(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボモータと、サーボモータの位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器からの出力に基づいてサーボモータの位置、速度、トルクを制御するサーボアンプとを備えるモータ制御システムにおいて、
前記位置検出器は、
前記サーボモータのコギングトルクを補正するコギングトルク補正データを格納する第１の補正データ格納メモリと、
前記コギングトルク補正データをサーボアンプに送信する送信手段と、
を備え、
前記サーボアンプは、
前記位置検出器からのコギングトルク補正データを受信する受信手段と、
前記通信手段によって受信したコギングトルク補正データを格納する第２の補正データ格納メモリと、
前記第２の補正データ格納メモリに記憶されたコギングトルク補正データに基づいてコギングトルクを補正する補正手段と、
を備えることを特徴とするサーボモータ制御システム。
【請求項２】
前記サーボアンプは、
前記サーボモータのコギングトルク補正データを生成する補正データ生成手段と、
前記補正データ生成手段により生成されたコギングトルク補正データを前記位置検出器に送信する送信手段と
を更に有し、
前記位置検出器は、前記サーボアンプからのコギングトルク補正データを受信する受信手段を更に備え、この受信手段で受信したコギングトルク補正データを前記第１の補正データ格納メモリに格納することを特徴とする請求項１に記載のモータ制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、位置検出器を具備したサーボモータと、サーボモータの位置、速度、トルクを制御するサーボアンプからなるモータ制御システムに関し、特に、コギングトルク補正手段を有するモータ制御システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
モータ制御システムとしては、特開平５−３８１７５号公報、特開平８−８８９９１号公報、特開平６−３４３２８４号公報に示されているようなものがあり、その構成の概要を図６に示している。モータ制御システムは、位置検出器１００を具備したＡＣサーボモータ１１０と、サーボアンプ１２０とにより構成されている。ＡＣサーボモータ１１０としては、３相永久磁石同期モータ等が用いられる。
【０００３】
サーボアンプ１２０は、中央演算処理器であるＳ／ＣＰＵ１２１と、不揮発性メモリ１２２と、図示されていない上位コントローラからの指令を受けるコントローラインタフェース１２３と、位置検出器１００からの位置フィードバック信号を受信するための検出器インタフェース１２４と、ＡＣサーボモータ１１０に流れる電流を検出する電流検出回路１２５と、ＡＣサーボモータ１１０に印加する電圧の周波数と振幅を制御するＰＷＭ回路１２６と、ダイオードスタック１２７と平滑コンデンサ１２８とによる交流／直流の整流回路と、ＰＷＭ回路１２６の信号に応じてオン／オフし、ＡＣサーボモータ１１０に流れる電流を制御するトランジスタモジュール１２９とにより構成されている。
【０００４】
位置検出器１００は、ＡＣサーボモータ１１０と接続され、ＡＣサーボモータ１１０の回転位置を検出する位置検出回路１０１と、位置検出回路１０１のデータをサーボアンプ１２０に送信するサーボアンプインタフェース１０２とを有している。
【０００５】
上述のようなモータ制御システムには、特開平３−１７８５９０号公報や特開平１０−２３４１９６号公報に示されているように、コギングトルク補正機能を具備したものがある。コギングトルク補正機能を具備したモータ制御システムの従来例を図７（ａ）を参照して説明する。サーボアンプ１５０は、モータ制御部１６０と、コギングトルク補正器１７０とを有している。
【０００６】
モータ制御部１６０は、位置ループと速度ループと電流ループとを順に有するものであり、外部より入力する位置指令とＡＣサーボモータ１１０に結合されている位置検出器１００からの位置フィードバック情報とから位置を制御する位置制御部１６１と、位置制御部１６１からの速度指令と位置フイードバック情報を微分器１６２より微分して得られる速度フィードバック情報とから速度を制御する速度制御部１６３と、速度制御部１６３からの電流指令と電流検出回路１２５により検出された電流とから電流をフィードバック制御する電流制御部１６５と、電流制御部１６５からの指令を基に、ＡＣサーボモータ１１０に通電する電流を発生する増幅部１６６とを有している。
