(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項２】
表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手と、前記ダンパ付き給気ファンによる外気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止するために新たに外気を導入する補助給気弁とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項３】
表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空継手は圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシール部材と該シール部材を保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングとを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項４】
表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空ポンプの排気管の複数本と接続するマニホールド管を介して前記プラズマディスプレイパネルを真空排気し、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項５】
前記一対のディスプレイパネルのそれぞれの排気管が前記シャッタの同一の開口から導出されることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項６】
前記カートリッジを載せるステージと、このステージの高さを調節する機構と、移動用車輪とを具備する移載車を備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項７】
複数の前記プラズマディスプレイパネルを載置するカートリッジを備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項８】
前記ダンパ付き給気ファンによる外気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止するために新たに外気を導入する補助給気弁を備えることを特徴とする請求項３、請求項４、請求項５、請求項６または請求項７記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項９】
前記真空継手は、圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシール部材と、該シール部材を保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングとを備えることを特徴とする請求項４、請求項５、請求項６または請求項７記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項１０】
前記真空ポンプの排気管の複数本と接続するマニホールド管を備え、このマニホールド管を介して前記プラズマディスプレイパネルを真空排気することを特徴とする請求項５、請求項６または請求項７記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造装置に係わり、特に、表ガラス基板と裏ガラス基板と貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルの真空排気による脱ガスおよび真空排気後に放電ガスを封入するプラズマディスプレイパネルの排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（以下単にパネルと記す）は、電極が形成された表ガラス基板と裏ガラス基板とを互いに電極面を向けて貼り合わせ、内部に閉鎖空間をもたせた構造である。そして、この閉鎖空間に放電ガスを充填するために、パネル内に残留する気体分子や気化し易い不純物質を除去する必要がある。
【０００３】
このため、パネルを加熱し内部の物質を蒸発させ真空排気することでパネル内の物質およびガスを除去し、クリ−ンな状態にしてから放電ガスを充填していた。このパネルを真空排気するのに、パネルの裏面基板の貫通穴と連結するように、給排気用のガラス菅（以下排気管と記す）を低融点ガラスで取付け、この排気管に真空ポンプに接続し、パネルを真空排気していた。
【０００４】
しかしながら、常温でパネルを真空排気しても、パネル内部に付着する不純物が除去できない。そこで、通常、パネルを真空加熱炉に入れ内部の不純物を蒸発させながら真空排気していた。
【０００５】
また、このパネルを真空排気するのにパネルと連結する排気管を必要としていた。しかしながらこの排気管は脆弱なため、パネルの運搬や排気管と真空ポンプの排気管との接続の際に、排気管同士のずれなどが生じ、無理に合わせようとすると、排気管が折れたり、接続作業には細心の注意を払う必要があった。
【０００６】
この脆弱な排気管を無くして真空排気する方法が、例えば、特開２０００−２２３０２２号公報に開示されている。この方法は、まず、表ガラス基板と裏ガラス基板との繋ぎ目の隙間に比較的に低い融点のシ−ル部材を並べ配置し、裏ガラス基板の通気孔の周囲にスリット付きリング状の密閉用の比較的融点が高い低融点ガラスを配置してパネルを組立てる。そして、組み立てられた複数のパネルをバッフル（治具）に積重ね、バッチ炉に搬入し、炉内に加熱ガスを導入しそのガスの自然対流によりパネルを加熱する。
