(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器に入れた被測定液中に１本のパイプを挿入し、所定圧力の気体を供給して前記パイプの先端から前記被測定液中に気泡を発生させた状態で背圧を測定することにより、前記被測定液の液面レベルを計測する液面レベル計測方法において、
前記容器に予め前記被測定液を入れ、第１の設定点に達したときの第１の圧力と前記第１の設定点より高い第２の設定点に達したときの第２の圧力との圧力差と、比重が既知の基準液による圧力との比例関係から前記被測定液の比重を算出する第１の工程と、
前記算出比重に基づき少なくとも前記第１および第２の設定点間における前記被測定液の圧力と液面レベルとの比例関係を示す液面データテーブルを求める第２の工程であって、前記基準液に関する既知の下限圧力および上限圧力に相当する前記被測定液の計測上限レベルおよび計測下限レベルを、前記算出比重、基準液比重、第１、第２の設定点から算出し、この間の圧力と液面レベルとの比例関係を前記液面データテーブルとして求める第２の工程と、
本計測として前記容器に入れた前記被測定液の圧力値を前記液面データテーブルに対応させて当該液面レベルを計測する第３の工程と、
を具備する液面レベル計測方法。
【請求項２】
容器に入れた被測定液中に１本のパイプを挿入し、所定圧力の気体を供給して前記パイプの先端から前記被測定液中に気泡を発生させた状態で背圧を測定することにより、前記被測定液の液面レベルを計測する液面レベル計測方法において、
前記容器に予め比重が既知の基準液を入れたときの前記容器の容積と液面レベルとの関係を容積データテーブルとして求める第４の工程と、
前記容器に予め前記被測定液を入れ、第３の設定点に達したときの第３の圧力と前記第３の設定点より高い第４の設定点に達したときの第４の圧力との圧力差と、前記基準液による圧力との比例関係から前記被測定液の比重を算出する第５の工程と、
前記算出比重に応じて前記容積データテーブル中の液面レベルを補正する第６の工程と、
本計測として、前記容器に入れた前記被測定液の圧力値を補正された前記容積データテーブルに対応させて前記被測定液の残容積を計測する第７の工程と、
を具備する液面レベル計測方法。
【請求項３】
容器に入れた被測定液中に１本のパイプを挿入し、所定圧力の気体を供給して前記パイプの先端から前記被測定液中に気泡を発生させた状態で背圧を測定することにより、前記被測定液の液面レベルを計測する液面レベル計測方法において、
前記容器に入れた前記被測定液中で被処理物を複数回処理する場合の処理前の初期比重と複数回目の処理後比重とを計測する第８の工程と、
前記初期比重と処理後比重とから当該処理回数毎の変化比重を求め、変化比重と圧力の関係を記憶する第９の工程と、
当該処理回数が入力されたとき毎の前記被測定液の圧力値を、当該圧力測定時の処理回数に応じた変化比重で補正して液面レベルを計測する第１０の工程と、
を具備する液面レベル計測方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液面レベル計測方法に係り、各種の工業分野において貯溜された液体の液面レベル（液面までの高さ）を計測する背圧式の液面レベル計測方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、容器に貯溜された液体の液面レベルを計測するには、例えば気体の圧力を用いた手法がある。
【０００３】
すなわち、図６に示すように、容器１に被測定液３を溜め、不活性気体（ガス）を圧送する気体供給装置５に一端を連結した１本のパイプ７の他端（先端）側をその被測定液３中に挿入し、パイプ７の先端から被測定液３内に常に気泡９を発生させるとともに、パイプ７の途中において液面レベル計測装置１１を連結し、パイプ７内の気体圧力の測定を介して液面レベルを計測する計測方法である。
【０００４】
図６中の符号１３は液面レベル計測装置１１を連結するために、パイプ７の途中に挿入されたジョイントである。
【０００５】
一般に、容器１内に比重ρの被測定液３を溜め、この液面から任意の深さＨに仮想の基準面を考えると、この基準面における圧力Ｐは、重力加速度をｇとすれば、
Ｐ＝ρｇＨ
となり、深さＨは次のように表せる。
Ｈ＝Ｐ／ρｇ                ……  （１）
【０００６】
これによれば、被測定液３の比重ρが既知であれば、その圧力Ｐを測定することにより、液面レベルＨを知ることができる。
【０００７】
