【事件の表示】
　特願２００３−１８７８３０「反射光分析システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　３月　４日出願公開、特開２００４−　６９６８８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１５年６月３０日（パリ条約による優先権主張２００２年７月１９日、ドイツ）の出願であって、平成１８年９月２９日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成１９年１月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに、同年２月５日付けで手続補正がなされたものである。
　
　
２．平成１９年２月５日付け手続補正書についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１９年２月５日付け手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　平成１９年２月５日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）は、特許請求の範囲を補正するものであって、平成１８年７月３１日付け（以下、「補正前」という。）手続補正書の特許請求の範囲の請求項１および請求項８に対して、請求項１から５のいずれか１項の記載を引用していた請求項６の記載を組み入れることにより、下記の請求項１および請求項７の記載としたものである（下線は補正箇所を示す。）。
（ア）補正後の請求項１
「【請求項１】
　以下の（ａ）〜（ｄ）を含む反射光分析システム
（ａ）試験対象物（１４）の標的面（１２）を反射率検査するための、放射線発生源（３６）および放射線検出器（２６）からなる測定ヘッド（１０）、
（ｂ）前記試験対象物（１４）が、尿または血液などの体液用試験片であって、測定ヘッド（１０）から一定距離に配置され、
（ｃ）標的面（１２）から測定ヘッド（１０）までの距離を非接触で検査するための、光学的三角測量に基づいて操作される三角測量ユニット（１６）、
（ｄ）三角測量ユニット（１６）と相互に作用して、
サーボドライブ（２８）により
（イ）補正後の請求項７
「【請求項７】
　尿または血液などの体液用試験片である、測定ヘッド（１０）から一定距離に配置された試験対象物（１４）の標的面（１２）を反射率により分析する方法であって、光学的三角測量に基づく三角測量ユニット（１６）により、測定ヘッド（１０）と標的面（１２）との間の測定距離を検査し、制御装置（１８）が、三角測量ユニット（１６）と相互に作用して、
サーボドライブ（２８）により
　したがって、本件補正は、補正前の請求項１の「標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットする制御装置（１８）」の構成および、補正前の請求項８の「制御装置（１８）が、三角測量ユニット（１６）と相互に作用して、標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットする」構成に、それぞれ「サーボドライブ（２８）により」の構成を付加して限定する補正を含むものである。
　そうすると、本件補正は、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するものであるから、本件補正後の請求項７に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年改正前の特許法第１７状の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について、以下に検討する。
　
（２）引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平１１−２２３６０７号公報（以下、「引用例」という。）には、下記の記載がある。
（ア）「【請求項１】  移動する試料の表面に照射光学系から試料に対する侵入深さが異なる２波長の光ビームを斜方入射させ、試料の内部から発生する前記２波長の散乱光を前記試料表面の上方に配置された検出光学系で検出して試料の内部欠陥を計測する結晶欠陥計測方法において、
前記照射光学系及び検出光学系よりも試料の移動方向上流側に配置した静電容量式の距離測定手段によって試料表面の高さを計測するステップと、
前記距離測定手段によって高さ測定された試料上の測定点が前記検出光学系の下方に到達したとき、前記照射光学系及び検出光学系が前記測定点に対して予め定められた配置となるように前記試料に対する前記照射光学系及び検出光学系の高さ位置を制御するステップとを含むことを特徴とする結晶欠陥計測方法。」
（イ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の評価装置に係り、より詳細には半導体ウェハ、特にシリコンウェハ中の析出物や積層欠陥などの結晶欠陥を計測する結晶欠陥計測方法及び装置に関する。」
