(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体バリア放電により放電容器内にエキシマが生成されて紫外線が放出される誘電体バリア放電ランプと、
この誘電体バリア放電ランプを収納し、当該誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材を有し、不活性ガスのガス導入孔およびガス排出孔が形成されたランプハウスと、
このランプハウスに形成された光導入孔を介して前記誘電体バリア放電ランプに臨むよう配置され、当該誘電体バリア放電ランプからの紫外線の光量を検出する光センサとを具えてなり、
前記光センサによって検出される紫外線の光量が一定の値となるよう、前記誘電体バリア放電ランプへの投入電力がフィードバック制御される光源装置であって、
前記光導入孔内にも不活性ガスが充満されるとともに、
前記誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から光センサの受光部までの距離が、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から前記窓部材の内面までの距離に実質的に等しいことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
誘電体バリア放電ランプの放電容器内には、エキシマ発光用ガスとしてキセノンガスが封入されており、この誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から光センサの受光部までの距離と、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から窓部材の内面までの距離との差が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体バリア放電ランプを具えた光源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、金属、ガラス、その他の材料よりなる被処理体に波長２００ｎｍ以下の真空紫外線を照射することにより、当該真空紫外線およびこれにより生成されるオゾンの作用によって被処理体を処理する技術、例えば被処理体の表面に付着した有機汚染物質を除去する洗浄処理技術や、被処理体の表面に酸化膜を形成する酸化膜形成処理技術が開発され、実用化されるに至っている。
【０００３】
このような紫外線処理を行うためのランプとしては、従来、水銀の共鳴線である波長１８５ｎｍの真空紫外線を放出する低圧水銀ランプが使用されていたが、最近においては、一部が誘電体により構成された放電容器内に、適宜のエキシマ発光用ガスが充填され、当該放電容器内において誘電体バリア放電（別名「オゾナイザ放電」あるいは「無声放電」。電気学会発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３頁参照。）を発生させることにより、エキシマが生成されてエキシマ光が放出される誘電体バリア放電ランプが開発されている。
例えば、特開平１−１４４５６０号公報には、少なくとも一部が誘電体である石英ガラスにより構成された中空円筒状の放電容器内にエキシマ発光用ガスが充填されてなる誘電体バリア放電ランプが記載されている。
【０００４】
この誘電体バリア放電ランプにおいては、エキシマ発光用ガスとして例えばキセノンガスを用いることにより、キセノンエキシマによるエキシマ光である波長１７２ｎｍにピークを有する真空紫外線が放出され、また、エキシマ発光用ガスとして例えばアルゴンと塩素ガスとの混合ガスを用いることにより、アルゴン−塩素エキシマによるエキシマ光である波長１７５ｎｍにピークを有する真空紫外線が放出されることが知られている。
【０００５】
然るに、このような誘電体バリア放電ランプは、空気中で点灯されると、誘電体バリア放電ランプからの真空紫外線により、或いは誘電体バリア放電ランプの電極に生ずるコロナ放電により、当該誘電体バリア放電ランプの周辺における空気中の酸素が反応してオゾンが生成されるため、長時間使用した場合には、生成したオゾンによって電極が腐蝕する、という問題がある。
また、誘電体バリア放電ランプからの真空紫外線は、空気中の酸素によって吸収されるので、被処理体に高い効率で真空紫外線を照射することができない、という問題がある。
このような理由から、誘電体バリア放電ランプを使用するに際しては、誘電体バリア放電ランプを、エキシマ光を取り出すための窓部材を有するランプハウス内に収納配置することにより、光源装置を構成し、この光源装置のランプハウス内に例えば窒素ガスなどの不活性ガスを導入すると共に、当該ランプハウス内のガスを排出することにより、ランプハウス内に存在する酸素などの濃度を低くすることが行われている。
