(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子をターゲットに向けて微粒子流として噴き出す火炎発生手段を有し、
軸方向に前記火炎発生手段と相対的に移動し、軸と直交する向きに回転するターゲットをチャンバ内に収納し、
該チャンバ内のガスを排気する排気口を有し、
前記排気口から排気されるガスと、前記火炎発生手段から供給されるガスにより前記チャンバ内に生じるガス量収支分相当のガス量を前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引する吸入口を有し、
前記吸入口は、前記吸引されたガスが、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位において前記ターゲットへの付着を行わせるように前記吸引されたガスの向きを変える整流部材を有し、
前記整流部材は、回動によって前記吸引されたガスの向きを変化させる回動可能な整流ベーンである、
ことを特徴とする、
光ファイバ多孔質母材の合成装置。
【請求項２】
前記チャンバ内に配置され、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分を収容し、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーをさらに有し、
前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられることを特徴とする、
請求項１記載の光ファイバ用多孔質母材の合成装置。
【請求項３】
光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子をターゲットに向けて微粒子流として噴き出す火炎発生手段を有し、
軸方向に前記火炎発生手段と相対的に移動し、軸と直交する向きに回転するターゲットをチャンバ内に収納し、
該チャンバ内のガスを排気する排気口を有し、
前記排気口から排気されるガスと、前記火炎発生手段から供給されるガスにより前記チャンバ内に生じるガス量収支分相当のガス量を前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引する吸入口を有し、
前記チャンバ内に配置され、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分を収容し、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーをさらに有し、
前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、
前記吸入口は、前記吸引されたガスが前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を前記ターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位において前記ターゲットへの付着を行わせるように前記吸引されたガスの向きを変える整流部材を有し、
前記整流部材は、前記ベルジャーの挿入方向に沿って、前記ベルジャーへの挿脱位置が変化されるベーンである、
ことを特徴とする、
光ファイバ多孔質母材の合成装置。
【請求項４】
光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子をターゲットに向けて微粒子流として噴き出す火炎発生手段を有し、
軸方向に前記火炎発生手段と相対的に移動し、軸と直交する向きに回転するターゲットをチャンバ内に収納し、
該チャンバ内のガスを排気する排気口を有し、
前記排気口から排気されるガスと、前記火炎発生手段から供給されるガスにより前記チャンバ内に生じるガス量収支分相当のガス量を前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引する吸入口を有し、
前記チャンバ内に配置され、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分を収容し、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーをさらに有し、
前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、
前記吸入口は、前記吸引されたガスが前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を前記ターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位において前記ターゲットへの付着を行わせるように前記吸引されたガスの向きを変える整流部材を有し、
前記整流部材は、フィルタと、該フィルタと前記ベルジャーの間隙を接続する伸縮自在部材とを有し、
前記フィルタの位置が前記吸引されたガスの向きを変化させるように移動されることを特徴とする、
光ファイバ多孔質母材の合成装置。
【請求項５】
前記整流部材は、前記ターゲットの直径の変化に応じて変化する前記ガラス微粒子の流れを、前記残ったガラス微粒子が常に前記ターゲットの側面及び背後に押し付けられるように前記吸引されたガスを調整する、
請求項１〜４いずれか１項記載の光ファイバ用多孔質母材の合成装置。
【請求項６】
前記ターゲットの直径を測定する手段と、
該測定されたターゲットの直径に応じて前記整流部材の位置を決定する手段と、
該決定された整流部材の位置に応じて前記整流部材の位置を変化させる駆動手段と
をさらに有する、
請求項５記載の光ファイバ用多孔質母材の合成装置。
【請求項７】
前記チャンバ内に前記吸入口からガスを圧送する手段をさらに有することを特徴とする、
請求項１〜６いずれか１項記載の光ファイバ用多孔質母材の合成装置。
【請求項８】
前記吸引されたガスに可燃ガスを含ませる、
請求項１〜７いずれか１項記載の光ファイバ用多孔質母材の合成装置。
【請求項９】
チャンバ内で光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎発生手段からの火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子を微粒子流として、軸と直交する向きに回転し軸方向において前記火炎発生手段と相対的に移動しているターゲットに向けて吹き付けてターゲットに付着させ、前記チャンバ内のガスを排気口から排気し、排気された分のガス量をチャンバの外部から整流部材を備えた吸入口を通して前記チャンバ内に吸引して光ファイバー用多孔質母材を製造する方法において、
前記整流部材は、回動によって前記吸引されたガスの向きを変化させる回動可能な整流ベーンであり、
前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけるように、前記吸入口を通して吸引されるガスを前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引することを特徴とする、
光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
【請求項１０】