【０００７】
コギングトルク補正器１７０は、補正部１７１と、補正データ格納メモリ１７２と、補正データ生成部１７３とを有し、位置検出器１００からの位置フィードバック情報を用いて現在のモータの一回転内位置に応じたコギングトルク補正値を生成し、それを電流指令値に加算することにより、コギングトルクによる回転むら、トルクむらを補正するものである。
【０００８】
上述のようなモータ制御システムにおいて、コギングトルクを補正するに当たり、サーボアンプ１５０は２通りの段階を持つ。一つは、補正データ生成部１７３にて補正データを生成し、補正データを補正データ格納メモリ１７２に格納する段階であり、もう一つは補正データ格納メモリ１７２の補正データを用いて実際にコギングトルクを補正する段階である。補正データを格納して行く段階の機能構成を図７（ｂ）に、補正データを用いてコギングトルクを補正する段階の機能構成を図７（ｃ）にそれぞれ示している。
【０００９】
補正データを格納する段階では、ＡＣサーボモータ１１０を無負荷にて駆動し、コギングトルクを回転速度の同期的な変動として検出し、その周期的な変動を低減するようにコギングトルク補正データを生成し、電流の指令に加算する。この作業を連続的に実施することにより、回転速度の周期的な変動が最小となるコギングトルク補正データを求め、補正データ格納メモリ１７２に保存して行く。補正データ蓄積時には、モータ制御部１６０ではスイッチ１６７（図７（ｂ）参照）により一定速度指令に設定し、一定速度で回転する速度指令を発生している。
【００１０】
図８は、コギングトルク補正器１７０の具体的構成を示している。補正部１７１は、モータ１回転内位置検出部１８０と、補正データ読出部１８１と、安定補償器１８２を含んでおり、補正データ生成部１７３は、コギングトルク検出部１８３と、補正データ生成／書込部１８４を含んでいる。
【００１１】
モータ１回転内位置検出部１８０は位置フィードバックを基に、モータ１回転をＮ分割したどの位置にいるかを検出し、コギングトルク検出部１８３は位置フィードバック信号を微分して得られる回転速度から、回転速度の周期的な変動を検出する。補正データ生成／書込部１８４はこの回転速度変動幅とモータの慣性モーメントから補正量を算出し、モータ１回転内位置検出部１８０が検出した位置に対応したアドレスの補正データ格納メモリ１７２にコギングトルクの補正値を書込む。
【００１２】
補正データ読出部１８１はモータ１回転内位置検出部１８０が検出したモータ位置に対応したアドレスのデータを補正データ格納メモリ１７２より読み出し、これを安定補償器１８２を介して電流指令に加算する。これにより、速度変動幅が減少するが、コギングトルクの補正値が不足であれば、さらに補正量を増加させ、速度変動の極性が反転した場合には補正量を減少させる。上述の動作をモータが複数回転する期間実施し、コギングトルク検出部１８３にて検出する回転速度の変動幅が最小値に収束するまで継続する。
【００１３】
図９は、コギングトルク補正器１７０の別の一例を示している。このコギングトルク補正器１７０は、コギングトルクがモータの回転の整数倍の周期にて発生し、しかも複数周期のコギングトルクの重畳である性質を利用したものであり、コギングトルクを複数の倍数の周波数に分類し、各周波数のコギングトルクの振幅および位相を補正データとして補正データ格納メモリ１７２に格納するものであり、補正データ読出部１８１に代えて実補正データ演算部１８５を有している。
【００１４】
この場合も、コギングトルク検出部１８３は位置フィードバック情報を基に、モータ１回転内位置検出部１８０が一回転のどの位置にいるかを検出し、位置フィードバック信号を微分して得られる回転速度からコギングトルク検出部１８３が回転速度の変動幅を検出する。補正データ生成／書込部１８７は、回転速度変動幅とモータの特性モーメントからコギングトルクの各周波数成分の振幅と位相を抽出し、周波数成分に対応したアドレスの補正データ格納メモリ１７２に書き込む。
【００１５】
実補正データ演算部１８５は、モータ１回転内位置検出部１８０が検出したモータ位置と補正データ格納メモリ１７２のデータを読み出し、そのモータ位置での各周波数成分のコギングトルクを算出し、全ての周波数成分のコギングトルクを加算してそのモータ位置でのコギングトルク補正値を演算する。求めたコギングトルク補正値を安定補償器１８２を介して電流指令に加算する。
【００１６】
