(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各５インチウェハ（１）を各溝（３）に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより５０枚の５インチウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、
隣接溝間の中心間距離（Ｔ）は２．４ｍｍであり、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点（Ｘ１）と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点（Ｘ２）との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜し、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液として純水を使用して水洗処理する上記処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されて０．００２１４であり、かつ、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とし、かつ、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしたことを特徴とする５インチウェハ搬送用キャリア。
【請求項２】
各６インチウェハ（１）を各溝（３）に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより５０枚の６インチウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、
隣接溝間の中心間距離（Ｔ）は２．４ｍｍであり、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点（Ｘ１）と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点（Ｘ２）との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜し、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液として純水を使用して水洗処理する上記処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されて０．００１３１であり、かつ、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とし、かつ、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしたことを特徴とする６インチウェハ搬送用キャリア。
【請求項３】
各８インチウェハ（１）を各溝（３）に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより５０枚の８インチウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、
隣接溝間の中心間距離（Ｔ）は３．１７５ｍｍであり、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点（Ｘ１）と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点（Ｘ２）との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜し、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液として純水を使用して水洗処理する上記処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されて０．０００８１であり、かつ、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とし、かつ、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしたことを特徴とする８インチウェハ搬送用キャリア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、５０枚のウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、各ウェハを各溝で支持して２５枚のウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアは種々の構造のものが知られている。
【０００３】
しかしながら、近年、更に生産性の効率を向上させるため、キャリア寸法全体としては２５枚のウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアと大略同一にして、当該キャリアに収納可能なウェハの枚数を増やして５０枚のウェハを収納させたいという希望がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構造のものでは、単に枚数を増やすべく溝の幅寸法を小さくするだけでは、溝に支持された隣接するウェハ同士が接触して損傷する可能性が有る。特に、ウェハをキャリアに収納したのち、当該キャリアをバッチ式処理槽内に横置きに配置して、処理槽内で所定の処理を行う場合、各隣接するウェハ同士において、ウェハの先端同士が接触して損傷する可能性が有る。従って、自ずから溝の幅寸法もウェハの厚みによって最低限の寸法が決められてしまうため、後は溝の内壁面の傾斜角度を調整することによって、ウェハの先端同士が接触して損傷することを防止することが望まれていた。
