(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣテスタのテストヘッドに搭載されるパフォーマンスボードを押しつけるＩＣテスタのクランプ機構において、
パフォーマンスボードを押さえるボード押さえ部は、対向配置された一対の押さえプレートを含み、
これら押さえプレートは連結手段により相補的に摺動可能に連結されたことを特徴とするＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項２】
ＩＣテスタのテストヘッドに搭載されるパフォーマンスボードを押しつけるＩＣテスタのクランプ機構において、
相対する両端が連結プレートにより連結され、溝を設けた第１および第２の押さえベースと、
前記溝に摺動可能に収納された第１および第２の押さえプレートと、
一方の押さえプレートを摺動させると他方を逆方向に摺動させる連結手段と、を有し、
前記第１および第２の押さえプレートは連結穴を具備し、このプレートの摺動により前記連結穴はテストヘッド本体部の引き込みピンと係合することを特徴とするＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項３】
前記連結手段は前記第１および第２の押さえプレートの相対する一端または両端をリンクにより連結した構成になっていることを特徴とする請求項２記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項４】
前記連結穴は大径穴と小径穴を連結させて構成したことを特徴とする請求項２記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項５】
前記第１または第２の押さえプレートの少なくとも一方に操作レバーを設けたことを特徴とする請求項２または請求項３記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項６】
前記連結プレートは空胴部を有し、前記リンクは空胴部内に配置されることを特徴とする請求項２記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項７】
前記連結プレートは運搬用の取っ手を有することを特徴とする請求項２または請求項６記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項８】
前記取っ手の上部は、第１および第２の押さえベースの上面よりも低い位置にあることを特徴とする請求項７記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項９】
ＩＣテスタのテストヘッドに搭載されるパフォーマンスボードを押しつけるＩＣテスタのクランプ機構において、
強化樹脂材により、略中空方形状に成形され、向い合う一対の辺にそれぞれ溝が設けられた押さえベースと、
前記溝に摺動可能に収納された第１および第２の押さえプレートと、
一方の押さえプレートを摺動させると他方を逆方向に摺動させる連結手段と、を有し、
前記第１および第２の押さえプレートは連結穴を具備し、このプレートの摺動により前記連結穴はテストヘッド本体部の引き込みピンと係合することを特徴とするＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１０】
前記溝には、複数の軸受け部が軸支され、
前記第１および第２の押さえプレートには、この押さえプレートの摺動方向に長手方向を合わせた小判穴を複数設け、
この小判穴に前記軸受け部が移動自在に挿入されることを特徴とする請求項９記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１１】
前記押さえプレートの端部付近に配置された前記小判穴と前記軸受け部との隙間に対して、他に配置された前記小判穴と前記軸受け部との隙間を広くしたことを特徴とする請求項１０記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１２】
前記連結手段は前記第１および第２の押さえプレートの相対する一端または両端をリンクにより連結した構成になっていることを特徴とする請求項９記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１３】
前記連結穴は大径穴と小径穴を連結させて構成したことを特徴とする請求項９記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１４】
前記第１または第２の押さえプレートの少なくとも一方に操作レバーを設けたことを特徴とする請求項９、請求項１０または請求項１２に記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１５】
空胴構造になっていて、前記一対の辺の両端同志を連結する連結プレートを設け、
前記リンクは少なくとも一方の連結プレートの空胴内に配置されることを特徴とする請求項１２に記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１６】
前記連結プレートは運搬用の取っ手を有することを特徴とする請求項１５記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【請求項１７】
