(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する吐出口が配される吐出口面が設けられるインクジェット記録へッドの製造方法であって、
前記吐出口面の前記吐出口となる箇所を開口する前に、前記吐出口面の当該箇所を含めて前記吐出口面を導電処理する導電処理工程と、
前記吐出口を開口するために、前記吐出口となる前記箇所の材料を、導電処理された当該箇所を含んで除去する除去工程と、
前記吐出口面の導電処理が施された領域に撥水材料を電着する電着工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録へッドの製造方法。
【請求項２】
前記導電処理工程の前に、前記吐出口となる箇所に前記材料が存在している状態で、切断によって前記吐出口面を形成する工程を有する請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドであって、前記吐出口の内部に前記撥水材料が入り込んでいないインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドの製造方法および該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット記録ヘッドは、一般に、複数の微細なインクの吐出口にそれぞれ連通する複数のインク流路と、複数のインク流路に共通に連通するインク室と、を有する。以下、複数のインク流路と共通のインク室とを、インク路と総称する。インク流路に対応して、吐出口からインクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生体が通常設けられている。エネルギー発生体の代表例としては、インクを吐出するために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換素子、或いは圧電素子を挙げることができる。
【０００３】
このようなインクジェット記録ヘッドを製造する方法として、例えば特開昭６１−１５４９４７号公報、特開昭６２−２５３４５７号公報には、溶解可能な樹脂によってインク路のパターンを形成し、該パターンをエポキシ樹脂などで被覆して該エポキシ樹脂を硬化し、基板を切断した後に溶解可能な樹脂からなるパターンを溶出除去する方法が記載されている。この方法は、主として、インクが吐出する方向と電気熱変換素子上へインクが供給される方向とがほぼ垂直なタイプのインクジェット記録ヘッドの製造方法として記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、インクジェット記録ヘッドによって高品位の記録画像を得るためには、吐出口から吐出されるインクの小滴が、それぞれの吐出口から同じ体積と吐出速度で安定的に吐出されることが望ましい。これを達成するために、特開平４−１０９４０号〜同４−１０９４２号の各公報には、電気熱変換素子に対して記録情報に対応して駆動信号を印加し、電気熱変換素子がインクの核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネルギーをインクに付与することによって気泡を形成し、この気泡を外気と連通させてインクを滴として吐出する吐出方法が開示されている。この様な吐出方法を実現するため、インクジェット記録ヘッドとしては、吐出口（オリフィス）と電気熱変換素子（ヒーター）との距離（以下、「ＯＨ距離」と略称する）が短い方が好ましい。また、前記吐出方法においては、ＯＨ距離が滴の吐出体積をほぼ決定するため、ＯＨ距離を正確に、また再現性良く形成できることが重要である。
【０００５】
特開平６−２８６１４９号公報には、このようなＯＨ距離を短くしかも正確に製造することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法が開示されている。この公報に記載されている製造方法の代表例は、要するに次の通りである。まず、エネルギー発生体が所望の個数配置された基板上に、常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を溶媒に溶解したものを、前記溶解可能な樹脂層上にソルベントコートすることにより、前記溶解可能な樹脂層上にインク路の壁となる被覆樹脂層を形成する。次に、前記エネルギー発生体の上方にある前記被覆樹脂層に吐出口を形成し、前記溶解可能な樹脂層を溶出除去することにより、インク路を形成する。
