(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移送流体の吸入口および吐出口と前記吸入口から吐出口に前記移送流体を導くバルブユニットとを備えたポンプヘッド；
このポンプヘッドを往復動自在に貫通するシャフト；
このシャフトの両端に連結されて前記ポンプシャフトの両側に前記バルブユニットを介して前記移送流体を導入する第１および第２のポンプ室をそれぞれ形成する第１および第２の可撓性部材；
前記第１および第２の可撓性部材をそれぞれ内部に収容して前記第１および第２の可撓性部材のそれぞれ外側に作動流体を導入する第１および第２の作動流体室を形成するケース；
並びに、前記ケースに外部から着脱可能に装着されて前記シャフトの軸方向の両側に配置され内部に前記作動流体の一部を分流させる分流路がそれぞれ形成されると共に前記シャフトと非固定状態で連動して往復動する可動部材をそれぞれ有し前記シャフトが往復動の一方の限界位置近傍に達したときに前記可動部材が前記流路を開いて前記作動流体の一部を前記制御流体として分流する一対の切換機構；
を備えたポンプ本体と、
作動流体源から供給される作動流体を前記切換機構により分流された制御流体によって前記一対の作動流体室に交互に分配する切換弁機構とを備え、
前記一対の作動流体室に作動流体を交互に導入して前記シャフトを互いに逆相で往復駆動することにより前記移送流体を吸入および吐出することを特徴とするポンプシステム。
【請求項２】
前記切換弁機構は、
内部に前記作動流体の分配室が形成された切換弁機構本体と、
この切換機構本体の分配室に往復動自在に配置された切換弁とを備え、
前記切換弁機構本体には、前記作動流体源から前記作動流体を前記分配室に導入する導入口と、前記分配室に導入された作動流体を前記ポンプ本体に排出すると共に前記ポンプ本体から排出された作動流体を前記分配室に導入する第１および第２の作動流体入出口と、前記ポンプ本体から排出された作動流体を排出する第１および第２の排出口と、前記作動流体から分流した制御流体を導入および排出するための第１および第２の制御流体入出口とが形成され、
前記切換弁は、前記制御流体により往復駆動されて、前記導入口と前記第１の作動流体入出口とを連通させると共に前記第２の作動流体入出口と前記第２の排出口とを連通させる第１の状態と、前記導入口と前記第２の作動流体入出口とを連通させると共に前記第１の作動流体入出口と前記第１の排出口とを連通させる第２の状態とを切換えるものである
ことを特徴とする請求項１記載のポンプシステム。
【請求項３】
前記切換弁機構の第１の作動流体入出口と前記第１の作動流体室とを接続する第１のメイン配管と、
前記切換弁機構の第２の作動流体入出口と前記第２の作動流体室とを接続する第２のメイン配管と、
前記作動流体の一部を制御流体として前記第１の切換機構の流路に導く第１の制御流体導入路と、
前記作動流体の一部を制御流体として前記第２の切換機構の流路に導く第２の制御流体導入路と、
前記第１の切換機構の流路から排出される制御流体を前記切換弁機構の第１の制御流体入出口に導く第１の制御流体配管と、
前記第２の切換機構の流路から排出される制御流体を前記切換弁機構の第２の制御流体入出口に導く第２の制御流体配管と
を更に備えてなることを特徴とする請求項２記載のポンプシステム。
【請求項４】
前記切換機構は、
前記ケースに外部から着脱可能に固定されて側面に前記制御流体の排出口を形成してなるシリンダと、
このシリンダ内を前記シャフトに連動して往復動し、一端に前記作動流体または制御流体の導入口が形成され、側面に前記導入口と連通する前記制御流体の排出口が形成された前記可動部材としてのロッドとを備え、
前記ロッドがその往復動の一方の限界位置近傍に達したときに、前記ロッドの排出口と前記シリンダの排出口とが連通するものである
ことを特徴とする請求項１記載のポンプシステム。
【請求項５】
前記切換機構は、
前記ケースに外部から着脱可能に固定されて側面に前記制御流体の排出口を形成してなる可動部材ケースと、
この可動部材ケース内を往復動し、先端が前記可動部材ケースから突出して前記可撓性部材に当接し、前記可撓性部材への当接端に前記制御流体の導入口が形成され、所定位置に前記導入口と連通する前記制御流体の排出口が形成された前記可動部材としてのロッドと、
このロッドを前記可撓性部材の方へ付勢する弾性部材とを備え、
前記シャフトがその往復動の一方の限界位置近傍に達したときに、前記ロッドの先端が前記可撓性部材と離間すると共に前記ロッドの排出口と前記シリンダの排出口とが連通するものである
ことを特徴とする請求項１記載のポンプシステム。
【請求項６】
前記切換機構は、
前記ケースに外部から着脱可能に固定されて一端に前記制御流体の導入口を形成すると共に側面に前記制御流体の排出口を形成してなるボールバルブケースと、
このボールバルブケース内を往復動し、先端が前記ボールバルブケースから突出して前記可撓性部材が往復動の限界位置近傍に達したときに前記可撓性部材と当接して後退する前記可動部材としてのロッドと、
前記ボールバルブケースの内部に収容されて前記ロッドが後退したときに前記ロッドの後端で押されて開状態となって前記制御流体の導入口と排出口とを連通させるボールバルブと
を備えてなることを特徴とする請求項１記載のポンプシステム。
【請求項７】
前記可撓性部材は、ベローズまたはダイアフラムであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載のポンプシステム。
【請求項８】
前記切換機構は、セラミックまたは樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載のポンプシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベローズ、ダイアフラム等の可撓性部材の往復動によりポンプ室を介して流体を移送するポンプシステムに関し、作動流体の切換弁機構を制御流体により切換駆動するポンプシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体ウェハの製造工程等に使用される液体噴射用ポンプとして、フッ素樹脂で作られたベローズを用いて液体の吸入と吐出を行うベローズポンプが知られている。ベローズポンプは、バルブユニットを内蔵したポンプヘッドの両側に一対のベローズを配置してこれらベローズの内部にそれぞれポンプ室を形成すると共に、ベローズの外側をケースで覆って一対のエアー室を形成し、これらエアー室に交互にエアーを供給してベローズを伸縮動作させることにより、液体などの移送流体を、ポンプ室に吸入し、ポンプ室から排出することで移送するようにしたものである。
