(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、上記下側ディスクと上記上側ディスクとを互いに固着させて１枚の情報ディスクを作るディスク貼り合わせ方法において、
上記接着ディスクを載置する平坦なディスク載置面または上記ディスク載置面の周囲を周囲温度以下に保つ冷却手段を有し、紫外線照射を受けても上記ディスク載置面の温度上昇を制限することを特徴とするディスク貼り合わせ方法。
【請求項２】
下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、上記下側ディスクと上記上側ディスクとを互いに固着させて１枚の情報ディスクを作るディスク貼り合わせ方法において、
上記接着ディスクを平坦なディスク載置面に載置するディスク載置段階と；
このディスク載置段階の前に、上記ディスク載置面をその周囲温度以下に冷却しておく冷却段階と；
上記接着ディスクを上記ディスク載置面に載置した状態で、紫外線を照射することによって上記液状の紫外線硬化型接着剤を硬化する紫外線照射段階と；
上記紫外線を照射する領域から上記接着ディスクを搬出し、搬送する過程で、上記紫外線照射中に上記接着ディスクが受けた熱を、上記ディスク載置面へ放熱させる放熱段階と；
を有することを特徴とするディスク貼り合わせ方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
上記放熱によって、上記接着ディスクの温度が周囲温度とほぼ同じになった後に、上記接着ディスクを上記ディスク載置面から取り出すことを特徴とするディスク貼り合わせ方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２において、
上記ディスク載置面は、アルミニウム、銅、または半田等の熱伝導率の大きい材質で作られていることを特徴とするディスク貼り合わせ方法。
【請求項５】
下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、上記下側ディスクと上記上側ディスクとを互いに固着させて１枚の情報ディスクを作るディスク貼り合わせ装置において、
上記接着ディスクを載置するディスク載置面であって、紫外線透過材料で構成されている平坦なディスク載置面を複数箇所に備える回転テーブルと；
上記接着ディスクを上記ディスク載置面に移載する第１の移載手段と；
上記接着ディスクを上記ディスク載置面に移載する前に上記ディスク載置面または上記ディスク載置面の周囲をその周囲温度以下まで冷却する冷却手段と；
上記接着ディスクを上記ディスク載置面に載置した状態で、紫外線を照射することによって上記液状の紫外線硬化型接着剤を硬化する紫外線照射手段と；
上記紫外線照射された上記接着ディスクが冷却された後に、上記ディスク載置面から上記接着ディスクを取り出す第２の移載手段と；
を有することを特徴とするディスク貼り合わせ装置。
【請求項６】
請求項５において、
上記冷却手段は、上記回転テーブルに設けられているディスク載置面の下面に冷却気体を吹きつける冷風吹き付け手段であることを特徴とするディスク貼り合わせ装置。
【請求項７】
請求項５において、
上記冷却手段は、上記回転テーブルを冷却する水冷手段であることを特徴とするディスク貼り合わせ装置。
【請求項８】
請求項５において、
上記紫外線照射後の放熱時に、上記接着ディスクの上に載置するおもりを有することを特徴とするディスク貼り合わせ装置。
【請求項９】
請求項５において、
上記冷却手段は、紫外線照射後に上記接着ディスクが上記回転テーブルから取り出される位置の後段に設置され、上記ディスク載置平面の上面を強制冷却する手段であることを特徴とするディスク貼り合わせ装置。
【請求項１０】
請求項８において、
