(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面内にシールガスケットを介し嵌め合わされてシールする開閉可能な中空の蓋体と、この蓋体に装着され、容器本体に蓋体が嵌め合わされた場合に精密基板に圧接するフロントリテーナと、容器本体と蓋体の接触部にそれぞれ形成され、容器本体に蓋体が嵌め合わされる場合に蓋体を案内して位置決めするガイド手段と、蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなる精密基板収納容器であって、
ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて蓋体表面の鍵孔を介した外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転により蓋体内部の内外方向に進退動する進退動部材と、この進退動部材の先端部に設けられるクランプ部材とから構成し、
クランプ部材には、摩擦低減機能を有し、進退動部材の進出時には蓋体周面に設けられた貫通孔から容器本体のクランプ穴に嵌め入れられ、進退動部材の後退時には容器本体のクランプ穴から外れて蓋体の貫通孔に復帰する回転ローラを支持させたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
回転体に設けられて進退動部材に連結され、回転体の回転時に進退動部材に直線運動させる連結突部と、蓋体の内部に設けられる進退動部材用のガイド部材とを含み、
進退動部材と連結突部との接触部、及び又は進退動部材とガイド部材との接触部に、摩擦低減機能を有する摩擦低減部材を回転可能に取り付けた請求項１記載の精密基板収納容器。
【請求項３】
クランプ部材を、進退動部材に回転可能に取り付けられる第一のアームと、この第一のアームに取り付けられる第二のアームとから構成し、この第二のアームを屈曲してその先端部を回転ローラ付きの嵌入押さえ部とし、第二のアームを蓋体内の貫通孔近傍に支持させて蓋体の内外方向に回転可能とした請求項１又は２記載の精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミディスク、半導体ウェーハ、若しくはマスクガラス等からなる精密基板の収納、保管、工程内の加工、又は輸送等に使用される精密基板収納容器に関し、より詳しくは、半導体ウェーハの加工に使用される標準化された機械的インターフェイスを有する装置に接続可能な精密基板収納容器の容器本体、蓋体、及びロック機構の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の精密基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハ（以下、ウェーハと略称する）を収納するポッド（Ｐｏｄ）と、このポッドの開口面を開閉する中空の蓋体と、この蓋体の閉塞時にその閉塞状態を維持するロック手段とを備えている（特許文献１、２、３、４参照）。
【０００３】
ロック手段は、インナーロックタイプとアウターロックタイプとに分類される。前者のインナーロックタイプは、ポッドの内周に設けられる複数のクランプ穴と、この複数のクランプ穴に対応して蓋体に穿孔される複数の貫通孔と、蓋体の内部に軸支されて外部からのアクセスで回転する回転カムと、この回転カムの連結ピンに案内溝を介して遊嵌される複数のラッチプレートとから構成されている。各ラッチプレートは、大きな剛性を確保できるよう金属を用いて形成され、その先端部にはクランプ穴に貫通孔を介して係止する係止爪が突出形成されている。
【０００４】
これに対して後者のアウターロックタイプは、ポッドの開口面外周に揺動可能に成形される複数の係止片と、蓋体の周面に突出形成される複数の凸部とから構成され、これら複数の係止片と凸部とが蓋体の閉塞時に係止する。
【０００５】
上記構成において、ウェーハを収納、保管、又は輸送等する場合には、先ず、ポッドに複数枚のウェーハが収納され、ポッドの開口面内に蓋体がシール状態に嵌合され、その後、図示しない加工装置のドア開閉装置により、例えば回転カムが一方向に回転して施錠操作される。こうして施錠操作されると、各ラッチプレートが蓋体の内部内方向から内部外方向に突出し、クランプ穴に係止爪が係止し、蓋体の固定状態が確保される。
【０００６】
これに対し、収納、保管、又は輸送等されたウェーハを処理する場合には、加工装置のドア開閉装置により、回転カムが他方向に回転して解錠操作される。すると、各ラッチプレートが蓋体の内部外方向から内部内方向に復帰し、クランプ穴から係止爪が外れ、蓋体が取り外し可能となる。こうして蓋体が取り外し可能になったら、ポッドから蓋体が真空吸着等により取り外され、ポッドから複数枚のウェーハが順次取り出された後、ウェーハに所定の処理が施される。
