(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに間隔をおいて設けられた第１、第２支持体(1,3)と、前記第１支持体(1)に設けられ移動自在な第１プローブ(4)を有する第１直線検出器(5)と、前記第２支持体(3)に設けられ移動自在な第２プローブ(6)を有する第２直線検出器(7)と、を備え、前記各プローブ(4,6)で板(21)を挟み、前記各検出器(5,7)の検出値差を用いて前記板(21)の板厚を測定するようにした板厚測定装置において、前記各検出器(5,7)の各筒体(8,12)と各プローブ(4,6)間に蜜合接続された第１、第２蛇腹部(10,14)と、前記各プローブ(4,6)の軸方向における途中位置に設けられた固定座(30)と、前記各筒体(8,12)の内面に設けられた段状係止部(3)と、前記各プローブ(4,6)の外周位置でかつ前記係止体(30)と段状係止部(31)間に設けられた第１、第２ばね(9,13)と、前記各筒体(8,12)の後端に設けられ前記各筒体(8,12)内を負圧とするための第１、第２エア吸引部(11,15)とを備え、前記各プローブ(4,6)の先端部は前記各蛇腹部(10,14)を貫通して前記各蛇腹部(10,14)の外に突出していると共に、前記各プローブ(4,6)は前記各ばね(9,13)により常時突出方向に付勢され、前記各筒体(8,12)内を負圧とすることにより前記各プローブ(4,6)は前記各ばね(9,13)のばね力に抗して前記各筒体(8,12)内に引き込むように構成したことを特徴とする板厚測定装置。
【請求項２】
前記各支持体(1,3)及び板(21)は水平方向に配設され、前記各検出器(5,7)は垂直方向に配設されていることを特徴とする請求項１記載の板厚測定装置。ことを特徴とする板厚測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板厚測定装置に関し、特に、１対の直線検出器のプローブで板を挟み、各検出器の検出値差を板厚とすることにより、板の振れ等に拘わらず高精度の板厚測定をするための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の板厚測定装置としては、一般に、基準面に板を置き、上方から直線検出器のプローブを降下させて板の面に当接させ、その時の検出値により予め測定されている基準面迄の値と比較してその差を板厚として測定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の板厚測定装置は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、測定時に測定装置に振動が加わった場合又は基準面が振動を受けて板が振動したような場合、プローブが出没するため、結果として板厚測定結果にバラツキが生じていた。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、１対の直線検出器のプローブで板を挟み、各検出器の検出値差を板厚とすることにより、板の振れ等に拘わらず高精度の板厚測定をすることができる板厚測定装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明による板厚測定装置は、互いに間隔をおいて設けられた第１、第２支持体と、前記第１支持体に設けられ移動自在な第１プローブを有する第１直線検出器と、前記第２支持体に設けられ移動自在な第２プローブを有する第２直線検出器と、を備え、前記各プローブで板を挟み、前記各検出器の検出値差を用いて前記板の板厚を測定するようにした板厚測定装置において、前記各検出器の各筒体と各プローブ間に蜜合接続された第１、第２蛇腹部と、前記各プローブの軸方向における途中位置に設けられた固定座と、前記各筒体の内面に設けられた段状係止部と、前記各プローブの外周位置でかつ前記係止体と段状係止部間に設けられた第１、第２ばねと、前記各筒体の後端に設けられ前記各筒体内を負圧とするための第１、第２エア吸引部とを備え、前記各プローブの先端部は前記各蛇腹部を貫通して前記各蛇腹部の外に突出していると共に、前記各プローブは前記各ばねにより常時突出方向に付勢され、前記各筒体内を負圧とすることにより前記各プローブは前記各ばねのばね力に抗して前記各筒体内に引き込むようにした構成である。
【０００６】
さらに詳細には、前記各支持体及び板は水平方向に配設され、前記各検出器は垂直方向に配設されている構成である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による板厚測定装置の好適な実施の形態について詳細に説明する。
図１において符号１で示されるものは、基台２に水平方向に固定された第１支持体であり、この第１支持体１の下方には、この基台２に固定されＬ字型をなすと共にこの第１支持体１とは間隔をおいて設けられた第２支持体３（なお、この第２支持体３はＬ字型とすることなく、直板状で基台２を図１より垂下させて設けることもできる）がこの第１支持体１と平行に設けられている。
【０００８】
