(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロレンズまたはマイクロレンズ・アレイを形成する照射量プロフィールを基板の表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法であって、
前記ビームが自身の横断面に複数の定形領域を有し、前記複数の定形領域が前記表面に対して移動可能であり、かつ相対的移動の方向に沿って延びる各定形領域の長さが同相対的移動の速度とともに前記基板上の対応する領域に対する照射量を決定し、前記複数の定形領域を備えたビームの発生は、複数絞りを介して前記ビームを指向することを含み、同複数絞りは開口を備える個々の絞りが移動方向に沿って前後に配置されたものであり、
前記照射量は照射時間に比例し、かつ同照射時間は以下に示す式
ｔ（X'）＝ｂ（X'）/v
［ここで、ｔは照射時間であり、X'は前記表面に対する前記ビームの水平方向の位置であり、ｂは位置X'における同X'と垂直な方向における開口絞りの開口の長さであり、かつｖは前記開口の長さに沿った相対的移動の速度である］に従って、前記相対的移動の移動速度に基づいて変化する方法。
【請求項２】
前記相対的移動は、一方が他方に対して角度をともなう傾斜をなす２つの方向のうちの少なくとも一方に沿って実施されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記角度が90度であることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
マイクロレンズ・アレイを形成すべく複数の互いに隣接する平行な照射が前記相対的移動の方向に沿って実施されることを特徴とする請求項２または３に記載の方法。
【請求項５】
マイクロレンズまたはマイクロレンズ・アレイを形成する照射量プロフィールを基板の表面への照射に使用されるビームを用いて形成する光学装置であって、
前記ビームの横断面を整形する手段を備え、前記手段が複数の定形領域（８）を形成し、前記複数の定形領域（８）が前記表面に対して移動可能であり、かつ相対的移動の方向に沿って延びる各定形領域（８）の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定し、前記ビームの横断面を整形する手段が絞り（２）であって、移動方向に沿って延びる同絞り（２）の開口（9,10,14,15,20,21,26,29,32）が前記相対的移動の速度とともに照射量を決定し、かつ前記絞り（２）は複数絞りであって、同複数絞り内において、個々の絞りが移動方向に沿って前後に配置されており、相対的移動の方向に沿って延びる個々の絞りの前記開口（9,10,14,15,20,21,26,29,32）が前記相対的移動の速度とともに前記基板上の対応する領域の照射量を決定し、
前記照射量は照射時間に比例し、かつ同照射時間は以下に示す式
ｔ（X'）＝ｂ（X'）/v
［ここで、ｔは照射時間であり、X'は前記表面に対する前記ビームの水平方向の位置であり、ｂは位置X'における同X'と垂直な方向における開口絞りの開口の長さであり、かつｖは前記開口の長さに沿った相対的移動の速度である］に従って、前記相対的移動の移動速度に基づいて変化する装置。
【請求項６】
ピエゾ・アクチュエータは相対的移動を実現させるべく複数絞りに対して接続されていることを特徴とする請求項５に記載の光学装置。
【請求項７】
前記相対的移動の距離は移動方向に沿った個々の絞り間の距離にほぼ一致していることを特徴とする請求項６に記載の光学装置。
【請求項８】
前記絞り開口（９）は直線（G1）及び放物線（P1）によって形成された外形を有し、前記放物線（P1）の対称軸（SY1）が移動方向に延び、さらに前記放物線（P1）が移動方向に直交する方向に延びる直線（G1）上の２つの点（S1,S2）を接続していることを特徴とする請求項５乃至７のうちのいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項９】
前記絞り開口（10）は移動方向に延びる共通の対称軸（SY2）を有する２つの放物線（P2,P3）によって形成された外形を有し、前記２つの放物線（P2,P3）はそれぞれ移動方向及び同移動方向とは逆方向に向かって凸状をなしており、さらには移動方向に直交する方向に延びる直線（G2）上に共通の交点（S3,S4）を有していることを特徴とする請求項５乃至７のうちのいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項１０】
絞り開口（15,21）は矩形の外形（16,22）内にシャドー・エレメント（17,23）によって形成された開口部分であり、前記矩形の外形は移動方向と直交する方向に延びる側部（18,19,24,25）を有していることを特徴とする請求項５乃至７のうちのいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項１１】
