(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉状のワークを乾燥させるための乾燥装置であって、
枚葉状のワークが載置される載置部と、
前記載置部を覆うよう配置されるカバーと、
前記載置部に載置された枚葉状のワークに向かって気体を送る送風部と、
前記カバー内部の気体を排気するための排気部と、
前記送風部から送られた気体を前記排気部に向かって案内するよう前記カバー内部の気流を調整する気流調整部と、
を備え、
前記気流調整部は、気体を送り出すための送風機構を有しており、
前記送風部から枚葉状のワークに向かって送られた気体が前記送風機構から送り出された気体により前記排気部に向かって案内されるようになっており、
前記排気部は、前記送風機構の下方に配置されており、
前記カバーは、天井部と、水平面に対して略垂直方向に延びる側部とを有しており、
前記天井部は、前記側部の上端から上方に向かって傾斜するようそれぞれが向かい合って配置される傾斜部分を含んでおり、
前記送風部は、直線状に延びる送風口から枚葉状のワークに向かって気体を送り出すようになっており、
前記送風口は、前記傾斜部分同士が接続される箇所に沿って延びるよう配置されており、
前記カバーには、枚葉状のワークを前記カバーの外部から内部に出し入れするための開口が設けられており、当該開口により前記カバーの内部の空間と外部の空間とが常に連通するようになっている、乾燥装置。
【請求項２】
前記送風部から前記載置部に載置された枚葉状のワークに向かって送られる気体の速度よりも、前記送風機構により送り出される気体の速度のほうが大きい、請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記送風機構は、前記天井部と前記側部とが接続される箇所の近傍に配置されている、請求項１または２記載の乾燥装置。
【請求項４】
前記開口の下端の高さレベルと、前記載置部の載置面の高さレベルとが略同一である、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉状のワークを乾燥させるための乾燥装置、およびこのような乾燥装置による枚葉状のワークの乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板やシート等の枚葉状のワークを乾燥させるための乾燥装置として、例えば特許文献１に開示されているような基板処理装置が存在する。この基板処理装置は、乾燥させられるべき基板を基板収容器の中に密封した後に不活性ガス等の気体を基板収容器内に充満させることにより、基板を乾燥させるようになっている。より詳細には、基板収容器には、不活性ガス等の気体を供給する供給口と、供給口から供給された気体を排気するための排気口等とが設けられている。また、供給口から供給された不活性ガス等を基板収容器内部で拡散させることにより、基板を乾燥させる際に揮発した有機溶剤等（すなわち、有害ガス等）を不活性ガス等に置換するとともに、基板収容器を排気することにより生じる負圧によって基板を乾燥させるようになっている。また、基板を密閉した状態において乾燥処理を行うため、揮発した有機溶剤等の有害なガスを装置の基板収容器の外部に漏らしてしまうことを防ぐことができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−４７５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されているような基板処理装置は、複数枚の基板を連続的に乾燥させる際の処理効率が悪いという問題がある。より詳細には、特許文献１に開示される基盤処理装置を用いて基板を連続的に処理する場合には、ある基板を基板収容器内で乾燥させた後、基板収容器の密封を解除し（具体的には、蓋を持ち上げ）、乾燥済みの基板を取り出し、次に乾燥させるべき基板を投入し、基板収容器を密閉する、という手順を基板ごとに繰り返す必要があり、手間がかかってしまう。また、この基盤処理装置では、揮発した溶剤等の有害なガスを不活性ガス等により置換する際に基板収容器内の気流等を調整するのではなく気体の拡散を用いているため、基板周辺に存在する揮発した溶剤等を不活性ガス等により置換するのに時間がかかってしまうという問題がある。
【０００５】
