【事件の表示】
　平成１０年特許願第２９５２５７号「ローラユニット」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　４月２５日出願公開、特開２０００−１２０６７２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１０年１０月１６日の出願であって、平成１９年５月３０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１９年７月６日に審判請求がなされるとともに、平成１９年８月６日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１９年８月６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年８月６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
［理由］
（１）本件補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲は、
「【請求項１】　電子ビーム露光装置の直動機構に用いられるローラユニットで、固定軸の一端部の外周面に転がり軸受の内輪が嵌め込まれているとともに、その転がり軸受の外輪外周面には円筒状のローラ部材が嵌め込まれ、そのローラ部材の外周面には直動機構の案内面に当接する転がり面が形成されてなるローラユニットにおいて、
　上記固定軸の一端部は、段部より先端が小径となっており、その小径部分に２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、かつ、これら２つの転がり軸受の間には間座が介挿され、これら２つの転がり軸受および間座は、上記固定軸の先端面にねじ込まれるねじによりカバーを介して上記段部との間に締め付けられているとともに、
　上記各部材のうち、各転がり軸受の外輪とローラ部材がセラミックス材料により一体形成され、かつ、その外輪とローラ部材との一体形成体の内周には、互いに平行な２本の軌道面が形成され、その各軌道面と上記２つの内輪の外周の軌道面との間に配置された２列のボール群によって、当該外輪とローラ部材との一体形成体が支持されているとともに、
　上記各ボールはセラミックス製であり、上記固定軸、間座、およびカバーはベリリウム銅製で、上記ねじは非磁性材料であることを特徴とする電子ビーム露光装置の直動機構用ローラユニット。」と補正された。
　上記補正は、実質的にみて、（ａ）本件補正前の請求項１に記載された「上記各部材のうち…、その他の部材がそれぞれ非磁性材料で形成されている」という事項を「上記各ボールはセラミックス製であり、上記固定軸、間座、およびカバーはベリリウム銅製で、上記ねじは非磁性材料であること」という事項に減縮し、同じく（ｂ）「上記固定軸には２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれて、」という事項を「上記固定軸の一端部は、段部より先端が小径となっており、その小径部分に２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、かつ、これら２つの転がり軸受の間には間座が介挿され、これら２つの転がり軸受および間座は、上記固定軸の先端面にねじ込まれるねじによりカバーを介して上記段部との間に締め付けられている」という事項に減縮するとともに、同じく（ｃ）「ローラユニット」を「電子ビーム露光装置の直動機構用ローラユニット」に訂正し、また（ｄ）「電子ビーム露光装置の直動機構に用いられるローラユニットで、」という事項を追加するものである。ここで、上記（ｃ）の「ローラユニット」を「電子ビーム露光装置の直動機構用ローラユニット」に訂正した補正事項は、「ローラユニット」を「電子ビーム露光装置の直動機構用ローラユニット」と減縮するものということができる。また、上記（ｄ）の「電子ビーム露光装置の直動機構に用いられるローラユニットで、」という事項を追加する補正事項は上記（ｃ）の補正と実質的に同じ補正である。以上より、上記補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
（２）引用例
（２−１）引用例１
　特開平２−１１３１１４号公報（以下、「引用例１」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（あ）「本発明は、工作機械のテーブル、位置決めテーブル等の直線運動部分の案内に用いられる直線運動用ベアリングに関する。」（第１頁右下欄第４〜６行）
（い）「第１図、第３図に戻り、ベアリング組立体１３は、架台３０と、この架台３０の下面において外周面４４に凹み４５が形成された４つのローラ４０と、ローラ４０を軌道台１２のロッド２１，２１を把持するような位置に軸支するための２種のボルト５１，５２を有してなる。」（第２頁右下欄第１９行〜第３頁左上欄第４行）
