(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空々式ポジショナの入力圧力を制御するフラッパーおよびこのフラッパーを駆動する電磁駆動機構を有するアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構において、上記電磁駆動機構が、コイルを密封状に収納するハウジングと、このハウジング内で電磁作用により進退する可動部と、可動部の中心から偏心した位置に配置され、上記ハウジングに可動部の進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能に挿通される回転軸と、この回転軸を可動部に連結する第１のアームと、ハウジング外でこの回転軸にフラッパーを連動させる第２のアームとを備えるものであることを特徴とするアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構。
【請求項２】
上記回転軸がベアリングを介してハウジングに支持され、このベアリングの両端を連通する空間を覆うスペーサまたはスリーブが設けられる請求項１に記載のアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構に関し、特に防爆性が高められるようにしたアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば図３に示すように、従来のアクチュエータ位置制御用ポジショナとしては、内部に圧縮空気源にアクチュエータを連通させる主圧縮空気供給路１０１  が形成され、この主圧縮空気供給路１０１  を開閉するバルブ１０２  と、このバルブ１０２  を第１の支軸１０３  の周りに回転自在に支持された第１のレバー１０４  を介して一方向（図３上、左方）に駆動する空気駆動機構１０５  と、このバルブ１０２  を第２の支軸１０６  の周りに回転自在に支持された第２のレバー１０７  を介して一方向に駆動するスプリング１０８  とを内蔵したハウジング１０９  を有する、いわゆる、空々式ポジショナ１００  がある。
【０００３】
上記空気駆動機構１０５  は、ダイヤフラム室１１０  をダイヤフラム１１１  で区画して形成した受圧室１１２  に制御された圧力を有する圧縮空気を供給してダイヤフラム１１１  を押側方向（図３上、左方向）に駆動し、ダイヤフラム１１１  に連結されたロッド１１３  で第１のレバー１０４  の上端部および第１のレバー１０４  の上端部に連結されたバルブ１０２  を押側方向に駆動するようにしている。
【０００４】
図３には、空気駆動機構１０５  の受圧室１１２  に所定の圧力が供給された状態でアクチュエータが受圧室１１２  に供給された圧縮空気の圧力（以下、入力圧力という）に対応する所定の位置に停止した状態の空々式ポジショナ１００  が示されている。
この空々式ポジショナ１００において、入力圧力を増大させた時には、受圧室１１２の内圧で空気駆動機構１０５  のダイヤフラム１１１  （ピストンでもよい）が第１のレバー１０４  の下端に一端が連結されたスプリング１０８  に抗して押側方向に移動し、バルブ１０２  が押側方向に移動する。これにより、主圧縮空気供給路１０１  の上流側部分１０１  ａが第２の下流側部分１０１  ｃに連通され、圧縮空気がアクチュエータの第２受圧室に供給される。
【０００５】
第２受圧室に圧縮空気が供給されたアクチュエータの動作に連動してステム１１４  が例えば反時計回り方向に回転し、このステム１１４  に固定したカム１１５  が上記スプリング１０８  の他端を支持する第２のレバー１０７  を第２の支軸１０６  を中心にしてスプリング１０８  の付勢力を増大させる方向（図上、時計回り方向）に回転させる。これにより、スプリング１０８  が第１のレバー１０４  を第１の支軸１０３  を中心にして受圧室１１２  の内圧に抗して図上、時計回り方向に回転してバルブ１０２  を引側方向（図上、右方向）に移動させ、バルブ１０２  が中立位置に戻されてアクチュエータの第２受圧室への圧縮空気の供給が停止され、アクチュエータが増大された入力圧力に対応する位置に停止することになる。
【０００６】
