(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱体を挿通する開口部を持つ通過空間の周辺に加熱源を設置し、本体フレームに固定した軸受により回転可能な軸に固着したレバーの一端に連結したシリンダーの駆動により回動自在とした炉本体と、炉本体に固定した軸受により回転可能な軸に取付けられ、またその軸の一端に固着したレバーに装着されたカムフォロアが本体フレームに固定したカムに当接し摺動することにより回動自在とした、前記通過空間の開口部を開閉する炉扉でなり、前記シリンダーの駆動により炉本体が回動するとともに、炉扉も開放されて被加熱体が通過空間より脱出し、その後炉扉を閉じる構成とした可動式加熱装置。
【請求項２】
炉扉の開閉を別個に設置したシリンダーにて駆動するようにした請求項１に記載の可動式加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品などの製造工程において、リードフレーム上に載置された電子部品などを、乾燥や硬化などを行うための可動式加熱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のリードフレーム上に載置された電子部品などの乾燥や硬化を行うために加熱させる場合には、リードフレームを移送させる途中に設置したトンネル型の加熱炉の中を通過させている。
【０００３】
もしくはリードフレームを一旦リールに巻取り、そのリールごと別途設置した加熱炉の中に一定時間投入し加熱して、乾燥や硬化を行うことが一般的に行われていた。
【０００４】
以下従来の加熱方法および装置に関して図面を用いて説明する。
図５は従来のトンネル型の加熱炉の概要斜視図である。
【０００５】
図５において、３１は加熱炉の炉本体であり、両端に入口孔３３と出口孔３４を持つトンネル３２を中央部に貫通させており、トンネル３２の上下や左右にヒータ（図示せず）が内蔵されて、トンネル３２内を所定温度にしている。
【０００６】
３６は帯状の金属材などでなるリードフレームであり、上面に複数の電子部品３５などを定間隔で載置しており、トンネル３２内を矢印方向に移送され挿通する。
【０００７】
以上の構成の装置により、リードフレーム３６の上面に載置された電子部品３５は、リードフレーム３６が矢印方向に移送（移送機構は図示せず）されることにより、入口孔３３より送入され炉本体３１のトンネル３２を通過して所定時間、所定温度に加熱され出口孔３４より送出される。
【０００８】
また、図６はリードフレームをリールに巻取った概要斜視図であり、電子部品３５を片面に載置したリードフレーム３６は、金属材などでなるリール３７に矢印方向に巻取られ、その後、リールごと別工程で別途設置された加熱炉に一定時間投入して加熱される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来のトンネル型の加熱炉を用いた装置では、なんらかの理由でリードフレーム３６の移送の停止や移送が不可能になった場合、所定時間以上の加熱を行って、電子部品３５を不具合にしてしまうことがある。
【００１０】
また、その処置や対策として加熱を中断させるために、ヒータの電源を遮断することも考えられるが、再度加熱を開始するためには、設定温度になるまでの時間ロスが発生し、生産性の低下につながるなどの課題を有していた。
【００１１】
そしてまた、リードフレーム３６を一旦リール３７に巻取り、そのリール３７ごと別途設置した加熱炉に一定時間投入して加熱させる場合には、別工程で加熱するために工程が増え、コストアップおよびリードタイムが長くなるなどの課題を有していた。
【００１２】
本発明は、前記従来の課題を解決しようとするものであり、リードフレーム上面に載置された電子部品を常に安定に加熱して、生産性の優れた可動式加熱装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明による可動式加熱装置は、被加熱体を挿通する開口部を持つ通過空間の周辺に加熱源を設置し、本体フレームに固定した軸受により回転可能な軸に固着したレバーの一端に連結したシリンダーの駆動により回動自在とした炉本体と、炉本体に固定した軸受により回転可能な軸に取付けられ、その軸の一端に固着したレバーに装着されたカムフォロアが本体フレームに固定したカムに当接し摺動することにより回動自在とした、前記通過空間の開口部を開閉する炉扉でなり、炉扉の開閉を炉本体の回動動作、あるいは別個に設置したシリンダーの駆動にて行う構成としたものである。
【００１４】
