(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持機構において、
鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、
基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上有しており、その３つ以上のう
ち少なくとも１つが可動保持部である基板保持部と、  基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるため付勢する第１変位手段と、
基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第２変位手段と、
前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、
前記可動保持部は、
前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、
前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、
前記回動部材を挟んで前記揺動部材とは反対側の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられ、かつ基板の外周端部に当接する保持面を有する保持部材と、を備え、
前記第１変位手段により前記連結手段と前記揺動部材と前記回動部材を介して前記保持部材の保持面を基板の外周端部に当接した状態で付勢し、前記基板保持部に基板を保持した状態で前記基板保持機構が回転されると、
遠心力により前記連結手段と前記保持部材に作用する力が前記回動部材を挟んで相殺される
ことを特徴とする基板保持機構。
【請求項２】
基板を保持する基板保持機構において、
鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、
基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動保持部である基板保持部と、
基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるため付勢する第１変位手段と、
基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第２変位手段と、
前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、
前記可動保持部は、
前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、
前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を揺動支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、
前記回動部材の回動軸芯を回転支点として回転可能に前記回動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じて基板の保持および解除が可能である保持部材と、を備え、
前記保持部材が基板を保持したとき、前記揺動部材の揺動作用点と前記揺動支点とが、
前記スピンベースの回転中心を中心とした仮想円の半径方向に沿って一直線上に並ぶように構成し、
前記第１変位手段により前記連結手段と前記揺動部材と前記回動部材を介して前記保持部材を付勢し、前記基板保持部に基板を保持した状態で前記基板保持機構が回転されると、
遠心力により前記連結手段に作用する力が前記揺動部材を揺動しない
ことを特徴とする基板保持機構。
【請求項３】
基板を保持する基板保持機構において、
鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、
基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動保持部である基板保持部と、
基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるため付勢する第１変位手段と、
基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第２変位手段と、
前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、
前記可動保持部は、
前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、
前記回動部材を挟んで両側に延出され、一方側が揺動作用点であるとともに他方側にカウンタウエイトを有し、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、
前記回動部材の回動軸芯を支点として回転可能に前記回動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じて基板の保持および解除が可能である保持部材と、を備え、
前記第１変位手段により前記連結手段と前記揺動部材と前記回動部材を介して前記保持部材を付勢し、前記基板保持部に基板を保持した状態で前記基板保持機構が回転されると、
遠心力により前記連結手段と前記カウンタウエイトに作用する力が前記回動部材を挟んで相殺される
ことを特徴とする基板保持機構。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板保持機構において、
前記連結手段は、
前記スピンベースに沿って配置され、揺動部材に連結されているリンク部材と、
前記リンク部材に設けられ、前記スピンベースの回転軸に挿通されている駆動軸と、
前記駆動軸に設けられた回転部材と、を備え、
前記第１変位手段は、前記保持部材により基板を保持させるように、回転部材を一方向に回転させ、
前記第２変位手段は、前記保持部材による基板の保持を解除させるように、回転部材を他方向に回転させることを特徴とする基板保持機構。
【請求項５】
請求項４に記載の基板保持機構において、
前記第１変位手段は、バネ機構を備え、
前記第２変位手段は、エアシリンダを備えることを特徴とする基板保持機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ、液晶表示器用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、
光ディスク用の基板などの基板を鉛直軸回りに回転して、レジスト塗布処理、現像処理、
洗浄処理などの適宜の処理を施す回転式基板処理装置に備えられた基板保持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の回転式基板処理装置の基板保持機構として、例えば、図１３、図１４に示すようなものがある。図１３は、回転式基板処理装置に備えられた従来の基板保持機構の構成を示す平面図であり、図１４（ａ）は、基板を保持した状態を示す要部平面図、図１４（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【０００３】
