(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクに形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第二のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延びる長孔であり、上記第三のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第四のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延びる長孔であることを特徴とする流量制御バルブ。
【請求項２】
中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクに形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第二のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第三のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第四のコロガイド溝が、上記弁デスクからから離れる方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であることを特徴とする流量制御バルブ。
【請求項３】
中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクの上記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、上記ホルダーの互いに対向する面に形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一及び第二のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第三及び第四のコロガイド溝が、上記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延びる長孔であることを特徴とする流量制御バルブ。
【請求項４】
中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクの上記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、上記ホルダーの互いに対向する面に形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、第二のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第三のコロガイド溝が、上記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第四のコロガイド溝が、上記弁箱の他方の開口に近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であることを特徴とする流量制御バルブ。
【請求項５】
上記弁デスクと上記受け板を上記ロッドの傾動方向に相対的に移動しないよう抑制する部材を有することを特徴とする請求項１、２、３または４記載の流量制御バルブ。
【請求項６】
上記ホルダーと上記受け板を上記ロッドの傾動方向に相対的に移動しないよう抑制する部材を有することを特徴とする請求項３または４記載の流量制御バルブ。
【請求項７】
上記弁支えと上記弁デスクを上記ロッドの傾動方向に相対的に移動しないよう抑制する部材を有することを特徴とする請求項１、２、３、４，５または６記載の流量制御バルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は流量制御バルブ、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いる流量制御バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハーや液晶基板などの処理装置においては、ウエハーや基板を種々の処理室の壁に設けた開口を介して真空に排気されており、上記壁には上記壁の開口を開閉するために例えば振子式のゲートバルブが設けられている。上記処理室にはできるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。
【０００３】
上記従来の振子式ゲートバルブとしては例えば米国特許第６、０８９、５３７号公報に示すものがある。
【０００４】
図１４及び図１５は上記従来の振子式ゲートバルブを示し、１は略楕円形断面の中空の弁箱、２、３は上記弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に対向して夫々設けた円形状の開口、４は上記一方の開口２を形成した上記弁箱１の壁の内側面に設けた弁座、５は上記弁座４に離接されるよう上記弁箱１の内部に配置した円盤状の弁デスク、７は上記弁箱１に設けた枢支部、６はその一端を上記弁デスク５に固定し、他端を上記枢支部７に傾動自在に枢支せしめたロッド、８は上記弁箱１に固定したロッド駆動装置である。上記ロッド駆動装置８は上記ロッド６を上記枢支部７を中心として傾動または揺動自在ならしめると共に、上記弁座４に対向せしめた後上記弁デスク５を上記ロッド６を介して上記弁座４の方向に向かって押圧せしめるように構成されている。
【０００５】
上記のように、上記従来の振子式ゲートバルブは上記駆動装置８を操作して、上記弁デスク５が上記弁座４に対向する位置まで上記ロッド６を傾動せしめ、この状態で、さらに上記駆動装置８を操作して、上記弁デスク５を弁座４に押圧せしめ、上記弁デスク５によって開口２をシールするようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら、上記従来の振子式ゲートバルブにおいては、弁デスク５の中央部をロッド６の先端部で弁座４に押圧するものであるためロッド６に大きな力を加える必要があり、そのため駆動装置８を大きくする必要があり、また、ロッド６も太いものを用いる必要があった。
【０００７】
そのため特開平３−２７７８７６号公報に示すように、弁デスク５に対向する弁板を用い、上記弁デスク５とこの弁板間に圧力流体を導入して夫々を離間せしめる方向に抑制し、上記弁板が開口３に対接したときの反力を利用することにより弁デスク５を弁座４に押圧するようにしたものもあるが、圧力流体を導入する装置が別途必要で装置が大きくなる。
【０００８】
