(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置を積層して構成される処理ブロックに隣接して移し換えゾーンを設け、この移し換えゾーンには移し換えロボットを昇降動可能に配置するとともに天井部には清浄なエアの吹出部を、床部にはエアの排出部を設けた処理ユニットにおいて、前記移し換えロボットは、ハンドを進退可能に取り付けた支持体と、この支持体を回転せしめるヘッドをプレート上に支持し、更にこのプレート下面にファン及びフィルタが取り付けられ、前記プレートにはナットが一体化し、このナットは上下方向のスクリューネジに螺合するとともにスクリューネジとプレートとの間に間隙が設けられ、この隙間を前記ファンに連通せしめる空間が前記プレートに形成され、この空間を介してハンドの摺動によって発生した異物またはスクリューネジから発生した異物をファンを駆動することでフィルタに送り込んで捕捉することを特徴とする処理ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェーハやガラス基板等に一連の処理を施す処理ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハに集積回路を形成したり、ガラス基板にＴＦＴ等の素子を形成するには、多くの工程を必要とする。
例えば、基板表面にエキシマレジスト膜を形成する工程の一例を挙げると、デハイドレーションベーク、ＢＡＲＣ（ボトム・アンチ・リフレクション・コーティング）塗布、ベーク、レジスト前処理、レジスト塗布、プリベーク、露光、露光後ベーク（ＰＥＢ）、現像及びポストベークの工程を経るようにしている。
【０００３】
従来にあっては、上記の如き工程を連続して行うため、各工程を行う装置を水平方向に離間してライン状に工程順に配置している。このため、占有面積が大きくなり、また工程の省略、追加が困難である。
【０００４】
そこで、一箇所において集中的に処理を行う装置として特開平９−２０５０４７号公報に開示されるものが知られている。
この先行技術に開示された装置は、図６及びその要部拡大図である図７に示すように、処理ブロック１００，２００を左右に配設し、中央を移し換えゾーン３００とし、前記処理ブロック１００はポストベーキング装置１０１、プリベーキング装置１０２、クーリング装置１０３等を積層して構成され、前記処理ブロック２００は塗布装置２０１，２０２及びフィルタ２０３を積層して構成される。
【０００５】
そして、前記移し換えゾーン３００には、処理ブロック１００，２００間及び処理ブロック１００，２００を構成する各装置間において被処理物の受け渡しを行うロボット３０１を設けている。
【０００６】
上記ロボット３０１を昇降動せしめる手段としては、上記公報には具体的に記載されていないが、例えば、隔壁３０２にて囲まれた内部にスクリューネジ３０３を配置し、このスクリューネジ３０３にロボット３０１の一部を螺合せしめ、スクリューネジ３０３の正逆回転に応じて昇降動せしめることが考えられる。
【０００７】
また、移し換えゾーン３００の天井部からはフィルタ３０４を介して清浄な空気をゾーン内に供給し、床はパンチングメタル３０５とし、この下に排気ファン３０６を配置することで移し換えゾーン３００内に上下方向の気流を形成し、異物が処理ブロック１００，２００を構成する各装置に入り込みにくくしている。尚、排気ファン３０６からの空気は天井部のフィルタ３０４の上に配置されるケミカルフィルタ３０７を介してフィルタ３０４に供給され再利用される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
処理ユニットにおいて、微細な金属粉等の異物が最も発生しやすい箇所は、摺動、回転動などの動きを伴うロボット部分である。
しかしながら、上述した従来の処理ユニットにあっては、移し換えゾーン３００内で単に上下方向の気流を形成しているだけであるので、ロボット３０１から発生した異物を十分に除去できない。
【０００９】
このため、同公報では、ロボット３０１の下部にファンを設け、このファンで発生した異物をスクリューネジ３０３を収納する隔壁３０２の内側に排出する提案がなされている。
しかしながら、上記提案は狭いスリットを介して異物を含む空気を隔壁３０２の内側に排出しようとするものであり、発生した異物を十分に除去できない。逆にスリットの幅を大きくすれば、隔壁内側に空気を排出しやすくはなるが、隔壁内側からの異物発生がある。
また、ファンによって横方向の気流の流れが発生し、せっかく上下方向の気流を形成して異物を床下に送り込むようにした構成に乱れが生じ、却って歩留まりの低下を招く。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明は、複数の処理装置を積層して構成される処理ブロックに隣接して移し換えゾーンを設けて処理ユニットを構成し、前記移し換えゾーンには移し換えロボットを昇降動可能に配置するとともに天井部には清浄なエアの吹出部を、床部にはエアの排出部を設け、更に前記移し換えロボットにはロボット等から発生した異物を捕捉するためのフィルタとこのフィルタに上方からエアを送り込むファンを設けた。
