(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手に沿い複数の室を持つように両端および内部がゲート手段で区画された真空容器と、同真空容器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラックを持つ基板搬送台車と、上記真空容器の内外に長手方向に複数設けられ少くとも１つが上記ラックと噛合うように配置されたステッピングモータ駆動式のピニオンと、同ピニオンを少くとも２つづつ同期駆動する同期駆動手段とを備えてなることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板搬送装置において、真空容器内を３室とし、各室にピニオンを前後に配置するとともに前部の室の前方および後部の室の後方にもピニオンを配置し、かつ同期駆動手段を二つ設け一つは上記中央の室の前部から前の各ピニオンを駆動するとともに他の一つは上記中央の室の後部から後の各ピニオンを駆動し、かつ基板搬送台車も対応して２台設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載の基板搬送装置において、真空容器の中央の室に基板の積替え手段を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｐ−ＣＶＤ装置等で使用される基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５に従来のＰ−ＣＶＤ装置用の同期方式の基板搬送装置を示す。真空容器１内に長手方向に室ａ〜ｃが配置されるよう区画用のゲート弁２ａ，２ｂが設けられている。真空容器１の下部には長手方向にピニオン７が配置され、その軸は磁気シール１０を介して外部にでている。また真空容器１内にはピニオン７と噛合うラックを側部に持った基板搬送台車１３が配置されている。
【０００３】
各ピニオン７の外部の軸はタイミングベルト０９で一列につながれている。またピニオン７の１つの外部の軸はモータ０４に連結されている。図中０５はモータ駆動装置である。
【０００４】
以上において、処理工程に応じて、モータ駆動装置０５によりモータ０４が所定のパターンで駆動される。そしてピニオン７、ラック８を介して基板搬送台車１３が各室に工程に応じて移動、停止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来装置は次のような問題点があった。
（ａ）機械的な停止調整装置であるため、高精度に停止位置を決めることは困難である。
（ｂ）タイミングベルトを通すための空間も必要になり、長時間の連続運転ではベルトの損傷によるずれが発生する。
（ｃ）またタイミングベルトは消耗しやすく、長期間使用の信頼性に不安がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するため次の手段を講ずる。
（１）長手に沿い複数の室を持つように両端および内部がゲート手段で区画された真空容器と、同真空容器の内外を長手方向に移動可能に配置され側面にラックを持つ基板搬送台車と、上記真空容器の内外に長手方向に複数設けられ少くとも１つが上記ラックと噛合うように配置されたステッピングモータ駆動式のピニオンと、同ピニオンを少くとも２つづつ同期駆動する同期駆動手段とを設ける。
【０００７】
以上において、同期駆動手段が所定のパターンで作動すると、同期駆動手段につながったステッピングモータは同期的に回転しピニオンが回る。したがってピニオンと噛合ったラック、すなわち基板搬送台車が所定のパターンで移動、停止する。
【０００８】
このようにして、工程に対応した基板搬送台車の移動、停止、その位置決めが正確に行える。
（２）上記（１）の基板搬送装置において、真空容器内を３室とし、各室にピニオンを前後に配置するとともに前部の室の前方および後部の室の後方にもピニオンを配置し、かつ同期駆動手段を二つ設け一つは上記中央の室の前部から前の各ピニオンを駆動するとともに他の一つは上記中央の室の後部から後の各ピニオンを駆動し、かつ基板搬送台車も対応して２台設ける。
【０００９】
以上において前部の同期駆動手段が所定のパターンで作動すると、同期駆動手段につながれた前部のピニオンが回る。したがって噛合った前部のラック、すなわち前部の基板搬送台車が所定のパターンで移動、停止する。このようにして、中央の室から前部において、工程に対応した基板搬送台車の移動、停止、その位置決めが正確に行える。後部についても同様である。
（３）上記（２）の基板搬送装置において、真空容器の中央の室に基板の積替え手段を設ける。
【００１０】
以上において、各同期駆動手段が所定パターンで作動する。例えば、前部の同期駆動手段は、基板搬送台車を外部から前部の室、次に中央の室、再び前部の室から外部へと所定のパターンで移動、停止させるように作動する。
【００１１】
一方、後部の同期駆動手段は前記とは所定時間遅らせて、外部から後部室、次に中央の室、再び後部の室から外部へと所定のパターンで移動、停止させるように作動する。すなわち、中央の室での処理工程後、基板が前部の基板搬送台車から後部の基板搬送台車に積替え手段で積替えられ、搬出されるようなパターンで作動する。
【００１２】
このようにして、工程に対応して、各基板搬送台車は、移動、停止と、その位置決めが正確に行われる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（１）本発明の実施の第１形態を図１により説明する。なお、従来例で説明した部分は、同一の番号をつけ説明を省略し、この発明に関する部分を主体に説明する。