鉛直軸Ｊ１回りに回転可能に立設された図示しない回転軸の上端部にスピンベース１００が設けられ、スピンベース１００が軸Ｊ１回りに回転可能に構成されている。スピンベース１００は、３本以上のアーム部１０１が放射状に設けられて構成され、各アーム部１０１の先端部に基板保持部２００が設けられている。図では、全ての基板保持部２００を可動保持部として構成している。
【０００４】
基板保持部２００は、保持部材２０１と揺動部材２０２とを備えている。保持部材２０１は、アーム部１０１に鉛直軸Ｊ２回りに回動可能に設けられた円柱状の基板載置部２０３と、基板載置部２０３の上面を段付きにして切り欠き状に設けられた保持部２０４とが一体に形成されている。揺動部材２０２は、保持部材２０１の側方に延出され、基板載置部２０３の軸Ｊ２を支点として揺動可能に基板載置部２０３に設けられている。揺動部材２０２の先端部側には、リンク部材２０５の先端部側が回動可能に連結されていて、この揺動部材２０２とリンク部材２０５との連結部分が揺動部材２０２の揺動作用点となっている。各リンク部材２０５の基端部側は、駆動軸２１０の上端部に回動可能に連結されている。
【０００５】
スピンベース１００を軸Ｊ１回りに回転させる回転軸は円筒状に構成され、この回転軸の中空部に駆動軸２１０が、軸Ｊ１回りに回転軸と相対回転可能に貫通されている。そして、図示しない付勢手段は、回転軸に対して駆動軸２１０を、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回り（図１３の実線の矢印回り）に回転付勢するように設けられている。この付勢手段の付勢により、リンク部材２０５を介して揺動部材２０２の揺動作用点がスピンベース１００の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材２０２が揺動付勢され、これに伴って保持部材２０１が軸Ｊ２を回転中心軸として反時計回りに回転付勢され、図１３、図１４（ａ）に示すように、保持部２０４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持される。
【０００６】
一方、図示しない解除手段は、付勢手段に抗して、回転軸に対して駆動軸２１０を、軸Ｊ１を回転中心軸として反時計回り（図１３の二点鎖線の矢印回り）に回転させるように設けられている。この解除手段による駆動軸２１０の回転により、リンク部材２０５を介して揺動部材２０２の揺動作用点がスピンベース１００の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材２０２が揺動され、これに伴って保持部材２０１が軸Ｊ２を回転中心軸として時計回りに回転され、図１４（ｂ）に示すように、保持部２０４が基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除される。
【０００７】
上述したように基板Ｗが保持された状態で、スピンベース１００を軸Ｊ１回りに回転させることで、保持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに対して適宜の処理が施される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
従来例の基板保持機構によって基板Ｗを保持して基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転させると、
遠心力によって揺動部材２０２の揺動作用点（揺動部材２０２とリンク部材２０５との連結部分）に、図１３の矢印Ｆ方向に作用する力が働き、回転停止時よりも揺動部材２０２が、スピンベース１００の回転中心（Ｊ１）からさらに離れる方向に揺動され、回転停止時に比べて保持部２０４が基板Ｗの外周端部をさらに強く押圧することになる。
【０００９】
保持部２０４の押圧力が強くなり過ぎると、基板Ｗ自身の座屈荷重を越えて保持した基板Ｗを破損することになる。また、スピンベース１００や保持部材２００などを炭化珪素（ＳｉＣ）などの耐薬材料で制作した場合には、炭化珪素の曲げ強度が低いので、基板Ｗの代わりにスピンベース１００（特に、アーム部１０１）が破損したり、保持部材２００が根元から折れることになる。
【００１０】
保持部２０４の押圧力は、基板Ｗ、スピンベース１００の回転数を上げるに従って強くなるので、基板Ｗやスピンベース１００、保持部材２００の破損を招かないようにするために、従来例の構成では、基板Ｗの回転数を一定以上に上げることができず、基板Ｗの回転数に制限があり、その制限の回転数以上に基板Ｗを高速回転させて処理することができなかった。
【００１１】
また、基板Ｗのサイズが大型になるに従って、遠心力によって揺動部材２０２の揺動作用点、すなわち、揺動部材２０２とリンク部材２０５との連結部分に働く力が強くなるので、基板Ｗやスピンベース１００、保持部材２００の破損を招かないようにするための制限となる基板Ｗの回転数がより低くなり、基板Ｗが大型になるに従って基板Ｗを高速回転させて処理することが行い難くなっていた。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板のサイズにかかわらず、基板やスピンベースなどの破損を招かずに基板を高速回転させることができる基板保持機構を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板を保持する基板保持機構において、鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動保持部である基板保持部と、基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるため付勢する第１変位手段と、基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第２変位手段と、前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、前記可動保持部は、前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、前記回動部材を挟んで前記揺動部材とは反対側の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられ、かつ基板の外周端部に当接する保持面を有する保持部材と、を備え、前記第１変位手段により前記連結手段と前記揺動部材と前記回動部材を介して前記保持部材の保持面を基板の外周端部に当接した状態で付勢し、前記基板保持部に基板を保持した状態で前記基板保持機構が回転されると、遠心力により前記連結手段と前記保持部材に作用する力が前記回動部材を挟んで相殺されることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、基板を保持する基板保持機構において、基板を保持する基板保持機構において、鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動保持部である基板保持部と、基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるため付勢する第１変位手段と、基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第２変位手段と、前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、前記可動保持部は、前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前記回動部材の側方に延出され、前記回動部材の回動軸芯を揺動支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、前記回動部材の回動軸芯を回転支点として回転可能に前記回動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じて基板の保持および解除が可能である保持部材と、を備え、前記保持部材が基板を保持したとき、前記揺動部材の揺動作用点と前記揺動支点とが、前記スピンベースの回転中心を中心とした仮想円の半径方向に沿って一直線上に並ぶように構成し、 前記第１変位手段により前記連結手段と前記揺動部材と前記回動部材を介して前記保持部材を付勢し、前記基板保持部に基板を保持した状態で前記基板保持機構が回転されると、遠心力により前記連結手段に作用する力が前記揺動部材を揺動しないことを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項３に記載の発明は、基板を保持する基板保持機構において、鉛直軸回りに回転可能なスピンベースと、基板の外周端部を３箇所以上で保持するために３つ以上有しており、その３つ以上のうち少なくとも１つが可動保持部である基板保持部と、基板を保持する側に前記可動保持部を変位させるため付勢する第１変位手段と、基板の保持を解除する側に前記可動保持部を変位させるための第２変位手段と、前記可動保持部と前記第１変位手段および前記第２変位手段とを連結させる連結手段と、を備え、前記可動保持部は、前記スピンベースに設けられ、鉛直軸回りに回動可能な回動部材と、前記回動部材を挟んで両側に延出され、一方側が揺動作用点であるとともに他方側にカウンタウエイトを有し、前記回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に前記回動部材に設けられて、前記連結手段に連結された揺動部材と、前記回動部材の回動軸芯を支点として回転可能に前記回動部材に設けられ、前記回動部材の正逆回転に応じて基板の保持および解除が可能である保持部材と、を備え、前記第１変位手段により前記連結手段と前記揺動部材と前記回動部材を介して前記保持部材を付勢し、前記基板保持部に基板を保持した状態で前記基板保持機構が回転されると、遠心力により前記連結手段と前記カウンタウエイトに作用する力が前記回動部材を挟んで相殺されることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板保持機構において、前記連結手段は、前記スピンベースに沿って配置され、揺動部材に連結されているリンク部材と、前記リンク部材に設けられ、前記スピンベースの回転軸に挿通されている駆動軸と、前記駆動軸に設けられた回転部材と、を備え、前記第１変位手段は、
前記保持部材により基板を保持させるように、回転部材を一方向に回転させ、前記第２変位手段は、前記保持部材による基板の保持を解除させるように、回転部材を他方向に回転させることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の基板保持機構において、前記第１変位手段は、バネ機構を備え、前記第２変位手段は、エアシリンダを備えることを特徴とするものである。
【００１８】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
第１変位手段によって連結手段を介して可動保持部の揺動部材が一方向に揺動されると、回動部材を挟んで揺動部材とは反対側の側方に延出された保持部材が回動部材の回動軸芯を支点として揺動し、保持部材の保持面が基板の外周端部に当接して基板が付勢保持される。基板が基板保持部に保持された状態で、スピンベースを鉛直軸周りに回転させると、遠心力により揺動部材がスピンベースの回転中心から離れる方向に変位する力が働き、それとともに保持部材にもスピンベースの回転中心から離れる方向に変位する力が働く。
従って、揺動部材に働く力と保持部材に働く力とが互いに相殺され、回動部材はほとんど回転しない。これにより、保持部材の保持面が基板の外周端縁に当接する力は、スピンベース停止時と略同じであり、第１変位手段の付勢による変位力に応じた力で、基板を保持することになる。そして、スピンベースの回転が停止され、第２変位手段によって揺動部材が他方向に揺動されると、保持部材が回動部材の回動軸芯を支点として揺動し、保持部材の保持面が基板の外周端部から離れて基板の保持が解除される。
【００１９】
請求項２に記載の発明の作用は次のとおりである。
第１変位手段によって連結手段を介して可動保持部の揺動部材が一方向に揺動されると、回動部材の回動軸芯を回転支点として回転可能に回動部材に設けられた保持部材が、回動部材の正回転に応じて基板を保持する。このとき、スピンベースの回転中心を中心した仮想円の半径方向に沿って揺動部材の揺動作用点と揺動支点とが一直線上に並ぶ。基板が基板保持部に保持された状態で、スピンベースを鉛直軸周りに回転させると、揺動部材の揺動作用点と揺動支点が一直線上に並んでいるので、遠心力によって、揺動部材の揺動作用点に働く力は、揺動支点方向に働き、揺動部材は揺動されず、回動部材および保持部材は回転しない。これにより、保持部材の基板を保持する力は、スピンベース停止時と略同じであり、第１変位手段の付勢による変位力に応じた力で、基板を保持することになる。
そして、スピンベースの回転が停止すると、第２変位手段によって揺動部材が他方向に揺動され、回動部材の逆回転に応じて保持部材が回動部材の回動軸芯を回転支点として回転し、保持部材による基板の保持が解除される。
【００２０】
請求項３に記載の発明の作用は次のとおりである。
