(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性体からなる基板上に、下地軟磁性膜と垂直磁化膜を積層してなる垂直磁気記録媒体において、
前記下地軟磁性膜は、ＦｅＳｉＡｌ合金またはＣｏＮｉＦｅ合金を主成分とし、かつ、その透磁率をμ、膜厚をδｂ［ｎｍ］としたときに、μ・δｂ≧１０００であり、
前記垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ［ｅｒｇ／ｃｃ］は、１×１０７≦Ｋ
ｕ≦７×１０８であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項２】
前記下地軟磁性膜の透磁率μは、５≦μ≦２００であることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３】
前記下地軟磁性膜の膜厚δｂは、５００ｎｍ以下であることを特徴と
する請求項１または２記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項４】
前記垂直磁化膜の膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃ［ｋＯｅ］は、５≦Ｈｃ≦１０であることを特徴とする請求項１、２または３記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項５】
前記垂直磁化膜は、ＦｅＰｔ合金を主成分としたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項６】
前記垂直磁化膜は、ＲＣｏ合金（但しＲはＹ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｌａ，Ｐｒから選択した１種または２種以上）を主成分としたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載の垂直磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク等に好適に用いられる垂直磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パ−ソナルコンピュ−タやワ−クステ−ション等の情報機器の進歩に伴い、ハ−ドディスクドライブに対してもさらなる大容量化及び小型化が求められており、磁気ディスクにおいてもさらなる高面密度化が必要とされている。
しかしながら、現在広く普及している長手磁気記録方式では、高記録密度を実現しようとすると、記録ビットの微細化に伴う記録磁化の熱揺らぎの問題や、記録ヘッドの記録能力を超えかねない高保磁力化の問題が発生する。そこで、これらの問題を解決しつつ、面記録密度を大幅に向上させ得る磁気記録方式として、垂直磁気記録方式が検討されている。この方式を実現する垂直磁気記録媒体の一つとして、高透磁率の軟磁性膜と高い垂直異方性の垂直磁化膜を備えた２層構造の垂直磁気記録媒体がある。
【０００３】
図４は、従来の垂直磁気記録媒体の一例を示す概略断面図であり、この垂直磁気記録媒体２１は、非磁性体からなる基板２２上に、下地軟磁性膜２３及び垂直磁化膜２４が順次積層されたものである。例えば、下地軟磁性膜２３としてはＮｉＦｅ膜、垂直磁化膜２４としてはＣｏＣｒ系合金が用いられる（日本応用磁気学会誌、Ｖｏｌ．８，Ｎｏ．１，１９８４，ｐ１７）。
この垂直磁気記録媒体２１は、前述したように、下地軟磁性膜２３の存在により、従来の長手磁気記録方式よりも遙かに記録が容易である。すなわち、この垂直磁気記録媒体２１は、従来の長手磁気記録媒体の長手方向の磁気異方性エネルギー及び保磁力よりも遙かに大きな垂直磁気異方性エネルギー及び膜面に垂直方向の保磁力を有するために、容易に記録することができる。
【０００４】
このように、垂直磁気記録媒体２１は、垂直磁化膜２４の垂直磁気異方性エネルギー、及び膜面に垂直方向の保磁力を大きくすることができるため、長手磁気記録方式よりも熱揺らぎに遙かに強い媒体とすることが出来る。なお、この熱揺らぎの問題に対処するために、最近では、従来、垂直磁化膜として主流であったＣｏＣｒ系よりも垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギー及び膜面に垂直方向の保磁力の大きな、高垂直磁気異方性エネルギー膜、高保磁力膜を用いる傾向にある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の垂直磁気記録媒体では、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギー及び膜面に垂直方向の保磁力の大きな膜を用いると、記録再生感度を確保するため、従来の垂直磁化膜を用いた場合よりも、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂを大きく設定しなければならないという問題点があった。
実際の媒体作製プロセスを考慮するならば、下地軟磁性膜は、なるべく薄膜化することが望ましい。その理由は、下地軟磁性膜を薄膜化することにより、下地軟磁性膜の上に成膜される高記録密度での記録再生能力を決める垂直磁化膜の性能を確保するための作製プロセスが容易になるためである。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、今後の磁気記録上の熱揺らぎ減磁問題に対処すべく、垂直磁気異方性エネルギー及び膜面に垂直方向の保磁力の大きな垂直磁化膜を用いた垂直磁気記録媒体について、媒体作製プロセス上必然的に要求される下地軟磁性膜の薄膜化に対処し得る垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、以上の課題に鑑みて鋭利研究を行い、垂直磁気異方性エネルギー及び膜面に垂直方向の保磁力の大きな垂直磁化膜を用いた場合においても、充分に記録再生感度を確保しうるための下地軟磁性膜の材料及び材料特性、特に、下地軟磁性膜を薄膜化するための指針に対して詳細な検討を行い、垂直磁気異方性エネルギー及び膜面に垂直方向の保磁力の大きな垂直磁化膜を用いた場合の下地軟磁性膜の有効な設計指針を見いだした。
【０００８】
より具体的には、垂直磁気記録媒体の下地軟磁性膜の薄膜化の指針を得るために、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂをさまざまに変化させた２層構造の垂直磁気記録媒体を作製し、それらの再生出力を測定し、下地軟磁性膜を薄膜化するための下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂの関係について検討を重ねた。詳細な検討の結果、本発明者は、下地軟磁性膜の透磁率をμ、膜厚をδｂ［ｎｍ］とし、これらがμ・δｂ≧１０００の条件を満たすときに再生感度を十分に確保しうる２層構造の垂直磁気記録媒体とすることができることを見いだした。
【０００９】
