(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２波長以上の異なるレーザービームを記録媒体上に走査して画像を露光形成するレーザー露光装置であって、
直接変調により光量変調されるレーザービームと、音響光学変調素子により光量変調されるレーザービームとの組み合わせで構成されると共に、
前記直接変調されるレーザービームと、前記音響光学変調素子で光量変調されるレーザービームとの露光タイミングを一致させる露光タイミング調整手段を備えることを特徴とするレーザー露光装置。
【請求項２】
前記直接変調により光量変調されるレーザービームが半導体レーザーであり、前記音響光学変調素子により光量変調されるレーザービームがガスレーザー又は固体レーザーであることを特徴とする請求項１記載のレーザー露光装置。
【請求項３】
前記直接変調により光量変調される半導体レーザーのビーム形状を、前記音響光学変調素子により光量変調されるガスレーザー又は固体レーザーのビーム形状に合わせるためのビーム整形光学手段を備えることを特徴とする請求項２記載のレーザー露光装置。
【請求項４】
前記音響光学変調素子に入射するレーザービームの径を縮小する入射ビーム径縮小手段と、前記音響光学変調素子から出射したレーザービームの径を、前記入射ビーム径縮小手段により縮小される前の径に戻すビーム径戻し手段と、を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のレーザー露光装置。
【請求項５】
前記レーザービームを所望のビーム径に縮小すると共に、前記記録媒体上に前記縮小された径の平行ビームとして投影させる縮小光学手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のレーザー露光装置。
【請求項６】
各波長毎に複数のレーザービームで記録媒体上を露光走査させる構成であって、前記音響光学変換素子が複数のレーザービームを同時に変調する構成であり、該音響光学変換素子におけるレーザービーム間隔に、前記直接変調により光量変調されるレーザービームの間隔を合わせるピッチ変換手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のレーザー露光装置。
【請求項７】
前記ピッチ変換手段でビーム間隔が調整された前記直接変調により光量変調される複数のレーザービームと、前記音響光学変換素子で光量変調された複数のレーザービームとを同時に同一ピッチに縮小するピッチ縮小手段を備えたことを特徴とする請求項６記載のレーザー露光装置。
【請求項８】
長波長レーザービームの光路に介装されるミラーの数が短波長レーザービームに比して少なくなるように構成したことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載のレーザー露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザー露光装置に関し、少なくとも２波長以上の異なるレーザービームを記録媒体上に走査してカラー画像を露光形成するレーザー露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、カラー画像を露光形成するレーザー露光装置としては、ＢＧＲにそれぞれに対応する３波長のガスレーザー（アルゴンレーザーやヘリウムネオンレーザーなど）と音響光学変調素子（以下、ＡＯＭと略す）とを組み合わせて使用する装置や、ＣＭＹの３層とも赤波長以上に感光する感材を用い、３波長の半導体レーザーを直接変調（内部変調）して露光させる構成の装置が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ガスレーザーのうち特にＢ光源として用いられることが多いアルゴンレーザーは、装置サイズが大きくかつコスト高となるという問題があった。
また、従来のＡＯＭによる変調においては、ガスレーザーからのレーザービームをそのままＡＯＭに入射させていたが、この場合，露光速度がＡＯＭの変調速度に律速されることになり、露光速度を充分に高速化させることができなかった。
【０００４】
一方、ＣＭＹの３層とも赤波長以上に感光する感材を用いれば、全ての光源として比較的安価な半導体レーザーを用いることが可能であるが、上記のような特性の感材は設計，製造，保存が難しく、また、感材自体の値段も高くなるという問題があった。更に、赤波長以上を使うことで３波長が接近することになり、隣接波長の干渉が発生する可能性があるなどの問題があった。
