(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極対に誘電体層および誘電体保護層が順に被覆されてなる第一の基板と、第二の基板とが、隔壁を介在させて対向された状態に配置してなるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
予め形成された誘電体保護層表面をスパッタする第一の工程と、
第一の工程の後、スパッタして飛散した誘電体保護層の構成材料を誘電体保護層表面に堆積させることにより、前記誘電体保護層の表面層に第二の基板側に向けて突出する針状結晶が形成された誘電体保護膜を形成する第二の工程とを含む
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記第一の工程及び第二の工程は、パネルの発光特性及び放電特性を安定化させるためのエージング処理をしながら行う
ことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記エージング処理は、断続的に点灯を行うものであって、前記第一の工程は、点灯期間に行い、前記第二の工程は非点灯期間に行う
ことを特徴とする請求項２のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記エージング処理は、パネルの表示領域をスキャンすることにより行う
ことを特徴とする請求項３のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示デバイスなどに用いるプラズマディスプレイパネルに関し、特に、放電遅れを解消するためのパネル構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプラズマディスプレイパネルは、図５に示すような構成のものが一般的である。
このプラズマディスプレイパネルは、前面パネル１００と背面パネル２００とからなる。前面パネル１００は、前面ガラス基板１０１上に走査電極１０２ａ、維持電極１０２ｂが交互にストライプ状に形成され、さらにそれが誘電体ガラス層１０３及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層１０４により覆われて形成されたものである。
【０００３】
背面パネル２００は、背面ガラス基板２０１上に、ストライプ状にアドレス電極２０２が形成され、これを覆うように電極保護層２０３が形成され、更にアドレス電極２０２を挟むように電極保護層２０３上にストライプ状に隔壁２０４が形成され、更に隔壁２０４間に蛍光体層２０５が設けられて形成されたものである。そして、このような前面パネル１００と背面パネル２００とが貼り合わせられ、隔壁２０４で仕切られた空間２１０に放電ガスを封入することで放電空間が形成される。前記蛍光体層はカラー表示のために通常、赤、緑、青の３色の蛍光体層が順に配置されている。
【０００４】
そして、放電空間２１０内には例えばネオン及びキセノンを混合してなる放電ガスが通常、０．６７×１０５Ｐａ程度の圧力で封入されている。
次に、前記プラズマディスプレイパネルの駆動方式について説明する。
図６は、前記プラズマディスプレイパネルの駆動回路の構成を示したブロック図である。
【０００５】
当該駆動回路は、アドレス電極駆動部２２０と、走査電極駆動部２３０と、維持電極駆動部２４０とから構成されている。
プラズマディスプレイパネルのアドレス電極２０２にアドレス電極駆動部２２０が接続され、走査電極１０２ａに走査電極駆動部２３０が接続され、維持電極１０２ｂに維持電極駆動部２４０が接続されている。
【０００６】
一般に交流型のプラズマディスプレイパネルでは１フレームの映像を複数のサブフィールド（Ｓ．Ｆ．）に分割することによって階調表現をする方式が用いられている。そして、この方式ではセル中の気体の放電を制御するために１Ｓ．Ｆ．を更に４つの期間に分割する。この４つの期間について図７を使用して説明する。図７は、１Ｓ．Ｆ．中の駆動波形である。
【０００７】
この図７においてセットアップ期間２５０では放電が生じやすくするためにＰＤＰ内の全セルに均一的に壁電荷を蓄積させる。アドレス期間２６０では点灯させるセルの書き込み放電を行う。サステイン期間２７０では前記アドレス期間２６０で書き込まれたセルを点灯させその点灯を維持させる。イレース期間２８０では壁電荷を消去させることによってセルの点灯を停止させる。