以上の知見により、本発明の請求項１記載の垂直磁気記録媒体は、非磁性体からなる基板上に、下地軟磁性膜と垂直磁化膜を積層してなる垂直磁気記録媒体において、前記下地軟磁性膜は、ＦｅＳｉＡｌ合金またはＣｏＮｉＦｅ合金を主成分とし、かつ、その透磁率をμ、膜厚をδｂ［ｎｍ］としたときに、μ・δｂ≧１０００であり、前記垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ［ｅｒｇ／ｃｃ］は、１×１０７≦Ｋｕ≦７×１０８であることを特徴としている。
【００１０】
請求項２記載の垂直磁気記録媒体は、請求項１記載の垂直磁気記録媒体において、前記下地軟磁性膜の透磁率μを、５≦μ≦２００としたことを特徴としている。
【００１１】
請求項３記載の垂直磁気記録媒体は、請求項１または２記載の垂直磁気記録媒体において、前記下地軟磁性膜の膜厚δｂを、５００ｎｍ以下としたことを特徴としている。
【００１３】
請求項４記載の垂直磁気記録媒体は、請求項１、２または３記載の垂直磁気記録媒体において、前記垂直磁化膜の膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃ［ｋＯｅ］を、５≦Ｈｃ≦１０としたことを特徴としている。
【００１４】
請求項５記載の垂直磁気記録媒体は、請求項１ないし４のいずれか１項記載の垂直磁気記録媒体において、前記垂直磁化膜を、ＦｅＰｔ合金を主成分としたことを特徴としている。
【００１５】
請求項６記載の垂直磁気記録媒体は、請求項１ないし４のいずれか１項記載の垂直磁気記録媒体において、前記垂直磁化膜を、ＲＣｏ合金（但しＲはＹ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｌａ，Ｐｒから選択した１種または２種以上）を主成分としたことを特徴としている。
【００１８】
本発明の垂直磁気記録媒体では、２層構造の垂直磁気記録媒体の下地軟磁性膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］が、μ・δｂ≧１０００の条件を満たすことにより、下地軟磁性膜を薄膜化しても再生感度を十分に確保しうる２層構造の垂直磁気記録媒体とすることが可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の垂直磁気記録媒体の一実施形態について図面に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態の垂直磁気記録媒体を示す断面図であり、この垂直磁気記録媒体１は、非磁性体からなる基板２上に、透磁率μ、膜厚δｂの下地軟磁性膜３、及び垂直磁化膜４が順次積層されたものである。
【００２０】
下地軟磁性膜３の透磁率μは５≦μ≦２００、膜厚δｂは５００ｎｍ以下であることが好ましい。
この下地軟磁性膜３としては、例えば、ＦｅＳｉＡｌ合金、ＣｏＮｉＦｅ合金等が好適に用いられる。
【００２１】
ＦｅＳｉＡｌ合金としては、例えば、８４．９ｗｔ％Ｆｅ−Ｘｗｔ％Ｓｉ−（１５．１−Ｘ）ｗｔ％Ａｌ合金（但し、８．０≦Ｘ≦１２．０）（以下、Ｆｅ８４．９−ＳｉＸ−Ａｌ１５．１−Ｘ合金と略称する）が好適に用いられる。このＦｅＳｉＡｌ合金のより好ましい組成は、８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．４ｗｔ％Ａｌである。
ＣｏＮｉＦｅ合金の組成としては、例えば、６２ａｔ％Ｃｏ−１２ａｔ％Ｎｉ−２６ａｔ％Ｆｅ等が好適に用いられる。
【００２２】
垂直磁化膜４の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ［ｅｒｇ／ｃｃ］は１×１０７≦Ｋｕ≦７×１０８、その膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃ［ｋＯｅ］は５≦Ｈｃ≦１０であることが好ましい。
この垂直磁化膜４としては、例えば、ＦｅＰｔ合金、ＲＣｏ合金（但し、ＲはＹ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｌａ，Ｐｒから選択した１種または２種以上）等が好適に用いられる。
【００２３】
ＦｅＰｔ合金としては、例えば、Ｘａｔ％Ｆｅ−（１００−Ｘ）ａｔ％Ｐｔ合金（但し、４０≦ｘ≦６０）（以下、Ｆｅｘ−Ｐｔ１００−ｘ合金と略称する）が好適に用いられる。このＦｅＰｔ合金のより好ましい組成は、５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔである。
ＲＣｏ合金としては、ＲＣｏ５合金（但し、ＲはＹ，Ｃｅ，Ｓｍから選択した１種または２種以上）、Ｒ２Ｃｏ１７合金（但し、ＲはＹ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｌａ，Ｐｒから選択した１種または２種以上）等が好適に用いられる。
【００２４】
この垂直磁気記録媒体１では、下地軟磁性膜３の透磁率をμ、膜厚をδｂ［ｎｍ］  としたときに、μ・δｂ≧１０００の条件を満たすようにしたことにより、下地軟磁性膜３を薄膜化しても再生感度を十分に確保することができる。
【００２５】
図２は、本実施形態の垂直磁気記録媒体の一具体例を示す断面図であり、この垂直磁気記録媒体１１は、非磁性体からなる基板１２上に、透磁率μ、膜厚δｂの下地軟磁性膜である８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌ膜１３（以下、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３と略称する）、及び垂直磁化膜である５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔ膜１４（以下、Ｆｅ５０Ｐｔ５０膜１４と略称する）が順次積層されている。
【００２６】
次に、本実施形態の垂直磁気記録媒体の各実施例について説明する。
【００２７】
【実施例１】
まず、２．５インチの基板１２上に、スパッタ法により６インチの８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３を、基板温度４００℃で２、５、１０、２０、５０、１００、２００、２５０、５００、７５０ｎｍの１０種類の膜厚で成膜した。成膜条件は、初期真空度５×１０−７ｍＴｏｒｒ（６．６５×１０−８Ｐａ）−７ｍＴｏｒｒ（９．３１×１０−１Ｐａ）において、投入電力０．５ｋｗ、アルゴンガス圧４ｍＴｏｒｒ（５．３１×１０−１Ｐａ）、成膜速度３ｎｍ／ｓｅｃとした。
【００２８】
それぞれ異なる膜厚のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３を、スパッタチャンバー内でランプ加熱し、その加熱時間を変化させることにより、透磁率μを変化させたＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３を用意した。透磁率μは２、５、１０、２０、５０、１００、２００の７種類変化させた。すなわち、１０種類の膜厚δｂ各々につき、７種類の透磁率μをもつ膜を用意したので、計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３を用意した。
