(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電形の半導体基板と、
前記半導体基板の上に配置された第２導電形の埋め込みチャンネルと、
前記埋め込みチャンネルの上に配置された前記第１導電形の仮想ゲートと、
前記仮想ゲートの表面から前記埋め込みチャンネルの中まで広がる前記第１導電形の少なくとも１個のチャンネル阻止領域と、
前記少なくとも１個のチャンネル阻止領域の表面と接触し、かつ、前記仮想ゲートに多数キャリアを供給するために前記基板と付加的に結合をする、少なくとも１個の導電的接触体と、
を有する仮想位相画像センサ。
【請求項２】
第１導電形の半導体基板を作成する段階と、
前記基板の中に第２導電形の埋め込みチャンネル領域を作成する段階と、
前記埋め込みチャンネル領域の表面に第１導電形の仮想ゲートを作成する段階と、
前記仮想ゲートの中にかつ前記埋め込みチャンネルと接触する、第１導電形の少なくとも１個のチャンネル阻止領域を注入する段階と、
前記少なくとも１個のチャンネル阻止領域の上側表面にかつ前記基板と付加的に結合する、少なくとも１個の導電的接触体を作成する段階と、
を有する、仮想位相画像センサの製造法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、全体的にいえば、仮想位相フレーム・インタライン転送ＣＣＤ画像センサに関する。
【０００２】
【従来の技術および問題点】
本発明の背景が、ＣＣＤ画像装置を例として取り上げて説明される。しかし、この説明は、本発明がこのＣＣＤ画像装置に限定されることを意味するものではない。
【０００３】
従来、この分野では、周知の技術に従って構成されるＣＣＤ画像装置は、多数個のセルのマトリックスを有する。これらのセルのおのおのは、可視光線（または他の波長の光線）に応答し、そしてこれらのセルに入射する光線の強度に基づいて多数個の電子を発生する。その後、マトリックスの各セルの中に集められた電子は出力に移動し、そして逐次に並べられて、画像の一部分に対応するアナログ信号を生ずる。次に、このアナログ信号が増幅され、そしてＣＲＴまたは他の形式の表示装置に再び送ることができる、または、例えば、ビデオテープ・レコーダにより記録することができる。
【０００４】
ＣＣＤ画像装置は、典型的には、ビデオ・カメラに、および可視画像を対応する電気信号に変換する変換器として機能する他の形式の画像処理装置に、利用される。このような用途に適合するＣＣＤ画像装置は、本出願人名で受付けられ、そして本出願と同じ譲渡人に譲渡された、米国特許第４，２２９，７５２号に詳細に開示されている。この米国特許の内容は、本出願に参考資料として取り込まれている。物体から反射された光は、ＣＣＤ集積回路のシリコン材料の中で、電気画像に変換される。ＣＣＤ画像装置は、典型的には、数千個の個別シリコン・セルのマトリックスを有する。これらのシリコン・セルに、物体から反射された光が入射する。反射された光の特性を表す光子が、シリコン・セルに入射し、そして光の強度に対応する数の電子・ホール対を発生する。したがって、強い強度を有する光線の場合、弱い強度を有する光線の場合よりも、より多数個の電子・ホール対を発生するであろう。ＣＣＤアレイのセルのおのおのは、それらに隣接するセルから分離され、したがって、セルの中に発生した電子はそれぞれのセルに付随したままで止まる。このようにして、物体の画像を表す電気画像が捕獲される。シリコンＣＣＤ画像装置の基板には、電子・ホール対のホールを除去するようにバイアスが加えられ、それにより、これらの捕獲された電子が物体の画像を表す電荷として残留する。
【０００５】
図１は、ＣＣＤセルを分離する典型的な分離体を示す。この分離体はホウ素拡散体１０を有する。ホウ素拡散体１０は、セル間の横方向分離を得るために、およびキャリアがＰ＋形仮想ゲート領域１６からＰ形基板１４に流れる経路を備えるように、埋め込みチャンネル１２を貫いて広がり、かつ、基板１４に接触する。チャンネル阻止体１０が仮想位相ＣＣＤ画像装置の中で基板１４にまで達するということが要請される結果、分離構造体では、多量の画像センサ表面領域が必要となる。それは、チャンネル阻止拡散体は、垂直方向に広がると共に、横方向にも広がるからである。したがって、このような深い分離注入体を備えることは、集積度を大きくするという努力に対して、またはチップ当りのＣＣＤセルの数を増大する（すなわち、分解能を大きくする）という努力に対して、逆の効果を与える。
【０００６】
前記説明から、隣接するセルの間で適切な横方向分離が得られ、かつまた、仮想ゲート電極から基板へ電荷キャリアを転送する経路を備え、一方、最少量のセル表面領域を占有する、ＣＣＤ画像センサに対するチャンネル阻止体分離方式が必要であるという要請の存在することが分かる。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】
高集積度の仮想位相ＣＣＤ画像センサに対する必要性が存在することが分かった。本発明の目的は、これらの要請を満たす仮想位相ＣＣＤ画像センサを得ることである。
【０００８】
一般的にいえば、および本発明の１つの方式では、画像センサの上に配置された導電体によって多数キャリアが仮想ゲートに供給され、および仮想ゲートと導電体のおのおのが導電性チャンネル阻止体領域と接触する、仮想位相画像センサが開示される。
【０００９】
本発明のまた別の形式では、第１導電形の半導体基板と、前記基板の上に配置された第２導電形の埋め込みチャンネルと、前記埋め込みチャンネルの上に配置された第１導電形の仮想ゲートと、前記仮想ゲートの表面から前記埋め込みチャンネルの中に広がる第２導電形の少なくとも１つのチャンネル阻止体領域と、前記少なくとも１つのチャンネル阻止体の表面に接触する少なくとも１つの導電体とを有し、前記基板と前記仮想ゲートとの間に多数キャリアを供給するために前記導電体が前記基板にまた接触している、仮想位相画像センサが開示される。
【００１０】
本発明のさらに別の形式では、第１クロックド・ゲート電極と、前記第１クロックド・ゲート電極の下の半導体層の中に配置された第１クロックド障壁領域と、前記第１クロックド・ゲート電極の下の半導体層の中に配置されかつ前記第１クロックド障壁に隣接する第１クロックド・ウエル領域と、前記第１クロックド・ウエル領域に隣接する仮想障壁領域と、前記半導体層の上に配置された第２クロックド・ゲート電極と、前記第２クロックド・ゲート電極の下の半導体層の中に配置されかつ前記仮想障壁領域に隣接する第２クロックド障壁領域と、前記第２クロックド・ゲート電極の下の半導体層の中に配置されかつ前記第２クロックド障壁領域に隣接する第２クロックド・ウエル領域とを有し、それにより、第１高レベル・バイアスが前記第１クロックド・ゲート電極に加えられる間電荷が前記第１クロックド・ウエル領域に蓄積され、および第２高レベル・バイアスが前記第２クロックド・ゲート電極に加えられかつ前記第１高レベル・バイアスが前記第１クロックド・ゲート電極から取り去られる時前記電荷が前記第２クロックド・ウエル領域に転送される、デュアル・ゲート仮想位相電荷結合装置（ＣＣＤ）が開示される。
【００１１】
