(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、
これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備えるプロセス制御システムにおいて、
前記各第１の制御装置は、対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送する手段を有し、
前記第２の制御装置は、前記各第１の制御装置から転送されたプロセスデータを蓄積する手段と、所定の制御無負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送する手段とを具備することを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項２】
複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、
これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備えるプロセス制御システムにおいて、
前記各第１の制御装置は、対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送する手段を有し、
前記第２の制御装置は、前記各第１の制御装置から転送されたプロセスデータを蓄積する手段と、制御負荷を測定する手段と、前記測定された制御負荷が所定の値以下となったとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送する手段とを具備することを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項３】
請求項１又は２記載のプロセス制御システムにおいて、
前記第２の制御装置は、前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段をさらに具備することを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項４】
複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、
これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備え、
前記各第１の制御装置は対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送し、
前記第２の制御装置は前記転送されたプロセスデータを蓄積するプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記第２の制御装置が所定の制御無負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送することを特徴とするプロセスデータ転送制御方法。
【請求項５】
複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、
これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備え、
前記各第１の制御装置は対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送し、
前記第２の制御装置は前記転送されたプロセスデータを蓄積するプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記第２の制御装置の制御負荷を測定し、測定された制御負荷が所定の値以下となったとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送することを特徴とするプロセスデータ転送制御方法。
【請求項６】
請求項４又は５記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記第２の制御装置は、前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段をさらに具備することを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【請求項７】
請求項１〜３いずれか１項記載のプロセス制御システムにおいて、
前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、記憶装置を有することを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項８】
請求項１〜３いずれか１項記載のプロセス制御システムにおいて、
前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、前記第２の制御装置を制御する装置であることを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項９】
複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、
これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備えるプロセス制御システムにおいて、
前記各第１の制御装置は、対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送する手段を有し、
前記第２の制御装置は、前記各第１の制御装置から転送されたプロセスデータを蓄積する手段と、所定の制御負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送する手段とを具備し、前記所定の制御負荷状態が、各前記プロセスチャンバが非制御状態にあり、その他の制御が実行される状態であることを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項１０】
