(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の外管と該外管の中心部に円筒又は円柱状の固定軸を設けると共に、該外管と該固定軸の間に弾性材からなる動作管を内設し、該動作管を軸長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる流体の流体導入口を該外管の内周面に軸方向に多数配設すると共に該外管の中間部に、軸方向に多数の環状室を配設し、これら環状室に、複数の前記流体導入口をそれぞれ連通すると共に、前記外管の外側の軸方向に形成した多数の透孔をそれぞれ連通し、これら透孔に圧力流体を周期的に供給する圧力流体発生装置を具備することを特徴とする進行波管壁式真空ポンプ。
【請求項２】
前記圧力流体発生装置は流体槽からの流体を圧送する流体ポンプと、前記多数の透孔を吸入側より複数の透孔毎にグループ化し、各グループの複数の透孔に順次流体の圧送と排出を周期的に行う複数の切換弁とからなることを特徴とする請求項１に記載の進行波管壁式真空ポンプ。
【請求項３】
前記各切換弁から前記流体槽への流体の排出管路に絞り弁を介在したことを特徴とする請求項２に記載の進行波管壁式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は半導体の製造その他に使用される油封を使用しない進行波管壁式真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の真空ポンプとして、円筒又は円柱状の固定軸の外周に弾性材からなる外管を圧着嵌挿し、該外管の外方に、該外管を軸長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる圧電アクチュエータからなる作動部材を多数配設したものが知られている（特開平５−１０６５６２号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来例では、圧電アクチュエータからなる作動部材を数多く配置する必要があり、構造が複雑であり、コストも高く、更に駆動振幅が非常に小さく排気効率が低い問題点があった。
【０００４】
本発明はこれらの問題点を解消し構造が簡単であり、コストも低く、排気効率が高い排気流路の完全オイルレス化の進行波管壁式真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべく円筒状の外管と該外管の中心部に円筒又は円柱状の固定軸を設けると共に、該外管と該固定軸の間に弾性材からなる動作管を内設し、該動作管を軸長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる流体の流体導入口を該外管の内周面に軸方向に多数配設すると共に該外管の中間部に、軸方向に多数の環状室を配設し、これら環状室に、複数の前記流体導入口をそれぞれ連通すると共に、前記外管の外側の軸方向に形成した多数の透孔をそれぞれ連通し、これら透孔に圧力流体を周期的に供給する圧力流体発生装置を具備する。
【０００６】
【作用】
請求項１の進行波管壁式真空ポンプにおいて、弾性体の動作管と多数の流体導入口と圧力流体発生装置を設けたことにより、流体駆動による進行波を起こすことができ、各環状室に複数の流体導入口を連通したことにより、進行波の振幅を大きく、均等にすることができる。
【０００８】
請求項２の進行波管壁式真空ポンプにおいて、複数の透孔毎にグループ化し、複数の切換弁の切換により各グループの複数の透孔に順次流体の圧送と排出を周期的に行うようにしたので、簡単な構成により確実に動作管の進行波ができる。
【０００９】
請求項３の進行波管壁式真空ポンプにおいて、切換弁からの排気管路に絞り弁を設けたことにより、隣の加圧された流体導入口からの流体が動作管を変形させる前に切換弁が排出側になっている流体導入口からの流体の排出量を供給流体量より少なくし、動作管の変形を確実にする。
【００１０】
【実施例】
本発明の第１実施例を図面に従って説明する。
【００１１】
１はアルミ材等からなる外管、２は合成樹脂、合成ゴム又は極薄板の弾性金属板よりなる動作管を示し、該動作管２は前記外管１の両端部のみ固着されている。
【００１２】３はアルミ材等からなる円筒又は円柱状の固定軸を示し、該固定軸３は前記外管１の中心部に設けられている。
【００１３】又、４は前記外管１に設けられた流体導入口を示し、該流体導入口４は前記外管１の内周面に、円周上に数箇所で且つ軸方向に等間隔に多数個がもうけられている。
【００１４】
