(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上に保持するスライダと、このスライダを前記磁気記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有してなる支持アームと、この支持アームに前記スライダを取り付けるスライダ回転支持部とを含んでなる磁気記録装置において、
このスライダ回転支持部は、前記支持アーム側から順に配置された第１の変形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部、第２の剛体部を備えてなるとともに、この第２の剛体部に取り付けられた前記スライダを前記磁気記録媒体移動方向上流側から片持ちで支持し、
前記第１の変形可能部と第２の変形可能部は、運転状態で移動する前記磁気記録媒体から前記スライダに作用する摩擦力により、前記磁気記録媒体の記録面に垂直で前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ軸線に平行な面内で弾性変形するものであり、
前記スライダの前記磁気記録媒体との摺動部の記録媒体移動方向上流端は、前記磁気記録媒体が停止した状態で、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体の記録面との交点よりも前記磁気記録媒体移動方向下流側に位置することを特徴とする磁気記録装置。
【請求項２】
第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ線分は、前記磁気記録媒体の記録面に垂直で前記軸線に平行な面内で、第１の変形可能部の前記軸線方向の中央部でかつ厚さの中央である点と、第２の変形可能部の前記軸線方向の中央部でかつ厚さの中央である点とを結ぶ線分であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録装置。
【請求項３】
前記第２の剛体部は、枠体と、スライダ取付け部と、このスライダ取付け部を、前記枠体に、前記磁気記録媒体移動方向と平行で前記枠体上に存在する回転軸回りに回転可能に支持する第２の回転支持部とを含んでなることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録装置。
【請求項４】
移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上に保持するスライダと、このスライダを前記磁気記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有してなる支持アームと、この支持アームに前記スライダを取り付けるスライダ回転支持部とを含んでなる磁気記録装置において、
このスライダ回転支持部は、前記磁気記録媒体移動方向上流側から下流側に向かって順に配置され互いに結合されて一体となった第１の変形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部と、さらにこれらと平行な方向に同様に、前記磁気記録媒体移動方向上流側から下流側に向かって順に配置され互いに結合されて一体となった第３変形可能部、第３剛体部、第４変形可能部と、前記第２および第４変形可能部に結合された１つの第２の剛体部とを備えてなるとともに、この第２の剛体部に取り付けられた前記スライダを記録媒体移動方向上流側から片持ちで支持し、
前記スライダの前記磁気記録媒体との摺動部の記録媒体移動方向上流端は、記録媒体が停止した状態で、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体の記録面との交点、および前記第３変形可能部と第４変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体の記録面との交点よりも、記録媒体移動方向下流側に位置することを特徴とする磁気記録装置。
【請求項５】
前記第１の変形可能部と第２の変形可能部が薄板の曲げ加工により形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項６】
前記第１の変形可能部と第２の変形可能部が薄板の切り欠き加工により形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項７】
前記第１、第２の剛体部及び第１、第２の変形可能部が樹脂材料を用いて一体成形されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の磁気記録装置において、磁気記録装置。
【請求項８】
前記第２の変形可能部の曲げに対する剛性が前記第１の変形可能部の曲げに対する剛性より低いことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項９】
前記磁気ヘッドとして、少なくとも磁気記録媒体から情報の再生を行う磁気抵抗効果再生素子を備えていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項１０】
前記摺動部は複数の摺動面を有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項１１】
移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有する支持アームと、この支持アームに繋がって磁気ヘッドを支持する第１のヘッド支持部とを備えてなる磁気記録装置において、
この第１のヘッド支持部は、前記磁気ヘッドを支持する第２の剛体部と、この第２の剛体部の磁気記録媒体移動方向上流側につながる第２の変形可能部と、この第２の変形可能部の前記第２の剛体部と反対側につながる第１の剛体部と、この第１の剛体部の前記第２の変形可能部の反対側につながる第１の変形可能部とを備えてなり、
前記第１、第２の変形可能部はそのピッチング方向の変形に対する剛性が前記第１、第２の剛体部に比べて十分に小さく、
前記第２の剛体部は、前記磁気ヘッドが設けられるとともに前記磁気記録媒体と摺動する摺動部と、この摺動部を前記磁気記録媒体移動方向と平行な軸回りに回転可能に支持する第２支持部とを備えてなり、
前記摺動部の前記磁気記録媒体移動方向上流端は、前記磁気記録媒体が停止した状態で、前記磁気記録媒体の記録面に垂直でかつ前記磁気記録媒体の移動方向に平行な面内で、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部の各中央を結ぶ線分の延長線と前記記録媒体との交点よりも前記磁気記録媒体移動方向下流側に位置することを特徴とする磁気記録装置。
【請求項１２】
前記スライダ回転支持部の記録媒体移動方向について固有振動数が２００Ｈｚ以下であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項１３】
移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを装着したスライダとを含んでなる磁気記録装置の前記スライダを前記磁気記録媒体の記録面に対向させて保持するスライダ支持構造において、
