(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板をほぼパッケージの形状に打ち抜き形成し、上記金属板は少なくともフォージング工程及びフォーミング工程によって形成し、上記フォージング工程は、上記金属板の端縁近傍に対応させて溝部を設けたダイと、この溝部内に配設したノックアウトと、上記金属板の反対面のほぼ全面を押圧するパンチからなり、上記ダイに上記金属板を載置すると共に、上記金属板の反対面のほぼ全面をパンチにより押圧することにより、上記金属板中央部に凹部を形成すると共に、この凹部の肉を上記溝部に移動させて突堤素体を形成した後、上記フォーミング工程によって上記突堤素体の先端面を平坦に押圧して所定高の突堤を形成することを特徴とする電子部品用パッケージの形成方法。
【請求項２】
フォージング工程を行うダイは、ほぼパッケージの形状に打ち抜き形成した金属板の全周囲近傍に対応させた環状の溝部が設けられ、この環状の溝部に先端をテーパー面に形成したノックアウトを配設し、上記金属板の外周に環状の突堤素体を突出形成すると共に、この突堤素体の肉を上記ノックアウトの先端に形成したテーパー面により上記金属板の中央方向に移動させ、上記フォーミング工程は、上記突堤素体のテーパー状に形成された先端面を平坦に押圧して上記突堤を形成する請求項１に記載の電子部品用パッケージの形成方法。
【請求項３】
フォージング工程を行うダイは、ほぼパッケージの形状に打ち抜き形成した金属板の全周囲近傍に対応させた環状の溝部が設けられ、この環状の溝部に先端をほぼ平坦に形成したノックアウトを配設し、上記金属板の外周に環状の突堤素体を突出形成すると共に、この突堤素体の肉を上記溝部内に移動させ、上記フォーミング工程を行うダイは、上記突堤素体の先端面を加圧する弾性付勢されたノックアウトを配設し、このノックアウトの加圧によって上記突堤素体の先端面を平坦に押圧して上記突堤を形成する請求項１に記載の電子部品用パッケージの形成方法。
【請求項４】
フォージング工程及びフォーミング工程によって形成した突堤は、所定の外形寸法よりもやや大きく形成され、上記フォーミング工程の後に上記突堤の外側を総抜き工程において所定寸法に打ち抜き形成する請求項１乃至３に記載の電子部品用パッケージの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路等の電子部品を収納するための比較的小型のパッケージに関し、詳しくは、金属板の周囲に上面が平坦な断面略矩形状の突堤を有する電子部品用パッケージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の情報機器の小型化に伴い、半導体集積回路やハイブリッド回路等に代表される電子部品のパッケージも小型化、高密度化が進んでいる。しかしながら、上記半導体集積回路の高密度化に伴って発熱量が増加することから、半導体集積回路チップを収納するためのパッケージとして放熱性能が要求され、一般に使用されているセラミック製パッケージに代わり、熱伝導率が高い金属素材を使用したパッケージが実用化されようとしている。
【０００３】
また、このようなパッケージとしては、平坦な金属板と、中央部に透孔を有する金属板を接着剤等により接合した接合タイプ、比較的肉薄の金属板を絞り加工によって上記半導体集積回路を収納するための凹部を形成した絞りタイプ、或いは、金属板の一方面のみに凹部を形成したキャビティタイプに大別される。しかし、上記パッケージに求められる重要な特性としては、十分な剛性と高い平面度が要求されることから、上記キャビティタイプが優れているといえる。
【０００４】
一方では、情報機器をさらに小型軽量化するために、パッケージ自体を小型化することが求められるようになった。即ち、このパッケージは、幅狭な突堤を上記パッケージを構成する金属板の周囲に形成することにより、全体の面積を小さくするようにしている。
【０００５】
