(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体をアライメントするための撮像手段を搭載したアライメントブリッジと、このアライメントブリッジを載置台の上方でプローブセンタと待機位置との間で移動自在に支持し且つプローブ装置本体に配設された左右一対のガイド部材と、これら両ガイド部材の少なくともいずれか一方の側で上記アライメントブリッジを上記各ガイド部材に従って移動させる駆動機構とを備え、且つ、上記アライメントブリッジをその両端部でそれぞれ吸着してプローブセンタで固定する磁石を上記プローブ装置本体にそれぞれ設けたことを特徴とする光学ブリッジのアライメント装置。
【請求項２】
上記アライメントブリッジの両端部から突出した左右一対の固定用ロッドがそれぞれ嵌入するソレノイドを設け、上記ソレノイドは、電流の向きで、上記磁石と協働して上記固定用ロッドを吸引し、または上記磁石の吸着力を相殺する反発力を付与することを特徴とする請求項１に記載の光学ブリッジのアライメント装置。
【請求項３】
上記アライメンブリッジが待機位置に戻るときには、上記ブリッジ駆動機構のない側のソレノイドの磁力の反発力を、上記駆動機構を有する側のソレノイドの磁力の反発力よりも大きく設定したことを特徴とする請求項２に記載の光学ブリッジのアライメント装置。
【請求項４】
上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行させて上下にテーパ面を有する左右一対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共に、上記各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アライメントブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テーパ面を有する位置決めブロックを設けたことを特徴とする請求項３に記載の光学ブリッジのアライメント装置。
【請求項５】
載置台の上方においてプローブセンタと待機位置の間で左右一対のガイドロッドに従って移動し且つ上記載置台上の被検査体をアライメントするための撮像手段を搭載したアライメントブリッジと、このアライメントブリッジを上記各ガイドロッドに従って移動させる両ガイドロッドのいずれか一方の側に配設され駆動機構とを備え、且つ、上記アライメントブリッジをその両端部でそれぞれ吸着してプローブセンタで固定する永久磁石を上記プローブ装置本体にそれぞれ設けると共に各永久磁石の吸着力を相殺し得る反発力を生じるソレノイドを各永久磁石とそれぞれ一体に設け、上記プローブセンタにおいて上記各ソレノイドに嵌入する左右一対の固定用ロッドを上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行させてそれぞれ突設したことを特徴とするプローブ装置。
【請求項６】
上記駆動機構のない側のソレノイドの磁力の反発力を、上記駆動機構を有する側のソレノイドの磁力の反発力よりも大きく設定したことを特徴とする請求項５に記載のプローブ装置。
【請求項７】
上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行させて上下にテーパ面を有する左右一対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共に、上記各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アライメントブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テーパ面を有する位置決めブロックを設けたことを特徴とする請求項５または請求項６に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学ブリッジのアライメント装置及びプローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプローブ装置１０は、例えば図５に示すように、カセットＣ内に収納されたウエハＷを搬送するローダ室１１と、このローダ室１１内に配設された搬送機構（図示せず）を介して搬送されたウエハＷを検査するプローバ室１２と、このプローバ室１２及びローダ室１１を制御するコントローラ１３と、このコントローラ１３を操作する操作パネルを兼ねる表示装置１４とを備えて構成されている。
