【事件の表示】
　特願２００２−１６１３５７「単結晶の製造装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　１月１５日出願公開、特開２００４−　１０３６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１４年６月３日の出願であって、平成１９年２月２１日付けで拒絶理由の起案がなされ、同年４月２０日付けで意見書及び手続補正書の提出がなされ、同年５月１８日付けで拒絶査定の起案がなされ、同年６月２０日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　本願請求項１〜４に係る発明は平成１９年４月２０日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　
「【請求項１】　チョクラルスキー法による単結晶の製造装置であって、少なくとも、原料を溶融し、該溶融した原料から単結晶を引上げるメインチャンバと、前記引上げた単結晶を収納するプルチャンバと、前記メインチャンバとプルチャンバを隔離するアイソレーションバルブと、チャンバ内の圧力により開放される安全弁とを具備し、前記安全弁はその開放圧力Ｆ（ｋｇ／ｃｍ２）が、前記メインチャンバの最大シール面の断面積Ａ（ｃｍ２）と該最大シール面にかかる全重量Ｗ（ｋｇ）について、Ｆ＜Ｗ／Ａを満たし、該安全弁は前記単結晶の製造装置からの飛散防止のためのチェーンが設けられているものであることを特徴とする単結晶の製造装置。」
　
２．引用文献
　原査定の拒絶の理由に引用文献１として引用された実願昭６０−８２５７２号（実開昭６１−１９９５７６号）のマイクロフィルム（以下、「引用文献１」という。）には、以下の記載がある。
（１）「単結晶引上装置の気密容器内が加圧状態となることを防止するために前記気密容器の側壁に設けたポート（出入口）とこのポートの前面を開閉可能な扉状の弁にて形成した防爆弁を設け、前記弁はポートの上方より支持され前記引上装置の運転停止または休止時には弁の自重とばねまたは磁石によつてポートに軽く押付けられ、前記引上装置の運転時には減圧となつたポート側に気密容器内外の差圧分で強く押付けられて気密を維持し、また気密容器が加圧状態となれば弁はポートを開くように外方に押出されるように構成したことを特徴とする防爆弁を有する単結晶引上装置。」（実用新案登録請求の範囲）
（２）「（考案の構成と作用）・・・・・・４は防爆弁（弁と略記す、ポート３の面を覆う円板状の蓋）・・・・・・チャンバ内部が加圧状態となりチャンバ内部より弁４を開く力が働くとき、この力が初期押圧力より大きくなると弁４は直ちに開きチャンバ内部の過加圧状態は直ちに解除される。」（３頁１４行〜４頁１３行）
（３）「（考案の効果）
　本考案によって前記水蒸気爆発時の単結晶引上装置の破損を最小限に抑止しかつ作業者の安全を確保することができる。」（４頁１４〜１７行）
　上記（１）〜（２）の記載を本願発明の記載ぶりに則して整理すると、引用文献１には、「単結晶引上装置であって、チャンバ内部が加圧状態となりチャンバ内部より弁を開く力が働くとき、この力が初期押圧力より大きくなると開く防爆弁を具備した単結晶引上装置」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているといえる。
３．対比・判断
  本願発明と引用発明とを対比する。
（あ）引用発明の「単結晶引上装置」は、本願発明の「単結晶の製造装置」に相当する。
（い）引用発明の「チャンバ内部が加圧状態となりチャンバ内部より弁を開く力が働くとき、この力が初期押圧力より大きくなると開く防爆弁」は、本願発明の「チャンバ内の圧力により開放される安全弁」に相当することは明らかである。
　そうすると、両者は、共に、
「単結晶の製造装置であって、チャンバ内の圧力により開放される安全弁を具備した単結晶製造装置」である点で一致し、以下の点で相違している。
