(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する複数の圧電体と、前記複数の圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記複数の圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された複数の信号線と、前記複数の信号線の各々を電磁的にシールドする複数のシールド部と、前記背面負荷材の圧電体と反対面側に設けられ前記複数のシールド部と固定接続される背面グランド体とを有する超音波探触子。
【請求項２】
超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する複数の圧電体と、前記複数の圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記複数の圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された複数の信号線と、前記複数の信号線の各々を電磁的にシールドする複数のシールド部とを備え、前記シールド部は前記背面負荷材の内部に格子状に配置されている超音波探触子。
【請求項３】
背面負荷材の圧電体と反対面側に設けられ複数のシールド部と固定接続される背面グランド体を有する請求項２に記載の超音波探触子。
【請求項４】
背面負荷材の少なくとも側壁面は導電性を有する請求項１または２に記載の超音波探触子。
【請求項５】
１つの圧電体に対し２つ以上の信号線が接続された請求項１から３のいずれかに記載の超音波探触子。
【請求項６】
シ−ルド部は導電性を有する弾性体である請求項２記載の超音波探触子。
【請求項７】
複数のシールド部を取り付けた背面グランド体を背面負荷材作成治具に配置する工程と、前記シールド部内に信号線を挿入配置する工程と、前記背面負荷材作成治具内部にゴム系材料を注入硬化し前記シールド部を内部に包含する背面負荷材を作成する工程と、前記背面負荷材を前記背面負荷材作成治具から取り外す工程と、前記背面負荷材の背面グランド体と対向する端面を平滑化して、前記信号線の端面を露出させる工程と、前記背面負荷材の信号線端面が露出した面に圧電体を接着する工程と、前記圧電素子と前記背面負荷材の一部を前記信号線に基づく間隔で切断し複数の電気的に独立にする素子を製作する工程と、前記複数の圧電素子の背面負荷材と対向する面に一体の共通電極を接着する工程とを有することを特徴とする超音波探触子の製造方法。
【請求項８】
シールド部形成金型を背面負荷材作成治具に配置する工程と、前記シールド部形成金型によって複数の信号線を所望の間隔で配置する工程と、前記背面負荷材作成治具内部にエポキシ系樹脂材料を注入し熱硬化し前記信号線を内部に包含する背面負荷材を製作する工程と、前記シールド部形成金型を前記背面負荷材から取り外す工程と、前記シールド部形成金型の取り外された部分に導電性の弾性体を流し込んで前記複数の信号線の一つ一つをシールドする格子状のシールド部を形成する工程と、前記シールド部の露出面側に背面グランド体を接着する工程と、前記背面負荷材を前記背面負荷材作成治具から取り外す工程と、前記背面負荷材の背面グランド体と対向する端面を平滑化して、前記信号線の端面を露出させる工程と、前記背面負荷材の信号線端面が露出した面に圧電体を接着する工程と、前記圧電素子と前記背面負荷材の一部を前記信号線に基づく間隔で切断し複数の電気的に独立にする素子を製作する工程と、前記複数の圧電素子の背面負荷材と対向する面に一体の共通電極を接着する工程とを有することを特徴とする超音波探触子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、医療用の超音波診断装置、工業用の探傷装置、民生用の魚群探知器などの超音波計測装置に用いる超音波探触子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の超音波探触子は、特開平７−１３１８９５号に記載されたものが知られている。この超音波探触子の構造は図１５に示されているように、信号線２８は背面負荷材２７の内部を貫通し、溝３０で複数に分割された圧電体２６の背面の電極と導電性接着剤２９を介して電気的に接続され、圧電体２６の送受波面の電極は共通電極３１に接続されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の超音波探触子では信号線が背面負荷材の内部を通る構造としていたため、
（１）外部からのノイズを拾いやすい
（２）不要輻射を放射しやすい
（３）複数の圧電体を備える場合、信号線間でクロスト−クが発生しやすい等の課題を有していた。
【０００４】
