(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフローメータを備えた熱処理装置において、上記フローメータは、流量に応じて変位する移動体を収容した流量計測管および流量調節ハンドルを有するフローメータ本体と、その流量計測管に沿って移動可能に設けられ、上記移動体を介して流動限界点を検知する検知器を有する可動ブロックと、この可動ブロックを所望の位置に設定して固定する摘みとを備え、上記流量調節ハンドルおよび上記摘みを上記フローメータ本体の前面に配置してなり、複数の上記フローメータを隣接して配置すると共に、流量調節ハンドルの操作が容易に行えるように交互に位置をずらして配置してなることを特徴とする熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体である半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の処理を施すための各種の熱処理装置が用いられている。この熱処理装置は、無塵化された箱状のハウジングを備え、このハウジングの前部には複数枚のウエハを収納したカセットを搬入搬出するポートが設けられ、ハウジング内の後部には上記カセットからウエハが移載されたウエハボートを装入して熱処理する熱処理炉が設けられている。
【０００３】
このような熱処理装置においては、上記熱処理炉の周囲を冷却する水冷ジャケット等に冷却水を所定の流量で供給するために、上記ハウジングの後部にはフローメータが設置されている。このフローメータは、流量に応じて上下に変位する移動体例えばフロートを収容した流量計測管を備えており、そのフロートを介して流量の下限を検知するための検知器例えばリードスイッチが流量計測管に沿って移動可能に設けられ、そのリードスイッチを所望の位置に設定して固定するためのネジが後面に設けられている。上記リードスイッチの位置の設定は、通常、熱処理装置の出荷時に行なわれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記フローメータにおいては、熱処理装置の出荷輸送時の振動等で摘みが緩み、リードスイッチの位置がずれることがある。この場合、リードスイッチの位置を調整し直す必要があるが、上記ネジが本体の後面側から操作されるようになっているため、フローメータを取付けているパネルを取外して調整操作を行なわなければならず、操作性およびメンテナンス性の点で改善すべき課題があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、操作性およびメンテナンス性に優れた熱処理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、複数のフローメータを備えた熱処理装置において、上記フローメータは、流量に応じて変位する移動体を収容した流量計測管および流量調節ハンドルを有するフローメータ本体と、その流量計測管に沿って移動可能に設けられ、上記移動体を介して流動限界点を検知する検知器を有する可動ブロックと、この可動ブロックを所望の位置に設定して固定する摘みとを備え、上記流量調節ハンドルおよび上記摘みを上記フローメータ本体の前面に配置してなり、複数の上記フローメータを隣接して配置すると共に、流量調節ハンドルの操作が容易に行えるように交互に位置をずらして配置してなることを特徴とする。
【０００９】
【実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。図１は本発明の実施の形態であるフローメータを示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図２は図１のフローメータの平面図、図３は図１の（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図、図４はフローメータが使用された熱処理装置の斜視図である。
【００１０】
これらの図において、１はフローメータで、このフローメータ１の本体（フローメータ本体ともいう）２は流量に応じて上下に変位する移動体（指示体ともいう）例えばフロート３を収容した垂直の流量計測管４を備えている。この流量計測管４の上下端には、平面方形の端部形成体（フィッティングともいう）５，６が気密に設けられ、本実施の形態では端部形成体５，６が四隅に配置したステイボルト７を介して連結されている。なお、端部形成体５，６の連結形態としては、後述するようにステイボルト７を使用しない場合もある。
【００１１】
上記流量計測管４は、内径が流体例えば冷却水の流れ方向（下から上）に漸増した透明材質製のテーパ管からなり、前面には目盛８が付されている。上記フロート３は、流量計測管４内においてフロート３の重量と流量計測管４内を流れる冷却水の流量とがバランスする位置に変位されるようになっている。フロート３には、後述のリードスイッチ１４により検知されるマグネットが取付けられている（図示省略）。
【００１２】
