(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程：
Ａ．可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Ａを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
Ｂ．工程Ａの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Ｂを形成する工程と、
Ｃ．物品Ｂの焼成されたアンダープリント上に少なくとも１層の厚膜ペーストを付着して物品Ｃを形成する工程であって、該厚膜ペーストが抵抗体ペーストまたは導体ペーストから選択される工程と、
Ｄ．物品Ｃを焼成して、少なくとも１つの焼成ペースト面を有する物品Ｄを形成する工程と、
Ｅ．物品Ｄの焼成ペースト面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
工程Ｂと工程Ｃとの間に、物品Ａの焼成されたアンダープリントの上に少なくとも１つの誘電体ペーストを付着し、それを焼成して物品Ｂを形成し、および工程Ｃにおいて付着される厚膜ペーストが導体ペーストであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程：
Ａ．可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Ａを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
Ｂ．工程Ａの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Ｂを形成する工程と、
Ｃ．物品Ｂの焼成されたアンダープリント上に少なくとも１層の熱硬化性厚膜導体を付着して物品Ｃを形成する工程と、
Ｄ．物品Ｃを硬化させて、少なくとも１つの硬化導体面を有する物品Ｄを形成する工程と、
Ｅ．物品Ｄの硬化導体面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項４】
前記金属基板と、前記導体ペーストの粒子とが同一の金属を有し、および金、銀、銅およびニッケルからなる群から選択されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
誘電体ペーストが酸化剤を含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項６】
工程Ｅにおいて形成される物品に封止材を提供する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機層上に厚膜受動部品を埋め込む改良式の方法であって、可撓性金属基板が、その上に塗布された導電性ペーストアンダープリントを有する方法を対象とする。
【０００２】
【従来の技術】
現在の受動部品は、通常は抵抗器またはコンデンサ厚膜技術に由来し、金属導体によって終端された組込み受動組成物を含む担体からなる。これらの受動部品は、ピック／プレース機器を用いてプリント配線板（ＰＷＢ）の表面に一つずつ装着され、接着剤、フラックス、はんだペーストおよび／または流動はんだ付けまたはリフローを含むいくつかの複雑なプロセスの１つによって電気的に回路に接続される。
【０００３】
電子装置の小型化の要求が高まるにつれ、単位面積あたりの回路密度および構成部品密度はともに劇的に増大した。構成部品数は指数関数的に上昇し、必然的に構成部品サイズは縮小された。ボード設計の小型化、高密度化は、現在の技術の実用上の限界に近づいているため、回路設計者は、使用可能な領域を既に最大限利用しており、構成部品をいっそう小型化するか、あるいは構成部品を内側の層の中に埋め込む、すなわち構成部品を垂直に積み重ねない限り、構成部品を追加することはできない。
【０００４】
特開平２−１５３５８９号公報に見られるような初期の埋込み受動パネルでは、受動部品が金属箔上に直接に印刷される。この方法には、抵抗器の接着の問題、コンデンサの低静電容量および高散逸率などの欠点がある。本発明は、受動部品を印刷する前に金属箔に付着したペーストアンダープリントの適用によって良好な接着を達成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明は、現在のサーメット厚膜技術を用いて受動部品を形成する改良式の方法を利用して、低コストで有機基板上に埋込み部品を形成する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程：
