(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を保持したキャリアが載置されるキャリア載置部と、
このキャリア載置部に載置されたキャリアから基板を受け取って搬送する搬送手段と、
この搬送手段から搬送された基板を基板保持部にて水平に保持し、この基板に塗布液を供給すると共に前記基板保持部を回転させて基板の回転の遠心力により塗布液を広げて基板表面に塗布膜を形成する塗布ユニットと、
前記基板表面に形成された塗布膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニットと、
前記塗布ユニットにおける塗布処理時の基板の回転数と塗布膜の膜厚との関係を示す回転数−膜厚データを格納するデータ格納部と、
前記塗布ユニットにおける塗布膜の目標膜厚及び塗布処理時の基板の回転数を含む処理条件群が記載されたレシピを作成するレシピ作成部と、
このレシピ作成部にて作成されたレシピにより設定された目標膜厚と、膜厚測定データと、当該レシピに割り当てられた回転数−膜厚デ−タとに基づいて、塗布膜の膜厚が目標値となるように前記回転数の設定値を補正する回転数補正部と、を備え、
共通の回転数−膜厚デ−タに複数のレシピが割り当てられ、これら各々のレシピを用いて塗布膜を形成し、各塗布膜の膜厚の測定結果から求めた回転数の補正値の平均値を、当該複数のレシピの回転数の補正値とすることを特徴とする塗布膜形成装置。
【請求項２】
回転数補正部は、膜厚測定データに基づいて得た基板上の膜厚の平均値と、前記目標膜厚と、回転数−膜厚デ−タとに基づいて回転数の補正値を決定することを特徴とする請求項１記載の塗布膜形成装置。
【請求項３】
共通の回転数−膜厚デ−タに割り当てられる複数のレシピは、塗布液の種類が同じで目標膜厚が異なることを特徴とする請求項１または２記載の塗布膜形成装置。
【請求項４】
共通の回転数−膜厚デ−タに割り当てられる複数のレシピは、基板を生産するときに用いる生産用のレシピと、このレシピと同じ処理条件でモニタ基板に対して塗布処理を行い、膜厚を測定するための膜厚測定用のレシピと、を含むことを特徴とする請求項１、２または３記載の塗布膜形成装置。
【請求項５】
各レシピにおける回転数−膜厚デ−タの割り当ては、レシピ作成部の設定画面にて回転数−膜厚デ−タの名称を入力することにより行われることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウエハやＬＣＤ基板（液晶ディスプレイ用ガラス基板）等の基板表面に、例えばレジスト液等の塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスやＬＣＤの製造プロセスにおいて行われるフォトリソグラフィと呼ばれる技術は、基板（例えば半導体ウエハ）にレジスト液を塗布して当該表面に塗布膜を形成し、フォトマスクを用いて当該レジスト膜を露光をした後、現像処理を行うことによりレジストパターンを得るものである。
【０００３】
上述の工程におけるレジスト液の塗布工程は、例えばスピンコーティング法により行われている。この方法は回転自在なスピンチャックで基板を水平に吸着保持し、基板中央部上方のノズルからレジスト液を基板に供給すると共にスピンチャックを回転させる方法であり、遠心力によりレジスト液が拡散して基板全体に塗布膜が形成される。
【０００４】
この方法においては基板の回転数と遠心力とが対応するので、基板の回転数によりレジスト液の塗布膜（塗布した時点では液膜である）の膜厚が左右される。一方レジスト膜の膜厚に応じた処理条件で露光及び現像が行われるので、前記膜厚は所定の大きさに収まっていることが要求される。このため予め設定された目標膜厚が得られるように塗布処理時の回転数（振り切り回転数）を調整しておいて塗布処理を行うようにしているが、温度、湿度などの変動やウエハ表面の状態あるいは気圧などの要因により、実際の膜厚が目標膜厚から外れることもある。
【０００５】
そこで従来では例えば一定枚数の基板を処理するごとに基板を抜き取り、この基板を塗布膜形成装置とは別個に設けられる膜厚測定ユニットに搬送してそこで膜厚測定を行い、その測定結果に基づいて前記スピンチャックの回転数が適切かどうかを判断し、その判断に基づき前記回転数（速度）を補正してこれ以降に製造ラインに送られる基板のレジスト膜厚が目標膜厚に近づくようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の補正作業は適正な回転数を決定するための基準がないため、回転数の増減量はオペレータの経験などに基づいて試行錯誤により決定していた。
【０００７】
