(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室が画成されるシリコン単結晶基板と、前記圧力発生室の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対向する領域に設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子と、前記圧力発生室にインクを供給するインク供給系とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力発生室が前記シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより前記シリコン単結晶基板を貫通することなしに形成され且つ前記振動板及び前記圧電素子が前記シリコン単結晶基板上に成膜及びリソグラフィ法により直接形成された薄膜により構成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記圧電素子を構成する圧電体層は、結晶が優先配向していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
請求項２において、前記圧電体層は、結晶が柱状となっていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記圧力発生室が、前記シリコン単結晶基板の両面に形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記圧電素子を構成する前記薄膜は、前記圧力発生室に設けられると共に最終的に除去される犠牲層上に形成された薄膜であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかにおいて、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通するインク流路を具備することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかにおいて、前記圧力発生室の深さが、２０μｍから１００μｍの間であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかのインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【請求項９】
シリコン単結晶基板に形成され且つノズル開口に連通すると共にインクが供給されるインク供給系に連通した圧力発生室に対向する領域に振動板を介して前記圧力発生室に圧力変化を発生させる圧電素子を形成するインクジェット式記録ヘッドの製造方法において、
前記シリコン単結晶基板に、その厚さ方向に貫通しない前記圧力発生室を形成する工程と、前記圧力発生室に犠牲層を充填する工程と、前記犠牲層側の前記シリコン単結晶基板上に前記振動板を成膜により直接形成すると共に前記圧力発生室に対向する領域に前記圧電素子を成膜及びリソグラフィ法により直接形成する工程と、前記圧力発生室に充填した前記犠牲層を除去する工程とを有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項９において、前記犠牲層を除去する工程は、前記シリコン単結晶基板の一側面と前記圧力発生室とを連通するインク流路を形成し、該インク流路を介してウエットエッチングにより行うことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
請求項９又は１０において、前記圧力発生室に前記犠牲層を充填する工程は、前記圧力発生室に対応する領域に少なくとも前記圧力発生室の深さと略同一の深さで前記犠牲層を形成する工程と、前記圧力発生室以外の前記犠牲層をポリッシングによって除去する工程とを含むことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１において、前記犠牲層をジェットモールディング法によって形成することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
請求項９〜１２の何れかにおいて、前記犠牲層は、リンドープ酸化シリコン（ＰＳＧ）、ボロン・リンドープ酸化シリコン（ＢＰＳＧ）、酸化珪素（ＳｉＯX）及び窒化珪素（ＳｉＮX）からなる群から選択されることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
請求項９〜１３の何れかにおいて、前記振動板として絶縁層を形成すると共に、該絶縁層上に下電極、圧電体層及び上電極層を順次積層形成し、パターニングすることにより前記圧電素子を形成することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部に振動板を介して圧電素子を形成して、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子が軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難であるという問題がある。
【０００５】
一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消すべく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるように、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが提案されている。
【０００６】