このようなパッケージの一例を図９に示す。パッケージ５０は、一方面側に略四角形の凹部５２を形成すると共に、全周にわたって突堤５３を一体形成し、全体としてキャビティ型に形成している。そして、パッケージ５０に形成した凹部５２には、半導体集積回路のチップ５４が収納され、さらに、突提５３には配線基板５５を載置し、この配線基板５５に形成された多数の端子部とチップ５４の上面に設けた多数の端子とをボンディングワイヤ５６により電気的に接続する。
【０００６】
通常、配線基板５の端子部とボンディングワイヤ５６との接続は電気溶接が採用され、端子部に溶接機の接触子７を加圧しながら溶接を行う。ところが、図９に示すように、配線基板５の端子部がパッケージ１の突提５３から離間し浮遊していると、接触子７を加圧したときに配線基板５５が撓むため、加圧力にばらつきが生じて適正な溶接ができない問題が生ずる。従って、パッケージ５０の突提５３には、配線基板５５と可能な限り広い面積を以て接合させるために、有効接合幅Ｗ０を大きくすることが重要である。
【０００７】
上記キャビティタイプのパッケージ５０の端縁に突提５３を形成する方法として、プレスの押圧パンチを用いる押圧加工方法や絞り加工、或いは、折り曲げ加工等の工法がある。また、化学的な加工方法としては、エッチングにより金属板の一方面側に端縁を残して所定形状の凹部を形成するエッチング加工法がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プレスによる押圧加工は、金属板をパンチによって凹部５２を押圧形成するときに、凹部５２の体積分の肉が底部及び周囲に押し込まれ、周囲の金属部分をカーリングさせてしまう。このため、平坦度を要求されるパッケージ５０としては致命的な問題になる。しかも、このカーリング現象により突堤５３にも歪みが生ずることから、突堤５３の上面の平坦度も阻害され、有効接合幅が得られない。また、絞り加工、或いは、折り曲げ加工は、約１ｍｍ前後の板厚を有する金属板の端縁に、凹部２の底面から約０．５ｍｍ以下の高さの突提５３を形成することは非常に困難であるが、例え形成できたとしても、突堤５３の上面が傾斜するため、やはり必要な有効接合幅を得ることができない。
【０００９】
さらに、化学的なエッチング加工方法は、加工に長時間を要することから、大量生産には不向きであり、必然的にコストアップになる。また、エッチング加工の制御精度によって寸法精度が影響し、実用化には限界が生ずる問題がある。
【００１０】
本発明は以上のような問題点を解決するためになされたもので、金属板の端縁に短寸の突堤を容易に形成することができ、しかも、必要な有効接合幅を形成することができる電子部品用パッケージの形成方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【問題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明にかかる電子部品用パッケージの形成方法は、金属板をほぼパッケージの形状に打ち抜き形成し、上記金属板は少なくともフォージング工程及びフォーミング工程によって形成し、上記フォージング工程は、上記金属板の端縁近傍に対応させて溝部を設けたダイと、この溝部内に配設したノックアウトと、上記金属板の反対面のほぼ全面を押圧するパンチからなり、上記ダイに上記金属板を載置すると共に、上記金属板の反対面のほぼ全面をパンチにより押圧することにより、上記金属板中央部に凹部を形成すると共に、この凹部の肉を上記溝部に移動させて突堤素体を形成した後、上記フォーミング工程によって上記突堤素体の先端面を平坦に押圧して所定高の突堤を形成することを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の電子部品用パッケージの形成方法は、フォージング工程を行うダイは、ほぼパッケージの形状に打ち抜き形成した金属板の全周囲近傍に対応させた環状の溝部が設けられ、この環状の溝部に先端をテーパー面に形成したノックアウトを配設し、上記金属板の外周に環状の突堤素体を突出形成すると共に、この突堤素体の肉を上記ノックアウトの先端に形成したテーパー面により上記金属板の中央方向に移動させ、上記フォーミング工程は、上記突堤素体のテーパー状に形成された先端面を平坦に押圧して上記突堤を形成することを特徴としている。
【００１３】
