(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリイミドを主成分としたベルト基体を形成し、
上記ベルト基体を２００℃以上でアニールし、
ついで、上記基体表面をアルゴンプラズマ処理にてイオンクリーニングし、
ついで、スパッタリング法あるいはイオンプレーティング法にて薄膜金属からなるターゲットアンカー層を形成し、
ついで、高周波スパッタリング法あるいは上記基体とターゲット金属（固体蒸発源）との間に遮蔽板を配置してアークイオンプレーティング法にて、厚みの最大値と最小値の差が１０μｍ以下になる金属層を形成し、
上記金属層の表側に保護層を形成しているベルトの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の製造方法で形成されたベルト。
【請求項３】
複写機、プリンタ、ファクシミリを含む画像形成装置内において、液状トナーあるいは粉体トナーを担持させ、これを転写及び／あるいは定着させるベルトであって、
ポリイミド製で厚みが１０μｍ以上５０μｍ以下のベルト基体の表面側に、厚さ０．５μｍ以上２０μｍ以下で且つ最大厚みと最小厚みの差が１０μｍ以下の銅からなる金属層を備え、該金属層の表面に０．５μｍ以上５０μｍ以下で、フッ素樹脂層を備えている請求項２に記載のベルト。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベルトに関し、詳しくは、複写機、プリンタ、ファクシミリ等の画像形成装置に用いられる金属薄膜を表面に有するイミドベルトで、特に、カラープリンタ用の中間転写ベルトと定着ベルトの性能を兼ね備えたベルトとして好適に用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】
中間転写ベルトが用いられた画像形成装置で画像が形成される場合、まず感光ドラム上に静電潜像が形成される。次いで、感光ドラム上にトナーが供給され、トナー像が形成される。このトナー像は感光ドラムから中間転写ベルトの外周面に一旦転写され、さらにこの中間転写ベルトから紙等の被印刷体に転写されて定着される。従来の中間転写ベルトはゴム又は合成樹脂を主体とし、トナー像の転写機構上、その体積固有抵抗値が１０６Ω・ｃｍから１０１２Ω・ｃｍ程度の導電性を付与されている。
【０００３】
高画質達成に有利な液状トナーには大量の有機溶剤が用いられているため人体への悪影響が問題となるが、特開平１１―１６７２９５号公報には、有機溶剤の使用量が少なく人体への悪影響が抑制されるという優れた液状トナーが用いられる転写ドラム式の画像形成装置が開示されている。
【０００４】
しかしながら、液状トナーが用いられる場合、中間転写ベルト上で加熱されることとなるため、中間転写ベルトは耐熱性を備えていることが必要となるが、上記従来例では加熱される事を前提とした設計がなされておらず、耐熱性の点で問題がある。
【０００５】
また、近年の画像形成材（プリンターや複写機）に求められる性能として、高速化と共に省力化が挙げられ、その一環として中間転写ベルトと定着ベルトの性能を兼ね備えたベルトの開発が要求されている。これらに対応するため、ポリイミドを主成分とする基体表面に銅等の金属薄膜を形成し、これをマイクロヒーターとして用いたものが提案されている。これにより、粉体トナーや液状トナーをメディアに固着させるための省力化定着装置を実現している。
【０００６】
しかし、従来、ポリイミドを主成分とする基体表面に銅等の金属薄膜を形成する際には、一般的にプライマー等の接着剤を用いて貼り付けるという手法が用いられていた。このようなプライマー等の接着剤を用いた貼り付けでは、液状トナー加熱時に接着剤が溶融し、上記基体と上記金属薄膜の耐熱接着性が劣るという問題がある。
【０００７】
