(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の半導体素子が形成されたウェハ裏面に、ガラス転移温度３０〜８０℃の熱可塑性ポリイミド樹脂及び熱硬化性樹脂を含有してなるフィルム状ダイボンディング用接着剤を熱圧着して接着剤付ウエハとし、得られた接着剤付ウエハをダイシングテープに貼り付け固着して個別半導体素子に分割切断後、前記ダイシングテープを剥離して得られる接着剤付き半導体素子を支持部材にダイボンディングすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイボンディング用接着剤及びそれを用いた半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体素子のダイボンディング（半導体素子のリードフレームヘの接合）方法としては、リードフレーム上のタブ部分にダイボンド材料を供給しその上に半導体素子を載せ接着する方法が用いられてきた。これらのダイボンディング材料としては、例えばＡｕ−Ｓｉ共晶、半田、樹脂ペーストなどが知られている。これらダイボンディング材料のうち現在樹脂ペーストを用いるダイボンディング方法が多用されている。樹脂ペーストをリードフレームに供給する方法としては、スタンピング方式、ディスペンシング方式、スクリーン印刷方式が採用されているが、ディスペンシング方式が最もよく使われている。ディスペンシング方式は、シリンジ内に樹脂ペーストを充填し、ディスペンサーと呼ばれる装置による気圧でペーストをタブ上に吐出する方法である。
しかしながら、当該法では半導体素子が大きくなるに従って樹脂ペーストをタブ全面に均」に塗布することが難しいという欠点があり、又樹脂ペーストを用いた場合、硬化時接着層にボイドが発生するという問題もある。
【０００３】
一方、これらのペーストの欠点を避ける手法としてはフィルム状の接着剤を用いる方法として、特開昭６３−２８９８２２号公報、特開平１−１９７３５号公報に示されているが、素子のサイズに応じてフィルムを切断しなければならないこと、また、切断フィルムを位置ずれしないように貼り付ける専用の高価な装置が必要となる問題がある。
【０００４】
さらに、この問題を解決する手法として、特開平６−３０２６２９号公報には、次のような方法が開示されている。まず、キャリアフィルム上に接着剤を膜状に塗布乾燥し、離型フィルムをかぶせて接着剤付きキャリアーシートを作成し、離型フィルムをはがしてウエハの裏面にキャリアーシート上の接着剤を熱転写して、接着剤付きウエハとする。接着剤付きウエハをダイシングテープ上に貼り付けた後、ダイシングをして接着剤付き半導体素子に分割する。接着剤付き半導体素子をダイシングテープから引き剥がしてリードフレームに熱圧着し、半導体素子をリードフレームに接着させる。
【０００５】
しかしながら、本方法によれば、第１に、熱転写する温度は、キャリアフィルムの耐熱温度以上に設定できないため、接着剤をウエハに熱転写する温度が制限される問題がある。第二に、接着剤を熱転写する際、接着剤と積層しているキャリアフィルムが熱収縮するためウエハに大きな反りが生じる問題がある。反りが大きいとダイシングテープとの接着性の低い部分を生じやすく、ダイシングの際、半導体素子がダイシングテープより剥離してしまう。特に反りの生じやすい３００μｍ以下のウエハなどに適用できるものを得ることは困難であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
請求項１記載の発明は、３００μｍ以下のウェハでもクラックが発生せず、反りは小さく、また、幅広い温度で接着剤をウェハに接着できる接着剤を用いた半導体装置の製造方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス転移温度９０℃以下の熱可塑性ポリイミド樹脂と熱硬化性樹脂を含有してなるダイボンディング用接着剤に関する。
本発明は、また、多数の半導体素子が形成されたウエハ裏面に、ガラス転移温度８０℃以下の熱可塑性ポリイミド樹脂と熱硬化性樹脂からなるフィルム状単層接着剤を熱圧着して接着剤付ウエハとし、得られた接着剤付ウエハをダイシングテープに貼り付け固着して個別半導体素子に分割切断後、前記ダイシングテープを剥離して得られる接着剤付き半導体素子を支持部材にダイボンディングすることを特徴とする半導体装置の製造方法に関する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図１、図２により本発明の実施形態を説明する。
図１はフィルム状単層接着剤をウエハ裏面に接着する工程からダイシングして接着剤付半導体素子とする工程の説明図である。図２はダイシングして接着剤付半導体素子をリードフレームタブ部に接着し、半導体装置を製造する工程の説明図である。
【０００９】
