(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストが塗工された基板を搬送する搬送コンベアと、基板を加熱しペーストに含まれるの溶剤を蒸発させる溶剤乾燥用ヒーターを備えた複数のヒーターユニットと、ヒーターユニットと交互に配置され蒸発した溶剤蒸気を押し流すための常温の給気エアを供給する給気ノズルを備えた複数の給気ユニットと、溶剤蒸気ならびに給気エアを排気する排気部とを乾燥炉内に有する溶剤乾燥装置において、前記給気ユニットを下側からカバーし給気ノズルを溶剤蒸気から遮断して溶剤の結露を防止するための遮蔽板を前記ヒーターユニット間に設けたことを特徴とする溶剤乾燥装置。
【請求項２】
前記遮蔽板は箱型に形成され、箱型の底部に給気ノズルからの給気エアを通過させる給気スリットが設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶剤乾燥装置。
【請求項３】
前記遮蔽板は、給気スリットが給気ノズルの直下に位置するように設置されていることを特徴とする請求項２記載の溶剤乾燥装置。
【請求項４】
前記遮蔽板は、給気スリットを有する底部が前記溶剤乾燥用ヒーターに近接して設置されていることを特徴とする請求項１記載の溶剤乾燥装置。
【請求項５】
前記遮蔽板は、給気スリット近傍が溶剤の露点温度以上に加熱されていることを特徴とする請求項１記載の溶剤乾燥装置。
【請求項６】
前記遮蔽板の給気スリット近傍は、前記溶剤乾燥用ヒーターで加熱されることを特徴とする請求項１記載の溶剤乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばカラーＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の製造工程において、ガラス基板上にスクリーン印刷等によりペーストを塗工し、この基板を加熱してペーストに含まれる溶剤を蒸発させ、基板の乾燥を行うための溶剤乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の溶剤乾燥装置について、図２を参照して説明する。図２は、従来の溶剤乾燥装置の概略構成図である。この従来の溶剤乾燥装置は、乾燥炉３内に設けられた下記の各部分から構成されている。すなわち、ペースト２が塗工された基板１を搬入搬出するための搬送コンベア４と、搬送コンベア４の上方に等間隔に設けられそれぞれに溶剤乾燥用ヒーター５を有する複数のヒーターユニット６と、ヒーターユニット６と交互に配置されそれぞれに給気ノズル７を有する複数の給気ユニット８と、排気スリット９を有し溶剤の蒸気１５を排気する排気部１０とを備えて構成されている。
【０００３】
給気ユニット８は、搬送コンベア４の進行方向に対して直角に設置されたパイプの下側に、基板１に向けて給気エア１２を供給するための複数の給気ノズル７が等ピッチで設けられた構造となっている。また、給気ユニット８は、それぞれ乾燥炉３内の上部に設けられた給気エア導入部１１に接続され、複数の給気ノズル７に給気エア１２を供給することによって蒸発した溶剤蒸気１５を押し流す役目をしている。そして、ヒーターユニット６ごとに給気エア１２が均一に供給できるように、複数の給気ノズル７で分配して供給する構造となっている。また、給気エア１２は送風ファン１３によって給気エア導入部１１を通って給気ノズル７から乾燥炉３内に送り込まれ、乾燥炉３内の排気は排気部１０に接続された排気ファン１４によって排気スリット９から排出される。
【０００４】
このような構造を有する従来の溶剤乾燥装置においては、ペースト２が塗工された基板１を搬送コンベア４に載せて乾燥炉３内を一定速度で搬送し、溶剤乾燥用ヒーター５の加熱によってペースト２に含まれる溶剤を蒸発させ、溶剤乾燥を行う。そして、ヒーター加熱を行うと同時に蒸発する溶剤蒸気１５を、給気ノズル７から供給される給気エア１２とともに排気スリット９から乾燥炉３外に排気し、溶剤の乾燥を行うようになっている。
【０００５】
