(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端が開口された筒状をなし内面側に誘電体層が形成された接地側の電極体と，冷却水が通流される冷却部を内部に有して柱状をなし接地側の電極体の内側に空隙を介して配置される高電圧側の電極体とを有するオゾン発生管と、少なくとも１本のオゾン発生管を内蔵すると共に原料ガスの供給口およびオゾン化ガスの流出口とを有する筐体と、筐体に設置された冷却水用のマニホールドと、マニホールドと高電圧側の電極体との間にわたって配設されて高電圧側の電極体に冷却水を供給するための電気絶縁材製のチューブとを備え、高電圧側の電極体と接地側の電極体との間に交流電圧が印加されたオゾン発生管に原料ガスを通流させることで原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを得てなるオゾン発生装置において、貫通穴が形成された端板を少なくと一方の端部に有すると共に，前記のチューブの外表面との間に空隙が形成できる内径寸法を有する筒状体を備え、この筒状体は、端板側をオゾン発生管のオゾン化ガス流出側に向けて前記のチューブの長さ方向の少なくとも一部を覆うように配設されてなることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】
両端が開口された筒状をなし内面側に誘電体層が形成された接地側の電極体と，冷却水が通流される冷却部を内部に有して柱状をなし接地側の電極体の内側に空隙を介して配置される高電圧側の電極体とを有するオゾン発生管と、少なくとも１本のオゾン発生管を内蔵すると共に原料ガスの供給口およびオゾン化ガスの流出口とを有する筐体と、筐体に設置された冷却水用のマニホールドと、マニホールドと高電圧側の電極体との間にわたって配設されて高電圧側の電極体に冷却水を供給するための電気絶縁材製のチューブとを備え、高電圧側の電極体と接地側の電極体との間に交流電圧が印加されたオゾン発生管に原料ガスを通流させることで原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを得てなるオゾン発生装置において、前記のチューブは、その長さ方向の少なくとも一部の外表面に剥離が容易な保護膜が形成されてなることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項３】
両端が開口された筒状をなし内面側に誘電体層が形成された接地側の電極体と，冷却水が通流される冷却部を内部に有して柱状をなし接地側の電極体の内側に空隙を介して配置される高電圧側の電極体とを有するオゾン発生管と、少なくとも１本のオゾン発生管を内蔵すると共に原料ガスの供給口およびオゾン化ガスの流出口とを有する筐体と、筐体に設置された冷却水用のマニホールドと、マニホールドと高電圧側の電極体との間にわたって配設されて高電圧側の電極体に冷却水を供給するための電気絶縁材製のチューブとを備え、高電圧側の電極体と接地側の電極体との間に交流電圧が印加されたオゾン発生管に原料ガスを通流させることで原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを得てなるオゾン発生装置において、オゾン発生管のオゾン化ガス流出側と筐体とに挟まれた空間に設置されてオゾン化ガスにコロナ放電を発生させるコロナ放電発生装置を備え、前記のチューブは、このコロナ放電発生装置によるコロナ放電の発生域の外に，その長さ方向の少なくとも一部が配設されてなることを特徴とするオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、水処理などに用いられるオゾン化ガスを得るオゾン発生装置に係わり、長時間の運転が可能となるように改良されたその構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
