(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直に支持されて高速回転するスピンドルと、
このスピンドルの中央に軸方向に配設されて上面にのみ貫通して上面開口部を有するエア供給穴と、
このエア供給穴の底部付近に接続されてこのスピンドルの外周面に貫通して外周面開口部を有する横穴と、
この外周面開口部に回転接触するエア供給環とそのエア供給環に接続するエア供給口とを備えた筒基台であって、このスピンドルをラビリンスシールにより気密に軸支する筒基台と、
前記エア供給穴の上面開口部に接続されるとともに前記エア供給口に付与された空気圧により上下動するシャフトを有するシリンダーと、
このシリンダーのシャフトに接続するアクチュエータと、
このアクチュエータにしたがって開閉する被塗物を装着する３個又はそれ以上の階段爪と、
を備えて、前記エア供給口から圧縮空気圧を印加または印加停止させることにより前記階段爪の把持力を装着、離脱、制御を行うことを特徴とするスピンコータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被塗物を回転させてその表面に薄い塗膜を形成させるスピンコータに関するものであり、さらに詳しくは、レンズなどの被塗物の両面塗りに好適なスピンコータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
スピンコータとしては、例えば特開昭６３−２４０９６７号公報に提案開示されているものがある。すなわち、基材の把持手段と、回転手段を有するスピンコータにおいて、その基材の把持手段は、回転可能に軸支された外周部材と、この外周部材の周囲に回動可能に軸支された複数のアームと、このアームの各々の一端に固着され基材を中心軸方向に向かう力で把持するための基材固定用爪と、そのアームに接してアームの回動位置を規制するための規制部材とからなることを特徴とするスピンコータが開示されている。この装置によれば、基材の表裏両面を非接触状態でスピンコートすることにより、塗料を基材の両面に均一に塗布することが可能となる。
【０００３】
しかしながら、従来のスピンコータにおいては、基材の把持手段は、スピンコータの回転停止時に、手動により装着や離脱の作業を行っていたが、その方法では作業効率を十分には上げることができない。また、高速回転する基材の把持手段について、高速回転中に把持力の制御を行うことができないという問題もあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、スピンコータにおいて、基材の把持手段を回転中も制御可能にして確実な装着と自動離脱を行うことを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明では、垂直に支持されて高速回転するスピンドルと、このスピンドルの中央に軸方向に配設されて上面にのみ貫通して上面開口部を有するエア供給穴と、このエア供給穴の底部付近に接続されてこのスピンドルの外周面に貫通して外周面開口部を有する横穴と、この外周面開口部に回転接触するエア供給環とそのエア供給環に接続するエア供給口とを備えた筒基台であって、このスピンドルをラビリンスシールにより気密に軸支する筒基台と、前記エア供給穴の上面開口部に接続されるとともに前記エア供給口に付与された空気圧により上下動するシャフトを有するシリンダーと、このシリンダーのシャフトに接続するアクチュエータと、このアクチュエータにしたがって開閉する被塗物を装着する３個又はそれ以上の階段爪と、を備えて、前記エア供給口から圧縮空気圧を印加または印加停止させることにより前記階段爪の把持力を装着、離脱、制御を行うことを特徴とするスピンコータを提案するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係るスピンコータの実施の形態の上側の断面図であり、被塗物である凸レンズ４１又は凹レンズ４３の両面に塗られた塗膜をスピンコートさせる部分を主に示し、図２は本発明に係るスピンコータの実施の形態の下側の断面図であり、高速回転するスピンドル３に圧縮空気圧を供給する部分を主に示す。
【０００８】
