【事件の表示】
　特願２００４−　９０５３０「高開口数システムの固定および動的ラジアル横方向電気偏光器」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年　９月１６日出願公開、特開２００４−２５８６７０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１６年（２００４年）２月２７日（パリ条約による優先権主張、平成１５年２月２７日、米国）の出願（特願２００４−９０５３０号）であって、平成２０年３月２４日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、平成２０年６月２５日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
第２　本願発明 
　本願の請求項１〜４４に係る発明は、平成１９年１０月１０日付けの手続補正書により補正された明細書、特許請求の範囲及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲の請求項１〜４４に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「ラジアルＴＥ偏光器デバイスであって、
　第１屈折率を有する材料の第１層と、
　第２屈折率を有する材料の第２層と、
　方位角で周期的に隔置され、前記第１層と前記第２層との間に配置された複数の細長い要素とを備え、
　前記複数の細長い要素は、放射線の電磁波と相互作用して、放射線の電磁波のＴＥ偏光を透過する、ラジアルＴＥ偏光器デバイス。」
　
第３　引用例
１　引用例１
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である国際公開第０１／５１９６４号（以下、「引用例１」という）には、次の事項が記載されている。（日本語訳を記載する。下記「２　引用例１に記載された発明の認定」において直接引用した箇所に下線を付した。）
　
「平行な導電性ワイヤのアレイを使用して電波を偏波させることは、１１０年以上も前から行われている。一般に透明基板によって支持された薄い平行導体のアレイの形態をしたワイヤ・グリッドも、電磁スペクトルの赤外部分のための偏光子として使用されている。
  出願人の以前の出願に記載のように、ワイヤ・グリッド偏光子の性能を決定する重要な要素は、平行なグリッド要素の中心間間隔すなわち周期と入射放射の波長との関係である。グリッド間隔すなわち周期が波長より長い場合には、グリッドは、偏光子としてではなく回折格子として機能し、周知の原理に従ってどちらの偏光も回折する（必ずしも等しい効率ではない）。グリッド間隔すなわち周期が波長よりはるかに短いときには、グリッドは、グリッド要素と平行に偏光した電磁放射を反射し、その直交偏光の放射を透過させる偏光子として機能する。」（第２ページ第８〜２１行）
　
「
ワイヤ・グリッド偏光子
Ｓ偏光状態の光は入射面に対して直交する偏光ベクトルを有し、したがって導電性要素に対して平行となる。逆に、Ｐ偏光状態の光は入射面に対して平行な偏光ベクトルを有し、したがって導電性要素に対して直交する。
　一般に、ワイヤ・グリッド偏光子は、グリッドのワイヤに平行な電界ベクトルを有する光を反射し、グリッドのワイヤに垂直な電界ベクトルを有する光を透過することになるが、ここで述べたように、入射面はグリッドのワイヤに対して直交していても直交していなくてもよい。
  ワイヤ・グリッド偏光子は、Ｓ偏光など一方の偏光に対しては完璧なミラーとして機能し、Ｐ偏光など他方の偏光に対しては完全に透過性となることが理想である。しかし、実際には、ミラーとして使用される最も反射性の高い金属でも、入射光の一部を吸収してしまい、９０％から９５％しか反射せず、平らなガラスは、表面反射により入射光を１００％は透過しない。」（第３ページ第７〜２９行）
　
「図１に示すように、本発明の埋込み型ワイヤ・グリッド偏光子の好ましい実施形態を一般に１０で示す。
偏光子１０は、第１の光学媒体、材料、層または基板１と、第２の光学媒体、材料または層３と、第１の層１と第２の層３の間に挟まれた複数の介在する細長要素５とを含む。
  第１の層１の第１の表面２および第２の層３の第２の表面４は、互いに、かつ要素５に向き合っている。層１および３、またはこれらの層の材料はそれぞれ、第１および第２の屈折率を有する。第１の光学媒体１および第２の光学媒体３はそれぞれ厚さｔＬ１およびｔＬ２を有し、光学的に厚いと考えられる。これらは、例えば、ガラスまたは高分子のシート、光学品質オイルまたはその他の流体、あるいはその他同様の光学材料にすることができる。厚さｔＬ１またはｔＬ２は、数ミクロンからほぼ無限大までの範囲のどの値でもよい。層１および３の厚さｔＬ１およびｔＬ２は、１ミクロンより大きいことが好ましい。光学媒体１および３は、２枚のガラス・シートなど同じ材料にすることもできるし、材料３をオイルにして材料１をガラスにするなど、異なる材料から選択することもできる。要素５は、第１の層または基板１によって支持することができる。
