(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の複数の電極部と基板の一方の面に形成された導電性部とを電気的に接続する装置であって、
それぞれが前記電極部と前記導電性部とを電気的に接続する複数のプローブと、該プローブを前記基板に並列的に組み付ける組み付け装置とを含み、
各プローブは、弧状に湾曲された変形部と、該変形部の一端部に続く針先部であって被検査体の電極部に押圧される先端を有する針先部と、前記変形部の他端部に続く針後部とを備えるブレードタイプのプローブであり、
前記組み付け装置は、前記プローブの配列方向へ伸びる凹所であって前記プローブの後退を防止する前向きの後退防止部及び前記後退防止部に向く弧状の内面を有する凹所と、前記変形部又は前記針後部の少なくとも一部を前記導電性部に接触させるべく、前記内面と前記変形部と前記後端部とに接触する弾性変形可能の針押え部とを有し、
前記プローブは、さらに、前記後退防止部に接触された後端面を備える、電気的接続装置。
【請求項２】
各プローブは、ほぼ、弧状、Ｊ字状又はＵ字状の形状を有する、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記プローブは、少なくとも前記電極部が針先に押圧されたとき前記導電性部に接触する弧状に伸びる外側部位を有する、請求項１又は２に記載の接続装置。
【請求項４】
前記導電性部への前記外側部位の接触部は前記被検査体による押圧力が大きくなるほど前記針先側に変化する、請求項３に記載の接続装置。
【請求項５】
前記組み付け装置は、前記基板に組み付けられた１以上のカバーであって前記凹所を有すると共に前記凹所が前記基板の側に開放するカバーと、前記凹所に受け入れられた１以上の針押えであって前記針押え部を有する、前記プローブの配列方向へ伸びる針押えとを備える、請求項１から４のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項６】
前記カバーは、さらに、前記針押えの長手方向に間隔をおいた複数のスロットであって前記基板の側及び前記被検査体の側に開放すると共に前記凹所に連通する複数のスロットを備え、
各プローブの針先部は前記スロットを貫通してその針先を前記スロットの外に突出させている、請求項５に記載の接続装置。
【請求項７】
前記カバーは、さらに、前記基板の側に開放すると共に前記凹所に連通する複数のスロットであって前記針押えの長手方向に間隔をおいた複数のスロットを備え、各プローブは少なくとも前記変形部の一部を前記スロットに受け入れられている、請求項５に記載の接続装置。
【請求項８】
前記後退防止部は前記スロットの端面を含む、請求項７に記載の接続装置。
【請求項９】
前記組み付け装置は、さらに、前記後退防止部を形成すべく前記カバーに配置されたストッパを備える、請求項５から８のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項１０】
前記プローブは前記後退防止部に接触された後端面を含む、請求項１から９のいずれか１項に記載の接続装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路、液晶表示パネル等の平板状被検査体の試験に用いる電気的接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パッケージ又はモールドされた半導体デバイス、特に集積回路（ＩＣ）の電気的特性の検査すなわち試験は、一般に、半導体デバイスを着脱可能に装着する検査ソケットすなわち試験ソケットのような電気的接続装置を検査用補助装置として利用して行われる。
【０００３】
この種の接続装置の１つとして、半導体デバイスのリード（電極部）に接触される針先部と基板の導電性部に接続される針後部とを逆方向に曲げたクランク状の接触子すなわちプローブを用いるものがある（特開平７−２２９９４９号公報）。この従来の接続装置において、各プローブは、針先部が上方へ伸び、針後部が下方へ伸びるように、針先部と針後部との間の中央部において接着剤により共通の針押えに装着される。
【０００４】
しかし、この従来の接続装置では、プローブを針押えに装着する作業、針後部を基板の導電性部に半田付けする作業等、組み立てに熟練を必要とし、また、プローブの有効範囲（針先から導電性部への接触点まで）の長さ寸法が大きいから、試験に用いる電気信号の周波数を高めることに限度がある。
【０００５】
接続装置の他の１つとして、Ｚ字状又は環状に形成された板状のプローブを用いるものがある（米国特許５３３６０９４号、米国特許第５３８８９９６号）。しかし、この従来の補助装置では、各プローブがその弧状の変形面部において被検査体の電極部に押圧されるから、変形面部を被検査体の電極部に押圧しても、電極部に対する変形面部の変位に起因する擦り作用が生じないから、電極部に存在する酸化膜のような膜が効果的に削除されず、その結果プローブと電極部との間に良好な電気的接触が得られない。
【０００６】
パッケージ又はモールドされない半導体デバイス、特にＩＣチップの電気的特性の試験用の接続装置の１つとして、Ｃ字状に曲げられたプローブを用いるものがある（特開平５−２９９４８３号公報）。しかし、この従来の接続装置では、各プローブをそのばね力によりソケットに維持させるにすぎないから、プローブのＣ状の両端をさらに湾曲させなければならず、プローブの形状が複雑であり、高価である。
【０００７】
【解決しようとする課題】
それゆえに、被検査体試験用の電気的接続装置においては、プローブの先端が被検査体の電極部に押圧されたとき、プローブが後退することなく確実に弾性変形して被検査体の電極部に効果的な擦り作用を与えるにもかかわらず、プローブの形状が単純であり、プローブが安定であり、高周波試験に適合し、製作が容易であることが重要である。
【０００８】
【解決手段、作用、効果】
本発明の接続装置は、それぞれが前記電極部と前記導電性部とを電気的に接続する複数のプローブと、該プローブを前記基板に並列的に組み付ける組み付け装置とを含む。各プローブは、弧状に湾曲された変形部と、該変形部の一端部に続く針先部であって被検査体の電極部に押圧される先端を有する針先部と、前記変形部の他端部に続く針後部とを備えるブレードタイプのプローブである。前記組み付け装置は、前記プローブの配列方向へ伸びる凹所であって前記プローブの後退を防止する前向きの後退防止部及び該後退防止部に向く弧状の内面を有する凹所と、前記変形部又は前記針後部の少なくとも一部を前記導電性部に接触させるべく、前記内面と前記変形部と前記後端部とに接触する弾性変形可能の針押え部とを有する。前記プローブは、さらに、前記後退防止部に接触された後端面を備えている。
