(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電気的構造を配列した基板に対して電気特性を検査する電気特性検査装置であって、
前記複数の電気的構造が配列する配列方向に沿って複数設けられ、前記基板を表裏から挟持し、一対の開閉可能な可動顎部とを備えたグリップ機構と、
前記グリップ機構を電気的構造の前記配列方向に往復移動可能とする移動機構と、
初期位置において前記可動顎部を閉鎖して前記基板を挟持した後、前記グリップ機構を前記配列方向に移動させて前記基板とともに検査位置に移送し、その後、前記可動顎部を開放して前記基板を解放した後、前記グリップ機構を初期位置に復帰させるために前記グリップ機構及び移動機構を制御駆動する機構制御手段と、
前記検査位置にて前記グリップ機構に挟持された前記基板の電気的構造を検査するための検査手段とを有し、
前記グリップ機構は、少なくとも一方における前記基板に対する接触部に電力を供給するための導電構造を備えており、前記基板を検査位置まで送る間に、前記基板に対する前記接触部に前記グリップ機構を介して電力を予め供給しておくことを特徴とする電気特性検査装置。
【請求項２】
請求項１において、前記機構制御手段は、複数の前記グリップ機構が前記基板の挟持、移送及び解放の各動作を順次実行するように制御することを特徴とする電気特性検査装置。
【請求項３】
請求項１において、前記可動顎部の少なくとも一方における前記基板に対する接触部には、前記電気的構造に対して電力を供給するための導電構造を形成したことを特徴とする電気特性検査装置。
【請求項４】
請求項１において、前記グリップ機構は、前記可動顎部が前記基板を挟持している状態で、前記検査手段の検査ヘッドを前記可動顎部の挟持している前記電気的構造に対して検査可能にするためのヘッド受入部を備えていることを特徴とする電気特性検査装置。
【請求項５】
請求項４において、前記ヘッド受入部は前記可動顎部に形成された貫通孔であることを特徴とする電気特性検査装置。
【請求項６】
請求項１において、前記グリップ機構には、前記基板に対する位置決め手段と、該位置決め手段によって少なくとも前記基板の表面方向に移動可能に取り付けられたコンタクトブロックとを備えていることを特徴とする電気特性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気特性検査装置に係り、特に、テープ状のフレキシブル基板に形成された複数の電気回路を順次検査する場合に好適な装置の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、時計に内蔵される電子回路としては、テープ状のフレキシブル基板に種々の回路パターンを基板の延長方向に複数形成し、このフレキシブル基板上に必要に応じて集積回路チップや水晶発振子その他の電子部品を搭載して成るテープ状回路基板を用いた製造方法が採用されている。
【０００３】
この製造方法においては、テープ状回路基板をリールから引き出し、電子部品の実装や電気特性検査等を行うことができるので、特に小型回路の場合に大量の電子回路を効率良く製造できるという利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のテープ状回路基板を用いて時計回路を構成する場合には、回路の電気特性検査を行う際に、搭載された水晶発振子に電力を供給してから発振周波数が落ち着くまで数秒程度が必要となるため、電気特性検査は水晶発振子に電力を供給してから発振周波数が落ち着くまで検査を行わずに待機する必要があり、この待機時間の存在によって検査装置の検査サイクルが長くなってしまうという問題点がある。
【０００５】
また、時計回路以外の各種回路においても、検査回路に電力を供給してから回路動作等が安定するまでにある程度の待機時間を必要とする場合があり、この場合にも検査サイクルの短縮に限界があるという問題点がある。
【０００６】
