(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面をシール可能に開閉する蓋体と、この蓋体の閉塞時に容器本体の開口正面内に蓋体を案内して位置決めするガイド手段と、蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなる精密基板収納容器であって、
ガイド手段を、容器本体の開口正面の少なくとも下部と蓋体周面の少なくとも下部のいずれか一方に形成される嵌合凹部と、容器本体の開口正面の少なくとも下部と蓋体周面の少なくとも下部のいずれか他方に形成され、蓋体の閉塞時に嵌合凹部に嵌まる嵌合凸部とから構成し、これら嵌合凹部と嵌合凸部の接触面を容器本体の内部から開口正面外方に向かうにしたがい広がるよう傾斜させ、
ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転に基づいて蓋体内部の内外方向に進退動し、進出時には蓋体の周面に設けられた貫通孔から先端部を突出させてクランプ穴に嵌め、後退時には突出した先端部を蓋体の貫通孔に復帰させる動力伝達部材とから構成したことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面をシール可能に開閉する蓋体と、この蓋体の閉塞時に容器本体の開口正面内に蓋体を案内して位置決めするガイド手段と、蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなる精密基板収納容器であって、
ガイド手段を、容器本体の開口正面の少なくとも下部に形成され、容器本体の内部から開口正面外方に向かうにしたがい広がるよう傾斜する第一の傾斜ガイド部と、蓋体周面の少なくとも下部に形成されるとともに、蓋体の裏面側から表面側に向かうにしたがい広がるよう傾斜し、蓋体の閉塞時に第一の傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガイド部と、摩擦低減機能を有し、第一、第二の傾斜ガイド部のいずれか一方に出没可能に弾性支持されて他方に蓋体の閉塞時に圧力作用状態で接触する摩擦低減部材とから構成し、
ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転に基づいて蓋体内部の内外方向に進退動し、進出時には蓋体の周面に設けられた貫通孔から先端部を突出させてクランプ穴に嵌め、後退時には突出した先端部を蓋体の貫通孔に復帰させる動力伝達部材とから構成したことを特徴とする精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルミディスク、半導体ウェーハ、若しくはマスクガラス等からなる精密基板の収納、保管、工程内の加工、又は輸送等に使用される精密基板収納容器に関し、より詳しくは、半導体ウェーハの加工に使用される標準化された機械的インターフェイスを有する装置に接続可能な精密基板収納容器の容器本体、蓋体、及びロック機構の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の精密基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハ（以下、ウェーハと略称する）を整列収納するポッド（Ｐｏｄ）と、このポッドの開口面をシール可能に開閉する中空の蓋体と、この蓋体の閉塞時にその閉塞状態を維持するロック手段とを備えている。
【０００３】
ロック手段は、インナーロックタイプとアウターロックタイプとに分類される。前者のインナーロックタイプのロック手段は、ポッドの開口面の内周面上下にそれぞれ凹設される複数のクランプ穴と、この複数のクランプ穴に対応して蓋体の周面上下に穿孔される複数の貫通孔と、蓋体の内部中央に軸支されて外部からのアクセスで回転する回転カムと、この回転カムの表面外周の連結ピンに運動方向変換用の案内溝を介して遊嵌される上下一対のラッチプレートとから構成されている。
各ラッチプレートは、大きな剛性を確保することができるよう金属を用いて形成され、その先端部にはクランプ穴に貫通孔を介して係止する係止爪が突出形成されている。
【０００４】
これに対して後者のアウターロックタイプのロック手段は、ポッドの開口面の外周部に揺動可能に成形された複数の係止片と、蓋体の周面に突出成形された複数の凸部とから構成されている。これら複数の係止片と凸部とは、蓋体の閉塞時に係止するよう機能する。
【０００５】
上記構成において、ウェーハを収納、保管、又は輸送等したい場合には、先ず、ポッドに複数枚のウェーハが順次収納され、ポッドの開口面内に蓋体がシール状態に嵌合され、その後、図示しない加工装置のドア開閉装置により、例えば回転カムが一方向に回転して施錠操作される。すると、各ラッチプレートが蓋体の内部内方向から内部外方向に直線的に突出し、クランプ穴に係止爪が係止し、蓋体の固定状態が維持される。
【０００６】
