(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に搭載された複数個のＬＳＩ素子の各上面に可塑性材料を塗布する第１の工程と、前記ＬＳＩ素子の上面にヒートシンクを前記基板との間隔が所定値となるように仮配置する第２の工程と、前記ヒートシンクを前記ＬＳＩ素子上から取り外し、前記ＬＳＩ素子の上面からはみ出た部分の少なくとも一部の可塑性材料を除去する第３の工程と、前記ヒートシンク及び／又は各ＬＳＩ素子上面に残った可塑性材料の質量を測定し、その質量に応じて各ＬＳＩ素子についての適正量を判別し、この適正量の接合材料を各ＬＳＩ素子上に配置する第４の工程と、ヒートシンクを前記基板との間隔が前記所定値となるように配置し、更に前記接合材料を溶融凝固させて前記各ＬＳＩ素子と前記ヒートシンクとを接合する第５の工程と、を有することを特徴とするマルチチップモジュールの組立方法。
【請求項２】
前記接合材料は、半田であることを特徴とする請求項１に記載のマルチチップモジュールの組立方法。
【請求項３】
前記基板上にヒンジが設けられていて、前記ヒートシンクは前記ヒンジに当接することにより、前記基板との間隔が所定値になるように配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のマルチチップモジュールの組立方法。
【請求項４】
前記第４の工程は、前記第３の工程により、前記各ＬＳＩ素子上に残った前記可塑性材料の質量を測定する測定工程と、前記各可塑性材料の質量と同じ体積となる接合材料の質量を計算する計算工程と、この計算結果により求められた質量の接合材料を前記各ＬＳＩ素子上に配置する配置工程と、を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のマルチチップモジュールの組立方法。
【請求項５】
基板上に搭載された複数個のＬＳＩ素子の各上面に接合材料を塗布する第１の工程と、前記ＬＳＩ素子の上面にヒートシンクを前記基板との間隔が所定値となるように仮配置する第２の工程と、前記ヒートシンクを前記ＬＳＩ素子上から取り外し、前記ＬＳＩ素子の上面からはみ出た部分の少なくとも一部の接合材料を除去する第３の工程と、ヒートシンクを前記基板との間隔が前記所定値となるように配置し、更に前記接合材料を溶融凝固させて前記各ＬＳＩ素子と前記ヒートシンクとを接合する第４の工程と、を有することを特徴とするマルチチップモジュールの組立方法。
【請求項６】
前記接合材料は、可塑性の半田であることを特徴とする請求項５に記載のマルチチップモジュールの組立方法。
【請求項７】
前記基板上にヒンジが設けられていて、前記ヒートシンクは前記ヒンジに当接することにより、前記基板との間隔が所定値になるように配置されることを特徴とする請求項５又は６に記載のマルチチップモジュールの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数個のＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ：集積回路）素子を１枚の基板に実装するマルチチップモジュール、特にベアチップ実装のＬＳＩ素子により形成されたマルチチップモジュールと、ヒートシンクとを接続するマルチチップモジュールの組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数個のＬＳＩ素子を１枚の基板に実装するマルチチップモジュールは、近時、ＬＳＩの集積度の飛躍的な増加に伴い、発熱量も急激に増加している。このため、通常は、ヒートシンクをこのマルチチップモジュールの放熱面（上面）に接合して、このマルチチップモジュールから発生した熱をヒートシンクにより放熱させていた。なお、このＬＳＩ素子は、１枚の基板上に複数個配置されているので、１枚のヒートシンクに複数のＬＳＩ素子を接合して、ヒートシンクの部品点数の低減を図っている。そして、このヒートシンクによるマルチチップモジュールの冷却効率を上げるために、ヒートシンクの放熱面積を拡大したり、ヒートシンクに当てる風の風速を上げたりして、所謂熱伝達による伝熱を向上させることで対応してきた。しかし、この方式も筐体の小型化の要求及び設置環境条件の緩和の要求に伴って、実装可能なエリアに制限があるため、限界となってきている。そこで、ＬＳＩ素子からヒートシンクまでの熱伝導による伝熱効率を向上させることにより、マルチチップモジュールの冷却効率を向上させることが必要となってきている。
