(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路ウェファを収納するウェファ保護容器であって、
前記集積回路ウェファを入れる容器ボディと、
前記容器内で前記集積回路ウェファを所定の位置に保つロック装置と、
前記容器ボディを覆う容器カバーと、
前記容器カバーを前記容器ボディに固定する複数の固定具からなり、
前記容器ボディは中空円筒、円板、および円形リングからなり、前記円板上には、間に少なくとも１つの開口を有する複数の一体型壁区分を有する縁からなる前記中空円筒を有し、前記壁区分のそれぞれは前記開口と接する端に複数の刻み目を有し、
前記ロック装置はさらに、環状部分と、前記環状部分上の円形突出部とからなり、前記環状部分と前記円形突出部に延びる複数の溝に、前記円形突出部の上端から突き出た複数の突出物が対応し、
前記容器カバーはさらに、上に複数のくぼみを有する円形突出部と、外面に複数の溝を有する円筒形ボディとからなり、
前記複数の固定具はさらに、複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形ループからなり、前記連結脚は前記連結棒を介して前記連結ネックに結合されていて、前記連結ネックは前記半円形ループに結合されていることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項２】
請求項１に記載のウェファ保護容器において、
前記容器ボディの前記刻み目は、前記ロック装置の前記突出物と噛み合うことを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項３】
請求項１に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記突出物は互いに平行であることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項４】
請求項１に記載のウェファ保護容器において、
前記円形突出部はひっくり返した鍋に似ていることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項５】
請求項１に記載のウェファ保護容器において、
前記容器カバーはさらに、前記円形突出部と前記円筒形ボディの上端との間に環状のくぼみを有することで、いくつかのウェファ保護容器を重ねることができることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項６】
請求項２に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記突出物は、前記容器ボディ内に入れる集積回路ウェファの数によって、前記容器ボディのどのレベルの刻み目とでも噛み合うことができることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項７】
請求項１に記載のウェファ保護容器において、
前記容器ボディの前記円形リングはさらに、前記固定具の前記連結脚を前記容器ボディに取り付けるための複数のかぎ部材を有することを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項８】
請求項１に記載のウェファ保護容器において、
前記連結棒を前記円筒形ボディの溝に押しつけ、そして前記連結ネックを前記円筒形ボディの上端に固定することにより、前記固定具が前記容器カバーに取り付けられることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項９】
容器ボディと、ロック装置と、容器カバーと、複数の固定具とからなる集積回路ウェファを収納するウェファ保護容器であって、
前記容器ボディはさらに、中空円筒、円板、および円形リングとからなり、前記中空円筒は前記円板上に位置し、前記円形リングは前記円板の下に位置し、
前記ロック装置はさらに、環状部分と、前記環状部分から隆起した円形突出部からなり、前記環状部分と前記円形突出部に延びる複数の溝に、前記円形突出部の上端から突き出た複数の突出物が対応し、
前記容器カバーはさらに、上に複数のくぼみを有する円形突出部と、外面に複数の溝を有する円筒形ボディと、前記円形突出部と前記円筒形ボディの上端との間に環状のくぼみを有し、
前記固定具はさらに、複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形ループからなり、前記連結脚は前記連結棒を介して前記連結ネックに結合されていて、前記連結ネックは前記半円形ループに結合されていることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項１０】
