(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板状のシャドーマスクが接するガラスの全体面に亘って所定間隔に複数の永久磁石が配置されたシャドーマスクホルダーユニットと、前記シャドーマスクを挟んで前記シャドーマスクホルダーユニットの下部に所定間隔だけ離隔されて位置され、前記シャドーマスクホルダーユニットの各永久磁石と対応する位置に複数の永久磁石が夫々配置されて、それら永久磁石を包んでそれらの下部に隣接して、前記各永久磁石の磁力を増減制御し得るように極性方向が調節可能な複数の電磁石が配置されたシャドーマスク安着テーブルとを含んで構成されることを特徴とする有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項２】
前記シャドーマスクホルダーユニット及び前記シャドーマスク安着テーブル内に具備された各永久磁石は、相互対応する永久磁石間に反対極性を維持するように配置されたことを特徴とする請求項１記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項３】
前記シャドーマスクホルダーユニットと前記シャドーマスク安着テーブル間の磁力大きさ変化によって、前記ガラスの底面に前記シャドーマスクを着脱し得ることを特徴とする請求項１記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項４】
前記電磁石は、
前記永久磁石の下部に隣接配置されるコアと、
前記永久磁石及びコアに嵌合されるロールと、
前記ロールの外周面に巻回されたコイルとにより構成されることを特徴とする請求項１記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項５】
前記シャドーマスクホルダーユニットは、
底面側に所定間隔ごとに磁石安着溝が形成された上板と、
前記上板と対応して所定間隔を有して離隔された下板と、
前記上板と下板間に垂直方向に介在される複数の永久磁石と、
前記上板と下板間に設置されてそれらの縁部を支持する離隔フレームと、
前記下板の底面の両方辺に結合されて前記ガラスを係止固定させるガラスホルダーとを含んで構成されることを特徴とする請求項１記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項６】
前記下板の上面には、前記ガラスの温度を一定に維持し得るように、温度調節ができる薄板状のヒーティングプレートが具備されることを特徴とする請求項５記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項７】
前記ヒーティングプレートは、前記ガラスのパターン蒸着に必要な熱を提供する熱発生手段であって、温度センサーに連結されて温度を感知することができることを特徴とする請求項６記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項８】
前記シャドーマスクホルダーユニットは、その上板、下板及び離隔フレームの両側縁部にそれらを同時に貫通する複数の締結孔が夫々穿孔形成され、それら貫通孔を介してネジを締結することで一体に固定され、また、前記ガラスホルダーが結合される前記上板、下板及び離隔フレームの残り両方側縁部並びに前記ガラスホルダーには、それらを同時に貫通する複数の弾性締結孔が夫々穿孔形成され、それら弾性締結孔を介して圧縮スプリングにより弾支される締結ネジを締結することで、前記ガラスが前記ガラスホルダーにより弾性支持されることを特徴とする請求項５記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【請求項９】
前記シャドーマスク安着テーブルは、
前記シャドーマスクが着脱される上板と、
底面側に所定間隔ごとに磁石安着溝が形成され、中央部に前記電磁石と連結されたコイルが流入されるコイル流入孔が穿孔形成されて前記上板の底面に隣接配置された支持板と、
前記支持板と所定間隔を有して離隔された下板と、
前記支持板と下板間に垂直方向に介在される複数の永久磁石及び電磁石からなる磁力調節ユニットとを含んで構成されることを特徴とする請求項１記載の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機電界発光表示装置（ＯＥＬＤ）用製造設備のシャドーマスク着脱装置に係るもので、詳しくは、永久磁石と磁石間の磁力の増減変化を制御することで、シャドーマスクホルダーユニットにシャドーマスクを自在に着脱することができる、国内最初開発のクラスタ型の有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在のような有機電界発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｅｌｅｃｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  Ｄｉｓｐｌａｙ）は、陰極と陽極間に注入された電子と正孔とが有機物内で結合して光を発光する自体発光現象、または、その現象を利用した表示装置の一種であって、１９５０年フランスのベルナノズ研究チームが有機電界発光現象を初発見した以来、英国、米国、日本、ドイツ及び韓国などの全世界の有数企業が持続的な関心を持って製品化開発中のディスプレー用電子部品である。
