【手続補正書】
【提出日】平成29年1月19日(2017.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーであって、
基本波レーザーと、
前記基本波レーザーに結合されて、ダウンコンバートされた信号を生成する光パラメトリック発生器と、
前記光パラメトリック発生器に結合されて、第４高調波を生成する第４高調波発生器と、
前記光パラメトリック発生器及び前記第４高調波発生器に結合されて、前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の２倍の周波数との合計に等しい周波数のレーザー出力を生成する周波数混合モジュールと、を備え、
前記周波数混合モジュールが、２つの非線形結晶、タイプＩＩの変換によって前記第４高調波とダウンコンバートされた信号の前記周波数との合計に等しい周波数を生成するように構成された第１の非線形結晶と、タイプＩの変換によって前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の前記周波数の２倍との合計に等しい前記周波数を生成するように構成された第２の非線形結晶と、を備える、レーザー。
【請求項２】
前記基本波レーザーが、約１０６４．３ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ、または約１０３０ｎｍの基本波周波数を生成する、請求項１に記載のレーザー。
【請求項３】
前記光パラメトリック発生器が、周期的にポーリングされる非線形の光学的結晶を備える、請求項１に記載のレーザー。
【請求項４】
前記周期的にポーリングされる非線形の光学的結晶が、ニオブ酸リチウム、酸化マグネシウムドープニオブ酸リチウム、化学量論的タンタル酸リチウム、酸化マグネシウムドープ化学量論的タンタル酸リチウム、及びチタン酸リン酸カリウム（ＫＴＰ）のうちの１つである、請求項３に記載のレーザー。
【請求項５】
前記ダウンコンバートされた信号が、約１３８０ｎｍ〜１６１２ｎｍの信号波長を有する、請求項１に記載のレーザー。
【請求項６】
前記ダウンコンバートされた信号が、約１４１６ｎｍの信号波長を有する、請求項５に記載のレーザー。
【請求項７】
前記レーザーが、連続波レーザー、Ｑスイッチ型レーザー、モードロック型レーザー、または準連続波レーザーのうちの１つである、請求項１に記載のレーザー。
【請求項８】
前記光パラメトリック発生器が、光パラメトリック増幅器、または光パラメトリック発振器を備える、請求項１に記載のレーザー。
【請求項９】
前記基本波レーザーが、レーザーダイオード、またはファイバーレーザーを備える、請求項１に記載のレーザー。
【請求項１０】
前記基本波レーザーが、セシウムリチウムボレート（ＣＬＢＯ）結晶を含む、請求項１に記載のレーザー。
【請求項１１】
前記周波数混合モジュールが、セシウムリチウムボレート（ＣＬＢＯ）結晶、ベータバリウムボレート（ＢＢＯ）結晶、またはリチウムトリボレート（ＬＢＯ）結晶を含む、請求項１に記載のレーザー。
【請求項１２】
約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーであって、
基本波レーザーと、
前記基本波レーザーに結合されて、第２高調波を生成する第１の周波数増倍モジュールと、
前記第１の周波数増倍モジュールに結合されて、第４高調波を生成する第２の周波数増倍モジュールと、
前記第１の周波数増倍モジュール及び前記基本波レーザーのうちの１つに結合されて、ダウンコンバートされた信号を生成する光パラメトリック発生器と、
前記光パラメトリック発生器及び前記第２の周波数増倍モジュールに結合されて、前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の周波数の２倍との合計に等しい周波数のレーザー出力を生成する周波数混合モジュールと、を備え、
前記周波数混合モジュールが、２つの非線形結晶、タイプＩの変換によって前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の周波数との合計に等しい周波数を生成するように構成された第１の非線形結晶と、タイプＩＩ変換によって前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の前記周波数の２倍との合計に等しい前記周波数を生成するように構成された第２の非線形結晶と、を備える、レーザー。
【請求項１３】
約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーであって、
基本波レーザーと、
前記基本波レーザーに結合されて、第２高調波を生成する周波数増倍モジュールと、
前記周波数増倍モジュールに結合されて、第３高調波を生成する周波数合成器と、
前記周波数増倍モジュール及び前記周波数合成器のうちの１つに結合されて、ダウンコンバートされた信号を生成する光パラメトリック発生器と、
前記光パラメトリック発生器及び前記周波数合成器に結合されて、前記第３高調波と前記ダウンコンバートされた信号の周波数の２倍との合計に等しい周波数のレーザー出力を生成する周波数混合モジュールと、を備える、レーザー。
