(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ウェハ上の測定点の位置を決定する方法であって、
（ａ）前記被測定ウェハ表面の位置合わせ基準点と前記測定点との位置関係を予め登録するとともに、前記被測定ウェハ表面の前記位置合わせ基準点の近傍の画像に対してパターンマッチングを行う際に用いられる第１のテンプレート画像と、前記測定点の近傍の画像に対してパターンマッチングを行う際に用いられる第２のテンプレート画像と、を準備する工程と、
（ｂ）前記位置合わせ基準点の近傍の領域について第１の画像を取り込む工程と、
（ｃ）前記第１の画像に関して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第１の処理を行うことによって、前記被測定ウェハの回転方向と前記位置合わせ基準点の位置とを決定する工程と、
（ｄ）決定された前記回転方向および前記位置合わせ基準点の位置と、予め登録された前記位置合わせ基準点と前記測定点との位置関係に基づいて、前記測定点の予測位置を決定する工程と、
（ｅ）前記予測位置の近傍の領域について第２の画像を取り込む工程と、
（ｆ）前記第２の画像に関して前記第２のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第２の処理を行うことによって、前記測定点の実測位置を決定する工程と、
を備え、
前記工程（ｃ）における第１の処理は、
（ｉ）前記第１の画像に含まれる直線部分を分析することによって、前記被測定ウェハが取り得る回転角度として、互いに９０度の整数倍異なる４つの等価回転角度を決定する工程と、
（ｉｉ）前記画像に対して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチングを行なうことによってマッチングパターンを検出し、前記マッチングパターンの方向に基づいて前記４つの等価回転角度の中からウェハ座標系において予め定められた１つの基準方向に対応する１つの等価回転角度を選択する工程と、
（ｉｉｉ）前記選択された等価回転角度から前記被測定ウェハの回転方向を決定する工程と、
を備えることを特徴とするウェハの測定位置決定方法。
【請求項２】
請求項１記載のウェハの測定位置決定方法であって、
前記被測定ウェハ上の複数の前記測定点のうち、前記位置合わせ基準点から所定の範囲内にある測定点に関しては、前記工程（ｅ）および前記工程（ｆ）の処理を省略し、前記工程（ｄ）において得られた前記予測位置を前記測定点の実測位置として使用する、ウェハの測定位置決定方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載のウェハの測定位置決定方法であって、
前記被測定ウェハ上の複数の前記測定点のうち、前記工程（ｅ）および工程（ｆ）の処理が行われた第１の測定点から所定の範囲内にある第２の測定点に関しては、前記工程（ｅ）および前記工程（ｆ）の処理を省略し、前記第１の測定点における前記予測位置と前記実測位置とのずれ量に基づいて前記第２の測定点の予測位置を補正することによって前記第２の測定点の実測位置を決定する、ウェハの測定位置決定方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のウェハの測定位置決定方法であって、
前記（ｃ）は、前記位置合わせ基準点の近傍の複数の領域について複数の前記第１の画像を取り込み、
前記（ｄ）は、前記複数の第１の画像に関して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第１の処理をそれぞれ行うことによって、前記被測定ウェハの回転方向と前記位置合わせ基準点の位置とを決定する、ウェハの測定位置決定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェハの測定点の位置を決定する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハは、その製造工程において種々の測定装置によって測定が行われる。測定処理の際には、ウェハ上の予め定められた測定点に測定プローブ（光学素子や電極等）を正確に位置決めする「位置合わせ処理（アライメント処理）」が行なわれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、測定装置によっては、ウェハを測定装置の支持台上に載置する時に、ウェハが任意の回転方向（オリエンテーション）を取り得るものがある。このような測定装置においては、ウェハの回転方向が不明なので、ウェハ上の測定点を位置決めすることが困難であった。
【０００４】
この発明は、従来技術における上述の課題を解決するためになされたものであり、ウェハの回転方向が不明な場合にも、ウェハの測定点の位置を決定できる技術を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、この発明の方法は、被測定ウェハ上の測定点の位置を決定する方法であって、
（ａ）前記被測定ウェハ表面の位置合わせ基準点と前記測定点との位置関係を予め登録するとともに、前記被測定ウェハ表面の前記位置合わせ基準点の近傍の画像に対してパターンマッチングを行う際に用いられる第１のテンプレート画像と、前記測定点の近傍の画像に対してパターンマッチングを行う際に用いられる第２のテンプレート画像と、を準備する工程と、
（ｂ）前記位置合わせ基準点の近傍の領域について第１の画像を取り込む工程と、
（ｃ）前記第１の画像に関して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第１の処理を行うことによって、前記被測定ウェハの回転方向と前記位置合わせ基準点の位置とを決定する工程と、
（ｄ）決定された前記回転方向および前記位置合わせ基準点の位置と、予め登録された前記位置合わせ基準点と前記測定点との位置関係に基づいて、前記測定点の予測位置を決定する工程と、
（ｅ）前記予測位置の近傍の領域について第２の画像を取り込む工程と、
（ｆ）前記第２の画像に関して前記第２のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第２の処理を行うことによって、前記測定点の実測位置を決定する工程と、
を備え、
前記工程（ｃ）における第１の処理は、
（ｉ）前記第１の画像に含まれる直線部分を分析することによって、前記被測定ウェハが取り得る回転角度として、互いに９０度の整数倍異なる４つの等価回転角度を決定する工程と、
（ｉｉ）前記画像に対して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチングを行なうことによってマッチングパターンを検出し、前記マッチングパターンの方向に基づいて前記４つの等価回転角度の中からウェハ座標系において予め定められた１つの基準方向に対応する１つの等価回転角度を選択する工程と、
（ｉｉｉ）前記選択された等価回転角度から前記被測定ウェハの回転方向を決定する工程と、
を備えることを特徴とする。
【０００６】
パターンマッチング処理では、テンプレート画像とほぼ同じ画像部分の位置とその画像部分の向きとを決定できる。パターンマッチング処理を含む第１の処理では、被測定ウェハの回転方向と位置合わせ基準点の位置を決定することができる。この回転方向と位置合わせ基準点の位置からは、測定装置に固定された座標系と、ウェハに固定された座標系との対応関係を決定することができる。位置合わせ基準点と測定点との位置関係は予め登録されているので、上記２つの座標系の対応関係から、測定点の位置を予測することができる。この予測位置の近傍で、パターンマッチング処理を含む第２の処理を行えば、測定点の位置を正確に決定することができる。従って、ウェハの回転方向が不明な場合にも、ウェハの測定点の位置を正確に決定することができる。
【０００７】
上記の方法において、前記被測定ウェハ上の複数の前記測定点のうち、前記位置合わせ基準点から所定の範囲内にある測定点に関しては、前記工程（ｅ）および前記工程（ｆ）の処理を省略し、前記工程（ｄ）において得られた前記予測位置を前記測定点の実測位置として使用することが好ましい。
【０００８】
こうすれば、位置合わせ基準点から所定の範囲内にある測定点は、予測位置と実測位置のズレ量は比較的小さい。従って、この範囲内にある測定点について、工程（ｅ）および（ｆ）を省略することによって、或る程度の位置合わせ精度を確保しつつ、全体の位置合わせ処理の処理時間を短縮することができる。
【０００９】
また、上記の方法において、前記被測定ウェハ上の複数の前記測定点のうち、前記工程（ｅ）および工程（ｆ）の処理が行われた第１の測定点から所定の範囲内にある第２の測定点に関しては、前記工程（ｅ）および前記工程（ｆ）の処理を省略し、前記第１の測定点における前記予測位置と前記実測位置とのずれ量に基づいて前記第２の測定点の予測位置を補正することによって前記第２の測定点の実測位置を決定するようにしてもよい。
【００１０】
こうすれば、上記と同様な理由により、或る程度の位置合わせ精度を確保しつつ、全体の位置合わせ処理の処理時間を短縮することができる。
【００１１】
上記の方法において、前記（ｃ）は、前記位置合わせ基準点の近傍の複数の領域について複数の前記第１の画像を取り込み、
前記（ｄ）は、前記複数の第１の画像に関して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第１の処理をそれぞれ行うことによって、前記被測定ウェハの回転方向と前記位置合わせ基準点の位置とを決定することが好ましい。
【００１２】
複数の画像に対するパターンマッチング処理を行えば、被測定ウェハの回転方向と位置合わせ基準点の位置とをより正確に決定することができる。
【００１３】
【発明の他の態様】
この発明は、以下のような他の態様も含んでいる。第１の態様では、上記の方法の工程（ｃ）における回転方向を決定する処理が、
（ｉ）前記第１の画像に含まれる直線部分を分析することによって、前記被測定ウェハが取り得る回転角度として、互いに９０度の整数倍異なる４つの等価回転角度を決定する工程と、
（ｉｉ）前記画像に対して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチングを行なうことによってマッチングパターンを検出し、前記マッチングパターンの方向に基づいて前記４つの等価回転角度の中から１つを選択する工程と、
（ｉｉｉ）前記選択された等価回転角度から前記被測定ウェハの回転方向を決定する工程と、
