Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウス１内に前後に長いベンチ２，２，２を固定して設け、該ベンチ２，２，２上に、育苗中の多数の苗箱１５，１５……を左右前後に隣り合うようにして前後に長い帯状に並べて載置する移動ベンチ３，３，３を左右一対のコロ４，４……で左右移動可能に設け、該移動ベンチ３，３，３の上方に、複数の散水ノズル１８，１８……を左右横並びに設けた散水管１７をハウス１の梁２０に設けたレール２１に釣り下げて前後方向に自走移動するように構成した散水装置１９を設け、前記散水ノズル１８，１８……は移動ベンチ３，３，３上に載置された苗箱１５，１５……の帯の左右両端で左右中央部よりも多量に水を散布するように設け、前記左右一対のコロ４，４を載置する前記ベンチ２，２，２の横枠６の上面には、前記移動ベンチ３の左右中心が前記ベンチ２の左右中心に合ったときに左右一方のコロ４が落ち込むノッチ２２を設けたことを特徴とする育苗施設。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、野菜や水稲の苗を育成する育苗施設に用いて効果的なものである。
【０００２】
【従来の技術】
育苗中の多数の苗箱を左右と前後に隣り合うようにして前後に長い帯状に並べ、横並びの複数の散水ノズルを有する散水装置をその上で前後方向に移動させる潅水装置が育苗施設に用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ここに、その散水ノズルは、横並びの苗箱に対してほぼ均等に水を散布するように出来ている。そのため、両横の苗箱はその中の床土の乾きが早く、中央部に比較して苗の成育が遅れ、苗に不揃いをまねくおそれがあった。これを解消するため、時期を見て中央部の苗箱と両横の苗箱とを並べて替えていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記の課題を解決するため、ハウス１内に前後に長いベンチ２，２，２を固定して設け、該ベンチ２，２，２上に、育苗中の多数の苗箱１５，１５……を左右前後に隣り合うようにして前後に長い帯状に並べて載置する移動ベンチ３，３，３を左右一対のコロ４，４……で左右移動可能に設け、該移動ベンチ３，３，３の上方に、複数の散水ノズル１８，１８……を左右横並びに設けた散水管１７をハウス１の梁２０に設けたレール２１に釣り下げて前後方向に自走移動するように構成した散水装置１９を設け、前記散水ノズル１８，１８……は移動ベンチ３，３，３上に載置された苗箱１５，１５……の帯の左右両端で左右中央部よりも多量に水を散布するように設け、前記左右一対のコロ４，４を載置する前記ベンチ２，２，２の横枠６の上面には、前記移動ベンチ３の左右中心が前記ベンチ２の左右中心に合ったときに左右一方のコロ４が落ち込むノッチ２２を設けたことを特徴とする育苗施設とした。
【０００５】
【作用】
この発明は、上記のように構成されるので、移動ベンチ３は、その左右中心がベンチ２の左右中心に合わせると左右一方のコロ４がノッチ２２に落ち込む。そして、それぞれの散水ノズル１８，１８……が水を散布している散水装置１９を前後方向に移動させる。すると、帯状に並べられている苗箱１５，１５……に対し、中央部の苗箱１５，１５……よりも両端の苗箱１５，１５に多量の水が散布されるように潅水される。
【０００６】
【効果】
従来は、横並びの苗箱１５，１５……に対して均等に水が散布され、両端の苗箱１５，１５内の床土が中央部よりも早く乾いて苗の成育に不揃をまねいていたが、上記の構成によると、移動ベンチ３上に載置された苗箱１５，１５……の左右両端の苗箱１５，１５に対しては左右中央部の苗箱１５，１５……よりも多量に水が散布され、乾きがほぼ均等に行なわれ、苗の生育が均一化した。そのため、従来のような苗箱の並べ替えも必要でなくなった。
【０００７】
【実施例】
つぎに、この発明の実施例を説明する。
図１および図２のように、ハウス１内にベンチ２，２，２が前後に長く固定して設けられ、それぞれのベンチ２，２，２上に移動ベンチ３，３，３がコロ４，４……で横に移動できるように設けられている。
【０００８】
それぞれのベンチ２，２，２は、図２のように構成される。すなわち、左右１対の前後枠５，５が複数の横枠６，６……の両端で連結されて前後に長い枠組が出来ている。それぞれの横枠６，６……の両端から支柱７，７……が下に伸び、それぞれの下端がコンクリートブロック８，８……で地面９に固定されている。横枠６，６……と支柱７，７……に斜の補強杆１０，１０……の両端が固定されている。なお、支柱７，７……は、頭が横枠６，６……よりも少し突出してコロ４，４がころがり落ちないようになっている。
【０００９】
それぞれの移動ベンチ３，３，３は、図２のように構成される。すなわち、それぞれ１対の前後枠１１，１１と横枠１２，１２とが矩形に固定され、その面に網状のエキスパンドメタル１３が張られている。断面がＬ形の脚板１４，１４……がその下面に前後方向に等間隔で固定されている。
それぞれのベンチ２の横枠６，６……の上に左右１対のコロ４，４が一定の間隔で載せられ、そのコロ４，４の上に脚板１４，１４……の下端を載せる。すると、移動ベンチ３は、コロ４，４の回転で軽快に左右に移動する。なお、左右の移動ベンチ３，３の間が作業者の通路となっている。
【００１０】
苗箱１５に苗床が入れられ、苗１６，１６……が育成されている。中央の移動ベンチ３の上には、上記の苗箱１５の５枚が横並びに載せられるとともに、前後方向にも多数の苗箱１５，１５……が並べて載せられ、前後に長い苗箱１５，１５……の帯状の列ができている。左右の移動ベンチ３，３の上には、横に３枚の苗箱１５，１５，１５が載せられて前後に長い列ができている。
【００１１】
横向の散水管１７に複数の散水ノズル１８，１８……が横並びに設けられて散水装置１９となっている。この散水管１７は、ハウス１の梁２０に設けられたレール２１から釣り下げられ、自走式に構成されて前後方向に移動するようになっている。散水ノズル１８，１８……は、それぞれの移動ベンチ３，３，３の両端上で間隔が密に設けられ、移動ベンチ３，３，３上に形成された苗箱１５，１５，１５の帯状の列に対し、中央部よりも両端において多量に水を散布するようになっている。なお、図では、上記のように、移動ベンチ３，３，３の両端において散布ノズル１８，１８……の間隔を密に設けたが、これらを等間隔に設けるとともに、移動ベンチ３，３，３の両端の上の散水ノズル１８の孔を他よりも大きくして散水量を増加させることもできる。
【００１２】
図３のように、移動ベンチ３の横の中心がベンチ２の横の中心に合ったときに、一方のコロ４が落ち込むノッチ２２を横枠６の上面に設けると、移動ベンチ３の安定性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を施した育苗施設の正面図。
【図２】その１部の分解した斜面図。
【図３】その１部の拡大図。
【符号の説明】
１５  苗箱
１８  散水ノズル
