(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定管路に挿入された渦発生体により発生する渦周波数を検出して流量を測定する渦流量計において、
前記渦発生体により発生する渦周波数を検出するように前記測定管路に設けられた第１の圧力センサと該第１の圧力センサに対向して前記測定管路の半径方向に設けられ該第１の圧力センサの検出管路振動ノイズと同相の管路振動ノイズを検出する第２の圧力センサとを具備する第１の圧力センサユニットと、
前記渦発生体により発生する渦周波数を検出するように前記測定管路に設けられた第３の圧力センサと該第３の圧力センサに対向して前記測定管路の半径方向に設けられ該第３の圧力センサの検出管路振動ノイズと同相の管路振動ノイズを検出する第４の圧力センサとを具備し前記渦発生体に対して前記第１の圧力センサユニットに対称に前記測定管路に設けられた第２の圧力センサユニットと、
前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサとの出力を演算して前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサとが検出した管路振動ノイズを除去する第１管路振動ノイズ除去回路と、
前記第３の圧力センサと前記第４の圧力センサとの出力を演算して前記第３の圧力センサと前記第４の圧力センサとが検出した管路振動ノイズを除去する第２管路振動ノイズ除去回路と、
前記第１管路振動ノイズ除去回路と第２管路振動ノイズ除去回路との出力を演算して前記第１の圧力センサと前記第３の圧力センサとが検出した脈動圧ノイズを除去する脈動圧ノイズ除去回路と
を具備したことを特徴とする渦流量計。
【請求項２】
前記圧力センサとして圧電素子が使用されたことを
特徴とする請求項１記載の渦流量計。
【請求項３】
前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサ及び前記第３の圧力センサと前記第４の圧力センサとがそれぞれ前記管壁を挟んで対称に設けられたことを特徴とする請求項１記載の渦流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造コストが低減出来、長期信頼性が向上し、耐振動特性が向上された渦流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図９は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開平３−０２０６１８号（特願平１−０３３２５６号）に示されている。
１０は流体が流れる管路、１１は管路１０に直角に設けられた円筒状のノズルである。
【０００３】
１２はノズル１１とは間隔を保って管路１０に直角に挿入された台形断面を持つ柱状の渦発生体であり、その一端は、ネジ１３により管路１０に支持され、他端はフランジ部１４でノズル１１にネジ或いは溶接により固定されている。
１５は渦発生体１２のフランジ部１４側に設けられた凹部である。
【０００４】
この凹部１５の中には、その底部から順に金属製の第１コモン電極１６、圧電素子１７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２１がサンドイッチ状に配列され、金属製の押圧棒２２でこれ等は押圧固定されている。
さらに、電極板１８からはリ−ド線２３、電極板２０からはリ−ド線２４がそれぞれ端子Ａ、Ｂに引き出されている。
【０００５】
圧電素子１７、２１は、各圧電素子１７、２１の紙面に向かって左側と右側とがそれぞれ逆方向に分極されており、同じ方向の応力に対して互いに上下の電極に逆極性の電荷を発生する。
【０００６】
圧電素子１７に発生した電荷は、電極板１８と接続された端子Ａと、台座１６を介して接続された管路１０との間に得られ、圧電素子２１に発生した電荷は電極板２０と接続された端子Ｂと、押圧棒２０と接続された管路１０との間に得られる。
【０００７】
この２個の電極板１８、２０に発生した電荷は、図１０に示すように電荷増幅器２５、２６に入力される。電荷増幅器２５の出力と、電荷増幅器２６の出力をボリウム２７を介した出力とを、加算器２８で加算して流量信号を得る。この流量信号は、例えば電流出力に変換されて、２線を介して負荷に伝送される（図示せず）。
