(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の反射率の低い帯状シートを一定の繰り出し速度で繰り出しながら帯状シートの表裏の欠陥を画像処理により検査する検査装置において、帯状シートを挟んで互いに対向して置かれシャッター機能を持ち帯状シートの１短冊の表裏面を帯状シートの繰り出し方向でオーバーラップする複数の視野として撮像する２台のエリア型ＴＶカメラと、帯状シートの繰り出し速度に対応した一定の時間の間隔毎に２台のエリア型ＴＶカメラのシャッター開を同時に指令するＴＶカメラ制御部と、エリア型ＴＶカメラのシャッター開の指令に同期して２台のストロボ光源への発光を同時に指令する照明制御部と、この照明制御部からの発光指令の信号によりストロボ光源を発光させて帯状シートを挟んで互いに対向して置かれた半球ドーム形状の反射面によりストロボ光源からの光を反射して帯状シートの表面および裏面に照射する２つの照明手段と、各エリア型ＴＶカメラからの帯状シートの表裏の視野毎の画像を画像処理して帯状シートの表裏の欠陥を検査する２台の画像処理手段と、各画像処理手段からの表裏の視野毎の検査結果を総合して帯状シートの表裏の欠陥の判定を行う表裏欠陥判定手段と、を備え、
帯状シートの１短冊の区切りを各画像処理手段で検知し、１短冊内で表裏の複数の視野毎の検査結果を１短冊単位で表裏欠陥判定手段に出力し、１短冊内での表裏の検査結果を総合して帯状シートの表裏の欠陥判定を行うことを特徴とする帯状シート検査装置。
【請求項２】
撮像した１枚の帯状シートの画像において、反対側の照明手段からの光を透過照明として帯状シートの位置検出とエッジ欠け検出とに用い、同一側の照明手段からの光を落射照明として帯状シートの表裏の欠陥検出に用いることを特徴とする請求項１記載の帯状シート検査装置。
【請求項３】
半球ドーム形状と同一側のエリア型ＴＶカメラで観測したときにエリア型ＴＶカメラの観測窓が撮像画像に影として映らない程度の最小サイズの長方形の観測窓を半球ドーム形状の反射面に備えることを特徴とする請求項１記載の帯状シート検査装置。
【請求項４】
画像処理手段内に、ＮＧ判定された撮像画像を検査値とともに記録するＮＧデータ記憶部と、手動で再検査し処理途中の画像を順次表示できる画像処理の手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の帯状シート検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象として、一定の繰り出し速度で繰り出される反射率の低い帯状シート、例えば黒いゴム状のシートや黒っぽい導電塗料が塗布された導電性シートなどの表面および裏面の欠陥を画像処理により検査する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一定の繰り出し速度で繰り出される帯状シートの欠陥は、通常、ライン型ＴＶカメラからの画像を画像処理装置で検査する。帯状シートの繰り出し速度が高速になると、ライン型ＴＶカメラの１ラインを取り込むスキャン時間が短くなり、その分、ライン型ＴＶカメラの露光時間も短くなることから、反射率の低い帯状シートの欠陥の検査過程で、高周波蛍光灯やハロゲン光源の直接照明では欠陥がよく見えない。
【０００３】
そこで、図１に示すように、検査対象の帯状シート１の観測部つまりライン型ＴＶカメラ２の帯状視野の照度を大きくするために、シリンドリカルレンズ３を用いて、棒状光源４からの光をライン状に集光して、観測部の照度を上げるのが一般的であった。この検査によると、照明方向に依存しないコントラストのはっきりした欠陥はよく見えるが、コントラストの小さい欠陥のとき、このような一定方向の照明による直接光ではほとんど見えない。上記のような欠陥検査では、間接照明による照明を使うのがコントラストを上げる最良の手法であるが、これでは、光エネルギーが拡散してしまい、ライン型ＴＶカメラ２を用いると、画像は暗くなってしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来法で、原反ロールから高速で繰り出される低い反射率の帯状シート１の欠陥をライン型ＴＶカメラ２を用いて画像処理するには、ライン状に集光した直接光を用いるしかなかった。ところが、照明角度によって見え方の異なるような欠陥の場合には、図１の方法では、検査の信頼性が低くなるため、図２で示すような照明角度に依存しない間接照明を用いるしかない。
