(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
往復移動するキャリッジに搭載されエネルギー発生素子を用いて画像を形成する記録ヘッドを備えた記録装置において、
前記記録ヘッドに設けられた、前記記録ヘッドの位置を検知するためのヘッド位置検知素子と、
前記ヘッド位置検知素子と対向し、かつ、前記記録ヘッドの移動する軌道に沿って記録装置本体に固定された、前記ヘッド位置検知素子の被検知部材と、を備え、
前記ヘッド位置検知素子は、前記エネルギー発生素子を具備した基板と同一基板内に作りこまれていることを特徴とする記録装置。
【請求項２】
前記ヘッド位置検知素子より検出された記録ヘッドの位置データと記録データとに応じて、前記エネルギー発生素子を駆動するための信号を生成する回路が、前記エネルギー発生素子を具備した基板と同一基板内に作り込まれている請求項１に記載の記録装置。
【請求項３】
形成された画像を検知する受光素子が、前記エネルギー発生素子を具備した基板と同一基板内にさらに作り込まれている請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項４】
前記ヘッド位置検知素子は磁気検知素子であり、前記被検知部材は線状磁性体である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の記録装置。
【請求項５】
前記ヘッド位置検知素子は受光素子であり、前記被検知部材は線状反射体である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の記録装置。
【請求項６】
前記ヘッド位置検知素子は電界検知素子であり、前記被検知部材は線状帯電体である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の記録装置。
【請求項７】
前記エネルギー発生素子は画像を形成する液滴を吐出するため、液体を加熱し、膜沸騰させる電気熱変換素子である請求項１ないし６のいずれか１項に記載の記録装置。
【請求項８】
前記記録ヘッドは、画像を形成する液滴を吐出するための吐出口を備えている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エネルギー発生素子よる記録液の吐出や、熱転写などによって記録を行う画像記録ヘッドが搭載された記録装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、紙、糸、繊維、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンター、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる発明である。
【０００３】
なお、本発明における「記録」とは、文字や図形等のように意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等のように意味を持たない画像を付与することをも意味するものである。
【０００４】
【従来の技術】
近年、記録装置に対して高画質の要求が高まっており、画像品位を向上させるために様々な検討がなされている。記録ヘッドを一方向に移動させることにより画像の記録を行う記録装置では、記録ヘッドの位置精度によって、記録される画像の位置精度が決定される。従って、記録ヘッドの位置精度を高めることが、画像の品位を向上させる極めて重要な要素となっている。このため、従来の記録装置では、記録ヘッドを搭載して一方向に移動するキャリッジに、記録ヘッドの位置を検知する位置検知手段が取り付けられており、これによってヘッドの位置を検知するとともに、検知されたヘッド位置データを基に、記録位置が適正かを判断したり、適正な記録位置に補正したりする手法が採られていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の記録装置では、キャリッジにヘッドの位置検知手段が取り付けられているので、キャリッジに記録ヘッドを搭載する際に、記録ヘッドの位置精度が十分に得られるようにする必要がある。そのためには、キャリッジや記録ヘッドなどの構成部品の寸法精度を向上させたり、記録ヘッドの位置を補正する処理を行ったりすることなどによって対応せざるを得ない。
【０００６】