さらに、テープ状回路基板を用いた複数の回路の検査方法においては、各回路を検査前にそれぞれ検査ヘッドに対して正確に位置決めする必要があり、この位置決めのための時間も検査サイクルの短縮化を妨げる要因となる。
【０００７】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、電気特性検査装置において、回路検査の前の待機時間や位置決め時間を不要とすることによって、検査サイクルの短縮を図ることのできる装置構造を実現することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明が講じた手段は、複数の電気的構造を配列し
た基板に対して電気特性を検査する電気特性検査装置であって、
前記複数の電気的構造が配列する配列方向に沿って複数設けられ、前記基板を表裏から挟持し、一対の開閉可能な可動顎部とを備えたグリップ機構と、
前記グリップ機構を電気的構造の前記配列方向に往復移動可能とする移動機構と、
初期位置において前記可動顎部を閉鎖して前記基板を挟持した後、前記グリップ機構を前記配列方向に移動させて前記基板とともに検査位置に移送し、その後、前記可動顎部を開放して前記基板を解放した後、前記グリップ機構を初期位置に復帰させるために前記グリップ機構及び移動機構を制御駆動する機構制御手段と、
前記検査位置にて前記グリップ機構に挟持された前記基板の電気的構造を検査するための検査手段とを有し、
前記グリップ機構は、少なくとも一方における前記基板に対する接触部に電力を供給するための導電構造を備えており、前記基板を検査位置まで送る間に、前記基板に対する前記接触部に前記グリップ機構を介して電力を予め供給しておくことを特徴とする電気特性検査装置。
【０００９】
この手段によれば、グリップ機構により初期位置から検査位置まで基板を挟持しながら送るようにしたので、基板の位置決めを行いながらグリップ機構により基板を搬送することができる。したがって、位置決め時間を短縮し、かつ確実な位置決めを行うことができる。
【００１０】
ここで、前記可動顎部の少なくとも一方における前記基板に対する接触部には、前記電気的構造に対して電力を供給するための導電構造を形成することが好ましい。
【００１１】
この手段によれば、検査位置までの送り期間においてグリップ機構を介して電力を予め供給しておくことにより電気的構造の動作状態の安定化を図ることができるから、検査前に必要となる回路動作の安定化のための待機時間を搬送完了以前に確保することができるため、従来よりも検査サイクルを短縮できる。
【００１２】
また、前記グリップ機構は前記配列方向に沿って複数設けられ、前記機構制御手段は、複数の前記グリップ機構が前記基板の挟持、移送及び解放の各動作を順次実行するように制御するように構成することが好ましい。
【００１３】
この手段によれば、複数のグリップ機構により順次基板を送りながら検査を行うので、搬送の時間間隔をなくすことができ、連続的に検査を実行することが可能になるため、検査サイクルをさらに短縮できる。
【００１４】
なお、この場合にグリップ機構を介して電力を予め供給しておくことにより、電気的構造の動作の安定化を図るための待機時間を完全に不要とすることができる。
【００１５】
さらに、前記グリップ機構は、前記可動顎部が前記基板を挟持している状態で、前記検査手段の検査ヘッドを前記可動顎部の挟持している前記電気的構造に対して検査可能にするためのヘッド受入部を備えていることが好ましい。
【００１６】
この手段によれば、検査ヘッドを検査可能とするヘッド受入部を可動顎部に設けたので、可動顎部が挟持している電気的構造に対して検査を行うことが可能になる。
【００１７】
この場合に、前記ヘッド受入部は前記可動顎部に形成された貫通孔であることが好ましい。
【００１８】
この手段によれば、検査ヘッドを可動顎部に形成された貫通孔に挿入することによって可動顎部が挟持している電気的構造に対して直接に接触することが可能になるので、検査を確実かつ正確に実施することができる。
