(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線基板材の搬送機構であって、処理室内で該プリント配線基板材を搬送しつつ処理液を噴射して表面処理するプリント配線基板の製造工程において用いられ、
該プリント配線基板材を送る搬送ローラーと、該搬送ローラー間に配設された液溜めローラーと、を有してなり、
該液溜めローラーは、スプレーノズルから噴射された該処理液を溜めつつ流し、該プリント配線基板材は、極薄でフレキシブル性に富み、溜められた該処理液にて浮力を受け該搬送ローラーへの巻付きが阻止され、該処理液は、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等よりなり、
該搬送ローラーは、左右方向に添って上下に配設された大径のストレートローラーよりなり、該プリント配線基板材を水平姿勢で搬送し、該液溜めローラーは、該搬送ローラーに接しつつ左右方向に添って配設された小径のストレートローラーよりなり、
下位の該搬送ローラーは、僅かな隙間Ｈを存した３本１組で用いられ、各組間には、１個分に相当する間隔Ｊが形成されており、上位の該搬送ローラーは、この下位の間隔Ｊ上に対向位置しており、
下位の該液溜めローラーは、下位の該搬送ローラー間の隙間Ｈを上側から塞ぐように、下位の該搬送ローラー間に接して配設されており、上位の該液溜めローラーは、上位の各該搬送ローラーの前後に隙間Ｋを存して配され、もって上位の各該搬送ローラー間に相互間隔Ｌを存しつつ配設されると共に、下位の３本１組の該搬送ローラーの前後のものに対し上側から接しており、
下位の３本１組の該搬送ローラーと、下位の２本の該液溜めローラーと、上位の２本の該液溜めローラーとで、該処理液の液溜め部が囲まれて形成され、又、下位の間隔Ｊを介した２本の該搬送ローラーと、上位の１本の該搬送ローラーと、その前後の上位の該液溜めローラーとで、該処理液の液溜め部が囲まれて形成され、
両該液溜め部では、対向位置する該スプレーノズルから噴射された該処理液が、溜められつつ左右の幅方向へと流れた後、左右の両サイドから流下し、
該プリント配線基板材は、該液溜め部の該処理液中を搬送され、もって浮力を受けること、を特徴とするプリント配線基板材の搬送機構。
【請求項２】
プリント配線基板材の搬送機構であって、処理室内で該プリント配線基板材を搬送しつつ処理液を噴射して表面処理するプリント配線基板の製造工程において用いられ、
該プリント配線基板材を挟んで送る上下の搬送ローラーと、該搬送ローラーに取付けられたリング部材とを、を有してなり、
該リング部材は、該搬送ローラーの外周面より突出する剥がし部を少なくとも下流側に備えてなり、該剥がし部は、該搬送ローラーに巻付こうとする該プリント配線基板材を、該搬送ローラーの回転と共に接触して剥がし、
該プリント配線基板材は、極薄でフレキシブル性に富み、該処理液は、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等よりなり、
該搬送ローラーは、左右方向に添って配設されたストレートローラーよりなり、該プリント配線基板材を水平姿勢で搬送すると共に、外周面に間隔を存しつつ複数本の細溝が形成され、該細溝は、周溝よりなり軸周りで形成されており、
該リング部材は、該搬送ローラーに各該細溝を利用して嵌入や圧入により複数個取付けられており、該剥がし部は、アール状の剥がし面を備えていること、を特徴とするプリント配線基板材の搬送機構。
【請求項３】
請求項２に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該搬送ローラーは、前後と上下で各１対の計４本の組合せで用いられており、
該リング部材は、部分的に欠落した２個の略リング状のものが連続せしめられた湾曲形状をなし、該細溝に嵌入されることにより前後の該搬送ローラー間に掛渡されており、前後の該搬送ローラー用の該剥がし部をそれぞれ備えていること、を特徴とするプリント配線基板材の搬送機構。
【請求項４】
請求項２に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該搬送ローラーは、上下１対で用いられており、
該リング部材は、略リング状をなし該搬送ローラーの細溝に嵌入され、該搬送ローラーより大径の弾性材よりなり、一部が該剥がし部を形成すると共に、上下の該搬送ローラーの対向箇所では該細溝内に圧入されること、を特徴とするプリント配線基板材の搬送機構。
【請求項５】
請求項４に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該リング部材は、中空のチューブ状をなすこと、を特徴とするプリント配線基板材の搬送機構。
【請求項６】
請求項２に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該搬送ローラーは、複数本の単位ローラーの集合体よりなり、上下１対で用いられており、
該リング部材は、該単位ローラー間に挟持され、該搬送ローラーより小径の円板状をなす弾性材よりなると共に、外周面に複数の突起が付設されており、
該突起は、該搬送ローラーの外周面より突出し、一部が該剥がし部を形成すると共に、上下の該搬送ローラーの対向箇所では、該搬送ローラーと該リング部材とで形成された該細溝内に圧入されること、を特徴とするプリント配線基板材の搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線基板材の搬送機構に関する。すなわち、処理室内でプリント配線基板材を搬送しつつ処理液を噴射して表面処理する、プリント配線基板の製造工程において用いられる、プリント配線基板材の搬送機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板は、近年ますます小型化，軽量化，ファイン化，極薄化，フレキシブル化，多層化等が著しく、外表面に形成される回路の高密度化，微細化，高精度化等が進みつつある。
そして、このようなプリント配線基板は、公知のごとく、絶縁基材に銅箔が張り付けられたプリント配線基板材を切断した後、→スルホール用の穴あけ加工，めっき、→感光性レジストの塗布又は張り付け、→回路用ネガフィルムを当てての露光、→回路部分以外の感光性レジストを溶融除去する現像、→回路部分以外の銅箔を溶融除去するエッチング、→回路部分の感光性レジストを溶解除去する剥離、等々の工程を順次辿って行くことにより、製造される。
そして、このようなプリント配線基板材の現像，エッチング，剥離等の各工程では、処理室内でプリント配線基板材を搬送機構にて搬送しつつ、現像液，腐食液，剥離液等の処理液を、スプレーノズルにて噴射し、もってプリント配線基板材について、現像，エッチング，剥離等の薬液処理・表面処理が行われている。
又、このような各工程更にはその他の製造工程では、それぞれ付随して事後、水洗液よりなる処理液を噴射する洗浄処理・表面処理が、行われている。