【０００３】
より詳しく説明すると、電界発光とは、固体に強力な電界を加えた時に発光することであって、その原因は、電界により加速された自由電子が発光物質中に存在する発光中心となる特定不純物（活性剤）の電子を励起させ、それが本来の状態に復帰するときに放出されるエネルギーに起因するもので、このような発光原理を利用するものが電界発光素子で、該素子は、一般照明として使用できる程度の明るさを発散することができないため、表示装置や光増幅器に主に用いられ、テレビジョンなどの分野でも応用されている。
【０００４】
最近、日本の企業が前記電界発光原理を適用した小型製品の常用化に成功したことがあるが、現在までも大型化の具現などには技術的に解決しなければならない問題が沢山残っている。
【０００５】
前記電界発光素子の一般構造は、特殊蛍光体を誘電体に混合してなる数十μｍほどの薄膜を形成する板状の発光層の両方面に電極が密着形成されて一種のコンデンサを形成し、通常、一方側の電極は金属材、他方側の電極は外部へ発光可能な透明材、により構成され、また、前記発光層は、粉末状の硫化亜鉛（ＺｎＳ）などの発光物質を固形化したもので、プラスチック型とセラミック型とに分類される。
【０００６】
前記有機電界発光表示装置は、１５Ｖ以下の低電圧でも駆動が可能で、製品を超薄型に設計することができるという長所があるので、現在のプラズマ表示装置（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）及び薄膜トランジスタ液晶表示装置（ＴＦＴ  ＬＣＤ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｐｌａｙ）などを代替し得る次世代平板表示装置として浮上している。
【０００７】
ここで、前記有機電界発光表示装置との構造及び発光原理などの相違点を明確にするために、前記各表示装置を詳しく説明する。
【０００８】
先ず、前記プラズマ表示装置は、平坦なガス封入パネルの内部に電極を格子状に配列し、それら格子電極線上の任意点を選択して電極電流を始動させてガスがイオン化されながら発光するグロー放電原理を利用したもので、前記電極線の各発光点における電圧印加有無に対するデジタル信号を制御することで文字や図形を表示するものである。そして、封入ガスとしてネオンガスが主に使用されるので赤銅色に発光され、前記電極を絶縁膜により覆うことで記憶性能を与えることもできるので、コンピュータの端末装置などに使用することができる。
【０００９】
一方、前記薄膜トランジスタ液晶表示装置は、薄膜上の半導体に流れる電流に、該電流と垂直の電界を加えて制御する電界効果トランジスタの一種であって、液晶の各ドットを構成するセルの電極ごとにトランジスタを重畳して構成したもので、モスＩＣ（ＭＯＳ  ＩＣ）素子中の唯一の能動素子とも言える。前記薄膜トランジスタ液晶表示装置は、液晶表示装置特有の薄板に形成されるため、低消費電力で可動することができると共に、陰極線管（ＣＲＴ）と同等の画質を得ることができるという長所があるが、非常に高度の半導体技術を要するため製品化が困難であるという問題点があるだけでなく、応答速度が遅延されるので、速い動映像処理時には残像が残るという致命的な短所を有するため、テレビジョン用途への開発には限界がある。
【００１０】
反面、前記有機電界発光表示装置は、データ応答速度が平均３０ｍｓ（ミリセカンド）の薄膜トランジスタ液晶表示装置に比べ３０万倍以上も速い１μｓ（マイクロセカンド：１００万分の１秒）であるため高速動映像処理に非常に適合し、次世代平板表示装置としての必要条件とも言える電力消耗量においても、既存の薄膜トランジスタ液晶表示装置やプラズマ表示装置に比べて非常に消耗量が少ないという長所がある。
【００１１】
以上説明したような有機電界発光表示装置を製造するためには、半導体素子の製造工程と類似した多段階の工程が順次行われるべきで、即ち、一連の真空製造設備による基板（ガラス）とシャドーマスクの整列、移送及びローディング工程、パターン形成工程、正孔輸送層の形成及びその熱処理工程、発光層の形成工程、画素電極（ＩＴＯ  Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）の形成及び洗浄工程、有機物の蒸着工程、無機物の蒸着工程、保護膜の形成工程及びパッケージング工程などが複合的に行われるべきである。
