(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一番目のＧａＮ系結晶層上に第二番目のＧａＮ系結晶層が成長してなる積層構造を有するＧａＮ系半導体基材であって、
第一番目のＧａＮ系結晶層の上面は、エッチピットが形成されたものであり、第二番目のＧａＮ系結晶層が成長することによって、前記エッチピットがＧａＮ系結晶にて充填された状態となっていることを特徴とするＧａＮ系半導体基材。
【請求項２】
第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に再びエッチピットが形成され、または、第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に他のＧａＮ系結晶層が成長しその上面に再びエッチピットが形成され、
前記再び形成されたエッチピットが、空洞状態および／またはＧａＮ系結晶にて充填された状態となるように、さらなるＧａＮ系結晶層が成長しており、
この繰り返しによって、エッチピットが形成された上面を有するＧａＮ系結晶層が、２以上積層された状態にある、請求項１記載のＧａＮ系半導体基材。
【請求項３】
エッチピットが形成された上面において、該エッチピットが１×１０６個／ｃｍ２以上の密度で存在するものである請求項１または２記載のＧａＮ系半導体基材。
【請求項４】
エッチピットが、１００ｎｍ以上の口径を有するものである請求項１または２記載のＧａＮ系半導体基材。
【請求項５】
第一番目のＧａＮ系結晶層の上面にエッチピットを形成し、前記エッチピットがＧａＮ系結晶にて充填された状態となるように、該上面に第二番目のＧａＮ系結晶層を成長させる工程を有することを特徴とするＧａＮ系半導体基材の製造方法。
【請求項６】
第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に再びエッチピットを形成し、または、第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に他のＧａＮ系結晶層を成長させその上面に再びエッチピットを形成し、前記再び形成されたエッチピットが、空洞状態および／またはＧａＮ系結晶にて充填された状態となるように、さらなるＧａＮ系結晶層を成長させるという、繰り返しの工程を有するものである請求項５記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＧａＮ系半導体基材及びその製造方法に関し、特に結晶の低転位化に有用な基材の構造及び該基材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＧａＮ系半導体材料を結晶成長させる場合、この系の材料は格子整合する結晶基板がないために、サファイア、ＳｉＣ、スピネル、最近ではＳｉなどの格子整合しない結晶基板を用いている。しかしながら、そのような該結晶基板上に成長したＧａＮ系結晶の膜中には、格子整合しないことに起因して、１０１０個／ｃｍ２もの転位が存在している。近年、高輝度の発光ダイオード、半導体レーザーなどが実現されているが、特性向上を図るためには転位密度の低減が望まれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この転位密度の低減を図る方法としては、例えば、選択成長法（ラテラル成長法）が挙げられる。この方法は、上記結晶基板上にバッファ層を介して（ＧａＮ結晶基板の場合にはそのまま）ＧａＮ系結晶を気相成長させるにあたり、結晶基板上に部分的なマスク（ＧａＮ系結晶が実質的に成長し得ない材料からなる）を設けて選択成長することで、マスク上面にラテラル方向の結晶成長を行わせ、転位密度が低減された高品質な結晶を得る方法である（例えば特開平１０−３１２９７１号公報）。
【０００４】
しかしながら上記の方法では、ＧａＮ基板上にマスク層を形成する必要があり、マスク材料による層形成工程、ストライプなどのパターンの転写工程など、工程が非常に多くなってしまうという問題があった。また、マスク層材料として汎用されているものはＳｉＯ２などであるため、その上にＧａＮ系結晶層を成長させると、Ｓｉ成分がこの結晶成長層中に移行するという、いわゆるオートドーピング汚染の問題がある。さらには、ＳｉＯ２マスク層上に、Ａｌ成分を含むＧａＮ系材料（例えば、ＡｌＧａＮ）を成長させた場合、マスク層上面からも結晶成長が起こり、ラテラル成長法自体が効果的に行えないという問題もあった。
