(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板と、該素子基板に積層されて該素子基板との間に液流路を形成する天板と、支持固定部と可動部とを有し該可動部が前記液流路内に位置する可動部材とを備え、前記可動部材が前記素子基板から所定の間隔を隔てた状態に支持されている液体吐出ヘッドであって、
前記可動部の所定の間隔を設けるための金属層が、前記可動部材の前記支持固定部で被覆され残っており配線層として用いられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記素子基板上に前記液流路に対応して液体吐出用の発熱体が設けられており、前記配線層が、前記配線を介して前記発熱体と電気的に接続されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
素子基板と、該素子基板に積層される天板と、前記素子基板と前記天板との間に形成される液流路とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記素子基板上に間隙を形成するための金属層を形成する工程と、前記金属層上に可動部材となる薄膜層を形成する工程と、前記金属層のうち、前記可動部材の支持固定部の下方に当たる位置は残留させつつ、前記可動部材の可動部の下方に当たる位置を除去する工程とを含み、
前記金属層の残留部分のうちの少なくとも一部を、前記素子基板上の配線パターンと電気的に接続される配線層とすることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記薄膜層がＳｉＮからなり、前記金属層がＡｌまたはＡｌ合金からなる請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
可動部材が基板から所定の間隔を隔てた状態に支持されている微小電気機械装置の製造方法において、
前記基板上に間隙を形成するための金属層を形成する工程と、前記金属層上に可動部材となる薄膜層を形成する工程と、前記金属層のうち、前記可動部材の支持固定部の下方に当たる位置は残留させつつ、前記可動部材の可動部の下方に当たる位置を除去する工程とを含み、
前記金属層の残留部分のうちの少なくとも一部を、前記基板上の配線パターンと電気的に接続される配線層とすることを特徴とする微小電気機械装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、微小電気機械装置、特に液体吐出ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来インクジェットプリンター等に用いられる、微小電気機械装置の一例である液体吐出ヘッドは、発熱体により流路内の液体を加熱して発泡させ、発泡時の圧力により液体を吐出口から吐出させるものである。発熱体は素子基板上に配設されており、駆動電圧は素子基板上の配線を介して発熱体に供給される。
【０００３】
この液体吐出ヘッドにおいて、発泡時の気泡の大部分を吐出口側に導いて、吐出効率を向上させるために、流路内に一端支持の片持ち梁状の可動部材を配設した構成がある。この可動部材は、素子基板上に一端（支持固定部）が固定され、他端（可動部）が流路内に延びることにより、素子基板上にある間隔をおいて保持され、かつ流路内で発泡圧力等により変位可能に構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来例では、素子基板上に配線が形成されているが、その配線はごく薄く抵抗値が大きいものである。この素子基板から外部の駆動回路等に接続されているが、配線の抵抗値が大きいため電気的な損失が大きい。また、抵抗値を少しでも小さくするために、配線を平面的に幅広の形状とすることが好ましく、それに伴って、液体吐出ヘッドの大型化を招いている。
【０００５】
そこで本発明の目的は、構成を複雑にしたり装置を大型化することなく、配線の電気的損失を低減可能な液体吐出ヘッドと、そのような液体吐出ヘッドおよび微小電気機械装置の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、素子基板と、素子基板に積層されて該素子基板との間に液流路を形成する天板と、支持固定部と可動部とを有し可動部が液流路内に位置する可動部材とを備え、可動部材が素子基板から所定の間隔を隔てた状態に支持されている液体吐出ヘッドであって、可動部の所定の間隔を設けるための金属層が、可動部材の支持固定部で被覆され残っており配線層として用いられているところにある。
【０００８】
素子基板上に液流路に対応して液体吐出用の発熱体が設けられており、配線層が、配線を介して発熱体と電気的に接続されていてもよい。
【０００９】
このような構成によると、十分に厚い間隙を形成するための金属層の少なくとも一部が配線として利用されるため、電気的抵抗値を小さくすることができる。
また、本発明の他の特徴は、素子基板と、素子基板に積層される天板と、素子基板と天板との間に形成される液流路とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、素子基板上に間隙を形成するための金属層を形成する工程と、金属層上に可動部材となる薄膜層を形成する工程と、金属層のうち、可動部材の支持固定部の下方に当たる位置は残留させつつ、可動部材の可動部の下方に当たる位置を除去する工程とを含み、金属層の残留部分のうちの少なくとも一部を、素子基板上の配線と電気的に接続される配線層とするところにある。