前記取っ手の上部は、押さえベースの上面よりも低い位置にあることを特徴とする請求項１６記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ、ＬＳＩ等を試験するＩＣテスタに搭載されるパフォーマンスボードを押し付けるＩＣテスタのクランプ機構に関し、特にその操作性の改善に関するものである。
【従来の技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、ＩＣ、ＬＳＩ等の被検査ＩＣに試験信号を与え、被検査ＩＣからの出力により、良否の判定を行うものである。
従来、このようなＩＣテスタには検査ＩＣとテストヘッド間で信号のやり取りを行うためのパフォーマンスボードが搭載され、そのパフォーマンスボードをテストヘッドに取付け電気的導通を確保するためにクランプ機構が適用される。
その概略の構成図を示し説明する。
【０００３】
図６は、従来例におけるＩＣテスタのテストヘッドのクランプ機構の概略を示した構成図である。
図６において、本体部３１は被検査ＩＣ（図示せず）の各端子にテスト信号を送るピンエレクトロニクス回路が収容され、その回路の信号入出力の端子となる弾性を有したコンタクトピン（図示せず）が上向きに配置されている。
パフォーマンスボード３２は下面に電極パッドが形成されており、本体部３１の上からその電極パッドが上記のコンタクトピンと接触するように配置される。ボード押さえ部３３は連結穴（図示せず）を有し、パフォーマンスボード３２の上からその連結穴と本体部１の引き込みピン３４により連結される。引き込みピンには本体部３１から引き込み力が加わりパフォーマンスボード３２を本体部３１に引き付ける。これによりパフォーマンスボード３２は弾性を有したコンタクトピンに押付けられ、コンタクトピンの反発力を伴い電気的導通が確保される。
【０００４】
ここで従来のクランプ機構におけるボード押さえ部について説明する。
図７は従来のボード押さえ部の一例を示した構成図である。
図７において（ａ）はボード押さえ部の平面図であり、（ｂ）はボード押さえ部とその下にパフォーマンスボード３２を配置した時の側面図である。
（ａ）において円形の押さえベース４１には溝が設けられている。押さえプレート４２は、連結穴４４が設けられており押さえベース４１の溝に位置決めされ収納される。この溝の少なくとも一部には穴が開いていて、引き込みピン３４はこの穴を貫通して溝から突出している。連結穴４４は、大径穴と小径穴を連結させた構成になっている。操作レバー４３は押さえプレート４２に取付けられ、操作レバー４３に水平方向の力を加えることにより、押さえプレート４２を押さえベース４１の溝に沿って摺動させる。
（ｂ）において引き込みピン３４（テストヘッド本体部側に具備されている）には係合溝が設けらており、押さえプレート４２にある連結穴４４の大径部に通される。押さえプレート４２を摺動させることにより引き込みピン３４の係合溝と連結穴４４の小径部とが係合する。これによりボード押さえ部とテストヘッド本体部が連結される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図７の従来例では次の問題点があった。
ボード押さえ部の上にはハンドラ等の他の装置が接近するので、高さ方向に対する部品配置等の厳しい制限がある。また、一回のレバー操作で複数の引き込みピンと連結穴の係合を実現するため上述の円形構造となっている。
従って、これらの条件によりボード押さえ部を構成する押さえベースおよび押さえプレートは、それぞれ一体部品で中抜き構造とし部品間の連結部を無くすことで高さ制限および円形構造に対応している。
このため部品製造時に材料の不要部分が発生し材料コストが高くなる。コストを削減するため構成部品の形状を分割単純化しようとすれば、ボード押さえ部の形状を方形構造等の円形以外にしなければならず、円形以外の構造にすると従来行われていた一回のレバー操作による複数の引き込みピンと連結穴の係合ができなくなるという問題があった。
【０００６】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、ボード押さえ部の形状が円形以外の場合であっても、一回のレバー操作によりテストヘッド本体部と連結できコスト削減したＩＣテスタのクランプ機構を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は次の通りの構成になったＩＣテスタのクランプ機構である。
【０００８】
（１）ＩＣテスタのテストヘッドに搭載されるパフォーマンスボードを押しつけるＩＣテスタのクランプ機構において、
パフォーマンスボードを押さえるボード押さえ部は、対向配置された一対の押さえプレートを含み、
これら押さえプレートは連結手段により相補的に摺動可能に連結されたことを特徴とするＩＣテスタのクランプ機構。
（２）ＩＣテスタのテストヘッドに搭載されるパフォーマンスボードを押しつけるＩＣテスタのクランプ機構において、
相対する両端が連結プレートにより連結され、溝を設けた第１および第２の押さえベースと、
前記溝に摺動可能に収納された第１および第２の押さえプレートと、
一方の押さえプレートを摺動させると他方を逆方向に摺動させる連結手段と、を有し、
