【事件の表示】
　特願２００４−８２０５８「非接触式磁気誘導送り装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年８月５日出願公開、特開２００４−２１８８４４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成７年２月１７日に出願した特願平７−５３５３７号の一部を平成１６年３月２２日に新たな特許出願としたものであって、平成２０年４月１０日付けで拒絶査定がされたところ、平成２０年５月１５日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　そして、本願の請求項１〜８に係る発明は、平成１９年８月６日付け、及び平成２１年４月２７日付けの手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「【請求項１】
　１つの列を成すように配置されかつ仕切り弁で隔離された複数の仕切り室からなる真空処理装置の真空空間内に、前記複数の仕切り室の各々の間で前記仕切り弁で分離された、被処理物が載置されたキャリアを案内するための案内レールが設けられ、前記案内レールに沿って移動可能な前記キャリアを移動させるように構成される送り装置であり、
　前記複数の仕切り室の各々に対応する前記案内レールに沿って前記仕切り室ごとに個別に配置される複数の駆動用回転部材であって、これらの回転部材の各々は、前記キャリアの１つの辺の長さに対応する軸方向長さを有し、さらに、円筒形表面の上に帯状Ｎ磁極部と帯状Ｓ磁極部を間隔をあけかつ連続的に螺旋形に巻かれるように形成される前記複数の駆動用回転部材と、
　前記回転部材の回転軸に平行に配置されかつ前記案内レールに案内されて直線的に移動するように前記キャリアの前記辺の部分に取り付けられ、前記帯状Ｎ磁極部と前記帯状Ｓ磁極部の間の前記間隔と等しい間隔を有する複数の磁気結合作用部が設けられたスライド部材とを備え、
　前記複数の回転部材の各々は対応する前記仕切り室の壁部の外側の大気空間に配置され、かつ前記キャリアに取り付けられた前記スライド部材は前記仕切り室の前記壁部の内側の前記真空空間に配置され、これにより前記回転部材と前記スライド部材は前記仕切り室の壁部により空間的に分離され、
　前記回転部材と前記スライド部材の間に設けられた前記仕切り室の前記壁部は非磁性材料で形成され、
　駆動装置によって前記大気空間に配置された前記複数の回転部材の各々を回転させると、前記回転部材の前記帯状Ｎ磁極部および前記帯状Ｓ磁極部のそれぞれと前記スライド部材の前記磁気結合作用部との間における前記仕切り室の前記壁部を介在させた磁気結合に基づいて、前記スライド部材を備えた前記キャリアが前記案内レールに沿って直線的に移動する、
　ことを特徴とする非接触式磁気誘導送り装置。」
　
２．本願出願前に日本国内において頒布され、当審において平成２１年３月４日付けで通知した拒絶の理由において引用した刊行物に記載された発明及び記載事項
(１)刊行物１：特開平５−３０２６５３号公報
(２)刊行物２：特開平５−４９２３２号公報
(３)刊行物３：特開平１−１７６８５０号公報
　
（刊行物１）
　刊行物１には、「ラック・ピニオン送り機構及び搬送装置」に関して、図面（特に、図２及び３を参照）とともに、下記の技術的事項が記載されている。
(ａ)「本発明はラック・ピニオン送り機構及び搬送装置に係り、特に、複数のピニオンが所定間隔で配置され、ラックを備えた移動物が各ピニオンから順次に力を伝達され、軌道に沿って移動する場合にラックと各ピニオンとの初期噛合いを滑らかに行う構造を有したラック・ピニオン送り機構、及びこのラック・ピニオン送り機構を利用した搬送装置に関するものである。」（第２頁第１欄第３２〜３８行、段落【０００１】参照）