【０００５】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、たとえバッチ式処理槽内に横置きに配置して処理槽内で所定の処理を行っても、各隣接するウェハの先端同士が接触して損傷する可能性が無いウェハ搬送用キャリアを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【０００７】
本発明の第１態様によれば、各５インチウェハを各溝に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより５０枚の５インチウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、
隣接溝間の中心間距離（Ｔ）は２．４ｍｍであり、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点（Ｘ１）と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点（Ｘ２）との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜し、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液として純水を使用して水洗処理する上記処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されて０．００２１４であり、かつ、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とし、かつ、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしたことを特徴とする５インチウェハ搬送用キャリアを提供する。
【０００８】
本発明の第２態様によれば、各６インチウェハを各溝に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより５０枚の６インチウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、
隣接溝間の中心間距離（Ｔ）は２．４ｍｍであり、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点（Ｘ１）と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点（Ｘ２）との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜し、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液として純水を使用して水洗処理する上記処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されて０．００１３１であり、かつ、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とし、かつ、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしたことを特徴とする６インチウェハ搬送用キャリアを提供する。
【０００９】
本発明の第３態様によれば、各８インチウェハを各溝に部分的に挿入して当該ウェハを支持することにより５０枚の８インチウェハを収納可能なウェハ搬送用キャリアであって、
隣接溝間の中心間距離（Ｔ）は３．１７５ｍｍであり、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点（Ｘ１）と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点（Ｘ２）との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜し、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液として純水を使用して水洗処理する上記処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されて０．０００８１であり、かつ、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とし、かつ、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしたことを特徴とする８インチウェハ搬送用キャリアを提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