【０００３】
エアー室に供給される作動流体としてのエアーは、エアー源から供給され、電磁バルブなどの切換弁機構により切換えられて一対のエアー室に交互に供給される。切換弁機構の切換え制御は、ケースの両端に配置した近接スイッチ等で各ベローズの移動端を検出することにより行っている。しかし、近接スイッチを用いた場合、センサ部に金属や電線等を配置する必要がある。通常、ポンプ室内部は第一接液部、エアー室は非接液部である第二接液部であり、近接スイッチは第二接液部に配置されることが多いが、金属腐食性の移送流体を移送するポンプなどでは、第二接液部での金属や金属配線の使用は極力回避した方が望ましい。
【０００４】
そこで、作動流体を分流させて、この分流させた流体（制御流体）の圧力によって切換弁機構の切換えを行うようにした、オールエアータイプのベローズポンプも知られている（米国特許第５，８９３，７０７号、米国特許第５，５５８，５０６号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来のオールエアータイプのベローズポンプのうち、米国特許第５，８９３，７０７号に開示されたものは、切換弁機構を切換える切換機構がポンプ本体のケースの内部に収容されているため、切換機構のメンテナンス性が悪く、近接スイッチを切換機構として使用する場合との互換性がないという問題がある。また、米国特許第５，５５８，５０６号に開示されたものも、切換弁機構を切換える切換機構の一部を構成するピストン部が、往復動するシャフトに固定されているので、切換機構をそれ単独で取り外したり装着することができない。従って、この場合も切換機構のメンテナンス性が悪く、近接スイッチを切換機構として使用する場合との互換性がないという問題がある。
近接スイッチを使用することで、▲１▼ポンプの往復運動のストローク数から吐出流量を換算することができる、▲２▼ポンプが何らかのトラブルで停止した場合、電気信号によりこれを検知することができる−といったメリットがあり、オールエアータイプの切換機構を近接スイッチに置き換える意味は大きい。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたもので、メンテナンス性及び互換性に優れたポンプシステムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るポンプシステムは、移送流体の吸入口および吐出口と前記吸入口から吐出口に前記移送流体を導くバルブユニットとを備えたポンプヘッド；このポンプヘッドを往復動自在に貫通するシャフト；このシャフトの両端に連結されて前記ポンプシャフトの両側に前記バルブユニットを介して前記移送流体を導入する第１および第２のポンプ室をそれぞれ形成する第１および第２の可撓性部材；前記第１および第２の可撓性部材をそれぞれ内部に収容して前記第１および第２の可撓性部材のそれぞれ外側に作動流体を導入する第１および第２の作動流体室を形成するケース；並びに、前記ケースに外部から着脱可能に装着されて前記シャフトの軸方向の両側に配置され内部に前記作動流体の一部を分流させる分流路がそれぞれ形成されると共に前記シャフトと非固定状態で連動して往復動する可動部材をそれぞれ有し前記シャフトが往復動の一方の限界位置近傍に達したときに前記可動部材が前記流路を開いて前記作動流体の一部を前記制御流体として分流する一対の切換機構；を備えたポンプ本体と、作動流体源から供給される作動流体を前記切換機構により分流された制御流体によって前記一対の作動流体室に交互に分配する切換弁機構とを備え、前記一対の作動流体室に作動流体を交互に導入して前記シャフトを互いに逆相で往復駆動することにより前記移送流体を吸入および吐出することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、作動流体を分流させた制御流体で切換弁機構を切換える方式のポンプシステムにおいて、作動流体を分流させる切換機構がケース外部から着脱可能に装着され、シャフトと連動して往復動する可動部材がシャフトと非固定状態となっているので、切換機構をそっくりそのままケースから容易に取り外すことができ、メンテナンス性が向上する。また、切換機構をそのまま取り外して近接スイッチ型の切換機構を代わりに取り付けることもできるので、互換性も向上する。
【０００９】
なお、本発明の一つの実施形態において、切換弁機構は、内部に前記作動流体の分配室が形成された切換弁機構本体と、この切換機構本体の分配室に往復動自在に配置された切換弁とを備え、前記切換弁機構本体には、前記作動流体源から前記作動流体を前記分配室に導入する導入口と、前記分配室に導入された作動流体を前記ポンプ本体に排出すると共に前記ポンプ本体から排出された作動流体を前記分配室に導入する第１および第２の作動流体入出口と、前記ポンプ本体から排出された作動流体を排出する第１および第２の排出口と、前記作動流体から分流した制御流体を導入および排出するための第１および第２の制御流体入出口とが形成され、前記切換弁は、前記制御流体により往復駆動されて、前記導入口と前記第１の作動流体入出口とを連通させると共に前記第２の作動流体入出口と前記第２の排出口とを連通させる第１の状態と、前記導入口と前記第２の作動流体入出口とを連通させると共に前記第１の作動流体入出口と前記第１の排出口とを連通させる第２の状態とを切換えるものである。
【００１０】
この場合、本発明の一つの実施形態においては、前記切換弁機構の第１の作動流体入出口と前記第１の作動流体室とを接続する第１のメイン配管と、前記切換弁機構の第２の作動流体入出口と前記第２の作動流体室とを接続する第２のメイン配管と、前記作動流体の一部を制御流体として前記第１の切換機構の流路に導く第１の制御流体導入路と、前記作動流体の一部を制御流体として前記第２の切換機構の流路に導く第２の制御流体導入路と、前記第１の切換機構の流路から排出される制御流体を前記切換弁機構の第１の制御流体入出口に導く第１の制御流体配管と、前記第２の切換機構の流路から排出される制御流体を前記切換弁機構の第２の制御流体入出口に導く第２の制御流体配管とが更に備えられる。
