(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮空気供給源に接続され、圧縮空気供給ポートを有するブロック部と、
前記圧縮空気供給ポートから導入された圧縮空気によって負圧作用を発生させるエゼクタ部と、
前記エゼクタ部で発生した負圧を貯蔵する単一の負圧貯蔵部と、
前記負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧を複数の外部機器に供給する負圧供給部と、
前記負圧貯蔵部内の負圧量に基づいて、前記圧縮空気供給ポートからエゼクタ部への圧縮空気の供給量を制御するコントローラユニットと、
を備え、
前記負圧供給部は複数の供給機構からなり、前記単一の負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧が前記複数の供給機構を介して複数の外部機器に供給されることを特徴とする負圧発生ユニット。
【請求項２】
請求項１記載のユニットにおいて、エゼクタ部は複数のノズル部からなる多段エゼクタで形成されることを特徴とする負圧発生ユニット。
【請求項３】
請求項１記載のユニットにおいて、ブロック部は圧縮空気供給ポートとエゼクタ部との間に介装された供給弁を含み、前記供給弁はコントローラユニットから導出される電気信号に基づいて、弁位置が切り換えられることを特徴とする負圧発生ユニット。
【請求項４】
請求項１記載のユニットにおいて、複数の供給機構は、夫々、パイロット弁と、前記パイロット弁のパイロット圧によって付勢された際、負圧貯蔵部に連通する通路を介して外部機器に負圧を供給する主弁とを含むことを特徴とする負圧発生ユニット。
【請求項５】
請求項１記載のユニットにおいて、外部機器は吸着用パッドからなり、負圧供給部から供給される負圧によって前記吸着用パッドに吸着、搬送されたワークを該吸着用パッドから離脱させる負圧解除手段を有することを特徴とする負圧発生ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、エゼクタ部で発生した負圧を外部機器に供給する負圧発生ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、エゼクタによって負圧作用を発生させ、前記負圧作用に基づき吸着用パッド等の吸着手段を介してワークを吸着、搬送することが行われている。
【０００３】
すなわち、圧縮空気供給源からエゼクタを構成するノズルに圧縮空気を供給し、前記ノズルから噴出する圧縮空気がディフューザを通過することにより、該ノズルとディフューザとの間に負圧作用を発生させるものである。この場合、複数のワークを大量に且つ効率的に搬送するために、複数個のエゼクタを連設して一体化し、前記一体化されたエゼクタに対して夫々圧縮空気供給源からの圧縮空気を供給して使用している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術では、圧縮空気供給源、例えば、コンプレッサ等における圧縮空気の供給量が限定されていることから、１つの圧縮空気供給源に接続可能なエゼクタの個数が制限されるという不都合がある。このため、前記圧縮空気供給源における圧縮空気の供給量を越えて多数個のエゼクタを使用した場合、前記エゼクタで発生する負圧力が低下してしまい、ワークに対する吸着不良等の影響を及ぼすという不都合がある。
【０００５】
また、前記エゼクタでは、負圧作用を発生させるために、常時、ノズルからディフューザに向かって圧縮空気を噴出しなければならず、前記ディフューザを通過した圧縮空気は大気中に排気されるだけであることから、圧縮空気を効率的に利用することができないという不都合がある。
【０００６】
そこで、前記圧縮空気供給源の個数を増加させることが考えられるが、前記圧縮空気供給源のコストが高いとともに、多大なスペースを占有するという他の不都合がある。
【０００７】
この場合、前記エゼクタに代替して真空ポンプを用いてワークの吸着、搬送を行うことが考えられるが、同様に、前記真空ポンプが供給する負圧容量が限定され、前記真空ポンプに接続される吸着手段等の空気圧機器の数が制限される不都合がある。また、前記真空ポンプを用いて発生する負圧を蓄積しようとする場合、真空ポンプのコストが増大するとともに、装置全体が大型化するという不都合がある。