上述した背圧式の液面レベル計測方法では、パイプ７の先端の気体圧力（静圧）がパイプ７内の気体圧力に等しく、液面レベルが上がるほどパイプ７内の気体圧力が高くなるから、容器１内に被測定液３を満杯に溜めた状態でパイプ７の先端から気泡９を発生させるよう気体供給装置５からの気体圧送を調節しておけば、被測定液３の満杯状態から空の状態に至るまでの間、パイプ７内の気体圧力を液面レベル計測装置１１で測定するとともに、上述した式（１）に当てはめて液面レベルＨを求めることができる。
【０００８】
なお、液面レベル計測装置１１を形成しパイプ７途中の気体の圧力を測定する手段としては、背圧式圧力センサが用いられる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した背圧式の液面レベル計測方法は、予め比重が分かっている被測定液３の液面レベル計測には向くが、同じ液位でも被測定液３の比重が異なると圧力も異なるから、比重が分かっていない被測定液３については液面レベルの計測が困難である。
【００１０】
また、被測定液３を溜める容器１についても、任意の形状を有する容器では、測定した液面レベルとは必ずしも所定の比例関係とならず、残容積の正確な計測が困難であった。
【００１１】
さらに、半導体製造工程等において、半導体ウエハを薬液中で処理する場合にあっては、半導体ウエハの処理回数に応じて薬液の比重が変化し易く、その比重変化に伴って液面レベルの正確な計測が困難となっていた。
【００１２】
本発明はそのような従来の課題を解決するためになされたもので、予め比重が分かっていない被測定液の液面レベル計測が可能な液面レベル計測方法の提供を目的とする。
【００１３】
また、本発明は、任意形状の容器に溜めた被測定液についても、正確な残容積の計測が可能な液面レベル計測方法の提供を目的とする。
【００１４】
さらに、本発明は、被処理物の処理毎に被測定液の比重が変化しても、正確な液面レベルの計測が可能な液面レベル計測方法の提供を目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
そのような課題を解決するために本発明に係る第１の方法は、容器に入れた被測定液中に１本のパイプを挿入し、所定圧力の気体を供給してそのパイプの先端から被測定液中に気泡を発生させた状態で背圧を測定することにより、その被測定液の液面レベルを計測する液面レベル計測方法において、その容器に予め被測定液を入れて第１の設定点に達したときの第１の圧力と第１の設定点より高い第２の設定点に達したときの第２の圧力との圧力差と、比重が既知の基準液による圧力との比例関係からその被測定液の比重を算出する第１の工程と、この算出比重に基づき少なくともそれら第１および第２の設定点間における被測定液の圧力と液面レベルの比例関係を示す液面データテーブルを求める第２の工程と、本計測としてその容器に入れた被測定液の圧力値を液面データテーブルに対応させて当該液面レベルを計測する第３の工程とを具備している。
【００１６】
しかも、この第１の方法における上記第２の工程は、上記基準液に関する既知の下限圧力レベルおよび計測上限圧力レベルに相当する上記被測定液の計測下限レベルおよび計測上限レベルを、上記算出比重、基準液比重、第１、第２の設定点から算出し、この間の圧力と液面レベルとの比例関係を上記液面データテーブルとして求めるものである。
【００１７】
また、本発明に係る第２の方法は、被測定液の液面レベルを計測する液面レベル計測方法において、予め比重が既知の基準液を入れたときの容器の容積と液面レベルとの関係を容積データテーブルとして求める第４の工程と、その容器に予め被測定液を入れて第３の設定点に達したときの第３の圧力と第３の設定点より高い第４の設定点に達したときの第４の圧力との圧力差と、上記基準液による圧力との比例関係からその被測定液の比重を算出する第５の工程と、その算出比重に応じてその容積データテーブル中の液面レベルを補正する第６の工程と、本計測としてその容器に入れた被測定液の圧力値をその補正された容積データテーブルに対応させて上記被測定液の残容積を計測する第７の工程とを具備している。
【００１８】
さらに、本発明に係る第３の方法は、被測定液の液面レベルを計測する液面レベル計測方法において、上記容器に入れた被測定液中で被処理物を複数回処理する場合の処理前の初期比重と複数回目の処理後比重とを設定する第８の工程と、それら初期比重と処理後比重とから当該処理回数毎の変化比重を求め、変化比重と圧力の関係を記憶する第９の工程と、当該処理回数が入力されたとき毎の上記被測定液の圧力測定値を、当該圧力測定時の処理回数に応じた変化比重で補正して液面レベルを計測する第１０の工程とを具備している。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
