(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置とこれを制御するホストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレータにおいて、
実物の半導体製造装置が用意されているときはホストシステム側に設けられ、
前記実物の半導体製造装置にある通信仕様書の電子ファイルから電子データを転写する転写手段と、
転写した電子データをシミュレータソフトウェアに与え、通信シミュレーション環境を構築する環境構築手段と、
この環境構築手段で構築した環境の下で、前記実物の半導体製造装置と通信シミュレーションを行う通信手段と、
を有することを特徴とする通信シミュレータ。
【請求項２】
前記転写手段で転写する電子データは、通信手順のデータを含むことを特徴とする請求項１記載の通信シミュレータ。
【請求項３】
通信シミュレーションで用いるデータを設定する設定手段と、
この設定手段で設定したデータをファイル化して保存するデータファイルと、
通信に用いるデータを前記データファイルから読み出してメモリ上に展開する読出手段と、
前記メモリ上に展開されたデータの設定を変更する設定変更手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の通信シミュレータ。
【請求項４】
前記実物の半導体製造装置にデータを送ったときに実物の半導体製造装置が期待値どおりのデータを返してきたかどうかに基づいて可否判定を行う判定手段と、
この判定手段の判定結果を表形式に編集する編集手段と、
編集した判定結果を画面表示する表示手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の通信シミュレータ。
【請求項５】
前記通信手段は、マルチタスク処理によりネットワーク上に接続された複数の実物の半導体製造装置と通信シミュレーションを行うことを特徴とする請求項１に記載の通信シミュレータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置とこれを制御するホストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、コンピュータ技術や情報技術の発達により、半導体製造ラインの制御はますます高度化つつある。
【０００３】
図３に半導体生産ラインの概略例を示す。
図３で、ネットワーク１０上に半導体製造装置２１〜２３とホストシステム３０が接続されている。ネットワーク１０は、例えば、ＳＥＣＳプロトコル、ＨＳＭＳプロトコル等に準拠した通信回線である。
半導体製造装置２１〜２３（半導体製造装置を装置と略称する）は、半導体の製造に用いる装置で、例えば、酸化装置、成膜装置、イオン注入装置等である。ホストシステム３０（ホストシステムをホストと略称する）は、半導体製造装置２１〜２３を制御する。
【０００４】
ホストから装置に対するリモート指示を行ったり、装置から各種データをホストに送ってモニタリングをするために、装置とホストをネットワークに接続している。
装置とホストをネットワークに接続するためには、装置とホストの両方にオンラインソフトウェアが必要となる。オンラインソフトウェアは装置とホストのメーカ等によって異なる。オンラインソフトウェアは未だ各社の独自性が強いため、装置とホストをネットワークに接続するときには、ユーザは通信テストを行い、正常に通信が行われるかどうかを確認している。
【０００５】
実機を組む前に通信テストを実行するためのツールとして、装置またはホストの通信動作を模擬するシミュレータがあった。例えば、装置の実機が組まれている場合は、シミュレータはホストの通信動作をシミュレートし、ホストの実機が組まれている場合は、シミュレータは装置の通信動作をシミュレートする。
【０００６】
図４は上述したシミュレータの従来例の構成図である。
図の例では、装置が実機でホストがシミュレータである場合を示している。
実機の半導体製造装置２１とホストのシミュレータ４０はネットワーク１０に接続されている。
【０００７】
記憶手段４０１には、シミュレーションを実行するためのシミュレータソフトウェア４０２が格納されている。表示手段４０４は、例えばデータ設定画面を表示する。設定手段４０５は、データ設定画面から入力された設定データをシミュレータソフトウェア４０２に設定する。
【０００８】
実行手段４０６はシミュレータソフトウェア４０２を用いてホストの通信動作をシミュレートする。通信ドライバ４０７は、実行手段４０６がシミュレーションを実行すると半導体製造装置２１と通信を行う。通信ドライバ４０７はネットワークの種類に応じた通信プロトコルに従って通信を行う。
