(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基盤に材料を蒸着するために使用する液体蒸発装置において、本液体蒸発装置が、
温度調節要素と熱的に接触する回転可能な蒸発面と、
液体をフィーダーを介して該蒸発面に制御可能に供給するための液体放出手段と、
該蒸発面を回転するための回転手段と、
蒸発した材料を該基盤へ輸送するためのダクトと、
を具備する液体蒸発装置。
【請求項２】
該蒸発面が液体の貯蔵場所として使用可能なくぼみを有する円形状の円板で、該くぼみは該円板の中心又はほぼ中心に配置されているところの、請求項１に記載の液体発生装置。
【請求項３】
基盤に材料を蒸着するのに使用するための液体蒸発装置において、本液体蒸発装置が、
液体の貯蔵場所として使用可能なくぼみを有する回転可能な円形状の円板で、該くぼみが該円板の中または該円板のほぼ中心に配置されている回転可能な円形状の円板と、
流れる流体を収納可能な囲まれた空間部で、該囲まれた空間部が該回転可能な円形状の円板と熱的に接触していて、該円板の底面によりその頂部を区切られている囲まれた空間部と、
該回転可能な円形状の円板における該くぼみの中に配置されている時間的に変化するオリフィスで、該オリフィスが液体流量を制御可能な時間的に変化するオリフィスと、
液体を導管を介して該時間的に変化するオリフィスに制御可能に供給するための液体放出装置と、
該蒸発面を回転するための蒸発面回転手段と、
蒸発した材料を輸送するためのダクトで、該ダクトが関係式：
ダクト直径（Ｄ）＝３．５〔（ｄｍ／ｄｔ）×Ｌ／（Ｐｍｅａｎ）２ 〕１／４
上式において  Ｄ＝ダクト直径（ｍ）
ｄｍ／ｄｔ＝質量流量（ｋｇ／ｓｅｃ ）
Ｌ＝ダクト長さ（ｍ）
Ｐｍｅａｎ＝平均圧力（Ｐａ）
により決まる値の７５％の直径または７５％以上の直径を有しているダクトと、
を具備する液体蒸発装置。
【請求項４】
基盤に有機材料を蒸着するのに使用するための有機液体を蒸発する方法において、本有機液体蒸発方法が、
蒸発面を加熱する段階と、
該蒸発面を回転する段階と、
蒸発させるべき液体を該蒸発面の面頂部に放出する段階と、
蒸発した材料を該基盤へ輸送する段階と、
を具備する有機液体蒸発方法。
【請求項５】
基盤に有機材料を蒸着するのに使用するための有機液体蒸発方法において、本有機液体蒸発方法が、
液体が該蒸発面に接触すると特別な液体の蒸発を起こすのに十分な温度である下限温度と、該液体が該蒸発面に接触すると該液体の重合化または該液体の劣化のどちらかを起こす温度である上限温度と、に制限される温度範囲内の温度に蒸発面を加熱する段階と、
該液体が該蒸発面を外側に向けて横切って層状化形態で広がるのに十分な遠心力を発生する速度で該蒸発面を回転する段階で、その層状化形態が該液体層の中の温度勾配を最小化するのに十分に薄い厚さである段階と、
蒸発する液体を、該蒸発面から一定の蒸気流量で発生するのに十分な速度で該蒸発面の該面頂部の該中心に放出する段階と、
を具備する有機液体蒸発方法。
【請求項６】
該蒸発面がくぼみを有する円形状の円板であるところの、請求項５に記載の有機液体蒸発方法。
【請求項７】
有機材料を基盤に蒸着する方法において、本有機材料蒸着方法が、
液体が該蒸発面に接触すると特別な液体の蒸発を起こすのに十分な温度である下限温度と、該液体が該蒸発面に接触すると該液体の重合化または該液体の劣化のどちらかを起こす温度である上限温度と、に制限される温度範囲内の温度に蒸発面を加熱する段階と、
該液体が該蒸発面を外側に向けて横切って層状化形態で広がるのに十分な遠心力を発生する速度で該蒸発面を回転する段階で、その層状化形態が該液体層の中の温度勾配を最小化するのに十分に薄い厚さである段階と、
蒸発する液体を、該蒸発面から一定の蒸気流量で発生するのに十分な速度で該蒸発面の該面頂部の該中心に放出する段階と、
該蒸発面で形成された蒸気を、多数のノズルに送り込む段階と、
該多数のノズルから放出された蒸気を基盤に注入する段階と、
を具備する有機材料蒸着方法。
【請求項８】
該蒸発面がくぼみを有する円形状の円板であるところの、かつ該液体放出段階が、液体を時間的に変化するオリフィスに制御可能に供給することにより行なわれ、該オリフィスが液体流量を制御可能であるところの、請求項７に記載の有機液体蒸着方法。
【請求項９】
基盤に材料を蒸着するのに使用するための液体蒸発装置において、本液体蒸発装置が、
制御された雰囲気で液体材料を蒸発する手段と、
該蒸発した液体材料を輸送するためのダクトで、該ダクトが該液体蒸発手段に接続されていて、関係式：
ダクト直径（Ｄ）＝３．５〔（ｄｍ／ｄｔ）×Ｌ／（Ｐｍｅａｎ）２ 〕１／４
上式において  Ｄ＝ダクト直径（ｍ）
ｄｍ／ｄｔ＝質量流量（ｋｇ／ｓｅｃ ）
