【事件の表示】
　特願２００３−１３１０２６「荷電粒子線装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１１月２５日出願公開、特開２００４−３３５３２０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯 
　本願は、平成１５年５月９日に出願された特願２００３−１３１０２６号であって、平成１８年１０月２日付けで拒絶理由通知がされ、同年１１月２７日付けで手続補正がされ、これに対して、平成１９年３月１４日付けで拒絶査定がされ、これに対して、同年４月１９日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、同年５月２１日付けで手続補正がされたものである。
　　 
第２．補正却下の決定 
　 
［結論］ 
　 
　　平成１９年５月２１日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 
　 
［理由］ 
１．本件補正
　本件補正は、明細書について補正を行うもので、そのうち特許請求の範囲についてする補正は、その請求項１乃至７について、補正前（平成１８年１１月２７日付け手続補正によって補正。以下同じ。）に
　
「【請求項１】
　電子銃と、該電子銃から放出された一次荷電粒子線を細く絞って試料上に照射する２段以上からなる集束レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で二次元的に操作する偏向器と、前記一次荷電粒子線の照射によって試料から発生する信号を検出する信号検出器と、および該検出信号器の信号を像として表示させる像表示手段とを備えた荷電粒子線装置において、
　前記電子銃の陰極と一次荷電粒子線の引出電極との間に印加される引出電圧、および該陰極と一次荷電粒子線を加速させる加速電極との間に印加される加速電圧を制御する電圧制御装置と、前記集束レンズの励磁を制御する集束レンズ励磁制御装置と、前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値に対する計測された像の移動量を検出する手段と、前記加速電圧と、前記引出電圧との比で定まり、仮想の荷電粒子放出点である仮想陰極位置を設定する手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、該仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバー位置を制御し、かつ前記移動量を検出する手段によって検出された前記移動量から前記集束レンズの励磁を制御すること
　を特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
　請求項１記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズのクロスオーバの制御目標位置をブランキング偏向支点となし、クロスオーバ位置の検出手段としてブランキング用の偏向電極に印加するブランキング電圧の制御とそのときの像の動きを検出する手段を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
　請求項２記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記像表示手段上の像の移動量が最小になるように集束レンズを制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
　請求項３記載の荷電粒子線装置において、集束レンズの励磁を少なくとも２点以上変化させて、前記像表示手段上の像の移動量を計測し、移動量が最小になる励磁条件を算出する手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
　請求項４記載の荷電粒子線装置において、励磁条件を表示させる手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
　請求項４または５記載の荷電粒子線装置において、像移動量を算出する過程の像移動画像を前記像表示手段上に表示させる手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
　請求項１記載の荷電粒子線装置において、引出電極と加速電極の間に制御電極を設け、前記陰極から前記引出電極によって引き出された一次荷電粒子線の広がりを制御するよう該制御電極へ電圧を印加する手段を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。」
　
とあったものを、
　
「【請求項１】
