【手続補正書】
【提出日】平成29年6月23日(2017.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための系であって、
前記試料の表面に対して斜めの方向に沿って、前記試料の一部分上に斜照明波長の光ビームを方向付けるように構成される斜入射放射線源と、
前記試料の前記表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に、前記斜照明波長とは異なる垂直照明波長の光ビームを方向付けるように構成される垂直入射放射線源であって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直入射放射線源と、
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される試料台アセンブリと、
前記試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、一組の収集光学素子と、
前記一組の収集光学素子によって収集される前記放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、前記フィルタ下位系は、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、前記垂直照明波長を含む第２の放射線部分、及び前記斜照明波長を含む少なくとも第３の放射線部分に、前記試料からの前記放射線を分離するように構成される、フィルタ下位系と、
前記フィルタ下位系によって透過される前記第１の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第１のセンサ、前記フィルタ下位系によって透過される前記第２の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第２のセンサ、及び前記フィルタ下位系によって透過される前記第３の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための少なくとも第３のセンサを含む、検出下位系と、
前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、及び前記第３のセンサに通信可能に連結される制御装置であって、前記制御装置は、
前記第２のセンサ及び前記第３のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴によって測定される前記１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つに基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、
前記第１のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、前記第２のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、及び前記第３のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つに基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を行うように構成される、制御装置と、を備える系。
【請求項２】
前記制御装置は、光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲中の前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つからの信号を、前記試料の測定された領域から取得される前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つからの信号と比較することによって、前記第１のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、前記第２のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、及び前記第３のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つに基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項１に記載の系。
【請求項３】
前記制御装置は、前記第１のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、前記第２のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、及び前記第３のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つ、ならびに前記検出された１つ以上の光ルミネセンス欠陥の位置に基づき、前記検出された１つ以上の光ルミネセンス欠陥をマッピングするようにさらに構成される、請求項１に記載の系。
【請求項４】
前記制御装置は、前記第１のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、前記第２のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴、及び前記第３のセンサによって測定される前記１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つに基づき、前記検出された１つ以上の光ルミネセンス欠陥を分類するようにさらに構成される、請求項１に記載の系。
【請求項５】
前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥は、
１つ以上の積層不良欠陥及び１つ以上の基底面転位のうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の系。
【請求項６】
前記制御装置は、前記第２及び第３のセンサのうちの少なくとも１つによって検出される前記光に基づき、ピット欠陥または粒子欠陥として、検出された１つ以上の散乱欠陥を区別するようにさらに構成される、請求項１に記載の系。
【請求項７】
前記制御装置は、前記第２のセンサ及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つによって検出される前記光に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出するために、前記第２のセンサによる前記第２の放射線部分の測定及び前記第３のセンサによる前記第３の放射線部分の測定のうちの少なくとも１つの前に、前記第１の放射線源を選択可能に停止するように構成される、請求項１に記載の系。
【請求項８】
前記試料は、半導体デバイスである、請求項１に記載の系。
【請求項９】
前記半導体デバイスは、広バンドギャップ半導体デバイスである、請求項８に記載の系。
【請求項１０】
前記斜入射源及び前記垂直入射源のうちの少なくとも１つは、レーザである、請求項１に記載の系。
【請求項１１】
前記斜入射源及び前記垂直入射源のうちの少なくとも１つは、紫外線レーザである、請求項１に記載の系。
【請求項１２】
前記斜入射源及び前記垂直入射源のうちの少なくとも１つは、連続波（ＣＷ）レーザである、請求項１に記載の系。
【請求項１３】
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される前記試料台アセンブリは、
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いてスパイラル走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に回転させるように構成される回転台アセンブリを含む、請求項１に記載の系。