本発明は上記課題を解決するもので、信号線の周囲にシ−ルド部を設けることにより、外部ノイズの影響や信号線からの信号漏れを低減することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する複数の圧電体と、前記複数の圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記複数の圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された複数の信号線と、前記複数の信号線の各々を電磁的にシールドする複数のシールド部と、前記背面負荷材の圧電体と反対面側に設けられ前記複数のシールド部と固定接続される背面グランド体とを有するものである。
【０００６】
上記発明によれば、信号線の周囲にシ−ルド部が有るため、信号線で外部ノイズを受信することが妨げられるため、受信信号のＳ／Ｎが向上できるうえ、信号線から漏れた電磁波が外部に放射されることも妨げるため、不要輻射やクロスト−クを低減することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施形態は、超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する複数の圧電体と、前記複数の圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記複数の圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された複数の信号線と、前記複数の信号線の各々を電磁的にシールドする複数のシールド部と、前記背面負荷材の圧電体と反対面側に設けられ前記複数のシールド部と固定接続される背面グランド体とを有する超音波探触子であり、外部ノイズの影響や不要輻射を低減することができるという作用を有する。
【０００８】
本発明の第２実施形態は、超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する複数の圧電体と、前記複数の圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記複数の圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された複数の信号線と、前記複数の信号線の各々を電磁的にシールドする複数のシールド部とを備え、前記シールド部は前記背面負荷材の内部に格子状に配置されている超音波探触子であり、外部ノイズの影響や不要輻射を低減することができるという作用を有する。
【０００９】
本発明の第３の実施形態は、好ましくは前記背面負荷材の少なくとも側壁面は導電性を有する超音波探触子であり、簡易な構成で外部ノイズの影響や不要輻射を低減することができるという作用を有する。
【００１０】
本発明の第４の実施形態は、好ましくは背面負荷材の少なくとも側壁面は導電性を有する超音波探触子であり、信号線に対して２重のシ−ルド効果により外部ノイズの影響や不要輻射をさらに低減することができるという作用を有する。
【００１１】
本発明の第５の実施形態は、好ましくは１つの圧電体に対し２つ以上の信号線が接続された超音波探触子であり、圧電体と信号線の接続の信頼性が向上できるという作用を有する。
【００１２】
本発明の第６の実施形態は、好ましくは複数の圧電体を備え、１つの圧電体に対し少なくとも１つの信号線が接続され、１つの圧電体に接続されたすべての信号線の周囲に１つのシ−ルド部を有する超音波探触子であり、信号線間のクロスト−クが低減できるという作用を有する。
【００１３】
本発明の第７の実施形態は、好ましくは信号線とシ−ルド部は一体化された同軸線である超音波探触子であり、背面負荷材、信号線、シ−ルド部の組み立てが容易となるという作用を有する。
【００１４】
本発明の第８の実施形態は、好ましくは背面負荷材内部で複数のシ−ルド部が電気的に接続された超音波探触子であり、外部ノイズの影響や不要輻射をさらに低減することができるという作用を有する。
【００１５】
本発明の第９の実施形態は、好ましくはシ−ルド部は導電性を有する弾性体である超音波探触子であり、シ−ルド部での超音波の反射が低減でき、受信信号のＳ／Ｎがさらに向上できるという作用を有する。
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお図面中で同一符号を付しているものは同一なものであり、詳細な説明は省略する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は本発明の一実施の形態の超音波探触子の一部を分解した斜視図である。図１において、１は超音波探触子、２は溝３で分割されたアレイ状に配列された圧電体、４は背面負荷材、５は背面負荷材４を貫通して配置された信号線、６は信号線５の周囲に配置された円筒シ−ルド体、７は円筒シ−ルド体６に接続された背面グランド体、８は圧電体２の送受波面電極２ａに接続する共通電極である。
【００１８】