【０００９】
プローブは、変形部を有するものの、その形状が従来のＣ字状プローブに比べ単純であり、廉価になる。また、プローブは、その一部が基板と針押え部との間に配置されて、変形部又は針後部の少なくとも一部において導電性部及び針押え部に接触される。このため、プローブが安定化し、接続装置の組立が容易になる。
【００１０】
各プローブは、針先部の先端を被検査体の電極部に押圧される。これにより、各プローブにオーバードライブが作用するが、各プローブは、その後端部において後退防止部に接触しているから、後退しない。
【００１１】
このため、各プローブが導電性部への接触部より針先側の部位において確実に弾性変形することにより、又は、各プローブが針押え部を確実に弾性変形させることにより、先端が電極部に対して変位する。その結果、電極部に存在する酸化膜のような膜の一部が針先部の先端により擦り取られ（又は掻き取られ）、プローブと電極部とが良好な電気的接続状態に維持される。
【００１２】
プローブの有効範囲は、導電性部への接触部より針先側となる。このため、プローブの有効範囲が従来のプローブに比べ小さくなり、隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩が少なく、高周波試験に適する。
【００１３】
前記プローブは、弧状に伸びる外側部位であって少なくとも前記電極部が針先に押圧されたとき前記導電性部に接触する外側部位を有することができる。これにより、前記導電性部への前記外側部位の接触部は、前記被検査体による押圧力が大きくなるほど前記針先側に変化する。
【００１４】
前記組み付け装置は、前記基板に組み付けられた１以上のカバーであって前記凹所を有すると共に前記凹所が前記基板の側に開放するカバーと、前記凹所に受け入れられて前記プローブの配列方向へ伸びる１以上の針押えであって前記針押え部を有する針押えとを備えることができる。これにより、針押えがカバーに対して変位しないから、プローブがより安定化し、組立作業がより容易になる。
【００１５】
前記カバーは、さらに、前記針押えの長手方向に間隔をおいた複数のスロットであって前記基板の側及び前記被検査体の側に開放すると共に前記凹所に連通する複数のスロットを備え、各プローブの針先部は前記スロットを貫通して、その針先を前記スロットの外に突出させることができる。これにより、プローブの配列方向における針先部の位置がスロットにより規制されるから、プローブがより安定化し、組立作業がより容易になる。
【００１６】
上記の代わりに、前記カバーは、さらに、前記基板の側に開放すると共に前記凹所に連通する複数のスロットであって前記針押えの長手方向に間隔をおいた複数のスロットを備え、各プローブは少なくとも前記変形部の一部を前記スロットに配置することができる。これによっても、プローブの配列方向におけるプローブの位置がスロットにより規制されるから、プローブがより安定化し、組立作業がより容易になる。
【００１７】
前記プローブは前記後退防止部に接触された後端面を含むことができる。しかし、前記後退防止部を形成すべく前記カバーに配置されたストッパを前記組み付け装置に設けてもよい。
【００１８】
好ましい実施例においては、プローブは、少なくとも前記変形部において弧状に湾曲されている。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１〜図６を参照するに、電気的接続装置１０は、平板状被検査体１２の検査すなわち試験に用いる補助装置として用いられる。被検査体１２は、図示の例では、パッケージ又はモールドをされた集積回路のような半導体デバイスであるが、本発明は液晶表示パネルのような他の平板状被検査体の試験用の電気的接続装置にも適用することができる。
【００２０】
被検査体１２は、長方形の平面形状にパッケージ又はモールドをされた本体部１４と、長方形の各辺に対応する部位から外方へ突出する複数のリードすなわち電極部１６とを有する。電極部１６は、長方形の辺毎に対応された複数の電極部群に分けられており、また電極部群毎に並列的に配置されている。
【００２１】
補助装置すなわち接続装置１０は、基板２０と、複数の接触子すなわちプローブ２２と、プローブ２２を基板２０に押圧する複数の針押え２４と、該針押えを基板２０に組み付ける平板状のカバー２６とを含む。
【００２２】
基板２０は、配線パターンを電気絶縁材料の一方の面に印刷配線技術により形成した配線基板であり、それぞれがプローブ２２に対応された帯状の複数の印刷配線部すなわち導電性部２８を一方の面に有する。各導電性部２８は、配線パターンの一部である。導電性部２８は、被検査体１２の本体１４の長方形の辺毎に対応された複数の導電性部群に分けられており、また導電性部群毎に並列的に配置されている。
【００２３】
各プローブ２２は、図７に示すように、弾力性を有する非導電性の細線の形に形成されており、また先端部分がテーパ状の針先部３０から弧状の針主体部すなわち変形部３１を経て針後部３２までの全範囲にわたって半円弧状に湾曲されている。
【００２４】
各プローブ２２は、図７に符号３２で示す針後部以外の部分、すなわち針先部３０及び変形部３１の全外表面に導電性の皮膜を形成している。これにより、導電性部２８に接触する部分から前方の部分は導電性を有するが、針後部３２は非導電性を有するから、導電性を有するプローブとして作用するにもかかわらず、針後部３２における試験用電気信号の漏洩、特に隣り合うプローブ間の電気信号の漏洩がなくなる。
【００２５】
しかし、各プローブ２２は、心材を導電性の細線、好ましくは金属細線の形にし、この心材のうち針後部３２の部分に非導電性の皮膜を形成してもよい。プローブ２２は、金属、セラミック、合成樹脂等の細線から形成してもよいし、それらの材料を用いるプレス加工、エッチング加工等他の加工法により形成してもよい。
【００２６】
各プローブ２２は、図１〜図７に示す例では円形の断面形状を有する。また、プローブ２２は図１〜図７に示す例では針先すなわち先端がプローブ２２の湾曲面と直角に伸びるいわゆるノミ型針である。
【００２７】
しかし、プローブ２２は、図８に示すプローブ５０のように、先端がプローブ２２の湾曲面と平行に伸びるいわゆるオノ型針であってもよく、また、円錐形又は角錐形の針先部を有する形状であってもよい。プローブの断面形状は、円形であってもよいし、四角形であってもよい。
