(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁形状に合致した凹凸部を有するブレードを押出成形機の金型に備え、該金型を通じて原料を押出成形することによって、隔壁を備えた背面板を成形し、得られた成形体を硬化させる工程からなるプラズマ表示装置用基板の製造方法。
【請求項２】
上記隔壁の側面に、上記背面板の主面と平行な方向に延びる摺動痕を有することを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置用基板の製造方法。
【請求項３】
上記背面板に、銀、ニッケル、アルミニウムの導体金属、あるいはこれらの合金、またはその合金に少量のガラスを混合した導電性ペーストを用いてアドレス電極を形成することを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置用基板の製造方法。
【請求項４】
上記ブレードの凹凸部には、金属材の表面にＴｉＣや硬質炭素の硬質薄膜を形成したもの、または、ジルコニアセラミックスを用いたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示装置用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高精度かつ安価な薄型の大画面用カラー表示装置等に用いられるプラズマ表示装置（プラズマディスプレイパネル：以下ＰＤＰと言う）用基板及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から画像表示装置として多用されてきたＣＲＴは、容積及び重量が大で高電圧が必要であるとういう欠点から、近年のマルチメデイ  アの浸透に伴い情報のインターフェースとして発光ダイオード（ＬＥＤ）や液晶表示素子（ＬＣＤ）、あるいはＰＤＰ等の大型画面で高画質、その上、薄型軽量で設置場所を選ばない等の特徴を有する平面画像表示装置が開発され、これらの利用範囲が拡大しつつある。
【０００３】
かかる平面画像表示装置として、とりわけプラズマ発光を利用したＰＤＰが大型画面用カラー画像表示装置の発光素子として将来性が注目されている。
【０００４】
このようなＰＤＰは、図１に示すように背面板１上に複数の隔壁２を備えて各隔壁２間に蛍光体４を塗布して放電表示セル５とし、該放電表示セル５の底部にアドレス電極３を備え、一方、透明な正面板にはアドレス電極３と直交する方向に放電電極７を備えており、上記放電表示セル５に希ガス等を封入して正面板６を隔壁２上に接合したものである。そして、アドレス電極３と放電電極７間に電圧を選択的に印加して放電によりプラズマを発生させ、該プラズマから放出される紫外光により放電表示セル５内壁に形成された蛍光体４を発光させて画像表示装置の発光素子として利用するものである。
【０００５】
上記ＰＤＰの製造方法は、背面板１の一面に平行な多数の隔壁２を形成するとともに、隔壁２間の放電表示セル５の底部にアドレス電極３を備え、この放電表示セル５の内面に蛍光体４を塗布し、一方、放電電極７として透明電極を備えた正面板６を隔壁２上に接合して、放電表示セル５内に希ガスを封入することにより、ＰＤＰを構成する。
【０００６】
ここで、隔壁２を微小なピッチでしかも高精度に作製するためにさまざまな製造方法が提案されている。例えば、背面板１上に、隔壁材料から成るペーストをスクリーン印刷法により隔壁２のパターンで印刷・乾燥を繰り返し、所定高さまで積み重ねて隔壁２の形成を行う方法がよく知られている。
【０００７】
あるいは、背面板１上に所定厚みで隔壁材料を層状に形成し、該隔壁材料層にレジスト膜を被着してフォトリソグラフィ法によりレジストマスクを作成し、該レジストマスクを介してサンドブラスト加工により不必要な部分を研削除去して所望形状の隔壁２を形成することも提案されている（特開平９−２９６３８号公報参照）。
【０００８】
さらに、隔壁２の形状に合致した凹部を備えた型を用意し、この型に隔壁材料を充填して背面板１上に押しつけた後、離型する方法も提案されている（特開平１−１３７５３４号公報参照）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のＰＤＰ用基板では、隔壁２の側面に塗布した蛍光体４が底面側に垂れてしまい、発光度を高くできないという問題があった。
【００１０】