第１変位手段によって連結手段を介して可動保持部の揺動部材が一方向に揺動されると、回動部材の回動軸芯を支点として回転可能に回動部材に設けられた保持部材が、回動部材の正回転に応じて基板を保持する。基板が基板保持部に保持された状態で、スピンベースを鉛直軸周りに回転させると、遠心力により、揺動部材の揺動作用点がスピンベースの回転中心から離れる方向に変位する力が働くが、揺動部材は揺動作用点とは反対側にカウンタウエイトを有するので、揺動部材は揺動しない。これにより、保持部材の基板を保持する力は、スピンベース停止時と略同じであり、第１変位手段の付勢による変位力に応じた力で、基板を保持することになる。そして、スピンベースの回転が停止すると、第２変位手段によって揺動部材が他方向に揺動され、回動部材の逆回転に応じて保持部材が回動部材の回動軸芯を支点として回転し、保持部材による基板の保持が解除される。
【００２１】
請求項４に記載の発明の作用は次のとおりである。
第１変位手段と第２変位手段とによる変位力は回転部材を一方向または他方向に回転させ、スピンベースの回転軸に挿通されている駆動軸およびリンク部材を介して揺動部材に伝えられる。
【００２２】
請求項５に記載の発明の作用は次のとおりである。
基板を保持する側への可動保持部の変位はバネ機構で行い、基板の保持を解除する側への可動保持部の変位はエアシリンダで行っている。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の第１実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図であり、図１（ａ）は、基板が保持された状態を示し、図１（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示している。図２は、可動保持部の構成を示す斜視図であり、図３は、第１変位手段、第２変位手段の一例の構成を示す図である。
【００２４】
円筒状の回転軸１は、ベルト伝動機構２などによってモーター３に伝動連結され、鉛直軸Ｊ１回りに回転可能に立設されている。この回転軸１の上端部にスピンベース４が設けられ、スピンベース４が軸Ｊ１回りに回転可能に構成されている。スピンベース４は、３本以上のアーム部５が放射状に設けられて構成され、各アーム部５の先端部に基板保持部１０が設けられている。図では、全ての基板保持部１０を可動保持部として構成している。
【００２５】
基板保持部１０は、回動部材１１、揺動部材１２、保持部材としての保持アーム１３、保持部１４を備えている。
【００２６】
回動部材１１は、鉛直軸Ｊ２回りに回動可能にスピンベース４のアーム部５に設けられている。この実施例では、回動部材１１を基板載置部としても用いており、保持する基板Ｗの外周端部の下面を回動部材１１の上面に載置するようにしている。
【００２７】
揺動部材１２は、回動部材１１の側方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材１１に設けられている。この揺動部材の先端部側に、リンク部材１６の先端部側が回動可能に連結されていて、この揺動部材１２とリンク部材１６との連結部分が揺動部材１２の揺動作用点となっている。
【００２８】
保持アーム１３は、回動部材１１を挟んで揺動部材１２の揺動作用点（揺動部材１２とリンク部材１６との連結部分）と反対側の側方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材１１に設けられている。なお、揺動部材１２とこの保持アーム１３とは、図２（ａ）に示すように別個の部材で構成してもよいし、図２（ｂ）に示すように一体の部材１５で構成してもよい。
【００２９】
保持部１４は、保持アーム１３の先端部側上面に設けられ、基板Ｗの外周端縁に当接する保持面１４ａを備えている。
【００３０】
第１変位手段と第２変位手段は例えば図３のように構成されている。
回転軸１の中空部には、軸Ｊ１回りに回転軸１と相対回転可能に駆動軸２０が挿通されている。回転軸１にはフランジ部２１が設けられ、このフランジ部２１に対向するように駆動軸２０にも回転部材としてのフランジ部２２が設けられている。フランジ部２１にはピン２３がフランジ部２２に向けて設けられ、フランジ部２２にはフランジ部２１に向けてピン２４が設けられている。これらピン２３、２４の間に第１変位手段としてのコイルバネ２５が架けられていて、回転軸１に対して駆動軸２０が、軸Ｊ１を回転中心軸として図の時計回りに回転付勢されるようになっている。
【００３１】
なお、コイルバネ２５による回転軸１に対する駆動軸２０の時計回りの回転を適宜の位置で停止させるためにストッパー２６が設けられている。このストッパー２６による駆動軸２０の回転停止位置は、後述するように、コイルバネ２５によって保持部１４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢する際の保持部１４の位置よりも、保持部１４が若干スピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻された位置に設定されている。これにより、後述するように、コイルバネ２５によって保持部１４がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻されると、基板Ｗが有る状態では保持部１４は基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、基板Ｗが無い状態ではストッパー２６によって保持部１４は適宜の位置で停止されることになる。
【００３２】
また、フランジ部２２の近傍には第２変位手段としてのエアシリンダ２７が設けられ、エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長させてフランジ部２２に設けられた部材２８を、図３（ｂ）の二点鎖線に示すように変位させることで、コイルバネ２５に抗して回転軸１に対して駆動軸２０を、軸Ｊ１を回転中心軸として図の反時計回りに回転させるように構成している。
【００３３】
駆動軸２０の上端部にはリンク部材１６の基端部側が回動可能に連結されていて、リンク部材１６を介してコイルバネ２５による揺動部材１２の揺動付勢や、エアシリンダ２７によるその解除を行うように構成している。
【００３４】
エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長すると、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ
１を回転中心軸として反時計回りに回転され、これに連動して、図１（ａ）の二点鎖線、図１（ｂ）に示すように、リンク部材１６を介して揺動部材１２の揺動作用点（揺動部材１２とリンク部材１６との連結部分）がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材１２が揺動される。これにより、回動部材１１を挟んで揺動部材１２の揺動作用点と反対側の側方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材１１に設けられた保持アーム１３がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動され、保持アーム１３に設けられた保持部１４の保持面１４ａが基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除される。