根元にバネ部を有するサスペンションアームを前記磁気記録媒体の記録面に対向させて配置するとともにこのサスペンションアームの先端部を該記録媒体の移動方向とほぼ直交する方向に移動可能に構成し、
さらに、前記サスペンションアームの先端に、前記磁気記録媒体の移動方向に沿って２か所の低剛性部分を持つ片持ち梁状構造を設け、
該片持ち梁状構造の前記磁気記録媒体の移動方向下流側先端部に前記スライダを装着し、
前記２か所の低剛性部分を結ぶ線の延長線と前記磁気記録媒体記録面との交点が前記スライダの前記磁気記録媒体の移動方向上流端よりも上流側になるように設定されていることを特徴とするスライダ支持構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスクや光磁気ディスク等の情報記録媒体上に磁気ヘッドを保持して該磁気ヘッドにより情報記録媒体に情報を記録し、または情報記録媒体から情報の読み出しを行う磁気記録装置に係り、特にその磁気ヘッドの支持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の磁気記録装置としては、磁気記録媒体である磁気ディスク（以下、ディスクという）上に磁気ヘッド素子（以下、磁気ヘッドという）を所定の間隔をもって浮上させ、情報の記録再生を行うエアーベアリング浮上タイプの磁気ディスク装置が知られている。このエアーベアリング浮上タイプの磁気ディスク装置においては、一般に、磁気ヘッドをスライダと呼ばれる部材に取付け、このスライダをコンタクト−スタート−ストップ（Ｃｏｎｔａｃｔ−Ｓｔａｒｔ−Ｓｔｏｐ：ＣＳＳ）と呼ばれる方式で運用している。この方式では、ディスクが停止しているときスライダはディスク表面（すなわち、磁気記録媒体の記録面）に接触しており、ディスクが回転を始めてこの回転に伴う流体力を受けて浮上するまでの間、スライダはディスク表面と摺動している。ディスクの回転が停止されるときも、ディスクの回転速度が遅くなりスライダに十分な流体力が作用しなくなると、スライダはディスク表面と摺動し始める。
【０００３】
また、従来の磁気記録装置としては、磁気ヘッドまたはスライダをディスクと接触摺動させながら記録再生を行うコンタクトレコーディング方式の磁気ディスク装置がある。この磁気ディスク装置では、磁気ヘッドまたはスライダとディスクとが定常的に接触している。
【０００４】
従来の磁気ディスク装置における磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを支持するヘッド支持機構は、特開昭５５−２２２９６号公報に開示されているように、スライダにディスクへの押しつけ荷重を与える支持ア−ムに、荷重点となるピボットとこのピボットを回転中心としてスライダをそのピッチング及びロ−リング方向に回転可能に支持する回転バネとを持つジンバル部が接続され、このジンバル部にスライダの上面が取り付けられている。
【０００５】
多くの場合、このジンバル部は薄板で形成されており、その薄板の曲げあるいはねじり変形によって、上記の回転支持を可能にしている。そのため厚さの異なる板で形成される支持アームと一体でジンバル部を形成する加工は困難であり、ジンバル部は支持アームとは別に薄板で形成され、しかる後に支持アームと溶接等で結合される加工が一般的である。特開平８−６９６７３号公報ではこのジンバル部分をエッチングによって形成している例が開示されている。
【０００６】
ヘッド支持機構はスライダを含んで呼ばれる場合もあるし、スライダは含まずに、このスライダを支持する支持アームとジンバル部を合せて（以下、ヘッド支持アームという）指すこともある。以下の説明において、特に説明のないときは、ヘッド支持アームを指すものとする。すなわちヘッド支持アームは支持アームとジンバル部を含む。また、以下の説明では、スライダのディスクに対向する側及びその反対側をそれぞれ下面及び上面と呼び、ディスク回転方向の上流側及び下流側をそれぞれ前方及び後方と呼ぶ。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のヘッド支持機構にあっては、スライダのピッチング方向の回転中心がスライダの摺動面より上方にあるため、スライダが前述したようなディスクとの摺動動作によって摩擦力を受けるとき、スライダのディスク回転方向上流側においてディスクとの接触力が非常に大きくなる状態、つまりディスク回転方向上流側に向かってスライダがつんのめる状態になる。このとき、スライダは不安定な振動や前述した局部的に発生する非常に大きな接触力により、ディスク表面及びスライダ表面の損傷を引き起こす可能性がある。
【０００８】
これに対し特開平２−１９２０８２号公報に示されるヘッド支持機構では、スライダにディスクからの摩擦力が働いてもつんのめりが発生しない構成となっている。キャリッジに取り付けられたア−ム先端部分には、上板とこれに平行な下板より成る平行平板構造が備えられ、荷重を与える構造となっている。ジンバル部は、上下の主板部およびこれら主板部を連結する前面板及び後面板で構成されている。この支持機構において、スライダの後方向に摩擦力が働くとジンバルの前面板がディスク面と水平になるように、また、後面板はディスク面と垂直になるように変形する。このとき、スライダのピッチング方向の回転中心が摺動面よりも下方にあるため、スライダの前方が持ち上がる姿勢となり上記のつんのめりが発生しない。
【０００９】
しかしながら、前記のヘッド支持機構では、スライダ前方が持ち上がるかわりに、スライダ後方がディスク面に押しつけられる方向に変位し、スライダ摺動面に生じる荷重が前方から後方にかけて大きくなるような分布（荷重分布）を持つことになる。このとき、スライダ自体が受けている押しつけ荷重は変化しないため、スライダ後方部分での接触力が増大することにより、スライダ及びディスクが損傷する可能性がある。
【００１０】
また、特開平２−１９２０８２号公報に示されるヘッド支持機構では、ジンバル部分の構造が複雑であり、ディスク装置の小型化、特にディスクを積層するタイプの装置ではディスク間隔を狭くすることや、低価格化に対しては配慮されていない。
【００１１】
本発明の目的は、磁気ヘッドをディスク上に支持する部材がディスクと摺動する時に、これらの摺動面において局部的な接触力の増大を防止または低減することにある。さらには、従来のヘッド支持機構と共通して設計できる部分を増やして、より開発の容易な磁気記録装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の磁気記録装置は、磁気ヘッドを記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有する支持アームの先端に、ヘッドスライダ回転支持部を設ける。この回転支持部は記録媒体の移動方向の上流側から順に第１の変形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部、第２の剛体部を備えてヘッド支持機構の一部を構成し、記録媒体移動方向上流側から磁気ヘッドを片持ち状に支持する。このため、第１の変形可能部側が磁気ヘッドを移動させて位置決めするアクチュエータに取り付けられ、磁気ヘッドは第２の剛体部側に設けられる。