【請求項１４】
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される前記試料台アセンブリは、
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いてＸ−Ｙ走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、少なくとも第１の方向及び前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿って前記試料を選択的に平行移動させるように構成される直線台アセンブリを含む、請求項１に記載の系。
【請求項１５】
前記フィルタ下位系は、
前記試料から受容される前記放射線からの前記第１の放射線部分を含む第１の放射線スペクトル範囲を分離し、前記第１の放射線スペクトル範囲を前記第１のセンサに向かって方向付けるように構成される第１の光学素子と、
前記第１の放射線スペクトル範囲中に含まれない前記第１の光学素子からの放射線を受容するように構成される第２の光学素子であって、前記第２の光学素子は、前記第１の光学素子から受容される前記放射線からの前記第２の放射線部分を含む第２の放射線スペクトル範囲を分離し、前記第２の放射線スペクトル範囲を前記第２のセンサに向かって方向付けるように構成される、第２の光学素子と、
前記第１の放射線スペクトル範囲または前記第２の放射線スペクトル範囲中に含まれない前記第２の光学素子からの放射線を受容するように構成される第３の光学素子であって、前記第３の光学素子は少なくとも、前記第３の放射線部分を含む第３の放射線スペクトル範囲の一部分を前記第３のセンサに向かって方向付けるように構成される、第３の光学素子と、を含む、請求項１に記載の系。
【請求項１６】
前記第１の光学素子及び前記第２の光学素子のうちの少なくとも１つは、二色性ビームスプリッタであり、前記第３の光学素子は、鏡である、請求項１５に記載の系。
【請求項１７】
前記フィルタ下位系は、
前記試料から受容される前記放射線からの前記第１の放射線部分を含む第１の放射線スペクトル範囲を分離し、前記第１の放射線スペクトル範囲を前記第１のセンサに向かって方向付けるように構成される第１の光学素子と、
前記第１の放射線スペクトル範囲中に含まれない前記第１の光学素子からの放射線を受容するように構成される第２の光学素子であって、前記第２の光学素子は、前記第１の光学素子から受容される前記放射線からの前記第２の放射線部分を含む第２の放射線スペクトル範囲を分離し、前記第２の放射線スペクトル範囲を前記第２のセンサに向かって方向付けるように構成される、第２の光学素子と、
前記第１の放射線スペクトル範囲または前記第２の放射線スペクトル範囲中に含まれない前記第２の光学素子からの放射線を受容するように構成される第３の光学素子であって、前記第３の光学素子は少なくとも、前記第２の光学素子から受容される前記放射線からの前記第３の放射線部分を含む第３の放射線スペクトル範囲の一部分を分離し、前記第３の放射線スペクトル範囲を前記第３のセンサに向かって方向付けるように構成され、前記第３の光学素子は、前記第１の放射線スペクトル範囲、前記第２のスペクトル範囲、または前記第３の放射線スペクトル範囲の放射線中に含まれない放射線を、１つ以上の追加の光学デバイスに透過するようにさらに構成される、第３の光学素子と、を含む、請求項１６に記載の系。
【請求項１８】
前記第１の光学素子及び前記第２の光学素子及び前記第３の光学素子のうちの少なくとも１つは、二色性ビームスプリッタである、請求項１７に記載の系。
【請求項１９】
前記第１のセンサと前記第１の光学素子との間に位置付けられ、前記第１の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第１の放射線部分を前記第１のセンサに透過し、前記第１の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第１の狭域フィルタと、
前記第２のセンサと前記第２の光学素子との間に位置付けられ、前記第２の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第２の放射線部分を前記第２のセンサに透過し、前記第２の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第２の狭域フィルタと、
前記第３のセンサと前記第３の光学素子との間に位置付けられ、前記第３の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第３の放射線部分を前記第３のセンサに透過し、前記第３の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第３の狭域フィルタと、をさらに含む、請求項１６に記載の系。
【請求項２０】
前記第１の狭域フィルタ、前記第２の狭域フィルタ、及び前記第３の狭域フィルタのうちの少なくとも１つによって透過される前記スペクトル範囲は、前記試料の特性の光ルミネセンススペクトルの１つ以上の特徴によって画定される、請求項１９に記載の系。
【請求項２１】
前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つは、光電子増倍管（ＰＭＴ）を含む、請求項１に記載の系。
【請求項２２】
前記第１のセンサは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥から出射される可視光ルミネセンス光及び近赤外光のうちの少なくとも１つを測定するように構成される、請求項１に記載の系。
【請求項２３】
前記第２のセンサは、前記垂直入射放射線源によって出射される前記光と一致する波長における前記試料の１つ以上の欠陥からの散乱放射線を測定するように構成される、請求項１に記載の系。
【請求項２４】
前記第３のセンサは、前記斜入射放射線源によって出射される前記光と一致する波長における前記試料の１つ以上の欠陥からの散乱放射線を測定するように構成される、請求項１に記載の系。
【請求項２５】
前記第２のセンサ及び第３のセンサのうちの少なくとも１つは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥から紫外線光ルミネセンス光を測定するように構成される、請求項１に記載の系。
【請求項２６】
前記系は、同時または連続的に光ルミネセンス欠陥及び散乱欠陥を検出するように構成される、請求項１に記載の系。
【請求項２７】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための系であって、
前記試料の表面に対して斜めの方向に沿って、前記試料の一部分上に斜照明波長の光ビームを方向付けるように構成される斜入射放射線源と、
前記試料の前記表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に、前記斜照明波長とは異なる垂直照明波長の光ビームを方向付けるように構成される垂直入射放射線源であって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直入射放射線源と、
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される試料台アセンブリと、
前記試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、一組の収集光学素子と、