　電子銃と、該電子銃から放出された一次荷電粒子線を細く絞って試料上に照射する２段以上からなる集束レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で二次元的に操作する偏向器と、前記一次荷電粒子線の照射によって試料から発生する信号を検出する信号検出器と、および該検出信号器の信号を像として表示させる像表示手段とを備えた荷電粒子線装置において、
　前記電子銃の陰極と一次荷電粒子線の引出電極との間に印加される引出電圧、および該陰極と一次荷電粒子線を加速させる加速電極との間に印加される加速電圧を制御する電圧制御装置と、前記集束レンズの励磁を制御する集束レンズ励磁制御装置と、前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値と前記集束レンズの励磁電流を変化させて計測された像の移動量を検出する手段と、前記加速電圧と前記引出電圧との比で設定し、かつ集束レンズの励磁電流を複数変えたときのフォーカス状態から定められた集束レンズの励磁電流を用いて仮想陰極位置を算出する仮想陰極算出手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記算出された仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバ位置を制御し、かつ前記移動量を検出する手段で検出された前記移動量によって前記集束レンズの励磁電流を制御すること
　を特徴とする荷電粒子装置。
【請求項２】
　請求項１記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズのクロスオーバの制御目標位置をブランキング偏向支点となし、クロスオーバ位置の検出手段としてブランキング用の偏向電極に印加するブランキング電圧の制御とそのときの像の動きを検出する手段を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
　請求項２記載の荷電粒子線装置において、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記像表示手段上の像の移動量が最小になるように集束レンズを制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
　請求項３記載の荷電粒子線装置において、集束レンズの励磁電流を少なくとも２点以上変化させて、前記像表示手段上の像の移動量を計測し、移動量が最小になる励磁条件を算出する手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
　請求項４記載の荷電粒子線装置において、励磁条件を表示させる手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
　請求項４または５記載の荷電粒子線装置において、像移動量を算出する過程の像移動画像を前記像表示手段上に表示させる手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
　請求項１記載の荷電粒子線装置において、引出電極と加速電極の間に制御電極を設け、前記陰極から前記引出電極によって引き出された一次荷電粒子線の広がりを制御するよう該制御電極へ電圧を印加する手段を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。」
　
　と補正するものであるところ、その内容は、補正前の請求項１における「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値に対する計測された像の移動量を検出する手段」を、「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値と前記集束レンズの励磁電流を変化させて計測された像の移動量を検出する手段」と補正し、補正前の請求項１における「前記加速電圧と、前記引出電圧との比で定まり、仮想の荷電粒子放出点である仮想陰極位置を設定する手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、該仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバー位置を制御し、」を、「前記加速電圧と前記引出電圧との比で設定し、かつ集束レンズの励磁電流を複数変えたときのフォーカス状態から定められた集束レンズの励磁電流を用いて仮想陰極位置を算出する仮想陰極算出手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記算出された仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバ位置を制御し、」と補正し、補正前の請求項４における「集束レンズの励磁を少なくとも２点以上変化させて、」を、「集束レンズの励磁電流を少なくとも２点以上変化させて、」と補正するものである。
