(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレーム等を対向してガイドする一対のフレームガイドレールを有し、この一対のフレームガイドレールをそれぞれレール高さ調整用スペーサを介して対応するガイドレールスタンドに取付けたボンディング装置用ガイドレール機構において、前記ガイドレールスタンドには、ほぼ中央部に設けられた大径部の上下にそれぞれ該大径部より細径の上軸部及び下軸部を有する上下動軸が上下動及び回転可能に垂直に挿入され、前記上下動軸の上軸部には前記フレームガイドレールが上下動可能に挿入され、前記フレームガイドレールは前記大径部に圧接するようにガイドレール付勢手段で下方に付勢され、前記レール高さ調整用スペーサは前記大径部に側面方向より挿入可能に形成され、前記上下動軸は、上下動軸付勢手段で上方に付勢され、かつ前記大径部で前記フレームガイドレールを持ち上げて該フレームガイドレールと前記ガイドレールスタンド間に前記レール高さ調整用スペーサが挿入できる隙間が生じる上昇位置と、この上昇位置で前記レール高さ調整用スペーサを挿入して前記ガイドレールスタンドに載置し、前記上下動軸を押し下げた時に前記大径部は前記フレームガイドレールより離れる下降位置とを保持するように構成されていることを特徴とするボンディング装置用ガイドレール機構。
【請求項２】
前記上下動軸の前記下軸部の下端には、幅小部が形成された駒が固定され、前記ガイドレールスタンドの前記上下動軸の挿入部分の下面には、前記駒の幅小部より若干大きな駒装着溝が形成され、前記駒の幅小部を前記駒装着溝に合わせた時に、前記駒は前記駒装着溝に圧接して前記上下動軸が上昇位置になり、前記駒が前記駒装着溝の外側で、かつ前記駒の幅小部が前記駒装着溝に合っていない時に、前記駒は前記フレームガイドレールの下面に圧接して前記上下動軸が下降位置となることを特徴とする請求項１記載のボンディング装置用ガイドレール機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はボンディング装置用ガイドレール機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ダイボンディング装置、ワイヤボンディング装置等のボンディング装置におけるガイドレール機構は、図５及び図６に示すように、リードフレーム１の両側端部を対向してガイドする一対のガイドレール機構部２Ａ、２Ｂとからなっている。このガイドレール機構部２Ａ、２Ｂはほぼ対称構造となっているので、同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。
【０００３】
架台３の上面には、搬送されるリードフレーム１の幅方向に伸びた一対の幅調整用ガイド４が設けられ、幅調整用ガイド４には図示しない駆動手段で移動させられるスライダ５が摺動自在に設けられている。スライダ５にはスライドブロック６が固定され、スライドブロック６には支持ブロック７が固定され、支持ブロック７の内側面には対向してガイドレールスタンド８が固定されている。ここで、リードフレーム１の幅方向及び支持ブロック７の内側面とは、図５において、ガイドレールスタンド８のほぼ中心部にある後記するヒートブロック１４の位置方向に対して言う。ガイドレールスタンド８には、垂直に上方に伸び上端部に雌ねじ部９ａが形成されたねじ軸９が固定されている。ガイドレールスタンド８上には、ねじ軸９に挿入されたレール高さ調整用スペーサ１０及びフレームガイドレール１１が載置されている。
【０００４】
そして、フレームガイドレール１１上のねじ軸９の部分にばね１２を装着し、ボルト１３をねじ軸９の雌ねじ部９ａに締め付けることにより、レール高さ調整用スペーサ１０及びフレームガイドレール１１をばね１２でガイドレールスタンド８の上面に押し付けて固定している。またフレームガイドレール１１間には、リードフレーム１を加熱するヒートブロック１４が配設されており、ヒートブロック１４は図示しない駆動手段で上下移動させられる。なお、この種のガイドレール機構として、例えば特開昭５５−２６６９６号公報、特開昭６０−６３９３５号公報、特公昭６３−５６１２１号公報等があげられる。