Ｌ＝ダクト長さ（ｍ）
Ｐｍｅａｎ＝平均圧力（Ｐａ）
により決まる値の７５％の直径または７５％以上の直径を有しているダクトと、
を具備する液体蒸発装置。
【請求項１０】
基盤に材料を蒸着する方法において、本材料蒸着方法が、
制御された雰囲気で材料を蒸発する段階と、
該蒸発した材料をダクトを介して輸送する段階で、ダクトが関係式：
ダクト直径（Ｄ）＝３．５〔（ｄｍ／ｄｔ）×Ｌ／（Ｐｍｅａｎ）２ 〕１／４
上式において  Ｄ＝ダクト直径（ｍ）
ｄｍ／ｄｔ＝質量流量（ｋｇ／ｓｅｃ ）
Ｌ＝ダクト長さ（ｍ）
Ｐｍｅａｎ＝平均圧力（Ｐａ）
により決まる値の７５％の直径または７５％以上の直径を有している段階と、
を具備している材料蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の属する技術分野
本発明は真空雰囲気で基盤に有機液体を蒸着するための改善された蒸発装置とその方法に関する。従来の装置と方法に対して、本発明は多くの種類の有機液体を蒸発することと、高信頼性のある連続運転と、保守点検の減少と、より多量でかつより一定の質量流量とを可能にしている。
【０００２】
本発明の背景および目的
多くの産業において、必要とされる材料で基盤を被覆するために蒸発−蒸着装置が使われている。そのような使用法が米国特許第４，２９０，３８４号、第４，８４２，８９３号、第４，４９０，７７４号、第４，３２５，９８６号、第４，５４３，２７５号に例示されている。特に、有機化合物が保護材料とか、製品包装とか、掲示物とか、電子装置とかのように多様な応用に被膜として使われている。
【０００３】
有機材料の薄い被膜を基盤に蒸着させる過程は三つの主な段階からなる。第一は、化合物が蒸発される段階。第二は、有機蒸気が基盤に輸送される段階。第三は、蒸気が基盤に凝縮される段階である。しかしながら、蒸発段階は最終の凝縮段階と本来的に矛盾するものである。たやすく蒸発する有機化合物は凝縮するのが困難で、蒸発するのが困難な化合物は凝縮するのが容易であるからである。というのは凝縮過程は制御するのに困難な多くの過程により影響を受けるので、凝縮の可能性を高くするために、十分低い温度で有機化合物を蒸発出来る蒸発器技術の開発に努力が集中されている。
【０００４】
多くの産業上の用途への要求を満たすために、蒸発−蒸着装置と方法とが広範囲の液体を使用することを可能にしていて、材料の重合化または劣化をさけるために低温度および低圧力で運転されており、広範囲の質量流量を実現していて、保守点検の必要性なしに十分な時間連続運転されており、対象基盤上への材料の均一な蒸着を実現している。
【０００５】
有機化合物の蒸発と基盤への蒸着のための従来の方法と装置とは、米国特許第４，８４２，８９３号に示めされるような超音波式蒸発器（Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ｅｖａｐｏｒａｔｏｒｓ）とか米国特許第４，９５４，３７１号に示めされるようなスピンニングディスク（ｓｐｉｎｎｉｎｇ ｄｉｓｋ ）／加熱壁式蒸発器とかを含んでいる。
【０００６】
超音波式蒸発器は、典型的にはホーン形状構造物の中心部の中の液体分配器を介して液体を供給する液体放出装置を具備している。ホーン形状構造物が一方の端部で朝顔状に開いていて、加熱壁を有する閉じた蒸発チャンバーの中に配置されている。分配器からの蒸気は１２０度の角度でコーン部分にキャピラリー作用により引かれる。正弦波状の加速を受けているホーンが液体に力を付与していて、さらに液体を加速しているのと同様に正弦波状の圧力変動を誘発している。加速の度合はホーンの表面上での液体に対するホーンの固体表面の有効結合力による。ホーンの作用により加速された液体は、小さな液滴に分離しホーンをはなれ加熱壁に突き当り蒸発する。
【０００７】
しかしながら、超音波による蒸発過程が低圧力雰囲気で行なわれると問題が発生する。大気圧下では、ホーンの固体表面と液体の間の結合力は加速しかつ液滴を形成するのに十分である。圧力が低下すると、液体のより揮発性の成分の蒸発が液体とホーン表面との間で蒸気の空洞部を形成し、ホーン表面から液体を離し、その結果液滴の形成を抑制する。そのため大きな液滴が蒸発器の壁に突き当り、液滴内部での温度勾配と温度上昇とにより液体が重合化する。低圧雰囲気での超音波式蒸発器は重合化した液体の洗浄が必要とされる前のわずかな時間しか運転することが出来ない。このことは超音波式蒸発器の設計の固有の結果であるので、超音波式蒸発器は高圧力雰囲気だけで運転することが出来、低圧力雰囲気での液滴形成に不適切なものである。
【０００８】
