(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン単結晶基板からなるノズル基板と、インクの吐出方向において内側となる前記ノズル基板の一方面側に形成されると共に貫通孔であるノズル開口が形成されるノズル形成部とを有し、前記ノズル基板と前記ノズル形成部との間に電鋳用種電極を有すると共に、前記ノズル形成部が前記ノズル基板に電鋳により一体的に形成されていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
請求項１において、前記ノズル基板の前記ノズル開口に対応する領域には当該ノズル開口を露出する開口部が形成されていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項３】
請求項２において、前記ノズル基板に形成された前記開口部が前記複数のノズル開口に対応する領域に亘って連続的に設けられていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかのノズルプレートと、シリコン単結晶基板からなると共に前記ノズルプレートの前記ノズル開口に連通する圧力発生室を有する流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室にインクを吐出するための圧力を発生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズルプレートの前記ノズル形成部と前記流路形成基板とが接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
ノズル基板の両面に絶縁膜を形成する工程と、前記ノズル基板の一方面側の第１の絶縁膜上に、少なくとも前記ノズル開口のノズル径より大きい直径を有する貫通部を有する電鋳用種電極を前記ノズル開口が形成される領域に形成する工程と、前記貫通部内の前記第１の絶縁膜上に前記ノズル径と同一直径の柱状レジストを形成する工程と、前記第１の絶縁膜及び前記電鋳用種電極上に電鋳によってノズル形成部を形成する工程と、前記柱状レジストを除去する工程と、前記ノズル基板を他方面側からエッチングして前記第１の絶縁膜の裏面を露出する開口部を形成する工程と、前記電鋳用電極の前記貫通部に対応する領域の前記第１の絶縁膜を除去する工程とを有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
請求項５において、前記ノズル基板が、単結晶シリコンからなることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
請求項６において、前記ノズル基板に開口部を形成する工程は、前記ノズル基板の他方面側に設けられた第２の絶縁膜に形成されたパターンをマスクとして当該ノズル基板をエッチングすることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
請求項５において、前記ノズル基板が絶縁体層の両面に単結晶シリコンからなるシリコン層を有するＳＯＩ基板の一部で形成されていることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を介して圧電素子を設けて、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドに用いられるノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等に用いられるインクジェット式記録装置の一部を構成するインクジェット式記録ヘッドとしては、流路形成基板に設けられた圧力発生室内に圧電素子や発熱素子によって圧力を発生させ、その圧力によりノズル開口からインク滴を吐出させるものが知られている。
【０００３】
また、このようなタイプのインクジェット式記録ヘッドには、圧力発生手段として圧力発生室内に駆動信号によりジュール熱を発生する抵抗線を設けたバブルジェット式のものと、圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させてノズル開口からインク滴を吐出させる圧電振動式の２種類のものに大別される。さらに、圧電振動式のインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００４】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インク滴を吐出するための複数のノズル開口を、例えば、ステンレス鋼等の基板に機械的にあるいはレーザ等によって形成したノズルプレートが用いられ、このノズルプレートがノズル開口と圧力発生室とを連通するように流路形基板に接合されている。
【０００５】
このような従来のノズルプレートは、機械的あるいはレーザ等によって形成していたので、ノズル開口の形状が直線的であり、インク滴の吐出量、吐出速度等のインク吐出性能が低いという問題があった。そこで、インク吐出特性を向上するために、ノズル開口の圧力発生室側の径が漸大する形状としたものが提案されている。
【０００６】
