(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視区域から吸入した空気中に浮遊する煙粒子を光学的に検出して火災を判断する煙感知装置に於いて、
レーザダイオードに続いて配置された結像レンズにより、前記レーザダイオードから出射されたレーザ光を集光し、吸入空気が通過する検煙領域に、前記レーザダイオードの出射面の光源像を結像し、１μｍ前後の微少なスポット領域を形成する投光部と、
前記結像レンズによる前記レーザダイオードの光源像の結像位置に対し、前記レーザ光の投光光軸に直交しかつ前記結像位置を過ぎて拡散する前記レーザ光の電界方向と平行な方向に配置される受光素子と、
前記検煙領域に形成された前記結像位置の微少なスポット領域を煙粒子が通過するごとに、前記煙粒子による散乱光を前記受光素子で受光することにより得られる受光パルス信号を出力する受光部と、
前記受光部からの受光パルス信号のパルス幅を検出し、該パルス幅の単位時間当たり合計パルス幅に基づいて煙濃度を検出する煙濃度検出部と、
を設けたことを特徴とする煙感知装置。
【請求項２】
請求項１記載の煙感知装置に於いて、前記煙濃度検出部は、
前記受光部からの受光パルス信号に所定の閾値を設定し、該閾値を越える受光パルス信号のパルス幅をもつ矩形波信号に波形整形する比較部と、
前記比較部からの矩形波信号を前記単位時間毎に積分する積分部と、
前記積分部による前記単位時間毎の積分値を抽出して保持するホールド部と、
前記ホールド部に保持された積分値を煙濃度に変換する煙濃度変換部と、
を備えたことを特徴とする煙感知装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、監視区域から吸引した空気中に浮遊する煙粒子をレーザ光を用いて光学的に検出して火災を判断する煙感知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、コンピュータルームや半導体製造設備のクリーンルームに代表される清浄空間で起きる火災を極く初期に検出するため、超高感度の煙感知装置が使用されている。
この超高感度の煙感知装置は、清浄空間に設置した配管より空気を吸引し、吸引した空気に含まれる煙粒子をレーザダイオードを照射した検煙領域に通し、受光素子で検出された煙粒子の散乱光による受光パルス信号の内、所定の閾値を越えた受光パルス信号の単位時間当たりの数をカウントし、この単位時間当たりのカウント数に基づいて０．０５〜０．２０％／ｍといった範囲の微弱な煙濃度を検出している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような受光パルス信号のパルスカウントにより煙濃度を検出する超高感度の煙感知装置にあっては、吸引する空気の流量の変化により単位時間当たりの散乱光のカウント数が変化してしまい、正確な煙濃度の検出ができない問題がある。
【０００４】
この問題を解消するため従来装置にあっては、流量計により吸引した空気の流量を測定し、設定流量と検出流量から補正係数を求め、単位時間当たりのカウント数を補正するようにしている。即ち、設定流量Ｑｒに対し実際の検出流量Ｑが増加した場合には、単位時間当たりのカウント数が増加して煙濃度が高めになることから、補正係数Ｋ＝Ｑｒ／Ｑを求め、これを単位時間当たりのカウント値に掛けて設定流量Ｑｒに換算したカウント値に補正して正しい煙濃度を検出できるようにしている。
【０００５】
しかし、吸引空気の流量変化による単位時間当たりのカウント数を補正するためには、流量計が必要となり、装置コストがかなり高くなる。また流量計に不具合が生じたときには煙濃度が正確に検出できなくなる問題もある。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたもので、吸入空気の流量計測を必要とすることなく、吸入空気の流量が変化しても正確に散乱光のカウントに基づく煙濃度の検出ができる超高感度の煙感知装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため本発明は次のように構成する。