(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コントロール弁（ＣＶ）とオリフィス（２）とこれらの間の上流側圧力Ｐ1 を検出する圧力検出器（１４）と流量設定回路（３２）からなり、上流側圧力Ｐ1 を下流側圧力Ｐ2 の約２倍以上に保持して下流側の流量ＱCをＱC ＝ＫＰ1 （Ｋ：定数）で演算し、この演算流量ＱC と設定流量ＱS との差信号ＱY によりコントロール弁（ＣＶ）を開閉制御する圧力式流量制御装置において、流量設定回路（３２）から検定振幅ＶO を有する検定用信号ΔＱS を出力し、これに応答して上流側圧力Ｐ1 の変動圧力ΔＰ1 の圧力振幅Ｖを測定し、この圧力振幅Ｖが限界振幅Ｖt より小さくなったときにオリフィスの目詰まりを報知する流量異常検知方法。
【請求項２】
定常設定流量ＱS0に重ねて前記検定用信号ΔＱS をコントロール弁（ＣＶ）に出力する請求項１に記載の流量異常検知方法。
【請求項３】
前記検定用信号ΔＱS が正弦波信号である請求項１又は請求項２に記載の流量異常検知方法。
【請求項４】
前記検定用信号ΔＱS がパルス信号である請求項１又は請求項２に記載の流量異常検知方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体や化学品、薬品、精密機械部品等の製造に用いるガス等の各種流体の圧力式流量制御装置に関し、更に詳細には、オリフィス孔が目詰まりを生起した際にその目詰まりを検出する流量異常検知方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造施設や化学薬品製造施設の流体供給装置であって高精度な流量制御を必要とするものは、その殆んどがマスフローコントローラを用いてきた。
【０００３】
しかし、マスフローコントローラには、▲１▼熱式流量センサの場合応答速度が比較的遅いこと、▲２▼低流量域における制御精度が悪いうえ製品毎に精度のバラツキがあること、▲３▼作動上トラブルが多くて安定性に欠けること、▲４▼製品価格が高い上、交換用部品も高価であってランニングコストが高くつくこと、等の様々な不都合が存在した。
【０００４】
そこで、本発明者等はこれらの欠点を改善すべく鋭意研究した結果、特開平８−３３８５４６号公報に示すオリフィスを用いた圧力式流量制御装置を開発するに到った。
【０００５】
この圧力式流量制御装置の特徴は次の点にある。
オリフィス前後の気体の圧力比Ｐ２  ／Ｐ１  （Ｐ１  ：上流側圧力、Ｐ２  ：下流側圧力）が気体の臨界圧力比（空気や窒素等の場合は約０．５）以下になると、オリフィスを通る気体の流速が音速となって、オリフィス下流側の圧力変動が上流側に伝達しなくなり、オリフィス上流側の状態に相応した安定な質量流量を得ることができる。
【０００６】
即ち、オリフィス径が一定の場合、上流側圧力Ｐ１  を下流側圧力Ｐ２  の約２倍以上に設定すると、オリフィスを流通する下流側流量ＱＣ  は上流側圧力Ｐ１  にのみ依存し、ＱＣ  ＝ＫＰ１  （Ｋ：定数）という直線関係が高精度に成立している。即ち、オリフィス径が同一なら、この定数Ｋも一定となる。
【０００７】
この圧力式流量制御装置は上流側圧力Ｐ１  を検出するだけで下流側流量を高精度に制御できる点で優れているが、オリフィスを使用するためにその微細孔が目詰りするという弱点を有している。オリフィスはミクロンオーダーのオリフィス孔であり、このオリフィス孔がゴミ等で目詰りし、流量制御が不可能になることがある。
【０００８】
流量制御される配管の内部は高度に清浄化されていなければならないが、配管時のキリコ、ゴミ等が残留する可能性がある。オリフィスが目詰まりを生起した場合には、流量制御ができないためにプラント全体が不安定になり、大量の不良品を発生することになる。またガス流体の種類によっては化学反応が暴走して爆発事故が起こる危険性もあった。これを防止するために、配管内にガスケットフィルタを内蔵することも検討されたが、配管のコンダクタンスに影響を与える欠点を有する。