【０００７】
そして、炉内を加熱しながら真空排気しパネルを脱ガスを行い、ある程度パネルが真空排気され加熱されると、パネルの継ぎ目にあるシ−ル部材が軟化し、表ガラス基板の周囲と裏ガラス基板の周囲が接着される。しかる後、放電ガスを炉内に導入し、パネル内に通気孔を介して放電ガス充填する。炉内の圧力が所定の温度に達したら、その温度により密閉用の低融点ガラスが軟化し、通気孔を塞ぎパネル内に放電ガスが封入された状態になる。
【０００８】
この方法は、取り扱い難い排気管を無くすと同時に炉内に残る放電ガスを回収することを目的にしていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述した方法では、脆弱な排気管を必要とすることなくパネルを真空排気できるものの、表ガラス基板と裏ガラス基板との狭い隙間および小さな通気孔からパネルを真空排気しなければならず、排気抵抗が高く真空排気時間に時間がかかり一バッチで製造されるパネルの数が制限され生産性が悪いという欠点がある。また、シ−ル材が点在させているので、表裏ガラス基板の周囲が完全に密閉されているか否かの懸念がある。
【００１０】
また、ガスの対流によりパネルを加熱しているので時間がかかるという問題がある。さらに、放電ガスをパネルに充填するのに、炉内に放電ガスを導入することは、回収するにしても、それ自体無駄に放電ガスを使用することになる。また、回収された放電ガス中には、不純ガスが含み、そのままの回収ガスを使用することはできるか疑念が残る。
【００１１】
従って、本発明の目的は、パネルの真空排気用および放電ガス充填用のパネルの管部材の折れを少なくし、パネルを加熱しながら真空排気し加熱排気時間を短縮し一バッチにおける処理枚数を向上させかつ確実に放電ガスの置換ができるプラズマディスプレイパネルの排気装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【００１３】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手と、前記ダンパ付き給気ファンによる外気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止するために新たに外気を導入する補助給気弁とを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【００１４】
本発明のプラズマディスプレイの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空継手は圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシール部材と該シール部材を保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングとを備え、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【００１５】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、表面基板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加熱するヒータと、加熱された気体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパネルから外方に伸びる排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを備え、前記真空ポンプの排気管の複数本と接続するマニホールド管を介して前記プラズマディスプレイパネルを真空排気し、二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重ねて組み立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対のディスプレイパネルの複数対を前記カートリッジに並べて搭載し、前記一対のディスプレイパネルのいずれかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するように配置している。
【００１６】
本発明のプラズマディスプレイパネルの排気装置は、前記一対のディスプレイパネルのそれぞれの排気管が前記シャッタの同一の開口から導出され、また、複数の前記プラズマディスプレイパネルを載置するカートリッジ及びこのカートリッジを載せるステージと、このステージの高さを調節する機構と、移動用車輪とを具備する移載車を備えることを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図および一部を抽出して拡大して示す断面図である。このパネルの排気装置は、図１（ａ）に示すように、表面基板と裏面基板とからなるパネル３１の複数枚を収納するチャンバ２と、このチャンバ２を包み込むとともにチャンバ２の外壁に沿って形成される送風経路４を有する炉体１と、送風経路４に外気を導入し風圧を調節するダンパ９付き給気ファン７と、導入される気体を加熱するヒ−タ１０と、加熱された気体をチャンバ２内に導入しパネル３１に接触させチャンバ２から排出させ気体を送風経路４を経て循環させる循環ファン６と、炉体１の開口を閉じるシャッタ５と、パネルから外方に伸びシャッタ５の開口３３から導出される排気管１９と真空ポンプ１５の排気管２４とを接続する真空継手１３とを備えている。
【００１９】
また、循環ファン６により加熱空気が送風経路４およびチャンバ２内の圧力が上昇し、所定の圧力に至ったらダンパ１１付き排気ファン１０ａが動作し、炉体１内の圧力上昇を抑える。これは、導入する外気の量をできるだけ少なくし、外気の温度を早く立ち上げるためである。