これによれば圧電素子を振動板に貼付ける作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で、かつ簡便な手法で圧電素子を作り付けることができるばかりでなく、圧電素子の厚みを薄くできて高速駆動が可能になるという利点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、圧力発生室を高密度で配列した場合、各圧力発生室間の隔壁の厚さが薄くなることによって隔壁の剛性が不足し、各圧力発生室間のクロストークが発生する。
【０００８】
一方、縦振動モードの圧電アクチュエータでは、圧力発生室の振動板側に幅広部を設け、それ以外の部分の圧力発生室の幅を小さくして隔壁の厚さを大きくする構造が考えられているが、この場合には、圧力発生室の幅広部の加工や貼り合わせ等の作業が必要で作業性及び精度が問題である。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、高密度且つ各圧力発生室間のクロストークを低減したインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が画成されるシリコン単結晶基板と、前記圧力発生室の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対向する領域に設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子と、前記圧力発生室にインクを供給するインク供給系とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室が前記シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより前記シリコン単結晶基板を貫通することなしに形成され且つ前記振動板及び前記圧電素子が前記シリコン単結晶基板上に成膜及びリソグラフィ法により直接形成された薄膜により構成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１１】
かかる第１の態様では、圧力発生室が流路形成基板を貫通することなく形成されているため、圧力発生室を区画する隔壁の剛性が維持され、クロストークが抑えられると共に高密度のノズル開口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ比較的容易に製造することができる。
【００１２】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記圧電素子を構成する圧電体層は、結晶が優先配向していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１３】
かかる第２の態様では、圧電体層が薄膜工程で成膜された結果、結晶が優先配向している。
【００１４】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記圧電体層は、結晶が柱状となっていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１５】
かかる第３の態様では、圧電体層が薄膜工程で成膜された結果、結晶が柱状となっている。
【００１６】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記圧力発生室が、前記シリコン単結晶基板の両面に形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１７】
かかる第４の態様では、圧力発生室の隔壁の剛性を損なうことなく、圧力発生室を高密度に配設できるため、ヘッドの高密度化が可能である。
【００１８】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記圧電素子を構成する前記薄膜は、前記圧力発生室に設けられると共に最終的に除去される犠牲層上に形成された薄膜であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１９】
かかる第５の態様では、犠牲層が圧力発生室に充填されることにより、圧力発生室に対向する領域に薄膜プロセスで圧電素子を容易に形成することができる。
【００２０】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通するインク流路を具備することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２１】
かかる第６の態様では、圧力発生室からインク流路及びノズル開口を介してインクが吐出される。
【００２２】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様において、前記圧力発生室の深さが、２０μｍから１００μｍの間であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２３】
かかる第７の態様では、圧力発生室を所定の深さで形成することにより、隔壁の剛性が維持される。
【００２４】
本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。
【００２５】
かかる第８の態様では、ヘッドのインク吐出性能を向上すると共に高密度化したインクジェット式記録装置を実現することができる。
【００２６】
本発明の第９の態様は、シリコン単結晶基板に形成され且つノズル開口に連通すると共にインクが供給されるインク供給系に連通した圧力発生室に対向する領域に振動板を介して前記圧力発生室に圧力変化を発生させる圧電素子を形成するインクジェット式記録ヘッドの製造方法において、前記シリコン単結晶基板に、その厚さ方向に貫通しない前記圧力発生室を形成する工程と、前記圧力発生室に犠牲層を充填する工程と、前記犠牲層側の前記シリコン単結晶基板上に前記振動板を成膜により直接形成すると共に前記圧力発生室に対向する領域に前記圧電素子を成膜及びリソグラフィ法により直接形成する工程と、前記圧力発生室に充填した前記犠牲層を除去する工程とを有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００２７】
