(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射ミラーを備えた揺動体と、
一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、
前記支持部材の他端が接続される第１のプレートと、
前記第１のプレートに接合され前記揺動体と対向配置される第２のプレートと、
前記揺動体を静電気力で駆動するため前記第２のプレートに配置される電極と、
を有するガルバノミラーにおいて、
前記電極は、前記一対の支持部材を結ぶ軸に対して対称な位置に配置された第１および第２の電極を備え、これら第１および第２の電極にほぼ同一の初期電位を与えることにより前記揺動体が前記軸回りにバランスするように吸引力を発生させた状態で、前記第１および第２の電極のうち一方の電位を前記初期電位より大きくし、他方の電位を前記初期電位よりも小さくすることにより前記揺動体が前記軸回りに揺動するように吸引力を変化させることを特徴とするガルバノミラー。
【請求項２】
前記揺動体と前記電極との間の静電容量を測定することにより、前記揺動体と前記第２のプレートとのギャップ長を検出することを特徴とする請求項１記載のガルバノミラー。
【請求項３】
前記ギャップ長の変化を用いて、前記反射ミラーの傾きを補正することを特徴とする請求項２記載のガルバノミラー。
【請求項４】
レーザ光を発生する光源と、
前記光源からのレーザ光を反射するガルバノミラーと、
前記ガルバノミラーにより反射したレーザ光を受け、光ディスクに焦点を形成する対物レンズと、
前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載するキャリッジと、
前記キャリッジを前記光ディスクの径方向に駆動する駆動手段と、
前記レーザ光の前記光ディスクからの反射光を処理して前記駆動手段への駆動信号および前記光ディスクからの再生信号を生成する信号処理手段と、
を有する光ディスク装置において、
前記ガルバノミラーは、
反射ミラーを備えた揺動体と、
一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、
前記支持部材の他端が接続される第１のプレートと、
前記第１のプレートに接合され前記揺動体と対向配置される第２のプレートと、
前記揺動体を静電気力で駆動するため前記第２のプレートに配置される電極と、
を有し、
前記電極は、前記一対の支持部材を結ぶ軸に対して対称な位置に配置された第１および第２の電極を備え、これら第１および第２の電極にほぼ同一の初期電位を与えることにより前記揺動体が前記軸回りにバランスするように吸引力を発生させた状態で、前記第１および第２の電極のうち一方の電位を前記初期電位より大きくし、他方の電位を前記初期電位よりも小さくすることにより前記揺動体が前記軸回りに揺動するように吸引力を変化させることを特徴とする光ディスク装置。
【請求項５】
前記揺動体と前記電極との間の静電容量を測定することにより、前記揺動体と前記第２のプレートとのギャップ長を検出することを特徴とする請求項４記載の光ディスク装置。
【請求項６】
前記ギャップ長の変化を用いて、前記反射ミラーの傾きを補正することを特徴とする請求項５記載の光ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光を所定の方向に反射するためのガルバノミラー、およびこのガルバノミラーを搭載した、対物レンズへの入射光の向きを変化させながら光ディスクへの情報の記録再生を行う光ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のとおり、コンパクトディスク（ＣＤ）やレーザディスク（ＬＤ）に代表されるように、レーザ光を用いて情報の再生を行う光ディスク装置が広く普及している。また最近では、光ディスク装置はコンピュータの記憶装置として利用されるようになっている。
【０００３】
また、併せてデータの高速記録再生が可能となるように、光学系を搭載する光学ヘッドの高速移動が要求されるようになった。
このような光学ヘッドの高速移動の要求に対し、光学ヘッドの質量をできるだけ小さくして素早いシークを実現する方式が提案されている。このような方式として、半導体レーザ（光源）やフォトディテクタ（検出器）などを光学ヘッドに搭載せず、光ディスクに焦点を形成する対物レンズのみを光学ヘッドに搭載して移動させる分離光学方式が採用されている。
【０００４】
以下、分離光学方式の一例を図１０を参照して説明する。
