(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの故障サイン識別方法において、
（１）故障サインデータベースを構築し、二つ以上の故障サインデータを記録する工程と、この工程において、各故障サインデータは、故障サイン、故障ダイ位置フィールド、故障モード、位置依存性情報、及び従属的サインを有し、位置依存性情報は、故障サインの故障ダイの位置に対する関連性の有無を表示することと、
（２）選択されたウエハを検査し、選択されたウエハにおける故障の位置、及び故障モードを含む検査結果を生成する工程と、このウエハはウエハ番号を有することと、
（３）検査結果の故障モードと、各故障サインデータの故障モードとを自動比較手段により比較して、比較結果を生成する工程と、この比較結果は、ヒットとミスを有し、比較結果がヒットであるときは、さらにヒット率、ウエハ番号及び、故障サインを有することとからなり、
前記故障サインデータのヒット率が所定の数値を超えると、故障サインデータベースのうちの従属的サインを比較する工程がスキップされる、ウエハの故障サイン識別方法。
【請求項２】
請求項１に記載された方法において、前記位置依存性情報の値は、故障サインが位置と関連性を有するときはＹ、有しないときはＮであり、故障ダイの個数は、故障サインデータの位置に基づき自然数Ｍとして算出される方法。
【請求項３】
請求項１に記載された方法において、工程（３）におけるヒットは、検査結果の故障モードが故障サインデータに含まれる故障モードであるときに表示される方法。
【請求項４】
請求項２に記載された方法において、工程（３）における位置依存性情報がＹであるときは、検査結果の故障ダイの位置を故障サインデータの故障ダイの位置と比較し、故障サインデータの故障ダイと位置が完全に一致するダイの個数を表示する０以上の整数ｎを算出する工程をさらに有する方法。
【請求項５】
請求項４に記載された方法において、前記ヒット率はｎをＭで割った数値である方法。
【請求項６】
請求項５に記載された方法において、
閾値を選択する工程と、
この閾値を前記ヒット率と比較する工程と、
閾値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号と故障サインを選択する工程と、
さらなる解析のため、前記ウエハ番号と故障サインを解析手段に入力する工程とをさら
に有する方法。
【請求項７】
請求項６に記載された方法において、ヒット率が０のときは、前記比較結果は、前記自動比較手段により定義されるアンノウンサイン、及びこのアンノウンサインの内容表示を含み、前記アンノウンサインは、前記選択されたウエハの故障サインとされる方法。
【請求項８】
請求項７に記載された方法において、さらなる解析のため、前記解析手段に前記アンノウンサインとその内容を入力する工程を有する方法。
【請求項９】
請求項８に記載された方法において、
（１０１）前記アンノウンサインを定義する工程と、
（１０２）このアンノウンサインを新しい故障サインとして前記故障サインデータベースに入力する工程とをさらに有する方法。
【請求項１０】
請求項１に記載された方法において、前記所定の数値は８０％である方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハの故障サインを自動的に検出する方法に関する。特に、本発明は、半導体製造プロセスにおいてウエハの故障サインを自動的に検出、分類し、さらなるデバッギング、及び解析のために使用する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、半導体製造プロセスには、ウエハ製造プロセス、ウエハプロービングプロセス、ウエハ実装プロセス、及びウエハ検査プロセスが含まれる。ウエハ製造プロセスにおいては、１枚のウエハに二つ以上のダイが形成される。それぞれのダイの電気特性は、ウエハプロービングプロセスにおいてテストデバイスにより測定される。ウエハプロービングプロセスを行った後、個々の故障ダイがそれぞれ検出され、良好なダイと区別するために一般的には色インクの点で印を付ける。しかし、各故障ダイに色インクの点で印を付ける方法は、多くの欠点を有する。例えば、色インクが良好なダイを化学的に破壊し、あるいは汚染するため、故障ダイとの区別が困難になる。上述の欠点を排除するために、ウエハ検査情報結果を記録する多数の代替手段が開発されてきた。ある一般的な方法は、ウエハマップを生成するためにコンピュータを使用して、ウエハの検査情報結果を記録する。ウエハマップは一般的に、各故障ダイの位置や故障ダイの製造欠陥の種類を示す。この情報は、歩留まり解析技術者によるさらなる解析のために、紙に印刷されるか、あるいはモニタに伝送される。