【０００３】
上記ローダ室１１にはサブチャック１５が配設され、このサブチャック１５を介してオリエンテーションフラットを基準にしたウエハＷのプリアライメントを行い、搬送機構を介してプリアライメント後のウエハＷをプローバ室１２へ搬送するようになっている。
【０００４】
上記プローバ室１２には、ウエハＷを載置するＸステージ１６、Ｙステージ１７等を介してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動するメインチャック１８と、このメインチャック１８上に載置されたウエハＷを検査位置に正確にアライメントする光学ブリッジのアライメント装置（以下、単に「アライメント装置」と称す。）２０と、アライメント装置２０によりアライメントされたウエハＷの電気的検査を行うためのプローブ針を有するプローブカード（図示せず）とが配設されている。そして、プローブカードはプローバ室１２の上面に対して開閉可能なヘッドプレートの中央の開口部にインサートリングを介して固定されている。また、プローバ室１２にはテストヘッド（図示せず）が旋回可能に配設され、プローバ室１２上に旋回したテストヘッドを介してプローブカードとテスタ（図示せず）間を電気的に接続し、テスタからの所定の信号をプローブカードを介してメインチャック１８上のウエハＷにおいて授受し、ウエハＷに形成された複数のチップの電気的検査をテスタによって順次行うようにしている。
【０００５】
ところで、ウエハＷの検査を行う時には予めアライメント装置２０を用いてメインチャック１８上のウエハＷをアライメントした後、ウエハＷの各チップを１個ずつ正確に検査するようにしている。このアライメント装置２０は、図５、図６に示すように、ウエハＷ等を撮像する撮像手段例えばＣＣＤカメラ２１と、このカメラ２１を搭載したアライメントブリッジ２２と、このアライメントブリッジ２２をＹ方向に往復移動可能に支持する左右一対のＹ方向のリニアガイド２３、２３と、両リニアガイド２３、２３に従って往復移動させる左右一対の駆動機構例えばエアシリンダ２４、２４とを備えている。アライメントブリッジ２２は連結部材２５を介してエアシリンダ２４に連結され、エアシリンダ２４によりＹ方向に移動するようになっている。
【０００６】
また、アライメント装置２０はアライメントブリッジ２２をプローブセンタで固定するブリッジ固定装置２６を備えている。このブリッジ固定装置２６は、図６に示すように、アライメントブリッジ２２の左右両端の底面前方部に移動方向と平行に取り付けられた側面形状が略Ｌ字状の固定用部材２７と、この固定用部材２７の９０°彎曲した彎曲面と係合してアライメントブリッジ２２をプローブセンタで固定するローラ２８と、このローラ２８が回転自在に取り付けられたレバー２９と、このレバー２９の一端に枢着され且つ他端の支持ピン３０を中心にレバー２９を正逆回転させるエアシリンダ３１とを備えたリンク機構として構成されている。尚、３２はショックアブソーバである。
【０００７】
次に、アライメント装置２０の動作について説明する。ウエハＷのアライメントを行う場合には、図示しない左右一対のエアシリンダが駆動すると、アライメントブリッジ２２が左右一対のリニアガイド２３に従って待機位置からＹ方向に移動してプローブセンタに到達する。この瞬間ブリッジ固定装置２６のエアシリンダ３１が駆動し、リンク機構を介してローラ２８を反時計方向へ回転させると、ローラ２８がアライメントブリッジ２２底面の固定用部材２７の彎曲面と係合し、アライメントブリッジ２２をショックアブソーバ３２へ瞬間的に押し付る。その結果、図６に示すようにブリッジ固定装置２６のローラ２８とショックアブソーバ３２とで固定用部材２７を挟持し、アライメントブリッジ２２をプローブセンタにおいて固定する。この状態で、アライメントブリッジ２２に搭載されたカメラと図示しないメインチャック１８側に固定されたカメラとの協働作業でメインチャック１８上のウエハＷのアライメントを行う。アライメント後にはエアシリンダ３１が逆向き、即ち同図の矢印方向に駆動してアライメントブリッジ２２がブリッジ固定装置２６から解放され、左右一対の駆動機構としてのエアシリンダによって元の待機位置まで戻る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のプローブ装置におけるアライメント装置２０の場合には、ブリッジ固定装置２６のエアシリンダ３１の空気圧によりローラ２８を固定用部材２７の彎曲面に押圧し、ショックアブソーバ３２でアライメントブリッジ２２を固定するようにしているが、アライメントブリッジ２２はショックアブソーバ３２に弾接した瞬間に移動方向で微振動するため、この振動が減衰するまでに時間が掛かり、アライメントブリッジ２２のプローブセンタでの固定が遅れ、この遅れによりアライメント動作開始の遅れるという課題があった。