(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体側及び支持体側間に介在する支持弾性体と、この支持弾性体に連設されて軸心が振動体支持方向を向く筒状部材と、この筒状部材と支持弾性体との間に画成され且つ内部に流体を封入した流体室と、この流体室の隔壁の一部を形成し且つその流体室の容積を変化させる方向に変位可能な可動部材と、前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように電磁力の発生により前記可動部材を変位させる電磁アクチュエータとを備えた防振支持装置において、
前記可動部材及び前記電磁アクチュエータを、内周面に膜状弾性体からなる気密シール材を接合した筒状のアクチュエータケース内に一体に組み込み、このアクチュエータケースを、筒状の装置ケースの振動体側又は支持体側の一方側に内嵌するとともに、前記装置ケースの前記振動体側又は支持体側の他方側に前記筒状部材を内嵌し、且つこの筒状部材の前記可動部材側を向く端部を、前記アクチュエータケースの端部に前記振動体支持方向から当接させたことを特徴とする防振支持装置。
【請求項２】
前記支持弾性体と連設し且つ内部に流体室を画成した前記筒状部材を、内周面に膜状弾性体からなる液密シール材を接合した筒状のマウントケース内に内嵌し、このマウントケースを前記装置ケースの前記振動体側又は支持体側の他方側に内嵌したことを特徴とする請求項１記載の防振支持装置。
【請求項３】
前記可動部材側の前記アクチュエータケース内に、該アクチュエータケースの内周面側への流体の漏れを遮断するシールリングを組み込み、前記アクチュエータケースの軸方向の両端部に径方向内方に延びる環状のかしめ部を形成し、これらかしめ部によって前記シールリング、前記可動部材及び電磁アクチュエータの縁部を軸方向内方に向けて押圧して前記アクチュエータケース内に一体に組み込んだことを特徴とする請求項１又は２記載の防振支持装置。
【請求項４】
前記筒状部材に連設されている前記支持弾性体を、前記筒状部材の前記可動部材側を向く端部まで連続し、さらに当該端部から前記可動部材側に向けて膨出する膨出弾性部を設け、前記筒状部材の端部が前記アクチュエータケースの端部に当接した際に、前記膨出弾性部が前記アクチュエータケースの端部に当接して弾性変形するようにしたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の防振支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、例えば車両のエンジン等のような振動体側を車体等の支持体側に防振しつつ支持する装置に係わり、特に、電磁アクチュエータの電磁石の磁力により可動部材を微振動させて、支持弾性体によって画成された流体室内の容積を積極的に変化させることにより能動的な支持力を発生することができる防振支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に車両のパワーユニットを支持するために用いられる防振支持装置であるエンジンマウントには、主として、アイドル振動やこもり音振動及び加速時騒音振動等に対して良好な防振機能が発揮されることが要求されるが、これら各種の振動のうち、２０〜３０Ｈｚ程度の比較的大振幅の振動であるアイドル振動を低減するために防振支持装置に要求される特性は、高動ばね定数で且つ高減衰であるのに対し、８０〜８００Ｈｚ程度の比較的小・中振幅の振動であるこもり音振動・加速時騒音振動を低減するために防振支持装置に要求される特性は、低動ばね定数で且つ低減衰である。従って、通常の弾性体のみからなるエンジンマウントや、従来の液体封入式のエンジンマウントでは、全ての振動を防振することは困難である。
【０００３】
そこで、例えば自動車のエンジン等の振動体を能動的に減衰して支持することが可能な防振支持装置として、特開平５−２４０２８９号公報（以下、従来技術と称する。）に開示したゴムマウントが知られている。
【０００４】
この従来技術は、振動体側及び支持体側にそれぞれ連結体を連結し、一方の連結体に外殻（公報では、成端板と称している。以下、括弧内に示す部材は公報で使用している部材とする。）を設け、他方の連結体に中空円錐状の弾性体からなる支持弾性体（膨張ばね）を設け、これら外殻及び支持弾性体を筒状部材で連結して内部空間を画成している。そして、この内部空間を弾性体からなるダイアフラム（ゴム弾性補償隔膜）で仕切ることにより、ダイアフラムと外殻との間の支持方向の一方側に第１空間を形成し、ダイアフラムと支持弾性体との間の支持方向（振動体の荷重が加わる方向）の他方側に第２空間を形成している。ここで、第１空間は大気と連通する構造としている。そして、前記第２空間に、筒状部材の内部に弾性体からなるシール部材により固定した一対の電磁アクチュエータ（電磁コイル）を支持方向に互いに離間して配設し、これら電磁アクチュエータの間の空隙部に外縁部を位置させた軟磁性体からなる振動板（補償壁）を支持弾性体に対向して配設している。なお、この振動板の軸中央部には、オリフィス（通孔）が形成されている。そして、第１空間に流体を封入することにより、振動板及び支持弾性体の間の空間を主流体室（液充填作動室）とし、この主流体室とオリフィスを介して連通する振動板及びダイアフラムの間の空間を副流体室（液充填補償室）としている。また、電磁コイル及び振動板の外縁部の周囲は、ダイアフラムと一体に形成した弾性部材からなる被覆部によって取り囲まれており、一対の電磁アクチュエータの間の空隙部の気密が保持されている。