【００２８】
プローブ２２は、被検査体１２の本体１４の長方形の辺毎に対応された複数のプローブ群に分けられている。図示の例では、被検査体１２が長方形の４つの辺のそれぞれに複数の電極部を有することから、プローブ２２は４つのプローブ群に分けられている。同じ理由から、図示の例では４つの針押え２４が設けられている。
【００２９】
各針押え２４は、円柱状の押え棒３４と、押え棒３４の外周面に形成された電気絶縁性の弾性材料層３６とにより、円柱状に形成されている。押え棒３４は、導電性又は非導電性の棒状部材とすることができる。電気絶縁層すなわち弾性材料層３６は、シリコンゴムのようなゴム材料により形成したチューブとすることができる。しかし、針押え２４を弾性変形可能のゴムのような単一の部材で棒状に形成してもよい。
【００３０】
カバー２６は、被検査体１２を収容するように中央に形成された開口３８と、開口３８の外側に形成されて開口３８に対して外方へ伸びる複数のスロット４０と、開口３８の外側に形成されてスロット４０の配列方向へ連続的に伸びる複数の凹所４２とを有する。このようなカバー２６は、非導電性材料から形成することができる。
【００３１】
開口３８は、被検査体１２と相似の矩形の形状を有しており、また各隅角部を弧状にされている。開口３８の上部は、外側から中心側へ向く傾斜面３８ａにより下方ほど小さくされている。開口３８の各隅角部は、弧面とされている。
【００３２】
スロット４０は、少なくともプローブ２２の変形部３１及び針後部３２を収容するスロットであり、したがって図示の例ではプローブ２２と同数設けられている。スロット４０は、開口３８を形成する矩形の辺毎に対応された複数の溝群に分けられており、またスロット群毎に並列的に形成されている。各スロット４０は基板２０の側すなわち下方に開放するとともに、開口３８に開放している。
【００３３】
隣り合うスロット４０は、仕切り壁４４により区画されている。仕切り壁４４は、図示の例では、スロット４０の後半部を区画するように設けられており、したがって隣り合うスロット４０は開口３８の部位において連続している。しかし、スロット４０全体を区画するように仕切り壁４４を設けてもよい。
【００３４】
凹所４２は、開口３８を形成する矩形の辺毎に対応されており、また対応する辺に沿って伸びる。図示の例では、４つの凹所４２が設けられている。各凹所４２は、針押え２４を収容するかまぼこ型の溝であり、対応するスロット４０のスロット底面に開放している。各凹所４２の溝底面は、上方に凸の断面形状をしている。
【００３５】
接続装置１０は、各針押え２４を凹所４２に配置し、各プローブ２２をその後端がスロット４０の奥底面（図示の例では、上面）すなわち端面４０ａに当接した状態にスロット４０に配置し、その状態で、プローブ２２、針押え２４及びカバー２６を基板２０に重ね、その状態でカバー２６をボルトのような複数のねじ部材４６により基板２０に装着することにより、組み立てることができる。
【００３６】
各ねじ部材４６は、カバー２６をその厚さ方向へ貫通しており、また基板２０に形成されたねじ穴に螺合される。これにより、プローブ２２は、弧状の湾曲部すなわち変形部３１の一部において針押え２４により基板２０の導電性部２８に押圧され、基板２０と針押え２４とにより挟持されて、その状態に維持される。
【００３７】
図示の例では、針押え２４とカバー２６とねじ部材４６とは、プローブ２２を基板２０に並列的に組み付ける組み付け装置として作用する。また、各針押え２４の下半部は、凹所４２から基板２０の側に弧状に突出しかつプローブ２２の配列方向に伸びるから、プローブ２２を基板２０に押圧すべくプローブ２２の湾曲部内側に当接する針押え部として作用する。
【００３８】
プローブ２２をその針先部３０が開口３８内に上方へ突出する状態にスロット４０に配置し、針押え２４で基板２０に接触させるだけで、プローブ２２をプローブ群毎に並列的に正しく配列することができる。このため、接続装置１０の製作が容易である。
【００３９】
プローブ２２は、接続装置１０に組み立てられた状態において、少なくとも針後部３２がスロット４０の仕切り壁４４により区画された部分に受け入れられているとともに、電気絶縁材料からなる弾性材料層３６を介して基板２０に押圧されているから、スロット４０と針押え２４とにより安定に維持され、また隣りのプローブとの電気的接触を確実に防止される。
【００４０】
組み立てられた状態において、各プローブ２２は電気絶縁層３２が存在しない弧状の湾曲部すなわち変形部３１の弧状外側部位において導電性部２８に押圧されるから、弧状の針主体部３１のその部位は変形部として作用する。
【００４１】
各プローブ２２は電気絶縁層３２が存在しない部位において導電性部２８に押圧されるから、プローブ２２の有効範囲は、導電性部２８へのプローブ２２の接触部から針先までであり、従来の接続装置に比べ小さい。また、図５に示すように、弾性材料層３６が基板２０とカバー２６と押え棒３４とにより挟圧されて弾性変形するから、各プローブ２２は強固に維持される。押え棒３４と弾性材料層３６とは、図５に示すように予め相互に偏心させておいてもよいし、組み立てた状態において相互に偏心するようにしてもよい。
【００４２】
検査時、被検査体１２は、上方から開口３８に入れられる。このとき、接続装置１０に対する被検査体１２の位置がずれていると、被検査体１２は、傾斜面３８ａに当接し、傾斜面３８ａにより開口３８の中央に案内される。これにより、被検査体１２は、図５に示すように、電極部１６がプローブ２２の針先すなわち先端に当接した状態に接続装置１０に収容される。
【００４３】
接続装置１０に配置された被検査体１２が押圧体４８により押し下げられると、各プローブ２２は、オーバードライブ作用を受けて図６に示すように変形される。このとき、プローブ２２を変形部３１の弧状外側面に沿って後退させる力がプローブ２２に作用する。しかし、各プローブ２２の後端面がスロット４０の端面４０ａに直接的に接触しているから、各プローブ２２は針押え２４の周りをその周方向へ移動（後退）しない。
【００４４】
しかし、プローブ２２と被検査体１２とが押圧されると、各プローブ２２は、プローブが針押え２４の周方向（変形部３１の湾曲方向）へ後退することなく、その曲率半径が大きくなるように導電性部２８の接触部より針先側の部位において弾性変形すると共に、弾性材料層３６をこれが圧縮変形するように弾性変形させる。
