(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部自動機側に配備されたマザーボードと、上記マザーボードに接続されると共に抜き差し方向が上記外部自動機と反対側の方向に統一された基板とをその内部に有するテスター本体と、上記テスター本体上に複数の自動回転式マニピュレータ機構を介して一体的に設けられた複数のテストヘッドとを備え、上記テストヘッドが上記自動回転式マニピュレータ機構により上記外部自動機上に回転できるように構成したことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
上記テストヘッドより室温の空気を吸気し、上記テスター本体に取り入れて、上記テスター本体内部に設けたファンコイルユニットにより冷却してから排気するようにしたことを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
上記テストヘッドの一面に、ケーブルを介して上記外部自動機と接続するためのヘッドリングを設けると共に、このヘッドリングの保持用フックを設置したことを特徴とする請求項１または２記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、外部自動機との接続を省スペースで行ない、かつ排気を冷却する機能を有する半導体試験装置の筺体構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来の半導体試験装置（以下、テスターと呼ぶ）の構成を示す斜視図であり、図７は同じく側面図である。
図において、プロダクト向けテスターの一般構成は、テスター本体２１と、テストヘッド２２と、上記テスター本体２１とテストヘッド２２をつなぐヘッドケーブル２３と、テストヘッド２２を支えるマニピュレータ２４とで構成されており、様々な外部自動機２５との接続を容易にしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のテスターは以上のように構成されているので、図７に示すように、テスター本体２１，テストヘッド２２，ヘッドケーブル２３，マニピュレータ２４の各ユニット毎に設置スペースを必要とし、かつ、テスター本体２１の両サイドにメイントスペースが必要なため、省スペース化が容易に出来ないという問題点があった。
【０００４】
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、半導体試験装置の省スペース化を図ると共に、性能を向上させ、更には半導体試験装置の価格を低減し、又は価格を維持しつつ機能をアップさせることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係る半導体試験装置は、外部自動機側に配備されたマザーボードと、マザーボードに接続されると共に抜き差し方向が外部自動機と反対側の方向に統一された基板とをその内部に有するテスター本体と、テスター本体上に複数の自動回転式マニピュレータ機構を介して一体的に設けられた複数のテストヘッドとを備え、テストヘッドが自動回転式マニピュレータ機構により外部自動機上に回転できるように構成したものである。
【０００６】
この発明の請求項２に係る半導体試験装置は、テストヘッドより室温の空気を吸気し、テスター本体に取り入れて、テスター本体内部に設けたファンコイルユニットにより冷却してから排気するようにしたものである。
【０００７】
この発明の請求項３に係る半導体試験装置は、テストヘッドの一面に、ケーブルを介して外部自動機と接続するためのヘッドリングが配置されると共に、このヘッドリングの保持用フックを設けたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の一実施形態を図について説明する。図１はこの発明による半導体試験装置を示す斜視図、図２は同じく側面図であり、図において、テスター本体１上にテストヘッド２を載置するようにして、これらテスター本体１とテストヘッド２間にダクト３を設けると共に、テスター本体１のテストヘッドコーナー支持部４に自動回転式のマニピュレータ機構を設けてテストヘッド２を接続し、テスター本体１とテストヘッド２を上下で一体構成にすることによって、半導体試験装置の省スペース化を図ることができる。
【０００９】
又、図２に示すように、テスター本体１の内部の外部自動機５面側にマザーボード６を配備し、このマザーボード６とテストヘッド２とをヘッドケーブル７により接続すると共に、テスター本体１内部における基板８の抜き差し方向を一方向に統一することで、テスター本体１と外部自動機５の間のスペースを不要とし、メイントスペースの削減を図ることができる。更にヘッドケーブル７が従来のものに比べて非常に短くなり、電気的特性の向上、ひいては性能の向上を図ることができることとなる。
【００１０】
