(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固形試料、切削刃またはそれらの両方を所定の切削量に対応する量だけ移動させた後、前記固形試料を切削し、該固形試料端部に新しく現れた固形試料面を撮影し、該撮影した画像データを記録し、該作業を繰り返し、複数の画像データを記録した後、該記録した画像データを前記固形試料構造を検査可能なように演算し、出力データを表示させ、前記固形試料構造を検査する固形試料構造検査方法において、
（ａ）固形試料に対して切削刃を第１の方向に移動して切削する工程と、
（ｂ）前記固形試料に対して切削刃を第２の方向に移動して連続的に切削する工程と、
（ｃ）該連続的に切削した固形試料面の画像データを、どの切削方向で切削したものか判明できるように記録し、該記録された画像データの中で切削方向の異なる、隣り合う画像データを２つの切削方向分を一組とし、そのなかの各画像データの共通部分のみを抽出し、新しい画像データとして再構成する工程と、
（ｄ）該再構成した画像データを固形試料構造が観察可能なように演算し、出力データを表示させ、固形試料構造を検査する工程とを有することを特徴とする固形試料構造検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の固形試料構造検査方法において、前記第２の方向は前記第１の方向とは１８０°異なる方向であることを特徴とする固形試料構造検査方法。
【請求項３】
固形試料、切削刃またはそれらの両方を所定の切削量に対応する量だけ移動させた後、前記固形試料を切削し、該固形試料端部に新しく現れた固形試料面を撮影し、該撮影した画像データを記録し、該作業を繰り返し、複数の画像データを記録した後、該記録した画像データを前記固形試料構造を検査可能なように演算し、出力データを表示させ、前記固形試料構造を検査する固形試料構造検査方法において、
（ａ）固形試料に対して切削刃を第１の方向に移動して切削する工程と、
（ｂ）前記固形試料に対して切削刃を第２の方向に移動して連続的に切削する工程と、
（ｃ）該連続的に切削した固形試料面の画像データを、どの切削方向で切削したものか判明できるように記録し、該記録された画像データの中で切削方向の異なる、隣り合う画像データを２つの切削方向分を一組とし、そのなかの各画像データの共通部分及び共通でない部分を抽出し、新しい画像データとして再構成する工程と、
（ｄ）該再構成した画像データを固形試料構造が観察可能なように演算し、出力データを表示させ、固形試料構造を検査する工程とを有することを特徴とする固形試料構造検査方法。
【請求項４】
固形試料、切削刃またはそれらの両方を所定の切削量に対応する量だけ移動させた後、前記固形試料を切削し、該固形試料端部に新しく現れた固形試料面を撮影し、該撮影した画像データを記録し、該作業を繰り返し、複数の画像データを記録した後、該記録した画像データを前記固形試料構造を検査可能なように演算し、出力データを表示させ、前記固形試料構造を検査する固形試料構造検査装置において、
（ａ）固形試料に対して切削刃を第１の方向に移動して切削した後に、前記固形試料に対して切削刃を第２の方向に移動して連続的に切削する装置と、
（ｂ）該連続的に切削した固形試料面の画像データを、どの切削方向で切削したものか判明できるように記録し、該記録された画像データの中で切削方向の異なる、隣り合う画像データを２つの切削方向分を一組とし、そのなかの各画像データの少なくとも共通部分を抽出し、新しい画像データとして再構成する装置と、
（ｃ）該再構成した画像データを固形試料構造が観察可能なように演算し、出力データを表示させ、固形試料構造を検査する装置とを具備することを特徴とする固形試料構造検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、理化学試料分析、食品分析、医療分析、工業材料及び工業製品構造分析等の検査・分析を行う検査方法・装置に係り、特に、比較的硬く、切削性の悪い被分析試料を切削し、新しく現れた試料面から得られた画像情報をもとに被分析試料の検査・分析を行う固形試料構造検査方法及びそのための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
理化学試料分析、食品分析、医療分析、工業材料分析等の分析方法にはいろいろな種類のものがある。例を挙げると、試料を切削して露出させた被測定断面を、各種検査方法で検査したり、試料から厚さの薄い薄切片を切り出して作製した観察用試料を顕微鏡により観察したりする方法がある。
【０００３】
