(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極層と、前記一対の電極層の間に介在され前記一対の電極層の各々を離間状態とするゴム弾性体からなる誘電体層と、を備えてなる感圧センサーであって、
前記誘電体層が１０℃ないし３０℃での１ないし３０Ｈｚにおけるｔａｎδが０．０３以下であると共に１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠したＡスケールでのゴム硬度が２０ないし８０度であることを特徴とする感圧センサー。
【請求項２】
１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠した測定方法での反発弾性が７５％以上である請求項１記載の感圧センサー。
【請求項３】
１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠した測定方法での圧縮永久歪みが３％以下である請求項１又は２記載の感圧センサー。
【請求項４】
前記誘電体層が、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、ポリウレタンゴム及びシリコーンゴムのいずれかによって形成されてなる請求項１ないし３のいずれか１項記載の感圧センサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力によってゴム弾性体からなる誘電体層が弾性変形され、静電容量が変化することを測定に利用した感圧センサーに関するものであって、より詳しくは、構造を複雑にすることなく、高精度に重量や圧力を測定可能な感圧センサーに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、圧力を検出するための感圧センサーとしては、ロードセルを使用したものが知られている。このロードセルを用いる方式としては、ひずみゲージを弾性体に張り付けて感圧センサーを構成し、弾性体に圧力が掛かる事によりひずみゲージの電気抵抗が変化することを利用する方式、あるいは、ひずみゲージに使用されているものと同様の細い金属線を弾性体に直接巻き付けて感圧センサーを構成し、弾性体に圧力がかかる事により金属線の電気抵抗が変化することを利用した、いわゆる、Ｕゲージと称する方式のどちらかが一般的である。
【０００３】
また、ゴム弾性体の誘電率を利用して複雑な構造を採用することにより、加圧減圧時に発生する、ゴム弾性体が本来有するヒステリシスを軽減させた静電容量式で、感圧センサーとしても使用可能なゴムマット方式のものも実用化されている（特公昭５０−１９０５７号公報参照）。
【０００４】
さらに、ゴム本来固有のヒステリシスを金属バネ等の完全弾性体で補い、誘電率の高いゴムを採用することにより感度を高めると共に同時に金属バネ等の完全弾性体の復元力を利用して再現性を良くした感圧装置も提案されている（実公平５−３５３０３号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、感圧センサーとして、ロードセルを使用する方法では、上記いずれの方式を用いても構造が複雑になり、使用される弾性体として、主にバネ鋼材を使用するために重く、厚く、価格も高く、落下などの衝撃で精度が狂いやすいという問題があった。
【０００６】
又、上記のゴムマット方式の場合は、ゴム弾性体の単純圧縮変形を利用する方式を採用しているためにゴム弾性体本来固有のヒステリシスが大きく、これを除去するための機構を設ける必要があり、構造が複雑となるという問題がある。したがって、製造ロット間における出力のばらつきが大きく、製品を１個ずつ検査し、１個ずつ出力を電気処理により調整・補正等の作業をする必要があり、作業が煩雑であった。
【０００７】
前記の誘電率の高いゴム弾性を用いた感圧装置の場合には、誘電率を高めるためには、非極性ゴムにチタン酸バリウムなどの誘電率の高い配合剤を大量に添加して（非極性ゴム１００重量部に対して３００ないし８００重量部）ゴム弾性体からなる誘電層として使用するので、誘電率は高くなるが、ゴム弾性体としてのヒステリシスが大きくなり、繰り返し使用しても復元性を確保し、精度を維持するためには金属ばね等の完全弾性体を併用してヒステリシスを軽減する必要があり、構造が複雑であるという問題がある。