ところで上述の塗布処理は、使用するレジスト液の種類や前記液膜の目標膜厚等を予め設定したレシピに従って行われており、このため例えば目標膜厚が異なる複数種のレシピを一の塗布ユニットで使用している場合や、各塗布ユニットごとに異なるレシピを使用する場合等には、オペレータは各レシピ毎に前記補正作業を繰り返し行わなければならず、負担が大きいという問題があった。
【０００８】
本発明はこのような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、いわゆるスピンコーティング法において塗布膜を形成するにあたり、塗布膜の目標膜厚を得るための基板の回転数の補正作業を容易に行うことができる技術を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る塗布膜形成装置は、複数枚の基板を保持したキャリアが載置されるキャリア載置部と、
このキャリア載置部に載置されたキャリアから基板を受け取って搬送する搬送手段と、
この搬送手段から搬送された基板を基板保持部にて水平に保持し、この基板に塗布液を供給すると共に前記基板保持部を回転させて基板の回転の遠心力により塗布液を広げて基板表面に塗布膜を形成する塗布ユニットと、
前記基板表面に形成された塗布膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニットと、
前記塗布ユニットにおける塗布処理時の基板の回転数と塗布膜の膜厚との関係を示す回転数−膜厚データを格納するデータ格納部と、
前記塗布ユニットにおける塗布膜の目標膜厚及び塗布処理時の基板の回転数を含む処理条件群が記載されたレシピを作成するレシピ作成部と、
このレシピ作成部にて作成されたレシピにより設定された目標膜厚と、膜厚測定データと、当該レシピに割り当てられた回転数−膜厚デ−タとに基づいて、塗布膜の膜厚が目標値となるように前記回転数の設定値を補正する回転数補正部と、を備え、
共通の回転数−膜厚デ−タに複数のレシピが割り当てられ、これら各々のレシピを用いて塗布膜を形成し、各塗布膜の膜厚の測定結果から求めた回転数の補正値の平均値を、当該複数のレシピの回転数の補正値とすることを特徴とする。
【００１１】
回転数補正の具体例としては、例えば回転数補正部が膜厚測定データに基づいて得た基板上の膜厚の平均値と、前記目標膜厚と、回転数−膜厚デ−タとに基づいて回転数の補正値を算出し、この補正値を用いて一のレシピの回転数補正を行う方法を挙げることができる。
【００１２】
また、前記複数のレシピとは、具体的には塗布液の種類が同じで目標膜厚が異なるものがこれに該当し、例えば基板を生産するときに用いる生産用のレシピと、このレシピと同じ処理条件でモニタ基板に対して塗布処理を行い、膜厚を測定するための膜厚測定用のレシピとが含まれる。これらのレシピへの回転数−膜厚デ−タの割り当ては、例えばレシピ作成部の設定画面にて回転数−膜厚デ−タの名称を入力する構成とすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の塗布膜形成装置を塗布、現像に適用した実施の形態について説明する。この塗布、現像装置は、基板の搬送や処理を行う装置本体と制御部とから構成されるが、先ず装置本体について簡単に説明する。図１及び図２は、夫々この塗布、現像装置１００を露光装置２００に接続したレジストパターン形成装置の全体構成を示す平面図及び概略図である。
【００１５】
図中、１１は例えば２５枚の基板である半導体ウエハ（以下ウエハという）Ｗが収納されたキャリアＣを搬入出するためのキャリアステーションであり、このキャリアステーション１１は前記キャリアＣを載置するための載置部１２と、ウエハＷを取り出すための受け渡し手段１３とを備えている。受け渡し手段１３はキャリアＣから基板であるウエハＷを取り出し、取り出したウエハＷをキャリアステーション１１の奥側に設けられている処理部Ｓ１へと受け渡すように構成されている。
【００１６】
処理部Ｓ１の中央には主搬送手段１４が設けられており、これを取り囲むように例えばキャリアステーション１１から奥を見て例えば右側には塗布ユニット２及び現像ユニット１５が、左側、手前側、奥側には加熱・冷却系のユニット等を多段に積み重ねた棚ユニットＵ１，Ｕ２，Ｕ３が夫々配置されている。塗布ユニット２及び現像ユニット１５はこの例では各々２個ずつ設けられ、塗布ユニット２は現像ユニット１５の下段側に配置されている。棚ユニットＵ１，Ｕ２，Ｕ３においては、加熱ユニットや冷却ユニットの他、ウエハの受け渡しユニットや疎水化処理ユニット等が上下に割り当てされている。主搬送手段１４は、昇降自在、進退自在及び鉛直軸まわりに回転自在に構成され、棚ユニットＵ１，Ｕ２，Ｕ３及び塗布ユニット２並びに現像ユニット１５の間でウエハＷを搬送する役割を持っている。但し図２では便宜上受け渡し手段１３及び主搬送手段１４は描いていない。