前記第１支持体１の端部位置には、この第１支持体１の水平方向とは直交する垂直方向に周知の直線型差動変圧器（ＬＶＤＴ）又は直線型エンコーダ等からなる第１プローブ４を有する第１直線検出器５が設けられており、この第２支持体３の端部位置には、この第２支持体３の水平方向とは直交する垂直方向に前述と同じ周知の第２プローブ６を有する第２直線検出器７が設けられている。
【０００９】
前記第１直線検出器５の周知の差動電圧検知コイル（図示せず）を有する第１筒体８の先端には圧縮型の第１ばね９が内設されると共に第１蛇腹１０が蜜合接続され、この第１蛇腹１０と第１プローブ４とは蜜合接続されており、この第１ばね９が第１筒体８の内面に設けられた段状係止部３１と第１プローブ４の固定座３０との間で第１プローブ４の外周位置に設けられているため、その作用により第１プローブ４は常時突出方向に付勢されている。前記第１筒体８の後端には、この第１筒体８内を負圧とするためのコンプレッサ（図示せず）に接続された第１エア吸引部１１が接続されている。
【００１０】
前記第２直線検出器７の周知の差動電圧検出コイル（図示せず）を有する第２筒体１２の先端には圧縮型の第２ばね１３が内設され前述の第１ばね９と同様に構成され、かつ、前記第１蛇腹１０と同様に第２蛇腹１４が蜜合接続され、この第２蛇腹１４と第２プローブ６とは蜜合接続されており、この第２ばね１３の前述と同じ作用により第２プローブ６は常時突出方向に付勢されている。前記第２筒体１２の後端には、この第２筒体１２内を負圧とするためのコンプレッサ（図示せず）に接続された第２エア吸引部１５が接続されている。尚、前記固定座３０は前記各プローブ４、６の軸方向における途中位置に設けられ、前記各プローブ４、６の先端部は各蛇腹部１０、１４を貫通して前記各蛇腹部１０、１４の外に突出している。
【００１１】
前記基台２に接続された取付体２０には、液晶パネル又は半導体基板等からなる板２１が水平方向に保持されており、この板２１は前記各プローブ４、６間に位置している。
【００１２】
次に、動作について述べる。まず、各エア吸引部１１、１５のバルブ（図示せず）を開弁して図示しないコンプレッサの動作により各筒体８、１２内を負圧状態とすると、各ばね９、１３の力に抗して各蛇腹１０、１４が圧縮されると共に各プローブ４、６が各筒体８、１２内に引込み、各プローブ４、６間の間隔が広がった状態で所定の厚さを有するマスターゲージ（図示せず）を取付体２０にセッティングする。その後、各エア吸引部１１、１５のバルブを閉弁すると、各ばね９、１３の作用により各蛇腹１０、１４が伸びて各プローブ４、６が前記マスターゲージの両面に当接する。この当接した状態で各検出器５、７から出力された検出値を基準値とし、この基準値ではマスターゲージの板厚が測定されており、この基準値を図示しない演算部に取込んで記憶する。尚、この準備動作は測定動作の前に行っておく。
【００１３】
次に、前記マスターゲージを取付体２０から取外し、前述の手順により被測定物である板２１を取付体２０に装着した後、各プローブ４、６を板２１の両面に当接させ、その時の各検出器５、７からの各検出値が前述のマスターゲージ測定時の基準値と同一でかつ差が零である場合にはこの板２１の板厚はマスターゲージと同一であることが測定される。
さらに、この差が出た場合には、この差を前記マスターゲージ測定時の基準値にプラスし、板厚に換算することにより、マスターゲージの板厚に対してプラスした板厚を測定することができる。なお、この場合、測定時に板２１が振動したとしても、各プローブ４、６は相対的に動くため、板２１の位置が相対的に変化するのみで厚さの検出には影響はない。なお、マスターゲージが設けられている測定状態における各検出器５、７の検出値を基準とし、マスターゲージの厚さ以下、例えばマスターゲージがなく各プローブ４、６が直接当接した状態は測定不能であり、マスターゲージの厚さ以上の板厚を測定することができる。
なお、図１においては各支持体１、３を水平方向、各検出器５、７を垂直方向に配設したが、各々垂直方向及び水平方向とすることもできる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明による板厚測定装置は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。すなわち、板の両面に直線検出器のプローブを当接させて測定するため、板が振れを起こした場合でもマスターゲージ測定時の基準値に対する差は変化せず、高精度に板厚を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による板厚測定装置を示す構成図である。
【図２】図１の要部を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１、３    支持体
４、６    プローブ
５、７    直線検出器
８、１２    筒体
１０、１４    蛇腹部
９、１３    ばね
３０    固定座
【図１】
0003605463.tif 000002
【図２】
0003605463.tif 000003