(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行する被検査体を磁化するための磁化器と、被検査体の欠陥から発生する漏洩磁束を検出するための磁気センサとを有してなる欠陥検出装置であって、磁気センサは、強磁性体で作られたＥ型コアの中央磁極にサーチコイルが設けられたＥ型磁気センサであり、このＥ型コアの３個の磁極の列が被検査体の走行方向に沿うように配置されており、前記Ｅ型コアのリフトオフをＬとするとき、次の(1) 式を満足する磁極間隔Ａおよび磁極厚さＢで構成されたＥ型磁気センサが用いられていることを特徴とする微小欠陥検出装置。
１＜（Ａ＋Ｂ）／Ｌ＜４  ……(1)
【請求項２】
次の(2) 式を満足するセンサ幅ＷのＥ型磁気センサが用いられていることを特徴とする請求項１に記載の微小欠陥検出装置。
１＜ Ｗ／Ｌ …… (2)
【請求項３】
Ｅ型コアの外側に強磁性体のシールド板を配し、磁気シールド板の厚みをＳとするとき、コアと磁気シールドの間隙Ｇｓを、次の(3) 式を満足するようにしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の微小欠陥検出装置。
Ｓ／１０＜Ｇｓ …… (3)
【請求項４】
Ｅ型磁気センサの幅をＷとするとき、次の(4) 式を満足するようなピッチＰ1 でＥ型磁気センサを、前記被検査体の走行方向と垂直な方向に一列に配列し、隣り合うＥ型センサの出力を加算して欠陥検出に用いることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の微小欠陥検出装置。
Ｐ1 ＜1.6 Ｗ …… (4)
【請求項５】
Ｅ型磁気センサの幅をＷとするとき、次の(5) 式を満足するようなピッチＰ2 でＥ型磁気センサを前記被検査体の走行方向と垂直な方向に、相隣るＥ型磁気センサが、前記被検査体の走行方向と垂直な方向位置が重なり合うように千鳥配列し、前記被検査体の走行方向と垂直な方向に探傷領域が重なり合うＥ型磁気センサの出力のうち大きい出力を欠陥検出に用いることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の微小欠陥検出装置。
Ｐ2 ＜ 0.9 Ｗ …… (5)
【請求項６】
走行する被検査体を磁化するための磁化器と、被検査体の欠陥から発生する漏洩磁束を検出するための磁気センサとを有してなる欠陥検出装置であって、磁気センサは、強磁性体で作られたＥ型コアの中央磁極にサーチコイルが設けられたＥ型磁気センサであり、このＥ型コアの３個の磁極の列が被検査体の走行方向に沿うように配置されており、前記Ｅ型磁気センサの幅をＷとするとき、次の(5) 式を満足するようなピッチＰ2 でＥ型磁気センサを前記被検査体の走行方向と垂直な方向に、相隣るＥ型磁気センサが、前記被検査体の走行方向と垂直な方向位置が重なり合うように千鳥配列し、前記被検査体の走行方向と垂直な方向に探傷領域が重なり合うＥ型磁気センサの出力のうち大きい出力を欠陥検出に用いることを特徴とする微小欠陥検出装置。
Ｐ2 ＜ 0.9 Ｗ …… (5)
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄鋼帯のような被検出体中に混入する微小介在物のような微小欠陥を、漏洩磁束法により検出する微小欠陥検出装置に関し、特に高感度な磁気センサを使用した微小欠陥検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
鋼帯のような磁性体中の欠陥を検出する方法として、漏洩磁束法が広く使用されている。図１４にその原理図を示す。図１４において、２１は磁気センサ、２２は磁化器、２３は鋼帯等の被検査体、２４は欠陥、２５は磁束を示す。磁化器２２により被検査体２２を磁化する。磁化器２２により発生する磁束の大部分は磁気抵抗の少ない被検査体２３の中を通過するが、被検査体中２３中に欠陥２４が存在すると、その欠陥２４により磁束の通過が妨げられ、一部の磁束が空中に漏洩する。この漏洩した磁束を、磁気センサ２１で検出することにより欠陥２４の存在を検出する。