【００１３】
磁気ヘッドは磁気記録媒体との摺動面を有するスライダを介して第２の剛体部に設けてもよいし、第２の剛体部がスライダを兼ねる構造にして、この第２の剛体部に直接設けてもよい。但し、スライダは第２の剛体部に対して、記録媒体移動方向を横切る方向の軸回りには回転しない構造にする。また主にヘッド支持アームに設けられたばね部によって、スライダ又は第２の剛体部の摺動面を記録媒体に押し付ける荷重が発生する。
【００１４】
さらに、停止した磁気記録媒体上に磁気ヘッドが設定された状態において、スライダ又は第２の剛体部の摺動部摺動面の記録媒体移動方向上流端は、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を直線状に結んだ仮想線分の延長線と磁気記録媒体の記録面の交点よりも磁気記録媒体移動方向下流側に存在するようにする。
【００１５】
本発明に好適な磁気記録装置の態様を以下に示す。
【００１６】
（１）移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上に保持するスライダと、このスライダを前記磁気記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有してなる支持アームと、この支持アームに前記スライダを取り付けるスライダ回転支持部とを含んでなる磁気記録装置において、このスライダ回転支持部は、前記支持アーム側から順に配置された第１の変形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部、第２の剛体部を備えてなるとともに、この第２の剛体部に取り付けられた前記スライダを前記磁気記録媒体移動方向上流側から片持ちで支持し、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部は、運転状態で移動する前記磁気記録媒体から前記スライダに作用する摩擦力により、前記磁気記録媒体の記録面に垂直で前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ軸線に平行な面内で弾性変形するものであり、前記スライダの前記磁気記録媒体との摺動部の記録媒体移動方向上流端は、前記磁気記録媒体が停止した状態で、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体の記録面との交点よりも前記磁気記録媒体移動方向下流側に位置する。
【００１７】
（２）上記（１）において、第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ線分は、前記磁気記録媒体の記録面に垂直で前記軸線に平行な面内で、第１の変形可能部の前記軸線方向の中央部でかつ厚さの中央である点と、第２の変形可能部の前記軸線方向の中央部でかつ厚さの中央である点とを結ぶ線分である。
【００１８】
（３）上記（１）または（２）において、前記第２の剛体部は、枠体と、スライダ取付け部と、このスライダ取付け部を記録媒体移動方向と平行で前記枠体上に存在する回転軸回りに回転可能に支持する支持部とを備える。
【００１９】
（４）移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上に保持するスライダと、このスライダを前記磁気記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有してなる支持アームと、この支持アームに前記スライダを取り付けるスライダ回転支持部とを含んでなる磁気記録装置において、このスライダ回転支持部は、前記磁気記録媒体移動方向上流側から下流側に向かって順に配置され互いに結合されて一体となった第１の変形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部と、さらにこれらと平行な方向に同様に、前記磁気記録媒体移動方向上流側から下流側に向かって順に配置され互いに結合されて一体となった第３変形可能部、第３剛体部、第４変形可能部と、前記第２および第４変形可能部に結合された１つの第２の剛体部とを備えてなるとともに、この第２の剛体部に取り付けられた前記スライダを記録媒体移動方向上流側から片持ちで支持し、前記スライダの前記磁気記録媒体との摺動部の記録媒体移動方向上流端は、記録媒体が停止した状態で、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体の記録面との交点、および前記第３変形可能部と第４変形可能部を結ぶ線分の延長線と前記磁気記録媒体の記録面との交点よりも、記録媒体移動方向下流側に位置させる。
【００２０】
（５）上記（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を薄板の曲げ加工により形成形成する。
【００２１】
（６）上記（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を薄板の切り欠き加工により形成する。
【００２２】
（７）上記（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記第１、第２の剛体部及び第１、第２の変形可能部は樹脂材料を用いて一体成形する。
【００２３】
（８）上記（１）〜（７）のいずれかにおいて、前記第２の変形可能部の曲げに対する剛性を前記第１の変形可能部の曲げに対する剛性より低くする。これによって、ガイドアーム等の支持アーム取り付け位置における記録媒体面に垂直な方向のヘッド支持アーム取り付け誤差を吸収しやすい構造にすることができる。
【００２４】
（９）上記（１）〜（８）のいずれかにおいて、前記磁気ヘッドとして、少なくとも記録媒体から情報の再生を行う磁気抵抗効果再生素子を備える。
【００２５】
（１０）上記（１）〜（９）のいずれかにおいて、前記摺動部を複数の摺動面で形成する。
【００２６】
（１１）移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に押し付ける荷重を発生するばね部を有する支持アームと、この支持アームに繋がって磁気ヘッドを支持する第１のヘッド支持部とを備えてなる磁気記録装置において、この第１のヘッド支持部を、前記磁気ヘッドを支持する第２の剛体部と、この第２の剛体部の磁気記録媒体移動方向上流側につながる第２の変形可能部と、この第２の変形可能部の前記第２の剛体部と反対側につながる第１の剛体部と、この第１の剛体部の前記第２の変形可能部の反対側につながる第１の変形可能部とを含んで構成し、前記第１、第２の変形可能部のピッチング方向の変形に対する剛性を前記第１、第２の剛体部に比べて十分に小さくし、前記第２の剛体部を、前記磁気ヘッドが設けられるとともに前記磁気記録媒体と摺動する摺動部と、この摺動部を前記磁気記録媒体移動方向と平行な軸回りに回転可能に支持する第２支持部とを含んで構成し、前記摺動部の前記磁気記録媒体移動方向上流端を、前記磁気記録媒体が停止した状態で、前記磁気記録媒体の記録面に垂直でかつ前記磁気記録媒体の移動方向に平行な面内で、前記第１の変形可能部と第２の変形可能部の各中央を結ぶ線分の延長線と前記記録媒体との交点よりも前記磁気記録媒体移動方向下流側に配置する。