  介在する要素５のアレイは、複数の平行に離間した細長い導電性要素５を含む。要素５は、第１および第２の対向する表面５ａおよび５ｂを有し、第１の表面５ａは第１の表面２すなわち第１の層１の方向に向き、第２の表面５ｂは第２の表面４すなわち第２の層３の方向に向いている。図１に示すように、要素５の第１の表面５ａは、第１の層１の第１の表面２と接触し、これと結合することができ、第２の表面５ｂは第２の層３の第２の表面４と接触し、これと結合することができる。要素５のアレイは、可視スペクトルの光の電磁波と相互作用して、一般に第１の偏光状態の光の大部分を反射し、第２の偏光状態の光の大部分を透過するように構成される。
  要素５の寸法および要素５の配列の寸法は、使用する波長によって決定され、広いまたは完全なスペクトルの可視光に合わせて調整される。要素５は、比較的長く、かつ薄い。各要素５は、一般に可視光の波長より長い長さを有することが好ましい。したがって、要素５は、少なくとも約０．７μｍ（マイクロメータまたはミクロン）の長さを有する。ただし、通常の長さは、これよりはるかに長くなることもある。さらに、
要素５は、光の波長より短い要素間隔、ピッチまたは周期Ｐで、一般に平行な配列で位置付けられる。
  要素５の周期、ならびに光学媒体１および３の材料の選択は全て、光線９、１１および１３との所望の相互作用が得られ、かつその相互作用を向上させるように行われる。
光線９は、
Ｓ偏光およびＰ偏光と呼ばれるほぼ等しい量の２つの偏光を含む非偏光ビームである。
要素５の周期Ｐは、
Ｓ偏光１１の光の大部分を鏡面反射し、Ｐ偏光１３の大部分を透過するように選択される。光学材料も、このプロセスの助けとなるように選択される。
　
２　引用例１に記載された発明の認定
　上記記載から、引用例１には、ワイヤ・グリッド偏光子に関し、
「ワイヤ・グリッド偏光子１０は、第１の光学媒体、材料、層または基板１と、第２の光学媒体、材料または層３と、第１の層１と第２の層３の間に挟まれた複数の介在する細長要素５とを含み、
　前記細長要素５は、光の波長より短い要素間隔、ピッチまたは周期Ｐで、一般に平行な配列で位置付けられ、
　光線９は、Ｓ偏光およびＰ偏光と呼ばれるほぼ等しい量の２つの偏光を含む非偏光ビームであり、
　Ｓ偏光状態の光は入射面に対して直交する偏光ベクトルを有し、したがって導電性要素（細長要素５）に対して平行となり、逆に、Ｐ偏光状態の光は入射面に対して平行な偏光ベクトルを有し、したがって導電性要素（細長要素５）に対して直交し、
　前記細長要素５の周期Ｐは、Ｓ偏光１１の光の大部分を鏡面反射し、Ｐ偏光１３の光の大部分を透過するように選択されるワイヤ・グリッド偏光子。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
３　引用例２
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平５−９０１２８号公報（以下、「引用例２」という）には、次の事項が記載されている。（下記「第５　当審の判断」において参照する記載に下線を付した。）
　
「【０００７】
【作用】図２を参照して本発明の作用を説明する。図２は、図３で説明した露光装置の像面23付近の回折光の様子を模式的に示したものである。まず、図２（ａ）は、ＴＥ(transverse electric）偏光と呼ばれる状態であり、電気ベクトルの振動方向が入射面（紙面内面）に垂直な光である。一方、図２（ｂ）はＴＭ（transverse magnetic)偏光と呼ばれる状態であり、磁気ベクトルの振動方向が入射面に垂直、即ち、電気ベクトルの振動方向が入射内面にある。投影光学系に偏光部材を含まない従来の装置では、図２（ａ）のＴＥ偏光と図２（ｂ）のＴＭ偏光の平均状態の光で結像されることになるが、フォトレジスト等の感光材料の光化学反応は電磁波である光の電場の作用によって進行するので、リソグラフィ工程においては電気ベクトルの振動方向が問題となる。
【０００８】図２（ａ）と図２（ｂ）を比較すると解るように、ＴＥ偏光の場合は、０次、±１次…の各回折光の電気ベクトルの振動方向が全て紙面に垂直な方向にそろっており、回折光同志の干渉効果が最大となって、高コントラストの像となる。ＴＭ偏光の場合は、次数の異なる回折光の電気ベクトルの振動方向は各回折光の進行方向のなす角に応じた分だけずれることになり、回折光同志の干渉効果が低減して、像のコントラストを落とす方向に作用する。
【０００９】本発明においては、投影光学系のほぼ瞳位置に、フォトマスクに形成されたパターンの辺に平行な方向に電気ベクトルが振動する光のみを透過させる偏光部材が配置されているので、
フォトマスクで発生した非偏光状態の回折光は、回折角を形成する平面（入射面）に直交する振動面を有するＴＥ偏光に変換され、
【００１０】ここで、フォトマスクに形成される実際の回路パターンの配列方向はさまざまであり、一定の周期で繰り返されるラインアンドスペースパターンの他にホールパターン等の孤立パターンも含まれるから、
