(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス漏洩の有無をモニターする前記ガスのガス種に対応した複数種類のガス検知器と、複数種類の前記ガスを使用する装置から出力された使用中の前記ガスのガス種を示す信号と、前記信号によりモニターする前記ガス検知器を切り替える切替ユニットとを有することを特徴とするガス検知システム。
【請求項２】
前記モニターするガス検知器は、前記装置で使用中の前記ガスのガス種に対応したガス検知器である請求項１記載のガス検知システム。
【請求項３】
前記信号は、前記装置において前記複数種類の前記ガスの使用状態をモニターするセンサから出力された信号である請求項１記載のガス検知システム。
【請求項４】
前記切替ユニットは、前記信号により、流路を切り替えて、前記ガス検知器のサンプリング先を切り替える請求項１記載のガス検知システム。
【請求項５】
前記ガス検知器の前記サンプリング先が、前記装置からの排気ガスである請求項４記載のガス検知システム。
【請求項６】
前記ガス検知器の前記サンプリング先が、空気である請求項４記載のガス検知システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス検知システムに関し、特に検知ガスのガス種に対応した複数種類のガス検知器を用いたガス検知システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置であるイオン注入装置は、半導体基板に特定のイオンをドーピングし、導電型不純物の添加や拡散層の形成に用いられている。
【０００３】
そしてイオン注入装置では、照射するイオンのビームを発生させるために、例えば、リン（Ｐ）のビームを発生させるためにフォスフィンガス（ＰＨ３  ）を、砒素（Ａｓ）のビームを発生させるためにアルシンガス（ＡｓＨ３  ）を、そしてホウ素（Ｂ）のビームを発生させるために３弗化ホウ素ガス（ＢＦ３  ）を使用している（以下これらのガスを使用ガスという）。ここで、これら複数種類の使用ガスを同時に使用することはなく、照射するイオンにより１種類の使用ガスを使用している。
【０００４】
しかし、これらの使用ガスは共に有毒ガスである。そのため、図４の系統図に示すように、イオン注入装置１００からの排気ガス１０１は、除害装置４００を通し、排気ガス１０１中の使用ガスの濃度を許容濃度以下にして、工場排気５００に排気している。
【０００５】
ここで、安全性を考慮し、除害装置４００の除害能力を確認するために、除害装置４００を通った排気ガス１０１をサンプリングし、有毒ガス（使用ガス）漏洩の有無をガス検知器３００でモニターしている。これが、本発明が関わる従来のガス検知システムである。そして、図４は従来技術を示す系統図である。
【０００６】
そしてここで、ガス検知器３００は、使用ガスのガス種（種類）に対応したガス検知器（フォスフィンガス検知器３０１、アルシンガス検知器３０２、３弗化ホウ素ガス検知器３０３）を用いている。そして、常時これら全てのガス検知器（フォスフィンガス検知器３０１、アルシンガス検知器３０２、３弗化ホウ素ガス検知器３０３）を用いてモニターしている。
【０００７】
そして、フォスフィンガス検知器３０１、アルシンガス検知器３０２、３弗化ホウ素ガス検知器３０３が夫々、排気ガス１０１中の対応した使用ガスの許容濃度以上の濃度を検知（測定）した場合は、アラームを発生させる。（ここで、排気ガス１０１中の使用ガスの許容濃度は、例えば、フォスフィンガスは０．３ｐｐｍ、アルシンガスは０．０５ｐｐｍである）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のガス検知システムでは、フォスフィンガス検知器３０１及びアルシンガス検知器３０２は、測定ガス中（排気ガス１０１中）の水素（Ｈ）で動作する。
