(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に積層され、電気信号を超音波に変換すると共に被検体から反射されてくる超音波を電気信号に変換する圧電体と、この圧電体に積層され、被検体の音響インピーダンスと圧電体の音響インピーダンスとの整合を行なう音響整合層とを備えた超音波プローブにおいて、
前記音響整合層と前記基材との少なくとも一方の部材は、音響インピーダンスの異なる複数種類の素材が複合された複合体から形成されることを特徴とする超音波プローブ。
【請求項２】
前記複合体の各素材を順番にかつ繰り返し配置する場合に、各素材の繰り返し周期の長さを、複合体の平均音速に対する超音波の波長以下に設定したことを特徴とする請求項１記載の超音波プローブ。
【請求項３】
前記複数種類の素材の内の一つの素材に溝部を形成し、この溝部に他の一つの素材を充填して硬化させ、この充填及び硬化処理を残りの各素材毎に行ない、前記複合体を形成することを特徴とする請求項１または請求項２記載の超音波プローブ。
【請求項４】
前記音響整合層と前記基材との少なくとも一方の部材は、単一種類の素材からなる単一体と前記複合体とが連続して積層されることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３記載の超音波プローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検体に超音波を送波し、被検体から反射されてくる超音波を受波する超音波プローブに関し、特に、所望の仕様を有する音響材料を得ることのできる超音波プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
超音波診断装置では、超音波プローブにより超音波を被検体に送受信することによって被検体の軟部組織の断層像を得ている。
【０００３】
この種の超音波プローブは、圧電セラミックスや高分子圧電体の圧電効果を利用して、加えられた電気信号に対応した超音波を被検体に送波し、また、被検体からの超音波に対応する電気信号を発生する。
【０００４】
この種の超音波プローブ本体の側面図を図９に示す。超音波プローブ本体（振動子）は、バッキング材１１、圧電体１３、２層の音響整合層１０１ａ，１０１ｂ、音響レンズ１７を備えて構成される。
【０００５】
バッキング材１１は、短い超音波パルスを発生するさせるために不要振動を吸収する。圧電体１３は、圧電セラミックスなどからなる圧電振動子であり、バッキング材１１の上面に積層され、電気パルスを超音波に変換すると共に超音波パルスを電気信号に変換する。
【０００６】
２層の音響整合層１０１ａ，１０１ｂは、被検体の音響インピーダンスと圧電体１３の音響インピータンスダンスとの整合を行なうものである。音響整合層１０１ａは圧電体１３の上面に積層され、音響整合層１０１ｂは音響整合層１０１ａの上面に積層される。音響レンズ１７は、シリコンゴムなどからなり、音響整合層１０１ｂに積層され、音場をよくする。
【０００７】
なお、前記圧電体１３の下部には電極１９ａ，１９ｂが設けられ、この電極１９ａ，１９ｂに電圧が印加され、圧電体１３が機械振動するようになっている。圧電体１３は、所定間隔で切断され、図示しないが、複数の振動子片が形成されている。
【０００８】
また、超音波プローブは、図１０に示すように、振動子を含む超音波プローブ本体１と、この超音波プローブ本体１に電気的に接続されるケーブル３、このケーブル３に電気的に接続されるコネクタ５を備えて構成される。このコネクタ５には図示しないパルサーや、レシーバー回路が接続される。
【０００９】
このような超音波プローブは電極１９ａ，１９ｂに印加された電圧により超音波を発生すると共に、反射した超音波を受信して電気信号に変換して、超音波診断装置本体（図示せず）に供給する。そして、超音波診断装置本体では、超音波プローブから供給された電気信号に基づいて断層像を得る。
【００１０】
このような超音波プローブの伝達特性は、画像の信号／雑音比（Ｓ／Ｎ比）、分解能等に関わる１要素である。この伝達特性は、プローブと送信／受信回路であるパルサー／レシーバー回路相互間のインピーダンスマッチング特性とプローブ自体の電気エネルギー／音響エネルギー相互間の交換特性に依存して定まるものである。
