(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定ガスと反応して光学濃度を変化するガス検出テープを収容し、測定領域に窓を備えたカセットと、ガス検出テープの測定領域にガスを接触させる開口が穿設された当接部を備え、前記開口に対向して前記ガス検出テープの光学濃度を検出する手段を収容した測定ヘッドとからなるテープ式ガス測定装置において、
前記窓を形成する、少なくとも前記ガス検出テープの未使用領域側の縁部が、外側に拡開する斜面として形成され、また前記当接部の側面が前記縁部の斜面に一致する斜面として形成され、さらに前記窓の両側の前記テープと対向する位置に前記テープの幅よりも長い突起を形成して狭隘部が形成され、前記窓の斜面に前記当接部の斜面が接触するテープ式ガス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、ガス処理装置からの排出された被処理ガスの濃度を測定する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
製造現場で使用されるガスの内、大気への放出が禁止されているガス、例えばシランガス等は、分解ユニットを経由させて無害化してから大気に放出される。
このような分解ユニットは分解可能な総ガス量に制限があるため、通常、分解ユニットから排出される被分解ガスの濃度を検出器によりモニタリングして、排出許容基準レベル以下の所定濃度に上昇した段階で分解ユニットの処理マガジンを交換することが行われる。
【０００３】
このような極めて濃度の低いガスは、電気化学式ガスセンサや半導体ガスセンサでは検出誤差が大きいため、被検ガスに化学的に反応して発色する薬剤をテープ等に担持させたテープ式のガス濃度測定装置が多用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このようなテープ式ガス濃度測定装置は、被検ガスに暴露される時間に比例して反応量が増加するため、積分効果により他の検出器では検出不可能な極めて低い濃度のガスを高い信頼性で検出することができる反面、環境に含まれているガスにも反応して検出誤差を生じるという不都合を抱えている。
【０００５】
このような問題を軽減するため、例えば特開平8-94529号公報に見られるように一部に測定ヘッドを装入するための窓が形成されたカセットに検出テープを収容して大気との接触による変色を防止することが行われているが、それでも窓から侵入したガスにより未使用領域に変色が生じるという問題がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは測定中におけるカセットの窓からのガスの侵入を防止して被検ガスを高い信頼性で検出することができるガス検出装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような問題を解消するために本発明においては、測定ガスと反応して光学濃度を変化するガス検出テープを収容し、測定領域に窓を備えたカセットと、ガス検出テープの測定領域にガスを接触させる開口が穿設された当接部を備え、前記開口に対向して前記ガス検出テープの光学濃度を検出する手段を収容した測定ヘッドとからなるテープ式ガス測定装置において、前記窓を形成する、少なくとも前記ガス検出テープの未使用領域側の縁部が、外側に拡開する斜面として形成され、また前記当接部の側面が前記縁部の斜面に一致する斜面として形成され、さらに前記窓の両側の前記テープと対向する位置に前記テープの幅よりも長い突起を形成して狭隘部が形成され、前記窓の斜面に前記当接部の斜面が接触するように構成されている。
【０００７】
【作用】
測定期間中においても、窓の未使用領域側を測定ヘッドの当接部の斜面とカセットの窓の斜面とを当接させて封止し、また突起による狭隘部により反応性ガスがガス検出テープの未使用領域に侵入するのを防止する。
【０００８】
【実施例】
そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
図１は本発明のガス検出テープ式ガス検出装置の一実施例を示すものであって、ガス分解ユニットのラック等に設けられる枠体１に挿抜可能なフレーム２の一側面に操作パネル３を設け、ここに後述するカセットを収容するカセットホルダ４を進退可能に設けるとともに、内部にサンプリングポンプや、後述する信号処理回路を作り付けた基板を収容して構成されている。また、ガス分解ユニットに供給されている窒素等のパージガスの流入口２ａが必要に応じて設けられている。
【０００９】
図２は、上述のカセットの一実施例を示すものであって、カセットを構成するケース５の長辺側の一側面６には、収容リール７と巻取リール８とに掛け渡されたガス検出テープ９を後述する検知ヘッドに当接させるための第１の窓１０と、紙送りローラ２６に当接させるための第２の窓１１が形成されている。
【００１０】
第１の窓１０は、ケース５の側面のほぼ中央に形成されていて、その縁部１０ａ、１０ｂには外側に拡開する斜面が形成され、この窓１０の両側にはテープガイド部１２が形成されている。そして窓１０の近傍にはテープ側に突出し、かつテープ９の幅よりも長い突起１０ｃ、１２ａによる狭隘部が形成されている。