【００２７】
（１２）上記（１）〜（１１）のいずれかにおいて、前記スライダ回転支持部の記録媒体移動方向について固有振動数を２００Ｈｚ以下にする。
【００２８】
（１３）移動する磁気記録媒体に対して読み出し及びまたは書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを装着したスライダとを含んでなる磁気記録装置の前記スライダを前記磁気記録媒体の記録面に対向させて保持するスライダ支持構造において、根元にバネ部を有するサスペンションアームを前記磁気記録媒体の記録面に対向させて配置するとともにこのサスペンションアームの先端部を該記録媒体の移動方向とほぼ直交する方向に移動可能に構成し、さらに、前記サスペンションアームの先端に、前記磁気記録媒体の移動方向に沿って２か所の低剛性部分を持つ片持ち梁状構造を設け、該片持ち梁状構造の前記磁気記録媒体の移動方向下流側先端部に前記スライダを装着し、前記２か所の低剛性部分を結ぶ線の延長線と前記磁気記録媒体記録面との交点が前記スライダの前記磁気記録媒体の移動方向上流端よりも上流側になるように設定する。
【００２９】
以下、本発明の作用について説明する。以下では、スライダを有するもので説明するが、第２の剛体部に摺動部を備えるものでも、摺動面に着目すれば同様である。
【００３０】
上記の構成において、磁気記録媒体とスライダの間に摩擦力が働いたとき、第１及び第２の剛体部又は剛支持体はほとんど変形せず、第１の変形可能部及び第２の変形可能部が変形を受け持つ。このため、第１の変形可能部及び第２の変形可能部が変形したとき、第２の変形可能部は、第１の変形可能部を中心とし第１の変形可能部と第２の変形可能部の間の距離を半径とした円周上で、かつスライダの摺動点を中心とし摺動点と第２の変形可能部の間の距離を半径とした円周上で移動可能である。摺動点とは、摺動面に実際に摺動による摩擦力が働いているとき、摩擦力の合力の作用点をいい、摺動の状態に応じて摺動面の中で変動するが、本発明においては、スライダ回転支持部を伸長させる方向に働く力の作用点として考えると、ヘッド支持機構を記録媒体面に平行で記録媒体移動方向を横切る方向（側方）から見たときの、スライダ又は摺動面の記録媒体移動方向上流端と考えて差し支えない。
【００３１】
摺動面の記録媒体移動方向上流端が、記録媒体が停止した状態で、前記磁気記録媒体の記録面に垂直で前記第１の変形可能部と第２の変形可能部を結ぶ軸線（あるいは摺動面に働く摩擦力の方向）に平行な面内で、前記第１の変形可能部（の中央点）と第２の変形可能部（の中央点）を結ぶ仮想線分の延長線と前記記録媒体との交点から記録媒体移動方向下流側に設けられるとき、第２の変形可能部の位置について次の関係が成り立つ。つまり、記録媒体が停止しているとき、第２の変形可能部は前記二つの円周の交点のひとつに位置し、摺動点が移動する磁気記録媒体からの摩擦力を受けるとき、第２の変形可能部はもう一つの交点にのみ移動が可能である。本発明では、この変位可能な位置（もう一つの交点）は磁気記録媒体が停止しているときの第２の変形可能部の位置よりも磁気記録媒体から離れた位置にある。またスライダのピッチング方向の回転中心は、第１の変形可能部と第２の変形可能部を結んだ仮想線の延長線と摩擦力が働く摺動面に対する前記摺動点における垂線との交点となり、したがって摺動面に対し磁気記録媒体側にある。
【００３２】
そこで、磁気記録媒体がスライダと摺動しつつ移動してスライダ摺動面に摩擦力が働くと、この摩擦力により回転支持部が摩擦力の方向に全体として伸びるように第１、第２の変形可能部が弾性変形する。この変形に際し、第２の変形可能部は先に述べたように記録媒体から離れる方向に変位するため、スライダにかかる荷重が低減するとともに、スライダの記録媒体移動方向上流側（以下、前方という）がもちあがる方向にスライダも微小変位する。磁気記録媒体とスライダは互いに弾性変形しながら接触しており、スライダの変位によりスライダ摺動面の面圧分布が前方が小さく後方が大きくなるような状態となる。作用力（摩擦力）が大きく変位が大きいと前方が持ち上がった状態となる場合もある。この場合も、理論的には、荷重が低減しているため、摺動面の流出側の面圧も当初の平均面圧より大きくなることはない。これによりスライダのつんのめりが回避でき、それに伴う不安定振動も回避できる。
【００３３】
また、摩擦力が働いた際、前記作用によりスライダをディスク面に押しつける方向に加わっている荷重が減少するため、摩擦力が下がり、摩擦力変動を緩和し、摩擦力を均一化する作用も期待できる。
【００３４】
また、スライダ取り付け部を枠体に支持する支持部は、磁気記録媒体に所定の荷重でスライダを設定するとき、スライダ摺動面がディスク面にローリング方向に傾斜している場合、ねじり変形してスライダ摺動面をディスク面に対して平行になるように作用する。従って、取り付け部の誤差、加工上の誤差等によって、スライダにローリング方向の傾きがあった場合でも、これらの誤差を吸収することができる。
【００３５】
このようなローリング方向の誤差を修正する別の構成としては、前記第１の変形可能部及び第２の変形可能部と第１の剛体部と同様に、第３変形可能部及び第４変形可能部と第３剛体部を、平行に設けて、第２の変形可能部と第４変形可能部がそれぞれ一つの第２の剛体部に繋がる構成とすることである。この構成では、スライダすなわち第２の剛体部にローリング方向の傾きがあった場合には、第１の変形可能部および第２の変形可能部と第３変形可能部および第４変形可能部とが独立に上記の変形をすることによって、その誤差を吸収できる。
【００３６】
また、樹脂製材料を用いた場合、樹脂製材料が高い減衰効果を有するため、磁気ヘッド及びヘッド支持機構の振動を抑制することができる。上述したスライダがつんのめることによる不安定振動を低減した上で樹脂製材料による、さらなる振動の減衰を図れば、記録媒体の起動から定常回転まで安定した磁気ヘッドの支持が可能になる。これは、記録再生動作の高速化に有効であるが、特にコンタクトレコーディング方式において有効である。
【００３７】
また、第１の変形可能部及び第２の変形可能部の変形に伴う磁気記録媒体移動方向への摺動面の運動の固有振動数を２００Ｈｚ以下にすれば、摺動時にスライダに摩擦力が加わった場合、スライダは固有振動以上の周波数には応答しないため、２００Ｈｚ以上の高い周波数を有する摩擦力の変動成分により振動が発生させられない。
【００３８】
本発明によれば、スライダがディスクと接触摺動して摩擦力を受けたとき、スライダはディスクに対する局所的な押し付け荷重の増加を招くことなくその前端部をディスク面から離れる方向に変位させることができる。従って、つんのめりによる不安定振動及び局所的な接触力の増大を防止または低減することができ、スライダ及び記録媒体の損傷を低減し信頼性の高いヘッド支持機構並びに磁気記録装置を提供することができる。
【００３９】
また、本発明をコンタクトレコーディング方式に用いれば、不安定振動及び局所的な接触力の増大を防止または低減することができるため、信頼性の高い磁気記録装置が提供できる。