移動方向に直交する方向に延びる側部（18,19）のうちの一方はシャドー・エレメント（17）の直線状の外縁（G3）と一致しており、前記シャドー・エレメント（17）の他方の外縁は放物線（P4）であり、同放物線（P4）は移動方向に延びる対称軸（SY3）を有し、さらには直線状の外縁（G3）上の２つの点（S5,S6）を接続していることを特徴とする請求項10に記載の光学装置。
【請求項１２】
前記絞り開口は直角三角形（26）であり、同直角三角形（26）の垂直辺（27,28）のうちの一方が移動方向に延びていることを特徴とする請求項５乃至７のうちのいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項１３】
前記絞り開口は二等辺三角形（29）であり、同二等辺三角形（29）のうちの等しい２辺によって形成された頂点が移動方向に向いて配置されていることを特徴とする請求項５乃至７のうちのいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項１４】
絞りの形状または大きさを調整すべく調整用スライド（30,31）を提供することを特徴とする請求項５乃至13のうちのいずれか一項に記載の光学装置。
【発明の詳細な説明】
本発明は構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法及び装置に関する。
電子ビーム・リソグラフィ及びフォト・リソグラフィに使用される表面プロフィールを形成する照射量可変書込み技術を用いた装置及び方法が知られている（光学誌（Opt.Lett.）７（1982）12の578頁に記載のティー．フジタ、エッチ．ニシハラ及びジェイ．カヤマ共著による“電子ビーム・リソグラフィによって形成された回折格子及びフレネル・レンズ”、並びに1990年12月に発行された応用光学誌（Applied Optics）第29巻34/1号に記載のエム．ハルナ、エム．タカヒシ、ケイ．ワカハヤシ及びエッチ．ニシハラ共著による“レーザ・ビーム・リソグラフィによって形成されたマイクロ・フレネル・レンズ”参照）。
現像溶液中における放射線感応性レジストの溶解速度は、レジスト上に加えられた放射線の照射量によって予め決定可能であるという事実が使用されている。従って、現像から所定時間が経過した後で、所望の表面プロフィールが得られるように放射線照射量の側面分布（laterale Strahlungsdosisverteilung）を設計できる。図14は、この処理を示している。
しかし、従来使用されている電子ビーム書込み装置（Elektronenstrahlschreiber）またはレーザ・パターン形成装置（Laser−Patterngeneratoren）等の装置は、物理的に大きく、かつ非常に高価であるため、この処理に必要な照射量プロフィールを形成する設備のコスト高が問題となる。また、大きな表面プロフィールの形成は非常に長い処理時間を必要とする。マイクロ・レンズ及びマイクロ・レンズ・アレイの形成は特に時間を要する。また、必要とされる照射量プロフィールを書込むためのデータは膨大な量に達することがあり、これに対応したコンピュータ技術に関する出費が必要となる。
本発明の目的は、マイクロ・レンズ及びマイクロ・レンズ・アレイを形成するために必要な処理時間及び原材料費を実質的に削減するように表面照射をアレンジすることにある。
本発明の目的は、構造化された表面を形成する照射量プロフィールを前記の表面への照射に使用されるビームを用いて形成する方法であって、ビームが自身の横断面に少なくとも１つの定形領域を有し、同定形領域が表面に対して移動可能であり、相対的移動の方向に沿って延びる定形領域の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする方法によって実現される。
相対的移動は、一方が他方に対して角度をともなう傾斜をなす２つの方向のうちの少なくとも一方に沿って実施される。前記の角度は90度であることが好ましいが、90度以外の角度でもよい。
レンズ・アレイを形成すべく複数の互いに隣接する平行な照射が相対的移動の方向に沿って実施される。回動を相対的移動として使用し得る。
更に、本発明により、構造化された表面を形成する照射量プロフィールを表面への照射に使用されるビームを用いて形成する光学装置であって、ビームの横断面を整形する手段を備え、同手段が少なくとも１つの定形領域を形成し、同定形領域が表面に対して移動可能であり、相対的移動の方向に沿って延びる定形領域の長さが同相対的移動の速度とともに照射量を決定することを特徴とする装置が提供される。
ビームの横断面を整形する手段が絞りであって、移動方向に沿って延びる同絞りの開口が相対的移動の速度とともに照射量を決定する。
