(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造設備に使用される電力供給制御装置において、
商業用電力を供給する商業用電力ラインと、
前記商業用電力ラインでの停電発生を検出して停電検出信号を発生する停電検出器と、
前記停電検出信号により予備電力を供給するバックアップ電力供給装置と、
前記停電検出信号により電力選択信号を発生し、かつ動作開始信号を発生するメインコントローラと、
前記電力選択信号により半導体製造設備に前記商業用電力と前記予備電力を選択的に供給するメイン電力供給装置と、
前記半導体製造設備の各々に対応して各設備の動作モードを検出してモード検出信号を発生する複数個の工程状態検出器と、
前記工程状態検出器の各々に対応し、前記動作開始信号により動作し、前記モード検出信号に応じて電力制御信号を発生する複数個のユニットコントローラと、
前記ユニットコントローラの各々に対応し、前記電力制御信号に応じて前記メイン電力供給装置より前記各半導体製造設備に供給される電力の量を制御する複数個の電力供給ユニットとを具備することを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項２】
請求項１記載の電力供給制御装置において、前記メインコントローラは、前記停電検出信号により停電を認識して前記商業用電力ラインでの停電発生の時、電力選択信号を発生し、かつ前記複数のユニットコントローラのうち或る一つのための前記動作開始信号を発生してそれが動作するようにするマイクロコンピュータを備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項３】
請求項２記載の電力供給制御装置において、メインコントローラは、最初に動作する最初のユニットコントローラと最後に動作する最後のユニットコントローラの動作開始情報を入力するためのキーエントリ部と、前記情報を貯蔵するためのメモリ部及び、特定半導体製造設備の工程が終了するたびに最初のユニットコントローラの動作開始情報から計数するカウンタを付加的に備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項４】
請求項３記載の電力供給制御装置において、前記カウンタは前記マイクロコンピュータ内に設置されることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項５】
請求項３記載の電力供給制御装置において、前記キーエントリ部は、最初のユニットコントローラの動作開始情報を入力して、それが動作するようにするために使用される一つのキーエントリ及び、最後のユニットコントローラの動作開始情報を入力して、それが動作するようにするために使用される他の一つのキーエントリを備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項６】
請求項３記載の電力供給制御装置において、前記メモリ部は、前記最初のユニットコントローラの前記動作開始情報を貯蔵する一つの貯蔵領域及び、前記最後のユニットコントローラの前記動作開始情報を貯蔵する他の一つの貯蔵領域を備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項７】
請求項３記載の電力供給制御装置において、メインコントローラは、前記カウンタの前記計数された内容を前記最後のユニットコントローラの前記動作開始情報と比較する手段を付加的に備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項８】
請求項６記載の電力供給制御装置において、前記メモリ部は停電を示すフラグを貯蔵するための領域を付加的に備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項９】
請求項１記載の電力供給制御装置において、前記複数個のユニットコントローラの各々は、前記動作開始信号によって前記モード検出信号を受け入れ、前記モード検出信号に応じて前記電力供給ユニットの一つに第１、第２あるいは第３の電力制御信号を供給するマイクロコンピュータを備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項１０】