【０００３】
磁気センサ２１としては、ホール素子、磁気抵抗素子、磁気半導体素子等が使用される他、特開昭５９ー１６０７５０号公報に開示されているような、円筒鉄心にコイルを巻いた磁気探傷コイル、特開平２ー１６２２７６号公報に開示されているような、強磁性体コアにコイルを巻き、これに交流電流を供給し、このコイルの両端に発生する電圧の正側電圧と負側電圧との差を検出するものが使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来要求されていた検出すべき薄鋼帯中の欠陥は、ガウジと呼ばれるような比較的大きな欠陥が対象であった。近年、産業分野における薄鋼帯の適用範囲拡大に伴い、より微小な内部介在物を検出することが必要となり、例えば、１０−３（ｍｍ３  ）以下の体積の微小な内部介在物が検出対象となってきた。このような微小欠陥を検出するためには、従来技術には以下のような問題点がある。
【０００５】
（１）  いずれの従来技術においても、微小な欠陥を検出するためには、鋼帯と磁気センサとの距離（リフトオフ）を小さくする必要がある。この対策として、実開昭６１ー１１９７５９号公報に開示されているように、磁気センサをエアフロートさせることによりリフトオフを０．１  （ｍｍ）程度の微小値に保つ方法が用いられている。しかしながら、この方法には、磁気センサと鋼帯との接触事故が増加するなどの操業上の問題がある。
【０００６】
（２）  微小欠陥検出のためにリフトオフを低下させると、鋼帯の振動などの外乱の影響を受けやすくなり、また鋼帯の磁気的なむらから生ずる地合ノイズを拾い易くなるので、十分なＳ／Ｎを得ることが困難である。
【０００７】
（３）  欠陥検出信号の周波数成分と地合ノイズの周波数成分とが重なり合う部分が多く、フィルタなどによるＳ／Ｎ向上が十分に行えない。
【０００８】
（４）  より微小な欠陥検出のためには、鋼帯をより強く磁化させ、欠陥による漏洩磁束が効率的に発生するようにする必要がある。しかし、鋼帯近傍に生ずる浮遊磁束（磁化器の磁極から他の磁極へ空中を通じて達する磁束）も増加し、磁気センサを飽和させることがあり、検出感度の低下を引き起こす。
【０００９】
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたもので、リフトオフをあまり小さくすることなく、被検査体の微小欠陥から生じる微弱で局所的な漏洩磁束を、高いＳ／Ｎ比で効率よく検出可能な微小欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、走行する被検査体を磁化するための磁化器と、被検査体の欠陥から発生する漏洩磁束を検出するための磁気センサとを有してなる欠陥検出装置であって、磁気センサは、強磁性体で作られたＥ型コアの中央磁極にサーチコイルが設けられたＥ型磁気センサであり、このＥ型コアの３個の磁極の列が被検査体の走行方向に沿うように配置されており、前記Ｅ型コアのリフトオフをＬとするとき、次の(1) 式を満足する磁極間隔Ａおよび磁極厚さＢで構成されたＥ型磁気センサが用いられていることを特徴とする微小欠陥検出装置により解決される。
１＜（Ａ＋Ｂ）／Ｌ＜４  ……(1)
【００１１】
図１にＥ型磁気センサを使用した本発明の原理図を示す。図１において、１は強磁性体で作られたＥ型コアからなるＥ型磁気センサ、１ａ〜１ｃはその磁極、２はサーチコイル、３は被検査体、４は欠陥、５は磁束を示す。Ｅ型磁気センサ１は、図１に示すように３個の磁極１ａ〜１ｃの列が被検査体の走行方向に沿うように配置されている。欠陥４が図１（ａ）  で示す位置にあるとき、漏洩磁束は磁極１ａから磁極１ｃを通過し、サーチコイル２を下向きに通過する。被検査体３が走行して欠陥４が図１（ｂ）  で示す位置に来ると、漏洩磁束は磁極１ｃから磁極１ｂを通過し、サーチコイル２を上向きに通過する。よって、欠陥４の通過に伴ってサーチコイル２を通過する磁束が変化し、サーチコイル２には磁束の変化量に比例した電圧が発生する。