【０００８】
【発明の目的】
そこで、本発明の目的は、構造を複雑にすることなく、圧力及び重量を高精度に測定のできる感圧センサーを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために提案されたものであり、下記の構成からなることを特徴とするものである。
すなわち、本発明によれば、一対の電極層と、前記一対の電極層の間に介在され前記一対の電極層の各々を離間状態とするゴム弾性体からなる誘電体層と、を備えてなる感圧センサーであって、前記誘電体層が１０℃ないし３０℃での１ないし３０Ｈｚにおけるｔａｎδが０．０３以下であると共に１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠したＡスケールでのゴム硬度が２０ないし８０度であることを特徴とする感圧センサーが提供される。
【００１０】
また、本発明によれば、請求項１記載の感圧センサーであって、１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠した測定方法での反発弾性が７５％以上である感圧センサーが提供される。
【００１１】
また、本発明によれば、請求項１又は２記載の感圧センサーであって、１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠した測定方法での圧縮永久歪みが３％以下である感圧センサーが提供される。
【００１２】
また、本発明によれば、請求項１ないし３のいずれか１項記載の感圧センサーであって、誘電体層が、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、ポリウレタンゴム及びシリコーンゴムのいずれかによって形成されてなる感圧センサーが提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
周知の事実のようにゴム弾性体は弾性挙動があると同時に粘性挙動をもっており、ゴムは、粘弾性体とも言われている。ゴム弾性体に外部より繰り返しの圧縮応力、引張り応力が加わると、応力と変位の間に時間差が生じ、いわゆる、粘弾性挙動を示し、ヒステリシス、クリープ等と言われている応力緩和が発生してしまう。しかしながら、ゴム弾性体に本来固有の粘性挙動を極力少なくする事ができれば、ゴム弾性体でも粘性挙動がほとんど皆無な金属スプリングと同様なバネとして使用する事が可能となる。
【００１４】
ゴム弾性体のヒステリシス、応力緩和は、粘弾性挙動を確認するための一つのの特性値であるｔａｎδがゼロに近い程少なくて良くなり、反対にｔａｎδが大きくなる程大きくなり、悪くなる傾向がある。又、圧縮永久歪みもゼロに近い程ヒステリシス、応力緩和は良くなり、大きくなる程悪くなる傾向にある。周知の如く、例えば、熱可塑性弾性ポリマーは、一般にｔａｎδが小さく、ゴム弾性も高く良好な弾性体であるが、圧縮永久歪みが大きくヒステリシス、応力緩和が悪い材料が多くあることが知られており、金属スプリングと同様なバネ挙動をするためには、ＪＩＳ  −Ｋ６３０１に準拠した測定方法での反発弾性が高く、且つ、ｔａｎδが小さいと同時に圧縮永久歪みが少ないことが最も重要である。
【００１５】
上記の観点に着目して本発明者らは、ゴム弾性体の分子構造を考慮したポリマーの選定、及びゴム配合の企画・設計により粘性挙動を極力少なくする研究を行い、上記の請求項１ないし３の物理特性を確保しうるゴム弾性体を創出し、その弾性体によれば、粘性挙動が極力少なくなり、感圧センサーとして充分使用できる事を確認した。
【００１６】
また、ゴム弾性体はさまざまな材料があるが、周知の分子構造から推定し、配合処方を変えて研究し、感圧センサーとしての機能を確認した結果、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ポリブタジエンゴム、ポリウレタンゴム、シリコーンゴムが適していることが判明し、配合処方等により請求項１ないし３の物理特性を確保し得る弾性体材料として請求項４のゴム材質を特定した。なかでもシリコーンゴムは低温領域から高温領域までのバネ定数の変化が少なく、経時でのバネ定数の変化も少なく、また、ゴム弾性も他の弾性体材料よりも高く、ｔａｎδが小さいと同時に圧縮永久歪みも少ないので、最適材料の１つである。ポリウレタンゴムは配合処方により、請求項１ないし３を満たす弾性体の創出が可能で、誘電率が他の弾性体材料より高いので、感圧センサーを製造した場合に、他の材料よりも高い感度が得られ、感圧センサーの有効な材料の一つである。