【０００５】
そして、この従来技術は、一対の電磁アクチュエータの互いに逆向きの電流により発生する電磁力によって振動板を振動させると主流体室に容積変動が生じるので、振動体側の振動の発生状態に応じて振動板を適宜振動させ、支持体側に伝達される振動を低減して能動的な支持力が発生するようにしている。また、主流体室は、オリフィスを介して副流体室に連通するようになっており、振動体側から入力される振動によって支持弾性体が変形して主流体室に容積変動が生じると、主流体室内に封入した流体と副流体室内に封入した流体とがオリフィスを介して互いに移動し合うことで減衰力が発生するので、受動的な流体封入式の防振支持装置の作用も得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来技術の防振支持装置は、電磁アクチュエータ及び振動体の外縁部への気密性の低下によって、防振支持装置の性能が低下してしまうおそれがある。
【０００７】
すなわち、一対の電磁アクチュエータを固定しているシール部材には振動体の支持力が伝達される構造となっており、この弾性体のシール部材に支持力が長期に亘って伝達されるとシール部材が劣化し、一対の電磁アクチュエータの間の空隙部の気密が保持されず、電磁アクチュエータを構成している励磁コイル、ヨークや振動板の外縁部に錆が発生するおそれがある。これにより、振動板の外縁部と一対の電磁アクチュエータとの間の隙間の精度が悪化したり、電磁アクチュエータの電磁力が減少するおそれがあるので、能動的な支持力を高精度に発生することができない。
【０００８】
本発明は、このような従来技術が有する解決すべき課題に着目してなされたものであって、電磁アクチュエータ近傍の気密性を確実に保持し、且つ流体室に封入した流体の液密性を確実に保持して能動的な支持力を高精度に発生することが可能となるとともに、組み立ての容易な流体封入式の防振支持装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、振動体側及び支持体側間に介在する支持弾性体と、この支持弾性体に連設されて軸心が振動体支持方向を向く筒状部材と、この筒状部材と支持弾性体との間に画成され且つ内部に流体を封入した流体室と、この流体室の隔壁の一部を形成し且つその流体室の容積を変化させる方向に変位可能な可動部材と、前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように電磁力の発生により前記可動部材を変位させる電磁アクチュエータとを備えた防振支持装置において、前記可動部材及び前記電磁アクチュエータを、内周面に膜状弾性体からなる気密シール材を接合した筒状のアクチュエータケース内に一体に組み込み、このアクチュエータケースを、筒状の装置ケースの振動体側又は支持体側の一方側に内嵌するとともに、前記装置ケースの前記振動体側又は支持体側の他方側に前記筒状部材を内嵌し、且つこの筒状部材の前記可動部材側を向く端部を、前記アクチュエータケースの端部に前記振動体支持方向から当接させた。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の防振支持装置において、前記支持弾性体と連設し且つ内部に流体室を画成した前記筒状部材を、内周面に膜状弾性体からなる液密シール材を接合した筒状のマウントケース内に内嵌し、このマウントケースを前記装置ケースの前記振動体側又は支持体側の他方側に内嵌した。
【００１１】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の防振支持装置において、前記可動部材側の前記アクチュエータケース内に、該アクチュエータケースの内周面側への流体の漏れを遮断するシールリングを組み込み、前記アクチュエータケースの軸方向の両端部に径方向内方に延びる環状のかしめ部を形成し、これらかしめ部によって前記シールリング、前記可動部材及び電磁アクチュエータの縁部を軸方向内方に向けて押圧して前記アクチュエータケース内に一体に組み込んだ。
【００１２】
さらに、請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の何れかに記載の防振支持装置において、前記筒状部材に連設されている前記支持弾性体を、前記筒状部材の前記可動部材側を向く端部まで連続し、さらに当該端部から前記可動部材側に向けて膨出する膨出弾性部を設け、前記筒状部材の端部が前記アクチュエータケースの端部に当接した際に、前記膨出弾性部が前記アクチュエータケースの端部に当接して弾性変形するようにした。