【０００５】
図２の間接照明では、リング照明５の下方が遮光されており、リング照明５から上方向だけに光が出射されるようになっており、出射された光は、散乱面を持つ半球ドーム６の内面により１次以上の反射を行って帯状シート１に到達する。
【０００６】
照明光は、半球ドーム６の内面反射によって、あらゆる方向から与えられるので、一様な強度の照明となっており、ライン状に集光した図１のような一定角度の照明と比べると、半球ドーム６による照明は、反射率の低い帯状シート１の欠陥検査に適している。
【０００７】
ただし、間接照明によると、照明のエネルギーは、面状に拡散するので、ライン状に集光した場合に比べて、観測部の単位面積当りの照度では暗くなるため、間接照明は、ライン型ＴＶカメラ２を用いた画像処理では使えない。
【０００８】
本発明の目的は、反射率の低い帯状シートの検査にあたり、充分な照度の画像を得て、画像処理により帯状シートの表面、裏面およびエッジ部の欠陥を高い信頼性のもとに検査できるようにすることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
図２のような間接光で、ライン型ＴＶカメラ２を用いた場合に照明の効率が悪いのは、面状に照射された光エネルギーのうち、受光できるのはごく一部の線状領域でしかないためである。そこで、ライン型ＴＶカメラ２ではなく、エリア型ＴＶカメラを使用することを検討する。
【００１０】
帯状シート１は、高速例えば３０ｍ／ｍｉｎで繰り出されているから、エリア型ＴＶカメラの画像の分解能にもよるが、概ね、１／１０００秒から１／１００００秒程度のシャッターを切るか、ストロボ発光を使わないと、撮像時に、画像が流れてしまう。
【００１１】
例えば、図３のようなケースで、帯状シート１の幅が５０ｍｍとし、エリア型ＴＶカメラの画像サイズをＶＧＡサイズ（Ｓｈ６４０ｄｏｔ×Ｓｖ４８０ｄｏｔ）で６４ｍｍ×４８ｍｍとする。エリア型ＴＶカメラの画像分解能は、０．１ｍｍである。帯状シート１が速度３０ｍ／ｍｉｎで繰り出されると、画像が流れないようにするには、露光時間での帯状シート１の移動距離を画像分解能の１／２の０．０５ｍｍ以内にすればよいから、これより露光時間を１／１００００秒に設定する必要がある。また、連続的な検査のために、画像は、帯状シート１をオーバーラップして撮像する必要があるので、帯状シート１が４５ｍｍ移動する毎に撮像すればよいと考えて、撮像の時間間隔は、０．０９秒とする。
【００１２】
この撮像の時間間隔毎に、ストロボ光源、例えばキセノンランプの発光用コンデンサーに電荷をチャージしておき、エリア型ＴＶカメラのシャッターが開いている間に、フラッシュ（発光）すればよい。このときのフラッシュ（発光）の時間は、０．００００１秒程度であるから、シャッター開の時間を１／１０００秒程度にしておき、この間に、エネルギー量１Ｊ程度のストロボ発光をさせればよい。この方法を使うことにより、入力画像のある１画素の明るさは、図１のライン型ＴＶカメラ２を用いた場合の１画素相当の明るさでありながら、方向性のない均一な照明光を得ることができる。
【００１３】