【０００８】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の量を節減して効率的に利用するとともに、小型・軽量化を図ることが可能な負圧発生ユニットを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、圧縮空気供給源に接続され、圧縮空気供給ポートを有するブロック部と、
前記圧縮空気供給ポートから導入された圧縮空気によって負圧作用を発生させるエゼクタ部と、
前記エゼクタ部で発生した負圧を貯蔵する単一の負圧貯蔵部と、
前記負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧を複数の外部機器に供給する負圧供給部と、
前記負圧貯蔵部内の負圧量に基づいて、前記圧縮空気供給ポートからエゼクタ部への圧縮空気の供給量を制御するコントローラユニットと、
を備え、
前記負圧供給部は複数の供給機構からなり、前記単一の負圧貯蔵部内に貯蔵された負圧が前記複数の供給機構を介して複数の外部機器に供給されることを特徴とする。
【００１０】
上記の本発明に係る負圧発生ユニットでは、圧縮空気供給ポートから導入された圧縮空気によってエゼクタ部で負圧作用を発生させ、前記発生した負圧を単一の負圧貯蔵部に貯蔵する。コントローラユニットは、前記負圧貯蔵部内の負圧量を検出し、前記負圧量が所定値に到達するまでエゼクタ部へ圧縮空気を供給する。前記負圧貯蔵部内の負圧量が所定値に到達すると、コントローラユニットはエゼクタ部への圧縮空気の供給を停止する。
【００１１】
この場合、コントローラユニットは、負圧貯蔵部内の負圧量が所定値を満たすようにエゼクタ部へ圧縮空気を供給し、あるいは停止して圧縮空気の供給量を制御する。従って、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の流量を節減することができるとともに、複数の供給機構からなる負圧供給部によって効率的に複数の外部機器に単一の負圧貯蔵部内の負圧を分配することができる。
【００１２】
【実施例】
次に、本発明に係る負圧発生ユニットについて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明の実施例に係る負圧発生ユニットの正面図、図２は、図１の平面図、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図、図４は、図１の右側面図、図５は、図１の背面図である。
【００１４】
この負圧発生ユニット１０は、基本的には、図３に示されるように、基台プレート１２と、前記基台プレート１２上に設けられ、発生した負圧を貯蔵する負圧貯蔵部１４と、前記負圧貯蔵部１４と一体的に形成され、複数のノズル部からなるエゼクタ部１６と、前記負圧貯蔵部１４およびエゼクタ部１６に併設され、圧縮空気供給ポート１８を有する管継手２０が設けられたブロック部２２と、前記エゼクタ部１６に搭載され、前記負圧貯蔵部１４内の負圧力を検出する負圧検出部２４と、前記負圧検出部２４に隣接して配設され、前記エゼクタ部１６から導出される圧縮空気を外部に排気するとともに消音機能を発揮する消音部２６と、前記基台プレート１２上に固定され、吸着用パッド等の吸着手段に負圧を供給する負圧供給部２８（図２参照）と、負圧貯蔵部１４並びに負圧供給部２８に隣接して設けられ、リード線３０を介して負圧検出部２４および負圧供給部２８からの検出信号が導入されるコントローラユニット３２（図２参照）とから構成される。
【００１５】
ブロック部２２の上面には、チューブ等を介して圧縮空気供給源３４（図６参照）に接続される管継手２０が設けられる。前記ブロック部２２の一側面部には供給弁３６および破壊元弁３８が付設され、前記供給弁３６および破壊元弁３８の各入力ポートは夫々通路４０を介して管継手２０の圧縮空気供給ポート１８と連通するように形成されている（図３参照）。前記供給弁３６および破壊元弁３８は、コントローラユニット３２から導出される電気信号に基づいて弁体の位置状態を切り換え制御する。また、供給弁３６の出力ポートは、ブロック部２２内に画成された分岐通路を介して後述する第１ノズル部４２および第２ノズル部４４に夫々連通するように形成されている。さらに、前記ブロック部２２には、負圧供給部２８に連通する第１連通路４６と第２連通路４８とが画成されている。
【００１６】
負圧貯蔵部１４はエゼクタ部１６で発生した負圧を貯蔵するための負圧貯蔵室５０を有する負圧貯蔵タンク５２からなり、前記負圧貯蔵タンク５２には、エゼクタ部１６の負圧発生室（後述する）に夫々連通する第１〜第３通路５４、５６、５８が画成されている。前記第１〜第３通路５４、５６、５８の開口部には第１〜第３チェック弁６０、６２、６４が夫々設けられ、前記第１〜第３チェック弁６０、６２、６４を開動作させることにより、負圧貯蔵タンク５２内の負圧貯蔵室５０とエゼクタ部１６内の負圧発生室とが夫々連通する。なお、前記負圧貯蔵タンク５２は、押し出し成形によって形成することが可能である。