図２において、筒基台１３は図示しないフレームに固定されている。この筒基台１３の内側に、４個のボールベアリング７、９、４９、５１により軸支されてスピンドル３が垂直に配設される。スピンドル３はその中心部に圧縮空気の供給のためのエア供給穴５が設けられている。スピンドル３は図の下方より図示しない回転動力源により高速回転できる。エア供給穴５の底部付近に横穴４５が接続されてこのスピンドル３の外周面に貫通して外周面開口部を有する。この外周面開口部に回転接触するエア供給環４７とそのエア供給環４７に接続するエア供給口５９とを筒基台１３に備える。このエア供給環４７の両側を２個のラビリンスシール５５、５７により気密に軸支する。なお、図では省略されているが、横穴４５はエア供給穴５を中心に放射状に互いに１２０°の間隔で３方向に延びており、エア供給環４７からのエアの接続がよりスムースになされる。
【０００９】
図１において、エア供給穴５は断面が円状であるが、スピンドル３の上部に行くにしたがってエア供給穴５の断面の円が段階的に増加して、スピンドル３の最上部ではエア供給溝１７となる。また、スピンドル３の最上部の外周には、シールドリング１１が外接する。このシールドリング１１は、内周部１１ｉとシールド裾部１１ｓとからなる。シールド裾部１１ｓは、筒基台１３の上部とボールベアリング７、９をカバーして、塗布する塗料の飛沫などがこれらに付着侵入するのを防止する。スピンドル３の最上部の上面には、接続台１５が図示しないねじにより取り付けられる。接続台１５には、接続穴１９が内部に加工されて、スピンドル３の最上部のエア供給溝１７に接続する。エア接続穴１９は、接続台１５のほぼ中央部に取り付けられたシリンダー２３に接続される。シリンダー２３には圧縮空気が供給されたときに、上昇するシャフト２３Ｓを備えており、このシャフト２３Ｓにはアクチュエータ２５が取り付けられている。接続台１５の外周面には、跨ぎカップ２１が嵌合して取り付けられる。この跨ぎカップ２１は、その下部脚２１Ｂは接続台１５に内接しており、その上方にゆくにしたがって胴体部２１Ｆにより支えられて、シリンダー２３とアクチュエータ２５を跨いで肩部２１Ｐが設けてある。肩部２１Ｐの上面には、さらに頭部２１Ｈが設けられており、頭部２１Ｈの周辺には１２０°の等角度で分割した位置に軸受３１がそれぞれ設けられており、それぞれの軸受３１は、被塗物を把持する把持面に設けられた階段爪２９を備える把持部材であるアーム２７を軸支する。アーム２７は、胴体部２１Ｆに明いている穴２１Ｋを通して、アーム２７の下端はアクチュエータ２５の断面が台形状で、円周状テーパ面を有する傘車部２５Ｃに接する。また、アーム２７の中程には軸受３３が設けられ、軸受３３に対向した肩部２１Ｐの位置に支持具３７が設けられている。これら軸受３３と支持具３７の間にはスプリング３５により常に張力が与えられている。したがって、シリンダー２３に空気圧が印加されていないでアクチュエータ２５の傘車部２５Ｃが下側に位置するときは、アーム２７の下端部はスプリング３５の張力により縮径、つまり内側に動く。そして階段爪２９は外側に開く。
【００１０】
このように構成されたスピンコータ１においては、スピンドル３の回転時にも停止時にもいずれの状態においても、エア供給口５９からシリンダー２３までの経路が連続している。したがって、エア供給口５９における圧縮空気の供給のオンオフ又は強弱に応じて階段爪２９の開閉状態又は把持力を任意に高速度で制御できる。
【００１１】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、スピンコータにおいて、回転中も制御可能となり、基材の確実な装着と自動離脱をさせることができ、スピンコータとして、基材への塗布の均一性などの仕上がり品位をより安定向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るスピンコータの実施の形態の上側の断面図である。
【図２】本発明に係るスピンコータの実施の形態の下側の断面図である。
【符号の説明】
１…スピンコータ  ３…スピンドル  ５…エア供給穴  ７…ボールベアリング
９…ボールベアリング    １１…シールドリング      １３…筒基台
１５…接続台    １７…エア供給溝  １９…エア接続穴    ２１…跨ぎカップ
２３…シリンダー    ２５…アクチュエータ  ２７…アーム    ２９…階段爪
３１…軸受    ３３…軸受  ３５…スプリング    ３７…支持具
４１…凸レンズ    ４３…凹レンズ    ４５…横穴      ４７…エア供給環
４９…ボールベアリング    ５１…ボールベアリング    ５３…ナット
５５…ラビリンスシール    ５７…ラビリンスシール  ５９…エア供給口
【図１】
0003594517.tif 000002
【図２】
0003594517.tif 000003