【００２９】
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３上に、５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットを用いて、基板温度４５０℃でＦｅ５０Ｐｔ５０膜１４を５０ｎｍ成膜した。更にその上に、Ｃ保護膜を５ｎｍ成膜した。
【００３０】
ここで、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となるμとδｂの組み合わせ、すなわち、（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施形態の垂直磁気記録媒体Ａ１〜Ａ６とした。
【００３１】
また、比較例として、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となるμとδｂの組み合わせ、すなわち、（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＡＡ１〜ＡＡ４とした。また、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＡＡ５とした。さらに、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＡＡ６〜ＡＡ１２とした。
【００３２】
さらに、２．５インチの基板上にスパッタ法により６インチの２１．５ｗｔ％Ｎｉ−７８．５ｗｔ％Ｆｅタ−ゲットを用いて、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を基板温度４００℃で５、１０、５０、１００、２００ｎｍの５種類の膜厚で成膜した。成膜条件は、初期真空度５×１０−７ｍＴｏｒｒにおいて、投入電力０．５ｋｗ、アルゴンガス圧４ｍＴｏｒｒ、成膜速度３ｎｍ／ｓｅｃとした。おのおのの膜厚のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を、スパッタチャンバー内でランプ加熱し、その加熱時間を変化させることにより、透磁率μを変化させたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用意した。透磁率μは５、１０、２０、５０、１００、２００の７種類変化させた。すなわち、５種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ膜を用意し、計３５種類のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜とした。
【００３３】
透磁率測定用と別に成膜したＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜上に、５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットを用いてＦｅ５０Ｐｔ５０膜を５０ｎｍ成膜した。更にその上にＣ保護膜を５ｎｍ成膜した。
このとき、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせの媒体をそれぞれ従来媒体ＡＢ１〜ＡＢ４とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体をそれぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜ＡＣ６とした。なお、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜は従来、下地軟磁性膜として最も良く用いられてきたものである。
【００３４】
ここで、Ｆｅ５０Ｐｔ５０膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝７×１０７［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝５．５［ｋＯｅ］であった。
１０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直磁気記録媒体の記録再生の実験を、記録ヘッドとして単磁極ヘッド、再生ヘッドとしてＭＲヘッドを用いて行った。ここで、ＭＲヘッドの再生トラック幅は１μｍ、再生ギャップ長は０．１μｍである。また、単磁極ヘッドのトラック幅は１．５μｍである。評価は記録電流１０ｍＡｏｐ、センス電流１２ｍＡ、周速度１２．７ｍ／ｓ、浮上量４５ｎｍの条件下で行った。記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。
【００３５】
表１に、この計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜１３の再生出力（μＶ）をまとめて示す。この図では、本実施例の媒体と、比較例の媒体を明瞭に区分して示した。
【表１】
0003582435.tif 000002
【００３６】
表１から分かるように、本実施例の媒体Ａ１〜Ａ６を境にして下側の領域（本実施例の領域）では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＡＡ６〜ＡＡ１２を境にして上側の領域（比較例の領域）では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。
ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直したのが図３である。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【００３７】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合は、いずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【００３８】
一方、従来媒体ＡＢ１〜ＡＢ４、従来比較媒体ＡＣ１〜ＡＣ６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録した後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その測定値を表２に示す。
【表２】
0003582435.tif 000003
【００３９】
表２に示す結果から分かるように、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直磁気記録媒体の場合、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要であることが分かる。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直磁気記録媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を下地軟磁性膜とする垂直磁気記録媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保することができる。
