(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
調整自在のハイトアジャスタを複数有する設置高さ調整付き物体であって、
前記物体は当該物体に対し可動的に設置された複数のハイトアジャスタを有し、前記ハイトアジャスタのそれぞれに対し、前記ハイトアジャスタによって可動的に保持され、前記物体の高さを上下方向に可動的に調整する可動体と、予め定められた原点に移動するように前記可動体を制御する原点出し制御機構とが設けられており、
前記物体はさらに水平Ｘ軸方向の水平度を検出するＸ軸水準センサと、前記物体の水平Ｙ軸方向の水平度を検出するＹ軸水準センサとを有し、
前記ハイトアジャスタが設置面に載置された状態で各可動体に対し前記原点出し制御機構を作動して原点出し制御を行い、さらに前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャスタの前記物体からの突出長さを調整して前記物体を水平に調整するように構成された高さ調整機構を具備することを特徴とする設置高さ調整付き物体。
【請求項２】
前記ハイトアジャスタはネジ軸に螺合しネジ軸に沿って移動する可動体に連結され、前記ネジ軸は制御モータによって正逆回転制御されることを特徴とする請求項１に記載の設置高さ調整付き物体。
【請求項３】
前記物体の底面と設置面との距離を検出する変位センサをさらに有し、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサまたは前記変位センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャスタの物体からの突出長さを調整して前記物体を水平に調整するように構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載の設置高さ調整付き物体。
【請求項４】
前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサは水準器と水準器の気泡を検出する複数の並んだ水準センサとからなり、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサのそれぞれの水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャスタが制御され前記物体を水平に調整するように構成されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の設置高さ調整付き物体。
【請求項５】
前記原点出し制御機構は、上限リミットセンサ、下限リミットセンサ及びそれらの間に位置する原点用リミットセンサからなることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の設置高さ調整機構付き物体。
【請求項６】
所定の処理、加工、表示等の機能を有し据付け位置変更可能に据え付けられる構成の電子装置若しくは機械装置であって、
前記装置は、前記装置の筐体に対し可動的に設置された複数のハイトアジャスタを有し、前記ハイトアジャスタのそれぞれに対し、前記ハイトアジャスタによって可動的に保持され、前記筐体の高さを上下方向に可動的に調整する可動体と、予め定められた原点に移動するように前記可動体を制御する原点出し制御機構とが設けられており、
前記装置はさらに、前記筐体の水平度を検出する水準センサを備え、
前記ハイトアジャスタが設置面に載置された状態で各可動体に対し前記原点出し制御機構を作動して原点出し制御を行い、さらに前記水準センサの検出信号に応答して駆動し、前記筐体が所定の水平状態になるように前記筐体から突出するハイトアジャスタの突出部の高さを調整するように構成された高さ調整機構を具備してなることを特徴とする設置高さ調整機構付き装置。
【請求項７】
前記装置はさらに前記筐体を支持するキャスターを備え、前記装置の据付け位置変更時に前記ハイトアジャストを引き上げ、キャスターにより支持されて移動可能となるように構成されてなることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記原点出し制御機構は、上限リミットセンサ、下限リミットセンサおよびそれらの間に位置する原点用リミットセンサから成ることを特徴とする請求項６又は７に記載の装置。
【請求項９】
前記筐体の底面と設置面との距離を検出する変位センサをさらに有し、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサまたは前記変位センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャスタの筐体からの突出高さを調整して前記筐体を水平に調整するように構成されたことを特徴とする請求項６乃至８の何れか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は設置高さ調整付き物体に関し、設置場所（据付け場所）が頻繁に変えられる物体の水平度を精密に設定する物体に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械装置や電子装置には、装置の姿勢を水平に設定して設置するものが多く、装置（物体）の下面の四隅には高さ調整が可能なハイトアジャスタが設けられている。従来の設置高さ調整付き装置（設置高さ調整付き物体）では、ハイトアジャスタはネジ構造となっていて、ハイトアジャスタを正転させるとハイトアジャスタは装置の下面からの突出長さが長くなり、逆転させるとハイトアジャスタは装置内に入り、装置下面からの突出長さが短くなる。
【０００３】
