(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の検査装置を備えた１本の検査ラインにより多面付けのカラーフィルタ基板の各種検査工程を一貫して行う検査システムにおいて、複数のカラーフィルタ基板を格納するカセットを使用するようにし、検査ラインの前に設けた製品保管庫からカセットを検査ラインに搬入するとともに、隣接する検査装置の間にカセットの一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して次の検査装置にカセットを搬入するようにし、各検査装置との間で信号のやりとりを行ってカセットの搬入と搬出を指示する保管庫管理装置により、一時保管庫に対するカセットの搬入と搬出を行うようにするとともに、検査ラインの最終段階にはデリバリが４つ以上ある仕分け装置を設けておき、各検査装置との間で検査対象のカラーフィルタ基板を特定しその品質を判定するための各種データのやりとりを検査の前後で行って該カラーフィルタ基板の品質情報を更新する品質情報管理装置を使用し、当該品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報をもとに作成した出荷製品情報にしたがって各カラーフィルタ基板を仕分け装置の複数のデリバリに仕分けするようにしたことを特徴とする検査システム。
【請求項２】
少なくとも１つ以上の検査装置に、カセットをセットするフィーダを複数設けたことを特徴とする請求項１記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、複数の検査装置を備えた検査ラインにより製品の各種検査工程を一貫して行う検査システムに係り、特にカラーフィルタ基板の検査に好適に用いられる検査システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、製品の各種検査工程を一貫して行う検査システムとして特開平５−１４３７５９号公報に記載のものが知られている。この公報に記載のシステムは磁気カードを検査するもので、カード供給用ストッカにセットされた磁気カードをフィーダにより検査工程搬送機構に供給した後、複数の検査装置や測定装置を経てデリバリへと磁気カードを搬送し、その途中で検査と測定を繰り返すように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で挙げた検査システムでは、検査装置別に検査処理時間が異なるので、これらを単に接続して一貫した検査ラインを構成するのには無理がある。すなわち、１つの検査装置が別の製品を検査中である場合や、当該検査装置が故障中であった場合に、検査工程がスムースに流れないという問題点がある。また、検査装置を製造ラインに続けて設置すると、製造速度を検査処理時間に合わせて遅らせる必要があり、十分な生産性が得られないという問題点がある。
【０００４】
また、上記の検査システムにおいては、６個のマガジンを備えた回転式のオートチェンジャーからフィーダにより磁気カードを１枚ずつ吸着して供給するようにし、一つのマガジンが空になると次のマガジンに切り替わるように構成されている。しかしながら、カラーフィルタ基板のような大型板状製品を格納するカセットをフィーダ部に使用した場合には、カセットから製品を全て搬出した後に、当該カセットを交換する必要があり、カセットの交換時間が無駄になるという問題点が発生する。
【０００５】
さらに、上記の検査システムでは、品質判定後に製品を良品と不良品との２種類に分類するだけであるので、カラーフィルタ基板のように多面付けであって、一部の面のみに不良がある場合に不良品の面を捨てて良品の面のみを使用することを行うような製品に対しては従来のデリバリを適用するのは不便であるという問題点もあった。
【０００６】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、各種検査工程をスムースに行うことができ、さらにはカラーフィルタ基板の如き多面付けの製品の検査に好適に使用できる一貫した検査システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、複数の検査装置を備えた１本の検査ラインにより多面付けのカラーフィルタ基板の各種検査工程を一貫して行う検査システムにおいて、複数のカラーフィルタ基板を格納するカセットを使用するようにし、検査ラインの前に設けた製品保管庫からカセットを検査ラインに搬入するとともに、隣接する検査装置の間にカセットの一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して次の検査装置にカセットを搬入するようにし、各検査装置との間で信号のやりとりを行ってカセットの搬入と搬出を指示する保管庫管理装置により、一時保管庫に対するカセットの搬入と搬出を行うようにするとともに、検査ラインの最終段階にはデリバリが４つ以上ある仕分け装置を設けておき、各検査装置との間で検査対象のカラーフィルタ基板を特定しその品質を判定するための各種データのやりとりを検査の前後で行って該カラーフィルタ基板の品質情報を更新する品質情報管理装置を使用し、当該品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報をもとに作成した出荷製品情報にしたがって各カラーフィルタ基板を仕分け装置の複数のデリバリに仕分けするようにしたことを特徴としている。
【０００８】
そして、少なくとも１つ以上の検査装置に、カセットをセットするフィーダを複数設けるようにするとよい。
【０００９】
