(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波数が安定化された周波数安定化レーザ光源において、
レーザ光源と、
このレーザ光源の出力光から２つの周波数の光を発生させる共に振幅変調する周波数変換手段と、
この周波数変換手段の出力光を分岐させる光分岐手段と、
この光分岐手段の反射光若しくは透過光を分岐するビームスプリッタと、
このビームスプリッタの反射光若しくは透過光が透過する周波数弁別素子と、
この周波数弁別素子の透過光を前記振幅変調周波数に基づき同期検波する同期検波手段と、
前記ビームスプリッタの透過光若しくは反射光を前記振幅変調周波数に基づき同期検波して前記同期検波手段の出力を補正する補正手段と、
この補正手段の出力に基づき前記レーザ光源の注入電流を制御する電流制御回路と
を備えたことを特徴とする周波数安定化レーザ光源。
【請求項２】
前記周波数変換手段が、
音響光学変調素子と、キャリア信号を発生させる発振器と、変調信号発生器と、前記キャリア信号を前記変調信号発生器の出力に同期させて前記音響光学変調素子に供給する変調回路とから構成されたことを特徴とする
請求項１記載の周波数安定化レーザ光源。
【請求項３】
前記同期検波手段が、
前記周波数弁別素子の透過光を検出する第１の光検出器と、この第１の光検出器の出力を前記振幅変調周波数に基づき同期検波する第１のロックインアンプとから構成されたことを特徴とする
請求項１記載の周波数安定化レーザ光源。
【請求項４】
前記補正手段が、
前記ビームスプリッタの透過光若しくは反射光を検出する第２の光検出器と、この第２の光検出器の出力を前記振幅変調周波数に基づき同期検波する第２のロックインアンプと、この第２のロックインアンプの出力を減衰させる係数補正アンプと、この係数補正アンプの出力を前記同期検波手段の出力から減算する前記差動増幅器とから構成されたことを特徴とする
請求項１記載の周波数安定化レーザ光源。
【請求項５】
前記第２のロックインアンプが前記係数補正アンプの機能を有することを特徴とする
請求項４記載の周波数安定化レーザ光源。
【請求項６】
前記周波数弁別素子が吸収波長特性を有する物質を封入した吸収セルであることを特徴とする
請求項１記載の周波数安定化レーザ光源。
【請求項７】
前記吸収セルが、
内壁表面に凹凸面が設けられた筒体と、
この筒体の両端部分を密封する２つの窓板とを備えたことを特徴とする
請求項６記載の周波数安定化レーザ光源。
【請求項８】
前記周波数弁別素子がエタロンであることを特徴とする
請求項１記載の周波数安定化レーザ光源。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、周波数が安定化された周波数安定化レーザ光源に関し、特にロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能な周波数安定化レーザ光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の周波数安定化レーザ光源は、温度制御されたレーザダイオードの出力光に変調をかけて吸収セル内を透過させて、出力光の周波数を吸収セル内のガスの吸収線の中心周波数に制御することにより周波数を安定化させるものである。
【０００３】
図４はこのような従来の周波数安定化レーザ光源の一例を示す構成ブロック図である。特に、図４は周波数が安定化され周波数の異なる２つのレーザ光を同時に出力する周波数安定化レーザ光源である。
【０００４】
図４において、１はレーザ光源であるレーザダイオード、２は恒温槽、３は周波数変換手段である音響光学変調素子、４はビームスプリッタ等の光分岐手段、５は吸収波長特性を有する物質を封入した吸収セル等の周波数弁別素子、６はフォトダイオード等の光検出器、７はロックインアンプ、８はキャリア信号を発生させる発振器、９は変調信号発生器、１０はキャリア信号をＯＮ／ＯＦＦまたは振幅変調するための変調回路、１１は電流制御回路、１００は出力光である。
【０００５】
レーザダイオード１は恒温槽２内に配置され、レーザダイオード１の出力光は音響光学変調素子３を介して光分岐手段４に入射される。光分岐手段４の透過光は出力光１００として出射され、光分岐手段４の反射光は周波数弁別素子５を介して光検出器６に入射される。
