(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の表面にコーティングが施工された被検体である母材の他方の表面と上記コーティングの表面とにそれぞれ電極を取り付け、この電極間に周波数を変化させながら電流を流して電極間の各周波数におけるインピーダンスを測定し、各周波数における測定値を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面に表示して測定値の半円形の軌跡を求め、この測定値の軌跡の大きさから劣化現象の一つである酸化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近の傾斜角から劣化現象の一つであるコーティングの肉厚の減少を検出することを特徴とするコーティング部材の劣化検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載のコーティング部材の劣化検出方法において、前記電極として白金等の耐高温材を用い、同電極を白金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付けてインピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセラミックス材で覆ったケーブルで接続したことを特徴とするコーティング部材の劣化検出方法。
【請求項３】
一方の表面にコーティングが施工された被検体である母材の他方の表面と上記コーティングの表面とにそれぞれ配設される電極、同それぞれの電極が接続されたインピーダンス測定装置、および同装置が測定した各周波数における測定値を入力しそれぞれの測定値を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面に表示して測定値の半円形の軌跡を求めこの軌跡の大きさから酸化物の生成を、同軌跡のゼロ点付近の傾斜角からコーティングの肉厚の減少を検出する処理及び表示装置を備えたことを特徴とするコーティング部材の劣化検出装置。
【請求項４】
請求項３に記載のコーティング部材の劣化検出装置において、前記電極が白金等の耐高温材であり、白金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付けられインピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセラミックス材で覆ったケーブルで接続されたことを特徴とするコーティング部材の劣化検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属の耐久性を向上するためにコーティングが施工されたコーティング部材の劣化検出方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機器を構成する金属を高温雰囲気等から守るためにコーティングが施工されているコーティング部材における劣化発生のメカニズムについて、図６により説明する。
【０００３】
図６において、８１は機器を構成する金属（ここでは母材と呼ぶ）、８２は直接高温雰囲気等に接触するトップコーティング、８３は金属８１とトップコーティング８２の接着性を高めるためにその間に設けられたアンダーコーティング、８４はアンダーコーティング８３の中に発生したアンダーコーティング材の酸化物（ここでは酸化物と呼ぶ）である。
【０００４】
トップコーティング８２は、母材８１が高温にさらされることからこれを保護するために設けられ、一般的に金属よりも熱伝導率の低いセラミックが材料として使用され、セラミックの粉末が各種の工法で吹き付けられて、コーティング膜を生成したものである。このトップコーティング８２については、母材８１への接着性を高めるために、近年、母材８１との間に金属のアンダーコーティング８３が設けられている。
【０００５】
通常の状態では、トップコーティング８２は、アンダーコーティング８３に良好に接着し、アンダーコーティング８３は、母材８１と良好に接着して、母材８１が高温にさらされるのを防ぐ。このトップコーティング８２とアンダーコーティング８３の併用は、母材８１の耐久性を向上する目的で各種工業分野にて適用されている。
【０００６】
トップコーティング８２及びアンダーコーティング８３が施された母材８１は機器を構成しており、この機器の稼働中にコーティング材の劣化が発生することがある。
【０００７】
この劣化原因の一つは、図６に示した酸化物８４の生成によるものである。前述のようにアンダーコーティング８３の材質は金属であり、機器の稼働中（一般的に高温雰囲気中）に、コーティング中に存在する酸素もしくは周囲の雰囲気中から入ってきた酸素によって、アンダーコーティング材である金属が酸化され、酸化物８４が生成される。
