(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスフローコントローラ（１０５）と、出口開閉弁（１０６）と、下部配管ブロック（１２０、１２３）と、中間配管ブロック（１１９、１２４）と、マスフローコントローラのベース（１２１，１２２）を有し、前記マスフローコントローラ（１０５）が前記マスフローコントローラのベース（１２２）を介して前記下部配管ブロック（１２３）に接続され、前記出口開閉弁（１０６）が前記中間配管ブロック（１１９、１２４）を介して前記下部配管ブロック（１２３）に接続されることによって、ガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニットにおいて、
前記下部配管ブロック（１２０）の上部に接続されて前記マスフローコントローラ（１０５）の上流側に配設されるフィルタブロック（１）を有し、
前記フィルタブロック（１）は、
第１ポート（６）と第２ポート（７）が形成されて前記下部配管ブロック（１２０）の上部に接続されるベース（４）と、
前記ベース（４）の上部にあって前記第１ポート（６）と前記第２ポート（７）とを連通させるとともに、前記第１ポート（６）と連通する通孔（８）が形成された接続ポート（５）が上部に設けられたハウジング（３）と、
一方に開口する中空の円筒形の形状を有し、その開口部が前記ベース（４）の前記第２ポート（７）に通じるように前記ハウジング（３）の内部に収納されるフィルタエレメント（２）と、
前記接続ポート（５）に連結されることにより前記ハウジング（３）の上部に配設されて、前記通孔（８）における流体の圧力を検知する圧力検知器（２０）と、を有すること、を特徴とするガス供給ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載するガス供給ユニットにおいて、
前記フィルタブロック（１）が、前記下部配管ブロック（１２０）に対して１８０度回転させた逆向きでも接続されることを特徴とするガス供給ユニット。
【請求項３】
請求項１に記載するガス供給ユニットにおいて、
前記圧力検知器（２０）が圧力計又は圧力スイッチであることを特徴とするガス供給ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等で使用されるガス供給ユニットに関し、特に、ガス補助機器を接続できるポートをガス機器ブロックに設けたガス供給ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体等の製造工程においては数種類の腐食性ガスが使用されており、このような数種類の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成するものとして、本出願人は、特願平８−１８０３８３号に記載されたガス供給ユニットを開発した。ここで、かかるガス供給ユニットの一例を図５に示して、簡単に説明する。尚、詳細な説明については、特願平８−１８０３８３号に記載されているので省略する。
【０００３】
図５のガス供給ユニットは、ガス機器ブロックである手動弁１０１、レギュレータ１０２、入口開閉弁１０４、パージ弁１０７、フィルタ１０８、マスフローコントローラ１０５、出口開閉弁１０６と、ガス補助機器である圧力計１０３とが、ガス流路がそれぞれ形成された配管ブロック１１１、１１２、１１３、１１６、１１７、１１８、１１９に接続され、さらに、配管ブロック１０９、１１１、１１２、１１３、１１６、１１７、１１８、１１９が互いに接続されることによって、数種類の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成している。
【０００４】
こうしたガス供給ユニットにおいては、ガス供給ラインを構成するガス機器と配管とが、ガス機器ブロックと配管ブロックとにそれぞれモジュールブロック化されており、ガス機器ブロックである手動弁１０１、レギュレータ１０２等や配管ブロック１１１、１１２等の間には接続部品を必要としないので、ガス供給ユニット自体の小型化ひいてはガス供給ラインを短縮することができる。さらに、ガス機器ブロックである手動弁１０１、レギュレータ１０２等や配管ブロック１１１、１１２等の接続にはボルト１１４を使用しているので、ガス供給ユニット自体のメンテナンス等を簡便に行うことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５のガス供給ユニットにおいて、ガス補助機器である圧力計１０３などは、ガス機器ブロックである手動弁１０１、レギュレータ１０２、フィルタ１０８等に接続することができず、ガス補助機器である圧力計１０３等を接続できるポートが設けられた配管ブロック１１３等に接続しなければならなかった。
