(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の寸法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器の検査方法であって、
第１のマスターを用いて測定を行う第１の測定工程と、前記第１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増加するような第２のマスターを用いて測定を行う第２の測定工程とが連続的に行われる計測工程を、所定の時間をおいて繰り返し行い、
前記第１の測定工程から前記第２の測定工程へ移行した際の前記突出量の増加量が、各計測工程にて変化した際に、この変化量に基づき前記付勢部材の状態を判断することを特徴とした測定器の検査方法。
【請求項２】
被測定物の寸法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器の検査装置であって、
第１のマスターを用いて測定を行う第１の前測定と、該第１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増加するような第２のマスターを用いて測定を行う第２の前測定とが連続的に行われた際に、前記第１及び第２の前測定の間における前記突出量の増加量を記憶する記憶手段と、
所定時間経過後に、前記第１のマスターを用いて測定を行う第１の後測定と、前記第２のマスターを用いて測定を行う第２の後測定とが連続的に行われた際に、前記第１及び第２の後測定の間における前記突出量の増加量と、前記記憶手段に記憶された増加量と比較する比較手段と、
該比較手段にて、前記記憶手段に記憶された増加量と所定時間後に計測された増加量とが一致していない場合には、両増加量の差に基づき、これを示す報知信号を出力する出力手段と、
を備えたことを特徴とした測定器の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物の寸法を測定する測定器の検査を行う測定器の検査方法、及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、エンジンのボアー径を測定する際には、図６に示すように、測定器としての測定ヘッド８１が用いられている。該測定ヘッド８１は、円柱状の首部８２、及び該首部８２の下端に設けられた頭部８３からなり、該頭部８３には、検出器としての４つの電気マイクロメータ８４，・・・が設けられている。
【０００３】
該電気マイクロメータ８４は、図７に示すように、検出器本体８５と、該検出器本体８５より突出する測定子８６とからなり、該測定子８６に連設されたスピンドル８７中央には、コア８８が設けられている。前記検出器本体８５には、前記コア８８を包囲する１次コイル８９及び２次コイル９０，９０からなる検出手段としての差動変圧器９１が設けられており、この差動変圧器９１は、前記コア８８の変位量を電気信号に変換し、検出器本体８５の基端より延出したケーブル９２を介して出力するように構成されている。
【０００４】
前記スピンドル８７には、前記測定子８６側の先端部にストッパー９３が設けられており、基端部にはナット９４が設けられている。前記ストッパー９３には、縁部が検出器本体８５に固定されたダイヤフラム９５が設けられており、このダイヤフラム９５の先端側には気室９６が形成されている。該気室９６は、連通路９７を介して検出器本体８５の基端に設けられたパイプ９８に連通しており、加圧されたリトラクトエアーが、前記パイプ９８、前記連通路９７を介して前記気室９６内へ送り込まれた際に、このリトラクトエアーの圧力により前記測定子８６を後退させるような反付勢手段が形成されている。また、前記スピンドル８７の先端側及び基端側には、縁部が検出器本体８５に固定された付勢部材としてのリーフスプリング９９，９９が各々設けられており、これらによって、スピンドル８７は、先端方向に向けて付勢されている。
【０００５】
