(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端面が開口したカセットケースに基板を水平状態に格納する基板用搬送カセットにおいて、
前記カセットケースの他端面に形成された作業者用の作業開口部と、前記カセットケースの移動時には該作業開口部に対する前記基板の着脱を規制し、作業者の作業時には該作業開口部に対する該基板の着脱を可能とする基板着脱制御手段とを備え、
前記基板着脱制御手段は、前記カセットケースの移動時にカセットケースの天板に取り付けられた回転可能なハンドルを起こして当該ハンドルに連結部材を介し連結された該天板上の第一スライダを天板の他端部から一端部方向に離隔させ、作業者の作業時には前記ハンドルを該天板の他端部側に倒して該第一スライダを天板他端部に接近させる操作機構と、前記第一スライダの離隔時に第一スライダに前記天板他端部の複数の運動方向変換部材を連動させて運動方向変換部材に設けられて上下方向に伸びる一対のバーをそれぞれ作業開口部側方の基板着脱可能位置から作業開口部内の基板着脱規制領域に移動させ、前記第一スライダの接近時には第一スライダに該運動方向変換部材を連動させて該バーをそれぞれ該基板着脱規制領域から該基板着脱可能位置に移動させる制御機構とを含み、
前記複数の運動方向変換部材を一対の第二スライダとして各第二スライダを前記天板他端部の側部近傍上に後退用のばね部材を介して設置し、各第二スライダを前記第一スライダに形成した傾斜面に接触させ、各第二スライダにバーの上部を支持させて残部を前記天板と前記カセットケースの底板との間に位置させ、各第二スライダを前記第一スライダの離隔に基づいて該天板他端部の中央部方向に後退させるとともに、各第二スライダを該第一スライダの接近に基づいて該天板他端部の側部方向に進出させるようにし、
前記各バーには、前記基板用の抜け止め部材を上下方向に並べ設けて前記基板の背面側端部に接触可能としたことを特徴とする基板用搬送カセット。
【請求項２】
前記第一スライダと前記第二スライダの少なくともいずれか一方にガイド孔を設け、このガイド孔に、前記天板に立て設けたガイド部材を嵌め入れてその突出上部にはがたつき防止部材を設けた請求項１記載の基板用搬送カセット。
【請求項３】
前記第一スライダの傾斜面に接触する前記第二スライダの接触部を回転子とした請求項１又は２記載の基板用搬送カセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶基板などの基板の格納、検査、破棄、搬送、又は補充などに使用される基板用搬送カセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の基板用搬送カセットは、図８や図９に示すカセットケース１を備え、このカセットケース１に液晶基板Ｌを格納する。カセットケース１は、その一端面である正面（図８の斜め左側）と他端面である背面（図９の斜め左側）とがそれぞれ開口した箱形に構成され、背面の両側における天板４と複数の窓穴９を備えた底板８の間には基板用の基板着脱規制バー３６がそれぞれ固定して立て設けられている。
【０００３】
カセットケース１の天板４には一対のハンドル５が支点部材６を介し回転可能にそれぞれ取り付けられ、この一対のハンドル６が前後方向に離れて対向している。さらに、カセットケース１の両側板は、各側板に方形の窓穴１１が並べて開けられ、各側板の内壁には基板用の搭載リブ１２が上下方向に所定のピッチで並べ設けられるとともに、各側板の正面側内壁縁には基板用の抜け止めリブ３８が上下方向に所定のピッチで並べ設けられており、各抜け止めリブ３８が搭載リブ１２上から液晶基板Ｌの脱落するのを有効に防止する。
【０００４】
以上のように構成された基板用搬送カセットは、カセットケース１に単数又は複数枚の液晶基板Ｌを複数の搭載リブ１２を介して収容し、この格納状態で図示しないプロセス生産装置、検査装置、又はカセット一時保管庫などに代表される複数の装置間を専用の搬送車（図示せず）により、又は作業者（図示せず）により搬送される。なお、作業者が運搬、搬送する場合、カセットケース１が多少傾くことがあるが、カセットケース１の背面側には基板着脱規制バー３６が設けられて基板着脱規制方向とされ、カセットケース１の正面のみが実質的に開口しているので、液晶基板Ｌの脱落や落下を有効に防止することができる。
【０００５】