【０００９】
そこで本発明者等は、オリフィスが一定度以上に目詰まりを起こしたときに目詰まりを報知する方法として、特願平１０−２３６６５３号からなるオリフィス目詰検出方法を提案している。
【００１０】
上記出願発明は、図８に示すように、設定流量ＱＳ  を高設定流量ＱＳＨ（通常１００％）に保持する第１工程と、この高設定流量ＱＳＨを低設定流量ＱｓＬ（通常０％）に切換えて上流側圧力Ｐ１  を測定して圧力減衰データＰ（ｔ）  を得る第２工程と、同条件でオリフィスに目詰まりがないときに測定された基準圧力減衰データＹ（ｔ）  と前記圧力減衰データＰ（ｔ）  とを対比する第３工程と、圧力減衰データＰ（ｔ）  が基準圧力減衰データＹ（ｔ）  より所定度以上開離したときに目詰まりを報知する第４工程から構成されている。つまり、Ｐ（ｔ）  が一定幅を有するＹ（ｔ）  に入らないときに目詰まりを報知するシステムである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上記方法はオリフィスの目詰検知を自動化できる点では優れているが、次のような弱点をも有している。
第１に、流量制御モードを遮断してから流量異常検知モード（目詰検知モード）に入るから、この異常検知の間は流量制御ができなくなる。
また、低設定流量ＱｓＬとして、例えば０％流量を用いているから、排気時間を必要とし、判定に要する時間が長くなる。従って、流量異常検知は流量制御が一応終了した最終段で行なわれ、実際の流量制御において目詰まりによる異常があったかどうかは確認できない。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記欠点を改善するためになされたものであり、本発明に係る流量制御装置における流量異常検知方法は、コントロール弁とオリフィスとこれらの間の上流側圧力Ｐ1 を検出する圧力検出器と流量設定回路からなり、上流側圧力Ｐ1 を下流側圧力Ｐ2 の約２倍以上に保持して下流側の流量ＱCをＱC＝ＫＰ1 （Ｋ：定数）で演算し、この演算流量ＱC と設定流量ＱS との差信号ＱYによりコントロール弁を開閉制御する圧力式流量制御装置において、流量設定回路から検定振幅ＶO を有する検定用信号ΔＱS を出力し、これに応答して上流側圧力Ｐ1 の変動圧力ΔＰ1 の圧力振幅Ｖを測定し、この圧力振幅Ｖが限界振幅Ｖt より小さくなったときにオリフィスの目詰まりを報知する点に特徴を有する。
【００１４】
定常設定流量ＱＳ０に重ねて前記検定用信号ΔＱＳ  を出力する流量異常検知方法を提案する。
【００１５】
検定用信号ΔＱＳ  が正弦波信号である流量異常検知方法を提案する。
検定用信号ΔＱＳ  がパルス信号である流量異常検知方法を提案する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明は圧力式流量制御装置における流量異常検知方法に関するものであり、圧力式流量制御装置が作動する前提条件は特開平８−３３８５４６号公報と同一である。即ち、上流側圧力Ｐ１  を下流側圧力Ｐ２  の約２倍以上に設定した場合には、オリフィスの下流側流量ＱＣ  は上流側圧力Ｐ１  にのみ依存し、ＱＣ  ＝ＫＰ１  という線型条件が高精度に成立している。ガス種およびオリフィスが同一の場合には比例定数Ｋは一定となり、ガス種一定の下でオリフィス孔の異なるオリフィスに変換する場合にのみ定数Ｋを変更すればよい。
【００１７】
従って、特定の流体を一定の流量ＱＳ  に制御するには、上流側圧力Ｐ１  をＰ１  ＝ＱＳ  ／Ｋの値になるようにコントロール弁ＣＶを開閉制御すればよいことになる。即ち、上流側圧力Ｐ１  を常時測定しながら、それに一対一対応の関係でコントロール弁ＣＶを開閉すればよいのである。
【００１８】
図１は本発明が適用される圧力式流量制御装置の構成図である。
図１において、オリフィス２の上流側流路４は駆動部８により開閉されるコントロール弁ＣＶに連結され、下流側流路６はガス取出用継手１２を介して流体反応装置（図示せず）に接続されている。
