(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端にワーク吸着部を、該ワーク吸着部の下側近傍に外周側へと圧搾ガスを噴出する圧搾ガス噴出部を夫々有する上下方向の回転軸と、前記回転軸を少なくとも上下一対の軸受を介して回転自在に支持するハウジングとを備え、前記ワーク吸着部に連通する第１真空引き通路と、前記圧搾ガス噴出部に連通する第１圧搾ガス通路とを前記回転軸に形成し、真空源に接続される第２真空引き通路と、圧搾ガス源に接続される第２圧搾ガス通路とを前記ハウジングに形成し、真空引きにより前記ワーク吸着部にワークを吸着した状態で前記圧搾ガス噴出部から圧搾ガスを噴出するようにした回転軸装置において、前記回転軸の中心部に上下方向の空隙を略同心状に形成し、前記回転軸内に、前記空隙を内径側の前記第１真空引き通路と外径側の前記第１圧搾ガス通路とに分離する上下方向の中空管を略同心状に内嵌し、前記一対の軸受間に、前記第１真空引き通路及び前記第２真空引き通路を連通する真空引き連通路と、前記第１圧搾ガス通路及び前記第２圧搾ガス通路を連通する圧搾ガス連通路とを上下に設け、前記真空引き連通路及び前記圧搾ガス連通路の上下両側に、前記回転軸側と前記ハウジング側との間をシールするラビリンスシールを夫々備えたことを特徴とする回転軸装置。
【請求項２】
前記回転軸に、その上端から上下方向の中途部にわたる前記空隙と、前記空隙の下端側の管保持孔とを形成し、前記中空管の下端部を前記管保持孔に密封状に嵌合し、前記回転軸と前記中空間の上端部をシール材により密封したことを特徴とする請求項１に記載の回転軸装置。
【請求項３】
前記両軸受間に、前記回転軸の外径側に嵌合された内輪用間座と、前記ハウジングの内径側に嵌合された外輪用間座とを上下方向に複数個設け、前記真空引き連通路、前記圧搾ガス連通路及び前記ラビリンスシールを前記内輪用間座と前記外輪用間座とに跨がって設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の回転軸装置。
【請求項４】
前記ラビリンスシールは、前記内輪用間座の外径側のシール面と、前記外輪用間座の内径側の絞り壁とによって構成したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の回転軸装置。
【請求項５】
前記ラビリンスシールは、前記内輪用間座の外径側の絞り壁と、前記外輪用間座の内径側の絞り壁とによって構成したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の回転軸装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転軸内に真空引き通路、圧搾ガス通路を備えた回転軸装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、小径円板等のワークを回転させながら加工する加工機、或いはワークを回転させながら洗浄する洗浄機等には、回転軸内に複数個の流体通路を備えた回転軸装置が使用されている。
【０００３】
この回転軸装置には、例えばウェハ等のワークを真空引きにより吸着する真空吸着装置があり、高圧水噴出部を備えたワーク吸着部を回転軸の一端に設けると共に、回転軸内に真空引き通路と高圧水通路とを形成し、ワーク吸着部を真空引き通路を介して真空源に、高圧水噴出部を高圧水通路を介して高圧水源に夫々接続している。
【０００４】
回転軸側の真空引き通路を真空源に、高圧水通路を高圧水源に夫々接続する場合、従来は回転軸のワーク吸着部と反対側の軸端に回転管継ぎ手を設けるか、又はワーク吸着部の近傍で回転軸とハウジングとの間に回転管継ぎ手を設ける構造を採用しており、何れも一対の軸受よりも回転軸の軸方向の外側に回転管継ぎ手を配置している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の装置では、一対の軸受よりも軸方向の外側に回転管継ぎ手を配置しているため、装置全体が回転軸の軸方向に大型化する問題がある。
【０００６】