【０００３】
図９は、この種従来例のプリント配線基板材の搬送機構の説明に供し、要部の側面図である。
同図にも示したように、現像，エッチング，剥離等の工程において、それぞれの処理室１内では、プリント配線基板材Ａが搬送機構２の上下の搬送ローラー３に挟まれて、水平姿勢で送られ搬送される。これと共に、処理室１内に対向配設された多数のスプレーノズルから、現像液，腐蝕液，剥離液，又は水洗液等の処理液Ｂが、搬送されるプリント配線基板材Ａに対し噴射される。
もってプリント配線基板材Ａが、現像，エッチング，剥離，洗浄等、薬液処理や洗浄処理され表面処理される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来例にあっては、次の問題が指摘されていた。すなわち、搬送されるプリント配線基板材Ａが、先端部Ｃから搬送ローラー３の外周面４に張付き、もって搬送ローラーに巻付いてしまうトラブルが頻発していた。
この点について更に詳述すると、ａ．プリント配線基板材Ａは、前述したように最近軽量化，極薄化が進み、フレキシブル性に富んでいる。ｂ．そしてこのようなプリント配線基板材Ａは、処理液Ｂが噴射されて濡らされており、付着性を帯びている。ｃ．搬送ローラー３にて上下から挟まれて送られることにより、プリント配線基板材Ａに、加圧力が作用する。
これらａ，ｂ，ｃが原因となって、搬送されるプリント配線基板材Ａが、先端部Ｃから通過直後の搬送ローラー３の外周面４に対し、その下流側からピッタリと張付き、巻付いてしまう事故が多発していた。図面上では実線表示したように、下側の搬送ローラー３の外周面４に巻付いた例が示されているが、破線表示したように、上側の搬送ローラー３の外周面４に巻付くことも多かった。
【０００５】
そして、このようにプリント配線基板材Ａが搬送ローラー３に巻付くと、そのスムーズな搬送が阻害され、製造不良が発生する。
すなわち、このような巻付きに起因して、プリント配線基板材Ａが、折れ曲がったり，折り重なったり，落下したり，損傷したりすると共に、薬液処理や洗浄処理等の表面処理が、所期のごとく行われなくなる。
このような事態発生は、前述したようにファイン化が進み、回路の高密度化，微細化，高精度化が進むプリント配線基板にとって、致命的な欠陥となると共に、歩留まりも悪化し生産性にも問題が生じる。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果なされたものであって、プリント配線基板材の搬送機構について、搬送ローラー間に、小径の液溜めローラーを配設したり、搬送ローラーに、剥がし部を備えたリング部材を複数個取付けたこと、を特徴とする。
もって本発明は、第１に、プリント配線基板材の搬送ローラーへの巻付きが防止されると共に、第２に、しかもこれが簡単容易に実現される、プリント配線基板材の搬送機構を提案すること、を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１については次のとおり。すなわち、この請求項１のプリント配線基板材の搬送機構は、処理室内で該プリント配線基板材を搬送しつつ処理液を噴射して表面処理する、プリント配線基板の製造工程において用いられる。
そして、該プリント配線基板材を送る搬送ローラーと、該搬送ローラー間に配設された液溜めローラーと、を有してなる。
該液溜めローラーは、スプレーノズルから噴射された該処理液を溜めつつ流す。該プリント配線基板材は、極薄でフレキシブル性に富み、溜められた該処理液にて浮力を受け該搬送ローラーへの巻付きが阻止される。該処理液は、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等よりなる。該搬送ローラーは、左右方向に添って上下に配設された大径のストレートローラーよりなり、該プリント配線基板材を水平姿勢で搬送する。該液溜めローラーは、該搬送ローラーに接しつつ左右方向に添って配設された、小径のストレートローラーよりなる。
すなわち、下位の該搬送ローラーは、僅かな隙間Ｈを存した３本１組で用いられ、各組間には、１個分に相当する間隔Ｊが形成されている。又、上位の該搬送ローラーは、この下位の間隔Ｊ上に対向位置している。
下位の該液溜めローラーは、下位の該搬送ローラー間の隙間Ｈを上側から塞ぐように、下位の該搬送ローラー間に接して配設されている。又、上位の該液溜めローラーは、上位の各該搬送ローラーの前後に隙間Ｋを存して配され、もって上位の各該搬送ローラー間に相互間隔Ｌを存しつつ配設されると共に、下位の３本１組の該搬送ローラーの前後のものに対し上側から接している。
そして、下位の３本１組の該搬送ローラーと、下位の２本の該液溜めローラーと、上位の２本の該液溜めローラーとで、該処理液の液溜め部が囲まれて形成される。又、下位の間隔Ｊを介した２本の該搬送ローラーと、上位の１本の該搬送ローラーと、その前後の上位の該液溜めローラーとで、該処理液の液溜め部が囲まれて形成される。
両該液溜め部では、対向位置する該スプレーノズルから噴射された該処理液が、溜められつつ左右の幅方向へと流れた後、左右の両サイドから流下する。そして、該プリント配線基板材は、該液溜め部の該処理液中を搬送され、もって浮力を受けること、を特徴とする。
【０００８】
次に、請求項２については、次のとおり。すなわち、この請求項２のプリント配線基板材の搬送機構は、処理室内で該プリント配線基板材を搬送しつつ処理液を噴射して表面処理するプリント配線基板の製造工程において用いられる。
そして、該プリント配線基板材を挟んで送る上下の搬送ローラーと、該搬送ローラーに取付けられたリング部材とを、を有してなる。該リング部材は、該搬送ローラーの外周面より突出する剥がし部を少なくとも下流側に備えてなり、該剥がし部は、該搬送ローラーに巻付こうとする該プリント配線基板材を、該搬送ローラーの回転と共に接触して剥がすようになっている。
そして該プリント配線基板材は、極薄でフレキシブル性に富む。該処理液は、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等よりなる。該搬送ローラーは、左右方向に添って配設されたストレートローラーよりなり、該プリント配線基板材を水平姿勢で搬送すると共に、外周面に間隔を存しつつ複数本の細溝が形成され、該細溝は、周溝よりなり軸周りで形成されている。
そして該リング部材は、該搬送ローラーに各該細溝を利用して、嵌入や圧入により複数個取付けられており、該剥がし部は、アール状の剥がし面を備えていること、を特徴とする。
【０００９】
次に、請求項３については次のとおり。すなわち、この請求項３のプリント配線基板材の搬送機構では、請求項２に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該搬送ローラーは、前後と上下で各１対の計４本の組合せで用いられている。
