(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
生体の一部に振動を与える励振器と、生体を伝搬した振動を検出する振動検出器と、前記励振器に接続された励振器信号伝達ケーブルと前記振動検出器に接続された検出信号伝達ケーブルとの間に設置された接続部とを備え、前記接続部により前記励振器と前記振動検出器との間の位置関係を決定することを特徴とする生体情報検出センサ。
【請求項２】
生体の一部に振動を与える複数の励振器と、生体を伝搬した振動を検出する複数の振動検出器と、前記複数の励振器に接続された複数の励振器信号伝達ケーブルと前記複数の振動検出器に接続された複数の検出信号伝達ケーブルとの間に設置された接続部を備え、前記接続部により前記複数の励振器と前記複数の振動検出器との間の位置関係を決定することを特徴とする生体情報検出センサ。
【請求項３】
生体の一部に振動を与える複数の励振器と、生体を伝搬した振動を検出する複数の振動検出器と、前記複数の励振器に接続された複数の励振器信号伝達ケーブルと前記複数の振動検出器に接続された複数の検出信号伝達ケーブルとの間に設置された接続部と、生体に貼付して前記複数の励振器を装着する前記複数の励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、生体に貼付して前記複数の振動検出器を装着する前記複数の振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを備え、前記接続部と前記励振器装着手段及び前記振動検出器装着手段とにより前記複数の励振器と前記複数の振動検出器との間の位置関係を決定することを特徴とする生体情報検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、生体表面から生体内に振動を与えて生体内を伝搬した振動を検出し解析することにより、生体情報を測定するための生体情報検出センサに関する  。
【０００２】
【従来の技術】
従来、生体表面から生体内に振動を与え、生体内を伝搬した振動を検出して解析することにより、生体情報を測定するためのセンサとしては、特表平９−５０６０２４号公報に述べられているようなセンサが知られている。このセンサは、生体内に振動を与える励振器と、伝搬した振動を検出する振動検出器とから構成されている。そして、患者の動脈上に励振器を配置して、生体表面から生体内に振動を与えることにより動脈の血液中に振動波を誘発し、動脈上に振動検出器を配置して生体内の動脈を伝搬した振動波を検出して解析することにより、患者の生体情報を連続的に測定することができる。
【０００３】
次に、図４を参照して、この種の従来のセンサとして、上記特表平９−５０６０２４号公報に記載されている生体情報を測定するためのセンサについて簡単に説明する。図４は特表平９−５０６０２４号公報に記載の従来の生体情報検出センサによる生体情報検出の測定動作を示す図である。図４の状態は、励振器２１および振動検出器２２を手首１１の撓骨動脈１２の上に皮膚の上から装着したときの状態を示したものであり、動脈の上に表した振動波形１０は動脈上を伝搬する振動を模式的に表したものである。励振器２１で誘発された振動は撓骨動脈１２を伝達し、撓骨動脈１２を伝達した振動は振動検出器２２で検出される。振動検出器２２で検出された振動を解析し、励振器２１から誘発された振動と比較することにより血圧情報などを検出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来、励振器と振動検出器は、特表平９−５０６０２４号公報によると、それぞれ独立して被検体に設置するように記述されている。生体を伝搬した振動を検出し解析することにより生体情報を測定する装置においては、その測定精度を向上するため、励振器と振動検出器を設置する際の相互の位置関係および生体への装着方法が重要な問題であり、特に非観血で連続に生体情報を検出する場合、励振器と振動検出器の位置関係および励振器と振動検出器の生体への装着状態が検出能力を左右することになる。しかし、特表平９−５０６０２４号公報に述べられているような励振器及び振動検出器の設置方法では、励振器及び振動検出器間の位置関係を決定することが難しいという問題があった。