具体的には、本発明は、検査対象の反射率の低い帯状シートを一定の繰り出し速度で繰り出しながら帯状シートの表裏の欠陥を画像処理により検査する帯状シート検査装置において、帯状シートを挟んで互いに対向して置かれシャッター機能を持ち帯状シートの表裏面を撮像する２台のエリア型ＴＶカメラと、帯状シートの繰り出し速度に対応した一定の時間の間隔毎に２台のエリア型ＴＶカメラのシャッター開を同時に指令するＴＶカメラ制御部と、エリア型ＴＶカメラのシャッター開の指令に同期して２台のストロボ光源への発光を同時に指令する照明制御部と、この照明制御部からの発光指令の信号によりストロボ光源を発光させて帯状シートを挟んで互いに対向して置かれた半球ドーム形状の反射面によりストロボ光源からの光を反射して帯状シートの表面および裏面に照射する２つの照明手段と、各エリア型ＴＶカメラからの帯状シートの画像を画像処理して帯状シートの表裏の欠陥を検査する２台の画像処理手段と、各画像処理手段からの検査結果を総合して帯状シートの表裏の欠陥の判定を行う表裏欠陥判定手段と、で構成している。
【００１４】
また、帯状シート検査装置は、撮像した１枚の帯状シートの画像において、反対側の照明手段からの光を透過照明として帯状シートの位置検出とエッジ欠け検出とに用い、同一側の照明手段からの光を落射照明として帯状シートの表裏の欠陥検出に用いる。
【００１５】
半球ドーム形状の反射面は、同一側のエリア型ＴＶカメラで観測したときにエリア型ＴＶカメラの観測窓が撮像画像に影として映らない程度の最小サイズの長方形の観測窓を備える。
【００１６】
帯状シート検査装置は、帯状シートの１短冊の区切りを各画像処理手段で検知し、表裏面の検査結果を１短冊単位で表裏欠陥判定手段に出力し検査結果を総合して帯状シートの表裏の欠陥判定を行う。
【００１７】
画像処理手段は、内部に、ＮＧ判定された撮像画像を検査値とともに記録するＮＧデータ記憶部と、手動で再検査し処理途中の画像を順次表示できる画像処理の手段として、ビデオメモリ、Ｄ／Ａ変換器を備える。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図４は、本発明の帯状シート検査装置１０を示している。検査対象の帯状シート１は、前記と同様に、一定の繰り出し速度で走行しているものとする。ＴＶカメラ制御部１１は、一定の時間の間隔毎に、２台のエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂに対してトリガー信号を発する。それぞれのエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂは、帯状シート１の表裏面に向けられており、ＴＶカメラ制御部１１からのトリガー信号を受けて同時に１／１０００秒程度の電子シャッターを開く。
【００１９】
エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂの電子シャッターが開いている時間内に２台のストロボ光源１３ａ、１３ｂが同時に発光するように、照明制御部１４は、ＴＶカメラ制御部１１からの出力信号を受けて、ストロボ光源１３ａ、１３ｂを制御する。このために、照明制御部１４は、帯状シート１の繰り出し速度を取り込みながら、エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂに対するＴＶカメラ制御部１１からのシャッター開の指令（トリガー信号）と同一のタイミングの出力信号を受けて、０．００００１秒から０．００００５秒程度の一定時間の遅延の後に、ストロボ光源１３ａ、１３ｂに対して発光を指令する電子回路により構成されている。
【００２０】
各ストロボ光源１３ａ、１３ｂは、照明制御部１４からの発光指令により、発光用コンデンサにチャージされていた電荷を放出することによって、１Ｊ程度の強力な光を約０．００００１秒の間に照射する。もちろん、このとき、各エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂのシャッターは開いている。各ストロボ光源１３ａ、１３ｂの照射光は、それぞれ光ファイバーケーブル７ａ、７ｂを通して、リング照明ガイド８ａ、８ｂに送られて、リング状に分配され、半球ドーム６ａ、６ｂの内側の反射面９ａ、９ｂで１次以上の反射を行って、帯状シート１の表面および裏面に対して間接光として照射される。
【００２１】