【０００８】
セットアップ期間２５０では走査電極１０２ａにアドレス電極２０２および維持電極１０２ｂに比べ高い電圧を印加しセル内の気体を放電させる。それによって発生した電荷はアドレス電極２０２，走査電極１０２ａおよび維持電極１０２ｂ間の電位差を打ち消すようにセルの壁面に蓄積されるので、走査電極１０２ａ付近の保護膜表面には負の電荷が壁電荷として蓄積され、またアドレス電極付近の蛍光体層表面および維持電極付近の保護膜表面には正の電荷が壁電荷として蓄積される。この壁電荷により走査電極−アドレス電極間、走査電極−維持電極間には所定の値の壁電位が生じる。
【０００９】
アドレス期間２６０ではセルを点灯させる場合には走査電極１０２ａにアドレス電極２０２および維持電極１０２ｂに比べ低い電圧を印加させることにより、つまり走査電極−アドレス電極間には前記壁電位と同方向に電圧を印加させるとともに走査電極−維持電極間に壁電位と同方向に電圧を印加させることにより書き込み放電を生じさせる。これにより蛍光体層表面、保護層表面には負の電荷が蓄積され走査側電極付近の保護層表面には正の電荷が壁電荷として蓄積される。これにより維持−走査電極間には所定の値の壁電位が生じる。
【００１０】
サステイン期間２７０では走査電極１０２ａに維持電極１０２ｂに比べ高い電圧を印加させることにより、つまり維持電極−走査電極間に前記壁電位と同方向に電圧を印加させることにより維持放電を生じさせる。これによりセル点灯を開始させることができる。そして、維持電極−走査電極交互に極性が入れ替わるようにパルスを印加することにより断続的にパルス発光させることができる。
【００１１】
イレース期間２８０では、幅の狭い消去パルスを維持電極１０２ｂに印加することによって不完全な放電が発生し壁電荷が消滅するため消去が行われる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、セル構造の高精細化に伴って走査線数が増加するためにテレビ映像を表示する場合には１フィールド＝１／６０［ｓ］内で全てのシーケンスを終了させる必要がある。これに応えるには、書き込み期間に印加するアドレスパルスのパルス幅を狭くして高速駆動を行なう必要があるが、パルスの立ち上がりからかなり遅れて放電が行われるという「放電遅れ」が存在するために、印加されたパルス幅内で放電が終了する確率が低くなり、本来点灯すべきセルに書き込み等が出来ずに点灯不良が生じてしまう。
【００１３】
本発明は上記問題点に鑑みてなされた発明であって、「放電遅れ」を防止するのに効果的な構造を備えたプラズマディスプレイパネル並びにその製造方法を提供することを目的としてなされたものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
まず、放電遅れは、放電が開始される際にトリガーとなる初期電子が基板表面から放電空間中に放出されにくいことが主要な要因として考えられている。
従って、この初期電子が放出されやすい状況を作り出すことができれば、放電遅れを効果的に防止することができると考えられる。
【００１５】
このための方法として、アドレス時・放電維持時の駆動パルス電圧を上昇させるか、或いは電極間距離を短縮する方法が考えられる。しかし、パルス電圧の増加は、駆動回路のスイッチング素子の耐圧とスルーレートとが相反する関係にあるため、高耐圧素子ではパルスの立ち上がりが鈍り、放電遅れ時間の抑制には限界がある。また、電極間距離を短縮することは、同時に隔壁の高さを低下させることになるが、このように隔壁の高さを低下させれば放電空間そのものが縮小し、プラズマを取り囲む単位体積あたりの放電空間を囲う壁の面積が増加するため、プラズマが壁面に衝突した際に消滅してしまうといういわゆる壁面損失によって効率が低下することとなる。
【００１６】
従って、発明者らは、このように駆動回路の構成や、電極間の距離には変更を加えず従来のものを踏襲したとしても、放電遅れを防止することができるパネル構造を模索した結果、本発明に想到した。
つまり、上記目的を達成するために本発明は、ストライプ状に配された第一の電極と第二の電極との電極対が複数対並設され、更に当該複数対の電極対が誘電体層で被覆されてなる第一の基板と、第三の電極がストライプ状に配された第二の基板とが、隔壁を介在させて対向された状態で配置してなるプラズマディスプレイパネルであって、前記誘電体層の表面層は、第二の基板側に向けて突出するように針状結晶が形成された誘電体保護膜であることを特徴とする。
