(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工部上方から、供給量が微少となるように調整された加工液が、重力の作用を受けつつ放電部位に流入するように、加工部を水平面に対し５度から５０度の範囲の角度に傾けるとともに、電極を送るＺ軸のスライド方向を前記加工部を傾けた角度と等しい角度だけ初期の位置から傾けて電極と被加工物との加工位置関係を維持した放電加工機。
【請求項２】
被加工物を乗せるテーブル面と、放電加工の進展とともに微少量だけ被加工物方向へスライドされる、テーブル面に対し垂直なＺ軸と、Ｚ軸先端に保持される電極と、電極と被加工物との間に放電を発生させる電源と、加工液供給装置と、テーブル面及びＺ軸との垂直度を保持しつつ加工部が水平面に対し５〜５０度の角度を成すよう成すようこれらを保持するベース部とを設けた請求項１記載の放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロマシンの部品加工、微細な金型加工、微細なノズル加工等の、微細な放電加工に用いることのできる、加工速度の向上、加工精度の向上、加工液供給の効率化、及び省スペースを実現する放電加工機の提供に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、放電加工機は特開昭６０−１６５１４１に記載されたものが知られている。
図４に従来の放電加工機の加工部の拡大断面を示しており、１は板状の被加工物であり、２は電極であり、６はノズルであり、７は加工液であり、８はテーブル面であり被加工物１が固定されている。９はベース部でありテーブル面８を水平面として有する。１０は加工屑であり、１１は放電部位である。被加工物１は水平に設置されたテーブル面８に固定され、垂直方向より近接してくる電極２により放電加工が進展する。このとき、ノズル６より、加工液７を放電部位１１へ向けて噴出し、放電部位１１より発生する加工屑１０を他方へ押しやるよう構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この放電加工機に於いては、生産効率の観点から高速高精度な加工、及び加工液の効率の良い供給等が求められている。
本発明は、微細加工のできる放電加工機に於いて、様々な形状の被加工物に対して加工屑滞留による加工速度低下の改善、加工液噴流による微細電極の変形の改善（加工精度の改善）、加工液供給の効率化を容易に図ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の放電加工機は、加工部上方から、供給量が微少となるように調整された加工液が、重力の作用を受けつつ放電部位に流入するように、加工部を水平面に対し５度から５０度の範囲の角度に傾けるとともに、電極を送るＺ軸のスライド方向を前記加工部を傾けた角度と等しい角度だけ初期の位置より傾けるよう構成したものである。
【０００５】
この発明によれば、様々な形状の微細被加工物に対して加工速度の改善、加工精度の改善、加工液供給の効率化、を容易に図ることが可能となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、加工部上方から、供給量が微少となるように調整された加工液が、重力の作用を受けつつ放電部位に流入するように、加工部を水平面に対し５度から５０度の範囲の角度に傾けるとともに、加工部に対し所定の角度から放電加工を行なうよう、電極を送るＺ軸のスライド方向を前記加工部を傾けた角度と等しい角度に初期の方向から傾けたものであり、加工部を水平面に対して傾けることにより、微少量供給される加工液が、緩やかな傾き方向の流れとなって放電部位に流入することとなり、加工屑の滞留による加工速度の低下や、加工液の流れが微細電極を変形させることによる加工精度や速度の低下、加工部以外へ多量に加工液が供給される如き無駄がなくなる作用を有する。また、加工部を傾けたと等しい角度だけＺ軸のスライド方向を初期の位置より傾けるため、電極と被加工物の加工位置関係を損なうことはない。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、被加工物を乗せるテーブル面と、放電加工の進展とともに微少量だけ被加工物方向へスライドされる、テーブル面に対し垂直なＺ軸と、Ｚ軸先端に保持される電極と、電極と被加工物との間に放電を発生させる電源と、加工液供給装置と、テーブル面及びＺ軸との垂直度を保持しつつ加工部が水平面に対し所定の角度を成すようこれらを保持するベース部とを設けたものであり、加工液の供給量及び、ベース部の取りつけ角度を被加工物の加工部形状に合わせて調節可能とすることにより、様々な被加工物に対し最良の加工条件を容易に得るという作用を有する。
