(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一基板上に形成された受光部,転送チャネル部および読み出し部を有すると共に、被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とに分割されており、上記有効画素領域および無効画素領域における上記転送チャネル部上および読み出し部上を覆うと共に上記受光部上を開口するように配置された第１遮光膜と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記第１遮光膜および受光部上に形成された層間絶縁膜と、少なくとも上記無効画素領域において上記層間絶縁膜上に形成されると共に上記受光部上を覆う一方上記受光部上以外の領域で開口するように配置された第２遮光膜と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記層間絶縁膜および第２遮光膜上に形成されて全表面を覆う保護絶縁膜を備えて、上記第２遮光膜は配線用金属膜である固体撮像装置において、
上記配線用金属膜は、水素の通過をブロックする材料を含んで多層構造を成し、
上記保護絶縁膜は、ＳiＮ膜を含んで構成されており、
上記保護絶縁膜から拡散した水素イオンによって、上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位が共に低減している
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の固体撮像装置において、
上記配線用金属膜は、ＴiＮを含んで構成されていることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項３】
請求項２に記載の固体撮像装置において、
上記配線用金属膜は、ＴiＮとＡl‐ＣuとＴiＮとを含んで構成されていることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項４】
同一基板上に形成された受光部,転送チャネル部および読み出し部を有すると共に、被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とに分割されている固体撮像装置の製造方法において、
上記有効画素領域および無効画素領域における上記転送チャネル部上および読み出し部上を覆うと共に、上記受光部上を開口するように、第１遮光膜を高融点金属によって形成する工程と、
上記有効画素領域および無効画素領域における上記第１遮光膜および受光部上に層間絶縁膜を形成する工程と、
少なくとも上記無効画素領域において、上記層間絶縁膜上に、上記受光部上,転送チャネル部上および読み出し部上を覆うように第２遮光膜を形成する工程と、
上記有効画素領域および無効画素領域における上記層間絶縁膜および第２遮光膜上に全表面を覆うように保護絶縁膜を形成する工程と、
水素アニールを行って上記保護絶縁膜から上記開口を介して上記基板への水素イオンの拡散を行い、上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位を共に低減させる工程
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項５】
同一基板上に形成された受光部,転送チャネル部および読み出し部を有すると共に、被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とに分割されている固体撮像装置の製造方法において、
上記有効画素領域および無効画素領域における上記転送チャネル部上および読み出し部上を覆うと共に、上記受光部上を開口するように、第１遮光膜を高融点金属によって形成する工程と、
上記有効画素領域および無効画素領域における上記第１遮光膜および受光部上に層間絶縁膜を形成する工程と、
少なくとも上記無効画素領域において、上記層間絶縁膜上に、上記受光部上を覆う一方、上記受光部上以外の領域で開口するように第２遮光膜を形成する工程と、
上記有効画素領域および無効画素領域における上記層間絶縁膜および第２遮光膜上に全表面を覆うように保護絶縁膜を形成する工程と、
