(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面を全面均一吸込とし、垂れ壁により高い清浄度を必要とする高速流域と境界域と低速流域とに区画し、前記高速流域にファンフィルタユニットを設け、前記低速流域にクリーンルーム用フィルタユニットを設けて成るトンネル式のクリーンルームであって、
前記クリーンルーム用フィルタユニットは、フィルタ面各部位から吹き出す空気流体要素について水平方向の空間拡がりに対して垂直方向より増やすことで、均一な風速下向きベクトル分布の必要な床上１５００ｍｍまでの部屋全体が全面下向きの層流となり、かつ前記高速流域近傍に該高速流域から離れるに従って高速流とほぼ等速から低速流になる境界域を形成できるように水平方向の曲率、垂直方向の曲率を決めた断面略半楕円弧形状のクリーンルーム用エアフィルタを備えている
ことを特徴とするトンネル式のクリーンルーム。
【請求項２】
床面を全面均一吸込とし、垂れ壁により高い清浄度を必要とする高速流域と境界域と低速流域とに区画し、前記高速流域にファンフィルタユニットを設け、前記低速流域にクリーンルーム用フィルタユニットを設けて成るトンネル式のクリーンルームであって、
前記クリーンルーム用フィルタユニットは、フィルタ面各部位から吹き出す空気流体要素について水平方向の空間拡がりに対して垂直方向より増やすことで、均一な風速下向きベクトル分布の必要な床上１５００ｍｍまでの部屋全体が全面下向きの層流となり、かつ前記高速流域近傍に該高速流域から離れるに従って高速流とほぼ等速から低速流になる境界域を形成できるように水平方向のフィルタろ材密度、垂直方向のフィルタろ材密度を決めた断面略半楕円弧形状のクリーンルーム用エアフィルタを備えている
ことを特徴とするトンネル式のクリーンルーム。
【請求項３】
前記高速流域に設けたファンフィルタユニットは、筒状のユニット本体の下端開口部にフィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面の中心に形成される吸気用開口部に軸流型のファンを配置し、前記ファンの下方に該ファンの下方に向けて窪む正方形状の遮音板を配置し、前記ユニット本体の内周の上部に内方に向けて突出し前記ファンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数の整流板を配置して成ることを特徴とする請求項１または請求項２記載のトンネル式のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工場、精密機械工場、薬品製造工場等の無塵室或いは無菌室に適用されるトンネル式のクリーンルームに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体工場に於ては、超ＬＳＩの高集積化・超微細化に伴なう製造技術の高度化への対応として超清浄度空間の必要性が増大し、クラス１〜１００の清浄度を有するクリーンルームが要求されている。
この要求に応えるものとしては、垂直層流方式のクリーンルームとトンネル方式のクリーンルームとがある。
【０００３】
処で、垂直層流方式のクリーンルームは、天井の全面に高性能フィルタを施設すると共に、温度差を室全体として制御する必要があり、室内の各生産装置の温度制御の不均衡を起こす虞があった。
これに対し、トンネル方式のクリーンルームは、作業部毎に高精度に制御することができるという利点を有する。
【０００４】
このトンネル方式のクリンルームとしては、例えば、特開昭６１−２８２７４２号公報がある。
これを図１８により説明する。
図に於て、１はトンネル方式のクリーンルームである。このトンネル式のクリーンルーム１には垂れ壁２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａと境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。
【０００５】
高速流域Ａには、高性能フィルタ３が施設されている。この高性能フィルタ３は、トンネル状室内の天井側に設けた給気チャンバ４に取り付けてある。
高性能フィルタ３の下方には、クリンルーム１の床５上に配置された生産機械６が位置している。
低速流域Ｂ側の垂れ壁２と天井７との間には、吹出口８が設けられている。この吹出口８は、２つの高性能フィルタ９，１０と、両高性能フィルタ９，１０に清浄空気を送る給気チャンバ１１と、給気チャンバ１１内に位置し垂れ壁２よりの高性能フィルタ９の上部に設けたダンパ１２とで構成されている。
【０００６】
境界域Ｃは、高性能フィルタ９からの吹出によって形成される。
このトンネル式のクリーンルーム１によれば、高性能フィルタ３を介して高速流域Ａの全域に亘って清浄空気をほぼ鉛直下向きに０．３〜０．４ｍ／ｓｅｃ程度の速度で層流状に吹き出し、低速流域Ｂでは、清浄空気を高性能フィルタ１０を介して拡散的に０．０５〜０．２ｍ／ｓｅｃ程度の室内平均降下風速となるように吹き出している。