かかる第９の態様では、圧力発生室を流路形成基板を貫通することなく比較的容易に形成することができる。
【００２８】
本発明の第１０の態様は、第９の態様において、前記犠牲層を除去する工程は、前記シリコン単結晶基板の一側面と前記圧力発生室とを連通するインク流路を形成し、該インク流路を介してウエットエッチングにより行うことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００２９】
かかる第１０の態様では、インク流路を介してウェットエッチングすることにより、比較的容易且つ確実に犠牲層を除去することができる。
【００３０】
本発明の第１１の態様は、第９又は１０の態様において、前記圧力発生室に前記犠牲層を充填する工程は、前記圧力発生室に対応する領域に少なくとも前記圧力発生室の深さと略同一の深さで前記犠牲層を形成する工程と、前記圧力発生室以外の前記犠牲層をポリッシングによって除去する工程とを含むことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３１】
かかる第１１の態様では、圧力発生室内に犠牲層を容易且つ確実に充填することができる。
【００３２】
本発明の第１２の態様は、第１１の態様において、前記犠牲層をジェットモールディング法によって形成することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３３】
かかる第１２の態様では、犠牲層を部分的に形成することができ、比較的容易に犠牲層を充填することができる。
【００３４】
本発明の第１３の態様は、第９〜１２の何れかの態様において、前記犠牲層は、リンドープ酸化シリコン（ＰＳＧ）、ボロン・リンドープ酸化シリコン（ＢＰＳＧ）、（ＳｉＯＸ）及び窒化珪素（ＳｉＮＸ）からなる群から選択されることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３５】
かかる第１３の態様では、犠牲層に所定の材料を用いることにより、容易且つ確実に除去することができる。
【００３６】
本発明の第１４の態様は、第９〜１３の何れかの態様において、前記振動板として絶縁層を形成すると共に、該絶縁層上に下電極、圧電体層及び上電極層を順次積層形成し、パターニングすることにより前記圧電素子を形成することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法にある。
【００３７】
かかる第１４の態様では、たわみ振動モードの圧電素子を比較的容易に形成できる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの１つの圧力発生室の長手方向における断面構造を示す図である。
【００４１】
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶板からなる。流路形成基板１０としては、通常、１５０μｍ〜１ｍｍ程度の厚さのものが用いられる。
【００４２】
流路形成基板１０の一方の面には、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより複数の隔壁により区画された圧力発生室１２が形成されている。
【００４３】
この異方性エッチングは、ウエットエッチング又はドライエッチングの何れの方法を用いてもよく、シリコン単結晶板を厚さ方向に途中までエッチング（ハーフエッチング）することにより圧力発生室１２は浅く形成されている。なお、ハーフエッチングはエッチング時間の調整により行われる。
【００４４】
また、各圧力発生室１２の長手方向両端部の底部には、インクの流路となるインク連通路１３，１４が開口している。このインク連通路１３，１４は、圧力発生室１２の幅より小さい径で他方面側まで貫通して設けられており、他方面側から異方性エッチングすることにより形成されている。
【００４５】
流路形成基板１０のインク連通路１３，１４が開口する面には、各インク連通路１３に連通するノズル開口２１と、各インク連通路１４に連通するインク供給連通口２２とが穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［×１０−６／℃］であるガラスセラミックスからなる。ノズルプレート２０は、一方の面で流路形成基板１０を覆い、シリコン単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たしている。
【００４６】
ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口２１は数十μｍの直径で精度よく形成する必要がある。
【００４７】
また、各圧力発生室１２と後述する共通インク室３１とは、ノズルプレート２０に形成されたインク供給連通口２２を介して連通されており、インクはこのインク供給連通口２２を介して共通インク室３１から供給され、各圧力発生室１２に分配される。
【００４８】
また、共通インク室３１に供給されるインクは、ノズルプレート２０の共通インク室３１に対向する領域に形成されたインク導入口２３により供給される。
【００４９】
共通インク室形成基板３０は、共通インク室３１の周壁を形成するものであり、ノズル開口数、インク滴吐出周波数に応じた適正な厚みのステンレス板を打ち抜いて作製されたものである。本実施形態では、共通インク室形成基板３０の厚さは、０．２ｍｍとしている。
【００５０】