該リング部材は、部分的に欠落した２個の略リング状のものが連続せしめられた湾曲形状をなし、該細溝に嵌入されることにより前後の該搬送ローラー間に掛渡されており、前後の該搬送ローラー用の該剥がし部をそれぞれ備えていること、を特徴とする。
請求項４については次のとおり。すなわち、この請求項４のプリント配線基板材の搬送機構では、請求項２に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該搬送ローラーは、上下１対で用いられている。該リング部材は、略リング状をなし該搬送ローラーの細溝に嵌入され、該搬送ローラーより大径の弾性材よりなり、一部が該剥がし部を形成すると共に、上下の該搬送ローラーの対向箇所では、該細溝内に圧入されること、を特徴とする。
請求項５については次のとおり。すなわち、この請求項５のプリント配線基板材の搬送機構では、請求項４に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該リング部材は、中空のチューブ状をなすこと、を特徴とする。
請求項６については次のとおり。すなわち、この請求項６のプリント配線基板材の搬送機構では、請求項２に記載したプリント配線基板材の搬送機構において、該搬送ローラーは、複数本の単位ローラーの集合体よりなり、上下１対で用いられている。
そして該リング部材は、該単位ローラー間に挟持され、該搬送ローラーより小径の円板状をなす弾性材よりなると共に、外周面に複数の突起が付設されている。該突起は、該搬送ローラーの外周面より突出し、一部が該剥がし部を形成すると共に、上下の該搬送ローラーの対向箇所では、該搬送ローラーと該リング部材とで形成された該細溝内に圧入されること、を特徴とする。
【００１０】
本発明は、このようになっているので、次のようになる。まず、請求項１では、搬送ローラー間に小径の液溜めローラーが配設され、もって液溜め部が形成されており、スプレーノズルから噴射された処理液は、溜められつつ幅方向へと流れる。
そこで、極薄でフレキシブルなプリント配線基板材は、液溜め部の処理液中を搬送ローラーに対し浮かされて搬送されるので、先端部から搬送ローラーに張付き，巻付くことは防止される。処理室内では、このような搬送機構によりプリント配線基板材が搬送され、処理液が噴射されて表面処理される。
【００１１】
次に、請求項２では、プリント配線基板材を挟んで送る搬送ローラーの外周面に、間隔を存しつつ複数本の細溝が形成され、リング部材が取付けられており、各リング部材は、下流側に搬送ローラーの外周面より突出する剥がし部を備えてなる。
プリント配線基板材は、極薄でフレキシブルであると共に、処理液にて濡らされて付着性を帯びており、加圧力が作用することにより、先端部から搬送ローラーに張付きやすいが、搬送ローラーの回転と共に、直ちに各リング部材の剥がし部の剥がし面に接触して剥がされ、搬送ローラーに巻付くことは防止される。
処理室内では、このような搬送ローラーを有した搬送機構により、プリント配線基板材が搬送され、処理液が噴射されて表面処理される。
【００１２】
なお、請求項３，４，５，６は、リング部材の各例を示す。そして、請求項３のリング部材では、略リング状が連続した湾曲形状をなし、前後と上下で対をなす搬送ローラーの前後間に掛渡され、２個の剥がし部を備えてなる。
請求項４のリング部材は、搬送ローラーより大径のリング状の弾性材よりなり、上下対をなす搬送ローラーの各細溝に嵌入され、それぞれ、一部が剥がし部を形成すると共に、搬送ローラーの対向箇所では細溝内に圧入される。請求項５のリング部材は、更に中空のチューブ状をなす。
請求項６のリング部材は、円板状の弾性材よりなり、上下対をなす搬送ローラーの単位ローラー間に挟持されると共に、複数の突起が、搬送ローラーの外周面より突出しており、一部が剥がし部を形成すると共に、搬送ローラーの対向箇所では形成された細溝内に圧入される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
《図面について》
以下本発明を、図面に示す発明の実施の形態に基づいて、詳細に説明する。図１，図２，図３，図４，図５，図６，図７，図８等は、本発明の実施の形態の説明に供する。
そして図１は、処理室の要部の側面図である。図２は、第１例の説明に供し、（１）図は、プリント配線基板材を搬送する前の要部の側面図、（２）図は、プリント配線基板材を搬送中の要部の側面図、（３）図は、要部の平面図である。
図３は、第２例の説明に供し、（１）図は、要部の側面図、（２）図は、搬送ローラーの要部の正面図、（３）図は、要部の正面図である。図４も、同第２例の説明に供し、（１）図は、上下のリング部材が対向配設された例の正面図、（２）図は、上下のリング部材がずれて配設された例の正面図である。
【００１４】
図５は、処理室の他の例の側面図である。図６は、第３例の説明に供し、（１）図は、要部の側面図、（２）図は、搬送ローラーの要部の正面図、（３）図は、要部の正面図である。
図７も、同第３例の説明に供し、（１）図は、上下のリング部材が対向配設された例の正面図、（２）図は、上下のリング部材がずれて配設された例の正面図である。
図８は、第４例の説明に供し、（１）図は、要部の側面図、（２）図は、要部の正面図である。なお図１０は、プリント配線基板（材）の平面説明図である。
【００１５】
《プリント配線基板Ｄの製造工程等について》
まず、プリント配線基板Ｄの製造工程等について、図１，図５，図１０等を参照しつつ説明する。本発明のプリント配線基板材Ａの搬送機構５は、処理室１内でプリント配線基板材Ａを搬送しつつ処理液Ｂを噴射して表面処理する、プリント配線基板Ｄの製造工程において用いられる。
プリント配線基板Ｄは、広く各種のＯＡ機器用の基板，その他の電子機器用の基板として用いられており、片面基板，両面基板，多層基板（含、最近のビルドアップ工法のもの）等、各種のものがあり、その一環として、半導体チップ・パッケージ絡みのＣＳＰ，ＰＢＧＡも出現している。そしてプリント配線基板Ｄは、近年ますます小型化，軽量化，ファイン化，極薄化，フレキシブル化，多層化等が進み、外表面に形成される回路の高密度化，微細化，高精度化等が著しい。
例えばプリント配線基板Ｄの肉厚は、絶縁基材の部分が０．０６ｍｍ程度で、回路Ｅ部分が５５μｍから０．１８μｍ程度まで極薄化されており、多層基板の場合でも、全体の肉厚が１．０ｍｍから０．４ｍｍ程度まで極薄化されつつある。回路Ｅの幅も、７０μｍから２０μｍ程度と微細化傾向にある。
【００１６】
そしてプリント配線基板Ｄは、公知のごとく、次の工程を順次辿って製造される。まず、樹脂やガラスクロス製の絶縁基材に銅箔が、熱プレス等により張り付けられた後、銅箔表面を粗化するソフトエッチングが行われ、ワークサイズに切断される。
それから、このように準備された銅張り積層板たるプリント配線基板材Ａについて、多くの場合、スルホール用の多数の穴あけ加工が施された後、パネルめっきが施され、スルホール内壁がめっきされる。しかる後、プリント配線基板材Ａの外表面について、保護膜たる感光性レジストが、膜状に塗布又は張付けられる。
