(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボモータの出力軸の回転数に応じたパルス列信号を検出するパルスジェネレータからそのパルス列信号をフィードバックしてワークを制御する多軸数値制御装置の検出システムにおいて、前記パルスジェネレータを前記サーボモータの同一軸上に２個設け、その２個のパルスジェネレータそれぞれからパルス列信号が検出され、そのうちの一方から検出されるパルス列信号が前記サーボモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記サーボモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方のものから検出されるパルス列信号が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御されることを特徴とする２重検出システム。
【請求項２】
サーボモータの出力軸の回転数に応じたパルス列信号を検出するパルスジェネレータからそのパルス列信号をフィードバックしてワークを制御する多軸数値制御装置の検出システムにおいて、前記パルスジェネレータを前記サーボモータの軸上に１個設け、そこから検出される前記パルス列信号が増幅器を介して分岐され、そのうちの一方のパルス列信号が前記サーボモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記サーボモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方のパルス列信号が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御されることを特徴とする２重検出システム。
【請求項３】
リニアモータの移動位置に応じた位置情報を検出するリニアスケールからその位置情報をフィードバックしてワークを制御する多軸数値制御装置の検出システムにおいて、前記リニアスケールを前記リニアモータ一つに対し２個設け、その２個のリニアスケールそれぞれから前記位置情報が検出され、そのうちの一方から検出される位置情報が前記リニアモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記リニアモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方のものから検出される位置情報が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御されることを特徴とする２重検出システム。
【請求項４】
リニアモータの移動位置に応じた位置情報を検出するリニアスケールからその位置情報をフィードバックしてワークを制御する多軸数値制御装置の検出システムにおいて、前記リニアスケールを前記リニアモータに１個設け、そこから検出される前記位置情報が出力信号変換器を介して分岐され、そのうちの一方の位置情報が前記リニアモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記リニアモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方の位置情報が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御されることを特徴とする２重検出システム。
【請求項５】
供給される塗液を吐出するスリットダイからなり、そのスリットダイから塗液が吐出されてワークに塗布される塗布装置において、請求項１〜４のいずれかの請求項に記載の２重検出システムを備えたことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
サーボモータあるいはリニアモータから検出されるパルス列や電流値がフィードバックされ、フィードバックされた前記パレス列や電流値に基づいてワークが制御される多軸数値制御装置の検出システム及びそれを備えた塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多軸装置、例えば、ボールネジを介して動作するＸ−Ｙステージなどの駆動負荷を、その移動位置や速度情報信号を検出してフィードバックすることにより制御する多軸数値制御装置の検出システムには、図１５に示すようなアナログコントロール方式のものがあり、その制御は次のとおりである。
【０００３】
上位コントローラ１から、サーボモータ９によって駆動される駆動負荷２５の移動位置や速度を指示する指令パルス２が出力されて、偏差カウンター３に入力される。偏差カウンタ３からは指令パルス２からフィードバックパルス１２が減じられた値の出力信号４が出力される。
【０００４】
このフィードバックパルス１２は、駆動負荷２５の移動位置や速度情報がサーボモータの出力軸２３に取り付けられたパルスジェネレータ１０によってパルス列化されたパルス列信号１０ａが方向判別回路１３に入力され、そこから偏差カウンター３にフィードバックされるものである。