前記第１および第２の押さえプレートは連結穴を具備し、このプレートの摺動により前記連結穴はテストヘッド本体部の引き込みピンと係合することを特徴とするＩＣテスタのクランプ機構。
（３）前記連結手段は前記第１および第２の押さえプレートの相対する一端または両端をリンクにより連結した構成になっていることを（２）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（４）前記連結穴は大径穴と小径穴を連結させて構成したことを特徴とする（２）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（５）前記第１または第２の押さえプレートの少なくとも一方に操作レバーを設けたことを特徴とする（２）または（３）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（６）前記連結プレートは空胴部を有し、前記リンクは空胴部内に配置されることを特徴とする（２）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（７）前記連結プレートは運搬用の取っ手を有することを特徴とする（２）または（６）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（８）前記取っ手の上部は、第１および第２の押さえベースの上面よりも低い位置にあることを特徴とする（７）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（９）ＩＣテスタのテストヘッドに搭載されるパフォーマンスボードを押しつけるＩＣテスタのクランプ機構において、
強化樹脂材により、略中空方形状に成形され、向い合う一対の辺にそれぞれ溝が設けられた押さえベースと、
前記溝に摺動可能に収納された第１および第２の押さえプレートと、
一方の押さえプレートを摺動させると他方を逆方向に摺動させる連結手段と、を有し、
前記第１および第２の押さえプレートは連結穴を具備し、このプレートの摺動により前記連結穴はテストヘッド本体部の引き込みピンと係合することを特徴とするＩＣテスタのクランプ機構。
（１０）前記溝には、複数の軸受け部が軸支され、
前記第１および第２の押さえプレートには、この押さえプレートの摺動方向に長手方向を合わせた小判穴を複数設け、
この小判穴に前記軸受け部が移動自在に挿入されることを特徴とする（９）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１１）前記押さえプレートの端部付近に配置された前記小判穴と前記軸受け部との隙間に対して、他に配置された前記小判穴と前記軸受け部との隙間を広くしたことを特徴とする（１０）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１２）前記連結手段は前記第１および第２の押さえプレートの相対する一端または両端をリンクにより連結した構成になっていることを特徴とする（９）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１３）前記連結穴は大径穴と小径穴を連結させて構成したことを特徴とする（９）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１４）前記第１または第２の押さえプレートの少なくとも一方に操作レバーを設けたことを特徴とする（９）、（１０）または（１２）に記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１５）空胴構造になっていて、前記一対の辺の両端同志を連結する連結プレートを設け、
前記リンクは少なくとも一方の連結プレートの空胴内に配置されることを特徴とする（１２）に記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１６）前記連結プレートは運搬用の取っ手を有することを特徴とする（１５）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
（１７）前記取っ手の上部は、押さえベースの上面よりも低い位置にあることを特徴とする（１６）記載のＩＣテスタのクランプ機構。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明のクランプ機構におけるボード押さえ部の一実施例を示した構成図である。
【００１０】
図１において押さえベース１および押さえベース２には溝が設けられ、両端は空胴部を有した連結プレート５、６により方形の枠状に連結されている。押さえプレート３は押さえベース１の溝に、押さえプレート４は押さえベース２の溝に摺動可能に納められる。押さえプレート３、４は相対する端部を連結手段であるリンク（図示せず）で連結され、連結プレート５、６の少なくとも一方の空胴部内に納められている。操作レバー７は押さえプレート３、４の少なくとも一方に取付けらる。
【００１１】
操作レバー７に水平方向の力を加えることにより、押さえプレート３、４の一方を押さえベースの溝に沿って摺動させると他方を反対方向に摺動させる。この溝の少なくとも一部には穴が開いていて、引き込みピンはこの穴を貫通して溝から突出している。ここでいう引き込みピンは従来例に出てくるものと同等の機能を有する。押さえプレート３、４には、連結穴８が複数設けられており、押さえプレート３、４の摺動により、従来例と同様にテストヘッド本体部の引き込みピンと係合する。連結穴８は、大径穴と小径穴を連結させた構成になっている。