Ａ．可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Ａを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
Ｂ．工程Ａの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Ｂを形成する工程と、
Ｃ．物品Ｂの焼成されたアンダープリント上に少なくとも１層の厚膜ペーストを付着して物品Ｃを形成する工程であって、該厚膜ペーストが抵抗体ペーストまたは導体ペーストから選択される工程と、
Ｄ．物品Ｃを焼成して、少なくとも１つの焼成ペースト面を有する物品Ｄを形成する工程と、
Ｅ．物品Ｄの焼成ペースト面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含む方法を対象とする。ここで、工程Ｂと工程Ｃとの間に、物品Ａの焼成されたアンダープリントの上に少なくとも１つの誘電体ペーストを付着し、それを焼成して物品Ｂを形成し、および工程Ｃにおいて付着される厚膜ペーストが導体ペーストであってもよい。この誘電体ペーストは酸化剤を含んでもよい。あるいはまた、前記金属基板と、前記導体ペーストの粒子とが同一の金属を有し、および金、銀、銅およびニッケルからなる群から選択されてもよい。また、工程Ｅにおいて形成される物品に封止材を提供する工程をさらに含むことを特徴とする。
【０００７】
本発明はさらに、厚膜受動部品を埋め込む方法であって、以下の工程：
Ａ．可撓性金属基板上に導体ペーストをアンダープリントとして付着して、物品Ａを形成する工程であって、該導体ペーストは該金属基板と同一の金属の粒子を含む工程と、
Ｂ．工程Ａの物品を焼成して、焼成されたアンダープリントを有する物品Ｂを形成する工程と、
Ｃ．物品Ｂの焼成されたアンダープリント上に少なくとも１層の熱硬化性厚膜導体を付着して物品Ｃを形成する工程と、
Ｄ．物品Ｃを硬化させて、少なくとも１つの硬化導体面を有する物品Ｄを形成する工程と、
Ｅ．物品Ｄの硬化導体面を、少なくとも部分的に接着剤層でコーティングされた有機層の少なくとも一方の面に付着する工程であって、前記物品の焼成ペースト面が接着剤層中に埋め込まれる工程と、
を含む方法を対象とする。
【０００９】
尚、本発明においては、次いで、従来の印刷／エッチング処理を使用して導体をパターニングすれば、上記方法は完了となる。
【００１０】
全てのペーストが焼成工程で同じ炉プロフィルを使用する限り、原則的に、抵抗器ペーストとコンデンサペーストを一緒に印刷することができ、複数のグレードの抵抗器ペースト、複数のグレードのコンデンサペーストを一緒に印刷することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明は、既存のセラミック厚膜技術を利用して抵抗器、コンデンサなどの埋込み受動部品を有機ＰＷＢおよびその他の有機層上に形成することを可能にする、改良式のプロセスである。この改良式プロセスは、アンダープリントを形成するペーストを利用する。このアンダープリントは受動部品を印刷する前に金属箔に付着される。用語「ペースト」は、電子材料業界で従来から使用されている語であり、厚膜組成物を指す。アンダープリントは接着性を大幅に増大させる。アンダープリントは金属箔および有機層によく接着することが分かっている。一般的には、アンダープリント中の金属を金属箔中の金属に一致させる。例えば銅箔を使用する場合には、銅ペーストをアンダープリントとして利用する。その他の適用例としては、銀、金およびニッケル箔を、アンダープリントとして使用する同種の金属ペーストと組み合わせる。
【００１２】
好ましい系は、銅箔に、アンダープリントとして使用する銅ペーストを組み合わせたものである。銅ペーストは、オープンコーティングとして箔の表面全体に印刷してもよいし、または選択した領域上に印刷してもよい。選択領域上に印刷したほうが経済的である。領域は、印刷／エッチングプロセスによって選択することもできる。銅箔を使用するときに箔の全面をコーティングする利点は、酸素ドープ焼成雰囲気を使用したときに銅ペースト中のガラスが銅箔の酸化的腐食を遅らせることである。
【００１３】
銀箔は、銅箔に代わるものである。銀は空気焼成に対して安定なため、銀箔には、より優れた電気的特性を有する空気焼成抵抗器が使用できるという利点がある。銀の欠点は、値段が高いことと移動しやすいことであり、また、業界標準ではないエッチング化学作用が必要になる。
【００１４】