【０００６】
光検出器６の出力はロックインアンプ７に接続され、ロックインアンプ７の出力は電流制御回路１１に接続され、電流制御回路１１の出力はレーザダイオード１に供給される。
【０００７】
また、発振器８の出力は変調回路１０の一端に接続され、変調回路１０の他端は音響光学変調素子３の制御端子に接続される。さらに、変調信号発生器９の出力はロックインアップ７の参照信号の入力端子及び変調回路１０の制御端子にそれぞれ接続される。
【０００８】
ここで、図４に示す従来例の動作を図５、図６及び図７を用いて説明する。図５は０次回折光および１次回折光の振幅の関係を示す特性曲線図、図６は周波数弁別素子５である金属原子が封入された吸収セルの一例を示す斜視図、図７は金属原子の透過光量と周波数の関係を示す特性曲線図である。また、図６において１２は筒体、１３及び１４は窓板、１５は金属原子ガスの封入口である。
【０００９】
レーザダイオード１の出力光は音響光学変調素子３を透過する際に変調回路１０を介してキャリア信号が発振器８から供給されているとキャリア信号の周波数分だけ周波数シフトされた成分（１次回折光）とそのままの成分（０次回折光）に分岐されてそれぞれ出力される。
【００１０】
例えば、レーザダイオード１の出力光の周波数を”ｆ０”、発振器８の出力であるキャリア信号の周波数を”ｆｄ”とすれば、周波数が”ｆ０＋ｆｄ”である１次回折光と周波数が”ｆ０”のままである０次回折光に分岐される。
【００１１】
また、キャリア信号の供給は変調信号発生器９の出力周波数に基づき変調回路１０がＯＮ／ＯＦＦするので音響光学変調素子３の出力光は変調信号発生器９の出力周波数で振幅変調されることになる。
【００１２】
ここで、図５中”Ｓ００１”は周波数が”ｆ０＋ｆｄ”である１次回折光の振幅、図５中”Ｓ００２”は周波数が”ｆ０”である０次回折光の振幅である。また、図５中”Ｓ００１”及び”Ｓ００２”に示す振幅は互いに逆位相であり、振幅の大きさ”Ａ１”及び”Ａ２”は互いに等しい。このため、図５中”Ｓ００３”に示すように両者の振幅の平均値を加算したものは互いに打ち消しあって”０”になる。
【００１３】
これら０次回折光及び１次回折光は光分岐手段４で分岐され、透過光は出力光１００として出力され、反射光は周波数弁別素子５である吸収セルに入射される。図６に示す吸収セルは筒体１２の両端部分を窓板１３及び１４で密封すると共に封入口１５からルビジウム（Ｒｂ）やセシウム（Ｃｓ）等の金属原子ガスが封入されるものである。
【００１４】
そして、図６に示す吸収セルに封入された金属原子の種類により特定の周波数で光吸収率が最大になる特性を有する。例えば、図７中”ＰＦ０１”に示すような吸収特性を有する。このため、周波数弁別素子５である吸収セルを透過した０次回折光及び１次回折光は特定周波数での光吸収をそれぞれ受けて光検出器６に入射される。
【００１５】
光検出器６で電気信号に変換された信号はロックインアンプ７において変調信号発生器９の出力信号を基準信号にして同期検波されるので、変調信号発生器９の出力周波数成分の振幅の平均値が検出されることになる。電流制御回路１１はこのロックインアップ７の出力が”０”になるようにレーザダイオード１に供給する注入電流を制御する。
【００１６】
すなわち、０次回折光及び１次回折光の吸収率が等しくなるように電流制御回路１１がレーザダイオード１の出力光の周波数を制御すれば図５中”Ｓ００１”及び”Ｓ００２”に示す振幅は互いに逆位相であり互いに等しいので平均値を加算したものであるロックインアンプ７の出力は”０”になる。
【００１７】
例えば、図７中”ＰＦ０１”の透過光量が最大になる周波数を”ｆｒ”とし、図７中”ＡＢ０１”に示す周波数”ｆ０”の０次回折光の透過光量率と、図７中”ＡＢ０２”に示す周波数”ｆ０＋ｆｄ”の１次回折光の透過光量とが等しくなるように電流制御回路１１がレーザダイオード１の出力光の周波数を制御すればレーザダイオード１の出力光の周波数”ｆ０”は図７から、周波数”ｆｒ”から”ｆｄ／２”低い”ｆｒ−ｆｄ／２”なる周波数に制御されることになる。
【００１８】
