(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液が注入されたシリンジを移動手段により所定の位置へ移動させて被処理部に処理液を供給し、該処理液により被処理部の抵抗値を調整するようにした抵抗値調整方法において、
前記シリンジより処理液を前記被処理部に供給して、該処理液により前記被処理部の抵抗値を変化させる第一工程と、
前記第一工程の終了後、前記被処理部に残留している処理液を、前記シリンジの排出側に接続された吸引手段により吸引する第二工程と、
前記シリンジの退避後、前記被処理部の抵抗値を測定し、該測定結果を計算処理手段により処理する第三工程とを少なくとも備え、
少なくとも前記第一工程と前記第二工程は、前記シリンジを移動させる移動手段により前記シリンジの排出側に設けられたパッド部材が前記被処理部に近接させられた状態で行われることを特徴とする抵抗値調整方法。
【請求項２】
前記抵抗値は歪ゲージの抵抗値であることとした請求項１記載の抵抗値調整方法。
【請求項３】
被処理部の抵抗値を変化させる処理液が注入されるシリンジと、
前記シリンジの注入側に接続された供給制御手段と、
前記シリンジの排出側に設けられた排出部と、
前記排出部に配されたヘッド部材と、
前記ヘッド部材に設けられたパッド部材と、
前記シリンジを移動させて前記パッド部材を前記被処理部に近接させる移動手段と、
前記ヘッド部材に接続された吸引手段と、
前記被処理部の抵抗値を測定する測定手段と、
該測定結果を計算処理する計算処理手段と、
少なくとも前記移動手段を制御する移動制御手段とを備え、
前記パッド部材の内径は前記被処理部に面する側に向かって開口部の内径が漸増するように形成されていることを特徴とする抵抗値調整装置。
【請求項４】
前記抵抗値は歪ゲージの抵抗値であることとした請求項３記載の抵抗値調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、抵抗値調整方法及びその装置に関し、より詳細には、例えばロードセルなどに用いる歪ゲージ素子の抵抗値を所望の値とする調整を行うためのエッチング液等の処理液を用いた抵抗値調整方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、量産のように多数の歪ゲージ素子を製造するため、歪ゲージ素子用の抵抗体パターンをシート状ベースに多数同時に形成するようにした場合においても、抵抗体パターンが形成された直後の各歪ゲージ素子の抵抗値は、様々な要因により同一のものとはならず、従って、個々に異なっていて、ばらつきを有している。そのため、従来より、歪ゲージ素子用の抵抗体パターンの形成にあたっては、歪ゲージ素子の抵抗値が所望の範囲内の値より小さいものをまず形成し、次いで、この抵抗体パターンを所定量を除去することが可能なエッチング液等の所定の処理液を用いて、該抵抗体パターンを所定量あるいは適量を化学的に除去して、各歪ゲージ素子の抵抗値を所望の値とするように調整することが知られている。以下に詳述する。
【０００３】
図７は、歪ゲージシートの一例で、所定の材料よりなるシート状ベース３０１上に、歪ゲージ用の抵抗材料を用いて、例えば蒸着等の方法により、複数の抵抗体パターン３０２が形成されたものである。この例では、一枚のシートに同一の抵抗体パターンを複数形成している。これを、所定の大きさ・形状に分割・切断して、複数の歪ゲージ素子３０３が形成される。歪ゲージ素子３０３の抵抗値は、抵抗体パターン３０２の膜厚、幅や長さ等の形状などに依存するが、これらの値は、同じシート上の同一の抵抗体パターンであっても、上述したように、種々の要因により、抵抗体パターン形成直後においては、同一ではない。
【０００４】
