(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長さおよび幅を有する上部層（１３）を含むテーブル（９）であって、前記上部層（１３）は、科学的装置を支持しかつ位置決めするための上面（５７）、底面（５９）および前記装置を前記上部層（１３）に固定するための複数個の穴を含み、前記テーブル（９）はまた、前記上部層（１３）に封止され、かつ廃物を受けるためのそれぞれの複数個のキャビティを形成する複数個の廃物保持構造（２５）を含み、前記廃物保持構造（２５）の各キャビティは底面（５９）に平行な面において最大寸法を有し、前記最大寸法は前記上部層（１３）の長さまたは幅のいずれよりも実質的に短いテーブルであって、前記テーブル（９）は、少なくとも幾つかの前記廃物保持構造（２５）の大きさおよび形が、そのそれぞれのキャビティの各々が、選択された数の前記複数個の穴（１９）の間で流体を通じさせ、一方で複数個の穴（１９）の残りとは流体を通じさせないで封止されるようなものであり、前記選択された数が少なくとも２つであることを特徴とする、テーブル。
【請求項２】
テーブル（９）が、
下部層（１５）と、
前記下部層（１５）と前記上部層（１３）との間の中間層（２３）と、
前記下部層（１５）と前記中間層（２３）との間に位置されるハニカムコア（２１）とをさらに含み、前記廃物保持構造（２５）は前記中間層（２３）と前記上部層（１３）との間に位置されることを特徴とする、請求項１に記載のテーブル（９）。
【請求項３】
前記廃物保持構造（２５）が前記上部層（１３）を支持し、前記中間層（２３）が前記廃物保持構造（２５）を支持し、前記上部層（１３）上の荷重は前記廃物保持構造（２５）を介して前記中間層（２３）に伝えられることを特徴とする、請求項２に記載のテーブル（９）。
【請求項４】
前記中間層（２３）は前記ハニカムコア（２１）によって支持され、前記ハニカムコア（２１）は前記下部層（１５）によって支持されることを特徴とする、請求項３に記載のテーブル（９）。
【請求項５】
前記廃物保持構造（２５）は、互いに相互接続されない個々のユニットを含むことを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項６】
前記廃物保持構造（２５）がカップを含むことを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項７】
前記選択された数が１６を上回らないことを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項８】
前記テーブルトップ（１１）が少なくとも５０の前記廃物保持構造（２５）を含み、第１の複数個の前記構造（２５）が上部層（１３）の１つの側面に平行な第１の方向で上部層（１３）にわたって延在し、かつ第２の複数個の前記構造（２５）が第１の方向に直交する第２の方向で上部層（１３）にわたって延在するように、前記廃物保持構造（２５）が前記上部層（１３）の下に分布されることを特徴とする、請求項１ないし７のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項９】
前記穴（１９）がタップされてねじ穴を設けることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項１０】
少なくとも幾つかの前記廃物保持構造（２５）が前記上部層（１３）を構造的に支持することを特徴とする、請求項１ないし９のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項１１】
前記廃物保持構造（２５）が前記ハニカムコア（２１）によって支持され、前記廃物保持構造（２５）は、前記上部層（１３）を構造的に支持し、かつ前記上部層（１３）がそれに垂直な方向に撓むのを防ぐのに十分な剛性を有することを特徴とする、請求項２ないし４のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項１２】
前記廃物保持構造（２５）の各々が側面（２７）を含み、廃物保持構造（２５）の側面（２７）の周辺の長さは、前記上部層（１３）の前記長さまたは幅よりも実質的に短いことを特徴とする、請求項１ないし１１のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項１３】
前記数の廃物保持構造（２５）の各々が一般にダンベルの形状であり、１対のより大きい端部部分（６３）およびより狭い中間部分（６５）を備えることを特徴とする、請求項１２に記載のテーブル（９）。
【請求項１４】
前記廃物保持構造（２５）が前記上部層（１３）の前記底面（５９）と封止的に係合して、前記キャビティから迅速かつ完全に汚染物を洗浄することを容易にし、前記廃物保持構造（２５）の各々は側面（２７）および底部（２９）を有するカップを含み、前記カップは０°ないし４５°の抜け勾配（Ｚ）を有することを特徴とする、請求項１ないし１３のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項１５】
