(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を収納するカセットの側面に形成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置であって，
保持部に挿入されているＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，
保持部から取り出したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，
保持部の上方位置とストッカーの上方位置との間を移動自在であり，保持部の上方位置において昇降自在に構成され，かつ，ストッカーの上方位置において昇降自在に構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置において，
保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／または保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを案内するガイドを設け，
プッシャの上端が傾斜面に形成されていることにより，プッシャ上端の隅角部が最も高くなるように形成され，このプッシャ上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，
搬送ロボットがＩＤカードを把持しているか否かを検知するセンサを設けたことを特徴とするＩＤカードの入出装置。
【請求項２】
被処理体を収納するカセットの側面に形成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置であって，
保持部に挿入されているＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，
保持部から取り出したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，
保持部の上方位置とストッカーの上方位置との間を移動自在であり，保持部の上方位置において昇降自在に構成され，かつ，ストッカーの上方位置において昇降自在に構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置において，
保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／または保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを案内するガイドを設け，
プッシャの上端が傾斜面に形成されていることにより，プッシャ上端の隅角部が最も高くなるように形成され，このプッシャ上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，
プッシャによって突き上げられたＩＤカードの有無を検知するセンサを設けたことを特徴とするＩＤカードの入出装置。
【請求項３】
被処理体を収納するカセットの側面に形成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置であって，
保持部に挿入されているＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，
保持部から取り出したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，
保持部の上方位置とストッカーの上方位置との間を移動自在であり，保持部の上方位置において昇降自在に構成され，かつ，ストッカーの上方位置において昇降自在に構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置において，
保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／または保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを案内するガイドを設け，
プッシャの上端が傾斜面に形成されていることにより，プッシャ上端の隅角部が最も高くなるように形成され，このプッシャ上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，
搬送ロボットがＩＤカードを把持しているか否かを検知するセンサと，プッシャによって突き上げられたＩＤカードの有無を検知するセンサを設けたことを特徴とするＩＤカードの入出装置。
【請求項４】
搬送ロボットは，保持部の上方位置において，プッシャにより突上げられたＩＤカードを掴む高さと，ＩＤカードをガイド内から上方に抜き去る高さと，ＩＤカードを保持部に挿入させる高さとに昇降自在であることを特徴とする請求項１，２または３に記載のＩＤカードの入出装置。
【請求項５】
搬送ロボットは，ストッカーの上方位置において，ＩＤカードをストッカー内から上方に抜き去る高さと，ＩＤカードをストッカーに挿入させる高さとに昇降自在であることを特徴とする請求項１，２，３または４に記載のＩＤカードの入出装置。
【請求項６】
ガイドの中央を上下に貫通する溝が形成され，溝の上下にテーパ状部分が形成されていることを特徴とする請求項１，２，３，４または５に記載のＩＤカードの入出装置。
【請求項７】
ストッカーにおいてＩＤカード底面を支持する突起の上端が傾斜面に形成されていることにより，突起上端の隅角部が最も高くなるように形成され，この突起上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，
