(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通気性を備えた吸着ベルト（３）を循環経路に沿うように巻きかけて回転移動させる移動手段と、前記循環経路の設定箇所でその吸着ベルト（３）内を厚さ方向に透過するように処理対象ガス（Ｇ１）を給排する吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇所で吸着ベルト（３）内を厚さ方向に透過するように脱着用ガス（Ｇ２）を給排する脱着手段とを設け、前記吸着ベルト（３）に、その吸着ベルト（３）の幅方向両端同士の相対接近を阻止する複数のベルト幅規制体（３Ｄ）を回転移動方向に間隔を隔てて装着し、
前記吸着ベルト（３）を幅方向の両側から挟む状態に配置した一対の規制体（２２）に対して前記ベルト幅規制体（３Ｄ）のベルト幅方向における両端部を前記吸着ベルト（３）の回転移動に伴い摺動させることにより、前記吸着ベルト（３）の幅方向での位置を規制する位置規制手段を設けることにおいて、
前記吸着ベルト（３）をコンベアネット（６Ａ）の外周面に重ねた状態でコンベアネット（６Ａ）を前記循環経路に沿って回転移動させることにより前記吸着ベルト（３）を前記循環経路に沿って移送するネットコンベア（６）により前記移動手段を構成し、
前記循環経路のうち下降経路部から上昇経路部へわたる下側経路部において前記コンベアネット（６Ａ）を前記吸着ベルト（３）から上方へ分離させて吸着ベルト（３）を自由状態にする分離手段を設け、
この分離手段により前記コンベアネット（６Ａ）を前記吸着ベルト（３）から上方へ分離させた分離部において前記ベルト幅規制体（３Ｄ）の両端部を前記規制体（２２）に対し摺動させる状態に前記位置規制手段を配置してある吸脱着式ガス浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、塗装工場や半導体製造工場などから排出される溶剤（トルエンやキシレンで代表される有機溶剤等で３０〜３００ｐｐｍ程度の濃度）含有の排気を処理する、つまり、排気中の溶剤を除去処理する技術のうち、最終処理量の減量を図るように溶剤の濃度を濃縮する場合などに用いられる装置で、詳しくは、通気性を備えた吸着ベルトを用い、溶剤などの除去対象物を含有する処理対象ガスを、その吸着ベルト内を厚さ方向で透過するように供給することによりその処理対象ガス中の除去対象物を吸着ベルトに吸着させて処理対象ガスを浄化する一方、前記の吸着ベルトに脱着用ガスを、その吸着ベルトの厚さ方向で透過するように供給することにより吸着ベルトからそれに吸着されている除去対象物を脱着して吸着ベルトの更新と除去対象物の濃縮とを行う吸脱着式ガス浄化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
吸着ベルトを用いてガス浄化を行う本発明対象の吸脱着式ガス浄化装置では、例えば、繊維状活性炭をペーパ化し、段加工して多数のガス通路を有するハニカム状に成形し、それを枠に支持させたブロック状の吸着体を用い、その吸着体のガス通路内に沿って処理対象ガスを透過させることにより、繊維状活性炭が分散するガス通路周囲壁に接触させて溶剤などの除去対象物を吸着させるハニカムロータ式の吸脱着式ガス浄化装置に比較して、次のような利点がある。
つまり、ハニカムロータ式の吸脱着式ガス浄化装置による場合には、ガス通路周囲壁に沿って処理対象ガスを流動させて吸着材に接触させることで吸着させるため、吸着体の大きさの割りには吸着材と処理対象ガスとの接触面積が小さくて、吸着材と処理対象ガスとの接触効率が悪く、吸着体の大きさの割りには処理能力が小さくてコストの高いものになる。しかも、吸着体を加熱して脱着する際、吸着体が大きく、加えて、支持用の枠に熱を取られることにより、多量の熱量が必要であり、かつ、脱着後に吸着可能状態に更新させる上で冷却を必要とすることもあり、ランニングコストが高くつく。これに対し、本発明が対象とする上述の吸脱着式ガス浄化装置による場合には、吸着ベルトを、繊維状活性炭のフェルトから構成したり、或いは、活性炭を内部に分散させたフェルトから構成したりすることなどにより、吸着ベルトと処理対象ガスとの接触面積を大きくして接触効率を優れたものにできる割りには吸着ベルトの厚さを薄くでき、その結果、吸着ベルトを加熱・冷却し易いものにできて、脱着のための加熱に要するランニングコストが安くて済み、また、特別な装置類を要することなく脱着後の吸着のための冷却を行える。