通常のスピンニングディスク／加熱壁式蒸発器は、回転円板に液体の液滴を放出すのにキャピラリーフィーダーを使っていて、回転円板は液滴を加熱容器の中で加速しており、加熱容器は液滴を蒸発する。スピニングディスクから噴出される際、液滴が少ないと、続いてくる液滴が噴出されて同じ蒸発器壁の表面部分に突き当る前に蒸発することが出来なくなる。その結果、重合化した材料または分解されなかった材料が新しく噴出された液滴と加熱源との間にバリアーを作ることとなる。運転の間に、本装置はすぐ蒸気の発生がなくなり、再三にわたり洗浄が必要となる。これは、噴出された液滴が加熱壁に接触するのに対する表面積に制限があることによる当然の結果である。解決方法は、小さな壁面積への液体材料の連続した噴出をさけるために、可能ならスピニングディスクを垂直方向に一定に調節することによる、接触面積の増加を必要とすることである。
【０００９】
通常のスピニングディスク式蒸発器と超音波式蒸発器は低圧力雰囲気での有機液体の効果的な使用を妨げている。両方の運転方法では、被覆される基盤の被膜厚さの変動を招く質量流量の変動に当面する。現在そのような通常のスピンニング式蒸発器と超音波式蒸発器とにおいて、容積式ポンプを使用することにより、液体材料を一定の体積流量で装置の中に送り込むことにより一定の気体流量を発生させる試みが行なわれている。しかしながら、蒸発器の中の低圧力が給水管（ｆｅｅｄ ｔｕｂｅ ）での低圧力を生ずるという複雑な問題を生じさせる。というのは商業的な形態において必要とされる有機液体蒸気圧の変化を伴なう化合物の混合で、給水管内の低圧力はある程度蒸気圧の高い成分が蒸発器に送り込まれるのに先立って給水管内で蒸発を起こし、それにより給水管内にて蒸気の空洞を作り出し、蒸気空洞より入口側にある液体を急速に排除し、さらに給水管内に蒸気空洞があると液体が流れないことになる。この流量変動を最小にするために、従来技術における蒸発器は給水管と蒸発部分との間に接して長いキャピラリーチューブと一体化した給水装置を使っている。キャピラリーチューブは液体流れに対し粘性摩擦抵抗となり、そのため給水管内の圧力を保持している。しかしながら、この解決方法はキャピラリーチューブ内低圧力部分を完全に取り除けない。その結果、ある種の有機液体成分は以前としてキャピラリーチューブを出る前に蒸発する傾向があり、キャピラリーチューブの中で蒸気空洞を発生しそして液体流れ脈動と蒸発器内での圧力脈動を起こす。液体と蒸気との交互の噴出は基盤の被覆厚さの変動を生じさせる。
【００１０】
付け加えると、超音波式蒸発器および通常のスピニングディスク式蒸発器は必要な液体を蒸発器に放出すためのキャピラリー作用に共通の依存性があって、蒸発される液体の粘度が１００ｃｐｓ 以下に制限されていることである。粘度が１００ｃｐｓ を超えると、液体をキャピラリーから放出すのに必要な圧力が非常に高くなる。圧力の増加は液体の剪断応力を上昇させ、そのためキャピラリーチューブ内での重合化を招き、その結果チューブの詰り（ｃｌｏｇｇｉｎｇ）が急速に生じる。室温で１００ｃｐｓ 以上の粘度を有する流体を分配するためには液体を加熱することである。しかしながら、加熱することは液体を重合化しやすくそのためまた詰りを招くことになる。
【００１１】
結局、急速な重合化物の形成または有機液体の劣下のために超音波式蒸発器および通常のスピニングディスク式蒸発器の両方とも運転時間が短かくなる。運転時間が短かいことは生産性において効率が悪く不利な影響を与えることになる。
【００１２】
発明の要約
本発明は有機液体の蒸発と蒸着のための現状の方法と装置とを上廻る顕著な改善を提供するものである。
液体有機材料が、中心軸の周りを水平に回転する加熱面の中心に配置された貯蔵場所に制御可能に放出されている。加熱面が回転すると、中心の貯蔵場所に沈積している材料は外向きに力を受けて回転面を横切る。材料が半径方向に移動すると、材料は蒸発して蒸気になり、それから蒸気は一つまたはそれ以上のノズルに輸送される。ノズルから蒸気が基盤に注入され、凝縮する。
【００１３】
導管と液体放出装置と一体となった時間的に変動するオリフィスが、通常の蒸発器における圧力の制限と分子量との制限なしに、蒸発器に液体を供給する。導管のサイズを増加しキャピラリーフィーダーの使用をさけることにより、本発明は通常の蒸発器における早期における蒸気の発生の問題を回避し、さらに高分子量化合物に伴なって生じる詰りの問題も回避している。
【００１４】
付け加えると、蒸発面として大きな回転面を使用することにより、本発明は液体と熱的接触に利用可能な表面積を十分に増加させている。
【００１５】
結局、本発明は低圧力雰囲気で運転するので、通常の蒸発器と異なり、凝縮と均一な蒸着がより容易に行なえる。
【００１６】
本発明における目的は、単一の蒸発器で使用することの出来る有機液体の範囲を増加する装置と方法を提供することである。
【００１７】