そのため、相互の位置関係を決定し易くするために、単に励振器と振動検出器との間に接続部を設けると、励振器で誘発した振動が接続部を直接伝達し、本来測定すべき生体を伝達した振動に重畳して生体情報検出の妨げになるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたもので、励振器及び振動検出器を生体に装着するに際し、励振器で誘発された振動を振動検出器に直接伝達させることなく、相互の位置関係を容易に決定し安定に維持し得るようにして、測定精度を向上させることができる優れた生体情報検出センサを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明における生体情報検出センサは、生体の一部に振動を与える励振器と、生体を伝搬した振動を検出する振動検出器と、前記励振器に接続された励振器信号伝達ケーブルと前記振動検出器に接続された検出信号伝達ケーブルとの間に設置された接続部とを備え、前記接続部により前記励振器と前記振動検出器との間の位置関係を決定するという構成を有している。この構成により、励振器信号伝達ケーブルと検出信号伝達ケーブルとの間を接続部で接続することにより、励振器で誘発された振動が直接振動検出器へ伝達されず、生体を伝搬した振動のみを振動検出器が検出できるようにしながら、励振器と振動検出器の位置関係を容易に決定し安定に維持することができることとなる。
【０００８】
本発明における生体情報検出センサは、生体の一部に振動を与える励振器と、生体を伝搬した振動を検出する振動検出器と、生体に貼付して前記励振器を装着する前記励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、生体に貼付して前記振動検出器を装着する前記振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを備えるという構成を有している。この構成により、励振器を装着した励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、振動検出器を装着した振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを生体に貼付するようにしたことにより、励振器及び振動検出器を皮膚に密着させるとともに、皮膚の移動も制限することができるため、励振器及び振動検出器を生体に対し安定に装着できるとこととなる。
【０００９】
本発明における生体情報検出センサは、生体の一部に振動を与える複数の励振器と、生体を伝搬した振動を検出する複数の振動検出器と、前記複数の励振器に接続された複数の励振器信号伝達ケーブルと前記複数の振動検出器に接続された複数の検出信号伝達ケーブルとの間に設置された接続部を備え、前記接続部により前記複数の励振器と前記複数の振動検出器との間の位置関係を決定するという構成を有している。この構成により、複数の励振器に接続された複数の励振器信号伝達ケーブルと複数の振動検出器に接続された複数の検出信号伝達ケーブルとの間を接続部で接続することにより、励振器で誘発された振動が直接振動検出器へ伝達されず、生体を伝搬した振動のみを振動検出器が検出できるようにしながら、複数の励振器と複数の振動検出器の位置関係を容易に決定し安定に維持することができるとともに、複数の測定部位および、または広範囲の測定が可能になることとなる。
【００１０】
本発明における生体情報検出センサは、生体の一部に振動を与える複数の励振器と、生体を伝搬した振動を検出する複数の振動検出器と、生体に貼付して前記複数の励振器を装着する前記複数の励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、生体に貼付して前記複数の振動検出器を装着する前記複数の振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを備えるという構成を有している。この構成により、複数の励振器を装着した励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、複数の振動検出器を装着した振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを生体に貼付するようにしたことにより、それぞれ複数の励振器及び振動検出器を皮膚に密着させるとともに皮膚の移動も制限することができるため、複数の励振器及び振動検出器を生体に対し安定に装着することができるとともに、複数の測定部位および、または広範囲の測定が可能になることとなる。
【００１１】
