(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に複数の収納空間が区画形成され、且つ、前面と後面が開放された収納部の前面側に作業空間を形成し、後面側にフィルタを配設し、前記フィルタの後方には上下方向に延びるエア供給路を形成し、更に、前記エア供給路の上下方向の一端側には吐出部を前記エア供給路側に向けたファンを前記吐出部において連通して、前記ファンからのエアが前記エア供給路の前記一端側から他端側へ向けて吹き出されるようにし、前記ファンによって前記収納部に清浄エアを循環供給するようにしたクリーン装置付き収納設備において、前記ファンの連通側と反対側に設けたバッファ室を介して前記エア供給路に連通されるエア供給路を天井部に設け、前記天井部に形成されたエア供給路に前記作業空間に向けて下方へエアを吹き出すフィルタを設け、前記バッファ室の流路断面積は、前記上下方向に延びるエア供給路の流路断面積よりも大きく、且つ、前記天井部に形成されたエア供給路の流路断面積よりも大きくしたことを特徴とするクリーン装置付き収納設備。
【請求項２】
前記エア供給路の前記一端側にもバッファ室を設け、前記バッファ室を介して前記ファンと前記エア供給路を連通させたことを特徴とする請求項１記載のクリーン装置付き収納設備。
【請求項３】
前記収納部をその前面に形成される作業空間を介して左右一対に対向配置してなる請求項１又は２に記載のクリーン装置付き収納設備において、前記エア供給路の下端側に前記ファンを連通するようにするとともに、前記エア供給路の上端側に設けたバッファ室を介して左右２つの前記エア供給路の両方に連通され、且つ、水平方向に延びるエア供給路を天井部の略中央に設け、更に、この天井部に形成されたエア供給路に前記作業空間に向けて下方へエアを吹き出すフィルタを設けたことを特徴とするクリーン装置付き収納設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端に嫌う製品等の保管に採用されるクリーン装置付き収納設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種のクリーン装置付き収納設備としては、例えば特開平３−２８４５０５号公報に開示されるように、前面と後面とを開放した収納部の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタの後方にエア供給路を形成し、このエア供給路の下端側に吐出部を連通させてファンを設け、このファンの駆動装置に制御部を設けたものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来のようなクリーン装置付き収納設備では、フィルタの後方のエア供給路が充分なスペースを確保できたため、駆動装置又はフィルタ背面に制御部を設けることでフィルタ面での風速を収納部全体に亘りほぼ一定とすることができた。
ところが、収納部に保管される半導体ウエハ等が大型化するに伴い収納部が大きくなり、省スペース化の要望から装置全体の大きさは変えずにフィルタを含むエア供給路の幅を狭くするように設計する傾向にある。このためエア供給路内でエアが均等圧とならず、上部にいく程圧力が高く、したがって風速が速くなり気流分布が不均一となる問題があった。
本発明は前記従来の不都合を解消し、装置を大型化することなく収納部全体の気流分布を均一にできるクリーン装置付き収納設備を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明のクリーン装置付き収納設備は、前記目的を達成するべく、上下方向に複数の収納空間が区画形成され、且つ、前面と後面が開放された収納部の前面側に作業空間を形成し、後面側にフィルタを配設し、前記フィルタの後方には上下方向に延びるエア供給路を形成し、更に、前記エア供給路の上下方向の一端側には吐出部を前記エア供給路側に向けたファンを前記吐出部において連通して、前記ファンからのエアが前記エア供給路の前記一端側から他端側へ向けて吹き出されるようにし、前記ファンによって前記収納部に清浄エアを循環供給するようにしたクリーン装置付き収納設備において、前記ファンの連通側と反対側に設けたバッファ室を介して前記エア供給路に連通されるエア供給路を天井部に設け、前記天井部に形成されたエア供給路に前記作業空間に向けて下方へエアを吹き出すフィルタを設け、前記バッファ室の流路断面積は、前記上下方向に延びるエア供給路の流路断面積よりも大きく、且つ、前記天井部に形成されたエア供給路の流路断面積よりも大きくしたことを特徴とする。
また、前記エア供給路の前記一端側にもバッファ室を設け、前記バッファ室を介して前記ファンと前記エア供給路を連通させることが好ましい。
また、前記収納部をその前面に形成される作業空間を介して左右一対に対向配置してなる請求項１又は２に記載のクリーン装置付き収納設備において、前記エア供給路の下端側に前記ファンを連通するようにするとともに、前記エア供給路の上端側に設けたバッファ室を介して左右２つの前記エア供給路の両方に連通され、且つ、水平方向に延びるエア供給路を天井部の略中央に設け、更に、この天井部に形成されたエア供給路に前記作業空間に向けて下方へエアを吹き出すフィルタを設けることがより好ましい。
【０００５】
【作用】
従来のクリーン装置付き収納設備では下方のファンから供給されるエアはエア供給路の上端壁に衝突して戻りそのまま上部のフィルタ面より収納部に吹き出すために上部のフィルタの風速が速くなる。しかしながら、本発明のクリーン装置付き収納設備ではエア供給路にバッファ室が連通しているためエア圧力がバッファ室内で緩和され、エア供給路とバッファ室が１つの容器となることにより上部と下部のフィルタ面に均一化されたエア圧力がかかることになる。その結果上下のフィルタの風速のバラツキが抑えられる。
