(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
常時は物品搬送用の主搬送装置の走行範囲外でかつ前記主搬送装置の走行レールに沿った位置で待機すると共に、主搬送装置をバックアップする際には、移載装置を備えた子台車を載せて前記走行レールに沿って走行する補助台車を設けた搬送システム。
【請求項２】
前記子台車がマニュアル制御の台車で、前記補助台車の待機位置が前記マニュアル台車の通路の床下で、かつ少なくとも前記通路の床下の補助台車の待機位置まで前記走行レールを敷設したことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
前記補助台車での前記マニュアル台車の積載面の高さを、前記通路の床の高さとほぼ同一レベルにし、前記マニュアル台車からの制御信号を前記補助台車へ伝送するためのコネクタを設けて、該コネクタを前記通路上で接続／切り離し自在にしたことを特徴とする、請求項２の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は半導体工場や液晶工場等に用いる搬送システムでの、主搬送装置のバックアップに関する。
【０００２】
【従来技術】
半導体工場や液晶工場等では、１工程分の処理装置の列にストッカー等を加えて配置し、これらの間での物品の搬送をスタッカークレーン等の搬送装置で行い、工程間の搬送を天井走行車や有軌道台車等の他の搬送装置で行うようにした搬送システムが知られている。ここでスタッカークレーンにトラブルが生じると、その工程が停止してしまい、工場全体に影響を及ぼすことになる。
【０００３】
【発明の課題】
この発明の課題は、簡単な構成の補助台車で、かつ主搬送装置の走行レールを利用して、主搬送装置の故障時にバックアップを行うと共に、補助台車が主搬送装置の邪魔にならないようにすることにある（請求項１〜３）。
請求項２の発明での追加の課題は、補助台車と子台車との具体的な構成を提供することにある。
請求項３の発明での追加の課題は、マニュアル台車の通路上で補助台車へマニュアル台車が乗り降りできるようにし、かつマニュアル台車側から補助台車を制御できるようにすることにある。
【０００４】
【発明の構成】
この発明は、常時は物品搬送用の主搬送装置の走行範囲外でかつ前記主搬送装置の走行レールに沿った位置で待機すると共に、主搬送装置をバックアップする際には、移載装置を備えた子台車を載せて前記走行レールに沿って走行する補助台車を設けた搬送システムにある（請求項１）。
【０００５】
好ましくは、前記子台車がマニュアル制御の台車で、前記補助台車の待機位置が前記マニュアル台車の通路の床下で、かつ少なくとも前記通路の床下の補助台車の待機位置まで前記走行レールを敷設する。
特に好ましくは、前記補助台車での前記マニュアル台車の積載面の高さを、前記通路の床の高さとほぼ同一レベルにし、前記マニュアル台車からの制御信号を前記補助台車へ伝送するためのコネクタを設けて、該コネクタを前記通路上で接続／切り離し自在にする。
【０００６】
【発明の作用と効果】
この発明では、物品搬送用の主搬送装置をバックアップする必要がある際に、移載装置を備えた子台車を補助台車に載せて主搬送装置の走行レールに沿って走行させ、搬送を行う。そして補助台車は、常時は主搬送装置の走行範囲外で待機させる。このため主搬送装置が故障した際のバックアップができるのみでなく、主搬送装置の走行レールを補助台車の走行に兼用でき、常時は補助台車が主搬送装置の邪魔にならない。またバックアップ時には補助台車に子台車を載せて搬送を行うので、補助台車に移載装置等を設ける必要が無く、簡単な構造の補助台車で良い（請求項１）。
【０００７】
請求項２の発明では、マニュアル制御の台車を子台車として用い、マニュアル台車の通路の床下まで走行レールを延長して、マニュアル台車の通路の床下で補助台車を待機させる。このため、補助台車の待機用に余分なスペースを割く必要が無く、バックアップ時にはマニュアル台車を補助台車上に乗り込ませるので、マニュアル制御でバックアップを容易に行うことができ、マニュアル台車を補助台車から下ろした後は、マニュアル台車で物品を搬送できる。
請求項３の発明では、補助台車でのマニュアル台車の積載面の高さを、マニュアル台車の通路の床の高さとほぼ同一レベルにし、マニュアル台車から補助台車へ制御信号を伝送するためのコネクタを設けて、このコネクタをマニュアル台車の通路上で接続／切り離し自在にする。このため、マニュアル台車の通路上でコネクタを接続して、マニュアル台車側から補助台車を制御でき、マニュアル台車の通路上で補助台車にマニュアル台車を載せることができる。またマニュアル台車の通路上で、マニュアル台車を補助台車から切り離すことができる。
【０００８】
【実施例】
