【事件の表示】
　特願２００２−３４３３４２「静電チャックの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　６月２４日出願公開、特開２００４−１７９３６４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願の手続の経緯は、以下のとおりである。
　平成１４年１１月２７日　出願
　平成１７年１１月２２日　拒絶理由通知
　平成１８年　１月２７日　手続補正
　平成１８年　７月１１日　最後の拒絶理由通知
　平成１８年　９月　５日　手続補正
　平成１９年　２月　８日　平成１８年９月５日付け手続補正の却下の決定
　　　　　　　　　　　　　拒絶査定
　平成１９年　３月１５日　審判請求
　平成２０年　７月１８日　拒絶理由通知
　平成２０年　９月２２日　手続補正 
 　 
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成２０年９月２２日に補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりと認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「複数枚のセラミックグリーンシートを用意し、前記セラミックグリーンシート上に吸着用電極をなす導体ペーストを印刷し、残りの前記セラミックグリーンシートを積み重ねて積層した平面状の成形体を凹面形状を形成した焼成用の棚板の上に置き、前記成形体を前記凹面形状に倣うように凸面形状に焼成中に変形させて板状セラミックス体を得て、しかる後、該板状セラミックス体の載置面にラップ加工を行うことを特徴とする静電チャックの製造方法。」
　
３．刊行物記載の発明
（１）特開昭６０−９５９３１号公報
　これに対し、本願出願前に頒布され、拒絶理由で引用された刊行物である特開昭６０−９５９３１号公報（以下「刊行物１」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．第１ページ右下欄１４〜１８行
「本発明は、静電チャックに係り、特に半導体ウエハのような自然状態において反っていることのある被チャック物（以下ウエハとして説明する）を平坦などの所定形状に矯正して支持固定するための静電チャックに関するものである。」
　
イ．第２ページ左下欄４〜１６行
「以下本発明の一実施例を示す第２図について説明する。同図おいて、１１は電極、１２は誘電体、１３はウエハ、１４は直流電源である。チャック面となる誘電体１２の表面１２ａは、ウエハ１３を平坦に矯正して支持固定するために、高精度な平面に形成されている。これに対し、誘電体１２が付着される電極１１の表面１１ａは、中央部が高くなるような例えば球面などの曲面または多面形状になされ、この電極１１の表面１１ａと誘電体１２の表面１２ａとの距離が該表面１２ａの中央部では短かく、外方ほど長くなるように形成されている。すなわち、誘電体１２の厚さは、表面１２ａの中央部が薄く、外方ほど厚くなっている。」
　
　上記記載を、第２図を参照しつつ、技術常識を踏まえ、本願発明に照らして整理すると、上記刊行物１には、次の発明（以下「刊行物１発明」という。）が記載されているものと認められる。 
「凸曲面形状の吸着用電極１１を内部に有し、誘電体１２が平坦な表面１２ａを有する静電チャック。」
　
（２）特開平４−７３９５０号公報
　同じく、特開平４−７３９５０号公報（以下「刊行物２」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．第２ページ左下欄第６行〜右下欄第１行
「上記の静電チャックを製作するには例えばグリーンシート積層法を利用する。ここで、用意するセラミックグリーンシートはいずれもアルミナを主成分としチタン酸塩を０〜３重量％添加したスラリーをドクターブレード法によりテープ成形して得たものとし、平板状電極を形成することとなるセラミックグリーンシート表面には平板状電極となる材料例えばタングステンペーストを塗布する。そして、上記の各セラミックグリーンシートを重ねた積層体を焼成炉に投入し、１５００〜１６００℃程度で還元焼成することで目的の静電チャックを得る。・・・。尚、他の製造方法としては印刷積層法なども利用できる。」
　
　上記記載を、技術常識を踏まえ整理すると、上記刊行物２には、次の事項（以下「刊行物２事項」という。）が記載されているものと認められる。
「複数枚のセラミックグリーンシートを用意し、前記セラミックグリーンシート上に吸着用電極をなすタングステンペーストを印刷し、残りの前記セラミックグリーンシートを積み重ねて積層し、焼成する静電チャックの製造方法。」 
　
（３）特開２００１−２１７０６０号公報
　同じく、特開２００１−２１７０６０号公報（以下「刊行物３」という。）には、次のように記載されている。 
　
ア．段落０００１
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックヒータに関し、更に詳しくは、半導体製造及び検査工程において使用されるセラミックヒータに関するものである。」
　
イ．段落０００６
「【０００６】このような発熱体２０４を備えたセラミック基板２０２は、セラミック粉末を含むスラリーから形成されるグリーンシートを積層圧着し焼成してセラミック基板を得る方法を利用して作製される。即ち、グリーンシートの表面上に、指定する任意のパターン形状に従って、発熱体を配設したのち、この発熱体を配設したグリーンシートを挟んで上下にそれぞれグリーンシートの複数枚を適宜に重ね合せてこれらを積層圧着し焼成する。」