５は環状室を示し、該環状室５は等間隔に外管１の中間部に多数配設され、前記流体導入口４にそれぞれ連通されていると共に前記外管１の外周に軸方向に等間隔に多数配設された透孔６にそれぞれ連通している。
【００１５】
１１は圧力流体発生装置を示し、該圧力流体発生装置１１は、流体ポンプ７と例えば３個の第１〜第３切換弁８ａ、８ｂ、８ｃと同様に３個の第１〜第３絞り弁９ａ、９ｂ、９ｃと流体槽１０とからなり、該流体ポンプ７の吸引側を吸引パイプ１２を介して該流体槽１０内に連通すると共に、該流体ポンプ７の吐出側に接続の主管１３の３つの分岐管１３ａ、１３ｂ、１３ｃに前記第１〜第３切換弁８ａ、８ｂ、８ｃを第１第２ポートによってそれぞれ介在接続し、これら分岐管１３ａ、１３ｂ、１３ｃの先端部からそれぞれ多数の導入管１４ａ、１４ｂ、１４ｃを分岐し、これら各グループの導入管１４ａ、１４ｂ、１４ｃを図１の如く各グループの透孔６ａ、６ｂ、６ｃにそれぞれ接続した。
【００１６】
又前記第１〜第３切換弁８ａ、８ｂ、８ｃの第３ポートにそれぞれ接続の第１〜第３排出管１５ａ、１５ｂ、１５ｃの先端を前記流体槽１０内に連通すると共にこれら第１〜第３排出管１５ａ、１５ｂ、１５ｃに前記第１〜第３絞り弁９ａ、９ｂ、９ｃを介在した。
【００１７】
次にこの実施例の真空ポンプの動作を説明する。
【００１８】
先ず図３の如く動作管２の全周面が拡張した状態から流体ポンプ７を駆動し、第１切換弁８ａのみ第１ポートと第２ポートが連通する順方向にし、第２、第３切換弁８ｂ、８ｃを第１ポートと第３ポートが連通する切換方向にしておくと流体は第１分岐管１３ａのみに流れて導入管１４ａ及び透孔６ａを経て環状室５より外管１の内周上の流体導入口４に分配し、流体導入口４より供給された流体は動作管２を押上げて、その頂点は固定軸３に接して図４の如く動作管２の波を形成する。
【００１９】
次に第２切換弁８ｂのみ順方向にし、第１、第３切換弁８ａ、８ｃを切換方向にすると流体は第２分岐管１３ｂのみに流れ、且つ動作管２の弾性により先に流入した流体は第１分岐管１３ａと第１排出管１５ａを経て流体槽１０に戻され、動作管２は図５の状態になる。
【００２０】
次に第３切換弁８ｃのみ順方向にし、第１、第２切換弁８ａ、８ｂを切換方向にすると流体は第３分岐管１３ｃのみに流れ、且つ動作管２の弾性により先に流入した流体は第２分岐管１３ｂと第２排出管１５ｂを経て流体槽１０に戻され、動作管２は図６の状態になる。
【００２１】
以後前述と同様に切換弁８ａ、８ｂ、８ｃを順に切換えて図１の断面図の左側より右側に動作管２の波は各１／３ずつ進行して１波を形成する。
【００２２】
排気は吸入口１ａより固定軸３と動作管２の波と波の空間で、動作管２に軸長方向に進行する波に送られて左側から右側に移動して排気口１ｂより排気される。
【００２３】
ここで絞り弁９ａ、９ｂ、９ｃはある程度圧力を流体に加えながら排出しないと動作管２が変形せず波を形成しないため排出流体量を制限している。
【００２４】
以上により排気流路を完全オイルレス化した流体圧の駆動による進行波を形成することができる。尚、流体圧は水圧、油圧、ガス圧、空気圧であってもよい。
【００２５】
第２実施例は図示しないが、第１実施例では固定軸と動作管の間で排気したが、固定軸の外周に動作管を嵌装して、固定軸に流体供給ノズルを設けて、動作管と外管の間で排気する様に構成してもよい。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によれば、圧力流体駆動による進行波を起こすことができて、排気流路に油を一切用いない完全オイルレス化と、構造が簡単となり、低コストで駆動振幅が大きく排気効率の高い大きな効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の基本構成を示す説明図である。
【図２】真空ポンプ個所の側面図である。
【図３】〜
【図６】真空ポンプの動作状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１            外管
２            動作管
３              固定軸
４            流体導入口
５            環状室
６            透孔
７            流体ポンプ
８            切換弁
９            絞り弁
１０                流体槽
１１            圧力流体発生装置
１５ａ  〜１５ｃ      排出管路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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