請求項９に記載のウェファ保護容器において、
前記円筒形ボディは縁と、前記縁上に形成された複数の一体型壁区分とを有し、前記集積回路ウェファを簡単に装填したり取り出したりできるような開口を、前記壁区分の間に少なくとも１つ有することを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項１１】
請求項１０に記載のウェファ保護容器において、
前記壁区分は前記開口に接する端に、複数の刻み目を有することを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項１２】
請求項９に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記円形突出部の端から複数の突出物が突き出ていることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項１３】
請求項１１に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記円形突出部が複数の突出物を有し、前記刻み目と噛み合うことによって、前記集積回路ウェファが前記容器ボディ内部で所定の位置に保たれることを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項１４】
請求項９に記載のウェファ保護容器において、
前記容器ボディの前記円形リングはさらに、前記固定具の前記連結脚を取り付けるための複数のかぎ部材を有することを特徴とするウェファ保護容器。
【請求項１５】
請求項９に記載のウェファ保護容器において、
前記連結棒を前記円筒形ボディの溝に押しつけ、そして前記連結ネックを前記円筒形ボディの上端に固定することにより、前記固定具が前記容器カバーに取り付けられることを特徴とするウェファ保護容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェファ保護容器に係り、特に、その中身が集積回路（ＩＣ）ウェファである場合に、それを安全に保管でき、かつ装填および取り出しが簡単な、ＩＣウェファを汚染や損傷から守るためのＩＣウェファ保護容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来からＩＣウェファは、蓋とボディとからなる円筒形の箱に保管されてきた。ＩＣウェファは薄くて壊れやすいので、通常ＩＣウェファの間にはスポンジ層が差し込まれ、保管箱内部でのＩＣウェファの激しい揺れは防止されている。一般にＩＣウェファを保持する保管箱の開口は、ＩＣウェファの大きさとぴったり合うように設計されているので、ＩＣウェファの装填および取り出しが非常に困難である。保管箱が所望の量のＩＣウェファで満たされると、ボディに蓋が押し入れられて箱が閉じられる。保管箱はただ蓋で閉じられているだけなので、運搬中の激しい揺れにより、蓋とボディの封が切れるおそれがある。結果として、保管箱内のＩＣウェファが周辺環境によって汚染される。この問題は従来から、蓋とボディ部材との接合部を多層のマスキングテープで覆って保管箱に封印をすることにより解決してきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この解決法だとＩＣウェファ製品をパッケージングするコストが増大するし、またその全工程もより複雑化してしまう。
さらに従来技術から、箱からＩＣウェファを取り出すには箱をひっくり返さなければならないことが知られているが、この方法でＩＣウェファを取り出せばＩＣウェファに損傷を与えるおそれがあり、従ってより多くのＩＣウェファを浪費することにつながる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するために、その中身のＩＣウェファを安全に保管でき、装填および取り出しが簡単なウェファ保護容器が開発される。
ここに具体化して大まかに記述するように、本発明によれば、その中のＩＣウェファを汚染や運搬中の激しい揺れから保護するために、容器ボディ、ロック装置、容器カバー、および複数の固定具が一緒に組み立てられたウェファ保護容器が提供される。
【０００５】