しかし、ノズル開口の寸法は非常に小さいため、所望の形状にするのが困難であった。このような問題を解決するために、例えば、特開平１１−１０８９２号公報に見られるように、ノズルプレートを電鋳によって複数層で形成することにより、比較的容易に所望の形状が得られるノズルプレートの製造方法が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のようなノズルプレートの製造方法では、ノズルプレートが電鋳メッキ層で形成されているため、単結晶シリコンからなるアクチュエータ基板上に薄膜からなる圧電素子を有するアクチュエータ装置では、アクチュエータ基板とノズルプレートとを接着すると、これらの線膨張係数の差によってアクチュエータ基板に反りが生じ、各圧電素子毎のインク吐出特性にばらつきが発生してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑み、インク吐出特性の安定化を図ることのできるノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッドを提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、シリコン単結晶基板からなるノズル基板と、インクの吐出方向において内側となる前記ノズル基板の一方面側に形成されると共に貫通孔であるノズル開口が形成されるノズル形成部とを有し、前記ノズル基板と前記ノズル形成部との間に電鋳用種電極を有すると共に、前記ノズル形成部が前記ノズル基板に電鋳により一体的に形成されていることを特徴とするノズルプレートにある。
【００１０】
かかる第１の態様では、ノズルプレートをシリコン単結晶基板からなる基板に接合する際、接合後の基板の反り量が抑えられ、インク吐出特性の安定化を図ることができる。
【００１１】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記ノズル基板の前記ノズル開口に対応する領域には当該ノズル開口を露出する開口部が形成されていることを特徴とするノズルプレートにある。
【００１２】
かかる第２の態様では、インク滴がノズル開口からノズル基板の開口部を介して吐出され、ノズル基板によってノズル開口の周縁部が保護される。
【００１３】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記ノズル基板に形成された前記開口部が前記複数のノズル開口に対応する領域に亘って連続的に設けられていることを特徴とするノズルプレートにある。
【００１４】
かかる第３の態様では、各ノズル開口の間に対応する領域にノズル基板が存在しないため、ノズル開口をより高密度に配設することができる。
【００１５】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様のノズルプレートと、シリコン単結晶基板からなると共に前記ノズルプレートの前記ノズル開口に連通する圧力発生室を有する流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室にインクを吐出するための圧力を発生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズルプレートの前記ノズル形成部と前記流路形成基板とが接合されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１６】
かかる第４の態様では、流路形成基板のノズルプレートとの接合後の反り量が抑えられ、インク吐出特性が安定したインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。
【００１７】
本発明の第５の態様は、ノズル基板の両面に絶縁膜を形成する工程と、前記ノズル基板の一方面側の第１の絶縁膜上に、少なくとも前記ノズル開口のノズル径より大きい直径を有する貫通部を有する電鋳用種電極を前記ノズル開口が形成される領域に形成する工程と、前記貫通部内の前記第１の絶縁膜上に前記ノズル径と同一直径の柱状レジストを形成する工程と、前記第１の絶縁膜及び前記電鋳用種電極上に電鋳によってノズル形成部を形成する工程と、前記柱状レジストを除去する工程と、前記ノズル基板を他方面側からエッチングして前記第１の絶縁膜の裏面を露出する開口部を形成する工程と、前記電鋳用電極の前記貫通部に対応する領域の前記第１の絶縁膜を除去する工程とを有することを特徴とするノズルプレートの製造方法にある。
【００１８】
かかる第５の態様では、電鋳によってノズル形成部を形成することにより、ノズル基板に比較的容易に一体的に形成することができ、製造コストが低減される。
【００１９】
本発明の第６の態様は、第５の態様において、前記ノズル基板が、単結晶シリコンからなることを特徴とするノズルプレートの製造方法にある。
【００２０】
かかる第６の態様では、ノズル基板を特定の材料で形成することにより、ノズル形成部及び開口部を比較的容易に形成できる。
【００２１】
本発明の第７の態様は、第６の態様において、前記ノズル基板に開口部を形成する工程は、前記ノズル基板の他方面側に設けられた第２の絶縁膜に形成されたパターンをマスクとして当該ノズル基板をエッチングすることを特徴とするノズルプレートの製造方法にある。
【００２２】
かかる第７の態様では、第２の絶縁膜をマスクとしてノズル基板を容易にパターニングすることができる。
【００２３】