【００１２】
図２（ａ）  は、欠陥４がＥ型磁気センサ１の下を通過するときのサーチコイル２を通る磁束Φの変化を、図２（ｂ）  はそのときにサーチコイル２に発生する電圧Ｅを示す。この電圧を検出することにより、欠陥の存在を検出することができる。
【００１３】
Ｅ型磁気センサを使用した本発明においては、鋼帯近傍の浮遊磁束、Ｅ型磁気センサの外側から到来する地合ノイズなどは、磁極１ａから磁極１ｂへ直接通過するので、サーチコイル２への影響はなく、ノイズを低減できる。また、鋼帯の振動、センサの振動に起因する磁場変化も、磁極１ａと磁極１ｃで構成される磁気回路と磁極１ｂと磁極１ｃで構成される磁気回路とで打ち消され、サーチコイル２の信号内にノイズとして混入することを防ぐことができる。
【００１４】
よって、リフトオフをそれほど小さくしなくても、欠陥をＳ／Ｎよく検出することができ、浮遊磁束により磁気センサ出力が飽和することもない。また、欠陥信号の周波数成分が地合ノイズの周波数成分に対して相対的に高周波になるので、信号とノイズとの分離がし易くなる。
【００１５】
図３にＥ型磁気センサの外観図を示す。以下の図においては、図１と同じ部位には同じ符号を付してその説明を省略する。Ｅ型磁気センサ１は、左右が対称の形状をしており、各磁極の厚さは同一である。その磁極間の間隔をＡとし、各磁極の厚さをＢとし、Ｅ型コアの幅をＷとする。また、被検査体３とＥ型磁気センサ１の間の間隔即ちリフトオフをＬとする。
【００１６】
図４（ａ）  は、鋼板中に存在する１０−３（ｍｍ３  ）程度の欠陥の検出信号と地合ノイズに及ぼす（Ａ＋Ｂ）／Ｌの影響を示したものである。地合ノイズは（Ａ＋Ｂ）／Ｌの増加と共に徐々に増加する。これは、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが増加するとＥ型磁気センサの検出面積が広くなるので、地合ノイズを拾い易くなるためであると考えられる。
【００１７】
一方、検出信号は（Ａ＋Ｂ）／Ｌが４になるまでに急激に増加し、その後は徐々に低下する傾向にある。これは、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが小さすぎると、鋼帯の欠陥部からの局所的な漏洩磁束が、磁極１ａと磁極１ｃで構成される磁気回路と磁極１ｂと磁極１ｃで構成される磁気回路の両方の磁気回路に入力され部分的に打ち消されるため、サーチコイルの検出信号の出力電圧が小さくなって検出効率が低下し、一方、（Ａ＋Ｂ）／Ｌが大きすぎると、鋼帯の欠陥部がＥ型センサ直下を走行するときの、サーチコイル内の磁束変化が減少するためであると考えられる。
【００１８】
これらの結果、図４（ｂ）に示したように、（Ａ＋Ｂ）／Ｌを変化させたとき、Ｓ／Ｎが最大となる最適な範囲が存在する。実用的には、Ｓ／Ｎの最大値から約２０％低下した条件内で使用することが効率的である。よって、Ｅ型磁気センサの寸法は、
１＜（Ａ＋Ｂ）／Ｌ＜４  ……  （１）
を満足するように選ぶことが好ましい。
【００１９】
（Ａ＋Ｂ）を一定とし、磁極厚さＢと磁極間隔Ａとの比Ｂ／Ａを変化させたときの、Ｅ型磁気センサの出力電圧の変化を図５に示す。Ｂ／Ａを変化させても出力電圧は、ほとんど変化しない。実用的には、磁極厚さが薄すぎると、加工しにくく、磁気的に飽和しやすくなるなどの問題があり、磁極厚さが厚すぎて磁極間隔が狭すぎるとサーチコイルが巻きにくくなるなどの問題があるので、一般的にはＡとＢの比率は製作しやすい範囲に取られる。
【００２０】