本装置により、リードフレーム上面に載置された電子部品を、常に安定かつ連続して加熱し、生産性の向上が可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、被加熱体を挿通する開口部を持つ通過空間の周辺に加熱源を設置し、本体フレームに固定した軸受により回転可能な軸に固着したレバーの一端に連結したシリンダーの駆動により回動自在とした炉本体と、炉本体に固定した軸受により回転可能な軸に取付けられ、またその軸の一端に固着したレバーに装着されたカムフォロアが本体フレームに固定したカムに当接し摺動することにより回動自在とした、前記通過空間の開口部を開閉する炉扉でなり、前記シリンダーの駆動により炉本体が回動するとともに、炉扉も開放されて被加熱体が通過空間より脱出し、その後炉扉を閉じる構成とした可動式加熱装置としたものであり、常に安定した加熱ができ、生産性が向上し、炉本体の回動と炉扉の開閉を１つの駆動源で可能になるという作用を有する。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、炉扉の開閉を別個に設置したシリンダーにて駆動するようにした請求項１に記載の可動式加熱装置としたものであり、請求項１に記載の作用に加えて、加熱炉内の被加熱体の状態を常時容易に確認できるという作用を有する。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の一実施の形態における可動式装置の要部斜視図、図３（ａ），（ｂ）は同装置の左側面および正面の内部部分断面図、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は同装置の動作工程を説明する要部左側面図である。
【００１８】
図１、図３において、６は被加熱体である帯状の金属材でなるリードフレームであり、その上面には、前工程で電子部品１８などが定間隔で載置されており、矢印方向に連続または間欠動作で搬送（搬送機構は図示せず）される。
【００１９】
１は金属材や耐熱材でなる炉本体であり、片端面を開口部としたリードフレーム６が送入する炉入口１６を持つコ字状断面の炉芯である通過空間２１を中央部に設けており、図３に示すように炉本体１の内部で通過空間２１の上下に、加熱源である複数のヒータ２０が内蔵されている。
【００２０】
炉本体１の下部には、金属材でなる炉本体回転軸３が取付ブロック２４により取付けられており、その両端に設置した本体フレーム（図示せず）に固定された軸受１５により炉本体１を回動自在としている。
【００２１】
１７はレバーであり、その一端が炉本体回転軸３の中央部に固着されており、他端には駆動源であるエアシリンダー４の移動自在なロッド２２の片端に回動自在に取付けられている。
【００２２】
また、駆動源のエアシリンダー４は取付アングル２３により本体フレームに固定されており、エアシリンダー４の駆動によるロッド２２の移動で、炉本体回転軸３を中心に矢印Ａ方向に炉本体１を回転させる。
【００２３】
２は通過空間２１の開口部に設置した金属材や断熱材でなる炉扉であり、通過空間２１の開口部を通常時には閉じるもので、炉芯すなわち通過空間２１の温度を安定させる。
【００２４】
炉扉２は金属材でなる取付板１１，１２の片端に取付けられており、取付板１１，１２の他端には金属材でなる炉扉回転軸５が固着されており、両端に配置した炉本体１の上端面に固定した軸受１３，１４により、矢印Ｂ方向に回動自在としている。
【００２５】
炉扉回転軸５の片端には、先端にカムフォロア７を取付けたレバー８が固着されている。そして９は板状のカムであり、本体フレームに取付けたＬ字状ブラケット１０の一端に固定されており、炉本体１が回動する時にカムフォロア７に当接してレバー８が駆動され揺動して炉扉２を開閉する。
【００２６】
次に動作について図４を用いて説明する。図４（ａ）は、通常生産工程の状態であり、炉本体１の炉芯である通過空間２１はヒータ２０により加熱され設定された温度に保持されている。
【００２７】
その状態で、電子部品１８を上面に載置したリードフレーム６は炉入口１６から送入され、通過空間２１を連続あるいは間欠動作で移送されており、リードフレーム６および電子部品１８は、通過空間２１を通過中に所定の時間で所定温度に加熱される。
【００２８】
通常は、リードフレーム６の移送動作は一定に持続されるために、安定した加熱条件が継続できる。なんらかの理由でリードフレーム６の移送が停止や中断された場合には、所定の加熱条件より変化することになり、その結果電子部品１８の特性や品質に影響を与え、最終的には不具合品となる。