【０００３】
図１に示されるような、コンピュータにより生成された従来のウエハマップ１０は、１枚のウエハ１１の、二以上のダイに関する歩留まりの状態、及び二以上の故障ダイ１３の位置を、多数のシグナル及び色彩により示す。
【０００４】
従来の技術においては、熟練した歩留まり解析技術者が、コンピュータにより生成されたウエハマップの各故障サインを手動で検査し、ウエハを故障サインにより分類するために最良の判断を行う、「目視」法に依存する。分類後、解析装置によりウエハの故障ダイの原因をさらに解析してもよい。
【０００５】
しかし、この従来の方法は、実用化の際に多数の制限を課していた。第一に、歩留まり解析技術者は、各ウエハマップの検査に多くの時間を費やさなければならなかった。第二に、歩留り解析技術者は、この業務に適任となるためにはウエハマップの故障サインについての十分な知識及び経験を備える必要があった。また、故障に関するさらなる原因解析は、新しいウエハの故障サインを歩留り解析技術者が分類しない限りなされなかった。さらに、手動により行われる方法は、避けがたい人為的過失を有していた。
【０００６】
以上を鑑み、上述の従来技術の問題点を排除するため、ウエハの故障サインを自動的に検出する方法を提供する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、人為的過失を回避するため、歩留り解析技術者がウエハの故障サインを分類する時間を節約することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、ウエハ番号、及び故障サインが検出されたときから遅れずに、そのときに発生した故障の根本的原因を解析することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的を達成するため、本発明は、ウエハの故障サインを自動的に検出し、分類する方法を提供する。本発明によると、まず二以上の故障サインデータを有する故障サインデータベースを構築する。各故障サインデータには、位置、故障モード、位置依存性情報、及び故障サインが含まれる。ここで、各故障ダイの位置は、実施の形態において、各ダイの番号により表示され、位置依存性情報は、故障サインが故障ダイの位置と互いに関連性を有するか否かを示す。次に、テストデバイスにより、少なくとも１枚の選択されたウエハが検査され、選択されたウエハのそれぞれについて、故障ダイの位置及び故障モードを含む検査結果が生成される。その後、自動比較装置により、選択された各ウエハの検査結果を、故障サインデータベースの故障サインデータと個々に比較する。記録された位置依存性情報がＹ（ｙｅｓ、即ち関連性有り）であるとき、各検査結果は、故障ダイの故障モード及び位置と比較される。記録された位置依存性情報がＮ（ｎｏ、即ち関連性なし）であるとき、各検査結果は故障ダイの故障モード及び個数と比較される。比較後、ウエハ番号、故障サイン及びヒット率を含む比較結果が各検査結果について生成される。そしてヒット率と個々に比較するための閾値が選択され、この閾値以上のヒット率を有するウエハ番号及び故障サインを容易に検出することが可能となる。
【００１０】
本発明の他の目的を達成するため、本発明においてはさらにウエハ番号および故障サインをその後の解析のために解析装置に入力する。
請求項１に記載の発明は、ウエハの故障サイン識別方法において、故障サインデータベースを構築し、二以上の故障サインデータを記録する工程と、この工程において、各故障サインデータは、故障サイン、故障ダイ位置フィールド、故障モード及び位置依存性情報を有し、位置依存性情報は、故障サインの故障ダイの位置に対する関連性の有無を表示することと、選択されたウエハを検査し、選択されたウエハにおける故障の位置、及び故障モードを含む検査結果を生成する工程と、このウエハはウエハ番号を有することと、検査結果の故障モードと、各故障サインデータの故障モードとを自動比較手段により比較して、比較結果を生成する工程と、この比較結果は、ヒットとミスを有し、比較結果がヒットであるときは、さらにウエハ番号と故障サインを有することとを備えることを要旨とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載された方法において、前記位置依存性情報は、故障サインが位置と関連性を有するときはＹ、有しないときはＮであり、故障ダイの個数は、故障サインデータのうちの位置に基づき自然数Ｍとして算出されることを要旨とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載された方法の工程において、前記ヒットは、検査結果の故障モードが故障サインデータに含まれる故障モードであるときに表示されることを要旨とする。