(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式
0003563841.tif 000006
(但し、Ｒは炭素数８〜２４の直鎖又は分岐鎖アルキル基又はアルケニル基、或いは炭素数１０〜２４のアルキルフェニル基を示し、Ｒ’は炭素数１０〜２４の脂肪酸残基、ｍは６〜６０、ｎは２〜５０の数を示す。)で表される化合物の一種又は複数種を使用することを特徴とする感光性樹脂工業用の消泡分散剤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、感光性樹脂工業の現像工程等において使用される消泡及び分散に効果のある薬剤に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
感光性樹脂は、露光後通常はアルカリ性水系洗浄液（以下現像液）により、未露光部分が除去される。この現像液は循環使用されるため発泡しやすくなり、これを防ぐため消泡剤が使用される。
消泡剤としては、一般的にはシリコン油系統のものが消泡効果が高いことが知られているが、感光性樹脂の現像工程では、基板上に残留するシリコン油の高い被覆力及びその撥水作用により種々の問題が生じるので使用できない。従って、従来多くは、ポリオキシアルキレンモノオール、ジオール或いはそれらのエステル、又は高級脂肪酸にアルキレンオキサイドを付加した化合物などが水系の消泡剤として使用されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年アルカリ濃度の高い現像液が使用されるようになり、消泡剤の効果が出にくくなってきている。
一方、現像液は循環使用されるため、現像装置を長時間使用すると、次第に不溶物が析出してきて現像槽、配管、ポンプなどに硬化したゲル状物が付着してくる。この付着物を除去するのは、かき落したり、分解掃除するなど手間のかかる作業であり、いろいろ工夫されているが分散力の優れた薬剤を使用すればスケールの発生を抑えることができる。
従来の消泡剤では、消泡効果はあっても本発明による消泡分散剤ほど消泡性、分散性の両性能共優れた性能を兼ね備えたものは見受けられなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、感光性樹脂工業の現像工程等において使用される消泡効果と共に良好な分散効果を持つ消泡分散剤に関するものである。即ち、一般式
0003563841.tif 000002
(但し、Ｒは炭素数８〜２４の直鎖又は分岐鎖アルキル基又はアルケニル基、或いは炭素数１０〜２４のアルキルフェニル基を示し、Ｒ’は炭素数１０〜２４の脂肪酸残基、ｍは６〜６０、ｎは２〜５０の数を示す。)で表される化合物の一種又は複数種を使用した場合、消泡効果と共に良好な分散効果を持つことを見出した。
【０００５】
本発明において化合物（１）は、炭素数８〜２４の直鎖又は分岐鎖アルキル基、又はアルケニル基を有する高級アルコール或いは炭素数１０〜２４のアルキルフェノールにプロピレンオキサイド及びエチレンオキサイドを付加反応させた後、更に炭素数１０〜２４の飽和又は不飽和高級脂肪酸を反応させてエステル化を行う事により容易に合成することができる。
高級アルコールとしては例えばヤシ油アルコール、マッコー鯨油アルコール、牛脂アルコール、テトラコサノール（羊毛ロウ）などの天然油脂から得られるアルコール、オキソアルコール、チーグラーアルコールのような合成第１級アルコール類、パラフィンの酸化等によって得られる合成第２級アルコールなどが利用できる。
【０００６】
又、分岐鎖を持つ２ーアルキルーアルカノール、例えば２ーデシルテトラデカノールは特に有効であり、又、これらの２種以上の混合物であってもよい。
又、アルキルフェノールとしては例えばオクチルフェノール、ノニルフェノール、ドデシルフェノールなどが使用できる。
エステル化に用いる脂肪酸としては、ラウリン酸、ミリスチン酸、ステアリン酸、オレイン酸等の直鎖脂肪酸、又はイソステアリン酸等の側鎖脂肪酸の単独又は混合物が望ましく、特にステアリン酸は有効である。
高級アルコールに対するプロピレンオキサイドおよびエチレンオキサイドの付加及び脂肪酸によるエステル化反応は常法によって合成される。
【０００７】
