(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び該薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、
該薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、
両端が該剛性板にて支持された該薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような該剛性板の方向への湾曲を有し、
該微細貫通孔を該湾曲部分の最下部に形成してなり、
該薄肉板の厚みが１μｍ以上、５０μｍ以下であり、該剛性板の厚みが５０μｍ以上であり、
該薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と該湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離が３μｍ以上、該剛性板の厚みの１０倍以下であり、
該薄肉板の湾曲部分の幅が０．１〜１０ｍｍであることを特徴とするセラミック部材。
【請求項２】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び該薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、
該薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、
両端が該剛性板にて支持された該薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような該剛性板の方向への湾曲を有し、
該微細貫通孔を該湾曲部分の最下部に形成してなり、
該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、
該薄肉板の厚みが１μｍ以上、５０μｍ以下であり、該剛性板の厚みが５０μｍ以上であり、
該薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と該湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離が３μｍ以上、該剛性板の厚みの１０倍以下であり、
該薄肉板の湾曲部分の幅が０．１〜１０ｍｍであることを特徴とするセラミック部材。
【請求項３】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び該薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、
該薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、
両端が該剛性板にて支持された該薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような該剛性板の方向への湾曲を有し、
該微細貫通孔を該湾曲部分の最下部に形成してなり、
該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、
該湾曲部分の最下部の曲率が、該湾曲部分の他の部分の曲率より小さいことを特徴とするセラミック部材。
【請求項４】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び該薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、
該薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、
両端が該剛性板にて支持された該薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような該剛性板の方向への湾曲を有し、
該微細貫通孔を該湾曲部分の最下部に形成してなり、
該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、
該湾曲部分の最下部の表面粗さＲａが１μｍ以下であることを特徴とするセラミック部材。
【請求項５】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び該薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、
該薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、
両端が該剛性板にて支持された該薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような該剛性板の方向への湾曲を有し、