本発明におけるもう一つの目的は、連続運転時間を増加することと、保守点検の必要性を減少することにより蒸発器の生産性を改善する装置と方法とを提供することである。
【００１８】
本発明におけるさらなる目的は、従来の蒸発器に対し大きくてかつより一定な質量流量を提供する装置と方法と、および、対象基盤に均一な蒸着を提供する装置と方法と、を提供することである。
【００１９】
本発明におけるさらなる目的は、従来技術における蒸発器において生じている流れの脈動と圧力の脈動とを、取り除いた装置と方法とを提供することである。
【００２０】
本発明におけるさらなる目的は、分子の化学的結合力をクラッキングすることなしに蒸発出来る液体分子量のサイズを増加する装置と方法とを提供することである。
【００２１】
本発明におけるさらなる目的は、従来技術における蒸発器と比較してより小さな分子の凝縮能力を高めることである。
【００２２】
詳細な説明
図１は有機液体の蒸発および凝縮装置を示めしている。蒸発装置（図示されていない）の入っている蒸発チャンバー１がダクト２により凝縮チャンバー３に接続されている。蒸発装置を駆動するモーター４と、液体を蒸発装置に制御して放出すことの出来る液体放出装置５とがまた蒸発装置に接続されている。図１において各コンポーネントの相対的な位置は説明用として準備されたもので、本発明を図示されている配置構成に制限するものではない。図２およびより詳細には図３に示めされるように、蒸発チャンバー１に入っている蒸発装置６は、面７構造物の中心にあるくぼみ８を伴なったほぼ水平に配置された面７を具備していて、そのくぼみは液体材料の貯蔵場所としての役割を果すことが出来る。液体出口９がくぼみ８の近傍に配置されていて、導管１０によりその液体出口に取り付けられている液体放出装置５からの液体を制御可能に放出することが出来る。面７はそれ自身で回転され加熱されることが出来る。面７は抵抗加熱か、フォイルヒーター〔例えば約０．７７５Ｗ／ｃｍ２ （５Ｗ／インチ２ ）発熱密度のカプトンフォイルヒーター（ｋａｐｔｏｎ ｆｏｉｌ ｈｅａｔｅｒ）〕を貼りつけるか、面７の底部に熱を放射する固定コイルによる輻射加熱かのいずれかで加熱されてもよくて、または面７の近くに位置する閉空間部１１に加熱材料を置くことにより加熱されてもよい。面７がモーター４に直接または間接に連結されていて、そのモーターは面７が回転するように面７に力を加えることが出来る。
【００２３】
液体材料の蒸発は、表面のくぼみ８に沈積している液体材料を加熱することおよび遠心力を与えることにより行なわれる。面７が回転している時、回転している面７の中心のくぼみ８の中にある液体材料に働く遠心力が、液体を回転している面７を横切って半径方向に移動している薄い層の中に外側に向けて押し出す。回転している面が加熱要素と熱的に接触しているので、熱が面７と薄い液体層との間に働いてその液体を蒸発する。
【００２４】
図３に蒸発装置６の好適な実施の形態が示めされている。面７が円板のようなほぼ平らな円形の面で、駆動シャフト１３と一体になっている。円板７の中心に配置されているのは環状くぼみ８で、そのくぼみの中に時間的に変化するオリフィス（ｔｉｍｅ ｖａｒｙｉｎｇ ｏｒｉｆｉｃｅ）かまたはパルスフロー弁（ｐｕｌｓｅ ｆｌｏｗ ｖａｌｖｅ）９が載置されている。円板の直径は円板と液体との間に接触する十分な表面積を有する大きさであるべきで、それにより広い範囲の液体が蒸発されることになる。一例として、ステンレス鋼から機械加工されていて約２０．３ｃｍ（約８インチ）の直径を有する円板が使われている。
【００２５】
パルスフロー弁９は電気式のパルス巾変調バルブでよくて、同様のパルス巾変調バルブは現在広く使用されている自動車用の燃料噴射装置に使われていて、多くの文献がある。本技術が米国特許第４，５４５，３５２号および第４，７８２，８０７号と同様にＳＡＥＴ技術文献シリーズ８８０４２１、８８１０９８、８５０４５３、８４０２７３に説明されている。駆動シャフト１３は固定可能にプーリー１４に取り付けられていて、プーリーのまわりにモータ４に係合されているベルト１５が係合されている。駆動シャフト１３の中に配置されているのは導管１０で、その導管を通って液体材料が液体放出装置５からパルスフローバルブ９の中へ流れ、周期的に環状くぼみ８の中に流れ込む。蒸発装置６の外縁内面近傍であるが円板それ自身７とは連絡していない蒸発装置６の外縁内面近傍はバリアー１６である。そのバリアーは、蒸発しなくてかつそのために円板７から容易に噴出される材料を受け入れる。バリアー１６のほぼ真下に配置されているポート１７が通路の機能を果していて、その通路を介して真空ポンプ〔図示されていない〕により真空に引かれており、バリアーにより受け入れられた材料を吸引しかつ材料を継ぎ手２３ａを介してチルトラップ（ｃｈｉｌｌ ｔｒａｐ：図示されていない）に移送する。
