(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＵＶ光源（５）から発する照明ビーム路（６）を備えたＤＵＶ顕微鏡用照明装置であって、
前記照明ビーム路（６）にはコレクタ（７）と、反射フィルタシステム（９）が配置されており、
該反射フィルタシステムはＤＵＶ波長バンドを形成し、４つの反射フィルタ（８）からなり、かつ当該反射フィルタ間に透過フィルタを有さず、
照明ビーム路（６）は、当該反射フィルタにおいてそれぞれ同じ反射角αで反射されて反射フィルタシステム（９）の前方と後方とで同軸に延在するよう構成され、
反射角はα≦３０゜であり、
ＤＵＶ波長バンドλDUV＋Δλは、最大２０ｎｍの半値幅と、入射される光強度の９０％以上のピーク値Ｓを備えたピークを有し、
各反射フィルタ（８）は干渉フィルタシステムから構成され、
該干渉フィルタシステムは、基板に交互に蒸着された、Ａｌ2Ｏ3とＳｉＯ2からなる複数の層を有し、
当該層の厚さは基準波長λOから導出され、該層は下記表１に従って構成されている、
ことを特徴とする照明装置：
【表１】
反射フィルタの層構造
Ｌ＝Ａｌ2Ｏ3；  Ｓ＝ＳｉＯ2  ；λ0＝３０８ｎｍ；  α＝２２．５°
0003600783.tif 000003
【請求項２】
付加的に可視ＶＩＳスペクトル領域に対するＶＩＳ光源（１２）が照明ビーム路（６）の近傍に配置されており、
選択的にＤＵＶ照明またはＶＩＳ照明を切り換えるための切換可能光学的手段が配置されている、請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
ＤＵＶ光源（５）から発する照明ビーム路（６）を備えたＤＵＶ顕微鏡用照明装置であって、
前記照明ビーム路（６）にはコレクタ（７）と、反射フィルタシステム（９）が配置されており、
該反射フィルタシステムはＤＵＶ波長バンドを形成し、かつ４つの反射フィルタ（８）からなり、
照明ビーム路（６）は、当該反射フィルタにおいてそれぞれ同じ反射角αで反射されて反射フィルタシステム（９）の前方と後方とで同軸に延在するよう構成され、
反射角はα≦３０゜であり、
ＤＵＶ波長バンドλDUV＋Δλは、最大２０ｎｍの半値幅と、入射される光強度の９０％以上のピーク値Ｓを備えたピークを有し、
前記反射フィルタシステム（９）内の第２の反射フィルタ（８ｂ）と第３の反射フィルタ（８ｃ）の間の光路、又は第１の反射フィルタ（８ａ）と第４の反射フィルタ（８ｄ）の間の光路、の一方を選択的に遮断する光ストッパを有する、
ことを特徴とする照明装置。
【請求項４】
各反射フィルタ（８）は干渉フィルタシステムから構成され、
該干渉フィルタシステムは、基板に交互に蒸着された、Ａｌ2Ｏ3とＳｉＯ2からなる複数の層を有し、
当該層の厚さは基準波長λOから導出され、該層は下記表１に従って構成されている、請求項３記載の照明装置：
【表１】
反射フィルタの層構造
Ｌ＝Ａｌ2Ｏ3；  Ｓ＝ＳｉＯ2  ；λ0＝３０８ｎｍ；  α＝２２．５°
0003600783.tif 000004
【請求項５】
前記反射フィルタ（８）は透明材料に蒸着されており、
前記光ストッパが第２の反射フィルタ（８ｂ）と第３の反射フィルタ（８ｃ）の間の光路を遮断する場合に、スペクトル領域を選択する少なくとも１つのフィルタ及び選択したスペクトル領域の像の位置を補正するレンズからなるフィルタ−レンズ結合体は第１の反射フィルタ（８ａ）と第４の反射フィルタ（８ｄ）の間に挿入される、請求項３又は４記載の照明装置。
【請求項６】
前記反射フィルタ（８）は透明材料に蒸着されており、
前記光ストッパ（１８）、及びスペクトル領域を選択する少なくとも１つのフィルタ及び選択したスペクトル領域の像の位置を補正するレンズからなるフィルタ−レンズ結合体（２６，２７）は、前記反射フィルタシステム（９）に挿入可能に配されるリニアスライダ（２１）に配置されており、
該リニアスライダは照明ビーム路（６）に挿入可能な複数の切換面（２２，２３，２４）を有し、
第１の切換面（２２）は、光ストッパ（１８）を第１の反射フィルタ（８ａ）の後方に挿入し、ＤＵＶ照明を形成し、
