(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
傘状突起部を備えた光反射性の板状試料に、斜め方向から照明光を照射する照明装置と、前記板状試料の傘状突起部の傘下に存在するピンホールを透過した光量を検出する光検知器を有するピンホール検査装置において、
前記板状試料が複数配列されたシート板又は複数の光反射性の板状試料からなるシート板の前記各板状試料の検査領域に対応した、複数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検知器のそれぞれの側に、前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて挟むように配置した、検査領域サイズの開口を有する遮光板と、前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検知器と一体で移動させる移動機構を有することを特徴とするピンホール検査装置。
【請求項２】
前記シート板を、前記検査領域サイズの開口を複数有する２枚の設置板で挟むよう構成したシート板保持手段を有することを特徴とする請求項１に記載のピンホール検査装置。
【請求項３】
前記シート板と前記設置板との間、及び前記シート板保持手段と前記遮光板との間に弾力性板を設置したことを特徴とする請求項１又は２に記載のピンホール検査装置。
【請求項４】
前記遮光板に、前記シート板の板状試料の試料面と直交する２面内で回転する回転機構を設置したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のピンホール検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ピンホール検査装置に関し、より詳細には、照明光を傘状突起部を有する光反射性試料に照射したとき、この試料を透過する光量により、試料に生じたピンホール欠陥の有無を検査するピンホール検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
照明光を試料に照射し、試料に存在するピンホールを、試料を透過した光量の有無により検査するピンホール欠陥検査装置は周知である。また、上記透過光を利用する代わりに、反射光や回折光を利用する技術も周知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
さらに、照射光を斜方から照射する技術も知られており、例えば、特開昭５７−１３３４０号公報に開示されたものは、試料面上の同一個所に落射照明と斜方照明を照射し、垂直方向に反射する光を受光することにより、両者を比較してピンホールと塵埃とを区別するようにしたものである。従って、傘状突起部を有する金属板試料の傘下部に存在するピンホールの有無を検査する技術については全く触れられておらず、他に、このような試料のピンホールの検査技術に関するものは見当らない。
【０００４】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたもので、照明光を、傘状突起部を有する光反射性の試料に斜め方向から照射し、試料を透過する光を検出して傘状突起部の傘下に存在するピンホールの有無を検査するピンホール検査装置を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、傘状突起部を備えた光反射性の板状試料に、斜め方向から照明光を照射する照明装置と、前記板状試料の傘状突起部の傘下に存在するピンホールを透過した光量を検出する光検知器を有するピンホール検査装置において、前記板状試料が複数配列されたシート板又は複数の光反射性の板状試料からなるシート板の前記各板状試料の検査領域に対応した、複数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検知器のそれぞれの側に、前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて挟むように配置した、検査領域サイズの開口を有する遮光板と、前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検知器と一体で移動させる移動機構を有することを特徴としたものである。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記シート板を、前記検査領域サイズの開口を複数有する２枚の設置板で挟むよう構成したシート板保持手段を有することを特徴としたものである。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記シート板と前記設置板との間、及び前記シート板保持手段と前記遮光板との間に弾力性板を設置したことを特徴としたものである。