前記各リーフスプリング９９，９９は、同一形状であり、図８に示すように、０．１５ｍｍ厚の円板状の部材によって形成されている。このリーフスプリング９９には、前記スピンドル８７が貫通する円形の貫通穴１００が中央に開設されており、該貫通穴１００を中心とする同心円上には、互いに向き合う円弧状の第１及び第２のスリット１０１，１０２、第３及び第４のスリット１０３，１０４、第５及び第６のスリット１０５，１０６が互い違いに等間隔をおいて順次形成されている。前記第１及び第２のスリット１０１，１０２と、前記第５及び第６のスリット１０５，１０６は、リーフスプリング９９を中央より上下及び左右に分けるＸ軸１０７及びＹ軸１０８を想定した際に、Ｙ軸１０８を挟み対称に形成されており、前記第３及び第４のスリット１０３，１０４は、前記Ｘ軸１０７を挟み対称に形成されている。これによって、前記スピンドル８７は、上下方向に移動した際の左右方向へのずれが防止されるように構成されている。
【０００６】
前記測定ヘッド８１を製造ラインにて使用する際には、所定時間ごとに検査及び調整が行われる。すなわち、前記パイプ９８より前記気室９６内にリトラクトエアーを送り込み、この圧力により測定子８６を後退させる。そして、図５に示したように、基準径Ｃを有したゼロマスター１０９に挿入した後、前記リトラクトエアーを減圧する。この状態で、前記差動変圧器９１の出力が”０”となるように調整し、使用環境などによる基準値のずれを排除できるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記測定ヘッド８１にて測定を１０万〜４０万回繰り返すと、電気マイクロメータ８４のリーフスプリング９９が金属疲労を起こし、破損してしまうことがある。この場合には、差動変圧器９１の出力が”０”から大幅にずれるため、前述した検査方法により、これを発見することができるが、一方のリーフスプリング９９のみが破損している場合や、両リーフスプリング９９，９９が劣化して付勢力が低下している場合には、これを発見することが困難となる。この場合、測定ヘッド８１から全ての電気マイクロメータ８４，・・・を取り出した後、この各電気マイクロメータ８４，・・・を分解しなければならず、発見に至るまで時間を要してしまう。また、破損や劣化を発見した場合においても、修理に時間を要するため、製造ラインの停止時間が長くなり、生産性が悪化してしまう。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、測定器の異常の発見を容易に行うことができる測定器の検査方法、及び検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の測定器の検査方法においては、被測定物の寸法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器の検査方法であって、第１のマスターを用いて測定を行う第１の測定工程と、前記第１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増加するような第２のマスターを用いて測定を行う第２の測定工程とが連続的に行われる計測工程を、所定の時間をおいて繰り返し行い、前記第１の測定工程から前記第２の測定工程へ移行した際の前記突出量の増加量が、各計測工程にて変化した際に、この変化量に基づき前記付勢部材の状態を判断する。
【００１０】
すなわち、第１のマスターによる第１の測定工程と、第２のマスターによる第２の測定工程とを連続的に行い、前記第１の測定工程から前記第２の測定工程へ移行した際の測定器における測定子の増加量を、１回目の計測結果とする。そして、所定時間経過後に、第１の工程と第２の工程とを連続的に行い、このときの第１の測定工程から第２の測定工程へ移行した際の測定子の増加量を、２回目の計測結果とするとともに、前記１回目の計測結果と比較する。
【００１１】
このとき、前記測定子を付勢する付勢部材が正常であり、その付勢力が変化しない場合には、前記測定子の突出量は、１回目の計測と２回目の計測とにおいて一致するので、両測定結果は同じ値となる。また、付勢部材が破損あるいは劣化し、２回目の測定の際に、その付勢力が低下している場合には、前記測定子の突出量は１回目の測定と比較して少なくなる。このため、２回目の計測結果は１回目の計測結果と比較して小さな値となる。このように、１回目の計測結果と２回目の計測結果との変化を測定することで、両計測結果の変化量に基づき、付勢部材の経時的な変化が判断される。