本発明のなおさらに別の形式では、少なくとも１つの画像アレイ・コラムと少なくとも１つのメモリ・レジスタ・コラムとの間に配置された少なくとも１つのアンチブルーミング・ドレイン構造体を有する、フレーム転送電荷結合装置（ＣＣＤ）画像センサが開示される。前記少なくとも１つのアンチブルーミング・ドレイン構造体のおのおのは、半導体層の中に配置されかつ前記少なくとも１つの画像アレイ・コラムに隣接する第１仮想障壁領域と、前記半導体層の中に配置されかつ前記仮想障壁領域と前記少なくとも１つのメモリ・レジスタ・コラムとに隣接する仮想ウエル領域と、ドレイン領域の中へ電荷を流し込むために前記半導体層の中に配置された前記ドレイン領域と、前記仮想ウエル領域と前記ドレイン領域との間の前記半導体層の中に配置された第２仮想障壁とを有し、それにより、前記少なくとも１つのメモリ・レジスタ・コラムの中への電荷の流れが妨害される時前記仮想ウエル領域の中の電荷が前記ドレイン領域へ溢れて流出する。
【００１２】
本発明のまた別の形式では、仮想位相画像センシング・アレイの上に配置された仮想ゲートに多数キャリアが供給される前記仮想位相画像センシング・アレイと、導電性チャンネル阻止体領域とおのおのが接触する前記導電体および前記仮想ゲートと、フィールド・メモリと、画像センシング・アレイと前記フィールド・メモリとの間に結合された複数個のアンチブルーミング・ドレインと、前記フィールド・メモリに結合されかつ並列入力およびシリアル出力および並列出力を有するシリアル・レジスタと、前記シリアル・レジスタの前記並列出力に結合された電荷クリアリング・ドレインとを有する、フレーム・インタライン転送（ＦＩＴ）電荷結合装置（ＣＣＤ）画像センサが開示される。
【００１３】
本発明のさらにまた別の形式では、第１導電形の半導体基板を作成する段階と、前記基板の中に第２導電形の埋め込みチャンネル領域を作成する段階と、前記埋め込みチャンネル領域の表面に第１導電形の仮想ゲートを作成する段階と、前記仮想ゲートの中に第１導電形の少なくとも１つのチャンネル阻止体領域を注入する段階であって前記少なくとも１つのチャンネル阻止体領域が前記埋め込みチャンネルに接触している前記少なくとも１つのチャンネル阻止体を注入する段階と、前記少なくとも１つのチャンネル阻止体の上側表面におよび前記基板に付加的に結合した少なくとも１つの導電性接触体を作成する段階とを有する、仮想位相画像センサの製造法が開示される。
【００１４】
本発明のまた別の形式では、第１導電形の半導体基板を作成する段階と、第２導電形の埋め込みチャンネル領域を作成する段階と、前記埋め込みチャンネル領域の上にゲート絶縁体層を作成する段階と、前記ゲート絶縁体層の上に少なくとも１つの導電性ゲート領域を選択的に作成する段階と、前記少なくとも１つの導電性ゲートの端部の一部分がマスキング層パターンによって露出されるように前記少なくとも１つの導電性ゲートと前記ゲート絶縁体との上に前記マスキング層を沈着する段階およびパターンに作成する段階と、前記マスキング層パターンにより露出された領域内の前記埋め込みチャンネルの中に前記第１導電形の少なくとも１つのチャンネル阻止体領域を注入する段階とを有し、それにより、前記少なくとも１つのチャンネル阻止体領域の少なくとも１つの側辺が前記少なくとも１つの導電性ゲートの側辺部分と自己整合している、仮想位相画像センサの製造法が開示される。
【００１５】
本発明の１つの利点は、ＣＣＤ画像センサ・アレイのさらに高密度の集積化が可能であることである。
【００１６】
【実施例】
本発明の前記特徴および他の特徴は、添付図面を参照しての下記説明により明らかになるであろう。添付図面において、同等な素子には同等な番号が付されている。
【００１７】
本発明の好ましい実施例の第１製造法が、図２ａ−図２ｃに示されている。これらの図面のいずれにおいても、構造体の特定の特徴を強調するために、寸法が拡大または縮小されて示されている。
【００１８】
図２ａにおいて、基板２０は、例えば、Ｐ形不純物が約１×１０１５−５×１０１５原子／ｃｍ３  の濃度に添加されたシリコンで作成することができる。基板２０の上に、Ｎ形埋込みチャンネル層２２が作成される。Ｎ形埋込みチャンネル層２２は、約１×１０１６原子／ｃｍ３  の濃度に不純物添加されたシリコンでまた作成することができる。これらの層の作成には、当業者には周知の複数個の方法のいずれかにより、例えば、１回の不純物拡散、またはエピタクシャル金属有機物化学蒸気沈着（ＭＯＣＶＤ）、などのような方法で作成することができる。次に、埋込み層２２の上に、層２４が作成される。層２４は、後で、ＣＣＤセルの仮想ゲートになる層である。仮想ゲート層２４はＰ＋形になるように、１×１０１７−８×１０１７原子／ｃｍ３  の濃度に不純物が添加される。Ｐ＋形仮想ゲート２４のイオン注入が行われる前に、このウエハの上にゲート酸化物層２６が成長される。ゲート酸化物層２６は、それを光エネルギが透過するように、作成される。次に、このウエハの上にフォトレジスト層２８が沈着され、そしてそれがパターンに作成されて、チャンネル阻止体領域の位置が定められる。フォトレジスト層２８の開口部を通して、ホウ素イオンが１×１０１８−８×１０１８原子／ｃｍ３  の濃度にまでイオン注入が行われ、浅いＰ＋形チャンネル阻止領域３０が作成される。次に、フォトレジスト層２８がウエハから除去され、そして第２のフォトレジスト層（図示されていない）が沈着され、そしてそれがパターンに作成されて、チャンネル阻止体領域３０に対する接触体穴の位置が定められる。次に、緩衝されたＨＦ酸エッチング剤を用いて、フォトレジストにより露出されたすべての領域内の酸化物層２６の部分が、チャンネル阻止体領域３０に達するまで除去される。このエッチング工程の後、フォトレジストがウエハから除去され、その結果、図２ｂの構造体が得られる。
【００１９】
図２ｃにおいて、ウエハの全表面の上にアルミニューム接触体金属層３２が沈着され、それにより、ゲート酸化物層２６の中の開口部を通して、チャンネル阻止体領域３０との接触体が得られる。また別のフォトレジスト層（図示されていない）がウエハの上に沈着され、そしてそれがパターンに作成されて、導電的接触体だけを残すように被覆される。次に、適切なエッチング工程を用いて露出された金属体３２がエッチングされ、その後、レジストが除去され、それにより、図２ｃの構造体の最終的頂部バス３２が作成される。頂部バス３２は、図に概略的に示されているように、この装置の周辺部において基板２０と接触を行う。
【００２０】
図２ｄはまた別の構造体の図面である。この構造体では、装置の埋込みチャンネルは一連のパターンに作成されたＮ形イオン注入体３４によって作成され、そしてこれらのイオン注入体は、図２ａの装置の埋め込みチャンネル２２と同じ処理位置に作成される。
【００２１】
本発明の好ましい第１実施例では、Ｐ＋形チャンネル阻止体領域３０は、Ｎ形埋め込みチャンネル２２を貫通して基板２０に達することはない。このため、チャンネル阻止体領域３０は、先行技術による設計で従来可能であったよりはさらに浅くすることができ、したがって、さらに細くすることができる。このことにより、画像センサ表面領域の中でチャンネル阻止体領域に使用される領域が小さくなり、したがって、より多数個の受光位置ウエルを配置することが可能である（すなわち、より大きな感度が可能である）、または同じ寸法の受光位置の場合、さらに高密度に集積されたアレイが可能になる（すなわち、より小さなダイ寸法が可能になる）。
【００２２】
