(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のチップに分割され、表面に保護テープが貼着されたウェハをリングフレームに転写テープを介して貼付するウェハ転写装置であって、
前記保護テープが貼着されたウェハを位置決めテーブル上に載置して、縦横方向及び回転方向に位置調整して基準位置にウェハを位置決めする位置決めユニットと、
前記位置決めユニットにおいて所定の基準位置に位置決めされた保護テープが貼着されたウェハを、転写テープマウントテーブル上に載置して、転写テープを該ウェハの外周部に載置されたリングフレームとウェハ裏面に同時に貼着してリングフレームと一体化する転写テープマウントユニットと、
前記転写テープマウントユニットにおいてウェハ裏面に転写テープが貼着されたリングフレームと一体となったウェハを、保護テープ剥がしテーブル上に載置して、剥離テープの一端をウェハ表面側の保護テープの一端に接着して、剥離テープを引っ張ることにより保護テープをウェハ表面より剥離する保護テープ剥離ユニットとを備えることを特徴とするウェハ転写装置。
【請求項２】
前記保護テープが、紫外線硬化型の粘着剤を有する保護テープであって、前記保護テープ剥離ユニットにおいてウェハ表面より保護テープを剥離する前に、保護テープに対して紫外線を照射する紫外線照射ユニットを設けたことを特徴とする請求項１に記載のウェハ転写装置。
【請求項３】
前記紫外線照射ユニットは、ウェハが転写テープに貼付される前に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のウェハ転写装置。
【請求項４】
前記転写テープが、紫外線硬化型の粘着剤を有する転写テープであって、ウェハがリングフレームに転写テープを介して貼付された後に、転写テープに対して紫外線を照射する紫外線照射ユニットを設けたことを特徴とする請求項１に記載のウェハ転写装置。
【請求項５】
前記保護テープ剥離ユニットにおいてウェハ表面より保護テープを剥離したリングフレームと一体なったウェハを、フレームカセット内に収納する収納ユニットを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のウェハ転写装置。
【請求項６】
前記保護テープ剥離ユニットにおいて用いる剥離テープが熱融着テープであって、剥離テープの一端をウェハ表面側の保護テープの一端に熱融着により接着して、剥離テープを引っ張ることにより保護テープをウェハ表面より剥離するように構成したことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のウェハ転写装置。
【請求項７】
前記各ユニット間でウェハを搬送する搬送手段が、ウェハ全面を吸着して搬送するように構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のウェハ転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップ等の小型電子部品の製造工程において、ダイシングおよび裏面研削を行った保護テープが貼られたウェハを、リングフレームおよび転写テープに転写（貼り替え）し、保護テープを剥離するウェハ転写装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば、シリコンなどの半導体ウェハの製造方法は、大径の円盤状に製造され、その表面に回路パターンが形成され、その表面を保護テープで保護し、その裏面を研削した後、表面の保護テープを剥離する。そして、その半導体ウェハを、粘着シートを介してリングフレームに貼着した後、ダイシングカッターにて賽の目状に多数のチップに切断分離（ダイシング）され、この状態で次の工程である洗浄、乾燥、ダイボンディングなどの各工程に移される。
【０００３】
しかしながら、最近では、ＩＣカードなど半導体チップの厚さがますます薄いものが要求されており、従来の３００μｍ、４００μｍから５０μｍ程度まで薄い半導体チップの需要が増加している。しかしながら、この裏面研削方法で極薄厚ウェハを製作する場合、保護テープ剥離、ウェハマウント、ダイシング加工時などの工程において、ウェハの反りによる搬送不具合、ウェハ割れが発生するおそれがある。
【０００４】
そのため、特開平５−３３５４１１号公報に開示されるように、「先ダイシング」と呼ばれる方法が提案されている。この方法は、ウェハの回路が形成された表面よりウェハ厚さ方向に所定深さまでダイシングして、賽の目状に有底の溝を形成し、ウェハ表面に保護テープを貼着した後、ウェハ裏面を有底の溝に至るまで研削して多数のチップに分割する。そして、保護テープが貼着されたウェハをリングフレームに貼着した後、次の工程である洗浄、乾燥、ダイボンディングなどを行う方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、いずれの方法においても、保護テープの剥離と、ウェハへの転写テープ貼りを別々の装置で行っているのが現状である。この場合、装置間でウェハを搬送する必要があるが、多段のウェハ収納部が形成されたウェハキャリアなどの容器に収納して次工程の装置に搬送するのが一般的に行われている。
