(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象電子部品の電気特性を、測定結果が基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定したうえで、その測定値を、前記基準測定装置を用いて測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する測定誤差の補正方法であって、
予め、補正用データ取得試料として、測定操作により前記測定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性を発生させる補正用データ取得試料を用意する工程と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する工程と、
前記実測測定装置による測定結果と前記基準測定装置による測定結果との間の相互関係式を求める工程と、
前記実測測定装置により測定した前記測定対象電気部品の電気特性を前記相互関係式に代入したうえで当該相互関係式を計算することで、前記測定対象電気部品の電気特性を、前記基準測定装置により測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する工程と、
を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。
【請求項２】
請求項１に記載の測定誤差の補正方法において、
前記相互関係式を求める工程は、
測定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定誤差要因を含んで想定する手順と、
前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それぞれ作成する手順と、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前記実測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示す数式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基づいて作成する手順と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手順と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する手順と、
を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。
【請求項３】
請求項１に記載の測定誤差の補正方法において、
前記相互関係式を求める工程は、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎは自然数）からなる前記相互関係式を作成する手順と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手順と、
前記相互関係式に基づいて未定係数算定式を作成したうえで前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記未定係数算定式に代入することで、前記未定係数を特定する手順と、
を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の測定誤差の補正方法において、
誤差補正の対象は前記測定対象電子部品が有する複数の電気特性であり、
前記補正用データ取得試料として、測定装置による測定操作により互いに異なる電気特性を発生させる複数の試料を用いる、
ことを特徴とする測定誤差の補正方法。
【請求項５】
請求項４に記載の測定誤差の補正方法において、
前記誤差補正の対象となる電気特性は、前記測定対象電子部品のＳパラメータであり、
各測定装置を構成する測定器は、ネットワークアナライザである、
ことを特徴とする測定誤差の補正方法。
【請求項６】
基準測定装置によって測定した場合の電気特性を要求特性とされる測定対象電子部品を、測定結果が前記基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定し、その測定結果に基づいて良否判定を行う電子部品の良否判定方法であって、
前記実測測定装置によって測定した前記測定対象電子部品の電気特性を、請求項１ないし５のいずれかに記載の測定誤差の補正方法によって補正し、この補正後の電気特性と前記要求特性とを比較して前記測定対象電子部品の良否を判定する、
ことを特徴とする電子部品の良否判定方法。
【請求項７】
測定対象電子部品の電気特性を測定する測定手段を有するものの、その測定結果が基準測定装置と一致しない電子部品特性測定装置であって、
前記測定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性を発生させる補正用データ取得試料の電気特性を前記基準測定装置で測定した測定結果を記憶する記憶手段と、
前記測定手段により測定する前記補正用データ取得試料の電気特性と、前記記憶手段で記憶している基準測定装置による前記補正用データ取得試料の電気特性との間の相互関係式を算定する相互関係式算定手段と、
前記測定手段により測定する前記測定対象電気部品の電気特性を前記相互関係式に代入したうえで当該相互関係式を計算することで、前記測定対象電気部品の電気特性を、前記基準測定装置により測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する補正手段と、
を有することを特徴とする電子部品特性測定装置。
【請求項８】
請求項７に記載の電子部品特性測定装置において、
前記相互関係式算定手段は、
測定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定誤差要因を含んで想定する手段と、
前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それぞれ作成する手段と、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前記実測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示す数式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基づいて作成する手段と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する手段と、
を備えることを特徴とする電子部品特性測定装置。
【請求項９】
請求項７に記載の電子部品特性測定装置において、
前記相互関係式を求める手段は、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎは自然数）からなる前記相互関係式を作成する手段と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する手段と、
を備えることを特徴とする電子部品特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定結果が基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定した電子部品の電気特性を、前記基準測定装置を用いて測定した場合に得られると推定される電気特性へ補正する測定誤差の補正方法、その補正方法を用いた電子部品の良否判定方法、およびその補正方法を実施する電子部品特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の電気特性の測定においては、電子部品のメーカー側に設置された測定装置と、ユーザー側に設置された測定装置といったように、同一ないし同種の電子部品に対して複数の測定装置でその電気特性を測定する場合がある。
【０００３】
このような場合、測定装置によってその測定誤差が互いに異なるために、測定の再現性が低く、同一ないし同種の電子部品に対して異なる測定装置で行った測定結果が同等にならない、という不具合が生じる。
【０００４】
低周波域における電気特性の測定においては、このような測定誤差は比較的小さなものであってそれほど問題とはならない。しかしながら、１００ＭＨｚ以上の高周波域における電気特性を測定する場合においては、各測定装置間の測定誤差が顕著なものとなり、特に数ＧＨｚ以上といった高周波域においては、測定の再現性を高めるために、以下に説明する絶対補正法を用いたキャリブレーションが実施されている。
【０００５】
予め、標準器（対象となる電気特性が正確に特定できている器具；例えば、オープン／ショート／ロード／スルー等があり、これの例としてはＡｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製の８５０５２Ｂが挙げられる）が用意される。そして、この標準器の電気特性が各測定装置により種々測定されることで、測定装置それぞれの誤差要因が同定され、例えば、フル２ポート補正法といった精度の高いキャリブレーションが実施されて同定された誤差要因が取り除かれ、測定の再現性が高められる（以下、このような補正方法を絶対補正法とする）。
【０００６】
このように、測定装置においては、上述した標準器を用いた精度の高いキャリブレーション（絶対補正法）を実施して測定の再現性を高めることができる。しかしながら、このようなキャリブレーションは、同軸形状をした電子部品（以下、同軸形状電子部品という）に対する測定においてのみ確実に実施することができる。
【０００７】
これに対して同軸形状でない電子部品（以下、非同軸形状電子部品という）に対する上記キャリブレーションを実施することは困難であった。以下、その理由を説明する。
【０００８】
非同軸形状電子部品の標準器を、非同軸形状電子部品と同等性能に作製するのは極めて困難であって、同軸形状電子部品の標準器に比べても極めて高価なものとなってしまう。そのうえ、そのような標準器を作製したとしてもその電気特性を精度高く特定することは困難である。
【０００９】
さらには、非同軸形状電子部品の標準器を用意するにしても、精度の高いキャリブレーション（例えばフル２ポート補正法）を実施できる測定装置においては、その装置の構造上、上記キャリブレーションを実施可能な標準器は同軸形状でなければ実現が困難な値（典型的には、オープン／ショート／ロード／スルー）のものに限られるという条件がある。このような理由により、非同軸形状電子部品に対して上記キャリブレーションを実施することは困難となる。
【００１０】
なお、キャリブレーションの一つであるＴＲＬ補正法等を実施する場合においては、導波管やマイクロストリップライン等の非同軸形状電子部品の標準器（典型的にはスルー／リフレクション／ラインの標準器）を作製しやすい。しかしながら、ＴＲＬ補正法等に適した標準器においても、その電気特性を精度高く特定することが困難であるのは同様である。
【００１１】
このように、非同軸形状電子部品の電気特性の測定に際して絶対補正法に基づくキャリブレーションを実施してその測定精度を高めることは困難である。そのため、従来では、非同軸形状電子部品の電気特性の測定においては、電子部品の接続点におけるキャリブレーションが行われることなく、次のような測定治具に取り付けた状態での測定が実施される。
【００１２】
測定器に対しては同軸形状の入出力端を有する一方、非同軸形状電子部品に対しては非同軸形状の入出力端を有する測定治具が用意される。この測定治具が測定器の入出力端に接続された同軸ケーブルに電気的に接続される。そうしたうえで、測定治具に非同軸形状電子部品が装着されてその電気特性が測定される。なお、測定器の入出力端に接続された同軸ケーブルの先端までは上述したフル２ポート補正法等のキャリブレーションを実施するのが好ましい。
【００１３】
測定治具を用いたこのような非同軸形状電子部品の電気特性測定方法においては、測定治具を含めてキャリブレーションを行うことができない。そのため、測定結果の再現性は低いものとなる。そこで、測定結果の再現性を高めるために、次のような測定装置の調整が実施される。
【００１４】
この調整は、一方の測定装置を、基準測定治具を備えた基準測定装置とみなし、他方の測定装置を、実測測定治具を備えた実測測定装置とみなしたうえで、測定結果において、実測測定装置が基準測定装置に一致するように、実測測定装置の実測測定治具が調整される。具体的には、基準測定装置において、任意の試料（電子部品）に対して電気特性が測定されたうえで、同一試料の電気特性が実測測定装置で測定され、両者の電気特性が同等となるように、実測測定治具が調整される。調整は具体的には次のように実施される。
【００１５】
