(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
概略円筒状の濾過体の内側にスクリュウが回転可能に挿入され、前記スクリュウの一端側から前記濾過体との間に供給された処理物を、該スクリュウの回転によって他端側に搬送しつつ、前記濾過体により濾過するスクリュウプレス式濾過装置であって、
前記濾過体の他端側の排出口に設けられ、濾過された処理物の排出を抑制する背圧弁と、
前記処理物の排出を抑制する圧力を前記背圧弁に供給する加圧手段と、
前記排出口と前記背圧弁との開度を検出する開度検出手段と、
前記開度検出手段の検出結果に基づいて、前記開度に応じた圧力を前記背圧弁に供給するように前記加圧手段を制御する制御手段とを有し、
前記加圧手段が前記背圧弁に供給する圧力を検出する圧力検出手段を有し、
前記制御手段は、前記開度検出手段の検出結果と前記圧力検出手段の検出結果との積が、所定値になるように前記背圧弁の圧力を制御する
ことを特徴とするスクリュウプレス式濾過装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記開度検出手段の検出結果に基づき、前記背圧弁の開度が設定開度以上である場合に、前記前記背圧弁に供給する圧力を下げ、前記背圧弁の開度が設定開度以下である場合に、前記背圧弁に供給する圧力を増加させるように前記加圧手段を制御することを特徴とする請求項１に記載のスクリュウプレス式濾過装置。
【請求項３】
前記加圧手段は、エアシリンダであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクリュウプレス式濾過装置。
【請求項４】
概略円筒状の濾過体の内側にスクリュウが回転可能に挿入され、前記スクリュウの一端側から前記濾過体との間に供給された処理物を、該スクリュウの回転によって他端側に搬送しつつ、前記濾過体により濾過するスクリュウプレス式濾過装置における濾過方法であって、
前記濾過体の他端側の排出口に設けられる背圧弁によって、濾過された処理物の排出を抑制し、
前記排出口と前記背圧弁との開度を検出し、
前記背圧弁に供給する圧力を検出し、
前記開度を検出した検出結果と前記圧力を検出した検出結果との積が、所定値になるように前記背圧弁の圧力を制御する
ことを特徴とするスクリュウプレス式濾過装置における濾過方法。
【請求項５】
概略円筒状の濾過体の内側にスクリュウが回転可能に挿入され、前記スクリュウの一端側から前記濾過体との間に供給された処理物を、該スクリュウの回転によって他端側に搬送しつつ、前記濾過体により濾過するスクリュウプレス式濾過装置における制御プログラムを記録した記録媒体であって、
前記濾過体の他端側の排出口に設けられる背圧弁によって、濾過された処理物の排出を抑制するステップと、
前記排出口と前記背圧弁との開度を検出するステップと、
前記背圧弁に供給する圧力を検出するステップと、
前記開度を検出した検出結果と前記圧力を検出した検出結果との積が、所定値になるように前記背圧弁の圧力を制御するステップと
をコンピュータに行わせることを特徴するスクリュウプレス式濾過装置における制御プログラムを記録した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、供給される処理物の量が変動する場合においても排出されるケーキの含水率を一定にするスクリュウプレス式濾過装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、含水率が高い汚泥等の処理物を供給口から円筒形の濾過体に供給し、この円筒形の濾過体の内側に設けられたスクリュウによって、処理物を排出口に搬送しつつ、該濾過体によって濾過するスクリュウプレス式濾過装置が利用されている。
【０００３】