【０００７】
そして、境界域Ｃに於ては、水平に取り付けた高性能フィルタ９から清浄空気をほぼ鉛直下向きに０．３〜０．４ｍ／ｓｅｃ程度の速度で吹き出している。
この境界域Ｃに於ける高速流域Ａの気流流れと同じ気流流れを高性能フィルタ９とダンパ１２によって形成するため、境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。
【０００８】
図１９は、同じく特開昭６１−２８２７４２号公報に記載されてあるトンネル方式のクリーンルームである。
この場合には、高性能フィルタ１３を天井側に施設し、１つの吹出口１４に境界域用１４ａと低速流域用１４ｂとを設けたものである。
このトンネル式のクリーンルームに於ても、図１８と同様に境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
処が、図１８に示すトンネル式のクリーンルームでは、ダンパ１２によって境界域Ｃの風速を調整するものであるため、ダンパ１２の調整に手間取る。
又、高性能フィルタ９、１０が直線で形成され、高性能フィルタ９と高性能フィルタ１０の為す角度がかなり大きな角度を持つため、高性能フィルタ９と高性能フィルタ１０の夫々から吹き出す気流により新たな境界層ができる。これにより、境界層Ｃは高性能フィルタ９の幅の分だけ位置がずれたに過ぎないことになる可能性が大きい。
【００１０】
又、図１９に示すトンネル式のクリーンルームでは、高性能フィルタ１３から吹出口１４内に動圧が掛かるため、清浄空気は横向きの低速流域用１４ｂよりも下向きの境界域用１４ａから出やすくなり、高速流域Ａの流速よりも速くなる可能性がある。その場合には、境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができない。
【００１１】
一方、クリーンルームとしては、例えば、実公平５−３８８２１号公報の第３図に示されている全面ラミナーフロー方式や同じく第４図に示されているコンベンショナル方式が知られている。
然し、全面ラミナーフロー方式のものでは、整った層流となるが、天井チャンバーやフィルタ全面設置を必要とし、天井が低く、高価となるという欠点がある。
【００１２】
又、コンベンショナル方式のものは、清浄空気の吹出が一方向で局部的であるため、フィルタ側方に渦流が発生し停滞して循環できず、清浄化できないという欠点がある。
【００１３】
そこで、これらの問題点を解決するものとして、実公平５−３８８２１号公報に記載される断面ほぼ半円形状のクリーンルーム用エアフィルタや実開昭６３−４３６２０号公報に記載されるほぼ円弧状のクリーンルーム用エアフィルタのように、クリーンルーム用エアフィルタ面から放射状に気流を吹き出すものが提案されている。
【００１４】
処で、断面ほぼ半円形状やほぼ円弧状のクリーンルーム用エアフィルタから吹き出される気流は、図２０及び図２１のように、フィルタ面１５から矢印で示すように法線方向へ均等に吹き出される。速度をベクトルで表すと、フィルタ面１５を出た直後のベクトルの絶対長はどの位置も同一であり、フィルタ面１５でのベクトル密度もどの部位も同じである。
【００１５】
尚、図２０は断面１／４半円クリーンルーム用エアフィルタを示し、図２１は断面ほぼ半円形状クリーンルーム用エアフィルタを示す。
ここで、図２２に示すように、このフィルタシステム１６をクリーンルーム１７に用い、気流分布を良好にする目的で床１８には全面パンチングパネル等が設けられて全面均一吸込とされている。
【００１６】
クリーンルーム１７の天井１９には、フィルタシステム１６が取り付けられている。クリーンルーム１７には、空調装置２０がフィルタシステム１７のサプライチャンバ２１と床下空間２２とを連絡し、清浄空気を循環するようになっている。
そして、壁２３とフィルタユニット１６の中心位置までの距離Ｗがクリーンルーム１７の高さＨよりも大きく設定されている。
【００１７】
又、クリーンルーム１７は、図２３のように横長の室内に空気を送ることができるように、フィルタユニット１６のフィルタ列の設置ピッチを大きく取っている。
【００１８】
図２３は、一点鎖線を対称軸とみなし、壁の条件をなくして、鏡面展開すると、図２２と同義となる。
以下、対称軸の右側だけを表示する図２３に基づいて説明する。
図２３に於て、フィルタシステム１６下方の鉛直方向（−Ｚ方向）では、風速は、図２４に示すように、吹出点２４から離れるに従いその流体の部分（流体要素）２５が空間の拡がりと共に拡がり連続の式により風速は減少する。
【００１９】
然し、ある程度下方に進むと、床１８の吸い込みにより隣り合った要素も下向きベクトルとなり、流体要素２５は拡大せず、一定速度となり床１８まで達する。
これに対し、Ｘ軸方向は図２５に示すとおりとなる。
