(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ用多孔質ガラス母材を合成する反応容器と、
該反応容器の上部に設けられ、ターゲット棒および該ターゲット棒の下部に堆積された光ファイバ用スート体を回転自在に支持する回転自在保持手段と、
前記光ファイバ用スート体の下部先端を検出する先端位置検出手段と、
燃焼用ガスから形成された火炎内でガラス微粒子を合成させるバーナと、
前記先端位置検出手段の検出結果に応じて、前記バーナの位置を下方に移動させる昇降手段と
を有する光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置。
【請求項２】
前記バーナと前記先端位置検出装置は、前記昇降手段に昇降可能に接続された部材に一体固定されている、請求項１記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置。
【請求項３】
排気口を有し、該排気口の縦方向の長さをバーナの移動長より長くし、幅を所定の流速以上になるように絞り込んで狭くし、
前記排気口の直後に排気口の縦方向の長さよりも長いバッファ室を設けた、請求項１または２記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置。
【請求項４】
前記給気口および前記排気口の上端はバーナの最上部より上にある、請求項１記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置に関する。
特定的には、本発明は、ＶＡＤ法（気相軸付ＣＶＤ法）により火炎中で生成したガラス微粒子をターゲット（種棒）に堆積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材（光ファイバ用スート母材）製造の安定性、光ファイバ用多孔質ガラス母材の生産効率の向上、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置の高さの低減を実現できる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
種々の光ファイバが知られているが、たとえば、単一モード光ファイバは、中心に直径１０μｍのコア、その周囲に直径１２５μｍのクラッド、さらにクラッドの外周に設けられた樹脂被覆で形成された保護用のジャケットで構成されている。製造方法を逆に辿ると、コアとクラッドとからなる光ファイバの主要部は、光ファイバ用ガラス母材（プリフォーム）を加熱・線引きして形成される。したがって、光ファイバ用ガラス母材は、コアとなる部分、クラッドとなる部分から構成されている。光ファイバ用ガラス母材は、光ファイバ用多孔質ガラス母材（煤体）を透明ガラス化して形成される。
【０００３】
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法の代表的なものとしては、ＯＶＤ法（外付ＣＶＤ法）と、ＶＡＤ法（気相軸付ＣＶＤ法）とが知られている。本発明は特にＶＡＤ法によって光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造する方法に関する。
【０００４】
ＶＡＤ法による光ファイバ用多孔質ガラス母材の一般的な製造方法を述べる。
ターゲットとなる種棒（以下、ターゲット棒という）を準備する。このターゲット棒は、反応容器（チャンバ）内に収容され、上部からその一端がつりさげられ、ターゲット棒の長手方向中心軸を回転軸として回転される。
酸素、水素などの燃焼用ガス、ＳｉＣｌ４  からなるガラス微粒子原料（必要に応じてＧｅＣｌ４  などのドーパントを含む）を酸水素バーナに送り、この酸水素バーナから酸水素火炎を発生させる。燃焼用ガスをバーナから噴出させて形成される（発生した）酸水素火炎中においてその酸水素火炎の水分とＳｉＣｌ４  とを下記反応式のように加水分解反応させてガラス微粒子の主成分であるＳｉＯ２  を形成する。
ＳｉＣｌ４  ＋２Ｈ２  Ｏ→ＳｉＯ２  ＋４ＨＣｌ
このガラス微粒子を回転しているターゲットの下部に吹きつけて堆積させて光ファイバ用スート体を形成する。
【０００５】
このようにＶＡＤ法によって形成された光ファイバ用スート体からなる光ファイバ用多孔質ガラス母材は、透明ガラス化されて、光ファイバ用ガラス母材として、光ファイバの製造に用いられる。なお、必要に応じて光ファイバ用スート体を透明ガラス化したものの外周にさらにガラス微粒子を堆積させることもある。この場合には、ガラス微粒子堆積後、再び透明ガラス化して光ファイバ用ガラス母材とする。