【０００３】
マルチチップモジュールに実装されるＬＳＩ素子は、シリコンウエハの厚さのバラツキ、基板に実装する際の製造バラツキ、基板の反り等の要因により、ＬＳＩ素子の高さ方向のバラツキが０．２乃至０．３ｍｍ程度生じる。従来は、これらのＬＳＩ素子とヒートシンクとの間隔のバラツキを伝熱部材、例えば熱伝導ラバーシートのような放熱シート又はグリースをＬＳＩ素子とヒートシンクとの間に挿入することで解決していた（特開平２−１９６４５３号公報、特開平１１−１３５６９１号公報）。しかし熱伝導ラバーシート及びグリースは熱伝導率が０．８乃至数Ｗ／ｍ・Ｋと金属の熱伝導率の１０分の１以下であり、可能な限りこの伝熱部材を薄くしても熱的なロスが無視できないくらい大きくなってしまう。
【０００４】
なお、ＬＳＩで発生した熱は、ＬＳＩの表面からヒートシンクまでは熱伝導で伝熱された後、ヒートシンクから周囲の空気に熱伝達によって放熱するという段階を経るのが一般的である。熱伝達の向上については、ヒートシンクの形状及びファンを含めた通風構造等の工夫が数多く提案されている。しかし熱伝導は伝熱距離／（伝熱面積×熱伝導率）の逆数に比例するものであり、これらは物性値であるため、構造と材料を選択してしまえば決定してしまう。このため冷却効率を向上させるために、ＬＳＩとヒートシンクの間に熱伝導率の良い材料を充填する必要がある。
【０００５】
そこで、ＬＳＩ素子とヒートシンクとを例えば半田などの金属で直接接合する方法が考えられ、ＬＳＩ素子をヒートシンクに直接半田付けする構造が提案されている（特開２０００−３１３６０号公報）。半田の量は、通常、同一の量を複数のＬＳＩ素子とヒートシンクとの間の接合に使用し、その量は、最もＬＳＩ素子とヒートシンクとの間隔が大きい箇所において、充分に接合可能な量に設定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような方法で、複数個のＬＳＩ素子と１枚のヒートシンクとを接合すると、ＬＳＩ素子とヒートシンクとの間隔が小さい箇所においては、半田の量が余ってしまい、この余った半田がＬＳＩ素子の側面にあふれ、基板上の配線に接触して短絡してしまうという問題点があった。
【０００７】
ＬＳＩ素子がケースに入った状態で基板上に実装されている場合は、ケースの高さが２〜３ｍｍ程度あるので、複数のＬＳＩ素子にこのように一定量の半田を配置したとしても、余った半田はＬＳＩ素子のケースの側面に付着し、基板まで半田が垂れて短絡するという不具合は生じない。しかし、近時、信号伝播速度の低減及び半導体装置の小型化を図るために、ケースを使用せずに直接ＬＳＩ素子を基板に実装するベアチップ実装が主流となってきている。このように、ＬＳＩ素子がベアチップでマルチチップモジュールに実装される場合は、ＬＳＩ素子の高さが０．６乃至０．８ｍｍと低く、しかもそのバラツキが前述のように０．２乃至０．３ｍｍとあるので、高さの低いＬＳＩ素子に併せて半田を同一量で配置してしまうと、高さの高いＬＳＩ素子では、その上面上のヒートシンクとの間隔が短いので、基板まで半田があふれ出してしまう。図１０はこのように、基板まで半田があふれた状態を示している。
【０００８】
図１０に示すように、このマルチチップモジュールは、基板１４上に第１のＬＳＩ素子１１、第２のＬＳＩ素子１２、第３のＬＳＩ素子１３が実装され、また、基板１４の端部にはヒンジ１８が設けられ、このヒンジ１８により、各ＬＳＩ素子１１、１２、１３から発生した熱を放熱する１個のヒートシンク１５が各ＬＳＩ素子１、２、３の上方に、基板１４とヒートシンク１５が所定の間隔となるように対峙して例えばビス等により着脱可能に支持されている。また、各ＬＳＩ素子１１、１２、１３とヒートシンク１５の間には夫々半田１６が配設され、各半導体１１、１２、１３とヒートシンク１５とを夫々接続している。この各ＬＳＩ素子１１、１２、１３は上述のように、ＬＳＩ素子自身の厚さのバラツキ及び基板実装時のＬＳＩ素子の位置のバラツキにより各高さが相違しており、各ＬＳＩ素子１１、１２、１３の上面とヒートシンク１５間の距離は夫々相違する。