【０００５】
偏差カウンタ３から出力された出力信号４は、比例制御コントローラ５で駆動負荷２５の特性に応じた増幅割合、いわゆる位置ループゲイン数値倍のデジタル値に増幅されてＤＡコンバータ６に入力され、アナログ値である速度指令電圧６ａに変換されて出力される。
【０００６】
また、方向判別回路１３からのフィードバックパルス１２が微分回路１１に入力され、フィードバックパルス１２の時間的変化の割合（速度）である速度フィードバック電圧１１ａに変換されて微分回路１１から出力される。
【０００７】
そして、前記速度指令電圧６ａと速度フィードバック電圧１１ａが付き合わされ、そのときの電圧差が増幅器７で増幅されて電流出力８として出力されることによりサーボモータ９が駆動制御され、駆動負荷２５の移動位置や速度が制御されている。
【０００８】
一方、上位コントローラ１へはパルス列信号１０ａがフィードバックパルス１２として方向判別回路１３から入力されており、上位コントローラ１に接続されている種種の周辺装置、例えばカメラシャッタ２０のタイミングやバルブ２１開閉のタイミングなどがパルス列信号１０ａの変位量に対応して制御されている。
【０００９】
このようなアナログコントロール方式は、数値管理を目盛管理でしなければならないので複雑な制御設定や調整が困難であり、検出システムとして複雑な処理ができず、さらに、経年変化する部品が多く保守作業に手間がかかるなどの問題点があった。
【００１０】
そこで、それらの問題点を解消するため近時、図１６に示すようなデジタルコントロール方式の検出システムが一般的になってきている。
【００１１】
このシステムは、図１５のアナログコントロール方式における指令パルス２の偏差カウンター３への入力から、駆動負荷２５の移動位置や速度情報のフィードバック信号が演算処理されてサーボモータ９を制御する電流出力８が出力される作用原理がプログラミングされたソフトウエアが組み込まれたサーボモータドライバ（以下、デジタルコントローラ１４と称する。）を有し、上位コントローラ１から出力される指令パルス２がデジタルコントローラ１４に入力され電流出力８として出力されてサーボモータ９が駆動制御されるものである。
【００１２】
この場合、駆動負荷２５の移動位置や速度情報がサーボモータ９の出力軸２３に取り付けられたパルスジェネレータ１０によってパルス列信号１０ａとして検出され、そのパレス列信号１０ａがフィードバックパルスとしてデジタルコントローラ１４に入力されて内部処理（指令パルス２とパルス列信号１０ａの差分の演算）され、電流出力８が制御される。例えば、特許文献１にはサーボモータ出力軸からの第１のパルス信号が第１の偏差カウンタに導入され、またワーク軸からの第２のパルス信号が第２の偏差カウンタに導入されそれぞれが内部処理されて、前記サーボモータが制御されることが記載されている。
【００１３】
また、デジタルコントローラ１４に入力されたパレス列信号１０ａは上位コントローラ１へのフィードバックパルス１２としても出力され、上位コントローラ１に接続されている種種の周辺装置、例えばカメラシャッタ２０のタイミングやバルブ２１開閉のタイミングなどがパルス列信号１０ａの変位量に対応して制御されている。
【００１４】
このようなデジタルコントロール方式によれば、デジタルコントローラ１４のソフト化によって、広範囲での複雑な制御設定ができ、また、デジタル数値管理ができるので調整が容易であり、さらに、経年変化する部品も少なく保守の面でも手間がかからない。
【００１５】
【特許文献１】
特開平１−１８８９１４号公報
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記デジタルコントロール方式は、パルスジェネレータ１０から検出されるパルス列信号１０ａがデジタルコントローラ１４にのみフィードバックされ、その内部での処理が離散系、即ち、時間をある周期（通常１００マイクロ秒〜１ミリ秒）で区切り、時系列でサンプリングされた値が離散的に処理されるので、そこから出力される上位コントローラ１へのフィードバックパルス１２が前記サンプリングの誤差によって応答性の欠いたものとなる。
【００１７】
さらに、デジタルコントローラ１４でのフィードバックパルス１２の内部処理はソフトウエアによる処理であるので、この処理時間が上位コントローラ１へのフィードバックパルス１２の即時性に悪影響をおよぼしている。
【００１８】
これらのことから、フィードバックパルス１２に基づいて上位コントローラ１によって位置やタイミングが決定されて制御される上位コントローラ１に接続された周辺装置、例えば、カメラシャッタ２０やバルブ２１開閉の位置やタイミングが所定よりずれて処理されてしまうという問題が生じていた。
【００１９】
