(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ライナー位置決め貼り付け装置の光源から照射される光の光線透過率が１．０％以上であり、ペリクル膜上の異物を検査する際の検査光（ハロゲンランプ）照射による光線透過率が８５％以下であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナー。
【請求項２】
染料を含有する樹脂製であることを特徴とする請求項１記載のペリクル粘着層保護用ライナー。
【請求項３】
表面にコーティング層を有する樹脂製であることを特徴とする請求項１記載のペリクル粘着層保護用ライナー。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のペリクル粘着層保護用ライナーを具備することを特徴とするペリクル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においてリソグラフィーを行う際に、パターンが描かれた露光原版等のゴミよけとして使用されるリソグラフィー用のペリクルの粘着層保護用に用いられるライナーおよびこのライナーを具備するペリクルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においては、シリコンウエーハなどの半導体ウエーハまたは液晶用原版上に露光原版（本明細書中ではフォトマスク、レチクル等を総称した意味で用いる）を配置し、この露光原版に光を照射してこれを透過した光によりパターンを転写すること、すなわちリソグラフィーが行われている。
【０００３】
しかしながら、このような工程において露光原版に異物（ゴミ）が付着していると、この異物が光を吸収したり光を曲げてしまうため、半導体ウエーハや液晶用原版上に転写されるパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、その結果、半導体用デバイスや液晶表示用デバイスの性能や製造歩留りの低下をもたらすといった問題が生じる。
【０００４】
このような問題を回避するため、通常、リソグラフィーは、クリーンルーム内で行われる。しかしながら、クリーンルーム内でも露光原版を完全に清浄に保つことは困難である。そこで、露光原版の表面に異物等が付着しないように、露光用の光を良く透過させるペリクルを装着する方法が採られている。
【０００５】
このようなペリクルについて、図３を用いて簡単に説明する。
このペリクル１は、ペリクル枠２と、このペリクル枠２の上端面に接着されたペリクル膜３とから概略構成されてなるものである。このペリクル膜３は通常ペリクル枠２の上端面に接着剤層４を介して接着される。また、ペリクル枠２の下端面には、ペリクル１を露光原版に密着させるための粘着層５が設けられ、その表面には粘着層５を保護するためのライナー６が貼り付けられている。
【０００６】
上記ペリクル１は、上述したように半導体リソグラフィーの工程で使用されるものであることから、ペリクル枠２、ペリクル膜３、粘着層５等に高い清浄性が要求される。特にペリクル膜３上の異物は直接露光にかかわる部分であることから、０．５μｍ程度の異物が付着していても問題となる。
したがって、このような異物がペリクル膜３上に存在しないことを製造工程において検査・確認する必要があり、厳密な検査が必要とされている。
【０００７】
このようなペリクル膜の検査方法としては、ペリクル枠を、ハンドリング用治具に取り付け、その治具を手で持ち、検査用の暗室に入り、集光ランプでスポットライトをペリクル膜の表面に当て、ペリクル膜に付着している異物等を目視で検査する方法等がある。
しかし、この方法では、ペリクル膜の表面やペリクル枠で反射した集光ランプのスポットライトが作業者の目に当たるため、眩しくて目に負担がかかり、目自体の健康にも悪く、長時間の検査が続けられず、作業能率が低下するとともに、異物の見落としなどが発生し、検出精度が低下する恐れがある。
【０００８】
一方、目視によらない透明体の検査方法としては、レーザー光を照射し透明体表面あるいは内部に存在する異物等からの散乱光をホトマルチプライヤーにより検出する方法、または顕微鏡を備えた電荷結合素子カメラ（以下、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）  カメラとする場合がある。）により拡大された異物そのものを検出する方法などが行われていた。
【０００９】
しかしながら、第１の方法では、測定の再現性は極めて高いが、例えばペリクルフレーム近傍（数ｍｍ巾）部分については、フレームによるレーザー光の干渉、レーザー光の強度分布（一般にガウス分布）による分布の裾野部分のフレームによる散乱、レーザー光の回折効果等により測定が不可能であるという問題点がある。
