(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から放射された光を、多数の透孔が形成された金属薄板の一面側へ照射し、金属薄板の複数の透孔を通過した光を光検出手段により検出して、前記光源と前記光検出手段との間に前記金属薄板が介在していないときと介在しているときとにおける光検出手段へのそれぞれの入射光量から演算し、金属薄板の光透過率を測定する方法において、
保持手段により前記金属薄板の対向する２辺をそれぞれ把持して金属薄板を平坦化させた状態に保持し、前記光源から放射された光を所定の径の平行光とした後に、その平行光を前記金属薄板の一面側へ直接に照射することを特徴とする、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定方法。
【請求項２】
金属薄板の対向する２辺をそれぞれ把持する一対のクランプを有し金属薄板を平坦化させた状態に保持する保持手段と、
多数の透孔が形成された金属薄板の一面側に配設され、光源から放射された光を所定の径の平行光とする平行光形成手段を有し、前記金属薄板の一面側へ直接に所定の径の平行光を照射する平行光照射手段と、
前記金属薄板の他面側に配設され、前記平行光照射手段から照射されて金属薄板の複数の透孔を通過した光を検出する光検出手段と、
前記平行光照射手段と前記光検出手段との間に前記金属薄板が介在していないときと介在しているときとにおける光検出手段へのそれぞれの入射光量から、金属薄板の光透過率を演算する演算手段と、
を備えたことを特徴とする、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定装置。
【請求項３】
前記平行光形成手段が、
前記光源から放射された光を集光させる集光レンズと、
この集光レンズによって集光された後の光を平行光にするコリメートレンズと、
前記集光レンズと前記コリメートレンズとの間の光路上に介挿され、集光レンズによって集光された光が通過する開口を有する絞り機構と、
で構成された請求項２記載の、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定装置。
【請求項４】
前記絞り機構は、前記開口の大きさが調節可能である請求項３記載の、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定装置。
【請求項５】
前記光源がＬＥＤである請求項２ないし４のいずれかに記載の、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定装置。
【請求項６】
前記集光レンズと前記コリメートレンズとの相対的な位置を調節するレンズ位置調整機構をさらに備えた請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、カラー受像管用のシャドウマスク、トリニトロン管（ソニー（株）の登録商標）用等のアパーチャグリルなどの金属薄板に多数の微細な透孔が良好に形成されているかどうかを検査するために、金属薄板の光透過率を測定する方法、ならびに、その方法を実施するために使用される金属薄板の光透過率測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多数の微細な透孔が形成された金属薄板、例えばシャドウマスクは、金属薄板素材に一連のフォトエッチング加工を施すことにより、金属薄板素材に多数のスロット状あるいは円形状の微細透孔を形成して製造される。このシャドウマスクに多数の微細透孔が所望通りの形状および大きさに形成されていないと、シャドウマスクをカラー受像管に装着したときに、そのカラー受像管において電子銃から発射された電子ビームがシャドウマスクを透過するときの透過率が所望する値とならず、この結果、カラー受像管の画面上に画像むらが発生することになる。そこで、シャドウマスクに多数の微細透孔が所望通りに形成されていて所望の透過率が得られるかどうか、といったことを検査する必要がある。
【０００３】
この種の目的で使用される透孔検査装置としては、例えば特開平７−１９２６１８号公報に開示されたシャドウマスク透過率測定機が知られている。この測定機は、図４に概略断面図を示すように、測定開口部３を有し、多数の微細透孔を有するシャドウマスク１を載置し、シャドウマスク１の複数の微細透孔を測定開口部３に位置させて微細透孔を検査する測定ステージ２と、この測定ステージ２の測定開口部３を介して光を照射し、その測定開口部３に対する傾斜角が変更可能である光源４と、この光源４に対し測定ステージ２の測定開口部３を介して直線上に対向し、光源４の傾斜角の変化に従って位置が同期して変化し、光源４から照射され複数の微細透孔を通過した光を検出する光検出器５とを備えて構成されている。