(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を保持し且つ互いに対向間隔をおいて設置された複数のウェーハキャリアから複数のウェーハを充填載置する一つのウェーハボートにウェーハを移載する複数個のウェーハ移載装置本体を具備したウェーハ移載装置であって、前記各ウェーハ移載装置本体が、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有し、該ウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなり、該ウェーハキャリアの上方に当該ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに上記対向間隔に対応した設置間隔を維持した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該複数のウェーハキャリアに並置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した後、該各ウェーハ移載装置本体を一つのウェーハボートの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを該ウェーハボートに空き領域を存在させることなく充填載置するようにしたことを特徴とするウェーハ移載装置。
【請求項２】
複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を充填載置した一つのウェーハボートから互いに対向間隔をおいて設置され且つ複数のウェーハを並置する複数のウェーハキャリアにウェーハを移載する複数個のウェーハ移載装置本体を具備したウェーハ移載装置であって、前記各ウェーハ移載装置本体が、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有し、該ウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなり、該ウェーハボートの上方に、上記ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該ウェーハボートに充填載置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに離して上記対向間隔に対応した設置間隔を形成した後、該各ウェーハ移載装置本体を複数のウェーハキャリアの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを互いに対向間隔をおいて設置された該複数のウェーハキャリアに空き領域を存在させることなく並置するようにしたことを特徴とするウェーハ移載装置。
【請求項３】
複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を保持し且つ互いに対向間隔をおいて設置された複数のウェーハキャリアから複数のウェーハを充填載置する一つのウェーハボートにウェーハを移載する方法であって、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有するウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなるウェーハ移載装置を用い、該ウェーハキャリアの上方に、当該ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに上記対向間隔に対応した設置間隔を維持した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該複数のウェーハキャリアに並置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した後、該各ウェーハ移載装置本体を一つのウェーハボートの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを該ウェーハボートに空き領域を存在させることなく充填載置するようにしたことを特徴とするウェーハ移載方法。
【請求項４】
複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を充填載置した一つのウェーハボートから互いに対向間隔をおいて設置され且つ複数のウェーハを並置する複数のウェーハキャリアにウェーハを移載する方法であって、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有するウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなるウェーハ移載装置を用い、該ウェーハボートの上方に、上記ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該ウェーハボートに充填載置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに離して上記対向間隔に対応した設置間隔を形成した後、該各ウェーハ移載装置本体を複数のウェーハキャリアの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを互いに対向間隔をおいて設置された該複数のウェーハキャリアに空き領域を存在させることなく並置するようにしたことを特徴とするウェーハ移載方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、シリコンウェーハ、ガリウム・ヒ素ウェーハ等の半導体ウェーハや石英ウェーハ等のウェーハをウェーハキャリア、ウェーハボート等のウェーハ保持治具間で自由に移載することができるようにしたウェーハ移載装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハの表面酸化、不純物拡散などのプロセスでは、処理前の半導体ウェーハを並べたウェーハキャリアから半導体ウェーハをウェーハボートに移載し、処理完了後、ウェーハボートからウェーハキャリアに移載する手法がとられている。このように、一方のウェーハ保持治具（ウェーハキャリア等）と他方のウェーハ保持治具（ウェーハボート等）との間でウェーハを移載するための装置としてウェーハ移載装置が知られている。