実測測定治具は、基板表面上の配線端部に試料接続用の入出力端子を設けたプリント配線基板に、測定器接続用の同軸コネクタが取り付けられて構成されている。このように構成された実測測定治具では、上記調整が次のように実施される。プリント配線基板上のプリント配線の一部を削り取る、ないしはプリント配線上に半田を盛る等の処理を施しながら測定結果の変化を測定し、基準測定装置における測定結果と同等の電気特性が得られたところで上記処理を終了する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した電子部品の電気特性の測定方法には、同軸形状電子部品に対する測定、非同軸形状に対する測定とも、次のような課題がある。
【００１７】
同軸形状電子部品の測定方法においては、キャリブレーションを実施するために必要となる標準器は入手可能であるものの高価であるため、そのような高価な標準器を用意しなければならない分、キャリブレーションに要するコスト、延いては、電子部品の電気特性の測定に要するコストが嵩んでしまうという課題がある。
【００１８】
また、非同軸形状電子部品の測定方法においては、上述した実測測定治具の調整方法は、理論的に解明された方法ではなく、熟練と勘に頼った非常に手間のかかるものであるうえ、熟練者であっても、調整を精度高く再現することが困難である。
【００１９】
さらには、このような実測測定治具の調整方法は、調整時に用いた試料を測定した場合に再現性を保証できる調整方法にすぎず、他の試料を測定した場合に再現性を保証できるとは限らず、その再現性は不安定と言わざるを得ない。
【００２０】
したがって、本発明の主たる目的は、基準測定装置に対して測定結果が完全に一致しない実測測定の測定結果を、基準測定装置の測定結果と同等に補正する測定誤差の補正方法を提供することである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するためには、本発明では、測定対象電子部品の電気特性を、測定結果が基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定したうえで、その測定値を、前記基準測定装置を用いて測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する測定誤差の補正方法であって、
予め、補正用データ取得試料として、測定操作により前記測定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性を発生させる補正用データ取得試料を用意する工程と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する工程と、
前記実測測定装置による測定結果と前記基準測定装置による測定結果との間の相互関係式を求める工程と、
前記実測測定装置により測定した前記測定対象電気部品の電気特性を前記相互関係式に代入したうえで当該相互関係式を計算することで、前記測定対象電気部品の電気特性を、前記基準測定装置により測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する工程と、
を含むことに特徴を有している。これにより、次のような作用を有する。
【００２２】
電気特性が同定されていない補正用データ取得試料を用いた測定結果に基づいて実測測定装置と基準測定装置との間の相互関係式を求め、この相互関係式に基づいて、測定対象電気部品の電気特性を、前記基準測定装置により測定した場合に得られると推定される電気特性に補正しているので、高価な標準器を用いたキャリブレーションが必要なくなるうえ、実測測定装置に用いる実測測定治具等の調整も必要なくなる。さらには、理論計算により電気特性の補正を行うために、電子部品の形状（同軸形状／非同軸形状）によらず、その電気特性の測定の再現性を高めることが可能となる。
【００２３】
なお、前記相互関係式を用いた補正法として本発明は、解析式相対補正法と近似式相対補正法とを提案している。
【００２４】
解析式相対補正法による相互関係式の求め方として本発明は、
測定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定誤差要因を含んで想定する手順と、
前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それぞれ作成する手順と、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前記実測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示す数式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基づいて作成する手順と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手順と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する手順と、
を含むことに特徴を有している。
【００２５】
近似式相対補正法による相互関係式の求め方として本発明は、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎは自然数）からなる前記相互関係式を作成する手順と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手順と、
前記相互関係式に基づいて未定係数算定式を作成したうえで前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記未定係数算定式に代入することで、前記未定係数を特定する手順と、
を含むことに特徴を有している。
【００２６】
なお、誤差補正の対象は前記測定対象電子部品が有する複数の電気特性であり、前記補正用データ取得試料として、測定装置による測定操作により互いに異なる電気特性を発生させる複数の試料を用いるのが好ましく、そうすれば、相互関係式による補正精度がさらに向上することになる。さらには、任意の電気特性を発生させる補正用データ取得試料を用意すればよく、その特性の物理的真値を同定する必要もないので、その作製・入手が比較的簡単になる。
【００２７】
なお、前記誤差補正の対象は、前記測定対象電子部品のＳパラメータであり、各測定装置を構成する測定器は、ネットワークアナライザであるのが好ましい。
【００２８】
また、前記Ｓパラメータの一例としては、それぞれ、順方向反射係数、順方向伝達係数、逆方向反射係数、および逆方向伝達係数を挙げることができる。
【００２９】
近似式相対補正法によって前記相互関係式を作成する手順の具体例として、次の手順が挙げられる。
【００３０】
前記相互関係式を作成する手順は、
前記相互関係式として、一次式からなる次の（Ｂ２）式を、前記未定数算定式として、次の（Ｂ１ａ）〜（Ｂ１ｄ）式をそれぞれ作成するステップと、
前記補正用データ取得試料として、測定操作により互いに異なる電気特性を発生させる５個の補正用データ取得試料を準備したうえで、これら補正用データ取得試料のＳパラメータ（Ｓ１１ｎ，Ｓ２１ｎ，Ｓ１２ｎ，Ｓ２２ｎ：ｎは１から５の自然数）を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とで測定するステップと、
測定したＳパラメータ（Ｓ１１ｎ，Ｓ２１ｎ，Ｓ１２ｎ，Ｓ２２ｎ）を、前記前記未定係数算定式（Ｂ１ａ）〜（Ｂ１ｄ）に代入することで、未定係数（ａｍ，ｂｍ，ｃｍ，ｄｍ：ｍは０から４の整数）を確定し、
特定した未定係数（ａｍ，ｂｍ，ｃｍ，ｄｍ）を前記相互関係式（Ｂ２）に挿入するステップとを含んでいる。
【００３１】
【数１】
0003558074.tif 000002
Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊：基準測定装置で測定した補正用データ取得試料のＳパラメータ
Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ：実測測定装置で測定した補正用データ取得試料のＳパラメータ
【００３２】
【数２】
0003558074.tif 000003
Ｓ１１＊，Ｓ２１＊，Ｓ１２＊，Ｓ２２＊：基準測定装置で測定した場合に得られると推定可能な測定対象電子部品のＳパラメータ
Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ：実測測定装置で測定する測定対象電子部品のＳパラメータ
近似式相対補正法によって前記相互関係式を作成する手順のさらに他の具体例として、次の手順が挙げられる。
【００３３】
前記相互関係式を作成する手順は、
前記相互関係式として二次式からなる次の（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）式を、前記未定数算定式として次の（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）式を、それぞれ作成するステップと、
前記補正用データ取得試料として、測定操作により互いに異なる電気特性を発生させる１５個の補正用データ取得試料を準備したうえで、これら補正用データ取得試料のＳパラメータ（Ｓ１１ｐ，Ｓ２１ｐ，Ｓ１２ｐ，Ｓ２２ｐ：ｐは１から１５の自然数）を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とで測定するステップと、
測定したＳパラメータ（Ｓ１１ｐ，Ｓ２１ｐ，Ｓ１２ｐ，Ｓ２２ｐ）を、前記未定係数算定式（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）に代入することで、未定係数（ａｑ，ｂｑ，ｃｑ，ｄｑ：ｑは０から１４の整数）を確定するステップと、
特定した未定係数（ａｑ，ｂｑ，ｃｑ，ｄｑ）を前記相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に挿入するステップとを含んでいる。
【００３４】
【数３】
0003558074.tif 000004
【００３５】
【数４】
0003558074.tif 000005
【００３６】
【数５】
0003558074.tif 000006
【００３７】
【数６】
0003558074.tif 000007
Ｓ１１ｐ＊，Ｓ２１ｐ＊，Ｓ１２ｐ＊，Ｓ２２ｐ＊：基準測定装置で測定した補正用データ取得試料のＳパラメータ
Ｓ１１ｐＭ，Ｓ２１ｐＭ，Ｓ１２ｐＭ，Ｓ２２ｐＭ：実測測定装置で測定した補正用データ取得試料のＳパラメータ
【００３８】
【数７】
0003558074.tif 000008
【００３９】
【数８】
0003558074.tif 000009
【００４０】
【数９】
0003558074.tif 000010
【００４１】
【数１０】
0003558074.tif 000011
Ｓ１１＊，Ｓ２１＊，Ｓ１２＊，Ｓ２２＊：基準測定装置で測定した場合に得られると推定可能な測定対象電子部品のＳパラメータ
Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ：実測測定装置で測定する測定対象電子部品のＳパラメータ
本発明の測定誤差の補正方法は電子部品の良否判定方法において、最適に実施することができる。この場合、電子部品の良否判定方法は、基準測定装置によって測定した場合の電気特性を要求特性とされる測定対象電子部品を、測定結果が前記基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定し、その測定結果に基づいて良否判定を行うことにより構成される。
【００４２】
このような判定方法において、本発明を実施する場合には、前記実測測定装置によって測定した前記測定対象電子部品の電気特性を、本発明の測定誤差の補正方法によって補正し、この補正後の電気特性と前記要求特性とを比較して前記測定対象電子部品の良否を判定すればよい。そうすれば、測定対象電子部品の良否を精度高く判定することができる。
【００４３】
本発明は、上述した測定誤差の補正方法を実施できる測定装置としては、次の電子部品特性測定装置を提案する。
【００４４】
この測定装置は、測定対象電子部品の電気特性を測定する測定手段を有するものの、その測定結果が基準測定装置と一致しない測定装置であって、
前記測定対象電子部品の任意の電気特性と同等の電気特性を発生させる補正用データ取得試料の電気特性を前記基準測定装置で測定した測定結果を記憶する記憶手段と、
前記測定手段により測定する前記補正用データ取得試料の電気特性と、前記記憶手段で記憶している基準測定装置による前記補正用データ取得試料の電気特性との間の相互関係式を算定する相互関係式算定手段と、
前記測定手段により測定する前記測定対象電気部品の電気特性を前記相互関係式に代入したうえで当該相互関係式を計算することで、前記測定対象電気部品の電気特性を、前記基準測定装置により測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する補正手段と、
を有している。
【００４５】
本発明の測定装置を、解析式相対補正法に基づいて構成する場合、
前記相互関係式算定手段は、
測定時における前記両測定装置の信号伝達形態を、測定誤差要因を含んで想定する手段と、