該微細貫通孔を該湾曲部分の最下部に形成してなり、
該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、
該剛性板が矩形の窓部を有し、該薄肉板がその四方を該剛性板に支持された状態で該窓部を閉塞し、
該薄肉板の湾曲部分の両端と該剛性板の窓部の縁との間をつなぐ該薄肉板の部分が該剛性板方向への湾曲を有することを特徴とするセラミック部材。
【請求項６】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び該薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、
両端が該剛性板にて支持された該薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような該剛性板の方向への湾曲を有し、
該微細貫通孔を該湾曲部分の最下部に形成してなり、
該薄肉板の湾曲部分の最下部外周側において、被対象物と密着することを特徴とするセラミック部材。
【請求項７】
該薄肉板の厚みが１μｍ以上、５０μｍ以下であり、該剛性板の厚みが５０μｍ以上であり、
該薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と該湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離が３μｍ以上、該剛性板の厚みの１０倍以下であり、
該薄肉板の湾曲部分の幅が０．１〜１０ｍｍである請求項６に記載のセラミック部材。
【請求項８】
該薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下である請求項６又は７に記載のセラミック部材。
【請求項９】
該湾曲部分の最下部の曲率が、該湾曲部分の他の部分の曲率より小さい請求項１又は２に記載のセラミック部材。
【請求項１０】
該湾曲部分の最下部の表面粗さＲａが１μｍ以下である請求項１〜３、５〜９の何れかに記載のセラミック部材。
【請求項１１】
該剛性板が矩形の窓部を有し、該薄肉板がその四方を該剛性板に支持された状態で該窓部を閉塞し、
該薄肉板の湾曲部分の両端と該剛性板の窓部の縁との間をつなぐ該薄肉板の部分が該剛性板方向への湾曲を有する請求項１〜４、６〜１０の何れかに記載のセラミック部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、イオン流制御ヘッド、エンコーダ、スケール、高精度微細電界シャッターなどに用いられるセラミック部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板を剛性板にて支持して成るセラミック部材は、イオン流制御ヘッド、エンコーダ、スケール及び高精度電界シャッターの部品として、位置検知装置、記録装置等に用いられている。
【０００３】
上記応用製品において、上記の微細貫通孔は、気体、液体、微粒子固体、光等を通過させたり、通過させなかったりすることにより位置を検知又は記録するため等に用いられる。
【０００４】
例えば、イオン流制御ヘッドの部品として使用する場合には、図３に示すように、一方の面に電極１を配置した上で、剛性板９が存在する側に誘電体ドラム６を設置し、他方の側にイオン発生源５を配置し、電極１にイオンの有する電荷と同符号の電荷を持たせることにより、イオン２の微細貫通孔４からの吐出を抑え、イオン２の有する電荷と異符号の電荷を持たせることによりイオンを吐出させる。
【０００５】
上記のいずれの用途に用いる場合においても、ドラム３又は誘電体ドラム６が微細貫通孔の開口部と密着することが、流体吐出性能、流体制御性又は転写性という観点より好ましい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のセラミック部材を高精度電界シャッター等に用いた場合には、剛性板９の存在が、ドラム等の微細貫通孔４への接近の妨げとなり、ドラム等を開口部と密着させることができないという問題があった。又、薄肉板側からドラムを密着させる場合、電極配線がドラムに接触し、電極が磨耗するという問題、及びイオン源と電極が離れる事により、イオンへ効果的に電界がかからないという問題もあった。
【０００７】
又、薄肉板１３の厚みは、粒子の通過抵抗を小さくする観点及びドラム形状追従性という観点からは小さくすることが好ましいが、その場合は薄肉板１３の強度が小さくなり、ドラム等を接近させた場合に薄肉板１３が反対方向にたわみ、微細貫通孔との密着性が低下したり、ドラム等と接触した場合に薄肉板１３が破損するという問題があった。
【０００８】