【００１７】
請求項１の発明において、ｔａｎδの値が０．０３よりも大きいと、感圧センサーのヒステリシスが大きくなる傾向にあり、ＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠したＡスケールでのゴム硬度が２０ないし８０度の範囲を外れると、ヒステリシスが大きくなる傾向にある。
また、請求項２の発明で、１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠した測定方法での反発弾性が７５％よりも小さいと、圧縮永久歪みが大きくなる傾向にある。
さらに、請求項３の発明で、１０℃ないし３０℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１に準拠した測定方法での圧縮永久歪みが３％よりも大きいと、感圧センサーのヒステリシスが大きくなる傾向にある。
【００１８】
【実施例】
以下に実施例によって本発明を説明する。
実施例１ないし３、比較例１及び２
ｔａｎδの大きさ及び圧縮永久歪みと、ヒステリシスとの関連を確認するために、ゴム原料としてポリブタジエンラバーを使用し、加硫後のゴム硬度がＪＩＳ−Ｋ−６３０１におけるＡスケールで４０度となるように各種配合剤を調整した生ゴムをゴム練り用ロールで混練し、準備した。それぞれの生ゴムを１６５℃×１５分、２００ｋｇ／ｃｍ２  の条件下で電熱プレス成型して厚さ１．５ｍｍ、幅１５０ｍｍ、長さ２００ｍｍの加硫ゴムシートを作成した。
実施例１ないし３、比較例１、２の生ゴムの配合は表１に示す通りである。
【００１９】
実施例１ないし３、比較例１、２のそれぞれの加硫ゴムシートの２５℃におけるＪＩＳ−Ｋ−６３０１でのＡスケールの実測ゴム硬度、及び２５℃におけるＯＲＩＥＮＴＥＣ社製の動的粘弾性自動測定機ＤＤＶ−２５ＦＰで測定した１０Ｈｚのｔａｎδ、及び２５℃におけるＪＩＳ  −Ｋ６３０１に準拠した圧縮永久歪みは表１の下段のようになった。
次にそれぞれの加硫ゴムシート１を図１（ａ）のように厚さ１．５ｍｍ、幅１．５ｍｍ、長さ２００ｍｍの短冊状に切断加工した。そして、この加工物を図１（Ｃ）に示す第１電極層２、第２電極層３、第３電極層４の間にウレタン系の２液性接着剤を介して、それぞれの加硫ゴムの短冊を上下各２０本づつ接着させて図１（ｂ）のような実施例１ないし３、比較例１及び２のそれぞれの試験品を製作した。各々の試験品は、図１（ｂ）に示す如く、上層の誘電体層１を構成する誘電体片１Ａと、下層の誘電体層を構成する誘電体片１Ｂとが、平行になるように配置されている。
なお、上記各々の電極層としては、幅２００ｍｍ、長さ２５０ｍｍ、厚さ５ｍｍのアルミニウム製の平板を使用した。
【００２０】
各々の試験品を、図２のように第１電極層２、第３電極層４を電線コード６、７で結線部８を介してヒューレットパッカード社製のＨＰ４２８４プレシジョンＬＣＲメーターの出力端子の片側９に接続し、残りの第２電極層３を電線コード１０で接続してＬＣＲメータのもう一方の出力端子１１に接続し、１ＭＨｚ・６Ｖの交流電圧を印加し、キャパシタンスの測定の準備を行った。
【００２１】
次にこの状態で順次、接続された各々の試験品に２０ｋｇの分銅１２を各加圧時の荷重がそれぞれ、２０ｋｇ、４０ｋｇ、６０ｋｇ、８０ｋｇ、１００ｋｇになるように、１個、２個、３個、４個、５個と順次重ねて乗せ、それぞれの試料の各荷重毎のキャパシタンスを７回測定した。それぞれの結果の最大値、最小値を算出し、グラフ上にプロットして図５ないし９のグラフを得た。図中のそれぞれの（ア）がキャパシタンスの最大値を、（イ）が最小値をプロットした線である。
なお、図５は実施例１の測定結果を示すグラフであり、図６は実施例２、図７は実施例３、図８は比較例１、図９は比較例２の測定結果を示すグラフである。
【００２２】
感圧センサーとして重要なことは周知の如く、再現性が良く、ばらつきが極めて小さいことである。図５ないし図９での１００ｋｇの荷重を掛けたときのそれぞれの最大値と最小値の差を比較すると、ｔａｎδが小さい試験品程、差が小さい傾向が明確であり、従って、ヒステリシスも小さい事が判明した。