また、ヘッドの位置検知のための素子や回路を、キャリッジ上や装置本体の基板に形成しなければならないため、コスト的にもデメリットがあるという問題点がある。
【０００７】
本発明の目的は、記録ヘッドの位置が高精度で検知でき、また、コストが低い液体記録装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の記録装置は、往復移動するキャリッジに搭載されエネルギー発生素子を用いて画像を形成する記録ヘッドを備えた記録装置において、前記記録ヘッドに設けられた、前記記録ヘッドの位置を検知するためのヘッド位置検知素子と、前記ヘッド位置検知素子と対向し、かつ、前記記録ヘッドの移動する軌道に沿って記録装置本体に固定された、前記ヘッド位置検知素子の被検知部材と、を備え、前記ヘッド位置検知素子は、前記エネルギー発生素子を具備した基板と同一基板内に作りこまれていることを特徴とする。
【００１１】
この場合、前記ヘッド位置検知素子より検出された記録ヘッドの位置データと記録データとに応じて、前記エネルギー発生素子を駆動するための信号を生成する回路や、これに加えて、形成された画像を検知する受光素子が、前記エネルギー発生素子を具備した基板と同一基板内に作り込まれていることが好ましい。
【００１２】
さらに、前記ヘッド位置検知素子は磁気検知素子、受光素子、電界検知素子であることが考えられる。また、前記エネルギー発生素子は画像を形成する液滴を吐出するため、液体を加熱し、膜沸騰させる電気熱変換素子であってもよいし、前記記録ヘッドは、画像を形成する液滴を吐出するための吐出口を備えていてもよい。
（作用）
上記のとおりの発明は、同一基板上に少なくとも、記録に寄与するエネルギー発生素子と、記録ヘッドの位置を検知するための素子とを作り込むことにより、極めて高い位置精度で画像を記録できる。さらに、少なくとも２つの機能を有する素子を同一基板上に同時に半導体プロセスで作り込むことができるため、極めて安価に生産できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。図２は、本発明の第１の実施の形態としての記録ヘッド用基板内の素子の配置図である。
【００１５】
この形態の記録ヘッドでは、図１に示すように、記録液としてのインクを保持するインクタンク５１の一面に記録ヘッド用基板（以下、「素子基板１」という）の裏面が接合されている。素子基板１の表面には、特定のピッチで一直線上に並ぶ、エネルギー発生素子としての電気熱変換素子２が複数形成されている。素子基板１の、電気熱変換素子２の近傍の部分には、電気熱変換素子２が並ぶ方向と平行に延びる液体供給路７が形成されている。液体供給路７はインクタンク５１の内部と連通している。
【００１６】
また、素子基板１上には、複数の電気熱変換素子２及び液体供給路７の周囲を囲む枠部材４を介して天板１８が接合されて、液室としての空間が設けられている。天板１８の、複数の電気熱変換素子２の各々と相対する部分には、吐出口３が形成されている。素子基板１、枠部材４及び天板１８で囲まれる空間に、液体供給路７を通してインクタンク５１内部のインクが供給される。電気熱変換素子２によってインク液が加熱されて発泡することで圧力が生じ、その圧力によって吐出口３から記録媒体（不図示）に向けてインクが吐出される。この形態では素子基板１に対して垂直方向にインクを吐出する、いわゆるサイドシュータータイプのものを示している。
【００１７】
また、素子基板１の一端面にはフレキシブルプリント配線板１４と電気的に接続を行うための電極パッド１３が配設され、フレキシブルプリント配線板１４の配線と電極パッド１３とはワイヤーボンディングなど手法で接続されている。また、フレキシブルプリント配線板１４上には、記録装置とヘッドの電気接続を行う接点としてのコンタクトパッド５３が配置されており、この接点を介して記録データや記録タイミングを含む画像形状情報の授受が行われる。
【００１８】