（う）「第８図、第９図はローラ４０を示し、本実施例のローラはシールドタイプの複列外向アンギュラ玉軸受の外輪４３に後述の凹み４５を設けたものに相当し、モーメント荷重に抗する接触角を有する構造となっている。…軸受としてみた場合の内輪４１の内周面４２は、各々のボルト５１，５２に圧入される。外輪４３の外周面４４には、軌道台１２のロッド２１の外周面に適合する形状の凹み４５が形成されている。」（第３頁左上欄第１１〜２０行）
（え）「第２のボルト５２は、第１３図、第１４図のように、両ねじタイプの偏心ボルトであり、一端から、架台３０への取付用のねじ部５６、ローラ４０の内輪４１の内周面４２に軽圧入されるシャンク５４、ナット３６との締付用ねじ部５７及び角柱頭部５９からなる。…
　ベアリング本体１３を組立てるには、まず、…ついで、第２のボルト、すなわち偏心ボルト５２のシャンク５４にローラ４０の内輪４１を圧入したものにワッシャ３７を挿通して、架台３０の他方側のねじ孔３２に取付ける。」（第３頁左下欄第１〜１８行）
（お）「本発明のものでは、軸支ローラ４０がロッド２１上を転動するので、このような振動等が生じることがなく、全て転がり接触によるため、架台３０はスムーズに走行する。」（第３頁右下欄第１１〜１５行）
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例１には、次の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されているものと認められる。
「複列外向アンギュラ玉軸受の内輪４１の内周面４２はボルト５２のシャンク５４に圧入されているとともに、ローラ４０はシールドタイプの複列外向アンギュラ玉軸受の外輪４３の外周面４４に凹み４５を設けたものであって、外周面４４の凹み４５は軌道台１２のロッド２１の外周面に適合する形状であって、ローラ４０はロッド２１上を転動し、
　ボルト５２のシャンク５４にローラ４０の内輪４１を圧入し、ねじ部５６に挿通したワッシャ３７とねじ部５７にねじ込まれるナット３６によりローラ４０の内輪４１が締付け固定されているとともに、
　ローラ４０の外輪４３の内周の軌道面と内輪４１の外周の軌道面との間に２列の玉が配置され、２列の玉によってローラ４０が支持されている軸支ローラ式直線運動用ベアリング。」
（２−２）引用例２
　特開平３−２３１０４号公報（以下、「引用例２」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（か）「この発明は工作機械、物流荷役機械（コンベヤー）、事務用機器等の二つの部材が相対的に直線移動する部分に介在させ、これら二部材の相対的移動を軽快にする所謂リニヤローラパックに関する。」（第１頁右下欄第１９行〜第２頁左上欄第３行）
（き）「２０はスリーブ状の各ローラであり、窒化珪素よりなるセラミック又は少なくとも内周面は弗素樹脂を基材とするエンジニヤリングプラスチックであり、…」（第３頁左下欄第１２〜１５行）
（く）「前記ローラ支持軸２５のローラ２０が嵌合している部分の中央には円周方向にベアリングボール群支持溝２７が刻設してあり、このベアリングボール群支持溝２７の中には、複数個の窒化珪素よりなるセラミック製のベアリングボール２８が適当なリテーナ３５によって所定ピッチの間隔を於いて設けてあり、…」（第３頁右下欄第５〜１１行）
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例２には、次の発明（以下、「引用例２発明」という。）が記載されているものと認められる。
「スリーブ状のローラ２０をボール２８を介して支持軸２５に支持したリニアローラパックにおいて、ローラ２０とボール２８をセラミックス製としたリニアローラパック。」
（２−３）引用例３
　特開平９−１３３１２８号公報（以下、「引用例３」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（さ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等の磁場を制御する装置で用いられる非磁性転がり軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
　従来の転がり軸受では、通常、その構成部品である軌道輪や転動体は、高炭素クロム軸受鋼であるＳＵＪ２等の鋼材によって形成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような従来の転がり軸受では、次のような問題点がある。例えば、半導体製造装置であるプラズマエッチング装置によるドライプラズマエッチングにおいては、チャンバー内のプラズマの密度を高めてプラズマへの衝突確率を上げることでより細かいエッチングを可能とするために、磁石を所定の位置に設け当該磁石による磁場を利用することがあるが、この装置のターンテーブル等を支持する軸受に上記従来の軸受を使用した場合、上記磁石の磁力によって軌道輪等の軸受部品が磁気を帯びる。この結果、上記帯磁した軸受の存在によって、上記磁石による磁場が乱れ上記エッチングに悪影響を及ぼす。」