請求項９記載の電力供給制御装置において、ユニットコントローラの各々は、複数個の情報貯蔵領域からなるメモリ部及び、複数個の情報キーエントリからなるキーエントリ部を付加的に備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【請求項１１】
請求項１記載の電力供給制御装置において、前記複数個の電力供給ユニットの各々は、前記ユニットコントローラの一つより前記電力制御信号を受け入れて前記メイン電力供給装置より前記半導体製造設備に供給される電力の量を制御するマイクロコンピュータ及び、このマイクロコンピュータの制御によって前記半導体製造設備に前記制御された量の電力を供給する複数個の電力出力駆動器を備えることを特徴とする電力供給制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造設備に使用される電力供給制御装置に関し、具体的には前記設備の工程条件によって前記設備に供給されるＡＣ電力の量を制御することができる電力供給制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
拡散炉のような半導体製造設備は商業用電力ラインに停電が発生したとき、通常、バックアップ電力供給装置によって稼動される。勿論、このとき、バックアップ電力供給装置より供給される電力量は商業用電力ラインより供給される商業用電力に比べて相対的に少ない。
【０００３】
図１１は多数の半導体製造設備に使用される従来の電力供給制御装置をブロックの形態として示している。メイン電力供給装置８０は半導体製造設備に商業用電力を供給する商業用電力ライン１００と停電発生時、前記設備に予備電力を供給するためのバックアップ電力供給装置１１０とに接続されている。停電検出器９０は商業用電力ライン１００での停電事故を検出し、停電時、停電信号を発生する。バックアップ電力供給装置１１０は前記停電信号に応じてメイン電力供給装置８０を通して半導体製造設備に予備電力を供給する。
【０００４】
メイン電力供給装置８０よりの電力はメインコントローラ１０の制御によって電力供給ユニット２０，４０，６０を通じて半導体製造設備（以下単に設備という）３０，５０，７０へ伝達される。メインコントローラ１０は各設備が電力供給を要求しているかを検出して電力制御信号を発生する。第１、第２、・・・第Ｎの設備３０，５０，７０に各々接続された第１、第２、・・・第Ｎの電力供給ユニット２０，４０，６０は前記電力制御信号に応じて選択的にスイッチオンされる。
【０００５】
このような構造を備える従来の電力供給制御装置においては、各設備の工程条件、例を上げれば消費電力条件と関係なくメイン電力供給装置８０より最大の電力が電力供給を必要とする設備に供給される。
【０００６】
図１２（Ａ）に図示されるように、第１の設備３０は待機モードであり、第２の設備５０は昇温モードであり、また、第Ｎの設備７０は工程モードであるとすると、前記全ての設備３０，５０，７０に電力が供給されることが必要である。
【０００７】
その結果、図１２（Ｂ）に図示されるように、メイン電力供給装置８０より最大の電力（要するに、１００％の電力）が電力供給ユニット２０，４０，６０を通じて各設備に供給される。このとき、もしも、前記設備が非稼動（オフ）モード或いは減温モードであれば、前記各設備は電力を必要としない。ここで、前記昇温モードとは、要するに、不純物拡散装置が前記設備として使用されるとき、拡散装置の拡散チューブの内部温度が増加することを意味し、減温モードとは前記拡散チューブの内部温度が減少することを意味する。拡散装置は、昇温モードの間は最大の消費電力（１００％）を必要とするが、待機モードや工程モードの間は前記昇温モードの時に必要な電力の約５０％だけを必要とする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図１１の従来の電力供給制御装置においては、工程条件に係わらず常に最大の電力を各設備に供給するため、例えば３台の設備に供給される電源を制御する場合は、図１２（Ｂ）に図示されるように約３００％の最大の消費電力を必要とする。したがって、バックアップ電力供給装置１１０より予備電力が設備に供給されている間に、全ての設備に同時に前記予備電力が供給されると前記バックアップ電力供給装置の電力供給の限界によって設備に供給される電力が中断される事態が発生する恐れがある。この電力供給の中断は、製造される半導体装置の電気的特性に深刻して好ましくない影響を及ぼすことは明らかである。