また、基板が乾燥させられる際に、基板処理容器内に排出された揮発した溶剤等が十分に排気されたことを確認した後に基板を取り出すような場合には、基板の処理効率が更に悪くなってしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、枚葉状のワークを乾燥させる際に有機溶剤等の有害なガスが発生する場合であっても、カバー内部の気流を調整することにより、このような有害ガスを効率的に排気することができるとともに、カバーの一部を常に開口させておくことにより、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる乾燥装置および乾燥方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の乾燥装置は、枚葉状のワークを乾燥させるための乾燥装置であって、枚葉状のワークが載置される載置部と、前記載置部を覆うよう配置されるカバーと、前記載置部に載置された枚葉状のワークに向かって気体を送る送風部と、前記カバー内部の気体を排気するための排気部と、前記送風部から送られた気体を前記排気部に向かって案内するよう前記カバー内部の気流を調整する気流調整部と、を備え、前記カバーには、枚葉状のワークを前記カバーの外部から内部に出し入れするための開口が設けられており、当該開口により前記カバーの内部の空間と外部の空間とが常に連通するようになっていることを特徴とする。
【０００８】
このような乾燥装置によれば、載置部に載置された枚葉状のワークを乾燥させる際に有機溶剤等の有害なガスが発生する場合にも、カバー内部の気流を調整することにより、このような有害ガスを効率的に排気することができるとともに、カバーの内部の空間と外部の空間とを常に連通させる開口を介して枚葉状のワークを出し入れすることにより、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。
【０００９】
本発明の乾燥装置においては、前記気流調整部は、気体を送り出すための送風機構を有しており、前記送風部から枚葉状のワークに向かって送られた気体が前記送風機構から送り出された気体により前記排気部に向かって案内されるようになっていてもよい。
【００１０】
この場合、前記排気部は、前記送風機構の下方に配置されていてもよい。
【００１１】
また、本発明の乾燥装置においては、前記送風部から前記載置部に載置された枚葉状のワークに向かって送られる気体の速度よりも、前記送風機構により送り出される気体の速度のほうが大きくなっていてもよい。
【００１２】
また、前記送風部は、直線状に延びる送風口から枚葉状のワークに向かって気体を送り出すようになっていてもよい。
【００１３】
また、本発明の乾燥装置においては、前記カバーは、天井部と、水平面に対して略垂直方向に延びる側部とを有しており、前記天井部は、前記側部の上端から上方に向かって傾斜するようそれぞれが向かい合って配置される傾斜部分を含んでおり、前記送風口は、前記傾斜部分同士が接続される箇所に沿って延びるよう配置されていてもよい。
【００１４】
本発明の乾燥装置においては、前記送風機構は、前記天井部と前記側部とが接続される箇所の近傍に配置されていてもよい。
【００１５】
また、前記開口の下端の高さレベルと、前記載置部の載置面の高さレベルとが略同一であってもよい。
【００１６】
本発明の乾燥方法は、枚葉状のワークを乾燥させるための乾燥方法であって、枚葉状のワークを出し入れするための開口が設けられ、当該開口により内部の空間と外部の空間とが常に連通しているカバーの内部に枚葉状のワークを載置する工程と、載置された枚葉状のワークに向かって気体を送る工程と、枚葉状のワークに向かって送られた気体の流れを調整する工程と、枚葉状のワークに向かって送られた気体を排気する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
このような乾燥方法によれば、カバーの内部の空間と外部の空間とを常に連通させるような開口を介してカバー内部に載置された枚葉状のワークを乾燥させる際に、有機溶剤等の有害なガスが発生する場合であっても、カバー内部の気流を調整することによりこのような有害ガスを効率的に排気することができるとともに、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の乾燥装置および乾燥方法によれば、カバー内部の気流を調整することによりカバー内部の気体を効率的に排気することができるとともに、カバーの一部を常に開口させておくことにより、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態の乾燥装置の概略的な構成を示す正面図である。
【図２】図１に示す乾燥装置の概略的な構成を示す側面図である。
【図３】図１に示す乾燥装置の概略的な構成を示す上面図である。
【図４】図１に示す乾燥装置を用いて枚葉状のワークを乾燥させる際の構成の一例を説明するための上面図である。
