３１ａ」は「ホルダー」に、
「回転ドラム２３０」は「保持手段」に、
「チャンバ２１０」は「チャンバ」に、
「操作軸２２８ａ」は「ホルダー開閉機構」に、
「開口部」は「搬入出口」に、
「密閉する」は「閉塞する」に、
「蓋部２２０」は「蓋体」に、
それぞれ相当している。
　
　そして、引用発明１における「保持桿２３１」は、「複数の基板９を各溝に挿入して所定間隔で保持する」のであるから、本件補正発明の「係止部材」と同様、（溝により）「複数の基板を所定間隔で
係止する
係止された
　また、引用発明１の「チャンバ２１０」は、「基板９を保持した状態の回転ドラム２３０が収容され、処理液により基板９に各種薬液処理および洗浄処理を施す」ものであるから、本件補正発明における「チャンバ」と同様、「基板を保持した状態の保持手段（回転ドラム２３０）が収容され、その中で所定の処理液により基板に液処理を行う」ものと言える。
　加えて、引用発明１における「保持桿２３１ａを回動して保持桿２３１の各溝に基板９が挿入される」ことは、その構成及び機能からみて本件補正発明における「ホルダーを開にして基板を前記保持手段に保持させ」ることと同義であり、また、「保持桿２３１ａを回動して複数の基板９を回転ドラム２３０に固定」することは、「ホルダーを閉じ」ることと同義であり、さらに「回転ドラムに固定された基板９を下降させてチャンバ２１０内の処理液に浸漬する」ことは、「保持手段を処理チャンバに挿入する」ことと同義である。
　さらに、引用発明１における「操作軸２２８ａ」は、「回転ドラム２３０の保持桿２３１ａ」と係合してこれを回動することによって「基板９を回転ドラム２３０に対して出し入れ可能な状態」とする（摘記事項ｅ参照）のであるから、本件補正発明の「ホルダー開閉機構」と「保持手段（回転ドラム２３０）にアクセスしてホルダー（保持桿２３１ａ）を開閉させる機構」である点で共通するとともに、本件補正発明の「ホルダー駆動機構」とは、「ホルダー（保持桿２３１ａ）にアクセスしてホルダー（保持桿２３１ａ）の開閉を行うための駆動機構」である点で共通するものである。
　
　すると、本件補正発明と引用発明１とは、次の一致点及び相違点を有するものである。
　
＜一致点＞
　基板に所定の液処理を施す液処理装置であって、
　所定間隔で配置された２枚の板部材と、前記板部材の間に架設され、複数の基板を所定間隔で係止する係止部材と、前記板部材に取り付けられ、前記係止部材に対して基板を搬入出する際に開閉されるホルダーと、を有し、複数の基板を前記係止部材で係止された状態で略平行に保持する保持手段と、
　基板を保持した状態の前記保持手段が収容され、その中で所定の処理液により基板に液処理を行うチャンバと、
　前記チャンバの外部において前記保持手段に対する基板の搬入出を行うために、所定位置に配置された、前記保持手段にアクセスして前記ホルダーを開閉させる機構と、
　を具備し、
　前記ホルダーを開閉させる機構は、
　前記ホルダーにアクセスして前記ホルダーの開閉を行うための駆動機構を有し、
　前記チャンバの外部において、前記ホルダーを開閉させる機構により前記ホルダーを開にして基板を前記保持手段に保持させ、その後、前記ホルダーを開閉させる機構により前記ホルダーを閉じ、その状態で前記保持手段を前記処理チャンバに挿入することを特徴とする液処理装置であり、
　前記チャンバは前記保持手段を進入退出させるための搬入出口を有し、
　前記保持手段を回転させるモータと、前記モータが前記チャンバの外部に位置するように前記保持手段を前記チャンバに収納した際に前記搬入出口を閉塞する蓋体と、をさらに具備し、
　前記保持手段と前記モータと前記蓋体とが一体構造を有していることを特徴とする、液処理装置。
　
＜相違点＞
1) 「保持手段（回転ドラム２３０）」が、本件補正発明では、「板部材に
　設けられ、前記板部材から突起した状態でホルダーを閉じた状態にロック
　し、前記板部材に押し込まれた状態で前記ホルダーのロックを解除するピ
　ン部材」を有しており、「ホルダーを閉じ、ピン部材を突出させて前記ホ
　ルダーをロック状態とし、その状態で保持手段を処理チャンバに挿入する
　」のに対し、引用発明１では、そのような「ピン部材」を有さず、「ホル