前記廃物保持構造（２５）が、重なる行方向（７７）および列方向（７９）に配列され、それによってテーブルトップ（１１）にさらに構造的な剛性を与えることを特徴とする、請求項１ないし１４のいずれかに記載のテーブル（９）。
【請求項１６】
科学的装置を保持するための上部層（１３）、下部層（１５）、および前記下部層（１５）と前記上部層（１３）との間に位置されるハニカムコア（２１）を含み、前記上部層（１３）は前記装置を前記上部層（１３）に固定するための複数個の穴（１９）を含むテーブルトップ（１１）を有するテーブル（９）から汚染物を洗浄する方法であって、
前記テーブル（９）はさらに、前記テーブルトップ（１１）の下に位置されて複数個の廃物チャンバを形成する複数個の廃物保持構造（２５）を含み、前記廃物チャンバの各々には前記複数個の穴（１９）の２つ以上を通って到達することが可能であり、前記方法は、
洗浄流体（１０３）を前記複数個の穴（１９）の１つを介して前記廃物保持構造に導入するステップと、
前記洗浄液体（１０３）を前記複数個の穴（１９）の他のものを介して排出することによって前記汚染物を前記テーブルトップ（１１）から除去するステップとを含むことを特徴とする、方法。
【請求項１７】
前記導入するおよび排出するステップが同時に行なわれることを特徴とする、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記方法が、
前記複数個の穴（１９）の第１のグループ内の穴（１９）と穴の間で流体を通じさせるステップと、
前記複数個の穴（１９）の第２のグループ内の穴（１９）と穴の間での流体を通じさせるステップと、
前記第１のグループ内の穴（１９）と前記第２のグループ内の穴（１９）との間で流体が通じることを防ぐステップとをさらに含み、
前記複数個の穴（１９）のうちの前記１つおよび前記他のものの両方が、穴（１９）の同じグループ内にあることを特徴とする、請求項１６ないし１７のいずれかに記載の方法。
【請求項１９】
前記導入するステップが、前記穴の両方のグループ内の穴（１９）に同時に流体（１０３）を導入するステップを含むことを特徴とする、請求項１６ないし１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
前記除去するステップが、前記穴の両方のグループ内の穴（１９）から同時に流体（１０３）を除去するステップを含む、請求項１６ないし１９のいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
前記排出するステップが、前記他の前記穴（１９）に吸引を施すステップを含み、前記導入するステップが前記流体（１０３）を前記穴（１９）の前記１つに入れるのに前記吸引を利用するステップを含むことを特徴とする、請求項１６ないし２０のいずれかに記載の方法。
【請求項２２】
前記流体（１０３）を導入する前記ステップが、前記穴（１９）の前記一方に圧力下で前記流体（１０３）を注入するステップを含み、前記排出するステップが前記圧力を利用して前記流体（１０３）を前記穴（１９）の他方から放出するステップを含むことを特徴とする、請求項１６ないし２１のいずれかに記載の方法。
【請求項２３】
前記洗浄流体（１０３）が洗浄剤を含むことを特徴とする、請求項１６ないし２２のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の背景】
この発明は、テーブル、特に光学テーブル、および特定的には光学テーブルのためのハニカムテーブルトップに関する。
【０００２】
ハニカムテーブルトップは典型的には、光学装置等の高感度の科学的装置を支持し、かつ位置決めするために用いられる。テーブルトップは一般に、上部層、下部層およびハニカムコアを含む。上部層は典型的には、装置をテーブルトップ表面に固定するために用いられる複数個のタップされた穴を備える。ハニカムコアは、上部層の平坦さおよび構造的剛性を、それに幾つもの穴があけられるにもかかわらず、維持する。以前は、花崗岩のプレートおよびスラブがしばしば用いられた。しかしながら、スラブが重いこと、およびこのような表面に構成部品を固定するのが難しいことのために、ハニカムテーブルトップがますます一般的になった。
【０００３】
残念ながら、既存のハニカムテーブルトップには欠点がないわけではない。具体的には、タップされた穴が開口を与え、テーブルの表面上にこぼれた液体または他の廃物がそれを通って内部に入ってしまうかもしれない。テーブルトップの深さのために、このような廃物は洗浄するのが難しい、または実用的ではない。
【０００４】
