(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱手段と、前記加熱手段により加熱された熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口及び排出口を有し、扉を設けた加熱室と、前記加熱室の内部に取り付けられ、前記熱風により加熱される被処理物を保持するための保持手段と、前記導入口及び前記排出口の少なくとも一方の開度調整を行うことにより前記加熱室内を流れる熱風の風量を調整して加熱室内の温度分布を均一にする複数の調整手段とを備えた熱処理装置であって、
前記複数の調整手段は、前記加熱室に対して挿脱可能な取付手段に装着されたものである、
ことを特徴とする熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルに用いられるガラス基板などの板状体等を加熱するための熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどの平面型ディスプレイに使用されるガラス基板は、周知のように、アニール処理等の加熱処理を清浄雰囲気下で行う必要がある。このような加熱処理では、例えば図４に示す熱処理装置が使用されている。図４において、この従来の熱処理装置は、その外容器５１内に、ヒータ５２と、ヒータ５２により加熱された熱風を循環させるためのシロッコファン５３とを設けたものであり、図の矢印で示す方向に熱風を循環させている。また、クリーンフィルター５４と加熱室５５とが上記熱風の循環経路上に順次配置されており、上記クリーンフィルター５４で清浄化された熱風が加熱室５５の内部を逐次流れるように構成している。
【０００３】
具体的にいえば、加熱室５５の一側面には、図５（ａ）に示すように、クリーンフィルター５４からの熱風を導入するための導入口５５ａが設けられている。また、この導入口５５ａに対向する側面には、加熱室５５の内部から熱風を排出するための排出口（図示せず）が設けられており、加熱室５５内を流れる熱風の風量を調整する複数の調整手段として、例えば４つの調整板５６が上記排出口を塞ぐように加熱室５５に固定されている。これらの各調整板５６により、加熱室５５内の各領域の風量バランスが整えられ、加熱室５５内の温度分布にムラが生じるの防止することができる。
図５（ｂ）において、各調整板５６は、開口５６ａ１が設けられ、例えば四隅の箇所で加熱室５５に固定された固定板５６ａと、この固定板５６ａの背面側で調整ボルト５６ｃによって上下方向に移動可能に固定板５６ａに取り付けられた可動板５６ｂとを含んで構成されている。この調整板５６は、調整ボルト５６ｃを緩めた状態で可動板５６ｂを上下方向に移動させることにより、開口５６ａ１の開度調整、つまり上記の排出口の開度調整を行って、加熱室５５内を流れる熱風の風量を調整する。
【０００４】
また、上記加熱室５５の内部には、複数のガラス基板６０を保持するためのラック部５７が取り付けられている。このラック部５７は、図示を省略したボルト等の取付部材によって加熱室５５の床板５５ｃ（図５（ａ））に取り付けられた支持材５７ａと、支持材５７ａに固定された保持材５７ｂとを備えたものであり、図４に示すように、互いに対向する一対の保持材５７ｂ上にガラス基板６０を載置して保持している。
以上の構成により、この従来の熱処理装置では、クリーンフィルター５４で清浄化した熱風を用いてガラス基板６０に所定の加熱処理を行うことで当該ガラス基板６０が汚染されるのを防止するとともに、調整板５６の開度調整を行って加熱室５５の内部を流れる熱風の風量を調整することでガラス基板６０を所望の温度プロファイルで処理していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の熱処理装置では、調整板（調整手段）５６の開度調整を行うために、ラック部５７を加熱室５５から取り外す必要があった。これは、上記の調整ボルト５６ｃを緩めて可動板５６ｂを上下に移動し所望位置で固定する作業を行う時に、その作業がラック部５７により阻害されることがあるためである。このため、この従来の熱処理装置では、調整板５６の開度調整を行うために時間及び手間を要して、その開度調整を容易に行えないという問題があった。
【０００６】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、調整手段の開度調整を容易に行うことができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、加熱手段と、前記加熱手段により加熱された熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口及び排出口を有し、扉を設けた加熱室と、前記加熱室の内部に取り付けられ、前記熱風により加熱される被処理物を保持するための保持手段と、前記導入口及び前記排出口の少なくとも一方の開度調整を行うことにより前記加熱室内を流れる熱風の風量を調整して加熱室内の温度分布を均一にする複数の調整手段とを備えた熱処理装置であって、