また、本発明の他の特徴は、可動部材が基板から所定の間隔を隔てた状態に支持されている微小電気機械装置の製造方法において、基板上に間隙を形成するための金属層を形成する工程と、金属層上に可動部材となる薄膜層を形成する工程と、金属層のうち、可動部材の支持固定部の下方に当たる位置は残留させつつ、可動部材の可動部の下方に当たる位置を除去する工程とを含み、金属層の残留部分のうちの少なくとも一部を、基板上の配線パターンと電気的に接続される配線層とするところにある。
【００１０】
薄膜層がＳｉＮからなり、金属層がＡｌまたはＡｌ合金からなってもよい。
【００１１】
なお、本発明の説明で用いる「上流」「下流」とは、液体の供給源から気泡発生領域（または可動部材）を経て、吐出口へ向かう液体の流れ方向に関して、またはこの構成上の方向に関しての表現として用いられる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に適用可能な一実施形態として、液体を吐出する複数の吐出口と、互いに接合されることでそれぞれ吐出口と連通する複数の液流路を構成するための第１の基板および第２の基板と、電気エネルギーを液流路内の液体の吐出エネルギーに変換するために各液流路内に配された複数のエネルギー変換素子と、エネルギー変換素子の駆動条件を制御するための、機能が異なる複数の素子あるいは電気回路とを有し、上記素子あるいは電気回路がその機能に応じて第１の基板と第２の基板とに振り分けられている液体吐出ヘッドの説明を行う。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態である液体吐出ヘッドの液流路方向に沿った先端部を概略的に示す断面図である。
【００１４】
図１に示すように、この液体吐出ヘッドは、液体に気泡を発生させるための熱エネルギーを与える複数個（図１では１つのみ示す）の発熱体２が並列に設けられた素子基板１と、この素子基板１上に接合された天板３と、素子基板１および天板３の前端面に接合されたオリフィスプレート４と、素子基板１と天板３とで構成される液流路７内に設置された可動部材６とを有する。
【００１５】
素子基板１は、シリコン等の基板上に絶縁および蓄熱を目的としたシリコン酸化膜または窒化シリコン膜を成膜し、その上に、発熱体２を構成する電気抵抗層および配線をパターニングしたものである。この配線から電気抵抗層に電圧を印加し、電気抵抗層に電流を流すことで発熱体２が発熱する。
【００１６】
天板３は、各発熱体２に対応した複数の液流路７および各液流路７に液体を供給するための共通液室８を構成するためのもので、天井部分から各発熱体２の間に延びる流路側壁９が一体的に設けられている。天板３はシリコン系の材料で構成され、液流路７および共通液室９のパターンをエッチングで形成したり、シリコン基板上にＣＶＤ等の公知の成膜方法により窒化シリコン、酸化シリコンなど、流路側壁９となる材料を堆積した後、液流路７の部分をエッチングして形成することができる。
【００１７】
オリフィスプレート４には、各液流路７に対応しそれぞれ液流路７を介して共通液室８に連通する複数の吐出口５が形成されている。オリフィスプレート４もシリコン系の材料からなるものであり、例えば、吐出口５を形成したシリコン基板を１０〜１５０μｍ程度の厚さに削ることにより形成される。なお、オリフィスプレート４は本発明には必ずしも必要な構成ではなく、オリフィスプレート４を設ける代わりに、天板３に液流路７を形成する際に天板３の先端面にオリフィスプレート４の厚さ相当の壁を残し、この部分に吐出口５を形成することで、吐出口付きの天板とすることもできる。
【００１８】
可動部材６は、液流路７を吐出口５に連通した第１の液流路７ａと、発熱体２を有する第２の液流路７ｂとに分けるように、発熱体２に対面して配置された片持梁状の薄膜であり、窒化シリコンや酸化シリコンなどのシリコン系の材料で形成される。
【００１９】
この可動部材６は、液体の吐出動作によって共通液室８から可動部材６を経て吐出口５側へ流れる大きな流れの上流側に支持固定部６ｃを持ち、この支持固定部６ｃに対して下流側に可動部６ｂを持つように、発熱体２に面した位置に発熱体２を覆うような状態で発熱体２から所定の距離を隔てて配されている。この発熱体２と可動部材６との間が気泡発生領域１０となる。
【００２０】
上記構成に基づき、発熱体２を発熱させると、可動部材６と発熱体２との間の気泡発生領域１０の液体に熱が作用し、これにより発熱体２上に膜沸騰現象に基づく気泡が発生し、成長する。この気泡の成長に伴う圧力は可動部材６に優先的に作用し、可動部材６は図１に破線で示されるように、支点６ａを中心に吐出口５側に大きく開くように変位する。可動部材６の変位もしくは変位した状態によって、気泡の発生に基づく圧力の伝搬や気泡自身の成長が吐出口５側に導かれ、吐出口５から液体が吐出する。
【００２１】
つまり、気泡発生領域１０上に、液流路７内の液体の流れの上流側（共通液室８側）に支点６ａを持ち下流側（吐出口５側）に可動部６ｂを持つ可動部材６を設けることによって、気泡の圧力伝搬方向が下流側へ導かれ、気泡の圧力が直接的に効率よく吐出に寄与することになる。そして、気泡の成長方向自体も圧力伝搬方向と同様に下流方向に導かれ、上流より下流で大きく成長する。このように、気泡の成長方向自体を可動部材によって制御し、気泡の圧力伝搬方向を制御することで、吐出効率や吐出力または吐出速度等の根本的な吐出特性を向上させることができる。
【００２２】
一方、気泡が消泡工程に入ると、気泡は急速に消泡し、可動部材６も最終的には図１に実線で示した初期位置に復帰する。このとき、気泡発生領域１０での気泡の収縮体積を補うため、また、吐出された液体の体積分を補うために、上流側すなわち共通液室８側から液体が流れ込み、液流路７への液体の充填（リフィル）が行われるが、この液体のリフィルは、可動部材６の復帰作用に伴って効率よく合理的かつ安定して行われる。
【００２３】