また、請求項３に記載の電子部品用パッケージの形成方法は、フォージング工程を行うダイは、ほぼパッケージの形状に打ち抜き形成した金属板の全周囲近傍に対応させた環状の溝部が設けられ、この環状の溝部に先端をほぼ平坦に形成したノックアウトを配設し、上記金属板の外周に環状の突堤素体を突出形成すると共に、この突堤素体の肉を上記溝部内に移動させ、上記フォーミング工程を行うダイは、上記突堤素体の先端面を加圧する弾性付勢されたノックアウトを配設し、このノックアウトの加圧によって上記突堤素体の先端面を平坦に押圧して上記突堤を形成することを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の電子部品用パッケージの形成方法は、フォージング工程及びフォーミング工程によって形成した突堤は、所定の外形寸法よりもやや大きく形成され、上記フォーミング工程の後に上記突堤の外側を総抜き工程において所定寸法に打ち抜き形成することを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明について説明する。図１乃至図３は、本発明にかかる半導体集積回路等のチップ等の電子部品を搭載するための比較的小型のパッケージの一例を示している。
【００１６】
パッケージ１は金属板を素材として形成され、剛性を有すると共に、後述する配線基板等との熱膨張係数がマッチングし、しかも、ヒートスプレッダとして必要な熱伝導率が良好であり、かつ、塑性加工が可能な金属素材として、銅合金或いはステンレス鋼、またはアルミニウムが採用される。
【００１７】
パッケージ１の全周縁には突堤２が設けられ、この突堤２によって囲まれた底面には略四角形の凹部３を形成することにより、全体としてキャビティ型に形成している。この凹部３には、電子部品である半導体集積回路４が収納される。突堤２は、後述するプレスによるフォージング加工によって形成され、パッケージ１の素材となる金属板に対して上記凹部３を形成するときに、凹部３の肉を周囲の方向に移動することによって形成される。そして、突堤２の上面２ａはほぼ平坦に形成されている。
【００１８】
さらに、突堤２の幅は、比較的小型のパッケージ１のため、凹部３の底板３ａの板厚ｔに対して１〜３倍に設定される。また、突堤２の凹部３からの高さは、凹部３の底板３ａの板厚ｔに対して０．２〜３倍に設定される。尚、突堤２の高さは、凹部３に収納する半導体集積回路４の厚さによって設定されるが、半導体集積回路４が比較的薄いことから通常は低く設定される。また、上記のように、突堤２の上面２ａの幅は比較的小さいが、後述する配線基板５を強固に固定する必要がある。上記のように、フォージング加工を行うことによって、配線基板５と接合させるための有効接合幅Ｗ１を最大限に大きくするようにしている。その他、パッケージ１の厚さ、外形寸法、凹部３の内形寸法等の各種寸法は、パッケージ１に要求される様々な仕様によって適宜に設定される。
【００１９】
一方、突堤２の上面２ａには、ＴＡＢやフレキシブルプリント基板、或いは通常のプリント基板等からなる配線基板５が接着剤等により接着固定されている。配線基板５の接着強度は、上記突堤２の有効接合幅Ｗ１の大きさに比例する。さらに、配線基板５には、凹部３とほぼ同じ大きさの窓孔５ａが形成され、この窓孔５ａの近傍には、線幅及びピッチが３７ｎｍ程度の多数の端子部６がプリント配線により形成されている。この端子部６と配線基板３の外縁に設けた外付け端子との間には、図示しないプリント配線が施されている。
【００２０】
さらに、凹部３には、前述のように半導体集積回路４のチップが収納され、凹部３の底板３ａに面接合状態で接着剤により固定されている。また、半導体集積回路４の上面には、上記配線基板５に形成した端子部６と同じ線幅及びピッチの多数の端子７が設けられている。そして、半導体集積回路４と配線基板５の端子部６とは、図２に示すように、ボンディングワイヤ８によって電気的に接続されている。配線基板５の端子部６とボンディングワイヤ８との接続は、一般に電気溶接が採用されている。
【００２１】
