(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マスフローメーター等の制御機器であって、該制御機器の本体は縦型になされ、本体下部のボディにガス流入通路、ガス流出通路が設けられ、ボディの外周に内ねじを有する袋状ナットが装着されて成り、前記制御機器のボディが流路ブロックの上向き開口の装着穴に装入され、前記袋状ナットにて流路ブロックに締結されていることを特徴とする集積化ガスパネル用制御機器。
【請求項２】
請求項１記載の集積化ガスパネル用制御機器に於いて、制御機器のボディの下面と対向する流路ブロックの装着穴の底面が周縁より高くなされて凸型に形成され、この凸型の底面とボディの下面との間にガス通路穴を有するガスケットが介在されてシールされていることを特徴とする集積化ガスパネル用制御機器。
【請求項３】
請求項２記載の集積化ガスパネル用制御機器に於いて、ガスケットが、ボディ下面の溝に装入位置決めされ、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型であることを特徴とする集積化ガスパネル用制御機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用高純度ガス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用される制御機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の集積化ガスパネルは、例えば図１０に示すようにパネル３０上にガス上流側からマスフローコントローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３３、フィルター３４の順に取り付けられたガスライン３５が並列に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記ガスライン３５の各制御機器は、定期交換部品であり、ぎっしり詰まった場所での脱着作業は非常に厄介で時間がかかる。例えば横型のフィルター３４を取り外すには２ヵ所のねじ部３６、３７を緩め、さらにシール面を傷付けないようにする為、ガスライン３５を部分的に緩めなければならない。従って、フィルター１個を脱着するに例えば下流側のバルブ等の機器を固定しているネジの全てを緩めなければならず、ユーザーでの定期交換補修が非常に大変である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単にでき、また制御機器本体の結合部の緊密なシール性を確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネル用制御機器を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の集積化ガスパネル用制御機器は、半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マスフローメーター等の制御機器であって、該制御機器の本体は縦型になされ、本体下部のボディにガス流入通路、ガス流出通路が設けられ、ボディの外周に内ねじを有する袋状ナットが装着されて成り、前記制御機器のボディが流路ブロックの上向き開口の装着穴に装入され、前記袋状ナットにて流路ブロックに締結されていることを特徴とするものである。
【０００５】
上記の集積化ガスパネル用制御機器に於いて、制御機器のボディの下面と対向する流路ブロックの装着穴の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、この凸型の底面とボディの下面との間にガス通路穴を有するガスケットが介在されてシールされていることが好ましい。
【０００６】
上記のガスケットは、本体下部のボディ下面の溝に装入位置決めされ、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型であることが好ましい。
【０００７】
上記のように構成された本発明の集積化ガスパネル用制御機器は、本体下部のボディの外周に装着された内ねじを有する袋状ナットにて流路ブロックに締結されているので、袋状ナット１個を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単にでき、従来のようにガスラインを分解する必要がなく、しかも本体の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロックの装着穴に入ることがないので、ガス流路系に入ることがない。また、本体下部のボディの下面と流路ブロックの装着穴の底面との間に介在したガスケットが、袋状ナット１個の締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。しかも流路ブロックの装着穴の底面を凸型にしてあるので、本体下部のボディの脱着時にガスケットシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止できる。さらに、制御機器が縦型でコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の集積化ガスパネル用制御機器の一実施形態を図１によって説明すると、１は半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁で、本体が縦型になされて上部に駆動部２、下部にボディ３を有する。ボディ３は有底筒状で、底部中心にガス流入通路４が設けられ、その外側方にガス流出通路５が垂直に設けられている。ガス流入通路４の上端開口縁には弁座シート６がかしめ止めにて固設され、これに弁体であるダイヤフラム７が押えピース８の押圧により密着され、バルブが閉鎖されるようになっている。尚、図１中、９はダイヤフラム７の周縁部をボディ３内の底面周縁の突起１０に押えるボンネット、１１はボンネット９を締め付ける駆動部２の接続部外筒、１２は押えピース８を押圧する駆動部２のピストンである。
【０００９】
然してボディ３の上部外周には鍔１３が設けられ、この鍔１３の上側の外周に内ねじを有する袋状ナット１４が装着されている。ボディ３は、流路ブロック１５の上向き開口の円形の装着穴１６内に装入され、前記の袋状ナット１４が装着穴１６の筒状壁外周面のねじ１７に締め込まれて流路ブロック１５に締結されている。そしてボディ３のガス流入通路４と流路ブロック１５のガス流入通路１８とが連通され、ボディ３のガス流出通路５と流路ブロック１５のガス流出通路１９とが連通されている。この連通部分の相互の接合面間には即ち、ボディ３の下面と前記装着穴１６の底面との間には図２に示すようにガス流入側のガス通路穴２０とガス流出側のガス通路穴２１を有するガスケット２２が挟み付けられて相互の接合面がシールされている。前記装着穴１６の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、前記ガスケット２２は図３に示すように長方形になされてボディ３の下面に設けた溝２３に装入位置決めされている。尚、ガスケット２２は、必要に応じてリテーナを用いて位置決めしてもよい。