【００１５】
請求項４発明は、請求項１乃至３のいずれかの発明において、前記遮光板に、前記シート板の板状試料の試料面と直交する２面内で回転する回転機構を設置したことを特徴としたものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
（本発明の前提技術）
図１は、傘状の突起物を有する金属板試料の断面形状を示す図で、図中、２０は金属板、３０は傘状突起物、４０，４０は傘状突起物の傘下に存在するピンホールである。
【００２３】
図１において、金属板２０の傘状突起物３０の下にピンホール欠陥４０，４０が生じている場合、上方からのみ光を照射してもピンホール欠陥による透過光は得られない（厳密には、散乱光により極微少な光は透過することはあり得る）。そこで、図１のように、斜め方向から光を照射することで、照射光を傘下部分に入射させる。傘下部分に入射した光は反射しながら奥へ伝播し、ピンホール欠陥が存在すればその部分から光が透過する。照射光の角度は、傘状突起物の形状やその間隔等を考慮して決定される。この透過光を検出することにより、傘状突起物の傘下部分におけるピンホール欠陥の存在を検査することができる。
【００２４】
図２は、図１で述べた基本原理に基づくピンホール検査装置の概略構成図で、図中、１は光反射性の板状試料、例えば、金属板試料で、図示していないが前記金属板２０と同様傘状突起部を有する。２は光検出器（フォトマル）、３，４は斜入射照明装置である。
【００２５】
図２において、斜入射照明装置３，４により被検物である金属板試料１に照射した光は、ピンホール欠陥が存在した場合にその部分を透過し、斜入射照明装置３，４と反対側に配置された光検出器２により検出される。光検出器２には、例えば、光電子像倍管（フォトマル）のような高感度な光検出器が用いられ、それにより、数μｍオーダーのピンホール欠陥を透過した微小光も検出することができる。すなわち、数μｍオーダーのピンホール欠陥の有無を判定することができる。
このとき、照射光の角度は傘状突起物の形状やその間隔等を考慮して決定するが、斜入射照明装置３，４にその照射角度を可変にする手段を設けることにより、多種の試料に対応可能とする。
【００２６】
（本発明の前提技術の第１応用例）
斜入射照明装置３，４にて照射された光が、金属板試料１の検査領域以外から光検出器２に入らないように考慮する必要がある。
図３（Ａ）は、金属板試料の検査領域以外からの光の廻り込みを防止したピンホール検査装置の一例を説明するための概略構成断面図、図３（Ｂ）は、その斜視図で、図中、１′は金属板試料１の検査領域、５はガラス板、６は検査領域１′と同じサイズの開口を有する遮光板である。なお、図１及び図２と同じ構成部品には、同じ参照番号を付し、説明は省略する。
【００２７】
図３（Ａ），図３（Ｂ）において、ガラス板５と遮光板６で金属板試料１を挟み込むように構成している。金属板試料の保持にガラス板を用いるため、試料１が薄い金属板であっても容易に保持することができる。また、遮光板６は、廻り込み光が光検出器２に入射しないように十分なサイズで構成する。
【００２８】
（本発明の前提技術の第２応用例）
図４（Ａ）は、光の廻り込みを防止したピンホール装置の他の例を説明するための概略構成断面図、図４（Ｂ）は、その斜視図であり、図中、７は遮光板６と同じ構成の遮光板である。なお、図中、図１乃至図３と同じ構成部品には、同じ参照番号を付し、説明は省略する。
【００２９】
