(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の板状体を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口とするスリットノズルにおいて、該スリットノズルはワークの押さえローラ間に垂直に設置されるものであり、また前記いずれか一方の板状体に流体噴出口よりも前方に延びた延設部を形成するとともに、該延設部には先端が板状体の裏面にまで達するように斜めに切断されて流体噴出口から前方外側に向け傾斜する傾斜面を形成したことを特徴とするスリットノズル。
【請求項２】
傾斜面が、フラット状のものである請求項１に記載のスリットノズル。
【請求項３】
傾斜面が、流体噴出口側に膨出した段付き状あるいは曲面状のものである請求項１に記載のスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノズルの軸方向に対し斜めに傾けた状態で流体を均一に噴射することができるスリットノズルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶基板やプリント基板等の製造工程においては、ワークの洗浄処理、薬剤塗布処理、乾燥処理等が行われており、これらの処理工程の後に超純水による洗浄処理が行われている。そして、この洗浄処理の後で超純水を乾燥させるのにスリットノズルを用い、噴射流体によってワークを乾燥処理する方法が用いられている。ここでスリットノズルとは、２枚の板状体を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口とするノズルをいう。
【０００３】
この場合、図７に示されるように、乾燥効率を上げるためにワーク１０の進行方向に対して一定の迎え角度をもってガス噴射を行っているが、最近はワーク１０のサイズが大型化し、薄肉化する傾向がありワーク１０の浮き上がりや変形等を防止するのに、ワーク１０を押さえるための押さえローラ１１、１１の配置間隔を狭める必要が生じてきた。ところが、スリットノズルを斜めに配置するので押さえローラ１１、１１の配置間隔を狭めるにも限界があり、ワーク１０を確実に押さえることが難しいという問題点があった。
【０００４】
そこで、スリットノズルを斜めにすることなく真っ直ぐに配置しても噴射流体を斜めに噴出することができるノズルの開発を進め、例えば、図８に示されるように流体の噴出流路を傾斜させたものや、図９に示されるように流体の噴出口の先端に傾斜板部を設けたもの等を提案した。
しかしながら、ワークである液晶基板やプリント基板等は最大２０００ｍｍ程度の幅があって、この幅全体にわたって均一な流体の噴出を保証する必要があり、図８〜図９の構造のものでは、いずれも複雑な形状の加工を要求されて工作機械の加工上、精度を保証するのが難しく、また安価に量産することもできないという問題点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記のような従来の問題点を解決して、ノズルの軸方向に対し斜めに傾けた状態で流体を均一に噴射することができ、しかも簡単な構造で精度よく安価に生産することができるスリットノズルを提供することを目的として完成されたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためになされた本発明のスリットノズルは、２枚の板状体を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口とするスリットノズルにおいて、該スリットノズルはワークの押さえローラ間に垂直に設置されるものであり、また前記いずれか一方の板状体に流体噴出口よりも前方に延びた延設部を形成するとともに、該延設部には先端が板状体の裏面にまで達するように斜めに切断されて流体噴出口から前方外側に向け傾斜する傾斜面を形成したことを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施の形態を示す。
図面は、本発明を液晶基板やプリント基板等の製造工程において使用される、流体としてガスを噴出する乾燥処理用のノズルに適用した場合を示すものであって、２枚の板状体１，１を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口２とするスリットノズルである点は従来のものと基本的に同じである。
なお、図中３はガスの溜まり部、４はガスの供給管である。また、前記板状体１の材質としては、ステンレス鋼、チタン、アルミ等の金属や、セラミックや硬質樹脂等から使用環境や使用条件により任意に選択することができる。
【０００８】
そして本発明では、前記いずれか一方の板状体１に流体噴出口２よりも前方に延びた延設部１ａを形成するとともに、該延設部１ａに流体噴出口２から前方に向け徐々に外側に向け傾斜する傾斜面５を形成したものとなっている。
このような構造のノズルでは、流体噴出口２から出たガスはそのガスの粘性により流体力学の特性に基づき、前記傾斜面５に案内されて自然に左方向へ曲げられて噴出する（図２の矢印参照）こととなり、図示のものでは、垂直なノズルの軸方向に対し斜め左に傾いた状態でガスが均一に噴射することとなる。
【０００９】
なお、前記傾斜面５は、ガスの噴出方向を傾斜させたい側の少なくとも一方の板状体１にのみ形成すればよく、他方の板状体１の形状は問わない。従って、他方の板状体１は、図２に示されるように、前記傾斜面５に続くほぼ一直線上の傾斜面としたものや、図３に示されるように、矩形状にしたもの等任意の形状を選択することができる。
また傾斜面５の形状としては、図２にフラット状のものを例示したが、その他、図４に示されるようなガス噴出口側に膨出した段部１ｂを有する段付き状のものや、あるいは図５に示されるような曲面状のものでも同様の効果を得ることができる。
【００１０】
このように本発明は、２枚の板状体１、１を貼り合わせ、この貼り合わせ部に形成した長手方向のスリット部を流体噴出口２とするスリットノズルにおいて、前記いずれか一方の板状体１に流体噴出口２よりも前方に延びた延設部５を形成するとともに、該延設部１ａに流体噴出口２から前方に向け徐々に外側に向け傾斜する傾斜面５を形成した構造のものであるため、該傾斜面５に案内されて流体噴出口２から出たガスがそのガスの粘性により自然に左方向へ曲げられて噴出することとなる。この結果、垂直なノズルの軸方向に対し斜めに傾いた状態でガスを均一に噴射できるので、図６に示されるように、乾燥処理工程においてワーク１０を押さえるための押さえローラ１１、１１の配置間隔を最小限まで狭めることが可能となり、しかもワーク１０の浮き上がりや変形等も確実に防止できることとなる。
【００１１】
なお、以上の説明では流体としてガスを用いた場合について説明したが、流体として液体を用いることもできることは勿論であり、この場合には、液体を斜めに噴出することでワーク上での跳ね返りを防止できるという効果や、排水を片側のみで行えるので装置をシンプルに設計することができる等の効果が得られ有効である。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明はノズルの軸方向に対し斜めに傾けた状態で流体を均一に噴射することができ、しかも簡単な構造で精度よく安価に生産することができるものである。
よって本発明は従来の問題点を一掃したスリットノズルとして、産業の発展に寄与するところは極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図３】その他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図４】その他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図５】その他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図６】プリント基板の乾燥処理工程を示す正面図である。
【図７】従来のプリント基板の乾燥処理工程を示す正面図である。
【図８】従来例を示す要部の断面図である。
【図９】従来例を示す要部の断面図である。
【符号の説明】
１  板状体
１ａ  延設部
２  流体噴出口
５  傾斜面
【図１】
0003544649.tif 000002
【図２】
0003544649.tif 000003
【図３】
0003544649.tif 000004
【図４】
0003544649.tif 000005
【図５】
0003544649.tif 000006
【図６】
0003544649.tif 000007
【図７】
0003544649.tif 000008
【図８】
0003544649.tif 000009
【図９】
0003544649.tif 000010