【００１２】
また、本発明の検査装置は、被測定物の寸法を測定する際に、付勢部材により付勢された測定子を前記被測定物の壁面に当接し、前記測定子の突出量から前記寸法を測定する測定器の検査装置であって、第１のマスターを用いて測定を行う第１の前測定と、該第１のマスターを測定した状態の前記測定子の突出量が増加するような第２のマスターを用いて測定を行う第２の前測定とが連続的に行われた際に、前記第１及び第２の前測定の間における前記突出量の増加量を記憶する記憶手段と、所定時間経過後に、前記第１のマスターを用いて測定を行う第１の後測定と、前記第２のマスターを用いて測定を行う第２の後測定とが連続的に行われた際に、前記第１及び第２の後測定の間における前記突出量の増加量と、前記記憶手段に記憶された増加量と比較する比較手段と、該比較手段にて、前記記憶手段に記憶された増加量と所定時間後に計測された増加量とが一致していない場合には、両増加量の差に基づき、これを示す報知信号を出力する出力手段と、を備えている。
【００１３】
この検査装置にて測定器の検査を行う際には、第１のマスターによる第１の前測定と、第２のマスターによる第２の前測定とが連続的に行われる１回目の計測の際に、前記第１及び第２の前測定の間における前記測定子の増加量が記憶手段に記憶される。そして、所定時間経過後に２回目の計測が行われた際には、詳しくは、前記第１のマスターによる第１の後測定と、前記第２のマスターによる第２の後測定とが連続的に行われた際には、前記第１及び第２の後測定の間における前記測定子の増加量と、前記記憶手段に記憶された増加量が比較手段により比較される。
【００１４】
このとき、前記測定子を付勢する付勢部材が正常であり、その付勢力が変化しない場合には、前記測定子の突出量は、１回目の計測と２回目の計測とにおいて一致するので、２回目に計測された増加量と１回目に計測計測された増加量とは同じ値となる。また、付勢部材が破損あるいは劣化し、２回目の測定の際に、その付勢力が低下している場合には、前記測定子の突出量は１回目と比較して少なくなるので、２回目の増加量は１回目の増加量より小さな値となる。このように、１回目の増加量と２回目の増加量との変化を比較することで、この変化量に基づき、付勢部材の経時的な変化が判断されるとともに、これを示す報知信号が出力手段より出力される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面にしたがって説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる検査装置１を示すブロック図である。該検査装置１は、製造されたエンジンのボアー径を測定する際の制御を行うシーケンサーに接続されるものであり、図示しない前記シーケンサーに接続された制御装置２と、該制御装置２に接続されたエア回路３とにより構成されている。
【００１６】
この検査装置１には、従来例の図６〜図８に示したように、前記ボアー径を測定する測定ヘッド（測定器）８１に組み込まれた電気マイクロメータ８４（検出器），・・・が接続されている。該電気マイクロメータ８４は、検出器本体８５と、該検出器本体８５より突出する測定子８６とからなり、該測定子８６に連設されたスピンドル８７は、付勢部材としてのリーフスプリング９９，９９により、先端方向に向けて付勢されている。前記スピンドル８７に中央には、コア８８が設けられており、前記検出器本体８５には、このコア８８を包囲する１次コイル８９及び２次コイル９０，９０からなる検出手段としての差動変圧器９１が設けられている。この差動変圧器９１は、コア８８の変位量、すなわち、前記測定子８６の突出量を電気信号に変換するとともに、この電気信号を、検出器本体８５より延出したケーブル９２を介して、検査装置１の前記制御装置２へ出力するように構成されている。
【００１７】
また、前記スピンドル８７の先端には、縁部が検出器本体８５に固定されたダイヤフラム９５が設けられており、このダイヤフラム９５の先端側には気室９６が形成されている。該気室９６は、検出器本体８５に形成された連通路９７を介して基端に設けられたパイプ９８に連通しており、該パイプ９８は、検査装置１の前記エア回路３に接続されている。