なお、半球ドーム６ａ、６ｂは、帯状シート１を表面側および裏面側から挟む位置に配置されており、頂部に撮像用の観測窓１８ａ、１８ｂを有している。半球ドーム６ａ、６ｂの内面の反射面９ａ、９ｂは、乱反射するような光沢のない表面処理層により形成されている。ここで、半球ドーム６ａ、６ｂ、光ファイバーケーブル７ａ、７ｂ、照明ガイド８ａ、８ｂおよびストロボ光源１３ａ、１３ｂは、照明手段１９ａ、１９ｂを構成している。
【００２２】
画像処理手段１５ａ、１５ｂは、エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂからの画像信号を受けて、帯状シート１の表裏面について、欠陥の有無の検査を行い、その結果を表裏欠陥判定手段１６へ出力する。ここで、表裏欠陥判定手段１６は、帯状シート１の表面および裏面の検査結果データを総合的に判断し、例えば表面または裏面のいずれかに欠陥を検出したときに、ＮＧの信号を外部へ出力する。検査結果の判定は、１画面毎に行われる。すなわち、表裏欠陥判定手段１６は、１視野毎に上記の判定を行う（請求項１）。
【００２３】
さて、欠陥検出は、画像の帯状シート１に相当する部分に帯状シート１よりも少し小さい欠陥検出ウインドウを設定し、その中を例えば２値化処理などを行って、傷などの欠陥を白領域の大きさとして検出する。このときに、帯状シート１の画像の背景からの切り出しが重要であるが、本発明のように、同一タイミングで表面および裏面の双方からストロボ発光すれば、帯状シート１の背景は白くなるから、帯状シート１の画像で、左右のエッジの切り出しは容易になる。
【００２４】
図５は、撮像画像で、帯状シート１の像およびその背景を示している。帯状シート位置検出ウインドウは、帯状シート１の像およびその像の白い背景を含む位置で、帯状シート１の像の幅に対し、左右のずれを考慮した幅のウインドウとして設定され、欠陥検出ウインドウは、帯状シート１の像の内部に設定される。この撮像画像で、左右のエッジの切り出しは、帯状シート位置検出ウインドウ内を画像処理し、エッジ検出処理することによって行われる。すなわち、エリア型ＴＶカメラ１２ａにより帯状シート１を見た場合、エリア型ＴＶカメラ１２ｂ側の半球ドーム６ｂからのストロボ光源１３ｂは、透過光として、エリア型ＴＶカメラ１２ａによる撮像画像上での帯状シート１の像の位置検出を容易にする。
【００２５】
また、図６は、帯状シート１のエッジに発生するエッジ欠けなどの欠陥の撮像画像を示している。このようなエッジの欠陥の検査のために、欠陥検査ウインドウのほかに、エッジ欠け検出ウインドウが帯状シート１の両縁のエッジごとにエッジをまたぐように設定される。このエッジ欠け検出ウインドウ内で、エッジに欠けがあると、帯状シート１の像の内部の欠けは、反対側の照明により白く映るので、画像処理によってエッジからの白く切り込みが入った深さを測定すれば、エッジの欠けが容易に検出できる。もちろん、通常の欠陥検出ウインドウでは、それぞれのエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂの側の照明手段１９ａ、１９ｂを用いて欠陥を見る（請求項２）。
【００２６】
さて、半球ドーム６ａ、６ｂにあるＴＶカメラ用の観測窓１８ａ、１８ｂは、通常、視野に影響のない程度の大きさの円形としてくり抜かれている。観測窓１８ａ、１８ｂが小さいと、観測に必要な充分の視野が得られず、また視野の周辺に半球ドーム６ａ、６ｂの外側が映るから、その大きさは、適切なものとして設定される。
【００２７】
図７は、帯状シート１のない状態でのエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂによる撮像画像を示している。半球ドーム６ａ、６ｂは、帯状シート１を挟んで対向した状態として置かれているため、帯状シート１のない状態での撮像画像で、反対側の半球ドーム６ａ、６ｂの内側の面（反射面９ａ、９ｂ）は、照明光の乱反射により白く見えるが、観測窓１８ａ、１８ｂの位置で照明光がエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂに入らないため、観測窓１８ａ、１８ｂの像は、黒く映る。