【０００６】
しかしながら、昨今ではウェハの厚さが薄くなり、逆にウェハの直径が大きくなっているのが現状であり、ウェハの直径と厚さの比によっては、ウェハがキャリア中でその自重で中央部が沈んで変形してしまい、キャリア内からの自動取り出し収納が困難となり、たとえ出来たとしても、キャリアに接触して、破損損傷するおそれがあった。
【０００７】
また、前記の先ダイシング法を行った場合、ウェハは多数のチップに分割され、柔軟なフィルムからなる保護テープで固定されている状態であるため、取り扱いの際に隣接するチップどうしが接触し、破損するおそれがあった。
【０００８】
本発明は、このような実情を考慮して、先ダイシングにて多数のチップに分割され保護テープが貼着されたウェハを、連続的かつ自動的に転写テープ、リングフレームに転写するとともに、保護テープを剥離してキャリアに収納可能なウェハ転写装置を提供し、それにより、薄厚ウェハ（チップ）の搬送による割れ、装置間でのキャリアなどによる搬送により損傷、割れ、キャリア内からの取り出しによるウェハ（チップ）割れを防止することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述した従来技術の課題および目的を達成するために発明なされたものであって、本発明のウェハ転写装置は、多数のチップに分割され、表面に保護テープが貼着されたウェハをリングフレームに転写テープを介して貼付するウェハ転写装置であって、
前記保護テープが貼着されたウェハを位置決めテーブル上に載置して、縦横方向及び回転方向に位置調整して基準位置にウェハを位置決めする位置決めユニットと、
前記位置決めユニットにおいて所定の基準位置に位置決めされた保護テープが貼着されたウェハを、転写テープマウントテーブル上に載置して、転写テープを該ウェハの外周部に載置されたリングフレームとウェハ裏面に同時に貼着してリングフレームと一体化する転写テープマウントユニットと、
前記転写テープマウントユニットにおいてウェハ裏面に転写テープが貼着されたリングフレームと一体となったウェハを、保護テープ剥がしテーブル上に載置して、剥離テープの一端をウェハ表面側の保護テープの一端に接着して、剥離テープを引っ張ることにより保護テープをウェハ表面より剥離する保護テープ剥離ユニットとを備えることを特徴とする。
【００１０】
このように構成することによって、ウェハのチップ化されたウェハの分割線を認識し、縦横方向（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に位置調整して基準位置にウェハを位置決めすることにより、ダイボンディング工程の際の正確なダイボンディングを実施できる。また、これらの転写作業、保護テープ剥離作業をウェハキャリアを用いて搬送することがなく連続的に実施できるので、ウェハの破損、損傷、割れなどが発生することがない。
【００１１】
また、本発明のウェハ転写装置では、前記保護テープが、紫外線硬化型の粘着剤を有する保護テープであって、前記保護テープ剥離ユニットにおいてウェハ表面より保護テープを剥離する前に、保護テープに対して紫外線を照射する紫外線照射ユニットを設けたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明では、前記紫外線照射ユニットは、ウェハが転写テープに貼付される前に設けられていることを特徴とする。
これによって、保護テープの粘着剤を放射線硬化型の粘着剤を用いて、これに紫外線を照射させることによって、保護テープ剥離工程において、保護テープの粘着力を弱めて、チップに分割されたウェハから容易に剥離することができる。
【００１３】
さらに、本発明のウェハの転写装置では、前記転写テープが、紫外線硬化型の粘着剤を有する転写テープであって、ウェハがリングフレームに転写テープを介して貼付された後に、転写テープに対して紫外線を照射する紫外線照射ユニットを設けたことを特徴とする。
【００１４】
これによって、転写テープの粘着剤を放射線硬化型の粘着剤を用いて、これに紫外線を照射させることによって、ダイボンディング工程において、転写シートからチップをピックアップする際にピックアップ時の粘着力を弱めてピックアップを容易にすることができる。
【００１５】
さらに、本発明のウェハ転写装置は、前記保護テープ剥離ユニットにおいてウェハ表面より保護テープを剥離したリングフレームと一体なったウェハを、フレームカセット内に収納する収納ユニットを備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明では、前記保護テープ剥離ユニットにおいて用いる剥離テープが熱融着テープであって、剥離テープの一端をウェハ表面側の保護テープの一端に熱融着により接着して、剥離テープを引っ張ることにより保護テープをウェハ表面より剥離するように構成したことを特徴とする。
【００１７】
これにより、保護テープ剥離の際に、剥離テープがリングフレーム用の転写テープと接着しないので、剥離作業性が向上する。
また、本発明では、前記各ユニット間でウェハを搬送する搬送手段が、ウェハ全面を吸着して搬送するように構成されていることを特徴とする。
【００１８】
