(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状の基板の長手方向に沿って、多数の長尺状の画像アレイを熱硬化型接着剤もしくはロウ材を介して固定する画像装置の製造方法であって、
前記基板上に、長さが前記画像アレイの長尺方向の長さよりもやや大きく、かつ幅が前記画像アレイの幅よりもやや大きい穴で、その長手方向端面の一方に長手方向基準面を、短辺方向端面の一方に短辺方向基準面を設けたものが多数、所定配列ピッチで直線状に配列されており、かつ熱膨張率が前記基板と異なる長尺状プレートを配置し、
次に前記長尺状プレートの各穴内に前記画像アレイ及び熱硬化型接着剤もしくはロウ材を収容し、熱硬化型接着剤もしくはロウ材を挟んで基板上に画像アレイを搭載させ、
次に前記基板とプレートの長手方向の一端を揃えた状態で、熱硬化型接着剤もしくはロウ材に熱を加え、基板とプレートを熱膨張率の差を利用して相対的に移動させることによって画像アレイを基板上の所定位置に位置決めすると共に熱硬化型接着剤もしくはロウ材で固定することを特徴とする、画像装置の製造方法。
【請求項２】
前記画像アレイの使用温度での目標配列ピッチをＰ、基板と長尺状プレートとの熱膨張率差を△α、長尺状プレートの穴の使用温度での配列ピッチをＰｘ、前記画像アレイが前記熱硬化型接着剤もしくはロウ材で固定される温度と画像装置の使用温度との温度差を△ｔとした際に、
Ｐｘをほぼ  Ｐ・(１＋△α・△ｔ）  としたことを特徴とする、請求項１の画像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は、ＬＥＤヘッドやプラズマヘッド，イメージセンサ等の画像装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
ＬＥＤヘッド等の画像装置では、長尺状の基板の長手方向に沿って多数の画像アレイを搭載する。そして画像アレイ自体も横長の長尺状のものである。このような画像アレイは、ダイマウンタでパターン認識しながら基板に搭載するのが常法である。しかし画像装置ではアレイに対して極めて高い搭載精度が要求されるため、ダイマウンタでも搭載精度が不足する。またダイマウンタではパターン認識のため搭載に時間を要する。このため高価なダイマウンタを用いても、満足な搭載ができないという問題が生じる。なお画像アレイの搭載に関して、基板の短辺方向に対するアレイの位置を溝や突起などで位置決めすることは公知である（例えば実開平３−１０４，７６７号公報，特開昭６４−３１，６５８号公報，特開昭６４−３４，７６０号公報）。しかしこのような方法では、基板の長手方向に沿ったアレイの位置を位置決めできない。
【０００３】
【発明の課題】
この発明の課題は、
１）  パターン認識無しで、基板の長手方向に沿った画像アレイの位置を正確に位置決めし、
２）  単眼レンズを結像に用いる場合のように、画像アレイを隙間を置いて基板上に搭載する場合にも、正確に位置決めできるようにした、画像装置とその製造方法とを提供することにある（請求項１〜２）。
【０００４】
【発明の構成】
この発明は、長尺状の基板の長手方向に沿って、多数の長尺状の画像アレイを熱硬化型接着剤も
しくはロウ材を介して固定する画像装置の製造方法であって、
1)  前記基板上に、長さが前記画像アレイの長尺方向の長さよりもやや大きく、かつ幅が前記画像アレイの幅よりもやや大きい穴で、その長手方向端面の一方に長手方向基準面を、短辺方向端面の一方に短辺方向基準面を設けたものが多数、所定配列ピッチで直線状に配列されており、かつ熱膨張率が前記基板と異なる長尺状プレートを配置し
2)  前記長尺状プレートの各穴内に前記画像アレイ及び熱硬化型接着剤もしくはロウ材を収容し、熱硬化型接着剤もしくはロウ材を挟んで基板上に画像アレイを搭載させ、
