(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の直流高圧電源と、この第１の直流高圧電源に接続されたコンデンサと、スイッチング素子とダイオードとの逆並列接続体と、共振用インダクタンスとからなるパルス発生回路を備えると共に、集塵電極に接続されている第２の直流高圧電源を備え、前記パルス発生回路の共振によるパルス出力を前記第２の直流高圧電源の出力電圧に重畳して前記集塵電極に印加する電気集塵機用パルス電源装置において、
前記集塵電極に発生するスパークの減衰性寄生振動期間を越えて前記スイッチング素子の回復時間が経過するまでの時間幅を形成する時定数回路と、
前記共振用インダクタンスを流れる電流を検出して、その電流が正極性から負極性に反転するときに、前記時定数回路によって前記集塵電極に発生するスパークの減衰性寄生振動期間を越えて前記スイッチング素子の回復時間が経過するまでのパルス幅をもつ信号を発生する第１のタイマ回路と、
該第１のタイマ回路の前記信号を所定の時定数で充電するコンデンサと、
前記集塵電極に接続され、スパークの発生を検出したときに検出信号を発生するスパーク検出回路と、
該スパーク検出回路から前記検出信号を受けるときにＨレベルになる出力信号を発生し、前記コンデンサの電圧がしきい値に達するときにその出力信号がＬレベルになる第２のタイマ回路と、
該第２のタイマ回路からの前記出力信号を受けるときにトリガ信号を発生するゲートドライバとを備え、
前記トリガ信号は、前記スパークの発生が検出されたときに発生し、前記共振用インダクタンスを流れる電流が正極性から負極性に反転することによって前記スイッチング素子がオフになるのに伴い前記ダイオードが導通し始め、このダイオードが導通している状態で前記スイッチング素子の回復時間が経過するまで継続することを特徴とする電気集塵機用パルス電源装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はパルス荷電式電気集塵機に用いられるパルス電源装置およびその運転方法に係り、特にパルス発生回路のスッチング素子を保護するための方法および回路に関する。
【０００２】
【従来技術】
パルス荷電式電気集塵機は、集塵電極をコンデンサとし、共振インダクタンスもしくはトランスのもれインダクタンスとの直列共振を利用したものであり、高抵抗ダストの逆電離作用に対抗して集塵効率を上げることができ、かつ共振エネルギーが電源に帰還電流として回収されるので効率が高い。
【０００３】
このパルス荷電式電気集塵機のパルス発生回路においては、スイッチング素子をトリガすることにより正方向の正弦半波状共振電流が流れ、電圧パルスが発生する。パルス電圧が増加している時間はスイッチング素子であるサイリスタに電流が流れ、パルス電圧がピークを過ぎると、サイリスタと逆並列に接続されている帰還用ダイオードに負方向の正弦半波電流に切り替わり、サイリスタではこの逆電流期間に逆バイアスがかかり、ターンオフする。電気集塵機の電極間ではスパークがあり、オフ状態となってもサイリスタの回復時間が経過する前に電気集塵機内にスパークが発生する場合、サイリスタはゲート供給されない状態で強制的にオンし、破壊する可能性がある。
【０００４】
この対策方法として、電気集塵機内のスパーク発生を検出し、サイリスタを再度トリガしてオンさせる。そのためには、従来はスパーク検出信号を受けて、タイマ回路でパルス周期の１／４程度の期間トリガ信号発生器を動作させている例がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
パルス荷電式電気集塵機の運転時、スパーク発生状況、スパーク検出、直流高圧電源の設定値には次のような問題点がある。第１にスパークはパルス波形のすべての位相で発生すること、第２に電気集塵機は大きなレベルのノイズを発生する場合や、極めて短い時間に回復するスパークなどはスパーク検出の誤動作となる。スパーク検出の不動作はサイリスタの破壊となるために、検出感度はいかなる場合も不動作とならないように設定される。