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図３を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明一実施の形態による放電加工機を示す斜視図を示し、図２は図１に於ける加工部断面の拡大を示している。図１、図２に於いて、１は被加工物であり、２は電極である。３はＺ軸であり、電極２を保持しつつ放電加工の進展に対応して被加工物１の方向へ微少距離スライドする。４は電源であり、電極２と被加工物１との間に放電電圧を印加する。５は加工液供給装置であり、微小な流量を調整可能に供給することができる。６は加工液供給装置５のノズルであり、被加工物１の上方から加工液７が水滴状になって途切れない程度に供給する。７は加工液であり、純水またはそれに相当するものである。８はテーブル面であり、被加工物１が固定されている。９はベース部であり、加工部が水平面に対し５〜５０度の傾きを成すよう傾けたテーブル面８を有するとともに、Ｚ軸が加工部に対し所定の角度（図２では９０度）を成してスライドするよう、Ｚ軸が垂直方向から前記加工部を傾けたと同じ角度だけ初期の位置（垂直方向）より傾けて保持する。１０は加工屑であり、１１は放電部位である。以上の構成により、加工液７は表面張力に打ち勝って加工部の傾き方向に緩やかな流れを形成し、放電部位１１に達する所で加工屑１０を混入させつつ下流へ押しやるため、加工屑１０が放電部位１１滞留して放電現象が疎外され加工速度が低下することがなく、加工液７の流れは緩やかであるため、電極２の変形による加工精度の低下が小さく、加工液７の供給は加工液供給装置５によって必要最小限に留めるため、加工液７の無駄を少なくすることが可能となる。また、加工部を傾け、これに等しくＺ軸３のスライド方向も傾けるため、目的とする加工形状を変える事なく、加工部の傾き角度が得られるものである。尚、加工部の傾きは５度以下では加工液７の流れが定まらず、５０度以上では加工液７が水滴状となって途切れ易くなり、良好な放電加工が得られない。
【０００９】
（実施の形態２）
図３は本発明の形態による放電加工機を示す斜視図を示す。図３に於いて、１は被加工物であり、２は電極である。３はＺ軸であり、電極２を保持しつつ放電加工の進展に対応して被加工物１の方向へ微少距離スライドする。４は電源であり、電極２と被加工物１との間に放電電圧を印加する。５は加工液供給装置であり、微小な流量を調整可能に供給することができる。６は加工液供給装置５のノズルであり、被加工物１の上方から加工液７が水滴状になって途切れない程度に供給する。７は加工液であり、純水またはそれに相当するものである。８はテーブル面であり、被加工物１が固定されている。９ａはベース部Ａであり、加工部とＺ軸スライド方向が所定の角度（図３では９０度）をなすようこれらを保持する。９ｂはベース部Ｂであり、ベース部Ａとベース部Ｂは連結部１２のθ軸中心に互いに回転角度を調節可能に固定されている。以上の構成により、ベース部Ｂに対し、ベース部Ａの連結角度を加工部の形状毎に設定することができるため、様々な被加工物の形状に対して、加工部の傾きを最適に設定できるものであり、より自由度の高い放電加工機を得ることができる。
【００１０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、微細な放電加工に於いて、加工速度の改善、加工精度の改善加工液供給の効率化を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による放電加工機を示す斜視図
【図２】図１に於ける加工部の拡大図
【図３】本発明の一実施の形態による放電加工機を示す斜視図
【図４】従来の放電加工機の加工部の拡大断面を示す図
【符号の説明】
１      被加工物
２      電極
３      Ｚ軸
４      電源
５      加工液供給装置
６      ノズル
７      加工液
８      テーブル面
９      ベース部
９ａ  ベース部Ａ
９ｂ  ベース部Ｂ
１０    加工屑
１１    放電部位
１２    連結部
【図１】
0003596157.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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