(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端縁部が回転軸を介して装置本体に軸支され且つ上記装置本体の上端を開口可能に構成されたヘッドプレートの開閉軽減機構において、上記ヘッドプレートの開口操作を軽減する押し上げ手段を上記ヘッドプレートの上記端縁部と対向する他端縁部に連結し、且つ、上記押し上げ手段は、複数の伸縮自在な伸縮機構と、これらの伸縮機構間を連結し且つ上記ヘッドプレートに連結された伸縮機構以外の伸縮機構それぞれの伸縮方向を一方向に規定する複数のガイド機構とを有し、上記各ガイド機構の一つが固定されていると共に他のガイド機構が伸縮方向に移動することを特徴とするヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項２】
上記押し上げ手段は、連結された２つの伸縮自在な伸縮機構を有し、一方の伸縮機構が上記ヘッドプレートの開閉状態に応じて伸縮方向を変え、他方の伸縮機構が一方向に伸縮することを特徴とする請求項１に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項３】
上記押し上げ手段は、連結された３つの伸縮自在な伸縮機構を有し、一つの伸縮機構が上記ヘッドプレートの開閉状態に応じて伸縮方向を変え、他の２つの伸縮機構が一方向に伸縮することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項４】
上記押し上げ手段は、３つの伸縮自在な伸縮機構と、これらの伸縮機構間を連結し且つ上記ヘッドプレートに連結された伸縮機構以外の２つの伸縮機構それぞれの伸縮方向を一方向に規定する２つのガイド機構とを有し、一方のガイド機構が固定されていると共に他方のガイド機構が伸縮方向に移動することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項５】
上記伸縮機構は、ロッド及びロッドの付勢力を蓄勢する蓄勢手段を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項６】
上記伸縮機構としてガススプリングを設けたことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項７】
上記ヘッドプレートの受け座を上記開口端の四隅に設けると共に、それぞれの受け座から上記プローブカードの中心までを同一距離に設定したことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【請求項８】
上記押し上げ手段と上記ヘッドプレートとの連結点を上記ヘッドプレートの受け座の近傍に配置したことを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載のヘッドプレート開閉軽減機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヘッドプレート開閉軽減機構に関し、更に詳しくはヘッドプレートの変形によるプローブカードの傾きを抑制することができるヘッドプレート開閉軽減機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プローブ装置は、通常、図４、図５に示すように、ウエハＷを搬送すると共にウエハＷをプリアライメントするローダ室１と、このローダ室１からウエハＷを受け取って電気的特性検査行うプローバ室２とを備えている。ローダ室１にはピンセット３及びサブチャック４が配設され、ピンセット３でウエハＷを搬送する間にサブチャック４においてオリエンテーションフラットあるいはノッチを基準にしてウエハＷのプリアライメントを行う。また、プローバ室２にはメインチャック５及びアライメント機構６が配設され、ウエハＷを載置したメインチャック５がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動しながらアライメント機構６によりウエハＷをメインチャック５上方のプローブカード７のプローブ針７Ａに対してアライメントし、ウエハＷとプローブ針７Ａとを電気的に接触させ、テストヘッドＴを介してウエハＷの電気的特性検査を行う。
【０００３】
