(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ−Ｙ方向への移動と、定置された被検査基板の被測定部位へのプローブの接離とを自在にして配設されるプローブユニットを備えてなる基板検査装置のための基板搬送機構において、
該基板搬送機構は、基台上に設置される一対の水平支杆に不動状態で支持される基準側レールと、同水平支杆に対し可動状態で支持される可動側レールとを少なくとも備え、該可動側レールは、前記プローブユニットにその昇降を自在に配設された係止杆と係合させるための凹部を有してなる受動部を前記基準側レールとの非対向部位に備え、前記基準側レールに対し前記プローブユニットの移動に追随しての平行移動を自在に配設したことを特徴とする基板検査装置のための基板搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板検査装置のための基板搬送機構に係り、さらに詳しくは、基板検査装置が備えるプローブユニットの動きを利用して可動側レールを被検査基板の規格サイズに応じた横移動制御ができるようにした基板検査装置のための基板搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、Ｘ−Ｙインサキットテスタなどの基板検査装置においては、検査工程を自動化する一助として検査前もしくは検査を終えた被検査基板を自動搬送することができる基板搬送機構も併せて設置する例が多い。
【０００３】
図３は、従来からある上記基板搬送機構の要部を示す平面図であり、ボールねじや台形ねじなどからなる原動側の回転軸１と、従動側の回転軸２とに軸支された基準側レール３と可動側レール４とを備えて形成されている。
【０００４】
この場合、一対の回転軸１，２は、原動側の回転軸１がステッピングモータ５により回転駆動され、この回転駆動力をタイミングベルト６を介して従動側の回転軸２に伝達することにより、同期をとって回転できるようになっており、基準側レール３に対し可動側レール４を横移動させることにより、その時々で規格サイズが異なる被検査基板の横幅に対応できるようになっている。
【０００５】
なお、これらの回転軸１，２に軸支されている基準側レール３と可動側レール４とは、それぞれが図示しない無端搬送チェーンを備えており、これら無端搬送チェーン上に被検査基板を載置して自動搬送できるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来からある上記基板搬送機構によっても、規格サイズを異にする被検査基板に対応させながらこれを自動搬送することはできる。
【０００７】
しかし、上記基板搬送機構は、素材的にコスト高なボールねじや台形ねじを用い、かつ専用の駆動手段であるステッピングモータ５やタイミングベルト６により駆動制御される回転軸１，２を介して可動側レール４を移動させるものであることから、機構全体のコストを上昇させてしまうという不都合があった。
【０００８】
本発明は従来技術にみられた上記課題に鑑み、可動側レールの移動制御をコストの高いボールねじなどからなる回転軸を用いることなく行うことにより、全体コストの低減に寄与させることができる基板搬送機構を提供することにその目的がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成すべくなされたものであり、その構成上の特徴は、Ｘ−Ｙ方向への移動と、定置された被検査基板の被測定部位へのプローブの接離とを自在にして配設されるプローブユニットを備えてなる基板検査装置のための基板搬送機構において、該基板搬送機構は、基台上に設置される一対の水平支杆に不動状態で支持される基準側レールと、同水平支杆に対し可動状態で支持される可動側レールとを少なくとも備え、該可動側レールは、前記プローブユニットにその昇降を自在に配設された係止杆と係合させるための凹部を有してなる受動部を前記基準側レールとの非対面部位に備え、前記基準側レールに対し前記プローブユニットの移動に追随しての平行移動を自在に配設したことにある。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態を具現化して例示した説明図であり、本発明に係る基板搬送機構１１が組み込まれる基板検査装置５１は、基台Ｂ上に立設された一対のガイド材５２，５２に対し前後方向（Ｙ軸方向）への移動を自在に配設された可動アーム部５３と、該可動アーム部５３に取り付けられてその長さ方向への移動（Ｘ軸方向）と、図示しないプローブを定置された被検査基板Ｐの被測定部位に接離させるための昇降（Ｚ軸方向）とが自在となったプローブユニット５４とを少なくとも備えてその全体が構成されている。
【００１１】
また、前記プローブユニット５４には、図示しないプローブの昇降を阻害しない適宜の部位に例えばエアーシリンダなどの流体制御手段５５を介してその昇降を制御するようにした係止杆５６が付設されている。なお、該係止杆５６は、その先端部に先細り状となった係止部５７を設けておくのが好ましい。
【００１２】
一方、前記基板搬送機構１１は、前記基板検査装置５１の下方に位置して基台Ｂ上に立設された一方の側の一対の支柱１２，１２と、他方の側の一対の支柱１３，１３と、一方の支柱１２と他方の支柱１３とにそれぞれに各別に架設された計二本の水平支杆１４，１４と、図２に示すように、これら水平支杆１４，１４の一側寄りの適宜部位に不動状態となって支持される基準側レール１５と、他側寄りの適宜部位に可動状態となって支持される可動側レール２１とを少なくとも備えて全体が構成されている。
【００１３】
この場合における基準側レール１５の側は、水平支杆１４，１４に各別にその下端部を支持させた一対の直立支持部１６，１６と、これら直立支持部１６，１６相互間に掛け渡して配置された水平支持部１７と、該水平支持部１７に下支えされて移動する無端搬送チェーンなどからなる一方の搬送部１８と、直立支持部１６，１６相互の頂面を介して配置されて被検査基板Ｐを搬送方向での一方の側から位置規制する一方のガイド部１９とを少なくとも備えて構成されている。