（なお、図示例のプリント配線基板材Ａは、表面と裏面の両外表面に回路Ｅが形成される両面基板タイプよりなり、両面銅張り積層板が用いられているが、これによらず、片面の外表面のみに回路Ｅが形成される片面基板タイプよりなり、片面銅張り積層板が用いられるものにも、本発明は勿論適用される。）
それから、このようなプリント配線基板材Ａの外表面に、回路Ｅのネガフィルムである回路写真をあてて、露光する。もって感光性レジストは、露光されて硬化した回路Ｅ部分を残し、他の不要部分が、処理液Ｂたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、このようなプリント配線基板材Ａの外表面において、銅箔は、感光性レジストが硬化して被覆，保護された回路Ｅ部分を残し、上述により感光性レジストが溶解除去された不要部分が、処理液Ｂたる腐食液・エッチング液の噴射により、溶解除去・エッチングされる。
それから、残っていた硬化した回路Ｅ部分の感光性レジストが、処理液Ｂたる剥離液の噴射により溶解除去され、残った回路Ｅ部分の銅箔にて、プリント配線基板材Ａの外表面に所定の回路Ｅが形成され、もってプリント配線基板Ｄが製造される。
なお、このような工程を辿って製造されたプリント配線基板Ｄについては、後処理工程として上述した工程に準じ、形成された回路Ｅの保護被膜が、感光性レジストにて形成される。
【００１７】
そして、図１や図５左部に示したように、このようなプリント配線基板材Ａの現像，エッチング，剥離等等の各工程では、それぞれの処理室１内で、プリント配線基板材Ａが、搬送機構５にて水平姿勢で搬送方向Ｆに搬送される。
これと共に、処理室１内に上下に対向配設された多数のスプレーノズル６から現像液，腐蝕液，剥離液等の処理液Ｂが、搬送されるプリント配線基板材Ａに対し噴射され、もってプリント配線基板材Ａが、現像，エッチング，剥離等の薬液処理・表面処理される。
又、このような現像，エッチング，剥離の各工程、更にはその他の製造工程では、それぞれ付随して事後、洗浄処理・表面処理が行われる。例えば、図５右部に示したように、洗浄用の処理室１内において、プリント配線基板材Ａを搬送しつつ、水洗液たる処理液Ｂがスプレーノズル６から噴射され、もって洗浄処理・表面処理が行われる。
【００１８】
なお、処理室１内で各スプレーノズル６から噴射された現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等の処理液Ｂは、プリント配線基板材Ａが搬送されている場合は、プリント配線基板材Ａの外表面を左右の幅方向Ｇに流れ、もってプリント配線基板材Ａを薬液処理や洗浄処理等の表面処理した後、処理室１の下部に形成された液槽７に、流下，回収，貯留される。
そして、液槽７に貯留された処理液Ｂは、その多くが、配管８やポンプ９を介し、スプレーパイプ１０へと圧送されて、循環使用される。図１，図５中、１１は処理室１の前後壁であり、出入口１２が付設されている。プリント配線基板Ｄの製造工程等は、このようになっている。
【００１９】
《搬送機構５について》
本発明のプリント配線基板材Ａの搬送機構５は、このようなプリント配線基板Ｄの製造工程において、プリント配線基板材Ａを表面処理する処理室１にて使用される。以下、このような搬送機構５について、詳述する。
まず、各例の搬送機構５について概説しておくと、図１中，図２等に示した第１例の搬送機構５（Ｗ）は、プリント配線基板材Ａの張付き，巻付きを未然に阻止すべく、主に、処理室１内において全体的に用いられる。
図１中，図３，図４，図５中等に示した第２例の搬送機構５（Ｘ）は、張付いたプリント配線基板材Ａを剥がすべく、主に、処理室１の出入口１２において、部分的に用いられる。
図５中，図６，図７等に示した第３例の搬送機構５（Ｙ）は、張付いたプリント配線基板材Ａを剥がすべく、主に、処理室１内において全体的又は部分的に用いられるが、出入口１２について部分的に用いることも可能である。図５中，図８等に示した第４例の搬送機構５（Ｚ）も、張付いたプリント配線基板材Ａを剥がすべく、主に、処理室１内において全体的又は部分的に用いられるが、出入口１２について部分的に用いることも可能である。
見方を変えると、図１の例では、第１例の搬送機構５（Ｗ）と第２例の搬送機構５（Ｘ）とが、併用されている。図５の例では、第２例の搬送機構５（Ｘ）と第３例又は第４例の搬送機構５（Ｙ，Ｚ）とが、併用されている。
【００２０】
《第１例について》
まず、図１中および図２等に示した、第１例の搬送機構５（Ｗ）について述べる。この第１例の搬送機構５（Ｗ）は、プリント配線基板材Ａを送る搬送ローラー１３と、搬送ローラー１３間に配設された液溜めローラー１４，１５と、を有してなる。
搬送ローラー１３は、左右方向に添って配設された大径のストレートローラーよりなり、プリント配線基板材Ａを水平姿勢で搬送する。液溜めローラー１４，１５は、搬送ローラー１３に接しつつ左右方向に添って配設された小径のストレートローラーよりなり、スプレーノズル６（図５を参照）から噴射された処理液Ｂを溜めつつ流す。
プリント配線基板材Ａは、極薄でフレキシブル性に富み、先端部Ｃが搬送ローラー１３に巻付きやすいが、液溜めローラー１４，１５にて溜められた処理液Ｂにて浮力を受け、もって搬送ローラー１３への巻付きが阻止される。処理液Ｂは、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等よりなる。
【００２１】
このような第１例の搬送機構５（Ｗ）について、更に詳述する。搬送ローラー１３は、左右の幅方向Ｇに平行に添いつつ、搬送方向Ｆに向け多数本配設されている。そして、１本のストレートローラー又は複数本の単位ローラーが１本に集合したストレートローラーよりなり、液溜めローラー１４，１５より大径に設定され、駆動源にて回転駆動される。なお、搬送ローラー１３の左右の幅は、プリント配線基板材Ａの左右幅より広く設定されている。
図示例の搬送ローラー１３は、下位のものが、僅かな隙間Ｈを存した３本１組で用いられ、各組間には、１個分に相当する間隔Ｊが形成されている。上位のものは、この下位の間隔Ｊ上に対向位置している。
【００２２】
液溜めローラー１４や液溜めローラー１５は、左右の幅方向Ｇに平行に添いつつ、搬送方向Ｆに向け複数本配設されており、１本のストレートローラー又は単位ローラーが１本に集合したストレートローラーよりなり、搬送ローラー１３より小径かつ同じ左右幅に設定されている。
そして液溜めローラー１４は、下位側に配設された最小径のフリーローラーよりなり、前述した下位の３本１組の搬送ローラー１３間の２個の隙間Ｈを、それぞれ上側から埋め・塞ぐように、１組につき２本ずつ隙間Ｈ上に配され、もって、前後の搬送ローラー１３間に配設されると共に、この前後の搬送ローラー１３に接している。
【００２３】
これに対し、液溜めローラー１５は上位側に配設され、搬送ローラー１３と液溜めローラー１４の中間径よりなり、フリーローラー又は駆動源にて回転される駆動ローラーよりなる。
