(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸線がほぼ水平で該軸線方向の一端に開口部を有し他端が閉鎖された回転自在な筒状体と、該筒状体の内部に配され実質的に軸線を該筒状体と共有もしくは平行に有し両端が開口された内筒と、上記筒状体と上記内筒の間の環状空間が軸線方向の中間部で区分される開口部側領域及び奥部側領域の二つの領域を軸線方向に延びる複数の軸線方向空間に区分する上記軸線にほぼ平行な仕切壁と、軸線に対して傾斜角を有し軸線方向に間隔をもって配設されるように少なくとも開口部側領域の仕切壁の両面に取り付けられた複数のガイド板を有し、該ガイド板の上記傾斜角は仕切壁の各面が上方に向いたとき仕切壁のそれぞれの面でのガイド板同士で逆方向をなし、軸方向に配設された複数のガイド板のそれぞれの縁部は筒状体の内面との間で少なくとも部分的に隙間を形成し上記仕切壁により区分された複数の軸線方向空間同士は、軸方向にて、開口部位置、中間部位置及び奥部位置にて互に連通されており、該軸線方向空間は上記奥部側領域に外部から水蒸気の供給を受け該水蒸気を軸線方向空間内に向け噴射するための噴気孔が形成されていることとする横型回転賦活装置。
【請求項２】
筒状体が加熱装置を備えていることとする請求項１に記載の横型回転賦活装置。
【請求項３】
加熱装置が外部より給電を受ける電気抵抗発熱体であることとする請求項２に記載の横型回転賦活装置。
【請求項４】
筒状体が外部からの燃焼ガスにより加熱されるようになっていることとする請求項１に記載の横型回転賦活装置。
【請求項５】
筒状体は外筒内に収められ、筒状体と外筒の間の空間が奥部側領域から開口部側領域に向けて高温ガスを流通せしめる加熱空間を形成していることとする請求項４に記載の横型回転賦活装置。
【請求項６】
筒状体と外筒との間の空間に外部から降温用の空気を送入する空気送入口を外筒に設けたこととする請求項５に記載の横型回転賦活装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は粉粒状の炭素質材料を加熱して乾留・炭化させ、その粉粒状炭素質材料を水蒸気と接触させて賦活するにあたり、処理条件に好適な温度・雰囲気・滞留時間を与えると共に、原料粉粒体の乾燥・炭化・賦活・冷却の諸工程を連続一貫して一つの装置内において高い能率で達成させ、環境汚染を起こすことなく高い熱効率をもって長期間安定操業を行なうに適した、活性炭製造のための横型回転賦活装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
椰子殻・鋸屑などの植物原料あるいは褐炭・石炭などの原料の粉粒、及び成型したペレットからの活性炭を製造する場合には、乾燥・炭化・賦活・冷却の四工程を経る必要があり、従来はそれを別個の装置において行なっている。
【０００３】
炭化工程によって得られた炭素質粉粒の水蒸気による賦活は、従来、多くの場合、別途用意された多段床炉、内熱式回転炉及び流動層炉のいづれかにより行なわれている。
【０００４】
多段床炉は粉粒体が落下する空間を形成する多段の炉床を有し、加熱ガスを下方から上記空間を経て上昇せしめて、順次落下する粉粒体を各炉床で加熱することにより次第に賦活せんとするものである。
【０００５】
内熱式回転炉は水平面に対し若干傾斜せる軸線まわりに回転する筒状炉内で上端から下端に向け粉粒体を移行させる一方、下端から上端に向けて加熱ガスを上記粉粒体に対して向流させることにより、上記粉粒体を加熱して賦活するものである。
【０００６】
また、流動層炉は、縦方向筒状体内に設けられた網状体上に粉粒体を配し、下方から供給される加熱ガスを上記粉粒体に貫流せしめることにより粉粒体を加熱して賦活するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来の装置による場合には、目的たる活性炭を、環境を汚染することなく安全かつ連続的・経済的に得るにあたり次のような問題点がある。
【０００８】