【００４５】
これにより、各プローブ２２の針先は、該針先が電極部１６に対して変位するから、電極部１６の表面に存在する膜の一部を削除する擦り作用（又は掻き取り作用）を生じる。また、各プローブ２２は、その後端の一部が弾性材料層３６をへこませることにより、針先部３０が針押え２４の軸線方向へ倒れることを防止される。
【００４６】
図６に示すように、プローブ２２が弾性変形されると、導電性部２８へのプローブ２２の接触箇所は、針先の側に変化する。また、弾性材料層３６がプローブの後端によりへこまされたことにより、プローブ２２の後端が凹所４０の内面から離れようとする。しかし、プローブ２２は、針押え２４の復元力により押し戻されて、導電性部２８に対しわずかに滑る。
【００４７】
この滑りは、プローブ２２がその後端面を内面４０ａに接触させた状態で変位する移動であるから（すなわち、プローブ２２が針押え２４の外周に沿って後退する移動ではないから）、曲率半径が大きくなるようなプローブ２２の弾性変形は前記のような滑りにより影響を受けず、プローブ２２は確実に弾性変形する。
【００４８】
接続装置１０によれば、上記したように、プローブの形状が単純であり、プローブが廉価になるのみならず、プローブ２２の有効範囲が小さく、高周波試験に適しており、しかもプローブが安定に維持されるにもかかわらず、接続装置の製作が容易である。また、被検査体１２が接続装置１０に自然に正しく配置され、被検査体１２の電極部１６が針先に確実に接触し、しかも後退することなく弾性変形することにより、電極部１６に擦り作用が効果的に生じる。さらに、針押え２４の構造が単純であり、プローブ２２同士の電気的短絡が確実に防止される。
【００４９】
図９を参照するに、プローブ５２は、電気絶縁層を有する針後部３２が上方へ曲げられてＪ字状に形成されており、また針後部３２を針押え２４に差し込まれており、変形部３１の弧状の後端部において導電性部２８に押圧されている。この実施例によっても、プローブ５２は、その針後部３２が針押え２４に対する移動を阻止されているから、導電性部へのプローブ５２の接触部位は針先側へ変化するが、針押え２４の周りをその周方向へ移動しない。
【００５０】
すなわち、プローブ５２が被検査体により押し下げられると、プローブ５２を変形部３１の外側面に沿って後退させる力がプローブ５２に作用する。しかし、プローブ５２は、その後端部が針押え２４に差し込まれているから、針押え２４の周方向へ後退することなく、変形部３１の曲率半径が大きくなるように弾性変形される。このため、プローブ５２を用いても、プローブ２２を用いた場合と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５１】
図１０を参照するに、プローブ５４は、その後端（特に、後端面）を後退防止用の板ばねから形成されたストッパ５６に当接させている。ストッパ５６は、プローブ群毎に備えられており、また複数のねじ部材５８によりカバー２６に取り付けられている。ストッパ５６は、電気絶縁性の板材から形成することができるが、導電性の板材の表面の電気絶縁層を形成したものであってもよく、さらには各プローブの後端が非導電性を有するならば導電性の板材としてもよい。
【００５２】
図１０に示す実施例によっても、プローブ５４は、その後端がストッパ５６に当接して針押え２４に対する後方への移動を阻止されているから、針押え２４の周りをその周方向へ移動しない。このため、プローブ５４が被検査体により押し下げられると、プローブ５４は、変形部３１の曲率半径が大きくなるように弾性変形される。このため、プローブ５４をも散る場合も、プローブ２２用いる場合と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５３】
図１１を参照するに、プローブ６０は、導電性部２８に当接する部位に凸部６２と凹部６４とを有する。プローブ６０は、凸部６２において導電性部２８に押圧される。このため、プローブ６０の場合、凸部６２を有する部位が変形部として作用する。
【００５４】
プローブ６０によれば、凸部６２が導電性部２８に係合しているから、針押え２４に対するプローブ６０の移動が凸部６２と導電性部２８との係合により、前記したプローブのようにプローブ６０の後端をスロットの端面、凹所の内面又はストッパに当接させることと相まってより確実に阻止される。このため、導電性部２８と各プローブとの電気的接続がより確実になる。
【００５５】
上記各実施例において、円柱状の部分の一部を針押え部として用いる凸部とする針押え２４の代わりに、かまぼこ型の形状を有する針押えを用いてもよいし、かまぼこ型の凸部を１つの面に有する四角柱状の部材を針押えとして用いてもよい。また、針押えは、少なくとも外表面が非導電性を有する限り、弾性材料を用いない単なる非導電性の棒状部材であってもよい。
【００５６】
図１２を参照するに、接続装置７０は、ほぼＵ字状に形成されたプローブ７２を用いる。プローブ７２は、針先部７４と、針主体部すなわち変形部７６と、針後部７８とによりほぼＵ字状に形成されている。針先部７４及び針後部７８は、それぞれ、変形部７６の先端部及び後端から上方へ互いにほぼい平行に直線的に伸びている。針先部７４と変形部７６とは、少なくとも外周面を導電性とされている。
【００５７】
変形部７６は、その後端側から針先部７４の側に向けて、斜め上方へ伸びており、また大きな曲率半径で斜め下方へ凸の形に湾曲されている。針後部７８は、導電性であってもよいし、非導電性であってもよい。針後部７８は、針先部及び変形部７６より大きい断面形状を有する。プローブ７２は、円形又は矩形のいずれか一方の横断面形状を有する。このため、プローブ７２は、細線又は帯状のいずれか一方の形状を有する。
【００５８】
接続装置７０のカバー８０は、被検査体１２を収容するように中央に形成された開口３８と、開口３８から外方へ並列的に伸びる複数のスロット８２と、開口３８の外側に形成されてスロット８２の配列方向へ連続的に伸びる複数の凹所８４とを有する。このようなカバー８０は、非導電性材料から形成することができる。開口３８は、接続装置１０におけるカバー２６の開口３８と同じである。このため、開口３８の上部は傾斜面３８ａとされている。
【００５９】
スロット８２は、プローブ７２の少なくとも変形部７６の一部を収容する溝であり、したがって図示の例ではプローブ７２と同数設けられている。スロット８２は、開口３８を形成する矩形の辺毎に対応された複数のスロット群に分けられており、またスロット群毎に並列的に形成されている。各スロット８２は基板２０の側すなわち下方に開放するとともに、先端上部において開口３８に開放している。