プローブカード７を交換したり、プローバ室２をメンテナンスする時には、プローバ室２を開放する。そのため、プローブカード７はヘッドプレート８に対して着脱可能に取り付けられ、また、テストヘッドＴはヘッドプレート８上において旋回可能になっている。プローバ室２を開放するにはテストヘッドＴを旋回させてプローバ室２のヘッドプレート８から退避させた後、ヘッドプレート８を開放する。このヘッドプレート８は例えば図６に示すようにプローバ室２の後方端でシャフト８Ａを介してヒンジ結合され、シャフト８Ａを中心に旋回してプローバ室２を開閉する。また、使用時にはヘッドプレート８はプローバ室２の前方の左右に設けられた受け座（図示せず）においてネジ止めされている。
【０００４】
更に、ヘッドプレートの開閉操作を軽減するために、ヘッドプレート開閉軽減機構として例えば図６に示すようにヘッドプレート８の後方端部とプローバ室２の固定部２Ａとの間にガススプリング９が取り付けられ、このガススプリング９の押し上げ力を得てヘッドプレート８の開閉操作が円滑になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のプローブ装置の場合には、プローブカード７に対してテストヘッドＴの荷重や検査時の針圧の反力が掛かりヘッドプレート８が変形するが、この時ヘッドプレート８が均一に変形しないため、プローブカードが傾き、検査時にプローブ針７Ａと被検査体の電極パッドとの安定した接触を得ることができないという課題があった。
【０００６】
また、従来のプローブ装置の場合には、ガススプリング９でヘッドプレート８の後方端部を押し上げるため、ヘッドプレート８の開閉操作を軽減するには極めて大きな押し上げ力が必要になり、しかもヘッドプレート８が閉じている時はガススプリング９の押し上げ力が最も大きいため、ヘッドプレート８が閉じている時にその押し上げ力の影響でヘッドプレート８が益々複雑な変形をするという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ヘッドプレートを円滑に開閉操作することができ、しかもヘッドプレートの変形を抑制してプローブカードの傾きを格段に抑制することができ、信頼性の高い検査を安定的に行うことができるヘッドプレート開閉軽減機構を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、端縁部が回転軸を介して装置本体に軸支され且つ上記装置本体の上端を開口可能に構成されたヘッドプレートの開閉軽減機構において、上記ヘッドプレートの開口操作を軽減する押し上げ手段を上記ヘッドプレートの上記端縁部と対向する他端縁部に連結し、且つ、上記押し上げ手段は、複数の伸縮自在な伸縮機構と、これらの伸縮機構間を連結し且つ上記ヘッドプレートに連結された伸縮機構以外の伸縮機構それぞれの伸縮方向を一方向に規定する複数のガイド機構とを有し、上記各ガイド機構の一つが固定されていると共に他のガイド機構が伸縮方向に移動することを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項２に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１に記載の発明において、上記押し上げ手段は、連結された２つの伸縮自在な伸縮機構を有し、一方の伸縮機構が上記ヘッドプレートの開閉状態に応じて伸縮方向を変え、他方の伸縮機構が一方向に伸縮することを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項３に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記押し上げ手段は、連結された３つの伸縮自在な伸縮機構を有し、一つの伸縮機構が上記ヘッドプレートの開閉状態に応じて伸縮方向を変え、他の２つの伸縮機構が一方向に伸縮することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項４に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記押し上げ手段は、３つの伸縮自在な伸縮機構と、これらの伸縮機構間を連結し且つ上記ヘッドプレートに連結された伸縮機構以外の２つの伸縮機構それぞれの伸縮方向を一方向に規定する２つのガイド機構とを有し、一方のガイド機構が固定されていると共に他方のガイド機構が伸縮方向に移動することを