(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望のパーツを整列するための部品整列パレット（７）を水平方向に対して所望角度両方向へ揺動するための揺動手段（５）と、前記部品整列パレット（７）を所望の振幅方向へ振動するための振動手段（９）とを有する揺動式パーツ整列機（１）であって、
前記振動手段（９）が、
振動動作を発生する振動源（４１）と、
前記振動源（４１）に対応して設けられ、前記部品整列パレット（７）を前記振幅方向へ振動するために、前記振動源（４１）により振動される振動部材（３９）と、
前記振動部材（３９）と同一質量を有し、該振動部材（３９）の振動動作に同期したタイミングで、かつ該振動部材（３９）の動作方向に対して互いに反対方向へ振動可能な、前記部品整列パレット（７）を備える第２の振動部材（４９）を有するバランサ部（２）とを有し、
前記振動部材（３９）の振動エネルギが前記第２の振動部材（４９）の振動エネルギによって相殺されることを特徴とする揺動式パーツ整列機（１）。
【請求項２】
前記振動源（４１）と、該振動源（４１）により振動される前記振動部材（３９）とを一組とする振動手段本体（４）が複数組配設され、それぞれの組の振動手段本体（４）に対応させて、前記バランサ部（２）が各々配設されたことを特徴とする請求項１に記載の揺動式パーツ整列機（１）。
【請求項３】
所望のパーツを整列するための部品整列パレット（７）を水平方向に対して所望角度両方向へ揺動するための揺動手段（５）と、振動動作を発生する振動源（４１）、前記振動源（４１）に対応して設けられ前記振動源（４１）により振動されて前記部品整列パレット（７）を前記振幅方向へ振動するための振動部材（３９）、及び前記振動部材（３９）と同一質量の、前記部品整列パレット（７）を備える第２の振動部材（４９）を有するバランサ部（２）を備えた振動手段（９）とを備えて成る揺動式パーツ整列機（１）を防振するための方法であって、前記バランサ部（２）を、前記振動部材（３９）の振動動作に同期させるとともに、前記振動部材（３９）の動作方向に対して互いに反対方向へ動作させ、前記振動部材（３９）の振動エネルギを前記第２の振動部材（４９）の振動エネルギによって相殺することを特徴とする揺動式パーツ整列機の防振方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品や精密機械部品など（パーツ）を、所定の位置に整列させる際に好適な揺動式パーツ整列機およびその防振方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、電子部品、あるいは精密機械部品など（パーツ）、比較的小さな部品が多量に取り扱われる場合、それら多量の部品がバラバラの状態で、段ボールケースなどの収納容器に収納されると、その後、それらの部品を取り出して組立作業をする等の取り扱いが困難となるとともに、破損等の事故を招来し易く、また、それらの部品が組み込まれる製品の製造過程では、効率的に生産管理することが困難となる。
【０００３】
一例として、ＩＣや時計等の精密機器では、それらを構成する部品は、一部を除いて、ほとんど大量生産され、製造過程や、物流過程において取り扱われるそれらの部品の個数は膨大な量となり、しかも、製品の製造が流れ作業で、その流れ作業の各工程において、所定ロット数のフレームやパッケージ等のパーツが、整列された状態で供給される必要があるが、大量のパーツを一個ずつ、例えば、手作業で整列させていたのでは、生産性が悪い。
【０００４】
そこで、揺動式パーツ整列機によって、大量の小部品であるパーツが、所定の部品整列パレットに自動的に整列され、その後の流れ作業工程などに供給されるようにしている。
そして、その揺動式パーツ整列機では、所定の方向に振動する矩形板状の振動テーブル上に装着されて、パーツが整列される矩形板状の部品整列パレットと、この部品整列パレットの長手方向両端部に一対設けられたチリトリ器状の機回収パレットとが備えられ、さらに、振動テーブルは、揺動テーブル上に設けられており、その揺動テーブルは、一定の周期で、水平面に対して所定の角度だけ揺動するように設定されている。
【０００５】
