(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被封止体が載置される樹脂封止のための金型の下型の表面に接近して該下型の表面に前記被封止体を載置・解放可能とされたローダを含んでなり、前記被封止体を樹脂封止する樹脂封止装置において、
前記ローダに取り付けられて該ローダと共に移動自在とされ、且つ、自身の吸引口が下方に開口して前記下型の表面の異物を吸引可能とされた下型用のクリーナを備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】
請求項１において、
樹脂封止された被封止体を前記下型から搬出するためのアンローダを備え、且つ、該アンローダにも下型用のクリーナが取り付けられて、２つの下型用のクリーナを備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記ローダに取付けられた下型用のクリーナは、前記ローダに前記被封止体を供給する被封止体供給部の表面の異物を吸引可能とされた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記ローダに取付けられた下型用のクリーナは、前記被封止体を加熱して温度調節する予熱器の表面の異物を吸引可能とされた
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記下型への接近時における該下型に臨む前記ローダの側部に前記下型用のクリーナが設置された
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレーム等の被封止体及びタブレットを金型に搬入して該被封止体を樹脂で封止する樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は一般的な樹脂封止装置の全体構造を示す平面図である。
【０００３】
樹脂封止装置１００は、被封止体が載置される被封止体載置部の表面に接近して被封止体を載置・解放可能とされたローダ１０２、アンローダ１０４を備えている。尚、被封止体としては、リードフレーム、半導体の基板、フィルム、テープ等（以下、「リードフレーム等」という）がある。又、被封止体載置部としては、金型の下型１０６、被封止体供給部１１２及び予熱器１１６等がある。
【０００４】
ローダ１０２はリードフレーム等を被封止体供給部１１２においてピックアップし、予熱器１１６を経由して下型１０６に搬送し、該下型１０６のキャビティ（図示省略）に載置・解放する。尚、リードフレーム等は予熱器１１６において温度調節される。
【０００５】
又、ローダ１０２は、熱硬化性の樹脂素材を円柱状に成型したタブレットをタブレット供給部１１４においてピックアップし、金型の下型１０６に搬送してポット（図示省略）に投入する。
【０００６】
下型１０６内は予め加熱されており、タブレットは該下型１０６内で軟化する。下型１０６と上型（図示省略）とを型締めした後、軟化した樹脂はポットからランナと呼ばれる供給路（図示省略）を通ってキャビティ内に圧入される。圧入後、樹脂は更に加熱されて硬化し、これによりリードフレーム等がキャビティ内で樹脂封止される。尚、ランナにおけるキャビティ側の端部はゲートと呼ばれている。
【０００７】
一般的に、ポット及びキャビティは下型１０６に複数設けられており複数のリードフレーム等が同時に樹脂封止されるが、ランナに残存した樹脂（以下カルと呼ぶ）も熱硬化するため、該カルを介して複数のリードフレーム等が相互に結合した半完成品が形成される。
【０００８】
下型１０６から上型を分離した後、アンローダ１０４が半完成品を下型１０６からピックアップしてゲートブレーカー１０８に搬送する。
【０００９】
ゲートブレーカー１０８はカルを（ゲートに相当する）端部において切断して半完成品から切り離し、これにより樹脂封止製品が完成する。完成品は完成品取出口１２０から排出される。
【００１０】
樹脂封止後、半完成品が取り除かれた下型１０６には樹脂の一部が残存していることがある。又、ゲートブレーカー１０８からカルの砕片が飛来して落下・付着することがある。
【００１１】
このような異物が下型に付着した状態で樹脂封止を行うとリードフレーム等の下面のリードパターン等が異物のために損傷することがある。このような不良品の発生を防止するため、従来アンローダ１０４にクリーナ１１０を設置して下型１０６及びゲートブレーカー１０８の異物を除去していた。
【００１２】
クリーナ１１０は吸引口が下方に開口すると共に、吸引口内にブラシを備え、ブラシで下型１０６及びゲートブレーカー１０８の表面を掻き取りつつ残留樹脂等の異物を真空吸引するようにされている。具体的には作業性を考慮して、下型１０６から半完成品をピックアップした直後に下型１０６の表面を吸引し、又、リードフレーム等をゲートブレーカー１０８に載置する直前に該ゲートブレーカー１０８の表面を吸引していた。