(ｂ)「従来の搬送装置として、複数の真空チャンバを有し、各真空チャンバの間に仕切りバルブを有する真空処理装置において、例えば被スパッタリング物や被蒸着物等を載置したキャリア（移動台）を、各真空チャンバに順次に移動させる搬送装置が存在する。この搬送装置では、キャリアを移動させるための駆動力を伝達する機構として、一般的にラック・ピニオン送り機構を使用している。キャリアは、各真空チャンバ内を貫通するように設けられたレール等の軌道の上を移動できるように配置される。そしてキャリアを移動させるための動力は、各真空チャンバ内に配置され、駆動装置の駆動力を伝達するピニオンより与えられる。こうしてキャリアは、当該キャリアに設けられたラックと、各真空チャンバでこのラックと噛合う各ピニオンとで構成されるラック・ピニオン送り機構によって移動する。キャリアの上に載置されたウェハ等は、こうして真空処理装置の各真空チャンバの中を搬送される。上記のラック・ピニオン送り機構では、キャリアに設けられたラックは、所定の間隔で配置された各ピニオンに順次に滑らかに噛合うことが要求される。」（第２頁第１欄第４０行〜第２欄第９行、段落【０００２】参照）
(ｃ)「本発明に係るラック・ピニオン送り機構は真空処理装置に適用されることが望ましい。図３において、真空処理装置１は、例えば３つの真空容器２Ａ，２Ｂ，２Ｃによって３つの真空チャンバが形成される。各真空容器２Ａ，２Ｂ，２Ｃの中では、被処理物に対してそれぞれ異なる処理が実行される。各真空容器の間にはゲートバルブ３が設けられている。これらの複数の真空チャンバのそれぞれには、順次に、前述の被処理物であるウェハ４を載置したキャリア５が搬送され、各真空チャンバでウェハに対して所定の処理が実行される。ウェハ４を載置したキャリア５は、レール６に沿って移動する。レール６は、各ゲートバルブ３が設けられた箇所では、その一部が切断された状態にあり、各真空チャンバごと分離された状態で形成される。キャリア５は、真空容器２Ａの入り口部７からその内部に入り、各真空容器２Ｂ，２Ｃのゲートバルブ３を通過し、真空容器２Ｃの出口部８から外部に取り出される。
　図２において６は平行に配置された２本の前記レールであり、５は平面形状が矩形である前記キャリアである。キャリア５の上に処理対象であるウェハ４が載置される。９はレール６に取り付けられ、キャリア５を移動方向に案内する案内部材である。キャリア５は、レール６の上において案内部材９で案内されて、１０で示す方向に移動する。矢印で示される１０の方向が前進方向である。図２において区間１１，１２，１３が、前記の真空容器２Ａ，２Ｂ，２Ｃによる各真空チャンバに対応する。キャリア５の手前の辺にはラック１４が形成される。また２本のレール６のうち図２中の手前側のレールに沿って一定の間隔で複数のピニオン１５が設けられている。キャリア５は、そのラック１４が各ピニオン１５と順次に噛合い、噛合った状態にて各ピニオン１５から動力を伝達され、これにより、１０方向に移動する。」（第３頁第４欄第５〜３７行、段落【０００８】及び【０００９】参照）
　したがって、刊行物１には、下記の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認める。
【引用発明】
　１つの列を成すように配置されかつゲートバルブ３で隔離された複数の真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃからなる真空処理装置１の真空空間内に、前記複数の真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの各々の間で前記ゲートバルブ３で分離された、ウェハ４が載置されたキャリア５を案内するためのレール６が設けられ、前記レール６に沿って移動可能な前記キャリア５を移動させるように構成されるラック・ピニオン送り機構であり、
　前記複数の真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの各々に対応する前記レール６に沿って一定の間隔で設けられる複数のピニオン１５と、
　前記ピニオン１５の回転軸に垂直に設けられかつ前記レール６に案内されて直線的に移動するように前記キャリア５の手前の辺の部分に形成されたラック１４とを備え、