前記一組の収集光学素子によって収集される前記放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、前記フィルタ下位系は、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、前記垂直照明波長を含む第２の放射線部分、前記斜照明波長を含む第３の放射線部分、及び前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光ルミネセンス光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む少なくとも第４の放射線部分に、前記試料からの前記放射線を分離するように構成される、フィルタ下位系と、
前記フィルタ下位系によって透過される前記第１の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第１のセンサ、前記フィルタ下位系によって透過される前記第２の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第２のセンサ、前記フィルタ下位系によって透過される前記第３の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第３のセンサ、及び前記フィルタ下位系によって透過される前記第４の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための少なくとも第４のセンサを含む、検出下位系と、
前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、及び前記第３のセンサに通信可能に連結される制御装置であって、前記制御装置は、
前記第２のセンサ及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つによって測定される前記光に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、
光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲中の前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、前記第３のセンサ、及び前記第４のセンサのうちの少なくとも１つからの信号を、前記試料の測定された領域から取得される前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、前記第３のセンサ、及び前記第４のセンサのうちの少なくとも１つからの信号と比較することによって、前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、前記第３のセンサ、及び前記第４のセンサのうちの少なくとも１つによって検出される前記光に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を行うように構成される制御装置と、を備える系。
【請求項２８】
前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥は、１つ以上の積層不良欠陥及び１つ以上の基底面転位のうちの少なくとも１つを含む、請求項２７に記載の系。
【請求項２９】
前記制御装置は、前記第２及び第３のセンサのうちの少なくとも１つによって検出される前記光に基づき、ピット欠陥または粒子欠陥として、前記検出された１つ以上の散乱欠陥を区別するようにさらに構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項３０】
前記フィルタ下位系は、
前記試料から受容される前記放射線からの前記第１の放射線部分を含む第１の放射線スペクトル範囲を分離し、前記第１の放射線スペクトル範囲を前記第１のセンサに向かって方向付けるように構成される第１の光学素子と、
前記第１の放射線スペクトル範囲中に含まれない前記第１の光学素子からの放射線を受容するように構成される第２の光学素子であって、前記第２の光学素子は、前記第１の光学素子から受容される前記放射線からの前記第２の放射線部分を含む第２の放射線スペクトル範囲を分離し、前記第２の放射線スペクトル範囲を前記第２のセンサに向かって方向付けるように構成される、第２の光学素子と、
前記第１の放射線スペクトル範囲または前記第２の放射線スペクトル範囲中に含まれない前記第２の光学素子からの放射線を受容するように構成される第３の光学素子であって、前記第３の光学素子は少なくとも、前記第２の光学素子から受容される前記放射線からの前記第３の放射線部分を含む第３の放射線スペクトル範囲の一部分を分離し、前記第３の放射線スペクトル範囲を前記第３のセンサに向かって方向付けるように構成され、前記第３の光学素子は、前記第１の放射線スペクトル範囲、前記第２の放射線スペクトル範囲または前記第３の放射線スペクトル範囲中に含まれない放射線を、前記第４の放射線部分を含む第４の放射線スペクトル範囲中の前記第４のセンサに向かって透過するようにさらに構成される、第３の光学素子と、を含む、請求項２７に記載の系。
【請求項３１】
前記第１の光学素子、前記第２の光学素子、及び前記第３の光学素子のうちの少なくとも１つは、二色性ビームスプリッタである、請求項３０に記載の系。
【請求項３２】
前記第１のセンサと前記第１の光学素子との間に位置付けられ、前記第１の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第１の放射線部分を前記第１のセンサに透過し、前記第１の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第１の狭域フィルタと、
前記第２のセンサと前記第２の光学素子との間に位置付けられ、前記第２の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第２の放射線部分を前記第２のセンサに透過し、前記第２の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第２の狭域フィルタと、
前記第３のセンサと前記第３の光学素子との間に位置付けられ、前記第３の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第３の放射線部分を前記第３のセンサに透過し、前記第３の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第３の狭域フィルタと、
前記第４のセンサと前記第３の光学素子との間に位置付けられ、前記第３の放射線スペクトル範囲の少なくとも一部分を受容し、前記第４の放射線部分を前記第４のセンサに透過し、前記第４の放射線部分中に含まれない放射線を遮断するように構成される第４の狭域フィルタと、をさらに備える、請求項３０に記載の系。
【請求項３３】
前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、前記第３のセンサ、及び前記第４のセンサのうちの少なくとも１つは、光電子増倍管（ＰＭＴ）を含む、請求項２７に記載の系。
【請求項３４】
前記制御装置は、前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、前記第３のセンサ、及び前記第４のセンサのうちの少なくとも１つによって検出される光の１つ以上のスペクトル特徴に基づき、前記検出された１つ以上の光ルミネセンス欠陥を分類するようにさらに構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項３５】
前記試料は、半導体デバイスである、請求項２７に記載の系。
【請求項３６】
前記半導体デバイスは、広バンドギャップ半導体デバイスである、請求項３５に記載の系。
【請求項３７】
前記斜入射源及び前記垂直入射源のうちの少なくとも１つは、レーザである、請求項２７に記載の系。
【請求項３８】