【００３５】
また、上述したように、エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長させて基板Ｗの保持が解除され、回動部材１１の上面に基板Ｗの外周端部の下面が載置された状態で、エアシリンダ２７のロッド２７ａを収縮すると、コイルバネ２５の復元力によって駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回りに回転され、これに連動して、図１（ａ）の実線に示すように、リンク部材１６を介して揺動部材１２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材１２が揺動付勢される。これにより、回動部材１１を挟んで揺動部材１２の揺動作用点と反対側の側方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材１１に設けられた保持アーム１３がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動付勢され、保持部１４の保持面１４ａが基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持される。
【００３６】
そして、基板Ｗが保持された状態で、モーター３が回転軸１を軸Ｊ１回りに回転させることで、保持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに対して所定の処理が施される。
【００３７】
基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させると、遠心力によって揺動部材１２の揺動作用点（揺動部材１２とリンク部材１６との連結部分）に図１（ａ）の矢印Ｆ１方向に作用する力が働くが、同時に、回動部材１１を挟んで揺動部材１２の揺動作用点と反対側の側方に延出され、回動部材１１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材１１に設けられた保持アーム１３にも、遠心力によって図１（ａ）の矢印Ｆ２方向に作用する力が働くので、揺動部材１２の揺動作用点に働く力は、保持アーム１３に働く力によって相殺され、揺動部材１２、保持アーム１３は回転停止時の状態から揺動変位せず、回動部材１１は回転しない。従って、基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転させても保持アーム１３に設けられた保持部１４の保持面１４ａが基板Ｗの外周端縁を押圧する力は回転停止時と同じであり、基板Ｗのサイズ、回転数にかかわらず、保持面１４ａは常にコイルバネ２５による付勢力に応じた力で基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、それ以上の力で押圧することはない。よって、基板Ｗのサイズにかかわらず、基板Ｗやスピンベース４（特に、アーム部５）などの破損を招かず、また、回動部材１１が根元から折れるようなこともなく、基板Ｗを高速回転させることができる。
【００３８】
以下の変形例は後述する第２〜第４実施例装置にも同様に適用できる。
上記実施例では、全ての基板保持部１０を可動保持部として構成したが、少なくとも１個の基板保持部１０を可動保持部とし、残りを固定保持部としてもよい。基板保持部１０は、例えば、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、スピンベース４のアーム部５の先端部に固定立設された基板載置部１７と、基板載置部１７の上面を段付きにして設けられた保持部１８とで構成される。基板Ｗは基板保持部１０の回動部材１１の上面、および、基板保持部１０の基板載置部１７の上面の段付き部分に載置され、基板保持部１０の保持部１４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢すると、基板Ｗの外周端縁の他の部分が保持部１８に押圧され、基板Ｗが保持される。
【００３９】
また、図４（ｃ）、（ｄ）に示すように、基板保持部１０を、基板載置ピン１９と保持部１８とで構成してもよい。
【００４０】
上記実施例では、基板保持部１０を３個設けているが、基板保持部１０を３個以上にし、そのうちの１個以上の基板保持部１０を可動保持部としてもよい。
【００４１】
また、上記実施例では、回動部材１１を基板載置部として構成したが、図４（ｃ）、（ｄ）と同様に、基板Ｗの下面を載置する基板載置ピン１９を別途設けて、回動部材１１に基板Ｗを載置せずに、この基板載置ピン１９に基板Ｗの下面を載置するように構成してもよい。
【００４２】
上記実施例のスピンベース４は、アーム部５を放射状に設けて構成しているが、図５に示すように、スピンベース４を円板状に構成してもよい。
【００４３】
次に、本発明の第２実施例装置の構成を図６ないし図８を参照して説明する。図６は、本発明の第２実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図であり、図７は、基板保持部の構成を示す図、図８（ａ）は、基板が保持された状態を示す要部平面図、図８（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【００４４】
スピンベース４の構成およびスピンベース４を軸Ｊ１回りに回転させる構成は上記第１実施例装置と同様であるのでその詳述は省略する。また、第１変位手段、第２変位手段などの構成、すなわち、駆動軸２０、フランジ部２１、２２、ピン２３、２４、コイルバネ２５、ストッパー２６、エアシリンダ２７、部材２８などの構成も、上記第１実施例と同様の構成（図３参照）であるのでその詳述は省略する。
【００４５】
スピンベース４の各アーム部５の先端部に基板保持部４０が設けられている。図では、全ての基板保持部４０を可動保持部として構成している。
【００４６】
基板保持部４０は、回動部材４１、揺動部材４２、保持部４３を備えている。
【００４７】
回動部材４１は、鉛直軸Ｊ２回りに回動可能にスピンベース４のアーム部５に設けられている。保持部４３は回動部材４１の上面に段付き部４１ａを形成するように、回動部材４１の上面に設けられている。回動部材４１と保持部４３とは別個の部材を接合してもよいが、一体の部材で構成、例えば、円柱状の部材の上部を切り欠いて保持部４３と段付き部４１ａとを形成してもよい。この実施例では、回動部材４１の段付き部４１ａを基板載置部として用いるようしている。
【００４８】