即ち、回転時に軸振れ等が生じないように回転軸を安定性良く支持するには、一対の軸受間の間隔を十分に確保する必要がある。しかし、軸受間の間隔を十分に確保すれば、その軸受よりも外側に回転管継ぎ手があるため、装置全体が回転軸の軸方向に大型化し、スペースに制約がある箇所には採用できなくなる問題がある。
【０００７】
従って、敢えて装置全体の小型化を図るには、軸受間の間隔を短くすることになる。しかし、軸受間の間隔を短くすれば、回転時に軸振れが生じ易くなる等、回転軸の安定性の点で問題が生じるため、軸受を含む回転軸の支持構造に特別なものを採用する必要があり、これによって装置全体の構造が複雑化する問題がある。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑み、回転軸の回転時の軸振れ等を容易に防止でき回転軸の支持の安定性を確保しながら、回転軸側とハウジング側との各真空引き通路、圧搾ガス通路を容易に連通でき、装置全体の大型化及び構造の複雑化を防止できる回転軸装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上端にワーク吸着部を、該ワーク吸着部の下側近傍に外周側へと圧搾ガスを噴出する圧搾ガス噴出部を夫々有する上下方向の回転軸と、前記回転軸を少なくとも上下一対の軸受を介して回転自在に支持するハウジングとを備え、前記ワーク吸着部に連通する第１真空引き通路と、前記圧搾ガス噴出部に連通する第１圧搾ガス通路とを前記回転軸に形成し、真空源に接続される第２真空引き通路と、圧搾ガス源に接続される第２圧搾ガス通路とを前記ハウジングに形成し、真空引きにより前記ワーク吸着部にワークを吸着した状態で前記圧搾ガス噴出部から圧搾ガスを噴出するようにした回転軸装置において、前記回転軸の中心部に上下方向の空隙を略同心状に形成し、前記回転軸内に、前記空隙を内径側の前記第１真空引き通路と外径側の前記第１圧搾ガス通路とに分離する上下方向の中空管を略同心状に内嵌し、前記一対の軸受間に、前記第１真空引き通路及び前記第２真空引き通路を連通する真空引き連通路と、前記第１圧搾ガス通路及び前記第２圧搾ガス通路を連通する圧搾ガス連通路とを上下に設け、前記真空引き連通路及び前記圧搾ガス連通路の上下両側に、前記回転軸側と前記ハウジング側との間をシールするラビリンスシールを夫々備えたものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて詳述する。図１及び図２は本発明の第１の実施形態を例示する。図１において、Ｗ  は小径円板等のワークであり、１  は真空引き式のワーク吸着装置で、加工機、洗浄機等に組み込まれている。
【００１１】
ワーク吸着装置１  は、上下方向に配置され且つ下端側が図外の回転用の駆動源に接続された回転軸２  と、この回転軸２  の上端側に設けられ且つワークＷ  を真空引きにより着脱自在に吸着するワーク吸着部３  と、このワーク吸着部３  の下側近傍で回転軸２  に形成され且つ回転軸２  の外周側に圧搾空気等の圧搾ガスを噴出する圧搾ガス噴出部４  と、上下一対の転がり軸受５  を介して回転軸２  を回転自在に支持するハウジング３３とを備えている。
【００１２】
回転軸２  の略中心には、ワーク吸着部３  に連通する第１真空引き通路６  と、圧搾ガス噴出部４  に連通する第１圧搾ガス通路７  との２個の流体通路が同心状に設けられている。ハウジング３３には、真空源に接続される第２真空引き通路８  と、圧搾ガス源に接続される第２圧搾ガス通路９  とが設けられている。また両転がり軸受５  間には、回転軸２  とハウジング３３との間で両真空引き通路６，８  を連通する真空引き連通路１０と、両圧搾ガス通路７，９  を連通する圧搾ガス連通路１１とが設けられ、その各連通路１０，１１  の上下両側にラビリンスシール１２が設けられている。
【００１３】
回転軸２  の上端側は、ハウジング３３から上方に突出しており、その上端にワーク吸着部３  が嵌合され、回転軸２  の上端側にボルト等により着脱自在に固定されている。ワーク吸着部３  は、上面側が吸着面となっており、その吸着面側の中央に略同心状に吸着凹部３ａが形成されている。圧搾ガス噴出部４  は、ワーク吸着部３  の下側近傍に形成された周方向に複数個の噴出孔４ａにより構成されている。なお、各噴出孔４ａは、回転軸２  の周方向に等間隔をおいて設けられている。
【００１４】