【００１３】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によると、可動部材及び電磁アクチュエータは、内周面に気密シール材を接合したアクチュエータケース内に一体に組み込まれた構造としており、気密シール材によってアクチュエータケース内部が密閉されているので外部から水分等が流入しない。このため、電磁アクチュエータを構成しているヨーク、励磁コイル等に錆が発生するおそれがなく、可動部材と電磁アクチュエータとの間の隙間の精度が変化せず、且つ励磁コイルの電磁力も変化しないので、能動的な支持力を高精度に発生することができる。
【００１４】
また、装置ケースに内嵌したアクチュエータケース及び筒状部材は、振動体支持方向において端部どうしが当接するので、アクチュエータケースの内周面に設けた気密シールが支持力の伝達経路に介在しない。このため、長期間使用しても気密シール材は劣化せず、常に防振支持装置の気密を確保し、能動的な支持力を高精度に発生することができる。
【００１５】
また、アクチュエータケース内に可動部材及び電磁アクチュエータが一体に組み込まれているので、装置の組み立てを短時間で行うことができる。
また、請求項２記載の発明によると、請求項１記載の効果を得ることができるとともに、内周面に液密シール材を接合したマウントケースに、前記支持弾性体と連設し且つ内部に流体室を画成した筒状部材を内嵌した構造としているので、流体室の液密を確実に保持することができる。そして、前記液密シール材も支持力の伝達経路に介在しないので、長期間使用しても液密シール材は劣化せず、常に防振支持装置の液密を確保し、能動的な支持力を高精度に発生することができる。
【００１６】
また、マウント部品を内部に組み込んで液密を確保したマウントケースと、アクチュエータ部品を組み込んで気密を確保したアクチュエータケースとを装置ケースに内嵌するだけで組み立て工程が終了するので、防振支持装置のコスト低減化を図ることができる。
【００１７】
また、請求項３記載の発明によると、請求項１又は２記載の効果を得ることができるとともに、アクチュエータケース内に、アクチュエータケースの内周面側への流体の流れを遮断するシールリングが組み込まれているので、マウント部品側の液密と、アクチュエータ部品側の気密とをさらに充分に確保することができる。
【００１８】
また、請求項４記載の発明によると、請求項１から３の記載の効果を得ることができるとともに、装置ケース内においてマウントケース及びアクチュエータケースの互いの端部が当接すると、膨出弾性体がアクチュエータケースの端部に当接して圧縮状態で弾性変形し、これにより液密シール部材となるので、マウント部品側の液密をさらに確保することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る防振支持装置を、振動体としてのエンジン側から支持体としての車体側部材に伝達される振動を能動的に低減する所謂アクティブエンジンマウント（以下、単にエンジンマウントと称する）に適用したものである。
【００２０】
図１の符号２０で示すエンジンマウントは、横置に搭載したエンジン２２の車体後方側に配設され、その上部がエンジン側ブラケット２４に、下部が車体２６に固定された支持体としてのメンバ２８に取り付けられている。
【００２１】
図２から図６はエンジンマウント２０の具体的構造を示すものであり、このエンジンマウント２０は、図２に示すように、装置ケース４３内のエンジン２２側（この場合は、上部）にマウン部２１ａが配設され、前記装置ケース４３内のメンバ２８側（この場合は、下部）にアクチュエータ部２１ｂが配設されている。
【００２２】
前記マウント部２１ａは、マウントケースとしての外筒３８の内周側に、筒状部材としての内筒３４、第１オリフィス構成筒体３６、第２オリフィス構成部材４０及び第２ダイアフラム４２が配設され、内筒３４の内周側に結合した支持弾性体３２が上方に突出した構造とされている。
【００２３】
すなわち、マウント部２１ａは、互いに平行に離間した２本のエンジン側取付ボルト３０ａを上方に向けて固定したエンジン側連結部材３０を備えている。このエンジン側連結部材３０の下部には、断面逆台形状の中空筒部３０ｂが固定されている。このエンジン側連結部材３０の下面側には、エンジン側連結部材３０及び中空筒部３０ｂの周囲を覆うように、支持弾性体３２が加硫接着により固定されている。
【００２４】
この支持弾性体３２は、中央部から外周部に向けて緩やかに下方に傾斜する肉厚の略円筒状の弾性体であって、その外周面は、軸心が中空筒部３０ｂと同軸に振動体支持方向（この場合は、上下方向）を向く内筒３４の内周面に加硫接着により結合されている。
【００２５】