上記冷却手段は、紫外線照射後に上記接着ディスクが上記回転テーブルから取り出される位置の後段に設置され、上記ディスク載置平面の上面を強制冷却するとともに、上記接着ディスクと接触すべき上記おもりの下面をも強制冷却する手段であることを特徴とするディスク貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、上記下側ディスクと上記上側ディスクとを互いに固着させて１枚の情報ディスクを作るディスク貼り合わせ方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
下側ディスクと上側ディスクとを互いに固着させて１枚の情報ディスクを作る一方法として、従来は、下側ディスクと上側ディスクとの間に液状の紫外線硬化型接着剤を充分行き渡らせ、その後に、液状の紫外線硬化型接着剤を介して密着した接着ディスクを紫外線照射装置へ送り、紫外線を照射して液状の紫外線硬化型接着剤を硬化させ、このようにして、２枚のディスクを１枚に貼り合わせて情報ディスクを完成させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液状の紫外線硬化型接着剤を挟んでいる接着ディスクに紫外線を照射する過程で接着ディスクの温度が次第に上昇して接着ディスクが一旦延び、この接着ディスクの温度と周囲温度との差に応じて、接着ディスクが冷える過程で再び収縮する。
【０００４】
この場合、温度が低下する速度が、接着ディスクの全面にわたって均等ではあり得ないので、早く冷えた部分から早く縮み始める。したがって、接着ディスク面が自由に動ける状態にして冷却すると、収縮が不均一に発生し、接着ディスクに局部的な反りが生じるという問題がある。特に、ＴＩＬＴ角不良が生じ易いという問題がある。
【０００５】
本発明は、下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、その後、そのディスクの温度が低下する過程で、局部的な反りが生じにくいディスク貼り合わせ方法およびその装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、下側ディスクと上側ディスクとを互いに固着させて１枚の情報ディスクを作るディスク貼り合わせ工程において、接着ディスクを平坦なディスク載置面に載置した状態で紫外線を照射した後、温度上昇した接着ディスクの熱を、ディスク載置面へ放散させ、周囲温度と接着ディスクの温度とがほぼ同じになってから、接着ディスクをディスク載置面から取り出すものである。
【０００７】
【発明の実施の形態および実施例】
図１は、本発明の一実施例であるディスク貼り合わせ装置１０を示す平面図である。図２は、ディスク貼り合わせ装置１０中の冷却チャンバーＣＣにおける冷風供給装置１００を示す図である。
【０００８】
図１において、ディスク貼り合わせ装置１０は、基本的には、第１のスタッカＳＴ１、第２のスタッカＳＴ２から回転テーブルＴ３に向ってディスクが搬送される装置である。
【０００９】
つまり、第１のスタッカＳＴ１に載置されている下側ディスクＤＳ１が、吐出テーブルＴ１に送られ、液状の接着剤が塗布され、一方、第２のスタッカＳＴ２に載置されている上側ディスクＤＳ２が、切り替えテーブルＴ２に送られた後に、吐出テーブルＴ１に載置されている下側ディスクＤＳ１の上に、下側ディスクＤＳ１と対向した状態で保持され、コータハウスＣＨ１またはＣＨ２に移載され、接着剤をディスクＤＳ１とＤＳ２との間に行き渡らせ接着ディスクＤＳ３になる。すなわち、接着ディスクＤＳ３は、下側ディスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２とによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれ、これら全体で１枚のディスクを構成したものである。この接着ディスクＤＳ３が端面処理ハウスＥＨに運ばれ、接着ディスクＤＳ３の端面処理が済むと、回転テーブルＴ３に移載される。