【０００３】
従来のウェーハ移載装置３２は、図８及び図９に示すごとく、アーム部材３４と、該アーム部材３４の先端部に開閉自在に取りつけられかつウェーハの把持・解放を行なう一対のハンド部材３６，３６と、該ハンド部材３６，３６の下端部に取りつけられたハンド横材３８，３８とを有している。該ウェーハ移載装置３２は、上下、左右及び前後方向に移動可能とされている。また、該アーム部材３４は進退自在とされている。
【０００４】
上記ハンド横部材３８，３８の内面には長手方向に相対向して複数の溝（図示せず）が形成され、該一対の溝にウェーハの端縁部がそれぞれ挿入可能となっている。
【０００５】
図１０に示すように、上記ウェーハ移載装置３２を用いて、３つのウェーハキャリア４０のウェーハ保持部４２に収容載置されたウェーハＷを一つのウェーハボート４４のウェーハ載置部４６に移載する動作について説明する。
【０００６】
前記ハンド部材３６，３６を左右に開放した状態とした該ウェーハ移載装置３２を該ウェーハキャリア４０の上方に移動せしめ、さらに該ウェーハキャリア４０に収容されたウェーハＷを該ハンド部材３６，３６が把持可能な位置まで該ウェーハ移載装置３２を降下せしめる。
【０００７】
次いで、該ハンド部材３６，３６を閉じることによってウェーハＷが該ハンド横部材３８，３８に把持される。ウェーハＷを把持したまま該ウェーハ移載装置３２を上昇させ、さらにウェーハボート４４の上方に移動し、そのウェーハ載置部４６にウェーハＷの端縁部が位置するまで降下させる。この状態で、該ハンド部材３６，３６を左右に開放すれば、該ハンド横部材３８，３８によるウェーハＷの把持が解消され、ウェーハＷは該ウェーハ載置部４６に載置される。このようにして、ウェーハＷはウェーハキャリア４０からウェーハボート４４へ移載される。
【０００８】
図１０に示されるごとく、３つのウェーハキャリア４０にそれぞれ収容された最外側のウェーハＷは、各ウェーハキャリア４０の間の対向間隔ａをおいて対向した状態となっており、また各ウェーハキャリア４０に収容されたウェーハＷはウェーハ保持部４２同士の間に設定された所定の間隔ｂを介して互いに対面した状態となっている。
【０００９】
上記した状態で、３つのウェーハキャリア４０に収容されているウェーハＷを、上述したごとく、従来のウェーハ移載装置３２によって、ウェーハボート４４に移載すると、図１０に示されるごとく、各ウェーハキャリア４０内のウェーハＷ間の所定の間隙ｂならびに各ウェーハキャリア４０間の対向する最外側のウェーハＷ間の対向間隔ａが維持されたまま移載されることとなる。
【００１０】
上記対向間隔ａと間隙ｂとが等しい場合には特別の問題もないが、図１０に示すごとく、対向間隔ａが間隙ｂよりも大きい場合には、ウェーハボート４４のウェーハ載置部４６に空き領域Ａが存在してしまう。したがって、空き領域Ａが存在するだけ、ウェーハボート４４への充填載置枚数が少なくなり、作業効率の点からそれだけ不利であった。
【００１１】
また、一つのウェーハキャリア毎にウェーハの移載を行ない、複数のウェーハキャリアの場合にはこれを複数回繰り返す手法も一般的に行なわれているが、この場合は移載時間が長くなるという問題があった。
【００１２】
【発明が解決しようとする問題】
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもので、複数のウェーハキャリア等の一方のウェーハ保持治具に保持されたウェーハを一つのウェーハボート等の他方のウェーハ保持治具に、又はその逆に一つのウェーハボート等の他方のウェーハ保持治具に保持されたウェーハを複数のウェーハキャリア等の一方のウェーハ保持治具に、一回の移載処理で空き領域を存在させることなく、移載することができ、したがって、移載時間の短縮、さらにウェーハ保持治具の充填収容枚数の増加ならびにウェーハ保持治具のサイズの縮小化を図ることができるようにしたウェーハ移載装置及び方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のウェーハ移載装置の一つの態様は、複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を保持し且つ互いに対向間隔をおいて設置された複数のウェーハキャリアから複数のウェーハを充填載置する一つのウェーハボートにウェーハを移載する複数個のウェーハ移載装置本体を具備したウェーハ移載装置であって、前記各ウェーハ移載装置本体が、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有し、該ウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなり、該ウェーハキャリアの上方に当該ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに上記対向間隔に対応した設置間隔を維持した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該複数のウェーハキャリアに並置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した後、該各ウェーハ移載装置本体を一つのウェーハボートの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを該ウェーハボートに空き領域を存在させることなく充填載置するようにしたことを特徴とする。