そのような利点を有する吸脱着式ガス浄化装置として従来では、図２８に示すように、吸着ベルト３を第１のロールＲ１から繰り出すとともに、第２のロールＲ２で巻き取り、その第１のロールＲ１から第２のロールＲ２への移動途中で、処理対象ガスＧ１を供給して溶剤などの除去対象物を吸着ベルト３に吸着させ、第２のロールＲ２を収納する加熱室Ｈに脱着用ガスＧ２としての加熱空気を供給して吸着ベルト３からそれの吸着されている除去対象物を脱着する技術が知られている（例えば特公昭５３―９５８７号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来技術によるときは、吸着ベルトを第１のロールから繰り出しつつ第２のロールで巻き取ることで移動させて吸着ベルトに除去対象物を吸着させるから、そのような移動時に加熱室に加熱空気を並行して供給することにより、吸着と同時に脱着を行えるものの、第２のロールに吸着ベルトが最後まで巻き取られると、第１のロールに吸着ベルトを巻き戻しする必要があって、処理形態が、吸脱着と巻き戻しとを交互に繰り返す形態とならざるを得ない。その結果、長時間の処理を行うには、第１のロールから吸着ベルトの全部を繰り出しての１回の吸着作業時間を長くしたり、或いは、複数の装置を設けて一方のものが吸脱着しているときに他方のものが巻き戻しするように交互に使用したりする必要がある。そして、前者の場合には、吸着ベルトの巻き取り径が大きくなってそれに付帯する装置の大型化、コストアップを招来するのみならず、第２のロールに巻き取られた状態で加熱室で吸着ベルトが除去対象物を吸着した状態で加熱される時間が長くなることで、吸着ベルトの異常な昇温を招来することがあって、それを防止するための構成が別途必要になり、装置の大型化、コストアップが不可避である。このことは、特に、高濃度の処理対象ガスを処理するために吸着ベルトの移動速度を速くした場合に顕著である。他方、後者の場合には、装置の数が増えて、やはり、装置の大型化、コストアップが不可避である。
本発明の目的は、上記欠点を解消する点、つまり、たとえ前記従来例の主使用領域濃度に比べて高濃度の処理対象ガスであっても、装置の大型化、コストアップを招来することなく長時間連続処理できるようにする点にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明による吸脱着式ガス浄化装置の特徴は、通気性を備えた吸着ベルトを循環経路に沿うように巻きかけて回転移動させる移動手段と、前記循環経路の設定箇所でその吸着ベルト内を厚さ方向に透過するように処理対象ガスを給排する吸着手段と、前記設定箇所とは異なる別の設定箇所で吸着ベルト内を厚さ方向に透過するように脱着用ガスを給排する脱着手段とを設け、前記吸着ベルトに、その吸着ベルトの幅方向両端同士の相対接近を阻止する複数のベルト幅規制体を回転移動方向に間隔を隔てて装着し、
前記吸着ベルトを幅方向の両側から挟む状態に配置した一対の規制体に対して前記ベルト幅規制体のベルト幅方向における両端部を前記吸着ベルトの回転移動に伴い摺動させることにより、前記吸着ベルトの幅方向での位置を規制する位置規制手段を設けることにおいて、
【０００５】
前記吸着ベルトをコンベアネットの外周面に重ねた状態でコンベアネットを前記循環経路に沿って回転移動させることにより前記吸着ベルトを前記循環経路に沿って移送するネットコンベアにより前記移動手段を構成し、
前記循環経路のうち下降経路部から上昇経路部へわたる下側経路部において前記コンベアネットを前記吸着ベルトから上方へ分離させて吸着ベルトを自由状態にする分離手段を設け、
この分離手段により前記コンベアネットを前記吸着ベルトから上方へ分離させた分離部において前記ベルト幅規制体の両端部を前記規制体に対し摺動させる状態に前記位置規制手段を配置してある点にある。