【０００８】
アンダーコーティング８３の表面に酸化物８４が発生した場合、トップコーティング８２とアンダーコーティング８３の間の接着性が低下し、酸化物８４が生じた状態で更に稼働を続けると、トップコーティング８２とアンダーコーティング８３の間が剥がれ、更に、この状態で稼働を続けると、トップコーティング８２に部分的な脱落が発生し、母材８１に損傷が発生し、機器全体の運転に支障をきたすことがある。
【０００９】
したがって、アンダーコーティング８３の中に発生した酸化物８４の存在の有無は、このような機器にとっては重要であり、機器の運転が停止されたとき等に酸化物８４の有無を何らかの方法で調べることは、機器の寿命延長に大変有効である。
【００１０】
また、もう一つの劣化原因としては、トップコーティング８２の膜厚の減少が挙げられる。トップコーティング８２は、機器の運転時には外部雰囲気等と接触しており、摩耗等によってその膜厚が減少することがある。このトップコーティング８２の膜厚の減少は母材８１に悪影響を与え、トップコーティング８２の膜厚が減少した状態で機器の運転を続けた場合、母材８１に損傷が発生し、機器全体に悪影響を与えることがある。
【００１１】
したがって、トップコーティング８２の膜厚は、このような機器にとって重要であり、機器の運転が停止されたとき等にトップコーティング８２の膜厚を何らかの方法で調べることは、機器の寿命延長に大変有効である。
【００１２】
上記各コーティング及び酸化物の電気的な特性について、以下に説明する。トップコーティングの材質はセラミックであり、セラミックは絶縁体であるため、この電気抵抗率ρｔ  は母材（金属）の電気抵抗率ρｍ  にくらべて１０１６倍程度大きく、金属の酸化物たとえば酸化アルミ（Ａ１２  Ｏ３  ）の電気抵抗率ρｏ  はトップコーティングよりも更に１０３  倍程度大きいことが観察されている。アンダーコーティング材の電気抵抗率ρｕ  は、アンダーコーティング材が金属であるため、母材とほぼ同一である。
【００１３】
また、トップコーティング材及び酸化物のように電気抵抗率が極めて大きい物質では誘電率が重要な特性であり、トップコーティング材については、比誘電率εｔが３０であり、酸化物たとえば酸化アルミ（Ａ１２  Ｏ３  ）については、比誘電率εｏは１０が観察されている。
【００１４】
上記コーティング部材の劣化検出のための従来の装置としては、図７に示したもの（特開平６−２７３３６５の例）がある。図７において、１はコーティングを有する被検対象物、１ｃは図６中の８２及び８３と同様のコーティング、１ｍは図６中の８１と同様の金属（母材）である。
【００１５】
２は検出端である検出コイル、３は検出コイル２を内蔵するプローブ、４は検出コイル２を交流で励磁する励磁電源、５はブリッジ回路、６は検出された信号を処理するコンピュータ、７は検出された信号を増幅する受信用増幅器、８は増幅された信号をディジタルに変換するＡ／Ｄ変換器、９は検出された信号に関係する電圧を発生するＤ／Ａ変換器である。
【００１６】
上記装置においては、検出コイル２が励磁電源４よりブリッジ回路５を介して供給された低周波から高周波までの広い範囲の周波数の電流Ｉｉにより励磁され、ブリッジ回路５が不平衡出力信号Ｉｏを出力し、これを入力したコンピュータ６が不平衡補償信号Ｉｃをブリッジ回路５に印加しており、周波数の変化に対応した検出コイル２のインピーダンスの変動を測定することによって、コーティング部材の劣化を検出している。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
従来のコーティング部材の劣化検出装置は、前述のように、励磁電流の周波数の変化に対応した検出コイルのインピーダンスの変動を測定してコーティング部材の劣化を検出するもので、一種の渦電流探傷手法（電磁誘導法）が適用されたものであるが、次のような課題があった。以下にその詳細を説明する。
【００１８】
前述のように、トップコーティング及び劣化によってアンダーコーティングに生じる酸化物は絶縁体であり、この電気抵抗率は母材（金属）の１０１６倍程度と大きい。
【００１９】
渦電流探傷法の検出感度は、被検体の中に発生する渦電流の強度によって左右されるもので、被検体中に流れる渦電流の強度は、被検体の電気抵抗率が小さいほど、また比透磁率が大きいほど高くなる。
【００２０】
しかしながら、磁性体金属以外の物質では、比透磁率は１（空気と同一）であり、劣化検出対象のトップコーティング及び酸化物は非磁性体のため、比透磁率については論じる必要がなく、被検体中に流れる渦電流の強度が左右される電気抵抗率についてのみ検討すればよい。
【００２１】
