(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇華性気体を扱うポンプの排気側に設置される固形分捕集用トラップにおいて、気体の通路となる通路形成板と該通路形成板を収容するケーシングの間に、平板状の薄板を筒状に曲げて形成された拡開可能な中間部材を設けたことを特徴とする固形分捕集用トラップ。
【請求項２】
真空ポンプと、該真空ポンプの排気側又は吸気側に設けられた固形分捕集用トラップとを具備し、該固形分捕集用トラップは、気体の通路となる通路形成板と該通路形成板を収容するケーシングとの間に、平板状の薄板を筒状に曲げて形成された拡開可能な中間部材を設けたものであることを特徴とする真空ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は固形分捕集用トラップに係り、特に圧力・温度状態の変化により固形分を発生させる昇華性気体を扱うポンプの排気側又は吸気側に設置される固形分捕集用トラップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
昇華性気体をポンプで圧縮し吐出する場合、昇華性気体は高温、高圧になり吐出される。昇華性気体は、同一圧力の時には温度が下がると固形分が析出する性質を有している。吐出された気体は配管外気によって冷却され、固形分が析出し比較的短期間で配管を閉塞してしまう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、固形分を効率よく析出させ、集中的に捕集するために固形分捕集用トラップを用いる。固形分捕集用トラップはケーシング内に通路形成板を配設したものからなる。この場合、トラップの内部に固形分が溜まり、メンテナンスする際、固形分がケーシングと通路形成板との間で固化し、通路形成板がケーシングから引き出せず、メンテナンスが容易ではなかった。
【０００４】
本発明は上述した事情に鑑みて為されたもので、ケーシングと通路形成板の間に平板状の薄板を筒状に曲げることにより形成した中間部材を設け、ケーシングと通路形成板の固着を防ぎ、中間部材と通路形成板の固着を容易に取り除けるようにし、メンテナンス全体を容易にすることができる固形分捕集用トラップを提供することを目的とする。
【０００５】
また本発明は、真空ポンプと上記固形分捕集用トラップとを具備したポンプ装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明の固形分捕集用トラップは、昇華性気体を扱うポンプの排気側に設置される固形分捕集用トラップにおいて、気体の通路となる通路形成板と該通路形成板を収容するケーシングの間に、平板状の薄板を筒状に曲げて形成された拡開可能な中間部材を設けたことを特徴とする。
【０００７】
本発明の真空ポンプ装置は、真空ポンプと、該真空ポンプの排気側又は吸気側に設けられた固形分捕集用トラップとを具備し、該固形分捕集用トラップは、気体の通路となる通路形成板と該通路形成板を収容するケーシングとの間に、平板状の薄板を筒状に曲げて形成された拡開可能な中間部材を設けたものであることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、ケーシングと通路形成板との間に平板状の薄板を筒状に曲げて形成した中間部材を組み込むことにより、ケーシングと中間部材の間では固形分がほとんどないため固化せず、通路形成板と中間部材の間で固形分は固化する。メンテナンスする際に、通路形成板を引き出す場合に、中間部材が通路形成板と共にケーシングに固着することなく引き出すことができる。中間部材は平板状の薄板を筒状に曲げてあるだけなので、それを拡開することにより中間部材と、通路形成板とを容易に分離することができる。これにより、メンテナンスが容易にできる。
【０００９】
【実施例】
以下、本発明に係る固形分捕集用トラップの一実施例を図１乃至図５を参照して説明する。
図１（ａ）は、固形分捕集用トラップが設置される系統図を示している。例えば、半導体製造装置における反応室１は、真空ポンプ２により排気されるようになっている。真空ポンプ２の排気側は固形分捕集用トラップ３に接続されている。反応室１には、昇華性気体を含む気体が存在しており、この反応室１から昇華性気体を含む気体が真空ポンプ２により排気され、真空ポンプ２を通って固形分捕集用トラップ３に流れていく。また、図１（ｂ）に示すように、昇華性気体の物性によっては、反応室１と真空ポンプ２の間に固形分捕集用トラップ３を設けることが可能である。
【００１０】
図２は、昇華性気体の状態図を示し、横軸は温度（℃）、縦軸は圧力（ｋｇｆ／ｃｍ２）を表わす。
真空ポンプ２により排気され大気圧以下になっている反応室１より昇華性気体を含む気体が流出し、真空ポンプ２により大気圧にまで加圧され又加熱されて吐出される。これを固形分捕集用トラップ３に通すことにより、昇華性気体は冷却され、図２の状態図の変態線を越え固形分となり、トラップ３により捕集される。
【００１１】