【００１０】
回転テーブルＴ３の回転部分に、石英で作られた台である石英台ＱＳ１、ＱＳ２、ＱＳ３、ＱＳ４、ＱＳ５、ＱＳ６、ＱＳ７、ＱＳ８が等間隔で固定され、これら８つの石英台ＱＳ１〜ＱＳ８の１つに１枚の接着ディスクＤＳ３が載置され、この接着ディスクＤＳ３の上に１つの石英板ＱＢが載置され、つまり、石英台ＱＳと石英板ＱＢとの間に接着ディスクＤＳ３が挟まれた状態で、紫外線照射装置ＵＶ１を通過する。接着ディスクＤＳ３が紫外線照射されると、挟まれていた液状の接着剤が硬化し、下側ディスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２とが互いに固着される。
【００１１】
なお、上記実施例においては、８つの石英台ＱＳ１〜ＱＳ８が設けられているが、これら石英台ＱＳ１〜ＱＳ８は、回転によってその存在位置が変化するので、説明上、石英台ＱＳ１〜ＱＳ８のいずれにも該当する場合等には、石英台ＱＳ１〜ＱＳ８を代表して「石英台ＱＳ」と表現する。石英板についても同様であり、回転テーブルＴ３上の複数の石英板ＱＢ１、ＱＢ２、ＱＢ３、ＱＢ４、ＱＢ５、ＱＢ６、ＱＢ７、ＱＢ８のいずれにも該当する場合等には、複数の石英板ＱＢ１〜ＱＢ８を代表して「石英板ＱＢ」と表現する。ここで、石英台ＱＳおよび石英板ＱＢは、１、２ｍｍ程度の厚みの接着ディスクＤＳ３に比べてかなり厚く、熱容量が十分に大きいことが好ましい。
【００１２】
紫外線照射装置ＵＶ１を通過中に、輻射熱の吸収と、接着剤硬化時の重合熱とによって、接着ディスクＤＳ３の温度が一旦上昇するが、紫外線照射装置ＵＶ１を出てからは接着ディスクＤＳ３の温度が次第に低下し、接着ディスクＤＳ３の上に載置されていた石英板ＱＢが除去され、接着ディスクＤＳ３が排出用スタッカＳＴ３に１枚１枚積み上げられる。なお、排出用スタッカＳＴ３に積み上げられた接着ディスクＤＳ３は、完成されたものであり、これを情報ディスクＤＳ４と呼ぶ。
【００１３】
その後、冷却チャンバーＣＣを、石英台ＱＳと石英板ＱＢとが通過し、この冷却チャンバーＣＣ内で、石英台ＱＳと石英板ＱＢとが冷却されるとともに、その表面に付着している塵埃が吹き飛ばされ、除去される。冷却チャンバーＣＣは、上述する図２に示す構造を有する。
【００１４】
次に、図２に示す冷風供給装置１００について説明する。
【００１５】
冷風供給装置１００は、熱電素子１１０と、吸熱フィン１１３と、ダクト１２０と、ファン１２１によって構成されている。
【００１６】
熱電素子１１０は、電気エネルギを熱エネルギに変換する素子であり、これに電流を流せば、この表面を低温にすることができる。上記実施例においては、素子表面温度は、−２０〜１０°Ｃ程度の範囲で使用される。また素子表面には吸熱フィン１１３が密着設置されており、ここでの熱交換効率を充分高いものにしている。なお、吸熱フィン１１３の表面が低温になるので、ここで結露が生じるが、結露で生じた水は図示のドレイン口から排出される。
【００１７】
熱電素子１１０には、電源回路１１２が接続され、冷却水供給パイプ１１１が接触している。熱電素子１１０で吸収した熱量の一部を、冷却水供給パイプ１１１中の冷却水が取り去ることによって、熱電素子１１０が効率よく稼働する助けとなる。また、ダクト１２０内部には冷風の温度を測る温度センサ１２４が設置され、その温度測定値が温度表示計１２５によって信号化され、電源回路１１２にフィードバックされ、熱電素子１１０の電流制御が行われることによって、冷風温度を精密に制御できる。
【００１８】
熱電素子１１０の前面には、吸入口１１４とファン１２１とが設置されている。ファン１２１によって、吸入口１１４から吸熱フィン１１３を通してダクト１２０へ風が送られ、送風口１２３から冷風を吹き出す。風量調整ダンパ１２２は冷風の流路を絞ることによって、冷風の風量を調整する。上記実施例において、得られる冷風の温度範囲は、０〜１５°Ｃ程度である。
【００１９】