トップコーティング及び酸化物の電気抵抗率は母材に比べて極めて大きいため、この中を流れる渦電流の強度は母材に流れる渦電流の強度の１０１６分の１程度しか流れず、酸化物では電気抵抗率が更に大きいため、この中を流れる渦電流の強度はさらに小さくなる。
【００２２】
したがって、この渦電流探傷法では、トップコーティング及び酸化物に対する感度が極めて低くなり、検出コイルで検出される検出値には、トップコーティング及び酸化物に関する情報がほとんど含まれないことになる。
【００２３】
このことは、この手法を用いた場合、コーティングが電気抵抗率の高いセラミック材等からなるものについては、コーティング部材の劣化に対する検出性が低くなることを示しており、精度のよい劣化状況の検出は困難であった。
本発明は上記の課題を解決しようとするものである。
【００２４】
またさらに、上記のコーティング部材の劣化状況の検出を、被測定物が使用条件等に合わせた高温環境下に置かれた状態で測定する必要がある場合に対し、それを可能とすることを課題とするものである。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
（１）請求項１の発明に係るコーティング部材の劣化検出方法は、一方の表面にコーティングが施工された被検体である母材の他方の表面と上記コーティングの表面とにそれぞれ電極を取り付け、この電極間に周波数を変化させながら電流を流して電極間の各周波数におけるインピーダンスを測定し、各周波数における測定値を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面に表示して測定値の半円形の軌跡を求め、この測定値の軌跡の大きさから劣化現象の一つである酸化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近の傾斜角から劣化現象の一つであるコーティングの肉厚の減少を検出することを特徴としている。
【００２６】
上記において、コーティング部材を形成する母材は金属であり、良導体であるのに対して、コーティングは極めて電流の流れにくい不良導体であるため、電極間のインピーダンスはコーティングのインピーダンスとほぼ等しく、また、このコーティングのインピーダンスは抵抗と静電容量が並列接続された等価回路と同等とすることができる。
【００２７】
そのため、周波数を変化させながら電流を流すことにより測定された電極間の各周波数におけるインピーダンスの測定値を複素平面上に表示した場合、その軌跡は所定の大きさの半円形を描く。
【００２８】
上記コーティングが劣化して酸化物を生成した場合、この等価回路は上記コーティングのみのときの等価回路に酸化物の抵抗と静電容量が並列接続された等価回路が直列接続されたものとなる。また、この酸化物はコーティングに比べて更に電流が流れにくくなり、その厚みが薄いため、電気抵抗率が大きく、比誘電率が小さい。
【００２９】
そのため、酸化物を生成した場合のインピーダンスの測定値により複素平面上に描かれる半円形の軌跡は、コーティングのみの場合のものより大きく、この軌跡の大きさの比較により酸化物の生成を検出することができる。
【００３０】
上記コーティングが減肉して肉厚が薄くなった場合は、コーティングのみの場合に比べて、静電容量が大きくなり、抵抗は小さくなるため、測定値の軌跡における周波数が高い部分（インピーダンスがゼロに近い部分）での傾斜角が小さくなる。
【００３１】
そのため、この傾斜角をコーティングの厚さが正常なものと比較することにより、減肉の状況を検出することができる。
【００３２】
（２）請求項２の発明に係るコーティング部材の劣化検出方法は、請求項１に記載のコーティング部材の劣化検出方法において、前記電極として白金等の耐高温材を用い、同電極を白金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付けてインピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセラミックス材で覆ったケーブルで接続したことを特徴としている。
【００３３】
本発明においては、前記（１）の発明の作用、効果に加えて、被測定物を高温環境下にに置いた状態でコーティング部材の劣化の状態を検出できるものである。
【００３４】
（３）請求項３の発明に係るコーティング部材の劣化検出装置は、一方の表面にコーティングが施工された被検体である母材の他方の表面と上記コーティングの表面とにそれぞれ配設される電極、同それぞれの電極が接続されたインピーダンス測定装置、および同装置が測定した各周波数におるけ測定値を入力しそれぞれの測定値を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面に表示して測定値の半円形の軌跡を求めこの軌跡の大きさから酸化物の生成を、同軌跡のゼロ点付近の傾斜角からコーティングの肉厚の減少を検出する処理及び表示装置を備えたことを特徴としている。