【００１７】
前記処理部Ｓ１はインターフェイス部Ｓ２を介して露光装置２００と接続されている。インターフェイス部Ｓ２は受け渡し手段１６と、バッファカセットＣ０と、膜厚測定ユニット３とを備えており、受け渡し手段１６は、例えば昇降自在、左右、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成され、前記処理ブロックＳ１と露光装置２００とバッファカセットＣ０と膜厚測定ユニット３との間でウエハＷの受け渡しを行うものである。
【００１８】
このパターン形成装置のウエハの流れについて述べておくと、先ず外部からキャリアＣがキャリア載置部１２に搬入され、受け渡し手段１３によりこのキャリアＣ内からウエハＷが取り出される。ウエハＷは、受け渡し手段１３から棚ユニットＵ２の受け渡しユニットＥＸＴ（図２参照）を介して主搬送手段１４に受け渡されて、所定の処理例えば疎水化処理、冷却処理などが行われる。続いてこのウエハＷは塗布ユニット２にてレジスト液が塗布され更に加熱処理されてレジスト液の溶剤が揮発された後、棚ユニットＵ３の図では見えない受け渡しユニットからインターフェイス部Ｓ２を経て露光装置２００に送られる。
【００１９】
露光装置２００にて露光されたウエハＷは逆の経路で処理部Ｓ１に戻され、主搬送手段１４より現像ユニット１５に搬送され、現像処理される。なお詳しくは、ウエハＷは、現像処理の前後に加熱処理及び冷却処理される。現像処理されたウエハＷは上述と逆の経路で受け渡し手段１３に受け渡され、キャリア載置部１２に載置されている元のキャリアＣに戻される。
【００２０】
ここで前記塗布ユニット２及び膜厚測定ユニット３について説明する。先ず塗布ユニット２の一例について図３を参照しながら簡単に述べておくと、２１はスピンチャック、２２はスピンチャック２１の駆動部、２３は液受けカップ、２４は排気管、２５はドレイン管、２６はレジスト液供給ノズルである。前記主搬送手段１４によりスピンチャック２１にウエハＷが受け渡されると、レジスト液供給ノズル２６からレジスト液を供給すると共にスピンチャック２１を回転させ、レジスト液はその遠心力によりウエハＷの外方に広がってウエハＷ表面にレジスト液の液膜（塗布膜）が形成され、振り切られた分は液受けカップ２３へと流れ落ちる。
【００２１】
前記インターフェイス部Ｓ２に設けられる膜厚測定ユニット３は、図４に示すように側面に搬送口３２を有する筐体３１と、この筐体３１内に設けられたウエハＷを載置するための載置台３３と、この載置台３３を回転自在かつＸ及びＹ方向に移動自在とする駆動機構３４と、光干渉式膜厚計３５とを備えている。光干渉式膜厚計３５は、載置台３３上のウエハＷ表面と対向するように設けられたプローブ３５ａと光ファイバ３５ｂと分光器及びコントローラを含む分光器ユニット３５ｃとを備えており、ウエハＷ表面に照射した光の反射光に基づいてスペクトルを得、そのスペクトルに基づいて膜厚を検出するものである。
【００２２】
この膜厚測定ユニット３においては、ウエハＷがＸ，Ｙ方向に移動し、プローブ３５ａにより例えばウエハＷの直径に沿った多数の位置に光軸を位置させることにより各位置の膜厚が測定される。図４中３０はコンピュータであり、駆動機構３４により載置台をＸ，Ｙ方向に移動制御すると共に前記分光器ユニット３５ｃから得られた信号を処理してウエハＷの各位置における膜厚を求め膜厚分布を作成したり膜厚の平均値などを求める機能を有している。
【００２３】
また膜厚測定ユニット３は、ウエハＷについて周縁部のレジストを除去するために当該周縁部の露光を行う周縁露光装置を共用するように構成されており、筐体３１内には露光手段３６が設けられると共にウエハＷの周縁部を検出するためのラインセンサ３７がウエハＷの通過領域を上下に挟むように設けられている。
【００２４】
図１に戻ると前記塗布、現像装置１００は各処理ユニットのレシピの管理などを行う制御部４を備えている。図５はこの制御部４の構成を示すものであり、実際にはＣＰＵ（中央処理ユニット）、プログラム及びメモリなどにより構成されるが、各機能をブロック化し構成要素として説明するものとする。図５中４１はレシピ作成部、４２はレシピ格納部、４３はレシピ選択部であり、レシピ作成部４１は、レジスト種類、目標膜厚例えばウエハ表面上の平均膜厚の目標値、塗布膜形成時のウエハＷの回転数（振り切り回転数）及び回転時間、といった塗布処理に必要な処理条件を組み合わせたレシピの入力を行うことができるようになっており、ここで作成された各レシピはレシピ格納部４２へ格納される。即ちレシピは塗布ユニット２における処理条件も含むものであり、レシピ格納部４２は特許請求の範囲における処理条件格納部の役割を包含するブロックである。レシピ作成部４１はレシピ作成プログラム及びレシピの入力や編集のための操作画面などからなる。レシピは目的とする塗布膜に応じて複数用意され、オペレータは、レシピ選択部４３にて前記レシピ格納部４３に格納されている複数のレシピから目的とするレシピを選択することとなる。なおＢ１はバスである。
