(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの集積回路製造設備におけるリソグラフィ・レーザを監視するためのシステムであって、
Ａ）集積回路リソグラフィ・プロセスにおいて照射源として使用するよう構成されている複数のレーザと、
Ｂ）前記複数のレーザの各々の１つに接続される端末サーバーと、
Ｃ）前記各々のレーザからデータを収集し、前記データの少なくとも一部分を未処理形式および／または要約形式で格納するようにプログラムされており、ローカル・エリア・ネットワークを経由して前記複数のレーザと前記端末サーバを介して通信する中央製造設備サーバー装置と、
Ｄ）前記中央製造設備サーバーと、前記中央製造設備サーバーに格納された情報へのアクセス許可をもつ者によって利用されるコンピュータとの間の通信ネットワークを経由して通信を提供するリモートサーバー装置とを備え、前記中央製造設備サーバーを介して前記リモートサーバーにより、前記端末サーバーに接続された前記リソグラフィ・レーザの状態をほぼリアルタイムで遠隔監視することができる
ことを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記複数のレーザは、狭帯域エキシマ・レーザであることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
各々の端末サーバーは、固有のインターネット・アドレスを備えることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記リモートサーバーは、レーザ製造業者の施設に設置されることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記中央製造設備サーバー装置は、モジュラー形式で作成されたソフトウエアでプログラムされており、前記ソフトウエアは、
ａ）データ収集モジュール
ｂ）パーサー・モジュール
ｃ）データベース・モジュール
ｄ）ユーザー・インターフェース・モジュール
を備えることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記データ収集モジュールは、
ａ）レーザ読み取りおよび書き込み
ｂ）レーザへのコマンド書き込み
ｃ）コマンド書き込みキュー
ｄ）レーザからのデータ読み取り
ｅ）マスター・スケジューラ
ｆ）パーサーに対するインターフェース
ｇ）データベース書き込みキュー
ｈ）システム・エラー・ログおよびエラー・デーモン
を備えるソフトウエア・コンポーネントを含むことを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記レーザからの収集データは、前記中央製造設備サーバー装置によって作成されるウエブ・サイトで公開されることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記レーザからの前記収集データは、要約図表形式で公開されることを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記ウエブ・サイトは、ウエブ・ページを含むことを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
前記ウエブ・ページは、
ａ）管理ページ
ｂ）特定のレーザに関する要約ページ
ｃ）サービス・ログ・ページ
ｄ）エラー・ページ
を備えることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記図表は、
ａ）チャンバ寿命図表
ｂ）ＬＮＭ図表
ｃ）安定化モジュール図表
ｄ）稼動時間図表または停止時間図表
ｅ）メンテナンス関連図表
を備えることを特徴とする請求項８に記載のシステム。
【請求項１２】
前記通信ネットワークは、インターネットであることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記通信ネットワークは、イントラネット・システムであることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記端末サーバーは、組み込み型通信ネットワークカードであることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本出願は２０００年２月１６日出願の特許出願番号第０９／５０５，２３３号の一部継続出願である。本発明は監視システムに関し、より詳細にはレーザ用監視システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に集積回路の製造はリソグラフィ・プロセスを利用して行われ、ステッパもしくはスキャナ装置を使用してシリコン・ウエハー上に集積回路を印刷する。最新式の製造設備では、リソグラフィ・プロセス用の光源はエキシマ・レーザであり、その大部分は約２４８ｎｍの波長で作動する狭帯域ＫｒＦエキシマ・レーザである。将来においては、２４８ｎｍ波長光で可能な分解能よりも大きな分解能が、約１９３ｎｍで作動するＡｒＦエキシマ・レーザおよび約１５２ｎｍで作動するＦ2エキシマ・レーザへと業界が移行することにより提供され得る。
【０００３】