図示例では、第１のＬＳＩ素子１１とヒートシンク１５間の距離が最も大きく、第２のＬＳＩ素子１２とヒートシンク１５間の距離が最も小さい。各ＬＳＩ素子１１、１２、１３上に配設した半田１６はいずれも同一量であるので、第１のＬＳＩ素子１１とヒートシンク１５を接続するのに最適な量の半田１６を他のＬＳＩ素子１２、１３にも配置すると、第２のＬＳＩ素子１２上の半田１６は、ヒートシンク１５間との間のスペースが小さいため、余ってしまい、ＬＳＩ素子１２の側方にはみ出し、更には下方へあふれてしまう。このあふれた半田１６が、基板１４上の配線（図示せず）等と接触し、短絡事故が発生してしまう。
【０００９】
図１１を用いて、上述の半田のあふれる様子を具体的に詳述する。図１１に示すように、高さが０．６ｍｍ及び０．８ｍｍで、横断面が１辺長２０ｍｍの正方形の２個のＬＳＩ素子１１、１２が混在して基板１４上に実装されているマルチモジュールにおいて、０．６ｍｍの高さのＬＳＩ素子１１に合わせて半田を配置し、ヒートシンク１５を各ＬＳＩ素子１１、１２に接合すると、必要な半田量は２０ｍｍ×２０ｍｍ×０．３ｍｍ＝１２０ｍｍ３となる。この量を０．８ｍｍの高さのＬＳＩ素子１２に配置すると、このＬＳＩ素子１２とヒートシンク１５との間には２０ｍｍ×２０ｍｍ×０．１ｍｍ＝４０ｍｍ３までしか存在できないので、残りの８０ｍｍ３はＬＳＩ周囲に回り込むことになる。このとき、ＬＳＩ素子１１、１２の実装ピッチが２２ｍｍしかないとすると、２２ｍｍ×２２ｍｍ×０．９ｍｍ−２０ｍｍ×２０ｍｍ×０．９ｍｍの７５．６ｍｍ３までしか周囲に回り込むことができないので、半田は基板１４まで達し、基板１４上の配線をショートさせてしまう。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、特にベアチップ実装のＬＳＩ素子により形成されたマルチチップモジュールと、ヒートシンクとを半田等の接合材料（金属）で接合する際に、余った半田等の接合材料が基板上の配線に短絡しないようにするマルチチップモジュールの組立方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るマルチチップモジュールの組み立て方法は、基板上に搭載された複数個のＬＳＩ素子の各上面に可塑性材料を塗布する第１の工程と、前記ＬＳＩ素子の上面にヒートシンクを前記基板との間隔が所定値となるように仮配置する第２の工程と、前記ヒートシンクを前記ＬＳＩ素子上から取り外し、前記ＬＳＩ素子の上面からはみ出た部分の少なくとも一部の可塑性材料を除去する第３の工程と、前記ヒートシンク及び／又は各ＬＳＩ素子上面に残った可塑性材料の質量を測定し、その質量に応じて各ＬＳＩ素子についての適正量を判別し、この適正量の接合材料を各ＬＳＩ素子上に配置する第４の工程と、ヒートシンクを前記基板との間隔が一様に所定値となるように配置し、更に前記接合材料を溶融凝固させて前記各ＬＳＩ素子と前記ヒートシンクとを接合する第５の工程と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、このマルチチップモジュールの組立方法において、例えば、前記接合材料は、半田である。
【００１３】
更に、このマルチチップモジュールの組立方法において、例えば、前記基板上にヒンジが設けられていて、前記ヒートシンクは前記ヒンジに当接することにより、前記基板との間隔が所定値になるように配置される。
【００１４】
更に、このマルチチップモジュールの組立方法において、例えば、前記第４の工程は、前記第３の工程により、前記各ＬＳＩ素子上に残った前記可塑性材料の質量を測定する測定工程と、前記各可塑性材料の質量と同じ体積となる接合材料の質量を計算する計算工程と、この計算結果により求められた質量の接合材料を前記各ＬＳＩ素子上に配置する配置工程と、を有する。
【００１５】
また、本発明に係る他のマルチチップモジュールの組立方法は、基板上に搭載された複数個のＬＳＩ素子の各上面に接合材料を塗布する第１の工程と、前記ＬＳＩ素子の上面にヒートシンクを前記基板との間隔が所定値となるように仮配置する第２の工程と、前記ヒートシンクを前記ＬＳＩ素子上から取り外し、前記ＬＳＩ素子の上面からはみ出た部分の少なくとも一部の接合材料を除去する第３の工程と、ヒートシンクを前記基板との間隔が前記所定値となるように配置し、更に前記接合材料を溶融凝固させて前記各ＬＳＩ素子と前記ヒートシンクとを接合する第４の工程と、を有することを特徴とする。