【００１７】
エゼクタ部１６は多段エゼクタによって形成され、エゼクタボデイ６６と、前記エゼクタボデイ６６内に固着され、ノズルおよびディフューザから夫々構成される第１〜第５ノズル部４２、４４、６８、７０、７２とを含む。この場合、前記第１〜第５ノズル部４２、４４、６８、７０、７２には、略テーパ状に縮径した後、徐々に拡径するノズル孔が夫々画成されたノズルが設けられ、前記ノズル孔は夫々所定の直径で形成されている。前記第１〜第５ノズル部４２、４４、６８、７０、７２の中、第１ノズル部４２および第２ノズル部４４は、夫々ブロック部２２内に画成された通路４０に連通し、且つ前記第１ノズル部４２および第２ノズル部４４を流通する圧縮空気の流路方向が夫々平行となるように配設されている。前記第１ノズル部４２のノズル孔とディフューザ７４との間には第１負圧発生室７６が画成され、第１チェック弁６０の開成作用下に第１通路５４を介して第１負圧発生室７６と負圧貯蔵室５０とが連通するように形成されている。前記ディフューザ７４の終端部には、第２負圧発生室７８に連通する通路８０が画成されている。
【００１８】
前記第１ノズル部４２の上方に位置するエゼクタボデイ６６内には貫通孔８２が画成され、前記貫通孔８２内に第２〜第５ノズル部４４、６８、７０、７２が夫々直線状に配設されている。第２ノズル部４４は、ノズル孔を有するノズルからなり、第３〜第５ノズル部６８、７０、７２は一体的に形成されたノズル８４から構成される。前記第２ノズル部４４と第３ノズル部６８との間には第２負圧発生室７８が画成され、前記第２負圧発生室７８は、前述したように、第１ノズル部４２の通路８０に連通している。前記第３ノズル部６８と第４ノズル部７０との間には、第１吸引孔８６を介して吸引作用を発揮する第３負圧発生室８８が画成され、さらに、第２チェック弁６２の開成作用下に第２通路５６を介して第３負圧発生室８８と負圧貯蔵室５０とが連通するように形成されている。前記第４ノズル部７０と第５ノズル部７２との間には、第２吸引孔９０を介して吸引作用を発揮する第４負圧発生室９２が画成され、さらに、第３チェック弁６４の開成作用下に第３通路５８を介して第４負圧発生室９２と負圧貯蔵室５０とが連通するように形成されている。なお、第３〜第５ノズル部６８、７０、７２を構成するノズル８４は、アルミニウム等の材料を用い鋳造成形の方法によって一体成形すると好適である。また、第３〜第５ノズル部６８、７０、７２は、前段のノズル部に対して夫々ディフューザの機能をも併用するものである。例えば、第３ノズル部６８はノズルとしての機能を有する他、第２ノズル部４４に対してディフューザとしての機能をも併用する。
【００１９】
前記エゼクタボデイ６６内の貫通孔８２の終端部には、消音部２６を構成し、カバー部材９４によって囲繞された第１サイレンサ９６および第２サイレンサ９８が設けられている。前記カバー部材９４の上面部にはスリット１００が画成され、前記スリット１００を介してエゼクタ部１６から流出された圧縮空気が外部に排気される。
【００２０】
前記消音部２６に隣接する負圧検出部２４は、半導体圧力センサ１０２が内蔵されたスイッチ１０４から構成され、前記スイッチ１０４は、通路１０６を介して導入された負圧貯蔵室５０内の負圧が予め設定された所定の負圧に到達した時にコントローラユニット３２に信号を導出する機能を営む。
【００２１】
負圧供給部２８は夫々略同一要素からなる第１〜第８供給機構１０８ａ〜１０８ｈによって構成され、前記第１供給機構１０８ａは、主弁１１０の開閉位置を制御する自己保持型のパイロット弁１１２と、破壊供給弁１１４と、サクションフィルタ１１６と、スイッチ１１８とから構成される（図６参照）。この場合、第２〜第８供給機構１０８ｂ〜１０８ｈは、前記第１供給機構１０８ａと略同一に構成されるためその詳細な説明を省略する。前記パイロット弁１１２、破壊供給弁１１４およびスイッチ１１８はリード線３０を介して夫々コントローラユニット３２に接続され、前記パイロット弁１１２および破壊供給弁１１４は前記コントローラユニット３２から導出される電気信号に基づいて弁体の位置状態が切り換え制御され、前記スイッチ１１８は、吸着用パッド１２０が負圧作用下にワークＷを確実に吸着したか否かを検出する機能を営む。外部機器を構成する前記吸着用パッド１２０は、図示しないチューブを介して前記第１〜第８供給機構１０８ａ〜１０８ｈの負圧ポート１２２（図５参照）に接続されている。本実施例では、負圧供給部２８を第１〜第８供給機構１０８ａ〜１０８ｈによって説明しているが、８個に限定されるものではないことは勿論である。なお、図５および図６において、参照符号１２４は排気ポートを示すものであり、前記排気ポート１２４は各供給機構１０８ａ〜１０８ｈ内に残存する圧縮空気を排気する機能を営む。
