(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のディスク基板を保持する第一のディスク保持手段と、第二のディスク基板を保持する第二のディスク保持手段と、両面粘着片を保持する粘着片保持手段とを有し、前記両面粘着片により前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ装置において、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段は、それぞれ第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置できる載置面を備え、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段の載置面を上向きとしたことを特徴とするディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項２】
載置面に、複数の吸引口からなる吸着部を設け、前記第二のディスク保持手段と前記粘着片保持手段の載置面を第一のディスク保持手段の載置面に対向するように回動可能な構成としたことを特徴とする請求項１に記載のディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項３】
載置面に、位置決め用の中心軸が上下動可能な中心孔を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項４】
第一のディスク基板を保持する第一のディスク保持手段と、第二のディスク基板を保持する第二のディスク保持手段と、両面粘着片を保持する粘着片保持手段とを有し、前記両面粘着片により前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ装置において、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段は、それぞれ第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置できる載置面を備え、載置面に、複数の吸引口からなる吸着部を設け、前記第二のディスク保持手段と前記粘着片保持手段の載置面を第一のディスク保持手段の載置面に対向するように回動可能な構成としたことを特徴とするディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項５】
前記第一のディスク保持手段と前記第二のディスク保持手段との載置面に設けた各吸着部は、載置されるディスク基板の外周部と内周部に対応する位置に、それぞれ環状に配置された複数の吸引口からなることを特徴とする請求項４に記載のディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項６】
載置されるディスク基板の外周部に対応する位置に設けた環状に配置された吸引口は、前記ディスク基板の記憶面の最外周よりも外側に設け、前記ディスク基板の内周部に対応する位置に設けた環状に配置された吸引口は、前記ディスク基板の記憶面の最内周よりも内側に設けたことを特徴とする請求項５に記載のディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項７】
第一のディスク基板を保持する第一のディスク保持手段と、第二のディスク基板を保持する第二のディスク保持手段と、両面粘着片を保持する粘着片保持手段とを有し、前記両面粘着片により前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ装置において、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段は、それぞれ第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置できる載置面を備え、片面に剥離シート片を残した両面粘着片を供給する粘着片供給手段と、第一のディスク基板に貼り合わせた両面粘着片から剥離シート片を除去する剥離シート除去手段とを設け、前記粘着片保持手段は前記粘着片供給手段から供給する前記両面粘着片を上向きとした載置面にて載置し、前記両面粘着片を保持した状態で載置面が下向きとなるように回動し、前記両面粘着片を第一のディスク基板に貼り合わせる構成とし、前記第二のディスク保持手段は第二のディスク基板を上向きとした載置面にて載置し、前記第二のディスク基板を保持した状態で載置面が下向きとなるように回動し、前記第二のディスク基板を、前記第一のディスク基板に貼付した前記両面粘着片に貼り合わせる構成としたことを特徴とするディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項８】
前記粘着片保持手段と前記第一のディスク保持手段と前記第二のディスク保持手段とをその順に直線上に配置したことを特徴とする請求項７に記載のディスク基板の貼り合わせ装置。
【請求項９】
両面粘着片により第一のディスク基板と第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ方法であって、前記第一のディスク基板を保持する載置面を有する第一のディスク保持手段、前記第二のディスク基板を保持する載置面を有する第二のディスク保持手段、及び前記両面粘着片を保持する載置面を有する粘着片保持手段のそれぞれの載置面に前記第一のディスク基板、前記第二のディスク基板、及び前記両面粘着片を載置する工程と、位置決め用の中心軸によって前記第一のディスク基板、前記第二のディスク基板、及び前記両面粘着片をそれぞれ位置決めする工程と、前記位置決めの工程の後に載置面に設けた吸着部により、前記第一のディスク基板、前記第二のディスク基板、及び前記両面粘着片をそれぞれ吸着保持する工程とを有し、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段の載置面を上向きとしたことを特徴とするディスク基板の貼り合わせ方法。
【請求項１０】
下面に剥離シート片を積層した両面粘着片を、粘着片保持手段の上向きとした載置面に載置する工程と、第一のディスク保持手段及び第二のディスク保持手段の上向きとした載置面に、第一のディスク基板及び第二のディスク基板をそれぞれ載置する工程と、前記第一のディスク保持手段又は前記粘着片保持手段のいずれかの載置面を下方向に回動して、前記第一のディスク基板に前記両面粘着片を貼り合わせる工程と、前記両面粘着片を貼り合わせた第一のディスク基板を第一のディスク保持手段にて保持した状態で、剥離シート除去手段により前記剥離シート片を除去する工程と、前記剥離シート片を除去した状態で、前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板を前記両面粘着片を介して対面させたまま貼り合わせる工程とを有することを特徴とするディスク基板の貼り合わせ方法。