本発明の特徴的な構成としては、素子基板１上に磁気センサーとしてのヘッド位置検知素子１０１〜１０４が、電気熱変換素子２が形成された素子基板１上の半導体層を利用して、作り込まれている。これらのヘッド位置検知素子１０１〜１０４は天板１８には覆われておらず、一列の吐出口３に対して直交する方向に沿って配置されている。さらに、この形態のヘッドは素子基板１と平行で、且つ一列の吐出口３に対して直交する方向（図１中矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って往復移動可能となっており、ヘッド位置検知素子１０１〜１０４は、そのヘッドの移動方向に沿って固定された線状磁性体（Ｎ極、Ｓ極が交互に直線で配列された磁性体）１００と非接触で対向している。ヘッド位置検知素子１０１〜１０４と線状磁性体１００とで本発明のヘッド位置検知手段を構成している。これらの構成によって、図１中矢印Ａ、Ｂ方向に移動するヘッドの位置が、固定して設けられた線状磁性体１００の磁気をヘッド位置検知素子１０１〜１０４で検知することにより検出される。
【００１９】
ここで、図２を参照し、上記の素子基板１について更に詳しく説明する。
【００２０】
エネルギー発生素子としての電気熱変換素子２は駆動トランジスタ（駆動素子）２２のＯＮ／ＯＦＦによって通電される。磁気センサとしてのヘッド位置検知素子１０１〜１０４は素子基板１上に複数作り込まれており、ヘッド位置検知素子１０１〜１０４を構成する一部に素子基板１の半導体層を用いることが可能である。これらの素子１０１〜１０４は、対向する線状磁性体１００の磁極に応じて出力するようになっており、その出力は増幅回路２４によって増幅されて、Ａ／Ｄコンバータ２５によりデジタル信号化され、演算回路としてのＣＰＵ２６に入力される。
【００２１】
いま、画像記録データが基板外部から素子基板１に入力されると、Ｉ／Ｏ回路３１で受信され処理された後、ＣＰＵ２６に入力される。この演算回路は、入力された画像信号を適切なタイミングでエネルギー発生素子２が駆動されるように処理して、駆動トランジスタ２２に駆動信号として送出する。この駆動信号はヘッド位置検知素子１０１〜１０４によって検知されたヘッド位置に応じてタイミングが補正され、送出されるため、きわめて精度よく画像を記録できる。特に、本実施形態のように、記録に寄与するエネルギー発生素子２と、ヘッド位置を検知するためのヘッド位置検知素子１０１〜１０４とが同一基板上に配設されているため、素子の位置精度は半導体製造工程でのパターニング精度の数ミクロンという誤差ですみ、その結果、きわめて高精度な記録ができ、画像品位が飛躍的に向上した。しかも、２つの機能を有する素子を同一基板上に設けることで、これらの素子を同時に半導体工程で作ることができ、配線等も不要となるため、きわめて安価に実現できる。
【００２２】
次に、移動自在なヘッドの高精度位置検知方法について説明する。図３は、本実施形態の複数のヘッド位置検知素子１０１〜１０４と線状磁性体１００とによる高精度位置検知方法を説明するための図である。
【００２３】
図３において、線状磁性体１００の磁極パターンはピッチＤでＳ極とＮ極に磁化されている。これに対し、ヘッド位置検知素子１０１〜１０４はピッチＤ／４で配設されているため、ヘッド移動方向Ａ、Ｂにおいて検知できる精度はＤ／４となる。すなわち、線状磁性体１００を安価でピッチが粗い材料としても、ヘッド位置検知素子１０１〜１０４のピッチと個数によってきわめて高い精度を得ることができる。しかも、ヘッド位置検知素子の数が増しても、接続や配線等は同一基板内で可能なため、構成が複雑化、大型化せず、ほとんどコストアップしないで済む。そして、素子数をｎとすると、ピッチＤ／ｎまで検知精度が向上するため、実質的には半導体製造工程でのパターニング精度しだいである。よって、１ミクロン以下の検出も可能である。
【００２４】
（第２の実施の形態）
図４は、本発明の第２の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。この図では第１の実施形態と同一部品に同一番号を付している。また、以下では第１の実施形態と異なる部分のみ説明する。
【００２５】
この形態では図４に示すように、素子基板１上にヘッド位置検知素子として光センサーを用いており、対となった４個の発光素子２０１〜２０４と受光素子２０５〜２０８がエネルギー発生素子（電気熱変換素子）とともに作り込まれる。発光素子２０１〜２０４と受光素子２０５〜２０８の各対は天板１８には覆われておらず、一列の吐出口３に対して直交する方向に沿って配置されている。さらに、この形態のヘッドは素子基板１と平行で、且つ一列の吐出口３に対して直交する方向（図６中矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って往復移動可能となっており、発光素子２０１〜２０４及び受光素子２０５〜２０８は、そのヘッドの移動方向に沿って固定された線状反射体（反射部と非反射部とが交互に直線で配列されている帯状板）２００と非接触で対向している。これにより、例えば、発光素子２０１からの光が線状反射体２００の反射部で反射されて、受光素子２０５に入射する。