を備える。
【００１４】
また、第２の態様では、上記第１の態様において、前記工程（ａ）が、
（１）基準ウェハ表面の一部の撮像領域の画像を取り込む工程と、
（２）前記画像に含まれる直線部分を分析することによって、前記基準ウェハが取り得る回転角度として、互いに９０度の整数倍異なる４つの等価回転角度を決定する工程と、
（３）前記画像の一部からテンプレート画像を抽出する工程と、
（４）前記テンプレート画像の向きとの関連から、前記４つの等価回転角度の中から１つを選択する工程と、を備え、
前記工程（ｃ）は、
前記基準ウェハに対して選択された等価回転角度と、前記被測定ウェハに対して選択された等価回転角度との差を求めることによって、前記基準ウェハに対する前記被測定ウェハの相対的な回転角度を決定する工程、を含む。
【００１５】
第３の態様では、上記の方法の工程（ｃ）における回転方向を決定する処理が、
（ｉ）前記第１の画像に含まれる直線部分を分析することによって、前記被測定ウェハが取り得る回転角度として、互いに９０度の整数倍異なる４つの等価回転角度を決定する工程と、
（ｉｉ）前記第１の画像に対して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチングを行なうことによってマッチングパターンを検出するとともに、前記マッチングパターンの方向に基づいて前記４つの等価回転角度の中から１つを選択する工程と、
（ｉｉｉ）選択された等価回転角度に基づいて前記第１の撮像領域から所定の検索方向を特定し、前記検索方向に沿った所定の位置に存在する少なくとも他の１つの撮像領域を特定するとともに、特定された各撮像領域の画像を取り込む工程と、
（ｉＶ）前記各撮像領域の画像に対して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチングを行なってマッチングパターンをそれぞれ検出する工程と、
（Ｖ）前記検索方向に沿った前記第１の撮像領域を含む複数の撮像領域のそれぞれにおいて検出されたマッチングパターンの所定の基準位置を互いに結ぶ第１の連結方向を求め、前記第１の連結方向から前記被測定ウェハの回転方向を決定する工程と、を備える。
【００１６】
第４の態様では、第３の態様において、
前記工程（ａ）が、
（１）基準ウェハ表面の一部の第２の撮像領域の画像を取り込む工程と、
（２）前記画像に含まれる直線部分を分析することによって、前記基準ウェハが取り得る回転角度として、互いに９０度の整数倍異なる４つの等価回転角度を決定する工程と、
（３）前記画像の一部から前記第１のテンプレート画像を抽出する工程と、
（４）前記第１のテンプレート画像の向きとの関連から、前記４つの等価回転角度の中から１つを選択する工程と、
（５）選択された等価回転角度に基づいて、前記第２の撮像領域から所定の検索方向を特定し、前記検索方向に沿った所定の位置に存在する少なくとも他の１つの撮像領域を特定するとともに、特定された各撮像領域の画像を取り込む工程と、
（６）前記各撮像領域の画像に対して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチングを行なってマッチングパターンをそれぞれ検出する工程と、
（７）前記検索方向に沿った前記第２の撮像領域を含む複数の撮像領域のそれぞれにおいて検出されたマッチングパターンの所定の基準位置を互いに結ぶ第２の連結方向を決定する工程と、を備え、
前記工程（ｃ）は、
前記第１の連結方向と前記第２の連結方向との角度差から、前記基準ウェハに対する前記被測定ウェハの相対的な回転角度を決定する工程、を含む。
【００１７】
第５の態様では、第４の態様において、前記基準ウェハにおける複数のマッチングパターンの基準位置の座標と、前記被測定ウェハにおける複数のマッチングパターンの基準位置の座標とに基づいて、前記基準ウェハの位置合わせ基準点の座標と前記被測定ウェハの位置合わせ基準点の座標との相対関係を決定する工程、を備える。
【００１８】
第６の態様は、被測定ウェハ上の測定点の位置を決定する装置であって、
前記被測定ウェハ表面の位置合わせ基準点と前記測定点との位置関係を記憶するとともに、前記被測定ウェハ表面の前記位置合わせ基準点の近傍の画像に対してパターンマッチングを行う際に用いられる第１のテンプレート画像と、前記測定点の近傍の画像に対してパターンマッチングを行う際に用いられる第２のテンプレート画像と、を記憶する記憶手段と、
前記位置合わせ基準点の近傍の領域について第１の画像を取り込む撮像手段と、
前記第１の画像に関して前記第１のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第１の処理を行うことによって、前記被測定ウェハの回転方向と前記位置合わせ基準点の位置とを決定する基準位置決定手段と、
決定された前記回転方向および前記位置合わせ基準点の位置と、予め登録された前記位置合わせ基準点と前記測定点との位置関係に基づいて、前記測定点の予測位置を決定する撮像位置決定手段と、
前記予測位置の近傍の領域について前記撮像手段によって撮像された第２の画像に関して前記第２のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を含む第２の処理を行うことによって、前記測定点の実測位置を決定する測定位置決定手段と、を備えることを特徴とする。
【００１９】
第７の態様は、コンピュータに上記の発明の各工程または各手段の機能を実行させるコンピュータプログラムを記録した記録媒体である。記録媒体としては、フレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭなどのコンピュータが読取り可能な携帯型の記憶媒体や、コンピュータシステムの内部記憶装置（ＲＡＭやＲＯＭなどのメモリ）および外部記憶装置、あるいは、これ以外のコンピュータプログラムが記録された媒体であってコンピュータシステムが読取り可能な種々の媒体を利用できる。
【００２０】
第８の態様は、コンピュータに上記の発明の各工程または各手段の機能を実行させるコンピュータプログラムを通信経路を介して供給するプログラム供給装置である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
Ａ．装置の構成：
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づき説明する。図１は、この発明の実施例を適用して半導体ウェハの位置合わせ処理（アラインメント処理）を行なう機能を有する測定装置の構成を示すブロック図である。この測定装置は、制御操作ユニット３０と、光学ユニット４０と、画像処理ユニット５０とを備えている。
【００２２】
制御操作ユニット３０は、表示部３１と、操作部３２と、制御部３３と、ステージ駆動部３４と、ステージ座標読み込み部３５と、ＸＹステージ３６とを備えている。表示部３１としては、例えばモニタや液晶ディスプレイ等が使用される。また、操作部３２としては、例えばキーボードやマウス等が用いられる。ＸＹステージ３６の上には、半導体ウェハＷＦが載置される。半導体ウェハＷＦの表面には、タイル状に配列された矩形の複数の半導体チップが形成されている。なお、この装置は、ＸＹステージ３６を回転させる機構は有していない。
【００２３】
光学ユニット４０は、カメラ４１と、光源４２と、ハーフミラー４３と、対物レンズ４４とを備えている。ハーフミラー４３は、光源４２から出射された光を対物レンズ４４に向けて反射し、ＸＹステージ３６上の半導体ウェハＷＦに光を照射する。半導体ウェハＷＦの表面で反射されたは光は、対物レンズ４４とハーフミラー４３とを通過して、カメラ４１に入射する。すなわち、カメラ４１は、半導体ウェハＷＦの表面の画像を撮像する。画像としては、多階調画像（グレー画像）を読取ることが好ましい。なお、この実施例では、カメラ４１の視野サイズは、半導体ウェハの表面に形成された半導体チップの１個分のサイズよりも小さい。後で詳述するように、半導体ウェハＷＦの多階調画像は、画像処理ユニット５０によって処理され、これによって半導体ウェハＷＦの回転方向が検出される。画像処理ユニット５０のモニタ１３６には、半導体ウェハＷＦの一部の撮像領域の多階調画像が表示される。
【００２４】
ユーザが操作部３２を操作してＸＹステージ３６に対する移動指令を入力すると、その指令に応じて、制御部３３がステージ駆動部３４を制御してＸＹステージ３６をＸ方向とＹ方向に移動させる。また、操作部３２からステージの座標読み込み指令が入力されると、その時点のステージ座標情報がステージ座標読み込み部３５によって読込まれて制御部３３に供給される。ステージ座標情報は、必要に応じて表示部３１に表示される。ステージ座標情報は、さらに、双方向の通信経路３８を介して制御部３３から画像処理ユニット５０にも供給される。後述するように、画像処理ユニット５０は、画像処理によって認識されたウェハの回転方向と、このステージ座標情報とを利用することによって、ウェハの正確な回転方向や測定位置を決定する。
【００２５】
図２は、画像処理ユニット５０の内部構成を示すブロック図である。この画像処理ユニット５０は、ＣＰＵ１１０と、ＲＯＭ１１４と、ＲＡＭ１１６と、入出力インタフェイス１４０とが、バスライン１１２に接続されたコンピュータシステムとして構成されている。入出力インタフェイス１４０には、モニタ１３６と、磁気ディスク１３８と、通信経路３８とが接続されている。
【００２６】
ＲＡＭ１１６には、等価回転方向決定手段１５０と、撮像位置決定手段１５２と、パターンマッチング手段１５４と、角度選択手段１５６と、回転方向決定手段１５８と、基準位置決定手段１６０と、測定位置決定手段１６２とを実現するアプリケーションプログラムが格納されている。これらの各手段の機能については後述する。
【００２７】
なお、これらの各手段の機能を実現するコンピュータプログラム（アプリケーションプログラム）は、フロッピディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の携帯型の記録媒体（可搬型の記録媒体）に記録された形で提供され、この記録媒体からコンピュータシステムの外部記憶装置に転送される。そして、実行時には、ＲＡＭ１１６に記憶される。あるいは、通信経路を介してプログラム供給装置からコンピュータシステムにコンピュータプログラムを供給するようにしてもよい。この明細書において、コンピュータシステムとは、ハードウェアとオペレーションシステムとを含み、オペレーションシステムの制御の下で動作する装置を意味している。アプリケーションプログラムは、このようなコンピュータシステムに、上述の各部の機能を実現させる。なお、上述の機能の一部は、アプリケーションプログラムでなく、オペレーションシステムによって実現されていても良い。