また、エアシリンダ３１とショックアブソーバ３２とでアライメントブリッジ２２を固定しているため、アライメントブリッジ２２の固定位置が不安定でアライメントブリッジ２２が本来のプローブセンタから僅かではあるが位置ずれする虞がある。特に、今後ウエハＷのチップが超微細化すると、ミクロンオーダの位置ずれでも本来のプロービング動作に狂いが生じる虞があり、結果的に検査の信頼性を低下させる。
【０００９】
また、従来のアライメント装置２０の場合には、アライメントブリッジ２２をリニアガイド２３に従ってＹ方向へ移動させるようにしているが、リニアガイド２３はＸ、Ｙ及びＺ方向を極めて高精度に位置合わせした基台（図示せず）上に設置しなくてはならない。しかも、アライメントブリッジ２２をリニアガイド２３に従って円滑に移動させるため、アライメントブリッジ２２の左右から均等な駆動力を付与するエアシリンダを左右に設けなくてはならず、しかも、ブリッジ固定装置２６としてエアシリンダ３１及びリンク機構を用いているため、アライメント装置２０の構造が複雑でコスト高なものになっていた。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、アライメント用の撮像手段をプローブセンタに対して瞬時に固定し、アライメント動作を素早く行うことができる光学ブリッジのアライメント装置を提供すると共に、構造を簡素化してコストを低減することができる光学ブリッジのアライメント装置を提供することを目的としている。また、アライメント用の撮像手段をプローブセンタに対して短時間に固定してスループットを高めることができると共に構造を簡素化してコストを低減することができ、ひいては検査の信頼性を高めることができるプローブ装置を併せて提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の光学ブリッジのアライメント装置は、被検査体をアライメントするための撮像手段を搭載したアライメントブリッジと、このアライメントブリッジを載置台の上方でプローブセンタと待機位置との間で移動自在に支持し且つプローブ装置本体に配設された左右一対のガイド部材と、これら両ガイド部材の少なくともいずれか一方の側で上記アライメントブリッジを上記各ガイド部材に従って移動させる駆動機構とを備え、且つ、上記アライメントブリッジをその両端部でそれぞれ吸着してプローブセンタで固定する磁石を上記プローブ装置本体にそれぞれ設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の請求項２に記載の光学ブリッジのアライメント装置は、請求項１に記載の発明において、上記アライメントブリッジの両端部から突出した左右一対の固定用ロッドがそれぞれ嵌入するソレノイドを設け、上記ソレノイドは、電流の向きで、上記磁石と協働して上記固定用ロッドを吸引し、または上記磁石の吸着力を相殺する反発力を付与することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項３に記載の光学ブリッジのアライメント装置は、請求項２に記載の発明において、上記アライメンブリッジが待機位置に戻るときには、上記ブリッジ駆動機構のない側のソレノイドの磁力の反発力を、上記駆動機構を有する側のソレノイドの磁力の反発力よりも大きく設定したことを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項４に記載の光学ブリッジのアライメント装置は、請求項３に記載の発明において、上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行させて上下にテーパ面を有する左右一対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共に、上記各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アライメントブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テーパ面を有する位置決めブロックを設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項５に記載のプローブ装置は、載置台の上方においてプローブセンタと待機位置の間で左右一対のガイドロッドに従って移動し且つ上記載置台上の被検査体をアライメントするための撮像手段を搭載したアライメントブリッジと、このアライメントブリッジを上記各ガイドロッドに従って移動させる両ガイドロッドのいずれか一方の側に配設され駆動機構とを備え、且つ、上記アライメントブリッジをその両端部でそれぞれ吸着してプローブセンタで固定する永久磁石を上記プローブ装置本体にそれぞれ設けると共に各永久磁石の吸着力を相殺し得る反発力を生じるソレノイドを各永久磁石とそれぞれ一体に設け、上記プローブセンタにおいて上記各ソレノイドに嵌入する左右一対の固定用ロッドを上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行させてそれぞれ突設したことを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項６に記載のプローブ装置は、請求項５に記載の発明において、上記駆動機構のない側のソレノイドの磁力の反発力を、上記駆動機構を有する側のソレノイドの磁力の反発力よりも大きく設定したことを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項７に記載のプローブ装置は、請求項５または請求項６に記載の発明において、上記アライメントブリッジの両端部から上記各ガイドロッドに平行させて上下にテーパ面を有する左右一対の位置決め用突起をそれぞれ突出させると共に、上記各位置決め用突起がそれぞれ当接して上記アライメントブリッジをプローブセンタで位置決めする逆テーパ面を有する位置決めブロックを設けたことを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図４に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブ装置は、光学ブリッジのアライメント装置（以下、単に「アライメント装置」と称す。）を除き従来のプローブ装置に準じて構成されている。従って、本実施形態ではアライメント装置を中心に説明する。尚、図１、図２は本実施形態のアライメント装置のローダ室側のみの構成部材を図示してある。本実施形態のアライメント装置２０は、例えば図１、図４に示すように、アライメント時にウエハＷの表面等を撮像するカメラ２１（図４参照）を搭載したアライメントブリッジ２２と、このアライメントブリッジ２２をメインチャック１８（図５参照）の上方でプローブセンタ（プローブカードＰの検査中心の垂直下方）と待機位置との間で移動自在に支持するようにプローバ室１２に配設された左右一対のガイドロッド２３、２３と、両ガイドロッド２３、２３のうちローダ室側のガイドロッド２３と平行にその真下に配設されたロッドレスエアシリンダ（以下、単に「エアシリンダ」と称す。）２４とを備えている。そして、各ガイドロッド２３及びエアシリンダ２４の両端部はプローバ室１２内の前後に立設された基柱１２Ａ、１２Ｂによって支持されている。
【００１９】
上記アライメントブリッジ２２底面の左右両端には例えば略矩形状に形成された連結ブロック２５がそれぞれ固定され、プローバ室１２の左側の図示しない連結ブロックを介して左側のガイドロッドがアライメントブリッジ２２の左端部と摺動代（極めて微細な隙間）を持って連結されている。また、アライメントブリッジ２２の右端部は連結ブロック２５を介して右側のガイドロッド２３及びエアシリンダ２４とそれぞれ摺動代を持って連結されている。つまり、連結ブロック２５には上下に貫通孔が形成され、上側の貫通孔にはリニアブッシュ２３Ａが装着され、このリニアブッシュ２３Ａを介してアライメントブリッジ２２がガイドロッド２３に従って摺動するようにしてある。また、下側の貫通孔にはエアシリンダ２４の移動体２４Ａが装着され、エアシリンダ２４に供給される圧縮空気の作用で移動体２４Ａを介してアライメントブリッジ２２がシリンダ２４Ｂに従って移動するようにしてある。このようにアライメントブリッジ２２はプローバ室１２の右側（ローダ室側）のガイドロッド２３の下方に配設された１台のエアシリンダ２４によってガイドロッド２３に従って往復移動するようにしてあるため、エアシリンダ２４のない方のガイドロッド２３では移動速度に若干の遅れが生じ、アライメントブリッジ２２が水平面内で両ガイドロッド２３に対して極めて僅かではあるが傾斜する。