【請求項１１】
第一のディスク基板と両面粘着片の粘着面とを対面させ、前記両面粘着片の剥離シート片を積層した面を、ローラ部を回動して圧着して前記第一のディスク基板に前記両面粘着片を貼り合わせる工程と、前記両面粘着片を貼り合わせた前記第一のディスク基板を第一のディスク保持手段にて保持した状態で、剥離シート除去手段により前記剥離シート片を除去する工程と、前記第一のディスク基板に貼り合わせた前記両面粘着片の粘着面と第二のディスク基板とを対面させて、２枚のディスク基板を密封する密封室を形成する工程と、前記密封室を減圧手段にて減圧し、前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板を前記両面粘着片を介して対面させたまま貼り合わせる工程とを有することを特徴とするディスク基板の貼り合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば２層貼り合わせ型のＬＤ（レーザーディスク）やＤＶＤ（ディジタル・ビデオ・ディスク）などのように、２枚のディスク基板を両面粘着片により貼り合わせて製造するディスク基板の貼り合わせ装置及びディスク基板の貼り合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種のディスク基板の貼り合わせ装置としては、対面する上治具と下治具とを有し、一方のディスク基板を上治具の下面に取り付け、他方のディスク基板を下治具の上面に取り付け、両面粘着片を間に介在させて両治具を上下動させて貼り合わせる装置が提案されている（例えば特開平７−９３８２４号公報）。
また、他の装置としては、上記従来例と同様に上治具と下治具との加圧により貼り合わせる装置において、基板保持機構を用いて２枚のディスク基板をともに下治具に取り付ける装置が提案されている（例えば特開平３−１５７８３２号公報）。
さらに他の装置としては、上記従来例と同様に上治具と下治具との加圧により貼り合わせる装置において、上治具の下面にディスク基板を、下治具に両面粘着片を一旦取り付けて上下治具を閉じて一方のディスク基板に両面粘着片を貼り合わせ、その後、他方のディスク基板を上治具の下面に、両面粘着片を貼付した一方のディスク基板を下治具に再度取り付けて上下治具を閉じて貼り合わせる装置が提案されている（例えば特開平３−２３０３３８号公報）。
なお、両面粘着片を用いてディスク基板を貼り合わせる場合に、ディスク基板と両面粘着片との間に気泡を残さないための装置としては、減圧下において貼り合わせを行う装置が提案されている（例えば特開平６−１１９６６０号公報や特開平４−２５９９３５号公報）。
また、両面粘着片の剥離シート片を除去する装置としては、剥離用粘着テープを、除去したい剥離シート片にプレスロールによって押しつけ、剥離用粘着テープの粘着を利用して除去する装置が提案されている（例えば特開平３−２３２６５９号公報）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
２枚のディスク基板を貼り合わせて製造されるこの種のディスクは、各ディスク基板が偏心していると正常な記録、再生が困難になってしまい、又各ディスク基板を貼り合わせる両面粘着片のずれは、記録面のそりや歪み、又は回転むらにつながるため、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片とは、正確に位置合わせを行う必要がある。
しかし、上記従来のように治具の下面にディスク基板を取り付ける場合には、ディスク基板の落下を防止するための保持力を加える必要があるが、このディスク基板に取付面への保持力を加えた状態でこのディスク基板を取付面との間で位置調整することは困難である。また、下治具に２枚のディスク基板を取り付ける場合には、上記従来例が提案しているように特殊な基板保持機構を必要とするだけでなく、同一面に２枚のディスク基板を供給しなければならないので生産性が低下する。さらに２枚のディスク基板と両面粘着片とを一対の上治具と下治具で行う場合には、ディスク基板を再度取り付ける必要が生じてしまい、位置決めが困難であるだけでなく生産性も低下するなどの課題を有している。
一方、ディスク基板と両面粘着片との間に気泡を残さないために、減圧下で貼り合わせを行うことは有効であるが、減圧する空間が広いと、減圧のために長時間を要してしまい生産性を低下させてしまう。また、２枚のディスク基板を両面粘着片にて貼り合わせる場合には、２回の貼り合わせが必要であるが、それぞれの貼り合わせの都度空間内を減圧するのでは、これも生産性が低下してしまう。
なお、上記従来例のように両面粘着片の剥離シート片を除去する装置も提案されている。しかし従来においてはいずれの装置も、２枚のディスク基板を両面粘着片を用いて貼り合わせる場合に、貼り合わせ面に気泡を生じることなく、かつずれのない正確な貼り合わせを生産性を低下させることなく行うことは困難である。
【０００４】
そこで本発明は、両面粘着片やディスク基板の供給の容易化、位置決めの容易化を図り、生産性のよい、ずれのない正確な貼り合わせを実現するディスク基板の貼り合わせ装置及びその方法を提供することを目的とする。
また本発明は、このようなディスク基板の貼り合わせ装置に用いることに適した両面粘着シートや両面粘着片を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、第一のディスク基板を保持する第一のディスク保持手段と、第二のディスク基板を保持する第二のディスク保持手段と、両面粘着片を保持する粘着片保持手段とを有し、前記両面粘着片により前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ装置において、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段は、それぞれ第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置できる載置面を備え、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段の載置面を上向きとしたことを特徴とする。
【０００６】