このような従来のスクリュウプレス式濾過装置は、排出口から排出される処理物の排出を抑制する背圧弁が排出口に設けられ、処理物の排出を抑制する圧力が一定になるように、駆動手段によって背圧弁をスクリュウの軸方向に往復運動させていた。これにより、排出口から排出される処理物の含水率が一定になるように制御されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来技術におけるスクリュウプレス式濾過装置は、処理物の供給量が増加した場合、処理物の供給量の増加に伴って、処理物が排出口に押し出される圧力が増加するが、背圧弁の圧力が一定であるので、背圧が背圧弁の圧力より大きくなる。これにより、開口率が大きくなるとともに、濾過が促進され、処理物の含水率が低下してしまっていた。
【０００５】
また、従来技術におけるスクリュウプレス式濾過装置は、処置物の供給量が減少した場合、処理物の供給量の減少に伴って、処理物が排出口に押し出される圧力が低下するが、背圧弁の圧力が一定であるので、背圧が背圧弁の圧力より小さくなる。これにより、開口率が小さくなるが、十分に濾過が行われない状態で処理物が排出口から排出されてしまうので、処理物の含水率が上昇してしまっていた。
【０００６】
このように、従来技術におけるスクリュウプレス式濾過装置では、処理物の供給量の供給量が変動してしまうことによって、排出口から排出される処理物の含水率が変動してしまうという問題点があった。
さらに、排出口から排出される処理物の含水率が変動してしまうことによって、排出された処理物を用いて製品を製造する場合、製品にムラが発生してしまったり、排出された処理物を焼却する場合、焼却能力を一定にするために、処理物の含水率に応じて、燃料の供給量を制御しなければならない等、後段の処理を複雑にしてしまうという問題点があった。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、処理量が変動する場合においても、排出される処理物の含水率を一定にすることができるスクリュウプレス式濾過装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、概略円筒状の濾過体の内側にスクリュウが回転可能に挿入され、前記スクリュウの一端側から前記濾過体との間に供給された処理物を、該スクリュウの回転によって他端側に搬送しつつ、前記濾過体により濾過するスクリュウプレス式濾過装置であって、前記濾過体の他端側の排出口に設けられ、濾過された処理物の排出を抑制する背圧弁と、前記処理物の排出を抑制する圧力を前記背圧弁に供給する加圧手段と、前記排出口と前記背圧弁との開度を検出する開度検出手段と、前記開度検出手段の検出結果に基づいて、前記開度に応じた圧力を前記背圧弁に供給するように前記加圧手段を制御する制御手段とを有し、前記加圧手段が前記背圧弁に供給する圧力を検出する圧力検出手段を有し、前記制御手段は、前記開度検出手段の検出結果と前記圧力検出手段の検出結果との積が、所定値になるように前記背圧弁の圧力を制御することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、上述したスクリュウプレス式濾過装置において、前記制御手段は、前記開度検出手段の検出結果に基づき、前記背圧弁の開度が設定開度以上である場合に、前記前記背圧弁に供給する圧力を下げ、前記背圧弁の開度が設定開度以下である場合に、前記背圧弁に供給する圧力を増加させるように前記加圧手段を制御することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上述したスクリュウプレス式濾過装置において、前記加圧手段は、エアシリンダであることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、概略円筒状の濾過体の内側にスクリュウが回転可能に挿入され、前記スクリュウの一端側から前記濾過体との間に供給された処理物を、該スクリュウの回転によって他端側に搬送しつつ、前記濾過体により濾過するスクリュウプレス式濾過装置における濾過方法であって、前記濾過体の他端側の排出口に設けられる背圧弁によって、濾過された処理物の排出を抑制し、前記排出口と前記背圧弁との開度を検出し、前記背圧弁に供給する圧力を検出し、前記開度を検出した検出結果と前記圧力を検出した検出結果との積が、所定値になるように前記背圧弁の圧力を制御することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、概略円筒状の