(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘導型記録ヘッドの順に積層した分離型ヘッドにおいて、上記磁気抵抗効果型再生ヘッドの上部シールド部材を誘導型記録ヘッドの下部磁極として、下部磁極にはそのトラック幅を、上部磁極のトラック幅と同一寸法に規制する切り欠き部を設け、前記切り欠き部は上部シールドを幅Ｗで切り欠いた凹みであり、幅Ｗは記録ヘッドのギャップ長さＧｌ以上の大きさであることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記切り欠き部の深さｄは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０〜１／２の範囲内であることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はハードディスク装置等に使用する薄膜磁気ヘッドに関する。特に記録と再生とを分離し、再生を磁気抵抗効果型ヘッドで行なう記録再生分離型ヘッドの磁気シールドを十分なものとし、かつ、オフトラックに起因する出力低下やノイズを低減したものである。
【０００２】
【従来の技術】
薄膜磁気ヘッドを適用した浮上型磁気ヘッドとして、図３にその断面図を示すように、基体３１上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、誘導型記録ヘッドの順に積層した記録再生分離型薄膜磁気ヘッドがある。図３においては記録ヘッドのパターン形成した下部磁極３６は、再生ヘッドの上部シールド部材３３を兼用しており、記録ヘッドの中心は、アジマス効果を出すために再生ヘッドの中心とはオフセンターｆの分だけずらして構成してある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、オフセンターｆの値は設計するドライブ毎に替えることが必要であり、マスクの準備等生産コストの増加と、複雑な工程管理が必要となる。又、図３の録再分離型薄膜ヘッドに見られるように、オフセンターｆに対して許容性をもたすために、再生ヘッドの下部シールド部材３２と記録ヘッドの下部磁極３６は幅を同一にしてある。このために、記録ヘッドとして見れば、上部磁極３７の幅と下部磁極３６の幅とがその大きさが著しく異なる為に、記録時に記録磁界の書きにじみなどトラック幅方向磁界の乱れが大きくなりノイズ発生要因となる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、記録ヘッドの下部磁極に再生ヘッドの上部シールド材を兼ねさせると共に、上部磁極のトラック幅と実質的に同一寸法に下部磁極のトラック幅を規制する切り欠け部を設けた薄膜磁気ヘッドである。
前記下部磁極の切り欠け部は、例えばオフセンターｆを出すためにパターン形成した上部磁極をトリミングする際に、作成することができる。この場合に、上部磁極の除去する位置をトラック幅方向左右にずらすことにより、オフセンターｆを調整し、除去する部分を調整することによって、トラック幅（Ｔｗ）を変えることができる。上部磁極の除去する位置をトラック幅方向にずらす事により、上部磁極及び下部磁極は僅か左右非対象形となるが、記録特性には何等支障はないものである。
【０００５】
【作用】
下部磁極は、再生ヘッドの磁気シールド材を兼ねているが、上部磁極の幅と実質的に同一寸法のトラック幅を切り欠けによって形成することができる。切り欠き部のトラック方向幅Ｗは、記録時の書きにじみを少なくする為に、記録ヘッドのギャップ長さ（Ｇｌ）と同じか、それよりも長いものとすることが好ましい。切り欠き部の膜厚方向深さｄは磁気シールド効果を減じない程度まで深くすることは可能である。この深さｄは、好ましくは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０〜１／２程度である。
【０００６】
【実施例】
図１は、第１の実施例を説明するための薄膜磁気ヘッドの斜視部分断面図である。スライダーとなる基体１上に磁気抵抗効果型再生ヘッド、その上に誘導型記録ヘッドを積層してある。磁気抵抗効果型ヘッドは磁気シールド層２及び３（３は、記録ヘッドの下部磁極を兼ねる）の間に磁気抵抗効果膜４を積層し、両端を電極５で接続して、電極の間隔を再生ヘッドのトラック幅としている。この上に記録ヘッドの下部磁極６、上部磁極７およびこれらの間にギャップ層８とコイル９を設ける。ここでシールド層および記録磁極はパーマロイなどの軟磁性膜であればよく、他のＣｏ系や、Ｆｅ系の軟磁性膜であってもかまわない。また磁気抵抗効果膜にはパーマロイを用い、膜厚は２０ｎｍとした。また、記録トラック幅は４μｍとし、再生トラック幅は２μｍである。再生ヘッドのトラック幅は記録トラック幅の１／２以下であるため、高再生出力化を計る必要がある。磁気抵抗効果型ヘッドの出力はパーマロイの膜厚を薄くするほど高くできるので、薄膜化による磁気特性や電気特性の劣化が顕著になる限界まで薄くすることが好ましい。さらに、浮上面から見たときの磁気抵抗効果膜の奥行きは、狭いほど高出力化を図ることができる。