【００１１】
一方、第２の窓１１は、ケース５の巻取リール８側に形成され、ここに紙送り量検出ローラ２６に当接する押圧ローラ１３が配置されている。なお、図中符号１４、１５は、ガイドローラを示す。
【００１２】
図３は、本発明の一実施例を示す構成図であって、カセット１６の窓１０から露出しているガス検出テープ９の搬送路の外側には測定ヘッド２０が図示しない駆動機構によりガス検出テープ９に接離可能に配置されている。
【００１３】
測定ヘッド２０は、図４に示したようにテープ対向側には、カセットの第１の窓１０に押し込まれたときに第１の窓１０の少なくともテープ収容リール７側の縁部１０ａに一致する斜面２０ａ、２１ｂを備えた当接部２１が形成されていて、ここに被検出ガスの流入口２２と流出口２３とに連通する開口２４が設けられている。
【００１４】
開口２４の他端には発光手段と受光手段とからなる光学濃度センサ２５が、検出テープ９に形成された反応痕を検出できるように収容されている。
【００１５】
巻取モータ２７は、カセットが装着された状態で巻取リール８に接続し、紙送り量検出ローラ２６により１回の測定に必要な量を巻き取る。
【００１６】
図中符号２８は、制御装置で、サンプリング開始前と所定時間のサンプリング後の光学濃度センサ２５との信号によりガス濃度を算出する測定手段２９と、測定動作の周期に合わせて測定ヘッド２０を後退させて検出テープ９を所定量紙送りする紙送り制御手段３０と、紙送り後に測定ヘッド２０を窓１０に進入させ、図示しないサンプリングポンプを作動させるサンプリング制御手段３１とから構成されている。
【００１７】
この実施例において、被検ガスと反応して光学濃度を変化する検出テープ９を収容したカセット１６を用意し、ホルダ４に装填してから、ホルダ４をフレーム２に押し込むと、カセット１６の窓１０に測定ヘッド２０の当接部２１が対向し、第２の窓１１に紙送り量検出ローラ２６が対向する。
【００１８】
このようにしてカセット１６が装填されたことが検出されると、測定ヘッド２０及び紙送り量検出ローラ２６がそれぞれ窓１１、１２に進入し、測定ヘッド２０がテープを受け部３２との間で弾圧する。この状態では図４（ロ）に示したように窓１０の、検出テープ９の未使用領域が収容されている側の縁部１０ａが測定ヘッド２０の斜面２０ａに封止され、未使用領域へのガスの侵入が防止され、大気等に含まれている他の反応ガスによる検出テープ９の変色が防止される。
【００１９】
この状態で測定手段２９は光学濃度センサ２５からの信号を検出して記憶し、またサンプリング制御手段３１がサンプリングポンプを作動させてサンプリングが開始される。サンプリングポンプの作動により流入口２１から開口２４に被検ガスを含むエアが流れ込み、検出テープ９の表面を流れて流出口２２から排出される。
【００２０】
ガス検出テープの担持されている発色剤が被検ガスの濃度に比例して反応し、ガス検出テープに反応痕が形成されていく。このようにして所定時間のサンプリングが終了した時点で、サンプリング制御手段３１はサンプリングポンプを停止させ、また測定手段２９は光学濃度センサ２５からのガス濃度を検出し、記憶しているサンプリング開始前の信号との差分から被検ガスの濃度を検出する。
【００２１】
ガス濃度の検出が終了した段階で、紙送り制御手段３０は、図４（イ）に示したように測定ヘッド２０を後退させてから紙送りモータ２７を駆動して検出テープ９の未使用領域を窓１０に引き出し、次回の測定に備える。
【００２２】
なお、上述の実施例においては、ガス検出テープの一方の面に被検ガスを通過させるようにしているが、ガス透過性を備えた担体をベースにしたガス検出テープあっては、特開平8-94529号公報に見られるようにテープの一方の面にガス流入口を、また他方の面に吸引口を形成して、被検ガスを通過させるようにしても同様の作用を奏する。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、測定期間中においても、カセットの窓の、ガス検出テープの未使用領域側を封止できて、反応性ガスによるガス検出テープの変色を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の測定装置の一実施例を示す図である。
【図２】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上装置に使用するカセットの一実施例を、蓋を取って示す正面図と、上面図である。
【図３】本発明のガス測定装置の一実施例を示す構成図である。
【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上装置の動作を、検出領域を拡大して示す図である。
【符号の説明】
４  カセットホルダ
７、８  リール
９  ガス検出テープ
１０  窓
１０ａ、１０ｂ  縁部
１２  ガイド部
１６  カセット
２０  測定ヘッド
２１  当接部
２１ａ、２１ｂ  側面
２２  ガス流入口
２３  ガス流出口
２４  開口
２５  光学濃度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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