【００１４】
本発明のウェーハ移載装置の他の態様は、複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を充填載置した一つのウェーハボートから互いに対向間隔をおいて設置され且つ複数のウェーハを並置する複数のウェーハキャリアにウェーハを移載する複数個のウェーハ移載装置本体を具備したウェーハ移載装置であって、前記各ウェーハ移載装置本体が、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有し、該ウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなり、該ウェーハボートの上方に、上記ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該ウェーハボートに充填載置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに離して上記対向間隔に対応した設置間隔を形成した後、該各ウェーハ移載装置本体を複数のウェーハキャリアの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを互いに対向間隔をおいて設置された該複数のウェーハキャリアに空き領域を存在させることなく並置するようにしたことを特徴とする。
【００１５】
本発明のウェーハ移載方法の一つの態様は、複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を保持し且つ互いに対向間隔をおいて設置された複数のウェーハキャリアから複数のウェーハを充填載置する一つのウェーハボートにウェーハを移載する方法であって、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有するウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなるウェーハ移載装置を用い、該ウェーハキャリアの上方に、当該ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに上記対向間隔に対応した設置間隔を維持した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該複数のウェーハキャリアに並置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した後、該各ウェーハ移載装置本体を一つのウェーハボートの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを該ウェーハボートに空き領域を存在させることなく充填載置するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
本発明のウェーハ移載方法の他の態様は、複数のウェーハを並置してなるウェーハ列を充填載置した一つのウェーハボートから互いに対向間隔をおいて設置され且つ複数のウェーハを並置する複数のウェーハキャリアにウェーハを移載する方法であって、前記ウェーハ列と直交する方向に進退自在に設けられたアーム部材と、該アーム部材の先端部に開閉自在に取り付けられ且つウェーハの把持・解放を行う一対のハンド部材とを有するウェーハ移載装置本体の複数個を前記ウェーハ列と平行する方向に互いに接離自在に連結させてなるウェーハ移載装置を用い、該ウェーハボートの上方に、上記ウェーハキャリアと同数の複数の上記ウェーハ移載装置本体を互いに接近させて各ウェーハ移載装置本体間の設置間隔を縮小又は解消した状態で移動せしめ、該複数のウェーハ移載装置本体を降下させ、該ウェーハボートに充填載置されたウェーハの全てを各ハンド部材によって把持し、ウェーハを把持したまま該ウェーハ移載装置本体を上昇させ、各ウェーハ移載装置本体を互いに離して上記対向間隔に対応した設置間隔を形成した後、該各ウェーハ移載装置本体を複数のウェーハキャリアの位置に移動し各ハンド部材に把持されたウェーハを解放してウェーハを互いに対向間隔をおいて設置された該複数のウェーハキャリアに空き領域を存在させることなく並置するようにしたことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一つの実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明のウェーハ移載装置を含めたウェーハ移載機構の１例を示す正面図、図２は同上の側面図、図３は同上の上面図、図４は３つのウェーハ移載装置本体からなる本発明のウェーハ移載装置の他の例を示す摘示概略説明図、図５は図４の各ウェーハ移載装置本体を互いに近接させた状態を示す摘示概略説明図、図６は図４のウェーハ移載装置本体の概略側面説明図、図７は本発明方法によってウェーハキャリアに並置されたウェーハをウェーハボートに移載する状態を示す概略説明図である。