ステッパ／スキャナ装置およびそれらに関連するレーザ光源を含む製造ラインは極めて費用がかかり、そこで生産される集積回路は極めて高価であるので、一般に集積回路製造ラインは、ほぼ連続的に「休みなく」、一日２４時間、一週７日、一年３６５日、メンテナンス用の最低限の停止時間で稼動する。従って、停止時間、特に予定外停止時間を最小にするようエキシマ・レーザを含む製造ラインの機器を構成して保守点検することに大変な努力が注ぎ込まれる。結果として、リソグラフィ・エキシマ・レーザの「停止時間」は、１％を大きく下回ることが期待されている。
【０００４】
更に、これら製造ライン上で生産される集積回路の品質は、レーザが発生するレーザビームの品質に大きく依存する。
【０００５】
前述のビームは、一般に幅の狭いビームであり、各々のパルス・エネルギは慎重に制御される。中心波長、帯域幅およびパルス・エネルギのビーム品質仕様パラメータは、一般に各々のパルスに対して監視され、最新式のリソグラフィ・レーザは１，０００から２，５００パルス／秒のパルス繰返し数で作動する。一般的なＫｒＦエキシマ・レーザに関するビーム仕様は以下の通りである。
波長変動（３０パルス・ウインドウ内）            ＝±０．０７ｐｍ
波長シグマ（即ち、標準偏差）                    ＝±０．０６ｐｍ
帯域幅（未満）                                  ＝０．６ｐｍ
露光量変動（３０パルス・ウインドウ内）          ＝０．４パーセント
エネルギ・シグマ（３０パルス・ウインドウ内）    ＝１２パーセント
エネルギ変動（３０パルス・ウインドウ内）        ＝７．５パーセント
【０００６】
これらの仕様は品質基準形式の例であり、レーザ性能がレーザ製造設備からの出荷に先立つ引渡し試験に合格するか否かの判定に使用される。
【０００７】
集積回路製造ラインの稼動中、エネルギ、中心波長および帯域幅は監視されエネルギおよび中心波長はコンピュータベースの帰還制御により自動制御される。製造ラインのオペレータは種々の方法を利用してレーザビームの品質制御を行い、調整、メンテナンスもしくは機器交換が必要な時期の判定を行う。修理のために生産ラインを停止させると一般に集積回路の単位生産コストが高くなる生産ロスを招くことになるので、ビーム品質が低下する場合にこの判定を行うことは困難である。一方で、理想的なビーム品質に至ることなく生産を継続すると結果として品質が低下してしまう。
【０００８】
米国特許第５，６４６，９５４号（参考文献として本明細書に組み込まれている）には、エキシマ・レーザ・リソグラフィ光源の性能信頼性を改良するための従来技術によるメンテナンス予定制御システムおよび監視方法が説明されている。このシステムはマイクロプロセッサを使用して、レーザ・パルスを監視し使用値に基づいてメンテナンスおよび機器交換を予定すべき時期を予測する。リソグラフィ・レーザは、モジュール内に故障があれば必ず全モジュールが予備モジュールと迅速に交換できるよう、典型的にはモジュール形式で組み込まれている。その後で交換モジュールは工場に返却される。その中にある再使用可能な部品は新しく製造されたモジュール中に再生使用される。このモジュールとしては、レーザ・チャンバおよび関連部品を含むチャンバ・モジュール、レーザビームの波長およびパルス・エネルギを安定させるための波長計を含む安定化モジュール、およびレーザビームの帯域幅を狭めてビームの波長を制御するためのライン制限モジュール（ＬＮＭ）を挙げることができる。
【０００９】
レーザビームの品質を制御することは高品質集積回路の生産を維持する上で極めて重要である。ＫｒＦエキシマ・レーザ等の最新式リソグラフィ・レーザは以下の３つの情報制御−データ・ポートを有している。
（１）これを経由してステッパ／スキャナ・コンピュータ制御装置がファイアリング・コマンドをレーザ・コンピュータに与えるステッパ／スキャナ・ポート。
（２）これを経由してレーザオペレータがレーザへシリアルコマンドを送出し、目標波長、パルス・エネルギ等のレーザパラメータを制御するか、またはガス混合等のパラメータの調節を行う、パドル形状のパドルと呼ばれるレーザ制御装置用シリアル・ポート。
（３）レーザ・コンピュータからパラメータデータを収集するために現場技術者によって使用されるＲＳ−２３２診断ポート。
【００１０】
レーザ製造業者がリソグラフィ・レーザからデータを収集して処理するための典型的な現行プロセスは以下の段階を含んでいる。
（ａ）レーザ製造業者からの現場技術者が毎週リソグラフィ・レーザからデータを物理的にダウンロードする。
（ｂ）このデータはＡＳＣＩＩのフラット・ファイル形式で格納され、その後電子メールによってレーザ製造業者に送られて更なる処理が行われる。
（ｃ）この電子メールに基づいたプログラムは３年間使用され、電子メールのデータ・ファイルを構文解析し、それらをサーバー中に保存する。
（ｄ）このデータは、経験を積んだ設備の技術支援要員によって矛盾がないか検査され／メッセージとして送られる。
（ｅ）特別の問い合わせは、履歴解析用ＳＱＬサーバー・データベース中のデータに基づいてユーザーによって生成される。
（ｆ）全プロセスは時間に左右されやすい（例えば、ある種の問い合わせは処理するのに７−８分かかる）。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
現行プロセスは本質的に手作業であり以下ような制限がある。
（ａ）現場技術者は、毎週このデータをダウンロードするために集積回路製造設備の無塵室環境中に物理的に居合わせる必要がある。従って、このプロセスは日々行うことができず、顧客／現場技術者が計画する必要がある。この最新データは毎週収集される。