次に、以上のように構成された渦流量計の動作について図１１と図１２を用いて説明する。
【０００８】
流体が管路１０の中に流れると、渦発生体１２に矢印Ｆで示した方向にカルマン渦による振動が発生する。この振動により渦発生体１２には図１１（ａ）に示すような応力分布とこの逆の応力分布の繰返しが生じ、各圧電素子１７、２１には図１１（ａ）に示す渦周波数を持つ信号応力に対応した電荷＋Ｑ、−Ｑの繰返しが生じる。なお、図１１においては説明の便宜のため電極板１８或いは２１を紙面に対して左右に２つに分割し、かつ上下の一方の電極は台座１６あるいは押圧棒２２に相当するものとしてある。
【０００９】
一方、管路１０にはノイズとなる管路振動も生じる。この管路振動は▲１▼流体の流れと同じ方向の抗力方向、▲２▼流体の流れとは直角方向の揚力方向、▲３▼渦発生体の長手方向の３方向成分に分けられる。このうち、抗力方向の振動に対する応力分布は図１１（ｂ）に示すようになり、１個の電極内で正負の電荷は打ち消されてノイズ電荷は発生しない。また、長手方向の振動に対しては図１１（ｃ）に示すように電極内で打ち消されて抗力方向と同様にノイズ電荷は発生しない。
【００１０】
しかし、揚力方向の振動は信号応力と同一の応力分布となりノイズ電荷が生じる。そこで、このノイズ電荷を消去するために以下の演算を実行する。圧電素子１７、２１の各電荷をＱ１、Ｑ２、信号成分をＳ１、Ｓ２、揚力方向のノイズ成分をＮ１、Ｎ２とし、圧電素子１７、２１で分極を逆とするとＱ１、Ｑ２は次式で示される。
Ｑ１＝Ｓ１＋Ｎ１
−Ｑ２＝−Ｓ２−Ｎ２
【００１１】
ただし、Ｓ１とＳ２、Ｎ１とＮ２のベクトル方向は同じである。ここで、圧電素子１７、２１の信号成分とノイズ成分の関係は図１２（この図は揚力方向のノイズと信号に対する渦発生体の曲げモ−メントの関係を示す）に示すようになっているので、図１０に示すように圧電素子１７側の電荷増幅器２５の出力を加算器２８で加算する際にボリウム２７と共にＮ１／Ｎ２倍して圧電素子２１側の電荷増幅器２６の出力と加算すると、
Ｑ１−Ｑ２（Ｎ１／Ｎ２）＝Ｓ１−Ｓ２（Ｎ１／Ｎ２）
となり管路ノイズは除去される。
【００１２】
しかして、第１コモン電極１６、圧電素子１７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２１は、凹部１５に押圧棒２２で押圧固定されている。ここで渦発生体１２と第１コモン電極１６、圧電素子１７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２１、押圧棒２２との温度膨脹を等しくしておけば、測定流体温度が変化しても、初期の押付け力は変化しないので、問題は無い。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この様な装置においては、
（１）渦発生体上部に渦発生体と一体化した応力検出部を収納するノズル部１１が必要である。このため、管路１０は割高な鋳造物が採用されている。
【００１４】
（２）また、Ｓ／Ｎ比を大きくするためには、応力検出部の長さが、ある程度、長くすることが求められる。この結果、応力検出センサが配置される凹部１５の内径が小さい、小口径用においては、長い穴加工が必要となり、この長い穴加工は容易でなく、微小口径では設計が困難である。
【００１５】
（３）つぎに、ノズル１１と渦発生体１２との間には、隙間が存在するが、この隙間に剛性の高い異物が固着し、支持端を形成すると、図１２に示したモーメントパターンが変化し、耐振動特性が劣化する欠点がある。
（４）口径に比例して、応力検出部の共振周波数が低下し、図１２（ｂ）で想定した曲げモーメントにならず、Ｎ１，Ｎ２での位相差が生じる。このため、大口径での耐振動特性は、高周波で劣化し、大口径での耐振動特性が悪い。
【００１６】
本発明は、この問題点を解決するものである。
本発明の目的は、製造コストが低減出来、長期信頼性が向上し、耐振動特性が向上された渦流量計を提供するにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明は、