ところで、プロセス生産装置などの装置は、さまざまなタイプがあるが、搬入された基板用搬送カセットから液晶基板Ｌを一枚ずつ取り出して所定の処理や検査を施す枝葉処理式のタイプが多い。このような装置のタイプや特徴などを考慮すると、基板用搬送カセットの液晶基板Ｌの着脱方向を予め装置の処理側方向に向けた方が自動化や生産性などの点で有利であり、しかも、こうすれば、基板用搬送カセットを特定の方向に回転、位置決めするターンテーブルなどの回転機構や専用の装置を省略することも可能となる（なお、カセットの回転に関する先行技術文献として実開昭６３ー１３７９３８号公報参照）。
【０００６】
そこで、従来、基板用搬送カセットは、カセットケース１の正面が装置処理用開口部２として装置の処理側方向に向けられ、基板着脱規制バー３６を備えた背面が搬送通路側に向くようセットされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の基板用搬送カセットは、以上のように液晶基板Ｌの着脱方向が一方向であり、液晶基板Ｌの着脱方向が装置の処理側方向を向くようセットされるので、液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの場合に問題を生じていた。この点に関して詳説すると、例えば生産ラインの立ち上げ当初のとき、新機種を生産ラインに投入したとき、又はこれらの装置で処理された基板用搬送カセットを次工程に搬送するなどの場合、液晶基板Ｌ中に欠陥や不良箇所があるか否か、あるいは液晶基板Ｌに対する処理が適正か否かを作業者が目視で検査、確認したいことがある。
【０００８】
これらの場合、先ず、基板用搬送カセットを装置の搬入、搬出位置で持ち上げて装置処理用開口部２を液晶基板Ｌを取り出し可能な方向に向け、必要な液晶基板Ｌを取り出して検査、確認し、液晶基板Ｌが良品であれば元の位置に戻し、不良品であれば破棄する。この際、良品の液晶基板Ｌの枚数が少なければ、以後の工程の搬送効率や生産効率などを考慮して液晶基板Ｌを挿入、補充する。こうして作業が終了したら、基板用搬送カセットの向きを元に戻して搬送車や作業者により搬送、運搬する。
【０００９】
このように液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの作業の場合、基板用搬送カセットの装置処理用開口部２の方向を変えなければならないので、作業が不便で遅延化や煩雑化を招くという問題があった。この問題を解消するには、前記した回転機構や専用の装置を設置すれば良いが、これらの装置は構成が複雑で高価であり、しかも、クリーンルームに専用スペースを設けなければならず、必ずしも現実的な方法であるとはいえない。
【００１０】
本発明は、前記従来の問題点に鑑みなされたもので、比較的安価、簡易な構成で、向きを変えることなく、基板の検査などの作業を円滑に行うことのできる基板用搬送カセットを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、前記課題を解決するため、一端面が開口したカセットケースに基板を水平状態に格納するものにおいて、
前記カセットケースの他端面に形成された作業者用の作業開口部と、前記カセットケースの移動時には該作業開口部に対する前記基板の着脱を規制し、作業者の作業時には該作業開口部に対する該基板の着脱を可能とする基板着脱制御手段とを備え、
前記基板着脱制御手段は、前記カセットケースの移動時にカセットケースの天板に取り付けられた回転可能なハンドルを起こして当該ハンドルに連結部材を介し連結された該天板上の第一スライダを天板の他端部から一端部方向に離隔させ、作業者の作業時には前記ハンドルを該天板の他端部側に倒して該第一スライダを天板他端部に接近させる操作機構と、前記第一スライダの離隔時に第一スライダに前記天板他端部の複数の運動方向変換部材を連動させて運動方向変換部材に設けられて上下方向に伸びる一対のバーをそれぞれ作業開口部側方の基板着脱可能位置から作業開口部内の基板着脱規制領域に移動させ、前記第一スライダの接近時には第一スライダに該運動方向変換部材を連動させて該バーをそれぞれ該基板着脱規制領域から該基板着脱可能位置に移動させる制御機構とを含み、
前記複数の運動方向変換部材を一対の第二スライダとして各第二スライダを前記天板他端部の側部近傍上に後退用のばね部材を介して設置し、各第二スライダを前記第一スライダに形成した傾斜面に接触させ、各第二スライダにバーの上部を支持させて残部を前記天板と前記カセットケースの底板との間に位置させ、各第二スライダを前記第一スライダの離隔に基づいて該天板他端部の中央部方向に後退させるとともに、各第二スライダを該第一スライダの接近に基づいて該天板他端部の側部方向に進出させるようにし、
