(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
書込み用のヘッドと読出用のＭＲヘッドを有する磁気ヘッドを使用して磁気ディスクのサーティファイを行うサーティファイアにおいて、
前記磁気ディスク上の所定のトラックに前記磁気ヘッドを移動させる磁気ヘッド移動機構と、
最大駆動電圧を有し、駆動電圧に応じて伸長または縮小して前記磁気ヘッドを前記トラックを横断する方向に微小移動させるピエゾアクチュエータとを備え、
前記ピエゾアクチュエータの特定のヒステリシス特性上における任意の点ｐにおいて前記書込用のヘッドにより前記トラックにテストデータを書込んで、前記点ｐから前記ピエゾアクチュエータにより前記ＭＲヘッドを微小移動させて移動させた点において前記書込んだテストデータを前記ＭＲヘッドにより読出して前記テストデータの最大読出電圧に対応する前記駆動電圧を得て、
サーティファイにおいて、前記点ｐに設定された前記書込用のヘッドによりある被検査磁気ディスクのトラックに前記テストデータまたはあるテストデータを書込み、この書込まれたテストデータを前記ＭＲヘッドにより読出すときに前記最大読出電圧に対応する前記駆動電圧を前記ピエゾアクチュエータに加えて前記ＭＲヘッドの位置を補正するＭＲヘッドのオフセツト補正方法。
【請求項２】
さらに、前記最大読出電圧に対応する前記駆動電圧を得る過程として、
前記ピエゾアクチュエータの前記駆動電圧を増加して前記特定のヒステリシス特性の原点から所定の駆動電圧まで増加させることによりあるいは前記最大駆動電圧を通ったときには前記駆動電圧を減少させて前記所定の駆動電圧にすることにより前記点ｐに前記磁気ヘッドを設定して前記トラックに対して前記書込み用ヘッドにより前記テストデータを書込むテストデータ書込段階と、
前記テストデータを書込んだ後において、前記所定の駆動電圧が前記最大駆動電圧を通ったものでないときには前記駆動電圧を所定量増加させて現在の位置から前記磁気ヘッドを微小量移動させて前記テストデータを読出し、前記所定の駆動電圧が前記最大駆動電圧を通った後のときには前記駆動電圧を所定量減少させて前記現在の位置から微小量移動させて前記テストデータを読出すものであり、前記微小量の移動を複数回繰り返して複数回前記テストデータを読出すテストデータ読出段階と、
前記複数回の微小量移動に対応する各前記駆動電圧に対応して前記テストデータの読出電圧とを得て、この読出電圧が最大となる駆動電圧を検出する駆動電圧検出段階とからなり、
前記サーティファイにおいては、前記テストデータを書込んだときの前記所定の駆動電圧と前記検出された駆動電圧とに基づいて前記ピエゾアクチュエータを制御して前記ＭＲヘッドの位置を補正する請求項１記載のＭＲヘッドのオフセツト補正方法。
【請求項３】
前記特定のヒステリシス特性はメジャーループであり、前記読出電圧が最大となる駆動電圧は最大値の領域として検出され、前記検出された駆動電圧が前記最大値の領域の中から選択されるものであり、前記サーティファイにおける前記ＭＲヘッドのオフセット補正は、前記被検査磁気ディスクの各トラックへの位置決めの都度前記メジャーループの原点に戻り、この原点から前記所定の駆動電圧に基づいて前記点ｐに前記磁気ヘッドを設定し、前記テストデータあるいは前記あるテストデータを書込み、この書込まれたテストデータを読出すときに前記検出された駆動電圧に設定する請求項２記載のＭＲヘッドのオフセツト補正方法。
【請求項４】
書込み用のヘッドと読出用のＭＲヘッドを有する磁気ヘッドを使用して磁気ディスクのサーティファイを行うサーティファイアにおいて、
前記磁気ディスク上の所定のトラックに前記磁気ヘッドを移動させる磁気ヘッド移動機構と、
最大駆動電圧を有し、駆動電圧に応じて伸長または縮小して前記磁気ヘッドを前記トラックを横断する方向に微小移動させるピエゾアクチュエータとを備え、
前記ピエゾアクチュエータの特定のヒステリシス特性上における任意の点ｐにおいて前記書込用のヘッドにより前記トラックにテストデータを書込んで、前記点ｐから前記ピエゾアクチュエータにより前記ＭＲヘッドを微小移動させて移動させた点において前記書込んだテストデータを前記ＭＲヘッドにより読出して前記テストデータの最大読出電圧に対応する前記駆動電圧を補正駆動電圧として得る補正電圧検出手段とを備え、
前記点ｐに設定された前記書込用のヘッドによりある被検査磁気ディスクのトラックに前記テストデータまたはあるテストデータを書込み、この書込まれたテストデータを前記ＭＲヘッドにより読出すときに前記最大読出電圧に対応する前記駆動電圧を前記ピエゾアクチュエータに加えて前記ＭＲヘッドの位置を補正する磁気ディスクサーティファイア。
【請求項５】
書込み用のインダクティブヘッドと読出用のＭＲヘッドとよりなる磁気ヘッドを使用する磁気ディスクサーティファイアにおいて、
前記磁気ディスク上の所定のトラックに前記磁気ヘッドを移動させる磁気ヘッド移動機構と、
最大駆動電圧を有し、駆動電圧に応じて伸長または縮小して前記磁気ヘッドを前記トラックを横断する方向に微小移動させるピエゾアクチュエータとを備え、
あらかじめ前記駆動電圧を０Ｖから所定の駆動電圧Ｖｐに増加してあるいは前記ピエゾアクチュエータの前記最大駆動電圧を通って所定の駆動電圧Ｖｐ’まで減少させて、前記インダクティブヘッドを前記ピエゾアクチュエータのメジャーループのヒステリシス特性における往路の途中の任意の点ｐあるいは復路の途中の任意の点ｐ’に前記磁気ヘッドを設定して磁気ディスクの適当なトラックの位置にテストデータを書込む書込手段と、
前記駆動電圧Ｖｐを漸次に増加して前記磁気ヘッドを前記往路に沿って微小量移動し、または前記駆動電圧Ｖｐ’を漸次低減して前記磁気ヘッドを前記復路に沿って微小量移動し、前記微小量の移動ごとに前記書込まれたテストデータを読出してこのテストデータの読出電圧の最大値の領域を前記往路あるいは前記復路のいずれかにおいて検出してさらに前記最大値の領域の中央位置の駆動電圧値を検出する駆動電圧値検出手段と、
