【手続補正書】
【提出日】平成27年2月24日(2015.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁層と、前記複数のエネルギー発生素子に対応して前記絶縁層の上に設けられた複数の密着層と、前記複数の密着層それぞれの上に設けられた複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数の前記エネルギー発生素子と、前記絶縁層とがこの順に積層された基体を用意する工程と、
前記基体の前記絶縁層の上に、第１の金属材料からなる第１の金属層を成膜する工程と、
前記第１の金属層の上に第２の金属材料からなる第２の金属層を成膜し、前記第２の金属層をパターニングして、前記第２の金属材料からなる前記複数の保護層を形成する工程と、
前記第１の金属層をパターニングして、前記複数の保護層と電気的に接続する接続部を形成する工程と、
前記接続部と前記複数のエネルギー発生素子との導通を検査する検査工程と、
前記接続部をパターニングして、前記複数の保護層を互いに電気的に分離し、互いに電気的に分離された前記第１の金属材料からなる前記複数の密着層を形成する工程と、
をこの順に行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁層と、前記複数のエネルギー発生素子に対応して前記絶縁層の上に設けられた複数の密着層と、前記複数の密着層それぞれの上に設けられた複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数のエネルギー発生素子と、前記絶縁層とがこの順に積層された基体を用意する工程と、
前記基体の前記絶縁層の上に、第１の金属材料からなる第１の金属層を成膜し、前記第１の金属層をパターニングして、少なくとも前記複数の保護層が形成される位置に設けられ、互いに電気的に接続された接続部を形成する工程と、
前記接続部と前記複数のエネルギー発生素子との導通を検査する検査工程と、
前記第１の金属層の上に第２の金属材料からなる第２の金属層を成膜し、成膜した当該第２の金属層をパターニングして前記複数の保護層を形成する工程と、
前記接続部をパターニングして、前記複数の保護層を互いに電気的に分離し、互いに電気的に分離された前記第１の金属材料からなる前記複数の密着層を形成する工程と、
をこの順に行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁層と、前記複数のエネルギー発生素子に対応して前記絶縁層の上に設けられた複数の密着層と、前記複数の密着層それぞれの上に設けられた複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数のエネルギー発生素子と、前記絶縁層とがこの順に積層された基体を用意する工程と、
前記基体の前記絶縁層の上に、第１の金属材料からなる第１の金属層と、第２の金属材料からなる第２の金属層とを成膜する工程と、
前記第１の金属層と前記第２の金属層とを一括してパターニングして、前記第２の金属材料からなる前記複数の保護層と、前記第１の金属材料からなり、前記複数の保護層を電気的に接続するための接続部を形成する工程と、
前記接続部と前記複数のエネルギー発生素子との導通を検査する検査工程と、
前記接続部をパターニングして、前記複数の保護層を互いに電気的に分離し、互いに電気的に分離された前記第１の金属材料からなる前記複数の密着層とを形成する工程と、
をこの順に行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第２の金属材料は、タンタル、プラチナ、イリジウム及びルテニウムのいずれか１つからなる請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１の金属材料は、チタンタングステンからなる請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記複数の保護層をマスクとして前記接続部のパターニングをおこなう請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドは、第３の金属材料からなり前記複数のエネルギー発生素子と外部との電気的な接続を行うための端子と、前記端子に接し前記基体の側に設けられた拡散防止層とを有し、
前記接続部を形成する工程において、前記第１の金属層をパターニングして前記接続部を形成するとともに、前記第１の金属材料からなる前記拡散防止層を形成する、請求項１または６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を解決する本発明は、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁層と、前記複数のエネルギー発生素子に対応して前記絶縁層の上に設けられた複数の密着層と、前記複数の密着層それぞれの上に設けられた複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数の前記エネルギー発生素子と、前記絶縁層とがこの順に積層された基体を用意する工程と、前記基体の前記絶縁層の上に、第１の金属材料からなる第１の金属層を成膜する工程と、前記第１の金属層の上に第２の金属材料からなる第２の金属層を成膜し、前記第２の金属層をパターニングして、前記第２の金属材料からなる前記複数の保護層を形成する工程と、前記第１の金属層をパターニングして、前記複数の保護層と電気的に接続する接続部を形成する工程と、前記接続部と前記複数のエネルギー発生素子との導通を検査する検査工程と、前記接続部をパターニングして、前記複数の保護層を互いに電気的に分離し、互いに電気的に分離された前記第１の金属材料からなる前記複数の密着層を形成する工程と、をこの順に行うことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、上記目的を解決する本発明は、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁層と、前記複数のエネルギー発生素子に対応して前記絶縁層の上に設けられた複数の密着層と、前記複数の密着層それぞれの上に設けられた複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数のエネルギー発生素子と、前記絶縁層とがこの順に積層された基体を用意する工程と、前記基体の前記絶縁層の上に、第１の金属材料からなる第１の金属層を成膜し、前記第１の金属層をパターニングして、少なくとも前記複数の保護層が形成される位置に設けられ、互いに電気的に接続された接続部を形成する工程と、前記接続部と前記複数のエネルギー発生素子との導通を検査する検査工程と、前記第１の金属層の上に第２の金属材料からなる第２の金属層を成膜し、成膜した当該第２の金属層をパターニングして前記複数の保護層を形成する工程と、前記接続部をパターニングして、前記複数の保護層を互いに電気的に分離し、互いに電気的に分離された前記第１の金属材料からなる前記複数の密着層を形成する工程と、をこの順に行うことを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらに、上記目的を解決する本発明は、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記複数のエネルギー発生素子を被覆する絶縁層と、前記複数のエネルギー発生素子に対応して前記絶縁層の上に設けられた複数の密着層と、前記複数の密着層それぞれの上に設けられた複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数のエネルギー発生素子と、前記絶縁層とがこの順に積層された基体を用意する工程と、前記基体の前記絶縁層の上に、第１の金属材料からなる第１の金属層と、第２の金属材料からなる第２の金属層とを成膜する工程と、前記第１の金属層と前記第２の金属層とを一括してパターニングして、前記第２の金属材料からなる前記複数の保護層と、前記第１の金属材料からなり、前記複数の保護層を電気的に接続するための接続部を形成する工程と、前記接続部と前記複数のエネルギー発生素子との導通を検査する検査工程と、前記接続部をパターニングして、前記複数の保護層を互いに電気的に分離し、互いに電気的に分離された前記第１の金属材料からなる前記複数の密着層とを形成する工程と、をこの順に行うことを特徴とするものである。