１９  散水装置
【図１】
0003552295.tif 000002
【図２】
0003552295.tif 000003
【図３】
0003552295.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空状の軸受本体内壁に多数の軸受ボールの無限軌道を有する保持器を、全体に亘って薄肉状の軌道部材を密接介在させて装着する構成とし、前記軸受本体を軽合金による鋳造、または合成樹脂等の成形加工によって形成する一方、前記軌道部材を、焼入鋼、窒化鋼等の硬化金属部材、またはセラミックス等の成形部材によって形成したことを特徴とするリニアボールベアリング。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、測定機器、精密加工機械、一般産業機械等に適用可能なリニアボールベアリングに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、リニアボールベアリング１は、図５に示すように軌道部分を含む外周部分２にベアリング鋼、クロームモリブデン鋼等の焼入れ鋼を採用し、フランジ３等の取付部分を外周部分と一体の焼入れ鋼を用いるか、取付部分に軟鋼を適用して製造することが一般的に行われてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、かかる構造のリニアボールベアリング１によると、重量が大きく、しかも、取付部分を含む外周部分２を切削加工を主とする工程により製造しているので、製造コストを抑えることは困難である。
本発明はかかる不都合を改善するためになされたもので、より軽量で、安価なリニアボールベアリングを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記した課題を解決するために、本発明は中空状の軸受本体内壁に多数の軸受ボールの無限軌道を有する保持器を、全体に亘って薄肉状の軌道部材を密接介在させて装着する構成とし、前記軸受本体を軽合金による鋳造、または合成樹脂等の成形加工によって形成する一方、前記軌道部材を、焼入鋼、窒化鋼等の硬化金属部材、またはセラミックス等の成形部材によって形成したことを特徴とする。
【０００５】
【作用】
負荷のかかる軸受ボールの接触部である軌道部材には焼入れ鋼、又はセラミックス等の硬質材料を採用しているので、ベアリングとしての必要な強度を損なうことはない。また、軸受本体を軽合金、または合成樹脂等の成形加工部材で形成しているので、全体を軽量化することができ、且つ、切削加工はほとんど不要となり、加工が容易であるので製造コストを抑制することができる。
【０００６】
【実施例】
次に、本発明にかかるリニアボールベアリングの一実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
図１にリニアボールベアリング１０を示し、このリニアボールベアリング１０は、円筒形状の軸受本体１１と、軸受本体１１内壁に装着した保持器１２とを有する。この保持器１２は、軸受本体１１内壁に沿って装入されると共に、軸受本体１１両端部において止め輪１３によって固定している。また、かかる保持器１２には鋼球１４を無限循環させるようにした軌道１５が複数形成されている。
前記軸受本体１１と保持器１２との間には、前記軌道１５を覆うようにした薄肉状の軌道部材１６が介在されている（図２参照）。
【０００７】
以上のようなリニアボールベアリング１０において、軸受本体１１は、例えばアルミニウム合金等の軽合金による鋳造、または合成樹脂等の成形加工によって形成されている。一方、軌道部材１６は、例えば、焼入鋼、窒化鋼等の硬化金属部材、またはセラミックス等の成形部材等の薄肉状の硬質材料によって形成されている。
【０００８】
次に、かかる構成のリニアボールベアリング１０について製造工程を説明する。軌道部材１６は、焼入鋼、又はセラミックス等で製造し、予め熱処理を施しておく。
一方、軸受本体１１はアルミニウム合金等による鋳造、ダイキャスト、または合成樹脂等の射出成形によって形成し、前記軌道部材１６をインサートして、保持器１２を装着し、軸受本体１１両端部から止め輪１３を取り付けて保持器１２を固定する。
なお、かかる軸受本体１１は、金型によって、軸受本体１１の各部分の形状および寸法が所定の形状、寸法になるので、切削加工等、追加加工はほとんどなく、外径及び軌道面の研削をすれば、この部品は完成する。
このように、リニアボールベアリング１０は特に手間のかかる軸受本体１１が、金型によって形成され、しかも、切削加工等、追加加工はほとんど不要となるので、製造工程が大幅に簡略化され、しかも、材質に比重の軽い軽合金の鋳物や、合成樹脂等の成形部材を採用したので、軽量化が可能となる。
【０００９】
本発明は、図３、図４に示すリニアボールベアリング２０によっても実施することができる。
この場合、リニアボールベアリング２０は、軸受本体２１と取付部２２は一体構造であり、アルミニウム合金等による鋳造、ダイキャスト、または合成樹脂等の射出成形によって形成することができる。すなわち、軸受本体２１と取付部２２は金型によって、軸受本体１１の各部分の形状および寸法が所定の形状、寸法とすることができ、切削加工等、追加加工はほとんど不要である。
【００１０】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、硬度の必要な軌道部分を硬質材料で、その他取付部分を含む外周部分を軽合金、又は合成樹脂等で製作するので、全体が軽くなり、又、切削加工等、追加加工はほとんど不要となるので、製造工程が大幅に簡略化され、製造原価を抑えることができる。
【００１１】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるリニアボールベアリングの一実施例を示す一部縦断面説明図である。
【図２】図１に示すリニアボールベアリングのＡ−Ａ線に沿って切断して見た切断矢視図である。
【図３】本発明にかかるリニアボールベアリングの別の実施例を示す一部縦断面説明図である。
【図４】図３に示すリニアボールベアリングのＡ−Ａ線に沿って切断して見た切断矢視図である。
【図５】従来のフランジ付リニアボールベアリングを示す一部縦断面説明図である。
【図６】図５に示すフランジ付リニアボールベアリングのＡ−Ａ線に沿って切断して見た切断矢視図である。
【符号の説明】
１０、２０                    リニアボールベアリング
１１、２１                    軸受本体
１２                          保持器
１３                          止め輪
１４                          鋼球
１５                          軌道
１６                          軌道部材
２２                          取付部
【図１】