前記内筒３４は、図２に示すように、上端筒部３４ａから下方に向かうに従い徐々に縮径されて傾斜部３４ｂが形成され、傾斜面３４ｂの下端部から下方に向けて上端筒部３４ａより小径の小径部３４ｃが形成されている。そして、この小径部３４ｃの下端部から径方向外方に向けて環状部３４ｄが形成され、この環状部３４ｄの外周端部から下方に向けて前記上端筒部３４ａと同一外周径の下端筒部３４ｅが形成された部材である。そして、小径部３４ｃには、軸心に対して互いに対称となる位置に第１開口孔３４ｆ及び第２開口孔３４ｇが形成されている。
【００２６】
そして、内筒３４の傾斜部３４ｂ、小径部３４ｃの内周面には、支持弾性体３２の下部側から連続する薄膜弾性体３２ａが結合しており、この薄膜弾性体３２ａは、さらに環状部３４ｄ側及び下端筒部３４ｅ側まで延びて、環状部３４ｄ及び下端筒部３４ｅの内周面に結合している。ここで、膨出弾性部としての薄膜弾性体３２ａの下端部は、肉厚を厚くした形状とされている。
【００２７】
そして、薄膜弾性体３２ａは第１開口孔３４ｆを閉塞して第１ダイアフラム３２ｃを形成している。また、第２開口孔３４ｇは、薄膜弾性体３２ａに閉塞されずに開口している。また、支持弾性体３２の内部に断面山形状の空洞部３２ｂが形成されているが、この空洞部３２ｂの下部に位置するように、第１オリフィス構成筒体３６が内筒３４に内嵌されている。
【００２８】
この第１オリフィス構成筒体３６は、内筒３４の小径部３４ｃより小径に形成された最小径筒部３６ａを備え、その最小径筒部３６ａの上下端部に径方向外方に向けて環状部３６ｂ、３６ｃが形成された筒状部材である。上部側の環状部３６ｂは、外周径が内筒３４の小径部３４ｃより僅かに小径となるように形成されている。また、下部側の環状部３６ｃは、内筒３４の下端筒部３４ｅより小径に形成されている。さらに、最小径筒部３６ａには、内筒３４に形成した第２開口孔３４ｇと対向する位置に、第３開口孔３６ｄが形成されている。
【００２９】
ここで、前述したように肉厚を厚くした薄膜弾性体３２ａの下端部は、内筒３４の下端筒部３４ｅ及び第１オリフィス構成筒体３６の筒状端部３６ｃ１  との間で挟み込まれることにより、径方向に圧縮されながら挟み込まれた部分から下側に突出する。
【００３０】
そして、内筒３４には外筒３８が外嵌されており、傾斜部３４ｂ、小径部３４ｃ及び環状部３４ｄの外周面で形成した凹部を外筒３８の内周面で囲むことにより周方向に環状空間を画成している。そして、この環状空間に、第２オリフィス構成部材４０及び第２ダイアフラム４２が配設されている。
【００３１】
すなわち、外筒３８は、その内周径を内筒３４の外周径と同一寸法とし、また軸方向の長さを内筒３４と同一寸法とした円筒部材である。ここで、図３にも示すように、外筒３８の内周面全域には、弾性体からなる薄肉の液密シール材３９が接合されており、内筒３４の外周面（上端筒部３４ａの外周面）との間に介在している。そして、この外筒３８には、前記凹部の略１／３の部分を外周側から臨むことが可能となるように、長手方向が周方向に延びるスリット状の開口部３８ｂが形成されている。
【００３２】
また、第２ダイアフラム４２はゴム状の薄膜弾性体であり、図５に示すように、開口部３８ｂの開口縁部の全周に結合して開口部３８ｂを閉塞し、前記凹部の略１／３の部分に向けて膨出した状態で配設されている。
【００３３】
また、第２オリフィス構成部材４０は、第２ダイアフラム４２の配設により小空間となった残りの環状空間（凹部の略２／３の部分に対応する環状空間）に配設されており、図５及び図６に示すように、弾性体からなる隔壁部材４０ａ及び通路形成部材４０ｂとで構成されている。
【００３４】
隔壁部材４０ａは、第２ダイアフラム４２の長手方向の一端部４２ａに近接する環状空間に、この環状空間を形成する内筒３４及び外筒３８の間に嵌入された状態で配設されており、この隔壁部材４０ａによって通路形成部材４０ｂ側から第２ダイヤフラム４２側への流体の流れが遮断されている。
【００３５】
また、通路形成部材４０ｂは、隔壁部材４０ａに近接する位置から第２ダイアフラム４２の長手方向の他端部４２ｂに近接する位置までの環状空間に連続して形成されており、第１連通孔としての一端開口部４０ｂ３  が内筒３４の第２開口孔３４ｇと連通して周方向に沿って延在し、他端開口部が隔壁部材４０ａに向けて開口する第１通路４０ｂ１  と、この第１通路４０ｂ１  の上部の異なる通路として第１通路４０ｂ１  の略２倍の長さで周方向に延在し、一端開口部が隔壁部材４０ａに向けて開口し、第２連通孔としての他端開口部４０ｂ４  が第２ダイヤフラム４２の他端部４２ｂに向けて開口する第２通路４０ｂ２  とを備えた部材である。そして、このマウント部２１ａは、外筒３８を装置ケース４３の上部側に内嵌されている。
【００３６】
