【手続補正書】
【提出日】平成29年6月12日(2017.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（ＩＡ）により表され、式（Ｉ）で示されるモノマーに由来する第１のタイプの繰返し単位
【化１】
2016531191.tif 000001
（式中、
ｍは、整数０、１または２であり、
Ｘは、ＣＨ２、ＣＨ２−ＣＨ２、Ｏ、またはＮＲａ（Ｒａは直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルである）であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４は、独立して、水素、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ３〜Ｃ６）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ２〜Ｃ６）アルコキシ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アシルオキシ、オキシラニル（Ｃ０〜Ｃ８）アルキル、オキシラニル（ＣＨ２）ａＯ（ＣＨ２）ｂ−、ハロゲン、または式（Ａ）：
−（ＣＨ２）ａ−（ＯＣＨ２−ＣＨ２）ｂ−ＯＲ            （Ａ）
で示される基を表し、ここで、
ａは、整数０、１、２、３または４であり、
ｂは、整数０、１、２、３または４であり、かつ
Ｒは、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルである）、
ならびに／あるいは
式（ＩＩＡ）により表され、式（ＩＩ）で示されるモノマーに由来する第２のタイプの繰返し単位
【化２】
2016531191.tif 000002
（式中、
Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、およびＲ１１は、同一であるかまたは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、水素、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキル、または式（Ｂ）：
−ＳｉＲ５Ｒ６Ｒ７      （Ｂ）
（    Ｒ５、Ｒ６、およびＲ７は、同一であるかまたは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルから選択される）
で示される基から選択されるか、あるいはＲ８またはＲ９のうち１つは、Ｒ１０またはＲ１１のうち１つおよびそれらが結合されている炭素原子と一緒になって、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル環を形成する）、
ならびに
式（ＩＩＩＡ）または（ＩＩＩＢ）により表され、式（ＩＩＩ）で示されるモノマーに由来する第３のタイプの繰返し単位（ＩＩＩＡ）または（ＩＩＩＢ）
【化３】
2016531191.tif 000003
を含み、さらに前記式（ＩＩＩ）で示されるモノマーに由来する式（ＩＩＩＥ）により表される第３のタイプの繰返し単位
【化４】
2016531191.tif 000004
（式中、
Ｒ１２およびＲ１３は、それぞれ互いに独立して、水素または直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ９）アルキルまたはフッ素化もしくは過フッ素化（Ｃ１〜Ｃ９）アルキルを表し、
Ｒ１４は、水素、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ２０）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルである）、
を含むポリマーであって、
ここで、上述した基のそれぞれは、原子価により許容される場合、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ７）シクロアルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）パーフルオロアルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、（Ｃ３〜Ｃ７）シクロアルコキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）パーフルオロアルコキシ、ハロゲン、ヒドロキシ、直鎖状または分岐状のヒドロキシ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルから選択される１つ以上の基で置換されていてもよく、
前記ポリマーは、１つ以上の前記第１のタイプの繰返し単位を含む、ポリマー。
【請求項２】
前記ポリマーが、前記式（ＩＩＩ）で示されるモノマーに由来する式（ＩＩＩＣ）により表される第３のタイプの繰返し単位
【化５】
2016531191.tif 000005
（式中、Ｒ１２およびＲ１３は請求項１に定義されるとおりである）
をさらに含む、請求項１に記載のポリマー。
【請求項３】
前記ポリマーが、前記式（ＩＩＩ）で示されるモノマーに由来する式（ＩＩＩＤ）により表される第３のタイプの繰返し単位
【化６】
2016531191.tif 000006
（式中、Ｒ１２およびＲ１３は請求項１に定義されるとおりである）
をさらに含む、請求項１または請求項２に記載のポリマー。
【請求項４】
Ｒ１２およびＲ１３は、それぞれ互いに独立して、水素、メチル、エチルおよびトリフルオロメチルからなる群から選択され、
Ｒ１４は、直鎖状または分岐状の（Ｃ８〜Ｃ２０）アルキルである、請求項１〜３のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項５】
Ｘ＝ＣＨ２であり、
ｍ＝０であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４が、独立して、水素、ヘキシル、デシル、オキシラニル−ＣＨ２ＯＣＨ２−、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ３〜Ｃ６）アルキル、または式（Ａ）：
−（ＣＨ２）ａ−（ＯＣＨ２−ＣＨ２）ｂ−ＯＲ      （Ａ）
（式中、
ａは１または２であり、
ｂは２または３であり、かつ