即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【００４０】
以上のことから、垂直磁気記録媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保することができる。
【００４１】
その結果、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易に出来、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【００４２】
【実施例２】
実施例１と同様、８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて、実施例１と同様の１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりに４０ａｔ％Ｆｅ−６０ａｔ％Ｐｔターゲットを用いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【００４３】
このとき、実施例１と同様、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｂ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となる（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＢＢ１〜４、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＢＢ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＢＢ６〜１２とした。
【００４４】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【００４５】
Ｆｅ４０Ｐｔ６０膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝１×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝７．０［ｋＯｅ］であった。
１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表３に示す。表３には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【００４６】
【表３】
0003582435.tif 000004
【００４７】
表３から分かるように、本実施例媒体Ｂ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＢＢ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【００４８】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【００４９】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【００５０】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【００５１】
結論として、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【００５２】
【実施例３】
実施例１と同様、８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて、実施例１と同様の１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりに６０ａｔ％Ｆｅ−４０ａｔ％Ｐｔターゲットを用いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【００５３】
このとき、実施例１と同様、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｃ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となる（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＣＣ１〜４、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＣＣ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＣＣ６〜１２とした。
【００５４】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【００５５】
Ｆｅ６０Ｐｔ４０膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝５×１０７［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝５．０［ｋＯｅ］であった。
１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表４に示す。表４には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【００５６】
【表４】
0003582435.tif 000005
【００５７】
表４から分かるように、本実施例媒体Ｃ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＣＣ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【００５８】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【００５９】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【００６０】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【００６１】
結論として、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【００６２】
なお、垂直磁化膜として、実施例２においてＦｅ４０Ｐｔ６０膜、実施例１においてＦｅ５０Ｐｔ５０膜、本実施例においてＦｅ６０Ｐｔ４０膜を用いて同様な効果が得られたことより、Ｘａｔ％Ｆｅ−（１００−Ｘ）ａｔ％Ｐｔ（４０≦Ｘ≦６０）の範囲のＸを満たすＦｅＸＰｔ１００−Ｘ垂直磁化膜であれば、垂直磁気異方性エネルギーが５×１０７［ｅｒｇ／ｃｃ］≦Ｋｕ≦１×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］、膜面に垂直方向の保磁力が５［ｋＯｅ］≦Ｈｃ≦７［ｋＯｅ］の範囲に分布することは明白であり、このことから、Ｘａｔ％Ｆｅ−（１００−Ｘ）ａｔ％Ｐｔ（４０≦Ｘ≦６０）の範囲のＸを満たすＦｅＸＰｔ１００−Ｘ垂直磁化膜であれば、同様な効果が得られることは明らかである。
