(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースとを含み、
上記電磁弁が、上記マニホールドベース上に取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられた流体コントロール用の弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記弁部材と同期して変移するように設けられた位置検出用のマグネットと、上記ケーシングの取付面に該マグネットと対応するように設けられたセンサー取付用の窪みとを有し、
上記マニホールドベースが、上記電磁弁を搭載するための搭載面と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグと、上記窪みと対応する搭載面上の位置に該搭載面から電磁弁側に突出するように設置されていて、該搭載面上への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを導通させる導通手段とを有する、
ことを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載のマニホールドバルブにおいて、上記マニホールドベースの搭載面に上記窪みに嵌合する中空の突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することにより該突部が、上記マニホールドベースと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを載置面から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねていることを特徴とするもの。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のマニホールドバルブにおいて、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁であって、上記電磁弁が弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有し、上記弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられていることを特徴とするもの。
【請求項４】
請求項３に記載のマニホールドバルブにおいて、上記マグネットが、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けられていることを特徴とするもの。
【請求項５】
請求項３に記載のマニホールドバルブにおいて、上記各ピストンが、その一端面側に形成された圧力室と、他端面側に形成された呼吸室と、これら両室の間を遮断するピストンパッキンとを有していて、一方のピストンにおける上記ピストンパッキンよりも呼吸室側に寄った位置に上記マグネットが、このピストンパッキンでパイロット流体との接触を防止された状態に取り付けられていることを特徴とするもの。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マニホールドベース上に搭載した電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとで検出することができる、位置検出機能付きのマニホールドバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マグネットと磁気センサーとを使用してスプールの動作位置を検出できるようにした電磁弁は、例えば実開平２−６６７８４号公報に開示されているようにすでに公知である。この電磁弁は、スプールの外周にマグネットを取り付けると共に、ケーシングに磁気を感知する磁気センサーを取り付けたもので、スプールが一方の切換位置に移動したとき上記磁気センサーがマグネットを感知してオンとなり、スプールが他方の切換位置に移動したとき磁気センサーがマグネットから離れてオフになるようにしたものである。そして上記磁気センサーは、電磁弁のケーシングから外部に導出したリード線によってコントローラーに接続されている。
【０００３】
一方、この種の電磁弁には、それをマニホールドベース上に搭載することによってマニホールドバルブとして使用されるものがある。このマニホールドバルブは通常、マニホールドベース上に一個又は複数個の電磁弁が搭載されていて、これらの各電磁弁に上記マニホールドベースを通じて圧力流体と電力とが一括して供給されるように構成されている。
【０００４】
このようなマニホールドバルブにおいても、上述した公知例と同様に、各電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとを使用して検出することができる。しかしながらその場合に、公知例のように磁気センサーを電磁弁のケーシングに取り付けたのでは、導線をケーシングの外を引き回してマニホールドベースの電気接続部に導入、接続しなければならないため、配線作業が面倒で乱雑になったり、上記導線が他の部材の邪魔になるなどの問題を生じ易い。また、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、導線でマニホールドベースに接続されているセンサーをケーシングから取り外すか、あるいは上記導線をマニホールドベースから切り離すなどの作業を行わなければならず、取り扱いが面倒である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によれば、圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースとを有するマニホールドバルブが提供される。
上記電磁弁は、上記マニホールドベース上に取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に摺動自在に設けられた弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記弁部材と同期して変移するように設けられたマグネットと、上記ケーシングの取付面の該マグネットと対応する位置に設けられたセンサー取付用の窪みとを有している。