【０００５】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、レーザー露光装置のコンパクト化及び低コスト化を図れるようにすることを目的とする。
更に、安定したカラー画像を高速で露光可能なレーザー露光装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのため請求項１記載の発明では、少なくとも２波長以上の異なるレーザービームを記録媒体上に走査して画像を露光形成するレーザー露光装置であって、直接変調により光量変調されるレーザービームと、音響光学変調素子により光量変調されるレーザービームとの組み合わせで構成されると共に、前記直接変調されるレーザービームと、前記音響光学変調素子で光量変調されるレーザービームとの露光タイミングを一致させる露光タイミング調整手段を備える構成とした。
【０００７】
かかる構成によると、直接変調（内部変調）されるレーザービームと、音響光学変換素子（ＡＯＭ）により外部変調されるレーザービームとが組み合わされて、画像露光が行われることになる。このとき、レーザービームを直接変調させる場合に対して、ＡＯＭの変調には遅れが生じるので、露光タイミングを一致させる露光タイミング調整手段を備える構成とされており、具体的には、前記遅れ分だけビーム位置をずらしたり、又は、直接変調を行うための変調データを前記ＡＯＭの遅れ分だけ遅延させることで、露光タイミングを一致させることが可能である。
請求項２記載の発明では、前記直接変調により光量変調されるレーザービームが半導体レーザーであり、前記音響光学変調素子により光量変調されるレーザービームがガスレーザー又は固体レーザーである構成とした。
【０００８】
かかる構成では、半導体レーザーは、該半導体レーザーに流す電流のＯＮ，ＯＦＦにより画像信号に応じた光量変調がなされ、ガスレーザー又は固体レーザーからの一定出力は、音響光学変調素子（ＡＯＭ）により画像信号に応じた光量変調がなされる。前記ガスレーザーとしては、Ｈｅ−Ｎｅレーザーを使用することが好ましく、また、固体レーザーとしてはレーザーダイオード（ＬＤ）励起固体レーザーを使用することが好ましい。更に、記録媒体としてＣＭＹ感光層の１つを赤外光に感度をもつ感材とし、光源を赤外にシフトして、短波長の光源（Ｇ光源）としてガスレーザー又は固体レーザーを用い、それ以外の２波長の光源（Ｒ及び赤外光源）として半導体レーザーを用いる構成が好ましい。
【０００９】
請求項３記載の発明では、前記直接変調により光量変調される半導体レーザーのビーム形状を、前記音響光学変調素子により光量変調されるガスレーザー又は固体レーザーのビーム形状に合わせるためのビーム整形光学手段を備える構成とした。
一般に半導体レーザーのビーム形状が楕円形であるのに対し、ガスレーザー又は固体レーザーのビーム形状が真円であるので、半導体レーザーのビーム形状を真円にして、各波長のビーム形状を同一にするものである。
【００１０】
請求項４記載の発明では、前記音響光学変調素子に入射するレーザービームの径を縮小する入射ビーム径縮小手段と、前記音響光学変調素子から出射したレーザービームの径を、前記入射ビーム径縮小手段により縮小される前の径に戻すビーム径戻し手段と、を設ける構成とした。
前記音響光学変換素子（ＡＯＭ）における応答速度はビーム径に依存するので、前記応答速度を向上させるべくビーム径を縮小させてからＡＯＭに入射させ、ＡＯＭによる変調を受けた後にレーザービームの径を元に戻す。
【００１２】
請求項５記載の発明では、前記レーザービームを所望のビーム径に縮小すると共に、前記記録媒体上に前記縮小された径の平行ビームとして投影させる縮小光学手段を備える構成とした。
かかる構成によると、径を縮小して記録媒体上を露光走査させるときに、前記縮小された径の平行ビーム、即ち、レンズからの距離によって径が変化しないビームを記録媒体に対して投影させる。
【００１３】
請求項６記載の発明では、各波長毎に複数のレーザービームで記録媒体上を露光走査させる構成であって、前記音響光学変換素子が複数のレーザービームを同時に変調する構成であり、該音響光学変換素子におけるレーザービーム間隔に、前記直接変調により光量変調されるレーザービームの間隔を合わせるピッチ変換手段を備える構成とした。
【００１４】