このように、全面吸着にてウェハを吸着保持することによって、ウェハへ局部的な負荷がかかるのを防止し、ウェハの破損、割れを防止することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のウェハ転写装置の実施の形態（実施例）について、添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明のウェハ転写装置の実施例の装置全体の上面図、図２は、図１のウェハ転写の正面図、図３は、図１のウェハ転写装置の右側面図である。
図１において、１０は全体で本発明のウェハ転写装置を示している。ウェハ転写装置１０は、前述した先ダイシング方法によって、ウェハの回路が形成された表面よりウェハ厚さ方向に所定深さまでダイシングして、賽の目状に有底の溝を形成し、ウェハ表面に保護テープを貼着した後、ウェハ裏面を有底の溝に至るまで研削して多数のチップに分割した保護テープが貼着されたウェハ（以下、多数のチップに分割され、保護テープでウェハ形状に固定された形態を「ウェハＷ」と言う）を取り扱うようになっている。
【００２１】
そして、別途図示しない裏面研削装置によって、裏面研削後の上記のように処理された保護テープが貼着されたウェハＷは、搬送アーム１２によって、ウェハ転写装置１０の基台１４に設けられたウェハ受け渡しテーブル１００に、その保護テープＰ側が下面となるように移載される。この受け渡しテーブル１００は、図２に示したように、図示しないモータの回転がベルトによってプーリ１０２に伝達され、プーリ１０２に連結されたボールネジ１０４を回転させることによって、ボールネジ１０４に接続された受け渡しテーブル基台１０６を、ガイドレール１０８に沿って上下動可能なように構成されている。このように上下動可能に構成することによって、搬送アーム１２の図示しない吸着部に吸着保持されたウェハＷを、テーブル基台１０６に受け渡す際に、搬送アーム１２の吸着部の上下動に同期して受け渡しテーブル基台１０６を上下動させることによって、ウェハＷを破損しないようになっている。
【００２２】
なお、受け渡しテーブル１００のテーブル基台１０６には、後述する吸着搬送部材２１６の吸着部２１４と同様に、吸着部材で構成してもよい。
さらに、ウェハＷの受け渡しテーブル１００を設ける代わりに、ウェハＷの収納容器を載置可能な載置台とし、裏面研削工程で処理されたウェハＷを収納容器に収納して、これを用いてバッチ毎にウェハＷを取り出して処理できるようにしても良い。
【００２３】
受け渡しテーブル１００に移載されたウェハＷは、ウェハ搬送ユニット２００にて、紫外線（ＵＶ）照射ユニット３００へと搬送される。
ウェハ搬送ユニット２００は、図４および図５に示したように、駆動モータ２０２の駆動軸の回転が、駆動軸に連結されたプーリ２０４と回転軸２０６に固定されたプーリ２０８に掛け渡されたベルト２０９を介して、回転軸２０６に伝達されて、この回転軸２０６に連結された搬送アーム２１０が、図４の一点鎖線に示したように回転軸２０６を中心として円弧状に回動するようになっている。搬送アーム２１０の端部には、吸着搬送部２１２が設けられており、この吸着搬送部２１２の下端に、円盤状の吸着部２１４が下面に形成された吸着搬送部材２１６が、吸着搬送部２１２にスプリング（図示せず）を介して、上下動可能なように構成されており、吸着保持の際の衝撃を緩和するように接続されている。なお、この吸着搬送部材２１６の吸着部２１４にも、例えばポーラスなセラミックよりなる吸着部材２１８が設けられており、これを図示しない真空ポンプなどの真空源に接続して負圧にすることによって、ウェハＷのチップ側全面を吸着部材２１８を介して全面で吸着保持して固定するようになっている。これによって、ウェハＷのチップが破損損傷しないようになっている。
【００２４】
従って、ウェハ搬送ユニット２００は、駆動モータ２０２を駆動させることによって、搬送アーム２１０を回転軸２０６を中心とし回動させて、受け渡しテーブル１００のテーブル基台１０６の直上に、吸着搬送部材２１６の吸着部２１４を位置させて、ウェハＷのチップ側をこの吸着パッド部材２１８にて全面で吸着保持するようになっている。そして、この状態で、駆動モータ２０２を駆動させることによって、搬送アーム２１０を回転軸２０６を中心として回動させて、紫外線照射ユニット３００へと搬送するようになっている。
【００２５】
紫外線照射ユニット３００は、図４に示したように、ＵＶランプ管３０２を有するＵＶランプハウス３０４がウェハ搬送アーム２１０の下部に設けられており、ＵＶランプ管３０２からの紫外線が、反射鏡３０６によって、上方に照射されるようになっている。
【００２６】
すなわち、駆動モータ２０２を駆動させることによって、搬送アーム２１０を回転軸２０６を中心として回動させて、紫外線照射ユニット３００上を通過させて位置決めユニット４００へと搬送される間に、ウェハ搬送ユニット２００の吸着搬送部材２１６の吸着部２１４に吸着保持されたウェハＷの下面、すなわち、その保護テープＰ側にＵＶランプ管３０２からの紫外線が照射されるようになっている。
【００２７】
これは、多数のチップに分離したウェハＷを貼着保持する保護テープＰの粘着剤に、紫外線硬化型の粘着剤を用いた場合に、これに紫外線を照射させることによって、保護テープを剥離する際に接着力が低減し、多数のチップから保護テープを容易に剥離できるようにするためである。