従って、各抵抗値を所定の値あるいは所定の範囲内の値とするための調整が必要となる。この抵抗値の調整においては、まず、抵抗体パターンを、歪ゲージ素子の抵抗値を所望の値より小さくなるように形成し、分割・切断する前のシートの状態で、抵抗計にて抵抗値を測定しながら、エッチング液により個々の歪ゲージ素子の抵抗体パターンの除去を徐々に行うことにより抵抗値を上げて、所望の抵抗値となるようにしている。このとき、従来においては、作業者が綿棒や注射器等により個々の歪ゲージ素子の抵抗体パターンにエッチング液を供給することにより行っていた。このような方法は、作業者が熟練して供給量を正確なものとする技術を会得するまでに長期間を要するものであり、また、熟練した作業者においても常に正確性を確保するのが難しいものであった。このため、適当な装置を用いて、エッチング液を供給するようにした方法が知られている。
【０００５】
しかしながら、このような装置においても、除去すべき部分にのみ供給することは容易ではなく、特に多量に供給された場合には、エッチング液が他の隣接する歪ゲージ素子の抵抗体パターンに及んで、その抵抗体パターンもエッチングされてしまう等の不都合な点を有していた。これを防止するために、注射器等の供給部材の先端部に堰止め部材としてパッド部材等を設けて周囲に漏れるのを防ぐようにしたものがある。しかし、このような構成では、供給状態においてパッド部材内はいわば気密状態であるため、供給・エッチング後に、先端部に残留したエッチング液を吸引しようとする場合に、即座にあるいは十分に吸引できず、パッド部材が歪ゲージシート面を離隔したときにエッチング液が残留したり周囲に流れたりする不都合を生じ、これを解消するため吸引力を大きなものとすると注射器等の供給部材内のエッチング液をも吸引するという不都合が生じ、処理工程を困難なものとしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、エッチング液等の処理液が他の隣接する部分等に流出することなく処理しようとする部分に確実に供給されるととともに、エッチング後に速やかに吸引されるようにして、処理工程が短時間に遂行されるようにした抵抗値調整方法及びその装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の抵抗値調整方法は、処理液が注入されたシリンジを移動手段により所定の位置へ移動させて被処理部に処理液を供給し、該処理液により被処理部の抵抗値を調整するようにした抵抗値調整方法において、前記シリンジより処理液を前記被処理部に供給して、該処理液により前記被処理部の抵抗値を変化させる第一工程と、前記第一工程の終了後、前記被処理部に残留している処理液を、前記シリンジの排出側に接続された吸引手段により吸引する第二工程と、前記シリンジの退避後、前記被処理部の抵抗値を測定し、該測定結果を計算処理手段により処理する第三工程とを少なくとも備え、少なくとも前記第一工程と前記第二工程は、前記シリンジを移動させる移動手段により前記シリンジの排出側に設けられたパッド部材が前記被処理部に近接させられた状態で行われるようにしたものである。また、本発明の他の抵抗値調整方法は、前記抵抗値は歪ゲージの抵抗値であることとしたものである。
【０００８】
本発明の抵抗値調整装置は、被処理部の抵抗値を変化させる処理液が注入されるシリンジと、前記シリンジの注入側に接続された供給制御手段と、前記シリンジの排出側に設けられた排出部と、前記排出部に配されたヘッド部材と、前記ヘッド部材に設けられたパッド部材と、前記シリンジを移動させて前記パッド部材を前記被処理部に近接させる移動手段と、前記ヘッド部材に接続された吸引手段と、前記被処理部の抵抗値を測定する測定手段と、該測定結果を計算処理する計算処理手段と、少なくとも前記移動手段を制御する移動制御手段とを備え、前記パッド部材の内径は前記被処理部に面する側に向かって開口部の内径が漸増するように形成されているものである。また、本発明の他の抵抗値調整装置は、前記抵抗値は歪ゲージの抵抗値であることとしたものである。
【０００９】
