(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に接着させた後、そのシート状接着材から剥離フィルムを剥離する剥離フィルムの剥離方法であって、
シート状接着材に押え板を当接させ、
その押え板の当接面から被着体側へ剥離フィルムの厚さ以下の距離の位置を当該当接面と平行に移動する爪を、シート状接着材の端部に差し込み、
差し込んだ爪と押え板とで剥離フィルムの端部を挟み、
挟んだ部分がシート状接着材の他端側へ引っ張られるように爪と押え板とを移動させ、剥離フィルムを剥離する剥離方法において、
押え板として、爪を差し込む側の角部にテーパー又は曲線部が形成されているものを使用し、爪として、押え板の角部に形成されているテーパー又は曲線部と勘合する先端形状を有するものを使用することを特徴とするシート状接着材の剥離フィルムの剥離方法。
【請求項２】
爪が、押え板の当接面から被着体側へ剥離フィルムの厚さの０．２〜１倍の距離の位置を移動する請求項１記載の剥離方法。
【請求項３】
爪と押え板とで剥離フィルムの端部を挟んだ後、挟んだ部分を押え板の当接面に対して１０〜４５°の方向に引っ張る請求項１又は２記載の剥離方法。
【請求項４】
シート状接着材が、異方性導電性接着剤層と剥離フィルムからなる異方性導電性接着剤シートである請求項１〜３のいずれかに記載の剥離方法。
【請求項５】
少なくとも接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に接着させた後、そのシート状接着材から剥離フィルムを剥離する、剥離フィルムの剥離装置において、
シート状接着材に当接する押え板、
その押え板の当接面から被着体側へ剥離フィルムの厚さ以下の距離の位置を当該当接面と平行に移動する爪、及び
その爪をシート状接着材の端部に差し込み、その爪と押え板とで剥離フィルムの端部を挟み、挟んだ部分がシート状接着材の他端側へ引っ張られるように爪と押え板を移動させて剥離フィルムを剥離させる爪・押え板移動機構
を有し、押え板の爪を差し込む側の角部にテーパー又は曲線部が形成されており、爪の先端形状が、押え板の角部に形成されているテーパー又は曲線部と勘合することを特徴とするシート状接着材の剥離フィルムの剥離装置。
【請求項６】
爪が、押え板の当接面から被着体側へ剥離フィルムの厚さの０．２〜１倍の距離の位置を移動する請求項５記載の剥離装置。
【請求項７】
爪・押え板移動機構が、爪と押え板とで挟んだ剥離フィルムの端部を、押え板の当接面に対して１０〜４５°の方向に引っ張る請求項５又は６記載の剥離装置。
【請求項８】
異方性導電性接着剤層と剥離フィルムからなる異方性導電性接着剤シートの剥離フィルムを剥離する装置である請求項５〜７のいずれかに記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に接着させた後、その剥離フィルムを剥離するに際して、剥離フィルムを確実に剥離できるようにする剥離フィルムの剥離方法及びそのための剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、種々のワーク（被着体）を相互に接着する場合に、接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材が使用されている。例えば、液晶パネルにＴＡＢを接続接着させる場合には、異方性導電性接着剤層と剥離フィルムからなるシート状の異方性導電性接着剤シートが使用されている。
【０００３】
このようなシート状接着材は、基本的には、通常、まず一方のワークにシート状接着材の接着剤層を仮接着し、次いで剥離フィルムを剥離して接着剤層を露出させ、その露出した接着剤層の上に他方のワークを重ね、加熱加圧等によって双方のワークを本接着するという工程で使用されるが、シート状接着材を接着すべきワークの形状等に応じてどのように切断して使用するかという点やシート状接着材の剥離フィルムをどのように剥離するかという点に関しては、次のような種々の方法が提案されている。
【０００４】
（ｉ）    長尺のシート状接着材からワークの接着に使用する所定の大きさの接着剤層のみを切り出して使用するために、図６に示したように、まず、接着剤層１と剥離フィルム２からなるシート状接着材３の剥離フィルム２を切断することなく接着剤層１のみを熱転写あるいは溶断することにより不用部分１ｘを除去し（同図（ａ））、次いで、シート状接着材に残存している所定の大きさの接着剤層１をワーク４に重ね、貼着用ツール５で加熱加圧して接着し（同図（ｂ））、その後、切断されることなく長尺状態を維持している剥離フィルムをリール６に巻き取るなどして剥がしとるという方法（同図（ｃ））（特開平１−１１７２８５号公報の特許請求の範囲、特開平２−２９３７２１号公報の特許請求の範囲）。
（ｉｉ）  図７に示したように、シート状接着材３を剥離フィルム２ごと所定の大きさに切断して、その切断したシート状接着材３の接着剤層１をワーク４に接着し（同図（ａ））、次いで別個に用意した粘着テープ７を剥離フィルム２に貼り付け（同図（ｂ））、粘着テープ７と共に剥離フィルム２を除去するという方法（同図（ｃ））。
【０００５】
（ｉｉｉ）    シート状接着材を剥離フィルムごと所定の大きさに切断して、その切断したシート状接着材の接着剤層をワークに接着した後、図８に示したように、ロール８等を使用してワーク４を曲げ、それにより剥離フィルム２を接着剤層１から浮き上がらせる。そして、その浮き上がった剥離フィルム２を挟むことにより剥離フィルムを除去する方法。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記（ｉ）  の剥離フィルムを切断することなく接着剤層の所定部分をワークに接着し、剥離フィルムをリールに巻き取って剥離するという方法では、複数のワーク間を所定の間隔をあけて連続的に接着する場合に、各ワークの接着部位ごとに接着剤層を接着させることが困難であるという問題がある。
【０００７】
また、そのような場合に、接着剤層をワークの接着部位に対して位置精度高く接着することも困難であるという問題がある。例えば、異方性導電性接着剤シートを用いて、液晶パネルに複数のＴＡＢを０．１ｍｍ以下のピッチで接着する場合に、異方性導電性接着剤層の液晶パネルへの貼着位置の精度は±０．１ｍｍ以下にすることが必要とされるが、上記（ｉ）  の方法ではそのような精度で接着剤層を接着することができない。これは、剥離フィルムが伸ばされ、その影響が接着剤層に及ぶことが一因となっているためと考えられる。
【０００８】
また、この（ｉ）  の方法では、一方のワークに接着剤層が接着された後、速やかに剥離フィルムが剥離されることとなるので、接着剤層上に他方のワークが重ねられるまでの間に接着剤層にゴミが付着するという問題もある。
【０００９】
一方、上記（ｉｉ）の粘着テープを使用する方法では、シート状接着材の接着剤層をワークの接着部位に対して位置精度高く接着することはできるが、剥離フィルムを剥離するために副資材として粘着テープを用意することが必要となるので接着作業がコスト高になるという問題があり、さらに、粘着テープの装着作業や使用済み粘着テープの取換作業が煩雑になるという問題がある。また、剥離フィルムの種類によっては粘着テープに貼着させて剥離することができないという問題もある。
【００１０】
また、上記（ｉｉｉ）  のワークを曲げることにより剥離フィルムを浮き上がらせる方法も、接着剤層をワークの接着部位に対して位置精度高く接着することはできるが、ワークがガラス基板のように曲げることができないものである場合には適用することができない。
【００１１】
本発明は以上のような従来技術の問題点を解決しようとするものであり、接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材を用いてワーク（被着体）を接着するに際し、シート状接着材の接着剤層を被着体の接着部位に対して位置精度高く接着するために、シート状接着材を剥離フィルムごと所定の大きさに切断し、そのシート状接着材の接着剤層を被着体に接着した場合において、剥離フィルムを、粘着テープ等の副資材を使用することなく、確実に除去できるようにすることを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、被着体に接着しているシート状接着材に当接する押え板と、この押え板のシート状接着材への当接面に対して剥離フィルムの厚さ以下の距離だけ被着体側を平行に移動する爪とを用いて、被着体に接着しているシート状接着材の剥離フィルムの端部を挟み、その挟んだ部分を引っ張るようにすると上記の目的が達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１３】