【００１７】
これにより、誘電体層の表面層において、放電空間に向けて電子が放出される表面積を大きくとることができる。その結果、アドレス放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くなるので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑えることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を改善して、良好な画像を表示することが可能となる。
【００１８】
ここで前記針状結晶は、ＭｇＯの単結晶であり、ＭｇＯ膜表面において針状結晶が成長している部分が面積比率で２５％以上存在するものとすることが望ましい。
ここで、前記針状結晶は、長さ５０ｎｍ以上、かつ、径が３００ｎｍ以上とすることが望ましい。
【００１９】
ここで、前記針状結晶は、第一の電極と第二の電極との間の放電ギャップに対応する部分以外の誘電体表面層に形成されているものとすることができる。
また、上記目的を達成するために本発明は、予め形成された誘電体保護層表面をスパッタする第一の工程と、第一の工程の後、誘電体保護層表面にスパッタして飛散した誘電体保護層の構成材料を堆積させる第二の工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【００２０】
ここで、更に、パネルの発光特性及び放電特性を安定化させるためにエージング処理を施す第三の工程を備え、当該第三の工程は前記第一の工程及び第二の工程を伴うものとすることが、針状結晶を形成するための作業工程とエージング処理を施す作業工程とを共通の工程とすることができ、作業工程数を減らすことができるため望ましい。
【００２１】
ここで、前記第三の工程は、断続的に点灯を行うものであって、前記第一の工程は、点灯期間に行ない、前記第二の工程は非点灯期間に行うことができる。
ここで、前記第三の工程は、パネルの表示領域をスキャンすることにより行うことができる。
これにより、駆動回路への負担等を軽減させることができる。更に、発熱を抑えエージング処理中におけるパネルの熱割れも減少させられる。
【００２２】
以下に本発明に係る実施の形態のＡＣ型プラズマディスプレイパネルについて図面を参照としながら具体的に説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る交流面放電型プラズマディスプレイパネル１（以下、単にＰＤＰ１という。）の部分斜視図である。
【００２３】
このＰＤＰ１は、各電極にパルス状の電圧を印加することで放電を放電空間３０内で生じさせ、放電に伴って背面パネルＰＡ２側で発生した各色の可視光を前面パネルＰＡ１の主表面から透過させる交流面放電型のＰＤＰである。
前面パネルＰＡ１は、走査電極１２ａと維持電極１２ｂとがストライプ状に複数対配（図では便宜上１対を記載してある）された前面ガラス基板１１上に、表面１１ａを覆うように誘電体ガラス層１３が形成されており、更に、この誘電体ガラス層１３を覆うようにＭｇＯからなる保護層１４が形成されたものである。
【００２４】
背面パネルＰＡ２は、アドレス電極１７が前記走査電極１２ａと維持電極１２ｂと直交するようにストライプ状に配された背面ガラス基板１６上に、当該アドレス電極１７を覆うようにアドレス電極を保護するとともに可視光を前面パネル側に反射する作用を担う電極保護層１８が形成されており、この電極保護層１８上にアドレス電極１７と同じ方向に向けて伸び、アドレス電極１７を挟むように隔壁１９が立設され、更に、当該隔壁１９間に蛍光体層２０が配されたものである。
【００２５】
上記構成のＰＤＰの駆動は上記した図６に示す駆動回路を用いて、図７に示す駆動波形に基づいて駆動される。なお、アドレス駆動部２２０には、アドレス電極１７が接続され、走査電極駆動部２３０には、走査電極１２ａが、維持電極駆動部２４０には、維持電極１２ｂが接続される。
＜細部の構造＞
図２（ａ）は、図１におけるＡ−Ａ’線を含む垂直断面図であり、図２（ｂ）は、図１におけるＢ−Ｂ’線を含む垂直断面図であり、図２（ｃ）は、図２（ｂ）における丸枠３１で囲んだ要素部分の拡大図である。
【００２６】
図２に示すように、上記ＰＤＰにおいては保護層１４の構成が特徴的である。即ち、保護層１４は、非針状結晶部１４ａと針状結晶部１４ｂとからなる。