【００１１】
従来、この伝達特性を最適化するために、予め机上での計算によって、所望の特性（例えば、音響インピーダンス、減衰係数）が確保できる最適な圧電体、音響整合層、バッキング材の仕様を把握し、これらの素材を調達していた。そして、調達された素材から圧電体、音響整合層、バッキング材を試作して製造性、特性、信頼性等の確認を行っていた。
【００１２】
特に、前記振動子の伝達特性を最適化するために、所望の材料の調達方法としては、単体で調達する場合と複数の素材を調達して混合する場合とがある。しかし、単体で調達する場合、現実に入手できる素材には限界があるため、所望の仕様を満足できる素材を入手し難いという問題があった。
【００１３】
一方、複数の素材を混合して所望の仕様を実現することも考えられるが、個々の素材の性質、これら素材の差及び成形条件の差等によって複数の素材の混合が難しいため、最適な音響材料が実現されにくい。
【００１４】
これに対して、２種類の素材を混合する場合、一方の素材を溶解しておき、他方の素材を粉砕した上で、一方の素材に他方の素材を混合するという方法もあった。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、その素材を超音波の波長オーダーに対して十分に小さく且つ均一な粒度に粉砕することが困難であった。また、素材の粉砕の度合いに応じて、素材の表面積が増加するため、複数の素材の混合比率に限界が生じていた。
【００１６】
さらには、溶解させた素材の硬化速度と２つの素材間の比重差との関係によっては、混合比率が不均一になる可能性がある等、種々の問題を伴うことが多かった。
【００１７】
本発明の目的は、複数種類の素材を混合してなる音響材料に対して、従来の手法に比較して容易に所望の仕様を有する音響材料を得ることのできる超音波プローブを提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記課題を解決するために以下の手段を採用した。請求項１の発明は、基材に積層され、電気信号を超音波に変換すると共に被検体から反射されてくる超音波を電気信号に変換する圧電体と、この圧電体に積層され、被検体の音響インピーダンスと圧電体の音響インピーダンスとの整合を行なう音響整合層とを備えた超音波プローブにおいて、前記音響整合層と前記基材との少なくとも一方の部材は、音響インピーダンスの異なる複数種類の素材が複合された複合体から形成されることを要旨とする。
【００１９】
この発明によれば、音響整合層と前記基材との少なくとも一方の部材は、音響インピーダンスの異なる複数種類の素材が複合された複合体から形成されているので、複数種類の素材を混合してなる音響材料に対して、従来の手法に比較して容易に所望の仕様を有する音響材料を得ることができる。
【００２０】
請求項２の発明は、前記複合体の各素材を順番にかつ繰り返し配置する場合に、各素材の繰り返し周期の長さを、複合体の平均音速に対する超音波の波長以下に設定したことを要旨とする。
【００２１】
この発明によれば、複合体の各素材を順番にかつ繰り返し配置する場合に、各素材の繰り返し周期の長さを、複合体の平均音速に対する超音波の波長以下に設定したので、複合体が均一の１つの素材に近似的に見なされるので、均一化した伝達特性として取り扱われるから、所望の特性が得られやすい。
【００２２】
請求項３の発明は、前記複数種類の素材の内の一つの素材に溝部を形成し、この溝部に他の一つの素材を充填して硬化させ、この充填及び硬化処理を残りの各素材毎に行ない、前記複合体を形成することを要旨とする。
【００２３】
この発明によれば、複数種類の素材の内の一つの素材に溝部を形成し、この溝部に他の一つの素材を充填して硬化させ、この充填及び硬化処理を残りの各素材毎に行ない、前記複合体を形成する。
【００２４】
すなわち、個々の素材を順次形成していくため、従来、複数の素材の混合の際に問題となっていた素材間の性質、成形条件の差の影響を受け難い。
【００２５】
また、粉砕による複数の素材の混合に対しても、波長オーダーに対して十分に小さく、且つ、均一な粒度の実現や素材間の比重差による混合率の不均一化に関する問題も回避できる。
【００２６】