【０００６】
しかしながら、上記の光源装置においては、以下のような問題がある。
（１）誘電体バリア放電ランプの放電容器を構成する材料としては、真空紫外線に対して透過性を有するもの、具体的には、二酸化珪素の純度が高い、いわゆる合成石英ガラスが用いられる。
然るに、このような合成石英ガラスにおいては、その温度が上昇するに連れて真空紫外線の透過率が低下するため、誘電体バリア放電ランプを点灯させてから放電容器の温度が安定するまでの間は、点灯時間の経過に連れて誘電体バリア放電ランプから放射される真空紫外線の光量が低下する。
【０００７】
（２）図４は、ランプハウス内への窒素ガスの導入時間と、当該ランプハウス内の酸素濃度との関係を示す図であり、図５は、ランプハウス内への窒素ガスの導入時間と、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量との関係を示す図である。
図４に示すように、ランプハウス内の酸素濃度は、窒素ガスの導入を開始してから１５分間で５００ｐｐｍ程度となるが、その後においては徐々に低下するので、酸素濃度を安定化させるためには、窒素ガスの導入を開始してから相当に長い時間を要する。そして、図５に示すように、ランプハウス内に窒素ガスの導入を開始してから酸素濃度が一定の値となるまでの間は、窒素ガスの導入時間の経過に連れて、すなわちランプハウス内の酸素濃度が減少するに連れてランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量が上昇する。
【０００８】
以上のような理由により、誘電体バリア放電ランプを具えた従来の光源装置においては、作動を開始してからランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量が安定化するまでに、相当に長い時間が必要であった。
【０００９】
このような問題を解決するため、ランプハウス内に、誘電体バリア放電ランプからの真空紫外線の光量を検出する光センサを配置し、この光センサによって検出される紫外線の光量が一定の値となるよう、誘電体バリア放電ランプへの投入電力をフィードバック制御する手段が考えられる。
しかしながら、単にランプハウス内に光センサを配置するだけでは、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量を短い時間で安定化させることができないことが判明した。その理由は、以下のように推測される。
【００１０】
図６は、ランプハウス内の酸素濃度と、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量との関係を示す図である。この図に示すように、ランプハウス内の酸素濃度が４５０ｐｐｍ以下のときには、当該酸素濃度の値に関わらず、窓部材から放射される真空紫外線の光量が安定する。すなわち、ランプハウス内の酸素濃度が４５０ｐｐｍ以下であれば、当該ランプハウス内の酸素による真空紫外線の吸収は無視することができる程度に小さいと考えられる。
一方、ランプハウス内の酸素濃度が４５０ｐｐｍを超えるときには、当該酸素濃度が低下するに従って窓部材から放射される真空紫外線の光量が急激に上昇する。すなわち、ランプハウス内の酸素濃度が４５０ｐｐｍを超えると、当該ランプハウス内の酸素による真空紫外線の吸収を無視することができなくなると考えられる。そのため、ランプハウス内における光センサが配置される個所によっては、当該光センサによって検出される真空紫外線の光量と、窓部材から放射される真空紫外線の光量との間に大きな差が生じ、その結果、ランプハウス内の酸素濃度が４５０ｐｐｍ以下となるまで、窓部材から放射される真空紫外線の光量を安定化させることができない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、窓部材を有するランプハウス内に、紫外線を放射する誘電体バリア放電ランプが収納されてなる光源装置において、ランプハウスの窓部材から放射される紫外線の光量を短い時間で安定化させることのできる光源装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の光源装置は、誘電体バリア放電により放電容器内にエキシマが生成されて紫外線が放出される誘電体バリア放電ランプと、
この誘電体バリア放電ランプを収納し、当該誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材を有し、不活性ガスのガス導入孔およびガス排出孔が形成されたランプハウスと、
このランプハウスに形成された光導入孔を介して前記誘電体バリア放電ランプに臨むよう配置され、当該誘電体バリア放電ランプからの紫外線の光量を検出する光センサとを具えてなり、
