(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法において、
上記電子部品を流れる電流測定値を、上記機械的振動の周期またはその整数倍の時間で積分することを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
【請求項２】
外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法において、
上記電子部品を流れる電流測定値を、上記機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分することを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
【請求項３】
外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法であって、上記機械的振動の周期が商用電源の周期の１／２以下であるものにおいて、
上記電子部品を流れる電流測定値を上記機械的振動の周期で積分する工程と、
上記積分開始点から商用電源の周期の１／２の時間後に、上記電子部品を流れる電流測定値を上記機械的振動の周期で積分する工程と、
上記２回の積分結果の平均を取る工程と、を有することを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
【請求項４】
外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法であって、上記商用電源の周期が機械的振動の周期の１／２以下であるものにおいて、
上記電子部品を流れる電流測定値を上記商用電源の周期で積分する工程と、
上記積分開始点から機械的振動の周期の１／２の時間後に、上記電子部品を流れる電流測定値を上記商用電源の周期で積分する工程と、
上記２回の積分結果の平均を取る工程と、を有することを特徴とする絶縁抵抗測定方法。
【請求項５】
外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定装置において、
上記電子部品に所定の測定電圧を印加する直流測定電源と、上記電子部品を流れた電流ｉが入力される電荷蓄積回路とを備え、
上記電荷蓄積回路は入力電流ｉを上記機械的振動の周期またはその整数倍の時間で積分して電圧出力Ｖｏを得るものであり、
上記出力Ｖｏを測定することで電子部品の絶縁抵抗を求めることを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【請求項６】
外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定装置において、
上記電子部品に所定の測定電圧を印加する直流測定電源と、上記電子部品を流れた電流ｉが入力される電荷蓄積回路とを備え、
上記電荷蓄積回路は入力電流ｉを上記機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分して電圧出力Ｖｏを得るものであり、
上記出力Ｖｏを測定することで電子部品の絶縁抵抗を求めることを特徴とする絶縁抵抗測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子部品の絶縁抵抗を測定する方法に関し、特に圧電効果を有する電子部品の特性検査設備で発生している機械的振動によるノイズの影響を除去する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、セラミックコンデンサのような電子部品の絶縁抵抗を測定する場合に、図１に示される電流電圧変換方式による測定回路が用いられている。Ｒｓは被検体である電子部品１の突入電流制限抵抗、Ｒｘは電子部品１の絶縁抵抗であり、ＲｓはＲｘに比べて十分に小さい。なお、セラミックコンデンサの場合、絶縁抵抗Ｒｘと容量との並列等価回路で表されるが、ここでは絶縁抵抗Ｒｘのみで簡略化した。２はオペアンプであり、帰還抵抗Ｒｆを持つ。オペアンプ２の出力Ｖ  ｏから電子部品１に流れる電流ｉを求め、さらに電源電圧Ｅと電流ｉとにより電子部品１の絶縁抵抗Ｒｘを次式により求める。
ｉ＝Ｖｏ／Ｒｆ
Ｒｘ＝Ｅ／ｉ
漏れ電流ｉは微小であるから、ノイズの影響を受けやすいが、制御がシンプルなことと、応答が速いことが特徴である。
【０００３】
また、図２に示すような電荷蓄積方式による絶縁抵抗測定回路も用いられている（例えば実開平５−６４７８２号公報参照）。この測定回路では、高入力インピーダンス増幅器であるオペアンプ２の反転入力端子と出力端子との間にスイッチＳＷと帰還容量Ｃｆとが並列に接続されている。スイッチＳＷをＯＮからＯＦＦへ切り替え、ｔ秒後の出力Ｖｏを測定する。ｔの値は、例えば０．１〜１０秒程度の所望値に設定される。次式により、出力Ｖｏから電子部品１に流れる電流ｉを求め、電源電圧Ｅと電流ｉとにより電子部品１の絶縁抵抗Ｒｘを求める。