特許請求する諸方法の実施形態を、第１の金属終端として銀ペーストを、第２の金属終端として金ペーストを使用して詳細に説明する。例示のために銀および金の金属を使用するが、本発明はこれらの金属に限定されない。銀ペーストアンダープリントを銀箔に付着し、次いで銀箔の融点よりも低い温度で乾燥、焼成する。アンダープリントを付着した銀箔上に抵抗器ペーストをスクリーン印刷によってパターニングし、次いで、銀の融点よりも低い一般に８５０℃で乾燥、焼成する。次いで焼成した抵抗器／箔を裏返し、これを、少なくとも部分的に１層または数層の接着剤からなるプリント配線板（ＰＷＢ）などの有機層に積層する。これによって抵抗器は接着剤中に沈み込み、終端をエッチングするのに適した平らな面が形成される。次いでＥ．Ｉ．ｄｕ  Ｐｏｎｔ  ｄｅ  Ｎｅｍｏｕｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｍｐａｎｙ社製のＲｉｓｔｏｎ（登録商標）などのフォトレジストを銀箔上に積層する。次いでこのフォトレジストをＵＶ光で露光し、抵抗器および銀終端、ならびに任意選択でその他の回路トレースのパターンを生成する。
【００１５】
次いで露光したフォトレジストを現像し、こうして露出させた銀を、シアン化物、王水またはその他の適当なエッチング剤を使用してエッチングして、抵抗終端（および任意選択で回路トレース）を生成する。次いでフォトレジストを剥がし、所望の回路を残す。任意選択でこの回路を、例えば硬化性エポキシ封止材を用いて封入してもよい。
【００１６】
抵抗器構造にコンデンサを追加する場合には、抵抗器ペーストの焼成およびＰＷＢへの積層の前に、少なくとも１層の誘電体ペースト（通常は空気焼成が可能な高Ｋ誘電体）を抵抗器ペースト上にパターニングおよび印刷する。これによって抵抗器ペーストと同じ平面に誘電体（コンデンサ）を配置することができる。次いで誘電体ペーストを乾燥し、抵抗器と一緒に焼成する。次いで焼成した誘電体パターン上に第２の電極材料（例えば金ペースト）を印刷し、電極材料が、誘電体パターンの一面から銀アンダープリントおよびことによると銀箔（アンダープリントをパターンとして付着した場合）上に達するようにパターニングして、より複雑な構造を形成する。次いでこの構造を低温（＜４００℃）で焼成して、第１の電極を形成する銀アンダープリントおよび／または銀箔上に第２の電極を焼結させる。ただし、銀アンダープリントおよび／または銀箔ならびに金プリントが互いの中に拡散しないような十分に低い温度であってはならない。あるいは第２の電極に熱硬化性厚膜銀ペーストを使用し、厚膜銀ペーストを焼成する代わりに硬化させてもよい。
【００１７】
次いで、焼成したコンデンサおよび抵抗器を含む銀箔を裏返し、積層後に、受動部品がＰＷＢ上の接着剤層の中に埋め込まれるようにする。次いで銀箔上にフォトレジストを積層し、電極および終端を画定するパターンを露光する。コンデンサの頂部電極は、銀のエッチング剤でエッチングされない金属からなっていなければならない。こうすると銀電極および両終端を、印刷／エッチングプロセス中に形成することができる。頂部電極は、先に説明したように先にスクリーン印刷したものである。
【００１８】
異なる焼成条件を必要とする材料を適当な順番に配列することによって、または同じ焼成プロフィルを有するプロセスと適合する抵抗器ペーストとコンデンサペーストをマッチングすることによって、抵抗器とコンデンサの両方を含む単一の層を製作することができる。
【００１９】
抵抗器なしでコンデンサだけを使用する場合には、抵抗器の層を導入する工程を以上の説明から省く。
【００２０】
図１から図３は、本発明の方法に基づいて製作された埋込み受動部品を示す図である。本発明の最も一般的な実施形態を示し、以下に詳細に説明する。
【００２１】
図１について、
（ａ）金属箔（１０２）上に付着し、次いで金属箔の軟化点よりも低い温度で焼成した導電性ペーストアンダープリント（１０６）上に、受動部品として知られる厚膜抵抗器またはコンデンサ（１０１）を印刷する。
（ｂ）一方の面を接着剤層（１０４）でコーティングしたプリント配線板（ＰＷＢ）（１０３）である。
（ｃ）焼成した金属箔の印刷面とＰＷＢの接着剤層の面とを積層する。
【００２２】
図２について、
（ｄ）受動部品が内向きに積層されている。すなわち積層プロセスの間に受動部品が接着剤層中に埋め込まれる。これによって感光性膜を付着するための比較的に平らな面が得られる。
（ｅ）次いで感光性膜（１０５）を金属箔上に積層する。
（ｆ）この膜を化学線でイメージ通りに露光して露光された領域を画定する。
【００２３】
図３について、
（ｇ）膜の露光していない領域を除去することによって現像し、金属箔を露出させる。
（ｈ）次いで金属箔をエッチングする。
（ｉ）回路と受動部品が同じ平面に実現されている。
【００２４】
先に述べたように以上のプロセスを両面構造に適用することができる。
【００２５】
本発明の主な構成要素を以下に説明する。
【００２６】
箔
