(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材ブロックに一方の端から他方の端まで連続する直線状のＶ溝を作り、当該Ｖ溝内に光ファイバを実装し、
当該光ファイバごとに前記基材ブロックを切断して２本の溝を形成し、次いで当該２本の溝間の基材ブロックを前記光ファイバごと切り欠いて切欠き部を形成して、当該切欠き部の深さを、前記２本の溝の下部が切代として残るような深さとし、
当該切欠き部に光導波路を実装することにより、
当該光導波路と前記光ファイバとを接続することを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記Ｖ溝が２本であることを特徴とする請求項１に記載の光導波路モジュールの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光導波路モジュールの製造方法によって製造された光フィルタ付き光導波路モジュールであって、
前記２本の溝の少なくとも一方に光フィルタが挿入され、当該光フィルタを介して前記光導波路と前記光ファイバとが接続されていることを特徴とする光フィルタ付き光導波路モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、光導波路モジュールの製造方法および光フィルタ付き光導波路モジュール
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば光導波路の両側に光ファイバアレイを接続した光導波路モジュールの製造方法についてを述べる。
▲１▼  図４（ａ）のように、精密加工したＶ溝１２を有するＶ溝基板１４を作る。
▲２▼  Ｖ溝基板１４に光ファイバ１６を実装して（同図（ｂ））、入力側の光ファイバアレイ１８Ａと出力側の光ファイバアレイ１８Ｂを作る。
▲３▼  光ファイバアレイ１８Ａ，Ｂ及び光導波路２０（たとえば４端子カプラ）の端面を研磨する。
▲４▼  アレイ１個と導波路１個の接続当たり、光導波路２０の光路と光ファイバ１６との調心を行う（同図（ｃ））。調心は、軸方向のｘ，ｙ，ｚ、及び軸周りのθｘ，θｙ，θｚ（矢印１９参照）の６方向について行う。
▲５▼  光ファイバアレイ１８Ａ，Ｂと光導波路２０との間を、互いに接着して、光導波路モジュール２２とする（同図（ｄ））。
【０００３】
なお、光導波路２０が、たとえば光合分波器等で、フィルタ等の光学素子を実装する場合は、図５のように、光導波路２０にスリット２４を切り、光フィルタ２６を実装する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
モジュール製造に際して、
▲１▼  光ファイバアレイ１８を作った後、端面を研磨しなければならない。
▲２▼  １接続当たりの調心の自由度が高く（自由度が６）、調心に時間がかかる。さらにアレイ１８が左右独立にあるため、２接続分の調心を行わなければならない。
【０００５】
製造後のモジュールは、
▲３▼  端面同士の接着だけのため、温度変動により光学特性が変動し易い。
▲４▼  長期信頼性は、接着剤の信頼性と接着面積に依存するが、従来は端面だけで接着面積が小さいため、問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
モジュールの製造に際して、図１に例示するように、
基材ブロック３０に光ファイバ１６を実装し、
光ファイバ１６ごと基材ブロック３０を切り欠いて切欠き部４０を形成し、
その切欠き部４０に光導波路２０を実装し、
当該光導波路２０と光ファイバ１６とを互いに接続する、
という方法をとる（請求項１または２の発明に対応）。
【０００７】
また、図１（ｂ）に例示するように、基材ブロック３０上のｚ方向に、一方の端から他方の端まで連続する直線状のＶ溝３２を作り（切欠き部４０により左右に分離する場合も、初めは左右Ｖ溝を一体の１本ものとして加工し、後で左右に分離されるようにし）、
当該Ｖ溝３２内に光ファイバ１６を実装し、
その後は、上記［０００６］の場合と同じ方法をとる（請求項１または２の発明に対応）。
【０００８】
また、製造した後のモジュール４４について、図１に例示するように、
切欠き部４０が設けられた基材ブロック３０を用い、
当該基材ブロック３０の切欠き部４０に光導波路２０が実装され、また前記切欠き部４０以外の部分に光ファイバ１６が実装され、
前記光導波路２０の光路と光ファイバ１６とが接続されている、
という構成をとるようにする（請求項３の発明に対応）。
【０００９】
なお、光ファイバ１６と導波路２０の光路は当然に調心されていなければならない。
また、光導波路２０と光ファイバ１６との接続は、接着による。
【００１０】
基材ブロック３０の形状は、特に限定しない。しかし、図１（ａ）のような、長方形板状は、好ましい形状である。
基材ブロック３０の材質も特に限定しないが、加工性、導波路との接着性、線膨張係数の整合を考慮すると、石英ガラス、シリコン等が適当である。
基材ブロック３０への光ファイバ１６の実装には、任意の方式をとることができる。
しかし、その位置を正確にするため、上記［０００７］で述べたように、基材ブロック３０上のｚ方向に、一方の端から他方の端まで連続する直線状のＶ溝３２を作り（図１（ｂ））、その中に接着により固定する方式（図１（ｃ））が適当である。
