(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容量性負荷の両端に印加する電圧を発生する電圧発生回路であって、
前記容量性負荷に直列に接続され、前記容量性負荷とともに直列共振回路を構成する、誘導性素子及び抵抗素子と、
前記直列共振回路に矩形波形の電圧を印加する電圧印加手段とを備え、
前記電圧印加手段は、前記直列共振回路に印加する矩形波形の電圧の周波数をｆｄ、前記直列共振回路の共振周波数をｆｒとした場合、
０.４×ｆｒ ＜ ｆｄ ＜ １.０×ｆｒ
とすることによって、前記容量性負荷の両端に鋸波形の電圧を印加することを特徴とする、電圧発生回路。
【請求項２】
前記電圧印加手段が前記直列共振回路に印加する矩形波形の電圧のデューティ比をＤｕとした場合、
０.０５ ＜ Ｄｕ ＜ ０.４８
又は、０.５２ ＜ Ｄｕ ＜ ０.９５
であることを特徴とする、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項３】
前記容量性負荷のキャパシタンス値をＣ、前記誘導性素子のインダクタンス値をＬ、前記抵抗素子の抵抗値をＲとした場合、
（１／１５）×（Ｌ／Ｃ）１／２ ＜ Ｒ＜ （Ｌ／Ｃ）１／２
であることを特徴とする、請求項１記載の電圧発生回路。
【請求項４】
容量性負荷である電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の両端に印加する電圧を発生する請求項１〜３のいずれか一つに記載の電圧発生回路とを備え、
前記電圧発生回路の電圧印加手段が、前記直列共振回路に印加する矩形波形の電圧の周波数をｆｄ、前記直列共振回路の共振周波数をｆｒとした場合、
０.４×ｆｒ ＜ ｆｄ ＜ １.０×ｆｒ
とすることによって、前記電気機械変換素子の両端に鋸波形の電圧を印加して、前記電気機械変換素子を、変形する時と元に戻る時の速度を異ならせて動作させることにより駆動することを特徴とする、駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電圧発生回路及び該回路を備えた駆動装置に関し、詳しくは、容量性負荷の駆動に好適な電圧発生回路及び該回路を備えた駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、圧電素子に鋸波形の電圧を印加して駆動する駆動装置において、圧電素子に鋸波形の電圧を印加する方法としては、次の２つの方法があった。
【０００３】
図１は、第１の方法を示す。図１（ａ）に示すように、波形発生器Ｗのデジタルアナログ変換器により、例えば８ビット、０−５Ｖの鋸波形を生成し、それをパワーアンプＭに入力し、例えば０−１０Ｖに増幅した駆動用の鋸波形を圧電素子Ｘに印加する。波形生成器Ｗを調整することにより、図１（ｂ）に示す繰出し波形や、図１（ｃ）に示す戻り波形の鋸波形を生成することができる。
【０００４】
図２及び図３は、第２の方法を示す。図２に示すように、電源電圧Ｖを圧電素子Ｘに印加するために、定電流回路Ａ，Ｄとスイッチ回路Ｂ，Ｃとを備えた回路を用い、定電流回路Ａ，Ｄとスイッチ回路Ｂ，Ｃと交互に働かせることで、繰出し波形と戻り波形を生成する。
【０００５】
詳しくは、例えば図３（ａ）に示したデジタル回路を構成し、図３（ｂ）に示したように、端子ａ，ｂ，ｃ，ｄに制御信号を入力することにより、繰出し波形と戻り波形を生成する。
【０００６】
すなわち、端子ａにＨｉ信号を入力し、定電流回路Ａを介して圧電素子Ｘに印加する電圧を徐々に上昇させた後、端子ｂにＨｉ信号を入力し、スイッチ回路Ｂを介して圧電素子Ｘを接地し、圧電素子Ｘに印加する電圧を急に下げ、符号１０，１２で示す繰出し波形を生成する。