すなわち、揺動テーブルが揺動されることにより、振動テーブルに装着された部品整列パレットも揺動され、このとき、部品整列パレット上に拡散供給された多量のパーツの内、いくつかは、振動テーブルの振動エネルギによって、部品整列パレット上に形成された型枠内に移動されるように構成されており、その型枠はパーツの形状に対応する形状の、例えば凹部とされている。
【０００６】
また、部品整列パレット上に拡散されたパーツの内、型枠内に移動されなかったパーツは、もう一度揺動されて部品整列パレット上に拡散されるが、その揺動に伴って、パーツの一部は、部品整列パレットの長手方向両端部位置を往復することになるので、その両端部位置でパーツが部品整列パレット上から落ちないように、回収パレットが設けられている。
以上のようにして部品整列パレット上に整列された多数のパーツは、その部品整列パレットごと、次の作業、例えば、流れ作業での組立工程に供給される。
【０００７】
そして、その揺動式パーツ整列機が設置される環境条件としては、周囲に精密機械などの各種機器が設置されており、揺動式パーツ整列機の振動テーブルが振動したときに揺動式パーツ整列機全体が振動し、流れ作業のために設備された自動機を構成する周囲の各種機器などに、その振動が伝搬されると、例えば、画像処理装置の読み取り動作など、精確さが要求される作業に支障をきたすおそれがあるので、その振動の伝搬を防止することが、揺動式パーツ整列機を設計する上で必須の条件となる場合がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、従来、揺動式パーツ整列機の下部に設けられた架台の重量を必要以上に大きく設定するなど、ある程度の防振対策は考慮されていたが、充分な防振対策は施されておらず、根本的な対策が要望されていた。
【０００９】
本発明の目的は、振動テーブルの振動が周囲に伝搬することを確実かつ効果的に防止することができる揺動式パーツ整列機およびその防振方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、所望のパーツを整列するための部品整列パレットを水平方向に対して所望角度両方向へ揺動するための揺動手段と、前記部品整列パレットを所望の振幅方向へ振動するための振動手段とを有する揺動式パーツ整列機であって、前記振動手段が、振動動作を発生する振動源と、前記振動源に対応して設けられ、前記部品整列パレットを前記振幅方向へ振動するために、前記振動源により振動される振動部材と、前記振動部材と同一質量を有し、該振動部材の振動動作に同期したタイミングで、かつ該振動部材の動作方向に対して互いに反対方向へ振動可能な第２の振動部材を有するバランサ部とを有し、前記振動部材の振動エネルギが前記第２の振動部材の振動エネルギによって相殺されることを特徴とする揺動式パーツ整列機によって達成される。そして、請求項１に記載の揺動式パーツ整列機の実施の形態としては、前記振動源と、該振動源により振動される前記振動部材とを一組とする振動手段本体が複数組配設され、それぞれの組の振動手段本体に対応させて、前記バランサ部が各々配設された構成が好適である。一方、上記目的は、所望のパーツを整列するための部品整列パレットを水平方向に対して所望角度両方向へ揺動するための揺動手段と、振動動作を発生する振動源、前記振動源に対応して設けられ前記振動源により振動されて前記部品整列パレットを前記振幅方向へ振動するための振動部材、及び前記振動部材と同一質量の第２の振動部材を有するバランサ部を備えた振動手段とを備えて成る揺動式パーツ整列機を防振するための方法であって、前記バランサ部を、前記振動部材の振動動作に同期させるとともに、前記振動部材の動作方向に対して互いに反対方向へ動作させ、前記振動部材の振動エネルギを前記第２の振動部材の振動エネルギによって相殺することを特徴とする揺動式パーツ整列機の防振方法によっても達成される。
【００１１】
上記請求項１に記載の揺動式パーツ整列機では、前記振動部材と同一の質量を有し、該振動部材の振動動作に同期したタイミングで、かつ該振動部材の動作方向に対して、互いに反対方向へ動作するバランサ部が設けられ、前記振動部材の振動エネルギが前記バランサ部の第２の振動部材の振動エネルギによって相殺される。
【００１２】
上記請求項２に記載の揺動式パーツ整列機では、前記振動源と該振動源により振動される前記振動部材とを一組とする振動手段本体が複数組配設され、それぞれの組の振動手段本体に対応させて、一度に複数の前記部品整列パレットが使用可能であるとともに、各々配設された前記バランサ部の第２の振動部材の振動エネルギによって前記振動部材の振動エネルギが相殺される。
