(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作用ガスの供給孔を備え、前記供給孔から導入された操作用ガス圧力により前記供給孔の内側に設けられた駆動部を上下移動させて弁の開閉を行うガス圧作動弁であって、
前記供給孔に取り付けられた弁作動検出機構を備え、
前記弁作動検出機構は、前記操作用ガスを前記供給孔に接続する接続口と、前記駆動部の移動によりオン、オフ動作する弁作動検知部を有している
ことを特徴とするガス圧作動弁。
【請求項２】
前記弁作動検知機構が、前記接続口が形成された固定部材と、前記固定部材に対して可動な前記弁作動検知部とを有し、前記弁作動検知部はその下端部が前記駆動部の上端に当接した摺動自在な摺動部材と、前記摺動部材の上下動により動作するスイッチを有していることを特徴とする請求項１に記載のガス圧作動弁。
【請求項３】
前記スイッチがリミットスイッチであることを特徴とする請求項２に記載のガス圧作動弁。
【請求項４】
前記スイッチが近接スイッチであることを特徴とする請求項２に記載のガス圧力作動弁。
【請求項５】
前記スイッチが脱着自在に取付けられることを特徴とする請求項２に記載のガス圧力作動弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ガス圧作動弁に関し、特に、ガスや流体の制御の配管系において流体の制御に用いられるガス圧作動弁に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
上記のようなガス圧作動弁は、例えば、半導体や液晶の製造ラインの製造ラインに使用される超高純度ガスのガス配管系に用いられる。この種のガス圧作動弁では、操作用流体、例えば操作空気により内部のピストンを動かして開閉動作を行っている。従来、この種のガス圧作動弁における弁開度を制限するため、そのピストンの動きを制限する弁開度制限（流量制限）機構をガス圧作動弁に設ける構成が採られることがある。
【０００３】
このような弁開度制限機構として、従来は、ストップ弁と流量調整弁を直列に接続した構成のものが知られている。この構成において、弁の開度制限機能は流量調整弁により、また遮断機能はストップ弁により、それぞれ分担されている。また、この場合、ガス圧作動弁の駆動部（シリンダ）に、弁開度制限機構の取付けのための加工、例えば、シャフト捩じ込みのためのねじ加工を施している。
【０００４】
一方、例えば上記のガス配管系を備えたシステムにおいては、システムにおける自動運転等のために弁の開閉動作が正しく行われたかを検出する必要がある。このような場合、従来は、ガス圧作動弁の駆動部に開閉動作の検出機構を設け、ガス圧作動弁の開閉動作を確認する構成が用いられている。この種の弁作動検出機構を備えたガス圧作動弁の一例を図１２に示した。
【０００５】
図１２のガス圧作動弁は、作動空気断において弁が閉じるＮＣ（ノーマルクローズ）型のメタルダイヤフラム弁１００である。よって、作動空気が断の状態では、スプリング７８の反発力によってピストン７３が下方に押し下げられる結果、ピストン７３の下端部に設けられた出力軸７９と駆動軸８０がともに押し下げられ、メタルダイヤフラム８１が弁座８２に押圧されて弁が閉じられる。また、本体７１には流入口８３と流出口８４とが形成されている。
【０００６】
そして、作動空気の供給孔７２から作動空気が供給された場合には、この作動空気がシリンダ室８６に導かれ、ピストン７３がスプリング７８の反発力に抗して押し上げられ、メタルダイヤフラム８１に負荷されていた駆動軸８０による下向きの押圧力が無くなる。そしてこの状態では、メタルダイヤフラム８１は自己の復元力によって弁座８２から離れて弁が開く。図１２はこの弁が開いた状態を示したものである。
【０００７】