【０００５】
一方、上記のような問題を解消する試みとして、マスクを用いずにラテラル成長法を方法が提案されている。この方法は、ＳｉＣからなるベース基板上にバッファ層及びＧａＮ層を形成した結晶基板に対して、該基板上面からＳｉＣ基板にまで至るストライプ溝加工を施して、帯状に連なる凸部を残し、この凸部の上部に位置することになるＧａＮ層から結晶成長させる方法である（ＭＲＳ  １９９８  Ｆａｌｌ  Ｍｅｅｔｉｎｇ予稿集Ｇ３．３８）。
また、ベース基板としてサファイア基板を使用することができ、その方法も開示されている（例えば、特開平１１−１９１６５９号公報）。
また、基板に凹部、凸部を加工し、凹部に空洞を作るように窒化ガリウム系半導体を成長することにより転位の伝搬を抑制する方法（特開２０００−１０６４５５号公報）が開示されている。
【０００６】
これらの方法によれば、ＳｉＯ２マスク無しでラテラル成長させることができ、上述のＳｉＯ２マスクを用いることに起因する各種の問題を解消することが可能となる。
【０００７】
しかしながら、上記のようなマスクを用いないラテラル成長方法は、いずれも、成長の起点となる凸部を帯状（稜線状）に残すために、ストライプなどのパターンの転写工程などが必要であり、工程数が多くなるという問題があった。
【０００８】
本発明の課題は、上記問題を解決し、転位密度が低減された、新たなるＧａＮ系半導体基材の構造およびその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下の特徴を有するものである。
（１）第一番目のＧａＮ系結晶層上に第二番目のＧａＮ系結晶層が成長してなる積層構造を有するＧａＮ系半導体基材であって、
第一番目のＧａＮ系結晶層の上面は、エッチピットが形成されたものであり、第二番目のＧａＮ系結晶層が成長することによって、前記エッチピットがＧａＮ系結晶にて充填された状態となっていることを特徴とするＧａＮ系半導体基材。
【００１０】
（２）第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に再びエッチピットが形成され、または、第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に他のＧａＮ系結晶層が成長しその上面に再びエッチピットが形成され、前記再び形成されたエッチピットが、空洞状態および／またはＧａＮ系結晶にて充填された状態となるように、さらなるＧａＮ系結晶層が成長しており、この繰り返しによって、エッチピットが形成された上面を有するＧａＮ系結晶層が、２以上積層された状態にある、上記（１）記載のＧａＮ系半導体基材。
【００１１】
（３）エッチピットが形成された上面において、該エッチピットが１×１０６個／ｃｍ２以上の密度で存在するものである上記（１）または（２）記載のＧａＮ系半導体基材。
【００１２】
（４）エッチピットが、１００ｎｍ以上の口径を有するものである上記（１）または（２）記載のＧａＮ系半導体基材。
【００１３】
（５）第一番目のＧａＮ系結晶層の上面にエッチピットを形成し、前記エッチピットがＧａＮ系結晶にて充填された状態となるように、該上面に第二番目のＧａＮ系結晶層を成長させる工程を有することを特徴とするＧａＮ系半導体基材の製造方法。
【００１４】
（６）第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に再びエッチピットを形成し、または、第二番目のＧａＮ系結晶層の上面に他のＧａＮ系結晶層を成長させその上面に再びエッチピットを形成し、前記再び形成されたエッチピットが、空洞状態および／またはＧａＮ系結晶にて充填された状態となるように、さらなるＧａＮ系結晶層を成長させるという、繰り返しの工程を有するものである上記（５）記載の製造方法。
【００１５】
【発明の実施の態様】
本発明によるＧａＮ系半導体基材を、製造方法と共に詳細に説明する。
図１は本発明に係るＧａＮ系半導体基材の結晶成長状態を説明するための断面図である。同図に示すように、本発明によるＧａＮ系半導体基材は、第一番目のＧａＮ系結晶層（以下、「第一層」と略す）１上に、第二番目のＧａＮ系結晶層（以下、「第二層」と略す）２を成長させてなる積層構造を含むものである。