【０００７】
あるいは、端子ｃにＨｉ信号を入力し、スイッチ回路Ｃを介して電源電圧Ｖを圧電素子Ｘに印加した後、端子ｄにＨｉ信号を入力し、定電流回路Ｄを介して接地することにより、符号１４，１６で示す戻り波形を生成する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
第１の方法では波形発生器ＷとパワーアンプＭが必要であり、第２の方法では定電流回路Ａ，Ｄやスイッチ回路Ｂ，Ｃが必要であり、回路が複雑になり、コストがかかっていた。また、余分な高調波があるため、駆動に悪影響を与えていた。
【０００９】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、簡単な構成で容量性負荷に鋸波形の電圧を印加することができる電圧発生回路及び該回路を備えた駆動装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の電圧発生回路を提供する。
【００１１】
電圧発生回路は、容量性負荷の両端に印加する電圧を発生する。電圧発生回路は、誘導性素子及び抵抗素子と、電圧印加手段とを備える。前記誘導性素子及び抵抗素子は、前記容量性負荷に直列に接続され、前記容量性負荷とともに直列共振回路を構成する。前記電圧印加手段は、前記直列共振回路に印加する矩形波形の電圧の周波数をｆｄ、前記直列共振回路の共振周波数をｆｒとした場合、０.４×ｆｒ ＜ ｆｄ ＜ １.０×ｆｒとすることによって、前記容量性負荷の両端に鋸波形の電圧を印加する。
【００１２】
上記構成において、ＲＬＣの直列回路である直列共振回路は、２次遅れ要素の伝達関数となるので、矩形波形の電圧印加により、前記容量性負荷の両端に鋸波形の電圧が生成するようにすることができる。
【００１３】
上記構成によれば、電圧発生回路の部品点数を、従来のものより少なくすることができる。したがって、簡単な構成で容量性負荷に鋸波形の電圧を印加することができる。
【００１４】
具体的には、以下のように種々の態様で構成する。
【００１５】
好ましくは、前記電圧印加手段が前記直列共振回路に印加する矩形波形の電圧の周波数をｆｄ、前記直列共振回路の共振周波数をｆｒとした場合、
０．４×ｆｒ  ＜  ｆｄ  ＜  １．０×ｆｒ    （１）
である。
【００１６】
上記構成によれば、容量性負荷の両端に鋸波形の電圧を印加したときに、容量性負荷により所望の動作をさせることができる。
【００１７】
より好ましくは、
０．６×ｆｒ  ＜  ｆｄ  ＜  ０．８×ｆｒ    （２）
である。
【００１８】
好ましくは、前記電圧印加手段が前記直列共振回路に印加する矩形波形の電圧のデューティ比をＤｕとした場合、
０．０５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．４８            （３ａ）
又は、０．５２  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．９５            （３ｂ）
である。
【００１９】
上記構成によれば、容量性負荷の両端に鋸波形の電圧を印加したときに、容量性負荷により所望の動作をさせることができる。
【００２０】
より好ましくは、
０．１５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．４０            （４ａ）
又は、０．６０  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．８５            （４ｂ）
