(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えたことを特徴とする超音波探触子。
【請求項２】
前記複合共振部材は１／２波長換算で前記圧電振動子の１／ｎ（ｎは整数）の共振周波数を有すことを特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
【請求項３】
前記複合共振部材は、圧電振動子の共振周波数の高域側と低域側との双方の周波数領域に、所定周波数間隔の複数の周波数スペクトルを有す超音波を発生することを特徴とする請求項１に記載の超音波探触子。
【請求項４】
所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えた超音波探触子と、この超音波探触子を駆動して被検体へ前記複数の周波数の超音波を送信する手段と、前記被検体内を伝播した複数の周波数の超音波を受信する超音波探触子と、受信信号から前記複数の周波数の超音波の被検体による減衰を計測する手段とを備えたことを特徴とする超音波検査装置。
【請求項５】
超音波の送信と受信を単一の超音波探触子で行うことを特徴とする請求項４に記載の超音波検査装置。
【請求項６】
超音波の送信と受信を同一構成の別個の超音波探触子で行うことを特徴とする請求項４に記載の超音波検査装置。
【請求項７】
所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えた超音波探触子と、この超音波探触子により被検体内へ超音波ビームを送受信するとともに前記被検体に対し超音波ビームを走査する送受信回路と、この送受信回路が出力する各ビーム信号毎に周波数によって複数の信号に分離する信号分離回路と、この信号分離回路から出力された同一周波数信号毎に画像処理を施し複数枚の画像データを作成する画像処理回路と、この画像処理回路の出力信号を画像として表示する画像表示装置とを備えたことを特徴とする超音波検査装置。
【請求項８】
前記画像処理回路から特定の周波数に対応した画像を選択的に画像表示装置へ表示させる画像選択器を備えたことを特徴とする請求項７に記載の超音波検査装置。
【請求項９】
所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えた超音波探触子と、この超音波探触子により被検体内へ超音波ビームを送受信するとともに前記被検体に対し超音波ビームを走査する送受信回路と、この送受信回路が出力する各ビーム信号毎に周波数によって複数の信号に分離する信号分離回路と、この信号分離回路により分離された信号毎に信号切りだし領域を定めて信号を切りだす信号切りだし回路と、この信号切りだし回路の出力信号を周波数順に繋げるとともにこの操作を各超音波ビームに対して実行し１枚の画像データを作成する画像処理回路と、この画像処理回路の出力信号を画像として表示する画像表示装置とを備えたことを特徴とする超音波検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波を用いて被検体内から情報を取得し、その取得情報に基いて被検体内の構造や組織判別等を行うための超音波装置の超音波探触子と、それを用いた超音波検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より超音波を被検体内へ送信し、被検体内で反射したエコー信号や被検体を透過した超音波を計測して、被検体内の構造や組織を判別することが医療分野や非破壊検査の分野で行われている。このような超音波装置では、被検体に対する超音波の送信と被検体からもたらされる信号の受信に超音波探触子を用いる。超音波は探触子内の圧電振動子の電極へ４００Ｖ程度の電圧を印加することによって発生させる。そして、その電極へ印加する電圧をある特定の周波数で連続的に印加すると発生する超音波はその共振周波数のものとなるが、パルス状に電圧を印加すると探触子から放射される超音波は、圧電振動子の共振周波数を中心周波数としてある帯域を持ったものとなることが知られている。
【０００３】