これに対し、収納、保管、又は輸送等されたウェーハを処理したい場合には、先ず、加工装置のドア開閉装置により、回転カムが他方向に回転して解錠操作される。すると、各ラッチプレートが蓋体の内部外方向から内部内方向に直線的に復帰し、クランプ穴から係止爪が外れ、蓋体が開放可能となる。こうして蓋体が開放可能になったら、ポッドから蓋体が真空吸着等により取り外された後、ポッドの下方から複数枚のウェーハが順次取り出され、ウェーハに所定の処理が施される。
【０００７】
なお、この種の関連先行技術文献として、特開平９−８８３９８号、８−３４００４３号、特表平４−５０５２３４号、又は７−５０４５３６号公報等があげられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の精密基板収納容器は、以上のようにポッドの開口面に蓋体が単に嵌合されたり、あるいは単に取り外されるよう構成され、繰り返し使用される蓋体のがたつきについては何ら考慮されていなかった。また、蓋体の取り外し時に蓋体を保持する加工装置の動作の繰り返し精度等のバラツキによる蓋体とポッドとの位置ずれについても考慮されていなかった。
しかしながら、蓋体ががたついたり、蓋体の嵌合位置が狂うと、蓋体の嵌合時にクランプ穴、貫通孔、及び係止爪が位置ずれし、蓋体の施錠が困難化したり、ポッドの開口面と蓋体のエッジ部とが擦れてパーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ：浮遊塵埃）等の汚染物を発生させるという問題が生じる。
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みなされたもので、容器本体の開口正面から取り外した蓋体を再び容器本体の開口正面に装着する際の蓋体のがたつきを防止し、蓋体の施錠の容易化や汚染物発生の抑制防止を図ることのできる精密基板収納容器を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面をシール可能に開閉する蓋体と、この蓋体の閉塞時に容器本体の開口正面内に蓋体を案内して位置決めするガイド手段と、蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなるものであって、
ガイド手段を、容器本体の開口正面の少なくとも下部と蓋体周面の少なくとも下部のいずれか一方に形成される嵌合凹部と、容器本体の開口正面の少なくとも下部と蓋体周面の少なくとも下部のいずれか他方に形成され、蓋体の閉塞時に嵌合凹部に嵌まる嵌合凸部とから構成し、これら嵌合凹部と嵌合凸部の接触面を容器本体の内部から開口正面外方に向かうにしたがい広がるよう傾斜させ、
ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転に基づいて蓋体内部の内外方向に進退動し、進出時には蓋体の周面に設けられた貫通孔から先端部を突出させてクランプ穴に嵌め、後退時には突出した先端部を蓋体の貫通孔に復帰させる動力伝達部材とから構成したことを特徴としている。
【００１２】
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面をシール可能に開閉する蓋体と、この蓋体の閉塞時に容器本体の開口正面内に蓋体を案内して位置決めするガイド手段と、蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなるものであって、
ガイド手段を、容器本体の開口正面の少なくとも下部に形成され、容器本体の内部から開口正面外方に向かうにしたがい広がるよう傾斜する第一の傾斜ガイド部と、蓋体周面の少なくとも下部に形成されるとともに、蓋体の裏面側から表面側に向かうにしたがい広がるよう傾斜し、蓋体の閉塞時に第一の傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガイド部と、摩擦低減機能を有し、第一、第二の傾斜ガイド部のいずれか一方に出没可能に弾性支持されて他方に蓋体の閉塞時に圧力作用状態で接触する摩擦低減部材とから構成し、
ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転に基づいて蓋体内部の内外方向に進退動し、進出時には蓋体の周面に設けられた貫通孔から先端部を突出させてクランプ穴に嵌め、後退時には突出した先端部を蓋体の貫通孔に復帰させる動力伝達部材とから構成したことを特徴としている。
【００１３】
ここで、特許請求の範囲における容器本体や蓋体は、ポリカーボネイト、アクリルニトリル、ポリブチレンテレフタレート、ＰＥＥＫ、ＰＥＩ、ＰＥＳ、又はポリプロピレン等の樹脂を用いて成形することができる。この容器本体や蓋体には、必要に応じて帯電防止処理や着色を施すことができる。３００ｍｍウェーハキャリアとして使用される場合、容器本体の外観は、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１−００９７、及び修正バロットに略準拠して構成することが可能である。また、精密基板には、少なくとも情報通信、電気、電子、又は半導体等の製造分野で使用される単数複数（例えば、１３枚又は２５枚）のアルミディスク、液晶セル、石英ガラス、半導体ウェーハ（シリコンウェーハ等）、又はマスク基板等が含まれる。精密基板が半導体ウェーハの場合、大口径（例えば、２００ｍｍ〜３００ｍｍ以上）の半導体ウェーハが含まれる。
