(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間を形成する放電容器内にハロゲンが封入された放電ランプの製造方法であって、
臭化水銀を吸着したタングステンの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体を加熱して放出される臭素を放電容器内に導入する工程を有することを特徴とする放電ランプの製造方法。
【請求項２】
放電容器とされる主体管部と、当該主体管部に連設された付属管部とを有する封管体の当該付属管部内に、臭化水銀を吸着したハロゲン導入用担体を配置し、このハロゲン導入用担体を外部から加熱することを特徴とする請求項１に記載の放電ランプの製造方法。
【請求項３】
臭素を放出したハロゲン導入用担体が回収されて、臭化水銀が吸着され、再び用いられることを特徴とする請求項２に記載の放電ランプの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の放電ランプの製造方法によって得られる放電ランプであって、
放電空間の体積が８０ｍｍ3 以下であると共に、臭素の封入量が１．７×１０-4〜６．７×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3 であることを特徴とする放電ランプ。
【請求項５】
放電空間を形成する放電容器内に臭素が封入された放電ランプであって、
タングステンの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体が、放電容器内に配置されていることを特徴とする放電ランプ。
【請求項６】
タングステン金属の密度の４０〜７０％の密度を有するタングステンの多孔質体よりなり、臭化水銀が吸着されることにより請求項１〜請求項３のいずれかに記載の放電ランプの製造方法に用いられることを特徴とするハロゲン導入用担体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電ランプの製造方法および放電ランプ並びにハロゲン導入用担体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、投射型の液晶ディスプレイ装置のバックライトなどとして用いられる放電ランプとしては、メタルハライドランプに代わり、点灯時に、例えば２００バール（約１９７気圧）以上ものきわめて高い水銀蒸気圧を有する高圧水銀ランプが用いられている（特開平２−１４８５６１号公報、特開平６−５２８３０号公報参照）。
【０００３】
ここで、特開平２−１４８５６１号公報には、タングステンよりなる放電電極を有する放電容器内に、希ガスと、０．２ｍｇ／ｍｍ３  以上となる量の水銀と、１×１０−６〜１×１０−４μｍｏｌ／ｍｍ３  となる量のハロゲンとを封入してなり、管壁負荷が１Ｗ／ｍｍ２  以上となる電力で動作される高圧水銀ランプが開示されている。
この高圧水銀ランプにおいて、ハロゲンを封入する理由は、放電容器の管壁の黒化を防止するためである。そして、この高圧水銀ランプにおいてハロゲンを封入する方法としては、ハロゲンである臭素を臭化メチレン（ＣＨ２  Ｂｒ２  ）の形で導入する手段が記載されている。
【０００４】
しかしながら、臭化メチレンの形でハロゲンを放電容器内に封入する場合には、必然的に炭素および水素が放電容器内に導入され、これにより、得られる高圧水銀ランプの放電容器内に炭素および水素が存在することになる。
而して、この方法によれば、得られる高圧水銀ランプにおいて必要とされる多量のハロゲンを封入させるために導入する臭化メチレンの量を増加させると、それに伴い炭素および水素が導入される量も多くなってしまい、その結果、得られる高圧水銀ランプには、炭素および水素に起因する放電容器の管壁には黒化や白濁による失透などの現象が生じる。
【０００５】
また、上記の高圧水銀ランプの製造においては、放電容器とされる石英ガラス管に一方の気密封止部を形成した後、分岐するガス導入管を介して臭化メチレンを導入し、その後、他方の気密封止部を形成する工程が含まれるが、この高圧水銀ランプの製造に際して、封入されるハロゲンの量を正確に制御することは、臭化メチレンが気体であって作業温度を制御することも必要となるため、極めて困難である。
【０００６】
ハロゲンを封入する他の方法としては、金属ハロゲン化物をペレットの形で導入する手段が知られている。この方法は、従来、メタルハライドランプの製造に用いられている。