水素アニールを行って上記保護絶縁膜から上記各開口を介して上記基板への水素イオンの拡散を行い、上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位を共に低減させる工程
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載の固体撮像装置の製造方法において、
上記第２遮光膜を、配線用金属膜とすることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載の固体撮像装置の製造方法において、
上記第２遮光膜を、配線用金属膜とすることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の固体撮像装置の製造方法において、
上記配線用金属膜を、水素の通過をブロックする材料で形成することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の固体撮像装置の製造方法において、
上記配線用金属膜を、ＴiあるいはＴi合金を含む積層構造膜で形成することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、固体撮像装置、特に被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とを有する固体撮像装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ＣＣＤ(電荷結合素子)エリアセンサは、図６に示すように、被写体の光情報を検出する有効画素領域Ａと光学的黒を検出する無効画素領域Ｂとを有している。さらに、無効画素領域Ｂは、通常、有効画素領域Ａの左右両側および上下両側に設けられる。
【０００３】
図７は、従来のＣＣＤエリアセンサにおける有効画素領域Ａの断面(図６におけるＣ‐Ｃ'矢視断面に相当)を示す。また、図８は、無効画素領域Ｂの断面(図６におけるＣ‐Ｃ'矢視断面に相当)を示す。以下、図７および図８に従って、従来のＣＣＤエリアセンサにおける各領域の画素構成について説明する。
【０００４】
先ず、上記有効画素領域Ａにおける画素の構成は、図７に示すように、Ｎ型のシリコン基板１上に形成されたＰ型不純物領域２に、受光部領域３と、転送チャネル領域４と、受光部領域３で光電変換によって発生された電荷を転送チャネル領域４に転送する読み出し領域５とが形成されている。そして、この転送チャネル領域４および読み出し領域５上に、シリコン酸化膜６およびシリコン窒化膜７を介して、リンがドープされた多結晶シリコン膜による転送電極８が選択的に形成されている。
【０００５】
そして、上記転送電極８を含む全面に、例えばシリコン酸化膜による絶縁膜９がＣＶＤ(化学気相成長法)によって形成されており、さらに転送電極８の領域を覆うように、遮光膜として例えばＴiＷによる高融点金属１０が選択的に形成されている。また、高融点金属１０を含む全面に、ＢＰＳＧ(ボロ・ホスホ・シリケートグラス)膜１１が形成され、このＢＰＳＧ膜１１上に、例えばＡl‐Ｓiによる配線用金属１２が形成された後選択的に除去され(図７においては配線用金属１２は除去されている)。そして、配線用金属１２を含む全面に、例えばＳiＮ膜による表面保護膜１３がプラズマＣＶＤによって形成されている。
【０００６】
一方、上記無効画素領域Ｂにおける画素の構成は、図８に示すように、有効画素領域Ａにおける画素の構成と略同じである。但し、受光部領域３への光入射を防ぐために、受光部領域３上を高融点金属１０で覆うと共に、全面を配線用金属１２で覆っている点において、有効画素領域Ａとは異なる。尚、図７に対応するものについては同じ符号を付している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のＣＣＤエリアセンサにおいては、以下のような問題がある。上記ＣＣＤエリアセンサの製造過程において一般に水素アニールが行われる。この水素アニールは、受光部領域３および転送チャネル領域４の界面準位を低減させ、暗時出力電圧を低減させるという効果がある。特に、有効画素領域Ａにおいては、表面保護膜１３は多くの水素を含み、この表面保護膜１３からシリコン基板１側に多量の水素イオンが拡散されるために、暗時出力電圧を十分に低減することができるのである。
【０００８】