Ｐ＋形チャンネル阻止体領域３０の不純物添加は２つの基準を満たさなければならない。第１の基準は、不純物添加量が、下のＮ形埋め込みチャンネル２２の電位分布を変えるのに十分な程度にのみ大きいことが必要であり、したがって、隣接するウエルの間に良好な横方向分離が得られる程度に大きいことが必要である、ことである。第２の基準は、不純物添加量が、頂部バス３２と良好なオーム接触を行うように十分に大きいことがまた必要である、ことである。当業者にはすぐに分かるように、頂部バス３２は、アルミニューム、タングステン、タングステン・ケイ化物などのような、妥当な導電体材料で作成することができる。必要なことは、仮想ゲート電極にホールを供給できることだけである。
【００２３】
現在ある多くの画像センサ装置設計では、セルの上側表面の上に既に金属が存在し、この金属を転換して、チャンネル阻止体に対する頂部バスとして用いることができる。例えば、標準的なインタライン・アーキテクチャでは、チャンネルの上の所定の位置に金属の光遮蔽体が既に存在する。標準的なフレーム転送アーキテクチャでは、装置のメモリ部分の上の所定の位置に、金属の光遮蔽体が存在する。この時、これらのアーキテクチャのいずれでも、チャンネル阻止体に対し頂部バスを用いることは、それは装置の特性を少しも劣化させる原因とはならないことはすぐに分かる。フレーム転送画像センシング領域では、量子効率はいくらか小さくなるであろうが、しかし、さらによい画素分離が得られるであろう。このことはカラーを検出する応用の場合に利点を有する。すなわち、カラーを検出する応用の場合には、カラー・クロストークが実質的になくなり、したがって、有益な見返りである。
【００２４】
図２ｅは、サブミクロン寸法に対し、部分的に自己整合したチャンネル阻止体を用いることができる、前記工程を変更した工程による好ましい第２実施例の図である。チャンネル阻止体３０の１つの側面はポリシリコン・ゲート５６（ゲート５６は図３で説明される）の端部と自己整合しているから、約１ミクロンの最小パターン分解能を有するフォトレジスト３６を用いて、約０．５ミクロンの幅を有するチャンネル阻止体３０を定めることができる。このことは、フォトレジスト・パターンの横方向配置精度が０．２５ミクロンの程度であるという事実によるものである。ポリシリコン・ゲート５６の端部とフォトレジスト３６のパターンの開口部とを重ねることにより、チャンネル阻止体３０を最小の寸法にできるだけでなく、またゲート５６の端部と完全に整合させることができる。領域３０の実際の作成は、図２ａで説明された通りである。
【００２５】
図３は、本発明の好ましい第１実施例を取り込んだ、フレーム・インタライン転送（ＦＩＴ）ＣＣＤ画像センサ・アレイ３８の画像センシング領域３８の一部分の平面図である。受光位置領域４０は、Ｐ＋形仮想ゲート電極４２と同時に作成された、Ｐ＋形領域である。受光位置４０は、３つの側辺上でＰ＋形チャンネル阻止体領域３０により分離される。これらのチャンネル阻止体領域はまた、仮想ゲート４２および光遮蔽体４４と導電性接触を行う。チャンネル阻止体３０の各部分は、好ましい第２実施例の部分整合法によって製造することができる。光遮蔽体４４は、受光位置４０に対する領域以外の大部分の画像センシング領域３８を被覆し、そして領域４６の中のチャンネル阻止体領域３０と導電的に接触する。チャンネル阻止体領域３０と隣接していない受光位置４０の１つの側辺は、クロックド転送障壁４８に隣接する。垂直ＣＣＤチャンネルのクロックド部分は、クロックド障壁５０と、第１クロックド・ウエル５２と、第２クロックド・ウエル５４とを有する。クロックド転送障壁４８の上にある、クロックド障壁５０と、第１クロックド・ウエル５２と、第２クロックド・ウエル５４は、ポリシリコン・クロックド・ゲートである。これらのクロックド・ゲートは、垂直ＣＣＤチャンネルの下に、位相１クロックド・ゲート５６と位相２クロックド・ゲート５７との間で交代して、対で作成される。２個の位相クロックド・ゲート５６および５７の動作は、下記で説明される。第１クロックド・ウエル５２および第２クロックド・ウエル５４は、２つのイオン注入体を用いて作成される。約１×１０１７−８×１０１７原子／ｃｍ３  の濃度まで不純物添加される第１注入体は、最大可能なウエル容量を達成するために、最大可能な領域（両方のクロックド・ウエルの全領域）を覆う。約２×１０１７原子／ｃｍ３  だけ付加して不純物添加される第２注入体は、第２クロックド・ウエル５４の領域を定め、そして高い電荷転送効率（ＣＴＥ）を達成するために、実質的に楔形の形状にされる。この楔形の形状の第２クロックド・ウエル５４は、垂直電荷転送速度を助ける適切な横方向電界を生ずる。図３の装置３８の作成は、当業者には周知である多数の標準的半導体処理技術の内のいずれかを用いて、実行することができる。この画像センシング領域３８の動作は、下記で説明される。
【００２６】
図４は、図３の画像センシング領域３８の線Ａ−Ａ′に沿っての横断面図である。一方、図５、は同じ横断面図の対応するチャンネル電位図である。電荷は、予め定められた蓄積時間の間、受光位置４０に蓄積され、およびチャンネル阻止体３０とクロックド転送障壁４８とによって、受光位置４０に捕獲される。
予め定められた蓄積時間の後、位相１クロックド・ゲート５６に高レベルのバイアスを加えることにより、蓄積された電荷が垂直ＣＣＤチャンネルに移動する。このことにより、図５のこれらの領域の中の点線によって示されているように、クロックド転送障壁４８と、第１クロックド・ウエル５２と、第２クロックド・ウエル５４との下の領域のチャンネル電位が増大する。（選定された横断面位置のために、図５のチャンネル電位図において、ＣＣＤチャンネルの位相１における第１クロックド・ウエル５２は見えない。）受光位置４０にそれまでに捕獲された電荷は、最大チャンネル電位の領域に引き寄せられる、すなわち、位相１の第２クロックド・ウエル５４に引き寄せられる。この時点で、電荷はチャンネルをさらに下に移動することはできない。それは、仮想ゲート障壁４２の下のチャンネル電位が低いからである。次に、位相１クロックド・ゲート５６が低電位にされる。このことにより、位相１クロックド・ゲート５６の下のチャンネルの電位分布が、図５の実線にまで低下する。ほぼ同時に、位相２クロックド・ゲート５７が高電位にされる。このことにより、位相２クロックド・ゲート５７の下のチャンネル電位が、図５の点線にまで増大する。差し引き正味の結果は、電荷が、仮想ゲート障壁４２を越え、位相２クロックド障壁５０と、位相２第１クロックド・ウエル５２とを通り、そして最後に位相２第２クロックド・ウエル５４の中に流れることができることである。また別の仮想ゲート障壁４２により、電荷が、位相２第２クロックド・ウエル５４からチャンネルの中をさらに移動することが阻止される。垂直ＣＣＤチャンネルの全経路にわたって電荷が転送されるまで、前記サイクルが繰り返される。当業者にはすぐに分かるように、位相１クロックおよび位相２クロックは、必ずしも５０％のデューティ・サイクルを有しないけれども、実質的に反対の位相を有する重なったパルスである。
【００２７】