【００１３】
上記請求項３に記載の揺動式パーツ整列機の防振方法では、前記振動部材と同一の質量を有するバランサ部を、該振動部材の振動動作に同期したタイミングで、かつ該振動部材の動作方向に対して、互いに反対方向へ動作させて、前記振動部材の振動エネルギを前記バランサ部の第２の振動部材の振動エネルギによって相殺する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る揺動式パーツ整列機の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明が適用された揺動式パーツ整列機１の全体概略図が示されており、同図から理解されるように、揺動式パーツ整列機１では、適宜な重量と厚さを有する板状の架台３上に、揺動手段５と、水平方向に対して所望の角度となる両方向（図１中、上下方向）へ向けて、揺動手段５によって揺動される一対の板状部品整列パレット７、７と、それら一対の部品整列パレット７、７を、自身の幅両方向（図１中、左右方向）へそれぞれ振動させる一対の振動手段９、９とが各々設けられている（図３参照）。
【００１５】
この場合、部品整列パレット７の振動動作方向、すなわち振幅方向は、適宜、選択可能で、その振幅方向に対応させて、振動手段９から部品整列パレット７に伝搬される振幅方向を、振動手段９で設定すれば良い。
また、部品整列パレット７には、電子部品や精密機械部品などのパーツを整列させるため、所望形状、および所望深さの凹部などが形成されているが、その構成、機能等は従来公知であるので、説明は省略する。
【００１６】
揺動手段５は、揺動駆動源となる揺動パルスモータ１１と、この揺動パルスモータ１１の出力が伝達されて自身の軸回りに回動する揺動軸１３とを有しており、揺動パルスモータ１１は、架台３上にボルト等で固定された基台１４に垂設されたモータ取り付けステー１５に取り付けられ、揺動パルスモータ１１が取り付けられている近傍部位には、揺動状態から水平状態に移行する際等に用いられる水平停止位置検出スイッチ１７が設けられている。
【００１７】
また、架台３上には、揺動軸１３の軸方向に沿って、適宜間隔を介して、一対の支持部材１９、１９がボルト等によって垂設・固定され、それら支持部材１９、１９には、揺動軸１３が回動自在に挿通されて、軸受けされる揺動軸ホルダ２１、２１が各々設けられ、さらに、揺動軸１３は、後述する振動部ベース２３の下面から、揺動軸１３の配置方向へ突設された４つの脚部２５、２５、２５、２５に連結・固定され、これにより、部品整列パレット７を含む、振動部ベース２３上の各部材が、揺動軸１３の回動動作に伴って揺動される。
【００１８】
そして、揺動パルスモータ１１の出力軸には、揺動軸駆動プーリ２７が取り付けられ、この揺動軸駆動プーリ２７の回転駆動力は、揺動軸駆動ベルト２９によって、揺動軸１３が挿通固定された揺動軸受動プーリ３１に連繋されており、その回転駆動力を良好に連繋するため、モータ取り付けステー１５には、アイドラ３３が回動自在に設けられている。
【００１９】
なお、揺動軸１３の軸方向一方端部位置（図１中、右側）には、揺動している状態、すなわち、水平方向に対して、平行位置であるか、一方側（例えば、揺動軸１３の軸方向から見ると右側であって、図１中、紙面の奥方側）に最大限度傾いている位置か、あるいは、他方側（左側）に最大限度傾いている位置かが、それぞれ検出されるスイッチ部３５が設けられており、このスイッチ部３５からの検出出力によって、揺動軸１３の揺動角度の限界角度が、水平面に対する傾斜角度の限界角度（予め設定されている）内となるように制御される。
【００２０】
次に、図１におけるＩ−Ｉ線から上部が示された図２、および図１におけるＩ矢視が示された図３から理解されるように、各々の部品整列パレット７、７には、チリトリ器状の回収パレット３７が、部品整列パレット７の長手方向（図１中、紙面の手前側と奥方側）に一対づつ設けられている。
【００２１】
また、部品整列パレット７、７は、振動手段９の構成要素となる振動テーブル（振動部材）３９と、バランサ部２を構成する振動テーブル４９（第２の振動部材）に対して、それぞれ着脱自在に取り付けられている。