【作用】
上述の構成からなる本発明の検査システムでは、製品保管庫から検査ラインに製品が順番に搬送されて各種検査が行われる。そして、１つの検査装置において当該検査装置が別の製品を検査中である場合や当該検査装置が故障中である場合に、搬送されてきた製品が一時保管庫に保管され、当該検査装置が空いた段階で一時保管庫より当該検査装置に搬送されて検査が行われる。
【００１０】
そして、複数の製品を格納するカセットを用いることによって途中での一時保管の際に製品を１つずつ扱わずに済む。また、カセットをセットするフィーダを検査装置に複数設けることで、カセットの交換時間の無駄を省くことができる。また、製品の仕分け装置のデリバリを４つ以上設けることで、２面以上の多面付けの各面の良否による製品の仕分けを行うことができる。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。
【００１２】
図１は本発明に係る検査システムの一実施例を示す全体ブロック図である。本実施例での検査対象製品は４面付けのカラーフィルタ基板である。このカラーフィルタ基板はカセットに例えば２０枚格納されて各検査装置へ搬送される。このブロック図により各構成部分の作動について順を追って説明する。
【００１３】
（１）画像検査装置２１から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は製品保管庫１０にカセット搬送の指示を出し、製品保管庫１０からカセットが画像検査装置２１のフィーダＦ１  （又はＦ２  ）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、画像検査装置２１は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。画像検査装置２１にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。ここで使用する画像検査装置２１は、カラーフィルタ基板にレーザー光等を照射してその透過光や反射光をＣＣＤカメラ等で検出して基板上の着色パターンの突起、異物付着、白抜け等の欠陥を検出できるものである。
（２）画像検査を終えた製品を格納したカセットは画像検査装置２１のデリバリＤよりＡＧＶ（自動搬送車）で搬出され、カラーフィルタの膜厚検査装置２２のフィーダＦ１  （又はＦ２  ）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、膜厚検査装置２２は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。膜厚検査を終了した後、品質情報管理装置へ測定結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットは膜厚検査装置２２のデリバリＤよりＡＧＶで搬出され、一時保管庫１１に搬入されて一時保管される。なお、画像検査装置２１と膜厚検査装置２２は処理速度がほぼ同じなので、これらの間には一時保管庫を設置していない。それにも関わらずフィーダを２つ設けているのはちょっとした停止した場合の無駄時間を吸収できるようにするためである。また、将来どちらかの処理速度がアップした時にも保管庫とＡＧＶを増設すれば済むためでもある。
（３）ムラ検査装置２３から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫１１にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫１１からカセットがムラ検査装置２３のフィーダＦ１  （又はＦ２  ）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、ムラ検査装置２３は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。ムラ検査装置２３にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットはムラ検査装置２３のデリバリＤよりＡＧＶで搬出され、一時保管庫１２に搬入されて一時保管される。ここでいうムラ検査装置２３は、カラーフィルタの細部を検査するもので、前記の画像検査装置２１で発見できない細かいムラ欠陥を検査する装置である。
（４）目視検査装置２４から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫１２にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫１２からカセットが目視検査装置２４のフィーダＦ１  （又はＦ２  ）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、目視検査装置２４は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。目視検査装置２４にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットは目視検査装置２４のデリバリＤよりＡＧＶで搬出され、一時保管庫１３に搬入されて一時保管される。ここでいう目視検査装置２４は、前記画像検査装置２１、前記ムラ検査装置２３で発見できない全体的なイメージの欠陥を検査するもので、光源によりカラーフィルタの背面及び上面から光を照射して直接目視により検査する装置である。以上の各検査装置ではデリバリＤは１つであるが、搬送効率を向上させるために２つにしてもよい。
