【事件の表示】
　平成１０年特許願第５１６２８６号「センサー、特に加速度計とアクチュエータ、および基板ウエーハ中に電気的絶縁部を点在させたセンサー又はアクチュエータ構造体を製造する製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　４月　９日国際公開、ＷＯ９８／１４７８６、平成１２年　２月２９日国内公表、特表２０００−５０２４５５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、１９９７年１０月１日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理１９９６年１０月３日、フランス）を国際出願日とする出願であって、平成１９年３月１２日付け手続補正（以下、「補正１」という。）により明細書についての補正がなされ、同年４月１９日付け（送達：同年５月８日）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年８月６日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年９月５日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）により明細書についての補正がなされたものである。
　その後、平成２１年２月１８日付けで回答書（以下、「回答書」という。）の提出があった。
　
２．本件補正の適否について
（１）補正の内容
　本件補正は特許請求の範囲について、以下のように補正するものである。
（下線は補正箇所を明示するために当審で付した。）
（補正前）
「【請求項１】非絶縁基板１０と、
　前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４と、
　前記非絶縁基板１０に形成され、第1部分１４に対して移動可能でありかつ第1部分１４と電気的に絶縁されるとともにビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂを有する、少なくとも1つの第２部分１６とを具備し、
　前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記ビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄに配置された電気的絶縁接続部２０を介して第１部分１４上に固定された一端部を有し、電気的絶縁延長部２０は、前記非絶縁基板１０の全厚さ方向に延出するとともに、前記第１部分１４と前記第２部分１６の相互に隣接する端部の一部のみと接続することによって第１部分１４と第２部分１６とを接続させ、
　前記第２部分１６は、電気的絶縁接続部２０によってのみ支持されてなることを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】省略
【請求項３】前記非絶縁基板１０は、Ｓｉ,ＳｉＣ,ＡｓＧａ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｗ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ａｕ合金，Ｔｉ合金，Ｗ合金，Ｃｒ合金，Ａｌ合金，Ｆｅ合金，Ｎｉ合金，Ｍｏ合金からなるグループから選択された物質であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】省略
【請求項５】省略
【請求項６】省略
【請求項７】省略
【請求項８】省略
【請求項９】省略
【請求項１０】省略
【請求項１１】非絶縁基板１０と、
　前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４と、
　前記非絶縁基板１０に形成され、第１部分１４に対して移動可能でありかつ第１部分１４と電気的に絶縁されるとともにビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂを有する、少なくとも1つの第２部分１６とを具備し、
　前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記ビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄに配置された電気的絶縁接続部２０を介して第１部分１４上に固定された一端部を有し、電気的絶縁延長部２０は、前記非絶縁基板１０の全厚さ方向に延長するとともに、前記第１部分１４と前記第２部分１６の相互に隣接する端部の一部のみと接触することによって第１部分１４と第２部分１６とを接触させ、
　前記第２部分１６は、電気的絶縁接続部２０によってのみ支持されてなることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】省略
【請求項１３】前記非絶縁基板１０は、Ｓｉ,ＳｉＣ,ＡｓＧａ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｗ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ａｕ合金，Ｔｉ合金，Ｗ合金，Ｃｒ合金，Ａｌ合金，Ｆｅ合金，Ｎｉ合金，Ｍｏ合金からなるグループから選択された物質であることを特徴とする請求項１１に記載のアクチュエータ。
【請求項１４】省略
【請求項１５】省略
【請求項１６】省略
【請求項１７】省略
【請求項１８】省略
【請求項１９】省略」
（補正後）
「【請求項１】非絶縁基板１０と、
　前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４と、
　前記非絶縁基板１０に形成され、第1部分１４に対して移動可能でありかつ第1部分１４と電気的に絶縁されるとともにビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂを有する、少なくとも1つの第２部分１６とを具備し、
　前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記ビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄに配置された電気的絶縁接続部２０を介して第１部分１４上に固定された一端部を有し、電気的絶縁