【００１４】
第一の傾斜ガイド部は、容器本体の開口正面の下部に最低限形成すれば良く、容器本体の開口正面の上部、一側部、及び又は他側部に形成することもできる。同様に第二の傾斜ガイド部も、蓋体周面の下部に最低限形成すれば良く、蓋体周面の上部、一側部、及び又は他側部に形成することができる。また、ロック手段を構成する回転体や動力伝達部材は、摺動性が良好で、しかも、十分な強度を有する樹脂材料を用いて構成することができる。例えば、ポリアセタール樹脂、ＰＥＥＫ、ポリカーボネイト、ＰＰＳ、ポリブチレンテレフタレート、ＰＥＩ、又はフッ素樹脂等の使用が考えられる。また、フッ素樹脂が含有されて摺動性の改質された各種樹脂を用いることもできる。さらに、機械的強度を向上させるべく、上記樹脂にガラス繊維、ガラスビーズ、又はタルク等の充填剤を加えることもできるし、上記樹脂に金属部品をインサートして成形することも可能である。
【００１５】
本発明によれば、容器本体の開口正面に蓋体がシール状態で嵌め合わされる際、蓋体は、容器本体や蓋体に設けられたガイド手段の案内作用により、上下左右の位置がシール状態で精度良く定められる。また、ロック手段を施錠操作すると、回転体が回転して動力伝達部材を蓋体の内部内方向から内部外方向に突出させ、動力伝達部材の先端部が容器本体のクランプ穴に嵌まる。
また、容器本体の第一の傾斜ガイド部に蓋体の第二の傾斜ガイド部が案内されて蓋体がシール状態に嵌められていくと、摩擦低減部材が第一、又は第二の傾斜ガイド部に小面積で接触したり、点接触、あるいはころがり接触し、蓋体内又は容器本体内に押し込まれて後退する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の第一の発明の実施形態を説明するが、この発明は以下の実施形態に何ら限定されるものではない。
本実施形態における精密基板収納容器は、図１や図２に示すように、図示しない複数枚（例えば２５枚）のウェーハを整列収納するポッド１と、このポッド１の開口正面をシール可能に開閉する中空の蓋体９と、この蓋体９の閉塞時に容器本体の開口正面内に蓋体９を案内して位置決めするガイド手段１４と、蓋体９の閉塞時にその閉塞状態を維持するインナーロックタイプのロック手段１８とを備えている。
【００１７】
ポッド１は、図１に示すように、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネイト等の合成樹脂を用いて透視可能な透明のフロントオープンボックスに成形されている。このポッド１は、変形しないよう十分な強度、剛性、及び寸法安定性が確保され、ＡＧＶ（Ａｕｔｏ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）等からなる自動搬送装置の正常な作動を保障する。ポッド１の天井の中央部にはロボティックフランジ２が締結具を介して螺着され、このロボティックフランジ２が図示しない天井搬送機に把持されることにより、ポッド１が搬送される。
【００１８】
ポッド１の底面には、図２に示すように、円筒形を呈した複数の取付ボス３が所定の間隔をおいて突出成形され、この複数の取付ボス３には、平面略Ｙ字形のボトムプレート４が締結具（図示せず）を介し着脱自在に装着されており、このボトムプレート４の前部両側と後部には、キネマティックカップリングからなる位置決め具５が締結具を介しそれぞれ着脱自在に装着されている（図１参照）。また、ポッド１の両外側面には、マニュアル運搬用のサイドハンドル６がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００１９】
ポッド１の内部両側には図１に部分的に示すように、相対向する一対のカラム７がそれぞれ着脱自在に立設され、ポッド１の内部背面には、図示しないリヤリテーナが着脱自在に立設固定されている。これら一対のカラム７の対向面とリヤリテーナの表面には、断面略Ｕ字形又は断面略Ｖ字形の支持スロット８が上下方向に並べて複数成形され、各支持スロット８にウェーハの周縁部が支持される。このような構成の一対のカラム７とリヤリテーナとは、複数枚のウェーハを水平に支持した状態で上下方向に所定のピッチで整列させるとともに、複数枚のウェーハの振動を有効に防止する。
【００２０】
蓋体９は、図１や図２に示すように、ポッド１と同様の合成樹脂を用いて成形された表面プレート１０と、表面が開口した略箱形の裏面プレート１１とから構成され、この裏面プレート１１の開口表面に表面プレート１０が締結具を介して覆着されている。裏面プレート１１の中央部には、リヤリテーナと相対向する同構成のフロントリテーナ１２が着脱自在に装着固定され、裏面プレート１１の周面には、枠形のシールガスケット１３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌合されている。
