(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イソシアネートプレポリマーを含む第１成分に、樹脂バルーンと、微細気泡ポリウレタン発泡体中に５〜５０重量％になるように水酸基を有しないシリコン系ノニオン界面活性剤とを添加し、該第１成分を非反応性気体と攪拌して前記非反応性気体を微細気泡として分散させて気泡・樹脂バルーン分散液とし、前記気泡・樹脂バルーン分散液に分子量５００以下の鎖延長剤を混合して硬化させることを特徴とする微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法。
【請求項２】
前記樹脂バルーンの添加量は、第１成分と鎖延長剤の合計量に対して０．１〜１．０重量％である請求項１記載の微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の製造方法により得られる微細気泡ポリウレタン発泡体。
【請求項４】
請求項３記載の微細気泡ポリウレタン発泡体からなる研磨シート。
【請求項５】
シート表面に条溝が設けられている請求項４記載の研磨シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、均一な微細気泡を有するポリウレタン発泡体の製造方法に関する。本発明の微細気泡ポリウレタン発泡体は、樹脂、ガラスやレンズ、水晶、半導体等の製造用シリコン、電子基板、光学基板等を研磨するに好適な研磨材料として好適に使用可能である。また本発明は前述の製造方法により得られたポリウレタン発泡体を適宜裁断することにより得られる、研磨材料として好適な研磨シートにも関する。
【０００２】
【従来の技術】
ポリウレタン発泡体を製造する技術としては、フロンや塩化メチレン等の低沸点の有機溶剤を発泡体形成原料組成物に添加・分散し、重合熱による気化により重合体を発泡させる方法、発泡体形成原料組成物に水を添加・分散し、イソシアネート基と水の反応により発生する炭酸ガスにより重合体を発泡させる方法が周知である。これらの方法で得られる発泡体は、気泡の径（セル径）が平均値で１００μｍが下限であり、より微細で均一な気泡を有する発泡体を得ることが困難である。
【０００３】
微細な気泡を有するポリウレタン発泡体の製造方法としては、以下の方法が知られている。
（１）溶剤可溶性の微粒子をポリウレタン重合体に分散して所定形状に成形した後、成形品を微粒子は溶解するがポリウレタン重合体は溶解しない溶剤に浸漬して微粒子を溶解除去して多孔質ポリウレタン樹脂、即ち発泡体とする方法。
（２）微小中空発泡体をポリウレタン樹脂形成原料組成物に分散する方法。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記（１）の方法によれば、多量の溶剤を必要とし、また微粒子形成素材を含む溶剤を処理する必要があり、コスト的に高価である。しかも、得られた発泡体は連続気泡のみであり、剛性を求められる用途には使用できず、用途が制限される。また、溶出工程や溶剤を乾燥させる工程も必要であり、厚みの大きな成形品を作成するには長時間を要するという課題もある。
【０００５】
一方、（２）の技術によれば、微小中空発泡体の分散に際して空気を気泡として巻き込むために、直径が５００μｍ以上のエアボイドと称される微小中空発泡体の径よりも大きな径を有する空隙が発生する。半導体等の製造用シリコン、電子基板の製造に使用する研磨シートについては、形成される回路の高密度化に伴い、高精度の研磨が要求され、研磨精度の低下を招くエアボイドのない研磨シートが要求される。そのために微小中空発泡体を使用する場合には、エアボイド発生防止のために真空脱泡工程が欠かせず、また微小中空発泡体が高価であるために研磨シートに要求される発泡体とするためには多量の微小中空発泡体の使用が必要であり、材料コストが高く、しかも工程が複雑になって全体として製造コストの高いものとなってしまう。
【０００６】