また請求項２記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、請求項１に記載のディスク基板の貼り合わせ装置において、載置面に、複数の吸引口からなる吸着部を設け、前記第二のディスク保持手段と前記粘着片保持手段の載置面を第一のディスク保持手段の載置面に対向するように回動可能な構成としたことを特徴とする。
【０００７】
また請求項３記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、請求項１又は２に記載のディスク基板の貼り合わせ装置において、載置面に位置決め用の中心軸が上下動可能な中心孔を設けたことを特徴とする。
【０００８】
また請求項４記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、第一のディスク基板を保持する第一のディスク保持手段と、第二のディスク基板を保持する第二のディスク保持手段と、両面粘着片を保持する粘着片保持手段とを有し、前記両面粘着片により前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ装置において、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段は、それぞれ第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置できる載置面を備え、載置面に複数の吸引口からなる吸着部を設け、前記第二のディスク保持手段と前記粘着片保持手段の載置面を第一のディスク保持手段の載置面に対向するように回動可能な構成としたことを特徴とする。
【０００９】
また請求項５記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、請求項４に記載のディスク基板の貼り合わせ装置において、第一のディスク保持手段と第二のディスク保持手段との載置面に設けた各吸着部は、載置されるディスク基板の外周部と内周部に対応する位置に、それぞれ環状に配置された複数の吸引口からなることを特徴とする。
【００１０】
また請求項６記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、請求項５に記載のディスク基板の貼り合わせ装置において、載置されるディスク基板の外周部に対応する位置に設けた環状に配置された吸引口は、前記ディスク基板の記憶面の最外周よりも外側に設け、前記ディスク基板の内周部に対応する位置に設けた環状に配置された吸引口は、前記ディスク基板の記憶面の最内周よりも内側に設けたことを特徴とする。
【００１１】
また請求項７記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、第一のディスク基板を保持する第一のディスク保持手段と、第二のディスク基板を保持する第二のディスク保持手段と、両面粘着片を保持する粘着片保持手段とを有し、前記両面粘着片により前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ装置において、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段は、それぞれ第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置できる載置面を備え、片面に剥離シート片を供給する粘着片供給手段と、第一のディスク基板に貼り合わせた両面粘着片から剥離シート片を除去する剥離シート除去手段とを設け、前記粘着片保持手段は前記粘着片供給手段から供給する前記両面粘着片を上向きとした載置面にて載置し、前記両面粘着片を保持した状態で載置面が下向きとなるように回動し、前記両面粘着片を第一のディスク基板に貼り合わせる構成とし、前記第二のディスク保持手段は第二のディスク基板を上向きとした載置面にて載置し、前記第二のディスク基板を保持した状態で載置面が下向きとなるように回動し、前記第二のディスク基板を、前記第一のディスク基板に貼付した前記両面粘着片に貼り合わせる構成としたことを特徴とする。
【００１２】
また請求項８記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、請求項７に記載のディスク基板の貼り合わせ装置において、前記粘着片保持手段と前記第一のディスク保持手段と前記第二のディスク保持手段とをその順に直線上に配置したことを特徴とする。
【００１３】
また請求項９記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ方法は、両面粘着片により第一のディスク基板と第二のディスク基板とを貼り合わせるディスク基板の貼り合わせ方法であって、前記第一のディスク基板を保持する載置面を有する第一のディスク保持手段、前記第二のディスク基板を保持する載置面を有する第二のディスク保持手段、及び前記両面粘着片を保持する載置面を有する粘着片保持手段のそれぞれの載置面に前記第一のディスク基板、前記第二のディスク基板、及び前記両面粘着片を載置する工程と、位置決め用の中心軸によって前記第一のディスク基板、前記第二のディスク基板、及び前記両面粘着片をそれぞれ位置決めする工程と、前記位置決めの工程の後に載置面に設けた吸着部により、前記第一のディスク基板、前記第二のディスク基板、及び前記両面粘着片をそれぞれ吸着保持する工程とを有し、前記第一のディスク保持手段、前記第二のディスク保持手段、及び前記粘着片保持手段の載置面を上向きとしたことを特徴とする。
【００１４】
また請求項１０記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ方法は、下面に剥離シート片を積層した両面粘着片を、粘着片保持手段の上向きとした載置面に載置する工程と、第一のディスク保持手段及び第二のディスク保持手段の上向きとした載置面に、第一のディスク基板及び第二のディスク基板をそれぞれ載置する工程と、前記第一のディスク保持手段又は前記粘着片保持手段のいずれかの載置面を下方向に回動して、前記第一のディスク基板に前記両面粘着片を貼り合わせる工程と、前記両面粘着片を貼り合わせた第一のディスク基板を第一のディスク保持手段にて保持した状態で、剥離シート除去手段により前記剥離シート片を除去する工程と、前記剥離シート片を除去した状態で、前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板を前記両面粘着片を介して対面させたまま貼り合わせる工程とを有することを特徴とする。
【００１５】