この結果、レーザダイオード１の出力光を音響光学変調素子３で０次回折光及び１次回折光に分岐させると共に振幅変調して周波数弁別素子５を透過させて変調信号を基準信号とした同期検波の結果に基づきレーザダイオード１の注入電流を制御することにより、レーザダイオード１の出力光の周波数を吸収セルの中心周波数近傍に制御することが可能になる。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図４に示す従来例では音響光学変調素子３で分岐された０次回折光及び１次回折光を光分岐手段４で分岐させるので、光分岐手段４の透過／反射特性に波長依存性が存在すると周波数”ｆ０”の０次回折光と、周波数”ｆ０＋ｆｄ”の１次回折光との間では透過／反射率がそれぞれ異なってしまう。
【００２０】
図８は０次回折光及び１次回折光の振幅の関係を示す特性曲線図であり、図８に示すように周波数弁別素子５に入射される０次回折光及び１次回折光の振幅が異なってしまい（Ａ１’≠Ａ２’）図８中”Ｓ１０１”に示す周波数が”ｆ０＋ｆｄ”である０次回折光の振幅と図８中”Ｓ１０２”に示す周波数が”ｆ０”である１次回折光の振幅の平均値を加算したものは図８中”Ｓ１０３”に示すように”０”にはならずロックインアンプ７の出力にオフセット成分が生じる。
【００２１】
例えば、図９は吸収セルの吸収特性及びロックインアンプ７の波長に対する出力との関係を示す特性曲線図であり、図５に示すように０次回折光及び１次回折光の振幅が等しければ（Ａ１＝Ａ２）図９（Ｂ）に示すように図９（Ａ）に示す吸収特性の中心周波数”ｆｒ”と図９中”ＺＣ０１”に示すロックインアンプ７の出力のゼロクロス点の周波数が一致する。
【００２２】
一方、図８に示すように０次回折光及び１次回折光の振幅が等ししくない（Ａ１’≠Ａ２’）場合は図９（Ｃ）に示すように図９（Ａ）に示す吸収特性の中心周波数”ｆｒ”と図９中”ＺＣ０２”に示すロックインアンプ７の出力のゼロクロス点の周波数が一致しない。
【００２３】
すなわち、図９中”ＺＣ０２”に示すゼロクロス点は中心周波数には一致しておらず、中心周波数”ｆｒ”に一致する周波数では図９中”ＯＦ０１”に示すようなオフセット成分が生じている。
【００２４】
従って、前述のオフセットが生じている場合には、ロックインアンプ７の出力が”０”になるようにレーザダイオード１の注入電流を制御してもレーザダイオードの出力光の周波数も変動してしまうことになると言った課題があった。
【００２５】
また、音響光学変調素子３から出射される０次回折光と１次回折光との出射方向は通常”数ｍｒａｄ”程度異なるため光分岐手段４の透過／反射特性に位置依存性が存在すると前述と同様にオフセット成分が生じる。
【００２６】
さらに、これらの透過／反射特性の波長依存性や位置依存性は経時変化や温度や湿度等の周囲環境の変化により変動するので前記オフセット成分にドリフトが生じる。
【００２７】
また、出力光１００を取り出す光分岐手段４は出力光１００の偏光特性を重視する仕様のため多層誘電膜を使用せざるをえず、透過／反射特性の波長依存性や位置依存性等が犠牲になる場合がありオフセット成分が生じ易いと言った課題があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能な周波数安定化レーザ光源を実現することにある。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
周波数が安定化された周波数安定化レーザ光源において、
レーザ光源と、このレーザ光源の出力光から２つの周波数の光を発生させる共に振幅変調する周波数変換手段と、この周波数変換手段の出力光を分岐させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光若しくは透過光を分岐するビームスプリッタと、このビームスプリッタの反射光若しくは透過光が透過する周波数弁別素子と、この周波数弁別素子の透過光を前記振幅変調周波数に基づき同期検波する同期検波手段と、前記ビームスプリッタの透過光若しくは反射光を前記振幅変調周波数に基づき同期検波して前記同期検波手段の出力を補正する補正手段と、この補正手段の出力に基づき前記レーザ光源の注入電流を制御する電流制御回路とを備えたことにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能になる。
【００２９】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記周波数変換手段が、