【０００６】
ところで、インクジェット記録ヘッドでは、インクの吐出を繰り返した後などに吐出口の周辺にインクの滴が付着することがある。この滴の付着の程度によっては、吐出口から吐出される滴の吐出飛翔方向にズレが生じ、高精度で高精細な記録に支障が生じることがある。このような吐出方向のズレの主因となる吐出口付近へのインクの付着を防止するために、吐出口が形成されている吐出口面に撥水処理を行う方法が知られている。
【０００７】
従来、前述の製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッドの吐出口面に対して、シリコンゴム等の可撓性部材上に塗布した撥水剤を転写し、乾燥や硬化等の工程を経てインクジェット記録ヘッドの撥水処理を行っていた。しかし、撥水処理の工程においては、吐出口が既に開口している面に撥水処理剤を転写にて塗布する関係上、吐出口内へごく一部の撥水剤が入り込むことを防止することが困難であった。近年、インクジェット記録ヘッドを用いて高品位で高精細の記録画像を得るために、吐出口から吐出される滴が非常に小さくなってきている。このため、吐出口内への撥水剤の入り込みは、それが微量であっても、滴の吐出方向に影響を及ぼすことが発生する様になってきた。
【０００８】
本発明の目的の一つは、吐出口から狙った方向にまっすぐインクが吐出し、高品位で高精細な記録を長期間安定的に行うことができるインクジェット記録ヘッドの製造方法および該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、撥水材料が吐出口内へ入り込まないインクジェット記録ヘッドの製造方法および該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【００１０】
本発明の更に他の目的は、紙ジャム、紙粉こすり等の外因に対して充分な耐性をもつ厚さの撥水膜を所定領域に正確に形成することができるインクジェット記録ヘッドの製造方法および該製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、インクを吐出する吐出口が配される吐出口面が設けられるインクジェット記録へッドの製造方法であって、
前記吐出口面の前記吐出口となる箇所を開口する前に、前記吐出口面の当該箇所を含めて前記吐出口面を導電処理する導電処理工程と、
前記吐出口を開口するために、前記吐出口となる前記箇所の材料を、導電処理された当該箇所を含んで除去する除去工程と、
前記吐出口面の導電処理が施された領域に撥水材料を電着する電着工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録へッドの製造方法に関する。
【００１２】
本発明に係るインクジェット記録へッドの製造方法は、好ましくは前記導電処理工程の前に、前記吐出口となる箇所に前記材料が存在している状態で、切断によって前記吐出口面を形成する工程を有する。
【００１３】
さらに本発明は、この様なインクジェット記録ヘッドの製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッドであって、前記吐出口の内部に前記撥水材料が入り込んでいないインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１４】
本発明では、吐出口を開口する前に、吐出口面に対して導電処理するか、或いは導電処理を途中段階まで施す。それ故、撥水塗料を電着塗装する際には、吐出口を除いた吐出口面のみが撥水処理され、吐出口の内側へ撥水塗料が入り込むことがない。従って、吐出されるインクの滴が非常に小さくても、吐出方向のずれがないインクジェット記録ヘッドを製造することができる。加えて、紙ジャム、紙粉こすり等の外因に対しても充分な耐性を持つ厚さの撥水膜を所定領域に正確に形成することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、吐出口が配設される部材から吐出口となる部分を除去することによって吐出口となるノズル孔を開ける方法であれば、どのような方法にも適用することが可能である。