【０００６】
光ファイバの広範囲な実用化に向けて、伝送損失が低いなどの高品質の光ファイバを製造すること、ならびに、光ファイバ用多孔質ガラス母材、ひいては光ファイバを安価で効率よく製造することが望まれており、これまで、種々の提案が行われている。
従来、行われてきたようにＶＡＤ法で直径１００ｍｍ前後の小径の光ファイバ用スート体を合成する場合には、バーナの火力は小さくて済むため、コアバーナとクラッドバーナの干渉はほとんどなく、また反応容器内壁へのガラス微粒子の付着も問題ない程度であった。
【０００７】
近年、安価かつ効率よく光ファイバを製造する試みとして、光ファイバ用多孔質ガラス母材の大型化が行われている。特に最近の自動搬送技術の進歩により、人力のみでは搬送困難な１０ｋｇ以上の大型光ファイバ用多孔質ガラス母材の合成も行われるようになってきた。
ところが、直径２００ｍｍ以上の大径の光ファイバ用スート体を合成する場合には、バーナの火力を高め、バーナへの原料の投入量を増加させる必要があるが、光ファイバ用スート体に向かうガラス微粒子の流れを乱さないように条件を設定すると反応容器内壁にガラス微粒子が付着するという不具合が見られた。
そこでこれらの不具合を解決するため、種々の方法が提案されている。そのような大型の光ファイバ用スート体の製造を考慮した公知例を下記に述べる。
【０００８】
特開昭６２−１７１９３９号公報は、ＶＡＤ法で光ファイバ用多孔質ガラス母材（多孔質光ファイバ母材）を製造するとき、火炎のゆらぎをなくして、ターゲット棒（出発材）の上に所定の成分分布を持つ光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造する装置を開示している。
特開昭６２−１７１９３９号公報に開示されている光ファイバ用多孔質ガラス母材、すなわち光ファイバ用スート体を製造する装置をさらに詳しく述べると、この装置は、内部にガスが整流状態で一様に流れる反応容器（チャンバ）と、反応容器に連結されていて反応容器内にガス流を発生させる手段、バーナ、反応容器の側面に設けられたフィルタを通して空気または窒素ガスなどを供給してバーナの火炎を安定させる手段、フィルタの反対側の反応容器に設けられたダクトを有している。ターゲット棒は反応容器の上部からつりさげられ、回転される。ターゲット棒の下部先端にバーナから噴出されるガラス微粒子が付着する。すなわち、バーナは反応容器の下方からその上部に位置するターゲット棒の下部先端に向けてガラス微粒子を噴出するように配置されている。
この装置において、ターゲット棒の下部先端にガラス微粒子が付着・堆積して光ファイバ用スート体が大きくなるにつれて、ターゲット棒は反応容器の上方に向けて引き上げられている。そのため、反応容器の上部にターゲット棒を回転させて引き上げる機構が設けられている。
しかしながら、特開昭６２−１７１９３９号公報に開示された光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置は後述する不利益を有している。
【０００９】
特開平１−２４２４３１号公報は、ＶＡＤ法などによる光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置（ガラス微粒子堆積装置）において、光ファイバ用スート体（堆積部）を覆う反応容器（チャンバ）の排気口に向けて強制的に空気を送る送風機を設けて反応容器内の空気の流れを安定にして、バーナの火炎およびガラス微粒子の流れを安定にすることを特徴とする技術を開示している。
特開平１−２４２４３１号公報に開示された光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置をさらに詳しく述べると、複数のバーナの酸水素炎中にガラス原料ガスを導入し、火炎加水分解反応によってガラス微粒子を生成させ、ターゲット棒に付着・堆積させた光ファイバ用スート体を形成させる。光ファイバ用スート体の周囲は反応容器で覆われている。換言すれば、火炎加水分解反応は反応容器内で行われる。反応容器の水平方向の一方の側に排気口を設け、さらに排気口側に負圧をかけてターゲット棒に付着しなかったガラス微粒子、未反応ガスを排気する。加えて、排気口が設けられている反対側の反応容器の側、すなわち反応容器の他方の側に送風機を設けて、ターゲット棒、さらに排気口に向けて強制的に空気を送って、反応容器内の空気の流れを安定にして、バーナの火炎およびガラス微粒子の流れを安定にすることを意図している。クラッドバーナおよびコアバーナはともに、送風機側に設けられている。換言すれば、バーナ側に送風機が設けられている。