ストッカーにおけるＩＤカードの有無を検知するセンサを設けたことを特徴とする請求項１，２，３，４，５または６に記載のＩＤカードの入出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体を収納するカセットの側面に形成されたＩＤカード保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば，半導体デバイスの製造工程においては，半導体ウェハ（以下，「ウェハ」という）表面のパーティクル，有機汚染物等のコンタミネーションを除去するために洗浄システムが使用されている。その中でもウェハを処理槽内にて洗浄液に浸漬して洗浄するウエット型の洗浄システムは，ウェハに付着したパーティクルを効果的に除去できるといった長所がある。
【０００３】
このウエット型の洗浄システムは，ウェハを収納するカセットが載置されるインタフェイスと，ウェハの洗浄及び乾燥を行う洗浄乾燥部と，これらインタフェイスと洗浄乾燥部の間でカセットの搬入および搬出を行う移載装置を備えている。洗浄乾燥部には，カセットからウェハを取り出す操作を行うローダと，ウェハを洗浄する種々の洗浄槽及びウェハを乾燥する乾燥槽と，ウェハをカセットに収納する操作を行うアンローダなどが設けられている。そして，ロボット等によってインタフェイスにカセットが載置されると，該カセットを移載装置によって洗浄乾燥部に搬入する。次いで，洗浄乾燥部のローダにおいてこのカセットからウェハを取り出す。そして，例えばカセット２個分に収納されていた５０枚のウェハをまとめて各洗浄槽に搬送しながら種々の液体を用いてバッチ式に洗浄し，更に乾燥槽にてウェハを乾燥させる。こうして洗浄および乾燥処理を終了したウェハを，アンローダにて再びカセットに収納し，そのカセットを移載装置によってインタフェイスに戻すように構成されている。
【０００４】
ところで，最近ではカセットに収納されたウェハに関する情報などを表示するためのＩＤカードをカセットの一部に保持させることが行われている。このＩＤカードの保持は，カセットの側面に保持部を形成しておき，そこにＩＤカードを挿入することによって行われるのが一般的である。そして，このようなＩＤカードを用いれば，ウェハに関する種々の情報を容易に正確に把握することができ，洗浄等の制御がし易いといった利点がある。
【０００５】
一方，上記のような洗浄システムにおいては，洗浄システムにウェハを搬入する際に使用していたカセットと，洗浄システムからウェハを搬出する際に使用されるカセットが一致するとは限らない。特に，洗浄前のウェハからカセットを介して汚染物質が移転することを防ぐため，洗浄後のウェハを洗浄前のウェハを収納していたカセットとは別の清潔なカセットに収納する方法も行われているが，かかる場合は，搬入時に使用されるカセットと搬出時に使用されるカセットは必ず別のものとなる。このため，洗浄前のウェハを収納していたカセットからＩＤカードを取り出し，そのＩＤカードを洗浄後のウェハを収納した別のカセットに新たに保持させ直す必要が生じる。
【０００７】
そこで，洗浄システムのインタフェイスにＩＤカードの入出装置を設け，洗浄前のウェハを収納しているカセットからＩＤカードを取り出してそのＩＤカードをストッカーに一時的に保持し，洗浄後のウェハを収納するカセット側面の保持部にＩＤカードを再び挿入し直す方法が採用されている。そして，かかる入出装置は，カセット側面の保持部からＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，ＩＤカードを保持部上方とストッカーとの間で搬送する搬送ロボットとによって構成されているのが一般的である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来は，このように入出装置によってＩＤカードを保持部から突き上げて搬送ロボットで掴む際や，或いは搬送ロボットを下降させてＩＤカードを保持部に挿入する際に，受け渡しミスを生じやすかった。このため，受け渡しミスを生じるたびに装置の稼働を停止させて人為的な対処をすることが必要であり，稼働効率を向上させることの妨げとなっていた。
【０００９】
従って本発明の目的は，カセット側面の保持部と搬送ロボットの間におけるＩＤカードの授受を円滑に行うことができる入出装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明は，被処理体を収納するカセットの側面に形成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置であって，保持部に挿入されているＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，保持部から取り出したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，保持部の上方位置とストッカーの上方位置との間を移動自在であり，保持部の上方位置において昇降自在に構成され，かつ，ストッカーの上方位置において昇降自在に構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置において，保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／または保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを案内するガイドを設け，プッシャの上端が傾斜面に形成されていることにより，プッシャ上端の隅角部が最も高くなるように形成され，このプッシャ上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，搬送ロボットがＩＤカードを把持しているか否かを検知するセンサを設けたことを特徴としている。