回転軸２  内には、その上端から上下方向の中途部に亘って略同心状の空隙１３が軸方向に形成され、この空隙１３に上下方向の中空管１４が回転軸２  に対して略同心状に内嵌されている。そして、中空管１４の内径側が第１真空引き通路６  となり、外径側が第１圧搾ガス通路７  となっている。なお、中空管１４の軸方向の下端部は、回転軸２  の空隙１３の下端側の管保持孔１５に接着剤等のシール材を介して密封状に嵌合され、上端部は回転軸２  と中空管１４との間に介在されたシール材３４により密封されている。
【００１５】
ハウジング３３は、支持枠１６から上側に突出するように、この支持枠１６上に固定されている。このハウジング３３には、上下の転がり軸受５  間の略中間に、径方向に貫通する第２真空引き通路８  と第２圧搾ガス通路９  とが上下方向に所定の間隔をおいて形成されている。転がり軸受５  は、例えばボール軸受等であって、外輪１７と内輪１８との間に多数のボール１９を介在してなり、上下方向に所定の間隔をおいてハウジング３３と回転軸２  との間に介在されている。
【００１６】
各転がり軸受５  の内輪１８は、回転軸２  の外径側に着脱自在に套嵌され、回転軸２  の大径部２０の下側の段部と、回転軸２  の下端部に螺合された固定ナット２１との間で上下方向に複数個の内輪用間座２２ａ  〜２２ｅ  を介して着脱自在に固定されている。なお、下側の転がり軸受５  の内輪１８と固定ナット２１との間には、内輪押さえ体２３が介在されている。
【００１７】
なお、回転軸２  の外径側は、両転がり軸受５  間に亘って上下方向の全長が略同一径であり、その外径側に各転がり軸受５  の内輪１８、内輪用間座２２ａ  〜２２ｅ  及び内輪押さえ体２３が着脱自在に嵌合されている。
【００１８】
各転がり軸受５  の外輪１７は、ハウジング３３の内径側に嵌合されており、このハウジング３３の下端側の段部６ａと、ハウジング３３の上端に固定された外輪押さえ体２４との間で上下方向に複数個の外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ  を介して着脱自在に固定されている。外輪押さえ体２４は、ハウジング３３の上端にボルト等により着脱自在に固定されている。
【００１９】
外輪押さえ体２４の内径面と回転軸２  の大径部２０の外径面との間、ハウジング３３の段部６ａの内径面と内輪用押さえ体２３の外径面との間には微小間隙があり、夫々が非接触状態で相対回転自在に嵌合している。なお、ハウジング３３の内径側は、両転がり軸受５  間に亘って上下方向の全長が略同一径であり、その内径側に各転がり軸受５  の外輪１７、外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ  及び外輪押さえ体２４が着脱自在に嵌合されている。
【００２０】
内輪用間座２２ａ  〜２２ｅ  及び外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ  は、両転がり軸受５  間に１個又は複数個、例えば５個あり、その中間の外輪用間座２５ｄ  に真空引き連通路１０が、外輪用間座２５ｂ  に圧搾ガス連通路１１が、この各外輪用間座２５ｂ，２５ｄ  の上下両側の外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  にラビリンスシール１２が夫々対応して設けられている。従って、各連通路１０，１１  及びラビリンスシール１２は、その連通路１０，１１  の上下両側に各ラビリンスシール１２が位置するように、各外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ  に対応してその内径側に設けられている。
【００２１】
各連通路１０，１１  は、内輪用間座２２ｄ，２２ｂ  と外輪用間座２５ｄ，２５ｂ  とに跨がって形成されている。各ラビリンスシール１２は、両転がり軸受５  間で且つ連通路１０，１１  の上下両側において、回転軸２  側とハウジング３３側との間をシールするためのものである。このラビリンスシール１２は、図２に示すように、各外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  の内径側に一体に形成された絞り壁２６と、各内輪用間座２２ａ，２２ｃ，２２ｅ  の外径側のシール面２７とによって構成されている。なお、中央のラビリンスシール１２は、真空引き連通路１０と圧搾ガス連通路１１との両者に兼用されている。