まず本発明は、監視区域から吸引した空気中に浮遊する煙粒子を光学的に検出して火災を判断する煙感知装置であり、レーザダイオードに続いて配置された結像レンズにより、レーザダイオードから出射されたレーザ光を集光し、吸入空気が通過する検煙領域に、レーザダイオードの出射面の光源像を結像し、１μｍ前後の微少なスポット領域を形成する投光部と、結像レンズによるレーザダイオードの光源像の結像位置に対し、レーザ光の投光光軸に直交しかつ結像位置を過ぎて拡散するレーザ光の電界方向と平行な方向に配置される受光素子と、検煙領域に形成された結像位置の微少なスポット領域を煙粒子が通過するごとに、煙粒子による散乱光を受光素子で受光することにより得られる受光パルス信号を出力する受光部とを備える。
【０００７】
これに加え本発明にあっては、受光部からの受光パルス信号のパルス幅を検出し、パルス幅の単位時間当たり合計パルス幅に基づいて煙濃度を検出する煙濃度検出部を設けたことを特徴とする。
このように散乱光のカウント数に代え、本発明は、単位時間当たりの受光パルス信号のパルス幅の合計値から煙濃度を検出するため、吸引空気の流量が変化しても単位時間当たりの受光パルス幅合計値は変化せず、正確に煙濃度を検出できる。
【０００８】
即ち、基準となる設定流量に対し実際の流量が増加したとすると、検煙空間を通過する煙粒子の速度が速くなり、単位時間当たりの散乱光の受光パルス信号の数も増加する。しかし、煙粒子の検煙領域を通る通過時間が短くなるため、散乱光が受光できる時間も短くなって受光パルス信号のパルス幅が狭くなる。その結果、受光パルス信号の数が増加しても、その分、パルス幅が狭くなり、両者の相殺により単位時間当たりの受光パルス幅合計値は変化しない。
【０００９】
逆に、基準となる設定流量に対し実際の流量が減少したとすると、検煙空間を通過する煙粒子の速度が遅くなり、単位時間当たりの散乱光の受光パルス信号の数も減少する。しかし、煙粒子の検煙領域を通る通過時間が長くなるため、散乱光が受光できる時間も長くなって受光パルス信号のパルス幅が広くなる。その結果、受光パルス信号の数が減少しても、その分、パルス幅が広くなり、両者の相殺により単位時間当たりの受光パルス幅合計値は変化しない。
【００１０】
この単位時間当たり合計パルス幅に基づいて煙濃度を検出する煙濃度検出部としては、例えば、受光部からの受光パルス信号に所定の閾値を設定し、この閾値を越える受光パルス信号のパルス幅をもつ矩形波信号に波形整形する比較部と、比較部からの矩形波信号を前記単位時間毎に積分する積分部と、積分部による単位時間毎の積分値を抽出して保持するホールド部と、ホールド部に保持された積分値を煙濃度に変換する煙濃度変換部とで構成される。
【００１４】
更に、本発明の煙感知装置に使用する投光部は、検煙領域に微小なスポットを形成する結像光学系を使用することで、検煙領域となる結像位置を１μｍ前後の領域とし、粒子径が０．３〜１．０μ程度の範囲にある煙粒子を１つ単位で正確に検出できるようにしている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の煙感知装置の全体的な装置構成である。図１において、煙感知装置１はコンピュータルームや半導体製造設備を設置したクリーンルーム等の火災による煙をごく初期の段階で検出するために設置されており、煙感知装置１に監視区域に設置された検知配管２を接続している。検知配管２は例えばＴ字型の配管であり、複数の吸込穴３を備えている。
【００１６】
煙感知装置に設けた検煙部４のインレットに対しては検知配管２が接続され、アウトレット側は吸引装置７を備えたチャンバに開口されている。監視状態において、吸引装置７はモータ駆動により予め定めた所定の設定流量の空気を吸引しており、このため警戒区域に設置した検知配管２の吸込穴より吸い込まれた空気が検煙部４を通って吸引装置７から排出されている。
【００１７】
吸引装置７による吸引吸気の吸引流量は、設計上は決められているが、モータの回転変動などにより設定流量に対し実際の流量は変動しており、この吸引流量の変動に伴い検煙部４を通過する空気中に含まれる煙粒子の通過速度も変動している。