【００１６】
更に、このマルチチップモジュールの組立方法において、例えば、前記接合材料は、可塑性の半田である。
【００１７】
更に、このマルチチップモジュールの組立方法において、例えば、前記基板上にヒンジが設けられていて、前記ヒートシンクは前記ヒンジに当接することにより、前記基板との間隔が所定値になるように配置される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して説明する。図１乃至図５は、本発明の第１実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す断面図である。本実施例は、図５に示すように、基板４上に第１のＬＳＩ素子１、第２のＬＳＩ素子２及び第３のＬＳＩ素子３を実装したマルチチップモジュールに、ヒートシンク５を接合するマルチチップモジュールの組立方法についてのものである。
【００１９】
図１に示すように、基板４上に設けられた各ＬＳＩ素子１、２、３が搭載されている。そして、シリコンウエハの厚さのバラツキ、基板に実装する際の製造バラツキ及び基板の反り等の要因により、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面（放熱面）の基板４に対する高さは相違している。なお、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面は半田付け可能なようにメタライズ処理が施されている。また、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面には、剥離材を塗布しておく。
【００２０】
先ず、基板４上に実装された第１のＬＳＩ素子１、第２のＬＳＩ素子２及び第３のＬＳＩ素子３の上面に、夫々可塑性材料７を塗布する。この可塑性材料７は粘着性のある粘土、ちょう度の小さいシリコーングリース又はコンパウンド等が用いられる。なお、この可塑性材料７の塗布量は、厳密に管理する必要はない。
【００２１】
次に、図２に示すように、ヒートシンク５をヒンジ８に当接するまで下降させて、可塑性材料７を塗布したＬＳＩ素子１、２、３にヒートシンク５を仮配置する。そうすると、各ＬＳＩ素子１、２、３の高さ寸法及び傾き、反り量に合わせて、可塑性材料７が変形し、各ＬＳＩ素子１、２、３とヒートシンクとの間の隙間を埋め、更に、余剰な可塑性材料７が、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面からはみ出る。
【００２２】
次に、ヒートシンク５を各ＬＳＩ素子１、２、３の上面から取り外す。図３はヒートシンク５の下面の一部を示す。この図３に示すように、ヒートシンク５を取り外すと、ヒートシンク５には、可塑性材料７が貼り付く。例えば、図３に示すように、第２のＬＳＩ素子２と第３のＬＳＩ素子３の上面に塗布された可塑性材料７が各ＬＳＩ素子１、２、３から剥れてヒートシンク５に貼りつく。なお、このとき可塑性材料７は各ＬＳＩ素子１、２、３側に貼り付いてもよいが、前述の如く、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面に可塑性材料７を塗布する前に剥離剤をあらかじめ塗布しておくことにより、一様にヒートシンク５側に可塑性材料７を貼り付かせることができ、その後の工程が容易となる。
【００２３】
この可塑性材料７は各ＬＳＩ素子１、２、３の高さ寸法、傾き及び反り量を転写して、その余剰部分が周囲にはみ出た形に形成される。そして、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面に接触していた部分とはみ出た部分の境界を切取線９として、この切取線９に沿って周辺の４辺を切断し、この可塑性材料７のはみ出た部分を除去する。そうすると、図４に示すように、ヒートシンク５上には、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面と各々同じ面積の可塑性材料７が得られる。この残った可塑性材料７の体積が、夫々のＬＳＩ素子１、２、３に対してヒートシンク５との間隙を埋めるに必要な量となる。