また、本実施形態の液体吐出ヘッドは、発熱体２を駆動したりその駆動を制御するための回路や素子を有する。これら回路や素子は、その機能に応じて素子基板１または天板３に分担して配置されている。また、これら回路や素子は、素子基板１および天板３がシリコン材料で構成されていることから、半導体ウェハプロセス技術を用いて容易かつ微細に形成することができる。
【００２４】
以下に、半導体ウェハプロセス技術を用いて形成された素子基板１の構造について説明する。
【００２５】
図２は、図１に示す液体吐出ヘッドに用いられる素子基板の発熱体周辺の断面図である。図２に示すように、本実施形態の液体吐出ヘッドに用いられる素子基板１では、シリコン（またはセラミック）からなる基板３０１の表面に、蓄熱層としての熱酸化膜（例えば０．５〜５μｍ程度の厚さのＳｉＯ２層）３０２および、蓄熱層を兼ねる層間膜３０３がこの順番で積層されている。層間膜３０３としては、ＳｉＯ２膜またはＳｉ３Ｎ４膜が用いられている。層間膜３０３の表面に部分的に抵抗層（例えば１０００Å程度の厚さのＴａＮ層）３０４が形成され、抵抗層３０４の表面に部分的に配線３０５が形成されている。配線３０５としては、５０００Å程度の厚さのＡｌまたは、Ａｌ−Ｓｉ，Ａｌ−ＣｕなどのＡｌ合金配線が用いられている。配線３０５はフォトリソグラフィ法とウェットエッチング法により、抵抗層３０４はフォトリソグラフィ法とドライエッチング法により、それぞれパターニングされている。この配線３０５、抵抗層３０４および層間膜３０３の表面に、ＳｉＯ２膜またはＳｉ３Ｎ４膜から成る１μｍ程度の厚さの保護膜３０６が形成されている。保護膜３０６の表面の、抵抗層３０４に対応する部分およびその周囲には、抵抗層３０４の発熱に伴う化学的および物理的な衝撃から保護膜３０６を守るための耐キャビテーション膜（例えば２０００Å程度の厚さのＳｉＮ層）３０７が形成されている。抵抗層３０４表面の、配線３０５が形成されていない領域は、抵抗層３０４の熱が作用する部分となる熱作用部（発熱体）３０８である。
【００２６】
この素子基板１上の膜は半導体の製造技術によりシリコン基板３０１の表面に順に形成され、シリコン基板３０１に熱作用部３０８が備えられている。
【００２７】
図３はこの素子基板の可動部材の支持固定部周辺を特に詳細に示した断面図、図４はその概略平面図である。前記した通り、基板３０１に、蓄熱層３０２、層間膜３０３が積層され、抵抗層３０４と配線３０５とがそれぞれパターニングされている。また、層間膜３０３と抵抗層３０３との間隙には部分的に配線２１０が形成されている。さらに、保護膜３０６、耐キャビテーション膜３０７が積層されている。そして、層間膜３０３の一部にはスルーホール２１１が形成され、保護膜３０６にも、ドライエッチングなどによって、スルーホール２０１が形成されている。
【００２８】
次に、スパッタリング法によって、間隙を形成するための金属層（例えば５μｍ程度の厚さのＡｌ層）７１と、電極パッド部の保護層（例えば３０００Å程度の厚さのＴｉＷ層）２０２とが形成されている。間隙を形成するための金属層７１の厚さは、後述する可動部材６と下地の抵抗層３０４との間のギャップ寸法となる。
【００２９】
このような構成により、本実施例では、配線３０５が、スルーホール２１１および抵抗層３０４を介して配線２１０に電気的に接続され、さらに、間隙を形成するための金属層７１が、スルーホール２０１および抵抗層３０４を介して、配線３０５に電気的に接続されている。
【００３０】
続いて、可動部材６となるＳｉＮの薄膜層７２が、ＣＶＤ法によって５μｍの厚さに積層形成されている。さらに、その後、フォトリソグラフィ法とドライエッチング法によって、ＳｉＮの薄膜層７２をパターニングし、可動部６ｂと支持固定部６ｃとを有する可動部材６が形成されている。同時に、本発明では前述したように間隙を形成するための金属層７１を配線として使用するため、その保護膜としても、薄膜層７２の一部を残している。
【００３１】
次に、ウェットエッチングによって、間隙を形成するための金属層７１の、可動部材６（薄膜層７２の残留部分）の可動部６ｂの下方に位置する部分やその他の不要部を除去している。そして、間隙を形成するための金属層７１の、可動部材６ｂ（薄膜層７２の残留部分）の支持固定部６ｃの下方に位置する部分を残留させている。この部分を間隙を形成するための金属層７１ａとする。こうして、支持固定部が間隙を形成するための金属層７１ａに固定された一端支持の片持ち梁状の可動部材６が形成される。最後に、ＴｉＷからなる保護層２０２が、Ｈ２Ｏ２全面エッチングによって除去され、フォトリソグラフィ法によって電極パッド部分のパターニングが行われて、素子基板が完成する。
【００３２】
このようにして形成した間隙を形成するための金属層７１ａを配線層として利用すると、従来の配線の約５〜１０倍の厚さであるので、配線のトータルの抵抗値が約１／２〜１／５倍に低減される。
【００３３】
図５は、図２に示す素子基板１の主要素子を縦断するように素子基板１を切断した模式的断面図である。
【００３４】
図５に示すように、Ｐ導電体であるシリコン基板３０１の表層にはＮ型ウェル領域４２２およびＰ型ウェル領域４２３が部分的に備えられている。そして、一般的なＭｏｓプロセスを用いてイオンプラテーションなどの不純物導入および拡散によって、Ｎ型ウェル領域４２２にＰ−Ｍｏｓ４２０が、Ｐ型ウェル領域４２３にＮ−Ｍｏｓ４２１が備えられている。Ｐ−Ｍｏｓ４２０は、Ｎ型ウェル領域４２２の表層に部分的にＮ型あるいはＰ型の不純物を導入してなるソース領域４２５およびドレイン領域４２６や、Ｎ型ウェル領域４２２の、ソース領域４２５およびドレイン領域４２６を除く部分の表面に厚さ数百Åのゲート絶縁膜４２８を介して堆積されたゲート配線４３５などから構成されている。また、Ｎ−Ｍｏｓ４２１は、Ｐ型ウェル領域４２３の表層に部分的にＮ型あるいはＰ型の不純物を導入してなるソース領域４２５およびドレイン領域４２６や、Ｐ型ウェル領域４２３の、ソース領域４２５およびドレイン領域４２６を除く部分の表面に厚さ数百Åのゲート絶縁膜４２８を介して堆積されたゲート配線４３５などから構成されている。ゲート配線４３５は、ＣＶＤ法により堆積した厚さ４０００Å〜５０００Åのポリシリコンから成るものである。これらのＰ−Ｍｏｓ４２０およびＮ−Ｍｏｓ４２１からＣ−Ｍｏｓロジックが構成されている。