そこで本発明の課題は、多軸数値制御装置の位置や速度情報信号であるフィードバックパルスの応答性を良くして周辺装置の動作の時間的遅れを防ぐことで、周辺装置の設定位置や動作のタイミングにずれが生じない検出システムを提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明の２重検出システムは、パルスジェネレータをサーボモータの同一出力軸上に２個設け、その２個のパルスジェネレータのうちの一方から検出されるパルス列信号が前記サーボモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記サーボモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方のものから検出されるパルス列信号が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御される。
【００２１】
前記パルスジェネレータが１個の場合は、そこから検出されるパルス列信号が増幅器を介して分岐され、そのうちの一方のパルス列信号が前記サーボモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記サーボモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方のパルス列信号が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御される。
【００２２】
また、本発明の２重検出システムは、リニアモータを用いた場合にも適応することができ、その場合、リニアスケールをリニアモータ一つに対し２個設け、その２個のリニアスケールそれぞれから前記位置情報が検出され、そのうちの一方から検出される位置情報が前記リニアモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記リニアモータを駆動する電流出力として出力されると共に、、他方のものから検出される位置情報が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御される。
【００２３】
前記リニアスケールが１個の場合は、そこから検出される位置情報が出力信号変換器を介して分岐され、そのうちの一方の位置情報が前記リニアモータを制御するデジタルコントローラにフィードバックされて演算処理され、前記リニアモータを駆動する電流出力として出力されると共に、他方の位置情報が前記デジタルコントローラを制御する上位コントローラにフィードバックされて上位コントローラに接続された周辺装置が制御される。
【００２４】
さらに、前述した本発明の２重検出システムのいずれかをワークに塗液を塗布する塗布装置に備えることが可能である。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を参照して説明するが、従来の技術の説明及び本発明の実施形態の説明に用いた同じ名称のものは同じ符号を用いて説明する。
【００２６】
図１は、本発明の実施例（１）の概略構成を示すブロック図である。図１において符号９はサーボモータであり、出力軸２３の先端部に駆動負荷２５（例えば、多軸装置等であり具体的にはボールネジを介して動作するＸ−Ｙステージ等。）が取り付けられサーボモータ９によって駆動される。また、出力軸２３にはサーボモータ９と駆動負荷２５の間にエンコーダとしてのパルスジェネレータ１０が同軸上に２個軸着されている。
【００２７】
符号１は上位コントローラであり、サーボモータ９へ駆動負荷２５の移動位置や速度を指示する指令パルス２を発する。また、上位コントローラ１には、種種の周辺装置（ワーク）、例えば、カメラ２０やバルブ２１などが接続され、カメラ２０においてはシャッタタイミング、バルブ２１においては開閉タイミングなどが制御される。なお、これらの周辺装置と駆動負荷２５は電気的に連係されている。
【００２８】
符号１４はデジタルコントローラであり、上位コントローラ１からの指令パルス２が入力されてサーボモータ９が制御される。このデジタルコントローラ１４は、従来の技術の説明（図１５参照）でも述べたように、指令パルス２の入力から、駆動負荷２５の移動位置や速度情報のフィードバック信号が演算処理されてサーボモータ９を制御する電流出力８が出力される作用原理がプログラミングされたソフトウエアが組み込まれている。
【００２９】
２個のパルスジェネレータ１０は、駆動負荷２５の移動位置や速度情報などをサーボモータ９の出力軸２３の回転数に対応したパルス列信号１０ａとして検出する。そのパルス列信号１０ａは２個とも同一値である。
【００３０】
そして、一方のパルスジェネレータ１０からのパルス列信号１０ａがデジタルコントローラ１４にフィードバックされ、他方のパルスジェネレータ１０からのパルス列信号１０ａが上位コントローラ１にフィードバックされる。
【００３１】
また、図２は実施例（２）を示しており、図１に示す実施例（１）のパルスジェネレータ１０が１個の場合の概略構成を示すブロック図である。ここでパルスジェネレータ１０から検出されるパルス列信号１０ａは増幅器２２によって分岐（１０ｂ）されて、デジタルコントローラ１４と上位コントローラ１にそれぞれフィードバックされる。
【００３２】