　前記複数のピニオン１５の各々は対応する前記真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの壁部の内側の前記真空空間に配置され、かつ前記キャリア１５に形成された前記ラック１４は前記真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの前記壁部の内側の前記真空空間に配置され、
　駆動装置によって前記真空空間に配置された前記複数のピニオン１５の各々を回転させると、前記ラック１４を備えた前記キャリア５が前記レール６に沿って直線的に移動するラック・ピニオン送り機構。
　
（刊行物２）
　刊行物２には、「物品駆動装置」に関して、図面（特に、図１及び２を参照）とともに、下記の技術的事項が記載されている。
(ｄ)「この発明は、例えば、ＶＴＲカメラの焦点合わせ用レンズ等の物品を、直線方向に駆動する物品駆動装置に関し、さらに詳述すれば、駆動部（モータ）の振動を被駆動部に伝えにくい構造を有する物品駆動装置に関する。」（第２頁第１欄第１４〜１８行、段落【０００１】参照）
(ｅ)「図１は本発明に係る物品駆動装置の一実施例を示す側面図であり、本発明をＶＴＲカメラの焦点合わせ用レンズ（以下、「レンズ」という。）１２の光軸ｍ方向への駆動に適用した場合を示している。
　同図において、符号１４は円柱状に形成された回転着磁部材であり、その一端部はステッピングモータ（駆動モータ）１６の出力軸に同軸に連結され、その他端部は、図示されない支持部に回動自在に支持されている。この回転着磁部材１４の外周部には、該回転着磁部材１４の軸線に沿って、着磁部２２が螺旋状に形成されている。この着磁部２２は、互いに隣接するＮ極帯１８とＳ極帯２０とからなり、これらＮ極帯１８とＳ極帯２０とが隙間なく螺旋状に巻回されて形成されている。
　前記レンズ１２の外周部は、略円筒状のガイド部材２２に把持されており、このガイド部材２２には、回転着磁部材１４の軸線と平行に配設されたシャフト２４、２６が軸線方向に嵌挿され、これによりガイド部材２２及びレンズ１２は、光軸ｍ方向に移動自在となっている。
　前記ガイド部材２２の上端部には、略棒状の従動着磁部材２８の一端部が連結されており、この従動着磁部材２８の他端部は、回転着磁部材１４の着磁部２２に近接して配設されている。該従動着磁部材２８の上端側（他端側）はＳ極に着磁され、下端側（一端側）はＮ極に着磁されている。そして、該従動着磁部材２８のＳ極部が、回転着磁部材１４のＮ極帯１８に対向して配置されている。
　このように構成された物品駆動装置においては、ステッピングモータ１６の出力軸の正逆方向の回転により、回転着磁部材１４が正逆方向に回転すると、Ｎ極帯１８に対向する従動着磁部材２８のＳ極部が、該Ｎ極帯１８の動きに対応して直線方向に駆動され、これによりレンズ１２は光軸ｍ方向に駆動される。
　この場合、回転着磁部材１４のＮ極帯１８と従動着磁部材２８のＳ極部とは非接触であり、両部材１４，２８の間に働く吸引磁力のみによって運動が伝達されるため、ステッピングモータ１６の振動がガイド部材２２に伝わることがなく、振動の発生が最小限に抑えられ、振動音の発生も抑えられる。
　また、駆動部（回転着磁部材１４）と従動部（従動着磁部材２８）とが非接触であるため、従動部に過大な力が加わる場合、駆動部と従動部の間にすべりが生じて装置の損傷が防止されるという効果もある。
　なお、上記実施例においては、従動着磁部材の、回転着磁部材に対向する部分（上端側部分）を、一つの極性（Ｓ極）とする構成としたが、この回転着磁部材に対向する部分を、例えば図２に示すように、二つの極性としてもよい。同図に示す従動着磁部材３０は、回転着磁部材１４の軸線方向に対し一端側部分（図上左側部分）をＳ極、他端側部分（図上右側部分）をＮ極としたものであり、これにより、該従動着磁部材３０の回転着磁部材１４に対向する部分は、Ｎ極帯１８とＳ極帯２０の双方に対向するようになっている。」（第２頁第２欄第１９行〜第３頁第３欄第２２行、段落【０００８】〜【００１５】参照）
　
（刊行物３）
　刊行物３には、「運動変換方法及び装置」に関して、図面（特に、第３及び４図を参照）とともに、下記の技術的事項が記載されている。なお、「非搬送物」は「被搬送物」の、また「被磁性体」は「非磁性体」の誤記と認めた箇所がある。