【００３５】
Ｐ型ウェル領域４２３の、Ｎ−Ｍｏｓ４２１と異なる部分には、電気熱変換素子駆動用のＮ−Ｍｏｓトランジスタ４３０が備えられている。Ｎ−Ｍｏｓトランジスタ４３０も、不純物導入および拡散などの工程によりＰ型ウェル領域４２３の表層に部分的に備えられたソース領域４３２およびドレイン領域４３１や、Ｐ型ウェル領域４２３の、ソース領域４３２およびドレイン領域４３１を除く部分の表面にゲート絶縁膜４２８を介して堆積されたゲート配線４３３などから構成されている。
【００３６】
本実施形態では、電気熱変換素子駆動用のトランジスタとしてＮ−Ｍｏｓトランジスタ４３０を用いたが、複数の電気熱変換素子を個別に駆動できる能力を持ち、かつ、上述したような微細な構造を得ることができるトランジスタであれば、このトランジスタに限られない。
【００３７】
Ｐ−Ｍｏｓ４２０とＮ−Ｍｏｓ４２１との間や、Ｎ−Ｍｏｓ４２１とＮ−Ｍｏｓトランジスタ４３０との間などの各素子間には、５０００Å〜１００００Åの厚さのフィールド酸化により酸化膜分離領域４２４が形成されており、その酸化膜分離領域４２４によって各素子が分離されている。酸化膜分離領域４２４の、熱作用部３０８に対応する部分は、シリコン基板３０１の表面側から見て一層目の蓄熱層４３４としての役割を果たす。
【００３８】
Ｐ−Ｍｏｓ４２０、Ｎ−Ｍｏｓ４２１およびＮ−Ｍｏｓトランジスタ４３０の各素子の表面には、厚さ約７０００ÅのＰＳＧ膜またはＢＰＳＧ膜などから成る層間絶縁膜４３６がＣＶＤ法により形成されている。熱処理により層間絶縁膜４３６を平坦化した後に、層間絶縁膜４３６およびゲート絶縁膜４２８を貫通するコンタクトホールを介して第１の配線となるＡｌ電極４３７により配線が行われている。層間絶縁膜４３６およびＡｌ電極４３７の表面には、厚さ１００００Å〜１５０００ÅのＳｉＯ２膜から成る層間絶縁膜４３８がプラズマＣＶＤ法により形成されている。層間絶縁膜４３８の表面の、熱作用部３０８およびＮ−Ｍｏｓトランジスタ４３０に対応する部分には、厚さ約１０００ÅのＴａＮ０．８，ｈｅｘ膜から成る抵抗層３０４がＤＣスパッタ法により形成されている。抵抗層３０４は、層間絶縁膜４３８に形成されたスルーホールを介してドレイン領域４３１の近傍のＡｌ電極４３７と電気的に接続されている。抵抗層３０４の表面には、各電気熱変換素子への配線となる第２の配線としての、Ａｌの配線３０５が形成されている。なお、前記した配線２１０がＡｌ電極４３７と同じものであってもよい。  配線３０５、抵抗層３０４および層間絶縁膜４３８の表面の保護膜３０６は、プラズマＣＶＤ法により形成された厚さ１００００ÅのＳｉ３Ｎ４膜から成るものである。保護膜３０６の表面に形成された耐キャビテーション膜３０７は、厚さ約２５００ÅのＴａなどの膜から成るものである。
【００３９】
次に、フォトリソグラフィプロセスを利用した、素子基板への可動部材の製造方法について説明する。
【００４０】
図６は、図１に基づいて説明した液体吐出ヘッドへの可動部材６の製造方法の一例を説明するための図であり、図６では、図１に示した液流路７の流路方向に沿った断面が示されている。図６に基づいて説明する製造方法では、素子基板１上に可動部材６を形成してなるものと、天板に流路側壁を形成してなるものとを接合することで、図１に示した構成の液体吐出ヘッドを製造する。従って、この製造方法では、可動部材６が作り込まれた素子基板１に天板を接合する前に、天板に流路側壁が作り込まれる。
【００４１】
まず、図６（ａ）では、素子基板１の発熱体２側の面全体に、発熱体２との電気的な接続を行うための接続用パッド部分を保護するための第１の保護層としてのＴｉＷ膜７６をスパッタリング法によって厚さ約５０００Å形成する。
【００４２】
次に、図６（ｂ）では、ＴｉＷ膜７６の表面に、間隙を形成するための金属層７１ａを形成するための間隙を形成するための金属層（Ａｌ膜）７１をスパッタリング法によって厚さ約４μｍ形成する。間隙を形成するための金属層７１は、後述する図６（ｄ）の工程において、薄膜層（ＳｉＮ膜）７２ａがエッチングされる領域までに延在されている。
【００４３】
間隙を形成するための金属層７１は、素子基板１と可動部材６との間の間隙を形成するための、Ａｌ膜である。間隙を形成するための金属層７１は、図１に示した発熱体２と可動部材６との間の気泡発生領域１０に対応する位置を含む、ＴｉＷ膜７６の表面の全面に形成されている。従って、この製造方法では、ＴｉＷ膜７６の表面の、流路側壁に対応する部分にまで間隙を形成するための金属層７１が形成されている。
【００４４】
この間隙を形成するための金属層７１は、後述するようにドライエッチングにより可動部材６を形成する際のエッチングストップ層として機能する。これは、ＴｉＷ膜７６や、素子基板１における耐キャビテーション膜としてのＴａ膜、および抵抗体上の保護層としてのＳｉＮ膜が、液流路７を形成するために使用するエッチングガスによりエッチングされてしまうからであり、それらの層や膜のエッチングを防止するために、このような間隙を形成するための金属層７１を素子基板１上に形成する。これにより、可動部材６を形成するためにＳｉＮ膜のドライエッチングを行う際にＴｉＷ膜７６の表面が露出することがなく、そのドライエッチングによるＴｉＷ膜７６および、素子基板１内の機能素子の損傷が間隙を形成するための金属層７１によって防止される。