オゾン発生装置は、オゾンが持つ公知の殺菌力などを利用して水処理施設などにおいて広く使用されている。このような従来例のオゾン発生装置について、図５を用いて以下で説明する。ここで図５は、従来例のオゾン発生装置を模式化して周辺装置と共に示す構成図であり、（ａ）はその側面断面図を、（ｂ）は図５（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。図５において、９は、筐体７と、オゾン発生管８などを主体にして構成されたオゾン発生装置である。筐体７は、耐オゾン性を持つ金属材料としてステンレス鋼などが用いられており、この事例の場合には、円筒状をした胴部７１と、胴部７１の両開口端部のそれぞれに、平パッキン７１１を介して、ねじ等の図示しない締着手段を用いて装着された側板７２，７３で構成されている。胴部７１の内面側には、少なくと１対の円板状の支持板７４，７４が互いに間隔を設けられて嵌め込まれている。胴部７１の外面側には、側板７３と一方の支持板７４との中間位置に原料ガス９１の供給口である配管接続体７５が、側板７２と他方の支持板７４との中間位置にオゾン化ガス９２の流出口である配管接続体７６が、また、一方の支持板７４と他方の支持板７４とによって仕切られた領域の部位には冷却水９３用の配管接続体７７，７８が、それぞれ装着されている。また、胴部７１の外面側の側板７３の付近には、周知のブッシング７９が装着されている。
【０００３】
オゾン発生管８は、この事例の場合には、円筒状をした接地側の電極体８１と、電極体８１の内面側にライニングなどによって形成されたガラス層などの誘電体層８２と、誘電体層８２を含む電極体８１の内側に、ほぼ一様な空隙長さを持つ放電空隙８ａを介して設置された高電圧側の電極体８３とで構成されている。電極体８１と電極体８３とには、耐オゾン性を持つ導電材料としてステンレス鋼などが用いられており、また、電極体８３は、両端面が端板によって塞がれた円管材が用いられ、その内部は冷却水９５１を通流させる冷却部としている。電極体８３の外面側下部の両端部付近には、電極体８３を、周方向にほぼ一様な空隙長さとされた放電空隙８ａを介して電極体８１の内側に設置するために、載置用の突起体８３１が形成されている。このオゾン発生管８は、電極体８１の外面側でそれぞれの支持板７４，７４に形成されている貫通穴７４１に嵌め込まれることで、支持板７４，７４を介して筐体７に支持されている。
【０００４】
支持板７４，７４の胴部７１および電極体８１と接する部位には、冷却水９３のこの部位からの漏出を防止するために、図示しないＯリング等の弾性シール体が装着されている。筐体７を構成している側板７２には、冷却水９５１用のマニホールド７２１が装着されており、このマニホールド７２１と電極体８３との間を結んで、冷却水９５１を通流させるためのチューブ９９が配設されている。チューブ９９には、４ふっ化エチレン樹脂材などの耐オゾン性を持つ電気絶縁材製のものが用いられており、マニホールド７２１と電極体８３とのそれぞれには、チューブ９９用の後記する図１、図２中に示された配管接続体が装着されている。
【０００５】
周知の高周波電源９４からオゾン発生装置９に供給される高周波交流電圧は、ブッシング７９からオゾン発生装置９に取り込まれ、リード線７９１を介して高電圧側の電極体８３に与えられている。高周波電源９４の他端は接地電位点９４１に接続されており、筐体７はこの接地電位に接続されている。接地側の電極体８１は、図示しないリード線によって筐体７と電気的に接続されることにより、接地電位に保持されている。オゾン発生装置９に供給される冷却水９５１には、低い電気伝導性を持つ水である純水が用いられており、この冷却水９５１は、ポンプ装置９５２、貯水槽９５３などからなる公知の純水供給系統９５から供給されている。純水とされた冷却水９５１と，電気絶縁材製のチューブ９９とが用いられていることによって、筐体７（接地側の電極体８１と同電位である。）から高電圧側の電極体８３に冷却水を供給する際の、冷却水９５１中を通流する電流値をごく僅かな値に抑制することができている。冷却水９３は、接地電位となる部位に通流されるために電気絶縁性を持たせることを要しないので、この事例の場合には一般用の水が用いられている。原料ガス９１としては、酸素，空気などが供給されている。
【０００６】