【００６０】
隣り合うスロット８２は、仕切り壁８６により区画されている。隣り合う仕切り壁８６の開口３８の側の端部は、スロット８２の対応する端部を閉鎖する壁部８８により連結されている。しかし、隣り合う仕切り壁８６の開口３８の側の端部を連結せず、スロット８２の対応する端部を開放させてもよい。
【００６１】
凹所８４は、開口３８を形成する矩形の辺毎に対応されており、また対応する辺に沿って伸びる。図示の例では、実際には４つの凹所８４が設けられている。各凹所８４は、針押え９０を収容する矩形の断面形状の溝であり、対応するスロット８２の後端と基板２０の側とに開口している。各凹所８４は、矩形の断面形状をしている。
【００６２】
各針押え９０は、ゴムのような弾性材料により矩形の断面形状に形成されており、凹所８４に嵌め込まれている。図示の例では、針押え９０は、変形部７６の一部とプローブ７２の針後部７８とを受け入れるためのスロット８２に連通する溝を有する。しかし、そのようなスロットは、カバー８０に形成してもよいし、プローブの形状及び寸法によってはカバー８０及び針押え９０のいずれにも形成しなくてもよい。
【００６３】
接続装置７０は、各針押え９０を凹所８４に配置するとともに、プローブ７２の変形部７６が溝８２内になり、針後部７８が凹所８４内となるように各プローブ７２を配置し、その状態でプローブ７２、針押え９０及びカバー８０を基板２０に重ね、その状態でカバー８０をボルトのような複数のねじ部材により基板２０に装着することにより、組み立てることができる。
【００６４】
接続装置７０に組み立てられた状態において、各プローブ７２は、変形部７６の後端部において針押え９０により基板２０の導電性部に押圧される。また、各プローブ７２の先端はスロット８２から開口３８内に上方へ突出し、各プローブ７２の針後部７８は針押え９０によりスロット８２を形成する内壁面に押圧され、各プローブ７２の後端面は針押え９０に受けられる。このため、各プローブ７２は、変形部７６の後端側において基板２０に押圧される。
【００６５】
針先部７４の先端が被検査体１２の電極部１６に押圧されると、プローブ７２は、針先部７４と針後部７８とが開くように、プローブ自体が弾性変形されると共に、針押え９０を弾性変形させる。これにより、プローブ７２は、その先端で電極部１６に擦り作用を与え、電極部１６の表面に存在する酸化膜のような膜の一部を除去する。
【００６６】
プローブ７２を後退させようとする力は、プローブ７２を変形部７６の弧状外側面に沿って変位させようとする力であるが、プローブ７２の後退は後端面が凹所８４に配置された凹所８４の内面８４ａに針押え９０を介して間接的に接触していることにより、阻止される。しかし、プローブ７２の後端面を針押え９０により凹所８４の内面８４ａに直接的に接触させ、プローブ７２を針押え９０により基板２０に押圧するようにしてもよい。
【００６７】
接続装置７０は、接続装置１０と同様の作用及び効果を奏するのみならず、針後部７８を針押え９０により凹所８４の内面に押圧しているから、プローブ７２がより安定化する。
【００６８】
図１３を参照するに、接続装置１００は、図１から図６に示す接続装置１０において、先端から後端まで一体的に伸びるプローブを用いる代わりに、図１４に示す形状を有する複数のプローブ１０２を用いる。
【００６９】
各プローブ１０２は、弾力性を有する導電性の細線から形成された針先部３０及び変形部３１と、変形部３１の後端に結合された針後部１０４とからなり、また針先から後端までの全範囲にわたって同じ曲率で弧状に湾曲されている。針後部１０４は、合成樹脂のような電気絶縁性の樹脂材料により形成されている。
【００７０】
各プローブ１０２の針先部３０の先端部分は、先端ほど薄くなるテーパ状部であり、その先端部分より後方の部分は断面形状が円形の棒状部である。各プローブ１０２の変形部３１の後端部は、針後部１０４との結合力を高めるための切欠部１０６を上側に有する。
【００７１】
各プローブ１０２の変形部３１の後端部の内側部分は針後部１０４により覆われているが、外側部分は針後部１０４により覆われることなく露出されている。このようなプローブ１０２は、針後部１０４として合成樹脂のような電気絶縁材料を用いた成形加工により製作することができる。プローブ１０２の端面は、スロット４０の奥底面すなわち端面４０ａに直接的に接触している。
【００７２】
複数のプローブ１０２を用いる接続装置１００は、図１３に示すように、各プローブ１０２の変形部３１が針後部１０４への結合部の外側部分において導電性部２８に押圧されることを除いて、接続装置１０と同様に組み立てることができ、接続装置１０と同様に作用し、接続装置１０と同様の効果を生じる。
【００７３】
接続装置１０又は１００において、独立した複数のプローブを用いる代わりに、図１５に示すように、複数のプローブを針後部において結合した１以上の針組立体１１０を用いてもよい。
【００７４】
針組立体１１０で用いる各プローブ１１２は、変形部３１の後端部において複数のプローブ１１２で共通の針後部１１４により結合されていることを除いて、図１４に示すプローブ１０２と同様に形成されている。
【００７５】
それゆえに、各プローブ１１２の針先部３０及び変形部３１は、図１４に示すプローブ１０２のそれらと同じであり、各プローブ１１２の変形部３１は、共通の針後部１１４との結合力を高めるための切欠部１０６を上側に有する。共通の針後部１１４は、非導電性材料により浅い樋状に湾曲された細長い形状を有しており、複数のプローブ１１２の針先部３０及び変形部３１とともに同じ曲率で弧状に湾曲されている。
【００７６】
共通の針後部１１４は、前記したカバー２６の開口３８により形成される長方形の各辺のプローブ群毎に共通にしてもよいし、２以上のプローブ毎に共通にしてもよい。また、隣り合うプローブ１１２が変形部３１において共通の針後部１１４に連結されていることから、プローブ組立体１１０を用いる接続装置のカバー２６は溝４０及び隔壁４４を備えていない。しかし、各プローブ１１２の針先部３０及び変形部３１のみを受け入れるスロットを備えていてもよい。
【００７７】
それゆえに、スロット４０は連続した共通のスロットである。しかし、共通のスロット４０のうち、各プローブ１１２の針先部３０及び変形部３１のみを受け入れる部分を隔壁により分離してもよい。プローブ１１２の後退は、共通の針後部１１４の後端面が共通のスロットの奥底面すなわち端面に当接していることにより、阻止される。
