(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田ボールの供給部に備えられた半田ボールを吸引装置に接続された暗箱から成るピックアップヘッドの下面に複数個形成された吸着孔に真空吸着してピックアップする工程と、半田ボールをピックアップした前記ピックアップヘッドをライン光源を備えた発光器の上方を移動させてこのライン光源から発光された光を前記暗箱の下面に照射し、前記吸着孔の中のいずれかの吸着孔から前記暗箱内に漏光した前記発光器の光を光センサーで検出することによりすべての吸着孔に半田ボールが真空吸着されているかどうかを検出してピックアップミスの有無を判定する工程と、前記ピックアップヘッドをワークの上方へ移動させて半田ボールをワークに搭載する工程と、前記ピックアップヘッドがワークに半田ボールを搭載した後、前記半田ボールの供給部へ復帰するまでの間に、前記吸着孔に残存付着する半田ボールの有無を光学的に検出する工程と、を含むことを特徴とする半田ボールの搭載方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半田ボールをピックアップヘッドにより真空吸着してワークに搭載する半田ボールの搭載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
チップや基板などのワークの表面に半田ボールを搭載し、次いで半田ボールを加熱して溶融させた後、冷却して固化させてバンプ（突出電極）を形成することが知られている。一般に、ワークには多数個のバンプが形成されるものであり、したがって半田ボールはワークに多数個搭載される。以下、半田ボールをワークに一括して多数個搭載するための従来の半田ボールの搭載装置について説明する。
【０００３】
図１８は従来の半田ボールの搭載装置の側面図である。バンプの素材である半田ボール１が容器２に貯溜されている。３はピックアップヘッドであって、上下動手段（図示せず）に駆動されて上下動作を行うことにより、その下面に開孔された吸着孔に半田ボール１を真空吸着し、往復移動手段（図示せず）に駆動されて水平移動することにより、クランパ６でクランプして位置決めされた基板５などのワークの上方へ移動し、そこで再度上下動作を行うことにより、半田ボール１を基板の所定位置に搭載するようになっている。
【０００４】
ピックアップヘッド３の下面には吸着孔が多数開孔されており、すべての吸着孔に半田ボール１を真空吸着し、基板５に搭載しなければならない。そこで従来は、ピックアップヘッド３の移動路の下方にカメラ４を設置し、カメラ４によりピックアップヘッド３の下面を観察して、すべての吸着孔に半田ボール１が真空吸着されているかどうかを画像処理により判定し、ＯＫであればそのままピックアップヘッド３は基板５の上方へ移動して半田ボール１を基板５に搭載していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、ピックアップヘッドはすべての吸着孔に半田ボールを真空吸着してピックアップするとは限らず、ピックアップミスをした吸着孔も生じる。またピックアップヘッドがピックアップした半田ボールは、必ずしもそのすべてがワークに搭載されるものとは限らず、搭載ミスによってピックアップヘッドの吸着孔に残存付着したままになる半田ボールも生じる。したがって従来は、ワークの不良品が発生しやすいものであった。
【０００６】
そこで本発明は、不良品のワークの発生を解消できる運転の信頼性の高い半田ボールの搭載方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、半田ボールの供給部に備えられた半田ボールを吸引装置に接続された暗箱から成るピックアップヘッドの下面に複数個形成された吸着孔に真空吸着してピックアップする工程と、半田ボールをピックアップした前記ピックアップヘッドをライン光源を備えた発光器の上方を移動させてこのライン光源から発光された光を暗箱の下面に照射し、前記吸着孔の中のいずれかの吸着孔から暗箱内に漏光した発光器の光を光センサーで検出することによりすべての吸着孔に半田ボールが真空吸着されているかどうかを検出してピックアップミスの有無を判定する工程と、ピックアップヘッドをワークの上方へ移動させて半田ボールをワークに搭載する工程と、ピックアップヘッドがワークに半田ボールを搭載した後、前記半田ボールの供給部へ復帰するまでの間に、吸着孔に残存付着する半田ボールの有無を光学的に検出する工程と、を含む。
【０００８】