また、上記のＰＤＰ用基板の製造方法のうち、上記印刷積層法では、何回も印刷、積層を繰り返すために工程数が多くなり、しかも高精度に隔壁２を形成することが困難であった。
【００１１】
さらに、サンドブラスト法でも工程が複雑であり、隔壁２を高精度に形成することが困難であった。
【００１２】
また、型を用いて隔壁２を形成する方法では、容易に高精度の隔壁２を形成することができるものの、型の形状がそのまま転写されるために、型を極めて高いせいど形成しておく必要があり、面積の大きなＰＤＰ用基板を作製する場合は、型の製造が困難であった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記問題点に鑑みて本発明は、隔壁形状に合致した凹凸部を有するブレードを押出成形機の金型に備え、この金型を通じて原料を押出成形することによって、隔壁を備えた背面板を成形し、得られた成形体を硬化させる工程からなることを特徴とするものである。
また、上記隔壁の側面に、背面板の主面と平行な方向に延びる摺動痕を有することを特徴とするものである。
また、上記背面板に、銀、ニッケル、アルミニウムの導体金属、あるいはこれらの合金、またはその合金に少量のガラスを混合した導電性ペーストを用いてアドレス電極を形成することを特徴とするものである。
また、上記ブレードの凹凸部には、金属材の表面にＴｉＣや硬質炭素の硬質薄膜を形成したもの、または、ジルコニアセラミックスを用いたことを特徴とするものである。
【００１４】
また本発明は、背面板の主面上に隔壁をなすスラリーを塗布するか又は背面板自体を可塑材で形成する工程、隔壁形状に合致した凹凸形状を有するブレードを上記背面板の主面上に押し当てながら両者を相対的に移動することによって、上記主面に隔壁を形成する工程、上記隔壁を硬化させる工程からなるプラズマ表示装置用基板の製造方法を特徴とする。
【００１５】
さらに本発明は、隔壁形状に合致した凹凸部を有するブレードを押出成形機の金型に備え、この金型を通じて原料を押出成形することによって、隔壁を備えた背面板を成形し、得られた成形体を硬化させる工程からなるプラズマ表示装置用基板の製造方法を特徴とする。
【００１６】
また本発明は、移動するシート上にスラリーを供給しながらグリーンシートを成形する方法において、隔壁形状に合致した凹凸部を有するブレードをスラリー供給部に備え、このブレードを通過させることによって、隔壁を備えたグリーンシートを成形し、得られた成形体を硬化させる工程からなるプラズマ表示装置用基板の製造方法を特徴とする。
【００１７】
【作用】
本発明によれば、隔壁形状に合致した凹凸部を有するブレードを用い、このブレードを押し当てながら移動させて隔壁を形成するか又はこのブレードを用いて押出成形あるいはシート成形するため、簡単な工程で製造することができる。しかも、ブレードの凹凸部のみを高精度に形成しておくだけで、隔壁を高精度に形成することができるため、簡単な工程で高精度の隔壁を備えたＰＤＰ用基板を得ることができる。
【００１８】
また、このような方法で製造したＰＤＰ用基板は、隔壁の側面にブレードの凹凸部との摺動痕が存在し、これによって塗布した蛍光体が垂れることを防止できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のＰＤＰの製造方法について、図面に基づき説明する。
【００２０】
図１は本発明のＰＤＰ用基板の断面図である。背面板１はソーダライムガラスや各種セラミックスからなる絶縁基板であり、背面板１には複数の互いに平行な隔壁２が形成されて放電表示セル５を成しその底部にアドレス電極３が形成される。
【００２１】
そして、上記表示セル５に蛍光体４を塗布し、隔壁２上に放電電極７を備えた正面板６を接合すればプラズマ表示装置を構成することができる。
【００２２】
また、図２に示すように、上記隔壁２の側面には、背面板１の主面と平行な方向に延びる多数の摺動痕２ａを有している。この摺動痕２ａとは、後述する製造方法によって形成されるものであり、微小な凹凸溝のことである。そして、このような摺動痕２ａが存在することによって、この側面に塗布した蛍光体４は底面方向に垂れにくくなり、ＰＤＰとして用いる際の発光度を高くすることができる。
【００２３】
このようなＰＤＰ用基板の製造方法は以下の通りである。
【００２４】
まず、図３に示すように隔壁２を形成するためのブレード１０を用意する。このブレード１０は、金属又はジルコニア等のセラミックスからなる板状体であり、その先端に隔壁２の形状に合致した凹凸部１１を高精度に形成したものである。