半導体レーザ１１１  やフォトディテクタ１１２  などの固定光学系１１３  は、図示しないベースなどに固定されている。半導体レーザ１１１  から照射されたレーザ光Ｌ  は、同じく固定配置されたガルバノミラー１１４  を介して光学ヘッド１１５  内に搭載された対物レンズ１１６  に与えられている。対物レンズ１１６  は光ディスクＤ  上のピットに焦点を形成し、その反射光を再び逆の経路でフォトディテクタ１１２  に導く。光学ヘッド１１５  は図示しない駆動手段によってトラッキング方向Ｘおよびフォーカシング方向Ｙにそれぞれ駆動される。
【０００５】
このような方式によれば、光学ヘッド１１５  をトラッキング方向Ｘへ駆動する際に発生する微小な光路の傾き（対物レンズ１１６  へのレーザ光の入射角度の変化）を、固定配置されたガルバノミラー１１４  の揺動角度の制御によって補正することができる。そのため対物レンズ１１６  自体を傾ける手段などを光学ヘッド１１５  に搭載する必要がなくなり、光学ヘッド１１５  全体の質量を低減することができ、素早いシークを実現している。
【０００６】
このようにして利用される従来のガルバノミラー１１４  は、具体的には図１１乃至図１３に示す構造となっている。ここで、図１１はガルバノミラー１１４  の平面図、図１２は図１１中のＡ−Ａ線断面図、図１３は図１１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【０００７】
ガルバノミラー１１４  は、レーザ光を反射するための反射ミラー１１７  と、この反射ミラー１１７  を固定した揺動体１１８  と、この揺動体１１８  を固定部１１９  に対して支持する２枚の支持体１２０ａ，１２０ｂ  とを備えている。固定部１１９  は、ヨーク１２１  と磁石１２２  とから構成されており、揺動体１１８  の側面に固定されたコイル１２３  に対して磁界を作用させることにより、反射ミラー１１７  を支持体１２０ａ，１２０ｂ  の軸回りに揺動させることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガルバノミラー１１４  の反射ミラー１１７  表面は、温度変化や経年変化によって徐々に傾いてしまう危険性がある。このような傾きが発生すると、ガルバノミラー１１４  からの反射光を正確に対物レンズ１１６  へ導くことが困難となってしまうため、トラッキングオフセットの要因となり、正確なトラッキング動作を阻害してしまう危険性がある。また、この傾きの影響は、ガルバノミラー１１４  から対物レンズ１１６  までの距離に応じて変化するため、ガルバノミラー１１４  の揺動角度の補正を光学ヘッド１１５  の現在位置によってさらに補正するといった複雑な制御が必要となってしまう。
【０００９】
したがって、ガルバノミラー１１４  のみ光学ヘッド１１５  に搭載し、ガルバノミラー１１４  と対物レンズ１１６  との距離を一定に保った状態の固定光学方式が望まれている。
【００１０】
ところが、上述のとおり、従来のガルバノミラー１１４  はヨーク１２１  ，磁石１２２  ，コイル１２３  などを備えているため質量が大きく、光学ヘッド１１５  に搭載すると光学ヘッド１１５  の高速シークが阻害されてしまい実質的には不可能であった。
そこで本発明は、軽量・小形な構成のガルバノミラー、および高速シークが可能な光ディスク装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明では、反射ミラーを備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続される第１のプレートと、前記第１のプレートに接合され前記揺動体と対向配置される第２のプレートと、前記揺動体を静電気力で駆動するため前記第２のプレートに配置される電極とを有するガルバノミラーにおいて、前記電極は、前記一対の支持部材を結ぶ軸に対して対称な位置に配置された第１および第２の電極を備え、これら第１および第２の電極にほぼ同一の初期電位を与えることにより前記揺動体が前記軸回りにバランスするように吸引力を発生させた状態で、前記第１および第２の電極のうち一方の電位を前記初期電位より大きくし、他方の電位を前記初期電位よりも小さくすることにより前記揺動体が前記軸回りに揺動するように吸引力を変化させることを特徴とするガルバノミラーとした。
【００１２】