▲１▼炭素質粉粒の水蒸気による賦活を行なう上記多段床炉、内熱式回転炉、流動層炉においては、処理条件に好適な温度・雰囲気・滞留時間を同時に満足させることができず、特に多段床炉と内熱式回転炉においては炉内の水蒸気濃度を賦活反応に最適な値に保持する手段を有していないので、賦活に長い時間を必要とする。また、流動層炉は炭素質粉粒の滞留時間を一定にするために連続操作ができない。
【０００９】
▲２▼賦活反応によって単位質量の製品あたり大量の可燃ガスが発生するのに拘らず、上記の各型式の賦活のための炉においては、その保有するエネルギーの大部分を有効に利用することができず、空しく燃焼ガスとして大気中に放出している。
【００１０】
▲３▼従来の上記装置による場合は、乾燥装置、炭化炉、賦活炉そして冷却装置の四つの装置が必要であるから装置の建設費・運転費・人件費が大きくなる。またこれらの炉は別途設けられるため炉間における粉粒状の炭素質材料の取扱時に漏洩する機会が多くなり、そのために作業環境を著しく劣化している。
【００１１】
本発明は、従来装置がかかえていた上記問題を解決し、乾燥、炭化、賦活そして冷却の四工程が必要である活性炭製造を、一つの装置の中で一貫して連続的に達成させ、しかも単位質量の製品あたり大量に発生する可燃ガスを濃い状態のまま副製品として利用可能とし、低温の製品を連続的に取り出すことのできる横型回転賦活装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば上記目的は、回転軸線がほぼ水平で該軸線方向の一端に開口部を有し他端が閉鎖された回転自在な筒状体と、該筒状体の内部に配され実質的に軸線を該筒状体と共有もしくは平行に有し両端が開口された内筒と、上記筒状体と上記内筒の間の環状空間が軸線方向の中間部で区分される開口部側領域及び奥部側領域の二つの領域を軸線方向に延びる複数の軸線方向空間に区分する上記軸線にほぼ平行な仕切壁と、軸線に対して傾斜角を有し軸線方向に間隔をもって配設されるように少なくとも開口部側領域の仕切壁の両面に取り付けられた複数のガイド板を有し、該ガイド板の上記傾斜角は仕切壁の各面が上方に向いたとき仕切壁のそれぞれの面でのガイド板同士で逆方向をなし、軸方向に配設された複数のガイド板のそれぞれの縁部は筒状体の内面との間で少なくとも部分的に隙間を形成し上記仕切壁により区分された複数の軸線方向空間同士は、軸方向にて、開口部位置、中間部位置及び奥部位置にて互に連通されており、該軸線方向空間は上記奥部側領域に外部から水蒸気の供給を受け該水蒸気を軸線方向空間内に向け噴射するための噴気孔が形成されていることにより達成される。
【００１３】
【作用】
粉粒状の原料は一般に水分を含んでおり、該原料は筒状体の一端の開口部に設けられる送入口から、該筒状体と内筒との間の環状空間に供給される。筒状体は実質的に水平な軸線のまわりに回転しており、環状空間において開口部側領域に設置された仕切壁及びガイド板の作用により、筒状体の回転にしたがい粉粒体は仕切壁の両端の間で循環流を形成し、一部が次の奥部側領域に進入する。
【００１４】
回転する筒状体は加熱されているので水分を含む原料粉粒体は上記開口部側領域でほぼ一定の温度で乾燥される。水分を含まない原料に対しては、この開口部側領域での工程を省略することができる。
【００１５】
乾燥された原料粉粒体は、筒状体と内筒の間の環状空間において、順次奥部側領域に進む。この奥部側領域では、特には粉粒体を積極的に移送せしめる手段が設けられていなくとも、上記開口部側領域に順次原料粉粒体が供給されるので、該開口部側領域で循環せる粉粒体の一部が奥部側領域に進入し、これが該奥部側領域内の粉粒体を奥部へと押して移送せしめる。その際、回転する筒状体は加熱されているので、原料粉粒体はほぼ一定温度で加熱され、奥部側領域の前部にて可燃ガスを放出して炭化反応の一部あるいは全部を達成する。
【００１６】
炭化した粉粒体は奥部側領域の後部に達すると、該領域に設けられた噴気孔から水蒸気が噴射されて、水蒸気を含有せる状態で賦活反応に必要が温度にまで温度上昇して賦活が行なわれる。
【００１７】