また、第２の方法、すなわち顕微鏡を備えたＣＣＤカメラによる方法では、小さな粒子径の異物を検出するためには、顕微鏡の倍率を上げる必要があり、したがって検査に膨大な時間を要するため実用性に乏しいという問題点がある。
【００１０】
このような問題点のない方法として、高輝度ハロゲンランプ等の光源を用い、この光源からの光をペリクル膜に照射して、その透過光を高感度の電荷結合素子カメラ（以下、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）  カメラとする場合がある。）を用いて検査する方法がある。
しかしながら、この検査方法では、ペリクル枠近傍のペリクル膜を検査しようとした場合、以下のような問題点がある。
【００１１】
すなわち、図３に示すように、ペリクル枠２の下端面には露光原版に接着するための粘着層５およびこの粘着層５を保護するためのライナー６が設けられている。このライナー６の内側の端部は、例えばペリクル収納容器内にペリクルを収納する際の位置決め等のため、ペリクル枠２の内側から突出している。したがって、このライナー６の突出部分に検査用の光が照射された場合に散乱光が発生し、この散乱光のため、ペリクル枠近傍のペリクル膜の検査が困難となるというものである。これは、透過光を目視で検査しようとする場合においても同様の問題となるものである。
このような問題を解決するために、検査用の光を透過しないライナーを用いることが検討され、実際に光を透過しないライナーも使用されてきた。
【００１２】
一方、近年この粘着層保護用のライナーに関しては、粘着層へ貼り付ける際に高い貼り付け位置精度が要求されるようになってきた。これは、ペリクルを露光原版に貼り付ける際、近年オートマウンターが用いられるようになってきたことがその理由の一つとなっている。
すなわち、このオートマウンターはペリクルを収納しているペリクル収納容器内からペリクルを把持し、所定の位置まで搬送した後、露光原版に貼り付けるのであるが、ペリクルはペリクル収納容器内で上記ライナーの内側に突出した端部により位置決めされている場合がある。したがって、この場合ライナーの粘着層上の貼り付け位置がずれていると、ペリクル収納容器内でのペリクルの位置がずれてしまい、オートマウンターがペリクルを把持することができないという問題が生じる場合がある。したがって、ライナーは、高い貼り付け位置精度で粘着層へ貼り付ける必要がある。
【００１３】
このようなライナーの粘着層への高い貼り付け位置精度を得るために、例えば図１および図２に示すような画像処理を利用したＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置が用いられている。
このライナー位置決め貼り付け装置は、複数の光源１１と、この光源１１から照射される光を検知するＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２により検知された画像によりペリクル１を移動させるステージ１３とから概略構成されてなるものである。
【００１４】
上記ライナー位置決め貼り付け装置においては、まずＣＣＤカメラ１２がペリクル枠２からはみ出しているライナー６の幅を、例えばペリクル枠２の異なる６カ所の位置で計測し、それぞれの位置において均等なはみ出し幅（突出幅）となるようにステージ１３によりペリクル１を移動する。そして、ライナー６を、粘着層５上の位置決めされた位置に貼り付ける。
ここで、図１に示すように、ライナー６のはみ出し幅を均等とするためには、ペリクル枠２の外周部とライナー６の端部の位置をＣＣＤカメラ１２により検知する必要があるが、ペリクル枠２の外周部の位置を検知する場合は、光源１１から照射され、ライナー６を透過した光をＣＣＤカメラ１２により検知する必要がある。
【００１５】
このような場合に上述したような光を全く透過させないライナーを用いた場合は、上記装置による位置決めが全くできず、したがってライナーを高い貼り付け位置精度で粘着層に貼り付けることができない。