請求項１記載のプロセス制御システムにおいて、
前記所定の制御無負荷状態が、前記第２の制御装置と、全ての前記第１の制御装置との間で制御信号のやりとりが行われない状態であることを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項１１】
請求項１記載のプロセス制御システムにおいて、
前記所定の制御無負荷状態が、各前記プロセスチャンバでのプロセスが完了し、カセットを排出した直後で、次のカセットの搬入要求が発生するまで前記第２の制御装置が待機状態となっている状態であることを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項１２】
請求項３記載のプロセス制御システムにおいて、
前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段は、前記プロセスデータの外部転送期間、次のカセットの搬入命令を受け付けず、前記プロセスデータの外部転送終了後、前記搬入命令を受け付けることを特徴とするプロセス制御システム。
【請求項１３】
請求項４〜６いずれか１項記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、記憶装置を有することを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【請求項１４】
請求項４〜６いずれか１項記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、前記第２の制御装置を制御する装置であることを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【請求項１５】
複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、
これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備え、
前記各第１の制御装置は対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送し、
前記第２の制御装置は前記転送されたプロセスデータを蓄積するプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記第２の制御装置が所定の制御負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送し、前記所定の制御負荷状態が、各前記プロセスチャンバが非制御状態にあり、その他の制御が実行される状態であることを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【請求項１６】
請求項４記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記所定の制御無負荷状態が、前記第２の制御装置と、全ての前記第１の制御装置との間で制御信号のやりとりが行われない状態であることを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【請求項１７】
請求項４記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記所定の制御無負荷状態が、各前記プロセスチャンバでのプロセスが完了し、カセットを排出した直後で、次のカセットの搬入要求が発生するまで前記第２の制御装置が待機状態となっている状態であることを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【請求項１８】
請求項６記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、
前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段は、前記プロセスデータの外部転送期間、次のカセットの搬入命令を受け付けず、前記プロセスデータの外部転送終了後、前記搬入命令を受け付けることを特徴とするプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置などの制御を行うプロセス制御システムとそのプロセスデータ転送制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体ウエハ製造装置、液晶パネル製造装置等の基板処理装置はマイクロコンピュータの性能の向上により自動化、ロボット化の傾向が著しい。例えば、各プロセスのチャンバ間を搬送装置やロボットで連結することでウエハ等の搬送から装置内への取り込みまでを自動化した複合プロセス型の製造装置が種々開発されている。このような製造装置では、各プロセスチャンバ内に設けられた各種のセンサによってプロセス中の様々な状態（温度，濃度，圧力，時間など）を監視し、そのデータ（プロセスデータ）をホストコンピュータに転送して蓄積し、モニタに可視化したり、自動検査したりすることで、量産ラインのプロセス最適条件を動的に設定管理することが行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
近年、このような半導体ウエハ製造装置や液晶パネル製造装置に統合されるチャンバ数の増加により、各チャンバを個別に制御するためのマシンコントローラ群を統括制御するコントローラ（以下、メインコントローラと呼ぶ。）の制御負荷は増大化の一途にある。また、メインコントローラは、ホストからの要求に応じてプロセスデータをホストに転送する処理を行うが、その際の転送データ量もプロセスチャンバの数に伴い増加することから、プロセスデータのホスト転送による制御負荷も増大する傾向にある。