その結果、実現できる音響材料の範囲を広げることができ、これによって、プローブの伝達特性を予め机上での計算によって、把握した最適な特性に漸近させることができる。
【００２７】
請求項４では、前記音響整合層と前記基材との少なくとも一方の部材は、単一種類の素材からなる単一体と前記複合体とが連続して積層されることを要旨とする。
【００２８】
この発明によれば、音響整合層と前記基材との少なくとも一方の部材は、単一種類の素材からなる単一体と前記複合体とが連続して積層されるので、所望の特性が得られやすいと共に単一体と複合体との間の接着層を省くことができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の超音波プローブの実施の形態を図面を参照して説明する。本発明では、机上の検討により算出される音響材料の仕様の１つとして、音響インピーダンスに着目して説明する。
【００３０】
（実施の形態１）
図１に本発明の超音波プローブの実施の形態１の斜視図を示す。実施の形態１では、複数の種類の素材を用いて音響材料を実現する場合において、予め溝部が形成された一方の素材を準備し、その上で他の素材をその溝部に充填、硬化させる、すなわち、個々の素材を順次形成することによって、所望の音響材料を実現するものである。
【００３１】
ここでは、２種類の素材を組み合わせて構成される音響材料の場合に関して説明する。図２に、実施の形態１における超音波プローブの側面図を示す。
【００３２】
図２に示す超音波プローブは、超音波プローブ本体（振動子）は、基材としてのバッキング材１１、圧電体１３、２層の音響整合層１５ａ，１５ｂ、音響レンズ１７を備えて構成される。
【００３３】
バッキング材１１は、短い超音波パルスを発生するさせるために不要振動を吸収するものである。圧電体１３は、バッキング材１１の上面に積層され、電気パルスを超音波に変換すると共に超音波パルスを電気信号に変換するもので、圧電セラミックスなどからなる圧電振動子である。
【００３４】
２層の音響整合層１５ａ，１５ｂは、被検体の音響インピーダンスと圧電体１３の音響インピータンスダンスとの整合を行なうものである。音響整合層１５ａは、圧電体１３の上面に積層され、音響整合層１５ｂは、音響整合層１５ａの上面に積層される。音響レンズ１７は、音響整合層１５ｂに積層され、音場をよくするためにシリコンゴムなどからなる。
【００３５】
なお、前記圧電体１３の下部には電極１９ａ，１９ｂが設けられ、この電極１９ａ，１９ｂに電圧が印加され、圧電体１３が機械振動して超音波を発生するようになっている。圧電体１３は、所定間隔で切断され、図示しないが、複数の振動子片が形成されている。
【００３６】
前記音響整合層１５ｂは、第１の素材であるエポキシ樹脂２１と、第２の素材であるシリコン樹脂２３とを（振動子配列方向（以下、アレイ方向と称する。）に交互にかつ繰り返し配置し、また、振動子アレイ方向に直交する方向（以下、スライス方向と称する。）にもエポキシ樹脂２１とシリコン樹脂２３とを交互にかつ繰り返し配置して構成される。
【００３７】
すなわち、前記音響整合層１５ｂは、上面からもわかるようにエポキシ樹脂２１とシリコン樹脂２３とを格子状に組み合わせて複合化した複合体からなる。
【００３８】
また、前記音響整合層１５ａも、エポキシ樹脂２１と、シリコン樹脂２５とをアレイ方向に交互にかつ繰り返し配置し、また、スライス方向にもエポキシ樹脂２１とシリコン樹脂２５とを交互にかつ繰り返し配置して構成される。
【００３９】
すなわち、前記音響整合層１５ａも、エポキシ樹脂２１とシリコン樹脂２５とを格子状に組み合わせて複合化した複合体からなる。
【００４０】
次に、このような音響整合層１５ａ，１５ｂを製造する方法について図３を参照して説明する。
【００４１】
まず、エポキシ樹脂２１を適当な型枠を用いて硬化させ、研削と研磨によって基準面を作成する。その後、その基準面に対向する面に対して、高精度位置決めが可能な切断機を用いて溝部３１を形成し（ステップＳ１）、次に、溝部３３を形成する（ステップＳ３）。このとき、エポキシ樹脂２１は図３に示すように柱状体となる。
【００４２】
そして、溝部３１と溝部３３とに減圧環境下でシリコン樹脂２３を充填し硬化させる（ステップＳ５）。最後に、研削と研磨によって所望の厚みの複合体からなる音響整合層１５ａ，１５ｂを形成する。
【００４３】