である。
【００２１】
さらに好ましくは、
０．２５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．３５            （５ａ）
又は、０．６５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．７５            （５ｂ）
である。
【００２２】
好ましくは、前記容量性負荷のキャパシタンス値をＣ、前記誘導性素子のインダクタンス値をＬ、前記抵抗素子の抵抗値をＲとした場合、
（１／１５）×（Ｌ／Ｃ）１／２ ＜ Ｒ＜ （Ｌ／Ｃ）１／２          （６）
である。
【００２３】
上記構成によれば、容量性負荷の両端に鋸波形の電圧を印加したときに、容量性負荷により所望の動作をさせることができる。
【００２４】
より好ましくは、
（１／１０）×（Ｌ／Ｃ）１／２ ＜ Ｒ＜ （１／１.５）×（Ｌ／Ｃ）１／２              （７）
である。
【００２５】
また、本発明は、上記技術的課題を解決するために、上記各構成の電圧発生回路を備えた、以下の構成の駆動装置を提供する。
【００２６】
駆動装置は、容量性負荷である電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の両端に印加する電圧を発生する上記各構成性の電圧発生回路とを備える。前記電気機械変換素子の両端に鋸波形の電圧を印加して、前記電気機械変換素子を、変形する時と元に戻る時の速度を異ならせて動作させることにより、駆動する。
【００２７】
電気機械変換素子（例えば、圧電素子、電歪素子、磁歪素子など）の変形（伸縮、ねじれ、せん断など）を利用する種々の駆動装置があるが、上記構成によれば、容量性負荷である電気機械変換素子を用いる駆動装置において、電気機械変換素子の両端に電圧を印加して駆動するための回路構成を簡単にすることができる。
【００２８】
上記駆動装置は、種々の態様のものを含む。例えば、以下の構成の駆動装置が含まれる。
【００２９】
前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動摩擦部材と、
前記駆動摩擦部材に摩擦力で係合する係合部材とを備え、
前記電気機械変換素子の伸長時と収縮時で速度が異なる動作により、前記係合部材が前記駆動摩擦部材に沿って相対的に移動することを特徴とする、請求項５記載の駆動装置。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態として実施例を図４〜図１４に基づいて説明する。
【００３１】
図４は、実施例の駆動装置の説明図である。
【００３２】
図４（ａ）〜（ｃ）に模式的に示すように、電機機械変換素子である圧電素子の伸縮方向一端が固定部材に固定され、他端に駆動摩擦部材が固定されている。駆動摩擦部材は、圧電素子の伸縮に伴なって、操出し方向と戻り方向とに移動するようになっている。駆動摩擦部材には、移動体が摩擦力によって係合する。
【００３３】
移動体は、鋸波形の電圧を圧電素子に印加して、圧電素子を伸長時と収縮時の速度を異ならせて伸縮させることにより、駆動する。図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、図４（ｄ）に示した操出し波形の電圧を印加したときのＡ、Ｂ、Ｃにおける状態を、それぞれ示す。
【００３４】
図４（ｄ）の区間Ａ−Ｂにおいて電圧波形が緩やかに上昇するとき、圧電素子は相対的にゆっくり伸び、図４（ａ）の状態から図４（ｂ）の状態へと変化する。このとき、移動体は、駆動摩擦部材に対して滑ることなく、あるいはほとんど滑ることなく、実質的には駆動摩擦部材とともに一体的に移動する。
