(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空状のピストンが中空状のシリンダチューブ内に形成されたシリンダ室に収容され、上記中空状のシリンダチューブは外側シリンダチューブおよび中空状の内側シリンダチューブからなり、上記外側シリンダチューブはその先端部が上記内側シリンダチューブの先端部よりも上方に突出しており、上記シリンダ室が上記ピストンによって複数の圧力室に区画され、上記シリンダチューブに上記複数の圧力室に流体圧を個別に給排するための複数の給排ポートが開設されると共に、シャフトが上記外側および内側シリンダチューブの先端部にそれぞれ配設された軸受によって回動自在に軸支され、上記シャフトの外周壁にスクリュー溝が形成され、上記シリンダ室より突出した上記ピストンのロッドの内壁に上記スクリュー溝と係合する係合凸部が設けられ、上記シャフトが上記スクリュー溝と上記係合凸部とが係合するように上記ピストン内に挿入され、上記ピストンが上記複数の圧力室に対する流体圧の給排の切換えによって上記シリンダ室内を往復直動することにより、上記係合凸部が上記スクリュー溝内を往復摺動し、上記シャフトを回動させることを特徴とするスクリュー型ロータリアクチュエータ。
【請求項２】
上記シリンダチューブに回り止めピンが固定され、上記ピストンのロッドにスリットが形成され、上記回り止めピンが上記ピストンの直動に伴って上記スリットに沿って相対的に摺動するように係合され、上記ピストンの回転を阻止することを特徴とする請求項１に記載のスクリュー型ロータリアクチュエータ。
【請求項３】
中空状のピストンが中空状のシリンダチューブ内に形成されたシリンダ室に収容され、上記中空状のシリンダチューブは外側シリンダチューブおよび中空状の内側シリンダチューブからなり、上記外側シリンダチューブはその先端部が上記内側シリンダチューブの先端部よりも上方に突出しており、上記シリンダ室にストロークの異なる複数のピストンが収容され、上記シリンダ室が上記複数のピストンによって複数の圧力室に区画され、上記シリンダチューブに上記複数の圧力室に流体圧を個別に給排するための複数の給排ポートが開設されると共に、シャフトが上記外側および内側シリンダチューブの先端部にそれぞれ配設された軸受によって回動自在に軸支され、上記シャフトの外周壁にスクリュー溝が形成され、上記シリンダ室より突出した上記１つのピストンのロッドの内壁に上記スクリュー溝と係合する係合凸部が設けられ、上記シャフトが上記スクリュー溝と上記係合凸部とが係合するように上記１つのピストン内に挿入され、上記１つのピストンが上記複数の圧力室に対する流体圧の給排の切換えによって、そのストロークの途中位置で停止可能に上記シリンダ室内を往復直動することにより、上記係合凸部が上記スクリュー溝内を往復摺動し、上記シャフトを回動させることを特徴とするスクリュー型ロータリアクチュエータ。
【請求項４】
上記シリンダチューブに回り止めピンが固定され、上記１つのピストンのロッドにスリットが形成され、上記回り止めピンが上記１つのピストンの直動に伴って上記スリットに沿って相対的に摺動するように係合され、上記１つのピストンの回転を阻止することを特徴とする請求項３に記載のスクリュー型ロータリアクチュエータ。
【請求項５】
上記中空状のシリンダチューブの中空スペースに形成された他のシリンダ室に中空状の他のピストンが収容され、上記他のピストン内に上記シャフトが摺動可能に挿通され、上記他のシリンダ室における上記シャフトの外周壁にスリュー溝が形成され、上記他のピストンに上記スクリュー溝と係合する係合凸部が設けられ、上記１つのピストンのストロークの途中位置において、上記他のシリンダ室に流体圧を導入して、上記他のピストンを加圧し、上記シャフトにその回転方向とは反対方向の回転力を付与することを特徴とする請求項４に記載のスクリュー型ロータリアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、中空シリンダを利用してスクリュー溝を有するシャフトを回転させるスクリュー型ロータリアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７において、従来のスクリュー型ロータリアクチュエータ１０では、シリンダチューブ１１内のシリンダ室１３に中空状のピストン１２が往復直動するように収容され、ピストン１２内にはシャフト１４が貫通され、このシャフト１４は、シリンダチューブ１１の両端部に配設された軸受１５ａ，１５ｂによって回動自在に軸支されている。