揺動部材４２は、回動部材４１の側方に延出され、回動部材４１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材４１に設けられている。
【００４９】
揺動部材４２の先端部側にはピン４２ａが設けられ、このピン４２ａがリンク部材５０の先端部側の切り欠き部５１に係止されて連結されている。この実施例では、ピン４２ａが揺動部材４２の揺動作用点となる。
【００５０】
各リンク部材５０は、スピンベースの回転中心（Ｊ１）を中心とした仮想円の半径方向に配置されている。また、各リンク部材５０の基端部側は駆動軸２０の上端部に固定されて連結されていて、スピンベース４の回転中心軸Ｊ１と同軸回りに回動されるようになっている。
【００５１】
なお、各リンク部材５０は、図６（ａ）に示すように別体の部材で構成してもよいし、図６（ｂ）に示すように一体の部材で構成してもよい。
【００５２】
そして、後述するように、基板Ｗが保持された状態で、スピンベース４の回転中心（Ｊ１）を中心とした仮想円の半径方向に沿って、揺動部材４２の揺動支点（Ｊ２）と揺動作用点（ピン４２ａ）が一直線上に並ぶように構成されている（図６、図８（ａ）参照）。
【００５３】
エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長すると、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として反時計回りに回転され、これに連動して、リンク部材５０はスピンベース４の回転中心（Ｊ１）を回転中心軸として反時計回りに回転される。これに伴って、揺動部材４２が揺動支点（Ｊ２）回りに逆方向（時計回り）に揺動され、回動部材４１が軸Ｊ２回りに逆方向（時計回り）に回転される。この回動部材４１の逆方向への回転によって、図８（ｂ）に示すように、保持部４３が基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除される。
【００５４】
また、エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長させて基板Ｗの保持が解除され、回動部材４１の上面の段付き部４１ａに基板Ｗの外周端部の下面が載置された状態で、エアシリンダ２７のロッド２７ａを収縮すると、コイルバネ２５の復元力によって駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回りに回転付勢され、これに連動して、リンク部材５０がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）を回転中心軸として時計回りに回転付勢される。これに伴って、揺動部材４２が揺動支点（Ｊ２）回りに正方向（反時計回り）に揺動付勢され、回動部材４１が軸Ｊ２回りに正方向（反時計回り）に回転付勢される。この回動部材４１の正方向への回転付勢によって、図６、図８（ａ）に示すように、保持部４３が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持される。このとき、図６、図８（ａ）に示すように、スピンベース４の回転中心（Ｊ１）を中心とした仮想円の半径方向に沿って、揺動部材４２の揺動支点（Ｊ２）と揺動作用点（ピン４２ａ）が一直線上に並ぶ。
【００５５】
そして、基板Ｗが保持された状態で、モーター３が回転軸１を軸Ｊ１回りに回転させることで、保持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに対して所定の処理が施される。
【００５６】
基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させると、揺動部材４２の揺動作用点（ピン４２ａ）に遠心力が働くが、揺動部材４２の揺動支点と揺動作用点は、スピンベース４の回転中心（Ｊ１）を中心とした仮想円の半径方向に沿って一直線上に並んでいるので、遠心力によって揺動部材４２の揺動作用点に働く力は、揺動支点（Ｊ２）方向に働き、揺動部材４２は揺動せず、回動部材４１は回転しない。従って、基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転させても保持部４３が基板Ｗの外周端縁を押圧する力は回転停止時と同じであり、基板Ｗのサイズ、回転数にかかわらず、保持部４３は常にコイルバネ２５よる付勢力に応じた力で基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、それ以上の力で押圧することはない。よって、基板Ｗのサイズにかかわらず、基板Ｗやスピンベース４（特に、アーム部５）などの破損を招かず、また、回動部材４１が根元から折れるようなこともなく、基板Ｗを高速回転させることができる。
【００５７】
次に、本発明の第３実施例装置の構成を図９、図１０を参照して説明する。図９は、本発明の第３実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図であり、図１０（ａ）は、基板が保持された状態を示す要部平面図、図１０（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【００５８】
スピンベース４の構成およびスピンベース４を軸Ｊ１回りに回転させる構成は上記第１実施例装置と同様であるのでその詳述は省略する。また、第１変位手段、第２変位手段などの構成、すなわち、駆動軸２０、フランジ部２１、２２、ピン２３、２４、コイルバネ２５、ストッパー２６、エアシリンダ２７、部材２８などの構成も、上記第１実施例と同様の構成（図３参照）であるのでその詳述は省略する。
【００５９】
スピンベース４の各アーム部５の先端部に基板保持部６０が設けられている。図では、全ての基板保持部６０を可動保持部として構成している。
【００６０】
基板保持部６０は、回動部材６１、揺動部材６２、カウンタウエイト６３、保持部６４を備えている。
【００６１】
回動部材６１、保持部６４は、上述した第２実施例の回動部材４１、保持部４３と同様の構成であるのでその詳述は省略する。
【００６２】
揺動部材６２は、回動部材６１を挟んで左右の側方に延出され、回動部材６１の回動軸芯Ｊ２を揺動支点として揺動可能に回動部材６１に設けられている。この揺動部材６２の一方の側方には、リンク部材７０の先端部側が回動可能に連結されていて、この揺動部材６２とリンク部材７０との連結部分が揺動作用点になっている。また、揺動部材６２の他方の側面（回動部材６１を挟んで揺動部材６２の揺動作用点と反対側の側面）には、回動部材６１と連結されてカウンタウエイト６３が設けられている。
【００６３】
なお、図面では、揺動部材６２にカウンタウエイト６３を設けるように構成しているが、揺動部材６２を第１実施例のように構成し、第１実施例の保持アーム１３と同様の部材を回動部材６１に設け、この部材にカウンタウエイト６３を設けるように構成してもよい。
【００６４】