運搬用の取っ手９は連結プレート５に、取っ手１０は連結プレート６に取付けられている。取っ手９、１０の上部は押さえベース１、２の上面よりも低い位置にある。
【００１２】
図２は押さえプレートの連結手段の一例を示した構成図である。
図２において押さえプレート３、４の相対する端部はリンク２１で連結されており、押さえプレート３、４の一方を摺動させるとリンク２１を介して動きが伝達されて、他方を反対方向に摺動させる。
【００１３】
これにより円形以外のボード押さえ部であっても、一回のレバー操作で押さえプレートにある連結穴全てを、テストヘッド本体部の引き込みピンと係合させることができる。
また、ボード押さえ部の構成部品を単純構造に分割することができコスト削減が実現できる。
この構成部品の分割により、連結プレートには押さえベースおよび押さえプレートのような強度が不要となり板厚を薄くでき、さらにリンクを納める空胴部を設けることにより軽量化を実現できる。
加えて、構成部品を分割したことで連結プレートにより押さえベースを部品等の配置制限のない下側（テストヘッド本体部側）から連結させることができる。そのため、押さえベースおよび押さえプレートの上面までの高さ（高さ制限位置）に対して連結プレート上に空間が形成でき、その部分にボード押さえ部自体を運搬するための取っ手を付けることができる。
【００１４】
図３は本発明のクランプ機構におけるボード押さえ部の他の実施例を示した構成図である。
【００１５】
図３において、押さえベース５１は、例えばカーボンプラスチックファイバー等の強化樹脂材により略中空方形状を成し、向い合う一対の辺５１ａと辺５１ｂには溝（図示せず）が設けられ、両端は空胴部を有した連結プレート５２、５３により連結されている。
押さえプレート５４は辺５１ａの溝に、押さえプレート５５は辺５１ｂの溝に摺動可能に納められている。押さえプレート５４、５５は相対する端部を連結手段であるリンク（図示せず）で連結され、連結プレート５２、５３の少なくとも一方の空胴部内に納められている。操作レバー５６は押さえプレート５５に取付けらている。
【００１６】
操作レバー５６に水平方向の力を加えることにより、押さえプレート５４、５５の一方を押さえベース５１の溝に沿って摺動させると他方を反対方向に摺動させる。この溝の少なくとも一部には穴が開いていて、引き込みピンはこの穴を貫通して溝から突出している。ここでいう引き込みピンは従来例に出てくるものと同等の機能を有する。押さえプレート５３、５４には、連結穴５７が複数設けられており、押さえプレート５４、５５の摺動により、従来例と同様にテストヘッド本体部の引き込みピンと係合する。連結穴５７は、大径穴と小径穴を連結させた構成になっている。
運搬用の取っ手５８は連結プレート５２に、取っ手５９は連結プレート５３に取付けられている。取っ手５８、５９の上部は押さえベース５１の上面よりも低い位置にある。
【００１７】
図４は他の実施例における分解状態を示した構成図である。
図４において前出の図と同一のものは同一の符号を付し説明は省略する。
押さえベース５１の向い合う一対の辺５１ａと辺５１ｂには溝５１ｃ、５１ｄが設けられ、その溝内に複数の軸受け部６０が配置される。押さえプレート５４、５５は小判穴４２を有しており、そこに軸受け部６０が挿入されるように、押さえプレート５４、５５が配置される。ここで小判穴６２は、押さえプレート５４、５５の摺動方向に長手方向を合わせて設けられている。その上から軸受け押さえ６３で挟み込まれ、サラネジ６４で締め付けられ固定される。これにより、摺動時に押さえプレート５４、５５と軸受け部６０が干渉した場合でも、軸受け部６０の回転により摩耗を軽減することができる。
尚、押さえプレート５４、５５と押さえベース５１の間に樹脂材から成るサブプレート６１を挟み込むことにより、摩擦を減少させて押さえプレート５４、５５により押さえベースが削られるのを防ぐことができる。ここで、サブプレート６１は、例えばポリオキシメチレン樹脂等により形成される。
【００１８】
また、本発明では、軸受け部６０と小判穴６２との隙間に関し、端部付近に配置されたものよりも他に配置されたものの隙間の方を大きくしている。軸受け部６０と小判穴６２を複数必要とするのは摺動方向の位置決めと、応力などによる押さえプレート５４、５５の反りを防止するためである。摺動方向の位置精度は、その隙間が小さい程高くなるが、全ての軸受け部６０と小判穴６２の隙間を小さくした場合に、寸法誤差も小さく抑えないと摺動し難くなる。このため、コストが高くなるという弊害が起こる。これらに対応するために、端部付近に配置された軸受け部６０と小判穴６２の隙間を小さくして摺動方向の位置決め精度を高め、その他のもの（軸受け部６０と小判穴６２ａの隙間）を比較的大きくすることにより、寸法誤差を必要以上に小さく抑える必要がなく、応力などによるプレートの反りを防止することにも対応できる。
【００１９】
図５は図４をＸ−Ｘ方向から見た断面図である。
図５において前出の図と同一のものは、同一の符号を付し説明は省略する。
