(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定信号をＦＦＴ処理して互いに周期の異なる複数の周期性ノイズ信号の周波数を第１の周波数として複数検出する第１のノイズ周波数検出部と、
複数の前記第１の検出周波数と前記測定信号とを解析し、個々の前記第１の検出周波数と測定信号との間の相互相関関数を複数求めるとともに、各々の相互相関関数に基づき、各相互相関関数の得られた時点以降について各々の前記周期性ノイズ信号に係る振幅及び位相を演算し、これら及びこれらに対応する前記第１の検出周波数をノイズ信号情報として出力するノイズ信号解析部と、
前記ノイズ信号情報から複数の前記周期性ノイズ信号をキャンセルするキャンセル信号を作成するキャンセル信号作成部と、
前記測定信号と前記キャンセル信号を演算して複数の前記周期性ノイズ信号をキャンセルする信号キャンセル部と、
を具備することを特徴とするノイズキャンセル装置。
【請求項２】
前記キャンセル信号作成部は、複数の前記周期性ノイズ信号をキャンセルする合成キャンセル信号を作成し、前記信号キャンセル部は、前記合成キャンセル信号を用いてキャンセルするよう形成された請求項１記載のノイズキャンセル装置。
【請求項３】
複数の前記相互相関関数に基づき、対応する各々の前記ノイズ信号情報を求めた時点における各々の前記周期性ノイズ信号の周波数を第２の検出周波数として複数検出する第２のノイズ周波数検出部を有し、前記ノイズ信号解析部は、各々の前記第２の検出周波数でこれらに対応する各々の前記ノイズ信号情報を再演算して出力するものである請求項１又は２記載のノイズキャンセル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はノイズキャンセル装置に係り、例えば射出成形機、押出成形機、乾燥炉、半導体製造装置などの機械、装置から出力される温度、流量、圧力などの測定信号に含まれる互いに周期の異なる複数の周期性ノイズをキャンセルするノイズキャンセル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
射出成形機、押出成形機、乾燥炉、半導体製造装置などの機械、装置は、商用交流電源で動作したり、その設置環境内に別の機器が配置されることが多い。
【０００３】
そのため、それら機械、装置から得られる測定信号としてのアナログ信号には５０Ｈｚや６０Ｈｚの商用交流電圧がノーマルモードノイズとして測定値に混入し、測定値が商用交流電圧によって変動する心配があった。
【０００４】
さらに、５０Ｈｚや６０Ｈｚといった商用交流電圧以外にも種々の周期性ノイズが測定値に混入する心配もあった。
【０００５】
そして、従来、商用交流電圧などの周期性ノイズを除去する手法として、商用交流電圧周波数を減衰させるローパスフィルタ及びバンドエリミネーションフィルタ（帯域阻止フィルタ）などの各種フィルタや、商用交流電圧の複数周期を順次平均化して周期性ノイズの影響をキャンセルする移動平均処理が採用されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、それらローパスフィルタやバンドエリミネーションフィルタを用いてフィルタ処理を行ったり、移動平均処理を行うと、フィルタの持つ周波数特性によって本来の測定信号に遅れが生じ、その後に続く処理、例えば設定値との偏差をＰＩＤ演算して操作量を得る処理が遅れるなど、応答性に好ましくない影響を及ぼし易い難点がある。
【０００７】
また、それら各種フィルタ処理や移動平均処理では、キャンセルするノイズ信号の周波数が既知であることが前提であり、周波数が分からない周期性ノイズや周期性ノイズの周波数が変動したり、それら周期性ノイズが複数混入した場合、それをキャンセルし難い欠点がある。
【０００８】