図４（Ａ），図４（Ｂ）において、ガラス板５の代わりに遮光板６と同様の遮光板７で金属板試料１を挟み込むように構成している。ガラス板５を用いた場合、ガラス板表面での反射等により光検出器２に入射する光量が減少したり、ガラス板端面から入射した外乱光が内部反射により伝播し光検出器２に入射することがある。それらは、検出信号Ｓ／Ｎの低下を招き、ピンホール欠陥検査の検出精度を低下させる要因となる。
そこで、ガラス板５の代わりに遮光板７を用いることにより、ピンホール欠陥による透過光は検出器２に直接入射するため、検査の高精度化を図ることができる。
【００３０】
（本発明の前提技術の第３、第４応用例）
金属板試料１と遮光板６や遮光板７との間に間隙があると、その部分から光が漏れて、その漏れ光が光検出器２に入射し、検出精度の低下を引き起こすことになる。そこで、金属板試料１と遮光板６や遮光板７との密着性を増すことにより、検出精度の向上を図る。
例えば、図４において、遮光板７上に金属板試料１を置いて、遮光板６をＺ軸のみの移動でその上に配置しようとすると、そのＺ軸移動機構と遮光板６や遮光板７における金属板試料１との接触面とが厳密に垂直である必要があり、上記の隙間を生じないように設置することは困難である。また、金属板試料１の金属板に厚さムラ等がある場合、そのような設置は実質上不可能である。
前提技術の第３、第４応用例は、その密着性を向上させることを目的としている。
【００３１】
前提技術の第３応用例は、金属板試料１と遮光板６や遮光板７または遮光板７と光検出器２との間に、検査領域１′に相当する開口を持ったゴム製板を配置することで、その密着性を向上させたものである。
【００３２】
図５（Ａ），図５（Ｂ）は、遮光板６及び遮光板７と、金属板試料１との隙間をなくす機構を説明するための図で、図中、８は回転機構である。
【００３３】
前提技術の第４応用例は、例えば、遮光板６にＸ軸，Ｙ軸を回転軸とした回転機構８を設け、金属板試料１の上面（遮光板６との接触面）の傾きに倣って遮光板６を設置することで、金属板試料１と遮光板６との密着性を向上させたものである。
【００３４】
以上は、１枚の金属板（１個所の検査領域）からなる傘状突起物を持った試料についてピンホール検査を行う例であるが、次は、例えば、１枚のシート状金属板に複数枚の傘状突起物を持った試料が配置されているような場合、または、一枚の金属板に複数個の検査領域を持ち各々の検査領域に対してピンホール欠陥の有無を検査するような場合を対象とする。
【００３５】
（請求項１の発明）
図６は、本発明の１枚のシート状金属板に複数枚の傘状突起物を有する試料が配置されたシート板又は１枚の金属板に複数個の検査領域を有するシート板の平面概念図であり、図中、９はシート板、Ａ〜Ｉはそれぞれ１枚の金属板（１個所の検査領域）からなる傘状突起物を有する金属板試料、ａ〜ｉはそれらの検査領域である。
【００３６】
図７は、シート板９を保持するための設置板１０を示す図で、１０′はシート板の各試料の検査領域に対応する開口である。
図８は、図７の設置板１０上に図６のシート板９を保持し、更にその上に遮光板６を設置したピンホール検査装置の概略構成断面図であり、図９は、設置板１０上にシート板９が保持され、また、遮光板６が設置される態様を示す図である。
【００３７】
図８，図９において、設置板１０の上にシート板９を検査領域と開口の位置が一致するように配置する。斜入射照明装置３，４と遮光板６と光検出器２は一体で被検物面内を移動する移動機構を持っており、例えば、シート板９の金属板試料Ａを検査する場合には、遮光板６の開口が検査領域ａと一致する位置に、金属板試料Ｂを検査する場合には、検査領域ｂと一致する位置にといった具合に移動可能とする。また、斜入射照明装置３，４と遮光板６と光検出器２の位置が固定で、設置板１０（シート板９）をその面内で移動可能にしてもよい。以上の動作を検査領域ａからｉまで繰り返すことにより、シート板９の各々の検査領域におけるピンホール欠陥の有無を検査することができる。
【００３８】
（請求項２の発明）
図１０は、シート板９を設置板１０，１１により挟み込むように保持する態様を説明するための図である。
請求項２の発明は、２枚の設置板１０，１１によりシート板９を挟み込むように保持し、請求項１の発明と同じ手法にてピンホール検査を行う。
【００３９】
シート板９が薄い金属性シートの場合、非常に取り扱いが不便となる。また、遮光板６を所定の検査領域位置に移動する際、図９のように、遮光板６が直接シート板９に接触するような構成であると、シート板９を傷つけることになりかねない。