【００２８】
図８は、位置ずれした帯状シート１の撮像画像を示している。帯状シート１がずれた場合には、帯状シート１の像のエッジ部に反対側の半球ドーム６ａ、６ｂの観測窓１８ａ、１８ｂの像が黒く映り、エッジ検出に悪影響を与える。これを防ぐには、２つの半球ドーム６ａ、６ｂの形状および大きさ、さらに観測窓１８ａ、１８ｂの大きさおよび形状が同じであるものとして、半球ドーム６ａ、６ｂの観測窓１８ａ、１８ｂの直径を小さくすればよいが、そうすると今度は観測側の半球ドーム６ａ、６ｂの外側の面が画像の四隅に現れてきてしまい、これも不都合となる。また、エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂと帯状シート１との間の距離を充分とることにより、エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂのレンズ中心から撮像側（観測側）の観測窓１８ａ、１８ｂまでの距離とエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂのレンズ中心から反対の観測窓１８ａ、１８ｂまでの距離の比を大きくすることにより、画像上で見える反対側の半球ドーム６ａ、６ｂの観測窓１８ａ、１８ｂの像を小さくするという方法もあるが、装置の大きさの制約上難しいケースが多い。
【００２９】
そこで、半球ドーム６ａ、６ｂの観測窓１８ａ、１８ｂの形状をエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂの撮像素子の形状に合わせることにより、撮像側の半球ドーム６ａ、６ｂの観測窓１８ａ、１８ｂが視野を遮ることなしに、反対側の観測窓１８ａ、１８ｂが帯状シート１のエッジにかかる量を最小限に止めることができる。
【００３０】
図９は、半球ドーム６ａ、６ｂの観測窓１８ａ、１８ｂの形状をエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂの撮像素子の形状に合わせた状態を示している。
【００３１】
図１０は、帯状シート１のない状態での撮像画像である。これによると、半球ドーム６ａ、６ｂの反対側の観測窓１８ａ、１８ｂの像が長方形として見える。図７の半球ドーム６ａ、６ｂの丸い観測窓１８ａ、１８ｂの像の直径と長方形の観測窓１８ａ、１８ｂの像の対角線の長さは同一であるが、長方形の観測窓１８ａ、１８ｂの像の左右の幅は丸い観測窓１８ａ、１８ｂの像の直径よりも小さい。
【００３２】
図１１は、位置ずれした帯状シート１のある状態での撮像画像を示す。この撮像画像は、位置ずれした帯状シート１を長方形の観測窓１８ａ、１８ｂの半球ドーム６ａ、６ｂを用いて撮像したケースである。帯状シート１の位置ずれ量は、図８の場合と同じであるが、観測窓１８ａ、１８ｂの左右の幅が小さいため、反対側の観測窓１８ａ、１８ｂの像は、帯状シート１の像に隠れて見えない状態となる。
【００３３】
このように、半球ドーム形状を持つ照明手段１９ａ、１９ｂによって、同一側のエリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂで観測したときに、観測窓１８ａ、１８ｂが撮像画像に影として映らない程度の最小サイズの長方形の観測窓１８ａ、１８ｂを備えると、帯状シート１の位置ずれによって生じるエッジ検出ミスが発生しにくくなる（請求項３）。
【００３４】
つぎに、図１２は、帯状シート１の形態を示している。帯状シート１の表面および裏面には、ところどころパターンの区切りが形成されており、あるパターンの区切りからつぎのパターンの区切りまでを１短冊とする。このために、検査結果は、通常、帯状シート１の表面および裏面を含めた１短冊毎の結果でなくてはならない。
【００３５】