すなわち、本発明は、少なくとも接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に接着させた後、そのシート状接着材から剥離フィルムを剥離する剥離フィルムの剥離方法であって、
シート状接着材に押え板を当接させ、
その押え板の当接面から被着体側へ剥離フィルムの厚さ以下の距離の位置を当該当接面と平行に移動する爪を、シート状接着材の端部に差し込み、
差し込んだ爪と押え板とで剥離フィルムの端部を挟み、
挟んだ部分がシート状接着材の他端側へ引っ張られるように爪と押え板とを移動させ、剥離フィルムを剥離する剥離方法において、
押え板として、爪を差し込む側の角部にテーパー又は曲線部が形成されているものを使用し、爪として、押え板の角部に形成されているテーパー又は曲線部と勘合する先端形状を有するものを使用することを特徴とするシート状接着材の剥離フィルムの剥離方法を提供する。
【００１４】
また、このような方法を実施する装置として、少なくとも接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材の当該接着剤層を被着体に接着させた後、そのシート状接着材から剥離フィルムを剥離する、剥離フィルムの剥離装置において、
シート状接着材に当接する押え板、
その押え板の当接面から被着体側へ剥離フィルムの厚さ以下の距離の位置を当該当接面と平行に移動する爪、及び
その爪をシート状接着材の端部に差し込み、その爪と押え板とで剥離フィルムの端部を挟み、挟んだ部分がシート状接着材の他端側へ引っ張られるように爪と押え板を移動させて剥離フィルムを剥離させる爪・押え板移動機構
を有し、押え板の爪を差し込む側の角部にテーパー又は曲線部が形成されており、爪の先端形状が、押え板の角部に形成されているテーパー又は曲線部と勘合することを特徴とするシート状接着材の剥離フィルムの剥離装置を提供する。
【００１５】
【作用】
本発明によれば、被着体に接着しているシート状接着材に押え板を当接させ、シート状接着材の端部に爪を差し込み、その押え板と爪とを用いてシート状接着材の剥離フィルムの端部を挟み、その挟んだ部分を引っ張ることにより剥離フィルムを剥離するが、ここで爪としては、押え板のシート状接着材への当接面に対して剥離フィルムの厚さ以下の距離だけ被着体側を平行に移動するものを使用する。したがって、被着体に接着しているシート状接着材を押え板で押え、そのシート状接着材の端部に爪を差し込むことにより、剥離フィルムの端部を確実に挟むことが可能となる。
【００１６】
すなわち、シート状接着材の接着剤層の厚さは、その部分に印加されている張力や、シート状接着材が接着している被着体の温度等によって変わりやすいが、これに対して剥離フィルムの厚さは安定している。したがって、被着体に接着しているシート状接着材の外表面（即ち、押え板の当接面）を基準とし、その面から剥離フィルムの厚さ以下の距離だけ被着体側に爪を差し込むことにより、シート状接着材に印加されている張力や温度にかかわらず、確実に剥離フィルムを挟むことが可能となる。よって、本発明によれば、粘着テープ等の副資材を使用することなく、確実に剥離フィルムを剥離することが可能となる。
【００１７】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて具体的に説明する。なお、各図において同一符号は同一又は同等の構成要素を表している。
【００１８】
図１は本発明の方法の工程説明図である。この方法は、少なくとも接着剤層１と剥離フィルム２からなるシート状接着材３を所定の大きさに切断し、その接着剤層１を被着体４に接着した後、剥離フィルム２を剥離する場合に好適な方法である。
【００１９】
なお、本発明の方法により離型フィルムを剥離するシート状接着材３は、少なくとも接着剤層１と剥離フィルム２とを有しているものであればよく、その接着剤層１を被着体４に接着させる前には、その接着面を保護するために接着面上に保護フィルムが設けられているものであってもよい。また、シート状接着材３を構成する接着剤層１や剥離フィルム２の素材や厚さには特に制限はなく、種々の用途のシート状接着材３に対して、本発明の剥離フィルムの剥離方法を適用することができる。例えば、接着剤層が厚さ５〜５０μｍ程度の異方性導電性接着剤からなり、剥離フィルムが厚さ１０〜１００μｍ程度のテフロン製、片面間又は両面剥離処理したＰＥＴ又紙、ポリプロピレン製等のフィルムからなる異方性導電性接着剤シートに対して本発明を好ましく適用することができる。