【図５】本実施の形態の乾燥装置の他の例の構成を示す上面図である。
【図６】図５に示す例の乾燥装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図７】本実施の形態の乾燥装置の更に他の例の構成を示す上面図である。
【図８】図７に示す例の乾燥装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図９】本実施の形態の乾燥装置の更に他の例の構成を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図９は、本実施の形態の乾燥装置および乾燥方法を説明するための図面である。このうち、図１は、本実施の形態の乾燥装置の概略的な構成を示す正面図であり、図２および図３は、図１に示す乾燥装置の概略的な構成を示す側面図および上面図である。また、図４は、図１に示す乾燥装置を用いて枚葉状のワークを乾燥させる際の構成の一例を説明するための上面図である。また、図５および図６は、本実施の形態の乾燥装置の他の例の構成を示す上面図および側面図である。また、図７および図８は、本実施の形態の乾燥装置の更に他の例の構成を示す上面図および側面図である。また、図９は、本実施の形態の乾燥装置の更に他の例の構成を示す上面図である。なお、図１乃至図９において、枚葉状のワークを参照符号Ｗで示している。また、図４において、操作者を参照符号Ｍで示している。また、本実施の形態の乾燥装置の概略的な構成を示す上面図を含む図３、図４、図５、図７および図９においては、乾燥装置の各構成部材の配置等についての理解を容易にするため、天井部の描写を省略している。
【００２１】
本実施の形態の乾燥装置１は、例えば表面にインキの付着した樹脂等の枚葉状のワークを乾燥させるための装置である。図１乃至図３に示すように、乾燥装置１は、枚葉状のワーク（図１において参照符号Ｗで表示）を載置するための載置部１０と、載置部１０を覆うよう配置されるカバー２０と、カバー２０の内側に配置される送風部３０、排気部４０および気流調整部５０とを有している。また、載置部１０の載置面は、水平面に沿った平面となっており、乾燥させる対象となる枚葉状のワークを２枚並べて載置することができるようになっている。また、カバー２０は、水平面（すなわち、載置部１０の載置面に平行な面）に対して垂直に延びる側部２８と、天井部２４とを有している。より詳細には、側部２８は、水平面に対して垂直に延びる４枚の板状部材から構成されている。また、天井部２４は、側部２８のうち対向する一対の板状部材の上端部から上方に向かって傾斜するようそれぞれが向かい合って配置される傾斜部分２５（図１参照）と、水平面に対して垂直に延びる側部分２６（図２参照）を含んでいる。また、傾斜部分２５同士が接続される接続箇所２５ａは、乾燥装置１の奥行き方向（すなわち、図２における左右方向）に沿って伸びている。また、接続箇所２５ａは、カバー２０の幅方向（すなわち、図１における左右方向）における中央近傍の箇所に位置するようになっている。また、図１に示す乾燥装置１においては、各傾斜部分２５は、水平面に対してそれぞれ同じ角度で傾斜している。
【００２２】
また、側部２８を構成する４枚の板状部材のうちの１枚には、カバー２０の内部の空間と外部の空間とを連通させるための略長方形形状の開口２２が設けられている。より詳細には、開口２２は、その下端部の高さレベルと、載置部１０における枚葉状のワークの載置面の高さレベルとが略同一となるような位置に形成されている。また、開口２２は、カバー２０の内部の空間と外部の空間とを常に連通させるようになっている。言い換えると、本実施の形態による乾燥装置１には、開口２２を選択的に塞ぐことができるような蓋部材等は設けられておらず、開口２２は常に乾燥装置１の外部から視認することができるようになっている。また、操作者は常に外部に露出している開口２２を介して枚葉状のワークをカバー２０の内部から外部に出し入れするようになっているため、開口２２を介した枚葉状のワークの出し入れを効率よく行うことができるようになっている。より詳細には、枚葉状のワークをカバー２０の内部に出し入れする際に蓋部材等を開閉する等の動作を行う必要がなく、また、両手で枚葉状のワークの把持や出し入れを行うことができるため、枚葉状のワークを乾燥させる際の処理効率を向上させることができるようになっている。なお、操作者は、枚葉状のワークを片手で把持および運搬するようになっていてもよい。
【００２３】