より具体的に言うと、細胞組織の観察では、生体試料をミクロトームを用いて薄切りし、観察用薄切片試料を作製した後、顕微鏡で観察することが行われている。
【０００４】
また、近年、各種包埋材で包埋された被分析試料を切削し、新しく現れた試料面を録画することによって得られた画像情報をもとに検査・分析を行うという方法がある。
【０００５】
この方法は、前述の理化学試料分析、食品分析、医療分析、工業材料分析等の分析に加えて、従来、触針式の３次元測定方式を用いている工業製品構造分析等にも応用できる非常に有効な検査方法である。
【０００６】
試料の分析・検査に、この方法、つまり被分析試料を切削し、新しく現れた試料面を録画することによって得られた画像情報をもとに検査・分析を行う方法を用いる場合には、良好な切削面を得ることが重要となる。被分析試料の切削には、試料が比較的軟らかいものの場合は、ミクロトーム用の切削刃等を、硬度の高い試料の場合は、金属切削用のスライスカッタ等を使用する。
【０００７】
実際には他にＸＣＴスキャナや超音波を用いたリアルタイムの断層撮影装置のように、試料の内部を切削することなしに検査する被破壊検査も行われているが、装置コストや作業難易度及び実物の色情報などの面から見て、破壊検査が非破壊に勝る点は多く、今回は、破壊検査を対象に説明する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
被分析試料を切削し、新しく現れた試料面を録画することによって得られた画像情報をもとに検査・分析を行う方法における切削工程では、送り工程で試料もしくは切削刃が移動した方向に垂直な平面内を、前記ミクロトーム用の切削刃やスライスカッタ等が移動し、試料表面を切削する（以後送り工程では試料を、切削工程では切削刃を動かすこととする）。
【０００９】
以下、固形試料表面の切り終わりと切り初めに発生するバリや切り残し等の不具合について説明する。
【００１０】
図１３に示すように、パラフィンなどの包埋材２で包埋した固形試料１を方向Ａに切削した場合、切削条件や固形試料の材質及び包埋材と固形試料の硬度の関係によっては、固形試料面３の切り終わり部分３ａに、固形試料のバリや切り残しが生じたり、図１４に示すように、切り初め部分３ｂには包埋材のバリや切り残しが生じたりする。
【００１１】
図１３に示した現象は、特に、比較的硬度が高く被削性の悪い材料でできた固形試料（例えば、一部のプラスティックなどの延性材料）を硬度の低い包埋材で包埋し、切削抵抗が大きい切削条件で切削した際に、図１４に示した現象は、前述の固形試料と包埋材の関係が逆になったときに顕著になる。
【００１２】
切削によって新しく現れた固形試料面は、撮影、記録された後、検査・分析が行われるが、特に記録した２次元の画像データを積み重ね、３次元像を作成して観察を行う場合、切削毎に毎回同じ方向（切り終わりもしくは切り初め）に前述のバリや切り残しが発生すると、毎回記録された画像データから作成された３次元像の切り終わりや切り初め部分は実際のものとは異なってしまう。
【００１３】
理化学試料分析、食品分析、医療分析、工業材料分析等が、主として試料の成分や構成を調査するのに対し、このような２次元の画像データを積み重ね３次元像を作成して行う分析は、工業製品などの各種構造分析等で主として形状を調査するのに用いられる。
【００１４】
したがって、前述のように、作成された３次元像形状が実物と異なってしまうことは、正確な形状データが必要となる際には大きな問題となる。
【００１５】
図１３や図１４に示すようなバリや切り残し現象を無くす、もしくは小さく抑えるためには、包埋材の硬度は固形試料とほぼ等しいことが要求され（実際は、包埋材の硬度や弾性率が固形試料と大きく異なると、切削後、微小ながら包埋材もしくは固形試料のうち硬度の低い方が多く削られてしまい、包埋材と固形試料の表面に段差が生じるという問題点もある。）、加えて切削抵抗が小さくなるような最適切削条件での切削も要求される。
【００１６】
しかし、いろいろな種類の試料の検査・分析を行う場合、前述のような最適の包埋材を探すことは非常に困難であり、また、最適な包埋材を見つけ出したとしても、あまり高いコストでは大量には使用できないという問題もある。
【００１７】
また、切削工程を行う装置として、スライス盤を例に挙げると、最適切削条件は比較的切削速度の速い部分にあるため、最適切削条件を見つけるために、高回転で回転可能なスライスカッタ回転軸が必要となり、その分、装置も高性能なものが必要となる。
【００１８】