この場合、回収パレット３７は、部品整列パレット７が、振動テーブル３９、あるいは振動テーブル４９とともに、揺動手段５によって揺動されたときに、パーツが部品整列パレット７から脱落することを防止等するために設けられているが、その構成、機能は従来公知であるので、詳細な説明は省略する。
【００２２】
ここで、振動手段９は、脚部２５を介して揺動軸１３によって揺動される板状の振動部ベース２３の下方に設けられた振動サーボモータ（振動源）４１を有しており、振動サーボモータ４１は、振動部ベース２３の下面から鉛直下向きに垂設された取り付け部材４３に支持されて振動部ベース２３に固定されいる。
従って、この実施の形態におけるバランサ部２は、振動テーブル４９と振動サーボモータ４１とを主体として構成されているとともに、振動手段本体４は、振動サーボモータ４１と振動テーブル３９とを主体として構成されている。
【００２３】
そして、振動部ベース２３の上面には、４つの振動軸支持部４７、４７、４７、４７がボルト等により垂設・固定されており、振動テーブル３９、４９がそれぞれ図１中、左右方向へ往復運動されて振動する際に、それら振動テーブル３９、４９の直線運動をガイド・支持するスライドシャフト（振動軸）４５が、それら振動軸支持部４７、４７、４７、４７により支持・固定されている。
【００２４】
また、振動テーブル３９、４９の下面にそれぞれ設けられた一対の筒状スライド部５１、５１、５３、５３内に、その振動軸４５が挿通され、振動テーブル３９、４９の振動に追従して、それらスライド部５１、５１、５３、５３が、振動軸４５の軸方向に沿って摺動可能となるように設定されている。
【００２５】
さらに、振動テーブル３９、４９は、各々振動発生機構５５に連繋されており、この振動発生機構５５には、振動サーボモータ４１の出力が駆動ベルト５７を介して伝達される受動プーリ５９が設けられ、この受動プーリ５９は、軸方向両端部が軸受け６１、６３により、それぞれ回動自在に支持された駆動シャフト６５に取り付けられている。
【００２６】
そして、駆動シャフト６５の回動動作は、振動テーブル３９を振動軸４５の軸方向に沿って往復運動（振動）させる右偏芯カム機構６７と、振動テーブル４９を振動軸４５の軸方向に沿って往復運動（振動）させる左偏芯カム機構６９とに連繋されており、右偏芯カム機構６７と左偏芯カム機構６９では、振動サーボモータ４１の回転運動が直線運動に変換されて、各々振動テーブル３９、４９に出力される。
【００２７】
すなわち、右偏芯カム機構６７と左偏芯カム機構６９では、ハウジングＨ内に略円柱状の偏芯カムが設けられ、この偏芯カムには、軸方向中心位置から径方向へ所望の距離だけ偏芯した位置に、駆動シャフト６５が嵌合される嵌合孔が貫通形成されているとともに、その偏芯カムの外周側面には、ハウジングＨ内に設けられたベアリングが摺動可能に当接されている。
【００２８】
そして、偏芯カムのハウジングＨには、ジョイント用ロッドエンドの一方端部側が固定され、その他方端部側には、球面軸受けを介して、腕部が、回転方向に対して自由運動自在とされて直行姿勢で連繋されており、さらにその腕部には、振動テーブル３９、４９に連結される連結部材７１、７３が、各々直行して連繋されている。
【００２９】
そのため、駆動シャフト６５が自身の軸回りに回転すると、偏芯カムの作用によって、ジョイント用ロッドエンドが自身の長手方向へ往復運動され、それに伴って、連結部材に連結された振動テーブル３９、４９も自身の幅方向に沿って往復運動される結果、振動するように構成されおり、その振動テーブル３９、４９の振動に伴って、部品整列パレット７、７が幅方向（図１中、左右方向）の振幅方向で振動される。
この場合、偏芯カムの中心軸位置と嵌合孔形成位置との距離の、約２倍に相当する距離だけ、駆動シャフト６５の中心軸と球面軸受け位置との距離が変化される。
【００３０】
また、振動テーブル３９の振動方向と、振動テーブル４９の振動方向は、どう時刻において、互いに反対方向となるように設定されており、これは、振動テーブル４９が、振動テーブル３９の振動動作に同期したタイミングで、かつ振動テーブル３９の動作方向に対して反対方向へ振動するように設定することにより、互いに水平対向振動となる構成により実現されている。
【００３１】