また、送風部３０は、載置部１０に載置された枚葉状のワークに向かって気体を送るようになっている。より詳細には、送風部３０は直線状（具体的には、図２における左右方向）に延びる送風口３２を含んでおり、この送風口３２から載置部１０に載置された枚葉状のワークに向かって気体が送られるようになっている（図１に示す矢印参照）。このように、直線状に延びる送風口３２から気体を送るようになっているため、枚葉状のワークに向かって略均一に気体を送ることができ、よって枚葉状のワークに付着したインキを均一に乾燥させることができるようになる。
【００２４】
より詳細には、送風口３２は、カバー２０における傾斜部分２５同士が接続される接続箇所２５ａの近傍に配置されるようになっている。言い換えると、図１に示すように、カバー２０の天井部２４には送風口３２が配置される箇所の近傍以外の角部（すなわち、接続箇所２５ａ以外の角部）が無いため、送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体が、カバー２０内部における対流により送風口３２の側方に戻ってきてしまうことを抑制することができるようになっている。より具体的には、カバー２０が側方（すなわち、図１における紙面に直交する方向）からみたときに略長方形形状となるような形状をしている場合には、送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体がカバー２０の内部における対流によって上記の略長方形形状における上方に位置する角部の近傍に留まってしまうことによりこのような気体の効率的な排出を妨げてしまうという問題がある。これに対し、本実施の形態におけるカバー２０は、側方（すなわち、図１における紙面に直交する方向）からみたときの形状が略五角形形状であるため、角部の近傍に気体が留まってしまうことを防止することができるようになり、よってこのような問題を解決することができるようになっている。このため、送風口３２から送られた気体は、載置部１０に載置された枚葉状のワークに向かったあと、効率的に排気部４０（後述）に向かって送られるようになっている。
【００２５】
また、本実施の形態による乾燥装置１は、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られる気体の温度を調整する温度調整機構（図示せず）を有している。このため、温度調整機構により送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られる気体の温度を例えば上昇させることにより、この枚葉状のワークの表面に付着したインキ等を乾燥させる際の効率を向上させることができるようになっている。
【００２６】
図１乃至図３に示すように、排気部４０は、カバー２０の幅方向（すなわち、図３における左右方向）における端部近傍に配置されており、カバー２０内部の気体をカバー２０の外部に排気するようになっている。より詳細には、排気部４０はガス処理設備（図示せず）に接続されるとともに、排気部４０によりカバー２０の内部から排気される気体はこのガス処理設備により処理されるようになっている。このため、揮発した溶剤の成分等を含む気体は乾燥装置１の近傍には排気されないようになっている。また、排気部４０は、カバー２０の奥行き方向（すなわち、図３における上下方向）に延びる略長方形形状の排気口４２を有している。また、排気部４０は、主として、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られた気体と、気流調整部５０の送風機構５２（後述）から送り出された気体とを排気するようになっている。また、排気部４０は、当該排気部４０における排気口４２の上端部の高さレベルと、載置部１０の載置面の高さレベルとが略同一となるような位置に配置されている（図１参照）。このことにより、送風部３０の送風口３２および気流調整部５０の送風機構５２から送り出された気体を効率よく排気することができるようになっている。
【００２７】
なお、排気部４０は、排気口４２の上端部の高さレベルが、載置部１０の載置面の高さレベルよりも僅かに低くなるような位置に配置されていてもよい。また、排気部４０が、カバー２０の内部における載置部１０の奥側（すなわち、図３における上側の端部がある側）の近傍にも配置されるようになっていてもよい。
【００２８】