前記複数の調整手段は、前記加熱室に対して挿脱可能な取付手段に装着されたものであることを特徴とするものである（請求項１）。
【０００８】
上記のように構成された熱処理装置では、加熱室に対して挿脱可能な取付手段に複数の調整手段を装着したことにより、保持手段を取り外すことなく加熱室から調整手段を取り出すことができ、調整手段の開度調整を容易に行うことができる。
【０００９】
また、上記のような熱処理装置（請求項１）において、前記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉であって、当該扉を通して前記取付手段を前記加熱室に挿脱可能とすることが好ましい（請求項２）。この場合、上記搬入出用の扉側に被処理物を搬送する搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整手段が装着された取付手段を加熱室に対して容易に挿脱することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の熱処理装置の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の一実施形態による熱処理装置の要部構成を示す説明図であり、図２は図１に示した加熱室の要部構成を示す説明図である。図において、本実施形態の熱処理装置は、密閉可能な外容器１内にヒータ２及びシロッコファン３を配置して、シロッコファン３をその駆動モータ３ａで回転駆動させることにより、ヒータ２で加熱された熱風を図１の矢印で示す方向に循環させている。また、外容器１の内部には、上記シロッコファン３からの熱風を所定の清浄度以下にするクリーンフィルター４と、熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口５ａ１（図２）及び排出口５ｂ１（図２）を有する加熱室５とが設けられており、クリーンフィルター４で清浄化された熱風を導入口５ａ１から加熱室５内の導入することにより、当該加熱室５内のガラス基板３０に対して、清浄雰囲気下でアニール処理等の加熱処理が行えるよう構成されている。また、上記外容器１には、ガラス基板３０を加熱室５に出し入れするための前方扉１ａと、加熱室５の内部点検時等で使用される点検扉１ｂとが設けられている。
【００１１】
上記加熱室５は、直方体状の炉体を構成するものであり、上述の導入口５ａ１及び排出口５ｂ１が上記クリーンフィルター４側に配置される側面５ａ及びその側面５ａに対向する側面５ｂにそれぞれ設けられている。また、この加熱室５の前面側は上記の前方扉１ａにより開閉可能に構成され、後面側には開閉可能な内扉５ｄが設けられている。
また、加熱室５の内部には、ガラス基板（被処理物）３０を保持するための保持手段としてのラック部６が取り付けられている。このラック部６には、図示を省略したボルト等の取付部材によって加熱室５の床板５ｃに立設された４つの支持材６ａと、両端部が２つの支持材６ａに固定された保持材６ｂとを備えたものであり、図２に示すように、互いに対向する一対の保持材６ｂ上でガラス基板３０を載置して保持している。また、ラック部６では、上記一対の保持材６ｂが複数段設けられており、複数のガラス基板３０をバッチ処理可能に構成されている。尚、上記の導入口５ａ１から導入される熱風は、複数の各被処理物３０に対して均一に吹き付けられるように、例えばクリーンフィルター４内に設けられた風向板（図示せず）により整流されている。
【００１２】
また、上記の加熱室５には、例えば排出口５ｂ１側に取付手段としての取付板７が取り付けられている。この取付板７は、上述の内扉５ｄ及び点検扉１ｂをそれぞれ通して加熱室５及び外容器１に対して挿脱可能に構成されたものであり、レール部材８を介して加熱室５内に取り付けられている。具体的には、図２に示すように、レール部材８が、例えば加熱室５の内側で側面５ｂの上下端部に取り付けられており、これらのレール部材８の間に取付板７がスライド可能に取り付けられている。取付板７は、上述の内扉５ｄ及び点検扉１ｂを開けた状態として、レール部材８に沿ってスライド移動させられて出し入れされる。
また、取付板７には、複数の調整手段としての調整板９が装着されており、図２に示すように、例えば１６個の調整板９が（４×４）のマトリックス状に取り付けられている。
【００１３】
図３（ａ）乃至（ｃ）に示すように、各調整板９は、固定板９ａと、この固定板９ａの背面側に配置され、調整ボルト９ｃを介在して固定板９ａに連結された可動板９ｂとを含んで構成されている。上記固定板９ａには、例えば矩形状の開口９ａ１と上記調整ボルト９ｃが挿通される長穴９ａ２とが設けられている。この固定板９ａは、その開口９ａ１が排気口５ｂ１（図２）を経て加熱室５の内部と外部とを連通するように取付板７（図２）に取り付けられる。