このような構造のハイトアジャスタが付いた電子装置（機械装置）として、たとえば、日立東京エレクトロニクス株式会社発行「フレキシブルＬＯＣ組立装置ＬＭ−１００」、カタログ番号ＬＭ−１００、１９９２年１月発行に記載されたものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
設置した装置（物体）の水平度調整（水平出し）は、作業者がハイトアジャスタをスパナなどを用いて手で回して行うため手間暇を要していた。また、狭い場所に装置を据付ける時は、作業する場所（スペース）を充分取ることができず、苦労することが多く作業性が悪くなる。また、各装置のレイアウトを頻繁に変える工場等においては、レイアウト変更時間が長くなり、生産開始が遅れるという難点がある。
【０００５】
本発明の目的は、設置した物体の水平度調整等を自動的に行うことができる設置高さ調整付き物体を提供することにある。
【０００６】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【０００８】
（１）調整自在のハイトアジャスタを複数有する設置高さ調整付き物体であって、前記物体の水平Ｘ軸方向の水平度を検出するＸ軸水準センサと、前記物体の水平Ｙ軸方向の水平度を検出するＹ軸水準センサと、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャスタの物体からの突出長さを調整する高さ調整機構とを具備する。前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサは水準器と水準器の気泡を検出する複数の並んだ水準センサとからなり、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサのそれぞれの水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャスタが制御される。前記ハイトアジャスタはネジ軸に螺合しネジ軸に沿って移動する可動体に連結され、前記ネジ軸は制御モータによって正逆回転制御される。
【０００９】
（２）前記手段（１）の構成に加えて、物体の底面と設置する床との距離を検出する変位センサと、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサまたは前記変位センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャスタの物体からの突出長さを調整する高さ調整機構とを具備する。
【００１０】
【作用】
前記（１）の手段によれば、（ａ）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサからの検出信号に基づいて前記各高さ調整機構を制御してハイトアジャスタの調整を行うことから、物体の水平度調整を自動的に行うことができる。
【００１１】
（ｂ）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサのそれぞれ複数の水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャスタが制御されて高さ調整が行われることから、高精度の水平出しが達成できる。
【００１２】
（ｃ）ハイトアジャスタはネジ軸に螺合し、ネジ軸は制御モータによって正逆回転制御されることから、ハイトアジャスタの調整は確実かつ正確になる。
【００１３】
前記（２）の手段によれば、前記手段（１）の作用に加えて、（ａ）変位センサによって物体の底面と設置する床との距離を検出でき、この検出信号によって各ハイトアジャスタの突出長さ調整が行えることから、高精度な水平出しや姿勢修正が達成できる。
【００１４】
（ｂ）物体を設置する床面の水平度，平坦度がとれている場所へ設置する場合、変位センサからの信号だけを元に、制御部で設定された位置まで電磁ブレーキ付ステッピングモータを駆動させて、ハイトアジャスタを動かすことでセットアップが完了する。
【００１５】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
【００１６】
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１７】
図１は、本発明の一実施例である設置高さ調整付き物体の外観を示す斜視図である。
【００１８】
設置高さ調整付き物体（装置）１は、所定の処理，加工，表示等に係わる装置であるが、本発明が装置の水平出し等に係わるものであることから、その内容構造の説明については省略する。
【００１９】
物体（装置）１は、特に限定はされないが、外観的に見て矩形体となり、下面からはハイトアジャスタ２が突出している。このハイトアジャスタ２は、装置１の下面の四隅に設けられ、装置１を支持する。また、後述するが、これら４つのハイトアジャスタ２は、高さ調整機構によってその突出長さを制御される。
【００２０】
一方、装置１の下面のハイトアジャスタ２のやや内側には、４個のキャスター３が配設されている。ハイトアジャスタ２を引っ込めた後は、キャスター３が装置１を支えることから、装置１の移動は容易となる。
【００２１】
装置１内には、装置および設置高さ調整を行う機構部分を制御する制御装置４が内蔵されている。また、物体１の正面には、前記制御装置４の制御パネル５が配置されている。また、物体１の上面には水平度を検出するＸ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７が取り付けられている。Ｘ軸水準センサ６は物体１の正面側の辺に沿いＸ軸方向に沿う水平度を検出し、Ｙ軸水準センサ７は物体１の右側の辺に沿いＹ軸方向に沿う水平度を検出する。
【００２２】
Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７は、図３に示す構造となっている。すなわち、Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７は、水準器１０と、水準器１０の上面に気泡１３を検出するように並んだ４つの水準センサ１１とからなっている。