先ず、最初に吹き出した流体要素２５は、水平方向（＋Ｘ方向）には、境界層を別としても空間の拡がりと共に拡がり、連続の式により風速は減少する。又、境界層からの粘性の影響も少なからず受け、風速は更に減少する。
【００２０】
又、隣り合った流体要素２５は、吸込条件により−Ｚ方向への力を受け、Ｘ軸方向に進むと壁２３に当たって、吸込方向、−Ｚ方向へ流れ、ベクトル方向が変わる。
これにより、水平方向に進んでいる流体要素２５は、壁２３面で下方に引かれ、速度も又非常に減少しているので、図２６に示すように負圧２６となる。
【００２１】
これが渦２７の核となり、天井１９と壁２３との隅部に発生してしまう。これにより、水平方向の壁２３ぎわの流体要素２５Ａでは、図２７に示すように、天井１９に沿ってーＸ方向にベクトルが発生し、更に水平方向の風速減少に勢いを付けて渦２７の成長を促している。
これらの要因により、天井１９と壁２３の隅部に渦２７が大きく成長してしまい、定常的に存在することになる。
【００２２】
この渦２７により、この中に入り込んだ塵埃がなかなか排出されず、清浄化しずらくなる。
又、この渦２７の成長に伴い、吹き出された風速ベクトルのかなりの部分のＸ成分が渦運動のエネルギーとして使われてしまい、壁２３にぶつかったＸ→−Ｚ成分に変化するベクトル量も減少する。
【００２３】
その結果、図２８に示すように、壁２３に近いエリアの−Ｚ方向ベクトル量も減少し、このエリアの風速が遅くなり、クリーンルーム１７で必要な床上１５００ｍｍまでの−Ｚ方向ベクトル量分布が部屋全体として悪くなる。
即ち、図２８に於ける領域２８の風速が遅くなる。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、境界領域に位置する作業員からの発塵を高速流域に巻き込むことを防止することができるトンネル式のクリーンルームを提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、床面を全面均一吸込とし、垂れ壁により高い清浄度を必要とする高速流域と境界域と低速流域とに区画し、前記高速流域にファンフィルタユニットを設け、前記低速流域にクリーンルーム用フィルタユニットを設けて成るトンネル式のクリーンルームであって、前記クリーンルーム用フィルタユニットは、フィルタ面各部位から吹き出す空気流体要素について水平方向の空間拡がりに対して垂直方向より増やすことで、均一な風速下向きベクトル分布の必要な床上１５００ｍｍまでの部屋全体が全面下向きの層流となり、かつ前記高速流域近傍に該高速流域から離れるに従って高速流とほぼ等速から低速流になる境界域を形成できるように水平方向の曲率、垂直方向の曲率を決めた断面略半楕円弧形状のクリーンルーム用エアフィルタを備えているものである。
【００２５】
請求項２の発明は、床面を全面均一吸込とし、垂れ壁により高い清浄度を必要とする高速流域と境界域と低速流域とに区画し、前記高速流域にファンフィルタユニットを設け、前記低速流域にクリーンルーム用フィルタユニットを設けて成るトンネル式のクリーンルームであって、前記クリーンルーム用フィルタユニットは、フィルタ面各部位から吹き出す空気流体要素について水平方向の空間拡がりに対して垂直方向より増やすことで、均一な風速下向きベクトル分布の必要な床上１５００ｍｍまでの部屋全体が全面下向きの層流となり、かつ前記高速流域近傍に該高速流域から離れるに従って高速流とほぼ等速から低速流になる境界域を形成できるように水平方向のフィルタろ材密度、垂直方向のフィルタろ材密度を決めた断面略半楕円弧形状のクリーンルーム用エアフィルタを備えているものである。
請求項３の発明は、請求項１または請求項２記載のトンネル式のクリーンルームにおいて、前記高速流域に設けたファンフィルタユニットは、筒状のユニット本体の下端開口部にフィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面の中心に形成される吸気用開口部に軸流型のファンを配置し、前記ファンの下方に該ファンの下方に向けて窪む正方形状の遮音板を配置し、前記ユニット本体の内周の上部に内方に向けて突出し前記ファンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数の整流板を配置して成るものである。
【００２６】
（作用）
請求項１乃至３の発明に於ては、高速流域では従来と同様に生産機械に向かって流れる高速層流を形成する。
【００２７】
一方、低速流域と境界域では、短径方向に切断した断面ほぼ半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットが、水平方向に対する曲率が垂直方向の曲率より小さくなるため、水平方向の空間の拡がりに対し受け持つ流体要素を増やすことができ、これにより、水平方向に対する流体要素の空間への拡がりが少なくなり、吹出からかなり遠くまで初速に近い風速を持って負圧の発生が抑えられる。又、水平方向に対するフィルタユニットの曲率を更に小さくすることにより、ファンフィルタユニットが形成する高速流近傍に高速流域から離れるに従って低速流になる境界域を形成できる。これは、フィルタユニットの曲率を小さくする代わりにフィルタ濾材密度を多くすることでも達成できる。