【０００７】
然るに、近年、液晶プロジェクターの光源として使用されている超高圧水銀ランプでは、動作圧を上げて点灯させるために、放電容器によって形成される放電空間の体積が８０ｍｍ３  以下と小さいものになっており、この放電容器の管壁の黒化を防止するために必要なハロゲン量は３μｇ以下である。
然るに、一般に入手し得るペレットは、最小のものでもその質量が２０μｇであるため、過剰な量のハロゲンが放電容器内に封入されてしまい、その結果、ハロゲンが放電電極を損耗させることになり、輝点移動などの好ましくない現象が発生する。
【０００８】
ハロゲンを封入する更に他の方法としては、特開平１１−２９７２６８号公報に、ハロゲン化水銀をランプの構成部材の一部に蒸着させて放電容器に導入する技術が開示されている。具体的には、金属よりなる電極部にハロゲン化水銀を蒸着させることにより、放電容器内にハロゲンが導入される。
この方法は、前述の上記の２つに方法に比して、結果的に水素および炭素を導入することなしに少量のハロゲンを封入することができる点で優れた方法ではあるが、蒸着による付着量の制御が困難なため、ハロゲンの封入量のばらつきが大きくなってしまう。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、従来の方法では、僅少量のハロゲンを正確な量で、しかも弊害を伴わずに導入することは困難である。
本発明はこのような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、目的とする量のハロゲンが僅少量であっても、その量を正確に規制することができ、しかも放電容器内に炭素および水素を伴うことなく、きわめて容易な作業で導入することができる放電ランプの製造方法を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、十分な動作圧が得られると共に、良好な点灯状態を長時間保つことのできる放電ランプを提供することにある。
更に、本発明の第３の目的は、僅少量であっても金属ハロゲン化物を正確な量で取り扱うことのできるハロゲン導入用担体を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の放電ランプの製造方法は、放電空間を形成する放電容器内にハロゲンが封入された放電ランプの製造方法であって、
臭化水銀を吸着したタングステンの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体を加熱して放出される臭素を放電容器内に導入する工程を有することを特徴とする。
【００１１】
以上の製造方法において、放電容器とされる主体管部と、当該主体管部に連設された付属管部とを有する封管体の当該付属管部内に、臭化水銀を吸着したハロゲン導入用担体を配置し、このハロゲン導入用担体を外部から加熱してもよい。
【００１２】
上記の臭素を放出したハロゲン導入用担体が回収されて、臭化水銀が吸着され、再び用いられることが好ましい。
【００１４】
本発明の放電ランプは、前記放電ランプの製造方法によって得られる放電ランプであって、
放電空間の体積が８０ｍｍ3 以下であると共に、臭素の封入量が１．７×１０-4〜６．７×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3 であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の放電ランプは、放電空間を形成する放電容器内に臭素が封入された放電ランプであり、タングステンの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体が、放電容器内に配置されている構成とすることができる。
【００１６】
本発明のハロゲン導入用担体は、タングステン金属の密度の４０〜７０％の密度を有するタングステンの多孔質体よりなり、臭化水銀が吸着されることにより上記の放電ランプの製造方法に用いられることを特徴とする。
【００１７】
【作用】
以上のような放電ランプの製造方法によれば、金属ハロゲン化物がおよそ単分子層で吸着する多孔質体よりなるハロゲン導入用担体によってハロゲンが導入されるため、この導入に用いられるハロゲン導入用担体の量を制御することにより、目的とするハロゲンの導入量が僅少量であっても、その量を正確に規制することができ、しかもその量のハロゲン導入作業はきわめて容易である。