前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分は、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーに収容されており、
前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられていることを特徴とする、
請求項９記載の光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
【請求項１１】
チャンバ内で光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎発生手段からの火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子を微粒子流として、軸と直交する向きに回転し軸方向において前記火炎発生手段と相対的に移動しているターゲットに向けて吹き付けてターゲットに付着させ、前記チャンバ内のガスを排気口から排気し、排気された分のガス量をチャンバの外部から整流部材を備えた吸入口を通して前記チャンバ内に吸引して光ファイバー用多孔質母材を製造する方法において、
前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分は、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーに収容されており、
前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、
前記整流部材は、前記ベルジャーの挿入方向に沿って、前記ベルジャーへの挿脱位置が変化されるベーンであり、
前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけるように、前記吸入口を通して吸引されるガスを、前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引することを特徴とする、
光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
【請求項１２】
チャンバ内で光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎発生手段からの火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子を微粒子流として、軸と直交する向きに回転し軸方向において前記火炎発生手段と相対的に移動しているターゲットに向けて吹き付けてターゲットに付着させ、前記チャンバ内のガスを排気口から排気し、排気された分のガス量をチャンバの外部から整流部材を備えた吸入口を通して前記チャンバ内に吸引して光ファイバー用多孔質母材を製造する方法において、
前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分は、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーに収容されており、
前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、
前記整流部材は、フィルタと、該フィルタと前記ベルジャーの間隙を接続する伸縮自在部材とを有し、
前記フィルタの位置が前記吸引されたガスの向きを変化させるように移動され
前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけるように、前記吸入口を通して吸引されるガスを、前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引することを特徴とする、
光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
【請求項１３】
前記吸引されるガスの向きを前記ターゲットの直径の大きさに応じて変化させることを特徴とする、
請求項９〜１２いずれか１項記載の光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
【請求項１４】
前記吸引されるガスに可燃ガスを含ませる、
請求項９〜１３記載の光ファイバ用多孔質母材の合成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、光ファイバ用多孔質ガラス母材の合成方法とその装置に関するものであり、特に、付着（収量）効率の高い光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、光ファイバ母材を製造するには、ＶＡＤ法によってコアおよびクラッドの一部を多孔質ガラス母材（スート）として製造し、ガラス化後さらに外付け（ＯＶＤ）法によって残りのクラッド部を合成している。このようにして形成された多孔質ガラス母材は、最終的に、中心に１０μｍ程度のコアとその外周に直径１２５μｍのクラッドを有する光ファイバに形成される。
上記多孔質ガラス母材を形成するいずれのプロセスにおいても、一般的に、酸水素バーナを用いて、原料ガス、例えば、ＳｉＣ１４  、ＧｅＣ１４  の蒸気を酸水素火炎中で加水分解して、ＳｉＯ２  、ＧｅＯ２  のガラス微粒子を形成し、このガラス微粒子を回転するターゲットヘ吹きつけてそのターゲットに付着（堆積）させている。
【０００３】
光ファイバの適用の拡大に伴って、光ファイバの製造価格の低下が要望されている。そのための１つの解決策として、多孔質ガラス母材の製造を効率よく行うことが必要になる。
これまで多孔質ガラス母材の製造を効率よく行う試みが種々行われている。
特開昭６２−１７１９３９号公報は、ＶＡＤ法において、バーナから噴射する火炎のゆらぎを少なくして火炎を安定させ、多孔質ガラス母材の堆積効率を向上させることを開示する。
特開昭６３−１２３８３１号公報は、ＶＡＤ法において、多孔質ガラス母材およびバーナの外周に高温のガスを流して透明ガラス母材内の気泡の発生を防止することを開示する。
特開平１−２４２４３１号公報は、堆積部の周囲をチャンバで包囲し、チャンバの排気口に向けて強制的に通気を送る送風機を設けて、チャンバ内の空気の流れを安定化させて、バーナの火炎およびガラス微粒子の流れを安定化することを開示する。
特開平２−２５２６３３号公報は、ＯＶＤ法において、バーナの火炎の左右をガスカーテンでシールして外気の混入を防止することを開示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これら上述した従来の方法では、ターゲットへのガラス微粒子の付着が充分でない。バーナの構造や条件によって異なるが、平均して、生成したガラス微粒子の高々５０％程度しか付着させることができない。
また、ターゲットに付着しなかったガラス微粒子は排気口からスクラバーに捨てられるから、ガラス微粒子の無駄になる。
さらに、スクラバーにおける処理費用が高くなるという問題がある。
従って、さらなる付着効率の向上が今後の光ファイバのコストダウンのためにも必要である。
【０００５】
上述した問題を解決する方法として、本願出願の発明者（出願人）は、ターゲットに対してバーナの反対側に位置するガラス微粒子の後流に、ガス流を吹きつける光ファイバ用多孔質母材の合成方法を提案している（たとえば、特願平４−３０１７００号）。
この光ファイバ用多孔質母材の合成方法の概要を図１６および図１７を参照して述べる。