【００２８】
又、垂直方向では、断面ほぼ半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットが、下からの吸い込みがあるため、流体要素に対する空間の拡がりが少なく、ある程度進むと、それ以上拡がらなくなるため、この部分は風速を維持し易く、空間の他の部分に比べて早くなる傾向がある。そこで、他の部分と同じような空間の拡がりを持たせるため、クリーンルーム用エアフィルタのフィルタ面の曲率を大きくする。
【００２９】
以上により、低速流域と境界域では短径方向に切断した断面ほぼ半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットから均一な低速流を形成することができる。
又、フィルタユニット短径部分に多くの濾材面積を割り当てたので、境界域は他の低速域に比べて多風量を与えることができる。又、濾材を短径部で漸増させ放射状に気流吹き出しをしているので、境界域では自然に高速流域から離れるに従って高速流域と隣り合うエリア部分の吹出風量が低速になっている。
【００３０】
そのため、境界域に於て、上昇気流が起こらず、室内が安定した下向きの気流が得られる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００３２】
図１は、請求項１乃至３に係るトンネル式のクリーンルームの一実施の形態を示す。
図に於て、３１はトンネル方式のクリーンルームである。このトンネル式のクリーンルーム３１には垂れ壁３２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａと境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。
【００３３】
トンネル式のクリーンルーム３１は、低速流域Ｂの天井３３側にトンネル式のクリーンルーム３１内に清浄空気を吹き出すクリーンルーム用エアフィルタユニット３９が取り付けられ、床３４には全面に穿孔されたパンチングメタルが施設されている。そして、天井空間３６と床下空間３５とは、空調機３７を介して連絡している。床上には生産機械３８が配置されている。
【００３４】
クリーンルーム用エアフィルタユニット３９は、図４に示すように、短径方向に切断した断面ほぼ半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタ４０と、サプライヤチャンバ４１とで構成されている。又、サプライヤチャンバ４１には、モータファン４２が配設されている。
高速流域Ａには、ファンフィルタユニット４３が配置されている。このファンフィルタユニット４３は、図５及び図６に示すように、横断面正方形形状で筒状のユニット本体４４の下端開口部４５には、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ４６が配置されている。
【００３５】
ユニット本体４４の上面４７の中心には、吸気用開口部４９が形成され、この吸気用開口部４９に軸流型ファン５０が配置されている。
この軸流型ファン５０は、吸気用開口部４９に嵌挿されるべルマウス５１を有している。
べルマウス５１の中央には、ボス部５２が配置され、ボス部５２の外周に羽根５３が固定されている。
【００３６】
ボス部５２には、モータ５４が連結され、モータ５４は、ブラケット５５を介してべルマウス５１に固定されている。
そして、ボス部５２には、吸い込み方向に向けて突出する先端先細り状の気流案内カバー５６が装着されている。
ユニット本体４４の内周の上部には、内方に向けて突出し軸流型ファン５０の回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数の整流板５７が固定されている。
【００３７】
この整流板５７には、グラスウールから成る吸音材５８が装着されている。
ユニット本体４４の軸流型ファン５０の下方には、遮音板５９が配置されている。
この遮音板５９は、正方形状をしており、その中心が軸流型ファン５０の下方に位置されている。
【００３８】
遮音板５９には、グラスウールから成る吸音材６０が装着されており、遮音板５９は、ブラケット６２によりユニット本体４４の内面に固定されている。
遮音板５９の中心部には、下方に向けて窪む正方形状の凹部６３が形成されている。
そして、凹部６３の内周面が、底面側に向けて傾斜する傾斜面６４とされている。
【００３９】
ユニット本体４４の遮音板５９の下方には、矩形環状の外側遮音板６５が配置されている。