　 
２．補正の適否 
２−１．新規事項の有無
　上記補正事項の内、補正前の請求項１における「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値に対する計測された像の移動量を検出する手段」を、「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値と前記集束レンズの励磁電流を変化させて計測された像の移動量を検出する手段」とする補正について検討する。
　願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「当初明細書等」という。）には、段落番号【００１５】ないし段落番号【００１９】に、集束レンズの励磁電流を変化させて計測された像の移動量を検出することの記載はあるが、集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値を変化させて計測された像の移動量を検出することについての記載はなく、また、当初明細書の他の箇所の記載を参酌しても、「制御目標値」と「集束レンズの励磁電流」を「変化させて」「計測された像の移動量」を「検出する手段」は当初明細書等から自明な事項ではない。
　したがって、本件補正は、当初明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものでなく、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するものであるから、同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
　なお、補正後の請求項１における当該箇所は、「制御目標値」と「像の移動量」を「検出する手段」とも読み取れるが、当初明細書等には、制御目標値を検出する手段についての記載もなく、また、当初明細書の他の箇所の記載を参酌しても、「制御目標値」と「像の移動量」を「検出する手段」も当初明細書等から自明な事項ではない。
　
２−２．補正の目的要件
　仮に、上記補正が当初明細書等に記載した事項の範囲内においてなされたものであるとしても、補正前の請求項１における「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値に対する計測された像の移動量を検出する手段」を、「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値と前記集束レンズの励磁電流を変化させて計測された像の移動量を検出する手段」とする補正は、「制御目標値」と「集束レンズの励磁電流」を「変化させて」「計測された像の移動量」を「検出する手段」を意味するのか、「制御目標値」と「像の移動量を検出する手段」を意味するのか不明確であって、明りょうでない記載の釈明を目的とする補正に該当しない。さらに前記補正は請求項の削除、特許請求の範囲の限定的減縮、誤記の訂正のいずれを目的とするものでもない。
　また、補正前の請求項１における「前記加速電圧と、前記引出電圧との比で定まり、仮想の荷電粒子放出点である仮想陰極位置を設定する手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、該仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバー位置を制御し、」を、「前記加速電圧と前記引出電圧との比で設定し、かつ集束レンズの励磁電流を複数変えたときのフォーカス状態から定められた集束レンズの励磁電流を用いて仮想陰極位置を算出する仮想陰極算出手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記算出された仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバ位置を制御し、」とする補正のうち、「仮想陰極位置を算出する仮想陰極算出手段」は、補正前の請求項１の「仮想陰極位置を設定する手段」を、概念的により下位の事項としたものではないから、限定的減縮を目的とする補正に該当しない。さらに前記補正は請求項の削除、誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明のいずれを目的とするものでもない。
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第４項の各号に掲げるいずれの事項を目的とするものにも該当せず、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　 
２−３．独立特許要件 