送風口１２３は、位置Ｐ２０における石英台ＱＳの上面に近接した部位に設置されている。冷却チャンバーＣＣには、石英板ＱＢを冷却するファン１２１も設置されるが、石英台ＱＳの場合と異なり、風の温度は冷却チャンバーＣＣ内温度と同じとなる。また、石英板ＱＢの風は、下方から吹き付けられる。
【００２０】
上記のように、石英台ＱＳと石英板ＱＢとでは風の吹き付け方向が互いに逆であるが、双方ともディスクに接触する面に吹き付けるものであり、冷却効果とともに、表面に付着した塵埃を風によって除去する効果をも有する。
【００２１】
ところで、上記構造によれば、石英台ＱＳの方が石英板ＱＢよりも低温になるので、ＵＶ照射時の熱を石英台ＱＳ側へ多く放熱させることになる。このようにすれば、接着ディスクＤＳ３は、ＵＶ照射後に石英台ＱＳの方へ縮もうとし、石英台ＱＳの表面に密着して、それに倣った形状に仕上がる傾向になる。石英台ＱＳは非常に平坦に作られているので、接着ディスクＤＳ３は平坦に仕上がりやすい。ただし、多大なＵＶ照射量が接着剤硬化に必要な場合には、接着ディスクＤＳ３の収縮量も大きくなり、石英台ＱＳ上でもディスク中心部が上に持ち上がりやすい。そこで石英板ＱＢによって、この持ち上がろうとする部分を石英台ＱＳに押しつけ、これによって、平坦に仕上がった接着ディスクＤＳ３を得ることができる。
【００２２】
ここで、ディスクが紫外線を透過しやすいものである場合、すなわち紫外線照射量が少なくても接着剤が充分硬化する場合、石英台ＱＳ８と石英板ＱＢ８との温度が周囲温度とあまり変わらないので、強制空冷用の風を冷却せずに周囲温度と同じ温度の風を吹き付けるだけで温度上昇を抑制できる。この場合には、図１０に示すような冷却装置を使用すれば、装置構成が簡単になり、好ましい。
【００２３】
また、冷却チャンバーＣＣ内では、石英台ＱＳに対して上方から冷風を吹き付けている。これは、冷却チャンバーＣＣでは接着ディスクＤＳ３が既に取り出された後であるから可能になる。なぜなら、石英台ＱＳ上に接着ディスクＤＳ３を載置した状態で、上方から冷風を吹き付ければ、そこの接着ディスクＤＳ３は、その上面側に縮んでしまい、上記のような平坦性を得るための効果が失われてしまうからである。したがって、接着ディスクＤＳ３を石英台ＱＳ上に載置している部分の冷却では、冷風を石英台ＱＳの下方から吹き付ける必要がある。これを示しとのが図３である。これは、図１における石英台ＱＳ５、ＱＳ６の位置に相当する。
【００２４】
図３に示す冷風供給装置１００は、図２にお示す冷風供給装置１００と同様である。ただし、石英台ＱＳの上方に、ディスク温度測定用の放射温度計２１２、２１３を設置できるので、そこからのディスク温度信号をフィードバックすることによって、さらに高精度の冷風温度制御が可能となる。もちろん、それほど、高精度制御が不要である場合には、放射温度計２１２、２１３とフィードバック系とを設置する必要がない。
【００２５】
石英台ＱＳと回転テーブルＴ３との間には、ゴムＧが介在している。これは異なる材質間における熱膨張の大きさの違いによって生じる応力を吸収する緩衝部材である。熱膨張の大きい金属製部材と、熱膨張の極く小さい石英製部材とが混在する上記実施例において、金属製部材の熱による変形をゴムＧが変形することによって吸収し、石英製部材が過大な応力を受けて破損することを防止している。上記実施例は、加熱と冷却とを繰り返し受ける構造物であるので、この作用は重要である。なお、ゴムＧの代わりにスプリングを使用してもよい。
【００２６】
なお、送風口１２４は必ずしも１個である必要はなく、冷却能力を高めるためにダクトで接続された複数の送風口を設け、任意の複数の石英台を冷却してもよい。この場合、冷却チャンバーＣＣを省略することもできる。また、たとえば紫外線を接着ディスクＤＳ３の上方からだけ照射する場合には、紫外線照射装置ＵＶ１の下側にも送風口を設け、石英台をさらに冷却することが可能である。
【００２７】