そして、光源４と光検出器５との間にシャドウマスク１を介在させた状態での光検出器５への入射光量を、光源４と光検出器５との間にシャドウマスク１を介在させない状態での光検出器５への入射光量で割った値を、光検出器５に接続された記録計６の演算回路により光透過率として算出するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図４に示したような構成のシャドウマスク透過率測定機を使用し、シャドウマスクの微細透孔が良好に形成されていて所望の透過率が得られるかどうかを検査する方法では、光源４からの光を、シャドウマスク１が載置された測定ステージ２の円孔状の測定開口部３を通すことにより、所定のスポット径に制限された光にし、そのスポット光をシャドウマスク１へ照射するようにしている。このため、次のような問題点があった。
【０００５】
シャドウマスクが組み込まれたカラー受像管において、電子銃から発射された電子ビームがシャドウマスクへ入射する角度は、シャドウマスクの位置によって変化し、シャドウマスクの周辺部には、電子ビームがシャドウマスクの表面に対して斜め方向に入射する。したがって、図４に示した透過率測定機により、電子ビームがシャドウマスクを透過するときの実際の透過率に近い値を求めるためには、シャドウマスク１の周辺部には、光源４からの光をシャドウマスク１の表面に対して斜め方向に照射する必要がある。このため、シャドウマスク１の周辺部では、シャドウマスク１を載置した測定ステージ２の測定開口部３へ斜め方向に光源４からの光が入射することになる。光源４からの光が測定ステージ２の測定開口部３へ斜め方向に入射すると、測定ステージ２は円孔状の測定開口部３を有していることから、光が測定開口部３を通過する際に口径食が起こり、円孔状の測定開口部３を通過してシャドウマスク１へ入射する光のスポット形状は、光源４からの光を測定開口部３へ垂直方向に入射させた場合のスポット光よりも面積の小さい楕円になる。このため、光源４から放射された光がシャドウマスク１へ入射するときの角度が変わる度に、シャドウマスク１への入射光量自体が変化することになり、シャドウマスク１に対する光の入射角度ごとに光検出器５での受光量を校正することが必要となって、その校正作業のために余分な工数がかかる、といった問題点がある。
【０００６】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、多数の透孔が形成された金属薄板の光透過率を測定する場合において、金属薄板の表面に対して光が入射する角度に影響を受けることなく、金属薄板の複数位置における光透過率を正確に測定することができる方法を提供すること、ならびに、その方法を好適に実施することができる金属薄板の光透過率測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、光源から放射された光を、多数の透孔が形成された金属薄板の一面側へ照射し、金属薄板の複数の透孔を通過した光を光検出手段により検出して、前記光源と前記光検出手段との間に前記金属薄板が介在していないときと介在しているときとにおける光検出手段へのそれぞれの入射光量から演算し、金属薄板の光透過率を測定する方法において、保持手段により前記金属薄板の対向する２辺をそれぞれ把持して金属薄板を平坦化させた状態に保持し、前記光源から放射された光を所定の径の平行光とした後に、その平行光を前記金属薄板の一面側へ直接に照射することを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る発明は、金属薄板の対向する２辺をそれぞれ把持する一対のクランプを有し金属薄板を平坦化させた状態に保持する保持手段と、多数の透孔が形成された金属薄板の一面側に配設され、光源から放射された光を所定の径の平行光とする平行光形成手段を有し、前記金属薄板の一面側へ直接に所定の径の平行光を照射する平行光照射手段と、前記金属薄板の他面側に配設され、前記平行光照射手段から照射されて金属薄板の複数の透孔を通過した光を検出する光検出手段と、前記平行光照射手段と前記光検出手段との間に前記金属薄板が介在していないときと介在しているときとにおける光検出手段へのそれぞれの入射光量から、金属薄板の光透過率を演算する演算手段と、を備えて、透孔が形成された金属薄板の光透過率測定装置を構成したことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項２記載の測定装置において、光源から放射された光を集光させる集光レンズと、この集光レンズによって集光された後の光を平行光にするコリメートレンズと、前記集光レンズと前記コリメートレンズとの間の光路上に介挿され、集光レンズによって集光された光が通過する開口を有する絞り機構とにより、前記平行光形成手段を構成したことを特徴とする。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の測定装置において、前記絞り機構の開口の大きさを調節可能としたことを特徴とする。