【特許文献１】特開平９−８８３９８号公報
【特許文献２】特開平８−３４００４３号公報
【特許文献３】特表平４−５０５２３４号公報
【特許文献４】特表平７−５０４５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで近年、半導体集積回路の高密度化、微細化、及び生産効率の向上等を図るため、ウェーハの口径の大型化（３００ｍｍ）について合意がなされ、鋭意研究や開発がなされているが、例えば口径３００ｍｍのウェーハを収納するため、単にポッドを大型化しようとすると、以下の問題が生じる。
【０００８】
すなわち、ポッドが大型化すると、施錠操作時に各ラッチプレートが撓み、ポッドの開口面を十分、かつ均一にシールすることができないという大きな問題が生じる。また、従来においては、金属材料を使用してラッチプレートが形成されているが、これでは、蓋体の洗浄に支障を来し、金属イオンの発生によりウェーハの汚染を招くおそれがある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、例え容器本体を大型化しても、容器本体の開口正面を適切にシールでき、精密基板の汚染の抑制防止を図ることのできる精密基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面内にシールガスケットを介し嵌め合わされてシールする開閉可能な中空の蓋体と、この蓋体に装着され、容器本体に蓋体が嵌め合わされた場合に精密基板に圧接するフロントリテーナと、容器本体と蓋体の接触部にそれぞれ形成され、容器本体に蓋体が嵌め合わされる場合に蓋体を案内して位置決めするガイド手段と、蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなるものであって、
ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて蓋体表面の鍵孔を介した外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転により蓋体内部の内外方向に進退動する進退動部材と、この進退動部材の先端部に設けられるクランプ部材とから構成し、
クランプ部材には、摩擦低減機能を有し、進退動部材の進出時には蓋体周面に設けられた貫通孔から容器本体のクランプ穴に嵌め入れられ、進退動部材の後退時には容器本体のクランプ穴から外れて蓋体の貫通孔に復帰する回転ローラを支持させたことを特徴としている。
【００１１】
なお、回転体に設けられて進退動部材に連結され、回転体の回転時に進退動部材に直線運動させる連結突部と、蓋体の内部に設けられる進退動部材用のガイド部材とを含み、
進退動部材と連結突部との接触部、及び又は進退動部材とガイド部材との接触部に、摩擦低減機能を有する摩擦低減部材を回転可能に取り付けることができる。
【００１２】
また、クランプ部材を、進退動部材に回転可能に取り付けられる第一のアームと、この第一のアームに取り付けられる第二のアームとから構成し、この第二のアームを屈曲してその先端部を回転ローラ付きの嵌入押さえ部とし、第二のアームを蓋体内の貫通孔近傍に支持させて蓋体の内外方向に回転可能とすることができる。
【００１３】
ここで、特許請求の範囲における精密基板には、少なくとも情報通信、電気、電子、又は半導体等の製造分野で使用される単数複数（例えば、１３枚又は２５枚）のアルミディスク、液晶セル、石英ガラス、半導体ウェーハ（シリコンウェーハ等）、又はマスク基板等が含まれる。精密基板が半導体ウェーハの場合、大口径（例えば、２００ｍｍ〜３００ｍｍ以上）の半導体ウェーハが含まれる。
【００１４】
容器本体や蓋体は、ポリカーボネイト、アクリルニトリル、ポリブチレンテレフタレート、ＰＥＥＫ、ＰＥＩ、ＰＥＳ、又はポリプロピレン等の樹脂を用いて成形される。また、必要に応じて帯電防止処理や着色が施される。容器本体の外観は、３００ｍｍウェーハキャリアとして使用される場合、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１−００９７、及び修正バロットに略準拠して構成することが可能である。
【００１５】
ロック手段を構成する回転体、進退動部材、回転ローラ、又はクランプ部材は、摺動性が良好で、しかも、十分な強度を有する樹脂材料を用いて構成されることが好ましい。具体的には、ポリアセタール樹脂、ＰＥＥＫ、ポリカーボネイト、ＰＰＳ、ポリブチレンテレフタレート、ＰＥＩ、又はフッ素樹脂等により成形されることが好ましい。
【００１６】