本発明における生体情報検出センサは、生体の一部に振動を与える複数の励振器と、生体を伝搬した振動を検出する複数の振動検出器と、前記複数の励振器に接続された複数の励振器信号伝達ケーブルと前記複数の振動検出器に接続された複数の検出信号伝達ケーブルとの間に設置された接続部と、生体に貼付して前記複数の励振器を装着する前記複数の励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、生体に貼付して前記複数の振動検出器を装着する前記複数の振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを備え、前記接続部と前記励振器装着手段及び前記振動検出器装着手段とにより前記複数の励振器と前記複数の振動検出器との間の位置関係を決定するという構成を有している。この構成により、複数の励振器を装着した励振器の面積より広い面積の励振器装着手段と、複数の振動検出器を装着した振動検出器の面積より広い面積の振動検出器装着手段とを生体に貼付するようにしたことにより、それぞれ複数の励振器及び振動検出器を皮膚に密着させるとともに皮膚の移動も制限することができ、また、複数の励振器に接続された複数の励振器信号伝達ケーブルと複数の振動検出器に接続された複数の検出信号伝達ケーブルとの間を接続部で接続することにより、励振器で誘発された振動が直接振動検出器へ伝達されず、生体を伝搬した振動のみを振動検出器が検出できるようにしながら、複数の励振器と複数の振動検出器の位置関係を容易に決定し安定に維持することができるとともに、複数の測定部位および、または広範囲の測定が可能になることとなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図７に基づき、本発明の第１乃至第３の実施の形態を詳細に説明する。
まず、図１を参照して、本発明の第１の実施の形態における生体情報検出センサについて説明する。図１は本発明の第１の実施の形態における生体情報検出センサの構成を示す概略斜視図である。図１において、励振器１が生体（皮膚）に振動を誘発させ、振動検出器２が生体を伝搬してきた振動を検出する。励振器信号伝達ケーブル３が生体情報信号を処理する信号処理装置  （図示せず）から出力された励振器１を振動させる信号を励振器１に伝搬する。検出信号伝達ケーブル４は振動検出器２により検出された生体情報信号を信号処理装置へ伝搬するケーブルである。信号伝達ケーブル８は励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４を結束したケーブルである。また、接続部５は励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４を接続する接続手段であり、励振器１から誘発された振動が直接振動検出器２へ到達しないようにケーブル間を接続するものである。
【００１３】
次に、図１及び図４を参照して、本発明の第１の実施の形態における生体情報検出センサを用いた生体情報の測定動作について説明する。本実施の形態における生体情報検出センサを用いた生体情報の測定動作は、使用する生体情報検出センサを本実施の形態によるものを使用するだけで、上記図４を参照し従来技術として説明した、生体表面から生体内に振動を与えて生体内を伝搬した振動を検出し解析することにより、生体情報を測定する動作と同様である。従って、本第１の実施の形態においても、図４における、励振器２１および振動検出器２２の代わりに、図１に示すような、本実施の形態における励振器１及び振動検出器２を使用し、手首１１の撓骨動脈１２の上に、所定の距離離して皮膚の上から装着し測定する。
【００１４】
そこで、励振器１により誘発された振動は撓骨動脈１２上を伝搬し、その振動は振動検出器２で検出される。撓骨動脈１２を伝搬するよう示した振動波形１０は、励振器１から振動検出器２に対し撓骨動脈１２上を伝搬する振動を模式的に表したものである。振動検出器２で検出された振動は解析され励振器１で誘発された振動と比較することにより血圧の情報などを検出することができる。このような測定動作において、本実施の形態による生体情報検出センサを適用すると、生体を伝搬した振動のみを振動検出器により検出することができるとともに、励振器１と振動検出器２との間に位置ずれが発生せず位置関係を安定に維持することができるので、従来の生体情報検出センサによる測定に比べ、測定精度を格段に向上させることができる。
【００１５】
以上説明した本実施の形態における励振器１及び振動検出器２の機能を使用して生体情報検出センサの測定動作を実現するためには、図４における励振器１及び振動検出器２の動作説明には示していないが、励振器１及び振動検出器２の他、図１に示すような、励振器１を振動させるための信号を伝えるための励振器信号伝達ケーブル３と、振動検出器２で検出された生体情報信号を信号処理装置へ伝送するための検出信号伝達ケーブル４と、励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４との間を安定に接続するための接続部５とが必要である。また、励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４とは別々になっているより束ねてあったほうが使いやすいので、信号伝達ケーブル８により結束する。