3)  前記基板とプレートの長手方向の一端を揃えた状態で、熱硬化型接着剤もしくはロウ材に熱を加え、基板とプレートを熱膨張率の差を利用して相対的に移動させることによって画像アレイを基板上の所定位置に位置決めすると共に熱硬化型接着剤もしくはロウ材で固定することを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記画像アレイの使用温度での目標配列ピッチをＰ、基板と長尺状プレートとの熱膨張率差を△α、長尺状プレートの穴の使用温度での配列ピッチをＰｘ、画像アレイが前記熱硬化型接着剤もしくはロウ材で固定される温度と画像装置の使用温度との温度差を△ｔとした際に、
Ｐｘをほぼ  Ｐ・(１＋△α・△ｔ)  とする。Ｐｘの理論式は
Ｐｘ＝Ｐ・(１＋α1・△ｔ)／(１＋α2・△ｔ)                 (1)
で与えられ、α1は基板の熱膨張率、α2は長尺状プレートの熱膨張率である。そして
Ｐｘ＝Ｐ・(１＋△α・△ｔ)                                  (2)
は式(1)を１次の項まで展開したものである。最も好ましいのはＰｘが式(1)を充すことであるが、近似的に式(2)をほぼ満足すれば良く、許容誤差は例えば±５μｍ以下、より好ましくは±２μｍ以下である。
【０００６】
長尺状プレートは位置決め後に外しても良く、あるいは導電性のプレートの表面に絶縁処理を施して画像装置のシールド等として残しても良い。熱硬化型接着剤にはエポキシ樹脂等の文字通りの熱硬化型接着剤の他に、これに銀等の金属粉を混合したペースト等を用い、ロウ材には例えば半田を用いる。
【０００７】
【発明の作用】
この発明では、基板と長尺状プレートとの熱膨張率の差を用いて、画像アレイを基板に位置決めする。長尺状プレートは例えば金属の薄板のエッチング等で形成し、穴を高精度に設けることができる。次に穴に画像アレイを収容して、基板とプレートの長手方向の一端を揃えた状態で加熱すると、基板とプレートとの熱膨張率差でアレイはプレートに対して相対的に移動する。この移動は主として長手方向の移動であり、例えば基板の熱膨張率がプレートよりも大きい場合、基板上のアレイがプレートの穴の端面に接近してくるように移動する。またプレートの熱膨張率が基板よりも大きい場合、プレートの穴の端面がアレイに向かって接近してくる。いずれの場合も穴の端面と画像アレイの端面とが接近する。両者が接触した時点で、画像アレイの一方の長手方向端面が、プレートの穴の長手方向の一方の端面で位置決めされる。この後、基板等を冷却すると、穴の端面と画像アレイの端面との間には隙間が生じ、画像アレイは半田や熱硬化型接着剤等により基板に固定される。
【０００８】
【実施例】
図１〜図４に、実施例を示す。図１，図２において、２はプラスチックやガラス、金属等の基板で、４はＬＥＤアレイで、画像アレイの例である。ＬＥＤアレイ４は図２に示すように、基板２の一方の主面上に例えば４０個直線状に配置し、各アレイ４が例えば６４個の発光体を有している。画像アレイは一般に長尺状で、例えば長さが５．４ｍｍ、幅が３００〜４００μｍ程度である。実施例ではＬＥＤアレイ４からの光を、アレイ４と１：１に対応させた４０個の単眼レンズで例えば２倍に拡大して感光体ドラム等に結像させるので、アレイ４，４間には隙間がある。
【０００９】
６は基準プレートで、例えば金属の薄板のエッチングで形成し、ここでは厚さ１０〜１００μｍ程度のステンレスの薄板を用いた。８はプレート６に設けた穴で、長さも幅もアレイ４よりはやや大きく、例えば長さが６ｍｍ，幅が４００〜５００μｍ程度でアレイ４よりも幅が１００μｍ程度大きい。１０はプレート６の長手方向基準面、１２は短辺方向基準面である。基準面１０，１２は、穴８の各端面の一方に設ければ良い。１４は位置決め治具で、基板２とプレート６の長手方向，短辺方向の各１辺を突き当てて固定する。実施例では図２に示すように、基板２の長手方向をＸ軸、短辺方向をＹ軸とし、１６は治具１４のＸ方向基準面、１８はＹ方向基準面である。