インク室側板４０は、ステンレス基板からなり、一方の面で共通インク室３１の一壁面を構成するものである。また、インク室側板４０には、他方の面の一部にハーフエッチングにより凹部４０ａを形成することにより薄肉壁４１が形成されている。なお、薄肉壁４１は、インク滴吐出の際に発生するノズル開口２１と反対側へ向かう圧力を吸収するためのもので、他の圧力発生室１２に、共通インク室３１を経由して不要な正又は負の圧力が加わるのを防止する。本実施形態では、インク導入口２３と外部のインク供給手段との接続時等に必要な剛性を考慮して、インク室側板４０を０．２ｍｍとし、その一部を厚さ０．０２ｍｍの薄肉壁４１としているが、ハーフエッチングによる薄肉壁４１の形成を省略するために、インク室側板４０の厚さを初めから０．０２ｍｍとしてもよい。
【００５１】
一方、圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０上には、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）等の絶縁層からなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が設けられている。この弾性膜５０は、一方の面で圧力発生室１２の一壁面を構成している。
【００５２】
このような弾性膜５０の上の各圧力発生室１２に相対向する領域には、厚さが例えば、約０．５μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体膜７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０，及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体膜７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体膜７０から構成され、両電極への電圧の印可により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部３２０という。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室１２毎に圧電体能動部３２０が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる弾性膜５０とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００５３】
ここで、シリコン単結晶板からなる流路形成基板１０に圧力発生室１２を形成する工程及び、この圧力発生室に対応する領域に圧電素子３００を形成するプロセスを図３〜図５を参照しながら説明する。なお、図３，図４は、圧力発生室１２の幅方向の断面図、図５は、圧力発生室１２の長手方向の断面図である。
【００５４】
まず、図３（ａ）に示すように、流路形成基板１０となるシリコン単結晶板上に、例えば、酸化シリコンからなる所定形状のマスクを用いて異方性エッチングすることにより圧力発生室１２を形成する。
【００５５】
次に、図３（ｂ）に示すように、流路形成基板１０に形成された圧力発生室１２に犠牲層９０を埋め込む。例えば、本実施形態では、流路形成基板１０の全面に亘って犠牲層９０を圧力発生室１２の深さと略同一厚さで形成した後、圧力発生室１２以外の犠牲層９０をケミカル・メカニカル・ポリッシュ（ＣＭＰ）により除去することにより形成した。
【００５６】
このような犠牲層９０の材料は、特に限定されないが、例えば、ポリシリコン又はリンドープ酸化シリコン（ＰＳＧ）等を用いればよく、本実施形態では、エッチングレートが比較的速いＰＳＧを用いた。
【００５７】
なお、犠牲層９０の形成方法は特に限定されず、例えば１μｍ以下の超微粒子をヘリウム（Ｈｅ）等のガスの圧力によって高速で基板に衝突させることにより成膜するいわゆるガスデポジション法あるいはジェットモールディング法と呼ばれる方法を用いてもよい。この方法では、圧力発生室１２に対応する領域のみに犠牲層９０を部分的に形成することができる。
【００５８】
次に、図３（ｃ）に示すように、流路形成基板１０及び犠牲層９０上に弾性膜５０を形成する。例えば、本実施形態では、流路形成基板１０上にジルコニウム層を形成後、例えば、５００〜１２００℃の拡散炉で熱酸化して酸化ジルコニウムからなる弾性膜５０とした。なお、弾性膜５０の材料は、後の犠牲層９０を除去する工程でエッチングされない材料であれば特に限定されない。
【００５９】
次に、各圧力発生室１２に対応して弾性膜５０上に圧電素子３００を形成する。
【００６０】
圧電素子３００を形成する工程としては、まず、図４（ａ）に示すように、スパッタリングで下電極膜６０を形成する。この下電極膜６０の材料としては、白金等が好適である。これは、スパッタリング法やゾル−ゲル法で成膜する後述の圧電体膜７０は、成膜後に大気雰囲気下又は酸素雰囲気下で６００〜１０００℃程度の温度で焼成して結晶化させる必要があるからである。すなわち、下電極膜６０の材料は、このような高温、酸化雰囲気下で導電性を保持できなければならず、殊に、圧電体膜７０としてチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた場合には、酸化鉛の拡散による導電性の変化が少ないことが望ましく、これらの理由から白金が好適である。
【００６１】
次に、図４（ｂ）に示すように、圧電体膜７０を成膜する。例えば、本実施形態では、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体膜７０を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて形成した。圧電体膜７０の材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛系の材料がインクジェット式記録ヘッドに使用する場合には好適である。なお、この圧電体膜７０の成膜方法は、特に限定されず、例えば、スパッタリング法又はＭＯＤ法（有機金属熱塗布分解法）等のスピンコート法により成膜してもよい。