【００１６】
本発明において、吐出口となる部分を除去して吐出口を開口する時期は、吐出口が配される吐出口面の導電処理が完了した時期か、または導電処理の途中段階の時期である。ここで、「導電処理の完了」とは、導電処理された面が電着塗装を行うのに十分な導電性を示すようになることをいう。また、「導電処理の途中段階」とは、この途中段階までの導電処理を経ていない面に対して同様に残りの導電処理を行っても、電着塗装を行うのに十分な導電性を示すことがない段階をいう。この途中段階まで導電処理された面に対して引き続き導電処理を行うことで、導電処理は完了する。導電処理の途中段階で溶解可能な材料（例えば樹脂）を溶出除去して吐出口を形成した後に、導電処理の残りの工程を行っても、吐出口の内部が導電されることがなく、従って撥水処理がされることもない。
【００１７】
例えば、前処理として被処理面をエッチングした後、Ｓｎ処理（種植え）、Ｐｄ処理（触媒処理）、無電解めっきを順に行う場合は、溶解可能な樹脂材料を溶出除去するのを、Ｓｎ処理より後に行えばよい。また、Ｓｎ処理が不要な導電処理の場合は、溶解可能な樹脂材料を溶出除去するのを、Ｐｄ処理より後に行えばよい。導電処理が完了すると、比較的厚い金属膜が溶解除去されるべき樹脂材料の上にも形成されるので、導電処理の途中段階で溶解可能な樹脂材料を溶出除去する方が、樹脂材料の除去が簡単で後の電着塗装性も良いので好ましい。
【００１８】
本発明において用いる撥水塗料は電着塗装が可能なものであり、アクリルシリコン系、アクリルフッ素系、エポキシシリコン系、エポキシフッ素系等の公知の材料を用いることができる。このような撥水塗料としては、例えばハニー化成製塗料ＨＴ−８等を挙げることができる。
【００１９】
本発明では、撥水塗料を吐出口面に厚く形成することが可能であり、実使用に十分耐え得る、例えば０．５μｍ以上の厚さを容易に形成することができる。
【００２０】
本発明は、吐出口からインクを吐出する方向とインク路においてエネルギー発生体上にインクが供給される方向とがほぼ平行であるようなインクジェット記録ヘッドの製造方法として用いることができる。或いは本発明は、吐出口からインクを吐出する方向とインク路においてエネルギー発生体上にインクが供給される方向とがほぼ垂直であるようなインクジェット記録ヘッドの製造方法として用いることもできる。
【００２１】
インクの吐出方向とエネルギー発生体上へのインクの供給方向とがほぼ平行であるようなインクジェット記録ヘッドは、代表的には図３（ｅ）に示すような形状である。この場合、例えば特開昭６１−１５４９４７号公報に記載されているように、溶解可能な樹脂材料を基板上に露光・現像により形成されたレジスト等の感光性樹脂からなるものとすると、インク路の形成を容易に行うことができる。この感光性樹脂はポジ型とネガ型とのいずれでもよく、インク路のパターンに形成された場合、パターンを覆う非溶解性材料との溶解性の差を勘案して適宜決められる溶剤により溶出除去できるものであればよい。ポジ型の感光性樹脂であれば、インク路の形成を一層容易に行うことができる。溶出に用いられる溶剤としては、例えば有機溶剤やアルカリ水溶液などを用いることができる。
【００２２】
また、このような感光性樹脂を用いる代わりに、基板上に溶解可能な樹脂材料を成膜後、成膜された溶解可能な樹脂材料をエッチングにより形状加工することもできる。エッチングは、通常、適当なレジストを用いて行う。例えば、ＦＨ−ＳＰ（フジフィルムオリン（株）製）等のＳｉ系レジストを用いたドライエッチングによる方法等が挙げられる。
【００２３】
また、インク路の壁面を形成する非溶解性材料は、全部を非溶解性の樹脂等で形成してもよいし、或いは一部を基板等の剛体で形成して残りを非溶解性の樹脂等で形成してもよい。
【００２４】
一方、インクの吐出方向とエネルギー発生体上へのインクの供給方向とがほぼ垂直であるようなインクジェット記録ヘッドは、代表的には図６（ｉ）に示すような形状である。この場合、吐出口が配される部材として感光性樹脂を使用し、この感光性樹脂を成膜した後露光することにより、後に吐出口となる部分が溶解可能でその周囲が非溶解性となるようにし、吐出口面を導電処理した後または導電処理の途中段階において吐出口の部分を溶出除去して吐出口を形成することができる。
