(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポール組立用穴（１９）を持つプレート（１１）と、ウエハ載置用溝（１３）を持つポール（１２）とを、固定部材を介して着脱可能に組み立てる構成のウエハボートにおいて、
固定部材（１６）に回転軸（１８）を設けてプレート（１１）に回転可能に配置するようにし、固定部材（１６）がプレート面に対して傾斜した支持部（１７）を有し、ポール（１２）が固定部材（１６）の支持部（１７）と協働する係合部（２２）を有しており、固定部材（１６）を回転させてその支持部（１７）をポール（１２）の係合部（２２）に係合させ、ポール（１２）とプレート（１１）を固定関係に組み立てることを特徴とするウエハボート。
【請求項２】
固定部材（１６）の支持部（１７）が円錐面であることを特徴とする請求項１に記載のウエハボート。
【請求項３】
支持部（１７）がスパイラル状に形成され、回転すると支持部（１７）の高さが変化するようになっていることを特徴とする請求項１に記載のウエハボート。
【請求項４】
支持部（１７）のテーパ角が１０〜６０゜であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のウエハボート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ポール組立用穴を持つプレートと、ウエハ載置用溝を持つポールとを、固定部材を介して着脱可能に組み立てる構成のウエハボートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハのアニール処理には、組立方式のウエハボートが用いられる。
【０００３】
組立式ウエハボートの一例として、実公昭５９−４０４４３号公報に記載のウエハ支持装置を説明する。図８はこのウエハ支持装置の組み立て部分を示しており、図９は組み立て部分を下から見た図である。
【０００４】
実公昭５９−４０４４３号公報のポール２は、コの字型の駒部材６によって、プレート１に固定される。ポール２の先端付近には、駒部材６に対応した一対の溝５が形成されている。この溝５は、幅及び深さが一定である。
【０００５】
図１０は、駒部材６を溝５に挿入する時の様子を示している。駒部材６は、矢印Ｄで示すように平行移動によって、溝５に挿入される。一方、駒部材６を反対方向に移動して溝５から取り外せば、ポール２とプレート１を分解することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、駒部材６を挿入するためには、ある程度の遊びが必要であり、そのための隙間が製品のがたつきになっていた。一方、嵌め合い公差を厳しくすると、組み立て自体が難しくなって、局部に大きな力が加わり、カケやクラックが発生し易くなってしまう。
【０００７】
また、ウエハボートは高温で使用され、使用後にエッチング処理によって純度が保たれる。この作業を何度も繰り返した場合に、ウエハボートの各部品は使用回数に伴って徐々に細くなっていく。
【０００８】
このため、度重なるエッチング処理によって、駒部材６のがたつきが一層大きくなり、ポール２とプレート１の固定に不良が生じていた。
【０００９】
このような従来技術の問題点に鑑み、本発明は、エッチング処理を繰り返し行っても、固定手段によるがたつきが生じ難い構成の組立型のウエハボートを提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、ポール組立用穴（１９）を持つプレート（１１）と、ウエハ載置用溝（１３）を持つポール（１２）とを、固定部材を介して着脱可能に組み立てる構成のウエハボートにおいて、固定部材（１６）に回転軸（１８）を設けてプレート（１１）に回転可能に配置するようにし、固定部材（１６）がプレート面に対して傾斜した支持部（１７）を有し、ポール（１２）が固定部材（１６）の支持部（１７）と協働する係合部（２２）を有しており、固定部材（１６）を回転させてその支持部（１７）をポール（１２）の係合部（２２）に係合させ、ポール（１２）とプレート（１１）を固定関係に組み立てることを特徴とするウエハボートを要旨としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のウエハボートは、ポール組立用穴を持つプレートと、ウエハ載置用溝を持つポールとを、固定部材を介して着脱可能に組み立てる構成のウエハボートにおいて、固定部材に回転軸を設けてプレートに回転可能に配置するようにし、固定部材がプレート面に対して傾斜した支持部を有し、ポールが固定部材の支持部と協働する係合部を有し、固定部材を回転させてその支持部をポールの係合部に係合させ、ポールとプレートを固定関係に組み立てる構成になっている。
【００１２】
固定部材を皿形状に形成し、その円周の一部分を切り欠き、中心部に回転軸を配置することができる。
【００１３】
固定部材の支持部は、例えば、円錐面にすることができる。
【００１４】
支持部をスパイラル状に形成し、回転すると支持部の高さが変化するような構成にできる。
【００１５】
支持部のテーパ角は、良好な固定を行うため、１０〜６０゜の範囲で定めることが好ましい。
【００１６】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００１７】