同図の例では、最下層に、最初の結晶成長を出発させるためのベースとなる結晶基板Ｓが用いられ、その上に第一層１が形成されている。第一層１は、上面にエッチピットＰが形成されたものであり、このエッチピットＰは、第二層２の成長によって、図１（ａ）に示すように空洞状態となっているか、または、図１（ｂ）に示すように，第二層のＧａＮ系結晶にて充填された状態となっている。これらエッチピットの空洞／充填の状態は、後述するように、第二層の成長条件によって変化し、第一層の上面に形成された多数のエッチピットのうち、あるものは空洞であり、あるものは結晶にて充填されている場合もある。
【００１６】
このような積層構造を含む当該ＧａＮ系半導体基材を製造するには、図１に示すように、先ず、第一層１の上面をエッチングしてエッチピットＰを形成し、このエッチピットが、空洞状態および／または充填状態となるように、該上面に第二層を成長させればよい。
【００１７】
「ＧａＮ系」、「ＧａＮ系半導体」とは、ＡｌｘＧａ１−ｘ−ｙＩｎｙＮ（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｘ＋ｙ≦１）で示される化合物半導体をいう。
前記式中の組成比ｘ、ｙを変化させたものとして、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ（例えば、Ａｌ０．２Ｇａ０．８Ｎ）、ＩｎＧａＮ（例えば、Ｉｎ０．４Ｇａ０．６Ｎ）などが挙げられる。
本発明における、第一層、第二層は、前記式によって示されるＧａＮ系半導体を結晶成長させたものであり、互いに同じ組成でも、異なる組成でもよい。本発明でいう第一層、第二層は、ＧａＮ系結晶層からなる積層体中のどの部分に位置していてもよい。
【００１８】
図１に示すように、最初の結晶成長を出発させるためのベースとなる結晶基板Ｓを用いる場合、そのような結晶基板としては、サファイア（Ｃ面、Ａ面、Ｒ面）、ＳｉＣ（６Ｈ、４Ｈ、３Ｃ）、ＧａＮ、ＡｌＮ、Ｓｉ、スピネル、ＺｎＯ，ＧａＡｓ，ＮＧＯなどが挙げられるが、これらに限定されるものではなく、第一層が得られるならば、これら以外の材料を用いてもよい。ベースとなる結晶基板の面方位は特に限定されず、また、ジャスト基板でも良いし、オフ角を付与した基板であっても良い。
【００１９】
第一層の結晶品質を向上させるために、ベースとなる結晶基板上には、格子整合のためのバッファ層を形成してもよく、また、ＧａＮ系結晶の薄膜を成長させておいてもよい。例えば、サファイア基板などに数μｍのＧａＮ系半導体をエピタキシャル成長してある基板を用いる等である。
【００２０】
次に、第一層表面に形成するエッチピットについて詳細に説明する。
転位などの結晶欠陥を含む結晶の表面をエッチングしたときに、欠陥の場所に小さな窪み（食凹）ができることは知られている。この窪みがエッチピットである。例えば、文献（Ｐｒｏｃ．  Ｉｎｔ．  Ｗｏｒｋｓｈｏｐ  ｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ  ＩＰＡＰ  Ｃｏｎｆ．  Ｓｅｒｉｅｓ  １  ｐｐ．５３６）では、ＨＣｌガスのエッチングにより形成したエッチピットが転位に対応する報告もされている。従来、エッチピットは、結晶表面の転位の数や分布状態を調べるための測定手段として利用されている（エッチピット法）。
即ち、従来において、エッチピットを形成するということは、結晶の品質を調べるためにサンプルに対して行われる、一種の破壊試験である。
これに対して、本発明では、下記に詳述するように、結晶基材の製造工程にエッチピットの形成工程を取り入れ、結晶基材自体の内部に積極的にエッチピットを含ませることによって、エッチピットを覆って成長する上層の低転位化を達成している。
【００２１】
本発明では、先ず、ＬＥＤの発光強度と、エッチピットの密度との間に強い相関関係があることに着目している。
例えば、サファイア基板上に、ＡｌＮ低温バッファ層、ｎ−ＧａＮコンタクト層、ｎ−ＡｌＧａＮクラッド層（Ａｌ組成１０％）、ＩｎＧａＮ発光層（Ｉｎ組成７％）、ｐ−ＡｌＧａＮクラッド層（Ａｌ組成１０％）、ｐ−ＧａＮコンタクト層を形成して、ＬＥＤ構造のエピウエハーを得た。このウエハーについて、ＰＬ測定により発光層の発光強度を測定した後、ドライエッチングにてエッチピットを形成した。上記ＰＬ発光強度とエッチピットの関係を調べたところ、図２に示すような相関関係があることが判明した。
【００２２】