【００２８】
このように、紫外線照射ユニット３００を通過する間に紫外線が照射されたウェハＷは、ウェハ搬送ユニット２００の吸着搬送部材２１６の吸着部２１４に吸着保持された状態で、位置決めユニット４００へと搬送され、そのチップ側の面が上方に位置するように位置決めテーブル４０１上に受け渡されて載置される。
【００２９】
位置決めユニット４００は、図６〜図８に示したように、ウェハ転写装置１０の基台１４上に固定された前後方向（Ｙ軸方向）に設けられたＹ軸方向レール４０２と、このＹ軸方向レール４０２と直行するように左右方向（Ｘ軸方向）に設けられ、Ｙ軸方向レール４０２上を前後方向（Ｙ軸方向）に移動可能に構成されたＸ軸方向レール４０４とを備えている。このＸ軸方向レール４０４上には、Ｘ軸方向レール４０４上を左右方向（Ｘ軸方向）に移動可能に構成された位置決めテーブル４０１を備えている。
【００３０】
すなわち、Ｙ軸方向レール４０２の前端側には駆動モータ４０６が備えれらており、この駆動モータ４０６の回転によって、駆動モータ４０６の駆動軸のプーリ４０８とＹ軸方向レール４０２の後端側に設けられたプーリ４１０との間に掛け渡された駆動ベルト４１２が前後方向（Ｙ軸方向）に移動する。これに伴って、駆動ベルト４１２に固定されるとともにＸ軸方向レールに連結された案内部材（図示せず）を介して、Ｘ軸方向レール４０４とその上に設けられた位置決めテーブル４０１が、Ｙ軸方向に移動するように構成されている。
【００３１】
一方、Ｘ軸方向レール４０４の左端側には駆動モータ４１４が備えれらており、この駆動モータ４１４の回転によって、駆動モータ４１４のプーリ４１６とＸ軸方向レール４０４の右端側に設けられたプーリ４１８との間に掛け渡された駆動ベルト４２０が左右方向（Ｘ軸方向）に移動する。これに伴って、駆動ベルト４２０に固定されるとともに位置決めテーブル４０１に連結された案内部材（図示せず）を介して、位置決めテーブル４０１が、Ｘ軸方向に移動するように構成されている。
【００３２】
また、位置決めテーブル４０１には、位置きめテーブル本体４２２と、この位置決めテーブル本体４２２に、ベアリング４２４によって回転軸４２６を中心に回転可能に装着された位置決めテーブル台部４２８とを備えている。位置決めテーブル本体４２２に設けられた駆動モータ４３０の回転が、駆動モータ４３０の駆動軸のプーリ４３２と回転軸４２６に設けられたプーリ４３４との間に掛け渡された駆動ベルト４３６を介して、位置決めテーブル台部４２８に伝達されて、回転軸４２６を中心に位置決めテーブル台部４２８が回転するように構成されている。
【００３３】
なお、この位置決めテーブル台部４２８の上面には、円盤形状のウェハ収容部４３８が設けられており、このウェハ収容部４３８にも、前述したウェハ搬送ユニット２００と同様に全面吸着可能なポーラスな吸着部材４４０が設けられており、これを図示しない真空ポンプなどの真空源に接続して負圧にすることによって、ウェハＷの保護テープ側全体を全面で吸着保持して固定するようになっている。
【００３４】
このように構成される位置決めユニット４００では、紫外線照射ユニット３００上を通過する間に紫外線が照射されたウェハＷが、ウェハ搬送ユニット２００の吸着搬送部材２１６の吸着部２１４に吸着保持された状態で、位置決めユニット４００へと搬送され、そのチップ側の面が上方に位置するように位置決めテーブル４０１の位置決めテーブル台部４２８のウェハ収容部４３８に上に受け渡されて載置され、吸着保持される。
【００３５】
この状態で、位置決めユニット４００の上方に配置された図示しない画像認識カメラを用いて、ウェハＷのチップ化されたウェハの分割線に沿って縦横方向（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に位置調整して基準位置にウェハを位置決めして、ダイボンディング工程の際の正確なダイボンディングを実施できるようにしている。なお、この位置調整方法としては、ウェハＷのオリエンテーションフラットまたはノッチなどの位置を認識して、位置調整を行うようにすることも可能である。
【００３６】
すなわち、Ｘ軸方向レール４０４上を位置決めテーブル４０１左右方向（Ｘ軸方向）に移動して、ウェハのＸ軸方向位置を決めるとともに、Ｙ軸方向レール４０２上を前後方向（Ｙ軸方向）にＸ軸方向レール４０４とその上に設けられた位置決めテーブル４０１を移動することによって、ウェハのＹ軸方向位置を決定する。そして、回転軸４２６を中心に位置決めテーブル台部４２８を回転させることによって、ウェハの回転方向位置を決定して基準位置にウェハを位置決めするようになっている。
【００３７】
このように位置決めユニット４００の位置決めテーブル４０１で位置決めがされたウェハＷは、ウェハ搬送ユニット５００を介して搬送されて、そのチップ側の面が上方に位置するように転写テープマウントユニット６００の転写テープマウントテーブル６０２上に移載されるようになっている。
【００３８】