図１２の例では、視野Ｎｏ．が１１から１５までの１短冊分を検査する。この検査過程で、隣り合う視野は、繰り出し方向でオーバーラップしており、連続的な検査の過程で、検査漏れのないように設定されている。このような設定は、繰り出し速度、撮像間隔、視野サイズによって決まるから、ＴＶカメラ制御部１１は、前記の通り、繰り出し速度および視野サイズを考慮し、視野と視野との間のオーバーラップを確保した撮像間隔となっている。なお、オーバーラップ量は、計算式〔オーバーラップ量＝視野サイズ−（撮像間隔Ｔ×繰り出し速度Ｖ）〕によって求められる。
【００３６】
図１３は、画像処理手段１５ａ、１５ｂの内部構成を示している。エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂからの画像信号は、Ａ／Ｄ変換器２０によって、Ａ／Ｄ変換され、画像メモリ２１に入力される。ＣＰＵ２２は、画像処理プログラム２３に従って、欠陥検出のための画像処理や、検査結果のＮＧ検査結果バッファ２９、３０への格納、ディスプレイ１７ａ、１７ｂにより表示したい画像のビデオメモリ２７への転送などを双方向バス２５を介して行う。メモリ２４は、画像処理プログラム２３の実行時のワークエリアである。
【００３７】
Ｉ／Ｆ部３１は、ＮＧ検査結果バッファ２９のデータを表裏欠陥判定手段１６に転送する。このあと、ＣＰＵ２２は、ＮＧ検査結果バッファ３０のデータをＮＧ検査結果バッファ２９へ転送する。ビデオメモリ２７の内容は、Ｄ／Ａ変換器２８により変換されて、ディスプレイ１７ａ、１７ｂに表示される。ここで、表裏欠陥判定手段１６は、２つの画像処理手段１５ａ、１５ｂからの結果データを総合して、１短冊の区間での複数の画像について帯状シート１の表面および裏面の欠陥判定を行う（請求項１）。
【００３８】
また、画像処理手段１５ａ、１５ｂは、ＮＧデータ記憶部２６を備える。ＮＧデータ記憶部２６は、不良判定した画像を蓄えるＲＡＭまたはハードディスクなどの記憶装置であって、自動モードでの検査終了後に手動モードで画像を作業者により確認するときに用いられる。ＮＧデータは、ＮＧ画像とそれに対応する検査値とから構成されている。手動モードで、ＮＧ画像を再表示する際は、ＣＰＵ２２によりＮＧ画像をビデオメモリ２７に転送することにより、それぞれのディスプレイ１７ａ、１７ｂに帯状シート１の表面および裏面のＮＧ画像が表示される。作業者は、ＮＧ画像およびこれと併せて記憶してある検査値（エッジ欠け検出、欠陥検出の各々の判定値と比較して、ＮＧになった検査値）を表示することにより、如何なる値で判定されたかの履歴を知ることができる。また、画像処理手段１５ａ、１５ｂは、画像を再検査する機能を有する。作業者は、エッジ欠けや欠陥検出処理の各ステップ毎に途中段階の処理画像を表示することにより、判定値が適切であるかどうかを作業者自身の目で確かめることができる（請求項４）。
【００３９】
つぎに、図１４は、画像処理プログラムによる１視野毎の画像処理の順序を示している。画像処理手段１５ａ、１５ｂは、エリア型ＴＶカメラ１２ａ、１２ｂからの画像信号をＡ／Ｄ変換して、画像メモリ２１に格納した後、エッジ位置の検出を行い、つぎに、視野の中での１短冊の検知動作を行い、１短冊検知？の判断を行う。１短冊の検知？は、例えば画面の２値化を行った後、画像のレベル（黒＝０、白＝１）を画面のＹ軸方向に射影をとり、その射影値の谷間を見つけ、パターンの区切りを検出することにより行う。
【００４０】
各々の画像処理手段１５ａ、１５ｂは、前記のように、検査結果を記憶する２つのバッファとして、ＮＧ検査結果バッファ２９、ＮＧ検査結果バッファ３０を持っている。１短冊検知？の判定の結果Ｙｅｓのとき、つまりパターンの区切りのある視野では、画像処理手段１５ａ、１５ｂは、現在検査中（図１２では視野Ｎｏ．１１のパターン区切りの下側）の１短冊分について、エッジ欠け検出、欠陥検出を行い、それらの検査結果をＮＧ検査結果バッファ２９とデータ論理演算し、また、つぎの１短冊（図１２では視野Ｎｏ．１１のパターン区切りの上側）の１短冊分についてエッジ欠け検出、欠陥検出を行い、それらの検査結果をＮＧ検査結果バッファ３０に入れる。