【０００９】
従って、本発明の目的は半導体製造設備の消費電力条件によって前記設備に供給される電力量を制御する電力供給制御装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決し上記の目的を達成するために、半導体製造設備に使用される電力供給制御装置において、商業用電力を供給する商業用電力ラインと、この商業用電力ラインでの停電発生を検出して停電検出信号を発生する停電検出器と、前記停電検出信号により予備電力を供給するバックアップ電力供給装置と、前記停電検出信号により電力選択信号を発生し、かつ動作開始信号を発生するメインコントローラと、前記電力選択信号により半導体製造設備に前記商業用電力と前記予備電力を選択的に供給するメイン電力供給装置と、前記半導体製造設備の各々に対応して各設備の動作モードを検出してモード検出信号を発生する複数個の工程状態検出器と、この工程状態検出器の各々に対応し、前記動作開始信号により動作し、前記モード検出信号に応じて電力制御信号を発生する複数個のユニットコントローラと、このユニットコントローラの各々に対応し、前記電力制御信号に応じて前記メイン電力供給装置より各半導体製造設備に供給される電力の量を制御する複数個の電力供給ユニットとを具備する電力供給制御装置とする。
【００１１】
前記メインコントローラは、前記停電検出信号により停電を認識して前記商業用電力ラインでの停電発生の時、電力選択信号を発生し、かつ前記複数のユニットコントローラのうち或る一つのための前記動作開始信号を発生してそれが動作するようにするマイクロコンピュータを具備する。
【００１２】
前記メインコントローラは、最初に動作する最初のユニットコントローラと最後に動作する最後のユニットコントローラの動作開始情報を入力するためのキーエントリ部と、前記情報を貯蔵するためのメモリ部及び、特定半導体製造設備の工程が終了するたびに最初のユニットコントローラの動作開始情報から計数するカウンタを具備する。このカウンタは前記マイクロコンピュータ内に設置されることもできる。前記キーエントリ部は、最初のユニットコントローラの動作開始情報を入力してそれが動作するようにするために使用される一つのキーエントリ及び、最後のユニットコントローラの動作開始情報を入力してそれが動作するようにするために使用される他の一つのキーエントリを具備する。前記メモリ部は、前記最初のユニットコントローラの前記動作開始情報を貯蔵する一つの貯蔵領域及び、前記最後のユニットコントローラの前記動作開始情報を貯蔵する他の一つの貯蔵領域を具備する。前記メインコントローラは、前記カウンタの前記計数された内容を前記最後のユニットコントローラの前記動作開始情報と比較する手段を具備する。前記メモリ部は、停電を示すフラグを貯蔵するための領域を具備する。
【００１３】
前記複数個のユニットコントローラの各々は、前記動作開始信号によって前記モード検出信号を受け入れ、前記モード検出信号に応じて前記電力供給ユニットの一つに第１、第２または第３の電力制御信号を供給するマイクロコンピュータを具備する。前記ユニットコントローラの各々は、複数個の情報貯蔵領域からなるメモリ部及び、複数個の情報キーエントリからなるキーエントリ部を具備する。
【００１４】