また、レーザ光を発生する光源と、前記光源からのレーザ光を反射するガルバノミラーと、前記ガルバノミラーにより反射したレーザ光を受け、光ディスクに焦点を形成する対物レンズと、前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載するキャリッジと、前記キャリッジを前記光ディスクの径方向に駆動する駆動手段と、前記レーザ光の前記光ディスクからの反射光を処理して前記駆動手段への駆動信号および前記光ディスクからの再生信号を生成する信号処理手段とを有する光ディスク装置において、前記ガルバノミラーは、反射ミラーを備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続される第１のプレートと、前記第１のプレートに接合され前記揺動体と対向配置される第２のプレートと、前記揺動体を静電気力で駆動するため前記第２のプレートに配置される電極とを有し、前記電極は、前記一対の支持部材を結ぶ軸に対して対称な位置に配置された第１および第２の電極を備え、これら第１および第２の電極にほぼ同一の初期電位を与えることにより前記揺動体が前記軸回りにバランスするように吸引力を発生させた状態で、前記第１および第２の電極のうち一方の電位を前記初期電位より大きくし、他方の電位を前記初期電位よりも小さくすることにより前記揺動体が前記軸回りに揺動するように吸引力を変化させることを特徴とする光ディスク装置とした。
【００１５】
以上のような本発明によれば、ヨーク，磁石，コイルなど質量の大きい要素を含むことなく、軽量・小形な構成のガルバノミラー、および高速シークが可能な光ディスク装置が実現する。
【００１６】
また本発明では、前記揺動体に対して所定の電位差を持つように独立して電位制御されているため、反射ミラー面と直交する方向の静的な変位に加えて、動的な回転変位が発生する。この場合、反射ミラー面と直交する方向の動的な変位は励起されていない。そのため、信号の記録動作や再生動作を行っている間は高精度のトラッキング動作を維持することが可能となり、良好な記録再生特性を得ることができるようになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
まず、図１から図４を用いて本発明のガルバノミラーを搭載した光ディスク装置について説明する。ここで、図１は光ディスク装置の内部構造を示す断面図、図２は光学ヘッドを含む駆動系の平面図、図３は光学ヘッドの断面図、図４は光学ユニットの断面図である。
【００１８】
情報の記録再生に供されるディスク１  （光ディスク，光磁気ディスクなど）は、図示しないベースに固定されたスピンドルモータ２  に対してマグネットチャック等のチャッキング手段により保持されており、記録再生時にはこのスピンドルモータ２  によって安定に回転駆動される。
【００１９】
ディスク１  に照射するためのレーザ光を生成する半導体レーザ３  は、フォトディテクタ４  とＨＯＥ（Ｈｏｌｏｇｒａｍｉｃ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｅｌｅｍｅｎｔ）  素子５  などと共に光学ユニット６  を構成しており、この光学ユニット６  は光学ヘッド７  の下部に固定されている。なお、光学ユニット６  の下部には放熱性を高める目的で複数の凹凸が形成されている。
【００２０】
半導体レーザ３  より発せられたレーザ光は、ガラス面に形成されたＨＯＥ  素子５  を通過し、ＨＯＥ  素子５  の反対面に固定されたプリズム８  で９０゜向きを変え、ガルバノミラー９  （詳細は後述する）で再び９０゜向きを変え、光学ヘッド７  の上部に配置された対物レンズ１０に導かれる。そして、この対物レンズ１０よりディスク１  の記録トラック上にレーザ光を集光させ焦点を形成する。
【００２１】
またディスク１  からの反射光は、対物レンズ１０に戻り、ガルバノミラー９  ，プリズム８  を経由し、ＨＯＥ  素子５  で向きを変えてフォトディテクタ４  に戻される。フォトディテクタ４  に取り込まれた反射光から、記録情報信号，フォーカスオフセット信号，トラックオフセット信号等が生成される。そして、フォーカスオフセット信号を用いることにより対物レンズ１０のフォーカス方向の位置ズレが検出され、この位置ズレを補正するようにフォーカスコイル１１に電流を流す制御動作を行う。また、トラックオフセット信号を用いることにより対物レンズ１０のトラック方向の位置ズレが検出され、この位置ズレを補正するようにリニアモータコイル１２とガルバノミラー９  に電圧を加えて制御動作を行う。
【００２２】
対物レンズ１０は、プラスチックマグネットで形成された対物レンズホルダ１３に保持されている。また平行板バネ１４の一端が対物レンズホルダ１３に固定され、平行板バネ１４の他端は光学ヘッド７  に固定されることにより、対物レンズ１０はその光軸方向に移動可能に支持されている。プラスチックマグネットからなる対物レンズホルダ１３と、光学ヘッド７  に巻装固定されたフォーカスコイル１１に流れる電流との間に電磁作用が作用し、対物レンズ１０にフォーカス駆動力を発生させる。
【００２３】