【００２２】
コントローラユニット３２は、図示しないＣＰＵユニット、入出力ユニット、Ｉ／Ｏユニット、通信ユニットおよび電源ユニット等によって構成され、夫々リード線３０によって電気的に接続されたパイロット弁１１２および破壊供給弁１１４に対し、電気信号をシリアル伝送すること、もしくはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、ローカルオペレーティングネットワーク（ＬＯＮ）等の分散処理ネットワーク通信、もしくはスペクトル拡散通信手段により配線の省力化を図ることが可能である。なお、前記コントローラユニット３２は、圧縮空気供給源３４、キーボード等の入力手段１２６、並びに、ＣＲＴ等の表示手段１２８が電気的に接続されている。操作者は、前記入力手段１２６を介して負圧貯蔵タンク５２内の負圧状態を検出するスイッチ１０４を所定の負圧値に設定、変更することができ、また、吸着用パッド１２０に近接して接続されるスイッチ１１８から導出される電気信号に基づいて、表示手段１２８を介してワークＷの吸着状態を視認することが可能である。
【００２３】
本発明の実施例に係る負圧発生ユニット１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果を図６に示す空気圧回路に基づいて説明する。
【００２４】
先ず、コントローラユニット３２から圧縮空気供給源３４に電気信号を導出し、該圧縮空気供給源３４を駆動して圧縮空気供給ポート１８から圧縮空気を導入する。前記圧縮空気はブロック部２２内の通路４０を介して破壊元弁３８および供給弁３６の入力ポートに到達するとともに、前記通路４０から分岐して第１連通路４６に導入される。この時、コントローラユニット３２から供給弁３６に電気信号を導出し、前記供給弁３６の弁位置を閉状態から開状態に切り換えることにより、圧縮空気は通路４０を介してエゼクタ部１６の第１ノズル部４２および第２ノズル部４４に供給される。
【００２５】
第１ノズル部４２に供給され、ノズル孔から噴出された圧縮空気はディフューザ７４を通過し、通路８０を介して第２ノズル部４４と第３ノズル部６８との間に画成された第２負圧発生室７８に導入される。圧縮空気がディフューザ７４を通過する際、第１負圧発生室７６に負圧作用が発生し、この負圧作用によって第１チェック弁６０を開動作させる。この結果、通路８０を介して第１負圧発生室７６と負圧貯蔵室５０とが連通し、該負圧貯蔵室５０内に所定圧の負圧が蓄積される。なお、負圧貯蔵タンク５２内の負圧貯蔵室５０は、予め大気圧になっているものとする。
【００２６】
一方、第２ノズル部４４に導入された圧縮空気は、第３ノズル部６８に到達する際、前記第２ノズル部４４と第３ノズル部６８との間に画成された第２負圧発生室７８に負圧作用を発生させる。この場合、第３ノズル部６８は第２ノズル部４４に対してディフューザとして機能するものである。前記第２負圧発生室７８に発生した負圧作用によって、第１ノズル部４２から導出される圧力流体が通路８０を介して強制的に吸引される。
【００２７】
次に、第３ノズル部６８より導入された圧縮空気は第４ノズル部７０に導出され、その際、前記第３ノズル部６８と第４ノズル部７０との間に画成された第３負圧発生室８８に負圧作用を発生させる。この負圧作用によって第２チェック弁６２が開動作され、第２通路５６を介して前記第３負圧発生室８８と負圧貯蔵室５０とが連通する。この結果、負圧貯蔵室５０内に所定圧の負圧が蓄積される。
【００２８】
続いて、第４ノズル部７０より導入された圧縮空気は第５ノズル部７２に導出され、その際、前記第４ノズル部７０と第５ノズル部７２との間に画成された第４負圧発生室９２に負圧作用を発生させる。この負圧作用によって第３チェック弁６４が開動作され、通路５８を介して前記第４負圧発生室９２と負圧貯蔵室５０とが連通する。この結果、負圧貯蔵室５０内に所定圧の負圧が蓄積される。
【００２９】
前記第５ノズル部７２から導出された圧縮空気は、消音部２６を構成する第１サイレンサ９６および第２サイレンサ９８を通過する際に消音され、カバー部材９４のスリット１００から外部に排気される。