本発明はそのような従来の欠点を解決するためになされたもので、測定信号を遅延させることなく商用交流電圧などの周期の異なる複数の周期性ノイズをキャンセルできるうえ、各々の周期性ノイズの周波数が分からなくとも又は変動してもキャンセル可能なノイズキャンセル装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そのような課題を解決するために本発明に係るノイズキャンセル装置は、測定信号をＦＦＴ処理して互いに周期の異なる複数の周期性ノイズ信号の周波数を第１の周波数として複数検出する第１のノイズ周波数検出部と、それらの第１の検出周波数と測定信号とを解析し、それら各々の第１の検出周波数と測定信号との間の相互相関関数を複数求めるとともに、各々の相互相関関数に基づき、各相互相関関数の得られた時点以降について各々の周期性ノイズ信号に係る振幅及び位相を演算し、これら及びこれらに対応する第１の検出周波数をノイズ信号情報として出力するノイズ信号解析部と、そのノイズ信号情報からそれら複数の周期性ノイズ信号をキャンセルするキャンセル信号を作成するキャンセル信号作成部と、それら測定信号とキャンセル信号を演算してそれら複数の周期性ノイズ信号をキャンセルする信号キャンセル部とを有して構成されている。
【００１０】
そして、本発明では、複数のそれら周期性ノイズ信号をキャンセルする合成キャンセル信号を作成するよう上記キャンセル信号作成部を形成し、その合成キャンセル信号を用いて複数の周期性ノイズ信号をキャンセルするよう上記信号キャンセル部を形成することも可能である。
【００１１】
また、本発明は、複数のそれら相互相関関数に基づき、これらに対応する各々ノイズ信号情報を求めた時点における各々の周期性ノイズ信号の周波数を第２の検出周波数として複数検出する第２のノイズ周波数検出部を有し、各々の第２の検出周波数でこれらに対応する各々のノイズ信号情報を再演算して出力するよう上記ノイズ信号解析部を形成することが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明は、複数の上記第１の検出周波数とこれらに対応する各々の第２の検出周波数とを比較し、その第２の検出周波数がこれらに対応する第１の検出周波数に関する許容範囲内にあれば対応する第２の検出周波数を、その許容範囲外にあれば対応する第１の検出周波数を上記ノイズ信号解析部に出力する検出周波数判定部を有することが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明に係るノイズキャンセル装置の実施の形態を示すブロック図である。
【００１４】
図１において、図示しない射出成形機、押出成形機、乾燥炉、半導体製造装置などの機械、装置に配置された熱電対や測温抵抗体から出力された測定信号（図２参照）は、第１のノイズ周波数検出部１、信号キャンセル部３及びノイズ信号解析部５に入力される。
【００１５】
なお、以下の説明では、便宜上、測定信号に周期性ノイズとして１個の商用交流電圧（例えば５０Ｈｚ）に加えて周期の異なる別の１個のノイズ信号、すなわち２個の周期性ノイズ信号が含まれているとして説明する。
【００１６】
第１のノイズ周波数検出部１は、測定信号をＦＦＴ（Ｆａｓｔ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）処理することにより測定信号を周波数領域のデータに変換し、得られた周波数成分の線スペクトルにより、商用電源周波数の近傍の周波数で突出して大きくなっている複数の線スペクトル周波数を商用交流電圧ノイズをはじめとする複数の周期性ノイズとして検出し、数秒毎例えば４秒毎に、当該第１の検出周波数としての２個のｃｏｓ波信号を出力するもので、ノイズ信号解析部５に接続されている。
【００１７】
第１のノイズ周波数検出部１は、ｃｏｓ波信号に代えてｓｉｎ波信号を第１の検出周波数として出力することも可能である。
【００１８】
第１のノイズ周波数検出部１については、測定信号をＦＦＴ処理する場合、ＦＦＴ処理で求められるすべての周波数領域について解析することも、予測できる周期性ノイズの周波数を考慮した領域などを処理範囲に設定して周波数を検出することも可能である一方、本来の測定信号の変動として考え難い周波数領域を処理範囲として設定しないようにすることも可能である。
【００１９】
ノイズ信号解析部５は、第１のノイズ周波数検出部１で検出された周期性ノイズ信号の周波数に関する２個のｃｏｓ波信号及び上記測定信号を入力し、それら個々のｃｏｓ波信号と測定信号との間の個々の相互相関関数を各周期性ノイズ信号毎に求めるものであり（図２参照）、キャンセル信号作成部７及び第２のノイズ周波数検出部９に接続されている。