ところが、上記無効画素領域Ｂにおいては、受光部領域３上には高融点金属１０および配線用金属１２が積層されているため、ＳiＮ膜から成る表面保護膜１３からシリコン基板１側への水素イオンの拡散が十分に行われず、暗時出力電圧は有効画素領域Ａ程には低減されないのである。
【０００９】
上述のようなことから、上記有効画素領域Ａと無効画素領域Ｂとにおいて黒レベルにずれが生じる。そして、信号処理は、無効画素領域Ｂにおける黒レベルを基準にして行われるために、基準レベルの黒が本来の基準レベルの黒よりも白側に浮いた状態で信号処理されることになり、階調の精度に問題が生ずることになる。
【００１０】
そこで、この発明の目的は、有効画素領域と無効画素領域とで黒レベルに差の無い固体撮像装置およびその製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、第１の発明は、同一基板上に形成された受光部,転送チャネル部および読み出し部を有すると共に、被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とに分割されており、上記有効画素領域および無効画素領域における上記転送チャネル部上および読み出し部上を覆うと共に上記受光部上を開口するように配置された第１遮光膜と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記第１遮光膜および受光部上に形成された層間絶縁膜と、少なくとも上記無効画素領域において上記層間絶縁膜上に形成されると共に上記受光部上を覆う一方上記受光部上以外の領域で開口するように配置された第２遮光膜と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記層間絶縁膜および第２遮光膜上に形成されて全表面を覆う保護絶縁膜を備えて,上記第２遮光膜は配線用金属膜である固体撮像装置において、上記配線用金属膜は水素の通過をブロックする材料を含んで多層構造を成し、上記保護絶縁膜はＳiＮ膜を含んで構成されており、上記保護絶縁膜から拡散した水素イオンによって上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位が共に低減していることを特徴としている。
【００１２】
上記構成によれば、無効画素領域において、転送チャネル部および読み出し部上に形成された第１遮光膜は、上記受光部上に開口を有している。さらに、上記無効画素領域において、上記第１遮光膜上の第２遮光膜は、水素の通過をブロックする材料を含んで多層構造を成し、上記受光部上を覆う一方、上記受光部上以外の領域で開口している。したがって、上記第１遮光膜が水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、水素アニール時に上記無効画素領域において、ＳiＮ膜を含んで構成された保護絶縁膜から基板側への水素イオンの拡散が上記各開口を介して十分に行われる。その結果、上記受光部および転送チャネル部の界面準位が低減される。
【００１３】
さらに、上記配線用金属膜が上記第２遮光膜として機能するので、上記第１遮光膜に加えて、さらに第２遮光膜等を設ける必要がなく、固体撮像装置の薄型化と低価格化とが図られる。
【００１４】
また、第２の発明は、同一基板上に形成された受光部,転送チャネル部および読み出し部を有すると共に,被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とに分割されている固体撮像装置の製造方法において、上記有効画素領域および無効画素領域における上記転送チャネル部上および読み出し部上を覆うと共に,上記受光部上を開口するように,第１遮光膜を高融点金属によって形成する工程と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記第１遮光膜および受光部上に層間絶縁膜を形成する工程と、少なくとも上記無効画素領域において,上記層間絶縁膜上に,上記受光部上,転送チャネル部上および読み出し部上を覆うように第２遮光膜を形成する工程と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記層間絶縁膜および第２遮光膜上に全表面を覆うように保護絶縁膜を形成する工程と、水素アニールを行って上記保護絶縁膜から上記開口を介して上記基板への水素イオンの拡散を行い,上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位を共に低減させる工程を備えたことを特徴としている。