図１〜図４に実施例を示す。図１に実施例の搬送システムの全体構成を示すと、２は工程で、半導体の製造や液晶パネルの製造、あるいは医薬品の製造等でのまとまった一つの工程を意味し、各工程には各種の処理装置を配列すると共に、仕掛品を保管するためのストッカーや自動倉庫の棚等を設ける。４はスタッカークレーンで、工程２内での仕掛品の搬送に主搬送装置として用い、スタッカークレーン以外の搬送装置を主搬送装置として用いても良い。６は走行レールで、８はスタッカークレーン４の走行スペースで、９は工程２の扉である。また１０は後述の天井走行車への移載ステーションで、天井付近の高さレベルに設けてある。
【０００９】
１２は工程２に面した通路で、１４は天井走行車の軌道であり、１６は前記の天井走行車で、移載ステーション１０を介してスタッカークレーン４との間で物品のやり取りを行う。このように実施例では、工程内での搬送をスタッカークレーン４で行い、工程間の搬送を天井走行車１６で行う。図１では通路１２の右側にのみ工程２等を示したが、通路１２の左側にも同様に工程２等を配置しても良い。また工程２や通路１２等はクリーンルーム内に配置し、工程２側のクリーン度を通路１２側のクリーン度よりも高くし、通路１２側から工程２側へ埃が侵入するのを防止するため、前記の扉９を用いる。
【００１０】
２０は補助台車で、走行モータ等を備えて、前記の走行レール６に沿って走行できるが、移載装置や昇降装置等は備えていない、簡単な台車とする。そして補助台車２０は常時は、スタッカークレーン４の走行範囲の外で、例えば図１に示したように通路１２内で待機させる。２２はマニュアル台車で、通路１２上を移動し、人手で押して運動する手押し台車でも、あるいは操縦用のハンドル等とバッテリーと走行モータとを備えた動力台車でも良い。マニュアル台車２２には将来的には、ＣＣＤカメラ等で周囲の風景を撮影し、コントロール室へ撮影した画像を転送し、コントロール室でマニュアルにより制御して運動するものも用いることができる。
【００１１】
図２に、補助台車２０とマニュアル台車２２との関係を示す。補助台車２０には走行部２４があり、ここに走行モータや車輪等を設けてある。補助台車２０の上部には板状の積載部２６があり、周囲の通路１２の床と同様にグレーティングを施し、通路１２内のスペースから床下への気流を確保できるようにする。そして積載部２６の上面を、周囲の通路１２の床面と同一レベルの高さにし、走行レール６を床面よりも低い位置に敷設する。２８は補助台車２０側のコネクタで、３０はマニュアル台車２２側のコネクタで、コネクタ２８，３０を接続すると、補助台車２０からマニュアル台車２２に電力を供給すると共に、マニュアル台車２２側から補助台車２０を操縦できるようになる。
【００１２】
３２，３２は補助台車２０の待機位置両側の安全柵格納部で、補助台車２０上にマニュアル台車２２が乗り込み、工程２内に進入すると、通路１２に孔が残るので、転落防止用の安全柵を格納する場所である。また３４は走行レール６と平行に設けたトロリー線で、スタッカークレーン４や補助台車２０への給電に用いる。３６は固定のカプラー、３８はマニュアル台車２２に設けたカプラーで、カプラー３６，３８を結合すると、補助台車２０以外の位置でもマニュアル台車２２へ給電でき、スライドフォーク等の移載装置４０を駆動できる。４２は制御パネルで、移載装置４０を制御すると共に、コネクタ２８，３０を接続した場合、補助台車２０を操縦するために用いる。４４は工程２内のステーションに設けた凹部で、その上部に物品４６を載置する。
【００１３】
図３、図４に、補助台車２０へのマニュアル台車２２の乗り込み（図３）や、走行スペース８内の走行（図４）を示す。補助台車２０の積載部２６は通路１２の床面と同じ高さにあり、例えば人手で押してきたマニュアル台車２２が自然と積載部２６に乗り込み、コネクタ２８，３０を接続すると、補助台車２０とマニュアル台車２２が機構的に接続され、かつ制御パネル４２から補助台車２０を操縦できるようになる。なお積載部２６上にマニュアル台車２２を位置決めするための、車止めをさらに設けても良い。マニュアル台車２２が補助台車２０上に乗り込むと、制御パネル４２から補助台車２０を制御して、工程２内に進入させ、移載装置４０を用いてフォークを凹部４４内に差し込み、物品４６を移載する。
【００１４】
補助台車２０またはマニュアル台車２２のいずれかに、人が操縦のために乗るためのスペースを設けることが好ましい。クリーンルーム内での気流は、図３、図４に示したようにクリーンエアー（白抜き矢印）がグレーティングを施した床や、積載部２６のグレーティングを介して流れ、床下から黒抜き矢印のように吸引される。補助台車２０が工程内に進入すると、通路１２には補助台車２０が移動した後に孔が残るので、安全柵格納部３２，３２から安全柵を取り出してセットしておく。
【００１５】