ところで、超音波は被検体内においては、検査部位が深くなるにつれて超音波の減衰をきたす。そしてその減衰の割合は超音波の周波数が高いほど大きい。しかし、医療用画像診断に用いる装置のように、被検体内から得られた信号を画像化するものでは、得られた画像の空間分解能は超音波の周波数が高いほど良い。つまり、被検体の浅い部位は超音波の周波数が高い探触子を用いると、良好な画像が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、深い部位を検査するために周波数の高い探触子を用いると、超音波が減衰してしまい受信感度が満足に得られず、結局、深い部位には空間分解能を犠牲にして超音波の周波数が低い探触子を用いる必要があり、被検体の深い部位と浅い部位との双方から単一の探触子で同時に良好な信号を計測することは困難であった。したがって、被検体の深い部位と浅い部位とで探触子を使い分けて、それぞれ画像を得る方法が採られている。この場合、それらの探触子を完全に被検体の同一位置に当てて同一部位の画像を得ることは困難であり、また同一部位へ探触子を当てることができたにしても被検体が生体である場合には、探触子を交換する間に生体内の臓器や組織が動くため時間的に同一の画像を得ることは困難であり、また検査効率が悪いという問題があった。そこで、探触子の広帯域化を計る試みが種々成されているが、現状では従来品より少し帯域が広がる程度に止まっている。
【０００５】
本発明は、上記従来技術の問題を解決するために、単一の探触子で数ＭＨｚから数十乃至百ＭＨｚオーダーの広範囲な周波数の超音波を出力できる新規の探触子を提供することを第一の目的として成されたものである。
【０００６】
また本発明は、上記広範囲な周波数特性を有した探触子を用いて被検体を検査する装置であって、検査の正確さをもたらすとともに検査効率の良い超音波検査装置を提供すること、更に詳しくは、前記新規の単触子を用いて、被検体による超音波の減衰測定や、被検体の内部を描出することができる超音波検査装置を提供することを第二の目的として成されたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題（第一の目的）を解決するために、所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し前記圧電振動子と固着され、前記圧電振動子を駆動したときに圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えて探触子を構成したことを特徴としている。そして、複合共振部材は、圧電振動子の共振周波数の高域側と低域側との双方の周波数領域に、所定周波数間隔の複数の周波数スペクトルを有す超音波を発生することを第２の特徴としている。
【０００８】
また、本発明は上記課題を解決（第二の目的の一つを達成）するために、所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えた超音波探触子と、この超音波探触子を駆動して被検体へ前記複数の周波数の超音波を送信する手段と、前記被検体内を伝播した複数の周波数の超音波を受信する超音波探触子と、受信信号から前記複数の周波数の超音波の被検体による減衰を計測する手段とを備えて超音波検査装置を構成したことを第３の特徴としている。
【０００９】
そして、本発明は上記課題を解決（第二の目的の二つ目を達成）するために、所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し前記圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えた超音波探触子と、この超音波探触子により被検体内へ超音波ビームを送受信するとともに前記被検体に対し超音波ビームを走査する送受信回路と、この送受信回路が出力する各ビーム信号毎に周波数によって複数の信号に分離する信号分離回路と、この信号分離回路から出力された同一周波数信号毎に画像処理を施し複数枚の画像データを作成する画像処理回路と、この画像処理回路の出力信号を画像として表示する画像表示装置とを超音波検査装置へ備えたことを第４の特徴とし、画像処理回路より特定の周波数の画像を選択的に画像表示装置へ表示できるようにしたことを第５の特徴としている。