また、気流調整部５０は、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られた気体を排気部４０に向かって案内するようカバー２０内部の気流を調整するようになっている。また、気流調整部５０は、気体を送り出すための送風機構５２を有しており、送風機構５２は、排気部４０の排気口４２の上方に設けられている（図１参照）。言い換えると、排気部４０は、送風機構５２の下方に配置されている。また、送風機構５２は、排気部４０の排気口４２と同じ方向に（すなわち、図３における上下方向に）延びる送風口から気体を送り出すようになっている。また、送風部３０の送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体は、送風機構５２の送風口から送り出された気体により排気部４０に向かって案内されるようになっている。
【００２９】
本実施の形態による乾燥装置１においては、送風部３０の送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体と気流調整部５０の送風機構５２から送り出された気体とが衝突する箇所における、送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体の速度よりも、送風機構５２から送り出された気体の速度が大きくなるようになっている。このことにより、送風機構５２の送風口から送り出された気体によって、送風部３０の送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体を更に効率よく排気部４０に向かって案内することができるようになる。より具体的には、送風機構５２の送風口から送り出された気体は、送風部３０の送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体をまき込むようにして、排気部４０に向かって案内するようになっている。
【００３０】
また、送風部３０、排気部４０および気流調整部５０は、送風部３０の送風口３２および気流調整部５０の送風機構５２から送り出されるそれぞれの気体を合計した単位時間当たりの流量と、排気部４０により排気される気体の単位時間当たりの流量とが略同一となるように構成されている。このことにより、送風部３０の送風口３２および気流調整部５０の送風機構５２から送り出された気体が開口２２を介してカバー２０の外部に漏れてしまうことを抑制することができるようになっている。言い換えると、乾燥装置１は、カバー２０の内部の気体がカバー２０の外部に漏れてしまうことを抑制することができるようになっている。
【００３１】
次に、上述した本実施の形態による乾燥装置１による、枚葉状のワークを乾燥させる動作の流れについて、図３および図４を用いて説明する。また、以下の説明においては、乾燥装置１は、枚葉状のワークに付着したインキを半乾燥させる（具体的には、枚葉状のワークに付着したインキの一部を乾燥させる）ために用いられるとする。また、乾燥装置１は、乾燥していない状態のインキが片面に付着した枚葉状のワークが排出される排出部（図示せず）を有する印刷機２００と、乾燥装置１により半乾燥させられたインキを完全に乾燥させるための乾燥台３００との間に配置されているものとする。
【００３２】
まず、操作者（図４において参照符号Ｍで表示）は、枚葉状のワークを乾燥装置１により半乾燥させる前に（すなわち、載置部１０に載置する前に）、送風部３０、排気部４０および気流調整部５０を駆動させることにより、送風部３０および気流調整部５０によりカバー２０の内部に気体を供給するとともに、排気部４０によりカバー２０内部の気体を排気させるようにする。次に、印刷機２００の排出部から乾燥していない状態のインキの付着した枚葉状のワークを１枚持ち上げ、開口２２を介して載置部１０に載置する。より詳細には、枚葉状のワークを、例えば載置部１０における送風口３２の右側の領域に載置することにより、枚葉状のワークを半乾燥させるようにする（図４参照）。上述したように、送風部３０の送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られた気体は、枚葉状のワークのインキの近傍を通過することによりインキを乾燥させるようになっている。また、インキが乾燥する際に排出される、溶剤等が揮発した成分が含まれる気体は、枚葉状のワークの表面および載置部１０に沿って排気部４０がある箇所に向かって流れるようになっているとともに、気流調整部５０の送風機構５２から送り出された気体により排気部４０に案内されるようになっている。
【００３３】
そして、１枚目の枚葉状のワークを半乾燥させている間に、印刷機２００の排出部から乾燥していない状態のインキが付着した枚葉状のワーク（すなわち、２枚目の枚葉状のワーク）を新たに持ち上げ、載置部１０の開いている箇所（例えば、載置部１０における送風口３２の左側の領域）に載置するようにする。２枚目の枚葉状のワークに付着したインキも、１枚目の枚葉状のワークに付着したインキと同様に、送風部３０から送られた気体等により乾燥させられるようになっている。