回転テーブルＴ３には、８つの石英台ＱＳ１〜ＱＳ８が、４５度間隔で設置され、これら８つの石英台ＱＳ１〜ＱＳ８のそれぞれに、端面処理ハウスＥＨから運ばれた接着ディスクＤＳ３が載置される。
【００２８】
なお、図１においては、回転テーブルＴ３に設けられている石英台ＱＳ１〜ＱＳ８が円形で表示され、接着ディスクＤＳ３の上に載置されるべき、または接着ディスクＤＳ３の上に載置されている石英板ＱＢを四角形で表示してある。実際には、接着ディスクＤＳ３の上に載置されるべき、または接着ディスクＤＳ３の上に載置されている石英板ＱＢの形状を、接着ディスクＤＳ３よりもやや大きくし、しかも円板状に設定してある。石英板ＱＢの形状をこのような形成にすれば、石英板ＱＢを透過して接着ディスクＤＳ３に均一の紫外線を照射することができ、また、石英板ＱＢの面積を最小にすることができる。しかし、図を見やすくするために、図１では、便宜上、石英板ＱＢを四角形で表示してある。
【００２９】
図４は、上記実施例における冷却水供給装置１００を示す図である。
【００３０】
冷却水供給装置２００は、水冷によって回転テーブルＴ３を冷却するものである。
【００３１】
冷却水供給装置２００は、冷却水発生装置２１０と、冷却水の温度を制御する温度制御装置２１０と、紫外線照射装置ＵＶ１を通過した接着ディスクＤＳ３の温度を検出する放射温度計２１２、２１３と、設定すべき温度（たとえば周囲温度）と放射温度計２１２、２１３が測定した温度との差を求める温度比較装置２１４と、冷却水を回転テーブルＴ３に送る冷却水送りパイプ２２０と、回転テーブルＴ３内の冷却水流路２４０と冷却水送りパイプ２２０とを連結するロータリジョイント（回転式配管継手）２３０と、回転テーブルＴ３から排出された冷却水を温度制御装置２１０に戻す冷却水戻りパイプ２５０とを有する。
【００３２】
ところで、この放射温度計２１２、２１３と温度比較装置２１４とを、図３における冷風供給装置のフィードバック系としても使用できることは、上記の通りである。
【００３３】
図５は、回転テーブルＴ３内に冷却水を流す冷却水流路２４０を示す回転テーブルＴ３の平面図である。
【００３４】
図６は、回転テーブルＴ３とロータリジョイント２３０との関係を示す回転テーブルＴ３の正面図である。
【００３５】
次に上記実施例の動作について説明する。
【００３６】
回転テーブルＴ３は、たとえば、４秒間で４５度だけ回動し、１秒間だけ回動を停止しというようなサイクルを繰り返す。回転テーブルＴ３の回動停止時に、位置Ｐ１５に存在する接着ディスクＤＳ３を、移載アームＡ１がテーブルＴ３の位置Ｐ２１に載置する。また、他の移載アームＡ２、Ａ３、Ａ４が、上記停止１秒間に、それぞれの移載を実行する。なお、回転テーブルＴ３が４５度を回動する時間や、４５度の回動毎に停止する時間を必要に応じて適宜定めればよい。また、４５度以外の角度毎に回動するようにしてもよい。
【００３７】
位置Ｐ２１に存在していた接着ディスクＤＳ３は、回転テーブルＴ３が４５度回動すると、位置Ｐ２３に移動し、この位置Ｐ２３に存在する接着ディスクＤＳ３に、移載アームＡ２が、位置Ｐ２２に存在する石英板ＱＢを載置する。このようにすることによって、位置Ｐ２３に存在する接着ディスクＤＳ３は、石英台ＱＳと石英板ＱＢとによって挟まれる。このように挟まれた状態で、回転テーブルＴ３が再び４５度回動すると、紫外線照射装置ＵＶ１に入り、２つのＵＶランプＬ１によって、接着ディスクＤＳ３が位置Ｐ２４でその上下から紫外線照射され、２つのＵＶランプＬ２によって、接着ディスクＤＳ３が位置Ｐ２５でその上下から紫外線照射される。
【００３８】
ＵＶランプＬ１を構成する２つの紫外線放射ランプの間や、ＵＶランプＬ２を構成する２つの紫外線放射ランプの間を、石英台ＱＳと接着ディスクＤＳ３と石英板ＱＢとが通過する過程で、石英台ＱＳと石英板ＱＢと下側のディスクＤＳ１と上側のディスクＤＳ２とが透明であることから、これらを紫外線が透過し、液状の接着剤に到達し、接着剤を硬化させる。