【０００６】
【作用】
本発明によれば、吸着ベルトを循環経路に沿って回転移動させるとともに、吸着手段と脱着手段とを作動させることにより、処理対象ガスの供給箇所と脱着用ガスの供給箇所とに交互に繰り返して吸着ベルトを移動させて、吸着ベルトによる処理対象ガスからの除去対象物の吸着と、その吸着した除去対象物の脱着用ガスへの脱着とを行うことができるから、吸着ベルトの回転移動と、その状態での処理対象ガスの供給及び脱着用ガスの供給とを連続して行うことにより、吸脱着を中断することなく連続して行うことができるとともに、脱着時に吸着ベルトを過剰に加熱することがない。
しかも、吸着ベルトにはその循環経路に沿って確実円滑に回転移動するために回転移動方向にテンションが掛けられており、特に循環経路のうち上昇経路部分や下降経路部分では自重自体がテンションとして作用し、そのようなテンションは吸着ベルトの幅を狭めようとする力として作用するが、ベルト幅規制体を設けてあるから、テンションや自重にかかわらず吸着ベルトの幅縮小方向への変形を防止することができる。その結果、装置の小型化・コンパクト化を進める上で、吸着部の処理対象ガス供給口・処理ガス吸い込み口及び脱着部の脱着用ガス供給口・濃縮ガス吸い込み口の幅を吸着ベルトの幅に匹敵する大きさにしてあっても、吸着ベルトの幅内にそれらの口を確実に対応位置させて、供給した処理対象ガスや脱着用ガスが吸着ベルトを透過せずに吸着ベルト脇から処理室内に漏出することを防止することができる。換言すれば、吸着ベルトを最小限の幅に構成してあっても、その吸着ベルトのほぼ全幅を吸脱着に確実に使用して効率の良い吸脱着を行うことができる。
そしてまた、位置規制手段により吸着ベルトの幅方向での位置を規制するから、吸着ベルトの幅方向での位置を適切な位置に安定的に保持することができて、吸着ベルトが幅方向で不適切な位置にずれることよる運転支障を効果的に防止した状態で良好な装置運転を安定的に実施することができる。
しかも、前記ベルト幅規制体を利用して、ベルト幅規制体の両端部を一対の規制体に対し摺動させることにより、吸着ベルトの幅方向での位置を規制するから、吸着ベルト自身に無理な力が作用するのを効果的に防止した状態で、吸着ベルトの幅方向での位置を規制することができ、これにより吸着ベルトの耐用性も高めることができる。
【０００７】
また、本発明によれば、下側経路部において分離手段によりコンベアネットを吸着ベルトから上方へ分離させて吸着ベルトを自由状態にすることで、その状態部分において吸着ベルトの温度変化や経年使用などによる回転移動方向での伸縮を効果的に吸収することができ、これにより、吸着ベルトを長期にわたり良好な状態で安定的に回転移動させることができる。
そして、この自由状態部分では吸着ベルトからコンベアネットが上方へ分離していることで、吸着ベルトの幅方向への位置ずれが生じ易いが、この自由状態部分、すなわち、分離手段によりコンベアネットを吸着ベルトから上方へ分離させた分離部において、前記位置規制手段により吸着ベルトの幅方向での位置を規制することで、その自由状態部分での吸着ベルトの幅方向への位置ずれを確実に防止することができ、これらのことが相まって、良好な装置運転を一層安定的に実施することができる。
【０００８】
【発明の効果】
従って、本発明によれば、吸着ベルトを連続的に回転移動させて、装置の大型化及びコストアップを招来することなく、高濃度の除去対象物含有ガスを長時間連続処理でき、しかも、所期の吸脱着性能をも同時に向上でき、また、装置運転の安定性や吸着ベルトの耐用性も高く確保し得るようになった。
そして特に、装置運転の安定性に一層優れたものにすることができる。
【０００９】
【実施例】
溶剤処理設備への適用例を示す。
溶剤処理設備は、図１に示すように、除去対象物の一例である溶剤を含有する処理対象ガスＧ１を濃縮する前処理用の吸脱着式ガス浄化装置１と、そこからの濃縮ガスｇ２中の溶剤を除去する最終処理装置２とからなる。