従って、本発明は、ドラム等との密着性が良好であり、かつドラム等との接触により破損するおそれのないセラミック部材を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、薄肉板と剛性板が一体焼成されてなるとともに、両端が剛性板にて支持された薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板の方向への湾曲を有し、上記の微細貫通孔を湾曲部分の最下部に形成してなり、薄肉板の厚みが１μｍ以上、５０μｍ以下であり、剛性板の厚みが５０μｍ以上であり、薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離が３μｍ以上、剛性板の厚みの１０倍以下であり、薄肉板の湾曲部分の幅が０．１〜１０ｍｍであるセラミック部材が提供される。
また、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、薄肉板と剛性板が一体焼成されてなるとともに、両端が剛性板にて支持された薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板の方向への湾曲を有し、上記の微細貫通孔を湾曲部分の最下部に形成してなり、当該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、薄肉板の厚みが１μｍ以上、５０μｍ以下であり、剛性板の厚みが５０μｍ以上であり、薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離が３μｍ以上、剛性板の厚みの１０倍以下であり、薄肉板の湾曲部分の幅が０．１〜１０ｍｍであるセラミック部材が提供される。
また、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、薄肉板と剛性板が一体焼成されてなるとともに、両端が剛性板にて支持された薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板の方向への湾曲を有し、上記の微細貫通孔を湾曲部分の最下部に形成してなり、当該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、湾曲部分の最下部の曲率が、湾曲部分の他の部分の曲率より小さいセラミック部材が提供される。
また、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、薄肉板と剛性板が一体焼成されてなるとともに、両端が剛性板にて支持された薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板の方向への湾曲を有し、上記の微細貫通孔を湾曲部分の最下部に形成してなり、当該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、湾曲部分の最下部の表面粗さＲａが１μｍ以下であるセラミック部材が提供される。
さらに、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、薄肉板と剛性板が一体焼成されてなるとともに、両端が剛性板にて支持された薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板の方向への湾曲を有し、上記の微細貫通孔を湾曲部分の最下部に形成してなり、当該セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であり、剛性板が矩形の窓部を有し、薄肉板がその四方を剛性板に支持された状態で窓部を閉塞し、薄肉板の湾曲部分の両端と剛性板の窓部の縁との間をつなぐ薄肉板の部分が剛性板方向への湾曲を有するセラミック部材が提供される。
さらにまた、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板及び薄肉板を支持する剛性板とから成るセラミック部材であって、両端が剛性板にて支持された薄肉板の部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板の方向への湾曲を有し、上記の微細貫通孔を湾曲部分の最下部に形成してなり、薄肉板の湾曲部分の最下部外周側において、被対象物と密着するセラミック部材が提供される。
【００１０】
上記のセラミック部材において、薄肉板の厚みは１μｍ以上、５０μｍ以下であり、剛性板の厚みは５０μｍ以上であり、上記薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離が３μｍ以上、剛性板の厚みの１０倍以下であり、薄肉板の湾曲部分の幅が０．１〜１０ｍｍであることが好ましい。また、薄肉板と該剛性板が一体焼成されてなるとともに、セラミック部材が部分安定化ジルコニアからなり、その平均結晶粒径が２μｍ以下であることが好ましい。