　仮に、上記補正が当初明細書等に記載した事項の範囲内においてなされたものであって、かつ、特許法第１７条の２第４項第２号に掲げる事項を目的とするものにも該当するものであるとしても、以下に述べるように、特許法第３６条第６項第１号の規定により、独立して特許を受けることができないものである。
　
　請求項１における「前記集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値と前記集束レンズの励磁電流を変化させて計測された像の移動量を検出する手段」について、発明の詳細な説明には、段落番号【００１５】ないし段落番号【００１９】に、集束レンズ５の励磁を複数点変化させて、偏向電極１９に電圧Ｖｂを印加したときの画面上の目標物２１の像移動量ｄｒを計測し、移動量の変化分から最小になる励磁条件を算出すること、および、集束レンズ５の励磁を固定位置にフォーカスさせる方法から仮想陰極位置Ｓから算出した値に設定し、更に、集束レンズ５の励磁を複数点変化させて像の移動分から最小になる励磁条件を算出することが記載されているが、「クロスオーバ位置の制御目標値」を「変化させて」「計測された像の移動量」を「検出する」ことは記載されていない。また、「制御目標値」を「検出する」ことも記載されていない。さらに、明細書の他の箇所においても、「クロスオーバ位置の制御目標値」を「変化させて」「計測された像の移動量」を「検出する」こと、若しくは、「制御目標値」を「検出する」ことは記載されていない。
　 
　したがって、発明の詳細な説明中には、請求項１に係る発明と対応する事項が記載も示唆もされておらず、請求項１に係る発明は発明の詳細な説明に記載したものではない。
　 
　よって、請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではないから特許法第３６条第６項第１号の規定により、独立して特許を受けることができないものである。
　 
３．本件補正についての結び 
　 
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第３項及び第４項の規定に適合しておらず、また、仮に適合しているとしても、請求項１に係る発明は特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項の規定により準用する同法第１２６条第５項の規定に違反する。
　 
　したがって、本件補正は、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　
第３．本願発明について
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、「第２［理由］１．」に示す本件補正前の請求項１に記載された事項により特定されるものである。
　　
Ｉ．特許法第３６条第６項第１号について
　
　本願発明における「クロスオーバ位置の制御目標値に対する計測された像の移動量を検出する手段」という記載について、発明の詳細な説明には、段落番号【００１５】ないし段落番号【００１９】に、集束レンズ５の励磁を複数点変化させて、偏向電極１９に電圧Ｖｂを印加したときの画面上の目標物２１の像移動量ｄｒを計測し、移動量の変化分から最小になる励磁条件を算出すること、および、集束レンズ５の励磁を固定位置にフォーカスさせる方法から仮想陰極位置Ｓから算出した値に設定し、更に、集束レンズ５の励磁を複数点変化させて像の移動分から最小になる励磁条件を算出することが記載されているが、「クロスオーバ位置の制御目標値」に対する「像の移動量」を検出することについては記載も示唆もない。
　
　したがって、請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではない。
　
　よって、本願の明細書は、特許法第３６条第６項第１号の規定を満たしていない。
　
ＩＩ．特許法第２９条第２項について 
１．引用例
１−１．原査定の拒絶の理由で引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００１−３５７８１１号公報（以下、「引用例１」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。
　
（ア）「【請求項１】  荷電粒子ビームを発生する荷電粒子銃と、前記荷電粒子ビームを試料上に細く絞って照射するための対物レンズと、前記荷電粒子ビームを試料上で２次元的に走査する走査器とを含む走査形荷電粒子顕微鏡において、
前記荷電粒子銃と前記走査器との間に前記荷電粒子ビームのクロスオーバーを設け、該クロスオーバーを支点として前記荷電粒子ビームを偏向する偏向器を備えることを特徴とする走査形荷電粒子顕微鏡。
・・・・・