ここで、弁作動検出機構は、近接スイッチ７４を有してなるもので、図示した例では近接スイッチ７４は配線（電線）７５を介してシステムのコントロールパネルＣＰに接続されている。またこの近接スイッチ７４は、中央に空気導入路８５を有する駆動部７０の外殻８７を孔開け加工して設けた貫通孔８８に挿入され、スペーサ７７とナット７６によって外殻８７に装着されている。このように駆動部７０に弁作動検出機構を設ける場合には、通常は検出機構を固定するための加工を駆動部７０に行っている。
【０００８】
この従来例では、供給孔７２から作動空気を供給した際におけるピストン７３の上昇を、ピストン７３の上端部７３ａの動きを近接スイッチ７４が感知することで検知する。そしてこの検知信号（パルス信号）を配線７５を介してコントロールパネルＣＰに送信している。また逆に、ピストン７３が下降すれば、その動きも近接スイッチ７４により検知され、コントロールパネルＣＰに伝達される。このようにして弁作動検知部により弁の開閉作動が確実に行われたことが検知できる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のガス圧作動弁では、弁作動検知部を取り付けるための加工を駆動部に施す必要がある。このため、コストアップを招き、また設計上の自由が制限されるという問題があった。
【００１０】
つまり、弁作動検出機構を設けることの要否は、ガス圧作動弁が使用される工程の状況等により決まるため、仕様変更で対応しているのが現状であり、このような仕様変更の際には駆動部の適宜個所にこれらの機構をねじ止めするための孔開け加工（ねじ加工）を駆動部に施す必要がある。ところが、生産工程上、このような加工はコストアップになり、また加工後はこの弁作動検出機構を取り外すことが実質的に不可能であり、設計上の自由が制限される。そして、仕様変更等によって配管後等においてこの弁作動検知部が必要になった際において、このような加工ができない場合には、弁作動検知部を設けることができない。
【００１１】
その他、弁開度制限機構を設けた従来例において、上記のようにストップ弁や流量調整弁を取り付ける構成は、設置のためのスペースを余分に採る必要があるという問題があった。
【００１２】
本発明の目的は、上記のような問題がなく、弁作動検出機構を低コストで設計上の自由度を持たせつつ小スペースで設けることが可能な、ガス圧作動弁を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく、本発明の主たる構成は、操作用ガスの供給孔を備え、前記供給孔から導入された操作用ガス圧力により前記供給孔の内側に設けられた駆動部を上下移動させて弁の開閉を行うガス圧作動弁であって、前記供給孔に取り付けられた弁作動検出機構を備え、前記弁作動検出機構は、前記操作用ガスを前記供給孔に接続する接続口と、前記駆動部の移動によりオン、オフ動作する弁作動検知部を有していることを特徴とする。
【００１４】
また、上記の弁作動検出機構にほぼ類似した構成の部材を用いて、弁開度制限機構を設けることも可能である。これを参考発明とする。この主たる構成は、操作用ガスの供給孔を備え、前記供給孔から導入された操作用ガス圧力により前記供給孔の内側に設けられた駆動部を上下移動させて弁の開閉を行うガス圧作動弁であって、前記供給孔に取り付けられた弁開度制限機構を備え、前記弁開度制限機構は、前記操作用ガスを前記供給孔に接続する接続口と、前記駆動部の移動の範囲を規制する弁開度規制部材を有していることを特徴とする。
【００１５】
【作用】
本発明では、駆動部の移動により外部に設けた弁作動検知部のスイッチをオン、オフさせることで弁の作動を検知することができる。また参考発明では、ガス圧作動弁の駆動部の移動の上限位置を弁開度規制部材により規制することで、駆動部による弁の開度が調整される。
【００１６】
そして、ガス圧作動弁の操作用ガスの供給孔に上記のように弁作動検出機構を取り付けることで、弁作動検出機能等の付加のための特別の加工をなくすことができ、これにより、使用変更等において弁作動検出機構を容易に後付けすることができる。