ところで、本発明の検出システムは駆動負荷が慣用のリニアモータによって駆動される場合にも適応できるものである。図３はその実施例（３）の概略構成を示すブロック図であるが、上位コントローラ１及びデジタルコントローラ１４は、図１に示す実施例（１）及び、図２に示す実施例（２）の場合と同様のものである。
【００３３】
図３において、機台３１上に設置されたリニアモータ１８にステージ２６が取り付けられており、そのステージ２６に駆動負荷２５が取り付けられている。そして、ステージ２６を介してリニアモータ１８の動きに従動する駆動負荷２５の移動位置の位置情報１７ａ（例えばアナログ電圧値として）を検出するリニアスケール１７が駆動負荷２５を挟んで駆動負荷２５の動作方向に並列に２個リニアモータ１８に系合して設けられている。
【００３４】
つまり、１個のリニアモータ１８に対し２個のリニアスケール１７を有している。従って、２個のリニアスケール１７から検出される位置情報１７ａは同一値である。なお、このリニアスケール１７はディテクタとスケールから成る慣用のものを用いればよい。
【００３５】
そして、リニアスケール１７によって検出される位置情報１７ａは、何れも出力信号変換器１６によってその位置情報１７ａを入力するコントローラに応じた信号１７ｂ、すなわち、デジタルコントローラ１４へは、例えば、シリアルデータ信号に、また、上位コントローラ１へは、例えば、パルス列信号に変換されて、デジタルコントローラ１４と上位コントローラ１のそれぞれにフィードバックされる。なお、ここでの出力信号変換器１６は増幅機能が無く入力信号が一方向への出力に限られるものである。
【００３６】
また、図４は実施例（４）を示しており、図３に示す実施例（３）に対し、出力信号変換器１６に増幅器を有し入力信号を分岐して２方向に出力できるものを使用した場合である。この場合、１個のリニアモータ１８に対し１個のリニアスケール１７が設けられ、リニアスケール１７から検出される位置情報１７ａは、出力信号変換器１６によって並列に分岐されると共に、その位置情報１７ａを入力するコントローラに応じた信号１７ｂ、すなわち、デジタルコントローラ１４へは、例えば、シリアルデータ信号に、また、上位コントローラ１へは、例えば、パルス列信号に変換されて、デジタルコントローラ１４と上位コントローラ１のそれぞれにフィードバックされる。
【００３７】
本発明の実施例は基本的には以上のような構成を成すものであり、次にその作用及び効果について図１に基づいて説明する。
【００３８】
先ず、上位コントローラ１から駆動負荷２５の移動位置や速度を指示する指令パルス２がデジタルコントローラ１４に入力される。指令パルス２はデジタルコントローラ１４内で内部処理されてサーボモータ９を駆動する電流値として電流出力８される。するとサーボモータ９の起動によって駆動負荷２５が駆動されて所定の動作を行う。
【００３９】
２個のパルスジェネレータ１０からは駆動負荷２５の動作に伴う移動位置や速度情報がパルス列化されたパルス列信号１０ａが検出され、一方はデジタルコントローラ１４に、他方は上位コントローラ１にフィードバックされる。
【００４０】
デジタルコントローラ１４にフィードバックされたパルス列信号１０ａは、前記したソフトウエアによって内部処理（指令パルス２とパルス列信号１０ａの差分の演算）され、駆動負荷２５が予め設定された動作特性で動作するようにサーボモータ９を制御する電流出力８として出力される。サーボモータ９はこの電流出力８によって制御され駆動負荷２５を駆動している。
【００４１】
一方、上位コントローラ１においては、パルス列信号１０ａがパルスジェネレータ１０から直接フィードバックされているので、上位コントローラ１に接続された周辺装置、例えば、カメラ２０のシャッタやバルブ２１の開閉タイミングに駆動負荷２５の動作に伴う移動位置や速度情報が即時に伝授される。
【００４２】
つまり、サーボモータ９の制御と前記周辺装置の動作制御のそれぞれに、駆動負荷２５の動作情報が直接フィードバックされるという２重検出になっている。
【００４３】
その結果、それぞれが独立してフィードバック処理されるので何れも応答性がよく、特に、周辺装置の動作制御において、パルス列信号１０ａがデジタルコントローラ１４を介さず直接上位コントローラ１にフィードバックされるので、駆動負荷２５の動作情報に対する応答性がよく、また、デジタルコントローラ１４内での内部処理が省かれるので駆動負荷２５の動作情報が即時に伝授され、例えば、カメラ２０のシャッタタイミングやバルブ２１の開閉タイミングに設定値とのずれがなく周辺装置の正確な動作特性が得られる。
【００４４】
具体的なパルスジェネレータ１０からのフィードバックパルスの上位コントローラ１への遅れ時間であるが、図１６に示す従来の検出システムのようにデジタルコントローラ１４を介した場合、１ｍｓであったものが、図１に示す本発明のように直接フィードバックされた場合、遅れのない検出システムが構築できた。
【００４５】