【００３５】
本発明においては、インピーダンス測定装置が周波数を変化させながら電流を電極間に供給し、電極間の各周波数におけるインピーダンスの実数成分と虚数成分で示された測定値を測定する。
【００３６】
このインピーダンス測定装置により測定されたインピーダンスの測定値は処理及び表示装置に入力され、処理及び表示装置はそれぞれの測定値を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面上に表示し、この複素平面上における測定値の軌跡を求め、求められたそれぞれの軌跡の比較を行う。
【００３７】
そのため、前記（１）の発明と同様、軌跡の大きさより酸化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近の傾斜角よりコーティングの減肉の状況を検出することが可能となる。
【００３８】
（４）請求項４の発明に係るコーティング部材の劣化検出装置は、請求項３に記載のコーティング部材の劣化検出装置において、前記電極が白金等の耐高温材であり、白金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付けられインピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセラミックス材で覆ったケーブルで接続されたことを特徴としている。
【００３９】
本発明においては、前記（３）の発明の作用、効果に加えて、被測定物を高温環境下に置いた状態でコーティング部材の劣化の状態を検出できるものである。
【００４０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の一形態に係るコーティング部材の劣化検出装置について、図１及び図２により説明する。なお、本実施形態は、図６に示したように金属（母材）８１の表面にトップコーティング８２とアンダーコーティング８３が施されたコーティング部材の劣化検出に適用されるものである。
【００４１】
図１に示す本実施形態に係る劣化検出装置は、その表面にトップコーティング８２とアンダーコーティング８３が施された母材８１の裏面に配設された電極１３、上記トップコーティング８２の表面に配設された電極１４、同電極１３，１４がそれぞれケーブル１５，１６を介して接続されたインピーダンス測定装置１１、および同測定装置１１がケーブル１７を介して接続され表示画面２１を有する処理及び表示装置１２を備えている。
【００４２】
上記において、コーティング部材の劣化を検出する場合、インピーダンス測定装置１１は、２個の測定端子の間に接続された回路に低い周波数から高い周波数まで周波数を変化させて電流を供給し、各周波数におけるインピーダンスを測定する。
【００４３】
この測定結果については、インピーダンスの絶対値及び位相角の値をセットにして、又はインピーダンスの実数成分の値及び虚数成分の値をセットにして処理及び表示装置１２に入力され、処理及び表示装置１２は測定結果を表示画面２１に測定例２２のように表示する。
【００４４】
図２（ａ）は、上記処理及び表示装置１２の表示画面２１だけを示したものであり、この表示画面は、横軸に測定したインピーダンスの実数成分の大きさ、縦軸に虚数成分の大きさが表示され、測定した各周波数のインピーダンスの値が測定点の１点として表示される。図２（ａ）において、２１は表示画面であり、３１は各周波数に対応する測定点、３２は各周波数の測定点３１の間を結んでできた表示線であり、３１と３２を総称して、測定結果２２と呼ぶ。
【００４５】
この処理及び表示装置１２については、その表示画面２１に、図２（ｂ）に示すような拡大表示もできる機能を有している。図２（ｂ）は、インピーダンスの測定値がゼロに近づく部分を拡大して表示している。
【００４６】
次に、上記インピーダンス部材の劣化検出装置を使用して行う、酸化物の生成及びトップコーティングの厚みの減少を検出する方法について、図３乃至図５により説明する。
【００４７】
図３は、アンダーコーティング８３に酸化物８４が生成されていない場合を示しており、その等価回路は図３（ｂ）に示すものである。ここで、Ｃｔはトップコーティング８２の部分の静電容量、Ｒｔはトップコーティング８２の部分の抵抗である。
【００４８】
上記静電容量Ｃｔは、トップコーティング材の比誘電率に比例し、トップコーティング８２の肉厚の逆数に比例した大きさになる。同様に、抵抗Ｒｔは、トップコーティング材の電気抵抗率に比例し、トップコーティング８２の肉厚に比例した大きさになる。
【００４９】