【００１０】
更に、本発明は上記課題を解決（第二の目的の三つ目を達成）するために、所定の第１の共振周波数を有す圧電振動子と、この圧電振動子の共振周波数とは異なる第２の共振周波数を有し前記圧電振動子と固着され、前記圧電振動子の共振周波数とそれ以外の周波数との複数の超音波を出力する複合共振部材とを備えた超音波探触子と、この超音波探触子により被検体内へ超音波ビームを送受信するとともに前記被検体に対し超音波ビームを走査する送受信回路と、この送受信回路が出力する各ビーム信号毎に周波数によって複数の信号に分離する信号分離回路と、この信号分離回路により分離された信号毎に信号切りだし領域を定めて信号を切りだす信号切りだし回路と、この信号切りだし回路の出力信号を周波数順に繋げるとともにこの操作を各超音波ビームに対して実行し１枚の画像データを作成する画像処理回路と、この画像処理回路の出力信号を画像として表示する画像表示装置とを超音波検査装置へ備えたことを第６の特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は本発明の超音波探触子の基本構成を示している。図１において、１は超高周波の共振周波数の円板状のＰＺＴ圧電振動子、２は圧電振動子１より低い共振周波数を有するとともに、板厚精度が高くかつ超音波の減衰の少ない材料から成る共振板で、この共振板２は圧電振動子１と貼合わせられているとともに、その辺縁部で探触子のケースまたは指示部材により支持されている。３は圧電振動子１の厚み方向の両面に設けられた電極板に接続されたワイヤ、４は図示省略した超音波装置本体へ探触子を接続するケーブル５と前記ワイヤ３とを接続するための配線板である。６は探触子ケースである。以上の構成の超音波装置は、超音波装置本体より圧電振動子１へ高電圧を供給して圧電振動子１を共振させる。そして、この圧電振動子１の共振から共振板２の複合共振を生ぜしめ、それにより生じた複数の周波数の超音波を被検体内へ送信し、被検体を透過した超音波、または被検体内で反射した超音波エコーを計測するものである。
【００１２】
次に、本発明の超音波探触子について一例を挙げて更に詳しく説明する。この例では、圧電振動子１は共振周波数３５ＭＨｚのチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）系セラミックスを有効径７ｍｍ、厚さ０．０６ｍｍとしたものを用いる。この圧電振動子１は厚さ０．８ｍｍのガラス板より成る共振板２にエポキシ系接着剤で貼合わせられる。ここで共振板２として用いたガラスは音響伝播速度が５，６００ｍ／ｓであり、０．８ｍｍの厚みとしたのは共振周波数が１／２波長換算で３．５ＭＨｚで、圧電振動子１の共振周波数の１／１０、すなわち整数分の一となるようにしているためである。
【００１３】
この超音波探触子を駆動すると、共振板２は圧電振動子１の共振周波数の３５ＭＨｚと、それを中心として高周波領域と低周波領域の双方に、図２に示す様な３．５ＭＨｚ間隔で刻まれた櫛形状の複数の周波数スペクトルを有した複合共振をする。上記の構成では探触子より、３．５ＭＨｚ，７ＭＨｚ，…，３５ＭＨｚ，…，６６．５ＭＨｚの周波数の超音波が出力される。つまり、本発明の超音波探触子からは、数ＭＨｚオーダーから数十ＭＨｚオーダーの広帯域の超音波が出力される。このことは、従来の探触子ではせいぜい数ＭＨｚから十数ＭＨｚまでの超音波を出力することができるのに比較すると、その帯域の広さに格段の差があることが明かである。
【００１４】