この液溜めローラー１５は、上位に配設された１本の搬送ローラー１３の前後に隙間Ｋを存しつつ配され、もって上位の各搬送ローラー１３間に、相互間隔Ｌを存しつつ配設されている。これと共に、下位に配設された３本１組の搬送ローラー１３の前後のものに対し、上側から接している。
【００２４】
そして図示例では、下位の３本１組の搬送ローラー１３と、下位の２本の液溜めローラー１４と、上位の２本の液溜めローラー１５とで、囲まれて形成された空間に、処理液Ｂの液溜め部１６が形成される。
又、下位の間隔Ｊを介した２本の搬送ローラー１３と、上位の１本の搬送ローラー１３と、その前後の上位の液溜めローラー１５とで、囲まれて形成された空間にも、処理液Ｂの液溜め部１７が形成される。
【００２５】
そこで、液溜め部１６に対向位置する上位のスプレーノズル６から噴射された処理液Ｂは、液溜め部１６に溜められつつ左右の幅方向Ｇへと流れた後、左右両サイドから液槽７（図５を参照）へと流下する。
又、液溜め部１７に対向位置する下位のスプレーノズル６から噴射された処理液Ｂは、下からの圧にて保持されつつ液溜め部１７に溜められると共に、左右の幅方向Ｇへと流れた後、左右の両サイドから液槽７へと流下する。
そしてプリント配線基板材Ａは、このような液溜め部１６，１７に溜められた処理液Ｂ中を、先端部Ｃから搬送方向Ｆへと搬送され、もって浮力を受ける。このようにプリント配線基板材Ａが搬送された際において、処理液Ｂの流れは各々上述に準じるが、液溜め部１６，１７中のプリント配線基板材Ａの外表面に沿って、流れることになる。
図１中および図２等に示した第１例の搬送機構５（Ｗ）は、このようになっている。
【００２６】
《第２，３，４例について》
次に、図１中，図３，図４，図５中，図６，図７，図８等に示した、第２，３，４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）について述べる。
この第２，３，４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、プリント配線基板材Ａを挟んで送る上下の搬送ローラー１３と、このような搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１８，１９，２０とを、を有してなる。
【００２７】
搬送ローラー１３は、左右方向に添って上下に配設され、１本の又は集合して１本となるストレートローラーよりなり、駆動源にて回転駆動される。そして、プリント配線基板材Ａを水平姿勢で搬送すると共に、外周面２１に左右の幅方向Ｇに間隔を存しつつ、複数本の周溝たる細溝２２が軸周りで形成されている。
リング部材１８，１９，２０は、搬送ローラー１３に各細溝２７を利用して複数個取付けられており、搬送ローラー１３の外周面２１より突出する剥がし部２３を少なくとも下流側に備えてなる。剥がし部２３は、アール状の剥がし面２４を備えており、搬送ローラー１３に巻付こうとするプリント配線基板材Ａを、搬送ローラー１３の回転と共に接触して、剥がすべく機能する。
プリント配線基板材Ａは、極薄でフレキシブル性に富み、先端部Ｃから搬送ローラー１３に巻付きやすい。処理液Ｂは、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等よりなる。
【００２８】
《第２例について》
このような第２，３，４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）について、更に詳述する。まず、図１中，図３，図４，図５中等に示した第２例の搬送機構５（Ｘ）について述べる。
この第２例の搬送機構５（Ｘ）は、例えば、図１左部や図５に示したように、処理室１の出入口１２について用いられ、次の搬送ローラー１３とリング部材１８と、を有してなる。
まず、この第２例の搬送ローラー１３は、前後と上下で各１対の計４本の組み合わせで用いられている。すなわち、プリント配線基板材Ａ水平姿勢で挟んで送る上下の搬送ローラー１３が、僅かな隙間を存しつつ前後１組で用いられており、合計４本の組み合わせよりなる。
【００２９】
又、この第２例のリング部材１８は、部分的に欠落した２個の略リング状のものが連続せしめられた湾曲形状をなし、細溝２２に嵌入されることにより前後の搬送ローラー１３間に掛渡されており、前後の搬送ローラー１３用の剥がし部２３をそれぞれ備えている。
すなわちリング部材１８は、図３の（１）図に示したように、前後のそれぞれ部分的に欠落した略リング状のものが、搬送方向Ｆに連続，連結せしめられた、特殊な凹凸を備えた湾曲形状をなす。そして、このような前後部の基部が、それぞれ、前後の搬送ローラー１３に図３の（２）図に示したように形成された細溝２２に対し、図３の（１）図や（３）図に示したように嵌入，係止され、もって、前後の搬送ローラー１３間に掛渡されている。
そして、このようなリング部材１８において、図３の（１）図に示したように、前後の搬送ローラー１３のそれぞれ下流側、つまりそれぞれの搬送方向Ｆの後半部に対応する部分が、各々剥がし部２３となっている。つまり、この部分のリング部材１８は、搬送ローラー１３の外周面２１より外側に突出して、剥がし部２３を形成しており、アール状の剥がし面２４を備えてなる。
【００３０】
もって図４に示したように、このようなリング部材１８が、上位の前後１組の搬送ローラー１３と、下位の前後１組の搬送ローラー１３とについて、それぞれ、各細溝２２に基部が嵌入され、もって複数個取付けられている。
なお、上位の搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１８と、下位の搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１８とは、図４の（１）図に示したように、上下で対向位置すべく配設してもよいが、図４の（２）図に示したように、上下でずれて位置すべく配設してもよい。勿論、そのように細溝２２の位置が、予め設定される。
【００３１】
そこで、この第２例の搬送機構５（Ｘ）にあっては、上下の搬送ローラー１３の対向・接触箇所で、上位又は下位の搬送ローラー１３に張付いたプリント配線基板材Ａの先端部Ｃは、搬送ローラー１３の回転に伴い、このような搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１８の剥がし部２３の剥がし面２４に接触することにより、張付いていた搬送ローラー１３から剥がされる。
なお、この各リング部材１８は、搬送ローラー１３の細溝２２に対し、基部が摺接，嵌入されており、搬送ローラー１３が回転しても、変位することなく姿勢を保持している。
図１中，図３，図４，図５中等に示した第２例の搬送機構５（Ｘ）は、このようになっている。
【００３２】
《第３例について》
次に、図５中，図６，図７等に示した第３例の搬送機構５（Ｙ）について述べる。