リニアモータコイル１２は筒状に形成されており、光学ヘッド７  の両側面に各１個が固定されている。光学ヘッド７  のリニアモータコイル１２を挟んで両側には、計４個の滑り軸受１５が形成されており、ディスク１  の径方向に延設された２本のガイドシャフト１６とそれぞれ係合している。これにより光学ヘッド７  はディスク１  の半径方向に移動できるように支持されている。
【００２４】
ガイドシャフト１６は磁性体で形成されており、磁気回路のヨークとしての役割も果たしている。そして、ガイドシャフト１６の両端にはコ字形のバックヨーク１７が固定されている。また磁気ギャップを挟んでリニアモータコイル１２と対向する位置にはラジアル磁石１８が配置され、バックヨーク１７に固定されている。これらガイドシャフト１６，バックヨーク１７，ラジアル磁石１８がラジアル磁気回路１９を形成しており、リニアモータコイル１２に磁界を作用させ、リニアモータコイル１２に流れる電流との電磁作用により、光学ヘッド７  にディスク１  の半径方向への駆動力を発生させている。
【００２５】
図５は、前述のトラックオフセット信号の処理手順を示すブロック図である。まず、トラックオフセット信号は第１のフィルタ４１および第２のフィルタ４２にそれぞれ入力される。ここで第１のフィルタ４１は一種のローパスフィルタが採用されている。したがって、第１のフィルタ４１を通過する信号は低周波数領域の信号となり、リニアモータドライバ４３およびリニアモータコイル１２のための信号として利用される。また、第２のフィルタ４２を通過する信号は高周波数領域の信号となり、ガルバノミラーユニットドライバ４４およびガルバノミラー９  のための信号として利用される。このように処理された信号は、リニアモータコイル１２を付勢して光学ヘッド７  の駆動信号として、またガルバノミラー９  の揺動角度の制御信号として、それぞれ利用される。このようにしてディスク１  の記録トラック上に情報が記録され、またディスク１  の記録トラック上から情報が読み取られる。
【００２６】
続いて図６乃至図８を参照してガルバノミラー９  の具体的な構造を説明する。図６はガルバノミラーの第１実施例を示す分解斜視図、図７はその断面図、図８は第２のプレートの平面図である。
【００２７】
ガルバノミラー９  は図５に示されるように、第１のプレート２１と第２のプレート２２が積層された構造をなしている。
第１のプレート２１は、ロ字形をなす中空構造を有している。この中空部には、半導体レーザ３  からのレーザ光を反射するための反射ミラー２４と、この反射ミラー２４を表面に形成してなる揺動体２５と、この揺動体２５を第１のプレート２１に接続する２枚の弾性体（支持部材）２６とが配置されている。
【００２８】
ここで、反射ミラー２４と揺動体２５を合計した可動部分の質量の重心は、ちょうど２枚の弾性体２６を結ぶ線上の中間付近となるように構成されている。
そして、これら反射ミラー２４，揺動体２５，弾性体２６は、シリコンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体的に形成されており、反射ミラー２４の部分は半導体の鏡面加工により揺動体２５上に直接的に製作されている。
【００２９】
なお、反射ミラー２４は、揺動体２５に対して２〜３μｍ  突出して形成されている。また、弾性体２６は、揺動体２５と第１のプレート２１とを電気的に絶縁する材料で形成されている。
【００３０】
第２のプレート22は、第１のプレート21に対して拡散接合、あるいは陽極酸化接合等の手段によって接合されている。第２のプレート22はガラス系の部材で形成されており、第１のプレート21に対して電気的に絶縁されている。
【００３１】
また、第１のプレート２１および揺動体２５と第２のプレート２２とは、熱膨張係数のほぼ同じ材料で形成されており、これによって温度変化が揺動体２５に与える熱歪みの影響を極力防止できるようにしてある。すなわち第２のプレート２２としては、第１のプレート２１とほぼ同じ熱膨張係数を持ったガラス系の部材が選択される。
【００３２】
一方、第２のプレート２２の揺動体２５と対向する部位には、２枚の弾性体２６を結ぶ線（第１のプレート２１の中心線）に対して対称な関係に、計２枚の電極２８，２９  が設けられている。これらの電極２８，２９  は第２のプレート２２に対して蒸着やスパッタなどの手段により形成されている。なお、電極２８，２９  は透明電極で構成されていてもよい。
【００３３】
続いて、図９を参照して本発明のガルバノミラー９  の駆動方法について説明する。なお、以下の説明においては電極２８を「第１の電極」、電極２９を「第２の電極」と記載する。
【００３４】