また本発明は，被処理体を収納するカセットの側面に形成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置であって，保持部に挿入されているＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，保持部から取り出したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，保持部の上方位置とストッカーの上方位置との間を移動自在であり，保持部の上方位置において昇降自在に構成され，かつ，ストッカーの上方位置において昇降自在に構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置において，保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／または保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを案内するガイドを設け，プッシャの上端が傾斜面に形成されていることにより，プッシャ上端の隅角部が最も高くなるように形成され，このプッシャ上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，プッシャによって突き上げられたＩＤカードの有無を検知するセンサを設けたことを特徴としている。
また本発明は，被処理体を収納するカセットの側面に形成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出するための装置であって，保持部に挿入されているＩＤカードを突き上げるためのプッシャと，保持部から取り出したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，保持部の上方位置とストッカーの上方位置との間を移動自在であり，保持部の上方位置において昇降自在に構成され，かつ，ストッカーの上方位置において昇降自在に構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置において，保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／または保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを案内するガイドを設け，プッシャの上端が傾斜面に形成されていることにより，プッシャ上端の隅角部が最も高くなるように形成され，このプッシャ上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であり，搬送ロボットがＩＤカードを把持しているか否かを検知するセンサと，プッシャによって突き上げられたＩＤカードの有無を検知するセンサを設けたことを特徴としている。
【００１１】
搬送ロボットは，保持部の上方位置において，例えばプッシャにより突上げられたＩＤカードを掴む高さと，ＩＤカードをガイド内から上方に抜き去る高さと，ＩＤカードを保持部に挿入させる高さとに昇降自在である。また搬送ロボットは，ストッカーの上方位置において，例えばＩＤカードをストッカー内から上方に抜き去る高さと，ＩＤカードをストッカーに挿入させる高さとに昇降自在である。また，ガイドの中央を上下に貫通する溝が形成され，この溝の上下にテーパ状部分が形成されていると良い。また，プッシャの上端が傾斜面に形成されていることが好ましい。また，ストッカーにおいてＩＤカード底面を支持する突起の上端が傾斜面に形成されていることにより，突起上端の隅角部が最も高くなるように形成され，この突起上端の隅角部がＩＤカード底面に接触する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置であることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態を，被処理体の一例としてのウェハＷを洗浄するための洗浄システム１に基づいて説明する。図１は，洗浄システム１の斜視図である。この洗浄システム１は，図示しないロボット等によってカセットＣが載置されるインタフェイス２と，ウェハの洗浄及び乾燥を行う洗浄乾燥部３と，これらインタフェイス２と洗浄乾燥部３との間でカセットＣの搬入および搬出を行う移載装置４を備えている。
【００１３】
図２は，カセットＣの斜視図である。カセットＣの内面には左右対称の位置に多数の溝１０が設けられており，これらの溝１０に円板形状のウェハＷを上から差し込むことによって，一つのカセットＣ内において例えば２５枚のウェハＷを垂直に立てた姿勢で平行に整列させて保持するようになっている。カセットＣの側面には，ＩＤカードＡを保持するための保持部５が形成されている。ＩＤカードＡには，カセットＣ内に収納されているウェハＷに関する情報などが表示されている。保持部５は左右一対の鈎形状の係止片１１，１１からなり，これら係止片１１，１１同士の間にＩＤカードＡを上から差し込むことによって，ＩＤカードＡをカセットＣの側面との間で保持するように構成されている。そして，このように保持部５に保持されたＩＤカードＡの底面中央部は露出した状態になっており，その露出した部分を後述するプッシャで突き上げることにより，ＩＤカードＡを保持部５から上方に取り出すことができる構成になっている。
【００１４】
以上のようなカセットＣが載置されるインタフェイス２の上面には，図３に示すように，洗浄システム１に搬入するカセットＣが載置される搬入部１５と，洗浄システム１から搬出するカセットＣが載置される搬出部１６が並んで設けられている。また，搬入部１５の後方には，後に詳しく説明する入出装置によってカセットＣの保持部５から取り出したＩＤカードＡを一時的に保持しておくためのストッカー１７が配置されている。
【００１５】
