(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータと、該ステータに対して可動なロータと、ステータに対して可動要素を非接触支持する空気軸受けとを備える空気軸受けモータにおいて、
スロットレスの環状のステータコアに線材をトロイダル状に巻回してコアの周方向に多層に重ねて形成した巻き線を備え、
第一層のトロイダル巻を終了した後、巻終わり端から第一層巻始め端位置まで線材を持っていく箇所を、環状ステータコアのロータに面している面以外の面で行うことを特徴とする空気軸受けモータ。
【請求項２】
ステータは、ロータと対向するラジアル面に樹脂モールドを備える、請求項１記載の空気軸受けモータ。
【請求項３】
ロータは、ステータと対向するラジアル面に樹脂モールドを備える、請求項１、又は２記載の空気軸受けモータ。
【請求項４】
空気軸受けは、ステータとロータ間のラジアル面、及びロータとハウジング間のスラスト面の間隙に気体を供給する機構を備える、請求項１，２又は３記載の空気軸受けモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、モータ、特に空気軸受け構造の空気軸受けモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学機器，電子機器などの各種の精密機器では、高精度，高密度，高集積化の伴って、これらの構成部品にはナノメーターオーダーの加工精度が要求されてきている。これら高精度の部品を加工する工作機械やステッパー、電子ビーム描写装置には、非常に高分解能の精度が要求される。一般に、これら加工装置や製造装置において、位置決めは位置決め装置によって行われる。この位置決め装置の位置制御は、ＣＮＣで制御される回転サーボモータやリニアモータによって行われることが多い。したがって、構成部品の加工精度を高めるためには、回転サーボモータやリニアモータを高精度に制御する必要がある。
【０００３】
しかしながら、通常、回転サーボモータやリニアモータはトルクリップルを有しているため、モータを高精度に制御するには、このトルクリップルを減少させる必要がある。
【０００４】
トルクリップルは、大別すると、機械構造的なトルクリップルと電磁気的なトルクリップルとに区分することができる。たとえば、回転サーボモータの場合では、ロータ軸のベアリング等に生じる摩擦抵抗は機械構造的なトルクリップルの要因となり、また、ロータとステータ間に生じる磁気的ひずみは電磁気的なトルクリップルの要因となる。
【０００５】
従来、機械構造的なトルクリップルを低減するために、軸受けを空気軸受けや磁気軸受け等によって、非接触な軸支持を行う等によって摩擦抵抗を減少させるものが提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
図１７は従来のモータ構造を説明するための概略断面図である。図１７に示すように、モータのステータ１１０では、符号１０４で示すような巻き線の耳と呼ばれるモータの軸方向にステータコア１１１から突出した巻き線部分が存在する。この部分は、電磁気的にロータに寄与しない部分である。そのため、巻き数が多くなるとモータの大きさが大きくなり、小型化に支障が生じるという問題がある。ステータ等を支持する支持部材側のハウジング１３１において、突出した巻き線部分である巻き線の耳１０４に対応する部分を削ってザグリ溝１３２を形成し、このザグリ溝１３２内に巻き線の耳１０４を納めることによって小型化を行う構成が知られている。
【０００７】
しかしながら、このザグリ溝１３２はモータの機械的剛性を低下させるという問題がある。特に、空気軸受け構造では、ロータ１２０とステータ１１０との間の間隙１４０ｂや、ロータ１２０とハウジング１３１との間の間隙１４０ａに気体を供給し、これによってロータ１２０の非接触で支持する構造であるため、ステータ１１０及びハウジング１３１は、この供給気体によって外側に向かう力Ｆｂ，Ｆａを受ける。この力Ｆｂ，Ｆａによって、ハウジング１３１のザグリ溝１３２の近傍（図１７中のＡ付近）に応力集中が発生してひずみが生じる。このひずみによって、間隙の間隔が変化して、ロータ１２０の支持が不安定となったり、また、ひずみが大きくなるとハウジング１３１は破損するおそれも生じることになる。
【０００８】
したがって、従来の空気軸受けモータでは、機械的剛性を高めるためにハウジングの厚さを厚くする構成が採用されており、空気軸受けモータの小型化を困難とする要因ともなっている。
【０００９】