本発明の消泡分散剤(１)の使用量は現像液の種類、濃度、消泡目的等の種々の条件によって異なるので一概には言えないが、通常現像液に対し、０.０５〜０.２重量％が使用される。添加方法はそのままでもよく、希釈したものを添加してもよい。又、現像液調製時に添加してもよく、発泡した液に添加してもよい。本発明による化合物は一種のみを使用してもよく、２種類以上を混合して使用することもできる。
【０００８】
次に製造例、実施例によって本発明を詳細に説明するが本発明はこれらに限定されるものではない。
製造例１
１リットルのオートクレーブにセチルアルコール７０ｇ、触媒として水酸化カリウム４ｇを仕込み、系内を窒素置換した後、温度１１０℃、３０ｍｍＨｇの減圧下で１時間脱水し、アルコラート化を行なった。
【０００９】
次にプロピレンオキサイド６６２ｇを１３０〜１５０℃、１〜５Ｋｇ／ｃｍ２の条件下で、約６時間をかけて導入し、付加反応させた。次いでエチレンオキサイド１０２ｇを１４０〜１５０℃、１〜５Ｋｇ／ｃｍ２にて約２時間をかけて導入し、付加反応させた。
反応終了後、冷却して取り出した反応生成物５４９ｇを１リットルのフラスコ中に入れ、ステアリン酸５７ｇを加えた。この時、触媒の追加は行わない。２３０℃で１５時間エステル化反応を行った後、珪酸アルミニウム粉末を添加し、触媒を吸着除去してエステル化物を得た。これを消泡分散剤サンプル１とした。
【００１０】
製造例２
ステアリルアルコール７０ｇと水酸化カリウム４ｇをオートクレーブに仕込み、製造例１と同様の方法でプロピレンオキサイド６００ｇ、次いでエチレンオキサイド９１ｇを付加反応させた。更にこの反応生成物５９０ｇにステアリン酸５７ｇを加え、エステル化反応を行わせてエステル化物を得、これを消泡分散剤サンプル２とした。
【００１１】
製造例３
２ーデシルテトラデカノール（炭素数２４の分岐鎖アルコール）７０ｇと水酸化カリウム４ｇを用い、製造例１と同様の方法でプロピレンオキサイド４０２ｇ、次いでエチレンオキサイド６１ｇを付加反応させた。更にこの反応生成物５４０ｇにパルミチン酸４６ｇを加え、製造例１と同様にしてエステル化反応を行ってエステル化物を得、これを消泡分散剤サンプル３とした。
【００１２】
製造例４
ノニルフェノール７０ｇと水酸化カリウム４ｇを用い、製造例１と同様の方法でプロピレンオキサイド５５５ｇ、次いでエチレンオキサイド７０ｇを付加反応させた。更にこの反応生成物４４０ｇにパルミチン酸４６ｇを加え、製造例１と同様にしてエステル化反応を行ってエステル化物を得、これを消泡分散剤サンプル４とした。
【００１３】
【実施例】
実施例１
製造例１〜４によって得た消泡分散剤サンプル１〜４を用い、それぞれの消泡効果を市販の消泡剤２種と比較した。
消泡効果の試験方法は直径６５ｍｍ、高さ５００ｍｍのガラス円筒に消泡剤０．１重量％を添加した試験液１００ｍｌを入れ、下部のガラスフィルターを通して窒素ガスを２０００ｍｌ／分の速度で送り込む。通気３０分後の泡の高さ、及び３０分で窒素ガスを停止した時からの泡消え時間を測定した。
試験液はＡ社の未露光感光性樹脂フィルム０．２ｍ２を１リットルの炭酸ソーダ１重量％水溶液に溶解させた液である。
試験の結果を表−１に示す。
【００１４】
0003563841.tif 000003
【００１５】
実施例２
実施例１と同様にＢ社の感光性樹脂フィルムを用いて消泡試験を行った。試験結果を表−２に示す。
0003563841.tif 000004
【００１６】
実施例３
製造例１〜４によって得たサンプル１〜４を用い、それぞれの分散効果を市販の消泡剤２種と比較した。
分散性試験は、実施例１と同様に調製したＡ社およびＢ社の未露光感光性樹脂溶解液に消泡剤を添加した液１００ｍｌを２００ｍｌガラスビンに密封し、２０℃の暗所に１週間静置した後の沈降物量を目視判定により比較した。組成物の試験結果を表−３に示す。
【００１７】
0003563841.tif 000005
【００１８】
【発明の効果】
本発明の消泡分散剤は実施例に見られるように、消泡性とともに良好な分散性も併せ持っている。
感光性樹脂工業の現像工程等において消泡効果だけでなく、不溶物の発生にともなうスケール付着等の問題点を改善する良好な分散効果を併せ持つ消泡分散剤として適用することができる。