音響光学変調素子と、キャリア信号を発生させる発振器と、変調信号発生器と、前記キャリア信号を前記変調信号発生器の出力に同期させて前記音響光学変調素子に供給する変調回路とから構成されたことにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能になる。
【００３０】
請求項３記載の発明は、
請求項１記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記同期検波手段が、
前記周波数弁別素子の透過光を検出する第１の光検出器と、この第１の光検出器の出力を前記振幅変調周波数に基づき同期検波する第１のロックインアンプとから構成されたことにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能になる。
【００３１】
請求項４記載の発明は、
請求項１記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記補正手段が、
前記ビームスプリッタの透過光若しくは反射光を検出する第２の光検出器と、この第２の光検出器の出力を前記振幅変調周波数に基づき同期検波する第２のロックインアンプと、この第２のロックインアンプの出力を減衰させる係数補正アンプと、この係数補正アンプの出力を前記同期検波手段の出力から減算する前記差動増幅器とから構成されたことにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能になる。
【００３２】
請求項５記載の発明は、
請求項４記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記第２のロックインアンプが前記係数補正アンプの機能を有することにより、機器の小型化が可能になる。
【００３３】
請求項６記載の発明は、
請求項１記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記周波数弁別素子が吸収波長特性を有する物質を封入した吸収セルであることにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能になる。
【００３４】
請求項７記載の発明は、
請求項６記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記吸収セルが、
内壁表面に凹凸面が設けられた筒体と、この筒体の両端部分を密封する２つの窓板とを備えたことにより、金属原子が筒体内壁表面に析出し易くなるので、入射光の透過光路部分における金属原子の析出を低減することが可能になり、周波数安定度の悪化を防止できる。
【００３５】
請求項８記載の発明は、
請求項１記載の発明である周波数安定化レーザ光源において、
前記周波数弁別素子がエタロンであることにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能になる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る周波数安定化レーザ光源の一実施例を示す構成ブロック図である。図１において１〜１１及び１００は図４と同一符号を付してあり、１６は金属膜を用いたビームスプリッタ、１７は光検出器、１８はロックインアンプ、１９は係数補正アンプ、２０は差動増幅器である。また、６及び７は同期検波手段５０を、３，８，９及び１０は周波数変換手段５１を、１７，１８，１９及び２０は補正手段５２をそれぞれ構成している。
【００３８】
レーザダイオード１は恒温槽２内に配置され、レーザダイオード１の出力光は音響光学変調素子３を介して光分岐手段４に入射される。光分岐手段４の透過光は出力光１００として出射され、光分岐手段４の反射光はビームスプリッタ１６に入射される。そして、ビームスプリッタ１６の透過光は周波数弁別素子５を介して光検出器６に入射され、ビームスプリッタ１６の反射光は光検出器１７に入射される。
【００３９】
光検出器６及び１７の出力はロックインアンプ７及び１８に接続され、ロックインアンプ７の出力は差動増幅器２０の反転入力端子に接続される。一方、ロックインアンプ１８の出力は係数補正アンプ１９を介して差動増幅器２０の非反転入力端子に接続され、差動増幅器２０の出力は電流制御回路１１に接続され、電流制御回路１１の出力はレーザダイオード１に供給される。