【００２５】
また制御部４はスピンカーブ作成部５１及びデータ格納部であるスピンカ−ブ格納部５２を備えている。このスピンカーブは、塗布ユニット２における塗布処理時のウエハＷの回転数と、当該回転数にて塗布したウエハＷ表面上のレジスト膜（レジスト液の溶剤が揮発した後のレジスト膜）の膜厚測定デ−タに基づいて得られた例えば平均膜厚との相関関係を表す回転数−膜厚データ、例えば前記相関関係を表す近似式であり、表示画面には例えば横軸及び縦軸に夫々回転数及び膜厚をとったグラフとして現される。スピンカーブ作成部５１は、スピンカーブ作成用のプログラムとこのプログラムにより求められたスピンカーブを表示する表示部などを含むものであり、スピンカーブ作成モ−ド時において、複数枚のモニタ基板であるモニタウエハを用いて塗布ユニット２にて種々の回転数でレジスト膜を形成すると共に各レジスト膜の膜厚を膜厚測定ユニット３にて測定し、回転数−膜厚デ−タに基づいてスピンカーブを作成するように構成されている。
【００２６】
更に制御部４は、運転モ−ド選択部４４、回転数補正部６及び警報発生手段７を備えている。運転モ−ド選択部４４は、製品ウエハを処理する処理モ−ドつまりレシピ作成部４１にて作成されたレシピに基づいて塗布、露光及び現像の各工程を制御するモ−ド、及びスピンカーブ作成モ−ドなどから運転モ−ドを例えば装置の操作パネルにて選択するものである。また回転数補正部６は、レシピに従って塗布膜形成を行ったとしても、温度、湿度、ウエハの品質等によってはウエハ表面に塗布されたレジスト液が予期したとおりの膜厚とならない場合もあるため、前記膜厚が目標とする値となるように、前記スピンカーブに基づいて回転数の補正を行うためのものである。前記警報発生部７は、例えば回転数補正のプログラムを動かしたときに膜厚分布や演算結果などが異常値を示した場合に警報を発生するためのものであり、例えばブザー音の鳴動、警報ランプの点灯、操作画面へのアラーム表示といったことを行う。
【００２７】
ここで塗布ユニット２のレシピ作成画面の一つである回転数補正用の設定入力画面の一例を図６に示しておく。この画面４０において、リンクスピンカーブ名称とは、そのレシピが使用するスピンカーブの名称である。例えばレジストの種類が異なれば回転数と膜厚との関係は異なるため、目標とする膜厚である膜厚目標値（ターゲット膜厚）を得るために回転数を設定する場合や回転数を補正する場合は、使用するレジストに応じたスピンカーブに基づいて決める必要がある。スピンカーブはスピンカーブ格納部５２に複数用意されているので、オペレータにより当該レシピとリンクする（レシピで使用する）スピンカーブをその中から選択してその名称が入力される。
【００２８】
またこの画面４０はレジスト膜の目標膜厚の他、平均値シフト幅、レンジ幅、３σ、回転数補正許容値を入力できるようになっている。平均値シフト幅とは、膜厚許容範囲であり、この範囲内に膜厚平均値が入っていれば正常状態として取り扱うものである。レンジ幅とは、ウエハＷ表面の膜厚分布において最大膜厚と最小膜厚との差であり、３σとは前記膜厚分布における標準偏差の３倍の値であり、回転数補正のプログラムを動かしたときに実際の膜厚分布がこれらの設定値から外れていたときには異常状態として取り扱うものである。回転数補正許容値とは、回転数補正のプログラムにより現在の回転数を補正するための補正量（回転数補正値）を求めたとき、ここで設定された値よりも外れていれば、異常状態として取り扱うためのものである。つまりこれらの値は、回転数補正のプログラムを動かすときに各判断ステップにおけるしきい値に相当するものであり、一部について便宜上一例として数値をいれてある。なおこの画面４０には、回転数の自動補正を「する」、「しない」の選択のための選択部４０ａが設けられているが、この実施の形態では自動補正を「する」を選択してあるものとする。
【００２９】
また前記制御部４は、制御対象である既述の塗布ユニット２、現像ユニット１５、棚ユニットＵ１，Ｕ２，Ｕ３に設けられる加熱・冷却系ユニット１０、主搬送手段１４及び受け渡し手段１３、１６等の搬送系８並びに膜厚測定ユニット３に対して、夫々コントローラ２０，１５ａ，１０ａ，８ａ及びコンピュータ３０を介して接続されている。
【００３０】
