【手続補正書】
【提出日】平成29年10月13日(2017.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２種類の非混和性の液体を含む多相系であって、
前記液体の一方は、水または水と類似した物質であり、前記２種類の液体の他方は、水に対する溶解度が４ｇ／Ｌ未満の水不溶性物質であり、
前記多相系は、少なくとも１種の界面活性剤、および任意の添加剤および／または補助剤をさらに含み、
前記多相系は、０より大きく２００ＮＴＵ以下の濁度値を有する、ことを特徴とする、
多相系。
【請求項２】
前記界面活性剤は、陽イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、非イオン界面活性剤、または両性界面活性剤である、ことを特徴とする、
請求項１に記載の多相系。
【請求項３】
前記水不溶性物質は、アルカン、シクロアルカン、芳香族、長鎖アルカン酸エステル、
ジカルボン酸エステル、若しくはトリカルボン酸エステル、テルペン、またはそれらの混合物からなる群から選ばれる、ことを特徴とする、
請求項１または２に記載の多相系。
【請求項４】
１または複数の両親媒性物質が、前記多相系にさらに含まれる、ことを特徴とする、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の多相系。
【請求項５】
少なくとも１つの両親媒性物質が、以下より選ばれる、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の多相系。
ａ）式Ｉで表されるジオール：
Ｒ1Ｒ2ＣＯＨ−（ＣＨ2）n−ＣＯＨＲ1Ｒ2（式Ｉ）
ここで、ｎは０、１、２、３または４であり、
Ｒ1およびＲ2は、それぞれの場合において、独立して、水素、あるいは非分岐または分岐のＣ1−Ｃ3アルキルであり、この場合、ｎ＝０であるとき、Ｒ1は水素となり得ず、かつ前記ジオールは、２−メチル−２，４−ペンタンジオールでなく、
または、１，３−プロパンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、２，３−ブタンジオール、２，４−ペンタンジオール、若しくは２，５−ジメチル−２，５−ヘキサンジオールから選ばれ、
ｂ）式ＩＩで表されるアセト酢酸：
Ｃ（Ｒ3）3−ＣＯ−ＣＨ2−ＣＯ−Ｏ−Ｒ4（式ＩＩ）
ここで、Ｒ3は、それぞれの場合において、独立して、水素またはＣ1〜Ｃ2アルキルであり、Ｒ4は、分岐または非分岐Ｃ1〜Ｃ4アルキルであり、
または、
式ＩＩＩで表されるアセト酢酸：
ＣＨ3−ＣＯ−ＣＨ2−ＣＯ−Ｏ−Ｒ5（式ＩＩＩ）
ここで、Ｒ5はＣ1〜Ｃ4アルキルであり、
または、アセト酢酸エチル、アセト酢酸イソプロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸ｎ−ブチル、アセト酢酸ｎ−プロピル、若しくはアセト酢酸ｔｅｒｔ−ブチルから選ばれ、
ｃ）式ＩＶで表されるジオン：
ＣＨ3−（ＣＨ2）p−ＣＯ−（ＣＨ2）q−ＣＯ−（ＣＨ2）r−ＣＨ3（式ＩＶ）
ここで、ｐ、ｑ、ｒは、独立して、０、１、または２であり、この場合、ｐ、ｑ、およびｒの総和が２であるとき、さらに式ＩＶに係る化合物が環状（シクロヘキサンジオン）であってもよく、
または、２，３−ブタンジオン（ジアセチル）、２，４−ペンタンジオン（アセチルアセトン）、３，４−ヘキサンジオン、２，５−ヘキサンジオン、２，３−ペンタンジオン、２，３−ヘキサンジオン、１，４−シクロヘキサンジオン、若しくは１，３−シクロヘキサンジオンから選ばれ、
ｄ）式Ｖで表されるエステル：
Ｒ6−ＣＯ−Ｏ−Ｒ7（式Ｖ）
ここで、Ｒ6は、Ｒ7に環結合するもの、ＣＨ3、またはＣＯＣＨ3であり、
Ｒ7は、Ｒ6に環結合する（ＣＨ2）2−Ｏ−、または（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−ＣＨ3、ＣＨ2−ＣＨ3、若しくはＲ6に環結合するＣＨ2−ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−であり、
または、酢酸（１−メトキシ−２−プロピル）、酢酸（２−ブトキシエチル）、炭酸エチレン、ピルビン酸エチル（２−オキソプロピオン酸エチルエステル）、若しくは炭酸プロピレンから選ばれ、
ｅ）式ＶＩで表されるマレイン酸アミドまたはフマル酸アミド：
Ｒ8−ＨＮ−ＣＯ−Ｃ＝Ｃ−ＣＯ−Ｏ−Ｒ9（式ＶＩ）
ここで、Ｒ8は、水素、分岐または非分岐のＣ1−Ｃ4アルキル、あるいは、分岐または非分岐の、直鎖状または環状Ｃ1−Ｃ6アルキルであり、該Ｃ1−Ｃ6アルキルは、ＯＨ、ＮＨ2、ＣＯＯＨ、ＣＯ、ＳＯ3Ｈ、ＯＰ（ＯＨ）2から選ばれる、１または複数の基で置換されていて、かつＲ9は、水素、あるいは分岐または非分岐Ｃ1−Ｃ4アルキルであり、
または、以下のマレイン酸アミドおよびそれらのメチル、エチル、プロピル、およびブチルエステル、すなわち、Ｎ−メチルマレアミド、Ｎ−エチルマレアミド、Ｎ−（ｎ−プロピル）マレアミド、Ｎ−（イソプロピル）マレアミド、Ｎ−（ｎ−ブチル）マレアミド、Ｎ−（イソブチルマレアミド）、Ｎ−（ｔｅｒｔ−ブチルマレアミド）、および対応するフマル酸アミド、並びにそれらのメチル、エチル、プロピル、およびブチルエステルから選ばれ、