また請求項１１記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ方法は、第一のディスク基板と両面粘着片の粘着面とを対面させ、前記両面粘着片の剥離シート片を積層した面を、ローラ部を回動して圧着して前記第一のディスク基板に前記両面粘着片を貼り合わせる工程と、前記両面粘着片を貼り合わせた前記第一のディスク基板を第一のディスク保持手段にて保持した状態で、剥離シート除去手段により前記剥離シート片を除去する工程と、前記第一のディスク基板に貼り合わせた前記両面粘着片の粘着面と第二のディスク基板とを対面させて、２枚のディスク基板を密封する密封室を形成する工程と、前記密封室を減圧手段にて減圧し、前記第一のディスク基板と前記第二のディスク基板を前記両面粘着片を介して対面させたまま貼り合わせる工程とを有することを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、さらに第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片の保持手段の載置面を設けることにより、第一のディスク基板と両面粘着片の貼り合わせ及び第一のディスク基板に積層された両面粘着片の他方の面と第二のディスク基板の貼り合わせを一貫の作業工程にすることができる。またそれぞれの貼り合わせの位置を最適にすることにより、それぞれの載置面の動作を最小にすることができ、装置を小型化することができる。
逆に第一と第二のディスク基板の載置面を共用する従来の装置ではそれぞれの貼り合わせがバッチ処理になるため、１枚のディスクの貼り合わせに時間がかかり、さらに載置面間の動作が複雑になるので装置が大型化してしまう。
また、第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片保持手段の載置面を上向きとすることにより、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片の載置面への供給を行い易くし、位置決めが行いやすい。すなわち、第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片保持手段のすべての載置面が上向きであるため、特に保持力を加えることなく、各載置面に載置できる。従って、重力だけが作用している状態なので、載置後の微妙な位置調整が可能であり、位置決めが容易に行える。そして、その位置で保持したいときは、位置決めを行った後に必要に応じて保持力を加えることができる。
【００１７】
請求項２記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、それぞれの載置面に、複数の吸引口からなる吸着部を設けることにより、載置面に供給された第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を位置ずれを生じないように確実に保持することができる。従って、載置面を傾け、又は下向きとすることも可能となる。また、このように保持状態で、第二のディスク保持手段と粘着片保持手段との載置面を第一のディスク保持手段の載置面に対向するように回動可能な構成とすることにより、第一のディスク保持手段と粘着片保持手段との載置面、又第一のディスク保持手段と第二のディスク保持手段との載置面を対面させることができる。従って、第一のディスク基板上への両面粘着片の貼付、及びこの両面粘着片貼付後の第一のディスク基板への第二のディスク基板の貼付を容易に行うことが可能となる。
【００１８】
請求項３記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片の載置面での位置決めを、それぞれの載置面に設けた位置決め用の中心軸で行う。すなわち、載置面に供給され、載置された第一のディスク基板及び両面粘着片は、この中心軸を載置面から突出し、それぞれの中心孔に挿入することにより、正確な保持位置に移動し修正する。なお、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片のすべてを中心孔で位置合わせを行うため、ディスク基板などの寸法誤差による芯ずれを防止し、同心度を高めることができる。
【００１９】
請求項４記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、さらに第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片の保持手段の載置面を設けることにより、第一のディスク基板と両面粘着片の貼り合わせ及び第一のディスク基板に積層された両面粘着片の他方の面と第二のディスク基板の貼り合わせを一貫の作業工程にすることができる。またそれぞれの貼り合わせの位置を最適にすることにより、それぞれの載置面の動作を最小にすることができ、装置を小型化することができる。
逆に第一と第二のディスク基板の載置面を共用する従来の装置ではそれぞれの貼り合わせがバッチ処理になるため、１枚のディスクの貼り合わせに時間がかかり、さらに載置面間の動作が複雑になるので装置が大型化してしまう。
また、それぞれの載置面に、複数の吸引口からなる吸着部を設けることにより、載置面に供給された第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を位置ずれを生じないように確実に保持することができる。従って、載置面を傾け、又は下向きとすることも可能となる。また、このように保持状態で、第二のディスク保持手段と粘着片保持手段との載置面を第一のディスク保持手段の載置面に対向するように回動可能な構成とすることにより、第一のディスク保持手段と粘着片保持手段との載置面、又第一のディスク保持手段と第二のディスク保持手段との載置面を対面させることができる。従って、第一のディスク基板上への両面粘着片の貼付、及びこの両面粘着片貼付後の第一のディスク基板への第二のディスク基板の貼付を容易に行うことが可能となる。
【００２０】
請求項５記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、この吸引口を載置されるディスク基板の外周部と内周部に対応する位置に、それぞれ環状に設けることにより、ディスク基板を部分的に吸着することによるそりや歪みを少なくすることができる。
【００２１】
請求項６記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、この環状の吸引口をディスク基板の記録面をはずして設けることにより、記録面でのそりや歪みを最小限に押さえることができる。