【００３４】
そして、載置部１０に１枚目の枚葉状のワークを載置してから所定の時間（例えば、数十秒）経過することにより１枚目の枚葉状のワークに付着したインキを半乾燥させた後、この枚葉状のワークを開口２２を介してカバー２０の外部に取り出し、乾燥台３００に載置する。そして、印刷機２００の排出部から、乾燥していない状態のインキが付着した枚葉状のワーク（すなわち、３枚目の枚葉状のワーク）を新たに持ち上げ、開口２２を介して、載置部１０における１枚目の枚葉状のワークが載置してあった箇所にこの３枚目の枚葉状のワークを載置するようにする。その後、載置部１０に２枚目のワークを載置してから所定の時間が経過することにより２枚目の枚葉状のワークに付着したインキが半乾燥すると、この２枚目のワークを開口２２を介してカバー２０の外部に取り出し、乾燥台３００に載置する。そして、印刷機２００の排出部から乾燥していない状態のインキが付着した枚葉状のワーク（すなわち、４枚目の枚葉状のワーク）を新たに持ち上げ、開口２２を介して乾燥装置１の載置部１０に載置する。このように、半乾燥させた後の枚葉状のワークをカバー２０の内部から取り出すとともに乾燥していない状態のインキが付着した枚葉状のワークをカバー２０の内部に投入する作業を連続的に行うことにより、枚葉状のワークに付着したインキを連続的にかつ効率よく乾燥させることができる。
【００３５】
ここで、従来の乾燥装置（基盤処理装置）では、複数枚の基板を連続的に乾燥させる際の処理効率が悪いという問題があった。より詳細には、ある基板を基板収容器内で乾燥させた後、次に基板収容器の密封を解除し（具体的には、蓋を持ち上げ）、乾燥済みの基板を取り出し、乾燥させるべき基板を投入し、基板収容器を密閉する、という手順を基板ごとに繰り返す必要があり、手間がかかってしまうという問題があった。また、揮発した溶剤等の有害なガスを不活性ガス等により置換する際に、気流等を調整するのではなく気体の拡散を用いているため、基板周辺に存在する揮発した溶剤等を不活性ガス等により置換するのに時間がかかってしまうという問題があった。これに対し、本実施の形態による乾燥装置１は、上述したように、カバー２０内部の気流を調整することにより、このような基板周辺に存在する揮発した溶剤等を効率的に排気することができるようになっている。また、カバー２０には、枚葉状のワークをカバー２０の外部から内部に出し入れするための開口２２が設けられており、当該開口２２によりカバー２０の内部の空間と外部の空間とが常に連通するようになっているため、枚葉状のワークを連続的に乾燥させる際の効率を向上させることができるようになっている。
【００３６】
なお、上述した説明においては、乾燥装置１は枚葉状のワークに付着したインキを半乾燥させるために使用したが、乾燥装置１の使用はこのような態様に限定されることはない。枚葉状のワークに付着したインキを完全に乾燥させるために乾燥装置１が用いられるようになっていてもよい。すなわち、本実施の形態による乾燥装置１は、枚葉状のワークを乾燥させる時間を調整することにより、枚葉状のワークに付着したインキを半乾燥させることも可能であるし、完全に乾燥させることもできるようになっている。
【００３７】
以上のような構成からなる、枚葉状のワーク（例えば、インキの付着した樹脂等のシート）を乾燥させるための乾燥装置１は、枚葉状のワークが載置される載置部１０と、載置部１０を覆うよう配置されるカバー２０と、載置部１０に載置された枚葉状のワークに向かって気体を送る送風部３０と、カバー２０内部の気体を排気するための排気部４０と、送風部３０から送られた気体を排気部４０に向かって案内するようカバー２０の内部の気流を調整する気流調整部５０と、備えている。また、カバー２０には、枚葉状のワークをカバー２０の外部から内部に出し入れするための開口２２が設けられており、当該開口２２によりカバー２０の内部の空間と外部の空間とが常に連通するようになっているため、枚葉状のワークを乾燥させる際に有機溶剤等の有害なガスが発生する場合であっても、カバー２０内部の気流を調整することにより、このような有害ガスを効率的に排気することができる。また、カバー２０の一部を常に開口させているため、枚葉状のワークを連続的に乾燥させる際の処理効率を向上させることができるようになっている。
【００３８】