【０００３】
シリンダ室１３は、ピストン１２によって２つの圧力室１３ａ，１３ｂに隔てられ、シリンダチューブ１１の側壁にはピストン１２を往復直動させるために圧力室１３ａ，１３ｂに対する圧力流体の給排が切換えられる２つの給排ポート１８ａ，１８ｂがそれぞれ開設されている。
シリンダチューブ１１の内壁には回り止めピン１９が突設され、ピストン１２の外壁には、その軸線方向に溝１６が延設され、回り止めピン１９と溝１６とが係合すると共に、ピストン１２とシャフト１４とは、これらにそれぞれ形成されたスクリューおよびスクリュー溝からなるスクリュー機構１７によって係合している。
【０００４】
圧力流体の給排を２つの圧力室１３ａ，１３ｂに対して切換えることによってピストン１２が往復直動すると、係合するスクリューとスクリュー溝間の力の伝達によりシャフト１４が回動し、このとき、ピストン１２は回り止めピン１９と溝１６との係合を以てその回転が阻止され、ピストン１２の直動がシャフト１４の回転動に効率よく変換されるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の如きスクリュー型ロータリアクチュエータ１０では、シャフト１４は、シリンダチューブ１１の両端部で軸受１５ａ，１５ｂによって支持され、軸受１５ａ，１５ｂ間でピストン１２が往復直動するように構成されているため、シャフト１４の長さがピストン１２、ピストンストロークおよび軸受１５ａ，１５ｂの長さに依存し、長いシャフト１４を必要とするので、シャフト１４の質量が増大し、シャフト１４の流体圧に対する応答性が悪くなるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、シャフトの流体圧に対する応答性を向上することができるスクリュー型ロータリアクチュエータを提供することにある。
本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明に係るスクリュー型ロータリアクチュエータは、中空状のピストンが中空状のシリンダチューブ内に形成されたシリンダ室に収容され、上記中空状のシリンダチューブは外側シリンダチューブおよび中空状の内側シリンダチューブからなり、上記外側シリンダチューブはその先端部が上記内側シリンダチューブの先端部よりも上方に突出しており、上記シリンダ室が上記ピストンによって複数の圧力室に区画され、上記シリンダチューブに上記複数の圧力室に流体圧を個別に給排するための複数の給排ポートが開設されると共に、シャフトが上記外側および内側シリンダチューブの先端部にそれぞれ配設された軸受によって回動自在に軸支され、上記シャフトの外周壁にスクリュー溝が形成され、上記シリンダ室より突出した上記ピストンのロッドの内壁に上記スクリュー溝と係合する係合凸部が設けられ、上記シャフトが上記スクリュー溝と上記係合凸部とが係合するように上記ピストン内に挿入され、上記ピストンが上記複数の圧力室に対する流体圧の給排の切換えによって上記シリンダ室内を往復直動することにより、上記係合凸部が上記スクリュー溝内を往復摺動し、上記シャフトを回動させることを特徴としている。
さらに、上記シリンダチューブに回り止めピンが固定され、上記ピストンのロッドにスリットが形成され、上記回り止めピンが上記ピストンの直動に伴って上記スリットに沿って相対的に摺動するように係合され、上記ピストンの回転を阻止することを特徴としている。
【０００８】
また、中空状のピストンが中空状のシリンダチューブ内に形成されたシリンダ室に収容され、上記中空状のシリンダチューブは外側シリンダチューブおよび中空状の内側シリンダチューブからなり、上記外側シリンダチューブはその先端部が上記内側シリンダチューブの先端部よりも上方に突出しており、上記シリンダ室にストロークの異なる複数のピストンが収容され、上記シリンダ室が上記複数のピストンによって複数の圧力室に区画され、上記シリンダチューブに上記複数の圧力室に流体圧を個別に給排するための複数の給排ポートが開設されると共に、シャフトが上記外側および内側シリンダチューブの先端部にそれぞれ配設された軸受によって回動自在に軸支され、上記シャフトの外周壁にスクリュー溝が形成され、上記シリンダ室より突出した上記１つのピストンのロッドの内壁に上記スクリュー溝と係合する係合凸部が設けられ、上記シャフトが上記スクリュー溝と上記係合凸部とが係合するように上記１つのピストン内に挿入され、上記１つのピストンが上記複数の圧力室に対する流体圧の給排の切換えによって、そのストロークの途中位置で停止可能に上記シリンダ室内を往復直動することにより、上記係合凸部が上記スクリュー溝内を往復摺動し、上記シャフトを回動させることを特徴としている。