【００７８】
各変形部３１の後端部の内側部分は共通の針後部１１４により覆われているが、外側は共通の針後部１１４により覆われることなく露出されている。針組立体１１０も、共通の針後部１１４として合成樹脂のような電気絶縁材料を用いた成形加工により製作することができる。
【００７９】
針組立体１１０を用いる接続装置は、接続装置１０及び７０と同様に組み立てかつ利用することができるし、接続装置１０と同様の作用及び効果を奏する以外に、複数のプローブ１１２の針後部１１４が共通に結合されているから、針組立体１１０の製作及び接続装置への組立が容易になる、という利点を生じる。
【００８０】
図１６を参照するに、接続装置１２０は、図１２に示す接続装置７０において、先端から後端まで一体的に伸びるプローブ７２を用いる代わりに、図１７に示す形状を有する複数のプローブ１２２を用いる。
【００８１】
各プローブ１２２は、図１７に示すように、針先部７４と、変形部７６と、針後部１２４とによりほぼＵ字状に形成されている。針先部７４及び変形部７６は、それぞれ、図１２に示すプローブ７２のそれらと同じである。従って、針先部７４及び変形部７６は、針先部７４が変形部７６の先端から上方へ直線的に伸びるＬ字状に形成されている。
【００８２】
各プローブ１２２の変形部７６は、針後部１２４との結合力を高めるための切欠部１２６を上側に有する。変形部７６の後端部の上側（内側）部分は針後部１２４により覆われているが、下側（外側）は針後部１２４により覆われることなく露出されている。
【００８３】
針後部１２４は、合成樹脂のような非導電性材料により形成されており、また変形部７６の後端から上方へ針先部７４とほぼ平行に直線的に伸びている。
【００８４】
プローブ１２２も、図１４に示すプローブ１０２と同様に、針後部１２４として合成樹脂のような電気絶縁材料を用いた成形加工により製作することができる。また、接続装置１２０も、接続装置１０，７０及び１００等と同様に利用することができるとともに、接続装置１０，７０及び１００等と同様の作用及び効果を奏する。
【００８５】
補助装置７０又は１２０において、独立した複数のプローブを用いる代わりに、図１８に示すように、複数のプローブを針後部において結合した１以上の針組立体１３０を用いてもよい。
【００８６】
針組立体１３０で用いる各プローブ１３２は、変形部７６の後端部において複数のプローブ１３２で共通の針後部１３４により結合されていることを除いて、図１７に示すプローブ１２２と同様に形成されている。
【００８７】
それゆえに、各プローブ１３２の変形部７６は共通の針後部１３４との結合力を高めるための切欠部１２６を上側に有し、共通の針後部１３４は非導電性材料により櫛の形状を有する。
【００８８】
針組立体１３０は、複数のプローブ１３２の針先部７４及び変形部７６並びに共通の針後部１３４とによりほぼＵ字状の形状を有する。針組立体１３０を用いる接続装置のカバーは、図１２に示す壁部８６又は８８を有していなくてもよい。
【００８９】
各プローブ１３２の変形部７６は、針後部１２４との結合力を高めるための切欠部１２６を上側に有する。変形部７６の後端部の上側（内側）部分は針後部１２４により覆われているが、下側（外側）は針後部１２４により覆われることなく露出されている。
【００９０】
針組立体１３０を用いる接続装置は、接続装置７０及び１２０と同様に組み立てかつ利用することができるし、接続装置７０及び１２０と同様の作用及び効果を奏する以外に、複数のプローブ１３２の針後部１３４が共通に結合されているから、針組立体１３０の製作及び接続装置への組立が容易になる、という利点を生じる。
【００９１】
上記実施例では、カバーを単一の部材により形成しているが、カバーを、複数の部材により形成してもよい。たとえば、カバーを、開口３８を有する板状部材と、スロット及び凹所を有する部材とにより形成してもよいし、開口３８を有する板状部材と、スロットを有する部材と、凹所を有する部材とにより形成してもよく、さらには、開口３８及び凹所を有する板状部材と、スロットを有する部材とにより形成してもよい。
【００９２】
図１９を参照するに、接続装置１４０は、図１７に示すプローブ１２２に類似したほぼＪ字状の複数のプローブ１４２を用いる。各プローブ１４２は、針先部１４４から変形部１４６の後端まで全体的に弧状に湾曲されている。各プローブ１４２の針先部１４４及び変形部１４６の少なくとも表面は、導電性を有する。
【００９３】
針後部１４８は、合成樹脂のような非導電性材料によりＬ字状に形成されており、また変形部１４６に固定されている。変形部１４６の後端部の上側（内側）部分は針後部１４８により覆われているが、下側（外側）は針後部１４８により覆われることなく露出されている。
【００９４】
針後部１４８は、プローブ１４２毎に独立している。しかし、隣り合うプローブで共通の針後部１４８としてもよい。変形部１４６と針後部１４８との結合力を高めるために、図１７又は図１８に示すような切欠部１２６を変形部１４６の上側に形成してもよい。
【００９５】
接続装置１４０は、複数のプローブ１４２が並列的に配置された細長い複数のカバー１５０と、各カバー１５０内に配置された長い針押え１５２と、スペーサ１５４とを備える。
【００９６】
各カバー１５０は、本質的にカバー主体である。このため、開口３８を有する補助部材がカバー１５０の上に一体的に設けられるか、ねじ部材により組み付けられる。各カバー１５０は、図１９にその１つを示すように、基板２０の側に開口する第１の凹所１５６と、第１の凹所に連通するスロット１５８と、第１の凹所１５６の側に開口する第２の凹所１６０とを有する。第１の凹所１５６、スロット１５８及び第２の凹所１６０は、プローブ１４２の配列方向へ連続的に伸びる。
【００９７】
針押え１５２は、硬質ゴムのような弾性材料により矩形の断面形状に形成されており、また、第１及び第２の凹所１５６及び１６０に配置されている。スペーサ１５４は、第１の凹所１５６とほぼ同じ大きさを有する開口１６２を有しており、また、第１の凹所１５６と開口１６２とが整合する状態に、カバー１５０と基板２０との間に配置される。このため、スペーサ１５４はカバー１５０の一部として作用し、開口１６２は第１の凹所１５６の一部として作用する。
【００９８】