以上説明したように、この実施の形態では、振動テーブル３９と振動テーブル４９の質量が略同一に設定されるとともに、それらの振動方向が互いに反対方向となるように設定されて、水平対向振動されているので、振動テーブル３９の振動エネルギと、振動テーブル４９の振動エネルギとが互いに相殺され、揺動式パーツ整列機１の振動を確実に防止することができる。
この場合、架台３が配備されない状態で、１５００ｒｐｍで振動させたときにおいても、振動部ベース２３には、ほとんど振動が伝達されないという実験結果を得ている。
【００３２】
また、振動テーブル３９、４９により、２つの部品整列パレット７が一度に使用できるので、一つの部品整列パレット７を使用される場合に比べて、パーツの整列作業能率を向上させることができる。
なお、振動テーブル３９と、振動テーブル４９の他に、さらに互いに水平対向振動する振動テーブルの組を増加させ、一度に使用できる部品整列パレット７がより多数使えるように構成し、パーツ整列作業能率をさらに向上させることも好適である。
【００３３】
さらに、振動サーボモータ４１と揺動パルスモータ１１が採用される構成により、各モータの駆動・停止動作が高精度で制御されるので、揺動式パーツ整列機１を自動機（例えば、パーツの自動組立ライン等）に容易に組み込むことができるという利点がある。
【００３４】
なお、この実施の形態では、振動テーブル３９と振動テーブル４９の駆動源が振動サーボモータ４１で共用されているが、振動テーブル３９と、振動テーブル４９が別個の駆動源を有する構成でも良い。
【００３５】
次に、本発明に係る揺動式パーツ整列機の好適な他の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図４、および図４におけるＩＶ矢視を示す図５から理解されるように、この実施の形態では、部品整列パレット７が着脱自在に取り付けられる振動テーブル３９が一台だけ設けられ、その振動テーブル３９の下方に、振動テーブル３９と略同一の質量とされた板状の第２の振動部材１０が設けられている。
【００３６】
また、振動発生機構５５には、上記実施の形態における右偏芯カム機構６７、左偏芯カム機構６９に代えて、一体型偏芯カム機構２０が採用されており、その他の構成は上記実施の形態と略同様である。
【００３７】
すなわち、この実施の形態では、第２の振動部材１０が、部品整列パレット７を振動させることには関与しておらず、単に、振動テーブル３９の振動エネルギと、互いに相殺する振動エネルギを有してバランサ部２を構成するように設定されており、第２の振動部材１０は、振動サーボモータ４１が振動源とされて、上記実施の形態における振動テーブル４９と略同様な振動動作機構によって振動される。
【００３８】
以上説明したように、この実施の形態では、振動テーブル３９と、第２の振動部材１０との水平対向振動によって、振動テーブル３９の振動エネルギが、第２の振動部材１０の振動エネルギによって相殺されるので、揺動式パーツ整列機１の振動を確実に防止することができる。
加えて、一体型偏芯カム機構２０が採用されているので、振動テーブル３９と第２の振動部材１０の振動動作が略完全に同期され、その結果、それらの振動が外部環境に伝達されることを、さらに確実に防止することができるという利点がある。
【００３９】
なお、振動テーブル３９が複数設けられ、それらの振動テーブル３９に対応して、複数の第２の振動部材１０（バランサ部３）が設けられる構成でも良く、この場合には、複数の部品整列パレット７が一度に使用されるので、パーツ整列作業能率を向上させることができるという利点がある。
【００４０】
次に、本発明に係る揺動式パーツ整列機の防振方法の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
この実施の形態では、図１、図２、および図３に示された揺動式パーツ整列機１が使用されており、振動テーブル３９の振動動作に同期したタイミングで、かつ振動テーブル３９（振動部材）の動作方向に対して、互いに反対方向へ振動テーブル４９（第２の振動部材）が振動される（水平対向振動）ように設定され、振動テーブル３９が振動手段本体４の構成要素とされる一方、振動テーブル４９がバランサ部２の構成要素とされている。
【００４１】
すなわち、振動テーブル３９の加速度ベクトルと、振動テーブル４９の加速度ベクトルとが、互いに逆向きの方向を有する加速度ベクトルとなるように設定されているとともに、振動テーブル３９と振動テーブル４９の質量は略同一となるように設定されている。