上記問題に対して、本出願人は先に特願平１１−２３７８６３号において、融点が２８０℃以上であるポリイミドを主成分とする樹脂製基体の表面に銅からなる金属層を積層し、該金属層の表面に保護層を備えた中間転写ベルトを提案している。上記したポリイミドを主成分とする基体と銅等の金属層の耐熱接着性を向上させるために、スパッタリング法やイオンプレーティング法等のＰＶＤ法（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、物理蒸着法）により、ポリイミドを主成分とする基体表面に銅からなる金属層が形成されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、スパッタリング法やイオンプレーティング法等のＰＶＤ法で、ターゲット金属を蒸発、イオン化して基体上に金属層を形成すると、金属層の成膜中、基体表面にイオン化されなかった金属の液滴（ドロップレット）が、小さいもので０．１μｍ〜５μｍ程度、大きいもので１０μｍを越えるものが付着し、金属層の表面に凸部を作ってしまう場合がある。この凸部は、金属層より突出し、大きいとことで、膜自体の設定厚みより０．５μｍ〜２５μｍ程度、部分的に厚くなっているため、金属層中に剛性の違いが生じる。そのため、熱をかけてベルトを回転させる際に、厚み差のある部分の周辺で耐久性が劣るという問題があり、従来に比べ耐熱接着性及び耐久性は改善してはいるものの十分とは言えず未だ改良の余地がある。
【０００９】
一般的にスパッタリングやイオンプレーティング等の手法で金属薄膜形成を行う際、金属の高エネルギー粒子を基体表面にぶつけることにより、基体表面に強固な金属膜を作ることができる。よって、強固な金属膜を成膜するには金属の高エネルギー粒子を多く発生させる必要がある。しかし、多くの粒子を発生させるために、ターゲット金属（固体蒸発源）にエネルギーを与えすぎると、本来成膜に必要な金属のイオンや原子だけではなく、イオン化されなかった金属の液滴（ドロップレット）までもが基体の方に飛来する。このため、上記のように金属の液滴の付着により金属層の表面に凸部が発生し、金属層の厚さが不均一となりベルトの耐久性が劣ることが判明した。イオンプレーティング法は全般としてドロップレットが発生しやすいことが知られており、中でもイオンプレーティング法の一種であるアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法では、特に、ドロップレットが発生しやすく、その制御が特に問題となっている。
【００１０】
本発明は上記した問題に鑑みてなされたものであり、スパッタリング法やイオンプレーティング法等のＰＶＤ法で金属層を形成する際に、ドロップレットの発生を抑え、膜厚を均一に制御し、ベルトの耐熱接着性、耐久性を向上させることを課題としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、ポリイミドを主成分としたベルト基体を形成し、
上記ベルト基体を２００℃以上でアニールし、
ついで、上記基体表面をアルゴンプラズマ処理にてイオンクリーニングし、
ついで、スパッタリング法あるいはイオンプレーティング法にて薄膜金属からなるターゲットアンカー層を形成し、
ついで、高周波スパッタリング法あるいは上記基体とターゲット金属（固体蒸発源）との間に遮蔽板を配置してアークイオンプレーティング法にて、厚みの最大値と最小値の差が１０μｍ以下になる金属層を形成し、
上記金属層の表側に保護層を形成しているベルトの製造方法を提供している。
【００１２】
上記のように、通常のスパッタリング法でも金属層にドロップレットが発生するが、スパッタリング法は、イオンプレーティング法に比べてドロップレットを生じにくい。よって、ターゲット金属にかける電圧を下げたり、成膜スピードを抑えて膜成形を行うことにより、ドロップレットを発生させにくくすることができる。
【００１４】
上記のように、蒸着時に基体とターゲット金属の間に、遮蔽板を用いて成膜すると、ターゲット金属から飛来するイオン化されなかった金属の液滴は遮蔽板に付着し、金属イオンのみが遮蔽板を回り込んで基体の表面に付着する。よって、基体表面には金属イオンにより厚さの均一な金属層を形成することができる。
