(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように側壁部に天部と同心状の折り曲げ部を設ける超音波振動子。
【請求項２】
天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように側壁部の軸方向に複数の凸部または凹部を備えた超音波振動子。
【請求項３】
天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように側壁部を多角形の筒状とした超音波振動子。
【請求項４】
被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられ超音波を送受信する請求項１ないし３のいずれか１項記載の１対の超音波振動子と、前記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、前記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えるとともに、前記超音波振動子は、支持部に固定される端子板にシール部を有する超音波流量計。
【請求項５】
圧電体は軸方向に溝を有する請求項１から３のいずれかに記載の超音波振動子。
【請求項６】
支持部に端子板を固定してケース内部を封止する請求項１から３のいずれかに記載の超音波振動子。
【請求項７】
ケース内部を不活性ガスにて封止する請求項６に記載の超音波振動子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波により気体や液体の流量や流速の計測を行う超音波流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の超音波流量計に用いる超音波振動子を図１８、図１９に示す。例えば特開平４−３０９８１７号公報が知られており、図１８に示すように圧電セラミック１を金属振動板２にロー付けし、この金属振動板２を金属ハウジング３に溶接していた。また特表平６−５００３８９号公報が知られており、エポキシ樹脂と微小ガラス球からなる壷形整合層５が圧電セラミック４を内包するケースとして共用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記の従来の構成では金属ハウジングに防振対策がなされていないため、圧電セラミックの振動が金属振動板を通じて金属ハウジングに伝わる。金属ケースでは振動が減衰されにくいため、金属ハウジングの振動が再び圧電セラミックに戻る。このため圧電セラミックの振動がなかなかおさまらず、残響の長い超音波パルスになる。この残響がノイズ要因の一つとなるため、Ｓ／Ｎが劣化し流量や流速の計測精度が低下するという課題を有していた。またエポキシ樹脂と微小ガラス球からなる材料をケースとして利用すると、ケースは振動しにくくなり残響は短くなる。しかしこのような材料は一般的に微多孔性を有すためケースの中に被測定流体が浸入し、被測定流体の成分によっては圧電体の電極等を腐食させ特性を劣化させるという課題を有していた。
【０００４】
本発明では上記課題を解決するもので、残響の短い超音波パルスの送受波が可能で、信頼性の高い超音波振動子を実現し、超音波流量計の計測精度を向上させることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように側壁部に天部と同心状の折り曲げ部を設ける超音波振動子である。
また、天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように側壁部の軸方向に複数の凸部または凹部を備えた超音波振動子である。
また、天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように側壁部を多角形の筒状とした超音波振動子である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態は、超音波振動子を構成する圧電体は被測定流体から遮断する金属製ケースで内包し、この金属製ケースに折り曲げ部を設けることにより剛性を高め、振動の伝搬を低減させたものである。上記実施形態によれば、圧電体の振動が金属製ケースに伝わり難くすることができ、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。この結果残響によるノイズの発生を低減でき、Ｓ／Ｎが改善されて被測定流体の流量、流速の計測精度が向上できる。また被測定流体が圧電体に接触することを防止できるので、超音波振動子の信頼性も向上できる。
【０００７】