金属箔は当業界で使用可能な箔である。好ましい箔は、厚さ約０．０１〜１００μ、好ましくは２〜７５μ、最も好ましくは１５〜４０μの銅、銀、金、アルミニウム、ニッケルまたは鉄箔である。
【００２７】
厚膜組成物
ペーストとして知られる厚膜組成物は、アンダープリントおよび受動部品として利用される。抵抗器組成物は市販されており、ＲｕＯ２、ＬａＢ４、ＳｎＯ２、またはＴａＮベースの厚膜抵抗器ペーストであることが好ましい。コンデンサ厚膜組成物は市販されており、チタン酸バリウムまたは酸化チタン厚膜ペーストであることが好ましい。厚膜ペーストは一般に、細かくしたガラスまたは金属粒子、あるいはその他の特殊機能タイプの粒子（「固形物」と称する）を、可塑剤、分散剤、有機溶媒の混合物に溶かしたポリマー中に分散させたものからなる。受動部品用の好ましいペーストは、当業界で周知の抵抗器ペーストであり、市販のものであるが、所望の抵抗を得るためにはブレンディングが必要となる場合もある。コンデンサペーストも市販されているが、銅系上に印刷する好ましいペーストは、窒素雰囲気中で良好なバーンアウトを示す有機ビヒクル、およびこの誘電体粉末混合物中に混合された硝酸バリウム粉末などの酸化成分を有する。
【００２８】
固形物は、遊星形ミキサーを使用した機械混合によって実質上不活性な液体媒質（ビヒクル）と混合し、次いで３ロールミル上で分散させて、スクリーン印刷に適したコンシステンシおよびレオロジを有するペースト状組成物を形成する。このペースト状組成物を従来の方法で、従来のセラミック基板上に「厚膜」として印刷する。
【００２９】
実質上不活性な液体でありさえすればビヒクルとして使用することができる。増粘剤および／または安定化剤および／またはその他の一般的な添加剤を用いて、またはこれらを用いずに、さまざまな有機液体をビヒクルとして使用することができる。使用することができる有機液体の例には、脂肪族アルコール；脂肪族アルコールのエステル、例えば酢酸エステルおよびプロピオン酸エステル；パイン油、テルピネオールなどのテルペン類；低級アルコールのポリメタクリル酸エステルなどの樹脂溶液；パイン油、エチレングリコールモノアセタートのモノブチルエーテルなどの溶媒に溶かしたエチルセルロース溶液；およびジブチルカルビトールなどがある。好ましいビヒクルは、エチルセルロース樹脂、およびＥａｓｔｍａｎ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ社の特許エステル／アルコールであるテキサノール（ｔｅｘａｎｏｌ）溶媒（実施例参照）に基づく。代替として、α−、β−、およびγ−テルピネオール（一般にβ−およびγ−テルピネオールを８〜１５％を含む８５〜９２％α−テルピネオール）も、厚膜インク用の溶媒として使用したときに優れた特性を有する。ただしバーンアウト特性はテキサノールよりも劣る。ビヒクルはさらに、基板に付着した後の速硬化を促進するために揮発性液体を含むことができる。
【００３０】
分散中のビヒクルと固形物の比はかなり変化させることが可能で、分散を適用する方法および使用するビヒクルの種類によって決まる。上述したように、良好な被覆面積を達成するためには通常、分散が固体５０〜９１％およびビヒクル５０〜９％を含む。もちろん、その有利な特性に影響を及ぼさないその他の材料を追加して本発明の組成物を変更することができる。このような調合物は当技術分野の技術範囲に十分に含まれる。
【００３１】
これらのペーストは、３ロールミル上で調製すると都合がよい。ブルックフィールド（Ｂｒｏｏｋｆｉｅｌｄ）ＨＢＴ粘度計でずり速度を低、中、高として測定したペーストの粘度は、一般に以下の範囲にある。
【００３２】
【表１】
0003556164.tif 000002
【００３３】
有機層
本発明で使用する好ましい有機層は、プリント回路板業界で利用されるタイプのボードである。これらは一般に、高圧ラミネートから製作される。定義によればラミネートは、熱硬化性樹脂を用いて加熱加圧下で一体に接着された複数の繊維質材料層からなる。ラミネートはしばしば、フェノールまたはエポキシ樹脂を用いて接着された電気グレード（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ−ｇｒａｄｅ）紙、またはエポキシ樹脂系を用いて接着された連続フィラメントガラス布である。より具体的に例を挙げると以下のようなものがある。
【００３４】
フェノール樹脂を含浸させた高品質電気紙（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  ｐａｐｅｒ）から作られるＸＸＸＰＣ。
【００３５】
難燃性を除けばＸＸＸＰＣグレードと同様のＦＲ−２。
【００３６】
ＦＲ−３は自己消炎性ペーパーエポキシである。
【００３７】