前記複数個の電力供給ユニットの各々は、前記ユニットコントローラの一つより前記電力制御信号を受け入れて前記メイン電力供給装置より前記半導体製造設備に供給される電力の量を制御するマイクロコンピュータ及び、このマイクロコンピュータの制御によって前記半導体製造設備に前記制御された量の電力を供給する複数個の電力出力駆動器を具備する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に添付図面を参照して本発明による電力供給制御装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明による電力供給制御装置の実施の形態を示すブロック図である。この図１を参照して、メイン電力供給装置４７０は商業用電力を供給するための商業用電力ライン５１０と、停電発生の時に予備電力を発生するためのバックアップ電力供給装置５３０に電気的に接続される。このメイン電力供給装置４７０は商業用電力や予備電力を半導体製造設備（以下単に設備という）３１０，３７０・・・４３０に供給する。停電検出器４９０は商業用電力ライン５１０での停電発生を検出して停電検出信号を発生する。バックアップ電力供給装置５３０は前記検出器４９０よりの前記停電検出信号を受け入れて予備電力を発生する。また、メインコントローラ２１０は前記停電検出信号を受け入れて電力選択信号を発生する。このとき、メイン電力供給装置４７０は商業用電力や予備電力を設備３１０，３７０・・・４３０に供給する。
【００１６】
また、メインコントローラ２１０はキーエントリによって動作開始信号を発生する。この動作開始信号は第１、第２・・・第Ｎのユニットコントローラ２３０，２５０・・・２７０のうち一つに供給される。すると、該当ユニットコントローラが動作する。例をあげて、いま、第１のユニットコントローラ２３０が前記動作開始信号を受け入れたとすると、前記コントローラ２３０は第１設備３１０の動作モード（要するに、非稼動モード、待機モード、昇温モード、工程モード、減温モード）を検出する工程状態検出器３３０よりモード検出信号を受け入れて電力制御信号を発生する。ここで、昇温モードとは、半導体製造設備として使用される不純物拡散装置の拡散チューブの内部温度が増加することを意味し、減温モードとは、前記拡散チューブの内部温度が減少することを意味する。
【００１７】
そして、図９に示すように、或る設備が昇温モードであれば、その設備は最大の電力（約１００％の電力）を必要とする。もしも前記設備が待機モードであれば前記設備は最大の電力の約５０％の電力を必要とする。また、前記設備が減温モードや非稼動（オフ）モードであれば前記設備は何らの電力を必要としない。
【００１８】
第１のユニットコントローラ２３０より電力制御信号が第１の電力供給ユニット２９０に供給されると、ユニット２９０はスイッチオンされる。このとき、第１の電力供給ユニット２９０はメイン電力供給装置４７０より第１の設備３１０に供給される電力の量を制御する。その結果、第１の設備３１０の動作モードに対応する量の電力が第１の設備３１０に供給される。例えば第１の設備３１０が昇温モードであれば、設備３１０には最大の電力が供給されることになる。また、第１の設備３１０が待機モードであると、前記最大の電力の約５０％程度の電力が第１の設備３１０に供給されることになる。
【００１９】
なお、ユニットコントローラ、工程状態検出器および電力供給ユニットは各設備に対応して設けられる。第２のユニットコントローラ２５０、第２の工程状態検出器３９０、第２の電力供給ユニット３５０は第２の設備３７０に対応して設けられたものであり、第Ｎのユニットコントローラ２７０、第Ｎの工程状態検出器４５０、第Ｎの電力供給ユニット４１０は第Ｎの設備４３０に対応して設けられたものである。これらユニットコントローラ２５０，２７０、電力供給ユニット３５０，４１０、工程状態検出器３９０，４５０は、第１のユニットコントローラ２３０、第１の工程状態検出器３３０、第１の電力供給ユニット２９０と同様に動作する。
【００２０】
図２は図１に図示されたメインコントローラ２１０の詳細な回路構成をブロック図の形態で示す図である。ここからは図５に図示されたフローチャートを参照して、メインコントローラ２１０の動作に対応して説明する。図５のフローチャートに図示された制御プログラムはメインコントローラ２１０によって実行される。
【００２１】
