(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱装置と定盤を備えた一方の盤体と、枠、膜体、定盤および加熱装置を備えた他方の盤体を圧締して真空室を形成し、搬送膜とともに積層材を所定温度の真空下で膜体により加圧成形する真空積層装置の真空積層方法において、
定盤に密着した搬送膜を、成形終了後離型装置の伸長作動により引き剥がすことを特徴とする真空積層方法。
【請求項２】
加熱装置と定盤を備えた一方の盤体と、枠、膜体、定盤および加熱装置を備えた他方の盤体を圧締して真空室を形成し、搬送膜とともに積層材を所定温度の真空下で膜体により加圧成形する真空積層装置において、
定盤に密着した搬送膜を、成形終了後引き剥がす離型装置を盤体の搬送膜出口側に設けたことを特徴とする真空積層装置。
【請求項３】
離型装置は、押材の両端に駆動部を設けてなり、該駆動部はそれぞれ速度調整器を有することを特徴とする請求項２に記載の真空積層装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空雰囲気下において、加熱及び加圧処理により二種以上からなる積層材を積層成形する真空積層装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
所定温度で加熱された真空室内部で、膜体により加圧して積層材を成形する技術は、特開平１１−２３５７５４及び特開平１１−３２０６８２等に開示している。このような従来方法における温度や圧力での成形条件では、搬送膜が定盤に密着して積層材が搬送不可能となるような事態は発生しなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えばビルドアップ基板においては、その表面平滑性が高度に求められ、積層材に塗布した樹脂の流動性が良好でなければならない。そこで、真空積層装置には温度１００℃以上、加圧時間６０秒以上という成形条件が要求される。このような成形条件においては、搬送膜は定盤に密着しやすく、密着した場合は、搬送膜を搬送出口側に引いて搬送することが出来ず、成形サイクルは中断されることとなる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明では加熱装置と定盤を備えた一方の盤体と、枠、膜体、定盤および加熱装置を備えた他方の盤体を圧締して真空室を形成し、搬送膜とともに積層材を所定温度の真空下で膜体により加圧成形する真空積層装置の真空積層方法において、定盤に密着した搬送膜を、成形終了後両盤体が離隔したとき、離型装置の伸長作動により引き剥がすようにしたのである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図１は本発明を実施する真空積層装置を概略的に表す縦断面図である。
【０００６】
１は上板であり、凹部を有する略矩形の平板である。上板１の凹部には上断熱板５、ヒータ７、上定盤１０が順次積み上げ配設されて盤体２０を構成している。上板１の略中央には上気孔３が穿孔され、上気孔３は上板１の凹部底面に格子状に設けた溝に連通して、上気孔３に接続した図示しない真空ポンプにより凹部内と真空室１９の脱気が全域で行われるようにしている。２は下板であり、上板１と同一寸法の矩形状の平板である。下板２の外周には額縁状の枠１３が気密に固着され、枠１３の上板１との対向面には真空室１９を気密にするためのＯリング１４が嵌挿してある。下板２と枠１３により形成された凹部には、下断熱板６、ヒータ８、中間部材９および膜体１２が順次積み上げ配設され、膜体１２の上には下定盤１１が載置されて盤体２１を構成している。下板２の略中央には下気孔４が穿孔され、下断熱板６とヒータ８にも下気孔４と同位置に穿孔されている。下板２の凹部底面には下気孔４に連通する格子状の溝が設けられ、下気孔４から膜体１２で覆った内部の脱気を図示しない真空ポンプで行うとともに通路を選択して加圧空気に接続する。また、中間部材９は下気孔４と格子状溝に連通する多孔の通気構造とし、下気孔４からの真空吸引と加圧空気の作用が膜体１２の全域に均等に及ぶようにしている。
【０００７】
上・下断熱板５，６は、ガラス繊維やアラミド繊維などの補強材とセメントやケイ酸カルシウムなどの無機質複合材からなり、具体的には日光化成（株）のベスサーモＦが好適に用いられる。加熱装置としてのヒータ７，８は、薄板平板状の電気抵抗加熱体であり、絶縁物はゴム材が好適に用いられる。膜体１２は、耐熱性、弾性、可撓性、伸縮性に富んだ材質が求められ、シリコンゴム、特殊プラスチック等が好適に用いられる。膜体１２は、枠１３に気密に接着または溶着してある。上定盤１０は、板厚１ｍｍ程度のステンレス鋼等からなり、ヒータ７と略同一寸法を有する。下定盤１１は、板厚１ｍｍ程度のステンレス鋼等からなり、積層材１８と略同一寸法を有する。上・下定盤１０，１１は、積層材１８の表面を平滑に仕上げるために用いられる。
【０００８】