また、乾燥炉３内に供給される給気エア１２は清浄なクリーンエアが用いられており、常温で供給されている。そのため、給気ノズル７の温度はノズル周囲の雰囲気温度よりも低くなっている。一方、乾燥炉３内で加熱され蒸発した溶剤蒸気１５は上昇気流となって給気ノズル７の位置まで上昇し、給気ノズル７に接触して結露し、この結露した溶剤１８が搬送中の基板１上に落下して製品不良を発生させていた。
【０００６】
この問題を解決するために、乾燥炉内に供給する給気エアをあらかじめ加熱して導入し、給気ノズルの温度を溶剤蒸気の露点温度よりも高くすることによって給気ノズルの結露を防止する方法が提案されている。しかし、この方法は、給気エアを加熱するための設備、加熱温度をコントロールする設備などに費用がかかり、また、製品や溶剤の種類によって加熱条件が異なるため実施に踏み切れないのが現状である。また、特開平７−１４２３２２号公報に示されているように、給気エアとして乾燥エアなどの除湿したエアを導入する方法もあるが、これは給気ノズル近傍の結露には効果はあるものの給気ユニット全体としてはほとんど効果が得られない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の溶剤乾燥装置は、乾燥炉内でヒーター加熱されて蒸発した溶剤の蒸気が、上昇気流となって給気ノズル付近に接触して結露し、結露した溶剤が搬送中の基板上に落下して製品不良発生の原因となっていた。これは、溶剤の蒸気を排気させるための供給エアが常温のまま乾燥炉内に供給されているためであり、その結果、給気ノズルの温度がノズル周囲の雰囲気温度よりも低くなって溶剤蒸気の露点温度以下になるためである。
【０００８】
本発明は、このような問題を解決し、常温の給気エアを導入する装置であっても給気ノズルへの溶剤結露を防止することができる安価な溶剤乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ペーストが塗工された基板を搬送する搬送コンベアと、基板を加熱しペーストに含まれるの溶剤を蒸発させる溶剤乾燥用ヒーターを備えた複数のヒーターユニットと、ヒーターユニットと交互に配置され蒸発した溶剤蒸気を押し流すための常温の給気エアを供給する給気ノズルを備えた複数の給気ユニットと、溶剤蒸気ならびに給気エアを排気する排気部とを乾燥炉内に有する溶剤乾燥装置において、前記給気ユニットを下側からカバーし給気ノズルを溶剤蒸気から遮断して溶剤の結露を防止するための遮蔽板を前記ヒーターユニット間に設けた構造を有する。
【００１０】
また、本発明に係る前記遮蔽板は箱型に形成され、箱型の底部に給気ノズルからの給気エアを通過させる給気スリットが設けられ、この給気スリットは給気ノズルの直下に位置するように設置されている。
【００１１】
また、本発明に係る前記遮蔽板は、給気スリットを有する底部が前記溶剤乾燥用ヒーターに近接して設置され、その際、給気スリット近傍が溶剤の露点温度以上に加熱されるように設置されている。そして、この給気スリット近傍の加熱は、前記溶剤乾燥用ヒーターで行われるようになっている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態における溶剤乾燥装置の概略構成図である。なお、従来技術の説明で用いたのと同じ部品は、同じ符号で説明する。
【００１３】
図１に示すように、本発明の溶剤乾燥装置は、乾燥炉３内に設けられた下記に示す各部分から構成されている。すなわち、ペースト２が塗工された基板１を搬入搬出するための搬送コンベア４と、搬送コンベア４の上方に等間隔に設けられそれぞれに溶剤乾燥用ヒーター５を有する複数のヒーターユニット６と、ヒーターユニット６の間に配置されそれぞれに給気ノズル７を有する複数の給気ユニット８と、排気スリット９を有し加熱により蒸発した溶剤蒸気１５を排気する排気部１０とを備えて構成されている。
【００１４】
ヒーターユニット６と給気ユニット８とは、それぞれ等間隔でかつ交互に配置され、隣り合うヒーターユニット６の間には、給気ユニット８を下側からカバーできるように箱型に形成したステンレス製の遮蔽板１６を取り付け、ヒーター加熱によって上昇してくる溶剤蒸気１５から給気ノズル７を隔離する役目をしている。そして、遮蔽板１６の底部には、給気ノズル７の直下に位置するように複数の給気スリット１７が等ピッチで開けられており、給気ノズル７からの給気エア１２を通過させて基板１に向けて吹き出すようになっている。ここで、遮蔽板１６は給気スリット１７の開けられている底部ができるだけ溶剤乾燥用ヒーター５に近い位置にくるように設置することによって、常温の給気エア１２が給気スリット１７を通過してもスリット付近の温度は下がらないようになっている。