賦活反応が終了した高温度の活性炭は、奥部側領域の奥部からその向きを変えて内筒内に流入し、該筒状体の回転にしたがって内筒中を原料送入側開口部に向かって移動し、該開口部から装置の外部に流出する。その際、筒状体と内筒の間の環状空間内には低温の原料粉粒体が存在しているので、これとの内筒を介しての熱エネルギー交換により製品としての活性炭は低温の状態で取り出される。
【００１８】
筒状体中で発生した水蒸気・原料の熱分解によって発生した可燃ガス、炭素質粉粒の賦活によって発生した可燃ガス及び未反応水蒸気は、原料粉粒体の供給側の開口部付近と製品の取り出し側開口部（内筒の一端）の両方あるいは一方から装置外に排出されるが、これらは燃焼ガスとの混合は無いので、大量の可燃ガスを希釈しないままに副産物として得ることができる。
【００１９】
実質的に水平な軸線のまわりに回転する筒状体は、内部空間容積に対する粉粒体の体積充填率を３５〜４５％程度にまで上げることができ、かつ噴気孔からの水蒸気の送入によって賦活反応に必要な時間を大幅に短縮し、装置が従来の技術に比べてはるかに小さくてすむ。
【００２０】
【実施例】
以下、添付図面にもとづき本発明の実施例を説明する。
【００２１】
〈第一実施例〉
図１において、軸線１は実質的に水平であり、軸線１のまわりに回転駆動を受ける筒状体２が軸受（図示せず）によって回転自在に支持されている。該筒状体２は該筒状体２の開口側にて空間に固定された原料側フード３及び製品側フード４に対して気密を保ったまま相対回転することができるようになっている。気密回転のためのシールの方法は任意である。なお、上記原料側フード３には原料送入管８及び排気管１４が、そして製品側フード４には製品排出管１３及び排気管１５がそれぞれ取り付けられている。
【００２２】
筒状体２の内部には、実質的に軸線を共有する内筒５が上記筒状体２と一体的に設けられており、該内筒５の内部には、好ましい形態として、傾斜せるガイド板６，６’を有する仕切壁７が取り付けられている。上記仕切壁７は軸線１を含む面もしくは平行な面に配されていて、内筒５の内部空間を軸線方向に延びる二つの空間に区分している。ガイド板６，６’はこの仕切壁７の両面にそれぞれ設けられていて、仕切壁７のそれぞれの面が上方に向く位置から下方に向け回転する際に、粉粒体がガイド板６，６’を滑落して図１にて左方に進むように傾斜して取り付けられている。なお、上記ガイド板６，６’を有する仕切壁７に代えて公知の螺旋板としてもよい。
【００２３】
上記内筒５と筒状体２との間の環状空間は、軸線方向の中間部にて、開口部側領域と奥部側領域とに区分され、それぞれの領域にて軸線１を含む面あるいは平行な面に配された仕切壁９，１１により複数の軸線方向空間に区分されている。図示の例の場合、開口部側領域では図２（Ａ）にも見られるように一つの面での仕切壁９によって二つの軸線方向空間に、奥部側領域では図２（Ｂ）にも見られるように十字をなす二つの面での仕切壁１１によって四つの軸線方向空間に区分されている。仕切壁９，１１によりそれぞれ区分された複数の軸線方向空間は、筒状体２の開口部Ｐ、中間部Ｑ、及び奥部Ｒにおいて連通している。
【００２４】
上記仕切壁９には傾斜せるガイド板１０，１０’が該仕切壁９の両面に設けられている。これらのガイド板１０，１０’は、仕切壁９の上記両面のそれぞれが上方に向いたとき、それらのガイド板１０，１０’が互いに逆向きに取り付けられている。又、図２（Ａ）にも見られるように、ガイド板１０，１０’の縁は部分的に直線的に切り落とされて筒状体２の内面との間に隙間を有し、軸方向で隣接するガイド板間に形成される空間同士が上記筒状体２の内面位置で連通している。したがって、一方の面上の粉粒体は該面が上方から下方に向くように回転したときガイド板を滑落しながら筒状体２の内面に沿って図１にて右方に進み、これに対し、他方の面上の粉粒体は左方に進むようになっている。
【００２５】
上記奥部側空間を四つの軸線方向空間に区分する仕切壁１１は、その奥部側（右部）に噴気孔１２が多数穿設されている（図２（Ｃ）をも参照）。該噴気孔１２は、図示の例の場合、奥部になる程密に分布しており、外部から水蒸気の供給を受けこれを軸線方向空間内に噴出するようになっている。