【作用】
少なくとも、シリンジより処理液を被処理部に供給して、該処理液により被処理部の抵抗値を変化させる第一工程と、第一工程の終了後、被処理部上に残留している処理液を、シリンジの排出側に接続された吸引手段により吸引する第二工程は、シリンジを移動させる移動手段によりシリンジの排出側に設けられたパッド部材が被処理部に近接させられた状態で行われ、他の隣接する被処理部へ流出することがなく、速やかにしかも確実に残留した処理液が吸引される。被処理部の抵抗値を変化させる処理液が注入されるシリンジと、シリンジの注入側に接続された供給制御手段と、シリンジの排出側に設けられた排出部と、排出部に配されたヘッド部材と、ヘッド部材に設けられたパッド部材と、シリンジを移動させてパッド部材を被処理部に近接させる移動手段と、ヘッド部材に接続された吸引手段と、被処理部の抵抗値を測定する測定手段と、該測定結果を計算処理する計算処理手段と、少なくとも移動手段を制御する移動制御手段とを備えているので、他の隣接する被処理部へ流出することがなく、速やかにしかも確実に残留した処理液が吸引される。
【００１０】
【実施例】
以下に、本発明の抵抗値調整方法及びその装置を図を用いて説明するが、本発明の好適なる一実施例として、歪ゲージ素子の抵抗値の調整を行う場合にて説明する。まず、歪ゲージ素子の抵抗値の調整を行うための装置全体とその各構成について説明する。図１は、本発明の抵抗値調整方法を実現する抵抗値調整装置の一実施例であり、歪ゲージ素子の抵抗値の調整を行うための抵抗値調整装置の全体を示す概略斜視図で、ここでは模式的に示してある。
【００１１】
１は位置決めテーブルで、Ｘ軸モータ２によりＸ軸方向に、Ｙ軸モータ３によりＹ軸方向に任意に移動することが可能になっている。位置決めテーブル１上面の試料載置面１ａに、図示を省略してあるが、小孔が複数形成されていて、内部で吸引管１ｂに通じていて、図示しない吸引機構により該小孔から吸引管１ｂを介して選択的に吸引される。４は歪ゲージシートで、分割・切断されたときに、個々の素子となる歪ゲージ素子４ａが複数配列されて形成されている。各歪ゲージ素子４ａは所定の抵抗体パターン４ｂを有して構成されている。この実施例では、各歪ゲージ素子４ａは、同一の抵抗体パターン４ｂを有しており、また、抵抗体パターン４ｂは、直接歪ゲージシート４面上に形成されている。なお、抵抗体パターン４ｂは、金属箔を接着する方法や、厚膜技術や薄膜技術等の成膜技術による方法等、種々の方法により形成することが可能である。この実施例では、また、歪ゲージシート４は、位置決めテーブル１の試料載置面１ａに載置され、前述の吸引機構により前記小孔から吸引管１ｂを介して吸引されることにより、試料載置面１ａ上に吸着状態にて固定される。
【００１２】
シリンジの部分については後述において詳述するが、主な構成は、５はシリンジで、エッチング液が注入される部分であり、６は排出管、７はヘッド部材、８はパッド部材である。９は供給制御装置で、選択的にエアーを送出することによりシリンジ５内のエッチング液の吐出を行えるとともに吐出量も調節可能となっていて、供給制御装置本体９ａ、エアーをシリンジ５へ送るための送出管９ｂ、シリンジ５と送出管９ｂとの気密性を保つための被覆部材９ｃ及び外部よりエアーを吸入補給するための吸入管９ｄとから構成されている。１０は吸引機で、吸引機本体１０ａと、ヘッド部材７に接続された吸引管１０ｂと、エアー吸入用の吸入管１０ｃ及びドレン（排出）用の排出管１０ｄとから構成されている。１１はドレン受けで、排出管１０ｄに接続されている。１１ａはサイレンサである。１２は移動手段で、腕１２ａによりシリンジ５を保持して、シリンジ５を位置決めテーブル１の面と平行な面の方向に移動させる平面移動手段と、シリンジ５を歪ゲージシート４面に接離可能に上下動させる昇降手段とを備える構成となっている。１３は移動制御手段で、移動手段１２の移動制御を行い、少なくとも、シリンジ５の歪ゲージシート４面への近接の度合いを調節することが可能になっている。