まず、便宜上、本発明の液面レベル計測方法を実施する液面レベル計測装置を説明する。
【００２０】
図１は本発明の液面レベル計測方法を実施する液面レベル計測装置を示すブロック図であり、例えば上述した図６における液面レベル計測装置１１に相当する。
【００２１】
図１において、符号１５は、図６中の液面レベル計測装置１１内に配置され、パイプ７中を圧送される気体圧力に応じたレベルのアナログ測定信号を出力する背圧式の圧力センサであり、入力部１７に接続されている。圧力センサとしては、例えば半導体式圧力センサ、その他従来公知のセンサ素子が用いられる。
【００２２】
入力部１７は、圧力センサ１５からの測定信号を所定のタイミングでＡ／Ｄ変換してデジタル信号に変換するものであり、演算部１９に接続されている。
【００２３】
演算部１９は、本発明の主要な演算、算出又は判断機能を実行するＣＰＵ１９ａと、このＣＰＵ１９ａの動作プログラムを格納したＲＯＭ１９ｂと、入出力インターフェイス１９ｃを有して形成されており、記憶部２１、表示部２３、設定部２５および警報部２７に接続されている。演算部１９の機能は後述する。
【００２４】
記憶部２１は、後述する液面データテーブルその他のデータテーブルや各種のデータを記憶する内蔵又は外部メモリであり、演算部１９の管理下でそれらの読み出し書き込みが制御されている。
【００２５】
表示部２３は、演算部１９で演算された液面レベルをｍｍや％で表示したり、他の項目を表示する液晶ディスプレイ等である。
【００２６】
設定部２５は、設定点に達した時に、当該液面の高さを入力するとともに、後述するように入力部１７からの圧力値を取込み記憶部２１へ格納するタイミングを指示したり、その他を外部から入力して記憶部２１へ格納するキーボードやオンライン接続部である。
【００２７】
なお、比重１の液体（純水）の高さ１０００ｍｍの圧力値９．８０７ｋＰａ（計測上限）、０ｋＰａ（計測下限）等は、予め設定部２５から又は製造時に固定的に入力設定される場合もある。
【００２８】
警報部２７は、演算部１９で演算された液面レベルその他が測定範囲外であった場合等に、外部へ警報を発する液晶ディスプレイ又はブザーであり、表示部２３の一部として構成される場合もある。
【００２９】
演算部１９には、上述した図６に示すように、実際に液面レベルを計測する被測定液３を予め容器１に流入させ、容器１の底から例えば２５０ｍｍ（第１の設定点Ｐ１）と４００ｍｍ（第２の設定点Ｐ２）に達した時の圧力を設定部２５からの指示によって取込み、記憶部２１に格納する機能を有している。第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２は任意である。
【００３０】
図２は、被測定液３が２５０ｍｍ（第１の設定点Ｐ１）と４００ｍｍ（第２の設定点Ｐ２）に達した時の圧力が１．９６１ｋＰａと３．９２３ｋＰａであった場合、それら２点間における圧力と液面レベルの関係をリニアな関係で仮想的に示している。
【００３１】
演算部１９は、それら第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２の圧力値および基準液の比重９．８０７ｋＰａから、次の算出式によって被測定液３の比重と、純水における０ｋＰａ（計測下限）の状態と９．８０７ｋＰａ（計測上限）の状態に相当する被測定液３の計測下限値および計測上限値を算出する機能を有している。
【００３２】
0003595999.tif 000002
ここで、９．８０７ｋＰａは純水１０００ｍｍの深さの圧力相当値である。
【００３３】
すなわち、演算部１９は、被測定液３の第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２における圧力値差（３．９２３ｋＰａ−１．９６１ｋＰａ）に対する基準液の比重９．８０７ｋＰａの比と、第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２間の間隔（４００ｍｍ−２５０ｍｍ）との比から、純水の比重１に対する被測定液３の比重を算出する機能を有している。
【００３４】