かかる構成によると、各波長毎に複数のレーザービームで露光走査する構成であって、音響光学変換素子が複数のレーザービームを同時に変調する構成としたときに、音響光学変換素子で同時に変調される複数のレーザービームの間隔に、直接変調されるレーザービームの間隔を合わせるように、直接変調されるレーザービームの間隔を変換する。
【００１５】
請求項７記載の発明では、前記ピッチ変換手段でビーム間隔が調整された前記直接変調により光量変調される複数のレーザービームと、前記音響光学変換素子で光量変調された複数のレーザービームとを同時に同一ピッチに縮小するピッチ縮小手段を備える構成とした。
かかる構成によると、予めビーム間隔が同じに変換された、音響光学変換素子（ＡＯＭ）で変調されたレーザービームと直接変調されたレーザービームとを、一括して同じピッチに縮小して、記録媒体上に露光走査させる。
【００１６】
請求項８記載の発明では、長波長レーザービームの光路に介装されるミラーの数が短波長レーザービームに比して少なくなるように構成した。
かかる構成によると、長波長のレーザービームについては、他の短波長側のレーザービームに比して、少ない数のミラーを介して記録媒体上に露光されるように構成される。前記ミラーは、組み立て調整が行われる光学ミラーであり、長波長のレーザービームについては、前記組み立て調整が必要なミラー数が、他の短波長側のレーザービームに比べて少なくなる。例えば、長波長として赤外波長を用いる場合には、この見えにくい赤外波長のレーザービームについては、調整が必要なミラー数が少なくなる。
【００１７】
【発明の効果】
請求項１又は２記載の発明によると、直接変調されるレーザービームと、音響光学変調素子により光量変調されるレーザービームとを組み合わせて用いることにより、光源として大型，コスト高のものの使用を避け、かつ、記録媒体（感材）として製造，保存が容易でかつ低コストのものの使用が可能になるという効果がある。このとき、直接変調されるレーザービームに対して音響光学変調素子による光量変調に遅れがあっても、露光タイミングを一致させて露光走査を行うことができる。
【００１８】
請求項３記載の発明によると、半導体レーザーとガス又は固体レーザーとのビーム形状の違いを補正して、同じ形状のビームとして露光走査を行わせることができるという効果がある。
請求項４記載の発明によると、音響光学変調素子に入射するビーム径を縮小させることで、音響光学変調素子の応答を向上させることができるという効果がある。
【００１９】
請求項５記載の発明によると、レーザービームを記録媒体に対して平行ビームとして投影させることで、記録面と光学ヘッドとの距離が変化しても、一定のビーム径で露光走査を行わせることができるという効果がある。
【００２０】
請求項６記載の発明によると、複数のレーザービームを同時に変調する音響光学変調素子を用いる構成において、前記音響光学変調素子におけるビーム間隔に直接変調されるレーザービームの間隔を合わせることで、各波長の重ね合わせ精度が向上するという効果がある。
請求項７記載の発明によると、上記のようにして予め各波長毎のビーム間隔を合わせておいて、一括してビーム間隔を縮小させるので、解像度，線数変更を容易に行えるという効果がある。
【００２１】
請求項８記載の発明によると、見えにくい波長のレーザビームに関わる光学ミラーの調整数を減らして、組み立て調整の容易化を図れるという効果がある。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を説明する。
図１は、実施の形態におけるレーザー露光装置の概略を示すシステム構成図であり、３波長のレーザービームを用いて感材（記録媒体）を露光走査することで、カラー画像を得るものである。
【００２３】
具体的には、図２に示すように、緑Ｇ，赤Ｒ，赤外ＩＲの３波長のレーザービームを用いて、記録媒体としての感材のＣＭＹ層を感光させる構成としてある。換言すれば、ＢＧＲ感光層の１つを赤外光に感度をもつ感材とし、光源を赤外にシフトさせたものである。
そして、前記緑Ｇのレーザーとして、ガスレーザーであるＨｅ−Ｎｅレーザーを用いる一方、赤Ｒ，赤外ＩＲのレーザーとして半導体レーザー（ＬＤ）を用いる構成としてある。
【００２４】