【００１０】
ＬＥＤアレイ４は共通電極側を基板２に固定しても良く、逆に個別電極側を基板２に固定しても良い。ここでは図示を単純にするため共通電極側を基板２に固定するものとし、図３にアレイ４の裏面の共通電極２０を示し、共通電極２０は例えば金の薄膜電極や金メッキ等による厚膜電極、あるいは半田メッキ等による半田電極とする。図４にアレイ４を固定後の基板２の断面を示す。２２，２２は熱硬化型接着剤でエポキシ樹脂や不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂等やこれに銀粉を混合した銀ペースト等を用いる。熱硬化型接着剤に替えて、半田等のロウ材を用いても良い。２４は金等の導電性バンプで、形状は帯状である。そしてバンプ２４の両側に熱硬化型接着剤２２，２２を帯状に形成する。接着剤２２の長さはアレイ４の長手方向長さよりもやや短くし、例えば長さ４〜５ｍｍ程度とする。これは後にプレート６を基板２に接着剤２２で固定しないためである。２６はＬＥＤアレイ４の発光体である。なお図には示さないが、ＬＥＤアレイ４の駆動用のＩＣも同様に基板２に固定する。また画像装置にはこれ以外に単眼レンズやハウジング等があるが、これらは本発明とは直接関係がなく省略した。
【００１１】
図１，図２に戻り、アレイ４の基板２への搭載を説明する。基板２の一方の主面にエッチング等で精密に穴８を設けた基準プレート６を搭載し、各穴８に接着剤２２，２２を印刷等で塗布し、ＬＥＤアレイ４を各穴８に１個ずつ収容する。もちろんアレイ４を各穴８に２個ずつ収容しても良い。収容したアレイ４を図２での右上に寄せて、上側と右側の端面が基準面１０，１２に接するようにする。しかしアレイ４の位置は後に自動的に矯正されるので、単に穴８にアレイ４を収容するだけでも良い。穴８のサイズはアレイ４のサイズよりもやや大きいので、穴８にアレイ４を搭載することは容易である。これに対して穴８のサイズとアレイ４のサイズを同一にすると、細長いアレイ４を狭い穴８にフィットさせて搭載すること自体が難しく、例えばアレイ４の位置が図２での上下に狂うとアレイ４が横倒れになり、左右に狂うとアレイ４の一端がプレート６上に乗り上げる。また穴８にアレイ４を収容する作業は、例えば人手やダイマウンタ等で行い、パターン認識による搭載位置の決定は不要である。
【００１２】
アレイ４を搭載すると、図２に示すように基板２とプレート６の下側と左側の２つの端面を位置決め治具１４に突き当てた状態で加熱する。この結果熱膨張率の差による基板２とプレート６の相対的な伸縮は、図２の右側と上側とに対してのみ生じることになる。熱膨張に関する条件として、画像装置の使用温度（使用時の基板２の温度で、例えば室温〜８０℃、より好ましくは４０〜６０℃）をｔ1、接着剤２２の硬化温度（基板２等の最高加熱温度）をｔ2、室温をｔ3、基板の熱膨張率をα1、プレート６の熱膨張率をα2とする。またＰをアレイ４の使用温度ｔ1での理論搭載ピッチとし、使用温度での穴８のピッチ、厳密には基準面１０，１０間のピッチをＰｘとする。ここでは基板２の熱膨張率α1がプレート６の熱膨張率α2よりも大きいものと仮定するが、逆の場合穴８の基準面１０，１２を図２での穴８の左側と下側に設け、アレイ４の左端面と下端面が基準面１０，１２に接するように収容して加熱を開始すれば良い。
【００１３】