図３の画像センシング領域３８は、ＣＣＤレジスタの上に配置された光遮蔽体４４の形式において、本発明の好ましい第１実施例を取り込んでいる。光遮蔽体４４は、ＣＣＤチャンネルからの入射光を阻止する役割と、相互接続体領域４６を通して、仮想ゲート４２にホールを供給する基板バスとしての役割と、の２重の役割を果たす。したがって、例として示された仮想位相ＦＩＴアーキテクチャは、１個の金属層だけを必要とする。このことは、このセンサの最終的コストを小さくする上で、いくつかの重要な処理上の利点の１つである。図３のアーキテクチャで注意すべきまた別の重要な特徴は、ポリシリコン・ゲート５６およびポリシリコン・ゲート５７は、仮想ウエルを有しない仮想障壁４２によってのみ分離されることである。第３の重要な特徴は、第２クロックド・ウエル５４注入体の設計である。この領域の傾斜した側辺により、垂直電荷転送速度を増大させる、したがって、電荷転送効率（ＣＴＥ）を増大させる、横方向電界が生ずる。
【００２８】
ＣＣＤ画像センサに本発明を用いる時、複雑になる程度を小さくするためにおよび量子効率を大きくするために、アンチブルーミング保護は各セルには組み込まれなく、むしろ、各垂直ＣＣＤチャンネルのベースに組み込まれる。典型的なアンチブルーミング装置の平面図が図６の６０で全体的に示されている。図６には、センサの画像センシング領域３８と画像フィールド・メモリとの間の、インタフェース領域が示されている。画像メモリ領域は、画像センシング領域３８でインタフェースされる。画像センシング領域３８は、その中に組み込まれた、ゲート作用を受けるＮ＋形ドレインを有する、特別のセルを用る。このドレイン・セルにより、もしメモリ・クロックド・ゲート８４が高レベルにバイアスされるならば、電荷がこのメモリの中に流れ込むことができる。もしメモリ・クロックド・ゲート８４が低レベルにバイアスされるならば、画像領域３８から流れ出る電荷は、自動的に、Ｎ＋ドレイン領域６２の中へ溢れて流出するであろう。したがって、垂直ＣＣＤコラムの全体に対し、このセルは横方向流出ドレインとしての役割を果たす。電荷蓄積時間（すべての水平ブランキング時間）の間、垂直ＣＣＤは複数個のパルスによりクロックされ、それにより、チャンネルの中の電荷が、画像領域とメモリ領域との間のインタフェースの仮想ウエル領域８２の中に転送される。この時間の間、メモリ・ゲート８４は負にバイアスされ、それにより、信号電荷はメモリ画素に入ることができない。１個のメモリ画素は、クロックド障壁８６と、クロックド・ウエル８８と、仮想障壁９０と、仮想ウエル９２とで形成される。画素のおのおのは、チャンネル阻止体３０によって、水平方向に分離される。これらのチャンネル阻止体は、本発明の好ましい第１実施例に詳細に示されたように、光遮蔽体４４（図示されていない）に導電的に接続される。このメモリ画素は、本出願人と同じ出願人名で受付けられ、かつ、同じ譲渡人に譲渡された米国特許第４，２２９，７５２号に開示されているように、標準的仮想位相ＣＣＤの方式に従って（下記で説明されるように２つの小さな例外を有して）動作する。この米国特許の内容は、本出願に参考資料として取り込まれている。電荷は仮想ウエル８２の中に蓄積し、そして仮想障壁６１から溢れてドレイン６２の中に流れ出る。それは、仮想ウエル８２のウエル容量が、蓄積ウエル８８の容量よりも小さいからである。メモリ動作に対する通常の電荷輸送の期間中は、電荷が、垂直ＣＣＤチャンネルから仮想ウエル８２を通ってメモリの中へ、仮想ウエル８２の中に蓄積せずに流れるように、したがって、ドレイン６２の中への電荷の溢れがないように、メモリ・ゲート８４がバイアスされる。溢れた電荷を受光位置４０から流出ドレイン６２に転送するために、垂直ＣＣＤコラムを周期的にクロックすることだけが必要である。このことは、水平ブランキング期間の各々の時間間隔内に、好都合に行うことができる。
【００２９】
図７は、図６の線Ａ−Ａ′に沿っての横断面での相対チャンネル不純物添加を示す。この横断面に対する対応するチャンネル電位図が、このメモリ・セルの標準的仮想位相クロッキングを示す図８に示されている。
【００３０】
図９は、図６の線Ａ−Ａ″に沿っての横断面での、相対チャンネル不純物添加およびドレイン構造体６２を示す。この横断面に対する対応するチャンネル電位図が、完全に満たされた仮想ウエル８２からドレイン６２へ溢れて流出する電荷を示す図１０に示されている。
【００３１】
前記のように、メモリ画素の形状は、２つの小さな変更はあるけれども、従来の仮想位相ＣＣＤセルによく似ている。第１の相違点は、仮想領域９０および９２とクロックド領域８６および８８の中の、埋め込みチャンネル電荷蓄積密度に関するものである。電荷蓄積密度が最適化され、かつ、各領域に対して異なる。このことは、クロックド・ウエル８８と仮想ウエル９２に対する領域の区別の指定に必要である。
【００３２】
第２の相違点は、本発明の好ましい第１実施例で説明されたように、仮想ゲートに対する基板バスに関するものである。前記で説明されたように、従来の仮想位相ＣＣＤでは、仮想ゲート１６は、先行技術の図１に示されたように、チャンネル阻止体１０を通して、装置の基板１４に接続される。このことは、Ｐ＋形不純物を大量に添加し、その後、拡散段階または焼鈍段階を行うことにより、チャンネル阻止領域１０の注入が実行されることによって達成される。けれども、この方式に付随する問題点は、高濃度のＰ＋形不純物および深い注入は大きな横方向拡散を引き起こし、このことはまた、好ましくない程に多量の貴重な画素領域を取り込んでしまう。図６に説明されたＰ＋形チャンネル阻止体３０は、先行技術によるチャンネル阻止体よりも大幅に細く、および先行技術による装置よりも画素領域を犠牲にしない。また、いまの場合、Ｐ＋形拡散体の深さは遙かに浅く、そして実際、埋め込みチャンネル２２に侵入しない。したがって、Ｐ＋形チャンネル阻止体３０は画素領域の中のＰ形基板２０に直接に接続されることはない。添加不純物濃度とその深さが最適化され、それにより、水平方向に画素が分離されるのに十分な電位障壁が得られ、そしてホールの基板２０への直接の経路が形成されない。Ｐ＋形領域３０は画素領域において基板２０に接続されないから、なにか他の手段により、仮想ゲート４２へのアース接続を得ることが必要である。このことは、頂部金属バス４４により達成される。この頂部金属バス４４は、いまの場合また、装置の画素領域３８におけるのと同じメモリ光遮蔽体としての２重の役割を果たす。
【００３３】
図１１の平面図において、高速クリーニング・ゲートおよびドレインを有するメモリ・シリアル・レジスタ画素構造体が、９４で全体的に示されている。この装置のこの領域のレイアウトはほぼ従来のものと同じであるが、仮想ゲートのための頂部バスを備えることが必要であることにより要請される、小さな変更点がある。ここで注意すべき１つの重要な特徴は、２次元電荷転送を助けるための周辺電界を生ずるために、楔形ウエル８８および９２が再び用いられることである。頂部金属バスに対するこの要請は、設計上なんら複雑さをもたらすことはなく、そして本発明の好ましい第１実施例を用いて、さらに複雑な多重レジスタ構造体さえ可能である。クロックド・ゲート・バス９６は、領域１００の中のシリアル・レジスタ・ポリシリコン・ゲート９８に接続される。仮想ゲート・バス１０２は、領域４６を通して、仮想ゲート領域へのアース接続を有する。クリアリング・ゲート１０４は、領域１０８を通して、クリアリング・ゲート・バス１０６に接続される。クリアリング・ドレインは１０９で示される。動作の際、クリアリング・ゲート１０４が低レベルである時、ウエル９２ａからウエル８８ｂへの電荷の垂直の転送は可能でなく、したがって、シリアル・レジスタ・ゲート９８の隣接するチャンネルの領域９２ａから領域８８ａへ、右から左へ水平に電荷が転送される。このように、メモリ画素から並行してシリアル・レジスタに入る電荷は、左へ逐次にアレイの外へ転送される。けれども、もしクリアリング・ゲート１０４が高レベルにバイアスされる時、ウエル９２ａの中の電荷はウエル８８ｂの中に転送され、それから、電荷クリアリング・ドレイン１０９の中に直ちに転送される。この動作モードでは、メモリ画素の垂直ＣＣＤチャンネルは、電荷をクリアリング・ドレイン１０９に転送することによって、高速にクリアすることができる。