また、金属ハロゲン化物によってハロゲンが導入されることから、ハロゲンと共に炭素および水素が放電容器内に導入されることがない。
【００１８】
本発明の放電ランプによれば、小さい体積の放電空間を有する放電容器内に、所期の量のハロゲンが封入されているため、確実に目的とする光束維持率を得ることができ、しかも過剰な量のハロゲンに起因する放電電極の損耗による輝点移動などの好ましくない現象の発生を防止することができる。
また、放電容器内に炭素および水素を導入しないため、これらに起因する放電容器の管壁の黒化や失透などが生じることがない。
【００１９】
本発明のハロゲン導入用担体は、タングステンの多孔質体であって、比較的大きな比表面積を有し、しかも金属ハロゲン化物がおよそ単分子層で吸着されるものであるため、用いるハロゲン導入用担体の量を制御することにより、実際に必要とされる金属ハロゲン化物が僅少量であっても、正確な量で取り扱うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の放電ランプの一例である高圧水銀ランプの構成を示す説明用断面図である。
この高圧水銀ランプは、楕円球状の発光管部１１と、その両端に続いて管軸方向外方に伸びる直管状の封止管部１２とよりなる放電容器１０を有してなり、封止管部１２内には、例えばモリブデンよりなる金属箔１６が気密に埋設されて気密封止部１８が形成されており、当該金属箔１６の内端面から管軸方向内方に突出して伸びる電極棒１３の先端に形成された、タングステンよりなる放電電極１４が、発光管部１１に囲繞された放電空間１７内において互いに対向する状態とされている。１５は、金属箔１６を介して電極棒１３に電気的に接続された外部リード棒である。
【００２１】
この高圧水銀ランプにおいては、放電空間１７の体積が８０ｍｍ３  以下とされている。
また、放電容器１０内には、内容積１ｍｍ３  当たり１．７×１０−４〜６．７×１０−４μｍｏｌとなる量のハロゲンと、希ガスおよび水銀とが封入されている。ここで、ハロゲンの封入量が１．７×１０−４μｍｏｌ／ｍｍ３  より少ない場合には、十分にハロゲンサイクルを維持することができず、良好な光束維持率を得ることができない。一方、ハロゲンの封入量が６．７×１０−４μｍｏｌ／ｍｍ３  より多い場合には、放電電極１４の損耗が大きく、例えば輝点移動などが生じることにより、短時間のうちに光束維持率が低下することになる。
ハロゲンとしては、臭素、塩素、沃素などが用いられ、水銀および希ガスとしては、従来公知のものが適宜の封入量で用いられる。
【００２２】
上記の放電ランプを製造するための方法について説明する。
先ず、図２に示すように、楕円球状の発光管部およびその両端に続いて管軸方向外方に伸びる直管状の封止管部よりなる放電容器とされる主体管部２１と、当該主体管部２１の一端側（図２において右側）に、封止管部が延長された状態に連設された付属管部２３とを有する封管体２０に、２体の電極組立体１９、１９を挿入して保持されたものを作製する。
【００２３】
ここに、電極組立体１９は、先端に放電電極１４が形成された電極棒１３の後端に金属箔１６の一端を接合し、この金属箔１６の他端に外部リード棒１５の先端が接合されてなるものである。
また、各々の電極組立体１９、１９は、封管体２０内において放電電極１４が、放電空間とされる空間２７において互いに対向し、各々の金属箔１６、１６が主体管部２１の封止管部とされる位置に配置されている。
そして、封管体２０の他端側（図２において左側）においては、一方の電極組立体１９の金属箔１６が位置する個所において気密封止部１８が形成されている。また、この封管体２０における付属管部２３内には、金属ハロゲン化物を吸着した、制御された大きさの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体２５が配置されている。
なお、この封管体２０内には、例えば希ガスなどの封入物が所期の量で封入されている。
【００２４】
次いで、例えば図３に示すように、付属管部２３と、これに続く封止管部とされる部分とを電気炉３２中に挿入し、当該電気炉３２により、例えば５００〜１０００℃で５〜２０分間加熱する。この際、主体管部２１における発光管部とされる部分は、熱遮蔽板３５によって電気炉３２からの熱が遮断されると共に、当該部分を覆うよう設置された冷却治具３４によって冷却されている。
【００２５】