検煙部４には所定偏向方向に電界成分を持つ単偏光発振を行うレーザダイオード（ＬＤ）５と受光素子としてのフォトダイオード（ＰＤ）６が設けられ、フォトダイオード６としては例えばＰＩＮフォトダイオードが使用される。
【００１８】
検煙部４を通過する吸引した空気中に存在する煙粒子を含む空中浮遊粒子（エアロゾル）の検出は、レーザダイオード５からのレーザ光の照射による散乱光をフォトダイオード６で検出し、散乱光に応じた受光パルス信号を信号処理部８に出力して煙濃度検出のための信号処理を行う。本発明にあっては、信号処理部８における受光パルス信号に基づいた煙濃度の検出のための信号処理としては、従来のように単位時間当りの受光パルス信号の数をカウントして煙濃度に変換するのではなく、
▲１▼単位時間当たりに得られる受光パルス信号のパルス幅の合計値
▲２▼単位時間当たりに得られる受光パルス信号の積分値
のいずれかに基づいて煙濃度を検出している。
【００１９】
図２は図１の検煙部４に設けた本発明で用いる散乱光式の煙粒子検出構造の説明図である。図２においてレーザダイオード５が出射するレーザ光の電界方向が所定方向に定まったいわゆる単偏光発振を行っており、内部にレーザダイオードチップ５ａを備えている。レーザダイオード５から出射されたレーザ光は、投光光軸１１方向に向かうにつれて拡散波として広がる。
【００２０】
レーザダイオード５に続いては結像レンズ９が配置されており，レーザダイオード５からのレーザ光を集光し、検煙した空気の気流１３が通過する結像位置１０にレーザダイオード５の光源像、即ちレーザダイオードチップ５ａの出射面の光源像（ニア・フィールド・パターン）を結像し，１μｍ前後の微小なスポット領域を形成している。
【００２１】
結像レンズ９によるレーザダイオード５の光源像の結像位置１０に対しては、その投光光軸１１に例えばθ＝９０°と直交する方向に設定した受光光軸１２をもってフォトダイオード６を配置している。このフォトダイオード６の配置方向は、例えば結像位置１０を過ぎて拡散するレーザ光の光軸断面方向の光強度分布を示す楕円パターン（ファー・フィールド・パターン）１４に矢印で示す電界Ｅの方向と平行な方向に配置している。
【００２２】
このように電界Ｅの方向と平行な方向に受光素子としてのフォトダイオード６を配置することで、結像位置１０の微小スポットを通過する煙粒子による散乱光が本願発明者の実験によれば最も高い効率で受光することができる。
図３は図１の信号処理部８のブロック図である。信号処理部には制御部１５が設けられ、制御部１５に対し発光回路部１６を介してレーザダイオード５を接続し、またフォトダイオード６の出力が受光回路部１７を介して入力接続されている。更にモータを備えた吸引装置７が接続される。制御部１５には煙濃度検出部１８が設けられている。
【００２３】
図４は図３の制御部１５に設けられた煙濃度検出部１８の回路ブロックであり、受光回路部１７も含まれている。図４の煙濃度検出部１８の回路ブロックの実施形態は、単位時間Ｔ当たりに得られる散乱光の受光パルス信号のパルス幅の合計値に基づいて煙濃度を検出している。
このため煙濃度検出部１８は、増幅回路２０、比較回路２１、積分回路２２、ホールド回路２４、煙濃度変換回路２５及びタイマ回路２６を備える。増幅回路２０は図２の受光素子６で受光した結像位置１０を通過する煙粒子によるレーザ光の散乱光を受光していた受光パルス信号が入力され、この受光パルス信号は微弱な信号であるから、所定の増幅率により増幅した後、受光パルス信号ａとして比較回路に出力する。
【００２４】
図５（Ａ）は増幅回路２０から出力される受光信号ａであり、検煙領域となるレーザ光の結像位置１０を煙粒子が通過するごとに、その散乱光による受光パルス信号ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，・・・が得られている。この受光パルス信号ａ１〜ａ４は、信号の高さが煙粒子の大きさに正比例しており、またパルス幅は煙粒子がレーザ光を結像した検煙スポット領域を通過する時間に正比例する。
【００２５】