従来例のオゾン発生装置９は前記の如く構成されており、配管接続体７５から供給された原料ガス９１は、側板７３側の電極体８１の開口から放電空隙８ａに流れ込み、放電空隙８ａ中を通流した後、配管接続体７６から流出される。配管接続体７６の下流側には図示しない排気バルブが装着されており、この排気バルブの弁開度を調整することによって、オゾン発生装置９内の原料ガス９１はその圧力値を約１．６２×１０5 〔Ｐａ〕に調整されている。このような圧力値を持つ原料ガス９１が通流されているオゾン発生管８の電極体８１と電極体８３との間に、高周波電源９４から供給された高周波交流電圧を印加すると、公知のことによって無声放電が発生し、これによって原料ガス９１が持つ酸素の少なくとも一部がオゾン化されることになる。すなわち、オゾン発生管８においてオゾン化ガス９２が生成されるのである。
【０００７】
なお、多量のオゾン化ガス９２を供給できる能力を持つものとして、複数のオゾン発生管８が設置されたオゾン発生装置も知られており、この場合のオゾン発生管８の設置本数は、２本から数百本にまで及ぶものがある。なお、オゾン発生管８の設置本数が複数本である場合には、それぞれの支持板７４に設けられる貫通穴７４１の個数は、オゾン発生管８の設置本数と同数にすることが一般である。また、その場合の冷却水９５１用のマニホールドは、純水供給系統９５から冷却水９５１を受け取る側の流入口は，マニホールド７２１と同様に１個でよいが、オゾン発生管８に接続される冷却水９５１の流出口の個数は，オゾン発生管８の設置本数と同数にされることが一般である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来技術によるオゾン発生装置、例えば、オゾン発生装置９においては、オゾン化ガス９２の供給に好適な装置であるのであるが、次記する事項が問題とされるようになってきている。すなわち、オゾン発生管８において無声放電が行われていると、無声放電によって生成されたイオンが電極体８３の表面に衝突するので、電極体８３の表面からは、電極体８３に用いられている導電材料の構成材（用いられている導電材料がステンレス鋼である場合には、Ｆｅ，Ｃｒ，Ｎｉなどである。）が微細な金属粒子となって放出される。この現象は、スパッタ作用として知られている周知の現象である。
【０００９】
電極体８３からスパッタ作用により放出された金属粒子は、原料ガス９１したがってオゾン化ガス９２と共にオゾン発生管８内を通流して行く。そうして、この金属粒子の少なくと一部は、オゾン発生管８のオゾン化ガス９２の流出部付近に配設されているチューブ９９の表面に順次堆積されて、導電性の皮膜を形成することになる。導電性皮膜がその表面の全面を覆って形成されたチューブ９９では、電極体８３と筐体７との間に加わっている高周波電源９４から供給された高周波交流電圧に従う値の電流が、この導電性皮膜中を通流することになる。この結果、導電性皮膜中を通流する電流によるジュール熱で導電性皮膜が発熱することによって、チューブ９９が溶融するなどして損傷を受けるので、オゾン発生装置９の長時間の運転が不可能になる問題が発生している。
【００１０】
この発明は、前述の従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、長時間の運転が可能なオゾン発生装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明では前述の目的は、１）両端が開口された筒状をなし内面側に誘電体層が形成された接地側の電極体と，冷却水が通流される冷却部を内部に有して柱状をなし接地側の電極体の内側に空隙を介して配置される高電圧側の電極体とを有するオゾン発生管と、少なくとも１本のオゾン発生管を内蔵すると共に原料ガスの供給口およびオゾン化ガスの流出口とを有する筐体と、筐体に設置された冷却水用のマニホールドと、マニホールドと高電圧側の電極体との間にわたって配設されて高電圧側の電極体に冷却水を供給するための電気絶縁材製のチューブとを備え、高電圧側の電極体と接地側の電極体との間に交流電圧が印加されたオゾン発生管に原料ガスを通流させることで原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを得てなるオゾン発生装置において、貫通穴が形成された端板を少なくと一方の端部に有すると共に，前記のチューブの外表面との間に空隙が形成できる内径寸法を有する筒状体を備え、この筒状体は、端板側をオゾン発生管のオゾン化ガス流出側に向けて前記のチューブの長さ方向の少なくとも一部を覆うように配設されてなる構成とすること、により達成される。