【００４０】
また本発明によるヘッドスライダ回転支持部はそれ自体だけで、摩擦によるスライダの摺動状態の不安定化を防止することができるので、これを従来の浮上スライダ方式のヘッド支持機構に用いられているジンバル部に換えて、支持アームに取り付けるだけで、接触スライダ方式のヘッド支持機構とすることも可能である。この場合、スライダの押し付け荷重が所望の値になるように、支持アームのばね部の剛性等を変えた設計とする必要があるが、ヘッド支持機構系の全長等を同じにすることができるので、磁気ディスク装置設計において、その他の設計を変える部分は非常に少なくて済むという利点がある。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。
図１０に本発明の第１の実施例である磁気ディスク装置を示す。図１０（ａ）は磁気ディスク装置の全体の平面図を示し、図１０（ｂ）は磁気ディスクに対して設定されたヘッド支持機構２７の側面図を示す。図示の装置は、複数の磁気ディスク２０を保持して回転させるスピンドルモータ４５と、前記磁気ディスク上に配置され該磁気ディスクに対して情報の読み出し／書き込みを行う磁気ヘッドと、この磁気ヘッドが取り付けられたスライダ２と、このスライダ２を先端に装着したヘッド支持機構２７と、ヘッド支持機構２７に結合されたガイドアーム７と、ガイドアーム７に結合されガイドアーム７とヘッド支持機構２７を動かして磁気ヘッドを前記磁気ディスク上の所望の位置に位置決めするボイスコイルモータ４４と、を含んで構成されている。
【００４２】
ヘッド支持機構２７は、図１０（ｂ）に示すように、スライダ２が装着されるスライダ回転支持部（以下、回転支持機構という）１と、回転支持機構１を支持する支持アーム３と、支持アーム３を前記ガイドアーム７に取り付けるマウント５と、を含んで構成されている。ガイドアーム７はボイスコイルモータ４４に取り付けられており、これによりスライダ２及びこれに設けられた磁気ヘッド（ヘッド素子）は情報記録媒体である磁気ディスク２０の半径方向に移動可能としてある。
【００４３】
本発明は、上記構成の中で、ヘッド支持機構２７の一部をなす回転支持機構１及びスライダ２に係るものであり、以下の説明においても、それらの部分についての説明を主とし、他の構成についての説明は省略してある。
【００４４】
図１は本発明の第１の実施例に係わるヘッドスライダ、ヘッド支持機構の斜視図である。支持アーム３はマウント５によって、図示しないアクチュエータ（ボイスコイルモータ）により駆動されるガイドアーム７に取り付けられている。一方支持アーム３の先端には回転支持機構１を介してスライダ２が片持ち支持されている。ヘッド支持機構２７はスライダ２を含んで呼ばれる場合もあるし、このスライダ２を除く、回転支持機構１および支持アーム３とマウント５を合せた部分を指すこともある。以下の説明において、特に説明のないときは後者を指すものとする。
【００４５】
図２は図１の回転支持機構１周辺の拡大斜視図である。また図１中の矢印８はヘッド支持機構２７に対する記録媒体（磁気ディスク）の移動方向を示す。以下の説明においては矢印８の指す方向を記録媒体移動方向下流、逆方向を上流と呼ぶ。
【００４６】
スライダ２の後端面（記録媒体移動方向下流側端面）には、記録再生を行うための磁気ヘッド（ヘッド素子）９が設けられている。この実施例では回転支持機構１は一枚の樹脂製薄板で構成されており、支持アーム３側から順に配置された第１の変形可能部１１、第１の剛体部１３、第２の変形可能部１０、第２の剛体部１２からなっている。変形可能部１１は、レーザー加工あるいはエッチング加工等による、記録媒体記録面にほぼ垂直な方向を深さ方向とし、記録媒体移動方向に直交しかつ記録媒体記録面に平行な方向を長手方向とする溝加工を記録媒体に対向する面から行うことによって形成された薄肉部であり、変形可能部１０は、同様の加工を反対側の面から行って形成した薄肉部である。図中の剛体部１３は変形可能部１０、１１に比較して、厚み（記録媒体記録面に垂直な方向の寸法）が大きいために十分剛性が高く、剛体部とみなせる。
【００４７】
変形可能部１１の前端部が支持アーム３の上面に重ねて取り付けられ、変形可能部１１の支持アーム３の上面に重なっていない部分及び剛体部１３と変形可能部１０は、その幅方向（矢印８にほぼ直交する方向）の中央部分が切り抜かれている。すなわち、変形可能部１１は中央の隙間を挟んで平行に並ぶ変形可能部１１ａと変形可能部１１ｂに分かれ、変形可能部１０は中央の隙間を挟んで平行に並ぶ変形可能部１０ａと変形可能部１０ｂに分かれ、剛体部１３は同様に、中央の隙間を挟んで平行に並ぶ剛体部１３ａと剛体部１３ｂに分かれている。また剛体部１２には全体の高さを抑えるために、記録媒体に対向する側からの深さ方向加工によって樹脂製薄板に溝を付け、この溝にスライダ２を埋め込んで接着してある。したがって剛体部１２の剛性は十分に高い。回転支持機構１はこのように構成されているため、回転支持機構１においては変形可能部１０および１１のみにおいて、変形、特にピッチング方向の変形が生じると考えてよい。
【００４８】
スライダ２の後端面に設けられたスライダ端子１８と剛体部１２の上面に設けられた端子１６は、ワイヤーボンディングによって溶着されたワイヤ１７によって接続されている。端子１６から支持アーム３側に続く配線１４は、剛体部１２の前部に設けられたスルーホール１５を介して剛体部１２の下面に繋がり、図２中では隠れているが、変形可能部１０を渡って剛体部１３のスル−ホール１５に接続している。配線１４は、以下同様に変形可能部１１の上面を渡って、変形可能部１１の前端部に配置された根元側端子１９に接続している。この実施例では信号線６がこの根元側端子１９にはんだ付けされ、記録再生信号の伝達を行っているが、信号線６の代わりに支持アーム３上に蒸着等によって形成された一体配線構造とすることもできる。このような構成では信号線６の取り付け工程を省くことができて、生産性を向上させることができる。ここでは２本配線の例を示しているが、磁気ヘッドの再生に磁気抵抗効果（ＭＲ）ヘッドを使用した場合は配線数は４本になる。
【００４９】
図３は回転支持機構１およびスライダ２の媒体移動方向に沿った側面図である。この図３を用いて、本実施例の回転支持機構１の動作を説明する。
【００５０】
図３（ａ）に、スライダ２を記録媒体であるディスク２０上に設定し、図３には図示しない支持アーム３のばね部４によってスライダ２をディスク２０に押し付ける荷重Ｗをかけた状態を示す。このとき、記録媒体は静止している。この状態でスライダの摺動面２２はディスク表面と平行であるために、変形可能部１０および１１はわずかに変形し、支持アーム３は下流側が低くなる方向にごく僅かに傾斜している。この状態で、変形可能部１０の曲げ中心Ｍ１と変形可能部１１の曲げ中心Ｍ２を結ぶ仮想線の延長線２３とディスク２０の表面との交点Ｐがスライダ２の摺動部２２ａ−２２ｂよりも摺動方向（記録媒体移動方向）の上流側になるように、回転支持機構１を構成してある。
【００５１】
ここでいう曲げ中心とは、変形可能部が曲げ変形をするとき、変形可能部の両端部における曲げ中心線の接線の交点と定義する。しかし通常、変形可能部の曲げ変形は微小なので、変形可能部の厚さが一様であれば、変形可能部中央の曲げ中心線上に曲げ中心があるとしても差し支えない。