これらの問題に対処するための設計を開発するために幾つもの試みがなされた。具体的には、テリー（Terry)らへの米国特許番号第４，６２１，００６号が、テーブルの下部層に隣接する比較的深いハニカムコア部分と上部層に隣接する比較的薄いハニカム部分との間に中間シートが位置されるテーブルトップの設計を開示している。テリーは、下部のハニカム部分のより長いセルが完全に封止され、そのためより小さいハニカム部分の浅いセルのみが洗浄されればよいことを教示している。
【０００５】
ハイド（Heide)への米国特許番号第４，６４５，１７１号は、「キャビティエンクロージャ」が、明らかに上部層の穴と共軸的に整列されて、上部層の内部表面に溶接等によって固定される、ハニカムテーブルトップを開示している。穴およびエンクロージャはハニカムコアに関して、エンクロージャがハニカムセルの実質的に内部に位置されるように、位置決めされる。ハイドは、いかなる液体または他の汚染物もテーブルの内部部分に入ることを妨ぐ閉じた底部部分をエンクロージャが有すること、および単にテーブルの表面を拭き、廃物をキャビティから除去するために吸引することによってテーブルを洗浄できることを教示している。対照的に、米国特許番号第４，８５３，０６５号は、ハニカムコアから上部層の穴を封止するための手段を与える、テーブルのハニカムコアの内部セルと整列され得る行方向および列方向の突起を組入れる封止シートの使用を開示している。
【０００６】
さらに別のハニカムテーブルトップの設計は、仏国特許番号第２，５１９，２７０号に開示され、一連のスリーブが上部層の個々の穴の各々の下に共軸的に整列されて位置される。これらのスリーブの底部部分は相互接続プレートに支持され、これがハニカム強化構造に支持され、これが下部層に支持される。スリーブは、ハニカム強化構造が上部層の穴を通って偶発的に入る物体、埃または液体と接触するのを防ぐ。
【０００７】
【発明の概要】
上部層の複数個の穴を通ってテーブルトップに入る残留物または汚染物からハニカムコアを分離する有効性は様々であるが、どの既存の設計も、タップされた穴に露出されるテーブルトップの部分を簡単かつ完全に洗浄する必要性に十分対処するとは思われない。したがって、この発明のある局面は、上部層に封止され、かつ廃物を受けるためのそれぞれの複数個のキャビティを形成する複数個の廃物保持構造を含むテーブルである。好ましい実施例において、廃物保持構造は、上部層の面に平行な面において最大寸法を有し、これは上部層の長さまたは幅のいずれよりも実質的に小さい。複数個の廃物保持構造のうちの少なくとも幾つかの大きさおよび形状は、そのそれぞれのキャビティの各々が選択された数の複数個の穴の間で流体を通じさせ、一方残りの複数個の穴とは流体を通じさせないで封止されるようなものであり、その選択された数は少なくとも２つである。好ましくは、廃物保持構造は、第１の複数個のこれらの構造が上部層の側面に平行な方向で上部層にわたって延在し、第２の複数個のこれらの構造が直交する方向で上部層にわたって延在するように、上部層の下に分布される。さらに、ある実施例において、廃物保持構造は、上部層のいかなる側面の長さよりも実質的に長さの短い周辺部を有する。
【０００８】
この発明の別の局面は、科学的装置を保持するための上部層、下部構造層、下部層と上部層との間に位置されるハニカムコアを有し、前記上部層は前記装置を前記上部層に固定するための複数個の穴を含むテーブルから汚染物を洗浄するための方法であって、洗浄流体を少なくとも１つの穴に導入するステップと、少なくとも１つの別の穴を介して洗浄流体を排出することによって汚染物を除去するステップとを含む。
【０００９】
この発明の別の局面は、下部層と上部層との間に位置されるハニカムコア、および上部層の底面と協働して上部層の複数個の穴の少なくとも２つを囲むキャビティを形成し、そのため汚染物が囲まれた穴を通ってハニカムコアに達することのできないような大きさおよび形状である、カップ等の幾つかの廃物保持構造を含むハニカムテーブルトップを洗浄する方法であって、吸引源をキャビティによって囲まれる穴の一方の少なくとも１つに接続するステップと、洗浄流体源をキャビティによって囲まれる穴の他方の少なくとも１つに接続するステップと、洗浄流体源からキャビティに洗浄流体を導入するステップと、キャビティからその一方の穴を介して洗浄流体および汚染物を排出するステップとを含む。好ましい実施例において、洗浄流体の導入および洗浄流体の排出は同時に行なわれる。
【００１０】
この発明の別の局面は、下部層と中間層との間に位置されるハニカムコア、および中間層と上部層との間に位置される幾つかのカップを含むハニカムテーブルトップである。上部層は、上部層に科学的装置を固定するための複数個の穴を規定し、カップは上部層の底面と協働して上部層の少なくとも２つの穴を囲むキャビティを形成して汚染物が穴を通ってハニカムコアに達することのできないような大きさおよび形状にされる。好ましくは、カップは構造的に上部層を支え、上部層の底面と封止的な係合を形成し、カップからの迅速かつ完全な汚染物の洗浄を容易にする。さらに、中間層は有利に幾つかの開口を規定し、上部層に隣接するカップを囲む空間とコアとの間の圧力を等しくすることを可能にする。