ここで、封管体２０の加熱は、当該封管体２０の付属管部２３内に配置されたハロゲン導入用担体２５からハロゲンを放出させるのに十分な条件で行われるものであればよく、例えば付属管部２３を、その外周からバーナーにより加熱することもできる。
【００２６】
以上のように、封管体２０の付属管部２３内に配置されたハロゲン導入用担体２５を当該付属管部２３の外部から加熱すると、ハロゲン導入用担体２５から金属ハロゲン化物がガスとなって放出され、これが放電空間とされる空間２７に拡散移動し、温度が低い主体管部２１内に導入された状態となる。
【００２７】
次いで、電気炉３２から取り出され、冷却治具３４が外された封管体２０において、付属管部２３が連設されている一端側の電極組立体１９の金属箔１６が位置する個所でシールすることにより、気密封止部１８を形成する。その後、封管体２０の一端側における付属管部２３を除去することにより、図１に示すような高圧水銀ランプが製造され、これと共にハロゲン導入用担体２５が回収される。
【００２８】
以上において、ハロゲン導入用担体２５としては、高融点金属の多孔質体およびセラミックスの多孔質体などを用いることができ、例えばタングステンの多孔質体、酸化アルミニウム（Ａｌ２  Ｏ３  ）の多孔質体、二酸化珪素（ＳｉＯ２  ）をクリストバライト化した多孔質体などを挙げることができ、特にタングステンの多孔質体を用いることが好ましい。
【００２９】
そして、タングステンの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体においては、その密度がタングステン金属の密度の４０〜７０％、特に４０〜６５％であるものは、その比表面積が比較的大きく、しかも取り扱いが容易である点で好ましい。因みに、タングステン金属の密度が１９．７ｇ／ｃｍ３  であるから、多孔質体よりなるハロゲン導入用担体２５の密度は８〜１３ｇ／ｃｍ３  のものが好ましい。
【００３０】
ハロゲン導入用担体２５に吸着される金属ハロゲン化物としては、加熱によって放出されるものであれば、いずれのものも用いることができる。
具体的には、臭素と水銀との化合物、塩素と水銀との化合物、沃素と水銀との化合物などを挙げることができ、特に臭素と水銀との化合物である臭化水銀（ＨｇＢｒ２  ）が好ましい。
【００３１】
ハロゲン導入用担体２５の製造方法としては、例えばタングステン粉末を、例えばステアリン酸などのバインダと混合し、これを、例えば円柱状の成形空間を有する成形型内に充填し、加圧部材により加圧して成形体を形成する。
【００３２】
そして、成形体を水素雰囲気中において加熱することによりバインダが除去され、仮焼結体が得られる。更に、得られた仮焼結体を、真空中において加熱する焼結処理を行うことにより、多孔質体であるハロゲン導入用担体２５が製造される。
【００３３】
そして、適宜の方法で清浄化したハロゲン導入用担体２５を、例えば図４に示すように、その内部が減圧され、非酸化性ガスが充填された状態または真空状態の封体４０において複数のハロゲン導入用担体２５が配置された一端側部分４０Ａを熱電対４６を有する電気炉４５中に挿入し、また、当該封体４０においてペレット４２が配置された他端側部分４０Ｂを熱電対４８を有する電気炉４７中に挿入して、この２つの電気炉４５、４７によって、当該封体４０を加熱する。
その後、例えば封体４０中のペレット４２を完全に蒸発させた後、他端側部分４０Ｂを加熱した状態のまま、一端側部分４０Ａを除冷する。
【００３４】
このような方法によれば、加熱により封体４０内において蒸気となった金属ハロゲン化物が他端側部分４０Ｂから一端側部分４０Ａに拡散移動され、当該封体４０における一端側部分４０Ａ内におけるハロゲン導入用担体２５の温度が低いことにより、当該ハロゲン導入用担体２５に金属ハロゲン化物が吸着される。
【００３５】
ここで、ハロゲン導入用担体２５に吸着された金属ハロゲン化物の量は、同時に得られた複数のハロゲン導入用担体のうちの任意の１個のもののハロゲン吸着量を測定することにより確認することができる。
【００３６】
以上の製造方法においては、多孔質体よりなるハロゲン導入用担体２５がおよそ単分子層で金属ハロゲン化物を吸着するものであることから、当該ハロゲン導入用担体２５の量を制御することにより、目的とするハロゲンの導入量が僅少量であっても、その量を正確に規制することができる。
具体的に、外径１．１ｍｍ、長さ２ｍｍ、重さ１９ｍｇのタングステンの多孔質体よりなるハロゲン導入用担体には、１μｇの臭素を吸着させることができる。