結晶層上面に、或る密度のエッチピットが現れるとき、その結晶層内には、必ず該エッチピットの密度と同等以上の転位線が存在する。転位線は下層から上層へと伝搬するので、発光層内にも同様の転位線が存在することになる。一方、発光層内の転位は、非発光中心として働くことは知られている。よって、デバイス構造における表面ｐ−ＧａＮ層のエッチピットの密度の大小は、発光層内の転位密度の大小に対応し、ＰＬ強度と強い相関関係を持つと考えられる。
【００２３】
本発明では、ＧａＮ系結晶の表面をエッチングしたときに、転位が存在する部分にエッチピットが形成されることに着目し、図１（ａ）に示すように、エッチピットを形成することによって、転位線（ｍ１、ｍ２、ｍ３）が上方へ伝搬するのをそこで止め、あるいは、図１（ｂ）に示すように、転位線（ｍ１、ｍ２、ｍ３）の伝搬方向をそこで変えて１つの転位線ｍ４へと集合させ、上層を低転位化させるものである。
【００２４】
エッチピットによって上層の転位密度が低減されることについて、さらに詳しく説明する。
第一層内に存在する転位は、例えば、最初の結晶基板Ｓとの界面において発生し、図１の積層体内に描かれた破線ｍのように、転位線として上方に伝搬する。転位線を含む第一層の上面をエッチングしエッチピットを形成すると、図１（ａ）、（ｂ）のように、該エッチピットの中心部には転位線ｍ１が位置することになる。エッチピットと転位線とは、必ず一対一に中心で対応するとは限らず、同図のｍ２、ｍ３ように、エッチピットの斜面に転位線が位置することもある。
【００２５】
このようにエッチピットを形成した第一層上に、第二層を再成長させると、成長条件によっては、図１（ａ）に示すように、第一層上面１ａから成長した第二層２は、厚さ方向への成長のみならず、エッチピットＰ上を覆うように横方向へも成長し、ついにはエッチピットＰは完全に覆われ、同図のように空洞として残る。結果、転位線ｍ１、ｍ２、ｍ３は、それ自体の存在に起因して形成されたエッチピットによって、第二層への伝搬を止められ、第二層は低転位化されたことになる。あるいは、成長条件によっては、図１（ｂ）に示すように、エッチピットの内部を充填するように第二層が成長する場合がある。そのような場合には、エッチピットの凹面が再成長界面となって、該界面（特にエッチピットの斜面）において転位線ｍ１、ｍ２、ｍ３は伝搬方向を変え、互いにエッチピットの中心付近で集合した転位線ｍ４となり、その周囲が低転位化される。この場合も、転位線ｍ１、ｍ２、ｍ３は、それ自体の存在に起因して形成されたエッチピットによって、第二層へ伝搬する数が減少し、第二層は低転位化されたことになる。
【００２６】
上記のように、従来、転位の存在を確認するための破壊検査手段として専ら用いられていたエッチピットを、本発明では結晶成長に応用し、結晶基材内に積極的に組み込んで転位線の伝搬制御に応用している。これによって、第一層の上面に所定の条件にてエッチングを施すだけで、該上面にランダムに存在する無数の転位に対して、エッチピットが自動的かつ選択的に対応して発生し、それ以上の層への伝搬を効果的に抑制する。
【００２７】
図３に、ＧａＮ結晶のＣ面をドライエッチングした時に現われるエッチピットのＳＥＭ像を示す。
同図の映像では、エッチピットの形状は、円錐状を呈する窪みであるが、エッチング条件によっては、六角錐状、部分球状、すりばち状、それらを複合した物などいろいろな形が現われる。
【００２８】
エッチピットを形成するためのエッチング方法としては、転位に対応するエッチピットが形成できればどのような方法でも良く、ＨＣｌ等のガスを用いた気相エッチングや、リン酸、硫酸、ＫＯＨ等のエッチング液を用いたウエットエッチング、Ｃｌ２、ＢＣｌ３など気相−固相界面における化学的・物理的反応を利用したドライエッチングなどが挙げられる。
【００２９】
エッチピットの大きさは、上記のようにエッチピット全体の形状が種々異なる為、大きさを一意に表すことは難しいが、本発明では、エッチピットを形成すべき結晶層の上面（一般的な結晶成長ではＣ面）における、エッチピットの開口部分の口径によって大きさを表わす。該開口部分が円形でない場合には、最大の長さを口径とする。また、複数のエッチピットが連なっているような場合は、個々のエッチピットの形状を推定し、口径を調べればよい。
エッチピットの口径は、エッチング条件、例えば、エッチング時間によって変化し、数ｎｍ以下のものから１０μｍを越えるものまでできるが、転位密度を低減させる効果を得るには１０ｎｍ以上が好ましく、より好ましくは１００ｎｍ以上、特に１μｍ以上であれば転位密度を低減させる効果はさらに顕著になる。