0003552243.tif 000002
【図２】
0003552243.tif 000003
【図３】
0003552243.tif 000004
【図４】
0003552243.tif 000005
【図５】
0003552243.tif 000006
【図６】
0003552243.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
歩道に沿って埋設され、一方の端部に接続された抵抗体と、他方の端部に接続された交流電流発生部とで閉回路を構成するほぼ平行な導電体と、導電体と導電体の間及び導電体から外れた領域にわたって設けられた軟磁性体と、人が持ち歩くと共に、軟磁性体の領域又は軟磁性体と導電体の組合わせ領域を検知する受信器とからなることを特徴とする人の誘導装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、例えば、目の不自由な人を誘導案内する誘導装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、目の不自由な人を誘導案内する手段としては、一般的な点字ブロックの外に、路面からの信号を受ける専用の杖を持ち歩くことで誘導される誘導装置が知られている。
【０００３】
この誘導装置の概要は、例えば、歩道に沿って埋設された誘導体と、誘導体からの信号を検知する専用の杖とから成り、専用の杖で検知しながら歩くことで誘導されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の誘導装置は、専用の杖によって誘導体を検知することで、例えば、杖が振動し、その振動を手で感じとることで誘導が可能となる。反面、杖からの振動という一つの情報だけでは、例えば、バス停に近ずいたり、横断歩道に近ずいたこと等、他の情報は得ることは出来ない面がある。点字ブロックだけの場合は、なおさら地理的詳細情報は得られない。
【０００５】
また、誘導体に、信号電流を流すための電線を埋め込むタイプであると、電線が断線した場合には、誘導機能は停止し、修理が完了するまで全く役に立たなくなる問題があった。
【０００６】
そこで、この発明は、少なくとも２つの情報が得られると共に、故障が起きても全機能が停止することなく、最低限の誘導機能が得られるようにした誘導装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、この発明は、歩道に沿って埋設され、一方の端部に接続された抵抗体と、他方の端部に接続された交流電流発生部とで閉回路を構成するほぼ平行な導電体と、導電体と導電体の間及び導電体から外れた領域にわたって設けられた軟磁性体と、人が持ち歩くと共に、軟磁性体の領域又は軟磁性体と導電体の組合わせ領域を検知する受信器とからなっている。
【０００８】
【作用】
かかる誘導装置によれば、軟磁性体の領域に入ると、受信器を介して、例えば、一定間隔の誘導音が発せられるから、この誘導音が途切れることがないよう歩くことで正しく誘導される。
【０００９】
次に、軟磁性体の領域から、軟磁性体と導電体の組合わせ領域に入ると、長い間隔から間隔の短い誘導音が発せられることで、一定間隔の誘導音の情報と、間隔の短い誘導音の情報の二種類の情報が得られる。したがって、例えば間隔の短い誘導の領域を横断歩道やバス停等に設定することで、場所や位置の特定ができるようになる。
【００１０】
一方、導電体が仮りに断線したとしても、軟磁性体による一定間隔の誘導音が得られるようになり、誘導機能が全く停止する虞れはない。
【００１１】
【実施例】
以下、図１乃至図４の図面を参照しながらこの発明の実施例を具体的に説明する。
【００１２】
図中１は、歩道３及び横断歩道５に沿って埋設された軟磁性体、７は導電体をそれぞれ示しており、これらの領域は受信器９によって検知されるようになっている。
【００１３】
軟磁性体１は、それ自体では信号を発することはなく、帯状に一体に連続する形状となっている。なお、軟磁性体１は、フェライト等の軟磁性体を骨材としたブロック単位で形成し、施工時に突合せることで帯板状に連続する形状としてもよく、あるいは、点字ブロックの裏面に軟磁性体１を設ける組合せ形状とすることも可能である。
【００１４】
導電体７は、軟磁性体１の両サイドに沿ってほぼ平行に配置されると共に、配置される位置は、横断歩道５又はバス停（図示していない）等の特定領域に設定されている。
【００１５】
導電体７の一端には、所定の周波数で共振するよう調整するための抵抗体８が、他端は交流電流発生部１１がそれぞれ接続され、閉回路を構成している。
【００１６】
交流電流発生部１１は、地上面に設置されたボックス１３内にセットされ、発振部１５からのトリガー信号を波形整形部１７によってサイクル信号に変換した後、励磁増幅部１９によって増幅し、一定の交流信号を出力する。
【００１７】
これにより、図２（イ）に示す如く導電体７の領域において地上面Ｇから所定高さの電界ｍが確保されるようになっている。
【００１８】
一方、受信器９は杖２１内に組入れられると共に、スイッチＳのオンによって電流が流れることで、磁界ｆを作るコイル２３と、コイル２３が、軟磁性体１の領域にある時と、電界ｍが作られる軟磁性体１と導電体７との組合せ領域にある時に、インピーダンス変化に対応して、例えば、異なる駆動信号を出力する駆動部２５と、駆動部２５からの異なる駆動信号に基づいて、例えば、ピーというように一定の連続する誘導音と、ピ・ピ・ピというように短い間隔で誘導音を発する発信部２７と電源部３０とから成っている。この場合、必ずしも誘導音に限定されず、振動であってもよい。
【００１９】
このように構成された誘導装置によれば、受信器９のスイッチＳをオンとして図２（ロ）の如く歩道を歩くこととで、例えば軟磁性体１の領域にあっては、ピーというように受信器９が軟磁性体１を検知するごとに誘導音が発っせられるから、その誘導音が途切れることがないよう歩くことで、正しく誘導される。
【００２０】
次に、例えば図２（イ）に示す如く導電体との組合せ領域に入ると、ピ・ピ・ピというように間隔の短い誘導音が発せられる。
【００２１】
これにより、例えば、横断歩道５に近ずいたことがわかると共に場所、位置の特定が可能となる。
【００２２】
一方、導電体７が断線しても、軟磁性体１によって一定の間隔の誘導音が確保されるため、誘導機能が停止してしまう虞れはなくなる。
【００２３】
なお、受信器９は、杖２１の内部に組入れた実施例となっているが、独立して持てる構造としてもよい。
【００２４】
また、横断歩道Ｓにおいて、誘導音を歩道用の信号機の点滅と連動させることも可能である。これにより、横断歩道をわたるタイミングを的確に知ることができる。なお、交流電流発生部１１に、音声信号を整調すれば、受信器９で音声を聴取でき、誘導時の単調信号、所定箇所での音声情報の入手が可能となる。この場合、単調信号と音声信号の発振部は２箇所必要となる。
【００２５】
【発明の効果】
