(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
脱硫装置より排出される脱硫後のガスから微粒子を除去する脱塵システムにおいて、前記脱硫装置の後流側に設けられ、脱硫装置より排出されたガスに対してガス流れ方向に逆向きに液滴を噴霧する液滴噴霧手段と、前記液滴噴霧手段の後流側に設けられ、前記噴霧された液滴および前記ガス中の微粒子を帯電させて捕集する帯電捕集手段と、を備えたことを特徴とする脱塵システム。
【請求項２】
請求項１記載の脱塵システムにおいて、前記液滴噴霧手段は、微粒子の累積重量頻度が５０％の平均粒径に対して粒径が１００〜３０００倍の液滴を噴霧することを特徴とする脱塵システム。
【請求項３】
請求項１記載の脱塵システムにおいて、前記液滴噴霧手段は、ガスと噴霧液滴の相対速度が３〜３０ｍ／ｓになるよう液滴を噴霧することを特徴とする脱塵システム。
【請求項４】
請求項１記載の脱塵システムにおいて、前記帯電捕集手段は、液滴および微粒子を帯電させるための電極と、帯電した液滴および微粒子を捕集するための電極とを有し、かつ前記両電極間の最短距離における電圧がセンチメートル当り７キロボルト〜２万キロボルトに設定されていることを特徴とする脱塵システム。
【請求項５】
請求項１記載の脱塵システムにおいて、前記帯電捕集手段での微粒子の帯電時間は０．０１〜０．２秒に設定されていることを特徴とする脱塵システム。
【請求項６】
脱硫装置より排出される脱硫後のガスから微粒子を除去する際に、前記脱硫装置より排出されたガスに対してガス流れ方向に逆向きに液滴を噴霧するとともに、その液滴噴霧位置よりも後流側で、前記噴霧した液滴および前記ガス中の微粒子を帯電させて捕集することを特徴とする脱塵方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、火力発電所等に設置の湿式石灰石−石膏法脱硫装置より排出される燃焼排ガスからサブミクロンの微粒子を除去するのに好適な脱塵システムおよび脱塵方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
石炭火力発電所のボイラから排出される燃焼排ガスには、立方メートル当り約２０グラムの微粒子が含まれている。微粒子の大部分は、粒径０．１〜２０ミクロンのシリカおよびアルミナを主成分とする石炭灰である。このような微粒子を除去する目的で一般に電気集塵器が設置されるが、この電気集塵器は燃焼排ガス中の微粒子を立方メートル当り１００〜２００ミリグラムに減少させる高性能なものである。そして、電気集塵器において含有微粒子が所定量に低減された燃焼排ガスは湿式石灰石−石膏法脱硫装置に導入され、ここで脱硫のための吸収液と接触する。この場合、吸収液によって、燃焼排ガスに含まれる微粒子の一部も除去される。湿式石灰石−石膏法脱硫装置出口では微粒子濃度を燃焼排ガス量立方メートル当り３０〜５０ミリグラムにすることができる。
【０００３】
最近では煙突出口ガス低煤煙化の要求が高く、煙突出口ガス中の微粒子濃度を更に下げる技術開発が必要となっている。煙突出口ガス中の微粒子濃度が高くなると、紫煙などの目視公害の原因となることが問題視されている。この目視公害の発生原因としては、微粒子以外に硫酸ミストなどが脱硫装置から飛散するためであると想定されている。
【０００４】
このような目視公害を無くすために、湿式石灰石−石膏法脱硫装置の出口ガスを湿式電気集塵器に導くことにより、ガス量立方メートル当りの微粒子等の濃度を１０ミリグラム以下に低減できるようにした脱塵システムが知られている。一般に湿式石灰石−石膏法脱硫装置の上流側には乾式の低温電気集塵器が設置されるので、上記のような湿式電気集塵器としては、低温電気集塵器や湿式石灰石−石膏法脱硫装置で捕集されなかった粒径が１ミクロン以下のサブミクロンの微粒子を捕集する必要があり、低温電気集塵器よりも高性能なものが要求されている。そのために、湿式電気集塵器の装置構成は必然的に大容量化して、そのような湿式電気集塵器を用いて火力発電所の総合排煙処理システムを構築した場合にはシステムが大規模なものとなる。