本発明の第１の形態の超音波振動子は、天部と側壁部を有す有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記ケースが防振構造を有し圧電体の振動が前記ケースへ伝搬することを防止しており、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【０００８】
本発明は第２の形態の超音波振動子は、第１の形態の超音波振動子において、側壁部の剛性が増大する形状としたため、圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【０００９】
本発明は第３の形態の超音波振動子は、第２の形態の超音波振動子において、側壁部に天部と同心状の折り曲げ部を設けたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【００１０】
本発明は第４の形態の超音波振動子は、第２の形態の超音波振動子において、側壁部の軸方向に複数の凸部または凹部を備えたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【００１１】
本発明は第５の形態の超音波振動子は、第２の形態の超音波振動子において、側壁部を多角形の筒状としたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【００１２】
本発明は第６の形態の超音波振動子は、第１の形態の超音波振動子において、天部の外周部に凸部または凹部を備えたため、天部の外周部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【００１３】
本発明は第７の形態の超音波振動子は、第１の形態の超音波振動子において、天部の外周部に薄肉部を備えたため、天部のうち圧電体を固定した部分が振動しやすくなるため圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。
【００１４】
本発明は第８の形態の超音波流量計は、被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられ超音波を送受信する第１ないし第７のいずれかの形態の１対の超音波振動子と、前記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、前記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えたため、残響によるノイズの影響を低減できるためＳ／Ｎが改善でき、被測定流体の流量、流速の計測精度が高い超音波流量計を得ることができる。
【００１５】
本発明は第９の形態の超音波流量計は、第８の形態の超音波流量計において、支持部に固定される端子板にシール部を有す超音波振動子を備えたため、被測定流体が流量測定部から外部に漏れることが防止でき、信頼性の高い超音波流量計を得ることができる。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。なお図面中で同一符号を付しているものは同一なものであり、詳細な説明は省略する。
【００１７】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の超音波振動子の外観図である。図２は図１の超音波振動子の断面図である。図３は図１の超音波振動子に用いる圧電体の外観図である。図１において、６は超音波振動子、７はケース、８はケース７の天部、９は天部８の外壁面に固定された音響整合層、１０はケース７の側壁部、１１は側壁部１０に固定された折り曲げ部、１２はケース７を固定するための支持部である。図２において、１３は天部８の内壁面に配置された圧電体、１４は支持部１２に固定された端子板、１５ａ、１５ｂは端子板１４に設けられた端子、１６は端子１５ａと端子１５ｂを絶縁するための絶縁部、１７は圧電体１３と端子１５ａを電気的に接続するためのリード線である。図３において、１８は圧電体１３の電極、１９は圧電体１３に設けられた溝である。
【００１８】
以上のように構成さた超音波振動子の作成方法の一例について図１、図２、図３を用いて説明する。超音波振動子６はＬＰガスや天然ガス中で使用することを想定して、ケース７にはステンレス、音響整合層９にはエポキシ樹脂と中空ガラス球の混合体からなる材料を選択する。ケース７の加工方法には量産性を考え、切削加工でなく絞り加工のような成型加工を選択する。またステンレスの厚みは、ケース７の成型加工の容易さ、構造的強度、超音波振動子６の感度への影響から０．１から０．５ｍｍ程度、波長の１０分の１以下程度の厚みを選択する。次に圧電体１３はステンレスからなる天部８に接着固定されるため、広がり方向の振動が阻害される。超音波振動子６の高感度化を図るためには広がり振動よりも厚み縦振動を主モードを利用するほうが有利である。しかし圧電体１３は形状により振動の主モードが決定されてしまい、圧電体１３の形状と使用周波数に対しする許容範囲が狭い。そこで図３に示したように直方体の圧電体１３に溝１９を２本設けた構造を選択した。溝１９を設けたことにより、横２０、縦２１が８ｍｍ、厚み２２が４ｍｍの直方体の圧電体１３は約４００ＫＨｚにおいて厚み振動が主モードとすることが可能となる。ただし溝１９の本数、深さ、方向は圧電体１３の形状、不要モードの影響、取り扱いの容易性から判断する。