前記最大値の領域が前記往路で検出されたときは前記往路の情報と前記検出された駆動電圧と前記駆動電圧Ｖｐとに基づいて、前記最大値の領域が前記復路で検出されたときは前記復路の情報と前記検出された駆動電圧と前記駆動電圧Ｖｐ’とに基づいて前記ピエゾアクチュエータを制御して前記インダクティブヘッドに対する前記ＭＲヘッドのオフセット補正を行うオフセツト補正手段とを備える磁気ディスクサーティファイア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ＭＲ（磁気抵抗効果）ヘッドのオフセット補正方法および磁気ディスクサーティファイアに関し、詳しくは、ＭＲヘッドにより磁気ディスクをサーティファイする磁気ディスクサーテファイにおいて、書込み用のインダクティブヘッドと読出用のＭＲヘッドのオフセットに対する補正が簡単にできるようなＭＲヘッドのオフセット補正方法およびＭＲヘッドを用いる磁気ディスクサーティファイアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスクドライブに組み込まれるハード磁気ディスクは、製造された後に単体の状態でサーティファイアにより磁気媒体として電気的な性能についてサーティファイされ、その品質がランク別に判定される。これにより磁気ディスクは、区分けされたランクのものとしての保証がなされる。
【０００３】
図７は、従来のサーティファイアの概略構成を示している。また、図８は、キャリッジとヘッドとの関係を示している。
ハード磁気ディスク（以下単にディスク）１は、スピンドル２に装着されて回転する。このディスクの表裏に配置される磁気ヘッド３Ａ，３Ｂ（図８参照）は、それぞれのサスペンションスプリング３１，３１を介して支持アーム６１，６１に支持されている。そして、キャリッジ機構６にそれぞれの支持アーム６１が取付けられている。磁気ヘッド３Ａ，３Ｂは、データ書込み用にインダクティブヘッドを、データ読出用にＭＲヘッドを有している。各磁気ヘッドは、キャリッジ機構６によりディスク１の半径の方向に沿って移動して、その表裏両面の複数のトラックＴＲに順次位置決めされ、各トラックごとに電気的な性能の検査がなされる。
【０００４】
ここで、キャリッジ機構６とスピンドル２等の駆動系は、データ処理装置４８により駆動制御回路６０によりその移動や回転が制御される。
なお、磁気ヘッド３Ａ，３Ｂについてはそれぞれが表裏に配置される点を除けば、同様な構成であり、同様な動作をするるので、以下では、これらを区別せずに単に磁気ヘッド３として説明する。また、磁気ヘッド３と支持アーム６１との関係は、磁気ヘッド３が支持アーム６１の移動方向の延長線上に取付けられるものと、支持アーム６１の移動方向に対して直角方向に取付けられるものとがあるが、図では延長線上に配置されるものを示してある。
【０００５】
サーティファイについて説明すると、図７において、まず、欠陥検査回路４のテスト信号発生回路４１が発生する周波数ｆ０のテスト信号ＳＴが、書込制御回路４２に加えられる。このテスト信号ＳＴに従ってそれに対応するテストデータが書込制御回路４２で生成されて書込／読出アンプ４３に加えられる。生成されたテストデータは、書込／読出アンプ４３から所定のレベルの書込電流に換えられて磁気ヘッド３を介して磁気ディスク１の各トラックＴＲに順次書込まれる。
磁気ディスク１上の全トラックＴＲに対してテストデータの書込みが終了すると、書込まれたテストデータは、磁気ヘッド３により順次に書込／読出アンプ４３を介して正相，逆相の２つの信号として読出され、レベル調整用アンプ（ＡＭＰ）４４に送出される。ここでレベル調整された２つの読出信号（それぞれが周波数ｆ０のテスト信号ＳＴに対応する信号）は、次にスライスレベル設定回路４５と欠陥検出回路４６とに入力される。
【０００６】
スライスレベル設定回路４５は、１トラックの平均値を作成するトラック平均値作成回路（ＴＡＡ作成回路）４５１とスライスレベル作成回路４５２とにより構成される。ＴＡＡ作成回路４５１は、トラック・アベレッジ・アンプリチュードと言われるものであり、ここでは読出信号１トラック分のピーク−ツウ−ピークの平均電圧値を発生する。なお、ＴＡＡの電圧値は、読出信号の正極側と負極側とで独立に算出される場合もある。
ＴＡＡ作成回路４５１は、例えば、包絡線検波回路とトラック１周積分回路、そしてピーク検出回路等により構成される（図示せず）。その出力であるＴＡＡの電圧値はスライス作成回路４５２に送出される。スライス作成回路４５２は、ＴＡＡ作成回路４５１の出力ＴＡＡのレベルに対して所定の％の電圧値を閾値（スライスレベル）として発生する。所定の％は、制御部４８のＭＰＵ４７から送出される％を設定する信号Ｐによる。この回路で生成したスライスレベルは、欠陥検出回路４６に送出される。
【０００７】
欠陥検出回路４６は、波形比較回路４６１とエラー検出回路４６２、そしてエラーメモリ４６３とにより構成される。エラー検出回路４６２は、ゲート回路で構成され、例えば、ミッシング検査では、波形比較回路４６１から得られる検出信号とテスト信号発生回路４１から送出されるテストデータの各ビットに対応するタイミング信号Ｔとを得て、所定のウインドウパルスにより、ミッシング検査の場合に波形比較回路４６１の出力がないとき、タイミング信号Ｔの各ビットに同期させてビットエラー信号ＥＲをビット信号として出力する。
【０００８】
エラー検出回路４６２のビットエラー信号ＥＲは、“０”のときにエラーがなし、“１”のときにはエラーがありというビット信号（エラー検出ビット）としてエラーメモリ４６３に送出される。エラーメモリ４６３は、テスト信号発生回路４１からタイミング信号Ｔを受けて、これに応じてエラーメモリのアドレスを順次更新してエラー検出回路４６２から出力されるビット信号を受けて更新されたアドレスに順次、欠陥データとして“１”，“０”を記憶する。
ＭＰＵ４７は、磁気ディスク１の全周のテストが終了した時点で、このエラーメモリ４６３の内容をバス４９を介してメモリ５０に読み込む。そして、エラーメモリ４６３の内容に応じて磁気ディスク１（媒体）の品質を評価する。
【０００９】
図９は、磁気ヘッド３を正面からみた構成の説明図である。磁気ヘッド３は、書込み用のインダクティブヘッド（ＩＮＤ・Ｈ）３ａと読出用のＭＲヘッド（ＭＲ・Ｈ）３ｂとからなる。両ヘッド３ａ，３ｂの両者の中心にはそれぞれギャップｇａ，ｇｂがあって、理想的には、これらのギャップの中心Ｃは一致した状態にある。そして、インダクティブヘッド３ａは、そのギャップｇａの幅に応じてトラックＴＲに対して幅ｗａの範囲（感度幅）でデータを書込み、ＭＲヘッド３ｂは、そのギャップｇｂの幅に応じて幅ｗｂの範囲（感度幅）でデータを読出す。