【００１９】
また、前記グリップ機構には、前記基板に対する位置決め手段と、該位置決め手段によって少なくとも前記基板の表面方向に移動可能に取り付けられたコンタクトブロックとを備えていることが好ましい。
【００２０】
この手段によれば、コンタクトブロックは位置決め手段によって基板の所定位置に対応するように表面方向に移動できるので、基板に対してコンタクトブロックを高精度に位置決めして接触させることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る電気特性検査装置の実施形態について説明する。
【００２２】
図１は本実施形態における電気特性検査装置の検査部近傍を示す拡大斜視図である。この電気特性検査装置は、延長方向に複数の時計回路（図示せず）が配列形成されたテープ状に形成されたフレキシブル基板１０を所定の経路に沿って配設し、このフレキシブル基板１０の各時計回路に対して論理緩急測定（水晶発振子の発振チェック、クロック信号の発振周波数測定等）やその他の電気特性検査を行うように構成されている。フレキシブル基板１０には、所定の配線パターンが予め形成され、この配線パターンに集積回路チップや水晶発振子等の電子部品が搭載されている。
【００２３】
フレキシブル基板１０の経路には、フレキシブル基板１０を上下から挟むように配置されたグリップ機構２０，３０が設けられ、その上方には検査機構４０が昇降自在に取付けられている。
【００２４】
グリップ機構２０，３０は後述する移動機構上に取付けられ、それぞれ昇降可能に構成された可動顎部２１，２２及び３１，３２から構成されている。フレキシブル基板１０の上方に配置された可動顎部２１，３１には、それぞれ２つずつのコンタクトブロック２３，２４及び３３，３４が設けられ、これらのコンタクトブロックは後述するように可動顎部２１，３１の本体に対して水平方向に僅かに移動可能に取付けられている。
【００２５】
コンタクトブロック２３，２４，３３，３４には、それぞれフレキシブル基板１０に穿設された図示しないガイド孔を挿通して可動顎部２２，３２の上面に固定された受け治具２５，３５の図示しない嵌合穴に嵌合し、コンタクトブロックと時計回路との位置決めを行う基準ピン２６，３６と、フレキシブル基板１０上に形成された時計回路に実装された水晶発振子を押さえるための水晶押えピン２７，３７と、時計回路の接点に接触して所定の電圧を供給するための給電プローブ２８，３８とが下面からそれぞれ突出するように設けられている。
【００２６】
コンタクトブロックの中央部には、コンタクトブロックを上下に貫通する長円形の開口断面を備えた検査孔２９，３９が形成され、また、コンタクトブロックの上面には後述する検査ヘッドの挿入部を位置決めするための基準穴２３ａ，２４ａ，３３ａ，３４ａが穿設されている。
【００２７】
上記水晶押えピン２７，３７、給電プローブ２８，３８、及び検査孔２９，３９は、各コンタクトブロック２３，２４，３３，３４毎にそれぞれ４組ずつ設けられ、それぞれのコンタクトブロックが同時に４つの時計回路に対してコンタクトできるように構成されている。
【００２８】
検査機構４０においては、コンタクトブロックの上方に配置される検査ヘッド４１が後方に配置された駆動部４２によって昇降可能に構成されている。検査ヘッド４１の先端部には検査ブロック４３が水平方向に僅かに移動可能に取付けられ、この検査ブロック４３の下面には一つのコンタクトブロックに対応した４つの挿入部４４が突出形成されている。各挿入部４４からはそれぞれ時計回路の電気特性検査のための複数の検査プローブ４５が下方に伸びるように植設されている。検査ブロック４３からは基準ピン４６が下方に突出し、この基準ピン４６は、上記コンタクトブロックの基準穴２３ａ，２４ａ，３３ａ，３４ａに挿入されて検査ブロック４３の位置決めを行うように構成されている。
【００２９】