【００１９】
オリフィス上流側圧力Ｐ１  は圧力検出器１４により検出され、増幅回路１６を介して圧力表示器２２に表示される。また、その出力はＡ／Ｄ変換器１８を通してデジタル化され、中央演算処理装置ＣＰＵによりオリフィスの下流側流量ＱがＱ＝ＫＰ１  （Ｋ：定数）により算出される。
【００２０】
一方、温度検出器２４により検出された上流側温度Ｔ１  は増幅回路２６、Ａ／Ｄ変換器２８を介してＣＰＵに入力され、前記流量Ｑが温度補正されて、演算流量ＱＣ  が算出される。
【００２１】
流量設定回路３２からはＡ／Ｄ変換器３４を介して設定流量ＱＳ  が出力され、ＣＰＵに送信される。ＣＰＵでは演算流量ＱＣ  と設定流量ＱＳ  の差ＱＹ  がＱＹ  ＝ＱＣ  −ＱＳ  によって算出され、この差信号ＱＹ  が増幅回路４０を介して駆動部８に出力される。この駆動部８は差信号ＱＹ  が零になる方向にコントロール弁ＣＶを開閉制御し、下流側流量が設定流量ＱＳ  に等しくなるように制御するものである。
【００２２】
本発明の特徴である検定回路３１は後述する検定用信号の発生回路で、ＣＰＵにより制御され、増幅回路３３を介して駆動部８を開閉操作する。
この検定回路３１と増幅回路３３から目詰検出回路３５が構成される。
【００２３】
その他、Ｍはデータ記憶用およびプログラム記憶用のメモリ装置、４２は外部との通信ポートＰＴ、４４はトリガー回路等の外部回路、４６は目詰まり時のアラーム回路、４８は電源回路ＳＣ、５０は±１５Ｖの外部電源である。ＡＭＰは増幅回路、Ａ／ＤはＡ／Ｄ変換器を表わしている。
【００２４】
コントロール弁ＣＶとしては、所謂ダイレクトタッチ型のメタルダイヤフラム弁が使用されており、またその駆動部８には、圧電素子型駆動装置が使用されている。尚、コントロール弁ＣＶの駆動部８にはこの他に、磁歪素子型駆動装置やソレノイド型駆動装置、モータ型駆動装置、空気圧型駆動装置、熱膨張型駆動装置が用いられる。
【００２５】
圧力検出器１４には半導体歪型圧力センサが使用されているが、この他に、金属箔歪型圧力センサや静電容量型圧力センサ、磁気抵抗型圧力センサ等の使用も可能である。
【００２６】
温度検出器２４には熱電対型温度センサが使用されているが、測温抵抗型温度センサ等の公知の各種温度センサが使用できる。
【００２７】
また、オリフィス２には、板状の金属薄板製ガスケットに切削加工によって孔部を設けたオリフィスが使用されているが、この他に極細パイプやエッチング及び放電加工により金属膜に孔を形成したオリフィス等、公知のオリフィスを使用することもできる。
【００２８】
オリフィスを用いた上記圧力式流量制御装置をＦＣＳと称している。このＦＣＳを用いて、本発明者等はオリフィスが目詰まりを起したときの流量異常を詳細に検討した。
【００２９】
流量異常を検出するための目詰検出回路３５が作動しない状態では、流量設定回路３２から設定流量ＱＳ０が出力され、駆動部８によりコントロール弁ＣＶが一定開度に制御されて上流側圧力Ｐ１  も定常圧力Ｐ１０に設定されている。
【００３０】
この状態から目詰まりを検出するには、外部回路４４から目詰検出開始信号をＣＰＵに入力し、これをトリガー信号として増幅回路４０への制御信号の出力をＣＰＵは中断する。ＣＰＵは直ちに検定回路３１に信号を出力し、検定回路３１からは定常設定流量ＱＳ０と検定用信号ΔＱＳ  からなる設定流量ＱＳ  （ｔ）  がＱＳ  （ｔ）  ＝ＱＳ０＋ΔＱＳ  として出力される。
【００３１】
この信号は増幅回路３３を介して駆動部８を制御し、コントロール弁ＣＶを開閉制御する。つまり、ＦＣＳは機能していないが検定回路３１により、オリフィス通過流量はＱＳ０に定常流量に保持されながら、オリフィスの目詰まりを検定用信号ΔＱＳ  でチェックするものである。本発明の目詰検出は短時間で終了するので、この間の流量制御を定常信号ＱＳ０により保証するものである。目詰まりがない場合には直ちにＦＣＳ制御モードに戻り、目詰検出は流量制御に影響を与えない。