そこで、予め設置板１０とシート板９と設置板１１を、それぞれの開口と検査領域の位置が一致するように構成しておけば、斜入射照明装置３，４と遮光板６と光検出器２の位置を移動してもシート板９と接していないので、傷をつけたりする心配がなくなり、取り扱いが容易になる。
【００４０】
（請求項３、請求項４の発明）
前記シート板９においても、前述と同様に、シート板９と遮光板６や設置板１０等との間に隙間があるとその部分から光が漏れて、その漏れ光が光検出器２に入射し、検出精度の低下を引き起こしかねない、逆に言えば、シート板９と遮光板６や設置板１０等の密着性が増すことで、検出精度の向上を図る。請求項３及び請求項４の発明は、その密着性を向上させることを目的としており、前提技術の第３、第４応用例と同様に、検査領域と同サイズの開口を持ったゴム製板を用いたり、遮光板６にＸ軸，Ｙ軸を回転軸とした回転機構を設けて密着性の向上、すなわち、検査精度の向上を図る。
【００４１】
（本発明の前提技術の第５応用例）
図１１は、前提技術の第５応用例が適用されるピンホール検査装置の概略構成断面図，図１２はその組立構成図であり、図１２は分かり易いように、被検物や各構成品を離しているが、実際に検査する際には図１１のように被検物を挟み込むようにして密着させる。
【００４２】
なお、図１１，図１２において、他図と同じ構成部品には同じ参照番号を付し説明を省略する。また、被検物は板状試料を複数有するシート板９として示しているが、１枚の板状試料であってもよい。
【００４３】
図１１のピンホール検査装置は、斜入射照明装置，光検出器とともに、前記板状試料を１枚又は複数枚有するシート板の前記板状試料の検査領域に対応する数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検出器のそれぞれの側に配置した検査領域サイズの開口を有する遮光板と、該遮光板で前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて密着して挟み込むように移動する移動装置と前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検出器と一体でシート板面内で移動させる移動機構を有するものである。
【００４４】
前提技術の第５応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板を保持する設置板にＬ字型の位置決め部材を設けたものである。
【００４５】
図１３は、設置板がＬ字型位置決め部材を有する態様を示す図で、１２はＬ字型部材である。
【００４６】
斜入射照明装置３，４により設置板１０に保持された被検物である図示しない突起部を有する板状試料を具備したシート板９に照射した光はピンホール欠陥が存在した場合にその部分を透過し、照明装置３，４と反対側に配置された光検出器２により検出される。光検出器２には例えば光電子像倍管（フォトマル）のような高感度な光検出器が用いられ、それにより数μｍオーダーのピンホール欠陥を透過した微小光も検出することができる。すなわち、数μｍオーダーのピンホール欠陥の有無が判定できる。ただし、照明装置３，４にて照射された光が、シート板９の検査領域以外から光検出器２に入らないように考慮する必要がある。そのため、遮光板６，７を用いてその廻り込み光を遮光している。以上の状態を移動機構により各部品間を移動して順次検査していく。
【００４７】
被検サンプルであるシート板９を設置板１０に設置する際、シート板９上の各金属板部品（板状試料）の検査領域が設置板１０の開口と一致するようにしなくてはならない。そこで最も簡易的にその位置決めを行う手段として、Ｌ字型部材１２を用いる。Ｌ字型部材１２は、設置板１０と一体になっており、シート板９の角を突き当てるとその位置決めができる場所にある。
【００４８】
（本発明の前提技術の第６応用例）
前提技術の第６応用例は、上述のピンホール検査装置において、被検サンプルに２個所以上の位置合わせ用貫通穴を設け、前記シート板を保持する設置板に２個所以上の位置決めピンを設けたものである。
【００４９】