【００２９】
リードフレーム６の移送が停止や中断した場合には、図４（ｂ）に示すようにエアシリンダー４を駆動させ、炉本体１を炉本体回転軸３を中心に矢印Ａ方向に回転移動することにより、リードフレーム６を炉本体１の通過空間２１から取出し脱出させて、電子部品１８とリードフレーム６を常温雰囲気状態に保持することができる。
【００３０】
その時、カム９の曲線に沿って、カムフォロア７が摺動移動してレバー８が揺動する。すると炉扉２は炉扉回転軸５を中心に矢印Ｂ方向に回動して開き、炉本体１の回転移動中に、リードフレーム６と炉扉２は接触や衝突などの干渉が発生することはない。
【００３１】
次の図４（ｃ）は、炉本体１が回転移動を完了して停止している状態であり、カム９の形状とそれを摺動するカムフォロア７により、レバー８は揺動して炉扉２を回動し、再び閉じた状態に保持されて、炉本体１の通過空間２１を所定温度に維持することができる。
【００３２】
その後、リードフレーム６の移送を停止や中断している原因が除去され処置や対策が終了すれば、エアシリンダー４の駆動を停止し、炉本体１および炉扉２は、前記と逆の動作すなわち、図４（ｃ）、図４（ｂ）、図４（ａ）の順の動作を行い、元の図４（ａ）の状態に復帰し保持され、その後リードフレーム６の移送を再開させれば、加熱条件をほぼ通常と同一に保持することができる。
【００３３】
（実施の形態２）
図２は、本発明の他の実施の形態における可動式加熱装置の要部斜視図である。図２において１９のエアシリンダー、ロッド１９ａは、前記実施の形態１のカム９の代わりに、炉扉回転軸５を中心としてレバー８を介して、炉扉２を回動させて開閉する構成であり、それ以外は前記実施の形態１と同じ構成である。
【００３４】
炉本体１および炉扉２の動作は、図４で説明した前記実施の形態１と同じであるが、エアシリンダー１９の駆動信号および駆動機構（図示せず）の追加が必要である。
【００３５】
ただし本実施の形態の場合には、エアシリンダー１９の駆動操作により、通常加熱状態（図４（ａ）の状態）でも炉扉２を開くことが可能であり、通常状態における炉本体１の炉芯である通過空間２１のリードフレーム６の状態を、目視などで常時容易に確認することができる。
【００３６】
なお、以上の説明では、加熱源としてヒータの例で説明したが、熱風循環、赤外線などの光源による加熱などでもよく、さらに駆動源としてエアシリンダーの例を説明したが、オイルシリンダーや、サーボモータ、ボールネジそしてスライダーの組合せ機構、そして同じ機能の他のアクチュエータを使用して同様に実施可能である。
【００３７】
なおまた、本発明では加熱としたが、逆に冷却機構を内蔵すれば、冷却する装置とすることも可能である。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように本発明の可動式加熱装置によれば、リードフレームおよび電子部品を常に安定して加熱でき生産性の向上が図れ、炉本体の移動と炉扉の開閉を１つの駆動源ですることが可能であり、また、加熱中のリードフレームの状態の確認が、常時容易にできるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における可動式装置の要部斜視図
【図２】本発明の他の実施の形態における可動式加熱装置の要部斜視図
【図３】（ａ）図１の同装置の左側面の内部部分断面図
（ｂ）同正面の内部部分断面図
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ）は図１の同装置の動作工程を説明する要部左側面図
【図５】従来のトンネル型の加熱炉の概要斜視図
【図６】リードフレームをリールに巻取った概要斜視図
【符号の説明】
１  炉本体
２  炉扉
３  炉本体回転軸
４  エアシリンダー
５  炉扉回転軸
６  リードフレーム
７  カムフォロア
８  レバー
９  カム
１０  ブラケット
１１  取付板
１２  取付板
１３  軸受
１４  軸受
１５  軸受
１６  炉入口
１７  レバー
１８  電子部品
１９  エアシリンダー
１９ａ  ロッド
２０  ヒータ
２１  通過空間
２２  ロッド
２３  取付アングル
【図１】
0003603530.tif 000002
【図２】
0003603530.tif 000003
【図３】
0003603530.tif 000004
【図４】
0003603530.tif 000005
【図５】
0003603530.tif 000006
【図６】
0003603530.tif 000007