【００２５】
次に、図４（ａ）に示すように、背面板１の主面に所定の粘度としたスラリー状の隔壁材料１２を塗布する。その後、図４（ｂ）に示すようにこの隔壁材料１２上に上記ブレード１０の凹凸部１１を押し当てながら、ブレード１０を矢印方向へ移動させる。この時、隔壁材料１２はブレード１０の凹凸部１１の形状に応じて掻き取られることにより、平行な多数の隔壁２を形成することができる。なお、この工程では、ブレード１０を移動させる代わりに背面板１を移動させても良く、要は両者を相対的に移動させれば良い。
【００２６】
最後に、所定条件で熱処理を施すことなどによって上記隔壁２を硬化させればＰＤＰ用基板を作製することができる。
【００２７】
なお、上記製造方法では、スラリー状の隔壁材料１２を塗布したが、背面板１自体を所定の粘度の可塑剤で形成しておき、この主面に直接ブレード１０を押し当てて移動させることにより、隔壁２を形成することもできる。ここで、背面板１を所定の粘度とするためには、背面板１をガラスで形成して加熱溶融させたり、あるいは所定のバインダーを添加したセラミックスやガラスの成形体とすれば良い。
【００２８】
本発明の参考例の製造方法として、押し出し成形を用いる。
【００２９】
図５に示すように、押出成形機用の金型２０の開口部２１を覆うように、上記ブレード１０を取り付けておき、ブレード１０の凹凸部１１で覆われた開口部２１から所定の原料を押出成形すれば、隔壁２を備えた背面板１を成形することができ、これを所定条件で焼成又は加熱硬化することで、ＰＤＰ用基板を得ることができる。
【００３０】
また本発明の参考例の製造方法として、シート成形を行うこともできる。図６に示すように移動するシート３１上にスラリー供給部３０からスラリー３２を供給することによって、シート３１上にグリーンシート３３を成形していくが、この時、上述したようなブレード１０をスラリー供給部３０に備え、スラリー３２をこのブレード１０に通過させることによって、隔壁形状を備えたグリーンシート３３を得ることができる。その後、グリーンシート３３を所定形状に切断し、焼成又は加熱硬化することでＰＤＰ用基板を得ることができる。
【００３１】
このような本発明の製造方法によれば、凹凸部１１を備えたブレード１０を用いることによって、極めて簡単な工程で隔壁２を形成できる。また、凹凸部１１を高精度に形成しておけば、隔壁２も高精度に形成することができる。
【００３２】
さらに、本発明の製造方法によれば、隔壁２の側面などにブレード１０の移動方向にそった摺動痕２ａが存在することになるが、この摺動痕２ａによって塗布した蛍光体４が垂れ落ちることを防止し、発光度を高めることができる。
【００３３】
なお、ブレード１０の特に凹凸部１１は、耐摩耗性に優れた材質とすることが好ましく、ステンレス等の金属材を用いたり、表面にＴｉＣや硬質炭素等の硬質薄膜を形成したり、ジルコニアなどのセラミックスを用いることが好ましい。また、図４（ｂ）に示すように、背面板１に押し当てる際にブレード１０が若干たわむような厚みにしておくことが好ましい。
【００３４】
なお、ＰＤＰ用基板に備えるアドレス電極３については、予め図４（ａ）に示す工程で背面板１と隔壁材料１２の間に形成しておき、図４（ｂ）に示す工程で、各アドレス電極３間に隔壁２を形成すれば良い。
【００３５】
本発明に使用できる隔壁材料１２としては、焼成後にガラス質となり、気密性を保持できるガラス材料やセラミックスあるいはこれらの混合物であれば何れでも良い。例えば、低融点ガラス粉末と酸化物セラミック粉末の混合物等を無機成分として使用することができ、該無機成分と溶媒及び有機性添加物の混合物を適宜、隔壁２の成形条件に応じて調製して使用することができる。
【００３６】
前記低融点ガラス粉末としては、ケイ酸塩を主成分とし、鉛、硫黄、セレン、明礬等の一種以上を含有した各種ガラス材料を用いることができる。なお、前記セラミックス又はガラス粉末の粒径は、数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に用いることができ、具体的には、０．２〜１０μｍ、好ましくは０．２〜５μｍの範囲が望ましい。
前記溶媒としては、前記有機性添加物と相容するものであれば特に限定するものではなく、溶媒を緩やかに揮発させるためには、２種類以上を併用することも可能である。