【００２４】
次に、これらの可塑性材料７の質量を例えば精密秤等にて測定し、各可塑性材料７の質量と、この可塑性材料７の比重より、各可塑性材料７の体積を求める。そして、ヒートシンク５と各ＬＳＩ素子１、２、３とを接続する半田等の接合材料６の比重と、各可塑性材料７の体積より、各可塑性材料７と同じ体積の接合材料６の質量を計算する。この計算により求められた質量が、各ＬＳＩ素子１、２、３上に必要な接合材料６の量となる。なお、この接合材料６は、シート状の低融点半田及びクリーム半田等が使用される。
【００２５】
次に、前述の計算工程によって求められた量の接合材料６を該当するＬＳＩ素子の上面に配置する。この際に、予め、接合材料６は、０．１ｇ又は０．５ｇといったような単位で仕分しておき、必要な分の接合材料６を選択し、該当するＬＳＩ素子上に配置するようにすれば、この配置工程を自動化することができる。
【００２６】
図５に示すように、ヒートシンク５をヒンジ８に当接するように基板４上のＬＳＩ素子１、２、３上に配置して、マルチチップモジュールを仮組立てし、その後、恒温槽又はオーブンで接合材料６を加熱して溶融させ、更に冷却すれば、ＬＳＩ素子１、２、３とヒートシンク５が接合される。次に、ヒートシンク５をヒンジ８にネジ止めすることにより、マルチチップモジュールが本組立される。
【００２７】
図５は、上述したような組立方法により組み立てられたマルチチップモジュールの断面図を示す。図５に示すように、基板４上に第１のＬＳＩ素子１、第２のＬＳＩ素子２、第３のＬＳＩ素子３が実装され、各ＬＳＩ素子１、２、３の上方にヒートシンク５が設置されている。この各ＬＳＩ素子１、２、３とヒートシンク５の間には、接合材料６が設けられ、各ＬＳＩ素子１、２、３とヒートシンク５とを接合している。なお、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面とヒートシンク５との隙間は夫々相違するが、その隙間にあった量の接合材料６が設けられており、接合材料６の余りが各ＬＳＩ素子１、２、３の側面に大きくはみ出し、下方へ垂れることはない。
【００２８】
次に、本発明の第２の実施例について説明する。本発明の第２の実施例におけるマルチモジュールの組立方法は、先ず、図６に示すように、基板４上に実装された第１のＬＳＩ素子１、第２のＬＳＩ素子２及び第３のＬＳＩ素子３の上面に、剥離剤を塗布し、その上に夫々接合材料６を塗布する。この接合材料６は、例えばクリーム半田のように可塑性のある半田であればよい。なお、この接合材料６の塗布量は、厳密に管理する必要はない。
【００２９】
次に、図７に示すように、ヒートシンク５をヒンジ８に当接するまで下降させて、接合材料６を塗布したＬＳＩ素子１、２、３にヒートシンク５を仮配置する。そうすると、各ＬＳＩ素子１、２、３の高さ寸法及び傾き、反り量に合わせて、接合材料６が変形し、各ＬＳＩ素子１、２、３とヒートシンクとの間の隙間を埋め、更に、余剰な接合材料６が、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面からはみ出る。
【００３０】
次に、ヒートシンク５を各ＬＳＩ素子１、２、３の上面から取り外す。図８はヒートシンク５の下面の一部を示す。この図８に示すように、ヒートシンク５を取り外すと、ヒートシンク５には、接合材料６が貼り付く。例えば、図８に示すように、第２のＬＳＩ素子２と第３のＬＳＩ素子３の上面に塗布された接合材料６が各ＬＳＩ素子１、２、３から剥れてヒートシンク５に貼りつく。なお、このとき接合材料６は各ＬＳＩ素子１、２、３側に貼り付いてもよいが、前述の如く、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面に接合材料６を塗布する前に剥離剤をあらかじめ塗布しておくことにより、一様にヒートシンク５側に接合材料６を貼り付かせることができ、その後の工程が容易となる。
【００３１】