【００２８】
Ｂ．位置合わせ処理の概要：
図３は、実施例における位置合わせ処理の概要を示す説明図である。基準ウェハ（図３（Ａ））とは、位置合わせ処理の対象となる被測定ウェハ（図３（Ｂ））と同じパターンが形成されたウェハである。一般的には、同一のロットで処理された複数のウェハの１枚を基準ウェハＷＦ１として使用し、他のウェハが被測定ウェハＷＦ２となる。１枚のウェハには、位置合わせ基準点ＲＰと、複数の測定点ＰＭ１〜ＰＭ１５（白丸で示す）とが設定される。図３（Ａ），（Ｂ）にも示されているように、ウェハがＸＹステージ３６上に載置された時には、任意の回転方向を取りうる。図１に示す測定装置は、ＸＹステージ３６上に載置されたウェハを回転するための回転機構を備えていないので、ウェハの回転方向は、画像処理によって認識され、補正される。
【００２９】
図４は、実施例における位置合わせ処理の全体手順を示すフローチャートである。ウェハの測定点の位置合わせ処理は、基準ウェハを用いたプリアライメント前処理（ステップＴ１）と、基準ウェハを用いたファインアライメント前処理（ステップＴ２）と、被測定ウェハを用いたプリアライメント処理（ステップＴ３）と、被測定ウェハを用いたファインアライメント処理（ステップＴ４）とに大別される。ステップＴ１，Ｔ３におけるプリアライメント処理は、基準位置決定手段１６０（図２）の制御の下に、測定位置決定手段１６２以外の他の手段１５０，１５２，１５４，１５６，１５８が協力して実行する。ステップＴ２，Ｔ４におけるファインアライメント処理は、測定位置決定手段１６２の制御の下に、撮像位置決定手段１５２とパターンマッチング手段１５４が協力して実行する。
【００３０】
図４のステップＴ１における基準ウェハＷＦ１を用いたプリアライメント前処理では、基準ウェハＷＦ１の回転角度θ１と、位置合わせ基準点ＲＰの位置とを含むプリアライメント情報が登録される。ここで、基準ウェハＷＦ１の回転角度θ１は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓと基準ウェハＷＦ１の所定の方向ＤＬ１とのなす角度である。ステージ座標系の基準方向Ｄｓは、ＸＹステージ３６に対して固定された方向であり、例えばＸＹステージ３６上のＸ方向に設定される。基準ウェハＷＦ１の所定の方向ＤＬ１は、基準ウェハＷＦ１に対して固定された方向である。この方向ＤＬ１の決定方法については後述する。なお、これらの方向Ｄｓ，ＤＬ１の設定の仕方は任意であり、これ以外の定義も可能である。
【００３１】
図４のステップＴ１では、まず、位置合わせ基準点ＲＰの近傍においてパターンマッチング用の第１のテンプレート画像を取得する。さらに、位置合わせ基準点ＲＰの近傍の他の領域において、パターンマッチングを行って第１のテンプレート画像にほぼ一致するマッチングパターンの位置を決定する。そして、第１のテンプレート画像の位置と、そのマッチングパターンの位置とに基づいて、基準ウェハの回転角度θ１と、位置合わせ基準点ＲＰの位置とを決定する。
【００３２】
ステップＴ２における基準ウェハＷＦ１を用いたファインアライメント前処理では、基準ウェハＷＦ１上の複数の測定点ＰＭ１〜ＰＭ１５の位置を登録する。この際、まず、複数の測定点の近傍で画像のパターンマッチングに用いる第２のテンプレート画像を取得する。そして、第２のテンプレート画像と各測定点との位置関係を登録する。この際、位置合わせ基準点ＲＰの位置と各測定点との位置関係も登録される。
【００３３】
図４のステップＴ３における被測定ウェハＷＦ２を用いたプリアライメント処理では、被測定ウェハＷＦ２の回転角度θ２と位置合わせ基準点ＲＰの位置とが決定される。この際、位置合わせ基準点ＲＰの近傍の２つの領域において、第１のテンプレート画像を用いてパターンマッチング処理をそれぞれ行うことによって、２つのマッチングパターンの位置を決定する。そして、これらのマッチングパターンの位置から、被測定ウェハの回転角度θ２と、位置合わせ基準点ＲＰの位置とが決定される。
【００３４】
図４のステップＴ４における被測定ウェハＷＦ２を用いたファインアライメント処理では、複数の測定点の近傍で、第２のテンプレート画像を用いたパターンマッチング処理を行うことによって、各測定点の実測位置が決定される。
【００３５】
Ｃ．基準ウェハを用いたプリアライメント前処理：
図５および図６は、基準ウェハＷＦ１を用いたプリアライメント前処理の手順を示すフローチャートである。図５のステップＳ１では、ウェハのチップ寸法と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のチップ個数とをユーザが入力する。
【００３６】
図７は、半導体ウェハの表面に形成されたチップの配列を示す概念図である。半導体ウェハＷＦの表面上には、同一サイズの矩形の複数のチップＣＰがタイル状に配置される。Ｘ軸方向とＹ軸方向に沿ったチップ個数の偶数と奇数の組合わせは、偶数−偶数、奇数−偶数、偶数−奇数、奇数−奇数の４通りある。図７（Ａ）は偶数−偶数の例であり、図７（Ｂ）は、偶数−奇数の例である。このような４通りの組み合わせのいずれであるかの情報と、チップの縦横のピッチＬＸ，ＬＹから、ウェハの中心Ｏを基準にして、中心付近のチップの位置を算出することができる。従って、ステップＳ１では、少なくともチップ個数の４通りの組合わせのいずれであるかを示す情報と、チップのピッチＬＸ，ＬＹを示す情報とが入力される。
【００３７】
図５のステップＳ２では、基準ウェハＷＦ１の中心位置において多階調画像（グレー画像）がカメラ４１によって取り込まれる。ウェハが最初にＸＹステージ３６上に載置される時には、図７に示すように、ウェハの外周が、ＸＹステージ３６のウェハ保持アーム３６ａ，３６ｂで保持されて、ＸＹステージ３６のほぼ中央に位置決めされる。この状態において、カメラ４１によって撮像すると、ウェハの中心付近の画像を得ることができる。
【００３８】
図８は、ウェハの中心付近を拡大して示す概念図である。この実施例では、各チップＣＰの右上の角に、他の３つの角にはない特徴的なパターンＰＴが形成されているものとする。このパターンＰＴを含む画像部分は、後述するパターンマッチングにおいて、第１のテンプレート画像として利用される。チップＣＰは、直交するスクライブラインＳＬによって区分されている。ウェハ表面を撮像して得られた多階調画像では、スクライブラインＳＬは暗領域として識別されることもあり、あるいは、明領域として識別されることもある。いずれの場合においても、スクライブラインＳＬは、チップＣＰとは明度が異なる領域として識別可能である。
【００３９】
図８には、チップ個数の４種類の組み合わせに応じたカメラ４１の視野Ｗ１〜Ｗ４の位置が例示されている。前述したように、カメラ４１の視野サイズは、チップ１個分のサイズよりも小さいので、視野内に１個のチップがすべて含まれることはない。第１の視野Ｗ１は、チップ個数が偶数−偶数の場合におけるウェハ中央での撮像領域に相当する。この視野Ｗ１は、スクライブラインＳＬの交点のほぼ中心に位置している。第２の視野Ｗ２は、チップ個数が偶数−奇数の場合におけるウェハ中央での撮像領域に相当する。この視野Ｗ２は、２つのチップに挟まれた位置にある。第３の視野Ｗ３は、チップ個数が奇数−偶数の場合におけるウェハ中央での撮像領域に相当する。この視野Ｗ３も、チップに挟まれた位置にある。第４の視野Ｗ４は、チップ個数が奇数−奇数の場合におけるウェハ中央での撮像領域に相当する。この視野Ｗ４も、２つのチップのほぼ中央に挟まれた位置にある。なお、実際には、基準ウェハは図８の位置から回転しているので、視野Ｗ１〜Ｗ４は、スクライブラインＳＬで示される正規の方位から傾いた状態となる。
【００４０】
図５のステップＳ２では、ウェハの中心位置において画像を取り込むので、図８の視野Ｗ１〜Ｗ４のいずれかの位置における画像が得られる。この画像は、次のステップＳ３において、画像内に含まれる直線部分（スクライブラインＳＬ等）を認識するために使用される。チップの個数が奇数−奇数の場合には、図８の第４の視野Ｗ４のように直線部分が含まれない可能性が高い。そこで、この場合には、チップのピッチＬＸまたはＬＹの１／２だけウェハの中心からずらした位置において撮像するようにしてもよい。
【００４１】
図５のステップＳ３では、等価回転方向決定手段１５０（図２）が、画像に含まれる直線エッジ情報を検出するとともに、その直線エッジ情報から、基準ウェハの粗回転角度を決定する。「粗回転角度」とは、直線エッジ情報から得られる比較的低精度の回転角度を意味する。直線エッジ情報の抽出方法としては、以下に説明する１次元投影法やソベルオペレータ法等を利用することができる。
【００４２】
図９は、１次元投影法による直線エッジ情報の検出処理を示す説明図である。図９には、水平方向にのみ直線部分が存在する２次元多階調画像が示されている。１次元投影法では、この２次元多階調画像を種々の方向に１次元投影して、画素値を加算する。直線部分に平行な方向に投影した場合には、直線部分が存在する座標における画素値が大きなピーク値を持つ。一方、直線部分と平行でない方向に投影した場合には、加算された画素値のピーク値はこれよりも小さくなる。このように、２次元画像をさまざまな方向に１次元投影して、画素値の累算値のピーク値が最大となる投影方向を、直線部分の方向として決定することができる。投影方向は、１８０°の範囲にわたる複数の投影方向を選択するようにすればよい。この直線部分の方向から、粗回転角度が決定される。例えば、ステージ座標系（ＸＹステージ３６に固定された座標系）の所定の方向（例えば時計の３時方向）を基準方向として、この基準方向から反時計回りに直線部分の方向まで測った角度を粗回転角度とすることができる。
【００４３】
図１０ないし図１２は、ソベルオペレータ法による直線エッジ情報の検出処理を示す説明図である。図１０は、ソベルオペレータによる画像処理の方法を示している。ソベルオペレータ法では、まず、図１０（Ａ−１）または（Ａ−２）に示すような、エッジ画素を含む所定サイズの画素ブロック（図１０の例では、３×３ブロック）を多階調画像の中から選択する。ここで、「エッジ画素」は、「８近傍の画素のうちで、少なくとも１つの画素の画素値が、自分自身（図１０（Ａ−１），（Ａ−２）の中心画素）の画素値と異なっており、かつ、画像の境界上にない画素」と定義される。図１０（Ａ−１）では、画像の角部分の画素がエッジ画素として認識される状態を示しており、図１０（Ａ−２）では、直線部分の画素がエッジ画素として認識される状態を示している。エッジ画素の識別は、３×３ブロックを多階調画像内で走査し、ブロックの中央画素が上記の定義に合致するか否かを判断することによって行なわれる。