上記方法は、イオンプレーティング法の中でもアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法で特に有用である。アークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法は、スパッタリング法に比べ、成膜スピードが速く、しかも上記のように遮蔽板を用いると均一な金属層を得られるため金属層の形成に特に好ましい。
【００１６】
上記のように基体の表面にターゲットアンカー層を形成しておくと、銅等の金属層の金属がポリイミドを主成分とする基体に拡散・溶出するのを防止することができる。このような拡散障壁としてのはたらきにより、金属層の接着強度を向上させることができる。該ターゲットアンカー層の厚みは、０．０１μｍ以上０．５μｍ以下としている。その理由は、厚みが上記範囲未満であると、遮蔽効果が少なくなり、逆に、厚みが上記範囲を超えても、効果が少なく、効率が悪いことに因る。
【００１７】
上記のように、本発明では、ポリイミド製の基体表面をアルゴンプラズマ処理にてイオンクリーニングを行っている。イオンクリーニングは１分以上１時間以下、好ましくは１５分〜３０分程度、行うのが好ましい。これにより、イミド（基体）表面の油分や酸化被膜などの不純物を除去することができる。上記イオンクリーニング時間が上記範囲未満であると、イミド（基体）膜の成膜時に付着している離型の為の不純物が除去しにくくなり、逆に、イオンクリーニング時間が上記範囲を超えても、効果が少なく、効率が悪くなる。
【００１８】
上記基体（ポリイミドを主成分）は２００℃以上、好ましくは２５０℃以上でアニール（焼鈍）されている。
これによりベルト表面の皺の発生を抑えると共に耐久性、耐熱接着性も向上させることができる。また、アニール温度が２００℃より低いと、イオンプレーティングやスパッタリング時に基体（ポリイミドフィルム）が収縮して金属膜に皺が生じるという問題がある。
【００１９】
本発明は、上記した方法により製造されたベルトを提供している。
上記ベルトは、基体表面側にＰＶＤ法で形成される金属層にドロップレットの発生を抑制し、その厚みの最大値と最小値の差が１０μｍ以下に制御している。よって、上記ドロップレットをできるだけ小さく、あるいは、発生させないように金属層の成膜条件を制御することで、金属層の厚さを均一としている。これにより、従来、ドロップレット周辺の厚みの違いにより生じていた剛性の偏りを抑えることが可能となり、ベルトの耐久性、耐熱接着性を飛躍的に向上させることができる。
なお、金属層の厚みの最大値と最小値の差が１０μｍより大きくなると、金属層の厚さに不均一性が生じ、金属層中の剛性の違いにより金属層の耐久性が劣ることとなる。
【００２０】
即ち、本発明に係わるベルトは、ポリイミド製のベルト基体の表面に厚さ０．５μｍ以上２０μｍ以下の金属層を備え、該金属層の最大厚みと最小厚みの差を１０μｍ以下とし、かつ、該金属層の表側に保護層を備えていることを特徴とするものである。
【００２１】
金属層の厚みは０．５μｍ以上２０μｍ以下としているが、その理由は、厚みが上記範囲未満であると、液状トナーや粉体トナーが中間転写ベルトに均一に保持されなくなってしまうことがあることに因る。逆に、厚みが上記範囲を超えると、金属層の剛性が高すぎて亀裂が発生したり、金属層が基体から剥離を起こす恐れがあることに因る。なお、金属層の厚さは、１μｍ以上１０μｍ以下が特に好ましい。
【００２２】
上記金属層は銅を用いることが好ましい。
銅は磁性を持たないので、中間転写ベルトの静電吸着性を高めることができる。ここで、銅とは、純銅の他、純銅を主成分とする銅合金も含まれる。なお、銅と同様に磁性を持たないアルミニウムによって、金属層を構成してもよい。
上記銅からなる金属層は、空気にさらされると、酸化しやすいため、スパッタリングやイオンプレーティング法により成膜する場合、連続工程で、酸化防止層を銅上に成膜してもよい。例えば、イオンプレーティング法により銅成膜する際には、銅層を空気中にさらすことなく、連続的にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）などを銅上に成膜することもできる。
【００２３】
また、上記保護層をフッ素樹脂やポリイミド、ポリアミドイミド等の耐熱性樹脂から形成することもできる。