図１において、接着剤１がポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム等のキャリアフィルム２に積層され、ベースフィルム付接着フィルム３とされている（ａ）。単層接着剤は、このベースフィルム付接着フィルム３から、使用時にキャリアフィルム２を剥離することにより得られる。ベースフィルム付接着フィルム３は例えば、次のように作製される。まず、ポリイミド樹脂と熱硬化性樹脂を有機溶剤に溶解する。ここで用いられる有機溶媒は、均一に溶解又は混練できるものであれば特に制限はない。ついで、必要に応じ添加剤を加え、混合する。こうして得たワニスを、例えば、ポリエステル製シート等のキャリアフィルム２の上に均一に塗布し、使用した溶媒が十分に揮発する条件、すなわち、おおむね６０〜２００℃の温度で、０．１〜３０分間加熱される。
【００１０】
次いで、接着剤１をウェーハ４にヒート付ロール５を用いて熱板６と挟み込むようにして加圧加熱し、およそ、６０℃から２００℃の温度で０．１〜１０分間加熱し（ｂ）、接着剤付きウェーハを得る（ｃ）。接着剤付きウエハの接着剤１側にダイシングテープ７を貼付け（ｄ）、ダイシングし、接着剤付き半導体素子８に分割する（ｅ）。分割は、公知のウエハ用カッターを用いて行うことができる。
【００１１】
図２において、接着剤付き半導体素子８をダイシングテープ７から吸引コレット９及び突き上げコレット１０を用いて引き剥がし（ｆ）、接着剤付き半導体素子８を吸引コレット９で吸引しつつ運搬して（ｇ）、支持部材、例えばリードフレーム１１上のダイパット部１２に載せ、次いで、圧着し、ヒートブロック１３上で後硬化して接着し、更に、ワイヤーボンディングし（ｈ）、そして、樹脂１４で封止して半導体装置とする（ｉ）。
【００１２】
本発明において用いられる接着剤としては、例えば、ガラス転移温度（Ｔｇ）が９０℃以下の熱可塑性ポリイミド樹脂とエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂の混合物を主体としたものが使用され、適宜、無機フィラー等の添加剤が混合される。
【００１３】
本発明において、熱可塑性ポリイミド樹脂のＴｇは９０℃以下であるが、３０〜８０℃であることが好ましい。熱可塑性ポリイミド樹脂のＴｇが高すぎると本発明の効果が低下し、低すぎると接着剤の表面が粘着性を示すようになる。本発明の熱可塑性ポリイミド系樹脂は常温では粘着性がないものが好ましい。
上記の熱可塑性ポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させて得ることができ、熱可塑性を有するものが選択して使用される。
【００１４】
このようなポリイミド樹脂の製造に用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、１，２−（エチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，３−（トリメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，４−（テトラメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，５−（ペンタメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、ｎが６〜２０のとき、１，６−（ヘキサメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，７−（ヘプタメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，８−（オクタメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，９−（ノ  ナメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，１０−（デカメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，１２−（ドデカメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、１，１６−（ヘキサデカメチレン）ビストリメリテート二無水物、１，１８−（オクタデカメチレン）ビス（トリメリテート二無水物）、ピロメリット酸二無水物、３，３′，４，４′−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２′，３，３′−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２−ビス  （２，３−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、１，１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、１，１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物、ベンゼン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、３，４，３′，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，２′，３−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３′，