【００１３】
１４は検知手段で、この実施例の装置は歪ゲージ素子４ａの抵抗値を測定し調整するためのものであるので、ここでは２本のプローブ１４ａを備える構成となっていて、歪ゲージシート４の歪ゲージ素子４ａの所定部分に当接して電流値等を検知するようになっている。１５は移動手段で、腕１５ａにより検知手段１４を保持して、検知手段１４を位置決めテーブル１の面と平行な面の方向に移動させる平面移動手段と、検知手段１４を歪ゲージシート４面に接離可能に上下動させる昇降手段とを備える構成となっている。１６は計測手段で、この実施例では抵抗計で、検知手段１４で検知した電流値等を基に抵抗値として計測する。このように、この実施例においては、２本のプローブ１４ａを備える検知手段１４と計測手段１６とにより、抵抗値を測定する測定手段が構成される。１７は計算処理手段で、あらかじめ所望の範囲に設定された抵抗値の規格を入力・記憶することができ、検知手段１４及び計測手段１６により測定された抵抗値を、この規格と比較して、規格内か規格外かを判断処理するとともに、該抵抗値を記憶したり統計的処理を行うものである。例えば、規格外であった場合には、この測定結果としての抵抗値から次のエッチング時間を計算する等の処理を行う。
【００１４】
１８は吸収手段で、歪ゲージシート４上あるいは歪ゲージ素子４ａ上に残留するエッチング液を吸収するためのもので、例えば拭取りスタンプ等の吸収部材にて構成されている。１９は移動手段で、腕１９ａにより吸収手段１８を保持して、吸収手段１８を位置決めテーブル１の面と平行な面の方向に移動させる平面移動手段と、吸収手段１８を歪ゲージシート４面に接離可能に上下動させる昇降手段とを備える構成となっている。
【００１５】
次に、シリンジ部分について、詳述する。図２は、シリンジ部分の断面図である。５はシリンジで、エッチング液が注入されている。６は排出管、２０はニードル管で、いずれも貫通した中空構造の円筒形状に形成されているが、円錐形状等に形成されるようにしてもよい。ニードル管２０は所定の長さを有するように形成されている。排出管６の外径は、ニードル管２０の外径より大なる径にて形成されている。なお、排出管６をシリンジ５と一体成形されたものとしてもよい。７はヘッド部材で、貫通孔７ａと吸引孔７ｂとが形成されている。貫通孔７ａには内部に円環状の凹部が形成されていて、Ｏリング２１が配されるようになっている。ヘッド部材７を排出管６に配したときに、該凹部に配されたＯリング２１の介在により、ヘッド部材７と排出管６との間の部分で気密性が保たれるようになっている。貫通孔７ａは、排出管６の周囲はやや余裕を持たせるように排出管６の外径より若干大なる内径にて形成されており、また、ニードル管２０の周囲は所定の空間を形成するように、ニードル管２０の外径より所定量大なる内径にて形成されている。
【００１６】
８はパッド部材で、貫通した中空構造を成していて、ヘッド部材７に所定の気密性を有して嵌め合わされている。パッド部材８は、歪ゲージシート４に面する側に向かって開口部の内径が漸増するように形成されている。また、パッド部材８の先端側の周縁の内径は、歪ゲージ素子４ａの少なくともエッチングされる抵抗体パターンより大の形状となるように形成されている。パッド部材８は、通常は剛性を有する材料が形成されるが、所定の剛性を有していれば、ゴム等の弾性材料や、合成樹脂材料等により形成されてもよい。なお、パッド部材８は、用いる処理液に浸食されない材料であることが必要である。シリンジ５の歪ゲージシート４面への近接の度合いの調節は、通常は、パッド部材８の周縁先端面と歪ゲージシート４面との間の距離Ｌにて設定される。
【００１７】