以上、説明したように、この発明の誘導装置によれば、軟磁性体と導電体の組合せによって複数の信号が得られるため、視覚障害者の誘導機能の外に、場所や位置を知ることができる。
【００２６】
また、導電体が断線しても全機能が停止することがなくなり、誘導機能だけは得られるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を実施した横断歩道に実施した概要説明図。
【図２】動作説明図。
【図３】交流電流発生部の説明図。
【図４】受信器を杖内に設けた概要説明図。
【符号の説明】
１  軟磁性体
３  歩道
５  横断歩道
７  導電体
９  受信器
１１  交流電流発生部
【図１】
0003552746.tif 000002
【図２】
0003552746.tif 000003
【図３】
0003552746.tif 000004
【図４】
0003552746.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏心振動子の取付孔に小型モータの駆動軸を挿入・固定して、小型無線呼出機に着信振動を加える小型無線呼出機の発振器において、
前記取付孔の断面形状を四角形断面とし、
同取付孔が形成される偏心振動子の取付部を前記四角形の対角方向にカシメることにより少なくとも４点以上の点で前記駆動軸の周面を前記取付孔に内接させたことを特徴とする小型無線呼出機の発振器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は小型無線呼出機に関し、特に、着信時に本体に振動を発生させる発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、電話回線を利用した無線呼出しシステムに用いられる小型無線呼出機（ページャ）にあっては、ページャ利用者に着信があったことを知らせるために、周知の着信音の代りに、ページャ本体を振動させる構造のものが普及している。
【０００３】
即ち、図３及び図４は、例えば実公平４−１３８６０号公報及び実開平６−１９３３６号公報に示された小型無線呼出機の発振器であり、この加振器は着信信号により励磁される小型モータＡ１  ，Ａ２  と、この小型モータＡ１  ，Ａ２  の駆動軸Ｂ１  ，Ｂ２  に固定される偏心振動子Ｃ１  ，Ｃ２  とから構成され、偏心振動子Ｃ１  ，Ｃ２  の回転運動により生じる不平衡振動で小型無線呼出機が加振され、小型無線呼出機利用者に着信があったことが告知される。
【０００４】
つまり、図３に示される従来の発振器は比重量の重いタングステン燒結合金からなる偏心振動子Ｃ１  の取付孔Ｄ１  に黄銅ブッシュＥを接着し、同黄銅ブッシュＥを小型モータＡ１  の駆動軸Ｂ１  に圧入・固定した構造であり、また、図４は同様の材料からなる偏心振動子Ｃ２  の取付部ｃに形成する取付孔Ｄ２  に小型モータＡ２  の駆動軸Ｂ２  を直接に挿入し、後から同取付部ｃをポンチ穴Ｆでカシメた構造である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの従来の加振器の内、図３に示した構造は、小型モータＡ１  の駆動軸Ｂ１  に黄銅ブッシュＥが強固に圧入されるため、充分な取付け強度が維持されるけれども、同黄銅ブッシュＥを偏心振動子Ｃ１  の取付孔Ｄ１  に接着するので、接着剤が固化する時間が必要で、工程時間が長くなり、迅速な量産に向かず、黄銅ブッシュＥの使用で部品費が割高となる問題があった。
また、図４の構造はポンチ等の治具で迅速に組立てることはできるが、鋭いポンチを使用するため、クラック発生等による歩留まりが悪く、偏心振動子Ｃ２  はｐ１  ，ｐ２  点で示す２点で駆動軸Ｂ２  に接触しているに過ぎないから、試作結果によると、約１０Ｋｇ程度の抜去力しか得られず、使用中に分解するおそれがあった。
【０００６】
本発明の目的は、以上に述べたような従来の小型無線呼出機の発振器の製作上の問題に鑑み、部品点数が少なく、迅速な組立工程で製作でき、取付け強度が充分な小型無線呼出機の発振器を得るにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、偏心振動子の取付孔に小型モータの駆動軸を挿入・固定して、小型無線呼出機に着信振動を加える小型無線呼出機の発振器において、前記取付孔の断面形状を四角形断面とし、同取付孔が形成される偏心振動子の取付部を前記四角形の対角方向にカシメることにより少なくとも４点以上の点で前記駆動軸の周面を前記取付孔に内接させたことを提案するものである。
【０００８】
【実施例】
以下、図１及び図２について本発明の実施例の詳細を説明する。
図１は本発明による小型無線呼出機の発振器の正面図であり、同加振器は、着信信号があったときに図示を省略する呼出機本体の回路からの通電により励磁される小型モータ１と、取付部２ａを後述する構造で小型モータ１の駆動軸１ａに強固に固定される比重量の大きな偏心振動子２とから構成されるのは従来と同様である。
【０００９】
図示実施例の特徴は取付部２ａに形成される四角形断面の取付孔３にあり、同取付孔３に小型モータ１の駆動軸１ａが挿入された後、図２に示すように、カシメ治具４によって取付部２ａが矢印方向即ち、取付孔３の頂点の対角方向にカシメられる。
【００１０】
勿論、取付孔３の断面形状は駆動軸１ａの周面に対する取付孔３の接触点を増加する目的であるから、他の多角形断面形状であってもよく、また、カシメ治具４の作用方向も矢印に対して直角な対角方向からのカシメであっても同様の作用効果を得ることができる。
【００１１】
図示実施例の小型無線呼出機の発振器は、以上のような構造であるから、小型モータ１の駆動軸１ａを偏心振動子２の取付孔３に挿入してカシメ部位が鋭くない平たい面状のカシメ治具４で取付孔３の対角方向からカシメるので、クラックの発生がなく、迅速に組立てることができる。
また、図２の実線示のように、カシメ治具４により偏心振動子２の取付部２ａをカシメた状態では、駆動軸１ａの周面は点Ｐ１  ，Ｐ２  ，Ｐ３  ，Ｐ４  で示す４点で取付孔３に内接する状態が得られる。
したがって、このような４点での接触により駆動軸１ａに偏心振動子２を強固に固定できるから、使用中に、偏心振動子２が駆動軸１ａから外れることのない信頼性の高い構造となる。事実、図示構造（外形１ｍｍの駆動軸１ａに厚みが４．６ｍｍの偏心振動子２をカシメた例）の試作・試験結果によると、平均１８Ｋｇに達する優れた抜去力が得られている。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、部品点数が少なく、迅速に組立てることができる量産に適した構造であって、小型モータの駆動軸に対する偏心振動子の固定力の大きな信頼性の高い小型無線呼出機の発振器を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の小型無線呼出機の発振器の正面図である。
【図２】同加振器の要部拡大正面図である。
【図３】従来の小型無線呼出機の発振器の分解斜視図である。
【図４】他の従来の加振器の正面図である。
