【手続補正書】
【提出日】平成29年9月7日(2017.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムチャンバ（２８）内を交互に排気するように構成された少なくとも二つの真空ポンプ（２０、２２）を備えるポンプ系を使用し、フィルムチャンバ（２８）の排気を行う装置（１０）であって、第一の真空ポンプ（２０）の排気速度は、第二の真空ポンプ（２２）の排気速度よりも高く、第二の真空ポンプ（２２）で得られる到達圧は、第一の真空ポンプ（２０）で得られる到達圧よりも低い、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置（１０）であって、前記二つの真空ポンプ（２０、２２）のそれぞれが、個別のパイプラインによって、フィルムチャンバ（２８）と接続されていることを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置（１０）であって、前記二つの真空ポンプ（２０、２２）が共通のパイプライン（２５）によって、フィルムチャンバ（２８）と接続されていることを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、前記ポンプ系が、少なくとも三つのポートを有するバルブ（１２）を備え、該バルブ（１２）において、
第一のポート（１４）は、第一の真空ポンプ（２０）と接続でき、
第二のポートは（１６）は、第二の真空ポンプ（２２）と接続でき、
第三のポート（１８）は、フィルムチャンバ（２８）と接続でき、
第一の切替位置が第一のポート（１４）と第三のポート（１８）を接続し、第二の切替位置が、第二のポート（１６）第三のポート（１８）を接続することを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、前記バルブ（１２）が３／２方バルブであることを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、前記フィルムチャンバ（２８）と第二の真空ポンプ（２２）を接続するパイプライン（２４）が、バッファチャンバ（２６）と接続されていることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項６に記載の装置（１０）であって、前記バッファチャンバ（２６）は、フィルムチャンバの容積の６倍から１５倍の容積を有することを特徴とする、装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、第一の真空ポンプ（２０）の排気速度は、フィルムチャンバの初期容積よりも大きく、第一の真空ポンプ（２０）が達成しうる到達圧は、５０ｍｂａｒより高いことを特徴とする装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、前記第二の真空ポンプ（２２）の排気速度は、フィルムチャンバの予備排気後の残存容量よりも小さく、第二の真空ポンプ（２２）によって達成可能な到達圧は、５０ｍｂａｒよりも低いことを特徴とする装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、前記第一の真空ポンプ（２０）が一または複数のジェットポンプからなることを特徴とする装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の装置（１０）であって、前記真空ポンプ（２０、２２）の少なくとも一つは、ポンプとフィルムチャンバ（２８）を接続するパイプライン（２５）を備え、該パイプライン（２５）がストップバルブ（３０）を備えることを特徴とする装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の装置（１０）を用いたフィルムチャンバ（２８）の排気方法であって、第一の真空ポンプ（２０）と第二の真空ポンプ（２２）によって、フィルムチャンバ（２８）を交互に排気することを特徴とする方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の方法であって、第二の真空ポンプ（２２）による排気の前に、第二の真空ポンプが、これと第二のポート（１６）の間に配置されたバッファチャンバ（２６）を排気することを特徴とする方法。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の方法であって、請求項４または５に記載の装置を用いて排気が行われ、第一の真空ポンプを用いた排気の前に、バルブ（１２）は第一の切替位置に切り替えられ、第二の真空ポンプを用いた排気の前に、バルブ（１２）が第二の切替位置に切り替えられることを特徴とする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