前記光センサによって検出される紫外線の光量が一定の値となるよう、前記誘電体バリア放電ランプへの投入電力がフィードバック制御される光源装置であって、
前記光導入孔内にも不活性ガスが充満されるとともに、
前記誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から前記光センサの受光部までの距離が、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から前記窓部材の内面までの距離に実質的に等しいことを特徴とする。
【００１３】
本発明の光源装置においては、誘電体バリア放電ランプの放電容器内に、エキシマ発光用ガスとしてキセノンガスが封入されている場合には、この誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から光センサの受光部までの距離と、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から窓部材の内面までの距離との差が１６ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１４】
【作用】
上記の光源装置においては、光センサによって、誘電体バリア放電ランプから放射された紫外線の光量が検出され、この光量が一定の値となるよう、誘電体バリア放電ランプへの投入電力がフィードバック制御される。而して、誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から前記光センサの受光部までの距離は、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から前記窓部材の内面までの距離に実質的に等しいため、ランプハウス内の酸素濃度の値に関わらず、光センサによって検出される紫外線の光量は、窓部材から放射される紫外線の光量と実質的に等しい値となり、その結果、ランプハウスの窓部材から放射される紫外線の光量を短い時間で安定化させることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光源装置について詳細に説明する。
図１は、本発明の光源装置の一例における構成を示す説明用断面図である。この光源装置においては、全体が矩形の箱型のランプハウス２０内に、それぞれ真空紫外線を放射する４つの誘電体バリア放電ランプ１０が収納されている。
【００１６】
誘電体バリア放電ランプ１０においては、図２にも示すように、中空円筒状の放電容器１１が設けられている。この放電容器１１は、誘電体よりなる円筒状の一方の壁部１２と、この一方の壁材１２内にその筒軸に沿って配置された、当該一方の壁材１２の内径より小さい外径を有する誘電体よりなる他方の壁材１３とを有し、一方の壁材１２および他方の壁材１３の各々の両端部が封止壁部１４によって接合されて構成されており、一方の壁材１２と他方の壁材１３との間に円筒状の放電空間Ｓが形成されている。この放電容器１１内には、エキシマ発光用ガスが封入されている。
【００１７】
放電容器１１における一方の壁材１２には、その外面１５に密接して、例えば金網などの導電性材料よりなる紫外線透過性の一方の電極１６が設けられ、放電容器１１における他方の壁材１３には、その内周面である外面１７を覆うようアルミニウムよりなる膜状の他方の電極１８が設けられている。
【００１８】
また、図示の例では、放電容器１１を構成する一方の壁材１２の一端側には、周方向に沿って内方に突出する変形部１９が形成されており、これにより、この変形部１９と一端側の封止壁部１４との間に、放電空間Ｓに連通するゲッタ収容室Ｋが形成され、このゲッタ収容室Ｋ内に例えばバリウム合金よりなるゲッタＧが収容されている。このゲッタＧは例えば高周波加熱され、これにより、ゲッタ収容室Ｋの内壁面にバリウムよりなる薄膜が形成される。
【００１９】
放電容器１１における一方の壁材１２および他方の壁材１３を構成する誘電体材料としては、放電容器１１内において放出されるエキシマ光に対して透過性を有するもの、例えば合成石英ガラスを用いることができる。
放電容器１１内に封入されるエキシマ発光用ガスとしては、波長２００ｎｍ以下のエキシマ光を放出するエキシマが生成されるもの、例えばキセノンガス、アルゴンと塩素との混合ガスなどを用いることができる。
【００２０】
ランプハウス２０においては、矩形の筒型の枠材２１が設けられており、この枠材２１には、その下側の開口２２を気密に塞ぐよう、誘電体バリア放電ランプ１０からの真空紫外線を外部に取り出すための窓部材２５が設けられ、当該枠材２１の上側の開口２３を塞ぐよう、アルミニウムよりなる冷却ブロック３０が設けられている。窓部材２５を構成する材料としては、誘電体バリア放電ランプ１０からの真空紫外線に対して透過性を有するもの、例えば合成石英ガラスを用いることができる。