図１６は、外付け（ＯＶＤ）法における光ファイバ用多孔質母材の合成装置の構成図である。３重管バーナ４には、中心にアルゴンガス（Ａｒ）  、ＳｉＣ１４  が導入され、その外側に水素ガス（Ｈ２  ）が導入され、さらにその外側に酸素ガス（Ｏ２  ）が導入されて、ガラス微粒子の火炎６が形成される。この火炎６は、コア２とこのコア２の外周に堆積されているクラッド８からなるターゲット１０に吹きつけられて堆積される。ターゲット１０は矢印Ｒの向きに回転させられながら、方向Ｔにおいて左右に移動させられる。
図１７に図解したように、バーナ４で発生したガラス微粒子流１１２はターゲット１０の周囲を流れて行くが、付着に寄与するのは、ターゲット１０の最も近傍の流線に沿った所を流れているガラス微粒子１１２に限られる。さらに、ガラス微粒子流は、ターゲット１０の背後１３ではターゲット１０の表面から剥離し、付着に寄与せずに排気される。
そこで、この背後１３に、ガス流れＡを吹き付けて、ターゲット１０からガス流れが剥離するのを防止している。これにより、ガラス微粒子がターゲットに付着する効率が高まる。
【０００６】
本件発明は、上記改善方法と異なる方法により、さらに効率のよい光ファイバ用多孔質母材の合成方法およびその装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１観点によれば、光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子をターゲットに向けて微粒子流として噴き出す火炎発生手段を有し、軸方向に前記火炎発生手段と相対的に移動し、軸と直交する向きに回転するターゲットをチャンバ内に収納し、該チャンバ内のガスを排気する排気口を有し、前記排気口から排気されるガスと、前記火炎発生手段から供給されるガスにより前記チャンバ内に生じるガス量収支分相当のガス量を前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引する吸入口を有し、前記吸入口は、前記吸引されたガスが、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位において前記ターゲットへの付着を行わせるように前記吸引されたガスの向きを変える整流部材を有し、前記整流部材は、回動によって前記吸引されたガスの向きを変化させる回動可能な整流ベーンであることを特徴とする、光ファイバ多孔質母材の合成装置が提供される。
【０００８】
本発明の第２観点によれば、光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子をターゲットに向けて微粒子流として噴き出す火炎発生手段を有し、軸方向に前記火炎発生手段と相対的に移動し、軸と直交する向きに回転するターゲットをチャンバ内に収納し、該チャンバ内のガスを排気する排気口を有し、前記排気口から排気されるガスと、前記火炎発生手段から供給されるガスにより前記チャンバ内に生じるガス量収支分相当のガス量を前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引する吸入口を有し、前記チャンバ内に配置され、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分を収容し、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーをさらに有し、前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、前記吸入口は、前記吸引されたガスが、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位において前記ターゲットへの付着を行わせるように前記吸引されたガスの向きを変える整流部材を有し、前記整流部材は、前記ベルジャーの挿入方向に沿って、前記ベルジャーへの挿脱位置が変化されるベーンであることを特徴とする、光ファイバ多孔質母材の合成装置が提供される。
【０００９】
本発明の第３観点によれば、光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子をターゲットに向けて微粒子流として噴き出す火炎発生手段を有し、軸方向に前記火炎発生手段と相対的に移動し、軸と直交する向きに回転するターゲットをチャンバ内に収納し、該チャンバ内のガスを排気する排気口を有し、前記排気口から排気されるガスと、前記火炎発生手段から供給されるガスにより前記チャンバ内に生じるガス量収支分相当のガス量を前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引する吸入口を有し、前記チャンバ内に配置され、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分を収容し、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーをさらに有し、前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、前記吸入口は、前記吸引されたガスが、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を、前記ターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位において前記ターゲットへの付着を行わせるように前記吸引されたガスの向きを変える整流部材を有し、前記整流部材は、フィルタと、該フィルタと前記ベルジャーの間隙を接続する伸縮自在部材とを有し、前記フィルタの位置が前記吸引されたガスの向きを変化させるように移動されることを特徴とする、光ファイバ多孔質母材の合成装置が提供される。
【００１０】
本発明の第４観点によれば、チャンバ内で光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎発生手段からの火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子を微粒子流として、軸と直交する向きに回転し軸方向において前記火炎発生手段と相対的に移動しているターゲットに向けて吹き付けてターゲットに付着させ、前記チャンバ内のガスを排気口から排気し、排気された分のガス量をチャンバの外部から整流部材を備えた吸入口を通して前記チャンバ内に吸引して光ファイバー用多孔質母材を製造する方法において、前記整流部材は、回動によって前記吸引されたガスの向きを変化させる回動可能な整流ベーンであり、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を前記ターゲットの側面および背後に押しつけるように、前記吸入口を通して吸引されるガスを、前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引することを特徴とする、光ファイバ用多孔質母材の合成方法が提供される。
【００１１】