【００２２】
絞り壁２６は、外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  の上下方向に所定間隔（例えば、略等間隔）をおいて複数個設けられている。従って、外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  の内径側には、絞り壁２６と凹部３０とが上下方向に交互に形成されている。各絞り壁２６は、内径側の軸方向の寸法が小さくなる断面台形状であって、周方向に連続して環状に形成されている。
【００２３】
そして、真空引き連通路１０の上下両側の各絞り壁２６では、この真空引き連通路１０に近い側面２８と、これと反対の側面２９の直径方向に対する傾斜角度は、転がり軸受５  側からの大気、圧搾ガス連通路１１側からの圧搾ガスが夫々進入し難くなるように、側面２８に比較して側面２９が小さくなっている。
【００２４】
また圧搾ガス連通路１１の上下両側の各絞り壁２６では、この圧搾ガス連通路１１に近い側面２９と、これと反対の側面２８の直径方向に対する傾斜角度は、転がり軸受５  側及び真空引き連通路１０側へと圧搾ガスが漏れ難くなるように、側面２８に比較して側面２９が小さくなっている。
【００２５】
従って、各外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ  の内径側の断面形状は、真空引き連通路１０側では大気等の進入を、また圧搾ガス連通路１１側では圧搾ガスの漏れを夫々阻止するように、複数個の絞り壁２６によって全体として略鋸歯状に構成されている。
【００２６】
各絞り壁２６の内端側の内径と回転軸２  側のシール面２７の外径との間隙は、例えば直径で０．０２〜０．０５ｍｍ程度の微小間隙となっている。なお、シール面２７は平滑面となっている。
【００２７】
各ラビリンスシール１２に対応する内輪用間座２２ａ，２２ｃ，２２ｅ  の内径側、外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  の外径側には、０リング等のシール材が設けられ、これによって回転軸２  の外径側と内輪用間座２２ａ，２２ｃ，２２ｅ  の外径側、ハウジング３３の内径側と外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  の外径側とが夫々シールされている。
【００２８】
上記構成のワーク吸着装置１  では、ワークＷ  の加工、洗浄等の処理を行う場合には、ワーク吸着部３  に真空引きによりワークＷ  を装着した後、ワークＷ  に冷却液、洗浄液等を供給しながら、ワークＷ  を回転軸２  廻りに高速回転させて所定の処理を行う。回転軸２  上のワーク吸着部３  にワークＷ  を装着する場合、第２真空引き通路８  を制御弁等により真空源に接続すれば、吸着凹部３ａ内が真空源の真空引きによって負圧となるため、その上に載置されたワークＷ  をワーク吸着部３  により吸着して固定できる。ワークＷ  を取り外す場合には、制御弁等により真空引きを解除すれば良い。従って、ワーク吸着部３  に対するワークＷ  の着脱を容易且つ確実に行うことができる。
【００２９】
またワークＷ  に冷却液、洗浄液等を供給する場合、ワークＷ  の回転に伴って冷却液、洗浄液等の飛沫が飛散し、またその一部が下方に滴下する。しかし、このとき第２圧搾ガス通路９  を制御弁等を介して圧搾ガス源に接続すれば、ワーク吸着部３  の下側近傍で圧搾ガス噴出部４  から回転軸２  の周囲に圧搾ガスを噴出できるので、この圧搾ガスによってハウジング３３側への冷却液、洗浄液等の飛沫の飛散又は滴下を防止できる。
【００３０】
回転軸２  は上下の転がり軸受５  を介してハウジング３３に回転自在に支持されており、ワークＷ  の吸着中は、ハウジング３３と回転軸２  との間の真空引き連通路１０を介して、ハウジング３３側の第２真空引き通路８  と回転軸２  側の第１真空引き通路６  が連通して真空引きを行い、また圧搾ガスの噴出中は、ハウジング３３と回転軸２  との間のハウジング３３側の圧搾ガス連通路１１を介して、ハウジング３３側の第２圧搾ガス通路９  から回転軸２  側の第１圧搾ガス通路７  を経て圧搾ガス噴出部４  へと圧搾ガスを供給する。