ウェハ搬送ユニット５００は、図９〜図１０に示したように、ウェハ転写装置１０の基台１４上にブラケット５０２によって固定され、左右方向に位置決めユニット４００から転写テープマウントユニット６００に至るように設けられたガイドレール５０４を備えている。そして、ガイドレール５０４の側方には、モータ５０５に接続された図示しないタイミングベルトによる駆動によって、このガイドレール５０４に沿って移動可能な搬送案内部材５０６が装着されている。この搬送案内部材５０６には、その左端に搬送アーム５０８が設けられており、搬送アーム５０８には、吸着搬送部材５１０がスプリング（図示せず）を介して、搬送アーム５０８に対して上下動可能なように構成されており、吸着保持の際の衝撃を緩和するようになっている。なお、この吸着搬送部材５１０の下端には、円盤状の吸着部５１２が下面に形成されており、この吸着部５１２にも、全面吸着可能なポーラスな吸着部材５１４が設けられており、負圧によりウェハＷのチップ側の全面を吸着保持できるようになっている。
【００３９】
このように構成されるウェハ搬送ユニット５００では、搬送案内部材５０６をガイドレール５０４に沿って、位置決めユニット４００の位置決めテーブル４０１のウェハ収容部４３８の直上まで移動させて（図９の右側の位置）、位置決めテーブル４０１のウェハ収容部４３８の負圧を解除して吸着保持を解除するとともに、位置決めテーブル４０１で位置決めがされたウェハＷを、吸着搬送部材５１０の下端に形成された吸着部５１２にて負圧によって吸着保持するようになっている。そして、この状態で、搬送案内部材５０６をガイドレール５０４に沿って転写テープマウントユニット６００まで移動させて（図９の左側の位置）、ウェハＷを転写テープマウントユニット６００の転写テープマウントテーブル６０２上に移載するように構成されている。
【００４０】
転写テープマウントユニット６００には、図１に示したように、転写テープマウントテーブル６０２が設けられており、その前方に、多数枚のリングフレームを収容したリングフレームストッカー６０４が設けられている。リングフレームストッカー６０４は、多数枚のリングフレームＲが積載収容されており、上下方向に設けられたガイドレール（図示せず）に沿って、上下方向に摺動可能となっている。
【００４１】
また、図１に示したように、リングフレームストッカ６０４の上方には、転写テープマウントテーブル６０２からリングフレームストッカー６０４まで前後方向にガイドレール６２４が設けられている。このガイドレール６２４に沿って、リング搬送アーム６２６が移動可能に構成されている。なお、リング搬送アーム６２６には、図示しないが、先端に真空パッドを備えた真空吸着部が設けられている。
【００４２】
従って、位置決めテーブル４０１で位置決めがされたウェハＷを、ウェハ搬送ユニット５００によって、転写テープマウントユニット６００の転写テープマウントテーブル６０２上にチップ側の面が上方に位置するように移載した後、リング搬送アーム６２６をガイドシリンダに沿ってリングフレームストッカー６０４の直上まで移動させて、ストッカー６０４をガイドレールに沿って上昇させて、最上部に位置するリングフレームＲをリング搬送アーム６２６にて吸着保持する。その後、ストッカー部材６０４を下降させるとともに、リング搬送アーム６２６をガイドレール６２４に沿って転写テープマウントテーブル６０２の直上まで移動して、転写テープマウントテーブル６０２上に載置されたウェハＷの外周にリングフレームＲを移載するようになっている。
【００４３】
なお、転写テープマウントテーブル６０２の内側に吸着テーブル６０３が設けられており、その上面にも、全面吸着可能なポーラスな吸着部材が設けられており、負圧によりウェハＷの保護テープＰ側の全面を吸着保持できるようになっている。
【００４４】
このように、吸着テーブル６０３の上面に、ウェハＷとその外周にリングフレームＲを吸着保持した後、これらの上面に予めリングフレームＲの形状にプリカットされた転写テープＴが、転写テープ繰り出しユニット６５０によって貼着される。
【００４５】
転写テープ繰り出しユニット６５０は、図１１に示したように、予め台紙Ｄにプリカットされて一定間隔で台紙上に貼着されている転写テープＴが、転写テープ供給用モータ６５２の駆動によって、アンワインダー６５４から案内ローラ６５６、ダンサローラ６５８、テンションローラ６７２とピンチローラ６６０の間、ならびに案内ローラ６７４を介して、ピールプレート６７６の先端部で鋭角的に急激に折り返されることによって、台紙Ｄから転写テープＴが剥離される。その後、巻き取りローラ６７８とピンチローラ６８０の間、ダンサローラ６８２、ならびに案内ローラ６８４を介して、ワインダ６８６によって台紙Ｄが巻き取られるようになっている。
【００４６】
また、図示しないが、テンションローラ６７２とピンチローラ６６０の間から案内ローラ６７４の転写テープ通し経路部にテープ検出機構を設け、繰出しモータ６９２により一定位置にテープが停止するようになっている。
【００４７】
このように、台紙Ｄより剥離された転写テープＴは、プレスローラ６９１によりリングフレームＲおよびウェハＷに同時に貼付られる。
また、ダンサローラ６５８、６８２は、転写テープの外径の変化に対応するために、それぞれ上下方向に動作し、その上下位置を検出することにより、転写テープ供給用モータ６５２ならびにワインダー６８６の駆動をコントロールしている。