さらに、このような光を全く透過させないライナーでは、粘着層上に異物が付着したとしても、ライナーが不透明のためにライナー貼り付け後は粘着層上の異物や傷等の検査ができず、異物などが付着したまま製品として出荷されてしまうおそれがあった。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたもので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができ、かつペリクルの粘着層に高い貼り付け位置精度でライナーを貼り付けることができ、さらにライナーを貼り付けた後の粘着層上の異物等の検査も可能なペリクル粘着層保護用ライナーおよびこのライナーを具備するペリクルを提供することを主目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、請求項１において、ライナー位置決め貼り付け装置の光源から照射される光の光線透過率が１．０％以上であり、ペリクル膜上の異物を検査する際の検査光（ハロゲンランプ）照射による光線透過率が８５％以下であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナーにより上記目的を達成するようにしたものである。
このように、ペリクル粘着層保護用ライナーのライナー位置決め貼り付け装置の光源から照射される光の光線透過率が１．０％以上であり、ペリクル膜上の異物を検査する際の検査光（ハロゲンランプ）照射による光線透過率が８５％以下とすることにより、光線透過率が１．０％以上であるので、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合に、ライナーを透過する光をＣＣＤカメラが検知することが可能であり、ライナーを高い貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることができる。
また、光線透過率が８５％以下であるので、ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光をライナーが強く散乱することがないので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができる。
【００１８】
この場合、上記ライナーが染料を含有する樹脂製であること（請求項２）、もしくは、表面にコーティング層を有する樹脂製であること（請求項３）が好ましい。
ここで、樹脂製が好ましいのは、樹脂製であれば取り扱いが容易であり、かつ粘着層から剥離可能に貼着する際に必要な可撓性を有するためである。また、樹脂に染料を含有させるか、もしくは樹脂表面のコーティング層の厚み等を調整することにより、光線透過率を容易に１．０％〜８５％に制御することが可能であるからである。
【００１９】
さらに、請求項４に記載した発明は、上述したペリクル粘着層保護用ライナーを具備するペリクルである。
本発明のペリクルは、上述したペリクル粘着層保護用ライナーを具備するペリクルであるので、ライナーが高い取り付け位置精度で粘着層に貼り付けられており、さらにペリクル膜上の異物等の検査も容易に行うことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明のペリクル粘着層保護用ライナーは、光線透過率が１．０％〜８５％であるところに特徴を有するものである。
ここで、光線透過率を１．０％以上としたのは、光線透過率が１．０％未満では、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合に、ライナーを透過する光がＣＣＤカメラで検知することができず、このためペリクル枠からはみ出すライナーの幅を測定することができないことから、ライナーを高い貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることができないからである。
【００２１】
また、光線透過率が８５％以下としたのは、光線透過率が８５％を越えると、ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光がライナーにより強く散乱することになり、ペリクル膜上の異物等の検査することができなくなってしまうからである。
本発明におけるより好ましいライナーの光線透過率は、上述したライナーの貼り付け位置精度およびペリクル膜上の異物等の検査の関係から、５％〜６０％の範囲内である。
【００２２】
本発明のペリクル粘着層保護用ライナーに用いられる材料としては、上記光線透過率が得られる材料であれば特に限定されるものではないが、樹脂製であることが好ましい。これは、樹脂であれば取り扱いが容易であり、かつ粘着層に剥離可能に貼着する際に必要な可撓性を有するためである。
本発明において、好ましい樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂（ＰＦＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン（ＰＰ）等を挙げることができる。
【００２３】