ターゲット棒はバーナおよび排気口と直交する方向、すなわち、垂直につり下げられてターゲット棒の長手中心軸を回転軸として回転され、ターゲット棒の下部にガラス微粒子が付着・堆積して光ファイバ用スート体が大きくなるにつれて、引き上げられている。そのため、反応容器の上部に、ターゲット棒および合成された光ファイバ用スート体を収容する上筒部と、ターゲット棒を回転させて引き上げる機構が設けられている。
しかしながら、特開平１−２４２４３１号公報に開示された光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置も後述する不利益を有している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
特開昭６２−１７１９３９号公報に開示した光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置には下記の不具合が見られた。
１．フィルタを用いてターゲット棒と直交する方向から平行な空気の流れを提供し、バーナからターゲット棒に向かう火炎の揺らぎを抑えて安定化することが意図されているが、この種の装置で実験してみると、ダクトが先細の形状をしていることもあり、ターゲット棒に堆積しなかったガラス微粒子がダクトの上面などに付着し、十分な排気ができない。そこで、十分に排気できるようにフィルタを通して風量を増やしたところ火炎のゆらぎが目立った。
２．反応容器の上部、中央、下部で横向きの空気の流れに流速の差ができ、安定した光ファイバ用スート体の堆積（成長）が困難であった。
３．この装置の反応容器は、ターゲット棒の引き上げ領域も含めた大きな構造になっている。ガラス微粒子の堆積につれて、ターゲット棒は上方に引き上げられていく。光ファイバ用スート体が小さいときにはそのような構造の反応容器でもよいが、大型の光ファイバ用スート体を引き上げるとき、ターゲット棒を上部で把持しているチャックの回動ストロークを長くする必要がありまた、反応容器の上部面に貫通穴を設ける必要がある。
４．反応容器の上部に光ファイバ用スート体が成長するに従い、反応容器上部の気流が滞った結果、反応容器の内面に付着したガラス微粒子が剥離することにより浮遊物が発生し、これが光ファイバ用スート体表面に付着した場合、後に気泡となることがある。その結果、品質に問題が発生することもある。
【００１１】
特開平１−２４２４３１号公報に開示された光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置には下記の不具合が見られた。
１．光ファイバ用スート体の大型化に伴って、引き上げる上筒部、および、引き上げ機構が大型になり、光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を収容する建物が大きくなる。
２．送風機を設けてはいても、光ファイバ用スート体の合成につれて、ターゲット棒にガラス微粒子が堆積した光ファイバ用スート体が引き上げられて反応容器上部の上筒部に挿入されてくると、挿入の度合いによって、反応容器内の空気の流れが変化していくため、期待するほどの安定した流れが実現できない。すなわち、バーナからのガラス微粒子が堆積されるターゲット棒の先端位置が一定になるように引き上げを行ったところ、合成の進行につれて反応容器の上筒部に光ファイバ用スート体が徐々に入っていくと、反応容器内の気流が変わって火炎位置が下がった。その結果、縦方向の成長速度（合成速度）が低下して光ファイバ用スート体の外径が所望量よりも太くなってしまった。
３．これを防止するために上部筒から強制的に下降気流を生じさせる方法も考えられるが、熱により自然発生する上昇気流とぶつかり乱流となり反応容器中の気流を安定させることは難しかった。
【００１２】
本発明の目的は、安定して品質の高い光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造可能な光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を提供することにある。
また本発明の目的は、生産性の高い光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造できる光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を提供することにある。
さらに本発明の目的は、寸法を小さくできる光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置を提供することにある。