線状反射体２００は、図３で示した第１の実施形態と同様、ピッチＤで反射部と非反射部を有する。これに対し、４個の発光素子及び受光素子の各対はピッチＤ／４で配設されている。そのため、発光素子２０１〜２０４及び受光素子２０５〜２０８からなる４個の光センサーがヘッド移動方向Ａ、Ｂにおいて検知できる精度はＤ／４となる。すなわち、発光素子及び受光素子からなる複数の光センサーのピッチと個数によってきわめて高い精度を得ることができる。
【００２６】
（第３の実施の形態）
図５は、本発明の第３の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。この図において、第１の実施形態と同一の部材には同一番号を付してある。
【００２７】
上述の実施形態では素子基板に対して垂直方向にインクを吐出する、いわゆるサイドシュータータイプのものに本発明のヘッド位置検知手段を適用した場合を示したが、ここでは、素子基板に対して平行な方向にインクを吐出する、いわゆるエッジシュータータイプのものに適用した場合について説明する。
【００２８】
この形態では、図５に示すように、複数の電気熱変換素子２を有する素子基板１上に天板１６８が接合されて、液室としての空間が設けられている。素子基板１と平行で、かつ電気熱変換素子２の列と直交する方向に当たる、天板１８の一端面には、複数の吐出口１６３が各電気熱変換素子２に対応して形成されている。
【００２９】
さらに、素子基板１の一端部に磁気センサーとしてのヘッド位置検知素子１５１〜１５４が、電気熱変換素子２を含む素子基板１上の半導体層を利用して、作り込まれている。これらのヘッド位置検知素子１５１〜１５４は天板１６８には覆われておらず、一列の吐出口１６３に対して直交する方向に配置されている。さらに、この形態のヘッドは素子基板１と垂直で、且つ一列の吐出口１６３に対して直交する方向（図５中矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って往復移動可能となっており、ヘッド位置検知素子１５１〜１５４は、そのヘッドの移動方向に沿って固定された線状磁性体（Ｎ極、Ｓ極が交互に直線で配列された磁性体）１５０と非接触で対向している。上述した構成以外は第１の実施形態と同じである。
【００３０】
図６は、本実施形態の複数のヘッド位置検知素子１５１〜１５４と線状磁性体１５０とによる高精度位置検知方法を説明するための図である。
【００３１】
この図に示すように線状磁性体１５０には、ヘッド位置検知素子１５１〜１５４の各々と対応する４本の磁極パターン１５０ａ〜１５０ｄが施されている。各々の磁極パターンはピッチＤでＳ極とＮ極に磁化されている。磁極パターン１５０ａと１５０ｂとはピッチＤ／４ずらしてパターンを磁化してあり、同様に磁極パターン１５０ｂと１５０ｃ、磁極パターン１５０ｃと１５０ｄ、磁極パターン１５０ｄと１５０ａもそれぞれＤ／４ずれている。このため、ヘッド位置検知素子１５１〜１５４がヘッド移動方向Ａ、Ｂにおいて検知できる精度はＤ／４となる。すなわち、ヘッド位置検知素子の個数と、各ヘッド位置検知素子と対応する磁極パターンどうしのピッチとによってきわめて高い検知精度を得ることができる。
【００３２】
（第４の実施の形態）
図７は、本発明の第４の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。この図では第３の実施形態と同一部品に同一番号を付している。また、以下では第３の実施形態と異なる部分のみ説明する。
【００３３】
この形態では図７に示すように、素子基板１の一端部にヘッド位置検知素子として静電検知センサ−を用いており、静電検知素子３０１〜３０４が、エネルギー発生素子（電気熱変換素子）を含む素子基板１上の半導体層を利用して、作り込まれている。これらの静電検知素子３０１〜３０４は天板１６８には覆われておらず、一列の吐出口（不図示）に対して直交する方向に配置されている。さらに、この形態のヘッドは素子基板１と垂直で、且つ一列の吐出口１６３に対して直交する方向（図７中矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って往復移動可能となっており、ヘッド位置検知素子１５１〜１５４は、そのヘッドの移動方向に沿って固定された線状帯電体（正電荷、負電荷が交互に直線で配列された帯電体）３００と対向している。