【００３０】
エッチピットの形状は、エッチング条件によってはいろいろな形が現われ、どのような形状でも転位密度を低減させる効果はあるが、なかでもファセット面が出た六角錐状（凹状）は、エッチピット内を結晶が充填するような再成長になっても、図１（ｂ）に示すように、複数の転位線がファセット面でより効果的に曲がり、合体が生じ、転位密度の低減ができるので、好ましい形状である。
【００３１】
本発明はエッチピットを積極的に用いてＧａＮ系結晶層を低転位化するものであるが、第一層が、その上面に、口径１００ｎｍ以上のエッチピットが１×１０４個／ｃｍ２以上存在するような転位を含む結晶であれば、転位密度を低減する効果が顕著になり、特に、１×１０６個／ｃｍ２以上、さらには、１×１０７個／ｃｍ２以上存在するような品質の結晶に対しては、転位密度の低減効果は極めて顕著になる。
【００３２】
上記では、本発明の有用性が顕著となる対象物の転位密度をエッチピットの密度で表わしているが、エッチピットはエッチング方法により数・大きさが異なるものであり、転位の数と１対１で対応させるのは難しい。一方、結晶表面の転位を観察する方法として、カソードルミネッセンスを用いた方法が知られており、それによって観察されるダークスポットは、転位と１対１に近い数字が得られると言われている。
代表的な値を示すと、ドライエッチングで形成したエッチピットの数が、カソードルミネッセンスによって観察されるダークスポットの数に比べ、１／１００程度であるならば、第一層が、その上面に、１×１０６個／ｃｍ２以上のダークスポットが観察されるような品質の結晶であれば、転位密度を低減する効果が顕著になるが、１×１０８個／ｃｍ２以上、特に、１×１０９個／ｃｍ２以上存在するような品質の結晶に対しては、本発明による転位密度の低減効果は極めて顕著になる、と言うことができる。
【００３３】
本発明によるＧａＮ系半導体基材は、製造途上においては当然にエッチピットの詳細な観察が可能であるが、第二層以上が形成され基材として完成した後であっても、当該基材内部に存在する第一層上面にエッチピットが形成されたという事実の確認、その口径の評価は可能である。
例えば、図１（ａ）のように、エッチピットが明らかに空洞として残っている物や、エッチピットの形状が界面として明らかに残っているものについては、断面のＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観察によるエッチピット空洞の存在確認から容易に判断できる。
また、図１（ｂ）のように、エッチピットが第二層の結晶によって充填され、しかも、第一層ＧａＮ／第二層ＧａＮのように、同一組成のものが再成長したものについても、断面のＳＥＭ観察によって、その再成長界面を判断することができ、エッチピットが形成されていたことが判る。また、断面のＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）観察によれば、格子の不連続性から、エッチピット状を呈する該再成長界面は容易に識別可能である。
結晶成長中に中断時間を設けた後に再成長を行った場合、その再成長界面は結晶中に残り、上記手法等によってその再成長界面の存在（ひいては、中断した事実）は確認可能である。よって、結晶基材や発光素子・デバイスなどのＧａＮ結晶積層構造中において、エッチピット状の再成長界面が残っているものは、結晶表面にエッチピットを形成した後に再成長を行ったものであり、本発明によるＧａＮ系半導体基材、製造方法を用いたものであると断定できる。
【００３４】
以上、第一層の上面にエッチピットを形成し、その上に第二層を再成長させるステップを有する場合について説明したが、同様の工程をさらに繰り返してもよい。例えば、図４に示すように、第二層２の上面に直接エッチピットＰ２を形成するか、または、第二層上に他のＧａＮ系結晶層を成長・形成してその上面に再びエッチピットを形成し、その上にさらなるＧａＮ系結晶層３を成長させるという繰り返しである。
この繰り返しによって、エッチピットが形成された上面を有するＧａＮ系結晶層が、２層以上、多重的に積層された状態となり、エッチピットが形成された面を重ねる毎に、伝搬する転位は減少し、より高品質な結晶を得ることができる。
【００３５】