図２及び図３は上記グリップ機構２０，３０の平面動作を示すものである。グリップ機構２０，３０はいずれもフレキシブル基板１０の延長方向に沿って移動可能に構成されており、図２（ａ）に示す状態では、グリップ機構２０は、図２に示す第１領域Ｉにおいて可動顎部２１を下降させるとともに可動顎部２２を上昇させることによってフレキシブル基板１０を可動顎部２１と可動顎部２２の間に挟持する。
【００３０】
この状態で、基準ピン２６，３６をフレキシブル基板１０を通して可動顎部２２，３２の受け治具２５，３５に嵌合させることにより、コンタクトブロックをフレキシブル基板１０に対して位置決めする。フレキシブル基板１０が可動顎部２１と２２により挟持されると、水晶押えピン２７，３７が時計回路に搭載された水晶発振子を上方から押さえるとともに、給電プローブ２８，３８が時計回路の電源端子に接触し、所定の電力が時計回路に供給され、例えば水晶発振子が発振を始める。
【００３１】
グリップ機構２０が第１領域Ｉにてフレキシブル基板１０を挟持しているとき、グリップ機構３０は第２領域ＩＩにてフレキシブル基板１０を挟持している。このとき、コンタクトブロック３４は第２領域ＩＩの検査位置ＩＩａに位置しており、図１に示す検査ヘッド４１が下降して、検査ブロック４３の挿入部４４がコンタクトブロック３４の検査孔３９に挿入され、コンタクトブロック３４に挟持された４つの時計回路に検査プローブ４５を接触させ、電気特性の検査を行う。ここで、検査ブロック４３の基準ピン４６は、図１に示すコンタクトブロック３４の基準穴３４ａに挿入され、検査ブロック４３を位置決めしている。
【００３２】
検査ブロック４３がコンタクトブロック３４に挿入されて電気特性の検査が行われ、検査が終了すると、検査ヘッド４１は上昇して検査ブロック４３はコンタクトブロック３４から離反する。すると第１領域Ｉにあるグリップ機構２０及び第２領域ＩＩにあるグリップ機構３０は、共にフレキシブル基板１０を挟持したまま図示右側に移動し、図２（ａ）に示す状態から図２（ｂ）に示す状態に移行して停止する。
【００３３】
図２（ｂ）の状態では、コンタクトブロック３３が検査位置ＩＩａに配置され、上記と同様に検査ブロック４３が挿入され、検査が行われる。検査が終了すると再びグリップ機構２０及び３０はフレキシブル基板１０を挟持したまま図示右側に移動し、図３（ａ）に示すようにグリップ機構２０が第２領域ＩＩに、グリップ機構３０が第３領域ＩＩＩ  にそれぞれ配置された状態で停止する。このとき、コンタクトブロック２４が検査位置ＩＩａに配置され、上記と同様にして電気特性検査が実施される。
【００３４】
コンタクトブロック２４に対して検査が行われている間に、可動顎部３１は上昇し、可動顎部３２は下降して、グリップ機構３０は第３領域ＩＩＩ  において挟持していたフレキシブル基板１０を解放する。次に、グリップ機構３０はフレキシブル基板１０の送り方向とは逆に移動し、第１領域Ｉに到達して停止する。
【００３５】
第１領域Ｉにグリップ機構３０が配置されると、可動顎部３１は下降し、可動顎部３２は上昇して、フレキシブル基板１０を上下から挟持する。その後は、コンタクトブロック２４の検査が終了すると、上述と同様にグリップ機構３０と２０は図示右側にフレキシブル基板１０とともに移動し、コンタクトブロック２３を検査位置ＩＩａに位置決めし、当該部分の電気特性の検査を行う。
【００３６】
上述のように、グリップ機構２０，３０は、検査終了毎にフレキシブル基板１０を図示右側に移動させながら、第１領域から第３領域まで移動し、第３領域まで到達するとフレキシブル基板１０を一旦解放して再び第１領域に戻るという動作を交互に繰り返す。
【００３７】
図４は本実施形態の全体構成の概略を示す概略平面図である。フレキシブル基板１０は図示左端から右端に向かって、公知のテンション保持機構を備えたローラ列からなる搬送経路に沿って順次搬送されるように構成されている。この搬送経路上には、上述の図１と同様のグリップ機構２０，３０及び検査機構４０からなる２つの検査ユニットＡ，Ｂが順次配設されている。検査ユニットＡには論理緩急測定用チェッカーＣが設けられ、当該ユニット内の検査機構４０を介して得られた検査結果を判定する。また、検査ユニットＢには電気特性測定用チェッカーＤが設けられ、当該ユニット内の検査機構４０を介して得られた検査結果を判定するようになっている。