【００４５】
次に、図６（ｃ）では、間隙を形成するための金属層７１の表面全体および、ＴｉＷ膜７６の、露出した面全体に、プラズマＣＶＤ法を用いて、可動部材６を形成するための材料膜である厚さ約４．５μｍのＳｉＮ膜（薄膜層）７２ａを、間隙を形成するための金属層７１を被覆するように形成する。ここで、プラズマＣＶＤ装置を用いてＳｉＮ膜７２ａを形成する際には、図７を参照して次に説明するように、素子基板１を構成するシリコン基板などを介して、素子基板１に備えられたＴａからなる耐キャビテーション膜を接地する。これにより、プラズマＣＶＤ装置の反応室内でのプラズマ放電により分解されたイオン種およびラジカルの電荷に対して素子基板１内の発熱体２やラッチ回路などの機能素子を保護することができる。
【００４６】
図７に示すように、ＳｉＮ膜７２ａを形成するためのプラズマＣＶＤ装置の反応室８３ａ内には、所定の距離をおいて互いに対向するＲＦ電極８２ａおよびステージ８５ａが備えられている。ＲＦ電極８２ａには、反応室８３ａの外部のＲＦ電源８１ａによって電圧が印加される。一方、ステージ８５ａのＲＦ電極８２ａ側の面上には素子基板１が取り付けられており、素子基板１の発熱体２側の面がＲＦ電極８２ａと対向している。ここで、素子基板１が有する、発熱体２の面上に形成されたＴａからなる耐キャビテーション膜は、素子基板１のシリコン基板と電気的に接続されており、間隙を形成するための金属層７１は、素子基板１のシリコン基板、およびステージ８５ａを介して接地されている。
【００４７】
このように構成されたプラズマＣＶＤ装置においては、前記耐キャビテーション膜が接地された状態で供給管８４ａを通して反応室８３ａ内にガスを供給し、素子基板１とＲＦ電極８２ａとの間にプラズマ４６を発生させる。反応室８３ａ内でのプラズマ放電により分解されたイオン種やラジカルが素子基板１上に堆積することで、ＳｉＮ膜７２ａが素子基板１上に形成される。その際、イオン種やラジカルにより素子基板１上に電荷が発生するが、上述したように耐キャビテーション膜が接地されていることにより、素子基板１内の発熱体２やラッチ回路などの機能素子がイオン種やラジカルの電荷によって損傷することが防止される。次に、図６（ｄ）では、ＳｉＮ膜７２ａの表面に、スパッタリング法によりＡｌ膜を厚さ約６１００Å形成した後、形成されたＡｌ膜を、周知のフォトリソグラフィプロセスを用いてパターニングし、ＳｉＮ膜７２ａ表面の、可動部材６に対応する部分に第２の保護層としてのＡｌ膜（不図示）を残す。その第２の保護層としてのＡｌ膜は、可動部材６を形成するためにＳｉＮ膜７２ａのドライエッチングを行う際の保護層（エッチングストップ層）すなわちマスクとなる。
【００４８】
そして、誘電結合プラズマを使ったエッチング装置を用い、前記第２の保護層をマスクにしてＳｉＮ膜７２ａをパターニングすることで、そのＳｉＮ膜７２ａの残った部分で構成される可動部材６を形成する。そのエッチング装置ではＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いており、ＳｉＮ膜７２ａをパターニングする工程では、図１に示したように可動部材６の支持固定部が素子基板１に直接固定されるようにＳｉＮ膜７２ａの不要な部分を除去する。可動部材６の支持固定部と素子基板１との密着部の構成材料には、パッド保護層の構成材料であるＴｉＷ、および素子基板１の耐キャビテーション膜の構成材料であるＴａが含まれる。
【００４９】
ここで、ドライエッチング装置を用いてＳｉＮ膜７２ａをエッチングする際には、図８を参照して次に説明するように素子基板１などを介して間隙を形成するための金属層７１を接地する。これにより、ドライエッチングの際にＣＦ４ガスの分解により生じるイオン種およびラジカルの電荷が間隙を形成するための金属層７１に留まることを防止して、素子基板１の発熱体２やラッチ回路などの機能素子を保護することができる。また、このエッチングの工程において、ＳｉＮ膜７２ａの不要な部分を除去することで露出する部分、すなわちエッチングされる領域には、上述したように間隙を形成するための金属層７１が形成されているため、ＴｉＷ膜７６の表面が露出することがなく、間隙を形成するための金属層７１によって素子基板１が確実に保護される。
【００５０】
図８に示すように、ＳｉＮ膜７２ａをエッチングするためのドライエッチング装置の反応室８３ｂ内には、所定の距離をおいて互いに対向するＲＦ電極８２ｂおよびステージ８５ｂが備えられている。ＲＦ電極８２ｂには、反応室８３ｂの外部のＲＦ電源８１ｂによって電圧が印加される。一方、ステージ８５ｂのＲＦ電極８２ｂ側の面上には素子基板１が取り付けられており、素子基板１の発熱体２側の面がＲＦ電極８２ｂと対向している。ここで、Ａｌ膜からなる間隙を形成するための金属層７１は、素子基板１に備えられたＴａからなる耐キャビテーション膜と電気的に接続されており、かつ、その耐キャビテーション膜は、前述したように素子基板１のシリコン基板と電気的に接続されており、間隙を形成するための金属層７１は、素子基板１の耐キャビテーション膜やシリコン基板、およびステージ８５ｂを介して接地されている。
【００５１】
このように構成されたドライエッチング装置において、間隙を形成するための金属層７１が接地された状態で供給管８４ｂを通して反応室８３ｂ内にＣＦ４とＯ２の混合ガスを供給し、ＳｉＮ膜７２ａのエッチングを行う。その際、ＣＦ４ガスの分解により生じるイオン種やラジカルによって素子基板１上に電荷が発生するが、上述したように間隙を形成するための金属層７１が接地されていることにより、素子基板１内の発熱体２やラッチ回路などの機能素子がイオン種やラジカルの電荷によって損傷することが防止される。