【００１８】
図１〜３において、本発明に係るウェーハ移載装置１２は、互いに接離自在に連結された複数のウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆによって構成されている。図示の例では、該ウェーハ移載装置１２は、基台１４上にウェーハキャリア４０及びウェーハボート４４とともに並置されている。
【００１９】
該ウェーハキャリア４０はウェーハ保持部４２を有し、該ウェーハボート４４はウェーハ載置部４６を有している。なお、４８は該ウェーハ保持部４２の下方に設けられたウェーハ押上げ治具であり、５０は該ウェーハ載置部４６の下方に設けられたウェーハ押上げ治具である。
【００２０】
２０は、該基台１４の後端部に前後方向に移動可能に設けられた移動ブロックである。該移動ブロック２０の上部には、複数のウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆが左右方向に互いに接離自在に連結して取り付けられている。したがって、該ウェーハ移載装置１２は、該移動ブロック２０の動きに対応して前後方向に移動可能とされている。
【００２１】
２２は、該ウェーハ移載装置本体１２ａのアーム部材で、該移動ブロック２０の上部に左右方向に移動自在に取り付けられているとともに、前後方向に進退自在とされている。
【００２２】
２４は、該アーム部材２２の先端部に開閉自在に設けられたハンド部で、相対向する一対のハンド部材２４ａ，２４ｂを互いに接離自在に設けることによって構成されている。
【００２３】
該ハンド部材２４ａ，２４ｂの下端部には、ハンド横部材２６ａ，２６ｂがそれぞれ設けられている。該ハンド横部材２６ａ，２６ｂの相対向する内面には、複数の溝（図示せず）が形成され、該一対の溝にウェーハＷの端縁部がそれぞれ挿入可能となっている。
【００２４】
上記構成により、該ウェーハ移載装置１２を用いて互いに対向間隔ａをおいて設置された複数のウェーハキャリア４０のウェーハ保持部４２に収容載置されたウェーハＷを一つのウェーハボート４４のウェーハ載置部４６に移載する動作について説明する。
【００２５】
前記ハンド部材２４ａ，２４ｂを左右に開放した状態の複数のウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを互いに該対向間隔ａに対応した設置間隔ｄを維持した状態でそれぞれ対応する複数のウェーハキャリア４０の上方に移動せしめ、更に該ウェーハキャリア４０のウェーハ保持部４２に収容されたウェーハＷを該ハンド横部材２６ａ，２６ｂが把持可能な位置まで該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを降下せしめる。この時、ウェーハキャリア４０のウェーハ保持部４２に収容されたウェーハＷはウェーハ押上げ部材４８によって上方に押上げられ、ハンド部材２４ａ，２４ｂによって把持されうる状態となっている。
【００２６】
次いで、該ハンド部材２４ａ，２４ｂを閉じることによって、ウェーハＷが該ハンド横部材２６ａ，２６ｂに把持される。ウェーハＷを把持したまま、該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを上昇させる。この状態で、複数のウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを互いに近接せしめて、該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆの互いの設置間隔ｄを縮小又は解消せしめることにより、各ウェーハキャリア４０の間の対向間隔ａを縮小又は解消せしめる（図１の点線及び図４、図５）。
【００２７】
そして、近接状態となった該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆをウェーハボート４４の上方に移動し、そのウェーハ載置部４６にウェーハＷの端縁部が位置するまで降下させる。ここで、該ハンド部材２４ａ，２４ｂを左右に開放すれば、該ハンド横部材２６ａ，２６ｂによるウェーハＷの把持が解消され、ウェーハＷは該ウェーハ載置部４６に載置される。このようにして、ウェーハＷはウェーハキャリア４０からウェーハボート４４へ移載される。このとき、ウェーハキャリア４０、ハンド横部材２６ａ，２６ｂ及びウェーハボート４４は同一ピッチのウェーハを受けるための溝を持っている。
【００２８】
次に、移載途中の様子を、図４〜図７に示されているウェーハキャリアが３つの場合の例によって説明する。図７に示されるごとく、図１０の場合と同様に、３つのウェーハキャリア４０の互いに相対向するウェーハ保持部４２に収容されたウェーハＷは、各ウェーハキャリア４０の間の対向間隔ａをおいて対向した状態となっており、また各ウェーハキャリア４０に収容されたウェーハＷはウェーハ保持部４２同士の間に設定された所定の間隙ｂを介して互いに対面した状態となっている。
【００２９】
上記した状態で３つのウェーハキャリア４０に収容されているウェーハＷを、上述したごとく、本発明のウェーハ移載装置１２によってウェーハボート４４に移載すると、図７に示すごとく、各ウェーハキャリア４０内のウェーハＷ間の所定の間隙ｂはそのまま維持されるが、各ウェーハキャリア４０間の対向するウェーハＷ間の対向間隔ａは縮小又は解消され、図１０に示したような空き領域Ａは存在しなくなり、ウェーハボート４４へのウェーハＷの充填載置枚数は多くなり、作業効率の点から見て従来のウェーハ載置装置に比べてそれだけ有利となる。