【００１４】
また、可動側レール２１の側は、上記基準側レール１５と同様に、水平支杆１４，１４に各別にその下端部を支持させた一対の直立支持部２２，２２と、これら直立支持部２２，２２相互間に掛け渡して配置された水平支持部２３と、該水平支持部２３に下支えされて移動する無端搬送チェーンなどからなる他方の搬送部２４と、直立支持部２２，２２相互の頂面を介して配置されて被検査基板Ｐを搬送方向での他方の側から位置規制する他方のガイド部２５とを少なくとも備えて構成されている。
【００１５】
しかも、上記構成からなる可動側レール２１には、プローブユニット５４に配設された前記係止杆５６と係合させるための凹部２６ａを有してなる受動部２６が例えば直立支持部２２や水平支持部２４などであって前記基準側レール１５とは面と向かわない適宜の非対向部位に配設されている。
【００１６】
本発明はこのようにして構成されているので、基板検査装置５１を用いて被検査基板Ｐを検査しようとする際には、基板搬送機構１１を構成している可動側レール２１を基準側レール１５に対し、当該被検査基板Ｐの搬送方向での横幅との関係で定まる所定位置へと基板検査装置５１が備えるプローブユニット５４を利用して移動させることができる。
【００１７】
すなわち、まず、基板検査装置５１が備える可動アーム部５３を一対のガイド材５２，５２に沿わせて例えば前後方向（Ｙ軸方向）に移動させ、可動側レール２１の停止位置との関係で定まる所定位置へと定置させる。
【００１８】
可動アーム部５３を所定位置に移動制御した後は、プローブユニット５４を可動アーム部５３に沿わせて例えば左右方向（Ｘ軸方向）に移動制御し、前記可動側レール２１が備える受動部２６の位置との関係で定まる所定位置に定置させる。
【００１９】
次いで、プローブユニット５４に付設されている係止杆５６をエアーシリンダ等の流体制御手段５５を介して所定位置へと降下制御し、前記可動側レール２１が備える受動部２６の凹部２６ａへと係合させる。なお、この場合、係止杆５６がその先端部に係止部５７を備えているときは、凹部２６ａへの係合もより円滑に行うことができる。
【００２０】
受動部２６の前記凹部２６ａに係止杆５６を係合させた後は、搬入される被検査基板Ｐの搬送方向での横幅との関係で定まる所定位置へとプローブユニット５４を可動アーム部５３に沿わせて移動させることにより、前記可動側レール２１も追従して移動させられる結果、基準側レール１５との間に所定間隔を確保して可動側レール２１を必要にして十分な位置決め精度のもとで定置させることができる。なお、この場合、可動側レール２１は、その移動を終了した時点で適宜のロック手段を介することにより位置固定しておくのが望ましい。
【００２１】
このようにして可動側レール２１を所定位置に移動させた後は、プローブユニット５４に付設されている係止杆５６を前記流体制御手段５５を介して所定位置へと上昇制御することにより、可動側レール２１が備える受動部２６の凹部２６ａとの間の係合関係が解除される。
【００２２】
かくして、可動側レール２１を定置させた後は、基準側レール１５が備える一方の搬送部１８と、可動側レール２１が備える他方の搬送部２４とを同期をとって同時に駆動させることにより、これら搬送部１８，２４上に載置された被検査基板Ｐは、基板検査装置５１が備えるプローブユニット５４の下方に位置する配置関係のもとで所定位置へと搬送され、所定位置に定置させた上で所定の検査が実施されることになる。
【００２３】
このため、基板搬送機構１１が備える可動側レール２１は、専用の駆動手段を備えることなく、プローブユニット５４の動きを単に利用することによりその移動を制御することができることになる。
【００２４】
したがって、本発明によれば、可動側レール２１を移動させるための専用の駆動手段が不要になる結果、基準側レール１５と可動側レール２１との構成部材からそれぞれボールねじや台形ねじを一掃して機構全体の製造コストを大幅に低減させることができるほか、全体構造の簡素化も同時に実現して保守作業の簡易化にも寄与させることができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、基板搬送機構を構成している可動側レールは、特に専用の駆動手段を設置することなく、プローブユニットの動きに追従させてその移動を制御することができるので、機構自体を簡素化することができる。
【００２６】
しかも、可動側レールを移動させるための専用の駆動手段が不要になる結果、基準側レールと可動側レールとの構成部材中からそれぞれ素材コストの高いボールねじや台形ねじを一掃して機構全体の製造コストを大幅に低減させることができるほか、保守作業の簡易化にも寄与させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例を正面側からみて示す要部説明図である。
【図２】図１における基板搬送機構を平面側からみて示す要部説明図である。
【図３】従来からある一例としての基板搬送機構を平面側からみて示す要部説明図である。
【符号の説明】
１１  基板搬送機構
１２，１３  支柱
１４  水平支杆
１５  基準側レール
１６，２２  直立支持部
１７，２３  水平支持部
１８，２４  搬送部
１９，２５  ガイド部
２１  可動側レール
２６  受動部
２６ａ  凹部
５１  基板検査装置
５２  ガイド材
５３  可動アーム部
５４  プローブユニット
５５  流体制御手段
５６  係止杆
５７  係止部
Ｂ  基台
Ｐ  被検査基板
【図１】
0003576705.tif 000002
【図２】
0003576705.tif 000003
【図３】
0003576705.tif 000004