【００１２】
本発明は、有機電界発光表示装置用製造設備において、ガラスに所定パターンを形成し得るようにシャドーマスクを円滑に移送するための着脱装置の構成に限定される。
【００１３】
ここで、シャドーマスクとは、真空蒸着工程で所定の形態を有するパターンをガラスの表面上に蒸着するために使用される遮蔽用マスクを意味するもので、その材質は磁性体の薄い金属板により構成され、前記シャドーマスクは、ガラスに密着された状態で支持されて、蒸着物の蒸着によりガラスの表面に回路パターンが形成されるようになっている。
【００１４】
即ち、シャドーマスクホルダーユニットの底面にシャドーマスクを密着固定した後、シャドーマスクに向かって蒸着物を蒸着させると、シャドーマスクに形成された所定パターンがガラスに形成される。
【００１５】
従来の製造設備によるシャドーマスクの密着固定方法は、ガラスの下部からシャドーマスクを昇降運動させる着脱装置により行われるが、前記シャドーマスクの中央部全体面は回路パターンを形成するために割当てられるべきであるので、前記シャドーマスク着脱装置は、シャドーマスクの縁部だけを支持した状態でガラスの底面にシャドーマスクを密着固定させるようになっていた。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このような従来のシャドーマスク着脱装置においては、シャドーマスクの縁部だけを支持して昇降運動させるため、シャドーマスクの自重によって中央部に垂れ現象が発生するという問題点があった。
【００１７】
特に、シャドーマスクは非常に薄い薄板状に形成されているので、シャドーマスクのサイズが大きくなるほど中央部の垂れ現象が一層甚だしくなってガラス表面と離隔されるので、正確な回路パターン蒸着工程を行うことができず、よって、製品の不良率及び生産単価が上昇するという不都合な点があった。
【００１８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、永久磁石と電磁石間の磁力の増減変化を制御することで、シャドーマスクホルダーユニットにシャドーマスクを自在に着脱することができる、有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置を提供することを目的とする。
【００１９】
本発明の他の目的は、シャドーマスクの大きさに拘わらず、全体面に亘って均一な密着性を維持することで、製品の不良率を著しく低減させて、製品信頼性の向上及び生産単価の節減を図り得ると共に、シャドーマスクに作用する密着力を選択的に遮断して着脱を自由に行うことで、シャドーマスクの迅速交替が可能で、生産性を向上し得ると共に、大量生産にも適合した有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置を提供しようとする。
【００２０】
本発明のその他の目的は、シャドーマスクホルダーユニットの容積及び重量を減少させて設備の安定化を図ると共に、電磁石の磁力調節がシャドーマスク安着テーブル上で行われるようにして、シャドーマスクホルダーユニットの熱発生を減少し得る、有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置を提供しようとする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明に係る有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置においては、金属薄板状のシャドーマスクが接するガラスの全体面に亘って所定間隔に複数の永久磁石が配置されたシャドーマスクホルダーユニットと、前記シャドーマスクを挟んで前記シャドーマスクホルダーユニットの下部に所定間隔だけ離隔されて位置され、前記シャドーマスクホルダーユニットの各永久磁石と対応する位置に複数の永久磁石が夫々配置されて、それら永久磁石を包んでそれらの下部に隣接して、前記各永久磁石の磁力を増減制御し得るように極性方向が調節可能な複数の電磁石が配置されたシャドーマスク安着テーブルとを含んで構成されることを特徴とする。
【００２２】
前記シャドーマスクホルダーユニット及び前記シャドーマスク安着テーブル内に具備された各永久磁石は、相互対応する永久磁石間に反対極性を維持するように配置されたことを特徴とする。
【００２３】
前記シャドーマスクホルダーユニットと前記シャドーマスク安着テーブル間の磁力大きさ変化によって、前記ガラスの底面に前記シャドーマスクを着脱し得ることを特徴とする。
【００２４】