【００１１】
請求項５に係る発明は、請求項２ないし４のいずれかに記載の測定装置において、前記光源としてＬＥＤ（発光ダイオード）を用いることを特徴とする。
【００１２】
請求項６に係る発明は、請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の測定装置において、前記集光レンズと前記コリメートレンズとの相対的な位置を調節するレンズ位置調整機構をさらに備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項１に係る発明の光透過率測定方法によると、光源から放射された光は、所定の径の平行光とされた後に、保持手段により２辺が把持されて平坦化した状態に保持された金属薄板の一面側へ直接に照射されるので、金属薄板の表面に対する光の入射角度に関係無く、したがって金属薄板における光透過率の測定位置に関係無く、金属薄板への入射光量が一定になる。このため、金属薄板に対する光の入射角度ごとに光検出器での受光量を校正する、といった必要が無くなる。
【００１４】
請求項２に係る発明の光透過率測定装置を使用すると、平行光照射手段において、光源から放射された光が平行光形成手段により所定の径の平行光とされ、平行光照射手段から、保持手段により２辺が一対のクランプで把持されて平坦化した状態に保持された金属薄板の一面側へ直接に所定の径の平行光が照射される。このため、金属薄板の表面に対する光の入射角度に関係無く、したがって金属薄板における光透過率の測定位置に関係無く、金属薄板への入射光量が一定になるので、金属薄板に対する光の入射角度ごとに光検出手段での受光量を校正する、といった必要が無くなる。そして、平行光照射手段から照射されて金属薄板の複数の透孔を通過した光は、光検出手段によって検出され、演算手段により、平行光照射手段と光検出手段との間に金属薄板が介在していないときと介在しているときとにおける光検出手段へのそれぞれの入射光量から、金属薄板の光透過率が演算される。
【００１５】
請求項３に係る発明の測定装置では、平行光形成手段において、光源から放射された光が集光レンズによって集光させられ、集光レンズによって集光された光は、絞り機構の開口を通過して、所定のスポット径が得られるように光線束が制限された後、コリメートレンズにより所定の径の平行光とされる。
【００１６】
請求項４に係る発明の測定装置では、絞り機構の開口の大きさが調節可能とされていることにより、簡単に所望のスポット径の平行光が得られる。
【００１７】
請求項５に係る発明の測定装置では、光源として、単色光もしくは単色に近い光を発するＬＥＤが用いられることにより、光学フィルタの透過率を測定して校正を行う場合に、校正用の光学フィルタの入手が容易であり、また、光源としてレーザダイオードを用いた場合におけるように、周期性透孔パターンでの光干渉によるビート発生といった問題を生じない。
【００１８】
請求項６に係る発明の測定装置では、レンズ位置調整機構によって集光レンズとコリメートレンズとの相対的な位置が調節されることにより、金属薄板に照射される平行光の面内分布を調節して最適なものとすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１および図２を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は、この発明の１実施形態を示し、多数の微細な透孔が形成された金属薄板、例えばシャドウマスクの光透過率を測定するために使用される光透過率測定装置の基本構成を模式的に示す概略図である。この測定装置は、シャドウマスク１０の２辺をそれぞれ把持する一対のクランプ１２、１２を有し、その一対のクランプ１２、１２によって把持されたシャドウマスク１０の一方の主面側（シャドウマスク１０をカラー受像管に組み込んだときに電子銃側となる一面側）に平行光照射装置１４が配設され、シャドウマスク１０の他方の主面側（シャドウマスク１０をカラー受像管に組み込んだときに螢光体側となる一面側）に光センサ１６が配設されている。平行光照射装置１４と光センサ１６とは、一直線上にかつ互いに対向するように配置されていて、平行光照射装置１４から照射された平行光２０が光センサ１６へ入射するようになっている。光センサ１６は、パソコン１８に接続されていて、パソコン１８は、ディスプレイやプリンタを備えている。
【００２１】
