(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドアームと、
上記ヘッドアームにその一端が取り付けられて弾性部を有するスライダー支持部材と、
上記スライダー支持部材の他端に回動可能に取り付けられ、媒体表面を摺動するスライダーとを備える磁気ヘッド装置において、
上記スライダーのヘッドアーム側の端部に、上記スライダーの上記端部側が上記スライダー支持部材に向かって回動する際に、上記スライダー支持部材と接触する突起部が設けられていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
上記スライダー支持部材の上記突起部と接触する部分に剛体部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
上記スライダーの突起部と媒体摺動面とのなす角が、上記スライダー支持部材をヘッドアーム方向に押し上げた時の上記スライダーの媒体摺動面と媒体表面とのなす角よりも大であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
上記突起部の先端部が曲面形状をなすことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
上記ヘッドアームに上記スライダーの跳ね上げ位置を規制するストッパー部が設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、光磁気記録方式に適用して好適な摺動記録方式の磁気ヘッド装置に関わり、詳細には耐衝撃性，記録特性の向上された磁気ヘッド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気記録方式は、磁性薄膜を部分的にキュリー点または温度補償点を越えて昇温し、この部分の保磁力を消滅させて外部から印加される記録磁界の方向に磁化の向きを反転することを基本原理とするもので、光ファイルシステムやコンピュータの外部記憶装置、あるいは音響、映像情報の記録装置等において実用化されつつある。
【０００３】
上記光磁気記録方式には、大きく分けて光変調方式と磁界変調方式があるが、このうち磁界変調方式は、オーバーライトが可能であることから注目されている。
【０００４】
上記磁界変調方式は、印加磁界を高速で反転することにより磁性薄膜に情報を書き込むものであって、磁界の印加は通常磁界発生手段を有する磁気ヘッドによって行われる。
この場合、高速反転磁界を印加する磁気ヘッドでは、諸々の制約から非常に小さな磁界しか発生できず、磁気ヘッドをなるべく磁性薄膜と近接させなければならない。
【０００５】
そこで、このような磁界変調方式においては、磁気ヘッドを光磁気記録媒体である、例えば光磁気ディスクの表面に対して直接接触させ、摺動させながら記録を行う摺動記録方式の採用が検討されている。この摺動記録方式を採用すれば、上記高速反転磁界を印加する磁気ヘッドであっても光磁気ディスクの記録磁性層に対して十分な磁力が印加できる。そして、上記磁界変調方式は、例えば直径６４ｍｍ程度の小型光磁気ディスクの記録方式として採用が検討されている。
【０００６】
このような磁界変調方式を適用した記録装置としては、例えば図６に示すような磁気ヘッド装置が搭載されたものが挙げられる。上記磁気ヘッド装置は、主としてヘッドアーム１０１と、その一端がヘッドアーム取り付け端１０２ａとされてヘッドアーム１０１に取り付けられたスライダー支持部材であるサスペンション１０２と、上記サスペンション１０２のスライダー取り付け端１０２ｂに取り付けられ、図示しない磁気ヘッドの組み込まれるスライダー１０３、サスペンション１０２の下方に独立して設けられる跳ね上げレバー１０５よりなるものである。
【０００７】
上記ヘッドアーム１０１の片方の側部には突出してサスペンション１０２の延在方向に平行に連続して設けられるアーム部１０６と、アーム部１０６の先端にスライダー１０３配設位置に合わせてストッパー部１０７が設けられている。上記ストッパー部１０７は、磁気ヘッド装置に対する不用意な衝撃によりサスペンション１０２が跳ね上げられた際に、スライダー１０３に接触することによりその跳ね上げ位置を規制し、スライダー１０３の破損やサスペンション１０２の変形を防ぐために設けられるものである。