各リンク部材７０の基端部側は、駆動軸２０の上端部に回動可能に連結されていて、第１実施例と同様に、このリンク部材７０を介して、コイルバネ２５の付勢やエアシリンダ２７の付勢の解除を揺動部材６２の揺動作用点に作用させるように構成している。
【００６５】
エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長すると、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ
１を回転中心軸として反時計回りに回転され、これに連動して、リンク部材７０を介して揺動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７０との連結部分）がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺動され、回動部材６１が軸Ｊ２回りに逆方向（時計回り）に回転される。この回動部材６１の逆方向への回転によって、図１０（ｂ）に示すように、保持部６４が基板Ｗの外周端縁から離れて基板Ｗの保持が解除される。
【００６６】
また、上述したように、エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長させて基板Ｗの保持が解除され、回動部材６１の上面の段付き部分に基板Ｗの外周端部の下面が載置された状態で、エアシリンダ２７のロッド２７ａを収縮すると、コイルバネ２５の復元力によって駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回りに回転され、これに連動して、リンク部材７０を介して揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺動付勢され、回動部材６１が軸Ｊ２回りに正方向（反時計回り）に回転される。この回動部材６１の正方向への回転によって、図９、図１０（ａ）に示すように、保持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢して基板Ｗが保持される。
【００６７】
そして、基板Ｗが保持された状態で、モーター３が回転軸１を軸Ｊ１回りに回転させることで、保持された基板Ｗが軸Ｊ１回りに回転され、この基板Ｗに対して所定の処理が施される。
【００６８】
基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させると、遠心力によって揺動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７０との連結部分）に図９の矢印Ｆ方向に作用する力が働くが、回動部材６１を挟んで揺動部材６２の揺動作用点と反対側の側方に回動部材６１に連結されてカウンタウエイト６３を設けているので、揺動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７０との連結部分）に働く力Ｆは、カウントウエイト６３によって相殺され、揺動部材６２は回転停止時の状態から揺動変位せず、回動部材６１は回転しない。従って、基板Ｗを回転させても回動部材６１に設けられた保持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧する力は回転停止時と同じであり、基板Ｗのサイズ、回転数にかかわらず、保持部６４は常にコイルバネ２５による付勢力に応じた力で基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、それ以上の力で押圧することはない。よって、基板Ｗのサイズにかかわらず、基板Ｗやスピンベース４（特に、アーム部５）などの破損を招かず、また、回動部材６１が根元から折れるようなこともなく、基板Ｗを高速回転させることができる。
【００６９】
次に、本発明の参考実施例装置の構成を図１１、図１２を参照して説明する。図１１は、本発明の参考実施例装置の第１変位手段と第２変位手段の構成を示す図であり、図１２（ａ）は、基板が保持された状態を示す要部平面図、図１２（ｂ）は、基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【００７０】
上記第３実施例装置では、揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺動されるようにコイルバネ２５が付勢することで、保持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、エアシリンダ２７によって、コイルバネ２５の付勢に抗して揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺動されることで、基板Ｗの保持を解除するように構成したが、この参考実施例装置では、揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺動されるようにコイルバネ２５が付勢することで、保持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢し、エアシリンダ２７によって、コイルバネ２５の付勢に抗して揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺動されることで、基板Ｗの保持を解除するように構成している。
【００７１】
具体的には、例えば、図１１に示すように、フランジ部２１、２２に設けるピン２３、２４の取り付け位置を、図３の構成と逆にすることで、コイルバネ２５によって、駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として反時計回りに回転付勢され、これに伴って、揺動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７０との連結部分）がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺動されるように付勢される。
【００７２】
そして、回動部材６１に設ける保持部６４の位置を、第３実施例装置に比べて、軸Ｊ２を中心として時計回りにずらせれば、図１２（ａ）に示すように、コイルバネ２５の復元力によって、揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）側に引き戻される方向に揺動部材６２が揺動付勢されることで、保持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧付勢することができる。
【００７３】
また、エアシリンダ２７、部材２８の取り付け位置を図３の構成と逆にすることで、エアシリンダ２７のロッド２７ａを伸長すれば、コイルバネ２５の付勢に抗して駆動軸２０が回転軸１に対して、軸Ｊ１を回転中心軸として時計回りに回転され、これに伴って、揺動部材６２の揺動作用点がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺動され、基板Ｗの保持を解除することができる（図１２（ｂ）参照）。