好適な耐熱性フッ素樹脂としては、フッ化ビニリデン系樹脂、テトラフルオロエチレン系樹脂、トリフルオロエチレン系樹脂等が挙げられ、これらは単独で用いられてもよく、また、２種以上が併用されてもよい。また、ポリイミドは一般的なカプトンやユーピレックスのモノマーやオリゴマーをベルトに塗布、焼結して作成できる。
これらの樹脂はトナー粒子の離脱性に優れるので、被印刷体へのトナー粒子の転写が円滑となる。さらに、これらの樹脂には誘電層としての機能を併せ持たせることも可能である。
【００２４】
耐熱性フッ素樹脂の融点は、液状トナーの加熱温度（通常１５０℃から２００℃）よりも高く、よって、加熱時に保護層が溶融、変形することはない。また、これらの耐熱性フッ素樹脂の融点は、基体を構成するポリイミドを主成分とする樹脂の融点よりも低く、これによって保護層焼成時の基体の溶融、変形等が防止される。通常、保護層の焼成は、２６０℃程度でなされる。
なお、フッ化ビニリデン系樹脂は、主モノマーとしてのフッ化ビニリデンと他のモノマーとの共重合体である。好適なフッ化ビニリデン系樹脂としては、２６０℃で有効に保護層が焼成・製膜されるという理由より、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体が挙げられる。
【００２５】
保護層の厚みは０．５μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。その理由は、０．５μｍ未満であると、使用中に保護層が摩滅してトナー粒子の離脱性が劣ってしまうことがあり、５０μｍを越えると、保護層の形成に時間と手間とがかかり、中間転写ベルトの材料コストが高くなることによる。該保護層の厚さは３μｍ以上３０μｍ以下が特に好ましい。
【００２６】
上記保護層が形成された後のベルトの表面粗さＲｚは、４μｍ以下が好ましい。粗さが４μｍを超えると、ベルトから被印刷体へのトナー粒子の転写性が悪くなることがある。
【００２７】
上記基体と金属層との間に、拡散障壁となるターゲットアンカー層を設ける場合には、該ターゲットアンカー層は、純チタンまたは純パラジウムの他、純チタンまたは純パラジウムを主成分とする合金、チタンまたはパラジウムを主成分とする化合物でも良い。
チタン（Ｔｉ）あるいはパラジウム（Ｐｄ）を用いる理由は、ポリイミドの表面にスパッタリングやイオンプレーティングで成膜できることに因る。
なお、上記ターゲットアンカー層としては、チタンあるいはパラジウムが好適に用いられるが、銅（Ｃｕ）、タンタル（Ｔａ）、バナジウム（Ｖ）、コバルト（Ｃｏ）等を用いてもよい。チタンを用いるとドロップレットが生じにくいため好ましい。
上記ターゲットアンカー層は、ポリイミドからなる基体へスパッタリング又はイオンプレーティングによって成膜積層しているが、これらの方法により積層すると、ターゲットアンカー層の基体への密着性を非常に優れたものとすることができる。
【００２８】
上記ベルトは、複写機、プリンタ、ファクシミリを含む画像形成装置内において、液状トナーあるいは粉体トナーを担持させ、これを転写及び／あるいは定着させるベルトとして好適に用いられる。
【００２９】
上記ベルトの基体は融点が２８０℃以上であるポリイミドを主成分としているので、耐熱性があり、液状トナーが使用される画像形成装置において、中間転写ベルトとして用いられた場合、液状トナー加熱時の熱にも耐えることができる。また、このベルトは銅からなる金属層を備えているので、所要の導電性があり、このベルトが中間転写ベルトとして使用した場合、静電吸着性に優れ、感光ドラムから液状トナーを吸着しやすい。さらに、保護層を備えているので、トナー粒子の被印刷体への転写が円滑に行われる。
【００３０】
上記ポリイミドには必要に応じ、種々の添加剤（カーボンブラックや金属粉末などの導電性付与剤、ガラス繊維や合成樹脂繊維などの補強剤など）が配合されても良い。
【００３１】
基体の厚みは１０μｍ以上５０μｍ以下とすることが好ましい。この理由は、１０μｍ未満であるとベルトの耐久性が損なわれる恐れがあるためであり、５０μｍを越えると基体の成形に時間とコストがよりかかるためである。