第１の凹所１５６には、複数のプローブ１４２が並列的に配置される。プローブ１４２は、針先部１４４がスロット１５８を介して上方へ突出し、針後部１４８が第２の凹所１６０内に伸びるように、並列的に配置され、第２の凹所１６０に配置された針押え１５２により変形部１４６の後端部を基板２０の導電性部２８に押圧される。プローブ１４２は、その後端面を第２の凹所１６０の内面１６０ａに直接的に接触されて、後退を防止されている。
【００９９】
カバー１５０は、複数のプローブ１４２及び針押え１５２を収容した状態で、共通の基板２０にスペーサ１５４を介して重ねられ、ねじ部材のような適宜な手段によりスペーサ１５４とともに基板２０に組み付けられる。これにより、複数のプローブ１４２と、カバー１５０と、針押え１５２と、スペーサ１５４とがユニット化される。
【０１００】
接続装置１４０は、それぞれが、上記のような複数のユニットを用いる。各ユニットは、プローブ１４２の針先の配列方向が被検査体の電極部の配列方向と一致しかつ対向するユニット同士のプローブの針先が対向するように共通の基板２０に組み付けられる。これにより、被検査体の電極部は各プローブ１４２の針先に受けられる。
【０１０１】
図示の例では、カバー１５０は、各プローブ１４２の変形部１４６を受け入れるスロットを備えていない。このため、各プローブ１４２は、隣のプローブ１４２に当接するスペーサ１６４を針先部１４４に有する。スペーサ１６４は、合成樹脂のような非導電性材料により板状に形成されており、また、針先部１４４の一方側に固定されている。しかし、各プローブ１４２の針先部が対応するスペーサを貫通した状態に、スペーサ１６４とプローブ１４２とを一体的に形成してもよい。
【０１０２】
接続装置１４０において、被検査体がプローブ１４２に押圧されてプローブ１４２の針先にオーバドライブが作用すると、変形部１４６に沿って後退することを阻止された状態で、プローブ１４２は変形部１４６の曲率半径が大きくなるように弾性変形すると共に、針押え１５２を凹所１６０の内面１６０ａと反対側の内面１６０ｂに押圧する。これにより、導電性部２８へのプローブ１４２の接触部位は針先側に変化する。また、プローブ１４２は、内面１６０ａの接触部が上方へ変位することに起因して導電性部２８に対しわずかに後退するが、この後退は接続装置１０の場合と同じ理由からプローブ１４２の弾性変形を妨げない。
【０１０３】
プローブ１４２によれば、プローブ１４２が被検査体の電極部に擦り作用を効果的に与えるにもかかわらず、及び、カバー１５０がプローブ１４２の変形部１４６を受け入れるスロットを備えていないにもかかわらず、針先が被検査体の電極部に押圧されたとき、隣り合うプローブ１４２が針先側において接触するおそれがない。
【０１０４】
スペーサ１６４は、既に述べたプローブ２２，５０，５２，５４，６０，７２，１０２，１１２，１２２，１３２を用いる補助装置に設けてもよい。また、各プローブにスペーサ１６４を設けるかわりに、隣り合う複数のプローブを針先側の部位において合成樹脂のような非導電性材料により連結してもよい。
【０１０５】
接続装置１４０の変形例を図２０から図２２に示す。
【０１０６】
図２０から図２２を参照するに、接続装置１７０は、二つ割りのカバー１７２を用いる。この接続装置１７０で検査する被検査体１２は、本体部１４の幅方向両辺に複数の電極部１６を有する。電極部１６は、幅方向の辺毎に対応された複数の電極部群に分けられており、また電極部群毎に並列的に配置されている。
【０１０７】
カバー１７２は、図２０に示すように第１及び第２の部材１７４，１７６に分割されており、また、複数のねじ部材１７８及び複数の位置決めピン１８０（いずれも、図２１及び図２２参照）とにより、互いに重ねられた状態に基板２０に組み付けられている。
【０１０８】
カバー主体部すなわち第１の部材１７４は、図１９におけるカバー１５０とスペーサ１５４とを一体化している。このため、第１の部材１７４は、基板２０の側に開放する開口すなわち第１の凹所１８４と、第１の凹所１８４に連通する複数のスロット１８６と、円形の断面形状を有する針押え１８２が配置された第２の凹所１８８とを電極群毎に備える。これに対し、補助部材すなわち第２の部材１７６は、傾斜面３８ａを有する開口３８を備える。
【０１０９】
スロット１８６は、第１及び第２の凹所１８４，１８８に連通していると共に、第１の部材１７４を厚さ方向に貫通している。第２の凹所１８８は、複数のプローブ１９０の配列方向へ連続的に伸びており、また基板２８の側に開放している。
【０１１０】
各プローブ１９０は、導電性を有する金属材料によりほぼＪ字状に形成された板状のプローブ（ブレードタイプの針）である。プローブ１９０は、針先を有する針先部１９２と、針先部１９２の後端に一体的に続く変形部１９４と、変形部１９４の後端に一体的に続く針後部１９６とを有する。
【０１１１】
針先部１９２は、スロット１８６を貫通して針先を開口３８内に突出させている。変形部１９４は、弧状に湾曲されており、また一部を第１の凹所１８４に受け入れられている。針後部１９６は、その後端面を第２の凹所１８８の内面１８８ａに接触されて、後退を防止されている。
【０１１２】
針押え１８２は、図示の例ではゴムのような弾性材料から棒状に形成されており、また第２の凹所１８８の長手方向へ伸びている。針押え１８２は、接続装置１７０に組み立てられた状態において、プローブ１９０を変形部１９４において導電性部２８に接触させるように、プローブ１９０を押圧している。
【０１１３】
接続装置１７０においては、ブレードタイプのプローブ１９０を用いているから、被検査体がプローブ１９０の先端に押圧されたとき、針押え１８２を針後部１９６で弧状の内面１８８ｂに押圧する。これにより、プローブ１９０は、導電性部２８への接触部が針先側へ変化するように、変位する。
【０１１４】
このとき、プローブ１９０は、後端が針押え１８２の復元力により内面１８８ａに押圧されているから、導電性部２８に対してわずかに滑る。しかし、この滑りは、導電性部２８への接触部が針先側へ変化するようなプローブ１９０の変位を妨げない。その結果、接続装置１７０も、接続装置１４０と同様の作用及び効果を奏する。
【０１１５】
接続装置１４０の他の変形例を図２３及び図２４に示す。接続装置２００は、導電性を有する金属材料によりほぼＪ字状に形成された板状の複数のプローブ２０２と、図２０において第１の部材１７４のうち線２３−２３より左方の部位に対応するカバー２０４と、接続装置１７０と同じ針押え１８２とを備えた複数のユニットを共通に基板２０に配置している。
【０１１６】