ｉ＝Ｃｆ・Ｖｏ／ｔ
Ｒｘ＝Ｅ／ｉ
電荷蓄積回路は積分器の働きがあるので、これ自身で商用電源などのハムノイズの影響を低減できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
誘電体にＤＣ電圧を印加した状態で応力を加えると、圧電効果によって誘電体から応力に応じた電荷が発生する。一般に、電子部品の特性検査装置には、パーツフィーダ、モータ、ホッパー等、駆動によって機械的振動を発生するものが多く使用されており、これらの振動が電子部品に伝播することで、圧電効果によるノイズ電流が発生する。ところが、上記のように電子部品の絶縁抵抗を求めるために測定される漏れ電流ｉは微小であり、電子部品に機械的振動が加えられることで発生する圧電ノイズ電流が測定電流ｉに重畳し、測定誤差となるという問題がある。
【０００５】
前者の電流電圧変換方式による測定回路ではノイズの影響を除去できないことは勿論、後者の電荷蓄積方式による回路でも、上記のような圧電ノイズ電流による影響は除去できない。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、電子部品に加わる機械的振動による圧電ノイズの影響を除去し、電子部品の絶縁抵抗を高精度に測定できる絶縁抵抗測定方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法において、上記電子部品を流れる電流測定値を、上記機械的振動の周期またはその整数倍の時間で積分することを特徴とする絶縁抵抗測定方法を提供する。
請求項２に記載の発明は、外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法において、上記電子部品を流れる電流測定値を、上記機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分することを特徴とする絶縁抵抗測定方法を提供する。
請求項３に記載の発明は、外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法であって、上記機械的振動の周期が商用電源の周期の１／２以下であるものにおいて、上記電子部品を流れる電流測定値を上記機械的振動の周期で積分する工程と、上記積分開始点から商用電源の周期の１／２の時間後に、上記電子部品を流れる電流測定値を上記機械的振動の周期で積分する工程と、上記２回の積分結果の平均を取る工程と、を有することを特徴とする絶縁抵抗測定方法を提供する。
請求項４に記載の発明は、外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品に所定の測定電圧を印加し、この電子部品を流れる電流を測定することで、電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定方法であって、上記商用電源の周期が機械的振動の周期の１／２以下であるものにおいて、上記電子部品を流れる電流測定値を上記商用電源の周期で積分する工程と、上記積分開始点から機械的振動の周期の１／２の時間後に、上記電子部品を流れる電流測定値を上記商用電源の周期で積分する工程と、上記２回の積分結果の平均を取る工程と、を有することを特徴とする絶縁抵抗測定方法を提供する。
請求項５に記載の発明は、外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定装置において、上記電子部品に所定の測定電圧を印加する直流測定電源と、上記電子部品を流れた電流ｉが入力される電荷蓄積回路とを備え、上記電荷蓄積回路は入力電流ｉを上記機械的振動の周期またはその整数倍の時間で積分して電圧出力Ｖｏを得るものであり、上記出力Ｖｏを測定することで電子部品の絶縁抵抗を求めることを特徴とする絶縁抵抗測定装置を提供する。
さらに、請求項６に記載の発明は、外部から周期的な機械的振動を受ける部位に配置された電子部品の絶縁抵抗を求める絶縁抵抗測定装置において、上記電子部品に所定の測定電圧を印加する直流測定電源と、上記電子部品を流れた電流ｉが入力される電荷蓄積回路とを備え、上記電荷蓄積回路は入力電流ｉを上記機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分して電圧出力Ｖｏを得るものであり、上記出力Ｖｏを測定することで電子部品の絶縁抵抗を求めることを特徴とする絶縁抵抗測定装置を提供する。
【０００８】
電子部品に測定電圧を印加し、その電流を測定する。駆動機構などによる振動が電子部品に伝播することによって生じた圧電ノイズ電流は、駆動機構の振動周波数に応じた周期性を持っている。本来測定すべき漏れ電流と圧電ノイズ電流との重畳した電流が測定される。駆動機構の振動周波数を予め測定しておき、電子部品を流れる電流測定値を機械的振動の周期で積分する。これによって、圧電ノイズ電流は相殺され、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出すことができる。この電流値から絶縁抵抗を演算すれば、絶縁抵抗を高精度に検出できる。