そこで、本発明は従来の問題点を解決し、空気軸受けモータにおいて、巻き線に位置精度を高めて巻き線の厚みを均一なものとし、機械的剛性を低下させることなく小型化が可能な空気軸受けモータを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ステータと、該ステータに対して可動なロータと、ステータに対して可動要素を非接触支持する空気軸受けとを備える空気軸受けモータにおいて、スロットレスの環状のステータコアに線材をトロイダル状に巻回してコアの周方向に多層に重ねて形成した巻き線を備え、第一層のトロイダル巻を終了した後、巻終わり端から第一層巻始め端位置まで線材を持っていく箇所を、環状ステータコアのロータに面している面以外の面で行うように構成したものである。
【００１１】
ここで、トロイダル状の巻回は、線材をらせん状に回転させながら巻回する場合に、該巻回動作によって巻き線が形成されていく一方向において、巻回した線材に交差部分がなく巻回することであり、これによって、ステータコアの面に対して接線方向の巻き線の位置精度を高めることができる。
【００１２】
また、整列巻きの巻回は、巻き線を層単位に形成し、形成した各層を積み重ねて巻回することであり、これによって、ステータコアの面に対して法線方向の巻き線の位置精度を高めることができる。この法線方向の巻き線の位置精度を高めることによって、巻き線全体の厚みの均一なものとすることができる。
【００１３】
したがって、スロットレスのステータコアに、線材をトロイダル状、かつ整列巻きで巻回することによって、ステータコアの面に対して接線方向及び法線方向の両方向について、巻き線の位置精度を高めることができるとともに、巻き線全体の厚みの均一なものとして、従来の巻き線の耳にあたる突出部分を除くことができる。
【００１４】
本発明の空気軸受けモータは、前記巻き線構造によって、ステータは従来のような突出部分を有しないため、ハウジングはザグリ溝を形成する必要が無く、応力集中に対応して肉厚を厚くする必要がない。そのため、空気軸受けモータのハウジングの肉厚を薄い構造とすることができ、ハウジングを小型化することができる。
【００１５】
また、接線方向及び法線方向について高い位置精度で巻き線を形成することによって、巻き線の電気抵抗やインダクタンスを均一なものとすることができ、均一な磁場を形成することができるという効果を奏することもできる。
【００１６】
なお、トロイダル状の巻回において、線材を一定の巻回ピッチで重ねて巻回することによって、トロイダル状、かつ整列巻きで巻回した巻き線と同様の効果をそうすることができる。
【００１７】
また、ステータにおいて、ロータと対向するラジアル面に樹脂モールドを備える構成や、ロータにおいて、ステータと対向するラジアル面に樹脂モールドを備える構成とすることができ、これによって、巻き線や磁石の凹凸面を整形し、空気圧の均一化させて、安定した支持を可能とすることができる。
【００１８】
また、ステータとロータ間のラジアル面、及びロータとハウジング間のスラスト面の間隙に気体を供給する機構とすることによって、軸受け面積を大きくすることができ、軸受けの剛性を高めて、ロータを安定して支持することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明の空気軸受けモータを説明するための概略断面図であり、回転式モータを例として場合で示している。図１において、空気軸受けモータ１は、シャフト３０の取り付けられたロータ２０が、ステータ１０に対して回転する。ステータ１０は、ステータコア１１と線材をトロイダル状、かつ整列巻きで巻回した巻き線３を備える構成である。空気軸受けは、ロータ２０とステータ１０との間の間隙、及びロータ２０とハウジング３１と間の間隙４０に空気等の気体を供給し、この空気圧によって、ロータ２０をステータ１０及びハウジング３１に対して非接触で支持する。
【００２０】
本発明の空気軸受けモータは、ステータの構成において、線材をトロイダル状、かつ整列巻きで巻回した巻き線を用いることによって、従来のステータが備える巻き線の耳と呼ばれる突出部を有さない構造とすることができ、これによって、モータの軸方向の長さを短くすることができるとともに、ハウジング３１の肉厚を薄くすることができ、モータ全体を小型化することができる。
【００２１】
間隙４０内には、図示しない機構によって、圧縮空気を間隙４０内に供給する。圧縮空気は、ロータのスラスト面に対してはハウジング３１内に形成した通路（図示していない）を通して導入し、ロータのラジアル面に対してはステータ１０内及び巻き線内に形成した通路（図示していない）を通して導入することができる。
【００２２】
以下、本発明の空気軸受けモータに用いるステータの構成について、図２〜図９を用いて説明する。図２〜図９は、本発明の巻回方法を三相ＡＣサーボモータのステータに適用した場合の例である。図２〜図５は、巻き線１をロータ側から見た図であり、図２は斜視図、図３はロータ側から見た平面図、図４，５はＡ−Ａの断面図である。また、図６〜図９は、巻き線１をステータ側から見た図であり、図６は斜視図、図７はステータ側から見た平面図、図８，９はＢ−Ｂの断面図である。