また、枠材２１の一側面には、ランプハウス２０内に不活性ガスを導入するためのガス導入孔２６が形成されており、枠材２１の他側面には、ランプハウス２０内のガスを排出するガス排出孔２７が形成されている。
【００２１】
ランプハウス２０内における冷却ブロック３０の下面には、それぞれ誘電体バリア放電ランプ１０の外径より大きい径を有する断面が半円形の４つの溝３１が、互いに離間して並ぶよう形成されており、これらの溝３１の各々に沿って誘電体バリア放電ランプ１０が配置されている。３２は、冷却ブロック３０を貫通するよう形成された、冷却用流体を流通するための冷却用流体流通路である。
【００２２】
ランプハウス２０の冷却ブロック３０には、誘電体バリア放電ランプ１０からの真空紫外線の光量を検出する光センサ４０が設けられている。具体的に説明すると、冷却ブロック３０の上面には、溝３１の直上の位置に、光センサ４０を受容する凹所３３が形成され、この凹所３３の底部には、溝３１に通ずる光導入孔３４が形成されており、光センサ４０は、冷却ブロック３０の凹所３３内に、受光部４１が光導入孔３４を介して誘電体バリア放電ランプ１０に臨むよう配置されている。また、冷却ブロック３０には、光導入孔３４から当該冷却ブロック３０の下面に通ずる側孔３５が形成されている。
そして、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１が、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面からランプハウス２０の窓部材２５の内面までの距離Ｄ２に実質的に等しいものとされる。
【００２３】
上記の光源装置においては、ランプハウス２０のガス導入孔２６から窒素ガスなどの不活性ガスが導入されると共に、ガス排出孔２７からランプハウス２０内のガスが排出されることにより、ランプハウス２０内が不活性ガスで充満した状態とされる。このとき、冷却ブロック３０の光導入孔３４内にも、当該冷却ブロック３０の溝３１と誘電体バリア放電ランプ１０との間の間隙および側孔３５を介して、不活性ガスが充満される。
そして、誘電体バリア放電ランプ１０においては、一方の電極１６と他方の電極１８との間に電圧が印加されることによって、放電容器１１内の放電空間Ｓにおいて誘電体バリア放電が発生し、これにより、エキシマ発光用ガスを構成する元素によるエキシマが生成され、このエキシマによるエキシマ光が一方の壁材１２を介して一方の電極１６の網目から放射され、このエキシマ光は、ランプハウス２０の窓部材２５を介して、当該窓部材２５の直下に配置された被処理体に照射される。
一方、光センサ４０においては、その受光部４１に、誘電体バリア放電ランプ１０からの真空紫外線が冷却ブロック３０の光導入孔３４を介して照射されることにより、当該真空紫外線の光量が検出される。そして、光センサ４０によって検出される光量が一定の値となるよう、誘電体バリア放電ランプ１０に投入される電力がフィードバック制御される。
【００２４】
本発明の光源装置の仕様の一例を挙げると、以下のとおりである。
誘電体バリア放電ランプ１０：
放電容器１１；有効長７００ｍｍ，
一方の壁部１２；合成石英ガラス製，外径２６．５ｍｍ，肉厚１ｍｍ，
他方の壁部１３；合成石英ガラス製，外径１６ｍｍ，肉厚１ｍｍ，
一方の電極１６；ステンレス金網製，
他方の電極１８；アルミニウム製，
エキシマ発光用ガス；キセノン（放射紫外線のピーク波長１７２ｎｍ），
定格電力；１８００Ｗ（ランプ本数１３本），
ランプハウス２０：
寸法；１０００ｍｍ×９２０ｍｍ×１００ｍｍ，
窓部材２５；合成石英ガラス製，厚み５．５ｍｍ，
誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１；２７ｍｍ，
誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から窓部材２５の内面までの距離Ｄ２；２７ｍｍ
【００２５】
上記の仕様の光源装置Ａを用い、ランプハウス２０内に窒素ガスを４０リットル／ｍｉｎの流量で導入しながら、誘電体バリア放電ランプ１０を点灯させ、ランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量を経時的に測定した。
また、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１が５２ｍｍであること以外は光源装置Ａと同様の仕様の光源装置Ｂを用い、ランプハウス２０内に窒素ガスを４０リットル／ｍｉｎの流量で導入しながら、誘電体バリア放電ランプ１０を点灯させ、ランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量を経時的に測定した。