この第３例の搬送機構５（Ｙ）は、例えば図５に示した搬送ローラー１３中、上下対をなして用いられる搬送ローラーについて、適用される。そして、次の搬送ローラー１３とリング部材１９と、を有してなる。
まず、この第３例の搬送ローラー１３（Ｙ）は、プリント配線基板材Ａを挟んで送るべく、上下１対で用いられている。
【００３３】
次に、この第３例のリング部材１９は、略リング状をなし、搬送ローラー１３の細溝２２に嵌入される。そして、搬送ローラー１３より大径の弾性材よりなり、一部が剥がし部２３を形成すると共に、上下の搬送ローラー１３の対向箇所では、細溝２２内に圧入される。
すなわちリング部材１９は、図６の（１）図に示したように、搬送ローラー１３側の細溝２２に対応した略リング状をなし、少なくともその基部・内側部が、搬送ローラー１３に図６の（２）図に示したように形成された細溝２２に対し、図６の（１）図や（３）図に示したように嵌入される。
そして、このリング部材１９は、搬送ローラー１３より若干大径に設定されると共に、ゴムや樹脂等の弾性材よりなる。もってリング部材１９は、図６の（１）図や（３）図に示したように、上下の搬送ローラー１３の対向箇所、つまりプリント配線基板材Ａを挟んだ場合は間接的に接触する箇所、挟まない場合は直接的に接触する箇所では、このような上下の搬送ローラー１３にて押し潰されて、細溝２２内に圧入される。
【００３４】
これに対し、図６の（１）図や（３）図に示しように、上述した対向・接触箇所の反対側を中心に、このリング部材１９は、その弾性に基づき膨らんでおり、搬送ローラー１３の外周面２１より外側に突出している。
つまりリング部材１９は、真円から偏心したリング状をなし、前後では徐々に搬送ローラー１３の外周面２１より突出し、上述した対向・接触箇所の反対側（つまり上部や下部）では、突出量が最大となる。
【００３５】
そして、このようなリング部材１９において、図６の（１）図に示したように、搬送ローラー１３の下流側、つまり搬送方向Ｆの後半部に対応する部分が、剥がし部２３となっている。
つまり、この部分のリング部材１９は、搬送ローラー１３の外周面２１より外側に突出して、剥がし部２３を形成しており、アール状の剥がし面２４を備えてなる。
【００３６】
もって図７に示したように、このようなリング部材１９が、上位の搬送ローラー１３と下位の搬送ローラー１３について、それぞれ、各細溝２２に基部・内側部が嵌入され、もって複数個取付けられている。
なお、上位の搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１９と、下位の搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１９とは、図７の（１）図に示したように、上下で対向位置すべく配設してもよいが、図７の（２）図に示したように、上下でずれて位置すべく配設してもよい。勿論、そのように細溝２２の位置が、予め設定される。
【００３７】
そこで、この第３例の搬送機構５（Ｙ）にあっては、上下の搬送ローラー１３の対向・接触箇所で、上位又は下位の搬送ローラー１３に張付いたプリント配線基板材Ａの先端部Ｃは、搬送ローラー１３の回転に伴い、このような搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１９の剥がし部２３の剥がし面２４に接触することにより、張付いていた搬送ローラー１３から剥がされる。
なお、この各リング部材１９は、搬送ローラー１３の細溝２２に対し、基部・内側部が摺接又は固定により嵌入されている。そこで、この各リング部材１９は、搬送ローラー１３が回転しても回転変位することなくそのまま姿勢を保持するか、又は搬送ローラー１３の回転に従動して回転変位するが、いずれにしても、所定箇所に剥がし部２３が形成されることに変わりはない。又、このリング部材１９は、中空のチューブ状としてもよい。
図５中，図６，図７等に示した第３例の搬送機構５（Ｙ）は、このようになっている。
【００３８】
《第４例について》
次に、図５中や図８に示した第４例の搬送機構５（Ｚ）について述べる。この第４例の搬送機構５（Ｚ）も、前述した第３例の搬送機構５（Ｙ）と同様に、例えば図５に示した搬送ローラー１３中、上下対をなして用いられる搬送ローラー１３について、適用される。そして、次の搬送ローラー１３とリング部材２０と、を有してなる。
まず、この第４例の搬送ローラー１３（Ｚ）は、前述した第３例のものと同様に、プリント配線基板材Ａを挟んで送るべく、上下１対で用いられている。これと共に、この搬送ローラー１３は、複数本の単位ローラー２５の集合体、つまり複数本の単位ローラー２５が１本に集合したストレートローラーよりなる。
【００３９】
次に、この第４例のリング部材２０は、このような搬送ローラー１３の単位ローラー２５間に挟持され、搬送ローラー１３より小径の円板状をなす弾性材よりなると共に、外周面に複数の突起２６が付設されている。
この突起２６は、搬送ローラー１３の外周面２１より突出し、一部が剥がし部２３を形成すると共に、上下の搬送ローラー１３の対向箇所では、搬送ローラー１３とリング部材２０とで形成された細溝２２内に圧入される。
【００４０】
すなわちリング部材２０は、図８の（１）図に示したように、搬送ローラー１３より小径の円板状をなし、図８の（２）図に示したように、搬送ローラー１３の単位ローラー２５間に同軸に取付けられ、もって、その外周面を底としつつ両単位ローラー２５との間で、周溝たる細溝２２が形成されている。つまりリング部材２０は、搬送ローラー１３の外周面２１に形成された細溝２２を利用して取付けられている。
そして、このリング部材２０は、ゴムや樹脂等の弾性材よりなると共に、その外周面に、同弾性材製よりなる複数の突起２６が、所定間隔を置きつつ付設されており、もって外表面が凹凸状をなす。
【００４１】
そして、このリング部材２０の各突起２６は、上下の搬送ローラー１３の対向箇所、つまりプリント配線基板材Ａを挟んだ場合は間接的に接触する箇所、挟まない場合は直接的に接触する箇所では、このような上下の搬送ローラー１３にて押し潰されて、細溝２２内に圧入される。
これに対し、上述した対向・接触箇所以外では、このリング部材２０の突起２６は、その弾性に基づき、搬送ローラー１３の外周面２１より外側に若干突出している。
そして、このようなリング部材２０において、上下の搬送ローラー１３の下流側、つまり搬送方向Ｆの後半部に対応する部分の突起２６が、それぞれ剥がし部２３となっている。つまり、この部分の突起２６は、搬送ローラー１３の外周面２１より外側に突出して、剥がし部２３を形成しており、アール状の剥がし面２４を備えてなる。
【００４２】
もって、このような突起２６を備えたリング部材１８が、上位の搬送ローラー１３と、下位の前後１組の搬送ローラー１３について、それぞれ複数個取付けられている。
なお、上位の搬送ローラー１３に取付けられたリング部材２０と、下位の搬送ローラー１３に取付けられたリング部材２０とは、上下で対向位置すべく配設してもよいが、上下でずれて位置すべく配設してもよい（前述した図４や図７を参照）。