まず、周波数が２．５ＭＨｚ、素子数が縦６４素子、横６４素子の２次元アレイプロ−ブを構成する超音波探触子１の組立方法について、図１から図５を用いて説明する。ただし説明に用いる図には、縦６４素子、横６４素子のうちの一部の構成のみを概略構成として示した。
【００１９】
図２に示すように、直径０．２ｍｍの穴が開けられた銅板製の背面グランド体７に対し銅製の円筒で作られた円筒シ−ルド体６を、隣接する円筒シ−ルド体６が互いに接触しないよう、かつほぼ垂直となるよう取り付けて作成する。
【００２０】
図３（ａ）に示すように、円筒シ−ルド体６を取り付けた背面グランド体７を円筒シ−ルド体６が下側となるよう背面負荷材作成治具１０に配置する。ここで用いる背面負荷材作成治具１０の深さは円筒シ−ルド体６の長さよりも若干程度長いものとする。
【００２１】
図３（ｂ）に示すように、樹脂基盤からなる信号線取付板９に設けた直径０．０５ｍｍの穴１１と円筒シ−ルド体６がほぼ同心円となるよう、信号線取付板９を背面グランド体７にエポキシ系接着剤で接着固定する。
【００２２】
図３（ｃ）に示すように、信号線５は穴１１から挿入し、その先端は背面負荷材作成治具１０まで到達させ、背面負荷材作成治具１０に対しほぼ垂直となるように配置する。
【００２３】
すべての穴１１に信号線５を配置した後、信号線５は信号線取付板９にエポキシ系接着剤で接着固定する。このとき信号線５は円筒シ−ルド体６、背面グランド体７に接触させない。図示していない背面負荷材注入口より、背面負荷材作成治具１０内部に、鉄粉など減衰媒体を含有させたゴム系材料１２を注入し、ゴム系材料１２を硬化させて背面負荷材４を作成する。
【００２４】
信号線取付板９から突き出した信号線５の長さを調整した後、背面負荷材作成治具１０から背面負荷材４を取り外す。背面負荷材４の上端面１３は必要に応じて切削、研磨加工等により整形する。このとき上端面１３に対し信号線５の端面１４がほぼ同一平面上に構成されるように、背面負荷材４を整形するほうが好ましい。
【００２５】
圧電体２をエポキシ系接着剤で背面負荷材４の上端面１３上に接着固定し、圧電体２の背面電極２ｂと信号線５の電気的接続も同時に行う。たとえばダイシングソーなどの素子分割装置で縦６４素子、横６４素子となるよう、圧電体２の上方から背面負荷材４の一部にまで到達する深さの溝３を格子状に設け圧電体２を分割する。
【００２６】
圧電体２の送受波面電極２ａに銅箔からなる共通電極８をエポキシ系接着剤を用いて接着し、分割された圧電体２のすべての送受波面電極２ａの電気的接続を行い、超音波探触子１を組み立てる。この組み立てた超音波探触子１に図示していない接続用コネクタや信号伝達用ケーブル等を接続し、超音波プローブを構成する。
【００２７】
次に超音波探触子１の動作、作用について説明する。信号線５を介して横方向、縦方向分割された圧電体２を駆動して超音波を送信し、被測定対象部からの反射信号を再び圧電体２で受信する。このときそれぞれの圧電体２を駆動するタイミングや同時に駆動する圧電体２の素子数を制御することにより、超音波ビームを制御する。
【００２８】
駆動信号は数十Ｖから百数十Ｖ程度と高い電圧のため、信号線５を伝播するときに電磁波が生じ隣接する信号線５で受信され、受信された電磁波から発生した漏れ信号と駆動信号の合成信号により隣接した圧電体２は駆動される可能性がある。
【００２９】
このように合成信号により圧電体２が駆動されてしまうと、所望の超音波ビーム制御が困難となる。これに対し超音波探触子１では信号線５の外側に円筒シールド体６が設けられているため、円筒シールド体６のシールド効果により電磁波が漏れにくい構成となっている。
【００３０】
このため駆動信号に対し隣接した信号線５からの電磁波の干渉を受けることが少なくなり、所望の超音波ビーム制御が可能となる。またすべての円筒シールド体６は背面グランド体７に接続されているため、すべての円筒シールド体６の接地を容易に行うことができる。
【００３１】
なお本実施の形態では、１本の円筒シールド体６に１本の信号線５を配置しているが、圧電体２との電気的接続の信頼性を向上するため図６に示すように１個の円筒シールド体に２本以上の信号線５を配置しても構わない。
【００３２】
また信号線５と同心円状に円筒シールド体６を配置する構成としたが、同軸ケーブルやセミリジットケーブルのように信号線５と円筒シールド体６が一体となったケーブルを用いても構わない。
【００３３】
（実施の形態２）
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図７は本実施の形態の超音波探触子の一部を分解した斜視図である。１は超音波探触子、２は溝３で分割されたアレイ状に配列された圧電体、４は背面負荷材、５は背面負荷材４を貫通して配置された信号線、７は背面グランド体、８は圧電体２の送受波面電極２ａに接続する共通電極で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成と異なるのは、信号線６の周囲に導電性を有する弾性体からなるシールド部１５を格子状に配置した点である。
【００３４】