これにより速度変動幅が減少するが、コギングトルクの補正値が不足であれば、さらに補正量を増加させ、速度変動の極性が反転した場合には補正量を減少させる。この動作をモータが複数回転する期間実施し、コギングトルク検出部１８３にて検出する回転速度の変動幅が最小値に収束するまで継続する。
【００１７】
図８、図９に示されているようにコギングトルク補正器１７０は、従来より知られているが、コギングトルク補正器１７０が保有している補正データ格納メモリ１７２にコギングトルク補正データを格納するのは、外乱負荷がなく、モータ単体にて駆動する状況でのものである。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
モータのコギングトルクは、同一の製造方法にて製作された同種のモータでも、磁石の磁気特性のばらつき、組立精度のばらつきにより、図１０（ａ）、図１０（ｂ）に示されているようにばらつき、そのばらつきは組立完成後は変化しないという特徴がある。
【００１９】
また、コギングトルク補正の補正データを生成するには、無負荷運転が必要であり、図１１（ａ）、（ｂ）に示されているように、コギングトルク補正データは対応するモータにしか適応できず、図１１（ｃ）に例示されているように、モータ１用の補正データを格納したサーボアンプ１５０にてＡＣサーボモータ（モータ２）１１０を駆動すると、コギングトルク補正を実施しない場合よりも特性が劣化するという特徴がある。
【００２０】
以上のような特徴から従来のものでは、以下に示すような問題点があった。
（１）従来の方式では、実際にＡＣサーボモータを機械に取り付ける前に無負荷運転する必要がある。
（２）補正を実施後も補正データを格納したＡＣサーボアンプとＡＣサーボモータの組み合わせを間違えると、特性が劣化する。
（３）ＡＣサーボアンプとＡＣサーボモータの組合せが、正常であるか否かのを判断できない。
（４）機械にＡＣサーボモータを組込後、ＡＣサーボアンプを交換する必要が出たとき、補正ができない。
【００２１】
この発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたもので、（１）〜（４）の問題点を解消したモータ制御システムを得ることを目的としている。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明によるモータ制御システムは、サーボモータと、サーボモータの位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器からの出力に基づいてサーボモータの位置、速度、トルクを制御するサーボアンプとを備えるモータ制御システムにおいて、前記位置検出器は、前記サーボモータのコギングトルクを補正するコギングトルク補正データを格納する第１の補正データ格納メモリと、前記コギングトルク補正データをサーボアンプに送信する送信手段とを備え、前記サーボアンプは、前記位置検出器からのコギングトルク補正データを受信する受信手段と、前記通信手段によって受信したコギングトルク補正データを格納する第２の補正データ格納メモリと、前記第２の補正データ格納メモリに記憶されたコギングトルク補正データに基づいてコギングトルクを補正する補正手段とを備えるものである。
【００２３】
つぎの発明によるモータ制御システムは、上記の発明において、前記サーボアンプは、前記サーボモータのコギングトルク補正データを生成する補正データ生成手段と、前記補正データ生成手段により生成されたコギングトルク補正データを前記位置検出器に送信する送信手段とを更に有し、前記位置検出器は、前記サーボアンプからのコギングトルク補正データを受信する受信手段を更に備え、この受信手段で受信したコギングトルク補正データを前記第１の補正データ格納メモリに格納するものである。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下に添付の図を参照して、この発明にかかるモータ制御システム、位置検出器およびサーボアンプの実施の形態を詳細に説明する。なお、以下に説明するこの発明の実施の形態において、上述の従来例と同一構成の部分は、上述の従来例に付した符号と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２８】
図１は、この発明によるモータ制御システムのハードウェア構成を示している。このモータ制御システムは、サーボアンプ１０と、ＡＣサーボモータ１１０と、ＡＣサーボモータ１１０と機械的に接続された位置検出器５０とにより構成されている。
