(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数台のファンフィルタユニットを、クリーンルームの天井部に敷設された天井フレームに据え付けるためのファンフィルタユニットの据付装置に於いて、
前記天井フレームにレールを形成すると共に、該レールに沿って走行可能で前記ファンフィルタユニットを着脱可能に保持する搬送台車を設け、
前記搬送台車には、
前記搬送台車の４隅部に設けられると共に回動されることにより前記ファンフィルタユニットのフックに係合して該ファンフィルタユニットを搬送台車に保持させる４つの係合部材と、
回動操作されるハンドルと、
前記ハンドルに連結されるとともに前記ハンドルの回動操作によって、前記４つの係合部材を前記フックに対する係合方向及び係合方向の逆方向に同時に回動させる駆動力を前記４つの係合部材に伝達するリンク機構と、が設けられていることを特徴とするファンフィルタユニットの据付装置。
【請求項２】
前記係合部材の前記フックと係合する面はテーパ面に形成され、前記ハンドルの回動操作によって前記係合部材を係合方向に回動させることにより、前記フックを前記テーパ面に沿って上昇させて前記ファンフィルタユニットを持ち上げて保持すると共に、前記ハンドルの回動操作によって前記係合部材を前記係合方向とは逆方向に回動させることにより、前記フックを前記テーパ面に沿って下降させて前記ファンフィルタユニットを降ろして据え付けることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルタユニットの据付装置。
【請求項３】
前記天井フレームの上部が凹溝レールになっており、前記搬送台車の車輪が前記凹溝レールに載置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のファンフィルタユニットの据付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はファンフィルタユニットの据付装置に係り、特にクリーンルームの天井フレームにファンフィルタユニットを据え付けるためのファンフィルタユニットの据付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等のクリーンルームの天井部には、複数台のファンフィルタユニットが敷設され、これらのファンフィルタユニットから清浄エアがクリーンルーム内に供給される。
ファンフィルタユニットが据え付けられる天井フレームは、断面が凸状の支持フレームを、建屋の天井梁に吊りボルトによって垂設しながら格子状に組み付けることにより構築される。
【０００３】
この天井フレームにファンフィルタユニットを据え付ける場合には、まず、天井フレームの下方からファンフィルタユニットを斜めにした状態で、前記支持フレームにその周縁部が当たらないように格子状の据付空間に挿入する。そして、ファンフィルタユニットを水平状態に戻した後、ファンフィルタユニットを降ろしてファンフィルタユニットの下部周縁部を支持フレームの水平平坦部に載置する。以上で１台のファンフィルタユニットの据え付けが終了する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のファンフィルタユニットの据付工法は、ファンフィルタユニットを天井フレームの下方から据え付ける工法なので、効率良くファンフィルタユニットを据え付けることができないという欠点がある。
また、従来の据付工法は、天井フレームの下方でファンフィルタユニットを持ち上げる多数の作業者と、持ち上げられたファンフィルタユニットを天井フレームの位置で受け取って天井フレームに据え付ける多数の作業者とが必要になるという欠点がある。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、効率良く少数の作業者で据え付けることができるファンフィルタユニットの据付装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】
本発明は前記目的を達成する為に、複数台のファンフィルタユニットを、クリーンルームの天井部に敷設された天井フレームに据え付けるためのファンフィルタユニットの据付装置に於いて、前記天井フレームにレールを形成すると共に、該レールに沿って走行可能で前記ファンフィルタユニットを着脱可能に保持する搬送台車を設け、前記搬送台車には、前記搬送台車の４隅部に設けられると共に回動されることにより前記ファンフィルタユニットのフックに係合して該ファンフィルタユニットを搬送台車に保持させる４つの係合部材と、回動操作されるハンドルと、前記ハンドルに連結されるとともに前記ハンドルの回動操作によって、前記４つの係合部材を前記フックに対する係合方向及び係合方向の逆方向に同時に回動させる駆動力を前記４つの係合部材に伝達するリンク機構と、が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、まず、搬送台車にファンフィルタユニットを搭載し、次に、この搬送台車を天井フレームのレールに沿って走行させて、天井フレームの据付位置まで搬送する。次いで、搬送台車からファンフィルタユニットを降ろして、ファンフィルタユニットをその据付位置に据え付ける。このように、本発明は、ファンフィルタユニットを天井フレーム上で据え付けるようにしたので、効率良く短時間でファンフィルタユニットを据え付けることができる。また、本発明は、搬送台車にファンフィルタユニットを搭載する作業者と、天井フレーム上でファンフィルタユニットを据え付ける作業者の２人でファンフィルタユニットを据え付けることができる。