【０００５】
そこで、リードフレーム１は、図示しない送り爪によってフレームガイドレール１１のガイド部１１ａに沿ってボンディング位置に送られ、位置決めされた後に、図示しないボンディング装置によりボンディングされる。ここで、ダイボンディング装置の場合は、リードフレーム１上に半導体ペレットがボンディングされ、ワイヤボンディング装置の場合は、リードフレーム１上にボンディングされた半導体ペレットのパッドとリードフレーム１のリードとの間にワイヤが接続される。
【０００６】
このように、ボンディング装置においては、リードフレーム１上に半導体ペレットがボンディングされ、または半導体ペレットのパッドとリードフレーム１のリードにワイヤが接続される。この時、リードフレーム１の上面がボンディング時の高さ位置における基準面となる。このため、品種変更によりリードフレーム１の厚さが変わった場合、例えば厚さが厚くなった場合には、リードフレーム１の上面、即ち基準面の高さがそれだけ上昇するので、基準面の高さを一定にするにはフレームガイドレール１１をその厚さの差だけ下げる必要がある。
【０００７】
即ち、そのリードフレーム１の厚さに適合する厚さを有するレール高さ調整用スペーサ１０に交換する作業を行う必要がある。このレール高さ調整用スペーサ１０の交換は、ボルト１３を緩めてねじ軸９より取外した後、フレームガイドレール１１及びレール高さ調整用スペーサ１０を取外し、その後リードフレーム１の厚さに適合した厚さのレール高さ調整用スペーサ１０と交換して該レール高さ調整用スペーサ１０及びフレームガイドレール１１を取付けて再びボルト１３をねじ軸９に締め付ける作業を行っている。
【０００８】
特に、図５乃至図７に示すように、フレームガイドレール１１のガイド部１１ａがコ字状と逆コ字状の場合で、リードフレーム１の厚さｔが大きく変わった場合は、フレームガイドレール１１自体を交換する作業を必要としていた。通常、リードフレーム１の厚さｔは０．１〜０．４ｍｍの範囲が一般的である。そこで、フレームガイドレール１１のガイド部１１ａの高さｈは、この種のリードフレーム１が搬送できるようにリードフレーム１の厚さｔにクリアランスｃを加えた高さになっている。従って、リードフレーム１の厚さｔがガイド部１１ａの高さｈ内の場合には、リードフレーム１の厚さｔが変わっても前記したようにレール高さ調整用スペーサ１０を交換するのみでよい。しかし、リードフレーム１の厚さｔがガイド部１１ａの高さｈを越える場合には、そのリードフレーム１に適合するフレームガイドレール１１と交換している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術は、品種変更によりリードフレーム１の厚さｔが変わった場合は、ボルト１３を緩めて取外し、レール高さ調整用スペーサ１０を交換し、再びボルト１３を締め付けるという作業を行っている。ところで、一対のフレームガイドレール１１は、リードフレーム１の搬送方向に沿って伸びている。そこで、ガイドレール機構部２Ａ、２Ｂは、それぞれリードフレーム１の搬送方向に沿った２ヵ所にねじ軸９が設けられ、該ねじ軸９のそれぞれにばね１２を介してボルト１３でフレームガイドレール１１及びレール高さ調整用スペーサ１０をガイドレールスタンド８に押し付けるようになっている。
【００１０】
即ち、一対のフレームガイドレール１１はねじ軸９、ボルト１３等をそれぞれ２個、合計４個有している。このため、リードフレーム１の厚さが変わった場合は、４個のボルト１３を緩めて取外し、その後リードフレーム１の厚さに適合した厚さのレール高さ調整用スペーサ１０と交換して該レール高さ調整用スペーサ１０及びフレームガイドレール１１を取付けて再びボルト１３をねじ軸９に締め付けるという作業をしなければならないので、調整作業に長時間を要し、生産性が低下する。
【００１１】