なお、音響整合層１５ｂのエポキシ樹脂２１の音響インピーダンスは、約３［Ｍｒａｙｌｓ］であり、シリコン樹脂２３の音響インピーダンスは、約１［Ｍｒａｙｌｓ］である。
【００４４】
ここで、音響整合層１５ｂのエポキシ樹脂２１の複合体積比率はＶＡ  であり、シリコン樹脂２３の複合体積比率はＶＢ  であるとすると、複合体の平均的な音響インピーダンスは、ＶＡ  ×ＺＡ  ＋ＶＢ  ×ＺＢ  によって近似される。
【００４５】
従って、目標とする音響材料の音響インピーダンスが定まれば、既存の素材の中から適切な素材を選択して複合化し、所望の仕様を有する音響材料を実現することができる。
【００４６】
例えば、音響インピーダンス２．５［Ｍｒａｙｌｓ］の音響材料が必要である場合、第１の素材であるエポキシ樹脂２１の複合体積比率を７５［％］とし、第２の素材であるシリコン樹脂２３の複合体積比率を２５［％］とすれば、２．５［Ｍｒａｙｌｓ］の音響インピーダンスを有する複合体を容易に得ることができる。
【００４７】
このように実施の形態１によれば、複数の素材を混合してなる音響材料の実現が、従来の手法に比べ容易になる。すなわち、個々の素材を順次形成していくため、従来、混合の際に問題となっていた素材間の性質、成形条件の差の影響を受け難い。
【００４８】
また、粉砕による複数の素材の混合に対しても、波長オーダーに対して十分に小さく、且つ、均一な粒度の実現や素材間の比重差による混合率の不均一化に関する問題も回避できる。
【００４９】
その結果、実現できる音響材料の範囲を広げることができ、これによって、プローブの伝達特性を予め机上での計算によって、把握した最適な特性に漸近させることができる。
【００５０】
また、第１の素材であるエポキシ樹脂２１の音速は、約２７００［ｍ／ｓｅｃ］であり、第２の素材であるシリコン樹脂２３の音速は、約１０００［ｍ／ｓｅｃ］である。これにより、複合体の平均的な音速は、ＶＡ  ×ＣＡ  ＋ＶＢ  ×ＣＢ  に近似される。
【００５１】
また、複合体を構成する各素材の繰り返し周期の長さＰ（図２に示す部分）を、複合体の平均的な音速に対する超音波の波長以下に設定させる。このためには、超音波の周波数をｆｃ［ＭＨｚ］とした場合、前記平均的な音速に基づいて算出される波長λＣ  （ＶＡ  ×ＣＡ  ＋ＶＢ  ×ＣＢ  ）／ｆｃ［ｍ］に対して、λＣ  ＞Ｐ［ｍ］を満足するように、繰り返し周期の長さＰを設定する。
【００５２】
例えば、超音波の周波数を７．５［ＭＨｚ］とした場合、前記複合体積比率に対して、波長は０．２７［ｍｍ］となる。この波長以下の繰り返し周期の長さＰによって各素材を複合化すればよい。
【００５３】
図４（ａ）に示すように、繰り返し周期の長さＰを波長λＣ  よりも小さく設定した場合には、超音波から複合体を見たとき、複合体が均一の１つの素材に近似的に見なされるので、均一化した伝達特性として取り扱われるから、所望の伝達特性が得られやすい。
【００５４】
一方、図４（ｂ）に示すように、繰り返し周期の長さＰを波長λＣ  よりも大きく設定した場合には、超音波から複合体を見たとき、複合体が複数の素材に見なされる。すなわち、複数の素材が合成されたものでは、所望の伝達特性が得られにくい。
【００５５】
なお、実施の形態１では、溝部３１，３３を形成するときに、硬化させたエポキシ樹脂２１に対して高精度位置決めが可能な切断機を用いたが、エポキシ樹脂２１を硬化させる段階で、溝構造を有する型枠を用いて硬化・成形することにより、溝部３１及び溝部３３を形成するようにしてもよい。同様に、素材は、熱硬化性高分子、熱可塑性高分子等が使用してもよい。
【００５６】
また、実施の形態１では、音響整合層１５ａ，１５ｂを複合体としたが、例えば、バッキング材１１をエポキシ樹脂２１とシリコン樹脂２３とからなる複合体としてもよい。さらには、音響整合層１５ａ，１５ｂ及びバッキング材１１を前記複合体としてもよい。
【００５７】
また、エポキシ樹脂２１及びシリコン樹脂２３の複合体積比率は実施の形態１の比率に限定されず、仕様値と組み合わせ素材の特性及び種類に応じて決定すればよい。
【００５８】
（実施の形態２）
次に、本発明の超音波プローブの実施の形態２を説明する。実施の形態２の超音波プローブの斜視図を図５に示す。
【００５９】