　
ウ．段落００４４
「【００４４】そのグリーンシートの所望の位置に発熱体を形成する。発熱体は、上面視円形又は矩形等の形状を有し、グリーンシート積層体の焼成後に発熱体を構成し、通電によりジュール発熱し得る導電材料を含有する粘液状の発熱体ペーストを用いてスクリーン印刷法等の定法に従って、グリーンシート表面に指定する任意の各領域に形成される。かかる任意の各領域に対しては、通常、これらをパターン化したマスクを備えたメタルマスクを用いる。」
　
エ．段落００６５
「【００６５】次に、他の実施形態について説明する。この実施形態では、上述したグリーンシート積層する点では同一であるが、図８に示したように、成形型３６として凸又は凹面を持つものを使用する。しかも、上下にグリーンシート３８の枚数を５〜５０枚程度増やして加圧加熱して焼結させ（図８（ａ），（ｂ））、反ったセラミック基板４０を製造し、上下面を研削によって平坦化するのである（図８（ｃ））。・・・。」
　
オ．段落００７９
「【００７９】（４）発熱体パターン、導電ペーストを印刷したグリーンシートと印刷していないグリーンシート３０枚を、図８のような高低５００μｍの凸面を持つ治具３７にはめ込み、このグリーンシート積層体を窒素ガス中で約６００℃で５時間程度脱脂し、約１８９０℃且つ圧力１４．７ＭＰａ・ｓ（１５０ｋｇ／ｃｍ２）  で３時間ホットプレスし、厚さ６．０ｍｍの窒化アルミニウムの板状のセラミック基板を得た。・・・。」
　
　上記記載を、図８を参照しつつ、技術常識を踏まえ整理すると、上記刊行物３には、次の事項（以下「刊行物３事項」という。）が記載されているものと認められる。
「複数枚のセラミックグリーンシート３８を用意し、前記セラミックグリーンシート３８上に発熱電極をなす発熱体ペーストを印刷し、残りの前記セラミックグリーンシート３８を積み重ねて積層した平面状の成形体を、凸面形状を形成した焼成用の成形型３７の上に置き、凹面形状を形成した焼成用の成形型で加圧しつつ焼成して反ったセラミック基板４０を得て、しかる後、該反ったセラミック基板４０の上下面に研削加工を行うセラミックヒータの製造方法。」 
 　 
４．対比・判断 
　本願発明の「吸着用電極」は、セラミックグリーンシートとともに凸面形状に変形されるものであり、「載置面にラップ加工」がなされる結果、平坦な表面となるものである。
　よって、本願発明と刊行物１発明とを対比すると、以下の点で一致する。
　
「凸面形状の吸着用電極を内部に有し、平坦な表面を有する静電チャック。」
　
　そして、以下の点で相違する。
　本願発明は、「複数枚のセラミックグリーンシートを用意し、前記セラミックグリーンシート上に吸着用電極をなす導体ペーストを印刷し、残りの前記セラミックグリーンシートを積み重ねて積層した平面状の成形体を凹面形状を形成した焼成用の棚板の上に置き、前記成形体を前記凹面形状に倣うように凸面形状に焼成中に変形させて板状セラミックス体を得て、しかる後、該板状セラミックス体の載置面にラップ加工を行う」ことにより、製造されるが、刊行物１発明は、製造方法が不明である点。 
 　 
　相違点について、検討する。
　静電チャックの製造方法として、「複数枚のセラミックグリーンシートを用意し、前記セラミックグリーンシート上に吸着用電極をなすタングステンペーストを印刷し、残りの前記セラミックグリーンシートを積み重ねて積層し、焼成する静電チャックの製造方法」は、刊行物２事項のごとく周知である。 
　かかる周知方法を踏まえ、刊行物１発明を製造する場合、「凸面形状の吸着用電極」とする必要があるが、刊行物１発明同様、「セラミックグリーンシート内に電極を配するもの」である刊行物３事項は、上記のとおりである。 
　刊行物３事項は「セラミックヒータ」に関するものであることから、その「電極」は「発熱電極」であって、本願発明の「吸着用電極」と異なるが、かかる用途の差違により、「セラミックグリーンシート内に電極を配するもの」の「製造方法」として、刊行物３事項の適用が困難とまでは認められない。
　刊行物３事項は、凹凸の上下関係が逆であるが、刊行物３事項のとおりの上下関係でなければならない必然性はないから、刊行物３事項の適用にあたり、最終製品形状との関係から、これを逆にした上で、刊行物１発明に適用することは、設計的事項にすぎない。
　また、「研削加工」として「ラップ加工」は周知である。
　以上のことから、相違点に係る事項とすることに困難性は認められない。
　
　請求人は、平成２０年９月２２日付け意見書において、刊行物３事項は、上型、側壁を有する「ホットプレス法」によるものであり、「重石」により変形加重を与えるものを含む本願発明とは、相違する旨、主張する。
　しかし、請求項１の記載をみると、上型、側壁を有するものを排除しておらず、また、「ホットプレス法」においても、上型により上方から荷重を与えるものであり、本願発明に含まれる「重石」により上方から荷重を与えるものと、格別な差違は認められないから、請求人の主張は、根拠がない。
　仮に、請求人の主張どおり、この点で相違するとしても、上型、側壁を有する「ホットプレス法」によらずとも、下型になじむのであれば、あえて上型により押圧する必要はないから、装置の単純化、工程の簡素化の観点から、上型、側壁を不要とすることは、設計的事項にすぎない。
　よって、請求人の主張は採用できない。
　
５．むすび 
　本願発明は、刊行物１発明、刊行物３事項、及び周知技術（刊行物２事項）に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本願は拒絶されるべきものであるから、結論のとおり審決する。