【００１９】
まず厚み０．２ｍｍのステンレス板から直径１３ｍｍ程度の円板状の天部８を有す有天円筒状のケース７を成型加工する。このとき側壁部１０には天部８と同心円状の折り曲げ部１１を１個同時に成型加工する。次に天部８の外壁面に直径１２．５ｍｍの円板状の音響整合層９、内壁面には圧電体１３をエポキシ系接着剤を用いて接着固定する。このとき溝１９により分割された電極１８と天部８を１０μｍ以下の薄い接着層を介して接着固定することにより、分割された電極１８と天部８の電気的導通も取ることができる。リード線１７は図示されていない圧電体１３の電極と端子ａにそれぞれハンダ付けする。最後に直径１６ｍｍ程度、厚み０．８ｍｍ程度のステンレス板からなる端子板１４を支持部１２に電気溶接により固定し、封止と電気的導通を同時に行う。圧電体１３はケース７をグランドとして共用し、さらにケース７および端子板１４で覆われるためノイズの影響を低減できる。また封止するとき、ケース７内部に乾燥した窒素や不活性ガスで置換すると、圧電体１３の電極、圧電体１３とケース７の接着層等の長期間使用による劣化の防止も可能となる。
【００２０】
以上のように作成された超音波振動子を用いた超音波流量計の作製方法について図４、図５を用いて説明する。流量測定部２３を構成する材料はＬＰガスや天然ガスの流量計測する家庭用ガスメータを想定しアルミニウム合金ダイカストとした。側壁部２４、２５の端面に例えばコルク材からなるシール材３５を介して上板部３６をネジどめして、流路断面３７が矩形の流量測定部２３を構成する。また超音波振動子２７、２８は送受波面が相対するよう側壁部２４、２５に斜めに設けられた振動子取付穴２９、３０に例えばＯリングからなるシール材３１、３２を介して固定する。
【００２１】
以上のように構成された流量測定部２３を用いた超音波流量計についてその動作を説明する。超音波振動子２７と超音波振動子２８の中心を結ぶ距離をＬとし、この直線と流れの方向である流路２６の長手方向となす角をθとする。またＬＰガスの無風状態での音速をＣ、流路２６内でのＬＰガスの流速をＶとする。流量測定部２３の上流側に配置された超音波振動子２７から送信された超音波は流路２６を斜めに横断し、下流側に配置された超音波振動子２８で受信する。
【００２２】
このときの伝搬時間ｔ１は、
【００２３】
【数１】
0003562261.tif 000002
【００２４】
で示される。次に送信・受信する超音波振動子を切り替え、超音波振動子２８から超音波を送信し、超音波振動子２７で受信する。このときの伝搬時間ｔ２は、
【００２５】
【数２】
0003562261.tif 000003
【００２６】
で示される。ｔ１とｔ２の式からＬＰガスの音速Ｃを消去すると、
【００２７】
【数３】
0003562261.tif 000004
【００２８】
の式が得られる。Ｌとθが既知ならば、計測回路３３にてｔ１とｔ２を測定すれば流速Ｖが求められる。この流速Ｖから流量Ｑは、断面３７の面積をＳ、補正係数をＫとすれば、流量演算回路３４で、
Ｑ＝ＫＳＶ
を演算し、流量を求めることができる。
【００２９】
超音波流量計では時間ｔ１、ｔ２を高精度に計測することが高精度な流量計測にとって重要となる。そこで、ケース７の振動の計測への影響について考える。送信側では、駆動信号により生じた圧電体１３の振動が音響整合層９を介してＬＰガスに超音波パルスとして放射されるだけなく、ケース７も振動させる。また受信側では、受信した超音波パルスは圧電体１３で電気信号に変換されるのと同時にケース７も振動させる。ここでケース７が振動してしまうと、ケース７では振動をほとんど減衰できないため、圧電体１３の長い残響として送信側、受信側ともに観測されてしまう。送信側の残響は計測回路３３に対し電気的ノイズとなり、受信した超音波パルスのＳ／Ｎを劣化させ測定精度を低下させる要因となる。また受信側の残響は受信した超音波パルスと合成されるため振幅、位相に影響を与え、時間ｔ１、ｔ２の計測に誤差を与える要因となる。本実施例ではケース７は折り曲げ部１１により側壁部１０の剛性が増加されているため、側壁部１０は振動しにくくなっている。このためケース７の振動を抑えることができ、超音波振動子６の残響を低減することが可能となる。このため超音波流量計の計測精度を高めることができる。
【００３０】