（し）「【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明の転がり軸受は、軌道輪を高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼により形成し、転動体を高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼又はセラミックにより形成し、保持器を合成樹脂又は銅により形成したことを特徴としている。
【０００６】ここで、成形性やコスト等の見地から、上記転動体としては、セラミックで形成するのが好ましく、また、保持器としては、ポリアミド樹脂によって形成するのが好ましい。この発明においては、軸受部品が、高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼、セラミック及び合成樹脂という、透磁率が低い非磁性材料から構成されるので、軸受自体は磁気を帯びにくく、周りの磁場への影響が抑えられる。」
（す）「【０００９】上記軌道輪である内輪２ａ及び外輪２ｂは、それぞれ高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼によって形成されている。…」
（せ）「【００１０】また、上記転動体である玉２ｃは、Ｓｉ3 Ｎ4 等のセラミックによって形成されることで、透磁率が１．０２（Ｈ／ｍ）程度以下となっている。また、上記保持器２ｄは、ポリアミド樹脂やフェノール樹脂（商品名：ベークライト）等の合成樹脂又は銅によって形成されることで、透磁率が１．０２（Ｈ／ｍ）程度以下となっている。
【００１１】そして、上記プラズマエッチング装置では、ターンテーブル１上にウエハを載置し、上記磁石４による磁力によってプラズマの捕捉を行うことで、チャンバー内のプラズマ密度を高め、その状態でエッチングが行われる。このとき、磁石４の下方にある軸受２も当該磁石４の磁力の影響を受けるが、本実施の形態の軸受２を構成する各軸受部品２ａ〜２ｄは、上記のような高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼、セラミック、及び合成樹脂という透磁率が１．０２（Ｈ／ｍ）以下の非磁性材であるために帯磁しにくく、また、帯磁しても微少の磁力である。
【００１２】　このため、上記磁石４の磁力によって軸受２が磁化することは回避され、また、磁化してもそれによる磁力は微少であるので、磁石４で形成される磁場が、上記軸受２の存在によって乱されることが回避される。この結果、従来の転がり軸受を使用した場合に比べて、より細かいエッチングが可能となる。」
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例３には、次の発明（以下、「引用例３発明」という。）が記載されているものと認められる。
「半導体製造装置であるプラズマエッチング装置に適用される転がり軸受において、
　軌道輪である内輪２ａ及び外輪２ｂは、それぞれ高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼によって形成され、転動体である玉２ｃは、Ｓｉ3 Ｎ4 等のセラミックによって形成され、保持器２ｄは、ポリアミド樹脂やフェノール樹脂等の合成樹脂又は銅によって形成されており、
　これにより、各軸受部品２ａ〜２ｄは高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼、セラミック、及び合成樹脂という透磁率が１．０２（Ｈ／ｍ）以下の非磁性材であるために帯磁しにくく、また、帯磁しても微少の磁力である転がり軸受。」
（２−４）引用例４
　実願昭５９−１５７６４６号（実開昭６１−７３８３０号）のマイクロフィルム（以下、「引用例４」という。）には、下記の事項が図面とともに記載されている。
（た）「この考案は、測定機器や精密機器等が載置される台車をガイドレールに沿って走行させる装置に関し、さらに詳しく言うとリニアガイドに使用するカムフォロアを改良した台車の走行ガイド装置に関する。」（明細書第１頁第１８行〜第２頁第２行）
（ち）「カムフォロア３の外輪４の内側に２列のサーキュラーアーク溝４Ａ，４Ｂが形成してあり、内輪５は第１筒部５１と第２筒部５２とから成る。第１筒部５１の外周面がサーキュラーアーク溝４Ａに対応するインナーサーキュラーアーク溝５Ａに形成してあり、第２筒部５１の外周面がサーキュラーアーク溝４Ｂに対応するインナーサーキュラーアーク溝５Ｂに形成してある。第１，第２筒部５１，５２ともに鍔部５Ｃ，５Ｄを有し、ねじ６により両筒部５１，５２を結合する。第２筒部５２にはスタッド７が突出形成してあり、このスタッド７が台車１に取付く。