【００１１】
上記セラミック部材において、湾曲部分の最下部の表面粗さＲａは１μｍ以下であることが好ましい。又、上記のセラミック部材において、湾曲部分の最下部の曲率を、湾曲部分の他の部分の曲率より小さくすることが好ましい。
【００１２】
又、上記のセラミック部材は、剛性板が矩形の窓部を有し、上記薄肉板がその四方を剛性板に支持された状態で窓部を閉塞し、薄肉板の湾曲部分の両端と剛性板の窓部の縁との間をつなぐ薄肉板の部分が剛性板方向への湾曲を有するものであってもよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のセラミック部材は、図１に示すように、薄肉板１３の部分のうちその両端が剛性板９にて支持された部分が、最下点を結ぶ線が直線となるような剛性板９方向への湾曲１４を有し、微細貫通孔４が湾曲部分１４の最下部に形成されている。
【００１４】
そのため、薄肉板１３にバネ性及び剛性を付与することができ、薄肉板１３の厚みを小さくしても、ドラム等を接近させた場合に薄肉板１３が反対方向に逃げることなく、ドラムの形状に追随し、ドラム等を微細貫通孔４の開口部に密着させることが可能となる。又、ドラム等との接触による薄肉板１３の破損を防ぐことができる。なぜなら、最下部における変形が小さくなるため、微細貫通孔からクラックが進展しないからである。さらに、薄肉板１３がドラム等に対して突出することになるため、剛性板９の存在が、ドラム等の微細貫通孔４への接近の妨げとなることもない。
【００１５】
両端が剛性板により支持された薄肉板の部分の幅は、剛性板及びドラムとの密着性、追従性の観点より、０．１〜１０ｍｍであることが好ましく、２〜５ｍｍであることがより好ましい。
【００１６】
本発明のセラミック部材において、薄肉板の厚みは１μｍ以上、５０μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上、４０μｍ以下であることがより好ましい。１μｍ未満の場合は薄肉板の機械的強度が小さくなり、破損しやすくなるからであり、５０μｍを超える場合は、剛性は大きくなるものの、バネ性を付与できなくなり、密着性が低下したり、粒子に対する通過抵抗が大きくなるからである。又、薄肉板は複数の薄肉板より構成されていても良いが、この時においても厚みは上記条件を満たすものとする。
【００１７】
剛性板の厚みは５０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。５０μｍ未満の場合はセラミック部材の機械的強度が小さくなるからであり、５００μｍを超える場合は、装置への部材組付けが困難になる為である。なお、剛性板は単に部材の剛性を上げるだけでなく、その他の機能を有していても良い。
【００１８】
本発明のセラミック部材において、両端が剛性板にて支持された薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線と湾曲部分の最下点を結ぶ直線との距離（湾曲量）は３μｍ以上、剛性板の厚みの１０倍以下であることが好ましい。なお、図５に示すように、「両端が剛性板９にて支持された薄肉板１３の湾曲部分の両端を結ぶ直線１５と湾曲部分１４の最下点を結ぶ直線１６との距離」とは、両直線１５、１６の間に、両直線と直角に交わるように引いた線分１７の長さをいう。なお、線分が一様でない場合はその最大値をいう。湾曲量が３μｍ未満の場合は、薄肉板に十分な剛性及びバネ性を付与することができず、又、剛性板の厚みの１０倍を超える場合は、湾曲部分の曲率が大きくなりすぎ、又、剛性及びバネ性の大きさが不適当となり、又、微細貫通孔の近傍への電極の形成が困難となるからである。
【００１９】
なお、薄肉板の厚みｔｕ（μｍ）、湾曲量Ｔ（μｍ）及び剛性板に両端が支持された薄肉板の部分の幅Ｗ（μｍ）との間には、密着性を向上させる剛性及びバネ性の観点から、下式：
０．０００３μｍ≦〔Ｔ（μｍ）×ｔｕ（μｍ）〕／Ｗ（μｍ）≦１２５μｍで示される関係があることが、適度なバネ性及び剛性の関係より好ましい。
【００２０】
又、本発明のセラミック部材においては、図６に示すように、湾曲部分１４の最下部１８の曲率を、湾曲部分１４の他の部分の曲率より小さくすることも好ましく採用される。それをより具体的に示したのが、図１０のセラミック部材である。湾曲部分１４の曲率を大きくすると薄肉板１３の剛性及びバネ性は大きくなるが、その一方、微細貫通孔４を設ける位置が湾曲部分１４の最下点を結ぶ直線から少しずれただけで、ドラム等と開口部との密着性が急激に低下する。従って、湾曲部分１４の最下点を結ぶ直線近傍（最下部）１８において曲率を小さくすることにより、微細貫通孔４の形成位置が多少ずれた場合にも、密着性の大幅な低下を防ぐことができ、他の部分の曲率を大きく保つことにより、薄肉板１３のバネ性及び剛性を大きく保つことができる。なお、ここでいう曲率とは、図２に示すように、湾曲部分１４の上記他の部分又は最下部１８を円周の一部とする円を想定した場合に、最も良く近似される円の曲率をいう。