【符号の説明】
１    小型モータ
１ａ  駆動軸
２    偏心振動子
２ａ  取付部
３    取付孔
４    カシメ治具
【図１】
0003552764.tif 000002
【図２】
0003552764.tif 000003
【図３】
0003552764.tif 000004
【図４】
0003552764.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂ０Ｄ、ＳＳ、藻類等を含む閉鎖水域の原水を、接触酸化装置を前段に、抗菌材を装填した流動床を後段にして組合わせた浄化システムで浄化する方法であって、接触酸化装置に導入した原水を自然流下させて該装置内に装填した充填材上の生物膜によりＢ０Ｄ、ＳＳ、藻類等を除去し、次いでこの一次処理水を流動床に導入して該流動床に装填したゼオライトにＡｇイオンやＣｕイオン等を担持させた無機系抗菌剤からなる抗菌材と流動接触させて抗菌処理することを特徴とする閉鎖水域の浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は閉鎖水域の浄化方法に係り、特に、富栄養化した閉鎖水域の池・湖沼水を、接触酸化装置と抗菌材流動床との組合せ装置により浄化処理する閉鎖水域の浄化方法に関する。
【０００２】
【従来技術とその課題】
従来、池・湖沼など閉鎖水域の浄化方法としては、オゾン酸化法、紫外線殺菌法、機械的濾過法及び凝集剤添加法等があるが、上記オゾン酸化法及び紫外線殺菌法は、建設設備費並びに維持管理費が高価となり、また、上記機械的濾過法は、建設設備費が高いことと、装置の目詰りを洗浄した際に発生する逆洗水の措置の問題があり、また、更に上記凝集剤添加法は、多量の汚泥が発生することや薬剤費用が嵩むこと、及び動植物に悪影響を与える等の問題がある。
【０００３】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するためのものであり、その要旨は、Ｂ０Ｄ、ＳＳ、藻類等を含む閉鎖水域の原水を、接触酸化装置を前段に、抗菌材を装填した流動床を後段にして組合わせた浄化システムで浄化する方法であって、接触酸化装置に導入した原水を自然流下させて該装置内に装填した充填材上の生物膜によりＢ０Ｄ、ＳＳ、藻類等を除去し、次いでこの一次処理水を流動床に導入して該流動床に装填したゼオライトにＡｇイオンやＣｕイオン等を担持させた無機系抗菌剤からなる抗菌材と流動接触させて抗菌処理することを特徴とする閉鎖水域の浄化方法。
【０００４】
本発明は接触酸化装置と抗菌剤流動床とを組合わせた浄化処理システムであって、上記接触酸化装置においては、充填材を組込んだ迂流水路に浄化対象の池・湖沼水等の原水を導入し、この導入水を充填材上に付着形成される生物膜（バクテリヤ、原生動物、後生動物等からなる膜）と接触させて、水中のＢＯＤ（酸化分解を受ける有機物質量）源、有機質ＳＳ（浮遊物質）、濁度成分（植物性プランクトン等）及び藻類等を生物化学的に浄化処理するものである。
【０００５】
上記一次処理水を、引続き上記抗菌材を装填した流動床に導入して抗菌材と流動接触させるものであるが、この流動床においては、前段の接触酸化工程で吸着、分離されなかった微細な藻類が、抗菌材中の抗菌剤と接触して活性を失ない増殖が阻止され、そしてこの最終処理水が微生物の増殖能を持たない処理水として元の水系に戻されるものである。
【０００６】
【実施例】
以下、本発明を図面に基づき具体的に説明する。  図１は本発明の一実施例を一部省略斜視図で示す。
図１に斜視図で示す如く、本発明において前段の接触酸化工程で用いられる接触酸化装置１は、槽１１内を仕切板１３により仕切って迂流路１２を形成し、該迂流路１２内に充填材１４を装填してある。  この充填材１４は、波板平行板型、紐状、砕石状、円筒状、網状など何れの形態であってもよい。
この接触酸化装置１に、閉鎖水域（図示してない）より矢印方向から原水Ａを導入し、該導入原水Ａを接触酸化装置１の迂流路１２に装填した充填材１４上の生物膜に接触せしめつつ、水位差により矢印方向に自然流下させ、その間に原水Ａ中のＢＯＤ、ＳＳ、藻類等が除去されて一次処理水Ｂとなる。
【０００７】
次いで、上記前段の接触酸化工程で処理した一次処理水Ｂを、後段の抗菌材２１を装填した流動床２に導入し、抗菌材２１と流動接触させて抗菌処理する。
この抗菌材２１は、ゼオライトにＡｇイオンやＣｕイオン等を担持させた無機系抗菌剤を配合したものであって、０．５〜１０ｍｍφ程度の球状のものや、０．５〜１０ｍｍφ、長さ１〜１０ｍｍ程度の円柱状のもの等が好適に使用される。
上記抗菌材２１により処理された二次処理水、即ち浄化水Ｃは元の閉鎖水域へ戻され、連続的に上記接触酸化処理と抗菌処理を繰返して閉鎖水域の浄化を行なうことができる。
【０００８】
【発明の効果】
本発明は上記構成よりなるので下記効果を奏する。
即ち、本発明によれば、前段の接触酸化装置によりＢＯＤ源や藻類を除去、分離し、後段の流動床内の抗菌材の抗菌作用により微生物の増殖能を持たない処理水となるので、閉鎖水域の微生物等の増殖が抑制され、水の汚濁が防止されて長期に亘り水が浄化されると共に、本発明は基本的には自然流下方式であるので、大掛りな機械設備は不要であり、建設費、維持管理費共に安い浄化方法である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を一部省略斜視図で示す。
【符号の説明】
１      接触酸化装置
１１    槽
１２    迂流路
１３    仕切板
１４    充填材
２      流動床
２１    抗菌材
Ａ      原水
Ｂ      一次処理水
Ｃ      二次処理水（浄化水）
【図１】
0003552773.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へそれぞれ移動可能な移動機構を有し、前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ対応して設けられたキ−ボ−ド上のＸキ−、Ｙキ−及びＺキ−を操作することでロボットの動作を制御するポイントデ−タを入力するためのデ−タ入力方法であって、初期設定によりＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の初期位置である座標原点を設定するステップと、前記Ｘキ−、Ｙキ−及びＺキ−をそれぞれ操作してＺ軸上のヘッドを前記座標原点からの最初のポイント位置へ移動してポイントデ−タとして入力するステップと、前記Ｘキ−、Ｙキ−及びＺキ−をそれぞれ操作してＺ軸上のヘッドを前記最初のポイント位置から所望のポイント位置へ移動して順次ポイントデ−タとして入力するステップと、Ｚ固定キ−の操作によりポイント位置のポイントデ−タをＺ軸方向において一定として保持するステップと、前記Ｘキ−及びＹキ−をそれぞれ操作してＸ軸方向位置デ−タとＹ軸方向位置デ−タを入力するステップと、前記Ｘキ−及びＹキ−の操作により入力されたＸ軸方向位置デ−タとＹ軸方向位置デ−タと前記一定として保持されたＺ軸方向のポイントデ−タとで次のポイント位置のポイントデ−タを取得するステップと、その後すべて所定のポイント位置に関して取得したポイントデ−タを終了キ−の操作により記憶手段に記憶させるステップと、から成ることを特徴とする組立ロボットにおけるデ−タ入力方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、組立ロボットのデータ入力に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と解決しようとする課題】