前記吸脱着式ガス浄化装置１は、図２、図３に示すように、輪状（無端帯状）に形成された通気性の吸着ベルト３と、その吸着ベルト３を循環経路に沿うように巻きかけて回転移動させる移動手段とを処理室４内に設け、吸着手段と、脱着手段と、分離手段と、位置規制手段とを設けて構成されている。
前記循環経路は、上昇経路部と、それの上端に連なる水平の上側経路部と、その終端に連なる下降経路部と、その下降経路部から上昇経路部への水平な下側経路部とからなる。
前記吸着ベルト３は、活性炭を吸着材として、常温で処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸着し、加熱（１００〜１３０度）により脱着するものである。
具体的には、図４に示すように、繊維状活性炭をフェルト状に加工した通気性のマット３Ａを設け、そのマット３Ａの内周面に、耐熱性（１３０℃程度に耐えられる性能）及び通気性の不織布等からなる無端帯状の補強用の基材３Ｂを重ねて固定し、マット３Ａの外周面に耐熱性（１３０℃程度に耐えられる性能）及び通気性の不織布等からなる保護層３Ｃを重ねて固定し、ベルト幅規制体３Ｄと第１及び第２の通気制限帯状体３Ｅ，３Ｆとを設けて構成されている。
前記マット３Ａの実数値例を挙げると、活性炭繊維の径は１０〜２０μｍ、厚さは１０〜２０ｍｍ、目付け量は６００ｇ／ｍ２程度である。なお、図では判りやすくする上で基材３Ｂ及び保護層３Ｃを厚く示してあるが、基材３Ｂ及び保護層３Ｃの実際の厚さは非常に薄いものである。
そして、吸着ベルト３の外周面には、ベルト幅方向に沿った姿勢で、ベルト幅の全幅にわたる幅及び基材３Ｂの外周面に達する深さを有する複数の切り込み５が回転移動方向に間隔を隔てて形成されている。つまり、マット３Ａは、回転移動方向で複数個に単位体３ａに分割構成されており、保護層３Ｃは、単位体３ａの回転移動方向の端面を覆うように折り曲げ形成されている。
もって、吸着ベルト３は、その各部位がコーナー部を通過する際、回転移動方向で隣合うマット３Ａの外周面側同士が切り込み５を開くように回転移動方向で相互に離間することにより外周面の引張力を吸収するように構成されている。
前記ベルト幅規制体３Ｄは、吸着ベルト３の幅方向両端同士の相対接近を阻止するものであって、金属材料や合成樹脂（耐熱性を有し、熱変形や熱膨張を起こしにくいものが好ましい。）などからなり、丸棒状や角棒状、板状に形成されている。なお、図では丸棒状のものを示してあるが、大きさや形状は、可及的にガスの通過を阻害しないように設定する。そして、吸着ベルト３の切り込み形成箇所のそれぞれに配置されている。
前記第１の通気制限帯状体３Ｅは、非通気性のもので、前記吸着ベルト３の切り込み形成箇所の内周面それぞれにその吸着ベルト３の全幅にわたる状態に装着されて切り込み形成箇所での通気を防止するものであり、耐熱性の合成樹脂シートから構成されている。
前記第２の通気制限帯状体３Ｆは、非通気性で、前記吸着ベルト３のうちベルト幅規制体設置箇所の内周面それぞれにその吸着ベルト３の全幅にわたる状態に装着されて内周面側からそれら各ベルト幅規制体３Ｄに向かう通気を阻止するものであり、前記第１の通気制限帯状体３Ｅと兼用構成されている。
前記移動手段は、同図４に示す如く、前記吸着ベルト３をコンベアネット６Ａの外周面に重ねた状態で前記の循環経路に沿ってコンベアネット６Ａを回転移動することにより吸着ベルト３を循環経路に沿って移送するネットコンベア６であり、コンベアネット６Ａと、それを移動案内するガイド機構と、駆動ローラ６Ｂと、テンション機構とからなる。
前記コンベアネット６Ａは、図５〜図７に示すように、回転移動方向に沿う姿勢の平帯状の縦ネット材６ａと幅方向に沿う姿勢の横ネット材６ｂとを編織したネットを設け、このネットの幅方向の両端に補強材６ｃを取り付けて構成されている。前記縦ネット材６ａは、抗張力が大きいアラミド樹脂製であり、横ネット材６ｂは、テフロン樹脂製である。そして、コンベアネット６Ａの厚さｔは、良好な可撓性を得る上で０．５〜１ｍｍ程度としてあり、目の大きさは５ｍｍ×５ｍｍ程度、ネット材の幅は１ｍｍ程度である。