【００３５】
次に、区間Ｂ−Ｃにおいて電圧波形が急に下降するとき、圧電素子は相対的に急に縮み、駆動摩擦部材は急に初期位置に戻る。このとき、駆動摩擦部材と移動体との間に滑りが生じ、移動体は実質的に移動せず、駆動摩擦部材だけが初期位置に戻る。その結果、移動体は、図４（ｃ）に示すように、図４（ａ）の初期位置に対して操出し方向に移動する。
【００３６】
このサイクルの繰り返しにより、移動体は駆動摩擦部材に沿って移動する。
【００３７】
なお、急な上昇と緩やかな下降とで構成された戻り波形の電圧を圧電素子に印加すれば、移動体は戻り方向に移動する。
【００３８】
図５は、実施例の駆動装置２０の構成を示す分解斜視図及び組立斜視図である。
【００３９】
駆動装置２０は、不図示の機器の固定部材（例えば、ＸＹ駆動テーブルのベース）に取り付ける固定部材２４と、例えば積層形の圧電素子２２と、固定部材２４に摺動可能に支持される駆動軸２６と、不図示の被駆動部材（例えば、ＸＹ駆動テーブルのステージ）に結合される駆動ユニット２８とを備える。圧電素子２２は、その伸縮方向の一方の端面が固定部材２４に固着結合され、その伸縮方向の他方の端面には駆動軸２６の一方の軸端面が固着結合されている。駆動軸２６には、スライダー２８ｃ、摩擦部材２８ｂ、板ばね２８ａからなる駆動ユニット２８が、摩擦力で係合するようになっている。この駆動装置２０は、駆動回路３０により、圧電素子２２に例えば鋸波形の電圧を印加し、駆動軸２６を軸方向に往復振動させ、駆動ユニット２８を駆動軸２６に沿って所定方向に動かすことができる。
【００４０】
つまり、圧電素子２２は電機機械変換素子として機能し、駆動軸２６は摩擦係合部材として機能し、駆動ユニット２８は移動体又は係合部材として機能する。
【００４１】
図６は、本実施例の駆動装置２０を駆動するための電圧発生回路の説明図である。
【００４２】
図６（ａ）に示したように、直列共振回路Ｐは、容量性負荷Ｘと、抵抗素子Ｒと、誘導素子Ｌとを直列に接続した回路であり、容量性負荷Ｘの一方端は接地され、他方端には抵抗素子Ｒが接続さている。電圧Ｖｄは、容量性負荷Ｘの他方端の電圧である。Ｖｐは、直列共振回路Ｐに印加する電圧である。
【００４３】
図６（ｂ）及び（ｃ）は、直列共振回路Ｐにおいて、ＶｐからＶｄへの伝達特性を示す。図中のｆｒは、直列共振回路Ｐの共振周波数を示す。
【００４４】
図６（ｄ）は、図６（ｂ）及び（ｃ）中に示した周波数ｆｄの矩形波形の電源電圧Ｖｐを印加したときにおける容量性負荷Ｘの電圧Ｖｄの波形を示す。この波形は、デューティ比が０．３、周波数がｆｄ＝０．７×ｆｒのときのものである。
【００４５】
図６（ｂ）及び（ｃ）に示した伝達特性の影響で、電源Ｖｐの矩形波形をフーリエ展開したときの２次成分のゲインが１次成分に対して約半分になり、１次成分に対する位相が遅れる。３次以上の成分は、ゲインが大幅に減衰する。そのため、図６（ｄ）に示すように、矩形波形の電源Ｖｐに対する容量性負荷Ｘの電圧Ｖｄの波形は、略１次、２次成分だけの鋸波形となる。
【００４６】
図７は、駆動装置２０の回路図を示す。
【００４７】
回路は、制御回路Ｋと、４個のスイッチ素子Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４と、誘導性素子Ｌと、抵抗素子Ｒとを含み、容量性負荷Ｘ（すなわち、圧電素子２２）の両端に電圧を印加する。
【００４８】
スイッチ素子Ｑ１〜Ｑ４は、ＭＯＳ型ＦＥＴであり、各ゲートは、制御回路Ｋの端子Ｓｃ１〜Ｓｃ４にそれぞれ接続され、Ｈｉ又はＬｏの信号が入力される。スイッチ素子Ｑ１，Ｑ３はＰチャンネルＦＥＴであり、スイッチ素子Ｑ２，Ｑ４はＮチャンネルＦＥＴである。