上記構成によれば、半田ボールのピックアップミスやワークへの搭載ミスの有無を検出し、信頼性の高い半田ボールの搭載を実現できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置の側面図、図２は同ピックアップヘッドの断面図、図３は同ピックアップヘッドの平断面図、図４は同ピックアップヘッドと発光器の斜視図、図５は同発光器の正面図である。図１において、１１はピックアップヘッドである。このピックアップヘッド１１はブロック１２に保持されている。ブロック１２はブラケット１３の前面に設けられたガイドレール１４に上下動自在に装着されている。ブロック１２にはナット１５が一体的に設けられており、ナット１５には垂直な送りねじ１６が螺合している。したがってモータ１７が正逆駆動して送りねじ１５が正逆回転すると、ピックアップヘッド１１はガイドレール１４に案内されて上下動する。
【００１０】
ブラケット１３の背面に設けられたナット（図示せず）は、水平な送りねじ１８に螺合している。１９は送りねじ１８の保持テーブルである。したがってモータ２０が正逆駆動すると、送りねじ１８は正逆回転し、ブラケット１３に保持されたピックアップヘッド１１はＸ方向に水平移動する。
【００１１】
ピックアップヘッド１１の移動路の下方には、半田ボール１の供給部２１が設けられている。この供給部２１は容器から成り、ボックス２２に支持されている。供給部２１の底部には孔部２３が形成されている。ボックス２２は基台２４に載置されており、基台２４の内部には気体吹出機２５が設置されている。気体吹出機２５から吹出されたエアなどの気体は、孔部２３から供給部２１へ供給され（破線矢印参照）、その気体圧により半田ボール１を流動化させ、その状態でピックアップヘッド１１が上下動作を行うことにより、ピックアップヘッド１１はその下面に半田ボール１を真空吸着してピックアップする。なおピックアップヘッド１１が半田ボール１を真空吸着しやすいように半田ボール１を流動化させる手段としては、供給部２１に気体を送り込む上記手段の他、供給部２１を振動器で振動させる手段も用いられる。
【００１２】
供給部２１の側方には、基板５の位置決め部２６が設けられている。この位置決め部２６は、Ｘテーブル部２７上にＹテーブル部２８を段積みし、さらにその上部に基板５をクランプするクランパ２９を設置して構成されている。Ｘテーブル部２７のモータＭｘが駆動すると、基板５はＸ方向へ移動し、Ｙテーブル部２８のモータＭｙが駆動すると、基板５はＹ方向へ移動する。このように基板５を水平移動させることにより、その位置を調整する。
【００１３】
次に、図２および図３を参照してピックアップヘッド１１の構造を説明する。ピックアップヘッド１１は、上ケース３０と下ケース３１を主体としている。下ケース３１の下面には、半田ボール１を真空吸着する吸着孔３２がマトリクス状に多数個形成されている。上ケース３０と下ケース３１の境界は、透光性のプレート３３で仕切られており、下ケース３１の内部は気密室となっている。下ケース３１はチューブ８を介して吸引装置９に接続されており（図１）、この吸引装置９が下ケース３１の内部を真空吸引することにより、吸着孔３２に半田ボール１が真空吸着される。上ケース３０と下ケース３１は、吸着孔３２以外からは外部の光が入射しない暗箱になっている。
【００１４】
図２に示すように、プレート３３の上方には、緩やかな曲面を有する第１の反射フィルム３４が配設されている。また第１の反射フィルム３４の側方には、同様に緩やかな曲面を有する第２の反射フィルム３５が設けられている。また上ケース３０の側壁には光センサ３６が設けられている。図３において、この光センサ３６は、漏光検出部３７および制御部３８に接続されている。したがって図２において矢印で示すように、下ケース３１の下面に複数個形成された吸着孔３２の中の何れかの吸着孔３２から入光した光は、第１の反射フィルム３４によって第２の反射フィルム３５へ集光・反射され、さらに図３に示すように第２の反射フィルム３５によって光センサ３６に集光・反射される。
【００１５】
なお第１の反射フィルム３４と第２の反射フィルム３５は、後述する実施の形態２の反射フィルム５７と同じ光学特性を有しており、その詳細な説明は実施の形態２で述べる。
【００１６】
図１において、半田ボール１の供給部２１と基板５の位置決め部２６の間には、発光器４０が設けられている。図４において、この発光器４０は、長箱形の基体４１上にライン光源４２を備えている。また基体４１の両側部には立壁４３，４４が立設されており、立壁４３，４４の上部にはそれぞれ発光素子４５と受光素子４６が設けられている。この発光素子４５と受光素子４６は、コード４７を介して半田ボール検出部４８および制御部４９に接続されている。
【００１７】
図４において、ライン光源４２は、ピックアップヘッド１１の移動方向（Ｘ方向）に直交するＹ方向を長手方向にしており、したがってピックアップヘッド１１がＸ方向に移動することにより、その下面全面に光を照射する。また発光素子４５と受光素子４６は、ピックアップヘッド１１の移動路をはさむように配置されており、図５に示すようにピックアップヘッド１１の下面に沿うように側方から光を水平に照射する。ここで、図５に示すように、ピックアップヘッド１１に半田ボール１が１個でも残存付着していると、光はこの半田ボール１で遮られる。