絞りは複数絞り（Vielfachblende）であって、同複数絞り内において、個々の絞りが移動方向に沿って前後に配置されており、相対的移動の方向に沿って延びる個々の絞りの開口が相対的移動の速度とともに照射量を決定する。
ピエゾ・アクチュエータ（Piezoaktuatoren）は相対的移動を形成すべく複数絞りに対して接続可能であり、同相対的移動の距離は移動方向に沿った個々の絞り間の距離にほぼ一致している。
絞り開口は直線及び放物線によって形成されたリムを有し、同放物線の対称軸は移動方向に延び、さらに同放物線は移動方向に直交する方向に延びる直線上の２つの点を接続している。
少なくとも１つの矩形シャドー・エレメント（abschattendes rechteckiges Element）がリムを有する絞り開口内に配置されており、同リム内において、矩形シャドー・エレメントの１つの側部が前記した直線と一致し、前記した側部に対向する側部がその両端において放物線と接触している場合に、凹形フレネル構造を形成するのに適した照射量プロフィールを形成可能である。
シャドー・エレメントによって形成された開口領域内において、移動方向に直交する方向に延びる同領域の端縁は共通の境界上に位置している。
絞り開口は移動方向に延びる共通の対称軸を有する２つの放物線によって形成されたリムを有し、同２つの放物線は移動方向及び同移動方向とは逆方向に向かってそれぞれ凸状をなしており、さらには移動方向に直交する方向に延びる直線上に共通の交点を有している。
矩形リム内にシャドー・エレメントによって形成された開口を有する絞りは、凸状構造を形成すべく使用され、一対のリム側部は移動方向に直交する方向に延びる側部を有している。
円筒状凸レンズは、移動方向に直交する方向に延びる側部のうちの一方がシャドー・エレメントの直線リムと一致し、同シャドー・エレメントの他方のリムが移動方向に延びる対称軸を備えた放物線であり、同放物線が直線リム上の２つの点を接続する絞り開口によって形成された照射量プロフィールによって形成される。
凸形フレネル・レンズを形成すべく、シャドー・エレメントは直線及び放物線によって囲まれた表面から少なくとも１つの矩形部分が取り除かれた後に残された部分エレメントによって形成されている。同放物線の対称軸は移動方向に延びている。更に、同放物線は移動方向に直交する方向に延びる直線上に位置する２つの点を接続している。矩形部分の１つの側部は前記した直線に一致している。前記した側部に対向する側部の両端は、放物線に対しそれぞれ接触している。
部分エレメントは移動方向に対して直交する方向に延びる同部分エレメントの直線リムが、矩形リムのうちの移動方向に対して直交する方向に延びる側部のうちの一方の側部上に位置するように配置されている。
直角三角形の形状をなす開口を有する絞りを使用することができ、同直角三角形の垂直辺のうちの一方が移動方向に延びている。また、二等辺三角形の形状をなす開口の使用が可能であり、同二等辺三角形のうちの等しい２辺によって形成された頂点は移動方向に向いて配置されている。
絞りの形状または大きさを調整すべく調整用スライドが効果的に提供されている。
形状を形作る領域を直接投射する表示スクリーンをビームの横断面を整形するために使用可能である。表示スクリーンによって形成された領域の形状は、絞りによって形成された領域の形状に一致している。
本発明を添付図面に基づいて以下に更に詳述する。
図１は構造化された表面を形成するための本発明に基づく装置を示している。
図２は本発明に基づく処理を示す基本的な図である。
図3aは移動方向に沿った一方の側に凸状放物線を有する絞りを示している。
図3bは移動方向に沿った両側に凸状放物線を有する絞りを示している。
図3cは図3aに示す複数の個々の絞りからなる複数絞りを示している。
図4a〜図4cは放物線状絞り及び同絞りを用いて形成された構造を示している。
図5a〜図5cは放物線状絞り及び同絞りを用いて形成された構造を示している。
図6a〜図6cは１つの絞り形状及び同絞り形状を用いて形成されたフレネル構造を示している。
図6dは図6aに示す絞り形状の形成を示している。
図7a〜図7dは１つの絞り形状及び同絞り形状を用いて形成されたフレネル構造を示している。
図7dは図7aに示す絞り形状の形成を示している。
図8a〜図8cは楔形絞り及び同楔形絞りを用いて形成された構造を示している。
図9a〜9cは三角形絞り及び同三角形絞りを用いて形成された構造を示している。
図10a及び図10bは幾何学的可変形状を備えた絞りを示している。
図11は構造化された表面の並行形成のための構成を示している。
図12は円形フレネル・レンズを形成するための構成を示している。
図13は円形フレネル・レンズの一部を示している。
図14は変更可能な照射量を用いた表面プロフィールの基本的形成処理を示している。
図15a及び図15bは簡単なジグザグ状の移動及び同移動による形成が可能な構造を示している。
図16a及び図16bは交差するジグザグ状の移動及び同移動による形成が可能な構造を示している。