また、演算部１９は、被測定液３について第１の設定点Ｐ１の圧力（１．９６１ｋＰａ）に対する基準液の圧力９．８０７ｋＰａの比と、被測定液３の算出比重（１．３３３）との比と、第１の設定点Ｐ１との関係から被測定液３の計測下限値を算出する一方、第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２間の間隔（４００ｍｍ−２５０ｍｍ）と、第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２の圧力値差（３．９２３ｋＰａ−１．９６１ｋＰａ）に対する基準液の圧力９．８０７ｋＰａの比との関係および第１の設定点Ｐ１の液面レベルとから被測定液３の計測上限値を算出する機能を有している。
【００３５】
さらに、演算部１９は、これら算出比重、計測下限値および計測上限値から、圧力値に対する液面レベルの関係をリニアな直線状にした液面データテーブル（図２参照）を作成し、記憶部２１に格納する機能を有している。
【００３６】
演算部１９は、本計測として容器１に入れられた被測定液３について入力部１７から入力された圧力値をその液面データテーブルと照合し、該当する圧力値と液面レベルを表示部２３に表示する機能の他、以下に示す各種の機能を有している。
【００３７】
次に、本発明の液面レベル計測方法に係る第１の方法を説明する。
図３は、上述した液面レベル計測装置の動作とともに本発明に係る第１の方法の要部を説明するためのフロチャートである。
【００３８】
上述した図６のように、気体供給装置５に一端を連結したパイプ７の他端（先端）側を容器１中の被測定液３中に液面から挿入し、気体供給装置５から不活性気体を圧送してパイプ７の先端から常に気泡９を発生させた状態を形成し、図１中の設定部２５から純水の液面レベル１０００ｍｍの圧力値である９．８０７ｋＰａと、純水が０ｋＰａ（計測下限）の状態と９．８０７ｋＰａ（計測上限）状態における各圧力値を、設定部２５から記憶部２１へ予め入力設定しておく。
【００３９】
ステップ３００でプログラムをスタートさせると、ステップ３０１では設定部２５からの指示に基づき第１の設定点Ｐ１を設定し、被測定液３が第１の設定点Ｐ１に達した時、ステップ３０２にて設定部２５から指示によって第１の圧力値を取込み、ステップ３０３は第１の圧力が液面レベル計測装置１１における測定可能範囲か否か演算部１９が判断する。
【００４０】
もし、第１の圧力が液面レベル計測装置１１において予め設定された測定可能範囲外であってＮの場合には、ステップ３１１で演算部１９が被測定液３による比重補正エラーである旨の処理を行い、例えば表示部２３にその旨を表示するとともに警報部２７へ警報を出力してステップ３１２のリターンへ移る。
【００４１】
測定可能範囲内であってＹの場合には、ステップ３０３からステップ３０４に移って設定部２５からの指示に基づき第２の設定点Ｐ２を入力設定し、被測定液３が第２の設定点Ｐ２に達した時、ステップ３０４にて設定部２５から指示によって第２の圧力を取込み、ステップ３０６では第２の圧力が液面レベル計測装置における測定可能範囲か否か演算部１９が判断する。
【００４２】
測定可能範囲外であってＮの場合にはステップ３１１で上述したエラー処理を行い、測定可能範囲内であってＹの場合にはステップ３０７にて演算部１９が上述した式（２）を用いて比重演算処理を行い、ステップ３０８はで演算部１９がその算出比重が測定可能範囲か否か判断する。
【００４３】
測定可能範囲外であってＮの場合にはステップ３１１で演算部１９が上述したエラー処理を行い、測定可能範囲内であってＹの場合にはステップ３０９で演算部１９が上述した（３）式を用いて計測下限値の演算処理を行い、ステップ３１０で（４）式を用いて計測上限値の演算処理を行って液面データテーブルを作成し、ステップ３１２のリターンへ移る。
【００４４】
そして、液面データテーブルを作成した後、被測定液３の液面レベル本計測に当っては、演算部１９が入力部１７から入力した圧力値を記憶部２１中の液面データテーブルと照合し、該当する液面レベルを表示部２３へ出力してそれを表示させる。
【００４５】
このように、本発明に係る第１の方法は、容器１に予め被測定液３を入れて容器１の底から第１の設定点Ｐ１に達したときの第１の圧力およびそれより高い第２の設定点Ｐ２に達したときの第２の圧力との圧力差と、純水による圧力値との比例関係から被測定液３の比重を算出し（第１の工程）、その基準液の計測下限レベルおよび計測上限レベルに相当する被測定液３の計測下限レベルおよび計測上限レベルを、それら算出比重、基準液の比重、第１、第２の設定点Ｐ１、Ｐ２から算出し、この間の圧力と液面レベルとの比例関係を液面データテーブルとして求め（第２の工程）、本計測として容器１に入れた被測定液３の圧力値をその液面データテーブルに対応させて実際の液面レベルを計測する（第３の工程）構成とした。