なお、積分時間は、機械的振動の周期だけでなく、この周期の整数倍の時間で積分しても同様の結果が得られる。
この方法は、圧電ノイズに周期性があれば、ノイズ波形が歪んでいても使用できる。
【０００９】
電子部品に加わるノイズが１つの駆動機構による振動のみであれば、その機械的振動の周期で積分すれば、圧電ノイズ信号を効果的に除去できる。一方、複数の駆動機構の振動によるノイズが複合した場合には、それぞれの振動周期の最小公倍数の時間で積分すれば、複数の圧電ノイズ電流が同時に除去され、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出すことができる。例えば、第１の駆動機構の振動周波数が１２０Ｈｚ、第２の駆動機構の振動周波数が２４０Ｈｚである場合、最小公倍数の周期（１／１２０＝８．３ｍｓｅｃ）で積分すれば、２つの圧電ノイズ電流が同時に除去される。
【００１０】
電子部品に加わるノイズが駆動機構による機械的振動だけでなく、商用電源によるハムノイズが複合した場合には、請求項２のように、機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分すればよい。例えば、商用電源周波数が６０Ｈｚ、駆動機構の振動周波数が１２０Ｈｚである場合には、測定器には本来測定すべき漏れ電流の他に、商用電源によるハムノイズ電流と駆動機構による圧電ノイズ電流とが重畳して観測される。この重畳電流を、最小公倍数の周期である商用電源周期（１／６０＝１６．７ｍｓｅｃ）で積分すれば、ハムノイズ電流と圧電ノイズ電流とが同時に除去され、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出すことができる。
この方法は、圧電ノイズおよびハムノイズに周期性があれば、ノイズ波形が歪んでいても使用できる。
【００１１】
なお、駆動機構の振動周波数が商用電源周波数の整数倍または整数倍分の１となるように、予め駆動機構を製作しておくのがよい。このようにすれば、振動周期または商用電源の周期のうち、最も長い周期で積分すればよいので、積分時間が長くならずにすむ。
【００１２】
上記のように機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分すれば、両者のノイズを同時に除去できるが、積分時間が長くなる欠点がある。そこで、機械的振動の周期が商用電源の周期の１／２以下である場合には、請求項３の方法によってノイズを除去すれば、積分時間を短くできる。すなわち、最初に電流測定値を機械的振動の周期で積分する。その後、積分開始点から商用電源の周期の１／２の時間後に、再び電流測定値を機械的振動の周期で積分する。以上の２回の積分結果の平均を取ることで、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出すことができる。
この方法は、振動周波数が商用電源周波数より高い場合に適用可能であり、ハムノイズが歪みのない正常な正弦波である場合に効果を発揮する。
【００１３】
請求項３とは逆に、商用電源の周期が機械的振動の周期の１／２以下である場合には、請求項４の方法によってノイズを除去でき、かつ積分時間を短くできる。すなわち、まず最初に電流測定値を商用電源の周期で積分し、その積分開始点から機械的振動の周期の１／２の時間後に、電流測定値を商用電源の周期で再度積分する。そして、２回の積分結果の平均を取ることで、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出すことができる。
この方法は、商用電源周波数が振動周波数より高い場合に適用可能であり、圧電ノイズが歪みのない正常な正弦波である場合に効果を発揮する。
【００１４】
請求項５に記載の測定装置は、請求項１に記載の測定方法を電荷蓄積方式による回路で実現したものであり、請求項６に記載の測定装置は、請求項２に記載の測定方法を電荷蓄積方式による回路で実現したものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図３に本発明にかかる絶縁抵抗測定装置の一例を示す。
この絶縁抵抗測定装置は図２と同様な電荷蓄積方式による測定回路であり、１はセラミックコンデンサなどの誘電体を用いた電子部品、２は高入力インピーダンス増幅器であるオペアンプ、Ｃｆはオペアンプ２の反転入力端子と出力端子との間に接続された帰還容量、ＳＷは帰還容量Ｃｆと並列に接続されたスイッチである。上記オペアンプ２と帰還容量Ｃｆとによって電荷蓄積回路を構成しており、電子部品１に流れる電流ｉを積分して電圧出力Ｖｏを得るものである。Ｅは電源電圧、Ｒｓは電子部品１の突入電流制限抵抗、Ｒｘは電子部品１の絶縁抵抗であり、ＲｓはＲｘに比べて十分に小さい。
