(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹ方向に移動可能なＸＹ平面案内装置に設置された被搬送物であるヘッドと、Ｘ軸方向に直線運動可能なＸ軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをＸ軸方向に駆動する偏平なＸ軸テーブルと、Ｙ軸方向に直線運動可能なＹ軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをＹ軸方向に駆動する偏平なＹ軸テーブルと、前記Ｘ、Ｙ軸テーブルの駆動コイルを可動子とする電磁駆動装置と、前記ヘッドと前記Ｘ軸テーブルとを前記ヘッドが前記Ｘ軸テーブルの端面に沿ってＹ軸方向に摺動自在に連結する連結案内装置と、前記ヘッドと前記Ｙ軸テーブルとを前記ヘッドが前記Ｙ軸テーブルの端面に沿ってＸ軸方向に摺動自在に連結する連結案内装置とを備え、
前記ヘッドのＸ軸方向隣に前記連結案内装置を介して前記Ｘ軸テーブルを、前記ヘッドのＹ軸方向隣に前記連結案内装置を介してＹ軸テーブルをそれぞれ配置すると共に、前記ヘッドの重心と前記Ｘ軸テーブルと前記Ｙ軸テーブルと前記連結案内装置とをほぼ同一平面上に配置し、かつ前記Ｘ軸テーブルから前記連結案内装置を介して前記ヘッドに加えられる駆動力と、前記Ｙ軸テーブルから前記連結案内装置を介して前記ヘッドに加えられる駆動力とが前記ヘッドの重心に作用するように構成したＸＹ軸ヘッド位置決め装置。
【請求項２】
前記ヘッドとＸ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダを、ヘッドの重心を通りＸ軸と平行な線とヘッドの端面とが交わる付近に固定し、前記ヘッドとＹ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダを、ヘッドの重心を通りＹ軸と平行な線とヘッドの端面とが交わる付近に固定した請求項１記載のＸＹ軸ヘッド位置決め装置。
【請求項３】
前記ヘッドとＸ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダと前記ヘッドとの間、または前記ヘッドとＹ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダと前記ヘッドとの間に、それぞれ推力方向の剛性が調整可能なカップリングを取り付けた請求項１記載のＸＹ軸ヘッド位置決め装置。
【請求項４】
前記駆動コイルは、移動方向と平行に巻線されており、推力に寄与しない巻線部分に直接ヒートシンクを取り付けた請求項１記載のＸＹ軸ヘッド位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体のボンダ等のヘッドをＸＹ方向に移動し、位置決めするＸＹ軸ヘッド位置決め装置に関するものであり、ワイヤボンダ装置などの高加減速・高精度な位置決めが必要な装置に適用できるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の高加減速位置決め用ＸＹテーブルとしては、特開平９−１２３０３４号公報に示されるものがある。図８はその側面図である。図９（ａ）（ｂ）はその平面図と側面図において、剛性の低い案内装置をバネで表現した概略構成図である。各図において、１はＸ軸テーブル、２はＹ軸テーブル、３は出力テーブル、４、６、９はリニアガイド装置、４Ｒ、６Ｒ、９Ｒは案内レール、４Ｓ、６Ｓ、９Ｓはスライダ、Ｂ１、Ｂ２はベース、２０はリニアモータ、２２は可動子、２３は固定子、２５、２６はセンサ、２５Ａ、２６Ａは検出部、２５Ｂ、２６Ｂはスケール、３０はヘッドである。
【０００３】
図８、９に示す従来の装置においては、Ｘ軸テーブル１の上に、被搬送物であるヘッド３０を搭載した出力テーブル３が重ねて配置され、それら両テーブル１、３はＸ軸の力を伝達する直動案内装置であるリニアガイド装置４を介して連結されている。このリニアガイド装置４は、二基一対のリニアガイド装置からなり、その案内レール４ＲはＸ軸テーブル１の直動案内装置としてベースＢ１上に左右一対に配したリニアガイド装置６に対して直交させて出力テーブル３の下面に取り付けられている。