次に、本発明を適用した超音波探触子のもう一つの実施の形態を図３に示す。図３において、１２は共振板で、厚さ０．６ｍｍの石英ガラスから成り、音響伝播速度が５，９６０ｍ／ｓ、共振周波数が１／２波長換算で５ＭＨｚの値を有している。共振板１２の一面には、金／クロムから成る薄膜を真空蒸着法により形成した下部電極１３が形成されており、この下部電極１３の上に高周波マグネトロンスパッタリング法により圧電薄膜１１が形成して設けられている。そして、圧電薄膜１１の他の面には前記下部電極１３と同様に金／クロムから成る薄膜が真空蒸着法で上部電極１４として形成されている。本例では、圧電薄膜１１の厚みは１５μｍとされ、圧電薄膜１１と下部電極１３と上部電極１４とから成る圧電振動子１０の共振周波数は１００ＭＨｚに相当したものと成っている。したがって、共振板１２の１／２波長換算で５ＭＨｚの共振周波数は圧電振動子の共振周波数の１／２０となっている。
【００１５】
本実施の形態では、圧電振動子１０を駆動すると、第一の実施の形態と同様に、共振板１２は１００ＭＨｚの周波数と、１００ＭＨＺの高周波側と低周波側とに約５ＭＨｚ間隔で複合共振により生じた櫛形状の周波数スペクトルを有した複合共振をする。
【００１６】
以上説明した超音波探触子を用いると、単一の超音波探触子でＭＨｚオーダーの周波数領域から百数十ＭＨｚオーダーの周波数領域の超音波を同時に被検体へ送信し被検体内を計測することが出来る。
【００１７】
次に本発明の超音波探触子の利用法の代表的なものを幾つか説明する。図４は本発明の超音波探触子の用途の一例であって、生体の超音波減衰率の計測を前記本発明の探触子を用いて行う装置構成図である。図において、２０は前記超音波探触子、３０は被検体、４０は超音波を完全反射する完全反射体、５０は送受信回路で、前記超音波探触子２０を駆動して被検体３０の内部へ超音波をパルス状に送信するとともに、被検体３０内を透過し、かつ完全反射体４０によって反射され、超音波探触子２０によって受信された超音波を検出するもの、６０はディジタル式シンクロスコープを含む解析ユニットである。
【００１８】
次に、図４の装置の動作を説明する。先ず、被検体３０の内部へ超音波を送信するために、送受信回路５０内のパルス発生回路で超音波探触子２０内の圧電振動子を駆動するパルス信号を作成する。そして、このパルス信号を圧電振動子の電極へ印加する。すると、圧電振動子は例えば前述の３５ＭＨｚで振動し、これとともに圧電振動子に貼付けられた共振板が複合共振をする。これにより、被検体３０の内部へ前述のように３５ＭＨｚを中心周波数とした複数の周波数スペクトルを持った超音波が送信される。
【００１９】
被検体３０の内部に送信された超音波は、被検体３０内の組織の超音波減衰率に対応して減衰しつつ生体内を伝播し、完全反射体４０で完全反射をし、再度超音波探触子２０へ減衰しつつ伝播し、探触子２０で受信される。探触子２０で受信された超音波は電気信号に変換され、送受信回路５０で検出され、解析ユニット６０へ送られる。
【００２０】
解析ユニット６０では次のように生体の減衰率の解析を行う。先ず、複合共振型超音波探触子の送受周波数応答関数をＨｔ（ω）、生体の反射特性を含めた周波数応答をＨｂ（ω）とすると、インパルス的に駆動した系の全応答関数Ｈ（ω）との関係は、Ｈ（ω）＝Ｈｔ（ω）・Ｈｂ（ω）…（１）
で与えられる。ここで、Ｈ（ω）はこの系の受信波形スペクトルそのものであるから計測値である。そして、Ｈｔ（ω）は複合共振型超音波探触子のアドミッタンス特性から解析的に求めることができるから、
Ｈｂ（ω）＝Ｈ（ω）／Ｈｔ（ω）…（２）
なる関係より、計測値である受信波形スペクトルと解析値である探触子の送受周波数応答関数とから生体の周波数応答が求められる。
【００２１】
ここで、複合共振型超音波探触子の送受周波数応答関数で、送波特性は周波数空間上で櫛型フィルタと同一の周波数応答特性を有している。したがって、複合共振型超音波探触子の送受周波数応答関数Ｈｔ（ω）は、
Ｈｔ（ω）＝ΣＣｉδ（ω−ωｉ）…（３）
で与えられ、生体の周波数応答は試料の背面に完全反射体とみなせる反射板の配設された構成では、主として周波数に依存する減衰のみで定まり、生体の周波数依存減衰係数をα、反射板の探触子からの深度をｄとすると、生体の反射特性を含めた周波数応答Ｈｂ（ω）は、
Ｈｂ（ω）＝ｅｘｐ（−２αωｄ）…（４）
で与えられるから、（２）式より
ｅｘｐ（−２αωｄ）＝Ｈ（ω）／（ΣＣｉδ（ω−ωｉ）…（５）