さらに、ベルトが中間転写ベルトである場合、上記範囲より薄い場合には中間転写ベルトの強度が不足し、また、保護層の成形が困難となるためであり、逆に、厚みが上記範囲を超えると、剛性が高すぎて基体に亀裂が発生しやすく、さらに、ベルトの加熱容量が多くなり、加熱する際に大きな熱量を必要とし、ベルトを付設する装置の省力化が図れない。さらに、液状トナーが用いられて加熱冷却のされる時、熱しにくく、冷めにくいものとなる。
【００３２】
基体のベルトは、遠心成形法などにより成形される無端ベルトであっても良いし、フィルム成形されたものを公知の方法により貼りつけ、無端ベルト化してもよい。但し、加熱耐久性の点から貼り付けで無端ベルトとするよりは、遠心成形法で無端ベルトとして成形した方が好ましい。
【００３３】
上記ベルトの全体の厚さは、１０μｍ以上１５０μｍ以下とするのが好ましい。上記範囲より薄い場合には、ベルトとしての強度が不足するという問題があり、逆に、厚みが上記範囲を超えると、回転時に金属層がはがれやすくなるという問題があるためである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明のベルトからなる中間転写ベルト１を示し、該中間転写ベルト１の全体形状は、無端状の円環形状である。この中間転写ベルト１は可撓性に富んでいて自重等で自在に変形し得るので、種々の形状となり得る。図１では、２つの軸間に張設された場合が想定された全体形状（すなわち、進行方向における断面が略長円形状）で示している。
【００３５】
この中間転写ベルトは、図２に示すように、基体３、ターゲットアンカー層４、金属層５及び保護層６の積層体からなる。この中間転写ベルト１の外周面８は、液状トナーが付着する面である。また、内周面１１は、回転中に駆動軸、従動軸等と直接接触する面である。
【００３６】
金属層５は、ターゲットアンカー層４の表面にアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法（遮蔽板使用）にて直接成膜形成している。即ち、図３に示すように、基体３とターゲット金属（固体蒸発源）５０の間に、遮蔽板４０を配置し、ターゲット金属（固体蒸発源）５０にエネルギーを与え、金属イオン５１が遮蔽板４０を回り込んで基体３の表面３ａに膜を形成するようにして金属層５を成膜している。これにより、ターゲット金属５０からイオン化されなかった金属の液滴（ドロップレット）５２が基体３の表面３ａに飛来するのを防止し、金属層５の厚みの最大値と最小値の差が１０μｍ以下になるように金属層５の厚みを均一に制御している。また、金属層５には銅を用い、金属層５の厚みは０．５μｍ以上２０μｍ以下としている。
【００３７】
なお、本実施形態では、アークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法を用いているが、高周波スパッタリングにより金属層５を形成してもよい。
【００３８】
上記基体３の表面には、ターゲット金属（固体蒸発源）のアンカーとして、チタンからなるターゲットアンカー層４（拡散障壁）をスパッタリング法にて形成している。これにより、金属層５の金属が基体３に拡散するのを防止している。また、このターゲットアンカー層４の形成前に、基体３の表面処理としてアルゴンプラズマ処理にてイオンクリーニングを行っている。
【００３９】
基体３は、融点が２８０℃以上のポリイミドを主成分とする樹脂から構成しており、２００℃以上でアニール（焼鈍）され形成されている。また、基体３の厚みは１０μｍ以上５０μｍ以下としている。
【００４０】
通常、トナー粒子に用いられるバインダー樹脂の融点は１５０℃から２００℃程度であり、中間転写ベルト１上の液状トナーはこのバインダー樹脂の融点よりも若干高めの温度まで加熱される。この際、基体３の融点が２８０℃以上であるので、基体３が溶融したり変形することはない。また、ターゲットアンカー層４および金属層５が成膜形成される場合及び保護層７が焼成される場合（焼成温度は通常２６０℃程度）でも、基体３が溶融、変形することはない。
【００４１】