【０００６】本発明は、電気集塵機用パルス電源装置において、スパーク発生位相、スパーク検出回路の誤動作に対して確実にスイッチング素子を保護できるような再トリガの時間、タイミングを与えることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、この第１の発明は、第１の直流高圧電源と、この第１の直流高圧電源に接続されたコンデンサと、スイッチング素子とダイオードとの逆並列接続体と、共振用インダクタンスとからなるパルス発生回路を備えると共に、集塵電極に接続されている第２の直流高圧電源を備え、前記パルス発生回路の共振によるパルス出力を前記第２の直流高圧電源の出力電圧に重畳して前記集塵電極に印加する電気集塵機用パルス電源装置において、前記集塵電極に発生するスパークの減衰性寄生振動期間を越えて前記スイッチング素子の回復時間が経過するまでの時間幅を形成する時定数回路と、前記共振用インダクタンスを流れる電流を検出して、その電流が正極性から負極性に反転するときに、前記時定数回路によって前記集塵電極に発生するスパークの減衰性寄生振動期間を越えて前記スイッチング素子の回復時間が経過するまでのパルス幅をもつ信号を発生する第１のタイマ回路と、その第１のタイマ回路の前記信号を所定の時定数で充電するコンデンサと、前記集塵電極に接続され、スパークの発生を検出したときに検出信号を発生するスパーク検出回路と、このスパーク検出回路から前記検出信号を受けるときにＨレベルになる出力信号を発生し、前記コンデンサの電圧がしきい値に達するときにその出力信号がＬレベルになる第２のタイマ回路と、該第２のタイマ回路からの前記出力信号を受けるときにトリガ信号を発生するゲートドライバとを備え、前記トリガ信号は、前記スパークの発生が検出されたときに発生し、前記共振用インダクタンスを流れる電流が正極性から負極性に反転することによって前記スイッチング素子がオフになるのに伴い前記ダイオードが導通し始め、このダイオードが導通している状態で前記スイッチング素子の回復時間が経過するまで継続することを特徴とする電気集塵機用パルス電源装置を提供する。
【０００９】
【実施例】
図１により、本発明にかかる電気集塵機用パルス電源装置の実施例を説明する。１は直流高圧電源であってパルス回路にエネルギーを与える。２はチョークコイルであり、電流平滑用であり、３はコンデンサであってパルス発生回路のエネルギー蓄積するためのものである。４はパルス発生用のスイッチング素子であるサイリスタであり、５はダイオードであって、サイリスタ４に逆並列接続されて逆方向電流を流す目的に設けられる。７はパルス昇圧用の変圧器である。６はインダクタンスであって、パルス波形を決定する共振回路の一要素であり、実際には変圧器７の漏れインダクタンスを利用している。８はパルス結合用のコンデンサである。９は集塵電極であり、静電容量を有している。１０は直流高圧電源であって、集塵電極９に数１０キロボルトの基礎直流電位を与える。
【００１０】
次に制御回路３０について説明する。集塵電極９に並列に接続されたスパーク検出回路１２からの信号Ｓ１は第１のタイマ回路２３の入力端子Ａに接続される。このタイマ回路２３はモノマルチバイブレータ回路を内蔵しており、図示されない時定数回路で決定される期間の矩形波を発生する。タイマとしての作用は、入力端子Ａの信号がＬレベルからＨレベルになったとき出力端子ＱにＨレベルの信号を出力し、その矩形波時間後に、出力端子ＱはＬレベルとなる。なお、制御端子Ｃｄは、上記の時定数回路を放電させて、初期設定させるための端子である。タイマ回路２３の出力端子Ｑは信号Ｓ２を発生してオア回路２４の入力端子の一方に接続される。また定常トリガ信号源２５からの信号Ｓ７は、オア回路２４の入力端子の一方に接続される。そしてオア回路２４の出力端子はゲートドライバ２６に接続されて、出力信号Ｓ８を発生してサイリスタ４のゲート電極にオン信号として供給する。
【００１１】
１１は変流器であって、パルス回路の電流ｉ１を検出し、電流ｉ３を出力する。この変流器１１の２次側に接続された抵抗器１３により検出した電流を電圧信号に変換する。抵抗器１３には電流ｉ１に比例した信号が発生する。この信号をコンパレータ１４の−入力端子に接続する。コンパレータ１４の＋端子はコモン線に接続されているので、電流ｉ１が負のときにのみコンパレータ１４の出力端子にはＨレベルの出力信号Ｓ４を発生する。この信号Ｓ４は第２のタイマ回路１５の入力端子Ａに送られる。また、タイマ回路１５の反転性の出力端子Ｑバーは抵抗器２１を介して、タイマ回路２３の端子Ｃｄに接続される。この端子Ｃｄには、コンデンサ２２がコモン線との間に接続されて時定数を与えている。さらに、タイマ回路１５の端子Ｃｄには、コモン線との間にコンデンサ１６が接続される。また、この端子とタイマ回路２３の端子Ｑとの間には抵抗器１７とダイオード１８との直列回路及び抵抗器１９とダイオード１０との直列回路が接続される。