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載された方法の工程において、前記位置依存性情報がＹであるときは、検査結果の故障ダイの位置を故障サインデータの故障ダイの位置と比較し、故障サインデータの故障ダイと位置が完全に一致するダイの個数を表示する０以上の整数ｎを算出する工程を、さらに有することを要旨とする。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項２に記載された方法の工程において、前記位置依存性情報がＮであるときは、検査結果における故障ダイの個数として、０以上の整数ｎを算出する工程を、さらに有することを要旨とする。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載された方法において、前記比較結果はヒット率を有し、ヒット率はｎをＭで割った数値であることを要旨とする。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載された方法において、閾値を選択する工程と、この閾値を前記ヒット率と比較する工程と、閾値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号と故障サインを選択する工程と、さらなる解析のため、前記ウエハ番号と故障サインを解析手段に入力する工程とをさらに有することを要旨とする。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載された方法において、ヒット率が０のときは、前記比較結果は、前記自動比較手段により定義されるアンノウンサイン、及びこのアンノウンサインの内容表示を含み、前記アンノウンサインは前記選択されたウエハの故障サインとされることを要旨とする。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載された方法において、さらなる解析のため、前記解析手段に前記アンノウンサインとその内容を入力する工程を有することを要旨とする。
【００１８】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載された方法において、前記アンノウンサインを定義する工程と、このアンノウンサインを新しい故障サインとして前記故障サインデータベースに入力する工程とをさらに有することを要旨とする。
【００１９】
本発明の実施の形態によると、自動比較装置が検査結果を各故障サインデータと比較した後、検査結果が故障サインデータベースのものと一致しないときは、未定義のサインである旨を表示する結果が生成される。このとき、この結果には、選択されたウエハのウエハ番号、自動比較装置により明示されたアンノウンサイン、及びこのアンノウンサインに関する内容表示が含まれる。さらに、アンノウンサイン及びこのアンノウンサインの内容が、解析のために解析装置に入力される。その後歩留り解析技術者は、アンノウンサインを定義し、新しい故障サインとして故障サインデータベースに入力する。
【００２０】
請求項１１に記載の発明は、請求項６に記載された方法において、前記故障サインデータは従属的サインをさらに有することを要旨とする。
請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載された方法において、前記故障サインデータのヒット率が所定の数値を超えると、故障サインデータベースのうちの従属的サインを比較する工程がスキップされることを要旨とする。
【００２１】
請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載された方法において、前記所定の数値は８０％であることを要旨とする。