図１に示す装置は、放射線の照射方向に沿って以下の順で配置された放射線源としてのコンデンサ付き光源１、ビーム整形手段としての絞り２、結像光学システムとしての対物レンズ３及び対象物を備えており、同対象物は構造化が実施されるレジスト層５の形態をなす表面を基板４上に有している。対象物はＸ−Ｙ位置決めテーブル６上に取付けられている。絞り２は恒久的に取付けるか、または交換可能としてもよい。電子源、Ｘ線源またはイオン源を放射線源として使用可能である。
図２に示すように、光源１から照射された光束７の横断面は絞り２によって整形され、同絞り２は領域８を光束７の横断面の他の部分から分離している。整形された領域８は当業者にとって自明な各種の技術工程を用いて構造化が実施される表面に対する移動が可能である。例えば、対象物を位置決めテーブル６を用いて移動させることと、光束７をビーム整形手段とともに移動させることのうちの少なくともいずれか一方を実施可能である。絞り２の直線移動により領域８の相対的移動を実施するか、または光束７の軸に沿って垂直方向に延びるＺ−Ｚ軸の周囲における相対的回動を実施することにより領域８の相対的移動が可能である。
移動方向に沿って延びる絞りの開口は、相対的移動の速度とともに対象物に対する照射量を決定する。このため、全ての構成において、絞りの形状は相対的移動の方向に依存している。
殆どの場合において、領域８内の照射強度分布は均一である。しかし、特定の結果を得るために、領域８内の照射強度分布は同強度分布が限定された不均一性を備えるように設計し得る。
結像光学システムを使用した定形領域の結像は鮮明であるか、または不鮮明であり得る。不鮮明な結像は円筒形レンズの使用などによりボケが相対的移動の方向に沿って位置する際に更に均一なプロフィールを形成する。即ち、これにより相対的移動の精度に関する要件が緩和される。不鮮明な結像により、相対的移動の大きさを縮小可能である。Ｘ線を使用する場合、投影により領域８を直接結像できる。
図3a及び図3bに示す絞りの形状は、少なくとも部分的に放物線を描き、かつ光線の通過を許容する絞り開口9,10及び影の領域11,12をそれぞれ備えている。絞り開口９は直線G1及び放物線P1によって形成されたリムによって囲まれている。相対的移動の方向（本実施例ではY'）に延びる対称軸SY1を有する放物線P1は、移動方向に対して直交する方向に延びる直線G1上の２つの点S1,S2そぞれぞれ接続している。
この絞りを使用して実現し得る照射量は照射時間ｔに比例する一方、同照射時間ｔは相対的移動の移動速度ｖに基づいて変化する。この相対的移動により、絞り開口を通過する光ビーム７の領域は構造化される表面に沿って移動される。これは以下の式によって表すことができる。
ｔ（X'）＝ｂ（X'）/v
ここで値ｂは移動方向に沿って延びる絞り開口の長さを表しており、同開口は本実施例において放物線P1の形状を有している。絞りの適切な開口は使用用途に応じて選択可能である。
位置X1に対してb1で表された開口の長さｂは速度ｖに続く第２の値であり、同開口の長さｂは移動通路全体に沿った相対的移動の際に構造化される表面上に作用する照射量を決定する。照射量は絞りの中心において最大値を示した後、直線G1及び放物線P1が交差する交点S1,S2へ到達するまで減少し、最終的にはゼロとなる。この絞りを用いて達成し得る照射量プロフィールは、移動通路全体において移動方向に直交する方向に沿って延びている。均一であり、かつ限定された構造深度は光ビーム７の時間的及び空間的均一性、並びに一定速度ｖによって保証される。
図3bに示す絞りは移動方向に延びる共通の対称軸SY2を備えた２つの放物線P2,P3によって形成されたリムを有している。放物線P2,P3はそれぞれ移動方向及び同移動方向とは逆方向に向かって凸状をなしている。更に、放物線P2,P3は移動方向に対して直交する方向に延びる直線G2上に共通の交点S3,S4を有している。この例において、直線G2はリムを形成していない。この構成において、２つの放物線P2,P3は非対称形または面対称であり得る。
図3bに示す絞りを用いて形成可能な照射量プロフィールは、図3aに示す絞りを用いて形成可能な照射量と同一である。両側部が放物線状をなす形状の利点は、同形状により不正確さ、特に傾きを補正できる点にある。
図3cに示す複数絞りは移動方向に沿って前後に配置された複数の個々の絞りを有している。これら複数の個々の絞りは、絞り開口９の形状と一致する形状を備えた絞り開口14をそれぞれ有している。複数絞りを用いて照射量プロフィールを形成するためには、相対的移動を絞り開口14間の距離によって決定される通路長さに沿って実施すれば十分である。これは互いに平行をなすように隣接して配置された円筒状レンズに対応する照射量プロフィールを形成する。２つの照射処理がそれぞれ互いに直交する方向に沿って実施された場合、照射量プロフィールはレンズ・アレイに一致する。複数絞りの構成は、個々の絞りの配置、形状及び大きさについて変更可能である。