【００２３】
ステータコア１１の軸方向の両端面にプリント基板１２，１３を密着させて配置し、該プリント基板１２，１３とステータコア１１との周囲に、これらを一体にとして包むように線材２を巻回する。
【００２４】
この線材２の巻回において、トロイダル状で整列巻きを行う。線材２をステータコア１１及びプリント基板１２，１３に対してトロイダル状に巻回するには、線材２をステータコア１１及びプリント基板１２，１３の軸方向に向かってらせん状に回転させながら巻回する。巻回動作によって巻き線が形成されてる一層分については、トロイダル状とすることによって、図３に示すように、線材２は互いに交差することなく巻回される。
【００２５】
線材２をステータコア１１及びプリント基板１２，１３の軸方向に向かって一層分の巻回を終了した後、端部で折り返し、前回の巻回で形成した層の上に重ねて巻回を行う。次層においても、前回と同様にトロイダル状に巻回を行う。これによって、巻き線を層単位に形成し、形成した各層を積み重ねて巻回する整列巻きを行う。図４，５はこの整列巻きを説明するための図である。図４は、断面形状が円形の線材２ａの場合であり、トロイダル状に巻回される線材２ａは各層間で線材２ａの間に配置され、各層は順に法線方向に積み重ねられる。図５は、断面形状が矩形の平角線の線材２ｂの場合であり、トロイダル状に巻回される線材２ｂは各層を形成し、該層は順に法線方向に積み重ねられる。この巻回において、隣接する線材２ｂの隣接する平角線の隣接辺が平行となるように巻回すると、巻き線の折り返し部分の端部においても、均一な磁場を形成することができる。
【００２６】
また、このとき平角線の断面の各辺の縦横比を適宜定めることによって、巻き線全体のサイズの拡大を抑制することができる。たとえば、短い辺が法線方向となるように平角線を積層することによって、全体の法線方向の厚さを薄く構成することができる。
【００２７】
また、トロイダル状で巻回する場合、巻回動作によって巻き線が形成されていく一方向の各層内では、巻回した線材が交差する部分は形成されないが、巻回動作を折り返して次の層を巻回する場合には、隣接する層間で巻き線が交差する部分が発生する。この巻き線が交差する部分を、図６に示すように、ステータにおいて、ステータにより形成される磁場のうちロータの回転に影響が少ない磁場位置側に配置する。図５では、交差部分をロータと反対側に配置する。また、ステータの軸方向の端面側に配置することもできる。
【００２８】
図７は巻き線の交差部分をステータ側から見た図を示しており、巻き線のステータコアの軸方向に対する角度は、隣接する層間で異なることになる。
図８，９はこの整列巻きの状態を説明するための図である。図８は、断面形状が円形の線材２ａの場合であり、トロイダル状に巻回される線材２ａは各層間で互いに線材２ａ上に配置され、各層は順に法線方向に積み重ねられる。図９は、断面形状が矩形の平角線の線材２ｂの場合であり、トロイダル状に巻回される線材２ｂは各層を形成し、該層は順に法線方向に積み重ねられる。
【００２９】
本発明の空気軸受けモータに用いるステータの巻き線によれば、従来の巻き線に形成された耳部が形成されず、モータの軸方向の長さを抑えることができ、小型化を行うことができる。また、図１に示すように、ハウジング３１にザグリ溝を形成することなく、巻き線セグメント３をモータ内に収納することができる。そのため、ハウジング３１の肉厚を厚くすることなく、空気軸受けの空気圧に耐えることができる。
【００３０】
次に、本発明の空気軸受けモータの実施の形態について、図１０〜図１６を用いて説明する。一般に、回転モータはロータの形状は、モータの使用目的に応じてアウター型、インナー型、及びサイド型に分けられる。図１０に示す空気軸受けモータはインナーロータ型モータの構成例であり、図１１に示す空気軸受けモータはアウターロータ型モータの構成例であり、図１２に示す空気軸受けモータはサイドロータ型モータの構成例である。また、図１３〜図１５はステータにおいて、ロータと多面で対向する構成を示すものであり、図１３、１４は２面を用いた構成例であり、図１５は３面を用いた構成例である。また、図１６はリニアモータに適用した構成例である。
【００３１】
図１０に示す第１の形態はインナーロータ型モータに適用したであり、ロータ２０及びシャフト３０をステータの内側に設け、回転軸Ｃを中心として回転させるものである。
ステータは、ステータコア１１の軸方向の両端にプリント基板１２、１３を配置し、このステータコア１１とプリント基板１２、１３とを一体として包むように線材を巻回して巻き線３を形成している。巻き線３の少なくともロータ２０と対向する面側には樹脂モールド１４が施され、空気軸受けのための間隙４０の内壁面を、所定の平滑度に整形している。なお、この樹脂モールド１４は巻き線３の周囲全体に設けることができる。
【００３２】