また煙粒子が検煙領域を通過する速度は、吸引装置７による吸引流量に正比例することになる。このため、吸入流量が設定流量より増加すると煙粒子の検煙領域の通過速度も増加し、その結果、受光パルス信号のパルス幅が減少する。逆に吸入空気流が減少すると煙粒子の検煙領域の通過速度も低下し、この場合には受光パルス信号のパルス幅が増加することになる。
【００２６】
図４の増幅回路２０に続いては比較回路２１が設けられる。比較回路２１には図５（Ａ）のようにアナログ的に変化するａ１〜ａ４のパルス幅を検出するためノイズレベルを超える所定値に閾値ＴＨを設定しており、閾値ＴＨを超える受光パルスａ１〜ａ４の幅を持つ図５（Ｂ）の矩形波整形信号ｂを出力する。この矩形波整形信号ｂは、受光信号ａ１〜ａ４を閾値ＴＨと比較したときのパルス幅への変換信号となる。
【００２７】
図４の比較回路２１に続いては積分回路２２が設けられ、図５（Ｂ）の受光パルス信号ａ１〜ａ４のパルス幅に応じた矩形波成形信号ｂを積分し、図５（Ｃ）に示すような積分加算信号ｃが出力される。この積分信号ｃは、単位時間Ｔに亘る４つの矩形波成形信号ｂ１〜ｂ４の積分加算値を得るもので、この積分加算値は４つの矩形波成形信号ｂ１〜ｂ４のパルス幅をＴｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４とすると、その合計パルス幅Ｔｗ、即ち
Ｔｗ＝Ｔｗ１＋Ｔｗ２＋Ｔｗ３＋Ｔｗ４
に比例したレベルを持つことになる。
【００２８】
積分回路２２に続いて設けられたホールド回路２４は、タイマ回路２６から図４（Ｄ）のように単位時間Ｔごとにリセット信号ｄが出力されることから、このリセット信号ｄの立ち上がりで積分回路２２からの積分信号ｃを取り込んで保持する。またタイマ回路２６からのリセット信号ｄは同時に積分回路２２にも与えられており、単位時間Ｔごとに積分回路２２のリセットスタートが行われる。
【００２９】
煙濃度変換回路２５は、ホールド回路２４に保持された単位時間Ｔの受光パルス信号のパルス幅合計値を煙濃度に変換する。このパルス幅合計値を煙濃度に変換するための変換テーブルは、煙粒子の粒径、検煙部の通過速度、煙粒子に対する受光パルス信号のレベル、波形成形のための閾値ＴＨ等のパラメータを決めることで、理論値として準備することができる。
【００３０】
次に図４の回路ブロックによる実施形態の動作を説明する。増幅回路２０には図５（Ａ）のようにレーザ光を絞った結像領域のビームスポットとなる検煙領域を煙粒子が通過するごとに、煙粒子の粒径に比例したピークレベルを持つ受光パルス信号が入力し、増幅回路２０による増幅で図５（Ａ）のような受光パルス信号ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，・・・が出力される。増幅回路２０からの受光パルス信号ａは比較回路２１に入力され、予め設定した閾値ＴＨと比較される。
【００３１】
例えば受光パルス信号ａ１にあっては、閾値ＴＨより低い間は図４（Ｂ）の矩形波成形信号ｂ１のようにＬレベルにあり、閾値ＴＨを超えるとＨレベルに立ち上がり、ピークレベルを過ぎて再び閾値ＴＨを下回るとＬレベルに立ち下がる矩形波の信号に波形成形される。この結果、受光パルス信号ａ１は閾値ＴＨでパルス波形を切ったパルス幅Ｔｗ１をもつ矩形波成形信号ｂ１に変換される。
【００３２】
同様にして受光パルス信号ａ２，ａ３，ａ４についても、閾値ＴＨから見たパルス幅Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４をもつ矩形波成形信号ｂ２，ｂ３，ｂ４に変換される。図５の場合には、単位時間Ｔの間に４つの受光パルス信号ａ１〜ａ４が得られている。このためタイマ回路２６からのリセット信号ｄによりリセットスタートされた積分回路２２は、図５（Ｃ）の積分信号ｃのように、矩形波整形信号ｂ１〜ｂ４のＨレベル期間に亘ってコンデンサを充電する累積積分動作を行う。
【００３３】
このため、単位時間Ｔを経過してリセット信号ｄが得られる立ち上がりタイミングで積分加算信号ｃは４つの矩形波成形信号ｂ１〜ｂ４のパルス幅Ｔｗ１〜Ｔｗ４の合計パルス幅Ｔｗに比例した値となっており、これがホールド回路２４でホールドされ、次の単位時間Ｔに亘り煙濃度変換回路２５に出力されることで、最終的な積分加算値に対応した煙濃度への変換出力が行われる。
