【事件の表示】
　特願２００２−１６０９１４「荷電粒子ビーム軸の調整方法及び荷電粒子ビーム応用機器」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　１月　８日出願公開、特開２００４−　　６１６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１４年６月３日に出願された特願２００２−１６０９１４号であって、平成１８年７月２１日付けで拒絶理由通知がされ、同年９月２５日付けで手続補正がされ、平成１９年１月５日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年２月１５日付けで審判請求がされたものである。
　
第２　本願発明
　本願発明は、「荷電粒子ビーム軸の調整方法及び荷電粒子ビーム応用機器」に関するものであり、平成１８年９月２５日付け手続補正により補正された本願明細書の特許請求の範囲には、以下のとおり記載されている。
「【請求項１】　荷電粒子ビームを発生する発生源と、前記発生源からの荷電粒子ビームを縮小結像させる２段以上のレンズと、前記発生源と１段目のレンズとの間及び前記各レンズ間にそれぞれ配置されて荷電粒子ビーム軌道を偏向できるアライメントコイルとを備えた機器で前記アライメントコイルの励起により荷電粒子ビーム軸を調整する方法において、
　ソフト上で複数個の偏向モードの偏向強度にあらかじめ決められた係数行列を掛け算して前記各アライメントコイルの励起強度を求め、
　それに応じて前記各アライメントコイルを励起することを特徴とする荷電粒子ビーム軸の調整方法。
　【請求項２】　荷電粒子ビームを発生する発生源と、前記発生源からの荷電粒子ビームを縮小結像させる２段以上のレンズと、前記発生源と１段目のレンズとの間及び前記各レンズ間にそれぞれ配置されて荷電粒子ビーム軌道を偏向できるアライメントコイルと、
前記アライメントコイルを励起して荷電粒子ビーム軸を調整する制御部とを備えた機器において、
　前記制御部は複数個の偏向モードの偏向強度にあらかじめ決められた係数行列を掛け算して前記各アライメントコイルの励起強度を求めるプログラムを備えていることを特徴とする荷電粒子ビーム応用機器。」
　
第３　原査定の理由の概要
　原査定の拒絶の理由が記載された平成１８年７月２１日付け拒絶理由通知書には、次のとおりに記載されている。
　
「この出願は、次の理由によって拒絶をすべきものである。これについて意見があれば、この通知書の発送の日から６０日以内に意見書を提出して下さい。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　理　由
　
　この出願は、明細書及び図面の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項及び第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
・請求項１−２
（１）請求項１−２に記載の「偏向モード強度」について、発明の詳細な説明を鑑みても「偏向モード強度」として偏向モードの何を用いるか不明である。段落【００１７】に記載の「各偏向モードｋの偏向強度」Ｐｋについても同様である。
（２）段落【００１７】−【００１９】について、偏向強度Ｐｋや、係数行列の係数α、β、β'、γに具体的にどのような値を用いるのか不明であるので、請求項１−２に係る発明を実施するために、当業者に過度な試行錯誤を要するものと認められる。
（３）段落【００１９】に記載の「偏向強度比」とは何か、不明である。また、「各モードの励起強度」とは何か、前記「偏向強度比」との関係が不明である。
　
　なお、この出願は、出願内容が著しく不明確であるから、請求項１−２に係る発明については、新規性、進歩性等の特許要件についての審査を行っていない。」
　
第４　当審の判断
（あ）拒絶の理由の（１）について
　請求人は平成１８年９月２５日付けで提出した意見書において、「偏向強度Ｐkについては上の（１）に述べましたように明らかであると考えますが、例えば段落［００１７］に例示されているように、モード１をシフトモードとすると段落［００１８］の（１）式中の偏向強度Ｐ1は電子ビーム変位量となり、モード２，３，４をそれぞれチルトモード、複合ピボットモード、下流ピボットモードとすると（１）式中の偏向強度Ｐ2，Ｐ3，Ｐ4はそれぞれ電子ビームの偏向角となります。」と主張し、同日付けで提出した手続補正書により、請求項１−２に記載の「偏向モード強度」を「偏向モードの偏向強度」と補正した。また、請求人は平成１９年４月２７日付けで提出した請求の理由において、「原審査官殿は、「偏向強度」との用語が「偏向ビームの変位量または偏向角を指していることは、当業者が出願時の技術常識に基づいても自明とは言えない。」と判断され記載不備と判断されております。しかしながら、判断者はあくまでも、本願発明と同じ電子顕微鏡に従事する技術者であり、且つ荷電ビーム軸を調整するためのアライメントコイルという極めて常套な手段において、ビーム軸の軌道を偏向（方向調整）のためのコイル励起（電流印加）に係る説明において、「偏向強度」との用語が「偏向ビームの変位量または偏向角を指す」ことは極めて自明であるとしか言いようがありません。ビームに関して「偏向」と言えば「ビームの進行方向（角度）を変える」との意味であり、「強度」とは事象の程度を表す一般的用語であります。本願の図１乃至図４を参照しつつ本願明細書の説明記載を当該電子顕微鏡の技術分野に従事する者が読み進むに際して、ビーム軸の方向調整に関する「偏向強度」との用語が「偏向ビームの変位量または偏向角を指す」ことは普通に当業者常識であり「著しく不明瞭である」とのご認定は承服しかねるところです。」と主張している。
　