【００２１】
シールガスケット１３は、ポリオレフィン系やポリエスエル系の各種熱可塑性エラストマ、あるいはフッ素ゴムやシリコーンゴム等を用い、ガスケットとして成形される。また、好ましくは、ウェーハを汚染する有機成分の発生が少なく、ＪＩＳに定められたＫ６３０１Ａの測定方法による硬度８０°以下の材料を使用して成形される。
【００２２】
ガイド手段１４は、図１や図２に示すように、ポッド１の開口正面の上下左右にそれぞれ傾斜成形され、ポッド１の内部（図２の左側）から開口正面の外方（図２の右側）に向かうにしたがい徐々に広がる第一の傾斜ガイド部１５と、蓋体９の周面に傾斜成形されて蓋体９の裏面プレート１１側から表面プレート１０側に向かうにしたがい徐々に蓋体９の内部内方から外方に広がる第二の傾斜ガイド部１６とから構成され、蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が接触して位置決めするよう機能する。第一の傾斜ガイド部１５の末端部はシール面１７とされ、このシール面１７にシールガスケット１３が蓋体９の閉塞時に圧接されて変形し、このシールガスケット１３の変形により、強固な高シール状態が確保される。
【００２３】
さらに、ロック手段１８は、図１に示すように、例えば、ポッド１の開口正面の上下における第一の傾斜ガイド部１５にそれぞれ凹み成形される複数のクランプ穴１９と、この複数のクランプ穴１９に対応して蓋体９の上下における第二の傾斜ガイド部１６にそれぞれ穿孔成形される複数の貫通孔２０と、蓋体９の内部両側に軸支されて外部から表面プレート１０の鍵孔２１を介したアクセスで回転する一対の回転カム（回転体）と、各回転カムの表面外周の連結ピンに運動方向変換用の案内溝を介して遊嵌される上下一対のラッチプレート（動力伝達部材）とから構成されている。各ラッチプレートは、各種の金属や合成樹脂を用いて矩形に成形され、その先端部にはクランプ穴１９に貫通孔２０を介して係止する係止爪が突出成形されている。
【００２４】
上記構成において、ウェーハを収納する場合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収納され、ポッド１の開口正面内に蓋体９がシールガスケット１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハにフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手段１８が図示しない加工装置のドア開閉装置（開閉機構）に施錠操作される。
この際、蓋体９は、上下左右の第一、第二の傾斜ガイド部１５、１６のガイド作用により、上下前後左右の位置がシール状態で高精度に定められ、がたつきや位置ずれを生じることがない。
【００２５】
ロック手段１８が施錠操作されると、各回転カムが回転して各ラッチプレートを蓋体９の内部内方向から内部外方向に突出させ、各ラッチプレートの係止爪が貫通孔２０から突出して各クランプ穴１９に嵌合係止し、ポッド１の開口正面に蓋体９が気密状態で安定、かつ強固に嵌合覆着される。
【００２６】
上記構成によれば、傾いた第一、第二の傾斜ガイド部１５、１６が案内誘導作用を発揮するので、繰り返し使用される蓋体９のがたつきや位置ずれを簡易な構成で有効に防止することができる。したがって、蓋体９の嵌合時にクランプ穴１９、貫通孔２０、及び係止爪が位置ずれしたり、蓋体９の施錠が困難となることがない。さらに、ポッド１の開口正面と蓋体９のエッジ部とが擦れてパーティクル等の汚染物が発生するのをきわめて有効に抑制防止することが可能となる。
【００２７】
ところで、図３ないし図５は本発明の主要な実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１４を、ポッド１の開口正面における上下左右の中央部にそれぞれ凹み成形される断面略Ｕ字形の嵌合凹部２２と、蓋体９の周面における上下左右の中央部にそれぞれ突出成形される嵌合リブ２３とから構成し、これら複数の嵌合凹部２２と嵌合リブ２３とを蓋体９の閉塞時に相互に嵌合させるようにしている。
【００２８】
各嵌合凹部２２と各嵌合リブ２３とは、それぞれ略台形に成形され、その接触面がポッド１の背面側方向（図２の左側）から開口正面方向に向かうにしたがい徐々にポッド１の内部内方から外方に広がるよう傾斜成形されている（図３及び図４参照）。各嵌合リブ２３は、その高さが０．１ｍｍ〜１０ｍｍ、好ましくは０．３ｍｍ〜２．０ｍｍに設定され、幅が３ｍｍ〜１００ｍｍ、好ましくは１０ｍｍ〜５０ｍｍに設定されている。そして、これら数値に対応して各嵌合凹部２２が成形されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００２９】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、蓋体９の閉塞時に嵌合凹部２２と嵌合リブ２３とが嵌合して位置合わせするので、蓋体９の上下前後左右の位置がシール状態でさらに高精度に定められることは明らかである。