【００５２】
本実施形態では、反応室８３ｂの内部に供給するガスとして、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いたが、Ｏ２が混合されていないＣＦ４ガスまたはＣ２Ｆ６ガス、あるいはＣ２Ｆ６とＯ２の混合ガスなどを用いてもよい。
【００５３】
次に、図６（ｅ）では、酢酸、りん酸および硝酸の混酸を用いて、可動部材６に形成したＡｌ膜からなる前記第２の保護層を溶出して除去するとともに、Ａｌ膜からなる間隙を形成するための金属層７１を部分的に溶出して除去し、その残留部分からなる間隙を形成するための金属層７１ａを形成する。こうして、間隙を形成するための金属層７１ａに支持された素子基板１上に可動部材６を作り込む。その後、過酸化水素を用いて、素子基板１に形成したＴｉＷ膜７６の、気泡発生領域１０およびパッドに対応する部分を除去する。
【００５４】
上述した例では、流路側壁９を天板３に形成した場合について説明したが、フォトリソグラフィプロセスを用いて、素子基板１への可動部材６の形成と同時に、流路側壁９を素子基板１に形成することもできる。
【００５５】
以下に、素子基板１に可動部材６及び流路側壁９を設けた場合の、可動部材６及び流路側壁の形成工程の一例について、図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９及び図１０は、可動部材及び流路側壁が形成される素子基板の液流路方向と直交する方向に沿った断面を示している。
【００５６】
まず、図９（ａ）では、素子基板１の発熱体２側の面全体に、発熱体２との電気的な接続を行うための接続用パッド部分を保護するための第１の保護層として、不図示のＴｉＷ膜をスパッタリング法によって厚さ約５０００Å形成する。この素子基板１の発熱体２側の面に、間隙を形成するための金属層（Ａｌ膜）７１をスパッタリング法によって厚さ約４μｍ形成する。形成されたＡｌ膜を、周知のフォトリソグラフィプロセスを用いてパターニングし、図１に示した発熱体２と可動部材６との間に対応する位置に、素子基板１と可動部材６との間の間隙を形成するための、Ａｌ膜からなる間隙を形成するための金属層７１を複数形成する。それぞれの間隙を形成するための金属層７１は、後述する図１０（ｂ）の工程において、可動部材６を形成するための材料膜であるＳｉＮ膜７２がエッチングされる領域まで延在されている。
【００５７】
間隙を形成するための金属層７１は、後述するようにドライエッチングにより液流路７および可動部材６を形成する際のエッチングストップ層として機能する。これは、素子基板１におけるパッド保護層としてのＴｉＷ層や、耐キャビテーション膜としてのＴａ膜、および抵抗体上の保護層としてのＳｉＮ膜が、液流路７を形成するために使用するエッチングガスによりエッチングされてしまうからであり、これらの層や膜のエッチングが間隙を形成するための金属層７１により防止される。そのため、ドライエッチングにより液流路７を形成する際に素子基板１の発熱体２側の面や、素子基板１上のＴｉＷ層が露出しないように、それぞれの間隙を形成するための金属層７１における液流路７の流路方向と直交する方向の幅は、後述する図１０（ｂ）の工程で形成される液流路７の幅よりも広くなっている。
【００５８】
さらに、ドライエッチング時には、ＣＦ４ガスの分解によりイオン種およびラジカルが発生し、素子基板１の発熱体２や機能素子にダメージを与えることがあるが、Ａｌからなる間隙を形成するための金属層７１は、これらイオン種やラジカルを受け止めて素子基板１の発熱体２や機能素子を保護するものとなっている。  次に、図９（ｂ）では、間隙を形成するための金属層７１の表面、および素子基板１の間隙を形成するための金属層７１側の面上に、プラズマＣＶＤ法を用いて、可動部材６を形成するための材料膜である厚さ約４．５μｍのＳｉＮ膜（薄膜層）７２を、間隙を形成するための金属層７１を被覆するように形成する。ここで、プラズマＣＶＤ装置を用いてＳｉＮ膜７２を形成する際には、図７を参照して説明したように、素子基板１を構成するシリコン基板などを介して、素子基板１に備えられたＴａからなる耐キャビテーション膜を接地する。これにより、プラズマＣＶＤ装置の反応室内でのプラズマ放電により分解されたイオン種およびラジカルの電荷に対して素子基板１内の発熱体２やラッチ回路などの機能素子を保護することができる。
【００５９】
次に、図９（ｃ）では、ＳｉＮ膜７２の表面に、スパッタリング法によりＡｌ膜を厚さ約６１００Å形成した後、形成されたＡｌ膜を、周知のフォトリソグラフィプロセスを用いてパターニングし、ＳｉＮ膜７２表面の、可動部材６に対応する部分、すなわちＳｉＮ膜７２表面の可動部材形成領域に第２の保護層としてのＡｌ膜７３を残す。Ａｌ膜７３は、ドライエッチングにより液流路７を形成する際の保護層（エッチングストップ層）となる。
【００６０】
次に、図１０（ａ）では、ＳｉＮ膜７２およびＡｌ膜７３の表面に、流路側壁９を形成するためのＳｉＮ膜７４を、マイクロ波ＣＶＤ法を用いて厚さ約５０μｍ形成する。ここで、マイクロ波ＣＶＤ法によるＳｉＮ膜７４の成膜に使用するガスとしては、モノシラン（ＳｉＨ４）、窒素（Ｎ２）およびアルゴン（Ａｒ）を用いた。そのガスの組み合わせとしては、上記以外にも、ジシラン（Ｓｉ２Ｈ６）やアンモニア（ＮＨ３）などとの組み合わせや、混合ガスを用いてもよい。また、周波数が２．４５［ＧＨｚ］のマイクロ波のパワーを１．５［ｋＷ］とし、ガス流量としてはモノシランを１００［ｓｃｃｍ］、窒素を１００［ｓｃｃｍ］、アルゴンを４０［ｓｃｃｍ］でそれぞれのガスを供給して、圧力が５［ｍＴｏｒｒ］の高真空下でＳｉＮ膜７４を形成した。また、ガスのそれ以外の成分比でのマイクロ波プラズマＣＶＤ法や、ＲＦ電源を使用したＣＶＤ法などでＳｉＮ膜７４を形成してもよい。