【００１２】
そうして、オゾン発生管から流出されたオゾン化ガスは、筒状体が持つ端板に遮られることで、少なくとも筒状体が装着されている部位のチューブの表面部分には通流されない。これにより、オゾン化ガスと共にオゾン発生管から流出された金属粒子が、少なくとも筒状体が装着されている部位のチューブの表面部分には堆積されることが無くなる。または、２）両端が開口された筒状をなし内面側に誘電体層が形成された接地側の電極体と，冷却水が通流される冷却部を内部に有して柱状をなし接地側の電極体の内側に空隙を介して配置される高電圧側の電極体とを有するオゾン発生管と、少なくとも１本のオゾン発生管を内蔵すると共に原料ガスの供給口およびオゾン化ガスの流出口とを有する筐体と、筐体に設置された冷却水用のマニホールドと、マニホールドと高電圧側の電極体との間にわたって配設されて高電圧側の電極体に冷却水を供給するための電気絶縁材製のチューブとを備え、高電圧側の電極体と接地側の電極体との間に交流電圧が印加されたオゾン発生管に原料ガスを通流させることで原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを得てなるオゾン発生装置において、前記のチューブは、その長さ方向の少なくとも一部の外表面に剥離が容易な保護膜が形成されてなる構成とすること、により達成される。
【００１３】
そうして、オゾン化ガスと共にオゾン発生管から流出された金属粒子は、この保護膜上に堆積されることになる。これによって導電性皮膜が保護膜上に形成されるのであるが、例えば、この導電性皮膜が保護膜上の全面に形成されるまでには至らない前の適切な時点でオゾン発生装置の運転を停止し、保護膜と共にこの導電性皮膜を除去することで、チューブのジュール熱による損傷を防止することが可能となる。または、３）両端が開口された筒状をなし内面側に誘電体層が形成された接地側の電極体と，冷却水が通流される冷却部を内部に有して柱状をなし接地側の電極体の内側に空隙を介して配置される高電圧側の電極体とを有するオゾン発生管と、少なくとも１本のオゾン発生管を内蔵すると共に原料ガスの供給口およびオゾン化ガスの流出口とを有する筐体と、筐体に設置された冷却水用のマニホールドと、マニホールドと高電圧側の電極体との間にわたって配設されて高電圧側の電極体に冷却水を供給するための電気絶縁材製のチューブとを備え、高電圧側の電極体と接地側の電極体との間に交流電圧が印加されたオゾン発生管に原料ガスを通流させることで原料ガスをオゾン化してオゾン化ガスを得てなるオゾン発生装置において、オゾン発生管のオゾン化ガス流出側と筐体とに挟まれた空間に設置されてオゾン化ガスにコロナ放電を発生させるコロナ放電発生装置を備え、前記のチューブは、このコロナ放電発生装置によるコロナ放電の発生域の外に，その長さ方向の少なくとも一部が配設されてなる構成とすること、により達成される。
【００１４】
そうして、コロナ放電発生装置の設置によってオゾン化ガスに含まれる金属粒子は、公知の電気集塵装置に用いられている原理に基づいて、帯電されることによってコロナ放電発生装置が持つ電極に向かう方向の電気力を受け、最終的にはこの電極に捕集されることになる。このために、チューブの長さ方向の少なくとも一部が配設されているコロナ放電の発生域の外には、金属粒子が大幅に除かれたオゾン化ガスが通流されることになる。したがって、この部位のチューブには、金属粒子の堆積される度合いが低減されるのである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明において、図５に示した従来例のオゾン発生装置およびその周辺装置と同一部分には同じ符号を付し、その説明を省略する。また、以後の説明に用いる図中には、図５で付した符号については、代表的な符号のみを記した。
【００１６】