【００４４】
図１０（Ｂ−１），（Ｂ−２）は、水平方向と垂直方向のソベルオペレータをそれぞれ示している。エッジ画素を含む３×３ブロックに対して、これらの水平方向オペレータと垂直方向オペレータとをそれぞれ作用させることによって、水平エッジ値と垂直エッジ値とがそれぞれ求められる。図１０（Ｃ）は、水平方向オペレータを作用させた場合の演算の例を示している。水平方向オペレータを３×３ブロックの画素値に作用させると水平エッジ値が得られ、同様にして、垂直方向オペレータを３×３ブロックの画素値に作用させると垂直エッジ値が得られる。
【００４５】
図１１は、ソベルオペレータを用いて得られた水平エッジ値ｘと垂直エッジ値ｙとから、画像の直線部分の角度を算出する方法を示す説明図である。図１１（Ａ）に示すように、画像の直線部分の角度αは、ｔａｎ−１（ｙ／ｘ）で与えられる。ここで、角度αは、水平右向き方向（時計の３時方向）から反時計回りに測った角度である。例えば、図１１（Ｂ）の例では、垂直エッジ値が０であり水平エッジ値が４なので、角度αは０°であると判定できる。また、図１１（Ｃ）の例では、垂直エッジ値と水平エッジ値がいずれも１なので、角度αは４５°であると判定できる。なお、角度αは０°〜１８０°の範囲の値を取るものとする。１８０°〜３６０°の範囲は、０°〜１８０°の範囲と等価である。
【００４６】
図１２は、処理対象となる多階調画像の一例と、この多階調画像からソベルオペレータ法によって検出された角度αのヒストグラムを示す説明図である。図１２（Ａ）に示す多階調画像内において、図１０（Ａ−１）または図１０（Ａ−２）のようなエッジ画素を中心画素とする３×３ブロックを検出し、エッジ画素を含む各３×３ブロックについて図１１に示す方法で角度αを決定する。図１２（Ｂ）は、このようして多数の３×３ブロックについて得られた角度αの頻度を示すヒストグラムである。この例では、４０°と１３０°の位置にピークが存在し、４０°の位置のピークが最大である。この時、最大ピーク位置の角度α１を、多階調画像内の直線部分の回転方向を示す粗回転角度であるとして採用する。
【００４７】
なお、上述した１次元投影法やソベルオペレータ法を用いて検出された粗回転角度α１には、９０°の整数倍異なる４つの等価な角度が存在する。換言すれば、粗回転角度α１は、１／４の不確定さを有している。図１３は、４つの等価回転角度を示す説明図である。図１３（Ａ）に示すように、カメラ４１の視野Ｗ内にスクライブラインＳＬの交点付近の画像が見えている場合を考える。この実施例ではカメラ４１の視野サイズがチップサイズに比べて小さいので、チップの回転方向が図１３（Ｂ）〜（Ｅ）の４種類のいずれであるかを画像データから特定することができない。従って、ウェハの正しい回転角度は、９０°おきの４つの等価な回転角度の中の１つである。図３のステップＳ３においては、この４つの等価な回転角度の少なくとも１つを粗回転角度として検出する。等価な回転角度の１つが検出できれば、他の等価な回転角度も検出できたものと考えることができる。
【００４８】
なお、ステップＳ３において得られる直線エッジ情報とその粗回転角度は、ほとんどの場合はスクライブラインＳＬのものである。但し、スクライブラインＳＬに限らず、ウェハの多階調画像内に存在する直線的な画像部分に関する直線エッジ情報やその粗回転角度を検出してもよい。チップ内の回路が有する直線的な部分は、スクライブラインＳＬに平行なものがほとんどである。従って、スクライブラインＳＬ以外の直線的画像部分を検出しても、ウェハの粗回転角度を求めることができる。
【００４９】
ステップＳ４では、ステップＳ３で検出された直線エッジ情報が信頼できるか否かが判定される。この判定は、例えば、図９に示す１次元投影法を用いた場合には、累算画素値のピーク値が所定の閾値以上であるか否かによって行なうことができる。また、図１０〜図１２に示すソベルオペレータ法を用いた場合には、図１２（Ｂ）のヒストグラムのピーク値が所定の閾値以上であるか否かによって判定することができる。あるいは、モニタ１３６にウェハの画像を表示しておけば、はっきりとした直線エッジが画像内に含まれるか否かをユーザが目視で判定することができる。直線エッジ情報が信頼できないものである場合には、ステップＳ５において、ＸＹステージ３６を所定量（例えば１視野分）だけ移動させ、ウェハ中心付近の別の位置において多階調画像を取り込む。そして、ステップＳ３を再度実行することによって直線エッジ情報を検出し、粗回転角度α１を求める。
【００５０】
こうして、粗回転角度α１が求められると、ステップＳ６において、撮像位置決定手段１５２が、ウェハの中心付近においてスクライブラインＳＬの交点位置を視野に含むように、ＸＹステージ３６の目標位置座標を算出して移動させる。前述したように、Ｘ軸方向とＹ軸方向に沿ったチップの個数の４種類の組み合わせ（偶数−偶数、偶数−奇数、奇数−偶数、奇数−奇数）によって、ウェハの中心における初期の視野の位置は図８に示す４つの視野Ｗ〜Ｗ４の位置にほぼ決まっている。撮像位置決定手段１５２（図２）は、ステップＳ３で得られた粗回転角度α１と、チップの寸法（ピッチＬＸ，ＬＹ）と、チップの個数情報から、Ｘ方向とＹ方向にそれぞれどの程度移動させればスクライブラインＳＬの交点位置を視野内に含む位置に移動できるかを算出する。画像処理ユニット５０は、この移動量を制御部３３（図１）に通知して、ＸＹステージ３６を移動させる。その後、カメラ４１によって多階調画像を再度撮像する。なお、粗回転角度α１には１／４の不確定さがあるので、１回の移動によって、視野の中心がスクライブラインＳＬの交点位置に到達できるとは限らない。この場合には、例えばウェハの中央位置を中心として９０°回転した方向に移動方向を変更して、同じ距離だけ移動すれば、スクライブラインＳＬの交点位置に視野（すなわち撮像領域）の中心を移動させることができる。図１４は、スクライブラインＳＬの交点位置に視野の中心を移動させた状態を示している。図１４に示したように、ウェハの直線部分（スクライブラインＳＬ）の方向は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから粗回転角度α１だけ回転している。ステップＳ６においてカメラ４１で取り込んだ画像はモニタ１３６に表示される。
【００５１】
図５のステップＳ７では、ステップＳ６で取り込まれた画像を時計回りに粗回転角度α１だけ回転させる画像処理を行う。ステップＳ８では、撮像位置決定手段１５２が、スクライブラインＳＬの交点Ｐａの正確な位置（座標値）の実測値を求めて、これを保存する。スクライブラインＳＬの交点位置の座標は、後に、基準ウェハＷＦ１の位置合わせ基準点を決定する際に使用される。基準ウェハのスクライブラインＳＬの交点位置は、例えば、図１４に示す、カメラ４１の視野Ｗａの中心点Ｐａの座標で代表される。この点Ｐａの位置は、ユーザがモニタ１３６に表示された画像上において、マウス等のポインティングデバイスを用い、カーソルを移動させて指定することができる。あるいは、カメラ４１で取り込んだ多階調画像を処理することによって、スクライブラインＳＬの交点の中心位置の座標を自動的に決定することも可能である。画像処理で交点の中心位置を求める場合には、まず、前述したステップＳ３と同様な方法に従って直線エッジを検出する。そして、スクライブラインＳＬのエッジを近似した直線を求める。さらに、これらの近似直線で構成される４つの角部の中心位置を、スクライブラインＳＬの交点位置として決定する。なお、視野Ｗａの中心位置の座標は、ステージ座標読み込み部３５（図１）で取り込まれたステージ座標系の座標（ステージに固定された座標）である。視野Ｗａ（すなわち取込まれた画像）内の任意の位置のステージ座標系の座標は、この座標値から容易に算出できる。
【００５２】
第１のテンプレート画像ＭＰａの基準点Ｑａと、スクライブライン交点Ｐａとの座標値のオフセット（δｘ，δｙ）は、アライメント情報ファイル１３９に保存される。
【００５３】
ステップＳ９では、ステップＳ７で回転した画像の中からパターンマッチング用の第１のテンプレート画像（モデルパターンとも呼ぶ）を切り出して登録する。図１５は、第１のテンプレート画像ＭＰａの登録の様子を示す説明図である。ステップＳ７では、まず、スクライブラインＳＬ交点位置における多階調画像（図１５（Ａ））を、図１５（Ｂ）に示すように粗回転角度α１だけ時計回りに回転させて、回転後の画像をモニタ１３６に表示する。画像の回転は、アフィン変換によって実行される。ユーザは、表示された画像を観察して、テンプレート画像ＭＰａとして使用できる画像パターンが存在するか否かを判断する。テンプレート画像ＭＰａとして使用できる画像パターンとは、その画像パターンの向きから、粗回転角度α１として等価な４つ等価回転角度の中の１つを選択できるような画像パターンを意味する。テンプレート画像ＭＰａとしては、９０°の整数倍の回転対称性が無い画像パターンが好ましい。換言すれば、９０°の整数倍の回転対称性（９０°，１８０°，２７０°の回転対称性）のいずれかを有する画像パターンは、テンプレート画像ＭＰａとしては不適切である。スクライブラインＳＬの交点付近の視野Ｗａには、隣接する４つのチップのそれぞれの角部が含まれるので、これらの４つの角部の内の１つにのみ含まれる特有の画像パターンを第１のテンプレート画像ＭＰａとして登録することができる。
【００５４】
現在の視野Ｗａ内にテンプレート画像ＭＰａとして使用できる画像パターンが存在しない場合には、カメラ４１で取り込んだ画像をモニタ１３６に表示して観察しながら、ＸＹステージ３６を少しずつ移動させる。そして、テンプレート画像ＭＰａとして使用できる画像パターンが視野内に入る状態に設定する。
【００５５】
現在の視野Ｗａ内にテンプレート画像ＭＰａとして使用できる画像パターンが存在する場合には、図１５（Ｂ），（Ｃ）に示すように、回転後の画像内からテンプレート画像ＭＰａとして登録する領域を切り出す。テンプレート画像ＭＰａの範囲は、ユーザがマウス等のポインティングデバイスを用いて指定する。テンプレート画像ＭＰａは、スクライブラインＳＬの交点付近に存在すれば望ましいが、必ずしも交点付近に存在しなくても良い。
【００５６】
図５のステップＳ１０では、第１のテンプレート画像ＭＰａの画像と、テンプレート画像ＭＰａの所定位置にある基準点（例えば図１５（ｃ）に示す左上点Ｑａ）の座標が磁気ディスク１３８内のアライメント情報ファイル１３９（図２）に登録される。なお、基準点Ｑａの座標は、例えばステージ座標系の座標値で表わされる。