【００２５】
感光性樹脂としてはポジ型でもネガ型でもよく、露光後に吐出口となる部分が溶解性でありその周囲が非溶解性になるものを用いればよい。感光性樹脂としては、例えば特開平６−２８６１４９号公報に記載されているようなエポキシ樹脂を樹脂成分として含む感光性樹脂等を挙げることができる。溶出に用いられる溶剤は、溶解性の差を勘案して適宜決められるが、例えば有機溶剤やアルカリ水溶液などを用いることができる。
【００２６】
前述した感光性樹脂を用いる代わりに、インク路形成のための所定の加工がされた基板上に、吐出口が配される部材を成膜した後、吐出口面を導電処理した後または導電処理する途中段階において、吐出口が配される部材をエッチングして吐出口を形成するようにすることもできる。エッチングは、適当なレジストを用いて行う。例えば、ＦＨ−ＳＰ（フジフィルムオリン（株）製）等のＳｉ系レジストを用いたドライエッチングによる方法等が挙げられる。
【００２７】
本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、記録紙の全幅にわたって吐出口が複数配されたフルラインタイプの記録ヘッドを製造する際、さらには記録ヘッドを一体的に複数個組み合わせたカラー記録ヘッドを製造する際などにも有効である。
【００２８】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２９】
[参考例]
図１は、本発明の参考例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的正面図である。図２〜図３は、本発明の参考例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的斜視図である。
【００３０】
図１（ａ１）に示すように、エネルギー発生体として電気熱変換素子９が形成されたアルミニウム基板１上に、ポジ型フォトレジスト（ヘキスト社製ＡＺ−４９０３）を膜厚３０μｍとなるようスピンコートで設け、オーブン中で９０℃、４０分間のプリベークを行ってレジスト層２を形成した。
【００３１】
次に、図１（ａ２）に示すように、レジスト層２に対し、マスクパターン３を介してマスクアライナーＰＬＡ−５０１（キヤノン製）により８００ｍＪ／ｃｍ２  の露光量でパターン露光を施した。その後、０．７５ｗｔ％の水酸化ナトリウム水溶液を用いて現像、次いでイオン交換水でリンス処理を施し、７０℃で３０分間のポストベークを行った。この結果、図１（ａ３）および図２（ａ）に示すように、複数のインク流路に相当する部分（４）と、共通のインク室に相当する部分（４ａ）と、を含むレジストパターン４，４ａを得た。
【００３２】
次に、図１（ｂ）および図２（ｂ）に示すように、レジストパターン４，４ａ上に、低温硬化型のエポキシ樹脂組成物をマイクロディスペンサーによって塗布した。このエポキシ樹脂組成物は、インク路の壁を形成する路壁形成部材５となる。
【００３３】
次に、図１（ｃ１）および図２（ｃ）に示すように塗装済のアルミニウム蓋板６をかぶせた。符号６ｂは共通のインク室に対応する様に蓋板６に形成された掘り込み部、符号６ｃは共通のインク室にインクを供給するための供給口である。そして、路壁形成部材５となるエポキシ樹脂組成物を８０℃で２ｈｒ硬化させた。ここでエポキシ樹脂組成物は、
油化シェル製エポキシ  エピコート８２８（８５部）；
チバガイギー製エポキシ  ＤＹＯ２２（１０部）；
信越化学製エポキシ系シラン  ＫＢＭ４０３（５部）；および
旭化成工業製マイクロカプセル化硬化剤  ノバキュアＨＸ−３７２２（６０部）
を混合して調整したものである。次に、吐出口面を形成するために、（株）ディスコ製オートマチックスライサーＤＬＳ−６１／５０ＲＭＳに（株）オリエンタルダイヤ製ダイヤモンドチップソウを装着し、図２（ｃ）のＢ−Ｂ’の一点鎖線に沿って切断した。主に切断端面に露出するアルミニウム基板１およびアルミニウム蓋板６の表層酸化膜を除去するために、切断端面に対し、（株）奥野製薬工業製トップアルクリーン１６１を用いて５０℃、５分間脱脂処理し、（株）奥野製薬工業製トップアルソフト１０８を用いて４５℃、１．５分間のエッチング処理を行った。続いて、基板１および蓋板６の切断端面に対し、（株）奥野製薬工業製サブスターＺＮ−１０で常温、４０秒間のジンケート処理を施し、（株）奥野製薬工業製トップニコロンＴＯＭで９０℃、１０分間無電解めっき処理を施して、めっき層６ａを形成した（図１（ｃ２））。