本発明の目的は、水等の化学反応性発泡剤やフロン等の気化膨張性発泡剤、溶剤可溶性物質等を使用することなく均一な微細気泡を有し、エアボイドも少なく、かつ製造コストも低いポリウレタン発泡体の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ポリウレタンを製造する原料液であるイソシアネートプレポリマーを含む第１成分に界面活性剤及び樹脂バルーンを含ませ、これを非反応性気体の存在下に強く攪拌することによってこれらの液が微細な非反応性気体の気泡と樹脂バルーンを含む気泡・バルーン分散液となり、これに鎖延長剤を加えて混合し、重合反応を行わせるとエアボイドの少ない、特に研磨シートに好適な均一な微細気泡構造を有するポリウレタン発泡体が得られることを見いだし、本発明を完成した。
【０００８】
本願発明は、イソシアネートプレポリマーを含む第１成分に、樹脂バルーンと、微細気泡ポリウレタン発泡体中に５〜５０重量％になるように水酸基を有しないシリコン系ノニオン界面活性剤（以下単に「界面活性剤」とする場合がある）とを添加し、該第１成分を非反応性気体と攪拌して前記非反応性気体を微細気泡として分散させて気泡・樹脂バルーン分散液とし、前記気泡・樹脂バルーン分散液に分子量５００以下の鎖延長剤を混合して硬化させることを特徴とする微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法に関するものである。
【０００９】
樹脂バルーンの使用により、非反応性気体の分散により生じる微細気泡が安定化し、均一な発泡体が形成され、必要な可とう性を有しつつ発泡体シートの剛性が高くなるという研磨シートに特に好適な効果が得られる。また本発明の界面活性剤は、非反応性気体の分散により生じる気泡を微細化する作用を有する。さらに、界面活性剤は樹脂バルーンの凝集塊、いわゆるままこの発生を防止する作用も有する。即ち、これら樹脂バルーンと界面活性剤の併用により、研磨シートに特に好適に使用できるポリウレタン発泡体が得られる。
【００１０】
本発明の特徴は、周囲の樹脂原料液が発泡状態となるために比重が小さくなり、樹脂バルーンが浮き上がって不均一な発泡体になることが抑制される点にも有る。
【００１１】
ここに「非反応性気体」とは、イソシアネート基もしくは活性水素基と反応しない常温気体成分から構成されている気体をいう。ただし、空気のように少量の水分を含んでいてもよい。また、気体は積極的に液中に送り込んでもよく、また攪拌中に気体が自然に巻き込まれる状況のみであってもよい。また微細気泡とは、気泡の径が平均８０μｍ以下のものをいう。本発明の方法によれば平均１０μｍ程度のものまで製造可能である。気泡の径は、使用する界面活性剤の種類やその添加量、攪拌条件、使用する原料の粘度などの条件を適宜選択・調整することによって設定し、制御することが可能である。
【００１２】
また樹脂バルーンは、気泡径とほぼ同じ平均２０〜１００μｍ程度の粒子径を有するものを使用する。樹脂バルーンの使用量は、ポリウレタン樹脂全量に対して、０．１〜１．０重量％であることが好適である。０．１未満の場合には添加効果が得られず、１を超える場合には発泡体密度が低下して好ましくない。
【００１３】
得られる発泡体の密度は０．６〜０．９程度、発泡体の硬度（ＡＳＫＥＲ  Ｃ）は８５〜１００であることが好ましい。特に研磨用の発泡体は、硬度が９０〜９５であることが好ましい。
【００１４】
攪拌時間は、攪拌機の性能、ポリウレタン発泡体を形成する反応原液の粘度等により変動するが、少なくとも３０秒、安定した気泡・樹脂バルーン分散液を作成するにはより好ましくは１分程度であり、流動性が確保される限り攪拌可能である。この攪拌時間は、通常のポリウレタン発泡体を製造する攪拌時間より長く必要である。気泡の径は添加する界面活性剤、樹脂バルーンの種類、添加量、攪拌時間等の製造条件により調整可能である。
【００１５】
本発明において、イソシアネートプレポリマーを含む第１成分に、前記界面活性剤及び樹脂バルーンを添加することにより、物理的特性に優れ、微細で均一な気泡（セル）を有するポリウレタン発泡体が得られる。
【００１６】
イソシアネートプレポリマーの使用により、可とう性を有しつつ得られる発泡体の剛性が高く、しかも耐摩耗性が良好であり、研磨シートとして極めて好適な発泡体が得られる。
【００１７】
イソシアネートプレポリマーは、分子量が８００〜５０００程度のものが加工性、物理的特性等が優れており、好適である。
【００１８】
本発明において使用する前記界面活性剤は、水酸基を有しないシリコン系ノニオン界面活性剤であり、このような界面活性剤の使用により、ポリウレタンの物理特性が損なわれることなく、また気泡が微細で均一性なポリウレタン発泡体が安定して得られる。