【００５７】
図６のステップＳ１１では、ユーザが、回転して切り出したテンプレート画像ＭＰａの所定の方向（例えば時計の３時の方向）を、ウェハ座標系の基準方向（０°方向）Ｄｗ１と定めることによって、粗回転角度α１の不確定性を取り除く。例えば、図１５（Ｂ）に示すように、粗回転角度α１だけ時計廻りに回転した画像において、時計の３時方向がウェハ座標系の基準方向Ｄｗ１として設定される。なお、ユーザが指定せずに、自動的に時計の３時方向が基準方向Ｄｗ１として設定されるようにしてもよい。ウェハの回転角度は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから、ウェハ座標系の基準方向Ｄｗ１までの角度である。従って、図１５（Ｂ）の場合には、基準ウェハの回転角度は、粗回転角度α１に等しい。なお、ウェハ座標系の基準方向を、時計の３時方向以外の方向に選択した場合には、基準ウェハの回転角度はα１とは異なる値となる。しかし、この場合にも、粗回転角度α１に所定の値を加算または減算した値が基準ウェハの回転角度になる。例えば、図１５（Ｂ）の状態において、時計の１２時方向がウェハ座標系の基準方向として選択された場合には、基準ウェハの回転角度は、（α１＋９０°）となる。図６のステップＳ１２では、この回転角度α１の値がアライメント情報ファイル１３９に保存される。
【００５８】
ステップＳ１３では、隣接するチップのスクライブライン交点位置に撮像領域が来るようにＸＹステージ３６を移動させて画像を撮像する。ステップＳ１４では、この画像について、パターンマッチングを行なうことによって、第１のテンプレート画像ＭＰａと同じ画像パターン（マッチングパターン）を検出する。図１６は、ステップＳ１３，Ｓ１４の処理内容を示す説明図である。この例では、第１のテンプレート画像ＭＰａの登録を行なった交点位置から斜め右下に隣接する交点位置に視野Ｗｂを移動させている。隣接するチップのスクライブライン交点位置は、縦、横、斜めのいずれの方向に隣接していてもよい。この視野（撮像領域）Ｗｂにおける画像の中から、第１のテンプレート画像ＭＰａにマッチングするマッチングパターンＭＰｂを検出する。
【００５９】
ステップＳ１４では、マッチングパターンＭＰｂを検出した後に、その基準点Ｑｂの座標も算出する。そして、２つの画像パターンＭＰａ，ＭＰｂの基準点Ｑａ，Ｑｂ同士を結ぶ直線Ｌ１の方向として、第２の基準点Ｑｂから第１の基準点Ｑａに向う方向（基準点の連結方向）ＤＬ１を特定する。また、この連結方向ＤＬ１の回転角度（ステージ座標系の基準方向Ｄｓから反時計回りに測った角度）θ１を算出する。なお、基準点Ｑａ，Ｑｂの座標は、ステージ座標系の座標として求められているので、連結方向ＤＬ１の回転角度θ１は、これらの座標から簡単な計算で求めることができる。
【００６０】
この実施例では、図１５（Ｂ）に示す粗回転角度α１の代りに、基準点の連結方向ＤＬ１の回転角度θ１を基準ウェハの回転角度として使用する。２つの回転角度α１，θ１の違いは、ウェハ座標系の基準方向としてどの方向を選択するか、に起因するものであり、いずれを回転角度として定義してもよい。但し、画像パターンの基準点の連結方向の回転角度θ１の方が、粗回転角度α１よりも高精度に決定できるという利点がある。前述した図３（Ａ）に示されている回転角度θ１は、この基準点の連結方向ＤＬ１で定義される回転角度である。
【００６１】
図６のステップＳ１６では、第２のスクライブライン交点Ｐｂ（図１６）の位置が決定され、アライメント情報ファイル１３９に保存される。例えば、第２のスクライブライン交点ＰｂとマッチングパターンＭＰｂとの位置関係は、第１のスクライブライン交点Ｐａとテンプレート画像ＭＰａとの位置関係と等しいものと仮定される。従って、第２のスクライブライン交点Ｐｂの位置は、マッチングパターンＭＰｂの基準点Ｑｂの位置と、第１のスクライブライン交点Ｐａとテンプレート画像ＭＰａの基準点Ｑａの相対位置とに基づいて算出される。
【００６２】
あるいは、第１のスクライブライン交点Ｐａの決定方法と同様の方法によって、第２のスクライブライン交点Ｐｂの位置を決定するようにしても良い。すなわち、第２のスクライブライン交点Ｐｂの位置を、ユーザが指定してもよく、また、第２の視野Ｗｂ内の画像を解析することによって、第２のスクライブライン交点Ｐｂの位置を自動的に決定するようにしてもよい。
【００６３】
図６のステップＳ１７では、２つのスクライブライン交点Ｐａ，Ｐｂの中点Ｐａｂの座標が算出され、位置合わせ基準点（図３（Ａ）の点ＲＰ）としてアライメント情報ファイル１３９に保存される。この位置合わせ基準点Ｐａｂは、各測定点の位置を決定するときの原点（すなわちウェハ座標系の座標原点）として使用される。この実施例では、位置合わせ基準点Ｐａｂの座標が、スクライブラインで規定される格子の互いに対角方向にある２つのスクライブライン交点Ｐａ，Ｐｂの座標から決定されているので、その位置を高精度に設定することができる。
【００６４】
なお、位置合わせ基準点としては、この他にも種々の設定方法がある。例えば、２つの画像パターンＭＰａ，ＭＰｂの基準点Ｑａ，Ｑｂの中点Ｑａｂを位置合わせ基準点として使用することもできる。さらに、スクライブライン交点Ｐａ，Ｐｂと基準点Ｑａ，Ｑｂの中の１つの点を、位置合わせ基準点として選択することも可能である。
【００６５】
以上の基準ウェハに関する前処理によって、アライメント情報ファイル１３９内に以下の情報が登録される。
（ａ）基準ウェハの粗回転角度α１と、高精度な回転角度θ１；
（ｂ）第１のテンプレート画像ＭＰａの画像データ；
（ｃ）テンプレート画像の基準点Ｑａ，Ｑｂの座標値；
（ｄ）テンプレート画像の基準点Ｑａ，Ｑｂからそれぞれのスクライブライン交点Ｐａ，Ｐｂまでの座標のオフセット（δｘ，δｙ）；
（ｅ）位置合わせ基準点Ｐａｂの座標値。
【００６６】
これらの情報は、ステージ座標系とウェハ座標系との対応関係を決定するために用いられる情報（「座標系対応関係決定情報」と呼ぶ）である。この座標系対応関係決定情報を用いることによって、ステージ座標系と基準ウェハＷＦ１のウェハ座標系とをアフィン変換によって相互に座標変換することができる。また、後述するように、この座標系対応関係決定情報を用いて、ステージ座標系と被測定ウェハのウェハ座標系との対応関係を求めることができる。
【００６７】
なお、ステージ座標系とウェハ座標系は、アフィン変換によって容易に相互に変換することができるので、上記の座標系対応関係決定情報中のいくつかの座標値は、ステージ座標系の座標値として登録しても良く、また、ウェハ座標系の座標として登録しても良い。いずれの場合にも、アフィン変換の変換係数を登録しておくようにすれば、アフィン変換を容易に実行することができる。
【００６８】
Ｄ．基準ウェハを用いたファインアライメント前処理：
図１７は、基準ウェハＷＦ１を用いたファインアライメント前処理の手順を示すフローチャートである。ファインアライメント前処理では、基準ウェハＷＦ１上の複数の測定点ＰＭ１〜ＰＭ１５（図３（Ａ）において白丸で示す）の位置（位置合わせ基準点ＲＰとの相対的な位置関係）が、以下のようにして登録される。
【００６９】
ステップＳ２１では、測定点（例えば図３（Ａ）のＰＭ１）を視野内に含む位置をユーザが指定して、ＸＹステージ３６を移動させる。図１８は、ｉ番目の測定点ＰＭｉを含む視野Ｗ（ｉ）を示す説明図である。この視野Ｗ（ｉ）は、アフィン変換によって基準ウェハＷＦ１の粗回転角度α１だけ回転した後の画像を示している。
【００７０】
図１７のステップＳ２２では、ユーザが図１８に示す画面上でｉ番目の測定点ＰＭｉの位置を、マウスなどのポインティングデバイスを用いて指示する。測定点ＰＭｉの座標値（Ｘｉ，Ｙｉ）は、アライメント情報ファイル１３９に保存される。ステップＳ２３では、測定点ＰＭｉの近傍において、第２のテンプレート画像ＭＲａ（第２のテンプレート画像）として適切な画像パターンをユーザが探す。第２のテンプレート画像ＭＲａとして適切な画像パターンは、９０°の整数倍の回転対称性が無い画像パターンであることが好ましい。
【００７１】
適切な画像パターンが見いだされると、ステップＳ２４において、その画像パターンが画面の中央になるようにＸＹステージ３６の位置をユーザが調整する。そして、ステップＳ２５において視野内の画像を取り込み、粗回転角度α１だけ画像を回転する。
【００７２】
ステップＳ２６では、ユーザが第２のテンプレート画像ＭＰａの領域を指定することによって、第２のテンプレート画像ＭＲａの画像データを切り出し、その基準点Ｒａの座標（ｘ，ｙ）とともに保存する。
【００７３】
なお、第２のテンプレート画像ＭＲａは、プリアライメント前処理で用いられた第１のテンプレート画像ＭＰａ（図１５（Ｃ））と同じものであってもよい。例えば、各測定点の近傍に第１のテンプレート画像ＭＰａが存在する場合には、ステップＳ２６の代わりに、パターンマッチング手段１５４（図２）が、第１のテンプレート画像ＭＰａを用いたパターンマッチング処理を行って基準点Ｒａの位置を決定する。
【００７４】
ステップＳ２７では、第２のテンプレート画像ＭＲａの基準点Ｒａから、ｉ番目の測定点ＰＭｉまでのＸ座標とＹ座標のオフセット（ΔＸ，ΔＹ）を求めてアライメント情報ファイル１３９に保存する。測定点ＰＭｉの位置は、ユーザによって指定される。この座標のオフセット（ΔＸ，ΔＹ）は、ｉ番目の測定点ＰＭｉの近傍に存在する第２のテンプレート画像ＭＲａと、ｉ番目の測定点ＰＭｉとの位置関係を示す情報である。
【００７５】
ステップＳ２８では、他の測定点があるか否かが判断され、他の測定点がある場合にはステップＳ２１に戻り、上述したステップＳ２１〜Ｓ２７の処理が繰り返される。一方、全ての測定点に関してステップＳ２１〜Ｓ２７の処理が終了すると、基準ウェハＷＦ１でのファインアライメント前処理が終了する。
【００７６】
なお、第２のテンプレート画像ＭＲａとしては、全ての測定点に対して共通の１つの画像パターンを使用してもよく、あるいは、各測定点に対してそれぞれ異なる画像パターンを登録しても良い。
【００７７】
上述した基準ウェハＷＦ１のファインアライメント前処理では、複数の測定点に関して、それぞれ以下の情報がアライメント情報ファイル１３９に登録される。
（ａ）第２のテンプレート画像ＭＲａの画像データ；
（ｂ）第２のテンプレート画像ＭＲａの基準点Ｒａの位置（すなわち基準点Ｒａと位置合わせ基準点ＲＰとの位置関係）；
（ｃ）第２のテンプレート画像ＭＲａの基準点Ｒａと測定点ＰＭｉとの座標のオフセット（ΔＸ，ΔＹ）。