被分析試料を切削し、新しく現れた試料面を録画することによって得られた画像情報をもとに検査・分析を行う方法において、特に、工業製品などの各種構造分析等、主として形状を調査する際には、２次元の画像データを積み重ね３次元像を作成して構造を調査する方法が用いられる。
【００１９】
しかしながら、前記したバリや切り残しによって、作成された３次元像形状が実物と異なってしまうことがあり、正確な形状データが必要となる際には大きな問題となる。
【００２０】
本発明は、上記問題点を解決するために、包埋材の調整や最適切削条件の調査という困難な作業なしに、従来の装置を使用して、正確な画像データから正確な形状データを得て、正確な３次元像を作成することができる固形試料構造検査方法及びそのための装置を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
〔１〕固形試料、切削刃またはそれらの両方を所定の切削量に対応する量だけ移動させた後、前記固形試料を切削し、この固形試料端部に新しく現れた固形試料面を撮影し、この撮影した画像データを記録し、この作業を繰り返し、複数の画像データを記録した後、この記録した画像データを前記固形試料構造を検査可能なように演算し、出力データを表示させ、前記固形試料構造を検査する固形試料構造検査方法において、（ａ）固形試料に対して切削刃を第１の方向に移動して切削する工程と、（ｂ）前記固形試料に対して切削刃を第２の方向に移動して連続的に切削する工程と、（ｃ）この連続的に切削した固形試料面の画像データを、どの切削方向で切削したものか判明できるように記録し、この記録された画像データの中で切削方向の異なる、隣り合う画像データを２つの切削方向分を一組とし、そのなかの各画像データの共通部分のみを抽出し、新しい画像データとして再構成する工程と、（ｄ）この再構成した画像データを固形試料構造が観察可能なように演算し、出力データを表示させ、固形試料構造を検査する工程とを有するようにしたものである。
【００２２】
〔２〕上記〔１〕記載の固形試料構造検査方法において、前記第２の方向は前記第１の方向とは１８０°異なる方向である。
【００２３】
〔３〕固形試料、切削刃またはそれらの両方を所定の切削量に対応する量だけ移動させた後、前記固形試料を切削し、この固形試料端部に新しく現れた固形試料面を撮影し、この撮影した画像データを記録し、この作業を繰り返し、複数の画像データを記録した後、記録した画像データを前記固形試料構造を検査可能なように演算し、出力データを表示させ、前記固形試料構造を検査する固形試料構造検査方法において、（ａ）固形試料に対して切削刃を第１の方向に移動して切削する工程と、（ｂ）前記固形試料に対して切削刃を第２の方向に移動して連続的に切削する工程と、（ｃ）この連続的に切削した固形試料面の画像データを、どの切削方向で切削したものか判明できるように記録し、この記録された画像データの中で切削方向の異なる、隣り合う画像データを２つの切削方向分を一組とし、そのなかの各画像データの共通部分及び共通でない部分を抽出し、新しい画像データとして再構成する工程と、この再構成した画像データを固形試料構造が観察可能なように演算し、出力データを表示させ、固形試料構造を検査する工程とを有するようにしたものである。
【００２４】
〔４〕固形試料、切削刃またはそれらの両方を所定の切削量に対応する量だけ移動させた後、前記固形試料を切削し、この固形試料端部に新しく現れた固形試料面を撮影し、この撮影した画像データを記録し、この作業を繰り返し、複数の画像データを記録した後、記録した画像データを前記固形試料構造を検査可能なように演算し、出力データを表示させ、前記固形試料構造を検査する固形試料構造検査装置において、（ａ）固形試料に対して切削刃を第１の方向に移動して切削した後、前記固形試料に対して切削刃を第２の方向に移動して連続的に切削する装置と、（ｂ）この連続的に切削した固形試料面の画像データを、どの切削方向で切削したものか判明できるように記録し、この記録された画像データの中で切削方向の異なる、隣り合う画像データを２つの切削方向分を一組とし、そのなかの各画像データの少なくとも共通部分を抽出し、新しい画像データとして再構成する装置と、（ｃ）この再構成した画像データを固形試料構造が観察可能なように演算し、出力データを表示させ、固形試料構造を検査する装置とを具備するようにしたものである。
【００２５】
上記のように構成したので、包埋材の調整や最適切削条件の調査という困難な作業なしに、現状の装置を使用して、正確な画像データから正確な形状データを得て、正確な３次元像を作成することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。