【００６２】
さらに、ゾル−ゲル法又はスパッタリング法もしくはＭＯＤ法等によりチタン酸ジルコン酸鉛の前駆体膜を形成後、アルカリ水溶液中での高圧処理法にて低温で結晶成長させる方法を用いてもよい。
【００６３】
何れにしても、このように成膜された圧電体膜７０は、バルクの圧電体とは異なり結晶が優先配向しており、且つ本実施形態では、圧電体膜７０は、結晶が柱状に形成されている。なお、優先配向とは、結晶の配向方向が無秩序ではなく、特定の結晶面がほぼ一定の方向に向いている状態をいう。また、結晶が柱状の薄膜とは、略円柱体の結晶が中心軸を厚さ方向に略一致させた状態で面方向に亘って集合して薄膜を形成している状態をいう。勿論、優先配向した粒状の結晶で形成された薄膜であってもよい。なお、このように薄膜工程で製造された圧電体膜の厚さは、一般的に０．５〜５μｍである。
【００６４】
次に、図４（ｃ）に示すように、上電極膜８０を成膜する。上電極膜８０は、導電性の高い材料であればよく、アルミニウム、金、ニッケル、白金等の多くの金属や、導電性酸化物等を使用できる。本実施形態では、白金をスパッタリングにより成膜している。
【００６５】
次いで、下電極膜６０、圧電体膜７０及び上電極膜８０を一緒にエッチングして下電極膜６０の全体パターンをパターニングした後、図４（ｄ）に示すように、圧電体膜７０及び上電極膜８０のみをエッチングして圧電体能動部３２０のパターニングを行う。
【００６６】
次に、図５（ａ）に示すように、少なくとも圧電体膜７０を覆うように保護膜１００を成膜する。その後、他方面側から異方性エッチングすることによりインク連通路１３，１４を形成する。インク連通路１３，１４を形成する際の異方性エッチングは、インク連通路１３，１４を垂直な貫通孔とするためにドライエッチングによる形成が望ましい。このインク連通路１３，１４は、保護膜１００を成膜する前、すなわち図４（ｄ）の後に形成しても特に問題はない。
【００６７】
その後、図５（ｂ）に示すように、インク連通路１３，１４からウェットエッチングまたは蒸気によるエッチングによって犠牲層９０を除去し、その後、保護膜１００を除去する。本実施形態では、犠牲層９０の材料として、ＰＳＧを用いているため、弗酸水溶液によってエッチングした。なお、ポリシリコンを用いた場合には、弗酸及び硝酸の混合水溶液、あるいは水酸化カリウム水溶液によってエッチングすることができる。
【００６８】
以上のような工程で、圧力発生室１２及び圧電素子３００が形成される。
【００６９】
以上説明した一連の膜形成及び異方性エッチングでは、一枚のウェハ上に多数のチップを同時に形成し、プロセス終了後、図１に示すような一つのチップサイズの流路形成基板１０毎に分割する。又、分割した流路形成基板１０を、ノズルプレート２０、共通インク室形成基板３０及びインク室側板４０と順次接着して一体化し、インクジェット式記録ヘッドとする。
【００７０】
このように構成したインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口２３からインクを取り込み、共通インク室３１からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない外部の駆動回路からの記録信号に従い、下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体膜７０をたわみ変形させることにより、圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００７１】
このような本実施形態では、各圧力発生室１２を、基板を貫通することなしに形成しているので、各圧力発生室１２の隔壁の剛性を十分高くすることができ、且つ有効にインク滴を吐出することができる。このため、シリコン単結晶基板厚の制約を受けることなく大口径のシリコンウェハを用いることもでき、ラインプリンターなどの大型ヘッドへの適用も可能となる。
【００７２】
また、流路形成基板１０にノズルプレート２０を貼り付ける際、貼り付けに用いられる接着剤が弾性膜５０側に流出するのが抑えられるため、弾性膜５０の動きを拘束してインク吐出不良が生じることがない。
【００７３】
さらに、圧力発生室１２を形成する際、圧力発生室１２の深さをエッチングの時間によって自由に設定でき、合わせて隔壁のコンプライアンスを制御できると共に、製造にかかる時間を減らすことができるので、低コスト製造が実現できる。
【００７４】
（実施形態２）
図６（ａ）は、実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の幅方向の断面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。なお、前述した実施形態で説明したものと同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７５】
図６（ａ）に示すように、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板１０Ａの両面に圧力発生室１２Ａを形成した例であり、本実施形態では、両面の圧力発生室１２Ａは互いに相対向しない位置に設けている。
【００７６】
流路形成基板１０Ａの圧力発生室１２Ａに対応する領域には、上述した実施形態１と同様に弾性膜５０及び圧電素子３００が形成されている。
【００７７】
また、図６（ｂ）に示すように、流路形成基板１０Ａには、両面に形成された弾性膜５０にインク供給連通口２２Ａが形成され、さらに、弾性膜５０上に封止基板２５、共通インク室形成基板３０Ａ、及びインク室側板４０Ａが順次接合されている。
【００７８】