すなわち、実施例１の試験品（ｔａｎδ＝０．０１）のヒステリシスの最大値と最小値の差は１ＰＦであるに対して比較例２の試験品（ｔａｎδ＝０．０４３）での最大値と最小値との差は８ＰＦとなった。
【００２３】
このため、これらのそれぞれの試験品を使用して印刷機の加圧ゴムロールの圧力を測定するための最大測定可能荷重が１００ｋｇまで測定できる圧力センサーを製作した場合を想定してみると、実施例１では、１００ｋｇまでのキャパシタンスの最大変化量が６８ＰＦなので１ｋｇの加圧当たり０．６８ＰＦの感圧センサーを製作できることになる。この感圧センサーにより１００ｋｇを計量した場合でも１００ｋｇの最大値と最小値の差が１ＰＦしかないために、ばらつきの幅が約１．５ｋｇしかないので、少なくとも２ｋｇ単位での加圧の変化を読み取れる。さらに、最大測定可能荷重１００ｋｇ、最小の読取り２ｋｇの誘電層ゴムと電極板だけの簡単で、軽量、低価格で破壊しにくい感圧センサーを製作することが可能になる。
【００２４】
一方、同様に比較例２の試験品で、最大測定荷重１００ｋｇまでの感圧センサーを製作した場合には、キャパシタンスの変化量が最大変化量が４８ＰＦなので、１ｋｇ加圧あたり、０．４８ＰＦの感圧センサーを製作できることになる。これによって、１００ｋｇを計量した場合には、１００ｋｇの最大値と最小値との差が８ＰＦあるので、約１６．６ｋｇばらつくことになり、最大荷重１００ｋｇ、最小の読み取り１５ｋｇないし２０ｋｇの精度の悪い圧力センサーしか製作できないことになる。このために、実際に感圧センサーとして、製品化する場合は、ばらつきの幅が小さいのは実施例１ないし３の試験品であり、この理由からｔａｎδが０．０３以下が適当と判断できる。
【００２５】
また、圧縮永久歪み特性は周知の如く、熱可塑性弾性体の場合は、ｔａｎδと圧縮永久歪み特性との間には、相関性はないが、架橋形態をとる加硫ゴム弾性体の場合は、圧縮永久歪み特性の間には、極めて密接な相関性があり、ｔａｎδが小さい程、圧縮永久歪みが小さくなり、圧縮永久歪み特性が良い傾向にある。
反発弾性については、熱可塑性弾性体、及び架橋形態をとる加硫ゴム弾性体の両者ともｔａｎδと密接な関係があり、すなわち、ｔａｎδが小さい程、反発弾性は大きくなり、良くなる傾向がある。しかしながら、架橋形態をとる加硫ゴム弾性体の場合には、周知の如く、反発弾性と圧縮永久歪みは密接な相関性があり、反発弾性の大きい材料程、圧縮永久歪みは小さく、良好である。
この事実を基にし、今回の結果より判断して、良好な感圧センサーを得るためのゴム弾性体の物理特性の一部として、圧縮永久歪みは３％以下が最適であり、反発弾性は１００％に近いほど良く７５％以上が最適である。
【００２６】
次いで、連続的に加圧−減圧する方式で、ｔａｎδ、圧縮永久歪みとヒステリシス関連の検証を行った。
この検証においては、前記の実施例１ないし３、比較例１及び２の試験品を再度使用し、前記と同様な試験方法で同一の試験装置を使用して、分銅なしの荷重０ｋｇを測定後、前記と同様の分銅を使用して２０ｋｇ、４０ｋｇ、６０ｋｇ、８０ｋｇ、１００ｋｇと連続的に加圧し、次に分銅を加圧する場合と同様に２０ｋｇ単位で除去しながら８０ｋｇ、６０ｋｇ、４０ｋｇ、２０ｋｇ、０ｋｇのキャパシタンスを測定して図１０ないし図１４を得た。なお、図１０は、実施例１の測定結果を示すものであり、図１１は実施例２、図１２は実施例３、図１３は比較例１、図１４は比較例２の測定結果を示すグラフである。また、図１０ないし図１１において、実線は加圧の場合のキャパシタンスの変化を示すグラフであり、点線は減圧した場合のキャパシタンスの変化を示すグラフである。
図１０ないし図１４から実施例１の試験品が最もヒステリシスが少なく、実施例２はヒステリシスが最も大きく、ｔａｎδが大きくなる程ヒステリシスが大きくなる傾向があることが明らかとなった。
【００２７】
なお、実施例１ないし３の試験品は、種々の加圧方法で試験した結果でも同様な傾向があることがわかり、感圧センサーのｔａｎδの範囲は０．０２以下で且つ圧縮永久歪みは３％以下であり、又、反発弾性は７５％以上であることが最良であることが明らかとなった。
【００２８】
【表１】
0003593184.tif 000002
【００２９】
実施例４、比較例３ないし５