【００２６】
かかる本実施例装置において、活性炭の製造は次の要領でなされる。
【００２７】
活性炭製造の原料となる炭素質原料粉粒体は、原料送入管８から筒状体と内筒の間の環状空間（開口部側領域）に送入され、筒状体２及び内筒５の回転に伴い環状空間の底部において転動する。既述のごとく、開口部側領域においては、仕切壁９により区分された二つの軸線方向空間で粉粒体は、回転時にガイド板１０，１０’の作用により逆方向に進行するので、開口部Ｐ及び中間部Ｑを経て上記二つの軸線方向空間で循環流を生起する。
【００２８】
上記筒状体５は、図示しない手段により外部から加熱されており、上記循環流を形成する原料粉粒体は、ほぼ均一な温度に加熱されて十分乾燥される。
【００２９】
軸線方向において上記仕切壁９の範囲に形成される粉粒体の循環流が形成されているが、ここには原料送入管８から逐次粉粒体原料が供給されるので、これに押されて上記循環流の一部は次の奥部側領域に進入する。該奥部側領域は仕切壁１１によって、四つの軸線方向空間に分割されていて、特段、粉粒体移送のための手段を積極的には有していないが、上記奥部側領域に進入してくる開口部側領域からの粉粒体に押されて粉粒体はさらに奥部へと移行する。
【００３０】
上記仕切壁１１が存在する奥部側領域においても筒状体２を介して粉粒体は均一温度に加熱される。そして移行に伴い、粉粒体は該領域の前部にて乾留・炭化が進行する。
【００３１】
上記炭化された粉粒体は、奥部側領域の後部に達すると、噴気孔１２から水蒸気の噴射を受け十分なる水蒸気と接触し、ここでの加熱により賦活がなされ活性炭が生成される。その際、粉粒体は図１において右方に進む程温度が高くなるので、これに対応して、右方程水蒸気の噴射量が多くなるように、噴気孔１２の分布密度が高くなっている。
【００３２】
所定の温度で、水蒸気雰囲気の状態で賦活された、高温の活性炭は筒状体１の底部から所定高さまで溜ると、図１において仕切壁１１の一端近傍から内筒５の右端に流入し、筒状体２の回転に伴なって内筒５中をガイド板６，６’の作用により左方すなわち製品側フード４の方向にほぼ一定の速度で移動し、上記製品側フード４の製品排出管１３を経て装置外に排出される。その際、内筒５中を移動する高温の活性炭は、筒状体２と内筒５の間の環状空間を転動する低温の原料粉粒体と、内筒５を介して熱エネルギーを交換し、降温して製品排出管１３に至る。
【００３３】
また、排気管１４，１５からは、熱分解ガス、賦活による可燃ガス及び未反応水蒸気が取り出され、熱分解及び賦活に要求される条件によりその一方あるいは両方を同時に使用することができる。
【００３４】
〈第二実施例〉
図３は、前実施例装置が対象とする原料粉粒体よりも水分を多く含有する原料粉粒体を賦活するのに好適な場合を示す第二実施例装置である。図３においては仕切壁１１に前実施例の場合と同様に設けられた水蒸気噴気孔１２の範囲を符号１６として示している。
【００３５】
本実施例では、前実施例の開口部側領域における仕切壁が軸線方向の中間部で開口していて、該領域の前部と後部にてそれぞれ循環流が生ずるようになっている点に特徴がある。図３に具体的に示す例では、前実施例装置の前段にもう一つ開口部側領域と同じ構造の仕切壁１７そしてガイド板１８，１８’を追加的に設けた構造となっている。
【００３６】
かかる本実施例にあっては、水分を多く含有する原料粉粒体は送入後に筒状体２と内筒５の間の環状空間に落下してその底部で転動し、該環状空間に追加的に設置された上記仕切壁１７と、これに設けられたガイド板１８，１８’の作用により、仕切壁１７の両端の間に循環流を形成する。上記仕切壁１７の両側の間で循環する原料粉粒体は筒状体２の外側からの加熱によって水分が蒸発し、水分の少ない状態になって仕切壁９の領域に進行する。
【００３７】
筒状体２と内筒５の間の環状空間で仕切壁９の領域に進行した原料粉粒体の挙動は第一実施例と同じである。
【００３８】