【００４８】
一方、転写テープマウントテーブル６０２は、図１に示したように、その側部に設けられた案内部材６８８を介して、前後方向に設けられたガイドレール６９０に沿って、転写テープ繰り出しユニット６５０に接近離反する方向に移動可能に構成されている。
【００４９】
従って、図１２（ａ）に示したように、転写テープマウントテーブル６０２をガイドレール６９０に沿ってピールプレート６７６に接近する方向に移動させて、ピールプレート６７６の先端部近傍に、そのリングフレームＲの一端部が位置するようにする。
【００５０】
そして、ピールプレート６７６の先端部で鋭角的に急激に折り返すことによって、台紙Ｄから転写テープＴを剥離させるが、この際、転写テープＴの先端部をエアブローなどによって補助し、台紙への巻き込みを防止する。
【００５１】
その後、図１２（ｂ）に示したように、転写テープマウントテーブル６０２を図示しない上下シリンダにより上昇させ、転写テープＴの先端部をプレスローラ６９１によって、リングフレームＲに圧着する。
【００５２】
さらに、図１２（ｃ）に示したように、転写テープマウントテーブル６０２をガイドレール６９０に沿ってピールプレート６７６から離反する方向に移動させるとともに、プレスローラ６９１によって、転写テープＴが、ウェハＷとその外周にリングフレームＲに貼着して、ウェハＷとリングフレームＲが一体化される。
【００５３】
その後、図１に示したように、転写テープマウントテーブル６０２の側方に設けられた回転アームユニット６４０のアーム部６４１の真空パッド６４２にて、ウェハＷの外周のリングフレームＲ部分を吸着保持して、回転アームユニット６４０のアーム部６４１を回転軸６４４を中心に１８０°回転させることによって、ウェハＷの保護テープＰが貼着された表面が上面に位置するようにする。
【００５４】
そして、図１に示したように、搬送アームユニット７５０の搬送部材７５２を、左右方向に回転アームユニット６４０の中心まで延びるガイドレール７５４に沿って移動させて、回転アームユニット６４０に吸着保持された転写テープでリングフレームＲと一体なったウェハＷを、搬送アームユニット７５０の真空パッド７５６にて吸着保持しこれに受け渡した後、搬送部材７５２をガイドレール７５４に沿って移動させて、保護テープ剥離ユニット８００の保護テープ剥がしテーブル部８０２上に載置するようになっている。
【００５５】
保護テープ剥離ユニット８００は、図１３〜図１５に示したように、テーブル部８０２と、テープ繰り出し部８０４と、移動手段としての剥がしヘッド部８０６と、接着・切断手段としてのヒータカッタ部８０８とから構成されている。
【００５６】
テーブル部８０２は、転写装置１０の基台１４上に設けられたレール８１０上を左右方向に移動可能なテーブル８１２を備えている。モータ８１４を駆動することによって、モータの駆動軸のプーリ８１６とプーリ８１８の間に掛け渡されたベルト８２０に連結された連結具８２２を介して、テーブル８１２がレール８１０上を左右方向（Ｘ軸方向）に移動するようになっている。なお、テーブル８０２の上面にも、全面吸着可能なポーラスな吸着部材８２４が設けられており、負圧により転写テープＴを介してウェハＷ全面を吸着保持できるようになっている。
【００５７】
テープ繰り出し部８０４は、図１７に示したように、互いに圧接するピンチローラ８２５とテンションローラ８２７と、ガイドローラ８２８およびピンチローラ８２６とを備えている。テープ繰出し部８０４の下端部には、テープ受け板８３２が軸８３３によってボールブッシュ８３５に取り付けられている。テープ受け板８３２は、Ｘ軸方向に移動可能でありスプリング８３６によって突出方向（図１７の右方向）に常時付勢されている。
【００５８】
剥離テープＳは、リール８２３から繰り出されて、ピンチローラ８２６とガイドローラ８２８との間に挟持された後、ガイドローラ８２８で方向転換され、さらに、ピンチローラ８２５とテンションローラ８２７との間に挟持されテープ受け板８３２へ送られ、テープ受け板８３２上でテープ押さえ板８３４によって押さえられている。テープ受け板８３２の前端部には、カッター溝８３９が形成されている。テープ押さえ板８３４は、シリンダ８３８によって上下動可能に駆動される。また、テンションローラ８２７には、タイミングプーリ８３１からタイミングベルト８３７が掛けられ、タイミングプーリ８３１はモータ８２１（図１５参照）で駆動されるようになっている。テンションローラ８２７は、剥離テープＳの繰出し方向と逆方向に回転されて、剥離テープＳに繰出し方向と逆方向の張力（バックテンション）がかけられている。
【００５９】
テンションローラ８２７の後側（図１７に左側）には、テープ押さえガイド８３０が取り付けられ、テープ受け板８３２上の剥離テープＳが後退するのを防止している。
【００６０】
テープ繰出し部８０４は、上下方向（図に示すＺ軸方向）に移動可能である。すなわち、図１３に示すように、基台１４には基板８０３が設置され、この基板８０３上に固定されたシリンダ８０５によって、テープ繰出し部８０４がＺ軸方向に移動するようになっている。
【００６１】