濾過体の内側にスクリュウが回転可能に挿入され、前記スクリュウの一端側から前記濾過体との間に供給された処理物を、該スクリュウの回転によって他端側に搬送しつつ、前記濾過体により濾過するスクリュウプレス式濾過装置における制御プログラムを記録した記録媒体であって、前記濾過体の他端側の排出口に設けられる背圧弁によって、濾過された処理物の排出を抑制するステップと、前記排出口と前記背圧弁との開度を検出するステップと、前記背圧弁に供給する圧力を検出するステップと、前記開度を検出した検出結果と前記圧力を検出した検出結果との積が、所定値になるように前記背圧弁の圧力を制御するステップとをコンピュータに行わせることを特徴する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態によるスクリュウプレス式濾過装置を図面を参照して説明する。図１は、この発明の一実施形態によるスクリュウプレス式濾過装置の構成を示す概略構成図である。この図において、スクリュウ４は、軸線Ｏを中心としてスクリュウシャフト４Ａの外周にスクリュウ羽根４Ｂが螺旋状に形成され、軸受５、５に回転可能に支持されている。このスクリュウ４の他端側の軸受５に支持されたスクリュウシャフト４Ａの端部には、スクリュウ４を回転させる駆動部５０が設けられる。
【００１５】
この駆動部５０がスクリュウシャフト４Ａに連結されることにより、スクリュウ４は、軸線Ｏ周りに回転可能とされ、その一端側から供給された処理物を他端側に搬送する。この駆動部５０は、例えば、モータである。
【００１６】
スクリュウ４のスクリュウ羽根４Ｂのねじれ角および外径はともに一定とされる一方、スクリュウシャフト４Ａの外周は、スクリュウ羽根４Ｂが設けられた部分において、一端側から位置Ｐの範囲では一定の外径とされ、位置Ｐから濾過体１０の他端側に向かう方向に漸次拡径するようになされている。これにより、スクリュウシャフト４Ａの外周と軸線Ｏ方向に隣接するスクリュウ羽根４Ｂ同士との間の空間が、一端側よりも他端側の方が小さくなるようにされている。なお、このように、スクリュウシャフト４Ａの外径を他端側で大きくなるように変化させる代わりに、スクリュウシャフト４Ａの外径は一定としてスクリュウ羽根４Ｂのピッチを他端側に向かうにつれて小さくすることにより上記空間を小さくしてもよい。あるいは、これらを併せて、他端側でスクリュウシャフト４Ａの外径を大きくするとともにスクリュウ羽根４Ｂのピッチを小さくすることにより、上記空間を他端側で小さくするようにしてもよい。
【００１７】
濾過体１０は、概略円筒状をなしており、上述したスクリュウ４が、この濾過体１０の内周に挿入されている。これにより、処理物がスクリュウ４によって一端側から他端側に搬送される間に、この濾過体１０によって脱水されて濾過される。また、この濾過体１０の一端側には、処理物を供給する円管状の供給部１３が設けられる。
【００１８】
この濾過体１０の他端側の排出口９は、濾過された処理物をケーキとして排出する。
背圧弁２１は、排出口９に設けられ、ケーキの排出を抑制する。この背圧弁２１は、円環状であり、軸線Ｏ方向に進退可能に外嵌されている。また、この背圧弁２１は、スクリュウ４が挿通されるとともに、ケーキを排出するために他端側の端部８に形成された排出口９の内径よりも大きな外径を有し、かつその円環状をなす先端面が外周側に向かうに従いスクリュウ４の他端側に向かうように傾斜したテーパ面状に形成されている。
【００１９】
また、この背圧弁２１の上記他端側には、上記端部８に取り付けられたエアシリンダ２２のピストンロッド２２Ａが連結されていて、このピストンロッド２２Ａが軸線Ｏに平行に一端側に向けて出没して背圧弁２１を進退せしめることにより、この背圧弁２１と端部８Ａとの間隔を適当に設定して、排出口９からのケーキの排出量を調整することが可能となる。ここでは、この背圧弁２１によって濾過体１０内の処理物に与えられる圧力を背圧弁の圧力というものとし、濾過体１０内の処理物が受ける圧力を背圧というものとする。
【００２０】
エアシリンダ２２は、ピストンロッド２２Ａによって背圧弁２１に処理物の排出を抑制する圧力（背圧弁の圧力）を発生させる。このエアシリンダ２２を上記加圧手段として用いることにより、制御を容易に行うことができる。