【０００６】
その一方で、ガス供給ラインを通常の配管で構成する際に接続するガス機器においては、ガス補助機器である圧力計や圧力スイッチなどを直に接続できるものもあり、こうした観点から図５のガス供給ユニットを見ると、ガス補助機器である圧力計１０３などを、ガス機器ブロックである手動弁１０１、レギュレータ１０２、フィルタ１０８等に接続することができれば、ガス供給ユニット自体の小型化をさらに進めることができる。
【０００７】
そこで、本発明は、ガス補助機器を接続することができるポートをガス機器ブロックに設けることによって、さらなる小型化を実現したガス供給ユニットを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために成された請求項１に係るガス供給ユニットは、マスフローコントローラ（１０５）と、出口開閉弁（１０６）と、下部配管ブロック（１２０、１２３）と、中間配管ブロック（１１９、１２４）と、マスフローコントローラのベース（１２１，１２２）を有し、前記マスフローコントローラ（１０５）が前記マスフローコントローラのベース（１２２）を介して前記下部配管ブロック（１２３）に接続され、前記出口開閉弁（１０６）が前記中間配管ブロック（１１９、１２４）を介して前記下部配管ブロック（１２３）に接続されることによって、ガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニットにおいて、前記下部配管ブロック（１２０）の上部に接続されて前記マスフローコントローラ（１０５）の上流側に配設されるフィルタブロック（１）を有し、前記フィルタブロック（１）は、第１ポート（６）と第２ポート（７）が形成されて前記下部配管ブロック（１２０）の上部に接続されるベース（４）と、前記ベース（４）の上部にあって前記第１ポート（６）と前記第２ポート（７）とを連通させるとともに、前記第１ポート（６）と連通する通孔（８）が形成された接続ポート（５）が上部に設けられたハウジング（３）と、一方に開口する中空の円筒形の形状を有し、その開口部が前記ベース（４）の前記第２ポート（７）に通じるように前記ハウジング（３）の内部に収納されるフィルタエレメント（２）と、前記接続ポート（５）に連結されることにより前記ハウジング（３）の上部に配設されて、前記通孔（８）における流体の圧力を検知する圧力検知器（２０）と、を有することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に係るガス供給ユニットは、請求項１に記載するガス供給ユニットであって、前記フィルタブロック（１）が、前記下部配管ブロック（１２０）に対して１８０度回転させた逆向きでも接続されることを特徴とする。
また、請求項３に係るガス供給ユニットは、請求項１に記載するガス供給ユニットであって、前記圧力検知器（２０）が圧力計又は圧力スイッチであることを特徴とする。
【００１０】
【００１１】
このような構成を有する本発明のガス供給ユニットは、弁、レギュレータ、フィルタ、マスフローコントローラ等のガス機器をそれぞれモジュールブロック化したガス機器ブロックと、配管をモジュールブロック化した配管ブロックと、圧力計や圧力スイッチ等のガス補助機器とを有しており、ガス機器ブロック又はガス補助機器を配管ブロックに接続したり、配管ブロックを互いに接続することによって、ガス供給ラインの一部を構成することができる。
【００１２】
このとき、ガス補助機器が接続されるポートをガス機器ブロックに設けているので、ガス補助機器が接続される配管ブロックの個数を削減することが可能となって、ガス供給ユニット自体のさらなる小型化を実現することができる。特に、ガス補助機器が接続されるポートを設けたガス機器ブロックが、供給ガスの不純物を除去するフィルタである場合に、かかるフィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されるガス補助機器が圧力計や圧力スイッチであるときは、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタの圧力値をもって、ガス供給ラインを管理・制御することができる。
【００１３】