【００１６】
励振器１および振動検出器２の好適な素子としては、圧電セラミック素子などが挙げられる。また励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４は好適なケーブルとして直径１ｍｍ程度の同軸ケーブルが挙げられる。励振器１および振動検出器２の直径は２０ｍｍ程度で、重量は１０ｇ程度が好適な一例であるが、直径１ｍｍ程度の同軸ケーブルで支持することは困難である。なお、励振器１および振動検出器２の直径及び重量は、上記に限るものではなく、他の如何なる値でもよい。
【００１７】
また、生体へ励振器１及び振動検出器２を装着する場合には、一体となっていたほうが装着しやすい。そこで、励振器１と振動検出器２とを一体にするには、図１に示す接続部を励振器１及び振動検出器２に直接接続することが考えられるが、接続部を直接励振器１と振動検出器２に直接接続すると励振器１で誘発された振動が直接振動検出器２に伝達されてしまい、本来検出すべき動脈を伝達した振動を検出する際の妨げとなってしまう。
【００１８】
そこで本第１の実施の形態では、図１に示すように、励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４との間に接続部５を設けることにより、励振器１から振動検出器２へ直接振動を伝えることなく、励振器１と振動検出器２との間の距離などの位置関係を固定することができる。
励振器１は、実際には機械振動をしているが、励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４とを伝送する信号は電気信号であり、励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４とを接続部５で接続しても励振器１の振動は励振器信号伝達ケーブル３及び検出信号伝達ケーブル４には伝達されない。
【００１９】
以上のように本発明の実施の形態によれば、ケーブル間に接続部５を設置することにより、励振器１と振動検出器２との間の位置関係を一定に設定し維持することができ、安定して生体に装着することができるとともに、測定精度低下の原因となる振動を励振器から振動検出器へ直接伝達させないようにして、生体を伝搬する振動のみを観測することができるので、生体情報計測の精度を向上し、測定の信頼性を向上することができる。
【００２０】
次に、図２を参照して、本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサについて説明する。図２は本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサの構成を示す概略斜視図である。図２において、励振器１、振動検出器２、励振器信号伝達ケーブル３、検出信号伝達ケーブル４、信号伝達ケーブル８は、図１を用い、第１の実施の形態において説明したものと同様の機能を有するものである。
【００２１】
本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサの特徴は、励振器１を粘着材などで励振器装着手段６に装着し、振動検出器２を粘着材などで振動検出器装着手段７に装着して構成することである。このようにして構成された励振器装着手段６は励振器１の面積よりも広い面積で生体に貼付し、また、振動検出器装着手段７は振動検出器２の面積よりも広い面積で生体に貼付される。励振器装着手段６及び振動検出器装着手段７の好適な一例としては厚さが１ｍｍ程度の柔軟性のあるアクリル材などに粘着材が生体側に塗布されているものが考えられる。しかし、装着手段６、７の厚さ及び材質等はそれに限るものではなく、他のものでもよい。
【００２２】
次に、図５を参照して、本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサの手首への装着状態について説明する。図５は本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサを手首に装着した状態を示す概略斜視図である。励振器１、振動検出器２、励振器装着手段６、振動検出器装着手段７は上記図２に示したものと同様であり、図５に示すように、これらを手首１１に装着して使用する。
【００２３】
このような、本発明の第２の実施の形態により励振器１及び振動検出器２を生体に装着すると、励振器装着手段６及び振動検出器装着手段７を広い範囲で手首１１に貼付することができるので、装着手段６、７を貼付した皮膚を広い面積で固定することができ、皮膚のずれにより生じるような、励振器１および振動検出器２と測定対象である動脈との間の位置関係のずれ量を最小限に押さえることができるので、装着の安定性が向上する。