ｆ）酸および該酸のアンモニウム塩および該酸のアミン塩、並びに該酸のアミド、特に、ケイ皮酸およびケイ皮酸の塩、および、
ｇ）２，２−ジメトキシプロパン、ピルビン酸アルデヒド−１，１−ジメチルアセタール、ジアセトンアルコール（２−メチル−２−ペンタノール−４−オン）、２−ブタノール、２−アセチル−ガンマ−ブチロラクトン、３−アミノ−１Ｈ−１，２，４−トリアゾール、ガンマ−ブチロラクトン、ニコチンアミド、アスコルビン酸、Ｎ−アセチルアミノ酸、特に、Ｎ−アセチルグリシン、Ｎ−アセチルアラニン、Ｎ−アセチルシステイン、Ｎ−アセチルバリン、若しくはＮ−アセチルアルギニン、リン酸トリエチル、酢酸ｎ−ブチル、ジメチルスルホキシド、または２，２，２−トリフルオロエタノール。
【請求項６】
前記両親媒性物質は、式ＩＩＩで表されるアセト酢酸から選ばれる、ことを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の多相系。
ＣＨ3−ＣＯ−ＣＨ2−ＣＯ−Ｏ−Ｒ5（式ＩＩＩ）
ここで、Ｒ5はＣ1〜Ｃ4アルキルである。
【請求項７】
フォトレジストを表面から剥離するための、請求項１〜６のいずれか１項に記載の多相系の使用。
【請求項８】
前記表面は、非金属表面、好ましくは、シリコンウェハまたはガラスウェハ、および／または  前記非金属表面上にある金属表面、好ましくは、銅またはアルミニウムである、
請求項７に記載の使用。
【請求項９】
前記フォトレジストは、架橋されたフォトレジストである、
請求項７または８に記載の使用。
【請求項１０】
金属層が前記フォトレジストに付与される、
請求項７乃至９のいずれか１項に記載の使用。
【請求項１１】
前記フォトレジスト上の前記金属層が、前記多相系を用いて剥離される、
請求項１０に記載の使用。
【請求項１２】
前記金属層は、前記金属表面上に残存する、
請求項１０または１１に記載の使用。
【請求項１３】
請求項１〜７のいずれか一つに係る多相系が使用される、
表面からフォトレジスト被膜を除去する方法。
【請求項１４】
前記表面は金属表面であり、好ましくは、シリコンウェハである、
請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記フォトレジストは、架橋されたフォトレジストである、
請求項１３または１４に記載の方法。
【請求項１６】
金属層が前記フォトレジストに付与される、
請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記フォトレジスト上の前記金属層が、前記多相系を用いて剥離される、
請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記金属層は、前記金属表面上に残存する、
請求項１６または１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記多相系が、処理される表面に付与され、３０秒から５時間の間作用する、
請求項１３乃至１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
前記多相系は除去される、
請求項１９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ポリアルキレンオキシドで修飾された脂肪族アルコール、例えば、Ｂｅｒｏｌ（登録商標）タイプ（Ａｋｚｏ−Ｎｏｂｅｌ社）およびＨｏｅｓｃｈ（登録商標）Ｔタイプ（Ｊｕｌｉｕｓ  Ｈｏｅｓｃｈ社）、およびアルキルエトキシレートに加えて、対応するオクチルフェノール（トリトンタイプ）またはノニルフェノール（後者は、大量に環境に放出されないと仮定する）が、非イオン界面活性剤として使用できる。一つの特定の適用分野においては、ヘプタメチルトリシロキサン（例えば、Ｓｉｌｗｅｔ（登録商標）タイプ、ＧＥ  Ｓｉｌｉｃｏｎｅｓ社）が  液体の拡展性を大きく増加させるため、または界面張力を大きく低減させるための剤として使用されてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明によれば、水不溶性物質は、水に対する溶解度が４ｇ／Ｌ未満であり、２ｇ／Ｌ未満であることが好ましい。これらの物質は、膨張性および／または分解性を有していることが好ましいと考えられる。例としては、アルカン（ガソリン）およびシクロアルカン（好ましくはシクロヘキサン）が含まれる。トルエン、キシレン、または他のアルキルベンゼン、およびナフタレンのような芳香族も好適である。脂肪油および脂肪酸メチルエステル（バイオディーゼル）のような長鎖アルカン酸エステルが好ましい。本発明によれば、酢酸ベンジルも、使用される水不溶性物質中に含まれる。しかしながら、テルペン、例えば、シクロヘキサン骨格を有する単環式モノテルペンもまた使用されてもよい。柑橘類の果実から得られる、シトラステルペンおよび／またはオレンジテルペンなどのテルペン、または柑橘類の果実に含まれるリモネンが、ここでは特に好ましい。水不溶性物質は、好ましくは、前記多相系中に含まれていて、その量は、１．５〜３０重量％である。