Ｒは、メチル、エチル、ｎ−プロピル、またはｎ−ブチルである）；で示される基を表し、
Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、およびＲ１１は、同一であるかもしくは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｎ−ブチル、ｉｓｏ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｎ−ペンチル、ｉｓｏ−ペンチル、ｎｅｏ−ペンチル、フェニル、トリメチルシリル、およびトリエチルシリルから選択されるか、または、Ｒ８およびＲ１０は、同一であるかもしくは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、水素、メチル、またはエチルから選択され、かつＲ９が、Ｒ１１およびそれらが結合されている炭素原子と一緒になって、シクロヘキシル環、シクロヘプチル環、またはシクロオクチル環を形成し、
Ｒ１２およびＲ１３は、同一であるかもしくは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、水素、メチル、またはエチルから選択され、かつ
Ｒ１４が（Ｃ４〜Ｃ１８）アルキルである、請求項１〜４のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６】
前記ポリマーが１つ以上の第２のタイプの繰返し単位を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項７】
前記ポリマーが、０〜７５モル％の第１のタイプの繰返し単位と、０〜９０モル％の第２のタイプの繰返し単位と、１０〜６０モル％の第３のタイプの繰返し単位とを含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項８】
第１のタイプの繰返し単位が、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
１−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）−３，４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン、
２−（（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）メチル）オキシラン、および
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン
からなる群から選択されるモノマーに由来する、請求項１〜７のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項９】
第２のタイプの繰返し単位が、
２−メチルプロプ−１−エン、
２−メチルペント−１−エン、
２，４，４−トリメチルペント−１−エン、
２，４，４−トリメチルペント−２−エン、
トリメチル（ビニル）シラン、および
スチレン
からなる群から選択されるモノマーに由来する、請求項１〜８のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項１０】
式（ＩＡ）により表され、式（Ｉ）で示されるモノマーに由来する第１のタイプの繰返し単位
【化７】
2016531191.tif 000007
（式中、
ｍは、整数０、１または２であり、
Ｘは、ＣＨ２、ＣＨ２−ＣＨ２、Ｏ、またはＮＲａ（Ｒａは直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルである）であり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ４は、独立して、水素、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、パーフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ３〜Ｃ６）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ２〜Ｃ６）アルコキシ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アシルオキシ、オキシラニル（Ｃ０〜Ｃ８）アルキル、オキシラニル（ＣＨ２）ａＯ（ＣＨ２）ｂ−、ハロゲン、または式（Ａ）：
−（ＣＨ２）ａ−（ＯＣＨ２−ＣＨ２）ｂ−ＯＲ      （Ａ）
で示される基を表し、ここで、
ａは、整数０、１、２、３または４であり、
ｂは、整数０、１、２、３または４であり、かつ
Ｒは、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルである）、
ならびに／あるいは
式（ＩＩＡ）により表され、式（ＩＩ）で示されるモノマーに由来する第２のタイプの繰返し単位
【化８】
2016531191.tif 000008
（式中、
Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、およびＲ１１は、同一であるかまたは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、水素、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキル、または式（Ｂ）：
−ＳｉＲ５Ｒ６Ｒ７      （Ｂ）
（    Ｒ５、Ｒ６、およびＲ７は、同一であるかまたは異なり、かつそれぞれ互いに独立して、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルから選択される）
で示される基から選択されるか、あるいはＲ８またはＲ９のうち１つは、Ｒ１０またはＲ１１のうち１つおよびそれらが結合されている炭素原子と一緒になって、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル環を形成する）、
ならびに
式（ＩＩＩＡ）または（ＩＩＩＢ）により表され、式（ＩＩＩ）で示されるモノマーに由来する第３のタイプの繰返し単位（ＩＩＩＡ）または（ＩＩＩＢ）
【化９】
2016531191.tif 000009
を含み、さらに前記式（ＩＩＩ）で示されるモノマーに由来する式（ＩＩＩＥ）により表される第３のタイプの繰返し単位
【化１０】