【００１９】
前記界面活性剤は、合成される微細気泡ポリウレタン発泡体中に５〜５０重量％になるように添加する。５重量％未満では気泡の微細な発泡体が得られず、５０重量％を超えると微細気泡ポリウレタン発泡体の物理特性が低下する。
【００２０】
本発明は、上述の製造方法により得られたポリウレタン発泡体を使用した研磨シートに関するものでもあり、シート表面に研磨屑や研磨剤を被研磨物と研磨シートの接触面から外方へ逃がす作用を有する条溝が設けられていることを特徴とする。シートは、ポリウレタン発泡体を目的とするシートの厚みと同じキャビティーを備えた金型に反応成分を流し込んで製造してもよく、また厚いブロック状の発泡体を製造してこれを所定厚みに裁断して製造してもよい。
【００２１】
研磨シートは厚さが０．８ｍｍ〜２．０ｍｍであり、通常は１．２ｍｍ程度の厚さのシートが使用される。
【００２２】
条溝の形状は、特に限定されるものではないが、断面が矩形、三角形、Ｕ字型、半円状等が例示され、微粉末が通過する断面積を有したものでよい。条溝はシート面上に同心円状、格子状等にて配置される。条溝の深さはシートの厚み等にもよるが１〜２ｍｍ程度である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明においては、ポリウレタンの分野において公知のイソシアネートプレポリマーを限定なく使用することができる。イソシアネートプレポリマーを使用すると、得られる微細気泡ポリウレタン発泡体の物理的特性が優れたものとなる。
【００２４】
本発明において前記イソシアネートプレポリマーの原料として使用可能な有機ジイソシアネートとしては、具体的には下記の化合物が例示される。
【００２５】
芳香族ジイソシアネート化合物
・４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネート等
脂肪族ジイソシアネート化合物
・エチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）等の脂肪族ジイソシアネート類
・水素添加４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート（ＨＭＤＩ、商品名ハイレン−Ｗ、ヒュルス社製）、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート（ＣＨＤＩ）、イソフォロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、水素添加ｍ−キシリレンジイソシアネート（ＨＸＤＩ）、ノルボルナンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート類
・キシリレンジイソシアネートート（ＸＤＩ）、テトラメチルキシリレンジイソシアネート（ＴＭＸＤＩ）等
上記の化合物は単独使用してもよく、併用してもよい。
【００２６】
上記のジイソシアネート化合物のほかに、３官能以上の多官能ポリイソシアネート化合物も使用可能である。多官能性のイソシアネート化合物としては、デスモジュール−Ｎ（バイエル社）や商品名デュラネート（旭化成工業製）として一連のジイソシアネートアダクト体化合物が市販されている。これらの３官能以上のポリイソシアネート化合物は、単独で使用するとプレポリマー合成に際してゲル化しやすいために、ジイソシアネート化合物に添加して使用することが好ましい。
【００２７】
本発明において第１成分として使用するイソシアネートプレポリマーは、上記のイソシアネート化合物と後述するポリオール化合物との反応物であり、イソシアネート化合物のイソシアネート基（ＮＣＯ）とポリオール化合物の活性水素基（Ｈ* ）の当量比ＮＣＯ／Ｈ* が１．６〜２．６の範囲で加熱反応して製造されるＮＣＯ基末端のオリゴマーである。当量比ＮＣＯ／Ｈ* は１．８〜２．２の範囲であることが好ましい。市販品のイソシアネートプレポリマーの使用も好適である。
【００２８】
イソシアネートプレポリマーの合成に使用するポリオール化合物は、少なくとも２以上の活性水素原子を有する有機化合物である。
【００２９】
ポリオール化合物が有する活性水素基はイソシアネート基と反応する水素を含む官能基であり、水酸基、第１級もしくは第２級アミノ基、チオール基（ＳＨ）などが例示される。