クランプ１２は、上下一対の板状把持具１２ａ、１２ｂによって構成されており、板状把持具１２ａ、１２ｂは、シャドウマスク１０の長手側の辺の寸法と同等の長さで、紙面と垂直な方向へ延びる細長い矩形状を有している。上下一対の板状把持具１２ａ、１２ｂは、シャドウマスク１０の耳部である不要部（製品となる前に切除される部分）および有効部の一部、例えば有効部の周縁から５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の幅の部分を把持する。一対のクランプ１２、１２は、図示していないが、クランプ台に取着されており、それぞれの上下一対の板状把持具１２ａ、１２ｂは、シリンダによって互いに接近および離間するように一方の板状把持具１２ａが上下に往復移動させられる。また、一対のクランプ１２、１２は、互いに接近および離間する方向へシリンダによって往復移動させられ、また、シャドウマスク１０の２辺をそれぞれ把持した状態でシリンダによって互いに離間する方向へ微小距離だけ移動させられるようになっている。
【００２２】
平行光照射装置１４は、図２に模式的に光学系の構成を示すように、光源２２、集光レンズ２４、絞り機構２６およびコリメートレンズ２８を、この順番に一列に並べて構成されている。光源２２としては、単色光もしくは単色に近い光を発するＬＥＤを用いることが最も好ましい。光源２２として白熱ランプを用いることもできるが、シャドウマスクの光透過率の測定では、汎用性のある光学フィルタの透過率を測定して校正を行う必要があり、光源２２として白熱ランプを用いる場合には、校正用の光学フィルタの入手が困難である（フィルタは波長ごとに市販されているため）といった不利な事情がある。なお、平行光照射装置として、レーザダイオードを用いたレーザ光発射装置を用いることも考えられるが、レーザ光は波面が揃っているため、レーザ光がシャドウマスクに照射されて複数の透孔を通過するときに、周期性透孔パターンでの光干渉によりビートが発生する、といった問題がある。集光レンズ２４およびコリメートレンズ２８はそれぞれ、単レンズでもよいし複数枚で構成されたもの、例えば２枚構成のレンズでもよい。
【００２３】
上記構成の平行光照射装置１４において、光源２２から放射された光は、集光レンズ２４によって集光させられ、一旦集光された光は、絞り機構２６の開口２７を通過した後、コリメートレンズ２８へ入射し、コリメートレンズ２８により所定の径、例えば１２ｍｍ径の平行光２０とされる。そして、平行光照射装置１４から平行光２０がシャドウマスク１０の一方の主面へ照射される。絞り機構２６は、その開口２７の大きさを調節可能にしておくことにより、簡単に所望のスポット径の平行光２０を得ることができる。また、集光レンズ２４とコリメートレンズ２８との相対的な位置を調節する機構を備えておくことにより、例えば、集光レンズ２４の光軸調整および偏芯調整を行う機構を備えておくことにより、シャドウマスク１０に照射される平行光２０の面内分布を調節して最適なものとすることができる。
【００２４】
なお、図示例では、光源２２から放射される光を平行光とするのに、集光レンズ２４およびコリメートレンズ２８を用いるようにしたが、フレネルレンズや凹面鏡などを用いて平行光をつくるようにしてもよい。
【００２５】
図３は、光透過率測定装置を正面方向から見た図である。この測定装置では、平行光照射装置１４および光センサ１６が、一対のクランプ１２、１２（図３では図示を省略）に把持されるシャドウマスク１０の短手側の辺と平行な方向に三対並設されている。そして、中央の平行光照射装置１４ａおよび光センサ１６ａは固定され、平行光照射装置１４ａと光センサ１６ａとを結ぶ線がシャドウマスク１０と直角になるように配置されている。また、左・右それぞれの平行光照射装置１４ｂおよび光センサ１６ｂならびに平行光照射装置１４ｃおよび光センサ１６ｃは、シャドウマスク１０の短手側の辺に沿った鉛直面内においてそれぞれ一体的に回動するように、互いに連動する下方可動板３０および上方可動板３２にそれぞれ支持されている。そして、下方可動板３０および上方可動板３２は、シャドウマスク１０の短手側の辺と平行に配設されたガイドレール３４、３６に案内されて移動可能にそれぞれ支持されており、検査するシャドウマスク１０のサイズに応じて平行光照射装置１４ｂ、１４ｃおよび光センサ１６ｂ、１６ｃの位置を変更することができるようになっている。なお、平行光照射装置１４および光センサ１６を、一対のクランプ１２、１２に把持されるシャドウマスク１０の長手側の辺と平行な方向に複数対並設するようにしてもよい。また、平行光照射装置１４および光センサ１６が、シャドウマスク１０の長手側の辺に沿った鉛直面内においてそれぞれ一体的に回動するような構成としてもよい。
【００２６】