前記ガイド機構は、循環経路のコーナ部に配置したガイドローラ７と、上昇経路部、下降経路部、上側経路部のそれぞれに配置したガイドレール８とからなる。ガイドレール８は、図６、図７に示すように、コンベアネット６Ａの補強ベルト６ｃに固定したピン９に係合することにより、コンベアネット６Ａの幅方向の位置ずれを規制するガイド溝８ａと、コンベアネット６Ａの内周面に摺動してそのコンベアネット６Ａの厚さ方向での振れを防止するガイド面８ｂとを備え、ガイド面８ｂのうち移動上手側の端部分８ｃは、ガイドレール８の端面にピン９が引っ掛からないようにするため傾斜姿勢に形成されている。
前記駆動ローラ６Ｂは、ガイドローラ７の一つをモータ１０などのアクチュエータに連動させることで構成されており、その周面は、コンベアネット６Ａの目に入り込んで係合するようにゴム等の軟質材１１から構成されている。
前記テンション機構は、循環経路のうち下側経路部において、テンションローラ１２でコンベアネット６Ａを上方に持ち上げてそのコンベアネット６Ａにテンションを付与するものであり、このテンション付与の作用でコンベアネット６Ａが吸着ベルト３から上方に分離して吸着ベルト３が自由状態となる。つまり、テンション機構が、コンベアネット６Ａを吸着ベルト３から上方に分離して吸着ベルト３を自由状態にする前記分離手段を構成している。
前記吸着手段は、前記処理対象ガスＧ１中の溶剤を吸着ベルト３により吸着除去する手段であって、前記循環経路のうち上昇経路部と下降経路部とで前記吸着ベルト３内を厚さ方向に透過するように処理対象ガスＧ１を外周面側から供給するとともに、その吸着ベルト３で溶剤を吸着除去されて内周面側に透過してきた処理ガスｇ１を排出するように構成されている。詳述すると、図８にも示すように、前記処理室４を形成する外装ケース１３のうち上昇経路部と下降経路部とに対応する箇所に形成の処理対象ガス供給口１４ａを介して処理室４内のうち外装ケース１３と吸着ベルト３の外周面との間に処理対象ガスＧ１を供給するための吸着用供給ダクト１４と、吸着ベルト３で囲まれた箇所で吸着ベルト３の内周面に近接位置する処理ガス吸い込み口１５ａを介して吸着ベルト３内から透過した処理ガスｇ１を吸引して処理室４外に排出するための処理ガス排出ダクト１５とを設け、処理対象ガスＧ１の供給ファンＦ１と処理ガスｇ１の排気ファンｆ１とを設けて構成されている。つまり、処理対象ガス供給口１４ａ及び処理ガス吸い込み口１５ａとから、処理室４内に位置して吸着ベルト３に対して処理対象ガスＧ１を給排する吸着部が構成されている。
前記脱着手段は、前記吸着ベルト３に吸着された溶剤を高温の脱着用ガスＧ２により脱着する手段であって、前記循環経路のうち上側経路部で前記吸着ベルト３内を厚さ方向に透過するように脱着用ガスＧ２を内周面側から供給するとともに、吸着ベルト３から溶剤を脱着して外周面側に透過してきた濃縮ガスｇ２を排出するように構成されている。詳述すると、図８にも示すように、処理室４内のうち前記吸着ベルト３で囲まれた箇所でその吸着ベルト３の内周面に近接位置する脱着用ガス供給口１６ａを介して吸着ベルト３に内周面側から脱着用ガスＧ２を供給するための脱着用供給ダクト１６と、処理室４内のうちその脱着用供給ダクト１６の脱着用ガス供給口１６ａに吸着ベルト３を挟んで対向する箇所で吸着ベルト３の外周面に近接位置する濃縮ガス吸い込み口１７ａを介して吸着ベルト３を透過した濃縮ガスｇ２を処理室４外に排出するための濃縮ガス排出ダクト１７とを設け、脱着用ガスＧ２の供給ファンＦ２と濃縮ガスｇ２の排気ファンｆ２とを設けて構成されている。つまり、脱着用ガス供給口１６ａ及び濃縮ガス吸い込み口１７ａとから、処理室４内に位置して吸着ベルト３に対して脱着用ガスＧ２を給排する脱着部が構成されている。前記濃縮ガス排出ダクト１７は濃縮ガスｇ２を前記最終処理装置２に供給する排出ダクトである。そして、脱着用ガス供給口１６ａをその外郭が濃縮ガス吸い込み口１７ａの内側に位置する大きさに構成し、供給口１６ａと吸着ベルト３とに隙間ｄ（２ｍｍ〜３ｍｍ程度で、供給口を吸着ベルト３に接触させない寸法。）