【００１８】
この半田ボールの搭載装置は上記のように構成されており、次に動作を説明する。図１において、ピックアップヘッド１１が供給部２１の上方に位置する状態で、モータ１７が正逆駆動することにより、ピックアップヘッド１１は下降・上昇動作を行い、その下面の吸着孔３２に供給部２１に備えられた半田ボール１を真空吸着してピックアップする。このとき、ピックアップヘッド１１がすべての吸着孔３２に半田ボール１を真空吸着しやすいように、気体吹出機２５から気体が吹出されて、供給部２１内の半田ボール１を流動させている。
【００１９】
次にピックアップヘッド１１は基板５へ向って移動するが、その途中において、図４に示すように発光器４０の上方を通過する。このとき、ライン光源４２からピックアップヘッド１１へ向って光が照射される。ここで、図２において、半田ボール１を真空吸着していない吸着孔３２があると、その吸着孔３２から下ケース３１内に漏光し、その光は第１の反射フィルム３４および第２の反射フィルム３５で反射されて光センサ３６に入光する（矢印参照）。光センサ３６の出力信号は漏光検出部３７に入力され、半田ボール１を真空吸着していない吸着孔３２が存在すること、すなわち半田ボール１のピックアップミスがあったことが判明する。以上のようにして、すべての吸着孔３２に半田ボール１が正しく真空吸着されているかどうかを検出する。
【００２０】
この場合には、ピックアップヘッド１１は供給部２１の上方へ引き返し、そこで再度下降・上昇動作を行ってピックアップをやり直す。そしてピックアップヘッド１１は再度ライン光源４２の上方へ移動し、再度漏光の有無を判定する。そして漏光が検出されなかったならば、すべての吸着孔３２に半田ボール１が正しく真空吸着されているもの（すなわち、ピックアップミス無し）と判定され、そのまま基板５の上方へ移動する。そこでピックアップヘッド１は再度下降・上昇動作を行い、かつ真空吸引状態を解除することにより、半田ボール１を基板５に搭載する。なお基板５には、予めフラックスが塗布されている。
【００２１】
以上のようにして基板５に半田ボール１を搭載したピックアップヘッド１１は、供給部２１へ向って復帰する。その途中において、ピックアップヘッド１１は発光器４０の上方を通過するが、このとき図５に示すように発光素子４５からピックアップヘッド１１の下面に沿うように側方から光が照射される。そして照射された光が遮光されたときは、少なくとも１個の半田ボール１が吸着孔３２に残存付着しており、この半田ボール１で光を遮ったものと制御部４９で判定される。この半田ボール１は、基板５への搭載に失敗したものであり、したがって搭載ミス有りと制御部４９で判定され、またこの基板５は不良品としてラインから除去される。なお良品の基板５はリフロー装置へ送られ、そこで半田ボール１を加熱することによりバンプが生成される。
【００２２】
なお実施の形態１では、光センサ３６が光検出手段に対応し、第１の反射フィルム３４及び第２の反射フィルム３５が集光手段に対応している。
【００２３】
（実施の形態２）
図６は本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置の側面図、図７は同半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図、図８は同平断面図、図９および図１０は同透過フィルムの説明図、図１１および図１２は同反射フィルムの説明図である。
【００２４】
図６において、ピックアップヘッド５１以外の構成は図１に示す実施の形態１と同じであり、同一部品には同一符号を付すことにより説明は省略する。次に、ピックアップヘッド５１について説明する。図７および図８において、ピックアップヘッド５１は上ケース５２と下ケース５３を主体として暗箱構造となっている。下ケース５３の下面には吸着孔５４がマトリクス状に多数個形成されている。上ケース５２と下ケース５３の境界は透光性のプレート５５で仕切られて、下ケース５３の内部は気密室になっており、チューブ８を介して吸引装置９（図１）に接続されている。
【００２５】
図７において、フィルム５５の直上には透過フィルム５６が配設されている。また上ケース５２の右側には反射板５７がやや傾斜して配設されており、また左側には反射フィルム５８がやや傾斜して配設されている。また図８に示すように、反射フィルム５８の側部には光検出センサ５９が配設されている。
【００２６】
図９および図１０は透過フィルム５６の光学特性を示すものであって、図９は透過フィルム５６の断面図、図１０は同拡大断面図である。図１０に示すように、透過フィルム５６の上面はプリズム面となっており、下方から入射した光は、プリズム面により屈折されて両側方へ出光する。したがって図９に示すように下方から入射した光は、全体として鋭角度ａ１で両側方へ出光する。ａ１は２°〜２０°程度である。