【００１１】
より大きなテーブルで典型的には３０００ないし７０００と、テーブルにおける非常に多数の穴を考慮すると、廃物が多量である状況では洗浄マニホールドを用いるのが望ましいかもしれない。このようなマニホールドは、それぞれ洗浄流体源および真空源に接続される多数の対の入口および出口ノズルを用いてもよい。このマニホールドは、テーブルトップにしっかりと固定され、その個々のポートはたとえばＯリングによって個々のタップされた穴に封止された状態で接続される。代替的に、マニホールドは適切なシールを備えた複数個のねじ切りされたスクリューアダプタを用いることによって固定され封止されてもよい。マニホールドは、同じねじ切りされたアダプタによってテーブルに固定され、たとえば１つ以上のＯリングによって局部的に封止されてもよい。
【００１２】
便宜上、入口マニホールドおよび排出マニホールドは接合されて、１つが流体を投入し、１つが引き出す２つのマニホールドキャビティを有する単一のボディを形成してもよく、その主入口および出口ポートは、流体を放出するための供給源についての適切な管に、または圧縮もしくは吸引のために直接ポンプに接続される。
【００１３】
【好ましい実施例の詳細な説明】
図１は実験設備を支持するために用いられる振動絶縁テーブル９を示す。このテーブルは剛性のハニカムテーブルトップ１１とそれを支持する振動絶縁システム１２とからなる。
【００１４】
図１−図３を参照して、概矩形のテーブルトップ１１は平らな矩形の上部層１３と、１対の垂直な側面１７および端部１８によって接続される平らな矩形の下部層１５とを含む。上部層１３は科学的装置を上部層１３に固定するためのタップされた穴１９のグリッドを規定する。下部層１５には脚、支持構造、光学部品または他の装置を取り付けるための多数のタップされた穴が有利に設けられてもよい。
【００１５】
テーブルの構造的な剛性および平坦さは下部層１５と中間層２３との間に位置決めされたハニカムコア２１によって維持される。カップ２５等の多数の廃物保持構造が中間層２３と上部層１３との間に位置決めされる。カップ２５は垂直側面２７と閉じた底２９とを含む。側面２７は抜け勾配を規定するように代替的に位置決めされ得る。これらのカップ２５はテーブルの構造的支持に大幅に貢献するのに十分な数であり、かつそのようにサイズが決められ、かつ配列される。つまり、上部層１３からの荷重はカップを通って中間層２３へ移される。したがって、図中に開示されるテーブルトップは、下部層１５、ハニカムコア２１、中間層２３、カップ２５および上部層１３の５つの主要な構造上の構成要素を含む。側面１７および端部１８もまた重要な構造的支持を与え得る。
【００１６】
この好ましい実施例におけるテーブルトップの構成要素についてより詳細に説明する。テーブルトップの下部層１５は平らな矩形の上面３１と平らな矩形の底面３３とを含む。底面３３は一般的には外部表面であり、一方、下部層の上面３１の実質的に全体はテーブルトップ１１の内部にある。第１の概矩形の接着層３５はハニカムコア２１を下部層１５の上面３１に固定する。この接着層３５は好ましくは織物地または織物の上に支持されるフィルム上に与えられる熱硬化構造のエポキシ樹脂によって形成される。接着剤は硬化すると、間隔が密な織物の表面またはストランド上またはそれに沿って網状になるかまたは芯となる。好ましくは、この接着層は英国ケンブリッジ（Cambridge)ダックスフォード(Duxford) のチバガイギー(Ciba-Geigy ) によって製造される登録商標Ｒｅｄｕｘ６０９と呼ばれる材料であり、これは織物または織物地を含んで組立ての間に脆いフィルムを扱う強さを与える。当業者は低温硬化エポキシ樹脂系、ウレタンベースの接着剤またはアクリル組成物等の接着系も使用可能であることを理解するであろう。
【００１７】
ハニカムコア２１は、下部端部３９が第１の接着層３５に固定されるような態様で上部端部３７と下部端部３９とを有する。中間構造層２３は上面４３と底面４５とを有する。中間層２３の下面４５は第２の接着層４１によってハニカムコア２１の上部端部３７に固定される。この第２の接着層４１は好ましくは第１の接着層３５と本質的に同一のものである。中間層２３は多数の通風口の開口４７を含む。これらの開口４７により空気が中間層２３を通過することが可能となる。これらの通風口の開口４７は輸送および使用の両方の間に深刻な安定性およびクリープの問題を引き起こし得る、部分的な真空状態を製造の間のテーブルの熱接着の間につくり出すことを防止する。また、これらの開口４７は低圧または真空環境においてテーブルを使用することを可能にし、テーブル全体を介してガスを自由に流れさせ、これにより脱ガス時間を最小にする。
【００１８】