【００３４】
次に、エポキシ樹脂からなる路壁形成部材５の切断端面に対し、(株)奥野製薬工業製ＯＰＣ-50インデュサーを用いて40℃、３分間の触媒付与を施し、さらに(株)奥野製薬工業製研Ｃ-150クリスタラーＭＵを用いて常温、３分間の活性化処理を施して、活性化面５aを形成した(図１(ｃ３))。本参考例において、触媒付与と活性化の処理は、導電処理の途中段階までの処理に相当するものである。
【００３５】
次いで、図３（ｄ）の矢印のようにしてエチルセロソルブによってレジストパターン４，４ａを除去する。この結果、図１（ｄ）および図３（ｄ）のようにインク路７が形成されるとともに、活性化面５ａのうちで吐出口に相当する箇所が除去される。
【００３６】
次に、（株）奥野製薬工業製トップケミアロイＢ−１で６５℃、２分間無電解めっき処理を施し、エポキシ樹脂からなる路壁形成部材５の活性化面５ａ上にニッケル−ホウ素合金を形成して、エポキシ樹脂の導電処理を完了した。
【００３７】
次に、エポキシ樹脂の導電処理面に対して（株）ハニー化成製塗料ＨＴ−８を厚さ３μｍ電着塗装した後、１２０℃で２時間硬化して撥水処理を完了した。この様にして、図１（ｅ）および図３（ｅ）に示されるように、撥水膜５ｂを形成した。このインクジェット記録ヘッドは、撥水塗料が吐出口の中に入り込んでおらず、良好な吐出特性を有するものであった。
【００３８】
[実施例]
図４〜図６は、本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す、模式的斜視図((a))およびそのＡ-Ａ'の一点鎖線で切断した模式的断面図((b)以降)である。
【００３９】
まず、エネルギー発生体として電気熱変換素子９（材質ＨｆＢ２  からなる発熱抵抗体）が形成された平板状のシリコン基板８に対して、その上にブラストマスクを設置し、サンドブラスト加工によりインクを供給するための貫通口１３を形成した（図４（ａ））。
【００４０】
次いで、ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業（株）社製ＯＤＵＲ−１０１０）の層をポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の基材上に塗布、乾燥してドライフィルムとしたものを、基板８に対してラミネート転写して、ポリメチルイソプロペニルケトンからなる溶解可能な樹脂層を基板８上に形成した。なお、ＯＤＵＲ−１０１０は低粘度であり厚膜に形成しにくいため、濃縮して用いた。
【００４１】
次いで、溶解可能な樹脂層に対して１２０℃にて２０分間プリベークした後、キヤノン製マスクアライナーＰＬＡ５２０（コールドミラーＣＭ２９０）にてインク路のパターン状に１．５分間露光を行った。次いで、１％の苛性ソーダによってスプレー現像を行い、溶解可能な樹脂で形成されたインク路に対応したレジストパターン１０を形成した（図４（ｂ））。なお、現像後のレジストパターン１０の膜厚は１０μｍである。
【００４２】
次いで、感光性樹脂組成物をメチルイソブチルケトン／ジグライム混合溶媒に溶解したものを、レジストパターン１０を覆う様にスピンコートし、図４（ｃ）に示すように感光性被覆樹脂層１１を形成した。このとき、レジストパターン１０の上の感光性被覆樹脂層１１の膜厚は、１０μｍであった。ここで用いた被覆樹脂層形成用の感光性樹脂組成物は、
エポキシ樹脂  ＥＨＰＥ−３１５０（商品名：ダイセル化学社製）；
ジオール  １、４  ＨＦＡＢ（商品名：セントラル硝子（株）製）；
シランカップリング剤  Ａ−１８７（商品名：日本ユニカー社製）；および
光重合開始剤  アデカオプトマーＳＰ−１７０（商品名：旭電化工業（株）製）
からなるものである。
【００４３】
次いで、マスクアライナーＰＬＡ５２０（ＣＭ２５０）（キヤノン製）を用いて、図５（ｄ）に示すように、マスク１４を介してインク吐出口を形成するためのパターン露光を行った。これにより、露光部分が非溶解性となり、露光されない部分が溶解可能な状態のまま残った。なお、露光は１０秒、アフターベークは６０℃で３０分間行った。