【００１０】
上記のように構成された実施形態の集積化ガスパネル用自動ダイヤフラム弁１は、開弁時、ガスが流路ブロック１５のガス流入通路１８から入り、ガスケット２２のガス通路穴２０、ボディ３のガス流入通路４を通って、ボディ３の内側に入り、ここからボディ３のガス流出通路５、ガスケット２２のガス通路穴２１を通って、流路ブロック１５のガス流出通路１９から出ていく。かかる機能の集積化ガスパネル用自動ダイヤフラム弁１は、ボディ３の外周に装着された内ねじを有する袋状ナット１４にて流路ブロック１５に締結されているので、袋状ナット１４を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロック１５からの本体の脱着が簡単にでき、従来のようにガスラインを分解する必要がなく、しかも本体の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロック１５の装着穴１６に入ることがないので、ガス流路系に入ることがない。また、本体のボディ４の下面と流路ブロック１５の装着穴１６の底面との間に介在したガスケット２２が袋状ナット１４のみの締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。しかも流路ブロック１５の装着穴１６の底面を凸型にしてあるので、本体下部のボディ３の脱着時にガスケット２２のシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止できる。さらに、自動ダイヤフラム弁の本体２が縦型にガスパネルに配されてコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【００１１】
以上述べた本発明の集積化ガスパネル用制御機器の実施形態は、自動ダイヤフラム弁１の場合であるが、トグル型手動ダイヤフラム弁４０の場合は、図４に示すように構成され、フィルターユニット４１の場合は図５に示すように構成され、チャッキ弁４２付自動ダイヤフラム弁４３の場合は図６に示すように構成され、レギュレーター４４の場合は図７に示すように構成され、マスフローコントローラー４５の場合は図８に示すように構成され、マスフローメーター４６の場合は図９に示すように構成される。これらの制御機器は、いずれも本体が縦型になされ、本体下部のボディ３′にガス流入通路４′、ガス流出通路５′が設けられ、ボディ３′の外周に内ねじを有する袋状ナット１４′が装着されて成り、前記ボディ３′が流路ブロック１５′の上向き開口の装着穴１６′に装入され、前記袋状ナット１４′にて流路ブロック１５′に締結されている。また、ボディ３′の下面と対向する流路ブロック１５′の底面が周縁より高くなされて凸型に形成され、この凸型の底面とボディ３′の下面との間にガス通路穴２０′、２１′を有するガスケット２２′が介在されてシールされている。そしてこのガスケット２２′は前記実施形態の自動ダイヤフラム弁１の場合のガスケット２２と同様にボディ３′の下面の溝２３′に装入位置決めされている。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明で判るように本発明の集積化ガスパネル用制御機器は、流路ブロックの装着穴からの制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解することなく、内ねじを有する袋状ナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単にでき、しかも制御機器本体の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロックの装着穴に入ることがないので、ガス流路系に入ることがない。また制御機器本体の結合部をガスケットにより緊密なシール性を確保でき、しかも流路ブロックの装着穴の底面を凸型にしてあるので、制御機器本体の脱着時にガスケットのシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止できる。従って、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にできる。その上、本発明の制御機器は、本体が縦型にガスパネルに配されてコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の一実施形態である自動ダイヤフラム弁を示す縦断面図である。
【図２】図１の自動ダイヤフラム弁に於けるガスケット装入部分を示すＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図４】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実施形態であるトグル型手動ダイヤフラム弁を示す要部縦断面図である。
【図５】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実施形態であるフィルターユニットを示す縦断面図である。
【図６】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実施形態であるチャッキ弁付自動ダイヤフラム弁を示す要部縦断面図である。
【図７】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実施形態であるレギュレーターを示す要部縦断面図である。
【図８】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実施形態であるマスフローコントローラーを示す要部縦断面図である。
【図９】
本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実施形態であるマスフローメータ
ーを示す要部縦断面図である。
【図１０】
従来の集積化ガスパネルに於けるガスラインの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
１  自動ダイヤフラム弁
３、３′  ボディ
４、４′  ガス流入通路
５、５′  ガス流出通路
１４、１４′  袋状ナット
１５、１５′  流路ブロック
１６、１６′  装着穴
２０、２０′、２１、２１′  ガス通路穴
２２、２２′  ガスケット
２３、２３′  ボディの下面の溝
４０  トグル型手動ダイヤフラム弁
４０  フィルターユニット
４３  チャッキ弁４２付自動ダイヤフラム弁
４４  レギュレーター
４５  マスフローコントローラー
４６  マスフローメーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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