以上のように構成されているが、ここで、この実施例におけるシリンジ５、検知手段１４及び吸収手段１８の配置関係について説明する。この実施例においては、後述するように、所定の一つの歪ゲージ素子４ａへの所定の処理すべて終了してから、次の他の歪ゲージ素子４ａに処理を施すようになっており、所定の一つの歪ゲージ素子４ａに対しては、抵抗値の測定、エッチング、残留エッチング液の吸収等の処理が数回繰り返されるので、より効率よく処理が行われることが望まれる。このため、この実施例においては、所定の処理位置をあらかじめ固定設定できるようにして、後述するように、所定の一つの歪ゲージ素子４ａへの所定の処理がすべて終了するまでは、位置決めテーブル１を移動さるせ必要を生じさせないようにしている。すなわち、シリンジ５と検知手段１５と吸収手段１８とが近接して配され、上述した移動手段１２、１５、１９により、シリンジ５、検知手段１４及び吸収手段１８が、上記所定の処理位置へ進出及び該位置から退避することができるように、所定位置に取付けられている。
【００１８】
次に、図３の処理動作を説明するための斜視図、及び図４の処理動作を示すフローチャートにより、歪ゲージ素子４ａの抵抗値の調整を行う場合の処理動作手順について説明する。まず、複数個の歪ゲージ素子４ａが形成された歪ゲージシート４を位置決めテーブル１上に載置し、図示しない吸引手段により吸着し固定する。処理及び調整を行うべき一つの歪ゲージ素子４ａを、前述の所定の処理位置に位置するように、Ｘ軸モータ２及びＹ軸モータ３により位置決めテーブル１を駆動して移動させる。これで、これから処理及び調整を行おうとしている一つの歪ゲージ素子４ａの位置セットがなされ（Ｓ１）、抵抗値調整を行うための準備状態とすることができる。
【００１９】
次に、初期抵抗値の測定について説明する。
移動手段１５を作動させて、まず、検知手段１４の２本のプローブ１４ａを、前記一つの歪ゲージ素子４ａの上方に位置するように平面移動させる。次に、移動手段１５により検知手段１４を降下させて、この歪ゲージ素子４ａの抵抗体パターン４ｂの所定の部分に２本のプローブ１４ａを当接させる。これで、検知手段１４がセットされる（Ｓ２）。この状態で、検知手段１４により電流値等を検知する。検知手段１４で検知した電流値等を計測手段１６により抵抗値として計測する。このようにして測定した抵抗値は、計算処理手段１７へ入力されて計算処理が行われ（Ｓ３）、あらかじめ入力・記憶されている所望の範囲に設定された抵抗値の規格と、この測定した抵抗値とを比較して、規格内か規格外かを判断処理する（Ｓ４）。ここで、もし規格内（Ｙ）であれば、エッチングによる調整等は不要であるので、移動手段１５により検出手段１４を退避させて（Ｓ１４）、この歪ゲージ素子の抵抗値調整は終了し、次の歪ゲージ素子の抵抗値調整へと移る。規格外（Ｎ）であった場合には、この測定した抵抗値から一回目のエッチング時間を計算した後、検知手段１４を、移動手段１５により上昇させ、平面移動させて、処理位置から退避させる（Ｓ５）。これで、初期抵抗値の測定が終了する。
【００２０】
次に、一回目のエッチング処理について説明する。
まず、移動手段１２を作動させて、あらかじめエッチング液が注入されているシリンジ５を、前記歪ゲージ素子４ａの上方に位置するように平面移動させる。次に、移動手段１２によりシリンジ５を降下させて、シリンジ５のパッド部材８が前記歪ゲージ素子４ａ面に近接した状態となるようにする。この実施例では、歪ゲージ素子４ａの抵抗体パターン４ｃの膜厚は数ミクロン〜数十ミクロンと極めて薄く、実際には、パッド部材８の周縁先端面と歪ゲージシート４面との間の距離Ｌにて設定し、ここでは、Ｌ＝０．１ｍｍ程度の距離を有するように離隔している。パッド部材８の歪ゲージシート面への近接の度合いは、歪ゲージ素子４ａの抵抗体パターンの大きさや膜厚やパッド部材８の材質・形状等により異なるが、エッチング液が外部へ流出しないように設定されるようにすればよい。このようにして、シリンジ５がセットされる（Ｓ６）。
【００２１】
次に、第一工程に相当するエアー送出及びエッチングについて説明する。