ＧａＮ系結晶層の成長を行う方法は、ＨＶＰＥ、ＭＯＶＰＥ（ＭＯＣＶＤ）、ＭＢＥ法などがよい。厚膜を作製する場合はＨＶＰＥ法が好ましいが、薄膜を形成する場合はＭＯＶＰＥ法やＭＢＥ法が好ましい。
【００３６】
第二層がエッチピット上を覆い該エッチピットを空洞として残すような結晶成長をするか、或いは、エッチピット内を充填するような結晶成長をするかは、成長条件（ガス種、成長圧力、成長温度など）を選択することにより制御することができる。
例えば、第二層の成長温度を上げると横方向成長が促進され、エッチピットは空洞となり易くなる。また成長時の雰囲気ガスとしてＮ２を用いても横方向成長が速くなり、エッチピットは空洞となり易くなる。
また、エッチピット内を充填するように結晶成長を行うには、例えば、第二層を低温で成長させることなど、空洞を形成する場合とは逆の条件の選択を行えば良い。またこれら以外にも他の成長方法、例えば、第一層をＭＯＶＰＥ法、第二層をＨＶＰＥ法で成長させるなど、異なる成長方法の組み合せを行ってもよい。以上成長条件によって空洞の形成の制御が可能であることを示したが、本発明の効果が出る範囲内であれば、目的に応じ使い分ければよい。
【００３７】
【実施例】
実施例１
直径２インチ、Ｃ面サファイア基板をＭＯＶＰＥ装置に装着し、水素雰囲気下で１１００℃まで昇温し、サーマルエッチングを行った。その後、温度を５００℃まで下げ、３族原料としてトリメチルガリウム（以下ＴＭＧ）、Ｎ原料としてアンモニアを流し、ＧａＮ低温バッファ層を成長させた。
次に、温度を１０００℃に昇温し、原料としてＴＭＧ、アンモニアを、ドーパントとしてシランを流し、本発明でいう第一層として、ｎ型ＧａＮ層を４μｍ成長させた。
【００３８】
この積層体をＭＯＶＰＥ装置から取り出し、第一層の上面をカソードルミネッセンスによって観察したところ、ダークスポットの密度は、１．０×１０９個／ｃｍ−２であった。
【００３９】
さらに、この積層体を、ＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）装置にセットし、カソードルミネッセンスによって観察されるダークスポット密度の１／１００程度となるエッチング条件で、エッチピットの平均の口径が３．５μｍとなるように、第一層の上面をエッチングした。第一層上面のエッチピットの密度を測定したところ、１．０×１０７個／ｃｍ−２であった。
【００４０】
第一層上面にエッチピットが形成された積層体をＭＯＶＰＥ装置に再度装着し、ＴＭＧ、アンモニア、シランを流し、ｎ型ＧａＮ層を３μｍ再成長させ、本発明でいう第二層とし、本発明によるＧａＮ系半導体基材を得た。なお、第二層の成長条件は、横方向への成長速度を促進させ、エッチピットが空洞として残るように条件選択した。
【００４１】
また、比較の為に、第一層成長後に、ＭＯＶＰＥ装置から取り出しただけで、エッチングは行わず、再びＭＯＶＰＥ装置に戻し、第二層を再成長させた比較例サンプルも作成した。エッチングの有無以外の条件は、実施例サンプル、比較例サンプル共に同様である。
両サンプルの第二層上面をカソードルミネッセンスで観察し、ダークスポット密度を測定した。該測定結果を、先の第一層上面のダークスポット密度と共に表１に示す。
【００４２】
【表１】
0003583375.tif 000002
【００４３】
表１に示すとおり、実施例品では、第一層上面と第二層上面とを比べると、ダークスポット密度が低減されていることから、第二層が低転位化されていることは明らかである。一方、第一層上面にエッチピット形成を行わなかった比較例品では、実施例品と同じ品質の第一層を用いていながら、第二層のダークスポット密度は実施例品の第一層と比べてもほとんど変化がない。
【００４４】
実施例２
本実施例では、第一層上面のエッチピットの口径を平均２μｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして、当該ＧａＮ系半導体基材を作製した。
得られた実施例サンプルの第二層上面のダークスポット密度を測定したところ、６．８×１０８個／ｃｍ−２であった。このことから、第一層に形成するエッチピットの口径が、上層の転位密度に大きく影響することがわかった。
【００４５】
実施例３
本実施例では、実施例１で得られたＧａＮ系半導体基材を基板として用い、ＬＥＤを作製した。
実施例１で得られたＧａＮ系半導体基材の第二層上面に、ｎ型Ａｌ０．１Ｇａ０．９Ｎクラッド層、Ｉｎ０．０７Ｇａ０．９３Ｎ発光層、ｐ型Ａｌ０．１Ｇａ０．９Ｎクラッド層、ｐ型ＧａＮコンタクト層を順に層状に成長させ、発光波長３７０ｎｍの紫外ＬＥＤ用のウエハーを作製した。