以上の結果を図３に示す。なお、図３において、横軸はランプハウス２０内への窒素ガスの導入を開始してからの時間を示し、縦軸はランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量（窒素ガスの導入を開始してから１００時間経過後の値を１００としたときの相対値）を示す。また、記号●で示したプロットは、光源装置Ａ（誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１が２７ｍｍのもの）による測定結果を示し、記号□で示したプロットは、光源装置Ｂ（誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１が５２ｍｍのもの）による測定結果を示す。
【００２６】
図３から明らかなように、本発明に係る光源装置Ａにおいては、窒素ガスの導入を開始してから１５分間で、ランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量が安定化することが確認された。これに対し、光源装置Ｂにおいては、ランプハウス２０の窓部材から放射される真空紫外線の光量が安定化するまでに、窒素ガスの導入を開始してから１時間程度の時間が必要であった。
【００２７】
上記のような光源装置によれば、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１が、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から窓部材２５の内面までの距離Ｄ２に実質的に等しいため、ランプハウス２０内の酸素濃度の値に関わらず、光センサ４０によって検出される真空紫外線の光量は、窓部材２５から放射される真空紫外線の光量と実質的に等しい値となる。従って、光センサ４０によって検出される真空紫外線の光量が一定の値となるよう、誘電体バリア放電ランプ１０への投入電力がフィードバック制御されることにより、ランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量を短い時間で安定化させることができる。
【００２８】
本発明の光源装置においては、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１内に、エキシマ発光用ガスとしてキセノンガスが封入されている場合、すなわち誘電体バリア放電ランプ１０が波長１７２ｎｍにピークを有する真空紫外線を放射するものである場合には、この誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１と、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から窓部材２５の内面までの距離Ｄ２との差が１６ｍｍ以下であることが好ましい。以下、その理由を説明する。
【００２９】
一般に、光吸収媒質に対する光の透過率Ｔは、吸収係数をｃ、透過距離をｘとしたとき、下記の式（１）で表される。
【００３０】
【数１】
式（１）  Ｔ＝ｅｘｐ（−ｃ・ｘ）
【００３１】
そして、前述の光源装置Ｂにおけるランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量の測定結果（図３参照）を解析すると、真空紫外線の光量の最大値は１１６（窒素ガスの導入を開始してから１５分間経過したときの値）であり、１６％の誤差が生じており、このときのランプハウス２０内の酸素濃度は約５００ｐｐｍである（図４参照）。そして、この１６％の誤差は、光センサ４０によって検出された実際の光量の値が１００であるが、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１（５２ｍｍ）と、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から窓部材２５の内面までの距離Ｄ２（２７ｍｍ）との差、すなわち真空紫外線の透過距離の差によって生じたものと考えられる。従って、窒素ガスの導入を開始してから１５分間経過した時点におけるランプハウス２０内の気体の吸収係数ｃは、上記式（１）より、以下の通りである。
【００３２】
【数２】
１００／１１６＝ｅｘｐ｛−ｃ・（５２−２７）｝
ｃ＝０．００５９
【００３３】
そして、窒素ガスの導入を開始してから１５分間経過した時点、すなわちランプハウス２０内の酸素濃度が約５００ｐｐｍであるときに、窓部材２５から放射される真空紫外線の光量と、光センサ４０によって検出される真空紫外線の光量との最大誤差を、実用的な誤差範囲である１０％以下に制御するためには、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１と、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から窓部材２５の内面までの距離Ｄ２との差Ｘを、下記の算式より、最大で１６ｍｍとすればよい。