また、ロータは２０はロータコア２１に磁石２２を取り付けて形成され、少なくともステータ１０と対向する面側には樹脂モールド２４が施され、空気軸受けのための間隙４０の内壁面を、所定の平滑度に整形している。なお、樹脂モールド１４、２４の外面の整形は、空気軸受け面として必要な面精度が得られるよう研磨加工により行うことができる。
【００３３】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１０において、空気通路４２ａはハウジング３１のロータ２０を挟んだ軸方向の両側に形成され、ロータ２０とハウジング３１間の２つのスラスト面への圧縮空気の導入が行われる。また、空気通路４２ｂはステータコア１１及び巻き線３を通ってロータ２０側に貫通され、ロータ２０とステータ１０間のラジアル面への圧縮空気の導入が行われる。これによって、ロータ２０と、ハウジング３１及びステータ１０との間の間隙４０内への圧縮空気の導入が行われる。
この圧縮空気の導入によって、ロータ２０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
【００３４】
図１１に示す第２の形態はアウターロータ型モータであり、ロータ２０及びシャフト３０をステータの外側に設け、回転軸Ｃを中心として回転させるものである。
第２の形態のステータ及びロータは、前記第１の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説明は重複するため省略する。
【００３５】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１１において、空気通路４２ａはハウジング３１のロータ２０を挟んだ軸方向の両側に形成され、ロータ２０とハウジング３１間の２つのスラスト面への圧縮空気の導入が行われる。また、空気通路４２ｂはステータコア１１及び巻き線３を通ってロータ２０側に貫通され、ロータ２０とステータ１０間のラジアル面への圧縮空気の導入が行われる。これによって、ロータ２０と、ハウジング３１及びステータ１０との間の間隙４０内への圧縮空気の導入が行われる。
【００３６】
なお、ロータ２０及びシャフト３０はハウジング３１の外側に配置される構成であるため、図１１において、ハウジング３１とシャフト３０との間には間隙４０と連通する連通部４３が形成され、シャフト３０はこの連通部４３を挟んでハウジング３１に対して回転する。
この圧縮空気の導入によって、ロータ２０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
【００３７】
図１２に示す第３の形態はサイドロータ型モータであり、ロータ２０及びシャフト３０とステータとを回転軸Ｃの軸方向に沿って配置し、ロータ２０とステータ１０とは回転軸Ｃの軸方向に対向するものであり、回転軸Ｃを中心として回転させるものである。
第３の形態のステータ及びロータは、前記第１の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説明は重複するため省略する。
【００３８】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１２において、空気通路４２ａの一方は空気通路４２ｂに連通し、他方はロータ２０の側面方向、及びロータ２０を挟んだ反対方向に形成される。ロータ２０の側面側に設けられた空気通路４２ａは、ロータ２０とハウジング３１のラジアル面側の間隙４０内に圧縮空気を導入する。また、ロータ２０を挟んだ反対方向に設けられた空気通路４２ａは、シャフト３０を介してロータ２０とハウジング３１の一方のスラスト面側の間隙４０内に圧縮空気を導入を行う。
【００３９】
また、空気通路４２ｂはステータコア１１及び巻き線３を通ってロータ２０側に貫通され、ロータ２０とステータ１０間の他方のスラスト面への圧縮空気の導入を行う。これによって、ロータ２０と、ハウジング３１及びステータ１０との間の間隙４０内への圧縮空気の導入が行われる。
この圧縮空気の導入によって、ロータ２０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
【００４０】
第４，５，６の形態は、ステータがロータに対して多面で対向する構成である。ステータコアがたとえば４角形の場合には、４面の内で、ステータを固定するための１面を除いた３面に電磁気回路を形成してロータの対向面とすることができる。これによって、大きなトルクを形成することができる。
【００４１】
図１３に示す第４の形態はステータコアの２面を用いた構成であり、ステータコアの対向する２面を回転軸Ｃの軸方向に沿って配置し、該ステータコアの各面に対して、ロータの磁極面を挟むように配置するものであり、回転軸Ｃを中心として回転させるものである。
【００４２】