【００４６】
そのため、予め比重が分かっている基準液、例えば純水の比重を使用するだけで、比重の分からない被測定液３の液面レベルを計測することが可能となり、液面レベルの計測が簡素化される。
【００４７】
しかも、上述した第１の方法では、算出比重、基準液の比重、第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２から計測下限値および計測上限値を算出してその液面データテーブルを作成するから、被測定液の圧力と高さが比例関係にあるので、第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２を任意に選定しても、可能な限り広い計測範囲を自動的に確保できる利点がある。
【００４８】
もっとも、計測下限値に近い位置に第１の設定点Ｐ１を選定し、計測上限値に近い位置に第２の設定点Ｐ２を設定すれば、少なくともこれら第１および第２の設定点Ｐ１、Ｐ２間において、比重の分からない被測定液３の液面レベルを計測することが可能となる。
【００４９】
そのため、必ずしも、基準液の計測下限レベルおよび計測上限レベルに相当する被測定液３の計測下限レベルおよび計測上限レベルを演算する必要はない。
【００５０】
次に本発明に係る液面レベル計測方法の第２の方法を説明する。
この第２の方法を実施するために、図１に示す演算部１９および記憶部２１は上述した機能の他に以下の機能を有している。
【００５１】
演算部１９は、任意の容器２９において所定の液面レベルとこの液面レベル毎の残容積との関係を容積データテーブルとして作成し、記憶部２１へ格納する機能を有している。
【００５２】
すなわち、図４に示すように、球形の容器２９に純水１リットル、６リットル、１２リットル、１９リットル、２７リットル、３６リットル、４５リットル、５３リットル、６０リットル、６６リットル、７１リットルを入れたときの液面レベルを外部から作業者が読取り、それら１１点の液面レベルおよび容積を設定部２５から入力すると、演算部１９は容器２９の１１点毎の液面レベルと残容量との関係を容積データテーブルとして作成し、記憶部２１へ格納する。
【００５３】
さらに、演算部１９は、第１の方法と同様に（図２および図３参照）、実際に液面レベルを計測する被測定液３を容器２９に入れ、容器２９の底から例えば２２０ｍｍ（第３の設定点Ｐ３）と４２０ｍｍ（第４の設定点Ｐ４）に達した時の圧力（第３および第４の圧力）を、設定部２５からの指示によって取込んで記憶部２１に格納し、上述した（２）式によって被測定液３の比重を算出し、この算出比重によって容積データテーブル中の液面レベルを純水から被測定液３の比重に応じた液面レベルに補正し、記憶部２１を書換え格納する機能を有している。
【００５４】
そして、演算部１９は、容器２９中の被測定液３について、本計測中に入力部１７から入力された圧力値を補正容積データテーブルと照合し、測定圧力に対応する残容積を表示部２３に表示させるとともに、前回の測定圧力からの変化量を演算して表示させる機能を有している。
【００５５】
このように、本発明に係る第２の方法は、比重が既知の基準液を入れたときの容器２９の容積と液面レベルとの関係を容積データテーブルとして記憶し（第４の工程）、その容器２９に被測定液３を入れて容器２９の底から第３の設定点Ｐ３に達したときの第３の圧力および第３の設定点Ｐ３より高い第４の設定点Ｐ４に達したときの第４の圧力との圧力差と、比重が既知の基準液による圧力との関係からその被測定液３の比重を算出し（第５の工程）、その容積データテーブルの液面レベルを算出比重で補正して記憶し（第６の工程）、本計測として容器２９に入れた被測定液３の圧力値をその容積データテーブルに対応させて実際の残容積を計測する（第７の工程）から、被測定液３を溜める容器２９が単純な筒型形状でなくとも、被測定液３の圧力測定を介してその残容積や前回の測定圧力時からの変化量を計測可能となる。
【００５６】
しかも、予め比重が分かっていない被測定液３について、第３、第４の設定点Ｐ３、Ｐ４間の圧力と比重の既知の基準液の圧力とを用いて比重を算出し、この算出比重で容積データテーブルの液面レベルを補正するから、比重が未知の被測定液３と任意の容器２９に入れ残容積の計測が可能となる。