この外側遮音板６５は、その内周部が遮音板５９に重なるように配置されている。
そして、外側遮音板６５には、グラスウールから成る吸音材６６が装着されている。
【００４０】
次に、本実施の形態の作用を説明する。
空調機３７を駆動して清浄空気をファンフィルタダクト４３及びクリーンルーム用エアフィルタユニット３９へ供給することによって、トンネル式のクリーンルーム３１へ清浄空気を供給する。
【００４１】
その際、ファンフィルタユニット４３では、軸流型ファン５０により吸気用開口部４９から吸引された空気が、旋回流とされた後、この旋回流が、外周部に於て整流板５７に衝突し抑制され、下方に向かう流れになり、遮音板５９と外側遮音板６５との間を通過した後、高性能フィルタ４６に達し、高性能フィルタ４６で浄化された後、高速流域ａ内に０．３〜０．３５ｍ／ｓｅｃの高速で吹き出される。
【００４２】
一方、クリーンルーム用エアフィルタユニット３９からは、０．０５〜０．２ｍ／ｓｅｃ程度の室内平均降下風速の低速で清浄空気が吹き出される。
ここで、クリーンルーム用エアフィルタユニット３９の作用を、図７乃至図１７により詳述する。
上述した図２５に示す従来例に於けるＸ方向の流体要素の距離による変化に着目し、図８に示すように、クリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０の短径方向に吹き出す領域７０Ａのフィルタ面７０ａの曲率を、従来の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの曲率より小さくすることにより、即ち、−Ｚ方向に並ぶ流体要素のベクトル方向の−Ｚ成分を半円断面より少しずつ増やすことで、Ｘ方向の空間の拡がりに対し受け持つ流体要素７１を増やした。
【００４３】
これにより、Ｘ方向に対する流体要素７１の空間への拡がりが少なくなり、吹出からかなり遠くまで風速を持って負圧の発生が抑えられる。
一方、図９に示すように、−Ｚ方向でクリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０の直下の長径方向に吹き出す領域７０Ｂは、床３４からの吸い込みがあるため、流体要素７２に対する空間の拡がりが少なく、−Ｚ方向にある程度進むと、それ以上拡がらなくなる。
【００４４】
よって、この部分は風速を維持し易く、空間の他の部分に比べて早くなる傾向がある。そこで、他の部分と同じような空間の拡がりを持たせるため、クリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０の直下の長径方向に吹き出す領域７０Ｂのフィルタ面７０ｂの曲率を大きくする。
これらの曲率を満たすための形状は、図１０に示すように、短径の半径ａ＜長径の半径ｂの縦長楕円形状が当てはまる。
【００４５】
曲率１／ρの夫々の大きさの関係を図１０及び図１１により説明する。
図１０は、本実施の形態に係るクリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０の基本構成を示す。図１１は従来の断面半円径形状のクリーンルーム用エアフィルタユニットを示す。
図１０及び図１１に於て、短径の半径をａ、長径の半径をｂ、曲率を１／ρ、短径と楕円曲線との交点、即ち、クリーンルーム用エアフィルタ４０の短径方向に吹き出す領域７０Ａを（１／ρ）ｄ、長径と楕円曲線との交点、即ち、クリーンルーム用エアフィルタ４０の直下の長径方向に吹き出す領域７０Ｂを（１／ρ）ｃ、半円形状のクリーンルーム用エアフィルタ７３の半径をｒ、半円形状のクリーンルーム用エアフィルタ７３の真下の吹出を（１／ρ）ａ、天井７４と半円形状クリーンルーム用エアフィルタ７３の交点を（１／ρ）ｂとすると、本実施４に係るクリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０の縦長楕円形状は、（１／ρ）ｃ＞（１／ρ）ａ＞（１／ρ）ｄ、且つａ＜ｂとなる。
【００４６】
この形状でクリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０の断面を形成すれば、均等吹出、均等吸込の条件で良好な気流分布を得ることができる。
ここでいう良好な気流分布とは、図１２に示す高速流域Ａでは高速均一流を、境界域Ｃでは高速流速（高速流域Ａに隣接する部位）→低速流速（低速流域Ｂに隣接する部位）に漸減する流れを、低速流域Ｂでは低速均一流を形成していることをいう。
【００４７】
又、図１５〜図１７に示すように、クリーンルーム用エアフィルタ４０の短径方向に吹き出す領域４０Ａの濾材面積を増やしたことで、境界域Ｃに多風量を与えている。これと放射状に気流を吹き出していることで、境界域Ｃを低速域→高速域にかけて風速を漸増させている。