非針状結晶部１４ａは、走査電極１２ａと維持電極１２ｂとの間に形成された放電ギャップ１２ｃ及び隔壁１９に接する部分１２ｄに形成された薄膜部分である。この部分には、複数のＭｇＯ単結晶の柱状体が緻密に配列して形成されている。
【００２７】
針状結晶部１４ｂは、放電ギャップ１２ｃ及び隔壁１９に接する部分１２ｄ以外の部分に形成されており、複数の針状単結晶体１４ｂ１が、放電空間３０に臨むように互いに同方向に同じ姿勢で密集している。
＜作用効果＞
上記のように、保護層１４において、針状単結晶体１４ｂ１が放電空間に臨むことによって、放電空間３０に向けて電子が放出される表面積を大きくとることができる。その結果、アドレス放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くなるので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑えることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を改善して、良好な画像を表示することが可能となる。
【００２８】
針状単結晶体１４ｂ１と針状単結晶体１４ｂ１とが接する境界部（粒界）１４ｂ２付近に形成された酸素欠損部位（不図示）にトラップされた電子は、放電空間３０に露出側であれば、放電空間３０に放出され易いが、基板側にトラップされた電子は放出され難い。従って、針状単結晶体１４ｂ１は、ある程度の密度存在することが必要ではあるが、放電空間３０側には境界部１４ｂ２があまり存在しないようにすることが望ましい。つまり、図２（ｃ）に示すように、針状単結晶体１４ｂ１は放電空間３０に孤立して突出して露出した突出露出部１４ｂ３が多数存在することが望ましい。これにより、放電空間３０に向けて電子が放出され易くなる。なお、電子は突出露出部１４ｂ３の表面部分に形成された酸素欠損部位にトラップされそこから放電空間３０に放出される。
【００２９】
このような観点から、針状単結晶体１４ｂ１の大きさや一定の面積に占める密度を規定することは重要である。具体的には、針状単結晶体１４ｂ１の長さを５０ｎｍ以上、かつ、径を３００ｎｍ以上であることがより望ましい。また、この針状結晶部１４ｂにおける針状単結晶体１４ｂ１は、ＭｇＯ膜表面において成長している部分が面積比率で２５％以上存在するようにすることが望ましい。このように規定することによって、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを更に効果的に抑えることができる。
【００３０】
＜ＰＤＰの製造方法＞
次に、ＰＤＰの製造方法について説明する。
・ＰＤＰの組立；
前面パネルＰＡ１の作製：
まず、前面ガラス基板１１上に走査電極１２ａ、維持電極１２ｂが交互に配列するように形成する。
【００３１】
走査電極１２ａ、維持電極１２ｂは、金属電極であって、白金を電子ビーム蒸着法によって成膜した後、リフトオフ法によってパターニングすることによって形成される。なお、ＩＴＯなどの透明電極と金属電極の対により各走査電極１２ａ及び維持電極１２ｂとを形成しても構わない。
次に、前記走査電極１２ａ及び維持電極１２ｂを覆うように、誘電体ガラス層をスクリーン印刷法などの公知の印刷法によって印刷後焼成することによって形成する。
【００３２】
次に、誘電体ガラス層１３表面にＭｇＯ膜（ここでは、針状結晶部１４ｂが形成される前のもの）を形成する。具体的には、誘電体ガラス層１３の表面にＭｇＯ薄膜を電子ビーム蒸着法を用いて析出させることにより形成する。
背面パネルＰＡ２の作製：
背面パネルＰＡ２は、背面ガラス基板１６上にアドレス電極１７を形成し、その上を電極保護層１８で覆い、この電極保護層１８の表面に隔壁１９を形成し、その後、蛍光体層２０を形成することによって作製する。
【００３３】
アドレス電極１７は、背面ガラス基板１６上に前記走査電極１２ａ、維持電極１２ｂと同様の方法にて作製する。
電極保護層１８は、アドレス電極１７の上にスクリーン印刷法などの印刷法を用いて印刷後、焼成することによって形成されたもので、前記誘電体ガラス層１３と同じようなガラスの組成物に、酸化チタン（ＴｉＯ２）粒子を含有させた薄膜である。
【００３４】
隔壁１９は、スクリーン印刷法、リフトオフ法、或いはサンドブラスト法等の方法で隔壁形成原料を塗布した後、これを焼成し、その後隔壁頂部に加工処理を施すことによって形成されたものである。