【０００８】
また、本発明は、その搬送台車に４つの係合部材とリンク機構とハンドルとを設け、ハンドルの回動操作によって４つの係合部材を同時に回動させることにより、４つの係合部材をファンフィルタユニットのフックに同時に係合させて、ファンフィルタユニットを搬送台車に保持させる。この状態で、搬送台車をレールに沿って走行させて据付位置に位置させたのち、ハンドルを逆方向に回動させて４つの係合部材とフックとの係合を同時に解除すれば、ファンフィルタユニットを据付位置に据え付けることができる。
【０００９】
請求項２記載の発明は、前記係合部材のフックと係合する面をテーパ面に形成し、このテーパ面に沿ってファンフィルタユニットを緩やかに持ち上げ、そして、テーパ面に沿ってファンフィルタユニットを緩やかに降ろして据え付けるようにしたものである。これにより、本発明は、ファンフィルタユニットに衝撃を与えることなく、ファンフィルタユニットを据え付けることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るファンフィルタユニットの据付装置の好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係るファンフィルタユニットの据付装置でファンフィルタユニットが据え付けられたクリーンルームの室内を示す説明図である。同図に示すクリーンルーム１０は、天井部に多数のファンフィルタユニット１２、１２…が密に敷設されており、このファンフィルタユニット１２、１２…から清浄エアーがクリーンルーム１０内に供給される。ファンフィルタユニット１２は、ユニット本体１３（図３参照）が略直方体状に形成され、その上面開口部にファン３２（図５中破線で示す）が設けられている。ファン３２が駆動されると天井室内に供給された外気及び循環気がユニット本体１３に吸引され、そして、ユニット本体１３の下部に取り付けられたＨＥＰＡフイルタ３４（図５中破線で示す）を介してクリーンルーム１０に供給される。
【００１１】
前記ファンフィルタユニット１２は図２に示す天井フレームによって天井部に据え付けられる。前記天井フレームは、懸架フレーム１４と載置フレーム１６とによって構成される。前記懸架フレーム１４は、多数本の縦フレーム１８と該縦フレーム１８よりも短めの横フレーム２０とを格子状に連結することにより構築されると共に、吊りボルト２２によってクリーンルーム建屋の天井梁（図示せず）に垂設される。
【００１２】
懸架フレーム１４の下部には図２、図３に示すようにボルト２４、２４…が設けられている。これらのボルト２４、２４…とナット２６、２６…とによって載置フレーム１６が懸架フレーム１４の下部に締結される。
前記載置フレーム１６は図２に示すように、多数本の縦フレーム２８と該縦フレーム２８よりも短めの横フレーム３０とを前記懸架フレーム１４の下面に締結することにより構築される。
【００１３】
前記縦フレーム２８及び横フレーム３０は図３に示すように断面が逆凹字形の金属フレームであり、その幅は懸架フレーム１４の幅よりも充分に広く形成されている。また、縦フレーム２８及び横フレーム３０の上面部には図４に示すように、水平平坦部２８Ａ、３０Ａが形成される。この水平平坦部５８、５８にファンフィルタユニット１２の下部周縁部１２Ａ（図３参照）が載置されることにより、ファンフィルタユニット１２が天井フレームに据え付けられる。
【００１４】
ところで、前記ファンフィルタユニット１２は図５、図６、図７に示す搬送台車４０によって据付位置まで搬送されて据え付けられる。図５は、ファンフィルタユニット１２が搭載された搬送台車４０の正面図、図６は図５の側面図、図７は搬送台車４０の上面図である。
図５、図６に示すように、前記搬送台車４０は４本の脚部４２、４２…と、これらの４本の脚部４２、４２…を図７に示すように上部で連結する本体フレーム４４と、ファンフィルタユニット１２の保持機構４６とから構成される。
【００１５】
図５、図６において前記脚部４２、４２…には、それぞれ車輪４８が設けられる。この車輪４８は図８に示すように、脚部４２の下部に設けられた軸５０に軸受５２を介して支持されると共に、軸５０の外側に固着されたストッパ板５４によって軸５０からの脱落が防止されている。