図９においては、両ギャップｇａ，ｇｂの中心は、同一線Ｃ上にあって、両ヘッド３ａ，３ｂには両ギャップの位置ずれ、いわゆるオフセットはない。しかし、現実には両ヘッドにいくらかのオフセットが存在する。サーティファイにおいてはこのオフセットが問題になる。このオフセットを図１０〜図１２により説明する。
【００１０】
図１０において、インダクティブヘッド３ａのギャップｇａの中心線はＣａであり、また、ＭＲヘッド３ｂのギャップｇｂの中心線はＣｂである。両中心線Ｃａ，Ｃｂの間隔Δｘがオフセットである。図１１は、オフセット量Δｘに対する、ＭＲヘッド３ｂの読出電圧の変化を示している。インダクティブヘッド３ａは、トラックＴＲに幅ｗａの範囲（感度幅）で一様にデータを書込む（実際は一様でなく、中心部に対して周辺部が漸次低下している）。書込まれたテストデータをＭＲヘッド３ｂがそのギャップｇｂにより読出す。このときデータを読出すことができる幅が感度幅ｗｂである。
【００１１】
ここで、読出状態において磁気ヘッド３が左側から右方向に移動するとする。そのＭＲヘッド３ｂも同時に左側から右方向に移動する。図１１の▲１▼の位置では、ＭＲヘッド３ｂの感度幅ｗｂの右端がテストデータの幅ｗａの左端に対応している。このときからＭＲヘッド３ｂのギャップｇｂ（Ｃｂはその中心線）がインダクティブヘッド３ａにより書込まれたテストデータ（その左端）を読出せる状態なる。ただし、このときには読出電圧はいまだ０（ゼロ）である。
ここでは、簡単に説明するために、ＭＲヘッド３ｂの読出電圧は、［ｍＶ］単位ではなく、これの最大読出電圧を１として、数値“０”から“１”の範囲の比として説明する。なお、それぞれヘッドの感度幅ｗａ，ｗｂは、それぞれのギャップｇａ，ｇｂの幅により決定される。ＭＲヘッドの感度幅ｗｂは、現在のところは数μｍ程度である。
【００１２】
さて、(2)の位置ではＭＲヘッド３ｂの感度幅ｗbがｗb／２だけ書込幅ｗa側に入り込んでいる。このときには右側の感度幅ｗbのうちのｗb／２分が幅ｗa上にある。このときの読出電圧は、一様にテストデータが書込まれているとすれば０．５となる。さらに右側へとＭＲヘッド３ｂが移動して(3)の位置では、幅ｗbの全体が幅ｗa上にある。そこで、このときの読出電圧は最大の１．０となる。そして、ｗa＞ｗbのときは、幅（ｗa−ｗb)の範囲では電圧が１．０のままとなって平坦になる。したがって、ＭＲヘッド３ｂが(4)の位置での読出電圧は１．０である。その結果、全体としては下側に実線で示すような読出電圧特性になる
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
図１２は、オフセット量Δｘ（μｍ）に対する、ＭＲヘッド３ｂの読出電圧の実測値の一例を示している。例えば、Δｘ＝±０．５μｍの読出電圧は、最大値０．２ｍＶに対して約０．１８ｍＶ（約９０％）に低下している。このような読出電圧の低下があるとサーティファイの信頼性も低下する。
ところで、実際にハードディスクが組込まれる磁気ディスク駆動装置では、ＭＲヘッド３ｂは、サーボ情報で位置決めされて書込みデータを読出すことになる。一方、インダクティブヘッド３ａもサーボ情報で位置決めされてデータを書込む。そのため、それぞれのヘッドの関係はオフセットがあってもそれぞれに位置決めされるので問題はない。実際には、図９に示す状態のヘッドと等価である。しかし、ディスクを検査するサーティファイの段階ではディスクにはサーボ情報が書込まれていない。したがって、ＭＲヘッド３ｂとインダクティブヘッド３ａとのオフセットが検査結果に直接影響を与え、問題となる。それがディスクの歩留まりの低下を招く。そのため、前記のオフセットはできるかぎりゼロになるように補正することが必要である。
【００１４】
このようなことから、読出状態のとき、ＭＲヘッド３ｂを移動させてオフセットを解消する方法が考えられている。この移動機構の１つとして、ピエゾアクチュエータによりＭＲヘッドをオフセットに対応する距離分だけ微小移動させることが提案されている。しかし、この場合には、ＭＲヘッドのオフセット量Δｘの数値測定を行わなければならない。さらに、ピエゾアクチュエータは、これの駆動電圧（印加電圧）に対してヒステリシス特性がある。その特性における移動距離と電圧との関係は非直線特性であってかつ一様なものではない。そのため、現在のところ、これによる補正方法は実際上は難しい状況にある。
この発明の目的は、前記のような従来技術の問題点を解決するものであって、簡易な制御によりＭＲヘッドのオフセットを実質的にゼロにするような補正ができるＭＲヘッドのオフセツト補正方法を提供することにある。
この発明の他の目的は、簡易な制御によりＭＲヘッドのオフセットを実質的にゼロに補正することで精度の高いサーティファイができる磁気ディスクサーティファイアを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明のＭＲヘッドのオフセツト補正方法および磁気ディスクサーティファイアの特徴は、書込み用のヘッドと読出用のＭＲヘッドを有する磁気ヘッドを使用して磁気ディスクのサーティファイを行うサーティファイアにおいて、
磁気ディスク上に設定される所定のトラック位置に前記磁気ヘッドを移動させる磁気ヘッド移動機構と、最大駆動電圧を有し、駆動電圧に応じて伸長または縮小して磁気ヘッドをトラックを横断する方向に微小移動させるピエゾアクチュエータとを備えていて、
ピエゾアクチュエータの特定のヒステリシス特性上における任意の点ｐにおいて書込用のヘッドによりトラックにテストデータを書込んで、点ｐからピエゾアクチュエータによりＭＲヘッドを微小移動させて微小移動させた点において書込んだテストデータをＭＲヘッドにより読出してテストデータの最大読出電圧に対応する駆動電圧を得て、
サーティファイにおいて、点ｐに設定された書込用のヘッドによりある被検査磁気ディスクのトラックにテストデータまたはあるテストデータを書込み、この書込まれたテストデータをＭＲヘッドにより読出すときに最大読出電圧に対応する駆動電圧をピエゾアクチュエータに加えてＭＲヘッドの位置を補正をするものである。
【００１６】