実施例１；図１は、請求項１に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置の主要部を模式化して示すその側面断面図である。図１において、１Ａは、図５に示した従来例によるオゾン発生装置９に対して、筒状体３を追加して備えるようにしたオゾン発生装置である。筒状体３は、筒状をなしチューブ９９の外表面との間に空隙が形成できる内径寸法を有する筒状部３１と、筒状部３１の一方の端部に形成され，チューブ９９が通過できる寸法の貫通穴を持つ端板３２と、端板３２に連続されて形成され，チューブ９９が通過できる寸法の貫通穴を持つ筒状をなした支持部３３とを有している。この筒状体３に用いる素材は、耐オゾン性を有することで、セラミックス，ふっ素系樹脂材などであることが好ましいものである。
【００１７】
オゾン発生装置１Ａを示す図１中には、マニホールド７２１と高電圧側の電極体８３との間を結んでチューブ９９を配設する際に用いられる、配管接続体が示されている。これ等の配管接続体は、図５中にはその図示を省略されている。チューブ９９は、マニホールド７２１に装着された配管接続体７２２と、電極体８３の端部に装着された配管接続体８３２とにその端部を嵌め込んで装着されているのである。オゾン発生装置１Ａの場合には、これに加えて、それぞれのチューブ９９には、筒状体３が図示のように装着されている。すなわち、筒状体３は、オゾン化ガス９２がオゾン発生管８から流出されてくる側に端板３２が配置されるようにして、チューブ９９に装着されるのである。なお筒状体３においては、支持部３３が、筒状部３１の内面側がチューブ９９の外面に接触しないようにして筒状体３を保持している。
【００１８】
図１に示す実施例では前述の構成としたので、課題を解決するための手段の項の第１項で説明したところにより、筒状体３が装着されている部位のチューブ９９の表面部分にはオゾン化ガス９２は通流されない。これにより、オゾン化ガス９９と共にオゾン発生管８から流出された金属粒子によって、チューブ９９の全面を覆う導電性皮膜が形成されるということは、オゾン発生装置１Ａの場合には発生し得ないのである。この結果、従来技術の場合において発生していた導電性皮膜中を通流する電流のジュール熱で、チューブ９９が損傷を受けることで、オゾン発生装置の長時間の運転が不可能になることが解消されるのである。
【００１９】
実施例１における今までの説明では、筒状体３においては、筒状部３１の内面側がチューブ９９の外面に接触しないようにするために、前記の構造の支持部３３を有するとしてきたが、これに限定されるものではなく、例えば、支持部は、筒状部３１の内面側の，反端板３２側の端部付近に形成された突起部であってもよいものである。
【００２０】
実施例２；図２は、請求項２に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置の主要部を模式化して示すその側面断面図である。図２において、図１に示した請求項１に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置と同一部分には同じ符号を付し、その説明を省略する。図２において、１Ｂは、図５に示した従来例によるオゾン発生装置９に対して、チューブ９９の表面に剥離が容易な保護膜４を形成するようにしたオゾン発生装置である。保護膜４には、耐オゾン性を有することでふっ素樹脂系の塗布材を用いることが好ましいものである。チューブ９９が４ふっ化エチレン樹脂材製である場合には、ふっ素樹脂系の塗布材を用いて形成された保護膜４は、チューブ９９に対して適度の被着強度を持つと共に保護膜４をチューブ９９から剥がそうとする場合には、比較的に容易に剥がすことが可能であることが発明者らによって確認されている。
【００２１】
図２に示す実施例では前述の構成としたので、課題を解決するための手段の項の第２項で説明したところにより、オゾン化ガス９２と共にオゾン発生管８から流出された金属粒子は、従来例のオゾン発生装置９の場合とは異なりチューブ９９の表面に直接では無く、保護膜４上に堆積されることになる。したがって、オゾン発生装置１Ｂの場合には、導電性皮膜が保護膜４上に形成されるのではあるが、例えば、この導電性皮膜が保護膜４上の全面に形成されるまでには至らない前の適切な時点でオゾン発生装置１Ｂの運転を一時停止し、保護膜４と共にこの導電性皮膜を除去することで、チューブ９９のジュール熱による損傷を防止することが可能となる。なお、オゾン発生装置１Ｂの運転の再開は、保護膜４が剥離されたチューブ９９の表面に再び保護膜４を形成した後に行われることになる。