【００３４】
小さな画素寸法を有する画素センサの場合、ＣＣＤチャンネル添加不純物分布の最適化が必要である。シリアル・レジスタまたはメモリに用いられたような典型的な仮想位相ＣＣＤセルは、２個の主要な領域、すなわち、クロックド・ゲート領域および仮想ゲート領域を有する。これらの２個の領域では、添加不純物分布が大幅に異なる。したがって、それらを最適化するには、異なる方法を用いなければならない。
【００３５】
クロックド位相の電荷蓄積密度を増大するために、埋め込みチャンネルの添加不純物濃度を増大すること、チャンネル不純物をシリコン・二酸化シリコン界面の近くに配置すること、およびゲート酸化物の厚さを小さくすること、が重要である。この方法に対する限定条件は、シリコンまたは二酸化シリコンの中の最大可能な電界強度と、完全ウエル状態の中のチャンネル電位と表面電位との間に要求される最小電位障壁である。界面に対する不適切な電位障壁は、表面状態捕獲体での電荷捕獲を生じ、したがって、ＣＴＥの劣化を生ずるであろう。
【００３６】
一方、仮想位相領域はもう少し複雑な構造を有し、最適化には付加的制約がある。仮想ゲート領域のＰ＋形不純物添加はできるだけ浅いことが好ましい。このことは、用いられる添加不純物の物理的性質と、後での処理工程中に行われる必要な熱処理とによって決定される。それ以上小さくすることができない必要なＰ＋形不純物添加量によって決定される、最小接合深さが存在する。この領域の中のチャンネル電荷蓄積密度は、埋め込みチャンネル不純物添加と仮想ゲートに対する不純物距離とに再び依存する。制限は再び、シリコン内の最大許容電界強度である。
【００３７】
従来の仮想位相装置が有している１つの困難な問題点は、クロックド・ゲートと仮想ゲート領域との間の界面における電位分布であった。これらの領域の中の埋め込みチャンネルの深さが異なることにより、Ｐ＋形ゲートの２次元効果によって、もし対応策が取られないならば、これらの界面に寄生電位ウエルが形成されることがよくある。このことが図１２に示されている。この問題点は、埋め込みチャンネルに対し適切な添加不純物分布を用いることにより、完全になくすることができることが、実験的におよび２次元の数値計算により分かっている。本発明の装置に用いられる埋め込みチャンネルは、２つの異なる不純物分布によって作成される。第１の不純物分布は低濃度を有し、かつ、堆積領域の内部に深く広がっている。一方、第２の不純物分布は高濃度を有し、かつ、シリコン表面の近くに分布する。不純物分布の中の多量に不純物が添加された部分により、必要な高電荷蓄積密度が得られ、一方、体積領域の内部に広がった低濃度の添加不純物分布部分により、ゲートが負にクロックされる時、電位最大点が表面の近くから体積領域の内部深くへ移動する。埋め込みチャンネル添加不純物がこの分布を有することにより、電荷は画素から画素へさらに複雑な方法で転送される。電荷は先ず、表面近傍の領域から体積領域の内部の深い領域へ流れ、そして次に、仮想ゲート領域の中へ横方向に流れる。いまの場合、強い横方向周辺電界を有する寄生電位ウエルがなく、１つの領域から他の領域への滑らかな電位の遷移があり、このことは、ＣＴＥを大幅に改良する。
【００３８】
画像アレイの画素寸法が小さければ小さい程、ますます装置の感度が低下し、したがって、受光位置ウエルに蓄積する電荷は少なくなる。画像アレイ特性に及ぼすこの好ましくない効果の影響をできるだけ小さくするために、背景雑音を改良すること、および、アレイから一群の電荷を受け取りそしてそれを電流に変換する、電荷変換増幅器の感度を改良することが必要である。
【００３９】
図１３は、１１０で全体的に示された従来の電荷検出ノードの横断面図、および対応するチャンネル電位図である。電荷検出ノード１１０は、仮想位相ＣＣＤと共に典型的に用いられる従来のゲート作用を受ける不動拡散構造体であり、および電荷検出ノード１１０は外部的に駆動されるリセット・ゲート１１２を有する。基準電圧発生器１１４は、検出ノード１１０の中のチャンネル電位を自動的に追跡する接合ＦＥＴトランジスタを用いて、チップの上に組み込まれる。リセット・ゲート１１２がパルスを受け取る時、基準電圧Ｖｒｅｆ  が検出ノードに加えられ、それが名目レベルにリセットされる。
【００４０】
図１３には、１１６で全体的に示された、増幅器回路がまた示されている。この増幅器回路は、その第１段階において、ＭＯＳトランジスタ１１８および１２０のカスケード構成体を使用する。この方式は、ミラー・フィードバック効果の利点を取り入れることにより、従来の回路のゲートからドレインへの寄生静電容量Ｃｇｄを最小にする。したがって、検出ノード１１０に結果的に生ずるさらに小さな寄生負荷は、電荷変換利得を改良するのに寄与し、およびしたがって、さらに小さな電子等価背景雑音に寄与する。予想される相互に関連する２重サンプリング（ＣＤＳ）動作に対し最適特性を得るために、結果として生ずる増幅器１１６の入力静電容量が検出ノード１１０の静電容量と整合するように、第１段階トランジスタ寸法が選定される。第２段階トランジスタ寸法は、要求される負荷駆動性能のために、および与えられたクロッキング周波数において電力消費を最小にするために、最適化されている。
【００４１】
頂部バスＦＩＴ装置に対する基本的センサ装置アーキテクチャの概要ブロック線図表示が、図１４の１３０で全体的に示されている。図１４には、図３、図６、図１１および図１３の構造体が取り込まれている。センサ１３０は、主として、２つの大きなブロック、すなわち、画像センシング領域３８と、フィールド・メモリ領域６０とを有する。これらのブロックの機能は、前記で詳細に説明された。シリアル・レジスタ１５０は、フィールド・メモリ６０から並行して電荷を受け取り、そしてそれを電荷検出増幅器１１６に逐次に転送する。
【００４２】
好ましい実施例では、画像センシング領域３８は、４９０個のラインを有する。その中の４８６個のラインは活性であり、そして４個のラインは光遮蔽体によって覆われる。暗ライン１３１は、フィールド・メモリ６０とのインタフェースである、画像センシング領域３８の端部に配置される。これは、２つの領域の間の分離を得るためである。各ラインは、合計で６８４個の画素を有する。その中の６６８個の画素は活性であり、そして１６個の画素は光遮蔽体によって遮蔽される。暗画素は、暗基準領域１３２の中の画素センシング領域３８の右端部に配置される。暗基準領域１３２の動作は、下記で説明される。画素センシング領域３８は、頂部においてドレイン１３４によって、および端部のおのおのにおいて２個のダミー・コラム（図示されていない）によって、周辺部で発生するキャリアの漏洩に対抗するように保護される。ダミー・コラムは、図６に関連して前記で説明したように、画像センシング領域３８とフィールド・メモリ６０との間の界面に配置されたアンチブルーミング・ドレイン６２の中に、それらの電荷を送る。入力ダイオード１３６が、画像センシング領域３８の頂部端部にまた配置される。入力ダイオード１３６は、一定量の電荷が最後の暗基準コラムの中に入力されるのを可能にする。この特性は、センサ１３０の自動検査のために重要である。