前記車輪４８は、懸架フレーム１４の縦フレーム１８に形成されたレール溝５６上に載置される。このレール溝５６は図４に示すように、縦フレーム１８の上面で長手方向に２本形成されており、１フレームにおいて対向する２本の縦フレーム１８、１８の内側に形成された２本のレール溝５６、５６上に前記４つの車輪４８、４８…が載置される。したがって、搬送台車４０は、縦フレーム１８の長手方向に沿って走行自在となっている。
【００１６】
前記本体フレーム４４は図７に示すように、前フレーム５８と後フレーム６０、及び前フレーム５８と後フレーム６０とを連結する４本の連結フレーム６２、６２…から構成される。前フレーム５８の図７中上部、及び下部に、前輪側の脚部４２、４２が連結され、後フレーム６０の図７中上部、及び下部に、後輪側の脚部４２、４２が連結されている。
【００１７】
ファンフィルタユニット１２の保持機構４６は図５、図６に示すように、４つの係合コマ６４、６４、…と、これらの係合コマ６４、６４…を連動して駆動させるリンク機構とから構成される。
前記係合コマ６４、６４…は、搬送台車４０の４隅部に配置される。また、係合コマ６４、６４…は、搬送台車４０の上部から垂設された駆動軸６６の下部に設けられると共に、この駆動軸６６を介して前記リンク機構に連結されている。リンク機構の駆動力で駆動軸６６がその軸芯を中心に回動されると、前記係合コマ６４が駆動軸６６を中心に回動し、ファンフィルタユニット１２に設けられたフック６８に係合、又は係合解除される。
【００１８】
図７において、前記駆動軸６６の各々の上端部は、クランク７０の一方端に固着され、クランク７０の他方端には、リンク機構を構成するクランクバー７２の一端７２Ａが軸支されている。このリンク機構は、クロススライダクランク連鎖の複合型であり、駆動側のクランクバー７４の動作に連動して、従動側の前記クランクバー７２が駆動されると、クランク７０を介して駆動軸６６が回動される。これにより、係合コマ６４が前記フック６８に係合、又は係合解除される。
【００１９】
図７中左側の前輪側に配置された２本のクランクバー７２、７２の他端部７２Ｂ、７２Ｂは、連結板７６に軸支される。この連結板７６は三角形状に形成されて、その底角部分に、前記クランクバー７２、７２の他端部７２Ｂ、７２Ｂが軸支されている。また、連結板７６の頂角部分に、前述したクランクバー７４の一端部７４Ａが軸支される。このクランクバー７４の他端部７４Ｂは、搬送台車４０の上面中央部に配置されたハンドル７６に軸支されている。前記ハンドル７６は、支持板７８に軸８０を介してその長手方向中央部を中心に回転自在に設けられている。
【００２０】
このような構成のリンク機構において、ハンドル７６を図７中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置までア方向に回動すると、クランクバー７４（１）が図中左方向に押されて移動して連結板７６が図中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に位置する。これにより、２本のクランクバー７２、７２が連結板７６に引かれて、クランク７０が図中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に回動し、駆動軸６６が係合コマ６４の係合方向に回動する。この動作によって、係合コマ６４がフック６８に係合されて、ファンフィルタユニット１２が搬送台車４０に保持される。
【００２１】
一方、前記係合コマ６４は図９、図１０に示すように、その上面にテーパ面６５と、平坦面６４Ａとが連続して形成されている。図９は、フック６８に係合コマ６４が当接された係合直前の状態を示す拡大図であり、図１０はフック６８に係合コマ６４が完全に係合した状態を示す拡大図である。
図９において、係合コマ６４を係合方向（図中矢印方向）に回動させていくと、フック６８の先端部６９にテーパ面６５の中途部分が当接する。この状態で、係合コマ６４を係合方向にさらに回動していくと、フック６８の先端部６９がテーパ面６５に沿って上昇されることにより、ファンフィルタユニット１２が持ち上げられ始める。そして、係合コマ６４を完全に回動すると、フック６８の先端部６９が図１０に示すように平坦部６４Ａに乗り上げる。これにより、ファンフィルタユニット１２が搬送台車４０に保持される。これとは逆に、ファンフィルタユニット１２を据え付ける場合には、係合コマ６４を逆方向に回動させる。これにより、ファンフィルタユニット１２がテーパ面６５にそって降ろされる。
【００２２】
なお、図７中右側の後輪側に配置されたクランクバー７２、７２、及びクランクバー７４、７４の取付構造及び動作、そして、係合コマ６４の形状は、前輪側と同様なのでその説明は省略する。
次に、前記の如く構成されたファンフィルタユニットの据付装置の作用について説明する。
【００２３】