また、この測定装置には、図３において紙面に対し直交するように水平方向に配設された左右一対のボールねじ３８、３８、それぞれのボールねじ３８を正方向および逆方向に回転させるステッピングモータ４０、駆動プーリ４２、タイミングベルト４４および従動プーリ（図示せず）からなる駆動機構、ボールねじ３８と平行に固設された左右一対のガイドレール４６、４６、ならびに、ボールねじ３８と螺合するナット部材４８を有しボールねじ３８の正・逆回転に伴いガイドレール４６に案内させて前後方向へ間欠的に移動する左右一対の可動ブロック５０、５０が設けられている。そして、一対のクランプ１２、１２が取着されたクランプ台と左右一対の可動ブロック５０、５０とが連結されており、可動ブロック５０の移動に伴ってクランプ台が前後方向へ間欠的に移動するように構成されている。なお、シャドウマスク１０を把持したクランプ１２、１２が取着されたクランプ台が、シャドウマスク１０の短手側の辺に沿った方向へ間欠的に移動するような構成としてもよい。さらに、クランプ台を、それに取着された一対のクランプ１２、１２で把持されたシャドウマスク１０の中心を通る鉛直線を回転中心として水平面内で回動させることができるように、クランプ台の回動機構を備えた構成としてもよい。
【００２７】
次に、シャドウマスクの光透過率の測定動作について説明する。なお、以下の説明では、シャドウマスクの９つの位置における光透過率を測定する場合を例にとって、測定動作を説明する。
【００２８】
まず、検査しようとするシャドウマスクの種類やサイズに応じて平行光照射装置１４ｂ、１４ｃおよび光センサ１６ｂ、１６ｃの左右方向における位置および傾きを設定した後、シャドウマスクが平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃと光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃとの間に介在していない状態で、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから平行光を照射し、光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃへの入射光量を測定して、その測定値をパソコン１８に入力し記憶させておく。次に、検査しようとするシャドウマスク１０を図示しないセット用架台上に、カラー受像管に組み込んだときに蛍光体側となる面を上にしてセットし、一対のクランプ１２、１２によってシャドウマスク１０の長手側の２辺の耳部を把持し、その後に、一対のクランプ１２、１２を互いに反対方向へそれぞれ微小距離だけ移動させてシャドウマスク１０に張力を付与し、シャドウマスク１０が完全に平坦化された状態にする。
【００２９】
以上の動作が終わると、クランプ台を移動させ、シャドウマスク１０の１番目の３つの測定位置が、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃと光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃとを含む鉛直面内に位置したときに、シャドウマスク１０を停止させ、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから平行光を照射し、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから照射されてシャドウマスク１０の１番目の３つの測定位置を透過した平行光を光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃで検出して、光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃへの入射光量の測定値をパソコン１８に入力する。次に、再びクランプ台を移動させ、シャドウマスク１０の２番目の３つの測定位置（シャドウマスク１０の長手方向における中央位置）が、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃと光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃとを含む鉛直面内に位置したときに、再びシャドウマスク１０を停止させ、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから平行光を照射し、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから照射されてシャドウマスク１０の２番目の３つの測定位置を透過した平行光を光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃで検出して、光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃへの入射光量の測定値をパソコン１８に入力する。