【００２６】
円板７は、高温液体好ましくは高温油を使って加熱されていて、その液体は制御可能に空間部１１に流し込まれており、その空間部は収納部２０により囲まれていて円板７の底面により空間部の頂部で区切られている。高温液体がポート１９ａを介して空間部１１の中へ流れ込み、ポート１９ｂを介して空間部１１から流れ出す。中に高温液体が入っている空間部１１は、高温液体と蒸発している材料とのどのような混合をも防ぐためにシールされている。そのような混合は蒸発している液体材料を汚染し、必要とされる使用に対し悪影響を与える。図３に示めされるように、高温液体と蒸発している材料との効果的な分離を実現するために二つのシールを使用することが好ましい。頂部シール２１ａが円板７の頂部表面と空間２２とを連絡している部分をシールしていて、底部シール２１ｂは高温液体の入っている空間部１１と空間２２とをシールしている。空間２２は通路２４と継手２３ｂを通ってチルトラップ（図示されていない）に接続されている。二重シール構造の長所は、もし底部シール２１ｂを介して高温液体の漏洩かまたは頂部シール２１ａを介して液体材料の漏洩かどちらかがあれば、漏洩はチルトラップ〔図示されていない〕にトラップされ、そしてシールが破損し交換が必要であることを使用者に知らせる。付け加えると、円板面７の外縁を囲んでラビリンスシール３８があり、そのラビリンスシールは、どのような材料がシール部分の中に侵入してくることもさらに防止している。というのは遠心力が、材料のシールに向かっての半径方向内側への移動を防止しているからである。ラビリンスシール３８は、シール面を傷つける重合化材料の小粒子のような汚染物質がラビリンスシールに到達することを防止している。
【００２７】
二つのテーパー付きローラー軸受（ｔａｐｅｒｅｄ ｒｏｌｌｅｒ ｂｅａｒｉｎｇ）２６ａと２６ｂとが収納部２０の内側で駆動シャフト１３の近傍に配置されていて、ダブルナットとロッキングワッシャーにより固定可能に位置決めされている。空間部１１の中の高温液体がテーパ付きローラー軸受（２６ａ）と接触していて、それにより潤滑剤としての役目をしているが、連続的に軸受２６ａを介して流れない。下部軸受２６ｂは上部軸受２６ａと協働して作動している。軸受２６ａと軸受２６ｂとはテーパー付きで駆動シャフト１３のナットにより一緒に引張られる。キャップ２９は収納部２０の基底部に配置されていて囲い部分の役目をしている。蒸発装置６の開示された構成要素に付け加えて、ボルトと“Ｏ”リングと小さなシャフトシールとを含めてこれに限らないが他の要素があって、それらの要素は本発明の実施にあたり使用されるが詳細な説明は行なわない。というのは、それらの要素は技術的に詳細にわたるもので、メカニカルシール装置を製作している当業者には公知であるからである。例としては、液体材料が導管１０に漏洩するのを防止するためにパルスバルブ９の基底部に配置されたシールと、バルブ９が閉じた時液体材料が漏洩しないことを保証するためのパルスバルブ９の頂部の“Ｏ”リングとが含まれている。
【００２８】
液体放出装置が好適な実施の形態との関係で説明される時、一般の蒸発装置に現在使われている液体放出装置が本発明に使われていてもよい。液体放出装置５における好適な実施の形態が図４に示めされている。本装置がアキュムレーター３０とスクリュー駆動で容積式ポンプ３１とを具備していて、そのポンプは液体材料を一定流量で分配している。アキュムレーター３０がティー継手３６の第一の入口に接続されている。ポンプ３１がティー継手３６の第二の入口に接続されている。一つの実施の形態において、導管１０が約０．６３５ｃｍ（約０．２５インチ）の内直径の大きさであって、継手３６の第三の入口に接続されている。
【００２９】
アキュムレーター３０が好ましくはアキュムレーター３０と円板１７との間の距離を最小にするように導管１０と接続されている。アキュムレーター３０の円筒状の格納部３２がフローティングピストン（ｆｌｏａｔｉｎｇ ｐｉｓｔｏｎ ）３３を有していて、そのピストンは“Ｏ”リング３４により格納部３０の内側面でシールされている。ピストン３３は慣性を最小にするために好ましくは中空で、アルミニウムのような軽い金属材料で作られている。ピストン３３がアキュムレーター３０と導管１０の境界面に面する平らな固体面を有していて、アキュムレーター３０における利用出来ない体積を最小にする役目をしている。ピストンと向き合う端部は、空気源（図示されていない）と接続するレギュレーター３５により加圧されている。
【００３０】