接続部
　前記第２部分１６は、電気的絶縁接続部２０によってのみ支持されてなることを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】省略
【請求項３】前記非絶縁基板１０は、Ｓｉ,ＳｉＣ,
ＡｓＧａからなる
【請求項４】省略
【請求項５】省略
【請求項６】省略
【請求項７】省略
【請求項８】省略
【請求項９】省略
【請求項１０】省略
【請求項１１】　非絶縁基板１０と、
　前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４と、
　前記非絶縁基板１０に形成され、第１部分１４に対して移動可能でありかつ第１部分１４と電気的に絶縁されるとともにビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂを有する、少なくとも1つの第２部分１６とを具備し、
　前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記ビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄに配置された電気的絶縁接続部２０を介して第１部分１４上に固定された一端部を有し、電気的絶縁
接続部
　前記第２部分１６は、電気的絶縁接続部２０によってのみ支持されてなることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】省略
【請求項１３】前記非絶縁基板１０は、Ｓｉ,ＳｉＣ,
ＡｓＧａからなる
【請求項１４】省略
【請求項１５】省略
【請求項１６】省略
【請求項１７】省略
【請求項１８】省略
【請求項１９】省略」
　
（２）本件補正についての判断
　本件補正のうち、請求項１及び請求項１１についてした補正は、拒絶の理由で示された事項に対応すべく、「電気的絶縁延長部２０」とあるのを、他の記載箇所の記載に倣って「電気的絶縁
接続部
　また、本件補正のうち請求項３及び請求項１３についてした補正は、選択対象の物質から金属と合金を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としたものといえる。
　そして、本件補正が、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであることは明らかである。
　よって、本件補正のうち請求項１及び請求項１１についてした補正は適法になされたものであるから、補正後の請求項３及び請求項１３に係る発明についての独立特許要件についての判断はさておくこととし、ひとまず本件補正を適法なものとして、以下、審理を進める。
　
３．本願発明
　本願の請求項１〜１９に係る発明は、本件補正によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１９に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１１に係る発明は以下のとおりである。
「非絶縁基板１０と、
　前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４と、
　前記非絶縁基板１０に形成され、第１部分１４に対して移動可能でありかつ第１部分１４と電気的に絶縁されるとともにビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂを有する、少なくとも1つの第２部分１６とを具備し、
　前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記ビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄに配置された電気的絶縁接続部２０を介して第１部分１４上に固定された一端部を有し、電気的絶縁接続部２０は、前記非絶縁基板１０の全厚さ方向に延長するとともに、前記第１部分１４と前記第２部分１６の相互に隣接する端部の一部のみと接触することによって第１部分１４と第２部分１６とを接触させ、
　前記第２部分１６は、電気的絶縁接続部２０によってのみ支持されてなることを特徴とするアクチュエータ。」（以下、「本願発明」という。）
　
４．引用例に記載された事項・引用発明
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、本願優先日前に頒布された刊行物である特開平５−７６１８７号公報（以下、「引用例」という）には、「静電アクチュエータ」（発明の名称）に関し、図面とともに以下の記載事項（Ａ）ないし（Ｃ）がある。
（Ａ）「【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
実施例１：まず、リニア形静電アクチュエータの実施例の構成，並びに動作原理を図１，図２、および図３に示す。図において、まず静電アクチュエータは移動子１と、固定子２と、搬送子３と、搬送子と一体結合した振動子４と、電源５と、電源回路に接続したスイッチング素子６，７との組合わせから構成されている。・・・。」（段落【００１１】）
（Ｂ）「また、搬送子３に結合した振動子４の構成は、図２に詳細構造を示すように窓枠状外枠４１と、搬送子３の両側より引出した梁としてなる可動支持体４２と、該支持体４２と外枠４１との間に蛇行状に形成したばね部４３と、支持体４１より両側に突出した櫛歯状の可動電極４４と、該可動電極４４に対向して櫛歯同士が互い違いに入り組むように配列して外枠４１の内側に突出し形成した一対の櫛歯状固定電極４５，４６とからなり、かつ外枠４１は可動支持体４２を支持する部分４１ａと、固定電極４５，４６を個別に支持する部分４１ｂ，４１ｃとに分割されており、各部分の相互間が絶縁物４７を介して電気的に絶縁されている。また、前記の外枠部分４１ａ，４１ｂは電子ゲート素子のスイッチング素子６を介して電源５に接続され、外枠部分４１ａはアース側に接続されている。」（段落【００１２】）