【００３８】
検査ユニットＡはフレキシブル基板１０の時計回路の論理緩急測定を行うためのものであり、水晶発振子の発振周波数を直接若しくは間接的に測定する。一方、検査ユニットＢは時計回路のその他の電気特性を検査するためのものであり、所定回路部分の直流値、発信周波数及び交流値を測定する。
【００３９】
検査ユニットＡ，Ｂにおいてそれぞれ検査機構４０の下流側に配置されたパンチ機構５０は、検査機構４０によって検査されたフレキシブル基板１０の時計回路の検査結果に応じて、当該時計回路に対応したフレキシブル基板１０の所定位置にパンチ孔を穿孔するためのものである。
【００４０】
ここで、検査ユニットＡのパンチ機構５０は、当該ユニット内の検査機構４０によって測定された論理緩急（水晶発振子から得られるクロック信号の発振周波数）の値に応じて、時計回路内に構成された図示しない緩急調整回路部の所定部分を穿孔することによりクロック信号の発振周波数を調整する。一方、検査ユニットＢのパンチ機構５０は、当該ユニット内の検査機構４０によって測定された電気特性が不良である場合には、フレキシブル基板１０の所定部分を穿孔し、不良品であることを表示する。
【００４１】
上記検査装置全体は所定の動作プログラムを内蔵するマイクロコンピュータユニット（ＭＰＵ）を備えた図示しない中央制御装置によって制御される。特にこの中央制御装置は、各検査ユニットＡ，Ｂに設けられたグリップ機構２０，３０、検査機構４０、及び移動機構６０が相互に協調した動作を行うように制御する。移動機構６０はグリップ機構２０，３０のそれぞれを水平面方向に移動できるように構成されている。
【００４２】
図５は当該装置のグリップ機構２０，３０及び移動機構６０をフレキシブル基板１０の進行方向に向かって見た様子を示す機構説明図である。図４にも示すように、グリップ機構２０，３０は移動機構６０の上に搭載されている。移動機構６０は、グリップ機構２０，３０をフレキシブル基板１０の進行方向に往復動作させる搬送方向移動部６１と、この搬送方向移動部６１の上に搭載され、グリップ機構２０，３０をフレキシブル基板１０の搬送方向とは直交する水平方向に移動させる水平位置調節部６２とから成る。
【００４３】
水平位置調節部６２の上には、グリップ機構２０，３０の一部を構成する支持部２０Ａ、３０Ａと、この支持部に対して外側と内側においてそれぞれ昇降可能に構成された昇降部２０Ｂ，２０Ｃ，３０Ｂ，３０Ｃが設けられている。昇降部２０Ｂは可動顎部２１に接続され、昇降部２０Ｃは可動顎部２２に接続され、昇降部３０Ｂは可動顎部３１に接続され、昇降部３０Ｃは可動顎部３２に接続されている。
【００４４】
以上説明したグリップ機構２０，３０及び移動機構６０により、可動顎部でフレキシブル基板１０を上下から挟持したり解放したりすることが可能となり、また、グリップ機構自体をフレキシブル基板１０の延長方向に沿って往復動作させることが可能となる。
【００４５】
本実施形態により電気特性検査を行った動作タイミングを示すものが図６である。図中（ａ）〜（ｃ）は検査ユニットＡ内における第１領域Ｉにあるフレキシブル基板１０の時計回路の状態、第２領域ＩＩにある時計回路の状態、及びパンチ機構５０の位置にある時計回路の状態を示すものであり、図中（ｄ）〜（ｆ）は検査ユニットＢ内における第１領域Ｉにあるフレキシブル基板１０の時計回路の状態、第２領域ＩＩにある時計回路の状態、及びパンチ機構５０の位置にある時計回路の状態を示すものである。
【００４６】