このとき、端子部６に溶接機の接触子９を加圧するが、この加圧力は配線基板５を介して突堤２の上面２ａが受ける。ところが、突堤２はフォージング加工によって有効接合幅Ｗ１が最大限に大きく形成され、配線基板５と突堤２の上面２ａとが接合状態ならば、配線基板５は撓むことなく接触子９の圧力を受けることが可能となる。従って、配線基板５の端子部６とボンディングワイヤ８との接続時の加圧力のばらつきが解消され、適正に溶接することができる。
【００２２】
このように、ワイヤボンディングした後の、パッケージ１の凹部３に封止剤１０を注入することにより、半導体集積回路５と上記ボンディングワイヤ８を封止している。一方、上記配線基板５の外縁に設けた外付け端子にはハンダボール１１が配設されている。そして、かかる集積回路部品が収納されたパッケージ１を図示しない電子装置の回路基板に装着するには、電子装置の回路基板の所定位置に仮固定した状態で加熱してハンダボール１１を溶解し、配線基板５と図示しない電子装置の回路基板とを電気的に接続する。
【００２３】
次に、上述した電子部品用のパッケージ１の形成方法を説明する。図４は、パッケージの形成方法の第１の実施例を示している。まず、打ち抜き工程＃１において、パッケージ１を形成するために必要な所定の板厚を有する金属板からなるフープ材２０が供給される。金属板としては、ステンレス、銅、アルミニウム、或いは真鍮等の素材から選択される。図４に示す例としては、順送加工用にフープ材２０を使用するが、単体の金属板を使用してもよい。
【００２４】
打ち抜き工程＃１において、フープ材２０に透孔２１を図示しないパンチにより打ち抜き、例えば略四角形とした所定形状の金属板２２を打ち抜き形成する。この金属板２２は、４本の連結片２３を介してフープ材２０に連結されている。このように打ち抜き形成された金属板２２は、フープ材２０に連結した状態で次のフォージング工程＃２に移送される。
【００２５】
フォージング工程＃２は、図５に示すダイ２４及びパンチ２５によって、略四角形に打ち抜き形成した金属板２２に対してフォージング加工が行われる。ダイ２４は、内ダイ２４ａと外ダイ２４ｂからなり、内ダイ２４ａは、金属板２２の全周囲の端縁近傍によりも小さい相似形としている。また、外ダイ２４ｂは、内孔を金属板２２のほぼ外形に対応させ、内ダイ２４ａと外ダイ２４ｂとの間には溝部２４ｃが設けられている。これら内ダイ２４ａと外ダイ２４ｂはダイ基盤２４ｄによって一体に配設されている。
【００２６】
さらに、溝部２４ｃには、ガイドピン２６を介してバネ２７によって弾性付勢されたノックアウト２８を移動可能に配設している。このノックアウト２８は、先端面を金属板２２の中央方向に傾斜させたテーパー面２８ａを形成している。また、パンチ２５は、先端面を平坦に形成し、外形寸法を上記外ダイ２４ｂの内孔よりもやや大きく形成している。
【００２７】
そして、金属板２２をダイ２４に位置決めして載置した後、金属板２２の反対面のほぼ全面をパンチ２５により押圧する。これにより、金属板２２の中央部の肉が矢印のように外方に向けて移動すると共に、外ダイ２４ｂの内壁によって溝部２４ａ方向に向きを変えて移動する。このとき、ノックアウト２８がバネ２７の弾力に抗して基端がダイ基盤２４ｄに当接するまで下降する。
【００２８】
そして、溝部２４ｃ内に移動した肉は、ノックアウト２８のテーパー面２８ａによって強制的に金属板２２の中央部方向に方向転換し、突提素体２９の内側がテーパー面２８ａに沿って高く形成される。この結果、溝部２４ｃ内には先端面をテーパ状に形成した突提素体２９が形成されると共に、金属板２２の中央部には図１に示した略四角形の凹部３が形成される。また、凹部３の底面には、所定の厚さを有する底板３ａが形成される。
【００２９】
一方、外ダイ２４ｂの上面とパンチ２５の先端面との間には隙間３１が形成される。この隙間３１は、パンチ２５を押圧した後も金属板２２がフープ材２０と連結させるために設けられている。
【００３０】
その後、フォーミング工程＃３において、突提素体２９を成形ダイ３２及び成形パンチ３３により押圧して平坦に形成し、断面形状を略矩形状に形成する。この工程には図６に示す金型が使用される。即ち、成形ダイ３２は、内ダイ３２ａと外ダイ３２ｂとによって構成され、内ダイ３２ａの外形は金属板２２の凹部３に嵌合するように形成している。また、外ダイ３２ｂは、内孔を金属板２２のほぼ外形に対応させ、内ダイ３２ａと外ダイ３２ｂとの間には溝部３２ｃが設けられている。これら内ダイ３２ａと外ダイ３２ｂは基盤３２ｄによって一体に配設している。