【請求項１４】
前記ダウンコンバートされた信号が、約８１８ｎｍ〜９１８ｎｍの信号波長を有する、請求項１３に記載のレーザー。
【請求項１５】
前記ダウンコンバートされた信号が、約８４６ｎｍ〜８５６ｎｍの信号波長を有する、請求項１３に記載のレーザー。
【請求項１６】
検査システムであって、
約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーを備え、前記レーザーが、
基本波レーザーと、
前記基本波レーザーに結合されて、ダウンコンバートされた信号を生成する光パラメトリック発生器と、
前記光パラメトリック発生器、または前記基本波レーザーに結合されて、第４高調波を生成する第４高調波発生器と、
前記光パラメトリック発生器及び前記第４高調波発生器に結合されて、前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の周波数の２倍との合計に等しい周波数のレーザー出力を生成する周波数混合モジュールと、を備え、
前記周波数混合モジュールが、一方の非線形結晶がタイプＩの周波数合計を行い、他方の非線形結晶がタイプＩＩの周波数合計を行うように構成された２つの非線形結晶を備える、検査システム。
【請求項１７】
前記検査システムが、暗視野検査システムである、請求項１６に記載の検査システム。
【請求項１８】
照射のコヒーレンスを減少させるための少なくとも１つの音響光学変調器、または電気光学変調器をさらに備える、請求項１６に記載の検査システム。
【請求項１９】
パルス繰返し率を増加させるためのパルスレート乗算器をさらに備える、請求項１６に記載の検査システム。
【請求項２０】
同じ検出器を使用して反射及び透過の画像を同時に収集するための構成要素をさらに備える、請求項１６に記載の検査システム。
【請求項２１】
検査されているターゲット上に照射されたラインを形成するための構成要素をさらに備える、請求項１６に記載の検査システム。
【請求項２２】
ターゲット上に複数の同時に照射されたスポットを形成するための構成要素をさらに備える、請求項１６に記載の検査システム。
【請求項２３】
検査システムであって、
約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーを備え、前記レーザーが、
基本波レーザーと、
前記基本波レーザーに結合されて、第２高調波を生成する第２高調波発生器と、
前記基本波レーザー及び前記第２高調波発生器に結合されて、第３高調波を生成する周波数合成器と、
前記第２高調波発生器に結合されて、ダウンコンバートされた信号を生成する光パラメトリック発生器と、
前記光パラメトリック発生器及び前記周波数合成器に結合されて、前記第３高調波と前記ダウンコンバートされた信号の周波数の２倍との合計に等しい周波数のレーザー出力を生成する周波数混合モジュールと、を備える検査システム。
【請求項２４】
波長が約１９３．４ｎｍの光を生成する方法であって、
約１０６４ｎｍの基本波長を生成することと、
前記基本波長の第１の部分から約１４１６ｎｍのダウンコンバートされた信号波長を生成することと、
前記基本波長の第２の部分から第４高調波波長を生成することと、
前記第４高調波波長と前記ダウンコンバートされた信号波長とを混合し、前記第４高調波波長に前記ダウンコンバートされた信号波長の周波数の２倍を加えたものに等しい周波数に対応する出力波長を生成することと、を含み、前記混合することが、タイプＩの周波数合計及びタイプＩＩの周波数合計を含む、方法。
【請求項２５】
波長が約１９３．４ｎｍの光を生成するための方法であって、
約１０６４ｎｍの基本波長を生成することと、
前記基本波長の第１の部分から第２高調波波長を生成することと、
前記基本波長の第２の部分と、前記第２高調波波長の生成からの未消費の基本波長と、のうちの１つから約１４１６ｎｍのダウンコンバートされた信号波長を生成することと、
前記第２高調波波長を使用して第４高調波波長を生成することと、
前記第４高調波波長と前記ダウンコンバートされた信号波長を混合し、前記第４高調波波長に前記ダウンコンバートされた信号波長の周波数の２倍を加えたものに等しい周波数に対応する出力波長を生成することと、を含み、前記混合することが、タイプＩの周波数合計及びタイプＩＩの周波数合計を含む、方法。
【請求項２６】
波長が約１９３．４ｎｍの光を生成する方法であって、
約１０６４ｎｍの基本波長を生成することと、
前記基本波長の一部から第２高調波波長を生成することと、
未消費の基本高調波波長及び前記第２高調波波長の第１の部分から第３高調波波長を生成することと、
前記第２高調波波長の第２の部分及び未消費の第２高調波波長のうちの１つから約８００ｎｍ〜９５０ｎｍの間のダウンコンバートされた信号波長を生成することと、
前記第３高調波波長と前記ダウンコンバートされた信号波長とを混合し、前記第３高調波波長に前記ダウンコンバートされた信号波長の周波数の２倍を加えたものに等しい周波数に対応する出力波長を生成することと、を含む、方法。
【請求項２７】