を形成し、かつ、脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３を外装ケース１３内の圧力、つまり、図８に示すように、吸着用供給ダクト１４内の圧力Ｐ１よりも高くして、脱着用供給ダクト１６から隙間ｄを介して若干の脱着用ガスＧ２が処理室４内に排出されるようにすることにより、吸着ベルト３に供給される脱着用ガスＧ２中に処理室４内の冷たいガスが混入しないように構成してある。前記のように、隙間ｄから脱着用ガスＧ２を排出するための制御は、脱着用供給ダクト１６内の圧力Ｐ３と処理室４内の圧力Ｐ１とを検出し、その差圧が設定値となるように脱着用ガスＧ２の供給圧や濃縮ガスｇ２の吸引圧を制御しても良いが、上記のように吸着部と脱着部とを配置した場合の処理室４内には、脱着用ガスＧ２の排出量に応じて温度成層が形成される傾向にあるなど、処理室４内の温度状況と脱着用ガスＧ２の排出量とを関係付けることができる場合には、温度に基づいて制御しても良い。因みに、吸着用供給ダクト１４の圧力Ｐ１と処理ガス排出ダクト１５の圧力Ｐ２と脱着用供給ダクト１６の圧力Ｐ３と濃縮ガス排出ダクト１７の圧力Ｐ４とは、Ｐ２＜Ｐ１＜Ｐ３、Ｐ４＜Ｐ３の関係にある。
また、吸着手段及び脱着手段には、ガス吸引に伴う吸着ベルト３の変形を防止する吸引変形防止手段が設けられている。
吸着用の吸引変形防止手段は、図９、図１０に示すように、処理ガス吸い込み口１５ａの全周において吸引に抗してコンベアネット６Ａ及び吸着ベルト３を支持するシール用の支持板１８と、支持体１９とからなる。
前記支持板１８は、処理ガス吸い込み口１５ａの回転移動方向の前後両端に位置するとともに、回転移動方向に設定長さＬを有する前後の支持部１８Ａと、処理ガス吸い込み口１５ａの左右方向（幅方向）の両端に位置するとともに、左右方向に設定長さＬを有する左右の支持部１８Ｂとからなる。
前記支持体１９は、コンベアフレーム１９Ａの回転移動方向に間隔を隔てた複数箇所それぞれに、コンベアネット６Ａを支持するローラ１９Ｂを、吸着ベルト３の幅方向に沿った水平軸芯周りに自由回転自在に装着して構成されている。つまり、複数のローラ１９Ｂがコンベアネット６Ａの回転移動に伴い水平軸芯周りに回転することにより、摺動抵抗なくコンベアネット６Ａを支持するように構成されている。
前記脱着用の吸引変形防止手段は、図１１、図１２に示すように、濃縮ガス吸い込み口１７ａの全周において吸引に抗して吸着ベルト３を支持するシール用の支持板２０と、支持体２１とからなる。
前記支持板２０は、濃縮ガス吸い込み口１７ａの回転移動方向の前後両端に位置するとともに、回転移動方向に設定長さＬを有する前後の支持部２０Ａと、濃縮ガス吸い込み口１７ａの左右方向の両端に位置するとともに、左右方向に設定長さＬを有する左右の支持部２０Ｂとからなる。
前記支持体２１は、コンベアフレーム２１Ａの回転移動方向に間隔を隔てた複数箇所それぞれに、吸着ベルト３を支持するローラ２１Ｂを、吸着ベルト３の幅方向に沿った水平軸芯周りに自由回転自在に装着して構成されている。つまり、複数のローラ２１Ｂが吸着ベルト３の回転移動に伴い水平軸芯周りに回転することにより、摺動抵抗なく吸着ベルト３を支持するように構成されている。なお、この脱着用の吸引変形防止手段のローラ２１Ｂは、吸着用の吸引変形防止手段のローラ１９Ｂよりも大径に構成してある。
また、前記吸着用のローラ１９Ｂ及び脱着用のローラ２１Ｂの配置手段の例として、図９、図１１に示すように、吸着ベルト３の幅に相当する長さの長尺物を一列の状態に配置したものを示したが、図１３の（イ）（ロ）に示すように、短尺物を幅方向に複数列の状態に設けても良い。この場合、（イ）に示すように幅方向で隣合うものが回転移動方向の同一箇所に位置する状態に配置する形態及び（ロ）に示すように千鳥の状態に配置する形態のいずれを採用しても良い。
前記位置規制手段は、図１４に示すように、下側経路部の左右両脇に、コンベアネット６Ａから下方に離脱して自由状態にある吸着ベルト３の左右の端縁、詳しくは、ベルト幅規制体３Ｄのうち幅方向外方に突出する長手方向の端部に摺動する（逆言すれば、ベルト幅規制体３Ｄのベルト幅方向における両端部を吸着ベルト３の回転移動に伴い摺動させる）ことにより、吸着ベルト３の幅方向での位置を規制する規制板２２を設けて構成されている。
