(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）被測定デバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路と、
ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内であるか否かの信号を    出力する異なる規格値を有する複数の比較回路と、
ｃ）前記被測定デバイスへの入力クロック信号が直接入力され、該入力クロック信号のレベルを    検出するレベル検出回路と、
ｄ）前記レベル検出回路からの出力により、複数の前記比較回路の出力結果から１つだけを選択    する切り替え回路と、
ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された際に、それを保持する保持回路を備える    ことを特徴とする半導体集積回路測定装置。
【請求項２】
ａ）被測定デバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路と、
ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内であるか否かの信号を    出力する異なる規格値を有する複数の比較回路と、
ｃ）前記被測定デバイスの出力信号が直接入力され、該入力クロック信号のレベルを検出するレ    ベル検出回路と、
ｄ）前記レベル検出回路の出力により、複数の前記比較回路の出力結果から１つだけを選択する    切り替え回路と、
ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された際に、それを保持する保持回路を備える    ことを特徴とする半導体集積回路測定装置。
【請求項３】
請求項１乃至２のいずれかに記載の測定装置を使用して検査を行った半導体集積回    路装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体集積回路測定装置および半導体集積回路装置に関し、特に自動試験における精度向上を図る技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路装置の試験項目の一つに動作時電源電流の測定がある。これについてＣ−ＭＯＳで構成されたＬＣＤドライバを例にとり説明する。
【０００３】
ＬＣＤドライバとは、入力として画像データを入力し、液晶表示パネルを駆動するための駆動信号を出力ドライバから出力する半導体集積回路装置である。一般にＬＣＤドライバは使用する電源の電圧が高いこと、出力ピンが多いこと、といった特徴がある。そのため出力ドライバの状態変化時に電源電流値の変化が大きい。出力ドライバの出力波形とそのときの電源電流の変化の様子を図３に示す。
【０００４】
図３において、ＣＬＫは入力クロックの変化、ｖ１、ｖ２、ｖ３、ｖ４はそれぞれ出力ドライバの出力変化（縦軸は電位、横軸は時間）、ｉｓは電源電流の変化（縦軸は電流値、横軸は時間）である。出力ドライバの状態がローレベル（以下Ｌレベルと記述）からハイレベル（以下Ｈレベルと記述）へと変化する時（図３の▲１▼部分）、あるいはＨレベルからＬレベルへと変化する時（図３の▲２▼部分）（▲１▼、▲２▼部分を電源電流大区間とする）の電源電流は、出力ドライバの状態変化がない時（図３の▲３▼部分。電源電流小区間とする）の電源電流と比較して、より大きい。
【０００５】
従来の電源電流測定方法としては、電源電流の平均値を測定する方法と電源電流の瞬時値を測定する方法とがある。
【０００６】
電源電流の平均値を測定する方法では、電源電流値を何回か測定し、その平均を計算して電源電流値の平均値とする。そして電源電流値の平均値の規格値と、先の計算によって得られた平均値とを比較し電源電流値の良否判定をする。
【０００７】
また、電源電流の瞬時値を測定する方法では、電源電流値は出力ドライバの変化点における値が大きいので、この時の電源電流値に対する上限規格値を、測定するすべての瞬時値に対する上限規格値として、電源電流値の良否判定をする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら電源電流の平均値を測定する方法では、何回かの測定の平均値でしか電源電流値の良否を判定することができない。仮に電源電流測定時に１度だけ異常であるレベルの電流値が得られたとしても、その異常値自身も測定回数分で平均化されてしまう。そのため異常が見過ごされ、結果として良品と判定されることがありうる。電流値の平均値での良否の判定では、測定する区間において全体的に電流値が大きい場合でないと異常とは判定されにくい。
【０００９】