まず、半導体で形成された揺動体２５を例えば＋に帯電させ、第１の電極２８および第２の電極２９を−でかつ同じ初期電位Ｖ０  に帯電させる。この場合、第１の電極２８で発生する吸引力と第２の電極２９で発生する吸引力とがバランスするため、揺動体２５には揺動軸回りの回転トルクは発生しない。
【００３５】
ここで、揺動体２５に回転トルクを作用させる場合には、第１の電極２８の電位をＶ０  よりｄＶだけ大きくし、第２の電極２９の電位は逆にＶ０  よりｄＶだけ小さくする。すると、第１の電極２８で発生する吸引力と第２の電極２９で発生する吸引力とのバランスが崩れ、揺動体２５と第１の電極２８が近接する方向に２枚の弾性体２６がねじれ変形することにより揺動体２５が回転する。
【００３６】
また、揺動体２５をこの方向と逆向きの方向に回転させる場合は、今度は第１の電極２８の電位をＶ０  よりｄＶだけ小さくし、第２の電極２９の電位をＶ０  よりｄＶだけ大きくすればよい。ここで、ｄＶとしては揺動体２５を回転させるのに必要な回転トルクに比例した値を設定する。
【００３７】
もしもｄＶがＶ0より大きくなった場合（すなわちｄＶ＝２Ｖ0となった場合）には、電位の小さくなった方の電極の電位を図９に示すように０に設定し、逆向きの電位を与えることはしない。逆向きの電位を与えてしまうと揺動体25と電極28または電極29とが同じ極性になってしまうため、吸引力が発生しなくなってしまうからである。
【００３８】
また、Ｖ０  の値としては、通常のトラッキング動作時（リニアモータコイル１２による対物レンズ１０のトラッキング方向位置決めを補助するためのガルバノミラーによる反射角制御時）に必要なｄＶの値より大きく設定しておくことが好ましい。このように設定しておくことにより、トラッキング動作時には電位と偏差との間の線形性が保たれる。
【００３９】
そしてこのように電極の制御方法を採用することにより、反射ミラー２４面と直交する方向の静的な変位に加えて、動的な回転変位が発生する。一方、反射ミラー２４面と直交する方向の動的な変位は励起されないものとなる。そのため、信号の記録動作や再生動作を行っている間は高精度のトラッキング動作を維持することが可能となり、良好な記録再生特性を得ることができるようになる。
【００４０】
また、最大印加電圧を初期電位より大きく設定することにより、シーク動作終了時のトラック引き込み範囲を広げることができる。
なお、上述の例では、揺動体２５を＋に帯電させ、第１の電極２８および第２の電極２９を−に帯電させる場合を説明したが、例えば揺動体２５を−に帯電させ、第１の電極２８および第２の電極２９を＋に帯電させても同様の効果が得られる。さらに、揺動体２５をグランドに接続して電位ゼロの状態に設定した場合には、電極２８，２９  は共に＋に帯電させるか、あるいは共に−に帯電させても同様の効果が得られる。
【００４１】
また、揺動体２５と電極２８，２９  の間の静電容量を測定することにより、揺動体２５と第２プレート２２とのギャップ長を検出することができ、これによって揺動体２５の回転（揺動）角度を正確に検出することができる。そして、その検出値を用いてトラッキングオフセットを電気的に補正するすることにより、ガルバノミラー特有の回転角度の制約をほとんどなくすことができ、安定かつ精度の高いトラッキング制御を行うことができる。
【００４２】
また、静電容量の変化から測定された揺動体２５と第２のプレート２２とのギャップ長の変化を用いて、温度上昇や経時変化による反射ミラー２４面の傾きを補正することもできる。
【００４３】
このような構成を採用した本発明のガルバノミラー９  によれば、ヨーク，磁石，コイルなど質量の大きい要素を具備していないために従来よりも大幅に軽量化が図られている。そのため、光学ヘッド７  にガルバノミラー９  を搭載しても光学ヘッド７  は軽量・小形を維持することができ、光学ヘッド７  の高速シークが可能となる。
【００４４】
また、静電力を利用して駆動力を発生する構成であるため、消費電力を少なくすることができ、光学ヘッド７  に搭載される光学ユニット６  や対物レンズ１０などに与える熱的悪影響を極力回避することができる。
【００４５】
また、揺動体２５の回転軸上、すなわち２枚の弾性体２６を結ぶ線上に揺動体２５の重心が配置され、これら弾性体２６のねじれ変形により回転（揺動）が実現しているため、外乱加速度が作用しても回転変形に影響を及ぼすことがない。
【００４６】