【００１２】
図２は、スパークの無いモードについての動作を説明するための波形図である。時刻ｔ０からｔ１まで定常パルス信号源２５が信号出力Ｓ７を発生する。この信号の継続時間はサイリスタ４が完全にオンとなる保持状態になるまでの時間、例えば１０〜５０μｓに選定しておく。ゲートドライバ２６には信号出力Ｓ７がオア回路２４を介して入力され、トリガ信号Ｓ８をｔ０からｔ１まで出力する。サイリスタ４がオンし電流ｉ１、ｉ２が流れる。電流ｉ１は変流器１１で検出され抵抗器１３を流れて電圧信号となる。時刻ｔ４からサイリスタ４に流れていた共振電流がダイオード５に切り替わる。この時抵抗器１３の電圧はマイナスとなり、コンパレータ１４はＨレベル信号Ｓ４を出力するが、スパーク信号Ｓ１がないのでタイマ回路１５、２３は動作しないのでゲートドライバ２６は動作しない。この期間にサイリスタ４は逆バイアスされオフ状態を回復する。共振が終了してスパークの無いモードの動作は終了する。
【００１３】
図３は、通常のスパーク発生モードについて説明するための波形図であり、以下この図により説明する。
【００１４】
時刻ｔ０からｔ１まで定常パルス信号源２５が信号出力Ｓ７を発生し、ゲートドライバ２６はトリガ信号をＳ８としてｔ０からｔ１まで発生する。サイリスタ４がオンし電流ｉ１、ｉ２が流れる。電流ｉ１は変流器１１で検出され抵抗器１３を流れて電圧信号となる。
【００１５】
時刻ｔ２でスパークが発生したときスパーク検出回路１２の検出信号がタイマ回路２３の入力端子Ａに信号Ｓ１（正方向の立ち上がり）を与えるので出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルからＨレベルとなる。オア回路２４を経てゲートドライバ２６の入力端子はＨレベルとなるので、トリガ信号Ｓ８を再び発生する。
同時にタイマ回路２３の端子ＱのＨレベル信号出力Ｓ２は、ダイオード２０を介してコンデンサ１６と抵抗器１９との時定数を通じてタイマ回路１５の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００１６】
時刻ｔ３でタイマ回路１５の制御端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値を越えて、タイマ回路１５はセットされる。なお、集塵電極９間でスパーク発生すると大きなレベルのノイズと大きな振幅の減衰性寄生振動（周期３μｓ〜１０μｓ，減衰時定数５０μｓ程度）を発生する。コンデンサ１６と抵抗器１９との時定数回路はタイマ回路１５をスパーク時に誤動作させないように、減衰時定数に対応した所定値に選定する。
【００１７】
時刻ｔ４で電流ｉ１の極性が正から負に反転する。コンパレータ１４の出力信号Ｓ４はＬレベルからＨレベルに変わる。この正の立ち上がりがタイマ回路１５の入力端子Ａに入力される。タイマ回路１５の反転出力端子Ｑバーの信号Ｓ５は、ＨレベルからＬレベルとなる。この信号はコンデンサ２２と抵抗器２１との時定数を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００１８】
時刻ｔ５では、タイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以下となる。そしてタイマ回路２３はリセットされ出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力端子はＬレベルとなるので、トリガ信号Ｓ８は停止する。タイマ回路２３のＱ端子のＬ出力はダイオード１８を介してコンデンサ１６を小さな抵抗値の抵抗器１７で速やかに放電する。
【００１９】
時刻ｔ６では、タイマ回路１５の制御端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値以下になり、タイマ回路１５はリセットされる。タイマ回路１５の出力端子Ｑバーの信号Ｓ５は、ＬレベルからＨレベルとなる。抵抗器２１とコンデンサ２２との時定数回路を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００２０】