開度検出部３０は、濾過体１０の端部８Ａとの距離を検出し、この検出結果に基づいて、排出口９と背圧弁２１との開度を検出し、検出結果を背圧弁開度ｌとして制御部４０に出力する。
【００２１】
シリンダ制御部２４は、制御部４０からの制御信号に基づいて、エアシリンダ２２が発生する圧力を制御する。
圧力検出部２３は、背圧弁２１が発生させる背圧弁の圧力を検出し、検出結果を背圧検出値ｐとして制御部４０に出力する。ここでは、背圧弁２１によって濾過体１０内の処理物に与えられる圧力と濾過体１０内の処理物が受ける圧力がほぼ同一であるものとして、背圧弁２１が発生させる背圧弁の圧力を背圧検出値ｐとして制御部４０に出力する。
【００２２】
次に、制御部４０について説明する。制御部４０は、開度検出部３０の検出結果に基づいて、開度に応じた圧力をエアシリンダ２２から背圧弁２１に供給するようにシリンダ制御部２４に制御信号を出力する。
【００２３】
また、制御部４０は、開度検出部３０の検出結果である弁開度ｌと圧力検出部２３の検出結果である背圧検出値ｐとの積が、所定の含水率に基づいて設定される脱水汚泥含水率係数ｋになるように背圧弁２１の圧力を増減させるように制御する。また、制御部４０は、弁開度ｌが０である場合、予め決められた背圧弁の圧力になるように、シリンダ制御部２４に制御信号を出力する。
ここで、脱水汚泥含水率係数ｋは、処理物の品種や所望の含水率等に基づいて設定される。
【００２４】
次に、開度と背圧との積に対するケーキの含水率の関係を図２を用いて説明する。図２は、開度と背圧との積に対するケーキの含水率の関係を示す図面である。この図に示すように、開度と背圧との積に対し、ケーキの含水率は、反比例する関係にある。例えば、背圧を一定とし、開度を大きくした場合、排出口９から排出されるケーキの含水率が低下し、同じく背圧を一定とし、開度を小さくした場合、ケーキの含水率が上昇する。
一方、開度を一定とし、背圧を上昇させた場合、ケーキの含水率が低下し、開度を一定とし、背圧を低下させた場合、ケーキの含水率が上昇する。
さらに、この図に示す開度と背圧との積に対するケーキの含水率の関係は、処理量によらないという結果が実験によって得られている。
【００２５】
次に、図１の構成におけるスクリュウプレス式濾過装置の動作について、図１、図３を用いて説明する。図３は、スクリュウプレス式濾過装置の動作について説明するためのフローチャートである。
スクリュウプレス式濾過装置が処理物の脱水を行う脱水工程の開始前は、背圧弁２１は、所望の含水率に基づいて予め決定される背圧弁の圧力で端部８に当接している状態であるものとする。
【００２６】
まず、駆動部５０の回転がスクリュウシャフト４Ａに伝達され、処理物が供給部１３から順次供給される。
【００２７】
そして、供給部１３から供給された処理物は、濾過体１０、スクリュウ羽根４Ｂ、およびスクリュウシャフト４Ａにより形成される空間に流入し、濾過体１０の一端側からスクリュウ４の回転によって他端側に搬送されつつ、上記空間の容積縮小によって徐々に脱水され、濾過される。次いで、処理物が濾過体１０の端部８に到達するが、この時点では、排出口９が開いていないので、端部８に到達した処理物が排出口９付近に蓄積する。そして、処理物が供給部１３から供給されるに伴い、排出口９付近の背圧が高められ、処理物の濾過がさらに行われる。そして、処理物が濾過体１０の他端側に押し出される圧力が増加し、背圧が背圧弁２１の圧力以上になった時点で背圧弁２１が濾過体１０から押し出され、濾過体１０と背圧弁２１との間の排出口９から濾過された処理物が所望の含水率を有するケーキとして排出される。
【００２８】
ケーキが排出された後、開度検出部３０によって背圧弁２１の開度が検出され、検出結果が弁開度ｌとして制御部４０に出力されるともに、圧力検出部２３によって検出される背圧弁の圧力が背圧検出値ｐとして制御部４０に出力される（ステップＳ１）。制御部４０は、開度検出部３０から出力された弁開度ｌと圧力検出部２３から出力された背圧検出値ｐとの積を演算し、この演算結果と脱水汚泥含水率係数ｋとを比較する。
【００２９】