前記電磁石は、前記永久磁石の下部に隣接配置されるコアと、前記永久磁石及びコアに嵌合されるロールと、前記ロールの外周面に巻回されたコイルと、により構成される。
【００２５】
前記シャドーマスクホルダーユニットは、底面側に所定間隔ごとに磁石安着溝が形成された上板と、前記上板と対応して所定間隔を有して離隔された下板と、前記上板と下板間に垂直方向に介在される複数の永久磁石と、前記上板と下板間に設置されてそれらの縁部を支持する離隔フレームと、前記下板の底面の両方辺に結合されて前記ガラスを係止固定させるガラスホルダーとを含んで構成される。
【００２６】
前記下板の上面には、前記ガラスの温度を一定に維持し得るように、温度調節ができる薄板状のヒーティングプレートが具備される。
【００２７】
そして、前記シャドーマスクホルダーユニットは、その上板、下板及び離隔フレームの両側縁部にそれらを同時に貫通する複数の締結孔が夫々穿孔形成され、それら貫通孔を介してネジを締結することで一体に固定され、また、前記ガラスホルダーが結合される前記上板、下板及び離隔フレームの残り両方側縁部並びに前記ガラスホルダーには、それらを同時に貫通する複数の弾性締結孔が夫々穿孔形成され、それら弾性締結孔を介して圧縮スプリングにより弾支される締結ネジを締結することで、前記ガラスが前記ガラスホルダーにより弾性支持されることを特徴とする。
【００２８】
且つ、前記シャドーマスク安着テーブルは、前記シャドーマスクが着脱される上板と、底面側に所定間隔ごとに磁石安着溝が形成され、中央部に前記電磁石と連結されたコイルが流入されるコイル流入孔が穿孔形成されて前記上板の底面に隣接配置された支持板と、前記支持板と所定間隔を有して離隔された下板と、前記支持板と下板間に垂直方向に介在される複数の永久磁石及び電磁石からなる磁力調節ユニットとを含んで構成されることを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に対し、図面を用いて説明する。
【００３０】
本発明に係る有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置においては、図１〜図４に示したように、金属薄板状のシャドーマスク１が接するガラス４２の全体面に亘って所定間隔を有して複数の永久磁石３５が配置されたシャドーマスクホルダーユニットＨと、シャドーマスク１を挟んでシャドーマスクホルダーユニットＨの下部に所定間隔だけ離隔されて位置され、シャドーマスクホルダーユニットＨの各永久磁石３５と対応する位置に複数の永久磁石８５が夫々配置され、それら永久磁石８５を包んでそれら永久磁石８５の下部に隣接して配置されて、それら永久磁石８５の磁力を増減制御し得るようにその極性方向を調節可能な複数の電磁石８１が配置されたシャドーマスク安着テーブルＴと、により構成されている。
【００３１】
そして、シャドーマスクホルダーユニットＨにおいては、底面側に所定間隔を有して磁石安着溝１３が形成された、ニッケルなどの金属材質により構成された上板１０と、上板１０と対応して所定間隔を有して離隔された下板２０と、上板１０と下板２０間に垂直方向に介在される複数の永久磁石３５と、上板１０と下板２０間に設置されてそれらの縁部を支持する離隔フレーム３０と、下板２０の底面両方端部に結合されてガラス４２を係止固定させるガラスホルダー４０と、により構成されている。
【００３２】
且つ、上板１０、下板２０及び離隔フレーム３０には、それらの両方側縁部を同時に貫通する複数の締結孔１２、２２、３２が夫々穿孔形成され、それら貫通孔１２、２２、３２を介してネジ（図示せず）を締結することで、各永久磁石３５が内蔵された状態で一体に固定され、ガラスホルダー４０が結合される上板１０、下板２０及び離隔フレーム３０の残りの両方側縁部並びにガラスホルダー４０には、それらを同時に貫通する複数の弾性締結孔１４、２４、３４、４４が夫々穿孔形成され、それら弾性締結孔１４、２４、３４、４４を介して圧縮スプリング９４により弾支される締結ネジ９１を締結することで、ガラス４２がガラスホルダー４０から弾力的に支持されるようになっている。
【００３３】
この時、離隔フレーム３０は、各永久磁石３５の上端が各磁石安着溝１３に若干挿入されることを考慮して、各永久磁石３５の長さよりもやや薄く形成することでそれら永久磁石３５を堅固に支持することが好ましく、また、離隔フレーム３０の各弾性締結孔３４の内部は、それら弾性締結孔３４に挿入される圧縮スプリング９４のスプリングシートとして機能するように、内周面を沿って係止突条３４ａが形成された二重内径の形態を有するように形成され、このとき、上板１０の弾性締結孔１４の内径は、離隔フレーム３０の弾性締結孔３４の大径部と、また、下板２０及びガラスホルダー４０の各弾性締結孔１４、４４の内径は、離隔フレーム３０の弾性締結孔３４の小径部と、夫々一致するように形成される。