【００３０】
この時発生する負圧力の大きさは、各ノズル孔の直径とディフューザ（後段のノズル部）の直径との相関関係によって決定され、第１負圧発生室７６＞第２負圧発生室７８＞第３負圧発生室８８＞第４負圧発生室９２となり、前記第１〜第４負圧発生室７６、７８、８８、９２の負圧力に対応して開動作するチェック弁の順序も第１チェック弁６０、第２チェック弁６２、第３チェック弁６４の順序で作動する。
【００３１】
以上のように第１〜第３チェック弁６０、６２、６４が開動作することにより、通路５４、５６、５８を介して予め大気圧の状態にあった負圧貯蔵タンク５２内に負圧が供給され、負圧貯蔵室５０内に所定量の負圧が貯蔵される。負圧貯蔵タンク５２内に貯蔵された負圧値は、通路１０６を介して負圧が導入されるスイッチ１０４の半導体圧力センサ１０２によって検出される。前記スイッチ１０４は、予め設定された所定の負圧値に到達した時に電気信号をコントローラユニット３２に導出し、一方、前記コントローラユニット３２は電気信号を供給弁３６に導出して、該供給弁３６の弁位置を開状態から閉状態に切り換える。
【００３２】
このようにして、供給弁３６が閉状態に切り換えられることにより、エゼクタ部１６への圧縮空気の供給が停止され、このため、第１〜第３チェック弁６０、６２、６４は、第３チェック弁６４、第２チェック弁６２および第１チェック弁６０の順序で閉動作する。従って、前記第１〜第３チェック弁６０、６２、６４の閉動作によって負圧貯蔵室５０に連通する通路５４、５６、５８が夫々閉塞され、負圧貯蔵タンク５２内の負圧が所定の負圧値に保持される。なお、コントローラユニット３２は、前記スイッチ１０４から電気信号が導入されて負圧貯蔵タンク５２内の負圧が所定値に到達したことを検出した後、圧縮空気供給源３４に電気信号を導出し、圧縮空気供給ポート１８に対する圧縮空気の供給を停止させる。
【００３３】
以上のようにして負圧貯蔵タンク５２内に所定圧の負圧が貯蔵された後、コントローラユニット３２は、第１〜第８供給機構１０８ａ〜１０８ｈの夫々のパイロット弁１１２に電気信号を導出し、各パイロット弁１１２の弁位置を閉状態から開状態に切り換える。この場合、前記パイット弁１１２は第１連通路４６を介して圧縮空気供給ポート１８と連通するように形成され、前記パイロット弁１１２の入力ポートには、既に圧縮空気供給ポート１８から供給された圧縮空気が到達している。従って、開状態となったパイロット弁１１２を介して導入された圧縮空気は、主弁１１０の弁位置を閉状態から開状態に切り換える。この結果、前記主弁１１０を通じて吸着用パッド１２０に負圧貯蔵タンク５２から負圧が供給され、この負圧作用に基づいてワークＷが吸着、搬送される。なお、前記吸着用パッド１２０に対してワークＷが確実に吸着されたか否かの確認は、スイッチ１１８からコントローラユニット３２に導出される検出信号に基づいて判断することができる。
【００３４】
次に、吸着用パッド１２０に吸着保持されたワークＷを所定位置に搬送して離脱させる場合について説明する。
【００３５】
コントローラユニット３２から各パイロット弁１１２に電気信号を導出し、各パイロット弁１１２の弁位置を開状態から閉状態に切り換える。この結果、各パイロット弁１１２から主弁１１０にパイロット圧が供給されないため、該主弁１１０は開状態から閉状態に切り換わり、吸着用パッド１２０に対する負圧の供給が停止される。一方、コントローラユニット３２は、破壊元弁３８および第１〜第８供給機構１０８ａ〜１８ｈを構成する夫々の破壊供給弁１１４に電気信号を導出することにより、前記破壊元弁３８の弁位置が閉状態から開状態に切り換わり、且つ前記破壊供給弁１１４の弁位置が閉状態から開状態に切り換わる。この結果、圧縮空気供給ポート１８から導入された圧縮空気は、破壊元弁３８および各破壊供給弁１１４を介して吸着用パッド１２０に供給され、負圧状態が解除されてワークＷが該吸着用パッド１２０から離脱する。
【００３６】
なお、前記吸着用パッド１２０等の外部機器に負圧を供給することにより、負圧貯蔵タンク５２内の負圧量が減少した場合、コントローラユニット３２は圧縮空気供給源３４に電気信号を導出して圧縮空気供給ポート１８に圧縮空気を供給するとともに、供給弁３６の弁位置を切り換えてエゼクタ部１６に圧縮空気を供給することにより、前述した動作によって負圧貯蔵タンク５２内に所定圧の負圧を貯蔵することが可能となる。
【００３７】