駆動シャフト１３の中に配置された導管１０が液体材料をパルスフローバルブ９に放出していて、その材料を円板７の環状くぼみ８の中心に分配している。パルスフローバルブの好適な実施の形態が図６に示めされている。導管１０は水平に配置された穴４４を有する円筒状の鋼製ブロック４２に固定可能に接続されている。蒸発器アセンブリー４９は有機材料が蒸発する面７から構成されていて、駆動シャフト１３と一体となっている。くぼみ８はアセンブリー４９と一体になっていて、面７の下側に伸びていて、導管１０と同心に配置されている。底面４８を有する円筒状の突出部４７がくぼみ８の内部にあってアセンブリー４９と一体となっている。ＰＴＦＥカップ４０が突出部４７に対し同心に配置されていて、そのカップは底部４８に取り付けられていてアセンブリー４９と共に回転する。ブロック４２がＰＴＦＥカップ４０の中に同心で載置されている。液体材料が蒸発器から流れ出すこと及び／又は空気が蒸発器に流れ込むことを防ぐために、シール４３がＰＴＦＥカップ４０の下に配置されていて、好ましくはリップシール４３がアセンブリー４９に機械加工された環状溝５０の中に押込まれている。横断通路４４がブロック４２に、横断通路４５がＰＴＦＥカップ４０に、横断通路４６が円筒状突出部４７にそれぞれ備えられている。突出部４７の横断通路４６はくぼみ８の底部に接続している。ブロック４２が導管１０に固定されてかつ回転しない時ＰＴＦＥカップ４０はアセンブリー４９と共に回転するので、ブロック４２の中の通路４４とＰＴＦＥカップ４０の中の通路４５とはアセンブリー４９一回転につき一回同一直線上に配列される。特に回転の途中で、横断通路４４と４５とは同一直線上に配列されないで相手の直径の端部と接触していて、続いて通路同士が重なり重なりが増加し十分に重なる、そして再び同一直線上に配列されなくなるまで重なりが減少してゆく。ブロックの通路４４とＰＴＦＥカップ４５との周期的な重なりが、くぼみ８の中への液体の分配を可能にする。
【００３１】
本発明の範囲は特殊な構造の寸法またはパルスフローバルブの運転パラメーターを制限するものではなくて、本発明の好適な実施の形態においてはブロック４２が約２．５４ｃｍ（約１インチ）の外径を有していて、横断通路４４と４５と４６とは約０．６３５ｃｍ（約０．２５インチ）の直径を有している。その結果横断通路は、ブロック４２の円周方向に対して計測すると最大約１．２７ｃｍ（約０．５インチ）の円周方向の重なりを持ち、回転時間の約１６％重なりを持つ。通路同士が重なっている間バルブは“開”と見なされ、ポンプ３１からの材料とアキュムレーター３０に貯蔵されている材料とがくぼみ８に流れ込みそして面７を横切って流れ出してゆく。
【００３２】
導管１０およびパルスバルブ９と共に液体送り出し装置５が運転されて、有機液体を円板７の中心に配置された環状くぼみに周期的に供給する。ポンプ３１は有機液体を一定流量で送り出す。バルブ９が閉じられると、空気により加圧されているアキュムレーター３０はポンプ３１からの流出有機液体を受け入れる。バルブ９が開くとポンプ３１からの直接な流れと共にアキュムレーター３０に貯蔵された液体は環状くぼみ８に分配される。アキュムレーター３０を加圧している気体が、導管１０に流れ込む液体および開いているバルブ９から流れ出す液体を加速するべく作用する。
【００３３】
バルブの操作をモデル化して、非線型の微分方程式が導びかれる：
ｄＶ／ｄｔ＋Ｖ２ ／（２ＫＬ）（Ａｔ ／Ａｏ ）２ ＝Ｐａ ／（ρ′Ｌ）
上式において  ρ′＝ρ（１＋β）
ρ＝流体密度
β＝補正係数〜０．０５
Ｖ＝導管内の流体速度
ｔ＝時間
Ｋ＝バルブのオリフィス係数
Ｌ＝導管長さ
Ａｔ ＝時間に対し変化するバルブの開口面積
Ａｏ ＝バルブのオリフィス面積
Ｐａ ＝アキュムレーターの圧力
方程式を解くと、設計が異なる条件に対し適用可能であることが判明し、かつ導管の大きな直径に対して例えば粘度のような液体の化学的組成の変数により大きな影響を受けないことが判明した。
【００３４】
パルスバルブ９が、高粘度の液体へ使用することから生ずる容積式ポンプの一次的な制限およびポンプと出口との間でのガス抜き必要性を多少緩和できるという追加的な利点を有している。これら制限は特に起動時のドルーリング（ｄｒｏｏｌｉｎｇ）と非常に少ない流量下での流量の均一性と、パルス流れ状態または流れの休止状態を作り出すことの困難さと、各々の有機液体および液体各々の流量とに対する多数のキャピラリーサイズの必要性とを含んでいる。付け加えるとパルスバルブの形状は、現在蒸発器に使用されているキャピラリーフィーダーが当面している早期蒸発という問題を受けにくい。
【００３５】
図１より詳しくは図５に示めされるように、ダクト２は蒸発チャンバー１を凝縮チャンバー３に接続していて、蒸発した材料を凝縮チャンバー３に輸送する。一たん凝縮チャンバー３に入ると、蒸気は一つまたはそれ以上のノズル３７を通過して基盤に注入される。本発明はコンパクトディスクから３メーターの広さのウェブコーター（ｗｅｂ ｃｏａｔｅｒ）にまでにいたるまでの多種多様な基盤の被覆に使用されてもよくて、ここで提供されている説明は参考に便利なようにウェブコーターを引用している。