メインコントローラ２１０が停電検出器４９０より停電検出信号を受け入れたとき、メインコントローラ２１０のマイクロコンピュータ２２０は商業用電力ライン５１０での停電発生を認識し（ステップＳ３０１）、電力選択信号を発生する（ステップＳ３０２）。この電力選択信号はメイン電力供給装置４７０に印加されてバックアップ電力供給装置５３０よりの予備電力が設備に供給されるようにする（ステップＡ３０３）。次に、ステップＳ３０４にて、マイクロコンピュータ２２０はユニットコントローラ２３０，２５０，２７０のうちどの一つを動作させるかを判別し、動作開始信号を発生させ、対応するユニットコントローラ、例えば第１のユニットコントローラ２３０の動作を開始させる。その結果、第１のユニットコントローラ２３０は第１の工程状態検出器３３０が第１の設備３１０の動作モードを検出することができるようにする。第１の工程状態検出器３３０は第１の設備３１０の動作モードを検出した後、その設備の動作モードを示すモード検出信号を発生する。従って、第１のユニットコントローラ２３０は後述する図６のフローチャートに図示された制御プログラムを実行する。第１のユニットコントローラ２３０は第１の電力供給ユニット２９０が第１の設備３１０に前記電力制御信号による量の予備電力を供給するようにする。この電力制御信号は予備電力の量を制御する信号として使用される。
【００２２】
図２に図示されるように、メインコントローラ２１０は、マイクロコンピュータ２２０の外にキーエントリ部及び、前記マイクロコンピュータ２２０内に設置されるカウンタ２１９並びにメモリ部を備える。キーエントリ部は２個のキーエントリ２１７及び２１８で構成されるが、第１のキーエントリ２１７は最初に動作させる最初のユニットコントローラ、要するに、第１のユニットコントローラ２３０の番号（すなわち、動作開始情報）を入力するように使用され、第２のキーエントリ２１８は最後に動作させる最後のユニットコントローラ、要するに、第Ｎのユニットコントローラ２７０の番号（すなわち、動作開始情報）を入力するように使用される。最初及び最後のユニットコントローラの動作開始情報は、これを貯蔵するための２個の情報貯蔵領域２２２，２２３で構成される前記メモリ部内に貯蔵される。情報貯蔵領域２２２はキーエントリ２１７による最初のユニットコントローラの動作開始情報を貯蔵し、情報貯蔵領域２２３はキーエントリ２１８による最後のユニットコントローラの動作開始情報を貯蔵する。最初のユニットコントローラの動作開始情報はマイクロコンピュータ２２０内に設置されたカウント２１９にロードされて特定設備の工程が終了されるたびにカウントダウンされるかカウントアップされる。また、マイクロコンピュータ２２０は前記カウンタ２１９の計数内容を最後に動作させるユニットコントローラの番号と比較する。カウンタ２１９の計数動作は、計数された内容と前記最後のユニットコントローラの番号が同一になるまで継続的に実行される。前記メモリ部は停電を示すフラグを貯蔵する領域２１３を備えている。
【００２３】
一方、ステップＳ３０１にて、マイクロコンピュータ２２０が商業用電力ライン５１０での停電を認識することができないと、商業用電力が予備電力の代りに設備に供給される。
【００２４】
図６は図２に図示されたメインコントローラの動作の他の例を示している。まず、ステップＳ２０２にて、メインコントローラ２１０はフラグ貯蔵領域２１３をクリアさせる。このフラグ貯蔵領域２１３のクリア動作は商業用電力が図１に図示されたメイン電力供給装置４７０に供給されることを意味する。続いて、制御はステップＳ３０に進行して、メインコントローラ２１０が停電検出器４９０より停電検出信号が発生しているかを検出する。そして、このステップＳ３０にて、停電検出信号が検出されれば、制御はステップＳ４０に進行する。このステップＳ４０では、メインコントローラ２１０が電力選択信号をメイン電力供給装置４７０に供給してバックアップ電力供給装置５３０よりの予備電力が選択されるようにする。この予備電力の選択の後に、制御はステップＳ６０に進行する。
【００２５】
このステップＳ６０においては、メインコントローラ２１０が前記フラグ貯蔵領域２１３を停電状態に設定する。一方、ステップＳ３０にて、停電検出信号が検出されないと、制御はステップＳ５０に進行する。このステップＳ５０では、メインコントローラ２１０が商業用電力を選択してメイン電力供給装置４７０に供給する。
【００２６】
フラグ貯蔵領域が停電状態に設定されるか商業用電力が選択されると、制御はステップＳ７０に進行する。このステップＳ７０においては、メインコントローラ２１０がキーエントリ２１７，２１８によって情報貯蔵領域２２２，２２３に最初の設備及び最後の設備の動作開始情報が貯蔵されるようにする。ここで、説明の便宜のために第１の設備３１０の動作が開始すると仮定する。