　ここで、上記記載事項のうち、「・・・外枠４１は可動支持体４２を支持する部分４１ａと、固定電極４５，４６を個別に支持する部分４１ｂ，４１ｃとに分割されており、各部分の相互間が絶縁物４７を介して電気的に絶縁されている。また、前記の外枠部分４１ａ，４１ｂは電子ゲート素子のスイッチング素子６を介して電源５に接続され、外枠部分４１ａはアース側に接続されている。」とあるのは、搬送子と振動子の組合せ構造の平面図である図２によれば、「・・・外枠４１は可動支持体４２を支持する部分４１
ｃ
ａ
ｂ
ｃ
（Ｃ）「次に前記構成になる静電アクチュエータの動作を図３で説明する。まず（ａ）図は待機状態を示し、移動子１と搬送子３とを同電位とし、移動子１と固定子２との間に電圧を印加して移動子１を固定子２に吸着保持させておく。次に、アクチュエータを動作させる際には、振動子４（図２参照）の動作により搬送子３を移動子１の動作方向Ｐと平行に振動させ、ここで（ｂ）図のように搬送子３が紙面右側の最大振幅位置に移動した時点でスイッチング素子７の接点を切換える。これにより、固定子２と移動子１とが同電位となり、移動子１と搬送子３との間に電圧が印加され、移動子１は固定子２から釈放して搬送子３に吸着される。続いて（ｃ）図のように、搬送子３は振動子４の駆動で移動子１を吸着したまま紙面の左側へ反転して矢印Ｐ方向に移動する。そして、搬送子３が最大振幅位置まで進んだ時点で、再びスイッチング素子７を切換え動作させると、（ｄ）図のように移動子１は搬送子３から離れて固定子１に吸着される。これで移動子１は矢印Ｐ方向に１ステップ分だけ歩進移動することになる。
　以下、搬送子３に結合した振動子４の振動に同期させて前記動作を繰り返すことにより、振動子４の駆動による搬送子の振動動作が整流されて移動子１が矢印Ｐ方向に歩進移動する。・・・」（段落【００１５】、【００１６】）
　
　搬送子３は導電体であり（記載事項（Ａ））、可動電極４４及び固定電極４５、４６もその役割からして当然に導電体であるといえ、また、外枠部分４１ａ、４１ｂは電子ゲート素子のスイッチング素子６を介して電源５に接続され、外枠部分４１ｃはアース側に接続されている（記載事項（Ｂ’））から、外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６はいずれも導電体であると解するのが自然であり、また、搬送子３、梁としての可動支持体４２、外枠部分４１ｃ及び可動支持体４２と外枠部分４１ｃの間に形成された蛇行状のばね部４３も、いずれも導電体であると解するのが自然である。
　よって、上記記載事項（Ａ）、（Ｂ’）、静電アクチュエータの斜視図である図１及び搬送子と振動子の組合せ構造の平面図である図２より、
（イ）「『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と、上記『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』に対して振動可能であり、かつ、上記『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と電気的に絶縁されるとともに、『両側に設けられた、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』を有する、『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』とを具備する静電アクチュエータ。」との技術事項が読み取れる。
　
　また、搬送子３は振動子４に対して振動可能（記載事項（ｃ））となっているから、上記記載事項（ｃ）、図１及び図２から、
（ロ）「『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』とは、その全厚さ方向に貫通する外枠部分４１ａ、４１ｂと外枠部分４１ｃとの間の部分や固定電極４５、４６と可動電極４２の間の部分によって分離される相互に隣接する端部を有する。」との技術事項が読み取れる。
　
　また、上記記載事項（Ａ）、（Ｂ’）、図１及び図２より、
（ハ）「『両側に設けられた、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』は、外枠部分４１ａ、４１ｂと外枠部分４１ｃとの間の部分に配置された絶縁物４７を介して『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』に固定された外枠部分４１ｃを有する。」との技術事項が読み取れる。
　
　さらに、上記記載事項（Ａ）、（Ｂ’）、図１及び図２より、
（ニ）「絶縁物４７はその全厚さ方向に延長しており、絶縁物４７は、『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』の相互に隣接する端部のうちの外枠部分４１ａ、４１ｂが外枠部分４１ｃと隣接する部分のみと接触することによって上記『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と上記『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』とを接触させることで、上記『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』は、絶縁物４７によってのみ支持されている。」との技術事項が読み取れる。
　
　以上の技術事項（イ）〜（ニ）を総合勘案すると、引用例には、次の発明が記載されているものと認められる。
「『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と、
　『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』に対して振動可能でありかつ『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と電気的に絶縁されるとともに『両側に設けられた、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』を有する、『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』とを具備し、