となり、（５）式の両辺を見比べることにより、各周波数における減衰定数α（ωｉ）を求めることができる。つまり、以上の（１）式から（５）式までを使って解析ユニット６０により生体組織の減衰率を求めることができる。
【００２２】
次に、本発明の超音波探触子を被検体内のイメージングに用いる第一の実施の形態を図５により説明する。図５において、２０１は本発明を利用した超音波探触子で、この探触子２０１は被検体３０１に対し超音波ビームをスキャン可能に構成される。なお、超音波ビームのスキャンは図１に示す探触子を機械的に移動する構成や図１に示す複合共振型圧電振動子を多数アレー状に配列する構成等を採用することができる。２１０は送受信回路で、超音波探触子２１０を駆動するためのパルス発生および探触子２１０で受信した超音波からビーム状エコー信号を作成するもの、２２０は送受信回路２１０より入力した信号を複数のフィルタ２２１，２２２，…，２２ｎにより各周波数毎の信号に分離する信号分離回路、２３０は送受信回路２１０からの信号に、対数圧縮、検波等の信号処理をする信号処理回路で、この信号処理回路２３０は前記フィルタ２２１，２２２，…２２ｎの各フィルタの後段にそれぞれ２３０，２３２，…，２３ｎとして設けられる。２４０は画像処理回路で、本分野ではディジタル・スキャン・コンバータと称されているもので、これも各信号処理回路の後段にそれぞれ２４１，２４２，…，２４ｎとして設けられる。２５０は画像処理回路２４０の出力を切り換えて読み出す画像読み出し器、２６０はＣＲＴ等の画像表示用ディスプレイ装置である。
【００２３】
上記構成は単一の探触子からの超音波ビームで被検体を１スキャンすることで、被検体の同一断面から同時に複数の画像を得るもので、以下その動作を説明する。送受信回路２１０からのパルス信号により駆動された探触子２０１から被検体３０１の体内へ超音波ビームを送信する。被検体内の音響インピーダンスの異なる境界において超音波が反射し、エコー信号は前記探触子２０１で受信され、送受信回路２１０において受信超音波ビームの電気信号が形成される。この信号は信号分離回路２２０へ入力され、フィルタ２２１，２２２，…，２２ｎにより、探触子２０１から送信された複数の超音波の周波数に対応して、各フィルタによって特定の周波数のエコー信号を取り出す。
【００２４】
そして、取り出された各々のエコー信号はそれぞれ信号処理回路２３１〜２３ｎで対数圧縮、検波され、それぞれ画像処理回路２４１〜２４ｎへ入力される。画像処理回路２４０では、入力した信号を各々の回路毎にディジタル信号に変換し記憶する。
【００２５】
以上の一連の動作が超音波ビームの位置をずらしながら順次実行され、超音波ビームにより被検体内がスキャンされ、前記画像処理回路２４０に画像データが順次取り込まれる。そして１スキャンが終了すると、画像処理回路２４１〜２４ｎの各々に１画像分の画像データが書き込まれる。
【００２６】
画像処理回路２４０に画像データが書き込まれたところで、操作者は画像読み出し器２５０を操作して所望の周波数の画像をディスプレイ装置２６０へ表示して観察する。すなわち、操作者は、被検体の体表から浅い部位を観察する場合には、高い周波数の信号で作成した画像を、また被検体の深い部位を観察する場合には、低い周波数の信号で作成した画像をディスプレイ装置２６０へ表示するように画像読み出し器２５０を操作する。これによって、従来のように被検体の浅い部位と深い部位とで周波数の異なる探触子を取り替えて超音波像を取り込む必要が無くなる。なお、以上の実施の形態において、画像読み出し器２５０に替えて、または画像読み出し器２５０と並列に画像合成器を設けて、画像合成器により画像処理回路２４１〜２４ｎに作成された複数の画像をディスプレイ装置２６０の画面へ並べて表示するようにしても良い。
【００２７】
次に、本発明の超音波探触子を被検体内のイメージングに用いる第二の実施の形態を図６を用いて説明する。本実施の形態は図５の例と比べ、信号分離回路２２０の各フィルタの後段に信号切り換え器２７０を配置し、この信号切り換え回路２７０の出力を単一の画像処理回路２８０へ入力するようにするとともに、この単一の画像処理回路２８０で作成された画像データをディスプレイ装置２６０へ出力するようにした点である。