前記各バーには、前記基板用の抜け止め部材を上下方向に並べ設けて前記基板の背面側端部に接触可能としたことを特徴としている。
【００１２】
なお、前記第一スライダと前記第二スライダの少なくともいずれか一方にガイド孔を設け、このガイド孔に、前記天板に立て設けたガイド部材を嵌め入れてその突出上部にはがたつき防止部材を設けることが好ましい。
また、前記第一スライダの傾斜面に接触する前記第二スライダの接触部を回転子とすることが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、基板用搬送カセットを移動させる場合、起伏部材であるハンドルを起こせば良い。すると、スライダである第一スライダがスライドしてカセットケースの天板の他端部から遠ざけられ、運動方向変換部材である第二スライダに対する干渉を緩和する。これにより、第二スライダが動作して基板着脱規制部材である各バーが作業開口部の基板着脱可能位置から作業開口部内の中央部方向寄り、すなわち基板規制領域に移動する。各バーが移動すると、カセットケースの作業用開口部が閉そくされて基板の着脱が規制される。
【００１４】
これに対し、作業者が基板の検査、破棄、補充等の作業を行いたい場合には、起きた状態のハンドルを天板の他端部側に倒せば良い。すると、第一スライダがカセットケースの天板の他端部側に接近して第二スライダに対する干渉を強める。これにより、第二スライダが動作して各バーが作業開口部の基板規制領域から基板着脱可能位置に移動する。この移動作用により、カセットケースの作業用開口部が開放されて基板の着脱が可能になる。
【００１５】
また、ハンドルが回転すると、このハンドルの回転運動が連結部材の伝達作用で直線運動に変換され、スライダがスライドしてカセットケースの天板の他端部から離れたり、あるいは天板の他端部に接近する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。本実施形態における基板用搬送カセットは、図１などに示すように、カセットケース１Ａを備え、このカセットケース１Ａの天板４Ａ及び作業開口部３の両側部には基板着脱制御手段１３を設置している。
【００１７】
カセットケース１Ａは、図１や図２に示すように、アルミ合金や各種の合成樹脂（例えば、ポリプロピレンやポリカーボネートなど）などを材料として既存のものと基本的には寸法が同一の箱形に構成され、その一端面である正面（図１の斜め右上側）と他端面である背面（図１の斜め左下側）とがそれぞれ開口形成されており、正面が装置処理用開口部２Ａとして、背面が作業者用の作業開口部３として利用される。カセットケース１Ａの天板４Ａは、その一端部側寄りにほぼ逆Ｕ字形のハンドル５が一対の支点部材６を介し９０度回転可能に取り付けられ、反対の他端部の両側には後述する基板着脱規制バー用の切り欠き７がそれぞれ方形に切り欠かれている。
【００１８】
また、カセットケース１Ａの底板８Ａは、同図に示すように、方形を呈した作業用の複数の窓穴９Ａがマトリックスに開けられ、その他端部の両側には上方の切り欠き７に対向するガイドみぞ１０がそれぞれ開けられている。各ガイドみぞ１０は、ほぼ小判形に形成され、底板８Ａの他端部縁に平行に形成されている。また、カセットケース１Ａの両側板は、各側板に作業用の方形の窓穴１１Ａが並べて開けられるとともに、各側板の内壁には断面ほぼ台形状の搭載リブ１２Ａが上下方向に所定のピッチで並べ設けられ、各搭載リブ１２Ａの突出上部に液晶基板Ｌが支持されるようになっている。
【００１９】
また、基板着脱制御手段１３は、運搬用のハンドル１６及び一対の第一スライダ１８とからなる操作機構１４と、一対の第二スライダ２７及び一対の基板着脱規制バー３６Ａとからなる制御機構１５とを備えている。操作機構１４のハンドル１６は、図１や図２に示すように、ほぼ逆Ｕ字形に形成され、その両側部には連結支点ボス１７がそれぞれ水平に挿着されており、天板４Ａの他端部側寄りに一対の支点部材６を介して９０度回転可能に取り付けられている。また、各第一スライダ１８は、縦断面ほぼＬ字形に形成され、天板４Ａの他端部寄り上にスライド可能に搭載されている。
【００２０】