従来、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に駆動し、作業を行なわせる組立ロボットの作業入力データは、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向に全てのポイントデータを１つずつ入力していたため、作業データ入力（ティーチング）が複雑になり、多くの時間を費やさねばならなかった。
【０００３】
【課題を解決するための手段】
そこで、発明者は、前記課題を解決すべく鋭意、研究を重ねた結果、本発明を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へそれぞれ移動可能な移動機構を有し、前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ対応して設けられたキ−ボ−ド上のＸキ−、Ｙキ−及びＺキ−を操作することでロボットの動作を制御するポイントデ−タを入力するためのデ−タ入力方法であって、初期設定によりＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の初期位置である座標原点を設定するステップと、前記Ｘキ−、Ｙキ−及びＺキ−をそれぞれ操作してＺ軸上のヘッドを前記座標原点からの最初のポイント位置へ移動してポイントデ−タとして入力するステップと、前記Ｘキ−、Ｙキ−及びＺキ−をそれぞれ操作してＺ軸上のヘッドを前記最初のポイント位置から所望のポイント位置へ移動して順次ポイントデ−タとして入力するステップと、Ｚ固定キ−の操作によりポイント位置のポイントデ−タをＺ軸方向において一定として保持するステップと、前記Ｘキ−及びＹキ−をそれぞれ操作してＸ軸方向位置デ−タとＹ軸方向位置デ−タを入力するステップと、前記Ｘキ−及びＹキ−の操作により入力されたＸ軸方向位置デ−タとＹ軸方向位置デ−タと前記一定として保持されたＺ軸方向のポイントデ−タとで次のポイント位置のポイントデ−タを取得するステップと、その後すべて所定のポイント位置に関して取得したポイントデ−タを終了キ−の操作により記憶手段に記憶させるステップと、から成る組立ロボットにおけるデ−タ入力方法とすることで、課題を解決したものである。
【０００４】
【実施例】
本発明の実施例を、第１図及び第２図に示す。第１図は、基本ブロック図に示す。１は演算展開手段で、予め処理内容や処理手順などのプログラムが記憶されているＲＯＭ、処理実行のための一時的に変数を格納して置くＲＡＭ１、中央演算処理を行うＣＰＵで構成されている。
【０００５】
２は記憶手段でポイントデータを格納しておくＲＡＭ２で構成されている。３はデータ入力手段でＩＯポート、ＬＣＤ、キーボードで構成されている。４はＸ，Ｙ，Ｚ機構駆動手段でメインＣＰＵから指令を受けてモータを駆動させる信号を発生させるスレーブＣＰＵ、スレーブからの駆動信号を受けモータを動かすＸ，Ｙ，Ｚの各モータドライバ、Ｘ，Ｙ，Ｚの各モータ、初期位置検出用Ｘ，Ｙ，Ｚの各センサーで構成されている。
【０００６】
第２図は、本発明の構成を示すフローチャート図であり、これに基づいて組立ロボットに於けるブロック入力方法について詳細に説明する。
Ｓ１は、初期化動作で電源投入後スレーブＣＰＵによりＸ，Ｙ，Ｚの各モータが動き、初期設定用センサーを１度クローズ（遮蔽）し、その後オープン（解放）するポイントで停止させる。この位置を初期位置としワーク範囲の座標原点とする。
【０００７】
Ｓ２は、１ポイント目のデータ入力でその入力方法は、キーボート上のＸ，Ｙ，Ｚの各キーを押すことによりＺ軸上のヘッド部を入力したいポイントに移動させる。次に記憶させるためにＥＮＴＥＲキーを押す。ここでデータは一時記憶される。
【０００８】
Ｓ３は、Ｚ軸データを固定するかどうかの判断である。Ｚ軸データを固定させる場合はＺ固定キーを押す。Ｚ固定キーを押すことによりメインＣＰＵはＺ軸
データが固定されていると認識する。Ｚ軸固定の場合、ポイントデータのＺ軸データは、すべて同一データとなる様にデータ展開される。データ展開は、Ｚ軸固定と認識したＺ軸データをポイントデータ（Ｘ，Ｙ，Ｚデータ）として記憶する時に一時記憶されている。Ｚ軸データを各ポイントごとに登録していく。
【０００９】
Ｚ軸データを固定しない場合は、通常入力となりＳ４で次のポイントデータの入力を行いＥＮＴＥＲキーを押すことにより一時記憶される。Ｓ６では入力が終了したか確認する。データ入力が終了していない場合はＳ４に戻り新たなデータを入力する。
【００１０】
Ｓ５は、次のＸ，Ｙデータをティーチングボックスにより入力する。Ｘ，Ｙデータを一時記憶させるためとＺデータを１ポイント目のデータからコピーするためにＥＮＴＥＲキーを押す。ＥＮＴＥＲキーを押すとＺデータは、Ｘ，Ｙデータと共に一時記憶される。
Ｓ７は、データ入力が終了しているかの判断である。終了していない場合は、Ｓ５に戻りデータを入力する。
【００１１】
Ｓ８は、全てのデータ入力が終了したかの判断で全て終了しいてる場合はＥＮＤＥＮＴＥＲキーが押されるのを待つ。
Ｓ９は、ＥＮＤＥＮＴＥＲキーが押された後に一時記憶されていたデータをポイントデータとして記憶手段であるＲＡＭ２に記憶させる。
以後は、登録されたデータに従いＸ，Ｙ，Ｚ機構を駆動させ目的のポイントに移動させる。
【００１２】
【発明の効果】
多くのポイントをティーチングする場合で、そのデータが同一平面上に存在し、同じＺ軸方向データを持つポイントデータが存在する場合において、ティーチング時間を短くすることができるため、全体の作業としての作業効率が短縮され、大幅に改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基本ブロック図
【図２】本発明のフローチャート図
【符号の説明】
１  演算展開手段
２  記憶手段
３  入力手段
４  Ｘ，Ｙ，Ｚ機構駆動手段
【図１】
0003552169.tif 000002
【図２】
0003552169.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高強度コンクリートによりハーフプレキャスト梁部が構成され、
前記ハーフプレキャスト梁部の内部および該ハーフプレキャスト梁部の上方に、上下左右方向に間隔をおき該ハーフプレキャスト梁部の長手方向に沿って延在する多数の梁主筋が設けられ、