【００２３】
気泡１３は水準器１０の管路１２内を移動する。中央の２つの水準センサ１１が共に気泡１３を検出した状態が水平が出た状態である。管路１２の両端の水準センサ１１は気泡検出ＥＮＤセンサとなる。
【００２４】
したがって、中央の２つの水準センサ１１と両端の気泡検出ＥＮＤセンサとの間に気泡１３が位置する場合は、水準センサ１１で気泡１３を検出できない状態も発生する（信号無し）。
【００２５】
図２は高さ調整機構の要部を示す断面図である。装置１はハイトアジャスタ２を介して床等の設置面１５上に設置される。ハイトアジャスタ２は上下に延在する軸体となり、装置１の筐体１６の底板１７に設けられたガイド１８に案内され、上下に摺動自在となっている。
【００２６】
前記ハイトアジャスタ２の近傍には、ハイトアジャスタ２と平行にボールネジからなるネジ軸２０が配設されている。このネジ軸２０の下端は底板１７に固定された軸受部２１に支持され、上端には小歯車２２が取り付けられている。また、小歯車２２には径の大きな駆動歯車３２が噛み合っている。駆動歯車３２は電磁ブレーキ付ステッピングモータからなる制御モータ３０の駆動軸３１に固定されている。
【００２７】
前記ネジ軸２０には可動体２３が螺合されている。この可動体２３には、前記ハイトアジャスタ２の上端が固定されている。
【００２８】
したがって、前記制御モータ３０の正転駆動によって可動体２３が下降してハイトアジャスタ２が底板１７の外に突出動作し、装置１が上昇する。また、制御モータ３０の逆転駆動によって可動体２３が上昇してハイトアジャスタ２が筐体１６内に沈み動作し、装置１が下降する。
【００２９】
前記駆動軸３１には円板状の１回転用スリット板３５が同心円的に取り付けられている。駆動軸３１の一側には、前記１回転用スリット板３５のスリットを検出する１回転検出センサ３６が配設されている。
【００３０】
前記可動体２３の一側には遮光板３７が突出状態で固定されている。そして、この遮光板３７の移動域には上から下に向けて、上限リミットセンサ３８、原点用リミットセンサ３９、補助リミットセンサ４０，下限リミットセンサ４１と４つのセンサが配設されている。ハイトアジャスタ２の上下の移動によって、前記遮光板３７は前記４つのセンサ内を通過して、各センサをＯＮ，ＯＦＦさせる。前記上限リミットセンサ３８は前記駆動系および制御系とによって、ハイトアジャスタ２の移動域の上限を規定する上限設定機構を構成し、前記下限リミットセンサ４１は前記駆動系および制御系とによって、ハイトアジャスタ２の移動域の下限を規定する下限設定機構を構成している。
【００３１】
また、前記制御装置４は、図示しないパルス発生器を制御して正転駆動（上昇用）用パルスまたは逆転駆動用（下降用）パルスを発生する。これらのパルスによって図示しないドライバが駆動し、ステッピングモータからなる制御モータ３０を駆動させる。本実施例の場合、たとえば、１パルス当たりハイトアジャスタ２は０．００８３ｍｍ移動する。この数値は自由に選択できる。なお、前記１回転検出センサ３６および４つのセンサの検出信号は制御装置４に送られる。また、ドライバの出力信号も制御装置４に送られる。
【００３２】
前記制御モータ３０，ネジ構造，ハイトアジャスタ２，制御装置４等によって高さ調整機構が構成されるが、この高さ調整機構は４つのハイトアジャスタ２を含む。
【００３３】
他方、装置１にはハイトアジャスタ２の突出長さを検出する変位センサ４５が設けられている。この変位センサ４５は制御装置４に接続されるとともに、各ハイトアジャスタ２の近傍の底板１７の下面に取り付けられ、設置面１５に放出した光４６の反射光４７を検出して変位センサ４５から設置面１５に至る距離を求め、隣接するハイトアジャスタ２の突出長さと判定する構成となっている。
【００３４】
高さ調整機構は、物体１を所定の設置面１５に設置した後、制御パネル５の操作によって自動的に原点復帰（原点出し）するようになっている。原点出しは、原点用リミットセンサ３９，１回転検出センサ３６，タイミングが同時にＯＮしたところとなる。すなわち、上限リミットセンサ３８がＯＮした後、１回転検出センサ３６がＯＮし、その後最初のタイミングパルスが入ったところで制御モータ３０が停止して原点出しが行われる。
【００３５】
この原点出し後、各キャスター３と設置面１５までの間隔が数ｍｍ〜数十ｍｍとなるように、全てのハイトアジャスタ２を均一に駆動させる。
【００３６】
装置１の水平出しの一形態として、設置面１５が水平でかつ平坦の場合には、この原点出しで装置１の水平出しが終了することになる。
【００３７】
つぎに、床等の設置面１５の水平度や平坦度が悪い状態での装置１の水平出しについて説明する。以下の水平出しにおいては、水平出しの前に原点出しが行われ、全てのキャスター３が浮き、装置１は４つのハイトアジャスタ２で支持された状態となる。
【００３８】
水平出しに先立って、図４に示すように、前記４つのハイトアジャスタ２，Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７に以下のような記号を付ける。
【００３９】
同図に示すように、４つのハイトアジャスタ２をＨ１，Ｈ２，Ｈ３，Ｈ４とも呼称する。Ｈ１は装置１の後方左側、Ｈ２は装置１の前方左側、Ｈ３は装置１の前方右側、Ｈ４は装置１の後方右側にそれぞれ位置する。Ｘ軸水準センサ６はＸ軸に沿って配置され、装置１の左側から右側に亘って４つの水準センサ１１が並ぶ。これらの水準センサ１１をＸ１，Ｘ２，Ｘ３，Ｘ４とも呼称する。また、Ｙ軸水準センサ７はＹ軸に沿って配置され、装置１の後方側から前方側に亘って４つの水準センサ１１が並ぶ。これらの水準センサ１１をＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４とも呼称する。同図において、斜線を施した部分が水準センサ１１である。