(ｆ)「本発明は、回転／直線運動変換方法及びその装置に関するものである。」（第１頁右下欄第１〜２行）
(ｇ)「第３図に示す構造例のようにスクリュ２とナット部３の間に非磁性体のチューブ７をスクリュ２とも、ナット部３とも隙間を持つように同心に固定しても回転／直線運動変換機構は前述と同様に働くので、チューブ７を境にしてスクリュ２とナット部３の存在する空間を完全に分離できる。従って、たとえばナット側を真空中や溶剤中等の特殊環境条件の処理層に置き、スクリュ２及び回転駆動部を処理槽の外部に設置しても、駆動力を伝達することができるという利点がある。」（第３頁右上欄第１４行〜左下欄第６行）
(ｈ)「第１図ないし第３図に示した本発明の運動変換機構の構造例において、スクリュ２は２条ねじを用いたが、第４図図示のスクリュ２′のように１条ねじでもまたその他の条数でも良く、またスクリュ２は角ねじを用いたが、使用方法および使用条件によって三角ねじや台形ねじ等の別のねじを用いてもよい。
　また上述した構造例では円柱状の磁石５を使い、この位置決めにマグネットホルダ４およびマグネットバックアップ６を用いたが、磁石５をスクリュ２に対し適宜の間隙を持って配置できるならば、磁石５の形状は他のものでも差し支えなく、位置決め手段もマグネットホルダ４とマグネットバックアップ６に代わるものを用いてもよく、その位置決め手段に限定されるものではない。
　磁石の磁極の向きについても、半径方向でＮ極とＳ極が対向するように配置し、また１ピッチ毎にＮ・Ｓ・Ｎ・Ｓ…と交互に異極となるように配置している」（第３頁左下欄第６行〜右下欄第６行）
(ｉ)「本発明の第３実施例を第８図（ａ），（ｂ）に示す。これはクリーン度の要求される半導体製造装置におけるウェハ１６’の搬送に本発明の運動変換装置を用いた例であり、Ａ地点にある前工程処理済みウェハ１６’を次工程のバキュームローダ３０があるＢ地点まで搬送するものである。この搬送装置は、運動変換部１、回転運動を与える回転駆動部１５、被搬送物であるところのウェハ１６’に作用する移送部２１、移送補助部２４、付属部２７、およびクリーンエア供給装置３１によって構成される。
　ここで運動変換部１は前述のものと同じものであり、強磁性体のスクリュ２とナット部３およびこの両者の存在する空間を仕切る非磁性体のチューブ７から構成される。スクリュ２は両端を軸受３２、３３で保持されており、クリーンボックス２０外に配置された回転駆動部１５より回転運動が与えられる。チューブ７は、前述と同じようにスクリュ２およびナット部３との間に隙間を持ち、かつスクリュ２およびナット部３と同心、一端はクリーンボックス２０に隙間無く固定されており、他端は閉塞状態でベース２９によりクリーンボックス２０に固定されている。ナット部３は非磁性体でできたマグネットホルダ４、磁石５、およびマグネットバックアップ６から構成され、その配置は前述の通りである。（中略）
　この第３実施例の搬送装置の作動について説明する。回転駆動部１５よりスクリュ２へ回転運動が入力され運動変換部１によって非接触で運動変換が行なわれ、ナット部３より直線運動が出力される。この時直線運動が伝えられるナットホルダ２３はスクリュ２と平行なガイドシャフト２５に沿って非接触で動き、ガイドレール２２によってエア浮上したウェハ１６’に直線運動を与え、バキュームローダ３０まで被搬送物であるウェハ１６’を運ぶ。
　このように本発明の運動変換装置を用いることにより、クリーンボックス２０外からの駆動力によって非接触で運動変換が出来、クリーン度の要求されるクリーンボックス内で無発塵で運動変換が出来る搬送装置を作ることができる。」（第４頁右下欄第１１行〜第５頁右下欄第５行）
　
３．対比・判断
　本願発明と引用発明とを対比すると、それぞれの有する機能からみて、引用発明の「ゲートバルブ３」は本願発明の「仕切り弁」に相当し、以下同様にして、「真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃ」は「仕切り室」に、「真空処理装置１」は「真空処理装置」に、「ウェハ４」は「被処理物」に、「キャリア５」は「キャリア」に、「レール６」は「案内レール」に、「ラック・ピニオン送り機構」は「送り装置」に、「設けられる」は「配置される」に、「ピニオン１５」は「駆動用回転部材」又は「回転部材」に、「手前の辺」は「１つの辺」又は「辺」に、「形成される」は「取り付けられる」に、「ラック１４」は「スライド部材」に、それぞれ相当するので、両者は下記の一致点、並びに相違点１及び２を有する。