本発明の第８の態様は、第５の態様において、前記ノズル基板が絶縁体層の両面に単結晶シリコンからなるシリコン層を有するＳＯＩ基板の一部で形成されていることを特徴とするノズルプレートの製造方法にある。
【００２４】
かかる第８の態様では、ノズル基板を特定の材料で形成することにより、所望の厚さのノズル基板を容易に形成することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３６】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る製造方法によって製造されるノズルプレートの斜視図及び断面図である。
【００３７】
図１に示すように、本発明のノズルプレート１０は、ノズル基板１１とこのノズル基板１１の一方面側に一体的に設けらると共にノズル開口１２が設けられたノズル形成部１３とを有する。
【００３８】
ノズル形成部１３は、電鋳用種電極１４と、詳しくは後述するが、この電鋳用種電極１４上に電鋳により形成したノズル基体１５とからなり、所定位置に複数のノズル開口１２が配設されている。また、これらのノズル開口１２は、基本的には略直線的に形成されているが、インク導入側の端部近傍では、径が漸大するように形成されている。すなわち、本実施形態のノズル開口１２は、略直線形状の直線部１２ａと、径が漸大してテーパ状となる曲線部１２ｂとからなる。
【００３９】
一方、ノズル基板１１は、本実施形態では、単結晶シリコンからなり、その両面には表面を酸化することにより、酸化シリコンからなる絶縁膜１６，１７が設けられている。また、このノズル基板１１には、ノズル開口１２に対応する領域、例えば、本実施形態では、複数のノズル開口１２に対応する領域に、連続的に開口部１８が形成されている。
【００４０】
ここで、このようなノズルプレート１０を製造する本実施形態の製造方法について説明する。なお、図２は、本実施形態に係るノズルプレートの製造工程を示す断面図である。
【００４１】
本実施形態では、まず、図２（ａ）に示すように、シリコン単結晶からなるノズル基板１１となるウェハを約１１００℃の拡散炉で熱酸化して二酸化シリコンからなる絶縁膜１６，１７を形成すると共に、この一方の絶縁膜１６上に電鋳用種電極１４を形成する。すなわち、絶縁膜１６上の全面に電鋳電極層１９を形成後、パターニングにより各ノズル開口１２を形成する領域にノズル開口１２のノズル径よりも大径を有し、絶縁膜１６を露出する貫通部２０を形成し、後述する電鋳の際の電極となる電鋳用種電極１４とする。
【００４２】
この電鋳用種電極１４、すなわち電鋳電極層１９の材質も、特に限定されないが、例えば、二層構造とし、絶縁膜１６側にこの絶縁膜１６との密着性の高いチタン（Ｔｉ）又はクロム（Ｃｒ）等を用い、表面層にニッケル（Ｎｉ）等を用いることが好ましい。なお、本実施形態では、絶縁膜１６上に、チタン（Ｔｉ）及びニッケル（Ｎｉ）を順次積層して電鋳電極層１９とした。
【００４３】
なお、本実施形態では、単結晶シリコンからなるノズル基板１１の表面を酸化することにより絶縁膜１６，１７を形成するようにしたが、これに限定されず、例えば、ノズル基板として、予め、表面に二酸化シリコン膜が形成された基板等を用いてもよいことは言うまでもない。
【００４４】
また、本実施形態では、このようにノズル基板１１の一方の絶縁膜１６上に電鋳電極層１９をパターニングして電鋳用種電極１４を形成する際に、他方の絶縁膜１７をエッチングすることにより複数のノズル開口１２に対応する領域に連続的に絶縁膜除去部２１を形成している。なお、このようにパターニングされた絶縁膜１７は、後述する工程で、ノズル基板１１のマスクパターンの役割を果たすものであるため、絶縁膜１７のエッチングは、ノズル基板１１のパターニング工程の前であれば、何れの工程で行ってもよい。
【００４５】
次に、図２（ｂ）に示すように、絶縁膜１６の各貫通部２０に対向する領域の略中央部に柱状レジスト２２を形成する。例えば、本実施形態では、スピンコート法によりフォトレジスト膜２３を絶縁膜１６及び電鋳用種電極１４上全面に形成後、パターニングすることにより柱状レジスト２２とした。この柱状レジスト２２は最終的に除去され、この除去された部分がノズル開口１２となる。したがって、柱状レジスト２２は、ノズル開口１２のノズル径、すなわち、直線部１２ａの直径と同一直径の円柱形状にパターニングされている。
【００４６】
なお、フォトレジスト膜２３は、スピンコート法による形成に限定されず、例えば、フィルム状のフォトレジスト膜（ドライフィルムフォトレジスト）であってもよい。
【００４７】
次に、図２（ｃ）に示すように、ニッケル電鋳によりノズル基体１５を形成する。例えば、本実施形態では、スルファミン酸ニッケル電鋳液を用いて電鋳することによりノズル基体１５を形成した。なお、このノズル基体１５の材質としては、特に限定されないが、例えば、銅、ニッケル、ニッケル−コバルト合金、ニッケル−燐合金、ニッケル−硼酸合金等を用いることが好ましい。
【００４８】
ここで、電鋳によりノズル基体１５を形成する際、ノズル基体１５は電鋳用種電極１４の表面から各方向に略同一速度で形成されていくため、貫通部２０の周縁部である電鋳用種電極１４の開口縁部１４ａに対応する部分のノズル基体１５の開口縁部１５ａが略Ｒ形状に形成される。
【００４９】