【００４３】
そこで、この第４例の搬送機構５（Ｚ）にあっては、上下の搬送ローラー１３の対向・接触箇所で、上位又は下位の搬送ローラー１３に張付いたプリント配線基板材Ａの先端部は、搬送ローラー１３の回転に伴い、このような搬送ローラー１３に取付けられたリング部材１８の突起２６、つまり剥がし部２３の剥がし面２４に接触することにより、張付いていた搬送ローラー１３から剥がされる。
なお、この各リング部材２０は、搬送ローラー１３の単位ローラー２５間に狭持されているが、単位ローラー２５や軸等に対する関係は、摺接又は固定のいずれでもよい。そこで、このリング部材２０は、搬送ローラー１３が回転しても回転変位することなくそのまま姿勢を保持するか、又は搬送ローラー１３の回転に従動して回転変位するが、いずれにしても、所定箇所に剥がし部２３が形成されることに変わりはない。
図５中や図８に示した第４例の搬送機構５（Ｚ）は、このようになっている。
【００４４】
なお、図３，図４，図６，図７，図８中、２７はコンベヤシャフトである。そして、このコンベヤシャフト２７に、搬送ローラー１３やその単位ローラー２５が取付け固定されており、図８の円板状のリング部材２０が必要に応じ取付け固定される。
又、図４，図７中、２８はウォームギヤである。この上下１対のウォームギヤ２８は、一方が駆動源側に連結され、他方が下側のコンベヤシャフト２７に連結されている。更に、この下側のコンベヤシャフト２７に対し、上側のコンベヤシャフト２７が、上下１対の駆動ギヤ２９を介して連結されている。
図４，図７中、３０はフレームであり、この左右のフレーム３０間にコンベヤシャフト２７が、軸廻りで回動自在に水平に掛渡されている。
【００４５】
本発明のプリント配線基板材Ａの搬送機構５は、以上説明したように構成されている。そこで以下のようになる。
まず、図１，図２に示した第１例の搬送機構５（Ｗ）にあっては、例えば、並んだ下位の複数例えば３本１組の搬送ローラー１３間に接して、小径の液溜めローラー１４がその隙間Ｈに配設されている。更に、小径の液溜めローラー１５が、上位の搬送ローラー１３間において、相互間隔Ｌを存すると共に下位の搬送ローラー１３上に接して配設されている。上位の搬送ローラー１３は、下位の搬送ローラー１３間の間隔Ｊ上に、対向位置している。
そして、このようなストレートローラーよりなる各搬送ローラー１３と液溜めローラー１４，１５により、液溜め部１６，１７が形成され、もって、上下のスプレーノズル６から噴射された処理液Ｂが、このような液溜め部１６，１７に溜められつつ、左右の幅方向Ｇへと流れた後、左右両サイドから流下する。
【００４６】
そこで、極薄でフレキシブルなプリント配線基板材Ａは、このような液溜め部１６，１７の処理液Ｂ中を、先端部Ｃから水平姿勢で搬送され、処理液Ｂにて浮力を受ける。もってプリント配線基板材Ａは、搬送ローラー１３に対し浮かされ、水平姿勢を維持したまま搬送されるようになる。
処理室１内では、このような第１例の搬送機構５（Ｗ）により、プリント配線基板材Ａが搬送され、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等の処理液Ｂが噴射されて、プリント配線基板材Ａが表面処理される。
【００４７】
次に、図１中，図３，図４，図５中，図６，図７，図８等に示された第２，３，４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）にあっては、プリント配線基板材Ａを上下から挟んで送るストレートローラーよりなる搬送ローラー１３について、外周面２１に、間隔を存しつつ複数本の細溝２２が、軸周りで複数本形成されている。
そして、このような各細溝２２を利用して、リング部材１８，１９，２０が複数個、搬送ローラー１３に取付けられている。各リング部材１８，１９，２０は、それぞれ、少なくとも下流側において搬送ローラー１３の外周面２１より突出する、剥がし部２３を備えてなる。
【００４８】
そこで、水平姿勢で搬送される極薄でフレキシブルなプリント配線基板材Ａは、このような上下の搬送ローラー１３に挟まれて送られる際、先端部Ｃから搬送ローラー１３の外周面２１に張付きやすいが、搬送ローラー１３の回転と共に、直ちに各リング部材１８，１９，２０の剥がし部２３のアール状の剥がし面２４に、接触することにより、剥がされる。
処理室１内では、このような搬送ローラー１３を含む第２例，第３例，第４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）により、プリント配線基板材Ａが搬送され、現像液，腐蝕液，剥離液，水洗液等の処理液Ｂが噴射されて、プリント配線基板材Ａが表面処理される。
【００４９】
なお、図１中，図３，図４，図５中に示した第２例の搬送機構５（Ｘ）のリング部材１８は、２個の欠落した略リング状のものが連続して結合せしめられた湾曲形状をなす。そして、前後と上下で対をなす４本の搬送ローラー１３について、その前後間に掛渡されており、２個の剥がし部２３を備えてなる。
図５中，図６，図７に示した第３例の搬送機構５（Ｙ）のリング部材１９は、弾性材製よりなり、搬送ローラー１３より大径のリング状をなし、上下対をなす搬送ローラー１３の各細溝２２に嵌入されている。そして、それぞれ一部が剥がし部２３を形成すると共に、搬送ローラー１３の上下対向・接触箇所では、押し潰されて細溝２２内に圧入される。なおリング部材１９は、更に、中空のチューブ状をなしてもよい。
図５中，図８に示した第４例の搬送機構５（Ｚ）のリング部材２０は、上下対をなすと共に単位ローラー２５の集合体よりなる搬送ローラー１３において、その単位ローラー２５間に挟持されている。そして、弾性材製よりなり円板状をなし、外周面に付設された複数の突起２６が、搬送ローラー１３の外周面２１より突出しており、一部が剥がし部２３を形成すると共に、搬送ローラー１３の上下対向・接触箇所では押し潰され、形成された細溝２２内に圧入される。
【００５０】
さてそこで、このプリント配線基板材Ａの搬送機構５にあっては、次の第１，第２にようになる。
第１に、ａ．まずプリント配線基板材Ａは、軽量化，極薄化が進み、フレキシブル性に富んでいる。ｂ．しかもこのようなプリント配線基板材Ａは、処理液Ｂが噴射され濡らされており、付着性に富んでいる。ｃ．そして搬送されるプリント配線基板材Ａは、例えば上下から挟んで送られることにより、加圧力が作用する。
これらａ，ｂ，ｃに起因して、搬送されるプリント配線基板材Ａは、先端部Ｃから、通過直後の搬送ローラー１３の外周面２１に対し、その下流側から張付き、もって巻付きやすいが、この搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）によると、このような巻付きは、確実に防止される。
【００５１】