本発明の第１の実施形態にかかるウェハ搬送用キャリア２は、図１〜５に示すように、処理液で侵食されない例えばフッ素樹脂などから構成され、図３に示すように、５０枚のウェハ１を５０個の溝３で支持して等間隔に収納するようにしている。各溝３は、図１，３に示すように、キャリア２の内面の底部を除く両側にそれぞれ左右に分割して１つの溝を構成するように設けられている。なお、図１〜５は、一例として５インチウェハ用のキャリアを想定した実施形態を図示しており、図６の（Ａ）はウェハの配置状態を示す説明図であり，図６の（Ｂ）は上記実施形態とは異なる８インチウェハ用のキャリア用の実施形態のうちの図１に対応する図のみを図示している。この図６の実施形態と図１の実施形態と異なるのは、穴４の位置と脚部６の形状が異なる程度で大きな差異は無いため、図１〜５の実施形態と同一個所に付いては同一符号を付してその説明を省略する。
【００１４】
キャリア２は、その底部には、５０枚のウェハを収納保持可能にするため、２５枚用のキャリアよりも厚肉になった脚部６を図１，３の左右に突出して設けている。キャリア２の両側面のそれぞれには、図４に示すように、２個の長方形状の穴４を夫々有するとともに、底部には前後方向に延びる１つの大きな開口５を設けて、キャリア２を処理槽内に配置して処理液でウェハ１にエッチングや洗浄などの所定の処理を行うとき、キャリア２内の各溝３に支持された各ウェハ１に対して処理液が円滑に接触するとともに、キャリア２内のウェハ１間から速やかに排出できるようにしている。
【００１５】
上記キャリア２の各溝３を構成する内壁面は、図５に示すように、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面Ｙに対して傾斜角度θで傾斜するように構成して、上記ウェハ１のキャリア底部とは反対側の先端の最も不安定な部分で、各溝３に収納支持されたウェハ１同士が接触しないようにしている。
【００１６】
ここで、上記ウェハ１の直径をＤ１とし（図１参照）、図５に示すように上記溝３内に挿入支持された上記ウェハ１のキャリア底部（図５では下側）とは反対側の先端（図５では上側）での隙間寸法をＧとし（図５参照）、上記ウェハ１の表面粗度、上記ウェハ１の処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハ１の表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハ１の直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定される第２係数をＣとすると、上記傾斜角度θは、
θ＝Ｇ／（２×［Ｄ１×Ｃ］×α）により求められる。
【００１７】
上記ウェハ１の先端間での隙間寸法をＧは、ウェハ１の各種処理において隣接するウェハ１同士が接触しない範囲として、具体的には、０．５ｍｍ以上とするのが好ましい。
【００１８】
上記第１係数αは、上記したように、ウェハ１の表面粗度、処理液の粘性、これらに基づくウェハ１の表面での表面張力、ウェハ１自体の剛性などにより決定される係数であり、例えば、５インチウェハの場合には、α＝０．００２１４であり、６インチウェハの場合には、α＝０．００１３１であり、８インチウェハの場合には、α＝０．０００８１である。
【００１９】
また、第２係数Ｃは、上記ウェハ１の直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるが、一例として、５インチウェハの場合には０．６０、６インチウェハの場合には０．６０、８インチウェハの場合には０．６２とする。この第２係数Ｃは、ウェハ直径Ｄ１との積［Ｄ１×（０．５８〜０．６２）］により溝３の内壁面によるウェハ１の支持長さＨ１を表すものである（図１参照）。すなわち、図１に示すように、ウェハ１の外周縁が溝３の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点Ｘ１とウェハ１の外周縁が最も下の溝３の溝底面と交差する第２交点Ｘ２との間の距離Ｈ１を示すものであり、ウェハ１が溝３により安定に支持されるか否かを決定する重要な要素である。よって、上記例では、ウェハ支持長さＨ１は、５インチウェハの場合には、５インチ≒１２６ｍｍであるから、１２６ｍｍ×０．６０＝７５．６ｍｍ≒７６ｍｍ、６インチウェハの場合には、６インチ≒１５０ｍｍであるから、１５０ｍｍ×０．６０＝９０．０ｍｍ、８インチウェハの場合には、８インチ≒２００ｍｍであるから、２００ｍｍ×０．６２＝１２４．０ｍｍとなる。
【００２０】
このウェハ支持長さＨ１は、１枚のウェハ１において、その外周縁が溝３の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点Ｘ１すなわちウェハ１が溝３の内壁面により支持されうる位置であってキャリア底面（例えば脚部６の底面で形成される面）から見て最上の位置である第１交点Ｘ１と、ウェハ１の外周縁が最も下の溝３の溝底面と交差する第２交点Ｘ２すなわちウェハ１が溝３の内壁面により支持されうる位置であって上記キャリア底面から見て最下の位置である第２交点Ｘ２との間の距離であり、この範囲内でウェハ１が溝３の内壁面により有効に支持されている。よって、このウェハ支持長さＨ１が短すぎると、ウェハ１の支持が不安定なものとなり、隣接ウェハ同士が接触する原因にもなってしまうため、ウェハ１の直径に応じて最低限の長さを確保する必要がある。一方、ウェハ支持長さＨ１が長すぎると、処理液がキャリア内に残りやすくなり、排出効率が悪くなるため好ましくない。よって、５インチから８インチ程度までのウェハ１では、ウェハ支持長さＨ１が、上記ウェハ１の直径Ｄ１と（０．５８〜０．６２）との積により求められる長さとする必要がある。このウェハ支持長さＨ１が予め決定されると、対向する溝３の第１交点Ｘ１間の距離Ｗ２（図１参照）、キャリア底部開口５の幅Ｗ３（図１参照）、第１交点Ｘ１とウェハ１の最下点との距離Ｈ２（図１参照）、隣接溝３間の中心間距離Ｔ（図５参照）は、ほぼ決定される。これに対して、キャリア自体の外形的な大きさ、すなわち、キャリア幅Ｗ０（図１，２参照）、キャリア長さＤ０（図２参照）、キャリア高さＨ０（図１，３，４参照）、対向する溝３の底面間の距離Ｗ１（図１参照）はキャリアの直径との関係で従来と同様なものとしてほぼ決定される。
