(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク保護装置が位置決めして装着される矩形状のケース本体と、ケース本体に被せて装着され、マスク保護装置の枠周縁を押える押え部を形成した矩形状の上蓋と、四隅においてケース本体に装着される上蓋とケース本体とに嵌挿され、両者を連結する台形状のクリップを備えたマスク保護装置の収納ケースにおいて、上記クリップの上下の少なくとも一方の側に積み重ねた収納ケース間に間隙を形成するための突条をなすスペーサを突設したことを特徴とするマスク保護装置の収納ケース。
【請求項２】
突条はクリップの斜辺に沿って一対形成される請求項１記載のマスク保護装置の収納ケース。
【請求項３】
突条はクリップの上下に突条間の間隔を異にして形成される請求項２記載のマスク保護装置の収納ケース。
【請求項４】
上下の突条のうち、一方は低く形成されるか、若しくは短いピンにされる請求項３記載のマスク保護装置の収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、マスクやレチクル（以下「マスク」という）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用いられるマスク保護装置を収納するケースに関し、ことにマスク保護装置が装着されるケース本体と、上蓋と、四隅においてケース本体に上蓋を止めるためのクリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースに関する。
【０００２】
【従来技術】
集積回路の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これが半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちである。この問題を解消し、マスク上に異物等が付着するの防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側面に透明な薄膜を張設し、他側端面をマスク上に粘着テープ等の接着手段により接着してマスクを薄膜により一定の間隔を存して覆うようにしたマスク保護装置が供されるようになった。
【０００３】
こうしたマスク保護装置は出荷して使用に供されるまで通常、塵埃等が付着することのないように収納ケースに入れられて保管し、運搬される。
図１は、従来用いられてきたこの種の収納ケースについて示すもので、中央部にマスク保護装置１が位置決めして装着される台２を突状に形成したケース本体３と、ケース本体上に被せて装着され、マスク保護装置の枠周縁を押える押え部４を形成した上蓋５とよりなっており、ケース本体３に上蓋５を被せて固定するときには、図２に示すようなクリップ６を用い、これを図３に示すようにケース本体３と、ケース本体３に被せた上蓋５との四隅にそれぞれ嵌合して取付けていた。図中、７はクリップを押し込んだのち、蓋周縁のリブ８によって抜け止めれるストッパーである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
マスク保護装置を格納したケースは、保管若しくは運搬時に通常、図１に示すように、上蓋５に段状をなして形成される凸部９を台２によって形成される凹部１０に嵌合した状態で多段に重ねられるが、段数が多くなると、その自重により下層部の上蓋５が撓んで格納するマスク保護装置の薄膜に接触するおそれがある。
【０００５】
本発明は、多段に積み重ねても自重により上蓋が撓んでマスク保護装置に接触することのないように、一定の間隔を存して積み重ねることができるようなマスク保護装置の収納ケースを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題の解決手段】
本発明の収納ケースはそのため、マスク保護装置が位置決めして装着される矩形状のケース本体と、ケース本体に被せて装着され、マスク保護装置の枠周縁を押える押え部を形成した矩形状の上蓋と、四隅においてケース本体に装着される上蓋とケース本体とに嵌挿され、両者を連結する台形状のクリップを備えたマスク保護装置の収納ケースにおいて、上記クリップの上下の少なくとも一方の側に積み重ねた収納ケース間に間隙を形成するための突条をなすスペーサを突設したことを特徴とする。
【０００７】
スペーサはまた、クリップの上下に設けて収納ケースを積み重ねたとき、上下のスペーサが係合して位置ずれを防止できるようにするのが望ましい。こうしたものとしては、クリップの斜辺に沿ってハ状に形成される突条が好ましい例として挙げられる。
【０００８】
【作用】
ケース本体に上蓋を装着し、その四隅においてクリップにより固定した収納ケースを積み重ねたとき、スペーサが収納ケースを一定の間隔に保ち、収納ケース同志を直接接触させない。しかもスペーサは収納ケースの比較的剛性を有する隅に設けられるため、上方からの重みによる収納ケースの変形が生じにくい。