【請求項３】  請求項１又は２記載の走査形荷電粒子顕微鏡において、異なった偏向角の荷電粒子ビームを用いて得た複数枚の顕微鏡像をそれぞれ別個に記憶する画像メモリと、それらの顕微鏡像の間での模様のズレ量を計算する演算器とを備えたことを特徴とする走査形荷電粒子顕微鏡。
【請求項４】  請求項３記載の走査形荷電粒子顕微鏡において、前記複数枚の像の模様のズレ量から顕微鏡像の焦点合わせに必要な焦点距離補正量を計算し、前記対物レンズの焦点距離を前記焦点距離補正量で補正された値に設定する制御器を有することを特徴とする走査形荷電粒子顕微鏡。」
　
（イ）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、細く絞った荷電粒子ビームを試料に照射し、それを走査して試料の顕微鏡像をＣＲＴ等の表示装置上に得る走査形荷電粒子顕微鏡に関するものであり、特に、その顕微鏡の焦点合せ作業と非点収差補正作業の簡易化方法に関する。」
　
（ウ）「【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。理解を容易にするため、以下の図において同じ機能部分には同一の番号を付して説明する。図１は、本発明をＳＥＭに応用した本発明の実施形態を示す図である。電子銃１より発射された電子ビーム２はコンデンサーレンズ３、偏向器４、走査器５を通って対物レンズ６に入る。電子ビーム２は、対物レンズ６の集束作用により細く絞られて試料７を照射する。顕微鏡像を得るために、電子ビームは走査器５により試料７上を２次元走査され、同時に、試料７から発生した２次電子が２次電子検出器８により全体制御器９に取り込まれる。全体制御器９は、この信号をＣＲＴ１０の輝度変調信号に使ってＣＲＴ１０のディスプレイ上に顕微鏡像を描く。
【００１４】以上の構成において、本発明の特徴とする構成は、（１）電子ビーム２を偏向するために偏向器４を設け、かつ、（２）偏向器４の偏向支点に電子ビーム２がクロスオーバー１１を持つようにコンデンサーレンズ３の焦点距離が調節されていることである。また、電子ビーム２を試料７上に細く絞る原理は、クロスオーバー１１の像を対物レンズ６により試料７上に縮小投影して小さなスポットを得ることであることは言うまでもない。
【００１５】顕微鏡像の観察中に電子ビーム２を点線で示したビームのように白抜き矢印方向に偏向すると、以下の現象が発生する。もし、図１に示されたように、クロスオーバー１１の像２２が、試料７上にピントの合った状態で投影されていなければ、即ち、クロスオーバー１１の像２２が対物レンズ６と試料７の間に作られている場合には、図のように、試料上でのビーム走査の中心点がＡ点（ビーム偏向前の中心点）からＢ点に移動する。その結果、ＣＲＴ１０上に描かれる顕微鏡像は、図のように、実線の形のものから破線の形のものに変化する。即ち、模様が移動する。もし、クロスオーバー１１の像が正確に試料７上に在る場合には、ビームを偏向しても走査中心位置は変らない。このことは図１より容易に分かる。
【００１６】対物レンズ６のレンズ収差を考慮してこの考察を進めると、ビームを偏向器４で角度θだけ偏向した時の像の移動量ｄを計算することができる。即ち、球面収差係数がＣｓの対物レンズにΔｆの焦点ハズレ（クロスオーバー１１が試料７上に結像されている状態からの対物レンズ６の焦点距離の差分）がある時の像の移動量ｄは、次の〔数１〕のように数式で表すことができる。ここで、Ｍ１は電子ビームに対する対物レンズ６の結像倍率、Ｍ２は試料像の拡大倍率（顕微鏡の倍率）である。
【００１７】
【数１】
ｄ＝Ｍ2・(Δｆ＋Ｃｓ・(θ/Ｍ1)2)・(θ/Ｍ1)
【００１８】この〔数１〕を使えば、本発明を利用して顕微鏡像の焦点合わせを行うに必要な対物レンズの調節条件が分かる。即ち、電子ビームを偏向してもＣＲＴ１０上の顕微鏡像が動かなくなるように、即ち、ｄが零となるように対物レンズ６の焦点距離を調節したとすると、その時、対物レンズ６の焦点ハズレ量は−Ｃｓ・（θ／Ｍ１）２になっている。本発明ではこの原理を利用して、顕微鏡像の移動を認識することによる焦点合わせを行う。
【００１９】ここでは、顕微鏡像形成のビーム走査を１／３０秒周期で行い、かつ、ビーム偏向はビーム走査に同期して行った。即ち、顕微鏡像１枚作成毎にビーム偏向を設定・解除した。奇数枚目の顕微鏡像はビーム偏向無しの状態で得られたものがＣＲＴ上に表示され、偶数枚目の像は偏向されたビームで作られる。目の残像効果により、ビーム偏向前後の像の動きは、動きとしては認識されず、図１に図示したような２重像模様の絵の様に見えた。ビーム偏向の周期を長くすると、２重像ではなく像の揺れのように見える。