【００２７】
図１は本発明の固形試料構造検査装置の全体の概略構成図である。
【００２８】
この実施例の切削方式は、可動式の切れ刃を直線的に送り試料を切削する方式について説明する。
【００２９】
図１に示すように、固形試料構造検査装置１０は、固形試料を希望する切削量（除去量）に対応する量だけＺ軸の方向に移動させる固形試料送り装置４と、固形試料１を切削する切削刃５と、固形試料端部に新しく現れた固形試料面３を撮影する撮影装置６と、撮影した画像データを記録する記録装置７と、記録した画像データを試料構造を表すように演算するデータ処理装置８と、データ処理装置８の出力データを表示する表示装置９で構成されている。なお、２は包埋材である。
【００３０】
この実施例（可動式の切れ刃を直線的に送り切削する方式）の場合、切削刃を切削開始位置から、Ｘ軸の方向に移動させ、固形試料１の切削を行う（図には示されていないが、切削刃５はＸ軸及び−Ｘ軸の方向のみに動作可能な案内面により拘束され送られる）。この際に、従来例として示した図１３もしくは図１４に示すバリや切り残しのような不具合の発生が考えられる。
【００３１】
切削後の固形試料１の固形試料面３は、固形試料１上部に取り付けられた撮影装置６により撮影され、記録装置７に記録される。切削刃５は切削開始位置に戻る。
【００３２】
従来の固形試料構造検査装置は、この作業を繰り返し行うことにより、固形試料面３の画像データを記録装置７内に蓄積し、データ処理装置８で、演算した後、作成された立体像を表示装置９に表示させ、固形試料構造の検査を行うのだが、前述した不具合により、実際の試料構造とは異なる固形試料構造（３次元像）を表示することになる。
【００３３】
そこで、本発明では、まず、Ｘ軸方向から固形試料１の切削を行い、その固形試料面３の画像データを記録した後、今度は−Ｘ軸方向から固形試料１の切削を行い、固形試料面３の画像データを記録する。図１には、切削方向を１８０°変えた２方向切削例を記しているが、図２に示すように、切削方向を９０°変えたＹ軸方向にする場合もある。また、より多くの切削方向で試料を切削してもかまわない。
【００３４】
図３は本発明の第１実施例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【００３５】
この図に示すように、第１の位置Ｉから、（１）可動式の１枚の切削刃５をＸ軸方向に直線的に送り、試料１を切削した後、第２の位置IIに至り、（２）次に、第２の位置IIから逆に可動式の切削刃５を−Ｘ軸方向に直線的に送り、再度試料を切削し、第１の位置Ｉ、つまり元に戻る。
【００３６】
ここで、切削刃５を取り付けた切削装置１１はＸ軸方向及び−Ｘ軸方向のみに動作可能な案内面により拘束され、送られる。
【００３７】
図４は本発明の第２実施例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【００３８】
この実施例では、２枚の切削刃５ａ，５ｂをアーム１３の両側に取り付けた切削装置１２を、第１の位置ＩからＸ軸方向へ送り、固形試料１を切削刃５ａで切削した後、第２の位置IIに至る。そこで、第２の位置IIでアーム１３の中心点Ａを軸にして、反時計方向に１８０度回転させてた後、−Ｘ軸方向に送り、切削刃５ｂで再度試料を切削し、第１の位置Ｉに戻る。
【００３９】
この実施例は、アーム１３の両側に２枚の切削刃５ａ，５ｂが取り付けられているので、図５に示すように、２つの固形試料１と固形試料１４とを切削刃５ａ，５ｂに対応させて配置して、同時に２つの試料の検査を行うようにしてもよい。なお、図５において、１５は包埋材、１６は切削されて現れた固形試料面である。
【００４０】
動作は、図４に示すように、第１の位置Ｉと第２の位置II間を往復する。
図６は本発明の第３実施例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【００４１】
この実施例は、２枚の切削刃１７ａ，１７ｂを前後に配置した切削装置１８を使用する方式である。第２実施例と同様に、まず、切削装置１８をＸ軸方向に駆動し、切削刃１７ａで固形試料１を切削し、逆に戻る時、つまり、−Ｘ軸方向に駆動させる時は、切削刃１７ｂで再度固形試料１を切削する。
【００４２】
このような方式を取る場合は、図６に示すように、案内面を試料の両側に設ける構造が望ましい。
【００４３】
図７は本発明の固形試料構造検査装置の第１の画像データ処理方法の説明図である。
【００４４】
従来、切削装置を用いて、固形試料の切削を行うと、図１３に示すような不具合が発生していたが、本発明のように、２方向から切削を繰り返すことにより、図７に示すような画像データを得ることができる。