【００３２】
図２はオリフィスに目詰まりがない場合の設定流量ＱＳ  （ｔ）  と上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  の信号波形を示す。上述したように、検定回路３１からの設定流量ＱＳ  （ｔ）  は定常設定流量ＱＳ０と検定用信号ΔＱＳ  からＱＳ  （ｔ）  ＝ＱＳ０＋ΔＱＳ  で与えられる。
【００３３】
定常設定流量ＱＳ０は２．５［Ｖ］の直流電圧で、検定用信号ΔＱＳ  は振幅が０．５［Ｖ］、周波数０．２［Ｈｚ］の正弦波信号である。つまり、ボルト単位ではＱＳ  ＝２．５＋０．５ｓｉｎ（ωｔ）で与えられる。用いられたガスはＮ２  ガスで、ガス温度は２１℃であった。ここで目詰まりのないオリフィスとして試験されたものは穴径が６８［μｍ］のもので、定常設定流量ＱＳ０の具体値は６９．２［ＳＣＣＭ］である。
【００３４】
このとき、上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  も定常圧力Ｐ１０と変動圧力ΔＰ１  の合成、即ちＰ１  （ｔ）  ＝Ｐ１０＋ΔＰ１  として与えられる。定常圧力Ｐ１０が定常値に制御される成分で、変動圧力ΔＰ１  が検定用信号ΔＱＳ  に対する応答波形である。変動圧力ΔＰ１  は歪んだ正弦波であるが、これを正弦波信号で近似すると、Ｐ１０＝２５０［ｍＶ］、ΔＰ１  ＝２００ｓｉｎ（ωｔ）［ｍＶ］となり、ミリボルト単位でＰ１  ＝２５０＋２００ｓｉｎ（ωｔ）で与えられる。
【００３５】
図３はオリフィスに目詰まりがある場合の設定流量ＱＳ  （ｔ）  と上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  の信号波形である。使用されたオリフィスの穴径は６２［μｍ］であり、図２のものに対し約１０％の目詰まりがあると仮定している。図２と同一の設定流量ＱＳ  （ｔ）  ＝２．５＋０．５ｓｉｎ（ωｔ）を与えたとき、上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  には明らかな違いがでてくる。つまり、ミリボルト単位でＰ１  ＝７０＋９０ｓｉｎ（ωｔ）となる。実際の定常設定流量は５７．２［ＳＣＣＭ］であった。
【００３６】
図２と図３を比較すると、定常圧力Ｐ１０が２５０［ｍＶ］から７０［ｍＶ］に変化し、変動圧力ΔＰ１  が２００ｓｉｎ（ωｔ）から９０ｓｉｎ（ωｔ）へと変化している。オリフィスに目詰まりがあるために、定常圧力Ｐ１０が多少変化するのは無理はない。
また、変動圧力Ｐ１  （ｔ）  が検定用信号ΔＱＳ  より位相的に遅れるのは応答遅れに原因がある。しかし、本発明ではこの遅れτは問題とはならない。上記変動圧力ΔＰ１  を振幅で求めたが、ＶＰＰ、即ちピーク・トウー・ピーク値で求めてもよい。
【００３７】
本発明者等はオリフィス目詰まりが変動圧力ΔＰ１  に大きな変化を与えることに着目した。つまり、検定用信号として同一のΔＱＳ  ＝０．５ｓｉｎ（ωｔ）［Ｖ］を与えたときに、変動圧力ΔＰ１  をＶｓｉｎ（ωｔ）で表わすと、圧力振幅Ｖが±２００［ｍＶ］から±９０［ｍＶ］へと激減している事実である。この事実から、変動圧力の圧力振幅Ｖの減少によりオリフィスの目詰まりを検知することができ、アラーム信号を用いて外部へ報知することが可能になる。
【００３８】
図４は上記事項をまとめた本発明の信号波形における概念構成図である。定常設定流量ＱＳ０で流量制御しているときに、オリフィス目詰まりを検知するためにＦＣＳによる流量制御を中断する。直ちに検定回路から検定用信号ΔＱＳ  ＝ＶＯ  ｓｉｎ（ωｔ）をＱＳ０に重ねて出力する。
【００３９】