テスト手段４０８は、ネットワーク１０を経由して半導体製造装置２１との間で通信テストを行う。通信テストの結果はテキストデータ形式でログファイル４０９に格納する。テストでは、シミュレータ４０から半導体製造装置２１にデータを送り、これに対して半導体製造装置２１が期待値どおりの応答データを返してきたかどうかに基づいて可否判定を行う。
【０００９】
しかし、従来のシミュレータでは次の問題点があった。
▲１▼シミュレータソフトウェアに設定する各種データは、全て画面から入力する必要があることから、多大な工数が費やさる。また、手入力をしているため、入力ミスが発生しやすい。
▲２▼１台のシミュレータに対して１台の装置もしくはホストしか接続できない。このため、通信テストの効率が悪い。
▲３▼開発環境で生成されたシミュレータは、実際に接続した段階では一切のデータ変更が許されない。このため、データ変更をするときは、シミュレータの接続を切り離し、再度開発環境にて修正データを入力する必要がある。
▲４▼通信テストで得た半導体製造装置２１の応答データは、ログファイルからダンプアウトされるが、通信テストの可否判定は人が介在しないと実施できない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、通信シミュレーション環境の構築に要する工数を大幅に削減でき、通信テストの効率を向上させることができ、通信テストの実行環境でもデータの変更が可能で、しかもテスト結果の解析を容易に行うことができる通信シミュレータを実現することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になった通信シミュレータである。
【００１２】
（１）半導体製造装置とこれを制御するホストシステムとの間の通信をシミュレートする通信シミュレータにおいて、
実物の半導体製造装置が用意されているときはホストシステム側に設けられ、
前記実物の半導体製造装置にある通信仕様書の電子ファイルから電子データを転写する転写手段と、
転写した電子データをシミュレータソフトウェアに与え、通信シミュレーション環境を構築する環境構築手段と、
この環境構築手段で構築した環境の下で、前記実物の半導体製造装置と通信シミュレーションを行う通信手段と、
を有することを特徴とする通信シミュレータ。
【００１３】
（２）前記転写手段で転写する電子データは、通信手順のデータを含むことを特徴とする（１）記載の通信シミュレータ。
【００１４】
（３）通信シミュレーションで用いるデータを設定する設定手段と、
この設定手段で設定したデータをファイル化して保存するデータファイルと、
通信に用いるデータを前記データファイルから読み出してメモリ上に展開する読出手段と、
前記メモリ上に展開されたデータの設定を変更する設定変更手段と、
を有することを特徴とする（１）に記載の通信シミュレータ。
【００１５】
（４）前記実物の半導体製造装置にデータを送ったときに実物の半導体製造装置が期待値どおりのデータを返してきたかどうかに基づいて可否判定を行う判定手段と、
この判定手段の判定結果を表形式に編集する編集手段と、
編集した判定結果を画面表示する表示手段と、
を有することを特徴とする（１）に記載の通信シミュレータ。
【００１６】
（５）前記通信手段は、マルチタスク処理によりネットワーク上に接続された複数の実物の半導体製造装置と通信シミュレーションを行うことを特徴とする（１）に記載の通信シミュレータ。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例を示す構成図である。図１で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。
図の例では、装置が実機でホストがシミュレータである場合を示している。
図１で、ネットワーク１０には、実物の半導体製造装置２１〜２３と、ホストの通信動作を模擬するシミュレータ５０が接続されている。
【００１８】
転写手段５０１は、半導体製造装置２１〜２３にある通信仕様書の電子ファイルから電子データを転写する。転写する電子データには、例えば、通信手順、通信内容のデータ等が含まれている。半導体製造装置には、通信仕様書を電子データの形にして電子ファイルに格納したものがある。通信仕様書は半導体製造装置のメーカ、機種等によって異なる。
【００１９】
環境構築手段５０２は、転写した電子データをシミュレータソフトウェア５０３に与えることによって、通信シミュレーション環境を構築する。シミュレータソフトウェア５０３は、シミュレータ５０が実物ホストの通信動作を模擬するためのプログラムが記述されている。シミュレータソフトウェア５０３は記憶手段５０４に格納されている。
【００２０】
通信手段５０５は、環境構築手段５０２で構築した環境の下で、半導体製造装置２１〜２３と通信シミュレーションを行う。通信手段５０５は、マルチタスクプログラム５０６を実行することによって、複数の半導体製造装置２１〜２３と通信シミュレーションを行う。これによって、ネットワーク１０上の複数の装置に対して同時に通信テストを行うことができる。