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−ナフタレン−テトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレン−テトラカルボン酸二無水物、２，６−ジクロルナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、２，７−ジクロルナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−テトラクロルナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、フエナンスレン−１，８，９，１０−テトラカルボン酸二無水物、ピラジン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物、チオフエン−２，３，４，５−テトラカルボン酸二無水物、２，３，３′，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，４，３′，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，２′，３′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ジメチルシラン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メチルフェニルシラン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ジフェニルシラン二無水物、１，４−ビス（３，４−ジカルボキシフェニルジメチルシリル）ベンゼン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカル��キシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシクロヘキサン二無水物、ｐ−フェニレンビス（トリメリテート無水物）、エチレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、デカヒドロナフタレン−１，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、４，８−ジメチル−１，２，３，５，６，７−ヘキサヒドロナフタレン−１，２，５，６−テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン−２，３，４，５−テトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ビス（エキソ−ビシクロ〔２，２，１〕ヘプタン−２，３−ジカルボン酸二無水物）スルホン、ビシクロ−（２，２，２）−オクト（７）−エン２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２−ビス〔４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル〕ヘキサフルオロプロパン二無水物、４，４′−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルフイド二無水物、１，４−ビス（２−ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル）ベンゼンビス（トリメリット酸二無水物）、１，３−ビス（２−ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル）ベンゼンビス（トリメリット酸二無水物）、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸二無水物、テトラヒドロフラン−２，３，４，５−テトラカルボン酸二無水物等があり、２種類以上を混合して用いてもよい。
【００１５】
前記ポリイミド樹脂の製造に使用されるジアミンとしては、１，２−ジアミノエタン、１，３−ジアミノプロパン、１，４−ジアミノブタン、１，５−ジアミノペンタン、１，６−ジアミノヘキサン、１，７−ジアミノヘプタン、１，８−ジアミノオクタン、１，９−ジアミノノナン、１，１０−ジアミノデカン、１，１１−ジアミノウンデカン、１，１２−ジアミノドデカン等の脂肪族ジアミン、ｏ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、３，３′−ジアミノジフェニルエーテル、３，４′−ジアミノジフェニルエーテル、４，４′−ジアミノジフェニルエーテル、３，３′−ジアミノジフェニルメタン、３，４′−ジアミノジフェニルメタン、４，４′−ジアミノジフェニルメタン、３，３′−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、３，４′−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、４，４′−ジアミノジフェニルジフルオロメタン、３，３′−ジ  