【００３６】
ダクトの温度と圧力とは、蒸発チャンバーから発生された蒸気がダクト２の中で凝縮または重合化しないように調節されなければならない。ダクトの温度と圧力とは蒸発または凝縮される有機液体の特性値による。蒸気−温度線図および熱硬化感受性のような物性値を解析することにより、適切なダクトの温度と圧力とを決定することは、当業者の技術にかかわることである。ダクトの温度は抵抗加熱かまたは必要な温度の液体に熱的に接触させてダクトを据えることかのどちらかにより調節してもよい。理想的には、ダクト２がそれほど長くなければ、圧力損失が小さくて温度調節の必要もない。経験的には、ダクトの長さは最小にすべきである。蒸気をノズルに輸送するのに使用されるダクトの代表的な条件は以下のとうりである。
１）ダクトにおけるノズル長手方向にそっての摩擦による５％の圧力変動
２）蒸気温度４５０Ｋ
３）分子量６００
【００３７】
最終的な製品上に一定の凝縮厚さを効果的に得るために、ノズルから出てゆく蒸気の流れはノズルスロット部でチョーク状態、言いかえると音速状態でなければならない。音速は、スロット部での圧力が十分に小さい場合、即ち入口圧力（Ｐ１ ）に対する出口圧力（Ｐ２ ）の割合が臨界値に等しいか小さい（Ｐ２ ／Ｐ１ ≦ＣＶ）場合に得られる。大分子量においては、圧力損失が０．６より小さい（下流圧力＜ノズルへの流入圧力の６０％）とチョーク流が発生する。
【００３８】
音速になると、ウェブ厚さの唯一の変化源がダクトの長手方向に沿った粘性摩擦損失となる。というのは蒸気速度はノズルのスロット部で音速に固定されるので、質量流量の変化だけと、それによる凝縮膜の厚さだけが蒸気密度の変化となる。蒸気密度の変化はまた圧力変化に比例する。一定の蒸発速度を仮定すると、圧力の変化の源だけが、ダクトの長手方向に沿った粘性摩擦損失である。
【００３９】
ノズルの巾とダクトの直径とを必要な圧力損失が得られるように設計することは重要なことである。というのはノズルスロットル部で必要とされるＰ２ ／Ｐ１ 割合を満足するのに十分な圧力損失が必要とされるからである。蒸気を輸送するために従来技術において細いダクトが使われているが、太いダクトは現在使われている細いダクトをしのぐ顕著な利点を有している。とくにダクト２のサイズは、ダクトの長手方向に沿っての圧力損失が許容変動範囲より小さくなるように、十分に太くなければならない。もしダクトに沿った圧力損失が余りに大きいと、臨界値が超過されて膜厚の変動範囲の最大値は守れなくなってしまう。太いダクトは蒸発運転圧力を低下させる。蒸発運転圧力の低下は必要とされる蒸発運転温度を低下させ、それにより重合化とクラッキングとを最小にし、蒸気へ与えるエネルギーは少なくて大分子量の蒸発を可能にしていて、その蒸気が引き続き凝縮に使われている。本発明において凝縮の容易さが増すので、低分子量の範囲を広げてもよい。
【００４０】
ウェブを横切る均一性は、一定の高さで、ウェブの巾に等しい巾で、上流側の圧力が一定であるノズルを通るチョーク流れにより得られる。しかしながら、特にもし蒸発器の圧力を低く保つと体積流量が非常に大きくなって、ノズルに接する上流の圧力を一定に保つ事が困難になる。
【００４１】
基盤上で均一な凝縮を得るために使われるダクトの直径とノズルの巾とを決定するために、以下の関係式が使用される：
ダクト直径（Ｄ）＝３．５〔（ｄｍ／ｄｔ）×Ｌ／（Ｐｍｅａｎ）２ 〕１／４
上式において  Ｄ＝ダクト直径（ｍ）
ｄｍ／ｄｔ＝質量流量（ｋｇ／ｓｅｃ ）
Ｌ＝ダクト長さ（ｍ）
Ｐｍｅａｎ＝平均圧力（Ｐａ）
ノズル開口巾（ｈ）＝〔ｄｍ／ｄｔ（ＰｍｅａｎＬ）〕〔（ＲＴ）／（ηγ）〕１／２ 
上式において  ｄｍ／ｄｔ＝質量流量
Ｐｍｅａｎ＝平均圧力
Ｌ＝ノズル長さ
Ｒ＝気体定数＝８３１５Ｊ／モル−ｋ
Ｔ＝温度  Ｋ
η＝分子量
γ＝蒸気の断熱膨脹指数
（約１．５  大分子量に対して）
【００４２】
ダクト直径の関係式は前述の完全微分方程式を簡略化したものである。経験的に、蒸気温度（４５０Ｋ）と分子量（６００）とにおける前述のダクトの一般条件は、蒸気温度に対し約４２０Ｋから約５６０Ｋの変動で、分子量に対しては約２００から約１０００の変動である。というのは最適なダクトの直径は装置の実際の蒸気温度と材料の分子量とにより部分々々で決定されるからである。蒸気温度と分子量との変動は最適なダクト直径のための範囲を規定するのに使用することが出来る。変動範囲の最小値の近似値は、前述の関係式により与えられる中央値のパーセント割合として以下の計算式により計算することが出来る。