【００４０】
図５は第１設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１）である。この状態ではセンサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３がＯＮした状態であり、Ｘ軸の水平度もＹ軸の水平度も出ている状態である。Ｘ軸水準センサ６においてＸ２，Ｘ３がＯＮの状態ではＸ軸の水平度が出ていることであり、Ｙ軸水準センサ７においてＹ２，Ｙ３がＯＮの状態ではＹ軸の水平度が出ていることである。したがって、このフロー１は水平度が出ていることを確認するフローである。
【００４１】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ１を制御モータ３０の駆動（モータ駆動）によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ３，Ｙ３の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転させ、ハイトアジャスタＨ１をモータ駆動によって１パルスずつ下降させ、センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０１）。
【００４２】
つぎに、ハイトアジャスタＨ３を制御モータ３０の駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｙ２の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転させ、ハイトアジャスタＨ３をモータ駆動によって１パルスずつ下降させ、センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０２）。
【００４３】
つぎに、ハイトアジャスタＨ２を制御モータ３０の駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ３，Ｙ２の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転させ、ハイトアジャスタＨ２をモータ駆動によって１パルスずつ下降させ、センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０３）。
【００４４】
つぎに、ハイトアジャスタＨ４を制御モータ３０の駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｙ３の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転させ、ハイトアジャスタＨ４をモータ駆動によって１パルスずつ下降させ、センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０４）。
【００４５】
これによって装置１のＸ・Ｙ軸方向の水平出しを確認し、水平出しを終了する。なお、前記フロー１において、各ステップの順序はいずれが先でも後でも良い。
【００４６】
図６は第２設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー２）である。この状態はＹ軸の水平度が出ている状態（センサ信号Ｙ２，Ｙ３がＯＮ）で、Ｘ軸の水平が出ていない状態、すなわち、装置１の左側が高い状態（センサ信号Ｘ１またはＸ２がＯＮ）または装置１の右側が高い状態（センサ信号Ｘ３またはＸ４がＯＮ）の状態である。
【００４７】
調整開始後、センサ信号Ｘ１またはＸ２がＯＮの場合はハイトアジャスタＨ３およびＨ４をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させて装置１の右側を上げ、センサ信号Ｘ３，Ｘ４がＯＮの場合はハイトアジャスタＨ１およびＨ３をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させて装置１の左側を上昇させる。そして、いずれの場合でも、センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３がＯＮしたらモータ駆動を停止する（ステップ２０１）。
【００４８】
つぎに、フロー１を実行して（ステップ２０２）、水平出しを終了する。
【００４９】
図７は第３設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー３）である。この状態はＸ軸の水平度が出ている状態（センサ信号Ｘ２，Ｘ３がＯＮ）で、Ｙ軸の水平が出ていない状態、すなわち、装置１の後方側が高い状態（センサ信号Ｙ１またはＹ２がＯＮ）または装置１の前方側が高い状態（センサ信号Ｙ３，Ｙ４がＯＮ）の状態である。
【００５０】
調整開始後、センサ信号Ｙ１またはＹ２がＯＮの場合はハイトアジャスタＨ２およびＨ３をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させて装置１の前方側を上げ、センサ信号Ｙ３またはＹ４がＯＮの場合はハイトアジャスタＨ１およびＨ４をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させて装置１の後方側を上昇させる。そして、いずれの場合でも、センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３がＯＮしたらモータ駆動を停止する（ステップ３０１）。
【００５１】
つぎに、フロー１を実行して（ステップ３０２）、水平出しを終了する。
【００５２】