【０００４】
一方、Ｙ軸テーブル２の方は、ベースＢ１より高くしたベースＢ２の上にリニアガイド装置６で支持され、出力テーブル３と同じ高さにされている。また、出力テーブル３とＹ軸テーブル２はＹ軸の力を伝達する直動案内装置であるリニアガイド装置９を介して連結されており、そのリニアガイド装置９の案内レール９ＲをＹ軸テーブル２側に取り付け、スライダ９Ｓを出力テーブル３の幅の中心に位置させている。すなわち、Ｙ軸テーブル２からリニアガイド装置９を介して出力テーブル３に加えられる駆動力が、出力テーブル３の重心に作用するようにし、出力テーブル３にピッチングやヨーイングモーメントが作用しないようにしてある。
【０００５】
Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２の駆動手段としては、サーボモータとこれにカップリングを介してねじ軸が連結されたボールネジ式走行装置が一般的だが、ボールネジやカップリングは推力方向の剛性低下を招く問題があるため、図８に示す従来例では、これを排除し、両軸テーブル１、２の下側に可動子２３と固定子２２を対向させた構造のリニアモータ２０を配設している。２５と２６は、テーブルの位置を検出するセンサであり、この位置情報に基づいてサーボモータを駆動し、フィードバック制御する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＸＹテーブルは以上のように構成されており。Ｘ軸テーブル１の上に出力テーブル３が取り付けてあるため、図９（ｂ）に示すように加減速時に発生するモータ推力とヘッドの慣性力で出力テーブル３とＸ軸テーブル１にはピッチングモーメントが作用する。また、出力テーブル３がＸ軸テーブルの駆動軸から離れた位置にある場合、図９（ａ）に示すように、Ｘ軸テーブル１と出力テーブル３にヨーイングモーメントが作用する。また、リニアモータ２０は可動子２３と固定子２２を対向させた構造のため、Ｘ軸テーブル１やＹ軸テーブル２に垂直方向の吸引力が作用する。これらの力に対してヘッド３０やテーブル１、２、３を支持するために、テーブル１、２、３は重厚になり、リニアガイド装置４、６は耐荷重が大きく重い案内装置になっている。その結果、更に慣性が増加し、大きなモーメントが発生するという悪循環になっている。特に、ヘッド側の慣性が大きいことで、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２に大きなヨーイングモーメントが作用し、両軸テーブルにヨーイング振動が発生する。この振動では推力発生部分であるコイルとフィードバックセンサ２５とで位相が異なるため、制御系が不安定になる。
また、制御系が不安定になり、高いフィードバックゲインが得られない場合、ＸＹ軸方向の移動によって生じる架台振動がサーボ系へ強く影響する問題がある。架台振動のサーボ系への影響度合いは直動イナーシャ／（直動イナーシャ＋回転イナーシャ）で表せ、ボールネジ機構の場合、回転イナーシャの割合が大きいので架台振動による外乱は低減されるが、直動イナーシャのみのリニアモータではそのまま影響を受ける問題がある。
また、可動部の慣性が大きいため、高加減速時に発生する反力で装置が大きく揺れる問題もある。
【０００７】
本発明の目的は、上記のような従来のＸＹテーブルの問題点を解決し、軽量・高剛性で高いフィードバック制御性が得られるＸＹ軸ヘッド位置決め装置を提供することにより、高加減速・高精度位置決めを可能にすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の構成に係るＸＹ軸ヘッド位置決め装置は、ＸＹ方向に移動可能なＸＹ平面案内装置に設置された被搬送物であるヘッドと、Ｘ軸方向に直線運動可能なＸ軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをＸ軸方向に駆動する偏平なＸ軸テーブルと、Ｙ軸方向に直線運動可能なＹ軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをＹ軸方向に駆動する偏平なＹ軸テーブルと、前記Ｘ、Ｙ軸テーブルの駆動コイルを可動子とする電磁駆動装置と、前記ヘッドと前記Ｘ軸テーブルとを前記ヘッドが前記Ｘ軸テーブルの端面に沿ってＹ軸方向に摺動自在に連結する連結案内装置と、前記ヘッドと前記Ｙ軸テーブルとを前記ヘッドが前記Ｙ軸テーブルの端面に沿ってＸ軸方向に摺動自在に連結する連結案内装置とを備え、前記ヘッドのＸ軸方向隣に前記連結案内装置を介して前記Ｘ軸テーブルを、前記ヘッドのＹ軸方向隣に前記連結案内装置を介してＹ軸テーブルをそれぞれ配置すると共に、前記ヘッドの重心と前記Ｘ軸テーブルと前記Ｙ軸テーブルと前記連結案内装置とをほぼ同一平面上に配置し、かつ前記Ｘ軸テーブルから前記連結案内装置を介して前記ヘッドに加えられる駆動力と、前記Ｙ軸テーブルから前記連結案内装置を介して前記ヘッドに加えられる駆動力とが前記ヘッドの重心に作用するように構成したものである。
【０００９】
本発明の第２の構成に係るＸＹ軸ヘッド位置決め装置は、前記ヘッドとＸ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダを、ヘッドの重心を通りＸ軸と平行な線とヘッドの端面とが交わる付近に固定し、前記ヘッドとＹ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダを、ヘッドの重心を通りＹ軸と平行な線とヘッドの端面とが交わる付近に固定したものである。
【００１０】
本発明の第３の構成に係るＸＹ軸ヘッド位置決め装置は、前記ヘッドとＸ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダと前記ヘッドとの間、または前記ヘッドとＹ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダと前記ヘッドとの間に、それぞれ推力方向の剛性が調整可能なカップリングを取り付けたものである。
【００１１】
本発明の第４の構成に係るＸＹ軸ヘッド位置決め装置は、前記駆動コイルが、移動方向と平行に巻線されており、推力に寄与しない巻線部分に直接ヒートシンクを取り付けたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１〜図７に基づいて、本発明のＸＹ軸ヘッド位置決め装置を説明する。図１は本発明の一実施の形態によるＸＹ軸ヘッド位置決め装置を示す斜視図、図２は図１の矢印Ａからみた側面図、図３は図２のＢ−Ｂ線での断面構成図、図４は図２のＣ−Ｃ線での断面構成図、図５は図２のＤ−Ｄ線での断面構成図、図６（ａ）（ｂ）は図３と図４において、剛性の低い案内装置をバネで表現した概略構成図、図７は本発明の一実施の形態に係わるカップリング部を示す断面構成図である。
各図において、１はＸ軸テーブル、２はＹ軸テーブル、３０はヘッド、６、３１、３２は直動案内装置、６Ｒ、３１Ｒ、３２Ｒは案内レール、６Ｓ、３１Ｓ、３２Ｓはスライダ、４０はヘッド３０とＸ軸テーブル１、Ｙ軸テーブル２を摺動自在に連結する連結案内装置、４０Ｒは案内レール、４０Ｓはスライダ、４１はＸＹ平面案内装置、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３はベース、２６は位置検出部、２６Ａは検出部、２６Ｂはスケール、３４は電磁駆動装置の偏平な駆動コイル（以下、略して偏平コイルと記す）、３５、３６、３５Ａ、３６Ａ、３５Ｂ、３６Ｂは永久磁石、３７はヨーク、３８はヒートシンク、３９はカップリング、３９Ａ、３９Ｂはコの字型部材、３９Ｃはゴム平板である。
【００１３】
図１〜図７に示す本発明の装置においては、被搬送物であるヘッド３０は、ベースＢ１の上にＸＹ平面移動用のＸＹ平面案内装置４１を介して取り付けられており、垂直・ピッチング・ヨーイング方向に拘束支持されて、Ｘ方向及びＹ方向を含む平面上の任意の位置に変位可能になっている。ＸＹ平面案内装置４１は、例えばベースＢ１の上に一対の直動案内装置３１が２個配設され、その２本の案内レール３１ＲはＹ軸と平行にベースＢ１側に取り付けられている。スライダ３１Ｓの上には、Ｘ軸方向の移動を案内するための直線案内装置３２の案内レール３２ＲがＹ軸方向の案内レール３１Ｒと直交する方向に取り付けられている。そして、スライダ３２Ｓの上に被搬送物であるヘッド３０が取り付けられている。