さらに、上記シリンダチューブに回り止めピンが固定され、上記１つのピストンのロッドにスリットが形成され、上記回り止めピンが上記１つのピストンの直動に伴って上記スリットに沿って相対的に摺動するように係合され、上記１つのピストンの回転を阻止することを特徴としている。
【０００９】
また、上記中空状のシリンダチューブの中空スペースに形成された他のシリンダ室に中空状の他のピストンが収容され、上記他のピストン内に上記シャフトが摺動可能に挿通され、上記他のシリンダ室における上記シャフトの外周壁にスリュー溝が形成され、上記他のピストンに上記スクリュー溝と係合する係合凸部が設けられ、上記１つのピストンのストロークの途中位置において、上記他のシリンダ室に流体圧を導入して、上記他のピストンを加圧し、上記シャフトにその回転方向とは反対方向の回転力を付与することを特徴としている。
【００１０】
このように、本発明では、スクリュー溝を設けたシャフトは、外側シリンダチューブおよび中空状の内側シリンダチューブからなる中空状のシリンダチューブの上記外側および内側シリンダチューブの先端部にそれぞれ配設された軸受に支持され、シリンダ室の内部に配設されていないため、シャフトの長さは、ピストンの長さに依存しない。よって、シャフトの長さは短くなり、シャフトの軽量化が図れる。
また、シリンダチューブは、中空状になっており、内部に中空スペースを有するので、この中空スペースはシャフトに対する製品の取付けに利用される。
【００１１】
さらに、ピストンの回転は、シリンダチューブに固定された回り止めピンとピストンロッドのスリットとの係合によって確実に阻止され、ピストンはシャフトに追従して回転しないので、ピストンの直動がシャフトの回転運動に効率よく変換される。
また、他のシリンダ室に流体圧が導入され、他のピストンを加圧し、シャフトを回転させる方向とは反対方向に回転力が作用するので、係合ピンとスクリュー溝とのバックラッシがなくなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係るスクリュー型ロータリアクチュエータの正面図、図２は、一実施の形態に係るスクリュー型ロータリアクチュエータの平面図、図３は、図２のＡ−Ａ断面図、図４は、一実施の形態に係るスクリュー型ロータリアクチュエータの要部分解斜視図、図５は、本発明の他の実施の形態に係るスクリュー型ロータリアクチュエータの断面図、図６（ａ）〜（ｃ）は、他の実施の形態に係るスクリュー型ロータリアクチュエータの動作を示す断面図である。
【００１３】
図１〜４に示すスクリュー型ロータリアクチュエータ２０において、中空状のシリンダチューブ２１は、外周略角形筒状の外側シリンダチューブ２１ａおよび中空状の内側シリンダチューブ２１ｂからなり、外側シリンダチューブ２１ａと内側シリンダチューブ２１ｂとの間にドーナツ状のシリンダ室２２が形成されている。
シリンダ室２２には、略円筒状のピストン２３が外側および内側シリンダチューブ２１ａ，２１ｂの壁面に摺接して、シリンダチューブ２１の軸線方向に往復直動するように収容されている。ピストン２３は、同軸中空状のピストンロッド２３ａを有しており、このピストンロッド２３ａはシリンダ室２２より外部に突出している。
【００１４】
ピストン２３内には中空状のシャフト２６が挿入され、このシャフト２６の先端部には他の機械部品との結合を可能にする複数の取付け孔２８ａを有する取付け板２８がボルト２９によって締着されている。なお、図中、２６ｂは、ボルト２９が螺合されるボルト穴である。