図６（ａ）は、鋼板中に存在する１０−３（ｍｍ３  ）程度の欠陥の検出信号、地合ノイズとＷ／Ｌの関係を示した図である。Ｅ型磁気センサ幅Ｗが小さすぎると、サーチコイルの断面積が減り、検出電圧が減少し、検出効率が低下する。センサ幅Ｗが大きくなり、ある程度の大きさに達すると、微小欠陥部からの局部的な漏洩磁束分布をほぼ覆うようになり、もうそれ以上Ｗを大きくしても、出力電圧は大きくならない。一方、Ｗが大きくなると、Ｅ型磁気センサ直下の検出範囲が大きくなり、ノイズを拾い易くなって地合ノイズは大きくなる。従って、図６（ｂ）に示すように、Ｗ／Ｌを変化させたときに、Ｓ／Ｎ比が最大となる最適な範囲が存在する。実用的には、Ｓ／Ｎ比が最大値から２０％低下するまでの範囲で使用することが効率的であるので、図６（ｂ）から、
１＜Ｗ／Ｌ＜１０  ……  （２）
とすることが好ましい。
【００２１】
また、磁化器からの強い浮遊磁場が大きくなると、磁束が通りやすい形状をしたＥ型磁気センサのコア（特に磁極１ａと１ｂ）が磁気的に飽和するおそれがある。これを防ぎ、更に、外部からの磁気的ノイズを遮断するため、図７に示すように、このＥ型磁気センサ１の外側に強磁性体のシールド板６を配置することが好ましい。
【００２２】
センサを小型化するためには、なるべくシールド板とＥ型コアとの間隙を小さくすることが望ましいが、あまり両者を近づけすぎると、シールド板に吸収された浮遊磁場がＥ型コアへ流入し、悪影響を与えてしまう。そのため、磁気シールド板とＥ型コアの間に必要最小限の磁気抵抗部分を構成することが有効である。磁性体の比透磁率は通常１００〜１０００で、空気の比透磁率は１であるから、磁気シールド中の磁気抵抗の約１０倍の磁気抵抗を間隙に作ればよい。そのためには、磁気シールドとＥ型コアとの間隙Ｇｓは、磁気シールド板の厚さＳの約１／１０以上とすることが必要であり、
Ｓ／１０＜Ｇｓ    ……  （３）
とすることが好ましい。
【００２３】
１０−３（ｍｍ３  ）程度の欠陥に対するＥ型磁気センサの幅方向の感度は、図８（ａ）  に示すような特性をしている。図８（ａ）  のように、幅方向の感度が、最大値の８０％、４０％となる幅をそれぞれＷ８０、Ｗ４０とすると、センサ幅ＷとリフトオフＬの比Ｗ／Ｌに対して、図８（ｂ）  のような特性を示す。
【００２４】
図９（ａ）  のように、Ｅ型磁気センサを一列に並べ、隣り合うＥ型磁気センサの出力を加算して鋼帯幅方向の探傷をカバーすれば、互いに補償し合うので、鋼帯幅方向に一定範囲内で一様な感度分布が得られる。実用的な観点から、Ｅ型磁気センサの数をできるだけ減らし、鋼帯幅方向の感度分布の落ち込みを２０％まで許容するとすれば、ひとつのＥ型磁気センサの感度は４０％まで低下させて使用できる。よって、図８（ｂ）  から、センサとセンサのピッチＰ１  について、
Ｐ１  ＜１．６  Ｗ    ……  （４）
を満足させることが好ましい。
【００２５】
ここで、隣り合うセンサ同士を加算すると、センサのカバー範囲は拡大されるものの、ノイズ成分も加算され、ノイズの振幅は√２倍に増大し、Ｓ／Ｎが悪化する。Ｓ／Ｎの劣化を避ける必要がある場合には、２つのセンサの出力を逐次比較し大きい方の信号を使用する演算、すなわちＯＲ演算を行えばよい。しかし、この場合には、信号の大きさは加算されないので、センサとセンサの間の感度の落ち込みは改善されない。そこで、センサとセンサの間隔を詰めて、感度が低下する範囲を狭める必要がある。この場合、感度の落ち込みを最大２０％以内とするためには、図８（ｂ）  から、センサとセンサとのピッチを、０．９  Ｗ／Ｌにする必要がある。これを実現するためには、図９（ｂ）  に示すようにセンサとセンサが幅方向に重なるように千鳥配置し、センサとセンサのピッチＰ２  について、
Ｐ２  ＜０．９  Ｗ  ……  （５）
とすることが好ましい。
【００２６】