【００３４】
ここで吸引装置７による空気の吸引流量が図５の状態から増加したとすると、検煙領域を通過する煙粒子の速度が増加し、単位時間Ｔの間に得られる受光パルス信号ａの数が増加する。例えば煙濃度が同じであったとすると、流速が２倍になれば単位時間Ｔにて得られる受光パルス信号は図５（Ａ）の４つから２倍の８つになる。
【００３５】
このため、閾値ＴＨによる比較処理で得られた矩形波成形信号ｂも流速が２倍になる前のパルス幅Ｔｗ１〜Ｔｗ４の半分となり、更に４つの矩形波成形信号が単位時間Ｔの間に加わる。その結果、図５（Ｃ）の積分加算信号ｃにあっては、周期Ｔの中に８つの矩形波成形信号があることで、パルス幅で決まる１回の積分時間は短くとも流量が増加する前の４回から８回に積分回数が増加し、単位時間Ｔで最終的に得られる積分加算信号ｃのレベルはほとんど変動しない。
【００３６】
逆に図５の吸入空気の流量が減少し例えば半分の流量になったとすると、検煙領域を通過する煙粒子の数も半分に減少し、単位時間Ｔで得られる図５（Ａ）の受光パルス信号は図示の４つから吸入空気の流量が半分になると２つに減少する。しかしながら、流速の減少に伴い受光パルス信号のパルス幅は２倍に広がっており、その結果、積分信号ｃによる積分結果はほとんど変化しない。
【００３７】
このような図４の実施形態にあっては、単位時間当たりＴで得られる受光パルス信号のパルス幅の合計値に基づいて煙濃度を検出することで、吸入空気の吸入流量に変動があっても、煙濃度が変動しない限り常に一定のパルス幅合計値が得られ、空気の流入流量の変動を受けることなう高精度の煙濃度検出が実現できる。
【００３８】
図６は図４の回路ブロックについて、その一部をＭＰＵのプログラム制御で実現している。図６において、増幅回路２０は図４の実施形態と同じであるが、続いてＡＤコンバータ２７を設け、図５（Ａ）の受光信号ａを所定のサンプリングクロックを使用してデジタルデータに変換し、ＭＰＵ２８に入力している。ＭＰＵ２８には比較部２１０、積分部２２０、ホールド部２４０、煙濃度変換部２５０及びタイマ部２６０が設けられる。
【００３９】
これらＭＰＵ２８の各処理部は、基本的には図４に示した比較回路２１からタイマ回路２６のハードウェアをＭＰＵ２８のプログラム制御により実現したものであり、基本的な相違はない。
図７は図３の制御部に設けた煙濃度検出部１８の他の実施形態であり、この実施形態にあっては、単位時間Ｔごとに受光パルス信号の積分値を求め、この積分値に基づいた煙濃度を検出するようにしたことを特徴とする。このため図７の実施形態にあっては、増幅回路２０に続いてスライス処理回路３０を設けている点が図４の実施形態と相違し、他の構成は同様に積分回路２２、ホールド回路２４、煙濃度変換回路２５及びタイマ回路２６と同じになっている。
【００４０】
図８は図７の実施形態のタイミングチャートであり、増幅回路２０で増幅された受光パルス信号は図８（Ａ）のようになり、これは図４における受光パルス信号の増幅結果を示した図５（Ａ）と同じになっている。
スライス処理回路３０は、ノイズ成分をカットするために設定したスライスレベルを越える信号成分を抽出するものであり、図８（Ａ）の受光パルス信号ａに対しノイズ成分をカットする所定のスライスレベルＳＬを設定しており、スライスレベルＳＬ未満の信号成分を除去した図８（Ｂ）のスライス信号ｂを積分回路２２に出力する。積分回路２２は、スライス信号ｂを単位時間Ｔごとに積分する。ここで受光信号ａ１〜ａ４に対応してスライス信号ｂ１〜ｂ４が得られていることから、積分回路２２は各スライス信号ｂ１〜ｂ４を積分し、図８（Ｃ）の積分信号ｃを出力する。この結果、単位時間Ｔの経過時点における積分回路２２からの積分信号ｃの値は、単位時間Ｔの間に得られている４つのスライス信号ｂ１〜ｂ４の面積波形成分の合計値に比例した値となっており、これを煙濃度変換回路２５で煙濃度に変換する。
【００４１】
この単位時間Ｔ当たりの受光パルス信号の累積積分を求めて煙濃度を検出する図７の実施形態にあっても、吸引装置７による外部からの空気の吸引流量が増加すると受光パルス信号の単位時間Ｔにおける数が増加し、また吸入流量が減少すると数が減少し、逆に吸入流量が増えると信号の幅が減少し、吸入流量が低下すると信号の幅が増加する。