なお、剥離テープＳとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどの耐熱性フィルムに、感熱性接着剤層を設けたもの、剥離テープ自体を感熱性を有する剥離テープとしたものなどが使用できる。
【００６２】
剥がしヘッド部８０６は、剥がしヘッド８４０と剥がしヘッド８４０を支持するアーム８４２を備え、アーム８４２はガイド８４４に左右方向にモータ８４７の駆動によって移動自在となっている。また、剥がしヘッド８４０は、上あご８４６と下あご８４８とからなるチャック８４９を備え、シリンダ８５０で上下動してチャック８４９を開閉できるようになっている。なお、図中、８５３はテープ検出センサーである。
【００６３】
ヒータカッター部８０８は、図１６に示したように、シリンダ８５１を介して上下動可能なヒータブロック８５２が設けられ、その内部にヒータ８５４が埋設され、ヒータブロック８５２の下端にヒータ工具８５５が設けられている。
【００６４】
また、ヒータブロック８５２の前後側には、テープ押さえガイド８５６が設けられるとともに、ヒータブロック８５２後側には、テープ押さえ８５８が設けられるとともに、シリンダ８６０にてテープ押さえ８５８の溝８６２に沿って前後方向に移動するカッタ刃８６４が設けられている。
【００６５】
このように構成される保護テープ剥離ユニット８００は、図１７〜図２３のように作動する。
図１７に示したように、剥離テープＳを繰り出して、カッター溝８３９まで繰り出すとともに、テーブル８１２をテープ繰り出し部８０４の下方まで移動させる。この際、剥離テープＳにはテンションローラ８２７によりバックテンションがかけられている。そして、剥がしヘッド部８０６をテープ繰り出し部８０４に接近する方向に移動させる。この際、チャック８４９は開いている。
【００６６】
図１８に示したように、剥がしヘッド部８０６がテープ受け板８３２を押さえるとともに、剥離テープＳの先端がテープ検出センサー８５３で検知された後、チャック８４９を閉じる。チャック８４９にて、剥離テープＳを挟持するとともに、テープ押さえ板８３４を上昇させて、剥離テープのバックテンションを解除する。
【００６７】
そして、図１９に示すように、剥がしヘッド部８０６をテープ繰り出し部８０４から離反する方向に移動させて剥離テープＳを引き出す。
その後、図２０に示したように、ヒータカッター部８０８を下降させて、テープ押さえ８５８、テープ押さえガイド８５６にて剥離テープＳを押さえるとともに、ヒータブロック８５２のヒータ８５４の熱によりヒータ工具８５５を介して、ウェハ表面の保護テープＰとを熱融着によって接着させ、テープ押さえ８５８の溝８６２に沿って前後方向にカッタ刃８６４を移動させて剥離テープＳを所定の長さに切断する。なお、接着点は、ウェハＷの端部近傍、例えば、ウェハＷの端からの距離が３ｍｍ以内に位置するのが好ましい。
【００６８】
そして、図２１に示したように、テープ繰り出し部８０４とヒータカッター部８０８とを上昇させた後、図２２に示したように、剥がしヘッド部８０６とテーブル８１２を相互に離反する方向に移動することによって、ウェハ表面の保護テープＰを剥離テープＳにて、ウェハ表面から剥離できるようになっている。
【００６９】
このように剥離した剥離テープＳと保護テープＰとは、図２３に示したように、剥がしヘッド部８０６のチャック８４９を開くとともに、上方よりエアブローを行うことによって、廃棄ボックス８７０に落下させて収容されるようになっている。
【００７０】
このように保護テープ剥離ユニット８００にて、ウェハ表面より保護テープが剥離されたウェハＷは、続いて搬送アームユニット９５０にて、排出プッシャユニット９００に移載されるようになっている。
【００７１】
搬送アームユニット９５０は、図２４および図２５に示したように、前後方向に、保護テープ剥離ユニット８００のテーブル８１２から排出プッシャユニット９００の排出ローラ部９０２に至るように設けられたガイドレール９５２上を前後方向に移動可能な搬送アーム部材９５４を有し、そのアーム部材９５４に吸着パッド部材９５６を備え、リングフレームＲに対応する位置に配置された吸着部９５８を備えている。
【００７２】
従って、保護テープ剥離ユニット８００にて、ウェハ表面より保護テープＰが剥離されたウェハＷは、搬送アームユニット９５０の搬送アーム部材９５４をガイドレール９５２に沿って移動して、保護テープ剥離ユニット８００のテーブル８１２上のリングフレームＲと一体となったウェハＷをリングフレームＲ部分を吸着部９５８の吸着パッド部材９５６にて吸着保持する。そして、この状態で、搬送アーム部材９５４をガイドレール９５２に沿って移動して、排出プッシャユニット９００の排出ローラ部９０２上にウェハＷを移載するようになっている。
【００７３】
排出プッシャユニット９００は、図１に示したように、転写装置１０の基台１４上に固定した、左右一対の側方ガイド部材９０２の内面にそれぞれ複数の一定間隔で離間して配設されたローラからなるローラ部（図示せず）に、リングフレームＲ部分が当接するようになっており、これにより、ウェハへのローラとの接触による破損が避けられるようになっている。
【００７４】