【００３０】
本発明のウェーハ移載装置１２は、上記した例とは逆に一つのウェーハボート４４のウェーハ載置部４６に収容載置されたウェーハＷを互いに対向間隔ａをおいて設置された複数のウェーハキャリア４０のウェーハ保持部４２に移載することもできるものであり、その移載動作を簡単に説明しておく。
【００３１】
前記ハンド部材２４ａ，２４ｂを左右に開放した状態の複数のウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを互いにその設置間隔ｄを縮小又は解消した状態、即ち互いに近接した状態でウェーハボート４４の上方に移動せしめ、更に該ウェーハボート４４のウェーハ載置部４６に収容されたウェーハＷを該ハンド横部材２６ａ，２６ｂが把持可能な位置まで該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを降下せしめる。この時、ウェーハボート４４のウェーハ載置部４６に収容載置されたウェーハＷは、ウェーハ押上げ部材５０によって上方に押上げられ、ハンド部材２４ａ，２４ｂによって把持されうる状態となっている。
【００３２】
次いで、該ハンド部材２４ａ，２４ｂを閉じることによって、ウェーハＷが該ハンド横部材２６ａ，２６ｂに把持される。ウェーハＷを把持したまま、該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを上昇させる。この状態で、複数のウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを互いに離して上記した対向間隔ａに対応した設置間隔ｄを形成する。
【００３３】
そして、この設定間隔ｄを介して互いに離間した状態の該ウェーハ移載装置本体１２ａ〜１２ｆを複数のウェーハキャリア４０の上方に移動し、そのウェーハ保持部４２にウェーハＷの端縁部が位置するまで降下させる。ここで、該ハンド部材２４ａ，２４ｂを左右に開放すれば、該ハンド横部材２６ａ，２６ｂによるウェーハＷの把持が解消され、ウェーハＷは該ウェーハ保持部４２に保持される。このとき、予めウエーハ押上げ部材４８を上昇位置にしておき、該ハンド横部材２６ａ，２６ｂによる把持が解消されたウェーハＷを該ウエーハ押上げ部材４８で保持した後に、該ウエーハ押上げ部材４８を下降させることによってウェーハＷを該ウェーハ保持部４２に保持させるようにするのが好ましい。このように、本発明によれば、ウェーハＷのウェーハボート４４からウェーハキャリア４０への移載も容易に行うことができるものである。
【００３４】
なお、上記した図示例ではウェーハＷが垂直に保持された状態の横型炉用ボートについて説明したが、ウェーハＷが水平に保持される縦型炉用ボートについても本発明装置及び方法が同様に適用可能であることは勿論である。
【００３５】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明によれば、複数のウェーハキャリア等の一方のウェーハ保持治具に保持されたウェーハを一つのウェーハボート等の他方のウェーハ保持治具に、又はその逆に一つのウェーハボート等の他方のウェーハ保持治具に保持されたウェーハを複数のウェーハキャリア等の一方のウェーハ保持治具に、一回の移載処理で空き領域を存在させることなく移載することができ、したがって、移載時間の短縮、さらにウェーハ保持治具の充填収容枚数の増加ならびにウェーハ保持治具のサイズの縮小化を図ることができるという効果が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハ移載装置を含めたウェーハ移載機構の１例を示す正面図である。
【図２】同上の側面図である。
【図３】同上の上面図である。
【図４】３つのウェーハ移載装置本体からなる本発明のウェーハ移載装置の他の例を示す摘示概略説明図である。
【図５】図４の各ウェーハ移載装置本体を互いに近接させた状態を示す摘示概略説明図である。
【図６】図４のウェーハ移載装置本体の概略側面説明図である。
【図７】本発明方法によってウェーハキャリアに並置されたウェーハをウェーハボートに移載した状態を示す概略説明図である。
【図８】従来のウェーハ移載装置の１例を示す摘示概略説明図である。
【図９】図８のウェーハ移載装置の概略側面説明図である。
【図１０】従来方法によってウェーハキャリアに並置されたウェーハをウェーハボートに移載した状態を示す概略説明図である。
【符号の説明】
１２，３２  ウェーハ移載装置、１２ａ〜１２ｆ  ウェーハ移載装置本体
１４  基台、２０  移動ブロック、２２，３４  アーム部材、２４  ハンド部
２４ａ，２４ｂ，３６  ハンド部材、２６ａ，２６ｂ，３８  ハンド横部材
４０  ウェーハキャリア、４２  ウェーハ保持部、４４  ウェーハボート
４６  ウェーハ載置部、Ａ  空き領域、Ｗ  ウェーハ、ａ  対向間隔
ｄ  設置間隔
【図１】
0003576346.tif 000002
【図２】
0003576346.tif 000003
【図３】
0003576346.tif 000004
【図４】
0003576346.tif 000005
【図５】
0003576346.tif 000006
【図６】
0003576346.tif 000007
【図７】
0003576346.tif 000008
【図８】
0003576346.tif 000009
【図９】
0003576346.tif 000010
【図１０】
0003576346.tif 000011