蛍光体層２０は、スクリーン印刷法、ノズル噴霧法などの方法によって形成されたものである。なお、蛍光体には、赤色、緑色、青色の３色を用いる。そして、例えば、以下のものを用いることができる。
【００３５】
赤色蛍光体  ：  Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ３＋
緑色蛍光体  ：  Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ
青色蛍光体  ：  ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋
パネル張り合わせ：
次に、前面パネルＰＡ１と背面パネルＰＡ２とを走査電極１２ａ、維持電極１２ｂとアドレス電極１７とが直交する状態に位置合わせして両パネルを張り合わせる。その後、隔壁１９に仕切られた放電空間３０内に放電ガス（例えば、Ｈｅ−Ｘｅ系、Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入する。
【００３６】
以上のようにして作製したＰＤＰに図３に示すようにアドレス駆動部２２０、走査電極駆動部２３０、維持電極駆動部２４０を接続して、アドレス電極１７を接地（ＧＮＤ）し、走査電極１２ｂ、維持電極１２ｂに所定の周期で交互に電圧を印加することにより、エージング処理を施す。このエージング処理では、パネルの発光特性及び放電特性を安定化させる共に、ＭｇＯ膜に針状結晶部１４ｂが形成されるものである。
【００３７】
・エージング処理；
上記のようにして作成したＰＤＰを最後にエージング処理を施すことによって、保護層１４の表面にＭｇＯの針状結晶を析出させる。
図４は、前記エージング処理における駆動波形を示すタイムチャートである。エージング処理は、画像表示領域全面において、パネル点灯期間４０、パネル非点灯期間４１とが交互に繰り返されるように電圧を所定の周期で印加することによって行われる。ここで、印加する電圧は、通常のエージング処理で印加する電圧よりも高い電圧を印加する。これは、ＭｇＯ膜の表面を効率良くスパッタするためである。また、走査電極１２及び維持電極１２ｂに電圧の大きさを交互に反転させるように電圧を印加する。これは、このように印加することで、パネルの実駆動方式に近い状態でエージング処理を施すことができるからである。
【００３８】
パネル点灯期間４０において、予め前面パネル側に形成されたＭｇＯ膜表面がスパッタされる。パネル非点灯期間４１において、スパッタされ、放電空間中に飛散したＭｇＯがＭｇＯ膜上に堆積する。そして、このようなパネル点灯期間４０及びパネル非点灯期間４１を複数回繰り返すことによって、ＭｇＯ膜上にＭｇＯが針状に成長され、針状結晶部１４ｂが形成される。なお、このようにＭｇＯ膜スパッタ・ＭｇＯ堆積という処理を施すためには、前面パネルを重力方向に位置させた状態で処理することは言うまでもない。
【００３９】
パネル点灯期間４０とパネル非点灯期間４１との比率については、前者よりも後者の方を長くとることが望ましい。これは、一回のスパッタにより放電空間中に飛散したＭｇＯを十分に堆積させるためである。具体的には、パネル非点灯期間４１に対して、２５〜３３％の時間にパネル点灯期間４０を設定することが望ましい。なお、パネル点灯期間４０の実時間は、１．０〜１．５秒とすることが望ましい。
【００４０】
以上のようなエージング処理を施すことにより、従来のエージング処理で目的とされるパネルの発光特性及び放電特性を安定化させることに加えて、ＭｇＯ膜に前記針状結晶部１４ｂを形成することができる。
針状結晶部１４ｂは上記のように、放電ギャップ１２ｃ及び隔壁１９に接する部分１２ｄ以外の部分に形成されるが、これは、走査電極１２ａ及び維持電極１２ｂを覆う部分のＭｇＯ膜表面で、前記スパッタが主に行われ、その部分にＭｇＯが主に堆積するためである。
【００４１】
なお、前記パネル点灯期間及びパネル非点灯期間の繰返しを、パネル表示領域全面で同時に行うのではなく、走査電極１２ａ或いは維持電極１２ｂの何れかの電極配線を各電極毎に独立して行い、電圧印加のタイミングを各電極毎にずらし、表示領域を時間毎に変化させれば（画像表示領域をスキャンすること）、回路への負担等を軽減させることができる。更に、発熱を抑えエージング処理中におけるパネルの熱割れも減少させられる。
【００４２】