【００１３】
本発明によれば、光ファイバ用多孔質ガラス母材を合成する反応容器と、該反応容器の上部に設けられ、ターゲット棒および該ターゲット棒の下部に堆積された光ファイバ用スート体を回転自在に支持する回転自在保持手段と、前記光ファイバ用スート体の下部先端を検出する先端位置検出手段と、燃焼用ガスから形成された火炎内でガラス微粒子を合成させるバーナと、前記先端位置検出手段の検出結果に応じて、前記バーナの位置を下方に移動させる昇降手段とを有する光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置が提供される。
【００１４】
すなわち、ターゲット棒にガラス微粒子を堆積させ光ファイバ用スート体を成長させる際、スート支持部を上昇させずに先端位置検出装置とバーナを同期させて下降させながら光ファイバ用多孔質ガラス母材を成長させる。
【００１５】
好ましくは、前記バーナと前記先端位置検出装置は、前記昇降手段に昇降可能に接続された部材に一体固定されている。
【００１６】
また好ましくは、排気口を有し、該排気口の縦方向の長さをバーナ移動長より長くし、幅を所定の流速以上になるように絞り込んで狭くし、前記排気口の直後に排気口の縦方向の長さよりも長いバッファ室を設ける。
【００１７】
さらに好ましくは、前記給気口および前記排気口の上端はバーナ最上部より上にあるように装置を設計する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１および図２を参照して本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置を用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材製造方法の実施例を述べる。
図１は本発明の実施例としての図２の線Ｈ−Ｈから見た光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の平面図であり、図２は図１における線Ｃ−Ｃから見た断面図である。
【００１９】
図１および図２に図解した光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置は、チャンバ（反応容器）１０、ダクト１２、排気口１４、バッファ室１６、および、ダクト１２と排気口１４の壁面に設けられた水冷ジャケット１８を有する。
また光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置は、チャンバ１０の上面に設けられ、チャンバ１０内に収容されているターゲット棒（種棒）４を回転自在に指示するチャック２６、チャンバ１０の上面１０ａの外部に設けられたモータ２８を有する。
さらに光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置は、チャンバ１０の外部に設けられた昇降装置３０を有する。昇降装置３０には腕３２が接続されている。この腕３２は、昇降装置３０の動作に応じてチャンバ１０の側面を上下に移動する。腕３２の中央には、バーナ支持台３４が接続されており、このバーナ支持台３４にはコアバーナ２０とクラッドバーナ２２とが固定されている。腕３２はチャンバ１０の側面の両側に伸びており、チャンバ１０を挟んで腕の先端の対向する部分にはレーザー３６と受光器３８が装着されている。コアバーナ２０とクラッドバーナ２２はチャンバ１０内に収容されるが、レーザー３６と受光器３８はチャンバ１０の外部に位置する。レーザー３６はたとえば、Ｈｅ−Ｎｅレーザーを用いる。
さらに、チャンバ１０の壁面には、供給気口およびフィルタ４０が設けられている。
【００２０】
チャンバ１０の上面１０ａに固定されているチャック２６は、ターゲット棒４の上に合成されて堆積されるガラス微粒子からなる光ファイバ用スート体２を回転自在に懸垂している。モータ２８はチャック２６に回転自在に懸垂されている光ファイバ用スート体２を回転させる。本実施例の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置においては、光ファイバ用スート体２が上昇せず、回転だけさせられることに特徴がある。そのため、本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置には光ファイバ用スート体２を引き上げる機構がない。