容器ボディは、その上に所望の数のＩＣウェファが載せられる平らな円板と、その円板に取り付けられた中空円筒とからなる。中空円筒は、その上に形成された、少なくとも１つの一体型の壁区分を有する縁からなり、壁区分には少なくとも１つの開口が存在することにより、所望の量のＩＣウェファを簡単に装填したり、取り出したりできる。開口の垂直端には刻み目（ぎざぎざ）があるが、その効用はロック装置に関連させてあとで述べる。容器ボディはまた円板の下に、そこに固定部材を取り付けることができる複数のかぎ部材を有した円形リングを有する。ロック装置は、円形の突出部と環状の帯からなり、円形の突出部の端からは複数の突出物が突き出ていて、この突出物はＩＣウェファを所定の場所にとどめるために、容器ボディの開口の刻み目（ぎざぎざ）と噛み合う。これによって運搬中にＩＣウェファが激しく揺れるのを防げるので、ＩＣウェファに損傷を与える危険を軽減できる。容器カバーは、ＩＣウェファ保護容器を簡単に開けられるようにする、複数のくぼみを有する円形の突出部と、外面に複数の溝を有する中空円筒形のボディとからなり、ＩＣウェファをより強く保護するように、容器ボディを覆っている。固定具は複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形のループからなる。連結棒を溝に合わせて固定具をかぎ部材に引っかけると、連結ネックによって円筒形ボディの上端が固定され、半円形ループがくぼみ上に載る。これでＩＣウェファ保護容器の組立作業が完了する。
【０００６】
以上の概説も以下の詳細説明も代表的なものであり、本発明の請求項をさらに詳しく説明するためのものであることがわかる。
添付図面は本発明をよりよく理解するために添付されたもので、本明細書に組み入れられ、本明細書の一部を構成するものである。これらの図面は本発明の実施形態を図解し、記述と共に本発明の原理を説明するのに役立つ。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１から６に、本発明によるウェファ保護容器の実施形態が示されている。
図１は本発明によるウェファ保護容器の分解図であるが、大きく分けて容器ボディ１０、ロック装置２０、容器カバー３０、および複数の固定具４０からなる。ここでのロック装置２０は、容器ボディ１０に取り付けられ、容器ボディ１０内のＩＣウェファが所定の位置にしっかりと留まるようにする。それから容器ボディ１０は容器カバー３０にかぶされる。容器ボディ１０に取り付けられた固定具４０が容器カバー３０を容器ボディ１０に固定すると、ウェファ保護容器の組立作業が完了する。
【０００８】
図２（Ａ）および図２（Ｂ）は、本発明の１つの好適な実施形態に従った容器ボディを、上および下から見た斜視図である。上述の該当図より容器ボディ１０は中空円筒１１、円板１８、および円形リング１６からなることがわかる。中空円筒１１は、ＩＣウェファが載せられる円板１８上に少なくとも１つの壁区分１２を有する縁１４からなる。壁区分１２には少なくとも１つの開口１５が存在するので、簡単にＩＣウェファを装填したり取り出したりできる。そして図２（Ａ）が示すように、開口１５と境界を接する壁区分１２のそれぞれの端には、複数の刻み目１３がある。図２（Ｂ）を参照すると、複数のかぎ部材１７を有する円形リング１６が容器の脚として設けられている。この開口１５により、ウェファ容器全体をひっくり返すことなく容易にＩＣウェファを拾い上げることができる。したがって、ＩＣウェファに損傷を与える危険が最小化する。
【０００９】
以下では図３を参照してロック装置２０を詳細に説明する。ロック装置２０は全体的に皿をひっくり返したような外観をしていて、環状帯２１から隆起した円形突出部２３からなり、円形突出部２３はひっくり返した鍋に似ているのが好ましい。ロック装置２０はさらに、円形突出部２３の縁から突き出た複数の突出物２４と、環状帯２１にこれに対応する複数の溝２２を有する。突出物２４が、ＩＣウェファ保護容器の組立作業中に容器ボディ１０の刻み目１３と噛み合うことにより、容器ボディ１０内のＩＣウェファを所定の位置にしっかりととどめることができる。その結果、あちこちにＩＣウェファを運搬する時に、ウェファ保護容器内でＩＣウェファが揺れる可能性がなくなり、したがってＩＣウェファに損傷を与える危険が減少する。さらに、ロック装置２０を使用すれば、ＩＣウェファの揺れを防止するために用いられるスポンジの量を減らすことができる。
【００１０】