【００２９】
サーボアンプ１０は、中央演算処理器であるＳ／ＣＰＵ１１と、揮発性メモリ１２と、図示されていない上位コントローラからの指令を受けるコントローラインタフェース１３と、位置検出器５０とシリアル通信にてデータの送受信を実現するシリアル通信インタフェース１４と、位置検出器５０からの位置フィードバック信号を受信するための検出器インタフェース１５と、ＡＣサーボモータ１１０に流れる電流を検出する電流検出回路１６と、ＡＣサーボモータ１１０に印加する電圧の周波数と振幅を制御するＰＷＭ回路１７と、ダイオードスタック１８と平滑コンデンサ１９とによる交流／直流の整流回路と、ＰＷＭ回路１７の信号に応じてオン／オフし、ＡＣサーボモータ１１０に流れる電流を制御するトランジスタモジュール２０とにより構成されている。
【００３０】
位置検出器５０は、ＡＣサーボモータ１１０の回転位置を検出する位置検出回路５１と、中央演算処理器であるＤ／ＣＰＵ５２と、不揮発性メモリ５３と、サーボアンプ１０とシリアルデータの送受信を実現するシリアル通信インタフェース５４と、位置検出回路５１のデータをサーボアンプ１０に送信するサーボアンプインタフェース５５とを有している。
【００３１】
図２は、図１に示されている上述のモータ制御システムを、コギングトルク補正の実施段階で、サーボ制御系より見たブロック図である。サーボアンプ１０は、モータ制御部３０、コギングトルク補正器４０、データ送受信部２１からなる。
【００３２】
モータ制御部３０は、従来のものと同一であり、外部より入力する位置指令とＡＣサーボモータ１１０に結合されている位置検出器５０の位置検出部６０からの位置フィードバック情報とから位置を制御する位置制御部１６１と、位置制御部１６１からの速度指令と位置フイードバック情報を微分器１６２より微分して得られる速度フィードバック情報とから速度を制御する速度制御部１６３と、速度制御部１６３からの電流指令と電流検出回路１６により検出された電流とから電流をフィードバック制御する電流制御部１６５と、電流制御部１６５からの指令を基に、ＡＣサーボモータ１１０に通電する電流を発生する増幅部１６６とを有している。
【００３３】
コギングトルク補正器４０は、コギングトルク補正値を格納する補正データ格納メモリ４１と、補正部４２とから構成される。位置検出器５０は、位置検出部６０以外に、コギングトルク補正値を格納する補正データ格納メモリ６１と、補正データ送受信部６２を含んでいる。
【００３４】
このモータ制御システムでは、各サーボモータ固有のコギングトルク補正値を、サーボモータ１１０と常に１対１の関係にある位置検出器５０の補正データ格納メモリ６１に、工場出荷時などに予め格納しておき、電源立ち上げ時に、位置検出器５０よりコギングトルク補正データを補正データ送受信部６２によりサーボアンプ１０へ送信する。これにより、サーボアンプ１０は、データ送受信部２１に位置検出器５０から補正データを受信し、位置検出器５０より送られてきた補正データを補正データ格納メモリ４１に格納し、この補正データを用いてコギングトルクを補正する。
【００３５】
つぎに、上述のモータ制御システムのコギングトルク補正実施段階の動作を図３に示されているフローチャートを参照して説明する。サーボアンプ１０、位置検出器５０の電源が投入されると、サーボアンプ１０は、データ送受信部２１を介して位置検出器５０に補正データ要求信号を送信し（ステップＳ１０）、受信待機状態になる。
【００３６】
位置検出器５０は、補正データ送受信部６２にて補正データ要求信号を受信し（ステップＳ２０）、予め補正データ格納メモリ６１に格納されてているコギングトルクの補正データを補正データ送受信部６２を介してサーボアンプ１０へ送信する（ステップＳ２１）。
【００３７】
サーボアンプ１０は、位置検出器５０より補正データをデータ送受信部２１で受信し（ステップＳ１１）、その補正データを補正データ格納メモリ４１に格納する（ステップＳ１２）。その後は、補正データ格納メモリ４１の格納された補正データを補正部４２が読み出し、位置フィードバック情報を基に、補正量を求め、電流指令に加算し、コギングトルク補正を実行する（ステップＳ１３）。
【００３８】
上述したように、コギングトルクを補正するための補正データを、ＡＣサーボモータ１１０に標準的に装備される位置検出器５０に登載した補正データ格納メモリ６１に保持するため、ＡＣサーボモータ１１０を構成する磁石の磁気的特性のばらつきやモータの組立精度により変動するコギングトルクをモータ毎に保持し、随時、サーボアンプ１０に転送し、サーボアンプ１０はその補正データを用いて最適にコギングトルクを補正できる。