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項５に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記伸縮機構は、ロッド及びロッドの付勢力を蓄勢する蓄勢手段を有することを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の請求項６に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記伸縮機構としてガススプリングを設けたことを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の請求項７に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記ヘッドプレートの受け座を上記開口端の四隅に設けると共に、それぞれの受け座から上記プローブカードの中心までを同一距離に設定したことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項８に記載のヘッドプレート開閉軽減機構は、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の発明において、上記押し上げ手段と上記ヘッドプレートとの連結点を上記ヘッドプレートの受け座の近傍に配置したことを特徴とするものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図３に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のヘッドプレート開閉軽減機構の適用されたプローブ装置１０は、例えば図１に示すように、ウエハを搬送するローダ室１１（一点鎖線で示した部分）と、このローダ室１１に隣接しウエハの検査を行うプローバ室１２と、プローバ室１２の上端開口を開閉するヘッドプレート１３とを備えている。ヘッドプレート１３の略中央には中央孔１３Ａが形成され、この中央孔１３Ａに対してプローブカード（図示せず）が着脱可能に取り付けられる。このヘッドプレート１３は、図２の（ａ）に示すように、後端部の左右がプローバ室１２の後端部左右で軸支されたシャフト１３Ｂに対して連結されている。このシャフト１３Ｂの内側の略半分はヘッドプレート１３の端部にネジ１３Ｃを介して連結、固定され、その外側の略半分はプローバ室１２側のベアリング１２Ａにおいて回転自在に軸支されている。尚、図１において１５はメインチャックである。
【００２１】
而して、上記プローバ室１２開口端の四隅には図２の（ｂ）に示す受け座１２Ｂがそれぞれ配置され、しかも後方の受け座１２Ｂはシャフト１３Ｂのやや前方に配置されている。これらの受け座１２Ｂにおいてヘッドプレート１３が締結され、ヘッドプレート１３を四隅の受け座１２Ｂで受けている。しかも、それぞれの受け座１２Ｂはいずれも同一形状であり、また中央孔の中心、即ち、プローブカードの中心から同一の距離に配置されている。従って、テストヘッドの荷重や検査時の針圧の反力を四隅の受け座１２Ｂで均等に受け、ヘッドプレート１３の撓みを前後左右対称にすることができ、ひいてはプローブカードの傾きを防止
することができる。
【００２２】
図２の（ｂ）に示すように、上記ヘッドプレート１３には受け座１２Ｂに対応する貫通孔１３Ｄが形成され、この貫通孔１３Ｄの内周面には雌ネジが形成されている。四隅の貫通孔１３Ｄにはそれぞれ高さ調整ネジ１３Ｅが螺合し、これらの高さ調整ネジ１３Ｅを介してヘッドプレート１３の水平度を調整する。更に、高さ調整ネジ１３Ｅは止めネジ１３Ｆを介してヘッドプレート１３を受け座１２Ｂに締結、固定している。
【００２３】
さて、上記ヘッドプレート１３は手動操作により開閉するには重すぎるため、ヘッドプレート１３を開閉する時の力を軽減するために一対のヘッドプレート開閉軽減機構１４がプローバ室１２の左右側面に沿って設けられ、これらのヘッドプレート開閉軽減機構１４の働きでヘッドプレート１３を軽い力で開閉できるようになっている。このヘッドプレート開閉軽減機構１４は、ヘッドプレート１３が閉じた時には図３の（ａ）に示す状態になり、ヘッドプレート１３を開放した時には図３の（ｂ）に示す状態になる。
【００２４】