この状態又は図３に示した状態から入力圧力を減少させた時には、スプリング１０８  の付勢力によってダイヤフラム１１１  が引側方向に押され、バルブ１０２  が引側方向に移動する。これにより、主圧縮空気供給路１０１  の上流側部分１０１  ａが第１の下流側部分１０１  ｂに連通され、圧縮空気がアクチュエータの第１受圧室に供給され、アクチュエータは入力圧力を増大させた時と逆の方向に作動する。
【０００７】
このアクチュエータの逆動作に連動してステム１１４  およびカム１１５  が逆回転すると、上記スプリング１０８  の他端を支持する第２のレバー１０７  が支軸１０６  を中心にしてスプリング１０８  の付勢力を減少させる方向（図上、反時計回り方向）に回転し、ダイヤフラム１１１  が受ける受圧室１１２  の内圧によって第１のレバー１０４  がバルブ１０２  を押側方向に移動させる。これにより、バルブ１０２  が中立位置に戻されてアクチュエータの第１受圧室への圧縮空気の供給が停止され、アクチュエータが減少された入力圧力に対応する位置に位置することになる。
【０００８】
この空々式ポジショナ１００  の受圧室１１２  に供給する圧縮空気の圧力を制御する方法として、いわゆる、電空変換機構２００  を用いる方法が知られている。この電空変換機構２００  は、例えば図４に示すように、空々式ポジショナ１００の受圧室１１２および圧縮空気源に連通される副圧縮空気供給路２０１  と、受圧室１１２  を大気中に連通させるリリーフ空気路２０２  と、このリリーフ空気路２０２  の流量を制御して受圧室１１２  の内圧を制御するフラッパー２０３  と、このフラッパー２０３  を駆動する電磁駆動機構２０４  とを備えている。
【０００９】
上記フラッパー２０３  はバルブハウジング２０５  に挿通して固定され、中心を貫通する中心通路２０６  と、バルブハウジング２０５  に形成され、上記副圧縮空気供給路２０１  をこの中心通路２０６  に連通させる入口路２０７  と、上記中心通路２０６  の一端に形成した固定絞りとしてのノズル孔２０８  とを備えている。
上記リリーフ空気路２０２  は、上記入口路２０７  、中心通路２０６およびノズル孔２０８と、電磁駆動機構２０４  のカバー２０９  内に形成される大気連通室２１０  およびこの大気連通室２１０  を大気中に連通させる連通孔２１１  からなる。
【００１０】
なお、上記中心通路２０６  は排気通路２１２  を介して大気中に連通させることができるが、この排気通路２１２  は通常閉塞される。また、中心通路２０６のノズル孔２０８と反対側の端部は例えばそこに内嵌されたボール２１３  によって閉塞されている。上記電磁駆動機構２０４  は、上記カバー２０９  と、これの内部にフラッパー２０３  と同軸心に配置された永久磁石２１４  、この永久磁石２１４の磁界を制御するヨーク２１５およびフラッパーコイル２１６  とを備え、このフラッパーコイル２１６  のボビン２１７  に上記ノズル孔２０８  に対向させてフラッパー２０３  が固定される。また、この電磁駆動装置２０４  のカバー２０９  内には、大気連通室２１０  からフラッパーコイル２１６  を遮断すると共に、フラッパー２０３  およびフラッパーコイル２１６  を所定の位置に復帰させる板バネ２１８  とを有し、フラッパーコイル２１６  に通電すると、その通電量に対応してフラッパー２０３  がノズル孔２０８  に接近し、ノズル孔２０８  から流出する空気流量が制御され、これにより、ノズル孔２０８  よりも上流側の受圧室１１２  の内圧が制御される。
【００１１】
この電磁駆動機構２０４  は電磁作用によりフラッパーコイル２１６  を駆動する構成になっているが、これに代えて、固定されたコイルによって可動鉄片を駆動するように構成した電磁駆動機構を用いることもある。
図５に示す他の従来の空々式ポジショナ２００  は、ハウジング２０１  内に形成された第１および第２の主圧縮空気供給路４０２  ・４０３  と、各主圧縮空気供給路４０２  ・４０３  を開閉する第１および第２の給気弁４０４  ａ・４０４  ｂと、各主圧縮空気供給路４０２  ・４０３  の下流側部分４０２  ｂ・４０３  ｂを大気中に連通させる排気路４０５  が形成された中空筒状の排気弁４０６  と、例えば第１の主圧縮空気供給路４０２  の上流側に連通させた受圧室４０７  の内圧と大気圧との差圧によって上記排気弁４０６  をその軸心方向に駆動する空気駆動機構４０８  とを備え、上記各給気弁４０４  ａ・４０４  ｂに連動して排気弁４０６  の各端部に接離する排気補助弁４０９  ａ・４０９  ｂとを備え、上記受圧室４０７  の内圧を電空変換機構５００  によって調整できるようにしている。