即ち、図１５では、クリーンルーム用エアフィルタ４０の短径方向に吹き出す領域４０Ａを直線状としている。図１６では、クリーンルーム用エアフィルタ４０の短径方向に吹き出す領域４０Ａの濾材の密度４０Ａ１が他の濾材の密度４０Ａ２より密になっている。図１７では、クリーンルーム用エアフィルタ４０の短径方向に吹き出す領域４０Ａの濾材の折り高さ４０Ａ３が他の濾材の折り高さ４０Ａ４より高くしてある。
【００４８】
これにより、垂れ壁下方の高速流域と低速流域との境界部の吹出速が、略等速となり、境界域Ｃでの乱れによる渦は殆ど発生しなくなる。
以上のように、クリーンルーム用エアフィルタユニット３９のクリーンルーム用エアフィルタ４０から吹き出された清浄空気は、垂れ壁３２に流体要素７１で表される気流がぶつかると、高速流域Ａの速度とほぼ同等或いはやや遅めの速度となって、図８のように、垂れ壁３２に沿って境界域Ｃへ降下するため、高速流域ａと境界域４との間では、下向きの安定した気流が形成され、上昇気流が発生しない。
【００４９】
即ち、フィルタユニットと天井に所定間隔で配置した乱流方式や、図１８及び図１９に示す局所方式に比べて、天井３３近傍での渦発生がなく、清浄機能の向上を図ることができる。
従って、境界域Ｃでの作業者からの発塵を高速流域Ａ内に巻き込むことがない。
而も、従来のように、ダンパを操作するという煩雑な操作を必要としないためトンネル式のクリーンルームの管理が容易である。
【００５０】
又、上述したファンフィルタユニット４３では、軸流型ファン５０の使用により軸流型ファン５０の外方に向けて旋回流が発生するが、この旋回流が、外周部に於てユニット本体４４の内周の上部に配置される複数の整流板５７に衝突し抑制され、下方に向かう流れになり、高性能フィルタ４６を介して室内に吹き出されるため、高性能フィルタ４６からの吐出風速分布を均一にすることができる。
【００５１】
又、整流用多孔板等により整流する必要がなくなるため、吐出抵抗が増大することを防止できる。
更に、軸流型ファン５０と高性能フィルタ４６との間に配置される遮音板５９により、軸流型ファン５０から発生する騒音を確実に遮音することができる。
又、上述したファンフィルタユニット４３では、ユニット本体４４を横断面正方形形状にし、その中心に軸流型ファン５０及び正方形状の遮音板５９の中心を配置したので、高性能フィルタ４６の四方から同一条件で空気が吐出されることになり、高性能フィルタ４６からの吐出風速分布をより均一にすることができる。
【００５２】
更に、遮音板５９の中心部に下方に向けて窪む正方形状の凹部６３を形成し、凹部６３の内周面を底面側に向けて傾斜したので、凹部６３の底面に衝突した空気が、傾斜面６４に案内されて外側に向けて円滑に流れ気流が乱されることがなくなり、高性能フィルタ４６からの吐出風速分布をより均一にすることができる。
又、上述したファンフィルタユニット４３では、ユニット本体４４の遮音板５９の下方に、外側遮音板６５の内周が重なるように配置したので、軸流型ファン５０から発生する騒音が直接高性能フィルタ４６に達することが防止され、消音効果を向上することができる。
【００５３】
更に、軸流型ファン５０のボス部５２に気流案内カバー５６を配置したので、空気の流れが円滑になり、軸流型ファン５０の騒音を低減し、又、軸流型ファン５０の効率を向上することができる。
尚、ファンフィルタユニットは、図示するものに限らず、ファンと高性能フィルタとが組み合わされたものであれば如何なるものでも良い。
【００５４】
図１２は、図１に示すトンネル式のクリーンルームの変形例を示す。
尚、上記実施の形態では、サプライヤチャンバを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、天井チャンバに供給される清浄空気をファンで圧送するものであっても良い。
又、クリーンルーム用エアフィルタは、例えば、図１３に示すように、所定の長さにされたクリーンルーム用エアフィルタ４０をパッキング８０を介して枠体８１で連結すると共に開口側を支持部材８２で閉鎖したダクト８３にしても良い。
【００５５】
このクリーンルーム用エアフィルタダクトの基本構成は、クリーンルーム用エアフィルタの構造以外は特開昭６３−２９４４４０号公報に開示されるものと同様である。
更には、図１４に示すように、クリーンルーム用エアフィルタの外側を保護カバー８４で覆っても良い。
【００５６】
更に又、本発明の使用されるクリーンルーム用エアフィルタは、例えば、実公平５−３８８２１号公報に記載されるように、複数に分割したものを連結したものでも或いは一つのものでも良い。
【００５７】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１乃至３のトンネル式のクリーンルームでは、従来のトンネル式のクリーンルームのように境界域にダンパを設けて低速流域との流速を調整するという複雑な操作が不要となる。
【００５８】
又、ダンパによる切替装置を必要としないので、装置が簡単となる。