また、フッ素樹脂が含有されて摺動性の改質された各種の樹脂を用いることも可能である。さらに、機械的強度を向上させるため、上記樹脂に、ガラス繊維、ガラスビーズ、又はタルク等の充填剤を加えることもできるし、上記樹脂に金属部品をインサートして成形することも可能である。
【００１７】
本発明によれば、容器本体の開口正面に蓋体が嵌め合わされた後、ロック手段が鍵孔を介して外部からロック操作されると、蓋体内の回転体が所定の方向に回転し、進退動部材が蓋体の内部内方向から内部外方向に進出するとともに、回転ローラが蓋体の貫通孔方向から容器本体のクランプ穴に移動して嵌まり、蓋体の固定状態が維持される。
【００１８】
これに対し、ロック状態のロック手段が解錠操作されると、回転体が施錠方向とは反対の方向に回転し、進退動部材が蓋体の内部外方向から内部内方向に後退するとともに、回転ローラが容器本体のクランプ穴から蓋体の貫通孔方向に復帰し、容器本体の開口正面に嵌め合わされた蓋体が取り外し可能な状態となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、例え容器本体を大型化しても、この容器本体の開口正面を適切にシールすることができ、精密基板汚染の抑制あるいは防止を図ることができるという効果がある。また、容器本体のクランプ穴に、回転ローラが回転しながら嵌まるので、摩擦が減少し、塵埃の発生を抑えることができる。また、ガイド手段が案内誘導作用を発揮するので、繰り返し使用される蓋体のがたつきや位置ずれを有効に防止することができる。したがって、蓋体の嵌め合わせ時に蓋体の施錠が困難になることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における精密基板収納容器は、図１ないし図１３に示すように、複数枚（例えば、２５枚）のウェーハを整列収納するポッド１と、このポッド１の開口正面内にシールガスケット１３を介し嵌合されてシールする開閉可能な中空の蓋体９と、この蓋体９の閉塞時にポッド１の開口正面内に蓋体９を案内して位置決めするガイド手段１４と、蓋体９を閉塞状態に固定するロック手段１８とを備えている。
【００２１】
ポッド１は、図１等に示すように、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネイト等の合成樹脂を用いて透視可能な透明のフロントオープンボックスに成形される。この正面の開口したポッド１は、変形しないよう十分な強度、剛性、及び寸法安定性が確保され、ＡＧＶ（Ａｕｔｏ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）等からなる自動搬送装置の正常な作動を保障する。ポッド１の天井の中央部には、ロボティックフランジ２が締結具を介して螺着され、このロボティックフランジ２が図示しない天井搬送機に把持されることにより、ポッド１が搬送される。
【００２２】
ポッド１の底面には、図２に示すように、円筒形を呈した複数の取付ボス３が所定の間隔をおいて突出形成され、この複数の取付ボス３には、平面略Ｙ字形のボトムプレート４が締結具（図示せず）を介し着脱自在に装着されており、このボトムプレート４の前部両側と後部には、キネマティックカップリングからなる位置決め具５が締結具を介しそれぞれ着脱自在に装着される（図１参照）。また、ポッド１の両外側面には、マニュアル運搬用のサイドハンドル６がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００２３】
ポッド１の内部両側には図１に部分的に示すように、相対向する一対のカラム７がそれぞれ着脱自在に立設され、ポッド１の内部背面には、図示しないリヤリテーナが着脱自在に立設固定される。これら一対のカラム７の対向面とリヤリテーナの表面には、断面略Ｕ字形又は断面略Ｖ字形の支持スロット８が上下方向に並べて複数形成され、各支持スロット８にウェーハの周縁部が支持される。このような構成の一対のカラム７とリヤリテーナとは、複数枚のウェーハを水平に支持した状態で上下方向に所定のピッチで整列させるとともに、複数枚のウェーハの振動を有効に防止する。
【００２４】
蓋体９は、図１、図５、図７等に示すように、ポッド１と同様の合成樹脂を用いて成形された表面プレート１０と、表面の開口した略箱形の裏面プレート１１とから構成され、この裏面プレート１１の開口表面に表面プレート１０が締結具を介して覆着される。
【００２５】
表面プレート１０の両側には、外部からの操作を可能にする鍵孔２１がそれぞれ穿孔され、各鍵孔２１に、加工装置のドア開閉装置のアタッチメント３３が挿通される。また、裏面プレート１１の中央部には、フロントリテーナ１２が着脱自在に装着固定され、裏面プレート１１の周面には、枠形のシールガスケット１３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌合される。