【０００９】
またスペーサを突条にしたことにより、収納ケースを積み重ねたときの安定性が増し、クリップの各斜辺に沿って一対形成すれば、安定性がより向上する。またクリップの各斜辺に沿って形成される突条をクリップの上下に設ければ、四隅のクリップの突条をその下側のクリップの突条に嵌合状態にすることができ、これにより上下に重ねた収納ケースの動きを拘束して位置ずれをなくすか、位置ずれを一定範囲にとゞめることができる。この場合、クリップによる固定機能を損なわないようにするには、突条の位置を上下で変え、上側の突条が下側の突条に内側より或いは外側より係合させるようにする必要がある。なお、突条に位置ずれ防止機能を持たせるには、上下いづれか一方の突条は他方の突条に単に係合できるような形状になっていればよいため、スペーサとしての機能を有する他方の突条より低くするのが望ましく、また突条に代え、短いピンを用いてもよい。
【００１０】
【実施例】
図４〜図６に示すクリップ１１は、樹脂製で、上述のクリップ６と同様、上下方向から見て台形状をなし、上側には斜辺に隣接して低い突条１２よりも内側に位置する箇所に高い突条１３をそれぞれハ状に突出形成し、短辺側にはテーパ状をなす突状のストッパー７を下向きに、また該ストッパー７に対向する位置に低い突部１５を形成してなるもので、図１に示すケース本体３と、該本体３に装着される上蓋５を固定するときには、従来例と同様、クリップ１１の長辺側よりケース本体３と上蓋５の角に押込む。すると、クリップ１１が変形しながらストッパー７が蓋周縁のリブ８を乗り越え、リブ８の内側に嵌合して抜け止めとなり、また突部１５がケース本体３に下側より押付けられて止められるようになっている。
【００１１】
図７は、収納ケースＡを積み重ねたときのクリップについて示すもので、クリップ１１は、突条１３が下側のクリップ１１に当たることにより、下側のクリップ上に支持され、これにより収納ケースＡを一定の間隔で支持するようになっている。また突条１３が突条１２間に嵌合することにより、収納ケースＡの位置ずれを防止するようになっている。
【００１２】
本実施例によれば、ケース本体と上蓋とをクリップで止めた収納ケースＡを積み重ねたとき、四隅の各クリップ１１は、下側の各クリップ上に位置ずれを防止されて支持されるようになり、収納ケースＡを等間隔で互いに接触させることなく、また位置ずれを生じることなく支持させることができる。
しかも上方からの重みはクリップに作用し、クリップはケース本体と上蓋とが重なって比較的剛性を有し、かつリブ８により強度を有する収納ケースの角に取付けられるため、上方からの重みによる収納ケースの変形を生じない。
【００１３】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成され、次のような効果を奏する。
請求項１記載の収納ケースによれば、積み重ねたときスペーサにより収納ケース間に一定の間隔が保たれて収納ケース同志が直接接触しないようになり、上方からの収納ケースによる重みがクリップ部分に作用するため、上蓋が撓んでマスク保護装置に接触するおそれがない。
【００１４】
また収納ケースは、突条により線状に支持されるため、収納ケースを積み重ねたときの安定性が増す。請求項２記載の収納ケースのように、突条をクリップの各斜辺に沿って一対設ければ、安定性がより向上する。請求項３記載の収納ケースのように、クリップの突条間の間隔を上下で変えると、積み重ねた収納ケースの上下の突状が内側或いは外側より係合することにより、収納ケースの位置ずれを防止できるようになり、収納ケースを傾けたり、捩じれたりすることがなく積み重ねることができる。
【００１５】
請求項４記載の収納ケースのように、上下の突条のうち一方を低くするか、短いピンにするだけで、位置ずれ防止機能を持たせることができ、高さ方向における加工精度を必要としなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】収納ケースを積み重ねたときの正面図。
【図２】従来のクリップの斜視図。
【図３】ケース本体と上蓋をクリップで止めた収納ケースの平面図。
【図４】本発明に係るクリップの平面図。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図。
【図６】同クリップの斜視図。
【図７】収納ケースを積み重ねた時のクリップの正面図。
【符号の説明】
１・・・マスク保護装置            ３・・・ケース本体
５・・・上蓋                      ７・・・ストッパー
８・・・リブ                      １１・・・クリップ
１２、１３・・・突条              １５・・・突部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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