【００３７】
しかも、ハロゲン導入用担体２５に吸着された金属ハロゲン化物は、加熱することによって放出されるものであるため、制御された大きさのハロゲン導入用担体２５を、付属管部２３内に導入して加熱することによりハロゲンを放出させ、放電空間とされる空間２７に拡散移動させることにより、当該空間２７に正確に規制された量のハロゲンを容易に導入することができる。
また、放電空間とされる空間２７に導入されるハロゲンの量は、例えばハロゲン導入用担体２５の加熱温度あるいは加熱時間により調節することもできる。
以上のことにより、放電空間１７の体積が８０ｍｍ３  以下である高圧水銀ランプにおいても、所期の量のハロゲンを、例えば目的値の±１０〜±２０％の正確な量で、しかも容易な作業により導入することができる。
【００３８】
そして、得られる高圧水銀ランプにおいては、所期の量のハロゲンが封入されるため、確実に目的とする光束維持率を得ることができると共に、過剰な量のハロゲンが封入されることに起因する不都合が生じる、例えば放電電極１４の損耗による輝点移動などが生じることがないため、長時間にわたって高い光束維持率が得られ、良好な点灯状態を保つことができる。
また、金属ハロゲン化物によってハロゲンが導入されるため、得られる高圧水銀ランプにおいては、臭化メチレンによる従来法では確実に放電容器１０内に導入されていた炭素および水素が導入されることがないため、これに起因する放電容器１０の管壁の黒化や失透などの弊害を伴うことなしに、良好な点灯状態を長時間保つことができる。
【００３９】
また、ハロゲン導入用担体２５がタングステンの多孔質体よりなる場合には、高圧水銀ランプの製造工程中において、放電空間１７内で使用されている材料として、放電電極１４と同じであるため不純物を導入するおそれもない。
更に、金属ハロゲン化物が臭素と水銀の化合物であることにより、ハロゲン導入用担体２５において、加熱および冷却によって可逆的に吸着および放出が行われ、しかもこれが他の化合物を用いた場合に比して低い温度設定で行うことができるため、金属ハロゲン化物の吸着および放出の作業を容易に行うことができる。
【００４０】
＜第２の実施の形態＞
図５は、本発明の放電ランプの他の例である高圧水銀ランプの構成を示す説明用断面図である。
この高圧水銀ランプは、図１に示したものと基本的に同一の構成を有するが、電極棒１３においては、放電電極１４と金属箔１６との間に、円筒状の多孔質体よりなるハロゲン導入用担体２５が装着され、配置されている。
ここで、ハロゲン導入用担体２５は、第１の実施の形態において示したものと同様の多孔質体よりなるものを用いることができる。
【００４１】
上記の高圧水銀ランプは、先端に放電電極１４が形成され、その中央部にハロゲン導入用担体２５が装着された電極棒１３の後端に金属箔１６の一端を接合し、この金属箔１６の他端に外部リード棒１５の先端が接合された２体の電極組立体を用い、第１の実施の形態と同様の方法によって製造することができる。
【００４２】
ここで、組立体におけるハロゲン導入用担体２５は、金属ハロゲン化物を吸着させたものであるため、放電容器内にハロゲンを導入することができる。この場合にも第１の実施の形態と同様の作用効果が得られる。
【００４３】
以上、本発明について説明したが、本発明においては、種々の変更を加えることができる。
例えば、本発明において、放電ランプは高圧水銀ランプに限定されず、例えばメタルハライドランプなどの放電ランプとすることもできる。
【００４４】
第１の実施の形態において、１つの放電ランプを製造することによって回収されたハロゲン導入用担体２５は、加熱および冷却によって金属ハロゲン化物が可逆的に吸着および放出されるものである場合には、金属ハロゲン化物を再び吸着し、その後、新たな放電ランプの製造工程において再び用いることができる。すなわち、この場合には、ハロゲン導入用担体２５を有効に利用することができる。
【００４５】
第２の実施の形態において、ハロゲン導入用担体２５は、放電ランプにおける放電電極を構成するものであってもよい。
【００４６】
【実施例】
＜実施例１＞
（ハロゲン導入用担体の製造）
平均粒子径５μｍのタングステン粉末と、バインダとして５質量％のステアリン酸とを混合し加熱したものを用意し、これを円柱状の成形空間を有する成形型内に充填し、加圧部材により加圧することにより、外径１．１ｍｍ、全長２ｍｍ、質量２０ｍｇの成形体を形成した。