搬入部１５には，４本のレール２０，２１，２２，２３が設けられている。図示の形態においては，後方２本のレール２０，２１上には，これから洗浄システム１で洗浄しようとするウェハＷを収納したカセットＣが，図示しないロボット等によって載置されるようになっている。このようにレール２０，２１上にウェハＷを収納したカセットＣが載置される際には，そのカセットＣの保持部５にはＩＤカードＡは入った状態になっている。また，前方２本のレール２２，２３上には，ウェハＷを収納していない清潔なカセットＣが，図示しないロボット等によって載置されるようになっている。このようにレール２２，２３上にウェハＷを収納していないカセットＣが載置される際には，そのカセットＣの保持部５には，ＩＤカードＡは入っていない状態になっている。これらレール２０，２１，２２，２３上において，カセットＣは何れも図３において左側位置に載置されるようになっている。そして，カセットＣはその載置後においてレール２０，２１，２２，２３上の右側位置まで搬送されるようになっている。図３において，レール２０，２１上のカセットＣは，ロボット等によって搬入された直後の左側位置に載置された状態を示している。また，レール２２，２３上のカセットＣは，載置後において右側位置まで搬送された状態を示している。
【００１６】
この搬入部１５とストッカー１７の上方にはガイドレール２５が設けてあり，後に詳しく説明する入出装置の搬送ロボット２６が，このガイドレール２５に沿って移動することによって，レール２０，２１上において右側位置まで搬送されたカセットＣからＩＤカードＡを取り出してそのＩＤカードＡをストッカー１７まで搬送し，また，ストッカー１７から取り出したＩＤカードＡをレール２２，２３上において右側位置まで搬送されたカセットＣに挿入するように構成されている。
【００１７】
また，搬出部１６にも同様に，４本のレール３０，３１，３２，３３が設けられている。図示の形態においては，後方２本のレール３０，３１上には，洗浄システム１において既に洗浄を終了したウェハＷを収納したカセットＣが，次に説明する移載装置４のアーム３５によって載置されるようになっている。また，前方２本のレール３２，３３上には，洗浄前のウェハＷを抜き取った後の空のカセットＣが，次に説明する移載装置４のアーム３５によって載置されるようになっている。これらレール３０，３１，３２，３３上においては，カセットＣはアーム３５によって何れも図３において右側位置に載置されるようになっている。そして，カセットＣはその載置後においてレール３０，３１，３２，３３上の左側位置まで搬送されるようになっている。図３において，レール３２，３３上のカセットＣは，アーム３５によって右側位置に載置された直後の状態を示している。また，レール３０，３１上のカセットＣは，載置後において左側位置まで搬送された状態を示している。
【００１８】
移載装置４の上面には，図３に示すように，前後に伸びるガイドレール３６が配置されており，前述のアーム３５は，このガイドレール３６に沿って走行するアーム本体３７の上面に，昇降自在かつ回転自在に装着されている。そして，これらアーム本体３７の走行とアーム３５の昇降および回転によって，先に説明したインタフェイス２の搬入部１５においてレール２０，２１，２２，２３上の右側位置まで搬送されたカセットＣをアーム３５ですくい上げて，そのカセットＣを次に説明する洗浄乾燥部３の入出口４０に搬入する構成になっている。また同様に，これらアーム本体３７の走行とアーム３５の昇降および回転によって，次に説明する洗浄乾燥部３からカセットＣをアーム３５ですくい上げるようにして取り出し，そのカセットＣを先に説明したインタフェイス２の搬出部１６においてレール３０，３１，３２，３３上の右側位置に載置する構成になっている。
【００１９】
洗浄乾燥部３の最も手前側には，先に説明した移載装置４のアーム３５によるカセットＣの授受が行われる入出口４０が配置されており，この入出口４０の後方にアンローダ４１が配置され，このアンローダ４１の後方にウェハＷの洗浄および乾燥等を行う種々の洗浄乾燥槽４２が直列に配置され，更にそれら洗浄乾燥槽４２の最も後方にローダ４３が配置されている。そして，インタフェイス２の搬入部１５においてレール２０，２１上に洗浄前のウェハＷを収納したカセットＣが載置され，そのカセットＣがアーム３５によって洗浄乾燥部３の入出口４０に搬入された場合には，図示しないリフタによってカセットＣは洗浄乾燥部３の上方に持ち上げられた後，ライナによって洗浄乾燥槽４２の最も後方まで搬送され，更に，図示しないリフタで下降されることにより，洗浄前のウェハＷを収納したカセットＣはローダ４３まで搬送されるようになっている。そして，ローダ４３においてカセットＣからウェハＷが取り出されて，ウェハＷを各洗浄乾燥槽４２に対してバッチ式に順次搬送して洗浄および乾燥を行い，こうして洗浄等の処理を終了したウェハＷがアンローダ４１に供給されるようになっている。一方，ローダ４３においてウェハＷが取り出されて空となったカセットＣは，再びリフタによって洗浄乾燥部３の上方に持ち上げられた後，ライナによって洗浄乾燥槽４２の最も前方まで搬送され，更に，図示しないリフタで下降されることにより，空となったカセットＣは入出口４０まで搬送されるようになっている。そして，こうして入出口４０まで搬送されたカセットＣは，その後，アーム３５によって搬送されて，インタフェイス２の搬出部１６のレール３２，３３上に載置されるようになっている。
【００２０】
また，インタフェイス２の搬入部１５においてレール２２，２３上にウェハＷを収納していない清潔なカセットＣが載置され，そのカセットＣがアーム３５によって洗浄乾燥部３の入出口４０に搬入された場合には，そのカセットＣはアンローダ４１に搬入されるようになっている。そして，前述のように洗浄乾燥部３の各洗浄乾燥槽４２における洗浄等の処理を終了したウェハＷが，こうしてアンローダ４１に搬入された空の清潔なカセットＣに収納されるようになっている。そして，こうして洗浄済みのウェハＷを収納したカセットＣは，その後，アーム３５によって搬送されて，インタフェイス２の搬出部１６のレール３０，３１上に載置されるようになっている。
【００２１】
次に図１に示すように，以上のような洗浄システム１においてインタフェイス２の搬入部１５近傍には，カセットＣの保持部５からＩＤカードＡを取り出す動作と保持部５にＩＤカードＡを挿入する動作を行う入出装置５０が配置されている。
【００２２】