【００２０】
また、被着体４としては、液晶パネル用ガラス基板等のようにリジッドなものでもよく、フィルム基板のようにフレキシブルなものでもよい。
【００２１】
本発明の方法の実施に際しては、図１（ａ）に示したように、まず、被着体４に接着しているシート状接着材３に当接させる押え板９を用意する。この押え板９の形状は特に限定されるものではないが、本発明においてはその角部９ｂと後述する爪１０とで剥離フィルム２の端部を挟み、剥離フィルムを剥離するので、この角部９ｂで剥離フィルムを確実に挟めるようにするため、同図又は図２（ａ）に示したように角部９ｂにテーパーが形成されているものか、あるいは図２（ｂ）に示したように角部９ｂに曲線部が形成されているものが好ましい。なお、押え板の当接面９ａに対するテーパーの角度α（図２（ａ））は、通常３０°程度がが好ましい。
【００２２】
また、本発明の実施に際しては、シート状接着材３に対する当接面９ａから剥離フィルム２の厚さｔ以下の距離、好ましくは０．２ｔ〜ｔの距離だけ被着体側をその当接面９ａと平行に移動する爪１０を用意する。このように特定の移動面を有する爪１０は、例えば、図１に示したように、押え板９の側面にガイド１１を設け、そのガイド１１にそって移動するシャフト１２と爪１０とを接続することにより得ることができる。
【００２３】
また、爪１０の先端形状は、押え板の角部９ｂと勘合するものが好ましく、例えば図１（ａ）又は図２（ａ）に示したように、押え板の角部９ｂが当接面に対して角度αのテーパーを有する場合、爪の先端形状は、当接面に対して角度αのテーパーを有するものが好ましい。また、図２（ｂ）に示したように、押え板の角部９ｂが曲線部を有する場合には、爪１０の先端形状も、押え板の曲線部のＲと同じＲの曲線部を有するものとすることが好ましい。
【００２４】
本発明の方法においては、図１（ｂ）に示したように、まず上述した押え板９を、被着体４に接着しているシート状接着材３に当接させる。この場合、押え板９がシート状接着材３を０．２〜３．０ｋｇ／ｃｍ２（常温）程度の力で押えるようにすることが好ましい。
【００２５】
次に、同図（ｃ）に示したように爪１０をシート状接着材３の端部に差し込む。ここで、本発明において爪１０を、押え板の当接面９ａから剥離フィルム２の厚さｔ以下の距離だけ被着体４側に位置させる。そこで、例えば、同図に示したように、この爪１０を押え板の当接面９ａから剥離フィルム２の厚さｔだけ被着体４側に位置させた場合には、爪１０の先端部は剥離フィルム２と接着剤層１との界面に差し込まれ、剥離フィルム２の端部が爪１０と押え板９とで挟まれることとなる。また、爪１０を押え板の当接面９ａから剥離フィルム２の厚さｔよりも短い距離だけ被着体４側に位置させた場合には、図３に示したように、爪１０は、まず剥離フィルム２の側面にあたり（図３（ａ））、次に剥離フィルム２が上側に曲り（図３（ｂ））、その後爪１０が接着剤層１に接触することなく剥離フィルム２を挟むようになる（図３（ｃ））。
【００２６】
爪１０を差し込む距離ｄは、剥離フィルム２の厚さや剥離フィルム２と接着剤層１との接着強度等にもよるが、通常は０．２〜０．５ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００２７】
爪１０と押さえ板９とで剥離フィルム２の端部を挟んだ後は、図１（ｄ）に矢印で示したように、その挟んだ部分がシート状接着材の他端側へ引っ張られるように爪１０と押え板９とを移動させ、これにより剥離フィルム２を剥離する。この場合、被着体４は移動させることなく、爪１０と押さえ板９とを移動させることにより剥離フィルム２の端部を引っ張ってもよく、被着体４を移動させることにより剥離フィルム２の端部が引っ張られるようにしてもよい。また、爪１０と押さえ板９とで挟んだ剥離フィルム２の端部を引っ張る方向（押え板の当接面９ａに対する角度β）は、大きすぎると剥離フィルム２が接着剤層１から剥離することなく切断されやすくなるので、通常は１０〜４５°とすることが好ましい。本発明の装置は、上述のような押え板９、爪１０及びこれら押え板９と爪１０の移動機構を備えたものである。
【００２８】