前記梁主筋のうちの最も上位に位置する梁上端主筋は、梁端のみならず、その一部がスラブ内に亘って配筋され、
前記ハーフプレキャスト梁部の長手方向に間隔をおいた多数箇所で該ハーフプレキャスト梁部の内部の梁主筋および該ハーフプレキャスト梁部の上方の梁上端主筋を囲繞するせん断補強筋が設けられ、
スラブ内の梁上端主筋間にこれと直交して梁ウェブ部からスラブ内にせん断力伝達筋が配筋され、
前記ハーフプレキャスト梁部の上方の梁部とスラブとを含む後打ち部に普通強度コンクリートが打設されてなる、
ことを特徴とするプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプレキャスト鉄筋コンクリート造では、後打ち部のコンクリートＢもハーフプレキャスト梁部Ａと同じ強度のコンクリートを打設している。（図６及び図７参照）なお図中ａは梁主筋、ｂはせん断補強筋、ｃは床主筋、ｄは床配力筋である。
【０００３】
従って高強度コンクリート製のプレキャスト半梁には現場での後打ち部にも高強度コンクリートを打設している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
高強度コンクリートは左官仕上げ作業等のワーカビリティが悪く、また強度管理も難しいため、現場での取り扱いが容易でない。
本発明は前記従来技術の有する問題点に鑑みて提案されたもので、その目的とする処はワーカビリティが上昇し、省力化が図られ、強度管理が行い易いプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造を提供する点にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため本発明に係るプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造は、高強度コンクリートによりハーフプレキャスト梁部が構成され、前記ハーフプレキャスト梁部の内部および該ハーフプレキャスト梁部の上方に、上下左右方向に間隔をおき該ハーフプレキャスト梁部の長手方向に沿って延在する多数の梁主筋が設けられ、前記梁主筋のうちの最も上位に位置する梁上端主筋は、梁端のみならず、その一部がスラブ内に亘って配筋され、前記ハーフプレキャスト梁部の長手方向に間隔をおいた多数箇所で該ハーフプレキャスト梁部の内部の梁主筋および該ハーフプレキャスト梁部の上方の梁上端主筋を囲繞するせん断補強筋が設けられ、スラブ内の梁上端主筋間にこれと直交して梁ウェブ部からスラブ内にせん断力伝達筋が配筋され、前記ハーフプレキャスト梁部の上方の梁部とスラブとを含む後打ち部に普通強度コンクリートが打設されてなることを特徴とする。
【０００６】
【作用】
本発明によれば、梁上端主筋を梁端のみならず、床内にも拡げて配筋したことによって、更に床内の主筋と、同主筋と直交して配筋されたせん断力伝達筋によってスラブ面方向にせん断力を伝達することによってスラブの有効性が増大し、プレキャスト部の梁コンクリートより弱い強度のコンクリートを後打ち部に用いても、せん断抵抗性能を確保する。
【０００７】
また後打ちコンクリートとして普通強度コンクリートを使用することによって、ワーカビリティが向上し、現場での強度管理が容易になる。
【０００８】
【実施例】
以下、本発明を図示の実施例について説明する。
図１及び図２は本発明の第１の実施例を示すもので、従来同様、ハーフプレキャスト梁部Ａを高強度のコンクリートを用いて製作する。１は梁主筋、２はせん断補強筋、３は床主筋、４は床配力筋、５は床内に配筋した梁上端主筋で、梁ウェブ部からスラブ内のせん断力伝達のために、梁主筋１間にせん断力伝達筋６を配筋し、前記ハーフプレキャスト梁部の上方の梁部とスラブとを含む後打ち部Ｂに普通強度コンクリートを打設する。しかるのち、上面の仕上げを行なう。図中７は後打ち部Ｂとハーフプレキャスト梁部Ａとの間の力の伝達筋である。
より詳細には、図１、図２に示されるように、ハーフプレキャスト梁部Ａの内部および該ハーフプレキャスト梁部Ａの上方に、上下左右方向に間隔をおき該ハーフプレキャスト梁部Ａの長手方向に沿って延在する多数の梁主筋１が設けられている。
また、梁主筋１のうちの最も上位に位置する梁上端主筋は、梁端のみならず、その一部がスラブ内に亘って配筋されている。
また、ハーフプレキャスト梁部Ａの長手方向に間隔をおいた多数箇所で該ハーフプレキャスト梁部Ａの内部の梁主筋１および該ハーフプレキャスト梁部Ａの上方の梁上端主筋を囲繞するせん断補強筋２が設けられている。
さらに、スラブ内の梁上端主筋５間にこれと直交して梁ウェブ部からスラブ内にせん断力伝達筋６が配筋されている。
【０００９】
図３及び図４は本発明の第２の実施例を示し、後打ち部Ｂとハーフプレキャスト梁部Ａとの間の力の伝達筋７が梁のせん断補強筋２間に配筋されている。
図５は前記プレキャスト鉄筋コンクリート梁におけるせん断力の伝達を模式的に示したものである。
【００１０】
【発明の効果】
本発明に係るプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造においては、せん断に対するスラブの有効性が向上され、ハーフプレキャスト梁部のコンクリートより弱い強度のコンクリートを後打ち部に用いてもせん断抵抗性能が確保される。
【００１１】
このように後打ち部に普通コンクリートを用いることによってワーカビリティが向上し、省力化が図られるとともに、現場で扱うコンクリートが普通コンクリートが普通強度のコンクリートとなるので、強度管理が行い易く、品質が向上される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１の平断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図４】図３の平断面図である。
【図５】（イ）（ロ）（ハ）（ニ）（ホ）は本発明に係るプレキャスト鉄筋コンクリート梁の構造におけるせん断力の流れを示す模式図である。
【図６】従来構造を示す断面図である。
【図７】図６の平断面図である。
【符号の説明】
Ａ    ハーフプレキャスト梁部
Ｂ    後打ち部
１    梁主筋
２    せん断補強筋
３    床主筋
４    床配力筋
５    床内に配筋した梁上端主筋
６    せん断力伝達筋
７    後打ち部とハーフプレキャスト梁部との間の力の伝達筋
【図１】
0003552117.tif 000002
【図２】
0003552117.tif 000003
【図３】
0003552117.tif 000004
【図４】
0003552117.tif 000005
【図５】
0003552117.tif 000006
【図６】
0003552117.tif 000007
【図７】
0003552117.tif 000008