実施の形態１と同様に、周波数が２．５ＭＨｚ、素子数が縦６４素子、横６４素子の２次元アレイプロ−ブを構成する超音波探触子１の組立方法について図７から図９を用いて説明する。ただし説明に用いる図には縦６４素子、横６４素子のうちの一部の構成のみを概略構成として示した。
【００３５】
図８に示すような直径０．２ｍｍ程度の穴１８を設けたシールド部形成金型１６を例えば真ちゅうブロックから切削加工にて作成する。
【００３６】
図９（ａ）に示すように、シールド部作成金型１６の溝形成部１９を下向きに背面負荷材作成治具１０に配置する。ここで用いる背面負荷材作成治具１０の深さは、溝形成部１９の高さよりも若干程度深いものとする。
【００３７】
図９（ｂ）に示すように、信号線５はシールド部形成金型１６の台座１７に設けた穴１８から挿入し、その先端は背面負荷材作成治具１０まで到達させ、背面負荷材作成治具１０に対しほぼ垂直となるように配置する。すべての穴１８に信号線５を配置した後、図示していない背面負荷材注入口より背面負荷材作成治具１０内部に、ガラス中空球体からなる減衰媒体を含有させたエポキシ系樹脂材料２０を注入し、エポキシ系樹脂材料２０を熱硬化する。
【００３８】
シールド部作成金型１６を取り外し、溝形成部１９により作られた空間に例えば導電性を有するシリコンゴムからなる弾性体２１を流し込んで、格子状のシールド部１５を形成する。
【００３９】
図９（ｃ）に示すように、背面グランド体７をシールド部１５と電気的接触が可能となるようエポキシ系接着剤で接着固定し、その上に信号線取付板９を背面グランド体７にエポキシ系接着剤で接着固定する。信号線取付板９の穴１１と信号線５はエポキシ系接着剤で固定する。このとき信号線５と背面グランド体７は接触させない。
【００４０】
信号線取付板９から突き出した信号線５の長さを調整した後、背面負荷材作成治具１０から背面負荷材４を取り外す。これ以降の超音波探触子の組立方法、動作・作用は実施の形態１と同様なので省略する。
【００４１】
シールド部１５を弾性体２１で形成したため、圧電体２から背面負荷材４に放射された超音波がシールド部１５で反射される量が低減できるので、超音波の送受信信号に対する後方反射の影響が低減できる。
【００４２】
なお本実施の形態では、信号線６の周囲に導電性を有するシールド部１５を格子状に配置する構成としたが、上記条件に限定されるわけでなく、図１０に示すようなアルミ薄板からなるハニカム構造体２２を背面グランド体７に接続する構成でも構わない。
【００４３】
またシールド部１５を形成するためにシールド部作成金型１６を用いた工法としたが、上記工法に限定されるわけでなく、ダイシングソーのような分割装置で溝を形成しシールド部１５を設けても構わない。
【００４４】
またシールド部１５を背面グランド体７に接続する構成としたが、背面グランド体７を用いない構成にしても構わない。
【００４５】
またシールド部作成金型１６の溝形成部１９はすべて接続された構成としたが、図１１に示すような溝形成部２３ａ、２３ｂを設けることにより２つの独立したシールド部を備えることが可能となり、Ｂモードとドップラモードの２つの異なる計測が同時に行えるようになる。
【００４６】
（実施の形態３）
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１２は本実施の形態の超音波探触子の一部を分解した斜視図である。１は超音波探触子、２は溝３で分割されたアレイ状に配列された圧電体、４は背面負荷材、５は背面負荷材４を貫通して配置された信号線、８は圧電体２の送受波面電極２ａに接続する共通電極、９は信号線取付板で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成と異なるのは、背面シールド体７と信号線６の周囲にシールド部を設けていない点である。
【００４７】
実施の形態１と同様に、周波数が２．５ＭＨｚ、素子数が縦６４素子、横６４素子の２次元アレイプロ−ブを構成する超音波探触子１の組立方法について図１２、図１３を用いて説明する。ただし説明に用いる図には縦６４素子、横６４素子のうちの一部の構成のみを概略構成として示した。図１３（ａ）に示すように信号線取付板９を背面負荷材作成治具１０に配置する。  図１３（ｂ）に示すように、信号線５は穴１１から挿入し、その先端は背面負荷材作成治具１０まで到達させ、背面負荷材作成治具１０に対しほぼ垂直となるように配置する。
【００４８】
すべての穴１１に信号線５を配置した後、信号線５は信号線取付板９にエポキシ系接着剤で接着固定する。図示していない背面負荷材注入口より背面負荷材作成治具１０内部に、鉄粉など電波吸収体を含有させた電波吸収材料２４を注入し、電波吸収材料２４を硬化させて背面負荷材４を作成する。これ以降の超音波探触子の組立方法、動作・作用は実施の形態１と同様なので省略する。
【００４９】