シャフト２６の両端部は、外側および内側シリンダチューブ２１ａ，２１ｂの先端部にそれぞれ配設された軸受２７ａ，２７ｂによって回動自在に軸支され、シャフト２６の外周部にはスクリュー溝ａが形成され、このスクリュー溝ａは、ピストンロッド２３ａの先端部にその径方向内側に向けて突設された複数の係合ピン２５と係合し、ピストンロッド２３ａの直進運動がシャフト２６の回転運動に変換されるようになっている。
【００１５】
ピストンロッド２３ａの側壁には、その軸線方向にスリット２３ｂが延設され、外側シリンダチューブ２１ａの側壁には、その径方向内側に向けて回り止めピン３０がネジ３１によって締着され、この回り止めピン３０とスリット２３ｂとが係合されることで、ピストン２３の直進運動は許容するが、回転運動が阻止されるようになっており、スリット２３ｂをピストンロッド２３ａの軸線方向に対してシャフト２６の回転方向とは反対方向にピストン２３を回転させるように傾斜して形成すれば、シャフト２６の回転角をスリット２３ｂを軸線方向に形成した場合に比して大きくすることができる。
さらに、外側シリンダチューブ２１ａの側壁には、シリンダ室２２がピストン２３によって区画されてなる圧力室２２ａ，２２ｂに圧力流体、例えば圧縮空気を給排するための２つの給排ポート２４ａ，２４ｂが一列状にそれぞれ開設され、圧力室２２ａ，２２ｂに対する圧縮空気の給排を切換えることによってピストン２３が往復直動するようになっている。
【００１６】
スクリュー型ロータリアクチュエータ２０は、以上のように構成されているので、給排ポート２４ａ，２４ｂから圧力室２２ａ，２２ｂに圧縮空気が交互に供給され、また、給排ポート２４ａ，２４ｂより圧力室２２ａ，２２ｂの圧縮空気が交互に排出されることにより、ピストン２３はシリンダ室２２内をシリンダチューブ２１の軸線方向に往復直動される。
これにより、ピストンロッド２３ａに突設された係合ピン２５がシャフト２６のスクリュー溝ａ内を往復摺動し、シャフト２６が回動する。このとき、ピストン２３にはシャフト２６からの反作用により回転力を生じるが、外側シリンダチューブ２１ａに固定された回り止めピン３０がピストン２３の軸線方向にスリット２３ｂに沿って相対的に摺動することで、ピストン２３の回転が確実に阻止され、ピストン２３の直進運動はシャフト２６の回転運動に効率よく変換される。
【００１７】
図５に示すスクリュー型ロータリアクチュエータ４０では、中空状のシリンダチューブ４１が中空状の外側シリンダチューブ４１ａおよび中空状の内側シリンダチューブ４１ｂからなり、外側シリンダチューブ４１ａと内側シリンダチューブ４１ｂとの間にはドーナツ状の第１のシリンダ室４２が形成され、内側シリンダチューブ４１ｂの後端部には、当該シリンダチューブ４１ｂの中空部を塞ぐようにカバー６３が固定され、内側シリンダチューブ４１ｂ内に第２のシリンダ室５２を形成している。
【００１８】
第１のシリンダ室４２には、第１のピストン４３が中空状の外側および内側シリンダチューブ４１ａ，４１ｂの壁面に摺接して、シリンダチューブ４１の軸線方向に往復直動するように収容され、第１のピストン４３は同軸中空状のピストンロッド４３ａを有し、ピストンロッド４３ａは第１のシリンダ室４２より外部に突出している。
さらに、第１のシリンダ室４２において、第１のピストン４３よりカバー６３側には、第２のピストン６０が外側および内側シリンダチューブ４１ａ，４１ｂの壁面に摺接してシリンダチューブ４１の軸線方向に往復直動するように収容され、第２のピストン６０は、第１のピストン４３よりストロークが小さく第１のピストン４３を中間位置で停止させる中間位置停止用として用いられる。
【００１９】
第２のピストン６０の後端部より１対のロッド５５が内側シリンダチューブ４１ｂを貫通して外部に突出しナット５６によって連結板５４に締着され、連結板５４の中央部にはカバー６３に当接して第２のピストン６０のストローク端を規制するための規制部材５９がナット５８によって締着されている。
第１のピストン４３内にはシャフト４６が挿通され、このシャフト４６は外側および内側シリンダチューブ４１ａ，４１ｂの先端部にそれぞれ配設された軸受４７ａ，４７ｂによって回動自在に軸支され、シャフト４６の先端部には他の機械部品との結合を可能にする複数の取付け孔４８ａを有する取付け板４８がボルト４９によって締着されている。
【００２０】
シャフト４６は、大径部４６ａと小径部４６ｂとからなり、これら大径部４６ａおよび小径部４６ｂの外周部にはスクリュー溝ａ，ｂがそれぞれ形成され、スクリュー溝ａは、ピストンロッド４３ａの先端部に突設された係合ピン４５ａと係合している。