【００１４】
各ピニオン７の外部の軸にはそれぞれステッピングモータ４が連結される。また各ステッピングモータ４にはそれぞれモータ駆動装置５の出力がつながれている。さらに各モータ駆動装置５にはパルス発振器６の出力がつながれている。
【００１５】
ここでパルス発振器６とモータ駆動装置５が同期駆動手段である。
【００１６】
以上においてパルス発振器６は工程に応じたパターンのパルスを発信する。各モータ駆動装置５はこの信号を受けて、それぞれのステッピングモータ４を駆動する。
【００１７】
したがってステッピングモータ５は同期的に回転しピニオン７が回る。ピニオン７と噛合ったラック８、すなわち基板搬送台車１３が所定のパターンで移動、停止する。なお各ピニオン７は同期して回っているので、近づいてきたラック８と円滑に噛合うことができる。
【００１８】
このようにして、工程に対応した基板搬送台車１３の移動、停止、その位置決めが正確に行える。なお、停止位置はステッピングモータ５のステップ幅レベルで調節できる。
（２）本発明の実施の第２形態を図２〜図３により説明する。真空容器１内はロードロック室ａ、成膜室ｂ、アンロード室ｃとなるようゲート弁２ａ〜２ｄで区画される。
【００１９】
ピニオン７ａと７ｂがロードロック室ａの前方と、アンロード室ｃの後方にそれぞれ配置される。また各室ａ〜ｃ内に２個づつ配置される。ここで７ａは中央の室ｂの前部のピニオンから前方のピニオンで、７ｂは後部のピニオンから後方のピニオンである。
【００２０】
パルス発信器６ａの出力は、それぞれのモータ駆動装置５ａを介してステッピングモータ４ａへ送られる。またパルス発信器６ｂの出力は、それぞれのモータ駆動装置５ｂを介してステッピングモータ４ｂへ送られる。
【００２１】
また、前部と後部にそれぞれ、基板搬送台車１３ａ，１３ｂが配置される。さらに中央の成膜室には基板の積替え手段を持つ成膜装置がある（図示省略）。
【００２２】
以上において、各パルス発信器６ａ，６ｂは工程に対応した所定パターンで作動する。前部のパルス発信器６ａは、基板搬送台車１３ａを外部から前部の室ａ、次に中央の室ｂ、再び前部の室ａから外部へと所定のパターンで移動、停止させるように作動する。
【００２３】
後部についてもほぼ同様である。
【００２４】
このようにして、工程に対応して、各基板搬送台車は、移動、停止と、その位置決めが正確に行われる。
【００２５】
以下１つの処理工程の例を具体的に説明する。
【００２６】
図３（ａ）はロードロック室ａにガラス基板１１を載せた搬送台車１２ａが停止した状態で、真空にしつつあるときであり、ゲート弁２ａと、ゲート弁２ｂは閉じられている。また、アンロード室ｃには成膜されたガラス基板１１を載せた搬送台車１３ｂが停止し、真空を破壊しつつあるときであり、ゲート弁２ｄは開かれつつある。
【００２７】
図３（ｂ），（ｃ）ではロードロック室ａが真空となったとき、ゲート弁２ｂを開け、搬送台車１２ａを成膜室ｂに入れ、ガラス基板１１を成膜装置に渡し、またロードロック室ａに戻る。一方、アンローダ室ｃは常圧となったら、搬送台車１３ｂはアンローダ側へ移動し前工程で成膜されたガラス基板１１を下し、からの状態でアンロード室ｂへ戻ってくる。また、成膜室ａではゲート弁２ｂは閉じられて、ガラス基板１１に成膜をしつつある。
【００２８】
図３（ｄ）では、ロードロック室ａの真空が破壊されたら、搬送台車１２ａはローダ側へ出て、新しいガラス基板１１を載せている。一方、成膜室ｂにて成膜されたガラス基板１１は、アンロード室ｃに待機していた搬送台車１３ｂが移動してきて、ガラス基板１１を搭載する。その後は、図３（ａ）の状態となり、順次これを繰返すことにて、ガラス基板１１はローダ、ロードロック室、更に成膜室に入り、成膜後、アンロード室を経てアンローダ側へと正確に移動、停止することができる。
【００２９】
なお、上記ではピニオン４ａ，４ｂを一方側に配置したが、図４に示すように前部のピニオン４ａは一方側、後部のピニオン４ｂは他方側に配置するようにしてもよい。
【００３０】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば同期駆動手段で各ステッピングモータが同期して所定のパターンで駆動、停止されるので、基板搬送台車は、正確に移動、停止される。またピニオンはステッピングモータ駆動であるため長寿命化、信頼性の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の第１形態の構成部分断面図である。
【図２】本発明の実施の第２形態の構成の部分断面図である。
【図３】同第２形態の作用説明図である。
【図４】同第２形態の説明図である。
【図５】従来例の部分断面図である。
【符号の説明】
１                    真空容器
２ａ〜２ｄ            ゲート弁
４，４ａ，４ｂ        ステッピングモータ
５，５ａ，５ｂ        モータ駆動装置
６，６ａ，６ｂ        パルス発振器
７，７ａ，７ｂ        ピニオン
８                    ラック
１０                  磁気シール
１１                  ガラス基板
１３，１３ａ，１３ｂ  基板搬送台車
【図１】
0003540504.tif 000002
【図２】
0003540504.tif 000003
【図３】
0003540504.tif 000004
【図４】
0003540504.tif 000005
【図５】
0003540504.tif 000006