さらに、フィルタであるガス機器ブロックを、配管ブロックに対して１８０度回転させた逆向きでも接続できるので、フィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されたガス補助機器の接続位置を、フィルタのエレメントに対し、ガスの流れの上流側又は下流側に選択的に変更することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図１は、本実施の形態のガス供給ユニットを示した側面図である。尚、図１のガス供給ユニットにおいては、従来技術の欄で述べたガス機器ブロックや配管ブロックも接続されているので、かかるガス機器ブロックや配管ブロックについては、図５で用いた番号をそのまま使用するとともに、詳細な説明は省略する。
【００１５】
図１のガス供給ユニットは、ガス機器ブロックである手動弁１０１、レギュレータ１０２、フィルタ１、マスフローコントローラ１０５、出口開閉弁１０６とが、ガス流路がそれぞれ形成された配管ブロック１０９、１１１、１１２、１１９、１２０、１２３、及びマスフローコントローラのベース１２１，１２２に接続され、さらに、配管ブロック１０９、１１１、１１２、１１９、１２０、１２３、１２４、及びマスフローコントローラのベース１２１，１２２が互いに接続されるとともに、ガス補助機器である圧力計２０がガス機器ブロックであるフィルタ１に接続されることによって、数種類の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成している。
【００１６】
ここで、ガス補助機器である圧力計２０が接続されるガス機器ブロックであるフィルタ１について、図２、図３、図４を用いて説明する。図２は、ガス機器ブロックであるフィルタ１を図３の線Ａ−Ａで切断した断面図である。また、図３は、ガス補助機器である圧力計２０が接続されたガス機器ブロックであるフィルタ１の上面図である。また、図４は、ガス補助機器である圧力計２０が接続されたガス機器ブロックであるフィルタ１の側面図である。
【００１７】
ガス機器ブロックであるフィルタ１は、フィルタエレメント２、ハウジング３、ベース４などから構成されている。フィルタエレメント２は中空の円筒形の形状を有しており、ガスの流れの方向に関係なく供給ガスの不純物を除去するものである。また、ハウジング３はフィルタエレメント２を収納するものであり、その上部にガス補助機器である圧力計２０が接続できるポート５を有している。かかるポート５に接続されるガス補助機器である圧力計２０は、ハウジング３に形成された通孔８を介して、ガス機器ブロックであるフィルタ１の圧力を測定することができる。
【００１８】
また、ベース４には、第１ポート（入口孔）６と第２ポート（出口孔）７が形成されており、第１ポート（入口孔）６はフィルタエレメント２の外側に、第２ポート（出口孔）７はフィルタエレメント２の内側に通じている。かかる第１ポート（入口孔）６と第２ポート（出口孔）７の開口部は、ベース４に対して対称に設けられているので、配管ブロック１０９、１２０に対して１８０度回転させた逆向きでも接続することができる。この場合、第１ポート６が出口孔となり、第２ポート７が入口孔となる。また、図示されていないボルト穴が形成されており、ボルト９を介して、配管ブロック１０９、１２０等に接続することができる。また、ハウジング３とベース４は固定されているので、フィルタエレメント２は交換することができない。尚、ガス機器ブロックであるマスフローコントローラ１０５のベース１２１、１２２についても、同様にして、図示されていないボルト穴が形成されており、ボルト９を介して、配管ブロック１２０、１２３等に接続することができる。
【００１９】
また、図１のガス供給ユニットのガス機器ブロックであるフィルタ１においては、従来技術のガス供給ユニットのガス機器ブロックであるフィルタ１０８（図５参照）と異なり、垂直方向から配管ブロック１０９、１２０等に接続することができるので、ガス機器ブロックであるフィルタ１の交換を容易にすることができる。
【００２０】
以上、詳細に説明したように、本実施の形態のガス供給ユニットは、手動弁１０１、出口開閉弁１０６、レギュレータ１０２、フィルタ１、マスフローコントローラ１０５のガス機器をそれぞれモジュールブロック化したガス機器ブロックと、配管をモジュールブロック化した配管ブロック１０９、１１１、１１２、１１９、１２０、１２３、１２４と、圧力計２０のガス補助機器とを有しており、ガス機器ブロックである手動弁１０１、出口開閉弁１０６、レギュレータ１０２、フィルタ１、マスフローコントローラ１０５を配管ブロック１１１、１１２、１１９に接続したり、配管ブロック１０９、１１１、１１２、１１９、１２０、１２３、１２４を互いに接続することによって、ガス供給ラインの一部を構成することができる。