【００１６】
上記スイッチＳＷは制御装置３によってＯＮ／ＯＦＦ制御されており、制御装置３にはオペアンプ２の出力端子がＡ／Ｄコンバータ４を介して接続されている。制御装置３はスイッチＳＷをＯＮからＯＦＦへ切り替え、ｔ秒後の出力Ｖｏを測定する。そして、次式のように、出力Ｖｏから電子部品１に流れる電流ｉを求め、電源電圧Ｅと電流ｉとにより電子部品１の絶縁抵抗Ｒｘを求める。
ｉ＝Ｃｆ・Ｖｏ／ｔ              ・・・（１）
Ｒｘ＝Ｅ／ｉ                ・・・（２）
【００１７】
絶縁抵抗測定装置は、電子部品１の特性検査装置の一部として設けられており、パーツフィーダ、モータ、ホッパー等の機械的振動を発生する駆動機構の近傍に配置されている。そのため、電子部品１には機械的振動が伝播し、圧電効果によるノイズ電流が発生する。この圧電ノイズ電流が本来測定すべき電流ｉに重畳し、測定誤差となる。
【００１８】
図４の（ａ）は本来測定すべき電子部品１に流れる漏れ電流ｉ、（ｂ）は圧電ノイズ電流であり、駆動機構の振動周波数に応じた周期性を持っている。（ｃ）は漏れ電流ｉと圧電ノイズ電流とが重畳したものであり、この信号が観測される。駆動機構の振動周波数を２００Ｈｚとした場合、その周期は１／２００＝５ｍｓｅｃとなる。そこで、制御装置３は、スイッチＳＷをＯＮからＯＦＦへ切り替えて出力Ｖｏを測定するまでの時間ｔを、この周期に合わせて設定する。つまり、電子部品１を流れる電流を機械的振動の周期ｔｃ＝５ｍｓｅｃの時間だけ積分する。
このようにして求めた電流ｉは図４の（ｄ）のようになり、５ｍｓｅｃ間隔で求めることができる。これは、図４の（ａ）の電流ｉを５ｍｓｅｃ間隔でサンプリングしたものと同じとなり、圧電ノイズ電流の影響を全く受けない平滑な電流となる。したがって、この電流ｉを用いて（２）式のように絶縁抵抗Ｒｘを求めれば、絶縁抵抗値を高精度に測定できる。
【００１９】
なお、積分時間ｔを機械的振動の周期ｔｃとしてもよいが、周期ｔｃの整数倍としても同様の結果が得られる。積分時間をできるだけ短くするには、第１実施例のように積分時間＝機械的振動の周期とするのが望ましい。
【００２０】
図５に本発明にかかる絶縁抵抗測定方法の第２実施例を示す。
この実施例は、電子部品１に加わるノイズが駆動機構による機械的振動だけでなく、商用電源によるハムノイズが複合した場合である。この実施例で使用される測定装置は図３と同様のものである。
【００２１】
図５の（ａ）は本来測定すべき電子部品１に流れる漏れ電流、（ｂ）は第１の駆動機構（例えばパーツフィーダ）による圧電ノイズ電流、（ｃ）は第２の駆動機構（例えばモータ）による圧電ノイズ電流、（ｄ）は商用電源によるハムノイズ電流である。（ｅ）は漏れ電流と圧電ノイズ電流とハムノイズ電流とが重畳したものであり、この信号が観測される。
【００２２】
この場合には、スイッチＳＷをＯＮからＯＦＦへ切り替えて出力Ｖｏを測定するまでの時間ｔを、機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間に設定する。つまり、電子部品１を流れる電流を機械的振動の周期と商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分する。
【００２３】
例えば、第１の駆動機構の振動周波数が２４０Ｈｚ、第２の駆動機構の振動周波数が１２０Ｈｚ、商用電源の周波数が６０Ｈｚである場合には、それぞれの周期の最小勾配数は１／６０＝１６．７ｍｓｅｃであるから、スイッチＳＷをＯＮからＯＦＦへ切り替えてｔ＝１６．７ｍｓｅｃ後に出力Ｖｏを測定し、この出力Ｖｏから（１）式によって電流ｉを求める。
【００２４】
こうして求めた電流ｉは図５の（ｆ）のようになり、１６．７ｍｓｅｃ間隔で求めることができる。これは、図５の（ａ）の電流ｉを１６．７ｍｓｅｃ間隔でサンプリングしたものと同じとなり、圧電ノイズ電流やハムノイズ電流の影響を全く受けない平滑な電流となる。したがって、この電流ｉを用いて（２）式のように絶縁抵抗Ｒｘを求めれば、絶縁抵抗値を高精度に測定できる。
【００２５】
上記実施例のように、駆動機構の振動周波数が商用電源周波数の整数倍または整数倍分の１となるように、予め駆動機構を製作しておくのがよい。このようにすれば、振動周期または商用電源の周期のうち、最も長い周期で積分すればよいので、積分時間が長くならずにすむ。
【００２６】
図６は本発明にかかる絶縁抵抗測定方法の第３実施例を示す。
この実施例は、電子部品１に加わるノイズが駆動機構による機械的振動と商用電源によるハムノイズとが複合し、かつ機械的振動の周期が商用電源の周期の１／２以下である場合である。
【００２７】
図６の（ａ）は本来測定すべき電子部品１に流れる漏れ電流、（ｂ）は駆動機構による圧電ノイズ電流、（ｃ）は商用電源によるハムノイズ電流である。（ｄ）は漏れ電流と圧電ノイズ電流とハムノイズ電流とが重畳したものであり、この信号が観測される。