【００２２】
請求項７記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、さらに第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片の保持手段の載置面を設けることにより、第一のディスク基板と両面粘着片の貼り合わせ及び第一のディスク基板に積層された両面粘着片の他方の面と第二のディスク基板の貼り合わせを一貫の作業工程にすることができる。またそれぞれの貼り合わせの位置を最適にすることにより、それぞれの載置面の動作を最小にすることができ、装置を小型化することができる。
逆に第一と第二のディスク基板の載置面を共用する従来の装置ではそれぞれの貼り合わせがバッチ処理になるため、１枚のディスクの貼り合わせに時間がかかり、さらに載置面間の動作が複雑になるので装置が大型化してしまう。
また、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片をそれぞれ上向きに載置する第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、粘着片保持手段を有するとともに、片面に剥離シートを残した両面粘着片を供給する粘着片供給手段と、第一のディスク基板に貼り合わせた両面粘着片から剥離シートを除去する剥離シート除去手段とを有する。そして、粘着片保持手段は、両面粘着片を保持した状態で載置面が下向きとなるように回動することにより、第一のディスク保持手段の載置面と対面させることができ、両面粘着片を第一のディスク基板に貼り合わせることができる。一方、第二のディスク保持手段は、第二のディスク基板を保持した状態で載置面が下向きとなるように回動することにより、第一のディスク保持手段の載置面と対面させることができ、第二のディスク基板を第一のディスク基板に貼付した両面粘着片に貼り合わせることができる。このように、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片は、上向きとした載置面に載置されるために載置面への供給を容易にし、位置決めしやすい。また、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片のそれぞれの貼り合わせは、粘着片保持手段と第二のディスク保持手段とのそれぞれの載置面を下向きとなるように回動させて行うために確実な位置合わせのもとでの貼り合わせが可能である。
【００２３】
請求項８記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ装置は、さらに粘着片保持手段と第一のディスク保持手段と第二の保持手段とを順に直線上に配置することにより、それぞれの貼り合わせを少ない動きで行えるとともに、粘着片供給手段や剥離シート除去手段などのその他の手段を周辺に配置しやすい。
【００２４】
請求項９記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ方法は、まず、第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片保持手段のそれぞれの載置面に第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を載置する工程を有する。また、第一のディスク基板、第二のディスク基板及び両面粘着片をそれぞれ位置決めする工程を有する。尚、予め中心軸を載置面に配設することにより、載置する工程と位置決めする工程は同時に行うことができる。この工程では、載置面に供給され、載置された第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片は、この中心軸をそれぞれの中心の孔に挿入することにより、正確な保持位置に移動し修正する。なお、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片のすべてを中心の孔で位置合わせを行うため、ディスク基板などの寸法誤差による芯ずれを防止し、同心度を高めることができる。最後に位置決めの工程の後に吸着部により第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片をそれぞれ吸着保持する工程を有する。この工程では、載置面に供給された第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片を位置ずれを生じないように確実に保持することができる。従って、載置面を傾け、又は下向きとすることも可能となる。
さらに第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片の保持手段の載置面を設けることにより、第一のディスク基板と両面粘着片の貼り合わせ及び第一のディスク基板に積層された両面粘着片の他方の面と第二のディスク基板の貼り合わせを一貫の作業工程にすることができる。またそれぞれの貼り合わせの位置を最適にすることにより、それぞれの載置面の動作を最小にすることができ、装置を小型化することができる。
逆に第一と第二のディスク基板の載置面を共用する従来の装置ではそれぞれの貼り合わせがバッチ処理になるため、１枚のディスクの貼り合わせに時間がかかり、さらに載置面間の動作が複雑になるので装置が大型化してしまう。
また、第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片保持手段の載置面を上向きとすることにより、第一のディスク基板、第二のディスク基板、及び両面粘着片の載置面への供給を行い易くし、位置決めが行いやすい。すなわち、第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、及び粘着片保持手段のすべての載置面が上向きであるため、特に保持力を加えることなく、各載置面に載置できる。従って、重力だけが作用している状態なので、載置後の微妙な位置調整が可能であり、位置決めが容易に行える。そして、その位置で保持したいときは、位置決めを行った後に必要に応じて保持力を加えることができる。
【００２５】