【００２１】
表面粗さＲａ（中心線平均粗さ）を、触針５μｍＲ、カットオフ０．０８ｍｍの条件下、サーフコム（東京精密株式会社製）での測定において、１μｍ以下とすることが好ましいが、０．２μｍ以下であることがより好ましい。表面粗さＲａを上記の範囲内とすることにより、密着性をさらに向上させることができる。
【００２２】
なお、図４に示すように、本発明のセラミック部材は２以上の湾曲部分１４を有していてもよい。この場合は、各湾曲部分が上記の湾曲量等に対する条件を満たすものとされる。
【００２３】
又、本発明のセラミック部材は、図９に示すように、剛性板９に設けた矩形の窓部２１に、薄肉板１３をその四方が剛性板９に支持された状態で窓部２１を閉塞するように取り付けたものであって、かつ、  薄肉板１３の湾曲部分１４の両端２２と剛性板９の窓部２１の縁２３との間をつなぐ薄肉板１３の部分２４が剛性板９方向への湾曲２５を有するものであってもよい。外周を剛性板で囲むことにより、ねじれ等の外力に対し、強度を上げる事ができ、薄肉板の破損を防ぐことができる。
【００２４】
本発明のセラミック部材の素材には、特に制限はないが、アルミナ、部分安定化ジルコニア、完全安定化ジルコニア又はこれらの混合物等を用いることができるが、２〜６ｍｏｌ％、望ましくは２．５〜４．０ｍｏｌ％の酸化イットリウムを含有する部分安定化ジルコニアを主成分とすることが好ましく、その平均結晶粒径は２μｍ以下、望ましくは１μｍ以下であることが、セラミック部材の強度及び耐磨耗性を向上させる観点及び適度なヤング率、可変形性を付与する観点より好ましい。
なお、本発明のセラミック部材における薄肉板と剛性板は、主成分として同一のセラミック組成から構成されていることが信頼性の点で望ましい。さらに、薄肉板と剛性板が同時焼成一体化物であることが、信頼性の点でより望ましい。
【００２５】
本発明のセラミック部材において、薄肉板に設けられる微細貫通孔の開口部の形状は特に限定されず、円形、楕円形、矩形若しくは多角形、又はこれらを組み合わせた形状とすることができる。又、開口部の孔径は１５０μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることがより好ましい。ここで、孔径とは、微細貫通孔の形状が円の場合は直径を、楕円形の場合は長径の長さを、矩形の場合は長辺の長さを、多角形の場合は最も長い対角線の長さをいう。
【００２６】
又、微細貫通孔の間隔は、１５０μｍ以下であることが好ましく、８０μｍ以下であることがより好ましい。ここで、微細貫通孔の間隔とは、隣接する微細貫通孔間の開口部の縁の最短距離をいう。
【００２７】
本発明のセラミック部材は、例えば、以下のような方法にて製造される。
まず、セラミック粉末に適当なバインダ、可塑剤、分散剤、焼結助剤、有機溶媒等を配合して調製したスラリー又はペーストをもちいて、ドクターブレード法、カレンダー法、印刷法、リバースロールコータ法等の公知の手法により、所定の厚みを有する薄肉板用及び剛性板用のセラミックグリーンシートを成形する。
【００２８】
次に、必要に応じて切断、切削、打ち抜き、微細貫通孔の形成等の加工を施して所定の形状及び寸法を有する成型物とする。なお、微細貫通孔は、金型／ＮＣパンチング、エキシマレーザ加工等により形成される。
【００２９】
薄肉板用の成型物と剛性板用の成型物とを加熱圧着等により接合した後に、１２００〜１７００℃程度、好ましくは１３００〜１６００℃程度の温度で焼成し、その後、印刷、スパッタ若しくはフォトリソにより電極形成を行う。湾曲部の形成は、剛性板及び薄肉板の焼成過程における収縮率等を制御することにより形成される。又、湾曲部の形成は、焼成前の積層物の状態で湾曲形状を形成した後、焼成して得ることもできる。なお、密着性の観点から局所的突起といった形状はない方が好ましいが、あった場合においてはエッチング法、研磨法、研削法等により除去することも好ましく採用される。
【００３０】
図８に、本発明のセラミック部材を用いたイオン流制御ヘッドの一例を示す。図８のイオン流制御ヘッド１０において、セラミック部材７の電極１を配置した側にはセラミック基板１９を介してイオン発生源５が配置され、他方の側には誘電体ドラム６が配置されている。薄肉板１３は、剛性板９の方向へ湾曲し、その湾曲部分１４の最下部に微細貫通孔４が設けられている。
【００３１】
なお、本発明のセラミック部材は、上記のような構成を有するので、これをフィルター、スクリーン（篩い）、濾過部材などに好ましく使用することができる。