【００５２】
摺動部２２ａー２２ｂの中央を摺動点２２ｃとみなすと、スライダ２の瞬間回転中心Ｑは変形可能部の曲げ中心Ｍ１とＭ２を結ぶ線の延長線２３と摺動点２２ｃにおける摺動面に対する垂線２４との交点であり、図に示すようにディスク面よりディスク内部側にある。
【００５３】
この状態で装置を起動させる。ディスク２０が矢印２５の方向に回転し摩擦力４６が働くと、図３（ｂ）の状態になる。図３（ｂ）において、点線２６は図３（ａ）の状態を示している。回転支持機構１は、摩擦力４６により、全体的に摺動方向に伸張しながら変形可能部１０がディスク面から離れる方向に変位し、剛体部１２の前端がディスク面から離れる方向に変位することになる。この時の押し付け荷重Ｗ’は初期設定荷重Ｗよりも小さくなる。すなわちスライダ２の摺動面２２はスライダの瞬間回転中心Ｑのまわりに流入（スライダ前方）端２２ｂが持ち上がる方向に変位する。
【００５４】
実際にはディスク２０及びスライダ２の弾性変形があるため，摺動面２２の流入端２２ｂが完全に離れるのではなく、流入側から流出側にかけて大きくなる面圧分布が発生すると考えてもよい。この面圧分布は回転支持機構１の剛体部１２、１３の長さと変形可能部１０、１１の剛性により任意に設計することが可能である。
【００５５】
上述の動作により、摺動時に大きな摩擦力がスライダ２に加わると、スライダ２をディスク面に押しつける荷重の減少も大きく、その結果、摩擦力が低下することになる。ディスク２０が一周する間において摩擦力変動が存在する場合、本実施例のスライダ２、回転支持機構１を備えたヘッド支持機構を用いれば大きな摩擦力にたいしては大きく、小さな摩擦力に対しては小さく摩擦力を減少させる作用が生じ、その結果摩擦力が均一化される。この効果は特に常時摺動しているコンタクトレコーディングにおいて安定接触を実現するのに有効となる。
【００５６】
図４を用いて、本発明に属さない例の動作の相違を説明する。図４は図３（ｂ）と同様の摩擦力が作用した状態を示し、点線はそれぞれヘッド支持機構がディスク２０上に設定された静止状態、実線はディスク２０の回転によって摩擦力が働いた状態を示している。図４に示す例は、回転支持機構１の形状は図２に示したものと類似しているが、変形可能部１０の曲げ中心Ｍ１と変形可能部１１の曲げ中心Ｍ２を結ぶ仮想線の延長線２３とディスク面の交点Ｐがスライダ摺動面２２よりも摺動方向の下流側にある点が前記第１の実施例と相違する。
【００５７】
この時スライダ２の回転中心Ｑは、摺動面よりもスライダ側に存在し、摩擦力が摺動面に働くとスライダ２はこのＱ点回りに回転して摺動部前方がディスク４０に押しつけられる方向に変位し、前のめりのつんのめった状態（ディスク回転方向上流側に向かって倒れ込む状態）となる。またこの時、変形可能部１０もディスクに押しつけられる方向に変位するため、押しつけ荷重も大きくなり、摺動面に加わる摩擦力が大きくなる。このような状態では大きな摩擦力によって、スライダの姿勢が乱れ、不安定振動が発生して摺動が間接的となり、記録再生を行うことはできない。
【００５８】
いうまでもなく、スライダ２がつんのめらない（流入端側に傾かない）限界の状態は、上記の仮想線の延長線２３とディスク面との交点Ｐが摺動面上の摺動点に重なる場合である。これはすなわちスライダ２の回転中心Ｑが摩擦面２１上にある場合である。この状態では、摩擦力が作用してもスライダ２はつんのめることがないだけでなく、流入端２２ｂが上がることもない。このような状態も本発明の範囲であり、安定に摺動することが可能である。ただし、この状態は非常に狭い範囲の条件であり、摺動点の変動や各種の誤差に対するマージンは小さい。
【００５９】
また前記第１の実施例では樹脂製材料を回転支持機構１に用いているので、樹脂性材料の有する高い減衰効果を利用でき、磁気ヘッド及び回転支持機構１の振動を抑制する効果を高めることができる。
【００６０】
また、樹脂性材料を用いているため、第２の変形可能部１０、第１の変形可能部１１の曲げ剛性は小さく、この部分の変形による媒体移動方向への摺動面（スライダ２）の運動の固有振動数は２００Ｈｚ以下である。したがってこのヘッド支持機構系２７を用いてコンタクト記録を行うと、スライダ２は固有振動数以上の周波数には慣性遅れのために応答しないため、ディスク摺動時に摺動面から入力される摩擦力の振動成分の内で、２００Ｈｚ以上の高い周波数を有する摩擦力の変動成分により励振されない。
【００６１】
図２においては、第２の変形可能部１０、第１の変形可能部１１と剛体部１３はそれぞれ２つに別れている。すなわち１０ａ−１３ａ−１１ａと繋がる列（以下、右側支持列）と１０ｂ−１３ｂ−１１ｂと繋がる列（以下、左側支持列）である。前述の説明ではスライダ２をディスク２０上に設定する際に、ヘッド支持機構系２７の設定誤差等がなく、スライダ２がローリング方向に傾かない場合について説明した。この場合には右側支持列、左側支持列ともに同じ角度で設定され、動作についてもまったく同様となる。
【００６２】
一方、装置組み込み時の取り付け部の誤差、加工上の誤差等によって、スライダ２にローリング方向の傾きがあった場合には、その傾きは剛体部１２と各列の変形可能部１０ａおよび１０ｂとの接続部分の高さの差になって現れる。しかしこの場合には、各列は独立に変形することにより姿勢が設定されるので、その結果これらのローリング方向の誤差は吸収され、解消される。
【００６３】
図５はこのようなローリング方向の設定誤差を吸収するための本発明の第２の実施例の回転支持機構１を示す。図示の回転支持機構１は、図２に示す回転支持機構の剛体部１２の中央部を四角に切り抜き、その上面に薄板をエッチングによって形成した枠体２８を接着し、スライダ２が下面から接着されたスライダ接着部２９とこの枠体２８の間を、このスライダ接着部２９を記録媒体移動方向と平行で前記枠体２８上に存在する軸線３１回りにのみ回転可能に支持する第２支持部である狭幅支持部３０によって連結される構造としている。このようなローリング方向ジンバル構造では、スライダ２が傾いて設定された場合、スライダ２のディスク面に接触している部分にディスク面から離れる方向の回転モーメントが作用する。この回転モーメントにより狭幅支持部３０がねじり変形し、スライダ２の接触している側が押し上げられ、逆に接触していない側が押し下げられる方向にスライダ接着部２９が回転し、スライダ摺動面２２はディスク面に平行に設定される。このようにスライダ接着部２９と狭幅支持部３０が動作することにより、スライダ２のローリング方向の設定誤差が吸収され、解消される。
【００６４】
図５に示すローリング方向ジンバル構造を用いた場合、図２の２列支持構造に比較して、ジンバルの薄板を成形して接着する分、製造工程が増えるが、回転支持機構１の媒体移動方向に直角な方向の剛性が上がる。そのため剛体部１２（スライダ２を含む）が首を振るような振動モードの固有振動数が上昇するので、磁気ヘッドのトラック移動（媒体移動方向と直角方向への移動）に際して、制御帯域を拡大できるという利点がある。
【００６５】