相違点Ａ:単結晶製造装置に関し、本願発明では、チョクラルスキー法によるものであって、少なくとも、原料を溶融し、該溶融した原料から単結晶を引上げるメインチャンバと、前記引上げた単結晶を収納するプルチャンバと、前記メインチャンバとプルチャンバを隔離するアイソレーションバルブとを具備しているのに対し、引用発明ではかかる事項を具備していることについて言及がない点
相違点Ｂ:安全弁の開放圧力Ｆ（Ｋｇ／ｃｍ２）につき、本願発明では、メインチャンバの最大シール面の断面積Ａ（ｃｍ２）と該最大シール面にかかる全重量Ｗ（ｋｇ）について、Ｆ＜Ｗ／Ａを満たしているのに対し、引用発明ではかかる事項を具備していることについて言及がない点
相違点Ｃ：安全弁につき、本願発明は単結晶の製造装置からの飛散防止のためのチェーンが設けられているものであるのに対し、引用発明かかる事項を有していない点
　そこで、これら相違点について検討する。
・相違点Ａについて
　単結晶製造装置において、チョクラルスキー法によるものであって、少なくとも、原料を溶融し、該溶融した原料から単結晶を引上げるメインチャンバと、前記引上げた単結晶を収納するプルチャンバと、前記メインチャンバとプルチャンバを隔離するアイソレーションバルブとを具備し、しかも、水蒸気爆発を回避するものは周知であるから（要すれば、特開平９−１７５８８１号公報（原査定の拒絶の理由で引用文献３として引用したもの）特開平１０−７２２７８号公報、特開平１０−２６５２９２号公報を参照）、当業者であれば、上記（３）に記載されるように水蒸気爆発時の装置の破損を最小限にし作業者の安全を確保する引用発明を、チョクラルスキー法によるものであって、少なくとも、原料を溶融し、該溶融した原料から単結晶を引上げるメインチャンバと、前記引上げた単結晶を収納するプルチャンバと、前記メインチャンバとプルチャンバを隔離するアイソレーションバルブとを具備した単結晶製造装置に適用することは困難とはいえない。
・相違点Ｂについて
　防爆弁、すなわち、安全弁は内圧が所定の値以上になると圧力を開放する動作をするものであって、この所定の値は内圧の影響を受ける個所の許容する内圧値を基に決められるものであり、プルチャンバーが内圧の影響を受けることは明らかであるから、例えば、プルチャンバーの浮き上がりを防止するならば、開放圧力Ｆ（Ｋｇ／ｃｍ２）につきメインチャンバの最大シール面の断面積Ａ（ｃｍ２）と該最大シール面にかかる全重量Ｗ（ｋｇ）について、Ｆ＜Ｗ／Ａを満たすようにすることは、当業者であれば適宜なし得る程度のことである。
・相違点Ｃについて
　本願発明の「単結晶の製造装置からの飛散防止のためのチェーンが設けられている」安全弁とは、本願明細書【００２１】の「安全弁６０は、チャンバ壁から突出した円筒形状のボディ４１にちょうつがい４３によりシールプレート４２が取付けられている。・・・・・・なお、チャンバ内部の高圧によりちょうつがい４３が破断してもシールプレート４２が飛んでいかないように、シールプレート４２にはチェーン４４が取付けられており」との記載によれば、シールプレート４２にちょうつがい４３とチェーン４４が取付けられているものを含むものである。ここで、シールプレートは安全弁の蓋とみることができ、安全弁の蓋にちょうつがいやチェーンなどをつけて弁の飛散を防止することは周知技術であり（要すれば、実願平４−１１８０４号（実開平５−７４６３４号）のＣＤ−ＲＯＭの【００１０】〜【００１１】）また、安全対策において、複数の安全対策手段を組合わせることも周知技術であるから、安全弁の飛散防止のために蓋にチェーンを設けることは、この周知技術の単なる採用にすぎず当業者であれば困難なくなしえたことである。
　そして、相違点Ａ〜Ｃに係る本願発明の特定事項がもたらす作用・効果は当業者であれは、当然に予想しうる程度のものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用文献１及び３に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることはできない。  
 　したがって、その余の請求項について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。  
 　よって、結論のとおり審決する