【００２７】
第１の設備３１０が動作すると、制御はステップＳ８０に進行する。このステップＳ８０においては、メインコントローラ２１０が動作開始信号を発生して第１のユニットコントローラ２３０が動作するようにする。続いて、ステップＳ９０にて、メインコントローラ２１０は停電検出器４９０より停電検出信号が発生しているかを調査する。そして、停電検出信号の発生があるときは制御はステップＳ１００に進行する。このステップＳ１００では、メインコントローラ２１０がフラグ貯蔵領域２１３が停電状態に設定されているかを調査する。一方、ステップＳ９０にて停電検出信号の検出がないと、ステップＳ１３０に移って、ステップＳ１００と同様にメインコントローラ２１０はフラグ貯蔵領域２１３が停電状態に設定されているかを調査する。
【００２８】
ステップＳ１００にて、フラグ貯蔵領域２１３が停電状態に設定されていなければ、制御はステップＳ１１０に進行する。このステップＳ１１０では、メインコントローラ２１０が予備電力を選択してメイン電力供給装置４７０に供給する。そして、制御はステップＳ１２０に進行して、メインコントローラ２１０はフラグ貯蔵領域２１３が停電状態に設定されるようにする。
【００２９】
一方、ステップＳ１３０にて、フラグ貯蔵領域２１３が停電状態に設定されていないと、制御はステップＳ１４０に進行する。このステップＳ１４０では、メインコントローラ２１０が商業用電力を選択する。そして、制御はステップＳ１５０に進行して、メインコントローラ２１０がフラグ貯蔵領域２１３をクリアするようにする。
【００３０】
以上の後、ステップＳ１６０にて、メインコントローラ２１０は第１のユニットコントローラ２３０の動作が終了したかを判別する。このとき第１のユニットコントローラ２３０の動作が終了していなければステップＳ７０にジャンプし、第１のユニットコントローラ２３０の動作が終了していると制御プログラムの実行は完全に終了する。
【００３１】
図３は図１に図示された第１のユニットコントローラ２３０の詳細回路図を示している。第２のユニットコントローラ２５０及び第Ｎのユニットコントローラ２７０は第１のユニットコントローラ２１０と同一の構成を備える。従って、説明の重複を避けるために、ここではそれらに関する記述は省略する。
【００３２】
図３を参照すれば、第１のユニットコントローラ２３０は信号ライン２３１上の動作開始信号によって工程状態検出器３３０よりの信号ライン２４２上のモード検出信号を受け入れるマイクロコンピュータ２３５を備えている。このマイクロコンピュータ２３５は前記モード検出信号に応じて第１、第２あるいは第３の電力制御信号を第１の電力供給ユニット２９０に供給する。ここで、信号ライン２３２上の第１の電力制御信号は第１の電力供給ユニット２９０より約０％の電力が第１の設備３１０に供給されるようにする、すなわち、第１の設備３１０に供給される電力をほとんど遮断する信号を示す。また、信号ライン２３３上の第２の電力制御信号は第１の電力供給ユニット２９０より約５０％の電力が第１の設備３１０に供給されるようにする信号を示し、信号ライン２３４上の第３の電力制御信号は第１の電力供給ユニット２９０より約１００％の電力が第１の設備３１０に供給されるようにする信号を示す。第１のユニットコントローラ２３０はマイクロコンピュータ２３５の外にも多数個の（要するに、第１ないし第３の）情報貯蔵領域２３６，２３７，２３８からなるメモリ部と、多数個の（要するに、第１ないし第３の）情報キーエントリ２３９，２４０，２４１からなるキーエントリ部を備えている。
【００３３】
このようなユニットコントローラ２３０のメモリ部にて、第１の情報貯蔵領域２３６は第１のキーエントリ２３９によって第１の動作モード、図９に図示した例によれば第１の非稼動モード（すなわち、Ａモード）、減温モード（すなわち、Ｅモード）及び第２の非稼動モード（すなわち、Ｇモード）に対する情報を貯蔵する。第２の情報貯蔵領域２３７は第２のキーエントリ２４０によって第２の動作モード、図９に図示した例によれば、第１の待機モード（すなわち、Ｂモード）、工程モード（すなわち、Ｄモード）及び第２の待機モード（すなわち、Ｆモード）に対する情報を貯蔵する。そして、第３の情報貯蔵領域２３８は第３のキーエントリ２４１によって第３のモード、図９に図示した例によれば、昇温モード（すなわち、Ｃモード）に対する情報を貯蔵する。