【００１７】
また、ガス圧作動弁の供給孔に上記の各機構を取り付ける構成とすれば、駆動部（ピストン）や供給孔の配置が同じ構造のガス圧力作動弁に対して同じ弁作動検出機構で対応することが可能となり、コストの低減を図ることができる。
【００１８】
【実施例】
以下に本発明及び参考発明の実施例を説明する。
【００１９】
（実施例１）
図１に、参考発明に係る、開度制限機構を備えたガス圧作動弁の実施例を示した。この実施例は、開度制限機構１０をダイヤフラム弁に取り付けて構成される。なお、図２、３に、開度制限機構１０の他の図面を示した。
【００２０】
このダイヤフラム弁は、作動空気断において弁が開くＮＯ（ノーマルオープン）型のものであり、本体１、弁シート２、シートホルダ３、ダイヤフラム４、アクチュエータカバー５、操作用ガスである圧搾空気の供給孔７、ピストン（駆動部）８、並びに気密リング９を有して構成される。
【００２１】
本体１は、例えばステンレススチール（ＳＵＳ）により構成され、流体の流入路１ａと流出路１ｂを有している。弁シート２は、例えば三フッ化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）等で構成され、上記の流入路１ａの開口と同心円状に構成されるもので、ダイヤフラム４の弁座を形成するシール材であり、ダイヤフラム４の押圧力により圧縮される。
【００２２】
シートホルダ３は、例えばステンレススチールにより構成され、弁シート２の固定とダイヤフラム４のストッパーの役目を兼ねたものである。
【００２３】
ダイヤフラム４は、例えばニッケル合金で構成される柔軟構造のもので、流体の流通量を調節する弁である。ダイヤフラム４は、自由状態では、流入路１ａと流出路１ｂの間に形成される流通路の開口の上部に位置し、流入路１ａおよび流出路１ｂを連通させる。また、ダイヤフラム４が押下されて弁シート２と当接した場合には、流入路１ａの開口が密封され、これによって流入路１ａと流出路１ｂの間が遮断される。
【００２４】
アクチュエータカバー５は、ダイヤフラム４の動作を制御するピストン（駆動部）８のカバーである。実施例のダイヤフラム弁はエアー駆動式であり、供給孔７から圧搾空気が供給されると、ピストン（駆動部）８が押下されてダイヤフラム４を弁シート２に圧接させる。
【００２５】
一方、開度制限機構１０は、上記のダイヤフラム弁に取り付けられる固定部材１１、固定部材１１の内側に螺合されたシャフト部１２、シャフト部１２の外周と固定部材１１の内周との間に配置されたＯリング１３、並びにシャフト部１２を固定部材１１に固定するためのロック部材１４から構成される。
【００２６】
固定部材１１は、ダイヤフラム弁の供給孔７の内周に形成されたねじ溝にその外周に形成されたねじ溝が螺合する接続部１１ａ、並びにこの接続部１１ａに並設された圧搾空気の供給部１１ｂとから構成される。接続部１１ａの内側には、上記の螺着状態において供給孔７と連通する中空部１１ｃが形成されている。また供給部１１ｂには、圧搾空気の供給チューブ１５ａに取り付けられた空気継ぎ手１５が接続される接続口１１ｄが形成されている。この接続口１１ｄは中空部１１ｃに連通している。
【００２７】
シャフト部１２は、弁開度規制部材として機能するもので、固定部材１１の中空部１１ｃの内周に形成されたねじ溝にその外周のねじ溝が螺合する。シャフト部１２の内側には、上記の接続口１１ｄに連通する中空部１２ａが形成されている。また、シャフト部１２の下端部１２ｂは、開度制限機構１０を供給孔７に取り付けた状態において、ピストン（駆動部）８の上部に位置している。そして、この下端部１２ｂを、図示したように、ピストン（駆動部）８の上端に当接させることで、ピストン（駆動部）８の上方向に移動が制限される。
【００２８】