【０００９】
そのため、イオン注入装置１００で、例えば、フォスフィンガス（ＰＨ３  ）を使用した時に、除害装置４００によって排気ガス１０１中のフォスフィンガス（ＰＨ３  ）の濃度は（フォスフィンガスの）許容濃度である０．３ｐｐｍ以下になっていて、フォスフィンガス検知器３０１はアラームを発生させなくても、アルシンガス検知器３０２がフォスフィンガス（ＰＨ３  ）の水素で動作し、測定値が（アルシンガスの）許容濃度である０．０５ｐｐｍ以上であった場合、アラームを発生させる。つまり、ガス検知器（この場合アルシンガス検知器３０２）が、モニター対象外の測定ガスにより誤検知するという問題がある。
【００１０】
従って、本発明の目的は、ガス検知器のモニター対象外の測定ガスによる誤検知を防止した、複数種類のガス検知器を用いたガス検知システムを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のガス検知システムは、ガス漏洩の有無をモニターする前記ガスのガス種に対応した複数種類のガス検知器と、複数種類の前記ガスを使用する装置から出力された使用中の前記ガスのガス種を示す信号と、前記信号によりモニターする前記ガス検知器を切り替える切替ユニットとを有することを特徴とする。
【００１２】
また、前記モニターするガス検知器は、前記装置で使用中の前記ガスのガス種に対応したガス検知器である。
【００１３】
また、前記信号は、前記装置において前記複数種類の前記ガスの使用状態をモニターするセンサから出力された信号である。
【００１４】
また、前記切替ユニットは、前記信号により、流路を切り替えて、前記ガス検知器のサンプリング先を切り替える。前記ガス検知器の前記サンプリング先が、前記装置からの排気ガスである。また、前記ガス検知器の前記サンプリング先が、空気である。
【００１５】
この様な本発明によれば、装置で使用中のガスのガス種に対応したガス検知器を用いて、ガス漏洩の有無をモニターしている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態を示す系統図、図２及び図３は図１の一実施形態の動作を示す系統図である。
【００１７】
まず、図１に示すように、半導体製造装置であるイオン注入装置１００は、半導体基板に特定のイオンをドーピングし、導電型不純物の添加や拡散層の形成に用いられている。
【００１８】
そしてイオン注入装置１００では、照射するイオンのビームを発生させるために、例えばリン（Ｐ）のビームを発生させるためにフォスフィンガス（ＰＨ３  ）を、砒素（Ａｓ）のビームを発生させるためにアルシンガス（ＡｓＨ３  ）を、そしてホウ素（Ｂ）のビームを発生させるために３弗化ホウ素ガス（ＢＦ３  ）を使用している（以下これらのガスを使用ガスという）。ここで、これら複数種類の使用ガスを同時に使用することはなく、照射するイオンにより１種類の使用ガスを使用している。
【００１９】
しかし、これらの使用ガスは共に有毒ガスである。そのため、イオン注入装置１００からの排気ガス１０１は、除害装置４００を通し、排気ガス１０１中の使用ガスの濃度を許容濃度以下にして、工場排気５００に排気している。
【００２０】
ここで、安全性を考慮し、除害装置４００の除害能力を確認するために、除害装置４００を通った排気ガス１０１をサンプリングし、有毒ガス（使用ガス）漏洩の有無をガス検知器３００でモニターしている。これが、本発明が関わるガス検知システムである。
【００２１】