【００３０】
ポリオール化合物は、末端基定量法による分子量が５００〜４０００程度のオリゴマーであり、具体的には下記のものが例示される。
【００３１】
１）ポリエーテルポリオール
ポリエーテルポリオールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン等の多価アルコールの１種又は２種以上にプロピレンオキサイドを付加して得られるポリオキシプロピレンポリオール類、エチレンオキサイドを付加して得られるポリオキシエチレンポリオール類、ブチレンオキサイド、スチレンオキサイド等を付加して得られるポリオール類、および、前記多価アルコールにテトラヒドロフランを開環重合により付加して得られるポリオキシテトラメチレンポリオール類が例示できる。上述の環状エーテルを２種以上使用した共重合体も使用可能である。
【００３２】
２）ポリエステルポリオール
ポリエステルポリオールとしては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ペンタンジオール、ヘキサンジオール、シクロヘキサンジメタノール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールあるいはその他の低分子量多価アルコールの１種又は２種以上とグルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、セバシン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、ダイマー酸、水添ダイマー酸あるいはその他の低分子ジカルボン酸やオリゴマー酸の１種又は２種以上との縮合重合体、プロピオラクトン、カプロラクトン、バレロラクトン等の環状エステル類の開環重合体等のポリオール類が例示できる。
【００３３】
３）アクリルポリオール
アクリル共重合体において、アクリル酸β−ヒドロキシエチル、アクリル酸β−ヒドロキシプロピル、アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、アクリル酸β−ヒドロキシブチル、アクリル酸４−ヒドロキシブチル、アクリル酸β−ヒドロキシペンチル等のアクリル酸のヒドロキシアルキルエステル又はメタクリル酸の同様なヒドロキシアルキルエステル、さらにグリセリン、トリメチロールプロパン等の多価アルコールのアクリル酸モノエステル又はこれらと同様なメタクリル酸モノエステル、Ｎ−メチロールアクリルアミド又はＮ−メチロールメタクリルアミド等の水酸基を有するモノエチレン性不飽和モノマーを共重合モノマー等の１分子中に２以上の水酸基を有するアクリルポリールが使用できる。
【００３４】
なお、アクリルポリオールとしては、テレケリックアクリルポリオールも使用可能である。かかるテレケリックアクリルポリオールは、アルコール化合物の存在下に、（メタ）アクリル酸エステルを含む不飽和単量体を有機スルホン酸化合物の存在下に、有機過酸化物含有開始剤により重合して得られる水酸基含有アクリル系重合体である。アルコール化合物としてはメタノール、エタノール等の脂肪族ないし脂環式アルコール類が好ましく、アルコール化合物として単官能のアルコールを使用すると得られる活性水素基含有アクリル系重合体は実質的に２官能となり、アルコール化合物としてジオールを使用すると活性水素基含有アクリル系重合体は実質的に４官能となる。
【００３５】
４）その他のポリオール
その他、フェノールレジンポリオール、エポキシポリオール、ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール、ポリエステル−ポリエーテルポリオール、アクリロニトリルやスチレン等の重合体をビニル付加ないし分散せしめたポリマーポリオール、ウレア分散ポリオール、カーボネートポリオール等が本発明のポリオールとして使用することが可能である。
【００３６】
また、上記に例示のポリオール化合物をｐ−アミノ安息香酸と縮合し、活性水素基を芳香族アミノ基としたポリオール化合物も使用可能である。
【００３７】