（ウ）「【００１０】本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、２波長の光を試料表面に斜め入射させて試料内部の欠陥からの散乱光を試料表面に垂直な方向で検出する結晶欠陥計測装置において、試料の厚さむらや試料移動ステージの精度上の問題によって試料表面が上下動したとしても常に一定の精度で試料の内部欠陥の測定、あるいは試料表面に付着した異物の検査を行うことが可能な方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明においては、圧電素子により試料表面に対する照射光学系と検出光学系の高さ位置を調整可能にするとともに、試料移動方向に対して、試料上の点が、照射光の照射領域及び検出系の観測領域よりも時間的に先に到達する位置に測長器センサを配置する。このとき、測長器センサとして、粒径の大きな表面の付着異物よりも十分にプローブ径の大きな静電容量式の変位センサを用いて、付着異物によって焦点合わせ機能が過度に反応するのを防ぐ。そして、測長器センサからの出力を圧電素子の制御部に入力し、試料表面の変位量に応じた量だけ圧電素子を上下方向に伸縮させて、照射光照射領域と散乱光検出領域が相対的に一定の位置関係を保つように制御することで前記目的を達成する。」
　以上の記載より、引用例には、
「試料の表面に照射光学系から試料に対する光ビームを斜方入射させ、試料の内部から発生する散乱光を前記試料表面の上方に配置された検出光学系で検出して試料の内部欠陥を計測する結晶欠陥計測方法において、静電容量式の変位センサである距離測定手段によって試料表面の高さを計測するステップと、圧電素子の制御部により前記照射光学系及び検出光学系が測定点に対して予め定められた配置となるように前記試料に対する前記照射光学系及び検出光学系の高さ位置を制御するステップとを含むことを特徴とする結晶欠陥計測方法。」の発明（以下、「引用例発明」という。）が記載されていると認められる。
　
（３）対比
　本願補正発明と引用例発明とを対比すると、引用例発明の「検出光学系」は、本願補正発明の「測定ヘッド（１０）」に相当する。また、引用例発明の「試料」は、前記照射光学系及び検出光学系が試料の測定点に対して予め定められた配置となるように制御されていることから、本願発明の「一定距離に配置された試験対象物（１４）」に相当する。さらに、引用例発明の「試料の表面に照射光学系から試料に対する光ビームを斜方入射させ、試料の内部から発生する散乱光を前記試料表面の上方に配置された検出光学系で検出して試料の内部欠陥を計測する結晶欠陥計測方法」と本願補正発明の「尿または血液などの体液用試験片である、測定ヘッド（１０）から一定距離に配置された試験対象物（１４）の標的面（１２）を反射率により分析する方法」とは、測定ヘッド（１０）から一定距離に配置された試験対象物（１４）の標的面（１２）を反射率により分析する方法である点で共通する。そして、引用例発明の「静電容量式の変位センサである距離測定手段によって試料表面の高さを計測するステップ」と本願補正発明の「光学的三角測量に基づく三角測量ユニット（１６）により、測定ヘッド（１０）と標的面（１２）との間の測定距離を検査」することとは、測量ユニット（１６）により、測定ヘッド（１０）と標的面（１２）との間の測定距離を検査する点で共通する。また、引用例発明の「圧電素子の制御部により前記照射光学系及び検出光学系が測定点に対して予め定められた配置となるように前記試料に対する前記照射光学系及び検出光学系の高さ位置を制御するステップ」と本願補正発明の「制御装置（１８）が、三角測量ユニット（１６）と相互に作用して、サーボドライブ（２８）により標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットする」こととは、制御装置（１８）が、測量ユニット（１６）と相互に作用して、標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットする点で共通する。
　したがって、両者は、
「測定ヘッド（１０）から一定距離に配置された試験対象物（１４）の標的面（１２）を反射率により分析する方法であって、測量ユニット（１６）により、測定ヘッド（１０）と標的面（１２）との間の測定距離を検査し、制御装置（１８）が、測量ユニット（１６）と相互に作用して、標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットすることを特徴とする方法。」である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］試験対象物が、本願補正発明では尿または血液などの体液用試験片であるのに対し、引用例発明では結晶である点。
［相違点２］測量ユニットが、本願補正発明では三角測量ユニットであるのに対し、引用例発明では静電容量式の変位センサである点。
［相違点３］特定距離のセットを、本願補正発明ではサーボドライブにより行うのに対し、引用例発明では圧電素子により行う点。
　
（４）判断
　上記相違点について検討する。
［相違点１］について
　本願明細書において従来技術として挙げられている特開平５−１０９４８号公報には、尿試験紙２０を尿検査用センサ３６を用いて測定することが記載されており（段落【００１４】）、距離測定用センサ３７が距離データを取り込み、距離データに基づいて検査台２３を前進または後退させることも記載されている（段落【００１９】）。してみると、尿などの体液用試験片を試験対象物として反射率を測定することは周知であり、引用例発明と同様に試料に対する検出光学系の高さ位置を制御することも結晶だけでなく体液用試験片においても一般に認識されている課題であるといえる。また、例えば、特開２００１−１４１６４４号公報には、尿検査を試験紙法で行う反射率測定装置はかなり古くから知られていることが記載されており（段落【０００２】）、被測定体を保持する台と測光ヘッドの間の距離を調節する距離調整手段を備えることも記載されており（段落【０００８】）、さらに、本願優先日前である平成１４年５月１６日に頒布された国際公開第０２／３９０９４号にも、尿試験紙などの試験片２の反射率測定装置が記載されており（明細書第１２頁第５〜１４行）、レンズ６から試験片２までの距離、及びレンズ６からエリアセンサ８までの距離を自在に微調整できる構造になっており、焦点あわせなどが容易にできることも記載されている（明細書第１３頁第２０〜２４行）ので、必要であれば参照されたい。