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の流量制御バルブは、中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクに形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第二のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延びる長孔であり、上記第三のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第四のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延びる長孔であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の流量制御バルブは、中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクに形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第二のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第三のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第四のコロガイド溝が、上記弁デスクからから離れる方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の流量制御バルブは、中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクの上記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、上記ホルダーの互いに対向する面に形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一及び第二のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第三及び第四のコロガイド溝が、上記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延びる長孔であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の流量制御バルブは、中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクの上記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、上記ホルダーの互いに対向する面に形成された第一のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第一のコロガイド溝に対向する第二のコロガイド溝と、上記第一、第二のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第一のコロと、上記弁支えに設けた第三のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第三のコロガイド溝に対向する第四のコロガイド溝と、上記第三、第四のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第二のコロとより成り、上記第一のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、第二のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第三のコロガイド溝が、上記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、上記第四のコロガイド溝が、上記弁箱の他方の開口に近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の流量制御バルブにおいては、上記弁デスクまたはホルダーと上記受け板を上記ロッドの傾動方向に相対的に移動しないよう抑制する部材を設ける。
【００１４】
更に本発明の流量制御バルブにおいては、弁支えと上記弁デスクを上記ロッドの傾動方向に相対的に移動しないよう抑制する部材を設ける。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【００１６】
本発明の流量制御バルブは図１〜図３に示すように、略楕円形断面の中空の弁箱１と、上記弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に夫々設けた円形状の開口２、３と、上記開口２を形成した上記弁箱１の壁の内側面に形成した弁座４と、上記弁座４に対接されるよう上記弁箱１内に配置した円盤状の弁デスク５と、上記弁箱１に設けた枢支部７と、その一端を上記弁デスク５に連結し他端を上記枢支部７に傾動自在に枢支せしめたロッド６と、上記弁箱１に設けた、上記ロッド６を傾動せしめるロッド駆動装置８と、上記ロッド６の傾動を上記弁デスク５に伝達する動力伝達手段９とにより構成する。
【００１７】
上記動力伝達手段９には、図４及び図５に示すように上記弁デスク５の背面５aから夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダー１０と、上記ホルダー１０の互いに対向する面に形成した第一のコロガイド溝１１と、上記互いに対向するコロガイド溝１１に夫々その両端部が挿入係合される第１のコロ１２と、上記ロッド６の一端に連結し、上記２枚のホルダー１０間に挿入した弁支え１３と、上記コロ１２を受容するため上記弁支え１３に貫通して設けた第２のコロガイド溝１４とを有せしめる。
【００１８】
なお、上記ホルダー１０に形成した上記第一のコロガイド溝１１は、図２〜図６に示すように上記弁デスク５から離れる方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる、上記コロ１２の直径と略等しい幅の長孔とし、上記第２のコロガイド溝１４は図２及び図７に示すように上記第一のコロガイド溝１１と対応する位置で上記弁デスク５に近づく方向に斜め上方に延び、次いで略垂直となる、上記コロの直径と略等しい幅の長孔とし、この結果、弁デスク５と相対的に上記ホルダー１０に沿って上記弁支え１３を図２及び図３において上下に摺動したとき、上記弁支え１３に相対的に弁デスク５が弁座４に離接する方向に移動されるようにする。
【００１９】
更に本発明においては上記動力伝達手段９に、図３及び図５に示すように、上記弁支え１３の両側面に夫々配置せしめた左右の受け板１５と、上記左右の受け板１５間を連結する連結杆１６と、上記受け板１５の互いに対向する面に形成した第三のコロガイド溝１７と、上記互いに対向するコロガイド溝１７にその両端部が挿入係合される第２のコロ１８と、上記コロ１８を受容するため上記弁支え１３に貫通して設けた第四のコロガイド溝１９と、図８に示すように上記各ホルダー１０と上記各受け板１５を夫々連結する板バネ２０と、図９に示すように上記ロッド６を上記弁デスク５に相対的に常時一方向に抑制せしめるため、その一端を上記ロッド６の一端側に固定し、他端を上記弁デスク５に固定した引張バネ２１と、上記弁デスク５の下端部から下方に突出した板バネ等のストッパー２２とを有せしめる。