　ダー（保持桿２３１ａ）を閉じ」てもホルダーがロック状態とされない点
　。
2) 「ホルダーを開閉させる機構」が、本件補正発明では、「ピン部材にア
　クセスして前記ピン部材を板部材側に押し込み、ホルダーのロック状態を
　解除するロック解除機構」と「ロック解除機構によってホルダーのロック
　が解除されている状態において前記ホルダーにアクセスして前記ホルダー
　の開閉を行うホルダー駆動機構」とを有する「ホルダー開閉機構」である
　のに対し、引用発明１では、「ホルダー（保持桿２３１ａ）にアクセスし
　て前記ホルダーの開閉を行うための駆動機構」としての「操作軸２２８ａ
　」のみを有し、そのような「ロック解除機構」を有さない点。
3) 「ホルダーを開閉させる機構（ホルダー開閉機構／操作軸２２８ａ）」
　が、本件補正発明の「ホルダー開閉機構」は「チャンバの外部の所定位置
　」に配置されているのに対し、引用発明１の「操作軸２２８ａ」は「蓋部
　２２０の所定位置」に配置されている点。
　
　
４．当審の判断
　
　上記相違点について検討する。
　
＜相違点 1)、2) について＞
　本件補正発明と引用発明２とを対比する。
　引用発明２における「ウエハＷ」は、本件補正発明における「基板」に相当し、以下同様に、
「ウエハＷの純水による洗浄処理を行うことが可能な乾燥処理室２０を有する、半導体ウエハＷの基板乾燥処理装置」は「基板に所定の液処理を施す液処理装置」に、
「一対の円板３２」は「２枚の板部材」に、
「アーム３６ｂ間に架設された押え部材３７」は「ホルダー」に、
「操作軸４９ｂ」は「ピン部材」に、
「純水によりウエハＷに洗浄処理を行うことが可能な乾燥処理室２０」は「所定の処理液により基板に液処理を行うチャンバ」に、
「ピストンロッド４７ａ」は「ロック解除機構」に、
「押え操作手段３８」は「ホルダー駆動機構」に、
それぞれ相当している。
　
　また、引用発明２における「円板３２を連結する連結棒３３」と、本件補正発明における「板部材の間に架設され、複数の基板を所定間隔で係止する係止部材」とは、「板部材（円板３２）の間に架設される部材」である点で共通し、以下同様に、
「複数のウエハＷを保持するロータ３０」と「複数の基板を係止部材で係止された状態で略平行に保持する保持手段」とは、「複数の基板（ウエハＷ）を保持する手段」である点で共通し、
「ロータ３０の操作軸４９ｂ及びアーム３６ｂにアクセスして押え部材３７を開閉させる、ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８」と「保持手段にアクセスしてホルダーを開閉させるホルダー開閉機構」とは、「複数の基板（ウエハＷ）を保持する手段にアクセスしてホルダー（押え部材３７）を開閉させるホルダー開閉機構」である点で共通している。
（なお、（　）内は引用発明２の用語を記す。）
　
　したがって、引用発明２を本件補正発明の用語を用いて記載すると次のようになる。
　
　基板（ウエハＷ）に所定の液処理を施す液処理装置（基板乾燥処理装置）であって、
　所定間隔で配置された２枚の板部材（円板３２）と、前記板部材（円板３２）の間に架設される部材（連結棒３３）と、前記板部材（円板３２）に取り付けられ、前記架設される部材（連結棒３３）に対して基板（ウエハＷ）を搬入出する際に開閉されるホルダー（アーム３６ｂ間に架設された押え部材３７）と、前記板部材（円板３２）に設けられ、前記板部材（円板３２）から突起した状態で前記ホルダー（押え部材３７）を閉じた状態にロックし、前記板部材（円板３２）側に押し込まれることによって前記ホルダー（押え部材３７）のロックを解除するピン部材（操作軸４９ｂ）とを有し、複数の基板（ウエハＷ）を保持する手段（ロータ３０）と、
　基板（ウエハＷ）を保持した状態の前記保持する手段（ロータ３０）が収容され、その中で所定の処理液により基板（ウエハＷ）に液処理を行うチャンバ（乾燥処理室２０）と、
　前記保持する手段（ロータ３０）に対する基板（ウエハＷ）の搬入出を行うために、前記チャンバ（乾燥処理室２０）の外側壁付近に配置された、前記保持する手段（ロータ３０）にアクセスして前記ホルダー（アーム３６ｂ間に架設された押え部材３７）を開閉させるホルダー開閉機構（ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８）と、