【００１０】
〔別実施例〕
上記実施例では、循環経路として、上昇経路部と下降経路部と上側経路部と下側経路部とを備えたものを示したが、循環経路の形状は適宜変更自在である。上記実施例では、吸着を循環経路の２箇所で、脱着を１箇所で行うものを示したが、それらの数は不問である。
上記実施例では、切り込み形成箇所にベルト幅規制体３Ｄを配置したが、図１５に示すように、切り込み形成箇所とは異なる箇所にベルト幅規制体３Ｄを配置してもよい。この場合、第１の通気制限帯状体３Ｅと第２の通気制限帯状体３Ｆとを別個に設置することになる。
上記実施例では、マット３Ａを、回転移動方向で隣合うもの同士が相互に分離する単位体３ａから構成したが、図１６に示すように、切り込み５をマット３Ａの厚さ方向の中間までの深さのものにして、マット３Ａがそれ自身で一連に一体化していても良い。
上記実施例では、切り込み５付きの吸着ベルト３を示したが、吸着ベルト３は、図１７に示すように、マット３Ａの幅方向両端に「コ」の字形の補強材３Ｇを取り付け、幅方向中間の内外周に、平板状の補強材３Ｈをマット３Ａを挟む状態に取り付けて、対引張性能を向上し、かつ、マット３Ａの幅方向の端部を保護するように構成したものや、図１８に示すように、マット３Ａの内周面に、補強用のガラス繊維製のネット３Ｊを取り付けたものであっても良い。
前記コンベアネット６Ａを次のように構成しても良い。
図１９、図２０に示すように、循環径路に沿って回転移動自在なフレームに上記実施例で示したネットを取り付ける。前記フレームは、２本の補強兼用の駆動ベルト６ｄを幅方向に間隔を隔てて配置し、回転移動方向に間隔を隔てた箇所それぞれでそれら駆動ベルト６ｄ同士を繋いでそれらの間隔を保持するとともに駆動ベルト６ｄ同士の回転方向の位置づれを抑制する補強材６ｅを設けて構成されている。６ｆは、補強材６ｅ及びネットを厚さ方向から挟む状態でネットに取り付けた内外一対の非通気性のシートであり、これは、補強材６ｅとネット特に縦ネット材６ａとを固定連結して一体化するとともに、補強材６ｅにガスが接触しないようにその補強材６ｅへの通気を制限するものである。前記駆動ベルト６ｄは、Ｖベルトやタイミングベルトなどであり、従って、このコンベアネット６Ａを駆動並びに移動案内するものは、Ｖ溝付きのプーリーや歯付きのプーリーなどである。また、補強材６ｅは、金属材料や合成樹脂材料などからなり、平板状や棒状（丸や角などの形状）のものであり、曲げ剛性に優れたものであることが好ましい。
上記コンベアネット６Ａの場合、回転移動する際、補強材６ｅそれぞれによりネットがその全幅で引っ張られ、その結果、ネットを全幅で均等に回転移動させやすく、かつ、ネットには補強材６ｅ間分のテンションのみが作用し、ネットの寿命が長くなる。
また、上記のコンベアネット６Ａを次のようにしても良い。
すなわち、図２１、図２２に示すように、補強材６ｅの両端を外方に延長する。この場合、コンベアネット６Ａの駆動構成として、コンベアネット６Ａの両脇に駆動チェーンＣＨを設け、この駆動チェーンＣＨに、補強材６ｅの延長端部６ｇに連結、或いは、係合する連係部Ｌを装備させて、チェーン駆動によりコンベアネット６Ａを駆動する形式を採用することができる。
上記実施例では、吸着用の吸引変形防止手段の支持体１９として、コンベアフレーム１９Ａとローラ１９Ｂとからなるいわゆるローラコンベアを示したが、この支持体１９としては、図２３に示すように、処理ガス吸い込み口１５ａ内の幅方向に間隔を隔てた複数箇所それぞれにＶベルトやタイミングベルト（滑り止め用の歯付きベルト）で代表されるベルトＢをプーリＰ間に巻き掛けたベルトコンベアの複数を、吸着ベルト３の回転移動に伴い追従回動しながらそのベルトＢで吸着ベルト３を支持するように配置して構成されたものであっても良い。
上記実施例では、脱着用の吸引変形防止手段の支持体２１として、コンベアフレーム２１Ａとローラ２１Ｂとからなるいわゆるローラコンベアを示したが、この支持体２１としては、図２４に示すように、ローラＲ間にコンベアネットＮを巻き掛けたネットコンベアを、吸着ベルト３の回転移動に伴い追従回動しながらそのコンベアネットＮで吸着ベルト３を支持するように配置して構成されたものであっても良い。