図４，５に示すように，入出装置５０は，インタフェイス２の搬入部１５のレール２０，２１下方に配置されたプッシャ５１，５２を備えている。図４，５において実線で示したカセットＣは，何れもレール２０，２１上の右側位置まで搬送された状態を示している。このようにカセットＣがレール２０，２１上の右側位置にある場合には，カセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカードＡの真下にプッシャ５１，５２がそれぞれ位置するようになっている。先ず，プッシャ５１について説明すると，プッシャ５１の下端は，レール２０下方に垂設された支柱５３に沿って移動する昇降部材５４に支持されている。図５に示されるロッドレスシリンダ５５の稼働によるこの昇降部材５４の上昇に伴ってプッシャ５１が上方に移動し，プッシャ５１の上端でＩＤカードＡの底面中央部を突き上げることにより，ＩＤカードＡを保持部５から上方に取り出す構成になっている。図４，５において一点鎖線５１’は，そのように上昇したプッシャ５１の状態を示しており，一点鎖線Ａ’は，プッシャ５１の上昇によって上方に突き上げられたＩＤカードＡの状態を示している。
【００２３】
また，このようにレール２０上の右側位置まで搬送されたカセットＣの側方には，プッシャ５１によって上方に突き上げられたＩＤカードＡを案内するためのガイド５７が設けられている。このガイド５７は，摺動部材５８上に立設された支柱５９の上端に取り付けられており，摺動部材５８の移動に伴ってガイド５７をカセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカードＡの真上に移動させることができる構成になっている。図４において一点鎖線５７’は，そのようにＩＤカードＡの真上に移動したガイド５７の状態を示している。
【００２４】
図６は，ガイド５７を部分的に切断して示した斜視図である。図示の如く，ガイド５７の中央には上下に貫通した溝６０が形成されている。この溝６０の間隔は，ＩＤカードＡの厚さよりも余裕を持った長さに形成されている。溝６０の上下には，テーパ状部分６１，６２がそれぞれ形成されている。このようなガイド５７をカセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカードＡの真上に移動させた状態で，先に説明したようにプッシャ５１によってＩＤカードＡを保持部５上方に突き上げることにより，図４において一点鎖線Ａ’で示したように，ＩＤカードＡはガイド５７内に丁度嵌入し，ガイド５７内部の溝６０によって案内される構成になっている。
【００２５】
プッシャ５１の上端は，図７に示すように傾斜面６５に形成されていることにより，プッシャ５１の上端において中央から偏心した位置５１ａ（隅角部）が最も高くなるように形成されている。そして，先に説明したようにプッシャ５１によってＩＤカードＡの底面を突き上げた際には，ＩＤカードＡ底面に対してプッシャ５１上端の偏心した位置５１ａが接触することによって，両者の接触位置６４が，ＩＤカードＡの重心Ｇの真下位置Ｇ’からＩＤカードＡ底面の短辺方向に長さＬだけ偏心した位置となる構成になっている。
【００２６】
ここで図８は，プッシャ５１の突き上げによってガイド５７内部の溝６０にＩＤカードＡが嵌入した状態を示す断面図である。先に図７で説明したように，プッシャ５１上端がＩＤカードＡの重心Ｇの真下位置Ｇ’から偏心した位置を突き上げているので，ＩＤカードＡは溝６０内部において必ず常に同じ方向（図８においては時計回転方向ａ）に傾いた姿勢となるように構成されている。
【００２７】
また，プッシャ５２も，先に説明したプッシャ５１と同様に，昇降部材６５に伴って上昇し，レール２１上のカセットＣの保持部５からＩＤカードＡを上方に突き上げるように構成されている。図４，５において一点鎖線５２’は，そのように上昇したプッシャ５２の状態を示しており，一点鎖線Ａ’は，プッシャ５２の上昇によって上方に突き上げられたＩＤカードＡの状態を示している。
【００２８】
また同様に，レール２１上の右側位置まで搬送されたカセットＣの側方には，プッシャ５２によって上方に突き上げられたＩＤカードＡを案内するためのガイド６６が設けられており，このガイド６６も，レール２１上のカセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカードＡの真上に移動させることができる構成になっている。図４において一点鎖線６６’は，そのようにＩＤカードＡの真上に移動したガイド６６の状態を示している。なお，ガイド６６およびプッシャ５２の上端形状の具体的な構成は先に図６〜８で説明したガイド５７およびプッシャ５１と同様であるため，詳細な説明は省略するが，プッシャ５２によってＩＤカードＡを突き上げた際には，先に図８で説明した場合と同様に，ＩＤカードＡはガイド６６内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢となるように構成されている。
【００２９】
図９，１０に示すように，入出装置５０は，インタフェイス２の搬入部１５とストッカー１７の上方においてガイドレール２５に沿って移動する搬送ロボット２６を備えている。図９，１０に示されるカセットＣは，何れもレール２０，２１，２２，２３上の右側位置まで搬送された状態を示している。そして，搬送ロボット２６は，このようにレール２０，２１，２２，２３上の右側位置にあるカセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカードＡの真上位置を移動するように構成されている。駆動プーリ７０と従動プーリ７１に巻回された無端ベルト７２がガイドレール２５と平行に配置されており，この無端ベルト７２の一部に取り付けられたブラケット７３をロボット本体７４の側面に接続することにより，無端ベルト７２の摺動に伴って搬送ロボット２６全体がカセットＣとストッカー１７の上方においてガイドレール２５に沿って往復移動する構成になっている。
【００３０】