【００２０】
また、図２を参照すれば明らかなように上記各連結ブロック２５の前面（図２では左側の面）には位置決め用突起２６Ａがそれぞれ固定されている。この位置決め用突起２６Ａはガイドロッド２３と前方に突出し、その先端部に上下のテーパ面２６Ｂ、２６Ｂが形成されている。また、前方の基柱１２Ａには各位置決め用突起２６Ａに対応させた位置決めブロック２７Ａが固定されている。この位置決めブロック２７Ａには位置決め用突起２６Ａのテーパ面２６Ｂ、２６Ｂと係合する上下の逆テーパ面２７Ｂ、２７Ｂからなる凹部が形成されている。そして、位置決め用突起２６Ａと位置決めブロック２７Ａが当接した位置がプローブセンタとなるようにしてある。
【００２１】
そして、アライメントブリッジ２２をプローブセンタで固定する装置として固定用ロッド、永久磁石及びソレノイドがそれぞれ設けられている。左右の固定用ロッド及びソレノイドはいずれも同一構造を有するため左側（ローダ室側）の固定用ロッド及びソレノイドについて図１、図２を参照しながら説明する。即ち、上記各位置決め用突起２６Ａの基部には図１、図２に示すように基板部２８Ａが垂直下方へ延設され、これらの基板部２８Ａに強磁性体からなる固定用ロッド２９Ａがガイドロッド２３と平行に取り付けられている。そして、前方の基柱１２Ａには固定用ロッド２９Ａを吸引してアライメントブリッジ２２をプローブセンタで固定する固定手段３０Ａが固定されている。この固定手段３０Ａは、図３に示すように、前面に配置されたリング状の永久磁石３０Ｂと、この永久磁石３０Ｂの背面側に配置されたソレノイド３０Ｃとを備え、ソレノイド３０Ｃを流れる電流の向きを切り換えられるようにしてある。従って、例えばアライメントブリッジ２２をプローブセンタで固定する時には、永久磁石３０Ｂ及びソレノイド３０Ｃにより固定用ロッド２９Ａを吸引し、アライメントブリッジ２２をプローブセンタで停止させるようにしてある。逆にアライメントブリッジ２２を待機位置へ戻す時には、ソレノイド３０Ｃの電流の向きを逆方向にして固定用ロッド２９Ａに反発力を付与すると共に永久磁石３０Ｂの吸着力を相殺して固定用ロッド２９Ａが固定手段３０Ａから円滑に抜け出るようにしてある。また、永久磁石３０Ｂは、単に固定用ロッド２９Ａを吸引するのみならず、より大きな役割として待機位置から移動して来るアライメントブリッジ２２をプローブセンタで瞬時に固定し、アライメント開始までの待ち時間を殆ど無くし、アライメントを短時間で開始できる態勢を作る機能を有している。尚、アライメントブリッジ２２がプローブセンタ及び待機位置に位置する時には、左右の固定手段３０Ａのソレノイド３０Ｃはいずれも非励磁状態になっている。
【００２２】
また、アライメントブリッジ２２は上述したように１台のエアシリンダ２４によって駆動し、エアシリンダ２４のない方のガイドロッド２３ではアライメントブリッジ２２が従動するため、エアシリンダ２４のない方ではアライメントブリッジ２２が移動が若干遅れる。従って、エアシリンダ２４のない方（左側）が遅れた状態でアライメントブリッジ２２が移動すると、アライメントブリッジ２２が左右方向で傾斜し、連結ブロック２５とリニアブッシュ２３Ａ間でカジリを生じる虞がある。
【００２３】
そこで、本実施形態ではアライメントブリッジ２２がプローブセンタから待機位置へ戻る時には、エアシリンダ２４のない左側のソレノイド３０Ｃのソレノイドの反発力をエアシリンダ２４のある右側のソレノイド３０Ｃの反発力よりも大きく、例えば１．５倍の反発力を発生するようにしてある。アライメントブリッジ２２をプローブセンタから待機位置へ戻す時には左側のソレノイド３０Ｃに発生する磁束により左側の永久磁石３０Ｂの吸着作用を相殺し、固定用ロッド２９Ａの吸着力を殆ど無くし、固定用ロッド２９Ａが固定手段３０Ａから円滑に抜け、左側の固定手段３０Ａ内におけるアライメントブリッジ２２の遅れを無くすようにしてある。また、アライメントブリッジ２２が待機位置からプローブセンタへ移動する時には、エアシリンダ２４のない左側のソレノイド３０Ｃの吸引力とエアシリンダ２４のある右側のソレノイド３０Ｃの吸引力とが略等しく、左右の固定用ロッド２９Ａを均等な吸引力で吸引し、アライメントブリッジ２２の傾斜を解消するようにしてある。
【００２４】