【００１８】
前記制御装置２は、ＣＰＵ４、ＲＯＭ５、ＲＡＭ６、及び制御回路７を備えており、前記ＣＰＵ４は、前記ＲＯＭ５の内容に従って動作するように構成されている。また、前記ＣＰＵ４は、作動中における記憶内容を前記ＲＡＭ６に随時読み書きできるように構成されている。
【００１９】
前記エア回路３には、エアポンプ８より送られて来るリトラクトエアを２回路に分岐する分岐点９が設けられており、一方の回路を形成する高圧供給回路１０には、送られて来るエアの圧力を減圧する第１のレギュレータ１１と、該第１のレギュレータ１１より送られて来るエアの通流を、前記制御装置２からの駆動信号を受けて開閉する第１の電磁弁１２とが設けられている。また、他方の回路を形成する供給手段としての低圧供給回路１３には、送られて来るエアの通流を、前記制御装置２からの駆動信号を受けて開閉する第２の電磁弁１４と、該第２の電磁弁１４から送られて来るエアを減圧する第２のレギュレータ１５が設けられており、前記高圧供給回路１０と合流した後、前記電気マイクロメータ８４に接続されている。
【００２０】
前記第１のレギュレター１１は、通流するエアの圧力を１．５〜２．０Ｋｇ／ｃｍに減圧するように設定されており、このエアが前記電気マイクロメータ８４に送られた際に、正常状態にある前記両リーフスプリング９９，９９の付勢力に抗して、前記測定子８６を後退させることができるように構成されている。これにより、前記測定ヘッド８１にてエンジンのボアー径を測定する際には、前記第１の電磁弁１２を開作動させて電気マイクロメータ８４の測定子８６を後退させることにより、測定ヘッド８１のボアーへの挿入が容易に行えるように構成されている。
【００２１】
また、前記第２のレギュレター１５は、通流するエアの圧力を０．５〜０．７Ｋｇ／ｃｍに減圧するように設定されており、前記両リーフスプリング９９，９９が正常状態にある場合には、このエアが前記電気マイクロメータ８４に送られた場合であっても、前記測定子８６を後退させることができないように構成されている。一方、前記両リーフスプリング９９，９９が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労により破損し、その付勢力が低下している場合には、この付勢力に抗して、前記測定子８６を後退させることができるように構成されている。
【００２２】
このように構成された検査装置１は、図２に示すように、ゼロマスター１６と、該ゼロマスター１６に積層された感度マスター１７とからなる機付マスター１８を用いて検査を行うように構成されている。前記ゼロマスター１６の内径寸法は、測定ヘッド８１にて測定を行うボアー径の設計値と一致する基準寸法Ａに設定されており、前記感度マスター１７の内径寸法は、前記設計値に許容誤差量を加えた寸法よりやや大きめの大径寸法Ｂに設定されている。
【００２３】
以上の構成からなる本実施の形態における具体的な動作を、図３に示すフローチャートにしたがって説明する。なお、制御装置２のＲＯＭ６には、製造ライン上を搬送されるエンジンのボアー径を測定する際の制御プログラムと、検査装置１を制御する自動運転処理のプログラムとが組み込まれており、この自動運転処理ルーチンは、メインルーチンより１時間おきに呼び出されるように構成されている。
【００２４】
すなわち、自動運転処理が呼び出されるた際には、始めに、圧力検査処理が行われる（Ｓ１）。この圧力検査処理は、図４に示すように、測定ヘッド８１の各電気マイクロメータ８４，・・・における差動変圧器９１の出力、すなわち、測定子８６の突出量を入力するとともに、この突出量をＲＡＭに記憶し（Ｓ２）、次のステップＳ３で低圧供給回路１３の第２の電磁弁１４に、駆動信号を出力して開作動させ、０．５〜０．７Ｋｇ／ｃｍに設定されたリトラクトエアを各電気マイクロメータ８４，・・・へ出力する。そして、各電気マイクロメータ８４，・・・の測定子８６の突出量を入力した後（Ｓ４）、この突出量と、前記ＲＡＭに記憶された突出量とを比較して、低圧供給回路１３がリトラクトエアを出力する以前と以後とにおいて、突出量に変化が生じたか否かを判断する（Ｓ５）。
【００２５】