半導体レーザーは、一般的にガスレーザーよりも装置サイズが小さく低コストであり、３波長とも半導体レーザーを用いることができるようにすれば、露光系のサイズ，コストを大幅に低減できることになる。しかし、この場合、半導体レーザーの発振波長の制約によって、ＣＭＹ３層とも赤波長以上に感光する感材が必要になるが、このような特性の感材は製造，保存が困難でかつコスト高である。そこで、青Ｂのレーザーとして一般的に用いられるＡｒレーザーが、特に、装置サイズが大きくかつコスト高であることから、該Ａｒレーザーを使用しないこととする一方、Ｈｅ−Ｎｅレーザーを緑Ｇレーザーとして用いて、感材として緑波長以上に感光する感材を用いることができるようにし、露光系のコスト，サイズの低減を図るようにしてある。
【００２５】
尚、緑Ｇレーザーとしては、ガスレーザーであるＨｅ−Ｎｅレーザーの代わりに、固体レーザー、特に、ＳＨＧ（Ｓｅｃｏｎｄ  Ｈａｒｍｏｎｉｃ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ）により緑光を発生させるＬＤ励起固体レーザーを用いる構成としても良い。
ここで、図１に示したレーザー露光装置の詳細を構成を説明する。
図１に示すレーザー露光装置は、前述のように、緑ＧのレーザーとしてＨｅ−Ｎｅレーザーを用いる一方、赤Ｒ，赤外ＩＲのレーザーとして半導体レーザー（ＬＤ）を用いるものである。
【００２６】
緑ＧのレーザーとしてのＨｅ−Ｎｅレーザー１０１  からのレーザービーム（緑レーザービーム）は、音響光学変調素子（Ａｃｏｕｔｏ−Ｏｐｔｉｃ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ：以下、ＡＯＭと略す）１０２  により、変調信号（画像信号）に応じて光量変調され、また、赤Ｒ，赤外ＩＲのレーザーとして半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  は変調信号（画像信号）に応じた直接変調（内部変調）により光量変調されるようになっている。
【００２７】
そして、前記ＡＯＭ１０２  により光量変調されたレーザービーム１０５  は、反射ミラー１０６  で反射した後、２つのダイクロイックミラー１０７  ，１０８  を透過して、反射ミラー１０９  で反射し、結像レンズ１１０  により回転ドラム１１１  上に固定された感材（記録媒体）１１２  に投影される。
また、半導体レーザー１０３  からのレーザービーム（赤レーザービーム）１１３  は、前記ダイクロイックミラー１０７  で反射した後、ダイクロイックミラー１０８  を透過して反射ミラー１０９  で反射し、結像レンズ１１０  により回転ドラム１１１  上に固定された感材（記録媒体）１１２  に投影される。
【００２８】
更に、半導体レーザー１０４  からのレーザービーム（赤外レーザービーム）１１４  は、前記ダイクロイックミラー１０８  で反射した後、反射ミラー１０９  で反射し、結像レンズ１１０  により回転ドラム１１１  上に固定された感材（記録媒体）１１２  に投影される。
尚、上記のように、赤外レーザービーム１１４  は、他の２波長のレーザービームに比べて光路途中に介装されるミラーの数が最も少なくなるようにしてある。これにより、最も見えにくい長波長レーザーである赤外レーザービーム１１４  について、ミラー調整が必要となるミラー数が少なく、組み立て調整の容易化が図れることになる。
【００２９】
前記回転ドラム１１１  は、その回転軸１１１ａ周りに回転駆動されるようになっており、これにより主走査が行われる一方、前記反射ミラー１０９，結像レンズ１１０  を備えた光学ヘッドが前記回転軸１１１ａと平行な方向に駆動にされて副走査が行われる。
前記ＡＯＭ１０２  とＨｅ−Ｎｅレーザー１０１  との間には、ＡＯＭ１０２  に入射されるレーザービーム１０５  のビーム径を縮小するためのシリンドリカルレンズ１１５  （入射ビーム径縮小手段）が配置されており、また、前記ＡＯＭ１０２  と反射ミラー１０６  との間には、前記シリンドリカルレンズ１１５  で縮小されたビーム径を元の径に戻すためのシリンドリカルレンズ１１６  （ビーム径戻し手段）が配置されている。
【００３０】
前記ＡＯＭ１０２  は、入射するビームの径が大きいと応答性が低下するので、ＡＯＭ１０２  に入射するレーザービーム１０５  の径を前記シリンドリカルレンズ１１５  で縮小させて、前記ＡＯＭ１０２  の応答性を向上させるようにしてある。そして、ＡＯＭ１０２  での光量変調を受けた後で、シリンドリカルレンズ１１６  によりビーム径を戻すようにしてある。
【００３１】