また、保護層１４の放電空間３０に臨む表面積を拡大して、保護層表面からの電子を放出させやすい構造とする手法として、ＭｇＯ薄膜を電子ビーム蒸着法を用いて析出させることにより形成した後、液相エッチング或いは気相エッチング等を施すことによりＭｇＯ膜表面に凹凸を形成する方法も考えられる。しかし、この場合には、放電空間に臨む表面積を拡大することはできても、柱状のＭｇＯ単結晶体同士が接する境界部分が多数存在するので、放電空間３０内に上記針状結晶体１４ｂ１により保護層の表面積を拡大する場合に比べて、放電空間３０に電子は放出され難くあまり効果が得られない。
【００４３】
更に、上記説明では、エージング処理に伴って針状結晶部を形成したが、これに限らず、前面パネルと背面パネルとを張り合わせる前に、前面パネルのＭｇＯ膜に対して、上記したようなＭｇＯ膜スパッタ・ＭｇＯ堆積の処理を施すことでも同様に針状結晶部を形成することは可能である。但し、エージング処理に伴って針状結晶部を形成する方法の方が、放電空間３０という狭い空間領域にスパッタされたＭｇＯ膜材料を飛散させるため、当該材料が拡散せず効率良く針状結晶体を形成することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、ストライプ状に配された第一の電極と第二の電極との電極対が複数対並設され、更に当該複数対の電極対が誘電体層で被覆されてなる第一の基板と、第三の電極がストライプ状に配された第二の基板とが、隔壁を介在させて対向された状態で配置してなるプラズマディスプレイパネルであって、前記誘電体層の表面層は、第二の基板側に向けて突出するように針状結晶が形成された誘電体保護膜であることを特徴とする。
【００４５】
これにより、誘電体層の表面層において、放電空間に向けて電子が放出される表面積を大きくとることができる。その結果、アドレス放電や維持放電のためのトリガー電子が放出され易くなるので、アドレス放電や維持放電の際の放電遅れを抑えることができ、電圧印加に対する放電の発生の応答性を改善して、良好な画像を表示することを可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態のプラズマディスプレイパネルを示す部分斜視図である。
【図２】（ａ）  図１におけるＡ−Ａ’線を含む垂直断面図である。
（ｂ）  図１におけるＢ−Ｂ’線を含む垂直断面図である。
（ｃ）（ｂ）図における丸枠３１で示す要素部分の拡大図である。
【図３】エージング処理時のプラズマディスプレイパネルと駆動回路との接続状態を示すブロック図である。
【図４】エージング処理における駆動波形を示すタイムチャートである。
【図５】従来のプラズマディスプレイパネルを示す部分斜視図である。
【図６】プラズマディスプレイパネルと駆動回路との従来及び本発明に共通な接続状態を示すブロック図である。
【図７】従来及び本発明に共通なプラズマディスプレイパネルの駆動波形を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
ＰＡ１  前面パネル
ＰＡ２  背面パネル
１          交流面放電型プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
１１      前面ガラス基板
１１ａ  表面
１２ａ  走査電極
１２ｂ  維持電極
１２ｃ  放電ギャップ
１３      誘電体ガラス層
１４      ＭｇＯ保護層
１４ａ  非針状結晶部
１４ｂ  針状結晶部
１４ｂ１  針状単結晶体
１４ｂ２  境界部
１４ｂ３  突出露出部
１６      背面ガラス基板
１７      アドレス電極
１８      電極保護層
１９      隔壁
２０      蛍光体層
３０      放電空間
３１      図２（ｃ）に示した拡大部分を示す丸枠
４０      パネル点灯期間
４１      パネル非点灯期間
２２０  アドレス駆動部
２３０  走査電極駆動部
２４０  維持電極駆動部
【図１】
0003576071.tif 000002
【図２】
0003576071.tif 000003
【図３】
0003576071.tif 000004
【図４】
0003576071.tif 000005
【図５】
0003576071.tif 000006
【図６】
0003576071.tif 000007
【図７】
0003576071.tif 000008