また、可動板９ｂには、例えば矩形状の開口９ｂ１が設けられており、固定板９ａに対して上下方向に移動可能に構成されている。
各調整板９は、調整ボルト９ｃを緩めた状態で可動板９ｂを上下方向に移動させることにより、図３（ａ）に示した全開状態から図３（ｃ）に示した全閉状態までの開口９ａ１の開度調整を行うことができる。これにより、排出口５ｂ１の開度調整が行われて、加熱室５内を流れる熱風の風量を調整することができる。その結果、加熱室５内の複数の領域毎に風量バランスを整えることができ、加熱室５内の温度分布にムラが生じるのを防止することができる。
【００１４】
上記のように構成された本実施形態の熱処理装置では、複数の調整板９がそれぞれ装着されるとともに、加熱室５に対して内扉５ｄ及び点検扉１ｂを通して挿脱可能な取付板７を設けたことにより、ラック部６を取り外すことなく加熱室５から調整板９を取り出すことができ、この取り出した状態で調整板９の開度調整を容易に行うことができる。その結果、本実施形態の熱処理装置では、加熱室５内を流れる熱風の風量調整を簡単に行うことができ、加熱室５内の温度分布を均一なものとして所望の温度プロファイルを容易に実現することができる。また、汚れ等が取付板７や調整板９に付着した時などにおけるクリーンアップ作業も容易に行うことができる。
【００１５】
また、当該装置のメンテナンスサイド側に設けられた内扉５ｄ及び点検扉１ｂを通して取付板７を挿脱可能に構成されているので、上記前方扉１ａ側にガラス基板３０を搬送する搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整板９が装着された取付板７を加熱室５に対して容易に挿脱することができる。
【００１６】
尚、上記の説明では、排出口５ｂ１側に取付板７を設けて、その取付板７に装着された調整板（調整手段）９により、排出口５ｂ１の開度調整を行う構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、調整手段によって導入口５ａ１及び排出口５ｂ１の少なくとも一方の開度調整を行い、加熱室５内の熱風の風量を調整できるものであれば何等限定されない。
また、上記の説明では、メンテナンスサイド側の内扉５ｄ及び点検扉１ｂを通して取付板７を挿脱する構成について説明したが、本装置の設置環境によってはこの限りでない。即ち、当該装置の搬送サイド側に設けられた前方扉１ａから取付板７を挿脱してもよく、あるいは取付板７専用の扉を加熱室５及び外容器１に設けて挿脱する構成でもよい。
【００１７】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項１の熱処理装置によれば、複数の調整手段は、加熱室に対して挿脱可能な取付手段に装着されているので、保持手段を取り外すことなく加熱室から調整手段を取り出して調整手段の開度調整を容易に行うことができる。したがって、加熱室内を流れる熱風の風量調整を簡単に行うことができ、当該加熱室内の温度分布を均一なものとして所望の温度プロファイルを容易に実現することができる。
【００１８】
また、請求項２の熱処理装置によれば、上記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉であって、当該扉を通して前記取付手段を前記加熱室に挿脱可能に構成されているので、上記搬入出用の扉側に被処理物を搬送する搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整手段が装着された取付手段を加熱室に対して容易に挿脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による熱処理装置の要部構成を示す説明図である。
【図２】図１に示した加熱室の要部構成を示す説明図である。
【図３】図２に示した調整板の動作例を示す説明図であって、（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ全開時、中間開度時、及び全閉時での同調整板を示す説明図である。
【図４】従来の熱処理装置の要部構成を示す説明図である。
【図５】（ａ）は図４に示した加熱室の構成を示す説明図であり、（ｂ）は図４に示した調整板を示す説明図である。
【符号の説明】
２      ヒータ（加熱手段）
５      加熱室
５ａ１  導入口
５ｂ１  排出口
６      ラック部（保持手段）
７      取付板（取付手段）
９      調整板（調整手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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