【００３９】
そして、接着ディスクＤＳ３と石英板ＱＢとが回転テーブルＴ３の位置Ｐ２６に到達し、回転テーブルＴ３が停止すると、この停止期間に、移載アームＡ３が石英板ＱＢを位置Ｐ２７に移載する。その後、接着ディスクＤＳ３が位置Ｐ２８に到達すると、接着ディスクＤＳ３は周囲温度とほぼ同じ温度まで低下し、移載アームＡ４がその接着ディスクＤＳ３を排出用スタッカＳＴ３に移載する。
【００４０】
そして、石英台ＱＳが位置Ｐ２０に到達すると、図２に示す冷風供給装置１００によって石英台ＱＳが冷却され、周囲温度と同じか、それ以下の温度に冷やされる。なお、石英台ＱＳの冷却を、ＱＳ５、ＱＳ６の一方の位置またはその両方の位置において、実行してもよい。その場合には、図３に示す装置によって冷却を行う。冷却装置または冷却位置の選定は、必要なＵＶ照射量やディスク温度上昇に応じてなされる。
【００４１】
上記実施例においては、接着ディスクＤＳ３が平坦なディスク載置面に密着された状態で、その載置面側に放熱されるので、接着ディスクＤＳ３のうちで、載置面に密着している側から先に冷えて収縮するが、平坦な面によって矯正され、反りが生じ難い。接着ディスクＤＳ３の自重によって接着ディスクＤＳ３の面は載置平面に押し付けられている。平坦な状態を保ったまま、接着ディスクＤＳ３の温度を周囲温度まで下げることができる。そして、接着ディスクＤＳ３の温度が周囲温度と同じ温度になれば、収縮が停止し、ディスク載置面から取り出し可能になる。
【００４２】
また、石英板ＱＢが所定の重量を有するので、紫外線照射によって、下側のディスクＤＳ１と上側のディスクＤＳ２とが温度上昇することによる変形、または接着剤が硬化収縮することによる変形が阻止される。
【００４３】
なお、上記実施例において、紫外線を照射する紫外線照射装置ＵＶ１内の領域から接着ディスクＤＳ３を搬出し、搬送する過程で、紫外線照射中に接着ディスクＤＳ３が受けた熱をディスク載置面へ放熱させているが、接着ディスクＤＳ３を搬出し、搬送する過程で、その搬出、搬送動作は、上記のように断続的行われてもよく、また、連続的に行われていてもよい。
【００４４】
上記実施例において、液状の紫外線硬化型接着剤を挟んでいる接着ディスクＤＳ３を、石英台ＱＳで構成されている平坦なディスク載置面に載置するようにしているが、ディスク載置面として、石英台ＱＳ以外に、アルミニウム、銅、または半田のような熱伝導率の大きい材質とする平坦な面を使用するようにしてもよい。ただし、この場合は、ディスク載置面が不透明になるので、少なくとも上側ディスクが紫外線を透過しやすいものである必要がある。このような例を、図７、図８に示してある。
【００４５】
図７は、ディスク載置面部分を上方から見た図であり、図８は、図７に示すディスク載置面を垂直な面で切断した場合の断面図である。
【００４６】
ディスク載置面３０１は、冷却水流路３０２を形成している金属製台３０３上に密着されている。ディスク載置面３０１と金属製台３０３とは、大きな熱伝導率を持つ材質で作られ、金属製台３０３は、台枠３０４にはめ込まれている。ディスク載置面３０１と金属製台３０３との間と、金属製台３０３と台枠３０４との間とは、Ｏリング３０５によってシーリングされ、冷却水の漏れを防止している。
【００４７】
ディスク載置面３０１が、常時かつ直接、冷却水によって温度調節されているので、高精度のディスク載置面温度制御が可能となる。また、ディスク載置面の熱伝導率が大きいので、接着ディスクＤＳ３から受ける熱を短時間で冷却水へ放出でき、接着ディスクの冷却効率が極めてよい。
【００４８】
なお、図７、図８に示す例では、熱伝導率の大きいディスク載置面上に載せた状態で、接着ディスクＤＳ３にＵＶ照射を施すことになるが、それ以外に、石英台ＱＳ上に接着ディスクＤＳ３を載置した状態でＵＶ照射を施した後に、図７、図８に示すような構造のディスク載置面に、接着ディスクＤＳ３を移載する方法を採用してもよい。