以上、図１に基づいて作用及び効果を説明したが、図２に示す実施例（２）の場合においても、検出されるパルス列信号１０ａが増幅器２２によって分岐（１０ｂ）されてそれぞれ上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４にフィードバックされており、実質実施例（１）の場合と同様の作用効果を奏する。
【００４６】
また、図３に示す実施例（３）の場合、２個のリニアスケール１７から検出される位置情報１７ａが出力信号変換器１６によってその位置情報１７ａを入力するコントローラに応じた信号１７ｂに変換されて、それを入力するコントローラである上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４にそれぞれフィードバックされており、実質実施例（１）の場合と同様の作用効果を奏する。
【００４７】
さらに、図４に示す実施例（４）の場合においても、検出される位置情報１７ａが出力信号変換器１６によって分岐されると共に、その位置情報１７ａを入力するコントローラに応じた信号１７ｂに変換されて、それを入力するコントローラである上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４にそれぞれフィードバックされており、実質実施例（１）の場合と同様の作用効果を奏する。
【００４８】
なお、本発明の２重検出システムは図５に示す実施例（５）のように、図２に示す実施例（２）におけるデジタルコントローラ１４の外部に位置する増幅器２２をデジタルコントローラ１４内に配線して設けることが可能である。また、図６に示す実施例（６）のように、図４に示す実施例（４）におけるデジタルコントローラ１４の外部に位置する出力信号変換器１６をデジタルコントローラ１４内に配線して設けることも可能である。
【００４９】
ここで、以下に、本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の実施例を説明する。図７はその第１の実施例の概略構成を示すブロック図であり、塗布装置３０は、機台３１上に設置されたリニアモータ１８にステージ３３が取り付けられており、そのステージ３３に塗液が塗布されるワーク３２（例えば、ガラス基板等）が載置されている。そして、ステージ３３を跨いで門型の構台３４が機台３１に固設されており、その構台３４に昇降用サーボモータ３５によって昇降するスリットダイ３６が取り付けられ、スリットダイ３６に塗液供給部（図示せず）から塗液が供給されてワーク３２に塗布が行われるようになっている。
【００５０】
また、指令パルス２を発する上位コントローラ１と、それを受けてリニアモータ１８を駆動する電流出力８を出力するデジタルコントローラ１４と、リニアモータ１８とが電気的に接続されており、指令パルス２が発せられることによってリニアモータ１８が駆動され、ステージ３３が機台３１の長手方向に往復動する。
【００５１】
そして、１個のリニアスケール１７がリニアモータ１８に系合して設けられており、このリニアスケール１７によってステージ３３の移動位置が位置情報１７ａとして検出される。検出された位置情報１７ａは出力信号変換器１６で並列に分岐されると共に、その位置情報１７ａを入力するコントローラに応じた信号１７ｂに変換され、その信号１７ｂが上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４にそれぞれフィードバックされるようになっている。なお、出力信号変換器１６は増幅機能を有し入力信号を分岐して２方向に出力できるものである。
【００５２】
一方、スリットダイ３６と昇降用サーボモータ３５も上位コントローラ１と電気的に接続されており、上位コントローラ１からスリットダイ３６の塗液開閉用バルブ（図示せず）を制御する信号３６ａと、スリットダイ３６を昇降させる昇降用サーボモータ３５を制御する信号３５ａが発せられ、ワーク３２の移動に伴ってワーク３２に塗布が行われる。
【００５３】
この塗布作用は、ワーク３２の上方に設けられたレーザ光を用いた距離計３７によってワーク３２表面の凹凸の位置及びある基準値に対する凹凸の大きさが出力信号３７ａとして検出されて上位コントローラ１に入力され、その位置及び大きさに対応して上位コントローラ１から出力される信号３５ａによってサーボモータ３５が制御されてスリットダイ３６が昇降して塗布が行われ、かつ、この情報は指令パルス２として上位コントローラ１からデジタルコントローラ１４に入力され、それがデジタルコントローラ１４から電流出力８として出力されてリニアモータ１８に入力されることによってリニアモータ１８が駆動されるようにプログラミングされている。
【００５４】
つまり、ワーク３２の表面がある基準値に対して凹ならばその位置でスリットダイ３６を降下させ、凸ならばその位置で上昇させてスリットダイ３６とワーク３２の距離を一定に保ち、常に塗布厚みが均一となるようにしている。
【００５５】