このとき、電気マイクロメータ８４の測定子８６を付勢する両リーフスプリング９９，９９が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労により破損し、その付勢力が低下している場合には、前記低圧供給回路１３より供給されたリトラクトエアによって前記測定子８６は後退するので、前記ステップＳ５にて、突出量に変化が生じたと判断され（ＹＥＳ）、この場合には、次のステップＳ６で、この変化量が３μｍを越えているか否かが判断される。前記変化量が３μｍを超えていない、つまり正常動作の範囲内である場合には（ＹＥＳ）、リーフスプリング９９が劣化しつつあることを示す予知信号をシーケンサーに出力して（Ｓ７）、次のステップＳ８へ進む一方、前記変化量が３μｍを超えていた、すなわち正常動作の範囲外である場合には（ＮＯ）、ステップＳ９に分岐して故障信号をシーケンサーに出力し、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。
【００２６】
また、前記両リーフスプリング９９，９９が正常状態にある場合には、前記低圧供給回路１３より、前記リトラクトエアが供給された場合であっても、前記測定子８６が動くことはないので、前記ステップＳ５にて、突出量に変化が生じないと判断され（ＮＯ）、前記ステップＳ８へ分岐する。
【００２７】
このステップＳ８では、高圧供給回路１０の第１の電磁弁１２に、駆動信号を出力して開作動させ、１．５〜２．０Ｋｇ／ｃｍに設定されたリトラクトエアを各電気マイクロメータ８４，・・・へ出力する。そして、各電気マイクロメータ８４，・・・の測定子８６の突出量を入力した後（Ｓ１０）、この突出量と、前記ＲＡＭに記憶された突出量とを比較して、高圧供給回路１０がリトラクトエアを出力する以前と以後とにおいて、突出量に変化が生じたか否かを判断する（Ｓ１１）。
【００２８】
このとき、前記両リーフスプリング９９，９９が正常である場合には、前記高圧供給回路１０からのリトラクトエアの圧力により、前記測定子８６は後退するので、前記ステップＳ１１にて、突出量に変化が生じたと判断され（ＹＥＳ）、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。また、突出量が変化してない、つまり測定子８６が後退しない場合には（ＮＯ）、何らかの故障が発生しているので、前記ステップＳ９に分岐して、故障信号をシーケンサーに出力した後、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。
【００２９】
そして、この自動運転処理ルーチンでは、ステップＳ１２にて、故障信号の出力の有無が判断され、故障信号が出力されている場合、すなわち、電気マイクロメータ８６に故障が発生している場合には（ＮＯ）、メインルーチンへ戻る。また、故障が発生していない場合には（ＹＥＳ）、マスター測定処理（Ｓ１３）を実行する。
【００３０】
該マスター測定処理では、図５に示すように、ステップＳ１４にて、前記圧力検査処理にて測定子８６が後退された測定ヘッド８４を、機付マスター１８に挿入し、ゼロマスター１６にセットする（図２参照）。そして、電気マイクロメータ８６に送られたリトラクトエアの圧力を減圧して各測定子８６，・・・をゼロマスター１６の内壁面に当接させ（Ｓ１５）、これら測定子８６，・・・の突出量、すなわち、差動変圧器９１，・・・の出力が”０”となるように各々調整する（Ｓ１６）。このように、１時間ごとに、”０”調整を行うことで、経時的な使用環境などの変化に伴う、基準値のずれを排除することができる。
【００３１】
次に、測定ヘッド８４を感度マスター１７にセットして（Ｓ１７）、このときの測定子８６の突出量から感度位置を演算した後（Ｓ１８）、ＲＡＭに感度位置が記憶されているか否かを判断する（Ｓ１９）。１回目の判断においては、前記ＲＡＭには、感度位置が記憶されていないので（ＮＯ）、ステップＳ２０へ分岐して演算した感度位置をＲＡＭに記憶し、前記自動運転処理へ戻る。一方、２回目の判断、つまり１時間後にこのステップ１９を通過する際には、前記ＲＡＭには、１時間前に測定された突出量から演算された感度位置が記憶されているので（ＹＥＳ）、次のステップＳ２１に進み、前記ＲＡＭに記憶された１時間前の感度位置と、現時点における突出量から演算した感度位置とを比較する。