【００３０】
なお、本実施形態では嵌合凹部２２を断面略Ｕ字形としたが、何らこれに限定されるものではなく、嵌合凹部２２を断面略Ｃ字形、コ字形、又は半円筒形等とし、これらの形状に対応させて嵌合リブ２３を成形しても良い。また、第一の傾斜部に嵌合凹部２２を、第二の傾斜部に嵌合リブ２３をそれぞれ成形しても良い。さらに、ポッド１の開口正面に嵌合凹部２２を、蓋体９の周面に嵌合リブ２３をそれぞれ成形したものを示したが、ポッド１の開口正面に嵌合リブ２３を、蓋体９の周面に嵌合凹部２２をそれぞれ成形することも可能である。
【００３１】
次に、図６及び図７は本発明の第二の発明の実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１４を、第一の傾斜ガイド部１５、第二の傾斜ガイド部１６、及び摩擦低減機能を有する複数のプランジャ部材２４から構成し、この複数のプランジャ部材２４を蓋体９の第二の傾斜ガイド部１６に埋設して蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に圧接するようにしている。
【００３２】
各プランジャ部材２４は、蓋体９の内部外周に埋設される有底筒形のケース２５を備え、このケース２５には、表面が滑らかに湾曲したプランジャ２６がコイルスプリング２７を介して進退動可能、出没可能に弾発支持されている。各プランジャ２６は、蓋体９の非閉塞時に第二の傾斜ガイド部１６から０．１ｍｍ〜１０ｍｍ程度露出するようコイルスプリング２７に支持されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３３】
上記構成において、ポッド１の開口正面に蓋体９をシールガスケット１３を介して密嵌する場合、第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が案内されて嵌合していくと、第一の傾斜ガイド部１５に接触するプランジャ部材２４のプランジャ２６が徐々にケース２５内に押し込まれて埋没する。
【００３４】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、第一の傾斜ガイド部１５に表面の丸まったプランジャ２６が小面積で接触、又は点接触するので、位置決め時の摺動が向上し、発塵が大幅に減少してパーティクル等の汚染物が発生するのをきわめて有効に抑制防止することが可能になる。
【００３５】
次に、図８は本発明の第二の発明の他の実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１４を、第一の傾斜ガイド部１５、第二の傾斜ガイド部１６、及び摩擦低減機能を有する複数のローラ部材２８から構成し、この複数のローラ部材２８を蓋体９の第二の傾斜ガイド部１６に埋設して蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に圧接するようにしている。
【００３６】
各ローラ部材２８は、蓋体９の内部外周に埋設される有底筒形のケース２９を備え、このケース２９の内部には、コイルスプリング３０が内蔵されるとともに、このコイルスプリング３０の先端部には、回転ローラ３１がガイドピン３２を介し進退動可能・出没可能に弾発支持されている。各回転ローラ３１は、蓋体９の非閉塞時に第二の傾斜ガイド部１６から０．１ｍｍ〜１０ｍｍ程度露出するようコイルスプリング３０に回転可能に支持されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３７】
上記構成において、ポッド１の開口正面に蓋体９をシールガスケット１３を介して密嵌する場合、第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が案内されて嵌合していくと、第一の傾斜ガイド部１５に摺接するローラ部材２８の回転ローラ３１が徐々にケース２９内に押し込まれて埋没する。
【００３８】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、第一の傾斜ガイド部１５に回転ローラ３１が回転しながらころがり接触するので、位置決め時の摺動が著しく向上し、摩擦抵抗が大幅に減少してパーティクル等の汚染物の発生を著しく抑制防止することが可能になる。
【００３９】
なお、上記実施形態では接触面積の少ないプランジャ２６や回転ローラ３１を使用したものを示したが、何らこれに限定されるものではない。同様の作用効果が期待できるものであれば、プランジャ２６や回転ローラ３１以外のものを使用しても良い。また、コイルスプリング２７、３０を使用したが、板ばね等の各種のばね、ゴム弾性体、又はフレキシブルなプラスチック部材等を使用することもできる。また、プランジャ部材２４やローラ部材２８を蓋体９の内部外周に埋設したものを示したが、ポッド１の第一の傾斜ガイド部１５に埋設しても良い。