【００１５】
上記構成によれば、無効画素領域において、転送チャネル部および読み出し部上に形成された第１遮光膜は、上記受光部上に開口を有している。したがって、上記無効画素領域において、上記第１遮光膜上に配置されて上記受光部上,転送チャネル部上および読み出し部上を覆う第２遮光膜が水素イオンを透過し易い材料で形成されている場合には、上記第１遮光膜が水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、水素アニール時に上記無効画素領域において保護絶縁膜から基板側への水素イオンの拡散が十分に行われ、上記受光部および転送チャネル部の界面準位が低減される。その結果、上記無効画素領域の黒レベルが、同様に上記第１遮光膜の受光部上に開口を有している有効画素領域の黒レベルと同程度になり差は生じない。
【００１６】
また、第３の発明は、同一基板上に形成された受光部,転送チャネル部および読み出し部を有すると共に,被写体の光情報を検出する有効画素領域と光学的黒を検出する無効画素領域とに分割されている固体撮像装置の製造方法において、上記有効画素領域および無効画素領域における上記転送チャネル部上および読み出し部上を覆うと共に,上記受光部上を開口するように,第１遮光膜を高融点金属によって形成する工程と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記第１遮光膜および受光部上に層間絶縁膜を形成する工程と、少なくとも上記無効画素領域において,上記層間絶縁膜上に,上記受光部上を覆う一方,上記受光部上以外の領域で開口するように第２遮光膜を形成する工程と、上記有効画素領域および無効画素領域における上記層間絶縁膜および第２遮光膜上に全表面を覆うように保護絶縁膜を形成する工程と、水素アニールを行って上記保護絶縁膜から上記各開口を介して上記基板への水素イオンの拡散を行い,上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位を共に低減させる工程を備えたことを特徴としている。
【００１７】
上記構成によれば、無効画素領域において、転送チャネル部および読み出し部上に形成された第１遮光膜は、上記受光部上に開口を有している。さらに、上記無効画素領域において、上記第１遮光膜上の第２遮光膜は、上記受光部上を覆う一方、上記受光部上以外の領域で開口している。したがって、上記第１遮光膜が水素イオンを透過し難い材質で形成され、尚且つ、上記第２遮光膜が水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、水素アニール時に上記無効画素領域において保護絶縁膜から基板側への水素イオンの拡散が十分に行われる。その結果、上記受光部および転送チャネル部の界面準位が低減される。
【００１８】
また、上記第２の発明あるいは第３の発明の固体撮像装置の製造方法は、上記第２遮光膜を配線用金属膜で成すことが望ましい。
【００１９】
上記構成によれば、上記配線用金属膜が第２遮光膜として機能するので、上記第１遮光膜に加えて、さらに第２遮光膜等を設ける必要がなく、固体撮像装置の薄型化と低価格化とが図られる。
【００２０】
また、上記第３の発明の固体撮像装置の製造方法は、上記第２遮光膜としての配線用金属膜を、ＴiあるいはＴi合金を含む積層構造膜で形成することが望ましい。
【００２１】
上記構成によれば、上記配線用金属膜がＴiあるいはＴi合金を含むバリアメタル及び反射防止膜の多層構造膜で形成されて画素の微細化が図られた場合でも、水素アニール時に上記無効画素領域における上記水素イオンの拡散が十分に行われる。その結果、上記受光部および転送チャネル部の界面準位が低減される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
＜第１実施の形態＞