本発明の実施の形態によると、故障サインデータは、故障サインに対して従属的なサインをさらに含んでいてもよい。従属的サインは、本来は、故障サインデータベースに記録された故障サインである。しかし、その位置と故障モードが他の故障サインデータに完全に含まれるため、これを含む故障サインデータの従属的サインとして表示される。従って、自動比較装置がテスト結果と、歩留り解析技術者が予め設定した数値を超えるヒット率を有する故障サインデータとを個々に比較するときには、従属的サインは重複した比較を避けるため、スキップされる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図２を参照する。本発明においては工程２０で、まず故障サインデータベースが構築される。実施の態様において、データベースはサーバ内に構築されてもよい。図４を参照する。故障サインデータベースは、全ての定義された故障サインデータを記録するが、この故障サインデータはウエハマップに基づいて決定される。各故障サインのデータは、故障サイン、少なくとも１つの故障モード、故障ダイを示す位置フィールド、位置依存性情報及び選択依存性サインを、次に述べるように自動比較装置により比較するために含む。本発明の故障サインデータは、一般的には既知のウエハマップの情報を記録することが望ましいが、必ずしもパターンとして図形に示されなくてもよい。また、故障モードはウエハの故障原因を記号で示す特性パラメータであり、位置フィールドは故障ダイのシリアル番号により表示されてもよく、位置依存性情報はその故障サインが故障ダイの位置と関連するか否かを示す。故障サインが故障ダイの位置と関連があるときは、記録された位置依存性情報はＹ（ｙｅｓ）であり、故障サインが故障ダイの位置と関連しないときは、位置依存性情報はＮ（ｎｏ）となる。
【００２３】
工程２１において、少なくとも１枚の選択されたウエハがテストデバイスにより検査される。各選択されたウエハはウエハ番号を有する。テストデバイスは、各選択されたウエハの検査結果を生成し、各検査結果には、その選択されたウエハの各故障ダイの位置と故障モードが含まれる。この技術は従来の技術と同様であり、当業者には理解されているので、これ以上詳細に述べることを省略する。しかし、従来の技術においては、歩留り解析技術者の視認により点検するために、検査結果をウエハマップ１０に（図１に示されるように）翻訳する必要があったが、本発明においてはその必要はない。
【００２４】
検査後、工程２２（点線で表示される）で自動比較装置により、選択されたウエハの各検査結果が故障サインデータベースの各故障サインと比較され、比較結果が生成される。実施の形態において、自動比較装置は比較プログラムを備えたコンピュータのようなハードウエア装置である。さらに、比較プログラムは、位置、故障モードマッチ率を比較し、故障ダイの個数を算出することができる。
【００２５】
工程２２において、まず、工程２２０においてＮ＝１を設定し、その後、工程２２１において、検査結果の故障モードがＮ番目の故障サインの故障モードに含まれているか否かをチェックするために、検査結果をＮ番目の故障サインデータと比較する。工程２２１において、答えがｙｅｓであるときは工程２２２が行われ、ｎｏであるときは工程２２９が行われる。
【００２６】
工程２２２において、本発明は、Ｎ番目の故障サインデータの位置依存性情報がＹであるか、Ｎであるかをチェックする。
工程２２２で位置依存性情報がＹである場合は、自動比較装置が、検査結果の故障ダイの位置と、工程２２３におけるＮ番目の故障サインデータの故障ダイの位置フィールドとを比較し、データベースの位置フィールドに合致する位置にある故障ダイの総数ｎを生成する。ｎは、０以上の整数である。
【００２７】
工程２２１における位置依存性情報がＮであるときは、工程２２４において、自動比較装置は、検査結果の故障ダイの個数ｎを算出する。ｎは０以上の整数である。
【００２８】
上述の工程２２３又は２２４の後、工程２２５において比較結果が得られ、Ｎ番目の故障サインデータまでのヒット率を算出する。ここで、比較結果には、選択された各ウエハのウエハ番号、Ｎ番目の故障サインデータの故障サイン、及びヒット率が含まれる。ヒット率は、Ｎ番目の故障サインデータの故障ダイの総数（Ｍで表される）において、データベースの位置フィールドに合致する故障ダイの個数ｎが占める比率である。即ち、ヒット率はｎ／Ｍである。
【００２９】