【００２０】オペレータは２重像模様が１重像模様になるように対物レンズ６の焦点距離を調節する。１重像模様になった時点で全体制御器９に設けられたフォーカスボタン１２を押し下げる。全体制御器９には前もって、電子ビームに対する対物レンズ６の結像倍率Ｍ１とビーム偏向角度θと球面収差係数Ｃｓの値が登録されている。全体制御器９はそれらの値を使って、その時の対物レンズ６の焦点ハズレ量Δｆを計算し、さらに、焦点ハズレ量を−０．２５Ｃｓα２に設定するための焦点距離変化量、−Ｃｓ・（θ／Ｍ１）２＋０．２５Ｃｓα２を計算して、焦点距離をそれだけ変えるように対物レンズ電源１３に指令する。ここで、αは試料から見た電子ビームの半開角でビーム偏向角度θとは違ったものであることに注意する必要がある。αはアパーチャ１４の孔径と電子ビーム光学系のレンズ倍率とで決めており、これも既知の量である。」
　
（エ）「【００２８】先に示した図１の実施形態では、偏向器４の偏向動作を時間に対して周期的に行い、かつ、ＳＥＭ像を時々刻々ＣＲＴに表示したが、本実施形態では偏向動作はただ１度だけ行い、その偏向前後のＳＩＭ像をそれぞれ画像メモリＡ１８と画像メモリＢ１９とに貯えるようにしている。演算器２０は画像メモリＡ１８と画像メモリＢ１９に貯えたＳＩＭ像の画像データの相互相関を計算し、両画像の間の模様の移動量ｄを、移動方向の符号を含めて算出する。移動量ｄの理論式はすでに〔数１〕に示した。
【００２９】演算器２０は両画像の間の模様の移動量ｄと前記〔数１〕とから対物レンズ６の現在の焦点はずれ量Δｆを計算する。さらに、図１の実施形態での説明と同じ原理を使って、イオンビームの最小錯乱円を試料７上に設けるのに必要な対物レンズ６の焦点距離補正量を計算する。全体制御器９はこの補正量だけ焦点距離を変えるよう対物レンズ電源１３に指令する。即ち、図１の実施形態では、何枚もの顕微鏡像を観察しながら顕微鏡の焦点合わせを実行したが、また、従来のＳＩＭではさらに多い枚数の顕微鏡像の観察により焦点合わせを実行していたが、この実施形態では２枚の像を取り込むだけで焦点合わせを行うことができる。そこで本発明によれば、従来に比べて極めて少ない量のイオンビーム照射で焦点合わせができるようになり、イオンビーム照射が招くところの試料損傷が著しく軽減された。」
　
　上記記載を総合勘案すると、引用例１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　
「電子ビーム２を発射する電子銃１と、前記電子ビーム２を試料上に細く絞って照射するための対物レンズ６と、前記電子ビーム２を試料７上で２次元的に走査する走査器５と、試料７から発生した２次電子を取り込む２次電子検出器８と、前記２次電子検出器８の信号をＣＲＴ１０の輝度変調信号に使ってＣＲＴ１０のディスプレイ上に顕微鏡像を描く全体制御器９を含む走査形荷電粒子顕微鏡において、
　前記電子銃１と前記走査器５との間に前記電子ビーム２がクロスオーバー１１を持つようにコンデンサーレンズ３の焦点距離が調節され、該クロスオーバーを支点として前記電子ビーム２を偏向する偏向器４を備え、さらに、全体制御器９が、異なった偏向角の電子ビーム２を用いて得た複数枚の顕微鏡像の間での模様のズレ量を計算する演算器２０を有し、前記複数枚の像の模様のズレ量から顕微鏡像の焦点合わせに必要な焦点距離補正量を計算し、前記対物レンズ６の焦点距離を前記焦点距離補正量で補正された値に設定する走査形荷電粒子顕微鏡。」
　
１−２．原査定の拒絶の理由で引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平２−２５７５５６号公報（以下、「引用例２」という。）には、以下の事項が図面とともに記載されている。
　
（ア）「２．特許請求の範囲
（１）少なくとも陰極、該陰極から電子線を引出すための引出し電極、および該電子線を加速するための加速電極によって構成された電界放射型電子銃と、
前記引出し電極に印加する引出し電圧、および加速電極に印加する加速電圧のうち、少なくとも引出し電圧を制御する手段と、
少なくとも前記電界放射型電子銃から放射された電子線を集束する集束レンズ、および前記集束レンズで一旦集束された電子線を試料上で焦点合わせする対物レンズによって構成された電子レンズ群と、
前記レンズ群よりも電界放射型電子銃側に設置された絞り板とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。」（公報第１頁左欄第４〜１９行）
　
（イ）「（産業上の利用分野）
本発明は、特に電界放射型電子銃を備えた電子顕微鏡に係り、さらに具体的にいえば、電子線の衝突による絞り板の汚染を防止すると共に、常に高分解能を得ることが可能な電子顕微鏡に関する。」（公報第２頁右上欄第１０〜１４行）
　
（ウ）「第１図は本発明の一実施例である電界放射型走査電子顕微鏡の主要部の構造を示した断面図である。
同図において、電子線の発生源である電界放射型電子銃は、陰極１、陰極１からエミッションを引出すための第１の陽極（引出し電極）２、および電子線を加速するための第２の陽極（加速電極）３によって構成されている。