第２のシリンダ室５２には、第１のピストン４３の中間停止位置でのスクリュー溝ａと係合ピン４５ａとのバックラッシをなくすために用いられる中空状の第３のピストン６４が、内側シリンダチューブ４１ｂの壁面を往復摺動するように収容され、この第３のピストン６４内にはシャフト４６の小径部４６ｂが摺動可能に挿通され、第３のピストン６４の後端部には、スクリュー溝ｂと係合する係合ピン４５ｂが突設され、内側シリンダチューブ４１ｂの壁面には第３のピストン６４の軸線方向への直動を案内し、回転運動を阻止するピストンガイド５７が設けられている。
ピストンロッド４３ａの側壁には、その軸線方向にスリット４３ｂが延設され、外側シリンダチューブ４１ａの側壁には、回り止めピン５０が内側に向けてネジ５１によって締着され、回り止めピン５０とスリット４３ｂとが係合されることで、第１のピストン４３の直進運動は許容するが、回転運動が阻止されるようになっている。
【００２１】
さらに、外側シリンダチューブ４１ａの側壁には、第１のシリンダ室４２を第１および第２のピストン４３，６０によって区画してなる圧力室４２ａ，４２ｂ，４２ｃに圧縮空気を給排するための給排ポート４４ａ，４４ｂ，４４ｃが一列状に開設され、圧力室４２ａ，４２ｂ，４２ｃに対する圧縮空気の給排を切換えることによって第１および第２のピストン４３，６０が往復直動するようになっている。
また、内側シリンダチューブ４１ｂには、圧力室４２ｃと第３のピストン６４とカバー６３間の第２のシリンダ室５２とを連通する導通路５３が形成され、圧力室４２ｃの空気圧が第２のシリンダ室５２に供給されるようになっている。
【００２２】
次に、かかるスクリュー型ロータリアクチュエータ４０の動作を説明する。
即ち、図６（ａ）において、給排ポート４４ｂ，４４ｃから圧力室４２ｂ，４２ｃに圧縮空気が供給され、第１および第２のピストン４３，６０は図中、上方のストローク端位置まで移動する。この場合、第２のピストン６０のストローク端は、第１のピストン４３のストロークのほぼ中間位置にあり、規制部材５９がカバー６３に当接することで規定される。
【００２３】
そして、給排ポート４４ｂからの圧力室４２ｂへの圧縮空気の供給を停止し、給排ポート４４ａより圧力室４２ａに圧縮空気を供給すると、第１のピストン４３は、そのストロークの中間位置である第２のピストン６０に接する所まで下降し停止する。
これにより、第１のピストン４３の係合ピン４５ａはシャフト４６のスクリュー溝ａ内を摺動し、シャフト４６を回転させ、第３のピストン６４はピストンガイド５７に案内されながら、シャフト４６の回転による係合ピン４５ｂのスクリュー溝ｂ内摺動によって下降する。
このとき、第１のピストン４３の回転は、外側シリンダチューブ４１ａに固定された回り止めピン５０とピストンロッド４３ａのスリット４３ｂとの係合によって確実に阻止され、シャフト４６が効率よく回転すると共に、第２のシリンダ室５２に給排ポート４４ｃからの空気圧が導通路５３を通じて供給され、第３のピストン６４が上方に向けて加圧され、シャフト４６に、係合ピン４５ａがシャフト４６を回転させる方向とは反対方向に回転力が作用するので、係合ピン４５ａとスクリュー溝ａとのバックラッシがなくなり、シャフト４６の回転方向のがたつきがなくなる（図６（ｂ）参照）。
【００２４】
その後、給排ポート４４ｃからの圧力室４２ｃへの圧縮空気の供給を停止すると、第１のピストン４３は、圧力室４２ａ内の空気圧によってストローク端位置まで第２のピストン６０と共に移動しながら、係合ピン４５ａがシャフト４６のスクリュー溝ａ内を摺動してシャフト４６を回転させる。この場合も、第１のピストン４３の回転は、回り止めピン５０とスリット４３ｂとの係合によって確実に阻止されるので、シャフト４６は効率よく回転される（図６（ｃ）参照）。
【００２５】
このように、本実施の形態では、ピストン２３，４３はシリンダ室２２，４２の内部に配設されているが、スクリュー溝ａを設けたシャフト２６，４６は、外側シリンダチューブ２１ａ，４１ａと内側シリンダチューブ２１ｂ，４１ｂに設けられた軸受２７ａ，２７ｂ，４７ａ，４７ｂに支持され、シリンダ室２２，４２の内部に配設されていないため、シャフト２６，４６の長さは、ピストン２３，４３の長さに依存しないので、シャフト２６，４６の長さを短くでき、シャフト２６，４６の軽量化を図ることができる。