【００３１】
さらに、溝部３２ｃには、ガイドピン３４を介してバネ３５によって弾性付勢されたノックアウト３６を移動可能に配設している。このノックアウト３６の先端面は平坦に形成されている。また、ノックアウト３６の基端が下降して基盤３２ｄに当接したとき、先端面と内ダイ３２ａの上面との寸法を、完成状態の突提２の高さ寸法、即ち、図１乃至図３に示す突堤２の凹部３からの高さを、凹部３の底板３ａの板厚ｔに対して０．２〜３倍に設定している。また、成形パンチ３３は先端面を平坦に形成し、外形寸法を上記外ダイ３２ｂの内孔よりもやや大きく形成している。
【００３２】
そして、金属板２２の凹部３を内ダイ３２ａに嵌合すると共に、溝部３２ｃ内に突提素体２９を嵌入した状態で反対面から成形パンチ３３により押圧する。突提素体２９はノックアウト３６の先端面と成形パンチ３３との間に挟圧され、突提素体２９の先端面が平坦に形成された突提２が形成される。
【００３３】
以上のように形成された突提２の幅は、完成状態の所定の幅、即ち、凹部３の底板３ａの板厚ｔに対して１〜３倍よりもやや大きく設定されているが、突提２の外側は、後工程の総抜き工程＃４において打ち抜くことにより所定寸法の幅に形成される。
【００３４】
突提２を形成した金属板２２は、次の総抜き工程＃４において、所定の外形寸法に打ち抜き形成することによりフープ材２０から離脱し、図１乃至図３に示した、周縁に突提２を有するパッケージ１が形成される。このとき、突提２として必要な幅寸法より越えた外方の残余の部分はフープ材２０と共に離脱する。尚、より高精度に形成することを目的として、フォーミング工程＃３の後、或いは、総抜き工程＃４の後に、フラットニング加工や表面仕上げ加工等の追加工を施しても良い。
【００３５】
以上の工程を経て形成されたパッケージ１は、フォージング加工により肉の移動によって凹部３及び突堤２を形成するので、金属板に与えるストレスが小さいことから、パッケージとして要求される平坦度が容易に得られる。また、絞り加工、或いは、折り曲げ加工において不可能であった、約１ｍｍ前後の板厚を有する金属板の端縁にも、凹部の底面から約０．５ｍｍ以下の高さの突提を容易に形成することができる。
【００３６】
さらに、前述したフォージング工程＃２において、ノックアウト２８のテーパー面２８ａによって、肉を強制的に方向転換させ、突提素体２９の先端内側まで肉を移動させているので、フォーミング工程＃２において突提素体２９の先端面の内側まで平坦に形成できる。この結果、図３に示すように、突提２の有効接合幅Ｗ１を最大限に大きくできる。従って、前述のように、突提２に配線基板を載置し、配線基板の端子部にボンディングワイヤを電気溶接する際に、端子部に加わる溶接機の接触子９の圧力を突提２が受けるので、一定の加圧力によって溶接することが可能となり、ばらつきによる問題を解消することができる。
【００３７】
図７及び図８は、パッケージ１を形成する第２の方法を示している。この第２の方法は、前述した図４乃至図６に示した方法と基本的には同じであるが、相違する点は、内ダイ２４ａと外ダイ２４ｂとの間に設けられた溝部２４ｃに配設したノックアウト４０の先端面を平坦に形成したことである。
【００３８】
そして、金属板２２をダイ２４に位置決めして載置した後、金属板２２の反対面のほぼ全面をパンチ２５により押圧する。これにより、金属板２２の中央部の肉が矢印のように外方に向けて移動すると共に、外ダイ２４ｂの内壁によって溝部２４ａ方向に向きを変えて移動する。このとき、移動した肉の圧力によりノックアウト４０がバネ２７の弾力に抗して基端がダイ基盤２４ｄに当接するまで下降する。
【００３９】
溝部２４ｃ内には突提素体４１が形成されると共に、金属板２２の中央部には図１に示した略四角形の凹部３が形成される。また、凹部３の底面には、所定の厚さを有する底板３ａが形成される。
【００４０】