【００４３】
仮想位相ＦＩＴ画像センサ１３０のフィールド・メモリ６０は、２４５個のラインを有し、そしてこれらのラインのおのおのは６８４個の画素を有する。周辺電荷の漏洩に対抗して保護を行うために、メモリ６０の各側辺に、２個のバッファ・コラムが組み込まれる。これらのバッファ・コラムは、画像領域３８バッファ・コラムと同じように、アンチブルーミング・ドレイン６２の中へ逆方向にクロックされる。
【００４４】
メモリ６０からの信号は、１個のシリアル・レジスタ１５０の中へ並行して転送される。このレジスタ１５０の中の電荷は、増幅器１１６の中へ逐次に転送される、または、クリアリング・ゲート１０４を通して電荷クリアリング・ドレイン１０９の中へ転送される、ことのいずれかが可能である。増幅器１１６は、メモリ６０の端部から必要な距離に広がる付加的な１８個のダミー画素１４０を通して、シリアル・レジスタ１５０から電荷を受け取る。ダミー画素１４０は、領域１３２の中の画像センシング領域の右端部で発生する暗基準信号を記憶するのに用いられ、したがって、電荷クリアリング・ドレイン１０９とインタフェースの作用を行わない。暗基準信号は、当業者には周知の方式でそれが一旦画像センサ１３０から離れると、出力信号の信号処理回路の中で利用される。
【００４５】
図１５は、図１４の画像センサ・アーキテクチャのクロッキングに対するタイミング図である。垂直ブランキング時間間隔の間、垂直駆動信号に同期して、図１５の中で「レベル１」で示されたパルスが、位相１クロックド・ゲート５６に送られる。このレベル１パルスは十分に大きく、それにより、受光位置４０からの電荷を、位相１領域の中の垂直ＣＣＤチャンネルに転送することができる。レベル１パルスが終了した後、位相１領域の下の受光位置４０が、電荷の蓄積を再開する。それから、垂直ＣＣＤレジスタの中の電荷は、位相１クロックド・ゲート５６の「レベル３」パルスとメモリ・クロックド・ゲート８４との連鎖により、メモリの中にクロックされる。これらのパルス列の終端部で、位相１領域の中の受光位置４０からの電荷が、メモリ６０に完全に転送される。この後、レベル３パルスよりは高いがしかしレベル１パルス程には大きくない一連の「レベル２」パルスが、溢れた電荷をアンチブルーミング・ドレイン６２の中に転送するために、位相１クロックド・ゲート５６と位相２クロックド・ゲート５７とに送られる。垂直ブランキング時間間隔の終端の後、一連の水平ブランキング時間間隔が起こり、この水平ブランキング時間間隔の間、メモリ・ゲート８４の１個のパルスがシリアル・レジスタ１５０の中に並行して電荷を移動させる。それから、シリアル・レジスタ・ゲート９８の一連のパルスが、画像センサから逐次に電荷を移動させる。次の垂直ブランキング時間間隔の間、全シーケンスが位相２クロックド・ゲート５７で繰り返される。
【００４６】
選定された受光位置４０から垂直ＣＣＤコラムへの電荷の転送は、対応するゲートの振幅を、その名目上の高クロッキング・レベル以上に一時的に増大することにより、達成される。図３の受光位置転送障壁４８は垂直転送障壁５０よりさらに高い閾値を有し、それにより、電荷が転送障壁４８により受光位置４０に閉じ込められるのと同時に、電荷が垂直ＣＣＤチャンネルをクロック・ダウンすることが可能である。転送パルスが加えられるクロックド・ゲート５６および５７のいずれかを選定することにより、電荷が転送される受光位置４０を選定することが可能である。この柔軟性により、センサ１３０が複数個の有用なモードで動作することが可能である。
【００４７】
１／６０秒蓄積時間を有する標準的なＴＶインタレース動作は、すべての受光位置４０からの信号を、各ＴＶフィールドの中の垂直ＣＣＤチャンネルの中に転送することによって、達成される。その後、第１ＴＶフィールドの中の位相２クロックド・ゲート５７の下の電荷と位相１クロックド・ゲート５６の下の電荷とを加算し、および、第２ＴＶフィールドの中の位相１クロックド・ゲート５６の下の電荷と位相２クロックド・ゲート５７の下の電荷とを加算する。その度に、データの２４５個のラインのみが生じ、そしてメモリの中に転送される。
【００４８】
垂直ＣＣＤチャンネルは、標準的２位相ＣＣＤと同じような方式で、クロックされる。クロックド・ゲート５６および５７にそれぞれ加えられるクロックド・パルスφＰ１およびφＰ２は、図１５に示されているように、重畳するタイミングを有しなければならない。このことは、垂直ＣＣＤチャンネルの中に仮想ウエルが存在しないという事実から、および電荷が位相１のクロックド・ウエル５４から位相２のクロックド・ウエル５４へ転送されるという事実から分かる。仮想障壁４２は、近傍のラインのポリシリコン・ゲート５６および５７を分離するためだけに用いられ、そして電荷を蓄積しない。
【００４９】
標準的インタレース動作を変更することにより、前記で説明したように、受光位置４０の２４５個のラインだけからの信号が選定され、そしてメモリ６０に転送される、という結果が得られる。この場合、蓄積時間は１／３０秒であり、そしてこの動作モードでは、垂直分解能が改良される。けれども、欠点は、カメラの高速移動の期間中、または高速移動する物体の画像において、移動に好ましくない不連続があることである。
【００５０】
図１４の装置において、電子シャッタの特徴をまた組み込んで実施することができる。この場合には、受光位置転送パルス（レベル１パルス）が、電荷蓄積期間中それらを一定にクリアするために選定された瞬間まで、クロックド位相ゲート５６および５７の両方に持続的に加えられる。それから、蓄積期間の残りの部分の時間間隔の間だけ、小さな信号が蓄積され、そしてこの蓄積された小さな信号がメモリ６０に転送される。活性ビデオ信号との相互干渉を避けるために、水平ブランキング時間間隔の間だけ、クリア・パルスがクロックド・ゲート５６および５７に送られる。
【００５１】
したがって、図１４の装置の垂直ＣＣＤチャンネルは、多重の目的を果たす。垂直ＣＣＤチャンネルは、受光位置４０からの溢れた電荷を排出するために、必要な信号をメモリ６０に転送するのに用いられ、およびまた、電子シャッタ動作の期間中、電荷クリアリングのためのドレインとして用いられる。けれども、この多重利用は、ゲート５６および５７のクロッキングに、複雑さを少しもたらす。垂直ＣＣＤチャンネルはアンチブルーミング・ドレインとしての役割を果たすから、受光位置４０からの正しい信号を転送する前に、残留している電荷を完全にクリアすることが必要である。この期間中、過負荷状態の受光位置４０から溢れる電荷の転送を一時的に阻止するまた別の高クロック・レベル・バイアスを、ゲート５６および５７に対して用いることが必要である。もしこのことが行われないならば、過負荷状態の受光位置４０から溢れた電荷は、画像の滲みの原因となる。したがって、垂直ＣＣＤチャンネルのクロッキングは、４個の異なるレベルのクロッキング信号を有し、さらに複雑である。メモリ６０とシリアル・レジスタ１５０に対するすべての重要なクロッキング信号の詳細は、図１５のタイミング図に示されている。
【００５２】
いくつかの好ましい実施例が、前記で詳細に説明された。本発明の範囲には、前記で説明された実施例とは異なるが、なお請求の範囲内に入る実施例が包含されることを理解すべきである。
【００５３】
例えば、包含という用語は、本発明の範囲を考察する際、非網羅的として解釈すべきである。