ここでスピンカーブとレシピとの関係について説明を行う。上述したように本実施の形態ではレシピ作成画面にて当該レシピが参照するスピンカーブの入力を行う構成としており、前記回転数−膜厚デ−タに基づき作成された各スピンカーブがスピンカーブ格納部５２に記憶されると共に、すべてのレシピは、例えば図７に示すようにレシピＡ−スピンカーブＳ１，レシピＭＡ−スピンカーブＳ１といったように組にして格納される。ここでレシピとスピンカーブとがリンクしているとは、レシピにて設定された目標膜厚に基づいて基板の振り切り回転数を求める場合に、コンピュータがそのスピンカーブを参照するように構成されていることを意味し、具体的には例えばそのレシピの目標膜厚に応じた前記回転数を求めるときに記憶部から呼び出すべきプログラムに書き込まれているエリア（番地）が、そのスピンカーブのデータが格納されているエリアとなっていることである。
【００３１】
ところでレシピは、ウエハＷの搬送経路の違いにより膜厚測定ユニット３を経由するものとしないものとの２種類に大別することができる。前者は例えば通常の製品製造用のいわゆる生産モードにて用いられるレシピであり、図中のレシピＡ〜Ｄがこれに相当する。後者はウエハＷが膜厚測定ユニット３を経由し、ここで膜厚測定を行うと共に得られた膜厚測定データ等に基づき塗布ユニット２における前記回転数（回転速度）を補正するため、膜厚測定モードで用いられるレシピであり、図中のレシピＭＡ〜ＭＤがこれに相当する
各レシピにおいて用いられるウエハの種類は、上述した各モードの目的からも分かるように、生産モードでは製品ウエハが使用され、膜厚測定モードでは必要に応じて製品ウエハと膜厚測定用基板であるモニタウエハとを使い分けることができる。具体例を挙げると、回転数の補正作業は、先ず生産モード用のレシピに基づいて製品ウエハの処理を行い、一定枚数の処理ごとに膜厚測定モード用のレシピにより製品ウエハのレジスト膜の膜厚測定を行ってその測定デ−タに基づいて行うようにしてもよいし、あるいは例えばベアウエハからなるモニタウエハを用いて行うようにしてもよいが、ここでは後者の例に従って説明を行うこととする。
【００３２】
また図７中レシピＡ，Ｂ，ＭＡ，ＭＢの夫々に対してスピンカーブＳ１がリンクされていることからも分かるように、複数のレシピは一の共通したスピンカーブにリンクさせることができる。既述のように膜厚測定モードにおけるレシピは塗布ユニット２におけるウエハＷの回転数を補正し、この補正により生産モードにおける塗布膜の膜厚を適正化しようとするものであることから、一のスピンカーブには、生産モード用のレシピと膜厚測定モード用のレシピとが夫々リンクされており、共通のスピンカーブにリンクする生産モード用のレシピには膜厚測定モード用のレシピに基づいて得られた前記回転数の補正結果が反映される。
【００３３】
具体例を挙げると図８に示すように膜厚が６０００Å〜８０００Åの塗布膜に対応するスピンカーブＳ１に、生産モード用のレシピＡ（目標膜厚６５００Å），レシピＢ（目標膜厚７５００Å）と、これらレシピＡ，Ｂに夫々が対応する膜厚測定モード用のレシピＭＡ（目標膜厚６５００Å）及びレシピＭＢ（目標膜厚７５００Å）とをリンクさせた場合には、これらのレシピＡ，Ｂ，ＭＡ，ＭＢがスピンカーブＳ１を参照すると共に、例えばレシピＭＡ及び／またはレシピＭＢにて得られる回転数の補正結果が、当該スピンカーブにリンクしている他の各レシピへと反映される。
【００３４】
次に上述した図８のモデルに基づき、図９に示すウエハＷの搬送ルートを参照しながら、本実施の形態の作用説明を行う。ここでは上述した塗布膜形成装置において共通のレジスト液を使用する２つの塗布ユニット２−１，２−２を使用するものとし、レシピＡ，ＭＡにはウエハＷが塗布ユニット２−１を経由するように、レシピＢ，ＭＢにはウエハＷが塗布ユニット２−２を経由するように夫々設定されている。また生産モード用のレシピＡ，ＢにおけるウエハＷの搬送経路と、膜厚測定モード用のレシピＭＡ，ＭＢにおけるウエハＷの搬送経路との違いを説明しておくと、前者はキャリア載置部１２から搬送されてきたウエハＷが塗布ユニット２−１（２−２），膜厚測定ユニット３を経由した後、露光装置２００、現像ユニット１５を経由してキャリア載置部１２へ戻されるのに対し、後者ではこの例では塗布ユニット３搬出後のウエハＷが露光装置２００及び現像ユニット１５を経由せずキャリア載置部１２へと戻されるようになっている。
【００３５】