　インナーサーキュラーアーク溝５Ａ，５Ｂとサーキュラーアーク溝４Ａ，４Ｂとの間にボールベアリング８が多数配設してある。」（明細書第４頁第３〜１７行）
　以上の記載事項及び図面からみて、引用例４には、次の発明（以下、「引用例４発明」という。）が記載されているものと認められる。
「カムフォロア３の内輪５が第１筒部５１、第２筒部５２とから成り、両筒部より小径のねじ６により両筒部を結合した台車の走行ガイド装置。」。
（３）対比
　本願補正発明１と引用例１発明とを比較すると、後者の「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」は前者の「直動機構用ローラユニット」に相当し、以下、同様に、「複列外向アンギュラ玉軸受」は「転がり軸受」に、「ボルト５２」は「固定軸」に、「圧入されている」は「嵌め込まれている」に、「凹み４５」は「直動機構の案内面に当接する転がり面」に、「２列の玉」は「２列のボール群」にそれぞれ相当する。
　また、（ａ）引用例１発明における、２列の玉が配置されるローラ４０の外輪４３の内周の軌道面は互いに平行な２本の軌道面であると認められる。（ｂ）引用例１発明におけるローラ４０はシールドタイプの複列外向アンギュラ玉軸受の外輪４３の外周面４４に凹み４５を設けたものであるから、これは物の構造としては、「転がり軸受の外輪外周面には円筒状のローラ部材が嵌め込まれ、そのローラ部材の外周面には直動機構の案内面に当接する転がり面が形成されてなる」ものにおいて、「各転がり軸受の外輪とローラ部材」が「一体形成され」ているものに相当する。
　以上より、本願補正発明の用語に倣って整理すると、両者は、
「固定軸の外周面に転がり軸受の内輪が嵌め込まれているとともに、その転がり軸受の外輪外周面には円筒状のローラ部材が嵌め込まれ、そのローラ部材の外周面には直動機構の案内面に当接する転がり面が形成されてなるローラユニットにおいて、
　上記固定軸に転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、転がり軸受は締め付けられているとともに、
　上記各部材のうち、各転がり軸受の外輪とローラ部材が一体形成され、かつ、その外輪とローラ部材との一体形成体の内周には、互いに平行な２本の軌道面が形成され、その各軌道面と上記内輪の外周の軌道面との間に配置された２列のボール群によって、当該外輪とローラ部材との一体形成体が支持されている直動機構用ローラユニット。」である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　本願補正発明１は「電子ビーム露光装置の直動機構に用いられるローラユニット」であって、「電子ビーム露光装置の直動機構用ローラユニット」であるのに対し、引用例１発明は「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」である点。
［相違点２］
　本願補正発明１は、「固定軸の一端部の外周面に転がり軸受の内輪が嵌め込まれている」とともに、「２つの内輪」を具備し、また、「上記固定軸の一端部は、段部より先端が小径となっており、その小径部分に２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、かつ、これら２つの転がり軸受の間には間座が介挿され、これら２つの転がり軸受および間座は、上記固定軸の先端面にねじ込まれるねじによりカバーを介して上記段部との間に締め付けられている」という事項を具備しているのに対し、引用例１発明は「複列外向アンギュラ玉軸受の内輪４１の内周面４２はボルト５２のシャンク５４に圧入されて」おり、「ボルト５２のシャンク５４にローラ４０の内輪４１を圧入し、ねじ部５６に挿通したワッシャ３７とねじ部５７にねじ込まれるナット３６によりローラ４０の内輪４１が締付け固定されている」にすぎない点。
［相違点３］
　本願補正発明１は、「各転がり軸受の外輪とローラ部材がセラミックス材料により一体形成され、」という事項、及び「上記各ボールはセラミックス製であり、上記固定軸、間座、およびカバーはベリリウム銅製で、上記ねじは非磁性材料である」という事項を具備しているのに対し、引用例１発明はそのような事項を具備していない点。
（４）判断
［相違点１］について
　引用例１発明の「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」をどのような装置に適用するかは適宜設計する事項にすぎず、「電子ビーム露光装置の直動機構」に用いることは当業者が容易に想到し得たものと認められる。
［相違点２］について
　引用例１発明においてローラ４０の構造や取付け態様は適宜設計する事項にすぎない。