【００１５】
給気ユニット８は、搬送コンベア４の進行方向と直角に設置されたパイプの下側に、基板１に向けて給気エア１２を供給するための複数の給気ノズル７が設けられた構造となっている。また、給気ユニット８は、それぞれ乾燥炉３内の上部に設けられた給気エア導入部１１に接続され、複数の給気ノズル７に給気エア１２を供給している。給気ノズル７を通った給気エア１２はさらに遮蔽板１６の給気スリット１７を通って基板１に向けて吹き出し、蒸発した溶剤蒸気１５を押し流し、押し流された溶剤蒸気１５は排気部１０の排気スリット９から排気されるようになっている。そして、給気エア１２は、ヒーターユニット６ごとに乾燥炉３内に均一に供給されるように複数の給気ノズル７で分配して供給する構造となっている。また、給気エア１２は送風ファン１３によって給気エア導入部１１を通って給気ノズル７に至り、さらに、給気スリット１７から乾燥炉３内に吹き出す。そして、乾燥炉３内の排気は排気部１０に接続された排気ファン１４で行われる。
【００１６】
このような構造を有する本発明の溶剤乾燥装置は、ペースト２が塗工された基板１を搬送コンベア４に載せて乾燥炉３内を一定速度で搬送し、その間に溶剤乾燥用ヒーター５の加熱によってペースト２に含まれる溶剤を蒸発させ、溶剤乾燥を行う。乾燥の際、蒸発する溶剤蒸気１５は上昇気流となって遮蔽板１６の下面に接触する。しかし、遮蔽板１６はヒーターユニット６の間に設置されたことによって溶剤乾燥用ヒーター５と近接しているため、新たに遮蔽板加熱用のヒーターを設けなくても、この溶剤乾燥用ヒーター５で常に加熱された状態となっており、溶剤蒸気１５が接触しても溶剤の露点温度以上に遮蔽板１６が加熱されているため結露することがない。また、ヒーターを新たに設ける必要がないことから、電力容量の上昇にもつながらない。
【００１７】
一方、給気ノズル７は、従来技術と同様、常温の給気エア１２が供給されているため温度は低下しているが、上昇してくる溶剤蒸気１５が遮蔽板１６によって遮断されて給気ノズル７まで到達しないため結露することがなくなる。万一、溶剤蒸気１５が侵入し結露が発生して落下することがあっても遮蔽板１６の内部にとどまり、基板１上に落下することはない。このようにして、乾燥炉３内で発生した溶剤蒸気１５は、結露することなくすべて給気ノズル７から供給される給気エア１２とともに排気スリット９から乾燥炉３外に排気され、安定した溶剤の乾燥を行うことができる。
【００１８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、常温の給気エアを導入する溶剤乾燥装置であっても、給気ノズルをカバーする遮蔽板を設けたことによって蒸発した溶剤の蒸気が給気ノズルに到達しなくなり、給気ノズルの溶剤結露を防止できる。さらに、遮蔽板は溶剤乾燥用ヒーターの近傍に設置されるため、新たにヒーターを設けなくても常に溶剤の露点温度以上に加熱されており、溶剤の蒸気が遮蔽板に接触しても結露することがない。このように、本発明は、従来の装置に簡単な構造の遮蔽板を設けるだけで溶剤結露を防止でき、製品不良の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す概略構成図である。
【図２】従来の溶剤乾燥装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１    基板
２    ペースト
３    乾燥炉
４    搬送コンベア
５    溶剤乾燥用ヒーター
６    ヒーターユニット
７    給気ノズル
８    給気ユニット
９    排気スリット
１０    排気部
１１    給気エア導入部
１２    給気エア
１３    送風ファン
１４    排気ファン
１５    溶剤蒸気
１６    遮蔽板
１７    給気スリット
１８    結露した溶剤
【図１】
0003599100.tif 000002
【図２】
0003599100.tif 000003