（５）仕分け装置２５から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫１３にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫１３からカセットが仕分け装置２５のフィーダＦ１  （又はＦ２  ）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、仕分け装置２５は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。仕分けを終了した後、品質別に出荷ケースに格納された製品は各デリバリＤ１  ，Ｄ２  ・・・Ｄｎ  よりＡＧＶで搬出され、図示していない出荷待ちエリアにて出荷を待つ。併せて品質情報管理装置からの品質情報をもとに、出荷製品情報を作成して品質情報管理装置へ送信する。そして、フィーダＦ１  （又はＦ２  ）の空カセットは洗浄装置に搬送され洗浄される。ここでいう仕分け装置２５は、多面付けのカラーフィルタ基板における各面の品質情報である総合判定にしたがって各カラーフィルタ基板をデリバリ（デリバリＮｏ）に仕分けする装置である。併せて前記出荷製品情報に基づき出荷先、品質情報等の情報をラベルにプリント出力し、出荷ケースを出荷待ちエリアへ搬出する時にこのラベルを出荷ケースに自動的に貼り付ける。なお、品名、宛先等のラベルを作成し貼る装置はラベラーとして市販品がある。
【００１４】
上記の各種検査装置（仕分け装置を含む）は基本的に次の動作を行う。
▲１▼製品を格納したカセットが検査装置のフィーダに有るか無いかを確認する。
▲２▼無ければカセットの搬入を要求し、続いて搬入されるカセット内のカラーフィルタ基板に関する品質情報を要求する。
▲３▼検査装置の処理動作を行う。
▲４▼検査を終了したカラーフィルタ基板の品質情報を更新する。
▲５▼前記カセットが空になったらフィーダを切り換える。
【００１５】
図２は各種検査装置（仕分け装置を含む）の動作フロー図であり、以下同図を参照して各ステップ毎に説明する。
【００１６】
（１）フィーダＦ１  （又はＦ２  ）にカセットが有るか無いかを確認する。両方ともにカセットが有れば何れかのカセットが搬出されるまで待つ。
（２）カセットが無ければ、フィーダＦ１  （又はＦ２  ）へのカセットの搬入要求を保管庫管理装置に送信する。
（３）フィーダＦ１  （又はＦ２  ）におけるカセットの搬入完了を確認する。
（４）搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を品質情報管理装置に要求する。
（５）搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を受信する。
（６）フィーダＦ１  （又はＦ２  ）用のメモリに品質情報を記憶する。
（７）検査装置の処理動作に入る。
（８）カセットが空になったかどうかを確認する。
（９）フィーダを切り換える。（空カセットは排出される。）
（１０）品質情報の更新要求を製品情報管理装置へ送信する。
（１１）検査装置の番号を送信する。
（１２）更新するカセットの受注番号、カセット番号を送信する。
（１３）更新する品質情報を送信して（１）へ戻る。
なお、最終段階の仕分け装置には図の（Ａ）で示すステップはない。
【００１７】
図３は保管庫管理装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【００１８】
（１）製品予定表をもとに出庫順番のデータを入力する。手入力でもよいが、一般的には生産管理用のコンピュータから予定データを入手して、納期順に出庫順番を決める。そして、受注ナンバと対応させてカセット毎の各種データを記憶する。ここで図４に例示した製品予定表について説明する。データは出庫順番、受注ナンバ、カセットナンバ、保管アドレスより構成されている。ここで言うカセットナンバとは、カラーフィルタ基板の製品群を示し、カセットケースそのものの固有ナンバではない。つまり、製品群が各種検査装置において１カセットずつ移動し、カセットケースがフィーダとデリバリで異なっても格納される製品群が同じならばカセットナンバは同じとしている。さらに保管アドレスの上位に保管庫ナンバを配置し、中位にカセットが保管庫にあるのかフィーダにあるのかを示すフィーダナンバ（０又は１）を配置し、下位に保管庫内のロケーションを示すアドレスを配置する。ここでは、カセットナンバとカセットケースの固有ナンバを対応させる対応表を保管庫管理装置内に設けて、カラーフィルタ基板の製品群がカセットケースを変える毎にカセットケースの固有ナンバを変える。ただし、製品群は同じためカセットナンバは変わらない。
（２）画像検査装置２１からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（３）搬入要求があれば、製品保管庫１０に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、画像検査装置２１の空きフィーダに搬送する指示を製品保管庫に送信する。
（４）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、画像検査及び膜厚検査を終えた製品は、膜厚検査装置２２のデリバリに配置してあるカセットに格納され、このカセットがフィーダに配置してあるカセット内のカラーフィルタ基板をすべて格納したら、保管庫アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。ここで、格納してあるカセットは異なっても、カラーフィルタ基板はフィーダからデリバリへ１カセットずつ移動しているだけであるから、図４に示す製品予定表の保管アドレスは変わらない。