前記信号伝達形態における前記実測測定装置の測定値真値を求める理論数式と、前記信号伝達形態における前記基準測定装置の測定値真値を求める理論数式とを、それぞれ作成する手段と、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値真値と前記実測測定装置の測定値真値との間の関係を一義的に示す数式からなる前記相互関係式を、前記両理論数式に基づいて作成する手段と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する手段と、
を備えるのが好ましい。
【００４６】
本発明の測定装置を近似式相対補正法に基づいて構成する場合、
前記相互関係式算定手段は、
未定係数を含み前記基準測定装置の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似的に示すｎ次式（ｎは自然数）からなる前記相互関係式を作成する手段と、
前記補正用データ取得試料の電気特性を、前記基準測定装置と前記実測測定装置とによりそれぞれ測定する手段と、
前記両測定装置で測定した前記補正用データ取得試料の電気特性の測定値を、前記相互関係式に代入することで、前記未定係数を特定する手段と、
を備えるのが好ましい。
【００４７】
本発明は、実測測定装置の測定結果を基準測定装置の測定結果に補正する際に、従来例で説明した絶対補正法ではなく相対補正法に基づいて補正操作を実施している。相対補正法とは次のような補正法である。
【００４８】
相対補正法は、実測測定装置（実測測定治具を含む）で測定した測定対象電子部品の電気特性（試料真値＋実測測定装置の測定誤差）に基づいて、基準測定装置（基準測定治具を含む）で測定した場合に得られると推定される電気特性（試料真値＋基準測定装置の測定誤差）に補正する補正方法である。相対補正法は、測定対象電子部品の試料真値が既知に限らず未知のものでもよい点に特徴がある。
【００４９】
本発明は、相対補正法として、解析式相対補正法と近似式相対補正法とを提案している。解析式相対補正法により補正する場合には、両測定装置の測定誤差要因を含んだ信号伝達形態を想定する必要がある。この場合、信号伝達形態は、測定誤差要因に対応すればよく、任意のものとして想定される。このような信号伝達形態としては、絶対補正法において従来から用いられているものを用いることができる。解析式相対補正法は、原理的にみて線形的な全ての誤差を精度高く補正することができる。しかしながら、解析式相対補正法は、非線形的な誤差を補正することができない。このような解析式相対補正法の特徴は絶対補正法と同様である。
【００５０】
近似式相対補正法は、解析式相対補正法で用いる解析式が複雑になり過ぎる場合等において、解析式を近似式で代用した補正法である。近似式相対補正法には、近似式の近似精度にどうしても限界が存在するために追加誤差が発生するのは避けられない。しかしながら、近似式相対補正法には、補正用データ取得試料の数が少なくできる。また、非線形的な誤差を補正することができる。
【００５１】
【発明の実施の形態】
第１の実施の形態
本実施形態では、表面実装型のＳＡＷフィルタを測定対象電子部品として、このＳＡＷフィルタの電気特性を、ネットワークアナライザを有する測定装置で測定する際の測定誤差の補正方法において本発明が実施されている。
【００５２】
図１は本実施形態の測定装置の構成を示す平面図であり、図２は測定治具の構成を示す平面図であり、図３は実測測定装置のネットワークアナライザの構成を示すブロック図であり、図４は測定対象試料である電子部品や補正データ取得試料の構成を示す裏面図であり、図５は補正データ取得試料の構成を示す平面図であり、図６は補正データ取得試料の等価回路図である。
【００５３】
基準測定装置１および実測測定装置２を構成する測定装置は、図１に示すように、ネットワークアナライザ３Ａ，３Ｂと、同軸ケーブル４Ａ，４Ｂと、測定治具５Ａ，５Ｂとを備えている。なお、ネットワークアナライザ３Ａと測定治具５Ａとは基準測定装置１に設けられており、ネットワークアナライザ３Ｂと測定治具５Ｂとは実測測定装置２に設けられている。
【００５４】
ネットワークアナライザ３Ａ，３Ｂは、高周波に用いられる電子部品の電気特性を測定する測定器であって、２ポートの入出力部（ポート１，ポート２）を有している。これらのポート１，２それぞれに同軸ケーブル４Ａ，４Ｂが接続されている。同軸ケーブル４Ａ，４Ｂの遊端には、同軸ケーブルコネクタ６が設けられている。
【００５５】
測定治具５Ａ，５Ｂは、図２に示すように、絶縁基板７と、接続用配線部８と、同軸コネクタ９Ａ，９Ｂとを備えている。接続用配線部８は、絶縁基板７の基板表面７ａに形成されており、信号伝送路８ａ，８ｂと、接地線路８ｃ〜８ｆとを備えている。信号伝送路８ａ，８ｂは、絶縁基板７の基板表面７ａにおいて、基板両端それぞれから基板中央に向かって延出配置されており、その延出端部それぞれは、基板表面７ａの中央部において所定の離間間隔を空けて対向配置されている。接地線路８ｃ〜８ｆは、基板表面７ａの中央部において、信号伝送路８ａ，８ｂの両側それぞれに設けられている。伝送路８ａ側に位置する線路８ｃ，８ｄと、伝送路８ｂ側に位置する伝送路８ｅ，８ｆとは、基板表面７ａの中央部において所定の離間間隔（信号伝送路８ａ，８ｂと同等）を空けて対向配置されている。
【００５６】
信号伝送路８ａ，８ｂは、基板端部において、同軸コネクタ９Ａ，９Ｂの内部導体コンタクト（図示省略）に接続されている。接地線路８ｃ〜８ｆは、スルーホール接続部１０を介して基板裏面のグランドパターン（図示省略）に接続されており、さらには、グランドパターンを介して、同軸コネクタ９Ａ，９Ｂの外部導体コンタクト（図示省略）に接続されている。
【００５７】
なお、図２においては、基準測定装置１の測定治具（以下、基準測定治具という）５Ａと、実測測定装置２の測定治具（以下、実測測定治具という）５Ｂとを、同じ形状を有するものとしているが、これらは、特に同じ形状のものとする必要はない。特に、実測測定治具５Ｂの形状は、自動選別測定機等に適した形状にするなどにより、基準測定治具５Ａと異なる形状にしてもよい。
【００５８】
実測測定装置２を構成するネットワークアナライザ３Ｂは、図３に示すように、ネットワークアナライザ本体２０と、制御部２１とを備えている。制御部２１は、制御部本体２２と、メモリ２３と、相互関係式算定手段２４と、補正手段２５とを備えている。
【００５９】
測定対象電子部品１１Ａや補正データ取得試料１１Ｂは、図４に示すように、その裏面１１ａに、伝送路端子１２ａ，１２ｂまたは擬似伝送路端子１４ａ，１４ｂと、接地端子１２ｃ〜１２ｆまたは擬似接地端子１４ｃ〜１４ｆとを備えている。測定対象試料１１Ａ，補正データ取得試料１１Ｂの裏面１１ａを測定治具５の基板表面７ａに当接させることで、伝送路端子１２ａ，１２ｂ（または擬似伝送路端子１４ａ，１４ｂ），接地端子１２ｃ〜１２ｆ（または擬似接地端子１４ｃ〜１４ｆ）を、信号伝送路８ａ，８ｂ，接地線路８ｃ〜８ｆに圧着させる。これにより測定対象電子部品１１Ａ，補正データ取得試料１１Ｂは、測定治具５Ａ，５Ｂに測定実装される。
【００６０】
本実施形態では、補正データ取得試料１１Ｂとして、測定装置１，２による測定操作により測定対象電子部品１１Ａの任意の電気特性と同等の電気特性を発生させる試料を用意する。さらには、本実施形態では、補正データ取得試料１１Ｂとして、測定装置により発生させる前記電気特性が互いに異なる複数（例えば６個）の試料１１Ｂ１〜６を用意する。
【００６１】
補正データ取得試料１１Ｂ１〜６は、図５に示すように、測定対象電子部品１１Ａと同等の形状を有する枠体１３を有している。枠体１３には、測定対象電子部品１１Ａの伝送路端子１２ａ，１２ｂや接地端子１２ｃ〜１２ｆと同等の構造を有する擬似伝送路端子１４ａ，１４ｂ、および擬似接地端子１４ｃ〜１４ｆが設けられている。これら擬似伝送路端子１４ａ，１４ｂ，擬似接地端子１４ｃ〜１４ｆは、枠体１３の下面から側面を介して上面１３ａまで延出した形状に形成されている。これら擬似伝送路端子１４ａ，１４ｂ，擬似接地端子１４ｃ〜１４ｆの枠体上面側延出端は、それぞれ実装端子１５ａ〜１５ｆを構成している。
【００６２】
互いに隣り合う実装端子（１５ａと１５ｂ），（１５ａと１５ｄ），（１５ａと１５ｃ），（１５ｂと１５ｅ），（１５ｂと１５ｆ）の間には、抵抗素子等からなる電気特性調整用素子１６ａ〜１６ｅが実装されている。
【００６３】
このようにして電気特性調整用素子１６ａ〜１６ｅが実装された補正データ取素子１１Ｂ１〜６では、図６の等価回路図に示すように、信号入出力端１７Ａ，１７Ｂの間に抵抗成分Ｒ１が設けられている。信号入出端１７Ａ，１７Ｂと接地電位との間に、抵抗成分Ｒ２，Ｒ３が設けられている。電気特性調整用素子１６ａ〜１６ｅの電気特性（抵抗素子である場合には抵抗値）を任意に設定することで、補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の特性（測定装置により測定される電気特性）をランダムに設定することが可能である。本実施形態では、測定装置による測定操作で生じさせる電気特性の正確な値を補正データ取得試料１１Ｂ１〜６に予め設定しておく必要はない。そのため、その分だけ補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の作製コストを低く抑えることができる。
【００６４】
以下、本実施形態の測定装置による測定誤差の補正方法（解析式相対補正方法）を説明する。
【００６５】
まず、その概要を説明する。非同軸形状試料の高周波特性の測定における共通な課題として、その特性（散乱係数等）の測定結果が測定装置によって異なった値となってしまうというものがある。具体的には、ユーザー保証を行う治具（基準測定治具５Ａ）を含んだ測定装置（基準測定装置１）による補正データ取得試料１１Ｂの測定結果と、出荷検査時に使用する治具（実測測定治具５Ｂ）を含んだ測定装置（実測測定装置２）による補正データ取得試料１１Ｂの測定結果とが異なってしまうという課題である。このような測定結果の不一致は、出荷検査時におけるユーザー保証を不可能にしてしまう。
【００６６】
そこで、本実施形態では、このような課題に対して、実測測定装置２による測定結果から基準測定装置１による測定結果を相対補正法に基づいた計算によって推定している。
【００６７】
以下、不平衡２ポートの測定系に対応した本実施形態の補正方法（解析式相対補正法）の理論を説明する。
【００６８】
まず、各測定系（基準測定装置１および実測測定装置２）の誤差要因を図７に示される信号伝達形態によってモデル化する。なお、図７に示す信号伝達形態は、一般的に用いられている２ポート誤差モデルと同様である。
【００６９】
図７の信号伝達形態（誤差モデル）は同軸測定系においては非常に正確なモデルであるが、測定治具を用いた非同軸測定系等に対しては厳密にいえば正確ではない。これは漏洩の取り扱いについて現実の物理現象と乖離した部分があることに起因している。
【００７０】
本実施形態ではこの信号伝達形態（誤差モデル）が長年にわたって世界的に用いられてきている実績を尊重し、非同軸測定系等に対しては厳密にいえば不正確であることを知りつつこの信号伝達形態を採用することにする。ただし、必要に応じてさらに正確な信号伝達形態を作成し、その信号伝達形態を用いて相対補正法の式を誘導しても良い。なお、図７の信号伝達形態は、測定治具に漏洩が多い場合には誤差が大きくなりやすいという特性があるものの、測定治具に漏洩が少ない（いわゆるアイソレーションの良い）場合では誤差はさほど大きくならない。
【００７１】
この信号伝達形態において、誤差要因が全て同定されていたとすると、補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の測定値（Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）からその散乱係数の真値（Ｓ１１Ａ，Ｓ２１Ａ，Ｓ１２Ａ，Ｓ２２Ａ）は次の理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）によって求められる。なお、理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）は、図７の信号伝達形態を基に式を組み立てれば導き出すことができる。
【００７２】
【数１１】
0003558074.tif 000012
散乱係数の真値が（Ｓ１１Ａ，Ｓ２１Ａ，Ｓ１２Ａ，Ｓ２２Ａ）である補正データ取得試料１１Ｂ１〜６を測定としたとき、基準測定装置１では散乱係数（Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄ，Ｓ１２Ｄ，Ｓ２２Ｄ）が、実測測定装置２では散乱係数（Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）がそれぞれ測定されるとする。
【００７３】
なお、以下の説明では、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の誤差要因をＥＤＦ１のように誤差要因名に添え字１を付して、実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の誤差要因をＥＸＲ２のように誤差要因名に添え字２を付して表すことにする。誤差要因名は図７中のものに準じる。