本発明の第５観点によれば、チャンバ内で光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎発生手段からの火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子を微粒子流として、軸と直交する向きに回転し軸方向において前記火炎発生手段と相対的に移動しているターゲットに向けて吹き付けてターゲットに付着させ、前記チャンバ内のガスを排気口から排気し、排気された分のガス量をチャンバの外部から整流部材を備えた吸入口を通して前記チャンバ内に吸引して光ファイバー用多孔質母材を製造する方法において、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分は、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーに収容されており、前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、前記整流部材は、前記ベルジャーの挿入方向に沿って、前記ベルジャーへの挿脱位置が変化されるベーンであり、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を前記ターゲットの側面および背後に押しつけるように、前記吸入口を通して吸引されるガスを、前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引することを特徴とする、光ファイバ用多孔質母材の合成方法が提供される。
【００１２】
本発明の第６観点によれば、チャンバ内で光ファイバ用多孔質母材を形成する原料ガスを火炎発生手段からの火炎中で火炎加水分解してガラス微粒子に形成し、該ガラス微粒子を微粒子流として、軸と直交する向きに回転し軸方向において前記火炎発生手段と相対的に移動しているターゲットに向けて吹き付けてターゲットに付着させ、前記チャンバ内のガスを排気口から排気し、排気された分のガス量をチャンバの外部から整流部材を備えた吸入口を通して前記チャンバ内に吸引して光ファイバー用多孔質母材を製造する方法において、前記ターゲットの少なくとも前記ガラス微粒子が吹き付けられる部分は、前記ガラス微粒子の流れを規制する形状を有するベルジャーに収容されており、前記排気口および前記吸入口は前記ベルジャ−を貫通して設けられ、前記整流部材は、フィルタと、該フィルタと前記ベルジャーの間隙を接続する伸縮自在部材とを有し、前記フィルタの位置が前記吸引されたガスの向きを変化させるように移動され、前記火炎発生手段から噴き出されて前記ターゲットに堆積されないで残り、前記ターゲットの側面を通り過ぎて前記排気口に向かうガラス微粒子を前記ターゲットの側面および背後に押しつけるように、前記吸入口を通して吸引されるガスを、前記チャンバの外部から前記チャンバ内に吸引することを特徴とする、光ファイバ用多孔質母材の合成方法が提供される。
【００１５】
【作用】
原料ガスを酸水素火炎中で加水分解して、ガラス微粒子を形成し、ターゲットに付着させて光ファイバ用多孔質母材を合成する際、ターゲットの軸とガラス微粒子流の中心軸とを含む平面に直交する、対向する方向から、ターゲットの正面側に堆積されずに残り、ターゲットの側面を通り過ぎて排気口に向かうガラス微粒子をターゲットの側面および背後に押しつけてそれらの部位においてターゲットへの付着を行わせる。
【００１６】
前記整流ガスは、ガラス微粒子のプロファイルの制御の観点から、前記ターゲットに吹き付けられる前記ガラス微粒子と交叉する方向から前記ガラス微粒子に押しつけることが望ましい。
【００１７】
ターゲットの直径はガラス微粒子の堆積に応じて変化し、このターゲットに吹き付けられるガラス微粒子の流れがターゲットの直径の変化に応じて変化するから、整流ガス流の方向をターゲットの直径の大きさに応じて変化させる。
【００１８】
前記整流ガス流に可燃ガスを含ませると、多孔質ガラス母材の表面温度を高め、多孔質ガラス母材の密度を高くすることができる。
【００１９】
【実施例】
本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法およびその装置の第１実施例を述べる。
図１は、第１実施例としての光ファイバ用多孔質母材の合成装置の平面構成図であり、図２は図１の線Ｘ−Ｘにおける側断面図である。
この光ファイバ用多孔質母材の合成装置は、コア形成部（コアロッド）２とこのコア形成部２の外周にガラス微粒子が付着（堆積）されて形成されているクラッド形成部８とからなるターゲット１０をチャック１６を介して把持している回転軸１８、ターゲット１０を収容しているチャンバ１２、このチャンバ１２の側壁に配置されたバーナ４および排気口１４、回転軸１８に接続されターゲット１０を水平方向Ｔに往復移動（トラバース）させ、回転方向Ｒに回転させる回転・往復移動機構（図示せず）を有する。バーナ４とターゲット１０とは相対的に移動すればよい。
コア形成部（コアロッド）２は光ファイバのコアになる部分であり、クラッド形成部８は光ファイバのクラッドになる部分である。
３重管バーナ４には、中心にアルゴンガス（Ａｒ）  、ＳｉＣ１４  が導入され、その外側に水素ガス（Ｈ２  ）が導入され、さらにその外側に酸素ガス（Ｏ２  ）が導入されて、ガラス微粒子の火炎６が形成される。このガラス微粒子は、ターゲット１０に吹き付けられて、ターゲット１０に堆積されて、クラッド形成部８を増大させる。
【００２０】
図２に図解したように、チャンバ１２には上下の（または左右の）対称な位置に第１の固定整流板組２０と第２の固定整流板組２２とが配設されている。この例示においては、固定整流板組２０および２２はそれぞれ４枚の整流板で構成されている。これら上下の４枚の整流板はそれぞれ対称な位置に、対称な角度で配置されている。
これらの固定整流板組２０および２２は、ターゲット１０の軸中心と、バーナ４からの火炎６（ガラス微粒子）の中心と、排気口１４を含む平面と交叉する、対向する方向に大気（空気）を吸引出来るように、隣接する整流板で仕切られた間の吸入口を有している。
チャンバ１２の内部はチャンバ１２の外部に対して負圧であるから、チャンバ１２の周囲の大気（空気）が固定整流板組２０および２２の吸入口を通してチャンバ１２内に吸引される。この空気が整流ガスとして用いられる。
固定整流板組２０および２２のそれぞれの整流板は、吸引された空気を、ターゲット１０の側面およびバーナ４に対するターゲット１０の背後（排気口１４側）に吹き付けるように、その位置と角度が設定されている。したがって、バーナ４からターゲット１０に吹き付けられたガラス微粒子は、ターゲット１０の表面、より具体的には側部を通過する際にターゲット１０側に押しつけられ、さらに、ターゲット１０の背後においてもターゲット１０側に押しつけられる。
その結果、ターゲット１０の正面にぶつかってターゲット１０に堆積されたガラス微粒子の他の残りのガス微粒子がターゲット１０の側面を通過する際、拡散するが、整流ガスとしての空気によってターゲット１０側に押しつけられ、ターゲット１０の側部のガラス微粒子の流線プロファイル（形状分布）はターゲット１０に接近し、ターゲット１０の側部におけるガラス微粒子の付着量が増大する。さらに、ターゲット１０の背後においても、ガラス微粒子がターゲット１０側に押しつけられるからターゲット１０の背後においてもターゲット１０へのガラス微粒子の付着量が増加する。