前記斜入射源及び前記垂直入射源のうちの少なくとも１つは、紫外線レーザである、請求項３７に記載の系。
【請求項３９】
前記斜入射源及び前記垂直入射源のうちの少なくとも１つは、連続波（ＣＷ）レーザである、請求項３８に記載の系。
【請求項４０】
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される前記試料台アセンブリは、
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いてスパイラル走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に回転させるように構成される回転台アセンブリを含む、請求項２７に記載の系。
【請求項４１】
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される前記試料台アセンブリは、
少なくとも前記斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いてＸ−Ｙ走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、少なくとも第１の方向及び前記第１の方向に垂直な第２の方向に沿って前記試料を選択的に平行移動させるように構成される直線台アセンブリを含む、請求項２７に記載の系。
【請求項４２】
前記第１のセンサは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥から出射される可視光ルミネセンス光及び近赤外光のうちの少なくとも１つを測定するように構成され、前記第４のセンサは、紫外線光ルミネセンス光を測定するように構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項４３】
前記第２のセンサは、前記垂直入射放射線源によって出射される前記光に対応する波長における前記試料の１つ以上の欠陥からの散乱放射線を測定するように構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項４４】
前記第３のセンサは、前記斜入射放射線源によって出射される前記光に対応する波長における前記試料の１つ以上の欠陥からの散乱放射線を測定するように構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項４５】
前記第２のセンサ及び第３のセンサのうちの少なくとも１つは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥からの紫外線光ルミネセンス光を測定するように構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項４６】
前記系は、同時または連続的に光ルミネセンス欠陥及び散乱欠陥を検出するように構成される、請求項２７に記載の系。
【請求項４７】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための系であって、
前記試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に、垂直照明波長の光ビームを方向付けるように構成される垂直入射放射線源であって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直入射放射線源と、
少なくとも斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される試料台アセンブリと、
前記試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、一組の収集光学素子と、
前記一組の収集光学素子によって収集される前記放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、前記フィルタ下位系は、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、前記垂直照明波長を含む第２の放射線部分、及び前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む放射線を含む少なくとも第３の放射線部分に、前記試料からの前記放射線を分離するように構成される、フィルタ下位系と、
前記フィルタ下位系によって透過される前記第１の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第１のセンサ、前記フィルタ下位系によって透過される前記第２の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第２のセンサ、及び前記フィルタ下位系によって透過される前記第３の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための少なくとも第３のセンサを含む、検出下位系と、
前記第１のセンサ、前記第２のセンサ、及び前記第３のセンサに通信可能に連結される制御装置であって、前記制御装置は、
前記第２のセンサによって測定される前記光に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、
光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲中の前記第１のセンサ及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つからの信号を、前記試料の測定された領域から取得される前記第１のセンサ及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つからの信号と比較することによって、前記第１のセンサ及び前記第３のセンサのうちの少なくとも１つによって検出される前記光に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を行うように構成される、制御装置と、を備える系。
【請求項４８】
前記第２のセンサ及び第３のセンサのうちの少なくとも１つは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥からの紫外線光ルミネセンス光または近紫外光ルミネセンス光を測定するように構成される、請求項４７に記載の系。
【請求項４９】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための系であって、
前記試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に、垂直照明波長の光ビームを方向付けるように構成される垂直入射放射線源であって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直入射放射線源と、
少なくとも斜入射放射線源及び前記垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、前記試料を固定し、前記試料を選択的に作動させるように構成される試料台アセンブリと、
前記試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、一組の収集光学素子と、
前記一組の収集光学素子によって収集される前記放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、前記フィルタ下位系は、光ルミネセンス放射線の複数の部分に、前記試料からの前記放射線を分離するように構成され、各部分は、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記放射線の異なるスペクトル範囲中の１つ以上の波長を含む、フィルタ下位系と、
