【手続補正書】
【提出日】平成28年11月30日(2016.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジグリコール酸と二官能第三級アルコールとのエステルであるジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーと；
アセトフェノン、α−アンゲリカラクトン、γ−ブチロラクトン、酢酸ｎ−ブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、２−ヘプタノン、メチルイソブチルケトン、γ−オクタノラクトンおよびこれらの組み合わせから選択されるキャリア溶媒と；
を含む、犠牲ポリマー組成物。
【請求項２】
前記二官能第三級アルコールが、
【化１】
2016513355.tif 000001
（式中、Ｒ１３は直鎖または分岐鎖のＣ１〜Ｃ６アルキレンから選択される）
からなる群から選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記ジグリコール酸エステルが、式
【化２】
2016513355.tif 000002
（式中、ｎは約２０以上である）
である、請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
式１、２または３から選択されるカチオンを含む熱活性化塩基発生剤をさらに含有する、請求項１から３のいずれか一項に記載の組成物。
【化３】
2016513355.tif 000003
（式中、各Ｒｅは、独立して、水素、メチル基またはエチル基、直鎖、分岐鎖または環式Ｃ３〜Ｃ１２アルキル基；窒素、酸素または硫黄から独立して選択される１〜４のヘテロ原子を有する直鎖、分岐鎖または環式Ｃ３〜Ｃ１２ヘテロアルキル基；Ｃ６〜Ｃ１０アリール基；窒素、酸素または硫黄から独立して選択される１〜４のヘテロ原子を有するＣ５〜Ｃ１０ヘテロアリール基、から選択されるか；または、２つのＲｅが任意の介在する原子と一緒になって前述した１以上の環式アルキル基またはヘテロアルキル基を形成し、式１においては少なくとも１つのＲｅは水素である。）
【請求項５】
前記式１、２または３の添加剤として、テトラブチルアンモニウムアセテート（Ｂｕ４ＮＯＡｃ）、テトラエチルアンモニウムトシレート（Ｅｔ４ＮＯＴｓ）、ピリジニウムトリフレート（ＰｙＨＯＴｆ）または式
【化４】
2016513355.tif 000004
の化合物から選択される１以上を含む、請求項４に記載の組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５２】
さらにまた、前述した本発明の犠牲ポリマー組成物の実施形態の使用方法として、有用なマイクロエレクトロニクスまたは光エレクトロニクスデバイスまたはその構造体を形成するために上記犠牲ポリマー組成物を使用する方法が提供されることがわかるであろう。前述のように、このようなデバイスを形成する本発明のいくつかの実施形態は、第１および第２の基板を用意する工程であって、各基板がそれぞれ複数の第１および第２金属バンプまたは接触構造体を備える工程を含む。第１の基板と第２の基板はそれぞれ、半半導体チップまたはダイなどのマイクロエレクトロニクスデバイスであって、これによりチップスタックが形成されるようになっていてもよく、または上記基板のうち１つが半導体チップであり、他方が「フリップチップ」アセンブリの形成に使用されるような基板であっていてもよいことが理解されるであろう。このような基板は、位置合わせされ、上記組成物の粘着性により互いに保持され、ここで前述の複数の金属バンプまたは構造体は、後に基板およびポリマー組成物を有効温度に加熱すると電気的接合がなされ得るように適切に配列され、このような配列に保持され、はんだはリフローして前述した電気的接合を可能とし、上記ポリマー組成物はフラックス性を提供して上記のような電気的はんだ接合を可能にしまたは促進し、前記ポリマー組成物はさらに解重合または分解して、前記第１の基板と第２の基板との間に残渣を実質的に残さない。
この明細書により、以下の事項が開示される。
（１）  マイクロエレクトロニクスデバイスを基板に接合する方法であって、以下を含む方法：
第１表面を備える基板を用意すること、ここで前記第１表面は複数の第１の金属バンプを備える；
活性表面を備えるマイクロエレクトロニクスデバイスを用意すること；ここで前記活性表面は複数の第２の金属バンプを備え；前記複数の第１の金属バンプと前記複数の第２の金属バンプのうち少なくとも１つははんだを含む；
前記はんだの上に重ねて犠牲ポリマー組成物を配置すること、ここで前記ポリマー組成物はジグリコール酸エステルまたはジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーから選択され、前記ポリマー組成物は任意選択により熱活性化塩基発生剤を含み、前記熱活性化塩基発生剤は、式１、２または３から選択されるカチオンを含む
【化２８】
2016513355.tif 000005
（式中、各Ｒｅは、独立して、水素、メチル基またはエチル基、直鎖、分岐鎖または環式Ｃ３〜Ｃ１２アルキル基；窒素、酸素または硫黄から独立して選択される１〜４のヘテロ原子を有する直鎖、分岐鎖または環式Ｃ３〜Ｃ１２ヘテロアルキル基；Ｃ６〜Ｃ１０アリール基；窒素、酸素または硫黄から独立して選択される１〜４のヘテロ原子を有するＣ５〜Ｃ１０ヘテロアリール基、から選択されるか；または、２つのＲｅが任意の介在する原子と一緒になって前述した１以上の環式アルキル基またはヘテロアルキル基を形成し、式１においては少なくとも１つのＲｅは水素である）；
前記マイクロエレクトロニクスデバイスを前記基板に、前記第１の複数の金属バンプがそれぞれ第２の複数の金属バンプに位置合わせされるように提供すること；ここで前記ポリマー組成物は前記位置合わせを維持する；
前記第１の複数の金属バンプおよび前記第２の複数のバンプを、前記マイクロエレクトロニクスデバイスと前記基板とが電気的にかつ固定的に接合するように、前記はんだを溶融するのに十分な第１温度に加熱すること；ここで前記第１のポリマー組成物または前記第２のポリマー組成物はフラックス作用を提供する；および
前記ポリマー組成物を、前記犠牲ポリマーの熱分解を引き起こすのに十分な第２温度に加熱すること；