【０００５】
最近では湿式石灰石−石膏法脱硫装置の上流側に設置される電気集塵器の集塵効率を高めるために、９０〜１００℃で運用するシステム構成が検討され、その有効性が実証されてきている。また、そのような電気集塵器として従来よりも低温で運用される低々温電気集塵器が採用されるようになり、電気集塵器の性能がより向上してガス中の微粒子濃度を低減するのには成功したが、微粒子濃度を１０ミリグラム以下で硫酸ミストを無くし、更に目視公害を防ぐという点ではまだ十分とは言えない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
湿式石灰石−石膏法脱硫装置の出口ガス中にはサブミクロンの微粒子が２０〜６０％も含まれるのが通常である。このサブミクロンの微粒子を除去するには、前述したように高性能な湿式電気集塵器を設置する必要がある。高性能な湿式電気集塵器を得るには低温電気集塵器より電流密度を高くすれば良く、現状では電流密度による方法が主流である。そして、電流密度を高くするために、電極間の印加電圧を上げたり電極間隔を狭くすることが実際に行われている。
【０００７】
しかし、湿式石灰石−石膏法脱硫装置の出口ガスには、前述したように吸収液の一部がミストとなってガスに同伴して湿式電気集塵器に飛散し、そのようなミストが電極に付着すると、漏洩電流が大きくなるとともに集塵性能が低下するという問題が生じる。
【０００８】
この飛散してくるミストは湿式石灰石−石膏法脱硫装置内のガス流速と密接な関係にあり、流速が高まると飛散ミスト量も多くなる。このために、湿式石灰石−石膏法脱硫装置をコンパクト化する要求に対してこの問題が障害となっている。飛散するミストは脱硫する目的の吸収液の一部であり、吸収液の主組成である石膏や石灰石を含む１０〜３０％のスラリーである。石膏自体は付着しても洗浄水などで容易に取り除けるが、吸収液中の石灰石が付着し、それと処理ガスに含まれる未吸収亜硫酸ガスが反応すると強固なスケールとなって蓄積成長する。湿式電気集塵器での集塵性能を高めるには電極を常に洗浄することが必要である。このような洗浄が可能で容易な電極部構成は集塵性能向上と相反する関係にあり、集塵性能を向上させる点からは電極間隔を狭くする必要がある。
【０００９】
本発明の目的は、電極に付着したミストを容易に洗浄することができ、しかもより一層の集塵性能向上を図ることのできる脱塵システムおよび脱塵方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、脱硫装置より排出される脱硫後のガスから微粒子を除去する脱塵システムにおいて、前記脱硫装置の後流側に設けられ、脱硫装置より排出されたガスに対してガス流れ方向に逆向きに液滴を噴霧する液滴噴霧手段と、前記液滴噴霧手段の後流側に設けられ、前記噴霧された液滴および前記ガス中の微粒子を帯電させて捕集する帯電捕集手段と、を備えたものである。
【００１１】
上記構成によれば、脱硫装置より排出されてくるガスに対して、ガス流れ方向に逆向きに液滴噴霧手段から液滴を噴霧する。これにより、ガスと液滴の相対速度を大きくして慣性集塵性能のドライビング速度を高め、同時に噴霧液滴、および脱硫装置から飛散してくるミストや微粒子を気流中で合体または増粒させることができるとともに、更には流れを乱流化することができるため、帯電捕集手段での集塵性能が極めて高くなって、ガス中のサブミクロンの微粒子をも効果的に捕集することができるのである。また、噴霧液滴により帯電捕集手段の電極部を常に洗浄することが可能となり、帯電捕集手段での高い集塵性能を安定して維持することができる。
【００１２】
脱硫装置からのガスに含まれる微粒子や吸収液ミストの粒径及び濃度は、ボイラでの燃料形態や脱硫装置の形式および運用条件で大きく異なるが、そのガス中には、サブミクロンと呼ばれている１ミクロン以下の微粒子が３０〜５０％も含まれ、単位ガス量立方メートル当り２０〜３０ミリグラムである。脱硫装置での脱塵性能が高く、特に吸収液滴をガス流れ方向に逆向きに噴霧する、いわゆる向流接触形式では除塵性能を９０〜９９％程度に高くすることができる。