なお、ローラ部の後方には、移動シリンダ９０８が設けられており、移動シリンダ９０８は、案内ロッド９１０に案内されて前後方向に摺動できるようになっている。移動シリンダ９０８の上面に固着されたプッシャ部材（図示せず）が、移動シリンダ９０８の移動に伴って、ローラ部上に移載されたウェハＷを手前の方向に押すことにより、手前方向に配設されたアンローダユニット１０００の収納カセット１００２にウェハを収納するようになっている。
【００７５】
なお、このアンローダユニット１０００では、排出プッシャユニット９００のローラ部の高さ位置に、収納カセット１００２を位置合わせできるように、上下動可能に構成されている。
【００７６】
本発明は、以上説明した実施例に何ら限定されるものではなく、例えば、紫外線照射ユニットを転写テープマウントユニットの下流側に設けるなど種々の変更が可能である。
【００７７】
なお、転写テープＴを紫外線硬化型の粘着剤を有するテープとして、ウェハＷをリングフレームＲに転写テープＴを介して貼付た後に、特に排出プッシャユニットの前又は後ろに転写テープに対して紫外線を照射する紫外線照射ユニット３００と同様な紫外線照射ユニットを設けてもよい。
【００７８】
【発明の効果】
本発明のウェハ転写装置によれば、ウェハＷのチップ化されたウェハの分割線に沿って縦横方向（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に位置調整して基準位置にウェハを位置決めして、ダイシング工程の際の正確なダイボンディングを実施でき、チップが破損しない。また、これらの位置決め作業、転写作業、保護テープ剥離作業をウェハキャリアを用いて搬送することがなく連続的かつ自動的に実施できるので、ウェハの破損、損傷、割れなどが発生することがない。
【００７９】
また、本発明によれば、全面吸着にてウェハを吸着保持することによって、ウェハへ局部的な負荷がかかるのを防止し、ウェハの破損、割れを有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のウェハ転写装置の実施例の装置全体の上面図である。
【図２】図２は、図１のウェハ転写の正面図である。
【図３】図３は、図１のウェハ転写装置の右側面図である。
【図４】図４は、本発明のウェハ転写装置のウェハ搬送ユニットおよび紫外線照射ユニットの上面図である。
【図５】図５は、図４の側面図である。
【図６】図６は、本発明のウェハ転写装置の位置決めユニットの上面図である。
【図７】図７は、図６の正面図である。
【図８】図８は、図６の右側面図である。
【図９】図９は、ウェハ搬送ユニットの上面図である。
【図１０】図１０は、図９の側面図である。
【図１１】図１１は、転写テープ繰出しユニットの側面図である。
【図１２】図１２は、本発明のウェハ転写装置の転写テープマウントユニットの動作を説明する概略図である。
【図１３】図１３は、本発明の保護テープ剥離ユニットの正面図である。
【図１４】図１４は、図１３の側面図である。
【図１５】図１５は、図１３の平面図である。
【図１６】図１６は、本発明の保護テープ剥離ユニットのヒータカッター部の拡大図である。
【図１７】図１７は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図１８】図１８は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図１９】図１９は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図２０】図２０は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図２１】図２１は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図２２】図２２は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図２３】図２３は、本発明の保護テープ剥離ユニットの動作を説明する図である。
【図２４】図２４は、本発明のウェハ転写装置の搬送アームユニットの上面図である。
【図２５】図２５は、本発明のウェハ転写装置の搬送アームユニットの側面図である。
【符号の説明】
１０・・・・ウェハ転写装置
１００・・・・受け渡しテーブル
２００・・・・ウェハ搬送ユニット
３００・・・・紫外線照射ユニット
４００・・・・位置決めユニット
５００・・・・ウェハ搬送ユニット
６００・・・・転写テープマウントユニット
８００・・・・保護テープ剥離ユニット
９００・・・・排出プッシャユニット
１０００・・・・アンローダユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0003560823.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
0003560823.tif 000019
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
0003560823.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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