＜一致点＞
　１つの列を成すように配置されかつ仕切り弁で隔離された複数の仕切り室からなる真空処理装置の真空空間内に、前記複数の仕切り室の各々の間で前記仕切り弁で分離された、被処理物が載置されたキャリアを案内するための案内レールが設けられ、前記案内レールに沿って移動可能な前記キャリアを移動させるように構成される送り装置であり、
　前記複数の仕切り室の各々に対応する前記案内レールに沿って配置される複数の駆動用回転部材と、
　前記案内レールに案内されて直線的に移動するように前記キャリアの１つの辺の部分に取り付けられたスライド部材とを備え、
　前記キャリアに取り付けられた前記スライド部材は前記仕切り室の壁部の内側の前記真空空間に配置され、
　駆動装置によって前記複数の回転部材の各々を回転させると、前記スライド部材を備えた前記キャリアが前記案内レールに沿って直線的に移動する送り装置。
（相違点１）
　本願発明は、前記複数の駆動用回転部材が、「前記仕切り室ごとに個別に配置され」、「これらの回転部材の各々は、前記キャリアの１つの辺の長さに対応する軸方向長さを有し、さらに、円筒形表面の上に帯状Ｎ磁極部と帯状Ｓ磁極部を間隔をあけかつ連続的に螺旋形に巻かれるように形成され」るとともに、前記スライド部材が、「前記回転部材の回転軸に平行に配置され」「前記帯状Ｎ磁極部と前記帯状Ｓ磁極部の間の前記間隔と等しい間隔を有する複数の磁気結合作用部が設けられ」ており、「前記回転部材の前記帯状Ｎ磁極部および前記帯状Ｓ磁極部のそれぞれと前記スライド部材の前記磁気結合作用部との間における」「磁気結合に基づいて」駆動する「非接触式磁気誘導送り装置」であるのに対し、引用発明は、複数のピニオン１５が、レール６に沿って一定の間隔で設けられ、ラック１４が、ピニオン１５の回転軸に垂直に設けられるラック・ピニオン送り機構である点。
（相違点２）
　本願発明は、「前記複数の回転部材の各々は対応する前記仕切り室の壁部の外側の大気空間に配置され、」「これにより前記回転部材と前記スライド部材は前記仕切り室の壁部により空間的に分離され、前記回転部材と前記スライド部材の間に設けられた前記仕切り室の前記壁部は非磁性材料で形成され」、「前記仕切り室の前記壁部を介在させた磁気結合に基づいて」駆動するものであるのに対し、引用発明は、複数のピニオン１５の各々は対応する真空チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの壁部の内側の真空空間に配置されており、本願発明の構成を具備していない点。
　そこで、上記相違点１及び２について検討する。
（相違点１について）
　引用発明及び刊行物２に記載された技術事項は、ともに送り装置に関する技術分野に属するものであって、刊行物２には、「図１は本発明に係る物品駆動装置の一実施例を示す側面図であり、（中略）符号１４は円柱状に形成された回転着磁部材であり、その一端部はステッピングモータ（駆動モータ）１６の出力軸に同軸に連結され、その他端部は、図示されない支持部に回動自在に支持されている。この回転着磁部材１４の外周部には、該回転着磁部材１４の軸線に沿って、着磁部２２が螺旋状に形成されている。この着磁部２２は、互いに隣接するＮ極帯１８とＳ極帯２０とからなり、これらＮ極帯１８とＳ極帯２０とが隙間なく螺旋状に巻回されて形成されている。（中略）前記ガイド部材２２の上端部には、略棒状の従動着磁部材２８の一端部が連結されており、この従動着磁部材２８の他端部は、回転着磁部材１４の着磁部２２に近接して配設されている。該従動着磁部材２８の上端側（他端側）はＳ極に着磁され、下端側（一端側）はＮ極に着磁されている。そして、該従動着磁部材２８のＳ極部が、回転着磁部材１４のＮ極帯１８に対向して配置されている。