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶体をチョクラルスキー法により水素の存在下に溶融液から引き上げ、かつ空所欠陥が生じる、単結晶体からの半導体ディスクの分離によるシリコンからの半導体ディスクの製造法において、該単結晶体を、３ミリバール未満の水素部分圧で引き上げ、かつ窒素でドープし、５×１０１２原子・ｃｍ-３〜５×１０１５原子・ｃｍ-３の窒素濃度を有することを特徴とする、単結晶体からの半導体ディスクの分離によるシリコンからの半導体ディスクの製造法。
【請求項２】
冷却した熱シールドを単結晶体の周囲に配置し、該単結晶体を熱シールドを用いて冷却するが、この場合、単結晶体を１０５０℃の温度から９００℃の温度へ冷却する時間は、１２０分未満である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
半導体ディスクに、水素及びアルゴンを３％未満含有する雰囲気下で熱処理を施す、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
半導体ディスクに酸化処理を施す、請求項１から３までのいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明の対象は、チョクラルスキー法（Ｃｚ−法）により溶融液から引き上げた単結晶体に由来するシリコンから半導体ディスクに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
前記のように引き上げられた単結晶体及び該単結晶体から分離された半導体ディスクは、通常、空所欠陥、いわゆる空隙を有している。この空所の集中は、電子工学構成素子の製造の際に支障となる。純粋な水素雰囲気中での半導体ディスクの熱処理によって、１１００℃を上回る温度で、欠陥が、少なくとも半導体ディスクの表面付近の領域で引き起こされうることは公知である。
【０００３】
それどころか、Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ  Ｂ３６（１９９６）１４６中に開示されているＥ．Ｉｉｎｏ他、の研究によれば、水素の存在が、Ｃｚ−法による単結晶体の引き上げの際に単結晶体中に別の欠陥種、電子工学構成素子の製造のための基礎材料としての単結晶体を使用不可能にしてしまういわゆるキャビティーを生じてしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、空所欠陥を伴う問題を十分に解決することである。
【０００５】
本発明の対象は、水素でドープされ、５×１０１６ａｔｃｍ−３未満、有利に１×１０１６ａｔｃｍ−３未満、特に有利に１×１０１５ａｔｃｍ−３未満で、１×１０１２ａｔｃｍ−３を上回る水素濃度を有する、シリコンからなる半導体ディスクである。
【０００６】
また、本発明の対象は、単結晶体をチョクラルスキー法により水素の存在下に溶融液から引き上げる、単結晶体からの半導体ディスクの分離によるシリコンからの半導体ディスクの製造法で、該単結晶体を、３ミリバール未満の水素部分圧で引き上げることによって特徴付けられる、単結晶体からの半導体ディスクの分離によるシリコンからの半導体ディスクの製造法でもある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この方法の使用の際には、確かに更に、単結晶体中の空所欠陥と、該単結晶体から分離された半導体ディスクとを生じる。しかしながら、Ｅ．Ｉｉｎｏ他により記載されているようなキャビティーの形成は観察されない。１ミリバール未満の水素部分圧は、特に有利である。この部分圧は、単結晶体の引き上げの間に、できるだけ一定に保持されていなければならないので、水素は、所望の濃度で、成長していく単結晶体中に均一に組み込まれていく。この場合、水素の一部が、溶融液から追い出されることを顧慮しなければならない。
【０００８】
該単結晶体が、提案された濃度で水素でドープされる場合には、これは、成長していく結晶体の冷却の際に空所と一緒に過飽和状態に陥る。空所が空隙（微小空洞）に集約されるのに対して、水素は、生じる空隙又は生じた空隙に運び込まれる。生じる過飽和が、空隙中への運搬のためにだけは十分であるが、しかし、固有の水素沈降の形成には不十分である程度に、水素濃度を低く選択することが重要である。最適な水素濃度は、成長する結晶体の冷却速度に左右される。更に冷却する際に、水素は、空隙中の水素は、同様に過飽和した酸素が空隙の内側面を酸化しうるのを阻止する。従って、単結晶体から取得された半導体ディスクの熱処理による空隙の解消を通常明らかに遅延させる酸化層は発生しない。多くとも３％の水素を必ず含有している雰囲気中で６０分間に亘る約１２００℃の温度での半導体ディスクの熱処理は、従って、電子工学構成部材が設けられている半導体材料の領域における空所を取り除くには既に十分である。半導体ディスクが、構成部材の製造の間に、記載された条件にさらされなければならない場合には、半導体ディスクの熱処理を不要にすることが好ましい。別の場合には、本発明によれば熱処理工程が実施されるが、その際、水素及びアルゴンを含有する雰囲気中での半導体ディスクの熱処理は有利であり、アルゴン及び３％の水素を含有する雰囲気中での熱処理は特に有利である。温度及び熱処理の期間は、使用される炉に応じて左右されるものである。ランプを用いて加熱されるいわゆる高速サーマルアニール炉（ｒａｐｉｄ  ｔｈｅｒｍａｌ  ａｎｎｅａｌ  ｏｆｅｎ）（シングルディスクプロセス（Ｅｉｎｓｃｈｅｉｂｅｎｐｒｏｚｅｓｓ）の場合、１１５０〜１２５０℃、有利に１２００℃の温度及び６０秒まで、有利に３０秒の処理期間の熱処理が選択される。抵抗加熱を用いる炉の使用の場合（バッチプロセス）、１０５０〜１２００℃、有利に１１００℃の温度及び６０分まで、有利に３０分の処理期間が選択される。いずれにせよ、本発明は、純粋な水素雰囲気及びこれに関連した安全性の問題中での半導体ディスクの熱処理を不要にし、熱処理の期間を明らかに短縮することができることを可能にする。熱処理は、酸化条件下でも行うことができるかもしくは酸化熱処理と組み合わせることもできる。
【０００９】
更に、空所欠陥の容量をできるだけ小さいままにしておき、その結果、後に容易に解消することができることが有利である。これは、有利に、単結晶体が、引き上げの際に付加的に窒素でドープされ、強制的に冷却されることによって達成される。適当な窒素濃度は、５×１０１２〜５×１０１５ａｔｃｍ−３である。有利に、窒素濃度は、１×１０１４〜１×１０１５が選択される。ドープ物質としては、ＮＨ３又は窒化珪素が適しているが、この場合、後者は、有利に粉末形又はニトリド被覆されたシリコンディスクとして溶融液に供給される。単結晶体の冷却のために、有利に、水で冷却可能な熱シールドが単結晶体の周囲に配置されている。かかる装置は、例えば欧州特許第０７２５１６９号Ｂ１中に開示されている。この場合、冷却は、有利に、丁度成長した単結晶体が、１０５０℃の温度から９００℃の温度にまで冷却される時間が、１２０分未満であるように行われる。
【００１０】
本発明により製造された半導体ディスクは、特に、エピタキシー層が析出される基板ディスクとしても適している。