（１）測定管路に挿入された渦発生体により発生する渦周波数を検出して流量を測定する渦流量計において、
前記渦発生体により発生する渦周波数を検出するように前記測定管路に設けられた第１の圧力センサと該第１の圧力センサに対向して前記測定管路の半径方向に設けられ該第１の圧力センサの検出管路振動ノイズと同相の管路振動ノイズを検出する第２の圧力センサとを具備する第１の圧力センサユニットと、前記渦発生体により発生する渦周波数を検出するように前記測定管路に設けられた第３の圧力センサと該第３の圧力センサに対向して前記測定管路の半径方向に設けられ該第３の圧力センサの検出管路振動ノイズと同相の管路振動ノイズを検出する第４の圧力センサとを具備し前記渦発生体に対して前記第１の圧力センサユニットに対称に前記測定管路に設けられた第２の圧力センサユニットと、前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサとの出力を演算して前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサとが検出した管路振動ノイズを除去する第１管路振動ノイズ除去回路と、前記第３の圧力センサと前記第４の圧力センサとの出力を演算して前記第３の圧力センサと前記第４の圧力センサとが検出した管路振動ノイズを除去する第２管路振動ノイズ除去回路と、前記第１管路振動ノイズ除去回路と第２管路振動ノイズ除去回路との出力を演算して前記第１の圧力センサと前記第３の圧力センサとが検出した脈動圧ノイズを除去する脈動圧ノイズ除去回路とを具備したことを特徴とする渦流量計。
（２）前記圧力センサとして圧電素子が使用されたことを特徴とする請求項１記載の渦流量計。
（３）前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサ及び前記第３の圧力センサと前記第４の圧力センサとがそれぞれ前記管壁を挟んで対称に設けられたことを特徴とする請求項１記載の渦流量計。
を構成したものである。
【００１８】
【作用】
以上の構成において、測定流体が流されると、渦発生体から渦が放出され、渦発生体の下流側に渦列が形成される。
渦の有する循環流により負圧が生じる。
【００１９】
このため、第１の圧力センサユニツトでは、第１の圧力センサには、前記負圧に対応する応力が発生する。即ち、第１の圧力センサには、前記負圧に対応した信号交番電荷が発生する。
一方、第２の圧力センサには、信号電荷の発生はない。
【００２０】
管路振動に対しては、第１の圧力センサと第２の圧力センサとは、振動加速度により、各々管路振動ノイズ電荷を発生する。
【００２１】
また、測定流体に脈動圧がある場合には、第１の圧力センサに、脈動圧ノイズ電荷が発生する。
一方、第２の圧力センサには、脈動圧ノイズ電荷の発生はない。
【００２２】
次に、第２の圧力センサユニツトでは、第３の圧力センサには、前記負圧に対応した応力が発生する。即ち、第３の圧力センサには、前記負圧に対応した信号交番電荷が発生する。
一方、第４の圧力センサには、信号電荷の発生はない。
【００２３】
管路振動に対しては、第３の圧力センサと第４の圧力センサとは、振動加速度により、各々管路振動ノイズ電荷を発生する。
【００２４】
また、測定流体に脈動圧がある場合には、第３の圧力センサに、脈動圧ノイズ電荷が発生する。
一方、第４の圧力センサには、脈動圧ノイズ電荷の発生はない。
【００２５】
但し、圧力センサは寸法が小さく、共振周波数が高い事と、同じ配管上から、同一の大きさ、位相で加わるので、管路振動ノイズは同相で、大きさは等しい。
【００２６】
脈動圧によるノイズは、第１の圧力センサユニツトと第２の圧力センサユニツトとが互いに対峠して取付られているので、同相で大きさは等しい。すなわち、脈動圧は縦波であり、発生源からの距離が等しければ、位相は同相となる。
【００２７】
各圧電センサの出力は、第１管路振動ノイズ除去回路，第２管路振動ノイズ除去回路によって、それぞれ、管路振動ノイズが除去され、また、脈動圧ノイズ除去回路によって、脈動圧ノイズが除去される。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の平面図、図３は図２の要部詳細説明図、図４は図１の回路構成説明図、図５は図１の動作説明図、図６は図１の動作説明図である。