このときに応答信号である上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  を測定する。上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  は定常圧力Ｐ１０と変動圧力ΔＰ１  ＝Ｖｓｉｎ（ωｔ）から構成される。演算流量ＱＣ  はＱＣ  ＝ＫＰ１０として定常圧力Ｐ１０から算出される。一方、変動圧力ΔＰ１  の圧力振幅Ｖが限界振幅Ｖｔ  より小さくなったときに、オリフィスに目詰まりがあるとしてアラーム回路４６にアラーム信号がＣＰＵから出力される。
【００４０】
オリフィスに目詰まりがないときには、変動圧力ΔＰ１  はΔＰ１  ＝ＶＰＯｓｉｎ（ωｔ）で表わされるとする。従って、Ｖｔ  ＜Ｖ≦ＶＰＯの範囲にある圧力振幅Ｖでは目詰まりがないものと判断され、Ｖ≦Ｖｔ  の範囲では目詰まりがあるものとしてアラーム信号が出力されることになる。
【００４１】
限界振幅Ｖｔ  の決め方には任意性が多少存在する。検定用信号ΔＱＳ  ＝ＶＯ  ｓｉｎ（ωｔ）の検定振幅ＶＯ  にも依存するし、オリフィスの目詰まりの程度にも依存する。従って、一定の検定用信号ΔＱＳ  ＝Ｖｓｉｎ（ωｔ）の場合には、目詰まりの経験値から限界振幅Ｖｔ  を決めることになる。
【００４２】
図５は目詰検出回路を設けないで目詰検出を行う圧力式流量制御装置の構成図である。流量制御モードでは、流量設定回路３２から設定流量ＱＳ０を出力し、ＣＰＵによりコントロール弁ＣＶの開閉制御が行なわれ、上流側圧力Ｐ１  は定常圧力Ｐ１０に制御されている。
【００４３】
この状態から目詰検出モードに入ると、流量設定回路３２からＱＳ  （ｔ）  ＝ＱＳ０＋ＶＯ  ｓｉｎ（ωｔ）がＣＰＵに出力される。ＣＰＵは増幅回路４０を介してコントロール弁ＣＶを開閉制御し、上流側圧力Ｐ１  （ｔ）  はＰ１  （ｔ）  ＝Ｐ１０＋Ｖｓｉｎ（ωｔ）を示す。この圧力振幅Ｖにより前述と同様の目詰検出を行う。
【００４４】
換言すれば、図１は検定回路３１をＦＣＳに別設することにより目詰検出を行うのに対し、図５はＦＣＳ単体で目詰検出を行なうものである。目詰検出モードでは、前者はＦＣＳ制御を一時中断するが、後者はＦＣＳ制御も同時に行なう。但し、前者では検定回路から定常信号を出力するから、短時間におけるＦＣＳ制御の中断は流量制御にほとんど影響を与えない。
【００４５】
図６はオリフィス目詰まりによる流量異常を検知するフローチャートの一例である。図１および図５の両装置に対し本フローチャートは適用できる。
ステップｎ１によりＦＣＳが流量制御モードであることが確認されると、流量設定回路３２から設定流量ＱＳ  として定常設定流量ＱＳ０が出力される（ｎ２）。上流側圧力Ｐ１  が測定されると（ｎ３）、下流側流量ＱがＱ＝ＫＰ１  により算出される（ｎ４）。
また、上流側温度Ｔ１  が測定され（ｎ５）、下流側流量Ｑが補正を受けて演算流量ＱＣ  に変換される（ｎ６）。
【００４６】
演算流量ＱＣ  と設定流量ＱＳ  との差Ｑｙ  がＱｙ  ＝ＱＣ  −ＱＳ  で計算される（ｎ７）。Ｑｙ  が負の場合（ｎ８）にはコントロール弁ＣＶをやや開き（ｎ９）、Ｑｙ  が正の場合（ｎ１０）にはコントロール弁ＣＶをやや閉じて（ｎ１１）、再びステップｎ３に戻る。このステップを繰り返しながら演算流量ＱＣ  を設定流量ＱＳ  に一致するように制御し、オリフィス通過流量を当初の定常設定流量ＱＳ０に制御する。
【００４７】
オリフィスの目詰検出モードが設定されると（ｎ１２）、検定用信号ΔＱＳ  ＝ＶＯ  ｓｉｎ（ωｔ）を含んだ設定流量ＱＳ  ＝ＱＳ０＋ＶＯ  ｓｉｎ（ωｔ）が出力される（ｎ１３）。この出力は、図１では検定回路３１により、図５では流量設定回路３２により行なわれる。定常設定信号ＱＳ０が加わっているために、流量制御を行ないながら目詰検出を実行できる。
【００４８】
上流側圧力Ｐ１  がＰ１  （ｔ）  ＝Ｐ１０＋Ｖｓｉｎ（ωｔ）として検出される（ｎ１４）。定常圧力Ｐ１０は流量制御用であり、変動圧力ΔＰ１  ＝Ｖｓｉｎ（ωｔ）から圧力振幅Ｖを算出する（ｎ１５）。この圧力振幅Ｖが限界振幅Ｖｔ  より大きい場合には（ｎ１６）、目詰まりがないとしてステップｎ１に戻る。圧力振幅Ｖが限界振幅Ｖｔ  以下の場合には（ｎ１６）、目詰まりがあるとしてアラーム信号が出力される（ｎ１７）。