さらに工程２２６において、最後の故障サインデータが比較されると、工程２２７が行われる。最後の故障サインデータが比較されていないときは、工程２３２が行われる。工程２３２において、本発明はＮ＝Ｎ＋１に設定した後、工程２２１に戻り、（Ｎ＋１）番目の故障サインデータを比較する。
【００３０】
工程２２７において、各Ｎ番目の故障サインデータに対する検査結果のヒット率が０であるときは、検査結果がアンノウンサインであることを表示する比較結果が工程２２８において生成される。比較結果は、選択されたウエハのウエハ番号、アンノウンサイン、及びアンノウンサインの内容表示を含む。ここで、アンノウンサインは自動比較装置により定義され、本発明の実施形態においては、アンノウンサインはＯＴＨＥＲ＿Ｎ（Ｎは自然数）により表示される。比較結果にＯＴＨＥＲ＿Ｎが存在するときは、その故障サインは定義されておらず、故障サインデータベースにも入力されないことを示す。
【００３１】
工程２２７において、Ｎ番目までの故障サインデータに対する検査結果のヒット率が、少なくとも１つにおいて０でないときは、工程２３１において、検査結果が故障サインデータと一致すること（ヒット）を示す比較結果が生成される。
【００３２】
上述のように、工程２２１における答えがｎｏであるときは、工程２２９が行われる。工程２２９において、最後の故障サインデータが比較されると、工程２３０が行われる。最後の故障サインデータが比較されないときは、工程２３２が行われる。さらに、工程２３２において、本発明はＮ＝Ｎ＋１に設定し、その後、工程２２１に戻って（Ｎ＋１）番目の故障サインデータを比較する。
【００３３】
工程２３０において、検査結果の故障モードがＮ個の故障サインデータのいずれにもヒットしないときは、即ち、検査結果の故障モードが故障サインデータのいずれにも含まれないときは、検査結果がアンノウンサインであることを示す比較結果が工程２２８において生成される。そうでない場合には、検査結果が故障サインデータとヒットすることを示す比較結果が工程２３１において生成される。
【００３４】
工程２２の比較が行われ、比較結果が生成された後、比較結果（工程２３１）にヒットが示されたときは、工程２５において、比較結果のヒット率と比較するための閾値が設定される。なお、本実施の形態においては、閾値は歩留り解析技術者により経験に基づいて設定される。
【００３５】
さらに、工程２６において、閾値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号と故障サインを検出する。そして工程２７において、故障の根本的原因をさらに解析するため、検出された全てのウエハ番号及び故障サインが解析装置に入力される。実施の形態において、解析装置は、本発明により提供されるウエハ番号及び故障サインに基づき、故障ウエハの根本的原因を解析可能な、共通性調査手段である。
【００３６】
一実施形態においては、数種類の閾値に対応して、さらに１つ以上のウエハ番号及び故障サインを選択するための工程を重複して含んでもよい。この１つ以上の重複した工程は、毎回異なる閾値を選択する工程、選択された各ウエハのヒット率を比較する工程、閾値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号及び故障サインを選択する工程、及びさらに故障の根本的原因を解析するために検出された全てのウエハ番号及び故障サインを解析装置に入力する工程を備える。
【００３７】
さらに、本発明による故障サインデータは、故障サインに対応する従属的サインを選択的に記録してもよい。ここで、従属的サインとは、本来は故障サインであるが、この従属的サインに関する故障サインデータにおいて、位置フィールド及び故障モードが、他の故障サインデータに完全に含まれるものである。従って、このような故障サインは、これを包含する故障サインの従属的サインとして機能する。自動比較装置が個々に検査結果を故障サインデータと比較するときに、従属的データと遭遇した場合、その従属的データを含む故障サインのヒット率が、工程２２５において歩留り解析技術者が定めた値を超えるときは、不要な再比較と時間の無駄を防ぐため、その従属的故障データはスキップされる。実施の形態において、従属的サインを含む故障データ（例えば図４における故障サインデータ４１、４２）は、故障サインが従属的サインである（故障サインデータ４３のような）故障サインデータよりも先に比較される。従属的データを包含する故障サインデータ４１及び４２を、確実に先に比較する。さらに、所定の値は８０％になるように設定されることが望ましい。