【００７４】
ここで、補正データ取得試料１１Ｂの散乱係数の真値  （Ｓ１１Ａ，Ｓ２１Ａ，Ｓ１２Ａ，Ｓ２２Ａ）および、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）・実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の誤差要因の値を具体的に知ることは実際には不可能である。一方、基準測定装置１における測定値（Ｓ１１Ｄ，Ｓ２１Ｄ，Ｓ１２Ｄ，Ｓ２２Ｄ）  や実測測定装置２におけ測定値（Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）は実測によって知ることのできる値である。
【００７５】
本実施形態における相対補正法の目的は、実測測定装置２の測定値から基準測定装置１の測定値を求めることである。
【００７６】
仮に基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）・実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の誤差要因が同定されているとする。このとき、基準測定装置１や実測測定装置２の測定値の各々と試料散乱係数とに間の関係を示す理論数式を、上記理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）を基にして考察すると、次に示す理論数式（Ａ２ａ）〜（Ａ２ｄ）と理論数式（Ａ３ａ）〜（Ａ３ｄ）とが成立する。これらの理論数式は、各測定装置１，２（測定冶具５Ａ，５Ｂ）の誤差要因が同定されていればその測定装置１，２（測定冶具５Ａ，５Ｂ）での測定値から試料散乱係数を計算で求めることができるということを示している。
【００７７】
【数１２】
0003558074.tif 000013
【００７８】
【数１３】
0003558074.tif 000014
ところで、基準測定装置１・実測測定装置２の双方で同じ試料を測定したとすれば試料散乱係数は理論数式（Ａ２ａ）〜（Ａ２ｄ）と，理論数式（Ａ３ａ）〜（Ａ３ｄ）との間で等しくなる。そこで、理論数式（Ａ２ａ）〜（Ａ２ｄ）と理論数式（Ａ３ａ）〜（Ａ３ｄ）の各々から試料散乱係数（Ｓ１１Ａ，Ｓ２１Ａ，Ｓ１２Ａ，Ｓ２２Ａ）を消去すると次の相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）が得られる。相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）は、実測測定装置２による測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の関係を示す式である。
【００７９】
【数１４】
0003558074.tif 000015
【００８０】
【数１５】
0003558074.tif 000016
【００８１】
【数１６】
0003558074.tif 000017
【００８２】
【数１７】
0003558074.tif 000018
このようにして得られる相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）を実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）での測定値（Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）について整理する。さらに、整理した式を簡略化する為に適当に誤差要因を変数で置き換える。すると次の相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）が得られる。相互関係式ＯＬＥ＿ＬＩＮＫ１（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）ＯＬＥ＿ＬＩＮＫ１中、ａ０，ａ１，ａ３，ｂ０，ｂ１，ｂ３，ｃ０，ｃ１，ｃ３，ｄ０，ｄ１，ｅ０，ｅ１，ｅ３，ｆ０，ｆ１，ｋ，ｍの計１８個とＥＸＦ１，ＥＸＲ１，ＥＸＦ２，ＥＸＲ２の４つがこの相互関係式に含まれる未定係数である。なお、Ｓ１１Ｄについての式とＳ２１Ｄについての式、および、Ｓ２２Ｄについての式とＳ１２Ｄについての式の右辺分数部の分母に用いている未定係数は同じ記号を用いているが、これは各々の係数が全く等しいことを示している。
【００８３】
【数１８】
0003558074.tif 000019
このようにして作製した相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）では、上述した２２個の未定係数を決定すれば良い。これら相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）は有理式であって、
・２変数（例えばａ０とｂ０）は基準として１とおける、
・漏洩は無視し得ることがほとんどである、
と見なすことができる。
【００８４】
以上のことから、相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）の未定係数は、事実上、１６個となる。
【００８５】
また、１つの試料を測定すれば４つの式が得られる。
【００８６】
このことから、理論上は補正用データ取得試料１１Ｂを４個測定すれば相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）に含まれる未定係数を決定することができる。
【００８７】
しかしながら、未定係数ｋ，ｍは他の係数との積として現れており、相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）に現れる未定係数を同定することは容易ではない。そこで、必要な補正用データ取得試料１１Ｂの数は多少増えてしまうが、ｋ，ｍと他の未定係数の積を独立変数と扱うことにより方程式を線形化し未定係数の計算を容易にすることができる。この置き換えを行った結果を次の相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）式に示す。これらの相互関係式中、ａ０〜ａ４，ｂ０〜ｂ４，ｃ０〜ｃ４，ｄ０，ｄ１，ｅ０〜ｅ４，ｆ０，ｆ１の計２２個とＥＸＦ１，ＥＸＲ１，ＥＸＦ２，ＥＸＲ２の４つが未定係数である。
【００８８】
【数１９】
0003558074.tif 000020
相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）で、ＥＸＦ１，ＥＸＲ１，ＥＸＦ２，ＥＸＲ２の４つはいわゆるポート間漏洩（リーク）であり、アイソレーションの良い測定装置１，２（測定冶具５Ａ，５Ｂ）では無視し得ることが多い。この場合、これらの未定係数は単に０とおけば良い。また、無視し得ない場合においても、これらのポート間漏洩（リーク）は簡単に見積もることができる。例えば、測定装置１，２（測定冶具５Ａ，５Ｂ）に補正データ取得試料１１Ｂ等を取り付けない状態で測定を行ったときの散乱係数の測定値をそのままこれらの値［ポート間漏洩（リーク）］とすることもできる。このような適当な方法によりこれら漏洩誤差を同定したとして変数の置き換えを行うと、相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）は、次の（Ａ７ａ）〜（Ａ７ｄ）式で整理される。このような変数の置き換えを行うと数式が簡単になるので以後この置き換えを行ったうえで説明する。
【００８９】
【数２０】
0003558074.tif 000021
さて、残りの２４個の未定係数は各式の右辺の分数部を作っているわけであるが、相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）の各式とも基本的には有理式であり明らかに分子と分母に含まれる係数のうち１つは任意に決めることができる。どの未定係数を選ぶかは任意であるが、ここでは一例としてａ０とｂ０がいずれも１であるとする。ここで式を整理してベクトル式にすると、相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）は、さらに次の相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）として整理される。なお、相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）中のｔは行と列を入れ替えたベクトルを示している。
【００９０】
【数２１】
0003558074.tif 000022
ここで注目すべきは、相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）には試料散乱係数（Ｓ１１Ａ，Ｓ２１Ａ，Ｓ１２Ａ，Ｓ２２Ａ）が含まれておらず、また未定係数が２２個しか含まれていないことである。すなわち、１つの補正データ取得試料１１Ｂを基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）と実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の両方で測定すれば相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）が得られる。
【００９１】
したがって、この相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）を用いれば、５．５個（＝２２／４：実際には６個となる）の補正データ取得試料１１Ｂ１〜６を基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）と実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の両方で測定すれば全ての未定係数を決定することができる。
【００９２】
なお、先に述べたとおり、漏洩誤差（ＥＸＦ１，ＥＸＲ１，ＥＸＦ２，ＥＸＲ２）を無視しない場合は、これを測定するために１個余分に補正データ取得試料１１Ｂが必要なので計７個の補正データ取得試料１１Ｂ１〜７が必要になる。
【００９３】
いったん未定係数が同定されれば、任意の測定対象電子部品１１Ａの実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の測定値から上述した相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）を用いて基準測定装置（基準測定冶具）での測定値を計算で求めることができる。
【００９４】
相互関係式（Ａ８ａ）〜（Ａ８ｄ）を用いて未定係数を決定する具体的な方法は、どのような方法であっても良いのだが、実際には計算機を用いて計算を行わないと非常に手間がかかる。そのため、計算機を用いた未定係数の決定方法の一例を説明する。
【００９５】
まず、各測定装置１，２の測定冶具５Ａ，５Ｂに補正データ取得試料１１Ｂ１〜６を取り付けない状態で散乱係数を測定することで、各測定装置１，２（測定治具５Ａ，５Ｂ）固有の漏洩誤差（ＥＸＦ１，ＥＸＲ１，ＥＸＦ２，ＥＸＲ２）を決定する。つづけて、適当に製作した６個の補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の特性（散乱係数）を、基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）・実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の両方で測定する。これにより、基準測定装置１の測定値と実測測定装置２の測定値とをそれぞれ６つ得る。ここに、おのおのの補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の測定値をそれぞれＳ１１Ｄ１，Ｓ１１Ｄ２，…，Ｓ１１Ｄ６，Ｓ１１Ｍ１，…，Ｓ１１Ｍ６というように末尾の添え字で区別する。
【００９６】
次に、補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の測定値を相互関係式（Ａ８ａ），（Ａ８ｂ）に代入し、補正データ取得試料１１Ｂ６の測定値を相互関係式（Ａ８ａ）に代入する。これらの測定値代入式を行列式に整理すると次の（Ａ９）式になる。
【００９７】
【数２２】
0003558074.tif 000023
（Ａ９）式の係数行列および右辺定数項ベクトルの要素は全て既知量であるから、（Ａ９）式は未定係数（ａ１〜Ａ４，ｃ０〜ｃ４，ｄ０，ｄ１）についての単なる１１元連立一次方程式である。これを解いて未定係数を求めることは計算機によって一般に知られたＬＵ分解法やガウス消去法といったアルゴリズムを用いればきわめて容易である。同様に、相互関係式（Ａ８ｃ）と相互関係式（Ａ８ｄ）から、未定係数（ｂ１〜ｂ４，ｅ０〜ｅ４，ｆ０，ｆ１）を求めることができる。
【００９８】