またシャフト部１２の上端部１２ｃは、開度制限機構１０の外部に位置して、作業員等がその中央部の凹溝を外側から操作して回動できるようになっている。従って、例えば作業員がこのシャフト部１２を固定部材１１に対して時計方向あるいは反時計方向に回転させ、シャフト部１２の外周に形成されたねじ溝と固定部材１１の中空部の内周に形成されたねじ溝との螺合状態を変えることで、シャフト部材１２は、図１において上方向あるいは下方向に移動する。
【００２９】
なお、シャフト部１２を上記のようにして下方向に移動させる際には、ロック部材１４を例えば反時計方向に回転して、ロック部材１４によるシャフト部１２と固定部材１１との固定状態を緩める必要がある。また図１においてシャフト部１２を上方向に移動させた場合には、ロック部材１４によるシャフト部１２と固定部材１１との固定が緩むため、ロック部材１４を例えば時計方向に回してこれらの間を再び固定させる必要がある。
【００３０】
以上の構成であるこの実施例のガス圧作動弁では、弁開度制限機構１０のシャフト部１２を上記のように図１において上方向あるいは下方向へ適宜移動することで、供給孔７の内側に位置するピストン（駆動部）８の上端とシャフト部１２の下端との距離を適宜調整しておく。そして、操作用ガスである圧搾空気が供給孔７に供給されない通常状態においては、スプリング８ａの反発力によりピストン（駆動部）８は上方に押し上げられる。この結果、メタルダイヤフラム４への押圧力がなくなって、弁が開いた状態となる。
【００３１】
ここで、上記のように弁が開いた状態では、上記のようにピストン（駆動部）８の上部にシャフト部１２の下端があるため、ピストン（駆動部）８の上方移動は、ピストン（駆動部）８の上端がシャフト部１２の下端に当接した時点で停止される。従って、この実施例のガス圧作動弁においては、開度制限機構１０によってピストン（駆動部）８の上方移動の程度を制限して、弁が開く程度、つまり弁開度を調整できる。
【００３２】
一方、この状態において供給部１１ｂから圧搾空気を供給した場合、この圧搾空気は供給部１１ｂからシャフト部１２の中空部１２ａを介し、供給孔７を経てピストン（駆動部）８に供給される。すると、ピストン（駆動部）８がスプリング８ａの反発力に抗して押し下げられる結果、メタルダイヤフラム４が押下されて弁シート２に圧接して、弁が閉じた状態となる。
【００３３】
なお、供給部１１ｂへの圧搾空気の供給を停止した場合には、メタルダイヤフラム４への下向きの押圧力がなくなるため、メタルダイヤフラム４は自己の復元力によって弁シート２から離れて上記のように再び弁が開いた状態となる。
【００３４】
（実施例２）
図４に参考発明の別の実施例を示した。この実施例は、開度制限機構３０を、ＮＣ型のダイヤフラム弁に取り付けて構成されるものである。
【００３５】
ダイヤフラム弁は、本体２１、弁シート２２、シートホルダ２３、ダイヤフラム２４、アクチュエータカバー２５、圧搾空気の供給孔２７、ピストン（駆動部）２８、並びに気密リング２９を有して構成される。ここで、ピストン（駆動部）２８は、供給孔２７から圧搾空気が供給されない状態では、図示したように、スプリング２８ａの反発力によって下方に押し下げられており、この結果、メタルダイヤフラム４が押下されて弁シート２に圧接して、弁が閉じた状態となる。このダイヤフラム弁のその他の構成は、実施例１において説明したダイヤフラム弁と同様であるため、説明を省略する。
【００３６】
開度制限機構３０は、ダイヤフラム弁に取り付けられる固定部材３１、固定部材３１の内側に螺合されたピストンストッパー３２、ピストンストッパー３２の外周と固定部材３１の内周との間に配置されたＯリング３３、並びにピストンストッパー３２を固定部材３１に固定するためのロック部材３４、等から構成される。
【００３７】
固定部材３１は、ダイヤフラム弁の供給孔２７の内周に形成されたねじ溝にその外周に形成されたねじ溝が螺合する接続部３１ａを有し、またその内周にはシャフト部３２の外周に形成されたねじ溝が螺合するねじ溝３１ｂが形成されている。
【００３８】