【００２０】
逆に、より外気の導入を少なくするために、外気導入用の吸気ファン７による外気の導入を停止し、循環ファン６のみによる外気の循環を行うと、炉体１内の圧力が低下することがる。この原因は炉体１の隙間から外気が漏れによりことが考えられる。このような場合、加熱された空気がパネル３１に送られず、パネルの温度が低下し、パネル３１の内部に蒸発した物質が露結し再度パネルの内壁に付着する恐れがある。そこで、本発明では、この圧力低下を補正する補助給気弁８が設け、この補助給気弁８を開き外気を導入し加熱された外気をパネル３１に送り温度低下を防止する。
【００２１】
さらに、真空継手１３は、シャッタ５から突出するパネル３１の排気管１９を圧縮空気で膨らみ排気管１９を気密に包むシ−ル２２と、このシ−ル２２を保持し真空ポンプ１５の排気管と接続するハウジング２０とを備える。一方、カ−トリッジ３に載置された複数のパネル３１の排気管１９のそれぞれは、上下にその位置がばらつくので、排気管と接続する真空継手１３のアダプタ２３に取り付けられる排気管２４は、いずれの方向に任意に曲げることができるフレキシブルホ−スであることが望ましい。
【００２２】
そして、炉体１外で複数の排気管１９は真空継手１３で気密に結合され、真空継手１３からの可撓な排気管２４はマニホ−ルド菅１４に接続されている。このマニ−ホ−ルド菅の一端には開閉弁１６を介して真空ポンプ１５に連結している。すなわち、チャンバ２内のパネル３１はこのマニホ−ルド菅１４を通うして真空排気される。
【００２３】
マニホ−ルド菅１４の他端には、開閉弁１７を介して放電ガスを充填されたボンベ１８が接続され、パネル３１の脱ガス終了後に、このマニホ−ルド菅１４を通うしてパネル３１に放電ガスを供給する。
【００２４】
図２は図１のチャンバの開口側からカ−トリッジをチャンバ内に移載する状態を示す斜視図である。次に、パネル３１をチャンバに搬入することを説明する。まず、炉体のシャッタが開いた状態で、５枚のパネル３１を載せたカ−トリッジ３をステ−ジ２６に載せた移載車２８をチャンバ２に近づける。これには、手で移載車を押し車輪により動かす。次に上下調節機構２７を作動させ、チャンバ２内のレ−ル１２の面と移載車２８のステ−ジ２６面と一致させる。次に、カ−トリッジ３をチャンバ２内のレ−ル１２を滑らせカ−トリッジ３をチャンバ内に押し込みパネル３１を収納する。
【００２５】
なお、このカ−トリッジ３へのパネル３１の載置には、一方向に並べて配置された傾斜支持台２５あるいは棒状の支え棒にそれぞれのパネル３１を載せ、パネル３１が斜めに立てた状態が望ましい。これは、ガラス加工業者が、長い経験から脆弱なガラス板を運搬するのに、斜めに荷台に積み込み、台車などで運べば、台車の振動や揺れに対しても安定しているという知見から得たものである。
【００２６】
次に、図１（ａ）に示すように、シャッタ５で炉体１の開口を閉じ、シャッタ５から突出した排気管１９に真空継手１３を接続する。これには、図１（ｂ）に示すように、ハウジング２０内でゆるんだ一対のシ−ル２２の間に排気管１９をとうし、マニアルスイッチによりポ−ト２１に圧縮空気を送り込み。このことによりシ−ル２２が膨らみ排気管１９を包み保持する。
【００２７】
次に、ヒ−タ１０で、給気ファン７により送り込まれた外気を熱し、循環ファンで熱せられた外気を矢印に示すように循環させる。加熱された空気は強制的にパネル３１と接触させられるので、従来技術で説明した自然対流するガスによる加熱より遙かに伝熱効率がよくパネル３１は極めて短時間で所望の温度に達する。
【００２８】
一方、排気管１９からマニホ−ルド菅１４を介してパネル３１は真空排気されると同時にパネル内部に付着した物質が高い温度の空気に晒され、加熱されて昇華し、真空引きにより排除される。
【００２９】
次に、マニホ−ルド菅１４に取り付けられた真空計（図示せず）が、所定の圧力（例えば、０．０１３Ｐａ）以下であれば、パネル３１内部の真空排気および不純物の除去を終了したものとして、開閉弁１６を閉じ真空排気を停止する。次に、ヒ−タ１０を切り、給気ファン７を動作させダンパ９を開き大量の外気を取り入れ、排気ファン１０ａを動作させダンパ１１を一杯に開き、冷却された外気を炉体１内を循環させ、チャンバ２内のパネル３１を冷却する。
【００３０】
パネル３１の温度が常温近くまで冷却したら、マニホ−ルド菅１４の一端の開閉弁１６が閉じていることを確認し、マニホ−ルド菅１４の他端の開閉弁１７を開きボンベ１８から放電ガスをマニホ−ルド菅１４に導入し、マニホ−ルド菅１４を介してパネル３１内に放電ガスを充填する。マニホ−ルド菅１４に取り付けられた圧力計が所定の圧力（例えば、１．２気圧）を示したら、開閉弁１７を締め、放電ガスの供給を停止する。
【００３１】
このように、放電ガスの充填が完了したら、シャッタ５を開け、従来から行っていたように、パネル３１の排気管１９の根元付近の外周囲をバ−ナ−で加熱し、排気管の外壁を軟化させ排気管１９の通気孔を塞ぎパネル３１内に放電ガスを封止する。そして、通気孔が塞がれて不要になった排気管を切断して作業を終了する。
【００３２】
この実施の形態では、チャンバに収納するカ−トリッジは、一台で説明したが二台でも三台でも良い。
【００３３】
図３（ａ）および（ｂ）は本発明の他の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図およびＡ−Ａ矢視図である。このプラズマディスプレイパネルの排気装置は、図３に示すように、横方向の寸法が大きくならないように、パネル３１とパネル３１ａとをパネル受け部材３２ａおよび３２ｂを介して重ね合わせ斜めに立てられる一対のパネルにすることである。結果として、この一対のパネルのパネルの並ぶ方向の寸法は、図２で示す傾斜支持台２５で斜めにパネル３１のパネルの並ぶ方向の寸法とほぼ同じである。