【００３８】
前述の工程２２８において、検査結果が故障サインデータベースにおいて未定義であるときは、選択されたウエハのウエハ番号、アンノウンサイン、及びこのアンノウンサインに関する内容表示を含む、比較結果が生成される。ここで本発明の実施の形態において、ＯＴＨＥＲ＿Ｎはアンノウンサインを示す。図３を参照する。アンノウンサインを含むウエハマップ３０は、１枚のウエハ３１の、二以上のダイ３２に関する歩留りの状態、及び二以上の故障ダイ１３のそれぞれの位置を、多様な信号及び色彩で示す。ウエハマップ３０の故障サインは、連続した二以上の故障ダイを有するという内容であり、この故障サインは故障サインデータベースにおいて未定義である。比較結果がＯＴＨＥＲ＿Ｎと表示されるため、工程２７におけるさらなる解析のため、ＯＴＨＥＲ＿Ｎはこの内容表示と共に解析装置に入力される。そしてこの故障サインは、工程２３において定義された後、工程２４において新しい故障サインデータとして、工程２０で構築されたデータベースに入力されてもよい。データベースの内容が完全になると、ＯＴＨＥＲ＿Ｎの出現が激減し、本発明の用途が大幅に向上することが期待できる。
（実施例）
図４は、工程２０において本発明により構築された故障サインデータベースを示す。故障サインデータベースは、二以上の故障サインデータ４１、４２、４３、４４等を含む。例えば、図１に示されるウエハマップ１０を参照すると、故障サインデータは以下を含む。
故障サイン：ＧＣ  ＢＵＭＰ
故障モード：Ｙａ又はＹｄｃａｂｉａ
ダイ番号：０２１４，０２１３，０２１２・・・
従属サイン：４  ｃｌｏｃｋ、８  ｃｌｏｃｋ
位置依存性：Ｙ
ここで、ウエハマップ１０のパターンはＧＣ  ＢＵＭＰ、４ｃｌｏｃｋ、８ｃｌｏｃｋのサインに一致する。しかし、ＧＣ  ＢＵＭＰのダイの位置フィールド及び故障モードは、４ｃｌｏｃｋ又は８ｃｌｏｃｋのいずれかの、ダイの位置フィールド及び故障モードを完全に含むため、ＧＣ  ＢＵＭＰが故障サインとして選択され、４ｃｌｏｃｋ又は８ｃｌｏｃｋは従属的サインとされる。図２に示される工程２２において、自動比較装置により比較されたとき、ＧＣ  ＢＵＭＰのヒット率が工程２２５において歩留り解析技術者による所定の値（望ましくは８０％）を達成すれば、ＧＣ  ＢＵＭＰのみと比較されることを要する。重複の比較を回避するため、４ｃｌｏｃｋ、８ｃｌｏｃｋのいずれとも比較されることが必要ではない。
【００３９】
さらに、本発明は少なくとも１枚の選択されたウエハを工程２１においてテストデバイスにより検査し、各ウエハについて検査結果を生成する。検査結果には、ウエハ番号、故障ダイの位置及び故障モードが含まれる。
【００４０】
検査後、工程２２において、選択されたウエハの各検査結果が、自動比較装置により故障サインデータベースの各故障サインデータと比較され、比較結果が生成される。
【００４１】
工程２２において、まず本発明は工程２２０でＮ＝１に設定し、その後、工程２２１でテスト結果の故障モードがＮ番目の故障サインデータの故障モードに含まれているか否かをチェックするため、検査結果がＮ番目の故障サインデータと比較する。工程２２１において答えがｙｅｓであるときは、工程２２２が行われる。工程２２１において答えがｎｏであるときは、工程２２９が行われる。
【００４２】
工程２２２において、本発明は位置依存性情報がＹであるかＮであるかをチェックする。位置依存性情報が、故障サインデータ４１、４３、４４のようにＹであれば、工程２２３が行われる。位置依存性情報が、故障サインデータ４２のようにＮであれば工程２２４が行われる。
【００４３】
位置依存性情報が、故障サインデータ４１、４３、４４のようにＹであれば、工程２２３において、自動比較装置は検査結果の故障ダイの位置と、Ｎ番目故障サインデータの故障ダイの位置フィールドとを比較する。その後、Ｎ番目故障サインデータの位置フィールドに記載されたものと完全に同一な位置を有するダイの個数がｎとして得られる。
【００４４】
工程２２３において、ｎが１以上である場合は、検査結果に含まれる故障ダイの位置及び故障モードが故障サインデータベースとして、以下の検査結果のように規定される。
ウエハ番号              故障モード  故障ダイの位置（ダイ番号）
Ｐ２Ａ１０３０９．２    Ｙａ        ０９０１，０９０２・・・
その後、工程２２５において、検査結果と故障サインデータ４１とを比較した比較結果は、以下のようである。