ピストンストッパー３２は、弁開度規制部材として機能するもので、上記の通り、固定部材３１のねじ溝３１ｂにその外周のねじ溝が螺合する。ピストンストッパー３２の内側には、ダイヤフラム弁の供給孔２７に連通する中空部３２ａが形成されている。このピストンストッパー３２の下端部３２ｂは、開度制限機構３０を供給孔２７に取り付けた状態において、ピストン（駆動部）２８の上部に位置している。そして、この下端部３２ｂを、図示したように、ピストン（駆動部）２８の上端に当接させることで、ピストン（駆動部）２８の上方向に移動が制限される。
【００３９】
またピストンストッパー３２の上端部３２ｃは大径となっており、その外周には図示したようなナット部が形成されている。そしてこのナット部を作業員等が外側から操作してピストンストッパー３２を回動できるようになっている。従って、例えば作業員がこのピストンストッパー３２を固定部材３１に対して時計方向あるいは反時計方向に回転させることで、ピストンストッパー３２は、図４において上方向あるいは下方向に移動する。ここで、ピストンストッパー３２の上端部３２ｃには、例えば、圧搾空気の供給チューブに取り付けられた空気継ぎ手が接続される。
【００４０】
なお、ピストンストッパー３２を下移動させる際にはロック部材３４を例えば反時計方向に回転してピストンストッパー３２を固定部材３１から緩める必要があることは上記実施例の場合と同様である。またピストンストッパー３２をを上方向に移動させた場合にはロック部材３４を例えば時計方向に回してピストンストッパー３２を固定部材３１に固定させる点も同様である。
【００４１】
この実施例のガス圧作動弁では、弁開度制限機構３０のシャフト部３２を上下方向へ適宜移動して、ピストン（駆動部）２８の上端とシャフト部３２の下端との距離を適宜調整しておく。そして、作動空気が断の状態では、スプリング２８ａの反発力によりピストン（駆動部）２８が下方に押し上げられる結果、メタルダイヤフラム２４が弁シート２２に押圧されて弁が閉じる。
【００４２】
一方、この状態において供給部３１ｂから圧搾空気を供給した場合、この圧搾空気が供給部３１ｂからシャフト部３２の中空部３２ａを介し、供給孔２７を経てピストン（駆動部）２８に供給される。このため、ピストン（駆動部）２８がスプリングの反発力に抗して押し上げられ、メタルダイヤフラム２４に負荷されていた下向きの押圧力がなくなり、メタルダイヤフラム２４が自己の復元力によって弁シート２２から離れて弁が開く。
【００４３】
そして、上記のようにピストン（駆動部）２８の上部にシャフト部３２の下端があるため、ピストン（駆動部）２８の上方移動は、ピストン（駆動部）２８の上端がシャフト部３２の下端に当接した時点で停止される。このようにして、弁開度制限機構３０によってピストン（駆動部）２８の上方移動が規制され、ダイヤフラム弁の弁開度が調整される。
【００４４】
なお、図５に、同様な開度制限機構３０を、図１で説明したＮＯ型のダイヤフラム弁に取り付けて構成した例を示した。
【００４５】
（実施例３）
次に、本発明に係る弁作動検知機構を有したガス圧作動弁の実施例を説明する。図６は、この実施例の弁作動検知機構４０を示した断面図である。図７は図６を矢視Ａより見た図、図８は同じく矢視Ｂから見た平面図を表している。また図９は図６に示した弁作動検出機構を図１２と同じ構造のＮＣ型のメタルダイヤフラム弁１００に装着した状態を示したものである。
【００４６】
この弁作動検出機構４０は、上記のダイヤフラム弁１００に取り付けられる固定部材４１、固定部材４１の内側に上下方向に移動自在ないし摺動自在に設けられたシャフト部４２、マイクロスイッチ（リミットスイッチ）４３等から構成される。シャフト部４２の外周と固定部材４１の内周との間にはＯリング４８が配置されている。なお、スイッチとしては、マイクロスイッチ（リミットスイッチ）に代えて近接スイッチ等を用いる構成としても良い。
【００４７】