（５）ムラ検査装置２３からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（６）搬入要求があれば、一時保管庫１１に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、ムラ検査装置２３の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫１１に送信する。
（７）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、ムラ検査を終えた製品は、ムラ検査装置２３のデリバリに配置してあるカセットに格納され、このカセットがフィーダに配置してあるカセット内のカラーフィルタ基板をすべて格納したら、保管アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。
（８）目視検査装置２４からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（９）搬入要求があれば、一時保管庫１２に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、目視検査装置２４の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫１２に送信する。
（１０）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、目視検査を終えた製品は、目視検査装置２４のデリバリに配置してあるカセットに格納され、このカセットがフィーダに配置してあるカセット内のカラーフィルタ基板をすべて格納したら、保管アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。
（１１）仕分け装置２５からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（１２）搬入要求があれば、一時保管庫１３に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、仕分け装置２５の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫１３に送信する。
（１３）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、仕分けを終えた製品は、仕分け装置２５のデリバリに移動した後、カセットの保管アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。
【００１９】
図５は品質情報管理装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【００２０】
（１）品質情報の送信要求が有るかどうかを確認する。
（２）要求が有るならば、要求している検査装置の番号を確認する。
（３）搬入したカセットの受注番号、カセット番号を確認する。
（４）受注番号、カセット番号に基づいて、品質情報管理装置内の記憶メモリから品質情報を抽出して検査装置に送信する。
（５）品質情報の更新要求が有るかどうかを確認する。
（６）要求が有るならば、要求している検査装置の番号を確認する。
（７）更新するカセットの受注番号、カセット番号を確認する。
（８）更新するカセットの品質情報を受信する。
（９）受注番号、カセット番号に基づいて、品質情報管理装置内の記憶メモリの品質情報を更新する。
（１０）検査結果のＯＲ演算を行い総合判定結果を求める。
（１１）出荷製品情報の受信要求が有るかどうかを確認する。
（１２）要求が有るならば、出荷製品の受注番号、得意先番号、出荷ケース番号等を確認する。
（１３）出荷製品情報を受信する。
（１４）出荷製品情報を品質情報管理装置の該当製品のファイルに記憶する。
【００２１】
図６は品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報の一例を示す図である。この図を参照してデータ面から検査システムの概要を説明する。
【００２２】
営業担当者は製品の注文を受けると営業用の端末から、製品の受注番号、得意先番号、製品番号、納期等を入力する。これらのデータはホストコンピュータに記録・登録される。そして、ホストコンピュータから製造工程の生産管理コンピュータへデータが送信され製造予定表が作成される。この予定に合わせてカラーフィルタ基板が製造され、製造されたカラーフィルタ基板を格納したカセットが製品保管庫に搬送されて保管される。そして、本検査システムの品質情報管理装置内の記憶メモリに生産情報が入力される。
【００２３】
この品質情報管理装置内の記憶メモリには、カセット内に格納されているカラーフィルタ基板の基板番号と、基板内の面付けに従った面付け番号と、この面付け番号ごとに展開された検査結果等の各種データが記憶される。本実施例の場合、カラーフィルタ基板は４面付けであり、所定の面から１，２，３，４と面付け番号（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄでもよい）を付してある。また、カセットには２０枚のカラーフィルタ基板が格納されているので、１台のカセットの中には２０×４面があることになり、したがってデータは８０行となる。
【００２４】