カップ２５は上部端部５１と底部端部５３とを有する。各カップ２５の底部端部５３は第３の接着層４９によって中間層２３の上面４３に固定される。この接着層４９は好ましくは第１の接着層３５および第２の接着層４１と同一であり、層４９は中間層２３の上面４３の実質的に全体を覆う。同様に上部層１３は上面５７と底面５９とを有する。各カップ２５の上部端部５１は第４の接着層６１によって上部層１３の下面５９に固定される縁を有する。この層６１は好ましくは他の接着層と同一であり、かつ下面５９の実質的に全体を覆う。
【００１９】
上述のように、カップ２５は垂直の側面２７と閉じた底またはベース２９とを有する。図５−図７の実施例を参照して、カップの壁の厚さＴは０．２５と０．７ｍｍとの間であり得る。カップの深さＤは好ましくは１０ｍｍよりも大きく、ある実施例においては１３ｍｍである。特定的には、カップの深さは洗浄を容易にするのに十分浅いが、テーブルに物体を固定するのに用いられる通常長すぎるねじ山の使用を妨げないような深さであるべきである。
【００２０】
図５に最良に描かれるように、一実施例においては、カップの水平断面部分は一般にダンベル形状であり、１対のより大きな端部部分６３とより狭い中間部分６５とを有する。端部部分６３は好ましくは約７ｍｍの半径Ｒを有する内側からみて窪んだ弓状の端部壁６７によって形成される。中間の壁は、好ましくは１３．５ｍｍの半径Ｓを有する１対の内側から見て凸状の中間壁７１によって好ましくは形成される。各カップ２５の底２９は概垂直の側面２７で完全な封止を形成する。好ましくは、カップ２５は単一構造（つまり１部分から構成される）である。開示された実施例においては、カップ２５は相互接続されていない個々の部分からなるが、それらは１ピースの材料から複数の相互接続されたカップに形成され得る。よりよく洗浄を行なうことを容易にするために、０°から４５°の抜け勾配が用いられ得るが、カップの垂直側面２７の抜け勾配Ｚは０°であってもよい。一実施例において、カップ２５の垂直側面２７と閉じた底２９とは１から０．５ｍｍの半径Ｘを形成する。カップ２５はステンレス鋼、板状鋼または他の適切な材料からつくられ得る。
【００２１】
図４に最良に示されるように、カップ２５は好ましくは、カップの各端部部分６３の中心が穴１９の軸と共軸的にアラインされるように行方向７７および列方向７９に配列される。一実施例においては、カップの長手方向の軸は穴１９の軸と交差し、カップ２５はそれにアラインしかつテーブルの側面１７に平行である。同様に、列７９はテーブルトップ１１の端部１８に平行であり得る。開示された実施例において、カップ２５の１つ置きの行７７は前の行７７に重なり、かつ１つ置きの列７９は前の列７９に重なって剛性を強くすることが理解されるであろう。
【００２２】
カップ２５等の廃物保持構造は、汚染物質が穴１９を介してテーブルトップ１１のハニカムコア２１中へ入ることを防止するように位置決めされる。重要なことは、カップ２５がカップから汚染物質を迅速かつ完全に洗浄することを容易にするキャビティを形成することである。特定的には、吸引源がカップによって囲まれた２つの穴のうちの一方に接続され、洗浄剤を含む洗浄液体の容器等の洗浄流体源がカップによって囲まれた２つの穴のうちの他方に固定され得る。その後洗浄流体はポンプ動作などによって洗浄流体源からカップ中へ導入され、同時にたとえば吸引源によって他方の穴を吸引することによって排出される。有利には、端部部分６３の窪んだ弓型の端部壁６７は凸状の中間壁７１と協働して渦巻き状の動作を行ない汚染物質をカップから強制的に押し流して洗浄する。当然、両方の穴へ洗浄流体を供給したり吸引したりすることもまた可能である。
【００２３】
テーブルの洗浄性には影響を及ぼさずに様々な修正がテーブルになされ得る。たとえば、上面層と中間層との間に挟み込む代わりに、カップ２５は上面層に取り付けられるかまたはそこから吊り下げられてもよい。かかる場合は、中間層の代わりにコア２１と上面層１３との間の空間を橋渡しする支持構造が設けられてもよく、またはハニカムがカップ２５の間を通って上面層１３まで延びてもよく、その結果上面層１３はコア２１上で直接支持される。しかしなお、カップ２５を上面層１３と中間層２３との間に挟み込むことが好ましく、そうすることによりカップ２５は上部層１３の構造的荷重を支え、かつたとえば中間層上部で個別のハニカム層内に吊り下げられたり置かれたりすることがない。この配列ではハニカムコア２１によって形成されるいかなるセルともアラインせずに、上部層１３のタップされた穴１９とアラインするだけでよい。同様に、個別のエンクロージャが上部層１３中のタップされた穴１９の各々にアラインされなければならなかった数多くのこれまでの設計とは対照的に、この設計では僅か２分の１の数のカップ２５がアラインされればよい。代替的に、この好ましい設計は各カップがハニカムコア２１からの２つ以上の穴を封止するように修正されてもよい。さらに、カップ２５の端部部分６３の中心をカップが取り囲む穴とアラインすることが洗浄性を最大にするためには一般に好ましいけれども、たとえカップが正確にアラインされていなかったとしても重要な渦巻きおよび洗浄の利点は得られる。