【００６３】
【実施例４】
実施例１における８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットの代わりに８４．９ｗｔ％Ｆｅ−８．０ｗｔ％Ｓｉ−７．１ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて実施例１と同様にして基板上にＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜を作製した。実施例１と同様に１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａ
ｌ７．１膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりにＹＣｏ５（ａｔ％）ターゲットを用いて
、実施例１と同様に媒体を作製した。
【００６４】
このとき、実施例１と同様、Ｆｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜の透磁率μと膜厚δb［ｎｍ］の間にμ・δb＝１０００となる（μ、δb）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｄ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δb［ｎｍ］の間にμ・δb＝５００となる（μ、δb）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＤＤ１〜４、μ・δb＝４００となる（μ、δb）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＤＤ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δb＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＤＤ６〜１２とした。
【００６５】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【００６６】
ＹＣｏ５膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝１×１０７［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝６．５［ｋＯｅ］であった。
１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表５に示す。表５には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【００６７】
【表５】
0003582435.tif 000006
【００６８】
表５から分かるように、本実施例媒体Ｄ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＤＤ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【００６９】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【００７０】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【００７１】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【００７２】
結論として、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【００７３】
【実施例５】
実施例１における８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットの代わりに８４．９ｗｔ％Ｆｅ−１２．０ｗｔ％Ｓｉ−３．１ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて実施例１と同様にして基板上にＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜を作製した。実施例１
と同様に１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりにＣｅＣｏ５（ａｔ％）ターゲットを用
いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【００７４】
このとき、実施例１と同様、Ｆｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜の透磁率μと膜厚δb［ｎｍ］の間にμ・δb＝１０００となる（μ、δb）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｅ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δb＝５００となる（μ、δb）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＥＥ１〜４、μ・δb＝４００となる（μ、δb）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＥＥ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δb＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＥＥ６〜１２とした。
【００７５】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【００７６】
ＣｅＣｏ５膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝５．５×１０７［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝６．５［ｋＯｅ］であった。
１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表６に示す。表６には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【００７７】
【表６】
0003582435.tif 000007
【００７８】
表６から分かるように、本実施例媒体Ｅ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＥＥ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【００７９】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【００８０】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【００８１】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【００８２】