この接合材料６は各ＬＳＩ素子１、２、３の高さ寸法、傾き及び反り量を転写して、その余剰部分が周囲にはみ出た形に形成される。そして、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面に接触していた部分とはみ出た部分の境界を切取線９として、この切取線９に沿って周辺の４辺を切断し、この接合材料６のはみ出た部分を除去する。そうすると、図９に示すように、ヒートシンク５上には、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面と各々同じ面積の接合材料６が得られる。この残った接合材料６の量が、夫々のＬＳＩ素子１、２、３に対してヒートシンク５との間隙を埋めるに必要な量となる。
【００３２】
図５に示すように、ヒートシンク５をヒンジ８に当接するように基板４上のＬＳＩ素子１、２、３上に配置して、マルチチップモジュールを仮組立てし、その後、恒温槽又はオーブンで接合材料６を加熱して、更に冷却すれば、ＬＳＩ素子１、２、３とヒートシンク５が接合される。次に、ヒートシンク５をヒンジ８にネジ止めすることにより、マルチチップモジュールが本組立される。
【００３３】
上述の第２の実施例により得られるマルチチップモジュールは、第１の実施例により得られるマルチチップモジュールと全く同じように、各ＬＳＩ素子１、２、３の上面とヒートシンク５との隙間にあった量の接合材料６が配置され、接合材料６の余りが各ＬＳＩ素子１、２、３の側面に大きくはみ出し、下方へ垂れることはない。
【００３４】
なお、第１の実施例及び第２の実施例とも、複数のＬＳＩ素子の上面が同じ面積である場合について述べたが、ＬＳＩ素子の上面の面積が相違する場合についても、本発明のいずれの実施例でも対応することが可能である。また、ヒートシンクは空冷式又は水冷式のいずれでも本発明が適用できる。
【００３５】
【発明の効果】
以上、詳述したように、本発明のマルチチップモジュールの組立方法によれば、複数のＬＳＩ素子の上面（放熱面）の高さにばらつきがあるマルチチップモジュールと１枚のヒートシンクを接合する場合でも、各ＬＳＩ素子の高さに適した量の接合材料をヒートシンクとＬＳＩ素子との間に設けることができるので、余った接合材料がＬＳＩ素子の側面に大きくはみ出し、下方に垂れて、基板上の配線に接触し、短絡事故を引き起こすことのないマルチチップモジュールを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す断面図である。
【図２】本第１実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す断面図であり、図１の次の工程を示す。
【図３】本第１実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す図であり、図２の次の工程を示す。
【図４】本第１実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す図であり、図３の次の工程を示す。
【図５】本第の実施例により組み立てられたマルチチップモジュールの断面である。
【図６】本発明の第２の実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す断面図である。
【図７】本第２実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す断面図であり、図６の次の工程を示す。
【図８】本第２実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す図であり、図７の次の工程を示す。
【図９】本第２実施例に係るマルチチップモジュールの組立方法を工程順に示す図であり、図８の次の工程を示す。
【図１０】従来の組立方法により組み立てられたマルチチップモジュールを示す断面図である。
【図１１】従来の組立方法により組み立てられたマルチチップモジュールの半田部分を示す断面図である。
【符号の説明】
１、１１；第１のＬＳＩ素子
２、１２；第２のＬＳＩ素子
３、１３；第３のＬＳＩ素子
４、１４；基板
５、１５；ヒートシンク
６、１６；接合材料（半田）
７；可塑性材料
８、１８；ヒンジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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