【０００４】
こうした事情により、プロセス実行中にホストからのプロセスデータ転送要求が発生し、プロセス制御とプロセスデータ転送制御とが時間軸上で重なった場合、メインコントローラの制御負荷が著しく増大し、プロセス制御のタイミングに遅延が生じるなど、全体のプロセス制御に不安定をきたす恐れがあることが指摘されている。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決すべくなされたものであり、複合プロセス型の処理装置に対する一連のプロセス制御やプロセスデータのホスト転送等を行う制御装置の時間軸上における制御負荷を平均化して、動作信頼性の向上を図ることのできるプロセス制御システムとそのプロセスデータ転送制御方法の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１のプロセス制御システムは、複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備えるプロセス制御システムにおいて、前記各第１の制御装置は、対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送する手段を有し、前記第２の制御装置は、前記各第１の制御装置から転送されたプロセスデータを蓄積する手段と、所定の制御無負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送する手段とを具備することを特徴とするものである。
【０００８】
本発明は、各プロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置を統括的に制御する第２の制御装置が、所定の制御負荷状態、例えば所定の制御無負荷状態若しくは制御低負荷状態となったとき、蓄積されたプロセスデータの外部
（ホスト）への転送を行うので、第２の制御装置の全体制御負荷を時間軸上において分散して、各時間毎の制御負荷を従来よりも平均化することができる。これによりプロセス制御におけるタイミングの遅延を防止できるなど、安定したプロセス制御を行うことができる。
【０００９】
また、本発明のプロセス制御システムは、請求項２に記載されるように、複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備えるプロセス制御システムにおいて、前記各第１の制御装置は、対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送する手段を有し、前記第２の制御装置は、前記各第１の制御装置から転送されたプロセスデータを蓄積する手段と、制御負荷を測定する手段と、前記測定された制御負荷が所定の値以下となったとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送する手段とを具備することを特徴とするものである。
【００１０】
本発明は、第２の制御装置の制御負荷を測定し、この測定制御負荷が所定値以下となったとき、蓄積されたプロセスデータを外部転送するように制御するので、第２の制御装置が例えば所定の制御無負荷状態若しくは制御低負荷状態となったときのプロセスデータの外部転送が達成され、第２の制御装置の全体制御負荷を時間軸上において分散して、各時間毎の制御負荷を従来よりも平均化することができる。これによりプロセス制御におけるタイミングの遅延を防止できるなど、安定したプロセス制御を行うことが可能となる。
【００１２】
本発明は、プロセスデータを外部転送するのに適した任意のタイミング例えばプロセス終了後などの制御無負荷状態若しくは制御低負荷状態にあるときの任意のタイミングを予め設定おき、第２の制御装置に蓄積されたプロセスデータを、前記設定されたタイミングに応じて外部転送することにより、第２の制御装置の全体制御負荷を時間軸上において分散して、各時間毎の制御負荷を従来よりも平均化することができる。これによりプロセス制御におけるタイミングの遅延を防止できるなど、安定したプロセス制御を行うことが可能となる。
また、請求項３の発明は、請求項１又は２記載のプロセス制御システムにおいて、前記第２の制御装置は、前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段をさらに具備することを特徴とする。
また、請求項４の発明は、複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備え、前記各第１の制御装置は対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送し、前記第２の制御装置は前記転送されたプロセスデータを蓄積するプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記第２の制御装置が所定の制御無負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送することを特徴とする。
また、請求項５の発明は、複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備え、前記各第１の制御装置は対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送し、前記第２の制御装置は前記転送されたプロセスデータを蓄積するプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記第２の制御装置の制御負荷を測定し、測定された制御負荷が所定の値以下となったとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送することを特徴とする。