【０００８】
また、サスペンション１０２は、弾性を有するものであり、ヘッドアーム取り付け端１０２ａ側とスライダー取り付け端１０２ｂ側にそれぞれバネ部を有し、これらの間に剛体部１０２ｃを有して構成される。
【０００９】
さらに、跳ね上げレバー１０５は、平面略Ｌ字状の部材であり、その屈曲端がサスペンション１０２の剛体部１０２ｃに対応する位置にサスペンション１０２延在方向に垂直となるように設けられる。そして、跳ね上げレバー１０５の屈曲端の剛体部１０２ｃに対応する位置には、当接部である突起部１０８が設けられる。なお、上記跳ね上げレバー１０５は、サスペンション１０２の下方に適度な間隔を有して配され、かつ図６中矢印ｍ１  で示す方向に回動可能となされ、サスペンション１０２をヘッドアーム１０１方向に押し上げることが可能なようになされている。
【００１０】
従って、上記磁気ヘッド装置においては、図７に示すように、ヘッドアーム１０１にネジ止め等によってサスペンション１０２を取り付け、これにスライダー１０３を取り付けた状態では、スライダー１０３はサスペンション１０２の弾性により図中矢印ｍ２  で示す方向に可動な状態でヘッドアーム１０１にぶら下がっていることとなる。
【００１１】
このような磁気ヘッド装置を記録装置に組み込む際には、図６に示すように、該磁気ヘッド装置のヘッドアーム１０１を記録装置内に配されるヘッドアーム取り付けバー１０９に取り付ける。
【００１２】
そして、光磁気記録媒体である例えば光磁気ディスク１１０に情報の記録を行う場合（以下、ローディング状態と称する。）には、磁気ヘッドの組み込まれるスライダー１０３を光磁気ディスク１１０に接触させ、サスペンション１０２の弾性によりスライダー１０３を光磁気ディスク１１０に適度な力で押し付けながらスライダー１０３を光磁気ディスク１１０に対して摺動させる。
【００１３】
また、上記記録装置においては、情報の記録を行わない場合や光磁気ディスクの出し入れを行う場合（以下、アンローディング状態と称する。）には磁気ヘッドを光磁気ディスクから離すようにしている。そこで、図８に示すように、跳ね上げレバー１０５を図中矢印ｍ１  で示す方向（光磁気ディスク１１０から遠ざかる方向）に回動させ、サスペンション１０２の剛体部１０２ｃに対応する位置に設けられる突起部１０８を剛体部１０２ｃに接触させてサスペンション１０２をヘッドアーム１０１方向に押し上げ、サスペンション１０２に取り付けられているスライダー１０３を光磁気ディスク１１０から離すようにしている。
【００１４】
前記のようにスライダー１０３はサスペンション１０２の弾性により図７中矢印ｍ２  で示す方向に可動な状態でヘッドアーム１０１にぶら下がっているため、上記のように跳ね上げレバー１０５を回動させてサスペンション１０２を押し上げると、スライダー１０３も持ち上げられ、光磁気ディスク１１０から離されることとなる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような磁気ヘッド装置においては、前述のように、不用意な衝撃によりサスペンション１０２が跳ね上げられた際に、スライダー１０３に接触することによりその跳ね上げ位置を規制し、スライダー１０３の破損やサスペンション１０２の変形を防ぐためにストッパー部１０７が設けられている。
【００１６】
しかしながら、該磁気ヘッド装置に過度な衝撃が加わった場合には、ストッパー部１０７にスライダー１０３が接触した後、その反力によってサスペンション１０２の剛体部１０２ｃとスライダー取り付け端１０２ｂ側のバネ部の境目を中心として上記スライダー１０３が回動し、サスペンション１０２の弾性限界を越えてしまい、上記サスペンション１０２が変形することがあった。このように、サスペンション１０２が変形してしまうと、磁気ヘッド装置中に組み込まれる磁気ヘッドと光磁気ディスク１１０中の記録磁性層間の間隔が広がり、十分な記録磁界を印加することができず、情報の記録が不可能となってしまう。
【００１７】
そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案されたものであり、衝撃によるスライダーの回動を抑え、スライダーの破損やサスペンションの損傷を防ぎ、耐衝撃性が高く、また良好な記録特性を有する磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために本発明は、ヘッドアームと、上記ヘッドアームにその一端が取り付けられて弾性部を有するスライダー支持部材と、上記スライダー支持部材の他端に回動可能に取り付けられ、媒体表面を摺動するスライダーとを備える磁気ヘッド装置において、上記スライダーのヘッドアーム側の端部に、上記スライダーの上記端部側が上記スライダー支持部材に向かって回動する際に、上記スライダー支持部材と接触する突起部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の磁気ヘッド装置においては、上記スライダー支持部材の上記突起部と接触する部分に剛体部が設けられていることが好ましい。
【００２０】
なお、本発明の磁気ヘッド装置においては、上記スライダーの突起部と媒体摺動面とのなす角が、上記スライダー支持部材をヘッドアーム方向に押し上げた時の上記スライダーの媒体摺動面と媒体表面とのなす角よりも大であることが好ましい。
【００２１】
さらに、本発明の磁気ヘッド装置においては、突起部の先端部が曲面形状をなすことが好ましい。
【００２２】
さらにまた、本発明の磁気ヘッド装置においては、ヘッドアームにスライダーの跳ね上げ位置を規制するストッパー部が設けられていても良い。
【００２３】
【作用】
本発明の磁気ヘッド装置においては、スライダー支持部材に支持されるスライダーのヘッドアーム側の端部に、スライダーの上記端部側がスライダー支持部材に向かって回動する際に、スライダー支持部材と接触する突起部が設けられている。従って、本発明の磁気ヘッド装置に過度の衝撃が加わってスライダーが回動しても、スライダーに設けられた突起部のスライダー支持部材への接触によるスライダーの回動が抑えられる。
【００２４】
また、本発明の磁気ヘッド装置において、スライダー支持部材の突起部と接触する部分に剛体部が設けられていれば、上記のように突起部が接触した場合にスライダー支持部材の揺れが小さく抑えられ、スライダーの回動が早く抑えられる。
【００２５】
なお、本発明の磁気ヘッド装置において、スライダーの突起部と媒体摺動面とのなす角が、スライダー支持部材をヘッドアーム方向に押し上げた時のスライダーの媒体摺動面と媒体表面とのなす角よりも大であれば、ローディング状態の時に突起部が媒体と摺接することがない。また、アンローディング状態の時にスライダーに組み込まれる磁気ヘッドを媒体から離す場合にも、スライダー、媒体間の距離が良好に保たれ、これらが接触する等の事故が回避される。
【００２６】
さらに、本発明の磁気ヘッド装置において、突起部の先端部の形状を曲面形状とすれば、突起部のスライダー支持部材への接触面積が十分に確保される。また、このような形状とすることで、突起部による媒体への傷つけが防止される。
【００２７】
さらにまた、本発明の磁気ヘッド装置においては、ヘッドアームにスライダー支持部材の跳ね上げ位置を規制するストッパー部が設けられているので、上記ストッパーと突起部によりスライダーの回動が良好に抑えられる。
【００２８】
【実施例】
以下、本発明を適用した具体的な実施例について図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施例の磁気ヘッド装置は、図１および図２に示されるように、主としてヘッドアーム１と、その一端がヘッドアーム取り付け端２ａとされてヘッドアーム１に取り付けられたスライダー支持部材であるサスペンション２と、上記サスペンション２のスライダー取り付け端２ｂに取り付けられ、磁気ヘッド４の組み込まれるスライダー３、サスペンション２の下方に独立して設けられる跳ね上げレバー５よりなるものである。
【００２９】
上記ヘッドアーム１は、上記磁気ヘッド装置を記録装置に組み込むための接続孔７が形成され、サスペンション２との接続部にもなっている接続部６と、該接続部６の片方の側部６ａにサスペンション２の延在方向に連続して設けられ、スライダー３に組み込まれる磁気ヘッド４への配線の拠点となる配線部１７と、該配線部１７に連続してサスペンション２に平行に設けられるアーム部８と、アーム部８の先端にスライダー３配設位置に合わせて設けられるストッパー部９により構成されている。上記ストッパー部９は、磁気ヘッド装置に対する不用意な衝撃によりサスペンション２が跳ね上げられた際に、スライダー３に接触することによりその跳ね上げ位置を規制し、スライダー３の破損やサスペンション２の変形を防ぐために設けられるものである。