【００３４】
マイクロコンピュータ２３５はキーエントリ部によって上記のようなモード情報が自分のメモリ部内に貯蔵されるようにする。次に、第１のユニットコントローラ２３０の動作に関して図７を参照して説明する。
【００３５】
ステップＳ８２にて、第１のユニットコントローラ２３０は第１の工程状態検出器３３０よりモード検出信号を受け入れ、制御はステップＳ８３に進行する。
【００３６】
このステップＳ８３においては、第１のユニットコントローラ２３０が第１の設備３１０の工程状態が第１の動作モードであるかを調査する。調査結果が第１の動作モードであれば、制御はステップＳ８６に進行する。このステップＳ８６においては、第１の制御信号が発生されて第１の電力供給ユニット２９０に供給される。その結果、ステップＳ８９においては第１の設備３１０のために約０％の電力が発生される。
【００３７】
ステップＳ８３にて、工程状態が第１の動作モードでないと判断されると、制御はステップＳ８４に進行する。このステップＳ８４においては、第１のユニットコントローラ２３０が第１の設備３１０の工程状態が第２の動作モードであるかを調査する。そして、調査結果が第２の動作モードであれば、制御はステップＳ８７に進行して、第２の制御信号が発生されて第１の電力供給ユニット２９０に供給される。その結果、ステップＳ８９においては第１の設備３１０のために約５０％の電力が発生される。
【００３８】
一方、ステップＳ８４にて、第１の設備３１０の工程状態が第２の動作モードでないと判断されると、制御はステップＳ８５に進行する。このステップＳ８５においては、第１のユニットコントローラ２３０が第１の設備３１０の工程状態が第３の動作モードであるかを調査する。そして、調査結果が第３の動作モードであれば、制御はステップＳ８８に進行し、第３の電力制御信号が発生されて第１の電力供給ユニット２９０に供給される。その結果、ステップＳ８９においては、第１の設備３１０のために約１００％の電力が発生される。一方、ステップＳ８５にて第１の設備３１０の工程状態が第３の動作モードでないと判断されたとき、あるいはステップＳ８９の終了後は、制御はスタートに戻る。
【００３９】
図４は図１に図示された第１の電力供給ユニット２９０の詳細回路をブロック図の形態で示したものである。第２の電力供給ユニット３５０及び第Ｎの電力供給ユニット４１０は第１の電力供給ユニット２９０と同一であるので、ここではそれらに関する説明は省略する。
【００４０】
図４を参照すれば、第１の電力供給ユニット２９０はマイクロコンピュータ２９５と少なくとも３個の電力出力駆動器２９２，２９３，２９４を備える。マイクロコンピュータ２９５は第１のユニットコントローラ２３０より電力制御信号を受け入れて電力出力駆動器２９２ないし２９４を制御する。その結果、メイン電力供給装置４７０より第１の設備３１０に供給される電力の量が制御される。
【００４１】
第１の電力出力駆動器２９２はマイクロコンピュータ２９５の制御によって０％の電力を第１の設備３１０に供給する。第２の電力出力駆動器２９３はマイクロコンピュータ２９５の制御によって約５０％の電力を第１の設備３１０に供給し、第３の電力出力駆動器２９４はマイクロコンピュータ２９５の制御によって約１００％の電力を第１の設備３１０に供給する。
【００４２】
次に図８に図示されたフローチャートを参照して上記のような第１の電力供給ユニット２９０の動作を説明する。図８のフローチャートとして図示された制御プログラムはマイクロコンピュータ２９５によって実行される。
【００４３】