押さえベース５１（辺５１ｂ）には溝５１ｄが設けられ、その中に軸受け部６０が収められる。押さえプレートは５５は軸受け部６０が押さえプレート５５の小判穴６２ａに挿入されるように、溝５１ｄ内に配置される。軸受け部６０は、軸受け押さえ６３に挟み込まれサラネジ６４で締め付けられることにより溝５１ｄ内で位置が固定される。尚、押さえプレート５５の摺動により、軸受け部６０は、この小判穴６２ａの中を移動すると共に自らの回転により干渉時の磨耗を防ぐ。
尚、上述のように、押さえプレート５５と溝５１ｄの間に樹脂材から成るサブプレート６１を挟み込むことにより、摩擦を減少させて押さえプレート５５により押さえベース５１が削られるのを防ぐことができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項１乃至４および請求項６に記載の発明によれば、円形以外のボード押さえ部であっても、一回のレバー操作ですべての連結穴と引き込みピンを係合することができるため、ボード押さえ部を単純構造の部品に分割することができコストの削減が実現できる。また、連結プレートには押さえベースや押さえプレートのような強度が不要となり板厚を薄くでき軽量化を実現できる。
【００２１】
請求項５記載の発明によれば、押さえプレートに操作レバーを設けることにより押さえプレートを摺動させる力を加え易くなり作業効率が向上する。
【００２２】
請求項６記載の発明によれば、空胴部を有する連結プレートを用いその空胴部内にリンクを配置することにより実装スペースを削減でき、ボード押さえ部が配置されるスペースの制限に対応できる。また、連結プレート内部を空胴にしたため、さらに軽量化を実現できる。
【００２３】
請求項７および請求項８記載の発明によれば、ボード押さえ部を運搬するための取っ手を設けることにより、ある程度の重さと大きさを持ったボード押さえ部の運搬が容易になり作業効率の向上が実現できる。また連結プレートにその取っ手を設けることにより、押さえベースの下側（テストヘッド本体部側）から連結プレートで連結すれば押さえベース等の上面よりも低い位置に取っ手を付けることができ、ボード押さえ部が配置されるスペースの制限に対応できる。
【００２４】
請求項９、１２、１３記載の発明によれば、円形以外のボード押さえ部であっても、一回のレバー操作ですべての連結穴と引き込みピンを係合することができる。また、押さえベースが強化樹脂材により成形されることにより、軽量化を実現できる。
【００２５】
請求項１０記載の発明によれば、押さえベースの溝に軸受け部を設け、押さえプレートにはその軸受け部が挿入される小判穴を設けたことにより、位置決め及び反りを防止すると共に摺動時の磨耗を防ぐことができる。
【００２６】
請求項１１記載の発明によれば、軸受け部と小判穴との隙間に関し、端部付近に配置されたものよりも他に配置されたものの隙間の方を大きくすることにより、端部付近の隙間を小さくして摺動方向の位置決め精度を高め、その他を比較的大きくして応力などによる押さえプレートの反りを防止する。これにより寸法誤差を小さく抑える必要がなくコストが高くなるのを防ぐことができる。
【００２７】
請求項１４記載の発明によれば、押さえプレートに操作レバーを設けることにより押さえプレートを摺動させる力を加え易くなり作業効率が向上する。
【００２８】
請求項１５記載の発明によれば、空胴部を有する連結プレートを用いその空胴部内にリンクを配置することにより実装スペースを削減でき、ボード押さえ部が配置されるスペースの制限に対応できる。また、連結プレート内部を空胴にしたため、さらに軽量化を実現できる。
【００２９】
請求項１６および請求項１７記載の発明によれば、ボード押さえ部を運搬するための取っ手を設けることにより、ある程度の重さと大きさを持ったボード押さえ部の運搬が容易になり作業効率の向上が実現できる。また連結プレートにその取っ手を設けることにより、押さえベースの下側（テストヘッド本体部側）から連結プレートで連結すれば押さえベース等の上面よりも低い位置に取っ手を付けることができ、ボード押さえ部が配置されるスペースの制限に対応できる。
【００３０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示したボード押さえ部の構成図である。
【図２】本発明の一実施例における連結手段の一例を示した構成図である。
【図３】本発明の他の実施例を示したボード押さえ部の構成図である。
【図４】本発明の他の実施例における分解状態を示した構成図である。
【図５】図４をＸ−Ｘ方向から見た断面図である。
【図６】従来例におけるＩＣテスタのクランプ機構の概略を示した構成図である。
【図７】従来のボード押さえ部の一例を示した構成図である。
【符号の説明】
１、２  押さえベース
３、４  押さえプレート
５、６  連結プレート
７  操作レバー
８  連結穴
９、１０  取っ手
２１  リンク
５１  押さえベース
５１ａ、５１ｂ  辺
５１ｃ、５１ｄ  溝
５２、５３  連結プレート
５４、５５  押さえプレート
５６  操作レバー
５７  連結穴
５８、５９  取っ手
６０  軸受け部
６２、６２ａ  小判穴
【図１】
0003565210.tif 000002
【図２】
0003565210.tif 000003
【図３】
0003565210.tif 000004
【図４】
0003565210.tif 000005
【図５】
0003565210.tif 000006
【図６】
0003565210.tif 000007
【図７】
0003565210.tif 000008