図４は本発明の装置の実施例の全体図である。同図の装置は、被着体４を載置するワークステージ１３と、ワークステージ１３上をｘ軸方向、ｙ軸方向及びｚ軸方向の各方向に移動可能な腕部１４と、腕部１４に取り付けられた剥離ユニット１５からなっており、この剥離ユニット１５に押え板と爪が組み込まれている。このようにｘ軸方向、ｙ軸方向及びｚ軸方向の各方向に移動可能な腕部１４に剥離ユニット１５を取り付けることにより、ワークステージ１３上の任意の位置において、剥離フィルムを除去することが可能となる。
【００２９】
図５は、図４の剥離ユニット１５の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。同図に示したように、押え板９と爪１０はこのユニット１５の下部に設けられている。そして爪１０の先端の位置は、剥離する当該剥離フィルムの厚さ以下の距離だけ押え板９の当接面９ａから下方（即ち、被着体側）に設定されている。また、爪１０を押え板９の当接面９ａに対して平行に移動できるように、爪１０には、ガイドにそって移動するシャフト１２が接続されている。
【００３０】
剥離ユニット１５の上部にはｚ軸モータ１６が設けられており、この剥離ユニット１５をｚ軸方向ガイド１７にそってｚ軸方向へ移動させることにより、押え板９をシート状接着材に当接させられるようになっている。また、押え板９をシート状接着材に当接させたときに、シート状接着材を押え板９で適切な圧力（通常、０．２〜３．０ｋｇ／ｃｍ２（常温）程度）で押えられるようにするため、スプリング１８が設けられている。
【００３１】
剥離ユニット１５の側部にはｘ軸モータ１９が設けられており、この剥離ユニット１５をｘ軸方向ガイド２０にそってｘ軸方向へ移動させられるようになっている。したがって、ｚ軸モータ１６とｘ軸モータ１９とを同時に駆動させることにより、爪１０と押え板９とで剥離フィルムの端部を挟んだ後、その挟んだ部分を押え板９の当接面９ａに対して１０〜４５°程度の斜め方向とすることを可能としている。
【００３２】
さらに本発明の装置には、剥離フィルムの剥離性能を向上させるために種々の付随的手段を設けることができる。例えば、ワークステージ１３に載置した被着体４に接着しているシート状接着材３の位置を認識するためのカメラ及びそのカメラで撮影した映像に基づき剥離ユニット１５をｘ軸方向、ｙ軸方向及びｚ軸方向の任意の位置に移動させ、さらに押え板９と爪１０の動作を制御する、コンピュータ制御装置を設けることができる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明によれば、接着剤層と剥離フィルムからなるシート状接着材を剥離フィルムごと所定の大きさに切断し、そのシート状接着材の接着剤層を被着体に接着させ、その後にシート状接着材から剥離フィルムを剥離するに際して、粘着テープ等の副資材を使用することなく、確実に剥離フィルムを剥離除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法の工程説明図である。
【図２】本発明で使用する押え板及び爪の部分拡大断面図である。
【図３】本発明の方法の作用の説明図ある。
【図４】本発明の装置の全体図である。
【図５】本発明の装置で使用する剥離ユニットの正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。
【図６】従来の剥離フィルムの剥離方法の説明図である。
【図７】従来の剥離フィルムの剥離方法の説明図である。
【図８】従来の剥離フィルムの剥離方法の説明図である。
【符号の説明】
１          接着剤層
２          剥離フィルム
３          シート状接着材
４          ワーク（被着体）
５          貼着用ツール
６          リール
７          貼着テープ
８          ロール
９          押え板
９ａ        押え板の当接面
１０          爪
１１          ガイド
１２          シャフト
１３          ワークステージ
１４          腕部
１５          剥離ユニット
１６          ｚ軸モータ
１７          ｚ軸方向ガイド
１８          スプリング
１９          ｘ軸モータ
２０          ｘ軸方向ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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