そして、図１に示すように、本実施形態のガス検知システムは、除害装置４００を通った排気ガス１０１をサンプリングし、排気ガス１０１中の使用ガスの濃度を測定し、有毒ガス（使用ガス）漏洩の有無をモニターするガス検知器３００、ガス検知器３００を構成する使用ガスのガス種（種類）に対応したフォスフィンガス検知器３０１、アルシンガス検知器３０２、３弗化ホウ素ガス検知器３０３、イオン注入装置１００から出力された使用中の使用ガスのガス種（種類）を示す出力信号１０２（以下使用中のガス種を示す出力信号１０２という）、使用中のガス種を示す出力信号１０２によりモニターするガス検知機（３０１、３０２、３０３）を切り替えるモニター切替ユニット２００から構成されている。
【００２２】
ここで、このガス検知システムは、図２及び図３に示すように動作する。まず、図２に示すように、イオン注入装置１００において、使用する使用ガス１１０は、複数種類の使用ガスのガスボンベ１１１の下流に夫々設けられているエアバルブ１１２の開閉によって切り替えられる。
【００２３】
例えば、図２においては、エアバルブＡ１１２Ａ（のみ）が開状態であり、ガスボンベＡ１１１ＡからガスＡ１１０Ａ（のみ）が供給され、使用されている。そして、エアバルブＡ１１２Ａ以外のエアバルブ（エアバルブＢ１１２Ｂのみ図示）は閉状態であり、ガスボンベＡ１１１Ａ以外のガスボンベ（ガスボンベＢ１１１Ｂのみ図示）からはガス（ガスＢ１１０Ｂのみ図示）が供給されず、未使用である。
【００２４】
そして、使用中の使用ガスのガス種（種類）をモニターするため、各エアバルブ１１２の開閉状態をモニターする。そのために、各エアバルブ１１２の駆動用エア（エア圧）を夫々圧力センサ１１３でモニターする。そして、圧力センサ１１３から、使用中の使用ガスのガス種（種類）を示す出力信号１０２（以下使用中のガス種を示す出力信号１０２という）を、モニター切替ユニット２００に出力する。
【００２５】
ここで、エアバルブ１１２が開状態であるということは、エアバルブ１１２の駆動用エア（エア圧）がＯＮ状態（動作状態）である。そのため、エアバルブ１１２の駆動用エア（エア圧）をモニターしている圧力センサ１１３もＯＮ状態（動作状態）になり、使用中のガス種を示す出力信号１０２もＯＮ状態になる。
【００２６】
例えば、図２においては、エアバルブＡ１１２Ａ（のみ）が開状態であり、エアバルブＡ１１２Ａの駆動用エア（エア圧）をモニターしている圧力センサＡ１１３ＡもＯＮ状態（動作状態）になり、使用中のガス種を示す出力信号Ａ１０２Ａ（のみ）もＯＮ状態になる。
【００２７】
そして、エアバルブＡ１１２Ａ以外のエアバルブ（エアバルブＢ１１２Ｂのみ図示）は閉状態であり、圧力センサＡ１１３Ａ以外の圧力センサ（圧力センサＢ１１３Ｂのみ図示）はＯＦＦ状態（非動作状態）になり、出力信号Ａ１０２Ａ以外の出力信号（出力信号Ｂ１０２Ｂのみ図示）がＯＦＦ状態になる。
【００２８】
次に、図３に示すように、モニター切替ユニット２００では、イオン注入装置１００の圧力センサ１１３から出力された使用中のガス種を示す出力信号１０２によって、出力信号１０２がＯＮ状態になると、リレー２０１がＯＮする。リレー２０１がＯＮすると、電磁弁２０２をＯＮさせる。電磁弁２０２がＯＮすると、三方弁２０３の流路を切り替えて、ガス検知器３００のサンプリング先を切り替える。
【００２９】
そして、ガス検知器３００のサンプリング先を切り替えることにより、除害装置４００を通った排気ガス１０１中の使用ガスの濃度を測定し、有毒ガス（使用ガス）漏洩の有無をモニターするガス検知器３００を切り替える。
【００３０】
ここで、モニターするガス検知器３００は、除害装置４００を通った排気ガス１０１をサンプリングし、排気ガス１０１中の対応した使用ガスの濃度を測定する。そして、排気ガス１０１中の使用ガスの許容濃度以上の濃度を検知（測定）した場合は、アラームを発生させる。
【００３１】
そして、モニターに用いないガス検知器３００は、空気（大気）をサンプリングし、空気（大気）中の対応した使用ガスの濃度を測定する。そして、空気（大気）中の使用ガスの許容濃度以上の濃度を検知（測定）することはなく、アラームを発生させることはない。