【００１１】
本発明の一つの実施形態において、前記切換機構は、前記ケースに外部から着脱可能に固定されて側面に前記制御流体の排出口を形成してなるシリンダと、このシリンダ内を前記シャフトに連動して往復動し、一端に前記制御流体の導入口が形成され、側面に前記導入口と連通する前記制御流体の排出口が形成された前記可動部材としてのロッドとを備え、前記ロッドがその往復動の一方の限界位置近傍に達したときに、前記ロッドの排出口と前記シリンダの排出口とが連通するものであることを特徴とする。
【００１２】
本発明の他の実施形態において、前記切換機構は、前記ケースに外部から着脱可能に固定されて側面に前記制御流体の排出口を形成してなる可動部材ケースと、この可動部材ケース内を往復動し、先端が前記可動部材ケースから突出して前記可撓性部材に当接し、前記可撓性部材への当接端に前記制御流体の導入口が形成され、所定位置に前記導入口と連通する前記制御流体の排出口が形成された前記可動部材としてのロッドと、このロッドを前記可撓性部材の方へ付勢する弾性部材とを備え、前記シャフトがその往復動の一方の限界位置近傍に達したときに、前記ロッドの先端が前記可撓性部材と離間すると共に前記ロッドの排出口と前記シリンダの排出口とが連通するものであることを特徴とする。
【００１３】
本発明の更に他の実施形態において、前記切換機構は、前記ケースに外部から着脱可能に固定されて一端に前記制御流体の導入口を形成すると共に側面に前記制御流体の排出口を形成してなるボールバルブケースと、このボールバルブケース内を往復動し、先端が前記ボールバルブケースから突出して前記可撓性部材が往復動の限界位置近傍に達したときに前記可撓性部材と当接して後退する前記可動部材としてのロッドと、前記ボールバルブケースの内部に収容されて前記ロッドが後退したときに前記ロッドの後端で押されて開状態となって前記制御流体の導入口と排出口とを連通させるボールバルブとを備えてなることを特徴とする。
【００１４】
なお、可撓性部材は、例えばベローズまたはダイアフラムである。また、切換機構は、セラミックまたは樹脂で形成されていることが望ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【００１６】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図、図２は、図１のＡ−Ａ′線に沿った断面図である。
このポンプシステムは、シリンダタイプの切換機構を用いたもので、ポンプ本体１と、ポンプ本体１に作動流体としてのエアーを分配供給する切換弁機構２とを備えて構成されている。
【００１７】
ポンプ本体１は、ポンプヘッド１１の両側にポンプ室１２ａ，１２ｂを形成する可撓性部材である一対の円筒状のベローズ１３ａ，１３ｂを備える。これらベローズ１３ａ，１３ｂは、その可動端を構成する端板１４ａ，１４ｂ同士が、ポンプヘッド１１を貫通するシャフト１５で連結されている。各ベローズ１３ａ，１３ｂは、ポンプヘッド１１の両側に配置された円筒状のケース１６ａ，１６ｂの内部に収容され、ケース１６ａ，１６ｂの内壁とベローズ１３ａ，１３ｂの外壁とでエアー室１７ａ，１７ｂが形成されている。ケース１６ａ，１６ｂは、固定端である開放された縁部１８ａ，１８ｂがポンプヘッド１１の凹部に嵌合し、その外側が固定リング１９ａ，１９ｂをポンプヘッド１１にねじ止めすることによりポンプヘッド１１に固定され、更にベローズ１３ａ，１３ｂの固定端である開放された縁部２０ａ，２０ｂがポンプヘッド１１の凹部と嵌合し、その外側がケース１６ａ，１６ｂの縁部１８ａ，１８ｂの内側の段差で押さえ付けられることによりポンプヘッド１１に液密に固定されている。ケース１６ａ，１６ｂには、エアー室１７ａ，１７ｂに対してエアーを導入または排出するためのメインエアー入出口２１ａ，２１ｂが設けられている。
【００１８】
ポンプヘッド１１は、図２に示すように、ポンプヘッド本体２５の側面に移送流体の吸入口２６と排出口２７とを備えると共に、４つのボールバルブ２８ａ，２８ｂ，２９ａ，２９ｂからなるバルブユニットを備えている。ベローズ１３ａの伸長によって吸入口２６から吸入された移送流体は、吸入路３１、ボールバルブ２８ａおよび入出口３２ａを介してポンプ室１２ａに導入され、ポンプ室１２ａに導入された移送流体は、ベローズ１３ａの縮長によって入出口３２ａ、ボールバルブ２９ａおよび排出路３３を介して排出口２７から排出されるようになっている。また、ベローズ１３ｂの伸長によって吸入口２６から吸入された移送流体は、吸入路３１、ボールバルブ２８ａおよび入出口３２ｂを介してポンプ室１２ｂに導入され、ポンプ室１２ｂに導入された移送流体は、ベローズ１３ｂの縮長によって入出口３２ｂ、ボールバルブ２９ｂおよび排出路３３を介して排出口２７から排出されるようになっている。
【００１９】
ケース１６ａ，１６ｂの閉塞端部には、切換機構４１ａ，４１ｂが着脱可能に装着されている。切換機構４０ａ，４０ｂは、ケース１６ａ，１６ｂに外側から着脱可能にねじ止め固定される円筒ケース４１ａ，４１ｂと、これら円筒ケース４１ａ，４１ｂに同軸的に収容された円筒状のシリンダ４２ａ，４２ｂと、これらシリンダ４２ａ，４２ｂ内を軸方向に往復動するロッド４３ａ，４３ｂを備えている。円筒ケース４１ａ，４１ｂは、端部と側壁に制御流体であるパイロットエアーを入出力するパイロットエアー入出口４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂを有する。シリンダ４２ａ，４２ｂは、両端が開放され、側壁に円筒ケース４１ａ，４１ｂのパイロットエアー入出口４５ａ，４５ｂと連通する穴４６ａ，４６ｂを有する。ロッド４３ａ，４３ｂは、その先端部がケース１６ａ，１６ｂを貫通してエアー室１７ａ，１７ｂに臨み、ベローズ１３ａ，１３ｂの端板１４ａ，１４ｂに当接して、端板１４ａ，１４ｂの往復運動と連動して往復動する。ロッド４３ａ，４３ｂには、その基端側から先端に向けて軸方向に延びる穴４７ａ，４７ｂが形成され、この穴４７ａ，４７ｂの先端側が側壁に形成された穴４８ａ，４８ｂと連通している。そして、穴４８ａ，４８ｂは、ロッド４３ａ，４３ｂがシリンダ４２ａ，４２ｂ内で最も後退する直前の位置で穴４６ａ，４６ｂと連通する。円筒ケース４１ａ，４１ｂには、パイロットエアー入出口４５ａ，４５ｂから分岐するエアー逃がし穴４９ａ，４９ｂが形成されている。ケース１６ａ，１６ｂには、ロッド４３ａ，４３ｂの先端側面と摺接する部分に、リップシール５１ａ，５１ｂが形成されている。シリンダ４２ａ，４２ｂの内壁とロッド４３ａ，４３ｂの先端部の外周部との間には円筒状空間が形成され、この円筒状空間は、ケース１６ａ，１６ｂに形成されたエアー逃がし穴５２ａ，５２ｂを介して外部と連通している。