【００３０】
また、サスペンション２は、ヘッドアーム取り付け端２ａ側に設けられる板バネである第１のバネ部１０と、両側縁に立ち上がり板１２の設けられる機械的強度の高い剛体部１１と、スライダー取り付け端２ｂ側に設けられる第２のバネ部１３と第３のバネ部１４により構成されている。上記第２のバネ部１３は切り込み部１３ａによる板バネであり、一方の第３のバネ部１４は切り込み部１４ａによる板バネである。そして、スライダー３は第３のバネ部１４の切り込み部１４ａにより形成された板部１４ｂに溶着により固定されて取り付けられている。
【００３１】
跳ね上げレバー５は、平面略Ｌ字状の部材であり、サスペンション２延在方向に平行にサスペンション２に沿うようにして設けられる支持部１９と、サスペンション２延在方向に垂直に剛体部１１およびヘッドアーム１のアーム部８の下側に設けられる跳ね上げ部２０、跳ね上げ部２０上の剛体部１１に対応する位置に設けられる当接部である突起部２１により構成される。そして、上記跳ね上げレバー５は、サスペンション２の下方に適度な間隔を有して配され、かつ図２中矢印Ｍ１  で示す方向に回動可能となされ、サスペンション２をヘッドアーム１方向に押し上げることが可能なようになされている。
【００３２】
さらに、スライダー３は、磁気ヘッド４の搭載される箱状の本体１５と、スライダー３の摺動を安定化させるために本体１５に連続して設けられ、サスペンション２との接続部分ともなっている板状の摺動補助部１６により構成されている。なお、磁気ヘッド４の端子部４ａにはフレキシブルプリント基板１８が接続されており、これはヘッドアーム１の配線部１７に接続されて磁気ヘッド４への配線がなされている。
【００３３】
そして、本実施例の磁気ヘッド装置においては、特に、図３にも拡大して示すように、スライダー３の本体１５の摺動補助部１６の反対側、すなわちヘッドアーム１側に突起部２４が設けられている。上記突起部２４は、スライダー３の媒体摺動面３ａに対して角度θ２  を有して斜め方向に設けられ、その先端部２４ａが曲面形状となされている。従って、本実施例の磁気ヘッド装置においては、スライダー３がサスペンション２の剛体部１１と第２のバネ部１３との境目２５を中心として図中矢印Ｍ２  方向に回動した場合、上記突起部２４がサスペンション２と接触することとなる。
【００３４】
本実施例の磁気ヘッド装置においては、ヘッドアーム１にサスペンション２を取り付け、これにスライダー３を取り付けた状態では、スライダー３はサスペンション２の第１のバネ部１０および第２のバネ部１３，第３のバネ部１４の弾性により板部１４ｂとスライダー３の固着位置を中心に回動可能な状態でヘッドアーム１にぶら下がっていることとなる。
【００３５】
このような本実施例の磁気ヘッド装置を記録装置に組み込む際には、図２に示すように、該磁気ヘッド装置のヘッドアーム１の接続部６の接続孔７を介して、記録装置内に配されて図中矢印Ｍ３  で示す方向に回動可能なヘッドアーム取り付けバー２２に取り付ける。そして、光磁気記録媒体である例えば光磁気ディスク２３に情報の記録を行う場合には、磁気ヘッド４の組み込まれるスライダー３を光磁気ディスク２３に接触させ、サスペンション２の第１のバネ部１０および第２のバネ部１３，第３のバネ部１４の弾性によりスライダー３を光磁気ディスク２３に適度な力で押し付けながらスライダー３を光磁気ディスク２３に対して摺動させる。
【００３６】
また、上記記録装置においては、情報の記録を行わない場合や光磁気ディスクの出し入れを行う場合には磁気ヘッドを光磁気ディスクから離すようにしているため、本実施例の磁気ヘッド装置においては、図４に示すように、跳ね上げレバー５を図中矢印Ｍ１  で示す方向（光磁気ディスク２３から遠ざかる方向）に回動させ、サスペンション２の剛体部１１に対応する位置に設けられる突起部２１を剛体部１１に接触させてサスペンション２をヘッドアーム１方向に押し上げ、サスペンション２に取り付けられているスライダー３を光磁気ディスク２３から離すようにしている。