また、請求項６の発明は、請求項４又は５記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記第２の制御装置は、前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段をさらに具備することを特徴とする。
また、請求項７の発明は、請求項１〜３いずれか１項記載のプロセス制御システムにおいて、前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、記憶装置を有することを特徴とする。
また、請求項８の発明は、請求項１〜３いずれか１項記載のプロセス制御システムにおいて、前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、前記第２の制御装置を制御する装置であることを特徴とする。
また、請求項９の発明は、複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備えるプロセス制御システムにおいて、前記各第１の制御装置は、対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送する手段を有し、前記第２の制御装置は、前記各第１の制御装置から転送されたプロセスデータを蓄積する手段と、所定の制御負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送する手段とを具備し、前記所定の制御負荷状態が、各前記プロセスチャンバが非制御状態にあり、その他の制御が実行される状態であることを特徴とする。
また、請求項１０の発明は、請求項１記載のプロセス制御システムにおいて、前記所定の制御無負荷状態が、前記第２の制御装置と、全ての前記第１の制御装置との間で制御信号のやりとりが行われない状態であることを特徴とする。
また、請求項１１の発明は、請求項１記載のプロセス制御システムにおいて、前記所定の制御無負荷状態が、各前記プロセスチャンバでのプロセスが完了し、カセットを排出した直後で、次のカセットの搬入要求が発生するまで前記第２の制御装置が待機状態となっている状態であることを特徴とする。
また、請求項１２の発明は、請求項３記載のプロセス制御システムにおいて、前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段は、前記プロセスデータの外部転送期間、次のカセットの搬入命令を受け付けず、前記プロセスデータの外部転送終了後、前記搬入命令を受け付けることを特徴とする。
また、請求項１３の発明は、請求項４〜６いずれか１項記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、記憶装置を有することを特徴とする。
また、請求項１４の発明は、請求項４〜６いずれか１項記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記プロセスデータを外部転送する転送先の装置が、前記第２の制御装置を制御する装置であることを特徴とする。
また、請求項１５の発明は、複数のプロセスチャンバを個別に制御する複数の第１の制御装置と、これら複数の第１の制御装置を制御する第２の制御装置とを備え、前記各第１の制御装置は対応するプロセスチャンバから検出されたプロセスデータを前記第２の制御装置に転送し、前記第２の制御装置は前記転送されたプロセスデータを蓄積するプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記第２の制御装置が所定の制御負荷状態のとき、前記蓄積されたプロセスデータを外部転送し、前記所定の制御負荷状態が、各前記プロセスチャンバが非制御状態にあり、その他の制御が実行される状態であることを特徴とする。
また、請求項１６の発明は、請求項４記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記所定の制御無負荷状態が、前記第２の制御装置と、全ての前記第１の制御装置との間で制御信号のやりとりが行われない状態であることを特徴とする。
また、請求項１７の発明は、請求項４記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記所定の制御無負荷状態が、各前記プロセスチャンバでのプロセスが完了し、カセットを排出した直後で、次のカセットの搬入要求が発生するまで前記第２の制御装置が待機状態となっている状態であることを特徴とする。
また、請求項１８の発明は、請求項６記載のプロセス制御システムのプロセスデータ転送制御方法において、前記プロセスデータの外部転送期間、外部からの割り込みを禁止する手段は、前記プロセスデータの外部転送期間、次のカセットの搬入命令を受け付けず、前記プロセスデータの外部転送終了後、前記搬入命令を受け付けることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施する場合の形態について図面に基づいて説明する。
【００１４】
本発明に係るプロセス制御システムは、例えば次のような複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置等に適用される。
【００１５】