【００１３】
これにより、樹脂封止作業におけるリードパターン等の損傷を防止することができると考えられていた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、クリーナ１１０を設置してもなおリードパターン等が損傷することがあった。
【００１５】
本発明は、このような樹脂封止作業におけるリードパターン等の損傷を防止することを目的とする。
【００１６】
本発明は、被封止体が載置される樹脂封止のための金型の下型の表面に接近して該下型の表面に前記被封止体を載置・解放可能とされたローダを含んでなり、前記被封止体を樹脂封止する樹脂封止装置において、前記ローダに取り付けられて該ローダと共に移動自在とされ、且つ、自身の吸引口が下方に開口して前記下型の表面の異物を吸引可能とされた下型用のクリーナを備えたことにより、上記課題を解決したものである。
【００１７】
発明者は、樹脂封止におけるリードパターン等の損傷を防止すべく該損傷の原因を調査したところ、リードフレーム等の下面に異物が付着していたため、型締め及び樹脂の圧入によりリードパターン等が損傷したものと判明した。
【００１８】
即ち、アンローダにクリーナを設置したにも拘らず、リードフレーム等の下面に異物が付着してリードパターン等が損傷することがあった。
【００１９】
アンローダに設置されたクリーナを調査しても異常は認められず、下型及びゲートブレーカーの表面の異物の吸引も正常に行われていた。
【００２０】
発明者は、リードフレーム等の下面に異物が付着する原因を更に調査したところ、従来、異物の付着の原因と考えられていた樹脂封止後の下型の残存樹脂、ゲートブレーカーから飛来する樹脂の砕片の他、空気中に漂う異物が下型の表面に付着してリードパターン等が損傷する場合があることを突き止めた。
【００２１】
具体的には、アンローダに設置されたクリーナが下型の表面の異物を吸引してから、該下型にローダが次のリードフレーム等を載置するまでの間に、空気中の異物が下型の表面に付着し、これによりリードパターン等が損傷する場合があると考えられる。
【００２２】
即ち、樹脂封止装置は一般的にクリーンルーム内に設置され、元来雰囲気中に漂う異物の量が少ない上、アンローダにクリーナを備えていたため、従来、このような空気中に漂う異物が下型の表面に付着することはないと考えられていたが、想定されていた異物とは全く発生原因及び質が異なる異物がリードパターン等の損傷の一因となっていることを突き止めたものである。
【００２３】
以上の知見から、発明者はローダにクリーナを取り付けるという本発明に想到した。
【００２４】
このようにすることで、ローダがリードフレーム等を下型等の載置部に載置する直前に、該ローダに取り付けられたクリーナが載置部の表面の異物を吸引することが可能となる。従って、アンローダに取り付けられたクリーナが載置部の表面の異物を吸引してから、ローダが載置部にリードフレーム等を載置するまでの間に空気中に漂う異物が載置部の表面に付着しても、この付着した異物を確実に除去してから載置部にリードフレーム等を載置することが可能となる。
【００２５】
即ち、異物に起因するリードフレーム等の損傷を防止することができ、樹脂封止の信頼性を高めることができる。
【００２６】
特に、下型の表面における異物の存在がリードフレーム等の損傷に直接影響するため、（前記クリーナが表面を吸引する）前記載置部が、樹脂封止のための金型の下型であれば、リードフレーム等の損傷を防止する効果が大きい。
【００２７】
又、前記ローダに取付けられた下型用のクリーナが、前記ローダに前記被封止体を供給する被封止体供給部の表面の異物を吸引可能であるようにしてもよい。
【００２８】
発明者は、空気中に漂う異物が下型の表面に直接落下して付着することがある他、被封止体供給部の表面に異物が落下してリードフレーム等の下面に付着し、リードフレーム等と共に下型に搬送されることがあることを発見した。
【００２９】
ローダは被封止体供給部に接近してリードフレーム等をピックアップするので、ローダにクリーナを取り付ければ、該クリーナが被封止体供給部の表面の異物を吸引することが可能となり、該被封止体等供給部におけるリードフレーム等への異物の付着を防止することができる。
【００３０】
又、前記ローダに取付けられた下型用のクリーナが、前記被封止体を加熱して温度調節する予熱器の表面の異物を吸引可能であるようにしてもよい。
【００３１】
樹脂封止装置は、金型に搬送する前にリードフレーム等を加熱する予熱器を備えたものがある。発明者は該予熱器にも前記被封止体供給部と同様に空気中に漂う異物が落下し、リードフレーム等の下面に付着することがあることを突き止めた。
【００３２】