第２実施例のように、機械的振動の周期と商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分してもよいが、これでは積分時間が長くなる。例えば、商用電源周波数を６０Ｈｚ、機械的振動周波数を２００Ｈｚとすると、積分時間は８３．５ｍｓｅｃになる。
これに対し、この実施例では、最初に電流測定値を短い方の周期（機械的振動の周期）で積分する。その後、積分開始点から長い方の周期（商用電源の周期）の１／２の時間後に、再び電流測定値を短い方の周期（機械的振動の周期）で積分する。以上の２回の積分結果の平均を取ることで、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出す。
【００２８】
例えば、商用電源周波数を６０Ｈｚ、機械的振動周波数を２００Ｈｚとすると、最初に電流測定値を機械的振動の周期（１／２００＝５ｍｓｅｃ）で積分し、１回目の積分開始から商用電源の周期の１／２の時間（１／６０×２＝８．３ｍｓｅｃ）後に、再度機械的振動の周期（１／２００＝５ｍｓｅｃ）で積分する。これら２回の積分結果の平均をとれば、ノイズ成分が相殺されて０となるので、図６の（ｅ）のように測定すべき漏れ電流だけを５＋８．３＝１３．３（ｍｓｅ  ｃ）おきに検出できる。つまり、図６の（ａ）の電流を１３．３ｍｓｅｃ間隔でサンプリングしたものと同じとなる。
この方法であれば、積分時間が１３．３ｍｓｅｃで済み、最小公倍数の時間（８３．５ｍｓｅｃ）に比べて大幅に短縮できる。
【００２９】
第３実施例は、電子部品１に加わるノイズが駆動機構による機械的振動と商用電源によるハムノイズとが複合し、かつ機械的振動の周期が商用電源の周期の１／２以下である場合であるが、これとは逆に、商用電源の周期が機械的振動の周期の１／２以下である場合には、上記と逆の測定を行なえばよい。
すなわち、最初に電流測定値を商用電源の周期で積分し、その後、積分開始点から機械的振動の周期の１／２の時間後に、再び電流測定値を商用電源の周期で積分する。以上の２回の積分結果の平均を取ることで、本来測定すべき漏れ電流だけを取り出す。
【００３０】
本発明が適用可能な電子部品としては、セラミックコンデンサに限るものではなく、圧電効果を有する電子部品であれば、適用可能である。
【００３１】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、電子部品を流れる電流測定値を機械的振動の周期またはその整数倍で積分し、機械的振動が電子部品に伝播することによって発生する圧電ノイズの影響を低減するようにしたので、絶縁抵抗を高精度に求めることができる。
また、電子部品に機械的振動による圧電ノイズと商用電源によるハムノイズとが複合して加わった場合には、請求項２のように、機械的振動の周期及び商用電源の周期の最小公倍数の時間で積分することで、これらノイズの影響を低減し、絶縁抵抗を高精度に求めることができる。
さらに、機械的振動による圧電ノイズと商用電源によるハムノイズとが複合して加わった場合であって、機械的振動の周期が商用電源の周期の１／２以下である場合には、請求項３のように、電流を機械的振動の周期で積分し、積分開始点から商用電源の周期の１／２の時間後に電流を機械的振動の周期で再度積分し、これら２回の積分結果の平均を取ればよい。逆に、商用電源の周期が機械的振動の周期の１／２以下である場合には、請求項４のように、電流を商用電源の周期で積分し、積分開始点から機械的振動の周期の１／２の時間後に電流を商用電源の周期で再度積分し、これら２回の積分結果の平均を取ればよい。これにより、ノイズの影響を低減し、絶縁抵抗を高精度に求めることができるとともに、積分時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の絶縁抵抗測定装置の一例の回路図である。
【図２】従来の絶縁抵抗測定装置の他の例の回路図である。
【図３】本発明の絶縁抵抗測定装置の一例の回路図である。
【図４】本発明にかかる絶縁抵抗測定方法の第１実施例を示す電流波形図である。
【図５】本発明にかかる絶縁抵抗測定方法の第２実施例を示す電流波形図である。
【図６】本発明にかかる絶縁抵抗測定方法の第３実施例を示す電流波形図である。
【符号の説明】
１                被測定電子部品
２                                高入力インピーダンス増幅器
３                制御装置
Ｃｆ              帰還容量
ＳＷ              スイッチ
Ｅ                直流電源
【図１】
0003548887.tif 000002
【図２】
0003548887.tif 000003
【図３】
0003548887.tif 000004
【図４】
0003548887.tif 000005
【図５】
0003548887.tif 000006
【図６】
0003548887.tif 000007