複数のセンサを含む、検出下位系であって、各センサは、前記フィルタ下位系によって透過される光ルミネセンス放射線の前記複数の部分のうちの１つの１つ以上の特徴を測定するのに好適である、検出下位系と、
前記複数のセンサのそれぞれに通信可能に連結される制御装置であって、前記制御装置は、
光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲中の前記複数のセンサのうちの少なくとも１つからの信号を、前記試料の測定された領域から取得される少なくとも１つの前記複数のセンサからの信号と比較することによって、前記複数のセンサのそれぞれによって検出される前記光に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、
前記複数のセンサのそれぞれによって測定される１つ以上の信号に基づき、前記１つ以上の検出された光ルミネセンス欠陥を分類することと、を行うように構成される、制御装置と、を備える系。
【請求項５０】
前記フィルタ下位系は、複数のＮＵＶスペクトルビン、複数のＵＶビン、及び複数の可視スペクトルビンのうちの少なくとも１つに、前記試料から受容される前記放射線を分離するために、複数の光学素子及び複数の狭帯域フィルタを含む、請求項４９に記載の系。
【請求項５１】
前記試料の前記表面に対して斜めの方向に沿って、前記試料の一部分上に、斜照明波長の光ビームを方向付けるように構成される斜入射放射線源をさらに備える、請求項４９に記載の系。
【請求項５２】
前記フィルタ下位系は、前記垂直照明波長を含む放射線の一部分及び前記斜照明波長を含む放射線の少なくとも追加の部分のうちの少なくとも１つに、前記放射線を分離するようにさらに構成される、請求項５１に記載の系。
【請求項５３】
前記検出下位系は、前記フィルタ下位系によって透過される前記垂直照明波長を含む放射線の前記部分の１つ以上の特徴を測定するのに好適なセンサ、及び前記フィルタ下位系によって透過される前記斜照明波長を含む放射線の前記少なくとも追加の部分を測定するのに好適な追加のセンサのうちの少なくとも１つを含む、請求項５２に記載の系。
【請求項５４】
前記制御装置は、前記垂直照明波長を含む放射線の前記部分の１つ以上の特徴を測定するのに好適な少なくとも１つの前記センサ、及び前記斜照明波長を含む放射線の前記少なくとも追加の部分を測定するのに好適な追加のセンサによって測定される前記光に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出するようにさらに構成される、請求項５３に記載の系。
【請求項５５】
前記フィルタ下位系は、複数のスペクトルビンに前記試料から受容される前記放射線を分離するために、複数の光学素子及び複数の狭帯域フィルタを含む、請求項４９に記載の系。
【請求項５６】
前記複数の光学素子及び前記複数の狭帯域フィルタは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥の１つ以上の予想されるスペクトル特徴に従って、前記複数のスペクトルビンのそれぞれを定義する、請求項５５に記載の系。
【請求項５７】
前記複数の光学素子及び前記複数の狭帯域フィルタは、複数の半値全幅を光ルミネセンススペクトルの一組の対応する強度ピークに実質的に一致させ、各強度ピークは、ある種類の積層不良の存在を示す、請求項５６に記載の系。
【請求項５８】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための方法であって、
前記試料の表面に対して斜めの方向に沿って、前記試料の一部分上に斜照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料の前記表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に垂直照明波長の光ビームを方向付けることであって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料からの放射線を収集することであって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、前記試料からの放射線を収集することと、
前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、前記垂直照明波長光を含む第２の放射線部分、及び前記斜照明波長光を含む少なくとも第３の放射線部分に、前記試料からの前記放射線を分離することと、
前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴を測定することと、
前記第２の放射線部分及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、
光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲から取得される前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記１つ以上の特徴を、前記試料の測定された領域から取得される前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴と比較することによって、前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を含む方法。
【請求項５９】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための方法であって、
前記試料の表面に対して斜めの方向に沿って、前記試料の一部分上に斜照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料の前記表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、垂直照明波長の光ビームを方向付けることであって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料からの放射線を収集することであって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、前記試料からの放射線を収集することと、
前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、前記垂直照明波長を含む第２の放射線部分、前記斜照明波長を含む第３の放射線部分、及び前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光ルミネセンス光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む少なくとも第４の放射線部分に、前記試料からの前記放射線を分離することと、
前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分の１つ以上の特徴、前記第３の放射線部分の１つ以上の特徴、及び前記第４の放射線部分の１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴を測定することと、
前記第２の放射線部分及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、