【００１３】
しかし、サブミクロンの微粒子は捕集されることなく、大部分は脱硫装置からガスと共に排出されてしまう。ガス中にあるサブミクロン微粒子がスプレ（液滴噴霧手段）から噴霧した液滴に衝突し捕集されるには、図２に示すように微粒子の粒径と液滴径、および両者の相対速度に影響される。特に、本発明の脱塵システムは脱硫装置出口部に設けられるもので、脱硫装置の吸収塔本体の径よりかなり絞られた煙道に設置されるために、微粒子と液滴の相対速度を高めた条件で運用され除塵性能を高めるのに好都合であり、脱硫装置の吸収塔本体内を利用するのに比べより高い脱塵性能が得られる。
【００１４】
以下、図２を参照しながら本発明の作用原理について説明する。図２は、液滴粒径をパラメータとして、液滴と微粒子とが互いに逆向きで、つまり向流で衝突したときに捕集できる液滴径基準の比率を衝突効率として示している。図２において、衝突効率が１．０の場合は、その液滴径の中心軸から液滴の半径域に飛行してくる微粒子は捕集できることになる。微粒子の粒径を１ミクロンと一定にしたとき液滴の粒径が小さくなるに従い衝突効率を高くできる。ここで、衝突効率とは、液滴の投影図形を考えた場合に、液滴と同心を成しその面積が液滴の投影面積の約５０％の円内に微粒子が流れてきたとき、その微粒子が気流の粘性流に打ち勝って液滴に衝突して捕集される割合を示している。微粒子は前記円内から外れると液滴に衝突することなく捕集することができなくなる。さらに、液滴径が５００ミクロンから１００ミクロンに小さくなったときの微粒子が捕集される衝突効率は８０％に高くできる。
【００１５】
スプレから同じ洗浄水量を液滴として噴霧する場合でも、液滴径を１０００ミクロンの場合に対して１００ミクロンに小さくした液滴を噴霧することにより衝突効率が高くできる。すなわち、液滴径が１０００ミクロン粒子１個で捕集する場合に比べ、１０００ミクロンを１００ミクロン粒子に細かくすることにより、単純に１０００個の液滴を発生させることができ、衝突効率を高くできるのである。それぞれの液滴径に対する脱塵率は各衝突効率に液滴径と液滴個数を乗じることで求められる。上記のことから、液滴による捕集効率を高めるには液滴を微粒子にするほど良いことが分かる。
【００１６】
本発明は、脱硫装置の吸収塔本体よりガス流速の高い煙道ガスラインにおいて、ガス流れに対して向流方向に液滴を噴霧することにより、ガスと液滴との相対速度を大きくして衝突効率を高めて集塵を効果的に行うとともに、噴霧液滴を電極部の洗滌水として使用するところに特徴がある。脱硫装置から飛散してくる吸収液は噴霧液滴により衝突し、粒子の合体や再分散が起こり、脱硫装置の後流側に設置された帯電捕集手段で液滴は捕集されるが、図３に示すように帯電捕集手段での集塵効率は液滴径が大きくなるほど液滴への帯電量が大きくなり、電荷的には液滴が集塵極への吸引分力が大きくなり捕集しやすくなるように作用する。したがって、噴霧した液滴は捕集を目的とする微粒子より粒径ははるかに大きいので、帯電捕集手段での捕集効率が高くできる。さらに帯電捕集手段では液滴以外にも微粒子の一部が捕集できるので集塵効率を一層高くできる。
【００１７】
本発明では脱硫装置出口ガスに含まれる微粒子およびミストを除去するのに、煙道にガスの流れに逆らうように液滴を噴霧させ、慣性力により微粒子を捕集し、目的の微粒子より大きな液滴およびミストなどを帯電捕集手段で捕集するようにしたものであるから、サブミクロン微粒子やミストの効率的な捕集ができるのである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、火力発電所に設置される湿式石灰石−石膏法脱硫装置の吸収塔出口ガスラインに、本発明の脱塵システムを適用した代表的な例を示している。図１において、燃料１はボイラ２に導入され、ボイラ２内で燃焼する。そして、ボイラ２からの燃焼排ガス３は脱硝装置４で窒素酸化物を除去されてから、熱交換器５に導入され冷却される。冷却された燃焼排ガス６はガス／ガス熱交換器７に導入され、このガス／ガス熱交換器７で熱交換された燃焼排ガス８は電気集塵器９に導入される。電気集塵器９では、燃焼排ガス８に対して立方メートル当り約２０グラム程度含む微粒子を立方メートル当り５０〜１００ミリグラムに減少させ、燃焼排ガス１０として排出する。電気集塵器９からの燃焼排ガス１０は湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１に導入される。