【００３７】
すなわち、前記のようにスライダー３はサスペンション２の第１のバネ部１０および第２のバネ部１３，第３のバネ部１４の弾性により板部１４ｂとスライダー３の固着位置を中心に回動可能な状態でヘッドアーム１にぶら下がっているため、上記のように跳ね上げレバー５を回動させてサスペンション２を押し上げると、スライダー３も持ち上げられ、光磁気ディスク２３から離されることとなる。
【００３８】
さらに跳ね上げレバー５を回動させて跳ね上げ部２０をヘッドアーム１のアーム部８に接触させると、ヘッドアーム取り付けバー２２も図４中矢印Ｍ３  で示す方向に回動可能となされていることからヘッドアーム１およびヘッドアーム取り付けバー２２が若干押し上げられる。なお、この押し上げ量は、各部材の重量や剛性によって決定される。その結果、図４中に示すように、スライダー３と光磁気ディスク２３間に該光磁気ディスク２３の出し入れを行うのに十分な間隔ｈ１  が形成されることとなる。なお、上記スライダー３は、その媒体摺動面３ａが光磁気ディスク２３の表面２３ａに対して角度θ１  を有するような姿勢で光磁気ディスク２３から離されることとなる。
【００３９】
本実施例の磁気ヘッド装置においては、前述のようにスライダー３に突起部２４が設けられている。そして、上記突起部２４は、スライダー３の媒体摺動面３ａに対して角度θ２  を有して斜め方向に設けられているが、該角度θ２  は上記角度θ１  よりも大となされている。
【００４０】
従って、本実施例の磁気ヘッド装置においては、情報の記録を行うため、スライダー３を光磁気ディスク２３上に摺動させても、突起部２４が光磁気ディスク２３に摺動してしまうことはなく、光磁気ディスク２３を損傷することもない。また、スライダー３を光磁気ディスク２３から離した状態においても突起部２４がスライダー３と光磁気ディスク２３間の間隔ｈ１  に影響を及ぼすこともなく、これらが接触する等の事故も回避される。
【００４１】
そして、本実施例の磁気ヘッド装置においては、不用意な衝撃が加わった場合、まず、サスペンション２が跳ね上げられ、図５（ａ）に示されるように、サスペンション２に支持されるスライダー３がストッパー９に接触する。さらに衝撃の度合いによっては、スライダー３はサスペンション２の剛体部１１と第２のバネ部１３の境目２５を中心として図５（ａ）中矢印Ｍ２  で示すような方向で回動してしまう。
【００４２】
このとき、本実施例の磁気ヘッド装置においては、スライダー３の媒体摺動補助部１６の反対側、すなわちヘッドアーム１側に突起部２４が設けられている。従って、上記のようにスライダー３が回動すると、図５（ｂ）に示すように上記突起部２４がサスペンション２に接触し、スライダー３の回動が静止する。すなわち、本実施例の磁気ヘッド装置においては、不用意な衝撃が加わった場合、ストッパー９と突起部２４によりスライダーの回動を抑える。
【００４３】
また、上述のように突起部２４はサスペンション２の剛体部１１に接触するため、サスペンション２の揺れは小さく抑えられ、スライダー３の回動が早く抑えられる。
【００４４】
従って、本実施例の磁気ヘッド装置においては、スライダー３の破損やサスペンション２の損傷が起こり難く、耐衝撃性が高まるとともに、その記録特性は良好なものとなる。
【００４５】
なお、本実施例の磁気ヘッド装置においては、突起部２４の先端部２４ａを曲面形状としている。従って、突起部２４のサスペンション２に対する接触面積は十分に確保され、スライダー３の回動が確実に抑えられる。また、万が一、上記突起部２４が光磁気ディスク２３に接触してしまった場合にも、光磁気ディスク２３の損傷を最低限に抑えることができる。
【００４６】
上記のような本実施例の磁気ヘッド装置と従来の磁気ヘッド装置について耐衝撃試験を行った。結果を表１に示す。
【００４７】
【表１】
0003572660.tif 000002
【００４８】
表１の結果から、本実施例の磁気ヘッド装置においては、耐衝撃性が大きく向上していることが確認された。
【００４９】
本実施例の磁気ヘッド装置は、耐衝撃性に優れることから、使用者が持ち歩いて使用する記録装置に搭載して好適である。