図１に示すように、この半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理例えば成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数例えば３つののプロセスチャンバ１，２，３と、多数枚例えば２５枚のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４，５と、プロセスチャンバ１，２，３とカセットチャンバ４，５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間はゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２はカセットチャンバ４，５内に取り込まれる際に９０度反転されると共にそのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、以て搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。
【００１６】
図２はこのような複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置を制御するプロセス制御システムの構成を示す図である。
【００１７】
同図において、１１乃至１６は図１に示した各プロセスチャンバ１，２，３、カセットチャンバ４、５、及び搬送チャンバ６を個別に制御するためのマシンコントローラ（ＭＣ）である。これらのマシンコントローラ１１〜１６は、その上位制御手段であるメインコントローラ（ＥＣ）１７により所定のプログラムおよびプロセスパラメータに従って統括的に制御される。すなわち、メインコントローラ１７は各マシンコントローラ１１〜１６を通じて、各チャンバ間でのウエハＷの搬送の手順やタイミングを制御したり、各プロセスの条件（温度，濃度，圧力，時間など）を制御するなど、一連のプロセス制御をホストコンピュータ２０からの指令に応じて行う。
【００１８】
各プロセスチャンバ１，２，３内にはプロセスの状態を検出するための各種センサ（図示せず）が配置されており、これらセンサの出力は対応するマシンコントローラ１１，１２，１３を通じてメインコントローラ１７にプロセスデータとして逐次リアルタイム転送される。メインコントローラ１７は各マシンコントローラ１１，１２，１３より転送されたプロセスデータを受信してハードディスク等の記憶装置１８に蓄積する。
【００１９】
記憶装置１８に蓄積されたプロセスデータは、メインコントローラ１７の制御負荷状態が所定の制御負荷状態になったときにホストコンピュータ２０に転送され、ホストコンピュータ２０に接続されているハードディスク等の外部記憶装置２１に蓄積されると共に、最新のプロセスデータはパーソナルコンピュータ２２のモニタに表示される。ホストコンピュータ２０は外部記憶装置２１に蓄積されたプロセスデータを所定の評価基準に従って評価し、その評価結果に基づいて各プロセスの条件を最適化するためのパラメータの値をメインコントローラ１７に制御指令として与える。この制御指令に基づき、メインコントローラ１７は各プロセスの条件（温度，濃度，圧力，時間など）を制御するための制御指令をマシンコントローラ１１〜１６に出力する。
【００２０】
ここで、メインコントローラ１７からホストコンピュータ２０へのプロセスデータ転送について詳述する。図３にそのプロセスデータのホスト転送に係るフローチャートを示す。
【００２１】
メインコントローラ１７は、ホストコンピュータ２０からのプロセスデータ転送要求を受信後（ステップＳ１）、自身の制御負荷状態を監視し（ステップＳ２）、所定の制御負荷状態になったことを検出すると（ステップＳ３）、記憶装置１８に蓄積されているプロセスデータのホストコンピュータ２０への転送を行う（ステップＳ４）。
【００２２】
ここで、所定の制御負荷状態としては実質的な制御無負荷状態を挙げることができる。メインコントローラ１７の実質的な制御無負荷状態としては、全てのマシンコントローラ１１〜１６との間で制御信号のやりとりが行われることのない状態を例示できる。但し、この制御無負荷状態は、メインコントローラ１７からホストコンピュータ２０へのプロセスデータ転送に要する時間より長い期間に亘って継続する状態であることが望まれる。
【００２３】
このような期間的な条件をも満足する制御無負荷状態としては、例えば、１カセット内の全ウエハに対する各プロセスチャンバ１，２，３での一連のプロセスが完了してカセットチャンバ４，５から処理済みのウエハＷを収容したカセットＣ１，Ｃ２を排出した直後の期間等を挙げることができる。この期間は次のカセットの搬入要求が発生するまでメインコントローラ１７は待機状態となっており、プロセスデータのホスト転送を行う期間として望ましい。
【００２４】
また、ウエハＷがいずれかのチャンバ内に存在しても搬送制御もプロセス制御も行われず、かつその無制御期間がプロセスデータのホスト転送に要する期間よりも長ければ、このような期間の状態を実質的な制御無負荷状態としてプロセスデータのホスト転送を行うようにしてもよい。
【００２５】
このように、メインコントローラ１７が所定の制御無負荷状態に入ったときにプロセスデータのホスト転送を行うことによって、メインコントローラ１７の全体制御負荷を時間軸上において分散して時間毎の制御負荷を従来よりも平均化することができる。したがって、プロセス制御におけるタイミングの遅延を防止できるなど、より安定したプロセス制御を行うことが可能となる。
【００２６】
以上の実施形態では、メインコントローラ１７が実質的な制御無負荷状態にあるときにプロセスデータのホスト転送を行う場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、プロセス制御に悪影響が生じない範囲で、メインコントローラ１７が所定の制御低負荷状態にあるときにプロセスデータのホスト転送を行うようにしてもよい。
【００２７】
例えば、各プロセスチャンバ１，２，３と搬送チャンバ６が非制御状態にあり、その他の制御のみが実行される期間は上記制御低負荷状態の範疇であると考えることができる。また、各プロセスチャンバ１，２，３が非制御状態にあり、その他の制御が実行される期間を上記制御低負荷状態としても構わない。このようにプロセスデータのホスト転送を行うべき所定の制御低負荷状態は、メインコントローラ１７の性能等に応じて、ある程度自由に選択可能である。