本発明のライナーは、上述したように光線透過率が１．０％〜８５％の範囲内である必要があるが、このような光線透過率を有するライナ−の材料としては、その材料自体が当初からこのような光線透過率を有するものであればそのまま用いることも可能であるし、透明な材料に加工・処理を施すことにより上記光線透過率の範囲に調整したものを用いてもよい。
このような透明な材料に加工・処理を施したものとしては、例えば透明な材料に染料を含有させたものを挙げることができ、好ましくは透明な樹脂に染料を含有させたものである。このように、透明な樹脂に染料を添加することにより、樹脂の光線透過率を上記光線透過率の範囲内に容易に調整することができる。
【００２４】
ここで、樹脂に含有させる染料とは、樹脂を染色するための染料のみならず透明な樹脂の光線透過率を低下させる例えば顔料等の添加剤であればいかなるものをも含むものである。このような染料としては、例えばカーボンブラック、アゾ染料、キノリン染料等を挙げることができる。
樹脂に染料を含有させる方法としては、例えば樹脂に練り込む方法等が挙げられる。
【００２５】
また透明な材料に加工・処理を施した材料の他の例としては、表面にコーティング層を有する材料を挙げることができ、好ましくは表面にコーティング層を有する樹脂等を挙げることができる。このように、透明な樹脂表面にコーティング層を形成することにより、樹脂の光線透過率を容易に上記光線透過率の範囲内に調整することができる。
このようなライナー材料表面をコーティングする方法としては、光線透過率を低下させるものであれば特に限定されるものではなく、例えば塗布、スパッタリング、蒸着等を挙げることができる。
この表面コーティング層の材料としては、例えばＳｉ、Ａｌ、ＳｉＣ、ＳｉＮ等を挙げることができ、これらを単独又は複合して用いてもよい。
【００２６】
次に、このようなライナーを具備するペリクルについて説明する。
本発明のペリクルは、例えば図３に示すように、ペリクル枠２と、このペリクル枠２の上端面に接着されたペリクル膜３とから概略構成されてなるものである。このペリクル膜３は通常ペリクル枠２の上端面に接着剤層４を介して接着される。また、ペリクル枠２の下端面には、ペリクル１を露光原版に密着させるための粘着層５が設けられ、その表面には粘着層５を保護するためのライナー６が貼り付けられている。
本発明のペリクル１は、このライナー６の光線透過率を、上述したように１．０％〜８５％の範囲内としたところに特徴を有するものである。
【００２７】
本発明のペリクルに用いられるペリクル枠の形状は、特に限定されるものではなく、円形のものでも方形のものでもよい。
またその材質も特に限定されるものではなく、例えばアルミ材に陽極酸化処理を行ったもの、ステンレスなどの金属、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、アクリル樹脂、ポリエチレンなどの樹脂、青板ガラス等の材料を挙げることができる。
ペリクル枠表面については、通常サンドブラストや化学研磨によって粗化されるが、本発明においては、このペリクル枠表面の粗化の方法について特に限定されるものではない。例えば、アルミ材を使用した場合には、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等によって化学研磨を行い表面を粗化する方法等が知られている。
【００２８】
このようなペリクル枠の上端面にはペリクル膜が張設される。このペリクル膜を形成する材料としては、光をよく通過させる材料であれば特に限定されるものではないが、例えばニトロセルロース、酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、変性ポリビニルアルコール、フッ素系ポリマーなどが好ましく、特に好ましくはフッ素系ポリマー、中でもテトラフルオロエチレンとフッ化ビニリデンとの共重合体、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとフッ化ビニリデンとの三元共重合体、テトラフルオロエチレンと環状パーフルオロエーテル基を有する含フッ素モノマーとの共重合体等の非晶質フッ素系ポリマーが好ましい。
【００２９】
このような非晶質フッ素系ポリマーは、高い光線透過率を有しており、短波長から長波長領域まで広く使用することができ、耐光性も優れているからである。市販されている非晶質フッ素系ポリマーとしては、サイトップ（旭硝子（株）製、商品名）、テフロンＡＦ（デュポン（株）製、商品名）等を挙げることができる。
これらのポリマーは、ペリクル膜製造時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系の溶媒などで適宜溶解した後、膜が形成される。
【００３０】