ウエハ番号              故障サイン      ヒット率％
Ｐ２Ａ１０３０９．２    ＧＣ  Ｂｕｍｐ    ８０
ここで、検査結果の故障モード（Ｙａ）は、故障サインデータ４１の故障モード（Ｙａ又はＹｄｃａｂｉａ）に完全に含まれ、ヒット率は、検査結果の故障ダイの位置が故障サインデータの故障ダイの位置フィールドに表示されたものと完全に同一である個数ｎ（例えば４０ダイ）の、故障サインデータの全故障ダイの個数であるＭ（例えば５０ダイ）に対する比率であり、従ってヒット率は４０／５０、即ち８０％となる。
【００４５】
工程２２７において、工程２２３で算出されたｎのそれぞれが０である場合は、検査結果に含まれる故障ダイの位置及び故障モードが、図３に示されるダイの連続的な位置における故障の場合のように、故障サインデータベースで未定義であることを示す。アンノウンサインを示す比較結果を以下に示す。
ウエハ番号                故障サイン      ヒット率
Ｐ２Ａ１５０６１．１８    ＯＴＨＥＲ１    連続する２０ダイ
ここで、比較結果は故障サイン欄においてＯＴＨＥＲ１を生成し、ヒット率欄においていくつの連続するダイが故障するかに関する内容表示を生成する。故障ダイに関する内容表示は、工程２７においてさらなる解析のために解析装置に入力されるために、自動比較装置により生成される。さらに、工程２３においてさらにＯＴＨＥＲ１を定義するために歩留り解析技術者に対しその内容が提供され、その後、工程２４においてその内容が定義された故障サインとしてデータベースに入力される。
【００４６】
位置依存性情報が、故障サインデータ４２に説明されるようにＮであれば、自動比較装置は、工程２２４における検査結果の故障ダイの個数を算出し、個数ｎを得る。
【００４７】
工程２２４において、ｎが１以上であれば、検査結果が以下のように故障サインデータベースにより定義されたことを示す。
ウエハ番号            故障モード  故障ダイの位置（ダイ番号）
Ｐ２Ａ１１３１７．１  Ｙａ        １２００，  １２０１，  １２０３・・・
工程２２５において、故障サインデータ４２に関する検査結果の比較結果は以下のようである。
ウエハ番号              故障サイン          ヒット率％
Ｐ２Ａ１１３１７．１    Ｙａスクラッチ      ５０
ここで、テスト結果の故障モード（Ｙａ）は、故障サインデータ４２の故障モード（Ｙａ）に完全に含まれ、ヒット率は、故障サインデータＭの故障ダイの個数（例えば４０個）に対する検査結果における故障ダイの個数（例えば２０個）の比率であり、すなわちヒット率は２０／４０、５０％である。
【００４８】
工程２２７において、工程２２４において算出された各々のｎが０であれば、検査結果は故障サインデータベースにおいて未定義であることを示し、各選択されたウエハについてのアンノウンサインを示す比較結果が工程２２８において生成される。
【００４９】
好適な実施形態において、自動比較装置により比較された後、アンノウンサインを含む比較結果の総合的な表（工程２２８）、及び定義された故障サインデータに対するヒットを示す比較結果が、例えば以下のように生成される。
ウエハ番号                故障サイン          ヒット率％
Ｐ２Ａ１０１０６．５      Ｐ１                  ６０
Ｐ２Ａ１０１０６．５      Ｐ４２                ５０
Ｐ２Ａ１０３０８．５      ＹＡ  Ｓｃｒａｃｈ    ７２
Ｐ２Ａ１０３０９．２      ＧＣ  Ｂｕｍｐ        ９５
Ｐ２Ａ１２３９９．７      ＤＣ８  ｃｌｏｃｋ    ９５
Ｐ２Ａ０８９９０．８      ＤＴ  Ｅｔｃｈ        ９５
Ｐ２Ａ１０４０６．１      Ｐ４１                ９０
Ｐ２Ａ１００３４．７      ＳｍｅａｒＩＩＩ        １００
Ｐ２Ａ１２９００．７      ＤＣ８  ｃｌｏｃｋ    ９５
Ｐ２Ａ１２３４５．９      ＤＴ  Ｅｔｃｈ        ９５
Ｐ２Ａ１０４５６．１      ＳｍｅａｒＩＩＩ        １００
Ｐ２Ａ１０３４５．１      ４  ｃｌｏｃｋ      １００
Ｐ２Ａ１００２３．６      Ｐ３９                ３０
Ｐ２Ａ１００２３．３      ４  ｃｌｏｃｋ      １００