つまり、整流ガスとしての空気によってターゲット１０の側面および背後のガラス微粒子の流線プロファイルがターゲット１０側に接近するから、ターゲット１０の側面および背後におけるガラス微粒子のターゲット１０への付着量が増大する。その結果、短時間で希望する多孔質ガラス母材を形成（合成）することができる。また、排気口１４から排気されるガラス微粒子が少なくなり、ガラス微粒子の損失が低下する。さらに、スクラバーに排出されるガラス微粒子が減少するから、スクラバーにおける処理が低下する。
【００２１】
実験例１
本発明の第１の実験例（実施例）を具体的に述べる。
外径２０ｍｍ、長さ１ｍのコア形成部２をチャック１６を介して回転軸１８に固定し、回転軸１８を介して、ターゲット１０を約３００ＲＰＭの回転数で回転させ、かつ、５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で左右にトラバースさせ、コア形成部２の外周に、クラッド形成部８として、ＳｉＯ２  微粒子を外径１５０ｍｍ程度まで付着させた。
この時、Ｏ２  ガスを３０ＳＬＭ、Ｈ２  ガスを８０ＳＬＭ、Ａｒ  ガスを２０ＳＬＭ、ＳｉＣ１４  ガスを１０ＳＬＭを３重管バーナ４に導入した。
バーナ４およびターゲット１０は密閉されたチャンバ１２に収容されており、チャンバー内の圧力は、−１０ｍｍＡｑに保持され、固定整流板組２０および２２のそれぞれの整流板との間に形成される吸気口からは、合計、約３ｍ３  ／ｍｉｎの大気を吸引している。吸気されている大気は、整流板によって流れの方向が制御され、ガラス微粒子流（火炎６）をターゲット１０から剥離させることなく、特に、ターゲット１０の背後および側部からガラス微粒子が剥離することなく、ターゲット１０側に流す効果があった。
固定整流板組２０および２２を用いない場合、これまで平均して４０％の堆積効率であったターゲット１０へのガラス微粒子の堆積効率が、本実験では、６０％へと向上した。
【００２２】
本実施例では、チャンバ１２内が負圧であることから、固定整流板組２０および２２から自然吸引によって、チャンバ１２の周囲の大気をチャンバ１２内に吸引しているが、これに代えて、送風機を用いて大気を、ターゲット１０の周囲で上記同様のガス微粒子の流れになるようにチャンバ１２内への強制的に押し込んでもよい。
あるいは、大気（空気）に限らず空気以外のガスを上記同様のガス微粒子の流れになるように、チャンバ１２内に自然吸引または送風機を用いて強制的に吸引してもよい。
チャンバ１２内に吸引または押し込んで流すガスは、大気（空気）を用いるのが最も安価で好ましいが、それ以外のガス体でも同様な効果がある。ただし、１００％不活性ガスでは、バーナ４から噴き出される火炎６の燃焼にはマイナス要因であるので、１００％不活性ガスではなく、不活性ガスを用いるときは可燃性ガスの混合が好ましい。特に、可燃性ガスを含ませると、多孔質ガラス母材の表面温度が高くなり、多孔質ガラス母材の合成が一層促進され、多孔質ガラス母材の密度が向上する。これについては後述する。
【００２３】
従来例の１つである図３および図４に図解したもの（たとえば、実開昭６２−９７１３８号公報）、およびこれを改良してなる本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置の第２実施例を述べる。
この従来例においては、チャンバ１２内にベルジャー２４を設け、チャンバ１２の側部に第１の空気フィルタ２６と第２の空気フィルタ２８とを設けている。そして、チャンバ１２の上部に開閉自在のチャンバ上蓋１２Ａを設けている。その他の構成は図１に図解した光ファイバ用多孔質母材の合成装置と同様である。この従来例は、チャンバ上蓋１２Ａを設けたチャンバ１２内に、ベルジャー２４を配設し、バーナ４から噴き出されたガラス微粒子（火炎６）がターゲット１０において広がることを規制するため、ベルジャー２４を設けている。
空気フィルタ２６および２８のそれぞれを通して、チャンバ１２の外部の空気が負圧状態のチャンバ１２内に吸引される。吸引された空気はターゲット１０とベルジャー２４との間隙２９を通ってベルジャー２４内に入り込む。
この様な構成の場合、ターゲット１０の軸とバーナ４２の軸を含む面に向かって、交叉する方向にガスを吸引することは難しかった。そこで、この問題を解決すべく下記図５〜図７のような改良を施した。
【００２４】
図５〜図７を参照して、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置の第２実施例を述べる。図５は光ファイバ用多孔質母材の合成装置の平面図であり、図６は図５の線Ｙ−Ｙにおける側断面図であり、図７は、図５および図６の線Ｘ−Ｘにおける断面図である。
この第２実施例は、図１および図２を参照して述べた第１実施例、および、図３および図４を参照して述べた例の改良例である。
第１実施例においては、ベルジャーが存在しないので、ターゲット１０の側面を通過するガラス微粒子（火炎６）の正確な流線プロファイルの制御はいくぶん難しい。
図３、図４で示した例においては、空気フィルタ２６、２８からチャンバ１２内に吸引された空気が間隙２９からベルジャー２４内にさらに吸引される。この場合、ターゲット１０の軸とバーナ４２の軸を含む面に交叉する方向にガスを吸引、導入することは難しく、ターゲット１０の側面あるいは背後のガラス微粒子をターゲット１０側に押しつける性能が不足する。
【００２５】
第２実施例は、第１実施例および前記図３、図４に述べた例における上記課題を解決することを意図しており、図１および図２を参照して述べた第１実施例の整流板と、図３および図４を参照して述べたベルジャーとを併用したものである。
図５において、チャンバ１２内に、ターゲット１０、チャック１６および回転軸１８の一部を包囲する内部ベルジャー３０が設けられている。チャンバ１２の側壁には、空気フィルタ２６、２８が設けられている。チャンバ１２内は負圧であるから、空気フィルタ２６、２８から空気がチャンバ１２内に吸引される。本実施例においては、内部ベルジャー３０を長手方向に長くしているが、これは、火炎６がターゲット１０に吹き付けられる合成点での左右（ターゲット軸方向）方向の流速を押さえるためである。
図６において、バーナ４から噴き出す火炎６の指向方向と直交する方向に、ターゲット１０を挟んで、内部ベルジャー３０の側壁に、第１の固定整流ベーン組３４と第２の固定整流ベーン組３６とが対向させて配設されている。
図７において、バーナ４から噴き出された火炎６はターゲット１０の表面に堆積する。ターゲット１０に堆積されずに残ったガラス微粒子はターゲット１０の側部を通過し、さらにターゲット１０の背後を通過して、排気口１４から排出される。ターゲット１０の側部を通過するガラス微粒子は内部ベルジャー３０の形状によって規制され、ターゲット１０側に流れる。さらに、空気フィルタ２６、２８から負圧になっているチャンバ１２内に吸引された空気が、対向して配設された固定整流ベーン組３４および３６のそれぞれの整流板の間の吸入口から内部ベルジャー３０内に吸引される。固定整流ベーン組３４および３６は、バーナ４から噴射される火炎６（ガラス微粒子）の指向方向に一致しているから火炎６の近傍の内部ベルジャー３０内に空気が集中して吸引され、内部ベルジャー３０内に吸引された空気は火炎６のプロファイルの制御に一層寄与する。その結果、一層、ガラス微粒子をターゲット１０側に押しつける。これにより、ターゲット１０の側部および背後へのガラス微粒子の付着が増加する。