【００２０】
ディジタル信号処理の分野では、相互相関関数は、２つの信号（次式のｘ（ｎ）、ｙ（ｎ））の類似度を数値として示す関数で、次式のようなｋの関数として定義されている。
【００２１】
【数１】
0003593697.tif 000002
【００２２】
この式のｘ（ｎ）を上述したｃｏｓ波として、ｙ（ｎ＋ｋ）を上述した測定信号として求めた相互相関関数は、その測定信号に含まれるｃｏｓ波もしくはそのｃｏｓ波前後の周波数の周期信号として求められ、その波形からその測定信号に含まれる周波数、振幅および位相を求めることが可能となる。
【００２３】
つまり、ノイズ信号解析部５は、２個のノイズ信号に対応した２個の相互相関関数に基づき対応する各ノイズ信号の振幅と位相を求め、この時点以降の各々のノイズ信号の周波数、振幅及び位相をノイズ信号情報１、２として出力するものである。
【００２４】
すなわち、ノイズ信号解析部５は、２個の相互相関関数の得られた時点以降について、各周期性ノイズ信号の振幅及び位相を予測し、第１のノイズ周波数検出部１で検出された２個の第１の検出周波数とともにキャンセル信号作成部７へノイズ信号情報１、２として出力する機能を有している。
【００２５】
また、ノイズ信号解析部５は、求められた２個の相互相関関数を第２のノイズ周波数検出部９へ出力する機能も有している。
【００２６】
第２のノイズ周波数検出部９は、ノイズ信号解析部５で求めた２個の相互相関関数を入力し、それら各々の相互相関関数に基づき、各相互相関関数を求めた時点におけるそれら各々に対応する周期性ノイズ信号の周波数（ｃｏｓ波信号又はｓｉｎ波信号）を第２の検出周波数として、例えば数百ｍ秒毎に再検出するものであり、ノイズ信号解析部５に接続されている。
【００２７】
各相互相関関数から検出された対応する２個の第２の検出周波数は、各相互相関関数を求めた時点毎の実際の測定信号に含まれる周波数であり、第１のノイズ周波数検出部１からの各第１の検出周波数よりも誤差が少なく変動にも追随している。
【００２８】
そして、ノイズ信号解析部５は、上述した機能に加えて、第２のノイズ周波数検出部９から対応する２個の第２の検出周波数が入力されると、それらの第２の検出周波数に基づき２個の相互相関関数を再演算して求めるとともに、これらの相互相関関数に基づき対応する２個のノイズ信号の振幅と位相を再演算し、それら振幅、位相及び第２の検出周波数をノイズ信号情報１、２として出力する機能を有している。
【００２９】
そのため、第１のノイズ周波数検出部１にて周波数を検出した後に次の周波数を検出するまでの間、測定信号中に乗った各周期性ノイズ信号の周波数が多少変動しても、キャンセル信号の元になるノイズ信号情報１、２中の周波数の修正が可能となっている。
【００３０】
キャンセル信号作成部７は、図３に示すように、それらのノイズ信号情報１、２に基づき、測定信号に乗っているノイズ信号と周波数及び振幅が同じで逆位相のそれら各々のノイズ信号に対応する２個のキャンセル信号１、２を作成するとともに、それらを合成した合成キャンセル信号を作成するものであり、信号キャンセル部３に接続されている。
【００３１】
信号キャンセル部３は、図４に示すように、測定信号にキャンセル信号作成部７からの合成キャンセル信号を加算する機能を有し、測定信号から２個の周期性ノイズ信号をキャンセルした測定信号（出力信号）を出力するものであり、例えば図示しない制御装置の測定信号入力部に接続されている。
【００３２】
上述した図１の各ブロックは、一般に、検出機能、解析機能又は演算制御機能などを処理するＣＰＵなどや、このＣＰＵなどの動作プログラムを格納したＲＯＭ、それら検出機能、解析機能又は演算処理の過程で一次的にデータを格納するＲＡＭ、及び入出力インタフェースＩ／Ｏなどで構成される。以下の構成でも同様である。
【００３３】
次に、上述した本発明のノイズキャンセル装置の動作を簡単に説明する。
商用交流電圧ノイズと別の周期性ノイズが１個ずつ含まれた測定信号が第１のノイズ信号周波数検出部１に加えられると、その測定信号がＦＦＴ処理されて２個の周期性ノイズ信号の周波数が検出され、２個の第１の検出周波数がノイズ信号解析部５へ出力される。
【００３４】