固定部材４１には、ダイヤフラム弁１００のピストン（駆動部）の操作用ガスの供給孔に螺合される接続部４１ａが設けられている。またこの接続部４１ａは、これに並設して一体に形成された圧搾空気の供給部４１ｃと一体に形成されている。供給部４１ｃには、図示しない圧搾空気の供給チューブ等に取り付けられる空気継ぎ手４５が接続される接続口４１ｄが形成されている。この接続口４１ｄは上記の接続部４１ａを経てダイヤフラム弁１００のピストン（駆動部）の操作用ガスの供給孔に連通している。
【００４８】
シャフト部４２は、摺動部材として機能するもので、その下端部４２ａは、ダイヤフラム弁１００のピストン（駆動部）の上端に当接している。シャフト部４２の下端部の外周には、固定部材４１に圧入されたブッシング４１ｅが摺動可能に挿通されている。また、ほぼ中央部において固定部材４１の内周とシャフト部４２の外周との間に配されたスプリング４７がシャフト部４２をその段部４２ｃにおいて下方に押し下げている。シャフト部４２の上端部４２ｂは、固定部材４１の上部から突出している。この上端部４２ｂの外周にはねじ溝が形成されており、このねじ溝には、２つのナット４１ｆがそれらの間にレバー４６の一端部を挟みこみ締付けて固定されている。
【００４９】
ここで、この固定部によるシャフト４２の固定位置を調節することで、シャフト部４２の下端部４２ａの位置が調整される。また、この固定位置の調節によってこのようにシャフト部４２の下端部４２ａがダイヤフラム弁１００のピストン（駆動部）の上部に密着するとともに、後述する通り、レバー４６の他端部の下面とマイクロスイッチ４３の接点４３ａとの接触状態が調整される。
【００５０】
レバー４６の他端部は、マイクロスイッチ４３のスイッチ４３ａと接離自在に対向している。マイクロスイッチ４３は、図７、８で示したように、固定部材４１にボルト４３ｂで螺着固定されているホルダー４４ｃにボルト４４ａ及びナット４４ｂにより螺着されている。これにより、マイクロスイッチ４３は、シャフト部４２の上下動によりオン、オフ動作し、その動作信号はコントロールパネルＣＰに入力される。
【００５１】
上記実施例の弁作動検出機構４０を、従来例と同じメタルダイヤフラム弁１００に装着した例を図９に示した。この場合、弁作動検出機構を構成する固定部材４１の接続部４１ａはメタルダイヤフラム弁１００のピストン（駆動部）７０の作動空気の供給孔７２に螺合されて接続される。
【００５２】
このようにして構成されるガス圧作動弁では、圧搾空気が供給されない通常状態では、レバー４６の他端部がマイクロスイッチ４３のスイッチ４３ａを押圧しており、これによりマイクロスイッチ４３のオン信号がコントロールパネルＣＰに出力される。
【００５３】
一方、空気継ぎ手４５から接続口４１ｄ、シャフト部材４２の下端部４２ａ、並びに供給孔７２を経て圧搾空気が供給された場合には、ダイヤフラム弁１００においてピストン（駆動部）７０がスプリング７８の反発力に抗して上方移動する。そしてこの上方移動によりシャフト部４２の下端部４２ａが押し上げられるため、シャフト部４２はスプリング４７に抗しつつレバー４６とともに上方移動する。すると、シャフト部４２の上端部に固定されたレバー４６の他端部とマイクロスイッチ４３の接点とが離れるため、マイクロスイッチ４３はオフとなり、このオフ信号がコントロールパネルＣＰに出力される。
【００５４】
このようにして、弁作動検知機構４０によってダイヤフラム弁１００におけるピストン（駆動部）７０の上下動作、並びにこれに伴う弁の開閉動作が検出される。
【００５５】
（実施例４）
図１０は、弁作動検知機構の別の実施例を示したものである。この弁作動検知機構は、上記の実施例３の弁作動機構４０において固定部材４１に形成する圧搾空気等の供給部４１ｃを、シャフト部材４２の延在方向と直角に形成したものである。その他の構成は、実施例３と同様である。このため、各構成部材には、実施例３の弁作動機構４０と同じ符号を用いた。
【００５６】
（実施例５）