図８は第４設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー４）である。この状態は装置１の左側が高く（Ｘ１，Ｘ２がＯＮ）、装置１の後方側が高い（Ｙ１またはＹ２がＯＮ）かまたは装置１の前方側が高い（Ｙ３，Ｙ４がＯＮ）状態である。
【００５３】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ３（またはＨ４）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｘ３またはＹ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ４０１）。
【００５４】
この結果、ステップ４０２，４０３，４０４の状態が派生する。
【００５５】
（１）センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮする（ステップ４０２）。
【００５６】
（２）センサ信号Ｘ２，Ｘ３およびＹ側信号無しまたはＹ１またはＹ２（Ｙ３またはＹ４がＯＮする（ステップ４０３）。
【００５７】
（３）センサ信号Ｙ２，Ｙ３およびＸ側信号無しまたはＸ１またはＸ２がＯＮする（ステップ４０４）。
【００５８】
つぎに、ステップ４０２の場合、ステップ４０５に移り、フロー２を実行して水平出しを終了する。
【００５９】
また、ステップ４０３の場合、ステップ４０６に移り、フロー５−１を実行して水平出しを終了する。
【００６０】
さらに、ステップ４０４の場合、ステップ４０７に移り、フロー５−２を実行して水平出しを終了する。
【００６１】
図９はステップ４０３に至った場合行われる処理を示すフローチャート（フロー５−１）である。
【００６２】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ２，Ｈ３（またはＨ１，Ｈ４）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ５０１）。
【００６３】
つぎに、フロー２を実行して（ステップ５０２）、水平出しを終了する。
【００６４】
図１０はステップ４０４に至った場合行われる処理を示すフローチャート（フロー５−２）である。
【００６５】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ３，Ｈ４をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ５０５）。
【００６６】
つぎに、フロー２を実行して（ステップ５０６）、水平出しを終了する。
【００６７】
図１１は第５設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー６）である。この状態は装置１の右側が高く（Ｘ３またはＸ４がＯＮ）、装置１の後方側が高い（Ｙ１またはＹ２がＯＮ）か、または装置１の前方側が高い（Ｙ３，Ｙ４がＯＮ）状態である。
【００６８】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ２（またはＨ１）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｘ３またはＹ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ６０１）。
【００６９】
この結果、ステップ６０２，６０３，６０４の状態が派生する。
【００７０】
（１）センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮする（ステップ６０２）。
【００７１】
（２）センサ信号Ｘ２，Ｘ３およびＹ側信号無しまたはＹ１またはＹ２（Ｙ３またはＹ４がＯＮする（ステップ６０３）。
【００７２】
（３）センサ信号Ｙ２，Ｙ３およびＸ側信号無しまたはＸ３またはＸ４がＯＮする（ステップ６０４）。
【００７３】
つぎに、ステップ６０２の場合、ステップ６０５に移り、フロー２を実行して水平出しを終了する。
【００７４】
また、ステップ６０３の場合、ステップ６０６に移り、フロー５−１を実行して水平出しを終了する。
【００７５】
さらに、ステップ６０４の場合、ステップ６０７に移り、フロー６−１を実行して水平出しを終了する。
【００７６】
図１２はステップ６０４に至った場合行われる処理を示すフローチャート（フロー６−１）である。
【００７７】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ１，Ｈ２をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ６０８）。
【００７８】
つぎに、フロー２を実行して（ステップ６０９）、水平出しを終了する。
【００７９】
図１３は第６設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー７）である。この状態はＸ軸の水平が出ている状態（Ｘ２，Ｘ３がＯＮ）であり、Ｙ信号無しの状態である。
【００８０】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ１，Ｈ４をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ（ステップ７０１）、センサ信号Ｘ２，Ｘ３およびＹ１がＯＮした状態を検出（ステップ７０２）するか、またはセンサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３がＯＮした状態を検出する（ステップ７０３）。
【００８１】
ステップ７０２の場合、モータ駆動を停止させて（ステップ７０４）、フロー４を実行させ（ステップ７０５）、水平出しを終了する。
【００８２】
ステップ７０３の場合、モータ駆動を停止させて（ステップ７０６）、フロー２を実行させ（ステップ７０７）、水平出しを終了する。
【００８３】