【００５４】
内部接続および外部接続は、オーム的接続、静電容量的接続、介在回路を通しての直接接続または間接接続、またはその他の接続であることができる。本発明は、シリコン、ヒ化ガリウム、または他の電子材料群で作成された個別部品または完全な集積回路で、および光学的方式に基づくまたは他の技術的方式に基づく実施例により、実施することができる。
【００５５】
本発明は例示された実施例に基づいて説明されたけれども、この説明は、本発明がこれらの実施例に限定されることを意味するものではない。例示された実施例およびその他の実施例を種々に変更した実施例、およびこれらを組み合わせた実施例が可能であることは、前記説明により当業者には明らかであろう。したがって、このような実施例およびこのような変更実施例はすべて、本発明の範囲内に包含されるものである。
【００５６】
以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
（１）    画像センサの上に配置された導電体により多数キャリアが仮想ゲートに供給され、かつ、前記仮想ゲートおよび前記導電体のおのおのが導電的チャンネル阻止体領域に接触する、仮想位相画像センサ。
【００５７】
（２）  第１項に記載された画像センサにおいて、前記導電体がまた光遮蔽体として機能する、前記画像センサ。
【００５８】
（３）    第１導電形の半導体基板と、
前記基板の上に配置された第２導電形の埋め込みチャンネルと、
前記埋め込みチャンネルの上に配置された前記第１導電形の仮想ゲートと、
前記仮想ゲートの表面から前記埋め込みチャンネルの中まで広がる前記第２導電形の少なくとも１個のチャンネル阻止領域と、
前記少なくとも１個のチャンネル阻止領域の表面と接触し、かつ、前記基板と前記仮想ゲートとの間に多数キャリアを供給するために前記基板にまた接触する、少なくとも１個の導電体と、
を有する仮想位相画像センサ。
【００５９】
（４）    第３項に記載された画像センサにおいて、前記埋め込みチャンネルが連続体でない、前記画像センサ。
【００６０】
（５）    第３項に記載された画像センサにおいて、前記埋め込みチャンネルと前記仮想ゲートとの間の界面近傍においておよび前記埋め込みチャンネルと絶縁体層との間の界面近傍において前記埋め込みチャンネルがより大きな添加不純物量を示す不均一添加不純物分布を有する、前記画像センサ。
【００６１】
（６）    第３項に記載された画像センサにおいて、前記少なくとも１個の導電体が前記画像センサの周辺において前記基板に接触する、前記画像センサ。
【００６２】
（７）    第３項に記載された画像センサにおいて、前記導電体がまた光遮蔽体として機能する、前記画像センサ。
【００６３】
（８）    第１クロックド・ゲート電極と、
前記第１クロックド・ゲート電極の下の半導体層の中に配置された第１クロックド障壁領域と、
前記第１クロックド・ゲート電極の下の前記半導体層の中に配置され、かつ、前記第１クロックド障壁に隣接する、第１クロックド・ウエル領域と、
前記第１クロックド・ウエル領域に隣接する前記半導体層の中の仮想障壁領域と、
前記半導体層の中に配置された第２クロックド・ゲート電極と、
前記第２クロックド・ゲート電極の下の前記半導体層の中に配置され、
かつ、前記仮想障壁領域に隣接する、第２クロックド障壁領域と、
前記第２クロックド・ゲート電極の下の前記半導体層の中に配置され、かつ、前記第２クロックド障壁領域に隣接する、第２クロックド・ウエル領域であって、それにより第１高レベル・バイアスが前記第１クロックド・ゲート電極に加えられる間電荷が前記第１クロックド・ウエル領域の中に蓄積され、かつ、第２高レベル・バイアスが前記第２クロックド・ゲート電極に加えられおよび前記第１高レベル・バイアスが前記第１クロックド・ゲート電極から取り除かれる時前記電荷が前記第２クロックド・ウエル領域の中に転送される、前記第２クロックド・ウエル領域と、
を有するデュアル・ゲート仮想位相電荷結合装置（ＣＣＤ）。
【００６４】
（９）    第８項に記載されたＣＣＤにおいて、
前記第１クロックド・ウエル領域が、前記第１クロックド・ウエル領域全体の中に、第１添加不純物注入体と、実質的に楔形の形状を有する第２添加不純物注入体とを有し、前記第２添加不純物注入体が前記第１クロックド・ウエル領域の一部分を占め、
前記第２クロックド・ウエル領域が、前記第２クロックド・ウエル領域全体の中に、第３添加不純物注入体と、実質的に楔形の形状を有する第４添加不純物注入体とを有し、前記第４添加不純物注入体が前記第２クロックド・ウエル領域の一部分を占める、
前記ＣＣＤ。
【００６５】
（１０）  第８項に記載されたＣＣＤにおいて、
前記第１クロックド・ゲート電極の下の前記半導体層の中に配置され、かつ、前記第１クロックド・ウエル領域に隣接する、第１クロックド転送障壁と、
前記半導体層の中に配置され、かつ、前記第１クロックド転送障壁に隣接する、第１受光位置と、
前記第２クロックド・ゲート電極の下の前記半導体層の中に配置された第２クロックド転送障壁と、
前記半導体層の中に配置され、かつ、前記第２クロックド転送障壁に隣接する、第２受光位置であって、それにより前記第１クロックド・ゲート電極に加えられた第３高レベル・バイアスによって前記第１受光位置に蓄積された電荷が前記第１クロックド・ウエル領域に流れ、かつ、前記第３高レベル・バイアスの大きさが前記第１高レベル・バイアスの大きさよりも大きく、および、前記第２クロックド・ゲート電極に加えられた第４高レベル・バイアスによって前記第２受光位置に蓄積された電荷が前記第２クロックド・ウエル領域に流れ、かつ、前記第４高レベル・バイアスの大きさが前記第２高レベル・バイアスの大きさよりも大きい、前記第２受光位置と、
をさらに有する、前記ＣＣＤ。
【００６６】
（１１）  少なくとも１個の画像アレイ・コラムと少なくとも１個のメモリ・レジスタ・コラムとの間に配置された少なくとも１個のアンチブルーミング・ドレイン構造体を有するフレーム転送電荷結合装置（ＣＣＤ）画像センサであって、前記少なくとも１個のアンチブルーミング・ドレイン構造体のおのおのが
半導体層の中に配置され、かつ、前記少なくとも１個の画像アレイ・コラムに隣接する、第１仮想障壁領域と、
前記半導体層の中に配置され、かつ、前記仮想障壁領域と前記少なくとも１個のメモリ・レジスタ・コラムとに隣接する、仮想ウエル領域と、
ドレイン領域の中に電荷を流出させるために前記半導体層の中に配置された前記ドレイン領域と、
前記仮想ウエル領域と前記ドレイン領域との間の前記半導体層の中に配置された第２仮想障壁であって、それにより、前記少なくとも１個のメモリ・レジスタ・コラムへの電荷の流れが妨害される時、前記仮想ウエル領域の中の電荷が前記ドレイン領域の中へ溢れて流れる、前記第２仮想障壁と、を有する、前記フレーム転送電荷結合装置（ＣＣＤ）画像センサ。
【００６７】
（１２）  その上に配置された導電体によって多数キャリアが仮想ゲートに供給され、かつ、前記仮想ゲートおよび前記導電体のおのおのが導電的チャンネル阻止体領域と接触する、仮想位相画像センシング・アレイと、
フィールド・メモリと、
画像センシング・アレイと前記フィールド・メモリとの間に結合された複数個のアンチブルーミング・ドレインと、
前記フィールド・メモリに結合され、かつ、並列入力と、シリアル出力と、並列出力とを有する、シリアル・レジスタと、