以上のように、本実施例によれば直方体の圧電体１３に２本の溝を設けることにより厚み縦振動を主モードとして利用することが可能となる。また圧電体１３と天部８を１０μｍ以下のエポキシ系接着剤で接着固定することにより、接着強度と同時に導通もとることができる。また圧電体１３の溝１９により分割された電極１８を天部８に接着固定することにより、分割された電極１８の接続が容易となるうえ、分割された圧電体１３が横方向へたわむような振動をすることを防止できる。圧電体１３をステンレス製ケース７と端子板１４でシールドされているため、外部からのノイズの影響を低減できる。
【００３１】
なお実施例１では折り曲げ部１１を１個設けるとしたが、２個以上の複数でも良く、また図６に示すように側壁部１０にビート３８を設けた構造としても良い。また天部８を円板状としたが、楕円径でも良い。
【００３２】
（実施例２）
以下、本発明の実施例２について、図面を参照しながら説明する。
【００３３】
図７は超音波振動子３９の上面図、図８は超音波振動子３９の側面図である。８は天部、９は音響整合層、１０は側壁部、１２は支持部、１４は端子板、１５は端子で、以上は図１、図２の構成と同様なものである。図１、図２の構成とことなるのは、側壁部１０に軸方向に８個の凸部を設けた点である。
【００３４】
以上のように構成さた超音波振動子の作成方法の一例について図４、図５を用いて説明する。超音波振動子３９はＬＰガスや天然ガス中で使用することを想定して、ケース７にはステンレス、音響整合層９にはエポキシ樹脂と中空ガラス球の混合体からなる材料を選択する。また量産性を考えケース７の加工方法には、切削加工でなく絞り加工のような成型加工を選択する。
【００３５】
まず厚み０．２ｍｍのステンレス板から直径１３ｍｍ程度の円板状の天部８を有す有天円筒状のケース７を成型加工する。このとき側壁部１０には軸方向に凸部４０を８個成型し、上方から見ると側壁部１０が花びら状に見える。次に天部８の外壁面に直径１２．５ｍｍの円板状の音響整合層９をエポキシ系接着剤を用いて接着固定する。これ以後の超音波振動子３９の作製方法、超音波流量計の作製方法、動作原理は実施例１と同様になるため省略する。
【００３６】
側壁部１０の剛性が高ければ高いほどケース７は振動しにくくなるため、残響を抑えることができる。薄い金属板から作られたケース７の剛性を高めるためには、凸部や凹部を設ければ良く、成型加工も容易にできる。本実施例では側壁部１０の軸方向に８個の凸部４０を設けることにより剛性を高め超音波振動子３９の残響を低減することができる。
【００３７】
なお実施例２では８個の凸部４０を側壁部１０に設けるとしたが、１個以上なら何個でも構わない。また図９に示すように側壁部１０に凹部４１を設け王冠状にしても良いし、凸部と凹部を組み合わせても良い。
【００３８】
（実施例３）
以下、本発明の実施例３について、図面を参照しながら説明する。
【００３９】
図１０は超音波振動子４２の外観図である。７はケース、１０は側壁部、１２は支持部で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成とことなるのは、天部４３が四角形、音響整合層４４が直方体、折り曲げ部４５が側壁部１０の軸方向に設けたれた点である。
【００４０】
以上のように構成さた超音波振動子の作成方法の一例について図１０を用いて説明する。超音波振動子４２はＬＰガスや天然ガス中で使用することを想定して、ケース７にはステンレス、音響整合層４４にはエポキシ樹脂と中空ガラス球の混合体からなる材料を選択する。また量産性を考えケース７の加工方法には、切削加工でなく絞り加工のような成型加工を選択する。
【００４１】
まず厚み０．２ｍｍのステンレス板から１辺が９ｍｍの正方形の天部４３を有す有天角筒状のケース７を成型加工する。このとき側壁部１０はほぼ四角柱となるよう側壁部１０に折り曲げ部４５を成型加工する。次に天部４３に１辺８ｍｍの正方形の面を有す直方体の音響整合層４４をエポキシ系接着剤を用いて接着固定する。これ以後の超音波振動子４２の作製方法、超音波流量計の作製方法、動作原理は実施例１と同様になるため省略する。
【００４２】
側壁部１０の剛性が高ければ高いほどケース７は振動しにくくなるため、残響を抑えることができる。ここで薄い金属板から作られたケース７の剛性を高めるためには、側壁部を多角形の柱状にすれば良く、側壁部１０を多角形に成型加工することは容易である。本実施例では側壁部１０を四角柱とすることにより剛性を高められ超音波振動子４２の残響を低減することができる。
【００４３】
なお実施例３では天部４３は正方形、側壁部１０は四角柱としたが、四角形以外の多角形でも構わない。また支持部１２を円板形状としたが、天板８と同様に正方形でも、それ以外の多角形でも良い。
【００４４】
（実施例４）
以下、本発明の実施例４について、図面を参照しながら説明する。