また、前方の基柱１２Ａには後方へ延びる基台部１２Ｃがソレノイド３０の下方に位置させて形成され、この基台部１２Ｃ上にショックアブソーバ３１Ａが配設されている。その結果、アライメントブリッジ２２がエアシリンダ２４の作用で待機位置からプローブセンタへ移動し、固定手段３０Ａが固定用ロッド２９Ａを吸引し、アライメントブリッジ２２が急速にプローブセンタへ移動し始めると、アライメントブリッジ２２の連結ブロック２５が停止位置直前にショックアブソーバ３１Ａと当接し、位置決め用突起２６Ａと位置決めブロック２７Ａがプローブセンタで当接する時の衝撃をショックアブソーバ３１Ａによって緩和するようにしてある。
【００２５】
次に、本実施形態のアライメント装置２０を用いたプローブ装置の動作について図５をも参照しながら説明する。例えばローダ室１１からプローバ室１２内のメインチャック１８上にウエハＷが移載されると、Ｘ、Ｙステージ１６、１７が駆動してメインチャック１８がプローブセンタに移動する。次いで、図１に示すアライメント装置２０のエアシリンダ２４が駆動し、エアシリンダ２４の移動体２４Ａを介してアライメントブリッジ２２がガイドロッド２３及びシリンダ２４Ｂに従って待機位置からプローブセンタに向かって移動する。この際、エアシリンダ２４は１台しかないため、エアシリンダ２４のない方ではアライメントブリッジ２２の移動が若干遅れ、アライメントブリッジ２２は水平面内で両ガイドロッド２３に対して極めて僅かではあるが傾斜するが、この傾斜は固定手段３０Ａが固定用ロッド２９Ａを吸引する間に解消される。尚、この時点で固定手段３０Ａには正方向の電流が流れ、固定用ロッド２９Ａを吸引できる状態になっている。
【００２６】
その後、アライメントブリッジ２２がプローブセンタに近づき、図２に示すように左右の固定用ロッド２９Ａがそれぞれの対応する固定手段３０Ａ内に差し掛かると、永久磁石３０Ｂ及び励磁されたソレノイド３０Ｃ内に固定用ロッド２９Ａを強力に吸引する。これにより素早くアライメントブリッジ２２の微振動が収まり、アライメント開始のための待機時間が極めて短くなる。この時、アライメントブリッジ２２がプローブセンタに到達する直前にアライメントブリッジ２２がショックアブソーバ３１Ａと弾接し、固定手段３０Ａによるアライメントブリッジ２２の移動速度を制動する。そのため、位置決め用突起２６Ａは位置決めブロック２７Ａに対して衝撃力を伴うことなく当接すると、この瞬間に上述のように永久磁石３０Ｂによって固定用ロッド２９Ａを固定してアライメントブリッジ２２を微振動させることなくプローブセンタにおいて瞬時に停止させ、アライメント動作を極めて短時間で開始することができる。また、この時、位置決めブロック２７Ａの作用と相俟って左右の固定手段３０Ａの永久磁石３０Ｂによりそれぞれの固定用ロッド２９Ａを強力に吸引しているため、アライメントブリッジ２２はプローブセンタにおいて強固に固定され、プローブセンタからの位置ずれを確実に防止する。
【００２７】
以上説明したように本実施形態によれば、アライメントブリッジ２２を１台のエアシリンダ２４によって左右一対のガイドロッド２３に従って移動させ、しかも固定手段３０Ａによって固定用ロッド２９Ａを強力に吸引してアライメントブリッジ２２をプローブセンタにおいて固定するようにしたため、駆動機構であるエアシリンダ２４が１台でもアライメントブリッジ２２をガイドロッド２３に従って円滑に移動させることができ、アライメント装置２０の構造を簡素化してコストを低減できる。しかも、本実施形態によれば、固定手段３０Ａの永久磁石３０Ｂによってアライメントブリッジ２２を固定するようにしたため、永久磁石３０Ｂによってアライメントブリッジ２２を吸着後プローブセンタにおいて瞬時固定することができ、これによりアライメント動作を極めて短時間で素早く開始してアライメントのスループットを高めることができると共に、プローブセンタにおいて安定的に正確且つ確実にアライメント動作を行うことができ、ひいては信頼性の高いプロービングを行って検査の信頼性を高めることができる。
【００２８】
また、本実施形態によれば、エアシリンダ２４のない方の固定手段３０Ａのソレノイド３０Ｃの反発力をエアシリンダ２４のある方の固定手段３０Ａのソレノイド３０Ｃの反発力より大きく、その約１．５倍の大きさに設定してあるため、アライメントブリッジ２２をプローブセンタから待機位置へ戻す場合には、アライメントブリッジ２２はエアシリンダ２４のある方がない方より先に移動しようとするが、エアシリンダ２４のない方の固定手段３０Ａでは吸引力が殆ど作用しない状態になっているため、固定用ロッド２９Ａが固定手段３０Ａから円滑に抜け出てアライメントブリッジ２２に傾斜を生じさせることなく、換言すれば連結ブロック２５とリニアブッシュ２３Ａ間でカジリを生じさせることなく円滑に待機位置へ戻すことができる。