前記シリアル・レジスタの前記並列出力に結合された電荷クリアリング・ドレインと、
を有する、フレーム・インタライン転送（ＦＩＴ）電荷結合装置（ＣＣＤ）画像センサ。
【００６８】
（１３）  第１２項に記載された画像センサにおいて、前記画像センシング・アレイが
少なくとも１個の暗基準コラムと、
前記複数個のアンチブルーミング・ドレインのインタフェース作用をする前記画像センシング・アレイの端部における少なくとも１個の暗ラインと、
をさらに有する、前記画像センサ。
【００６９】
（１４）  第１２項に記載された画像センサにおいて、前記シリアル・レジスタの前記シリアル出力に動作可能に結合された電荷変換増幅器をさらに有する、前記画像センサ。
【００７０】
（１５）  第１導電形の半導体基板を作成する段階と、
前記基板の中に第２導電形の埋め込みチャンネル領域を作成する段階と、
前記埋め込みチャンネル領域の表面に前記第１導電形の仮想ゲートを作成する段階と、
前記仮想ゲートの中に、かつ、前記埋め込みチャンネルと接触する、前記第１導電形の少なくとも１個のチャンネル阻止領域を注入する段階と、
前記少なくとも１個のチャンネル阻止体の上側表面に、かつ、前記基板と付加的に結合する、少なくとも１個の導電的接触体を作成する段階と、
を有する、仮想位相画像センサの製造法。
【００７１】
（１６）  第１５項に記載された製造法において、前記埋め込みチャンネル領域が連続体でない、前記製造法。
【００７２】
（１７）  第１５項に記載された製造法において、前記埋め込みチャンネル領域と前記仮想ゲートとの間の界面の近傍でさらに大きな濃度の不純物添加を行う前記埋め込みチャンネル領域の不純物添加段階をさらに有する、前記製造法。
【００７３】
（１８）  第１５項に記載された製造法において、少なくとも１個の導電的接触体を作成する前記段階が前記画像センサの周辺で結合するように前記基板を作成する段階をさらに有する、前記製造法。
【００７４】
（１９）  第１導電形の半導体基板を作成する段階と、
第２導電形の埋め込みチャンネル領域を作成する段階と、
前記埋め込みチャンネル領域の上にゲート絶縁体層を作成する段階と、
前記絶縁体層の上に少なくとも１個の導電的ゲート領域を選択的に作成する段階と、
前記少なくとも１個の導電的ゲートと前記ゲート絶縁体層との上に前記少なくとも１個の導電的ゲートの端部の一部分が露出するようにマスキング層を沈着する段階およびパターンに作成する段階と、
前記マスキング層パターンによって露出された領域内の前記埋め込みチャンネルの中に前記第１導電形の少なくとも１個のチャンネル阻止領域を注入する段階であって、その際、前記少なくとも１個のチャンネル阻止体領域の少なくとも１つの側辺が前記少なくとも１個の導電的ゲートの端部の前記一部分に自己整合している、前記注入段階と、
を有する、仮想位相画像センサの製造法。
【００７５】
（２０）  第１９項に記載された製造法において、前記少なくとも１個のチャンネル阻止体領域の上側表面に、前記基板に付加的に結合する、少なくとも１個の導電的接触体を作成する段階をさらに有する、前記製造法。
【００７６】
（２１）  第１９項に記載された製造法において、前記埋め込みチャンネル領域が連続体でない、前記製造法。
【００７７】
（２２）  第１９項に記載された製造法において、前記埋め込みチャンネル領域と前記仮想ゲートとの間の界面の近傍でさらに大きな濃度の不純物添加を行う前記埋め込みチャンネル領域の不純物添加段階をさらに有する、前記製造法。
【００７８】
（２３）  第２０項に記載された製造法において、少なくとも１個の導電的接触体を作成する前記段階が前記画像センサの周辺で結合するように前記基板を作成する段階をさらに有する、前記製造法。
【００７９】
（２４）  第１０項に記載されたＣＣＤにおいて、
前記第３高レベル・バイアスおよび前記第４高レベル・バイアスを加える前に、前記第１高レベル・バイアスおよび前記第２高レベル・バイアスを加えることが、前記ＣＣＤをクリアするのに効果的であり、
前記第１クロックド・ゲート電極に第５高レベル・バイアスを加えることおよび前記第２クロックド・ゲート電極に第６高レベル・バイアスを加えることが、前記ＣＣＤの中の滲み出た電荷をクリアするのに効果的であり、
少なくとも１つの前記第５高レベル・バイアスの代わりに少なくとも１つの前記第３高レベル・バイアスを加えること、および少なくとも１つの前記第６高レベル・バイアスの代わりに少なくとも１つの前記第４高レベル・バイアスを加えることが、前記電荷結合装置に対し可変シャッタ制御として効果的に作用する、前記ＣＣＤ。
【００８０】
（２５）  仮想位相画像センサが、全体的におよび本発明の１つの形式において、開示される。画像センサの上に配置された導電体３２により、多数キャリアが仮想ゲート２４に供給される。仮想ゲート２４と導電体３２のおのおのは、導電的チャンネル阻止領域３０と接触する。
その他の装置、およびその他の方法もまた開示される。
【００８１】
注意
（Ｃ）    著作権、“Ｍ”テキサス・インスツルメンツ・インコーポレイテッド、１９９１年。この特許書類の開示の一部分は、著作権およびマスク・ワーク保護の下にある資料を含んでいる。著作権およびマスク・ワーク所有権者は、特許および商標局が特許資料または特許記録を公表する時、何人による特許書類または特許開示の複写再生に対し異議はない。しかし、そうでない場合には、あらゆる著作権およびマスク・ワーク権が留保される。
【図面の簡単な説明】
【図１】先行技術によるＣＣＤ画像セルの横断面図。
【図２】本発明の好ましい第１実施例および第２実施例の製造段階の横断面図であって、ａ−ｅは製造の各段階の横断面図。
【図３】本発明を取り込んだ画像センサの画像センシング領域の一部分の平面図。
【図４】図３の線Ａ−Ａ′に沿っての横断面図。
【図５】図４の横断面に対応するチャンネル電位図。
【図６】本発明を取り込んだ画像センサの画像センシング領域と画像センサ・アレイのメモリ領域との間のインタフェース領域の一部分の平面図。
【図７】図６の線Ａ−Ａ′に沿っての横断面図。
【図８】図７の横断面に対応するチャンネル電位図。
【図９】図６の線Ａ−Ａ′に沿っての横断面図。
【図１０】図９の横断面に対応するチャンネル電位図。
【図１１】本発明を取り込んだ画像センサ・アレイのメモリ領域とクリアリング・ドレインの一部分の平面図。
【図１２】チャンネルの横断面図および対応するチャンネル電位図であって、ａは先行技術のチャンネル添加不純物分布の横断面図および対応するチャンネル電位図、ｂは本発明の画像センサ・アレイの中に用いられるチャンネル添加不純物分布の横断面図および対応するチャンネル電位図。
【図１３】本発明の画像センサ・アレイの中の電荷検出ノードの横断面図および対応するチャンネル電位図、および本発明の電荷変換増幅器の概要図。
【図１４】本発明を取り込んだ画像センサ・アレイの種々の部分の構成の概要ブロック線図。
【図１５】本発明を取り込んだ画像センサ・アレイを動作させるのに必要な種々のクロッキング信号を示すタイミング図。
【符号の説明】
２０  半導体基板
２２  埋め込みチャンネル層
２４  仮想ゲート層
３０  チャンネル阻止体領域
３２  導電体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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