【００２７】
図１１および図１２は反射フィルム５８の光学特性を示すものであって、図１１は反射フィルム５８の断面図、図１２は同拡大断面図である。図１２に示すように、反射フィルム５８はプレート５８１上に粘着剤層５８２をはさんでアルミ蒸着層５８３を形成し、さらにその上面にプリズム層５８４を積層して形成されている。したがって上方から入射した光は、プリズム層５８４に屈折して入射し、アルミ蒸着層５８３で反射された後、プリズム層５８４から屈折されて出光する。したがって図１１に示すように、上方から入射した光は、全体として鋭角度ａ２で側方へ反射する。ａ２は２°〜１５°である。
【００２８】
透過フィルム５６は上記のような光学特性を有するので、図７において吸着孔５４から入射した光は、透過フィルム５６で鋭角度ａ１で両側方へ出光する。そして右方へ出光した光は、反射板５７で左方の反射フィルム５８へ向かって反射される。また左方へ出光した光は反射フィルム５８に直接入射する。このように透過フィルム５６は入射した光を鋭角度ａ１で出光させる特性を有するので、図７において上ケース５２の高さＨを小さくして、上ケース５２をコンパクト化できる。
【００２９】
また図８において、透過フィルム５６や反射板５７から反射フィルム５８に入射した光は、鋭角度ａ２で側方へ反射され、光検出センサ５９に入射する。このように反射フィルム５８は入射した光を鋭角度ａ２で反射するので、反射フィルム５８を鋭角度ａ３で配設し、その配設長Ｄを小さくして、上ケース５２をコンパクト化できる。すなわち、透過フィルム５６や反射フィルム５８は、ピックアップヘッド５１を小型コンパクト化するために、光を鋭角方向へ屈折・反射させるための指向性光学素子である。
【００３０】
以上のように、下ケース５３の吸着孔５４から入射した光を光検出センサ５９に入光させるための光学素子として、上述した透過フィルム５６や反射フィルム５８を用いることにより、上ケース５２をコンパクト化でき、ひいてはピックアップヘッド５１をコンパクト化できる。
【００３１】
この実施の形態２の半田ボールの搭載装置の動作は、上述した実施の形態１と同様であって、図４に示す実施の形態１の場合と同様にピックアップヘッド５１が発光器４０の上方を通過する際に、吸着孔５４からの漏光の有無を光検出センサ５９で検出することによりピックアップミスの有無を検出する。また図５に示すようにピックアップヘッド５１が供給部２１へ向かって復帰する途中において、発光素子４５から照射された光が半田ボール１で遮光されるか否かにより、搭載ミスの有無を検出する。
【００３２】
なお実施の形態２では、光検出センサ５９が光検出手段に対応し反射板５７、反射フィルム５８、透過フィルム５６が集光手段に対応する。
【００３３】
（実施の形態３）
図１３は本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図、図１４は同平断面図、図１５は同半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドと発光器と受光器の斜視図である。なおピックアップヘッドと発光器・受光器以外の他の全体構成は図１に示す実施の形態１と同じである。
【００３４】
図１３および図１４において、ピックアップヘッド６１は上ケース６２と下ケース６３で暗箱構造に構成されており、上ケース６２と下ケース６３の間には透光性プレート５５と透過フィルム５６が配設されている。したがって、下ケース６３の内部は気密室となっており、チューブ８を介して吸引装置９（図１）に接続されている。また上ケース６２の内部の両側部には第１の反射フィルム５８ａと第２の反射フィルム５８ｂが設けられている。この透過フィルム５６、第１の反射フィルム５８ａ、第２の反射フィルム５８ｂは、第二実施例の透過フィルム５６や反射フィルム５８と同じものである。
【００３５】
図１４において、上ケース６２の側面には第１の反射フィルム５８ａへ向かって出光するノズル６５が装着されている。このノズル６５は光源部６７に接続された光ファイバ６６の端面を、暗箱内へ向けて保持している。７７は光源部６７を制御する制御部である。
【００３６】
図１５において、７０は発光器であって、基台７１の上面にライン光源７２を備えている。７３は受光器であって、基台７４の上面にラインセンサ７５を備えている。この発光器７０と受光器７３は、図１に示す実施の形態１の発光器４０に代えてピックアップヘッド６１の移動路の下方に設置されている。７６は受光器７３に接続された認識部、７７は発光器７０、受光器７３、認識部７６を制御する制御部である。
【００３７】