ロボット本体７４の内部にはシリンダ７５が設けられており，ロボット本体７４の下面に突出するこのシリンダ７５のピストンロッド７６の左右に別のシリンダ７７，７８を介して一対の開閉チャック７９，８０が装着されている。なお，これらシリンダ７７，７８を一つのシリンダで構成しても良い。そして，シリンダ７５の伸縮稼働に伴って開閉チャック７９，８０が昇降動作し，シリンダ７７，７８の伸縮稼働に伴って開閉チャック７９，８０が開閉動作を行う構成になっている。
【００３１】
図１０において実線で示した開閉チャック７９，８０は，シリンダ７５の短縮稼働によって上昇し，シリンダ７７，７８の伸張稼働によって開いた状態を示している。この状態からシリンダ７５が伸張稼働することによって，開閉チャック７９，８０は下降する。そして，その下降位置においてシリンダ７７，７８が短縮稼働することによって，開閉チャック７９，８０は閉じられ，その際に，先に図４，５で説明したプッシャ５１，５２によってカセットＣ側面の保持部５から上方に突き上げられ，ガイド５７，６６内に嵌入した状態で待機しているＩＤカードＡの上方を開閉チャック７９，８０の間で掴むようになっている。図１０において一点鎖線７９’，８０’で示した開閉チャック７９，８０は，そのようにプッシャ５１，５２によって上方に突き上げられたＩＤカードＡを開閉チャック７９，８０の間に掴んだ状態を示している。そして，このようにＩＤカードＡを掴んだ後，シリンダ７５の短縮稼働によって開閉チャック７９，８０が上昇することにより，ＩＤカードＡを更に上方に持ち上げ，これにより，ＩＤカードＡをガイド５７および６６内から完全に上方に抜き去ることができるようになっている。図１０において二点鎖線７９”，８０”で示した開閉チャック７９，８０は，そのようにＩＤカードＡを更に上方に持ち上げることによってガイド５７および６６内から完全に上方に抜き去った状態を示している。
【００３２】
そして，レール２０，２１上の右側位置に載置されたカセットＣに対しては，このように，先ず開閉チャック７９，８０が下降し，次いで開閉チャック７９，８０が閉じられてＩＤカードＡを掴み，その後，開閉チャック７９，８０が上昇することによりＩＤカードＡを上方に抜き去る構成になっている。また，こうしてＩＤカードＡを上方に抜き去った後，無端ベルト７２の摺動で搬送ロボット２６全体がストッカー１７上方まで移動する。そして，ストッカー１７上方においてシリンダ７５の伸張稼働により開閉チャック７９，８０が下降して，開閉チャック７９，８０の間に掴んでいたＩＤカードＡがストッカー１７内に納められるようになっている。なお，こうしてストッカー１７内に納められた際のＩＤカードＡの高さは，先に説明したプッシャ５１，５２によって上方に突き上げられた際のＩＤカードＡの高さと同じになるように構成されている。そして，このようにしてＩＤカードＡをストッカー１７内に納めた後，開閉チャック７９，８０は再び上昇するようになっている。
【００３３】
一方，レール２２，２３上の右側位置に載置されたカセットＣにＩＤカードＡを挿入する場合は，先ずストッカー１７上方において待機していた開閉チャック７９，８０がシリンダ７５の伸張稼働によって下降し，次いで開閉チャック７９，８０が閉じられＩＤカードＡを掴み，その後，開閉チャック７９，８０が上昇することによりＩＤカードＡをストッカー１７の上方に抜き去る。そして，こうしてＩＤカードＡをストッカー１７上方に抜き去った後，無端ベルト７２の摺動で搬送ロボット２６全体が，レール２２，２３上の右側位置に載置されたカセットＣの上方まで移動する。そして先ず，レール２２上のカセットＣに対してＩＤカードＡを挿入する場合は，搬送ロボット２６がレール２２上の右側位置に載置されたカセットＣ側面の保持具５の真上位置に移動し，その後，開閉チャック７９，８０が下降することにより，ＩＤカードＡをレール２２上のカセットＣの保持具５内に挿入するようになっている。また，レール２３上のカセットＣに対してＩＤカードＡを挿入する場合は，ＩＤカードＡをストッカー１７内から抜き去った後，搬送ロボット２６がレール２３上の右側位置に載置されたカセットＣ側面の保持具５の真上位置に移動し，その後，開閉チャック７９，８０が下降することにより，ＩＤカードＡをレール２３上のカセットＣの保持具５内に挿入するようになっている。
【００３４】
図１１は，ストッカー１７の平面図である。図示のように，ストッカー１７の内面には左右対称の位置に多数の溝９０数設けられており，先に説明した開閉チャック７９，８０の下降によってこれらの溝９０にＩＤカードＡを上から差し込むことによって，ストッカー１７内に複数枚のＩＤカードＡを垂直に立てた姿勢で平行に整列させて収納するようになっている。ストッカー１７の下面には，このようにしてストッカー１７内に収納されたＩＤカードＡの底面を支持するための突起９１が，各溝９０に対応して配置されている。この突起９１の上端は，図１２に示すように傾斜面９２に形成されていることにより，突起９１の上端において中央から偏心した位置９１ａ（隅角部）が最も高くなるように形成されている。そして，先に説明したように開閉チャック７９，８０の下降によってストッカー１７の溝９０にＩＤカードＡが上から差し込まれた際には，ＩＤカードＡ底面に対して突起９１上端の偏心した位置９１ａが接触することによって，両者の接触位置９３が，ＩＤカードＡの重心Ｇの真下位置Ｇ’からＩＤカードＡ底面の短辺方向に長さＭだけ偏心した位置となる構成になっている。このように，突起９１上端がＩＤカードＡの重心Ｇの真下位置Ｇ’から偏心した位置を支えているので，ＩＤカードＡは溝９０内部において必ず常に同じ方向（図１２においては時計回転方向ａ）に傾いた姿勢となるように構成されている。
【００３５】