【００２１】
従って、上記ウェハ１の直径Ｄ１と上記第２係数Ｃをそれぞれ選択して、ウェハ支持長さＨ１を算出する一方、上記溝３内に挿入支持された上記ウェハ１のキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法Ｇを設定し、上記第１係数αを選択してそれらの値をθ＝Ｇ／（２×［Ｄ１×Ｃ］×α）＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）にそれぞれ代入すると、上記傾斜角度θが求められる。
【００２２】
キャリア底面に対して大略直交する溝基準面Ｙに対して、上記求められた傾斜角度θで、対向する内壁面では対称となるように、傾斜するように上記キャリア２の各溝３を形成する内壁面を構成すれば、上記ウェハ１のキャリア底部とは反対側の先端の最も不安定な部分でも、各溝３に収納支持されたウェハ１同士が接触しないようにすることができる。逆にいえば、この傾斜角度θよりも大きな傾斜角度とすれば、各溝３に収納支持されたウェハ１同士が接触する可能性があり、この傾斜角度θよりも小さな傾斜角度とすれば、溝内壁面とウェハ１の表面との隙間が小さすぎて、溝３内にウェハ１を入れにくくなるとともに、溝内壁面とウェハ１の表面との隙間内に入り込んだ処理液が出にくくなるといった不具合が生じる。
【００２３】
ここで、一例として、５インチのウェハ１用のキャリア２の溝３の内壁面の傾斜角度θを求める。キャリア幅Ｗ０は１５２ｍｍ、キャリア長さＤ０は１４４ｍｍ、キャリア高さＨ０は９５．２５ｍｍ、キャリア底部開口５の幅Ｗ３は７５ｍｍ、溝３のウェハ支持長さＨ１は上記したように７６ｍｍ、第１交点Ｘ１とウェハ１の最下点との距離Ｈ２とは間の距離Ｈ２は９０ｍｍ、対向する溝３の底面間の距離Ｗ１は１２８ｍｍ、対向する溝３の第１交点Ｘ１間の距離Ｗ２は１１４ｍｍ、隣接溝３間の中心間距離Ｔは２．４ｍｍ、第１係数αは０．００２１４とすると、隙間寸法Ｇは０．７ｍｍに設定すると、溝３の内壁面の傾斜角度θは、
θ＝Ｇ／（２×［Ｄ１×Ｃ］×α）＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）＝０．７／（２×７６×０．００２１４）＝２°１５″となる。よって、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面Ｙに対して溝３の内壁面の傾斜角度θを２°１５″にすれば、隙間寸法Ｇは０．７ｍｍとすることができて、たとえバッチ式処理槽内に横置きに配置して処理槽内で所定の処理を行っても、各隣接するウェハ同士の先端同士が接触して損傷する可能性が無い。
【００２４】
また、別の例として、６インチのウェハ１用のキャリア２の溝３の内壁面の傾斜角度θを求める。キャリア幅Ｗ０は１７８ｍｍ、キャリア長さＤ０は１４４ｍｍ、キャリア高さＨ０は１１５ｍｍ、キャリア底部開口５の幅Ｗ３は８９ｍｍ、溝３のウェハ支持長さＨ１は上記したように９０ｍｍ、第１交点Ｘ１とウェハ１の最下点との距離Ｈ２とは間の距離Ｈ２は１０５ｍｍ、対向する溝３の底面間の距離Ｗ１は１５３ｍｍ、対向する溝３の第１交点Ｘ１間の距離Ｗ２は１３７ｍｍ、隣接溝３間の中心間距離Ｔは２．４ｍｍ、第１係数αは０．００１３１とし、隙間寸法Ｇは０．５２ｍｍに設定すると、溝３の内壁面の傾斜角度θは、
θ＝Ｇ／（２×［Ｄ１×Ｃ］×α）＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）＝０．５２／（２×９０×０．００１３１）＝２°２１″となる。よって、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面Ｙに対して溝３の内壁面の傾斜角度θを２°２１″にすれば、隙間寸法Ｇは０．５２ｍｍとすることができて、たとえバッチ式処理槽内に横置きに配置して処理槽内で所定の処理を行っても、各隣接するウェハ同士の先端同士が接触して損傷する可能性が無い。
【００２５】
さらに、別の例として、８インチのウェハ１用のキャリア２の溝３の内壁面の傾斜角度θを求める。キャリア幅Ｗ０は２３３ｍｍ、キャリア長さＤ０は１９８ｍｍ、キャリア高さＨ０は１６０ｍｍ、キャリア底部開口５の幅Ｗ３は１０４ｍｍ、溝３のウェハ支持長さＨ１は１２５ｍｍ、第１交点Ｘ１とウェハ１の最下点との距離Ｈ２とは間の距離Ｈ２は１４０ｍｍ、対向する溝３の底面間の距離Ｗ１は２０３ｍｍ、対向する溝３の第１交点Ｘ１間の距離Ｗ２は１８３ｍｍ、隣接溝３間の中心間距離Ｔは３．１７５ｍｍ、第１係数αは、０．０００８１とし、隙間寸法Ｇは０．５ｍｍに設定すると、溝３の内壁面の傾斜角度θは、
θ＝Ｇ／（２×［Ｄ１×Ｃ］×α）＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）＝０．５／（２×１２５×０．０００８１）≒２°５０″となる。よって、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面Ｙに対して溝３の内壁面の傾斜角度θを２°５０″にすれば、隙間寸法Ｇは０．５ｍｍとすることができて、たとえバッチ式処理槽内に横置きに配置して処理槽内で所定の処理を行っても、各隣接するウェハ同士の先端同士が接触して損傷する可能性が無い。