上記ヘッドプレート開閉軽減機構１４は、例えば図１、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッドプレート１３を押し上げる手段として互いに直列に連結された３本の伸縮自在な伸縮機構として第１、第２、第３ガススプリング１６、１７、１８を備え、第１ガススプリング１６がヘッドプレート１３の前方端の左右にそれぞれ連結されている。そして、後述のように第１ガススプリング１６は第２ガススプリング１７を介して昇降し、これと同時に第２ガススプリング１７は第３ガススプリング１８を介して昇降し、第３ガススプリング１８はプローバ室１２内に固定されている。これらのガススプリング１６、１７、１８は、ロッド１６Ａ、１７Ａ、１８Ａと、これらのロッド１６Ａ、１７Ａ、１８Ａの押し上げ力をそれぞれ蓄勢するシリンダ１６Ｂ、１７Ｂ、１８Ｂとから構成されている。
【００２５】
また、上記ヘッドプレート開閉軽減機構１４は、図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、例えばＬＭガイドからなる第１、第２昇降ガイド機構１９、２０を備え、第２、第３ガススプリング１７、１８のロッド１７Ａ、１８Ａがそれぞれ第１、第２昇降ガイド機構１９、２０を介して垂直方向に昇降する。第１、第２昇降ガイド機構１９、２０は、第１、第２ガイドレール１９Ａ、２０Ａと、これらのガイドレール１９Ａ、２０Ａとそれぞれ係合する第１、第２係合部材１９Ｂ、２０Ｂとを有している。第１ガイドレール１９Ａの上端部にはストッパー１９Ｃが固定され、このストッパー１９Ｃにより第１係合部材１９Ｂの上昇端を規定している。第１ガイドレール１９Ａ背面のやや下方には第２係合部材２０Ｂが固定され、第１昇降ガイド機構１９が第２ガイドレール２０Ａに従って昇降する。また、第２ガイドレール２０Ａはプローバ室１２の側面に固定されている。
【００２６】
第１ガススプリング１６は図３の（ａ）、（ｂ）に示すようにロッド１６Ａの先端がヘッドプレート１３にピン結合し、また、そのシリンダ１６Ｂの基端が第１係合部材１９Ｂに固定されたブラケット２１にピン結合し、更に、このブラケット２１には第２ガススプリング１７のロッド１７Ａの先端がピン結合している。従って、第２ガススプリング１７のロッド１７Ａは第１係合部材１９Ｂを介して第１ガイドレール１９Ａに従ってストッパー１９Ｃまでの距離を昇降する。第１ガススプリング１６とヘッドプレート１３のピン結合部は前方の貫通孔１３Ｄのやや後方に配置され、プローバ室１２が閉じている時にはヘッドプレート開閉軽減機構１４からの押し上げ力をヘッドプレート１３の受け座１２Ｂの固定点で殆ど相殺し、ヘッドプレート１３の変形を防止している。
【００２７】
第２、第３ガススプリング１７、１８はいずれもシリンダ１７Ｂ、１８Ｂが断面コ字状で細長形状の収納ブラケット２２、２３内にそれぞれ収納され、各シリンダ１７Ｂ、１８Ｂの下端が収納ブラケット２２、２３内でピン結合して収納ブラケット２２、２３と一体化している。そして、第２、第３ガススプリング１７、１８は収納ブラケット２２、２３内からそれぞれのロッド１７Ａ、１８Ａを伸縮させる。また、第２ガススプリング１７の収納ブラケット２２の上端には連結部材２４を介して第１ガイドレール１９Ａが連結され、この連結部材２４の下隣には収納ブラケット２２の背面に固定されたブラケット２５が配置されている。そして、このブラケット２５には第３ガススプリング１８のロッド１８Ａの先端がピン結合している。そのため、第３ガススプリング１８のロッド１８Ａは第２ガススプリング１７の収納ブラケット２２及び第１昇降ガイド機構１９を介して第２ガイドレール２０Ａに従って昇降し、もって第１、第２ガススプリング１６、１７を昇降させる。
【００２８】
第３ガススプリング１８は第２昇降ガイド機構２０の下方に垂直に配置され、その収納ブラケット２３は背面の上下２箇所でプローバ室１２側にネジ２６Ａ、２６Ｂを介してネジ止めされている。また、収納ブラケット２３はゴム等からなる弾性基台２７Ａ上に載置されている。この弾性基台２７Ａの隣にも第２ガススプリング１７の収納ブラケット２２を受ける弾性基台２７Ｂが配置されている。そして、図３の（ａ）に示すようにヘッドプレート１３でプローバ室１２の上端開口を閉じた状態では第３ガススプリング１８と第２ガススプリング１７が並立し、第２ガススプリング１７の延長線上に第１ガススプリング１６が位置し、第１、第２、第３ガススプリング１６、１７、１８が並立しコンパクトに収納されている。
【００２９】