【００２９】
更に、アライメントブリッジ２２に上下のテーパ面２６Ｂを有する位置決め用突起２６Ａを設けると共に基柱１２Ａに上下のテーパ面２７Ｂを有する位置決めブロック２７Ａを設けたため、位置決め用突起２６Ａと位置決めブロック２７Ａの当接面が横方向でフリーになり、位置決め用突起２６Ａと位置決めブロック２７Ａを取り付ける際に両者２６Ａ、２７Ａの位置調整を容易に行うことができる。
【００３０】
尚、上記実施形態では、永久磁石３０Ｂ及びソレノイド３０Ｃを有する固定手段３０Ａについて説明したが、本発明における永久磁石３０Ｂはアライメントブリッジ２２をプローブセンタで瞬時に固定する機能を有し、ソレノイド３０Ｃはアライメントブリッジ２２の駆動源が１箇所でも固定用ロッド２９Ａを介してアライメントブリッジ２２を傾斜させることなく円滑にガイドロッド２４に従って移動させる機能を有しているため、本発明において永久磁石３０Ｂ及びソレノイド３０Ｃは単独であっても、それぞれ固有の効果を有している。即ち、永久磁石はアライメント動作を素早く開始することができるという効果を有し、ソレノイドは駆動源が片方だけでも良く、装置の簡素化を実現するという効果を有している。永久磁石に代えて電磁石を用いても良い。
【００３１】
また、上記実施形態ではアライメントブリッジ２２をプローブセンタに固定する装置として位置決め用突起２６Ａ、位置決めブロック２７Ａ、固定用ロッド２９Ａ及び固定手段３０Ａを用い、しかも、この固定装置をガイドロッド２３及び１台のエアシリンダ２４を用いたプローブ装置に対して適用した場合について説明したが、この固定装置は従来のプローブ装置、即ち、リニアガイド及び２台のエアシリンダを駆動源とするプローブ装置に対しても適用することができる。また、上記実施形態では固定装置として位置決め用突起２６Ａ及び位置決めブロック２７Ａを用いたものについて説明したが、固定手段３０Ａを固定用ロッド２９Ａの係止部材としての機能を付与することにより、位置決め用突起２６Ａ及び位置決めブロック２７Ａを省略することもできる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の請求項１に記載の発明によれば、アライメント用の撮像手段をプローブセンタに対して瞬時に固定し、アライメント動作を素早く行うことができる光学ブリッジのアライメント装置を提供することができる。
【００３３】
また、本発明の請求項２〜請求項４に記載の発明によれば、構造を簡素化してコストを低減することができる光学ブリッジのアライメント装置を提供することができる。
【００３４】
また、本発明の請求項５〜請求項７に記載の発明によれば、アライメント用の撮像手段をプローブセンタに対して短時間に固定してスループットを高めることができると共に構造を簡素化してコストを低減することができ、ひいては検査の信頼性を高めることができるプローブ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアライメント装置の一実施形態を示すローダ室側からの側面図である。
【図２】図１に示すアライメント装置の要部を示す斜視図である。
【図３】図１、図２に示すアライメントブリッジがプローブセンタにある時の固定用ロッドろソレノイドとの関係を示すソレノイドの軸方向の断面図である。
【図４】図１、図２に示すアライメントブリッジを示す裏面側の平面図である。
【図５】従来のプローブ装置のプローバ室を破断して示す斜視図である。
【図６】図５に示すプローブ装置に用いられたアライメント装置の要部を示すローダ室側からの側面図である。
【符号の説明】
１２    プローバ室（装置本体）
１６    メインチャック（載置台）
２０    アライメント装置
２１    カメラ（撮像手段）
２２    アライメントブリッジ
２３    ガイドロッド
２４    ロッドレスエアシリンダ（駆動機構）
２６Ａ  位置決め用突起
２６Ｂ  テーパ面
２７Ａ  位置決め用ブロック
２７Ｂ  逆テーパ面
２９Ａ  固定用ロッド
３０Ｃ  ソレノイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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