【手続補正書】
【提出日】平成27年6月26日(2015.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割手段を備えたワーク分割装置であって、
前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、
前記雰囲気冷却手段と同一のユニット内に設けられ、前記ダイシングテープの前記ワークが前記ダイアタッチフィルムを介して貼付された領域以外の部分を選択的に加熱して、前記ダイシングテープの弛みを排除する選択的加熱手段と、
を備えたワーク分割装置。
【請求項２】
前記選択的加熱手段は、光を照射することにより加熱する光加熱装置である請求項１に記載のワーク分割装置。
【請求項３】
前記エキスパンドされたワークの領域を覆うように有底の円筒形状を有するとともに、昇降可能に配置され、下降したときに前記ワークを覆うウェハカバーを備え、前記選択的加熱手段は該ウェハカバーの周囲に昇降可能に配置された請求項１又は２に記載のワーク分割装置。
【請求項４】
前記ワーク分割手段は、前記冷却されたワークの外周部を、前記ダイシングテープの外周支持部から相対的に押し上げてエキスパンドする突上げ用リングであり、前記ウェハカバーが下降して前記ワークを覆うときには、該ウェハカバーの側部の先端面が、前記エキスパンドしている突上げ用リングの先端面と突き合わせられ前記ワークを前記ウェハカバー内部に密閉することを特徴とする請求項３に記載のワーク分割装置。
【請求項５】
前記光加熱装置は、前記ワークを覆っているウェハカバーの周囲を一定の周期で回転可能に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のワーク分割装置。
【請求項６】
ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割手段を備えたワーク分割装置であって、
前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、
前記雰囲気冷却手段と同一のユニット内に設けられ、前記ダイシングテープの弛みを機械的に排除する弛み排除手段と、
を備えたワーク分割装置。
【請求項７】
前記雰囲気冷却手段は、
前記ワーク分割装置が収納される冷蔵室内全体を冷却する冷蔵室内冷却手段と、
前記ワークに冷却ガスを吹き付ける冷却ガス吹付手段と、の少なくとも１つを備えた請求項１から６の何れか１項に記載のワーク分割装置。
【請求項８】
前記ワーク分割手段は、前記冷却されたワークの外周部を、前記ダイシングテープの外周支持部から相対的に押し上げてエキスパンドする突上げ用リングである請求項１から７の何れか１項に記載のワーク分割装置。
【請求項９】
ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割工程を備えたワーク分割方法であって、
前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却工程と、
前記雰囲気冷却工程と同一のユニット内で行われ、前記ダイシングテープの前記ワークが前記ダイアタッチフィルムを介して貼付された領域以外の部分を選択的に加熱して、前記ダイシングテープの弛みを排除する選択的加熱工程と、
を備えたワーク分割方法。
【請求項１０】
前記選択的加熱工程は、光を照射することにより加熱することを特徴とする請求項９に記載のワーク分割方法。
【請求項１１】
前記エキスパンドされたワークの領域を覆うように有底の円筒形状を有し昇降可能に配置されたウェハカバーを備え、該ウェハカバーが下降したときに前記円筒形状の先端面が前記エキスパンドしている突上げ用リングの先端面と突き合わせられ、前記ワークを該ウェハカバー内部に密閉するワーク被覆工程を有し、
前記選択的加熱工程は、前記ワークを覆っている前記ウェハカバーの周囲を選択的に加熱する請求項９又は１０に記載のワーク分割方法。
【請求項１２】
ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割工程を備えたワーク分割方法であって、
前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却工程と、
前記雰囲気冷却工程と同一のユニット内で行われ、前記ダイシングテープの弛みを機械的に排除する弛み排除工程と、
を備えたワーク分割方法。
【請求項１３】
前記雰囲気冷却工程は、
前記ワーク分割方法を実施する装置が収納される冷蔵室内全体を冷却する冷蔵室内冷却工程と、
前記ワークに冷却ガスを吹き付ける冷却ガス吹付工程と、の少なくとも１つを備えた請求項９から１２の何れか１項に記載のワーク分割方法。
【請求項１４】
前記ワーク分割工程は、前記冷却されたワークの外周部を、突上げ用リングで前記ダイシングテープの外周支持部から相対的に押し上げてエキスパンドすることを特徴とする請求項９から１３の何れか１項に記載のワーク分割方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記目的を達成するために、本発明のワーク分割装置は、ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割手段を備えたワーク分割装置であって、前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、前記雰囲気冷却手段と同一のユニット内に設けられ、前記ダイシングテープの前記ワークが前記ダイアタッチフィルムを介して貼付された領域以外の部分を選択的に加熱して、前記ダイシングテープの弛みを排除する選択的加熱手段と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のワーク分割装置において、前記選択的加熱手段は、光を照射することにより加熱する光加熱装置であることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記目的を達成するために、本発明のワーク分割装置は、ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割手段を備えたワーク分割装置であって、前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、前記雰囲気冷却手段と同一のユニット内に設けられ、前記ダイシングテープの弛みを機械的に排除する弛み排除手段と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、前記目的を達成するために、本発明のワーク分割方法は、ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割工程を備えたワーク分割方法であって、前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却工程と、前記雰囲気冷却工程と同一のユニット内で行われ、前記ダイシングテープの前記ワークが前記ダイアタッチフィルムを介して貼付された領域以外の部分を選択的に加熱して、前記ダイシングテープの弛みを排除する選択的加熱工程と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、選択的加熱工程は、光を照射することにより加熱することが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、前記目的を達成するために、本発明のワーク分割方法は、ダイシングテープをエキスパンドすることにより、前記ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを個々のチップに分割するワーク分割工程を備えたワーク分割方法であって、前記ワークをとりまく雰囲気を冷却する雰囲気冷却工程と、前記雰囲気冷却工程と同一のユニット内で行われ、前記ダイシングテープの弛みを機械的に排除する弛み排除工程と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本発明のワーク分割方法において、雰囲気冷却工程は、前記ワーク分割方法を実施する装置が収納される冷蔵室内全体を冷却する冷蔵室内冷却工程と、ワークに冷却ガスを吹き付ける冷却ガス吹付工程と、の少なくとも１つを備えることが好ましい。