ノイズ信号解析部５では、図２に示すように、測定信号及び各々の第１の検出周波数の相互相関関数を各々求め、対応する２個の相互相関関数に基づきそれら各々のノイズ信号の振幅及び位相を演算し、２個の第１の検出周波数とともにそれら各々の振幅及び位相をノイズ信号情報１、２としてキャンセル信号作成部７へ出力する一方、第２のノイズ周波数検出部９へそれら２個の相互相関関数を出力する。
【００３５】
第２のノイズ周波数検出部９では、各々の相互相関関数に基づきノイズ信号の相互相関関数を求めた時点における対応する２個の第２の検出周波数を検出し、これらの第２の検出周波数をノイズ信号解析部５へ出力する。
【００３６】
ノイズ信号解析部５では、第２のノイズ周波数検出部９から２個の第２の検出周波数が入力されると、それら各々の第２の検出周波数に基づき対応する相互相関関数を求めて振幅と位相を再演算し、これら第２の検出周波数と再演算した振幅及び位相をノイズ信号情報１、２としてキャンセル信号作成部７へ出力する。
【００３７】
キャンセル信号作成部７では、図３に示すように、測定信号に乗っている２個のノイズ信号と周波数及び振幅が同じで逆位相の各キャンセル信号１、２を作成するとともに、これらを合成した合成キャンセル信号を作成し、信号キャンセル部３では、図４に示すように、測定信号にその合成キャンセル信号を加算し、２個のノイズ信号をキャンセルして出力する。
【００３８】
このように本発明に係るノイズキャンセル装置は、第１のノイズ周波数検出部１にて測定信号をＦＦＴ処理して商用交流電圧ノイズ信号を含む２個のノイズ信号に関する２個の第１の検出周波数を検出し、ノイズ信号解析部５にてそれら第１の検出周波数と測定信号との相互相関関数を各々求め、これらの相互相関関数に基づき、これらの相互相関関数を求めた時点以降について、測定信号に乗っているノイズ信号の振幅及び位相を求め、これら及び第１の検出周波数をノイズ信号情報１、２として出力し、キャンセル信号作成部７ではそれらのノイズ信号情報１、２から周期性ノイズ信号をキャンセルする合成キャンセル信号を作成し、信号キャンセル部３にてそれら測定信号と合成キャンセル信号を演算し、その商用交流電圧ノイズ信号を含むノイズ信号をキャンセルするよう構成した。
【００３９】
そのため、本発明では、測定信号に乗っている商用交流電圧を含む周期性ノイズ信号の振幅及び位相を演算してキャンセルするから、商用交流電圧を含む複数の周期性ノイズを確実に除去できるし、測定信号を遅延させることがない。
【００４０】
しかも、商用交流電圧を含む周期性ノイズ信号の周波数、振幅及び位相を自動的に検出予測して合成キャンセル信号を作成できるから、商用交流電圧や周期性ノイズ信号の周波数が分からなくとも除去可能となる。
【００４１】
さらに、第２のノイズ周波数検出部９にて、それら相互相関関数に基づき、この相互相関関数を求めた時点における各々のノイズ信号の周波数を第２の検出周波数として再検出し、ノイズ信号解析部５ではそれらの第２の検出周波数によって対応する２個の相互相関関数を求めるとともにノイズ信号の振幅及び位相を再計算し、ノイズ信号情報１、２としてキャンセル信号作成部７へ出力するから、ノイズ信号の周波数が多少変動しても、合成キャンセル信号がそれに速やかに追随し、確実にキャンセル可能となる。
【００４２】
第１のノイズ周波数検出部１からの２個の第１の検出周波数にはＦＦＴ処理時の分解能誤差が含まれる可能性があり、第２のノイズ周波数検出部９からのより正確な対応する２個の第２の検出周波数を用いることにより、正確かつ確実なノイズキャンセルが可能である。
【００４３】
上述した構成においては、ＣＰＵの演算速度などに起因し、第１の検出周波数により相互相関関数を求めた時点でノイズ信号情報を第２のノイズ周波数検出部９からの第２の検出周波数によって再計算する時間がない場合などがあり、初回のノイズキャンセル動作は第１の周波数検出部１からの第１の検出周波数に基づいて行い、２回目以降のノイズキャンセル動作は第２のノイズ周波数検出部９からの第２の検出周波数を用いることも可能である。
【００４４】
このような使用形態は、周期性ノイズの周波数などが急激に変化しない場合や、装置自体が第２の検出周波数を２回目以降に用いるシーケンス構成である場合であり、第２の検出周波数を次回のノイズ信号情報に用いても周波数の誤差が少ないと考えられるケースに適用される。