【００１９】
湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１では、微粒子を立方メートル当り５０〜１００ミリグラム含む燃焼排ガスが導入されると、脱硫と同時に脱塵が行なわれる。特に、湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１に設置のスプレから吸収液が噴霧され、その吸収液の液滴と微粒子とが向流で（吸収液の液滴の進行方向と微粒子の進行方向とが互いに逆向きで）衝突することにより脱塵が行われる。その結果、湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１の出口での燃焼排ガス１２中に含まれる微粒子は立方メートル当り約２０〜３０ミリグラムに減少する。そして従来は、この燃焼排ガス１２は再びガス／ガス熱交換器７に導入され、熱交換を行って加熱された後に煙突１９から大気中に放出されていた。
【００２０】
本実施の形態では、図１に示すように、湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１からの燃焼排ガス１２を、スプレ脱塵器１３で除塵して燃焼排ガス１４としてから帯電部１５に導入する構成としている。そして、帯電部１５では前述したように主に液滴やミストを捕集し、その後の燃焼排ガス１６をガス／ガス熱交換器７に導入し、ガス／ガス熱交換器７で昇温後の燃焼排ガス１８を煙突１９から大気中に放出するようにしている。
【００２１】
図４は本発明の脱塵システム近辺を拡大したもので、図１において電気集塵器９に導入された燃焼排ガス８がスプレ脱塵器１３通過後に燃焼排ガス１４として排出されるまでの様子を示している。燃焼排ガス８は、電気集塵器９に導入され脱塵された後に、燃焼排ガス１０として湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１に導入される。湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１では、吸収液３０がポンプ４０により昇圧されてスプレノズル４１から液滴として噴霧され、これによって脱硫と脱塵が行われる。この場合の液滴径は３００〜７０００ミクロンと幅広い粒径分布を示し、平均粒径は２０００〜３０００ミクロンである。
【００２２】
脱硫後の燃焼ガス１２中には、湿式石灰石−石膏法脱硫装置１１で捕集されなかった微粒子が含まれ、微粒子の粒径は大部分が５ミクロン以下であり、その３０〜５０％が１ミクロン以下のサブミクロンである。燃焼排ガス１２は、本発明の特徴部分である、スプレ脱塵器１３および帯電部からなる脱塵システムに導入される。この脱塵システムにおいては、洗浄液５３がポンプ５４で昇圧され、スプレノズル５１から洗浄液５３が噴霧される。洗浄液５３は、燃焼排ガス１２に対して矢印５５のようにガス流れ方向に逆向きに、すなわち向流方向に噴霧される。この時の燃焼排ガス１２と洗浄液５３の液滴の相対速度は３〜３０ｍ／ｓで運用される場合が多い。相対速度が高くなると脱塵性能を高くできるが、通風損失も大きくなるために相対速度にも上限がある。しかも、脱硫装置の場合には燃焼排ガスを送風するブロアの容量に限界があるため、相対速度にもおのずと限界が生ずる。洗浄液５３の液滴は一旦矢印５５のように噴射されるが、燃焼排ガス１２の流速に同伴しスプレノズル５１の地点からその後流のスプレイング脱塵域５８に飛散し、さらに帯電部１５に導入される。
【００２３】