【００２１】
このとき、ガス補助機器である圧力計２０が接続されるポート５をガス機器ブロックであるフィルタ１に設けているので、ガス補助機器である圧力計２０が接続される従来技術の配管ブロック１１３（図５参照）をなくすことができるので、ガス供給ユニット自体のさらなる小型化を実現することができる。特に、ガス補助機器である圧力計２０が接続されるポート５を設けたガス機器ブロックが、供給ガスの不純物を除去するフィルタ１であり、かかるフィルタ１であるガス機器ブロックのポート５に接続されるガス補助機器が圧力計２０であるので、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタ１の圧力値をもって、ガス供給ラインを管理することができる。
【００２２】
さらに、フィルタ１であるガス機器ブロックを、配管ブロック１０９、１２０に対して１８０度回転させた逆向きでも接続できるので、フィルタ１であるガス機器ブロックのポート５に接続されたガス補助機器である圧力計２０の接続位置を、フィルタ１のエレメント２に対し、ガスの流れの上流側又は下流側に選択的に変更することができる。
【００２３】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、本実施の形態のガス供給ユニットにおいては、フィルタ１であるガス機器ブロックのポート５にガス補助機器である圧力計２０が接続されているが、かかるポート５にガス補助機器である圧力スイッチを接続すれば、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタ１の圧力値をもって、ガス供給ラインを制御することができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明のガス供給ユニットでは、ガス補助機器が接続されるポートをガス機器ブロックに設けているので、ガス補助機器が接続される配管ブロックの個数を削減することが可能となって、ガス供給ユニット自体のさらなる小型化を実現することができる。特に、ガス補助機器が接続されるポートを設けたガス機器ブロックが、供給ガスの不純物を除去するフィルタである場合に、かかるフィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されるガス補助機器が圧力計や圧力スイッチであるときは、ガス供給ラインの大部分の圧力損失を占めるガス機器ブロックであるフィルタの圧力値をもって、ガス供給ラインを管理・制御することができる。
【００２５】
さらに、フィルタであるガス機器ブロックを、配管ブロックに対して１８０度回転させた逆向きでも接続できるので、フィルタであるガス機器ブロックのポートに接続されたガス補助機器の接続位置を、フィルタのエレメントに対し、ガスの流れの上流側又は下流側に選択的に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス供給ユニットを示した側面図である。
【図２】本発明のガス供給ユニットにおいて接続されるフィルタを示した断面図である。
【図３】本発明のガス供給ユニットにおいて接続されるフィルタを示した上面図である。
【図４】本発明のガス供給ユニットにおいて接続されるフィルタを示した側面図である。
【図５】従来技術のガス供給ユニットを示した側面図である。
【符号の説明】
１  フィルタ（ガス機器ブロック）
５  ポート
２０  圧力計（ガス補助機器ブロック）
１０１  手動弁（ガス機器ブロック）
１０２  レギュレータ（ガス機器ブロック）
１０４  入口開閉弁（ガス機器ブロック）
１０５  マスフローコントローラ（ガス機器ブロック）
１０６  出口開閉弁（ガス機器ブロック）
１０７  パージ弁（ガス機器ブロック）
１０９、１１１、１１２、１１７、１１９、１２０、１２３、１２４  配管ブロック
【図１】
0003595083.tif 000002
【図２】
0003595083.tif 000003
【図３】
0003595083.tif 000004
【図４】
0003595083.tif 000005
【図５】
0003595083.tif 000006