本発明のペリクルには、上記ペリクル膜をペリクル枠に接着するために、通常ペリクル枠の上端面に接着剤層が設けられる。
この接着剤層に用いられる接着剤の種類については、特に制限はなく、加熱して接着を行う場合は、熱可塑性の樹脂や熱硬化性の樹脂が接着剤として用いられ、光硬化を利用して接着を行う場合は、光硬化型樹脂が接着剤として用いられる。
このような接着剤の例としては、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマー等を挙げることができ、中でもフッ素系ポリマーが好ましい。具体的には、フッ素系ポリマーＣＴ６９（旭硝子（株）製、商品名）等を挙げることができる。
【００３１】
上記ペリクル枠の下端面にはペリクルを露光原版に接着するための粘着層が設けられる。
このような粘着層を形成する材料としては、本発明は特に限定されるものではないが、両面粘着テープ、シリコーン樹脂粘着剤、アクリル系粘着剤等を挙げることができ、特に好ましくはシリコーン樹脂粘着剤である。
この粘着層の表面には。粘着層を保護するためのライナーが貼着されている。本発明のペリクルは、このライナーの光線透過率が１．０％〜８５％である点に大きな特徴を有するものである。このライナーについては、すでに詳述したので、ここでは説明を省略する。
なお、本発明のペリクルにおいては、ペリクル枠内周面に異物捕捉用の粘着剤をコーティングしてもよい。
上述した本発明のペリクルは、従来のペリクルが通常製造される製造方法と同様の製造方法により製造することができる。
【００３２】
【実施例】
以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説明する。
（実施例１）
初めに、ペリクル枠として、枠外寸１００ｍｍ×１００ｍｍ×６ｍｍ、ペリクル枠厚さ２ｍｍのアルミニウム合金製フレームを用意した。このペリクル枠を表面洗浄した後、ガラスビーズを使用し、吐出圧１．５ｋｇのサンドブラスト装置にて１０分間表面処理し、表面を粗化した。次いで、ＮａＯＨ処理浴中にて１０秒間処理し洗浄した後、陽極酸化、黒色染色、封孔処理して表面に黒色の酸化皮膜を形成した。
【００３３】
このアルミニウム合金製のペリクル枠を純水と超音波洗浄装置を併用して、洗浄した。次いで、このペリクル枠の内周面にスプレーコーティング装置を用いて、シリコーン系粘着剤を１μｍコーティングした。
次いで、テフロンＡＦ１６００（米国デュポン社製、商品名）をフッ素系溶剤・フロリナートＦＣ−７５（米国スリーエム社製、商品名）に溶解させて濃度８重量％の溶液を調製した。
【００３４】
次に、この溶液により、直径２００ｍｍ、厚さ６００μｍの鏡面研磨したシリコン基板面に、スピンコーターを用いて膜の厚みが０．８μｍの透明膜であるペリクル膜を形成した。
そして、このペリクル膜と、ペリクル製造用治具の外寸２００ｍｍ×２００ｍｍ×５ｍｍ幅、厚さ５ｍｍの枠とを、エポキシ系接着剤アラルダイトラピッド（昭和高分子（株）製、商品名）を用いて接着させた後、水中でシリコン基板面から剥離した。
【００３５】
上記アルミニウム合金製のペリクル枠の一端面にシリコーン系粘着剤を塗布し、１００℃で１０分間加熱し乾燥硬化させ、粘着層を形成した。また、このアルミニウム合金製ペリクル枠フレームの別な一端面上にフッ素系溶媒ＣＴソルブ１８０（旭硝子（株）製、商品名）に希釈したフッ素系高分子ポリマーＣＴＸ（旭硝子（株）製、商品名）を塗布し、１００℃で１０分間加熱し乾燥・硬化させ接着剤層を形成した。
【００３６】
また、別にカーボンブラックを練り込み、光線透過率を６０％としたＰＥＴ製ライナーを用意し、ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置によってペリクル枠の上記粘着層上への貼り合わせを行ったところ、正確に位置決めして貼り合わせることができた。
そして、上記テフロンＡＦ１６００のペリクル膜表面に、上記ペリクル枠の接着剤層を密着させた後、ＩＲランプにてペリクル枠を加熱してペリクル枠とペリクル膜とを融着させた。ペリクル枠とペリクル製造用治具の枠との二つの枠はペリクル枠の接着面を上向きにして固定用治具に取り付けて相対的に位置がずれないように固定した。次いで、ペリクル枠の外側のペリクル製造用治具の枠を引き上げて固定し、ペリクル枠外側のペリクル膜に０．５ｇ／ｃｍの張力を加えた。
【００３７】
次いで、スカラーロボットに取り付けたカッターに、チューブ式ディスペンサを用いてフロリナートＦＣ７５（デュポン社製、商品名）を毎分１０マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクル枠の接着剤層の外周部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクル枠外側の不要なペリクル膜を切断・除去した。