上述の状態で、供給制御装置９の圧力調整ツマミを正圧側とし供給量（供給時間）を設定して作動スイッチをＯＮすると、供給制御装置９より送出管９ｂを通して所定量のエアーが送出される（Ｓ７）。この送出されたエアーに押圧されて、所定量のエッチング液がニードル管２０を通って吐出し、パッド部材８内の前記歪ゲージ素子４ａ面上に供給される。供給制御装置９からの所定量のエアー送出の終了後ただちに、供給制御装置９の圧力調整ツマミをわずかに負圧側の状態として、エッチング液がさらに吐出するのを防止するとともに、吐出されたエッチング液がパッド部材８より外部へ流れ出すのを防止する。また、パッド部材８の周縁先端を歪ゲージシート４面に近接させているので、エッチング液の表面張力が有効に作用して、エッチング液が外部へ流出するのを防止する効果を奏している。従って、エッチング液が、周囲の隣接する歪ゲージ素子４ａに流出することがない。また、供給制御装置９を、エアー送出の負圧側の状態変更が自動的に行われるようにした装置とすることにより、吐出や流出の完全な防止、エッチング液の節約や工程時間の短縮化等が図られる。このような状態にて、一定時間エッチングが行われる（Ｓ８）。例えば、この実施例においては５秒間が設定されている。このようにして、第一工程が終了する。
【００２２】
次に、第二工程に相当するエッチング液の吸引について説明する。
所定のエッチング時間が経過したのち、パッド部材８等内のエッチング液は吸引機１０により吸引され（Ｓ９）、ドレン受け１１へと排出される。吸引機１０により吸引されるにあたり、図２に示すように、Ｏリング２１部分は気密性が保たれている一方で、パッド部材８の周縁先端面と歪ゲージシート４面との間の所定量の離隔により、この部分での気密性は緩和されているので、エッチング液の吸引がすみやかに行われる。
【００２３】
このようにしてエッチングが終了した後、シリンジ５を移動手段１２により上昇させ、平面移動させて、処理位置から退避させる（Ｓ１０）。これで、１回目のエッチング処理が終了する。
【００２４】
なお、エッチング液の表面張力等により歪ゲージ素子４ａ等の面上に微量のエッチング液が残留していると、歪ゲージ素子４ａのエッチングが続行したり、部分的にエッチングされたり等の不都合を生じるので、このような残留エッチング液を取り除くために、移動手段１９により吸収手段１８を所定の処理位置に平面移動させ、次に降下させて、歪ゲージシート４面上に残留するエッチング液を吸収し、再び移動手段１９により吸収手段１８を上昇させ、平面移動させて、処理位置から退避させる。
【００２５】
次に、１回目のエッチング処理後の抵抗値測定について説明する。
この抵抗値測定を行うため、前述と同様に、移動手段１５を作動させて、まず、２本のプローブ１４ａを有する検知手段１４を、前記歪ゲージ素子４ａの上方に位置するように平面移動させる。次に、移動手段１５により検知手段１４を降下させて、前記歪ゲージ素子４ａの所定の部分に２本のプローブ１４ａを当接させてこの状態とする。これで、検知手段１４がセットされる（Ｓ１１）。
【００２６】
そして、検知手段１４により電流値等を検知する。計測手段１６（抵抗計）は検知手段１４で検知した電流値等を基に抵抗値を計測する。このようにして測定した抵抗値は計算処理手段１７により入力されて計算処理が行われ（Ｓ１２）、あらかじめ所望の範囲に設定された抵抗値の規格と、測定した抵抗値とを比較する（Ｓ１３）。ここで、もし規格内（Ｙ）であれば、エッチングによる調整等は不要であるので、移動手段１５により検出手段１４を退避させて（Ｓ１４）、この歪ゲージ素子の抵抗値調整は終了し、次の歪ゲージ素子の抵抗値調整へと移る。規格外（Ｎ）であった場合には、この測定した抵抗値から二回目のエッチング時間を計算し、このようにして、第三工程に相当する検知・計測及び計算処理が終了した後、検知手段１４を、移動手段１５により上昇させ、平面移動させて、処理位置から退避させる（Ｓ１４）。