2016531191.tif 000010
（式中、
Ｒ１２およびＲ１３は、それぞれ互いに独立して、水素または直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ９）アルキルまたはフッ素化もしくは過フッ素化（Ｃ１〜Ｃ９）アルキルを表し、
Ｒ１４は、水素、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ２０）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルである）
を含むポリマーであって、
ここで、上述した基のそれぞれは、原子価により許容される場合、直鎖状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ７）シクロアルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）パーフルオロアルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、（Ｃ３〜Ｃ７）シクロアルコキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）パーフルオロアルコキシ、ハロゲン、ヒドロキシ、直鎖状または分岐状のヒドロキシ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルから選択される１つ以上の基で置換されていてもよい、ポリマーと、
ジアゾ官能基部分を含有する光活性化合物と、
担体溶媒と、
を含む、光現像性組成物。
【請求項１１】
前記ジアゾ官能基部分が、式（ＩＶ）、（Ｖ）、または（ＶＩ）：
【化１１】
2016531191.tif 000011
で示される、請求項１０に記載の組成物。
【請求項１２】
前記光活性化合物が、
【化１２】
2016531191.tif 000012
（式中、少なくとも１つのＤは式（ＩＶ）、（Ｖ）または（ＶＩ）で示されるジアゾ官能基部分であり、残りのＤは水素である）
からなる群から選択される、請求項１０または１１に記載の組成物。
【請求項１３】
第１のタイプの繰返し単位が、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
１−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）−３，４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン、
２−（（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメトキシ）メチル）オキシラン、および
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン
からなる群から選択されるモノマーに由来する、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１４】
第２のタイプの繰返し単位が、
２−メチルプロプ−１−エン、
２−メチルペント−１−エン、
２，４，４−トリメチルペント−１−エン、
２，４，４−トリメチルペント−２−エン、
トリメチル（ビニル）シラン、および
スチレン
からなる群から選択されるモノマーに由来する、請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１５】
前記担体溶媒が、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、アニソール、アセトン、メチル３−メトキシプロピオネート、テトラヒドロフラン、およびそれらの組合せ混合物からなる群から選択される、請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１６】
２，２’−（（（２−エチル−２−（（オキシラン−２−イルメトキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））−ビス（メチレン））ビス（オキシラン）、
ビス（４−（オキシラン−２−イルメトキシ）フェニル）メタン、
脂肪族トリオールのポリグリシジルエーテル、
パラ−第３級ブチルフェノールのグリシジルエーテル、
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、
ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、および
それらの組合せ混合物
からなる群から選択される１種以上の架橋剤をさらに含む、請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１７】
前記ポリマーが、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンに由来する繰返し単位と、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ドデシルアミン、ｎ−ヘキサデシルアミンまたはｎ−オクタデシルアミンで開環した無水マレイン酸に由来する繰返し単位とを含有するコポリマー、および
スチレンに由来する繰返し単位と、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ドデシルアミン、ｎ−ヘキサデシルアミンまたはｎ−オクタデシルアミンで開環した無水マレイン酸に由来する繰返し単位とを含有するコポリマー
からなる群から選択される、請求項１０〜１６のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１８】
マイクロエレクトロニクスデバイスまたは光電子デバイスを作製するためのフィルムを形成する方法であって、
請求項１０〜１７のいずれか一項に記載の組成物を適切な基材に塗布してフィルムを形成することと、
マスクを用いて適切な放射線で露光することにより前記フィルムをパターニングすることと、
露光後に前記フィルムを現像して光パターンを形成することと、
適切な温度に加熱することにより前記フィルムを硬化させることと
を含む、フィルム形成方法。
【請求項１９】
請求項１０〜１７のいずれか一項に記載された組成物の硬化物を含むデバイスであって、
前記デバイスは光電子デバイスまたはマイクロエレクトロニクスデバイスである、デバイス。