図１は、本実施の形態の固体撮像装置としてのＣＣＤエリアセンサにおける上述した有効画素領域Ａの断面(図６におけるＣ‐Ｃ'矢視断面に相当)を示す。また、図２は、無効画素領域Ｂの断面(図６におけるＣ‐Ｃ'矢視断面に相当)を示す。図１及び図２において、２１はＮ型半導体基板、２２は第１Ｐ型不純物層、２３は受光部領域、２４は転送チャネル領域、２５は読み出しゲート領域、２６はゲート絶縁膜としてのシリコン酸化膜、２７はゲート絶縁膜としてのシリコン窒化膜、２８はポリシリコンゲート電極、２９はポリシリコンゲート電極２８を含む全面を覆うシリコン酸化膜、３０はＴiＷ膜で成る遮光膜、３１は平坦化と絶縁用のＢＰＳＧ等のシリコン酸化膜、３２はＡl‐Ｓi膜で成る配線用金属膜、３３はＰ‐ＳiＮ(プラズマ窒化珪素)等のパッシベーション膜である。尚、受光部領域２３および転送チャネル領域２４は、第１Ｐ型不純物層２２内に形成されている。
【００２３】
上記構造を有するＣＣＤエリアセンサは以下のようにして形成される。先ず、Ｎ型半導体基板２１としてのＮ型シリコン基板の全面にボロンをイオン注入し、その後熱拡散を行って第１Ｐ型不純物層２２としての第１Ｐ型ウエル層を形成する。次に、第１Ｐ型ウエル層２２における転送チャネル領域２４を形成する領域にフォトレジストを用いて窓明けを行い、ボロンおよびリンを順次イオン注入する。こうして、転送チャネル領域２４を構成する第２Ｐ型不純物層(第２Ｐ型ウエル層)３５およびＮ型不純物層３６が形成される。上記フォトレジストを除去した後、次に、第１Ｐ型ウエル層２２における転送チャネル領域２４と受光部領域２３との間の領域にフォトレジストを用いて窓明けを行い、ボロンをイオン注入してＰ型チャネルストップ層３７を形成する。
【００２４】
次に、上記フォトレジストを除去した後、熱酸化を行ってゲート絶縁膜としてのシリコン酸化膜２６を形成し、ＣＶＤによってゲート絶縁膜としてのシリコン窒化膜２７を形成する。さらに、ＣＶＤによってポリシリコン膜を堆積した後、ＰＯＣl3を拡散源とした固相熱拡散法(ＰＯＣl3法)によってリンをドープし、フォトレジストによってポリシリコンゲート電極２８を形成する領域を覆い、反応性イオンエッチングによってリンドープポリシリコン膜およびシリコン窒化膜２７を除去してポリシリコンゲート電極２８を形成する。
【００２５】
通常、ＣＣＤエリアセンサにおいては、上記ポリシリコンゲート電極２８を２層構造もしくは３層構造にする。その場合には、フォトレジスト除去後、１層目のポリシリコンゲート電極と２層目のポリシリコンゲート電極との間を絶縁するために、熱酸化によって１層目のポリシリコンゲート電極上に層間酸化膜を形成し、１層目のポリシリコンゲート電極と同様にして２層目のポリシリコンゲート電極を形成する。３層目のポリシリコンゲート電極を形成する場合も、同様にして、再度層間酸化膜およびポリシリコンゲート電極を形成する。
【００２６】
次に、上記第１Ｐ型ウエル層２２における受光部領域２３を形成する領域にフォトレジストを用いて窓明けを行い、リンおよびボロンを順次イオン注入する。こうして、受光部領域２３を構成するＮ型不純物層３８および受光部表面のＰ型正孔蓄積層３９が形成される。そうした後、上記フォトレジストを除去する。
【００２７】
次に、上記ポリシリコンゲート電極２８と後に形成する遮光膜３０との間を絶縁するためにＣＶＤによってシリコン酸化膜２９を形成し、さらに遮光膜３０として高融点金属ＴiＷをスパッタによって堆積する。その後、フォトレジストを形成して有効画素領域Ａおよび無効画素領域Ｂの両方における受光部領域２３上を開口し、反応性イオンエッチングによって受光部領域２３上の高融点金属ＴiＷを除去して開口部４０を形成する。
【００２８】
次に、平坦化のためにＣＶＤによってＢＰＳＧ膜(シリコン酸化膜)３１を堆積する。さらに、配線用金属膜３２を形成するためにスパッタによってＡl‐Ｓi膜を堆積し、フォトレジストによって無効画素領域Ｂを覆う一方、有効画素領域Ａ上のフォトレジストは除去もしくは受光部領域２３上を開口(図１の場合は上記フォトレジストは除去される)し、反応性イオンエッチングによって不要なＡl‐Ｓi膜を除去して配線用金属膜３２を形成する。最後に、パッシベーション膜３３としてＰ‐ＳiＮ膜をプラズマＣＶＤによって堆積させ、シンター処理を行って本実施の形態のＣＣＤエリアセンサが完成する。
【００２９】