更に、従来のトンネル式のクリーンルームのように高速流域に隣接して吹出口を設ける必要がなくなり、複雑な操作操作が不要となると共に、装置が簡単になる。
更に又、ファンフィルタユニットが、生産装置に近い位置に設けられるので、塵埃減衰時間が短くなり、即ち、生産装置に発生する渦領域に於ける塵埃濃度大の領域が小さくなり、浄化能力が大きくなる。
【００５９】
又、クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した切断した断面ほぼ楕円形状を為すため、通常の横長のクリーンルームに良好な気流分布を与えることができる。
更に、クリーンルーム内の気流分布を均一化できる。クリーンルームの隅部の渦領域を縮小でき、同じ風量で更にクリーン化ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１乃至３に係るトンネル式のクリーンルームの一実施の形態を示す説明図である。
【図２】図１のトンネル式のクリーンルームの清浄空気の流れを示す説明図である。
【図３】図１のトンネル式のクリーンルームの斜視図である。
【図４】図１のトンネル式のクリーンルームのクリーンルーム用エアフィルタダクトを示す斜視図である。
【図５】図１のトンネル式のクリーンルームに用いたファンフィルタユニットを示す断面図である。
【図６】図５の断面図である。
【図７】図１のトンネル式のクリーンルームに於けるクリーンルーム用エアフィルタユニットの吹き出しに関する説明図である。
【図８】図１に於けるクリーンルーム用エアフィルタユニットの短径方向の吹き出しに関する説明図である。
【図９】図１に於けるクリーンルーム用エアフィルタユニットの長径方向の吹き出しに関する説明図である。
【図１０】図１に於けるクリーンルーム用エアフィルタユニットの基本構成を示す説明図である。
【図１１】従来の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタユニットの基本構成を示す説明図である。
【図１２】請求項１乃至３のトンネル式のクリーンルームの別の実施の形態を示す説明図である。
【図１３】図１に於けるクリーンルーム用エアフィルタユニットの別の実施の形態を示す説明図である。
【図１４】図１に於けるクリーンルーム用エアフィルタユニットの別の実施の形態を示す説明図である。
【図１５】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図１６】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図１７】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図１８】従来のトンネル式のクリーンルームを示す説明図である。
【図１９】従来のトンネル式のクリーンルームを示す説明図である。
【図２０】従来の断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図２１】従来の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図２２】図２１の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタを用いたクリーンルームの説明図である。
【図２３】図２１の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタを用いたクリーンルームの説明図である。
【図２４】図２２又は図２３のクリーンルーム用エアフィルタの垂直方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２５】図２２又は図２３のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２６】図２２又は図２３のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２７】図２２又は図２３のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２８】図２２のクリーンルームの空気の流れを示す説明図である。
【符号の説明】
３１  トンネル方式のクリーンルーム
３２  垂れ壁
３３  天井
３４  床
３５  床下空間
３６  天井空間
３７  空調機
３８  生産機械
３９  クリーンルーム用エアフィルタユニット
４０  クリーンルーム用エアフィルタ
４３  ファンフィルタユニット
４６  高性能フィルタ
５０  軸流型ファン
Ａ  高速流域
Ｂ  低速流域
Ｃ  境界域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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