上述装置ではレジストパターンの形成に先立ち、予めレシピ（コータレシピ）の作成が行われるが、レシピの作成にあたってはレジスト膜の目標膜厚及び塗布膜形成時のウエハＷの回転数を設定する必要があり、この設定について図１０に示すフローを参照しながら説明を行う。先ずレシピＡにおける目標膜厚６５００Åを入力し（ステップ１）、次いでこのレシピＡと実質同じであるモニタ用レシピＭＡを用いて前記回転数と膜厚測定デ−タとを取得する（ステップ２）。具体的にはこのステップ２は、図５に示す運転モ−ド選択部４４によりスピンカーブ作成モ−ドを選択し、モニタウエハ例えばベアウエハを複数枚用意し、これらモニタウエハを順番に塗布ユニット２に搬入して各モニタウエハの回転数を夫々種々の値に設定し、その表面に塗布液であるレジストを塗布すると共に各レジスト膜の膜厚を膜厚測定ユニット３にて測定する工程である。膜厚の測定デ−タは例えばウエハの直径に沿った膜厚分布であり、この膜厚分布における平均膜厚と前記回転数との関係である既述のスピンカーブＳ１を前記スピンカーブ作成部５１により作成し、これを前記スピンカーブ格納部５２内に格納する（ステップ３）。スピンカーブＳ１は例えば回転数２０００〜３０００ｒｐｍの間において４０ｒｐｍの間隔でプロットされて作成される。
【００３６】
そして、オペレータが各レシピの目標膜厚に対応する回転数をステップ３で得られたスピンカーブＳ１に基づいて決定するか否か判断を行う（ステップ４）。既述のようにスピンカーブＳ１に対してレシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢをリンクさせる場合には、オペレータは先ず操作パネル上でレシピＡ，ＢにリンクするスピンカーブをスピンカーブＳ１と決定する操作を行い、これを受けてレシピ作成部４１が持っているプログラムは、前記スピンカ−ブＳ１から各々のレシピの目標膜厚に対応する回転数即ちレシピＡでは目標膜厚６５００Åに、レシピＢでは目標膜厚７５００Åに夫々対応する回転数を求め、各々の回転数をレシピＡ，Ｂに自動設定する（ステップ５）。そしてレシピ作成部４１は、レシピＡ，Ｂと同様に膜厚測定モード用のレシピＭＡ，ＭＢについて回転数の自動設定を行う。また、決定しない場合にはこのフローを終了する。なお作成されたスピンカーブＳ１にレシピＡをリンクさせるときには例えばアラームを発するようにして確認を促すようにしてもよい。
【００３７】
上記のフローは、装置の立ち上げ時や新しいレジストを用いるときなどにおいて初めてスピンカ−ブを作成する場合について説明したものであり、例えば予めスピンカーブＳ０（図示せず）が作成されていた場合には、ステップ１〜ステップ３を経て新規に取り直したスピンカーブＳ１へと自動更新されることとなる。そしてスピンカーブがＳ１に更新されると、オペレータは今までスピンカーブＳ０にリンクしていた全てのレシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢを一括してスピンカーブＳ１にリンクさせるか否かの決定を行う（ステップ４）。リンクさせる決定をした場合はスピンカーブＳ１に基づき各レシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢの目標膜厚に対する回転数が求められ、当該回転数が自動的にレシピに設定（再設定）される。なおここでいう「回転数の設定」は、再設定時には新たに取り直したスピンカーブに基づく回転数の補正（絶対値補正）の意味合いとなるため、これらを総称して図１０では絶対値補正という用語を用いている。
【００３８】
また、スピンカーブＳ０に代えて新規にスピンカーブＳ１を作成するのではなく、例えばスピンカーブＳ０から予め用意されていたスピンカーブＳ１に置き換える場合には、最初にスピンカーブＳ１にレシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢをリンクさせ、しかる後、オペレータが図示しない回転数補正ボタンを押す（ステップ６）ことで各レシピについて回転数の絶対値補正を行ってもよいかどうかの確認メッセージが表示され（ステップ４）、絶対値補正を行う決定をした場合にはステップ５にて各レシピの再設定が自動的に行われ、行わない決定をした場合にはフローを終了する。
【００３９】
そして上記のように設定されたレシピＡ，Ｂの目標膜厚及び回転数に基づき、生産モードが開始され、例えば所定枚数の処理が終了した時点でレシピ選択部４３にて膜厚測定モード用のレシピＭＡ，ＭＢが選択される。
【００４０】