【００７４】
なお、この参考実施例装置における回動部材６１の回転の正方向（逆方向）は、第３実施例装置と逆に、軸Ｊ２を中心に時計回り（反時計回り）に回転される方向に設定されている。その他の構成は第３実施例と同様であるのでその詳述は省略する。
【００７５】
この参考実施例装置で基板Ｗを保持して軸Ｊ１回りに回転させると、遠心力によって揺動部材６２の揺動作用点（揺動部材６２とリンク部材７０との連結部分）がスピンベース４の回転中心（Ｊ１）から離れる方向に揺動部材６２が揺動するような力が働くが、これは揺動部材６２がコイルバネ２５によって付勢されている方向と逆の方向であるので、保持部６４が基板Ｗを保持する押圧力が遠心力によって増すことはなく、基板Ｗのサイズ、回転数にかかわらず、基板Ｗやスピンベース４（特に、アーム部５）などを破損せず、回動部材６１が根元から折れることなどもない。
【００７６】
しかしながら、遠心力によって揺動部材６２が付勢されている方向と逆の方向に揺動されることにより、回動部材６１は基板を解除する側の逆方向に回転されることになり、基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転することに伴って保持部６４による基板Ｗの保持が弱められ、高速回転させると基板Ｗの保持が解除されることにもなる。しかしながら、この参考実施例装置では、回動部材６１を挟んで揺動部材６２の揺動作用点と反対側の側方に回動部材６１に連結されてカウンタウエイト６３を設けているので、遠心力によって揺動部材６２の揺動作用点に働く力は、カウンタウエイト６３によって相殺され、揺動部材６２は回転停止時の状態から揺動変位せず、回動部材６１は回転しない。従って、基板Ｗを軸Ｊ１回りに回転させても保持部６４が基板Ｗの外周端縁を押圧する力は回転停止時と同じであり、
保持部６４による基板Ｗの保持が弱められることはない。
【００７７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、基板の外周端部に当接する保持面を、回動部材を挟んで揺動部材とは反対側の側方に延出され、回動部材の回動軸芯を支点として揺動可能に回動部材に設けられた保持部材に設けているので、基板を保持して鉛直軸回りに回転させたときに、遠心力によって揺動部材の揺動作用点に働く力は、遠心力によって保持部材に働く力によって相殺され、基板のサイズ、回転数にかかわらず保持面が基板の外周端部に当接する力を常に一定にできる。従って、基板のサイズにかかわらず、基板やスピンベースなどの破損を招かずに基板を高速回転させることができる。
【００７８】
請求項２に記載の発明によれば、基板が保持された状態で、スピンベースの回転中心を中心とした仮想円の半径方向に沿って、揺動部材の揺動支点と揺動作用点が一直線上に並ぶように構成したので、基板を保持して鉛直軸回りに回転させたときに、揺動部材の揺動作用点に働く遠心力は揺動支点方向に働き、揺動部材は揺動せず、揺動部材の揺動で回動される回動部材は回転しない。従って、基板のサイズ、回転数にかかわらず回動部材に設けられた保持部材が基板を保持する力を常に一定にでき、基板のサイズにかかわらず、基板やスピンベースなどの破損を招かずに基板を高速回転させることができる。
【００７９】
請求項３に記載の発明によれば、回動部材を挟んで揺動部材の揺動作用点と反対側の側方に回動部材に連結されてカウンタウエイトと設けているので、基板を保持して鉛直軸回りに回転させたときに、遠心力によって揺動部材の揺動作用点に働く力は、カウンタウエイトによって相殺され、基板のサイズ、回転数にかかわらず保持部材が基板を保持する力を常に一定にできる。従って、基板のサイズにかかわらず、基板やスピンベースなどの破損を招かずに、または、基板の保持を弱めることなく、基板を高速回転させることができる。
【００８０】
請求項４に記載の発明によれば、第１変位手段と第２変位手段とによる変位力は回転部材を回転させ、スピンベースの回転軸に挿通されている駆動軸およびリンク部材を介して揺動部材に伝えているので、第１変位手段と第２変位手段とによる変位力が基板を保持する保持部材に確実に伝えることができる。
【００８１】
請求項５に記載の発明によれば、基板を保持する側への可動保持部の変位はバネ機構で行い、基板の保持を解除する側への可動保持部の変位はエアシリンダで行っているので、保持部材による基板の保持および解除を簡単な駆動系で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図であり、基板が保持された状態と基板の保持が解除された状態とを示す図である。
【図２】第１実施例装置の可動保持部の構成を示す斜視図である。
【図３】第１変位手段、第２変位手段の一例の構成を示す図である。
【図４】固定保持部の一例の構成を示す図である。
【図５】スピンベースを円板状に構成した変形例の構成を示す図である。
【図６】本発明の第２実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図である。
【図７】第２実施例装置の基板保持部の構成を示す図である。
【図８】第２実施例装置によって基板が保持された状態と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【図９】本発明の第３実施例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図である。
【図１０】第３実施例装置によって基板が保持された状態と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【図１１】参考実施例装置の第１変位手段と第２変位手段の構成を示す図である。
【図１２】参考実施例装置によって基板が保持された状態と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【図１３】従来例に係る回転式基板処理装置の基板保持機構の構成を示す平面図である。
【図１４】従来装置によって基板を保持した状態と基板の保持が解除された状態を示す要部平面図である。
【符号の説明】
４：スピンベース
１０、４０、６０：基板保持部
１１、４１、６１：回動部材
１２、４２、６２：揺動部材
１３：保持アーム
１４、４３、６４：保持部
１４ａ：保持部の保持面
１６、５０、７０：リンク部材
２０：駆動軸
２５：コイルバネ
２７：エアシリンダ
６３：カウンタウエイト
Ｗ：基板
Ｊ１：基板の回転中心軸
Ｊ２：回動部材の回動中心軸（揺動部材の揺動支点）
【図１】
0003604242.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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