少なくとも１つの第２の切換面（２３，２４）は、前記光ストッパ（１８）を第２の反射フィルタ（８ｂ）の後方に挿入し、同時に前記フィルタ−レンズ結合体（２６，２７）を第１の反射フィルタ（８ａ）の後方に挿入し、別のスペクトル領域にある照明を形成する、請求項３又は４記載の照明装置。
【請求項７】
前記反射フィルタ（８）は透明材料に蒸着されており、
前記光ストッパは、前記反射フィルタシステム（９）に挿入可能に配されるリニアスライダ（２１）に配置されており、
リニアスライダ（２１）はフィルタ（２０）を備えた第２または付加的な別の切換面（２３，２４）を有している、
請求項３又は４記載の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＤＵＶ顕微鏡の照明装置に関し、特に独立請求項１又は独立請求項３の上位概念（前置部）に示す構成を備えたＤＵＶ顕微鏡用の照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術と問題点】
ＤＵＶ顕微鏡用の照明装置は、狭いＤＵＶ波長バンドをＤＶＵ波長領域（ＤＵＶ＝深紫外 deep ultraviolet,約、２００〜３００ｎｍ）から照明のために生成しなければならず、この狭いＤＵＶ波長バンドに対して顕微鏡光学系が補正される。ＤＵＶ波長バンドはスペクトル的なピーク値位置とそのピークの半値幅を特徴とする。このようなＤＵＶ波長バンドを形成するために、狭帯域透過フィルタシステムも、反射フィルタシステムも公知である。このようなフィルタシステムは照明ビーム路に挿入され、光源の光スペクトルから所望のＤＵＶ波長バンドを使用光として取り出しろ波する。顕微鏡画像はＤＵＶ感知性のＴＶカメラによって可視とされる。
【０００３】
ＤＵＶの狭帯域透過フィルタシステムは非常に狭いピークを送出する。そのために最大透過率、ひいてはピークのピーク値は狭帯域透過フィルタシステム前方の光強度の僅か２０％程度である。しかしこのような弱い強度は、とりわけ技術的にコストが掛かり高価な高感度カメラを必要とする。このカメラの重大な欠点は（例えばいわゆる“フレームトランスファーＣＣＤカメラ”の場合）、非常に長い露光時間と画像読み出し時間を有することであり、そのため対象物の“生きた状態での”観察が不可能である。このことはとりわけ、対象物台が載置された対象物と共に走行しなければならない場合に障害となる。
【０００４】
公知の反射フィルタシステムは複数の反射フィルタからなる。これらの反射フィルタに光源からの光がそれぞれα＝４５゜の入射角の下で入射し、反射される。この公知の反射フィルタシステムでは、ピークのピーク値は確かに９０％以上である。しかしその欠点は、半値幅が約３０〜５０ｎｍであることである。焦点距離の短い、すなわち倍率の高い顕微鏡対物レンズをＤＵＶ波長領域においてこのように広いＤＵＶ波長バンドに対して補正することは非常に困難で面倒である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、ＤＵＶ顕微鏡用の照明装置が、最大の透過率と小さい半値幅を有するＤＵＶ波長バンドを供給するように構成することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この課題は、独立請求項１の特徴部分に記載の構成を備えた照明装置によって解決される。照明装置の有利な実施形態は従属請求項に記載されている。なお、各請求項に付記の図面参照符号は、理解を助けるものであり、図示の態様に限定することを意図しない。
【０００７】
本発明の第一視点の基本構成によれば、ＤＵＶ光源から発する照明ビーム路を備えたＤＵＶ顕微鏡用照明装置であって、照明ビーム路にはコレクタと、反射フィルタシステムが配置されており、該反射フィルタシステムはＤＵＶ波長バンドを形成し、４つの反射フィルタからなり、かつ当該反射フィルタ間に透過フィルタを有さず、照明ビーム路は、当該反射フィルタにおいてそれぞれ同じ反射角αで反射されて反射フィルタシステム（９）の前方と後方とで同軸に延在するよう構成され、反射角はα≦３０゜であり、ＤＵＶ波長バンドλDUV＋Δλは、最大２０ｎｍの半値幅と、入射される光強度の９０％以上のピーク値Ｓを備えたピークを有し、各反射フィルタは干渉フィルタシステムから構成され、該干渉フィルタシステムは、基板に交互に蒸着された、Ａｌ2Ｏ3とＳｉＯ2からなる複数の層を有し、当該層の厚さは基準波長λOから導出され、該層は下記表１に従って構成されている照明装置を提供する。