図１１は、弁作動検知機構の他の実施例を示したものである。この実施例においても、実施例３と同じ構成部材は同じ符号を用いた。
【００５７】
この弁作動検知機構は、基本的には上記実施例４のものと同じであるが、固定部材４１をダイヤフラム弁１００への接続部分４１Ａと、圧搾空気の供給部分４１Ｂの２つに分割している。そして、供給部分４１Ｂを接続部分４１Ａに対して回動自在な構成とすることで、供給空気の継ぎ手方向が３６０°自由に変えられるようにしたものである。このように回動自在とするため、一対のスプリングピン４９によって接続部分４１Ａと供給部分とを連結している。
【００５８】
ここで、接続部分４１Ａの外周にはスプリングピン４９が位置する回転溝４９ａが、また供給部分４１Ｂにはスプリングピン４９の固着孔４９ｂが、それぞれ形成されている。そして、供給部分４１Ｂに接続部分４１Ａやシャフト部材４２等を組み込んだ状態で、供給部分４１Ｂの固着孔４９ｂにスプリングピン４９を横から打ち込むことで、接続部材４１Ａに対して供給部分４１Ｂが回動自在に取り付けられる。
【００５９】
【発明の効果】
本発明では、ガス圧作動弁の操作用ガスの供給孔に弁作動検出機構を取り付け、駆動部の移動により外部に設けたスイッチを動作させて弁作動を検知するようにしたものである。このため、弁作動検出機能の付加のための特別の加工をなくすことができて、弁作動検出機構を容易に後付けできる。
【００６０】
また、ガス圧作動弁の供給孔に上記の機構を取り付ける構成なので、駆動部や供給孔の配置が同じ構造のガス圧力作動弁に同じ弁作動検出機構を取り付けることができてコストの低減を図ることができるとともに、弁作動検出機構を低コストで設計上の自由度を持たせつつ設けることが可能となる。
【００６１】
その他、弁作動検出機構を備えたガス圧作動弁では、弁の開閉信号出力用のスイッチを駆動部の外に露出しているため、メンテナンスが容易となるし、また弁動作の確認が容易に行えてシステム全体の安全性向上が期待できる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】参考発明に係る弁開度制限機構付きのガス圧作動弁の実施例を示した断面図である。
【図２】図１の実施例に用いられる弁開度制限機構の上面図である。
【図３】図１の実施例に用いられる弁開度制限機構の横断面図である。
【図４】参考発明に係る弁開度制限機構付きのガス圧作動弁の別の実施例を示した断面図である。
【図５】参考発明に係る弁開度制限機構付きのガス圧作動弁のその他の実施例を示した断面図である。
【図６】本発明に係る弁作動検知部を備えたガス圧作動弁の実施例に用いられる弁作動検知部の断面図である。
【図７】図６の弁作動検知部を図６において右側からみた説明図である。
【図８】図６の弁作動検知部を図６において上側からみた説明図である。
【図９】図６の弁作動検知部をガス圧作動弁に取り付けた状態を示した断面図である。
【図１０】本発明に係る別の弁作動検知部の断面図である。
【図１１】本発明に係る他の弁作動検知部の断面図である。
【図１２】弁作動検知部を備えたガス圧作動弁の従来例を示した断面図である。
【符号の説明】
１、２１、７１  本体、
２、２２、８２  弁シート、
３、３３、８１  ダイヤフラム、
７、２７、７２  供給孔、
８、２８、７０  駆動部（ピストン）、
１０、２０  開度制限機構、
１１、３１、４１  固定部材、
１２、４２  シャフト部材、
１４、３４  ロック部材、
３２  ピストンストッパー、
４３  マイクロスイッチ。
【図１】
0003568602.tif 000002
【図２】
0003568602.tif 000003
【図３】
0003568602.tif 000004
【図４】
0003568602.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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