結論として、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜を用い、かつμ・δb≧１０００、５≦μ≦２００、δbが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜
として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６[ｅｒｇ／ｃｃ]、Ｈｃ〜約３[ｋＯｅ]）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜とし
てよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【００８３】
なお、実施例４においてＦｅ８４．９Ｓｉ８．０Ａｌ７．１膜、実施例１においてＦｅ８４．９Ｓｉ
９．６Ａｌ５．５膜、本実施例においてＦｅ８４．９Ｓｉ１２．０Ａｌ３．１膜を用いて同様な効果が得ら
れたことより、Ｆｅ８４．９−ＳｉＸ−Ａｌ１５．１−Ｘ（８．０≦Ｘ≦１２．０、ｗｔ％）の範囲
のＸを満たすＦｅ８４．９−ＳｉＸ−Ａｌ１５．１−Ｘ下地軟磁性膜であれば、同様な効果が得られ
ることは明らかである。
【００８４】
【実施例６】
実施例１における８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットの代わりに６２ｗｔ％Ｃｏ−１２ｗｔ％Ｎｉ−２６ｗｔ％Ｆｅタ−ゲットを用いて実施例１と同様にして基板上にＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を作製した。実施例１と同様に１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりにＳｍＣｏ５（ａｔ％）ターゲットを用いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【００８５】
このとき、実施例１と同様、Ｃｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｆ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となる（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＦＦ１〜４、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＦＦ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＦＦ６〜１２とした。
【００８６】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【００８７】
ＳｍＣｏ５膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝１×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝７．０［ｋＯｅ］であった。１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表７に示す。表７には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【００８８】
【表７】
0003582435.tif 000008
【００８９】
表７から分かるように、本実施例媒体Ｆ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＦＦ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【００９０】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【００９１】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｃｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜の方が飽和磁化が大きいために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【００９２】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【００９３】
結論として、下地軟磁性膜としてＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【００９４】
【実施例７】
実施例１と同様、８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて、実施例１と同様の１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりにＹ２Ｃｏ１７（ａｔ％）ターゲットを用いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【００９５】
このとき、実施例１と同様、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｇ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となる（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＧＧ１〜４、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＧＧ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＧＧ６〜１２とした。
【００９６】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【００９７】
Ｙ２Ｃｏ１７膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝２×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝８．０［ｋＯｅ］であった。１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表８に示す。表８には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【００９８】
【表８】
0003582435.tif 000009
【００９９】
表８から分かるように、本実施例媒体Ｇ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＧＧ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【０１００】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【０１０１】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【０１０２】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【０１０３】
