【誤訳訂正書】
【提出日】平成29年5月30日(2017.5.30)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
図示した例では、第１の内部表面２５０は、粒子の最初の衝突を受ける位置に配置される。第１の内部表面２５０は、粒子捕捉装置１４０の主軸Ｊ−Ｊに対して鋭角（惹いては、集束粒子ビームの軌道に対して鋭角）を成す向きに配置され、（分光反射を想定した場合）、最初の衝突によって、粒子の運動量は減少されるが、粒子の前進速度ベクトル成分の方向は保存されるように構成される。すなわち、この向きは、（分光反射を想定した場合）、粒子を開口部１６０に向けてバウンドさせるのではなく、粒子を収集エンクロージャ１７０の中へ向けてさらにバウンドさせる。好ましくは、主軸Ｊ−Ｊ（及び、粒子ビーム軌道）と第１の内部表面２５０との間の角度は、３０度未満である。角度を浅くするほど、効率は高くなるが、粒子捕捉装置１４０は大きくなる場合がある。一実施形態において、主軸Ｊ−Ｊ（及び、粒子ビーム軌道）と第１の表面２５０との間の角度は、１６度である。第１の表面２５０は、実質的に円錐形である場合があり、その頂点角度は１６度である場合がある。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器においてミクロンサイズ及び／又はサブミクロンサイズの粒子を捕捉するための粒子捕捉装置であって、
開口部を通してミクロン粒子及び／又はサブミクロン粒子を含む集束粒子ビームが前記粒子捕捉装置に入る前記開口部と、
前記開口部に結合された収集エンクロージャであって、前記収集エンクロージャの中に前記集束粒子ビームが受領され、前記収集エンクロージャは、１以上の内部表面を有し、前記粒子が気化され、又は後の気化に備えて静止するまで、前記粒子は、前記１以上の内部表面に対して複数回にわたって衝突し、前記１以上の内部表面は、粒子の最初の衝突を受けるために前記集束粒子ビームの最初の軌道上に配置された第１の内部表面を含み、前記第１の内部表面は、前記最初の軌道に対して角度を成す向きに配置され、前記角度は、前記最初の衝突によって、前記粒子の運動量は減少されるが、前記粒子の前進速度ベクトル成分の方向は保存されることをもたらすのに十分である、収集エンクロージャと、
前記収集エンクロージャを加熱、及び／又は冷却するように構成された温度制御素子と
を含む、粒子捕捉装置。
【請求項２】
前記開口部の境界間の面積によって、入口面積が規定され、前記粒子が衝突する前記１以上の内部表面の表面積によって、内部衝突面積が規定され、前記入口面積に対する前記内部衝突面積の比が、２０：１よりも大きい、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項３】
前記粒子捕捉装置は、粒子捕捉気化器として動作し、
前記温度制御素子は、動作中に前記収集エンクロージャを連続的に加熱するように構成され、
前記粒子が気化されるまで、前記粒子は、複数回にわたって衝突する、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項４】
前記粒子捕捉装置は、粒子捕捉収集器として動作し、
前記温度制御素子は、制御された加熱周期で前記収集エンクロージャを加熱するように構成され、
前記粒子が静止するまで、前記粒子は、複数回にわたって衝突する、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項５】
前記開口部は、入口及び出口開口部の両方であり、同じ開口部を通して、前記集束粒子ビームが前記収集エンクロージャに入り、かつ、気化された粒子が前記収集エンクロージャから出るように構成される、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項６】
前記１以上の内部表面はそれぞれ、実質的に平滑な表面である、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項７】
前記１以上の内部表面は、複数回の衝突を促す幾何学的構成を成して配置された複数の内部表面である、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項８】
前記幾何学的構成は、前記複数の内部表面上の全ての点に対して、粒子を実質的に均等に分配する、請求項７に記載の粒子捕捉装置。
【請求項９】
前記角度は、前記最初の軌道に対して鋭角であり、前記鋭角は、３０度未満である、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１０】
前記幾何学的構成は、
前記最初の軌道に対して第１の鋭角を成す向きに配置された前記第１の内部表面と、
前記第１の内部表面に対して第２の鋭角を成す向きに配置された第２の内部表面と、
前記第２の表面に対して第３の鋭角を成す向きに配置された第３の内部表面と
を含む、請求項７に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２の鋭角は、１６度であり、前記第３の鋭角は１４度である、請求項１０に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１２】
前記１以上の内部表面はそれぞれ、粗面である、請求項１に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１３】
前記１以上の内部表面は、ワイヤー・エンタングルメント、細孔、又はグリッドのうちの１以上を含む、請求項１２に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１４】
機器においてミクロンサイズ及び／又はサブミクロンサイズの粒子を捕捉するための粒子捕捉装置であって、
開口部を通してミクロン粒子及び／又はサブミクロン粒子を含む集束粒子ビームが前記粒子捕捉装置に入る前記開口部と、
前記開口部に結合された収集エンクロージャであって、前記収集エンクロージャの中に前記集束粒子ビームが受領され、前記収集エンクロージャは、前記粒子が気化され、又は後の気化に備えて静止するまで、前記粒子を複数回にわたって衝突させる幾何学的構成を成して配置された複数の内部表面を有し、前記幾何学的構成は、粒子の最初の衝突を受けるために前記集束粒子ビームの最初の軌道上に配置された第１の内部表面を含み、前記第１の内部表面は、前記最初の軌道に対して第１の鋭角を成す向きに配置され、前記第１の鋭角は、３０度未満である、収集エンクロージャと、
前記収集エンクロージャを加熱、及び／又は冷却するように構成された温度制御素子と
を含む、粒子捕捉装置。
【請求項１５】
前記粒子捕捉装置は、粒子捕捉気化器として動作し、前記温度制御素子は、動作中に前記収集エンクロージャを連続的に加熱するように構成される、請求項１４に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１６】
前記粒子捕捉装置は、粒子捕捉気化器として動作し、前記温度制御素子は、制御された加熱周期で前記収集エンクロージャを加熱するように構成される、請求項１４に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１７】
前記開口部は、入口及び出口開口部の両方であり、同じ開口部を通して、前記集束粒子ビームが前記収集エンクロージャに入り、かつ、気化された粒子が前記収集エンクロージャから出るように構成される、請求項１４に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１８】
前記幾何学的構成は、
前記第１の内部表面に対して第２の鋭角を成す向きに配置された第２の内部表面と、
前記第２の表面に対して第３の鋭角を成す向きに配置された第３の内部表面と
をさらに含む、請求項１４に記載の粒子捕捉装置。
【請求項１９】
機器においてミクロンサイズ及び／又はサブミクロンサイズの粒子を捕捉するための方法であって、
開口部を通してミクロン粒子及び／又はサブミクロン粒子を含む集束粒子ビームを粒子捕捉装置の収集エンクロージャに入れ、
前記粒子を前記収集エンクロージャの内部表面に対して複数回にわたって衝突させ、粒子の最初の衝突が、前記収集エンクロージャの第１の内部表面に対するものであり、前記最初の衝突によって、前記粒子の運動量は減少されるが、前記粒子の前進速度ベクトル成分の方向は保存され、
前記収集エンクロージャを加熱し、前記粒子を気化させること
を含む方法。
【請求項２０】
前記集束粒子ビームが前記収集エンクロージャに入ったときと同じ開口部を通して、気化された粒子を前記収集エンクロージャから除去すること
をさらに含む、請求項１９に記載の方法。