また、電源電流の瞬時値を測定する方法では、電源電流大区間における測定規格を測定区間全体の測定規格としている。このためＬＣＤドライバのような電源電流の最大値と最小値との差が大きいデバイスでは電源電流大区間での異常の検出には役立つが、電源電流小区間では電源電流値の測定規格が平均値での測定規格より更に大きいため、異常であるレベルの電流値が得られたとしてもその異常は発見しにくい。
【００１０】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この問題点を解決するために本発明は、
ａ）被測定デバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路と、
ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内であるか否かの信号を    出力する異なる規格値を有する複数の比較回路と、
ｃ）前記被測定デバイスへの入力クロック信号が直接入力され、該入力クロック信号のレベルを    検出するレベル検出回路と、
ｄ）前記レベル検出回路からの出力により、複数の前記比較回路の出力結果から１つだけを選択    する切り替え回路と、
ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された際に、それを保持する保持回路を備える    ことを特徴としている。
また本発明は、
ａ）被測定デバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路と、
ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内であるか否かの信号を    出力する異なる規格値を有する複数の比較回路と、
ｃ）前記被測定デバイスの出力信号が直接入力され、該入力クロック信号のレベルを検出するレ    ベル検出回路と、
ｄ）前記レベル検出回路の出力により、複数の前記比較回路の出力結果から１つだけを選択する    切り替え回路と、
ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された際に、それを保持する保持回路を備える    ことを特徴としている。
【００１２】
【作用】
本発明の構成によると、電源電流を測定する際に、電源電流大区間と小区間での規格値をリアルタイムで切り替えることが可能となる。これにより、電源電流を平均値で判定する方法での単発的な異常や、電源電流を瞬時値を測定する方法での電源電流小区間における異常も規格値が切り替えられることで見逃すことがなくなる。
【００１３】
更に、自動検査装置の測定とデバイスの出力とが非同期であったとしても、デバイスの出力タイミングを考慮することなく電源電流測定を行うことが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例を実施例１として図１に示す。
【００１５】
図１において、１は自動検査装置、２は本実施例における半導体集積回路測定装置、３は被測定デバイス、４はデバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路（以下電源電流測定回路と記述）、５は電源電流測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内であるか否かの信号を出力する比較回路（以下電源電流値比較回路Ａと記述）、６は５と規格値が異なる比較回路（以下電源電流値比較回路Ｂと記述）、ここで５は電源電流大区間での規格値が、６は電源電流小区間での規格値が設定されている。７はデバイスへの入力クロックを検出するレベル検出回路（以下レベル検出回路と記述）、８はレベル検出回路の出力により複数の比較回路の出力結果から１つだけを選択する切り替え回路（以下測定規格切り替え回路と記述）、９は電源電流値比較回路から規格外時の信号が出力されたときに、それを保持する保持回路（以下判定信号保持回路と記述）である。１の中にある”ＣＬＫ  ＯＵＴ”は自動検査装置が発生するクロックの出力、”ＤＵＴ  ＰＳ”は、デバイスに供給する電源電圧、”ＳＩＧ  ＩＮ”は２の出力を取り込む端子である。３の中にある”ＶＤＤ”はデバイスのＶＤＤ電源端子、”ＶＳＳ”はデバイスのＶＳＳ電源端子、”ＩＮ”は１の”ＣＬＫ  ＯＵＴ”からのクロック入力端子である。
【００１６】