第一の真空ポンプ２０（ベンチュリーポンプ）による到達圧は２００ｍｂａｒにすぎないが、第二の真空ポンプ２２は２０ｍｂａｒまで到達できる。図２に示した第二の操作状態において、第一の真空ポンプ２０は、フィルムチャンバ２８を開放空間容積５０ｃｍ3まで排気する。バッファチャンバ２６はバッファ容積５００ｃｍ3を有している。図３に示す第二の真空ポンプ２２による排気の結果、フィルムチャンバ内の到達圧として、以下の値が得られる。
p = (200 mbar ・ 50 cm3 + 20 mbar ・ 500 cm 3) / (550 cm3) = 36 mbar
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
フィルムチャンバ（２８）内を交互に排気するように構成された少なくとも二つの真空ポンプ（２０、２２）を備えるポンプ系を使用し、フィルムチャンバ（２８）の排気を行う装置（１０）であって、第一の真空ポンプ（２０）の排気速度は、第二の真空ポンプ（２２）の排気速度よりも高く、第二の真空ポンプ（２２）で得られる到達圧は、第一の真空ポンプ（２０）で得られる到達圧よりも低い、装置。
〔態様２〕
態様１に記載の装置（１０）であって、前記二つの真空ポンプ（２０、２２）のそれぞれが、個別のパイプラインによって、フィルムチャンバ（２８）と接続されていることを特徴とする装置。
〔態様３〕
態様１に記載の装置（１０）であって、前記二つの真空ポンプ（２０、２２）が共通のパイプライン（２５）によって、フィルムチャンバ（２８）と接続されていることを特徴とする装置。
〔態様４〕
態様１〜３のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、前記ポンプ系が、少なくとも三つのポートを有するバルブ（１２）を備え、該バルブ（１２）において、
第一のポート（１４）は、第一の真空ポンプ（２０）と接続でき、
第二のポートは（１６）は、第二の真空ポンプ（２２）と接続でき、
第三のポート（１８）は、フィルムチャンバ（２８）と接続でき、
第一の切替位置が第一のポート（１４）と第三のポート（１８）を接続し、第二の切替位置が、第二のポート（１６）第三のポート（１８）を接続することを特徴とする装置。
〔態様５〕
態様１〜４のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、前記バルブ（１２）が３／２方バルブであることを特徴とする装置。
〔態様６〕
態様１〜５のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、前記フィルムチャンバ（２８）と第二の真空ポンプ（２２）を接続するパイプライン（２４）が、バッファチャンバ（２６）と接続されていることを特徴とする装置。
〔態様７〕
態様６に記載の装置（１０）であって、前記バッファチャンバ（２６）は、フィルムチャンバの容積の６倍から１５倍の容積を有し、好ましくは、９倍から１１倍の容積を有することを特徴とする、装置。
〔態様８〕
態様１〜７のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、第一の真空ポンプ（２０）の排気速度は、フィルムチャンバの初期容積よりも大きく、第一の真空ポンプ（２０）が達成しうる到達圧は、５０ｍｂａｒより高いことを特徴とする装置。
〔態様９〕
態様１〜８のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、前記第二の真空ポンプ（２２）の排気速度は、フィルムチャンバの予備排気後の残存容量よりも小さく、第二の真空ポンプ（２２）によって達成可能な到達圧は、５０ｍｂａｒよりも低いことを特徴とする装置。
〔態様１０〕
態様１〜９のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、前記第一の真空ポンプ（２０）が一または複数のジェットポンプからなることを特徴とする装置。
〔態様１１〕
態様１〜１０のいずれか一態様に記載の装置（１０）であって、前記真空ポンプ（２０、２２）の少なくとも一つは、ポンプとフィルムチャンバ（２８）を接続するパイプライン（２５）を備え、該パイプライン（２５）がストップバルブ（３０）を備えることを特徴とする装置。
〔態様１２〕
態様１〜１１のいずれか一態様に記載の装置（１０）を用いたフィルムチャンバ（２８）の排気方法であって、第一の真空ポンプ（２０）と第二の真空ポンプ（２２）によって、フィルムチャンバ（２８）を交互に排気することを特徴とする方法。
〔態様１３〕
態様１２記載の方法であって、第二の真空ポンプ（２２）による排気の前に、第二の真空ポンプが、これと第二のポート（１６）の間に配置されたバッファチャンバ（２６）を排気することを特徴とする方法。
〔態様１４〕
態様１２または１３に記載の方法であって、態様４または５に記載の装置を用いて排気が行われ、第一の真空ポンプを用いた排気の前に、バルブ（１２）は第一の切替位置に切り替えられ、第二の真空ポンプを用いた排気の前に、バルブ（１２）が第二の切替位置に切り替えられることを特徴とする方法。