光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲から取得される前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、前記第３の放射線部分、及び前記第４の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記１つ以上の特徴を、前記試料の測定された領域から取得される前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、前記第３の放射線部分、及び前記第４の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴と比較することによって、前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を含む方法。
【請求項６０】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための方法であって、
前記試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、垂直照明波長の光ビームを方向付けることであって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料からの放射線を収集することであって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、前記試料からの放射線を収集することと、
前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、前記垂直照明波長を含む第２の放射線部分、及び前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光ルミネセンス光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む少なくとも第３の放射線部分に、前記試料からの前記放射線を分離することと、
前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分の１つ以上の特徴、及び前記第３の放射線部分の１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴を測定することと、
前記第２の放射線部分及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、
光ルミネセンス欠陥のない前記試料の範囲から取得される前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記１つ以上の特徴を、前記試料の測定された領域から取得される前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、及び前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴と比較することによって、前記第１の放射線部分、前記第２の放射線部分、前記第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を含む方法。
【請求項６１】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための方法であって、
前記試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に垂直照明波長の光ビームを方向付けることであって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料からの放射線を収集することであって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、前記試料からの放射線を収集することと、
光ルミネセンス放射線の複数の部分に、前記試料からの前記放射線を分離することであって、各部分は、前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される前記光の異なるスペクトル範囲中の１つ以上の波長を含む、前記試料からの前記放射線を分離することと、
光ルミネセンス放射線の前記複数の部分のそれぞれの１つ以上の特徴を測定することと、
光ルミネセンス放射線の前記複数の部分のそれぞれの前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、
光ルミネセンス放射線の前記複数の部分のそれぞれと関連する１つ以上の信号に基づき、前記１つ以上の検出された光ルミネセンス欠陥を分類することと、を含む方法。
【請求項６２】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための方法であって、
前記試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、前記試料の一部分上に垂直照明波長の光ビームを方向付けることであって、前記垂直照明波長の前記光ビームは、前記試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料の前記表面に対して斜めの方向に沿って、前記試料の一部分上に斜照明波長の光ビームを方向付けることと、
前記試料からの放射線を収集することであって、前記試料からの前記放射線は、前記試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または前記試料の前記１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、前記試料からの放射線を収集することと、
光ルミネセンス放射線の可視部分及び光ルミネセンス放射線の近紫外（ＮＵＶ）部分に、前記試料からの前記放射線を分離することと、
光ルミネセンス放射線の前記可視部分及び光ルミネセンス放射線の前記ＮＵＶ部分の１つ以上の特徴を測定することと、
光ルミネセンス放射線の前記可視部分及び光ルミネセンス放射線の前記ＮＵＶ部分の前記測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、
光ルミネセンス放射線の前記可視部分及び光ルミネセンス放射線の前記ＮＵＶ部分と関連する１つ以上の信号に基づき、前記１つ以上の検出された光ルミネセンス欠陥を分類することと、を含む方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための系が開示される。一態様では、系は、試料の表面に対して斜めの方向に沿って、試料の一部分上に斜照明波長の光ビームを方向付けるように構成される斜入射放射線源と、試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って、試料の一部分上に、斜照明波長とは異なる垂直照明波長の光ビームを方向付けるように構成される垂直入射放射線源であって、垂直照明波長の光ビームは、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直入射放射線源と、少なくとも斜入射放射線源及び垂直入射放射線源を用いて走査プロセスを実施するために、試料を固定し、試料を選択的に作動させるように構成される試料台アセンブリと、試料からの放射線を収集するように構成される一組の収集光学素子であって、試料からの放射線は、試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、一組の収集光学素子と、一組の収集光学素子によって収集される放射線の少なくとも一部分を受容するように構成されるフィルタ下位系であって、フィルタ下位系は、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、垂直照明波長を含む第２の放射線部分、及び斜照明波長を含む少なくとも第３の放射線部分に、試料からの放射線を分離するように構成される、フィルタ下位系と、フィルタ下位系によって透過される第１の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第１のセンサ、フィルタ下位系によって透過される第２の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための第２のセンサ、及びフィルタ下位系によって透過される第３の放射線部分の１つ以上の特徴を測定するための少なくとも第３のセンサを含む、検出下位系と、第１のセンサ、第２のセンサ、及び第３のセンサに通信可能に連結される制御装置であって、制御装置は、第２のセンサ及び第３のセンサによって測定される１つ以上の特徴によって測定される１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つに基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、第１のセンサによって測定される１つ以上の特徴、第２のセンサによって測定される１つ以上の特徴、及び第３のセンサによって測定される１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つに基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することとを行うように構成される、制御装置と、を含んでもよいが、これらに限定されない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
別の態様では、本方法は、試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って垂直照明波長の光ビームを方向付けることであって、垂直照明波長の光ビームは、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である、垂直照明波長の光ビームを方向付けることと、試料からの放射線を収集することであって、試料からの放射線は、試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、試料からの放射線を収集することと、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、垂直照明波長を含む第２の放射線部分、及び試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む少なくとも第３の放射線部分に、試料からの放射線を分離することと、第１の放射線部分、第２の放射線部分の１つ以上の特徴、及び第３の放射線部分の１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴を測定することと、第２の放射線部分及び第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の散乱欠陥を検出することと、光ルミネセンス欠陥のない試料の範囲から取得される第１の放射線部分、第２の放射線部分、及び第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴を、試料の測定された領域から取得される第１の放射線部分、第２の放射線部分、及び第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴と比較することによって、第１の放射線部分、第２の放射線部分、第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの測定された１つ以上の特徴に基づき、１つ以上の光ルミネセンス欠陥を検出することと、を含んでもよいが、これらに限定されない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明は、調節可能な光アーキテクチャを提供し、所与のセンサが、所与の光ルミネセンススペクトルの選択された部分（すなわち、スペクトルビン）を検出することを可能にする。図１Ｂに示されるように、積層不良または基底面欠陥などの複数の種類の光ルミネセンス欠陥を含む試料は、紫外線光で励起されるとき、強力な光ルミネセンススペクトル１３４を生成し得る（例えば、図１Ｂのピーク１４３ｂ〜１４３ｄを参照されたい）。さらに、各種類の積層不良が、光ルミネセンスピークの位置などの特徴的な光ルミネセンススペクトル特性を生成し得ることに留意されたい。例えば、図１Ｂに示されるように、４Ｓ型の積層不良は、３２５ｎｍのレーザで励起されるとき、約４６０ｎｍのピークを示し得、２Ｓ型の積層不良は、３２５ｎｍのレーザで励起されるとき、約５００ｎｍのピークを示し得、バー型の積層は、３２５ｎｍのレーザで励起されるとき、約４２０ｎｍのピークを示し得る。本発明は、所与の試料と関連する光ルミネセンススペクトルの選択されたスペクトル帯域を独立して測定し、それらの測定に基づき、構成する光ルミネセンス欠陥を検出及び／または分類してもよい（例えば、試料中の積層不良の種類を分類する）。本明細書において、図１Ｂに示されるスペクトルが３２５ｎｍのＵＶレーザで取得されたが、図１Ｂに示される原理はまた、３５５ｎｍのレーザなどであるが、これに限定されない、３２５ｎｍとは異なる波長のレーザで生成されるスペクトルにおいても観察されることに留意されたい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
系１００が、対応するセンサに種々の帯域の光を方向付けるために、狭帯域フィルタ及びＬＷＰフィルタを使用することとの関連で記載されてきたが、本発明は、この光アーキテクチャに限定されない。むしろ、系１００に関して図示される光学的構成は、単に例示のために提供され、制限的ではない。本発明の所望のスペクトル帯域に、試料１０４の放射線１１４を分離するために、種々の類似した光学的構成が実装されてもよいことが予想される。例えば、系１００は、１つ以上の分光計が備わった光学的構成を含んでもよい。別の例として、系１００は、光検出器に光学的に連結された１つ以上の回折素子（例えば、回折格子）が備わった光学的構成を含んでもよい。別の例として、系１００は、光検出器に光学的に連結された１つ以上の分散素子（例えば、プリズム）が備わった光学的構成を含んでもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
一実施形態では、系１００の回転試料台は、スパイラル走査プロセスを実施するように構成される。一実施形態では、系１００の回転試料台が、選択された回転速度で試料１０４を回転させてもよい一方で、斜入射源１０３及び垂直入射源１０２を含む光学ヘッドは、選択された直線方向に沿って（例えば、試料１０４の放射状の直線に沿って）平行移動される。例えば、光学ヘッドは、選択された直線方向に沿って光学ヘッドを平行移動させるのに好適な直線台に連結されてもよい。試料１０４の回転ならびに斜入射源１０３及び垂直入射源１０２の直線運動の組み合わされた運動は、図１Ｃに示されるように、スパイラル走査パターン１４９を生成する。この関連で、ＳｉＣウエハなどの試料１０４は、光学ヘッド（源１０２及び源１０３を含む）の下で急速に回転され（例えば、５０００ＲＰＭ）、選択されたトラックピッチ（例えば、４μｍ）で、試料１０４の１つの半径に沿ってゆっくり移動されてもよい。例えば、光学ヘッドは、試料の縁部から試料の中心への半径方向に沿って移動されてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