各第一スライダ１８のスライド部１９は、天板４Ａの他端部側の端面が傾斜面２０に形成され、長さの異なる一対のガイドみぞ孔２１がカセットケース１Ａの両端部方向、換言すれば、スライド方向に向けて開けられており、各ガイドみぞ孔２１には天板４Ａから垂直上方に突出した制御軸受２２付きのガイドピン２３がすきまを介して嵌められるとともに、このガイドピン２３の上部にはがたつき防止フランジ２４が半径外方向に水平に張り出して一体形成されている。なお、制御軸受２２は一方のガイドピン２３にのみ嵌められている。各第一スライダ１８の起立部には連結支点ボス貫通用の縦みぞ孔２５が上下方向に開けられ、起立部の下部には復帰スプリング３２用の貫通長孔２６がカセットケース１Ａの両端部方向に向けて開けられている。
【００２１】
また、制御機構１５の各第二スライダ２７は、平面ほぼＬ字形に形成され、天板４Ａの他端部の側部近傍上にスライド可能に搭載されている。各第二スライダ２７には長さの異なる一対のガイドみぞ孔２８がカセットケース１Ａの両側部方向（図３の上下方向）、換言すれば、スライド方向に向けて開けられ、各ガイドみぞ孔２８には天板４Ａから垂直上方に突出した制御軸受２９付きのガイドピン３０がすきまを介して嵌められており、このガイドピン３０の上部にはがたつき防止フランジ３１が半径外方向に水平に張り出して一体形成されている。なお、制御軸受２９は一方のガイドピン３０にのみ嵌められている。
【００２２】
各第二スライダ２７の両端部の内側と天板４Ａとの間には復帰スプリング３２がフックボス３３を介してそれぞれ介在され、ハンドル１６寄りの復帰スプリング３２が第一スライダ１８の貫通長孔２６を貫通している。これら複数のフックボス３３は、各第二スライダ２７の表面と天板４Ａの表面からそれぞれ垂直上方に突出している。各第二スライダ２７のハンドル１６寄りの端部の内部にはローラからなる回転子３４が支持軸３５を介して隠蔽支持され、回転子３４の露出部が第一スライダ１８のスライド部１９の傾斜面２０に点接触するよう作用する（図５参照）。
【００２３】
さらに、各基板着脱規制バー３６Ａは、図１や図２に示すように、既存のものと基本的には寸法が同一の棒状に構成され、その縮径に構成された上部が第二スライダ２７の天板４Ａ他端部側の角部に円筒形のかしめ部３７を介して嵌着支持され、下部が底板８Ａのガイドみぞ１０にスライド可能に嵌め入れられている。各基板着脱規制バー３６Ａの相互に対向する対向面にはブロック状の抜け止めリブ３８Ａが上下方向に所定のピッチで並べ設けられ、各抜け止めリブ３８Ａが各搭載リブ１２Ａの上部とほぼ同位するようになっている。各抜け止めリブ３８Ａは、搭載リブ１２Ａ上の液晶基板Ｌの背面側の端部に接触してその位置ずれ、脱落、又は落下などを有効に防止するよう作用する。
【００２４】
前記構成の基板用搬送カセットは、カセットケース１Ａに単数又は複数枚の液晶基板Ｌを複数の搭載リブ１２Ａを介して水平状態に収容し、この格納状態で図示しないプロセス生産装置、検査装置、又はカセット一時保管庫などに代表される複数の装置間を専用の搬送車（図示せず）により、又は作業者（図示せず）により搬送される。なお、各基板着脱規制バー３６Ａには液晶基板Ｌに接触する抜け止めリブ３８Ａが所定のピッチで並べ設けられているので、装置の移載アームで液晶基板Ｌを水平移動させるなどの場合、液晶基板Ｌの位置ずれ、脱落、又は落下などを有効に防止することができる。
【００２５】
また、液晶基板Ｌの着脱方向が装置の処理側方向を向いた場合において、基板用搬送カセットを作業者が運搬、搬送するとき、倒れている一対のハンドル５、１６を運搬位置に起こして手で握れば良い。すると、ハンドル１６の回転に伴い各第一スライダ１８がガイドピン２３に案内されつつそれぞれカセットケース１Ａの正面側に直線的に後退して接触している各第二スライダ２７に対する圧接、干渉を緩和する。この際、ガイドみぞ孔２１とガイドピン２３の間に位置する制御軸受２２が各第一スライダ１８のスライドをスムーズにする。また、がたつき防止フランジ２４は、各第一スライダ１８の上下方向のがたつきを有効に制御防止し、この防止作用により、各第一スライダ１８がスムーズにスライドする。
【００２６】
これにより、各第二スライダ２７が復帰スプリング３２のばね作用で天板４Ａの他端部の側部から中央部方向にガイドピン３０に案内されつつ直線的に後退し、各基板着脱規制バー３６Ａが作業開口部３の側部、すなわち基板着脱可能位置から作業開口部３内の中央部方向寄り、すなわち基板規制領域の基板規制位置にガイドみぞ１０に案内されつつスライドする。この際、各第一スライダ１８の傾斜面２０に各第二スライダ２７の回転子３４が転がり接触しつつ回転するので、各第二スライダ２７は円滑にスライドする。また、ガイドみぞ孔２８とガイドピン３０の間に位置する制御軸受２９が各第二スライダ２７のスライドをスムーズにする。