【００１２】
図５には上記受圧室４０７  の内圧が電空変換機構５００  によって調整された状態で、バタフライバルブ６０１  の開閉度を制御するアクチュエータ６０２  がその内圧に対応する位置で停止している状態を示している。
今、この状態から受圧室４０７  の内圧を増大させた場合には、排気弁４０６  が図上右方に移動し、第１の排気補助弁４０９  ａから排気弁４０６  が離れて第１の主圧縮空気供給路４０２  の下流側部分４０２  ｂが排気路４０５に連通されて、アクチュエータ６０２の圧抜きが行われ、アクチュエータ６０２  が例えば閉弁方向に移動する。また、この状態から受圧室４０７  の内圧を減少させた場合には、排気弁４０６  が図上左方に移動し、第１の排気補助弁４０９  ａを介して第１の給気弁４０４  ａを開弁し、第１の主圧縮空気供給路４０２  が開通されて、アクチュエータ６０２  に圧縮空気が供給され、アクチュエータ６０２  が例えば開弁方向に移動する。
【００１３】
上記電空変換機構５００  は、上記受圧室４０７  に固定絞り５０１  を介して連通させたノズル５０２  と、このノズル５０２  のノズル孔５０３  を開閉するフラッパー５０４  と、フラッパー５０４  を駆動する電磁駆動機構５０５  とを備え、この電磁駆動機構５０５  は、中間部を板バネ５０６  によって回転可能に支持され、一端にフラッパー５０４  を支持するフラッパーレバー５０７  と、ハウジング５０８  内に収納されたトルクモータ５０９  と、フィードバック機構５１０  とを備える。
【００１４】
上記トルクモータ５０９  は、ハウジング５０８  の内部に収納されたコイル５１１  およびヨーク５１２  と、ハウジング５０８  に中間部が板バネ５１３  を介して回転可能に支持され、コイル５１１  によって駆動されるアーマチュア５１４とを備え、ハウジング５０８から突出させた上記アーマチュア５１４  の先端部が上記フラッパーレバー５０７  のフラッパー５０４  と反対側の端部に受け止められる。
【００１５】
上記フィードバック機構５１０  はアクチュエータ６０２  に連動させたフィードバックレバー５１５  、伝達アーム５１６  、スパン調整レバー５１７  およびスパン調整レバー５１７  とフラッパーレバー５０７  とにわたって架着され、フラッパーレバー５０７  をアーマチュア５１４  に弾接させるフィードバックスプリング５１８  とを備えている。
第１の給気弁４０４  ａが開かれている場合には、アクチュエータ６０２  が開弁方向へ移動し、その開弁方向への移動が所定量以上になると、フィードバックスプリング５１８  の付勢力が増大されてフラッパー５０４  がノズル５０２に接近し、受圧室４０７の内圧が増大されて排気弁４０６  が図上右方に移動するようにしている。これにより、開弁されていた第１の給気弁４０４  ａは閉弁され、開弁方向に動作していたアクチュエータ６０２  が停止される。
【００１６】
また、第１の主圧縮空気供給路４０２  の下流側部分４０２  ｂが大気中に連通している時には、アクチュエータ６０２  が閉弁方向へ移動し、その閉弁方向への移動が所定量以上になると、フィードバックスプリング５１８  の付勢力が減少されてフラッパー５０４  がノズル５０２  から離隔し、受圧室４０７  の内圧が減少して排気弁４０６  が図上左方に移動するようにしている。これにより、第１の排気補助弁４０９  ａに排気弁４０６  が受け止められて第１の主圧縮空気供給路４０２  の下流側部分４０２  ｂが大気から遮断され、閉弁方向に移動していたアクチュエータ６０２  が停止される。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図５に示した従来の電空変換機構２００  の場合、板バネ２１８  の両側でフラッパーコイル２１６  が配置された空間が大気連通室２１０  に大きく開放されており、この大気連通室２１０  を大気中に連通させる連通孔２１１  はノズル孔２０８  から流出する圧縮空気を支障なく大気中に放出させるために大きく開かれている。このため、防爆設計ができないという問題がある。
【００１８】