【００４５】
図１１は超音波振動子４６の断面図、図１２は超音波振動子４６の上面図である。７はケース、８は天部、９は音響整合層、１０は側壁部、１２は支持部、１３は圧電体、１４は端子板、１５ａ、１５ｂは端子、１６は端子１５ａと端子１５ｂを絶縁するための絶縁部、１７は圧電体１３と端子１５ａを電気的に接続するためのリード線で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成とことなるのは、天部８の外周部４９の４ケ所に凸部４７ａ〜４７ｄ、凸部４７と音響整合層９の間に空隙部４８を設けた点である。
【００４６】
以上のように構成さた超音波振動子４６の作成方法の一例について図１１、図１２を用いて説明する。超音波振動子４６はＬＰガスや天然ガス中で使用することを想定して、ケース７にはステンレス、音響整合層９にはエポキシ樹脂と中空ガラス球の混合体からなる材料を選択する。また量産性を考えケース７の加工方法には、切削加工でなく絞り加工のような成型加工を選択する。まず厚み０．２ｍｍのステンレス板から直径１５ｍｍ程度の円板状の天部８を有す有天円筒状のケース７を成型加工する。このとき天部８の外周部４９に高さが音響整合層９の厚みより薄い、０．８ｍｍ程度の凸部４７ａ〜４７ｄを同心円状に構成する。次に天部８の外壁面で凸部４７ａ〜４７ｄの内側に直径１２．５ｍｍの円板状の音響整合層９をエポキシ系接着剤を用いて接着固定する。このとき音響整合層９と凸部４７ａ〜４７ｄの間に、空隙部４８が形成される。これ以後の超音波振動子４６の作製方法、超音波流量計の作製方法、動作原理は実施例１と同様になるため省略する。
【００４７】
天部８の外周部４９の剛性が高くなると、振動は側壁部１０に伝わりにくくなりケース７は振動しにくくなる。このため超音波振動子４６の残響を抑えることができる。ここで薄い金属板から作られたケース７の剛性を高めるためには、外周部４９に凸部あるいは凹部を設ければよく、外周部４９に凸部あるいは凸部を成型加工することは容易である。本実施例では外周部４９に４ケ所凸部４７ａ〜４７ｄを設けることによりケース７の剛性を高められ超音波振動子３９の残響を低減することができる。
【００４８】
なお実施例４では外周部４９に凸部４７を４ケ所設けるとしたが、１ケ所以上ならいくつでも構わないし、図１３に示したように凸部５０を円環状に設けても良い。また外周部４９に凸部を設けるとしたが、図１４に示すように複数の凹部５１あるいは円環状の凹部５１を設けても良い。また音響整合層９と凸部４７の間に空隙部４８を設けるとしたが、音響整合層９の接着強度を増加させるために空隙部４８にエポキシ系接着剤を充填しても構わないし、音響整合層９の振動の減衰をはやめるためシリコンゴムなどの弾性体を充填しても構わない。
【００４９】
（実施例５）
以下、本発明の実施例５について、図面を参照しながら説明する。
【００５０】
図１５は超音波振動子５２の断面図である。７はケース、８は天部、９は音響整合層、１０は側壁部、１２は支持部、１３は圧電体、１４は端子板、１５ａ、１５ｂは端子、１６は端子１５ａと端子１５ｂを絶縁するための絶縁部、１７は圧電体１３と端子１５ａを電気的に接続するためのリード線で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成とことなるのは、天部８の外周部５３に肉薄部５４を設けた点である。
【００５１】
以上のように構成さた超音波振動子５２の作成方法の一例について図１５を用いて説明する。超音波振動子５２はＬＰガスや天然ガス中で使用することを想定して、ケース７にはステンレス、音響整合層９にはエポキシ樹脂と中空ガラス球の混合体からなる材料を選択する。また量産性を考えケース７の加工方法には、切削加工でなく絞り加工のような成型加工を選択する。
【００５２】
まず厚み０．３ｍｍのステンレス板から直径１４ｍｍ程度の円板状の天部８を有す有天円筒状のケース７を成型加工する。このとき天部８の内壁面と外壁面の外周部５３には、天部８と同心円状で厚みが０．１ｍｍ程度となる肉薄部５４を１本構成する。次に天部８の外壁面で肉薄部５４の内側に直径１２．５ｍｍの円板状の音響整合層９をエポキシ系接着剤を用いて接着固定する。天部８の内壁面には圧電体１３をエポキシ系接着剤で接着固定する。これ以後の超音波振動子４６の作製方法、超音波流量計の作製方法、動作原理は実施例１と同様になるため省略する。
【００５３】
ケース７の振動を抑えるためには、ケース７の剛性を高める以外に天部８を振動しやすくする方法がある。天部８と側壁部１０の振動的つながりを弱めることにより可能となる。そこで肉薄部５４により、天部８の肉薄部５４の内側は振動しやすく、その外側には振動が伝わりにくくする。このためケース７は振動しにくくなり、超音波振動子５２の残響を抑えられる。
【００５４】