【００１４】
被搬送物であるヘッド３０のＸ軸方向隣には、ベースＢ２の上に直動案内装置６を介して平板状のＸ軸テーブル１が取り付けられている。その案内レール６ＲはベースＢ２上にＸ軸方向に２本平行に固定されている。そして、各案内レール６Ｒにつき２台づつ計４台のスライダ６Ｓが、平板状のＸ軸テーブル１とほぼ同じ高さになるように、Ｘ軸テーブル１の下の面に取り付けられている。Ｘ軸テーブルは、偏平コイル３４、スライダ６Ｓを含めて、極力薄型に構成されている。この場合、Ｘ軸テーブル１の一端面はヘッド３０の一端面と相対しており、両者は連結案内装置４０で連結されている。その連結案内装置４０の案内レール４０ＲはＸ軸テーブル１の平板と同じ高さになるようにＸ軸テーブル１側の端面に固定され、スライダ４０Ｓの方はヘッド３０の端面に固定されている。
【００１５】
Ｘ軸テーブル１の駆動装置としては、偏平コイル３４を用いた面内駆動モータ（ボイスコイルモータ）を採用している。可動子であるコイル３４は偏平状に形成され、平板状のＸ軸テーブル１の表面に取り付けられており、偏平コイル３４において移動方向と直交する方向に巻線されていて推力が発生する巻線部分と、Ｘ軸テーブル１の平板は同一平面上になっている。Ｘ軸テーブル１の材質は非磁性体で剛性が高い方が望ましく、本実施の形態では例えばセラミックが使用されている。
【００１６】
偏平コイル３４の下側には、固定子である永久磁石３５が所定のギャップを介してヨークを兼ねたベースＢ２の上に固定されており、偏平コイル３４の上側には、もう一方の固定子である永久磁石３６と門型のヨーク３７がベースＢ２上に固定されている。可動子である偏平コイル３４はＸ軸方向のみに駆動力を発生する。２６は、Ｘ軸テーブル１の位置を検出する、例えば光学式のセンサとしてのＸ軸位置検出装置で、検出部２６ＡがベースＢ２上に、スケール２６ＢがＸ軸テーブル１の端部に取り付けられている。更に図示しないが、制御用電源（ドライバ）や、制御装置（サーボコントローラ）等を備えて、ドライブシステムを構成している。
【００１７】
一方、ヘッド３０のＹ軸方向隣には、Ｘ軸テーブル１と同じ構造のＹ軸テーブル２がベースＢ３に取り付けてあり、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２は、ほぼ同一平面上に配置される。その駆動装置・制御システムはＸ軸テーブル１と同じである。
【００１８】
前述のように、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２は、ほぼ同一平面上に配置され、駆動装置も偏平コイル３４を用いた面内駆動モータであるため、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２では、作用する全ての力の作用点と方向がほぼ同一平面上になる。
また、Ｘ軸テーブル１、Ｙ軸テーブル２、ヘッド３０、および連結案内装置４０は、それらの重心を前記平面と同一の平面上に配置する。このようにすることによって、Ｘ軸テーブル１、Ｙ軸テーブル２、およびヘッド３０のいずれにもピッチングモーメントや垂直方向の力が発生しない。
また、このような構成では、Ｘ軸テーブル１およびＹ軸テーブル２に求められる剛性は平面方向のみとなるため、その方向以外の剛性は不要となり軽量化が可能となる。
また、直動案内装置６にも無駄な力が加わらないため、小型化、軽量化が可能となる。また、直動案内装置６の寿命も延びる。
ヘッド３０についても同様に、小型化、軽量化が可能となる。
【００１９】
次に、ヘッド３０とＸ軸テーブル１、およびヘッド３０とＹ軸テーブル２を連結する連結案内装置４０について説明する。