また，図９，１０に示すように，開閉チャック７９，８０の外側には，ロボット本体７４に懸吊された一対の支柱１００，１０１が配置されている。これら支柱１００，１０１の内面には，下端に配置された一対のセンサ素子１０２，１０３と，これらセンサ素子１０２，１０３よりも上方に配置された一対のセンサ素子１０４，１０５が取り付けられている。これらセンサ素子１０２，１０３およびセンサ素子１０４，１０５は，例えば発光素子と受光素子などの光電センサ組によって構成されている。そして，下方側に配置されているセンサ素子１０２，１０３は，先に説明したプッシャ５１，５２によって上方に突き上げられた状態のＩＤカードＡと，ストッカー１７内に納められた状態のＩＤカードＡを丁度検知できる高さに配置されている。一方，上方側に配置されているセンサ素子１０４，１０５は，図１０において二点鎖線で示したＩＤカードＡのように，開閉チャック７９，８０の上昇によって上方に持ち上げた状態のＩＤカードＡを丁度検知できる高さに配置されている。
【００３６】
さて，この洗浄システム１においては，図示しないロボットにより，インタフェイス２の搬入部１５に設けられたレール２０，２１，２２，２３上にカセットＣが載置される。なおこの場合，レール２０，２１上には，これから洗浄システム１で洗浄しようとするウェハＷを収納したカセットＣが載置されるが，このカセットＣの保持部５には，カセットＣ内のウェハＷに関する情報などを表示したＩＤカードＡが挿入された状態になっている。一方，レール２２，２３上には，ウェハＷを収納していない清潔なカセットＣが載置されるが，このカセットＣの保持部５には，ＩＤカードＡが入っていない状態になっている。また，これらカセットＣは，先に図３で説明したように，何れもレール２０，２１，２２，２３上の左側位置に載置されるようになっている。そして，各カセットＣはその載置後においてレール２０，２１，２２，２３上の右側位置まで搬送される。
【００３７】
次に，入出装置５０において，レール２０，２１上の右側位置まで搬送されたカセットＣの側方にガイド５７，６６が近付くように移動し，こうして，各ガイド５７，６６がレール２０，２１上のカセットＣの保持部５に保持されたＩＤカードＡの真上にそれぞれ移動した状態となる。その後，プッシャ５１，５２が上昇し，レール２０，２１上に載置されたカセットＣの保持部５からＩＤカードＡをそれぞれ上方に突き上げる。これにより，各ＩＤカードＡはガイド５７，６６内に嵌入した状態となる。なお，プッシャ５１，５２の上端が傾斜面に形成されているので，このようにプッシャ５１，５２によってＩＤカードＡを突き上げた際には，先に図８で説明したように，ＩＤカードＡはガイド５７，６６内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢となる。
【００３８】
次に，入出装置５０における搬送ロボット２６が先ずレール２０上の右側位置に載置されたカセットＣの上に移動する。この時，センサ素子１０２，１０３によって，プッシャ５１で突き上げられた状態のＩＤカードＡの検知が行われ，ＩＤカードＡが検知されない場合は，例えば警報等を発して稼働を停止する。一方，ＩＤカードＡが検知された場合は，先ずシリンダ７５が伸張稼働することによって，開閉チャック７９，８０が下降する。次いで開閉チャック７９，８０が閉じられ，ガイド５７内においてプッシャ５１で突き上げられた状態で待機しているＩＤカードＡを掴む。なお，このようにＩＤカードＡを掴む際には，先に図８で説明したように，ＩＤカードＡがガイド５７内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢となっているので，ＩＤカードＡがガイド５７内にてふらつくことがなく，ＩＤカードＡの上端が常に同じ位置にくるようになる。そして，このようにガイド５７内において常に同じ方向に傾いた姿勢で位置決めされたＩＤカードＡの上端を開閉チャック７９，８０で掴むことにより，掴みミスが極めて少なくなる。
【００３９】
そして，このようにＩＤカードＡの上端を開閉チャック７９，８０で掴んだ後，開閉チャック７９，８０が上昇してＩＤカードＡを上方に抜き取る。この時，センサ素子１０４，１０５によって，開閉チャック７９，８０で掴んでいるＩＤカードＡの検知が行われ，ＩＤカードＡが検知されない場合は，例えば警報等を発して稼働を停止する。一方，ＩＤカードＡが検知された場合は，無端ベルト７２の摺動で搬送ロボット２６全体がストッカー１７上方まで移動する。そして，ストッカー１７上方においてシリンダ７５の伸張稼働により開閉チャック７９，８０が下降して，開閉チャック７９，８０の間に掴んでいたＩＤカードＡがストッカー１７内に納められる。こうしてＩＤカードＡをストッカー１７内に納めた後，開閉チャック７９，８０は再び上昇する。
【００４０】
次に，搬送ロボット２６はレール２１上の右側位置に載置されたカセットＣの上に移動する。そして，レール２０上のカセットＣに対する場合と同様の工程を繰り返すことにより，レール２１上に載置されたカセットＣの保持部５からＩＤカードＡを抜き取り，そのＩＤカードＡをストッカー１７内に納める。
【００４１】
こうして，レール２０，２１上においてＩＤカードＡを抜き取られたカセットＣは，次に，移載装置４のアーム３５によって洗浄乾燥部３の入出口４０に順次搬入される。そして，このカセットＣはリフタおよびライナによって洗浄乾燥槽４２の後方に搬送されて，ローダ４３に搬入される。そして，ローダ４３においてカセットＣからウェハＷが取り出されて，ウェハＷを各洗浄乾燥槽４２に対してバッチ式に順次搬送して洗浄および乾燥を行い，こうして洗浄等の処理を終了したウェハＷがアンローダ４１に供給される。
【００４２】
一方，ローダ４３においてウェハＷが取り出されて空となったカセットＣは，再びリフタおよびライナによって入出口４０まで搬送される。そして，この空のカセットＣは，その後，アーム３５によって入出口４０から搬出され，インタフェイス２の搬出部１６のレール３２，３３上に載置される。その後，この空のカセットＣは，図示しないロボットによってレール３２，３３上から取り去られる。
【００４３】