【００５７】
ところで、半導体ウエハを薬液中で処理すると、その処理回数に応じてその薬液の比重が変化するから、測定圧力から正確な液面レベルを計測するために、この第３の方法が有用である。
【００５８】
以下、本発明に係る液面レベル計測方法の第３の方法を説明する。
第３の方法を実施するために、図１に示す演算部１９および記憶部２１は以下の機能を有している。
【００５９】
演算部１９は、容器１に溜めた被測定液３について、初期比重、所定数処理の終了した状態での終了比重、およびその処理回数が設定部２５から入力されたとき、各処理毎にその処理回数と比重の変化を比重テーブルデータとして作成し、記憶部２１へ格納する機能を有している。
【００６０】
すなわち、第３の方法では、図５Ａに示すように、初期状態における被測定液３の比重と、同図Ｂのように被処理物３１を１回処理して取り出した後の比重と、更に、同図Ｃのように被処理物３１の複数回処理が終了してそれを取り出した後の比重を入力設定するものである。
【００６１】
演算部１９は、被測定液３に被処理物３１が入れられて処理されて取り出され、設定部２５からその処理回数が入力されたとき、入力部１７から入力された圧力値を比重データテーブルと照合して対応する液面レベルを演算し、表示部２３に出力する機能を有している。
【００６２】
このように、本発明に係る第３の方法は、容器３に入れた被測定液３中で複数回の所定の処理を行う場合の処理前の初期比重と複数回目の処理後の比重とを測定し（第８の工程）、それら初期比重と処理後の比重とから当該処理回数毎の変化比重と圧力の関係を記憶し（第９の工程）、当該処理回数毎の被測定液の圧力測定値を当該圧力測定時の処理回数に応じた変化比重で補正して液面レベルを計測するから（第１０の工程）、被処理物３１の処理毎に処理用の被測定液３の比重が変化しても、各処理回数に従って比重が自動的に補正され、正確な液面レベルの計測が可能となる。
【００６３】
なお、本発明の液面レベル計測方法においては、パイプ７の先端を開放させたとき、すなわち容器１、２９内が空の状態における圧送気体の圧力を測定し、その圧力値が所定の初期値の範囲にあるか否かを判別し、もし初期値の範囲内にあれば測定を進め、初期値の範囲から外れる場合には警報信号を警報部２７にへ出力するよう構成することが好ましい。
【００６４】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の液面レベル計測方法に係る第１の方法によれば、予め比重が分かっていない被測定液の液面レベル計測が可能となる。
そして、第１の方法において、計測下限値および計測上限値を算出する方法を付加することにより、より広範囲の液面レベルの計測が可能となる利点がある。
また、本発明の第２の方法によれば、任意形状の容器に溜めた被測定液についても、残容積の計測が可能となる。
さらに、本発明の第３の方法によれば、被測定液の初期比重、最終比重、処理回数を予め入力設定すれば、被処理物の処理毎に被測定液の比重が変化しても、正確な液面レベルの計測が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液面レベル計測方法を実施する液面レベル計測装置を示すブロック図である。
【図２】本発明の液面レベル計測方法に関し第１の方法を説明する特性図である。
【図３】本発明の液面レベル計測方法に関し第１の方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の液面レベル計測方法に関し第２の方法を説明する図である。
【図５】本発明の液面レベル計測方法に関し第３の方法を説明する図である。
【図６】従来および本発明の液面レベル計測方法の参考となる図である。
【符号の説明】
１、２９  容器
３  被測定液
５  気体供給装置
７  パイプ
９  気泡
１１  液面レベル計測装置
１３  ジョイント
１５  センサ
１７  入力部
１９  演算部
２１  記憶部
２３  表示部
２５  設定部
２７  警報部
【図１】
0003595999.tif 000003
【図２】
0003595999.tif 000004
【図３】
0003595999.tif 000005
【図４】
0003595999.tif 000006
【図５】
0003595999.tif 000007
【図６】
0003595999.tif 000008