本発明に使用する鎖延長剤は、分子量が５００程度以下の化合物である。鎖延長剤としては、具体的にはエチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、トリメチロールプロパン等に代表される脂肪族系低分子グリコールやトリオール類、メチレンビス−ｏ−クロルアニリン（ＭＯＣＡ）、ジシクロヘキシルメタン−４，４’−ジアミン等の芳香族ジアミン類、１，４−ビスヒドロキシエトキシベンゼン（キュアミンＨ（イハラケミカル社製））、ｍ−キシリレンジオール（三菱ガス化学社製）等の芳香族系ジオール類等が挙げられる。
【００３８】
微細気泡を形成するために使用される非反応性気体としては、可燃性でないものが好ましく、具体的には窒素、酸素、炭酸ガス、ヘリウムやアルゴン等の希ガスやこれらの混合気体が例示され、乾燥して水分を除去した空気の使用がコスト的にも最も好ましい。
【００３９】
本発明において使用するシリコン系ノニオン界面活性剤としては、上述の第１成分を非反応性の気体の存在下に攪拌した場合に、微細な気泡を安定的に形成するものは限定なく使用可能である。
【００４０】
特に、前記イソシアネートプレポリマーとの相溶性が良い点でポリウレタンの技術分野において整泡剤として使用されている界面活性剤であって、上述のようにイソシアネート基と反応する水酸基等の活性水素基を有しないものが使用される。具体的には、シリコン整泡剤ＳＨ−１９０、ＳＨ−１９２（トーレダウコーニングシリコン（株）製）、Ｌ−５３４０（日本ユニカー（株））等が例示される。
【００４１】
本発明において、非反応性気体を微細気泡状にして第１成分に分散させる攪拌装置としては、公知の攪拌装置は特に限定なく使用可能であり、具体的には、ホモジナイザー、ホーバルトミキサー、ディゾルバー、２軸遊星型ミキサー（プラネタリーミキサー）等が例示される。ただし、攪拌により強い温度上昇を起こす攪拌装置は、混合分散液の温度が上昇するために好ましくない。攪拌装置の攪拌翼の形状も特に限定されないが、ホイッパー型の攪拌翼の使用が微細気泡が得られ、好ましい。
【００４２】
なお、本発明においては、気泡・樹脂バルーン分散液を作成する攪拌と、鎖延長剤を添加して混合する攪拌を行うが、後段の攪拌は、特に気泡を形成する攪拌でなくてもよく、大きな気泡を巻き込まない攪拌装置の使用が好ましい。このような攪拌装置としては、遊星型ミキサーが好適である。また、前段と後段の攪拌装置を同一の攪拌装置を使用しても支障はなく、必要に応じて攪拌翼の回転速度を調整する等の攪拌条件の調整を行って使用することも好適である。
【００４３】
気泡・樹脂バルーン分散液を製造する条件は、微細な気泡が形成され、所定形状の硬化物が得られる限り特に限定されるものではないが、温度は、第１成分、鎖延長剤の融点以上であり、イソシアネート基と活性水素基の硬化反応が急速に進行しない温度以下であることが必要である。好ましくは０℃〜１４０℃、より好ましくは、１０〜１２０℃である。なお、イソシアネート基と活性水素基の硬化反応は発熱反応であり、選択するイソシアネートプレポリマーと鎖延長剤の種類、組合せ等により発熱の程度は異なる。反応熱による系の温度上昇が大きいと、気泡・樹脂バルーン分散液中の気泡が膨張するため好ましくなく、反応熱の小さな反応系を採用するか、もしくは反応熱の大きな反応系を使用した場合は、十分な温度調節を行うことが好ましい。
【００４４】
本発明のポリウレタン発泡体の製造方法においては、気泡分散液を型に流し込んで流動しなくなるまで反応した発泡体を、加熱、ポストキュアーすることは、発泡体の物理的特性を向上する効果があり、極めて好適である。金型に気泡分散液を流し込んで直ちに加熱オーブン中に入れてポストキュアーを行う条件としてもよく、そのような条件下でも直ぐに反応成分に熱が伝達されないので、気泡径が大きくなることはない。硬化反応は、常圧で行うことが気泡形状が安定するために好ましい。
【００４５】
本発明においては、ポリウレタン反応を促進する触媒を使用してもかまわない。ただし、微細気泡形成に十分な攪拌時間と所定形状の型に流し込む流動時間を確保する必要があり、触媒の種類、添加量はこれらを考慮して選択する。
【００４６】
本発明の微細気泡ポリウレタン発泡体の製造は、容器に各成分を計量して投入し、攪拌するバッチ方式であっても、また攪拌装置に各成分と非反応性気体を連続して供給して攪拌し、気泡・樹脂バルーン分散液を送り出して成形品を製造する連続生産方式であってもよい。
【００４７】