本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置においては、ターゲット棒４の引き上げをしない代わりに、クラッドバーナ２２およびコアバーナ２０が、光ファイバ用スート体２の合成に伴って下降していく。光ファイバ用スート体２は、中心にコア部、その周囲にクラッド部が構成されるから、コアバーナ２０から噴出されるガラス微粒子がクラッドバーナ２２から噴出されるガラス微粒子より先にターゲット棒４の下部に堆積するように、コアバーナ２０がクラッドバーナ２２の下方に設けられている。
コアバーナ２０から噴出されるガラス微粒子は光ファイバ用スート体２の下部先端に向けて噴出される。レーザー３６から出射された光がチャンバ１０を通して受光器３８に受光される状態によって、光ファイバ用スート体２の下部先端を検出できる。すなわち、レーザー３６と受光器３８とは光ファイバ用スート体２の下部先端検出手段として機能している。
図示しない制御装置は、受光器３８からの受光信号を入力し、その受光信号から、光ファイバ用スート体２の合成状態を判別し、合成が進んだと判断した場合、昇降装置３０を駆動してバーナ支持台３４を下降させ、コアバーナ２０およびクラッドバーナ２２の位置も下降させる。もちろん、レーザー３６と受光器３８と、バーナ支持台３４の下降とともに下降する。すなわち、コアバーナ２０およびクラッドバーナ２２と、レーザー３６および受光器３８とは、一体接続されている腕３２とバーナ支持台３４に固定されているから、同期して下降する。
【００２１】
ダクト１２および排気口１４の縦方向の長さをバーナ（コアバーナ２０およびクラッドバーナ２２）の移動長より長くし、幅を所定の流速以上になるように絞り込んで狭くし、排気口１４の直後に排気口１４の縦方向の長さよりも長いバッファ室１６を設けている。これにより、光ファイバ用スート体２は常に一様の流れの中にあり、火炎の乱れなどはない。
【００２２】
また供給気口およびフィルタ４０、および、ダクト１２および排気口１４の上端はクラッドバーナ２２、すなわち反応容器に存在するバーナの最上部より上にあるので、バーナから火炎で流れが乱されない。
【００２３】
コアバーナ２０およびクラッドバーナ２２を用いてターゲット棒４の上に光ファイバ用スート体２を合成していくことは従来と同様である。
すなわち、ターゲット棒４を回転させながらその下端のコアバーナ２０およびクラッドバーナ２２に、たとえば、ＳｉＣ１４  、ＧｅＣｉ４  などのガラス原料ガスと、Ｏ２  、Ｈ２  などの燃焼用ガス、およびＡｒなどのキャリアガスなどを投入し、その結果火炎加水分解反応で生じるＳｉＯ２  、ＧｅＯ２  などをターゲット棒４の下部にに堆積させることによりＶＡＤ法による光ファイバ用スート体の合成が行われる。
コアバーナ２０から噴出されるガラス微粒子とクラッドバーナ２２から噴出されるガラス微粒子との違いは、屈折率を制御するドーパントの含有状態の相違だけである。
【００２４】
この合成の間、供給気口およびフィルタ４０によってチャンバ１０の内部の空気または窒素などの流れが一様になるよう制御される。
ダクト１２は平面方向に先細りになって排気口１４に接続され、さらにバッファ室１６に接続される。すなわち、ダクト１２および排気口１４は平面方向に先細りになっているが、光ファイバ用スート体２の長手方向に一致している。したがって、チャンバ１０の中のガラス微粒子などがダクト１２および排気口１４を経由してバッファ室１６に導かれても、光ファイバ用スート体２の上下方向には流れの差は生じない。その結果、光ファイバ用スート体２の下部先端に噴射されるコアバーナ２０からの火炎の乱れが生じない。その結果、本実施例によれば、均一で高い品質の光ファイバ用多孔質ガラス母材が合成できる。
【００２５】
チャンバ１０の高さは、合成しようとする光ファイバ用スート体２の長さに応じて決定される。しかしながら、従来のように、チャンバ１０の上部の上筒などにスート体２を引き上げる必要はないから、チャンバ１０の高さを低くできる。
チャンバ１０の上部に光ファイバ用スート体２を引き上げる機構を有しないから、重量の重い光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造に利点がある。
【００２６】
実験例
図示の装置を用いて実際にスート体２を製造した結果を示す。
光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置として、１０ｍ３  ／分の排気量を保つ系を形成した。
その装置のチャック２６で、ターゲット棒４を把持させ、合成準備を行った。
モータ２８でターゲット棒４を回転させながら、チャンバ１０内部のターゲット棒４の下端方のコアバーナ２０およびクラッドバーナ２２に原料ガス（ＳｉＣ１４  、ＧｅＣ１４  ）、燃焼用ガス（Ｏ２  、Ｈ２  ）、キャリアガス（Ａｒ）をそれぞれ所定量投入し、火炎加水分解反応でＳｉＯ２  、ＧｅＯ２  を生じさせてターゲット棒４の下部に堆積させた。