このように構成された物品駆動装置においては、ステッピングモータ１６の出力軸の正逆方向の回転により、回転着磁部材１４が正逆方向に回転すると、Ｎ極帯１８に対向する従動着磁部材２８のＳ極部が、該Ｎ極帯１８の動きに対応して直線方向に駆動され（中略）る。この場合、回転着磁部材１４のＮ極帯１８と従動着磁部材２８のＳ極部とは非接触であり、両部材１４，２８の間に働く吸引磁力のみによって運動が伝達されるため、ステッピングモータ１６の振動がガイド部材２２に伝わることがなく、振動の発生が最小限に抑えられ、振動音の発生も抑えられる。（中略）回転着磁部材に対向する部分を、例えば図２に示すように、二つの極性としてもよい。同図に示す従動着磁部材３０は、回転着磁部材１４の軸線方向に対し一端側部分（図上左側部分）をＳ極、他端側部分（図上右側部分）をＮ極としたものであり、これにより、該従動着磁部材３０の回転着磁部材１４に対向する部分は、Ｎ極帯１８とＳ極帯２０の双方に対向するようになっている。」（上記摘記事項(ｅ)参照）と記載されている。
　上記記載からみて、刊行物２には、回転着磁部材１４が、円筒形表面の上に帯状Ｎ磁極部と帯状Ｓ磁極部を間隔をあけかつ連続的に螺旋形に巻かれるように形成されるとともに、従動着磁部材３０が、回転着磁部材１４の回転軸に平行に配置され、帯状Ｎ磁極部と帯状Ｓ磁極部の間の間隔と等しい間隔を有する磁気結合作用部が設けられており、回転着磁部材１４の帯状Ｎ磁極部および帯状Ｓ磁極部のそれぞれと従動着磁部材３０の磁気結合作用部との間における磁気結合に基づいてガイド部材２２がシャフト２４に沿って直線的に移動する非接触式磁気誘導送り装置が記載又は示唆されている。
　また、刊行物２に記載又は示唆された非接触式磁気誘導送り装置において、回転着磁部材１４の軸方向長さをどの程度のものとするか、帯状Ｎ磁極部及び帯状Ｓ磁極部のピッチ間隔をどの程度とするかなどは、送り装置を設ける搬送設備の大きさや、送り装置に要求される機能などに応じて、当業者が適宜採用する設計変更の範囲内の事項にすぎない。
　してみれば、引用発明のラック・ピニオン送り機構からなる送り装置として、刊行物２に記載又は示唆された回転着磁部材が、円筒形表面の上に帯状Ｎ磁極部と帯状Ｓ磁極部を間隔をあけかつ連続的に螺旋形に巻かれるように形成されるとともに、従動着磁部材が、回転着磁部材の回転軸に平行に配置され、帯状Ｎ磁極部と帯状Ｓ磁極部の間の間隔と等しい間隔を有する磁気結合作用部が設けられており、回転着磁部材の帯状Ｎ磁極部および帯状Ｓ磁極部のそれぞれと従動着磁部材の磁気結合作用部との間における磁気結合に基づいてガイド部材がシャフトに沿って直線的に移動する非接触式磁気誘導送り装置の構成とすることにより、上記相違点１に係る本願発明の構成とすることは、技術的に格別の困難性を有することなく当業者が容易に想到できるものであって、これを妨げる格別の事情は見出せない。
（相違点２について）
　引用発明及び刊行物３に記載された技術事項は、ともに真空処理装置に適用される送り装置に関する技術分野に属するものであって、刊行物３には、「第３図に示す構造例のようにスクリュ２とナット部３の間に非磁性体のチューブ７をスクリュ２とも、ナット部３とも隙間を持つように同心に固定しても回転／直線運動変換機構は前述と同様に働くので、チューブ７を境にしてスクリュ２とナット部３の存在する空間を完全に分離できる。従って、たとえばナット側を真空中や溶剤中等の特殊環境条件の処理層に置き、スクリュ２及び回転駆動部を処理槽の外部に設置しても、駆動力を伝達することができるという利点がある。」（上記摘記事項(ｇ)参照）と記載され、また、刊行物３には、「本発明の第３実施例を第８図（ａ），（ｂ）に示す。これはクリーン度の要求される半導体製造装置におけるウェハ１６’の搬送に本発明の運動変換装置を用いた例であり、・・・ここで運動変換部１は前述のものと同じものであり、強磁性体のスクリュ２とナット部３およびこの両者の存在する空間を仕切る非磁性体のチューブ７から構成される。スクリュ２は両端を軸受３２、３３で保持されており、クリーンボックス２０外に配置された回転駆動部１５より回転運動が与えられる。・・・このように本発明の運動変換装置を用いることにより、クリーンボックス２０外からの駆動力によって非接触で運動変換が出来、クリーン度の要求されるクリーンボックス内で無発塵で運動変換が出来る搬送装置を作ることができる。」（上記摘記事項(ｉ)参照）と記載されている。