検査ユニットＡの第１領域Ｉでは、図６（ａ）に示すように、グリップ機構２０，３０のいずれかがフレキシブル基板１０を挟持することによって給電プローブから発振回路を発振させるのに必要な電力が供給され、電力供給状態▲１▼となる。この電力供給状態▲１▼は、図６（ｂ）に示すように第２領域ＩＩにおいても継続している。第２領域ＩＩにおいては、当初、時計回路内の発振状態をチェックし（▲２▼）、発振が確認されると発振周波数測定▲３▼、▲４▼を実施する。これらの発振周波数測定の結果に応じて、図６（ｃ）に示す期間内にフレキシブル基板１０の穿孔を行う（緩急調整パンチ）。
【００４７】
一方、検査ユニットＢの第１領域Ｉでは、図６（ｄ）に示すようにグリップ機構２０，３０のいずれかがフレキシブル基板１０を挟持することによって給電プローブから発振回路を発振させるのに必要な電力が供給され、電力供給状態▲１▼となる。この電力供給状態▲１▼は、図６（ｅ）に示すように第２領域ＩＩにおいても継続している。第２領域ＩＩにおいては、当初、時計回路内の発振状態をチェックし（▲２▼）、発振が確認されると回路内の電流測定▲５▼、▲６▼を実施する。その後、発振周波数を測定し（▲７▼）、さらに回路信号の交流値測定▲８▼を実施する。そして、これらの測定結果に応じて、回路の電気特性が不良である場合には、図６（ｆ）に示す期間内にフレキシブル基板１０の穿孔を行う（不良パンチ）。
【００４８】
このように装置を動作させることにより、時計回路を検査する前に予め時計回路に電力を供給した状態とし、その状態を維持しながら搬送して検査位置に位置決めし、検査を実施することができるので、電力供給時から検査時までに確保する必要のある発振回路部の安定化時間を待機時間とする必要がなく、検査サイクルを短縮することができる。
【００４９】
図６の例では、上記実施形態と同様に２つのグリップ機構を設け、一つのグリップ機構毎にそれぞれ４個の時計回路に対応したコンタクトブロックを２つ採用した場合、一つの領域毎のサイクルタイムは約９．５秒となった。従来は検査期間の間にこのサイクルタイムとほぼ同時間の待機時間を挟んでいたため、コンタクトブロックが同一であっても、本実施形態では従来の半分の検査時間で処理できることとなる。
【００５０】
また、本実施形態では、グリップ機構によってフレキシブル基板１０を挟持して搬送しているので、別途搬送機構が不要になるとともに、グリップ機構によって検査前にフレキシブル基板１０とグリップ機構２０，３０との位置決めが完了しており、間接的にはフレキシブル基板１０と検査機構４０との位置決めもほぼ完了していると見做せるので、検査開始時における位置決め時間を短縮、或いは不要にできるとともに、位置決め時間に対する制約が少ないため、位置決めの確実性、信頼性を向上することができる。
【００５１】
上記実施形態では２つのグリップ機構２０，３０を用いてフレキシブル基板１０の搬送と電力供給とを行っているが、搬送時間内に電力を供給することで待機時間を低減するだけの効果（上記実施形態とは異なり搬送時間が必要となる。）で充分ならば単一のグリップ機構でもよく、また、検査サイクルを上記実施形態よりもさらに短縮したい場合には３つ以上のグリップ機構を設けることもできる。単一のグリップ機構或いは３以上のグリップ機構の動作は基本的に上述の実施形態の場合と同様である。
【００５２】
図７は３つのグリップ機構を備えた検査装置により検査を行う場合の時計回路の状態を示すものである。図中（ａ）〜（ｃ）はグリップ機構のいずれかが検査ユニットＡ内の第１領域Ｉ、第２領域ＩＩ、第３領域ＩＩＩ  にある場合の状態を順次示し、このグリップ機構は、上記実施形態よりも一つ多い第４領域ＩＶに移動した後に第１領域Ｉに復帰するように動作する。図中（ｄ）は検査後にパンチ機構５０に処理される時計回路の状態を示すものである。
【００５３】
また、図中（ｅ）〜（ｇ）はグリップ機構のいずれかが検査ユニットＢ内の第１領域Ｉ、第２領域ＩＩ、第３領域ＩＩＩ  にある場合の状態を順次示し、このグリップ機構も、上記実施形態よりも一つ多い第４領域ＩＶに移動した後に第１領域Ｉに復帰するように動作する。図中（ｈ）は検査後にパンチ機構５０に処理される時計回路の状態を示すものである。