請求項１０記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ方法は、まず、粘着片供給手段から両面粘着片を剥離シート片を下にして粘着片保持手段の上向きとした載置面に載置する工程を有する。この工程では、両面粘着片は上向きとした載置面に載置されるために載置面への供給を容易にし、位置決めしやすい。また、第一のディスク保持手段及び第二のディスク保持手段の上向きとした載置面に第一のディスク基板と第二のディスク基板とをそれぞれ載置する工程を有する。この工程では、第一のディスク基板及び第二のディスク基板は上向きとした載置面に載置されるために載置面への供給を容易にし、位置決めしやすい。また、第一のディスク保持手段又は粘着片保持手段のいずれかの載置面を下方向に回動して第一のディスク基板に両面粘着片を貼り合わせる工程と、両面粘着片を貼り合わせた第一のディスク基板を第一のディスク保持手段にて保持した状態で剥離シート除去手段により両面粘着片に有する剥離シート片を除去する工程と、剥離シート片を除去する工程の後、第一のディスク保持手段と第二のディスク保持手段との載置面を対面させて第一のディスク基板に両面粘着片を介して第二のディスク基板を貼り合わせる工程とを有する。これらの工程により、粘着片保持手段と第一のディスク保持手段及び第二のディスク保持手段との貼り合わせを確実な位置合わせのもとで行うことができる。
【００２６】
請求項１１記載の本発明のディスク基板の貼り合わせ方法は、特に第一のディスク保持手段と粘着片保持手段との載置面を対面させ、粘着片保持手段のローラ部を第一のディスク保持手段の載置面に圧着して回動し、第一のディスク基板に両面粘着片を貼り合わせる工程と、剥離シート片を除去した状態で第一のディスク保持手段と第二のディスク保持手段との載置面を対面させて密封室を形成した後この密封室を減圧手段にて減圧した状態で第一のディスク基板に両面粘着片を介して第二のディスク基板を貼り合わせる工程とを有することにより、短い作業時間で、気泡が貼り合わせ面に生じることなく、またディスク基板にそりや歪みを生じることなく貼り合わせを行うことができる。すなわち、第一のディスク基板に両面粘着片を貼り合わせる場合には、両面粘着片は可撓性を有するのでロール圧着することにより、第一のディスク基板に歪みを生じるような負荷をかけることなくディスク基板の周辺部から順に両面粘着片を貼り合わせることができる。このため接着面の気泡やディスク基板のそりや歪みを生じることなく行うことができる。また、第二ディスク基板を貼り合わせる場合には、減圧した空間で貼り合わせるために気泡等を生じることはない。なお、一方の貼り合わせだけを減圧下で行うために、減圧のための作業時間を短縮することができる。
【００２７】
【実施例】
以下本発明のディスク基板の貼り合わせ装置の一実施例を図面に基づいて説明する。
図１は同ディスク基板の貼り合わせ装置の斜視図、図２は同ディスク基板の貼り合わせ装置の側面図、図３は同ディスク基板の貼り合わせ装置の上面図、図４は第一ディスク基板への両面粘着片の貼り合わせを示す同装置の要部側断面図、図５は第一ディスク基板への第二のディスク基板の貼り合わせを示す同装置の要部側断面図である。
図に示すように、ディスク基板の貼り合わせ装置は、第一のディスク保持手段１０、第二のディスク保持手段２０、粘着片保持手段３０、粘着片供給手段４０、剥離シート除去手段５０とを設けている。
【００２８】
まず、第一のディスク保持手段１０について説明する。
第一のディスク保持手段１０は、第一のテーブル１１の上向きに第一のディスク基板Ａを載置する載置面１２を有している。この載置面１２は載置されるディスク基板Ａより若干広い大きさをしており、金属材料からなる。載置面１２には、衝撃を緩和するゴム状のシートが積層されてもよい。また載置面１２の中心には、位置決め用の中心軸１３が上下動可能な中心孔１４を有している。中心軸１３は、ディスク基板の中心孔と略同径で導通可能であり、その頂部には後述する第二のディスク基板の位置決め用の中心軸を受ける受け部を有する。さらに、載置面１２の外周部と内周部には、それぞれ環状に吸引口１５ａ、１５ｂを設けている。これらの吸引口１５ａ、１５ｂは、真空ポンプなどの吸引装置（図示せず）に接続されて吸着部１５を構成している。載置面１２の外側には、環状の溝１６を設けている。この環状の溝１６は、パイプ１７を介して真空ポンプ等の減圧装置（図示せず）に接続されている。また、第一のテーブル１１は、一対のガイドレール１８上を摺動可能に設けてあり、ボールネジ１９をモータ（図示せず）により回転することによって摺動するように構成している。なお、第一のディスク保持手段１０は、中心軸１３を上下動させるシリンダを有している。
【００２９】
次に、第二のディスク保持手段２０について説明する。
第二のディスク保持手段２０は、第二のテーブル２１の上向きに第二のディスク基板Ｂを載置する載置面２２を有している。この載置面２２は載置されるディスク基板Ｂより若干広い大きさをしており、金属材料からなる。載置面２２には、衝撃を緩和するゴム状のシートが積層されてもよい。また載置面２２の中心には、位置決め用の中心軸２３がディスク基板の中心孔と略同径で導通可能な径を有し、その頂部は前述の受け部の形状に合致する尖塔形状を有して固定されている。中心軸２３は第一のディスク保持手段の中心軸１３と同様に上下動可能な構造であっても良い。さらに、載置面２２の外周部と内周部には、それぞれ環状に吸引口２５ａ、２５ｂを設けている。これらの吸引口２５ａ、２５ｂは、真空ポンプなどの吸引装置（図示せず）に接続されて吸着部２５を構成している。載置面２２の外側には、環状の溝２６を設けている。また、第二のテーブル２１は、回動軸２７を中心に回動可能に設けてあり、この回動軸２７の回動により、第一のテーブル１１の上面と当接するように構成している。なお、２８は、この回動軸２７にモータ（図示せず）の回転を伝達するためのギアを有するギアボックスである。また載置面２２は、エアシリンダ２９によって上下動可能に保持されている。
【００３０】
次に粘着片保持手段３０について説明する。
粘着片保持手段３０は、上面にロール部３１と両面粘着片７１を載置する載置面３２を有している。この載置面３２は長方形状をしており、金属材料からなる。ローラ部３１は、この載置面３２の長辺側であって、ローラ部３１の軸方向が第一のディスク保持手段１０の摺動方向と直行するように設けられている。また載置面３２の中心には、位置決め用の中心軸３３が上下動可能な中心孔３４を有している。中心軸３３は、４つの爪からなり、この４つの爪は径方向に拡大可能な構成になっている。さらに、載置面３２には、中心孔３４から外方向に放射状に吸引口３５ａを設けている。これらの吸引口３５ａは、真空ポンプなどの吸引装置（図示せず）に接続されて吸着部３５を構成している。また、上向きとしたローラ部３１と載置面３２は、回動軸３７を中心に回動可能に設けてあり、この回動軸３７の回動により、第一のテーブル１１の上面にロール部３１が当接するように構成している。なお粘着片保持手段３０は、中心軸３３を上下動させるシリンダを有している。