本発明の課題は、品種変更によるフレームガイドレールの高さ調整を短時間に行うことができ、生産性の向上が図れるボンディング装置用ガイドレール機構を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記第１の課題を解決するための本発明の第１の手段は、リードフレーム等を対向してガイドする一対のフレームガイドレールを有し、この一対のフレームガイドレールをそれぞれレール高さ調整用スペーサを介して対応するガイドレールスタンドに取付けたボンディング装置用ガイドレール機構において、前記ガイドレールスタンドには、ほぼ中央部に設けられた大径部の上下にそれぞれ該大径部より細径の上軸部及び下軸部を有する上下動軸が上下動及び回転可能に垂直に挿入され、前記上下動軸の上軸部には前記フレームガイドレールが上下動可能に挿入され、前記フレームガイドレールは前記大径部に圧接するようにガイドレール付勢手段で下方に付勢され、前記レール高さ調整用スペーサは前記大径部に側面方向より挿入可能に形成され、前記上下動軸は、上下動軸付勢手段で上方に付勢され、かつ前記大径部で前記フレームガイドレールを持ち上げて該フレームガイドレールと前記ガイドレールスタンド間に前記レール高さ調整用スペーサが挿入できる隙間が生じる上昇位置と、この上昇位置で前記レール高さ調整用スペーサを挿入して前記ガイドレールスタンドに載置し、前記上下動軸を押し下げた時に前記大径部は前記フレームガイドレールより離れる下降位置とを保持するように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の第２の手段は、上記第１の手段において、前記上下動軸の前記下軸部の下端には、幅小部が形成された駒が固定され、前記ガイドレールスタンドの前記上下動軸の挿入部分の下面には、前記駒の幅小部より若干大きな駒装着溝が形成され、前記駒の幅小部を前記駒装着溝に合わせた時に、前記駒は前記駒装着溝に圧接して前記上下動軸が上昇位置になり、前記駒が前記駒装着溝の外側で、かつ前記駒の幅小部が前記駒装着溝に合っていない時に、前記駒は前記フレームガイドレールの下面に圧接して前記上下動軸が下降位置となることを特徴とする．
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１乃至図３により説明する。なお、図５及び図６と同じ又は相当部材には同一符号を付し、その説明は省略する。ガイドレール機構２０Ａ、２０Ｂは、コ字状及び逆コ字状のガイド部２１ａが対向して形成された一対のフレームガイドレール２１と、このフレームガイドレール２１をガイドレールスタンド８に取付ける上下動軸２２と、この上下動軸２２の上下端に図示しないねじでそれぞれ固定されたつまみ２３及び駒２４と、ガイドレールスタンド８とフレームガイドレール２１間に挿入されるレール高さ調整用スペーサ２５と、フレームガイドレール２１及び上下動軸２２を付勢するフレームガイドレール付勢用ばね２６、上下動軸付勢用ばね２７とよりなっている。
【００１５】
上下動軸２２は、ほぼ中央部に形成された大径部２２ａと、この大径部２２ａの上下に形成された該大径部２２ａより細径の上軸部２２ｂ及び下軸部２２ｃとからなっており、上軸部２２ｂ及び下軸部２２ｃの両端部にはそれぞれつまみ２３及び駒２４が図示しないねじで固定されている。前記駒２４は、両側面がカットされた幅小部２４ａを有している。レール高さ調整用スペーサ２５の両端部には、上下動軸２２の軸部を逃げたＵ字状の切欠き部２５ａが形成されている。
【００１６】
フレームガイドレール２１には、上下動軸２２の上軸部２２ｂが上下動可能に挿入される軸穴２１ｂが形成され、この軸穴２１ｂの上方部にはばね配設穴２１ｃが形成されている。ガイドレールスタンド８の下面８ａには駒２４の幅小部２４ａ（カット面）の幅より僅かに大きい幅の駒装着溝８ｂが形成されている。またガイドレールスタンド８の駒装着溝８ｂの上部には、上下動軸２２の下軸部２２ｃが上下動可能に挿入される軸穴８ｃが形成され、更に軸穴８ｃの上方には、上下動軸２２の大径部２２ａが上下動可能に挿入されるばね配設穴８ｄが形成されている。