【００２７】
また、がたつき防止フランジ３１は、各第二スライダ２７の上下方向のがたつきを有効に制御防止し、この防止作用により、各第二スライダ２７が滑らかにスライドする。以上のように各基板着脱規制バー３６Ａがスライドすると、カセットケース１Ａの作業開口部３の両側が閉そくされて液晶基板Ｌの着脱が禁止され、作業者は、安心して基板用搬送カセットを運搬、搬送することができる。
【００２８】
これに対し、作業者が液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの作業を行いたい場合には、起立しているハンドル１６を天板４Ａの作業開口部側に倒せば良い。すると、ハンドル１６の回転に伴い各第一スライダ１８がガイドピン２３に案内されつつそれぞれカセットケース１Ａの背面側に直線的に進出して接触している各第二スライダ２７に対する圧接、干渉を強める。なお、この際、がたつき防止フランジ２４は前記と同様に機能する。
【００２９】
これにより、各第二スライダ２７が復帰スプリング３２のばね作用に抗して天板４Ａの他端部の中央部から側部方向にガイドピン３０に案内されつつ直線的に進出し、各基板着脱規制バー３６Ａが作業開口部３の基板規制領域の基板規制位置及びその残部の基板着脱軌跡から基板着脱可能位置にガイドみぞ１０に案内されつつスライドする。このスライド作用でカセットケース１Ａの作業開口部３から障害物がなくなり、作業者は、安心して液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの作業を行うことができる。なお、この際、回転子３４、制御軸受２９、及びがたつき防止フランジ３１は前記と同様に機能する。
【００３０】
前記構成によれば、カセットケース１Ａに対する液晶基板Ｌの着脱を二方向からできるので、例え液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの作業の場合でも、基板用搬送カセットの装置処理用開口部２Ａの方向を変える必要性が全くなく、作業が容易で作業の遅延化や煩雑化を確実に防止することができる。また、これにより、回転機構や専用の装置を設置する必要もなく、さらにクリーンルームに専用スペースを設ける必要性もない。また、構成が比較的簡素であるから、メンテナンスも容易で、安価が期待できる。
【００３１】
なお、基板の着脱を二方向から可能とする技術的思想については、特開平６―２７１００４号公報に開示されているが、この技術は本願と技術的思想や構成が著しく異なり、しかも、作業開口部３を開閉する基板着脱制御手段１３についてはなんら記載がないとともに、それを示唆する記載すら見当たらない。したがって、本願の目的を到底達成することができず、しかも、移動の際の位置ずれ、脱落、又は落下を本願のように有効に防止することができないものである。
【００３２】
なお、前記実施形態では、液晶基板Ｌを例に説明したが、なんらこれに限定されるものではなく、各種の基板や半導体ウェーハなどを格納する場合にも用いることができる。また、既存のカセットケース１や基板着脱規制バー３６を流用して構成することも可能である。また、同様の作用効果が期待できるのであれば、ハンドル５、１６や連結支点ボス１７の位置、構成、又は機構などを必要に応じ適宜変更することができる。また、同様の作用が期待できるのであれば、復帰スプリング３２としてコイルばね以外のばねを使用したり、ばねの本数を適宜増減することも可能である。
【００３３】
また、同様の作用効果が期待できるのであれば、各基板着脱規制バー３６Ａを板形や扉形などに適宜変更構成しても良い。さらに、第一スライダ１８の進出で各第二スライダ２７が回転し、各基板着脱規制バー３６Ａが作業開口部３の基板規制領域の基板規制位置から基板着脱可能位置に弧を描きつつ揺動する構成などでも良いのはいうまでもない。
【００３４】