第一、第二実施例において、図１、図３のＹ−Ｙ’断面は図２（Ｂ）で示されているものに限らず、筒状体と内筒の間の環状空間における仕切壁は図４（Ａ），（Ｂ）のように二枚あるいは三枚のものであってもよく、また仕切壁の軸線方向範囲の全部あるいは一部に図４（Ｃ），（Ｄ）で示されるようなガイド板１９，１９’が設けられているものであってもよい。その際内筒内に設置される仕切壁７の角度は必ずしも図１に示される角度に限定されず、例えば４５度など任意の角度であってもよく、また公知の螺旋板を内装するものであってもよい。また筒状体２と内筒の間の環状空間内に、図４（Ｃ），（Ｄ）のようにガイド板１９，１９’，１９”，１９”’を設置するものであっもよい。
【００３９】
〈第三実施例〉
図５は、第三実施例として、筒状体２と内筒５の間の環状空間における奥部側領域の最右端の範囲の仕切壁１１にガイド板１９，１９’を設置した図４（Ｃ）に示す構造の場合の例である。本実施例によれば、奥部側領域での粉粒体の右方の移送は促進される。
【００４０】
〈第四実施例〉
図６は第四実施例として、筒状体２と内筒５の間の環状空間における奥部側領域の最右端の範囲の仕切壁１１にガイド板１９，１９’，１９”，１９”’を設置した図４（Ｄ）に示す構造の場合の例である。
【００４１】
〈第五実施例〉
本実施例は、図７に示すごとく、筒状体２を耐熱・断熱性材料の外筒２０で覆い、該外筒２０の内面に加熱装置として電気抵抗発熱体２１，２１’，２１”を設けたことを特徴としている。かくして、既述の各実施例の筒状体２は上記電気抵抗発熱体２１，２１’，２１”によって加熱される。その際電気抵抗発熱体の種類、形状、配置及び数は任意である。また実質的に水平な軸線１のまわりに回転する筒状体２に対し、外筒２０は空間に固定していても、もしくは筒状体２と一緒に回転してもよい。
【００４２】
〈第六実施例〉
図８は、第五実施例のごとくの電気抵抗発熱体を用いずに、筒状体２と外筒２０の間の環状空間に高温の燃焼ガスを流通させることによって筒状体２を加熱する場合を示す第六実施例である。図８において２２は燃料送入管であり、常温もしくは予熱された空気を該送入管２２より送入して燃焼室２４の内部で燃料を燃焼する。ここに２５は筒状体２の一端面を保護するための耐火材料壁であるが、必要のない場合には省略しても差し支えない。燃焼室２４の内部で発生した高温の燃焼ガスは、筒状体２と外筒２０の間の環状空間に形成された流路２６の中を、筒状体２の原料送入管８が設けられている端部に向かって流動しながら筒状体２を加熱し、外筒２０の端部近傍に設けられた単数または複数の燃焼ガス排出口２７を通って装置外に排出される。その際燃焼ガス排出フード２８を用いて燃焼ガスを流出させることができる。外筒２０の中間位置に単数または複数の空気送入口２９を設け、導管３０、バルブ３１によって空気を送入して温度の調整を図ることもできる。その際空気送入口２９の形状・寸法・数及び配置は任意であり、かつバルブ３１の形式・作用方式も任意である。
【００４３】
図８は筒状体２と外筒２０が一体となって軸線のまわりに回転する例であり、筒状体２は燃焼ガスの流路を有し、軸線方向の適宜位置に設けられた支持部３２によって外筒２０に支持されるので、筒状体２が高温のもとで強度が低下しても筒状体２に変形にもとづく大きな応力が働かなくてすみ、したがって高温において筒状体２が破断する虞れがない。筒状体２の高温における軟化点に近い高い温度で操作する場合でも、水平軸のまわりに回転しまた全周で支持可能なので、筒状体の断面は実質的に円形に保たれる。
【００４４】
図８に示す支持部は外筒２０を構成する耐熱性・断熱性の材料と同様な材料を用いた場合の例であって、その形状・寸法・材質は任意であり、例えば図９に示す耐熱金属製の支持体３３のようなものであってもよく、その形状・寸法・数及び配置方法は任意である。
【００４５】
筒状体２と外筒２０の間の環状空間を流れる燃焼ガスから筒状体２に熱エネルギーが伝達し易くするために、筒状体２の外表面に図９に示すような略半周にわたるバッフル板３４を軸方向の複数位置に、交互にその周方向位置を変えて設置することができる。その際、バッフル板３４の形状・寸法・数・配置方法は任意である。
【００４６】