また、図９に示した従来の他の電空変換機構５００  の場合、アーマチュア５１４  を回転させる必要があるので、アーマチュア５１４  をハウジング５０８  外に突出させるためにハウジング５０８  に形成した挿通孔をアーマチュア５１４  の周囲に所定量以上の遊隙が確保される大径のものにしなければならず、防爆性を高める上で不利であるという問題がある。
【００１９】
本発明は、上記の事情を鑑みて、防爆性が高められるようにしたアクチュエータ位置制御用ポジショナを提供することを目的とするものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、空々式ポジショナの入力圧力を制御するフラッパーおよびこのフラッパーを駆動する電磁駆動機構を有するアクチュエータ位置制御用ポジショナの電空変換機構において、上記の目的を達成するため、次のような手段を講じている。
【００２１】
すなわち、上記電磁駆動機構が、コイルを密封状に収納するハウジングと、このハウジング内で電磁作用により進退する可動部と、可動部の中心から偏心した位置に配置され、上記ハウジングに可動部の進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能に挿通される回転軸と、この回転軸を可動部に連結する第１のアームと、ハウジング外でこの回転軸にフラッパーを連動させる第２のアームとを備えるものであることを特徴とするものである。
【００２２】
本発明によれば、フラッパーが配置される空間とハウジング内部とは回転軸を挿通するためハウジングに形成された孔と回転軸との間の隙間で連通される。しかしながら、この隙間は回転軸が回転でき、しかも、回転軸のぐらつきを無視できる程度に小さくできるように形成しなければならないので、この隙間は防爆性という観点からは無視できる程度に小さくなる。
【００２３】
本発明においては、回転軸の回転の円滑性および安定性を高めるために、ベアリングを用いて回転軸をハウジングに支持させることが可能である。この場合には、シール型のベアリングを用いたり、ベアリングの片面または両面にベアリングの隙間を覆うスリーブまたはスペーサを配置してハウジングの内外間に形成される隙間を迷路化して防爆性という観点からは無視できる程度に狭くしたりすることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナを図面に基づいて具体的に説明すれば、以下の通りである。
図１の構成図に示すように、本発明の一実施例に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナは、空々式ポジショナＰと電空変換機構Ｃとを組み合わせたもの（電空式ポジショナ）であり、空々式ポジショナＰのハウジング１内には圧縮空気源にアクチュエータを連通させる主圧縮空気供給路２と、この主圧縮空気供給路２を開閉するスプール弁からなるバルブ３と、このバルブ３を駆動する空気駆動機構４およびスプリング５が内蔵されている。
【００２５】
上記空気駆動機構４はダイヤフラム室６と、このダイヤフラム室６を大気圧室７と受圧室８とに区画するダイヤフラム９と、このダイヤフラム９に固定され、大気圧室７を貫通してバルブ３の方向に突出させたロッド１０とを備える。
上記ハウジング１内には、第１の支軸１１を介して第１のレバー１２が回転自在に支持され、この第１のレバー１２の第１の支軸１１から上方に延びる第１のアーム１３の上端部に上記ロッド１０の先端が受け止められる。また、この第１のレバー１２の第１の支軸１１から下方に延びる第２のアーム１４の上端部に上記スプリング５の一端が連結される。
【００２６】
上記ハウジング１内には、第２の支軸１５を介して第２のレバー１６が回転自在に支持され、この第２のレバー１６の第２の支軸１５から下方に延びる第１のアーム１７の下端に上記スプリング５の他端が連結され、この第２のレバー１６の第２の支軸１３から左方に延びる第２のアーム１８の下端部に回転自在に支持させたベアリングからなるカムフォロア１９が設けられる。そして、このカムフォロア１９をアクチュエータに連動させたステム２０に固定したカム２１に受け止めさせている。
【００２７】
上記バルブ３は第１のレバー１２の第１のアーム１３の上端部に連結され、空気駆動機構４の受圧室８の内圧が増大した時、または、上記スプリング５の付勢力が減少した時に押側方向（図１上、左方向）に移動し、空気駆動機構４の受圧室８の内圧が減少した時、または、上記スプリング５の付勢力が増大した時に引側方向（図１上、右方向）に移動する。
【００２８】