　ここで、軸に２つの内輪を設けたものは例えば特開昭６３−１１５９１３号公報（特に第７〜９図）に示されているように、２つの軸受の間に間座を介挿したものは例えば実願昭５７−１２６１４９号（実開昭５９−３０９２２号）のマイクロフィルム（特に第１図）に示されているように、いずれも周知であると認められる。引用例１発明に上記周知事項を採用することは適宜の設計にすぎない。
　また、引用例１発明では、ボルト５２のシャンク５４にローラ４０の内輪４１を圧入し、ねじ部５６に挿通したワッシャ３７とねじ部５７にねじ込まれるナット３６によりローラ４０の内輪４１が締付け固定されている。上記のとおり、引用例４発明は、「台車の走行ガイド装置」において「カムフォロア３の内輪５が第１筒部５１、第２筒部５２とから成り、両筒部より小径のねじ６により両筒部を結合する」という事項を具備している。引用例１発明のナット３６に替えて、ボルト５２より小径のねじにより締付け固定することは、引用例４発明の小径のねじ６により締付け固定するという事項を採用することにより、当業者が容易に想到し得たものと認められる。その際、締付け固定するには、そのようなねじと内輪４１との間にナット３６の径寸法と同程度の板状部材を介設すべきことは明らかである。また、ワッシャ３７を設けることによって内輪４１が圧入されるシャンク５４とワッシャ３７とで段部が形成されているということができ、締付け固定するためにこのような段部を要することは明らかであるから、ワッシャ３７に替えてシャンク５４ないしねじ部５６の径を変えることにより相応の段部を形成することは適宜の設計的事項にすぎないと認められる。
　また、内輪４１をボルト５２の一端部に配置することは、ボルト５２の強度等に応じて適宜設計する事項にすぎない。この点については、ナット３６に替えて小径のねじ６により締付け固定するという手段を採用すれば、ねじ部５７が実質的に不要になるから、ボルト５２の一端部に内輪４１を設けたということができるし、また、引用例４には軸状部材（第２筒部５２、スタッド７）の一端部に内輪５を設けたものが示されており、このような事項は周知であるということもできる。
　以上のようにしたものは、実質的にみて、「固定軸の一端部の外周面に転がり軸受の内輪が嵌め込まれている」とともに、「２つの内輪」を具備し、また、「上記固定軸の一端部は、段部より先端が小径となっており、その小径部分に２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、かつ、これら２つの転がり軸受の間には間座が介挿され、これら２つの転がり軸受および間座は、上記固定軸の先端面にねじ込まれるねじによりカバーを介して上記段部との間に締め付けられている」ものであるということができる。
［相違点３］について
　引用例１発明の「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」を「電子ビーム露光装置の直動機構」に用いること、及び、引用例１発明におけるローラ４０の構造や取付け態様を「上記固定軸の一端部は、段部より先端が小径となっており、その小径部分に２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、かつ、これら２つの転がり軸受の間には間座が介挿され、これら２つの転がり軸受および間座は、上記固定軸の先端面にねじ込まれるねじによりカバーを介して上記段部との間に締め付けられている」という構成にすることは当業者が容易に想到し得たものと認められることは上記のとおりである。そして、「電子ビーム露光装置の直動機構」に用いる場合、「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」の素材によっては電子ビームの軌道に影響が及び得ることは当業者に明らかである。
　ここで、引用例３発明の転がり軸受は、内輪２ａ及び外輪２ｂを高Ｍｎ系析出硬化形オーステナイト鋼、玉２ｃをセラミック、及び保持器２ｄを合成樹脂から形成し、透磁率が１．０２（Ｈ／ｍ）以下の非磁性材であるために帯磁しにくく、また、帯磁しても微少の磁力であるという事項を具備している。また、引用例２発明はローラとボールをセラミック製とするという材質に関する事項を具備している。引用例３発明は磁気ないし磁場による影響を回避するという点で引用例１発明の課題と類似するから、引用例１発明の「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」を「電子ビーム露光装置の直動機構」に用いるにあたって、電子ビームの軌道に影響が及ぶのを回避するために、「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」の構成要素を非磁性材から形成することは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。その際、各構成要素の非磁性体の選択は所要の性能や強度等に応じて適宜設計する事項にすぎず、引用例１発明のローラ４０をセラミック製とし、玉をセラミックス製とし、ボルト５２、上記の間座、及び上記の板状部材をベリリウム銅製、ボルト５２より小径の上記のねじを磁性材料とすることはそのような適宜の設計の一例として当業者が容易に想到し得たものと認められる。このようにしたものが実質的に「各転がり軸受の外輪とローラ部材がセラミックス材料により一体形成され、」という事項、及び「上記各ボールはセラミックス製であり、上記固定軸、間座、およびカバーはベリリウム銅製で、上記ねじは非磁性材料である」という事項を備えることは明らかである。