【００２０】
切換弁機構２は、内部にエアーの分配室６１が形成された切換弁機構本体６２と、この切換弁機構本体６２の分配室６１に往復動自在に配置されたスプール（切換弁）６３とを備えている。切換弁機構本体６２には、分配室６１にエアーを導入するためのエアー導入口６４と、分配室６１に導入されたエアーをポンプ本体１に排出すると共にポンプ本体１から排出されたエアーを分配室６１に導入するメインエアー入出口６５ａ，６５ｂと、ポンプ本体１から排出され分配室６１に導入されたエアーを排出するメインエアー排出口６６ａ，６６ｂと、パイロットエアーを入出力するパイロットエアー入出口６７ａ，６７ｂとが形成されている。スプール６３は、軸方向に所定の間隔を空けて形成された３つの大径部でその周りに配置された穴を選択的に塞ぐことでエアーの流路を第１の状態と第２の状態に切換える。第１の状態は、パイロットエアー入出口６７ａからパイロットエアーを導入した状態のモードで、エアー導入口６４とメインエアー入出口６５ａとを連通させると共に、メインエアー入出口６５ｂとメインエアー排出口６６ｂとを連通させるモードである。第２の状態は、パイロットエアー入出口６７ｂからパイロットエアーを導入した状態のモードで、エアー導入口６４とメインエアー入出口６５ｂとを連通させると共に、メインエアー入出口６５ａとメインエアー排出口６６ａとを連通させるモードである。
【００２１】
切換弁機構２のエアー導入口６４には、エアー源７１から供給されるエアーがレギュレータ７２およびエアー導入配管７３を介して導入されている。切換弁機構２のメインエアー入出口６５ａとケース１６ａのメインエアー入出口２１ａとは、メインエアー配管７４ａを介して接続されている。切換弁機構２のメインエアー入出口６５ｂとケース１６ｂのメインエアー入出口２１ｂとは、メインエアー配管７４ｂを介して接続されている。メインエアー配管７４ａ，７４ｂには、パイロットエアー圧力導入配管７５ａ，７５ｂが接続されており、このパイロットエアー圧力導入配管７５ａ，７５ｂが切換機構４０ａ，４０ｂのパイロットエアー入出口４４ａ，４４ｂと接続されている。パイロットエアー入出口４４ａ，４４ｂとパイロットエアー圧力導入配管７５ａ，７５ｂの接続部には、パイロットエアーの切換機構４０ａ，４０ｂへの導入量を調整するための絞り７６ａ，７６ｂが設けられている。また、切換機構４０ａ，４０ｂのパイロットエアー入出口４５ａ，４５ｂと切換弁機構２のパイロットエアー入出口６７ａ，６７ｂとは、パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂを介して接続されている。パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂのパイロットエアー入出口４５ａ，４５ｂ側には、エアー溜り５０ａ，５０ｂが設けられている。
【００２２】
次に、このように構成された本実施形態に係るポンプシステムの動作について説明する。
図１において、切換弁機構２のスプール６３が図中左側の位置にある第１の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ａを介してポンプ本体１の図中左側のエアー室１７ａに導入される。これにより、ベローズ１３ａは収縮し、シャフト１５は図中右側に移動するので、ベローズ１３ｂは伸長して、エアー室１７ｂ内のエアーは、メインエアー配管７４ｂ、メインエアー入出口６５ｂおよびエアー排気口６６ｂを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ｂ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ａ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。これと同時に、メインエアー配管７４ａから分岐したパイロットエアー圧力導入配管７５ａを介して切換機構４０ｂにパイロットエアーが導入され、ロッド４３ｂの穴４７ｂの内部の圧力が上昇する。
【００２３】
ベローズ１３ｂが吸入工程の終了位置に達する直前に、ロッド４３ｂの穴４８ｂとシリンダ４２ｂの穴４６ｂが連通する。これにより、圧縮されたパイロットエアーがパイロットエアー配管７７ｂを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中右側に移動して第２の状態となる。
【００２４】
第２の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ｂを介してポンプ本体１の図中右側のエアー室１７ｂに導入される。これにより、ベローズ１３ｂは収縮し、シャフト１５は図中左側に移動するので、ベローズ１３ａは伸長して、エアー室１７ａ内のエアーは、メインエアー配管７４ａ、メインエアー入出口６５ａおよびエアー排気口６６ａを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ａ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ｂ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。これと同時に、メインエアー配管７４ｂから分岐したパイロットエアー圧力導入配管７５ｂを介して切換機構４０ａにパイロットエアーが導入され、ロッド４３ａの穴４７ａの内部の圧力が上昇する。ベローズ１３ａが吸入工程の終了位置に達する直前に、ロッド４３ａの穴４８ａとシリンダ４２ａの穴４６ａが連通する。これにより、圧縮されたパイロットエアーがパイロットエアー配管７７ａを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中左側に移動して第１の状態に戻る。
以上の動作を繰り返してベローズ１３ａ，１３ｂが伸縮することにより、連続的な送液が行われる。
【００２５】