次に、ゴム硬度５０度の物理特性の異なる既存グレードのシリコーンゴムを使用して、ｔａｎδ、反発弾性、永久歪みとヒステリシス関連の検証を行った。表２に示す如く、メーカー指定の配合処方を行いロールで混練し、１７０℃で１０分、２００ｋｇ／ｃｍ２  で電熱プレス成型し、厚さ１．５ｍｍ、幅１００ｍｍ、長さ２００ｍｍの加硫ゴムシートを作成し、２００℃で４時間、電気炉で追加硫して、それぞれのｔａｎδを測定した。
【００３０】
反発弾性、圧縮永久歪み、はそれぞれ専用の型で上記と同一条件で成型して測定した。その結果は表２のようになった。次に実施例４、比較例３ないし５に係る加硫ゴムシートを図３（ａ）の符号１２（第１誘電体層）、１３（第２誘電体層）で示すように厚さ１．５ｍｍ、幅３ｍｍ、長さ５０ｍｍの寸法で断面が長方形で短冊状に切断加工し、それぞれを上下１０本づつ、上下層の各々が９０の角度をなすように第１電極層１４、第２電極層１５、第３電極層１６の各々に接着剤によって接着し、実施例４、比較例３ないし５の試験品の各々を製作した〔図３（ｂ）〕。なお、上記各々の電極層としては、５０ｍｍ角、厚さ１．０ｍｍのアルミニウム板を使用し、接着剤としては硬度３０度ＲＴＶ系のシリコーンゴムを使用した。
【００３１】
次に、これらの試験品の第１電極層１４及び第２電極層１６の各々に均一に加圧できるようにすること、及び電気的絶縁性を考慮してゴム板１９、２０を両面テープで第１電極層１４及び第２電極層１６に張りつけた。ゴム板１９、２０としては、５０ｍｍ角、厚さ５．０ｍｍで硬度６０度のＥＰＴゴムを使用した。
それぞれの試験品は、前記と同様にＬＣＲメータに接続し、新興通信工業（株）製・万能引張り圧縮試験機；ＴＣＭ−１０００の引張り圧縮測定部分１７、１８に取付け、フルスケール５００ｋｇのロードセルを使用して、毎分１ｍｍの速度で２４０ｋｇまでのサイクルモードで圧縮・減圧させて図１５なしい図１８のグラフを得た。
なお、図１５が実施例４の測定結果を示すグラフであり、図１６、図１７、図１８の各々は、比較例３、比較例４、比較例５の各々を示すものである。また図１５ないし図１８において、実線は加圧の場合のキャパシタンスの変化を示すグラフであり、点線は減圧した場合のキャパシタンスの変化を示すグラフである。
【００３２】
図１５ないし図１８より、実施例４の試験品が最もヒステリシスが少なく、比較例５の試験品が最もヒステリシスが大きく、表２の下段の加硫成型品の物理特性と密接な関係があることが判明した。この試験結果よりヒステリシスが１ＰＦの材料は、実施例４の試験品のみであることが明らかとなった。
【００３３】
【表２】
0003593184.tif 000003
【００３４】
実施例５、比較例６及び７
表３記載のカプロラクトン系の５０度ポリウレタンゴム材質を使用して同様に確認試験を行った。ポリオールは、カプロラクトンポリエステルからなる２官能の両方末端水酸基、分子量２０００の商品名ＰＣＬ２２０Ｎ（ダイセル社製）を使用し、これを１２０℃で脱水後、商品名ミリオネートＭＴ（日本ポリウレタン社製）のＭＤＩ・イソシアナートと架橋剤・ＴＭＰを混合してパイプ状製品を製作する型に注入し、電気炉で１００℃、１２時間加熱し硬化させて素材を製作した。
【００３５】
この素材をゴム用研磨機で厚さ１．５ｍｍに仕上げ研磨成し、シート状に切断加工して実施例３と同一寸法の短冊を製作し、前記と同様の短冊を等間隔で使用し、図３（ｂ）に示す実施例５、比較例６及び７の試験品を製作した。この試験品を実施例１と同一の方法及び条件で試験を行い、図１９ないし２１を得た。
なお、図１９は実施例５の測定結果を示すグラフであり、図２０、２１はそれぞれ、比較例６、７の測定結果を示すグラフである。図１９ないし図２１において、実線は加圧の場合のキャパシタンスの変化を示すグラフであり、点線は減圧した場合のキャパシタンスの変化を示すグラフである。
その結果を表３の物理特性において比較すると実施例１ないし３と同様にｔａｎδ、反発弾性、圧縮永久歪みが共に良好な実施例５が感圧センサーとして使用できることが判明し、ポリウレタンゴムを使用しても本発明の物理特性を持つ材質が得られることが確認された。
なお、上記各実施例では、電極層が３層設けられている場合について説明しているが、電極層を５層以上の奇数個平行配置し、各々の電極層の間に、誘電体層を介在させてもよく、電極層を２枚平行配置し、これらの電極層の間に誘電体層を介在させる構造にしてもよい。
【００３６】
【表３】
0003593184.tif 000004
【００３７】
【発明の効果】