上端の端部形成体５には、流量調節弁例えばニードル弁が組込まれており（図示省略）、その前面には流量調節ハンドル９が突設され、後面には管継手１０を有する出口管部１１が突設されている。下端の端部形成体６の後面には管継手１２を有する入口管部１３が突設されている。
【００１３】
上記フローメータ本体２には、上記フロート３を介して流量限界点を検知する検知器例えばリードスイッチ（近接スイッチともいう）１４を有する可動ブロック１５が上下に二つ上記流量計測管に沿って移動可能に設けられると共に、各可動ブロック１５を所望の位置に設定して固定するための摘み１６が前面に配置されている。上記フローメータ本体２は、その周囲を覆うカバー１７を有している。本実施の形態のカバー１７は、フローメータ本体２の両側面および後面を覆う平断面コ字状に形成され、カバー１７の前面にはフローメータ本体２の前面を覆う前面カバー１８が設けられている。なお、カバー１７の形状はこれに限定されず、また、カバー１７自体がフローメータ本体２を構成していてもよい。
【００１４】
上記可動ブロック１５は、流量計測管４と、上下の端部形成体５，６と、カバー１７および前面カバー１８とにより区画された空間部内に昇降移動可能に設けられている。可動ブロック１５は、カバー１７内に納り得る形状例えば平面方形に形成されており、その中央には流量計測管４を挿通する挿通穴１９が設けられている。また、可動ブロック１５の四隅には上記スティボルト７を挿通する孔部２０が設けられ、可動ブロック１５はそのスティボルト７を介して上下に移動可能（昇降可能）に支持されている。
【００１５】
上記可動ブロック１５の後部に上記リードスイッチ１４が取付けられ、可動ブロック１５の前面一側部に上記摘み１６が取付けられている。この摘み１６は、ネジ部１６ａを有し、このネジ部１６ａが上記可動ブロック１５の前面一側部に捩じ込まれている。上記カバー１７の後面部には上記可動ブロック１５と一体に昇降移動するリードスイッチ１４の移動を許容する開口部２１が設けられている。
【００１６】
上記前面カバー１８には、流量計測管４を見るための窓２２と、上記可動ブロック１５と一体に昇降移動する摘み１６のネジ部１６ａの移動を許容するスリット２３とが設けられている。なお、前面カバー１８が透明材質からなる場合には、上記窓２２は必ずしも必要とされない。上記可動ブロック１５は、流量計測管４およびその内部が見えるよう透明材質からなることが好ましい。上記摘み１６は、ネジ部１６ａの捩じ込みによりネジ部１６ａの先端をスティボルト７の側面に圧接させるか、あるいは摘み１６を前面カバー１８に圧接させることにより、上記可動ブロック１５を所望の位置に固定するようになっている。
【００１７】
以上のように構成されたフローメータ１は、例えば図４に示すように熱処理装置のハウジング２４内に設けられた熱処理炉２５の水冷ジャケット等に冷却水を所定の流量で供給するために、ハウジング２４の後部一側に取付けられたパネル２６に複数個取付けられる。なお、フローメータ１の取付位置は、これに限定されるものではない。複数のフローメータ１を隣接して配置する場合、流量調節ハンドル９の操作が容易に行なえるように、交互に位置をずらして配置するようにしても良い。
【００１８】
上記フローメータ１において、流量限界点を設定する場合には、先ず摘み１６を緩む方向に回転させて可動ブロック１５の固定を解除し、次に摘み１６を介して可動ブロック１５を上下に移動させて所望の位置に設定したら、摘み１６を締る方向に回転させて可動ブロック１５を固定すればよい。上記摘み１６がフローメータ本体２の前面に設けられているため、従来のフローメータのようにパネル２６を取外して後面側から調整する必要がなく、調整操作を容易に行なうことができる。従って、熱処理装置の出荷輸送時の振動等で摘み１６が緩み、可動ブロック１５の位置がずれたとしても、その位置を簡単に調整し直すことができ、操作性およびメンテナンス性が良い。
【００１９】
上記可動ブロック１５を上下に二つ備えているため、例えば流量の上限と下限を設定したり、あるいは下限の第１段階と第２段階を設定したりすることが可能となる。後者の場合、何等かの原因で冷却水の流量が変動例えば低下した場合、フロート３が下降することにより、これを先ず上のリードスイッチ１４が検知し、次に下のリードスイッチ１４が検知する。これら上下のリードスイッチ１４の検知信号により、先ず第１段階でアラームを発し、次に第２段階で熱処理装置の電源を落として運転を停止するといった制御を行なうことが可能となる。
【００２０】
従来のフローメータでは、リードスイッチが一つしか付いていなかったため、流量が一時的に変動した場合でも熱処理装置を停止させてしまうことがあり、流量の一時的な変動に対処することが困難であった。これに対して、本実施の形態のフローメータ１では、リードスイッチ１４を有する可動ブロック１５を二つ備えているため、流量の一時的な変動に容易に対処することが可能となる。例えば、流量の一時的な変動に対してはアラームだけで対処でき、熱処理装置の運転まで停止されることがないので、処理が中断されることがない。
【００２１】