従って、ワーク３２の移動中の前記凹凸の位置座標に対するスリットダイ３６の昇降タイミングの精度が要求されるわけであるが、本塗布装置の場合、前記凹凸面の位置が前記したようにリニアモータ１８に反映されているのでその情報がリニアスケール１７から位置情報１７ａとして検出されて出力信号変換器１６でその位置情報１７ａを入力するコントローラに応じた信号１７ｂに変換され、それを入力するコントローラである上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４にそれぞれフィードバックされている。つまり、これは、前記凹凸の位置座標情報であり、上位コントローラ１へ直接フィードバックされているので前記凹凸の位置での塗布が正確に行われる。
【００５６】
具体的な数値でいえば、ワーク表面の凹凸面それぞれに対する塗布位置のずれは、本発明の２重検出システムによらない場合、０．４４ｍｍであったのに対し、本発明の２重検出システムによれば０．１１ｍｍと改善された。
【００５７】
本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第２の実施例は、リニアスケール１７に接続される出力信号変換器１６が増幅機能が無く入力信号が一方向への出力に限られるものの場合であって図８に示される。
【００５８】
この場合、第１の実施例においてステージ３３の両側にリニアモータ１８に対応してそれぞれリニアスケール１７が設けられる。つまり、１個のリニアモータ１８が２個のリニアスケール１７を有し、それぞれから検出されたステージ３３の位置情報１７ａがリニアスケール１７毎に設けられた出力信号変換器１６を介して上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４のそれぞれに直接フィードバックされる。なお、塗布動作制御や作用効果等は第１の実施例と同様であるのでそれらの説明は省略する。
【００５９】
以上、第１、２の実施例は構台３４が固定でステージ３３を移動させる、いわゆるテーブル移動のものであるが、逆にステージ３３が固定で構台３４を移動させる、いわゆるガントリ移動の場合の実施例を次に説明する。
【００６０】
図９は第３の実施例であって、門型の構台３４の一方の脚部が機台３１に設置されたリニアモータ１８に取り付けられ、他方が機台３１上をスライド機構（図示せず。）によってスライドする片側駆動の場合を示している。
【００６１】
この第３の実施例では出力信号変換器１６に増幅機能を有し入力信号を分岐して２方向に出力できるものを使用しているので、リニアスケール１７は１個のリニアモータ１８に対し１個である。なお、塗布動作制御や作用効果等は第１の実施例と同様であるのでそれらの説明は省略する。
【００６２】
図１０は第４の実施例であり、構台３４の両脚部それぞれが機台３１に設置されたリニアモータ１８（２個）に取り付けられて構台３４が移動する両側駆動の場合を示している。
【００６３】
この第４の実施例でも出力信号変換器１６に増幅機能を有し入力信号を分岐して２方向に出力できるものを使用しているので、リニアスケール１７は１個のリニアモータ１８に対し１個である。つまり、この第４の実施例ではリニアモータ１８及びリニアスケール１７をそれぞれ２個有している。なお、塗布動作制御や作用効果等は第３の実施例と同様であるのでそれらの説明は省略する。
【００６４】
図１１は第５の実施例であり、第４の実施例と同じく構台３４が両側駆動されるもので、出力信号変換器１６に増幅機能が無く入力信号が一方向への出力に限られるものを使用した場合を示している。従って、２個のリニアモータ１８それぞれの両側に各１個ずつリニアスケール１７が設けられる。つまり、この第５の実施例ではリニアモータ１８を２個、リニアスケール１７を４個有している。なお、塗布動作制御や作用効果等は第２の実施例と同様であるのでそれらの説明は省略する。
【００６５】
以上述べたように、２重検出システムにリニアモータ１８を使用する場合、リニアスケール１７からの位置情報１７ａが入力される出力信号変換器１６に増幅機能を有し入力信号を分岐して２方向に出力できるものを使用すると、１個のリニアモータ１８に対しリニアスケール１７は１個でよく、一方、出力信号変換器１６に増幅機能が無く入力信号が一方向への出力に限られるものを使用すると、１個のリニアモータ１８に対しリニアスケール１７は２個必要となる。
【００６６】
図１２は本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第６の実施例を示すブロック図であり、塗布装置３０がサーボモータ９で駆動されるものである。この場合、機台３１にサーボモータ９が取り付けられ、サーボモータ９の正逆回転がボールネジ４０で伝達されるようになっている。（このボールネジ４０は一例であって公知のネジ軸であればよい）。そして、ボールネジ４０に螺合するスライダ（ナット）４１を有するステージ３３が機台３１上をスライド機構（図示せず。）によってスライドするように設けられ、サーボモータ９の正逆回転によって往復動するようになっている。なお、ステージ３３上には塗液が塗布されるワーク３２が載置されている。
【００６７】
