(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造式がFeSi2+x (但し、x=0〜1.5であり、Feの一部をMn、Cr、Ti、Co、Al、Zr、V、Cu、Mg、Ag、Pb、Mo、Te、Se、Sから選択される添加元素の少なくとも一種で置換することができる)である溶解インゴットを不活性ガス雰囲気中で粗粉砕した後、不活性ガスによりジェットミル粉砕して合金粉末となし、該合金粉末におけるFeとSi、またはFe及び添加元素とSiの原子比率が1:2の割合になるように鉄粉を添加して混合することを特徴とするFeSi2系熱電変換素子用原料粉末の製造方法。
【請求項２】
請求項1において、ジェットミル粉砕粉に鉄粉を添加して混合したスラリーを、スプレードライヤー装置により造粒するFeSi2系熱電変換素子用原料粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ＦｅＳｉ２系合金粉末の製造方法に係り、高い焼結密度を有し、良好な熱電変換効率を有するＦｅＳｉ２系熱電変換素子を得るため、不活性ガスでジェットミル粉砕して得た微粉砕粉に所定量の遷移金属粉末を混合することにより、残留酸素量が少なく、平均粒径数μｍ以下の微粉末が容易に得られるＦｅＳｉ２系熱電変換素子用原料粉末の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
鉄硅化物（ＦｅＳｉ２）にそれぞれマンガン（Ｍｎ）またはコバルト（Ｃｏ）等の適性不純物を添加したＰ型半導体とＮ型半導体とを一端側で接合して形成したＵ字型の熱電変換素子は、温度差を与えるだけで簡単に起電力を生じ、また、優れた耐熱性酸化性を有し、かつ安定な特性を維持できることから、熱エネルギーの有効利用化への要求が高まっている今日、実用化が期待されているデバイスである。
【０００３】
しかしながら、これらＵ字型の熱電変換素子を溶製した材料で作製すると、ミクロ偏析が多く、また多孔質で亀裂が多く脆くなることが知られており、ＦｅＳｉ２熱電交換材料の作製には、粉末冶金法が最も適しているとされている。従って、ミクロ偏析がなく、かつ高密度化して残留気孔を極力減らした粉末焼結体を得るために、良質の原料粉末が要望されている。
【０００４】
現在では、ＦｅＳｉ２系合金粉末は、一般にディスクミル等による鋳塊・粉化法、アトマイズ法、ボールミル粉砕等によって焼結合金と同一組成に作製されているが、これらの原料粉末は、いずれも製造工程が煩雑でコストが高く、また平均粒度も数μｍから数十μｍと比較的大きく、かつ残留酸素量の多い原料粉末であることはよく知られている。
このために、従来のＦｅＳｉ２系合金粉末では、緻密な焼結部品を作製するのは困難であり、また得られた熱電変換効率特性も十分とは言い難いものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、合金鋳塊を粗粉砕後、ディスクミル或いはボールミルにて粉砕した微粉砕粉の平均粒径は、数μｍから数十μｍあり、粉末冶金法による粉末としては大きいために、前述したように高密度の焼結体を作製することは困難である。
【０００６】
また、アトマイズ法による原料粉末は、水アトマイズとガスアトマイズによって異なるが、平均粒径はいずれも数μｍ程度であり、緻密な焼結体を作製する上では問題ないが、特に水アトマイズ粉では残留酸素量が１０，０００ｐｐｍを越え、またガスアトマイズ粉でも数千ｐｐｍを越えるために、焼結体中に残存する残留酸素量を増加させ、熱電変換効率を大幅に低下させる要因になっていた。
【０００７】
この発明は、ＦｅＳｉ２系熱電変換素子を得るため、粉末冶金法により高特性を有するＦｅＳｉ２系焼結合金を製造するための原料粉末の製造方法の提供を目的とし、原料合金粉末の酸化を抑制し、かつ平均粒径が数μｍ以下の微粉末の原料粉末を安価に製造できるＦｅＳｉ２系熱電変換素子用原料粉末の製造方法の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