また、本実施の形態による乾燥装置１においては、上述したように、気流調整部５０は、気体を送り出すための送風機構５２を有しており、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られた気体が送風機構５２から送り出された気体により排気部４０に向かって案内されるようになっているため、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られた気体が効率よく排気部４０に向かって案内されるようになっている。また、排気部４０は、送風機構５２の下方に配置されている。また、送風部３０から載置部１０に載置された枚葉状のワークに向かって送られる気体の速度よりも、送風機構５２により送り出される気体の速度のほうが大きいため、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られた気体は、巻き込まれるようにして排気部４０に向かって案内されるようになっている。
【００３９】
また、本実施の形態による乾燥装置１においては、上述したように、送風部３０は、直線状に延びる送風口３２から枚葉状のワークに向かって気体を送り出すようになっているため、枚葉状のワークに付着したインキをより均一に乾燥させることができる。また、カバー２０は、天井部２４と、水平面に対して略垂直方向に延びる側部２８とを有しており、天井部２４は、側部２８の上端から上方に向かって傾斜するようそれぞれが向かい合って配置される傾斜部分２５を含んでおり、送風口３２は、傾斜部分同士が接続される箇所（具体的には、接続箇所２５ａ）に沿って延びるよう配置されているため、送風口３２から枚葉状のワークに向かって送られる気体が効率よくカバー２０の内部を流れるようになっている。
【００４０】
また、本実施の形態による乾燥装置１においては、上述したように、送風機構５２は、天井部２４と側部２８とが接続される箇所の近傍に配置されているため、送風機構５２から送り出された気体はカバー２０の内側面（すなわち、側部２８）に沿って排気部４０に向かうようになる。また、開口２２の下端の高さレベルと、載置部１０の載置面の高さレベルとが略同一である（すなわち、開口２２の下端と載置部１０の載置面との間に段差がない）ため、操作者は開口２２を介してスムーズに枚葉状のワークの出し入れを行うことができるようになる。
【００４１】
また、上述した、枚葉状のワークを乾燥させるための乾燥方法は、枚葉状のワークを出し入れするための開口２２が設けられ、当該開口２２により内部の空間と外部の空間とが常に連通しているカバー２０の内部に枚葉状のワークを載置する工程と、載置された枚葉状のワークに向かって気体を送る工程と、枚葉状のワークに向かって送られた気体の流れを調整する工程と、枚葉状のワークに向かって送られた気体を排気する工程と、を備えている。このため、枚葉状のワークを乾燥させる際に有機溶剤等の有害なガスが発生する場合であっても、カバー２０の内部の気流を調整することによりこのような有害ガスを効率的に排気することができるとともに、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。
【００４２】
なお、本実施の形態による乾燥装置１は上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００４３】
例えば、本実施の形態による乾燥装置１における載置部１０は、水平面に沿った平面からなる載置面を有しているが、載置部１０は複数の貫通孔を有する部材（たとえば、網目状の模様を有する部材）から構成されていてもよい。この場合にも、載置部１０に載置される枚葉状のワークを乾燥させることができる。また、このとき、上記の複数の貫通孔を有する部材の下方に排気部４０を追加的に設けることにより、カバー２０内部の気体が外部に漏れてしまうことを更に抑制することができるようになる。
【００４４】
また、送風部３０、排気部４０および気流調整部５０は、排気部４０により排気される気体の単位時間当たりの流量が、送風部３０の送風口３２および気流調整部５０の送風機構５２から送り出されるそれぞれの気体を合計した単位時間当たりの流量よりも大きくなるように構成されていてもよい。この場合にも、送風部３０の送風口３２および気流調整部５０の送風機構５２から送り出された気体が、開口２２を介してカバー２０の外部に漏れてしまうことを抑制することができる。
【００４５】
また、カバー２０内部の気流を調整する気流調整部は、気体を送り出す送風機構５２を有する構成に限定されることはない。例えば、気流調整部の他の例として、送風部３０から枚葉状のワークに向かって送られた気体を排気部４０に案内するよう配置される例えば板状の部材から構成されたものが用いられてもよい。
【００４６】
また、本実施の形態による乾燥装置の他の例として、図５乃至図９に示すようなものが用いられるようになっていてもよい。以下に、乾燥装置の他の例について説明する。