実施の形態２では、実施の形態１の構成に対して、バッキング材１１ａの構成が異なる。なお、図示しない音響レンズ１７が音響整合層１５ｂに積層されている。
【００６０】
バッキング材１１ａは、厚みｔの材料からなり、上部の厚みｔ１のエポキシ樹脂２１及びシリコン樹脂２３からなる複合体と、下部の厚み（ｔ−ｔ１）のエポキシ樹脂２１からなる単一体との積層構造からなる。すなわち、エポキシ樹脂２１の単一体も、音響材料として使用したものである。
【００６１】
このような構成のバッキング材１１ａは、前記実施の形態１の最終の研削・研磨の工程において、エポキシ樹脂２１を必要な厚み（ｔ−ｔ１）だけ残すことによって、形成される。
【００６２】
このような構造で積層化を行うことによって、音響特性上、単一体と複合体との間の不要な接着層を排除することができ、プローブの伝達特性の最適化に対して有用である。
【００６３】
また、バッキング材１１ａは、エポキシ樹脂２１の代わりに、シリコンゴムを用いても良く、シリコン樹脂２３の代わりに、アルミナ・アラルダイトを用いても良い。
【００６４】
この場合、アルミナ・アラルダイトの音響インピーダンスは、約７．６［Ｍｒａｙｌｓ］であり、シリコンゴムの音響インピーダンスは、約１［Ｍｒａｙｌｓ］である。
【００６５】
アルミナ・アラルダイトの複合体積比率を３０［％］とし、シリコンゴムの複合体積比率を７０［％］とすれば、３［Ｍｒａｙｌｓ］の音響インピーダンスを有する複合体を容易に得ることができる。また、この比率を変化させて、複合体の音響インピーダンスを可変することができる。
【００６６】
なお、実施の形態２では、バッキング材１１ａを単一体と複合体との積層構造としたが、例えば、音響整合層１５ａ，１５ｂのそれぞれを前記複合体と前記単一体との積層構造としてもよい。
【００６７】
（実施の形態３）
次に、本発明の超音波プローブの実施の形態３を説明する。実施の形態３の超音波プローブの斜視図を図６に示す。実施の形態１及び実施の形態２では、２種類の素材を複合した複合体を説明したが、図６に示したように、音響整合層１５ｃ，１５ｄのそれぞれが３種類の素材を複合した複合体から構成される。なお、図示しない音響レンズ１７が音響整合層１５ｄの上面に積層されている。
【００６８】
音響整合層１５ｄは、第１の素材であるエポキシ樹脂２１と、第２の素材であるシリコン樹脂２３とをスライス方向に交互にかつ繰り返し配置し、また、アレイ方向にエポキシ樹脂２１と第３の素材２６とを交互にかつ繰り返し配置して構成される。
【００６９】
すなわち、前記音響整合層１５ｂは、上面からもわかるようにエポキシ樹脂２１とシリコン樹脂２３と第３の素材２６とを格子状に組み合わせて複合化した複合体からなる。また、前記音響整合層１５ｃも、音響整合層１５ｄとほぼ同様に構成される複合体からなる。
【００７０】
次に、このような音響整合層１５ｃ，１５ｄを製造する方法について図７を参照して説明する。
【００７１】
まず、エポキシ樹脂２１を適当な型枠を用いて硬化させ、研削と研磨によって基準面を作成する。その後、その基準面に対向する面に対して、高精度位置決めが可能な切断機を用いて溝部３１を形成し（ステップＳ１１）、この溝部３１に減圧環境下でシリコン樹脂２３を充填して硬化させる（ステップＳ１３）。
【００７２】
次に、溝部３３を形成し（ステップＳ１５）、この溝部３３に減圧環境下で第３の素材２６を充填し硬化させる（ステップＳ１７）。最後に、研削と研磨によって所望の厚みの複合体からなる音響整合層１５ｃ，１５ｄを形成する。
【００７３】
このように、複合体が３種類の素材からなる場合には、より所望の音響インピーダンスを得やすくなる。
【００７４】
なお、複合させる素材が３種類以上の場合も、以上の実施の形態３と同様の手法で複合体を製作することができる。また、実施の形態３では、音響整合層１５ｃ，１５ｄを３種類の素材からなる複合体としたが、例えば、バッキング材１１を３種類の素材からなる複合体としてもよい。
【００７５】
（実施の形態４）
次に、本発明の超音波プローブの実施の形態４を説明する。実施の形態４の超音波プローブの斜視図を図８に示す。
【００７６】
実施の形態４では、実施の形態３の構成に対して、バッキング材１１ａの構成が異なる。なお、図示しない音響レンズ１７が音響整合層１５ｄの上面に積層されている。
【００７７】