保護層６は、耐熱性フッ素樹脂からなり、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体で構成されている。これによって、保護層６が誘電層として機能し、液状トナーの吸着がなされる。また、保護層６によってトナー粒子の離脱性が高まり、被印刷体へのトナー粒子の転写が円滑となる。
【００４２】
図４は、図１の中間転写ベルト１が装着された画像形成装置が示された模式的正面図である。この画像形成装置は、駆動軸１３、第一従動軸１５、第二従動軸１７、感光ドラム１９、転写ロール２１、シリコーン系スポンジロール２３及びヒーター２５を備えている。そして、駆動軸１３、第一従動軸１５及び第二従動軸１７に、中間転写ベルト１が張設されている。中間転写ベルト１は、図中矢印Ａで示される方向に回転している。
【００４３】
この画像形成装置によって画像が形成される場合、まず現像ロール（図示されず）によって感光ドラム１９の上に液状トナーが供給され、トナー像が形成される。次に、感光ドラム１９と転写ロール２１との間を通過する中間転写ベルト１に、トナー像が転写される。次に、液状トナーがヒーター２５によって加熱される。この加熱によって液状トナーの揮発成分がある程度揮発し、また、トナー粒子のバインダー樹脂が溶融する。次に、中間転写ベルト１とスポンジロール２３との間に供給された被印刷体２７に、トナー像が転写される。このトナー像が定着されて、画像が形成される。この図では１つの感光ドラム１９が示されているが、カラー印刷の場合は、ブラック、マゼンダ、シアン及びイエローの４色のトナーのそれぞれに、感光ドラム１９が用意される。中間転写ベルト１は耐熱性であるので、ヒーター２５によって加熱されても溶融したり変形したりしない。
【００４４】
ヒーター２５を設けず、駆動軸１３が高温とされることによって液状トナーを加熱してもよい。この場合は、中間転写ベルト１の裏側に位置する駆動軸１３から表側に位置する液状トナーに熱が伝導する必要があるので、熱効率の観点から、中間転写ベルト１の厚みを比較的薄くする必要がある。具体的には、基体３の厚みを５０μｍ以下とすることが好ましい。本発明では基体３にポリイミドを主成分とする樹脂を用いているので、遠心成形法又は塗工成形法が適用可能で、基体３の薄肉化が達成され得る。
【００４５】
本発明に係るベルトからなる実施例１及び実施例２と、比較例１及び比較例２を作製し、金属層のピーク位置厚み（最大値）、ベルトの表面状態（成膜直後、１ヶ月放置後）、金属層の５０μｍ以上の凸部の有無、サイクル加熱耐久性について測定、評価した。その結果を下記の表１に示す。
【００４６】
【表１】
0003574619.tif 000002
【００４７】
［実施例１］
ポリイミド（宇部興産社の商品名「Ｕワニス−Ｓ」）からなる厚みが２５μｍの基体を遠心成型法にて成形し、３００℃でアニール（焼鈍）し無端状のベルトを得た。この基体を１０―５ｔｏｒｒ程度の高真空下において、アルゴン封入後プラズマ処理してポリイミド表面を３０分間イオンクリーニングした。その後、この基体の外側表面に、Ｃｕ（金属層）のポリイミド膜（基体）への溶出を防ぐため、Ｔｉのスパッタリングを施し、厚みが約０．１μｍ以上のターゲットアンカー層を形成した。引き続いて、このターゲットアンカー層の表面に、高周波スパッタリング法によって、銅からなる厚みが２μｍである金属層を積層成膜した。この銅からなる金属層の表面に、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体を主成分とする樹脂組成物（ダイキン工業社の商品名「ダイエルラテックスＧＬＳ−２１３」）を塗布して温度１００℃で１０分間乾燥し、さらに温度２６０℃で３０分間硬化させ、厚みが約１０μｍの保護層を形成し、中間転写ベルト用のベルトを得た。
【００４８】
［実施例２］
ターゲットアンカーとしてのターゲットアンカー層を銅（Ｃｕ）とし、銅からなる金属層をアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法によって、図３に示すように遮蔽板を使用して形成した他は実施例１と同様とした。
【００４９】
［比較例１］