完成したペリクルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着させた。これにハロゲンランプを照射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果を表１にまとめる。
【００３８】
【表１】
0003601996.tif 000002
【００３９】
表１から明らかなように、本実施例では上述したようにＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置によって、ペリクル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせを正確に行うことができ、かつ上記異物（ポリスチレン製標準粒子）を１００％検出することができた。
【００４０】
（比較例１）
光線透過率９０％の未処理ＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルを調製した。
得られたペリクルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着させた。これにハロゲンランプを照射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果を表１にまとめる。
表１から明らかなように、ライナー位置決め貼り付け装置によるペリクル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせは正確に行うことができたが、上記異物（ポリスチレン製標準粒子）の検出率は５０％であり、ペリクル枠近傍の異物の検査には問題があった。
【００４１】
（実施例２）
光線透過率５％のＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルを調製した。
得られたペリクルのペリクル膜面に、粒子径０．３μｍのポリスチレン製標準粒子を付着させた。これをハロゲンランプを照射しながらペリクル枠内側の５ｍｍの範囲内の領域について検査した。結果を表１にまとめる。
表１から明らかなように、本実施例ではライナー位置決め貼り付け装置によってペリクル枠の上記粘着層上への位置決め・貼り合わせを正確に行うことができ、かつ上記異物（ポリスチレン製標準粒子）は１００％検出することができた。
【００４２】
（比較例２）
光線透過率０．３％のＰＥＴ製ライナーを用いた以外は、実施例１と同様にしてペリクルの製造を試みたが、ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置による粘着層上へライナーの貼り合わせにおいて、位置検出ができず正確な位置決め・貼り合わせを行うことができなかった。
【００４３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００４４】
【発明の効果】
本発明は、光線透過率が、１．０％〜８５％であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナーである。
このように、ペリクル粘着層保護用ライナーの光線透過率を１．０％〜８５％とすることにより、光線透過率が１．０％以上であるので、上述した画像処理を利用したライナー位置決め貼り付け装置を用いた場合でも、ライナーを透過する光をＣＣＤカメラが検知することが可能であり、ライナーを高い貼り付け位置精度でペリクルの粘着層に貼り付けることができる。
また、光線透過率が８５％以下であるので、ペリクル膜上の異物等を検査する際、検査光をライナーが強く散乱することがないので、ペリクル膜上の異物等の検査を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＣＣＤカメラによる画像処理位置決め機構を有するライナー位置決め貼り付け装置により、ペリクル枠の粘着層上へライナーを貼り合わせている状態を示す説明図である。
【図２】図１に示すライナー位置決め貼り付け装置の全体を示す説明図である。
【図３】一般的なペリクルを示す断面図である。
【符号の説明】
１  …  ペリクル、  ２  …  ペリクル枠、  ３  …  ペリクル膜、
４  …  接着剤層、  ５  …  粘着層、  ６  …  ライナー、
１１  …  光源、  １２  …  ＣＣＤカメラ、  １３  …  ステージ。
【図１】
0003601996.tif 000003
【図２】
0003601996.tif 000004
【図３】
0003601996.tif 000005