【００６１】
ＣＶＤ法によりＳｉＮ膜７４を形成する際には、図７に基づいて前述したようなＳｉＮ膜７２を形成する方法と同様に、発熱体２の面上に形成されているＴａからなる耐キャビテーション膜を素子基板１のシリコン基板を介して接地する。これにより、ＣＶＤ装置の反応室内でのプラズマ放電により分解されたイオン種およびラジカルの電荷に対して素子基板１内の発熱体２やラッチ回路などの機能素子を保護することができる。
【００６２】
そして、ＳｉＮ膜７４の表面全体にＡｌ膜を形成した後に、形成されたＡｌ膜を、フォトリソグラフィなどの周知の方法を用いてパターニングして、ＳｉＮ膜７４の表面の、液流路７に対応する部分を除く部分にＡｌ膜７５を形成する。前述したように、それぞれの間隙を形成するための金属層７１における液流路７の流路方向と直行する方向の幅は、次の図１０（ｂ）の工程で形成される液流路７の幅よりも広くなっているので、Ａｌ膜７５の側部が間隙を形成するための金属層７１の側部の上方に配置されている。
【００６３】
次に、図１０（ｂ）では、誘電結合プラズマを使ったエッチング装置を用いてＳｉＮ膜７４およびＳｉＮ膜７２をパターニングして流路側壁９および可動部材６を同時に形成する。そのエッチング装置では、ＣＦ４とＯ２の混合ガスを用いて、Ａｌ膜７３，２５および間隙を形成するための金属層７１をエッチングストップ層すなわちマスクとして、ＳｉＮ膜７４がトレンチ構造となるようにＳｉＮ膜７４およびＳｉＮ膜７２のエッチングを行う。このＳｉＮ膜７２をパターニングする工程では、図１に示したように可動部材６の支持固定部のみが間隙を形成するための金属層７１に固定されるようにＳｉＮ膜７２の不要な部分を除去する。
【００６４】
ここで、ドライエッチング装置を用いてＳｉＮ膜７２および２４をエッチングする際には、図８を参照して説明したように素子基板１などを介して間隙を形成するための金属層７１を接地する。これにより、ドライエッチングの際にＣＦ４ガスの分解により生じるイオン種およびラジカルの電荷が間隙を形成するための金属層７１に留まることを防止して、素子基板１の発熱体２やラッチ回路などの機能素子を保護することができる。また、このエッチングの工程で形成される液流路７の幅よりも間隙を形成するための金属層７１の幅の方が広くなっているため、ＳｉＮ膜７４の不要な部分を除去した際に素子基板１の発熱体２側の面が露出することがなく、間隙を形成するための金属層７１によって素子基板１が確実に保護される。
【００６５】
次に、図１０（ｃ）では、酢酸、りん酸および硝酸の混酸を用いてＡｌ膜７３および２５を加温エッチングすることで、Ａｌ膜７３および７５を溶出して除去するとともに、Ａｌ膜からなる間隙を形成するための金属層７１を部分的に溶出して除去し、その残留部分からなる間隙を形成するための金属層７１ａを形成する。こうして、素子基板１上に可動部材６および流路側壁９を作り込む。その後、過酸化水素を用いて、素子基板１に形成したパッド保護層としてのＴｉＷ膜の、気泡発生領域１０およびパッドに対応する部分を除去する。素子基板１と流路側壁９との密着部には、パッド保護層の構成材料であるＴｉＷ、および素子基板１の耐キャビテーション膜の構成材料であるＴａが含まれている。
【００６６】
以上のように、本発明によると、素子基板から天板または外部回路に接続するための配線の少なくとも一部として、間隙を形成するための金属層を利用しており、この間隙を形成するための金属層は、素子基板上に形成する配線パターンに比べてかなり厚いので、配線の電気的抵抗が小さい。特に素子基板１の発熱体２における共通電極としてこの部材を用いた場合には、電極降下の問題に対して有効となる。
【００６７】
図１１は、前記第１実施形態における基板の平面模式図である。なお、図１１においては、間隙を形成するための金属層７１ａを被覆する保護層については図示していない。
【００６８】
図１１のように、間隙を形成するための金属層７１ａは発熱体の配列方向に沿って延在する構成を採っており、スルーホール２２３を介して下層の引き出し電極２２２に接続されている。そして、この引き出し電極２２２は電極パッド２２４に装置からの電気接続部が接続されることにより電圧の印加が可能となる。このような構成を採ることにより、間隙を形成するための金属層７１ａが液室内に設けられ、基板の天板接合面に極端な段差を生じさせることはない。
【００６９】
本実施例において、厚い間隙を形成するための金属層７１ａを配線として利用することにより、全体の電気的抵抗が小さくなる。電気的抵抗は配線の厚さと面積の積に応じて決まるからである。従って、電気的抵抗を高くすることなく、配線パターンの平面的な幅を狭くし、このヘッドを構成するチップ全体の大きさを小さくすることができる。すなわち、従来の液体吐出ヘッドの場合、信号電圧供給用の配線領域、グランド配線領域のいずれも、ここの配線を幅広にして電気的抵抗を低減する必要があるため、比較的広いスペースが必要である。これに対し、本実施例では、間隙を形成するための金属層が厚いのでこの部分における電気的損失が小さく、その分、その他の配線部分の幅を狭くしても従来と同等の電気抵抗値に抑えることができる。従って、信号電圧供給用の配線領域、グランド配線領域のいずれも小面積として、その分のスペースに他部材を配設するなど有効に利用することができる。さらに、配線領域をコンパクトにまとめることによりコンタクトパッドの個数を減らすこともできる。または、液体吐出ヘッド全体を小型化することができる。この場合、液体吐出ヘッドの製造工程において、１枚のウェハから製造できるチップの個数を増やすことができ、製造コストの低減が可能である。
【００７０】