なお同図の場合、左右両側から実装する光ファイバ１６の本数が等しいが、ＮｘＭ導波路型スプリッタ等を実装する場合は、本数の異なることもある。
【００１１】
また、図１の場合は、切欠き部４０が基材ブロック３０の中央にあるが、切欠き部４０は、たとえば図２（ａ）のように、基材ブロック３０の片側だけにあることもある（光源素子や受光素子等の能動回路接続の場合等）。
また図２（ｂ）のように、切欠き部４０が凹みのこともある。
【００１２】
【作  用】
▲１▼  製造に際して、光ファイバ１６ごと基材ブロック３０を切り欠いて切欠き部４０を形成するようにすると、
光ファイバアレイ３８の端面研磨も同時に行われる。
▲２▼  切欠き部４０に光導波路２０を実装するようにすると、
調心の自由度が６から３，２ないしは１に減少するため、調心が容易になる。
【００１３】
▲３▼  基材ブロック３０の切欠き部４０に光導波路２０が実装してあると、
接着面積が広くて、鉛直方向の外力に強い。
また、温度変動に対して光学的特性が変動しにくい。
【００１４】
【実施例】
上記図４の場合同様に、光導波路の両側に光ファイバアレイが接続する例を、図１について述べる。なお、説明の都合上、ｘ，ｙ，ｚの方向を矢印２８のように定める。
▲１▼  図１（ａ）の３０は基材ブロックである。長方形板状のもので、ガラス、シリコン等からなる。
▲２▼  基材ブロック３０の上面に、Ｚ方向のＶ溝３２を、精密加工機のブレード３４等により形成する（図１（ｂ））。
▲３▼  Ｖ溝３２に光ファイバ１６を実装する（接着する、図１（ｃ））。光ファイバ１６は、Ｖ溝３２の中央でつながっていても、離れていても良い。
▲４▼  精密加工機のブレード３５により、光ファイバ１６ごと、基材ブロック３０をｘ方向に切断して、２本の溝３６を形成する（図１（ｄ））。
溝３６の形成により、それらから外側の部分が光ファイバアレイ３８となる。また、光ファイバアレイ３８が形成されるとき、その端面研磨が同時に行われる。
【００１５】
▲５▼  精密加工機により、溝３６間の基材ブロック３０を光ファイバ１６ごと研削して切欠き部４０を形成し、高い精度で平坦な光導波路の実装面４２を作製する（図１（ｅ））。このとき、実装面４２上に載置する光導波路の光軸が光ファイバ１６の光軸と一致するように、実装面４２の深さａを決める。
なお、実装面４２形成後も溝３６の下部が切代として残るように、溝３６は深く切り込んでおく。こうしておくと、実装面４２を高い精度で平坦に製作する作業がし易くなる。
▲６▼  光導波路２０が切欠き部４０内に隙間無く填まるように、その端面を精密加工機により切削研磨し、それから光導波路２０を切欠き部４０の実装面４２上に実装する（図１（ｆ））。
▲７▼  光導波路２０の光路と光ファイバ１６の調心を行い、光導波路２０，光ファイバアレイ３８間を接着して、光導波路モジュール４４を構成する。
【００１６】
なお、上記のように光導波路にフィルタ２６等を実装する場合は、
光導波路２０の長さ（ｚ方向の）を調整して、図３のように、光フィルタ２６を光導波路２０と光ファイバアレイ３８間に挟む形で、同時に実装する。
【００１７】
【発明の効果】
請求項３の発明においては、
（１）接着面積が広くなるため、鉛直方向の外力に対して強く、長期信頼性が向上する。
（２）一つの基材ブロック３０の上に光ファイバ１６と光導波路２０が実装されているため、温度変動に対して光学特性が変動しにくい。
【００１８】
請求項１または２の発明においては、
（１）光ファイバアレイ３８の作製と同時に、その端面を研磨できる。
（２）光ファイバ１６と光導波路２０の調心を、実装面４２上で自由度３，２ないしは１で行うことができる。
（３）光導波路２０のサイズを調整して、光フィルタ２６等を同時に実装することができる。
【００１９】
請求項１または２の発明においては、
基材ブロック３０上のｚ方向に、一方の端から他方の端まで連続する直線状のＶ溝３２を作り、当該Ｖ溝３２内に光ファイバ１６を実装するので、
後でＶ溝３２を切欠き部４０により左右に分離した場合も、左右Ｖ溝を調心する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法の実施例を工程順に示した説明図。
【図２】本発明において、基材ブロック３０に形成される切欠き部４０の異なる態様の説明図。
【図３】本発明において、光フィルタ２６等を実装する場合の説明図。
【図４】従来技術の一例を工程順に示した説明図。
【図５】光フィルタ２６を実装した従来の光導波路モジュールの説明図。
【符号の説明】
１２  Ｖ溝
１４  Ｖ溝基板
１６  光ファイバ
１８Ａ，Ｂ  光ファイバアレイ
２０  光導波路
２２  光導波路モジュール
２４  スリット
２６  光フィルタ
３０  基材ブロック
３２  Ｖ溝
３４，３５  ブレード
３６  溝
３８  光ファイバアレイ
４０  切欠き部
４２  実装面
４４  光導波路モジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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