漏洩誤差は比較的簡単に同定できる場合が多いので、上述した本実施形態の説明においては、漏洩誤差をまず個別に同定しておき、残りの誤差の影響で生じる基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の測定値と実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の測定値との間の差異を、補正用データ取得試料１１Ｂ１〜６を用いて補正するという手順を用いた。しかしながら、漏洩誤差も含めて基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の測定値と実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の測定値との間の差異を、補正用データ取得試料１１Ｂ１〜６を用いて補正してもよい。
【００９９】
また、上述した本発明の説明では、２ポート測定系について本発明を説明したしたが、１ポート測定系についても、あるいは３ポート以上の測定系についても本発明は全く同様に実施できるのはいうまでもない。
【０１００】
上述した本実施形態の説明では２ポート測定系の誤差モデル（信号伝達形態）として一般に用いられている２ポート誤差モデルを用いて説明を行ったが、測定冶具などの測定系にあわせてこれとは異なる誤差モデル（信号伝達形態）に基づいて本発明を実施しても良いのもいうまでもない。
【０１０１】
相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）において、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の誤差要因を全く誤差の無い測定系の場合の値とする、つまり、ＥＸＦ＝０，ＥＸＲ＝０，ＥＤＦ＝０，ＥＤＲ＝０，ＥＲＦ＝１，ＥＲＲ＝１，ＥＳＦ＝０，ＥＳＲ＝０，ＥＴＦ＝１，ＥＴＲ＝１，ＥＬＦ＝０，ＥＬＲ＝０にすると、相互関係式（Ａ４ａ）〜（Ａ４ｄ）は、理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）に一致する。このことから、一般に行われている２ポート補正法等の補正方法は本実施形態における相対補正法の特殊な場合（基準冶具が理想的である場合）に相当することが理解される。
【０１０２】
以上の本実施形態の説明では、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）や実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）の誤差要因に着目して本発明の詳細を説明したが、測定冶具５Ａ，５Ｂの誤差要因、測定装置１，２，測定ケーブル等の誤差要因とが複合したものを、１つの誤差要因としてとらえることもできる。この場合でも、信号伝達形態（誤差モデル）は理論数式（Ａ１ａ）〜（Ａ１ｄ）に基づくものがそのまま成立する。
【０１０３】
そのため、例えば校正していない実測測定装置に実測測定冶具を取り付けた状態で得た測定値から、校正している基準測定装置に基準測定冶具を取り付けた状態で測定されるであろう測定値を相対補正法によって正確に得ることもできる。
【０１０４】
以上説明した本実施形態の説明における未定係数の決定法以外にも、余分にいくつかの補正データ取得試料１１Ｂを測定しておき、これらの測定値を用いて最小自乗法に代表される何らかの最尤法によって未知係数を決定することも可能である。このようにすれば、試料測定時の測定誤差の影響を緩和することができる。
【０１０５】
漏洩を除けば、本来は４個の補正用データ取得試料１１Ｂによって解析式相対補正法の補正式の係数を決定できるはずであるところ、上述した説明では、５．５個の補正用データ取得試料（実際は無論６個）１１Ｂ１〜６を用いて未定係数を決定している。これは、方程式を単純化するために便宜的に採用した方策である。
【０１０６】
しかしながら、５．５個の補正用データ取得試料１１Ｂ１〜６で係数を決定する場合には、補正用データ取得試料の測定誤差の影響などによって係数が相互に満たすべき関係を満たさない場合がある。例えば、相互関係式（Ａ５ａ）〜（Ａ５ｄ）と相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）とを比較すると、ａ４／ａ３＝ｃ４／ｃ３なる関係が成立しなければならないが、測定によってはこのような関係を満たすことができない係数が得られる場合がある。
【０１０７】
このような場合、４個の補正用データ取得試料１１Ｂ１〜４の測定結果を評価関数として、５．５個の補正用データ取得試料１１Ｂ１〜６で得た係数を初期値として反復演算を行うことによって係数をより正確なものに修正することができる。これは、仮の解の初期値が真の解に近ければ、Ｎｅｗｔｏｎ法等で容易に解を真値に収束させることができることによっている。
【０１０８】
以上が２ポート測定系の場合の相対補正法の理論である。次に補正用データ取得試料１１Ｂの設計について説明する。相対補正法の実施において補正用データ取得試料１１Ｂをどのように作るかは補正精度上非常に重要な問題となる。補正用データ取得試料１１Ｂを基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）と実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）とのそれぞれで全く測定誤差無く測定する事が出来れば、解析式相対補正法における補正式の係数は一義的に定まる。ただしこの場合、上述した（Ａ９）式の左辺の行列が特異にならない限りという条件は付く。
【０１０９】
しかしながら、実際上は、補正用データ取得試料１１Ｂの測定において必ず何かしらの誤差（系統誤差・偶然誤差の両者を含む）が発生する。そうすると、（Ａ９）式によって求まる解析式相対補正法における補正式の係数に誤差が生じてしまう。
【０１１０】
このようにして生じる係数の誤差においては、補正用データ取得試料１１Ｂがどの様な散乱係数を有しているかによってその影響の大きさが異なる。例えば、最も補正用データ取得試料１１Ｂの測定誤差の影響を受け難くなると予想される条件の１つは、（Ａ９）式の左辺の行列が単位行列に近くなる場合である。なお、実際には（Ａ９）式をそのまま用いるのではなく、最小自乗法といった考え方を取り入れて（Ａ９）式は運用されるがこの場合にも同様である。
【０１１１】
以下、どの様に補正用データ取得試料１１Ｂの特性を設計すれば測定誤差に影響され難い解析式相対補正法の補正式を作成出来るかについて説明する。ここでは、主として抵抗器を組み合わせて補正用データ取得試料１１Ｂを作製する事を前提とする。抵抗器の組み合せにより補正用データ取得試料１１Ｂを作成するのは、補正用データ取得試料１１Ｂの製作を簡単にするためである。
【０１１２】
解析式相対補正法の補正式を精度高く作成するうえでは、
・補正式の係数の算定の確実性、
・複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における特性の接近度、
・複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における特性の従属性、
が重要となる。
【０１１３】
はじめに解析式相対補正法における補正式中の係数を確実に算定出来る条件について説明する。全く同じ特性を有する補正用データ取得試料１１Ｂを２個用いることは、実質上、補正用データ取得試料１１Ｂの数が１個少ないことと同じことを意味する。したがって、このことが補正係数を算定出来ない条件の一つである事は容易に理解される。数学的にもこの要件は簡単に表現できる。すなわち、（Ａ９）式の左辺の行列の行列式の値が０になることである。そうすれば、補正係数が算定出来なくなる。したがって、この条件の逆の条件［（Ａ９）式の左辺の行列の行列式の値が０にならない］ことさえ満たせば、（Ａ９）式は解を有することになる。
【０１１４】
しかしながら、（Ａ９）式の行列式の値が０でないという条件は、補正用データ取得試料１１Ｂをどう設計すべきかを判断するうえではあまりに抽象的である。そのため、本実施形態では、次のような目安を用いている。以下の目安を用いることは若干ながら不正確ではあるものの、そもそも、行列式の値が０になるというのは余程の偶然がない限り起こらないものであり、この様な簡易的な方法（目安を用いる方法）であっても実用上は全く問題無い。
【０１１５】
第１の目安は、補正用データ取得試料１１Ｂの設計散乱係数によって決まる次の各計算値Ｓ１１，  Ｓ２１，Ｓ１２，Ｓ２２，Ｓ１１＊Ｓ２２，Ｓ２１＊Ｓ１２，Ｓ２１＊Ｓ２２，Ｓ１２＊Ｓ１１，Ｓ１１＊Ｓ２１＊Ｓ１２，Ｓ２２＊Ｓ２１＊Ｓ１２がそれぞれ、全ての補正用データ取得試料１１Ｂで非常に小さな値となったり、同じような値とならないことである。このような目安は、これらの計算値は各係数に対応する行列要素の値を作るものであってこのような第１の目安を満たすと行列式が０に近づく恐れがある、という理由に基づいている。
【０１１６】
第２の目安は、上述の計算値の補正用データ取得試料１１Ｂ毎の大小関係が出来るだけ共通しないようにすることである。このような目安は、計算値の大小関係が異なれば行列式が０に近づくことはまず起こり得ない、という理由に基づいている。
【０１１７】
以上の条件・目安を満足させることで、解析式相対補正法における補正式中の係数を確実に算定出来るようになる。
【０１１８】
次に、複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における特性の接近度について説明する。本発明の解析式相対補正法においては、測定誤差の影響を受けるのは避けられない。このような測定誤差の影響を最小限に抑えるためには、複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における特性の接近度をできるだけ離すことが重要となる。以下、説明する。
【０１１９】
補正用データ取得試料１１Ｂの測定時に如何に注意深く測定を行なっても何らかの誤差は必ず生じてしまう。この場合の誤差には補正用データ取得試料１１Ｂを測定治具５Ａ，５Ｂに取り付けた際の位置決め誤差のようなものや、測定装置１，２のドリフト、または測定バラツキのようなものが全て含まれる。
【０１２０】
これらの誤差の影響を大きく受ける条件は、２個以上の補正用データ取得試料１１Ｂが非常に近い特性を有している場合である。これは、補正用データ取得試料１１Ｂが有する特性近辺における微係数とは、最も単純には隣接する補正用データ取得試料１１Ｂとの特性差を補正用データ取得試料１１Ｂの特性の距離（ノルム）で除したもので与えられる事から容易に理解できる。つまり、除数が小さければ非除数の僅かな誤差が拡大してしまう。
【０１２１】
したがって、測定誤差の影響を受けにくくするには補正用データ取得試料１１Ｂの特性相互間のノルムを出来るだけ大きく保つことが有効である。ノルムには、例えば単純幾何距離（Ｓ１１〜Ｓ２２の各パラメータの差の自乗和の平方根）を用いる事が出来る。
【０１２２】
ここで、補正用データ取得試料１１Ｂを抵抗器だけで製作すると必然的にその特性は実軸に貼り付き、虚軸成分をほとんど有しないことに着目する。測定誤差さえなければ原理的にはたとえ補正用データ取得試料１１Ｂの特性に虚数成分は無くとも、測定治具５Ａ，５Ｂの誤差要因の虚数成分は重畳されるので結果的には正しい補正係数（補正式の未定係数）が推定出来る。しかしながら、測定誤差によって一部の補正用データ取得試料１１Ｂの特性のみが虚数成分を持つ場合がある。その場合、位相回転を有する補正用データ取得試料１１Ｂの補正結果に大きな誤差を生じさせるような補正係数（未定係数）が得られてしまう懸念がある。これは特に順方向と逆方向で移相角が異なる散乱係数を有するデバイス（アイソレータ等が該当する）の場合とくに顕在化しやすい。
【０１２３】
補正用データ取得試料１１Ｂの測定誤差を十分小さくすることが困難な場合（例えば、測定装置１，２のドリフトのように平均化で除去出来ない誤差が生じる場合など）には、移相角が異なる補正用データ取得試料１１Ｂを用いることが最も効果的な対策である。具体的には、補正用データ取得試料１１Ｂにディレイラインまたは、コンデンサやインダクタなどのリアクタンス素子を組込むことによって前記対策を実現できる。
【０１２４】
また、測定対象電子部品１１Ａが補正用データ取得試料１１Ｂと異なる移相角を有する時には測定対象電子部品１１Ａそのものを補正用データ取得試料１１Ｂの１つとして使用することも有効である。ただし、いずれの方法においても補正用データ取得試料１１Ｂに対して測定可能な周波数帯域幅は制限を受けてしまう。以上のようにすることで測定誤差の影響を最小限に抑えることができる。
【０１２５】
次に、複数用意する補正用データ取得試料１１Ｂ間における特性の従属性について説明する。前述した相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）は、実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）における測定値から基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）のおける測定値を推定する式である。これらの式は単純な有理式であって、分子・分母とも、測定治具５Ａ，５Ｂで補正用データ取得試料１１Ｂを測定した散乱係数およびその積の一次結合である。そのため、各項の間で一次従属が生じてしまう可能性がある。以下、説明する。