陰極１と引出し電極２との間には引出し用電源１１によって引出し電圧Ｖ1が印加され、これによって陰極１からは電界放射による電子線１０が放射される。
陰極１と加速電極３との間には加速用電源１２によって加速電圧Ｖ0が印加され、これによって前記電子線１０が加速される。該電子線１０のビーム径は絞り板４によって制限される。
ビーム径を制限された電子線１０は集束レンズ５によって集束され、さらに対物レンズ８で焦点合わせされ、試料９の表面で集束電子ビームとなる。なお、集束レンズ５と対物レンズ８との間にはＸ方向偏向器６、Ｙ方向偏向器７が設置され、該偏向器によって前記集束電子ビームは試料９の表面で走査される。」（公報第３頁右上欄第７行〜左下欄第９行）
　
（エ）「第３図は、引出電圧Ｖ1と加速電圧Ｖ0の比Ｖ0／Ｖ1と、陰極１から仮想電子源位置までの距離Ｓとの関係を示した図である。このように、電界放射型電子銃においては、Ｖ0／Ｖ1によって仮想的な電子源位置が移動してしまう。」（公報第３頁右下欄第１３〜１７行）
　
（オ）「以下に、前記（２）式〜（７）式に基づいて焦点合わせを行う方法を、第６図のフローチャートおよび第７図のブロック図によって説明する。
第７図において第１図と同一の符号は同一または同等部分を表しているが、第１図に示した偏向器６．７の動作は本発明には直接関係しないので省略しである。
ステップＳ１では、観察試料、観察内容に応じた加速電圧Ｖ0を加速用電源１２によって設定すると共に、引出し電圧Ｖ1を引出し用電源１１で制御することによってエミッション電流を制御し、観察試料、観察内容に応じた最適プローブ電流を設定する。
ステップＳ２では、陰極１から仮想電子源位置までの距離Ｓが、前記第３図に関して説明した距離ＳとＶ0／Ｖ1との関係が記憶された第１の記憶手段３０から後述する第３の演算手段に出力される。
ステップＳ３では、第１の演算手段３１において、前記ステップＳ１で設定した加速電圧Ｖ0が前記（６）式に代入され、あるいは（７）式に基づいて最適ビーム開き角αｉが設定されると共に、その値が表示手段３７に表示される。
この時の収差係数Ｃｃ、Ｃｓは、第２の演算手段３２が対物レンズ電流を対物レンズ制御回路３３から読取り、該対物レンズ電流に基づいて対物レンズの主面から試料９までの距離Ｌｉを算出すると共に、該距離Ｌｉに対応する収差係数Ｃｃ、Ｃｓを、両者の関係が予め記憶された第２の記憶手段３４から読出すことによって求められる。
ステップＳ４では、第３の演算手段３５において、前記（３）式にステップＳ２で求めた距離Ｓ、およびステップＳ３で求めたビーム開き角αｉが代入され、対物レンズ主面での電子線の広がりが一定となる集束レンズの焦点距離Ｌｃが算出される。
ステップＳ５では、集束レンズの焦点距離Ｌｃが前記ステップＳ４で算出した値となるように、集束レンズ制御回路３６によって集束レンズ電流が制御される。
ステップＳ６では、集束レンズの焦点距離をＬｃにすることによって生じた試料上での焦点ずれが、対物レンズ制御回路３３を制御することによって調整される。
このような焦点合わせ方法によれば、ビーム開き角αｉを当初の設定値からずらすことなくプローブ電流を制御できるようになる。」（公報第５頁右上欄第９行〜右下欄第１２行）
　
２．対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
　引用発明１の「電子ビーム２」、「電子銃１」、「試料７」、「走査器５」、「２次電子検出器８」および「走査形荷電粒子顕微鏡」は、それぞれ、本願発明の「一次荷電粒子線」、「電子銃」、「試料」、「一次荷電粒子線を試料上で二次元的に操作する偏向器」、「一次荷電粒子線の照射によって試料から発生する信号を検出する信号検出器」および「荷電粒子線装置」に相当する。
　引用発明１の「ＣＲＴ１０」は、２次電子検出器８の信号がディスプレイ上に輝度変調信号に使って顕微鏡像として描かれるものであるから、本願発明の「像表示手段」に相当する。
　引用発明１の「対物レンズ６」は、電子ビーム２を試料上に細く絞って照射するものであるから、引用発明１の「対物レンズ６」と、本願発明の「一次荷電粒子線を細く絞って試料上に照射する２段以上からなる集束レンズ」とは、「一次荷電粒子線を細く絞って試料上に照射する」「集束レンズ」という点で一致する。
　引用発明１の「複数枚の顕微鏡像の間での模様のズレ量を計算する演算器２０」は、本願発明の「像の移動量を検出する手段」に相当する。
　引用発明１の「全体制御器９」は、複数枚の像の模様のズレ量から顕微鏡像の焦点合わせに必要な焦点距離補正量を計算し、対物レンズ６の焦点距離を前記焦点距離補正量で補正された値に設定するものであるから、引用発明１の「全体制御器９」と、本願発明の「集束レンズ励磁制御装置」とは、移動量を検出する手段によって検出された前記移動量から前記集束レンズの励磁を制御するという点で一致する。
　 
　よって、本願発明と引用発明１とは、
