【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年12月16日(2016.12.16)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェハへのゲッタリング効果を有する、ハンドリングかつ耐摩耗層の製造方法であって、
飽和または不飽和の、分枝または非分枝の、脂肪族、脂環式または芳香族ラジカルを個々にまたは複数で含有する対称および／または非対称の２−〜４−置換アルコキシシランおよびアルコキシアルキルシランと、
ａ）対称および非対称の有機および有機／無機混合）カルボン酸無水物と
または
ｂ）強カルボン酸と、
ｃ）変形態様ａ）およびｂ）の組み合わせと
の縮合および制御されたゲル化によって、低粘度〜高粘度の酸化物媒体を得て調製された酸化物媒体の形態のゲッター媒体を、シリコンウェハ表面上に印刷し、印刷した媒体を、連続的に行う１または２以上の加熱工程（ステップ関数による加熱）および／または加熱ランプによって、５０℃〜８００℃、好ましくは５０℃〜５００℃の温度範囲において、ガラス化のために乾燥および凝縮させ、および該温度は、上昇後、任意にその後５００〜８００℃の範囲、好ましくは６００〜７５０℃の範囲において、数秒〜１分保持され、５００ｎｍまでの厚さを有するハンドリングかつ耐摩耗層の形成がもたらされることを特徴とする、前記方法。
【請求項２】
シリコンウェハ上に印刷された酸化物媒体が、乾燥および凝縮後、基板のドーピングなしで、印刷されたシリコンに対してゲッタリング効果があり、少数電荷キャリアの寿命を向上させることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
シリコンウェハが高粘度ゲッター媒体で印刷され、乾燥および凝縮後、リンおよびホウ素の拡散に対する拡散障壁として作用する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
酸化ホウ素、ホウ酸およびホウ酸エステルから選択されるホウ素含有化合物および／または酸化リン（Ｖ）、リン酸、ポリリン酸、リン酸エステルおよびα−および／またはβ位にシロキサン官能基を含有するリン酸エステルから選択されるリン含有化合物を使用して調製されたゲッター媒体を使用することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
表面上のガラス化層が、ホウ素および／またはリンなどのシリコン−ドーピング原子を、７５０℃〜１１００℃、好ましくは８５０℃〜１１００℃の温度範囲で温度処理によって基板に放出することができ、基板の導電性に影響を与えることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
印刷された基板の７５０℃〜１１００℃、好ましくは８５０℃〜１１００℃の温度での温度処理によって、ドーパントが１μｍまでの深さまで輸送され、１＊１０２１原子／ｃｍ３に等しいドーパントの表面濃度で、１０Ω／ｓｑｒまでの電気シート抵抗が生成されることを特徴とする、請求項１、４および５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
処理された基材上の寄生ドーピング濃度が、意図的にドープされた領域のドーピングから少なくとも１０の２乗異なることを特徴とする、請求項１、４、５および６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
ゲッター媒体が、親水性および／または疎水性シリコンウェハ上に印刷されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
ゲッター媒体が、飽和または不飽和の、分枝または非分枝の、脂肪族、脂環式または芳香族ラジカルを、個々にまたは複数で含有する対称および／または非対称の２−〜４置換アルコキシシランおよびアルコキシアルキルシラン、それはまたアルコキシドラジカルまたはアルキルラジカルの任意の所望の位置でＯ、Ｎ、Ｓ、Ｃｌ、Ｂｒ基から選択されるヘテロ原子によって官能化されていてもよい、を使用して調製されることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
ゲッター媒体の調製に使用する強カルボン酸が、ギ酸、酢酸、シュウ酸、トリフルオロ酢酸、モノ−、ジ−およびトリクロロ酢酸、グリオキサル酸、酒石酸、マレイン酸、マロン酸、ピルビン酸、リンゴ酸、２−オキソグルタル酸の群から選択される酸である、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
印刷可能なゲッター媒体が、アルコラート、アルミニウム、ゲルマニウム、亜鉛、スズ、チタン、ジルコニウムもしくは鉛のエステル、酢酸塩、水酸化物または酸化物、およびこれらの混合物を使用してハイブリッドゾルおよび／またはゲルに基づいて調製されることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
ゲッター媒体を、ゲル化して、高粘度のほぼガラス様材料を得て、得られた生成物を、適した溶媒または溶媒混合物の添加によって再溶解するか、あるいは高剪断混合装置によってゾル状態に転換し、部分的または完全な構造回復によって均一なゲルへ変換する（ゲル化）、ことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