ヘッド３０にＸ軸方向の推力を伝達するスライダ４０Ｓは、ヘッド３０の重心を通り、Ｘ軸と平行な線とヘッド３０の端面が交わる位置に取り付けられている。また、ヘッド３０にＹ軸方向の推力を伝達するスライダ４０Ｓは、ヘッド３０の重心を通り、Ｙ軸と平行な線とヘッド３０の端面が交わる位置に取り付けられている。すなわち、Ｘ軸テーブル１から連結案内装置４０を介してヘッド３０に加えられる駆動力と、Ｙ軸テーブル２から連結案内装置４０を介してヘッド３０に加えられる駆動力がヘッド３０の重心に作用するようにしてある。この結果、ヘッド３０にはピッチングおよびヨーイングのモーメントがかからなくなる。また、ヘッド３０のＸＹ平面案内装置４１にも無駄な力が作用しないため、大幅な小型化・軽量化ができる。
また、ヘッド側の慣性が小さくなった分、一方の軸が可動範囲の端にあるときに他方のＸ軸テーブル１あるいはＹ軸テーブル２に働くヨーイングモーメントは小さくなり、両軸テーブル１、２のヨーイング支持剛性が向上するため、制御系を不安定にする両軸テーブル１、２のヨーイング振動の発生を軽減できる。
なお、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２が干渉する場合は、平板状テーブルの厚みの分、ベースＢ２とベースＢ３の高さに差をつけ、それぞれの干渉を避けて取り付けてもよい。この場合、ヘッド３０のＹ方向の慣性重量にはレール３２Ｒが加わり、等価的に重心が低くなるのでＹ軸テーブルをＸ軸テーブルの下方に配置するとよい。
【００２０】
図１〜図７に示す本実施の形態においては、ヘッド３０とＸ軸テーブル１を連結する連結案内装置４０のスライダ４０Ｓとヘッド３０との間と、ヘッド３０とＹ軸テーブル２を連結する連結案内装置４０のスライダ４０Ｓとヘッド３０との間に、それぞれ剛性を調整出来るカップリング３９が取り付けられている。そのカップリング３９の拡大図を図７に示す。スライダ４０Ｓ側に取り付けたコの字型の部材３９Ａと、ヘッド３０側に取り付けられたコの字型の部材３９Ｂとの間に、ゴム平板３９Ｃが所定の予圧がかけられ挟み込まれている。このゴム平板３９Ｃの面積を変えることで、スライダ４０Ｓとヘッド３０間の剛性を調整できるようになっている。これによって、ヘッド３０に推力を伝達している連結案内装置４０が節になる振動でサーボ系が不安定にならないように、共振周波数を調整できる。
【００２１】
また、図１〜図７に示す本実施の形態においては、偏平コイル３４は、移動方向と平行に巻線されていて推力に寄与しない巻線部分に、ヒートシンク３８が直接取り付けられている。このため、高い放熱性が得られる。
【００２２】
【発明の効果】
以上のように、本発明の第１の構成においては、ＸＹ方向に移動可能なＸＹ平面案内装置に設置された被搬送物であるヘッドと、Ｘ軸方向に直線運動可能なＸ軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをＸ軸方向に駆動する偏平なＸ軸テーブルと、Ｙ軸方向に直線運動可能なＹ軸方向案内装置に設置され、偏平な駆動コイルを備えて前記ヘッドをＹ軸方向に駆動する偏平なＹ軸テーブルと、前記Ｘ、Ｙ軸テーブルの駆動コイルを可動子とする電磁駆動装置と、前記ヘッドと前記Ｘ軸テーブルとを前記ヘッドが前記Ｘ軸テーブルの端面に沿ってＹ軸方向に摺動自在に連結する連結案内装置と、前記ヘッドと前記Ｙ軸テーブルとを前記ヘッドが前記Ｙ軸テーブルの端面に沿ってＸ軸方向に摺動自在に連結する連結案内装置とを備え、前記ヘッドのＸ軸方向隣に前記連結案内装置を介して前記Ｘ軸テーブルを、前記ヘッドのＹ軸方向隣に前記連結案内装置を介してＹ軸テーブルをそれぞれ配置すると共に、前記ヘッドの重心と前記Ｘ軸テーブルと前記Ｙ軸テーブルと前記連結案内装置とをほぼ同一平面上に配置し、かつ前記Ｘ軸テーブルから前記連結案内装置を介して前記ヘッドに加えられる駆動力と、前記Ｙ軸テーブルから前記連結案内装置を介して前記ヘッドに加えられる駆動力とが前記ヘッドの重心に作用するように構成したので、Ｘ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、およびヘッドのいずれにもピッチングモーメントや垂直方向の力が発生しない。また、Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブルに求められる剛性は平面方向のみとなるため、その方向以外の剛性は不要となり軽量化が可能となる。