【０００８】
上記第一視点の基本構成の第一形態によれば、付加的に可視ＶＩＳスペクトル領域に対するＶＩＳ光源が照明ビーム路の近傍に配置されており、選択的にＤＵＶ照明またはＶＩＳ照明を切り換えるための切換可能光学的手段が配置されている照明装置を提供する。
【０００９】
本発明の第二視点の基本構成によれば、ＤＵＶ光源から発する照明ビーム路を備えたＤＵＶ顕微鏡用照明装置であって、照明ビーム路にはコレクタと、反射フィルタシステムが配置されており、該反射フィルタシステムはＤＵＶ波長バンドを形成し、かつ４つの反射フィルタからなり、照明ビーム路は、当該反射フィルタにおいてそれぞれ同じ反射角αで反射されて反射フィルタシステムの前方と後方とで同軸に延在するよう構成され、反射角はα≦３０゜であり、ＤＵＶ波長バンドλDUV＋Δλは、最大２０ｎｍの半値幅と、入射される光強度の９０％以上のピーク値Ｓを備えたピークを有し、反射フィルタシステム内の第２の反射フィルタと第３の反射フィルタの間の光路、又は第１の反射フィルタと第４の反射フィルタの間の光路、の一方を選択的に遮断する光ストッパを有する照明装置を提供する。
【００１０】
上記第二視点の基本構成の第一形態によれば、各反射フィルタは干渉フィルタシステムから構成され、該干渉フィルタシステムは、基板に交互に蒸着された、Ａｌ2Ｏ3とＳｉＯ2からなる複数の層を有し、当該層の厚さは基準波長λOから導出され、該層は下記表１に従って構成されている照明装置を提供する。
【００１１】
上記第二視点の基本構成又はその第一形態に基づく第二形態よれば、反射フィルタは透明材料に蒸着されており、光ストッパが第２の反射フィルタと第３の反射フィルタの間の光路を遮断する場合に、スペクトル領域を選択する少なくとも１つのフィルタ及び選択したスペクトル領域の像の位置を補正するレンズからなるフィルタ−レンズ結合体は第１の反射フィルタと第４の反射フィルタの間に挿入される照明装置を提供する。
【００１２】
上記第二視点の第二形態に基づく第三形態によれば、反射フィルタは透明材料に蒸着されており、光ストッパ、及びスペクトル領域を選択する少なくとも１つのフィルタ及び選択したスペクトル領域の像の位置を補正するレンズからなるフィルタ−レンズ結合体は、反射フィルタシステムに挿入可能に配されるリニアスライダに配置されており、該リニアスライダは照明ビーム路に挿入可能な複数の切換面を有し、第１の切換面は、光ストッパを第１の反射フィルタの後方に挿入し、ＤＵＶ照明を形成し、少なくとも１つの第２の切換面は、光ストッパを第２の反射フィルタの後方に挿入し、同時にフィルタ−レンズ結合体を第１の反射フィルタの後方に挿入し、別のスペクトル領域にある照明を形成する照明装置を提供する。
【００１３】
上記第二視点の基本構成又はその第一形態に基づく第四形態によれば、反射フィルタは透明材料に蒸着されており、光ストッパは、反射フィルタシステムに挿入可能に配されるリニアスライダに配置されており、リニアスライダはフィルタを備えた第２または付加的な別の切換面を有している照明装置を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明は、大きな半値幅は実質的に反射フィルタシステムにおける偏光作用に起因するものであるという認識から出発する。半値幅は、反射角度が比較的に小さくなれば格段に減少する。従って本発明のＤＵＶ照明装置では、反射角が小さく、スペクトル的に適合された反射フィルタを有する反射フィルタシステムが使用される。
【００１５】
本発明のＤＵＶ顕微鏡用照明装置は光源を有し、この光源から照明ビーム路が発する。照明ビーム路にはコレクタと反射フィルタシステムが、所望のＤＵＶ波長バンドを形成するために配置されている。反射フィルタシステムは４つの反射フィルタからなり、これらにおいて照明ビーム路はそれぞれ同じ反射角αで反射される。