最後に、カップ２５の垂直側面２７により、広いダンベル形状の領域にわたって上部層１３に構造的な支持が与えられるため、テーブルトップの上部層の構造的支持を改良するような設計がなされるべきである。かかる効果は上述の行方向および列方向に重なり合うカップのアライメントによって促進され得る。さらに、カップが特に２つを大幅に上回るタップされた穴を取り囲む場合は、局部的な剛性を与えるために円筒形のチューブ等の縦支持部材(upstands)または他の構造的部材が設けられてもよい。しかしながら、好ましくは、かかる部材は洗浄流体がカップを自由に通って流れることをなお許容する通路を規定する。廃物保持構造はまた、チューブまたはスリーブから構成され得る。かかるチューブまたはスリーブはその両端が開いているが、その下部端部はチューブまたはスリーブの縁を中間層に対して封止することにより閉じられる。その上部端はチューブまたはスリーブが少なくとも２つのタップされた穴を取り囲むように上面層に対して封止され得る。カップ２５においてのように、チューブまたはスリーブの側面は上面層を支持し構造的剛性を与えるのに十分強くあるべきである。
【００２４】
図１４および図１５を参照して、代替的な構成を有する１対のカップ３１１が示されるが、これはここに説明されるテーブル用に適合されている。カップ３１１は、各カップが２つではなく４つのタップされた穴の下に位置決めされるように、タップされた穴１９に関して位置決めされる以外は、先に説明したカップ２５と同様の態様でテーブル内に位置決めされるようなサイズおよび形状である。カップ３１１は概平坦なドーナツ形状の底３１３と内部直立円筒壁３１５および外部直立円筒壁３１７とをそれぞれ含む。したがって、内部円筒壁３１５は円筒形の開口３１９を規定する。有利には、円筒形の壁３１５および３１７は協働して洗浄溶液がカップ３１１中へポンプで押し出されるときに渦巻き状の洗浄効果をつくり出す。さらに、各カップ３１１はテーブルの残りの部分から４つの穴１９を封止するため、半分の数のカップ３１１のみが必要である。他の実施例においては、各カップはたとえば１６または２５などのより多数の数の穴を封止し得る。
【００２５】
カップ２５等の廃物保持構造は、圧縮的な構造荷重に対して局部的な支持を与え、かつ同時にテーブルの上部面と下部面との間でせん断荷重が伝達される手段に加わるために、穴を規定しない上部層の領域の下に位置決めされてもよいということが当業者には理解されるであろう。しかしながらいずれにしても、上面層の上部表面の変形またはバウを防ぐのに十分小さいサイズかつ十分な剛性を有する十分な数の廃物保持構造を用いることが好ましい。特定的には、テーブルは好ましくは、テーブルの長さと幅とに対応する２つの直交した方向の複数の場所で局部支持が与えられるように、２方向の各々に複数の廃物保持構造を含むべきである。したがって、好ましい実施例において、上面層の平面中の保持構造の最大寸法は実質的には上面層の長さまたは幅のいずれよりも小さい。言い換えれば、各廃物保持構造は好ましくは、そのキャビティの側面間の最大寸法がテーブルの幅よりも実質的に小さくなるように構成されるべきである。さらに、各廃物保持構造の側面は好ましくは、それにより形成されたキャビティが廃物保持構造の側面によってすべての面が囲まれかつ取り巻かれるように、継続した閉経路またはループとなるべきである。一実施例においては、廃物保持構造の周囲の長さはテーブルの長さまたは幅のいずれよりも大幅に短く、典型的には１オーダの大きさだけ小さい。
【００２６】
当業者によってまた理解されるように、上部層１３および下部層１５は通常、軟鋼等の強磁性体から製造され、またはより一般的には磁気マルテンサイト系ステンレス鋼から製造され、これによりユーザが装置のとりつけのために磁気締金を用いることを可能にする。強磁性オーステナイト系ステンレス鋼等の他の材料または他の適切な材料も利用可能である。上部層と下部層とは異なる材料から形成されてもよいが、好ましい実施例においては、上部層１３と下部層１５とは同一の材料からつくられ、その結果、線膨張係数が同じであり、熱によるバウまたは他の不利な熱による不安定さが排除される。中間層２３は鋼、アルミニウム合金またはステンレス鋼等の金属から製造され得る。
【００２７】
垂直側面１７および端部１８は通常固定された鋼の板から形成され、上部層１３および下部層１５に接着またはハンダ付けされる。さらに、垂直側面１７および端部１８の内側に、下部層１５の上面３１と中間層２３の下面４５との間に延びる強化シート８７が好ましくは位置決めされる。これらの強化シート８７により強度が増大しかつ独立区画でコアが組立てられるることが可能となる。
【００２８】
当業者はまた、テーブルトップはレーザポート８９またはテーブルトップ１１全体を介して延びる他の排気弁をさらに含んでもよいということを理解するであろう。有利には、上部層１３中のポートへの開口は使用されないときには覆いをかけられてもよい。
【００２９】