本発明においては、ポリウレタン形成原料に加えて他の成分を添加してもよい。具体的には、樹脂微粉末や無機物質の微粉末等の充填材、硬化反応速度を調整するための触媒又は遅延剤、色素や顔料等の着色剤等が例示される。
【００４８】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。
（実施例１）
溶融して８０℃に温度調整したアジプレンＬ−３２５（イソシアネート末端プレポリマー、ＮＣＯ＝９．２５％  ユニロイヤル社製）１００ｇに界面活性剤としてシリコン整泡剤ＳＨ−１９２（トーレダウコーニングシリコン（株）製）２０ｇ、及び樹脂バルーンとしてエクスパンセル（ＥＸＰＡＮＣＥＬＬ）５５１ＤＥ（日本フィライト社製）０．３ｇを添加し（第１成分）、泡立てミキサー（攪拌翼回転数＝３５００ｒｐｍ）にて約５分間、クリーム状（メレンゲ状態）になるまで攪拌し、気泡・樹脂バルーン分散液１を得た。この気泡・樹脂バルーン分散液１に同じ泡立てミキサーを使用しつつ、１２０℃に溶融・保温したキュアミンＭＴ（メチレンビス−ｏ−クロルアニリン、イハラケミカル（株）製）（鎖延長剤）を２６．６ｇ投入し、約２分間混合した。混合液を流動性がある可使時間内にオープンモールドに注型して硬化させ、１１０℃±１０℃に温度調節したオーブン中で６時間ポストキュアーを行って微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第１成分と鎖延長剤の合計量に対して１３．６重量％、樹脂バルーンは０．２重量％であった。
【００４９】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が０．７５ｇ／ｃｍ３  、硬度（ＡＳＫＥＲ  Ｃ）が９４、平均セル径が５０μｍの均一な気泡を有するものであった。
【００５０】
（実施例２）
イソシアネート末端プレポリマーとして、アジプレンＬ−３１５（ＮＣＯ＝９．２５％  ユニロイヤル社製）を使用した他は実施例１と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第１成分と鎖延長剤の合計量に対して１３．６重量％、樹脂バルーンは０．２重量％であった。
【００５１】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が０．７５ｇ／ｃｍ３  、硬度（ＡＳＫＥＲ  Ｃ）が９５、平均セル径が４０μｍの均一な気泡を有するものであった。
【００５２】
（実施例３）
イソシアネート末端プレポリマーとして、アジプレンＬＦ−７５１Ｄ（ＮＣＯ＝９．２５％  ユニロイヤル社製）を使用した他は実施例１と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第１成分と鎖延長剤の合計量に対して１３．６重量％、樹脂バルーンは０．２重量％であった。
【００５３】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が０．７５ｇ／ｃｍ３  、硬度（ＡＳＫＥＲ  Ｃ）が９７、平均セル径が４０μｍの均一な気泡を有するものであった。
【００５４】
（実施例４）
エクスパンセル（ＥＸＰＡＮＣＥＬＬ）５５１ＤＥ（日本フィライト社製）の添加量を０．９ｇに変更した以外は実施例１と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第１成分と鎖延長剤の合計量に対して１３．６重量％、樹脂バルーンは０．６重量％であった。
【００５５】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が０．６０ｇ／ｃｍ３  、硬度（ＡＳＫＥＲ  Ｃ）が９４、平均セル径が５０μｍの均一な気泡を有するものであった。
【００５６】
（実施例５）
シリコン整泡剤ＳＨ−１９２の添加量を１５ｇに変更した以外は実施例１と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第１成分と鎖延長剤の合計量に対して１０．６重量％、樹脂バルーンは０．２重量％であった。
【００５７】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が０．７５ｇ／ｃｍ３  、硬度（ＡＳＫＥＲ  Ｃ）が９４、平均セル径が５０μｍの均一な気泡を有するものであった。