(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子注入手段と、正孔注入手段と、陽極と、陰極を具備する有機エレクトロルミネセンス素子において、ＳｉＺｎＯからなる保護膜を形成したことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子。
【請求項２】
前記保護膜は、Ｚｎを５〜８０モル％含有することを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネセンス素子。
【請求項３】
電子注入手段と、正孔注入手段と、陽極と、陰極を具備する有機エレクトロルミネセンス手段において、ＳｉＺｎＯＮからなる保護膜を形成したことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子。
【請求項４】
前記保護膜は、Ｚｎを５〜８０モル％含有することを特徴とする請求項３記載の有機エレクトロルミネセンス素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）素子に係り、特に紫外線の悪影響を除くことによりその寿命を長くすることができる保護膜を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬ素子は、薄形の新しい発光源として注目されている。従来の有機ＥＬ素子は、図３に示す如く、ガラス基板１０の上にＩＴＯからなる透明電極１を形成し、この上に積層された正孔注入層２、発光層３、電子注入輸送層４、陰極５等により構成されている。
【０００３】
正孔注入輸送層２としては、例えば下記化１で表されるテトラアリールジアミン誘導体を使用する。
【０００４】
【化１】
0003545813.tif 000002
【０００５】
〔化１において、Ｒ１  、Ｒ２  、Ｒ３  及びＲ４  はそれぞれアリール基、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アミノ基又はハロゲン原子を表す。ｒ１、ｒ２、ｒ３及びｒ４は、それぞれ０又は１〜５の整数である。Ｒ５  及びＲ６  は、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基又はハロゲン原子を表し、これらは同一でも異なるものであってもよい。ｒ５  及びｒ６  はそれぞれ０又は１〜４の整数である。〕
発光層３としては、前記化１で示すテトラアリールジアミン誘導体と、後述する電子輸送層４で使用されるトリス（８−キノリノラト）アルミニュウム等の混合されたものが使用される。
【０００６】
電子注入輸送層４としては、例えばトリス（８−キノリノラト）アルミニュウムが使用される。
陰極としては、ＭｇＡｇ（例えば重量比１０：１）を使用する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで前記の如く構成された有機ＥＬ素子は、紫外線の照射される雰囲気では、最初は強く発光しているが、発光強度が急速に減少するという欠点がある。
【０００８】
本発明者はこの問題を改善すべく研究したところ、紫外線の照射される雰囲気ではオゾンが発生してこのオゾンが有機物をアッシングすることにより、前記正孔注入輸送層２、発光層３、電子注入輸送層４を構成する有機物に対し、Ｃの結合が切断されることに起因することが解明された。
【０００９】
従って本発明の目的は、発光強度を長時間持続させるために、このようなオゾンによる悪影響を防止できる保護膜を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明では、図１に示す如く、有機ＥＬ素子をＳｉＺｎＯ等で構成される保護膜６でコーティングする。
【００１１】
【作用】
有機ＥＬ素子をＳｉＺｎＯ等で構成される保護膜６でコーティングすると、オゾン雰囲気中で使用してもオゾンに基づくアッシングを防止することができ、有機ＥＬ素子の発光時間を長くすることができる。
【００１２】
【実施例】
本発明の一実施例を図１及び図２に基づき説明する。図１は本発明の一実施例構成図、図２はその特性図である。
【００１３】
図１において、１は透明電極、２は正孔注入輸送層、３は発光層、４は電子注入輸送層、５は陰極、６は保護膜、１０はガラス基板である。
透明電極１は陽極となるものであって、例えばＩＴＯ等で構成され、ガラス基板１０上に蒸着又はスパッタリングにより成膜される。
【００１４】
正孔注入輸送層２は、前記化１で表されるテトラアリールジアミン誘導体や、下記化２で表されるＮ、Ｎ′−ジ（３−メチルフェニル）−Ｎ、Ｎ′−ジフェニル−４、４´−ジアミノ−１、１´ビフェニルを蒸着することにより形成される。
【００１５】
【化２】
0003545813.tif 000003