【００２６】
シールガスケット１３は、ポリオレフィン系やポリエスエル系の各種熱可塑性エラストマ、あるいはフッ素ゴムやシリコーンゴム等を用い、ガスケットとして形成される。また、好ましくは、ウェーハを汚染する有機成分の発生が少なく、ＪＩＳに定められたＫ６３０１Ａの測定方法による硬度８０°以下の材料を使用して成形される。
【００２７】
ガイド手段１４は、図２に示すように、ポッド１の開口正面の上下左右にそれぞれ傾斜成形され、ポッド１の内部（図２の左側）から開口正面の外方（同図の右側）に向かうにしたがい徐々に広がる第一の傾斜ガイド部１５と、蓋体９の周面に傾斜成形されて蓋体９の裏面プレート１１側から表面プレート１０側に向かうにしたがい徐々に外方に広がる第二の傾斜ガイド部１６とから構成され、蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が接触して位置決めするよう機能する。
【００２８】
第一の傾斜ガイド部１５の末端部はシール面１７とされ、このシール面１７にシールガスケット１３が蓋体９の閉塞時に圧接されて変形し、このシールガスケット１３の変形により、強固な高シール状態が確保される。
【００２９】
ロック手段１８は、ポッド１の開口正面内に形成される複数のクランプ穴１９と、蓋体９の周面上下に穿孔されて複数のクランプ穴１９に対向する複数の貫通孔２０と、蓋体９の内部両側の中央に軸支されて外部からのアクセス操作で回転する左右一対の回転プレート３４と、各回転プレート３４の回転で蓋体９の内外方向に直線的にスライドする複数の進退動プレート３８と、各進退動プレート３８のスライドを案内するガイド部材４６と、各進退動プレート３８の進出時に各貫通孔２０から突出して各クランプ穴１９に嵌入し、各進退動プレート３８の復帰時には各貫通孔２０内に復帰する合成樹脂製のクランプ部材５１とから構成される。
【００３０】
複数のクランプ穴１９は、図１に示すように、ポッド１の開口正面の上下における第一の傾斜ガイド部１５にそれぞれ凹み形成される。
【００３１】
各回転プレート３４は、図８や図９に示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて円板形に形成され、その表面の中心部には、有底円筒形の操作突部３５が突出形成されており、この操作突部３５内に鍵孔２１を貫通したアタッチメント３３が着脱自在に嵌挿される（図１０参照）。各回転プレート３４の表面外周には、円柱形を呈した一対の連結ピン３６が突出形成され、各連結ピン３６には、摩擦低減機能を有する円筒形の回転ローラ３７が必要に応じ回転可能に嵌入される。
【００３２】
なお、ドア開閉装置と各回転プレート３４との接続位置や寸法は、ＳＥＭＩ規格でポッド１のサイズ毎に定められている。例えば、３００ｍｍウェーハ用の蓋体９の規格は、ＳＥＭＩ規格のＥ６２に対応して定められている。
【００３３】
複数の進退動プレート３８は、図３ないし図７に示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて基本的には長方形の板形に成形され、長手方向の中心軸が回転プレート３４の中心を通るよう、蓋体９の内部両側の上下にそれぞれスライド可能に配置される。各進退動プレート３８の末端部は側方に向け略半円弧形に湾曲成形されて回転プレート３４の表面外周の一部を被覆し、連結ピン３６又は回転ローラ３７に嵌入される案内溝３９が穿孔成形される。
【００３４】
案内溝３９は、連結ピン３６の軌跡と略等しい曲率の第一の案内溝４０と、連結ピン３６の軌跡よりも大きな曲率の第二の案内溝４１と、これら第一、第二の案内溝４０、４１を接続する変曲部４２とから形成される。第一の案内溝４０は、蓋体９の内外方向（図３の上下方向）に各進退動プレート３８を直線運動させるよう機能する。また、第二の案内溝４１は、各進退動プレート３８が立体的な経路で直線運動するよう案内する。
【００３５】
各進退動プレート３８の中央付近には、小判形を呈した複数のガイド長孔４３が長手方向に所定の間隔をおいて穿孔される。各進退動プレート３８の左右両側部には、ガイドピン４４がそれぞれ突出形成され、各ガイドピン４４には、摩擦低減機能を有する円筒形の回転ローラ４５が必要に応じ回転可能に嵌入される（図１２参照）。
【００３６】
ガイド部材４６は、裏面プレート１１の内面に突出形成されて複数のガイド長孔４３にそれぞれ遊嵌する第一のガイド４７と、第二のガイド４９とから構成されている。第一のガイド４７は、円柱形に成形され、摩擦低減機能を有する回転ローラ４８が必要に応じ回転可能に嵌入される。
【００３７】