図１の１）は加熱開始時の状態で、温度は室温ｔ３で、アレイ４は位置精度が低いため基準面１０に接したり、僅かに隙間があったりする。この状態で位置決め治具１４により基板２とプレート６の左端と長手方向の一辺を固定して加熱する。基板２はプレート６よりも熱膨張率が大きいので、基板２はプレート６に対して右側と上側に移動し、基板２上に乗ったアレイ４も右側と上側に移動する。温度を増すとアレイ４は基準面１０に近づき、図１の２）の中間温度を経て、最高温度ｔ２に達するまでに全アレイの左端面が基準面１０に当接し、上端面が基準面１２に当接する（図１の３））。最高温度ｔ２で接着剤２２は硬化し、アレイ４は基板２に固定される。アレイ４は当初の搭載位置にばらつきがあるが、これは基板２がプレート６に対して相対的に右側や上側に移動することで補正され、図１の３）に示すように最高温度ｔ２でアレイ４が位置決めされる。次いで図１の４）のように基板２等を冷却すると、熱膨張率の差△α（α１−α２）のためアレイ４は基準面１０から離れ、室温ｔ１に戻ると（図１の５））、アレイ４と基準面１０の間には隙間△ｘが生じる。
【００１４】
△ｘは冷却に伴う基板２の相対的縮小によるもので、基準面１６からの距離に比例して一定ではない。即ち図１，図２の右側ほど、△ｘは大きくなる。また仮に穴８のサイズをアレイ４のサイズと一致させても、基板２とプレート６の熱膨張率が一致しなければ、正確な位置決めはできない。両者の熱膨張率が異なると冷却過程でプレート６によりアレイ４が基板２から外れてしまう。例えば基板２の熱膨張率の方が大きい場合、冷却時に基板２が左側に相対移動するので穴８の左端面にアレイ４が衝突する。逆にプレート６の熱膨張率が大きい場合、穴８の右端面がアレイ４の右端面に衝突する。
【００１５】
プレート６のピッチＰｘを考察すると、最高温度ｔ2でアレイ４が理論ピッチから温度差の分だけ膨張したピッチで配列されねばならないため、式(3)が成立する。なおピッチＰ，Ｐｘは画像装置の使用温度ｔ1でのピッチで、使用温度でのピッチを問題にした方が、室温と使用温度との温度差によるピッチ変化の影響が無いため優れている。このことは単眼レンズを用いた装置で特に重要で、室温で正しいピッチに位置決めすると使用温度ではピッチが狂い、２つの隣接アレイ４，４からの光が重なったり、隙間が生じたりする。
Ｐｘ＋Ｐｘ・α2・△ｔ＝Ｐ＋Ｐ・α1・△ｔ  ：△ｔ＝ｔ2−ｔ1      (3)
この式を解くと、前記の式(1)が成立し、
Ｐｘ＝Ｐ・(１＋α1・△ｔ)／(１＋α2・△ｔ)                      (1)
となる。そしてこれを１次の項まで展開すると、前記の式(2)となる。
Ｐｘ＝Ｐ・(１＋△α・△ｔ)                ：△α＝α1−α2      (2)
また２次の項まで展開すると、関数ｆ(a)に対して一般に、
ｆ(a＋h)＝ｆ(a)＋ｆ'(a)・h＋１／２ｆ''(a)・h２  ：(hは微小量)    (4)
となり、１／(１＋h)の２階導関数が２／(１＋h)３のため、
Ｐｘ＝Ｐ・(１＋△α・△ｔ)＋Ｐ・△α２・△ｔ２                    (5)
となる。式(1)やこれを近似した式(2)に対するＰｘの許容誤差はプレート６のエッチング精度で定まり、一般的には±５μｍ以下、好ましくは±２μｍ以下とする。なお近似式(2)に比べ、式(1)を用いる方が好ましいのは当然である。またＰｘに系統的誤差があると、図１や図２の右側で累積誤差となり搭載精度が低下するが、エッチングでは一般に偶発誤差のみで系統誤差は生じない。これに対して従来法に従い、パターン認識を行いながらダイマウンタでアレイ４を搭載する際の精度は一般に±１０μｍで、実施例では高精度に搭載でき、しかもダイマウンタを用いなくても良く、かつパターン認識は不要である。このため高価な設備無しで、正確にアレイ４を搭載できる。
【００１６】
上記の説明は基板２の長手方向への位置決めを中心にしたが、短辺方向でも同様で、基板２のプレート６に対する相対的伸縮でアレイ４の長手方向端面を基準面１２に位置決めできる。ただし実用上特に重要なのは長手方向への位置決めである。またプレート６の熱膨張率が基板２よりも大きい場合、基準面１０，１２を図２の下側と左側に寄せ、アレイ４を当初穴８の左下寄せに収容すれば良い。
【００１７】