（ｂ）このデータはリアルタイムではなく、データは処理される時まで一週間以上古くなる場合もある。
（ｃ）継続的なステータス報告がない。
（ｄ）適切な形式でデータをダウンロードするように現場技術者を訓練する必要がある。
（ｅ）関係者への自動的な警報がない。
（ｆ）全プロセスは、これらのレーザ装置を作動させるのにある程度の不確定性があり、レーザ供給業者と製造設備の両者へは実質的な間接費がかかる。
【００１２】
リソグラフィ・レーザを監視するための優れたシステムが必要である。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、集積回路製造設備におけるリソグラフィ・レーザを監視するためのシステムを提供する。各々の製造設備における各々のレーザは、それに接続される端末サーバーを有する。各々の製造設備に関して、中央制御サーバーユニットはローカル・エリア・ネットワークを介して各々のレーザと通信する。レーザからの情報は中央制御サーバーユニットによって収集され、この情報はアクセス許可をもつ関係者がウエブ・サイト形式で利用できるようにされた要約情報を提供するのに使用される。
【００１４】
本発明の主要な機能はデータの収集である。レーザの監視装置は莫大な量のデータを記録する。例えば、各々のレーザ・パルスは、パルス・エネルギ、波長、帯域幅および充電電圧について監視される。一般的に最新式レーザは約２０パーセントの使用率で２０００Ｈｚで作動するので、これらのパラメータはまさに毎秒１６００の値を示し、運転は休みなく行われるのでこのデータは一日当たり一次レーザ・データ約１３８百万の値に達する。更に、レーザはこの一次データから別の性能値を計算する。計算値は、小グループのデータについての波長およびパルス・エネルギの標準偏差値を含む。また、レーザはパルス「ウインドウ」と呼ばれるパルスの指定グループに関する露光量変動値を計算する。更に、他のレーザパラメータを頻繁に監視して所望の頻度で記録できる。これらの他のパラメータは、種々の温度値、レーザガス圧およびファン速度を含む。
【００１５】
典型的にリソグラフィ・レーザはバースト・モードで作動し、ステッパまたはスキャナが別の色素点へ移動する僅かなアイドル時間の後に、短バースト・パルス（例えば２００パルス）が生成される（その間ウエハー上の単一の色素点が照射される）。全てのウエハー上の色素点が照射されると、数秒の長いアイドル時間があり、その間に新しいウエハーが所定位置に移動する。レーザはこのパターンを監視し、本発明のシステムは、アイドル時間に加えて全てのバーストの如何なるパルスも記録できる。更に、全ての所望の要約、編さん物、レポート、データの集計または比較であるテーブルを計算して格納でき、ほぼリアルタイムに利用できるようになる。
【００１６】
図表は以下のものを含むことができる。
１）月々の各々のレーザの稼動時間（もしくは停止時間）
２）稼動時間の間の各々のレーザの使用率
３）前回のチャンバ交換から各々のチャンバが積算したパルス計数
４）前回のモジュール交換から各々のモジュール（ＬＮＰ、電源モジュール、整流子モジュール、圧縮リードモジュール、ガスモジュール等）が積算したパルス計数
５）所定の時間間隔での各々のレーザについての波長モニタ、波長シグマ、平均帯域幅、露光量変動、エネルギ・シグマおよびエネルギ変動
【００１７】
【発明の実施の形態】
（第１の好適な実施形態）
本発明の第１の好適な実施形態を図面を参照して説明する。図１は集積回路製造設備におけるリソグラフィ・レーザを監視するためのプロセス監視システムの概要を示す。
【００１８】
（レーザ）
好適な実施形態におけるレーザ２はエキシマ・レーザであり、特定の集積回路製造においては、カリフォルニア州サンディエゴのサイマ社から入手可能なＣｙｍｅｒ５０００シリーズおよびＣｙｍｅｒ６０００シリーズ・レーザ等のＫｒＦレーザモデルの組合せで構成された約２０のレーザであってもよい。これらのレーザは、繰返し率約１０００Ｈｚもしくは２０００Ｈｚで作動し、パルス当たり約１０ｍＪのレーザ・パルスを発生する。これらはシリコン・ウエハー上に集積回路を生成するスキャナおよびステッパ装置用の紫外線源である。
【００１９】
（インターフェース）
ＲＳ−２３２Ｃインタフェース・ポート４は、図１に示すレーザ制御装置と監視機器との間の通信を行う。
【００２０】
（端末サーバー）
各々のレーザは、これに接続され独自のインターネット・アドレスをもつ関連の端末サーバー６を有する。好適な実施形態において、端末サーバー６はブラックボックス社から入手可能な標準サーバー型式ＬＥ９９５Ａ−Ｒ３である。
【００２１】
（製造設備中央制御サーバー）
好適な実施形態において、システムの一部を構成する各々の集積回路製造設備は、単一の製造設備中央制御サーバー８で稼動される。図１に示すように、サーバー８は各々のレーザ２と製造設備のローカル・エリア・ネットワーク（ＬＡＮ）７を経由して通信する。サーバーについての好適な最低限の要件は以下の通りである。
プロセッサ：ペンティアム７００ＭＨｚ以上、デュアル・プロセッサ・システムＲＡＭ：２Ｇｂ
ハード・ディスク：４００Ｇｂ
ＵＰＳ
バックアップ用テープドライブ−４００Ｇｂ
【００２２】
これらの要件に合致する好適なサーバーは、ヒューレットパッカード社から入手可能なHPＬＨ６０００シリーズのサーバーである。