次にウエハＷにレジスト液の塗布を行ってそのレジスト膜の膜厚に基づいて既に設定した回転数を補正する様子について図１１を参照しながら説明する。先ず４枚のモニタウエハを用意し、これら４枚のモニタウエハのうち最初の２枚はレシピＭＡを用いて塗布ユニット２−１で塗布処理を行い，残りの２枚はレシピＭＢを用いて塗布ユニット２−２で塗布処理を行い（ステップ１）、その後塗布処理の終了した４枚のモニタウエハの膜厚測定を行って回転数及び膜厚測定データを取得する（ステップ２）。膜厚測定データとは、ウエハの直径に沿って得られる膜厚分布から算出されるレンジ幅，３σ及び膜厚平均値等を指すものであり、レンジ幅とは膜厚の最大値と最小値との差であり、３σとは標準偏差の３倍の値である。前記回転数補正部６は、例えば前記レンジ幅が既に図６に示す設定画面にて設定したレンジ幅の設定値以内であるか否かを各ウエハごとに判断を行い（ステップ３）、一枚でも設定値から外れているものがあれば装置などの異常であると判断して前記警報発生手段７からアラームを出力し（ステップ４）、例えばオペレータの操作により補正作業を中止する。４枚全てのウエハについて設定値以内であればステップ５に進む。前記ステップ３の判断工程は、レンジ幅の代わりに３σを用い、図６の入力画面で設定した設定値と比較し、３σが設定値以内であればステップ５に進むようにしてもよい。なおレンジ幅及び３σのいずれもが設定値以内のときにステップ５に進むようにしてもよい。
【００４１】
ステップ５では各ウエハについて膜厚平均値が前記入力画面で設定した平均値シフト幅以内であるか否かを判断し、４枚全てのウエハについて設定値以内であれば前記回転数の補正を行う必要がなく、今までの回転数の設定値を用いて塗布処理を行えばよいので、補正プログラムを終了し、設定値から外れていればステップ６に進む。この平均値シフト幅とは、膜厚平均値が完全に目標膜厚に一致していなくとも、許容範囲内であればプロセスに影響しないと取り扱える当該許容範囲を指すものである。
【００４２】
ステップ６では、膜厚測定を行った上記４枚のウエハにおける膜厚測定値（膜厚平均値）と、スピンカーブＳ１とを用いて各レシピの回転数の補正が行われる。この回転数補正について図１２を参照しながら説明すると、例えばレシピＭＡに基づいて塗布膜形成を行った一のウエハの膜厚ａが目標膜厚ａ０  と異なる場合には、先ずスピンカーブＳ１から膜厚ａに対応する振り切り回転数ｐと、現在の振り切り回転数（本来ならば目標膜厚ａ０  になるはずであった振り切り回転数）ｐ０  とのずれが計算される。
【００４３】
従って、レシピＭＡに設定されている回転数ｐ０  で塗布を行った結果が膜厚ａであったことが分かったわけだが、前述のスピンカーブＳ１によれば膜厚ａに対応する回転数はｐであるため、この回転数の低下分である（ｐ０  −ｐ）分だけレジスト液の振り切り量が低下し、膜厚が増加したと考えることができる。そこで回転数補正部６は、現在の膜厚ａが目標値ａ０に近づくように、現在の回転数ｐ０に補正値Ａｒｐｍである（ｐ０  −ｐ）だけ加えて相対的に膜厚を低下させ、これにより膜厚が目標値ａ０  に近づくようにしようとする。
【００４４】
このように補正値Ａは４枚全てのウエハについて算出されるが、具体的に説明すると、レシピＭＡに基づいて塗布膜形成が行われた２枚のウエハについては上記のように目標膜厚ａ０を６５００Åとし、残り２枚のレシピＭＢにより塗布膜形成の行われたウエハについては目標膜厚ａ０を７５００Åとして夫々補正値Ａが算出され、これら４つの補正値Ａの平均値をもって共通のスピンカーブＳ１にリンクするレシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢ各々の回転数補正値と擬制する。従ってレシピＡ，ＭＡでは膜厚６５００Åに対応する回転数＋Ａｒｐｍ、レシピＢ，ＭＢでは膜厚７５００Åに対応する回転数＋Ａｒｐｍが夫々の補正された回転数となる。
【００４５】
しかしながら補正された回転数が大き過ぎたり小さ過ぎたりする場合には、塗布ユニット２において目標となる膜厚でレジストを塗布することができなくなるおそれがあるため、ステップ６に続くステップ７では上述したレシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢ夫々における補正された回転数が補正許容値以内に収まっているか否か、判断を行う。例えば補正されたの回転数がレシピＡで３１００ｒｐｍ、レシピＢで２６００ｒｐｍであったとすると、これらを既述の回転数補正許容値（２０００〜３０００ｒｐｍ）に照らし合わせ、レシピＡは許容値から外れており、レシピＢは許容値に収まっている、といったように各レシピごとに別個の判断が下される。
【００４６】
そして補正された回転数が補正許容値から外れているレシピがあれば前記ステップ４に進んでアラームを出力し、全てのレシピについて補正許容値以内であると判断すればステップ８に進み、回転数補正部６のレシピ変更指令に基づき各レシピの回転数設定値が補正値Ａｒｐｍだけ補正される。そして書き換えられた各レシピはレシピ格納部４２へと格納され、その後は補正された回転数を用いてレジスト液の塗布処理が行われる。
【００４７】