帯電部１５では主に粒径の大きい液滴、吸収剤ミストや微粒子が捕集される。帯電部１５では印加電圧および電極間隔などの調整により、液滴、吸収剤ミストや微粒子の捕集効率を調整できる。この時、帯電部１５の電極には吸収剤ミストが付着するが、スプレノズル５１から噴霧された洗浄液５３の液滴が帯電部１５に飛散してくるので、電極に付着の吸収剤ミストは洗浄液５３の液滴により洗浄される。
【００２４】
なお、帯電部１５の電極に対する洗浄をより一層スムーズに行うために、別途洗浄液を帯電部１５に吹き付けるサブスプレを設置することもできる。また、帯電部１５の方へ飛散しなかった洗浄液５はホッパ５７で捕集され、タンク５２に溜められて新たな洗浄液として利用される。またタンク５２に溜められた洗浄液の中には石膏分が含めれているので、その石膏分は分離され更に流れ５９によって外部へ排出される。そして、タンク５２内の洗浄液が少なくなると、メークアップのために外部から洗浄液の補給が行われる。
【００２５】
（第２の実施の形態）
図５は、本発明の脱塵システムにおける液滴粒径分布と捕集すべき微粒子の粒径分布との関係を示す。図４に示した燃焼排ガス１２中の微粒子粒径分布は、図５の曲線Ｄのようになり、累積重量頻度が５０％のときの平均粒径は約０．５ミクロンである。この微粒子は、通常、１ミクロン以下が２０％であるが、多いときには６０％も含まれる場合がある。
【００２６】
図５ではスプレノズル５１から噴霧される液滴の効果的な適用粒径範囲を示している。スプレノズルの粒径分布は噴霧する際の背圧やノズル口径、ホロコーンやフルコーン型で異なるが、本実施の形態ではホロコーン型を用いた場合である。累積重量頻度が５０％のときの平均粒径を５０〜１５００ミクロンに調整するには、ホロコーン型の場合、ノズル口径が１．５インチのホロコーンスプレノズルから背圧を平方センチメートル当り１〜１．５キログラムの圧力でかけることにより、図５中の曲線ＤＭの液滴粒径分布を達成できる。
【００２７】
また、上限の粒径分布としては微粒子の累積重量頻度が５０％の平均粒径に対して３０００倍の液滴平均粒径の場合、ノズル口径が２インチのホロコーンスプレノズルから背圧を平方センチメートル当り０．７〜１．５キログラムの圧力で噴霧すると、図５中の曲線ＤＭＭをほぼ達成できる。図２に示したように、液滴径を小さくして、微粒子と液滴との相対速度を高めることにより、本発明の脱塵システムの脱塵性能を高めることができるのである。
【００２８】
（第３の実施の形態）
図４に示したスプレノズル５１から噴霧された液滴および燃焼排ガス１２中の微粒子（ダスト）の大部分は、スプレノズル５１の地点からその後流のスプレイング脱塵域５８に飛散し、更に帯電部１５に導入される。帯電部１５での脱塵性能は、印加電圧、燃焼排ガスの流速、微粒子粒径、液滴粒径、電極間の間隔および電流密度などにより決定される。
【００２９】
本実施の形態では、微粒子にプラス電位を与え、捕集極をマイナス電位とした。印加電圧と脱塵率との関係を図６に示す。図中、パラメータとして排ガス流速を５ｍ／ｓ、７ｍ／ｓ、１０ｍ／ｓに変化させ、黒記号は粒径が０．５ミクロンのサブミクロン微粒子の場合を、白記号は粒径が１ミクロン以上の微粒子の場合を表している。
【００３０】
燃焼排ガス流速が一定であれば印加電圧を高めるほど脱塵性能は高くなる。同じ印加電圧でも燃焼排ガス流速が速くなると、電極部での滞留時間が短くなり脱塵性能は低下する。また微粒子粒径が大きくなるほど脱塵性能は高くなる。これは微粒子への帯電量が面積に依存するためである。
【００３１】
（第４の実施の形態）
図７は、燃焼排ガスの流速と脱塵率との関係を示している。図中、黒記号は粒径が０．５ミクロンの微粒子の場合を、白記号は粒径が１ミクロン以上の微粒子の場合を表している。図から分かるように、燃焼排ガス流速が速くなると脱塵性能は低下する傾向にある。これは、燃焼排ガス流速が速くなると微粒子への帯電時間が短くなるためである。本実施の形態では燃焼排ガスの流速が６ｍ／ｓの場合、微粒子の滞留時間は約３０ミリ秒であった。
【００３２】