ところで、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  からのレーザービーム１０５  のビーム形状は、略真円であるのに対し、半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  からのレーザービーム１１３  ，１１４  のビーム形状は楕円形である。このため、該楕円形のレーザービーム１１３  ，１１４  を、ビーム整形光学手段としてのシリンドリカルレンズ（又はプリズムペア）１１７  ，１１８  によって、レーザービーム１０５  のビーム形状である真円に整形させるようにしてある。これにより、３波長のレーザービームは、全て真円のビーム形状で露光走査される。
【００３２】
また、前記結像レンズ１１０  （縮小光学手段）は、図３に示すように構成されている。
この図３に示すように、前記結像レンズ１１０  において、３波長のレーザービーム１０５  ，１１３  ，１１４  （平行ビーム）は、ビーム径が縮小された平行ビームとして感材１１２  上に投影される。このような結像レンズ１１０  を用いる構成とすれば、結像レンズ１１０  （光学ヘッド）と記録面との距離が回転ドラム１１１  の振れなどによって変化しても、感材１１２  に露光されるレーザービームの径が変化することがない。
【００３３】
ところで、前記ＡＯＭ１０２  による変調と半導体レーザー１０３  ，１０４  の直接変調とには応答速度の差があり、前記直接変調の方が応答性が速いため、図１に示す構成のままＡＯＭ１０２  と半導体レーザー１０３  ，１０４  に同じタイミングの変調信号を与えると、ドラム面上で同一点にうちたいビームがずれてしまうことになる。そこで、図４に示すように、ＡＯＭ１０２  で変調されたＨｅ−Ｎｅレーザー１０１  からのレーザービーム１０５  が、半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  からのレーザービーム１１３  ，１１４  よりもドラムの回転方向で進んだ位置に露光されるようにする遅延補正光学系１２０  （露光タイミング調整手段）を設けるようにすると良い。
【００３４】
前記遅延補正光学系１２０  は、相互に平行に配置された２枚の反射ミラー１２１  ，１２２  で構成され、ＡＯＭ１０２  からのレーザービーム１０５  を主走査方向にシフトさせるものである。
上記のような遅延補正光学系１２０  を設けてあれば、半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  による露光が行われた部分を、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  が遅れて露光することになり、結果的に、半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  の直接変調に対してＡＯＭ１０２  の変調における応答が遅くても、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  と半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  とを記録面上で重ね合わせて露光させることができる。
【００３５】
尚、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  からのレーザービーム１０５  を光学的にずらす代わりに、半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  からのレーザービーム１１３  ，１１４  のビーム位置をドラムの回転方向とは逆方向にシフトさせる構成としても良い。即ち、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  からのレーザービーム１０５  がＡＯＭ１０２  の応答遅れ分だけ主走査方向において遅れて露光される構成であれば良い。
【００３６】
また、上記では、光学的にＡＯＭ１０２  の応答遅れ分を補正する構成としたが、変調データ（画像データ）の遅延補正によって前記応答遅れ分に対応することも可能である。
図５に示す例では、ＬＤ変調データ１３０  ，ＡＯＭ変調データ１３１  はそれぞれＤ／Ａ変換器１３２  ，１３３  でＤ／Ａ変換されて半導体レーザー（ＬＤ）１０３  ，１０４  とＡＯＭ１０２  にそれぞれ与えられるが、前記ＬＤ変調データ１３０  は、Ｄ／Ａ変換される前に、遅延補正回路１３４  （露光タイミング調整手段）によって、ＡＯＭ１０２  の応答遅れ分だけ遅延されるようになっている。