ピックアップミスや搭載ミスの有無を判定する動作以外の全体の動作は実施の形態１と同じであり、以下、ピックアップミスと搭載ミスの判定動作について簡単に説明する。まずピックアップミスの判定動作について説明する。供給部２１の半田ボール１をピックアップしたピックアップヘッド６１は、図１５に示すように発光器７０の上方を移動する。このとき、ライン光源７２からピックアップヘッド６１の下面へ向かって光が照射される。図１３および図１４において、何れかの吸着孔６４に半田ボール１が真空吸着されていないときは、図中、実線矢印で示すようにその吸着孔６４から漏光した光は透過フィルム５６から第２の反射フィルム５８ｂへ向かって鋭角度ａ１で出光し、さらに第２の反射フィルム５８ｂで鋭角度ａ２で側方へ反射され、光検出センサ５９に入射する。この場合も、透過フィルム５６や反射フィルム５８ａ，５８ｂを用いることにより、上ケース６２の高さＨ２や横幅Ｄ２を小さくしてコンパクト化できる。
【００３８】
またピックアップヘッド６１が基板５に半田ボール１を搭載した後、供給部２１上へ復帰する途中で、受光器７３の上方を通過する。このとき、ノズル６５から第１の反射フィルム５８ａへ光を照射する。図１３および図１４で破線矢印は、この光を示すものである。光は光拡散板６９で均一に散乱されて第１の反射フィルム５８ａに鋭角度ａ２で入射し、図１３に示すように第１の反射フィルム５８ａで反射されて鋭角度ａ１で透過フィルム５６に入射し、下ケース６３側へ入り、吸着孔６４から下方へ出光する。
【００３９】
図１５において、受光器７４のラインセンサ７５は、吸着孔６４から出光した光を受光し、その出力信号は認識部７６に入力される。制御部７７は、認識部７６に入光した光を解析することにより、搭載ミスの有無を判定する。すなわち、すべての吸着孔６４から光が出光していれば、搭載ミスは無しと判定される。また何れかの吸着孔６４が遮光されていれば、その吸着孔６４には光を遮ぎる半田ボール１が残存付着しており、搭載ミス有りと判定される。なお吸着孔６４にゴミが詰まって出光しない場合も、認識部７６や制御部７７により検出される。そこで、例えば同じ吸着孔６４が連続して複数回遮光された場合は、その吸着孔６４がゴミが詰まって遮光されている可能性があるので、この場合には、ブザーなどの報知素子によりオペレータにその旨報知するようにしてもよい。
【００４０】
なお実施の形態３では、光検出センサ５９が光検出手段に、透過フィルム５６及び反射フィルム５８ｂが集光手段に、ノズル６５に保持された光ファイバ６６の端面が発光部に、それぞれ対応する。
【００４１】
（実施の形態４）
図１６は本発明の実施の形態４の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図、図１７は同平断面図である。ピックアップヘッド８１は、上ケース８２と下ケース８３で暗箱構造に構成されており、上ケース８２と下ケース８３の間には透光性プレート５５と透過フィルム５６が配設されている。
【００４２】
上ケース８２の一側部には棒状の光源８５が配設されており、また他端部には断面カマボコ型の集光レンズ８６とリニヤイメージセンサ８７が設けられている。この光源８５やリニヤイメージセンサ８７は、図３と同様の漏光検出部３７や制御部３８に接続されている。ピックアップヘッド８１以外の他の構成は、上述した実施例と同じである。
【００４３】
次に動作を説明する。ピックアップヘッド８１が供給部２１の半田ボール１をピックアップした後、発光器４０の上方を通過する際に、下方から光を照射する。吸着孔８４から漏光した光は、透過フィルム５６から鋭角度ａ１で集光レンズ８６側へ出光し、リニヤイメージセンサ８７に入射することで、ピックアップミスが検出される。またピックアップヘッド８１が半田ボール１を基板５に搭載した後、供給部２１へ向かって復帰する途中で、光源８５を点灯する。破線矢印で示すように、その光は鋭角度で透過フィルム５６に入射し、下ケース８３の吸着孔８４から漏光する。そこで実施の形態３の場合と同様に、受光器７３によりその光を受光し、吸着孔８４に半田ボール１が残存付着していないか否か、すなわち搭載ミスの有無を判定する。
【００４４】
なお実施の形態４では、リニヤイメージセンサ８７が光検出手段に、透過フィルム５６及び集光レンズ８６が集光手段に、光源８５が発光部に、それぞれ対応する。
【００４５】