機台３１上には門型の構台３４が固設され、ステージ３３は構台３４をくぐって往復動する。構台３４には昇降用サーボモータ３５によって昇降するスリットダイ３６が取り付けられ、スリットダイ３６に塗液供給部（図示せず）から塗液が供給されて往復動するステージ３３上のワーク３２に塗布が行われるようになっている。なお、構台３４、スリットダイ３６及び構台３４にスリットダイ３６が取り付けられる構成は、図７〜１１に示される第１〜５の実施例と同一にすることができる。
【００６８】
また、指令パルス２を発する上位コントローラ１と、それを受けてサーボモータ９を駆動する電流出力８を出力するデジタルコントローラ１４と、サーボモータ９とが電気的に接続されており、指令パルス２が発せられることによってサーボモータ９が駆動され、ステージ３３が機台３１の長手方向に往復動する。
【００６９】
ボールネジ４０の一端部には、エンコーダとしてのパルスジェネレータ１０がボールネジ４０と同軸上に２個軸着されており、それぞれのパルスジェネレータ１０によってステージ３３の移動位置や速度情報がサーボモータ９の回転数に対応したパルス列信号１０ａとして検出されてデジタルコントローラ１４と上位コントローラ１にフィードバックされている。
【００７０】
また、ワーク３２の上方にワーク３２表面の凹凸の位置及びある基準値に対する凹凸の大きさを出力信号３７ａとして検出する距離計３７が設けられ、その出力信号３７ａが上位コントローラ１に入力されている。そして、上位コントローラ１からは、出力信号３７ａに対応して昇降用サーボモータ３５を制御する信号３５ａが出力され、さらに、スリットダイ３６の塗液開閉用バルブ（図示せず）を制御する信号３６ａが出力されている。
【００７１】
なお、この場合の塗布動作制御や作用効果等は図８に示される塗布装置の第２の実施例と同様であるので説明は省略する。
【００７２】
図１３は第７の実施例であり、図１２におけるボールネジ４０の一端部に軸着されたパルスジェネレータ１０が１個の場合を示している。この場合はパルスジェネレータ１０に増幅器２２が接続され、パルスジェネレータ１０によって検出されるパルス列信号１０ａが増幅器２２によって分岐（１０ｂ）されて上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４にそれぞれフィードバックされている。
【００７３】
なお、この場合の塗布動作制御や作用効果については、図７に示される塗布装置の第１の実施例と同様であるので説明は省略する。
【００７４】
以上、第６、７の実施例はステージ３３を移動させるテーブル移動の場合であり、次に構台３４を移動させる、いわゆるガントリ移動の場合の実施例を説明する。
【００７５】
図１４は第８の実施例であって、ワーク３２が載置されたステージ３３は機台３１に固設されている。そして、門型構台３４の両脚部の一方の下部にボールネジ４０に螺合するスライダ（ナット）４１が一体的に形成されサーボモータ９の正逆回転によって構台３４が往復動するようになっている。この場合は、構台３４の他方の脚部がスライド機構（図示せず。）によってスライドする構成であり片側駆動である。他の構成は図１２、１３と同様である。
【００７６】
また、図１４では、サーボモータ９の回転数に対応したパルス列信号１０ａを検出するパルスジェネレータ１０が１個で増幅器２２を設けているが、図１２のようにパルスジェネレータ１０を２個設け、増幅器を省いてもよい。
【００７７】
さらに、図示しないが、構台３４の両脚下部にそれぞれボールネジ４０に螺合するスライダ（ナット）４１が一体的に形成されて、構台３４が両側から２個のサーボモータ９で駆動されるようにした両側駆動とすることもできる。言うまでもないが他の構成は図１２、１３と同様である。
【００７８】
また、この場合、両側にそれぞれ１個のパルスジェネレーション１０と増幅器２２を設けるか、あるいは、両側にそれぞれ２個のパルスジェネレーション１０を設けて増幅器２２を省くか何れの場合も可能である。
【００７９】
なお、上述したガントリ移動の場合の実施例においても、塗布動作制御や作用効果については、これまでの実施例と同様であるので説明は省略する。
【００８０】
本発明の２重検出システムによれば、サーボモータやリニアモータに駆動される駆動負荷の位置や速度情報信号が検出されて、上位コントローラとデジタルコントローラのそれぞれに直接フィードバックされているので、何れのコントローラへも応答性が良く、所定の動作制御が確実に行われる。
【００８１】
特に、上位コントローラに接続された周辺装置（例えば、カメラのシャッタやバルブの開閉など）の動作制御において、前記位置や速度情報信号が直接上位コントローラにフィードバックされていることにより、駆動負荷の動作情報が即時に伝授され、カメラシャッタタイミングやバルブの開閉タイミングなどに設定値とのずれがなく前記周辺装置の正確な動作特性が得られる。
【００８２】