アセトキシトリアルキルシラン、アルコキシトリアルキルシラン、ハロトリアルキルシランおよびこれらの誘導体の群から選択される「キャッピング剤」を、個々にまたは混合して添加することによって、安定性が向上することを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
使用されるゲッター媒体が、増粘剤の添加なしで高粘度の酸化物媒体として配合されることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
請求項１、４、１０〜１４のいずれか一項に記載の方法中に調製された印刷可能な酸化物媒体の形態のゲッター媒体であって、アルコラート、アルミニウム、ゲルマニウム、亜鉛、スズ、チタン、ジルコニウムもしくは鉛のエステル、酢酸塩、水酸化物または酸化物の使用をとおして調製中に生じるＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３および／または高次の混合物の群からの二元または三元系を含む、前記ゲッター媒体。
【請求項１６】
光起電、マイクロエレクトロニクス、マイクロメカニカルおよびマイクロ光学用途のためのシリコンウェハの処理プロセスにおける拡散障壁の製造のための、請求項１４または１５に記載の印刷可能なゲッター媒体の使用。
【請求項１７】
ＰＥＲＣ、ＰＥＲＬ、ＰＥＲＴ、ＩＢＣ太陽電池およびその他、ここで太陽電池はＭＷＴ、ＥＷＴ、選択エミッタ、選択前面電界、選択背面電界およびバイフェイシャリティ（bifaciality）などのさらなる構造特徴を有する、の製造のための請求項１４または１５に記載のゲッター媒体の使用。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６５】
これらのアルコキシシランおよびアルコキシアルキルシランは、ギ酸、酢酸、シュウ酸、トリフルオロ酢酸、モノ−、ジ−、およびトリクロロ酢酸、グリオキサル酸、酒石酸、マレイン酸、マロン酸、ピルビン酸、リンゴ酸、２−オキソグルタル酸の群からの強カルボン酸との縮合および制御されたゲル化によって所望のゲッター媒体に変換される。特に、ハイブリッドゾルおよび／またはゲルに基づく印刷可能なゲッター媒体は、縮合反応において、アルコラート、アルミニウム、ゲルマニウム、亜鉛、スズ、チタン、ジルコニウムもしくは鉛のエステル、酢酸塩、水酸化物または酸化物、またはこれらの混合物を使用した場合に得られる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６８】
よって、本発明はまた、特に、アルコラート、アルミニウム、ゲルマニウム、亜鉛、スズ、チタン、ジルコニウムもしくは鉛のエステル、酢酸塩、水酸化物または酸化物の使用をとおして調製中に生じるＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３および／または高次の混合物の群からの二元または三元系を含む、印刷可能な酸化物媒体の形態のゲッター媒体に関する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７７】
記載した方法は、印刷可能な酸化物媒体を、アルコラートあるいはアルミニウム、ゲルマニウム、亜鉛、スズ、チタン、ジルコニウムもしくは鉛のエステル、酢酸塩、水酸化物または酸化物、およびこれらの混合物を使用して、ハイブリッドゾルおよび/またはゲルに基づくドーピング媒体の形態で調製することを可能にする。準〜完全な化学量論比の好適なマスキング剤、錯化剤およびキレート剤の添加は、これらのハイブリッドゾルを、一方では立体的に安定化し、他方ではそれらの縮合およびゲル化速度について、しかしまたレオロジー特性についても影響を与え、また制御する。好適なマスキング剤および錯化剤ならびにキレート剤は、特許出願WO 2012/119686 A、WO2012119685 A1およびWO2012119684 Aから、当業者には既知である。したがって、これらの明細書の内容を、参照により本出願の開示内容に組み込む。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８３】
したがって、本発明はまた本発明に従って調製された新規の酸化物媒体にも関し、これは前に記載した方法によって調製され、アルコラートあるいはアルミニウム、ゲルマニウム、亜鉛、スズ、チタン、ジルコニウムもしくは鉛のエステル、酢酸塩、水酸化物または酸化物の使用を介して調製中に生じる、ＳｉＯ２−Ｐ２Ｏ５、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３およびＳｉＯ２−Ｐ２Ｏ５−Ｂ２Ｏ３およびＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３の群からの２元系または３元系および／または高次の混合物を含む。前に既に記したとおり、準〜完全な化学量論比の好適なマスキング剤、錯化剤およびキレート剤の添加は、これらのハイブリッドゾルを、一方では立体的に安定化し、他方ではそれらの縮合およびゲル化速度について、しかしまたレオロジー特性についても影響を与え、また制御する。この目的のために好適なマスキング剤および錯化剤ならびにキレート剤は、特許出願WO 2012/119686 A、WO2012119685 A1およびWO2012119684 Aから、当業者には既知である。