　そして、本願補正発明１の作用効果は、引用例１〜４に記載された発明に基づいて当業者が予測し得た程度のものである。
　
　なお、審判請求の理由において、「また、引用文献３に記載の発明は転がり軸受に関する発明であって、本願請求項１に係る発明が対象としているカムフォロワータイプのローラユニットに関する記載は全くなく、しかも、この引用文献３に記載の発明は、転がり軸受の軌道輪を低透磁率のオーステナイト鋼製とし、転動体については同じく低透磁率のオーステナイト鋼製もしくはセラミックス製とすることにより、プラズマエッチング装置等に用いられる磁石が作る磁場によって当該転がり軸受が帯磁することを防止し、これによって上記の磁石が作る磁場を乱すことを防止するものであり、本願請求項１に係る発明のように、ローラユニットを構成する全ての部材を非磁性材料として、電子ビーム露光装置の電子の軌道に影響を及ぼさないようにする、という思想に関しては何ら示唆するところがない。」と主張する。確かに、「引用文献３」には「本願請求項１に係る発明」のように電子ビーム露光装置の電子の軌道に影響を及ぼさないようにするという思想に関する記載ないし示唆がないことはその限りでそのとおりであるが、引用例１発明の「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」を「電子ビーム露光装置の直動機構」に用いることは当業者が容易に想到し得たものと認められること、及び、「電子ビーム露光装置の直動機構」に用いる場合、「軸支ローラ式直線運動用ベアリング」の素材によっては電子ビームの軌道に影響が及び得ることが当業者に明らかであることは、上記のとおりである。
　同じく「そして、平成１９年８月６日付け提出の手続補正書によって補正された本願請求項１に係る発明は、固定軸の先端の小径部分に、軸方向に間座を介在させて２つの内輪を嵌め込み、これらをカバー介してねじによってねじ止めするとともに、その２つの内輪に対し、２本の軌道面を有する外輪兼用のローラを、２列のボール群を介して支持したローラユニットにおいて、各構成部材をセラミックスとベリリウム銅をはじめとする非磁性材料によって形成するとともに、各部材の役割等に応じてこれらの材料を使い分けることで、電子ビーム露光装置に用いて電子ビームの軌道に影響を及ぼすことなく、しかも耐熱性と耐磨耗性に優れ、しかも比較的簡単な製造工程のもとに再現性よく高い振れ精度の製品を得ることができるという効果を奏するものであり、このような技術的思想については、提示されている各引用文献１−３のいずれにも記載がなく、従って、本願請求項１に係る発明は、原査定で提示されている引用文献１−３を総合しても、容易に想到し得るものではない。」と主張する。「各部材の役割等に応じてこれらの材料を使い分けることで、…」と主張する点に対しては、非磁性体の選択は所要の性能や強度等に応じて適宜設計する事項にすぎないことは上記のとおりである。なお、補正前の当初の明細書には「【０００８】ここで、本発明においては、相互に一体化された外輪とローラ部材以外の部材を構成する非磁性材料の具体的な材質については特に限定されるものではないが、耐熱性および耐磨耗性の観点からは、特に転がり軸受の内輪および転動体についてもセラミックスとすることが望ましい。」と記載されており、この記載からは、非磁性材料の具体的な材質は適宜の設計的事項であるという技術常識ないし示唆が少なくとも存在したことを看取することができる。また、「固定軸の先端の小径部分に、軸方向に間座を介在させて２つの内輪を嵌め込み、これらをカバー介してねじによってねじ止めするとともに、その２つの内輪に対し、２本の軌道面を有する外輪兼用のローラを、２列のボール群を介して支持した」という事項については、それによって従来技術のどのような課題をどのようにして解決しているのか、必ずしも明らかではないが、そのような構成とすることは当業者が容易に想到し得たものであることは上記のとおりである。
　
　したがって、本願補正発明１は、引用例１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（５）むすび