図３は固形分捕集用トラップ３の詳細構造を示す縦断面図、図４はその分解斜視図である。図３及び図４に示すように、固形分捕集用トラップ３は、ケーシング４と、ケーシング４の開口部を閉塞する蓋体５と、ケーシング４内に収容され支持棒６ａと支持棒６ａによって支持されたらせん状板６ｂとからなる通路形成板６とを具備している。
【００１２】
前記ケーシング４と通路形成板６との間には、円筒状に折り曲げられた平板状の薄板からなる中間部材７が介装されている。中間部材７は、図５（ａ）に示すように装着時には薄板を円筒状に曲げて形成される。薄板の材質はステンレス鋼が好ましいが、弾性を有し曲げが形成されるものであれば他の材料であってもよい。そして、メンテナンス時には、中間部材７は図５（ｂ）に示すように左右に拡開できるようになっており、容易に通路形成板６と分離できる。
【００１３】
本実施例によれば、ケーシング４と通路形成板６との間に、平板状の薄板を筒状に曲げただけの中間部材７を介装することにより、中間部材７は装着時には平板の弾性力により広がろうとするため、ケーシング４との密着性が向上し、昇華性ガスの侵入を防ぎ、その結果、ケーシング４と、中間部材７との固着がないため、容易に通路形成板６を引き出すことができる。一方、中間部材７と、通路形成板６は、固形分の固化により固着するため、円筒では中の通路形成板６を引き出すのは容易ではないが、薄板を曲げただけの中間部材７は、拡開することにより容易に通路形成板６と分離できる。
【００１４】
図６は、図３に示す固形分捕集用トラップにおけるらせん状板の形状をより具体化した実施例を示す。即ち、固形分捕集用トラップ３は、ケーシング４と、ケーシング４の開口部を閉塞する蓋体５と、ケーシング４内に収容され支持棒６ａと支持棒６ａによって支持されたらせん状板６ｂとからなる通路形成板６とを具備している。
【００１５】
前記ケーシング４と通路形成板６との間には、円筒状に折り曲げられた平板状の薄板からなる中間部材７が介装されている。中間部材７は、図５（ａ）に示すように装着時には薄板を円筒状に曲げて形成される。なお図６においては、支持棒６ａを蓋体５に固定するためのピン１１と、ケーシング４と蓋体５とを固定するためのボルト１２及びナット１３とが図示されている。
【００１６】
図７は、本発明の固形分捕集用トラップの他の実施例を示す図であり、図７（ａ）は全体構成を示す断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩ（ｂ）矢視図である。本実施例の固形分捕集用トラップ３においては、通路形成板１６は、ケーシング４内に収容された支持棒１６ａと、この支持棒１６によって支持された複数の板状体１６ｂとから形成されている。板状体１６ｂは支持棒１６ａに対して略直交する方向に伸びており、その平面形状は、図７（ｂ）に示すように円盤の端部を切り落とした形状を有している。
【００１７】
また本実施例においては、ケーシング４の外周部に円筒形状の冷却ジャケット部８が形成されており、この冷却ジャケット部８に冷却水が供給可能になっている。冷却ジャケット部８に冷却水を供給することにより、トラップの捕集性を高めることができる。その他の構成は図３に示す実施例と同様である。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ケーシングと通路形成板との間に、平板状の薄板を筒状に曲げただけの中間部材を介装することにより、中間部材は装着時には平板の弾性力により広がろうとするため、ケーシングとの密着性が向上し、昇華性ガスの侵入を防ぎ、その結果、ケーシングと中間部材との固着がないため、容易に通路形成板を引き出すことができる。
【００１９】
また中間部材と通路形成板は、固形分の固化により固着するため、円筒では中の通路形成板を引き出すのは容易ではないが、薄板を曲げただけの中間部材は、拡開することにより容易に通路形成板と分離できる。したがって、トラップのメンテナンス性が飛躍的に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る固形分捕集用トラップを組み込んだ排気システムのブロック図である。
【図２】本発明の固形分捕集用トラップで処理される昇華性気体の状態図である。
【図３】本発明に係る固形分捕集用トラップの縦断面図である。
【図４】本発明に係る固形分捕集用トラップの分解斜視図である。
【図５】本発明に係る固形分捕集用トラップの動作説明図である。
【図６】図３に示す固形分捕集用トラップにおけるらせん状板の形状をより具体化した実施例を示す断面図である。
【図７】本発明に係る固形分捕集用トラップの他の実施例を示す図であり、図７（ａ）は全体構成を示す断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩ（ｂ）矢視図である。
【符号の説明】
１  反応室
２  真空ポンプ
３  固形分捕集用トラップ
４  ケーシング
５  蓋体
６  通路形成板
７  中間部材
８  冷却ジャケット部
１６  通路形成板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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