【００２７】
以上の処理が、必要に応じて、あるいはあらかじめ設定して、所定の回数を繰り返して行われる。抵抗値の変化率は、エッチング液の濃度、エッチング液の供給量、エッチング時間および室温等の条件により決まるが、その相対的関係はばらつきを有するものであり、必要に応じて、小刻みにエッチング処理を繰り返して抵抗値が規格値を越えないよう追い込めばよい。実際には、規格値と現在の抵抗値および前回までの変化率を計算処理手段１７により処理しながら、次のエッチング液の濃度およびエッチング時間を決定する。つまり、最初のうちは、濃度の濃いエッチング液（例えば５％）でやや長めの時間（例えば５秒間）エッチングし（粗調整）、規格値の付近では濃度の薄いエッチング液（例えば１％）で短い時間（１秒間）エッチングする（微調整）ようにする。なお、２種類のエッチング液を用いる場合には、２本のシリンジを用いて、所定に移動させるようにすればよい。このようにして、抵抗値が規格内（所定の範囲内）に達すると、次のエッチングは行わず、調整が終了する。なお、必要に応じて、中和液を用いるようにしてもよい。
【００２８】
以上の一連の作動を自動化するには、例えば図５のような制御システムを用いることにより、達成される。計算処理手段と処理制御手段とを合わせ持つようにした、例えばパーソナルコンピュータ２２を用いて、位置決め用のＸ軸モータ２とＹ軸モータ３とをモータコントロールボード２３を介して制御する。メカ部２４を入出力インターフェースボード２５を介して制御する。計測手段１６としての抵抗計はメカ部２４と連携してＧＰＩＢボード２６を介して制御する。
【００２９】
なお、シリンジ５まわりの構成について、他の実施例を図６により説明する。１０６は排出管で、貫通した中空構造の円筒形状に形成されているが、円錐形状等に形成されるようにしてもよい。１１９はニードル管で、貫通した中空構造の円錐形状に形成されているが、円筒形状等に形成されるようにしてもよい。ニードル管１１９は所定の長さを有するように形成されている。排出管１０６の外径は、ニードル管１１９の外径より大なる径にて形成されている。なお、排出管１０６をシリンジ５と一体成形されたものとしてもよい。１０７はヘッド部材で、貫通孔１０７ａと吸引孔１０７ｂとが形成されている。貫通孔１０７ａには内部に円環状の凹部が形成されていて、Ｏリング１２１が配されるようになっている。ヘッド部材１０７を排出管１０６に配したときに、該凹部に配されたＯリング１２１の介在により、ヘッド部材１０７と排出管１０６との間の部分で気密性が保たれるようになっている。貫通孔１０７ａは、排出管１０６の周囲はやや余裕を持たせるように排出管１０６の外径より若干大なる内径にて形成されており、また、ニードル管１１９の周囲は所定の空間を形成するように、ニードル管１１９の外径より所定量大なる内径にて形成されている。
【００３０】
１０８はパッド部材で、貫通した中空構造を成していて、ヘッド部材１０７に所定の気密性を有して嵌め合わされている。パッド部材１０８の歪ゲージシート１０４側の先端部は、歪ゲージシート１０４に面する側に向かって開口部の内径がわずか漸増するように形成されている。パッド部材１０８は、通常は剛性を有する材料で形成されるが、所定の剛性を有していれば、ゴム等の弾性材料や、合成樹脂材料等により形成されてもよい。１０４ｂは抵抗体パターンである。
【００３１】
【発明の効果】
上述のように、本発明の抵抗値調整方法は、シリンジよりエッチング液を所定の歪ゲージ素子に供給して、該エッチング液により歪ゲージ素子の抵抗体パターンを所定量を除去して抵抗値を変化させる第一工程と、第一工程の終了後、歪ゲージ素子上に残留しているエッチング液を、シリンジの排出側に接続された吸引手段により吸引する第二工程と、歪ゲージ素子の抵抗値を測定し、該測定結果を計算処理手段により処理する第三工程とを少なくとも備えるようにし、且つ少なくとも第一工程と第二工程は、シリンジを移動させる移動手段によりシリンジの排出側に設けられたパッド部材を歪ゲージ素子に近接させた状態で行われるようにしたので、エッチング液が他の隣接した歪ゲージ素子に流出することなく調整しようとする歪ゲージ素子に確実に供給されるととともに、エッチング後には速やかに吸引されるので、調整工程が短時間に遂行される。