このように、この発明では、サーティファイアは、ピエゾアクチュエータのヒステリシス特性の非直線性特性上における任意の点ｐにおいて書込用ヘッドによりテストデータを書込み、この点ｐからＭＲヘッドを微小移動させならが書込んだテストデータをＭＲヘッドにより読出して最大読出電圧を検出し、これに対応するピエゾアクチュエータの駆動電圧を得る。これによりオフセット補正をするＭＲヘッドの位置を検出する。そして、サーティファイにおいては、サーティファイアは、前記点ｐに磁気ヘッド（その書込用のヘッド）を位置設定しておいてテストデータを書込み、前記の最大読出電圧に対応する駆動電圧をピエゾアクチュエータに加えてＭＲヘッドの位置を補正してテストデータを読出す。これにより同じピエゾアクチュエータ上において、ＭＲヘッドの位置がオフセット補正値を検出したときとの、書込用のヘッドに対する位置関係と同じものとなり、書込用のヘッドに対してＭＲヘッドのオフセットが実質的に“０”になるように補正をすることができる。
【００１７】
通常のピエゾアクチュエータは、電圧を印加すると、駆動電圧に応じて伸張し、駆動電圧を下げると収縮するが、伸張（ヒステリシス特性上の往き）と収縮（ヒステリシス特性上の帰り）とでエゾアクチュエータは同じ駆動電圧に対してその伸びの長さが異なる。そのため、任意の点ｐの選択は、あらかじめ駆動電圧Ｖを前記ヒステリシス特性の原点（通常０Ｖ）から所定の駆動電圧Ｖｐに増加して、書込み用ヘッド（例えば、インダクティブヘッド）をヒステリシス特性の、例えば、メジャーループの往路の途中の点ｐに設定するか、あるいは駆動電圧を最大値Ｖｍに上げた後に駆動電圧をＶｐ’（Ｖｐ’＝Ｖｐでも可）まで減少させて復路の途中の点ｐ’に設定することによる。これによりディスクに対する磁気ヘッドのヒステリシス特性上の位置が決定され、この位置でディスク上の所定のトラックに磁気ヘッドが位置に位置決めされることになる。
【００１８】
この状態で、サーティファイアは、このトラックにテストデータを書込む。そして、サーティファイアは、この位置に記憶されたテストデータをＭＲヘッドを微小移動させながら読出すことで、テストデータの読出電圧がピークとなる駆動電圧を検出する。このピークの位置は、前記点ｐとの関係においてＭＲヘッドに実質的なオフセットがない位置である。
このことで、サーティファイアは、選択された任意の点ｐにおいて書込まれたテストデータを媒介としてＭＲヘッドのオフセット補正量を得ることができる。ピエゾアクチュエータのヒステリシス特性の非直線上で設定した往路あるいは復路の任意の点ｐ，ｐ’を基準としてオフセット補正値を得るために、具体的には、サーティファイアは、ピークが検出されたときに得られる、オフセット補正量に対応する駆動電圧Ｖｓ（往路における電圧）またはＶｓ’（復路における電圧）を往路、復路の判定とともに得て、前記の任意の点ｐあるいはｐ’の駆動電圧と併せてメモリに記憶する。なお、往路、復路の判定に代えて往路あるいは復路を示すフラグとともに前記駆動電圧を記憶することでもよい。
【００１９】
オフセット補正では、サーティファイアがサーティファイするときに記憶された経路フラグと駆動電圧とを参照して、磁気ヘッドが位置決めされたトラック上においてテストデータの書込み位置を先に選択された任意の点ｐあるいはｐ’の位置になるように書込み用ヘッドをヒステリシス特性上で位置決めしてからテストデータを書込み、ヒステリシス特性上の補正された位置でＭＲヘッドによりテストデータを読み出す。
なお、オフセットの＋，−は、通常、ディスクの半径に対して外周側を＋，中心側を−に採る。また、通常のピエゾアクチュエータのヒステリシス特性において、メジャーループの往路にあるか、復路にあるかは、ヒステリシス特性の原点（通常“０”Ｖ）から駆動電圧を最大駆動電圧Ｖmまで増加させる範囲は往路であり、最大駆動電圧Ｖmから減少させていくと復路に入る。これにより往路と復路との区別ができる。このとき往路は伸び方向であり、復路は縮み方向であるので、これらそれぞれにおいて、＋オフセットあるいは−オフセットの補正が可能になる。
【００２０】
ところで、ＭＲヘッドによるテストデータの読出状態において、読出電圧のピークが往路で検出されたときは、ＭＲヘッドはディスク中心側へと移動している。したがって、インダクティブヘッドに対してＭＲヘッドは前記とは逆方向の＋側にオフセットしていることになる。一方、復路で読出電圧のピークが検出されたときには逆にＭＲヘッドが−側にオフセットしていることになる。
ここで、ヒステリシス特性のメジャーループについて簡単に説明すると、ピエゾアクチュエータの最大の印加可能電圧（最大駆動電圧）をＶｍとすると、駆動電圧０ＶとＶｍ［Ｖ］によるループがメジャーループである。その電圧増加側（図３の下側の曲線参照）は、駆動電圧の増加により伸長する往路であり、電圧減少側（図３の上側の曲線参照）は、駆動電圧の低減により収縮する復路になる。ピエゾアクチュエータの伸張、収縮は前記の駆動電圧に応じてこの往路と復路のループを循環する。
【００２１】
メジャーループの形状は、ピエゾアクチュエータにより決まっており、これの仕様により、その往路と復路のそれぞれの距離の途中の点ｐ，ｐ’に対する書込み駆動電圧Ｖｐは、あらかじめ決定しておくことができる。これらをここでは事前に決定してメモリにあらかじめ記憶しておく。そして、先に説明したように、ＭＲヘッドのオフセットの方向に応じて往路か、復路のいずれかでオフセット補正量を検出する。したがって、前記のオフセット補正量の検出は、往路と復路のいずれか一方になる。
なお、サーティファイにおいては、サーティファイアは、被検査ディスク（テストディスク）の各トラックに対して磁気ヘッドを順次に設定し、トラックに磁気ヘッドを設定する都度、ピエゾアクチュエータの駆動電圧Ｖを一旦、０Ｖ（原点）とし、オフセットが−側のときは往路の書込み点ｐになるように０Ｖから書込み駆動電圧Ｖｐに増加し、インダクティブヘッドを位置決めしてテストデータを書込み。オフセットが＋側のときは０ＶからＶｍ［Ｖ］を経て復路の書込み点ｐ’に設定してトラックにテストデータを書込む。
【００２２】
このとき、各トラックに対する磁気ヘッドの設定の都度、駆動電圧Ｖを一旦、０Ｖ（ヒステリシス特性の原点）とする理由は、駆動電圧Ｖｓを直接駆動電圧Ｖｐまで増加すると、ヒステリシス特性がマイナーループといわれる途中で発生する別の小さいループに入り込む。そのために磁気ヘッドが正しい書込み点ｐまたはｐ’に戻らなくなるからである。また、サーティファイアは、書込みの終了後においては、往路では、書込み点ｐから駆動電圧Ｖを電圧Ｖｓまで増加させ、復路では書込み点ｐ’から電圧Ｖｓ’まで低減させて磁気ヘッドを位置決めする。これにより、ＭＲヘッドは、オフセットと逆方向の＋側または−側にオフセット補正量を採取したときと同じ特定のヒステリシス特性上において微小移動する。これにより実質的にゼロになるようにオフセットが補正されて、テストデータが正しく読出されてサーティファイが適正に行われる。しかも、一度採取されたオフセット補正のための駆動電圧Ｖｐ，Ｖｐ’，Ｖｓ，Ｖｓ’は、同一のピエゾアクチュエータを使用してディスクサーティファイを実行する限り、有効なものである。