【００２９】
３１は管路、３２は渦発生体である。渦発生体３２の管路３１への取付方法に付いては、例えば、市販のパイプへ渦発生体３２を溶接して構成しても良い。
また、小口径においては、精密鋳造（ロストワックス）で一体に鋳物にすることにより、コストダウンを図る事も可能である。
【００３０】
３３は、渦発生体３２により発生する渦周波数を検出するように、測定管路３１に設けられた第１の圧力センサ３４と、第１の圧力センサ３４に対向して測定管路３１の半径方向に設けられ、第１の圧力センサ３４の検出管路振動ノイズＮ１と同相の管路振動ノイズＮ１を検出する第２の圧力センサ３５とを具備する第１の圧力センサユニットである。
この場合は、圧力センサは圧電素子が使用されている。
【００３１】
具体的には、この場合は、図３に示す如く、第１の圧力センサユニット３３は、測定管路３１に取付られた第１のホルダ３６の底面に、第１の圧力センサ３４、第１の絶縁体３７、第１の固定体３８、第１の皿ばね３９と順次積み重ねられている。
【００３２】
しかして、第１のホルダ３６に取付られた第２のホルダ４１の底面に、第２の圧力センサ３５、第２の絶縁体４２、第２の固定体４３、第２の皿ばね４４と順次積み重ねられている。
【００３３】
５１は、渦発生体３２により発生する渦周波数を検出するように、測定管路３１に設けられた第３の圧力センサ５２と、第３の圧力センサ５２に対向して測定管路３１の半径方向に設けられ、第３の圧力センサ５２の検出管路振動ノイズＮ２と同相の管路振動ノイズＮ２を検出する第４の圧力センサ５３とを具備し，渦発生体３２に対して第１の圧力センサユニット３３に対称に測定管路３１に設けられた第２の圧力センサユニットである。
この場合は、圧力センサは圧電素子が使用されている。
【００３４】
具体的には、この場合は、図３に示す如く、第２の圧力センサユニット５１は、測定管路３１に取付られた第３のホルダ５４の底面に、第３の圧力センサ５２、第３の絶縁体５５、第３の固定体５６、第３の皿ばね５７と順次積み重ねられている。
【００３５】
しかして、第３のホルダ５４に取付られた第４のホルダ５８の底面に、第４の圧力センサ５３、第４の絶縁体５９、第４の固定体６１、第４の皿ばね６２と順次積み重ねられている。
なお、皿ばねは、圧力センサに対して、予め圧縮力を加え、測定流体の温度変化によりホルダが熱膨張しても、圧縮力を維持するために使用されている。
【００３６】
７１は、チャージコンバータ７２、チャージコンバータ７３をそれぞれ介して、第１の圧力センサ３４と第２の圧力センサ３５との出力を演算して、第１の圧力センサ３４と第２の圧力センサ３５とが検出した管路振動ノイズＮ１を除去する第１管路振動ノイズ除去回路である。
この場合は、差動増幅器７１が使用されている。
【００３７】
７４は、チャージコンバータ７５、チャージコンバータ７６をそれぞれ介して、第３の圧力センサ５２と第４の圧力センサ５３との出力を演算して、第３の圧力センサ５２と第４の圧力センサ５３とが検出した管路振動ノイズＮ２を除去する第２管路振動ノイズ除去回路である。
この場合は、差動増幅器７４が使用されている。
【００３８】
７７は、第１管路振動ノイズ除去回路７１と第２管路振動ノイズ除去回路７４との出力を演算して、第１の圧力センサ３４と第３の圧力センサ５２とが検出した脈動圧ノイズＮ３を除去する脈動圧ノイズ除去回路である。
この場合は、差動増幅器７７が使用されている。
【００３９】
以上の構成において、図２に示す如く、測定流体が流されると、渦発生体３２から渦が放出され、渦発生体３２の下流側に渦列が形成される。
渦の有する循環流により負圧が生じる。
【００４０】
このため、第１の圧力センサユニツト３３では、測定流体に接する第１のホルダ３６の底面には、ΔＰなる圧力変動が加わる事により、第１の圧力センサ３４には、ΔＰなる応力が発生する。即ち、第１の圧力センサ３４には、ΔＰに対応しＳ１なる交番電荷が発生する。
一方、第２の圧力センサ３５には、信号電荷Ｓ１の発生はない。
【００４１】
管路振動に対しては、第１の圧力センサ３４と第２の圧力センサ３５とは、振動加速度により、各々ノイズ電荷Ｎ１を発生する。
【００４２】
また、測定流体に脈動圧がある場合には、第１の圧力センサ３４に、ノイズ電荷Ｎ３が発生する。