　本願補正発明１について以上のとおりであるから、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、本件補正における他の補正事項を検討するまでもなく、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　本件補正の適否については以上のとおりであるが、平成２０年７月１０日付け審尋に対する平成２０年９月１６日付け回答書では、請求人は上記補正について、「（１）前置報告書には、平成１９年９月２１日付けでした手続補正書による請求項１に関する補正が、特許法第１７条の２第４項の各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当しない旨の報告がなされています。この点に関し、審査基準を含めて再調査致しました結果、前記手続補正書による本願請求項１の補正は、限定的減縮に相当せず、また、誤記の訂正、明瞭でない記載の釈明にも相当せず、勿論、請求項の削除にも相当しない、という結論に達し、従いまして前置報告書の内容に間違いはないと思料致します。」と述べている。仮にこのように、上記補正が特許法第１７条の２第４項の各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当しないとした場合、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項の規定に違反するので、本件補正における他の補正事項を検討するまでもなく、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものであるという結論に変わりはない。。
　
３．本願発明
　平成１９年８月６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」という。）は、平成１８年１０月２日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「【請求項１】　固定軸の一端部の外周面に転がり軸受の内輪が嵌め込まれているとともに、その転がり軸受の外輪外周面には円筒状のローラ部材が嵌め込まれ、そのローラ部材の外周面には直動機構の案内面に当接する転がり面が形成されてなるローラユニットにおいて、
　上記各部材のうち転がり軸受の外輪およびローラ部材がセラミックス材料により一体形成され、かつ、その他の部材がそれぞれ非磁性材料で形成されているとともに、上記外輪とローラ部材との一体形成体の内周には、互いに平行な２本の軌道面が形成され、かつ、上記固定軸には２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれて、その各内輪の外周の軌道面と上記外輪とローラ部材との一体形成体の２つの軌道面との間に配置された２列のボール群によって、当該外輪とローラ部材との一体形成体が支持されていることを特徴とするローラユニット。」
　
３−１．本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）について
（１）本願発明１は上記のとおりである。
（２）引用例
　引用例１〜４、及びその記載事項は上記「２．平成１９年８月６日付けの手続補正についての補正却下の決定」に記載したとおりである。
（３）対比・判断
　本願発明１は実質的に、上記「２．平成１９年８月６日付けの手続補正についての補正却下の決定」で検討した本願補正発明１の「上記各ボールはセラミックス製であり、上記固定軸、間座、およびカバーはベリリウム銅製で、上記ねじは非磁性材料であること」という事項を「上記各部材のうち…、その他の部材がそれぞれ非磁性材料で形成されている」という事項に拡張し、同じく「上記固定軸の一端部は、段部より先端が小径となっており、その小径部分に２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれ、かつ、これら２つの転がり軸受の間には間座が介挿され、これら２つの転がり軸受および間座は、上記固定軸の先端面にねじ込まれるねじによりカバーを介して上記段部との間に締め付けられている」という事項を「上記固定軸には２つの転がり軸受の内輪が嵌め込まれて、」という事項に拡張するとともに、同じく「電子ビーム露光装置の直動機構用ローラユニット」を「ローラユニット」に拡張し、本願補正発明１の「電子ビーム露光装置の直動機構に用いられるローラユニットで、」という事項を削除するものである。
　そうすると、本願発明１の構成要件をすべて含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明１が、上記「２．平成１９年８月６日付けの手続補正についての補正却下の決定」に記載したとおり、引用例１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記の拡張された事項が少なくとも上記の相違点２に相当することに留意すると、本願発明１も、同様の理由により、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。