例えば、複数絞りは50x50mmの寸法を備え、かつ10,000個の個々の絞りを有するとともに、同個々の絞りのそれぞれが移動方向に直交する方向に沿って500μｍの長さと、移動方向に沿って最大で250μｍの長さとを有する絞り開口14の形態をなすように設計可能である。照射は衝突光線（kollidiertem Licht）を使用した投影によって実行可能である。Ｘ線の使用も効果的である。本解決策は巨大アレイを形成するための廉価な手段を提供する。
図４〜図９は異なる絞り形状を用いて達成し得る結果を示している。但し、本発明は本明細書中に例示する形状に限定されるものではない。“a"が付された図は絞りの形状を示し、“b"が付された図は移動方向に沿ってこれらの形状を移動した際に得られる結果を示し、さらに“c"が付された図は互いに直交する各移動方向の交差領域において得られる結果を示している。図4aに示す絞りは図3aに示す絞りに一致している。
構造化される表面であるレジスト層５にポジ形レジストを使用した場合、図4aに示す放物線状の絞りによって形成された領域を、表面に対して放物線の方向に移動した場合、図4bに示す円筒状凹形レンズが現像の後に形成される。
２つの照射プロセスを互いに直交する方向にそれぞれ沿って実行した場合、放射状凹レンズの形成が可能である。これは、この種類のレンズに対応する照射量分布が２つの照射プロセスの重複領域において形成されることに基づく（図4c参照）。
楕円レンズは異なる絞り寸法を適切に選択することにより形成できる。
２つの照射プロセスは90度の角度で互いに交差する２つの相対的移動により実施可能である。これによりレンズの“変位した”バリエーション（“verschobene"Abarten von Linsen）が生じる。各レンズの焦点距離または楕円レンズの構成は相対的移動の速度によって決定される。
図5bに示す円筒形凸レンズ及び図5cに示す放射状凸レンズは、図5aに示す絞りを用いて形成できる。
図5aに示す絞りは矩形リム16内にシャドー・エレメント17によって形成された開口部分と一致する絞り開口15を備えている。リムの一対の側部18,19は移動方向に対して直交する方向に沿って延びている。側部19はシャドー・エレメント17の17の直線リムG3に一致しており、同シャドー・エレメント17の残りのリムは放物線P4を形成している。放物線P4は移動方向に延びる対称軸SY3を備え、さらには直線リムG3上の２つの点S5,S6を接続している。
図6aに示す絞り開口20を備えた絞りは、フレネル・レンズを形成するために使用される。同絞りを１つの方向に沿って移動した場合、円筒状凹形フレネル・レンズが形成される。２つの照射プロセスが互いに直交する方向のそれぞれに沿って実行された場合、凹形フレネル・レンズが形成され、同凹形フレネル・レンズはドイツ特許出願第P4314574.4号に既に記述されている。
図6aに示す種類の絞りは図6dに示すように直線G4との間に共通する側部S9,S10を有する矩形シャドー・エレメントR1,R2を絞り開口20'内に挿入することにより形成さえる。絞り開口20'のリムは、直線G4及び放物線P5を交点S7,S8とともに有している。側部S9,S10のそれぞれに対向する側部S11,S12は同側部S11,S12の両端においてそれぞれ放物線P5と接しており、同放物線P5は移動方向に延びる対称軸SY4を有している。開口部分A1,A2,A3は絞り開口20を形成し、さらには共通の境界G5上に位置している。
図7aに示す絞りは円筒状凸形フレネル・レンズまたは凸形フレネル・レンズを提供する。これらのレンズについてもドイツ特許出願第P4314574.4号に既に詳述されている。
図7aに示す絞りはシャドー・エレメント23によって矩形リム22内に形成された開口部分からなる絞り開口21を有している。リム22の一対の側部は移動方向に直交する方向に延びる側部24,25を有している。
図7dに示すように、シャドー・エレメント23は部分エレメントE1,E2,E3から形成されており、同部分エレメントE1,E2,E3は少なくとも１つの矩形部分R3,R4及び放物線P6によって囲まれた面から取り除かれた際に残される。移動方向に延びる対称軸SY5を有する放物線P6は、移動方向に直交する方向に延びる直線G6上の２つの点S13,S14を結んでいる。矩形部分R3,R4の１つの側部S15,S16が直線G6と一致する一方、同側部S15,S16にそれぞれ対向する側部S17,S18はその両端において放物線P6とそれぞれ接触している。図7aに示すように、前記した複数の部分エレメントは絞り開口21を形成しており、同複数の部分エレメントは側部25上に位置している。また、別の側部24を接触のために使用することも可能である。
別の適切な絞り（図8a参照）は、直角三角形26の形状をなす絞り開口を備え得る。直角三角形26の一方の垂直辺27,28は、移動方向に延びている。