時刻ｔ７では、タイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以上となりセットされ、次のスパークに備える。以上は通常動作の説明であり、タイマ回路１５、２３はフリップフロップの動作しかしていないが、予期しない状態が発生しコンパレータ１４がＨレベル信号（Ｓ０）を出力しないときに備え、各タイマのタイマ時間は想定される再トリガ時間より長く、共振周期の１．５〜２倍程度より短い時間に設定される。したがって、いかなる状態でもトリガ信号Ｓ８は停止する。
【００２１】
【スパーク検出回路誤動作の場合】
図４は、スパーク検出回路誤動作の場合の動作波形図である。図において時刻ｔ０からｔ１まで定常パルス信号源２５の信号Ｓ７が出力し、ゲートドライバ２６はトリガ信号Ｓ８をｔ０からｔ１まで発生す
る。サイリスタ４がオンし電流ｉ１が流れる。電流ｉ１は変流器１１で検出され抵抗器１３を流れて電圧信号となる。
【００２２】
時刻ｔ２でスパーク検出信号Ｓ１が発生したときパルス検出回路１２がタイマ回路２３の入力端子Ａに信号（正方向の立ち上がり）を与えるので、その出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルからＨレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力端子はＨレベルとなるので、トリガ信号Ｓ８を再び発生する。タイマ回路２３の端子Ｑの信号Ｓ２のＨレベル出力はコンデンサ１６と抵抗器１９との時定数回路を通じてタイマ回路１５の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００２３】
時刻ｔ３でタイマ回路１５の制御端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値を越えて、タイマ回路１５はセットされる。
【００２４】
時刻ｔ４´で電流ｉ１の極性が負から正に反転する。タイマ回路１５の入力端子Ａに負の方向の急峻な変化分が入力されるが変化しない
【００２５】
時刻ｔ４で電流ｉ１の極性が正から負に反転する。コンパレータ１４の出力信号Ｓ４は、ＬレベルからＨレベルに変わる。この正の方向の立ち上がりがタイマ回路１５の入力端子Ａに入力される。タイマ回路１５の反転出力端子Ｑバーの信号Ｓ５は、ＨレベルからＬレベルとなる。この信号はコンデンサ２２と抵抗器２１との時定数回路を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００２６】
時刻ｔ５でタイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６は、しきい値以下となる。タイマ回路２３はリセットされ出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力端子の信号はＬレベルとなるので、トリガ信号Ｓ８は停止する。タイマ回路２３のＱ端子信号Ｓ２のＬレベル出力は、ダイオード１８を介し、コンデンサ１６を抵抗器１７で放電する。
【００２７】
時刻ｔ６でタイマ回路１５の制御端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値以下になり、タイマ回路１５をリセットする。タイマ回路１５の出力端子Ｑバーの信号Ｓ５は、ＬレベルからＨレベルとなる。この信号値はコンデンサ２２と抵抗器２１との時定数回路を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００２８】
時刻ｔ７でタイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以下となり、タイマ回路２３はリセットされ、次のスパークに備える。
【００２９】
【第２の実施例】
図５は、本発明に係る第２の実施例である。構成上は、図１の回路に対して、制御回路３０の中のコンパレータ１４の入力端子の接続が逆極性になった点と、アンド回路２７が追加になった点だけである。
【００３０】
図６は、図５に示す回路の動作を説明するための波形図である。まず、時刻ｔ０からｔ１まで定常トリガ信号源２５が信号出力Ｓ７を発生し、ゲートドライバ２６はトリガ信号Ｓ８をｔ０からｔ１まで発生する。この信号により、サイリスタ４がオンし電流ｉ１が流れる。電流ｉ１は変流器１１で検出され抵抗器１３を流れて電圧信号となる。
【００３１】