【００２２】
この実施例２によるオゾン発生装置１Ｂは、前記のオゾン発生装置１Ａと対比すると、オゾン発生装置１Ａと同等の作用・効果を有しながら、セラミックス，ふっ素系樹脂材などを使用することで比較的に高価なものとなる筒状体３を使用しないので、その製造原価を低減することができるとの特長を備えることが可能となるものである。
【００２３】
実施例３；図３は、請求項３に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置を模式化して周辺装置と共に示すその側面断面図である。図３において、１Ｃは、図５に示した従来例によるオゾン発生装置９に対して、筐体７に替えて筐体５を用いると共に、コロナ放電発生装置６を備えるようにしたオゾン発生装置である。筐体５は、従来例のオゾン発生装置９が備える筐体７に対して、胴部７１，側板７２に替えて、胴部５１，側板５２を用いるようにしている。胴部５１は、従来例の筐体７が有する胴部７１に対して、オゾン化ガス９２の流出側のオゾン発生管８の端部の付近に、マニホールド７２１が取り付けられていることが相異している。また、側板５２は、従来例の筐体７が有する側板７２に対して、マニホールド７２１の替わりにコロナ放電発生装置６を装着するようにしている。
【００２４】
コロナ放電発生装置６は、周知のブッシング６１と、放電極６２と、１対の捕集極６３，６３とで構成されている。ブッシング６１は、外面側から側板５２に装着され、筐体５の内側に突き出させて放電極６２を支持している。１対の捕集極６３，６３は、放電極６２を中央に挟さむような位置に対峙させて装着されている。放電極６２は公知の直流高圧電源装置６９のマイナス極に、捕集極６３，６３は直流高圧電源装置６９のプラス極に接続される。また、オゾン発生装置１Ｃの場合には、チューブ９９は、オゾン化ガス９２の流出側の高電圧側の電極体８３の端部に装着された図示しない配管接続体（前記の図１中に示した配管接続体８３２と同一のものである。）と、胴部５１に取り付けられたマニホールド７２１に装着された図示しない配管接続体（前記の図１中に示した配管接続体７２２と同一のものである。）との間を結んで、ほぼ直角状に曲げられて配設される。これにより、チューブ９９の長さ方向のかなりの部分は、後記するコロナ放電の発生域の外に配設されることになる。
【００２５】
次に、オゾン発生装置１Ｃにおけるコロナ放電発生装置６の働きを、図４を用いて説明する。ここで図４は、オゾン化ガス中の金属粒子の捕集を行う原理を説明する説明図である。放電極６２と、それぞれの捕集極６３，６３との間に図４中に示したように直流高圧電源装置６９から供給された直流高電圧を印加すると、周知のごとく放電極６２と捕集極６３，６３との間にコロナ放電が生じる。その結果、相対的に強い電界強度値が得られる放電極６２の近傍部に在るオゾン化ガス９２が電離を起こし、正電荷と負電荷とが生成される。この電離が起こる領域の外周囲を、図４中では一点鎖線で示しており、以降この領域を電離領域と呼ぶことにする。
【００２６】
この電離領域内に在るオゾン化ガス９２に含まれる金属粒子は、電離で生成された正電荷または負電荷が付着されて、正または負に帯電される。帯電された金属粒子は、正電荷または負電荷に働く公知のクーロン力によって、正に帯電されたものは放電極６２に、また、負に帯電されたものは捕集極６３，６３に、それぞれ引きつけられて捕集される。コロナ放電発生装置６によって上記のごとくに行われる金属粒子の捕集は、周知の電気集塵装置の集塵原理と同一である。したがって、電離領域を通過したオゾン化ガス９２中に含まれる金属粒子の量は、大幅に低減されることになるのである。
【００２７】
図３に示す実施例では前述の構成としたので、課題を解決するための手段の項の第３項で説明したところにより、コロナ放電発生装置６のコロナ放電領域を通過後におけるオゾン化ガス９２に含まれる金属粒子の含有量は、大幅に低減されることになる。さらに、オゾン発生装置１Ｃの場合には、チューブ９９の反オゾン発生管８側の端部は、胴部５１に取り付けられたマニホールド７２１に接続されるので、チューブ９９の長さ方向のかなりの部分は、コロナ放電発生装置６による電離領域の外に配設されることになっている。この部位のオゾン化ガス９２に含まれる金属粒子の含有量は、前記したごとく極めて少なくなっているので、この部位のチューブ９９に堆積される金属粒子の量は、従来例のオゾン発生装置９の場合と比較して大幅に低減されるのである。この結果、従来技術の場合において発生した導電性皮膜中を通流する電流のジュール熱で、チューブ９９が損傷を受けることで、オゾン発生装置の長時間の運転が不可能になることが解消されるのである。