【００３１】
従って、この構造では、ハウジング３３側の第２真空引き通路８  と第２圧搾ガス通路９  とを一対の転がり軸受５  間に配置しているので、一対の転がり軸受５  間の間隔を十分に確保して、回転軸２  の回転時の軸振れ等を容易に防止でき、回転軸２  の支持の安定性が向上すると共に、装置全体が回転軸２  の軸方向に大型化したり、或いは回転軸２  の支持構造に特別なものを採用して構造が複雑化したりする等の問題も生じない。
【００３２】
また回転軸２  内には、真空引き用と圧搾ガス用の２個の流体通路があるが、回転軸２  内に軸方向の空隙１３を略同心状に形成し、この空隙１３に軸方向の中空管１４を嵌合して、その中空管１４の内径側を第１真空引き通路６  とし、外径側を第１圧搾ガス通路７  としているので、回転軸２  内に第１真空引き通路６  と第１圧搾ガス通路７  とを容易に形成できる。
【００３３】
また中空管１４の内外に第１真空引き通路６  と第１圧搾ガス通路７  とが略同心状にあるため、空隙１３の内径及び中空管１４の内外径等によって第１真空引き通路６  と第１圧搾ガス通路７  との通路断面積を決定でき、両通路６，７  を回転軸２  内に平行に別々に設ける場合に比較して、回転軸２  の強度を確保しつつ夫々の通路断面積を容易に確保できる。
【００３４】
しかも回転軸２  の空隙１３が略同心状であり、その空隙１３に中空管１４を略同心状に嵌合しているので、回転軸２  の重心位置をその中心位置に容易に設定でき、回転軸２  の回転時の軸振れ等を容易に防止できる。特に、中空管１４の内外に２つの流体通路があるため、各通路を流れる流体の比重が異なる場合にも、その流体の比重差によって回転軸２  に軸振れが発生することもない。
【００３５】
真空引き連通路１０及び圧搾ガス連通路１１の上下両側にはラビリンスシール１２があるので、このラビリンスシール１２によってハウジング３３側と回転軸２  側との間をシールでき、真空引き連通路１０側への大気、圧搾ガスの進入を阻止でき、また圧搾ガス連通路１１からの圧搾ガスの漏れを阻止できる。
【００３６】
また非接触式のラビリンスシール１２を採用しているため、従来の接触式シールを使用する場合に比較して、摩擦熱によるシール部分の発熱、摩耗等の問題も生じない。このため耐久性が著しく向上し、安定したシール性能を長期間に亘って継続的に維持でき、シールの点検、交換等のメンテナンスの回数を極力少なくできる。
【００３７】
しかもラビリンスシール１２は、上下の転がり軸受５  の外輪１７間に配置された外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  に絞り壁２６を一体に形成して、この外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  をラビリンスシール１２用に兼用しているので、ラビリンスシール１２用の専用の部材が不要であり、構造を簡単にできる。またラビリンスシール１２の点検、交換等のメンテナンスを行う際には、その外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  を着脱すれば良く、メンテナンスを容易にできる。外輪用間座２５ａ，２５ｃ，２５ｅ  は連通路１０，１１  用とラビリンスシール１２用とに分けているため、夫々の加工も容易である。
【００３８】
またラビリンスシール１２は、回転軸２  の軸方向に複数個の絞り壁２６を有し、その絞り壁２６の内径側と回転軸２  側のシール面２７の外径側との隙間を微小間隙にすると共に、真空引き連通路１０の両側の各絞り壁２６では、真空引き連通路１０に近い側面２８に比較して遠い側面２９の傾斜角度を、圧搾ガス連通路１１の両側の各絞り壁２６では、圧搾ガス連通路１１に遠い側面２８に比較して近い側面２９の傾斜角度を夫々軸方向に対して直角に近い角度に設定し、複数個の絞り壁２６を含む断面形状を鋸歯形状にしているので、各ラビリンスシール１２からの大気の進入、圧搾ガスの漏れ等を極力防止でき、十分なシール性能を確保できる。