図６に本発明の第３の実施例を示す。本実施例は、薄板の折り曲げ加工によって回転支持機構１を構成したものである。図示の回転支持機構１は、薄板の幅方向両端を上方にフランジ曲げ加工し、形成されたフランジの一部を幅方向両側で対称に切り欠いて変形可能部１０および変形可能部１１を構成したものである。
【００６６】
図示のように、回転支持機構１は、支持アーム３の側から、支持アーム３の下面に取り付けられた取付け部と、この取付け部に続く変形可能部１１と、変形可能部１１に続く剛体部１３と、この剛体部１３に続く変形可能部１０と、この変形可能部１０に続く剛体部１２からなり、剛体部１２，１３はその幅方向両側にフランジ部３２、３３を備えている。変形可能部１０および１１は、ディスク面に垂直で記録媒体の移動方向に平行な面内において、上述の変形可能部の曲げ中心Ｍ１，Ｍ２を通る仮想線の延長線とディスク面の交点Ｐがスライダ摺動面より媒体移動方向上流側に来るように、あらかじめ曲げられる。より望ましくは、支持アーム３のばね部４によってスライダ２がディスク面に荷重Ｗで押し付けられた状態では、変形可能部１０、１１もわずかながら変形するので、荷重Ｗがかかった状態において上記の摺動面と交点Ｐの位置関係を満たす状態になるように、初期曲げ角を設定しておくことである。
【００６７】
また剛体部１２、１３には幅方向の両端にフランジ加工３２、３３を施すことにより、ディスク面に垂直で記録媒体の移動方向に平行な面内での曲げに対する剛性を上げてある。
【００６８】
図６の実施例では、さらに図５のようなローリング方向ジンバルを剛体部１２に設けてあるが、変形可能部１０、１１および剛体部１３を分割して、図２のような２列支持構造とすることも有効である。
【００６９】
また、上記第３の実施例のように回転支持機構１の材料に薄板を用い、剛体部としたい個所にフランジ曲げ加工を行って剛体部１２，１３を形成する代りに、変形可能部としたい部分をハーフエッチングして厚みを減らして変形可能部を形成してもよい。この場合も、図２に示すような２列支持構造にしてもよいし、図５に示したようなローリング方向ジンバル構造としてもよい。
【００７０】
図７は図２と同様に樹脂製薄板によって回転支持機構１を構成した例であるが、変形可能部としたい部分を互いに反対側の面から溝加工する代りに、同じ側（いずれもディスク面と反対側）から溝３４を設けるような加工とすることにより変形可能部１０，１１を設け、さらに、変形可能部１０，１１及びその間の剛体部１３の幅方向中央部分を取り去って２列支持構造の回転支持機構１を構成してある。また図７に示した例のような２列支持構造の代わりに、第２の剛体部１２にローリング方向ジンバル構造を用いることもできる。
【００７１】
図６および図７に示す実施例共に、組み立てを容易にするために、磁気ヘッドからの配線は薄板上に蒸着等で形成するような配線一体構造とすることが望ましい。
【００７２】
図８に本発明の第５の実施例の回転支持機構１を示す。これまでの実施例では、磁気ヘッドを搭載したスライダ２を回転支持機構１に接着していたが、図８に示す回転支持機構は、ヘッド素子、配線を含む集積一体型構造体とした例である。ここでの集積一体型構造体とは、回転支持機構とヘッド素子及びスライダの製作方法に関係するものである。ここでは、薄膜形成加工技術によって本発明の回転支持機構を制作し、かつこの製作過程においてその内部にヘッド素子を埋設するか、支持アームを形成した後に第２の剛体部の後端部にヘッド素子部を直接形成することで得られた構造体のことを定義している。このように集積一体型構造体とすることで、これまでのように回転支持機構とヘッド素子を形成したスライダを接着する場合に比べ、ヘッド取り付け位置の位置ずれを防止できると共に、素子と配線との接続やそれに伴う位置決めの工程を省くことができ、コストが低減できるという利点がある。また、スライダを接着する場合に比べ、容易に全体をロープロファイル化でき、装置を小型化できるという利点もある。
【００７３】
図８において、図８（ａ）は集積一体型構造体で第１のヘッド支持部である回転支持機構１を形成する例を示しており、図８（ｂ）は図８（ａ）のヘッド素子３５部の拡大図である。変形可能部１０，１１は配線を兼ねるため、銅あるいは金の薄膜をそれ単体またはＡｌ（アルミニウム）２Ｏ３等の絶縁膜ではさんだサンドイッチ構造３８で形成してある。銅あるいは金の薄膜またはＡｌ２Ｏ３等は、必要な配線の本数に応じて分割しておけばよい。剛体部１２、１３及び支持アーム取り付け部３６の母材３７は、サンドイッチ構造３８にＡｌ２Ｏ３をスパッタリングにより形成した。第２の変形可能部１０のサンドイッチ構造３８と第１の変形可能部１１のサンドイッチ構造３８との間を電気的に接続するため、両者間に銅、あるいは金等で導電体５０を形成してある。配線１４は剛体部１２を構成する母材３７中に構成することが望ましいが、母材表面上にスパッタリングによって形成し、変形可能部１０のサンドイッチ構造３８に連結してもよい。
【００７４】
ヘッド素子３５は、回転支持機構１を形成した後、第２の剛体部１２の後端部に形成される。次いで、ヘッド素子３５及び第２の剛体部１２の後端部の下面（摺動面２２）に媒体対向面保護膜３９を形成した後、エッチング加工技術により剛体部１２の下面を削り込んで摺動面を成す摺動パッド４０（下方への突出部）を形成している。媒体対向面保護膜３９を含む突起部を摺動パッド４０という。
【００７５】
次に、図８（ｂ）でヘッド素子部の詳細を説明する。記録用素子４１には、銅製あるいはアルミニウム合金製のコイル４１ａ及び鉄ーニッケル合金のパーマロイ軟磁性膜で形成した磁極４１ｂ、再生用素子４２には、磁気抵抗効果の大きいパーマロイの磁気抵抗効果素子４２ａ及び鉄ーニッケル合金のパーマロイ軟磁性膜で形成した磁極４２ｂ、電極４３には銅あるいは金、これら素子部品を取り囲む部分には絶縁膜および保護膜の働きをするＡｌ２Ｏ３を形成した。これらのヘッド素子部は全てスパッタリング、蒸着、エッチング、メッキなどの薄膜形成加工技術により順次形成した。再生用素子４２にはパーマロイとＣｏ合金との積層膜、パーマロイやＣｏ合金とＮｉＯなどの反強磁性膜との積層膜、磁極４２ｂはＦｅ−Ｎｉ合金の他、Ｃｏ−Ｆｅ系合金、ＦｅーＡｌ−Ｓｉ合金などの軟磁性材料でもよい。
【００７６】
変形可能部１０，１１及び摺動面２２の位置関係は前記第１の実施例の場合と同様に設定され、したがって摺動面に摩擦力が働いた際の回転支持機構の動作については本発明の第１の実施例と同様である。
【００７７】
またコイル４１ａを剛体部１２中で媒体移動方向平面内に形成すれば、ヘッド素子３５を内蔵した回転支持機構１全体をさらにロープロファイル化することもできる。
【００７８】
図８には図示されていないが、実際には図２に示す例と同様に、第１、第２の変形可能部と第１の剛体部は幅方向に２分割されており、ローリング方向の設定誤差を吸収できる構造となっている。もちろんそのかわりに、第２の剛体部１２においてローリング方向ジンバル構造をエッチングによって形成し、図５の枠体２８に相当する部分と第２支持部３０に相当する部分に配線１４を通す構造とすることもできる。
【００７９】