【００２８】
この実施例３によるオゾン発生装置１Ｃは、前記のオゾン発生装置１Ｂと対比すると、オゾン発生装置１Ｂと同等の作用・効果を有しながら、オゾン発生装置１Ｂの場合に必要な保護膜４の剥離と再形成のために、行わなければならない装置の運転停止が不要となるので、長時間の連続運転ができるとの特長を備えることが可能となるものである。
【００２９】
実施例３における今までの説明では、オゾン発生装置１Ｃが備える筐体５は、胴部５１にマニホールド７２１が取り付けられているとしてきたが、これに限定されるものではなく、例えば、側板５２にマニホールド７２１が取り付けるようにしてもよく、その場合には、電極体８３の端部に装着された配管接続体と、側板５２に取り付けられたマニホールド７２１に装着された配管接続体との間にわたってチューブ９９を配設する際に、このコロナ放電発生装置６による電離領域の外に、その長さ方向の少なくとも一部が配置されるように、弛みを持たせるなどして配設するようにすることが好ましいものである。
【００３０】
【発明の効果】
この発明においては、前記の課題を解決するための手段の項で述べた構成とすることにより、次記する効果を奏する。すなわち、前記の課題を解決するための手段の項の第１項で述べた構成とすることにより、オゾン発生管から流出されるオゾン化ガスは、筒状体が持つ端板に遮られてその部位のチューブの表面部分には通流されないので、この部位のチューブには金属粒子が堆積されることは無くなる。これによりオゾン発生装置の長時間の運転が可能になる。また、前記の課題を解決するための手段の項の第２項で述べた構成とすることにより、保護膜をチューブから除去すれば導電性皮膜も保護膜と共に一体に除去されることになる。したがって、適切な時点で保護膜を除去することで、チューブのジュール熱による損傷が防止されて前記項と同等の効果を得ることが可能になると共に、前記項よりもその製造原価を低減することが可能になる。また、前記の課題を解決するための手段の項の第３項で述べた構成とすることにより、オゾン化ガスに含まれる金属粒子はコロナ放電発生装置に捕集されるので、コロナ放電発生装置を通過したオゾン化ガスでは、その金属粒子の含有量が低減される。そうして、この部位に配設されたチューブには金属粒子の堆積される度合いが低減されることになる。これにより、前記項と同等の効果を得ることが可能になると共に、前記項の場合と対比すると、堆積された金属粒子を除去するための運転の一時停止を不要とすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置の主要部を模式化して示すその側面断面図
【図２】請求項２に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置の主要部を模式化して示すその側面断面図
【図３】請求項３に対応するこの発明の一実施例によるオゾン発生装置を模式化して周辺装置と共に示すその側面断面図
【図４】オゾン化ガス中の金属粒子の捕集を行う原理を説明する説明図
【図５】従来例のオゾン発生装置を模式化して周辺装置と共に示す構成図であり、（ａ）はその側面断面図、（ｂ）は図６（ａ）におけるＡ−Ａ断面図
【符号の説明】
１ オゾン発生装置
２ 筐体
７１ 胴部
７２ 側板
７２１ マニホールド
７３ 側板
８Ａ オゾン発生管
８４ 電極体
９１ 原料ガス
９５１ 冷却水
９９ チューブ
【図１】
0003579986.tif 000002
【図２】
0003579986.tif 000003
【図３】
0003579986.tif 000004
【図４】
0003579986.tif 000005
【図５】
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