前記基本波レーザーが、約１０６４．３ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ、または約１０３０ｎｍの基本波長を生成する、請求項１２に記載のレーザー。
【請求項２８】
前記光パラメトリック発生器が、周期的にポーリングされる非線形の光学的結晶を備える、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項２９】
前記周期的にポーリングされる非線形の光学的結晶が、ニオブ酸リチウム、酸化マグネシウムドープニオブ酸リチウム、化学量論的タンタル酸リチウム、酸化マグネシウムドープ化学量論的タンタル酸リチウム、及びチタン酸リン酸カリウム（ＫＴＰ）のうちの１つである、請求項２８に記載のレーザー。
【請求項３０】
前記ダウンコンバートされた信号が、約１３８０ｎｍ〜１６１２ｎｍの信号波長を有する、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３１】
前記ダウンコンバートされた信号が、約１４１６ｎｍの信号波長を有する、請求項３０に記載のレーザー。
【請求項３２】
前記レーザーが、連続波レーザー、Ｑスイッチ型レーザー、モードロック型レーザー、または準連続波レーザーのうちの１つである、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３３】
前記光パラメトリック発生器が、光パラメトリック増幅器、または光パラメトリック発振器を備える、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３４】
前記基本波レーザーが、レーザーダイオード、またはファイバーレーザーを備える、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３５】
前記基本波レーザーが、セシウムリチウムボレート（ＣＬＢＯ）結晶を含む、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３６】
前記周波数混合モジュールが、セシウムリチウムボレート（ＣＬＢＯ）結晶、ベータバリウムボレート（ＢＢＯ）結晶、またはリチウムトリボレート（ＬＢＯ）結晶を含む、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３７】
前記周波数混合モジュールが、水素アニール処理された非線形結晶を含む、請求項２７に記載のレーザー。
【請求項３８】
前記基本波レーザーが、約１０６４．３ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ、または約１０３０ｎｍの基本波長を生成する、請求項１３に記載のレーザー。
【請求項３９】
検査システムであって、
約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーを備え、前記レーザーが、
基本波レーザーと、
前記基本波レーザーに結合されて、ダウンコンバートされた信号を生成する光パラメトリック発生器と、
前記光パラメトリック発生器、または前記基本波レーザーに結合されて、第４高調波を生成する第４高調波発生器と、
前記光パラメトリック発生器及び前記第４高調波発生器に結合されて、前記第４高調波と前記ダウンコンバートされた信号の周波数の２倍との合計に等しい周波数のレーザー出力を生成する周波数混合モジュールと、を備え、
前記周波数混合モジュールが、一方の非線形結晶がタイプＩの周波数合計を行い、他方の非線形結晶がタイプＩＩの周波数合計を行うように構成された２つの非線形結晶を備え、
前記検査システムが、検出器と光学素子とを更に含み、前記光学素子が、前記検出器を使用して反射及び透過の画像を同時に収集するように構成された、検査システム。
【請求項４０】
前記検査システムが、暗視野検査システムである、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４１】
照射のコヒーレンスを減少させるための少なくとも１つの音響光学変調器、または電気光学変調器をさらに備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４２】
パルス繰返し率を増加させるためのパルスレート乗算器をさらに備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４３】
同じ検出器を使用して反射及び透過の画像を同時に収集するための構成要素をさらに備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４４】
検査されているターゲット上に照射されたラインを形成するための構成要素をさらに備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４５】
ターゲット上に複数の同時に照射されたスポットを形成するための構成要素をさらに備える、請求項３９に記載の検査システム。
【請求項４６】
前記基本波レーザーが、約１０６４．３ｎｍ、約１０５３ｎｍ、約１０４７ｎｍ、または約１０３０ｎｍの基本波長を生成する、請求項３９に記載の検査システム。