【００２３】
その結果、ここでのサーティファイでは、ＭＲヘッドのオフセット量Δｘの数値の測定を必要とせずに、ＭＲヘッドをヒステリシス特性の特定のループに沿って移動させる簡易な制御により、ＭＲヘッドのオフセットを高精度に補正することができる。これにより磁気ディスクサーティファイの検査は、信頼性が向上し、検査ディスクの歩留まりも向上する。
【００２４】
【実施例】
図１に示すように、この発明によるサーティファイアの構成は、まず、磁気ヘッド３を支持する支持アーム６１にピエゾアクチュエータ７１を結合してブロック８を構成し、ブロック８をキャリッジ機構６に固定したものである。これによりピエゾアクチュエータ７１を電圧駆動して磁気ヘッド３をディスク１上に設定されるトラックを横断する方向に微小移動できるようにしたものである。なお、この実施例では、磁気ヘッド３が支持アーム６１の移動方向に対して直角方向に取付けられるものを例としている。
【００２５】
ブロック８の詳細を示すのが、図２である。ブロック８は、キャリッジ６の表面に複数の孔８１，８１を介してねじ等により固定される。ディスク１に対して表面側の磁気ヘッド３Ａは、支持アーム６１ａの先端に取付ブロック６４ａを介して取付けられ、裏面側の磁気ヘッド３Ｂは、支持アーム６１ｂの先端に取付ブロック６４ｂを介して取付けられている。
支持アーム６１ａ，６１ｂは、これの先端部が結合されたスライド部軸６２ａ，６２ｂを後部に有している。このスライド部軸６２ａ，６２ｂがそれぞれスライドベアリング６２ａ，６２ｂに支承されることで支持アーム６１ａ，６１ｂはブロック８においてスライド可能に支承されている。
【００２６】
さらに、スライド部軸６３ａ，６３ｂの後端は、ピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂに一体的に結合され、ピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂの伸張，収縮に応じて支持アーム６１ａ，６１ｂが進退し、これにより磁気ヘッド３Ａ，３Ｂがそれぞれに半径方向に移動する。ピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂの後端部は、ブロック８に支持されている。そして、ピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂの後端部はさらに調整ねじ７３ａ，７３ｂの先端に結合されていて、調整ねじ７３ａ，７３ｂによりピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂを介して支持アーム６１ａ，６１ｂの前後の位置調整がそれぞれにできるようになっている。なお、７２ａ、７２ｂは、それぞれピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂに電圧信号を加えるリード線である。
【００２７】
これにより、ピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂをそれぞれ電圧駆動することで磁気ヘッド３（両磁気ヘッド３Ａ，３Ｂ）をディスク半径方向に微小移動させることができる。
なお、図２の支持アーム６１ａ，６１ｂは、それぞれ図１の支持アーム６１に対応し、ピエゾアクチュエータ７１ａ，７１ｂは、それぞれ図１のピエゾアクチュエータ７１に対応している。以下では、それぞれ支持アーム６１、ピエゾアクチュエータ７１をもって説明する。
【００２８】
磁気ヘッド３（インダクティブヘッド３ａ，ＭＲヘッド３ｂ）は、ピエゾアクチュエータ７１の伸び量、あるいは縮み量に応じてディスクの半径方向において前後に微小移動する。そのために、図１のサーティファイアには、ピエゾアクチュエータ７１の制御部として駆動電圧制御回路７２と駆動電圧発生回路７３とがさらに設けられている。駆動電圧制御回路７２は、インタフェース（図示せず）を介してデータ処理部５のＭＰＵ５１に接続されている。ＭＰＵ５１は、プログラム制御で駆動電圧制御回路７２を制御し、この制御に応じた駆動電圧を駆動電圧発生回路７３は発生してピエゾアクチュエータ７１に加える。
【００２９】
また、磁気ヘッド３のＭＲヘッド３ｂからテストデータの読出電圧を得るために、ＴＡＡ作成回路４５１から得られる１トラック分についてのピーク−ツウ−ピークの平均読出電圧値をＡ／Ｄ変換回路（Ａ／Ｄ）６２を介してデータ処理装置５に入力する。データ処理装置５では、この読出電圧値をデジタル値で受ける。これによりＭＰＵ５１は、磁気ヘッド３が位置決めされた１トラックについての平均読出電圧値を得る。
なお、５３は、ＭＰＵ５１とメモリ５２とを接続するバスであり、データ処理装置５のメモリ５２には、オフセット補正量採取プログラム５２ａと、オフセット補正検査処理プログラム５２ｂ、オフセット補正駆動電圧値等を記憶するデータ記憶領域５２ｃ等が設けられている。
【００３０】
まず、図４に従ってオフセット補正のための補正量のデータの採取から説明する。
所定の機能キー入力によりＭＰＵ５１がオフセット補正量採取プログラム５２ａを実行する。ここで、インダクティブヘッド３ａに対してＭＲヘッド３ｂのオフセットを補正するための初期値設定として、オペレータは、図３に示すヒステリシス特性のメジャーループにおける経路を示すものとして経路フラグ“０”（往路）と往路のテストデータ書込む点の駆動電圧Ｖｐ、そして経路フラグ“１”（復路）と復路のテストデータ書込む点の駆動電圧Ｖｐ’をあらかじめ入力する。これらはメモリ５２にデータ記憶領域５２ｃに記憶される。また、初期値設定では、ＭＲヘッド３ａの微小移動について移動回数を示す回数変数ｎをｎ＝１に設定する（ステップ１０１）。
【００３１】