　を具備し、
　前記ホルダー開閉機構（ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８）は、
　前記ピン部材（操作軸４９ｂ）にアクセスして前記ピン部材（操作軸４９ｂ）を前記板部材（円板３２）側に押し込み、前記ホルダー（押え部材３７）のロック状態を解除するロック解除機構（ピストンロッド４７ａ）と、
　前記ロック解除機構（ピストンロッド４７ａ）によって前記ホルダー（押え部材３７）のロックが解除されている状態において前記ホルダー（押え部材３７が架設されたアーム３６ｂ）にアクセスして前記ホルダー（押え部材３７）の開閉を行うホルダー駆動機構（押え操作手段３８）とを有し、
　前記ホルダー開閉機構（ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８）により前記ホルダー（押え部材３７）を開にして基板（ウエハＷ）を前記保持する手段（ロータ３０）に保持させ、その後、前記ホルダー開閉機構（押え操作手段３８）により前記ホルダー（押え部材３７）を閉じ、前記ピン部材（操作軸４９ｂ）を板部材（円板３２）側から突出させて前記ホルダー（押え部材３７）をロック状態とする液処理装置（基板乾燥処理装置）。
　
　そして、引用発明１と引用発明２とは、複数の基板に所定の液処理を行う液処理装置という、共通の技術分野に属しており、かつ、その構成においても、基板を保持する手段（回転ドラム２３０／ロータ３０）のホルダー（保持桿２３１ａ／押え部材３７）をホルダー開閉機構（操作軸２２８ａ／ピストンロッド４７ａ及び押え操作手段３８）により開にして、基板（基板９／ウエハＷ）を保持する手段に保持させ、その後ホルダー開閉機構によりホルダーを閉じ、処理チャンバ（チャンバ２１０／乾燥処理室２０）内で所定の液処理が施される点で共通している。（なお、（　）内の前者は引用発明１の、後者は引用発明２の用語を記す。）
　一方、上記のような構成を備えた基板の液処理装置において、基板の保持を確実にして誤動作を防止することは、当該技術分野における周知の技術的課題である（必要であれば、実願平３−７７６６２号（実開平５−２３５３０号）のＣＤ−ＲＯＭの段落【0037】、【0038】等参照）から、引用発明１において、ホルダー（保持桿２３１ａ）による基板の保持をより確実にするために、引用発明２の「ピン部材」を「保持手段（回転ドラム２３０）」に設けて、ホルダーを閉じるとホルダーがロック状態となるようにし、かつホルダーを開閉させる機構に「ロック解除機構」を設けて、ロック解除機構によってホルダーのロックが解除した状態でホルダー駆動機構によりホルダーの開閉を行うものとして、相違点1)、2)に係る構成を備えさせることは、当業者であれば容易に想到し得るものである。
　
　
＜相違点 3)について＞
　本件補正発明において、「ホルダー開閉機構」を「チャンバの外部の所定位置」に配置したのは、「チャンバの外部において」基板を保持手段に保持させるためであるところ、引用発明１においても、基板はチャンバの外部において保持手段（回転ドラム２３０）に保持されるものであり、「ホルダーを開閉させる機構（操作軸２２８ａ）」はチャンバとは別体とされた蓋部２２０の所定位置に設けられるとともにチャンバの外部において操作されるものとされているから、引用発明１に引用発明２を組み合わせる際に、「ロック解除機構」と「ホルダー駆動機構」を有する「ホルダー開閉機構」を、「チャンバの外部の所定位置」に配置することは、当業者が適宜為し得る程度の設計的事項である。
　
　
　そして、本件補正発明が奏する作用効果についてみても、引用発明１、２から、当業者が予測し得る程度のものである。
　
　
５．結び
　
　以上のとおり、本件補正発明は、引用発明１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定に違反し、特許出願の際独立して特許を受けることができないから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定する要件を満たさないものであり、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