すなわち、Ｓ／Ｎの若干の低下が許容される場合には、センサを一列アレー状に配置し、隣り合うセンサ出力の加算を行うことが好ましい。一方、できるだけＳ／Ｎを劣化させずに検出を行うためには、センサを千鳥状に配置し、幅方向に重なり合うセンサ出力のＯＲ演算を実施することが好ましい。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。図１０は、本発明の一実施例の構成を示す図である。図１０において、７は磁化器、８は非磁性ロール、９は増幅器、１０はフィルタ、１１は整流器、１２は判定回路である。非磁性ロール８内に電磁石を有する磁化器７を配置し、非磁性ロール８を介して、その上を走行する被検査体（薄鋼帯）３を走行方向に磁化する。非磁性ロール８の上方に、前述のＥ型磁気センサ１を設置する。被検査体３が走行し、その内部に微小介在物が存在すると、そこから微小な漏洩磁束が局部的に発生する。この漏洩磁束が、Ｅ型磁気センサ１の直下を通過すると、これに対応した電気信号がＥ型磁気センサ１から出力される。Ｅ型磁気センサ１からの出力を、増幅器９により電気的に増幅し、フィルタ１０を介してノイズを抑制してＳ／Ｎ比を改善し、これを整流器１１により整流した後、判定回路１２で欠陥を判定してその結果を出力する。
【００２８】
本実施例では、被検査体３とＥ型磁気センサ１との間のリフトオフＬ＝０．５  （ｍｍ）、Ｅ型磁気センサ１の磁極間隔Ａ＝０．５  （ｍｍ）、磁極厚さＢ＝０．４  （ｍｍ）、センサ幅Ｗ＝３．５  （ｍｍ）とした。また、Ｅ型磁気センサ１の外側には、厚さＳ＝２（ｍｍ）のパーマロイ製のシールドをセンサとの間隙Ｇｓ＝０．５  （ｍｍ）で設けている。センサヘッドとしては、鋼帯幅１１００（ｍｍ）の全幅の探傷を行えるように、２２０個のＥ型磁気センサを鋼帯幅方向に一列に並べ、隣り合うＥ型磁気センサ１の間隔Ｐ１  を５（ｍｍ）とし、隣り合うＥ型磁気センサの出力同士を加算して検出に用いた。即ち、Ｅ型磁気センサ１同士の間隔は３．５  （ｍｍ）である。
【００２９】
Ｅ型磁気センサ１の出力の加算は、増幅器９の後で行った。加算する場所は、フィルタ１０の後でもよいが整流器１１の前で行うことが好ましい。この理由は、信号成分は整流器１１の後でも前でも単純に加算されるが、ノイズ成分は、整流器の前で加算すると２１／２  倍になるのに対して、整流器の後で加算すると２倍になり、その結果後者の方がＳ／Ｎ比が低下するからである。
【００３０】
非磁性ロールの材質はステンレス鋼とし、その中の磁化器の磁化力は３０００ＡＴとした。薄鋼帯の走行速度は３００（ｍ／  分）である。また、フィルタとしては、カットオフ周波数３ｋＨｚのハイパスフィルタを使用した。
【００３１】
図１１に、本発明の実施例の装置により検出された人工欠陥の波形（整流器１１の出力波形）を示す。これは、薄鋼板に、孔径０．０５、０．１  、０．２  （ｍｍ）のドリルホールを加工し、この人工欠陥を探傷したときの検出波形である。図１１によれば、微小欠陥を高いＳ／Ｎ比で検出できることが分かる。また、図１２は、自然欠陥を検出したときの波形で、後でこの欠陥部切り出し、これを研磨しながら顕微鏡で大きさを確認したところ、５×１０−４（  ｍｍ３）程度の大きさの内部介在物であった。
【００３２】
フィルタのカットオフ周波数は３ｋＨｚが最適であったが、この値は従来の磁気センサ使用時の最適値よりも２〜３倍高いものであり、低周波成分を多く含む地合ノイズと検出信号の分離が容易となり、Ｓ／Ｎが格段に向上した。
【００３３】
Ｅ型コアの外側の磁気シールドを外したところ、センサが磁気的に飽和し、センサの感度が低下した。そのため、磁気センサが飽和しないように、磁化力を２０００ＡＴに低減して使用したが、そのときには孔径０．０５（ｍｍ）のドリルホールによる人工欠陥を検出することはできなかった。
【００３４】
この実施例の装置における鋼帯幅方向の感度の分布を図１３（ａ）  に示す。横軸は幅方向距離Ｙ（ｍｍ）、縦軸は感度の相対値を示す。Ｅ型磁気センサ間隔が５（ｍｍ）であるので、５（ｍｍ）毎に感度は最大になっており、Ｅ型磁気センサの中間で感度が最低になっているが、感度の低下は２０％以内に抑えられている。
【００３５】