「電子銃と、該電子銃から放出された一次荷電粒子線を細く絞って試料上に照射する集束レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で二次元的に操作する偏向器と、前記一次荷電粒子線の照射によって試料から発生する信号を検出する信号検出器と、および該検出信号器の信号を像として表示させる像表示手段とを備えた荷電粒子線装置において、
　前記集束レンズの励磁を制御する集束レンズ励磁制御装置と、像の移動量を検出する手段と、を備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、前記移動量を検出する手段によって検出された前記移動量から前記集束レンズの励磁を制御する荷電粒子線装置。」の点で一致し、次の点で相違する。
　 
（相違点１）
　本願発明の「集束レンズ」が２段以上からなるのに対し、引用発明の「対物レンズ６」はこのことが明らかでない点。
　 
（相違点２）
　本願発明の「荷電粒子線装置」が「電子銃の陰極と一次荷電粒子線の引出電極との間に印加される引出電圧、および該陰極と一次荷電粒子線を加速させる加速電極との間に印加される加速電圧を制御する電圧制御装置」を備えるのに対し、引用発明の「走査形荷電粒子顕微鏡」はこのことが明らかでない点。
　 
（相違点３）
　本願発明の「荷電粒子線装置」が「加速電圧と、前記引出電圧との比で定まり、仮想の荷電粒子放出点である仮想陰極位置を設定する手段とを備え、前記集束レンズ励磁制御装置は、該仮想陰極位置によって前記集束レンズのクロスオーバー位置を制御」するのに対し、引用発明の「走査形荷電粒子顕微鏡」はこのことが明らかでない点。
　
（相違点４）
　本願発明の「荷電粒子線装置」が「集束レンズ内の前記一次荷電粒子線のクロスオーバ位置の制御目標値に対する計測された像の移動量を検出する」ものであるのに対して、引用発明の「走査形荷電粒子顕微鏡」はこのことが明らかでない点。
　
３．判断 
（相違点１について）
　走査形荷電粒子顕微鏡において、２段以上からなる集束レンズを有する走査形荷電粒子顕微鏡は周知であるから、引用発明においても、集束レンズを２段以上からなる集束レンズとすることは当業者が容易に想到しうることである。
　　 　 
（相違点２について）
　荷電粒子線装置において、電子銃の陰極と一次荷電粒子線の引出電極との間に印加される引出電圧、および該陰極と一次荷電粒子線を加速させる加速電極との間に印加される加速電圧を制御する電圧制御装置を備えた荷電粒子線装置は、例えば引用例２に記載されるように周知であるから、引用発明においても、電子銃の陰極と一次荷電粒子線の引出電極との間に印加される引出電圧、および該陰極と一次荷電粒子線を加速させる加速電極との間に印加される加速電圧を制御する電圧制御装置を設けることは当業者が容易に想到しうることである。 
　
（相違点３について）
　荷電粒子線装置において、加速電圧と引出電圧との比で仮想陰極位置を設定することは、例えば引用例２に記載されるように周知の技術であり、さらに、集束レンズ電流を制御して仮想陰極位置によるクロスオーバ位置を制御するようにすることも周知であって、当業者であれば適宜なし得ることである（上記摘記事項２−２．（オ）参照）。
　
（相違点４について）
　前記「第３．特許法第３６条第６項第１号について」に記載したように、本願明細書の発明の詳細な説明においては、「クロスオーバ位置の制御目標値」に対する「像の移動量」を検出することについては記載も示唆もなく、具体的に如何なる目標値に対する移動量を検出し、如何なる作用効果を奏するのか不明であるが、制御を行うに際し、何らかの目標値に対する応答値を測定し、その応答に基づいて制御を行うことは一般的な事項であるので、「像の移動量」を検出する際に、所定の目標値に対する移動量を検出することは格別の作用効果を伴わない願望的要件に過ぎない。
　
　そして、本願発明の作用効果は引用発明１及び上記周知技術から当業者が予期できたものである。
　
　したがって、本願発明は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．特許法第２９条第２項についての結び 
　
　したがって、本願発明は、上記引用例１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定に違反する。
　 
第４　結び
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反しており、さらに、本件出願は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていないので、請求項１に係る発明以外の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶されるべきである。
　
　よって、結論のとおり審決する。