【００４５】
図７においては、包埋材２を省いた試料表面の連続画像２１〜２６を示している。
【００４６】
このように連続的に記録された画像内の切削方向の異なる隣り合うものを１組とする。この実施例では切削方向が２方向なので記録された画像の２画面分を１組とする。例えば、画像データ２１と２２をデータ処理装置８（図１参照）内で比較し、各画像２１，２２から共通部分Ａのみを抽出し、新しい画像データとして再構成し、固形試料構造を検査することにより、前述したバリや切り残しＢ1 ，Ｂ2 などの不具合の影響が無い正確な固形試料構造の検査を行うことができる。
【００４７】
例えば、画像２１で直線状に揃った終端部Ｘ1 と、画像２２で直線状に揃った終端部Ｘ2 からＸ1 〜Ｘ2 とを共通部分Ａとする。
【００４８】
図８は本発明の固形試料構造検査装置の第２の画像データ処理方法の説明図である。
【００４９】
固形試料の２方向から切削を繰り返すことにより、図８に示すような画像を得ることができる。この実施例では、包埋材２を省いた試料表面の連続画像３１〜３６を示している。
【００５０】
このように連続的に記録された画像内の切削方向の異なる隣り合うものを１組とする。この実施例では切削方向が２方向なので、記録された画像の２画面分を１組とする。例えば、画像３１と３２をデータ処理装置８（図１参照）内で比較し、各画像データから共通部分Ｃおよび共通でない部分を抽出し、新しい画像データとして再構成し、固形試料構造を検査することにより、前述したバリや切り残しＤ1 ，Ｄ2 などの不具合の影響が無い正確な固形試料構造の検査を行うことができる。
【００５１】
例えば、画像３１における直線状に揃った終端部Ｘ1 と、画像３２で直線状に揃った終端部Ｘ2 からＸ1 〜Ｘ2 とを共通部分Ｃとする。
【００５２】
なお、固形試料を包埋する包埋材２が有色である場合、包埋材２の色と同色のものなど希望する色の画像データを各画像データから削除する。このように、包埋材とバリや切り残しＤ1 ，Ｄ2 部分の色の画像を各画像から削除し、図８に示す従来の方法によって、３次元像を作成する。
【００５３】
図９は本発明の第３実施例を示す回転式の切削刃を円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。なお、第１実施例と同じ部分には同じ符号を付してそれらの説明は省略する。
【００５４】
この図に示すように、固形試料１に対応した位置にアーム４２の前後にそれぞれ切削刃４３，４４を有する切削装置４１を配置する。
【００５５】
そこで、切削装置４１を反時計方向へ回転させる場合には、切削刃４３で固形試料１を切削し、逆に、切削装置４１を時計方向へ回転させる場合には、切削刃４４で再度固形試料１を切削することができる。
【００５６】
図１０は本発明の第４実施例を示す回転式の切削刃を円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。
【００５７】
この実施例では、固形試料１を挟んで両側に、アーム５２の先端に切削刃５３を有する切削装置５１と、この切削装置５１に対向した位置に、同様にアーム６２の先端に切削刃６３を有する切削装置６１とをそれぞれ配置する。
【００５８】
そこで、切削装置５１のアーム５２を反時計方向へ回転させる場合には、切削刃５３で固形試料１を切削し、一方、切削装置６１のアーム６２を反時計方向へ回転させる場合には、切削刃６３で固形試料１を切削する。
【００５９】
この実施例の固形試料の切削面の画像データの処理方法は図７及び図８にて説明したものと同じであり、重複するので説明は省略する。
【００６０】
図１１は本発明の第５実施例を示すスライド及び回転式の切削刃を円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。
【００６１】
この図に示すように、切削刃７２を有する切削装置７１を反時計方向に回転させながら、Ｘ軸方向へ移動させ、固形試料１の切削を行う。このときの切削方向をＹ軸方向で記す。次に、切削装置７１を−Ｘ軸方向へ移動させ、固形試料１の切削を行う。このときの切削方向は−Ｙ軸方向となる（図には示されていないが、切削刃７２は反時計方向の方向のみに、回転可能なガイドにより拘束され回転し、Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向の方向のみに動作可能な案内面により拘束され送られる）。
【００６２】