すなわち、本発明によると、チップの大きさを保って電気的抵抗を小さくして電気的な効率向上を図ることもでき、また、電気的抵抗を保ってチップの大きさを小さくして装置の小型化および製造コストの低減を図ることもできる。
【００７１】
次に、図１２〜１４を参照して、この液体吐出ヘッドの第２の実施例について説明する。第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付与し説明は省略する。
【００７２】
第１の実施形態においては、図３に示すように、配線２１０と配線３０５と間隙を形成するための金属層７１ａとを利用して、素子基板１と外部部材または天板３等との電気的接続を行っているが、本実施例では、図１２に示すように、一方の配線２１０を省略し、配線３０５と間隙を形成するための金属層７１ａとが、スルーホール２０１の部分で直接接触している。また、この構成では、配線２１０が存在しないので、層間膜３０３も不要になる。なお、図３においては省略しているが、配線３０５はスルーホール２３０と抵抗層３０４を介して、素子基板１上に形成されている図示しない半導体部に接続されている。そして、この配線パターンから図示しないトランジスタ等の駆動素子に接続されている。
【００７３】
この電気的接続について、図１３，１４を参照して説明する。図１３に模式的に示されている第１の実施例の液体吐出ヘッドの場合、各発熱体２４０からトランジスタ等の駆動素子への個別の接続は配線３０５によって行われ、この各配線３０５をまとめるために配線２１０が用いられ、さらにこの図１３には概略的にしか示されていないが、配線２１０から外部回路や天板等に接続するための配線として間隙を形成するための金属層７１ａが用いられている。これに対し、本実施例では、各発熱体２４０からトランジスタ等の駆動素子への個別の接続は配線３０５によって行われ、間隙を形成するための金属層７１ａによってこの各配線３０５をまとめるとともに外部回路や天板等に接続されている。すなわち、本実施例では、間隙を形成するための金属層７１ａが、第１の実施例の配線２１０の機能も兼ね備えている。
【００７４】
このように本実施例によると、構成が簡単になり製造工程の簡略化および製造コストの低減が可能である。また、配線（Ａｌ層）３０５の下層に抵抗層（ＴａＮ層）が存在するため、半導体部と配線（Ａｌ層）３０５の接触によるスパイクの発生が防止でき、Ａｌの拡散防止のためのバリア工程も削減することが出来る。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によると、基板上に形成する配線パターンに比べて、十分に厚い間隙を形成するための金属層を電気的接続用の配線層、特に共通電極として利用するので、電気的抵抗を格段に小さくすることができる。これに伴って、電気的な効率を向上することができる。また、装置の小型化および製造コストの低減を図ることも可能である。間隙を形成するための金属層は、可動部材を設ける装置においては従来より形成されている部材であるので、製造工程や構成を格別複雑にするものではない。また、間隙を形成するための金属層を配線として用いることによって、基板上に形成すべき配線パターンの数を削減し、構成を簡略化することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である液体吐出ヘッド構造を説明するための、液流路方向に沿った断面図である。
【図２】図１に示した液体吐出ヘッドに用いられる素子基板の断面図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの電気的接続を説明するための、液流路方向に沿った断面図である。
【図４】図３に示す液体吐出ヘッドの、保護層等を省いた概略平面図である。
【図５】図２に示した素子基板の主要素子を縦断するように素子基板を切断した模式的断面図である。
【図６】素子基板上に可動部材を形成する方法を説明するための図である。
【図７】プラズマＣＶＤ装置を用いて素子基板上にＳｉＮ膜を形成する方法を説明するための図である。
【図８】ドライエッチング装置を用いてＳｉＮ膜を形成する方法を説明するための図である。
【図９】素子基板上に可動部材及び流路側壁を形成する方法を説明するための図である。
【図１０】素子基板上に可動部材及び流路側壁を形成する方法を説明するための図である。
【図１１】本発明の第１の実施例の液体吐出ヘッドの素子基板上の配線領域を示す概略平面図である。
【図１２】本発明の第２の実施例の液体吐出ヘッドの電気的接続を説明するための、液流路方向に沿った断面図である。
【図１３】本発明の第１の実施例の液体吐出ヘッドの電気的接続を説明するための概略回路図である。
【図１４】本発明の第２の実施例の液体吐出ヘッドの電気的接続を説明するための概略回路図である。
【符号の説明】
１      素子基板
２      発熱体
３      天板
５      吐出口
４      オリフィスプレート
６      可動部材
６ａ    支点
６ｂ    可動部材
６ｃ    支持固定部
７      液流路
８      共通液室
９      流路側壁
１０    気泡発生領域
７１    間隙を形成するための金属層（Ａｌ層）
７１ａ  間隙を形成するための金属層
７２    薄膜層（ＳｉＮ層）
８１ａ，８１ｂ  ＲＦ電源
８２ａ，８２ｂ  ＲＦ電極
８３ａ，８３ｂ  反応室
８４ａ  供給管
８５ａ，８５ｂ  ステージ
２０１  スルーホール
２１０  配線
２２２  引き出し電極
２２３  電極パッド
２３０  スルーホール
２４０  発熱体
【図１】
0003592136.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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