【００１６】
発光層３は、前記正孔注入輸送層２を構成する例えば化１で表されるテトラアリールジアミン誘導体と、後述する電子注入輸送層４を構成する例えばトリス（８−キノリノラト）アルミニュウムとの混合物が使用される。この場合、異なる蒸発源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、これに限定されるものではない。勿論蛍光性物質を含有させることもできる。
【００１７】
電子注入輸送層４は、例えばトリス（８−キノリノラト）アルミニュウムを蒸着することにより形成される。
陰極５は仕事関数の小さい材料で構成され、例えばＭｇＡｇで構成されるが、Ｉｎを使用することもできる。陰極５は蒸着又はスパッタリングにより成膜される。
【００１８】
保護膜６はＳｉＺｎＯ又はＳｉＺｎＯＮにより構成される。これらはいずれもスパッタリングにより成膜される。従って以下の説明でＳｉＺｎＯを使用した例について説明する。
【００１９】
ＳｉＺｎＯは、例えば下記の条件で５０００Å成膜される。
温度            室温
パワー          ５０〜５００ｗ
キャリアガス    Ａｒ
圧力            ０．０１Ｔｏｒｒ
ＲＦ
本発明による保護膜でカバーされた有機ＥＬ素子の発光時間特性を図２で説明する。図２はオゾン濃度が１％の雰囲気中における発光時間特性を示す。図２において横軸は時間（ｈｒ）、縦軸は単位面積当たりの発光光度（カンデラ）（ｃｄ）／ｃｍ２  ）を示す。このオゾン濃度は紫外線照射により発生されたオゾンの濃度として推定したものである。
【００２０】
Ａは保護膜でカバーされない場合を示し、Ｂ〜ＧはＺｎが５〜８０％（モル％）で、Ｏが１０％（モル％）、残りがＳｉ（モル％）の場合を示す。即ち下記の例を示す。
【００２１】
0003545813.tif 000004
ここでＢは、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｏが（８５、５、１０モル％）及び（５５、５、４０モル％）の場合、Ｃは同じく（８０、１０、１０モル％）及び（５０、１０、４０モル％）の場合、Ｄは（７０、２０、１０モル％）及び（４０、２０、４０モル％）の場合、Ｅは（４０、５０、１０モル％）及び（２０、５０、３０モル％）の場合、Ｆは（２０、７０、１０モル％）及び（１０、７０、２０モル％）の場合、Ｇは（１０、８０、１０モル％）の場合を示す。
【００２２】
これより明らかな如く、保護膜の存在しない場合、発光光度は直ちに減衰するが、保護膜でカバーされる場合、その保護膜の組成により減衰特性が変化することがわかる。Ｚｎが５モル％以下あるいは８０モル％を越えると約１００時間で有機ＥＬ素子の発光光度が大きく減衰することがわかる。
【００２３】
前記実施例では、有機ＥＬ素子として正孔注入輸送層、発光層、電子注入輸送層の３層構成の例について説明したが、本発明は勿論これに限定されるものではない。例えば正孔輸送層（発光層）＋電子輸送層、正孔輸送層＋電子輸送層（発光層）の如きものに対しても同様に適用できる。
【００２４】
また保護膜としてＳｉＺｎＯＮを使用した場合は、ＳｉＺｎＯを使用した場合に比較して、耐湿効果が１０％位良好なものが得られる。
なお紫外線が強いところでは、Ｚｎの割合を大にすることで対処できる。しかしＺｎが８０％を越えてＳｉが１０％未満になると、Ｓｉの量が減少するため保護能力が弱くなり、長時間発光力を持続できない。
【００２５】
【発明の効果】
請求項１に記載された本発明によれば、紫外線照射される雰囲気において発生されるオゾンの存在の下でも長時間発光する有機ＥＬ素子を提供することができるので、耐紫外線効果の強い有機ＥＬ素子を提供することができる。
【００２６】
請求項２に記載された本発明によれば、紫外線照射される雰囲気において、非常に長時間発光する有機ＥＬ素子を提供することができる。
請求項３に記載された本発明によれば、紫外線照射される雰囲気において発生されるオゾンの存在の下でも長時間発光する有機ＥＬ素子を提供することができるので、耐紫外線効果の強い有機ＥＬ素子を提供することができる。
【００２７】
請求項４に記載された本発明によれば、紫外線照射される雰囲気において、非常に長時間発光する有機ＥＬ素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例構成図である。
【図２】本発明の特性図である。
【図３】従来例の有機ＥＬ素子である。
【符号の説明】
１  透明電極
２  正孔注入輸送層
３  発光層
４  電子注入輸送層
５  陰極
６  保護膜
１０  ガラス基板
【図１】
0003545813.tif 000005
【図２】
0003545813.tif 000006
【図３】
0003545813.tif 000007