本実施例においては、ターゲット１０の軸方向から流入する空気を内部ベルジャー３０によって規制し、相対的に整流板方向からの吸気量を大きくした。さらに、本実施例においては、この内部ベルジャー３０でガラス微粒子（火炎６）の広がりを規制している。
【００２６】
図８（Ａ）、（Ｂ）を参照して、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置の第３実施例を述べる。
ガラス微粒子のターゲット１０への堆積が進むと、多孔質ガラス母材、つまり、ターゲット１０の直径が大きくなる。このように、ターゲット１０の直径は合成に応じて変化していくから、効率のよい多孔質ガラス母材を合成のためには、本来、火炎６の流線プロファイルおよびガラス微粒子の流れもターゲット１０の直径の大きさに応じて変化させることが好ましい。
したがって、本実施例は、ターゲット１０の直径の大きさに依存して、ガラス微粒子の流れを制御するように、整流ガスを制御する。
そのため、本実施例においては、バーナ４、ターゲット１０の軸中心、および排気口１４を結ぶ平面と交叉し、対向する位置に第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０を内部ベルジャー３０の側面に設けた。第１の角度調整型整流ベーン組３８のそれぞれのベーン、たとえば、角度調整型整流ベーン３８Ａは、枢軸３８２で軸支された整流ベーン３８１を有する。同様に、第２の角度調整型整流ベーン組４０のそれぞれのベーン、たとえば、角度調整型整流ベーン４０Ａは枢軸４０２で内部ベルジャー３０に軸支された整流ベーン４０１を有する。整流ベーン３８１は枢軸３８２を中心として回動自在に構成されている。同様に、整流ベーン４０１は枢軸４０２を中心として回動自在に構成されている。角度調整型整流ベーン組３８のそれぞれのベーンは、対称位置にある角度調整型整流ベーン組４０のそれぞれのベーンとは、対称的に回動される。
【００２７】
図８（Ａ）は、ターゲット１０の直径が小さい時の第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の回動位置を示す。
ターゲット１０の直径が小さいから、バーナ４から噴き出されたガラス微粒子はそのままではターゲット１０にぶつかり、ターゲット１０に付着する確率が低く、ターゲット１０の側面を通過する量が多い。そこで、この場合には、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０のそれぞれのベーンの向きを、これらベーンの間から内部ベルジャー３０内に吸引される空気で、ガラス微粒子が小さい直径のターゲット１０側に一層押しつけられ、ターゲット１０にガラス微粒子が付着するように、調整する。
これにより、ターゲット１０の直径が小さいときのガラス微粒子の付着量が増加する。
【００２８】
図８（Ｂ）は、ターゲット１０の直径が大きい時の第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の回動位置を示す。
ターゲット１０の直径が大きいから、バーナ４から噴き出されたガラス微粒子はかなりターゲット１０に付着する。したがって、ターゲット１０の側面を通過するガラス微粒子の量は低くなるが、ターゲット１０の直径が大きいからターゲット１０の背後のガラス微粒子の乱れが大きい。そこで、この場合には、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０のそれぞれのベーンの向きを、これらベーンの間から内部ベルジャー３０内に吸引される空気で、ガラス微粒子が大きな直径のターゲット１０の側面に押しつけられるとともに、ターゲット１０の背後でガラス微粒子がターゲット１０から剥離しないように、調整する。
これにより、ターゲット１０の直径が大きいとき、ターゲット１０の背後における剥離が低くなり、ターゲット１０の側面はもとより、ターゲット１０の背後でもガラス微粒子の付着量が増加する。
以上のように、本実施例によれば、ターゲット１０の直径の大きさに依存されずに、常に高い付着率を維持することができる。したがって、多孔質ガラス母材の合成効率が高くなる。
図８（Ｃ）は、図８（Ａ），図８（Ｂ）とは違い、整流ベーン組３８Ａ，４０Ａを矢印方向に移動できるようにしたものである。すなわちターゲット１０の直径が大きくなるにしたがい、整流ベーン組３８Ａの整流ベーン３８１、整流ベーン組４０Ａの整流ベーン４０１を内部ベルジャー１０から外方へ引き出すようにするものである。この結果、図８（Ａ），図８（Ｂ）に示したものと同様な効果を得ることができる。尚、図８（Ａ），（Ｂ）で示したものと図８（Ｃ）で示したものを組み合わせても良い。
【００２９】
図９は図８（Ａ）、（Ｂ）に示した内部ベルジャー３０と第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の配置関係を示す。破線の部分に第１の角度調整型整流ベーン組３８は第２の角度調整型整流ベーン組４０が配設されている。
バーナ４が装着されるバーナ装着孔３０２と、排気口１４が接続される排気口接続孔３０４とは同じ水平位置にある。
【００３０】
図１０は、図８（Ａ）、（Ｂ）に示した第１の角度調整型整流ベーン組３８（または第２の角度調整型整流ベーン組４０）の１構成例としての拡大図である。角度調整型整流ベーン３８Ａ〜３８Ｆのそれぞれは、たとえば、枢軸３８２と整流ベーン３８１とで構成されており、これらの枢軸が回転自在に固定部材３８０に取りつけられている。この固定部材３８０が内部ベルジャー３０の窓に固定されている。
それぞれの枢軸には、第１の紐３９３と第２の紐３９４とが巻き付けられており、これらの紐３９３、３９４が第１の回転部材３９１と第２の回転部材３９２の間で引っ張られる。
第１の回転部材３９１が向きＲに回転すると、紐３９３が第１の回転部材３９１側に巻き取られ、それぞれの枢軸が右回転し、それぞれのベーンの先端をターゲット１０から離れるように指向させる。これにより、図８（Ｂ）に示した状態が実現できる。
一方、第２の回転部材３９２が向きＬに回転すると、紐３９４が第２の回転部材３９２側に巻き取られ、それぞれの枢軸が左回転し、それぞれのベーンの先端をターゲット１０側に指向させる。これにより、図８（Ａ）に示した状態が実現できる。
なお、それぞれの角度調整型整流ベーン３８Ａ〜３８Ｆの整流ベーン３８１は、ターゲット１０の接線方向を指向するように、角度調整される。
【００３１】
上記回転部材３９１および３９２の回転動作は、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の運転員が、ターゲット１０の形状を観察しながら、手動で行うこともできるし、後述するように、自動的にターゲット１０の直径を測定して自動制御してもよい。
【００３２】
図１１は、図８（Ａ）、（Ｂ）に示した第１の角度調整型整流ベーン組３８（または第２の角度調整型整流ベーン組４０）の他の構成例としての概略図である。
角度調整型整流ベーン３８Ａ〜３８Ｆのそれぞれは、たとえば、枢軸３８２と整流ベーン３８１とで構成されており、これらの枢軸が回転自在に固定部材（図示せず）に取りつけられている。この固定部材が内部ベルジャー３０の窓に固定されている。
それぞれの整流ベーンの一方の端部は針金３９５で接続されており、他方の端部を針金３９６で接続されている。針金３９６の端部はバネ４６を介して固定部４９に接続されている。また、針金３９５の端部は引っ張り装置４８に接続されている。