前記装置ケース４３は、その上端部に内筒３４の外周径より小径の円形開口部を有する上端かしめ部４３ａが形成されているとともに、この上端かしめ部４３ａと連続するケース本体の形状を、内周径が外筒３８の外周径と同一寸法で下端開口部まで連続する円筒形状（下端開口部を図２の破線で示した形状）とした部材である。そして、マウント部３２ａの外筒３８を、装置ケース４３の下端開口部から内部に嵌め込んでいき、上端かしめ部４２ａの下面に外筒３８及び内筒３４の上端部が当接することにより、それらは装置ケース４３内の上部に配設される。ここで、図２及び図５に示すように、装置ケース４３の内周面と第１ダイヤフラム３２ｃとで囲まれた部分に空気室４２ｃが画成されるが、この空気室４２ｃを臨む位置に空気孔４２ｄが形成されており、この空気孔４２ｄを介して空気室４２ｃと大気が連通している。
【００３７】
一方、装置ケース４３内の下部側に配設されたアクチュエータ部２１ｂは、アクチュエータケース４５内に予め組み込まれたシールリング４４、磁路部材４６、板バネ４８、ギャップ保持リング５０及び電磁アクチュエータ５２と、電磁アクチュエータ５２の下部に配設された荷重センサ５４とで構成されており、装置ケース４３の下端部を径方向内方に向けて変形させ、図２の実線で示すように下端かしめ部４３ｄを形成して車体側連結部材５６の縁部を固定することにより、前記アクチュエータ部２１ａは装置ケース４３内に内蔵されている。
【００３８】
すなわち、前記アクチュエータケース４５は、その外周径を装置ケース４３の内周径と同一寸法としたケース本体４５ａの上部及び下部に、径方向内方に向けてかしめ部４５ｂ、４５ｃを形成した筒状部材である。そして、上部かしめ部４５ｂの円形開口部は、内筒３４の下端筒部３ｅの内周径と一致する内周径として形成されている。ここで、ケース本体４５ａの内周面全域には、弾性体からなる薄肉の気密シール材４７が接合されている。
【００３９】
そして、上記構造のアクチュエータケース４５内の最上部に組み込まれたシールリング４４は、図３にも示すように、アクチュエータケース４５の内周径より僅かに小さな外周径寸法とし、第１オリフィス構成筒体３６の下短部より小径の内周径とした環状部材であり、その下面には所定半径の周方向に形成したリング溝内にＯリング４４ａが装着されている。このシールリング４４の上面の一部は、アクチュエータケース４５の上部かしめ部４５ｂの下面に当接している。
【００４０】
また、シールリング４４の下部に位置する板バネ４８は、その外周径がアクチュエータケース４５の内周径より僅かに縮径された円板部材であり、この板バネ４８の下部に、鉄等の磁化可能な金属からなる磁路部材４６が同軸に固定されている。ここで、本実施形態では、板バネ４８及び磁路部材４６によって可動部材が構成されている。
【００４１】
そして、板バネ４８の上面周縁部は、弾性変形したＯリング４４ａを介してシールリング４４の下面に係合する。また、板バネ４８の下部に位置するギャップ保持リング５０は、磁路部材４６の下面と電磁アクチュエータ５２の上面との間に所定の隙間が設けられるように、軸方向の長さを、板バネ４８の下面から磁路部材４６の下面までの軸方向長さに前記所定の隙間の寸法を加えた値に設定した環状部材である。このギャップ保持リング５０の上面は、板バネ４８の下面周縁部に当接している。
【００４２】
また、ギャップ保持リング５０の下部に位置する電磁アクチュエータ５２は、円筒形のヨーク５２ａと、ヨーク５２ａ内の上端面側に軸方向を上下方向として巻き付けられた励磁コイル５２ｂと、励磁コイル５２ｂに包囲されている範囲内のヨーク５２ａの上面に磁極を上下方向に向けて固定された永久磁石５２ｃとで構成されており、ヨーク５２ａの下面周縁部は、前述したアクチュエータケース４５の下部かしめ部４５ｃに下側から覆われた状態で当接している。
【００４３】
そして、上記構成のシールリング４４、磁路部材４６、板バネ４８、ギャップ保持リング５０及び電磁アクチュエータ５２を内部に組み込んだアクチュエータケース４５を装置ケース４３に内嵌していき、上部かしめ部４５ｂの上面を外筒３８の下面に当接すると、前述した薄膜弾性体３２ａの下端部が、上部かしめ部４５ｂの上面に当接して圧縮された状態で弾性変形する。
【００４４】
また、電磁アクチュエータ５２の下側に、荷重センサ５４を介して車体側連結部材５６が配設される。この車体側連結部材５６は、互いに離間した２本の車体側取付ボルト５６ａを下方に向けて固定した略円板形状の部材であり、前述したように装置ケース４３の下端部に下端かしめ部４３ｄを形成することにより、車体側連結部材５６の周縁部が外側から覆われた状態で固定される。
【００４５】
さらに、装置ケース４３の上部には、リバウンドストッパ６０が固定されている。このバウンドストッパ６０は、図２及び図４に示すように、エンジン側連結部材３０から上方に向けて延びる２本のエンジン側取付ボルト３０ａの間を、これらボルト間を結ぶ線に対して直交する方向に延在するストッパ本体６０ａと、ストッパ部６０ａの両端部から徐々に下がって装置ケース４３の外周に結合された一対のストッパ脚部６０ｂを備えた部材である。そして、エンジンマウント２０のリバウンド動作に支持弾性体３２が上方に向けて過度に弾性変形しようとすると、ストッパ部６０ａの下面にエンジン側連結部材３０が当接することで、支持弾性体３２の過度の変形が防止されるようになっている。
【００４６】