【００２４】
次に、図６及び図７を参照して、本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサによる効果の拡大について説明する。図６は本発明の第２の実施の形態における励振器を装着した励振器装着手段を手首に貼付した場合の効果の拡大を示す手首の概略断面図である。また、図７は本発明の第２の実施の形態における振動検出器を装着した振動検出器装着手段を手首に貼付した場合の効果の拡大を示す手首の概略断面図である。
【００２５】
本発明の第２の実施の形態における励振器装着手段６及び振動検出器装着手段７を使用して手首１１に貼付する範囲を広くすれば、必然的に装着の安定度が向上する。しかし、本第２の実施の形態によれば、更に重要な効果が得られる。以下、その効果について説明する。
【００２６】
図６に示すように、励振器装着手段６を広い面積で貼付することにより、励振器１で誘発された振動は励振器装着手段６全体をも振動させる。その状態を、励振器装着手段６上を振動する振動波形１３として模式的に示す。つまり、励振器１よりも広い面積の励振器が励振器装着手段６により擬似的に構成されることになり、励振器１より広い範囲に振動を与えることができるので、励振器１が対象となる撓骨動脈１２から離れて装着された場合でも誘発された振動が撓骨動脈１２に伝達される。
【００２７】
また、図７に示すように、振動検出器装着手段７を広い面積で貼付することにより、撓骨動脈１２を伝達した振動を広い範囲でとらえて振動検出器２に導くことができるようになる。その状態を、振動検出器装着手段７上を振動する振動波形１４として模式的に示す。図７に示すように、より広い範囲で振動を検出できるようになるので、振動検出器２が対象となる撓骨動脈１２から離れて装着された場合でも撓骨動脈１２を伝達した振動を検出することができるようになる。
また、励振器装着手段６または振動検出器装着手段７を広い範囲で皮膚に貼付することにより、例えば、手首を捩じるような状態になった場合でも皮膚の動きを制限することができるようになる。
【００２８】
以上説明したように、広い面積の励振器装着手段および振動検出器装着手段を備えることにより、小さな励振器および振動検出器であっても、広い範囲に振動を伝達し、広い範囲の振動を検出できるようになり、さらに皮膚の動きも制限することができるので、生体情報計測の精度が向上し測定の信頼性を向上させることができる。
【００２９】
次に、図３を参照して、本発明の第３の実施の形態における生体情報検出センサについて説明する。図３は本発明の第３の実施の形態における生体情報検出センサの構成を示す概略斜視図である。図３において、励振器１、振動検出器２、励振器信号伝達ケーブル３、検出信号伝達ケーブル４、接続部５、信号伝達ケーブル８は、図１を参照して、第１の実施の形態において説明したものと同様の機能をもつ。しかし、励振器１及び振動検出器２は第１の実施の形態の場合と機能は同様であるが、本実施の形態では複数設置される。また、励振器装着手段６および振動検出器装着手段７は、図２を参照して、第２の実施の形態において説明したものと同様の機能を有するが、それぞれ複数の励振器１及び振動検出器２が設置される。
【００３０】
複数の励振器１を振動させるための信号を伝えるために複数の励振器信号伝達ケーブル３を接続し、複数の振動検出器２で検出された生体情報信号をそれぞれ信号処理装置へ伝達する複数の検出信号伝達ケーブル４を使用する。これらのケーブルは別々になっているよりも束ねてあったほうが使いやすいため、複数の励振器信号伝達ケーブル３と複数の検出信号伝達ケーブル４とを信号伝達ケーブル８として纏めて結束する。
【００３１】
本発明の第３の実施の形態における生体情報検出センサの特徴は、複数の励振器１を粘着材などで励振器装着手段６に装着し、複数の振動検出器２を粘着材などで振動検出器装着手段７に装着して構成することである。このようにして、励振器１が装着された励振器装着手段６は、励振器１の面積よりも広い面積で生体に貼付され、また、振動検出器２が装着された振動検出器装着手段７は、振動検出器２の面積よりも広い面積で生体に貼付されることになる。励振器装着手段６及び振動検出器装着手段７の好適な一例としては、厚さが１ｍｍ程度の柔軟性のあるアクリル材などに粘着材が生体側に塗布されているものが考えられる。しかし、装着手段６、７の厚さ及び材質等はそれに限るものではなく、他のものでもよい。
【００３２】