発明者らは、酸化を抑制した微粉末のＦｅＳｉ２系合金粉末を作製する方法を種々に検討した結果、ＦｅＳｉ２系の溶解インゴットを不活性ガス雰囲気中で粗粉砕した後、不活性ガスを用いたジェットミル粉砕を行うことにより、含有酸素量が非常に少なく、かつ平均粒径の非常に小さい微粉末を作製できることを知見した。すなわち、ＦｅＳｉ２系合金粗粉がジェットミル粉砕できること、また非常に小さな微粉末にすることができることにより、従来の原料粉末に比べて、含有酸素量を大幅に低減できることを知見した。
【０００９】
さらに発明者らは、一般に、ＦｅＳｉ２系合金粗粉は焼結合金と同一組成で作製されるが、例えば、よりＳｉリッチにしてζ  相を含有させて、脆性破壊を起こし易くし、粗粉砕・微粉砕時の粉砕効率を上げることも可能であること、この際の鉄の不足分は安価な鉄粉、例えばカーボニル鉄粉をＦｅＳｉ２系合金のジェットミル粉砕に添加混合して、所定の組成に調整し、鉄粉の添加により成形時の圧縮性を良好にすることもできる利点があることを知見し、この発明を完成した。
【００１０】
すなわち、この発明は、構造式がFeSi2+x (但し、x=0〜1.5であり、Feの一部をMn、Cr、Ti、Co、Al、Zr、V、Cu、Mg、Ag、Pb、Mo、Te、Se、Sから選択される添加元素の少なくとも一種で置換することができる)である溶解インゴットを不活性ガス雰囲気中で粗粉砕した後、不活性ガスによりジェットミル粉砕して合金粉末となし、該合金粉末におけるFeとSi、またはFe及び添加元素とSiの原子比率が1:2の割合になるように鉄粉を添加して混合することを特徴とするFeSi2系熱電変換素子用原料粉末の製造方法である。
【００１１】
また、この発明は、上記の製造方法において、ジェットミル粉砕粉に遷移金属粉末を添加して混合したスラリーを、スプレードライヤー装置により造粒するＦｅＳｉ２系熱電変換素子用原料粉末の製造方法を併せて提案する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の対象とするＦｅＳｉ２系合金の組成において、ＦｅＳｉ２系合金それ自体が脆弱であるために、不活性ガスを用いたジェットミルによる微粉砕が可能であり、特に有効であるが、さらにＦｅＳｉ２＋ｘ（ｘ＝０．０〜１．５）系合金にすることにより、ζ相を含有させてより脆弱にすることができる。ＦｅＳｉ２の組成を越えてＳｉを多量に含むと粉砕はより容易になるが、酸化しやすくなり、結果的には焼結後に気孔を多く含むことになる。逆にＦｅＳｉ２組成により少ないＳｉ量でもジェツトミル粉砕は可能であるが、所要組成であるＦｅＳｉ２の化学量論的成分にするためには、粉砕後に活性なＳｉの粉末を添加しなければならず、これは混合粉末の酸素含有量を増やすことになる。
【００１３】
この発明によるFeSi2系合金粉末を得るためには、公知のFeSi2系合金粉末の原料作製方法を適宜採用することができ、例えば、従来公知の方法で得たFeSi2+x(x=0〜1.5)の鋳塊を粗粉砕した後、ジェットミル粉砕した粉末に、Fe粉を添加混合して所要組成に調整した粉末となすほか、さらには熱電交換効率を改善するために、Mn,Cr,Ti,Co,Al,Zr,V,Cu,Mg,Ag,Pb,Mo,Te,Se,Sなどの添加元素を加えた合金をジェットミル粉砕粉にして用いることができる。また、この発明において、合金鋳塊を粗粉砕後、不活性ガスを用いたジェットミル粉砕により微粉砕するが、その平均粒径が1μm未満では粉末が酸化しやすく、また5μmを越えると焼結密度が低下するため、1μm〜5μmの平均粒径が望ましい。
【００１４】
この発明において、Ｆｅ粉を添加混合した場合に、焼結後にβ相のＦｅＳｉ２焼結体が得られるのは、次式、２ＦｅＳｉ２＋ｘ＋ｘＦｅ＝（２＋ｘ）ＦｅＳｉ２  の中でｘが０〜１．５の範囲である。母原料であるＦｅＳｉ２系合金組成のＳｉ含有量はＦｅＳｉ３．５までであり、それを越えるＳｉ含有量の組成合金粉末ではＦｅ粉を添加混合しても、焼結後にβ相単一相が得られない。特に圧縮成形の圧縮性と残留酸素量の点からは、ｘ＝０．１〜０．５の範囲のＦｅＳｉ２＋ｘ系合金粉末にｘ／２だけ鉄粉を添加混合した粉末が最も望ましい。
【００１５】