【００４０】
また、上記諸実施形態では回転カムの表面外周の連結ピンに一対のラッチプレートを案内溝を介し遊嵌したものを示したが、回転カムの代わりにカム部を有しない回転プレートを使用し、この回転プレートの表面外周の連結ピンに一対のラッチプレートを揺動ピンを介し連結しても良い。また、ロック手段１８を後述するロック手段１８Ａとすることも可能である。さらに、上記諸実施形態ではインナーロックタイプのロック手段１８を示したが、各種のアウターロックタイプのロック手段を採用しても良い。例えば、従来同様、ポッド１の開口正面の外周部に揺動可能に複数の係止片を、蓋体９の周面には複数の凸部をそれぞれ成形することも可能である。
【００４１】
上記実施形態のロック手段１８は、上記構成に限定されるものではなく、以下の構成を有するロック手段１８Ａに変更することができる。
この場合のロック手段１８Ａは、図９ないし図１９に示すように、ポッド１の開口正面の内周面上下に成形される複数のクランプ穴１９と、蓋体９の周面上下に成形されて複数のクランプ穴１９に対向する複数の貫通孔２０と、蓋体９の内部両側の中央に軸支されて外部からのアクセス操作で回転する一対の回転プレート３４と、各回転プレート３４の回転で蓋体９の内外方向に直線的にスライドする複数の動力伝達プレート３８と、各動力伝達プレート３８のスライドを案内するガイド部材４６と、各動力伝達プレート３８の突出時に各貫通孔２０から突出して各クランプ穴１９に嵌入し、各動力伝達プレート３８の復帰時には各貫通孔２０内に復帰する合成樹脂製のクランプ部材５１とから構成される。
【００４２】
蓋体９は、図１１や図１３に示すように、ポッド１と同様の合成樹脂を用いて成形された表面プレート１０と、表面が開口した略箱形の裏面プレート１１とから構成され、この裏面プレート１１の開口表面に表面プレート１０が締結具を介して覆着されている。表面プレート１０の両側には鍵孔２１がそれぞれ穿孔成形され、各鍵孔２１に、加工装置のドア開閉装置のアタッチメント３３が挿通される。また、裏面プレート１１の中央部には、フロントリテーナ１２が着脱自在に装着固定され、裏面プレート１１の外周には、枠形のシールガスケット１３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌合されている。
【００４３】
各回転プレート３４は、図１４や図１５に示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて円板形に成形され、その表面の中心部には、有底円筒形の操作突部３５が突出成形されており、この操作突部３５内に鍵孔２１を貫通したアタッチメント３３が着脱自在に嵌挿される（図１６参照）。各回転プレート３４の表面外周には、円柱形を呈した一対の連結ピン３６が突出成形され、各連結ピン３６には、摩擦低減機能を有する円筒形の回転ローラ３７が必要に応じ回転可能に嵌入される。
【００４４】
なお、ドア開閉装置と各回転プレート３４との接続位置や寸法は、ＳＥＭＩ規格でポッド１のサイズ毎に定められている。例えば、３００ｍｍウェーハ用の蓋体９の規格は、ＳＥＭＩ規格のＥ６２に対応して定められている。
【００４５】
複数の動力伝達プレート３８は、図９ないし図１３に示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて基本的には長方形の板形に成形され、長手方向の中心軸が回転プレート３４の中心を通るよう、蓋体９の内部両側の上下にそれぞれスライド可能に配置されている。各動力伝達プレート３８の末端部は側方に向け略半円弧形に湾曲成形されて回転プレート３４の表面外周の一部を被覆し、連結ピン３６又は回転ローラ３７に嵌入される案内溝３９が穿孔成形されている。
【００４６】
案内溝３９は、連結ピン３６の軌跡と略等しい曲率の第一の案内溝４０と、連結ピン３６の軌跡よりも大きな曲率の第二の案内溝４１と、これら第一、第二の案内溝４０、４１を接続する変曲部４２とから構成されている。このように成形された各第一の案内溝４０は、蓋体９の内外方向（図９の上下方向）に各動力伝達プレート３８を直線運動させるよう機能する。また、各第二の案内溝４１は、各動力伝達プレート３８が立体的な経路で直線運動するよう案内する。
【００４７】
各動力伝達プレート３８の中央付近には、小判形を呈した複数のガイド長孔４３が長手方向に所定の間隔をおいて穿孔成形されている。各動力伝達プレート３８の左右両側部には、ガイドピン４４がそれぞれ突出成形され、各ガイドピン４４には、摩擦低減機能を有する円筒形の回転ローラ４５が必要に応じ回転可能に嵌入される(図１８参照)。
【００４８】