そして、得られた成形体を水素雰囲気中において加熱することにより仮焼結体を得、この仮焼結体を真空中において焼結処理することにより、円柱状の多孔質体よりなるハロゲン導入用担体を製造した。
【００４７】
（金属ハロゲン化物の吸着）
図４に示した方法により、作製した複数のハロゲン導入用担体に、金属ハロゲン化物として臭化水銀（ＨｇＢｒ２  ）を吸着した。このハロゲン導入用担体（２５）のうちの１個を、イオンクロマトグラフィーによって定量測定したところ、１μｇの臭素を吸着していることが確認できた。
【００４８】
以上のハロゲン導入用担体を用いて、第１の実施の形態における製造方法により、図１に示した構成を有する高圧水銀ランプを製造した。
具体的には、図２に示した構成を有する、付属管部（２３）内にハロゲン導入用担体（２５）を配置した封管体（２０）を作製する。そして、図３に示したように、ハロゲン導入用担体２５を封管体（２０）における付属管部（２３）の外部から６００℃で１５分間加熱した後、付属管部（２３）を除去すると共に、ハロゲン導入用担体（２５）を回収することにより、目的とする臭素の封入量が２．５×１０−４μｍｏｌ／ｍｍ３  の高圧水銀ランプを製造した。
この高圧水銀ランプを継続して点灯させたところ、３０００時間点灯後にも放電容器の管壁の黒化および失透が発生することがなく、また輝点移動も生じなかった。
【００４９】
＜比較例１＞
臭化メチレンの形でハロゲンを放電容器に封入することによって、実施例１と同様の仕様を有する高圧水銀ランプを作製し、継続して点灯させたところ、３００時間点灯後に放電容器の管壁の黒化および失透の発生が確認された。
【００５０】
【発明の効果】
本発明の放電ランプの製造方法によれば、金属ハロゲン化物がおよそ単分子層で吸着する多孔質体よりなるハロゲン導入用担体によってハロゲンが導入されるため、この導入に用いられるハロゲン導入用担体の量を制御することにより、目的とするハロゲンの導入量が僅少量であっても、その量を正確に規制することができ、しかもその量のハロゲン導入作業はきわめて容易である。
また、金属ハロゲン化物によってハロゲンが導入されることから、ハロゲンと共に炭素および水素が放電容器内に導入されることがない。
【００５１】
本発明の放電ランプによれば、小さい体積の放電空間を有する放電容器内に、所期の量のハロゲンが封入されているため、確実に目的とする光束維持率を得ることができ、しかも過剰な量のハロゲンに起因する放電電極の損耗による輝点移動などの好ましくない現象の発生を防止することができる。
また、放電容器内にもともと炭素および水素を導入しないため、これらに起因する放電容器の管壁の黒化や失透などが生じることがない。
【００５２】
本発明のハロゲン導入用担体は、タングステンの多孔質体であって、比較的大きな比表面積を有し、しかも金属ハロゲン化物がおよそ単分子層で吸着されるものであるため、用いるハロゲン導入用担体の量を制御することにより、実際に必要とされる金属ハロゲン化物が僅少量であっても、正確な量で取り扱うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の放電ランプの一例である高圧水銀ランプの構成を示す説明用断面図である。
【図２】封管体に電極組立体を挿入し配置した状態を示す説明図である。
【図３】封管体を加熱している状態を示す説明図である。
【図４】内部にペレット、ハロゲン導入用担体を配置した状態の封体を加熱している状態を示す説明図である。
【図５】本発明の放電ランプの他の例である高圧水銀ランプの構成を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
１０  放電容器
１１  発光管部
１２  封止管部
１３  電極棒
１４  放電電極
１５  外部リード棒
１６  金属箔
１７  放電空間
１８  気密封止部
１９  電極組立体
２０  封管体
２１  主体管部
２３  付属管部
２５  ハロゲン導入用担体
２７  空間
３２  電気炉
３４  冷却治具
３５  熱遮蔽板
４０  封体
４０Ａ  一端部
４０Ｂ  他端部
４２  ペレット
４５、４７  電気炉
４６、４８  熱電対
【図１】
0003565137.tif 000002
【図２】
0003565137.tif 000003
【図３】
0003565137.tif 000004
【図４】
0003565137.tif 000005
【図５】
0003565137.tif 000006