光ファイバ用スート体２の合成状態をレーザー３６と受光器３８で検出して、昇降装置３０を制御してコアバーナ２０およびクラッドバーナ２２の位置を下降させていった。
その結果、高い品質の光ファイバ用スート体２を合成できた。
【００２７】
その後、コアバーナ２０へのガラス微粒子原料や燃焼用ガスなどの投入量を従来の２倍に増やしたが、ダクト１２および排気口１４の内面などへのガラス微粒子の付着も殆どなく、光ファイバ用スート体２を合成できた。
【００２８】
さらに、２００ｍｍφ以上の大径の光ファイバ用スート体２の合成のためにバーナ火力、ガラス微粒子原料や燃焼用ガスなどの投入量を増やしたが、チャンバ１０の内壁、ダクト１２、排気口１４などにガラス微粒子を付着させることなく光ファイバ用スート体２を合成できた。換言すれば、ガラス微粒子が反応容器１０の内壁、ダクト１２、排気口１４などに付着しない空気の流れを形成することができた。
【００２９】
また、供給気口およびフィルタ４０の排気口の縦方向の長さを、昇降装置３０によるバーナ移動長より長くし、幅を所定の流速、たとえば、流速１０ｍ／分以上になるように絞り込み狭くし、排気口１４の後段に排気口１４の縦方向の長さよりも長いバッファ室１６を設けたことにより、チャンバ１０のガス流れの一様化、および、ガラス微粒子の範囲の円滑化を達成した。
すなわち、本発明の実施例としての、光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置によれば、光ファイバ用スート体２が成長していっても、チャンバ１０の上部の気流が滞った結果、反応容器１０の内面に付着したガラス微粒子が剥離することにより浮遊物が発生することもなく、よって浮遊物が光ファイバ用スート体表面に付着して後に気泡が生じる問題も発生しなかった。
【００３０】
本実施例の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置においては、コアバーナ２０およびクラッドバーナ２２をチャンバ１０の壁面を介して下降させるので、チャンバ１０の壁面の密閉度を充分に行い、チャンバ内の密閉度を保つ必要があるが、チャンバ１０の上面に従来のように、光ファイバ用スート体２を引き上げる貫通穴を必要としない。
【００３１】
本発明は上述した実施例に限定される種々の変形態様をとることができる。
たとえば、光ファイバ用スート体２の下端を検出する方法としては、レーザー３６と受光器３８との光学的手段によらず、ＣＣＤカメラなどで光ファイバ用スート体２の下端を撮像し、撮像結果を画像処理して光ファイバ用スート体２の合成の度合いを判断することができる。このように、光ファイバ用スート体２の合成状況の検出は、非接触的の他の種々の検出手段を用いることができる。
【００３２】
チャンバ１０の内部は高温になるので、レーザー３６および受光器３８、あるいは、ＣＣＤカメラなどをチャンバ１０の内部に挿入しない例を示したが、耐熱性のある検出手段ならチャンバ１０の内部に挿入することもできる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置によれば、安定して品質の高い光ファイバ用多孔質ガラス母材が製造できた。
また本発明によれば、生産性高く光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造できた。
本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置は寸法が小さくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施例としての図２の線Ｈ−Ｈから見た光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置の平面図である。
【図２】図２は図１における線Ｃ−Ｃから見た断面図である。
【符号の説明】
２・・光ファイバ用スート体
４・・ターゲット棒
１０・・チャンバ
１２・・ダクト
１４・・排気口
１６・・バッファ室
１８・・水冷ジャケット
２０・・コアバーナ      ２２・・クラッドバーナ
２６・・チャック        ２８・・モータ
３０・・昇降装置        ３２・・腕
３４・・バーナ支持台    ３６・・レーザー
３８・・受光器
４０・・供給気口およびフィルタ
【図１】
0003557070.tif 000002
【図２】
0003557070.tif 000003