なお、データ論理演算は、ＮＧ＝１、ＯＫ＝０として、論理和をとることにより行う。このあと、それぞれの画像処理手段１５ａ、１５ｂは、ＮＧ検査結果バッファ２９の内容をＩ／Ｆ部３１より表裏欠陥判定手段１６に送信してから、ＮＧ検査結果バッファ３０のデータをＮＧ検査結果バッファ２９に転送し、エンドとなる。１短冊検知？の判定の結果、Ｎｏつまりパターンの区切りのない視野では、画像処理手段１５ａ、１５ｂは、前記と同様に、現在検査中の１短冊分についてエッジ欠け検出、欠陥検出を行い、それらの検査結果をＮＧ検査結果バッファ２９とデータ論理和演算し、エンドに至る。
【００４１】
【発明の効果】
本発明では、下記の特有の効果が得られる。高速に繰り出されるコントラストの低い帯状シートでも、間接光による照明を用いた照度の充分ある画像を得ることができるようになるとともに、一定の繰り出し速度で繰り出される長い帯状シートの１短冊を区切りとし、その１短冊の区間の表裏面をエリア型ＴＶカメラによりオーバーラップする複数の視野として撮像し、その１短冊を単位として表裏の欠陥検査を行うため、帯状シートの表裏の欠陥判定が１短冊の区間で連続的に行え、検査が合理化でき、しかもオーバーラップする複数の視野により１短冊の区間での検査漏れがなくなる（請求項１）。互いに反対側の照明を透過光として用いることにより、光学系をコンパクトにすることできる（請求項２）。また、最小サイズの長方形の観測窓を備えることにより、帯状シートの走行位置のずれの影響を受けにくくすることができる（請求項３）。さらに、ＮＧ判定された撮像画像を検査値とともに記憶し、再検査の過程で画像を順次表示できるため、ＮＧ画像を再検査により確認し、判定値の調整が容易に行える（請求項４）。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の一般的な観測方法の斜面図である。
【図２】半球ドームによる間接照明の説明図である。
【図３】エリア型ＴＶカメラによる視野の説明図である。
【図４】本発明による帯状シート検査装置の説明図である。
【図５】帯状シートの撮像画像上で、欠陥検出ウインドウおよび帯状シート位置検出ウインドウの位置関係の説明図である。
【図６】帯状シートの撮像画像上で、エッジ欠け検出ウインドウの説明図である。
【図７】帯状シートのない状態での撮像画像の説明図である。
【図８】位置ずれした帯状シートのある状態での撮像画像の説明図である。
【図９】半球ドームの平面図である。
【図１０】帯状シートのない状態での撮像画像の説明図である。
【図１１】位置ずれした帯状シートのある状態での撮像画像の説明図である。
【図１２】帯状シートの表面および裏面の区切りの説明図である。
【図１３】画像処理手段のブロック線図である。
【図１４】１視野毎の画像処理の順序の説明図である。
【符号の説明】
１  帯状シート
２  ライン型ＴＶカメラ
３  シリンドリカルレンズ
４  棒状光源
５  リング照明
６、６ａ、６ｂ  半球ドーム
７ａ、７ｂ  光ファイバーケーブル
８ａ、８ｂ  リング照明ガイド
９ａ、９ｂ  反射面
１０  帯状シート検査装置
１１  ＴＶカメラ制御部
１２ａ、１２ｂ  エリア型ＴＶカメラ
１３ａ、１３ｂ  ストロボ光源
１４  照明制御部
１５ａ、１５ｂ  画像処理手段
１６  表裏欠陥判定手段
１７ａ、１７ｂ  ディスプレイ
１８ａ、１８ｂ  観測窓
１９ａ、１９ｂ  照明手段
２０  Ａ／Ｄ変換器
２１  画像メモリ
２２  ＣＰＵ
２３  画像処理プログラム
２４  メモリ
２５  双方向バス
２６  ＮＧデータ記憶部
２７  ビデオメモリ
２８  Ｄ／Ａ変換器
２９  ＮＧ検査結果バッファ
３０  ＮＧ検査結果バッファ
３１  Ｉ／Ｆ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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