【００４９】
図７は検定用信号ΔＱＳ  がパルス信号の場合を示す。パルス信号の深さが検定振幅ＶＯ  となり、応答信号である上流側圧力Ｐ１  （ｔ）にも定常圧力Ｐ１０に変動圧力ΔＰ１  が重なる。この変動圧力ΔＰ１  の深さである圧力振幅Ｖが限界振幅Ｖｔ  より小さくなったときに目詰まりがあると判断する。他の事情は図４と同様であるから省略する。
【００５０】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々の変形例、設計変更などをその技術的範囲内に包含するものである。
【００５１】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、別設された検定回路からの入力に対する応答として上流側圧力Ｐ１  から変動圧力ΔＰ１  をとりだし、その圧力振幅Ｖを限界振幅Ｖｔ  と対比させるだけでオリフィスの目詰まりを検知できるから、オリフィス目詰まりによる流量異常を簡単な構成で報知できる。
また、請求項２の発明によれば、検定回路を別設しないで、従来の圧力式流量制御装置をそのまま用いて目詰検知ができるから、極めて安価簡易に流量異常を検知することができる。
【００５２】
請求項３の発明によれば、定常流量ＱＳ０で流量制御しながら、検定用信号ΔＱＳ  によりオリフィス目詰まりを検知でき、流量制御を継続しながら流量異常を検知するという画期的な方法を実現した。従来の流量制御システムを停止させて異常検知モードに入るということに対し、革新的技術を提供できる。
また、流量制御中に流量異常検知ができるから、オリフィス目詰まりにより流量低下した場合には、その分だけ流量増加制御を行なってオリフィス通過流量を常に一定に保持できる効果を有する。
【００５３】
請求項４の発明によれば、検定用信号として正弦波信号が利用できるから、公知の正弦波電子技術を活用でき、回路構成が簡単になる効果を有する。
【００５４】
請求項５の発明によれば、検定用信号としてパルス信号が利用できるから、公知のパルス技術を活用して簡単な回路構成で流量異常検知が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１の圧力式流量制御装置ＦＣＳの構成図である。
【図２】オリフィスに目詰まりがない場合における設定流量ＱＳ  と上流側圧力Ｐ１  の信号波形を示す。
【図３】オリフィスに目詰まりがある場合における設定流量ＱＳ  と上流側圧力Ｐ１  の信号波形を示す。
【図４】本発明の信号波形における概念構成図である。
【図５】本発明に係る第２の圧力式流量制御装置ＦＣＳの構成図である。
【図６】オリフィス目詰まりによる流量異常を検知するフローチヤートの一例である。
【図７】検定用信号がパルス信号の場合の概念構成図である。
【図８】本発明者等が従来採用していた流量異常検知モードの信号波形図である。
【符号の説明】
２はオリフィス、４は上流側流路、６は下流側流路、８は駆動部、１２はガス取出用継手、１４は圧力検出器、１６は増幅回路、１８はＡ／Ｄ変換器、２２は圧力表示器、２４は温度検出器、２６は増幅回路、２８はＡ／Ｄ変換器、３１は検定回路、３２は流量設定回路、３３は増幅回路、３４はＡ／Ｄ変換器、３５は目詰検出回路、４０は増幅回路、４２は通信ポート、４４は外部回路、４６はアラーム回路、４８は電源回路、５０は外部電源、ＡＭＰは増幅回路、Ａ／ＤはＡＤ変換器、ＡＬはアラーム回路、ＣＰＵは中央演算処理装置、ＣＶはコントロール弁、ＥＳは外部電源、Ｍはメモリ装置、Ｐ１  は上流側圧力、Ｐ１０は定常圧力、ΔＰ１  は変動圧力、ＱＳ  は設定流量、ＱＳ０は定常設定流量、ΔＱＳ  は検定用信号、ＳＣは電源回路、Ｖは圧力振幅、ＶＯ  は検定振幅、Ｖｔ  は限界振幅である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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