最後に、当業者は、ピークコンプライアンスを低減しかつ反射時間を数十ミリ秒にまで減じるためにコア内に内部減衰材料８５が一般に組み入れられるということを理解するであろう。ダンパは典型的には粘性または摩擦ダンピング材料または流体とともにばね装着された大きな塊を用いる。時によっては、これらのダンパはハニカムコア２１内に位置決めされるだけではなく、テーブルトップの垂直側面１７および端部１８にも固定され得る。
【００３０】
典型的には３，０００から７，０００の間の莫大な数の穴がテーブル中にあるために、廃物がより大きい場合には図１０−図１３に示されるような洗浄マニホールドを用いることが望ましいかもしれない。かかるマニホールドは洗浄流体源と真空源とのそれぞれに接続された入口ノズルと出口ノズルとの多数の対を利用し得る。このマニホールドは、その個々のポートが上に議論した単一のアダプタのものと同様のＯリングによって個々のタップされた穴に封止された状態で、テーブルトップに強力に固定され得る。代替的には、マニホールドは適切なシールを備えた複数個のねじ切られたスクリューアダプタを用いることによって固定されかつ封止され得る。このマニホールドは次に同じねじ切られたアダプタによってテーブルに固定されかつ１つ以上のＯリングによって局部的に封止されることができる。
【００３１】
便宜上、入口マニホールドと排出マニホールドとは結合されて、１つは入力流体のためのかつもう１つは排出のための２つのマニホールドキャビティを有する１つの本体を形成し、その主入力ポートおよび出力ポートは流体を放出するために供給源についての適切なチューブに接続されるか、または圧縮もしくは吸引のために直接ポンプに接続される。
【００３２】
当業者は、本発明のテーブルトップに関連して多数の洗浄流体源および吸引源が用いられ得るということを理解するであろう。特に、洗浄流体をカップ中へ導入するために持ち上げられたビーカが用いられ得る。代替案としては単にカップを洗浄流体源へ接続し、吸引を行なってカップ内の圧力を減じて洗浄流体をカップ中へ入れる方法があり、これにより１つの吸引源だけを用い、圧力をかけられた洗浄流体源は用いずに強制的にカップを押し流して洗浄する。同様に、洗浄剤を含む洗浄ガス等の圧力をかけられた１つの洗浄流体源を用いて、蒸発、分散または長く浸した後に除去するなどの他の洗浄流体の除去または排気手段に依存して、カップから流体を集めたり吸引したりすることなくカップを押し流して洗浄することも可能であろう。さらに、洗浄剤を含む流体は必ずしも必要ではなく、この場合、吸引によって周囲の空気をキャビティ中に注ぎ込むか、または圧縮された空気をキャビティ中に注入するかのいずれかによって普通の空気が洗浄流体として用いられることが可能である。
【００３３】
図８−図１４は幾つもの好ましい設計を示す。洗浄流体１０３をカップ２５等の廃物保持構造へ入れ、そこから洗浄流体および残留物を引き出すように真空室１０５を設けるため、２つの蠕動ポンプ１０１が用いられる。他のタイプのポンプシステムも用いられ得るが、蠕動ポンプは出口からの流量スループットが入口からの流量スループットに等しくなることを確実にする。蠕動ポンプはチューブ１０７によって洗浄流体アダプタ１０９および吸引アダプタ１１１へ接続される。有利には、洗浄流体アダプタ１０９および吸引アダプタ１１１は同一である。各アダプタは、穴中へのアダプタの貫通量を制御するために穴の直径よりも大きな直径を有する概円筒形の本体１１３と、アダプタをチューブに封止的に係合させるためのかかり等の隣接した接続部分１１５と、アダプタをテーブル１１へ封止するための封止部分１１７と、流体を排出または受け取るためのマウス１２１を含む末端部分１１９とを含む。望ましくは、封止部分１１７はテーブルトップのタップされた穴１９と協働するように外的にねじ切られている。有利には、アダプタの封止部分にはまた、アダプタの本体１１３の下部分とテーブルトップの上部面５７との間に２次的な封止を与えるために、Ｏリング１２３または他の封止エレメントが設けられてもよい。所望により、アダプタはさらにＯリングのための座として作用する環状の溝を含んでもよい。
【００３４】
示されるように、アダプタの末端部分１１９は望ましくはカップ２５の底２９の数ミリメートル内に延び、アダプタ１０９が洗浄流体源１０３に固定されている場合は洗浄流体がカップの底２９および壁２７に対してかなりの速度で入れられることを確実にし、かつアダプタが吸引源１０５に固定されている場合は重力のためにカップ２５の底２９で集まる流体に吸引力が直接伝わることを確実にする。図９は代替のアダプタの実施例１２５を示し、ここではアダプタの末端部１２９の貫通はテーブルの穴のテーパされていないねじ山と封止する１組のテーパされたねじ山１３１によって制御されるため、本体１２７の直径はより小さい。
【００３５】