図１は、本発明による組立型ウエハボート１０を概略的に示す斜視図である。
【００１８】
ウエハボート１０は、ボートの上下に配置される２枚のプレート１１と、両プレート１１の間に固定される４本のポール１２を有している。プレート１１とポール１２は、固定部材１６を介して着脱可能に固定される。
【００１９】
プレート１１，ポール１２，固定部材１６は、シリコンや石英ガラスもしくは炭化珪素等の材質で適宜形成することができる。
【００２０】
プレート１１には、ポール固定用の貫通穴１９が４個形成されている。プレート１１の各貫通穴１９の近くには、固定部材１６を設定するための凹所が形成されている。
【００２１】
ポール１２は角棒であり、両端の間には多数のウエハ載置用の溝１３が等間隔で形成されている。ポール１２の両端は中間部に比べて幅狭になっており、貫通穴１９に挿入できるようになっている。幅狭部分の長さは、プレートの貫通穴１９に挿入した時に、先端部が少し突出する程度になっている。幅狭部分には、後述する係合部２２が形成されている。
【００２２】
固定部材１６は全体的に皿状に形成され、その中心軸上には円柱状の回転軸１８が設けられている。固定部材１６は、回転軸１８をプレートの凹所に差し込んで、プレート１１に対して回転可能に設定される。
【００２３】
固定部材１６は、係合部２２と協働する支持部１７を有している。支持部１７は、プレート１１に配置された状態でプレート面に対して傾いている。この実施例では、支持部１７は円錐面で形成されている。
【００２４】
円錐面のテーパ角度は、１０〜６０゜の範囲で適宜設定できる。
【００２５】
固定部材１６の円周の一部分は円周部から回転軸１８にかけて切り欠かれ、切欠部２１となっている。図４に示すように、この切欠部２１をポール設定用貫通穴１９に合致させた状態で、ポール１２をプレートに貫通させる。
【００２６】
ポール１２の幅狭部分に形成される係合部２２は、固定部材の支持部１７と係合する被支持部１５を有している。
【００２７】
図３に示すように、ポール１２をプレート１１の貫通穴１９に挿入し、固定部材１６を回転させて、固定部材１６の支持部１７をポール１２の被支持部１５に係合させる。この係合によって、図３の矢印ＢとＣの方向に作用する支持力がポール１２に働くので、ポール１２とプレート１１はがたつきなく確実に固定される。
【００２８】
固定部材１６の支持部１７とポール１２の被支持部１５の係合は、被支持部１５の一部分と支持部１７の一部分で行われるようにする。
【００２９】
エッチングによって支持部１７と被支持部１５が細った場合には、支持部１７と被支持部１５の係合部分も変化するが、固定部材１６の回転動作によって、確実な係合を実現できる。すなわち、固定部材１６をそれ以上回転できない位置まで回転させて、支持部１７と被支持部１５を係合させれば、確実な固定を行うことができる。
【００３０】
図５，６は固定部材の変形例を示している。
【００３１】
この固定部材１６では支持部１７がスパイラル状になっており、回転させると円周部の高さａが変化する。高さａは１６ａの部分が最も高くなっている。このため、支持部１７や被支持部１５がエッチングによって細っても、両者の係合をより確実に行うことが可能である。
【００３２】
図７は固定部材の別の変形例を示している。この固定部材１６では、切欠部２１が直線的になっている。
【００３３】
【発明の効果】
本発明のウエハボートによれば、多数回のエッチングによって各部品が細っても、回転部材を調整することによってがたつきを防止できる。また、部品精度を従来品よりもラフにすることが可能である。その場合にも、回転部材の回転動作によってがたつきを防止できる。
【００３４】
なお、本発明は前述の実施例に限定されない。例えば、固定部材の形状は前述の実施例に限定されず、扇形のような形状でも良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウエハボートを概略的に示す斜視図。
【図２】図１のウエハボートのポール取り付け部分を示す拡大断面図。
【図３】図１のウエハボートの組み立て方を示す説明図。
【図４】図３のポールと固定部材を下から見た図。
【図５】別の固定部材を示す側面図。
【図６】図５の固定部材の上面図。
【図７】さらに別の固定部材とポールを示す図。
【図８】従来のウエハボートのポール取り付け部を示す断面図。
【図９】図８のウエハボートの下面図。
【図１０】図８のウエハボートの組み立て方を示す説明図。
【符号の説明】
１０  ウエハボート
１１  プレート
１２  ポール
１３  ウエハ載置用溝
１５  被支持部
１６  固定部材
１７  支持部
１８  回転軸
１９  ポール組立用穴
２１  切欠部
２２  係合部
【図１】
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【図２】
0003568017.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003568017.tif 000005
【図５】
0003568017.tif 000006
【図６】
0003568017.tif 000007
【図７】
0003568017.tif 000008
【図８】
0003568017.tif 000009
【図９】
0003568017.tif 000010
【図１０】
0003568017.tif 000011