【手続補正書】
【提出日】平成29年7月25日(2017.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体視野（４）を像視野（８）内に結像するための投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）に結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）を含み、
前記ミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）のうちの少なくとも２つが、６０°よりも大きい前記結像光（３）の入射角を有するかすめ入射のために該結像光（３）のビーム経路に互いに直接に前後して配置されるミラー（Ｍ２，Ｍ３；Ｍ５，Ｍ６；Ｍ１，Ｍ２；Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３；Ｍ３，Ｍ４；Ｍ６，Ｍ７；Ｍ４，Ｍ５；Ｍ２からＭ６；Ｍ１からＭ４，Ｍ６からＭ９）として具現化され、
前記像視野（８）は、視野寸法（ｘ）に沿って１３ｍｍよりも大きい広がりを有する、
ことを特徴とする投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）。
【請求項２】
正確に２つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ１，Ｍ２）を特徴とする請求項１に記載の投影光学ユニット。
【請求項３】
前記像視野（８）が配置された像平面（９）との０°とは異なる角度を含み、前記物体視野（４）が配置された物体平面（５）を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の投影光学ユニット。
【請求項４】
正確に４つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）を特徴とする請求項１又は請求項３に記載の投影光学ユニット。
【請求項５】
前記４つのかすめ入射のためのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）は、それぞれ、前記結像光（３）の前記ビーム経路に互いに直接に前後して対方式（Ｍ２，Ｍ３；Ｍ５，Ｍ６）で配置されることを特徴とする請求項４に記載の投影光学ユニット。
【請求項６】
４５°よりも小さい前記結像光（３）の入射角を有する法線入射のための少なくとも２つのミラー（Ｍ１，Ｍ４，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ３からＭ６；Ｍ４からＭ７；Ｍ２，Ｍ５，Ｍ８，Ｍ９；Ｍ１，Ｍ３，Ｍ６，Ｍ７；Ｍ１，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ５，Ｍ１０，Ｍ１１）を特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項７】
４５°よりも小さい前記結像光（３）の入射角を有する法線入射のための４つのミラー（Ｍ１，Ｍ４，Ｍ７，Ｍ８；Ｍ３からＭ６；Ｍ４からＭ７）を特徴とする請求項６に記載の投影光学ユニット。
【請求項８】
９％よりも高い投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）の全てのミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）の反射率の積として出現する投影光学ユニット（７；２０；２１）の全反射率を特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項９】
物体視野（４）を像視野（８）に結像するためのＥＵＶ投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）まで結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）を含み、
少なくとも０．４の像側開口数を有し、
７％よりも高い投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）の全てのミラー（Ｍ１からＭ８；Ｍ１からＭ６；Ｍ１からＭ７；Ｍ１からＭ９，Ｍ１からＭ１１）の反射率の積として出現する投影光学ユニット（７；２０；２１）の全反射率を有する、
ことを特徴とするＥＵＶ投影光学ユニット（７；２０；２１；２２；２３；２４；２５；２６；２７；２８；２９；３０）。
【請求項１０】
物体視野（４）を像視野（８）に結像するための投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）であって、
前記物体視野（４）から前記像視野（８）まで結像光（３）を案内するための複数のミラー（Ｍ１からＭ８）を含み、
少なくとも１つのミラー（Ｍ２，Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６）が、６０°よりも大きい前記結像光（３）の入射角を有するかすめ入射のためのミラーとして具現化され、
投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）が、前記像視野（８）を張る２つの異なる方向に２つの異なる結像スケール（βx，βy）を有する、
ことを特徴とする投影光学ユニット（３４；３５；３６；３７）。
【請求項１１】
前記物体視野（４）は、１よりも大きいｘｙアスペクト比を有し、投影光学ユニットの前記異なる結像スケールは、このアスペクト比のこれらの２つの物体視野寸法の方向（ｘ，ｙ）に存在することを特徴とする請求項１０に記載の投影光学ユニット。
【請求項１２】
より長い物体視野寸法（ｘ）における縮小結像スケール（βx）が、それと垂直なより短い物体視野寸法（ｙ）におけるものよりも小さいことを特徴とする請求項１１に記載の投影光学ユニット。
【請求項１３】
前記２つの異なる結像スケールのうちの前記より小さいもの（βx）は、６よりも小さいことを特徴とする請求項１０から請求項１２のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１４】
前記２つの結像スケールのうちの前記より大きいもの（βy）は、少なくとも６であることを特徴とする請求項１０から請求項１３のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１５】
前記ミラーのうちの少なくとも１つが、自由曲面の形態の反射面を有することを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１６】
方向依存性物体側開口数を特徴とする請求項１０から請求項１５のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１７】
少なくとも０．４の像側開口数と、
７°よりも小さい視野中心点に対する物体側主光線角度（ＣＲＡＯ）と、
を特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項１８】
少なくとも０．５の開口数を特徴とする請求項１７に記載の投影光学ユニット。
【請求項１９】
一方の視野寸法（ｘ）において２０ｍｍよりも大きい前記像視野（８）の広がりを特徴とする請求項１７又は請求項１８に記載の投影光学ユニット。
【請求項２０】
より短い物体視野寸法（ｙ）に沿ったその広がりがより長い物体視野寸法（ｘ）に沿ったものよりも小さい絞り縁部を有する絞り（１８）を特徴とする請求項１１から請求項１８のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項２１】
請求項１から請求項２０のいずれか１項に記載の投影光学ユニット。
【請求項２２】
請求項１から請求項２１のいずれか１項に記載の投影光学ユニットと、
照明及び結像光（３）で物体視野（４）を照明するための照明光学ユニット（６）と、  を含むことを特徴とする光学系。
【請求項２３】
ＥＵＶ光源（２）を特徴とする請求項２２に記載の光学系。
【請求項２４】
投影リソグラフィのための投影露光装置であって、
請求項２２又は請求項２３に記載の光学系、
を含むことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２５】
走査方向（ｙ）に変位させることができてレチクル（１０）を保持するためのレチクルホルダ（１０ａ）を含み、
前記走査方向における投影光学ユニットの結像スケールが、それと垂直な方向におけるものよりも大きい、
ことを特徴とする請求項２４に記載の投影露光装置。
【請求項２６】
請求項２４又は請求項２５に記載の投影露光装置のためのレチクル（１０）であって、  少なくとも１０４ｍｍｘ１３２ｍｍの広がりを有する、
ことを特徴とするレチクル（１０）。
【請求項２７】
構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル（１０）及びウェーハ（１１）を与える段階と、
請求項２４又は請求項２５に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル（１０）上の構造を前記ウェーハ（１１）の感光層の上に投影する段階と、
前記ウェーハ（１１）上に微細構造又はナノ構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載の方法に従って生成された構造化構成要素。