【００２３】
前述のシステムは、
ａ）６ヶ月までのデータを格納
ｂ）レーザの数が２０以下
である製造設備用には充分である。
【００２４】
（インターネット）
図１に示すように本好適な装置において、製造設備のオペレータは、ＬＡＮ上の情報への不正アクセスに対して保護を行うために、通信ネットワークと外界との間に製造設備ファイアウォール１２を構築する。この場合、レーザ２が承認された性能基準に適合することを保証する責任を負い、かつレーザの性能について契約上の義務があるレーザ製造業者は、製造設備の監視システムによって収集される情報について制限付きのアクセスが認められている。この制限付きのアクセスは、（レーザ製造業者と製造設備オペレータとの間で同意された場合）インターネットを経由して行うことができる。しかし、どちらの組織も製造設備については１２として示され、製造業者については１１として示されるようなファイアウォールを備えている。
【００２５】
つまり特定の好適な実施形態において、（事前に同意された）ある種の形式のデータは、ウエブ・サイト形式でサーバー８中に格納でき、製造業者が製造業者のインターネット・サーバー１６を経由して製造業者の設備の複数の中央処理装置（図示せず）のいずれかへダウンロードできる。
【００２６】
（制御および監視プログラム）
好適な実施形態における中央制御サーバー８は、以下の市販ソフトウエア・パッケージを利用する。
ａ）オペレーティングシステム−Ｘ１１Ｒ６付きＬｉｎｕｘ６．２  デラックスバージョン
ｂ）データベースの記憶および読み出し−Ｏｒａｃｌｅ８Ｉ標準版
ｃ）ウエブ・サーバー−Ｔｏｍｃａｔバージョン３．１
【００２７】
（プログラミング）
ＬｉｎｕｘＣＶＳ／ＲＣＳは、このアプリケーション用のＬｉｎｕｘオペレーティングシステム８をプログラムするのに使用される。ＧＮＵツールセットは、種々のプログラムのモジュール化を可能にするプログラム・ライブラリーを生成するのに使用される。プログラム・ライブラリーは、共用ライブラリー、静的ライブラリおよび動的ロード・ライブラリーを含む。
【００２８】
（中央制御用コンピュータ・プログラム）
オペレーティング・システム８用のソフトウエアは、モジュール形式で生成されることが好ましい。データ収集モジュール、パーサー・モジュール、データベース・モジュールおよびユーザー・インターフェース・モジュールの四つの主要ソフトウエア・モジュールがある。
【００２９】
（データ収集モジュール）
データ収集モジュールは、レーザ２からデータを収集し、更なる処理のためにそのデータをパーサー・モジュールに送るタスクを実行する一組のプログラムから構成される。図１に示すように、通信は端末サーバー６とＲＳ−２３２Ｃインターフェース４とを経由して行われる。
【００３０】
データ収集モジュールは、以下のソフトウエア・コンポーネントを含む。
・レーザ読み出しおよび書き込み
・レーザへのコマンド書き込み
・コマンド書き込みキュー
・レーザからのデータ読み出し
・マスター・スケジューラ
・パーサー・プログラムに対するインターフェース
・データベース書き込みキュー
・システム・エラー・ログおよびエラー・デーモン
【００３１】
（レーザ読み出しおよび書き込み）
第１のモジュールは、ソケット通信の読み出しおよび書き込みプログラムから構成される。書き込みプログラムはレーザへコマンドを出力する。読み出しプログラムは、レーザからの応答とデータとを収集する。マスター・スケジューラ・モジュールは、設定可能な時間間隔で書き込みプログラムを呼び出す。読み出しプログラムは、装置からの応答データの入手可能性に基づいて呼び出される。各々の書き込み動作は、装置からのデータ応答を引き起こす。その後の同一装置への書き込み動作は、成功した収集または読み出し動作のタイムアウト値より前に行ってはいけない。
【００３２】
（装置へのコマンド書き込み）
Ｌｉｎｕｘサーバーから端末サーバーに対してソケット接続が行われる。コマンドは、マスター・スケジューラの制御下でソケットへ書き込まれる。
装置についての好適なコマンドリストを以下に示す。
コンフィギュレーション取得
レーザ制御システムは、設定可能なデータを使用してシステム動作をカスタマイズする。例えば、再充填作業中のガス量、多数のレーザ部品の寿命、レーザのシリアル番号、および多数の他のパラメータがコンフィギュレーション・データに含まれる。この「コンフィギュレーション取得」コマンドは、このデータを収集する。
診断取得
レーザ内部ではセンサがレーザ性能を監視する。定期的に制御モジュールはセンサを読み取り、センサの読み取り値を格納するのに使用される記憶場所を更新する。診断読み出し値は、レーザ内の温度や冷却水流量等のパラメータを含む。
エラー取得
レーザは警告またはエラーを検出するとメッセージを携帯端末に表示し、警告／エラーコードを指定メモリ区域に書き込む。各々のログ入力は、警告またはエラーコード番号、エラーが起きた日時、およびエラーを引き起こしたパラメータを含む。レーザは（ＭＣＳバージョン１．６４またはそれ以降のものを実行する場合）５０個の警告および５０個のエラーまで格納する。
ステータス取得
ステータス・データは、繰返し率、エネルギ・モード、トリガー・モードおよびバースト回数等のレーザ性能を判定するパラメータである。
ショットデータ取得
レーザが発射される度に以下の情報が主制御ボード中に保存される。
・パルス・エネルギ
・高電圧設定点
・波長
・帯域幅
平均ショットデータ１Ｋ取得