【００５４】
検査ユニットＡの第１領域Ｉでは、図７（ａ）に示すように、グリップ機構２０，３０のいずれかがフレキシブル基板１０を挟持することによって給電プローブから発振回路を発振させるのに必要な電力が供給され、電力供給状態▲１▼となる。この電力供給状態▲１▼は、図７（ｂ），（ｃ）に示すように第２領域ＩＩ及び第３領域ＩＩＩ  においても継続している。第２領域ＩＩにおいては、時計回路内の発振状態をチェックし（▲２▼）、発振を確認する。第３領域ＩＩＩ  においては図７（ｃ）に示すように発振周波数測定▲３▼、▲４▼を実施する。そして、これらの発振周波数測定の結果に応じて、図７（ｄ）に示す期間内にフレキシブル基板１０の穿孔を行う（緩急調整パンチ）。
【００５５】
一方、検査ユニットＢの第１領域Ｉでは、図７（ｅ）に示すようにグリップ機構２０，３０のいずれかがフレキシブル基板１０を挟持することによって給電プローブから発振回路を発振させるのに必要な電力が供給され、電力供給状態▲１▼となる。この電力供給状態▲１▼は、図７（ｆ），（ｇ）に示すように第２領域ＩＩ及び第３領域ＩＩＩ  においても継続している。第２領域ＩＩにおいては、時計回路内の発振状態をチェックし（▲２▼）、発振を確認する。第３領域ＩＩＩ  においては図７（ｇ）に示すように回路内の電流測定▲５▼、▲６▼を実施し、その後、発振周波数を測定し（▲７▼）、さらに回路信号の交流値測定▲８▼を実施する。そして、これらの測定結果に応じて、回路の電気特性が不良である場合には、図７（ｈ）に示す期間内にフレキシブル基板１０の穿孔を行う（不良パンチ）。
【００５６】
この図７に示す例においては、３つのグリップ機構が４つの領域において順次移動し、予め電力を印加しておく期間は２つの検査サイクルに亘って取ることができるので、検査サイクルを短くすることができる。この例では電力印加時間ではなく検査時間によって検査サイクルの時間が制約されているために、短縮化の程度は少ないものの、約８秒となって図６に示す場合よりも効率よく検査を実施することができる。
【００５７】
図８は上記実施形態におけるグリップ機構２０の挟持部のより詳細な構造を示す縦断面図である。可動顎部２１にはコンタクトブロック２３が支持機構７０を介して接続されている。コンタクトブロック２３には前述の通り基準ピン２６、水晶押えピン２７、給電プローブ２８が固定され、これらピンの上部は可動顎部２１を遊嵌状態に挿通している。
【００５８】
図９は支持機構７０を拡大して示すものである。支持機構７０は、可動顎部２１からコンタクトブロック２３の内部へと挿通された支持ピン７１と、支持ピン７１の下端部に対してコンタクトブロック２３の内部で結合された固定ピン７２と、支持ピン７１の上部に形成されたフランジ部７１ａと可動顎部２１との間に介挿された皿バネ７３と、コンタクトブロック２３の上面における支持ピン７１の挿通部の周囲に取付けられたベアリング支持部７４と、このベアリンク支持部７４と可動顎部２１の下面との間に配置される球ベアリング７５とから構成される。
【００５９】
この支持機構７０は皿バネ７３によって可動顎部２１とコンタクトブロック２３とを上下方向に僅かに移動可能に結合するとともに、支持ピン７１が可動顎部２１を遊びを持って挿通していることにより、支持ピン７１は皿バネ７３によって垂直姿勢に軽く保持された状態で水平方向に移動可能に配置され、この結果、コンタクトブロック２３は可動顎部２１に対して水平方向に移動可能に結合している。
【００６０】
したがって、コンタクトブロック２３と受け治具２５との間にフレキシブル基板１０を挟持する場合、基準ピン２６をフレキシブル基板１０を挿通して受け治具２５の嵌合穴２５ａ（図８を参照）に挿入することによって、コンタクトブロック２３は可動顎部２１に対して水平方向に僅かに移動し、フレキシブル基板１０及び受け治具２５との相対的な平面方向の位置決めがなされる。
【００６１】