を含む、方法。
（２）  前記犠牲ポリマー組成物が、ジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む、上記（１）に記載の方法。
（３）  前記ジグリコール酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、上記（２）に記載の方法。
（４）  前記二官能第三級アルコールが、
【化２９】
2016513355.tif 000006
（式中、Ｒ１３は直鎖または分岐鎖のＣ１〜Ｃ６アルキレンから選択される）
からなる群から選択される、上記（３）に記載の方法。
（５）  前記ジグリコール酸エステルが、式
【化３０】
2016513355.tif 000007
（式中、ｎは約２０以上である）
である、上記（２）に記載の方法。
（６）  前記犠牲ポリマー組成物が、ジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む、上記（１）に記載の方法。
（７）  前記ジカルボン酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、上記（６）に記載の方法。
（８）  前記二官能第三級アルコールが、
【化３１】
2016513355.tif 000008
（式中、Ｒ１３は直鎖または分岐鎖のＣ１〜Ｃ６アルキレンから選択される）
からなる群から選択される、上記（７）に記載の方法。
（９）  前記ジカルボン酸エステルが、式
【化３２】
2016513355.tif 000009
（式中、ｍは約１００以上である）
である、上記（６）に記載の方法。
（１０）  前記犠牲ポリマー組成物が、他の添加剤を含まない、上記（２）に記載の方法。
（１１）  前記犠牲ポリマー組成物が、式１、２または３の添加剤として、テトラブチルアンモニウムアセテート（Ｂｕ４ＮＯＡｃ）、テトラエチルアンモニウムトシレート（Ｅｔ４ＮＯＴｓ）、ピリジニウムトリフレート（ＰｙＨＯＴｆ）または式
【化３３】
2016513355.tif 000010
の化合物から選択される１以上の添加剤を含む、上記（６）に記載の方法。
（１２）  ジグリコール酸エステルまたはジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーと；
任意選択により、式１、２または３から選択されるカチオンを含む熱活性化塩基発生剤と
【化３４】
2016513355.tif 000011
（式中、各Ｒｅは、独立して、水素、メチル基またはエチル基、直鎖、分岐鎖または環式Ｃ３〜Ｃ１２アルキル基；窒素、酸素または硫黄から独立して選択される１〜４のヘテロ原子を有する直鎖、分岐鎖または環式Ｃ３〜Ｃ１２ヘテロアルキル基；Ｃ６〜Ｃ１０アリール基；窒素、酸素または硫黄から独立して選択される１〜４のヘテロ原子を有するＣ５〜Ｃ１０ヘテロアリール基、から選択されるか；または、２つのＲｅが任意の介在する原子と一緒になって前述した１以上の環式アルキル基またはヘテロアルキル基を形成し、式１においては少なくとも１つのＲｅは水素である）；
アセトフェノン、α−アンゲリカラクトン、γ−ブチロラクトン、酢酸ｎ−ブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、２−ヘプタノン、メチルイソブチルケトン、γ−オクタノラクトンおよびこれらの組み合わせから選択されるキャリア溶媒と；
を含む、犠牲ポリマー組成物。
（１３）  前記犠牲ポリマー組成物が、ジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む、上記（１２）に記載の組成物。
（１４）  前記ジグリコール酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、上記（１３）に記載の組成物。
（１５）  前記二官能第三級アルコールが、
【化３５】
2016513355.tif 000012
（式中、Ｒ１３は直鎖または分岐鎖のＣ１〜Ｃ６アルキレンから選択される）
からなる群から選択される、上記（１４）に記載の組成物。
（１６）  前記ジグリコール酸エステルが、式
【化３６】
2016513355.tif 000013
（式中、ｎは約２０以上である）
である、上記（１３）に記載の組成物。
（１７）  前記犠牲ポリマー組成物が、ジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む、上記（１２）に記載の組成物。
（１８）  前記ジカルボン酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、上記（１７）に記載の組成物。
（１９）  前記二官能第三級アルコールが、
【化３７】
2016513355.tif 000014
（式中、Ｒ１３は直鎖または分岐鎖のＣ１〜Ｃ６アルキレンから選択される）
からなる群から選択される、上記（１８）に記載の組成物。
（２０）  前記ジカルボン酸エステルが、式
【化３８】
2016513355.tif 000015
（式中、ｍは約１００以上である）
である、上記（１７）に記載の組成物。
（２１）  式１、２または３の添加剤として、テトラブチルアンモニウムアセテート（Ｂｕ４ＮＯＡｃ）、テトラエチルアンモニウムトシレート（Ｅｔ４ＮＯＴｓ）、ピリジニウムトリフレート（ＰｙＨＯＴｆ）または式
【化３９】
2016513355.tif 000016
の化合物から選択される１以上の添加剤を含む、上記（１２）に記載の組成物。
（２２）  ジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーと；
アセトフェノン、α−アンゲリカラクトン、γ−ブチロラクトン、酢酸ｎ−ブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、２−ヘプタノン、メチルイソブチルケトン、γ−オクタノラクトンおよびこれらの組み合わせから選択されるキャリア溶媒と；
を含む、犠牲ポリマー組成物。
（２３）  前記ジグリコール酸エステルが、式
【化４０】
2016513355.tif 000017
（式中、ｎは約２０以上である）
である、上記（２２）に記載の組成物。