なお、この発明においては、図１０のオフセット量Δｘは不必要であるので測定しない。また、前記の駆動電圧Ｖp（あるいはＶp’）は、ヒステリシス特性の往路，復路の任意の点に対応する電圧値であって、Ｖp＝Ｖp’であってよい。このときには、駆動電圧のメモリ５２への記憶はＶpだけでよい。さらに、経路フラグに代えて電圧ＶpとＶp’とをそれぞれ往路、復路のものとして識別できる形態、例えば、＋Ｖｐを往路の電圧、−Ｖｐを復路の電圧として正負の符号を往路と復路に対応させるようにしてもよい。
ＭＰＵ５１は、まず、スピンドル２に装着されたディスク１（あるいはテストディスク１）を回転し、適当なトラックＴRの位置に磁気ヘッド３を位置決めする（ステップ１０２）。
【００３２】
次に、ＭＰＵ５１は、往路の経路フラグ“０”の駆動電圧Ｖｐをメモリ５２から読出し、ピエゾアクチュエータ７１の駆動電圧を０Ｖ（原点電圧）にした上で、駆動電圧を順次増加させて電圧Ｖｐまで増加させる。これによりピエゾアクチュエータの伸張量により決定される往路の任意の点ｐ（図３参照）の位置に磁気ヘッド３（インダクティブヘッド３ａ）を位置付ける（ステップ１０３）。
図３の曲線（ａ−ｂ−ｃ−ｄ−ａ）は、ピエゾアクチュエータ７１のヒステリシス特性のうちのメジャーループである。その下端ａは、駆動電圧０Ｖに、上端ｃは最大駆動電圧Ｖｍに対応している。メジャーループの下側の曲線（ａ−ｂ−ｃ）は、前記した往路であり、上側の曲線（ｃ−ｄ−ａ）は復路である。
最大駆動電圧Ｖｍと、これに対するメジャーループの形状は、前記したようにピエゾアクチュエータの仕様により決定されている。そこで、ピエゾアクチュエータの駆動電圧を０Ｖにした上で、駆動電圧を増加させることで往路の任意の点ｐに、そして駆動電圧をＶｍまで上げた後に駆動電圧を減少させることで復路の任意の点ｐ’にそれぞれインダクティブヘッド３ａを位置付けることができる。これによりインダクティブヘッド３ａは、磁気ヘッド３が位置決めされるトラック位置においてヒステリシス特性の原点位置からみて駆動電圧ＶｐあるいはＶｐ’に対応する伸張量により決定される位置に位置決めされることになる。
【００３３】
次に、ＭＰＵ５１は、位置決めされているトラックＴＲにインダクティブヘッド３ａによりテストデータを書込む（ステップ１０４）。そして、ＭＰＵ５１は、トラック１周分のテストデータを読出す処理をして、ＴＡＡ作成回路４５１からピーク−ツウ−ピークの１トラックの平均読出電圧値を得る（ステップ１０５）。これを移動回数変数ｎ（最初は初期値，ｎ＝１）の値と現在のピエゾアクチュエータ７１の駆動電圧Ｖともにメモリ５２に記憶する（ステップ１０６）。次に、磁気ヘッド３が１トラック幅以上移動したか否かをｎ＞ｍにより判定する（ステップ１０７）。だたし、ｍは、１トラック幅以上移動する微小移動の回数である。
【００３４】
ここでＮＯとなると、ｎ＝ｎ＋１とし、駆動電圧Ｖｐを１回分の微小移動量に対応する電圧ΔＶだけ増加させてＶｐ＝Ｖｐ＋ΔＶとする（ステップ１０８）。ただし、後述するステップ１１１〜１１３の復路の点Ｐ’の設定のときには前記の計算はＶｐ’＝Ｖｐ’−ΔＶになる。
これによりＭＲヘッド３ｂを往路に沿って所定量微小移動する。このとき、ＭＲヘッド３ｂの位置は、ディスク１の中心方向へと移動する。この場合は、ピエゾアクチュエータ７１がテストデータを書込んだ点から伸張するので、ＭＲヘッド３ｂは、インダクティブヘッド３ａの書込みトラックの中心に対してディスクの中心方向（−側方向）へと移動する。
【００３５】
次にステップ１０５へと戻り、読出電圧を得て、これと移動回数とをメモリ５２に記憶する同様な処理を繰り返す。そして、ステップ１０６でＹＥＳとなると、図５に示すようなデータがメモリ５２に記憶される。ただし、横軸は、移動回数あるいは移動回数に応じてヒステリシス特性において算出される移動距離であり、縦軸は、読出電圧（比）である。ここで読出電圧のデータは、前記の繰り返し処理により図５の点ｐから点ｑ、点ｒへと採取されていく。なお、任意の点ｐの位置に応じて最初の読出電圧の値は異なってくる。そして、ピークは、図５の点ｑ−ｒ間で現れる。最大値の領域がこの点ｑ−ｒであり、これが実質的に平坦なときは、そこが図１１における読出電圧１．０の領域になる。この最大値の領域があるか否かを検出するために、次に、読出電圧に所定値以上のものがあるか否かの判定をする（ステップ１０９）。これは、例えば、０．７を超える読出電圧値（比）があるときにピークがあると判定する。ここで、ＹＥＳとなると、最大領域における中央位置（中心）をピーク点ｓとみなして、これに対応する駆動電圧Ｖをピーク位置の駆動電圧Ｖｓとして検出する。この電圧Ｖｓを経路フラグ“０”とともにの記憶領域５２ｃに記憶する（ステップ１１０）。このときの駆動電圧Ｖｓがオフセット補正のための駆動電圧になる。
【００３６】
なお、駆動電圧Ｖｓは、最大値の領域である点ｑ−ｒにおいてその中のピークの点のものが採用されてもよい。また、最大値の領域ｑ−ｒにおいて、適当な点のものを選択してもよい。
もちろん、以上の場合には、ＭＲヘッド３ｂがインダクティブヘッド３ａに対して＋側のオフセットを持っているときである。−側のオフセットを持っているときには、図５のような特性は得られない（後述）。このときにはヒステリシス特性の往路において０．７を超える読出電圧値はない。したがって、ステップ１０９の判定でＮＯとなる。
なお、前記の場合のオフセツトは、テストデータを書込んだ位置ｐ点から−側へとＭＲヘッド３ｂを移動しているので、このときのオフセット量は、図３に示す点ｐとｓ間の垂直間隔＋Δｘになる。
【００３７】
さて、先のステップ１０９においてＮＯのときには、往路でピークが検出されないときである。この場合には、復路でオフセット補正の駆動電圧を得る。以下、これについて説明する。
ステップ１０９においてＮＯになると、ＭＰＵ５１は、トラックＴＲ以外の別のトラックＴＳの位置に磁気ヘッド３を位置決めする（ステップ１１１）。移動回数変数ｎをｎ＝１に設定し（ステップ１１２）、経路のフラグが“１”の駆動電圧Ｖｐ’をメモリ５２から読出して、駆動電圧Ｖを最大駆動電圧Ｖｍに増加した後に駆動電圧Ｖｐ’まで低減する（ステップ１１３）。これにより磁気ヘッド（インダクティブヘッド３ａ）の位置は、復路に入り、ピエゾアクチュエータ７１は縮む方向に駆動される。このときには、インダクティブヘッド３ａは復路の途中の任意の点ｐ’に設定される（図３参照）。そして、ステップ１０４へと戻り、ここでトラックＴＳにテストデータを書込む（ステップ１０４）。なお、この実施例では、単純に制御するために駆動電圧値Ｖｐ＝Ｖｐ’にしてある。もちろん、ここで、Ｖｐ’はＶｐとは別な電圧であってもよい。