切換機構４０ａ，４０ｂのロッド４３ａ，４３ｂの先端部とシリンダ４２ａ，４２ｂとの間の環状空間は、リップシール５１ａ，５１ｂが存在する関係で、ロッド４３ａ，４３ｂの往復動に応じて加圧・真空が発生する。このような加圧・真空が発生すると、ロッド４３ａ，４３ｂがスムーズに進退運動するのを阻害する。そこで、ケース１６ａ，１６ｂにエアー逃がし穴５２ａ，５２ｂを設け、ロッド４３ａ，４３ｂの先端とシリンダ４２ａ，４２ｂとの間の空間と外部とを連通させて、ロッド４３ａ，４３ｂがスムーズに進退運動するようにしている。
【００２６】
パイロットエアーの量が多すぎると、シリンダ４２ａ，４２ｂとロッド４７ａ，４７ｂとの間のクリアランスからの漏れエアーにより、切換弁機構２が誤動作を起こす可能性がある。また、パイロットエアーの量が多すぎると、ロッド４３ａ，４３ｂの穴４７ａ，４７ｂの内部圧力が上昇した際に、ロッド４３ａ，４３ｂの穴４８ａ，４８ｂとシリンダ４２ａ，４２ｂの穴４６ａ，４６ｂとが連通している状態からロッド４３ａ，４３ｂが移動して非連通状態に切り替わるまでの時間に発生する漏れエアーにより切換弁機構２が誤動作を起こす可能性がある。そこで、この実施形態では、切換機構４０ａ，４０ｂのパイロットエアーの入出口４４ａ，４４ｂに設けられた絞り７６ａ，７６ｂでパイロットエアー圧力導入配管７５ａ，７５ｂからの圧縮空気の量を制限するようにしているので、安定動作が可能である。上記の誤動作は、パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂにエアー溜り５０ａ，５０ｂを設けてパイロットエアーの導入に遅れを持たせることによっても防止することができる。また、この実施形態では、パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂ内のエアー残圧による切換弁機構２の誤動作防止のため、エアー逃がし穴４９ａ，４９ｂで残圧を除去するようにしている。
【００２７】
そして、このポンプシステムによれば、ポンプヘッド１１、ケース１６ａ，１６ｂ、ベローズ１３ａ，１３ｂ等を樹脂、シャフト１５、切換機構４０ａ，４０ｂ等をセラミックのように、全ての部材を非金属で構成することができ、腐食性の薬液を移送する環境でも使用可能な、耐食性に優れたポンプシステムを提供することができる。また、切換機構４０ａ，４０ｂは、ロッド４３ａ，４３ｂがベローズ１３ａ，１３ｂの端板１４ａ，１４ｂと結合されていないので、ねじを回すことにより、そっくり全体を取り外すことが出来る。これにより、切換機構４０ａ，４０ｂの交換・修理が容易で、メンテナンス性に優れてポンプシステムを提供することができる。
【００２８】
＜第２の実施形態＞
図３は、本発明の第２の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。なお、図３において、図１とほぼ同一の部分には同一符号を付し、重複する部分の詳しい説明は割愛する。
この実施形態に係るポンプシステムは、ポンプ本体３と切換弁機構２とから構成され、ポンプ本体３に着脱可能に装着される切換機構８０ａ，８０ｂが第１の実施形態の切換機構４０ａ，４０ｂと異なる。第１の実施形態に係るポンプシステムでは、吸入工程終了間際のベローズ１３ａ，１３ｂに押されたロッド４３ｂ，４３ａを有する側の切換機構４０ａ，４０ｂがオンとなって切換弁機構２にパイロットエアーを供給するようにしたが、この第２の実施形態では、吐出工程終了間際のベローズ１３ａ，１３ｂを背後から押すロッドを有する側の切換機構８０ａ，８０ｂがオンとなって切換弁機構２にパイロットエアーを供給する。
【００２９】
切換機構８０ａ，８０ｂは、ケース１６ａ，１６ｂの閉塞端部に着脱可能に装着されている。切換機構８０ａ，８０ｂは、ケース１６ａ，１６ｂに外側からねじ止め固定される円筒ケース８１ａ，８１ｂと、これら円筒ケース８１ａ，８１ｂに同軸的に収容された円筒状のシリンダ８２ａ，８２ｂと、これらシリンダ８２ａ，８２ｂ内を軸方向に往復動するロッド８３ａ，８３ｂを備えている。円筒ケース８１ａ，８１ｂは、端部に作動流体であるメインエアーを入出力するメインエアー入出口８４ａ，８４ｂを有し、側壁に制御流体であるパイロットエアーを入出力するパイロットエアー入出口８５ａ，８５ｂを有する。シリンダ８２ａ，８２ｂは、両端が開放され、側壁に円筒ケース８１ａ，８１ｂのパイロットエアー入出口８５ａ，８５ｂと連通する穴８６ａ，８６ｂを有する。ロッド８３ａ，８３ｂは、その先端部がケース１６ａ，１６ｂを貫通してエアー室１７ａ，１７ｂに臨み、ベローズ１３ａ，１３ｂの端板１４ａ，１４ｂに当接して、端板１４ａ，１４ｂの往復運動と連動して往復動する。ロッド８３ａ，８３ｂには、その基端側から先端にかけて軸方向に延びる穴８７ａ，８７ｂが形成され、この穴８７ａ，８７ｂの中間部と先端部が中間部の側壁および先端部の側壁に形成された穴８８ａ，８８ｂおよび８９ａ，８９ｂと連通している。そして、穴８８ａ，８８ｂは、ロッド８３ａ，８３ｂがシリンダ８２ａ，８２ｂ内で最も前進する直前の位置で穴８６ａ，８６ｂと連通する。穴８９ａ，８９ｂは、エアー室１７ａ，１７ｂの内部に位置している。ケース１６ａ，１６ｂには、ロッド８３ａ，８３ｂの先端側面と摺接する部分に、リップシール５１ａ，５１ｂが形成されている。シリンダ８２ａ，８２ｂの内壁とロッド８３ａ，８３ｂの先端部の外周部との間には円筒状空間が形成され、この円筒状空間は、ケース１６ａ，１６ｂに形成されたエアー逃がし穴５２ａ，５２ｂを介して外部と連通している。また、円筒ケース８１ａ，８１ｂには、パイロットエアー入出口８５ａ，８５ｂから分岐するエアー逃がし穴９０ａ，９０ｂが形成されている。
【００３０】
この実施形態では、第１の実施形態で使用したパイロットエアー圧力導入配管７５ａ，７５ｂは設けられておらず、メインエアー配管７４ａ，７４ｂが切換機構８０ａ，８０ｂのメインエアー入出口８４ａ，８４ｂに接続されている。
また、この実施形態では、切換弁機構２のメインエアー入出口６５ａ，６５ｂの位置と、エアー排出口６６ａ，６６ｂの位置が先の実施形態の場合と反対の関係となっている。
【００３１】
次に、このように構成された本実施形態に係るポンプシステムの動作について説明する。