図１には、受圧室８に与えられた圧力に対応する位置にアクチュエータが位置している状態が示されており、今、この状態から空気駆動機構４の受圧室８の内圧を増大させたとすると、ダイヤフラム９がスプリング５に抗して図上、左方に移動し、バルブ３が押側方向（図１上、左方向）に移動し、バルブ３が主圧縮空気供給路２の上流側部分２ａを第２の下流側部分２ｃに連通させ、アクチュエータの第２の受圧室に圧縮空気が供給される。その結果、アクチュエータが作動し、この作動に連動するステム１６およびカム１７が例えば図１上、反時計回り方向に回転し、第２のレバー１６がカム２１に駆動されて図上、時計回りに回転し、スプリング５の付勢力を増大させる。このスプリング５の付勢力が増大すると、第１のレバー１２が図１上、時計回り方向に回転してバルブ３を中立位置に移動させ、主圧縮空気供給路２の上流側部分２ａを第１および第２の下流側部分２ｂ・２ｃから遮断する。これにより、アクチュエータの第２受圧室への圧縮空気の供給が停止し、アクチュエータの動作は増大された受圧室８の内圧に対応する位置に停止する。
【００２９】
この状態または図１に示した状態から空気駆動機構４の受圧室８の内圧を減少させたとすると、スプリング５が受圧室８の圧力に抗して第１のレバー１２を時計回り方向に回転させ、バルブ３を引側方向（図１上、右方向）に移動させて、空気供給路２の上流側部分２ａを第１の下流側部分２ｂに連通させ、アクチュエータの第１の受圧室に圧縮空気が供給される。その結果、アクチュエータが逆作動し、この逆作動に連動するステム１６およびカム１７が例えば図１上、時計回り方向に回転し、第２のレバー１６をカム２１で制限しながらスプリング５によって図上、反時計回りに回転させ、スプリング５の付勢力を減少させる。このスプリング５の付勢力が減少すると、受圧室８の内圧がスプリング５の付勢力に抗して第１のレバー１２を図１上、反時計回り方向に回転させ、バルブ３を中立位置に移動させる。これにより、主圧縮空気供給路２の上流側部分２ａを第１および第２の下流側部分２ｂ・２ｃから遮断され、アクチュエータの第１受圧室への圧縮空気の供給が停止し、アクチュエータの動作は減少された受圧室８の内圧に対応する位置に停止する。
【００３０】
上記電空変換機構Ｃは、バルブハウジング２２と、これに組付けられた電磁駆動機構２３とを備え、このバルブハウジング２２内に受圧室８を大気中に連通させるリリーフ路２４が形成される。そして、このリリーフ路２４の途中に所定の固定絞りとしてのノズル孔２５が形成されると共に、このノズル孔２５の出口端に接離するフラッパー２６が設けられる。
【００３１】
上記電磁駆動機構２３は、永久磁石２７と、これを取り囲むヨーク２８と、永久磁石２７と同軸心状に配置され、永久磁石２７の軸心方向に進退するムービングコイル２９と、これらを密封状に収納するハウジング３０とを備える。
これら永久磁石２７およびムービングコイル２９の軸心から偏心させた位置でハウジング３０に回転軸３１を回転可能に支持させ、図１および図２の斜視図に示すように、この回転軸３１の一端に固定した第１のアーム３２の遊端部をムービングコイル２９の軸心に固定する一方、この回転軸３１の他端に固定した第２のアーム３３の遊端部に上記フラッパー２６が固定され、これにより、ムービングコイル２９の進退に連動してフラッパー２６が上記ノズル孔２５の出口端に接離するようにしてある。
【００３２】
上記回転軸３１は直接にハウジング３０に支持させてもよいのであるが、この実施例では、回転軸３１の回転の円滑性及び安定性を高めるために、上記回転軸３１を１対のベアリング３４・３５を介してハウジング３０に回転可能に支持させている。また、両ベアリング３４・３５としては防爆性が確保できるシール型のベアリングを用いることが好ましいが、この実施例では、シール型ではないベアリング３４・３５を用い、両ベアリング３４・３５間に各ベアリング３４・３５の両端間を連通させる隙間を塞ぐようにスペーサ３６を介在させてリリーフ路２４とハウジング３０内とを連通させる通路を迷路化すると共に、防爆設計上無視できる程度に狭くしてある。また、ハウジング３０からの導線の引出孔４２は導線の導出端部とこれに電気的に接続された端子とを埋め込んだ絶縁材で閉塞したり、グロメットを用いて閉塞したりされる。
【００３３】
さらに、図１および図２に示すように、上記ムービングコイル２９と第１のアーム３２との間に鉄、鋼などの磁性体からなる座金３７を支持させ、永久磁石２７およびヨーク２８によりこの座金３７を吸引することにより非通電時にムービングコイル２９を永久磁石２７側に引き戻すと共に、通電時のムービングコイル２９の過剰動作を抑えてムービングコイル２９の動作を安定させるようにしている。