【００４７】
図５および図６に示す乾燥装置１ａは、図１乃至図３等に示す乾燥装置１に対して、カバー２０の外側でありかつ開口２２の近傍の箇所に排気部４０および気流調整部５０をそれぞれ追加的に設けたものである。このような乾燥装置１ａであっても、カバー２０内部の気流を調整することによりカバー２０の内部の気体を効率的に排気することができるとともに、カバー２０の一部を常に開口させておくことにより、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。また、追加的な排気部４０および気流調整部５０を設けた場合には、枚葉状のワークの出し入れを行う際等に、揮発した溶剤等を含む気体が開口２２を介してカバー２０の外部に漏れ出てしまった場合にも、気流調整部５０によりこの漏れ出てしまった気体を排気部４０に案内するとともに当該排気部４０により排気することができる。なお、排気部４０および気流調整部５０の各々が追加的に設けられる必要はなく、排気部４０のみが追加的に設けられるようになっていてもよい。
【００４８】
また、図７および図８に示す乾燥装置１ｂは、図１乃至図３等に示す乾燥装置１における送風口３２の延びる方向を略９０°変更するとともに、カバー２０の外部でありかつ開口２２の近傍に追加的な排気部４０および気流調整部５０をそれぞれ追加的に設けたものである。このような乾燥装置１ｂであっても、カバー２０内部の気流を調整することによりカバー２０内部の気体を効率的に排気することができるとともに、カバー２０の一部を常に開口させておくことにより、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。また、図８に示すように、カバー２０の天井部２４における傾斜部分２５は、水平面（すなわち、載置部１０の載置面）に対してそれぞれ異なる角度で傾斜している。より詳細には、開口２２が設けられた側部２８の近傍の箇所にある傾斜部分２５（すなわち、図８における右側にある傾斜部分２５）の水平面に対する傾斜角度は、開口２２が設けられていない側部２８の近傍にある傾斜部分２５（すなわち、図８における左側にある傾斜）の水平面に対する傾斜角度よりも小さくなっている。このことにより、開口２２が延びる方向（すなわち、図７における左右方向）と平行に延びるよう送風口３２を配置した場合であっても、枚葉状のワークを効率的に乾燥させることができるようになる。
【００４９】
また、図９に示す乾燥装置１ｃは、図１乃至図３等に示す乾燥装置１における送風口３２の延びる方向を略９０°変更するとともに、載置部１０の左右方向（すなわち、図３における左右方向）における端部に排気部４０および気流調整部５０を設けるかわりに、カバー２０の奥側（すなわち、図９における上側の端部がある側）およびカバー２０の手前側に排気部４０および気流調整部５０を設けたものである。より詳細には、カバー２０の奥側に設けられる排気部４０および気流調整部５０はカバー２０の内側に配置されるようになっている。一方で、カバー２０の手前側に設けられる排気部４０および気流調整部５０は、カバー２０の外側に配置されるようになっている。このような乾燥装置１ｃであっても、カバー２０内部の気流を調整することによりカバー２０内部の気体を効率的に排気することができるとともに、カバー２０の一部を常に開口させておくことにより、枚葉状のワークを連続的に処理する際の処理効率を向上させることができる。また、図９に示す乾燥装置１ｃは、カバー２０の内側の１箇所にのみ排気部４０および気流調整部５０を設置する構成であるため、カバー２０の内側の２か所に排気部４０および気流調整部５０を設置する構成である図１乃至図８に示す乾燥装置１、１ａ、１ｂと比較してカバー２０の大きさを小さくすることができ、よって乾燥装置１ｃをよりコンパクトなものとすることができるようになる。
【符号の説明】
【００５０】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ  乾燥装置
１０    載置部
２０    カバー
２２    開口
２４    天井部
２５    傾斜部分
２５ａ  接続箇所
２６    側部分
２８    側部
３０    送風部
３２    送風口
４０    排気部
４２    排気口
５０    気流調整部
５２    送風機構
２００  印刷機
３００  乾燥台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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