【００４０】
また、発振器８の出力は変調回路１０の一端に接続され、変調回路１０の他端は音響光学変調素子３の制御端子に接続される。さらに、変調信号発生器９の出力はロックインアップ７及び１８の参照信号の入力端子及び変調回路１０の制御端子にそれぞれ接続される。
【００４１】
ここで、図１に示す実施例の動作を説明する。但し、図４に示す従来例と同様の部分の説明は省略する。ビームスプリッタ１６の反射光は光検出器１７で電気信号に変換されてロックインアンプ１８で同期検波されるので周波数弁別素子５で光吸収を受けない信号の変調信号発生器９の出力周波数成分の振幅の平均値が得られることになる。
【００４２】
このロックインアンプ１８の出力は光分岐手段４における透過／反射特性の波長依存性や位置依存性等による振幅のアンバランスによるオフセット成分であるのでこの出力をロックインアンプ７の出力から減算すればオフセット成分が除去されることになる。
【００４３】
但し、このオフセット成分は図９中”ＯＦ０２”に示すレベルのオフセット成分であり、図９中”ＯＦ０１”に示すオフセット成分は図９中”ＯＦ０２”に示すオフセット成分が周波数弁別素子５により減衰されたものである。
【００４４】
従って、係数補正アンプ１９によりロックインアンプ１８の出力を適宜減衰させてから係数補正アンプ１９の出力からロックインアンプ７の出力を差動増幅器２０で減算して、差動増幅器２０の出力が”０”になるように電流制御回路１１がレーザダイオード１に供給する注入電流を制御することにより図９中”ＯＦ０１”に相当するオフセット成分が除去されることになる。
【００４５】
すなわち、レーザダイオード１の出力光の周波数は周波数弁別素子５の吸収線の中心周波数”ｆｒ”から”ｆｄ／２”低い周波数である”ｆｒ−ｆｄ／２”に制御されることになる。
【００４６】
また、ロックインアンプ１８から得られるオフセット成分もまた経時変化や温度や湿度等の周囲環境の変化により変動するのでロックインアンプ１８の出力を用いてオフセット成分を補正することにより、経時変化や温度や湿度等の周囲環境の変化による影響を補正することが可能になる。
【００４７】
この結果、周波数弁別素子５を透過する系の同期検波手段５０の出力を周波数弁別素子５を透過しない系の補正手段５１で補正することにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能な周波数安定化レーザ光源を実現する。
【００４８】
なお、補正手段５２では説明の簡単のためにロックインアンプ１８と係数補正アンプ１９を別々に記載して説明したしたが、係数補正アンプ１９の機能をロックインアンプ１８に持たせても構わない。この場合には機器の小型化が可能になる。
【００４９】
また、図１に示す実施例では光分岐手段４の透過光を出力光１００として出力する構成になっているが、光分岐手段４の反射光を出力光１００として出力する構成であっても構わない。
【００５０】
また、図１に示す実施例ではビームスプリッタ１６の透過光を周波数弁別素子５に入射する構成になっているが、ビームスプリッタ１６の反射光を周波数弁別素子５に入射する構成であっても構わない。
【００５１】
また、周波数弁別素子５としては金属分子を封入した吸収セルを例示したがエタロン等であっても構わない。この場合には、吸収セルと比較して金属原子が封入されていないので周波数弁別素子５の取り扱いが容易になる。
【００５２】
また、周波数弁別素子５として図６に示すような吸収セルを用いた場合には、温度の変化に関連して金属原子の飽和蒸気圧が低下すると吸収セル内の金属原子の封入量にしたがって吸収セルの内壁表面に金属原子が非局在的に析出する。
【００５３】
この析出個所が窓板１３及び１４である場合には前述の”ｆ０”及び”ｆ０＋ｆｄ”の０次回折光及び１次回折光が入射すると、それぞれの入射光の透過光路に析出している金属原子の析出量に応じて透過光量が減少してしまい、ロックインアンプの出力も変動してしまうため周波数安定度が悪化してしまう。
【００５４】
図２及び図３はこのような析出の問題を解決した吸収セルの一実施例を示す斜視図及び部分断面図である。図２において２１は筒体、２２及び２３は窓板、２４は金属原子ガスの封入口である。