【００２０】
なお、上記板バネ２０は、上記ホルダー１０と上記受け板１５が互いに相対的に上記ロッド６の傾動方向に移動することは抑制するが、これと直角の方向には抑制しないように機能する。
【００２１】
また、上記受け板１５に形成した上記第三のコロガイド溝１７は、図１０に示すように上記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる上記コロ１８の直径と略等しい幅の長孔とし、上記弁支え１３に形成する上記第四のコロガイド溝１９は図２及び図７に示すように上記コロガイド溝１７と対応する位置で上記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延び、次いで略垂直となる、上記コロ１８の直径と略等しい幅の長孔とし、この結果、受け板１５と相対的に上記ホルダー１０に沿って上記弁支え１３を上下に摺動したとき、上記弁支え１３に相対的に受け板１５が上記開口３に離接する方向に移動されるようにする。
【００２２】
本発明の流量制御バルブは上記のような構成であるから、図１に示すゲートバルブ開口２、３を開いた状態から、これを閉じるときは、駆動装置８を操作して上記ロッド６を上記開口２、３位置に移動せしめれば、図１１及び図１２に示すように、上記弁デスク５はその下端部から突出した上記ストッパー２２が上記弁箱１の内側面に突き当たって停止するようになるが、上記ロッド６を更に移動せしめれば、上記弁支え１３が上記引張バネ２１を引張しながら上記弁デスク５に相対的にロッド６と共に移動し、上記第１のコロ１２が上記ホルダー１０の第一のコロガイド溝１１の下端迄上記溝１１内を転動しながら移動し、最終的には上記第一のコロ１２は上記ホルダー１０の上記第一のコロガイド溝１１の下端の略垂直な部分を下方に移動し、また、上記弁支え１３の第二のコロガイド溝1４の上端の略垂直な部分に移動し、上記弁デスク５には最大荷重が加えられ、上記弁デスク５が上記弁座４に強固に押圧されるようになる。
【００２３】
同様にして上記弁支え１３の第四のコロガイド溝１９を貫通する第２のコロ１８は、図１３に示すように上記受け板１５の第三のコロガイド溝１７の下端迄上記溝１７内を転動しながら移動し、最終的には上記第２のコロ１８は上記受け板１５の上記第三のコロガイド溝１７の下端の略垂直な部分を下方に移動し、また、上記弁支え１３の第四のコロガイド溝１９の上端の略垂直な部分に移動し、上記受け板１５は最大荷重で開口３側の弁箱１の内側面に押圧され、この力が反力として上記弁デスク５に加えられ上記弁デスク５が上記弁座４に更に強固に押圧されるようになる。
【００２４】
なお、この状態で上記駆動装置８によるロッド６の傾動を停止すれば、上記弁デスク５は上記弁座４に押圧された状態に維持される。
【００２５】
ゲートバルブを開く場合には、上記駆動装置８を操作して上記開口２、３を開く方向に上記ロッド６を傾動せしめる。この場合、まず上記引張バネ２１のバネ力によって上記ホルダー１０及び上記受け板１５に相対的に上記弁支え１３のみが移動し、上記コロ１２、１８が上記弁支え１３と共に上記ホルダー１０、上記受け板１５の上記コロガイド溝１１、１７内を転動しながら移動し、この結果、上記弁デスク５が上記弁座４から離れ、また、上記受け板１５が上記開口３から離れ、その後、更に上記ロッド６を移動せしめれば上記弁デスク５が上記ロッド６と共に移動し、開口２、３が完全に開くようになる。
【００２６】
本発明の他の実施例においては、上記ホルダー１０及び上記弁デスク５を夫々一体としてもよい。
【００２７】
【発明の効果】
上記のように本発明の流量制御バルブにおいては２本のコロとこれに係合するコロガイド溝とを有する動力伝達装置を用いたので極めて大きな力で弁デスクを弁座に押圧できると共に、上記コロ１２、１７が上記溝１１、１４、１６、１８内を移動するとき何れも転動するようになるためコロと溝との間に摩擦を生ずることがなく、従って潤滑剤を必要としないばかりでなく、ロスも少なく、更に磨耗によるその他による不純物を発生するおそれがない。
【００２８】
また、反力を利用して弁デスクを弁座に押圧するので、駆動装置やロッドを大きくする必要がない。
【００２９】
また、ロッドを傾動せしめる連続した一方向移動のみで弁デスクを開口に移動し、弁座に押圧し弁を閉じることができるので、流量コントロールバルブとして用いた場合でも、連続した流量の制御が可能という大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の流量制御バルブの弁が閉じる前の状態における縦断正面図である。
【図２】図１に示すＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】図１に示すＹ−Ｙ線断面図である。
【図４】本発明の流量制御バルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図５】本発明の流量制御バルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図６】本発明の流量制御バルブの第一のコロガイド溝の側面図である。
【図７】本発明の流量制御バルブの第二、四のコロガイド溝の側面図である。
【図８】本発明の流量制御バルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図９】本発明の流量制御バルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図１０】本発明の流量制御バルブの第３のコロガイド溝の側面図である。
【図１１】本発明の流量制御バルブの弁が閉じる直前の状態における縦断正面図である。
【図１２】図１１のＸ−Ｘ線断面図である。
【図１３】図１１のＹ−Ｙ線断面図である。
【図１４】従来の振子式ゲートバルブの斜視図である。
【図１５】従来の振子式ゲートバルブの縦断側面図である。
【符号の説明】
１  弁箱
２  開口
３  開口
４  弁座
５  弁デスク
５a 背面
６  ロッド
７  枢支部
８  駆動装置
９  動力伝達手段
１０  ホルダー
１１  第一のコロガイド溝
１２  第１のコロ
１３  弁支え
１４  第二のコロガイド溝
１５  受け板
１６  連結杆
１７  第三のコロガイド溝
１８  第２のコロ
１９  第四のコロガイド溝
２０  板バネ
２１  引張バネ
２２  ストッパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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