したがって、ロータ２０は対向する２つの磁極間にステータコアを挟み、各磁極との間でトルクが発生する。また、ロータは、ステータコアに対して、２つの磁極との間、及びシャフト３０との間の計３つの間隙４０に導入される圧縮空気によって支持される。
なお、第４の形態のステータ及びロータは、前記第１の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説明は重複するため省略する。
【００４３】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１３において、空気通路４２ａはハウジング３１内を通って空気通路４２ｂに連通する。空気通路４２ｂは、ロータの対向する２つの磁極面とシャフト３０側の３方向に別れ、ステータコア側と２つの磁極との間、及びステータコア側とシャフト３０との間の計３つの間隙４０に圧縮空気を導入する。
この圧縮空気の導入によって、ロータ２０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
【００４４】
図１４に示す第５の形態は、ステータを２つ用いた構成であり、各面は２つのステータコアの１面をそれぞれ用いる構成である。この構成では、２つのステータコアの電磁回路を対向させて、回転軸Ｃの軸方向に沿って配置し、該２つのステータコアの対向する電磁回路の間に、ロータのに磁極面を挟むように配置するものであり、回転軸Ｃを中心として回転させるものである。
【００４５】
したがって、２つのステータは１つのステータコアを挟み、２つの対向面間でトルクが発生する。また、ロータは、２つのステータコアとの間、及びハウジング３１との間の計３つの間隙４０に導入される圧縮空気によって支持される。
なお、第５の形態のステータ及びロータは、前記第１の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説明は重複するため省略する。
【００４６】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１４において、空気通路４２ａはハウジング３１内を通って空気通路４２ｂに連通するとともに、ロータ２０のスラスト面側の間隙につながっている。また、各ステータコアに形成された空気通路４２ｂは、ステータコア側と磁極との間の間隙４０に圧縮空気を導入する。
この圧縮空気の導入によって、ロータ２０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
【００４７】
図１５に示す第６の形態はステータコアの３面を用いた構成であり、ステータコアの対向する２面を回転軸Ｃの軸方向に沿って配置し、該ステータコアの各３面に対して、ロータの磁極面を３方から囲むように配置するものであり、回転軸Ｃを中心として回転させるものである。
【００４８】
したがって、ロータ２０は、断面形状がコの字状に配置された３つの磁極によってステータコアを囲み、各磁極との間でトルクを発生する。また、ロータ２０は、ステータコアに対して、対向する２つの磁極との間、及びシャフト３０側の磁極との間の計３つの間隙４０に導入される圧縮空気によって支持される。
なお、第６の形態のステータ及びロータは、前記第１の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説明は重複するため省略する。
【００４９】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１５において、空気通路４２ａはハウジング３１内を通って空気通路４２ｂに連通する。空気通路４２ｂは、ロータの対向する２つの磁極面とシャフト３０側の３方向に別れ、ステータコア側と２つの磁極との間、及びステータコア側とシャフト３０との間の計３つの間隙４０に圧縮空気を導入する。
【００５０】
この圧縮空気の導入によって、ロータ２０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
図１６に示す第７の形態はリニアモータに適用した構成例であり、ステータ１０とハウジング３１を移動方向に配置するとともに、該ステータ１０とハウジング３１に対して可動部５０を、図面の表裏方向に移動させるものである。
【００５１】
したがって、可動部５０は、ステータコア１１と対向配置されたハウジング３１とのコの字状配置内に移動可能に配置され、可動部５０に設けられた磁極とステータ側との間でトルクを発生する。また、可動部５０は、ステータコア１１との間、及び対向配置されたハウジング３１との間の計３つの間隙４０に導入される圧縮空気によって支持される。
【００５２】
なお、第７の形態のステータ及び可動部は、前記第１の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説明は重複するため省略する。なお、可動コア５０ロータコア２１に対応し、磁石５２は磁石２２に対応し、樹脂モールド５４は樹脂モールド２４に対応している。