バッキング材１１ａは、厚みｔの材料からなり、上部の厚みｔ１のエポキシ樹脂２１及びシリコン樹脂２３からなる複合体と、下部の厚み（ｔ−ｔ１）のエポキシ樹脂２１からなる単一体との積層構造からなる。すなわち、エポキシ樹脂２１の単一体も、音響材料として使用したものである。
【００７８】
このような構成のバッキング材１１ａは、前記実施の形態１の最終の研削・研磨の工程において、エポキシ樹脂２１を必要な厚み（ｔ−ｔ１）だけ残すことによって、形成される。
【００７９】
このような構造で積層化を行うことによって、音響特性上、単一体と複合体との間の不要な接着層を排除することができ、プローブの伝達特性の最適化に対して有用である。
【００８０】
なお、実施の形態４では、バッキング材１１ａを単一体と複合体との積層構造としたが、例えば、音響整合層１５ｃ，１５ｄのそれぞれを前記複合体と前記単一体との積層構造としてもよい。
【００８１】
【発明の効果】
本発明によれば、音響整合層と基材との少なくとも一方の部材は、音響インピーダンスの異なる複数種類の素材が複合された複合体から形成されているので、複数種類の素材を混合してなる音響材料に対して、従来の手法に比較して容易に所望の仕様を有する音響材料を得ることができる。
【００８２】
また、複合体の各素材を順番にかつ繰り返し配置する場合に、各素材の繰り返し周期の長さを、複合体の平均音速に対する超音波の波長以下に設定したので、複合体が均一の１つの素材に近似的に見なされるので、均一化した伝達特性として取り扱われるから、所望の特性が得られやすい。
【００８３】
また、複数種類の素材の内の一つの素材に溝部を形成し、この溝部に他の一つの素材を充填して硬化させ、この充填及び硬化処理を残りの各素材毎に行ない、前記複合体を形成する。
【００８４】
すなわち、個々の素材を順次形成していくため、従来、複数の素材の混合の際に問題となっていた素材間の性質、成形条件の差の影響を受け難い。また、粉砕による複数の素材の混合に対しても、波長オーダーに対して十分に小さく、且つ、均一な粒度の実現や素材間の比重差による混合率の不均一化に関する問題も回避できる。
【００８５】
その結果、実現できる音響材料の範囲を広げることができ、これによって、プローブの伝達特性を予め机上での計算によって、把握した最適な特性に漸近させることができる。
【００８６】
さらに、音響整合層と基材との少なくとも一方の部材は、単一種類の素材からなる単一体と前記複合体とが連続して積層されるので、所望の特性が得られやすいと共に、単一体と複合体との間の接着層を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超音波プローブの実施の形態１の斜視図である。
【図２】本発明の超音波プローブの側面図である。
【図３】実施の形態１の複合体の製造方法を説明するための図である。
【図４】複合体の繰り返し周期の長さと超音波の波長との関係を説明する図である。
【図５】本発明の超音波プローブの実施の形態２の斜視図である。
【図６】本発明の超音波プローブの実施の形態３の斜視図である。
【図７】実施の形態３の複合体の製造方法を説明するための図である。
【図８】本発明の超音波プローブの実施の形態４の斜視図である。
【図９】従来の超音波プローブの側面図である。
【図１０】超音波プローブの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１  超音波プローブ本体
３  ケーブル
５  コネクタ
１１，１１ａ  バッキング材
１３  圧電体
１５ａ〜１５ｄ  音響整合層
１７  音響レンズ
１９ａ，１９ｂ  電極
２１  エポキシ樹脂
２３  シリコン樹脂
２６  第３の素材
３１，３３  溝部
【図１】
0003592448.tif 000002
【図２】
0003592448.tif 000003
【図３】
0003592448.tif 000004
【図４】
0003592448.tif 000005
【図５】
0003592448.tif 000006
【図６】
0003592448.tif 000007
【図７】
0003592448.tif 000008
【図８】
0003592448.tif 000009
【図９】
0003592448.tif 000010
【図１０】
0003592448.tif 000011