図１４は、位置決め用の貫通穴と位置決めピンの関係を示す図で、図中、１３，１３′は位置決めピンである。
【００５０】
シート板９の任意の２個所以上に位置決め用の貫通穴を設けておき、設置板１０に取り付けてある２個所以上の位置決めピン１３，１３′をその貫通穴に通して位置決めを行う。このとき、シート板９の貫通穴と位置決めピン１３，１３′とは、その位置をあわせたときに、シート板９の各金属板部品の検査領域と設置板１０の開口とが一致するようになっている。
【００５１】
なお、設置板１０にシート板９を吸着するための手段を設けることができる。例えば、設置板１０中にエアーの流路溝を設け、その溝から表面上に通し穴を作製する。シート板９を設置板１０に乗せたときに、その通し穴からエアーを引くことで吸着する。また、これに吸着センサを加えることで、シート板９がセットされているか否かを判断することができる。すなわち、セットされていなければ吸着センサはＯＦＦ，セットされてうまく吸着されれば吸着センサはＯＮになる。これにより、検査装置を自動化した場合に、被検サンプルが無いまま検査が開始されてしまうトラブルが回避できる。
【００５２】
（本発明の前提技術の第７応用例）
前提技術の第７応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板を保持する設置板に近接センサを設けるようにしたものである。
【００５３】
図１５は、設置板に近接センサを設ける態様を示す図で、設置板１０の任意の位置（例えば、シート板９をセットしたときに、シート板９の任意の部分の下に隠れる位置）に反射型の近接センサ１４が取り付けられている。シート板９がセットされれば反射光が戻り、その存在を認識できる。すなわち、前提技術の第７応用例も前提技術の第６応用例と同様、検査装置を自動化した場合に、被検サンプルが無いまま検査が開始されてしまうトラブルが回避できる。また、反射型の近接センサ１４は透過型でもシート板９を挟み込むように設置すれば、同じ目的を達成することができる。
【００５４】
（本発明の前提技術の第８応用例）
前提技術の第８応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板の例えば中心線から外れた位置に貫通穴を設け、シート板を保持する設置板がシート板保持したとき前記貫通穴と同位置になる場所に近接センサを設けたものである。
【００５５】
図１６は、シート板の中心線から外れた位置に設けた貫通穴と同じ位置になる場所に近接センサを設ける態様を示す図で、ここでも、反射型の近接センサ１４が使用される。
【００５６】
シート板９の中心線（図１６のＳ，一点鎖線）から外れた位置に貫通穴１５を設けておく。近接センサのセンサ部はシート板９をセットしたときその貫通穴１５と重なる位置に来るようにする。シート板９を設置板１０にセットしたとき、正しい状態でセットされていれば近接センサの光は透過する。しかし、例えばシート板９の表裏を間違えたり上下逆さにしたりしてセットされた場合、近接センサ１４に反射光が戻ってくる。すなわち、シート板９が正しくセットされているかを判断することが可能である。
【００５７】
（本発明の前提技術の第９応用例）
前提技術の第９応用例は、上述のピンホール検査装置において、シート板の例えば中心線から外れた位置に貫通穴を設け、シート板を保持する設置板がシート板を保持したとき貫通穴と同位置になる場所に近接センサを設けるとともに、更に別位置に他の近接センサを設けたものである。
【００５８】
図１７は、別位置に近接センサを設ける態様を示す図であり、図中、１６は別位置に設けた他の近接センサである。
【００５９】
前提技術の第８応用例の構成では、シート板がセットされていない場合でも、近接センサの光は透過してしまうため、検査装置を自動化した場合にその区別ができない。そこで、さらにもう１つ近接センサ１６を前提技術の第７応用例で説明したのと同じように設けておけば、シート板９がセットされていない場合と、正しくセットされている場合を近接センサで区別することができる。近接センサ１４の方が透過，近接センサ１６の方が反射といった具合に成る。さらに、近接センサ１４と近接センサ１６の位置をシート板９の中心線（図１６のＳ）に対して左右対称にしておけば、シート板９のセット状態の間違いが、裏表なのか上下逆さなのかを区別することが可能である。裏表を間違えた場合には、近接センサ１４の方が反射，近接センサ１６の方が透過といった具合に、正しくセットされた場合の全く逆のパターンになる。
【００６０】
なお、図１８は、上述のピンホール検出装置において、光検出器２が感度を調する装置１７を有するようにしている。感度調節は、例えば、光検出器として用いるフォトマルの駆動電源の電圧調整で行うことができる。光検出器の感度を調整することは、すなわちピンホールの検出精度を変えることであり、その手段により、検査装置の多くの仕様に対応することが可能である。例えば、その検出精度の仕様として、数μｍオーダーのピンホールであっても、数十μｍオーダーのピンホールであっても感度を調整することで対応が可能である。他にも、金属板シートの材質や厚さが変われば当然ピンホールによる透過光量も変わってくるが、そういった場合でも感度調整手段により検出精度を変えてやることで対処可能である。
【００６１】
（本発明の前提技術の第１０応用例）
前提技術の第１０応用例は、上述のピンホール検査装置において、照明光学系の光量を調整する手段を有するようにしたものである。
【００６２】
図１９は、前提技術の第１０応用例に係る照明光の光量調整を説明する図であり、図１１では、省略されているが、１８は斜入射照明装置３，４の光源、１８′は照明光のシャッター、１９は光源光量の調節装置である。
【００６３】
前提技術の第１０応用例では、光源光量の調整手段１９でその光量を最小（０）から最大まで調整可能であり、シャッター１８′の開閉が可能な構成となっている。シャッター１８′は光源と一体になっていなくとも、照明を遮る場所であればどこでも良い。微小なピンホールを検出するためにはかなり強い光が必要になり、照明光学系の光量は大きければ大きいほどピンホールの検出に有利になる。しかしながら、その光が強ければ強いほど周囲への影響を考慮する必要がでてくる。例えば、その光の熱により経時変化でシート板９を変形させたり、周囲に光を用いた他の装置があった場合にその装置に与える影響などが考えられる。そこで、照明手段３，４を覆って周囲にできる限り光を漏らさないことも必要になってくるが、検査（ピンホール検出）をしているときを除く移動時などは極力光を照射しないように、光源の光量を最小（０）にしたり、シャッターで光を遮ったりすることが有効となる。もちろん、光源の電源をＯＮ／ＯＦＦしても同じ効果は得られるが、光源の電源ＯＮ直後は光量が安定しないため検査精度にバラツキを生じる要因になってしまう。また、電源のＯＮ／ＯＦＦを繰り返すことでランプ切れを起こしやすい等の弊害もでてくる。
【００７１】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、傘下突起部を備えた光反射性の板状試料に、斜め方向から照明光を照射する照明装置と、前記板状試料の傘状突起部の傘下に存在するピンホールを透過した光量を検出する光検知器を有するので、傘状の突起部を持った板状試料の突起部の傘下に隠れた部分に位置するピンホール欠陥の有無の検査をすることができる。また、前記板状試料が複数配列されたシート板又は複数の光反射性の板状試料からなるシート板の前記各板状試料の検査領域に対応した、複数の検査領域サイズの開口を有するシート板保持手段と、前記照明装置と前記光検出器のそれぞれの側に、前記シート板保持手段と該シート板保持手段に保持された前記シート板を検査領域と開口を一致させて挟むように配置した、検査領域サイズの開口を有する遮光板と、前記シート板保持手段又は前記遮光板を、前記照明装置及び前記光検出器と一体で移動させる移動機構を有するので、複数枚の板状試料が配設された、又は該試料からなるシート板の検査を容易に行うことができる。また、シート板の保持と、ピンホール欠陥以外からの廻り込み光の高度な遮光を可能とし、検査精度を向上させることができる。
【００７２】
請求項２の発明によれば、請求項１の発明において、前記シート板を、前記検査領域サイズの開口を複数有する２枚の設置板で挟むよう構成したシート板保持手段を有するので、シート板に対する操作性を向上させることができる。
【００７３】