各プローブ２０２は、針先が図２３において左右方向へ伸びるオノ型針であり、また、針先部２０６、弧状の変形部２０８及び内面１８８ａに接触された針後部２１０を有する。プローブ２０２は、接続装置１７０のプローブ１９０と同様にカバー２０４に配置されている。
【０１１７】
接続装置２００も、接続装置１４０と同様に、複数のユニットが共通の基板２０に組み付けられる。それゆえに、接続装置２００も、接続装置１４０，１７０と同様の作用及び効果を奏する。
【０１１８】
接続装置１４０又は２００において、接続装置１７０における開口３８を有する第２の部材を複数のカバー１５０又は２０４の上に共通に配置してもよい。
【０１１９】
接続装置１４０，１７０，２００において、第１の凹所１５６，１８４をプローブ１４２，１９０に個々に対応されてプローブの変形部の少なくとも一部を受け入れる複数の溝からなる凹所としてもよい。この場合、そのような溝は、針押えの長手方向に間隔をおいて並列的に伸びる。第１及び第２の凹所１５６及び１６０並びに１８４及び１８８は１つの凹所であってもよい。接続装置１４０において、第１の凹所１５６を複数の溝からなる凹所とする代わりに、スペーサ１５４の開口１６２をそのような溝としてもよい。
【０１２０】
本発明は、上記実施例に限定されない。たとえば、プローブは、弧状、コ字状、Ｕ字状、Ｌ字状、Ｖ字状、Ｗ字状等、単純な形状とすることができる。また、上下の側を上記した実施例と逆にした状態で用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る試験用補助装置の第１の実施例を示す平面図である。
【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図である。
【図３】図１に示す試験用補助装置の基板を取り外した状態の一部の底面図である。
【図４】図１の４−４線に沿って得た断面図である。
【図５】被検査体を補助装置に配置したときのプローブの状態を説明するための断面図である。
【図６】被検査体をプローブに押圧したときのプローブの状態を説明するための断面図である。
【図７】図１に示す補助装置で用いるプローブの第１の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は左側面図である。
【図８】図１に示す補助装置で用いるプローブの第２の実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図であり、（Ｂ）は左側面図である。
【図９】試験用補助装置の第２の実施例の一部を示す断面図である。
【図１０】試験用補助装置の第３の実施例の一部を示す断面図である。
【図１１】図１に示す補助装置で用いるプローブの第３の実施例の一部を示す図である。
【図１２】試験用補助装置の第４の実施例の一部を示す断面図である。
【図１３】試験用補助装置の第５の実施例の一部を示す断面図である。
【図１４】図１３に示す補助装置で用いるプローブの一実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。
【図１５】図１３に示す補助装置で用いるプローブの他の実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。
【図１６】試験用補助装置の第６の実施例の一部を示す断面図である。
【図１７】図１６に示す補助装置で用いるプローブの一実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。
【図１８】図１６に示す補助装置で用いるプローブの他の実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。
【図１９】試験用補助装置の第７の実施例の一部を示す断面図である。
【図２０】試験用補助装置の第８の実施例の一部を示す断面図である。
【図２１】図２０の２１−２１線に沿って見た図である。
【図２２】図２０の２２−２２線に沿って見た図である。
【図２３】試験用補助装置の第９の実施例の一部を示す断面図である。
【図２４】図２３の平面図である。
【符号の説明】
１０，７０，１００，１２０，１４０，１７０，２００  試験用補助装置
１２  被検査体
１４  本体
１６  電極部
２０  基板
２２，５０，５２，５４，６０，７２，１０２，１１２，１２２，１３２，１４２，１９０，２０２  プローブ
２４，９０，１５２，１８２  針押え
２６，８０，１５０，１７２，２０４  カバー
２８  導電性部
３０，７４，１４４，１９２，２０６  針先部
３１，７６，１４６，１９４  変形部
３２，７８，１０４，１１４，１２４，１３４，１４８，１９６，２０８  針後部
３４  押え棒
３６  弾性材料層
３８  開口
４０，８２  スロット
４２，８４  凹所
４４，８６  仕切り壁
４６  ねじ部材
１５６，１６０  第１及び第２の凹所
１５８  スロット
１８４，１８８  第１及び第２の凹所
１８６  スロット
【図１】
0003577416.tif 000002
【図２】
0003577416.tif 000003
【図３】
0003577416.tif 000004
【図４】
0003577416.tif 000005
【図５】
0003577416.tif 000006
【図６】
0003577416.tif 000007
【図７】
0003577416.tif 000008
【図８】
0003577416.tif 000009
【図９】
0003577416.tif 000010
【図１０】
0003577416.tif 000011
【図１１】
0003577416.tif 000012
【図１２】
0003577416.tif 000013
【図１３】
0003577416.tif 000014
【図１４】
0003577416.tif 000015
【図１５】
0003577416.tif 000016
【図１６】
0003577416.tif 000017
【図１７】
0003577416.tif 000018
【図１８】
0003577416.tif 000019
【図１９】
0003577416.tif 000020
【図２０】
0003577416.tif 000021
【図２１】
0003577416.tif 000022
【図２２】
0003577416.tif 000023
【図２３】
0003577416.tif 000024
【図２４】
0003577416.tif 000025