アミノジフェニルスルホン、３，４′−ジアミノジフェニルスルホン、４，４′−ジアミノジフェニルスルホン、３，３′−ジアミノジフェニルスルフイド、３，４′−ジアミノジフェニルスルフイド、４，４′−ジアミノジフェニルスルフイド、３，３′−ジアミノジフェニルケトン、３，４′−ジアミノジフェニルケトン、４，４′−ジアミノジフェニルケトン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）プロパン、２，２′−（３，４′−ジアミノジフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）プロパン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−（３，４′−ジアミノジフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、３，３′−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、３，４′−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、４，４′−（１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、２，２−ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−（４−アミノフエノキシ）フエニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）スルフイド、ビス（４−  （４−アミノフェノキシ）フェニル）スルフイド、ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）スルホン等の芳香族ジアミンを挙げることができる。
【００１６】
テトラカルボン酸二無水物とジアミンの縮合反応は、有機溶媒中で行う。この場合、テトラカルボン酸二無水物とジアミンは等モル又はほぼ等モルで用いるのが好ましく、各成分の添加順序は任意である。用いる有機溶媒としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホリルアミド、ｍ−クレゾール、ｏ−クロルフェノール等がある。
反応温度は８０℃以下、好ましくは０〜５０℃である。反応が進行するにつれ反応液の粘度が徐々に上昇する。この場合、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が生成する。
【００１７】
ポリイミドは、上記反応物（ポリアミド酸）を脱水閉環させて得ることができる。脱水閉環は１２０℃〜２５０℃で熱処理する方法や化学的方法を用いて行うことができる。１２０℃〜２５０℃で熱処理する方法の場合、脱水反応で生じる水を系外に除去しながら行うことが好ましい。この際、ベンゼン、トルエン、キシレン等を用いて水を共沸除去してもよい。なお、本発明においてポリイミド樹脂とは、ポリイミド及びその前駆体を総称する。ポリイミドの前駆体には、ポリアミド酸のほか、ポリアミド酸が部分的にイミド化したものがある。
【００１８】
化学的方法で脱水閉環させる場合は、閉環剤として無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸の酸無水物、ジシクロヘキシルカルボジイミド等のカルボジイミド化合物等を用いる。このとき必要に応じてピリジン、イソキノリン、トリメチルアミン、アミノピリジン、イミダゾール等の閉環触媒を用いてもよい。閉環剤又は閉環触媒は、テトラカルボン酸二無水物１モルに対し、それぞれ１〜８モルの範囲で使用するのが好ましい。
【００１９】
前記熱硬化性樹脂とは、加熱により３次元的網目構造を形成し、硬化する樹脂のことである。熱硬化性樹脂の配合量は、熱可塑性ポリイミド樹脂１００重量部に対し０．１〜２００重量部、好ましくは１〜１００重量部とする。２００重量部を越えるとフィルム形成性が悪くなる。
【００２０】
熱硬化性樹脂として、エポキシ樹脂、硬化剤及び硬化促進剤を含有する樹脂を選ぶ場合に、用いられるエポキシ樹脂は、分子内に少なくとも２個のエポキシ基を含むもので、硬化性や硬化物特性の点からフェノールのグリシジルエーテル型のエポキシ樹脂が好ましい。このような樹脂としては、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＡＤ、ビスフェノールＳ、ビスフェノールＦもしくはハロゲン化ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンの縮合物、フェノールノボラック樹脂のグリシジルエーテル、クレゾールノボラック樹脂のグリシジルエーテル、ビスフェノールＡノボラック樹脂のグリシジルエーテル等が挙げられる。エポキシ樹脂の量は、ポリイミド樹脂１００重量部に対し１〜２００重量部、好ましくは５〜１００重量部で、２００重量部を越えるとフィルム形成性が悪くなる。
【００２１】