【００３４】
【数３】
１００／１１０＝ｅｘｐ（−０．００５９・Ｘ）
Ｘ≒１６
【００３５】
従って、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１内に、エキシマ発光用ガスとしてキセノンガスが封入されている場合には、この誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から光センサ４０の受光部４１までの距離Ｄ１と、誘電体バリア放電ランプ１０の放電容器１１の外表面から窓部材２５の内面までの距離Ｄ２との差が１６ｍｍ以下とすることにより、ランプハウス２０の窓部材２５から放射される真空紫外線の光量を短い時間例えば窒素ガスの導入を開始してから１５分間以内で安定化させることができる。
なお、前記吸収係数ｃの値については、知られている酸素の紫外線の吸収係数と合わない。その理由は、ランプハウス２０内には、窒素および酸素以外のガス、例えばオゾンや水蒸気などが存在しており、これらのガスの紫外線の吸収係数が、酸素の紫外線の吸収係数より極めて大きいからであると考えられる。
また、図４について、窒素ガスの導入を開始してからの経過時間に対する酸素濃度の低下の速度は、ランプハウス２０の内容積と窒素ガスの流量とから予想される酸素濃度の低下の速度より低い。その理由は、ランプハウス２０内の表面や、組立部品の接合面間に吸着、収蔵された酸素の放出に時間を要するためであると考えられる。このような現象は、水蒸気に関しても同様に生じていると考えられる。
【００３６】
【発明の効果】
本発明の光源装置によれば、誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から光センサの受光部までの距離が、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面からランプハウスの窓部材の内面までの距離に実質的に等しいため、ランプハウス内の酸素濃度の値に関わらず、光センサによって検出される紫外線の光量は、窓部材から放射される紫外線の光量と実質的に等しい値となる。従って、光センサによって検出される紫外線の光量が一定の値となるよう、誘電体バリア放電ランプへの投入電力がフィードバック制御されることにより、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量を短い時間で安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光源装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図である。
【図２】本発明に用いられる誘電体バリア放電ランプの一例における構成を示す説明用断面図である。
【図３】本発明の光源装置において、ランプハウス内への窒素ガスの導入時間と、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量との関係を示す図である。
【図４】ランプハウス内への窒素ガスの導入時間と、当該ランプハウス内の酸素濃度との関係を示す図である。
【図５】従来の光源装置において、ランプハウス内への窒素ガスの導入時間と、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量との関係を示す図である。
【図６】従来の光源装置において、ランプハウス内の酸素濃度と、ランプハウスの窓部材から放射される真空紫外線の光量との関係を示す図である。
【符号の説明】
１０  誘電体バリア放電ランプ
１１  放電容器
１２  一方の壁部
１３  他方の壁部
１４  封止壁部
１５  一方の壁部の外面
１６  一方の電極
１７  他方の壁部の外面
１８  他方の電極
１９  変形部
２０  ランプハウス
２１  枠材
２２，２３  開口
２５  窓部材
２６  ガス導入孔
２７  ガス排出孔
３０  冷却ブロック
３１  溝
３２  冷却用流体流通路
３３  凹所
３４  光導入孔
３５  側孔
４０  光センサ
４１  受光部
Ｇ  ゲッタ
Ｋ  ゲッタ収容室
Ｓ  放電空間
【図１】
0003564988.tif 000002
【図２】
0003564988.tif 000003
【図３】
0003564988.tif 000004
【図４】
0003564988.tif 000005
【図５】
0003564988.tif 000006
【図６】
0003564988.tif 000007