このウエハーに対して、さらに、ｎ型、ｐ型電極を形成し、素子分離を行い、ＬＥＤ素子とした。
採取されたＬＥＤチップの出力（２０ｍＡ）と、−１０Ｖ印加時のリーク電流の値（逆電流特性）を測定した。測定結果の平均値を表２に示す。
【００４６】
比較例サンプル１
実施例３のＬＥＤと比較すべく、上記実施例１において比較のために形成した、エッチピット無しの比較例サンプルをウエハー基板として、実施例３と同様に紫外ＬＥＤチップを作製し、比較例サンプル１とした。
比較例サンプル２
第二層の再成長を行わずに、サファイア基板上に、ＧａＮ低温バッファ層／ｎ型ＧａＮ層（４μｍ）／ｎ型Ａｌ０．１Ｇａ０．９Ｎクラッド層／Ｉｎ０．０７Ｇａ０．９３Ｎ発光層／ｐ型Ａｌ０．１Ｇａ０．９Ｎクラッド層／ｐ型ＧａＮコンタクト層を連続して成長させ、紫外ＬＥＤチップを作製し、比較例サンプル２とした。
これら比較例サンプルのＬＥＤチップの出力（２０ｍＡ）と、−１０Ｖ印加時のリーク電流の値（逆電流特性）を測定した結果の平均値を表２に示す。
【００４７】
【表２】
0003583375.tif 000003
【００４８】
表２に示すように、本発明による基材を用いて作製したＬＥＤは、第一層表面にエッチピットを作製しないサンプル（＝従来のもの）に比べ出力が高く、リーク電流の少ない高品質のＬＥＤであることがわかった。
【００４９】
実施例４
本実施例では、実施例１においてエッチピットが形成された第一層上面に、第二層の再成長を行うに際し、エッチピット内が充填される成長条件にて成長を行った。第二層の成長条件以外は、実施例１と同様である。
第二層の上面に、実施例１の場合と同様の条件にてエッチピットを形成したところ、ダークスポット密度は４．８×１０７個／ｃｍ−２であり、転位密度の低減が図られていた。
【００５０】
実施例５
本実施例では、エッチピットの形成を２重に繰り返して、転位密度の低減を行った。
実施例１で得られたＧａＮ系半導体基材（実施例１で示したとおり、第二層上面のダークスポット密度は３．８×１０７個／ｃｍ−２）をＲＩＥ装置にセットし、その上面をドライエッチングし、エッチピットを形成した。この時のエッチピットの口径は平均２μｍとした。
【００５１】
この、エッチピットが形成されたＧａＮ系半導体基材をＭＯＶＰＥ装置に装着し、第二層成長の場合と同様の条件（横方向への成長速度を促進させエッチピット部が空洞として残る条件）にて、ＴＭＧ、アンモニア、シランを流し、ｎ型ＧａＮ層を３μｍ再成長させ、第三層とした。
得られた第三層の上面のダークスポット密度を測定したところ、２．６×１０７個／ｃｍ−２であり、第二層上面のダークスポット密度との比較から、さらに転位密度が低減されていることがわかった。
【００５２】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、エッチピット形成を積極的に結晶成長工程に取り入れ、該エッチピットを利用して転位線の伝搬制御を行うものである。しかも、エッチピットは、エッチングを施すだけで、本発明によって、転位密度が低減された新たなるＧａＮ系半導体基材およびその製造方法が提供できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＧａＮ系半導体基材の構造の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】一般的なＧａＮ系ＬＥＤにおけるＰＬ強度と、素子構造最上層のｐ−ＧａＮ層上面のエッチピットの密度との関係を示すグラフである。
【図３】ＧａＮ結晶のＣ面をドライエッチングした時に現われるエッチピットのＳＥＭ像であって、図３（ｂ）は、図３（ａ）よりも倍率を上げて示したものである。
【図４】本発明のＧａＮ系半導体基材の構造の他の例を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１  第一番目のＧａＮ系結晶層（第一層）
２  第二番目のＧａＮ系結晶層（第二層）
Ｐ  エッチピット
ｍ１〜ｍ３  転位線
【図１】
0003583375.tif 000004
【図２】
0003583375.tif 000005
【図３】
0003583375.tif 000006
【図４】
0003583375.tif 000007