前記有機性添加物としては、熱可塑性樹脂、あるいは紫外線硬化樹脂、光硬化樹脂、熱硬化性樹脂等の反応硬化性樹脂を用いることができる。その他としては、分散剤、離型剤、硬化剤、滑剤、可塑剤等の各種有機物を挙げることができる。
【００３７】
また、本発明の背面板１として用いる基板としては、ソーダライムガラスや低ソーダガラス、鉛アルカリケイ酸ガラス、ホウケイ酸塩ガラス等の透明ガラス基板を用いることができ、隔壁材料と熱膨張係数が近似していることが望ましい。特に高歪点低ソーダガラスが好適である。
【００３８】
また、背面板１に形成するアドレス電極３としては、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）等の導体金属、あるいはこれらの合金、または前記導体金属やその合金に少量のガラスを混合した導電性ペーストを用いて形成することができる。
【００４０】
さらに、この工程で隔壁材料１２と背面板１の界面には、無機系、有機系いずれの接着剤を用いることも可能である。例えば、シランカップリング剤やチタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤を使用することができ、中でも反応性の高いシランカップリング剤が好適である。
【００４１】
【実施例】
先ず、厚さ２．８ｍｍの４２インチサイズのソーダライムガラスから成る背面板１上に、厚膜印刷法によりＡｇを主成分とする電極ペーストを用いて幅８０μｍのアドレス電極３をストライプ状に３６０μｍピッチで全面に形成して焼き付け、アドレス電極３付き背面板１を作製した。
【００４２】
一方、図２に示すように、頂点幅が４０μｍ、高さが２００μｍ、ピッチが３６０μｍに相当する隔壁形状の凹凸部１１を備えたブレード１０を準備した。
【００４３】
図５に示すように、押出成形機用の金型２０の開口部２１を覆うように、上記ブレード１０を取り付けておき、ブレード１０の凹凸部１１で覆われた開口部２１から所定の原料を押出成形すれば、隔壁２を備えた背面板１を成形することができ、これを所定条件で焼成又は加熱硬化することで、ＰＤＰ用基板を得ることができる。
【００４４】
次いで、隔壁２を形成した背面板１を所定温度に保持して脱バインダーした後、各材料主成分により焼成雰囲気を適宜変更し、５５０〜６００℃の温度で１０分間焼成して背面板１と隔壁２が一体化したＰＤＰ用基板を作製した。
【００４５】
かくして得られた評価用のＰＤＰ用基板について、隔壁２を正面板６と接する方向からＣＣＤカメラで拡大投影したモニター画面を通して隔壁２を観察した結果、隔壁２の表面にはクラックは認めらず、良好なＰＤＰ用基板であった。
【００４６】
一方、比較例として、まず、実施例同様のアドレス電極３付き背面板１を作製した。その後、前記背面板１にスクリーン印刷にて誘電体層を形成し、次に、スクリーン印刷にて印刷・  乾燥を１５回繰り返して隔壁２を形成した。その後、脱バインダー、焼成し、比較例のＰＤＰ用基板を作製した。
【００４７】
その後、実施例１同様に評価した結果、隔壁２の不特定箇所でクラックが１６ヶ所で検出され、良好なＰＤＰ用基板を得ることができなかった。
【００４８】
【発明の効果】
以上のように本発明のＰＤＰ用基板の製造方法によれば、隔壁形状に合致した凹凸部を有するブレードを用いて隔壁を形成することによって、簡単な工程で高精度に隔壁を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＰＤＰ用基板の断面図である
【図２】本発明に係るＰＤＰ用基板の斜視図である
【図３】本発明のＰＤＰ用基板の製造方法に用いるブレードを示す斜視図である。
【図４】（ａ）（ｂ）は本発明の参考例のＰＤＰ用基板の製造方法を示す斜視図である。
【図５】本発明のＰＤＰ用基板の製造方法を示す斜視図である。
【図６】本発明の参考例のＰＤＰ用基板の製造方法を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  ：背面板
２  ：隔壁
３  ：アドレス電極
４  ：蛍光体
５  ：表示セル
６  ：正面板
７  ：放電電極
１０  ：ブレード
１１  ：凹凸部
１２  ：隔壁材料層
【図１】
0003563633.tif 000002
【図２】
0003563633.tif 000003
【図３】
0003563633.tif 000004
【図４】
0003563633.tif 000005
【図５】
0003563633.tif 000006
【図６】
0003563633.tif 000007