ローダは予熱器を経由して被封止体供給部から下型にリードフレーム等を搬送するので、ローダにクリーナを設置すれば該クリーナにより予熱器の表面を吸引することが可能となり、該予熱器においてリードフレーム等に異物が付着することを防止することができる。
【００３３】
尚、金型の下型、被封止体供給部及び予熱器の２以上の部位の表面をクリーナで吸引すれば、異物がリードフレーム等に一層付着し難くなり、樹脂封止の信頼性を更に高めることができることは言うまでもない。
【００３４】
又、前記下型への接近時における該下型に臨む前記ローダの側部に前記下型用のクリーナを設置するとよい。
【００３５】
このようにすることで、下型の表面の吸引及び該下型へのリードフレーム等の載置を連続して行うことが可能となる。これにより、吸引直後、即ち、新たに下型の表面に異物が付着する前に下型にリードフレーム等を載置することができるので、樹脂封止の信頼性を一層高めることができると共に、作業効率も高めることができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３７】
図１は、本実施形態に係る樹脂封止装置１０の全体構造を示す略平面図である。
【００３８】
図２は、ローダ１０２に取り付けられたクリーナ１４の構造を拡大して示す前面図である。
【００３９】
図３は、図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【００４０】
図４は、同クリーナの側面図である。
【００４１】
樹脂封止装置１０は、ローダ１０２に取り付けられて該ローダ１０２と共に移動自在とされ、且つ、自身の吸引口１４Ａが下方に対向して下型（載置部）１０６の表面の異物を真空吸引可能とされた下型用のクリーナ１４を備えたことを特徴としている。
【００４２】
更に、樹脂封止装置１０は、クリーナ１４が被封止体供給部（載置部）１１２及び予熱器（載置部）１１６の表面の異物を真空吸引可能とされたことを特徴としている。
【００４３】
クリーナ１４は、下型１０６への接近時における該下型１０６に臨むローダ１０２の側部１０２Ａに設置されている。
【００４４】
他の構造については、前記従来の樹脂封止装置１００と同様であるので、図５と同一の符号を付することとして説明を省略する。
【００４５】
クリーナ１４は具体的には、下面が開口した箱体１４Ｂと、該箱体１４Ｂの下端を取り囲むように設置されたゴムスカート１４Ｃと、箱体１４Ｂの上端近傍に連結された２本のフレキシブルホース１４Ｄと、上端においてローダ１０２に支持され下端において箱体１４Ｂを支持する上下方向伸縮自在のアクチュエータ１４Ｅと、を含んで構成されている。
【００４６】
フレキシブルホース１４Ｄは真空ポンプ（図示省略）に連結されている。
【００４７】
次に、樹脂封止装置１０の作用について説明する。
【００４８】
ローダ１０２は下型１０６に搬送するリードフレーム等をピックアップするために、被封止体供給部１１２に移動する。被封止体供給部１１２においてローダ１０２はリードフレーム等を真空吸着した後、若干上昇してから後方（図１における上側）に移動する。この際、クリーナ１４はゴムスカート１４Ｃを近接させつつ被封止体供給部１１２の表面を真空吸引する。
【００４９】
被封止体供給部１１２には次に供給するリードフレーム等が載置される。被封止体供給部１１２の表面が真空吸引されて異物が除去されているので、次に供給するリードフレーム等の下面に異物が付着することがない。
【００５０】
次にローダ１０２は予熱器１１６に移動する。ローダ１０２が予熱器１１６に接近する際、クリーナ１４は該予熱器１１６の表面を真空吸引して異物を除去する。次にローダ１０２は予熱器１１６上にリードフレーム等を載置・解放する。予熱器１１６の表面の異物が除去されているので、該予熱器１１６においてもリードフレームの下面に異物が付着することがない。
【００５１】
予熱器１１６がリードフレームを加熱して予熱処理が終了した後、ローダ１０２は該予熱器１１６の上のリードフレーム等を再びピックアップして、下型１０６に移動する。なお、ローダ１０２は、タブレット供給部１１４においてタブレットをピックアップし、リードフレーム等と共にタブレットも保持して下型１０６に移動する。
【００５２】
ローダ１０２が下型１０６Ａに接近する際、クリーナ１４は、該下型１０６の表面を真空吸引して異物を除去する。
【００５３】
次に、ローダ１０２は、該下型１０６のポットにタブレットを投入すると共にキャビティにリードフレーム等を載置・解放する。下型１０６は予め加熱されており、該下型１０６でタブレットは軟化する。
【００５４】
クリーナ１４が異物を除去した直後に、連続してリードフレーム等が下型１０６に載置されるので、下型１０６の上に異物が付着した状態で該下型１０６の上にリードフレーム等が載置されることがない。
【００５５】
即ち、被封止体供給部１１２、予熱器１１６及び下型１０６のいずれにおいてもリードフレーム等の下面に異物が付着することがない。