【００３９】
また、ＡＣサーボモータ１１０とサーボアンプ１０の組み合わせを変更しても、最適にコギングトルクを補正でき、また、ＡＣサーボモータ１１０を組込後、対応するサーボアンプ１０を交換する場合には、従来は、コギングトルク補正ができず、特性が劣化することを避けられないが、ＡＣサーボモータ１１０を機械に組込んだ後に、サーボアンプ１０を交換しても、交換前の性能が保持できる。
【００４０】
図４は、コギングトルクの補正データを生成、蓄積し、補正データを位置検出器５０へ送信する機能を有するサーボアンプの構成例を示している。このサーボアンプ１０’は、図２に示されているサーボアンプ１０と同等構成のサーボアンプに、コギングトルクの補正データ生成部４３を付加されている。なお、図４において、図２に示されているものと同等あるいは同一の構成要件には、図２に付けた符号と同一の符号を付けてその説明を省略する。
【００４１】
コギングトルクの補正データの生成・蓄積時には、モータ制御部３０のスイッチ１６７を一定速度指令に切り換え、ＡＣサーボモータ１１０を無負荷状態で回転させ、補正データ生成部４３にて、位置フイードバック信号を微分して得られた回転速度から、回転速度の変動幅を検出し、回転速度の変動幅とモータの慣性モーメントからコギングトルクを抽出し、速度変動を減少させる補正データを生成し、これを補正データ格納メモリ４１に格納する。
【００４２】
補正部４２は、補正データ格納メモリ４１のデータと位置検出部６０からの位置フイードバックデータを基に、モータ一回転内位置を検出し、その位置での補正値を求め、電流指令に加算する。これにより速度変動幅が減少するが、コギングトルクの補正値が不足であれば、さらに補正量を増加させ、速度変動の極性が反転した場合には補正量を減少させる。この動作をモータが複数回転する期間実施し回転速度の変動幅が最小値に収束するまで継続する。
【００４３】
補正データ生成部４３は、速度変動が最小になった状態で、補正データの補正データ格納メモリ４１への書き込みを終了する。これにより、補正データの生成が完了し、補正データ格納メモリ４１に蓄積された補正データのデータ送受信部２１を介して位置検出器５０へ送信する。位置検出器５０は補正データ送受信部６２にてサーボアンプ１０’よりコギングトルクの補正データを受信し、これを補正データ格納メモリ６１に格納する。
【００４４】
つぎに、補正データ生成完了後の動作を図５に示されているフローチャートを参照して説明する。サーボアンプ１０’は、補正データの生成を完了すると（ステップＳ３０）、補正データ送信要求信号をデータ送受信部２１を介して位置検出器５０に対して補正データ送信要求を送信する（ステップＳ３１）。位置検出器５０は、補正データ送信要求を受信すると（ステップＳ４０）、補正データを受信する待機状態に移行する。
【００４５】
つぎに、サーボアンプ１０’は補正データをデータ送受信部２１を介して位置検出器５０に対して送信する（ステップＳ３２）。位置検出器５０はサーボアンプ１０’より補正データを受信し（ステップＳ４１）、受信した補正データを補正データ格納メモリ６１に格納する（ステップＳ４２）。位置検出器５０は、全ての補正データの受信、格納を完了すると、補正データ格納完了信号をサーボアンプ１０’に送信する（ステップＳ４３）。サーボアンプ１０’は位置検出器５０より補正データ格納完了信号を受信して処理を完了する（ステップＳ３３）。
【００４６】
上述のようなサーボアンプ１０’を使用してＡＣサーボモータ１１０の出荷時に補正データを生成し、位置検出器５０の補正データ格納メモリ６１に補正データを格納することができるから、ＡＣサーボモータ１１０を実際に機械に取り付ける時に、無負荷運転を実施して補正データを生成する段階を省略することができる。
【００４７】
また、補正データを生成する機能を有するサーボアンプ１０’を出荷試験専用の装置として用いれば、ＡＣサーボモータ１１０の工場出荷時に、この装置を用いて各ＡＣサーボモータ１１０に対して補正データを生成し、各ＡＣサーボモータ１１０の位置検出器５０の補正データ格納メモリ６１に補正データを格納することができるため、ＡＣサーボモータ１１０を実際に駆動するサーボアンプ１０には補正データを生成する機能が不要となり、ＡＣサーボアンプ１０側のメモリや処理能力を節約できる。