【００３４】
カ−トリッジ３ａであるカセットに複数対を載せ炉体１内のチャンバ２に収納している。すなわち、図１で説明した一カ−トリッジ３の５枚に対し２倍の１０パネルが搭載できるこになる。
【００３５】
また、パネル３１および２１ａは、送風経路４からの熱風の流に抵抗をできるだけ少なくするように隙間を、たとえば、５〜１５ｍｍ程度もたせている。すなわち、着脱可能な支え棒２９で斜めに支持され、パネル３１の上部にはめ込まれたパネル受け部材３２ａ，３２ｂでパネル３１ａの上部を支えほぼ並行な空間をもたせている。なお、このパネル受け部材３２ａ，３２ｂは、パネルにキズが付かないように、耐熱材であるアルミナ繊維等を使用することが望ましい。
【００３６】
しかも、矢印で示す熱風が流れ易くするために、水平に置かれるパネル３１に対しパネル３１ａは、後方のパネル受け台３０ａを高くし、前方の受け台３０ｂを低くし、パネル３１ａを後方に持ち上がるように斜めにしている。このことによりパネル３１，３１ａは均等に加熱される。
【００３７】
一方、このパネル３１およびパネル３１ａの真空排気用の排気管１９ａ，１９ｂはシャッタ５にある同一の開口３３から炉体１外に導出されている。なお、水平に置かれたパネル３１の排気管１９ａと傾けられたパネル３１ａの排気管１９ｂは、開口３３付近で重ねられ、前述の実施の形態における開口３３をそのまま使用できる。そして、炉体１外にある真空継手１３，１３ａを介してマニホ−ルド管ｂを経て真空ポンプあるいは導入ガス用のボンベ  に接続されている。この真空排気系統およびガス導入系統は前述の実施の形態と方式は同じで、２系統にすれば、排気時間およびガス導入時間は前述の実施の形態の場合と同じになる。
【００３８】
この排気装置の動作は前述の実施の形態とおなじであるが、予め    加熱炉外で２つのパネル３１，３１ａとパネル受け部材３２ｂ，３２ａとパネル受け台３０ａ，３０ｂとを組立て一対のパネルにし、これら一対のパネルの複数対をカセットであるカ−トリッジ３ａ上に載せ、パネルを満載したカ−トリッジ３ａを図２に示す移載車２８に載せ炉体１のチャンバ２に収納し、それ以後は前述の実施の形態で説明したように行えば良い。
【００３９】
このように、一枚のパネルを斜めに立たせ他のパネルで支えるように重ねられて一対のパネルに組立てるので、一枚のパネルのときに比べても幅方向の寸法は、ほぼ同じである。従って、チャンバに収納できるパネル枚数は２倍となり、一バッチの処理枚数の増加が図れる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、パネルから一方向に伸びるパネルの管部材を揃え一列に複数枚を斜めに立てて載置するカ−トリッジを備えることによって、運搬時に振動があっても安定して運ぶことができる。また、炉体内に搬入するにしても、カ−トリッジ単位で搬入するので、直接菅部材に接触することがなく、さらに菅部材と真空ポンプの排気管との接続に際しても、菅部材の位置および向きに対応して自由に曲げられる真空継手を備えることによって菅部材に不要な力を与えることなく接続が容易に行え、菅部材の折れによる損失を大幅に低減できるという効果がある。
【００４１】
また、狭い送風経路およびチャンバを満たす程度の外気を導入し加熱し循環させながらパネルに加熱した外気を浴びせ、それと同時にパネルを真空排気することによって、加熱排気時間を短縮することができ、スル−プットが向上するという効果がある。
【００４２】
さらに、変形自由度のあるホ−スをもつ真空継手を用いて、菅部材に不要な力を与えず接続できるので、確実に放電ガスの置換ができ歩留まりの向上が図れるという効果がある。
【００４３】
一方、炉体のチャンバに収納するパネルを、二枚のパネルを重ねて構成する一パネル対にし、このパネル対を複数対をチャンバに収納すれば、一バッチの処理枚数が増加し生産性が向上するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図および一部を抽出して拡大して示す断面図である。
【図２】図１のチャンバの開口側からカ−トリッジをチャンバ内に移載する状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の他の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置を説明するための断面図およびＡ−Ａ矢視図である。
【符号の説明】
１    炉体
２    チャンバ
３，３ａ    カ−トリッジ
４    送風経路
５    シャッタ
６    循環ファン
７    給気ファン
８    補助給気弁
９，１１    ダンパ
１２    レ−ル
１３，１３ａ    真空継手
１４    マニホ−ルド菅
１５    真空ポンプ
１６，１７    開閉弁
１８    ボンベ
１９，１９ａ    排気管
２２    シ−ル
２５    傾斜支持台
２６    ステ−ジ
２７    上下調節機構
２８    移載車
２９    支え棒
３０ａ，３０ｂ    パネル受け台
３１，３１ａ    パネル
３２ａ，３２ｂ    パネル受け部材
３３    開口
【図１】
0003597167.tif 000002
【図２】
0003597167.tif 000003
【図３】
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