続いて、再びクランプ台を移動させ、３番目の３つの測定位置が、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃと光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃとを含む鉛直面内に位置したときに、再びシャドウマスク１０を停止させ、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから平行光を照射し、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃから照射されてシャドウマスク１０の３番目の３つの測定位置を透過した平行光を光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃで検出して、光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃへの入射光量の測定値をパソコン１８に入力する。このようにして、シャドウマスク１０の９つの測定位置における透過光量の測定を行う。そして、シャドウマスク１０の各測定位置における光透過率は、平行光照射装置１４ａ、１４ｂ、１４ｃと光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃとの間にシャドウマスク１０が介在していないときの光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃへの入射光量に対する、各測定位置における光センサ１６ａ、１６ｂ、１６ｃへの入射光量の割合を、パソコン１８でそれぞれ算出することにより求められる。
【００３０】
シャドウマスク１０の３番目の測定位置での透過光量の測定が終了すると、シャドウマスク１０は元のセット位置へ戻される。そして、シャドウマスク１０に対して付与されていた張力を解除した後、クランプ１２をシャドウマスク１０の耳部から離して、シャドウマスク１０を装置外へ排出し、一連の測定動作が終了する。
【００３１】
【発明の効果】
請求項１に係る発明の光透過率測定方法によると、多数の透孔が形成された金属薄板の光透過率を測定する場合に、金属薄板の表面に対して光が入射する角度に影響を受けることなく、金属薄板の複数位置における光透過率を正確に測定することができる。
【００３２】
請求項２に係る発明の光透過率測定装置を使用すると、請求項１に係る発明の測定方法を好適に実施することができ、多数の透孔が形成された金属薄板の光透過率を測定する場合に、金属薄板の表面に対して光が入射する角度に影響を受けることなく、金属薄板の複数位置における光透過率を正確に測定することができる。
【００３３】
請求項３に係る発明の測定装置では、簡単な構成により平行精度の良い平行光をつくり出すことができる。
【００３４】
請求項４に係る発明の測定装置では、簡単に所望のスポット径の平行光を得ることができる。
【００３５】
請求項５に係る発明の測定装置では、光学フィルタの透過率を測定して校正を行う場合に、校正用の光学フィルタの入手が容易であり、また、光源としてレーザダイオードを用いた場合におけるように、周期性透孔パターンでの光干渉によるビート発生といった問題を生じない。
【００３６】
請求項６に係る発明の測定装置では、金属薄板に照射される平行光の面内分布を調節して最適なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の１実施形態を示し、多数の微細な透孔が形成された金属薄板、例えばシャドウマスクの光透過率を測定するために使用される光透過率測定装置の基本構成を模式的に示す概略図である。
【図２】図１に示した光透過率測定装置の構成要素の１つである平行光照射装置の光学系の構成を示す模式図である。
【図３】図１に示した基本構成を備えた光透過率測定装置の全体構成の１例を示し、測定装置を正面方向から見た図である。
【図４】従来のシャドウマスク透過率測定機の基本構成を模式的に示す概略断面図である。
【符号の説明】
１０  シャドウマスク
１２  クランプ
１４、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ  平行光照射装置
１６、１６ａ、１６ｂ、１６ｃ  光センサ
１８  パソコン
２０  平行光
２２  光源（ＬＥＤ）
２４  集光レンズ
２６  絞り機構
２７  絞り機構の開口
２８  コリメートレンズ
【図１】
0003592113.tif 000002
【図２】
0003592113.tif 000003
【図３】
0003592113.tif 000004
【図４】
0003592113.tif 000005