【００４９】
スイッチ素子Ｑ１のソースとスイッチ素子Ｑ３のソースとは、それぞれ、接続点ａを介して、電源電圧Ｖｃｃに接続されている。スイッチ素子Ｑ１のドレインは、接続点ｃを介して、スイッチ素子Ｑ２のドレインに接続されている。スイッチ素子Ｑ３のドレインは、接続点ｄを介して、スイッチ素子Ｑ４のドレインに接続されている。スイッチ素子Ｑ２のソースとスイッチ素子Ｑ４のソースとは、それぞれ、接続点ｂを介して、接地されている。
【００５０】
接続点ｃと接続点ｄの間には、誘導性素子Ｌと、抵抗素子Ｒと、容量性負荷Ｘとが直列に接続され、直列共振回路Ｐを構成している。
【００５１】
次に、制御回路Ｋの動作について、図８のタイミングチャートを参照しながら説明する。図８（ａ）〜（ｄ）は制御回路Ｋの端子Ｓｃ１〜Ｓｃ４の電圧（すなわち、スイッチ素子Ｑ１〜Ｑ４のゲート電圧）を示す。図８（ｅ）は、直列共振回路Ｐの電圧Ｖｐを示し、図８（ｆ）は容量性負荷Ｘの端子間電圧Ｖｄを示す。
【００５２】
ＰチャンネルＦＥＴであるスイッチ素子Ｑ１，Ｑ３は、符号１１，１３で示すＬｏ信号によりオン、すなわち導通状態になり、ＮチャンネルＦＥＴであるスイッチ素子Ｑ２，Ｑ４は、符号１２，１４で示すＨｉ信号によりオンになる。
【００５３】
制御回路Ｋは、第１期間Ｔ１と第２期間Ｔ２からなるサイクルを繰り返す。
【００５４】
第１期間Ｔ１において、端子Ｓｃ１，Ｓｃ２はＬｏ、端子Ｓｃ３，Ｓｃ４はＨｉとなり、スイッチ素子Ｑ１，Ｑ４がオン、すなわち導通状態、スイッチ素子Ｑ２，Ｑ３がオフ、すなわち遮断状態となる。これにより、直列共振回路Ｐの接点ｄがスイッチ素子Ｑ４を介して接地され、接点ｃはスイッチ素子Ｑ１を介して電源電圧Ｖｃｃに接続される。したがって、直列共振回路Ｐの両端電圧Ｖｐ（図７において矢印の方向を正とする）は、図８（ｅ）において符号１５で示すように＋Ｖｃｃとなる。
【００５５】
第２期間Ｔ２において、端子Ｓｃ１，Ｓｃ２はＨｉ、端子Ｓｃ３，Ｓｃ４はＬｏとなり、スイッチ素子Ｑ１，Ｑ４がオフ、すなわち遮断状態、スイッチ素子Ｑ２，Ｑ３がオン、すなわち導通状態となる。これにより、直列共振回路Ｐの接点ｃがスイッチ素子Ｑ２を介して接地され、接点ｄはスイッチ素子Ｑ３を介して電源電圧Ｖｃｃに接続される。したがって、直列共振回路Ｐの両端電圧Ｖｐ（図７において矢印の方向を正とする）は、図８（ｅ）において符号１６で示すように−Ｖｃｃとなる。
【００５６】
図８（ｅ）に示したように、直列共振回路Ｐの両端電圧Ｖｐは矩形波形となり、これに対応する容量性負荷Ｘの電圧Ｖｄの波形は、例えば図（ｆ）のように鋸波形となる。
【００５７】
次に、直列共振回路Ｐに印加する矩形波形の電圧Ｖｐの周波数ｆｄ及びデューティ比Ｄｕと、直列共振回路Ｐの素子の定数について、図９〜図１４に基づいて説明する。
【００５８】
まず、直列共振回路Ｐに印加する矩形波形の電圧Ｖｐの周波数ｆｄについて、図９及び図１２を参照しながら説明する。
【００５９】
図９は、図７の回路において、電圧Ｖｐの矩形波形のデューティ比をＤｕ＝０．３、誘導性素子Ｌのインダクタンス値をＬ＝１００μＨ、抵抗素子Ｒの抵抗値をＲ＝２３Ω、圧電素子Ｘのキャパシタンス値をＣ＝３０ｎＦとしたときに、周波数ｆｄを０．３×ｆｒから１．１×ｆｒまで変化させたときの圧電素子Ｘの両端間の電圧Ｖｄの波形を示す。図１２は、このときの移動体、すなわち駆動装置２０の駆動ユニット２８の速度を示す。なお、以下において、ｆｒは直列共振回路Ｐの共振周波数である。
【００６０】