【００４２】
従って、振動テーブル３９と振動テーブル４９とがともに振動されたときにおいては、振動テーブル３９の振動エネルギと、振動テーブル４９の振動エネルギとを互いに相殺させて、揺動式パーツ整列機１内で、振動エネルギを打ち消し合わせることができる。
【００４３】
以上説明したように、この実施の形態においては、略同一の質量を有する振動テーブル３９と、振動テーブル４９とが互いに水平対向振動されるので、互いの振動エネルギが相殺される結果、揺動式パーツ整列機１全体の振動を確実に防止して、その振動が外部環境に伝達されることが回避される。
【００４４】
また、振動テーブル３９、４９により、２つの部品整列パレット７が一度に使用できるので、一つの部品整列パレット７を使用される場合に比べて、パーツの整列作業能率を向上させることができる。
【００４５】
なお、振動手段本体４を構成する振動テーブル３９と、バランサ部２を構成する４９の他に、さらに振動テーブル（振動手段本体４）を増加させるとともに、それに対応してバランサ部２を設ける構成を採用することにより、一度に使用できる部品整列パレット７の数を多数使用することにより、パーツ整列作業能率をさらに向上させることも好適である。
【００４６】
そして、バランサ部２は、部品整列パレット７の振動動作に関与させて配設する構成（上記揺動式パーツ整列機１の実施の形態を参照）と、部品整列パレット７の振動動作には関与させず、単に振動させる構成（上記揺動式パーツ整列機１の他の実施の形態を参照）とを適宜選択して採用することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上の説明で理解されるように、上記請求項１に記載の揺動式パーツ整列機では、前記振動部材と同一質量を有し、該振動部材の振動動作に同期したタイミングで、かつ該振動部材の動作方向に対して互いに反対方向へ動作するバランサ部が設けられ、前記振動部材の振動エネルギが前記バランサ部により相殺されるので、振動部材の振動が周囲に伝搬することを確実、かつ効果的に防止することができる。
【００４８】
上記請求項２に記載の揺動式パーツ整列機では、前記振動源と、該振動源により振動される前記振動部材とを一組とする振動手段本体が複数組配設され、それぞれの組の振動手段本体に対応させて、各々配設された前記バランサ部により、各々の振動部材の振動エネルギが相殺されるので、複数の振動手段本体により、複数の部品整列パレットが使用可能となり、パーツの整列作業性が向上するという特有の効果に加え、振動部材の振動が周囲に伝搬することを確実、かつ効果的に防止することができる。
【００４９】
上記請求項３に記載の揺動式パーツ整列機の防振方法では、前記振動部材と同一質量を有するバランサ部を、該振動部材の振動動作に同期したタイミングで、かつ該振動部材の動作方向に対して互いに反対方向へ動作させて、前記振動部材の振動エネルギを前記バランサ部により相殺するので、振動部材の振動が周囲に伝搬することを確実、かつ効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る揺動式パーツ整列機の好適な実施の形態における揺動式パーツ整列機の全体概略構成図である。
【図２】図１におけるＩ−Ｉ線から上部を構成する揺動式パーツ整列機の一部省略構成図である。
【図３】図１におけるＩ矢視を示しており、振動発生機構の概略構成を示す説明図である。
【図４】他の好適な実施の形態おける揺動式パーツ整列機の要部を示す構成説明図である。
【図５】図４におけるＩＶ矢視を示しており、他の実施の形態における振動発生機構の概略を示す説明図である。
【符号の説明】
１  揺動式パーツ整列機
２  バランサ部
４  振動手段本体
５  揺動手段
７  部品整列パレット
９  振動手段
３９  振動テーブル（振動部材）
４１  振動サーボモータ（振動源）
４９  振動テーブル（第２の振動部材）
【図１】
0003599212.tif 000002
【図２】
0003599212.tif 000003
【図３】
0003599212.tif 000004
【図４】
0003599212.tif 000005
【図５】
0003599212.tif 000006