比較結果において、弁開度ｌと背圧ｐとの積が脱水汚泥含水率係数ｋ以上である場合（ステップＳ２）、制御部４０は、現在の弁開度ｌに応じた背圧になるように、すなわち、脱水汚泥含水率係数ｋと弁開度ｌに基づいて演算される背圧になるように背圧弁の圧力を減少させる制御信号をシリンダ制御部２４に出力する（ステップＳ３）。シリンダ制御部２４は、制御部４０から出力される制御信号に基づいて、背圧弁の圧力を減少させるようにエアシリンダ２２を制御する。
このように、処理物の供給に応じて背圧弁２１の開度が大きくなっても、一定の含水率になるように背圧弁の圧力が低下するように制御され、これにより、排出されるケーキの含水率が一定に保持される。
【００３０】
ここで、供給部１３から供給される処理物の供給量が一定である場合、処理物の供給量とケーキの排出量との比率が一定になった時点の弁開度ｌの位置に背圧弁２１が保持される。
【００３１】
次に、供給部１３から供給される処理物の供給量が増加すると、スクリュウ４によって搬送される処理物の量の増加し、処理物が排出口９に押し出される圧力が増加する。そして、処理物が排出口９に押し出される圧力が増加すると、濾過体１０内の処理物の背圧が上昇する。そして、背圧が背圧弁２１の圧力より大きくなると、背圧によって背圧弁２１が排出口９から離れる方向に押し出され、弁開度ｌが大きくなる。
【００３２】
このとき、制御部４０は、開度検出部３０から出力される弁開度ｌと圧力検出部２３から出力される背圧検出値ｐとを読み出し（ステップＳ１）、この読み出した弁開度ｌと背圧検出値ｐとの積を演算し、演算結果と脱水汚泥含水率係数ｋとを比較する。この場合、弁開度ｌが大きくなっているので、演算結果が脱水汚泥含水率係数ｋより大きいことが検出される（ステップＳ２）。
【００３３】
演算結果が脱水汚泥含水率係数ｋより大きいことを検出すると、制御部４０は、現在の弁開度ｌに応じた背圧になるように、すなわち、脱水汚泥含水率係数ｋと弁開度ｌに基づいて演算される背圧になるように背圧弁の圧力を減少させる制御信号をシリンダ制御部２４に出力する（ステップＳ３）。
このようにして、処理物の供給量が増加すると、応じて背圧弁２１の開度が大きくなっても、一定の含水率になるように背圧弁の圧力を低減させるように制御され、これにより、排出されるケーキの含水率が一定に保持される。
【００３４】
次に、供給部１３から供給される処理物の供給量が減少すると、スクリュウ４によって搬送される処理物の量の減少に伴って、処理物が排出口９に押し出される圧力が低減する。そして、処理物が排出口９に押し出される圧力が低減すると、濾過体１０内の処理物の背圧が低下し、これにより、背圧が背圧弁２１の圧力より小さくなると、ピストンロッド２２Ａからの圧力を受けて、背圧弁２１が排出口９に近づく方向に押し戻され、弁開度ｌが小さくなる。
【００３５】
このとき、制御部４０は、開度検出部３０から出力される弁開度ｌと圧力検出部２３から出力される背圧検出値ｐとを読み出し（ステップＳ１）、この読み出した弁開度ｌと背圧検出値ｐとの積を演算し、演算結果と脱水汚泥含水率係数ｋとを比較する。この場合、背圧弁２１が排出口９に近づく方向に押し戻されているので、弁開度ｌが小さくなっており、これにより、演算結果が脱水汚泥含水率係数ｋより小さいことが検出される（ステップＳ２）。
【００３６】
演算結果が脱水汚泥含水率係数ｋより小さいことを検出すると、制御部４０は、現在の弁開度ｌに応じた背圧になるように、すなわち、脱水汚泥含水率係数ｋと弁開度ｌに基づいて演算される背圧になるように背圧弁の圧力を増加させる制御信号をシリンダ制御部２４に出力する（ステップＳ３）。
このようにして、処理物の供給量が減少に応じて背圧弁２１の開度が小さくなっても、一定の含水率になるように背圧弁の圧力を増加させるように制御され、これにより、排出されるケーキの含水率が一定に保持される。
【００３７】
上述したように、上記実施形態によれば、ケーキの含水率を一定にすることができるので、排出された処理物を用いて製品を製造する場合、製品にムラが発生してしまうことを防ぐことができ、また、排出された処理物を焼却する場合、処理物の含水率を一定にすることができるので、焼却処理における燃料の供給量の制御を簡単にでき、これにより後段の処理を簡易化することができる。