なお、このノズル基体１５の厚さは、電極に印加する電流の大きさ、あるいは印加時間等を制御することにより調整することができる。また、開口縁部１５ａの半径は、貫通部２０を構成する電鋳用種電極１４の端面と柱状レジスト２２との距離によって調整することができる。
【００５０】
次いで、図２（ｄ）に示すように、柱状レジスト２２を除去することにより、直線部１２ａ及び曲線部１２ｂからなるノズル開口１２が形成される。
【００５１】
次に、図３（ａ）に示すように、ノズル基板１１をパターニングして開口部１８を形成する。すなわち、ノズル基板１１の表面に設けられた絶縁膜１７をマスクとして、絶縁膜除去部２１に対向する領域のノズル基板１１を、例えば、本実施形態では、異方性エッチングにより絶縁膜１６の裏面側に達するまで除去することにより開口部１８を形成した。
【００５２】
その後、図３（ｂ）に示すように、絶縁膜１６の各ノズル開口１２に対応する領域にエッチングにより貫通孔２４を形成することによって、本実施形態に係るノズルプレート１０が形成される。なお、この貫通孔２４の形成は、ドライエッチング又はウェットエッチングの何れで行ってもよい。
【００５３】
さらに、例えば、図４に示すように、ノズルプレート１０の表面、すなわち、ノズルプレート１０の少なくともノズル開口１２の周囲に撥水膜９０を設けるようにしてもよい。これにより、ノズル開口１２の周囲へのインクの付着が抑えられ、ノズル開口１２の詰まり等の故障を抑えることができる。
【００５４】
この撥水膜９０の材質は、特に限定されず、例えば、弗素系樹脂、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリパーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニリデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアルキルフマレート、又はそれらの何れかとニッケルの共析メッキ、あるいはシリコン系樹脂等を用いることができる。
【００５５】
このように形成されたノズルプレート１０は、例えば、インクジェット式記録ヘッド等の圧電素子を有するアクチュエータ装置に用いられる。すなわち、圧電素子が設けられたアクチュエータ基板等に接合されて使用される。
【００５６】
また、以上説明したように、本実施形態では、単結晶シリコンからなるノズル基板１１にノズル開口１２を有するノズル形成部１３を電鋳によって一体的に形成することによりノズルプレート１０とした。これにより、ノズルプレートとアクチュエータ基板とを接合する際、アクチュエータ基板が単結晶シリコンで形成されていれば、ノズルプレート接合後のアクチュエータ基板の反り量が低減される。したがって、ノズル開口から吐出されるインク滴の吐出特性が安定し、信頼性を向上したアクチュエータ装置が実現される。
【００５７】
以下に、このような本実施形態のノズルプレート１０が用いられるアクチュエータ装置の一例として、インクジェット式記録ヘッドについて説明する。なお、図５は、インクジェット式記録ヘッドの一例を示す分解視図であり、図６は、その断面図である。
【００５８】
図示するように、ノズルプレート１０が接合される流路形成基板３０は、例えば、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなる。流路形成基板３０としては、通常、１５０〜３００μｍ程度の厚さのものが用いられ、望ましくは１８０〜２８０μｍ程度、より望ましくは２２０μｍ程度の厚さのものが好適である。これは、隣接する圧力発生室間の隔壁の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるからである。
【００５９】
流路形成基板３０の一方の面は開口面となり、他方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ１〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。
【００６０】
一方、流路形成基板３０の開口面には、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより、複数の隔壁３１によって区画された圧力発生室３２が幅方向に並設され、各圧力発生室３２の長手方向一端部側には、後述するリザーバ形成基板のリザーバ部に連通して各圧力発生室３２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する連通部３３が形成され、各圧力発生室３２の長手方向一端部とそれぞれインク供給路３４を介して連通されている。
【００６１】
そして、このような流路形成基板３０の開口面側には、上述したように、各圧力発生室３２のインク供給路３４とは反対側で連通するノズル開口１２が形成されたノズルプレート１０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。
【００６２】
ここで、インク滴の吐出圧力をインクに与える圧力発生室３２の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口１２の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、本実施形態では、ノズル開口１２を数十μｍ程度の直径で精度よく形成した。