本発明は上記各実施の形態に限定されないのであって、例えば実施の形態１において、ライン光源４２にかえて面状の光源を用いてもよい。また上記実施の形態１ではライン光源４２と発光素子４５および受光素子４６を一体的に構成しているが、これらは別体に設けてもよい。また図１５に示すラインセンサ７５を備えた受光器７３に代えて、ＣＣＤカメラを用い、ＣＣＤカメラで入手した画像データに基づいて、吸着孔６４，８４が塞がっていないか否か、すなわち搭載ミスの有無やゴミの詰まりを検出してもよい。またピックアップヘッドの移動路にフラックスの貯溜槽を設け、この貯溜槽上でピックアップヘッドに上下動作を行わせることにより、その下面に真空吸着された半田ボールをフラックスにわずかに浸漬してフラックスを塗布した後、半田ボールを基板に搭載してもよい。この場合、供給部２１から半田ボール１５をピックアップした後とフラックスを塗布した後にピックアップミスの有無を上述した方法で２回行なう。またワークとしては、基板以外にも、フリップチップとなるチップや電子部品でもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ピックアップミスや搭載ミスの有無を検出し、信頼性の高い半田ボールの搭載を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置の側面図
【図２】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図
【図３】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの平断面図
【図４】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドと発光器の斜視図
【図５】本発明の実施の形態１の半田ボールの搭載装置の発光器の正面図
【図６】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置の側面図
【図７】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図
【図８】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの平断面図
【図９】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置の透過フィルムの説明図
【図１０】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置の透過フィルムの説明図
【図１１】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置の反射フィルムの説明図
【図１２】本発明の実施の形態２の半田ボールの搭載装置の反射フィルムの説明図
【図１３】本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図
【図１４】本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの平断面図
【図１５】本発明の実施の形態３の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドと発光器と受光器の斜視図
【図１６】本発明の実施の形態４の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの断面図
【図１７】本発明の実施の形態４の半田ボールの搭載装置のピックアップヘッドの平断面図
【図１８】従来の半田ボールの搭載装置の側面図
【符号の説明】
１  半田ボール
５  基板（ワーク）
１１，５１，６１，８１  ピックアップヘッド
２１  供給部
３２，５４，６４，８４  吸着孔
３４  第１の反射フィルム（集光素子）
３５  第２の反射フィルム（集光素子）
３６  光センサ
４０，７０  発光器
４２，７２  ライン光源
４５  発光素子
４６  受光素子
５６  透過フィルム
５８，５８ａ，５８ｂ  反射フィルム
７３  受光器
【図１】
0003565072.tif 000002
【図２】
0003565072.tif 000003
【図３】
0003565072.tif 000004
【図４】
0003565072.tif 000005
【図５】
0003565072.tif 000006
【図６】
0003565072.tif 000007
【図７】
0003565072.tif 000008
【図８】
0003565072.tif 000009
【図９】
0003565072.tif 000010
【図１０】
0003565072.tif 000011
【図１１】
0003565072.tif 000012
【図１２】
0003565072.tif 000013
【図１３】
0003565072.tif 000014
【図１４】
0003565072.tif 000015
【図１５】
0003565072.tif 000016
【図１６】
0003565072.tif 000017
【図１７】
0003565072.tif 000018
【図１８】
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