【０１２６】
例えば、Ｓ１１Ｄの推定式である相互関係式（Ａ６ａ）式では、分子にｃ２＊Ｓ１１Ｍ＋ｃ３＊Ｓ２２Ｍという部分がある。ここで、補正用データ取得試料１１Ｂの測定結果に基づいて正しい値がｃ２，ｃ３として推定されていればどの様な補正用データ取得試料１１Ｂの特性を相対補正しても正しい補正が行なわれる。しかしながら、ｃ２が極端に大きな値であったり、逆にｃ３がこれの符号を反転した値であったとすると、補正用データ取得試料１１Ｂについてはたまたまｃ２＊Ｓ１１Ｍ＋ｃ３＊Ｓ２２Ｍの各項がお互いに打ち消しあってそれらしいＳ１１Ｄの補正結果が得られる可能性がある。そうすると、補正用データ取得試料１１Ｂ以外の試料（測定対象電子部品１１Ａ）では極端に大きなまたは小さな誤った値としてＳ１１Ｄが推定されてしまう。
【０１２７】
このような不都合を回避するためには、補正用データ取得試料１１Ｂの特性に一次従属で表現不可能な組合せのものを含めれば良い。Ｓ１１とＳ２２の例でいえば、一次従属はＳ１１増加，Ｓ２２増加という場合と、Ｓ１１増加，Ｓ２２減少という場合が考えられ、一次従属はこれらのいずれかの場合となる。そのため、一次従属を回避するためには、補正用データ取得試料１１Ｂとして、
（１）Ｓ１１増加，Ｓ２２増加、
（２）Ｓ１１増加，Ｓ２２減少、
の両方の場合が生じる様に組み合わせておけば良い。
【０１２８】
同様に、
（３）Ｓ１１減少，Ｓ２２増加、
（４）Ｓ１１減少，Ｓ２２減少、
を含めればＳ２２側から考えても一次従属は起こり得ない。
【０１２９】
相互関係式（Ａ６ａ）〜（Ａ６ｄ）式から、一次従属が起こる特性の組合せとして、Ｓ１１とＳ２２以外に、Ｓ１１＊Ｓ２２とＳ２１＊Ｓ１２の組合せがある。そのため、これらの組合せについても、上述したのと同様の点に注意して補正用データ取得試料１１Ｂの特性設計をすればよい。
【０１３０】
以下、本実施形態の測定誤差補正方法により補正方法を具体的に説明する。
【０１３１】
用意した６個の補正データ取得試料１１Ｂ１〜６が、基準測定装置１に搭載される。そして、各試料１１Ｂ１〜６の電気特性が各周波数ポイント毎に測定される。ここで、補正データ取得試料１１Ｂ１〜６に対応するＳＡＷフィルタは高周波用の電子部品であり、ここで測定する電気特性は、順方向散乱係数Ｓ１１，順方向散乱係数Ｓ２１，逆方向散乱係数Ｓ１２，逆方向散乱係数Ｓ２２からなるＳパラメータとなる。
【０１３２】
これら基準測定装置１における補正データ取得試料１１Ｂ１〜５のＳパラメータを測定した結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊：ｎは１から６の自然数）が、実測測定装置２の図示しないデータ入力部を介して実測測定装置２に予め入力されている。入力された基準測定装置１の測定結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊）は、制御部本体２２を介してメモリ２３に記憶されている。
【０１３３】
一方、実測測定装置２においても、同様に、補正データ取得試料１１Ｂ１〜６が基準測定装置２に搭載される。そして、各試料１１Ｂ１〜６の電気特性が各周波数ポイント毎に測定される。
【０１３４】
実測測定装置２による補正データ取得試料１１Ｂ１〜６のＳパラメータの測定結果（Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ：ｎは１から６の自然数）は、制御部本体２を介して相互関係式算定手段２４に入力される。
【０１３５】
相互関係式算定手段２４は、実測測定装置２による補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の測定結果（Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ）が入力されると、制御部本体２２を介してメモリ２３から、基準測定装置１で測定した補正データ取得試料１１Ｂ１〜６の測定結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊）を読み出す。
【０１３６】
相互関係式算定手段２４は、測定結果（Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ）と測定結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊）とに基づいて、実測測定装置２による測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の相互関係式を算定する。算定方法の詳細については、理論数式（Ａ１ａ〜Ａ１ｄ），（Ａ２ａ〜Ａ２ｄ），（Ａ３ａ〜Ａ３ｄ）と、相互関係式（Ａ４ａ〜Ａ４ｄ），（Ａ５ａ〜Ａ５ｄ），（Ａ６ａ〜Ａ６ｄ），（Ａ７ａ〜Ａ７ｄ），（Ａ８ａ〜Ａ８ｄ），（Ａ９）とを参照して上述したのでここではその説明は省略する。
【０１３７】
以上の準備工程を経たのち、実測測定装置２のネットワークアナライザ本体２０により測定対象電気部品１１Ａの電気特性（ＳパラメータＳ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）を測定する。測定対象電気部品１１Ａの測定結果は、制御部本体２２を介して補正手段２５に入力される。
【０１３８】
補正手段２５は、測定対象電気部品１１Ａの測定結果が入力されると、制御部本体２２を介してメモリ２３から相互関係式を読み出す。補正手段２５は、読み出した相互関係式に測定対象電気部品１１Ａの測定結果である電気特性（ＳパラメータＳ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）を代入して計算する。これにより、補正手段２５は、実測測定装置２における測定対象電気部品１１Ａの測定結果（電気特性）を、基準測定装置１により測定した場合に得られると推定される電気特性（Ｓ１１＊，Ｓ２１＊，Ｓ１２＊，Ｓ２２＊）に補正する。補正手段２５は、算定した補正値を制御部本体２２を介して外部に出力する。出力は、図示しない表示部により表示出力してもよいし、図示しないデータ出力部によりデータとして出力してもよい。
【０１３９】
なお、このような計算処理は、上述したように、ネットワークアナライザ３Ｂに内蔵された制御部２１により行ってもよいし、ネットワークアナライザ３に接続された外部コンピュータに対して測定結果を出力してこの外部コンピュータにより行ってもよい。
【０１４０】
実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）で測定した測定対象電子部品１１Ａ（２ポート）の電気特性を、本実施形態の２ポート相対補正法により補正した結果の具体例を図８〜図１０を参照して説明する。
【０１４１】
ここでは、基準測定治具５Ａとして、いわゆるユーザー保証基板に導電ゴムを敷いたものを用いた。実測測定治具５Ｂとして、基準測定治具５Ａに２ｐＦのコンデンサを取り付けて故意に大きな誤差要因を生じさせたものを用いた。補正用データ取得試料１１Ｂにはアイソレータのパッケージにチップ抵抗を取り付けたものを用いた。図８は、順方向の散乱係数の補正結果を示し、図９は、順方向の散乱係数の補正結果の部分拡大図を示し、図１０は逆方向の散乱係数の補正結果を示している。
【０１４２】
これらの図で明らかなように、本実施形態の補正方法を実施すれば、実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）と基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）との間の大きな測定値差異をほぼ正確に補正している事が理解される。つまり、グラフ中の「実測測定治具測定値」をもとに相対補正法によって「補正結果」を得たわけであるが、これが「基準測定治具測定値」に一致すれば補正は正常に行なわれていることを示しており、事実この様になっている。さらには、部分拡大である図９を参照しても、ほぼ正確に補正できているものの明らかである。
【０１４３】
また、この測定データによれば、次の点も注目できる。すなわち、補正用データ取得試料１１Ｂは全て抵抗器で構成されているので明らかに非方向性デバイスなのであるにも関わらず、アイソレータのような明らかな方向性を有する測定対象電子部品１１Ａの相対補正も精度高く実施することができる点である。これは、次のような理由によっている。すなわち、上述した（Ａ９）式中でＳ２１とＳ１２とが一時結合の関係に無いために方向性デバイスを補正用データ取得試料１１Ｂとするまでも無く相対補正係数を全て同定することが可能である。これにより、非方向性デバイスからなる測定対象電子１１Ａの相対補正も精度高く実施することができる。
【０１４４】
このことは次のような利点を生む。すなわち、広帯域な方向性デバイスからなる補正データ取得試料１１Ｂを製作する事は非常に困難であり、この様な補正用データ取得試料を必要としないことは相対補正法を実際に実施する上で非常に重要となる。もっとも、前述したように、測定誤差に弱くなる傾向があるので、実際には測定対象電子部品１１Ａがアイソレータのように強い方向性を有する場合は、当該デバイス自体の１つを補正データ取得試料１１Ｂとして使用することができる。
【０１４５】
以上は、不平衡２ポートの測定系において本実施形態を実施した場合における説明である。次に、不平衡１ポートの測定系において本実施形態を実施した場合の説明を行う。
【０１４６】
まず、各測定系（基準測定装置１および実測測定装置２）の誤差要因を図１１に示される信号伝達形態によってモデル化する。なお、図１１に示す信号伝達形態は、一般的に用いられている１ポート誤差モデルと同様である。
【０１４７】
この信号伝達形態において、誤差要因が全て同定されていたとすると、補正データ取得試料１１Ｂの測定値Ｓ１１Ｍからその散乱係数の真値Ｓ１１Ａは次の理論数式（Ａ１０ａ），（Ａ１０ｂ）によって求められる。なお、理論数式（Ａ１０ａ），（Ａ１０ｂ）は、図１１の信号伝達形態を基に式を組み立てれば導き出すことができる。
【０１４８】
【数２３】
0003558074.tif 000024
さて、散乱係数の真値が（Ｓ１１Ａ）である補正データ取得試料１１Ｂを測定したとしたとき、基準測定装置１では散乱係数Ｓ１１Ｄが、実測測定装置２では散乱係数Ｓ１１Ｍがそれぞれ測定されるとする。
【０１４９】
ここで、補正データ取得試料１１Ｂの散乱係数の真値Ｓ１１Ａおよび、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）・実測測定装置２（実測測定冶具５Ｂ）の誤差要因の値を具体的に知ることは実際には不可能である。一方、基準測定装置１における測定値Ｓ１１Ｄや実測測定装置２におけ測定値Ｓ１１Ｍは実測によって知ることのできる値である。
【０１５０】
本実施形態における相対補正法の目的は、実測測定装置２の測定値から基準測定装置１の測定値を求めることである。
【０１５１】
理論数式（Ａ１０ａ）と理論数式（Ａ１０ｂ）とを比較すると、左辺は、同じ散乱係数の真値Ｓ１１Ａである。そのため、これらの理論数式（Ａ１０ａ），（Ａ１０ｂ）から次の式（Ａ１１）式が導き出せる
【０１５２】
【数２４】
0003558074.tif 000025
さらに、（Ａ１１）式を、Ｓ１１Ｄに関して整理することで、次の相互関係式（Ａ１２）を導き出せる。相互関係式（Ａ１２）は、実測測定装置２による測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の関係を示す式である。
【０１５３】
【数２５】
0003558074.tif 000026
相互関係式（Ａ１２）において、基準測定装置１（基準測定冶具５Ａ）の誤差要因を全く誤差の無い測定系の場合の値とする、つまり、ａ’＝０，ｂ’＝０，ｃ’＝０にすると、相互関係式（Ａ１２）は、次の式（Ａ１３）となる。この式（Ａ１３）は、理論数式（Ａ１０ａ），（Ａ１０ｂ）に一致する。このことから、一般に行われている１ポート補正法等の補正方法は本実施形態における相対補正法の特殊な場合（基準冶具が理想的である場合）に相当することが理解される。
【０１５４】
【数２６】
0003558074.tif 000027
相互関係式（Ａ１２）を詳細に見てみると、相互関係式（Ａ１２）を構成する（−ａａ’ｃ’＋ａａ’ｃ＋ａｂ’＋ａ’ｂ），  （ｃ−ｃ’），（−ａｃ’＋ａｃ−ｂ）等は、それぞれ一つの未定係数として置き換えることができる。そこで、これらを、それぞれ未定係数α，β，γに置き換えると、相互関係式（Ａ１２）は、次の相互関係式（Ａ１４）に整理することができる。
【０１５５】
【数２７】
0003558074.tif 000028
さらに、この相互関係式（Ａ１４）には、α，β，γの３つの未知数が存在していることから、３個の補正データ取得試料を準備してそれぞれの特性を測定すれば、これらを特定できる。そして、２ポートの場合の場合と同様の符号を用いれば、次の相互関係式（Ａ１５ａ〜Ａ１５ｃ）を導き出すことができる。