また、シリンダチューブ２１，４１は、中空状になっており、内部に中空スペースを有するので、この中空スペースをシャフト２６，４６に対する製品の取付けに利用することができる。
【００２６】
以上、本発明の実施の形態のスクリュー型ロータリアクチュエータについて詳述したが、本発明は、上記実施の形態記載のスクリュー型ロータリアクチュエータに限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲で、設計において種々の変更ができるものである。
例えば、上記実施の形態のスクリュー溝ａを有するシャフト２６，４６と係合ピン２５，４５ａを有するピストン２３，４３とを、ボールネジを有するシャフトとボールナットを有するピストンに代えてもよい。
この場合、ボールに予圧を掛けることができるため、シャフトのバックラッシをなくすことができ、スクリュー溝ａと係合ピン２５，４５ａとの組合せに比べ、リード角を小さくできるため、長手寸法を短くすることができる。
【００２７】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、本発明のスクリュー型ロータリアクチュエータによれば、スクリュー溝を設けたシャフトは、外側シリンダチューブ内側シリンダチューブに設けられた軸受に支持され、シリンダ室の内部に配設されていないため、シャフトの長さは、ピストンの長さに依存しないので、シャフトの長さを短くでき、シャフトの軽量化を図ることができ、シャフトの流体圧に対する応答性を向上することができる。
また、シリンダチューブは、中空状になっており、内部に中空スペースを有するので、この中空スペースをシャフトに対する製品の取付けに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態であるスクリュー型ロータリアクチュエータの正面図。
【図２】本発明の一実施の形態であるスクリュー型ロータリアクチュエータの平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図。
【図４】本発明の一実施の形態であるスクリュー型ロータリアクチュエータの要部分解斜視図。
【図５】本発明の他の実施の形態であるスクリュー型ロータリアクチュエータの断面図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施の形態であるスクリュー型ロータリアクチュエータの動作を示す断面図。
【図７】従来のスクリュー型ロータリアクチュエータの断面図。
【符号の説明】
１０，２０，４０  スクリュー型ロータリアクチュエータ
１１，２１，４１  シリンダチューブ
１２，２３  ピストン
１３ａ，１３ｂ，２２ａ，２２ｂ，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ  圧力室
１４，２６，４６  シャフト
１５ａ，１５ｂ，２７ａ，２７ｂ，４７ａ，４７ｂ  軸受
１６  溝
１７  スクリュー機構
１８ａ，１８ｂ，２４ａ，２４ｂ，４４ａ，４４ｂ，４４ｃ  給排ポート
１９，３０，５０  回り止めピン
２１ａ，４１ａ  外側シリンダチューブ
２１ｂ，４１ｂ  内側シリンダチューブ
２２  シリンダ室
２３ａ，４３ａ  ピストンロッド
２３ｂ，４３ｂ  スリット
２５，４５ａ，４５ｂ  係合ピン
２８，４８  取付け板
２８ａ，４８ａ  取付け孔
２９，４９  ボルト
３１，５１  ネジ
４２  第１のシリンダ室
４３  第１のピストン
４６ａ  大径部
４６ｂ  小径部
５２  第２のシリンダ室
５３  導通路
５４  連結板
５５  ロッド
５６，５８  ナット
５７  ピストンガイド
５９  規制部材
６０  第２のピストン
６３  カバー
６４  第３のピストン
ａ，ｂ  スクリュー溝
【図１】
0003568886.tif 000002
【図２】
0003568886.tif 000003
【図３】
0003568886.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0003568886.tif 000007
【図７】
0003568886.tif 000008