【００３２】
また、本発明の抵抗値調整装置は、エッチング液が注入されるシリンジと、シリンジの注入側に接続された供給制御装置と、シリンジの排出側に設けられた排出部と、排出部に配されたヘッド部材と、ヘッド部材に設けられたパッド部材と、パッド部材を被処理部に近接させた状態へシリンジを移動させることが可能な移動手段と、ヘッド部材に接続された吸引手段と、歪ゲージ素子の抵抗値を測定する測定手段と、該測定結果を計算処理する計算処理手段と、少なくともシリンジを移動させる移動手段を制御する移動等制御手段を備えるようにしたもので、このような構成の装置より、エッチング液が他の隣接した歪ゲージ素子に流出することなく調整しようとする歪ゲージ素子に確実に供給されるととともに、エッチング後には速やかに吸引されることを可能にするものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示し、歪ゲージ素子の抵抗値の調整を行うための抵抗値調整装置の全体を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の一実施例を示し、歪ゲージ素子の抵抗値の調整を行うための抵抗値調整装置の要部を示す断面図である。
【図３】本発明の抵抗値調整方法の一実施例を示し、処理動作を説明するための斜視図である。
【図４】本発明の抵抗値調整方法の一実施例を示し、処理動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明の抵抗値調整方法の一実施例を示し、制御システムを示すブロック図である。
【図６】本発明の他の実施例を示し、歪ゲージ素子の抵抗値の調整を行うための抵抗値調整装置の要部を示す断面図である。
【図７】歪ゲージ素子の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
１      位置決めテーブル
１ａ      試料載置面
１ｂ      吸引管
２      Ｘ軸モータ
３      Ｙ軸モータ
４      歪ゲージシート
４ａ      歪ゲージ素子
４ｂ      抵抗体パターン
５      シリンジ
６      排出管
７      ヘッド部材
７ａ      貫通孔
７ｂ      吸引孔
８      パッド部材
９      供給制御装置
９ａ      供給制御装置本体
９ｂ      送出管
９ｃ      被覆部材
９ｄ      吸入管
１０      吸引機
１０ａ      吸引機本体
１０ｂ      吸引管
１０ｃ      吸入管
１０ｄ      排出管
１１      ドレン受け
１１ａ      サイレンサ
１２      移動手段
１２        腕
１３      移動制御手段
１４      検知手段
１４ａ      プローブ
１５      移動手段
１５ａ      腕
１６      計測手段
１７      計算処理手段
１８      吸収手段
１９      移動手段
１９ａ      腕
２０      ニードル管
２１      Ｏリング
２２      パーソナルコンピュータ
２３      モータコントロールボード
２４      メカ部
２５      入出力インターフェースボード
２６      ＧＰＩＢボード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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