【００３９】
特に真空引き連通路１０と圧搾ガス連通路１１との間のラビリンスシール１２を１個とし、このラビリンスシール１２で真空引き連通路１０と圧搾ガス連通路１１との間をシールしているので、このラビリンスシール１２を兼用でき、構造を簡単にできる。
【００４０】
図３は本発明の第２の実施形態を例示し、ラビリンスシール１２の絞り壁２６の側面２９を回転軸２  の直径方向に略平行、即ち回転軸２  の軸方向に対して略直角にしたものである。他の構成は図１と同様である。この場合には、この絞り壁２６の側面２９によって、例えば大気が進入するときの流動抵抗が更に大になり、ラビリンスシール１２のシール性能が向上する利点がある。
【００４１】
図４は本発明の第３の実施形態を例示し、絞り壁２６の側面２９を側面２８と同じ方向に傾斜させたものである。この場合には、各絞り壁２６自体の内径側が、回転軸２  の軸方向の外方に傾斜した状態となっている。他の構成は図１と同様である。
【００４２】
この場合には、例えば外側の絞り壁２６の側面２８に沿って進入する大気があっても、図４に矢印で示すように、その内側の絞り壁２６を通過するときに、内側の側面２９と外側の側面２８との間の凹部３０内で一部が循環することになる。従って、外向きに傾斜する各絞り壁２６を通過しない限り、大気は真空引き連通路１０側に進入できないので、ラビリンスシール１２のシール性能が更に向上する。
【００４３】
図５は本発明の第４の実施形態を例示する。この実施形態では、上下の転がり軸受５  間の内輪用間座２２及び外輪用間座２５が１個であり、この内輪用間座２２及び外輪用間座２５の相互間に、真空引き連通路１０及び圧搾ガス連通路１１と、その各連通路１０，１１  の両側のラビリンスシール１２とを設けたものである。
【００４４】
各ラビリンスシール１２は、外輪用間座２５の内径側に形成された軸方向に複数個の絞り壁２６と、内輪用間座２２の外径側に形成された軸方向に複数個の絞り壁３１とを備え、その外輪用間座２５側の絞り壁２６と内輪用間座２２側の絞り壁３１とが内外に相対向して配置されている。
【００４５】
このようにラビリンスシール１２の絞り壁２６，３１  は、外輪用間座２５の内径側と内輪用間座２２の外径側とに設けても良い。なお、内輪用間座２２及び外輪用間座２５は１個に限定されず、２個以上の複数個とし、その各々を連通路１０，１１  用とラビリンスシール１２用とに分けても良い。
【００４６】
図６は本発明の第５の実施形態を例示し、食い違い式のラビリンスシール１２を採用したものである。外輪用間座２５ａ  の絞り壁２６が内輪用間座２２の凹部３２に、内輪用間座２２の絞り壁３１が外輪用間座２５の凹部３０に夫々対応している。そして、各絞り壁２６，３１  の軸方向の厚さは、外輪用間座２５の絞り壁２６が薄く、内輪用間座２２の絞り壁３１が厚くなっている。なお、各絞り壁２６，３１  の厚さは、逆でも良いし、略同じにしても良い。
【００４７】
このようにラビリンスシール１２には、外輪用間座２５の絞り壁２６と内輪用間座２２の絞り壁３１とを軸方向に交互に設けた食い違い式のものを採用しても良い。この場合には、外輪用間座２５の絞り壁２６と内輪用間座２２の絞り壁３１とによって、両者間の流路がジグザグの迷路状になるので、各ラビリンスシール１２のシール性能が更に向上する。
【００４８】
なお、内輪用間座２２の絞り壁３１の外径は、外輪用間座２５の絞り壁２６の内径よりも僅かに小径になっている。これによって外輪用間座２５内に内輪用間座２２を軸方向に挿入することが可能であり、組み立て、分解等を容易に行うことが可能である。
【００４９】
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、回転軸２  内に３個以上の流体通路を形成する場合には、中空管１４を略同心状に複数個設けても良い。また各絞り壁２６は、機械加工が可能である限り、先端側が軸方向の外側に屈曲する断面Ｌ字状、先端側が軸方向の両側に突出する断面Ｔ字状、或いは断面Ｓ字状等の特殊な断面形状にすることも可能である。
【００５０】