次に、動作について説明する。プローブ装置１０の使用時にはヘッドプレート１３でプローバ室１２の上端開口を閉じ、テストヘッドがプローブカードの上面に電気的に接触している。そのため、プローブカードにはヘッドプレートからの荷重が作用し、更に、プローブカードには針圧の反力が作用する。このようにヘッドプレート１３にはプローブカードを介して上下方向の荷重が複雑に作用するが、ヘッドプレート１３はプローブカードの中心から等距離を隔てた同一形状の受け座１２Ｂに締結されているため、ヘッドプレート１３には偏荷重が殆ど作用せず、前後左右対称に変形し、プローブカードが傾く虞がない。そのため、検査時には全てのプローブ針がウエハと均一に接触し、安定した検査を行うことができ、検査の信頼性を高めることができる。
【００３０】
検査終了後、プローブカードの交換やプローブ装置１０のメンテナンスを行う場合にはヘッドプレート１３を開放し、図３の（ａ）に示す閉止状態から図１、図３の（ｂ）に示す開放状態にする。それにはまず、ヘッドプレート１３上のテストヘッドを旋回させてヘッドプレート１３上から退避させた後、ヘッドプレート１３の四隅の受け座１２Ｂから止めネジ１３Ｆを外すと、ヘッドプレート開閉軽減機構１４が自動的に作動する。オペレータはヘッドプレート１３の前端を持ち上げる補助を行う。この際、第１、第２、第３ガススプリング１６、１７、１８の各ロッド１６Ａ、１７Ａ、１８Ａが伸びてヘッドプレート１３を押し上げるため、ヘッドプレート１３の自重の割にはヘッドプレート１３は軽い力で旋回する。
【００３１】
即ち、第３ガススプリング１８のロッド１８Ａが伸びると、このロッド１８Ａは第２ガイドレール２０Ａに従って第２ガススプリング１７及び第１昇降ガイド機構１９を垂直上方へ持ち上げる。第２ガススプリング１７のロッド１７Ａが第１ガイドレール１９Ａに従って伸びて第１ガススプリング１６を垂直上方へ持ち上げる。一方、第１ガススプリング１６はヘッドプレート１３が開くに連れて第２ガススプリング１７とのピン結合部を基準に旋回して徐々に伸縮方向を変えて傾斜し、ヘッドプレート１３が開放された時点で図１に示すように最も傾斜する。この状態でヘッドプレート１３はヘッドプレート開閉軽減機構１４によって一定に姿勢を維持する。然る後、プローブカードの交換や内部のメンテナンスを行う。これらの作業が終了した後、ヘッドプレート１３を閉じる。この際には、ヘッドプレート開閉軽減機構１４の働きでヘッドプレート１３をゆっくりと閉じる。
【００３２】
ヘッドプレート１３でプローバ室１２を閉じている時には、ヘッドプレート１３の前方左右にはヘッドプレート開閉軽減機構１４から最も大きな押し上げ力を受けるが、第１ガススプリング１６は受け座１２Ｂの近傍に連結されているため、ヘッドプレート開閉軽減機構１４からの押し上げ荷重は殆ど受け座１２Ｂでの反力で殆ど相殺され、ヘッドプレート１３が殆ど変形する虞がなく、プローブカードの傾斜が殆ど発生しない。従って、検査時には全てのプローブ針がウエハと均一に接触し、安定した検査を行うことができ、検査の信頼性を高めることができる。
【００３３】
以上説明したように本実施形態によれば、ヘッドプレート開閉軽減機構１４を構成するヘッドプレート１３の押し上げ手段として互いに直列に連結された第１、第２、第３ガススプリング１６、１７、１８を設け、第１ガススプリング１６のロッド１６Ａの先端をヘッドプレート１３の前方側縁に連結し、且つ、ヘッドプレート１３に連結された第１ガススプリング１６以外の第２、第３ガススプリング１７、１８それぞれの伸縮方向を上下方向に規定する第１、第２昇降ガイド機構１９、２０とを有し、第２昇降ガイド機構２０が固定されていると共に第１昇降ガイド機構１９が伸縮方向に移動するようにしたため、ヘッドプレート１３を後方近傍から押し上げる従来の機構と比較して押し上げ力を格段に軽減することができ、ヘッドプレート１３の変形、ひいてはプローブカードの傾きを抑制してプローブ針をウエハに対して均一に接触させて安定した検査を行うことができ、もって検査の信頼性を高めることができる。また、第１ガススプリング１６のロッド１６Ａとヘッドプレート１３との連結点をヘッドプレート１３の受け座１２Ｂの近傍に配置したため、ヘッドプレート開閉軽減機構１４の押し上げ力を受け座１２Ｂでの締結力により相殺することができ、ヘッドプレート１３の変形を更に抑制することができ、検査の信頼性を更に高めることができる。