ＰＣＶｍｉｎ ＝〔（ＶＴｍｉｎ ／ＶＴｃｅｎｔｒａｌ ）〕１／４ ×〔（ＭＷｍｉｎ ／ＭＷｃｅｎｔｒａｌ ）〕５／２４
上式において  ＰＣＶｍｉｎ ＝中央値のパーセント割合（最小）
ＶＴｍｉｎ ＝蒸気温度（最小値）＝４２０Ｋ
ＶＴｃｅｎｔｒａｌ ＝蒸気温度（中央値）＝４５０Ｋ
ＭＷｍｉｎ ＝分子量（最小値）＝２００Ｋ
ＭＷｃｅｎｔｒａｌ ＝分子量（中央値）＝６００Ｋ
同様にして変動範囲の最大値の近似値は、以下の計算式により計算することが出来る。
ＰＣＶｍａｘ ＝〔（ＶＴｍａｘ ／ＶＴｃｅｎｔｒａｌ ）〕１／４ ×〔（ＭＷｍａｘ ／ＭＷｃｅｎｔｒａｌ ）〕５／２４
上式において  ＰＣＶｍａｘ ＝中央値のパーセント割合（最大値）
ＶＴｍａｘ ＝蒸気温度（最大値）＝５６０Ｋ
ＶＴｃｅｎｔｒａｌ ＝蒸気温度（中央値）＝４５０Ｋ
ＭＷｍａｘ ＝分子量（最大値）＝１０００Ｋ
ＭＷｃｅｎｔｒａｌ ＝分子量（中央値）＝６００Ｋ
計算すると、温度および分子量各々の最小値と最大値との範囲で最適なダクトの直径は公称値の２５％の範囲と規定される。経験的に、ダクトの直径は少なくとも公称値の７５％より大きくすべきである。
【００４３】
軸方向に沿って巾が変化するノズルを使用することにより、さらにダクト／ノズル装置における質量流量の５％の変動を相殺することが可能である。というのはノズルを通過する質量流量はノズルの面積に比例していて、正確に設計されたノズル面積の変動を生ずる巾の変動は、質量流量の変動を５％に相殺することが出来る。例えば１０ｍｍから１０．５ｍｍにテーパー広がりのノズルを使うことが出来る。
【００４４】
本発明における液体放出装置と蒸発装置を最適に運転するために、運転の目的がまもられねばならない。蒸発器は低圧力で運転すべきである。というのは低圧力は有機液体の重合化物が蒸発するのを防ぎ、凝縮を容易にするより低温の蒸気を発生することを可能にするからである。現状の蒸発装置とは異なって、本発明は早期の蒸気の発生およびそれに引き続く質量流量の大きな変動なしに、低圧力で運転することが出来る。
【００４５】
付け加えると、広範囲の質量流量での使用を可能にするために、液体放出装置の蒸気に接触する加熱液体の十分な表面積がなければならない。通常のスピニングディスク／壁加熱式蒸発器とは異なって、本発明は液体が容易に導びかれかつ蒸発する大きな表面積を備えていて、それにより質量流量の劇的な増加が可能となった。
【００４６】
蒸発面上の液体の不均一な蒸発をさけるために回転表面上の液体層は、液体の不完全な蒸発または液体の不完全な重合化を招く温度勾配の発生をさけるのに十分に薄くなければならない。本体の中の温度の均一性がＢｉｏｔ数で計測されていて、そのＢｉｏｔ数は、本体への入熱への本体の熱抵抗に対する熱流束への本体の内部熱抵抗の割合に等しい。
Ｂｉｏｔ数（Ｂｉ）＝ｈｔ／ｋ
上式において  ｈ＝膜係数
ｔ＝膜厚さ
ｋ＝熱伝導率
上式においてＢｉ＜＜１であるなら本体を通過する温度は一定と考えられる。例えば、すべてのアクリ類の熱伝導率はせっ氏１００度でほぼ０．２〜０．３Ｗ／Ｍ−Ｋであり、液体と個体との境界の膜係数は約１００Ｗ／Ｍ２ −Ｋである。必要とされる均一な温度を得るために、Ｂｉｏｔ数は１より十分に小さくなければならない。この場合、約０．１ｍｍ（約０．００４インチ）の膜の厚さでは、Ｂｉｏｔ数が０．０４となり、膜はほぼ均一な温度であることを示めしている。
【００４７】
与えられた前述の運転パラメーターを守ることにより、本発明は多くの種類の有機液体の蒸発に使用することが出来て、従来の蒸発器を上廻る相対的に一定の質量流量の維持と運転時間の増加が実現される。
【００４８】
本発明は好適な実施の形態に関連して説明されているが、本発明はこれらの本実施の形態に制限されるものでなくて、前述の特許請求の範囲に規定されている本発明の範囲に含まれるすべての代案と変更と等価の形態を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は有機液体の蒸発および凝縮装置の概略図である。
【図２】図２は好適な実施の形態における有機液体蒸発器の斜視図である。
【図３】図３は本発明の実施にあたっての好適な実施の形態における有機液体蒸発器の図２のＡ−Ａに沿った断面斜視図である。
【図４】図４は好適な実施の形態における有機液体蒸発器の液体放出装置の拡大斜視図である。
【図５】図５は最終製品用に蒸発器内部で発生された蒸気の輸送における平面概略図である。
【図６】図６は好適な実施の形態における有機液体蒸発器のパルスフローバルブ部分の断面斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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