上述のようにして形成されたＣＣＤエリアセンサにおいては、図２に示すように、上記無効画素領域Ｂにおける受光部領域２３上で、遮光膜３０に開口部４０が設けられている。したがって、遮光膜３０が高融点金属ＴiＷ等の水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、後の水素アニール工程においてＰ‐ＳiＮ膜から成るパッシベーション膜３３からシリコン基板２１側への水素イオンの拡散が十分に行われ、受光部領域２３及び転送チャネル領域２４の界面準位が低減される。したがって、図３に示すように、無効画素領域Ｂの暗時出力電圧が、有効画素領域Ａの暗時出力電圧と同程度にまで低減されるのである。
【００３０】
すなわち、本実施の形態によれば、上記有効画素領域Ａと無効画素領域Ｂとで黒レベルに差が生ずることが無く、暗時および低照度撮像時における黒レベルの安定化を図ることができるのである。
【００３１】
＜第２実施の形態＞
上記第１実施の形態においては、図２に示すように、無効画素領域Ｂにおける受光部領域２３上の遮光膜３０には開口部４０が設けられてはいるものの、全体が配線用金属膜３２で覆われている。したがって、配線用金属膜３２が、バリアメタルあるいは反射防止膜として使用されるＴiＮ膜を含む多層膜等の水素イオンを透過し難い材質で形成されている場合には、上記水素イオンの拡散が妨げられる。本実施の形態は、このような場合に対処するものである。
【００３２】
図４は、本実施の形態のＣＣＤエリアセンサにおける上記有効画素領域Ａの断面(図６におけるＣ‐Ｃ'矢視断面に相当)を示す。また、図５は、無効画素領域Ｂの断面(図６におけるＣ‐Ｃ'矢視断面に相当)を示す。図４および図５において、５１はＮ型半導体基板、５２は第１Ｐ型不純物層、５３は受光部領域、５４は転送チャネル部、５５は読み出しゲート領域、５６はゲート絶縁膜としてのシリコン酸化膜、５７はゲート絶縁膜としてのシリコン窒化膜、５８はポリシリコンゲート電極、５９はポリシリコンゲート電極５８を含む全面を覆うシリコン酸化膜、６０はＴiＷで成る遮光膜、６１は平坦化と絶縁用のＢＰＳＧ等のシリコン酸化膜、６２はＴiＮ/Ａl‐Ｃu/ＴiＮ膜等のバリアメタルと反射防止膜との多層構造で成る配線用金属、６３はＰ‐ＳiＮ等のパッシベーション膜である。ここで、受光部領域５３および転送チャネル領域５４は、第１Ｐ型不純物層５２内に形成されている。
【００３３】
上記構造を有するＣＣＤエリアセンサは以下のようにして形成される。先ず、Ｎ型半導体基板５１としてのＮ型シリコン基板の全面にボロンをイオン注入し、その後熱拡散を行って第１Ｐ型不純物層５２としての第１Ｐ型ウエル層を形成する。次に、第１Ｐ型ウエル層５２における転送チャネル領域５４を形成する領域にフォトレジストを用いて窓明けを行い、ボロンおよびリンを順次イオン注入する。こうして、転送チャネル領域５４を構成する第２Ｐ型不純物層(第２Ｐ型ウエル層)６５およびＮ型不純物層６６が形成される。上記フォトレジストを除去した後、次に、第１Ｐ型ウエル層５２における転送チャネル領域５４と受光部領域５３との間の領域にフォトレジストを用いて窓明けを行い、ボロンをイオン注入してＰ型チャネルストップ層６７を形成する。
【００３４】
次に、上記フォトレジストを除去した後、熱酸化を行ってゲート絶縁膜としてのシリコン酸化膜５６を形成し、ＣＶＤによってゲート絶縁膜としてのシリコン窒化膜５７を形成する。さらに、ＣＶＤによってポリシリコン膜を堆積した後、ＰＯＣl3法によってリンをドープし、フォトレジストによってポリシリコンゲート電極５８を形成する領域を覆い、反応性イオンエッチングによってリンドープポリシリコン膜およびシリコン窒化膜５７を除去してポリシリコンゲート電極５８を形成する。尚、第１実施の形態の場合と同様に、上記ポリシリコンゲート電極５８を多層構造にする場合は、以後、フォトレジスト除去、熱酸化による層間酸化膜の形成、次層のポリシリコンゲート電極の形成を繰り返す。
【００３５】
次に、上記第１Ｐ型ウエル層５２における受光部領域５３を形成する領域にフォトレジストを用いて窓明けを行い、リンおよびボロンを順次イオン注入する。こうして、受光部領域５３を構成するＮ型不純物層６８および受光部表面のＰ型正孔蓄積層６９が形成される。そうした後、上記フォトレジストを除去する。
【００３６】
次に、上記ポリシリコンゲート電極５８と後に形成する遮光膜６０との間を絶縁するためにＣＶＤによってシリコン酸化膜５９を形成し、さらに遮光膜６０として高融点金属ＴiＷをスパッタによって堆積する。その後、フォトレジストを形成して有効画素領域Ａおよび無効画素領域Ｂの両方における受光部領域５３上を開口し、反応性イオンエッチングによって受光部領域５３上の高融点金属ＴiＷを除去して開口部７０を形成する。