図9aは二等辺三角形の形状をなす絞り開口29を示しており、同二等辺三角形の等しい２辺によって形成された頂点は異動方向に向かって配置されている。絞り開口26は楔形プロフィールを形成する。絞り開口29は三角形プロフィール及びピラミッド形プロフィールを形成する。
図10a及び図10bに示す絞りは、絞りの調整が可能な調整用スライド30,31をそれぞれ有している。底幅は調整用スライド30を用いて変更可能であり、構造体の幅は調整用スライド31を用いて変更し得る。従って、異なる寸法の幾何学的形状を簡単に形成可能である。調整は自動化が可能であり、さらには構造体の幅を変更すべく照射プロセス中に実施可能である。
図11はビーム整形手段としての複数絞りの使用を示している。この解決策は図２に示す解決策と機能が一致している。ピエゾ・アクチュエータは絞りに対して連結されている。振動の形態をなす移動に代表される制御可能な移動を容易に形成するピエゾ・アクチュエータ（図示略）は複数絞りの相対的移動の実施に適している。
円形フレネル・レンズに対応する照射プロフィールは、図12に示す構成を用いることにより形成可能である。絞りは対応する絞り開口32を有している。この解決策は図２に示す解決策と機能の面で一致しているが、相対的移動がＺ−Ｚ軸の周囲における回動によって形成される点に違いがある。図13はこれによって形成された円形フレネル・レンズを示している。
図14は変化する照射量を用いて表面プロフィールを形成する基本手順を示している。従って、図14は本発明による実現が可能な照射量値の使用を示している。レジスト層５が現像される際、Ｘ方向に沿った照射強度の違いにより現像フロント（Entwicklungsfront）33が形成される。同現像フロント33は現像の継続時間に合わせて進行し、さらにはレジスト中に表面プロフィールを形成する。
別の応用が放射線感応物に対して提供されている。この際、表面プロフィールが対象物内に形成される。対象物の輪郭を直接的に描くことは、例えばイオンビーム・エッチング等のプロフィール・エッチングによって実施可能である。プロフィール・エッチングにおいて、放射線は構造を材料内に直接形成する。
円筒状レンズ・アレイ及びレンズ・アレイ（図15b及び図16b参照）は図15及び図16において矢印で示すジグザグ状に延びる経路に沿った照射によって形成可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図５ｃ】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７ｂ】
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【図１６ｂ】
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【図６ｃ】
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【図６ｄ】
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【図７ｄ】
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【図７ａ】
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【図７ｃ】
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【図８ａ】
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【図８ｂ】
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【図８ｃ】
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【図９ａ】
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【図９ｂ】
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【図９ｃ】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１５ｂ】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１２】
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【図１４】
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【図１５ａ】
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【図１６ａ】
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