【００５６】
次に、上型と下型１０６とを当接させて型締めした後、熱で軟化した樹脂をキャビティ内に圧入して熱硬化させ、リードフレーム等を樹脂封止する。
【００５７】
樹脂封止後、上型と下型１０６とを分離した後、アンローダ１０４が下型１０６に接近する。アンローダ１０４は樹脂封止されたリードフレーム等をピックアップして若干上昇した後、後方に移動する。この際、該アンローダ１０４に備えられたクリーナ１１０は、下型１０６上の残存樹脂をブラシで掻き取りつつ真空吸引する。
【００５８】
次に、アンローダ１０４はゲートブレーカー１０８に移動する。アンローダ１０４が前方（図１における下側）に移動しつつゲートブレーカー１０８に接近する際、クリーナ１１０はゲートブレーカー１０８の表面をブラシで掻き取りつつ真空吸引して異物を除去する。ゲートブレーカー１０８の上にアンローダ１０４が半完成品を載置・解放すると、ゲートブレーカー１０８は、各リードフレーム等を連結するカルを付根で切断する。これにより、樹脂封止されたリードフレーム等は完成品となり、完成品取出口１２０から排出される。
【００５９】
以後同様に、リードフレーム等の樹脂封止作業を繰り返す。
【００６０】
ローダ１２にクリーナ１４が取り付けられているので、空気中に浮遊する異物が被封止体供給部１１２、予熱器１１６及び下型１０６の上に落下、付着したとしたも、該付着した異物をクリーナ１４が真空吸引して除去した後に、これら下型１０６等の上にリードフレーム等が載置されることになる。この結果、被封止体供給部１１２から予熱器１１６を経由して下型１０６上にリードフレーム等が搬送される間の、リードフレーム等への空気中に浮遊する異物の付着を大幅に低減することができる。これにより、リードフレーム等の下面と下型１０６との間に異物を挟んだ状態でリードフレーム等が樹脂封止されることを防止することができる。
【００６１】
即ち、異物に起因する不良品の発生を大幅に低減することができ、樹脂封止装置１０は、信頼性が高い。
【００６２】
又、ローダ１０２における下型１０６への接近時における該下型１０６に臨む側部１０２Ａにクリーナ１４が設置されているので、下型１０６の表面の吸引及び該下型１０６上へのリードフレームの載置を連続して行うことができ、下型１０６とリードフレームとの間に空気中に浮遊する異物が入り込む確率を大幅に低減することができると共に、作業効率がよい。
【００６３】
尚、ローダの形状、スペース等の事情により、下型への接近時における下型に臨むローダの側部にクリーナを設置することが困難である場合には、ローダの他の部位にクリーナを設置してもよい。
【００６４】
又、本実施の形態において、ローダに取り付けられた下型用のクリーナが下型、被封止体供給部及び予熱器の３つの部位の表面を真空吸引して異物を除去するようにされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、被封止体供給部及び予熱器の一方又は両方の部位における異物の付着が問題とされない場合には、該下型用のクリーナがこれら被封止体供給部及び予熱器のいずれか一方と、下型の表面を真空吸引する樹脂封止装置としてもよい。又、該下型用のクリーナが下型の表面だけを真空吸引する樹脂封止装置としてもよい。
【００６５】
一方、樹脂封止装置が下型、被封止体供給部及び予熱器の３つの部位以外に、被封止体が載置される他の載置部を備えている場合には、ローダに取り付けられたクリーナが該他の載置部の表面を真空吸引する樹脂封止装置としてもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、下型とリードフレーム等の間に異物を挟んで樹脂封止することによる不良品の発生を低減でき、これにより樹脂封止装置の信頼性を大幅に高めることが可能となるという優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る樹脂封止装置の全体構造を示す略平面図
【図２】同樹脂封止装置におけるクリーナの構造を拡大して示す前面図
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図
【図４】同クリーナの構造を示す側面図
【図５】従来の樹脂封止装置の全体構造を示す略平面図
【符号の説明】
１０、１００…樹脂封止装置
１４、１１０…クリーナ
１４Ａ…吸引口
１０２…ローダ
１０２Ａ…側部
１０６…下型（載置部）
１１２…被封止体供給部（載置部）
１１６…予熱器（載置部）
【図１】
0003572287.tif 000002
【図２】
0003572287.tif 000003
【図３】
0003572287.tif 000004
【図４】
0003572287.tif 000005
【図５】
0003572287.tif 000006