ここで、本実施形態のエンジンマウント２０は、第１オリフィス構成筒体３６の外周側及び第１オリフィス構成筒体３６の内部が、第３開口孔３６ｄを介して連通し、第１オリフィス構成筒体３６の内部及び第２オリフィス構成部材４０の第１通路４０ｂ１  が、第２開口孔３４ｇを介して連通し、第１通路４０ｂ１  から第２ダイヤフラム４２が膨出している空間までを第２通路４０ｂ２  が連通している。
【００４７】
そして、支持弾性体３２の空洞部３２ｂと第１オリフィス構成筒体３６の上部外周面とで画成された部分を主流体室６６とすると、この主流体室６６から前述した第２ダイヤフラム４２が膨出している空間までの連通路内に、油等の流体が封入されている。そして、前述した第１及び第２オリフィス構成筒体３６、４０及び第１及び第２ダイアフラム３２ｃ、４２ｃによって、主流体室６６の容積が変動する際に流体共振を発生する３箇所の第１〜第３オリフィス６８Ａ、７０Ａ、７２Ａ及び第１〜第３副流体室６８Ｂ、７０Ｂ、７２Ｂが形成されている。
【００４８】
すなわち、第１オリフィス６８Ａは、図５に示すように、第１オリフィス構成筒体３６の最小径筒部３６ａと内筒３４の小径部３４ｃで囲まれた内部空間であり、第１副流体室６８Ｂは、第１ダイアフラム３２ｃ近傍の第１オリフィス構成筒体３６の内部空間としている。また、第２オリフィス７０Ａは、図５及び図６に示すように、第１通路４０ｂ１  から第２通路４０ｂ２  を通過して第２ダイヤフラム４２が内部に膨出している位置までの空間であり、第２副流体室７０Ｂは、第２ダイヤフラム４２が内部に膨出している空間としている。さらに、第３オリフィス７２Ａは、図２に示すように、最小径筒部３６ａの内周側の空間であり、第３副流体室７２Ｂは、最小径筒部３６ａの下端面から板バネ４８までの空間としている
そして、第１オリフィス６８Ａ及び第１副流体室６８Ｂで構成した流体共振系の特性は、減衰ピーク周波数（減衰が最大となる周波数）が、車両停車中に発生するアイドル振動（２０〜３０Ｈｚ程度）の周波数に一致するように調整されている。また、第２オリフィス７０Ａ及び第２副流体室７０Ｂで構成した流体共振系の特性は、減衰ピーク周波数がブレーキング時に発生するシェイク振動（２０Ｈｚ以下）の周波数に一致するように調整されている。さらに、第３オリフィス７２Ａ及び第３副流体室７２Ｂで構成した流体共振系の特性は、減衰ピーク周波数が、車室内のこもり音振動・加速時騒音振動（８０〜８００Ｈｚ以上）の周波数に一致するように調整されている。
【００４９】
そして、電磁アクチュエータ５２の励磁コイル５２ｂは、コントローラ７４にハーネスを介して接続されており、図１のブロック図で示すように、コントローラ７４から供給される駆動電流としての駆動信号ｙに応じて所定の電磁力を発生するようになっている。
【００５０】
コントローラ７４は、マイクロコンピュータ，必要なインタフェース回路，Ａ／Ｄ変換器，Ｄ／Ａ変換器，アンプ等を含んで構成されており、アイドル振動周波数及びそれ以上の高周波の振動（例えば、こもり音振動）が入力されている場合には、その振動と同じ周期の制御振動がエンジンマウント２０に発生して、メンバ２８への振動の伝達力が“０”となるように（より具体的には、エンジン２２側の振動によってエンジンマウント２０に入力される加振力が、電磁アクチュエータ５２の電磁力によって得られる制御力で相殺されるように）、駆動信号ｙを生成し励磁コイル５２ｂに供給するようになっている。
【００５１】
ここで、アイドル振動やこもり音振動は、例えばレシプロ４気筒エンジンの場合、エンジン回転２次成分のエンジン振動がエンジンマウント２０を介してメンバ２８に伝達されることが主な原因であるから、そのエンジン回転２次成分に同期して駆動信号ｙを生成し出力すれば、振動伝達率の低減が可能となる。そこで、本実施形態では、エンジン２２のクランク軸の回転に同期した（例えば、レシプロ４気筒エンジンの場合には、クランク軸が１８０度回転する度に一つの）インパルス信号を生成し基準信号ｘとして出力するパルス信号生成器７６を設けていて、その基準信号ｘが、エンジン２２における振動の発生状態を表す信号としてコントローラ７４に供給されている。
【００５２】
一方、前述したようにエンジンマウント２０には荷重センサ５４が内蔵されており、メンバ２８の振動状況を荷重の形で検出し残留振動信号ｅとして出力し、その残留振動信号ｅが干渉後における振動を表す信号としてコントローラ７４に供給されている。
【００５３】
そして、コントローラ７４は、それら基準信号ｘ及び残留振動信号ｅに基づき、逐次更新形の適応アルゴリズムの一つであるＦｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ  ＬＭＳアルゴリズムに従って駆動信号ｙを生成し出力する。
【００５４】
次に、本実施形態の作用を説明する。
即ち、エンジン２２が始動状態となりエンジンマウント２０に振動が入力されるようになると、コントローラ７４は、所定の演算処理を実行し、電磁アクチュエータ５２に駆動信号ｙを出力し、エンジンマウント２０に振動を低減し得る能動的な制御力を発生させる。