図１１に示すような回転式の切れ刃の場合は、切削装置の送り方向と切削方向の違いに注意しなければならない。本発明では切削方向について着目しており、複数の切削方向で切削を行いたいのだが、切削装置の送り方向を変化させても切削方向が変化しないことがあるので注意しなければならない。その例を以下に記す。
【００６３】
試料切削面に対して切削装置の直径が比較的大きい切削装置を用い、図１１における切削装置７１の回転中心軸７３が固形試料面３の中心を通過しない、つまり、図１２に示すような実施例において、切削装置をＸ軸方向へ送った場合、固形試料１の切削方向はＸ軸方向であり、−Ｘ軸方向へ送った場合は、Ｘ軸方向の切削方向と同じになってしまう。それに対して、固形試料１の反対側から−Ｘ軸方向へ送れば切削方向は−Ｘ軸方向となり、Ｘ軸方向とは異なる。
【００６４】
図１１及び図１２に示すこの実施例に相当する切削装置の駆動軸構成は、一般的なスライス装置と同じであるため、複数切削方向での切削は比較的容易である。
【００６５】
この実施例は、試料の切削面の画像データの処理方法は図７及び図８にて説明したものと同じであり、重複するので説明は省略する。
【００６６】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００６７】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、包埋材の調整や最適切削条件の調査という困難な作業なしに、従来の装置を使用して、正確な画像データから正確な形状データを得て、正確な３次元像を作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の固形試料構造検査装置の全体の概略構成図である。
【図２】本発明の他の固形試料構造検査装置の全体の概略構成図である。
【図３】本発明の第１実施例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【図４】本発明の第２実施例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【図５】本発明の第２実施例の変形例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【図６】本発明の第３実施例を示すＸ軸と−Ｘ軸方向の２方向切削方式の平面図である。
【図７】本発明の固形試料構造検査装置の第１の画像データ処理方法の説明図である。
【図８】本発明の固形試料構造検査装置の第２の画像データ処理方法の説明図である。
【図９】本発明の第３実施例を示す回転式の切削刃を円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。
【図１０】本発明の第４実施例を示す回転式の切削刃を円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。
【図１１】本発明の第５実施例を示すスライド及び回転式の切削刃を円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。
【図１２】本発明の第６実施例を示す切削刃をスライド及び円軌道上に送り切削する方式の斜視図である。
【図１３】従来の固形試料構造検査装置の第１の切削部の斜視図である。
【図１４】従来の固形試料構造検査装置の第２の切削部の斜視図である。
【符号の説明】
１，１４    固形試料
２，１５    包埋材
３，１６    固形試料面
４    固形試料送り装置
５，５ａ，５ｂ，１７ａ，１７ｂ，４３，４４，５３，６３，７２    切削刃
６    撮影装置
７    記録装置
８    データ処理装置
９    表示装置
１０    固形試料構造検査装置
１１，１２，１８，４１，５１，６１，７１    切削装置
１３，４２，５２，６２    アーム
２１〜２６，３１〜３６    試料表面の連続画像
７３    回転中心軸
【図１】
0003588174.tif 000002
【図２】
0003588174.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003588174.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003588174.tif 000011
【図１１】
0003588174.tif 000012
【図１２】
0003588174.tif 000013
【図１３】
0003588174.tif 000014
【図１４】
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