また，レール２２，２３上の右側位置まで搬送された，ウェハＷを収納していない清潔なカセットＣに対しては，入出装置５０によるＩＤカードＡの挿入が行われる。即ち，先ずストッカー１７上方において待機していた開閉チャック７９，８０がシリンダ７５の伸張稼働によって下降する。この時又は下降前に，センサ素子１０２，１０３によって，ストッカー１７に収納されている状態のＩＤカードＡの検知が行われ，ＩＤカードＡが検知されない場合は，例えば警報等を発して稼働を停止する。一方，ＩＤカードＡが検知された場合は，開閉チャック７９，８０が閉じられてＩＤカードＡを掴む。なお，このようにＩＤカードＡを掴む際には，先に図１２で説明したように，ＩＤカードＡがストッカー１７の溝９０内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢となっているので，ＩＤカードＡが溝９０内にてふらつくことがなく，ＩＤカードＡの上端が常に同じ位置にくるようになる。そして，このように溝９０内において常に同じ方向に傾いた姿勢で位置決めされたＩＤカードＡの上端を開閉チャック７９，８０で掴むことにより，掴みミスが極めて少なくなる。
【００４４】
こうしてＩＤカードＡの上端を開閉チャック７９，８０で掴んだ後，開閉チャック７９，８０が上昇してＩＤカードＡをストッカー１７の上方に抜き去る。この時，センサ素子１０４，１０５によって，開閉チャック７９，８０で掴んでいるＩＤカードＡの検知が行われ，ＩＤカードＡが検知されない場合は，例えば警報等を発して稼働を停止する。一方，ＩＤカードＡが検知された場合は，その後，無端ベルト７２の摺動で搬送ロボット２６全体が，先ず，レール２２上の右側位置に載置されたカセットＣの上方まで移動する。その後，開閉チャック７９，８０が下降することにより，ＩＤカードＡをレール２２上のカセットＣの保持具５内に挿入する。こうしてレール２２上のカセットＣに対してＩＤカードＡを挿入した後，再び搬送ロボット２６がストッカー１７上方に移動し，ＩＤカードＡをストッカー１７の上方に抜き去る。そして，同様に搬送ロボット２６がレール２３上の右側位置に載置されたカセットＣ側面の保持具５の真上位置に移動し，その後，開閉チャック７９，８０が下降することにより，ＩＤカードＡをレール２３上のカセットＣの保持具５内に挿入する。
【００４５】
こうして，レール２２，２３上においてＩＤカードＡを保持具５内に挿入されたカセットＣは，次に，移載装置４のアーム３５によって洗浄乾燥部３の入出口４０に順次搬入される。そして，このカセットＣは，次に洗浄乾燥部３のアンローダ４１に搬入される。そして，前述のように洗浄乾燥部３の各洗浄乾燥槽４２における洗浄等の処理を終了したウェハＷが，こうしてアンローダ４１に搬入された空の清潔なカセットＣに収納される。
【００４６】
そして，こうして洗浄済みのウェハＷを収納したカセットＣは，その後，アーム３５によって搬送されて，インタフェイス２の搬出部１６のレール３０，３１上に載置される。次で，このウェハＷを収納したカセットＣも同様に，図示しないロボットによってレール３０，３１上から取り去られる。
【００４７】
かくして、以上の操作を行ってカセットＣに対するＩＤカードＡの入出動作を行うことにより，カセットＣ側面の保持部５やストッカー１７と入出装置５０の搬送ロボット２６との間におけるＩＤカードＡの授受を円滑に行うことができ，システム全体の稼働効率を向上させることが可能となる。なお、ＩＤカードを抜き取る場合にのみガイドを使用する例について説明したが，ＩＤカードをカセット側面の保持具に挿入する際にガイドを使用するように構成しても良い。また，一例としてウェハを洗浄する洗浄システムについて主たる説明を行ったが、本発明は、ＬＣＤ基板の如き他の被処理体を扱うシステムや，例えば他の処理等を行う各種の処理システムなどに適応させることも可能である。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば，ＩＤカードがガイドやストッカーの内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢となっているので，ＩＤカードがふらつくことがなく，ＩＤカードの上端が常に同じ位置にくるようになる。このため，搬送ロボットによる掴みミスやセンサによる検知ミスが極めて少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】洗浄システムの斜視図である。
【図２】カセットの斜視図である。
【図３】インタフェイスの平面図である。
【図４】入出装置の下部構造を示す右側面図である。
【図５】入出装置の下部構造を示す背面図である。
【図６】ガイドを部分的に切断して示した斜視図である。
【図７】プッシャの上端形状とＩＤカードの底面の関係図である。
【図８】プッシャの突き上げによってガイド内部にＩＤカードが嵌入した状態を示す断面図である。
【図９】入出装置の上部構造を示す左側面図である。
【図１０】入出装置の上部構造を示す背面図である。
【図１１】ストッカーの平面図である。
【図１２】ストッカー内におけるＩＤカードの保持状態を示す断面図である。
【符号の説明】
Ａ  ＩＤカード
Ｃ  カセット
Ｗ  ウェハ
５  保持部
１７  ストッカー
２６  搬送ロボット
５０  入出装置
５１，５２  プッシャ
５７，６６  ガイド
１０２，１０３，１０４，１０５  センサ素子
【図１】
0003545564.tif 000002
【図２】
0003545564.tif 000003
【図３】
0003545564.tif 000004
【図４】
0003545564.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003545564.tif 000007
【図７】
0003545564.tif 000008
【図８】
0003545564.tif 000009
【図９】
0003545564.tif 000010
【図１０】
0003545564.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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