【００７８】
上記の情報は、ウェハ座標系において、各測定点ＰＭｉの位置を決定するために使用される情報であり、以下では「測定位置決定情報」と呼ぶ。この測定位置決定情報を用いることによって、被測定ウェハにおける各測定点の位置を求めることができる。
【００７９】
なお、ステージ座標系とウェハ座標系とは相互に座標変換することができるので、測定位置決定情報に含まれる座標値は、ステージ座標系の座標値として登録してもよく、また、ウェハ座標系の座標として登録しても良い。
【００８０】
なお、基準ウェハＷＦ１に関しては、図１に示す装置を用いて種々の測定等の所定の処理が行なわれる。例えば、図１に示す装置が膜厚計である場合には、基準ウェハＷＦ１内の複数の測定点ＰＭ１〜ＰＭ１５においてウェハ表面の膜厚が測定される。
【００８１】
Ｅ．被測定ウェハを用いたプリアライメント処理：
被測定ウェハＷＦ２に対しても、基準ウェハＷＦ１と同じ測定点において同じ測定処理（例えば膜厚測定）が実行される。しかし、被測定ウェハＷＦ２がＸＹステージ３６に載置された時には、被測定ウェハＷＦ２の回転角度が不明なので、基準ウェハＷＦ１と同じ測定点にプローブを位置決めできるようにＸＹステージ３６の位置を移動させることができない。そこで、被測定ウェハＷＦ２についての測定処理を実行する前に、まず、以下に説明するプリアライメント処理によって、その被測定ウェハＷＦ２の回転角度と位置合わせ基準点の位置とを決定する。被測定ウェハＷＦ２の回転角度と位置合わせ基準点の位置とは、被測定ウェハのウェハ座標系とステージ座標系との対応関係を示す情報であると考えることもできる。そして、後述するファインアライメント処理によって、各測定点の座標を正確に決定する。
【００８２】
図１９および図２０は、被測定ウェハのプリアライメント処理の手順を示す説明図である。ステップＳ１〜Ｓ６までの処理は、図５に示した基準ウェハに関するプリアライメント前処理と同じである。これによって、ウェハの中心近くのスクライブライン交点の画像が取り込まれる。図２１は、被測定ウェハに設定された視野の一例を示している。ここでは、視野Ｗｃを撮像領域とした画像が取込まれる。図１９のステップＳ３においては、図２１に示す粗回転角度α２ｐｒが検出されている。なお、この粗回転角度α２ｐｒは、９０°の整数倍の不確定さを有している。被測定ウェハにおいては、不確定さを取除く前の粗回転角度を「予備回転角度」とも呼ぶ。この名前は、不確定さを含む予備的な回転角度であることを意味している。
【００８３】
ステップＳ３１では、パターンマッチング手段１５４（図２）が、この視野Ｗｃ内の画像に関して、基準ウェハの前処理において登録された第１のテンプレート画像ＭＰａを用いたパターンマッチング処理を行なう。
【００８４】
図２２は、被測定ウェハに関するパターンマッチングの方法を示す説明図である。まず、図２２（Ａ）に示す読み取られた画像を、アフィン変換によって予備回転角度α２ｐｒだけ時計廻りに回転して、図２２（Ｂ）に示すような画像を作成する。そして、回転後の画像内において、第１のテンプレート画像ＭＰａとマッチングする画像パターンをパターンマッチング処理によって検出する。この時、図２２（Ｃ）に示すように、９０°ずつ回転した４つのテンプレート画像を予め作成しておくことが好ましい。そして、これらの４つのテンプレート画像の中で、マッチング度が最も高くなるテンプレート画像を決定し、これにマッチングした画像パターン（マッチングパターン）の基準点の座標を決定する。図２２（Ｂ）の例では、１８０°回転のテンプレート画像のマッチング度が最も高い。従って、この被測定ウェハの粗回転角度α２は、（α２ｐｒ＋１８０°）であることが決定される。すなわち、テンプレート画像を用いたパターンマッチングによって、予備回転角度α２ｐｒの不確定さを解消して、粗回転角度α２の値を決定することができる。なお、回転対称な４つのテンプレート画像に関連付けられた角度（０°、９０°、１８０°、２７０°）のうち、パターンマッチングによって選択された角度を、以下では「マッチング角度」と呼ぶ。
【００８５】
図２３は、被測定ウェハの予備回転角度α２ｐｒと粗回転角度α２との関係を示す説明図である。予備回転角度α２ｐｒは、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから、被測定ウェハの直線部分（スクライブラインＳＬ）の方向まで反時計回りに測った角度である。粗回転角度α２は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから、ウェハ座標系の基準方向Ｄｗ２まで反時計回りに測った角度である。ウェハ座標系の基準方向Ｄｗ２は、マッチングパターンＭＰｃが正立（図２２（Ｃ）の最初のテンプレート画像の向きに）した時に、時計の３時方向を向く方向であると定義されている。予備回転角度α２ｐｒは、ウェハの直線部分から決定されていただけなので、この例では、予備回転角度α２ｐｒと粗回転角度α２とは１８０°の差がある。もちろん、これらの角度α２ｐｒ，α２が等しい場合もある。
【００８６】
図１９のステップＳ３２では、マッチングパターンＭＰｃの基準点Ｑｃの座標がアライメント情報ファイル１３９に保存される。図２０のステップＳ３３では、被測定ウェハの回転角度の不確定さを解消して、その相対回転角度Δαを求める。ここで、被測定ウェハの相対回転角度Δαは、非測定ウェハの粗回転角度α２と、基準ウェハの粗回転角度α１との差分（α２−α１）として定義される。
【００８７】
被測定ウェハ内の各測定点の位置は、この相対的な回転角度Δαを用いて決定することもできる。しかし、この実施例では、以下の手順により、基準ウェハとの相対的な回転角度をより正確に求めることによって、各測定点の位置をより正確に決定している。
【００８８】
ステップＳ３４では、パターンマッチングの結果から、マッチングパターンＭＰｃの近傍にある第１のスクライブライン交点Ｐｃ（図２３）の位置を算出する。図２４は、マッチングパターンＭＰｃの基準点Ｑｃと、第１のスクライブライン交点Ｐｃとの関係を示す説明図である。前述したように、パターンマッチング処理では、図２４（ａ）〜（ｄ）に示す４つのマッチング角度のいずれか１つにおいて、画像パターンがマッチングすることが確認される。スクライブライン交点Ｐｃの座標（Ｘｃ，Ｙｃ）は、マッチング角度に応じてそれぞれ以下のように算出される。
【００８９】
（ａ）マッチング角度が０度の場合：
Ｘｃ＝Ｘｓ＋δｘ，Ｙｃ＝Ｙｓ＋δｙ
【００９０】
（ｂ）マッチング角度が９０度の場合：
Ｘｃ＝Ｘｓ＋δｙ，Ｙｃ＝Ｙｓ−δｘ
【００９１】
（ｃ）マッチング角度が１８０度の場合：
Ｘｃ＝Ｘｓ−δｘ，Ｙｃ＝Ｙｓ−δｙ
【００９２】
（ｄ）マッチング角度が２７０度の場合：
Ｘｃ＝Ｘｓ−δｙ，Ｙｃ＝Ｙｓ＋δｘ
【００９３】
ここで、δｘ，δｙは、前述した基準ウェハのプリアライメント前処理において求められていた、テンプレート画像ＭＰａの基準点Ｑａ（図１６）と、その近傍のスクライブライン交点Ｐａとの座標のオフセットである。この座標のオフセット（δｘ，δｙ）を用いることによって、マッチングパターンＭＰｃの基準点Ｑｃから、スクライブライン交点Ｐｃの座標を上記のように算出することができる。なお、図２４に示す関係は、被測定ウェハＷＦ２を予備回転角度α２ｐｒだけ回転させた状態のものなので、上記の４つの式の各座標値としては、予備回転角度α２ｐｒだけ回転するようにアフィン変換を行った値が使用される。
【００９４】
図２０のステップＳ３５では、２つの目のスクライブライン交点を視野内に含む位置に被測定ウェハＷＦ２を移動させる。図２５は、被測定ウェハにおいて設定された２つの視野の関係を示す説明図である。被測定ウェハの２つのスクライブライン交点Ｐｃ，Ｐｄの位置関係は、ウェハ座標系において、基準ウェハの２つのスクライブライン交点位置Ｐａ，Ｐｂの位置関係と同じである。従って、２番目のスクライブライン交点Ｐｄは、最初のスクライブライン交点Ｐｃから、基準ウェハの直線Ｌ１に相当する直線Ｌ２の方向に沿った方向に存在する。２番目のスクライブライン交点ＰｄにＸＹステージ３６を移動させる移動量は、基準ウェハの２つの基準点Ｑａ，Ｑｂの座標値の差分と同じである。こうして、図２５の２番目の視野Ｗｄが設定される。
【００９５】
図２０のステップＳ３６では、２番目の視野Ｗｄの画像が読み取られ、粗回転角度α２だけ画像をアフィン変換で回転するとともに、回転後の画像に関してパターンマッチングを実行する。このパターンマッチングでは、第１のテンプレート画像ＭＰａと最も一致したマッチングパターンＭＰｄの基準点Ｑｄ（図２５）の座標が得られる。
【００９６】
ステップＳ３７では、回転方向決定手段１５８（図２）が、２つの基準点Ｑｃ，Ｑｄの連結方向ＤＬ２の回転角度θ２を求める。この回転角度θ２は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから、基準点の連結方向ＤＬ２まで反時計回りに測定した角度である。
【００９７】
ステップＳ３８では、２つ目のマッチングパターンＭＰｄの基準点Ｑｄの座標から、２点目のスクライブライン交点Ｐｄの座標が算出される。この演算は、前述した図２４に示すものと同じである。ステップＳ３９では、１点目と２点目のスクライブライン交点Ｐｃ，Ｐｄの中心点Ｐｃｄ（図２５）の座標を求める。この中心点Ｐｃｄは、ウェハ座標系における原点となる。また、以下に説明するファインアライメント処理における位置合わせ基準点ＲＰ（図３（Ｂ））として使用される。
【００９８】
基準ウェハＷＦ１と被測定ウェハＷＦ２との相対的な回転角度は、被測定ウェハにおける基準点の連結方向ＤＬ２の回転角度θ２と、基準ウェハにおける基準点の連結方向ＤＬ１の回転角度θ１とを用いて高精度に決定することができる。
【００９９】
図２６は、高精度な相対回転角度を求める方法を示す説明図である。図２６（Ａ）は、基準ウェハに関して得られた２つの基準点Ｑａ，Ｑｂを結ぶ直線Ｌ１を示している。これらの基準点Ｑａ，Ｑｂを結ぶ連結方向ＤＬ１は、第２の基準点Ｑｂから第１の基準点Ｑａに向う方向に取られている。この連結方向ＤＬ１の回転角度θ１は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから連結方向ＤＬ１まで反時計回りに測った角度である。図２６（Ｂ）は、被測定ウェハに関して得られた２つの基準点Ｑｃ，Ｑｄを結ぶ直線Ｌ２を示している。これらの基準点Ｑｃ，Ｑｄを結ぶ連結方向ＤＬ２も、第２の基準点Ｑｄから第１の基準点Ｑｃに向う方向に取られている。この連結方向ＤＬ２の回転角度θ２も、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから連結方向ＤＬ２まで反時計回りに測った角度である。このように、基準ウェハにおける連結方向ＤＬ１の回転角度θ１も、被測定ウェハにおける連結方向ＤＬ２の回転角度θ２も、いずれも同じ定義に従って決定されている。従って、これらの差分△θ＝θ２−θ１を求めることによって、これを、基準ウェハと被測定ウェハとの相対的な回転角度として採用することができる。