　
第３　本願発明について
　
１．本願発明
　
　平成１９年４月９日の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１及び請求項７に係る発明は、平成１７年２月２１日の手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項７に記載された事項により特定されるとおりのものであって、請求項１を引用した請求項７に係る発明を、引用形式を用いずに記載すると、次のようになる。（以下「本願発明」という。）
　
「基板に所定の液処理を施す液処理装置であって、
　所定間隔で配置された２枚の板部材と、複数の基板を所定間隔で保持するために前記板部材の間に架設された係止部材と、前記板部材に取り付けられ、前記係止部材に対して基板を搬入出する際に開閉されるホルダーと、前記板部材に設けられ、前記板部材から突起した状態で前記ホルダーを閉じた状態にロックし、前記板部材に押し込まれた状態で前記ホルダーのロックを解除するピン部材とを有し、複数の基板を所定の間隔で略平行に保持する保持手段と、
　前記保持手段に保持された基板に所定の処理液を供給して液処理を行うチャンバと、
　前記チャンバの外部において前記保持手段に対する基板の搬入出を行うために、前記チャンバの外部の所定位置に配置された前記保持手段にアクセスして前記ホルダーを開閉させるホルダー開閉機構と、
　を具備し、
　前記ホルダー開閉機構は、
　前記ピン部材にアクセスして前記ピン部材を前記板部材側に押し込み、前記ホルダーのロック状態を解除するロック解除機構と、
　前記ロック解除機構によって前記ホルダーのロックが解除されている状態において前記ホルダーにアクセスして前記ホルダーの開閉を行うホルダー駆動機構と、
　を有することを特徴とし、
　前記チャンバは前記保持手段を進入退出させるための搬入出口を有し、
  前記保持手段を回転させるモータと、前記モータが前記チャンバの外部に位置するように前記保持手段を前記チャンバに収納した際に前記搬入出口を閉塞する蓋体と、をさらに具備し、
　前記保持手段と前記モータと前記蓋体とが一体構造を有していることを特徴とする液処理装置。」
　
　
２．引用例
　
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、及びその記載事項は、前記「第２〔理由〕２．」に記載したとおりである。
　
　
３．対比・判断
　
　本願発明は、前記「第２〔理由〕」で検討した本件補正発明から、「係止部材」についての「（複数の基板を）係止する」との限定、「保持部材」についての「（複数の基板を）係止部材で係止された状態で（保持する）」との限定、「チャンバ」についての「保持手段が収容され」るとの限定、及び、「ホルダー開閉機構」及び「保持手段」についての、「チャンバの外部において、前記ホルダー開閉機構により前記ホルダーを開にして基板を前記保持手段に保持させ、その後、前記ホルダー開閉機構により前記ホルダーを閉じ、前記ピン部材を突出させて前記ホルダーをロック状態とし、その状態で前記保持手段を前記処理チャンバに挿入する」との限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記「第２〔理由〕４．」に記載したとおり、引用発明１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用発明１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
４．むすび
　
　以上のとおり、本願発明は、引用発明１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、他の請求項について検討するまでもなく、本願は、特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。