以上の如く構成したので、本発明によれば、構造を複雑にすることなく、高精度に重量や圧力を測定可能な感圧センサーを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は誘電体層の斜視図、（ｂ）は上下に配置される誘電体層が平行とされた感圧センサーの断面図、（ｃ）は電極層の斜視図である。
【図２】感圧センサーのキャパシタンスを測定する状態を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は感圧センサーの分解斜視図、（ｂ）は感圧センサーの斜視図である。
【図４】感圧センサーのキャパシタンスを測定する状態を示す斜視図である。
【図５】実施例１の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図６】実施例２の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図７】実施例３の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図８】比較例１の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図９】比較例２の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１０】実施例１の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１１】実施例２の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１２】実施例３の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１３】比較例１の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１４】比較例２感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１５】実施例４の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１６】比較例３の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１７】比較例４の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１８】比較例５の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図１９】実施例５の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図２０】比較例６の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【図２１】比較例７の感圧センサーに付与される荷重とキャパシタンスの変化量との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  誘電体層
２  第１電極層
３  第２電極層
４  第３電極層
【図１】
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【図２】
0003593184.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0003593184.tif 000014
【図１１】
0003593184.tif 000015
【図１２】
0003593184.tif 000016
【図１３】
0003593184.tif 000017
【図１４】
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【図１５】
0003593184.tif 000019
【図１６】
0003593184.tif 000020
【図１７】
0003593184.tif 000021
【図１８】
0003593184.tif 000022
【図１９】
0003593184.tif 000023
【図２０】
0003593184.tif 000024
【図２１】
0003593184.tif 000025