また、従来のクリーン装置付き収納設備ではファンの吐出部がエア供給路に直接連通していたため、上部のフィルタには上端壁の戻りエア圧力による高いエア圧力がかかり下部のフィルタにはより低いエア圧力がかかることになる。したがって、上部と下部のフィルタには偏在したエア圧力がかかることになって風速のバラツキが生じる。しかしながら、エア供給路のファンの連通側にもバッファ室を設けると、ファンの吐出部から吹き出されたエアは、このバッファ室で緩和されてからエア供給路へ供給されるのでフィルタの下部のエア圧力を高めることができ、結果として前述のバッファ室によるフィルタの風速のバラツキを抑える効果との相乗効果により更に上下の風速のバラツキが抑えられる。
また、ファンの連通側と反対側に設けたバッファ室を介して前記エア供給路に連通されるエア供給路を天井部に設け、この天井部に形成されたエア供給路に該収納部の前面側の作業空間にエアを吹き出すフィルタを設けた場合、ファンより供給されたエアは下部バッファ室からエア供給路、上部バッファ室、上部エア供給路を通り、天井部のフィルタから収納部の前面側の作業空間に吹き出される。このため全体として圧力室となる空間が広くとれて圧力を緩和することができ、エアが壁に衝突してその部位付近のみ風速が速くなることもなく、バッファ室及びエア供給路全体に亘り均等圧にされることでフィルタからの噴出速度のバラツキをさらに確実に抑えられる。
【０００６】
【実施例】
以下、本発明のクリーン装置付き収納設備の一実施例を図面に基づき説明する。
図示のクリーン装置付き収納設備はクリーンルーム内で使用される密閉式の保管装置として構成されたものであり、箱状の本体１内には、上下方向に複数の収納空間２を区画形成した収納部３がその前面の作業空間４を介して左右一対に対向配置させて設けられている。前記収納部３は前面３ａと後面３ｂとが開放され、後面３ｂ側全体に亘り複数個のフィルタ５を配設するとともにこれらフィルタ５の後方にエア供給路６を形成し、該エア供給路６の上方には上部バッファ室７を連通させてある。
【０００７】
また、前記エア供給路６の下方においては、下部バッファ室８を介してファン９を収容した区画室１０が連通され、ファン９はその吐出部９ａを下部バッファ室８に連通させるとともにその吸引部９ｂを区画室１０内に開放させるようにした。この区画室１０の作業空間４側とクリーンルーム３０側にはそれぞれプレフィルタ１１，１２が設けられ、これらプレフィルタ１１，１２を介して収納部３を通って作業空間４に吹き出されたエアと、クリーンルーム３０内のエアを区画室１０内に吸引するようにした。尚、プレフィルタ１１，１２は区画室１０の下面に設けてもよい。
【０００８】
前記作業空間４の天井部１３にはフィルタ１４を配設するとともに該フィルタ１４の上方に天井部エア供給路１５を形成し、該エア供給路１５も前記バッファ室７に連通させるようにした。
【０００９】
尚、特に図示しないが、一般には前記作業空間４には自動搬送装置を設置し、これにより収納部３に収納される物品を自動的に入出庫するようにする。
【００１０】
次に、前記クリーン装置付き収納設備の作動を説明する。
ファン９の駆動により供給されたエアは下部バッファ室８、収納部３の背面のエア供給路６、上部バッファ室７、天井部のエア供給路１５、フィルタ１４を通り、作業空間４内へと循環させるエア流れと、収納部３の背面のエア供給路６からフィルタ５、収納部３を通り作業空間４内へと循環させるエア流れの２つのエア流れが生成される。
本実施例の場合、ファン９により供給されたエアは下部バッファ室８において一旦緩和されてからエア供給路６へ供給されるので下部のフィルタ５のエア圧力を高めることができ、さらにエアは上部バッファ室７内でも緩和され、その結果上下のフィルタ５の風速のバラツキを極めて小さく抑えることができる。また、天井部１３にもエア供給路１５を形成して圧力室を構成するようにしたので、圧力室となる空間が広くとれて圧力をより緩和することができ、このためエアが壁に衝突してその部位付近のみエア圧力が高くなり風速が速くなることもなく、バッファ室７，８及びエア供給路６，１５全体に亘り均等圧に静圧化されることで、フィルタ５からの吹出風速のバラツキがさらに抑えられる。
【００１１】
尚、バッファ室を設けない従来のクリーン装置付き収納設備では、上方のフィルタの風速と下方のフィルタの風速では１．５〜１．９倍程度のバラツキが見られていたが、前記実施例の場合、平均風速が０．３〜０．４ｍ／ｓとなるようにファンを駆動したところ、上方のフィルタの風速と下方のフィルタの風速のバラツキが１．２倍以下の風速であった。
【００１２】
尚、前記実施例ではファンの駆動装置に特に制御部を設けなかったが、本発明のクリーン装置付き収納設備においてもファンの駆動装置に制御部を設けても構わないことは言うまでもない。
【００１３】
【発明の効果】
このように、本発明のクリーン装置付き収納設備によれば、特殊な制御装置を用いなくても、クリーン装置付き収納設備のフィルタ面より清浄なエアを風速分布のバラツキを少なく供給できる。また、本体装置を大型化することなく、従来と同等のスペースを維持しながら収納部の肥大化に対応でき省スペース化を図れる。さらにまた、従来と同寸法の収納部であれば、本体装置を小型化したりあるいは作業空間を広く確保できるため、省スペース化により有効利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーン装置付き収納設備の一実施例の縦縦断面図
【符号の説明】
１    本体
３    収納部
３ａ  前面
３ｂ  後面
４    作業空間
５    フィルタ
６    エア供給路
７    上部バッファ室
８    下部バッファ室
９    ファン
１３    天井部
１４    フィルタ
１５    天井部エア供給路
３０    クリーンルーム
【図１】
0003599757.tif 000002