【００１７】
ここで、前記上下動軸２２は、図３（ｂ）（ｃ）に示すように、大径部２２ａでフレームガイドレール２１を持ち上げた場合、該フレームガイドレール２１とガイドレールスタンド８間にレール高さ調整用スペーサ２５（２５Ａ、２５Ｂ）を側面方向より挿入できる隙間Ｃが生じる上昇位置と、前記上昇位置でレール高さ調整用スペーサ２５（２５Ａ、２５Ｂ）を挿入してガイドレールスタンド８に載置し、その後上下動軸２２を押し下げた時に大径部２２ａがフレームガイドレール２１より離れる下降位置（図３（ａ）（ｄ）参照）とを維持するように構成されている。
【００１８】
そこで、ガイドレール機構２０Ａ、２０Ｂの組立は次のようにして行う。上下動軸２２の下軸部２２ｃに上下動軸付勢用ばね２７を装着し、下軸部２２ｃをばね配設穴８ｄを通して軸穴８ｃに挿入し、下軸部２２ｃの端部に駒２４を挿入して該駒２４を図示しないねじでねじ止めする。次に駒２４を回して駒２４の幅小部２４ａを駒装着溝８ｂに合わせると、図３（ｂ）（ｃ）に示すように、上下動軸２２は上下動軸付勢用ばね２７の付勢力で上昇し、駒２４は駒装着溝８ｂの上面に圧接する。次に上下動軸２２の上軸部２２ｂにフレームガイドレール２１を挿入し、上軸部２２ｂにガイドレール付勢用ばね２６を装着し、上軸部２２ｂの端部につまみ２３を挿入して該つまみ２３を図示しないねじでねじ止めする。これにより、ガイドレール機構２０Ａ、２０Ｂの組立は完了する。
【００１９】
レール高さ調整用スペーサ２５の組込みは次のようにして行う。フレームガイドレール２１が前記した上昇位置（図２及び図３（ｂ）（ｃ）参照）で、レール高さ調整用スペーサ２５（２５Ａ又は２５Ｂ）をフレームガイドレール２１の側面から挿入する。次につまみ２３を手で下方に押して駒２４の上面２４ｂをガイドレールスタンド８の下面８ａに位置させ、つまみ２３を９０度回して手を離すと、図３（ａ）（ｄ）に示すように、上下動軸付勢用ばね２７の付勢力で駒２４の上面２４ｂはガイドレールスタンド８の下面８ａに圧接し、またフレームガイドレール付勢用ばね２６の付勢力でフレームガイドレール２１はレール高さ調整用スペーサ２５（２５Ａ又は２５Ｂ）を介してガイドレールスタンド８の上面８ｅに圧接する。これによりレール高さ調整用スペーサ２５の組込みは完了する。
【００２０】
次に図３（ａ）に示す厚いリードフレーム１Ａより図３（ｄ）に示す薄いリードフレーム１Ｂに品種を変更する場合について説明する。図３（ａ）において、つまみ２３を手で下方に少し押し下げながら９０度回して駒２４の幅小部２４ｂを駒装着溝８ｂに合わせて手を離すと、図３（ｂ）に示すように、上下動軸２２は上下動軸付勢用ばね２７の付勢力で上昇して駒２４が駒装着溝８ｂの上面に圧接する。これにより、ガイドレールスタンド８とフレームガイドレール２１との間が隙間Ｃだけ開く。そこで、レール高さ調整用スペーサ２５Ａを側面方向より取り外す。
【００２１】
次に図３（ｃ）に示すように、厚いリードフレーム１Ａと薄いリードフレーム１Ｂの厚さの差分だけレール高さ調整用スペーサ２５Ａの厚さより厚いレール高さ調整用スペーサ２５Ｂをガイドレールスタンド８とフレームガイドレール２１間に側面方向より挿入してガイドレールスタンド８上に載置する。次につまみ２３を手で下方に押して駒２４をガイドレールスタンド８の下面８ａの下方に位置させ、つまみ２３を９０度回して手を離すと、図３（ｄ）に示すように、上下動軸付勢用ばね２７の付勢力で駒２４の上面２４ｂはガイドレールスタンド８の下面８ａに圧接し、またフレームガイドレール付勢用ばね２６の付勢力でフレームガイドレール２１はレール高さ調整用スペーサ２５Ｂを介してガイドレールスタンド８の上面に圧接する。これにより薄いリードフレーム１Ｂの上面は、厚いリードフレーム１Ａの場合の上面と同じ高さのレベルとなる。
【００２２】
このように、つまみ２３、即ち上下動軸２２を押し下げ及び約９０度回転させ、レール高さ調整用スペーサ２５（２５Ａ又は２５Ｂ）を交換する動作のみでフレームガイドレール２１の高さ調整を行うことできるので、フレームガイドレール２１の高さ調整を短時間に行うことができ、生産性が向上する。