なお、アンダーコーティング８３及び母材８１は金属であり、その電気抵抗率はトップコーティング材の１０−１６  倍程度であり、このインピーダンスは極めて小さいため、無視できる。このため、上記等価回路では、アンダーコーティング８３及び母材８１の抵抗及び静電容量については省略した。
【００５０】
上記等価回路において、静電容量Ｃｔ（トップコーティングの静電容量）のインピーダンスＺｃｔは、１／ωＣｔ（ω＝２πｆ、ｆは各周波数）であり、周波数が低い場合、極めて大きな値になり、抵抗ＲｔのインピーダンスＺｒｔよりも大きくなる。抵抗ＲｔのインピーダンスＺｒｔは周波数に対して一定（Ｚｒｔ＝Ｒｔ）である。
【００５１】
したがって、周波数を変えて測定した場合、低周波では抵抗Ｒｔによるインピーダンスを主に測定する結果になり、周波数を高くするに従って、静電容量Ｃｔの影響が測定値に現れてくる。更に、高周波にすると、静電容量Ｃｔによるインピーダンスを主に測定することになり、極めて高周波では、静電容量Ｃｔの値に関係せず、インピーダンス値はゼロに近づく。
【００５２】
このため、周波数を変化させてインピーダンスを測定した場合、図３（ｃ）に示すように、各周波数の測定点を結ぶ表示線３２が半円形になって現れる。この表示線３２の虚数成分側の最も大きい点は、抵抗Ｒｔによるインピーダンス値Ｚｒｔと静電容量Ｃｔによるインピーダンス値Ｚｃｔが（ある周波数で）等しくなった点である。
【００５３】
図４は、アンダーコーティング８３に酸化物８４が生成した場合を示しており、その等価回路は図４（ｂ）に示すものであり、Ｃｔ、ＲｔにＣｏ、Ｒｏが加わる。ここで、Ｃｏは酸化物８４による静電容量、Ｒｏは酸化物８４による抵抗である。前述のように、酸化物８４の電気抵抗率は、トップコーティング材よりも１０３  倍程度大きく、比誘電率は１／３程度であることがわかっている。
【００５４】
一般的に酸化物８４の肉厚はトップコーティング８２に比べて相当小さい（数十分の１程度）が、電気抵抗率が大きいため、上記の等価回路においてＲｔよりもＲｏの方が相当大きくなる。静電容量についても、酸化物の方が比誘電率は小さいが、酸化物の肉厚が小さいため、ＣｔよりもＣｏの方が相当大きくなる。
【００５５】
この等価回路全体としてのインピーダンスは、トップコーティング８２による抵抗Ｒｔ及び静電容量Ｃｔと酸化物８４の抵抗Ｒｏ及び静電容量Ｃｏが合成されたものになるが、酸化物８４の抵抗が大きいため、低周波域でのインピーダンス値（静電容量によるインピーダンスが抵抗によるインピーダンスよりも大きくなる範囲）は、酸化物８４が存在しない場合に比べて大きくなる。
【００５６】
また、抵抗値が大きいため、静電容量によるインピーダンスと抵抗によるインピーダンスが一致する点の値（虚数成分が最も大きくなる点の値）も大きくなり、各周波数の測定点３３及びこの測定点３３を結ぶ表示線３４の軌跡の半径は、酸化物８４が存在しない場合に比べて大きくなる。
【００５７】
したがって、この測定点及び測定点を結ぶ線の軌跡の半径の大きさによって、劣化現象の一つである酸化物の生成、存在、厚さを知ることができる。
【００５８】
図５は、トップコーティング８２の肉厚が薄い場合を示しており、その等価回路は図５（ｂ）に示すものである。ここで、Ｃｔｓは減肉したトップコーティング８２の部分の静電容量、Ｒｔｓは抵抗である。
【００５９】
トップコーティング８２の肉厚が薄い場合、静電容量Ｃｔｓは、通常の肉厚のトップコーティング８２の場合に比べて大きくなり、抵抗Ｒｓｔは小さくなる。静電容量が大きくなれば、インピーダンスは小さくなり、抵抗も小さくなるため、特に周波数の高い部分（インピーダンスがゼロに近づく部分）では、図５（ｃ）に部分拡大表示するように、測定点３５を結ぶ表示線３６の傾斜角が小さくなる（正常肉厚では、これよりも傾斜角が大きくなる）。
【００６０】
したがって、周波数が高い範囲で、測定値の軌跡の傾斜角を観察することによって、劣化現象の一つであるトップコーティングの肉厚の減少を検出することができる。
【００６１】
以上、本発明の実施の一形態について説明したが、被測定物の測定条件として実使用条件等の高温環境下での測定を求められる場合がある。
【００６２】
この場合は、コーティング部のコーティング表面と母材の裏面の金属面に高温用の電極を高温に耐える材料、方法で取付け、電極とインピーダンス測定装置を高温用のケーブルで接続する。
【００６３】
電極１３は白金、白金ロジウム、ロジウム等の耐高温材でできたもので高温（１０００°程度）に耐えるものとして、白金、白金ロジウム、ロジウム等を主成分とする高温用ペーストで母材８１の裏面に取りつけられ、白金、白金ロジウム、ロジウム等の耐高温材でその周囲をセラミックス材の膜が施されて覆われ高温（１０００°Ｃ程度）に耐えられるケーブル１５でインピーダンス測定装置１１の測定端子に接続される。
【００６４】