第二のガイド４９は、表面プレート１０と裏面プレート１１の内部対向面にそれぞれ突出形成される複数対の対向ガイド５０を備える。各一対の対向ガイド５０の対向湾曲面は、各ガイドピン４４又は各回転ローラ４５を挟んで直線運動する進退動プレート３８が蓋体９の表裏方向（図１２の左右方向）に立体的に運動する際のガイドとして機能する。
【００３８】
クランプ部材５１は、図１１ないし図１３（a）、（b）に示すように、進退動プレート３８の先端部にピンを介して軸支される回転可能な第一のアーム５２と、この第一のアーム５２の先端部と末端部が一体化した第二のアーム５３とから構成される。
【００３９】
第二のアーム５３は、略Ｌ字形に屈曲成形されてその先端部が第一のアーム５２と略直角方向に指向し、この先端部がクランプ穴１９用の嵌入押さえ部５４とされており、この嵌入押さえ部５４には、クランプ穴１９内に回転可能に摺接する円筒形の回転ローラ５５がピンを介して軸支される。第二のアーム５３の末端部は、蓋体９の内部外周における貫通孔２０の近傍にピンを介して軸支され、第二のアーム５３、換言すれば、クランプ部材５１を蓋体９の内外方向に回転させる。
【００４０】
上記構成において、ウェーハを収納する場合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収納され、ポッド１の開口正面に蓋体９がシールガスケット１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハにフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手段１８が加工装置のドア開閉装置に施錠操作される。
【００４１】
すると、回転プレート３４の操作突部３５にアタッチメント３３が挿入されて回転プレート３４を時計方向に９０°回転させ、各進退動プレート３８がガイド部材４６に案内されつつ蓋体９の内部内方向から内部外方向に直線立体的に突出し、第一のアーム５２が揺動する。
【００４２】
こうして第一のアーム５２が揺動すると、第二のアーム５３がその末端部を中心に蓋体９の内部外方向に揺動して貫通孔２０から嵌入押さえ部５４を露出させ、この嵌入押さえ部５４の回転ローラ３７がクランプ穴１９に転がり接触しながら嵌入係止し、蓋体９の固定状態が強固に維持される（図６、図７、及び図１１参照）。
【００４３】
この際、各第二のアーム５３の嵌入押さえ部５４は、梁の機能を発揮する各進退動プレート３８と略一直線となった状態でクランプ穴１９に嵌入係止する（図１３参照）。したがって、回転プレート３４に加わった動力がクランプ部材５１に一直線、かつ円滑に伝達される。また、嵌入押さえ部５４は、円運動して貫通孔２０に接触することなく露出する。
【００４４】
次いで、収納、保管、又は輸送されたウェーハを処理したい場合には、先ず、ロック手段１８が加工装置のドア開閉装置に解錠操作され、回転プレート３４の操作突部３５にアタッチメント３３が挿入されて回転プレート３４を反時計方向に９０°回転させ、各進退動プレート３８がガイド部材４６に案内されつつ蓋体９の内部外方向から内部内方向に直線立体的に復帰して第一のアーム５２を復帰揺動させる。
【００４５】
第一のアーム５２の復帰揺動により、第二のアーム５３が蓋体９の内部内方向に揺動して貫通孔２０内に嵌入押さえ部５４を復帰させ、蓋体９が取り外し可能な状態となる（図１０及び図１１参照）。この際、嵌入押さえ部５４は、貫通孔２０に接触することなく円運動して復帰する。
こうして蓋体９が開放可能となったら、ポッド１から蓋体９が真空吸着により取り外され、その後、ポッド１の下方から複数枚のウェーハが順次取り出され、ウェーハに所定の処理が施される。
【００４６】
上記構成によれば、施錠操作時に第二のアーム５３の嵌入押さえ部５４が進退動プレート３８と略一直線の状態で蓋体９を固定するので、従来に比べ安定した大きな係止力で蓋体９を固定することができる。したがって、各進退動プレート３８に動力が局部的に作用して撓んだり、この撓みに伴う係止力の減少を実に有効に防止することができ、ポッド１の開口正面を長期にわたり十分、かつ均一にシールすることが可能になる。
【００４７】
また、高剛性の合成樹脂を使用して各進退動プレート３８を成形することができるので、金属部品を軽減、あるいは省略することができ、洗浄時等の金属イオン発生によるウェーハの汚染の抑制防止も期待できる。また、接触部分に、ころがり接触用の回転ローラ３７、４５、４８、５５がそれぞれ回転可能に軸支されているので、摩擦抵抗が著しく減少し、樹脂粉の発生を抑制防止することができる。また、第二のアーム５３が貫通孔２０の近傍に軸支されているので、蓋体９の厚さを必要最小限に薄くすることが可能になる。
【００４８】