さらに、対物レンズ１０を駆動するために用いられているコイルや磁石といった電磁駆動要素に対して、電磁力を全く必要としない静電駆動要素からなるガルバノミラーを用いている。すなわち、電磁力と静電力とを用いることにより、互いの駆動力が干渉し合うなどといった不具合をほぼ完全に防止することができる。そのため、ガルバノミラー９  を光学ヘッド７  へ搭載することによる悪影響が排除できるとともに、ガルバノミラー９  と対物レンズ１０とを極めて近接した位置（例えば図１に示すように対物レンズの真下など）に配置することも容易となり、装置設計の自由度が大幅に改善される。そして、ガルバノミラーを揺動し傾けることによる光軸中心の対物レンズ位置での移動を抑制することが可能となり、結果としてトラッキングおよびフォーカス制御信号に発生するオフセットを小さくすることができ、スポット位置をより高精度に定めることが可能となる。
【００４７】
また、従来はガルバノミラーと揺動体との接合、およびコイルと揺動体との接合が接着剤などで行われていたが、本発明では接着剤などの介在物が一切用いられていない。そのため、コイルや磁石などで発生するトルクが接着層を介して伝達されることがなく、振周波数を極めて高く設定することが可能となる。つまり、接着部分の剛性不足によってガルバノミラーの駆動周波数特性が劣化すること（例えば２０ｋＨｚ  付近に共振点を持ち、高域までサーボをかけることができなくなってしまうというような不都合）がないため、高周波帯域まで制御動作を行うことが極めて容易となり、精度の高い位置決め動作が可能になる。
【００４８】
また、揺動体２５の回転軸と弾性体２６の長手方向とがほぼ一致しており、しかも揺動部２５（可動部分）の質量の重心がちょうど２枚の弾性部２６を結ぶ線上の中間付近となるように構成されている。そのため、装置に外乱加速度が作用したとしても、揺動体２５の回転動作に影響を及ぼすことがない。
【００４９】
なお、上述した実施例においては、第２のプレート２２はガラス板等の電気的絶縁材料で形成されているが、例えばシリコンを主体とする半導体の表面に酸化膜による絶縁層を設けたものを用いてもよい。このような構成であっても同様な効果が得られる。
なお、本発明は上述した各実施例および変形例に限定されるものではなく、その主旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できることは言うまでもない。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、軽量・小形な構成のガルバノミラー、および高速シークが可能な光ディスク装置が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ディスク装置の内部構造を示す断面図。
【図２】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。
【図３】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。
【図４】光学ユニットの断面図。
【図５】トラックオフセット信号の処理手順を示すブロック図。
【図６】本発明に係るガルバノミラーを示す分解斜視図。
【図７】ガルバノミラーの断面図。
【図８】第２のプレートの平面図。
【図９】ガルバノミラーの電極に与える電位と偏差との関係を示すグラフ。
【図１０】従来の分離光学方式の一例を示す構成図。
【図１１】従来のガルバノミラーを示す平面図。
【図１２】図１１中のＡ−Ａ線断面図。
【図１３】図１１中のＢ−Ｂ線断面図。
【符号の説明】
１…ディスク
２…スピンドルモータ
３…半導体レーザ
４…フォトディテクタ
５…ＨＯＥ素子
６…光学ユニット
７…光学ヘッド
８…プリズム
９…ガルバノミラー
１０…対物レンズ
１１…フォーカスコイル
１２…リニアモータコイル
１３…対物レンズホルダ
１４…平行板バネ
１５…滑り軸受
１６…ガイドシャフト
１７…バックヨーク
１８…ラジアル磁石
１９…ラジアル磁気回
２１…第１のプレート
２２…第２のプレート
２４…反射ミラー
２５…揺動体（支持部材）
２６…弾性体
２８，２９  …電極
４１…第１のフィルタ
４２…第２のフィルタ
４３…リニアモータドライバ
４４…ガルバノミラーユニット
【図１】
0003558312.tif 000002
【図２】
0003558312.tif 000003
【図３】
0003558312.tif 000004
【図４】
0003558312.tif 000005
【図５】
0003558312.tif 000006
【図６】
0003558312.tif 000007
【図７】
0003558312.tif 000008
【図８】
0003558312.tif 000009
【図９】
0003558312.tif 000010
【図１０】
0003558312.tif 000011
【図１１】
0003558312.tif 000012
【図１２】
0003558312.tif 000013
【図１３】
0003558312.tif 000014