　そこで、段落【００１７】の記載を参照すると、段落【００１７】には、「仮に図１のような電子光学系でモード１が「上流シフト」、モード２が「チルト」、モード３が「複合ピボット」、モード４が「下流ピボット」であったとしよう。」という記載があり、「偏向モード」には、「上流シフト」、「チルト」、「複合ピボット」および「下流ピボット」というモードがあることが読み取れる。そして、出願人の上記主張から、「偏向モードの偏向強度」とは「偏向モード」における「偏向ビームの変位量または偏向角」のことであると認められる。
　
　しかし、「上流シフト」、「チルト」、「複合ピボット」および「下流ピボット」とはそれぞれ如何なるモードであるのか発明の詳細な説明には何等記載がなく、「上流シフト」において「偏向ビームの変位量」とはどのように定義された「変位量」であるのか、発明の詳細な説明には何等記載がなく、また、「チルト」、「複合ピボット」および「下流ピボット」において「偏向ビームの」「偏向角」とはどのように定義された「偏向角」であるのか、発明の詳細な説明には何等記載がないために、「偏向モードの偏向強度」とは如何なる物理量であるのか、依然として不明確である。
　
　よって、請求項１および２に係る発明は明確でない。
　
（い）拒絶の理由の（２）について
　請求項１および２に係る発明に関連して、発明の詳細な説明には、段落【００１８】において、「偏向器であるアライメントレンズＡＬ１〜ＡＬ４への電流」Ｉmを「各偏向モードｋの偏向強度」Ｐkから行列計算で求めることが記載されており、段落【００１９】には、前記行列計算において用いられる行列のα、β、β'等のパラメータについて、「α、β、β'等のパラメータにはアライメントコイル配置などを考慮して適当な値を入れる。」と記載されている。しかし、段落【００１９】における「適当な値」とは如何なる値であるのか不明確であるために、α、β、β'、γのパラメータとして如何なる値を入れるのか、本願明細書の記載からは当業者といえども容易に決定できるものではない。
　また、請求人は平成１８年９月２５日付けで提出した意見書において、「係数α、β、β'、γは段落［００１９］に記載されているように、アライメントコイル配置や実現したい偏向モードから計算によって求めるものです。この計算は、アライメントレンズＡＬ１〜ＡＬ４への電流Ｉmと各偏向モードの偏向強度との間に（１）式の関係が成立するように、それらの係数を求めることであるので、当業者であれば容易に求めることのできるものであるということができます。」と主張し、平成１９年４月２７日付けで提出した請求の理由において、「また、「（１）式におけるIｍは電流であるから、係数α、β、β’、γによって異なる単位同士を如何にして結びつけるのか、不明である。例えば、段落００１７に記載の例において、I１＝Ｐ１＋（１＋α）Ｐ２−Ｐ３により決定されることになるが、上記仮定が正しければＰ１は変位量、Ｐ２、Ｐ３は角度の単位を有する量であるため、I１とは如何なる物理量であるか明確でない。また異なった単位を如何にして足し合わせるのか、明確でない。」との指摘がなされている点については、Iｍが電流を指すことは段落００１７に記載の通りであり、一方でマトリックスの要素は無次元量ではなく、Ｐｋ、Iｍをつなぐために必要な次元を持った量であることは証明を要しません。例えば、色々な物理量ｘを電気信号ｖ（電圧）に変換するセンサーを考えた場合、ｘとｖの間に「ｖ＝ｋｘ」という線形の関係式が成り立つと言えば、比例係数ｋが物理量変換のための適当な次元を持った定数であることは証明を要さず暗黙に了解されるところであり、本願においても同様です。」と主張している。しかしながら、ＩmとＰkをどのように設定してα、β、β'、γのパラメータを求めるのか、発明の詳細な説明には何等具体的な記載がない。さらに、上記（あ）において検討したように、「上流シフト」、「チルト」、「複合ピボット」および「下流ピボット」とはそれぞれ如何なるモードであるのか発明の詳細な説明には何等記載がなく、「上流シフト」において「偏向ビームの変位量」とはどのように定義された「変位量」であるのか、発明の詳細な説明には何等記載がなく、また、「チルト」、「複合ピボット」および「下流ピボット」において「偏向ビームの」「偏向角」とはどのように定義された「偏向角」であるのか、発明の詳細な説明には何等記載がないために、「偏向モードの偏向強度」とは如何なる物理量であるのかが不明確であるので、発明の詳細な説明はＰk として如何なる値を設定するのかが当業者が実施することができる程度に明確かつ十分に記載したものとはなっていない。
　したがって、α、β、β'、γのパラメータの決定について当業者に過度な試行錯誤を要求するものである。
　そもそも、ＩmとＰkの間に何故線形の関係式である（１）式の関係が成立するといえるのか不明であるために、α、β、β'、γのパラメータを求めることが何故可能であるのか不明である。
　なお、発明の詳細な説明には、電子光学系が２段レンズを含む場合について記載されているのみであって、電子光学系が３段以上のレンズを含む場合には、「偏向モード」には如何なるモードがあるのか、前記「偏向モード」における「偏向強度」とは如何なる物理量であるのか、ＩmとＰkの間には如何なる関係式が成立するのか、および、前記関係式が如何なるパラメータを含むのかについて何等記載がなく、また、ＩmとＰkの間に成立する関係式に含まれるパラメータをどのように決定するのかについても何等記載がないので、当業者に過度な試行錯誤を要求するものである。
　
　したがって、発明の詳細な説明の記載が、当業者が請求項１および２に係る発明を実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものとはなっていない。
　
第５　むすび
　したがって、本願は、特許法第３６条第６項第２号及び第４項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
　よって、結論のとおり審決する。