【００３８】
以下、ステップ１０５、１０６、１０７と経て前記と同様な処理を行い、ステップ１０８では、ｎ＝ｎ＋１としてｎを１つ更新するとともに、駆動電圧Ｖｐ’を１回分の微小移動に対応するΔＶだけ減少させてＶｐ’＝Ｖｐ’−ΔＶとし、ＭＲヘッド３ｂを復路に沿って所定量微小移動させる（ステップ１０８）。そして、ステップ１０５へと戻る。
これような繰り返し処理をｎ＞ｍとなるまで繰り返してステップ１０６において、ＭＰＵ５１は、トラック１周分のテストデータを読出す処理をしてＴＡＡ作成回路４５１からピーク−ツウ−ピークの平均読出電圧値を得て、回数ｎと現在のピエゾアクチュエータ７１の駆動電圧Ｖともにメモリに記憶する（ステップ１１６）。そして、ステップ１０７でＹＥＳとなると、先と同様に図５に示すようなデータがメモリ５２に記憶される。
【００３９】
この場合の繰り返し処理のときには、ピエゾアクチュエータ７１がテストデータを書込んだ点ｐ’からピエゾアクチュエータ７１が縮むので、ＭＲヘッド３ｂは、インダクティブヘッド３ａの書込みトラックの中心に対して＋側方向へ移動する。そこで、図５に示すように、ｐ’点から点ｑ’，ｒ’というように読出電圧のデータが採取される。ここで、点ｑ’−ｒ’間が最大値で平坦のときは、そこが図１１における読出電圧１．０の領域になる。そこで、その中心をピーク点ｓ’とみなして、これに対応する駆動電圧Ｖｓ’をメモリ５２に記憶する。
この場合には、ＭＲヘッド３ｂは、テストデータを書込んだ位置ｐ’点から＋側へと移動している。したがって、オフセットは−側にあることになる。この場合のオフセツトは、図３に示すように、点ｐ’とｓ’間の垂直間隔−Δｘである。
【００４０】
次に、読出電圧に所定値以上のものがあるか否かの判定する（ステップ１０９）。ここで、ＹＥＳとなると、その中心をピーク点ｓとみなして、これに対応する駆動電圧Ｖをピーク位置の駆動電圧Ｖｓ’として検出して経路フラグ“１”とともにの記憶領域５２ｃに記憶する（ステップ１１０）。
ところで、ステップ１１０の判定において、ＮＯとなったときには、別の任意の点ｐ，ｐ’を改めて設定して同様な処理を行う。
このようにして選択した任意の点ｐあるいはｐ’についてのオフセット補正量としてピーク位置の駆動電圧Ｖｓ（あるいはＶｓ’）のデータを採取する。この磁気ヘッドで検査対象となるディスクをサーティファイをするときには、ピエゾアクチュエータ７１を取り替えない限り、このオフセット補正のデータを使用することができる。
【００４１】
このとき、メモリに記憶された経路フラグ“０”，“１”は、それぞれ＋側オフセットと−側オフセットとしてＭＲヘッドのオフセットの方向を表す情報になる。すなわち、これらはオフセット方向の判定結果を表す。
なお、以上においては、磁気ヘッド３Ａと磁気ヘッド３Ｂとの区別をして説明していないが、以上の処理において、各磁気ヘッド３Ａ，３ＢのＭＲヘッドは、同時に移動されてもよいし、個別的に移動されてもよい。また、それぞれのオフセット補正データがそれぞれに採取されてもよい。
【００４２】
次に、図６のフローチャートによりＭＲヘッド３ｂのオフセットの補正を含むサーティファイ検査の手順について説明する。なお、この処理は、メモリ５２に記憶されたオフセット補正検査処理プログラム５２ｂをＭＰＵ５１が実行することにより行われる。
オフセット補正のディスク検査においては、ＭＰＵ５１は、あるテストディスクの各トラックの位置に磁気ヘッド３を順次に位置決めして、この位置決めの都度、駆動電圧Ｖを原点（０Ｖ）から駆動電圧を増加してメモリから読出した任意の設定ｐの電圧Ｖｐ（あるいはＶｐ’）に再設定する。これにより書込み用のヘッドを往路の前記した書込み点ｐ、または復路の書込み点ｐ’に確実に設定することができる。ＭＰＵ５１は、この書込み点ｐあるいはｐ’に磁気ヘッド３を設定した後に位置決めされたトラックにあるテストデータ（オフセット補正値を採取したときのテストデータと同じであってもよい）を書込む。そして、書込み点ｐから駆動電圧ＶｐをＶｓに増加あるいは書込み点ｐ’から駆動電圧Ｖｐ’をＶｓ’に低減して先にメモリ５２に記憶された駆動電圧ＶｓまたはＶｓ’に設定する。これによりインダクティブヘッドとＭＲヘッドとの位置関係がオフセット補正量を採取したときと実質的に同じになる。その結果，ＭＲヘッドが＋側または−側に移動してオフセットが実質的にゼロになるような状態に設定されてディスクの検査ができる。
【００４３】
以下、その処理を具体的に説明する。図６においては、テストディスク１はスピンドル２に装着され、すでに回転しているものとする。
まず、ＭＰＵ５１は、テストディスク１の最初のトラックＴＲ１の位置に、磁気ヘッド３を位置決め設定する（ステップ２０１）。ここで、ＭＰＵ５１は、メモリ５２にオフセット補正データとして記憶された駆動電圧値Ｖｐ（あるいはＶｐ’）と、経路フラグ“０”（あるいは“１”）、そしてオフセット補正用の駆動電圧Ｖｓ（あるいはＶｓ’）を読出す（ステップ２０２）。次にＭＰＵ５１は、経路フラグが“０”か否か判定する（ステップ２０３）。これが“０”、すなわち、オフセットが＋Δｘのときは、駆動電圧Ｖをメイジャーループの原点に対応する０Ｖにまず設定してこの０Ｖから書込み駆動電圧Ｖｐに増加してインダクティブヘッド３ａを往路の途中のオフセット補正値を採取したときに選択された点ｐに設定する（ステップ２０４）。そしてテストデータを書込む（ステップ２０５）。次にＭＰＵ５１は、駆動電圧Ｖｐをメモリ５２に記憶された駆動電圧Ｖｓまで増加してＭＲヘッド３ｂをΔｘ分、−側に移動する（ステップ２０６）。これによりＭＲヘッド３ｂの＋側オフセットが実質的にゼロになるように補正される。
【００４４】
オフセットが実質的にゼロになるように補正されたＭＲヘッド３ｂにより、ＭＰＵ５１は、スライスレベル設定回路４５と欠陥検出回路４６と動作させて、１トラック分のテストデータを読出してエラー検出処理をする。このとき、欠陥検出回路４６から１トラック分のエラーデータをＭＰＵ５１が受ける（ステップ２０７）。次に全トラックエラー検出終了か否か判定をして（ステップ２０８）、ＮＯのときには、次のトラックに磁気ヘッド３を位置決めして（ステップ２０９）、ステップ２０３へと戻り、すでに記憶された経路フラグにより経路フラグの判定をして、再び、ステップ２０４からステップ２０８の処理を繰り返す。