　前記『外枠部分４１ａ、外枠部分４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』とはその全厚さ方向に貫通する外枠部分４１ａ、４１ｂと外枠部分４１ｃとの間の部分や固定電極４５、４６と可動電極４２の間の部分によって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記『両側に設けられた、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』は、外枠部分４１ａ、４１ｂと外枠部分４１ｃとの間の部分に配置された絶縁物４７を介して『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』に固定された外枠部分４１ｃを有し、絶縁物４７は、その全厚さ方向に延長するとともに、前記『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と前記『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』の相互に隣接する端部のうちの外枠部分４１ａ、４１ｂが外枠部分４１ｃと隣接する部分のみと接触することによって『外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分』と『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』とを接触させ、
　前記『搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分』は、絶縁物４７によってのみ支持されてなる静電アクチュエータ。」（以下、「引用発明」という。）
　
５．対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明における
「外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分」、「振動可能」、「両側に設けられた梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分」、「搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分」、「外枠部分４１ｃ」、「外枠部分４１ａ、４１ｂが外枠部分４１ｃと隣接する部分」及び「静電アクチュエータ」は、
　本願発明における
「第１部分」、「移動可能」、「少なくとも一つの延長部１６ｂ」、「第２部分」、「一端部」、「端部の一部」及び「アクチュエータ」にそれぞれ相当する。
　そして、引用発明における「外枠部分４１ａ、４１ｂと外枠部分４１ｃとの間の部分や固定電極４５、４６と可動電極４２の間の部分」も、
　本願発明における「少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄ」も、
　共に、「少なくとも１つの空間部」である点で共通している。
　
　したがって、両者は、
（一致点）
「第１部分と、
　第１部分に対して移動可能でありかつ第１部分と電気的に絶縁されるとともに少なくとも1つの延長部を有する、少なくとも1つの第２部分とを具備し、
　前記第1部分と第２部分とは全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの空間部によって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記少なくとも1つの延長部は、少なくとも１つの空間部に配置された電気的絶縁接続部を介して第１部分上に固定された一端部を有し、電気的絶縁接続部は、全厚さ方向に延長するとともに、前記第１部分と前記第２部分の相互に隣接する端部の一部のみと接触することによって第１部分と第２部分とを接触させ、
　前記第２部分は、電気的絶縁接続部によってのみ支持されてなることを特徴とするアクチュエータ。」　
で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
（１）相違点１：アクチュエータの製造方法に関して
　本願発明では、「非絶縁基板１０と、前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４」、「前記非絶縁基板１０に形成され、・・・第２部分１６」、「・・・第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される」とあるように、アクチュエータは、本願明細書の発明の詳細な説明の
本発明の実施形態の詳細な説明
　引用発明では、アクチュエータの製造方法については必ずしも明らかではない点。
　
（２）相違点２：延長部の形状について
　本願発明では、ビーム状とされているのに対し、
　引用発明では、延長部の一部は梁、すなわち、ビームとしての可動支持体４２ではあるものの、全体としてビーム状となっているとはいえない点。
　
６．当審の判断
　上記相違点について検討する。
（１）相違点１について
　一般に、この種のアクチュエータやセンサを、非絶縁基板である半導体基板を出発点にして、これに対してエッチング処理を行うことにより製造することは、例えば、引用例の「【従来の技術】最近では、マイクロ・メカトロニクスの分野に適用するアクチュエータとして、ＩＣ製造のマイクロ加工技術を利用して製作される超小形の静電アクチュエータが提唱され、その開発が進められている。」との記載や、原査定の拒絶の理由で引用された特開平７−３３３０７８号公報（発明の名称：センサ）、及び、同じく原査定の拒絶の理由で引用された特開平６−２７３４４１号公報（発明の名称：半導体式加速度センサの製造方法）などからも明らかなように周知な技術（以下、「周知技術１」という。）である。
　よって、引用発明のアクチュエータにその製造方法として周知技術１を適用し、アクチュエータの第１部分及び第２部分を、一つの半導体基板を出発点にして、これに対して例えばエッチング処理を行うことで作成されたものとすること、すなわち、本願発明のように「非絶縁基板１０と、前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４」、「前記非絶縁基板１０に形成され、・・・第２部分１６」、「・・・第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される」ようなものとすることは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