【００３２】
例えば、図３においては、イオン注入装置１００の圧力センサＡ１１３Ａから出力された出力信号Ａ１０２Ａ（のみ）がＯＮ状態であり、リレーＡ２０１ＡがＯＮする。リレーＡ２０１ＡがＯＮすると、電磁弁Ａ２０２ＡをＯＮさせる。電磁弁Ａ２０２ＡがＯＮすると、三方弁Ａ２０３Ａの流路を切り替えて、ガス検知器Ａ３００Ａ（のみ）のサンプリング先を除害装置４００を通った排気ガス１０１にする。
【００３３】
そして、イオン注入装置１００の圧力センサＡ１１３Ａから出力された出力信号Ａ１０２Ａ以外の出力信号（圧力センサＢ１１３Ｂから出力された出力信号Ｂ１０２Ｂのみ図示）はＯＦＦ状態であり、リレーＡ２０１Ａ以外のリレー（リレーＢ２０１Ｂのみ図示）はＯＦＦ状態のままであり、電磁弁Ａ２０２Ａ以外の電磁弁（電磁弁Ｂ２０２Ｂのみ図示）もＯＦＦ状態のままであり、三方弁Ａ２０３Ａ以外の三方弁（三方弁Ｂ２０３Ｂのみ図示）の流路は切り替わらず、ガス検知器Ａ３００Ａ以外のガス検知器（ガス検知器Ｂ３００Ｂのみ図示）のサンプリング先は空気（大気）のままである。
【００３４】
このようにして、イオン注入装置１００において使用中の使用ガス（例えばフォスフィンガス、アルシンガス、または３弗化ホウ素ガス）に対応したガス検知器（例えばフォスフィンガス検知器３０１、アルシンガス検知器３０２、または３弗化ホウ素ガス検知器３０３）を用いてモニターし、除害装置４００を通った排気ガス１０１をサンプリングし、排気ガス１０１中の対応した使用ガスの濃度を測定し、許容濃度以上の濃度を検知（測定）した場合は、アラームを発生させる。
【００３５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、製造装置で使用中の使用ガスに対応したガス検知器のみを用いて使用ガス漏洩の有無をモニターするので、複数種類のガス検知器を用いていても、ガス検知器のモニター対象外の使用ガスによる誤検知を防止できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス検知システムの一実施形態を示す系統図である。
【図２】図１の一実施形態の動作を示す系統図である。
【図３】図２と共に、図１の一実施形態の動作を示す系統図である。
【図４】従来技術を示す系統図である。
【符号の説明】
１００    イオン注入装置
１０１    排気ガス
１０２    使用中の使用ガスのガス種を示す出力信号
１０２Ａ    出力信号Ａ
１０２Ｂ    出力信号Ｂ
１１０    使用ガス
１１０Ａ    ガスＡ
１１０Ｂ    ガスＢ
１１１    ガスボンベ
１１１Ａ    ガスボンベＡ
１１１Ｂ    ガスボンベＢ
１１２    エアバルブ
１１２Ａ    エアバルブＡ
１１２Ｂ    エアバルブＢ
１１３    圧力センサ
１１３Ａ    圧力センサＡ
１１３Ｂ    圧力センサＢ
２００    モニター切替ユニット
２０１    リレー
２０１Ａ    リレーＡ
２０１Ｂ    リレーＢ
２０２    電磁弁
２０２Ａ    電磁弁Ａ
２０２Ｂ    電磁弁Ｂ
２０３    三方弁
２０３Ａ    三方弁Ａ
２０３Ｂ    三方弁Ｂ
３００    ガス検知器
３００Ａ    ガス検知器Ａ
３００Ｂ    ガス検知器Ｂ
３０１    フォスフィンガス検知器
３０２    アルシンガス検知器
３０３    ３弗化ホウ素ガス検知器
４００    除害装置
５００    工場排気
【図１】
0003586624.tif 000002
【図２】
0003586624.tif 000003
【図３】
0003586624.tif 000004
【図４】
0003586624.tif 000005