励振器１および振動検出器２の好適な素子としては、圧電セラミック素子などが挙げられる。また、励振器信号伝達ケーブル３と検出信号伝達ケーブル４は好適なケーブルとして直径１ｍｍ程度の同軸ケーブルが挙げられる。励振器１および振動検出器２の直径は２０ｍｍ程度で重量は１０ｇ程度が好適な一例であるが、直径１ｍｍ程度の同軸ケーブルで支持することは困難である。なお、励振器１および振動検出器２の直径及び重量は、上記に限るものではなく、他の如何なる値でもよい。
【００３３】
また、生体へ複数の励振器１と複数の振動検出器２を装着する場合には一体となっていたほうが装着しやすい。そこで、複数の励振器１と複数の振動検出器２とを一体にするには、図３に示す接続部５を直接励振器１と振動検出器２に接続することが考えられるが、接続部を励振器１と振動検出器２に直接接続すると励振器１で誘発された振動が直接振動検出器２に伝達されてしまい、本来検出すべき動脈を伝達した振動を検出する際の妨げになってしまう。
【００３４】
そこで、本発明の第３の実施の形態によると、図３に示すように、複数の励振器信号伝達ケーブル３と複数の検出信号伝達ケーブル４とを接続部５により接続することにより、励振器１から振動検出器２に対し振動が直接伝達されるようなことなく、励振器１と振動検出器２間の位置関係を固定することができる。また、励振器装着手段６に装着することにより複数の励振器１の位置関係を固定し、振動検出器装着手段７に装着することにより複数の振動検出器２の位置関係を固定することができる。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態における生体情報検出センサは、接続部５により複数の励振器１と複数の振動検出器２の位置関係を固定し、励振器装着手段６により複数の励振器１の位置関係を固定し、振動検出器装着手段７により複数の振動検出器２の位置関係を固定するようにしたことにより、励振器１で誘発された振動を振動検出器２に直接伝達するようなことなく、複数の測定部位および広範囲の測定が可能となるので、生体情報計測の精度が向上し、測定の信頼性を向上することができる。
【００３６】
【発明の効果】
本発明による生体情報検出センサは、上記のように構成され、特に励振器信号伝達ケーブルと検出信号伝達ケーブルとの間に接続部を設けるようにしたことにより、励振器から振動検出器へ直接振動を伝えることなく、生体を伝搬する振動のみを観測することができるとともに、励振器と振動検出器との間の位置関係を固定してその位置を安定に維持することができるため、生体情報計測の精度を向上し、測定の信頼性を向上することができる。
【００３７】
また、本発明による生体情報検出センサは、広い面積の励振器装着手段および振動検出器装着手段を備えて、小さな励振器および振動検出器であっても、広範囲に振動を伝達し、広範囲の振動を検出できるようにし、更に皮膚の動きも制限することができるようにしたことにより、生体情報計測の精度を更に向上し、測定の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における生体情報検出センサの構成を示す概略斜視図、
【図２】本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサの構成を示す概略斜視図、
【図３】本発明の第３の実施の形態における生体情報検出センサの構成を示す概略斜視図、
【図４】従来の生体情報検出センサによる生体情報検出の測定動作を示す図、
【図５】本発明の第２の実施の形態における生体情報検出センサを手首に装着した状態を示す概略斜視図、
【図６】本発明の第２の実施の形態における励振器を装着した励振器装着手段を手首に貼付した場合の効果の拡大を示す手首の概略断面図、
【図７】本発明の第２の実施の形態における振動検出器を装着した振動検出器装着手段を手首に貼付した場合の効果の拡大を示す手首の概略断面図。
【符号の説明】
１  励振器
２  振動検出器
３  励振器信号伝達ケーブル
４  検出信号伝達ケーブル
５  接続部
６  励振器装着手段
７  信号検出器装着手段
８  信号伝達ケーブル
１０  動脈を伝搬する振動波形
１１  手首
１２  撓骨動脈
１３  励振器装着手段上を振動する振動波形
１４  振動検出器装着手段上を振動する振動波形
２１  励振器
２２  振動検出器
【図１】
0003564339.tif 000002
【図２】
0003564339.tif 000003
【図３】
0003564339.tif 000004
【図４】
0003564339.tif 000005
【図５】
0003564339.tif 000006
【図６】
0003564339.tif 000007
【図７】
0003564339.tif 000008