【００２３】
図４は本発明の第２の実施の形態を示す。ここで、図４（ａ）（ｂ）はそれぞれ図３（ａ）（ｂ）に対応する。ところで、フレームガイドレールには、図１乃至図３に示すようにコ字状及び逆コ字状のガイド部２１ａを有するものと、特開昭６０−６３９３５号公報に示すようにガイド部の上面が開放したものとがある。前記第１の実施の形態は、コ字状及び逆コ字状のガイド部２１ａを有するものに適用した例を示す。本実施の形態は、ガイド部の上面が開放したものに適用した例を示す。このように、ガイド部の上面が開放したものにも本発明は適用できる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば、リードフレーム等を対向してガイドする一対のフレームガイドレールを有し、この一対のフレームガイドレールをそれぞれレール高さ調整用スペーサを介して対応するガイドレールスタンドに取付けたボンディング装置用ガイドレール機構において、前記ガイドレールスタンドには、ほぼ中央部に設けられた大径部の上下にそれぞれ該大径部より細径の上軸部及び下軸部を有する上下動軸が上下動及び回転可能に垂直に挿入され、前記上下動軸の上軸部には前記フレームガイドレールが上下動可能に挿入され、前記フレームガイドレールは前記大径部に圧接するようにガイドレール付勢手段で下方に付勢され、前記レール高さ調整用スペーサは前記大径部に側面方向より挿入可能に形成され、前記上下動軸は、上下動軸付勢手段で上方に付勢され、かつ前記大径部で前記フレームガイドレールを持ち上げて該フレームガイドレールと前記ガイドレールスタンド間に前記レール高さ調整用スペーサが挿入できる隙間が生じる上昇位置と、この上昇位置で前記レール高さ調整用スペーサを挿入して前記ガイドレールスタンドに載置し、前記上下動軸を押し下げた時に前記大径部は前記フレームガイドレールより離れる下降位置とを保持するように構成されているので、品種変更によるフレームガイドレールの高さ調整を短時間に行うことができ、生産性の向上が図れる．
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構の第１の実施の形態を示す一部断面側面図である。
【図２】ガイドレール機構の斜視図である。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は厚いリードフレームより薄いリードフレームに品種交換する場合の動作を示す拡大断面図である。
【図４】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構の第２の実施の形態の要部を示し、（ａ）（ｂ）はそれぞれ図３（ａ）（ｂ）に対応した拡大断面図である。
【図５】従来のボンディング装置用ガイドレール機構を示す一部断面側面図である。
【図６】図５の要部拡大断面図である。
【図７】リードフレームとフレームガイドレールのガイド部との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１，１Ａ，１Ｂ  リードフレーム
７    支持ブロック
８    ガイドレールスタンド
８ａ  下面
８ｂ  駒装着溝
８ｃ  軸穴
８ｅ  上面
２０Ａ，２０Ｂ  ガイドレール機構
２１    フレームガイドレール
２１ａ  ガイド部
２１ｂ  軸穴
２１ｃ  配設穴
２２    上下動軸
２２ａ  大径部
２２ｂ  上軸部
２２ｃ  下軸部
２３    つまみ
２４    駒
２４ａ  幅小部
２４ｂ  上面
２５，２５Ａ，２５Ｂ  レール高さ調整用スペーサ
２６    フレームガイドレール付勢用ばね
２７    上下動軸付勢用ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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