さらに、上記センサヘッドと交換可能なセンサヘッドとして、磁極間隔Ａ＝０．５  （ｍｍ）、磁極厚さＢ＝０．４  （ｍｍ）、センサ幅Ｗ＝３．５  （ｍｍ）、センサ間隔を２．５  （ｍｍ）のＥ型磁気センサ１８３個を１列のセンサアレーとしたものを２つ並べて千鳥配置とし、このセンサ群全体を磁気シールドした。このとき、センサが重なり合う幅は０．５  （ｍｍ）である。また、千鳥配置の場合には、重り合うセンサの出力をＯＲ演算して得られた信号を使用した。この場合の鋼帯幅方向の感度分布は、図１３（ｂ）  に示すようなものであり、最大感度に対する感度の落ち込みは約２０％に抑えられた。
【００３６】
また、Ｅ型磁気センサの各磁極の断面形状は、本実施例では、長方形であるが、角を落とした丸型でも効果は同様である。
【００３７】
【発明の効果】
本発明はＥ型磁気センサを使用しているため、浮遊磁場、地合ノイズ、鋼板の振動の影響を低減でき、リフトオフを比較的大きく設定できるので、鋼帯の走行速度を落とさないで安定した操業で検査を行うことができる。
【００３８】
また、検出信号の周波数成分が高くなるので、低周波成分の多い地合ノイズとの分離がハイパスフィルタで容易に行えるようになり、Ｓ／Ｎの向上が実現できる。
【００３９】
更に、Ｅ型磁気センサの外側に磁気シールド板を配置すれば、Ｅ型磁気センサが磁化器からの強い磁場で飽和しにくくなり、その分、磁化力を増強できて、大きな検出信号が得られる。
【００４０】
これらの結果、１０−３（ｍｍ３）  以下の微小内部介在物の検出が可能な実用的な検出装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を示す図である。
【図２】欠陥がセンサの下を通過するときのサーチコイル通る磁束Φとサーチコイルに発生する電圧Ｅの変化を示す図である。
【図３】Ｅ型磁気センサの外観を示す図である。
【図４】Ｅ型磁気センサの寸法と、センサの出力電圧及びＳ／Ｎ比の関係を示す図である。
【図５】磁極厚さＢと磁極間隔Ａとの比Ｂ／ＡとＥ型磁気センサ出力の関係を示す図である。
【図６】Ｅ型磁気センサの幅とセンサの出力との関係を示す図である。
【図７】シールド板とＥ型磁気センサとの位置関係を示す図である。
【図８】Ｅ型磁気センサの幅方向感度分布を示す図である。
【図９】Ｅ型磁気センサの配列を示す図である。
【図１０】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図１１】本発明の実施例の装置により検出された人工欠陥の波形を示す図である。
【図１２】本発明の実施例の装置により検出された自然欠陥の波形を示す図である。
【図１３】本発明の実施例において、センサを１列に配置した場合、センサを千鳥配列した場合の、幅方向の感度分布を示す図である。
【図１４】漏洩磁束法の原理を示す図である。
【符号の説明】
１    Ｅ型磁気センサ
１ａ、１ｂ、１ｃ    磁極
２    サーチコイル
３    被検出体
４    欠陥
５    磁束
６    磁気シールド板
７    磁化器
８    非磁性ロール
９    増幅器
１０  フィルタ
１１  整流器
１２  判定回路
【図１】
0003584452.tif 000002
【図２】
0003584452.tif 000003
【図３】
0003584452.tif 000004
【図４】
0003584452.tif 000005
【図５】
0003584452.tif 000006
【図６】
0003584452.tif 000007
【図７】
0003584452.tif 000008
【図８】
0003584452.tif 000009
【図９】
0003584452.tif 000010
【図１０】
0003584452.tif 000011
【図１１】
0003584452.tif 000012
【図１２】
0003584452.tif 000013
【図１３】
0003584452.tif 000014
【図１４】
0003584452.tif 000015