　したがって、引用例発明における試験対象物を、周知である尿または血液などの体液用試験片に置き換えることは、当業者が必要に応じて適宜なし得ることである。
［相違点２］について
　距離を測定するための手段として三角測量を利用することは周知の事項である。例えば、原査定の拒絶の理由において周知例として示された刊行物である、国際公開第０１／７３４３１号には、Dose Measurement Station 140（投与量測定ステーション）において optical profilometry（光学プロファイル）として、deposition layer（堆積層）の高さを triangulation（三角測量）により算定することが記載されている（明細書第３３頁第１行〜第３５頁第３１行、特に第３５頁第２７〜２８行　訳は特表２００３−５２９０７８号公報による）。また、原査定の拒絶の理由において周知例として示された刊行物である、特開平９−２１０９０５号公報には、レーザによる路面湿分検出装置において、レーザ走光装置によるレーザの少なくとも一方を三角測量方式の距離測定に併用することが記載されている（段落【０００１】、【００１２】）。さらに、本願優先日前に頒布された刊行物である、特表２０００−５１５６２５号公報には、シートの片側上に位置する第１ヘッドとシートの第２側上に位置する第２ヘッドとの間の距離を決定するために、三角測量測定が使用されることが記載されている（第１０頁第１３〜１６行）。これらの刊行物に記載されているように、三角測量の原理は積層体の厚さから路面の距離測定まで利用されており、様々な量の距離を測定できるものである。
　したがって、引用例発明における距離測定手段として、静電容量式の変位センサの代わりに、周知の三角測量ユニットを採用することは、当業者が適宜選択し得る設計的事項に過ぎない。
［相違点３］について
　位置を制御するための手段としてサーボドライブは周知である。例えば、本願優先日前に頒布された刊行物である特開平２−２２０５００号公報には、ＸＹテーブルをＸＹ軸サーボドライブにより駆動することが記載されており（第３頁右下欄第４〜６行）、特開平８−７６３５９号公報にも、ＸＹステージとサーボドライブからなるサブシステムが記載されている（段落【００７６】）。
　したがって、引用例発明の高さ位置を制御するための手段として、圧電素子の代わりに周知のサーボドライブを採用することは、当業者が適宜選択し得る設計的事項に過ぎない。
　
　また、本願補正発明の効果は、引用例発明および上記周知技術から予測される範囲のものである。
　
　よって、本願補正発明は、引用例発明および上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年改正前の特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
　
３．本願発明
　平成１９年２月５日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項８に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１８年７月３１日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項８に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項８】
　尿または血液などの体液用試験片である、測定ヘッド（１０）から一定距離に配置された試験対象物（１４）の標的面（１２）を反射率により分析する方法であって、光学的三角測量に基づく三角測量ユニット（１６）により、測定ヘッド（１０）と標的面（１２）との間の測定距離を検査し、制御装置（１８）が、三角測量ユニット（１６）と相互に作用して、標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットすることを特徴とする方法。」
　
　
４．引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例と、その記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
　
５．対比・判断
　本願発明は、本願補正発明における「制御装置（１８）が、三角測量ユニット（１６）と相互に作用して、サーボドライブ（２８）により標的面（１２）と測定ヘッド（１０）との間の特定距離をセットする」構成から「「サーボドライブ（２８）により」の限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに構成要件を限定したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用例発明および上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例発明および上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その他の請求項に係る発明についての判断を示すまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。