前記エポキシ樹脂としては、例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂〔ＡＥＲ−Ｘ８５０１（旭化成工業（株）商品名）、Ｒ−３０１（油化シェルエポキシ（株）商品名）、ＹＬ−９８０（油化シェルエポキシ（株）商品名）〕、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂〔〔ＹＤＦ−１７０（東都化成（株）商品名）〕、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂〔Ｒ−１７１０（三井化学（株）商品名）、ＥＸＡ−８３０ＣＲＰ（大日本インキ化学工業（株）商品名）〕、フェノールノボラック型エポキシ樹脂〔Ｎ−７３０Ｓ（大日本インキ化学工業（株）商品名）、Ｑｕａｔｒｅｘ−２０１０（ダウ・ケミカル社商品名）〕、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂〔ＹＤＣＮ−７０２Ｓ（東都化成（株）商品名）、ＥＯＣＮ−１００（日本化薬（株）商品名）〕、多官能エポキシ樹脂〔ＥＰＰＮ−５０１（日本化薬（株）商品名）、ＴＡＣＴＩＸ−７４２（ダウ・ケミカル社商品名）、ＶＧ−３０１０（三井化学（株）商品名）、１０３２Ｓ（油化シェルエポキシ（株）商品名）〕、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂〔ＨＰ−４０３２（大日本インキ化学工業（株）商品名）〕、脂環式エポキシ樹脂〔ＣＥＬ−３０００（ダイセル化学工業（株）商品名）〕、エポキシ化ポリブタジエン〔ＰＢ−４７００（ダイセル化学工業（株）商品名）〕、アミン型エポキシ樹脂〔ＥＬＭ−１００（住友化学工業（株）商品名）、ＹＨ−４３４Ｌ（東都化成（株）商品名）〕、レゾルシン型エポキシ樹脂〔デナコールＥＸ−２０１（ナガセ化成工業（株）商品名）〕、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂〔デナコールＥＸ−２１１（ナガセ化成工業（株）商品名）〕、ヘキサンディネルグリコール型エポキシ樹脂〔デナコールＥＸ−２１２（ナガセ化成工業（株）商品名）〕、エチレン・プロピレングリコール型エポキシ樹脂〔デナコールＥＸ−８１０，８１１，８５０，８５１，８２１，８３０，８３２，８４１，８６１（ナガセ化成工業（株）商品名）〕、下記一般式（Ｉ）
【化１】
0003605651.tif 000002
〔式中ｓは０〜５の整数を表す〕
で表されるエポキシ樹脂〔Ｅ−ＸＬ−２４，Ｅ−ＸＬ−３Ｌ（三井化学（株）商品名）〕などが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００２２】
ＰＧＥ（日本化薬（株）商品名）、ＰＰ−１０１（東都化成（株）商品名）、ＥＤ−５０２，５０９（旭電化工業（株）商品名）、ＹＥＤ−１２２（油化シェルエポキシ（株）商品名）、ＫＢＭ−４０３（信越化学工業（株）商品名）、ＴＳＬ−８３５０，ＴＳＬ−８３５５，ＴＳＬ−９９０５（東芝シリコーン（株）商品名）等の１分子中に１個のエポキシ基を有する化合物（単官能エポキシ化合物）をエポキシ樹脂の一部として使用してもよい。単官能エポキシ化合物は、本発明の樹脂ペースト組成物の特性を阻害しない範囲で使用されるが、エポキシ樹脂の全量に対して１０重量％以下で使用されることが好ましい。
【００２３】
硬化剤としては、例えば、フェノール樹脂が用いられる。フェノール樹脂は、分子中に少なくとも２個のフェノール性水酸基を有するもので、このような樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂、ポリ−ｐ−ビニルフェノール、フェノールアラルキル樹脂等が挙げられる。フェノール樹脂の量は、エポキシ樹脂１００重量部に対して２〜１５０重量部、好ましくは５０〜１２０重量部で、２重量部未満もしくは１５０重量部を越えると硬化性が不充分となる。
【００２４】
硬化剤としては、また、ジシアンジアミド、下記一般式（ＩＩ）
【化２】
0003605651.tif 000003
〔式中、Ｒは、ｍ−フェニレン基、ｐ−フェニレン基等の２価の芳香族基、炭素数２〜１２の直鎖状又は分枝状のアルキレン基を表す〕
で示される二塩酸ジヒドラジド〔市販品としては、ＡＤＨ，ＰＤＨ，ＳＤＨ（いずれも日本ヒドラジンエ業（株）商品名）がある〕、エポキシ樹脂とアミン化合物の反応物〔市販品としてはノバキュア（マイクロカプセル型硬化剤、旭化成工業（株）商品名）がある〕等が挙げられる。このようなエポキシ樹脂硬化剤の配合量は、エポキシ樹脂に対して０．０１〜９０重量％が好ましく、０．１〜５０重量％がより好ましい。
【００２５】
硬化促進剤は、エポキシ樹脂を硬化させるために用いられるものであれば特に制限はない。このようなものとしては例えば、イミダゾール類、ジシアンジアミド誘導体、ジカルボン酸ジヒドラジド、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、２−エチル−４−メチルイミダゾール−テトラフェニルボレート、１，８−ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン−７−テトラフェニルボレート等が用いられる。これらは、２種以上を併用してもよい。硬化促進剤の量はエポキシ樹脂１００重量部に対し、０．０１〜５０重量部、好ましくは０．１〜２０重量部で、０．０１重量部未満では、硬化性が不充分となり、５０重量部を越えると保存安定性が悪くなる。