【００４５】
上述した実施の形態は、キャンセル信号作成部７が、２個の周期性ノイズ信号毎にキャンセル信号を作成するとともに、これらを合成した１個の合成キャンセル信号を作成して信号キャンセル部３へ加えてキャンセルする構成であったが、各周期性ノイズ信号に対応したキャンセル信号を合成せずにそのまま信号キャンセル部へ加えてキャンセルする構成も可能であり、信号キャンセル部３はそれら合成前のキャンセル信号によって測定信号を順次キャンセルするよう形成すればよい。
【００４６】
次に、図５を参照して本発明に係るノイズキャンセル装置の他の実施の形態を説明する。
【００４７】
図５に示す構成は、図１の構成と比較すると、検出周波数判定部１１を有し、第１のノイズ周波数検出部１及び第２のノイズ周波数検出部９の出力側が検出周波数判定部１１のみに接続されており、他の構成は図１と同様である。
【００４８】
検出周波数判定部１１は、第１のノイズ周波数検出部１と第２のノイズ周波数検出部９で検出された２個の第１の検出周波数及びこれらに対応する２個の第２の検出周波数のいずれを出力するかを各々の検出周波数毎に判定するものであり、ノイズ信号解析部５に接続されている。
【００４９】
検出周波数判定部１１は、第１のノイズ周波数検出部１から２個の第１の検出周波数が出力される毎に、その時点でそれらの第１の検出周波数がすでに検出されている各々の第２の検出周波数に近い場合、例えば各第２の検出周波数が第１のノイズ周波数検出部１における周波数分解能の範囲内である場合には、それらの第２の検出周波数をノイズ信号解析部５に選択的に出力して第１の検出周波数を出力せず、逆に、その第２の検出周波数が第１の検出周波数の周波数分解能の範囲を超えている場合には、第１のノイズ周波数検出部１からのそれらの第１の検出周波数を出力する機能を有している。
【００５０】
換言すれば、検出周波数判定部１１は、第１のノイズ周波数検出部１から２個の第１の検出周波数が出力される都度、この時点においてこれとすでに検出されている対応する各々の第２の検出周波数とを比較し、各々第２の検出周波数が第１の検出周波数に対する許容範囲内にあれば、それらの第２の検出周波数を各第１の検出周波数と同一と判定して第２の検出周波数の方を、その許容範囲外にあれば、それらの第２の検出周波数が各第１の検出周波数と異なっていると判定してそれらの第１の検出周波数の方を上記ノイズ信号解析部に選択的に出力する機能を有している。
【００５１】
選択条件であるその許容範囲としては、第１のノイズ周波数検出部１における周波数検出分解能の誤差範囲内とする以外に、第２の周波数を第１の周波数と同一と判定する任意の許容範囲を設定する方法なども可能である。
【００５２】
そして、図５に示す構成では、測定信号が入力されると、第１及び第２のノイズ周波数検出部１、９が２個の第１及び第２の検出周波数を検出周波数判定部１１へ出力し、検出周波数判定部１１が、２個の第１の検出周波数の入力時点において、これらとすでに検出されている各第２の検出周波数とを比較し、各々第２の検出周波数がこれらに対応する第１の検出周波数と同一であると判定すると第２の検出周波数を、周波数が異なると判定すると第１の検出周波数をノイズ信号解析部５へ出力する。
【００５３】
ノイズ信号解析部５は、検出周波数判定部１１からの２個の第１又は第２の検出周波数及び測定信号を解析してそれらの間の各々の相互相関関数を求め、これらの相互相関関数に基づき対応する２個のノイズ信号の振幅及び位相を演算し、２個の第１又は第２の検出周波数とともにそれら振幅及び位相をノイズ信号情報１、２としてキャンセル信号作成部７へ出力する。
【００５４】
第２のノイズ周波数検出部９及びキャンセル信号作成部７の動作は、図１の構成と同様である。
【００５５】
このような図５に示す構成では、検出周波数判定部１１が、第１のノイズ周波数検出部１で検出された２個の周波数と、すでに検出されている対応する第２の検出周波数を比較判定し、各々同一の周波数と判定されれば、第２の検出周波数より誤差の大きい第１の検出周波数をノイズ信号解析部５へ出力しないため、測定信号からノイズ信号を常に確実かつ正確にキャンセルできる。
【００５６】