また、本発明の２重検出システムを備えた塗布装置によれば、ワーク表面凹凸の位置及び大きさが出力信号として検出されて上位コントローラとデジタルコントローラの２重にフィードバックされるので、凹凸部での塗布厚の均一化が正確に行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例（１）であり、パルスジェネレータを２個設けた場合の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施例（２）であり、パルスジェネレータを１個設けた場合の概略構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施例（３）であり、リニアスケールを２個設けた場合の概略構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施例（４）であり、リニアスケールを１個設けた場合の概略構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施例（５）であり、図２における増幅器をデジタルコントローラ内に設けた場合の概略構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施例（６）であり、図４における出力信号変換器をデジタルコントローラ内に設けた場合の概略構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第１の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図８】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第２の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第３の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１０】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第４の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１１】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第５の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第６の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第７の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の２重検出システムを備えた塗布装置の第８の実施例の概略構成を示すブロック図である。
【図１５】従来のアナログコントロール方式による検出システムを示すブロック図である。
【図１６】従来のデジタルコントロール方式による検出システムを示すブロック図である。
【符号の説明】
１  上位コントローラ
２  指令パルス
８  電流出力
９  サーボモータ
１０  パルスジェネレータ
１０ａ、１０ｂ  パルス列信号
１４  デジタルコントローラ
１６  出力信号変換器
１７  リニアスケール
１７ａ  位置情報
１８  リニアモータ
２２  増幅器
２３  出力軸
２５  駆動負荷
２６、３３  ステージ
３０  塗布装置
３１  機台
３２  ワーク
３４  構台
３６  スリットダイ
３７  距離計
【要約】【課題】多軸数値制御装置の位置や速度情報信号であるフィードバックパルスの応答性を良くして周辺装置（カメラのシャッタやバルブの開閉等。）の設定位置や動作のタイミングにずれが生じない検出システムを提供することである。
【解決手段】駆動負荷２５の移動位置や速度情報などがサーボモータ９の出力軸２３に２個取り付けられたパルスジェネレータ１０によってパルス列信号１０ａとして検出され、それぞれが上位コントローラ１とデジタルコントローラ１４に直接フィードバックされているので、駆動負荷の動作情報が即時に伝授され、特に、上位コントローラ１に接続される、例えば、カメラ２０のシャッタタイミングやバルブ２１の開閉タイミングなどに設定値とのずれがなく正確な動作特性が得られる。
【選択図】  図１【図１】
0003558289.tif 000002
【図２】
0003558289.tif 000003
【図３】
0003558289.tif 000004
【図４】
0003558289.tif 000005
【図５】
0003558289.tif 000006
【図６】
0003558289.tif 000007
【図７】
0003558289.tif 000008
【図８】
0003558289.tif 000009
【図９】
0003558289.tif 000010
【図１０】
0003558289.tif 000011
【図１１】
0003558289.tif 000012
【図１２】
0003558289.tif 000013
【図１３】
0003558289.tif 000014
【図１４】
0003558289.tif 000015
【図１５】
0003558289.tif 000016
【図１６】
0003558289.tif 000017