上述実施の形態によれば、塗布ユニットにおける処理条件が異なる複数のレシピについて共通のスピンカーブを参照できるようにしているため、各々のレシピに対応するスピンカーブを別個に用意する必要がなく、仮に一度設定されたスピンカーブが変更になったとしても全てのレシピの内容を一括して補正（絶対値補正）することができる。
【００４８】
これに加え、一のスピンカーブＳ１に対するレシピのリンク態様は、前記処理条件は一致するがウエハの搬送経路（モード）の異なるレシピ同士（レシピＡとレシピＢ）がリンクするものであってもよいし、前記処理条件は異なるが前記モードは一致するレシピ同士（レシピＡとレシピＭＡ，レシピＢとレシピＭＢ）がリンクするものであってもよく、上記の例ではこれら４種類をすべてリンクさせているため、生産ライン稼動後におけるレシピの回転数設定値の補正（相対値補正）作業時には、いずれかのレシピに基づいて回転数補正値Ａが求まれば、一括してすべてのレシピ内の回転数設定値を書き換えることができる。
【００４９】
なお本実施の形態は、モニタ用のウエハを４枚用意し、２枚はレシピＭＡに基づいて塗布ユニット２−１に、残りの２枚はレシピＭＢに基づいて塗布ユニット２−２に流して塗布処理を行って、その後４枚全てについて膜厚測定を行うようにしたが、この例と同様にレシピＭＡ（レシピＡ）とレシピＭＢ（レシピＢ）とが共通のスピンカーブＳ１にリンクされていれば、例えば１枚のウエハをレシピＭＡに基づき塗布処理し、得られた補正値ＡによりレシピＡ，ＭＡ，Ｂ，ＭＢの回転数設定値を一括して補正することもできる。
【００５０】
また塗布ユニットは複数の場合に限られず、例えば塗布、現像装置１００に一の塗布ユニット２−１のみが備えられている場合であっても、生産モード用，膜厚測定モード用に限らず目標膜厚の異なる複数のレシピが共通のスピンカーブにリンクさせてもよく、このような場合でも上記の例と同様の効果を得ることができる。更にまた本実施の形態は、塗布、現像装置１００の構成が膜厚測定ユニット３を装置外部に設けたものであってもよい。
【００５１】
以上において本実施の形態で用いられる基板はＬＣＤ基板であってもよい。また塗布液としてはレジスト液に限らず層間絶縁材料、低誘電体材料、強誘電体材料、配線材料、有機金属材料、金属ペースト等を用いるようにしてもよい。
【００５２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、基板にスピンコーティング法による塗布膜形成を行うときに、当該塗布膜の目標膜厚に対応する基板の回転数の設定及び再設定、または当該回転数を最適値へと補正する作業の手間を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる塗布膜形成装置の実施の形態の全体構成を示す平面図である。
【図２】本発明にかかる塗布膜形成装置の実施の形態の概観を示す斜視図である。
【図３】塗布ユニットの主要部を示す縦断側面図である。
【図４】膜厚測定ユニットの主要部を示す縦断側面図である。
【図５】上記実施の形態に用いる制御部を示すブロック図である。
【図６】レシピ作成部における入力画面の一部を示す説明図である。
【図７】前記制御部におけるレシピ及びスピンカーブの格納状況を表す説明図である。
【図８】複数のレシピが一のスピンカーブにリンクされる態様を表す説明図である。
【図９】上記実施の形態におけるウエハの搬送経路の一例を示す説明図である。
【図１０】上記実施の形態において回転数を設定する様子を示すフローチャートである。
【図１１】上記実施の形態における回転数補正の様子を示すフローチャートである。
【図１２】上記実施の形態における回転数を補正する様子を示す説明図である。
【符号の説明】
１００        塗布、現像装置
２００        露光装置
Ｗ            半導体ウエハ
１２          キャリア載置部
１４          主搬送手段
１５          現像ユニット
２，２−１，２−２    塗布ユニット
２１          スピンチャック
３            膜厚測定ユニット
４            制御部
４０          レシピ入力画面
４１          レシピ作成部
４２          レシピ格納部
４３          レシピ選択部
５１          スピンカーブ作成部
５２          スピンカーブ格納部
６            回転数補正部
７            警報発生部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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