　これらの記載からみて、刊行物３には、引用発明と同様にクリーン度の要求される真空処理装置において、クリーンボックス内で非接触・無発塵で運動変換をする送り装置とするために、スクリュとナット部の間に非磁性体で形成された隔壁部材（チューブ７）を設けてスクリュとナット部の存在する空間を分離し、スクリュ側をクリーンボックス外の大気空間側に配置するとともにナット側をクリーンボックス内の真空空間側に配置して、クリーンボックス外の大気空間側に配置された回転駆動部より回転運動を与える構成が記載又は示唆されている。
　その際に、隔壁部材（チューブ７）としては、大気空間側と真空空間側を仕切る役割を果たせば、その機能を果たすことができるのであるから、真空処理装置の仕切り室の壁部により隔離するようにすることは、当業者が適宜採用する設計変更の範囲内に事項にすぎない。
　してみれば、引用発明の真空処理装置に適用されるラック・ピニオン送り機構からなる送り装置として、上記（相違点１について）において述べた判断の前提下において、刊行物３に記載又は示唆されたスクリュとナット部の間に非磁性体で形成された隔壁部材を設けてスクリュとナット部の存在する空間を分離し、スクリュ側をクリーンボックス外の大気空間側に配置するとともにナット側をクリーンボックス内の真空空間側に配置して、クリーンボックス外の大気空間側に配置された回転駆動部より回転運動を与える構成とするとともに、真空処理装置の仕切り室の非磁性材料で形成された壁部により隔離し、仕切り室の壁部を介在させた磁気結合に基づいて駆動することにより、上記相違点２に係る本願発明の構成とすることは、技術的に格別の困難性を有することなく当業者が容易に想到できるものであって、これを妨げる格別の事情は見出せない。
　
　本願発明の奏する効果についてみても、引用発明、並びに刊行物２及び３に記載された発明の奏するそれぞれの効果の総和以上の格別顕著な効果を奏するものとは認められない。
　したがって、本願発明は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　なお、審判請求人は、当審における拒絶理由に対する平成２１年４月２７日付け意見書において、「請求項１に係る本願発明の非接触式磁気誘導送り装置では、（中略）
１）仕切り室の壁部の外側の大気空間に回転部材を配置しかつ当該壁部の内側の真空空間にスライド部材を配置することにより、回転部材とスライド部材をそれぞれ異なる空間を分離して配置でき、
２）外側の大気空間に配置された回転部材およびその関連部分（駆動装置等）の保守を容易に行うことができる。」（「３．意見」「（１）請求項１に係る本願発明と引用文献との対比、および本願発明の特許性」「Ｄ．本願発明と引用文献（刊行物１，２，４）との対比」の項参照）と述べ、本願発明の奏する効果について主張している。
　しかしながら、上記（相違点１について）及び（相違点２について）において記載したように、引用発明に、刊行物２及び３に記載された発明を適用することは当業者が容易に想到し得たものであるところ、審判請求人が主張する本願発明の奏する上記の効果は、従前知られていた構成が奏する効果を併せたものにすぎず、本願発明の構成を備えることによって、本願発明が、従前知られていた効果を併せたものとは異なる、相乗的で予想外の格別の効果を奏するものとは認められないので、審判請求人の上記主張は採用することができない。
　
４．むすび
　結局、本願の請求項１に係る発明（本願発明）は、その出願前日本国内において頒布された刊行物１〜３に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願の請求項２〜８に係る発明について検討をするまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。