【００２３】
また、本発明の第２の構成においては、前記ヘッドとＸ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダを、ヘッドの重心を通りＸ軸と平行な線とヘッドの端面とが交わる付近に固定し、前記ヘッドとＹ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダを、ヘッドの重心を通りＹ軸と平行な線とヘッドの端面とが交わる付近に固定したので、ヘッドにピッチングおよびヨーイングのモーメントがかからなくなり、その案内装置が軽量化できる。この結果、Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブルは薄型化・軽量化され、案内装置は小型化・軽量化・長寿命化される。また、低慣性のため制御系を不安定にする振動の発生も軽減でき、高い制御性が得られる。
【００２４】
また、本発明の第３の構成においては、前記ヘッドとＸ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダと前記ヘッドとの間、または前記ヘッドとＹ軸テーブルを連結する連結案内装置のスライダと前記ヘッドとの間に、それぞれ推力方向の剛性が調整可能なカップリングを取り付けたので、この連結案内装置が節になる振動がサーボ系を不安定にしないように共振周波数を調整できる。
【００２５】
また、本発明の第４の構成においては、前記駆動コイルが、移動方向と平行に巻線されており、推力に寄与しない巻線部分に直接ヒートシンクを取り付けたので、高い放熱性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るＸＹ軸ヘッド位置決め装置を示す斜視図である。
【図２】図１の矢印Ａからみた側面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線での断面構成図である。
【図４】図２のＣ−Ｃ線での断面構成図である。
【図５】図２のＤ−Ｄ線での断面構成図である。
【図６】図３と図４において、剛性の低い案内装置をバネで表現した概略構成図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係わるカップリング部を示す断面構成図である。
【図８】従来のＸＹ軸ヘッド位置決め装置を示す側面図である。
【図９】従来のＸＹ軸ヘッド位置決め装置において剛性の低い案内装置をバネで表現した概略構成図である。
【符号の説明】
１  Ｘ軸テーブル、２  Ｙ軸テーブル、３  出力テーブル、４，６，９，３１，３２  直動案内装置、４Ｒ，６Ｒ，９Ｒ，３１Ｒ，３２Ｒ，４０Ｒ  案内レール、４Ｓ，６Ｓ，９Ｓ，３１Ｓ，３２Ｓ，４０Ｓ  スライダ、４０  連結案内装置、４１  ＸＹ平面案内装置、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３  ベース、２０  リニアモータ、２２  可動子、２３  固定子、２５、２６  位置検出部、２５Ａ，２６Ａ  検出部、２５Ｂ，２６Ｂ  スケール、３０  ヘッド、３４  偏平コイル、３５，３６，３５Ａ，３６Ａ，３５Ｂ，３６Ｂ  永久磁石、３７  ヨーク、３８  ヒートシンク、３９  カップリング、３９Ａ，３９Ｂ  コの字型部材、３９Ｃ  ゴム平板。
【図１】
0003603615.tif 000002
【図２】
0003603615.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003603615.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003603615.tif 000007
【図７】
0003603615.tif 000008
【図８】
0003603615.tif 000009
【図９】
0003603615.tif 000010