Ｇ−１０は、エポキシ樹脂を用いて接着されたガラス布のシートから作られた高品質ラミネートである。
【００３８】
ＦＲ−４は、自己消炎特性が追加されている点を除けばＧ−１０によく似ている。Ｇ−１１は、ガラス布−エポキシである。現在のところＦＲ−４が多くの適用に対して好ましい基板材料である。
【００３９】
ＦＲ‐５は、Ｇ−１１を修正して耐炎性を持たせたものである。
【００４０】
接着剤
接着剤は、電気絶縁性でなければならない。エポキシ、樹脂、アクリル、またはセラミックタイプの接着剤を使用することができる。付着する接着剤の好ましい厚さは約０．０４から約０．２ミリメートルである。好ましい接着剤は、市販されているＶｉａｌｕｘ（登録商標）、Ｐｙｒａｌｕｘ（登録商標）およびＰｙｒａｌｕｘ  ＷＡ（登録商標）である。
【００４１】
実際の例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。ただしこれらの実際の例によって本発明の範囲が限定されるわけではない。
【００４２】
（実施例）
以下の実施例中の値は全て組成物全量に対する質量％で与えられる。
【００４３】
組成物
銅ペーストアンダープリントの組成は以下の通りである：
テキサノール                  １５．００％
エチルセルロース                ０．７５％
ガラスＡ                        ０．６０％
銅                            ８３．５０％
リン酸塩湿潤剤                  ０．１５％
ガラスＡの組成：
シリカ                          ９．４％
Ｂ２Ｏ３                        １２．２％
酸化鉛                        ６５．９％
酸化カドミウム                  ６．７％
フッ化ナトリウム                ３．２％
酸化アルミニウム                ０．２％
【００４４】
ペーストは、厚膜ペースト調合および製造の当業者に周知の技術で調製した。ガラスは、ガラス製造の当業者に周知の標準技術を使用して融解しフリット化した。スクリーン印刷は、標準スクリーン（ステンレス鋼メッシュ、３２５から５００メッシュスクリーン）を使用して実施した。銅箔上の焼成膜の厚さは１０ミクロン未満、一般に８から９ミクロンであった。
【００４５】
【表２】
0003556164.tif 000003
【００４６】
材料は、塗料工業で一般に使用されているＣｏｗｌｅｓなどの高せん断高速ミキサー中で混合した。この方法でアルミナは十分に分散し、追加のロールミリングは使用しなかった。
【００４７】
プロセスフロー
接着剤層を用いる部品のプロセスと接着剤層を用いない部品のプロセスは、非常によく似ている。実施例１〜６は、比較を目的としたものであり、銅ペーストアンダープリントを用いない場合を示す。実施例７〜１２は本発明の例であり、銅ペーストアンダープリントを用いた場合を示す。部品は、２３０〜２８０メッシュのスクリーンを使用して印刷し、８０℃で乾燥し、公称「３０分」の炉プロフィル（温度９００度で１０分ピーク、バーンアウトランプ最大２０分）で焼成した。非加熱ゾーンでさらに２５分放置し、トンネル窯炉中の総滞留時間を５５分とする。
【００４８】
【表３】
0003556164.tif 000004
【００４９】
【表４】
0003556164.tif 000005
【００５０】
【表５】
0003556164.tif 000006
【００５１】
上表で、星印の付いた値は、終端接点が明らかにダメージを受けた抵抗器からとったものである。アンダープリントのないボード（実施例１〜６）の値は、終端の接着が不十分なことが原因で望ましくない値となった。アンダープリント層を用いずに処理した抵抗器の性能は、その他の点でも劣っていた。第１に、これらの高オーム抵抗器では銅への接着が非常に不十分であった。抵抗器が、このプロセスの間にランダムに銅箔から外れると、このことは、取扱い中に明らかになった。さらに接着が不十分であることが、Ｃｕアンダープリントのない抵抗器では抵抗値の変動を大きくし、実施例１３ではコンデンサの散逸率を大きくした。
【００５２】
実施例１３
アンダープリントを有する銅箔上に誘電体ペーストを、２回の印刷／乾燥／焼成の作用順序を使用して印刷した。これは２層の誘電層を形成してピンホールの影響を最小限に抑えるためである。部品は、４００メッシュのスクリーンを使用して印刷し、８０℃で乾燥させ、公称「３０分」の炉プロフィル（温度９００度で１０分ピーク、バーンアウトランプ最大２０分）で焼成した。非加熱ゾーンでさらに２５分放置し、トンネル窯炉中の総滞留時間を５５分とする。