【００４８】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、この発明によるモータ制御システムによれば、コギングトルクを補正するための補正データを、サーボモータに標準的に装備される位置検出器に登載した補正データ格納メモリに保持するため、モータを構成する磁石の磁気的特性のばらつきやモータの組立精度により変動するコギングトルクの補正データをモータ毎に保持し、随時、サーボアンプへ転送することで、サーボアンプはその補正データを用いて最適にコギングトルクを補正でき、また、サーボモータとサーボアンプの組み合わせを変更しても最適にコギングトルクを補正でき、しかもサーボモータを機械に組込後にサーボアンプを交換しても、交換前の性能が保持できる。
【００４９】
つぎの発明によるモータ制御システムによれば、サーボモータの出荷時に補正データを生成し、位置検出器のメモリに格納することができるため、サーボモータを機械に取り付ける時に、無負荷運転を実施して補正データを生成する段階を省略することができる。また、この補正データを生成する機能を有するサーボアンプを出荷試験専用の装置として用いれば、サーボモータの工場出荷時に、この装置を用いて各サーボモータに対して補正データを生成し、その位置検出器の補正データ格納メモリに格納することができるから、サーボモータを実機上で実際に駆動するサーボアンプには補正データを生成する機能が不要となり、サーボアンプ側のメモリや処理能力を節約できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるモータ制御システムのハードウェア構成を示す構成図である。
【図２】この発明によるモータ制御システムをコギングトルク補正の実施段階でサーボ制御系より示したブロック図である。
【図３】この発明によるモータ制御システムのコギングトルク補正実施段階の動作を示すフローチャートである。
【図４】この発明によるモータ制御システムをコギングトルクの補正データの生成段階でサーボ制御系より示したブロック図である。
【図５】この発明によるモータ制御システムにおける補正データ生成完了後の動作を示すフローチャートである。
【図６】従来におけるモータ制御システムのハードウェア構成を示す構成図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）はコギングトルク補正を実施する従来におけるサーボシステムの構成を示すブロック図である。
【図８】コギングトルク補正器の詳細構成を示すブロック図である。
【図９】コギングトルク補正器の他の例の詳細構成を示すブロック図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）はコギングトルクの波形を示すグラフである。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は従来のサーボシステム示すブロック図である。
【符号の説明】
１０  サーボアンプ、１１  Ｓ／ＣＰＵ、１２  不揮発性メモリ、１３  コントローラインタフェース、１４  シリアル通信インタフェース、１５  検出器インタフェース、１６  電流検出回路、１７  ＰＷＭ回路、１８  ダイオードスタック、１９  平滑コンデンサ、２０  トランジスタモジュール、２１  データ送受信部、３０  モータ制御部、４０  コギングトルク補正器、４１  補正データ格納メモリ、４２  補正部、４３  補正データ生成部、５０  位置検出器、５１位置検出回路、５２  Ｄ／ＣＰＵ、５３  不揮発性メモリ、５４  シリアル通信インタフェース、５５  サーボアンプインタフェース、６０  位置検出部、６１  補正データ格納メモリ、６２  補正データ送受信部、１１０  ＡＣサーボモータ。
【図１】
0003547657.tif 000002
【図２】
0003547657.tif 000003
【図３】
0003547657.tif 000004
【図４】
0003547657.tif 000005
【図５】
0003547657.tif 000006
【図６】
0003547657.tif 000007
【図７】
0003547657.tif 000008
【図８】
0003547657.tif 000009
【図９】
0003547657.tif 000010
【図１０】
0003547657.tif 000011
【図１１】
0003547657.tif 000012