以上のフォージング工程＃２において、単に金属板２２の反対面のほぼ全面をパンチ２５により押圧し、金属板２２の中央部の肉を溝部２４ａ内に移動した場合には、図７において点線で示すように、突提素体４１の外方に向けて肉が移動するため、内方側の肉が欠乏する現象が生ずる。この結果、ノックアウト４０によって肉の移動を阻止したとしても、突提素体４１の内方側には多少の丸み４２が形成される。しかしながら、この状態では、突提２として必要な有効接合幅としては不十分である。
【００４１】
そこで、フォーミング工程＃３において、突提素体４１の先端をさらに加圧することにより、上記丸み４２をさらに小さくし、必要な有効接合幅Ｗ２を得るようにしている。即ち、図８に示すように、内ダイ３２ａと外ダイ３２ｂとの間に設けた溝部３２ｃには、ガイドピン３４を介してバネ３５によって弾性付勢されたノックアウト４３が配設され、このノックアウト４３によって突提素体４１の先端を加圧する。これにより、突堤２が形成されると共に内方側に形成された丸み４２が小さくなる。この結果、突提２のとして必要な大きさの有効接合幅Ｗ２が形成される。
【００４２】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であることは言うまでもない。例えば、前述の例は、凹部に半導体集積回路のチップを収納するようにしたが、ハイブリッド回路等やその他電子部品を収納するようにしてもよい。また、前述の例は、各辺の突堤を同一の幅にしたが、必要に応じ、各辺の幅を異ならせてもよく、さらには、突堤の辺の形状を円弧状や半円形に形成するなど、異形状に形成してもよい。さらにまた、パッケージの形状を、四角形の他、円形や多角形に形成してもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による電子部品用パッケージの形成方法によれば、パッケージの突堤をフォージング加工を施すことにより形成するので、突堤に載置される配線基板との有効接合幅を最大限に大きくすることができ、配線基板の端子部とボンディングワイヤとを溶接する場合に接触子を加圧しても、配線基板を撓ませることがなく適正な溶接ができる。また、フォージング加工を施すことにより、金属板の肉の移動によって凹部及び突堤を形成するので、加工時のストレスが小さいことから、パッケージとして要求される平坦度が容易に得られ、しかも突提の有効接合幅を最大限に大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による電子部品用パッケージの実施態様を示す分解斜視図である。
【図２】本発明による電子部品用パッケージの実施態様を示す断面図である。
【図３】本発明による電子部品用パッケージの実施態様を示す要部断面図である。
【図４】本発明による電子部品用パッケージの形成方法を示す工程図である。
【図５】本発明のフォージング工程のダイ及びパンチを示す断面図である。
【図６】本発明のフォーミング工程を示す部分断面図である。
【図７】第２の方法のフォージング工程におけるダイ及びパンチを示す断面図である。
【図８】第２の方法のフォーミング工程におけるダイ及びパンチを示す断面図である。
【図９】従来の電子部品用パッケージの実施態様を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１      パッケージ
２      突堤
３      凹部
３ａ    底板
４      電子部品
５      配線基板
６            配線基板の端子
７            電子部品の端子
８            ボンディングワイヤ
２２      金属板
２４        ダイ
２５    パンチ
２８        ノックアウト
２８ａ    テーパー面
２９    突提素体
３３        成形パンチ
＃１    打ち抜き工程
＃２        フォージング工程
＃３        フォーミング工程
＃４        総抜き工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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