【００３７】
次に、平坦化のためにＣＶＤによってＢＰＳＧ膜(シリコン酸化膜)６１を堆積する。さらに、配線用金属膜６２を形成するためにスパッタによってＴiＮ/Ａl‐Ｃu/ＴiＮ膜を堆積する。そして、全面にフォトレジストを堆積し、無効画素領域Ｂにおける開口部７０の直上以外の領域を開口する一方、有効画素領域Ａにおいては除去または受光部領域５３上を開口(図４の場合は上記フォトレジストは除去される)し、反応性イオンエッチングによって不要なＴiＮ/Ａl‐Ｃu/ＴiＮ膜を除去して配線用金属膜６２を形成する。
【００３８】
こうして、本実施の形態の上記無効画素領域Ｂにおいては、配線用金属膜６２における開口部７０の直上以外の領域に、開口部７１を形成するのである。ＣＣＤエリアセンサにおける画素の微細化が進むにつれて、配線用金属膜は多層構造にする場合が多くなっている。そして、バリアメタル及び反射防止膜を構成するＴiＮは、次工程の水素アニールにおいて水素イオンの拡散を阻害することになる。そこで、上述のように、配線用金属膜６２における受光部領域５３上以外の個所に開口部７１を設けることによって、受光部領域５３に対する光入射を阻止しつつ、上記水素アニール時の水素イオンの拡散を促すことができるのである。
【００３９】
最後に、上記パッシベーション膜６３としてＰ‐ＳiＮ膜をプラズマＣＶＤによって堆積させ、シンター処理を行って本実施の形態のＣＣＤエリアセンサが完成する。
【００４０】
上述のようにして形成されたＣＣＤエリアセンサにおいては、図５に示すように、上記無効画素領域Ｂにおける受光部領域５３上では、遮光膜６０に開口部７０が設けられている。さらに、この開口部７０の直上以外の領域における配線用金属膜６２にも開口部７１が設けられている。したがって、遮光膜３０が高融点金属ＴiＷ等の水素イオンを透過し難い材質で形成され、且つ、配線用金属膜６２がバリアメタルあるいは反射防止膜で使用されるＴiＮ膜を含む多層膜の如く水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、後の水素アニール工程においてＰ‐ＳiＮ膜から成るパッシベーション膜６３からシリコン基板５１側への水素イオンの拡散が十分に行われ、受光部領域５３及び転送チャネル領域５４の界面準位が低減される。したがって、図３に示すように、無効画素領域Ｂの暗時出力電圧が、有効画素領域Ａの暗時出力電圧と同程度にまで低減されるのである。
【００４１】
すなわち、本実施の形態によれば、上記有効画素領域Ａと無効画素領域Ｂとで黒レベルに差が生ずることが無く、暗時および低照度撮像時における黒レベルの安定化を図ることができるのである。
【００４２】
尚、上記各実施の形態における配線用金属膜３２,６２は、必ずしも配線用の金属膜である必要は無い。また、上記各実施の形態におけるＣＣＤエリアセンサの製造方法はほんの一例に過ぎず、形成手順や使用材料や成膜方法等は上述したものに限定されるものではない。
【００４３】
【発明の効果】
以上より明らかなように、第１の発明の固体撮像装置は、第１遮光膜を、有効画素領域および無効画素領域の両領域において、受光部上は開口し、転送チャネル部上および読み出し部上は覆うように成し、第２遮光膜を、上記無効画素領域において、上記受光部上は覆う一方この受光部上以外の領域で開口するように成すと共に、上記第２遮光膜をＴiＮ膜でなる水素の通過をブロックする材料を含んで多層構造に成したので、上記第１遮光膜および第２遮光膜が水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、水素アニール時に上記無効画素領域における保護絶縁膜から基板側への水素イオンの拡散を上記各開口を介して十分に行うことができる。
【００４４】
したがって、上記無効画素領域における上記受光部と転送チャネル部との界面準位を低減することができ、上記有効画素領域と無効画素領域との暗時出力電圧を同程度にして上記両領域の黒レベル差を無くすことができる。すなわち、この発明によれば、暗時および低照度撮像時における黒レベルの安定化を図ることができるのである。
【００４５】
さらに、上記第２遮光膜は配線用金属膜で構成されているので、上記配線用金属膜を第２遮光膜として機能させることができる。したがって、上記第１遮光膜に加えて、さらに第２遮光膜等を設ける必要がなく、固体撮像装置の薄型化と低価格化とを図ることができる。