封止基板２５は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態でその空間を密封可能な圧電素子保持部２４を有しており、この封止基板２５には、弾性膜５０のインク供給連通口２２Ａに対応して、共通インク室３１Ａから圧力発生室１２にインクを供給するインク供給孔２６が形成されている。
【００７９】
さらに、封止基板２５上には、共通インク室３１Ａを形成する共通インク室形成基板３０Ａ及びインク室側板４０Ａが形成されており、封止基板２５上の略全面が共通インク室３１Ａとなっている。なお、外部のインク供給手段から共通インク室３１Ａにインクを供給するインク導入口２３Ａは、インク室側板４０Ａに設けるようにした。
【００８０】
また、圧力発生室１２Ａは、実施形態１と同様にハーフエッチングをすることにより浅く形成されており、圧力発生室１２Ａの一端は、流路形成基板１０Ａの側面まで貫通するように設けられている。この流路形成基板１０Ａの側面には、圧力発生室１２Ａと連通するノズル開口２１Ａが穿設されたノズルプレート２０Ａが接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。
【００８１】
本実施形態では、一つの流路形成基板１０Ａの両面に圧力発生室１２Ａを有することから、ヘッドの小型化が可能である。また、このように高密度で圧力発生室１２Ａを形成しても隔壁の剛性は十分保たれる。
【００８２】
なお、本実施形態では、流路形成基板１０Ａの側面側にノズル開口２１Ａを有するノズルプレート２０Ａを接合するようにしたが、これに限定されず、例えば、流路形成基板の端部に圧力発生室に連通するノズル開口をハーフエッチングにより形成するようにしてもよい。
【００８３】
（実施形態３）
図７は、実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００８４】
本実施形態は、図７に示すように、ノズル開口２１Ｂを流路形成基板１０の圧電素子３００と同じ側に設けた例である。
【００８５】
すなわち、本実施形態では、実施形態２の封止基板２５に替わってノズルプレート２０Ｂを接合し、弾性膜５０には、ノズル開口２１Ｂと連通するノズル連通口５１が形成されている。
【００８６】
弾性膜５０には、共通インク室３１Ｂに連通するインク供給連通口２２が設けられており、弾性膜５０上には、ノズルプレート２０Ｂが流路形成基板１０の略全面を覆うように接合されている。
【００８７】
このようなノズルプレート２０Ｂは、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態でその空間を密封可能な圧電素子保持部２４を有し、インク供給連通口２２に対応して、共通インク室３１Ｂから圧力発生室１２にインクを供給するインク供給孔２６が形成されている。
【００８８】
また、ノズルプレート２０Ｂ上のインク室形成基板３０Ｂ及びインク室側板４０Ｂは、前述した実施形態２と同様である。
【００８９】
このような構成によっても、勿論、上述の実施形態と同様の効果が得られる。
【００９０】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００９１】
例えば、上述した実施形態２では、ノズルプレート２０を流路形成基板１０Ａの側面に設けたが、実施形態１においても同様に、ノズルプレート２０を流路形成基板１０の側面に設けるようにしてもよい。このような構成としても、勿論、上述した実施形態と同様の効果が得られる。
【００９２】
また、例えば、薄肉部４１を別部材としてガラスセラミック製としてもよく、材料、構造等の変更は自由である。
【００９３】
このように、本発明は、その趣旨に反しない限り、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドに応用することができる。
【００９４】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００９５】
図８に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００９６】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００９７】
【発明の効果】
このように、本発明では、圧力発生室を浅く形成するため、隔壁の剛性を十分に確保することができ、クロストークを防止することができる。また、圧力発生室の深さを変えることによって、隔壁のコンプライアンスを自由に設定できる。さらに、シリコン単結晶基板の２面に圧力発生室及び圧電素子を形成することによりヘッドの小型化が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの１つの圧力発生室の長手方向の断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
１０，１０Ａ  流路形成基板
１２，１２Ａ  圧力発生室
１３，１４  インク連通路
２０，２０Ａ，２０Ｂ  ノズルプレート
２１，２１Ａ，２１Ｂ  ノズル開口
２２，２２Ａ  インク供給連通口
２３，２３Ａ  インク導入口
２５  封止基板
３０，３０Ａ，３０Ｂ  共通インク室形成基板
４０，４０Ａ，４０Ｂ  インク室側板
５０  弾性膜
５１  ノズル連通口
６０  下電極膜
７０  圧電体膜
８０  上電極膜
９０  犠牲層
１００  保護膜
３００  圧電素子
３２０  圧電体能動部
【図１】
0003546944.tif 000002
【図２】
0003546944.tif 000003
【図３】
0003546944.tif 000004
【図４】
0003546944.tif 000005
【図５】
0003546944.tif 000006
【図６】
0003546944.tif 000007
【図７】
0003546944.tif 000008
【図８】
0003546944.tif 000009