【００２６】
接着力を向上させるため、接着剤にシランカップリング剤、チタン系カップリング剤、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコーン系添加剤等を適宜加えてもよい。
【００２７】
本発明でウエハに貼り付ける条件としては、接着フィルムのガラス転移温度Ｔｇ（動的粘弾性測定におけるぴ緩和ピーク温度）以上で熱分解温度（熱重量分析における重量減少開始温度）以下が好ましい。フィルム圧着温度がＴｇ未満では、貼り付け性が低下し、熱分解温度を超えるとフィルムが熱分解し接着性が低下するので好ましくない。１２０℃から２００℃が好ましい。ウェーハに貼り付ける圧力は、０．０３ＭＰａ〜２ＭＰａが好ましい。０．０３ＭＰａ未満では圧力が弱すぎてボイドが残留してしまい、２ＭＰａを超えると圧力が強すぎてウエハが割れる心配があるからである。本発明に用いるウエハとしては、シリコンウエハ、化合物ウエハなどがあり、特に限定されない。
【００２８】
接着剤付半導体素子をリードフレーム等の支持部材上に接着するときの温度はＴｇから７０℃以上高い温度で熱分解温度以下であることが好ましい。接着剤付半導体素子の接着温度がＴｇから７０℃高い温度より低い温度であると接着性が低下し、熱分解温度を超えるとフィルム状接着剤が熱分解し接着力が低下するので好ましくない。温度は１６０℃から２４０℃が好ましい。また、圧力は０．０３ＭＰａ〜２ＭＰａが好ましい。０．０３ＭＰａ未満では圧力が弱すぎてボイドが残留してしまい、２ＭＰａを超えると圧力が強すぎて半導体素子が割れる心配があるからである。
【００２９】
本発明で接着剤付半導体素子を圧着する支持部材としては、リードフレームのダイパット部、セラミック配線板、ガラスエポキシ配線板、ポリイミド配線板、半導体素子上部等の半導体素子搭載部が挙げられる。
【００３０】
【実施例】
以下、本発明を実施例により詳しく説明するが、本発明はこれにより限定されるものではない。以下、「部」は、「重量部」を意味する。
【００３１】
実施例１
熱可塑性ポリイミド〔ガラス転移温度７０℃、デカメチレンビストリメリテート二無水物１モルに対して４，９−ジオキサドデカン−１，１２−ジアミン０．５モル、２，２−ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニルプロパン０．５モルを反応させて得られるもの〕１００部及びビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂（ＥＸＡ−８３０ＣＲＰ、大日本インキ化学工業株式会社商品名、エポキシ当量１７５）５部、硬化剤フェノールノボラック樹脂（Ｈ−１、昭和化成株式会社商品名）５部にシクロヘキサノンとジメチルアセトアミドの等重量混合溶剤２８０部を加えて溶解させる。ここに、銀粉を７０部加えて、よく撹拌し、均一に分散させ、塗工用ワニスとする。この塗エ用ワニスをキャリアフィルム（ポリプロピレン）上に塗工し、熱風循環式乾燥機の中で加熱して、溶媒を揮発乾燥させ、キャリアフィルムから剥離して、フィルム状単層接着剤を製造した。
【００３２】
フィルム状単層接着剤をウェーハのサイズよりも大きめに切り、ウエハ裏面を上にして、フィルム状接着剤を載せ０．１５ＭＰａで加圧、１８０℃で加熱することにより、フィルム状接着剤付きウエハを得た。フィルム状接着剤付きウエハは、約３０秒間１８０℃で加熱し、残存揮発分を除いた。その後、ウエハに接着後のウエハ（５インチ）の外観を観察し、また、反りを測定した。フィルム状接着剤付きウエハの接着剤面にダイシングテープを貼付し、ダイシング装置でフルカットすることにより接着剤付き半導体素子へ分割し、展張した。
【００３３】
ダイシングテープ上に分割された接着剤付き半導体素子はダイボンダーによりダイシングテープの下からピンで突き上げられ、吸引コレットにより引き剥がされた。リードフレームヘ、温度２２０℃、荷重５０ｇ、時間５秒で接着剤付きチップをマウントした。日立化成工業株式会社製封止材（商品名ＣＥＬ９２００）でモールドし半導体装置とした。封止後のサンプルを８５℃、８５％ＲＨの恒温恒湿器中で１６８時間処理した後、ＩＲリフロー炉で２４０℃、１０ｓｅｃ加熱する。その後、サンプルをポリエステル樹脂で注型し、ダイアモンドカッターで切断した断面を顕微鏡で観察して、リフロークラックの発生数を評価する事により耐リフロークラック性の評価を行った。評価結果を表１に示す。
【００３４】
実施例２
熱可塑性ポリイミドとして、熱可塑性ポリイミド〔ガラス転移温度５０℃、デカメチレンビストリメリテート二無水物１モルに対して４，９−ジオキサドデカン−１，１２−ジアミン１モルを反応させて得られるもの〕を使用したこと以外は実施例１に準じて行った。評価結果を表１に示す。
【００３５】
比較例１
熱可塑性ポリイミド〔ガラス転移温度１２０℃、デカメチレンビストリメリテート二無水物１モルに対して２，２−ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニルプロパン１モルを反応させて得られるもの〕１００部、実施例１と同じビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂（エポキシ当量１７５）５部及び実施例１と同じ硬化剤フェノールノボラック樹脂５部に有機溶媒２８０部を加えて溶解させた。ここに、銀粉を７０部加えて、よく撹拌し、均一に分散させ、塗工用ワニスとした。この塗エ用ワニスをキャリアフィルム（ポリエチレンテレフタレート）上に塗工し、熱風循環式乾燥機の中で加熱して、溶媒を揮発乾燥させ、キャリアフィルム付きフィルム状接着剤を製造した。