結論として、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【０１０４】
【実施例８】
実施例１と同様、８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットを用いて、実施例１と同様の１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりにＣｅ２Ｃｏ１７（ａｔ％）ターゲットを用いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【０１０５】
このとき、実施例１と同様、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｈ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となる（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＨＨ１〜４、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＨＨ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＨＨ６〜１２とした。
【０１０６】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【０１０７】
Ｃｅ２Ｃｏ１７膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝５×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝８．５［ｋＯｅ］であった。
１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表９に示す。表９には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【０１０８】
【表９】
0003582435.tif 000010
【０１０９】
表９から分かるように、本実施例媒体Ｈ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＨＨ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【０１１０】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【０１１１】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の方が異方性が小さく、等方的であるために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【０１１２】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【０１１３】
結論として、下地軟磁性膜としてＦｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【０１１４】
【実施例９】
実施例１における８４．９ｗｔ％Ｆｅ−９．６ｗｔ％Ｓｉ−５．５ｗｔ％Ａｌタ−ゲットの代わりに６２ｗｔ％Ｃｏ−１２ｗｔ％Ｎｉ−２６ｗｔ％Ｆｅタ−ゲットを用いて実施例１と同様にして基板上にＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を作製した。実施例１と同様に１０種類の膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類のＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を用意した。
透磁率測定用と別に成膜したＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜上に、実施例１における５０ａｔ％Ｆｅ−５０ａｔ％Ｐｔタ−ゲットの代わりにＳｍ２Ｃｏ１７（ａｔ％）ターゲットを用いて、実施例１と同様に媒体を作製した。
【０１１５】
このとき、実施例１と同様、Ｃｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせの媒体を本実施例媒体Ｊ１〜６とした。また、透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝５００となる（μ、δｂ）＝（５、１００）、（１０、５０）、（５０、１０）、（１００、５）の組み合わせの媒体を比較媒体ＪＪ１〜４、μ・δｂ＝４００となる（μ、δｂ）＝（２０、２０）の組み合わせの媒体を比較媒体ＪＪ５とした。また、透磁率μ＝２〜２００で膜厚δｂ＝７５０ｎｍの媒体を比較媒体ＪＪ６〜１２とした。
【０１１６】
また、本実施例においても実施例１で用いた、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５下地軟磁性膜の垂直２層媒体である、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝２０００となる（μ、δｂ）＝（１０、２００）、（２０、１００）、（１００、２０）、（２００、１０）の組み合わせとなる、それぞれ従来媒体ＡＢ１〜４、及び透磁率μと膜厚δｂ［ｎｍ］の間にμ・δｂ＝１０００となる（μ、δｂ）＝（５、２００）、（１０、１００）、（２０、５０）、（５０、
２０）、（１００、１０）、（２００、５）の組み合わせとなる、それぞれ従来比較媒体ＡＣ１〜６を用いた。
【０１１７】
Ｓｍ２Ｃｏ１７膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕをトルク磁力計で測定したところ、Ｋｕ＝７×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］であった。また、膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃをカー回転角測定装置で測定したところ、Ｈｃ＝１０．０［ｋＯｅ］であった。
１０種類の下地軟磁性膜膜厚各々につき、７種類の透磁率をもつ計７０種類の垂直２層媒体の記録再生の実験を、実施例１と同様の条件で行った。具体的には、記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定した。その再生出力の値を表１０に示す。表１０には、どれが本実施例媒体、比較媒体に相当するかも示した。
【０１１８】
【表１０】
0003582435.tif 000011
【０１１９】
表１０から分かるように、本実施例媒体Ｊ１〜６を境にして下側の領域では再生出力が十分確保出来ているのに対し、比較媒体ＪＪ６〜１２を境にして上側の領域では、下側の領域に比べて再生出力の大幅な低下が見られる。ここで得られた結果を、横軸に下地軟磁性膜の透磁率μ、縦軸に下地軟磁性膜の膜厚δｂをとって整理し直すと図３のようになる。