【００２８】
この第二の実施の形態の動作を説明すると、超音波を探触子２０１より被検体内へ送波するとともにそのエコー信号を受信し、送受信回路２１０で受信超音波ビームを作成し、その信号を信号分離回路２２０に同時に入力して複数の周波数の信号に分離した後、信号処理回路２３０でそれらの信号を対数圧縮、検波するところまでは第一の実施の形態と同様に行われる。信号切り換え器２７０は信号処理回路２３１，２３２，…，２３ｎの出力信号を時分割的に繋ぎ合わせて、画像処理回路２８０へ一本の受信超音波ビーム信号を出力させる。つまり、最初に信号処理回路２３１から最も周波数が高く最も浅い部位領域を最も高分解能で表示できる信号を所定時間だけ出力し、次に信号処理回路２３２からその次に高い周波数であってその次に浅い部位領域を高分解能で表示できる信号をこれまた所定時間だけ出力する。以下順次周波数の低い信号を所定時間ずつ出力させる。より解りやすく言えば、１枚の超音波画像を被検体の最も浅い領域から最も深い領域へ向け、領域を複数に分割し、最も浅い領域は高い周波数の信号で画像化し、深さが深くなるに連れ低い周波数の信号を用いて画像化する。このようにすると、１枚の画像は従来の装置と同じ時間で得られ、かつ各深さ領域が最も分解能の良い信号で画像化できるようになる。
【００２９】
以上本発明の実施の形態を図面を用いて説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で変形が可能である。例えば、図４に示した被検体内での超音波の減衰率を測定する例においては、超音波の完全反射体４０に替え、本発明の探触子を用いて超音波透過法により、生体の超音波減衰率を測定することもできる。そして、この透過法による被検体走査と、医療画像診断装置として周知のＸ線ＣＴで用いられている画像再構成法とを組み合わせると、超音波ＣＴ装置が可能となる。
【００３０】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、単一の探触子で数ＭＨｚから数十乃至百数十ＭＨｚオーダーの超高周波の超音波を送受信することができるようになる。
そして、この超音波探触子を超音波検査装置に用いることにより、被検体内における超音波の減衰計測を複数の周波数について同時に行うことができる。また、超音波の１スキャンで被検体内より低い周波数から高い周波数まで複数の画像を得ることができるので、被検体の浅い部位から深い部位まで同一時刻の画像比較ができるようになる。また、１スキャンで得た複数の周波数による画像情報を用いて、被検体の断面を各深さにおいて最も分解能及び感度の良い信号を繋ぎあわせた画像とすることにより、検査の正確さ及び検査効率の向上が計れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超音波探触子の基本構成を示す図。
【図２】本発明の超音波探触子から送信される超音波の周波数スペクトルの一例を示す図。
【図３】本発明の超音波探触子の要部の他の構成例を示す図。
【図４】本発明の探触子を用いて被検体の減衰率を計測する構成を示す図。
【図５】本発明の探触子を用いて１スキャンで複数の周波数の画像を得る構成を示す図。
【図６】本発明の探触子を用いて被検体の深さ領域毎に異なった周波数の画像を１スキャンで得る構成を示す図。
【符号の説明】
１…圧電振動子、２…共振板、２０…超音波探触子、５０…送受信回路、６０…解析ユニット、２０１…超音波探触子、２１０…送受信回路、２２０…信号処理回路、２３０…信号分離回路、２４０…画像処理回路、２５０…信号読み出し器、２６０…ディスプレイ装置、２７０…信号切り換え器、２８０…画像処理回路
【図１】
0003573567.tif 000002
【図２】
0003573567.tif 000003
【図３】
0003573567.tif 000004
【図４】
0003573567.tif 000005
【図５】
0003573567.tif 000006
【図６】
0003573567.tif 000007