【００３２】
このとき、前記両リーフスプリング９９，９９が正常であり、その付勢力が１時間前と比較して変化しない場合には、ゼロマスター１６を測定した際の前記測定子８６の突出量から感度マスター１８を測定した際の前記測定子８６の突出量までの増加量は、１時間前と現在とにおいて一致するので、前記”０”調整を行うことによって基準値のずれが各々排除された前記ＲＡＭに記憶された感度位置と現在の感度位置とは同じ値となる。したがって、前記ステップＳ２１での比較においては、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＝（現在の感度位置）となり（ＮＯ）、前記ステップＳ２０に分岐して演算した感度位置をＲＡＭに記憶し、前記自動運転処理へ戻る。
【００３３】
また、前記両リーフスプリング９９，９９が劣化、あるいは、一方のリーフスプリング９９が金属疲労により破損し、その付勢力が１時間前と比較して低下している場合には、ゼロマスター１６から感度マスター１８へ移行した際の現在における測定子８６の増加量は、１時間前と比較して小さくなるので、前記ステップＳ２１の判断にて、（ＲＡＭに記憶された感度位置）＞（現在の感度位置）となり（ＹＥＳ）、次のステップＳ２２にて、この差が４μｍ以上ずれているか否かが判断される。前記差が４μｍ未満、つまり測定器の誤差範囲内である場合には（ＹＥＳ）、前記ステップＳ２０にて、演算した感度位置をＲＡＭに記憶して、前記自動運転処理へ戻る一方、前記差が４μｍ以上の場合、すなわち測定器の誤差範囲を超えている場合には（ＮＯ）、リーフスプリング９９，９９が劣化しているか、あるいは、前記両マスター１６，１７のいずれかにごみ等が付着しているか、等を示す予知信号をシーケンサーに出力して（Ｓ２３）、前記自動運転処理ルーチンへ戻る。なお、前記差が大幅に（例えば１０μｍ以上）ずれている場合には、故障信号をシーケンサーに出力するようにしても良い。
【００３４】
このように、故障信号、または予知信号をシーケンサーに出力することにより、リーフスプリング９９，９９の破損のみならず、リーフスプリング９９，９９の劣化状態等を伝達することができるので、シーケンサーは、これらを容易に認識することができる。したがって、一方のリーフスプリング９９が破損している場合や、一方のリーフスプリング９９の付勢力が低下している場合であっても、測定ヘッド８１と、該測定ヘッド８１に組み込まれた電気マイクロメータ８４，・・・を分解することなく、これを発見することができる。
【００３５】
また、ＲＡＭが記憶する１時間前の感度位置と現在の感度位置とを比較することにより、リーフスプリング９９，９９の経時的な劣化を検査することができる。これにより、この劣化の度合を判断してリーフスプリング９９，９９の破損時期を予測することができ、破損する前に新しい測定ヘッド８１、あるいは、新しい電気マイクロメータ８４，・・・を発注しておけば、電気マイクロメータ８４，・・・の故障による製造ラインの長時間にわたる停止を未然に防止することができる。
【００３６】
なお、本実施の形態においては、エンジンのボアー径を測定する電気マイクロメータ８４を備えた測定ヘッド８１の検査方法について説明したが、例えば、被測定物を包囲するように電気マイクロメータが配置された外形寸法を測定する測定器の場合には、第１のマスターと、該第１のマスタより小径の第２のマスターとを用いて検査することができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、ＲＡＭに記憶される感度位置を１時間おきに更新するとともに、１時間前の感度位置と現在の感度位置とを比較する方法について説明したが、例えば、ボアー径の測定を開始する際の感度位置をＲＡＭに記憶し、この感度位置と、これ以後に１時間毎に測定される各感度位置とを比較しても良い。
【００３８】