【００４６】
また、第２の発明の固体撮像装置の製造方法は、第１遮光膜を、有効画素領域および無効画素領域の両領域において、受光部上は開口する一方転送チャネル部上および読み出し部上は覆うように高融点金属で形成し、水素アニールを行って保護絶縁膜から上記開口を介して基板側への水素イオンの拡散を行って上記有効画素領域および無効画素領域の界面準位を共に低減させるので、上記第１遮光膜が水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、上記水素アニール時における水素イオンの拡散を十分に行うことができる。
【００４７】
したがって、上記無効画素領域における上記受光部と転送チャネル部との界面準位を低減することができ、上記有効画素領域と無効画素領域との暗時出力電圧を同程度にして上記両領域の黒レベル差を無くすことができる。すなわち、この発明によれば、暗時および低照度撮像時における黒レベルの安定化を図ることができるのである。
【００４８】
その際に、上記無効画素領域における第２遮光膜は上記受光部上を覆っているので、上記無効画素領域の受光部への入射光を確実に遮ることができる。
【００４９】
また、第３の発明は、上記第２の発明の構成に加えて、上記無効画素領域における第２遮光膜を、上記受光部上は覆う一方、この受光部上以外の領域で開口するように形成したので、上記第１遮光膜および第２遮光膜の両方が水素イオンを透過し難い材質で形成されていても、水素アニール時に上記無効画素領域における保護絶縁膜から基板側への水素イオンの拡散を十分に行うことができる。
【００５０】
したがって、上記第２の発明の場合と同様に、上記有効画素領域と無効画素領域との黒レベル差を無くすことができ、暗時および低照度撮像時における黒レベルの安定化を図ることができるのである。
【００５１】
また、上記第２の発明あるいは第３の発明の固体撮像装置の製造方法は、上記第２遮光膜を配線用金属膜で構成すれば、上記配線用金属膜を第２遮光膜として機能させることができる。したがって、上記第１遮光膜に加えて、さらに第２遮光膜等を設ける必要がなく、固体撮像装置の薄型化と低価格化とを図ることができる。
【００５２】
また、上記第３の発明の固体撮像装置の製造方法は、上記第２遮光膜としての配線用金属膜をＴiまたはＴi合金を含む積層構造膜で形成すれば、上記配線用金属膜をＴiを用いたバリアメタルおよび反射防止膜の多層構造膜で形成して画素の微細化を図る場合でも、水素アニール時に上記無効画素領域における上記水素イオンの拡散を十分に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の固体撮像装置としてのＣＣＤエリアセンサにおける有効画素領域の断面図である。
【図２】図１に対応する無効画素領域の断面図である。
【図３】有効,無効画素領域における暗時出力電圧の従来との比較図である。
【図４】図１とは異なるＣＣＤエリアセンサにおける有効画素領域の断面図である。
【図５】図４に対応する無効画素領域の断面図である。
【図６】ＣＣＤエリアセンサにおける有効画素領域と無効画素領域との説明図である。
【図７】従来のＣＣＤエリアセンサにおける有効画素領域での断面図である。
【図８】図７に対応する無効画素領域での断面図である。
【符号の説明】２１,５１…Ｎ型半導体基板、
２２,５２…第１Ｐ型不純物層(第１Ｐ型ウエル層)、
２３,５３…受光部領域、
２４,５４…転送チャネル領域、
２５,５５…読み出しゲート領域、
２６,５６…シリコン酸化膜(ゲート絶縁膜)、
２７,５７…シリコン窒化膜(ゲート絶縁膜)、
２８,５８…ポリシリコンゲート電極、
２９,５９…シリコン酸化膜、
３０,６０…遮光膜、
３１,６１…ＢＰＳＧ膜、
３２,６２…配線用金属膜、
３３,６３…パッシベーション膜、
３５,６５…第２Ｐ型不純物層(第２Ｐ型ウエル層)、
３６,３８,６６,６８…Ｎ型不純物層、
３７,６７…Ｐ型チャネルストップ層、
３９,６９…Ｐ型正孔蓄積層、
４０,７０,７１…開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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