【０１００】
ところで、被測定ウェハの回転角度（回転方向）を決める方法としては、他の方法も考えられる。図２７は、粗回転角度α１，α２を用いた粗い相対回転角度の決定方法を示す説明図である。粗回転角度α１，α２は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから、ウェハ座標系の基準方向Ｄｗ１，Ｄｗ２まで反時計回りに測った角度である。従って、粗回転角度の差分△α＝α２−α１を、基準ウェハと被測定ウェハとの相対的な回転角度とすることができる。但し、上述した回転角度θ１、θ２の方が、粗回転角度α１，α２よりも精度が高いので、その相対回転角度△θも、粗回転角度から決定された相対回転角度△αよりも精度が高い。
【０１０１】
回転方向決定手段１５８が被測定ウェハの回転角度（回転方向）を決定する方法としては、上述の方法も含めて、以下のような種々の方法が考えられる。
【０１０２】
方法１：基準ウェハの高精度回転角度θ１と、被測定ウェハの高精度回転角度θ２との差分△θから、両者の相対的な回転角度（回転方向）を決定する。この方法１は、図２６に示したものである。この方法によれば、相対的な回転角度（回転方向）を高精度に決定できるという利点がある。
【０１０３】
方法２：基準ウェハの粗回転角度α１と、被測定ウェハの粗回転角度α２との差分△αから、両者の相対的な回転角度（回転方向）を決定する。この方法２は、図２７に示したものである。この方法を用いる場合には、基準ウェハや被測定ウェハにおいて、少なくとも１カ所の画像でパターンマッチングを行えばよい。従って、処理を高速化できるという利点がある。
【０１０４】
方法３：被測定ウェハの高精度回転角度θ２そのものを、被測定ウェハの回転角度（回転方向）として利用する。図２６（Ｂ）から解るように、高精度回転角度θ２は、ステージ座標系の基準方向Ｄｓから、ウェハ座標系の連結方向ＤＬ２までの回転角度である。従って、被測定ウェハは、ステージ座標系の基準方向Ｄｓからθ２だけ回転しているものと考えることが可能である。なお、方法３の変形として、高精度回転角度θ２に一定値を加算または減算した値を、被測定ウェハの回転角度（回転方向）としてもよい。この方法３によれば、基準ウェハからの相対的な回転角度ではなく、ステージ座標系の所定の基準方向Ｄｓを基準とした回転角度（回転方向）を高精度に決定できるという利点がある。特に、基準ウェハの位置合わせ基準点や複数の測定点の座標を、予めステージ座標系の座標に変換している場合には、この回転角度θ２を被測定ウェハの回転角度としてそのまま利用することができる。
【０１０５】
方法４：被測定ウェハの粗回転角度α２そのものを、被測定ウェハの回転角度（回転方向）とする。この場合も、方法３と同様に、回転角度α２に一定値を加算または減算した値を、被測定ウェハの回転角度（回転方向）としてもよい。この方法４によれば、基準ウェハからの相対的な回転角度ではなく、ステージ座標系の所定の基準方向Ｄｓを基準とした回転角度（回転方向）を高速に決定できるという利点がある。
【０１０６】
ところで、被測定ウェハのプリアライメント処理によって、位置合わせ基準点ＲＰ（図３）の位置と、回転角度θ２とが決定されたので、これらを用いてステージ座標系の座標と被測定ウェハのウェハ座標系との座標変換を行うことができる。このような座標変換を行えば、被測定ウェハの各測定点の座標を予測することができる。しかし、プリアライメント処理で得られた結果から各測定点の座標を決定するときには、以下のような問題がある。
【０１０７】
第１の問題は、被測定ウェハの回転角度θ２の誤差である。上述したように、回転角度θ２は、２回のパターンマッチングで得られた基準点Ｑｃ，Ｑｄの位置から決定される。従って、パターンマッチングにおける位置合わせ誤差によって、回転角度θ２の値に誤差が生じる。この誤差のために、位置合わせ基準点ＲＰから遠い位置に存在する測定点においては、座標変換で予測される測定点の予測位置と、実際の位置（実測位置）とのずれが大きくなり、位置合わせ精度が悪くなるという問題がある。回転角度θ２の誤差に起因する位置合わせ誤差は、位置合わせ基準点ＲＰから遠い測定点ほど大きい。
【０１０８】
第２の問題は、ＸＹステージ３６の機械的精度の影響である。ＸＹステージ３６の機械的精度に起因して、ステージ座標系の直交度の誤差や、非線形歪み（たわみ）の誤差が生じる。これらの誤差により、各測定点の位置合わせ精度が悪くなる。この機械的精度に起因する誤差も、位置合わせ基準点ＲＰから遠い測定点ほど大きい。
【０１０９】
第３の問題は、ウェハ自身のたわみの影響である。基準ウェハと被測定ウェハではたわみ方が異なるので、この相違によって位置合わせ誤差が発生する。
【０１１０】
このように、種々の原因によって測定点の位置合わせ誤差が発生するので、この実施例では以下に示すファインアライメント処理によって、各測定点の位置を正確に決定している。
【０１１１】
Ｆ．被測定ウェハを用いたファインアライメント処理：
図２８は、被測定ウェハを用いたファインアライメント処理の手順を示すフローチャートである。ステップＳ４１では、プリアライメント処理で得られた情報（プリアライメント情報）を用いて最初の測定点の座標を予測し、測定点の近傍にあるテンプレート画像（マッチング画像）の位置にＸＹステージ３６を移動させる。なお、ステージ座標系における測定点の座標は、被測定ウェハの回転角度α２，θ２と、位置合わせ基準点ＲＰのステージ座標と、基準ウェハにおける位置合わせ基準点ＲＰと各測定点との相対的な位置関係とに基づいて予測できる。このような測定点の座標の予測値を、以下では「予測位置」または「予測値」と呼ぶ。また、以下で説明するファインアライメント処理によって決定される測定点の座標の値を、「実測位置」または「実測値」と呼ぶ。
【０１１２】
ステップＳ４２では、測定点近傍の画像を取込み、プリアライメント処理で求めた粗回転角度α２だけ画像を回転する。図２９は、回転後の画像を示す説明図である。この画像は、前述した基準ウェハのプリアライメント処理における図１８の画像とほぼ同じものである。
【０１１３】
図２８のステップＳ４３では、第２のテンプレート画像ＭＲａ（図１８）を用いたパターンマッチングを行い、マッチングパターンＭＲｂ（図２９）が決定される。ステップＳ４４では、マッチングパターンＭＲｂの基準点Ｒｂの座標を決定する。ステップＳ４５では、基準点Ｒｂの座標を、基準ウェハで求められていた測定点ＰＭｉと基準点Ｒａの座標のオフセット△Ｘ，△Ｙで補正することによって、測定点ＰＭｉの実測位置を決定する。この測定点ＰＭｉの実測位置は、ステージ座標系の座標に変換される。従って、この測定点ＰＭｉの実測位置に従って、測定プローブを測定点ＰＭｉに正確に位置決めすることができる
【０１１４】
図２８のステップＳ４６では、他の測定点があるか否かが判断され、他の測定点がある場合にはステップＳ４１に戻ってステップＳ４１〜Ｓ４５の処理が繰返される。こうして、被測定ウェハ上の複数の測定点ＰＭ１〜ＰＭ１５（図３）について、ステップＳ４１〜Ｓ４５を繰返し実行することによって、各測定点の実測位置を正確に決定することができる。各測定点における測定処理（例えば膜厚測定）は、ステップＳ４５とステップＳ４６の間に行うことができる。あるいは、すべての測定点に関してステップＳ４１〜Ｓ４５を繰返して実行した後に、各測定点における測定処理を順次実行するようにしてもよい。
【０１１５】
このように、上記実施例では、プリアライメント処理によって、被測定ウェハの位置合わせ基準点ＲＰ（＝Ｐｃｄ）の座標を決定するとともに、その回転角度α２，θ２を決定した。そして、これらのプリアライメント情報と、基準ウェハにおいて登録されていた位置合わせ基準点ＲＰと各測定点との位置関係とに従って、被測定ウェハの複数の測定点の位置を予測した。また、この予測位置においてファインアライメント処理を行うことによって、各測定点の実測位置を正確に決定した。従って、上述したような種々の位置合わせ誤差を低減し、高精度に測定点を位置決めすることが可能である。
【０１１６】
Ｇ．第２実施例：
上述した第１実施例では、各測定点ごとにファインアライメント処理を実行していたので、すべての測定点で高精度な位置合わせが可能となるが、かなりの処理時間を要する。しかし、プリアライメント情報から算出される被測定ウェハの測定点の予測位置が、必要な位置合わせ精度を有しているならば、ファインアライメント処理を省略することが可能になる。
【０１１７】
ところで、第１実施例で述べたように、プリアライメント処理ではウェハ中心近くの２つのスクライブライン交点Ｐｃ，Ｐｄの近傍でそれぞれパターンマッチングを行い、２ヶ所のマッチング基準点Ｑｃ，Ｑｄを求めて回転角度を決定していた。また、２点のスクライブライン交点Ｐｃ，Ｐｄの位置から位置合わせ基準点ＲＰ（＝Ｐｃｄ）の位置を求めていた。このとき、マッチングパターンの基準点Ｑｃ，Ｑｄの位置には多少の誤差がある。従って、測定点がこれらのマッチングパターンから遠くなるほど、このマッチング誤差による位置合わせの際のずれ量（位置合わせ誤差）が大きくなると考えられる。
【０１１８】
図３０は、位置合わせ基準点ＲＰから測定点ＰＭｉまでの距離と、位置合わせ誤差との関係を示す説明図である。ここでは話を単純化するために、パターンマッチング以外の誤差は無視できるとする。このとき、例えば図３０（Ｂ）に示すように、位置合わせ基準点ＲＰから測定点ＰＭ５までの距離が約３０ｍｍであり、測定点ＰＭ５の近傍における位置合わせ誤差（予測位置と実測位置との差）が±５μｍであると仮定する。この位置合わせ誤差は、主に、回転角度θ２の誤差δθに起因している。従って、各測定点における位置合わせ誤差は、位置合わせ基準点ＲＰからの距離に比例する。例えば、位置合わせ基準点ＲＰから約１００ｍｍ離れた測定点ＰＭ１においては、位置合わせ誤差は±１６．７μｍとなる。仮に、許容される位置合わせ精度が±１０μｍであると仮定すると、１００ｍｍ離れた位置では要求される位置合わせ精度を満足しないが、約６０ｍｍ離れた位置までは要求精度を満足できることになる。
【０１１９】