すなわち、検出周波数判定部１１を設けることにより、第２のノイズ周波数検出部９が正確な周波数を検出している状態で、第１のノイズ周波数検出部１が検出した誤差を含む周波数をノイズ信号解析部５で使用することを防ぐことができる。
【００５７】
他方、各々のノイズ信号について急激な周波数変動が発生し、第２のノイズ周波数検出部９で検出できないほどノイズ信号の周波数がずれた場合、第１のノイズ周波数検出部１からの第１の検出周波数をノイズ信号解析部５へ出力することが可能となり、図１の構成で説明したように、測定信号からノイズ信号をキャンセル可能である。
【００５８】
そして、本発明では、キャンセルする周期性ノイズ信号は２個に限定されず、２個以上複数の周期性ノイズ信号のキャンセルが可能であり、第１のノイズ周波数検出部１について、例えば検出レベルの大きな順に周期性ノイズの周波数を検出するよう形成したり、あるレベルの振幅より大きな振幅の周期性ノイズの周波数を検出するよう形成したり、周期性ノイズの数を限定して周波数を検出するよう形成することが可能である。
【００５９】
ノイズ信号解析部５，キャンセル信号作成部７、第２のノイズ周波数検出部９及び検出周波数判定部１１は、除去する周期性ノイズの数に合わせて形成すれば良い。
【００６０】
さらに、上述した信号キャンセル部３は加算機能を有するものであったが、減算機能を有するよう形成可能であり、測定信号に含まれる商用交流電圧ノイズ信号と同位相の信号をキャンセル信号として減算するよう形成すれば良い。
【００６１】
さらにまた、上述した実施の形態では、周期性ノイズ信号として商用交流電圧ノイズ信号をキャンセルする例を説明したが、本発明ではこれ以外に各種の周期性ノイズ信号の除去に応用可能である。
【００６２】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明のノイズキャンセル装置によれば、測定信号を遅延させることなく商用交流電圧ノイズ信号などの複数の周期性ノイズを除去できるうえ、各々の周期性ノイズの周波数が分からなくとも、それらの周期性ノイズを確実に除去できる。
また、複数のノイズ信号の各相互相関関数を求めた時点におけるそれらのノイズ信号に対応する周波数を再検出する第２のノイズ周波数検出部を設け、ノイズ信号解析部においてそれらの第２の検出周波数でノイズ信号の周波数を再演算する構成では、第１の検出周波数に基づいた複数の第２の検出周波数を使用することにより、より正確な周波数で各々のノイズ除去が可能となるとともに、それらの周期性ノイズ信号の周波数が変動しても速やかに追随してキャンセル可能となる利点がある。
さらに、第１のノイズ周波数検出部１が複数の第１の検出周波数を出力した時点において、それら各々の第１の検出周波数とこれらに対応する第２の検出周波数とを比較し、各々の第２の検出周波数が第１の検出周波数に対する許容範囲内にあれば各々の第２の検出周波数を、その許容範囲外にあれば各々の第１の検出周波数を上記ノイズ信号解析部に出力する検出周波数判定部を有する構成では、検出された周波数の誤差を大きくすることがなく、より正確なノイズキャンセル動作がなされるし、第２のノイズ周波数検出部９が対応できないほど速く周波数変動が起こった場合でも、同様に確実なノイズキンセル動作を確保できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るノイズキャンセル装置の実施の形態を示すブロック図である。
【図２】図１のノイズキャンセル装置の動作を説明する波形図である。
【図３】図１のノイズキャンセル装置の動作を説明する波形図である。
【図４】図１のノイズキャンセル装置の動作を説明する波形図である。
【図５】本発明に係るノイズキャンセル装置の他の実施の形態を示すブロック図である。
【符号の説明】
１  第１のノイズ周波数検出部
３  信号キャンセル部
５  ノイズ信号解析部
７  キャンセル信号作成部
９  第２のノイズ周波数検出部
１１  検出周波数判定部
【図１】
0003593697.tif 000003
【図２】
0003593697.tif 000004
【図３】
0003593697.tif 000005
【図４】
0003593697.tif 000006
【図５】
0003593697.tif 000007