【００３８】
なお、上記実施形態における加圧手段として、エアシリンダを適用した場合について説明したが、エアシリンダ以外を用いて背圧弁に圧力を供給するようにしてもよい。
【００３９】
また、上述した実施形態において、制御部４０は、弁開度ｌと背圧検出値ｐとの積が脱水汚泥含水率係数ｋになるように背圧弁２１の圧力を増減させるように制御する場合について説明したが、処理物の品種や所望の含水率に応じて設定される開度である設定開度ａを制御部４０に予め記憶しておく。そして、制御部４０が、弁開度ｌと制御部４０に予め記憶されている設定開度ａとを比較し、弁開度ｌが設定開度ａ以上である場合に、背圧弁２１に供給する圧力を下げ、弁開度ｌが設定開度ａ以下である場合に、背圧弁２１に供給する圧力を増加させるようにエアシリンダ２２のシリンダ制御部２４に制御信号を出力するようにしてもよい。
【００４０】
また、上述した設定開度ａとして、開度上限値ｂ、開度下限値ｃを設定し、背圧弁２１の開度が開度上限値ｂより増加する場合に、背圧弁２１に供給する圧力を下げ、背圧弁２１の開度が開度下限値ｃより減少する場合に、背圧弁２１に供給する圧力を増加させるようにエアシリンダ２２のシリンダ制御部２４に制御信号を出力するようにしてもよい。
【００４１】
また、図１における制御部４０、シリンダ制御部２４の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより脱水工程を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００４２】
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フロッピーディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００４３】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
以上説明したように、この実施形態によれば、濾過された処理物の排出を抑制する背圧弁を濾過体の他端側の排出口に設け、排出口と背圧弁との開度を検出し、検出した開度に応じた圧力になるように背圧弁を制御するようにしたので、排出口から排出される処理物の含水率を一定にすることができる効果が得られる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、濾過された処理物の排出を抑制する背圧弁を濾過体の他端側の排出口に設け、排出口と背圧弁との開度を検出し、開度検出手段の検出結果と圧力検出手段の検出結果との積が、所定値になるように背圧弁の圧力を制御するようにしたので、より精度を高めて処理物の含水率を一定にすることができ、排出機能を適正に維持することができる効果が得られる。また、処理物の含水率を一定にすることができるので、処理物の性状を一定にでき、後段の処理を簡易化させることができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態によるスクリュウプレス式濾過装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図２】開度と背圧との積に対するケーキの含水率の関係を示す図面である。
【図３】図３は、スクリュウプレス式濾過装置の動作について説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
４  スクリュウ                          ９  排出口
１０  濾過体                            ２１  背圧弁
２２  エアシリンダ                      ２２Ａ  ピストンロッド
２３  圧力検出部                        ２４  シリンダ制御部
３０  開度検出部                        ４０  制御部
５０  駆動部
【図１】
0003576492.tif 000002
【図２】
0003576492.tif 000003
【図３】
0003576492.tif 000004