まず、天井フレームの所定の位置に、ファンフィルタユニット１２のステーションを設置する。次に、そのステーションの位置で、搬送台車４０にファンフィルタユニット１２を搭載する。この搭載手順は、まず、ファンフィルタユニット１２に搬送台車４０を被せるように配置する。そして、搬送台車４０を前後移動させて、係合コマ６４の位置をフック６８の位置に合わせる。そして、ハンドル７６を係合方向に回動（図７参照）させて、４つの係合コマ６４、６４…を４つのフック６８、６８…に同時に係合させる。これにより、ファンフィルタユニット１２は、係合コマ６４のテーパ面６５によって上昇されて搬送台車４０に保持される。この時、ファンフィルタユニット１２は、テーパ面６５に沿って緩やかに上昇されるので、ファンフィルタユニット１２に衝撃を与えることなく、ファンフィルタユニット１２を搬送台車４０に保持させることができる。
【００２４】
次に、この搬送台車４０を天井フレームのレール溝５６、５６上に載置し、レール溝５６、５６に沿って走行させ、所定の据付位置まで搬送する。
次いで、ハンドル７６を先とは逆方向に回動させることにより、搬送台車４０からファンフィルタユニット１２を降ろして、ファンフィルタユニット１２をその据付位置に据え付ける。この時、ファンフィルタユニット１２は、テーパ面６５に沿って緩やかに降ろされるので、ファンフィルタユニット１２に衝撃を与えることなく、ファンフィルタユニット１２を据え付けることができる。また、極小の衝撃は、ファンフィルタユニット１２の下部周縁に取り付けられたダンパ３６（図５、図６参照）によって吸収される。
【００２５】
これにより、１台のファンフィルタユニット１２の据付作業が終了する。２台目以降のファンフィルタユニット１２を据え付ける場合には、前述した手順を繰り返し行えば良い。また、搬送台車４０を複数台を揃えれば、複数台のファンフィルタユニット１２、１２を短時間で連続的に据え付けることができる。
以上の如く、本実施の形態では、ファンフィルタユニット１２を天井フレーム上で据え付けるようにしたので、効率良く短時間でファンフィルタユニット１２を据え付けることができる。
【００２６】
また、本実施の形態は、搬送台車４０にファンフィルタユニット１２を搭載する作業者と、天井フレーム上でファンフィルタユニット１２を据え付ける作業者の２人でファンフィルタユニット１２を据え付けることができる。
なお、本実施の形態では、天井フレームに形成したレールを溝状に形成したが、これに限られるものではなく、前記レールを突条に形成し、車輪４８を溝付きに形成しても良い。
【００２７】
本実施の形態の搬送台車４０を改良して、ファンフィルタユニット１２の据え付けを自動化することも可能である。この場合には、搬送台車４０をモータで走行させると共に、据付位置に位置した時に停止させるためのセンサーを設け、そして、ファンフィルタユニット１２の保持機構をモータで駆動して、ファンフィルタユニット１２を据え付ける。搬送台車４０のモータ、センサー、保持機構のモータを制御装置によって制御し、この制御装置で指定した位置に据え付けるようにすれば良い。
【００２８】
前記センサーとしては、光センサー、磁気センサー等のセンサーを適用することができるが、レール溝５６側に段部を形成しておき、この段部に車輪４８が位置した時に、搬送台車４０が据付位置に位置したことを、段部に車輪４８が落ち込む振動で検知するようにしても良い。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るファンフィルタユニットの据付装置によれば、ファンフィルタユニットを搭載した搬送台車を、天井フレーム形成されたレールに沿って走行させて天井フレームの所定位置に据え付けるようにしたので、効率良く短時間で、且つ少数の作業者でファンフィルタユニットを据え付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態のファンフィルタユニットの据付装置でファンフィルタユニットが据え付けられたクリーンルームを示す説明図
【図２】天井フレームの分解斜視図
【図３】天井フレームの１フレームの組立斜視図
【図４】天井フレームの１フレームの上面図
【図５】天井フレームを走行する搬送台車の正面図
【図６】図５に示した搬送台車の側面図
【図７】搬送台車に設けられたファンフィルタユニットの保持機構の上面図
【図８】レールと台車の拡大断面図
【図９】保持機構の係合コマがファンフィルタユニットのフックに当接した説明図
【図１０】係合コマでファンフィルタユニットを持ち上げた状態を示す説明図
【符号の説明】
１０…クリーンルーム
１２…ファンフィルタユニット
１４…懸架フレーム
１６…載置フレーム
４０…搬送台車
６４…係合コマ
６５…テーパ面
６８…フック
７２、７４…クランクバー
７６…ハンドル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0003562686.tif 000010
【図１０】
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