図３において、切換弁機構２のスプール６３が図中右側の位置にある第１の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ａ、切換機構８０ａのロッド８３ａに形成された穴８７ａ，８９ａをそれぞれ介してポンプ本体１の図中左側のエアー室１７ａに導入される。同時にロッド８３ａがメインエアーの圧力で前に移動する。メインエアーの圧力により、ベローズ１３ａは収縮し、シャフト１５は図中右側に移動するので、ベローズ１３ｂは伸長して、エアー室１７ｂ内のエアーは、切換機構８０ｂのロッド８３ｂの穴８９ｂ，８７ｂ、メインエアー配管７４ｂ、メインエアー入出口６５ｂおよびエアー排気口６６ｂを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ｂ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ａ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。
【００３２】
ベローズ１３ａが吐出工程の終了位置に達する直前に、ロッド８３ａの穴８８ａとシリンダ８２ａの穴８６ａが連通する。これにより、メインエアーから分流されたパイロットエアーがパイロットエアー配管７７ａを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中左側に移動して第２の状態となる。
【００３３】
第２の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ｂ、切換機構８０ｂのロッド８３ｂに形成された穴８７ｂ，８９ｂをそれぞれ介してポンプ本体１の図中右側のエアー室１７ｂに導入される。同時にロッド８３ｂがメインエアーの圧力で前に移動する。メインエアーの圧力により、ベローズ１３ｂは収縮し、シャフト１５は図中左側に移動するので、ベローズ１３ａは伸長して、エアー室１７ａ内のエアーは、切換機構８０ａのロッド８３ａの穴８９ａ，８７ａ、メインエアー配管７４ａ、メインエアー入出口６５ａおよびエアー排気口６６ａを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ａ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ｂ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。ベローズ１３ｂが吐出工程の終了位置に達する直前に、ロッド８３ｂの穴８８ｂとシリンダ８２ａの穴８６ａが連通する。これにより、圧縮されたパイロットエアーがパイロットエアー配管７７ｂを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中右側に移動して第１の状態に戻る。
以上の動作を繰り返してベローズ１３ａ，１３ｂが伸縮することにより、連続的な送液が行われる。
【００３４】
この実施形態では、パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂ内のエアー残圧による切換弁機構２の誤動作防止のため、エアー逃がし穴９０ａ，９０ｂで残圧を除去するようにしている。
【００３５】
＜第３の実施形態＞
図４は、本発明の第３の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。なお、図４において、図１とほぼ同一の部分には同一符号を付し、重複する部分の詳しい説明は割愛する。
この実施形態に係るポンプシステムは、ポンプ本体４と切換弁機構２とから構成され、ポンプ本体４に着脱可能に装着される切換機構１００ａ，１００ｂが第１および第２の実施形態の切換機構４０ａ，４０ｂ，８０ａ，８０ｂと異なる。第１および第２の実施形態に係るポンプシステムでは、切換機構４０ａ，４０ｂ，８０ａ，８０ｂがシリンダタイプであったが、この第３の実施形態では、スプリングを使用したタイプである。
【００３６】
切換機構１００ａ，１００ｂは、ケース１６ａ，１６ｂの閉塞端部に着脱可能に装着されている。切換機構１００ａ，１００ｂは、ケース１６ａ，１６ｂに外側からねじ止め固定される円筒ケース１０１ａ，１０１ｂと、これら円筒ケース１０１ａ，１０１ｂの基端側に締結されたスプリング押さえねじ１０２ａ，１０２ｂと、円筒ケース１０１ａ，１０１ｂ内を軸方向に移動可能に収納されたリング１０３ａ，１０３ｂと、押さえねじ１０２ａ，１０２ｂとリング１０３ａ，１０３ｂとの間に装着されてリング１０３ａ，１０３ｂを常時ベローズ１３ａ，１３ｂ側に付勢するスプリング１０４ａ，１０４ｂと、リング１０３ａ，１０３ｂに固定されてリング１０３ａ，１０３ｂと共に進退するロッド１０５ａ，１０５ｂとを備えて構成されている。ロッド１０５ａ，１０５ｂは、その先端がエアー室１７ａ，１７ｂに臨み、その先端に連通する軸方向に延びる穴１０６ａ，１０６ｂを有する。穴１０６ａ，１０６ｂの基端側は、リング１０３ａ，１０３ｂの側壁に形成された穴１０７ａ，１０７ｂと連通している。円筒ケース１０１ａ，１０１ｂの側壁には、制御流体であるパイロットエアーを入出力するパイロットエアー入出口１０８ａ，１０８ｂが形成されており、ロッド１０５ａ，１０５ｂが最も突出したときにリング１０３ａ，１０３ｂの穴１０７ａ，１０７ｂと連通する。また、円筒ケース１０１ａ，１０１ｂには、パイロットエアー入出口１０８ａ．１０８ｂから分岐するエアー逃がし穴１０９ａ，１０９ｂが形成されている。なお、スプリング１０４ａ，１０４ｂは、例えばステンレス製で、ＰＦＡまたはＰＴＦＥ等のチューブで被覆もしくはフッ素コーティングすることにより耐食性を向上させることも可能である。
【００３７】
この実施形態では、第１の実施形態で使用したパイロットエアー圧力導入配管７５ａ，７５ｂは設けられていない。また、切換弁機構２のパイロットエアー入出口６７ａ，６７ｂの位置が先の実施形態の場合と反対の関係となっている。
【００３８】
次に、このように構成された本実施形態に係るポンプシステムの動作について説明する。
図４において、切換弁機構２のスプール６３が図中左側の位置にある第１の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ａを介してポンプ本体１の図中左側のエアー室１７ａに導入される。これにより、ベローズ１３ａは収縮し、シャフト１５は図中右側に移動するので、ベローズ１３ｂは伸長して、エアー室１７ｂ内のエアーは、メインエアー配管７４ｂ、メインエアー入出口６５ｂおよびエアー排気口６６ｂを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ｂ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ａ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。