ガイド部材４６は、裏面プレート１１の内面に突出成形されて複数のガイド長孔４３にそれぞれ遊嵌する第一のガイド４７と、第二のガイド４９とから構成されている。第一のガイド４７は、円柱形に成形され、摩擦低減機能を有する回転ローラ４８が必要に応じ回転可能に嵌入される。また、第二のガイド４９は、表面プレート１０と裏面プレート１１の内部対向面にそれぞれ突出成形される複数対の対向ガイド５０を備えている。各一対の対向ガイド５０の対向湾曲面は、各ガイドピン４４又は各回転ローラ４５を挟んで直線運動する動力伝達プレート３８が蓋体９の表裏方向（図１８の左右方向）に立体的に運動する際のガイドとして機能する。
【００４９】
さらに、クランプ部材５１は、図１７ないし図１９（a）、（b）に示すように、動力伝達プレート３８の先端部にピンを介して軸支される回転可能な第一のアーム５２と、この第一のアーム５２の先端部と末端部が一体化した第二のアーム５３とから構成されている。第二のアーム５３は、略Ｌ字形に屈曲成形されてその先端部が第一のアーム５２と略直角方向に指向し、この先端部がクランプ穴１９用の嵌入押さえ部５４とされており、この嵌入押さえ部５４には、クランプ穴１９内に摺接する円筒形の回転ローラ５５がピンを介して軸支されている。第二のアーム５３の末端部は、蓋体９の内部外周における貫通孔２０の近傍にピンを介して軸支され、第二のアーム５３、換言すれば、クランプ部材５１を蓋体９の内外方向に回転させる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００５０】
上記構成において、ウェーハを収納する場合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収納され、ポッド１の開口正面に蓋体９がシールガスケット１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハにフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手段１８Ａが加工装置のドア開閉装置に施錠操作される。
【００５１】
すると、回転プレート３４の操作突部３５にアタッチメント３３が挿入されて回転プレート３４を時計方向に９０°回転させ、各動力伝達プレート３８がガイド部材４６に案内されつつ蓋体９の内部内方向から内部外方向に直線立体的に突出して第一のアーム５２を揺動させ、末端部を中心として第二のアーム５３が蓋体９の内部外方向に揺動して貫通孔２０から嵌入押さえ部５４を露出させ、この嵌入押さえ部５４の回転ローラ３７がクランプ穴１９に嵌合係止して蓋体９の固定状態を強固に維持する（図１２、図１３、及び図１７参照）。
【００５２】
この際、各第二のアーム５３の嵌入押さえ部５４は、梁の機能を発揮する各動力伝達プレート３８と略一直線となった状態でクランプ穴１９に嵌合係止する（図１３参照）。したがって、回転プレート３４に加わった動力がクランプ部材５１に一直線、かつ円滑に伝達される。また、嵌入押さえ部５４は、円運動して貫通孔２０に接触することなく露出する。
【００５３】
次いで、収納、保管、又は輸送されたウェーハを処理したい場合、先ず、ロック手段１８Ａが加工装置のドア開閉装置に解錠操作され、回転プレート３４の操作突部３５にアタッチメント３３が挿入されて回転プレート３４を反時計方向に９０°回転させ、各動力伝達プレート３８がガイド部材４６に案内されつつ蓋体９の内部外方向から内部内方向に直線立体的に復帰して第一のアーム５２を復帰揺動させる。この第一のアーム５２の復帰揺動により、第二のアーム５３が蓋体９の内部内方向に揺動して貫通孔２０内に嵌入押さえ部５４を復帰させ、蓋体９が取り外し可能な状態となる（図１０及び図１１参照）。この際、嵌入押さえ部５４は、貫通孔２０に接触することなく円運動して復帰する。
【００５４】
こうして蓋体９が開放可能となったら、ポッド１から蓋体９が真空吸着により取り外され、その後、ポッド１の下方から複数枚のウェーハが順次取り出され、ウェーハに所定の処理が施される。
【００５５】
上記構成によれば、施錠操作時に第二のアーム５３の嵌入押さえ部５４が動力伝達プレート３８と略一直線の状態で蓋体９を固定するので、従来に比べ安定した大きな係止力で蓋体９を固定することができる。したがって、各動力伝達プレート３８に動力が局部的に作用して撓んだり、この撓みに伴う係止力の減少を実に有効に防止することができ、ポッド１の全開口正面を長期にわたり十分、かつ均一にシールすることが可能になる。また、高剛性の合成樹脂を使用して各動力伝達プレート３８を成形することができるので、金属部品を軽減、あるいは省略することができ、洗浄時等の金属イオン発生によるウェーハの汚染の抑制防止も期待できる。
【００５６】
また、接触部分に回転ローラ３７、４５、４８、５５がそれぞれ軸支されているので、摩擦抵抗が著しく減少し、樹脂粉の発生を抑制防止することができる。さらに、第二のアーム５３が貫通孔２０の近傍に軸支されているので、蓋体９の厚さを必要最小限に薄くすることが可能になる。
【００５７】