本発明で用いる偏光部材としては、投影光学系の光軸を中心とする円の接線方向に電気ベクトルが振動している光のみを透過させるものを用いることが好ましい。このような偏光部材を用いれば、パターンがどのような方向に配列されていても、常にパターンの辺と平行な方向に電気ベクトルが振動する光のみが偏光部材を透過することになる。
　
　
第４　対比
１　本願発明と引用発明とを対比する。
　
　引用発明の「ワイヤ・グリッド偏光子１０」と、本願発明の「ラジアルＴＥ偏光器デバイス」とは、「電磁波の一方向の偏光の放射を透過させる偏光器デバイス」である点で一致する。
　
　引用発明の「第１の光学媒体、材料、層または基板１」及び「第２の光学媒体、材料または層３」が、それぞれ、本願発明の「第１屈折率を有する材料の第１層」及び「第２屈折率を有する材料の第２層」に相当する。
　
　引用発明の「第１の層１と第２の層３の間に挟まれた複数の介在する細長要素５」は、「光の波長より短い要素間隔、ピッチまたは周期Ｐで、一般に平行な配列で位置付けられ」るものであるから、引用発明の「第１の層１と第２の層３の間に挟まれた複数の介在する細長要素５」と、本願発明の「方位角で周期的に隔置され、前記第１層と前記第２層との間に配置された複数の細長い要素」とは、「周期的に隔置され、前記第１層と前記第２層との間に配置された複数の細長い要素」である点で一致する。
　
　引用発明においては、Ｓ偏光およびＰ偏光は、Ｓ偏光状態の光は入射面に対して直交する偏光ベクトルを有し、したがって導電性要素に対して平行となり、逆に、Ｐ偏光状態の光は入射面に対して平行な偏光ベクトルを有し、したがって導電性要素に対して直交するものであると定義される。そして、引用発明の「偏光子」の「要素５の周期Ｐ」は、Ｓ偏光およびＰ偏光と呼ばれるほぼ等しい量の２つの偏光を含む非偏光ビームに対して、Ｓ偏光１１の光の大部分を鏡面反射し、Ｐ偏光１３の大部分を透過するように選択されるものであるから、引用発明の「要素５の周期Ｐは、Ｓ偏光１１の光の大部分を鏡面反射し、Ｐ偏光１３の光の大部分を透過するように選択される」ことと、本願発明の「前記複数の細長い要素は、放射線の電磁波と相互作用して、放射線の電磁波のＴＥ偏光を透過する」こととは、「前記複数の細長い要素は、放射線の電磁波と相互作用して、放射線の電磁波の一方の偏光を透過する」ことで一致する。
　
２　一致点
　よって、本願発明と引用発明は、
「電磁波の一方向の偏光の放射を透過させる偏光器デバイスであって、
　第１屈折率を有する材料の第１層と、
　第２屈折率を有する材料の第２層と、
　周期的に隔置され、前記第１層と前記第２層との間に配置された複数の細長い要素とを備え、
　前記複数の細長い要素は、放射線の電磁波と相互作用して、放射線の電磁波の一方の偏光を透過する、偏光器デバイス。」の発明である点で一致し、次の点で相違する。
　
３　相違点
　本願発明は「ＴＥ偏光を透過する」ものであり、複数の細長い要素を「方位角で」周期的に隔置した「ラジアルＴＥ偏光器」であるのに対し、引用発明においてはその点についての限定がない点。
　
第５　当審の判断
１　上記相違点について検討する。
　引用例２には、ＴＥ偏光を透過する偏光部材が記載されており、そして、その場合、円の接線方向に電気ベクトルが振動している光のみを透過させるものを用いることが好ましいことが記載されている（上記第３の３の下線部参照。）。
　引用発明の「ワイヤ・グリッド偏光子」と引用例２の偏光部材は、偏光子という同じ技術分野に属するものであることに鑑みれば、引用発明に、引用例２に記載の発明を適用して、ＴＥ偏光を透過する偏光部材とし、円の接線方向に電気ベクトルが振動している光のみを透過させるものとすることは当業者が容易になし得たことである。
　そして、引用発明の偏光子は、細長要素である導電性要素に直交する方向に偏光した光を透過させるものであるから、引用発明の「ワイヤ・グリッド偏光子」を円の接線方向に電気ベクトルが振動している光のみを透過させる偏光子とするに当たり、引用発明の「細長要素」を方位角で周期的に隔置して、ラジアルＴＥ偏光子とすることは、当業者が当然になし得る設計的事項に過ぎない。
　したがって、上記相違点に係る本願発明の発明特定事項は、引用発明及び引用例２に記載された発明に基づいて当業者が容易に得ることができたものである。
　
２　本願発明が奏する作用効果
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明及び上記引用例２に記載された発明から、当業者が予測し得る程度のものである。
　
３　まとめ
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用発明及び上記引用例２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第６　むすび
　以上より、本願発明は、引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。