さらに、本実施の形態にあっては、自動運転処理にて、電気マイクロメータ８４に低圧のリトラクトエアを供給する圧力検査処理と、各マスター１６，１７を用いて測定を行うマスター測定処理とを行い、電気マイクロメータ８４のリーフスプリング９９，９９の異常を、より正確に検査したが、前記マスター測定処理のみにより検査を行っても良い。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の測定器の検査方法においては、第１の測定工程と第２の測定工程とが連続的に行われる計測工程を、所定時間毎に繰り返すとともに、各計測工程における測定器の測定子の増加量を計測し、これらの計測結果が変化した際には、この変化量に基づき、前記付勢部材の経時的な変化を判断することができる。つまり、前記変化量が測定器の誤差範囲内にある場合には、付勢部材が劣化した、また、前記変化量が測定器の誤差範囲を大幅に超える場合には、付勢部材が破損した等の判断をすることができるので、付勢部材が破損した場合のみならず、付勢部材が劣化して付勢力が低下した場合であっても、これを容易に発見することができる。
【００４０】
したがって、複数の付勢部材により測定子が付勢された測定器を検査する際に、１つの付勢部材が破損している場合や、１つの付勢部材の付勢力が低下している場合であっても、測定器を分解することなく、これを発見することができる。また、測定器が製造ラインで使用されている場合には、付勢部材が破損する前に、付勢部材の劣化による異常を発見することができるので、劣化の度合によって新しい測定器を発注することにより、測定器の故障による製造ラインの長時間にわたる停止を未然に防止することができる。
【００４１】
また、本発明の検査装置にあっては、記憶手段が記憶する１回目に測定された増加量と、２回目に測定された増加量とを比較手段が比較し、両増加量の差に基づき、付勢部材の経時的な変化が判断されるとともに、これを示す報知信号が出力手段より出力される。例えば、両増加量の差が、測定器の誤差範囲内である場合には、付勢部材が劣化したことを示す報知信号が、また、両増加量の差が測定器の誤差範囲を大幅に超える場合には、付勢部材が破損したことを示す報知信号が出力手段より出力される。これにより、前述と同様に、付勢部材が破損して付勢力が無くなった場合のみならず、付勢部材が劣化して付勢力が低下した場合であっても、これ容易に発見することができる。
【００４２】
したがって、複数の付勢部材により測定子が付勢された測定器を検査する際に、１つの付勢部材が破損している場合や、１つの付勢部材の付勢力が低下している場合であっても、測定器を分解することなく、これを発見することができる。また、測定器が製造ラインで使用されている場合には、付勢部材が破損する前に、付勢部材の劣化による異常を発見することができるので、劣化の度合によって新しい測定器を発注することにより、測定器の故障による製造ラインの長時間にわたる停止を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示すブロック図である。
【図２】同実施の形態における検査の様子を示す一部断面図である。
【図３】同実施の形態における動作を示すフローチャートである。
【図４】同実施の形態の圧力検査処理を示すフローチャートである。
【図５】同実施の形態のマスター測定処理を示すフローチャートである。
【図６】従来の検査方法を示す側面図である。
【図７】従来例及び本実施の形態の電気マイクロメータを示す断面図である。
【図８】従来例及び本実施の形態のリーフスプリングを示す平面図である。
【符号の説明】
１    検査装置
２    制御装置
４    ＣＰＵ
５    ＲＯＭ
６    ＲＡＭ
７    制御回路
１３    低圧供給回路（供給手段）
１６    ゼロマスター（第１のマスター）
１７    感度マスター（第２のマスター）
８１    測定ヘッド（測定器）
８４    電気マイクロメータ（検出器）
８６    測定子
９１    差動変圧器（検出手段）
９９    リーフスプリング（付勢部材）
Ａ    基準寸法
Ｃ    大径寸法
【図１】
0003585619.tif 000002
【図２】
0003585619.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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