【００４９】
ところで、上記実施例では、ディスク載置面の材質が透明か不透明かによって、冷却水流路の形状が変わる。つまり、透明のディスク載置面である場合、内部をＵＶ光線が透過するので、内部に冷却水流路を形成すると、流路壁での光の屈折によって、接着硬化時のディスク表面に筋が発生して好ましくないので、冷却水流路はディスク載置面の周囲をめぐるしかない。
【００５０】
そこで、今までは、基本的構造を変えずにそれら全てに対応するようにするために、図７に示す台枠３０４を使用したものを実施例として示した。すなわち、台枠３０４を一括して変更すれば、金属製のディスク載置面でも石英台でも、回転テーブルＴ３自体の変更なしに使用可能である。しかし、必ずディスクの上下両面からＵＶ照射を必要とする場合は、ディスク載置面も透明であることが必須になるので、透明のディスク載置面、すなわち石英台を使用することになる。このように石英台を専用に使用する回転テーブルの例を、図９に示す。
【００５１】
図９は、冷却水流路２４０を示す平面図であり、冷却水流路２４０は、各石英台ＱＳの周りを巡ることによって石英台ＱＳを冷却する構造を有する。
【００５２】
上記実施例においては、回転テーブルＴ３に設けられているディスク載置面の下面に冷却された空気を吹き付けているが、空気の代わりに他の気体を使用し、この気体を冷却し、この冷却気体を吹きつけるようにしてもよい。
【００５３】
また、上記実施例における情報ディスクＤＳ４は、ＤＶＤと言われるものであり、ＲＯＭ型のＤＶＤ、追記型のＤＶＤ、書き込み型のＤＶＤのいずれにも適用できるものである。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、下側ディスクと上側ディスクとによって液状の紫外線硬化型接着剤が挟まれている接着ディスクに紫外線を照射し、その後、そのディスクの温度が低下する過程で、局部的な反りが生じにくいという効果を奏する。
【００５５】
また、本発明によれば、ディスク接触面に冷却風を吹き付けているので、ディスク接触面に塵等の汚れが付き難く、このために、ディスクが塵等によって傷付くことがなく、ディスク接触面が常に清浄に保たれるという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるディスク貼り合わせ装置１０を示す平面図である。
【図２】ディスク貼り合わせ装置１０における冷却チャンバーＣＣの構造を示す図である。
【図３】上記実施例における冷風供給装置１００の一例を示す図である。
【図４】上記実施例における冷却水供給装置２００を示す図である。
【図５】回転テーブルＴ３内に冷却水を流す冷却水流路２４０を示す回転テーブルＴ３の平面図である。
【図６】回転テーブルＴ３とロータリジョイント２３０との関係を示す回転テーブルＴ３の正面図である。
【図７】熱伝導率の大きい材質でディスク載置面を作る場合の、ディスク載置部分の平面図である。
【図８】上記でき載置部分を垂直面で切断した断面図である。
【図９】石英台を専用に使用する回転テーブルの平面図である。
【図１０】冷却チャンバーの一例を示す図である。
【符号の説明】
１０…ディスク貼り合わせ装置、
ＤＳ１…下側のディスク、
ＤＳ２…上側のディスク、
ＤＳ３…接着ディスク、
ＤＳ４…情報ディスク、
Ｔ３…回転テーブル、
Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４…移載アーム、
ＱＳ、ＱＳ１〜ＱＳ８…石英台、
ＱＢ、ＱＢ１〜ＱＢ８…石英板、
ＵＶ１…紫外線照射装置、
ＣＣ…冷却チャンバー、
１００…冷風供給装置、
２００…冷却水供給装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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