（２）相違点２について
　一般に、この種のアクチュエータやセンサにおいて、移動可能な第２部分を第１部分に弾性的に保持するための保持部分の形状を単純なビーム状のものとすることは、例えば、特開平４−１２７８８７号公報（特に、細長い「梁１４」に留意のこと。）や、原査定の拒絶の理由で引用された前記特開平７−３３３０７８号公報（特に、図１に示されたビーム状の「撓みばね１２」に留意のこと。）からも明らかなように周知な技術（以下、「周知技術２」という。）である。
　よって、引用発明に周知技術２を適用し、延長部の形状をビーム状とすることは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願発明の作用効果も引用発明並びに周知技術１及び周知技術２から当業者ならば予測可能なものであって、格別なものではない。
　
７．請求人の主張についての検討
（１）審判請求の理由について
　請求人は、審判請求の理由において、引用例の固定電極４５、４６が本願発明の第１部分１４に対応し、引用例の可動電極４４が本願発明の第２部分１６に対応するとの認定を前提に、引用例には本願発明がその特徴とする「第１部分１４と前記第２部分１６の相互に隣接する端部の一部のみと接続する」構成が記載も示唆もされていない旨主張している。
　しかしながら、本願発明の「第１部分」に対応するのは引用例から認定される引用発明の「外枠部分４１ａ、４１ｂ及び固定電極４５、４６からなる導電体の部分」であり、本願発明の「第２部分」に対応するのは引用発明の「搬送子３、梁としての可動支持体４２、蛇行状のばね部４３及び外枠部分４１ｃからなる導電体の部分」であることは、上記「５．対比」で説示したとおりである。
　よって、請求人の上記主張は引用例についての誤った認定を前提としており、採用することができない。
（２）回答書について
　請求人は、上記回答書において、本願発明は、第１部分と第２部分とが櫛歯状に形成され、互いに離間しながら噛み合うように配置されていること、その櫛歯状の端部で接続されていることは明らかであり、このような構成は引用例には記載も示唆もされていない旨主張している。
　しかしながら、本願発明は「・・・前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、・・・」とあるように、第１部分と第２部分とは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有するものであり、互いに隣接する端部の一部は櫛歯状に形成されているものの、互いに隣接する端部の全てが櫛歯状に形成されているものではない。
　このことは、本願発明を記載した請求項１１を引用する請求項１４に「各第１部分１４と第２部分１６の少なくとも１つの端部は、櫛歯形状を有し、第１部分１４と第２部分１６の櫛歯形状の端部は、各々交互に並ぶことを特徴とする請求項１１に記載のアクチュエータ。」と、第１部分１４と第２部分１６の少なくとも１つの端部が櫛歯形状であることを明記していることからもいえる。
　よって、請求人の上記主張は本願発明についての誤った認定を前提としており、採用することはできない。
　
８．本件補正を却下すべきものとした場合の予備的検討
　仮に本件補正後の請求項３又は請求項１３に係る発明が独立特許要件を満たさず、本件補正は却下されるべきものとした場合についても、念のため検討しておく。
　本件補正を却下した場合、本願の請求項１〜１９に係る発明は、補正１によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１９に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１１に係る発明は以下のとおりである。
「非絶縁基板１０と、
　前記非絶縁基板１０に形成された第１部分１４と、
　前記非絶縁基板１０に形成され、第１部分１４に対して移動可能でありかつ第１部分１４と電気的に絶縁されるとともにビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂを有する、少なくとも1つの第２部分１６とを具備し、
　前記第1部分１４と第２部分１６とは非絶縁基板１０の全厚さ方向に貫通する少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄによって分離される相互に隣接する端部を有し、
　前記ビーム状の少なくとも1つの延長部１６ｂは、少なくとも１つの切断部１８・２２ａ・２２ｂ・２２ｃ・２２ｄに配置された電気的絶縁接続部２０を介して第１部分１４上に固定された一端部を有し、電気的絶縁延長部２０は、前記非絶縁基板１０の全厚さ方向に延長するとともに、前記第１部分１４と前記第２部分１６の相互に隣接する端部の一部のみと接触することによって第１部分１４と第２部分１６とを接触させ、
　前記第２部分１６は、電気的絶縁接続部２０によってのみ支持されてなることを特徴とするアクチュエータ。」（以下、「本件補正前発明」という。）
　そこで検討するに、本件補正前発明は、本願発明と、本願発明における「・・・、電気的絶縁接続部２０は、・・・」との部分が「・・・、電気的絶縁延長部２０は、・・・」となっている点のみで異なっているに過ぎないから、両者は実質的に同一の発明である。
　よって、補正前発明も、上記「５．対比」及び「６．判断」で説示したと同様の理由で、引用発明並びに周知技術１及び周知技術２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるといえる。
　
９．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明も、本件補正前発明も、引用発明並びに周知技術１及び周知技術２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、いずれの発明も特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件補正を適法なものとして認めたとしても、本件補正を不適法なものとして却下したとしても、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。