また上記マニホールドベースは、上記電磁弁を搭載するための搭載面と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグと、上記窪みと対応する搭載面上の位置に該搭載面から電磁弁側に突出するように設置されていて、該搭載面上への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを導通させるための導通手段とを有している。
【０００７】
上記構成を有する本発明のマニホールドバルブは、上記マニホールドベースに磁気センサーを突出状態に設けると共に、電磁弁のケーシングに窪みを設け、マニホールドベース上に電磁弁を搭載することによって磁気センサーが上記窪み内の所定の位置に取り付けられるようにしたので、該磁気センサーの取り付けが簡単であり、また、導線を外部に引き回す必要がないため配線も容易である。さらに、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、マニホールドベースから磁気センサーを取り外したり、導線をマニホールドベースから切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
【０００８】
本発明の好ましい構成態様によれば、上記マニホールドベースの搭載面に上記窪みに嵌合する突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することによりこの突部が、マニホールドベースと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを載置面から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねている。
【０００９】
本発明の具体的な構成態様によれば、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁からなっていて、上記電磁弁が弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有し、上記弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられている。
【００１０】
本発明において好ましくは、上記マグネットが、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けられていることである。
【００１１】
本発明の好ましい具体的な構成態様よれば、上記各ピストンが、その一端面側に形成された圧力室と、他端面側に形成された呼吸室と、これら両室の間を遮断するピストンパッキンとを有していて、一方のピストンにおける上記ピストンパッキンよりも呼吸室側に寄った位置に上記マグネットが、このピストンパッキンでパイロット流体との接触を防止された状態に取り付けられている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は本発明に係るマニホールドバルブの第１実施形態を示すもので、このマニホールドバルブ１００は、圧縮空気等の圧力流体をコントロールするための電磁弁１と、この電磁弁１に上記圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベース２とを有し、このマニホールドベース２上に上記電磁弁１が搭載されている。
【００１３】
上記電磁弁１はダブルパイロット式の電磁弁で、主弁４と、該主弁４の一端に並べて取り付けられた２つの電磁操作式のパイロット弁５ａ，５ｂとを有し、これらのパイロット弁５ａ，５ｂで主弁４を切り換えるものである。上記主弁４は５ポート弁として構成され、非磁性体からなるケーシング６を有している。このケーシング６は、矩形断面を有する第１部材６ａと、その一端に連結されて上記パイロット弁５ａ，５ｂを取付けるためのアダプターを兼ねる第２部材６ｂと、他端に連結されてケーシングの端部を閉鎖するエンドカバーとしての機能を持つ第３部材６ｃとからなっていて、このケーシング６の下面は、上記マニホールドベース２の上面の搭載面２ａに固定するための実質的に平らな取付面１ａとなっている。
【００１４】
上記取付面１ａには、第１部材６ａの底面となる位置に、供給通孔Ｐ１  と、その両側に位置する２つの出力通孔Ａ１  ，Ｂ１  と、さらにその両側に位置する２つの排出通孔ＥＡ１  ，ＥＢ１  とが設けられている。また、上記第１部材６ａの内部には、これらの各通孔が軸線方向に並んで開口する弁孔７が設けられ、この弁孔７内に、流路切換用の弁部材であるスプール８が摺動自在に収容されている。
【００１５】
上記スプール８の外周には、上記各ポート間を結ぶ流路同士を相互に区画するための複数のシール部材９が設けられると共に、スプール８の両端部外周に、該スプール８の端部が臨む呼吸室１０と弁孔７内の作動流体の流路との間を遮断する端部シール部材９ａがそれぞれ設けられている。
【００１６】
一方、上記第２部材６ｂ及び第３部材６ｃには、スプール８の両端が臨む位置にピストン室１１ａ，１１ｂがそれぞれ形成されている。第２部材６ｂに形成された第１ピストン室１１ａは大径で、その中には大径の第１ピストン１２ａが摺動自在に収容されている。また、第３部材６ｃに形成された第２ピストン室１１ｂは上記第１ピストン室１１ａより小径で、その中には小径の第２ピストン１２ｂが摺動自在に収容されている。これらのピストン１２ａ，１２ｂはそれぞれ、スプール８の端面に分離自在に当接するるか、又はスプール８と一体に連結されていて、該スプール８と同期して移動するようになっている。
【００１７】
そして、上記各ピストン１２ａ，１２ｂの背面側、即ちスプール８に当接している面とは反対側の部分には、それぞれ第１及び第２の圧力室１３ａ，１３ｂが形成され、各ピストン１２ａ，１２ｂとスプール８との間には、それぞれ図示しない通孔により外部に開放する上記呼吸室１０，１０が形成されており、これらの圧力室１３ａ，１３ｂと呼吸室１０，１０との間は、上記ピストン１２ａ，１２ｂの外周に取り付けられたピストンパッキン１５，１５で気密に遮断されている。