以上のように、本実施例に係る負圧発生ユニット１０では、常時エゼクタ部１６に圧縮空気を供給することなく、負圧貯蔵タンク５２内に所定値の負圧が貯蔵された後、前記エゼクタ部１６に対する圧縮空気の供給が停止される。従って、常時エゼクタに圧縮空気を供給し、ノズルから常時圧縮空気を噴出することによりノズルとディフューザとの間に負圧作用を発生させていた従来技術と比較して、本実施例に係る負圧発生ユニット１０では、圧縮空気供給源３４からの圧縮空気の供給量を節減することができるとともに、供給される圧縮空気を効率的に使用することができる。
【００３８】
また、負圧貯蔵タンク５２内に蓄積された所定値の負圧は、パイロット弁１１２によるコントローラユニット３２の制御作用下に複数の外部機器等に効率的に分配することができる。
【００３９】
さらに、本実施例に係る負圧発生ユニット１０では、負圧を発生させるエゼクタ部１６、前記発生した負圧を貯蔵する負圧貯蔵部１４、前記負圧貯蔵部１４から負圧を各種外部機器に供給する負圧供給部２８等をユニット化するとともに、コントローラユニット３２を介して省配線とすることにより、小型・軽量に製造することができ、スペースの有効利用を図ることができる。
【００４０】
さらにまた、真空ポンプに負圧貯蔵手段を設けた場合と比較して、本実施例に係る負圧発生ユニット１０では、小型・軽量化を図ることができるとともに、エゼクタ部１６における負圧発生時間を短縮して迅速に負圧貯蔵タンク５２に負圧を貯蔵することができる利点がある。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に係る負圧発生ユニットによれば、以下の効果が得られる。
【００４２】
すなわち、コントローラユニットを介して、エゼクタ部に導入される圧縮空気の流量を制御することができるため、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の流量を節減することができる。
【００４３】
また、エゼクタ部で発生した負圧を負圧貯蔵部で貯蔵し、前記貯蔵された負圧をコントローラユニットの制御作用下に負圧供給部を介して外部機器に効率的に供給することが可能となる。
【００４４】
さらに、負圧を発生させるエゼクタ部、前記発生した負圧を貯蔵する負圧貯蔵部、前記負圧貯蔵部から負圧を各種外部機器に供給する負圧供給部等をユニット化するとともに、コントローラユニットを介して省配線とすることにより、負圧発生ユニットを小型・軽量に製造することができ、スペースの有効利用を図ることができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る負圧発生ユニットの正面図である。
【図２】図１に示す負圧発生ユニットの平面図である。
【図３】図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図４】図１に示す負圧発生ユニットの右側面図である。
【図５】図１に示す負圧発生ユニットの背面図である。
【図６】図１に示す負圧発生ユニットの動作を示す空気圧回路図である。
【符号の説明】
１０…負圧発生ユニット              １２…基台プレート
１４…負圧貯蔵部                    １６…エゼクタ部
１８…圧縮空気供給ポート            ２２…ブロック部
２４…負圧検出部                    ２６…消音部
２８…負圧供給部                    ３０…リード線
３２…コントローラユニット          ３４…圧縮空気供給源
３６…供給弁                        ３８…破壊元弁
４０、５４、５６、５８…通路
４２、４４、６８、７０、７２…ノズル部
４６、４８…連通路                  ５０…負圧貯蔵室
５２…負圧貯蔵タンク                ６０、６２、６４…チェック弁
７６、７８、８８、９２…負圧発生室  １０４、１１８…スイッチ
１０８ａ〜１０８ｈ…供給機構        １１０…主弁
１１２…パイロット弁                １１４…破壊供給弁
１１６…サクションフィルタ          １２０…吸着用パッド
Ｗ…ワーク
【図１】
0003576602.tif 000002
【図２】
0003576602.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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