すなわち、図１中，図２に示した第１例の搬送機構５（Ｗ）にあっては、搬送ローラー１３間に液溜めローラー１４，１５を配設して、液溜め部１６，１７を形成し、もって噴射された処理液Ｂを、溜めつつ流すようになっている。
そこでプリント配線基板材Ａは、このように溜められた処理液Ｂにて浮力を受け、搬送ローラー１３の下流側に対し浮かされるので、先端部Ｃから搬送ローラー１３の外周面２１に張付くこと、そして巻付くことは防止される。
又、図１中，図３，図４，図５中，図６，図７，図８等に示した第２，３，４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）にあっては、搬送ローラー１３に、複数個のリング部材１８又は１９又は２０を、細溝２２を利用して取付けてなる。
そして、搬送ローラー１３の外周面２１に張付いたプリント配線基板材Ａの先端部Ｃを、搬送ローラー１３の下流側の外周面２１より突出したリング部材１８又は１９又は２０の剥がし部２３にて、接触して剥がすようになっている。
もってプリント配線基板材Ａが、搬送ローラー１３の外周面２１に巻付くことは、防止されるようになる。
【００５２】
第２に、このプリント配線基板材Ａの第１例の搬送機構５（Ｗ）は、搬送ローラー１３間に、液溜めローラー１４，１５を配設した構成よりなり、第２，３，４例の搬送機構５（Ｘ，Ｙ，Ｚ）では、搬送ローラー１３に、剥がし部２３付のリング部材１８，１９，２０を取付けた構成よりなる。
このように、この搬送機構５（Ｗ，Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、比較的簡単な構成よりなる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明に係るプリント配線基板材の搬送機構は、以上説明したように、搬送ローラー間に、小径の液溜めローラーを配設したり、搬送ローラーに、剥がし部を備えたリング部材を複数個取付けたことにより、次の効果を発揮する。
【００５４】
第１に、プリント配線基板材の搬送ローラーへの巻付きが、確実に防止される。すなわち、このプリント配線基板材の搬送機構では、例えば、搬送ローラー間に小径の液溜めローラーを配設し、噴射された処理液を溜めつつ流すようにしたことにより、プリント配線基板材が搬送ローラーの下流側に対し浮かされ、もって、その張付きそして巻付きが防止される。
又は、このプリント配線基板材の搬送機構では、例えば、搬送ローラーに複数個のリング部材を細溝を利用して取付け、下流側にて搬送ローラーの外周面より突出するリング部材の剥がし部にて、搬送ローラーに張付いたプリント配線基板材の先端部を接触して剥がすことにより、巻付きが防止される。
【００５５】
もって、このプリント配線基板材の搬送機構によると、プリント配線基板材のスムーズな搬送が実現され、製造不良が回避されるようになる。
すなわち、前述したこの種従来例について指摘されていた、巻き付きに起因したプリント配線基板材の折れ曲がり，折り重なり，落下，損傷等が、確実に回避され、現像，エッチング，剥離等の薬液処理や洗浄処理等の表面処理が、所期のとおり実施されるようになる。
プリント配線基板（材）は、小型化，軽量化，ファイン化，極薄化，フレキシブル化，多層化が進み、形成される回路の高密度化，微細化，高精度化が著しく、このように製造工程の処理室において巻付き事故が防止される意義は、特に大なるものがある。更に、歩留まりがよくなり生産性が向上する等、コスト面の効果も大なるものがある。
【００５６】
第２に、しかもこれは、簡単容易に実現される。すなわち、このプリント配線基板材の搬送機構は、搬送ローラー間に液溜めローラーを配設したり、搬送ローラーに剥がし部付のリング部材を取付けた構成よりなる。
このように、この搬送機構は構成が簡単であり、もって、上述した第１の巻付き防止の点が容易に実現されると共に、保守・メインテナンスも容易であり、既存のこの種従来例の搬送機構を改造することも可能である。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプリント配線基板材の搬送機構について、発明の実施の形態の説明に供し、処理室の要部の側面図である。
【図２】同発明の実施の形態について、第１例の説明に供し、（１）図は、プリント配線基板材を搬送する前の要部の側面図、（２）図は、プリント配線基板材を搬送中の要部の側面図、（３）図は、要部の平面図である。
【図３】同発明の実施の形態について、第２例の説明に供し、（１）図は、要部の側面図、（２）図は、搬送ローラーの要部の正面図、（３）図は、要部の正面図である。
【図４】同発明の実施の形態について、第２例の説明に供し、（１）図は、上下のリング部材が対向配設された例の正面図、（２）図は、上下のリング部材がずれて配設された例の正面図である。
【図５】同発明の実施の形態の説明に供し、処理室の他の例の側面図である。
【図６】同発明の実施の形態について、第３例の説明に供し、（１）図は、要部の側面図、（２）図は、搬送ローラーの要部の正面図、（３）図は、要部の正面図である。
【図７】同発明の実施の形態について、第３例の説明に供し、（１）図は、上下のリング部材が対向配設された例の正面図、（２）図は、上下のリング部材がずれて配設された例の正面図である。
【図８】同発明の実施の形態について、第４例の説明に供し、（１）図は、要部の側面図、（２）図は、要部の正面図である。
【図９】この種従来例のプリント配線基板材の搬送機構の説明に供し、要部の側面図である。
【図１０】プリント配線基板（材）の平面説明図である。
【符号の説明】
１  処理室
２  搬送機構
３  搬送ローラー
４  外周面
５  搬送機構
６  スプレーノズル
７  液槽
８  配管
９  ポンプ
１０  スプレーノズル
１１  前後壁
１２  出入口
１３  搬送ローラー
１４  液溜めローラー
１５  液溜めローラー
１６  液溜め部
１７  液溜め部
１８  リング部材
１９  リング部材
２０  リング部材
２１  外周面
２２  細溝
２３  剥がし部
２４  剥がし面
２５  単位ローラー
２６  突起
２７  コンベヤシャフト
２８  ウォームギヤ
２９  駆動ギヤ
３０  フレーム
Ａ  プリント配線基板材
Ｂ  処理液
Ｃ  先端部
Ｄ  プリント配線基板
Ｅ  回路
Ｆ  搬送方向
Ｇ  幅方向
Ｈ  隙間
Ｊ  間隔
Ｋ  隙間
Ｌ  相互間隔
Ｗ  第１例の搬送機構
Ｘ  第２例の搬送機構
Ｙ  第３例の搬送機構
Ｚ  第４例の搬送機構
【図１】
0003576467.tif 000002
【図２】
0003576467.tif 000003
【図３】
0003576467.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0003576467.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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