離型装置２４は図２にその一例を示すように、駆動部２３と押材２２からなり、押材２２の両端に取付けた駆動部２３を上板１の搬送出口側面に、図示しない断熱材を介して固着している。駆動部２３のエアシリンダ２５は、そのロッドにジョイント２９を長さ調節可能に固着し、該ジョイント２９にＯリング３０，３０を介して遊挿した押材２２を進退させる。また、それぞれのエアシリンダ２５は、エアシリンダ２５に流入するエアの流量を制御してエアシリンダ２５の伸長速度を調整する速度調整器としての流量制御弁２６を有し、エア配管２７から供給されるエアの流量を調節ノブ２８により任意に設定する。駆動部２３は、搬送膜の搬送方向の幅寸法に応じて二以上設けることもある。押材２２は、搬送膜の搬送方向の幅寸法と略同一の丸棒材等であり、押材２２を搬送膜に押圧したとき搬送材を損傷しないものであれば、材質を問わない。搬送膜を搬送しながら離型装置を作動させる場合には、押材２２はローラ状に回転する構成とする。押材２２には所定間隔にＯリング３１が配設されている。このＯリング３１は、押材２２を下板２が上板１から十分離隔していないときに押下し、押材２２が下板２の突設部に衝突して損傷することを防止するためのものである。
【０００９】
次に、作動を説明する。まず下板２を図示しない型締装置により下降させ、真空室１９を開放する。図１において、右方から下搬送膜１７とそれに載置した積層材１８を、右方の上方からローラ１５を介して上搬送膜１６をそれぞれ真空室１９内へ供給する。搬送は、図１左方の積層材１８をラミネートした上・下搬送膜の端部を図示しないチャックで挟持して所定距離移動することにより実行する。積層材１８が下定盤１１と全面で重なる位置に到達・位置決めしたとき搬送を停止する。そして下板２を上昇させて、枠１３を介して下板２と上板１を図示しない型締装置により圧締させ、真空室１９を形成する。
【００１０】
下板２の上昇と前後して、下気孔４から真空吸引して膜体１２を中間部材９に密着させておく。下板２と上板１が圧締され、真空室１９が形成されると、上気孔３からも真空吸引する。その後、下気孔４を真空源から大気または必要に応じて加圧空気源に切換接続して膜体１２を膨張させ、下定盤１１を下搬送膜１７に押圧させて積層材１８を加熱・加圧する。このとき、上搬送膜１６も上定盤１０に押圧され、両面が平滑であるので上搬送膜１６は上定盤１０に密着する。積層材１８の成形が終了した後、下板２を再び下降させて真空室１９を開放し、上・下搬送膜を積層材１８とともに搬送するのであるが、上搬送膜１６が上定盤１０に密着しており、搬送方向には強い抵抗力を生ずる。そこで、離型装置２４を作動させて、押材２２により上・下搬送膜を下方に押し下げ、上定盤１０との密着を解除させるのである。
【００１１】
本実施例では、駆動部２３のエアシリンダ２５に流量制御弁２６を備えており、それぞれのエアシリンダ２５の伸長速度を自由に設定することが可能である。例えば、離型し難い部分が上・下搬送膜の搬送方向の一方にある場合、その部分に近いエアシリンダ２５を他方のエアシリンダ２５より速く伸長させることにより、押材２２を搬送膜に対し傾斜させ、離型効果をより向上させることが出来る。エアシリンダ２５は反伸長側に作用するスプリングを内蔵しており、エア供給が絶えると自動的に伸縮する。エアシリンダ２５の伸縮時には流量制御弁２６は作用しないので、いずれのエアシリンダ２５も同じ高速で伸縮する。タイマとカウンタにより上記伸長と伸縮を繰り返すことにより、離型作用をさらに向上させることも出来る。
【００１２】
以上、本発明の代表的な実施形態について図示し詳細に説明したが、これはあくまでも例示にすぎないものであって、本発明はそのような実施形態に限定して解釈されるものではない。
【００１３】
例えば、膜体１２は下の盤体に設けたが、上の盤体に設けても良い。また、それに伴って離型装置２４を下の盤体に取付けて、押材２２を押し上げるように作動させても良いのである。さらに、離型装置２４を上下の盤体に共に取付けることも出来る。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、搬送膜が定盤に密着して搬送不能となって成形作業の障害となることが防止され、作業効率の向上に大きく貢献するのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施する真空積層装置を概略的に表す縦断面図である。
【図２】本発明の離型装置の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
１  ………  上板
２  ………  下板
３  ………  上気孔
４  ………  下気孔
５  ………  上断熱板
６  ………  下断熱板
７、８  ………  ヒータ
９  ………  中間部材
１０  ……  上定盤
１１  ……  下定盤
１２  ……  膜体
１３  ……  枠
１４、３０、３１  ……  Ｏリング
１５  ……  ローラ
１６  ……  上搬送膜
１７  ……  下搬送膜
１８  ……  積層材
１９  ……  真空室
２０、２１  ……  盤体
２２  ……  押材
２３  ……  駆動部
２４  ……  離型装置
２５  ……  エアシリンダ
２６  ……  流量制御弁
２７  ……  エア配管
２８  ……  調節ノブ
２９  ……  ジョイント
【図１】
0003574604.tif 000002
【図２】
0003574604.tif 000003