これは、１０００パルスにわたって平均したショットデータである。
平均ショットデータ１００Ｋ取得
これは、１００，０００パルスにわたって平均したショットデータである。
平均ショットデータ１００Ｍ取得
これは、１００，０００，０００パルスにわたって平均したショットデータである。
フリンジデータ取得
フリンジ（ｆｒｉｎｇｅ）データは、単一レーザショットを１０２４バイトでスペクトル表示したものであり波長の較正に使用される。他のデータ形式と違って有効なフリンジデータは、レーザの発射中のみダウンロードできる。
全取得
このコマンドは前述のデータ全てを収集する。
【００３３】
レーザ・ソフトウエアは、それが終了信号に遭遇するまでコマンド文字を格納する。その後、ソフトウエアはデータを収集して中央制御サーバー装置へ送る。
【００３４】
（コマンド書き込みキュー）
マスター・スケジューラは、予定時刻にコマンドを書き込みキューへ送る。更に、対話式ユーザーまたは他の制御プログラムは、コマンドをコマンド書き込みキューに送ることができる。書き込みキューは、先入れ先出し構造を利用し、ソケットを使用してコマンドを装置へ送る。コマンドは指定された特定のレーザに送出される。同一レーザへの次のコマンドは、前のコマンドが完了するまで、またはタイムアウトが生じるまで行ってはいけない。パーサーからのデータは、ＸＭＬ形式ファイルの呼び出しプログラムに渡される。このファイル・ハンドラーは、リターン・メッセージ・キューによって呼び出しプログラムに戻される。マスター・スケジューラは、戻されたデータを必要としない。その後、戻されたデータはデータベース書き込みキューに送られて収集情報をデータベース中にアップロードする。
【００３５】
（装置からのデータ読み出し）
各々のレーザに送られた各々のコマンドは、レーザからのデータを伴う応答になる。次のコマンドは、先のコマンドが完全に受信されたことについてのデータ応答があった後でレーザへ書き込むことができる。レーザから何も応答がない場合、結果としてのタイムアウトがデータ読み出しプログラムを終了し、入力をシステム・エラー・ログに添付することができる。データは、ソケット接続を利用して端末サーバーから読み出される。書式送りは各々のデータ応答の終了を示す。パーサー・アプリケーションは、全てのデータ応答を１つのデータセットとして処理できる。ここでの主たる相違点は、最初のデータセットのみがレーザＩＤをもつことである。データ読み出しプログラムのデータ妥当性検査の目的で、データは印刷可能なＡＳＣＩＩ文字記号の１つの長い列として処理される。印刷できないＡＳＣＩＩ文字記号は不正なデータを示し、そのデータセットはシステム・エラー・ログへ入力されると同時に廃棄される。有効データは、パーサー・プログラムへ渡され、対話式ユーザーによるデータ・ロードまたはウエブ閲覧に備える。書き込みキュー・モジュールを呼び出す別のプログラムは、パーサーからＸＭＬ形式のデータを受信できる。
【００３６】
（マスター・スケジューラ）
このプログラムは、予め設定された時間間隔でレーザへの種々のコマンド書き込みを予定に入れる。ユーザーは、（ウエブ上の）ユーザー・インターフェース画面を使用してコマンド頻度を保守する。レーザへのコマンド書込み操作はデータ応答をもたらす。Ｌｉｎｕｘの標準「ｃｒｏｎ」ユーティリティは、マスター・スケジューラとして使用できる。ユーザー・インターフェースは、「ｃｒｏｎｔａｂ」ファイルの内容を閲覧して修正するために用いられる。標準のユーザー・アカウントは、これらのｃｒｏｎジョブを実行するのに使用される。
【００３７】
（パーサーへのインターフェース）
レーザ読み出しプログラムは、コマンドに応答する完全セットのデータをもつ場合に構文解析プログラムを呼び出す。応答データは、タイムアウト時間の後で不完全である場合または不正である場合は廃棄される。そうでなければレーザから読み出されたデータはディスク・バッファ中に格納される。
【００３８】
構文解析プログラムはこのデータを解析し、予め定義された文法によってデータを構文解析し、Ｏｒａｃｌｅデータベース中にロードするよう準備する。次に構文解析プログラムはデータベース書き込みジョブ・キューへデータベース書き込み要求を送出する。
【００３９】
（データベース書き込みキュー）
パーサーからのデータベース書き込み要求はジョブ・キュー中に格納される。ロードコマンドは、データベースＳＱＬローダの能力に基づいて開始される。期間中の入力データ転送速度は、全てのデータベース書き込み要求が非同期的に完了できるようにする必要がある。
【００４０】
データベース書き込みは、バッチ・キューへジョブを送出する。コマンドは、新規ジョブを監視し、削除し、バッチ・キューへ追加するために設けられている。ジョブが終了する際、終了値は成功またはエラー状態を示す。Ｌｉｎｕｘオペレーティング・システムのシェル・スクリプトを使用してバッチ・ジョブの非同期ジョブ制御を実行できる。ジョブはローカル・シェルのもとでバックグラウンドで実行されるべきであり、シェルは、ジョブのステータスが変わる場合に主プログラムに通知できる。キュー詳細プログラムが、より従来型のバッチ処理環境で使用される場合その結果は電子メールを経由してユーザーへ戻される。これらの結果は、適切な成功またはエラー・ログ・ファイルに転送される。
【００４１】
（システム・エラー・ログおよびエラー・デーモン）
アプリケーションは次の状況下でエラー・ログ・エントリを生成する。