【００１６】
ここで照明ビーム路は反射フィルタシステムの前方と後方で同軸に延在する。本発明によれば、個々の反射フィルタにおける反射角αはα≦３０゜である。
【００１７】
反射フィルタシステムは、半値幅が最大で２０ｎｍの非常に狭いＤＵＶ波長バンドλDUV＋Δλを送出する。ピーク値Ｓが入射される光強度の９０％以上であるピークを有する。使用される反射フィルタに応じて、入射角の小さな反射フィルタシステムは入射される光強度の９８％以上のピーク値Ｓを達成することができる。このために本発明の照明装置の反射フィルタシステムには、特別に所望のＤＵＶ波長バンドλDUV＋Δλに整合された反射フィルタが使用される。
【００１８】
反射フィルタシステムにおいて本発明によりα≦３０゜の小さな反射角αを使用することによって、反射フィルタでの偏光作用が減少し、このように狭い半値幅を達成することができる。達成されたオーダーの半値幅に対しては、適合的に補正されたＤＵＶ顕微鏡対物レンズを見込むことができる。同時に本発明の照明装置を有するＤＵＶ顕微鏡は十分に高い強度を照明ビーム路において有し、これにより画像形成が緩慢で、面倒な特別のＤＵＶ高感度カメラ、例えば前記のフレームトランスファーＣＣＤカメラを省略することができる。
【００１９】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００２０】
図１は、対物レンズ２と、対象物台３にある対象物４を備えた顕微鏡１を示す。ＤＵＶ光源５として例えば、ＶＩＳ波長領域、ＵＶ波長領域、およびＤＵＶ波長領域にスペクトル成分を有する水銀高圧ランプが使用される（スペクトル領域の定義：ＶＩＳ＝可視光線；ＵＶ＝紫外線；ＤＵＶ＝深紫外線）。光源５から照明ビーム路６が発し、コレクタ７と、４つの反射フィルタ８から構成される反射フィルタシステム９を通過する。そこから照明ビーム路６は図示しない照明光学系を通過し、ビームスプリッタ１０で偏向され、対物レンズ２により対象物４にフォーカスされる。対象物４から発する結像ビーム路は、対物レンズ２とビームスプリッタ１０を通ってＴＶカメラ１１に達する。
【００２１】
本発明によれば反射フィルタ８が反射フィルタシステム９に次のように配置されている。すなわち、照明ビーム路６が全ての反射フィルタ８に同じ小さい入射角αを以て入射するように配置されている。ここでは３０゜の角度が示されている。さらに小さい角度も本発明では可能である。しかしα＜１５゜の入射角を有する反射フィルタシステムは狭い幾何形状のため非常な困難を伴ってのみ実現される。
【００２２】
図示の実施例では、所望のＤＵＶ波長領域に適合された反射フィルタ８は、黒ガラスに被着された蒸着層（ないし気相析着層）からなる。ランプ光の所望のＤＵＶ成分が反射される。蒸着層を通過したランプ光の成分、すなわち残留するＤＵＶ成分並びにＵＶ成分およびＶＩＳ成分は黒ガラスで吸収される。このようにして専ら所望のＤＵＶ波長領域だけの照明が発生する。
【００２３】
図２は、入射角αがα＝２２．５゜と小さい反射フィルタシシステムにおける、波長に依存する反射率を示す。図示されているのは、反射の際の偏光により発生した、垂直偏光方向の偏光成分（Ｓ−偏光）と平行偏光方向の偏光成分（Ｐ−偏光）である。これら２つの曲線は非常に密に隣接している。なぜなら、偏光作用は入射角が小さいため非常に小さいからである。従って２つの偏光方向からなる和曲線“偏光合計”も非常に小さい半値幅Δλを有し、この半値幅の値は約２０ｎｍである。このようにして小さな入射角を有する反射フィルタシステムにより形成されたＤＵＶ波長バンドλDUVは十分に狭く、顕微鏡のＤＵＶ光学系をこれに対して補正することができる。
【００２４】
図３から図５は、異なる個々の反射フィルタにおける、波長に依存する反射率を示し、ここで個々の反射フィルタは種々異なる入射角αに対して構成されている。反射フィルタは表１に示されるような層構造を有する。単に層の厚さだけが所望の入射角αに相応して、層厚の計算に入り込む基準波長λOによって補正される。各所属の基準波長λOは図に示されている。層厚の適合により反射フィルタは異なる入射角に対しても質的に同じ反射特性を有する。図６には基準波長λOが入射角αに依存して示されている。入射角が比較的に大きく変化した場合には、基準波長λOを格段に強く後補正しなければならないことがわかる。