【００４２】
このため、スライス信号ｂを積分した積分信号ｃの単位時間Ｔを経過した時点での値は、吸入流量が変動しても煙濃度が変動しない限り略一定となっている。このため、吸引装置による吸入空気の流量の変動に影響されることなく正確に煙濃度を測定することができる。
図９は図７の実施形態の一部をＭＰＵによるプログラム制御で実現したブロック図であり、最初の実施形態について示した図６と対応している。即ち、増幅回路２０に続いてＡＤコンバータ２７が設けられ、所定のサンプリングクロックにより図８（Ａ）の受光パルス信号をデジタルデータに変換している。ＭＰＵ２８内には図７のスライス処理回路３０からタイマ回路２６のハードウェアに相当する機能ブロックとしてスライス処理部３００、積分部２２０、ホールド部２４０、煙濃度変換部２５０及びタイマ部２６０が設けられている。
【００４３】
この単位時間Ｔ当たりの受光パルス信号の積分値から煙濃度を求める実施形態にあっても、吸入空気の流量変動の影響を受けることなく、より正確な煙濃度の検出が実現できる。
尚、上記の実施形態は、図２のように結像レンズ９によりレーザダイオード５からのレーザ光を結像位置１０に絞って微小なビームスポットの光源像を作り、この結像位置のビームスポットに対し外部から吸入した煙粒子の気流を通過させているが、結像レンズ９の代わりにコリメート・レンズを使用してレーザダイオード５からのレーザ光を平行光に変換し、この平行光に対し所定の構成角θをもって受光素子としてのフォトダイオード６を配置した平行光学系を備えた煙感知装置についても、そのまま適用できる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明してきたように本発明によれば、煙粒子の通過で得られた散乱光の受光パルス信号につき、単位時間当たりのパルス幅の合計値を求め、これらに基づいて煙濃度を検出しているため、吸引空気の流量が変化しても単位時間当たりのパルス幅合計値は変化せず、吸引空気の流量の変動に影響されることなく煙粒子の通過による散乱光の受光により正確に微小な煙濃度を検出することができる。
【００４５】
また流量変動の影響を受けないことから、従来装置のように吸入空気の流量を検出する流量計を設ける必要がなく、構造が簡単でコンパクトにでき、且つコストも安価に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による煙感知装置の全体構成の説明図
【図２】感度試験機能を備えた本発明による散乱光式の煙粒子検出構造の説明図
【図３】図１の信号処理装置のブロック図
【図４】単位時間当たりのパルス幅合計に基づいて煙濃度を検出する図３の煙濃度検出部の回路ブロック図
【図５】図３の煙濃度検出部の動作を示したタイミングチャート
【図６】単位時間当たりのパルス幅合計に基づいて煙濃度を検出するＭＰＵを用いた図３の煙濃度検出部の機能ブロック図
【図７】単位時間当たりの受光パルス積分値に基づいて煙濃度を検出する図３の煙濃度検出部の回路ブロック図
【図８】図７の煙濃度検出部の動作を示したタイミングチャート
【図９】単位時間当たりの受光パルス積分値に基づいて煙濃度を検出するＭＰＵを用いた図３の煙濃度検出部の機能ブロック図
【符号の説明】
１：煙感知装置
２：検知配管
３：吸込穴
４：検煙部
５：レーザダイオード
５ａ：レーザダイオードチップ
６：フォトダイオード（受光素子）
７：吸引装置
８：信号処理部
９：結像レンズ
１０：結像位置（検煙領域）
１１：発光光軸
１２，１９：受光光軸
１５：制御部
１６：発光回路部
１７：受光回路部
１８：煙濃度検出部
２０：増幅回路
２１：比較回路
２２：積分回路
２４：ホールド回路
２５：煙濃度変換回路
２６：タイマ回路
２７：Ａ／Ｄコンバータ
２８：ＭＰＵ
３０：スライス処理回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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