図９に示す第６の実施例は、第１の実施例において、複数の摺動パッドを持つスライダ２を取り付けた例である。図９（ａ）はスライダ２を摺動面側からみた斜視図であり、図９（ｂ）は側面図である。スライダ２には複数の摺動パッドを設けることができるが、望ましくはヘッド素子３５を備える素子パッド４０ａが１つ、スライダ後端に設けられ、前端に２つの摺動パッド４０ｂが分かれて並べてあるような３パッド方式とする構成が望ましい。この場合には３つのパッドによってディスク表面に倣った平面が規定され、スライダのピッチング方向に対しては回転支持機構１全体で、ローリング方向に対しては図２または図３で述べたような２列支持機構またはジンバル機構によって、設定誤差を吸収し、スライダの姿勢を安定化できるためである。また図３でいうところのスライダ摺動部２２ａ−２２ｂに相当する部分は素子パッド４０ａの最後端と摺動パッド４０ｂの最前端の間である。したがってこの場合には、回転支持機構１において、変形可能部を結ぶ仮想線の延長線２３とディスク面の交点Ｐは、図９（ｂ）中に示されるように、最前部の摺動パッド４０ｂの最前端より媒体移動方向上流側に設定されなくてはならない。
【００８０】
図１０に示す本発明の実施例である磁気ディスク装置では、磁気ディスク２０はスピンドルモータ４５に取り付けられており、５４００ｒｐｍ〜１００００ｒｐｍで回転する。スピンドルモータ、その他の性能が許せば、これ以上の回転数で回転することも可能であるし、さらに低回転数側で用いてもよい。ディスクは多数枚搭載されており、図１０（ｂ）に、そのうちの２枚のディスク間での構成を示す。本実施例のように、上述した集積一体型構造体として構成した回転支持機構を用いればディスク間隔を狭めることが容易で、ディスク装置の薄型化に好適である。また、上述の各実施例で説明した本発明に係わるスライダ回転支持機構を用いることができることは、言うまでもない。
【００８１】
以上本発明に係る実施例を図を用いて説明した。いずれの実施例を用いても、摩擦力が働いてもつんのめることなく安定に摺動するため、磁気ヘッドスライダと磁気記録媒体が常時接触しているコンタクト方式を実現でき、これにより２Ｇｂｉｔ／ｉｎｃｈ２相当の高記録密度が達成される。
【００８２】
なお、実施例では、主に磁気ディスク装置を例に説明したが、本発明は磁気ディスク装置に限らず、それ以外の一般の磁気記録装置でも、記録媒体と磁気ヘッドまたは磁気ヘッドを支持する部材を摺動させる装置であれば、適用可能である。  また、上述の各実施例において、磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果素子を含んだ記録再生素子を用いてもよいし、インダクティブヘッドのみ、またはその他の磁気ヘッド、さらには光学素子を用いるものを用いることも可能である。
【００８３】
上述の各実施例の説明において、ピッチングとは、記録媒体に平行で記録媒体の移動方向に垂直な方向に回転軸を持つ回転運動を言い、ローリングとは、記録媒体の移動方向に回転軸を持つ回転運動を言う。
【００８４】
尚、以上の説明で用いた図面は、説明の関係上、縦横比、各部の寸法比は必ずしも正しくない。
【００８５】
【発明の効果】
本発明によれば、磁気ヘッドスライダが磁気記録媒体と接触摺動する際、摩擦力が働くと、スライダを記録媒体に押しつけている荷重が減るとともにスライダの前方があがる方向に変位することから、スライダのつんのめりによる不安定振動、及び局所的な応力の発生を回避できると共に摩擦力が均一化されるという効果もある。また本発明によれば、コンタクトレコーディング方式の磁気記録装置の高密度化、大容量化が可能となるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例のヘッド支持機構系とスライダを示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施例の部分の詳細を示す斜視図である。
【図３】図２に示す実施例の作用を説明する側面図である。
【図４】本発明とは異なるヘッド支持機構の動作を説明する側面図である。
【図５】本発明の第２の実施例の回転支持機構とスライダの斜視図である。
【図６】本発明の第３の実施例の回転支持機構とスライダの斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施例の回転支持機構とスライダの斜視図である。
【図８】本発明の第５の実施例の磁気ヘッド一体型回転支持機構の斜視図である。
【図９】本発明の第６の実施例のスライダの詳細を示す斜視図である。
【図１０】本発明を用いた磁気ディスク装置の平面図と部分断面図である。
【符号の説明】
１  回転支持機構                    ２  スライダ
３  支持アーム                      ４  ばね
５  マウント                        ６  信号線
７  ガイドアーム                    ８  矢印
９  磁気ヘッド                      １０  第２の変形可能部
１１  第１の変形可能部              １２  第２の剛体部
１３  第１の剛体部                  １４  配線
１５  スルーホール                  １６  端子
１７  ワイヤ                        １８  スライダ端子
１９  根元側端子                    ２０  ディスク
２２  摺動面                        ２２ａ  摺動面の流出端
２２ｂ  摺動面の流入端              ２２ｃ  摺動点
２３  延長線                        ２４  垂線
２５  矢印                          ２６  点線
２７  ヘッド支持機構                ２８  枠体
２９  スライダ接着部                ３０  挟幅支持部
３１  軸線                          ３２  フランジ部
３３  フランジ部                    ３４  溝
３５  ヘッド素子                    ３６  支持アーム取付け部
３７  母材                          ３８  サンドイッチ構造
３９  媒体対向面保護膜              ４０  摺動パッド
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ  摺動パッド  ４１  記録用素子
４１ａ  コイル                      ４１ｂ  磁極
４２  再生用素子                    ４２ａ  磁気抵抗効果素子
４２ｂ  磁極                        ４３  電極
４４  ボイスコイルモータ            ４５  スピンドルモータ
４６  摩擦力                        ５０  導電体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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