・コマンドに対する装置からの応答がない
・装置からのタイムアウトを含む不完全な応答
・装置からの不正応答
・固有キー違反に起因するデータベースのロード・エラー、データは既に入手可能である
・間違ったロード・ファイルに起因するデータベースのロード・エラー
・データベース停止または他のシステム上の問題に起因するデータベースのロード・エラー
致命的および非致命的なエラーが監視され、適切な警告がシステム・コンソール・ウインドウ中に表示される。別々のシステム・エラー・ログが必要な場合も有れば必要でない場合もある。全ての新規な致命的もしくは非致命的エラーの発生は警報のトリガーとなり、コンソールはエラーのタイプと回数とに基づいて表示を行う。
【００４２】
（シミュレーションプログラム）
レーザを入力しないで前述のモジュールを試験するためのシミュレーションプログラムを準備することが好ましい。そのようなシミュレーションプログラムは、不完全な応答、応答の欠如および他のエラー条件等の種々のコマンドに対する装置の応答をシミュレーションする必要がある。このシミュレーションプログラムは、Ｒｅｄ  Ｈａｔ  Ｌｉｎｕｘ６．２が実行される低パワー、低速度ＰＣ上で実行するのが好ましい。これはＲＳ２３２Ｃを使用してブラック・ボックス・コンパクト・ターミナル・サーバー（ＢＢＴＳ）に接続される。ＰＣは可能性のある各々のコマンドに関する全ての標準的な応答を格納してシミュレーションを行う。最初に一様な応答が戻される。以下に説明するように、外部アプリケーション・プログラム・インターフェースは、コマンド書き込みキューおよびパーサー出力へもたらされる。
・コマンド書き込みキュー
これはｃｒｏｎスケジューラ、対話式イントラネット・ウエブ・ユーザーまたは外部プログラムからのコマンドを受け取る。レーザへの最後のコマンドが完了すると、これはコマンドを待ち行列に入れ、それらを特定のレーザへ書き込む。呼び出しプログラムは、コマンド、装置識別子および呼び出しプログラムのソースをコマンド書き込みキューへ渡す。
・データ読み出しキュー
レーザからデータが読み出されると、それはパーサーに渡される。パーサーは種々のフィールドに分割し、タイムスタンプおよび他のヘッダーを挿入し、データベース・スキーマに概略が説明されるようなレコードを準備する。データ読み出しキューは、呼び出しプログラムに関するファイル・ポインタおよびリターン・アドレスを含む。呼び出しプログラムはデータ読み出しキューを介してデータを取り出す。
・データベース書き込みキュー
定期的なｃｒｏｎコマンドは、特定のコマンドデータが取得されてデータベース中にロードされることを要求する。ＳＱＬローダ形式のパーサーの出力は、データベース書き込みキューに与えられる。このキューは、ＳＱＬローダの起動とデータの適切な読み込みとを処理する。
【００４３】
（キューの実行）
以下のキュー機構を利用できる。
１．Ｌｉｎｕｘシェル・キューおよびＧＮＵキュー・プログラム
２．ＴＩＢＣＯキューイング・アプリケーション
３．Ｌｉｎｕｘ  Ｖ５．１テクノロジ・リリース用のＩＢＭ  ＭＱシリーズ
【００４４】
（パーサー・モジュール）
パーサー・モジュールは、必要なデジタル情報を適切な形式で生成するので、収集データを適切に処理でき、格納でき、検索できる。好適な装置において、情報は１２のカテゴリに構文解析される。
１．コマンドおよびレーザＳ／Ｎを含むヘッダー
２．製造業者データを識別するための詳細内容
３．ｘｍｌ
４．装置識別
５．データセット識別
６．シーケンス
７．グローバル固有識別子
８．データセットの日付
９．世界時間コード・オフセット
１０．コネクタ形式
１１．パーサー・ステータスについてのプロセスＩＤ
１２．警告またはエラー・メッセージについてのログ名
【００４５】
（ユーザー・インターフェース−ウエブ・ページ）
ウエブ・ページは図１に示すサーバー８上にＨＴＭＬページを構築することによって表示される。標準ＨＴＭＬタグを使用してこれらのページを作る。このＨＴＭＬページは、データベースから検索できる動的データを含むので、Ｊａｖａサーバー・ページ技術を（サーブレットと共に）使用するのが好ましい。この技術を選択するいくつかの理由を以下に述べる。
１．ＪＳＰ（Ｊａｖａサーバー・ページ）は、業界で標準になっているＪａｖａおよび関連技術を利用している。従って、数多くの供給業者からのサポートを享受でき、高品質のサポートが利用できる。
２．ＪＳＰおよびサーブレットのエンジンであるＴｏｍｃａｔは無料でＡｐａｃｈｅ（ｈｔｔｐ：／／ｊａｋａｒｔａ．ａｐａｃｈｅ．ｏｒｇ／ｔｏｍｃａｔ／ｉｎｄｅｘ．ｈｔｍｌ）から入手でき、Ａｐａｃｈｅウエブ・サーバーとの統合が容易である。
３．携帯装置における装置性能データを表示するための将来的な機能拡張は、Ａｐａｃｈｅウエブサーバーと巧く統合するＸａｌａｎ技術を使用して簡単に提供できる。
【００４６】
更に、Ｊａｖａは、「一度書けばどこでも動く」原則を採用したプラットフォームに左右されず、安全で、ネットワークに都合のよい言語である。他のプラットフォームへの将来的な移行は、いかなる前処理コードの再編集も必要としないであろう。
【００４７】
ＪＳＰを介してＨＴＭＬページ作りをサポートする目的で、Ｊａｖａ  Ｂｅａｎが設計されており、これらのページ中に表示する必要があるデータをサポートする。データを読み込み、あらゆるデータ処理を実行し、データベース中にデータを戻して格納するために、ＪＳＰ毎に１つのＪａｖａ  Ｂｅａｎがあることが好ましい。表示およびデータ処理がＪＳＰとＪａｖａ  Ｂｅａｎとの間で正しく分離されるよう、適切な方法を識別する必要がある。