本発明のセラミック部材をフィルター、スクリーン（篩い）、濾過部材に適用した場合の利点を以下に示す。
（１）本発明の部材はセラミックからなるため、耐磨耗性に優れる。
（２）微細貫通孔が形成された薄肉板の厚さを１〜５０μｍと薄くしているため、濾過抵抗を小さくすることができる。
（３）剛性板によって薄肉板を支持する構造であるため、破損し難い。
（４）開口部（微細貫通孔）の密度を大きくすることができるため、濾過面積効率を高くすることができる。
（５）薄肉板部が適度に湾曲しているため、濾過部分が薄くても、濾過耐圧または逆洗耐圧の大きいものとすることができる。すなわち、濾過対象たる粒子通過方向は、湾曲部に対してどちらの場合もあり得るので、図１１に示すように、例えば、Ｘ側からＹ側方向に濾過する場合には、濾過耐圧を大きくすることができ、Ｙ側からＸ側方向に濾過する場合には、逆洗耐圧を大きくすることができる。
【００３２】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３３】
（実施例１）  薄肉板が剛性板方向への湾曲を有し、微細貫通孔が湾曲部分の最下部に形成されているセラミック部材を製造し、このセラミック部材を用いてイオン流制御ヘッドを構成した。
薄肉板の厚みは３０μｍとし、剛性板の厚みは８０μｍとした。又、両端が剛性板により支持された薄肉板の部分の幅は、３．２ｍｍとした。微細貫通孔の孔径は７５μｍ、微細貫通孔４の間隔は８０μｍとし、湾曲量は１０μｍとした。さらに、湾曲部の頂点を結ぶ直線の近傍部分（最下部）の曲率を湾曲部の他の部分の曲率より小さくし、その部分の表面粗さＲａを、触針５μｍＲ、カットオフ０．０８ｍｍの条件下、サーフコム（東京精密株式会社製）での測定において、０．１μｍとした。なお、セラミック部材の材質としては、部分安定化ジルコニアを主成分とするセラミックスを用いた。
【００３４】
このイオン流制御ヘッドを用いて誘電体ドラムへのイオン転写を行った結果、誘電体ドラムと微細貫通孔の開口部との密着性が良好であり、薄肉部分を湾曲させなかった場合に比べ、転写性のよい像が得られた。又、薄肉部分の破損も生じなかった。
【００３５】
【発明の効果】
本発明のセラミック部材は、両端の剛性板にて支持された薄肉板の部分が、剛性板方向への湾曲を有するため、湾曲部分の最下点を結ぶ線上に形成した微細貫通孔とドラム等の密着性がよく、転写不良を防止することができる。又、薄肉板に適当な剛性及びバネ性を付与できるため、薄肉板の厚みを小さくした場合においても、ドラム、ローラー等との接触により薄肉板が破損することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセラミック部材の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明における曲率の概念を示す説明図である。
【図３】従来のセラミック部材を用いたイオン流制御ヘッドの一例を示す断面図である。
【図４】本発明のセラミック部材の他の例を示す斜視図である。
【図５】湾曲量の概念を示す説明図である。
【図６】本発明のセラミック部材のさらに他の例を示す斜視図である。
【図７】本発明のセラミック部材を用いた電界シャッター用ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図８】本発明のセラミック部材を用いたイオン流制御ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図９】本発明のセラミック部材の他の例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ’線断面図、及び（ｃ）Ｂ−Ｂ’線断面図である。
【図１０】本発明のセラミック部材の更に他の例を示す斜視図である。
【図１１】セラミック部材の湾曲部に対する濾過方向を示す説明図である。
【符号の説明】
１…電極、２…固体粒子又はイオン、３…ドラム、４…微細貫通孔、５…イオン発生源、６…誘電体ドラム、７…セラミック部材、８…トナー吐出制御ヘッド、９…剛性板、１０…イオン流制御ヘッド、１１…ライン電極、１２…フィンガー電極、１３…薄肉板、１４…湾曲部分、１５…両端が剛性板にて支持された薄肉板の湾曲部分の両端を結ぶ直線、１６…湾曲部分の最下点を結ぶ直線、１７…直線１５及び直線１６とが直角に交わる線分、１８…湾曲部分の最下点を結ぶ直線近傍（最下部）、１９…セラミック基板、２１…窓部、２２…湾曲部分の両端、２３…窓部の縁、２４…湾曲部分の両端と窓部の縁との間をつなぐ薄肉板の部分。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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