そこで第２実施例では、位置合わせ基準点ＲＰから測定点ＰＭｉまでの距離が所定値Ｌｍａｘ以下の場合には、ファインアライメント処理を省略し、プリアライメント情報（位置合わせ基準点ＲＰの位置と回転角度α２，θ２）を用いて算出される予測位置を、その測定点ＰＭｉの実測位置として採用する。一方、位置合わせ基準点ＲＰから測定点ＰＭｉまでの距離が所定値Ｌｍａｘより大きい場合には、その測定点ＰＭｉについてファインアライメント処理を行って実測位置を決定する。
【０１２０】
例えば、図３０（Ａ）に示すようにウェハ上にＰＭ１〜ＰＭ１５の１５ヶ所の測定点のうち、位置合わせ基準点ＲＰから半径６０ｍｍの範囲内（図の破線で描かれた円の内側）にある４つの測定点ＰＭ５，ＰＭ８，ＰＭ１１，ＰＭ１３についてはファインアライメント処理を省略し、プリアライメント情報のみを用いた演算によって、測定点の実測位置を決定する。一方、その他の測定点についてはファインアライメント処理を実行して実測位置を決定する。
【０１２１】
この第２実施例では、位置合わせ基準点ＲＰから所定の範囲内にある測定点に関しては、ファインアライメント処理を省略するので、各測定点における位置合わせ精度を満足しつつ、位置合わせ処理全体の処理時間を短縮することができる。
【０１２２】
Ｈ．第３実施例：
第３実施例においても、第２実施例と同様に、測定点の位置に応じて、ファインアライメント処理を実行するか否かを決定する。ただし、第２実施例と異なるのは、ファインアライメント処理を行った測定点から所定の範囲内にある他の測定点について、ファインアライメント処理を省略するようにした点である。
【０１２３】
図３１は、第３実施例における処理の方法を示す説明図である。測定点の位置は、図３０（Ａ）と同じである。第３実施例では、プリアライメント処理を行った後、ＰＭ１〜ＰＭ１５の１５ヶ所の測定点を、この順序で位置合わせしつつ測定を実行するものと仮定する。また、ｉ番目の測定点ＰＭｉと、それ以前にファインアライメント処理を行った測定点との距離が所定値Ｌｍａｘ（＝６０ｍｍ）以下の場合には、その測定点ＰＭｉのファインアライメント処理を省略しても要求される位置合わせ精度が得られると仮定する。
【０１２４】
図３１において、位置合わせ基準点ＲＰから最初の測定点ＰＭ１までの距離は所定値Ｌｍａｘ（６０ｍｍ）よりも大きいので、この測定点ＰＭ１についてはファインアライメント処理を行って実測位置を決定する。この測定点ＰＭ１から距離Ｌｍａｘの範囲は、図中で破線で示されている。１番目の測定点ＰＭ１から２番目の測定点ＰＭ２までの距離はＬｍａｘ以下である。そこで、２番目の測定点ＰＭ２に対しては、ファインアライメント処理を省略する。以下同様に、各測定点ごとにファインアライメント処理を省略するかどうかを決定する。従って、ファインアライメント処理が実行される測定点は、図中で黒丸で示す測定点ＰＭ１，ＰＭ４、ＰＭ６，ＰＭ８，ＰＭ１０，ＰＭ１２、ＰＭ１３の７ヶ所のみとなり、他の測定点ではファインアライメント処理を省略できる。
【０１２５】
以下では、ファインアライメント処理を省略した測定点を「ファインアライメント省略測定点」と呼び、ファインアライメント処理が行なわれた測定点を「ファインアライメント済測定点」と呼ぶ。
【０１２６】
ファインアライメント省略測定点の実測位置は、その近傍にあるファインアライメント済測定点の予測位置と実測位置とのずれ量に基づいて、ファインアライメント省略測定点の予測位置を補正することによって決定される。ファインアライメント済測定点の予測位置は、プリアライメント情報を用いた座標変換で得られる。座標値の補正方法としては、例えば、ファインアライメント済測定点の予測位置と実測位置との対応関係を表すアフィン変換係数を求め、このアフィン変換係数を用いて、ファインアライメント省略測定点の予測位置をアフィン変換する方法がある。あるいは、ファインアライメント済測定点の予測位置と実測位置とのずれ量から、位置合わせ基準点の位置と、ウェハの回転角度とを補正し、これらに基づいてファインアライメント省略測定点の実測位置を算出するようにすることもできる。
【０１２７】
なお、第３実施例においても、第２実施例と同様に、位置合わせ基準点ＲＰからの距離がＬｍａｘ以下の測定点については、ファインアライメント処理を行わないものとしてもよい。
【０１２８】
以上説明したように、第３実施例では、ファインアライメント済測定点から一定の範囲内の測定点については、ファインアライメント処理を省略して、ファインアライメント済測定点の予測位置と実測位置とのずれ量に基づいて、その測定点の予測位置を補正するようにした。従って、ファインアライメント処理を行う測定点の数を低減することができる。この結果、各測定点における位置合わせ精度を満足しつつ、位置合わせ処理全体の処理時間を短縮することができる。
【０１２９】
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【０１３０】
（１）上記実施例において、ハードウェアによって実現されていた構成の一部をソフトウェアに置き換えるようにしてもよく、逆に、ソフトウェアによって実現されていた構成の一部をハードウェアに置き換えるようにしてもよい。
【０１３１】
（２）位置合わせ基準点ＲＰの座標を決定するための第１のパターンマッチングは、位置合わせ基準点ＲＰの近傍の領域の画像に関して行えばよく、位置合わせ基準点を含む領域の画像に対してパターンマッチングを行う必要はない。同様に、各測定点の座標を決定するための第２のパターンマッチングも、各測定点を含む領域の画像に対してパターンマッチングを行う必要はなく、各測定点の近傍の領域の画像に対して行えばよい。
【０１３２】
（３）上記実施例では、位置合わせ基準点ＲＰの位置と回転角度θ２とを決定する際に、２つの領域においてパターンマッチングを行うようにしていたが、１カ所の領域におけるパターンマッチングによって位置合わせ基準点ＲＰの位置と回転角度θ２とを決定するようにしてもよい。あるいは、３カ所以上の領域についてパターンマッチングを行うことによって、位置合わせ基準点ＲＰの位置と回転角度θ２とを決定するようにしてもよい。また、各測定点の位置を決定する際に、複数の領域に関してパターンマッチングを行うようにしてもよい。一般に、パターンマッチングを行う領域の数が増加するほど、それによって決定される座標や回転角度の精度が向上する。
【０１３３】
（４）上記実施例では、装置にウェハの回転機構が備えられていない場合について説明したが、回転機構を有する装置に対しても本発明を適用することが可能である。本発明によれば、回転機能を有する装置においても、ウェハの回転方向（回転角度）を画像処理によって検出することが可能なので、測定点の位置決め処理が簡単であり、また、高速に処理できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を適用して半導体ウェハの位置合わせ処理を行なう機能を有する測定装置の構成を示すブロック図。
【図２】画像処理ユニット５０の内部構成を示すブロック図。
【図３】実施例における位置合わせ処理の概要を示す説明図。
【図４】実施例における位置合わせ処理の全体手順を示すフローチャート。
【図５】基準ウェハＷＦ１を用いたプリアライメント前処理の手順を示すフローチャート。
【図６】基準ウェハＷＦ１を用いたプリアライメント前処理の手順を示すフローチャート。
【図７】半導体ウェハＷＦ内に形成された複数のチップの配列の様子を示す概念図。
【図８】ウェハの中心付近を拡大して示す概念図。
【図９】１次元投影法による直線エッジ情報の検出処理を示す説明図。
【図１０】ソベルオペレータによる画像処理の方法を示す説明図。
【図１１】ソベルオペレータを用いて得られた水平エッジ値と垂直エッジ値とから、画像の直線部分の角度を算出する方法を示す説明図。
【図１２】処理対象となる多階調画像の一例と、この多階調画像からソベルオペレータ法によって検出された角度のヒストグラムを示す説明図。
【図１３】４つの等価回転角度を示す説明図。
【図１４】スクライブラインＳＬの交点位置に視野の中心を移動させた状態を示す説明図。
【図１５】テンプレート画像ＭＰａの登録の様子を示す説明図。
【図１６】ステップＳ１０の処理内容を示す説明図。
【図１７】基準ウェハＷＦ１を用いたファインアライメント前処理の手順を示すフローチャート。
【図１８】基準ウェハＷＦ１のファインアライメント前処理におけるｉ番目の測定点ＰＭｉを含む視野Ｗ（ｉ）を示す説明図。
【図１９】被測定ウェハのプリアライメント処理の手順を示すフローチャート。
【図２０】被測定ウェハのプリアライメント処理の手順を示すフローチャート。
【図２１】被測定ウェハにおいて設定される視野の一例を示す説明図。
【図２２】被測定ウェハに関するパターンマッチングの方法を示す説明図。
【図２３】被測定ウェハにおけるウェハの予備回転角度α２ｐｒと粗回転角度α２との関係を示す説明図。
【図２４】マッチングパターンＭＰｃの基準点Ｑｃと第１のスクライブライン交点Ｐｃとの関係を示す説明図。
【図２５】被測定ウェハにおいて設定された２つの視野の関係を示す説明図。
【図２６】高精度な相対回転角度を求める方法を示す説明図。
【図２７】粗い相対回転角度を求める方法を示す説明図。
【図２８】被測定ウェハを用いたファインアライメント処理の手順を示すフローチャート。
【図２９】被測定ウェハを用いたファインアライメント処理において、測定点の近傍で得られた回転後の画像を示す説明図。
【図３０】第２実施例における処理の方法を示す説明図。
【図３１】第３実施例における処理の方法を示す説明図。
【符号の説明】
３０…制御操作ユニット
３１…表示部
３２…操作部
３３…制御部
３４…ステージ駆動部
３５…ステージ座標読み込み部
３６…ＸＹステージ
３６ａ，３６ｂ…ウェハ保持アーム
３８…通信経路
４０…光学ユニット
４１…カメラ
４２…光源
４３…ハーフミラー
４４…対物レンズ
５０…画像処理ユニット
１１０…ＣＰＵ
１１２…バスライン
１１４…ＲＯＭ
１１６…ＲＡＭ
１３６…モニタ
１３８…磁気ディスク
１３９…アライメント情報ファイル
１４０…入出力インタフェイス
１５０…等価回転方向決定手段
１５２…撮像位置決定手段
１５４…パターンマッチング手段
１５６…角度選択手段
１５８…回転方向決定手段
１６０…基準位置決定手段
１６２…測定位置決定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
0003545558.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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