引っ張り装置４８は一定の張力で針金３９６を介して、整流ベーンの内側端部を引っ張っており、引っ張り装置４８が引っ張る針金３９５との張力と一致した位置で、それぞれの整流ベーンの角度（位置）が規定される。
図８（Ａ）に示した状態では、引っ張り装置４８の張力を大きくする。一方、図８（Ｂ）に示した状態では、引っ張り装置４８の張力を弱める。
【００３３】
上記引っ張り装置４８の制御は、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の運転員が、ターゲット１０の形状を観察しながら手動で行うこともできるし、後述するように、自動的にターゲット１０の直径を測定して自動制御してもよい。
【００３４】
以上のように、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の角度位置を調整して、ターゲット１０の直径の大きさに応じた、ガラス微粒子の流れ調整を行うことができる。
【００３５】
図１２は、本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置の第４実施例として、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の自動調整を行う装置構成を示す図である。
チャンバ１２の外壁に透光孔１２Ｂが形成され、内部ベルジャー３０の壁にも透光孔３０Ｂが設けられている。これらの透光孔１２Ｂと透光孔３０Ｂとは、ターゲット１０を挟んで一直線上に配置されている。
レーザ装置５０がチャンバ１２の一方の透光孔１２Ｂにレーザ光を入射させるように配設され、チャンバ１２の他方の透光孔１２Ｂからレーザ光を受光するように直径測定装置５２が配設されている。
直径測定装置５２には制御装置５４が接続され、制御装置５４には駆動モータ５６が接続され、さらに、ベーン駆動機構５８が接続されている。ベーン駆動機構５８は第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の枢軸を回動させる。
レーザ装置５０から一方の透光孔１２Ｂに入射されたレーザ光はターゲット１０の直径に依存して遮られ、直径測定装置５２で受光するレーザ光が変化する。したがって、直径測定装置５２はターゲット１０の直径に応じた信号を制御装置５４に出力する。制御装置５４はターゲット１０の直径に応じた第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の角度を決定し、その角度に応じた量だけ駆動モータ５６を駆動する。この駆動モータ５６の回転駆動に応じてベーン駆動機構５８が駆動し、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０のそれぞれの枢軸を回動させて、図８（Ａ）、（Ｂ）に図解したように、整流ベーンを回動させる。
これにより、ターゲット１０の直径の変化に応じて、自動的に最適なガラス微粒子の整流を行うことが可能になる。
【００３６】
実験例２
図１３は、合成時間に対して付着量がどの様に推移してゆくかを示したグラフである。
曲線ＣＶ１は、ガラス微粒子の整流を行わない、従来法で合成した場合である。平均で約３０％の合成効率であった。
これに対して、図８（Ｂ）に示すように、ターゲット１０の外径＝１００ｍｍにおいて最適なガラス微粒子の流れができるように、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０の整流ベーンの位置（角度）調整し、その位置で固定した場合の合成結果を曲線ＣＶ２に示す。合成の初期段階のターゲット１０の直径が細い時は、付着効率の向上はさほど見られず、最終的に平均４３％の合成効率にとどまった。
これに対して、ターゲット１０の直径の変化に応じて第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０のそれぞれの整流ベーンの角度（位置）を最適な位置に制御した場合は、曲線ＣＶ３に示したように、合成の全ての帰還において合成（付着量）の効率の向上がみられ、平均で６５％を越える結果が得られた。
【００３７】
図１４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置の第５実施例を述べる。
上述した内部ベルジャー３０と同等のベルジャー６０には、第１のベローズ６２、第１の整流格子７０、第２のベローズ６４、および、第３のベローズ６６、第２の整流格子７２、第４のベローズ６８が取りつけられている。
第１の整流格子７０は、図１４（Ｂ）に示すように、格子状に区分された整流部分から構成されている。これらそれぞれの整流部分を整流ガスとしての空気が通過してターゲット１０の側部を通過するガラス微粒子の整流に寄与する。
第１の整流格子７０と第２の整流格子７２とは、バーナ４と排気口７４とを結ぶ線を基準として、対称的に移動される。
この移動は、図１４（Ａ）においては、第１のベローズ６２が伸び、第２のベローズ６４が縮み、同様に、第３のベローズ６６が伸び、第４のベローズ６８が縮むことによって実現されている。図１４（Ａ）に図解した状態は、第１の整流格子７０の向きがターゲット１０の側面を通ってターゲット１０の背後の遠方を指向しており、図８（Ａ）に図解したと同様に、ターゲット１０の直径が小さいときの状態を示す。
逆に、図１４（Ｂ）に示した第１の整流格子７０および第２の整流格子７２の位置は、図８（Ｂ）に示したターゲット１０の直径が多いときの状態を示す。
図１４（Ａ）、（Ｂ）に示した構成によっても、実質的に、図８（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を参照して述べたと同様の結果を得ることができる。
【００３８】
実験例３
第１の整流格子７０の大きさは、図１４（Ｂ）に示したように、長さＬ＝２００ｍｍ、幅Ｗ＝１００ｍｍ、挿入方向奥行Ｄ＝１００ｍｍ、それぞれの格子寸法は２０ｍｍ×２０ｍｍ、奥行き１００ｍｍであった。
第１の整流格子７０および第２の整流格子７２は、図１２を参照して述べた自動位置調整を適用した。この場合、図１２の示したベーン駆動機構５８が第１の整流格子７０および第２の整流格子７２の位置を調整した。ベルジャー６０と第１の整流格子７０および第２の整流格子７２とのそれぞれの隙間は、耐熱性のベローズ６２、６４、６６、６８によって密閉されており、不必要なところからの大気の流入を防いでいる。
合成の初期段階では、つまり、ターゲット１０の直径が小さい時は、第１の整流格子７０お第２の整流格子７２をバーナ４側へ移動させ、ターゲット径に対して広がった微粒子流を、ターゲット１０に押し付けるようになっている。
合成の後期では、ターゲット１０の背後の流れに力を集中的に作用させるように、第１の整流格子７０および第２の整流格子７２の位置を自動調整した。
この実施例では、図８（Ａ）、（Ｂ）を参照して述べた、第１の角度調整型整流ベーン組３８および第２の角度調整型整流ベーン組４０を用いた場合程細かい位置制御は難しいが、それでも、合成効率を容易に５０％以上にすることが出来た。
【００３９】
図１５（Ａ）、（Ｂ）を参照して本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置の第６実施例を述べる。