このようにすると、スタッカークレーン４にトラブルが生じた場合でも、補助台車２０と干渉しない位置まで後退できさえすれば、補助台車２０を用いて物品の搬送や移載を続行できる。このため問題の工程を停止する必要が無くなり、工場全体としての生産の遅れを最小限度に留めることができる。また補助台車２０は走行レール６上を走行するだけの簡単な構成であり、移載装置も昇降装置も必要でないので、設置は容易である。そして補助台車２０の走行には、スタッカークレーン４用の走行レール６と走行スペース８とを用いることができる。
【００１６】
工程２内では補助台車２０をマニュアル台車２２側から操縦でき、物品４６の移載にはマニュアル台車２２の移載装置４０をそのまま用いることができる。そして非常時のバックアップ用の運転なので、人が補助台車２０上に乗り込みながら操縦して、移載装置４０もマニュアルで制御するのが良い。工程２内から通路１２へ戻った補助台車２０からは、コネクタ２８，３０を切り離して、マニュアル台車２２を通路１２に沿って運動させることができる。このため同じマニュアル台車２２で、次の工程等へ物品を搬送できる。
【００１７】
図５に変形例を示す。図１〜図４の実施例では、補助台車２０の積載部２６が通路１２の床面と同じ高さだったので、通路１２に積載部２６を覆うカバーを設けられず、補助台車２０が工程２内に進入すると、通路１２に孔が残った。これに対して図５の変形例では、積載部２６の上面を通路１２のグレーティング床５２の下面よりやや低い高さとし、コネクタ２８の周囲に孔５４を設けて、マニュアル台車２２のコネクタ３０と接続できるようにする。なお変形例の場合、特に指摘した箇所以外は図１〜図４の実施例と同様である。
【００１８】
図５の変形例の場合、通路１２を人手等で進んできたマニュアル台車２２は、グレーティング床５２の裏面に隠れている補助台車５０の上部で停止し、コネクタ２８，３０を接続する。この状態で制御パネル４２を用いて補助台車５０を発進させると、マニュアル台車２２はコネクタ２８，３０を介して補助台車２０に牽引されて、補助台車２０上へ乗り移り、通路１２側には孔５４の部分が開口として残るが、他に大きな孔は残らない。
【００１９】
図６に第２の変形例を示す。図１〜図４の実施例や図５の変形例では、工程と１：１に対応させて補助台車を設け、扉９のすぐ外側で待機させた。これに対して図６の変形例では、通路１２の中央部で補助台車５０を待機させ、これに伴ってスタッカークレーン４の走行レールを通路１２を貫通するように延長した走行レール５８とし、前記の孔５４を通路１２の両端付近に設け、補助台車５０を通路１２の左右いずれの側に進入させるのかを入力するための呼び寄せスイッチ５６を設けた。図６の変形例の場合、いずれかの工程でスタッカークレーン４にトラブルが生じると、スイッチ５６を押して補助台車５０ａを呼び寄せ、コネクタ２８を孔５４から露出させて、マニュアル台車２２のコネクタと結合し、後は図５の変形例と同様にして工程内での移載や搬送等の作業を行う。
【００２０】
実施例や変形例では、マニュアル台車２２を通路１２上で補助台車２０，５０上に乗り込ませたが、これに限るものではない。例えばスタッカークレーン４にトラブルが生じると、補助台車を工程内の走行スペース８での通路１２側の端に移動させ、マニュアル台車２２を人手で押して扉９を通過させ、走行スペース８内の補助台車上に載せるようにしても良い。しかしながらこのようにすると、マニュアル台車２２の向きを急に変える必要があり、発塵の原因ともなり、作業も面倒になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の搬送システムのレイアウトを示す平面図
【図２】実施例での、扉の前でのマニュアル台車と補助台車とを示す斜視図
【図３】実施例で、補助台車上にマニュアル台車を載せて、扉内に進入しようとしている姿を示す図
【図４】実施例で、扉内での補助台車上のマニュアル台車を示す図
【図５】変形例での、通路内で待機している補助台車とマニュアル台車とを示す図
【図６】第２の変形例のレイアウトを示す平面図
【符号の説明】
２        工程
４        スタッカークレーン
６        走行レール
８        走行スペース
９        扉
１０        移載ステーション
１２        通路
１４        天井走行車の軌道
１６        天井走行車
２０，５０  補助台車
２２        マニュアル台車
２４        走行部
２６        積載部
２８，３０  コネクタ
３２        安全柵格納部
３４        トロリー線
３６，３８  カプラー
４０        移載装置
４２        制御パネル
４４        凹部
４６        物品
５２        グレーティング床
５４        孔
５６        呼び寄せスイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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