【００４５】
ステップ２０８の判定において全トラックのエラー検出処理が終了したと判定されたときには、ステップ２１０において、検出されたエラ−結果によるテストディスクの評価とランク分け処理を行い、そのテストディスクの検査処理を終了する。そして、次のテストディスクのサーティファイへと移る。
一方、先のステップ２０３の判定において、経路フラグが“１”のとき、すなわち、オフセットが−Δｘのときは、ＭＰＵ５１は、駆動電圧Ｖをメイジャーループの原点に対応する０Ｖに設定してこの０Ｖから最大駆動電圧Ｖｍに増加してつづいて駆動電圧Ｖｐ’（＝Ｖｐでも可）まで低減させる。これによりインダクティブヘッド３ａを復路の途中の任意の点ｐ’に設定する（ステップ２１１）。そして、テストデータを書込む（ステップ２１２）。次にＭＰＵ５１は、駆動電圧Ｖｐ’をメモリ５２から読出した駆動電圧Ｖｓ’まで低減させてＭＲヘッド３ｂをΔｘ分、＋側に移動する（ステップ２１３）。その結果、ＭＲヘッド３ｂのオフセットが実質的にゼロになるように補正される。その後、ステップ２０７へと移り、前記と同様に全トラック終了か否かの判定をステップ２０８で行い、ステップ２０９を経てステップ２０３へと戻る。そして、再び、ステップ２１１〜ステップ２１３を経てステップ２０７、２０８へと至り、その後、前記ステップ２１０の処理に入る。
【００４６】
ところで、前記実施例では往路と復路のフラグを記録しているが、往路と復路とではオフセットの方向が逆方向になるので、往路と復路のフラグに換えて、例えば、オフセットが＋側か（往路）、−側（復路）か、あるいは、オフセット補正値が−か（往路）、＋か（復路）というように、オフセット方向あるいはオフセットの補正値の方向をメモリに記憶するようにしてもよい。
さらに、実施例における往路のテストデータ書込み点（任意の点ｐ）は、ヒステリシスループの原点であってもよい。復路のテストデータ書込み点（任意の点ｐ’）は、ヒステリシスループの最大電圧点であってもよい。
【００４７】
実施例では、ヒステリシス特性のメジャーループを中心に説明しているが、最大電圧値近傍の電圧値においてマイナーループとして大きなヒステリシス特性のループが形成される場合には、これを採用してもよい。
ところで、現在のところ書込み用のヘッドは、インダクティブヘッドが主流となっているが、将来は、他の形態の磁気ヘッドが書込み用ヘッドとして使用されることが考えられるので、この発明は、書込みができる磁気ヘッドであれば、インダクティブヘッドに限定されるものではない。
【００４８】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、この発明にあっては、ヒステリシス特性のループの非直線性の欠点を解消するために、ヒステリシス特性の非直線性特性上における任意の点ｐにおいてオフセットを検出し、この検出点と同じ位置の特性点ｐをサーティファイにおいて利用することでオフセット補正をし、非直線性を克服し、さらに、ピエゾアクチュエータが往路と復路とでは逆方向に動くという相違を利用して、それぞれに逆方向のオフセット補正を割り当ててオフセット補正量を検出するようにしてそれぞれのオフセット補正量を得るようにしているので、オフセットΔｘの数値の測定を必要とせずに、簡易な制御により、ＭＲヘッドをヒステリシス特性のループに沿って移動して、オフセットを高精度に補正することができる。
その結果、サーティファイでは、ＭＲヘッドのオフセット量Δｘの数値の測定を必要とせずに、ＭＲヘッドをヒステリシス特性の特定のループに沿って移動させる簡易な制御により、ＭＲヘッドのオフセットを高精度に補正することができる。これにより磁気ディスクサーティファイの検査は、信頼性が向上し、検査ディスクの歩留まりも向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明のオフセット補正方法を適用した一実施例のサーティファイアのブロック図である。
【図２】図２は、そのキャリッジにおける部分断面図である。
【図３】図３は、ピエゾアクチュエータのメジャーループと駆動電圧Ｖとの関係を示す説明図である。
【図４】図４は、オフセット補正量採取処理のフローチャートである。
【図５】図５は、ＭＲヘッドを微小移動させたときの読出電圧の特性を示す説明図である。
【図６】図６は、オフセット補正によるサーティファイ処理のフローチャートである。
【図７】図７は、従来のサーティファイアのブロック図である。
【図８】図８は、従来のサーティファイアのキャリッジの説明図である。
【図９】図９は、ＭＲヘッドの構成図である。
【図１０】図１０は、インダクティブヘッドに対するＭＲヘッドのオフセットについての説明図である。
【図１１】図１１は、オフセットに対するＭＲヘッドの読出電圧（比）の変化とその特性の説明図である。
【図１２】図１２は、読出電圧の実測データの一例を示す特性曲線の図である。
【符号の説明】
１…磁気ディスク、テストディスク、被検査ディスク、２…スピンドル、
３…ＭＲヘッド、３ａ…インダクティブヘッド、３ｂ…ＭＲヘッド、
４…キャリッジ機構、５…データ処理部、
５１…ＭＰＵ、５２…書込み制御回路、
５３…読出制御回路、５４…メモリ、５５…プリンタ、
６，６（Ａ），６（Ｂ）…ピエゾアクチュエータ、
７…ピエゾアクチュエータ制御部、７１…印加電圧発生回路、
７２…印加電圧制御回路、
＋Δｘ…−側のオフセット、−Δｘ…＋側のオフセット、
曲線（ａ−ｂ−ｃ−ｄ−ａ）…ヒステリシス特性のメジャーループ、
曲線（ａ−ｂ−ｃ）…メジャーループの往路、曲線（ｃ−ｄ−ａ）…復路、
ｐ，ｐ’…往路と復路の書込み点、ｓ，ｓ’…往路と復路のピーク検出点、
Ｖ…印加電圧、Ｖｐ…書込み印加電圧、Ｖｓ，Ｖｓ’…ピーク検出印加電圧。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図８】
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【図９】
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【図６】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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