背面負荷材４は電波吸収材料２４で構成されたため、信号線５から放射される電磁波が隣接する信号線５で受信されたり、空中に浮遊する電磁波ノイズを信号線５で受信することが防止できるので、非常に簡単な構成でクロストークの低減やＳ／Ｎの向上を図ることができる。
【００５０】
（実施の形態４）
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１４は本実施の形態の超音波探触子の一部を分解した斜視図である。１は超音波探触子、２は溝３で分割されたアレイ状に配列された圧電体、４は背面負荷材、５は背面負荷材４を貫通して配置された信号線、６は信号線５の周囲に配置された円筒シ−ルド体、８は圧電体２の送受波面電極２ａに接続する共通電極で、以上は図１の構成と同様なものである。図１の構成と異なるのは、背面負荷材４の側壁面に導電性を有する側壁シールド体２５を設けた点である。
【００５１】
実施の形態１と同様に、周波数が２．５ＭＨｚ、素子数が縦６４素子、横６４素子の２次元アレイプロ−ブを構成する超音波探触子１の組立方法について図１４を用いて説明する。ただし説明に用いる図には縦６４素子、横６４素子のうちの一部の構成のみを概略構成として示した。
【００５２】
実施の形態１と同様に背面負荷材４を組み立てた後、背面負荷材４のすべての側壁面（４面）に例えば厚みが０．２ｍｍの銅箔からなる側壁シールド体２５を図１４のようにエポキシ系接着剤で接着固定する。このとき側壁シールド体２５は、圧電体２の背面電極２ｂと図示されていない背面シールド体７には接触しないように構成する。
【００５３】
このように側壁シールド体２５と背面シールド体７を設けることにより、背面負荷材４は導体でほぼ外周を覆われるため、信号線５からの不要輻射の低減や信号線５への空中を浮遊する電磁波ノイズの影響を低減可能となる。
【００５４】
なお本実施の形態では、背面負荷材４の側壁面に銅箔からなる側壁シールド体２５を設けるとしたが、上記条件に限定されるわけでなく、導電性のゴムを接着したり導電性を有する塗料を塗布しても構わない。
【００５５】
また信号線５の周囲に円筒シールド体６を設けるとしたが、背面負荷材４を電波吸収材料で作成するなら、円筒シールド体６を設ける必要はない。
【００５６】
なお本実施の形態１〜４では、周波数が２．５ＭＨｚ、素子数が縦６４素子、横６４素子の２次元アレイプロ−ブを構成する超音波探触子としたが、上記条件に限定されるわけでなく、周波数、縦・横の素子数を必要に応じて変更しても構わない。
【００５７】
また背面負荷材の作成工法、使用する材料、寸法を示したが、上記条件に限定されるわけでなく、同等の機能が得られるならばどのような工法、材料、寸法を選択しても構わない。
【００５８】
またダイシングソーを用いて圧電体の上方から背面負荷材の一部にまで到達する深さの溝を格子状に設け圧電体を分割するとしたが、圧電体と樹脂からなる複合圧電体を用いる場合は溝を格子状に設ける必要はなく、圧電体に適した工法を選択すればよい。
【００５９】
また２次元プローブを構成する超音波探触子としたが、信号線が背面負荷材を貫通して配置された超音波探触子であれば１．２５Ｄプローブ、１．５Ｄプローブなど様々なプローブや超音波センサに用いてよい。
【００６０】
また共通電極８の圧電体２と対向する面には何も接続していないが、必要に応じて１層以上の整合層や音響レンズを設けても構わない。
【００６１】
また圧電体２の送受波面電極２ａと共通電極８を接続するとしたが、第１整合層にグラファイト材料などの導電材料を用いるならば共通電極８を設ける必要はない。
【００６２】
また接着固定と電気的接続を同時に取るためエポキシ系接着剤を用いたが、上記条件に限定されるわけでなく、他の導電性材料を用いても構わない。
【００６３】
以上説明から明らかなように、本実施形態によれば、次の効果が得られる。
第１の超音波探触子は、超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する圧電体と、前記圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された信号線とを備え、前記信号線の周囲にシ−ルド部を有するため、外部ノイズの影響や不要輻射を低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００６４】
第２の超音波探触子は、超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する圧電体と、前記圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された信号線とを備え、前記背面負荷材が電波吸収材料からなるため、簡易な構成で外部ノイズの影響や不要輻射を低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００６５】