【００５３】
空気軸受けを構成するための圧縮空気は、空気流入口４１からモータ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング３１内に形成した空気通路４２ａと、ステータコア１１及び巻き線３内に形成した空気通路４２ｂを通して行うことができる。図１６において、空気通路４２ａはハウジング３１内を通って空気通路４２ｂに連通するとともに、移動部５０の２つの側面部方向に形成され、移動部５０とハウジング３１との間の間隙４０内に圧縮空気を導入する。空気通路４２ｂは、ステータコア１１及び巻き線３を通って、ステータコア側と移動部５０側の磁極との間の間隙４０に圧縮空気を導入する。
この圧縮空気の導入によって、移動部５０はハウジング３１及びステータ１０に対して非接触で支持される。
【００５４】
なお、前記形態では、ステータコアが４面の場合について説明しているが、コアの形状の面数は任意に定めることができる。また、ステータの個数を複数とし、各ステータに供給する電流の位相をずらすことによって、電磁気回路で形成される磁界分布を調整して、回転及び移動を円滑に制御することができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、巻き線に位置精度を高めて巻き線の厚みを均一なものとし、機械的剛性を低下させることなく小型化が可能な空気軸受けを備える空気軸受けモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の空気軸受けモータの概略を説明するためのモータ断面図である。
【図２】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線をロータ側から見た斜視図である。
【図３】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線をロータ側から見た平面図である。
【図４】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線のＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線のＡ−Ａ断面図である。
【図６】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線をステータ側から見た斜視図である。
【図７】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線をステータ側から見た平面図である。
【図８】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線のＢ−Ｂ断面図である。
【図９】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線のＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】本発明の空気軸受けモータのインナーロータ型モータの構成例を説明するための断面図である。
【図１１】本発明の空気軸受けモータのアウターロータ型モータの構成例を説明するための断面図である。
【図１２】本発明の空気軸受けモータのサイドロータ型モータの構成例を説明するための断面図である。
【図１３】本発明の空気軸受けモータにおいて、ステータの２面を用いた構成例を説明するための断面図である。
【図１４】本発明の空気軸受けモータにおいて、ステータを２つ用いた構成例を説明するための断面図である。
【図１５】本発明の空気軸受けモータにおいて、ステータの３面を用いた構成例を説明するための断面図である。
【図１６】本発明の空気軸受けモータをリニアモータに適用した構成例を説明するための断面図である。
【図１７】従来のモータ構造を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
１  モータ
２，２ａ，２ｂ  線材
３，１０３  巻き線
４  巻回開始接点
５  巻回終了接点
６  配線
１０，１１０  ステータ
１１，１１１  ステータコア
１２，１３  プリント基板
１４，２４，５４  樹脂モールド
２０  ロータ
２１  ロータコア
２２，５２  磁石
３０，１３０  シャフト
３１，１３１  ハウジング
４０，１４０ａ，１４０ｂ  間隙
４１  空気流入口
４２ａ，４２ｂ  空気通路
５０  可動部
５１  可動部コア
１０４  巻き線の耳
１３２  ザグリ溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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