【０１５６】
【数２８】
0003558074.tif 000029
相互関係式（Ａ１５ａ〜Ａ１５ｃ）に基づけば、３個の補正データ取得試料１１Ｂ１〜３を準備してそれぞれの特性を測定すれば、相互関係式（Ａ１４）の未定係数（相対補正係数）α，β，γを特定することができる。
【０１５７】
以上のようにして未定係数を特定したのちに行う実際の測定値補正操作は、２ポート測定系における補正操作と同様であるので、その説明は省略する。
【０１５８】
実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）で測定した測定対象電子部品１１Ａ（１ポート）の電気特性を、本実施形態の２ポート相対補正法により補正した結果の具体例を図１２を参照して説明する。
【０１５９】
図１２により明らかなように、本実施形態の補正方法を実施すれば、１ポートの電子部品であっても、実測測定装置２（実測測定治具５Ｂ）と基準測定装置１（基準測定治具５Ａ）との間の大きな測定値差異をほぼ正確に補正している事が理解される。つまり、グラフ中の「実測測定治具測定値」をもとに相対補正法によって「補正結果」を得たわけであるが、これが「基準測定治具測定値」に一致すれば補正は正常に行なわれていることを示しており、事実この様になっている。
【０１６０】
以上説明した本実施形態の測定結果の補正方法によれば、次のような効果がある。すなわち、電子部品メーカーでその電子部品の特性を保証する場合においては、メーカー側に設けられた測定装置で測定した結果に基づいて、その電気特性が保証される。しかしながら、その電子部品を購入したユーザー側に設けられた測定装置において、その電子部品の特性を測定したとしても同等の測定結果が出るとは限らない。そのため、これでは、メーカーが保証している特性を確認することができず、その保証は再現性がなく不確実なものとなってしまう。
【０１６１】
これに対して、メーカー側の測定装置を基準測定装置とし、ユーザー側の測定装置を実測測定装置としたうえで本実施形態の測定誤差の補正方法を実施すれば、メーカー側の測定結果と同等であると推定される電気特性を、ユーザー側の実測測定装置における測定結果に基づいてユーザー側で算出することができる。これにより、メーカー側の実施する電子部品の保証を再現することができて、十分に確実なものとなり、したがって、ユーザーに受け入れられることが可能となる。
【０１６２】
しかも、実測測定装置２の状態を厳密に検査管理する（例えば、実測測定装置２の測定治具５の特性を、基準測定装置１の測定治具５の特性と同等となるように調整管理する）ことなく上記補正が行えるので、その分、測定に要するコストを抑えることができる。
【０１６３】
さらには、ユーザー側においては、量産工程中に多数設置される自動測定選別機を前記実測測定装置として選定することも可能になるので、その分、さらに測定に要するコスト（この場合には不良部品選別コスト）を抑えることができるうえに測定時間の短縮化を図ることができる。
【０１６４】
しかも、測定治具５Ａ，５Ｂに起因する測定誤差の補正のみならず、実測測定装置２全体の測定誤差を同時に補正することができるので、実測測定装置２においてフル２ポート補正法等のキャリブレーションを実施する必要もなくなり、その分、さらに測定コストを抑えることができる。
【０１６５】
さらには、本実施形態の測定装置では、自動測定選別機に対する組み込み性能や長寿命化を測定特性の安定化より優先させた実測測定治具５Ｂを用いても、その測定結果に何ら影響は出ない。そのため、その分、さらに測定に有するコストを抑えることができるうえに、測定時間の短縮化を図ることができる。
【０１６６】
第２の実施の形態
本実施形態では、表面実装型のＳＡＷフィルタを測定対象電子部品として、このＳＡＷフィルタの電気特性を、ネットワークアナライザを有する測定装置で測定する際の測定誤差の補正方法において本発明を実施している。本実施形態では、近似式相対補正方法によって測定値を補正しており、この点だけが第１の実施の形態と異なっている。したがって、測定装置１，２の構成や測定治具５Ａ，５Ｂの構成等については第１の実施の形態と同様となっている。そのため、装置構成等については、第１の実施の形態のものを準用することし、それらのついての説明は省略する。
【０１６７】
以下、本実施形態の補正方法の詳細を説明する。まず、複数（例えば５個）の補正データ取得試料１１Ｂ１〜５が用意される。そして、用意された補正データ取得試料１１Ｂ１〜５が、基準測定装置１に搭載される。そして、各試料１１Ｂ１〜５の電気特性が各周波数ポイント毎に測定される。ここで、補正データ取得試料１１Ｂ１〜５に対応するＳＡＷフィルタは高周波用の電子部品であり、ここで測定する電気特性は、順方向散乱係数Ｓ１１，順方向散乱係数Ｓ２１，逆方向散乱係数Ｓ１２，逆方向散乱係数Ｓ２２からなるＳパラメータとなる。
【０１６８】
これら基準測定装置１における補正データ取得試料１１Ｂ１〜５のＳパラメータを測定した結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊：ｎは１から５の自然数）が、実測測定装置２の図示しないデータ入力部を介して実測測定装置２に予め入力されている。入力された基準測定装置１の測定結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊）は、制御部本体２２を介してメモリ２３に記憶されている。
【０１６９】
一方、実測測定装置２においても、同様に、補正データ取得試料１１Ｂ１〜５を、基準測定装置２に搭載する。そして、各試料１１Ｂ１〜５の電気特性が、各周波数ポイント毎に測定される。
【０１７０】
実測測定装置２による補正データ取得試料１１Ｂ１〜５のＳパラメータの測定結果（Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ：ｎは１から５の自然数）は、制御部本体２を介して相互関係式算定手段２４に入力される。
【０１７１】
相互関係式算定手段２４は、実測測定装置２による補正データ取得試料１１Ｂ１〜５の測定結果（Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ）が入力されると、制御部本体２２を介してメモリ２３から、基準測定装置１で測定した補正データ取得試料１１Ｂ１〜５の測定結果（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊）を読み出す。
【０１７２】
相互関係式算定手段２４は、基準測定装置の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似的に示す相互関係式と、未定係数算定式とを記憶している。相互関係式は、次の一次式（Ｂ２）式から構成されている。相互関係式（Ｂ２）は、未定係数（ａｍ，ｂｍ，ｃｍ，ｄｍ：ｍは０から４の整数）を有している。未定係数算定式は次の（Ｂ１ａ）〜（Ｂ４ｄ）式から構成されている。未定数算定式（Ｂ１ａ）〜（Ｂ４ｄ）は、未定係数（ａｍ，ｂｍ，ｃｍ，ｄｍ：ｍは０から４の整数）を算定する式であって相互算定式（Ｂ２）に基づいて作成されている。
【０１７３】
【数１】
0003558074.tif 000030
【０１７４】
【数２】
0003558074.tif 000031
Ｓ１１＊，Ｓ２１＊，Ｓ１２＊，Ｓ２２＊：基準測定装置１で測定した場合に得られると推定
可能な測定対象電子部品１１ＡのＳパラメータ
Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ：実測測定装置２で測定する測定対象電子部品１１ＡのＳパラメータ
相互関係式算定手段２４は、両者の測定結果であるＳパラメータ（Ｓ１１ｎＭ，Ｓ２１ｎＭ，Ｓ１２ｎＭ，Ｓ２２ｎＭ）とＳパラメータ（Ｓ１１ｎ＊，Ｓ２１ｎ＊，Ｓ１２ｎ＊，Ｓ２２ｎ＊）とを、未定係数算定式（Ｂ１ａ）〜（Ｂ４ｄ）式に代入することで、未定係数（ａｍ，ｂｍ，ｃｍ，ｄｍ：ｍは０から４の整数）を確定する。
【０１７５】
相互関係式算定手段２４は、確定したこれら未定係数（ａｍ，ｂｍ，ｃｍ，ｄｍ）を相互関係式（Ｂ２）に挿入することで、実測測定装置２による測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の相互関係式を確定する。相互関係式は各周波数ポイント毎に確定される。相互関係式算定手段２４は、確定した相互関係式を、制御部本体２２を介してメモリ２３に入力してここに記録させる。
【０１７６】
以上の準備工程を経たのち、実測測定装置２のネットワークアナライザ本体２０により測定対象電気部品１１Ａの電気特性（ＳパラメータＳ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）を測定する。測定対象電気部品１１Ａの測定結果は、制御部本体２２を介して補正手段２５に入力される。
【０１７７】
補正手段２５は、測定対象電気部品１１Ａの測定結果が入力されると、制御部本体２２を介してメモリ２３から相互関係式を読み出す。補正手段２５は、読み出した相互関係式に測定対象電気部品１１Ａの測定結果である電気特性（ＳパラメータＳ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ）を代入して計算する。これにより、補正手段２５は、実測測定装置２における測定対象電気部品１１Ａの測定結果（電気特性）を、基準測定装置１により測定した場合に得られると推定される電気特性（Ｓ１１＊，Ｓ２１＊，Ｓ１２＊，Ｓ２２＊）に補正する。補正手段２５は、算定した補正値を制御部本体２２を介して外部に出力する。出力は、図示しない表示部により表示出力してもよいし、図示しないデータ出力部によりデータとして出力してもよい。
【０１７８】
なお、このような計算処理は、上述したように、ネットワークアナライザ３Ｂに内蔵された制御部２１により行ってもよいし、ネットワークアナライザ３に接続された外部コンピュータに対して測定結果を出力してこの外部コンピュータにより行ってもよい。
【０１７９】
本実施形態の測定結果の補正方法によれば、次のような効果がある。すなわち、電子部品メーカーにおいて、その電子部品の特性を保証する場合においては、メーカー側に設けられた測定装置で測定した結果に基づいて、その電気特性が保証される。しかしながら、その電子部品を購入したユーザー側に設けられた測定装置において、その電子部品の特性を測定したとしても同等の測定結果が出るとは限らない。そのため、これでは、メーカーが保証している特性を確認することができず、その保証は再現性がなく不確実なものとなってしまう。
【０１８０】
これに対して、メーカー側の測定装置を基準測定装置とし、ユーザー側の測定装置を実測測定装置としたうえで本実施形態の測定誤差の補正方法を実施すれば、メーカー側の測定結果と同等であると推定される電気特性を、ユーザー側の実測測定装置における測定結果に基づいてユーザー側で算出することができる。これにより、メーカー側の実施する電子部品の保証を再現することができて、十分に確実なものとなり、したがって、ユーザーに受け入れられることが可能となる。
【０１８１】
しかも、実測測定装置２の状態を厳密に検査管理する（例えば、実測測定装置２の測定治具５の特性を、基準測定装置１の測定治具５の特性と同等となるように調整管理する）ことなく上記補正が行えるので、その分、測定に要するコストを抑えることができる。
【０１８２】
さらには、ユーザー側においては、量産工程中に多数設置される自動測定選別機を前記実測測定装置として選定することも可能になるので、その分、さらに測定に要するコスト（この場合には不良部品選別コスト）を抑えることができるうえに測定時間の短縮化を図ることができる。
【０１８３】
しかも、測定治具５Ａ，５Ｂに起因する測定誤差の補正のみならず、実測測定装置２全体の測定誤差を同時に補正することができるので、実測測定装置２においてフル２ポート補正法等のキャリブレーションを実施する必要もなくなり、その分、さらに測定コストを抑えることができる。
【０１８４】
さらには、本実施形態の測定装置では、自動測定選別機に対する組み込み性能や長寿命化を測定特性の安定化より優先させた測定治具を用いても、その測定結果に何ら影響は出ない。そのため、その分、さらに測定に有するコストを抑えることができるうえに、測定時間の短縮化を図ることができる。
【０１８５】
さらには、本実施形態の測定装置（近似式相対補正法）では、非線形的な誤差を補正することができる。
【０１８６】
第３の実施の形態
本実施形態の測定誤差の補正方法を実施する装置構成は、基本的には上述した第１，２の実施の形態と同様であり、同一ないし同様の部分には同一の符号を付し、それらについての説明は省略する。
【０１８７】
本実施形態では、第２の実施の形態と同様の補正方法を実施するものの、補正を行う計算方法が若干、第２の実施の形態と異なっている。本実施形態では、補正データ取得試料１１Ｂとして、測定装置の測定操作で発生する電気特性が互いに異なる１５個の試料１１Ｂ１〜１５が用意される。
【０１８８】
用意された１５個の補正データ取得試料１１Ｂ１〜１５が、基準測定装置１と、実測測定装置２とに搭載されてそのＳパラメータが測定される。