【００４８】
データを検索／格納するためにデータベースにアクセスする目的で、ＪａｖａＢｅａｎはＪＤＢＣ技術を利用する。Ｏｒａｃｌｅに関する多数の優れた純粋なＪａｖａＪＤＢＣドライバ（レベル４ドライバ）があり、高い性能を与える。更に、準備済みステートメントを使用すると、頻繁に実行される問い合わせに対する性能を高めることができる。前述のように、Ｊａｖａ  Ｂｅａｎはデータベースにアクセスをするための全ての論理を含む。なお一層性能を高めるには、これらのＪａｖａ  Ｂｅａｎは、接続プールからデータベースへの接続を行う必要がある。接続プールは、データベースへの種々の呼び出しの間の接続を再利用できるので、費用がかかる頻繁な接続の開始と終了を防止する。接続プールは、パラメータをテキスト・ファイル経由で外部から制御できるような方法で設計できる。接続パラメータとしては、接続を使用できる回数や、接続がその後にプールに戻される非アクティブ期間等を挙げることができる。ＨＴＭＬページ（ＪＳＰからの）の代わりにＸＭＬページを生成することができ、データは、適切なスタイル・シートを使用して種々の装置（パーム・パイロット、セル電話、ブラウザ等）中に表示できることに留意されたい。
【００４９】
（ウエブ・ページ）
好適に表示されるウエブ・ページとしては以下のようなものがある。
１．管理ページ
このページは、特定のサーバーに接続された装置群を管理するのに使用される。管理機能はネットワークに装置を追加することやデータ収集パラメータの設定を行うこと等を含む。
２．主要ページ
特定のサーバーに接続されている全てのレーザのステータスを表示する。
３．要約ページ
特定のレーザ型式に関するデータを表示する。データ形式は、そのレーザ型式についての累積値または平均値のいずれかである。これは次の５ヶ月について週ベースで交換が予想される部品数も示す。
４．機器制御ページ
使い方、メンテナンスおよび交換スケジュール等に関する特定のレーザＩＤについてのデータを表示する。
５．サービス・ログ・ページ
データは特定のレーザＩＤに関してサービス要員によって入力される。停止時間、交換部品およびコメントに関する詳細内容がこのページに入力される。これは、データベース中に格納されるウエブ・ユーザーからデータを受け取る現行プロジェクトにおける２ページのうちの１ページである（他のページは管理ページである）。
６．ＳＰＣ（静的プロセス制御）ページ
特定の装置ＩＤについての種々のパラメータ（帯域幅、エネルギ・シグマなど）に関するＸバーおよび範囲図表を表示する。また、過去５日間に記録されたエラーおよび警告ログも表示する。
７．エラー・ページ
特定の装置ＩＤについてのエラーおよび警告。
８．コメントページ
各々の装置ＩＤ用（ＥＣから進む）。
９．交換部品
各々の装置ＩＤ用（ＥＣから進む）。
１０．対話式ユーザーコマンドページ
ユーザーは、ＧＡ、ＧＥ、ＧＤ等のレーザ・データ収集コマンドをブラウザから送出できる。このページには、コマンド形式を選択するための選択ボックスと、このコマンドを発信するためにボタンとがある。一旦コマンドが発信されると収集された未処理データが表形式で表示される。
【００５０】
更に、これらのページの幾つかは、異なる形式のデータを表示するためタブを含む必要がある。例えば、要約ページは、消耗品費用、装置の生産性、装置の性能および交換スケジュールというタイトルが付けられた４つのタブに分割できる。複合ページを個別のタブに分割する（内部的には別々のページとして実行される）ことで、図表を描く計算がページ間に分割されるので、高い知覚性能を得られる。
【００５１】
（ウエブ・ページ・シーケンス）
このプロジェクトのためのホーム・ページが提供されている。ユーザーは、所望の装置ＩＤ区域（ＥＣ、サービス・ログ等）をクリックすることによって個々のレーザへ進むか、またはこのページから要約ページへ進むことができる。
【００５２】
各々のページから他のページへ多数のリンクが張られていることが好ましい。また、特定のレーザＩＤに関する詳細内容を表示するページ内、または特定のレーザ型式に関するデータを表示する要約ページ中で、ドロップ・ダウン・リスト・ボックスから異なるレーザＩＤや型式を選択できる。このイベントは表示される特定ＩＤ（または型式）に関するデータを発生する。
【００５３】
現在のところ全ての履歴データは過去６ヶ月間表示される。将来増強すれば更に長い期間（９か月、１年など）を選ぶ選択範囲をユーザーに与えることができる。このプロジェクトでデータを表示する最も重要な形式は、図表の使用を介することであろう。図表はサーバー側で描かれ、ブラウザ上に表示される。これを実現するためには、特別の図表作製パッケージを開発するか、第三者供給業者からの既存の図表作製コンポーネントを利用するかである。要求に対してカスタマイズできるので独自開発の図表作製ツールを開発することが理想的であるが多大な時間と費用がかかる。多くの供給業者は、Ｊａｖａ  Ｂｅａｎとしてパッケージ化されたＪａｖａ図表作製コンポーネントを供給している。例えば、プロトビュー社のＰｏｗｅｒＣｈａｒｔや、ＫＬグループのＪｃｌａｓｓコンポーネント（ＪＣＣｈａｒｔ）、ビジュアライズ社（ｗｗｗ．ｖｉｓｕａｌｉｚｅｉｎｃ．ｃｏｍ）のＤａｔａ  Ｖｉｓｔａ  Ｐｒｏ等を挙げることができる。
【００５４】
（図表形式）
