(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面に載置面を有し、この載置面に被計測物を載置するテーブルと、
垂直面に置かれ、面上に座標、寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、
前記被計測物からの距離と前記マーカ板からの距離が等しく、且つ、前記水平面及び前記垂直面に対して４５°の角度を有する平面に配置されたハーフミラー手段と、
前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成され、
前記テーブル及び前記マーカ板と、前記読取手段とは、１次元、或いは２次元の相対運動を行うように構成されていることを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記テーブルと前記マーカ板は静止し、
前記読取手段は、１次元、或いは２次元の運動を行う構成を有する請求項１の計測装置。
【請求項３】
前記読取手段は静止し、
前記テーブルと前記マーカ板は、前記水平面と前記垂直面で対応する１次元、
或いは２次元の運動を等速で行う構成を有する請求項１の計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は計測装置に関し、特に、測定に視差が生じないようにして、計測精度を向上させた計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の計測装置として、例えば、平成６年５月２６日付けで本出願人によって特許出願されたものがある。
【０００３】
この計測装置は、図３、及び図４に示されているように、Ｘ，Ｙ方向の運動を行うテーブル１と、テーブル１上に載置された被計測物（打抜きパンチ，リードフレーム等のワークピース）２と、被計測物２の任意の点と後述するマーカ板４のマーカ４Ａの値を可視光等によって読み取るＣＣＤカメラ等の読取装置３と、テーブル１と読取装置３との間に配置され、テーブル１と共通の運動を行うマーカ板４より構成されている。
【０００４】
マーカ板４は、面上に座標のマーカ４Ａを有すると共に、可視光を通過させる材質、例えば、ガラス等より構成され、読取装置３の対物レンズの焦点深度の関係から、被計測物２から所定の距離だけ離して配置されている。
【０００５】
読取装置３は、テーブル１上の被計測物２の任意の点と、テーブル１と共通の運動を行うマーカ板４のマーカ４Ａの被計測物２の任意の点に対応する値を可視光によって読み取るように構成されている。
【０００６】
以上の構成を有する計測装置において、読取装置３に対して被計測物２が載置されたテーブル１をＸ，Ｙ方向に運動させると、読取装置３が被計測物２の任意の点と、この点と対応するマーカ板４のマーカ４Ａの値を可視光によって読み取るようになっている。すなわち、１つの読取装置３によって被計測物２とテーブル１の移動量を同時に読み取り、テーブル１に変形等があっても、被計測物２の任意の点と座標値を直接、関連づけて読み取るため、高い計測精度を得ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、提案されている計測装置によると、被計測物とマーカ板はある距離だけ離れて配置されているため、読取装置との間の光学的距離に差が生じ、その結果、視差によるずれが生じて計測精度を低下させる。
【０００８】
従って、本発明の目的は計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分に向上させることができる計測装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点に鑑み、計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分に向上させるため、水平面に載置面を有し、この載置面に被計測物を載置するテーブルと、
垂直面に置かれ、面上に座標、寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、
前記被計測物からの距離と前記マーカ板からの距離が等しく、且つ、前記水平面及び前記垂直面に対して４５°の角度を有する平面に配置されたハーフミラー手段と、
前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成され、
前記テーブル及び前記マーカ板と、前記読取手段とは、１次元、或いは２次元の相対運動を行うように構成された計測装置を提供するものである。
【００１０】
上記読取手段は、１次元、或いは２次元の運動を行うように構成されている。また、読取手段を運動させる代わりに読取手段を固定しておき、テーブルとマーカ板を対応させた１次元、或いは２次元の等速運動を水平面と垂直面で行わせるようにしても良い。
【００１１】
【作用】
上記構成に基づく本発明の計測装置は、読取手段から等距離に配置された被計測物の任意の点とマーカ板のマーカの前記任意の点に対応する値を読取手段がハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取るようになっているため、読取装置との間の光学的距離を等しくでき、その結果、計測に視差が生じないようにして、計測精度を向上させることができる。更に、読取手段が変動して光路が傾斜してもハーフミラー手段を介した被計測物とマーカ板の読取点の対応関係が崩れることがなく、更に計測精度を向上させることができる。
【００１２】
【実施例】
以下、本発明の計測装置について添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】
図１，及び図２には、本発明の計測装置の一実施例が示されている。この計測装置は、水平面に被計測物２を載置するテーブル１と、テーブル１に対して垂直に配置されたマーカ板４と、被計測物２からの距離とマーカ板４からの距離が等しくなる位置にテーブル１、及びマーカ板４に対して４５°の角度を有して配置されたハーフミラー６と、被計測物２の任意の点とマーカ板４の任意の点に対応するマーカ４Ａの値をハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取るＣＣＤカメラ等の読取装置３と、読み取ったマーカ４Ａの値を演算する演算装置５より構成されている。
【００１４】
マーカ板４は、面上に測定単位として図４に示されるような座標のマーカ４Ａを有して構成されている。マーカ４Ａとしては、寸法，角度等の測定単位でも良い。
【００１５】
読取装置３は、１次元、或いは２次元、つまり、Ｘ，Ｙ方向の運動を行うように構成されている。
【００１６】
以上の構成を有する計測装置において、読取装置３をＸ，Ｙ方向に運動させると、読取装置３がテーブル１上の被計測物２の任意の点をハーフミラー手段の透過光によって読み取り、これと同時に被計測物２の任意の点と対応するマーカ板４のマーカ４Ａの値をハーフミラー手段の反射光によって読み取り、演算装置５がその読取値を演算して被計測物２の計測を行う。
【００１７】
このとき、被計測物２とマーカ板４が読取装置３から等距離に配置されているため、読取装置３との間の光学的距離を等しくでき、その結果、計測に視差が生じないようにして、計測精度を向上させることができる。更に、読取装置３が変動して光路が傾斜してもハーフミラー６を介した被計測物２とマーカ板４の読取点の対応関係が崩れず、更に計測精度を向上させることができる。
【００１８】
なお、以上の実施例では、読取装置３を運動させるようにしたが、読取装置３に代えて、テーブル１とマーカ板４を対応させた１次元、或いは２次元の等速運動を水平面と垂直面で行わせるようにしても良い。また、被測定物２を透過光で、マーカ４Ａを反射光で読み取ったが、被計測物２を反射光で、マーカ４Ａを透過光で読み取るようにしても良い。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の計測装置によると、水平面に載置面を有し、この載置面に被計測物を載置するテーブルと、
垂直面に置かれ、面上に座標、寸法、角度等の測定単位のマーカを有したマーカ板と、
前記被計測物からの距離と前記マーカ板からの距離が等しく、且つ、前記水平面及び前記垂直面に対して４５°の角度を有する平面に配置されたハーフミラー手段と、
前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの前記任意の点に対応する値を前記ハーフミラー手段の透過光と反射光によって読み取る読取手段から構成され、
前記テーブル及び前記マーカ板と、前記読取手段とは、１次元、或いは２次元の相対運動を行うように構成されているため、計測に視差が生じないようにして、計測精度を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す側面図。
【図２】本発明の一実施例を示す上面図。
【図３】従来の計測装置を示す側面図。
【図４】従来の計測装置を示す上面図。
【符号の説明】
１      テーブル
２      被計測物
３      読取装置
４      マーカ板
４Ａ    マーカ
５      演算装置
６      ハーフミラー
【図１】
0003542381.tif 000002
【図２】
0003542381.tif 000003
【図３】
0003542381.tif 000004
【図４】
0003542381.tif 000005