次にテスターの排熱処理については、テストヘッド２より吸気するようにし、そのエアーをテスター本体１に取り入れて、最後にテスター本体内部に設けたファンコイルユニット９により冷却してから排気することで実現することができる。
このようにして、テストヘッド２より室温の空気を吸気し、内部を冷却した後、温度が上昇した空気を排気する際、冷却システムであるファンコイルユニット９により室温にまで冷却し、更に排気するものであり、本冷却システムは冷却空気を本装置内に送り込むものではなく、温度上昇した装置内の空気を室温にもどして排気するようにしたものである。
【００１１】
次に図３は本装置の内部構成をも詳しく表した側面図であり、図において、ヘッドリング１０がテストヘッド２と接続ケーブル１１で接続されており、外部自動機５とはこのヘッドリング１０で接続される。
ここで、外部自動機５とヘッドリング１０が接続されたままの状態で、テストヘッドコーナー支持部４が駆動すると、接続ケーブル１１が切断する危険性があるため、ヘッドリング１０を外部自動機５から取り外してのち、フック１２にかけるようにして、フック１２にかかっていない状態では、テストヘッドコーナー支持部４を駆動させないような安全機構を採用するようにしている。
【００１２】
次にテストヘッドコーナー支持部４の詳細を図４、図５に基づいて説明する。図４はテストヘッドコーナー支持部４を示す斜視図であり、図５は同じく側面図である。
図において、テストヘッド２を回転稼動させる場合、稼動部を回転軸で支持させるのではなく、本実施形態においては、半円形に配置された円筒形ベアリング１３で支持させるようにしている。即ち、テストヘッド支え治具１４をテストヘッド２に固定する一方、上記円筒形ベアリング１３は円筒形ベアリング固定治具１５を介してテスター本体１上に固定されている。そして円筒形ベアリング１３は上記テストヘッド支え治具１４に設けられた溝１４ａに入るようになっており、従ってテストヘッド２はテストヘッド支え治具１４と円筒形ベアリング１３を介してテスター本体１により支えられていることとなっている。
【００１３】
そして、テストヘッド支え治具１４にギア１６を取り付け、このギア１６をモーター１７の動力で回転駆動することで、テストヘッド２が回転動作されるようになされている。角度調整はモーター１７とギア１６により行なわれる。
尚、テスター本体１には、２個又はそれ以上の複数のテストヘッドコーナー支持部４が設けられており、複数のテストヘッド２を支えるよう構成されている。このようにして、円筒形ベアリング１３を採用することにより、大きい円で支えることができ、よりしっかりと安定してテストヘッド２が支えられるようになる。
【００１４】
【発明の効果】
この発明の請求項１に係る半導体試験装置によれば、外部自動機側に配備されたマザーボードと、マザーボードに接続されると共に抜き差し方向が外部自動機と反対側の方向に統一された基板とをその内部に有するテスター本体と、テスター本体上に複数の自動回転式マニピュレータ機構を介して一体的に設けられた複数のテストヘッドとを備え、テストヘッドが自動回転式マニピュレータ機構により外部自動機上に回転できるように構成されているので、半導体試験装置の省スペース化を図ると共に、性能を向上させ、更には装置の価格を低減し、又は価格を維持しつつ機能をアップさせることができる。
【００１５】
この発明の請求項２に係る半導体試験装置によれば、半導体試験装置の省スペース化を図ると共に、効率よく冷却させることができる。
【００１６】
この発明の請求項３に係る半導体試験装置によれば、テストヘッドの一面に、ケーブルを介して外部自動機と接続するためのヘッドリングが配置されると共に、このヘッドリングの保持用フックを設けたので、外部自動機との接続が円滑かつ確実に実施し得ると共に安全性にもすぐれたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態による半導体試験装置を示す斜視図である。
【図２】この発明の一実施形態による半導体試験装置を示す側面図である。
【図３】この発明の一実施形態による半導体試験装置を示す側面図である。
【図４】この発明の一実施形態による半導体試験装置におけるテストヘッドコーナー支持部を示す斜視図である。
【図５】この発明の一実施形態による半導体試験装置におけるテストヘッドコーナー支持部を示す側面図である。
【図６】従来の半導体試験装置を示す斜視図である。
【図７】従来の半導体試験装置を示す側面図である。
【符号の説明】
１  テスター本体、２  テストヘッド、５  外部自動機、６  マザーボード、
８  基板、９  冷却システム、１０  ヘッドリング、１１  接続ケーブル、
１２  フック、１３  円筒形ベアリング、１４  テストヘッド支え具。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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