【００５５】
すなわち、コントローラ７４からエンジンマウント２２の電磁アクチュエータ５２に対しては、基準信号ｘが入力された時点から所定のサンプリング・クロックの間隔で、適応ディジタルフィルタＷのフィルタ係数が順番に駆動信号ｙとして供給される。この結果、励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙに応じた磁力が発生するが、磁路部材４６には既に永久磁石５２ｃによる一定の磁力を付与されているから、その励磁コイル５２ｂによる磁力は、永久磁石５２ｃの磁力を強める又は弱めるように作用すると考えることができる。つまり、励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙが供給されていない状態では、磁路部材４６は、板バネ４８による弾性支持力と、永久磁石５２ｃの磁力との釣り合った中立の位置に変位することになる。そして、この中立の状態で励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙが供給されると、その駆動信号ｙによって励磁コイル５２ｂに発生する磁力が永久磁石５２ｃの磁力と逆方向であれば、磁路部材４６は電磁アクチュエータ５２とのクリアランスが増大する方向に変位する。逆に、励磁コイル５２ｂに発生する磁力が永久磁石５２ｃの磁力と同じ方向であれば、磁路部材４６は電磁アクチュエータ５２とのクリアランスが減少する方向に変位する。
【００５６】
このように、板バネ４８は電磁アクチュエータ５２が発生する磁力によって上下両方向に変位可能であり、板バネ４８が上下に変位すれば、主流体室６６の容積が変化し、その容積変化によって支持弾性体３２の拡張方向ばねが変形するから、このエンジンマウント２０に正逆両方向の能動的な支持力が発生するのである。そして、駆動信号ｙとなる適応ディジタルフィルタＷの各フィルタ係数Ｗ１  は同期式Ｆｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ  ＬＭＳアルゴリズムに従って逐次更新されるため、ある程度の時間が経過して適応ディジタルフィルタＷの各フィルタ係数Ｗｉ  が最適値に収束した後は、駆動信号ｙがエンジンマウント２０に供給されることによって、エンジン２２からエンジンマウント２０を介してメンバ２８側に伝達されるアイドル振動やこもり音振動が低減されるようになる。
【００５７】
ここで、エンジン２２側からエンジンマウント２０に入力される振動の周波数が、ブレーキング時のシェイク振動周波数の近傍であれば、本実施形態では、主流体室６６を第２オリフィス７０Ａを介して第２副流体室７０Ｂに連通させており、しかもその流体共振系の共振周波数をシェイク振動周波数に一致させているため、主流体室６６の容積が変動すると第２オリフィス７０Ａを通じて主流体室６６及び第２副流体室７０Ｂ間に流体移動による流体共振が発生する。その結果、シェイク振動に対して高減衰力を与えることができ、良好な防振効果を得ることができる。
【００５８】
また、エンジン２２側からエンジンマウント２０に入力される振動の周波数が、車両停車中のアイドル振動周波数の近傍となると、その周波数で主流体室６６も容積変化が生じても第２オリフィス７０Ａ内の流体はそのアイドル振動周波数に追従できずスティック状態となるため、第２オリフィス７０Ａを介した主流体室６６及び第２副流体室７０Ｂ間での流体の移動は生じない。したがって、主流体室６６内の容積変動は、第１オリフィス６８Ａを介して第１副流体室６８Ｂに伝達されるが、この流体共振系の共振周波数はアイドル振動周波数に一致させているので、主流体室６６の容積がその周波数で周期的に変化しても第１オリフィス６８Ａ内の流体はスティック状態とならず、主流体室６６内の圧力変化が直接作用する第１オリフィス６８Ａを介して主流体室６６及び第１副流体室６８Ｂ間で流体の移動が生じる。これにより、第１オリフィス６８Ａを通じて主流体室６６及び第２副流体室６８Ｂ間で流体共振が発生するので、同一の電磁アクチュエータ５２によってより大きな制御力を発生することができる。特にエンジン２２側で発生する振動の振幅が大きいアイドル振動に対して大きな振幅の制御振動を重畳させることができ、良好な防振効果を得ることができるのである。
【００５９】
さらに、エンジン２２側からエンジンマウント２０に入力される振動の周波数が、こもり音振動や加速時騒音振動の周波数の近傍になると、その周波数で主流体室６６も容積変化が生じても第１オリフィス６８Ａ内の流体はそのこもり音振動周波数に追従できずスティック状態となるため、第１オリフィス６８Ａを介した主流体室６６及び第２副流体室６８Ｂ間での流体の移動は生じない。したがって、主流体室６６内の容積変動は、第３オリフィス７２Ａを介して第３副流体室７２Ｂに伝達されるが、この流体共振系の共振周波数はこもり音振動・加速時騒音振動の周波数に一致させているので、主流体室６６の容積がその周波数で周期的に変化しても第３オリフィス７２Ａ内の流体はスティック状態とならず、主流体室６６の容積が変動すると第３オリフィス７２Ａを通じて主流体室６６及び第３副流体室７２Ｂ間で流体共振が発生し、同一の電磁アクチュエータ５２によって、より大きな制御力を発生することができる。