【００２５】
図７は、波長に依存する反射を、異なるＤＵＶ波長に適合された３つの反射フィルタシステムについて示している。これら反射フィルタシステムの反射フィルタはそれぞれ同じ入射角α＝２２．５゜に対して構成されている。しかし、ＳｉＯ2およびＡｌ2Ｏ3を使用した他の層システムを設計することもできる。この場合、屈折率の差ができるだけ小さい材料を使用することが重要である。表１からの層システムにより、少なくとも１８０から３００ｎｍの間のＤＵＶ波長に対して、狭いＤＵＶ波長バンドにそれぞれ適合した反射フィルタシステムが得られる。
【００２６】
以下さらに、異なる波長領域に切り換えることのできる照明装置に対する２つの実施例を説明する。
【００２７】
図８は、選択的にＶＩＳ照明またはＤＵＶ照明に対して切り換えることのできる照明装置を示し、この照明装置には２つの別個の光源が２つの波長領域に対して装備されている。構造は原則的に図１に相応する。ここで同じ要素は同じ参照符号を有する。すでに説明した、ＤＵＶ光源５を有する図１の照明装置に付加的なＶＩＳ光源１２が可視スペクトル領域に対して追加されている。このＶＩＳ光源１２は例えば水銀白熱ランプであり、ＶＩＳ波長領域にだけスペクトル成分を有し、ＵＶ波長領域およびＤＵＶ波長領域は放射しない。
【００２８】
このＶＩＳ光源１２からの光はコレクタ１３を通過し、回動可能に付加的に組み込まれたミラー１４が照明ビーム路６で位置“ｂ”にあるときのみ、垂直に照明ビーム路６に入射結合される。次いで照明ビーム路６の後続部分にあるＶＩＳ光は対象物４に達する。ＤＵＶ照明を投入ないし調整するために、回動ミラー１４が位置“ａ”にもたらされる。このときは、ＤＵＶ光源５の光が図１のように対象物４に達する。
【００２９】
前記の構造はなるほど２つの光源を必要とするが、しかし回動ミラー１４によって簡単に実現される。さらにこの構造は顕微鏡の使用可能性を格段に拡張する。例えば水銀アークランプであるＤＵＶ光源５は確かにＵＶ波長領域およびＶＩＳ波長領域も放射する。しかし水銀アークランプの光アークは小さいので、ＶＩＳ対物レンズが弱い場合にはひとみを満たすことができず、そのためこの対物レンズを照明することはできない。さらにＤＵＶ光源５は減光することができない。
【００３０】
これに対して、例えばハロゲン白熱ランプであるＶＩＳ光源は十分に大きな白熱螺旋体を有していて、弱いＶＩＳ対物レンズによっても十分に照明することができ、しかも減光可能である。そのスペクトルはＵＶ成分またはＤＵＶ成分を有していない。従って前述の構造によってＤＵＶ顕微鏡にＶＩＳ観察の全ての可能性を装備することができる。
【００３１】
ただ１つの光源を有する構造を実現したければ、光源の像が異なる波長に対してずれることに注意しなければならない。図９は、汎用光源の像の異なる位置をＶＩＳ波長領域、ＵＶ波長領域およびＤＵＶ波長領域に対してＤＵＶ照明装置内に示している。光源１５の光はコレクタ１６と、４つの反射フィルタ８から構成された反射フィルタシステム９を通過する。反射フィルタ８は黒ガラスに蒸着されている。
【００３２】
光源１５の種々異なる像１７が、ＤＵＶ波長２４８ｎｍ、いわゆる“ｉ線”３６５ｎｍ、および可視ＶＩＳ波長領域に対して概略的に示されている。光源１５の像１７を１つの位置に固定するためには、光源１５を異なるスペクトル照明方法ごとに照明ビーム路６の方向にシフトしなければならないこととなる。
【００３３】