また、この発明において、ジェットミル粉砕粉に、遷移金属元素と硅素の原子比率が１：２の割合になるように遷移金属粉末を添加して混合する方法は、特に限定しないが、例えば、Ｖコーンなどで混合する他、上述のごとく粉末を酸化させないために、万能撹拌機、プラネタリーミキサー、スピードミキサーなどにより不活性ガス雰囲気中で撹拌する方法も有効である。さらに、プレス成形時の粉体の流動性を向上させ、プレス成形時の単重ばらつきを低減して寸法精度を向上させるとともに焼結密度を向上させるために、スプレードライヤー装置にて造粒する工程が最も有効である。造粒方法は他に流動層による造粒、撹拌造粒等があるが、バインダーの添加量をスプレードライヤーの場合の２倍以上に増量する必要が有り、特に酸化しやすい粉末には適していない。
【００１６】
【実施例】
実施例１
表１に示す組成の溶解インゴットをＮ２ガス中で、スタンプミル粉砕した後、Ｎ２ガスにより、ジェットミル粉砕を実施し、表１に示すような平均粒径と含有酸素量をもった微粉砕を作製した。次に、表２に示すようにこの微粉末にカーボニル鉄粉（Ｏ：３２００ｐｐｍ）を添加して、Ｖコーンで混合して表２に示す原料粉末にポリビニールアルコール（ＰＶＡ）０．２ｗｔ％、水５４ｗｔ％を添加し、さらに潤滑剤としてグリセリンを０．０５ｗｔ％添加し、室温で混合、撹拌を行いスラリー状となし、該スラリーをディスク回転型スプレードライヤー装置により不活性ガスとしてＮ２ガスを用い、熱風入口温度１００℃、出口温度４０℃に設定して造粒を行った。
【００１７】
上記造粒粉を圧縮プレス機を用いて圧力２Ｔ／ｃｍ２で、長さＬ１００ｍｍ×厚みＤ８ｍｍ×幅Ｗ３０ｍｍのＵ字状の金型に、Ｕ字底の部分がＰＮ接合の接合部になるように、Ｕ字の半分の金型にＰ型半導体用の造粒粉（原料Ｎｏ．２，４，６）を充填し、残りの半分の金型にＰ型半導体と同一のバインダーで造粒したＮ型半導体用の造粒粉（原料Ｎｏ．１，３，５）を充填した後、１−２、３−４、５−６のペアでＵ字型状に圧縮成形した。
【００１８】
該成形体を水素雰囲気中で室温から６００℃までを昇温速度１００℃／時間で加熱する脱バインダー処理を行い、引続いて真空中で１１５０℃まで昇温し、２時間保持して焼結し、さらに焼結後、α−Ｆｅ２Ｓｉ５とε−ＦｅＳｉの共晶合金を消滅させてβ相を晶出させるために、７９０℃で５時間熱処理して図１に示すように、Ｐ型半導体１とＮ型半導体２をＰＮ接合部３で一体化したＵ字型状熱電変換素子を作製した。得られた焼結体にはヒビ、ワレ、変形等はなかった。
【００１９】
成形時の粉体の流動性及び得られた焼結体の相対密度、残留酸素量、残留炭素量、高温部と低温部の温度差４００℃での熱電変換素子材料の熱起電力を表３に示す。なお、熱電変換素子の熱起電力特性は、熱電変換素子のＰＮ接合部をヒーター加熱し、Ｕ字状の熱電変換素子の両端部を送風機により冷却して、高温部と低温部の温度差ΔＴによって生成される熱起電力をデジタルマルチメーターで測定した。
【００２０】
比較例１
市販のガスアトマイズ粉末（表１のＮｏ．７，Ｎｏ．８の原料粉末）に、実施例１と同一のバインダー、水、潤滑剤を添加し、混合、撹拌してスラリーを作製し、実施例１と同一条件でスプレー造粒した後、実施例１と同一条件で脱バインダー、焼結を行って焼結体を作製した。実施例１と同一条件で評価、測定した結果を表３に示す。得られた焼結体にはヒビ、ワレ、変形等はなかった。
【００２１】
【表１】
0003579186.tif 000002
【００２２】
【表２】
0003579186.tif 000003
【００２３】
【表３】
0003579186.tif 000004
【0024】
【発明の効果】
この発明によるFeSi2系熱電変換素子用原料粉末は、実施例に示すごとく、不活性ガスでジェットミル粉砕して得た、微粉砕粉に所定量の鉄粉を混合することにより、残留酸素量が少なく、平均粒径数μm以下の微粉末が容易に得られ、さらに、スプレードライヤー装置によりスプレー造粒した後、プレス、焼結することにより、高い焼結密度を有し、良好な熱電変換効率を有するFeSi2系熱電変換素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるＦｅＳｉ２系熱電変換素子用原料粉末を用いて作成したＵ字型熱電変換素子の斜視説明図である。
【符号の説明】
１  Ｐ型半導体
２  Ｎ型半導体
３  ＰＮ接合部
【図１】
0003579186.tif 000005