図１４は第７設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー８）である。この状態はＹ軸の水平が出ている状態（Ｙ２，Ｙ３がＯＮ）であり、Ｘ信号無しの状態である。
【００８４】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ１，Ｈ２をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ（ステップ８０１）、センサ信号Ｙ２，Ｙ３およびＸ１がＯＮした状態を検出（ステップ８０２）するか、またはセンサ信号Ｘ２，Ｘ３，Ｙ２，Ｙ３がＯＮした状態を検出する（ステップ８０３）。
【００８５】
ステップ８０２の場合、モータ駆動を停止させて（ステップ８０４）、フロー５−２を実行させ（ステップ８０５）、水平出しを終了する。
【００８６】
ステップ８０３の場合、モータ駆動を停止させて（ステップ８０６）、フロー２を実行させ（ステップ８０７）、水平出しを終了する。
【００８７】
図１５は第８設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー９）である。この状態はセンサ信号Ｘ１またはＸ２（Ｘ３またはＸ４）がＯＮしており、Ｙ信号無しの状態である。
【００８８】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ３，Ｈ４（Ｈ１，Ｈ２）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ、センサ信号Ｘ２，Ｘ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ９０１）。
【００８９】
つぎに、フロー７を実行し（ステップ９０２）、水平出しを終了する。
【００９０】
図１６は第９設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１０）である。この状態はセンサ信号Ｙ１またはＹ２（Ｙ３またはＹ４）がＯＮしており、Ｘ信号無しの状態である。
【００９１】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ２，Ｈ３（Ｈ１，Ｈ４）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ、センサ信号Ｙ２，Ｙ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１００１）。
【００９２】
つぎに、フロー８を実行し（ステップ１００２）、水平出しを終了する。
【００９３】
図１７は第１０設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１１）である。この状態はいずれのセンサ（水準センサ１１）からの信号が無い状態である。
【００９４】
調整開始後、ハイトアジャスタＨ１，Ｈ２をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ（ステップ１１０１）、センサ信号Ｘ１がＯＮした状態を検出（ステップ１１０２）するか、またはセンサ信号Ｘ２，Ｘ３がＯＮした状態を検出する（ステップ１１０３）。
【００９５】
ステップ１１０２の場合、モータ駆動を停止させる（ステップ１１０３）。
【００９６】
つぎに、ハイトアジャスタＨ３，Ｈ４をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ、センサ信号Ｘ２，Ｘ３が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止する（ステップ１１０４）。
【００９７】
つぎに、フロー７を実行し（ステップ１１０５）、水平出しを終了する。
【００９８】
ステップ１１０３の場合、モータ駆動を停止させる（ステップ１１０６）。
【００９９】
つぎに、フロー７を実行し（ステップ１１０７）、水平出しを終了する。
【０１００】
以上の水平出し処理によって、装置１はＸ・Ｙ軸ともに高精度に水平出しができる。
【０１０１】
一方、本実施例の装置１は、各ハイトアジャスタ２の近傍に変位センサ４５を配置し、光４６を設置面１５に照射するとともに、その反射光４７を受光し、間接的にハイトアジャスタ２の装置１の底板１７からの突出長さを高精度に検出できる。したがって、この変位センサ４５を使用して装置１の水平出しを行うこともできる。
【０１０２】
また、前方側変位センサ４５を使用し、各ハイトアジャスタ２を別々に制御することもできるため、制御パネル５からの入力情報によって、装置１の姿勢を制御することもできる。
【０１０３】
本実施例の設置高さ調整付き物体は以下の効果を奏する。
【０１０４】
（１）Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７からの検出信号に基づいて前記各高さ調整機構を制御してハイトアジャスタを調整することから、装置１の水平度調整を自動的に行うことができる。
【０１０５】
（２）Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７のそれぞれ複数の水準センサ（Ｘ１〜Ｘ４およびＹ１〜Ｙ４）のＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャスタ２が制御されて高さ調整が行われることから、高精度の水平出しが達成できる。
【０１０６】
（３）ハイトアジャスタ２はネジ軸２０に螺合し、ネジ軸２０は制御モータ３０によって正逆回転制御されることから、ハイトアジャスタ２の調整は確実かつ正確になる。
【０１０７】
（４）変位センサ４５によってハイトアジャスタ２の突出長さを検出できることから、この検出信号によって各ハイトアジャスタ２の突出長さ調整が行えるため、装置１の高精度な水平出しや姿勢修正が達成できる。