電極１４も同様に白金、白金ロジウム、ロジウム等の耐高温材でできたものとして、白金、白金ロジウム、ロジウム等を主成分とする高温用ペーストでトップコーティング８２の表面に取付けられ、白金、白金ロジウム、ロジウム等の耐高温材でその周囲をセラミックス材の膜が施されて覆われたケーブル１６でインピーダンス測定装置１１の測定端子に接続される。
【００６５】
以上のように本実施の形態において、高温用の電極を高温に耐える材料、方法で取付け、電極とインピーダンス測定装置を高温用のケーブルで接続することによって、被測定物を高温環境下に置いた状態でも、上述した通りのコーティングに於ける酸化物の生成、存在、厚さ、コーティング厚さの減少等のコーティングの劣化の状態を容易に検出することができるものである。
【００６６】
本実施形態においては、以上説明したように、処理及び表示装置の表示画面を観察することにより、コーティングの劣化の一つであるアンダーコーティングに生成される酸化物の有無及びトップコーティングの肉厚の減少を検出することができ、また高温環境下における検出も可能であり、実用上の効果は大きい。
【００６７】
【発明の効果】
本発明のコーティング部材の劣化検出方法及び装置は、被検体である母材の一方の表面に施工されたコーティングの表面と上記母材の他方の表面とにそれぞれ電極を取付け、インピーダンス測定装置によりこの電極間に周波数が変化する電流を流して各周波数におけるインピーダンスの測定値を求め、この測定値を入力した処理及び表示装置により複素平面上に測定値の半円形の軌跡を描き、この軌跡の大きさからコーティング中における酸化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近の傾斜角からコーティングの減肉状況を検出するものとしたことによって、従来の方法及び装置の場合には不可能であったコーティングの劣化状況の高精度の検出が可能となる。
【００６８】
また、上記コーティング部材の劣化検出方法及び装置において、電極を白金等の耐高温材とし、白金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付け、インピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセラミックス材で覆ったケーブルで接続したものでは、被測定物を高温環境下に置いた状態でも同様に、コーティングの劣化の状態を容易に検出することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態に係るコーティング部材の劣化検出装置の説明図である。
【図２】上記一実施形態に係る表示画面の説明図で、（ａ）はインピーダンスの測定値の軌跡の全体表示の場合、（ｂ）は部分拡大表示の場合である。
【図３】上記一実施形態に係るアンダーコーティングに酸化物が生成されていない場合の説明図で、（ａ）はコーティング部材の側面断面図、（ｂ）は等価回路図、（ｃ）はインピーダンスの測定値の軌跡の説明図である。
【図４】上記一実施形態に係るアンダーコーティングに酸化物を生成している場合の説明図で、（ａ）はコーティング部材の側面断面図、（ｂ）は等価回路図、（ｃ）はインピーダンスの測定値の軌跡の説明図である。
【図５】上記一実施形態に係るトップコーティングが減肉した場合の説明図で、（ａ）はコーティング部材の側面断面図、（ｂ）は等価回路図、（ｃ）はインピーダンスの測定値の軌跡の部分拡大表示を示す説明図である。
【図６】コーティング部材の劣化発生のメカニズムの説明図である。
【図７】従来の装置の説明図である。
【符号の説明】
１１                インピーダンス測定装置
１２                処理及び表示装置
１３，１４          電極
１５，１６，１７    ケーブル
２１                表示画面
３１                測定点
３２                表示線
３３                測定点
３４                表示線
３５                測定点
３６                表示線
８１                母材
８２                トップコーティング
８３                アンダーコーティング
８４                酸化物
【図１】
0003553391.tif 000002
【図２】
0003553391.tif 000003
【図３】
0003553391.tif 000004
【図４】
0003553391.tif 000005
【図５】
0003553391.tif 000006
【図６】
0003553391.tif 000007
【図７】
0003553391.tif 000008