なお、上記実施形態のロック手段１８Ａの構成要素は適宜増減変更しても良い。また、各動力伝達プレート３８の左右両側部にガイドピン４４をそれぞれ突出成形したが、各動力伝達プレート３８の左右両側部にカムフロアをそれぞれ設けても良い。また、第二のアーム５３を略Ｌ字形に屈曲成形したが、同様の作用効果が期待できるものであれば、Ｊ字形等に適宜屈曲成形することが可能である。また、第一のアーム５２の先端部と第二のアーム５３の末端部とを一体化したが、同様の作用効果が期待できるものであれば、第二のアーム５３に第一のアーム５２の先端部を回転可能に取り付けることもできる。
【００５８】
さらに、上記実施形態では第二のアーム５３の嵌入押さえ部５４に回転ローラ５５を軸支させたものを示したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、回転ローラ５５の先端部をばね等の弾性部材で保持し、外力作用時に蓋体９の内部に後退するよう構成する。そして、蓋体９の周面から回転ローラ５５を０．１ｍｍ〜１０ｍｍ、好ましくは０．３ｍｍ〜２ｍｍ程度突出させ、ポッド１の開口正面に蓋体９を嵌合する際、回転ローラ５５をガイドとして使用することも可能である。
【００５９】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、容器本体の開口正面から取り外した蓋体を再度容器本体の開口正面に装着する際の蓋体のがたつきを防止し、このがたつきに伴う蓋体の施錠の困難化や汚染物の発生を抑制防止することができるという効果がある。
また、ロック手段を施錠操作すれば、容器本体の開口正面に蓋体を気密状態で安定、かつ強固に嵌め合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す断面側面図である。
【図３】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す正面説明図である。
【図４】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す要部断面説明図である。
【図５】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す要部斜視図である。
【図６】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す断面側面図である。
【図７】図６の要部拡大断面図である。
【図８】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器の他の実施形態を示す要部断面説明図である。
【図９】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段を示す正面説明図である。
【図１０】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段の蓋体開放状態を示す説明図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線断面説明図である。
【図１２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段の蓋体閉塞状態を示す説明図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面説明図である。
【図１４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段の回転プレートを示す図で、（ａ）図は平面図、(ｂ)図は(ａ)図の断面図である。
【図１５】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段の回転ローラ付き回転プレートを示す図で、（ａ）図は平面図、(ｂ)図は(ａ)図の断面図である。
【図１６】回転プレートに加工装置の開閉機構が挿入された状態を示す断面説明図である。
【図１７】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段の閉塞時のクランプ部材を示す要部拡大断面図である。
【図１８】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器の実施形態における蓋体、回転プレート、動力伝達プレート、ガイド部材、及びクランプ部材を示す要部拡大断面図である。
【図１９】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における他のロック手段のクランプ部材を示す図で、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図の側面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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