【００３４】
線状帯電体１５０には、図６で示した第３の実施形態と同様、静電検知素子３０１〜３０４の各々と対応する４本の帯電パターンが施されている。各々の帯電パターンはピッチＤで正電荷と負電荷に帯電している。隣り合う帯電パターンとはピッチＤ／４ずらしてパターンを帯電してある。このため、静電検知素子３０１〜３０４がヘッド移動方向Ａ、Ｂにおいて検知できる精度はＤ／４となる。すなわち、静電検知素子の個数と、各静電検知素子と対応する帯電パターンどうしのピッチとによってきわめて高い検知精度を得ることができる。
【００３５】
なお、上述した第１〜第４の実施形態では、エネルギー発生素子と同一基板上に、磁気、光、電界などを利用して移動時のヘッド位置を検知するヘッド位置検知素子を作り込んだものを示したが、形成した画像を構成する記録ドットの位置、サイズ、濃度などの様々な情報を光学的に読み取るＣＣＤなどの受光素子をエネルギー発生素子やヘッド位置検知素子と一緒に作り込むことも可能である。
【００３６】
（その他の実施の形態）
図８には、上記各実施形態に係る記録ヘッドを装着して適用することのできるインクジェット記録装置の一例を示す概略斜視図である。図８において、符号６０１は上記各実施形態に係る、インクジェット記録ヘッドとインクタンクとが一体となったインクジェットヘッドカートリッジを示す。このヘッドカートリッジ６０１は、駆動モータ６０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア６０３および６０４を介して回転するリードスクリュー６０５の螺旋溝６０６に対して係合するキャリッジ６０７上に搭載されており、上記駆動モータ６０２の動力によってキャリッジ６０７とともにガイド６０８に沿って矢印ａおよびｂ方向に往復移動される。図示しない記録媒体供給装置によってプラテンローラ６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐの紙押さえ板６１０は、キャリッジ移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテンローラ６０９に対して押圧する。この紙押さえ板６１０には、上述した各実施形態の記録ヘッドに応じて、ヘッド位置検知手段の一部である線状磁性体、線状反射体、線状帯電体などが設けられている。
【００３７】
上記リードスクリュー６０５の一端の近傍には、フォトカプラ６１１および６１２が配設されている。これらはキャリッジ６０７のレバー６０７ａのこの域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知手段である。同図において、符号６１３は上述のインクジェット記録ヘッド６０１の吐出口のある前面を覆うキャップ部材６１４を支持する支持部材を示している。また、符号６１５はキャップ部材６１４の内部にヘッド６０１から空吐出等されて溜まったインクを吸引するインク吸引手段を示している。この吸引手段６１５によりキャップ内開口部を介してヘッド６０１の吸引回復が行われる。符号６１７はクリーニングブレードを示し、符号６１８はブレード６１７を前後方向（上記キャリッジ６０７の移動方向に直交する方向）に移動可能にする移動部材を示しており、ブレード６１７および移動部材６１８は本体支持体６１９に支持されている。上記ブレード６１７はこの形態に限らず、他の周知のクリーニングブレードであってもよい。符号６２０は吸引回復操作にあたって、吸引を開始するためのレバーであり、キャリッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移動し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達手段で移動制御される。上記ヘッド６０１に設けられた発熱体２０２に信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を司ったりするインクジェット記録制御部は装置本体側に設けられており、ここには図示しない。
【００３８】