図１０，１１は、これとは別の実施例を示す。ここには選択的にＶＩＳ照明またはＤＵＶ照明に対して切り換えることのできる照明装置がそれぞれ示されており、この照明装置はただ１つの汎用のＤＵＶ−ＶＩＳ光源によって動作する。このために例えば水銀アークランプであるＤＵＶ光源５が採用される。ＤＵＶ光源５から照明ビーム路６が発し、この照明ビーム路にはコレクタ７と、４つの反射フィルタ８を有する反射フィルタシステム９が配置されている。４つの反射フィルタ８はここではその空間的位置を区別するために個々に８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄにより示されている。反射フィルタ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄはこの実施例では、全ての波長領域に対して透明である支持体材料、例えば水晶ガラスに蒸着されている。
【００３４】
図１０は、切換段“ＤＵＶ照明”にあるときの前記の照明装置を示す。ここでは反射フィルタ８ａと反射フィルタ８ｄの間に光ストッパ１８が挿入されている。この光ストッパは、例えば金属からなる任意の乳白色プレートとすることができる。これにより反射フィルタ８ａを通過したランプ光の成分が阻止され、反射されたＤＵＶ波長バンドだけが照明に使用される。光源５の像の位置１７が示されている。
【００３５】
図１１は、前記の照明装置が切換段“ＶＩＳ照明”にある時を示す。ここでは、反射フィルタ８ａと反射フィルタ８ｄの間に、レンズ１９と少なくとも１つのフィルタ２０からなる結合体（アセンブリ）が挿入されている。このフィルタ２０はＶＩＳ領域に対して選択されている。ここではレンズ１９が光源のＶＩＳ像の位置１７を光源のＤＵＶ像の位置へずらす。フィルタ２０はカラーフィルタまたはグレーフィルタ等とすることができる。反射フィルタ８ｂと反射フィルタ８ｄとの間に光ストッパ１８が挿入されており、これによりＶＩＳ照明中は照明からＤＵＶ成分を除外する。
【００３６】
図１２は、図１０と図１１の２つの切換段、およびさらに１つの切換段を実現することのできるリニアスライダ２１を示す。リニアスライダ２１は、異なるスペクトル照明変形実施例に対して３つの切換面２２，２３，２４を有する。リニアスライダ２１は照明ビーム路６に垂直に、反射フィルタシステム９に挿入される。これによりその上側半分は常に反射フィルタ８ｂと反射フィルタ８ｃとの間に存在し、その下側半分は常に反射フィルタ８ａと反射フィルタ８ｄとの間に存在する。ここでは選択的に常に、切換面２２，２３，２４の１つだけが照明ビーム路６に挿入される。反射フィルタシステムの位置２８は破線枠によって示されている。従って図１２の場合では、切換面２３が反射フィルタシステムに挿入されている。
【００３７】
切換面２２は、図１０に相応して、ＤＵＶ照明を形成する。その上側半分には自由開口部２５が配され、ＤＵＶ光線を通貨させる。その下側半分には光ストッパ１８が配置されており、これによりＤＵＶ光を阻止する。
【００３８】
切換面２３はＶＩＳ照明を生じ、かくて図１１に対応する。その上側半分には光ストッパ１８が配され、ＤＵＶ光線を阻止する。その下側半分には、図１１に相応して、レンズと少なくとも１つのフィルタからなるレンズフィルタ結合体２６が挿入されている。このフィルタはＶＩＳ領域に対して選択されている。ここではレンズが光源の像の位置を補正する。フィルタは任意に選択可能であり、例えばカラーフィルタ、グレーフィルタ、蛍光フィルタ等である。
【００３９】
切換面２４により、ＤＵＶ波長バンド外の波長による別の照明を調整することができる。その上側半分にはここでも光ストッパ１８が配置されており、ＤＵＶ光を阻止する。下側半分には任意のレンズフィルタ結合体（アセンブリ）２７が挿入されており、この結合体は例えば３６５ｎｍのいわゆる“ｉ線”に対して選択されている。
【００４０】
リニアスライダ２１をシフトすることにより、簡単に種々異なるスペクトル照明変形実施例、ＤＵＶ、ＶＩＳ、および例えば“ｉ線”間を切り換えることができる。ここで例えば水銀アークランプの形態の光源５の非常に大きな光強度の観点から、眼球の安全性に関わるさらなる利点が得られる。切換段“ＤＵＶ”ではいずれにしろ少量の光エネルギーしか通過しないので、眼球の安全性が得られる。しかしＤＵＶ照明を実現しない全ての切換段では、狭いＤＵＶ波長バンド外の他の光エネルギー全てが反射フィルタ８ａを通過する。しかしこの切換段では、常にフィルタ２０が照明ビーム路６に配置されている。ここではフィルタ２０を適切に選択して強度を十分に減衰することにより、常に眼球に安全な顕微鏡１の動作が簡単に保証される。