なお実施例５では外周部５４の内壁面と外壁面に肉薄部５４を設けるとしたが、内壁面だけでも外壁面だけでも良い。また同心円状の肉薄部５４を１本設けるとしたが、２本以上でも構わないし、円環状に連続していなくても良い。
【００５５】
（実施例６）
以下、本発明の実施例６について、図面を参照しながら説明する。
【００５６】
図１６は超音波振動子５５の断面図、図１７は超音波流量計の流量測定部２３の超音波振動子取付部分の断面図である。７はケース、８は天部、９は音響整合層、１０は側壁部、１１は折り曲げ部、１２は支持部、１３は圧電体、１５ａ、１５ｂは端子、１６は端子１５ａと端子１５ｂを絶縁するための絶縁部、１７は圧電体１３と端子１５ａを電気的に接続するためのリード線で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成と異なるのは、端子板５６の直径が支持部１２より大きいことと、端子板５６の外周にシール部５７をを設けた点である。以上のように構成さた超音波振動子５５の作成方法、超音波流量計の作製方法、動作原理は実施例１と同様になるため省略する。
【００５７】
超音波振動子５５を流量測定部２３に取り付ける方法を説明する。側壁部２４に設けられた振動子取付穴２９に超音波振動子５５を挿入する。超音波振動子５５の端子板５６は厚みが１ｍｍ、直径が２０ｍｍとする。端子板５６は支持部１２の直径１６ｍｍに対し４ｍｍ大きく構成されており、この部分にシール部５７を設けてある。シール部５７と側壁部２４に設けられた流路シール面５８の間にＯリングからなるシール材５７を挟む。次にドーナツ型の固定体と図示されていないネジにより端子板５６を背面から加圧しながら固定する。
【００５８】
超音波振動子５５では支持部１２と端子板５６を電気溶接した際、支持部１２の表面に凹凸ができることがある。支持部１２の表面に凹凸ができると、シール材５９を用いても振動子取付穴２９からガスが漏れることを防げないことも考えられる。本実施例では支持部１２より外形寸法の大きい端子板５６を用いることにより、端子板５６の外周に電気溶接の影響を受けない表面が滑らかなシール部５７を持つことが可能となる。このため超音波流量計のガス漏れに対する安全性が向上できる。
【００５９】
なお実施例６では、端子板５６とシール部５９の厚みは同一としたが、端子板５６とシール部５９の厚みを等しくする必要はなく、例えば端子板５６の厚みよりシール部５９の厚みを厚くしても良い。また端子板５６は円板状としたが、シール部５９を折り曲げて構成しても良い。また端子板５６の直径を支持部１２より大きいとしたが、支持部１２の直径を端子板５６より大きくし、支持部１２にシール部を設けても良い。
【００６０】
なお、実施例１〜６では、圧電体１３を圧電セラミック、周波数を４００ＫＨｚ、形状を縦８ｍｍ、横８ｍｍ、厚み４ｍｍの直方体、溝を２本設けるとしたが、上記条件に限定されるわけでなく、材料、周波数、形状、寸法、溝の本数を適宜変えて構成することができ、例えば薄い円板の厚み振動、円柱や角柱の厚み縦振動でも構わない。また流量測定部２３の材料をアルミニウム合金ダイカストとしたが、上記条件に限定されるわけでなく、被測定流体により材料を適宜変えて構成することができる。また流路断面３７を矩形、超音波振動子２７、２８、５５を流路２６に対し斜めに配置したが、上記条件に限定されるわけでなく、流路形状、超音波振動子の配置を適宜変えて構成することができ、流路形状は円筒形でも構わないし、超音波振動子を流れに対して平行に配置しても構わない。またシール材３１、３２、５９をＯリングとしたが、上記条件に限定されるわけでなく、可燃性被測定流体をシールできるのであれば材料、形状を適宜変えて構成することができる。
【００６１】
また被測定流体をＬＰガス、天然ガスとしたが、それ以外の液化天然ガス、石油、灯油等の気体、液体でも構わない。また超音波流量計として家庭用ガスメータを想定したが、それ以外の超音波流量計あるいは超音波流速計でも構わず、給湯器のガスの流量制御用流速計、自動車の空気や燃料の流量計でも構わない。またケース７、端子板１４、５６をステンレスとしたが、上記条件に限定されるわけでなく、材料は適宜変えて構成することができる。また支持部１２を側壁部の端面に設けたが、それ以外の場所に設けても良い。また整合層９、４４はエポキシ樹脂と微小ガラス球からなるの材料を１層のみ用いたが、被測定流体に適した形状の材料を１層以上、あるいは被測定流体によっては設ける必要がない場合もある。また複数の実施例の構成を組み合わせて実施しても良い。また超音波振動子を超音波流量計に用いるとしてが、距離センサ等の超音波センサとして用いても良い。またケース７と端子板１４で囲まれた空間を乾燥した窒素や不活性ガスで置換するとしたが、真空にしても良いし、空気でも良い。
【００６２】