【０１０８】
（５）水平出しは高さ調整機構によって自動的に行えることから、狭い場所に装置１を据付ける時でも簡単に水平出しができる。
【０１０９】
（６）本実施例の装置１は、レイアウトを頻繁に変える工場等において、レイアウト変更時間が短縮され、生産開始を早めることができる。
【０１１０】
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。物体の高さを調整する機構としては、ウオームギャ機構，油圧機構等他の機構でも前記実施例同様な効果が得られる。たとえば、ウオームギャ機構や油圧機構の場合には重量の重い物体の高さ調整に適している。
【０１１１】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【０１１２】
（１）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサからの検出信号に基づいて前記各高さ調整機構を制御してハイトアジャスタの調整を行うことから、物体の水平度調整を自動的に行うことができる。
【０１１３】
（２）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサのそれぞれ複数の水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャスタが制御されて高さ調整が行われることから、高精度の水平出しが達成できる。
【０１１４】
（３）ハイトアジャスタはネジ軸に螺合し、ネジ軸は制御モータによって正逆回転制御されることから、ハイトアジャスタの調整は確実かつ正確になる。
【０１１５】
（４）変位センサによってハイトアジャスタの突出長さを検出でき、この検出信号によって各ハイトアジャスタの突出長さ調整が行えることから、高精度な水平出しや姿勢修正が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である設置高さ調整付き装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本実施例の設置高さ調整付き装置における高さ調整機構の一部を示す断面図である。
【図３】本実施例の設置高さ調整付き装置に取り付けられた水準センサを示す模式図である。
【図４】本実施例の設置高さ調整付き装置におけるハイトアジャスタ，Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサを示す平面的模式図である。
【図５】本実施例の設置高さ調整付き装置における第１設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１）である。
【図６】本実施例の設置高さ調整付き装置における第２設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー２）である。
【図７】本実施例の設置高さ調整付き装置における第３設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー３）である。
【図８】本実施例の設置高さ調整付き装置における第４設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー４）である。
【図９】本実施例のステップ４０３に至った場合行われる処理を示すフローチャート（フロー５−１）である。
【図１０】本実施例のステップ４０４に至った場合行われる処理を示すフローチャート（フロー５−２）である。
【図１１】本実施例の設置高さ調整付き装置における第５設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー６）である。
【図１２】本実施例のステップ６０４に至った場合行われる処理を示すフローチャート（フロー６−１）である。
【図１３】本実施例の設置高さ調整付き装置における第６設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー７）である。
【図１４】本実施例の設置高さ調整付き装置における第７設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー８）である。
【図１５】本実施例の設置高さ調整付き装置における第８設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー９）である。
【図１６】本実施例の設置高さ調整付き装置における第９設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１０）である。
【図１７】本実施例の設置高さ調整付き装置における第１０設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１１）である。
【符号の説明】
１…物体（装置）、２…ハイトアジャスタ、３…キャスター、４…制御装置、５…制御パネル、６…Ｘ軸水準センサ、７…Ｙ軸水準センサ、１０…水準器、１１…水準センサ、１２…管路、１３…気泡、１５…設置面、１６…筐体、１７…底板、１８…ガイド、２０…ネジ軸、２１…軸受部、２２…小歯車、２３…可動体、３０…制御モータ、３１…駆動軸、３２…駆動歯車、３５…１回転用スリット板、３６…１回転検出センサ、３７…遮光板、３８…上限リミットセンサ、３９…原点用リミットセンサ、４０…補助リミットセンサ、４１…下限リミットセンサ、４５…変位センサ、４６…光、４７…反射光、Ｈ１〜Ｈ４…ハイトアジャスタ、Ｘ１〜Ｘ４…水準センサ、Ｙ１〜Ｙ４…水準センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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