時刻ｔ２でスパークが発生したときスパークス検出回路１２がタイマ回路２３の入力端子Ａに信号（正方向の立ち上がり）を与えるので出力端子ＱはＬレベルからＨレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力端子はＨレベルとなるので、トリガ信号Ｓ８を再び発生する。タイマ回路２３の端子ＱのＨレベル出力はコンデンサ２２と抵抗器２１の時定数を通じてタイマ回路１５の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００３２】
時刻ｔ３でタイマ回路１５の制御端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値を越えて、タイマ回路１５はセットされる。このとき電流ｉ１の極性が正なのでコンパレータ１４の出力信号Ｓ０はＨレベル、アンド回路２７の出力信号Ｓ４はＬレベルからＨレベルとなる。この正方向の立ち上がりがタイマ回路１５の入力端子に入力されるので、出力端子Ｑバーの信号Ｓ５はＨレベルからＬレベルに変わり、コンデンサ２２と抵抗器２１の時定数回路を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝送される。このとき、コンデンサ２２と抵抗器２１との時定数回路はサイリスタ４が完全にオンとなる保持状態になる時間に選定しておく。この保持状態に達するまでの時間は通常１０μｓ〜５０μｓである。
【００３３】
時刻ｔ４でタイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以下となりリセットされ、出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力がＬレベルとなるのでトリガ信号Ｓ８は停止する。タイマ回路２３の出力端子Ｑの信号Ｓ２のＬレベル信号はダイオード１８を介し、コンデンサ１６は抵抗器１７で放電する
【００３４】
時刻ｔ５でタイマ回路１５の端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値以下となりリセットされ、その出力端子Ｑバーの信号Ｓ５はＬレベルからＨレベルとなる。また、アンド回路２７の出力信号Ｓ４（タイマ回路１５の入力端子Ａに供給される）はＬレベルとなる。タイマ回路１５の出力端子Ｑバーの信号Ｓ５のＨレベルの信号はコンデンサ２２と抵抗器２１との時定数回路を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝送される。
【００３５】
時刻ｔ６でタイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以上となりセットされ、次のスパークに備える。
【００３６】
【第２の実施例・スパーク検出誤動作の場合】
図７は、スパーク検出誤動作の場合の動作波形図である。時刻ｔ０からｔ１まで定常トリガ信号源２５が信号Ｓ７を出力し、ゲートドライバ２６はトリガ信号Ｓ８をｔ０からｔ１まで発生する。サイリスタ４がオンし、電流ｉ１が流れる。電流ｉ１は変流器１１で検出され、抵抗器１３を流れて電圧信号となる。
【００３７】
時刻ｔ２でスパークが発生したとき、スパーク検出回路１２がタイマ回路２３の入力端子Ａに信号Ｓ１を与えるので、その出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルからＨレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力端子はＨレベルとなるので、トリガ信号Ｓ８を再び発生する。タイマ回路２３の出力端子ＱのＨレベル出力Ｓ２は、ダイオード２０を介し、コンデンサ１６と抵抗器１９の時定数を通じてタイマ回路１５の制御端子Ｃｄに伝達される。
【００３８】
時刻ｔ３で、電流ｉ１が正となる。コンパレータ出力Ｓ０はＨレベル、アンド出力はＬレベルからＨレベルとなる。このポジテブエッジがタイマ回路１５の入力端子に入力されるので、その出力端子Ｑバーの信号Ｓ５はＨレベルからＬレベルに変わり、コンデンサ２２と抵抗器２１との時定数を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝送される。
【００３９】