【００１１】
また、具体的な構成として、前記移し換えゾーンに隔壁を設け、この隔壁の内側に移し換えロボットを昇降動せしめるための駆動部材を配置し、この駆動部材にはベースを結合し、このベースを隔壁に形成されたスリットを介して移し換えゾーン内に臨ませ、更に前記ベースにはロボットを垂直軸を中心として旋回せしめるヘッド、被処理物を出し入れするためのアーム、異物を捕捉するためのフィルタ及びフィルタにエアを送り込むファンを支持する構成とすることが可能である。
【００１２】
以上の如き構成とすることで、ロボットの動作に伴って発生する異物を確実に捕獲することができ、また移し換えゾーン内に形成した上下方向の気流の流れをゾーンの中間部で更に助長することで、効果的な異物対策がなされる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る処理ユニットの全体図、図２は本発明に係る処理ユニットの移し換えゾーンの詳細を示す図、図３は図２の要部拡大図、図４は図３のＡ部（プレート基端部周辺）の断面図、図５は図４のＡ’ーＡ’線断面図である。
【００１４】
処理ユニット１は一対の処理ブロック２，３と、これら一対の処理ブロック２，３間に設けられる移し換えゾーン４にて構成され、この処理ユニット１が複数連設して処理ユニット構築体Ｍが構成されている。
尚、各処理ブロック２，３には前記した先行技術と同様に、ベーキング装置、クーリング装置、回転カップを用いた塗布装置、露光装置、現像装置等が上下方向に積層されるように組込まれるが、図１にあっては移し換えゾーン４内を透視するため、各装置は外した状態で示している。
【００１５】
移し換えゾーン４のコーナ部には隔壁５を設け、この隔壁５には上下方向のスリット６を形成している。
そして、隔壁５内には上下方向のスクリューネジ７を回転自在に保持し、このスクリューネジ７を底部のモータ８にて回転せしめるようにしている。
【００１６】
前記スクリューネジ７には移し換えロボット１０が支持されている。即ち、移し換えロボット１０は支持体１１に進退動可能に取り付けられたハンド１２と、前記支持体１１を垂直軸を中心として回転せしめるヘッド１３と、このヘッド１３を支持するプレート１４からなり、プレート１４の基端部はナット１５を覆う形でナット１５と一体化され、ナット１５の上下部のプレート１４基端部はスクリューネジ７との間に隙間を設け、この隙間は後述のファン１６に連通する空間を設けている。
而して、モータ８にてスクリューネジ７を回転せしめることで移し換えロボット１０は昇降動する。
【００１７】
また、プレート１４の下面にはファン１６及びフィルタ１７が取り付けられ、更に、移し換えゾーン４の天井部にはファン１８及びフィルタ１９が配置され、移し換えゾーン４の床部にはファン２０及びフィルタ２１が配置されている。
【００１８】
而して、処理中は天井部のファン１８（フィルタ１９）及び床部のファン２０（フィルタ２１）によって移し換えゾーン４内には上下方向の気流が形成される。
また、プレート１４下面のファン１６を駆動することで、図３の矢印でに示すように、ハンド１２の摺動によって発生した異物、スクリューネジ７とナット１５との螺合部で発生した異物をフィルタ１７に送り込み、フィルタ１７で捕捉する。
【００１９】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明に係る処理ユニットによれば、処理ブロックに隣接して設けられる移し換えゾーンにロボットを昇降自在に設け、このロボット自体に発生した異物を捕捉するためのフィルタとこのフィルタに上方からエアを送り込むファンを設けたので、異物の最大の発生源であるロボットからの異物を有効に回収できる。
【００２０】
特に、本発明にあってはファンによって移し換えゾーン内の気流の向きを乱すことがないので、除塵効果は更に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る処理ユニットの全体図
【図２】本発明に係る処理ユニットの移し換えゾーンの詳細を示す図
【図３】図２の要部拡大図
【図４】図３のＡ部（プレート基端部周辺）の断面図
【図５】図４のＡ’ーＡ’線断面図
【図６】従来の処理ユニットの全体図
【図７】図６の要部拡大図
【符号の説明】
１…処理ユニット、２，３…処理ブロック、４…移し換えゾーン、５…隔壁、６…スリット、７…スクリューネジ、８…モータ、１０…移し換えロボット、１１…支持体、１２…ハンド、１３…ヘッド、１４…プレート、１５…ナット、１６，１８，２０…ファン、１７，１９，２１…フィルタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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