上述した内部ベルジャー３０と同等のベルジャー８０には、第１のベローズ８２、第１のフィルタ９０、第２のベローズ８４、および、第３のベローズ８６、第２のフィルタ９２、第４のベローズ８８が取りつけられている。
第１のフィルタ９０と第２のフィルタ９２とは、バーナ４と排気口９４とを結ぶ線を基準として、対称的に移動される。
第１のフィルタ９０および第２のフィルタ９２からは、可燃性ガス、たとえば、Ｈ２  がベルジャー８０内に導入される。
第１のフィルタ９０および第２のフィルタ９２は、第１の整流格子７０および第２の整流格子７２と同様に、ターゲット１０の直径の変化に応じて、それらの位置が移動させられる。
この移動は、図１５（Ａ）においては、第１のベローズ８２が伸び、第２のベローズ８４が縮み、同様に、第３のベローズ８６が伸び、第４のベローズ８８が縮むことによって実現されている。図１５（Ａ）に図解した状態は、第１のフィルタ９０の向きがターゲット１０の側面を通ってターゲット１０の背後の遠方を指向しており、図８（Ａ）に図解したと同様に、ターゲット１０の直径が小さいときの状態を示す。
逆に、図１５（Ｂ）に示した第１のフィルタ９０および第２のフィルタ９２の位置は、図８（Ｂ）に示したターゲット１０の直径が多いときの状態を示す。
図１５（Ａ）、（Ｂ）に示した構成によっても、実質的に、図８（Ａ）、（Ｂ）を参照して述べたと同様のガラス微粒子の整流を行うことができる。
【００４０】
特に、この実施例では、第１のフィルタ９０および第２のフィルタ９２からＨ２  をベルジャー８０内に導入している。
上述実施例においては、空気を吸引していたが、整流ガスとして空気を用いると、安価な利点はあるが、多孔質ガラス母材の表面の温度が低下して、密度が目標値より小さくなってしまう場合がある。
その点、Ｈ２  ガスを用いると、燃焼による熱を利用することが出来る。従って、本実施例による可燃性ガスの吸入方法によって、付着効率の向上、最適化を図り、かつ、密度の調整をも行うことが出来る。
可燃性ガスとしてはＨ２  のほか、メタンガスなどを用いることができる。
【００４１】
実験例４
本実験例では、片側５枚の整流板で造られる、４層の流れの内、排気口９４側から２つ目の層に、３ｍ３  ／ｍｉｎの大気に対して、２００１／ｍｉｎのＨ２  を添加した。これによって、多孔質ガラス母材（クラッド形成部８）の表面温度が３０°Ｃ上昇し、目的とする母材密度を持った、多孔質ガラス母材を、合成効率６０％以上で製造することが出来た。
【００４２】
本発明の実施に際しては、上述した実施例に限定されず、上述した実施例と同様の他の方法および装置、あるいは、上述した実施例を適宜組み合わせた実施例を採用することができる。
また、上述した数値例などは例示であり、本発明はこれらの数値に限定されるものではない。
【００４３】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によれば、バーナからターゲットへのガラス微粒子の整流を適切に制御でき、多孔質ガラス母材の付着率が向上した。この付着率の向上により、光ファイバ用多孔質母材の合成時間も短縮できた。
また、本発明によれば、ターゲットに付着されずに排気されるガラス微粒子が減少し、ガラス微粒子の損失が低下した。
さらに、スクラバーにおける処理が少なくなり、価格低下に寄与した。
また、本発明によれば、多孔質ガラス母材の密度を高めることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第１実施例の装置の構成の平面図である。
【図２】図１の線Ｘ−Ｘにおける側断面図である。
【図３】従来例の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の構成の平面図である。
【図４】図３の線Ｘ−Ｘにおける側断面図である。
【図５】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第２実施例の装置の構成の平面図である。
【図６】図５の線Ｙ−Ｙにおける側面図である。
【図７】図５および図６の線Ｘ−Ｘにおける側断面図である。
【図８】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第３実施例の装置の部分側断面図であり、（Ａ）はコアの径が小さいときの整流ベーンの傾きを示す図であり、（Ｂ）はコアの径が大きいときの整流ベーンの傾きを示す図であり、（Ｃ）は移動型の整流ベーンの図である。
【図９】図８（Ａ）、（Ｂ）に示した部分構成のベルジャーおよび整流ベーンの位置関係を示す図である。
【図１０】図８（Ａ）、（Ｂ）に示した整流ベーンの詳細部分構成図である。
【図１１】図８（Ａ）、（Ｂ）に示した整流ベーンの詳細部分構成図である。
【図１２】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第４実施例として、光ファイバ母材の直径を測定し、整流ベーンの位置調整を行う装置構成を示す図である。
【図１３】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置および方法の実験結果を示すグラフである。
【図１４】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第５実施例の装置の部分側断面図であり、（Ａ）はコアの径が小さいときの整流格子の傾きを示す図であり、（Ｂ）は図１４（Ａ）に示した整流格子の正面図であり、（Ｃ）はコアの径が大きいときの整流格子の傾きを示す図である。
【図１５】本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の第６実施例の装置の部分側断面図であり、（Ａ）はコアの径が小さいときのフィルタの傾きを示す図であり、（Ｂ）はコアの径が大きいときのフィルタの傾きを示す図である。
【図１６】先行出願の本発明の光ファイバ用多孔質母材の合成装置の平面図である。
【図１７】図１６におけるガラス微粒子（火炎）のプロファイルを示す図である。
【符号の説明】
２・・コア形成部
４・・バーナ
６・・火炎
８・・クラッド形成部
１０・・ターゲット
１２・・チャンバ
１２Ａ・・チャンバ上蓋
１４・・排気口
１６・・チャック
１８・・回転軸
２０、２２・・固定整流ベーン組
２４・・ベルジャー
２６、２８・・空気フィルタ
２９・・間隙
３０・・内部ベルジャー
３０２・・バーナ装着孔
３０４・・排気口接続孔
３４、３６・・固定整流ベーン組
３８・・角度調整型整流ベーン組
３８Ａ・・第１の角度調整型整流ベーン
３８１・・整流ベーン
３８２・・枢軸
４０・・角度調整型整流ベーン組
４０Ａ・・第２の角度調整型整流ベーン
４０１・・整流ベーン
４０２・・枢軸
４２、４４・・角度調整型整流ベーン組
４６・・バネ
４８・・引っ張り装置
４９・・固定部
５０・・レーザ装置
５２・・直径測定装置
５４・・制御装置
５６・・駆動モータ
５８・・ベーン駆動機構
６０・・ベルジャー
６２、６４、６６、６８・・ベローズ
７０、７２・・整流格子
７４・・排気口
８０・・ベルジャー
８２、８４、８６、８８・・ベローズ
９０、９２・・フィルタ
９４・・排気口
【図１】
0003599362.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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