図４は本発明の１つの好適な実施形態に従った容器カバーの斜視図である。容器カバー３０は容器ボディ１０を覆うために備えられ、上に複数のくぼみ３３を有する円形突出部３２からなる。容器カバー３０はさらに、外面に複数の溝３４を有する円筒形ボディ３１と、円形突出部３２と円筒形ボディ３１の上端との間に環状のくぼみ３５とからなる。円形突出部３２上にくぼみ３３を設けることにより、ウェファ保護容器の開閉が容易になり、一方、くぼみ３３と溝３４とにより、固定具４０を支える場所が提供される。この場合、円形突出部３２と円筒形ボディ３１の上端との間に環状くぼみ３５を設けることにより、ＩＣウェファ保護容器の締め付け力が高まる。この装置では、１つの容器の円形リングがもう１つの容器の環状くぼみにぴったりと合うので、本発明によるウェファ保護容器のいくつかを、他のものの上に重ねることができる。
【００１１】
図５は本発明の１つの好適な実施形態に従った固定具の拡大図である。固定具４０は一般に、複数の連結脚４１、連結脚に結合した複数の連結棒４２、連結棒に結合した連結ネック４３、および連結ネック４３を繋ぐ半円形ループ４４からなる。この場合固定具４０により、容器ボディ１０と容器カバー３０がしっかりと固定される。したがって、これによりＩＣウェファ箱が偶然に開いてしまうのを防止するために、多層のマスキングテープでウェファ箱を封印する従来のステップを排除できる。よって、ウェファ保護容器内のＩＣウェファが汚染されたり損傷したりすることがない。
【００１２】
以下では、ＩＣウェファを装填したＩＣウェファ保護容器の組立作業の全工程を詳細に説明する。まず第一に、容器ボディ１０が用意され、その中に所望の数のＩＣウェファが装填される。この装填する工程は開口１５により容易になされる。容器ボディ１０に十分な数のＩＣウェファを装填した後、ロック装置２０は突出物２４と刻み目１３とが噛み合うことにより、容器ボディ１０と接触する。ウェファ保護容器は、容器カバー３０を容器ボディ１０にかぶせることにより閉じられる。容器カバー３０は固定具４０により容器ボディ１０に固定されるが、この時固定具４０は固定具４０の連結脚４１をかぎ部材に取り付けることによって容器ボディ１０に固定される。固定具４０の残部は容器カバー３０に押しつけられ、連結棒４２が円筒形ボディ３１の対応する溝３４に一直線にはまり、連結ネック４３が円筒形ボディ３１の上端を固定し、そして半円形ループ４４がくぼみ３３に載る。その結果、ウェファ保護容器の組立作業が完了し、図６はその完成図である。
【００１３】
以上を要約すると、本発明によるウェファ保護容器には以下の長所がある。容器ボディにはＩＣウェファを扱いやすくする複数の開口が設けられ、一方ロック装置はＩＣウェファを容器ボディ内の所定の位置に保つために用いられている。さらにロック装置を用いることにより、ＩＣウェファの揺れを防止するのに用いられるスポンジの量を減らすことができる。本発明に従えば、容器カバーが容器ボディを覆っているので、ＩＣウェファを２重に保護でき、また、容器カバーには複数のくぼみが設けられているので、ウェファ保護容器の開閉が簡単にできる。固定具が容器カバーを容器ボディに固定しているので、運搬中に偶然ウェファ保護容器が開くことがなく、したがってＩＣウェファを汚染したり損傷したりする危険を軽減できる。
当業者ならば、本発明の範囲あるいは精神を逸脱することなく、本発明の構造物を様々に修正したり変更したりできることはわかるだろう。以上の見地から、本発明による修正や変更が本発明の請求項やそれと同等のものの範囲内にあるならば、それらは本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるウェファ保護容器の分解図。
【図２】本発明の１つの好適な実施形態に従った容器ボディで、（Ａ）はそれを上から見た斜視図、（Ｂ）はそれを下から見た斜視図。
【図３】本発明の１つの好適な実施形態に従ったロック装置の斜視図。
【図４】本発明の１つの好適な実施形態に従った容器カバーの拡大図。
【図５】本発明の１つの好適な実施形態に従った固定具の斜視図。
【図６】組み立て後のＩＣウェファ保護容器の斜視図。
【符号の説明】
10：容器ボディ
11：中空円筒
12：壁区分
13：刻み目
14：縁
15：開口
16：円形リング
17：かぎ部材
18：円板
20：ロック装置
21：環状帯
22：溝
23：円形突出部
24：突出物
30：容器カバー
31：円筒形ボディ
32：円形突出部
33：くぼみ
34：溝
35：環状くぼみ
40：固定具
41：連結脚
42：連結棒
43：連結ネック
44：半円形ループ
【図１】
0003578955.tif 000002
【図２】
0003578955.tif 000003
【図３】
0003578955.tif 000004
【図４】
0003578955.tif 000005
【図５】
0003578955.tif 000006
【図６】
0003578955.tif 000007