【００３４】
ここで、ムービングコイル２９は通電により、その電流値に比例した力を受けてフラッパー２６を開く方向に付勢し、ノズル孔２５の開度を調整する。これにより、ノズル孔２５から放出される圧縮空気の流量が制御され、受圧室８の内圧が制御されることになる。
なお、この実施例においては、上記空々式ポジショナＰのハウジング１が本体ハウジング３８とこれの片面に組付けられたサブハウジング３９とからなり、これら本体ハウジング３８とサブハウジング３９との間に上記ダイヤフラム室６が形成されると共に、これら本体ハウジング３８とサブハウジング３９との間にダイヤフラム９を挿んで、サブハウジング３９内に上記受圧室８が形成されるようにしている。
【００３５】
この本体ハウジング３８内には、上記主圧縮空気供給路２の上流側部分２ａから分岐され、サブハウジング３９側に開口する副圧縮空気供給路４０の一部分４０ａが形成され、サブハウジング３９内には、この本体ハウジング３８内の副圧縮空気供給路４０の一部分を上記受圧室８に連通させる副圧縮空気供給路４０の残りの部分４０ｂが形成される。この副圧縮空気供給路４０の残りの部分４０ｂの途中にはオリフィス４１が形成され、主圧縮空気供給路２が開通している時に副圧縮空気供給路４０に供給される空気量を一定以下に制限し、アクチュエータへの圧縮空気の供給圧が一定以下に低下することを防止している。
【００３６】
このように、ハウジング１内に副圧縮空気供給路４０を形成することにより、ハウジング１にチーズ継手や受圧室８への配管を組付ける必要がなくなり、部品点数を削減できると共に、これらチーズ継手や受圧室８への配管を組付ける工程を省略することができ、大幅なコストダウンを図ることができる。
また、輸送時や据付時、さらに、据付後にこれらチーズ継手や受圧室８への配管に他物が衝突して損傷するおそれがなくなり、かかる損傷によってポジショナの作動が不良になることを防止できる。
【００３７】
上記の一実施例では電磁駆動機構２３がムービングコイル型のものであるが、これに代えて、ハウジング内にコイルが固定され、このコイルによって駆動される可動鉄片を有する可動鉄片型の電磁駆動機構を用いる場合にも本発明は適用できる。
【００３８】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明に係るアクチュエータ位置制御用ポジショナの電磁駆動機構は、コイルを密封状に収納するハウジングと、このハウジング内で電磁作用により進退する可動部と、可動部の中心から偏心した位置に配置され、上記ハウジングに可動部の進退方向と直角の方向の軸心の周りに回転可能に挿通される回転軸と、この回転軸を可動部に連結する第１のアームと、ハウジング外でこの回転軸にフラッパーを連動させる第２のアームとを備えるものであるので、フラッパーが配置される空間とハウジング内部とを連通させる隙間が防爆性という観点からは無視できる程度に小さくなので、防爆性を高めることができる効果が得られる上、構成が簡単で、容易に、且つ、安価に実施することができる効果が得られる。
【００３９】
また、本発明において、特に上記回転軸がベアリングを介してハウジングに支持され、このベアリングの両端を連通する空間を覆うスペーサ又はスリーブが設けられる場合には、ベアリングの両端を連通させる隙間によって防爆性が損なわれることなく、回転軸の回転の円滑性および安定性を高めることができ、アクチュエータ位置制御用ポジショナの制御精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成図である。
【図２】本発明の要部の斜視図である。
【図３】従来の空々式ポジショナの構成図である。
【図４】従来の電空変換機構の断面図である。
【図５】他の従来例の構成図である。
【符号の説明】
Ｃ…電空変換機構
Ｐ…空々式ポジショナ
２３…電磁駆動機構
２６…フラッパー
２９…ムービングコイル
３０…ハウジング
３１…回転軸
３２…第１のアーム
３３…第２のアーム
３４・３５…ベアリング
３６…スペーサ
【図１】
0003576280.tif 000002
【図２】
0003576280.tif 000003
【図３】
0003576280.tif 000004
【図４】
0003576280.tif 000005
【図５】
0003576280.tif 000006