【００２８】
なお、前述の制御無負荷状態にあるときにプロセスデータのホスト転送を行う方式を採用すれば、メインコントローラ１７の性能に依存することなく、より安定度の高いプロセス制御が達成できることは言うまでもない。
【００２９】
さらに、以上の実施形態では、メインコントローラ１７の状態から所定の制御無負荷状態や制御低負荷状態を判断する場合について説明したが、図４に示すように、メインコントローラ１７の制御負荷をリアルタイムで定量的に測定するための手段を設け、その測定手段により得た制御負荷値が設定値以下となったときにプロセスデータをホスト転送するように構成してもよい。この場合、制御負荷値と設定値との大小関係が時間軸上において逐次変化することから、プロセスデータは時分割でホスト転送されることになる。
【００３０】
また、前記最初の実施形態では、プロセスデータのホスト転送を行う所定の制御無負荷状態或いは制御低負荷状態の期間が、プロセスデータのホスト転送に要する時間より長い期間である場合について説明したが、このようにプロセスデータのホスト転送に要する時間より長い期間の制御無負荷状態或いは制御低負荷状態が必ずしも保証されない場合においては、プロセスデータのホスト転送開始後は転送が終了するまでこの転送制御を排他的に行うようにすればよい。
【００３１】
例えば、カセットチャンバ４，５から処理済みのウエハＷを収容したカセットＣ１，Ｃ２を排出した直後にプロセスデータのホスト転送を開始し、このプロセスデータのホスト転送が終了するまでは次のカセットＣ１，Ｃ２のカセットチャンバ４，５への搬入命令を与えても、メインコントローラ１７はこれを受け付けず、プロセスデータのホスト転送が終了後、命令を受け付けるようにすればよい。  さらに、他の実施形態として、メインコントローラ１７からホストコンピュータ２０へのプロセスデータ転送がプロセスに影響を与えることのない任意のタイミング（例えばプロセス終了後などの制御無負荷状態或いは制御低負荷状態となるタイミング）を予め設定しておき、このタイミングに応じてメインコントローラ１７からホストコンピュータ２０へプロセスデータ転送を行う方式を挙げることができる。
【００３２】
すなわち、この実施形態では、図５に示すように、プロセス実行前、プロセスに影響を与えることのない任意のプロセスデータ転送タイミングの設定を行う
（ステップＳ２１）。この任意のプロセスデータ転送タイミングの設定は、例えば、メインコントローラ１７内の図示しないＭＭＩ（マンマシンインターフェース部）を通じて、メインコントローラ１７上で起動される制御プログラムのパラメータを設定することによって行うことができる。ＭＭＩはタッチパネルディスプレイとの間のインターフェース手段である。
【００３３】
その後、プロセスが開始される（ステップＳ２２）。メインコントローラ１７はホストコンピュータ２０からのプロセスデータ転送要求を受信後（ステップＳ２３）、設定されたプロセスデータ転送タイミングを判断すると（ステップＳ２４）、記憶装置１８に蓄積されているプロセスデータのホストコンピュータ２０への転送を行う（ステップＳ２５）。
【００３４】
このように、プロセスに影響を与えることのない任意のタイミングを設定しておき、このタイミングに応じてメインコントローラ１７からホストコンピュータ２０へプロセスデータ転送を行うことによって、プロセス制御とプロセスデータ転送制御とが時間軸上で重なることを回避でき、安定したプロセス制御が保証される。
【００３５】
なお、上記実施形態においては、半導体ウエハ製造装置に適用されるプロセス制御システムを例にとって説明したが、本発明はこれに限定されず、例えばガラス基板、ＬＣＤ基板等の各種基板の処理装置に適用可能である。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、各チャンバを個別制御する各第１の制御装置を統括制御する第２の制御装置が、所定の制御負荷状態、例えば所定の制御無負荷状態若しくは制御低負荷状態となったときに、蓄積されたプロセスデータの外部（ホスト）への転送を行うようにしたことで、第２の制御装置の全体制御負荷を時間軸上において分散して、各時間毎の制御負荷を従来よりも平均化することができる。これによりプロセス制御におけるタイミングの遅延を防止できるなど、安定したプロセス制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプロセス制御システムを適用可能な複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置の構成を示す図
【図２】本発明に係るプロセス制御システムの実施形態の構成を示すブロック図
【図３】図２のプロセス制御システムのメインコントローラによるプロセスデータのホスト転送について説明するためのフローチャート
【図４】本発明の他の実施形態のプロセス制御システムのメインコントローラによるプロセスデータのホスト転送について説明するためのフローチャート
【図５】本発明のさらに他の実施形態のプロセス制御システムのメインコントローラによるプロセスデータのホスト転送について説明するためのフローチャート
【符号の説明】
１，２，３……プロセスチャンバ
４，５……カセットチャンバ
６……搬送チャンバ
１１〜１６……マシンコントローラ
１７……メインコントローラ
１８……メインコントローラの記憶装置
２０……ホストコンピュータ
２１……ホストコンピュータの外部記憶装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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