以上の説明から明らかなように本発明の実施形態の超音波振動子及びこれを用いた流量計によれば次の効果が得られる。
【００６３】
本発明の実施形態における第１の超音波振動子は、天部と側壁部を有す有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記ケースが防振構造を有し圧電体の振動が前記ケースへ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００６４】
本発明の実施形態における第２の超音波振動子は、側壁部の剛性が増大する形状としたため、圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００６５】
本発明の実施形態における第３の超音波振動子は、側壁部に天部と同心状の折り曲げ部を設けたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００６６】
本発明の実施形態における第４の超音波振動子は、側壁部の軸方向に複数の凸部または凹部を備えたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００６７】
本発明の実施形態における第５の超音波振動子は、側壁部を多角形の筒状としたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００６８】
本発明の実施形態における第６の超音波振動子は、天部の外周部に凸部または凹部を備えたため、天部の外周部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００６９】
本発明の実施形態における第７の超音波振動子は、天部の外周部に薄肉部を備えたため、天部のうち圧電体を固定した部分が振動しやすくなり圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【００７０】
本発明の実施形態における超音波流量計は、被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられ超音波を送受信する第１ないし第７のいずれかの１対の超音波振動子と、前記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、前記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えたため、残響によるノイズの影響を低減できＳ／Ｎが改善され、被測定流体の流量、流速の計測精度が高い超音波流量計を得ることができる。
本発明の実施形態における超音波流量計は、支持部に固定される端子板にシール部を有す超音波振動子を備えたため、被測定流体が流量測定部から外部に漏れることが防止でき、信頼性の高い超音波流量計を得ることができる。
【００７１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明の超音波振動子及びこれを用いた流量計によれば、ケースが防振構造を有し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の超音波振動子の外観図
【図２】同超音波振動子の断面図
【図３】同超音波振動子に用いる圧電体の外観図
【図４】同超音波振動子に用いる超音波流量計の一部断面図を含む構成図
【図５】同流量計の断面ａーａ’線の横断面図
【図６】同超音波振動子の変形例の断面図
【図７】本発明の実施例２における超音波振動子の上面図
【図８】同超音波振動子の側面図
【図９】同超音波振動子の変形例の外観図
【図１０】本発明の実施例３における超音波振動子の外観図
【図１１】本発明の実施例４における超音波振動子の断面図
【図１２】同超音波振動子の上面図
【図１３】同超音波振動子の変形例の上面図
【図１４】同超音波振動子の変形例の断面図
【図１５】本発明の実施例５における超音波振動子の断面図
【図１６】本発明の実施例６における超音波振動子の断面図
【図１７】超音波流量計の流量測定部の超音波振動子取付部分の断面図
【図１８】従来の超音波流量計用超音波振動子の断面図
【図１９】従来の他の超音波流量計用超音波振動子の断面図
【符号の説明】
６  超音波振動子
７  ケース
８  天部
９  音響整合層
１０  側壁部
１１  折り曲げ部
１２  支持部
１３  圧電体
２７，２８  超音波振動子
２３  流量測定部
３３  計測回路
３４  流量演算手段
４０，４７  凸部
４１，５１  凹部
５４  肉薄部
５７  シール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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