一方、第２の圧力センサ３５には、ノイズ電荷Ｎ３の発生はない。
【００４３】
一方、第２の圧力センサユニツト５１では、測定流体に接する第３のホルダ５４の底面には、ΔＰなる圧力変動が加わる事により、第３の圧力センサ５２には、ΔＰなる応力が発生する。即ち、第３の圧力センサ５２には、ΔＰに対応しＳ２なる交番電荷が発生する。
一方、第４の圧力センサ５３には、信号電荷Ｓ２の発生はない。
【００４４】
管路振動に対しては、第３の圧力センサ５２と第４の圧力センサ５３とは、振動加速度により、各々ノイズ電荷Ｎ２を発生する。
【００４５】
また、測定流体に脈動圧がある場合には、第３の圧力センサ５２に、ノイズ電荷Ｎ３が発生する。
一方、第４の圧力センサ５３には、ノイズ電荷Ｎ３の発生はない。
【００４６】
但し、圧力センサ３４，３５，５２，５３は寸法が小さく、共振周波数が高い事と、振動加速度はホルダ３６、４１、あるいはホルダ５４，５８を介して、同じ配管上から、同一の大きさ、位相で加わるので、管路振動ノイズＮ１あるいはＮ２は同相で、大きさは等しい。
【００４７】
脈動圧によるノイズＮ３は、第１の圧力センサユニツト３３と第２の圧力センサユニツト５１とが互いに対峠して取付られているので、同相で大きさは等しい。すなわち、脈動圧は縦波であり、発生源からの距離が等しければ、位相は同相となる。
以上の関係を図５に示す。
【００４８】
図４は、これらの圧力センサ３４，３５，５２，５３の発生電荷からノイズ成分Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３を除去し、信号成分Ｓ１、Ｓ２を得る回路構成例を示したものである。
【００４９】
図４から明らかな様に、各圧電センサ３４，３５，５２，５３の出力は、チャージコンバータ７２、７３、７５、７６によって、低インピーダンスの電圧に変換された後に、第１管路振動ノイズ除去回路（差動増幅器）７１と第２管路振動ノイズ除去回路７４（差動増幅器）によって、それぞれ、管路振動ノイズＮ１、Ｎ２が除去され、また、脈動圧ノイズ除去回路（差動増幅器）７７によって、脈動圧ノイズＮ３が除去される。
【００５０】
ここで、出力ｅＯＵＴは、ｅＯＵＴ＝Ｓ１−Ｓ２となるが、図６に示す如く、Ｓ１とＳ２とは逆位相であることから、信号振幅は減少する事はない。
【００５１】
なお、圧電センサ３４，３５，５２，５３のバラツキ等によって、発生電荷量の大きさに各圧電センサ３４，３５，５２，５３で差異が生じる場合は、各回路７１，７４，７７で調整されれば良い。
【００５２】
この結果、
（１）管路３１に安価な市販の鋼管が使用出来るので、製造コストを低減出来る渦流量計が得られる。この効果は、管路３１が大口径になほど効果が大きくなる。
【００５３】
（２）圧力センサユニット３３，５１は、使用される管路３１の口径が変わっても、基本的には、同じ大きさの圧力センサユニット３３，５１が使用出来るので、量産効果が得られ、製造コストを低減出来る渦流量計が得られる。
【００５４】
（３）圧力センサユニット３３，５１の共振周波数が、構造上高くなり、高周波の管路振動に対しても、圧電センサ３４，３５，５２，５３間でのノイズの位相差が生ぜず、耐震特性が向上された渦流量計が得られる。特に、管路３１が大口径になほど著しいと考えられる。
【００５５】
（４）従来例に於いては、ノズル１１と渦発生体１２との間には、隙間が存在し、この隙間に剛性の高い異物が固着する恐れがあり、耐振動特性が劣化する欠点があるが、本発明において、このような隙間がないので、長期信頼性が向上された渦流量計が得られる。
【００５６】
図７は本発明の他の実施例の要部構成説明図、図８は図７の平面図である。
本実施例においては、第１の圧力センサユニット３３と第２の圧力センサユニット５１とを、渦発生体３２の下流でなく、渦発生体３２と同一面上に配置したものである。要するに、圧力センサユニット３３，５１は、渦発生体３２に基づくカルマン渦による圧力変動が生じている管路３１の管壁上に有れば良い。
【００５７】
また、図１実施例の如く、一直線上に配置する必要はなく、要するに、渦発生体３２を挟んで対称に配置されれば良い。
【００５８】