面付け番号の後ろには、画像検査装置２１での検査結果の欄、膜厚検査装置２２での測定結果の欄、ムラ検査装置２３での検査結果の欄、目視検査装置２４での検査結果の欄が順に設けられている。さらにその後ろには、上記４つの検査結果をまとめた総合判定の欄が設けられている。総合判定の欄では４つのビットを設け、各ビットを４つの判定結果にそれぞれ対応させてある。つまり、画像検査結果はビット３、膜厚測定結果はビット２、ムラ検査結果はビット１、目視検査結果はビット０に対応させている。各判定結果において不良は１とし良品は０とする。そして、総合判定の欄に１つでも不良を示す１があれば仕分け部の欄を１とする。この仕分け部でのデータに従い、仕分け装置での基板の分配先をどのデリバリにするかを決定する。ここでは、面付け番号１はデリバリＮｏ．のビット０、面付け番号２はビット１、面付け番号３はビット２、面付け番号４はビット３に対応させている。つまり、仕分け部の欄のデータの並びがデリバリナンバ（デリバリＮｏ．）になる。
【００２５】
図７は検査システムにおける製品の仕分け装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【００２６】
（１）品質情報管理装置内の記憶メモリにおける基板内面付け番号別の総合判定結果を使用して基板内の面付け番号別の仕分け部情報を求める。すなわち、前記したように総合判定の欄の４つのビットに１つでも１があると仕分け部の欄を１とする。
（２）上記で求めた仕分け情報に基づいて基板別の仕分けをするために、仕分け装置の複数のデリバリの中より該当するデリバリナンバを求める。
（３）基板毎に求めたデリバリナンバのデリバリに基板を搬送して出荷ケースに格納する。
（４）このデリバリ用のカウンタを１増加する。
（５）このデリバリに対応する出荷情報の記憶メモリに基板の製品履歴を書き込む。
（６）カウンタが出荷ケースに収まる所定枚数の２０になったかどうかを確認する。
（７）所定枚数になったならば、出荷情報に基づき出荷先、製品名、品質情報のみをラベルにプリント出力し、このラベルを出荷ケースに貼る。
（８）出荷情報の受信要求を品質情報管理装置に送信する。
（９）受注番号、得意先番号、出荷ケース番号等の出荷情報を品質情報管理装置に送信する。
（１０）このデリバリ用のカウンタをクリアしてもとに戻る。
【００２７】
図８は品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた出荷情報を示す図である。以下にこの概要を説明する。
【００２８】
同図に示すように、出荷情報はカラーフィルタ基板の各種データを出荷ケース毎にまとめたファイルの形態で管理される。ファイルの上部には出荷先（得意先の住所又は得意先指定の場所）、出荷ケース番号、製品名、品質情報等が記録されている。中段から下段にかけては各基板の製品情報と製品履歴に関する詳細データが記録されている。基板毎の製品情報としては、受注番号、得意先番号、製品番号があり、製品履歴としては、製造及び検査時のカセット番号、その中での基板番号、そして面別判定結果、仕分け部がある。この面別判定結果には多面付けのカラーフィルタ基板におけるどの面が不良品であるかが示されている。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、次に記載の効果を奏する。
【００３０】
請求項１記載の検査システムにおいては、隣接する検査装置の間に必要に応じて一時保管庫を設けて製品を一時的に保管することにより、各検査装置で要する処理時間の差を無視でき、また途中の検査装置が故障した時でも故障機の前後では検査を別途進めることができることから、各種検査を一貫してスムースに行うことができる。また、板状製品の搬送に複数の製品を格納するカセットを用いることにより、途中での一時保管の際に製品を１つずつ扱わずに済むことから、一時保管を容易に行うことができる。また、検査ラインの最終段階に設ける仕分け装置にデリバリを４つ以上設けることにより、２面以上の多面付け製品の検査を一貫して行った後、各面の良否による製品の仕分けを行うことができるので、出荷作業が簡単になるという効果がある。
【００３２】
請求項２記載の検査システムでは、請求項１に記載の検査システムにおいて、製品を格納したカセットをセットするためのフィーダを検査装置に複数設けることにより、上記効果に加えて、カセットの交換時間の無駄を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査システムの一実施例を示す全体ブロック図である。
【図２】各種検査装置（仕向け装置を含む）の動作フロー図である。
【図３】保管庫管理装置の処理を示す動作フロー図である。
【図４】製品予定表の一例を示す図である。
【図５】品質情報管理装置の処理を示す動作フロー図である。
【図６】品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報の一例を示す図である。
【図７】検査システムにおける製品の仕分け装置の処理を示す動作フロー図である。
【図８】品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた出荷情報を示す図である。
【符号の説明】
１０  製品保管庫
１１，１２，１３  一時保管庫
２１  画像検査装置
２２  膜厚検査装置
２３  ムラ検査装置
２４  目視検査装置
２５  仕分け装置
Ｆ  フィーダ
Ｄ  デリバリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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