【００３４】
即ち、シャドーマスクホルダーユニットＨの弾性結合構造は、各弾性締結孔１４、３４、２４、４４を貫通して締結される弾性調節ユニット９０により達成され、弾性調節ユニット９０は、ガラスホルダー４０の下部から挿入される締結ネジ９１と、上板１０の上部から各弾性締結孔１４、３４内に挿入されて締結ネジ９１と螺合される流動ナット９２と、流動ナット９２のヘッド部と離隔フレーム３０の係止突条３４ａ間を弾性支持して締結ネジ９１に上向力を与える圧縮スプリング９４とにより構成される。
【００３５】
図中、符号９３は、締結ネジ９１のネジ部と螺合されるネジ締結孔９３を示す。
【００３６】
このような構成によると、ガラスホルダー４０を下方側に引っ張って離隔させた後、ガラス４２を自在に着脱させることが可能で、反対に、ガラスホルダー４０を放すと、圧縮スプリング９４の弾性によりガラス４２を下板２０の底面に密着させた状態で固定させることができる。
【００３７】
弾性調節ユニット９０の構造によると、ガラス４２の厚さに応じて締結ネジ９１を締めたりはずしたりしながら圧縮スプリング９４の弾性力を一定に調節することができるので、ガラス４２に作用する圧力をその厚さに拘わらず一定に維持することができる。
【００３８】
また、下板２０の上面には、ガラス４２の温度を一定に維持し得るように温度調節可能な薄板状のヒーティングプレート２５が具備され、ヒーティングプレート２５の上面には永久磁石３５の下端が接触される状態を維持する。ここで、ヒーティングプレート２５は、外部の電気を供給されてガラス４２のパターン蒸着に必要な熱を提供するための熱発生手段に該当するものであって、温度センサー（図示せず）に連結されて外部から温度を感知することができるようになっている。
【００３９】
ガラスホルダー４０は、ほぼバー状に形成されて下板２０の底面の対応される両辺部に夫々位置され、それらの両端部にはガラス４２の角部分を支持し得るようにガラス安着突起４１が夫々形成されている。
【００４０】
一方、シャドーマスク安着テーブルＴは、シャドーマスク１が着脱される上板５０と、底面側に所定間隔ごとに磁石安着溝７３が形成され、中央部に電磁石８１に連結されるコイル８３が流入されるコイル流入孔７１が穿孔形成されて上板５０の底面に隣接して配置される支持板７０と、支持板７０と所定間隔をおいて離隔された下板６０と、支持板７０と下板６０間に垂直方向に介在される複数の永久磁石８５及び電磁石８１からなる磁力調節ユニット８０と、により構成されている。
【００４１】
ここで、電磁石８１は、永久磁石８５の下部に隣接して配置されるニッケル材質のコア８４と、永久磁石８５及びコア８４の外周面に嵌合されるロール８２と、ロール８２の外周面に巻回されたコイル８３と、により構成され、ここで、コイル８３は、束に縛られてコイル流入孔７１を通過するように構成され、即ち、コイル８３をコイル流入孔７１を介して引出させた後、その両方端に転換スイッチ（図示せず）などを付着して電流の方向を変換させることで、電磁石８１の電極方向を調節し得るようになっている。
【００４２】
シャドーマスクホルダーユニットＨ及びシャドーマスク安着テーブルＴ内に夫々具備された各永久磁石３５、８５は、相互対応する各永久磁石３５、８５が反対極性を維持するように配置され、それら永久磁石（３５または８５）は、その任意位置の永久磁石（３５または８５）が有する極性が、隣接する各永久磁石（３５または８５）の極性と夫々反対極性を有するように配置されている。
【００４３】
このように磁力発生部の極性を相互異なるように配列する理由は、ガラス４２の底面に密着されるシャドーマスク１に均一な磁力を提供するためであって、各永久磁石３５、８５としては、フェライト系列の磁石が主に用いられる。
【００４４】
以下、このように構成された本発明に係るシャドーマスク着脱装置の作動原理に対し、図５ａ及び図５ｂに基づいて説明する。
【００４５】
図５ａ及び図５ｂは、本発明に係るシャドーマスク着脱装置によるシャドーマスクの着脱作動原理を示したもので、図５ａは、シャドーマスク安着テーブルＴの磁力が減少されて、シャドーマスク１がシャドーマスクホルダーユニットＨの底面に吸着された状態を示した作動状態図、図５ｂは、シャドーマスク安着テーブルＴの磁力が増加されて、シャドーマスク１がシャドーマスクホルダーユニットＨの底面から離脱されると同時に、シャドーマスク安着テーブルＴの表面に安着された状態を示した作動状態図である。
【００４６】