図１２から分かるように、周波数ｆｄが０．７×ｆｒのとき、圧電素子Ｘの伸長時に移動体が滑る量と、圧電素子Ｘの収縮時に移動体の滑る量の差が最も大きく、移動体の速度も速くなる。周波数ｆｄが１．０×ｆｒのとき、電圧Ｖｄの波形は略正弦波形となり、圧電素子Ｘの伸長時に移動体が滑る量と、圧電素子Ｘの収縮時に移動体の滑る量との差がなくなるため、駆動できない。また、周波数ｆｄが０．４×ｆｒ以下でも、駆動できない。実用的な周波数ｆｄの範囲は、０．６×ｆｒ〜０．８×ｆｒである。
【００６１】
したがって、周波数ｆｄは、
０．４×ｆｒ  ＜  ｆｄ  ＜  １．０×ｆｒ        （８）
であることが好ましい。
より好ましくは、
０．６×ｆｒ  ＜  ｆｄ  ＜  ０．８×ｆｒ    （９）
である。
【００６２】
次に、直列共振回路Ｐに印加する矩形波形の電圧のデューティ比Ｄｕについて、図１０及び図１３を参照しながら説明する。
【００６３】
図１０は、図７の回路において、電圧Ｖｐの周波数をｆｄ＝０．７×ｆｒ、誘導性素子Ｌのインダクタンス値をＬ＝１００μＨ、抵抗素子Ｒの抵抗値をＲ＝２３Ω、圧電素子Ｘのキャパシンタンス値をＣ＝３０ｎＦとしたとき、電圧Ｖｐの矩形波形のデューティ比Ｄｕを０．０５から０．９５まで変化させたときの圧電素子Ｘの両端間の電圧Ｖｄの波形を示す。図１３は、このときの移動体の速度を示す。
【００６４】
図１３から分かるように、デューティ比がＤｕ＝０．３のとき移動体の操出し方向の速度が最も速くなり、デューティ比がＤｕ＝０．７のとき移動体の戻り方向の速度が最も速くなる。デューティ比がＤｕ＝０．５前後（すなわち、０．４８≦Ｄｕ≦０．５２）のときは、図１０（ｄ）に示したように電圧Ｖｄは略正弦波形となり、駆動できない。デューティ比がＤｕ＝０．０５、Ｄｕ＝０．９５のときは、図１０（ａ），（ｇ）に示したように電圧Ｖｄの電圧差が大幅に減衰し、移動体が滑らなくなるため、駆動できない。図１３から分かるように、実用的なデューティ比Ｄｕの範囲は、０．１５〜０．４０、０．６０〜０．８５であり、より好ましくは、０．２５〜０．３５、０．６５〜０．７５である。
【００６５】
したがって、デューティ比Ｄｕについては、
０．０５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．９５            （１０）
であることが、好ましい。
より好ましくは、
０．１５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．４              （１１ａ）
又は、０．６  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．８５              （１１ｂ）
である。
さらに好ましくは、
０．２５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．３５            （１２ａ）
又は、０．６５  ＜  Ｄｕ  ＜  ０．７５            （１２ｂ）
である。
【００６６】
次に、直列共振回路Ｐの素子の定数の設定について、図１１及び図１４を参照しながら説明する。
【００６７】
圧電素子Ｘに印加する鋸波形の電圧Ｖｄの周波数は、直列共振回路Ｐに印加する矩形波形の電圧Ｖｐの周波数ｆｄと等しくなり、式（８）又は式（９）のように、直列共振回路Ｐの共振周波数ｆｒに対して係数を乗じた値とすることができる。共振周波数ｆｒは、直列共振回路Ｐの誘導性素子Ｌのインダクタンス値Ｌと圧電素子Ｘのキャパシンタンス値Ｃにより決まる。そこで、直列共振回路Ｐの抵抗素子Ｒの抵抗値Ｒについて検討した。
【００６８】