以上のように本発明によれば、前記カセットケースの他端面に形成された作業者用の作業開口部と、前記カセットケースの移動時には該作業開口部に対する前記基板の着脱を規制し、作業者の作業時には該作業開口部に対する該基板の着脱を可能とする基板着脱制御手段とを備え、前記基板着脱制御手段は、前記カセットケースの移動時にカセットケースの天板に取り付けられた回転可能なハンドルを起こして当該ハンドルに連結部材を介し連結された該天板上の第一スライダを天板の他端部から一端部方向に離隔させ、作業者の作業時には前記ハンドルを該天板の他端部側に倒して該第一スライダを天板他端部に接近させる操作機構と、前記第一スライダの離隔時に第一スライダに前記天板他端部の複数の運動方向変換部材を連動させて運動方向変換部材に設けられて上下方向に伸びる一対のバーをそれぞれ作業開口部側方の基板着脱可能位置から作業開口部内の基板着脱規制領域に移動させ、前記第一スライダの接近時には第一スライダに該運動方向変換部材を連動させて該バーをそれぞれ該基板着脱規制領域から該基板着脱可能位置に移動させる制御機構とを含み、前記複数の運動方向変換部材を一対の第二スライダとして各第二スライダを前記天板他端部の側部近傍上に後退用のばね部材を介して設置し、各第二スライダを前記第一スライダに形成した傾斜面に接触させ、各第二スライダにバーの上部を支持させて残部を前記天板と前記カセットケースの底板との間に位置させ、各第二スライダを前記第一スライダの離隔に基づいて該天板他端部の中央部方向に後退させるとともに、各第二スライダを該第一スライダの接近に基づいて該天板他端部の側部方向に進出させるようにし、前記各バーには、前記基板用の抜け止め部材を上下方向に並べ設けて前記基板の背面側端部に接触可能とするので、従来例に比べ安価、簡素な構成でカセットケースの向きを変更することなく、基板の検査等の作業を円滑に行うことができるという効果がある。
特に、簡易な構成のリンク機構とスライド機構とを利用してカセットケースの向きを変更することなく、基板の検査等の作業を容易に行うことができる。
また、前記第一スライダと前記第二スライダの少なくともいずれか一方にガイド孔を設け、このガイド孔に、前記天板に立て設けたガイド部材を嵌め入れてその突出上部にはがたつき防止部材を設ければ、第一スライダが鉛直方向や水平方向にふらつくことなく、所定の方向にスムーズに運動させることができる。
さらに、前記第一スライダの傾斜面に接触する前記第二スライダの接触部を回転子とすれば、第一、第二のスライダが噛み合ったり、接触に伴い故障したりすることがないので、第二スライダを滑らかに摺動させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板用搬送カセットの実施の形態を示す説明図で、各基板着脱規制バーが作業開口部の基板規制領域に位置する状態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る基板用搬送カセットの実施の形態を示す説明図で、各基板着脱規制バーが作業開口部の基板着脱可能位置に位置する状態を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る基板用搬送カセットの実施の形態を示す要部拡大説明図である。
【図４】図３のＡ―Ａ線断面図である。
【図５】図３のＢ―Ｂ線断面図である。
【図６】図３のＣ―Ｃ線断面図である。
【図７】図１のＰ方向からみた説明図である。
【図８】従来の基板用搬送カセットを基板着脱方向からみた状態を示す斜視図である。
【図９】従来の基板用搬送カセットを基板着脱規制方向からみた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１Ａ    カセットケース
２Ａ    装置処理用開口部
３      作業開口部
４      天板
８Ａ    底板
１３    基板着脱制御手段
１４    操作機構
１５    制御機構
１６    ハンドル（起伏部材）
１８    第一スライダ（スライダ）
２０    傾斜面
２１    ガイドみぞ孔（ガイド孔）
２３    ガイドピン（ガイド部材）
２４    がたつき防止フランジ（がたつき防止部材）
２７    第二スライダ（運動方向変換部材）
２８    ガイドみぞ孔（ガイド孔）
３０    ガイドピン（ガイド部材）
３１    がたつき防止フランジ（がたつき防止部材）
３２    復帰スプリング（ばね部材）
３４    回転子
３６Ａ  基板着脱規制バー
Ｌ      液晶基板（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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