【００２６】
上記実施形態によれば、上記溝内に挿入支持された上記ウェハ１のキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法Ｇを設定し、上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性と、上記ウェハ１が上記溝３の内壁面で支持される領域を考慮して、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面（Ｙ）に対して傾斜する角度θをθ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求め、この求められた傾斜角度θで傾斜するように上記溝３の内壁を形成するようにしている。従って、図１のような縦置き状態で処理液の槽内に配置して所定の処理を行っても、たとえバッチ式処理槽内に横置きに配置して処理槽内で所定の処理を行っても、上記式により求められた傾斜角度θで傾斜する溝３の内壁によりウェハ１が支持されているため、各隣接するウェハ１の先端同士が接触して損傷する可能性が無い。
【００２７】
【発明の効果】
本発明の上記第１態様によれば、上記溝内に挿入支持された上記ウェハのキャリア底部とは反対側の先端での隙間寸法をＧとし、少なくとも上記ウェハの表面での表面張力及び上記ウェハ自体の剛性により決定される第１係数をαとし、上記ウェハの外周縁が上記溝の溝底面からの最も上方の部分と交差する第１交点と上記ウェハの外周縁が最も下の上記溝の溝底面と交差する第２交点との間の距離をウェハ支持長さＨ１とすると、上記溝の内壁は、キャリア底面に対して大略直交する溝基準面に対して、θ＝Ｇ／（２×Ｈ１×α）により求められる傾斜角度θで傾斜するように構成している。従って、たとえバッチ式処理槽内に横置きに配置して処理槽内で所定の処理を行っても、上記傾斜角度θで傾斜する溝の内壁によりウェハが支持されているため、各隣接するウェハの先端同士が接触して損傷する可能性が無い。
【００２８】
本発明の上記第２態様によれば、上記第１態様において、上記第１係数αは、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性により決定されるように構成している。従って、上記ウェハの表面粗度、上記ウェハの処理液の粘性、これらに基づく上記ウェハの表面での表面張力、上記ウェハ自体の剛性を考慮して決定された上記傾斜角度θで傾斜する溝の内壁によりウェハが支持されているため、各隣接するウェハの先端同士が接触して損傷する可能性をより確実に無くすことができる。
【００２９】
また、本発明の第３態様によれば、第１又は２態様において、上記隙間寸法Ｇは０．５ｍｍ以上とすることにより決定された上記傾斜角度θで傾斜する溝の内壁によりウェハが支持されているため、各隣接するウェハの先端同士が接触して損傷する可能性をより確実に無くすことができる。
【００３０】
本発明の第４態様によれば、第１〜３のいずれかの態様において、上記ウェハ支持長さＨ１は、上記ウェハの直径Ｄ１と第２係数Ｃとの積により求められ、上記第２係数Ｃは上記ウェハの直径Ｄ１により０．５８〜０．６２の範囲内で決定されるようにしている。すなわち、上記ウェハ支持長さＨ１が（上記ウェハの直径Ｄ１×０．５８）の長さより短すぎると、ウェハの支持が不安定なものとなり、隣接ウェハ同士が接触する原因にもなってしまう。一方、ウェハ支持長さＨ１が（上記ウェハの直径Ｄ１×０．６２）の長さより長すぎると、処理液がキャリア内に残りやすくなり、排出効率が悪くなるため好ましくない。よって、５インチから８インチ程度までのウェハでは、ウェハ支持長さＨ１を（上記ウェハの直径Ｄ１×０．５８〜０．６２）の長さとして、上記不具合をなくしつつ、各隣接するウェハの先端同士が接触して損傷する可能性を確実に無くすことができる。
【００３１】
本発明の第５態様によれば、第１〜４のいずれかの態様において、処理液として純水を使用して水洗処理する場合には、５インチウェハの場合には、上記第１係数αは０．００２１４、６インチウェハの場合には、上記第１係数αは０．００１３１、８インチウェハの場合には、上記第１係数αは０．０００８１であるようにしている。従って、処理液及びウェハの大きさをも考慮して決定された上記傾斜角度θで傾斜する溝の内壁によりウェハが支持されているため、各隣接するウェハの先端同士が接触して損傷する可能性をより確実に無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるウェハ搬送用キャリアの正面図であって、左半分は断面正面図である。
【図２】上記キャリアの平面図である。
【図３】上記キャリアの裏面図である。
【図４】上記キャリアの側面図である。
【図５】上記キャリアの溝部分の拡大説明図である。
【図６】（Ａ）は上記実施形態にかけるウェハの配置状態を示す説明図であり，（Ｂ）は上記実施形態とは異なる本発明の他の実施形態にかかるウェハ搬送用キャリアの正面図であって、左半分は断面正面図である。
【符号の説明】
１…ウェハ、２…キャリア、３…溝、４…穴、５…開口、６…脚部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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