この図３から分かるように、μ・δｂ≧１０００のときに十分な再生出力が確保出来ることが分かる。
【０１２０】
また、下地軟磁性膜の透磁率μが２の場合はいずれの膜厚δｂの場合についても、膜厚δｂが２ｎｍの場合はいずれの透磁率μの場合についても十分な再生出力が確保できない。これは、下地軟磁性膜の透磁率μ、膜厚δｂが必要以上に低いためである。さらに、下地軟磁性膜の膜厚δｂが５００ｎｍを越えても再生出力の低下が見られる。これは、下地軟磁性膜の膜厚が必要以上に厚いため、下地軟磁性膜表面の表面平滑性が乱れ、その上に成膜した垂直磁化膜の垂直配向性が悪化したことによる。このことから、μ・δｂ≧１０００の関係を満たしても、この関係を満たすあらゆる（μ、δｂ）の値で設計可能なわけではなく、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であることが必要である。
【０１２１】
一方、従来媒体ＡＢ１〜４、従来比較媒体ＡＣ１〜６に対して、同様に記録密度３００ｋＦＲＰＩの信号を記録後、ＭＲヘッドで再生出力を測定すると、実施例１で示したように、記録再生感度を確保するためにはμ・δｂ＝１０００では不十分であり、少なくともμ・δｂ＝２０００あるいはそれ以上のμ・δｂの値が必要である。以上のことから、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体よりも、Ｃｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を下地軟磁性膜とする垂直２層媒体の方が、μ・δｂの値が小さくても記録再生感度を確保できる。即ち、結果的に下地軟磁
性膜を薄膜化する設計が可能となる。これは、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜に比べてＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜の方が飽和磁化が大きいために、記録ヘッドから発せられる磁場に対する感度が高く、結果的に記録再生感度が向上したためである。
【０１２２】
以上のことから、垂直２層媒体として従来のＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜の代わりにＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を用いると、Ｎｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜よりも、より低いμ・δｂの値で設計可能であり、かつＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜の透磁率をμ、膜厚をδｂとするとき、μ・δｂ≧１０００の関係を満たし、かつ同時に５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下であるとき、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが本実施例の場合のように従来の垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合でも、記録再生感度を十分に確保できる。
【０１２３】
結論として、下地軟磁性膜としてＣｏ６２Ｎｉ１２Ｆｅ２６膜を用い、かつμ・δｂ≧１０００、５≦μ≦２００、δｂが５００ｎｍ以下の条件を満たすことにより、垂直磁化膜として垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、本実施例で用いた材料の場合のように従来のＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれら（Ｋｕ〜約５×１０６［ｅｒｇ／ｃｃ］、Ｈｃ〜約３［ｋＯｅ］）よりも遙かに大きい場合でも、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜の薄膜化が可能で、媒体作製プロセスも容易と出来る、新規な垂直２層媒体とすることが出来る。
【０１２４】
なお、実施例１〜９の結果から、垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーが１×１０７［ｅｒｇ／ｃｃ］≦Ｋｕ≦７×１０８［ｅｒｇ／ｃｃ］の範囲内で、垂直磁化膜の膜面に垂直方向の保磁力が５［ｋＯｅ］≦Ｈｃ≦１０［ｋＯｅ］の範囲内であれば、垂直磁化膜の材質によらず、実施例１〜９で得られた効果と同様の効果が得られることは明らかである。
【０１２５】
以上、本発明の垂直磁気記録媒体の一実施形態について図面に基づき説明してきたが、具体的な構成は本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計の変更等が可能である。
【０１２６】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明の垂直磁気記録媒体によれば、非磁性体からなる基板上に、下地軟磁性膜と垂直磁化膜を積層してなる垂直磁気記録媒体において、前記下地軟磁性膜は、ＦｅＳｉＡｌ合金またはＣｏＮｉＦｅ合金を主成分とし、かつ、その透磁率をμ、膜厚をδｂ［ｎｍ］としたときに、μ・δｂ≧１０００であり、前記垂直磁化膜の垂直磁気異方性エネルギーＫｕ［ｅｒｇ／ｃｃ］は、１×１０７≦Ｋｕ≦７×１０８であることとしたので、垂直磁化膜としてＦｅＰｔ合金、ＲＣｏ合金（Ｒ＝Ｙ、Ｃｅ、Ｓｍ、Ｌａ、Ｐｒ）という垂直磁気異方性エネルギーＫｕ及び膜面に垂直方向の保磁力Ｈｃが、従来一般によく用いられるＣｏＣｒ系垂直磁化膜のそれらよりも遙かに大きい場合であっても、従来下地軟磁性膜としてよく用いられてきたＮｉ２１．５Ｆｅ７８．５膜を用いる場合よりも下地軟磁性膜を薄膜化することができ、媒体作製プロセスも容易とすることができ、新規な垂直２層媒体とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の垂直磁気記録媒体を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の垂直磁気記録媒体の一具体例を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態の垂直磁気記録媒体の下地軟磁性膜の透磁率μ及び膜厚δｂを基に得られた再生出力の範囲を示す図である。
【図４】従来の垂直磁気記録媒体を示す断面図である。
【符号の説明】
１  垂直磁気記録媒体
２  基板
３  下地軟磁性膜
４  垂直磁化膜
１１  垂直磁気記録媒体
１２  基板
１３  Ｆｅ８４．９Ｓｉ９．６Ａｌ５．５膜
１４  Ｆｅ５０Ｐｔ５０膜
２１  垂直磁気記録媒体
２２  基板
２３  下地軟磁性膜
２４  垂直磁化膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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