【０１８９】
相互関係式算定手段２４は、基準測定装置の測定値と前記実測測定装置の測定値との間の関係を近似的に示す相互関係式と、未定係数算定式とを記憶している。相互関係式は、次の二次式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）式から構成されている。相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）は、未定係数（ａｑ，ｂｑ，ｃｑ，ｄｑ：ｑは０から１４の整数）を有している。未定係数算定式は、次の（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）式から構成されている。未定係数算定式（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）は、未定係数（ａｑ，ｂｑ，ｃｑ，ｄｑ：ｑは０から４の整数）を算定する式であって、前記相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に基づいて作成されている。
【０１９０】
【数３】
0003558074.tif 000032
【０１９１】
【数４】
0003558074.tif 000033
【０１９２】
【数５】
0003558074.tif 000034
【０１９３】
【数６】
0003558074.tif 000035
Ｓ１１ｐ＊，Ｓ２１ｐ＊，Ｓ１２ｐ＊，Ｓ２２ｐ＊：基準測定装置１で測定した補正用データ取
得試料１１Ｂ１〜１５のＳパラメータ
Ｓ１１ｐＭ，Ｓ２１ｐＭ，Ｓ１２ｐＭ，Ｓ２２ｐＭ：実測測定装置２で測定した補正用データ取
得試料１１Ｂ１〜５のＳパラメータ
【０１９４】
【数７】
0003558074.tif 000036
【０１９５】
【数８】
0003558074.tif 000037
【０１９６】
【数９】
0003558074.tif 000038
【０１９７】
【数１０】
0003558074.tif 000039
Ｓ１１＊，Ｓ２１＊，Ｓ１２＊，Ｓ２２＊：基準測定装置１で測定した場合に得られると推定可能な測定対象電子部品１１ＡのＳパラメータ
Ｓ１１Ｍ，Ｓ２１Ｍ，Ｓ１２Ｍ，Ｓ２２Ｍ：実測測定装置２で測定する測定対象電子部品１１ＡのＳパラメータ
相互関係式算定手段２４は、測定結果（Ｓ１１ｐ，Ｓ２１ｐ，Ｓ１２ｐ，Ｓ２２ｐ：ｐは１から１５の自然数）を、未定係数算定式（Ｃ１ａ）〜（Ｃ１ｄ）に代入することで、未定係数（ａｑ，ｂｑ，ｃｑ，ｄｑ：ｑは０から１４の整数）を確定する。
【０１９８】
相互関係式算定手段２４は、確定したこれら未定係数（ａｑ，ｂｑ，ｃｑ，ｄｑ）を相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に挿入することで、実測測定装置２による測定結果と基準測定装置１による測定結果との間の相互関係式を確定する。相互関係式は各周波数ポイント毎に確定される。相互関係式算定手段２４は、確定した相互関係式を、制御部本体２２を介してメモリ２３に入力してここに記録させる。
【０１９９】
以上の準備工程を経たのち、実測測定装置２により測定対象電気部品１１Ａの電気特性が測定される。そして、その測定結果である電気特性（Ｓパラメータ）を上記相互関係式（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に代入して計算することで、実測測定装置２における測定対象電気部品１１Ａの測定結果（電気特性）を、基準測定装置１により測定した場合に得られると推定される電気特性に補正する。
【０２００】
本実施形態においては、第２の実施の形態と同様の効果を発揮するうえに、さらに次のような効果を発揮する。すなわち、実測測定装置２がより複雑な誤差を含むものであっても、精度高く補正することができる。これは、本実施形態では、２つの４次元空間の各点を二次式で対応付けたものであるので、より複雑な対応関係を正確に表現することが可能となることに起因している。
【０２０１】
第２の実施の形態においては、１次式の近似式を用いた相対補正法により本発明を実施しており、第３の実施の形態においては、二次式の近似式を用いた相対補正法により本発明を実施している。しかしながら、本発明はこのような実施態様に限定されるものではなく、任意のｎ次式の近似式を用いた相対補正法により本発明を実施することができるのはいうまでもない。そして、高次式になればなるほど、算出に要する構成等が複雑になるうえに算出時間も長時間化するものの、補正精度は可及的に向上する。
【０２０２】
さらには、任意のｎ次式の近似式を用いずとも、推定精度の低下が許容できる範囲において式の項を任意に省略してもよい。例えば、Ｓ２１≒Ｓ１２となる場合には、Ｓ２１とＳ１２とのどちらかを含む項を省略しても推定精度に与える影響は小さい。ちなみに、電気特性において信号伝播方向における方向性のない電子部品ではＳ２１＝Ｓ１２となる。このようにすれば、補正に必要なデータ取得試料数を少なくすることができる。
【０２０３】
なお、実際には、例え試料が対称的な電気特性を有していたとしても、測定器の測定誤差によりとは多少異なった値が測定される。そのため、Ｓ２１やＳ１２としては、これらの平均値を用いることが望ましい。
【０２０４】
このようにして式を簡略化した補正式は、次の（Ｄ１）式と、（Ｄ２）式となる。（Ｄ１）式は、上述した（Ｂ１ａ）式，（Ｃ１ａ）式に対応する式である。なお、（Ｂ１ｂ）〜（Ｂ１ｄ）式，（Ｃ１ｂ）〜（Ｃ１ｄ）式においても同様となるので、（Ｂ１ｂ）〜（Ｂ１ｄ）式，（Ｃ１ｂ）〜（Ｃ１ｄ）式における簡略化式は省略する。（Ｄ２）式は、上述した（Ｂ２）式，（Ｃ２ａ）〜（Ｃ２ｄ）に対応する式である。なお、（Ｄ１），（Ｄ２）式における未定係数ＳＡｎＭは、Ｓ２１ｎＭとＳ１２ｎＭとの平均値を示している（ｎは１から５の自然数）。
【０２０５】
【数２９】
0003558074.tif 000040
【０２０６】
【数３０】
0003558074.tif 000041
本発明の第２，第３の実施の形態の測定誤差の補正方法により、実測測定装置２の測定結果を実際に補正したデータを図１３，図１４に示す。図１３は、本発明の第２の実施の形態の補正方法により実測測定装置２の測定結果を補正したデータであり、図１４は第３の実施の形態の補正方法により実測測定装置２の測定結果を補正したデータである。これらのデータによれば、本発明の測定誤差の補正方法により測定結果を補正すると、補正値がその電気部品の電気特性の真値に可及的に近似することが確認できた。
【０２０７】
また、図１５，図１６とは、Ｓパラメータの一つである順方向散乱係数Ｓ２１の補正結果と実際にＳ２１を測定した測定結果とを示すグラフである。図１５は、第２の実施の形態の補正方法で補正した結果と実際の測定結果とを示し、図１６は第３の実施の形態の補正方法で補正した結果と実際の測定結果とを示している。
【０２０８】
図１５に示すように、一次式を用いた第１の実施の形態の補正方法で補正した結果は、実際の測定結果とほとんど一致していることがわかる。さらには、２次式を用いた第３の実施の形態の補正方法で補正した結果は、実際の測定結果に対してさらに一致度が向上していることがわかる。
【０２０９】
第１〜第３の実施の形態の測定誤差の補正方法は、次のような電子部品の良否判定方法において最適に実施することができる。
【０２１０】
判定対象とされる電子部品に設定された要求特性が、基準測定装置によって測定した電気特性であることがある。このような電子部品を、測定結果が基準測定装置に一致しない実測測定装置により測定したうえで、その測定結果に基づいて良否判定を行う場合、判定精度を高めることは容易ではない。
【０２１１】
このような電子部品の判定方法において、第１〜第３の測定誤差の補正方法を実施すれば、精度の高い判定結果を得ることができる。
【０２１２】
具体的には、実測測定装置によって測定した測定対象電子部品の電気特性を、第１〜第３の実施の形態の測定誤差の補正方法によって補正し、この補正後の電気特性と要求特性との比較結果に基づいて測定対象電子部品の良否を判定する。そうすれば、補正後の電気特性は、要求特性に対して一義的に比較できうる比較対照となり、その比較結果に基づいた判定は、測定対象電子部品の良否を精度高く判定したものとなる。
【０２１３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基準測定装置に対して測定結果が完全に一致しない実測測定の測定結果を、基準測定装置の測定結果と同等に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装置を構成する測定治具の構成を示す平面図である。
【図３】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装置の構成を示すブロック図である
【図４】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装置を構成する補正データ取得試料および測定対象電気部品の構成を示す裏面図である。
【図５】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装置を構成する補正データ取得試料の構成を示す平面図である。
【図６】本発明の測定誤差の補正方法を実施する測定装置を構成する補正データ取得試料の等価回路図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施する際に用いる信号伝達形態（誤差モデル）の一例である。
【図８】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データを示す表である。
【図９】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データを示す表である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データを示す表である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施する際に用いる信号伝達形態（誤差モデル）の一例である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データを示す表である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データを示す表である。
【図１４】本発明の第３の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データを示す表である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データと実際の測定結果とを示すグラフである。
【図１６】本発明の第３の実施の形態の測定誤差の補正方法を実施して得られる補正データと実際の測定結果とを示すグラフである。
【符号の説明】
１          基準測定装置
２          実測測定装置
３Ａ，３Ｂ      ネットワークアナライザ
４Ａ，４Ｂ      同軸ケーブル
５Ａ，５Ｂ      測定治具
６        同軸ケーブルコネクタ
７          絶縁基板
８ａ，８ｂ      信号伝送路
８ｃ〜８ｆ      接地線路
９Ａ，９Ｂ        同軸コネクタ
１０        スルーホール接続部
１１Ａ        測定対象電子部品
１１Ｂ      補正データ取得試料
１２ａ，１２ｂ      伝送路端子
１２ｃ〜１２ｆ      接地端子
１３          枠体
１４ａ，１４ｂ      擬似伝送路端子
１４ｃ〜１４ｆ      擬似接地端子
１５ａ〜１５ｆ      実装端子
１６ａ〜１６ｅ      電気特性調整用素子
１７Ａ，１７Ｂ      信号入出力端
２０          ネットワークアナライザ本体
２１          制御部
２２          制御部本体
２３          メモリ
２４          相互関係式算定手段
２５          補正手段
【図１】
0003558074.tif 000042
【図２】
0003558074.tif 000043
【図３】
0003558074.tif 000044
【図４】
0003558074.tif 000045
【図５】
0003558074.tif 000046
【図６】
0003558074.tif 000047
【図７】
0003558074.tif 000048
【図８】
0003558074.tif 000049
【図９】
0003558074.tif 000050
【図１０】
0003558074.tif 000051
【図１１】
0003558074.tif 000052
【図１２】
0003558074.tif 000053
【図１３】
0003558074.tif 000054
【図１４】
0003558074.tif 000055
【図１５】
0003558074.tif 000056
【図１６】
0003558074.tif 000057