基板２等を冷却した状態では、接着剤２２が硬化して収縮するためアレイ４は基板２に引き寄せられ、共通電極２０がバンプ２４に押し付けられて、両者の電気的接続が保たれる。そしてプレート６を基板２上に残す場合、プレート６の表面を予め絶縁処理しておき、製造後は例えばシールド用に用いる。またプレート６を取り外して何回も使用しても良い。次に発光体２６側の個別電極はワイヤボンディングしたり、あるいは発光体２６側に別の基板を配置し、フリップチップ接続で多数の個別電極（実施例では４０×６４）を一挙に接続したりしても良い。
【００１８】
実施例では、熱硬化型接着剤２２を用いたが、通常の電気接続用のバンプを最高加熱温度ｔ２での固定に用いても良い。例えばバンプ２４を金バンプではなく、半田バンプとし、共通電極２０のほぼ全面に接触させて、接着剤２２を用いないようにする。最高加熱温度で半田は溶融して、アレイ４は表面張力等で半田バンプに仮止めされ、半田バンプは図示しない下地配線に固定されている。この結果、熱硬化型接着剤２２無しでも実施例は適用可能である。しかし最高加熱温度で文字通り正確に位置決めするために、熱硬化型接着剤２２を用いた方が搭載精度が高い。次に実施例は共通電極２０側ではなく、個別電極側にも適用できる。例えばアレイ４に２列に個別電極が配置され、基板２にはこれに対応した個別電極パッドが２列あるとして、２列の個別電極パッドの外側に熱硬化型接着剤２２を帯状に配置すれば良い。もちろん接着剤２２無しで、個別電極パッドの最高温度ｔ２での仮止め力を位置決めに用いても良い。
【００１９】
【発明の効果】
この発明では以下の効果が得られる。
１）  パターン認識無しで、基板の長手方向に沿った画像アレイの位置を正確に位置決めできる（請求項１、２）。
２）  単眼レンズを結像に用いる場合のように、画像アレイを隙間を置いて基板上に搭載する場合も、正確に位置決めできる（請求項１、２）。
３）  大きな穴に画像アレイをおおまかな精度で収容して、プレートにより自動的に位置決めすることができるので、その場合アレイを穴に配置するのが簡単である（請求項１、２）。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例でのＬＥＤアレイの位置決めと固着を示す工程図
【図２】実施例でのＬＥＤアレイの位置決めを示す平面図
【図３】実施例に用いたＬＥＤアレイの底面図
【図４】固着後のＬＥＤアレイと基板を示す断面図
【符号の説明】
２                        基板                                      １６                        Ｘ方向基準面
４                        ＬＥＤアレイ                      １８                        Ｙ方向基準面
６                    基準プレート                      ２０                        共通電極
８                    穴                                          ２２                        熱硬化型接着剤
１０                    長手方向基準面                  ２４                        導電性バンプ
１２                    短辺方向基準面                  ２６                        発光体
１４                        位置決め治具
【図１】
0003596911.tif 000002
【図２】
0003596911.tif 000003
【図３】
0003596911.tif 000004
【図４】
0003596911.tif 000005