【０００７】
なお上記の図中では省略して記載しなかったが、通常磁気抵抗効果型ヘッドでは出力の線形性を向上するために、バイアス磁界を印加する手段が必要である。この方法としてはシャントバイアス、ソトトバイアス、永久磁石バイアスなど従来から知られており、これらのバイアス手段を用いることができる。記録ヘッドと再生ヘッドの中心位置は一般にはずれている。ヘッドがディスクの半径方向にシークすることによって媒体との相対速度が変化するので、浮上量も変化する。磁気抵抗効果型ヘッドの場合、出力は媒体の速度に依存しないため、浮上量の大きい外周側の特性が内周側の特性よりも劣る。これを補うためには、特性劣化のある外周側で最もトラック幅が増大するように、媒体とヘッド間のアジマス角をゼロにすることが好ましい。このため、内周側にシークしていくほど記録ヘッドと再生ヘッドのずれは単調に増加する。したがって、本図に示したようにあらかじめシークによるヘッド間のずれ分だけ記録ヘッドと再生ヘッドの中心をずらしておくことによって、内周側においても常に記録トラックの内側に再生ヘッドがくるようにできるので良好なオフトラック特性を持つ磁気記録装置を提供できる。
【０００８】
また外周側の浮上量を増加させない方法として、媒体との相対速度に関係なく浮上量が一定になる定浮上ヘッドが提案されている（米国特許４，６７３，９９６号  Ｍｒ．Ｊａｍｅｓ  Ｗｈｉｔｅ）ヘッドと媒体の進入角度（ｓｋｅｗ角）を付与する事により浮上量の変化を得、周速による浮上量変化量とｓｋｅｗ角による浮上量変化量を相殺させ定浮上ヘッドを供給するものである。しかしこの場合においても、シークによるヘッド間のずれ分だけ記録ヘッドと再生ヘッドの中心をずらしておく事によりより良好なオフトラック特性が得られる事は言うまでもない。
【０００９】
上部磁極のトリミングは、レジストマスクを利用して、ＩＢＥ（Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）やＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ）等を用いて行い、同時に上部シールドを兼ねる下部磁極に切り欠きを設けるエッチングを行う。
図２には別の実施例の上部磁極２７、下部磁極２８の断面図を示して有る。同図は、磁気ディスク面から見たヘッドの断面図である。下部磁極は、再生ヘッドの磁気シールドを兼ねているが、上部磁極の幅とほぼ同一寸法のトラック幅を一対の切り欠き部によって形成することができる。切り欠き部のトラック方向幅ｗは記録時に書きにじみを少なくする為に、記録ヘッドのギャップ長さ（Ｇ１）と同じか、それよりも長いものとすることが好ましい。切り欠き部の膜厚方向深さｄは磁気シールド効果を減じない程度まで深くすることは可能である。この深さｄは、好ましくは、下部磁極膜厚Ｇの１／４０から１／２程度である。
【００１０】
【発明の効果】
本発明により、工程を複雑にすることなく、上部磁極のトリミングに依って上部磁極の中心線と再生ヘッドの中心線のズレ量（オフセンターｆ）を上部磁極形成後に、精度良く得ることができる。
また、記録用上下磁極幅がほぼ同一になる事により記録時の書きにじみによる実質的な書き込みトラック幅の増加をおさえる事ができる。本発明により、上部磁極を形成した後、オフセンターｆと記録トラック幅を前述方法により得る為、オフセンターｆと記録トラック幅の組合せ自由度が飛躍的に増大する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の薄膜磁気ヘッドの斜視部分断面図である。
【図２】本発明の別の実施例の断面図である。
【図３】従来の薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【符号の説明】
１  基板
２    下部磁気シールド層
３    上部磁気シールド層
４  磁気抵抗効果膜
５  電極
６  下部磁極
７  上部磁極
【図１】
0003578471.tif 000002
【図２】
0003578471.tif 000003
【図３】
0003578471.tif 000004