第３の超音波探触子は、超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する圧電体と、前記圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された信号線とを備え、前記背面負荷材の少なくとも側壁面は導電性を有するため、簡易な構成で外部ノイズの影響や不要輻射を低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００６６】
第４の超音波探触子は、第１、第２の超音波探触子において、背面負荷材の少なくとも側壁面は導電性を有するため、信号線に対して２重のシ−ルド効果により外部ノイズの影響や不要輻射をさらに低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００６７】
第５の超音波探触子は、第１から第３のいずれかの超音波探触子において、１つの圧電体に対し２つ以上の信号線が接続されているため、圧電体と信号線の接続の信頼性が向上した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００６８】
第６の超音波探触子は、第１の超音波探触子において、複数の圧電体を備え、１つの圧電体に対し少なくとも１つの信号線が接続され、１つの圧電体に接続されたすべての信号線の周囲に１つのシ−ルド部を有するため、信号線間のクロスト−クが低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００６９】
第７の超音波探触子は、第６の超音波探触子において、複数の圧電体を備え、信号線とシ−ルド部は一体化された同軸線であるため、背面負荷材、信号線、シ−ルド部の組み立てが容易な超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００７０】
第８の超音波探触子は、第６の超音波探触子において、背面負荷材内部で複数のシ−ルド部が電気的に接続されたため、外部ノイズの影響や不要輻射をさらに低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００７１】
第９の超音波探触子は、第１の超音波探触子において、シ−ルド部は導電性を有する弾性体であるため、シ−ルド部での超音波の反射が低減でき、受信信号のＳ／Ｎがさらに向上した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明から明らかなように、本発明によれば、次の効果が得られる。
超音波を送受信する前面側とその前面側に対向する背面側の２つの方向に電極を有する複数の圧電体と、前記複数の圧電体の背面側に設けられた背面負荷材と、前記複数の圧電体の背面側の電極と電気接続が可能で前記背面負荷材内部を貫通して配置された複数の信号線と、前記複数の信号線の各々を電磁的にシールドする複数のシールド部と、前記背面負荷材の圧電体と反対面側に設けられ前記複数のシールド部と固定接続される背面グランド体とを有することにより、外部ノイズの影響や不要輻射を低減した超音波探触子を得ることができるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における超音波探触子の一部を分解した斜視図
【図２】同超音波探触子のシールド部の斜視図
【図３】同超音波探触子の背面負荷材の組立手順を示す断面図
【図４】同超音波探触子の組立手順を示す断面図
【図５】同超音波探触子の組立手順を示す断面図
【図６】同超音波探触子の変形例の断面図
【図７】本発明の一実施の形態における超音波探触子の一部を分解した斜視図
【図８】同超音波探触子のシールド部作成金型の斜視図
【図９】同超音波探触子の背面負荷材の組立手順を示す断面図
【図１０】同超音波探触子の変形例の斜視図
【図１１】同超音波探触子のシールド部作成金型の変形例の斜視図
【図１２】本発明の一実施の形態における超音波探触子の一部を分解した斜視図
【図１３】同超音波探触子の組立手順を示す断面図
【図１４】本発明の一実施の形態における超音波探触子の一部を分解した斜視図
【図１５】従来の超音波探触子の断面図
【符号の説明】
１  超音波探触子
２  圧電体
２ａ  送受波面電極
２ｂ  背面電極
３  溝
４  背面負荷材
５  信号線
６  円筒シールド体
７  背面グランド体
８  共通電極
９  信号線取付板
１０  背面負荷材作成治具
１１  穴
１２  ゴム系材料
１３  上端面
１４  端面
１５  シールド部
１６  シールド部形成金型
１７  台座
１８  穴
１９  溝形成部
２０  エポキシ系樹脂材料
２１  弾性体
２２  ハニカム構造体
２３ａ、ｂ  溝形成部
２４  電波吸収材料
２５  側壁シールド体
２６  圧電体
２７  背面負荷材
２８  信号線
２９  導電性接着剤
３０  溝
３１  共通電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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