請求項３の発明によれば、請求項１又は２の発明において、前記シート板と前記設置板との間、及び前記シート板保持手段と前記遮光板との間に弾力性板を設置したので、シート板とピンホール欠陥以外からの廻り込み光の遮光板と密着性を向上させ、検査精度を向上させることができる。
【００７４】
請求項４の発明によれば、請求項１乃至３のいずれかの発明において、前記遮光板に、前記シート板の板状試料の試料面と直交する２面内で回転する回転機構を設置したので、シート板とピンホール欠陥以外からの廻り込み光の遮光板との密着性を向上させ、検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】傘状の突起物を有する金属板試料の断面形状を示す図である。
【図２】本発明の前提技術に基づくピンホール検査装置の概略構成図である。
【図３】本発明の前提技術に基づく光の廻り込みを防止したピンホール検査装置の一例を説明するための概略構成図である。
【図４】本発明の前提技術に基づく光の廻り込みを防止したピンホール検査装置の他の例を説明するための概略構成図である。
【図５】本発明の前提技術の遮光板と金属板試料の隙間をなくす機構を説明するための図である。
【図６】本発明の１枚のシート状金属板に複数枚の傘状突起物を有する試料が配設されたシート板の平面概念図である。
【図７】本発明のピンホール検査装置に使用されるシート板を設置するための設置板を示す図である。
【図８】本発明の設置板上にシート板を設置したピンホール検査装置の概略構成図である。
【図９】本発明の設置板上にシート板が設置され、また遮光板が設置される態様を示す図である。
【図１０】本発明のシート板を２枚の設置板で挟み込む態様を示す図である。
【図１１】本発明の前提技術が適用されるピンホール検査装置の概略構成断面図である。
【図１２】本発明の前提技術が適用されるピンホール検査装置の組立構成図である。
【図１３】本発明の設置板がＬ字型位置決め部材を有する態様を示す図である。
【図１４】本発明の前提技術の位置決め用貫通穴と位置決めピンの関係を示す図である。
【図１５】本発明の前提技術の設置板に近接センサを設ける態様を示す図である。
【図１６】本発明の前提技術のシート板の中心から外れた位置に設けた貫通穴と同じ位置になる場所に近接センサを設ける態様を示す図である。
【図１７】本発明の前提技術の別位置に近接センサを設ける態様を示す図である。
【図１８】ピンホール検査装置の光検出器に感度調整装置を付加した図である。
【図１９】本発明の前提技術の照明装置に光量調節手段を付加した図である。
【符号の説明】
１…金属板試料、１′…金属板試料の検査領域、２…光検出器（フォトマル）、３，４…斜入射照明装置、５…ガラス板、６，７…遮光板、８…回転機構、９…シート板、１０…設置板、１０′…検査領域に対応する開口、１１…設置板、１２…Ｌ字型位置決め部材、１３，１３′…位置決めピン、１４…近接センサ、１５…貫通穴、１６…近接センサ、１７…感度調節装置、１８…光源、１８′…照明光シャッター、１９…光量調節装置、２０…金属板、３０…傘状突起物、４０…ピンホール、Ａ〜Ｉ…金属板試料、ａ〜ｉ…検査領域、Ｓ…中心線。
【図１】
0003555834.tif 000002
【図２】
0003555834.tif 000003
【図３】
0003555834.tif 000004
【図４】
0003555834.tif 000005
【図５】
0003555834.tif 000006
【図６】
0003555834.tif 000007
【図７】
0003555834.tif 000008
【図８】
0003555834.tif 000009
【図９】
0003555834.tif 000010
【図１０】
0003555834.tif 000011
【図１１】
0003555834.tif 000012
【図１２】
0003555834.tif 000013
【図１３】
0003555834.tif 000014
【図１４】
0003555834.tif 000015
【図１５】
0003555834.tif 000016
【図１６】
0003555834.tif 000017
【図１７】
0003555834.tif 000018
【図１８】
0003555834.tif 000019
【図１９】
0003555834.tif 000020