たとえば、現在デバイスへの入力クロックが立ち下がりの変化点であるとする。（本実施例１で用いるデバイスは入力クロックの立ち下がりエッジで動作するものとする）（図３の▲１▼部分）入力クロックの立ち下がりに同期してドライバ出力が変化する。するとレベル検出回路において入力クロックがＨレベルからＬレベルへと変化した、と入力の変化信号を検出し、Ｈレベルの検出信号を一定期間出力する。この時間はデバイスの種類、治具やＬＳＩテスターなどのテスト環境、印加電圧などのテスト条件によって考慮する必要があるため、適当な時間を容易に調整できるような構造にしておく。この検出信号は測定規格切り替え回路に入力される。電源電流測定回路で測定された電源電流値は電源電流値比較回路Ａ及びＢに入力され、電源電流値の良否がそれぞれの比較回路でそれぞれの規格値によって判定される。測定規格切り替え回路はレベル検出回路からのＨレベルの検出信号により電源電流値比較回路Ａを選択し、電源電流大区間の良否判定が判定信号保持回路に出力される。
【００１７】
次に入力クロックが立ち下がりの変化点ではないとする。（図３の▲２▼部分）レベル検出回路では入力クロックは立ち下がりの変化点ではない、と検出し、Ｌレベルの検出信号を出力する。この検出信号は、次のクロックの立ち下がり変化点まで同じレベルが出力される。この検出信号は測定規格切り替え回路に入る。電源電流測定回路で測定された電源電流値は電源電流値比較回路Ａ及びＢに入力され、電源電流値の良否がそれぞれの比較回路でそれぞれの規格値によって判定される。測定規格切り替え回路はレベル検出回路からのＬレベルの検出信号により電源電流値比較回路Ｂを選択し、電源電流小区間の良否判定が判定信号保持回路に出力される。
【００１８】
電源電流値比較回路Ａ、Ｂにおいて、電源電流値が異常であるとの信号が出力され、判定信号保持回路から最終的に異常である信号が出力された場合には、その時点で試験は終了となり、次のデバイスの試験に移る。
【００１９】
このように、レベル検出回路によって入力クロックの変化点を検出することにより、その変化信号をもとにリアルタイムで測定規格切り替え回路での測定規格切り替えが可能になるので、入力クロックが立ち下がりの変化点である電源電流大区間も、入力クロックが立ち下がりではない電源電流小区間も、いずれの時も正確な電源電流測定が可能となる。
【００２０】
ところで、発振回路を内蔵するデバイスの動作方法には、外部からクロック信号を入力して動作させる方法と内蔵発振回路が発生するクロック信号によって動作する方法とがある。発振回路内蔵のデバイスに対しては、前述の実施例１のように入力クロックでタイミングを決めることはできない。このような場合には、図１のレベル検出回路をデバイスの出力ドライバ端子に接続することにより、前述の実施例１と同様な自動試験が可能となる。但し、この場合レベル検出回路は、立ち上がり、立ち下がりの両方の変化を検出できなければならない。この実施例を実施例２として、図２に示す。
【００２１】
図２において、被測定デバイス中の”ＯＵＴ”はデバイスの出力端子である。
【００２２】
ちなみに、外部からクロック信号を入力して動作させるデバイスに対しても、実施例２を適用することは可能である。レベル検出回路への入力を入力クロックからにするか、デバイスの出力ドライバからにするかの違いであり、それ以外の内部動作は同一である。
【００２３】
また、本実施例を適用するには、電源電流値比較回路Ａ及びＢの規格値、レベル検出回路のコンパレータレベル、レベル検出回路が入力クロック（あるいはデバイス出力の変化）を検出してから測定規格切り替え回路が電源電流測定規格の大きい方を選択している時間、の３つのパラメータだけを設定すればよい。これにより、デバイスの種類、テスト環境、テスト条件が変わっても、容易に対応できる。
【００２４】
【発明の効果】
この構成の測定回路を自動検査装置に内蔵、もしくは外付けすることにより、電源電流を測定する際に、その規格値をリアルタイムで切り替えることが可能となる。この結果、電源電流測定において、平均値で判定する方法で課題となっていた単発的な異常の検出に対しても、瞬時値で測定する方法で課題となっていた電源電流小区間での異常の検出に対しても、その異常を見逃すことなく正確に検出できる。また、自動検査装置の測定とデバイスの出力とが非同期であったとしても、簡単なパラメーター設定で電源電流大区間と小区間での規格値をデバイスの出力タイミングを考慮することなく容易に切り替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の半導体集積回路測定装置の構成図。
【図２】本発明の実施例２の半導体集積回路測定装置の構成図。
【図３】図１の入力クロック及びドライバ出力のタイミングチャートと、そのときの電源電流値の変化の図。
【符号の説明】
１  自動検査装置
２  半導体集積回路測定装置
３  被測定デバイス
４  電源電流測定回路
５  電源電流値比較回路Ａ
６  電源電流値比較回路Ｂ
７  レベル検出回路
８  測定規格切り替え回路
９  判定信号保持回路
【図１】
0003598643.tif 000002
【図２】
0003598643.tif 000003
【図３】
0003598643.tif 000004