【００４４】
続いて、感光性被覆樹脂層１１に対してクロム酸溶液（４２０ｇ／ｌ）で５５℃、１分間エッチング処理し、（株）奥野製薬工業製ＴＭＰセンシタイザーにより室温で３分間処理して、第１スズイオンを感光性被覆樹脂層１１に吸着させた。その後、図５（ｅ）に示すように、（株）奥野製薬工業製ＴＭＰアクチベーターを用いて室温で３分間処理し、Ｐｄ触媒金属層１６ａを形成した。
【００４５】
次いで、メチルイソブチルケトンで感光性被覆樹脂層１１の現像を行い、図５（ｆ）に示すように、インクの吐出口に連通するノズル部１７ａを形成した。なお、本実施例では、φ２６μｍのノズルパターンを形成した。続いて、（株）奥野製薬工業製ＴＭＰ化学ニッケルで４５℃、３分間の無電解めっき処理を施してメッキ層１６ｂを形成し、被覆樹脂層１１の導電処理を完了した。
【００４６】
この様に導電処理の済んだヘッドに対し、（株）ハニー化成製塗料ＨＴ−８を厚さ２μｍに電着塗装し、１００℃、１時間硬化して、図６（ｇ）に示すように、電着塗装膜１６を形成して撥水処理を終えた。
【００４７】
この状態ではまだレジストパターン１０が残存しているので、再びマスクアライナーＰＬＡ５２０（ＣＭ２９０）（キヤノン製）を用いて２分間露光し、乳酸メチル中に超音波を付与しつつ浸せきし、図６（ｈ）に示すように残存しているレジストパターン１０を溶出除去した。次いで、１５０℃、１時間の加熱を施し、感光性被覆材料層１１および電着塗装膜１６を完全に硬化させる。
【００４８】
最後に、図６（ｉ）に示すように、インク供給口１３にインク供給部材１５を接着することにより、インクジェット記録ヘッドが完成する。この様にして製造されたインクジェット記録ヘッドは、撥水塗料が吐出口１７の中に入り込んでおらず、良好な吐出特性を有するものであった。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、高品位の画像を得るために、吐出される記録液滴が非常に小さくても、吐出方向のズレがほとんど無いヘッドが得られる。又、紙ジャム、紙粉こすり等の外因に対して充分に耐性を持つ膜厚を持つヘッドが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の参考例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的正面図である。
【図２】本発明の参考例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的斜視図である。
【図３】図２に引き続き、本発明の参考例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的斜視図である。
【図４】本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す、模式的斜視図((a))およびそのＡ-Ａ'の一点鎖線で切断した模式的断面図((b)以降)である。
【図５】図４に引き続き、本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的断面図である。
【図６】図５に引き続き、本発明の実施例に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を製造工程順に示す模式的断面図である。
【符号の説明】
１  アルミニウム基板
２  レジスト層
３  マスクパターン
４、４a  レジストパターン
５  路壁形成部材
５a  活性化面
５b  撥水膜
６  アルミニウム蓋板
６a  めっき層
７  インク路
８  シリコン基板
９  電気熱変換素子
10  レジストパターン
11  感光性被覆樹脂層
13  貫通口
14  マスク
15  インク供給部材
16  電着塗装膜
16a  Ｐd触媒金属層
16b  めっき層
17  吐出口
17a  ノズル部
【図１】
0003592120.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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