【００６０】
そして、本実施形態のアクチュエータ部３２ｂは、内周面全域に気密シール材４７を接合したアクチュエータケース４５内に、磁路部材４６、板バネ４８、電磁アクチュエータ５２が一体に組み込まれた構造としており、アクチュエータケース４５内部が密閉されているので外部から水分等が流入しない。このため、磁路部材４６、ヨーク５２ａ、永久磁石５２ｃに錆が発生するおそれがなく、磁路部材４６及び永久磁石の間の隙間の精度は変化せず、且つ励磁コイル５２ｂの電磁力も変化しないので、能動的な支持力を高精度に発生することができる。
【００６１】
また、アクチュエータケース４５の上部かしめ部４５ｂの下面と、板バネ４８の上面との間に、Ｏリング４４ａを板バネ４８に接触させてシールリング４４を介在させているので、アクチュエータケース３４の内周面側への流体の流出を確実に防止することができる。
【００６２】
また、マウント部２１ａは、内周面に液密シール材３９を接合した外筒３８に内筒３４が内嵌された構造としているので、第１〜第３オリフィス６８Ａ、７０Ａ、７２Ａ及び第１〜第３副流体室６８Ｂ、７０Ｂ、７２Ｂ内に封入されている流体の液密を確実に保持することができる。
【００６３】
そして、本実施形態では、マウント部材を予め組み込んで液密を確保した外筒３８と、アクチュエータ部品を組み込んで気密を確保したアクチュエータケース４５とを装置ケース４３に内嵌するだけで組み立て工程が終了するので、装置コストの低減化を図ることができる。
【００６４】
また、装置ケース４３内で外筒３８及びアクチュエータケース４５の端面を互いに当接すると、薄膜弾性体３２ａの下端部が上部かしめ部４５ｂの上面に当接して圧縮された状態で弾性変形して液密シール部材となるので、マウント部２１ａの液密をさらに確保することができる。
【００６５】
さらに、本実施形態のエンジンマウント２０は、エンジン側連結部材３０及び車体側連結部材５６の間の支持力の伝達経路、すなわち、エンジン側連結部材３０、支持弾性体３２、内筒３４、アクチュエータケース４５及び車体側連結部材５６の支持力の伝達経路に、液密シール材３９及び気密シール材４７が介在していないので、長期間使用してもシール材の劣化のおそれがなく、常にエンジンマウント２０内の気密及び液密を確保し、能動的な支持力を高精度に発生することができる。
【００６６】
なお、上記実施形態では、本発明に係る防振支持装置を、エンジン２２を支持するエンジンマウント２０に適用した場合を示しているが、本発明に係る防振支持装置の適用対象はエンジンマウント２０に限定されるものではなく、例えば振動を伴う工作機械の防振支持装置等であってもよい。
【００６７】
また、内筒３４の断面形状をコ字形とすることにより小径部３４ｃを形成するようにしているが、これに限定されるものではなく、その内周側に第３オリフィス７２Ａを形成するものであれば、他の形状であってもよい。
【００６８】
さらに、流体通路を形成する第１通路４０ｂ１  及び第２通路４０ｂ２  を、軸方向に異なる通路として形成したが、これに限定されるものではなく、長い通路として形成されるものであれば、例えば蛇行する通路として形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の防振支持装置の配置状態を示す全体構成図である。
【図２】防振支持装置の軸方向に沿った断面を示す図である。
【図３】本発明に係る気密シール材及び液密シール材を示す装置の軸方向に沿った断面拡大図である。
【図４】防振支持装置の車体側連結部材側を示す図である。
【図５】防振支持装置を軸方向に直交する方向に切断した状態の断面を示す図である。
【図６】防振支持装置の構成部品である第２オリフィス構成部材の要部を示した斜視図である。
【符号の説明】
２０  エンジンマウント（防振支持装置）
２２  エンジン（振動体）
２８  メンバ（支持体）
３２  支持弾性体
３２ａ  薄膜弾性体の下端部（膨出弾性部）
３４  内筒（筒状部材）
３４ｅ  内筒の下端筒部（筒状部材の可動部材側を向く端部）
３８  外筒（マウントケース）
３９  液密シール材
４３  装置ケース
４４  シールリング
４５  アクチュエータケース
４５ｂ  かしめ部（アクチュエータケースの端部）
４６  磁路部材（可動部材）
４７  気密シール材
４８  板バネ（可動部材）
５２  電磁アクチュエータ
６６  主流体室
６８Ａ、７０Ａ、７２Ａ  オリフィス（流体室）
６８Ｂ、７０Ｂ、７２Ｂ  副流体室（流体室）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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