Ｐ２Ａ１２３４９．１      ４  ｃｌｏｃｋ      １００
Ｐ２Ａ１５０６１．１８    ＯＴＨＥＲ１        連続した２０ダイ
Ｐ２Ａ１０４７８．１０    ＯＴＨＥＲ２        連続した１５ダイ
上述の比較結果の表が生成された後、工程２５において、歩留り解析技術者により、経験に基づいた閾値が設定される。各選択されたウエハの比較結果のヒット率との比較において要求されるように、１以上の閾値を設定してもよい。例えば、上述の比較結果と閾値を比較する。
0003550105.tif 000002
0003550105.tif 000003
次に、工程２６において、閾値以上のヒット率を有するウエハのウエハ番号及び故障サインを取り出す。工程２７において、取り出されたウエハ番号及び故障サインの各々がさらなる解析のために解析装置に入力される。例えば、閾値＝１００が設定されれば、故障サイン４  ｃｌｏｃｋに該当するウエハ番号はＰ２Ａ１２３４５．１、Ｐ２Ａ１００２３．３、及びＰ２Ａ１２３４９．１である。さらに、４  ｃｌｏｃｋ故障サインを含むウエハを示すために使用されたこれらのウエハ番号は、故障の根本的原因のさらなる解析、及びデバッギングのために解析装置に入力されてもよい。
【００５０】
さらに、工程２７において、歩留り解析技術者は、それぞれＯＴＨＥＲ１、ＯＴＨＥＲ２のアンノウンサインを含むＰ２Ａ１５０６１．１８及びＰ２Ａ１０４７８．１０の情報を、さらなる解析のために解析装置に入力してもよい。そして、工程２３において、ＯＴＨＥＲ１及びＯＴＨＥＲ２は定義され、工程２４において工程２２において構築される新しい故障サインデータとしてデータベースに入力されてもよい。
【００５１】
特定の特徴及びサブコンビネーションが使用でき、請求の範囲内に概要を示す限り、他の特徴及びサブコンビネーションを参照することなく採用してもよいことが理解される。本発明の好適な実施例及び適用例を説明したが、当業者には、本発明の目的及び特徴は請求の範囲に示されるようにのみ限定されるものであることが明らかである。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１乃至６に記載された発明により、ウエハの故障サインが自動的に検出、分類されるため、歩留り分析技術者の熟練した技術を必要とせず、かつ故障解析の際の人為的誤差が減少する。また、従来技術のウエハの故障解析において必要とされていた、故障サインをウエハマップに翻訳する作業、及びウエハマップのモニタへの表示、若しくはプリントアウトを必要としないため、故障解析の効率が上がる。
【００５３】
請求項７に記載された発明により、故障サインデータベースの故障サインと所定のヒット率で一致するウエハを検出することが可能となる。このウエハのウエハ番号、及び故障サインが検出されたときは、ウエハの故障ダイの手作業による分類を待たずに、そのときに発生した故障の根本的原因を分析することが可能となる。
【００５４】
請求項８及び９に記載された発明により、未定義の故障サインが出現したときは、その故障サインが未定義である旨、及びその内容のデータが生成される。生成されたデータに基づき、解析装置により、原因解析を行うことが可能となる。
【００５５】
請求項１０に記載された発明により、アンノウンサインが定義され、新しい故障サインとして故障サインデータベースに記録されるため、デバッギングがなされる。
【００５６】
請求項１１乃至１３に記載された発明により、位置フィールド及び故障モードが他の故障サインデータに含まれるデータを従属的データとし、この他の故障サインデータのヒット率が所定の数値を超えたときは従属サインを比較する工程がスキップされるため、不要な再比較と時間の無駄が防がれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】コンピュータにより生成されたウエハマップ。
【図２】本発明による方法のフローチャート。
【図３】アンノウンサインを含むウエハマップ。
【図４】本発明による故障サインデータベース。
【図５】本発明による装置相関ダイヤグラム。
【符号の説明】
４１−４４・・・故障サインデータ、１１，３１・・・ウエハ、１３，３３・・・故障ダイ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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