【００３９】
ベローズ１３ａが吐出工程の終了位置に達する直前に、ロッド１０５ａの先端とベローズ１３ａの端板１４ａとが離間し、ロッド１０５ａの先端の穴１０６ａが開放されてエアー室１７ａ内の圧縮エアーが、穴１０６ａ、１０７ａ，パイロットエアー入出口１０８ａおよびパイロットエアー配管７７ａを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中左側に移動して第２の状態となる。
【００４０】
第２の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ｂを介してポンプ本体１の図中右側のエアー室１７ｂに導入される。これにより、ベローズ１３ｂは収縮し、シャフト１５は図中左側に移動するので、ベローズ１３ａは伸長して、エアー室１７ａ内のエアーは、メインエアー配管７４ａ、メインエアー入出口６５ａおよびエアー排気口６６ａを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ａ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ｂ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。
【００４１】
ベローズ１３ｂが吐出工程の終了位置に達する直前に、ロッド１０５ｂの先端とベローズ１３ｂの端板１４ｂとが離間し、ロッド１０５ｂの先端の穴１０６ｂが開放されてエアー室１７ｂ内の圧縮エアーが、穴１０６ｂ、１０７ｂ，パイロットエアー入出口１０８ｂおよびパイロットエアー配管７７ｂを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中左側に移動して第１の状態に戻る。
以上の動作を繰り返してベローズ１３ａ，１３ｂが伸縮することにより、連続的な送液が行われる。
【００４２】
この実施形態においては、リング１０３ａ，１０３ｂの往復動によって円筒ケース１０１ａ，１０１ｂ内に加圧・真空が発生する。このため、ケース１６ａ，１６ｂにエアー逃がし穴５２ａ，５２ｂを形成するとともに、押さえねじ１０２ａ，１０２ｂにエアー逃がし穴１１０ａ，１１０ｂを形成して、このような加圧・真空が発生しないようにしている。
【００４３】
＜第４の実施形態＞
図５は、本発明の第４の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。なお、図５において、図１とほぼ同一の部分には同一符号を付し、重複する部分の詳しい説明は割愛する。
この実施形態に係るポンプシステムは、ポンプ本体５と切換弁機構２とから構成される。先の実施形態における切換機構１００ａ，１００ｂは、スプリング１０４ａ，１０４ｂを使用したが、本実施形態では、切換機構１２０ａ，１２０ｂにベローズを使用している。
【００４４】
切換機構１２０ａ，１２０ｂは、ケース１６ａ，１６ｂの閉塞端部に着脱可能に装着されている。切換機構１２０ａ，１２０ｂは、ケース１６ａ，１６ｂに外側からねじ止め固定される円筒ケース１２１ａ，１２１ｂと、これら円筒ケース１２１ａ，１２１ｂの基端側に締結されたベローズ押さえねじ１２２ａ，１２２ｂと、円筒ケース１２１ａ，１２１ｂ内を軸方向に移動可能に収納されたリング１２３ａ，１２３ｂと、押さえねじ１２２ａ，１２２ｂとリング１２３ａ，１２３ｂとの間に装着されてリング１２３ａ，１２３ｂを常時ベローズ１３ａ，１３ｂ側に付勢するベローズ１２４ａ，１２４ｂと、リング１２３ａ，１２３ｂに固定されてリング１２３ａ，１２３ｂと共に進退するロッド１２５ａ，１２５ｂとを備えて構成されている。ロッド１２５ａ，１２５ｂは、その先端がエアー室１７ａ，１７ｂに臨み、その先端に連通する軸方向に延びる穴１２６ａ，１２６ｂを有する。穴１２６ａ，１２６ｂの基端側は、リング１２３ａ，１２３ｂの側壁に形成された穴１２７ａ，１２７ｂと連通している。円筒ケース１２１ａ，１２１ｂの側壁には、制御流体であるパイロットエアーを入出力するパイロットエアー入出口１２８ａ，１２８ｂが形成されており、ロッド１２５ａ，１２５ｂが最も突出したときにリング１２３ａ，１２３ｂの穴１２７ａ，１２７ｂと連通する。また、円筒ケース１２１ａ，１２１ｂには、パイロットエアー入出口１２８ａ．１２８ｂから分岐するエアー逃がし穴１２９ａ，１２９ｂが形成されている。
【００４５】
動作の詳細については、第３の実施形態と殆ど同じであるためその内容を省略する。ベローズ１２４ａ，１２４ｂには、常時適当な圧力の圧縮エアーを封入しておく必要があるので、押さえねじ１２２ａ，１２２ｂに穴１３０ａ，１３０ｂを形成し、エアー源７１から供給されるエアーをベローズ加圧用レギュレータ７８で加圧してベローズ加圧配管７９ａ，７９ｂおよび穴１３０ａ，１３０ｂを介して各ベローズ１２４ａ，１２４ｂに加圧用のエアーを供給している。
【００４６】
＜第５の実施形態＞
図６は、本発明の第５の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。なお、図６において、図１とほぼ同一の部分には同一符号を付し、重複する部分の詳しい説明は割愛する。
この実施形態に係るポンプシステムは、ポンプ本体６と切換弁機構２とから構成され、ポンプ本体６に着脱自在に装着される切換機構１４０ａ，１４０ｂがボールバルブタイプのものである。
【００４７】
切換機構１４０ａ，１４０ｂは、ケース１６ａ，１６ｂに外側からねじ止めされるもので、円筒ケース１４１ａ，１４１ｂと、これら円筒ケース１４１ａ，１４１ｂの基端側に締結されたボールバルブ押さえねじ１４２ａ，１４２ｂと、円筒ケース１４１ａ，１４１ｂの内部に収容されて押さえねじ１４２ａ，１４２ｂによって固定されたボールバルブ１４３ａ，１４３ｂと、円筒ケース１４１ａ，１４１ｂの先端側に収容されて進退動作を行うロッド１４４ａ，１４４ｂとを備えて構成されている。ロッド１４４ａ，１４４ｂは、先端がエアー室１７ａ，１７ｂに臨み、基端部でボールバルブ１４３ａ，１４３ｂを開閉する。押さえねじ１４２ａ，１４２ｂには、ボールバルブ１４３ａ，１４３ｂのエアー導入側に連通するパイロットエアー導入口１４５ａ，１４５ｂが形成されている。円筒ケース１４１ａ，１４１ｂの側壁には、ボールバルブ１４３ａ，１４３ｂのエアー排出側に連通するパイロットエアー入出口１４６ａ，１４６ｂと、パイロットエアー入出口１４６ａ．１４６ｂから分岐するエアー逃がし穴１４７ａ，１４７ｂが形成されている。