先ず、シャドーマスク１をガラス４２の底面に吸着させようとする場合は、図５ａに示したように、シャドーマスク安着テーブルＴ内の電磁石８１に正方向の電流を印加して隣接する永久磁石８５の極性と同一極性を形成し、よって、永久磁石８５の磁力は、電磁石８１の磁力と相衝しながらシャドーマスクホルダーユニットＨ内の永久磁石３５よりも弱い磁場を形成するため、それら間に配置されたシャドーマスク１がシャドーマスクホルダーユニットＨに具備された永久磁石３５の磁力により引っ張られてガラス４２の底面側に吸着されるようになる。
【００４７】
反対に、シャドーマスク１をシャドーマスク安着テーブルＴの上板５０の表面に安着させようとする場合は、図５ｂに示したように、シャドーマスク安着テーブルＴ内の電磁石８１に逆方向の電流を印加して隣接する永久磁石８５の極性と反対する極性を形成し、よって、永久磁石８５の磁力は、電磁石８１の磁力と合成されてシャドーマスクホルダーユニットＨ内の永久磁石３５よりも強力な磁場を形成するため、それら間に配置されたシャドーマスク１がシャドーマスク安着テーブルＴの磁力調節ユニット８０の磁力により引っ張られて上板５０の表面側に吸着されるようになる。
【００４８】
本発明は、このようなシャドーマスクホルダーユニットＨとシャドーマスク安着テーブルＴ間の磁力大きさの変化によって、ガラス４２の底面にシャドーマスク１を簡単に着脱し得るように構成されている。
【００４９】
以上、本発明の具体的な実施例を用いて詳しく説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で通常の知識を有する者によって多様な変形ができる。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るシャドーマスク着脱装置においては、ガラスにシャドーマスクを密着支持するためにガラス全体面に亘って作用する磁石の磁力を利用するため、ガラスに対するシャドーマスクの吸着性が著しく向上して、シャドーマスクの中央部が垂れることなく均一した支持状態を維持し得るようになって、正確な回路パターン蒸着工程を行うことが可能で、不良率を最小化し得るという効果がある。
【００５１】
且つ、電磁石の電流印加方式によってシャドーマスクに作用する磁力を選択的に遮断することができると共に、別途の弾性調節ユニットが結合されているので、使用されたシャドーマスクの交替作業を迅速且つ容易に行うことが可能で、製品の大量生産にも非常に有効に適用し得るという効果がある。
【００５２】
また、本発明の構造を二元化してシャドーマスクホルダーユニットをコンパクト化することで設備の安定化を図ると共に、電磁石の磁力調節がシャドーマスク安着テーブル上で行われるのでシャドーマスクホルダーユニットの熱発生を減少し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る有機電界発光表示装置用製造設備のシャドーマスク着脱装置を示した分解斜視図である。
【図２ａ】図１のシャドーマスク着脱装置に適用されたシャドーマスクホルダーユニットを示した平面図である。
【図２ｂ】図１のシャドーマスク着脱装置に適用されたシャドーマスク安着テーブルを示した平面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線を示した断面図である。
【図４】図１のシャドーマスク安着テーブルの内部に具備された磁力調節ユニットの結合構造を拡大して示した図３のＢ部分拡大図である。
【図５ａ】本発明に係るシャドーマスク着脱装置によるシャドーマスクの着脱作動原理を示したもので、シャドーマスク安着テーブルの磁力が減少して、シャドーマスクがシャドーマスクホルダーユニットの底面に吸着された状態を示した作動状態図である。
【図５ｂ】本発明に係るシャドーマスク着脱装置によるシャドーマスクの着脱作動原理を示したもので、シャドーマスク安着テーブルの磁力が増加して、シャドーマスクがシャドーマスクホルダーユニットの底面から離脱すると同時に、前記シャドーマスク安着テーブルの表面に安着した状態を示した作動状態図である。
【符号の説明】
Ｈ    シャドーマスクホルダーユニット
Ｔ    シャドーマスク安着テーブル
１    シャドーマスク
１０、５０  上板
１２、２２、３２  締結孔
１３、７３  磁石安着溝
１４、２４、３４、４４  弾性締結孔
２０、６０  下板
２５    ヒーティングプレート
３０    離隔フレーム
３４ａ  係止突条
３５、８５  永久磁石
４０    ガラスホルダー
４１    ガラス安着突起
４２    ガラス
７０    支持板
【図１】
0003592690.tif 000002
【図２ａ】
0003592690.tif 000003
【図２ｂ】
0003592690.tif 000004
【図３】
0003592690.tif 000005
【図４】
0003592690.tif 000006
【図５ａ】
0003592690.tif 000007
【図５ｂ】
0003592690.tif 000008