別の実施形態では、フィルタ下位系１１５の第３の光学素子１２０は、第１の放射線スペクトル範囲１０７または第２の放射線スペクトル範囲１１１中に含まれない第２の光学素子１１８からの放射線を受容するように構成される。さらに、第３の光学素子１２０は、少なくとも、第２の光学素子１１８から受容される放射線からの第３の放射線部分１３５を含む第３の放射線スペクトル範囲１１７の一部分を分離し、第３のセンサ１２６に向かって第３の放射線スペクトル範囲１１７を方向付けるように構成される。加えて、第３の光学素子１２０は、さらに、第１の放射線スペクトル範囲１０７、第２の放射線スペクトル範囲１１１、または第３の放射線スペクトル範囲１１７中に含まれない放射線を、第４の放射線部分１３９を含む第４の放射線スペクトル範囲１１９中の第４のセンサ１４２に向かって透過するように構成される。別の実施形態では、フィルタ下位系１１５の第３の光学素子１２０は、二色性光学素子（例えば、ＬＷＰフィルタ）を含んでもよいが、これに限定されない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
一実施形態では、第１のＰＬセンサ１４６は、第１の狭帯域フィルタ１５６からの４８０〜５２０ｎｍのスペクトル帯域の放射線を受容するように構成される。別の実施形態では、第２のＰＬセンサ１５０は、狭帯域フィルタ１５９からの４４０〜４７０ｎｍのスペクトル帯域の放射線を受容するように構成される。別の実施形態では、第３のＰＬセンサ１４８は、狭帯域フィルタ１５８からの４１０〜４３５ｎｍのスペクトル帯域１５８の放射線を受容するように構成される。一実施形態では、第４のＰＬセンサ１４２は、狭帯域フィルタ１４４からの３７０〜４００ｎｍのスペクトル帯域の放射線を受容するように構成される。別の実施形態では、垂直散乱センサ１２４が、狭帯域フィルタ１３０からの３５０〜３６０ｎｍのスペクトル帯域の放射線を受容してもよい一方で、傾斜散乱センサ１２６は、狭帯域フィルタ１３２からの４００〜４１０ｎｍのスペクトル帯域の放射線を受容してもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
一実施形態では、光学素子及び複数の狭帯域フィルタは、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥の一組の予想されるスペクトル特徴に従って、複数のスペクトルビンを定義するように配列される。別の実施形態では、複数の光学素子及び複数の狭帯域フィルタは、半値全幅（ＦＷＨＭ）の値を光ルミネセンススペクトル１６１の一組の対応する強度ピークに実質的に一致させるように配列される。一実施形態では、図１Ｊに示されるように、第１のスペクトルビン１６２（フィルタ１５６及びセンサ１４６によって定義される）は、第１の種類の積層不良（例えば、２Ｓ積層不良）の存在を示す第１の光ルミネセンスピーク１６３（例えば、ＦＷＨＭ）に一致されてもよい。別の実施形態では、図１Ｈに示されるように、第２のスペクトルビン１６４（フィルタ１５９及びセンサ１５０によって定義される）は、第２の種類の積層不良（例えば、４Ｓ積層不良）の存在を示す第２の光ルミネセンスピーク１６５（例えば、ＦＷＨＭ）に一致されてもよい。別の実施形態では、図１Ｊに示されるように、第３のスペクトルビン１６６（フィルタ１５８及びセンサ１４８によって定義される）は、第３の種類の積層不良（例えば、バー型の積層不良）の存在を示す第３の光ルミネセンスピーク１６７（例えば、ＦＷＨＭ）に一致されてもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
別の実施形態では、図１Ｊに示されるように、第４のスペクトルビン１６８（フィルタ１４４及びセンサ１４２によって定義される）は、１つ以上の第４の光ルミネセンスピーク１６９（例えば、ＦＷＨＭ）に一致されてもよい。図１Ｊの光ルミネセンススペクトル１６１の場合、スペクトルビン１６８は、上記の各種類の積層不良欠陥の存在を示す一組の広い光ルミネセンスピークを測定する働きをする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
上記の記載が傾斜チャネル及び垂直チャネル光ルミネセンス欠陥（例えば、ＳＦ欠陥及び基底面転位）ならびに散乱欠陥検出に焦点を合わせてきたが、本明細書において、本発明の系１００が、実装中に追加のアーキテクチャ及び構成を利用してもよいことが認識される。いくつかの実施形態では、系１００は、散乱欠陥及び光ルミネセンス欠陥の検査及び検出中の自動焦点ルーチンを実施するための自動焦点装置が備わっていてもよい。他の実施形態では、本発明の系１００は、光源（例えば、斜入射源１０３及び垂直入射源１０２）の電力を制御するための電力制御装置及び系が備わっていてもよい。例えば、１つ以上の電力制御装置が較正または他の目的で試料１０４への入射光の電力を制御するために使用されてもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
図４は、試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための方法を示すプロセスフロー図４００を示す。ステップ４０２において、垂直照明波長の光ビームは、試料の表面に対して実質的に垂直な方向に沿って方向付けられる。一実施形態では、垂直照明波長の光ビームは、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥に光ルミネセンス光を出射させるのに好適である。ステップ４０４において、試料からの放射線が収集される。一実施形態では、試料の１つ以上の欠陥によって弾性的に散乱される放射線または試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス放射線のうちの少なくとも１つを含む、試料からの放射線である。ステップ４０６において、試料からの放射線は、試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光と関連する可視または近赤外スペクトル中の１つ以上の波長を含む第１の放射線部分、垂直照明波長を含む第２の放射線部分、及び試料の１つ以上の光ルミネセンス欠陥によって出射される光ルミネセンス光と関連する紫外線スペクトル中の１つ以上の波長を含む少なくとも第３の放射線部分に分離される。ステップ４０８において、第１の放射線部分、第２の放射線部分の１つ以上の特徴、及び第３の放射線部分の１つ以上の特徴のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴が測定される。ステップ４１０において、１つ以上の散乱欠陥が、第２の放射線部分及び第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの測定された１つ以上の特徴に基づき検出される。ステップ４１２において、１つ以上の光ルミネセンス欠陥が、光ルミネセンス欠陥のない試料の範囲から取得される第１の放射線部分、第２の放射線部分、及び第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴を、試料の測定された領域から取得される第１の放射線部分、第２の放射線部分、及び第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの１つ以上の特徴と比較することによって、第１の放射線部分、第２の放射線部分、第３の放射線部分のうちの少なくとも１つの測定された１つ以上の特徴に基づき検出される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１Ｉ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１Ｉ】
2016525214.tif 000001
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１Ｊ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１Ｊ】
2016525214.tif 000002
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2016525214.tif 000003