ステップＳ１１２にて、マイクロコンピュータ２９５は第１のユニットコントローラ２３０より電力制御信号を受け入れ、制御はステップＳ１１３に進行する。このステップＳ１１３においては、マイクロコンピュータ２９５が電力制御信号の電圧レベルが０％電力の出力制御信号と同一であるかを判別する。そして、判別結果が同一である場合、制御はステップＳ１１６に進行する。このステップＳ１１６において、第１の電力供給ユニット２９０は０％の電力が第１の電力出力駆動器２９２を通じて第１の設備３１０に供給されるようにする。一方、電力制御信号の電圧レベルが０％電力の出力制御信号と同一でないとステップＳ１１３で判断されると、制御はステップＳ１１４に進行する。このステップＳ１１４においては、マイクロコンピュータ２９５が電力制御信号の電圧レベルが５０％電力の出力制御信号と同一であるかを判別する。そして、判別結果が同一の場合、制御はステップＳ１１７に進行する。このステップＳ１１７において、第１の電力供給ユニット２９０は５０％の電力が第２の電力出力駆動器２９３を通じて第１の設備３１０に供給されるようにする。一方、電力制御信号の電圧レベルが５０％電力の出力制御信号と同一でないとステップＳ１１４で判断されると、制御はステップＳ１１５に進行する。このステップＳ１１５において、マイクロコンピュータ２９５が電力制御信号の電圧レベルが１００％電力の出力制御信号と同一であるかを判別する。そして、判別結果が同一の場合、制御はステップＳ１１８に進行する。このステップＳ１１８において、第１の電力供給ユニット２９０は１００％の電力が第３の電力出力駆動器２９４を通じて第１の設備３１０に供給されるようにする。従って、第１の電力供給ユニット２９０は第１の設備３１０の工程条件、すなわち、消費電力条件に合わせて最適な電力を前記設備３１０に供給する。各設備の消費電力条件は、そのものの動作モードに従属的に変化する。
【００４４】
図１０（Ａ），（Ｂ）は、本発明の装置を用いた場合における電力供給制御多数の半導体製造設備の消費電力の総量を示す。この図１２（Ａ），（Ｂ）に示すように、第１及び第３の設備は待機モード及び工程モードであるので、それらには各々約５０％の電力が供給され、第２の設備は昇温モードであるので、それには約１００％の電力が供給される。従って、本発明の電力供給制御装置が３台の設備に供給される電力を制御する場合、３台の設備にて必要とする最大の電力消費は約２００％程度である。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の電力供給制御装置によれば、各設備の動作モード、すなわち、消費電力条件によって各設備に供給される電力の量を制御するようにしたので、停電の時にバックアップ電力供給装置より予備電力が全ての設備に同時に供給される場合においても、バックアップ電力供給装置の限界による電力供給の中断という事態の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による電力供給制御装置の実施の形態を示すブロック図。
【図２】図１の装置に使用されるメインコントロールの詳細を示すブロック図。
【図３】図１の装置に使用される第１のユニットコントローラの詳細を示すブロック図。
【図４】図１の装置に使用される第１の電力供給ユニットの詳細を示すブロック図。
【図５】図２のメインコントローラの動作を示すフローチャート。
【図６】図２のメインコントローラの動作の他の例を示すフローチャート。
【図７】図３の第１のユニットコントローラの動作を示すフローチャート。
【図８】図４の第１の電源供給ユニットの動作を示すフローチャート。
【図９】動作モードによる設備での消費電力を示す図。
【図１０】図１の装置を用いた場合における多数の半導体製造設備の総消費電力量を説明するための図。
【図１１】従来の電力供給制御装置を示すブロック図。
【図１２】図１１の従来の装置による場合の多数の半導体製造設備の総消費電力量を説明するための図。
【符号の説明】
２１０    メインコントローラ
２３０，２５０，２７０    ユニットコントローラ
２９０，３５０，４１０    電力供給ユニット
３１０，３７０，４３０    半導体製造設備
３３０，３９０，４５０    工程状態検出器
４７０    メイン電力供給装置
４９０    停電検出器
５３０    バックアップ電力供給装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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