ポリイミドからなる基体のアニール温度を２００℃とし、銅からなる金属層をアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法によって、図５に示すように遮蔽板を使用せずに形成した。他は実施例２と同様とした。
即ち、ターゲット金属（固体蒸発源）５０にエネルギーを与え、直接、金属イオン５１を基体３の表面３ａに付着させ金属層５を成膜した。
【００５０】
［比較例２］
銅からなる金属層の厚みを３．５μｍとし、銅からなる金属層をアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法によって、図５に示すように遮蔽板を使用せず形成した。他は実施例２と同様とした。
【００５１】
（サイクル加熱耐久性評価）
各実施例及び比較例のベルトを、冷却プーリー（５０℃）と加熱プーリー（２００℃）の２つのプーリーによって張架し、この状態で、７５ｍｍ／ｓｅｃの回転スピードで３００時間ベルトを回転させ、ベルトの耐久性を評価した。
【００５２】
上記表１に示すように、実施例１及び実施例２では、金属層のピーク位置厚みが４μｍ、６μｍであり、金属層（Ｃｕ）厚み（２μｍ）との差がそれぞれ２μｍ、４μｍとなり、金属層の厚さが均一となっており、アニール温度も最適である。従って、成膜直後にベルト表面に皺もなく、サイクル加熱耐久性の評価結果も良好であり、耐熱接着性、耐久性に優れることが確認できた。
【００５３】
一方、比較例１では、金属層のピーク位置厚みが６５μｍと大きく、金属層（Ｃｕ）厚み（２μｍ）との差が６３μｍと非常に大きくなっており金属層の厚みが不均一であると共に、ポリイミドを主成分とする基体を縮ませて成膜直後に皺が発生した。比較例２では、成膜直後に皺は見られなかったが、ピーク位置厚みが３８μｍと大きく、金属層（Ｃｕ）厚み（３．５μｍ）との差が３４．５μｍと大きく、金属層の厚みが不均一である。従って、サイクル加熱耐久性評価において、ベルト回転１００時間で金属層の凸部が欠落し、金属層（Ｃｕ）に穴が開いてしまい、十分な耐久性は得られなかった。
【００５４】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、ドロップレットの基体への飛散を防止し、金属層の膜厚を均一に制御することにより、ベルトの耐久性、耐熱接着性を飛躍的に向上させることができる。これにより長期間の使用が可能とされ経済上も有利である。また、アニール温度を規定することによりベルト表面の皺の発生を抑え、実用に優れたベルトを提供することができる。
【００５５】
特に、液状トナーが用いられる画像形成装置において中間転写ベルトとして用いた場合、耐熱性に優れると共に、所要の強度があるため、高速化と省力化に優れた画像形成材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるベルトからなる中間転写ベルトを示した斜視図である。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】遮蔽板を使用したアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法による金属層の形成方法の概略図である。
【図４】図１の中間転写ベルトを装着した画像形成装置の模式的正面図である。
【図５】遮蔽板を使用しないアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）法による金属層の形成方法の概略図である。
【符号の説明】
１    中間転写ベルト
３    基体
４    ターゲットアンカー層
５    金属層
６    保護層
８    外周面
４０  遮蔽板
５０  ターゲット金属（固体蒸発源）
５１  金属イオン
５２  金属の液滴（ドロップレット）
【図１】
0003574619.tif 000003
【図２】
0003574619.tif 000004
【図３】
0003574619.tif 000005
【図４】
0003574619.tif 000006
【図５】
0003574619.tif 000007