このように上記フローメータ１によれば、流量に応じて上下に変位する移動体例えばフロート３を収容した流量計測管４を有するフローメータ本体２と、その流量計測管４に沿って移動可能に設けられ、上記フロート３を介して流量限界点を検知する検知器例えばリードスイッチ１４を有する可動ブロック１５と、この可動ブロック１５を所望の位置に設定して固定する摘み１６とを備え、上記摘み１６を上記フローメータ本体２の前面に配置しているため、リードスイッチ１４を有する可動ブロック１５の位置調整を容易に行なうことが可能となり、操作性およびメンテナンス性の向上が図れる。
【００２２】
また、上記可動ブロック１５が流量計測管４に沿って二つそれぞれ移動可能に設けられているため、流量限界点を二つ設定することが可能となり、例えば第１段階でアラームを発し、第２段階で装置を停止するといった制御を行なうことが可能となり、一時的な流量変動に対して容易に対処することが可能となる。更に、上記フローメータ本体２が上記可動ブロック１５を移動可能に覆うカバー１７を有し、上記摘み１６がそのカバー１７の前面部（前面カバー１８）に上記可動ブロック１５の移動方向に形成されたスリット２３を介して可動ブロック１５に捩じ込まれるネジ部１６ａを有しているため、摘み１６の操作で可動ブロック１５の位置調整が容易に行なえると共に可動ブロック１５を所望の位置に確実に固定することが可能となる。
【００２３】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。図５は、本発明の他の実施の形態であるフローメータを示す横断面図である。このフローメータ１は、フローメータ本体２を構成するカバー１７を有しており、このカバー１７内の上下部に端部形成体５，６が一体的に設けられ、従って、ステイボルトを有していない。
【００２４】
上記端部形成体５，６間には流量計測管４が介設され、この流量計測管４と、端部形成体５，６と、カバー１７で区画された空間部に移動ブロック１５が流量計測管４に沿って移動可能に設けられている。その他の構成は、前記実施の形態とほぼ同じであり、同じ参照符合を付して説明を省略する。本実施の形態のフローメータ１によっても、前記実施の形態のものと同様の作用効果が得られる。
【００２５】
本発明が適用されるフローメータ１としては、可動ブロック１５を二つ備えていることが好ましいが、可動ブロック１５を一つだけ備えていても良く、あるいは三つ以上複数備えていても良い。また、フローメータ１としては、流量計測管４を垂直以外の姿勢例えば水平に配置し、移動体３には流体の流れ方向とは逆の方向へ付勢する付勢手段を設け、移動体３が流量に応じて流量計測管４内を水平に変位するように構成されていても良い。
【００２６】
また、摘みは、必ずしもネジ式である必要はなく、例えば稼働ブロックにバネを介して摘みを取付け、この摘みがバネ力でカバーの前面部に圧接するように構成されていても良い。この場合、摘みが振動等で勝手にカバーの前面部を移動しないように、これらの接触面に凹凸や歯溝等の摩擦抵抗部を設けることが好ましい。
【００２７】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果が得られる。
【００２８】
（１）請求項１記載の熱処理装置によれば、複数のフローメータを備えた熱処理装置において、上記フローメータは、流量に応じて変位する移動体を収容した流量計測管および流量調節ハンドルを有するフローメータ本体と、その流量計測管に沿って移動可能に設けられ、上記移動体を介して流動限界点を検知する検知器を有する可動ブロックと、この可動ブロックを所望の位置に設定して固定する摘みとを備え、上記流量調節ハンドルおよび上記摘みを上記フローメータ本体の前面に配置してなり、複数の上記フローメータを隣接して配置すると共に、流量調節ハンドルの操作が容易に行えるように交互に位置をずらして配置してなるため、検知器を有する可動ブロックの位置調整および流量調整ハンドルの操作を容易に行うことが可能となり、操作性およびメンテナンス性の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態であるフローメータを示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図２】図１のフローメータの平面図である。
【図３】図１の（ｂ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】フローメータが使用された熱処理装置の斜視図である。
【図５】本発明の他の実施の形態であるフローメータを示す断面図である。
【符号の説明】
１  フローメータ
２  フローメータ本体
３  フロート（移動体）
４  流量計測管
１４  リードスイッチ（検知器）
１５  可動ブロック
１６  摘み
１６ａ  ネジ部
１７  カバー
１８  前面カバー（カバーの前面図）
２３  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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