前記吸着用の吸引変形防止手段の支持体１９を脱着用の吸引変形防止手段の支持体２１として用いたり、反対に、脱着用の吸引変形防止手段の支持体２１を吸着用の吸引変形防止手段の支持体１９として用いたりする。
上記実施例では、吸着ベルト３として、繊維状活性炭をフェルト状に加工したものを示したが、吸着ベルト３としては、（イ）図２５に示すように、通気性及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂの表面に粒状活性炭ｃを接着により担持させたものや、（ロ）図２６に示すように、通気性及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂの複数を重ね、それら基材Ｂ間に粒状活性炭や繊維活性炭・粉状活性炭ｃを挟み込んだもの、（ハ）図２７に示すように、通気性及び可撓性を有する不織布などの基材Ｂ中に粒状活性炭ｃを分散させて保持させたものであってもよい。これらの構造の吸着ベルト３では、基材Ｂ自体に吸着能が要求されず、ベルトとして使用できる機能が基材Ｂに備わっていればよいから、基材Ｂの材質選定の自由度が高く、その結果、耐久性に優れたものを得やすい。なお、図では、判りやすくするために、活性炭を大きく誇張して示してある。
上記実施例及び別の実施例では、吸着物質として活性炭を示したが、吸着物質は、天然や合成のゼオライトであってもよい。この場合、ゼオライトが不燃性であるため、脱着用ガスＧ２による加熱に起因した吸着物質の損傷を考える必要がなく、脱着用ガスＧ２の温度設定の自由度を上げることができる。
【００１１】
尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構成に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】溶剤処理設備の概念構成を示すブロック図
【図２】吸脱着式ガス処理装置の切り欠き正面図
【図３】吸脱着式ガス処理装置の切り欠き側面図
【図４】要部の拡大断面図
【図５】コンベアネット要部の平面図
【図６】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要部の横断正面図
【図７】コンベアネットとガイド機構との関係を示す要部の縦断正面図
【図８】吸脱着ガス処理装置の概略構成図
【図９】吸着部を示す要部の正面図
【図１０】吸着部を示す要部の拡大縦断正面図
【図１１】脱着部を示す要部の平面図
【図１２】脱着部を示す要部の拡大縦断正面図
【図１３】吸着用・脱着用の吸引変形防止手段の支持体の他の配置例を示す平面図
【図１４】位置規制手段を示す要部の拡大側面図
【図１５】別の実施例を示す吸着ベルト要部の縦断面図
【図１６】別の実施例を示す吸着ベルト要部の縦断面図
【図１７】別の実施例を示す吸着ベルトの斜視図
【図１８】別の実施例を示す吸着ベルトの斜視図
【図１９】別の実施例を示す要部の横断面図
【図２０】別の実施例を示す要部の縦断面図
【図２１】別の実施例を示す要部の横断面図
【図２２】別の実施例を示す要部の縦断面図
【図２３】別の実施例を示す吸着部の斜視図
【図２４】別の実施例を示す脱着部の斜視図
【図２５】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）の拡大断面図
【図２６】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）の拡大断面図
【図２７】別の実施例を示す吸着ベルト要部（マット）の拡大断面図
【図２８】従来例を示す断面図
【符号の説明】
３    吸着ベルト
Ｇ１  処理対象ガス
Ｇ２  脱着用ガス
３Ｄ  ベルト幅規制体
２２  規制体
６Ａ  コンベアネット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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