また、筒状体２の外表面に図９に示されるバッフル板３４を設置する代わりに、外筒２０の内表面の断面積を任意の位置において図１０（Ａ），（Ｂ）のように構成することもできる。
【００４７】
図８において燃焼室２４の内部で燃料を燃焼させる代わりに、図９に示されるように、空間に対して固定する燃焼器（図示せず）において発生した高温の燃焼ガスを、外筒２０の一端から送入し、燃焼ガス分配部３５を経て燃焼ガスを筒状体２と外筒２０の内の環状空間２６に流通させることもできる。その際回転する外筒２０と燃焼ガス送入管３６の間のシール方法は任意である。
【００４８】
図８、図９、図１０は筒状体２と外筒２０が同時に軸線１のまわりに回転する場合の実施例を示しているが、燃焼ガスによる筒状体２の加熱方法は必ずしも上記のものに限定されず、空間に固定した外筒２０の中で、筒状体２が軸線１のまわりに回転する構成のものであってもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上のように本発明においては、回転する筒状体の中に内筒が設置されており、水分を含有する原料粉粒体は筒状体の一端の開口部から、筒状体と内筒の間の環状空間に送入され、開口部側領域にて筒状体の回転に伴うガイド板付仕切壁の作用によって原料粉粒体の循環流が形成されるので、開口部側領域の範囲が短くとも筒状体外部からの加熱によって粉粒体は十分に乾燥される。
【００５０】
乾燥された原料粉粒体は、引き続き次の奥部側領域の前部に進み、筒状体の外部からの加熱により、炭化反応に好適な温度で炭化が進行し強度が高くなる。炭素質となった粉粒体は奥部側領域の後部に進み、進行しながら徐々に加熱を受け、水蒸気の送入を受けて賦活反応が進行し、高温の活性炭となる。上記乾燥から賦活まで一連の工程が連続して行なわれるので、装置の小型化及び熱効率の向上が図れる。
【００５１】
高温活性炭は筒状体の回転に伴なって内筒に進入し、その向きを変えて内筒中を原料送入端の方向に移動するので装置の小型化が図れ、またその際内筒の壁面を通じ筒状体と内筒の間の環状空間にある低温の炭素質粉粒及び乾燥中の原料粉粒体に熱エネルギーを伝達して、内筒から排出される時には低温になっているので、熱効率の向上が図れる。
【００５２】
さらには、発生する可燃ガス・蒸気は希釈されることなく、副製品として取り出すことができるので、活性炭製造プラントの建設費と人件費を大幅に低下させるだけではなく、エネルギーの有効使用及び環境浄化を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例装置の軸線を含む面での断面図である。
【図２】図１装置の軸線に直角な断面図である。
【図３】本発明の第二実施例装置の軸線を含む面での断面図である。
【図４】図１装置、図２装置の軸線に直角な断面図である。
【図５】本発明の第三実施例装置の軸線を含む面での断面図である。
【図６】本発明の第四実施例装置の軸線を含む面での断面図である。
【図７】本発明の第五実施例装置の軸線を含む面での断面図である。
【図８】本発明の第六実施例装置の軸線を含む面での断面図である。
【図９】本発明の第六実施例装置における他の構成を示す、軸線を含む面での断面図である。
【図１０】本発明の第六実施例装置における他の構成を示す、軸線に直角な断面図である。
【符号の説明】
１  軸線
２  筒状体
５  内筒
９  仕切壁
１０，１０’  ガイド板
２１，２１’，２１”  電気抵抗発熱体
【図１】
0003558358.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003558358.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003558358.tif 000008
【図８】
0003558358.tif 000009
【図９】
0003558358.tif 000010
【図１０】
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