【表１】
反射フィルタの層構造
Ｌ＝Ａｌ2Ｏ3；  Ｓ＝ＳｉＯ2  ；λ0＝３０８ｎｍ；  α＝２２．５°
0003600783.tif 000002
【００４１】
【発明の効果】
本発明の基本構成（請求項１及び請求項３）により、最大の通過率と小さい半値幅を有するＤＵＶ波光バンドを与えるＤＵＶ顕微鏡用の照明装置が達成される。各従属請求項の具体的構成により、実施の形態及び実施例に記載のとおり夫々付加的な利点がえられる。また請求項３により、ＤＵＶ照明とそれ以外の波長領域の照明（例えば、可視光照明）が選択的に切換可能に構成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の顕微鏡用ＤＵＶ照明装置の一実施例の概略図である。
【図２】入射角α＝２２．５゜と小さい反射フィルタシステムにおける波長に依存する反射率を偏光成分に分けて示す線図である。
【図３】入射角α＝１５゜と基準波長λO＝３０３．５ｎｍに対する個々の反射フィルタでの波長に依存する反射率を示す線図である。
【図４】入射角α＝２２．５゜と基準波長λO＝３０８ｎｍに対する個々の反射フィルタでの波長に依存する反射率を示す線図である。
【図５】入射角３０゜と基準波長λO＝３１４ｎｍに対する個々の反射フィルタでの波長に依存する反射率を示す線図である。
【図６】入射角αに依存する基準波長λOを示す線図である。
【図７】種々異なるＤＵＶ波長に適合された３つの反射フィルタシステムに対する波長に依存する反射率を示す線図であり、それぞれ入射角α＝２２．５゜である。
【図８】選択的にＶＩＳ照明またはＤＵＶ照明に切り換えることのできる、２つの別個のＤＵＶ光源とＶＩＳ光源を有する照明装置の概略図である。
【図９】汎用のＤＵＶ−ＶＩＳ光源を有するＤＵＶ照明装置での、ＶＩＳ、ＵＶ、ＤＵＶに対するランプ像位置を示す図である。
【図１０】汎用のＤＵＶ−ＶＩＳ光源を有し、選択的にＶＩＳ照明またはＤＵＶ照明に切り換えることのできる照明装置が切換段“ＤＵＶ照明”の位置にあるときの様子を示す図である。
【図１１】汎用のＤＵＶ−ＶＩＳ光源を有し、選択的にＶＩＳ照明またはＤＵＶ照明に切り換えることのできる照明装置が切換段“ＶＩＳ照明”の位置にあるときの様子を示す図である。
【図１２】図１０と図１１の切換可能な照明装置に対する、三段切換面を有するリニアスライダの概略図である。
【符号の説明】
１  顕微鏡
２  対象レンズ
３  対象物台
４  対象物
５  ＤＵＶ光源
６  照明ビーム路
７  コレクタ
８  反射フィルタ、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄも
９  反射フィルタシステム
１０  ビームスプリッタ（光分割器）
１１  ＴＶカメラ
１２  ＶＩＳ光源
１３  コレクタ
１４  回動可能なミラー
１５  汎用ＤＵＶ−ＶＩＳ光源
１６  コレクタ
１７  光源の像
１８  光ストッパ
１９  レンズ
２０  フィルタ
２１  リニアスライダ
２２  ＤＵＶ照明に対する切換面
２３  ＶＩＳ照明に対する切換面
２４  別の照明に対する切換面
２５  自由開口部
２６  ＶＩＳ照明に対するレンズ−フィルタ結合体
２７  別の照明に対するレンズ−フィルタ結合体
２８  反射フィルタシステムの位置
【図１】
0003600783.tif 000005
【図２】
0003600783.tif 000006
【図３】
0003600783.tif 000007
【図４】
0003600783.tif 000008
【図５】
0003600783.tif 000009
【図６】
0003600783.tif 000010
【図７】
0003600783.tif 000011
【図８】
0003600783.tif 000012
【図９】
0003600783.tif 000013
【図１０】
0003600783.tif 000014
【図１１】
0003600783.tif 000015
【図１２】
0003600783.tif 000016