設定手段５０７は、通信シミュレーションで用いるデータを設定する。データファイル５０８は、設定手段５０７で設定したデータをファイル化して保存する。読出手段５０９は、通信に用いるデータをデータファイル５０８から読み出してメモリ５１０上に展開する。設定変更手段５１１は、メモリ上で展開されたデータの設定を変更する。
【００２１】
判定手段５１２は、半導体製造装置２１〜２３にデータを送ったときに半導体製造装置２１〜２３が期待値どおりのデータを返してきたかどうかに基づいて可否判定を行う。
編集手段５１３は、判定手段５１２の判定結果を表形式に編集する。表示手段５１４は編集した判定結果を画面表示する。
【００２２】
このような通信シミュレータで、半導体製造装置２１〜２３にある通信仕様書の電子ファイルから通信手順、通信内容等の電子データを転写（カットアンドペースト）する。ここでいう通信内容は、例えばメッセージフォーマットである。環境構築手段５０２は、転写した電子データをシミュレータソフトウェア５０３に反映する。これによって、データの手入力を行わずに、半導体製造装置の機種に応じた通信シミュレーション環境が構築される。
【００２３】
通信手段５０５は、マルチタスクプログラム５０６を実行することによって、複数の半導体製造装置２１〜２３と通信シミュレーションを行う。これによって、ネットワーク１０上の複数の装置に対して同時に通信テストを行うことができる。
【００２４】
通信テストを行うために設定されたデータはファイル化され、データファイル５０８に格納されている。通信を行うときは、読出手段５０９はデータファイル５０８からデータを読み出し、メモリ５１０上で展開する。展開されたメモリ上でデータに設定変更を行うことにより、通信テストの実行環境でもデータの数値、属性等を変更できる。
【００２５】
通信テストでは、既知のデータを半導体製造装置２１〜２３に送る。これに対して半導体製造装置２１〜２３が期待値どおりの応答データを返してきたときは、判定手段５１０は「可」と判定する。期待値と異なるときは「否」と判定する。
編集手段５１１は、このようにして得た判定結果を表計算用ソフトウェアで編集する。表示手段５１２は、表形式に編集した判定結果を画面表示する。
【００２６】
図２は表形式に編集した判定結果の表示例を示した図である。
図２に示すように、半導体製造装置に送った送信データ、半導体製造装置が返した応答データ、期待値、判定結果を一覧表示している。これによって、テスト結果の解析が容易になる。
【００２７】
なお、ホストを実機で構成し、装置をシミュレータで構成してもよい。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によれば次の効果が得られる。
【００２９】
請求項１及び請求項２記載の発明では、シミュレータは実物の装置から通信仕様書の電子データを転写し、転写したデータをもとに通信シミュレーション環境を構築している。これによって、通信シミュレーション環境の構築に要する工数を大幅に削減できる。また、データの手入力が不要になることから、人為的ミスを防止できる。
【００３０】
請求項３記載の発明では、通信テストを行うために設定されたデータはファイル化してデータファイルに格納しておき、通信を行うときは、データファイルからデータを読み出してメモリ上に展開し、展開したメモリ上でデータに設定変更を行っている。これによって、通信テストの実行環境でもデータの数値、属性等を変更できる。
【００３１】
請求項４記載の発明では、通信テストの判定結果を表形式に編集して画面表示しているため、テスト結果の解析が容易になる。
【００３２】
請求項５記載の発明では、マルチタスク処理により複数の装置と通信シミュレーションを行っている。これによって、複数の装置と同時に通信テストを行うことができ、テスト効率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明によるテスト結果の一例を示した図である。
【図３】半導体生産ラインの概略例を示した図である。
【図４】通信シミュレータの従来例の構成図である。
【符号の説明】
１０  ネットワーク
２１〜２３  半導体製造装置
５０  シミュレータ
５０１  転写手段
５０２  環境構築手段
５０３  シミュレータソフトウェア
５０５  通信手段
５０６  マルチタスクプログラム
５０７  設定手段
５０８  データファイル
５０９  読出手段
５１０  メモリ
５１１  設定変更手段
５１２  判定手段
５１３  編集手段
【図１】
0003578038.tif 000002
【図２】
0003578038.tif 000003
【図３】
0003578038.tif 000004
【図４】
0003578038.tif 000005