【００４８】
ポンプ本体５のケース１６ａ，１６ｂの側壁には、それぞれパイロットエアー排出口１５１ａ，１５１ｂが形成されており、これらパイロットエアー排出口１５１ａ，１５１ｂと、切換機構１４０ａ，１４０ｂのパイロットエアー導入口１４５ｂ，１４５ａとがパイロットエアー導入配管１５２ａ，１５２ｂを介して接続されている。
【００４９】
次に、このように構成された本実施形態に係るポンプシステムの動作について説明する。
図１において、切換弁機構２のスプール６３が図中左側の位置にある第１の状態では、エアー源７１から供給されたエアーは、メインエアー配管７４ａを介してポンプ本体１の図中左側のエアー室１７ａに導入される。これにより、ベローズ１３ａは収縮し、シャフト１５は図中右側に移動するので、ベローズ１３ｂは伸長して、エアー室１７ｂ内のエアーは、メインエアー配管７４ｂ、メインエアー入出口６５ｂおよびエアー排気口６６ｂを介して外部に排気される。これにより、ポンプ室１２ｂ内に吸入口２６を介して移送流体が導入され、ポンプ室１２ａ内の移送流体が吐出口２７を介して外部に吐出される。これと同時に、エアー室１７ａ内の加圧エアーが、パイロットエアー排出口１５１ａ、パイロットエアー導入配管１５２ａ、パイロットエアー導入口１４５ｂを介して切換機構１４０ｂにパイロットエアーとして導入され、ボールバルブ１４３ｂが閉じられる。
【００５０】
ベローズ１３ｂが吸入工程の終了位置に達する直前に、ロッド１４４ｂの基端部がボールバルブ１４３ｂのボールを押し上げ、ボールバルブ１４３ｂは、開状態となる。これにより、切換機構１４０ｂに導入されていた圧縮されたパイロットエアーが、パイロットエアー入出口１４６ｂ、パイロット配管７７ｂを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中右側に移動して第２の状態となる。
【００５１】
同様に、第２の状態では、切換機構１４０ａを介して圧縮されたパイロットエアーがパイロットエアー配管７７ａを介して切換弁機構２に導入され、スプール６３が図中左側に移動して第１の状態に戻る。
以上の動作を繰り返してベローズ１３ａ，１３ｂが伸縮することにより、連続的な送液が行われる。
【００５２】
なお、この実施形態においても、パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂ内のエアー残圧による切換弁機構２の誤動作防止のため、エアー逃がし穴１４７ａ，１４７ｂで残圧を除去するようにしている。
【００５３】
また、本実施形態の場合、パイロットエアー導入配管１５２ａ，１５２ｂから切換機構１４０ａ，１４０ｂにパイロットエアーが導入されてから、ボールバルブ１４３ａ，１４３ｂが閉じるまでの間の時間が長いと、パイロットエアーのリークが発生して誤動作の原因になる。このため、パイロットエアー導入配管１５２ａ，１５２ｂを直接メインエアー配管７４ａ，７４ｂに接続せずに、一旦、エアー室１７ａ，１７ｂを介して接続するようにしている。これにより、切換機構１４０ａ，１４０ｂに対するパイロットエアーの一次遅れが発生し、パイロットエアーのリークを防止するようにしている。上記の誤動作は、パイロットエアー配管７７ａ，７７ｂにエアー溜り５０ａ，５０ｂを設けてパイロットエアーの導入に遅れを持たせることによっても防止することができる。
【００５４】
＜第６の実施形態＞
図７は、本発明の第６の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。なお、図７において、図１と同一部分には同一符号を付し、重複する部分の詳しい説明は割愛する。
この実施形態は、図１に示した実施形態のベローズ式のポンプ本体１に代えて、ダイアフラム式のポンプ本体７を用いたものである。
【００５５】
ポンプ本体７は、可撓性部材として、図１のポンプ本体１のベローズ１３ａ，１３ｂに代えて、ダイアフラム１６１ａ，１６１ｂを使用した点を除き、他の構成は、ポンプ本体１と同様であるため、詳しい説明は割愛する。
【００５６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、作動流体を分流させた制御流体で切換弁機構を切換える方式のポンプシステムにおいて、作動流体を分流させる切換機構がケース外部から着脱可能に装着され、シャフトと連動して往復動する可動部材がシャフトと非固定状態となっているので、切換機構をそっくりそのままケースから容易に取り外すことができ、メンテナンス性が向上する。また、切換機構をそのまま取り外して近接スイッチ型の切換機構を代わりに取り付けることもできるので、互換性も向上するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ′断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。
【図６】本発明の第５の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。
【図７】本発明の第６の実施形態に係るポンプシステムの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１，３〜７…ポンプ本体、１１…ポンプヘッド、１２ａ，１２ｂ…ポンプ室、１３ａ，１３ｂ…ベローズ、１５…シャフト、１６ａ，１６ｂ…ケース、１７ａ，１７ｂ…エアー室、２６…吸入口、２７…排出口、４０ａ，４０ｂ，８０ａ，８０ｂ，１００ａ，１００ｂ，１２０ａ，１２０ｂ，１４０ａ，１４０ｂ…切換機構、７４ａ，７４ｂ…メインエアー配管、７７ａ，７７ｂ…パイロット５３配管、１６１ａ，１６１ｂ…ダイアフラム。
【図１】
0003574641.tif 000002
【図２】
0003574641.tif 000003
【図３】
0003574641.tif 000004
【図４】
0003574641.tif 000005
【図５】
0003574641.tif 000006
【図６】
0003574641.tif 000007
【図７】
0003574641.tif 000008