洗浄流体を１つの洗浄流体源からカップ等の複数の廃物保持構造へ分配するためにマニホールドを用いることもまた可能である。同様に、１つの吸引源から複数のカップへ吸引を伝えるために用いられることもできる。図１０を参照して、マニホールド１５１は真空源へ取り付けるための１つのニップルまたは接続部分１５３と、洗浄流体源へ取り付けるための別の１つのニップルまたは接続部分（図示せず）とを用いることも可能である。こうして、１つの内部チャンバ１５５は一連の末端部分１５７またはノズルを介して真空を多数のカップの列に伝えることが可能である。同様に、１つの内部チャンバ（図示せず）はこうして一連の末端部分またはノズルを介して洗浄流体源を多数のカップの列に伝えることが可能である。１つのマニホールドをテーブルのタップされた穴１９の複数の軸を中心として回転させることは可能ではないので、Ｏリング１５９を用い、かつマニホールドに下向きの力をかけてマニホールド１５１の本体１６１をＯリング１５９に対して、かつＯリング１５９をテーブルの上面５７に対して押すことによりシールが確立され得る。
【００３６】
代替的に、図１１に示されるように、１つのマニホールド２０１は内部チャンバ２０５に通じる接続部分２０３を用いることができ、内部チャンバは、流体のフローチャンネル２０９および末端ノズル部分２１１を組み入れるだけではなく、マニホールド２０１を外的にねじ切られた封止部分２１３および１対の協働するＯリング２１５によってテーブルトップの上面５７に封止する、取り外し可能アダプタ２０７によって何列ものカップ２５に通じることができる。
【００３７】
図１２および図１３はマニホールド２５１が第１の内部チャンバ２５３と第２の内部チャンバ２５５とをそれぞれ規定し得る態様を示す。チャンバ２５３および２５５の各々は接続部分またはノズル２５７と通じる。こうして一方のノズルは洗浄流体源に接続され、かつ他方のノズルは吸引源に接続される。したがって、概矩形のマニホールドは洗浄流体および真空の交互の列を構成する。示されるマニホールド２５１は、ノズル２５８が設けられてカップと通じるエアフローチャンネル２６０を形成するという点で図１０のものと同様である。しかしながら、それぞれのチャンネルは着脱可能アダプタ設計を用いて同様に用いられ得るということが理解されるであろう。さらに、マニホールドには好ましくは、各々がマニホールド２５１をテーブルトップに固定してシールを形成するための開口２６１を規定する、１対のアーム２５９が設けられる。
【００３８】
キャビティが不活性ガスで浄化されるだけの場合は、第２の真空源およびアダプタは不必要であるということが当業者には理解されるであろう。同様に、こぼれた物質がアルコール等の洗浄溶剤自体である場合などのようにユーザが洗浄流体をカップ中へ入れることを望まない状況が存在し得るということを当業者は理解するであろう。かかる状況においては、多くの場合吸引のみを行うことが必要とされる。
【００３９】
本発明またはその等価物の精神および範囲内でこれらの局面かつ種々の他の局面、実施例および変形が存在することは明らかであるか、または当業者にとって自明であろう。特に、本発明は現在好ましい実施例に従って説明されてきたが、ここに議論した概念は、そのすべてが引用によりここに援用される米国特許第4,621,006 号、第4,645,171 号、第4,853,065 号およびフランス特許第2,519,270 号に開示されるものを含む、様々な光学テーブル設計において実施され得るということが理解されるであろう。したがって、これまで述べてきたことは本発明の範囲を例示するためであり、限定するとは意図されない。
【図面の簡単な説明】
【図１】ハニカムテーブルトップを有する振動絶縁テーブルの斜視図である。
【図２】図１のテーブルトップの分解断面図である。
【図３】図１のテーブルトップの組立てられた断面図である。
【図４】図１のテーブルを部分的に切り取った上部平面図である。
【図５】図１のテーブルトップによって用いられるカップの上部平面図である。
【図６】図５の５−５線に沿ったカップの断面図である。
【図７】図５のカップの端部の立面図である。
【図８】図１のテーブルトップとともに用いる洗浄システムの部分概略断面図である。
【図９】図８に示される洗浄システムのためのアダプタの代替の実施例の図である。
【図１０】図１のテーブルトップとともに用いる洗浄システムの代替の実施例の断面図である。
【図１１】図１のテーブルトップとともに用いる洗浄システムの第２の代替の実施例の断面図である。
【図１２】本発明の洗浄システムとともに用いるマニホールドの上部部分断面図である。
【図１３】図１２のマニホールドを部分的に切り取った側面立面図である。
【図１４】テーブルの穴の位置を仮想的に示す図１のテーブルトップとともに用いる１対のカップの代替の実施例の平面図である。
【図１５】図１４のカップのうちの１つの１３−１３に沿う断面図である。
【符号の説明】
９  振動絶縁テーブル
１１  ハニカムテーブルトップ
１３  上部層
１５  下部層
２５  カップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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