上述の構成を有するインクジェット記録装置６００は、図示しない被記録材供給装置によりプラテン６０９上を搬送される被記録材Ｐに対し、ヘッド６０１は用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら記録を行う。
【００３９】
次に、本装置のシステム全体の構成について図９を用いて説明する。
【００４０】
図９に示されるように本装置では、同一基板７０１上に、画像記録ドット形成用エネルギー発生素子７０２とその駆動ドライバー７０３が複数の配線７０４で接続されている。また同様に、上述の各実施形態のようなヘッド位置検知素子７０５とその駆動ドライバー７０６、記録された画像情報を得る受光素子７０７とその駆動ドライバー７０８、さらにロジック回路７０９、７１０、７１１を介してＣＰＵ７１２に接続される。この接続にはバス７１３が用いられ、このバス７１３にはＲＡＭ７１４、ＲＯＭ７１５、ＥＥＰＲＯＭ７１６が接続される。コンピュータ７１７からの画像情報はデータケーブル７１８とＩ／Ｏインターフェイス７１９を介してＣＰＵ７１２に入力され、画像データはＲＡＭ７１４に一時的に蓄えられ、また、各素子の位置情報などはＥＥＰＲＯＭ７１６に記憶されている。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、同一基板上に少なくともエネルギー発生素子と、記録ヘッドの位置を検知するための素子とを作り込むことにより、（１）極めて高い位置精度で画像を記録できる、（２）少なくとも２つの機能を有する素子を同一基板上に同時に半導体プロセスで作り込むことができるため、極めて安価に生産できる、という効果を奏する。また、同様な方法により、複数のヘッドを有した場合のヘッド間の位置精度をよく検出でき、ヘッド間補正を高精度に行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態としての記録ヘッド用基板内の素子の配置図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態の複数のヘッド位置検知素子と線状磁性体とによる高精度位置検知方法を説明するための図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態の複数のヘッド位置検知素子と線状磁性体とによる高精度位置検知方法を説明するための図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態としての記録ヘッド用基板を備えた記録ヘッドを示す斜視図である。
【図８】本発明の第１〜第４の実施形態に係る記録ヘッドを装着して適用することのできるインクジェット記録装置の一例を示す概略斜視図である。
【図９】本発明のインクジェット記録装置のシステム全体の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１    素子基板
２    電気熱変換素子
３、１６３    吐出口
４    枠部材
７    液体供給路
１３    電極パッド
１４    フレキシブルプリント配線板
１８、１６８    天板
２２    駆動トランジスタ
２４    増幅回路
２５  Ａ／Ｄコンバータ
２６    ＣＰＵ
３１    Ｉ／Ｏ回路
５１    インクタンク
５３    コンタクトパッド
１００、１５０    線状磁性体
１０１、１０２、１０３、１０４、１５１、１５２、１５３、１５４    位置検知素子
１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｄ    磁極パターン
２００    線状光反射体
２０１、２０２、２０３、２０４    発光素子
２０５、２０６、２０７、２０８    受光素子
３００    線状帯電体
３０１、３０２、３０３、３０４    静電検知素子
【図１】
0003563952.tif 000002
【図２】
0003563952.tif 000003
【図３】
0003563952.tif 000004
【図４】
0003563952.tif 000005
【図５】
0003563952.tif 000006
【図６】
0003563952.tif 000007
【図７】
0003563952.tif 000008
【図８】
0003563952.tif 000009
【図９】
0003563952.tif 000010