図８は、帯電部１５の内部構成を上面から観察した図である。図８に示すように、帯電部１５の内部には放電極６１と集塵極６２が設けられ、微粒子および液滴を含む燃焼排ガス１４が帯電部１５に導入され、放電極６１と集塵極６２との作用で除塵された後に燃焼排ガス１６として排出される。
【００３３】
燃焼排ガス中の微粒子への帯電時間は少なくとも１０ミリ秒以上で且つ２００ミリ秒以下で運用できるように設定する必要があり、そのために、燃焼排ガス流速が速い場合は集塵極６２の長さを長くしなければならない。放電極６１と集塵極６２との間隔は、通常は３５〜１００ｍｍ程度に設定される。また、放電極６１と集塵極６２の最短距離での電圧は、センチメートル当り７キロボルト〜２万キロボルトに設定される。
【００３４】
帯電部１５において、燃焼排ガスが上部から下部へと重力方向に流れるように構成する。これにより、捕集された液滴は集塵極６２表面を濡れ壁として流下するようになるので、電極部の洗浄を円滑に行うことができ、湿式電気集塵器と同じように運用することが可能である。
【００３５】
（第５の実施の形態）
図９は、帯電部１５における燃焼排ガスの流速を５ｍ／ｓと一定とし、微粒子濃度を排ガス量立方メートル当り０．１〜５０ミリグラムに変化した際の脱塵性能を示している。図中のパラメータは微粒子の粒径を変化させた場合である。脱塵率はダスト濃度に対する依存性は小さいが、微粒子の粒径に対する依存性は大きい。このことは、図６でも明らかな点である。例えば微粒子濃度を一定にし、微粒子粒径を大きくしていくと脱塵率を高くできる。これは本発明の脱塵システムを構築する際に重要な点であり、帯電部１５の上流側で液滴による脱塵性能を高め、微粒化した液滴粒子を帯電部１５で捕集するものである。液滴は少なくとも図９から明らかなように３〜５ミクロン以上であれば脱塵性能は高くできる。この帯電部１５では電極間に飛散してくる液滴が媒体となり、微粒液滴に帯電を助勢させる効果がある。これは見掛け上飛散してくる液滴が帯電場を作り、飛散してくる微粒子への帯電効果を高めるもので、電極間隔を狭めた作用と同じ効果を発揮できる。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、脱硫装置からのガスに対して液滴噴霧手段により液滴を向流に噴霧した後、その噴霧した液滴を帯電させて捕集するようにしているので、ガスに含まれる吸収液ミストやサブミクロンの微粒子をも容易に除去することができる。
【００３７】
また、噴霧した液滴により帯電捕集手段の電極を洗浄でき、長期間の運用にもメンテナンスフリーな状態で安定した高脱塵性能を維持できる。しかも、従来の湿式電気集塵器などに比べて、装置構成が比較的簡単な脱塵システムを構築できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の脱塵システムが設置された火力プラントの概略構成図である。
【図２】本発明の作用原理図を示した図である。
【図３】微粒子の粒径と脱塵性能との関係を示した図である。
【図４】本発明の脱塵システムの詳細構成を示した図である。
【図５】本発明に適用される、微粒子と液滴粒径分布との関係を示した図である。
【図６】帯電部での印加電圧と脱塵率との関係を示した図である。
【図７】燃焼排ガス流速と脱塵率との関係を示した図である。
【図８】帯電部の詳細構成を示した図である。
【図９】脱塵性能に及ぼす液滴粒径の依存性を示した図である。
【符号の説明】
１  燃料
２  ボイラ
３，６，８，１０，１２，１４，１６，１８  燃焼排ガス
４  脱硝装置
５  熱交換器
７  ガス／ガス熱交換器
９  電気集塵器
１１  湿式石灰石−石膏法脱硫装置
１３  スプレ脱塵器
１５  帯電部
１９  煙突
３０  吸収液
４０，５４  ポンプ
４１，５１  スプレイノズル
５３  洗浄液
５７  ホッパ
５８  スプレイング脱塵域
６１  放電極
６２  集塵極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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