この支持機構７０の構造は、上記検査機構４０における検査ヘッド４１と検査ブロック４３との間の支持機構と全く同様であり、検査ブロック４３はその基準ピン４６をコンタクトブロック２３に設けられた基準穴２３ａに挿通する際に、検査ヘッド４１に対して水平方向に移動可能に支持されている。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば以下の効果を奏する。
【００６３】
請求項１によれば、グリップ機構により初期位置から検査位置まで基板を挟持しながら送るようにしたので、基板の位置決めを行いながらグリップ機構により基板を搬送することができる。したがって、位置決め時間を短縮し、かつ確実な位置決めを行うことができる。
【００６４】
請求項２によれば、検査位置までの送り期間においてグリップ機構を介して電力を予め供給しておくことにより電気的構造の動作状態の安定化を図ることができるから、検査前に必要となる回路動作の安定化のための待機時間を搬送時間内に確保することができるため、従来よりも検査サイクルを短縮できる。
【００６５】
請求項３によれば、複数のグリップ機構により順次基板を送りながら検査を行うので、搬送の時間間隔をなくすことができ、連続的に検査を実行することが可能になるため、検査サイクルをさらに短縮できる。
【００６６】
請求項４によれば、この場合にグリップ機構を介して電力を予め供給しておくことにより、電気的構造の動作の安定化を図るための待機時間を完全に不要とすることができる。
【００６７】
請求項５によれば、検査ヘッドを検査可能とするヘッド受入部を可動顎部に設けたので、可動顎部が挟持している電気的構造に対して検査を行うことが可能になる。
【００６８】
請求項６によれば、検査ヘッドを可動顎部に形成された貫通孔に挿入することによって可動顎部が挟持している電気的構造に対して直接に接触することが可能になるので、検査を確実かつ正確に実施することができる。
【００６９】
請求項７によれば、コンタクトブロックは位置決め手段によって基板の所定位置に対応するように表面方向に移動できるので、基板に対してコンタクトブロックを高精度に位置決めして接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気特性検査装置の実施形態の主要部の構造を示す概略斜視図である。
【図２】同実施形態におけるグリップ機構の動作を順次に示す説明図（ａ）及び（ｂ）である。
【図３】同実施形態におけるグリップ機構の動作を順次に示す説明図（ａ）及び（ｂ）である。
【図４】同実施形態の全体構成を示す概略平面図である。
【図５】同実施形態のグリップ機構及び移動機構の構造を示す概略説明図である。
【図６】同実施形態の動作タイミングを示す説明図である。
【図７】同実施形態とは異なる構造例の動作タイミングを示す説明図である。
【図８】同実施形態のグリップ機構の挟持部を示す拡大縦断面図である。
【図９】同実施形態のコンタクトブロックの支持機構を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１０  フレキシブル基板
２０，３０  グリップ機構
２１，２２，３１，３２  可動顎部
２８  給電プローブ
２９  検査孔
４０  検査機構
４１  検査ヘッド
５０  パンチ機構
６０  移動機構
７０  支持機構
【図１】
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【図２】
0003555315.tif 000003
【図３】
0003555315.tif 000004
【図４】
0003555315.tif 000005
【図５】
0003555315.tif 000006
【図６】
0003555315.tif 000007
【図７】
0003555315.tif 000008
【図８】
0003555315.tif 000009
【図９】
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