【００５３】
アンダープリントを付着した銅箔上に誘電体を印刷し、焼成した後、誘電体上に低温銀ペーストを印刷し、誘電材料の縁からリード線を延ばした。銅は、銀リード線のエッチングに影響を及ぼさないため、銅をそれからエッチングした後にそれにアクセスすることができる。銀ペーストは、炉中で２００℃１０分間焼成する。焼成が終わると、材料を積層、印刷、エッチングすることができる。通常は、銀リード線の一部分の上に銅パッドを残し、接続点とする。
【００５４】
誘電体ペーストの組成は以下の通りである：
酸化ジルコニウム粉末                  ４．１０％
ガラス「Ａ」                          ６．１０％
エチルセルロース                      ０．８３％
Ｅａｓｔｍａｎ社製テキサノール      １７．６３％
チタン酸バリウム粉末                ６９．２０％
硝酸バリウム粉末                      ０．８４％
リン酸塩湿潤剤                        ０．４０％
ガラス「Ａ」の組成は以下の通りである：
酸化ゲルマニウム                    ２１．５％
四酸化鉛                            ７８．５％
【００５５】
テキサノールは、Ｅａｓｔｍａｎ社の特許エステル／アルコール、エチルセルロースは、Ｈｅｒｃｕｌｅｓ社の「Ｔ−２００」グレード、リン酸塩湿潤剤は、ＡＫＺＯ社のトリデシルホスフェートである。粉末は、厚膜インク調合分野の技術者に周知のプロセスで粉砕する。ガラスも一般に使用される手順を使用して調製する。処方の有機および無機部分を混合し、ロールミルで摩砕して、スクリーン印刷に適した粘度の厚膜印刷インクを製造する。
【００５６】
銀ペーストの組成は次の通りである：
５ミクロン銀フレーク                ４８．２％
１〜２ミクロン銀                    ２６．８％
０．６から０．８ミクロン銀            ３．６％
エチルセルロース樹脂                  １．４％
テキサノール                        ２０．０％
エチルセルロースはＨｅｒｃｕｌｅｓ社のＴ−２００グレード、テキサノールはＥａｓｔｍａｎ社のアルコール／エステル溶剤である。銀ペーストは、厚膜技術の調合技術者に周知の手法を使用して調製した。
【００５７】
このように準備した部品を、ＰＷＢ製造分野の技術者に周知のプロセスを使用して裏返し、積層し、フォトレジストでコーティングし、露光し、現像し、エッチングし、剥離した。
【００５８】
以下に、これらの材料を用いて製作したコンデンサの電気特性を示す。
【００５９】
静電容量は約１５０ｎＦ／ｉｎ２（約２３ｎＦ／ｃｍ２）、標準偏差は＜１０％、Ｄｆは、１ＫＨｚから１００ＫＨｚで約０．９から約１．７％、ＩＲは＞５×１０９オーム、破壊電圧は約３００Ｖである。
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、現在のサーメット厚膜技術を用いて受動部品を形成する方法を利用することにより、低コストで有機基板上に埋込み部品を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、金属箔上に付着され、焼成された導電性ペーストアンダープリント上に、受動部品が印刷された状態を示す図であり、（ｂ）は、一方の面が接着剤層でコーティングされたプリント配線板（ＰＷＢ）を示す図であり、（ｃ）は、焼成した金属箔の印刷面とＰＷＢの接着剤層の面とを積層する工程を示す図である。
【図２】（ｄ）は、積層プロセスの間に受動部品が接着剤層中に埋め込まれた状態を示す図であり、（ｅ）は、感光性膜が金属箔上に積層された状態を示す図であり、（ｆ）は、感光性膜を化学線でイメージ通りに露光して露光された領域を画定する工程を示す図である。
【図３】（ｇ）は、膜の露光していない領域を除去することによって現像され、金属箔が露出された状態を示す図であり、（ｈ）は、金属箔がエッチングされた状態を示す図であり、（ｉ）は、回路と受動部品が同じ平面に実現されている状態を示す図である。
【符号の説明】
１０１  受動部品（厚膜抵抗器またはコンデンサ）
１０２  金属箔
１０３  プリント配線板（ＰＷＢ）
１０４  接着剤層
１０５  感光性膜
１０６  導電性ペーストアンダープリント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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