【００５０】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明は、ヘッドアームと、上記ヘッドアームにその一端が取り付けられて弾性部を有するスライダー支持部材と、上記スライダー支持部材の他端に回動可能に取り付けられ、媒体表面を摺動するスライダーとを備える磁気ヘッド装置において、上記スライダーのヘッドアーム側の端部に、上記スライダーの上記端部側が上記スライダー支持部材に向かって回動する際に、上記スライダー支持部材と接触する突起部が設けられている。従って、本発明の磁気ヘッド装置においては、過度の衝撃が加わってスライダーが回動しても、スライダーに設けられた突起部のスライダー支持部材への接触によりスライダーの回動が抑えられ、スライダーの破損やサスペンションの損傷が起こり難く、耐衝撃性が高まり、記録特性は良好なものとなる。
【００５１】
また、本発明の磁気ヘッド装置において、スライダー支持部材の突起部と接触する部分に剛体部が設けられていれば、上記のように突起部が接触した場合にスライダー支持部材の揺れが小さく抑えられ、スライダーの回動が早く抑えられ、スライダーの破損やサスペンションの損傷がさらに起こり難くなる。
【００５２】
なお、本発明の磁気ヘッド装置において、スライダーの突起部と媒体摺動面とのなす角が、スライダー支持部材をヘッドアーム方向に押し上げた時のスライダーの媒体摺動面と媒体表面とのなす角よりも大であれば、ローディング状態の時に突起部が媒体と摺接することがない。また、アンローディング状態の時にスライダーに組み込まれる磁気ヘッドを媒体から離す場合にも、スライダー、媒体間の距離が良好に保たれ、これらが接触する等の事故が回避される。
【００５３】
さらに、本発明の磁気ヘッド装置において、突起部の先端部の形状を曲面形状とすれば、突起部のスライダー支持部材への接触面積が十分に確保され、スライダーの回動が確実に抑えられる。また、このような形状とすることで、突起部による情報の記録時の媒体への傷つけを防止できる。
【００５４】
さらにまた、本発明の磁気ヘッド装置においては、ヘッドアームにスライダー支持部材の跳ね上げ位置を規制するストッパー部が設けられているので、上記ストッパーと突起部によりスライダーの回動が良好に抑えられられ、スライダーの破損やサスペンションの損傷がさらに抑えられ、耐衝撃性が高まり、記録特性は良好なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した磁気ヘッド装置を示す平面図である。
【図２】本発明を適用した磁気ヘッド装置を記録装置に組み込み、光磁気ディスクに情報の記録を行っている状態を示す側面図である。
【図３】本発明を適用した磁気ヘッド装置のスライダー近傍部を拡大して示す側面図である。
【図４】本発明を適用した磁気ヘッド装置において、スライダーを光磁気ディスクから離している状態を示す側面図である。
【図５】本発明を適用した磁気ヘッド装置において、スライダーが回動する様子を拡大して示す模式図である。
【図６】従来の磁気ヘッド装置を記録装置に組み込み、ローディング状態としている側面図である。
【図７】従来の磁気ヘッド装置において、ヘッドアームにサスペンションを取り付け、サスペンションにスライダーを取り付けた状態を示す側面図である。
【図８】従来の磁気ヘッド装置において、スライダーを光磁気ディスクから離している状態を示す側面図である。
【符号の説明】
１  ヘッドアーム
２  サスペンション
２ａ  ヘッドアーム取り付け端
２ｂ  スライダー取り付け端
３  スライダー
３ａ  媒体摺動面
５  跳ね上げレバー
９  ストッパー部
１０  第１のバネ部
１１  剛体部
１３  第２のバネ部
１４  第３のバネ部
２３  光磁気ディスク
２３ａ  表面
２４  突起部
２４ａ  先端部
θ１  ，θ２    角度
【図１】
0003572660.tif 000003
【図２】
0003572660.tif 000004
【図３】
0003572660.tif 000005
【図４】
0003572660.tif 000006
【図５】
0003572660.tif 000007
【図６】
0003572660.tif 000008
【図７】
0003572660.tif 000009
【図８】
0003572660.tif 000010