図１１は、図７の回路において、電圧Ｖｐの周波数をｆｄ＝０．７×ｆｒ、電圧Ｖｐの矩形波形のデューティ比をＤｕ＝０．３、誘導性素子Ｌのインダクタンス値をＬ＝１００μＨ、圧電素子Ｘのキャパシタンス値をＣ＝３０ｎＦとしたとき、抵抗素子Ｒの抵抗値Ｒを、Ｒ＝（１／２０）√（Ｌ／Ｃ）からＲ＝（１／０．５）√（Ｌ／Ｃ）まで変化させたときの圧電素子Ｘの両端間の電圧Ｖｄの波形を示す。図１４は、このときの移動体の速度を示す。
【００６９】
図１４から分かるように、抵抗値がＲ＝（１／２．５）√（Ｌ／Ｃ）で移動体の速度は最も速い。抵抗値がＲ＝（１／２０）√（Ｌ／Ｃ）、Ｒ＝（１／０．５）√（Ｌ／Ｃ）では、駆動できない。Ｒ＝（１／１５）√（Ｌ／Ｃ）とＲ＝√（Ｌ／Ｃ）との間で駆動可能であった。実用的な抵抗値Ｒの範囲は、（１／１０）√（Ｌ／Ｃ）  〜  （１／１．５）√（Ｌ／Ｃ）である。
【００７０】
したがって、直列共振回路Ｐの素子の定数Ｌ，Ｃ，Ｒについては、
（１／１５）×（Ｌ／Ｃ）１／２  ＜  Ｒ  ＜  （Ｌ／Ｃ）１／２        （１３）
であることが好ましい。
より好ましくは、
0003595808.tif 000002
である。
【００７１】
以上説明したように、図９〜図１２から、駆動装置２０は、圧電素子２２又はＸに鋸波形の電圧Ｖｄを印加したときに駆動できることが分かる。圧電素子２２又はＸには、図７及び図８に示した直列共振回路Ｐを含む構成の簡単な電圧発生回路により、鋸波形の電圧を印加することができる。
【００７２】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【００７３】
例えば、本発明は、電気機械変換素子を固定する素子固定タイプの駆動装置に限らず、係合部材を固定するタイプのものや、駆動摩擦部材を固定するタイプのもの、自走式のものなど、電気機械変換素子を用いた種々のタイプの駆動装置に広く適用することができる。
【００７４】
また、本発明の電圧発生回路は、上記の種々のタイプの駆動装置に限らず、例えば特開２００１−３２２０９９号公報に開示されたマイクロポンプの圧電素子の駆動なども適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例の第１の方法の説明図である。
【図２】従来例の第２の方法の説明図である。
【図３】従来例の第２の方法の説明図である。
【図４】本発明の実施例の駆動装置の説明図である。
【図５】本発明の実施例の駆動装置を示す分解斜視図及び組立斜視図である。
【図６】電圧発生回路の説明図である。
【図７】本発明の実施例の電圧発生回路を示す電気回路図である。
【図８】図７の電気回路における動作のタイミングチャート及び電圧波形図である。
【図９】周波数を変えたときの電圧波形図である。
【図１０】デューティ比を変えたときの電圧波形図である。
【図１１】抵抗素子の定数を変えたときの電圧波形図である。
【図１２】周波数を変えたときの移動体の速度を示すグラフである。
【図１３】デューティ比を変えたときの移動体の速度を示すグラフである。
【図１４】素子の定数を変えたときの移動体の速度を示すグラフである。
【符号の説明】
２０  駆動装置
２２  圧電素子（容量性負荷、電気機械変換素子）
２６  駆動軸（駆動摩擦部材）
２８  駆動ユニット（移動体、係合部材）
Ｋ  制御回路（電圧印加手段、電圧発生回路）
Ｌ  誘導性素子（電圧発生回路）
Ｐ  直列共振回路（電圧発生回路）
Ｑ１〜Ｑ４  スイッチ素子（電圧印加手段、電圧発生回路）
Ｒ  抵抗素子
Ｘ  圧電素子（容量性負荷、電気機械変換素子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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