以下は、このプロジェクトで表示が要求される種々の図表形式である。
１．棒図表
２．積み上げ棒図表（累積データ用）
３．線図表
４．標準偏差（高−低）マーカ付き線図表
５．散布図
【００５５】
以下のテーブルは、表示できる好適な図表とその図表形式を示す。
0003541183.tif 000002
【００５６】
（テーブル）
表示が必要なテーブルは以下の通りである。
0003541183.tif 000003
【００５７】
前記の情報の幾つかまたは全てを表示する図１および図２等の図表は、サーバー８中に生成されるウエブ・サイトに付加されるのが好ましく、図表は、情報へのアクセス許可をもつ関係者がインターネットを経由して利用できるようになっている。このことはユーザー名とパスワードを要求する公知のインターネット技術により達成できる。
【００５８】
つまり、レーザ製造業者はウエブ・サーバー８上にあるこの情報を利用可能であり、さらにメンテナンスおよび交換作業を計画し、設計上の問題点を示すことができるトレンドを探索する目的で製造業者が利用する。この情報は、製造設備の外部ではあるが製造設備所有者の会社組織内の関係者も利用可能である。
【００５９】
（外部インターフェース仕様）
外部アプリケーションとの通信のために、適切であればＸＭＬ形式が使用される。
【００６０】
（顕著な問題点と機会）
本明細書で説明したシステムによれば、関係者は多数の類似レーザの性能を迅速かつ効率的に比較できる。このことは関係者が、最良の性能と最悪の性能のレーザを識別し、問題を識別して性能改善のために適用可能な技術と運転パラメータとを認識することを可能にする。例えば、所望のパルス・エネルギ（例えば、１０ｍＪ）を発生するのに必要な充電電圧は、一定のチャンバ・ガス圧力においてフッ素濃度が減少するにつれて高くなるので、充電電圧（各パルスに対して監視される）は、フッ素濃度の定性的な指標（作動中にはフッ素濃度に関する実際の定量的計測は行われない）であることが知られている。従って、これらのレーザを比較的広い範囲の充電電圧とフッ素濃度とにわたって作動させることが可能であり、最も望ましい作動範囲はどこなのかはレーザのオペレータに明確になっていなことが多い。ビーム品質パラメータはフッ素濃度と充電電圧とを関数として変化するので、最良の範囲内で作動することは重要である。このシステムを使用して、広範囲の充電電圧に亘って数多くのレーザに関する充電電圧をこれらのビーム品質パラメータと比較することによって、関係者は所望のビーム品質結果をもたらす充電電圧の最良の範囲を識別できる。チャンバ・ガス圧力も調節可能であり、所望の一定パルス・エネルギに対する充電電圧またはフッ素濃度に関する対応する変化をもたらし、この調節はビーム品質を改善する。
【００６１】
このシステムは、フッ素ガス再充填の間にレーザビーム品質データを収集するようレーザをプログラムできる。この情報は数多くのレーザから収集することもでき、このことはフッ素ガス濃度の定量値の関数および／またはチャンバ圧力の関数としてビーム品質値を決定することを可能にする。この情報は、多数のレーザから収集でき、改善されたビーム品質を発生できる作動範囲を推奨するのに利用できる、追加的な価値のある情報をもたらすことができる。
【００６２】
本発明は特定の好適な実施形態により説明されているが、本発明の精神から逸脱することなく多数の変更と変形を行い得ることを理解されたい。また、好適な実施形態において、レーザ製造業者のサーバー１６はインターネットを経由して多数の製造設備と接続されており数百のレーザを監視する。例えば、図１に示す端末サーバー６は、レーザ２中に組み込まれたネットワークカードであってもよく、これは組み込みネットワーク・カードと呼ばれる。従って、本発明の範囲は、請求の範囲とそれらの法律で認められる均等物とによって決定されるべきでる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好適な実施形態の概略の配置を示す図表である。
【図２】本発明の代表的な実施形態を使用して作製された典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示すコンピュータ印刷出力のコピーである。
【図３】本発明の代表的な実施形態を使用して作製された典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示すコンピュータ印刷出力のコピーである。
【図４】本発明の代表的な実施形態を使用して作製された典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示すコンピュータ印刷出力のコピーである。
【図５】本発明の代表的な実施形態を使用して作製された典型的なウエブ・ページの全体的な画面の様子を示すコンピュータ印刷出力のコピーである。
【符号の説明】
２  レーザ
４  ＲＳ２３２Ｃインターフェース・ポート
６  端末サーバー
７  ローカル・エリア・ネットワーク
８  中央制御サーバー
１１  ファイアウォール
１２  ファイアウォール
１６  インターネット・サーバー
【図１】
0003541183.tif 000004
【図２】
0003541183.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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