また、図４の回路構成において、差動増幅器７１，７４，７７によるノイズ成分Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３の除去を示したが、第１の圧電センサ３４と第２の圧電センサ３５での分極方向と第３の圧電センサ５２と第４の圧電センサ５３での分極方向が逆になる様に配置してノイズＮ１、Ｎ２、Ｎ３を除去する様にすれば、第１管路振動ノイズ除去回路７１、第２管路振動ノイズ除去回路７４と脈動圧ノイズ除去回路７７とを、ゲイン調整が容易な加算器によって構成することが出来る。
【００５９】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の請求項１によれば、
（１）管路に安価な市販の鋼管が使用出来るので、製造コストを低減出来る渦流量計が得られる。この効果は、管路が大口径になほど効果が大きくなる。
【００６０】
（２）圧力センサユニットは、使用される管路の口径が変わっても、基本的には、同じ大きさの圧力センサユニットが使用出来るので、量産効果が得られ、製造コストを低減出来る渦流量計が得られる。
【００６１】
（３）圧力センサユニットの共振周波数が、構造上高くなり、高周波の管路振動に対しても、圧電センサ間でのノイズの位相差が生ぜず、耐震特性が向上された渦流量計が得られる。特に、管路が大口径になほど著しいと考えられる。
【００６２】
（４）従来例に於いては、ノズルと渦発生体との間には、隙間が存在し、この隙間に剛性の高い異物が固着する恐れがあり、耐振動特性が劣化する欠点があるが、本発明において、このような隙間がないので、長期信頼性が向上された渦流量計が得られる。
【００６３】
本発明の請求項２によれば、高いキュリー温度を有する圧電素子を選択したので、高温まで使用出来、また、電力の供給が不要であり、センサ部が安価で信頼性の高い渦流量計が得られる。
【００６４】
本発明の請求項３によれば、第１の圧力センサと第２の圧力センサ及び第３の圧力センサと第４の圧力センサとがそれぞれ管壁を挟んで対称に設けられたので、脈動圧が発生している場合でも、脈動圧を簡単に除去出来、安定した測定流体の流量計測が可能な渦流量計が得られる。
【００６５】
従って、本発明によれば、製造コストが低減出来、長期信頼性が向上し、耐振動特性が向上された渦流量計を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２の要部詳細説明図である。
【図４】図１の回路構成説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】図１の動作説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】図７の平面図である。
【図９】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図１０】図９の変換部の要部構成説明図である。
【図１１】図９の動作説明図である。
【図１２】図９の動作説明図である。
【符号の説明】
３１  管路
３２  渦発生体
３３  第１の圧力センサユニット
３４  第１の圧力センサ
３５  第２の圧力センサ
３６  第１のホルダ
３７  第１の絶縁体
３８  第１の固定体
３９  第１の皿ばね
４１  第２のホルダ
４２  第２の絶縁体
４３  第２の固定体
４４  第２の皿ばね
５１  第２の圧力センサユニット
５２  第３の圧力センサ
５３  第４の圧力センサ
５４  第３のホルダ
５５  第３の絶縁体
５６  第３の固定体
５７  第３の皿ばね
５８  第４のホルダ
５９  第４の絶縁体
６１  第４の固定体
６２  第４の皿ばね
７１  第１管路振動ノイズ除去回路（差動増幅器）
７２  チャージコンバータ
７３  チャージコンバータ
７４  第２管路振動ノイズ除去回路（差動増幅器）
７５  チャージコンバータ
７６  チャージコンバータ
７７  脈動圧ノイズ除去回路（差動増幅器）
Ｎ１  管路振動ノイズ
Ｎ２  管路振動ノイズ
Ｎ３  脈動圧ノイズ
Ｓ１  信号成分
Ｓ２  信号成分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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