【００３６】
キャリアフィルム付きフィルム状接着剤をウェーハのサイズよりも大きめに切り、ウエハ裏面を上にし、そこへ、キャリアフィルム付きフィルム状接着剤を載せ０．１５ＭＰａで加圧、１５０℃〜１８０℃で加熱することにより、キャリアフィルム付きフィルム状接着剤付きウエハを得た。キャリアフィルムを剥離した後、フィルム状接着剤付きウエハは、約３０秒間１５０℃〜１８０℃で加熱し、残存揮発分を除いた。その後、ウエハに接着後のウエハ（５インチ）の外観を観察し、また、反りを測定した。フィルム状接着剤付きウエハの接着剤面にダイシングテープを貼付、ダイシング装置でフルカットすることにより接着剤付き半導体素子へ分割し、展張した。
【００３７】
ダイシングテープ上に分割された接着剤付き半導体素子はダイボンダーによりダイシングテープの下からピンで突き上げられ、吸引コレットにより引き剥がされた。リードフレームヘ、温度２２０℃、荷重５０ｇ、時間５秒で接着剤付きチップをマウントする。日立化成工業株式会社製封止材（商品名ＣＥＬ９２００）でモールドし半導体装置とする。封止後のサンプルを８５℃、８５％ＲＨの恒温恒湿器中で１６８時間処理した後、１Ｒリフロー炉で２４０℃、１０ｓｅｃ加熱する。その後、サンプルをポリエステル樹脂で注型し、ダイアモンドカッターで切断した断面を顕微鏡で観察して、リフロークラックの発生数を評価することにより耐リフロークラック性の評価を行った。評価結果を表１に示す。
【００３８】
比較例２
比較例１と同じ熱可塑性ポリイミド１００部、実施例１と同じビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂（エポキシ当量１７５）５部及び実施例１と同じ硬化剤フェノールノボラック樹脂５部にシクロヘキサノンとジメチルアセトアミドの等重量混合溶剤２８０部を加えて溶解させた。ここに、銀粉を７０部加えて、よく撹拌し、均一に分散させ、塗工用ワニスとする。この塗エ用ワニスをキャリアフィルム（ポリプロピレン）上に塗工し、熱風循環式乾燥機の中で加熱して、溶媒を揮発乾燥させ、キャリアフィルムから剥離して、フィルム状単層接着剤を製造した。
【００３９】
フィルム状単層接着剤をウェーハのサイズよりも大きめに切り、ウエハ裏面を上にして、フィルム状接着剤を載せ０．１５ＭＰａで加圧、１８０℃で加熱することにより、フィルム状接着剤付きウエハを得た。フィルム状接着剤付きウエハは、約３０秒間１８０℃で加熱し、残存揮発分を除いた。その後、ウエハに接着後のウエハ（５インチ）の外観を観察し、また、反りを測定した。フィルム状接着剤付きウエハの接着剤面にダイシングテープを貼付、ダイシング装置でフルカットする事により接着剤付き半導体素子へ分割し、展張した。
【００４０】
ダイシングテープ上に分割された接着剤付き半導体素子はダイボンダーによりダイシングテープの下からピンで突き上げられ、吸引コレットにより引き剥がされる。リードフレームヘ、温度２２０℃、荷重５０ｇ、時間５秒で接着剤付きチップをマウントする。日立化成工業株式会社製封止材（商品名ＣＥＬ９２００）でモールドし半導体装置とした。封止後のサンプルを８５℃、８５％ＲＨの恒温恒湿器中で１６８時間処理した後、ｌＲリフロー炉で２４０℃、１０秒加熱した。その後、サンプルをポリエステル樹脂で注型し、ダイアモンドカッターで切断した断面を顕微鏡で観察して、リフロークラックの発生数を評価する事により耐リフロークラック性の評価を行った。結果を表１に示す。
【００４１】
【表１】
0003605651.tif 000004
【００４２】
【発明の効果】
請求項１の方法によれば、フィルム状ウエハ裏面に接着剤を熱圧着する際、３００μｍ以下のウェハでも反りは小さく、また、幅広い温度で接着剤をウェハに接着でき、また、接着層にボイドが無く耐リフロー性に優れた半導体装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】フィルム状接着剤をウェーハ裏面に接着する工程からダイシングして接着剤付半導体素子とする工程説明図である。
【図２】ダイシングして接着剤付半導体素子をリードフレームに接着し、半導体装置を製造する工程説明図である。
【符号の説明】
１  接着剤
２  キャリアフィルム
３  ベースフィルム付き接着剤
４  シリコンウエハ
５  ヒート付きロール
６  熱板
７  ダイシングテープ
８  接着剤付半導体素子
９  吸引コレット
１０  突き上げコレット
１１  リードフレーム
１２  ダイパット部
１３  ヒートブロック
１４  封止樹脂
【図１】
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【図２】
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