【００３７】
かかる構成によると、半導体レーザー１０３  ，１０４  は、遅れた変調データに応じて直接変調されるが、先の変調データに基づくＡＯＭ１０２  による光量変調に遅れがあるから、ＡＯＭ１０２  から光量変調後のレーザービームが出射される段階では、同じタイミングの変調データによって変調されたレーザービームがそれぞれに露光されることになる。
【００３８】
ところで、上記に説明した実施の形態では、各波長毎に１本のレーザービームで露光走査させる構成としたが、図６に示すように、各波長毎に複数のレーザービームを用いて露光走査させる構成であっても良い。
図６に示す例では、各波長毎に３本のレーザービームで露光走査させる場合を示してある。但し、各波長毎のビーム数を３本に限定するものではない。
【００３９】
図６において、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  からの緑レーザービーム１０５  は、ビームセパレータ１４１  で３本に分割された後、マルチＡＯＭ１４２  で光量変調され、反射ミラー１０６  で反射され、ダイクロイックミラー１０７  ，１０８  を透過して結像レンズ１１０  に入射される。
ここでも、前記マルチＡＯＭ１４２  の両側には、シリンドリカルレンズ１１５  ，１１６  が介装されており、マルチＡＯＭ１４２  に入射する前にビーム径を縮小して、マルチＡＯＭ１４２  の応答性の向上を図り、マルチＡＯＭ１４２  による光量変調を受けた後、元のビーム径に戻すようにしてある。
【００４０】
一方、赤Ｒの半導体レーザー（ＬＤ）１０３  、及び、赤外ＩＲの半導体レーザー（ＬＤ）１０４  は、それぞれ３つずつ備えられる。そして、各波長毎にシリンドリカルレンズ（又はプリズムペア）１１７  ，１１８  によって、Ｈｅ−Ｎｅレーザー１０１  のビーム形状である真円に整形された後、ビームコンプレッサー１４３  ，１４４  に入射する。
【００４１】
前記ビームコンプレッサー１４３  ，１４４  （ピッチ変換手段）では、前記マルチＡＯＭ１４２  におけるビーム間隔に一致するように、３本の赤レーザービーム，３本の赤外レーザービームのビーム間隔（ビーム間ピッチ）が縮小される。
前記ビーム間隔が縮小された３本の赤レーザービーム，３本の赤外レーザービームは、ダイクロイッチミラー１０７  ，１０８  で反射して、結像レンズ１１０  に入射する。
【００４２】
結像レンズ１１０  では、同一のビーム間隔に揃えられた各波長毎のレーザービームを一括して同時に同一のビーム間隔に縮小し（ピッチ縮小手段）、それぞれのレーザービームを平行ビームとして記録面に投影させる。
尚、上記実施の形態では、露光方式を外面円筒露光方式としたが、これに限定されるものではなく、例えばポリゴンミラーで走査を行わせる構成などであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態におけるレーザー露光装置の概略を示すシステム構成図。
【図２】上記実施の形態におけるレーザービームの各波長を示す線図。
【図３】上記実施の形態における結像レンズ系を示す図。
【図４】ＡＯＭの応答遅れを光学的に補正するための構成を示すシステム構成図。
【図５】ＡＯＭの応答遅れを変調データの遅延によって補正するための構成を示すシステム構成図。
【図６】各波長毎に複数のビームを用いて露光を行わせる実施の形態を示すシステム構成図。
【符号の説明】
１０１      Ｈｅ−Ｎｅレーザー
１０２      音響光学変調素子（ＡＯＭ）
１０３  ，１０４      半導体レーザー
１０５  ，１０６      シリンドリカルレンズ
１０６  ，１０９      反射ミラー
１０７  ，１０８      ダイクロイックミラー
１１０      結像レンズ
１１１      回転ドラム
１１２      感材
１１５  ，１１６      シリンドリカルレンズ
１２０      遅延補正光学系
１３４      遅延補正回路
１４１      ビームセパレータ
１４２      マルチＡＯＭ
１４３  ，１４４      ビームコンプレッサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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