各実施形態では、ハウジング３３の内径側に外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ，２５を、回転軸２  の外径側に内輪用間座２２ａ  〜２２ｅ，２２を夫々設けているが、外輪用間座２５ａ  〜２５ｅ，２５と内輪用間座２２ａ  〜２２ｅ，２２との何れか一方を省略し、その省略した側の絞り壁２６，３１  又はシール面２７をハウジング３３の内径側又は回転軸２  の外径側に一体に形成しても良い。
【００５１】
更に実施形態では、加工機、洗浄機等に使用するワーク吸着装置１  を例示しているが、その用途は加工機、洗浄機等に限定されるのものではない。また実施形態のワーク吸着装置１  は縦型を例示しているが、縦型に限定されず、例えば回転軸２  は斜め方向に配置しても良い。従って、斜め傾斜式、その他の各種形式のものに採用することができる。
【００５２】
転がり軸受５  にはボール軸受以外のもの、例えばローラ軸受等を使用しても良い。また転がり軸受５  は回転軸２  の軸方向に少なくとも２個あれば良く、３個以上の転がり軸受５  を介して回転軸２  を支持するようにしても良い。また転がり軸受５  以外の滑り軸受等を介して回転軸２  をハウジング３３により支持するようにしても良い。
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、軸受間の間隔を十分に確保することにより、回転軸の回転時の軸振れ等を容易に防止でき、回転軸の支持の安定性を確保しながら、回転軸側とハウジング側との各真空引き通路、圧搾ガス通路を容易に連通でき、装置全体の大型化及び構造の複雑化を防止できる。
【００５４】
また回転軸の中心部に上下方向の空隙を略同心状に形成し、回転軸内に、空隙を内径側の第１真空引き通路と外径側の第１圧搾ガス通路とに分離する上下方向の中空管を略同心状に内嵌しているので、回転軸内に複数個の流体通路を容易に形成できると共に、回転軸の強度を確保しつつ各流体通路の通路断面積を容易に確保でき、しかも回転軸の回転時の軸振れ等を容易に防止できる。
【００５５】
更に一対の軸受間に、第１真空引き通路及び第２真空引き通路を連通する真空引き連通路と、第１圧搾ガス通路及び第２圧搾ガス通路を連通する圧搾ガス連通路とを上下に設け、真空引き連通路及び圧搾ガス連通路の上下両側に、回転軸側とハウジング側との間をシールするラビリンスシールを夫々備えているので、回転軸側とハウジング側との各通路を連通路を介して容易に連通できると共に、各連通路の両側を確実にシールできる。
【００５６】
特に非接触式のラビリンスシールを採用しているため、接触式のシールを採用する場合に比較して、構造が簡単であり、容易且つ安価に製作できると共に、シール部分での発熱、その他の問題がなく、安定したシール性能を長期間に亘って継続的に維持でき、メンテナンスが容易になる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示すワーク吸着装置の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態を示す要部の拡大断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態を示す要部の断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態を示す要部の断面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態を示す要部の断面図である。
【図６】本発明の第５の実施形態を示す要部の断面図である。
【符号の説明】
２      回転軸
３      ワーク吸着部
４      圧搾ガス噴出部
５      転がり軸受
６，８      真空引き通路
７，９      圧搾ガス通路
１０    真空引き連通路
１１    圧搾ガス通路
１２    ラビリンスシール
１３    空隙
２２ａ  〜２２ｅ    内輪用間座
２５ａ  〜２５ｅ    外輪用間座
２６，３１      絞り壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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