時刻ｔ４でタイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以下となり、リセットされて、その出力端子Ｑの信号Ｓ２はＬレベルとなる。ゲートドライバ２６の入力がＬレベルとなるのでトリガ信号Ｓ８は停止する。タイマ回路２３の出力端子ＱのＬレベル信号Ｓ２は、ダイオード１８を介し、コンデンサ１６を抵抗器１７で放電する。
【００４０】
時刻ｔ５でタイマ回路１５の制御端子Ｃｄの信号Ｓ３はしきい値以下となり、タイマ回路１５はリセットされ、出力端子Ｑバーの信号Ｓ５はＬレベルからＨレベルとなる。アンド回路２７の出力Ｓ４はＬレベルとなる。タイマ回路１５の出力端子Ｑバーの信号Ｓ５のＨレベルはコンデンサ２２と抵抗器２１との時定数回路を通じてタイマ回路２３の制御端子Ｃｄに伝送される。
【００４１】時刻ｔ６でタイマ回路２３の制御端子Ｃｄの信号Ｓ６はしきい値以上となり、タイマ機能はセットされて次のスパークに備える。
【００４２】
図８は昇圧用の変圧器のない電気集塵機用パルス電源装置に適用した例であり、同じ動作をする。
【００４３】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような特徴を有しており、スパーク検出回路が信号を出力するとパルス発生回路のスイッチング素子に流れる電流に追随してゲート信号を出すのでスイッチング素子をより確実に保護するように運転することができる。集塵電極に電圧を印加すると、持続時間の長短によりコロナ放電、アーク放電など種々の放電形態となり得る。また、電圧が高いので、エネルギーの大きなノイズも発生し得る。本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の運転方法によれば、このように急峻な波形のスパークを検出するときに、そのスパーク検出器が、スイッチング素子の保護を必要としない急峻な波形や、雑音信号をスパークと誤認したときでも確実にスイッチング素子を保護できる。また、スイッチング素子に直列に可飽和リアクトルを挿入しｄｖ／ｄｔを緩和させることがある。その場合、スパーク後の再荷電時など電圧が低いときは共振周期は長くなりがちであるが、本発明によれば、この共振周期の変動に対して確実にスイッチング素子を保護できるような再トリガの時間、タイミングを与えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の一実施例を示す。
【図２】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の運転方法を説明するための波形図である。
【図３】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の運転方法を説明するための波形図である。
【図４】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の運転方法を説明するための波形図である。
【図５】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の第２実施例を示す。
【図６】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の第２実施例における運転方法を説明するための波形図である。
【図７】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の第２実施例における運転方法を説明するための波形図である。
【図８】本発明に係る電気集塵機用パルス電源装置の他の実施例を示す。
【符号の説明】
１…直流高圧電源    ２…チョークコイル    ３…コンデンサ
４…サイリスタ      ５…ダイオード        ６…インダクタンス
７…変圧器      ８…コンデンサ        ９…集塵電極    １０…直流高圧電源
１１…変流器      １２…スパーク検出回路
１４…コンパレータ  １５，２３…タイマ回路        ２５…定常トリガ信号源
２４…オア回路          ２６…ゲートドライバ      ２７…アンド回路
３０…制御回路
【図１】
0003594277.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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