【００６３】
なお、このようなノズルプレート１０は、一方の面で流路形成基板３０の一面を全面的に覆い、シリコン単結晶基板を衝撃や外力から保護する補強板の役目も果たしている。
【００６４】
また、流路形成基板３０のノズルプレート１０とは反対側の弾性膜５０の上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１μｍの圧電体膜７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体膜７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体膜７０を各圧力発生室３２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極、圧電体膜７０及び他方の電極から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部３２０という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、上述した例では、弾性膜５０及び下電極膜６０が振動板として作用するが、下電極膜が弾性膜を兼ねるようにしてもよい。
【００６５】
さらに、流路形成基板３０の圧電素子３００側には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３６を有するリザーバ形成基板３５が接合されている。このリザーバ部３６は、基本的には、リザーバ形成基板３５を厚さ方向に貫通して圧力発生室３２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板３０の連通部３３と連通されて各圧力発生室３２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００６６】
また、リザーバ形成基板３５の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部３７が設けられ、圧電素子３００の少なくとも圧電体能動部３２０は、この圧電素子保持部３７内に密封されている。
【００６７】
また、このようなリザーバ形成基板３５には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３６の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ部３６に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止され、内部圧力の変化によって変形可能となっている。
【００６８】
また、このリザーバ部３６の長手方向略中央部外側のコンプライアンス基板４０上には、インクカートリッジ等のインク供給手段からインクを供給するためのインク導入口３８が形成されており、リザーバ形成基板３５にはインク導入口３８とリザーバ部３６の側壁とを連通するインク導入路３９が設けられている。そして、これらインク導入口３８及びインク導入路３９を介してインク供給手段からリザーバ部３６にインクが供給される。
【００６９】
（実施形態２）
図７は、実施形態２に係るノズルプレートの要部断面図であり、図８及び図９は、その製造工程を示す断面図である。
【００７０】
本実施形態のノズルプレート１０Ａは、図７に示すように、ノズル基板の厚さｔを薄くした例であり、詳しくは後述するが、ノズル基板１１ＡがＳＯＩ基板の一部で形成されている以外は、実施形態１と同様である。
【００７１】
以下に本実施形態に係るノズルプレートの製造方法を説明する。
【００７２】
本実施形態では、ノズル基板１１Ａとなるウェハとして、例えば、酸化シリコンからなる絶縁体層１１０の両面に単結晶シリコンからなるシリコン層１１１，１１２を有するＳＯＩ基板を用いている以外、ノズル開口１２の製造工程は実施形態１と同様である。
【００７３】
すなわち、図８（ａ）に示すように、まず、ＳＯＩ基板からなるノズル基板１１Ａのウェハの両面に、絶縁膜１６，１７を形成する。ここで、本実施形態で用いられるＳＯＩ基板は、以下の工程で形成されるノズル基体１５側のシリコン層１１１は比較的薄く形成されているが、これはノズル基体１５に付属して残るシリコン層１１１、すなわちノズル基板１１Ａを薄くして、ワイピング等が容易にできるようにするためである。
【００７４】
次いで、図８（ｂ）に示すように、絶縁膜１６の表面に電鋳電極層１９を形成後、パターニングして貫通部２０を形成することにより電鋳用種電極１４を形成する。次に、図８（ｃ）に示すように、フォトレジスト膜２３を全面に形成後、パターニングすることにより貫通部２０の略中央部に柱状レジスト２２を形成する。
【００７５】
次いで、図８（ｄ）に示すように、電鋳によってノズル基体１５を形成後、図８（ｅ）に示すように、柱状レジスト２２を除去することにより、ノズル開口１２が形成される。
【００７６】
次に、本実施形態では、図９（ａ）に示すように、ノズル基体１５とは反対側の絶縁膜１７及びＳＯＩ基板のシリコン層１１２をエッチングにより除去する。
【００７７】