【００３１】
以上説明した第一のディスク保持手段１０、第二のディスク保持手段２０、及び粘着片保持手段３０は、それぞれの載置面１２、２２、３２が有する中心軸１３、２３、３３が直線上に並ぶように基台６０上に設置している。
図示のように、粘着片供給手段４０は粘着片保持手段３０の側方に、剥離シート除去手段５０は第一のディスク保持手段１０の側方にそれぞれ近接して設置している。粘着片供給手段４０は、図示しない両面粘着片の巻出し用軸と、図示しない剥離シートの巻取り用軸を有し、複数のロール４１ａ、４１ｂによって、両面粘着シート７０を搬送し、端板４２で、両面粘着シート７０を鋭角に折り曲げることによって両面粘着片を粘着保持手段３０に繰り出すように構成している。一方、剥離シート除去手段５０は、図示しない剥離用粘着テープの巻出し用軸と巻取り用軸を有し、剥離用粘着テープ８０をその粘着面を下向きとなるように複数のロール５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄによって配設している。また、ロール５１ａ、５１ｂは、剥離用粘着テープ８０を配設した状態で第一のディスク保持手段１０側に突出可能な構成となっている。
【００３２】
次に、両面粘着シート７０について、図６、図７を用いて説明する。図６は両面粘着シートの上面図、図７は同両面粘着シートの側断面図である。
図に示すように、両面粘着シート７０は、貼付するディスク基板の内外郭形状に対応してあらかじめプリカットした両面粘着片７１と、この両面粘着片７１と同じ大きさにプリカットされ、両面粘着片７１の一方に仮着された剥離シート片７２と、両面粘着片７１の他方の面に仮着された帯状の長尺シートからなる剥離シート７３とで構成している。両面粘着片７１と剥離シート片７２とは、貼付するディスク基板の外郭形状より小さく、かつディスク基板の記録面の最外周よりも大きな外郭形状であり、また貼付するディスク基板の内郭形状より大きくかつディスク基板の記録面の最内周よりも小さな内郭形状にプリカットしている。具体的には、外径が１３０．４ｍｍ、内径が１５．０３ｍｍのディスク基板に用いる両面粘着片７１は、外径１２８．４ｍｍ、内径１６ｍｍの内外郭形状とする。
また、両面接着片７１は、キャリアタイプのものであってもノンキャリアタイプのものであっても良い。キャリアタイプの両面粘着片は薄膜を基材とし、その両面に粘着剤層を有する。ノンキャリアタイプの両面粘着片は単層の粘着剤のみの構成である。
前記粘着剤としては、アクリル系、天然ゴム系、合成ゴム系、シリコーン系などの通常の粘着剤の他、加熱、光照射、酸素遮断などの手段により硬化して粘着状態から接着状態に変化するいわゆる粘接着剤であっても良い。
前記基材としては、紙、含浸紙、不織布、合成紙やポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの合成樹脂フィルムが用いられる。
本発明の両面粘着片は、後述するようにクリーンルームで使用されるので、工程中で微細な粉塵が発生しにくい合成樹脂フィルム、特にポリエチレンテレフタレートフィルムを基材として用いることが好ましい。また、貼り合わせディスクとしては、２枚のディスク基板間の光の透過性を要求するものがあるので、基材・粘着剤は透明であるものが好ましい。
本両面粘着片の厚みは、貼り合わせディスクの構成によって決定されるが、通常１０〜３００μｍであり、キャリアタイプの場合は基材の厚さが１２〜１００μｍ、粘着剤層の厚さが１０〜１００μｍのものが使用される。
前記剥離シート片７２および剥離シート７３は、前記基材と同様の材料の粘着剤層対向面にシリコーン樹脂などの剥離剤層を有するものが用いられる。本発明の貼り合わせ装置に用いる場合は、長尺シートからなる剥離シート７３と粘着片７１との剥離力よりも、剥離シート片７２と粘着片７１との剥離力の方が大きいことが好ましい。剥離シートと粘着片との剥離力の関係が上述のようであれば、粘着片の供給と剥離シートの除去の工程をスムーズに行うことができる。なお、両面粘着片７１と剥離シート片７２とは、その中心に孔７１ａ，７２ａを有するが、剥離シート７３にも対応する位置に同形状の孔を有してもよい。
【００３３】
次に上記装置を用いた場合のディスク基板の貼り合わせ方法について説明する。
なお、下記のディスク基板の貼り合わせは、クラス１０００対応のクリーンルームにて行う。
まず、第一のディスク基板Ａ、第二のディスク基板Ｂ、及び両面粘着片７１をそれぞれ第一のディスク保持手段１０、第二のディスク保持手段２０、及び粘着片保持手段３０に保持する方法について説明する。
第一のディスク基板Ａは、上方より第一のディスク保持手段１０の載置面１２に供給される。載置面１２に第一のディスク基板Ａが供給されると、中心孔１４から中心軸１３が突出する。この中心軸１３は、突出して第一のディスク基板Ａの中心の孔に挿入される。このとき、第一のディスク基板Ａは、この中心軸１３によって、正確な位置に移動する。この状態で、吸着部１５を動作させ、吸引口１５ａ、１５ｂから空気を吸引し、この吸引作用により第一のディスク基板Ａを載置面１２に吸着保持する。第一のディスク基板が吸着保持された後、中心軸１３は中心孔１４内に戻される。
【００３４】
第二のディスク基板Ｂは、上方より第二のディスク保持手段２０の載置面２２に供給される。載置面２２に第二のディスク基板Ｂが供給されると、この中心軸２３が第二のディスク基板Ｂの中心の孔に挿入される。このとき、第二のディスク基板Ｂは、この中心軸２３によって、正確な位置に移動する。この状態で、吸着部２５を動作させ、吸引口２５ａ、２５ｂから空気を吸引し、この吸引作用により第二のディスク基板Ｂを載置面２２に吸着保持する。
【００３５】
次に、両面粘着片の供給について説明する。両面粘着片７１は、剥離シート片７２とともに剥離シート７３により搬送される。この剥離シート７３は、複数のロール４１ａ、４１ｂによって搬送されるが、粘着片保持手段３０に近接して設けている端板４２で折り返されるように搬送される。このとき、剥離シート７３は、端板４２の下面から搬送され、上面に折り返されて移動する。なお、両面粘着片７１は、剥離シート７３の下面に配置されている。そして端板４２で剥離シート７３が折り返されるとき、両面粘着片７１は、剥離シート片７２とともに剥離シート７３から分離し、粘着片保持手段３０の載置面３２に繰り出される。載置面３２に両面粘着片が供給されると、中心孔３４から中心軸３３が突出する。突出するときには、中心軸３３を構成する４つの爪は最小径を構成するように互いが密着している。この中心軸３３は、突出して両面粘着片の中心の孔７１ａに挿入される。そして、中心軸３３は、この孔に挿入後、４つの爪を径方向に拡大する。このとき、両面粘着片７１は、この中心軸３３によって、正確な位置に移動する。この状態で、吸着部３５を動作させ、吸引口３５ａから空気を吸引し、この吸引作用により両面粘着片７１を載置面３２に吸着保持する。このとき、両面粘着片７１の一部は、ローラ部３１に接触した状態となっている。両面粘着片が吸着保持された後、中心軸３３は、その爪を閉じて中心孔３４内に戻される。