【００３４】
また、本実施形態によれば、最もヘッドプレート１３寄りの第１ガススプリング１６以外のロッド１７Ｂ、１８Ｂを第１、第２昇降ガイド機構１９、２０に従って昇降させるようにしたため、狭いスペースでもヘッドプレート開閉軽減機構１４の動作を安定化することができる。
【００３５】
また、本実施形態によれば、ヘッドプレート１３を支持する受け座１２Ｂをプローバ室１２の開口端の四隅に設けると共に同一形状に設定し、各受け座１２Ｂからプローブカードの中心までを同一距離に設定したため、テストヘッドの荷重や検査時の針圧の反力を四隅の受け座１２Ｂで均等に受けることができ、ヘッドプレート１３の撓みを前後左右対称にしてプローブカードの傾きを防止することができ、検査の信頼性をより一層高めることができる。
【００３６】
尚、上記実施形態では、押し上げ手段を構成する伸縮機構としてガススプリングを例に挙げて説明したが、その他エアシリンダ、油圧シリンダ等のシリンダ機構やスプリングを内蔵したシリンダ等を用いても良い。また、上記実施形態では３本のガススプリングを直列に連結した場合について説明したが、２本であっても、４本以上であっても良い。要は本発明の要旨を逸脱しない限り、いかなる設計変更を加えたものであっても本発明に包含される。
【００３７】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項６に記載の発明によれば、狭い設置スペースでもヘッドプレートを円滑に開閉操作することができると共に安定した動作を実現することができ、しかもヘッドプレートの変形を抑制してプローブカードの傾きを格段に抑制することができ、信頼性の高い検査を安定的に行うことができるヘッドプレート開閉軽減機構を提供することができる。
また、本発明の請求項７に記載の発明によれば、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の発明において、ヘッドプレートの受け座を装置本体の開口端の四隅に設けると共に、それぞれの受け座からプローブカードの中心までを同一距離に設定したため、テストヘッドの荷重や検査時の針圧の反力を四隅の受け座で均等に受けることができ、ヘッドプレートの撓みを前後左右対称にしてプローブカードの傾きを防止することができ、検査の信頼性をより一層高めることができるヘッドプレート開閉軽減機構を提供することができる。
また、本発明の請求項８に記載の発明によれば、請求項８に記載の発明において、押し上げ手段とヘッドプレートとの連結点をヘッドプレートの受け座の近傍に配置したため、ヘッドプレート開閉軽減機構の押し上げ力を受け座での締結力により相殺することができ、ヘッドプレートの変形を更に抑制することができ、検査の信頼性を更に高めることができるヘッドプレート開閉軽減機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態のヘッドプレート開閉軽減機構を適用したプローブ装置の一実施形態の概要を示す斜視図で、ヘッドプレートを開放した時の状態を示す図である。
【図２】プローバ室の側壁とヘッドプレートの関係を示す図で、（ａ）はヘッドプレートのヒンジ結合部を示す断面図、（ｂ）はヘッドプレートの受け座での締結構造を示す断面図である。
【図３】図１に示すヘッドプレート開閉軽減機構を示す図で、（ａ）はヘッドプレートを閉じた時のヘッドプレート開閉軽減機構を示す側面図、（ｂ）はヘッドプレートを開いた時のヘッドプレート開閉軽減機構を示す側面図である。
【図４】従来のプローブ装置のプローバ室を破断して示す正面図である。
【図５】図４に示すプローブ装置の内部を示す平面図である。
【図６】図４に示すプローブ装置のヘッドプレート開閉機構の要部を拡大して示す側面図である。
【符号の説明】
１０  プローブ装置
１２  プローバ室（装置本体）
１２Ｂ  受け座
１３  ヘッドプレート
１３Ｂ  シャフト（回転軸）
１４  ヘッドプレート開閉軽減機構
１６、１７、１８  ガススプリング（伸縮機構、押し上げ手段）
１６Ａ、１７Ａ、１８Ａ  ロッド
１６Ｂ、１７Ｂ、１８Ｂ  シリンダ（蓄勢手段）
１９、２０  昇降ガイド機構（ガイド機構）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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