【００５５】
図２に示す吸収セルは筒体２１の両端部分を窓板２２及び２３で密封すると共に封入口２４からルビジウム（Ｒｂ）やセシウム（Ｃｓ）等の金属原子ガスが封入される。
【００５６】
また、図３（Ａ）及び（Ｂ）は図２中”Ｐ００１”及び”Ｐ００２”の部分の部分断面図である。図３中”ＩＷ０１”に示すように筒体２１の内壁表面には磨りガラス状の凹凸面が付加されており実効表面積が広くなるようになっている。一方、図３中”ＩＷ０２”に示す窓板２３部分の内壁表面は平坦である。ちなみに、図３中”ＯＷ０１”及び”ＯＷ０２”に示す両者の外壁表面については図６に示す従来例と同様である。
【００５７】
すなわち、図３中”ＡＴ０１”に示す金属原子は筒体２１の内壁表面の実効表面積が窓板２３の内壁表面の実効表面積よりも広いので、図３中”ＡＴ０２”に示す金属原子と比較して内壁表面との相互作用確率が増加する。このため、窓板部分と比較して筒体２１内壁表面での金属原子の析出確率が増加することになる。
【００５８】
この結果、筒体２１の内壁表面に凹凸面を設けて実効表面積を窓板内壁面の表面積より広くすることにより、金属原子が筒体内壁表面に析出し易くなるので、入射光の透過光路部分における金属原子の析出を低減することが可能になり、周波数安定度の悪化を防止できる。
【００５９】
また、筒体２１の内壁表面に設けられる凹凸面の形状に関しては円形や楕円形等の形状、方形や三角形等の多角形形状、直線や曲線等の線状の形状等どのような形状であっても構わない。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３，４，６及び請求項８の発明によれば、周波数弁別素子を透過する系の同期検波手段の出力を周波数弁別素子を透過しない系の補正手段で補正することにより、ロックインアンプの出力のオフセット成分を補正することが可能な周波数安定化レーザ光源が実現できる。
【００６１】
また、請求項５の発明によれば、係数補正アンプの機能を第２のロックインアンプに持たせることにより、機器の小型化が可能になる。
【００６２】
また、請求項７の発明によれば、吸収セルの筒体の内壁表面に凹凸面を設けて実効表面積を窓板内壁面の表面積より広くすることにより、金属原子が筒体内壁表面に析出し易くなるので、入射光の透過光路部分における金属原子の析出を低減することが可能になり、周波数安定度の悪化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る周波数安定化レーザ光源の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】吸収セルの一実施例を示す斜視図である。
【図３】吸収セルの一実施例を示す部分断面図である。
【図４】従来の周波数安定化レーザ光源の一例を示す構成ブロック図である。
【図５】０次回折光及び１次回折光の振幅の関係を示す特性曲線図である。
【図６】金属原子が封入された吸収セルの一例を示す斜視図である。
【図７】金属原子の吸収特性と周波数の関係を示す特性曲線図である。
【図８】０次回折光及び１次回折光の振幅の関係を示す特性曲線図である。
【図９】吸収セルの吸収特性及びロックインアンプの波長に対する出力との関係を示す特性曲線図である。
【符号の説明】
１  レーザダイオード
２  恒温槽
３  音響光学変調素子
４  光分岐手段
５  周波数弁別素子
６，１７  光検出器
７，１８  ロックインアンプ
８  発振器
９  変調信号発生器
１０  変調回路
１１  電流制御回路
１２，２１筒体
１３，１４，２２，２３  窓板
１５，２４  封入口
１６  ビームスプリッタ
１９  係数補正アンプ
２０  差動増幅器
５０  同期検波手段
５１  周波数変換手段
５２  補正手段
１００  出力光
【図１】
0003567739.tif 000002
【図２】
0003567739.tif 000003
【図３】
0003567739.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0003567739.tif 000007
【図７】
0003567739.tif 000008
【図８】
0003567739.tif 000009
【図９】
0003567739.tif 000010