【００３６】
次に、第一のディスク基板Ａへの両面粘着片７１の貼り合わせ方法について図４を用いて説明する。
上記のように、第一のディスク保持手段１０には第一のディスク基板Ａが、粘着片保持手段３０には両面粘着片７１が保持された状態にある。この状態で、第一のディスク保持手段１０は、ガイドレール１８上を摺動し、粘着片保持手段３０の下方向に移動される。また、粘着片保持手段３０は、その中心軸３３が第一のディスク保持手段１０の中心軸１３の位置と一致するように、回動軸３７を中心に載置面３２を下向きに回動し、ローラ部３１を第一のディスク保持手段１０の載置面１２に当接する。図４はこの時の状態を示している。同図に示すように、第一のディスク保持手段１０と粘着片保持手段３０とは、ローラ部３１が載置面１２端部に当接するような位置関係にある。なおこの状態では、粘着片保持手段３０は傾斜した状態となっており、ローラ部３１は載置面１２に当接しているが、載置面３２は載置面１２と接していない。
この状態で、第一のディスク保持手段１０を右方向、すなわち元の位置に戻す方向に摺動する。従って、第一のディスク保持手段１０の動作に伴って、ローラ部３１が回転し、両面粘着片７１はロール圧着されながら第一のディスク基板Ａに貼付される。第一のディスク保持手段１０は、元の位置に戻ったときには第一のディスク基板Ａ上への両面粘着片７１の貼付は完了している。なお、このとき両面粘着片７１の上面には剥離シート片７２が仮着された状態にある。
【００３７】
次に、両面粘着片７１の上面にある剥離シート片７２の除去について説明する。
剥離紙除去手段５０は、ロール５１ａ、５１ｂを第一のディスク保持手段１０側に突出させ、剥離シート片７２に剥離用粘着テープ８０を当接させ、この状態で載置面１２上をロール圧着させながら引き戻すことにより、第一のディスク保持手段１０の載置面１２で第一のディスク基板Ａに貼付された両面粘着片７１から剥離シート片７２を剥離用粘着テープ８０の粘着により剥離する。
【００３８】
次に、第二のディスク基板Ｂの貼り合わせ方法について図５を用いて説明する。
上記のように、第一のディスク保持手段１０には第一のディスク基板Ａが、両面粘着片７１を貼り付けた状態にある。この状態で、第二のディスク保持手段２０は、その中心軸２３が第一のディスク保持手段１０の中心軸１３の位置と一致するように、回動軸２７を中心に回動し、その載置面２２を第一のディスク保持手段１０の載置面１２に対向させる。そして、第二のテーブル２１を微量の揺動させながら、第二のテーブルの外枠の円柱と、第一のテーブルの外枠の受け穴及び、第二のディスク保持手段の中心軸２３と第一のディスク保持手段の中心軸１３の受け部を嵌合する。これによって第一のディスク基板Ａと第二のディスク基板Ｂとの位置調整を行う。そして第一のテーブル１１と第二のテーブル２１とを、環状のゴム製パッキンを介して当接させた状態で、それぞれの載置面１２、２２の間及びこの載置面１２、２２の周辺にある環状の溝１６、２６とで密封室を構成する。この状態で減圧装置によりこの密封室を減圧する。具体的にはこの密封室は、３０[Torr]程度の真空状態とする。減圧が完了した後に、エアシリンダ２９によって載置面２２を載置面１２方向に押圧し第二ディスク基板Ｂを第一ディスク基板Ａに貼り合わせる。貼り合わせのための圧力は０．５〜１．０kg/cｍ2 とする。貼合が終了した後、吸着部１５および吸着部２５の吸着を停止し、貼合されたディスク基板の保持を解除する。加えて減圧装置の減圧を停止し密封室を解放して密封室内を常圧に戻す。その後第二のテーブル２１を元の位置に戻すように回転軸２７を中心に回動する。そして、第二のディスク保持手段２０が元の位置に戻されたときには、第一のディスク基板Ａ上への第二のディスク基板Ｂの貼付は完了している。
そして、最後に第一のディスク保持手段１０から貼り合わせの完了したディスクを取り出す。以上の動作を繰り返すことによって連続的なディスク基板の貼り合わせを行うことができる。
本発明のディスクの貼り合わせ装置及びその方法は上述の実施例に限定されず、例えば第一のディスク保持手段、第二のディスク保持手段、粘着片保持手段の載置面は上向きに限らず、横向きや下向きであっても良い。また第一のディスク基板Ａや第二のディスク基板Ｂの供給装置や貼合されたディスクの取出し装置が設けられていても良い。
【００３９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、両面粘着片やディスク基板の供給の容易化、位置決めの容易化を図り、生産性のよい、ずれのない正確な貼り合わせを実現することができる。
また本発明は、このようなディスク基板の貼り合わせ装置に用いることに適した両面粘着シートや両面粘着片を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例によるディスク基板の貼り合わせ装置の外観斜視図
【図２】同ディスク基板の貼り合わせ装置の側面図
【図３】同ディスク基板の貼り合わせ装置の上面図
【図４】第一のディスク基板への両面粘着片の貼り合わせを示す同装置の要部側断面図
【図５】第一のディスク基板への第二のディスク基板の貼り合わせを示す同装置の要部側断面図
【図６】同ディスク基板の貼り合わせ装置に用いる両面粘着シートの上面図
【図７】同ディスク基板の貼り合わせ装置に用いる両面粘着シートの側断面図
【符号の説明】
１０    第一のディスク保持手段
１２    載置面
１３    中心軸
１４    中心孔
１５    吸着部
１５ａ  吸引口
１５ｂ  吸引口
１６    環状の溝（密封室）
２０    第二のディスク保持手段
２２    載置面
２３    中心軸
２４    中心孔
２５    吸着部
２５ａ  吸引口
２５ｂ  吸引口
２６    環状の溝（密封室）
３０    粘着片保持手段
３２    載置面
３３    中心軸
３４    中心孔
３５    吸着部
３５ａ  吸引口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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