また、傾いた第一、第二の傾斜ガイド部１５、１６が案内誘導作用を発揮するので、繰り返し使用される蓋体９のがたつきや位置ずれを簡易な構成で有効に防止することができる。したがって、蓋体９の嵌合時にクランプ穴１９、貫通孔２０が位置ずれしたり、蓋体９の施錠が困難となることがない。さらに、ポッド１の開口正面と蓋体９のエッジ部とが擦れてパーティクル等の汚染物が発生するのをきわめて有効に抑制防止することが可能となる。
【００４９】
なお、上記実施形態のロック手段１８の構成要素は適宜増減変更しても良い。また、各進退動プレート３８の左右両側部にガイドピン４４をそれぞれ突出形成したが、各進退動プレート３８の左右両側部にカムフロアをそれぞれ設けても良い。
【００５０】
また、第二のアーム５３を略Ｌ字形に屈曲成形したが、同様の作用効果が期待できるものであれば、Ｊ字形等に適宜屈曲成形することができる。さらに、第一のアーム５２の先端部と第二のアーム５３の末端部とを一体化したが、同様の作用効果が期待できるものであれば、第二のアーム５３に第一のアーム５２の先端部を回転可能に取り付けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す模式全体斜視図である。
【図２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す断面側面図である。
【図３】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段を示す正面説明図である。
【図４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段の蓋体開放状態を示す説明図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面説明図である。
【図６】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段の蓋体閉塞状態を示す説明図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面説明図である。
【図８】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段の回転プレートを示す図で、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図の断面図である。
【図９】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段の回転ローラ付き回転プレートを示す図で、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図の断面図である。
【図１０】回転プレートに加工装置の開閉機構が挿入された状態を示す断面説明図である。
【図１１】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段の閉塞時のクランプ部材を示す要部拡大断面図である。
【図１２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における蓋体、回転プレート、進退動プレート、ガイド部材、及びクランプ部材を示す要部拡大断面図である。
【図１３】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるロック手段のクランプ部材を示す図で、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）図の側面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１      ポッド（容器本体）
９      蓋体
１０    表面プレート
１１    裏面プレート
１２    フロントリテーナ
１３    シールガスケット
１４    ガイド手段
１５    第一の傾斜ガイド部
１６    第二の傾斜ガイド部
１８    ロック手段
１９    クランプ穴
２０    貫通孔
２１    鍵孔
３４    回転プレート（回転体）
３６    連結ピン
３７    回転ローラ（摩擦低減部材）
３８    進退動プレート（進退動部材）
３９    案内溝
４４    ガイドピン
４５    回転ローラ（摩擦低減部材）
４６    ガイド部材
４７    第一のガイド部材
４８    回転ローラ（摩擦低減部材）
４９    第二のガイド部材
５１    クランプ部材
５２    第一のアーム
５３    第二のアーム
５４    嵌入押さえ部
５５    回転ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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