次いで、図９（ｂ）に示すように、絶縁体層１１０の複数のノズル開口１２に対応する領域に連続的に絶縁膜除去部２１Ａを形成する。次いで、図９（ｃ）に示すように、このパターニングされた絶縁体層１１０をマスクとして、絶縁膜除去部２１Ａに対向する領域のノズル基板１１Ａ、すなわち、本実施形態ではシリコン層１１１を、例えば、異方性エッチングにより絶縁膜１６の裏面側に達するまで除去することにより開口部１８Ａを形成する。
【００７８】
その後、図９（ｄ）に示すように、絶縁膜１６の各ノズル開口１２に対応する領域にエッチングにより貫通孔２４を形成することによって、本実施形態に係るノズルプレート１０Ａが形成される。
【００７９】
このように、本実施形態では、ノズル基板１１ＡをＳＯＩ基板の一部であるシリコン層１１１で形成するようにしたので、ノズル基板１１Ａの厚みを容易に薄くすることができる。これにより、ノズル基板１１Ａに形成される開口部１８Ａの深さも浅くなるため、ノズルプレート１０Ａのインク吐出面のワイピングが容易に可能となり、インク吐出特性が安定する。また、ノズル開口１２を形成する際には、比較的厚さの厚いシリコン層１１２が残っているため、製造時の取り扱いが容易となる。
【００８０】
なお、本実施形態の構成であっても、勿論、実施形態１と同様の効果が得られる。
【００８１】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００８２】
例えば、上述の各実施形態では、ノズル基板１１（１１Ａ）の開口部１８（１８Ａ）を複数のノズル開口１２に対応して連続的に設けるようにしたが、これに限定されず、勿論、各ノズル開口１２毎に開口部を独立して設けてもよい。
【００８３】
また、例えば、上述の各実施形態では、絶縁膜１６の各ノズル開口１２に対応する領域にエッチングにより貫通孔２４を形成したが、これに限定されず、勿論、開口部１８に面する絶縁膜１６を全面エッチングにより除去してもよい。
【００８４】
また、例えば、上述の各実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。
【００８５】
また、上述の実施形態では、たわみ変位型の圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、例えば、圧電材料と電極形成材料とをサンドイッチ状に交互に挟んで積層した構造の縦振動モードの圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッドに応用することができる。
【００８６】
さらに、上述した圧電振動式のインクジェット式記録ヘッドに限定されず、例えば、バブルジェット式のインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドに応用することができることはいうまでもない。
【００８７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のノズルプレートは、ノズル開口を有するノズル形成部が電鋳により、単結晶シリコンからなるノズル基板に一体的に形成されているため、ノズルプレートを単結晶シリコン等からなる基板に接合する際、接合後の基板の反り量が低減され、インク吐出特性を安定させることができる。
【００８８】
また、ＳＯＩ基板を用いてノズル基板を形成することにより、比較的厚さの薄いノズル基板を容易に形成することができると共に、製造時の取り扱いが容易となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係る製造方法によって製造したノズルプレートの斜視図及び断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るノズルプレートの製造工程を示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るノズルプレートの製造工程を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る製造方法によって製造したノズルプレートの他の例を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るノズルプレートを具備するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るノズルプレートを具備するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態２に係るノズルプレートの断面図である。
【図８】本発明の実施形態２に係るノズルプレートの製造工程を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態２に係るノズルプレートの製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  ノズルプレート
１１  ノズル基板
１２  ノズル開口
１３  ノズル形成部
３０  流路形成基板
３２  圧力発生室
５０  弾性膜
６０  下電極膜
７０  圧電体膜
８０  上電極膜
３００  圧電素子
３２０  圧電体能動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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