【００１８】
大径の第１ピストン１２ａ側に位置する上記第１圧力室１３ａは、図３から分かるように、パイロット供給流路１６、補助ブロック１４に設けられた手動操作機構１７ａ（図２参照）、一方のパイロット弁５ａ、及びパイロット出力流路１８ａを介して上記供給ポートＰに連通している。また、小径の第２ピストン１２ｂ側に位置する第２圧力室１３ｂは、上記パイロット供給流路１６、他方のパイロット弁５ｂ、パイロット出力流路１８ｂ、手動操作機構１７ｂ、及びパイロット出力流路１８ｃを介して上記供給ポートＰに連通している。
【００１９】
そして、一方のパイロット弁５ａがオフとなって第１圧力室１３ａが大気に開放されると共に、他方のパイロット弁５ｂがオンとなって第２圧力室１３ｂに上記パイロット出力流路１８ｂ及び１８ｃを通じてパイロット供給流路１６からのパイロット流体が供給されているときは、第２ピストン１２ｂによりスプール８が押され、図１に示すように左側に移動した第１切換位置を占める。この状態から上記パイロット弁５ａ，５ｂが切り換わり、パイロット弁５ａがオンとなってパイロット弁５ｂがオフになると、第２圧力室１３ｂが大気に開放して第１圧力室１３ａにパイロット流体が供給されるため、ピストン１２ａによりスプール８が押されて右側に移動し、第２切換位置に切り換わる。
【００２０】
上記手動操作機構１７ａ，１７ｂはそれぞれ、パイロット弁５ａ，５ｂがオンになった場合と同様の切換状態を手動で再現させるためのもので、停電時やパイロット弁が故障した場合などに使用するものである。即ち、手動操作機構１７ａは、パイロット弁５ａに対応するもので、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ａとが直接連通し、第１圧力室１３ａに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。他方の手動操作機構１７ｂはパイロット弁５ｂに対応していて、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ｃが直接連通し、第２圧力室１３ｂに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。
【００２１】
なお、上記パイロット弁５ａ，５ｂは、ソレノイドへの通電によってパイロット流路を開閉する電磁操作式のパイロット弁であって、その構成及び作用は公知のものと同じであるため、その具体的な説明は省略する。
【００２２】
上記電磁弁１における第１ピストン１２ａには、スプール８の動作位置を検出する際の被検出体となるマグネット２０が取り付けられている。このマグネット２０は、合成樹脂や合成ゴムのような軟質の弾性基材中に、磁性を持つ金属粉末を混合して、円周の一部に切欠を有するリング状に形成したもので、上記ピストン１２ａの外周の、ピストンパッキン１５よりも呼吸室１０側に寄った位置に形成された取付溝内に、弾力的に拡径した状態で嵌め込むことにより取り付けられている。そして、第１ピストン１２ａ（従ってスプール８）と共に変移するこのマグネット２０をマニホールドベース２に取付けた磁気センサー２１で検出することにより、上記スプール８の動作位置を検出できるようにしている。
【００２３】
この場合、上記マグネット２０の厚さを取付溝の深さよりも僅かに小さく形成することにより、該マグネット２０の外周面がピストン１２ａの外周面より低い位置にあってピストン室１１ｂの内周面に摺接しないようにしておくことが望ましく、これにより、マグネット２０の摺接によるピストン１２ａの摺動抵抗の増加を防止することができるだけでなく、このマグネット２０が大気中の磁性微細粒子を若干吸着したとしても、それがピストン１２ａの摺動に悪影響を及ぼすのを防ぐことができる。
【００２４】
また、このように上記マグネット２０を、ピストン１２ａの外周の呼吸室１０側の位置に取り付けることにより、該マグネット２０がパイロット流体や主弁４中の圧力流体と直接接触するのを防ぐことができるため、該流体中に水分や化学ミストあるいは金属粉のような磁性体粒子等が含まれていたとしても、該マグネット２０がそれらと接触して錆びたり腐食したりあるいは磁性体粒子を吸着したりするようなことがなく、磁力の低下による位置検出精度の低下や、吸着した微細粒子によるピストン１２ａの動作不良等を生じることがない。
【００２５】
上記電磁弁１のケーシング６に設けられた取付面１ａには、第２部材６ｂの底面となる位置に、上記磁気センサー２１が嵌合する実質的に矩形の断面形状を有する窪み２２が、上記第１ピストン１２ａに近接する深さに切り込むことにより設けられている。
【００２６】
上記電磁弁１が搭載されている上記マニホールドベース２は、厚さ方向に複数個を接合して使用するスタッキングタイプのもので、非磁性体により形成されていて、一半側に設けられた流路形成部２Ａと他半側に設けられた電気接続部２Ｂとを有し、該マニホールドベース２の上面には、これらの流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとに跨がるように上記搭載面２ａが形成されている。上記流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとは、一体に形成しても、別体に形成して相互に連結しても良い。
【００２７】
上記流路形成部２Ａには、マニホールドベース２を厚さ方向に貫通する供給流路Ｐ及び排出流路Ｅが設けられると共に、該マニホールドベース２の端面に開口する２つの出力ポートＡ，Ｂが設けられている。そして、これらの供給流路Ｐと排出流路Ｅ及び各出力ポートＡ，Ｂがそれぞれ、流路形成部２Ａの内部に形成された連通孔を通じて上記搭載面２ａ上に開口する供給通孔Ｐ２  と２つの排出通孔ＥＡ２  ，ＥＢ２  及び２つの出力通孔Ａ２  ，Ｂ２  に連通し、この搭載面２ａ上に電磁面を搭載したときこれらの各通孔が、該電磁面の取付面１ａに開口する供給通孔Ｐ１  と２つの排出通孔ＥＡ１  ，ＥＢ１  及び２つの出力通孔Ａ１  ，Ｂ１  にそれぞれ連通するようになっている。
【００２８】
図中２４は、複数のマニホールドベース２を接合して締結する際にボルトを挿通するための締結孔、２５，２６はマニホールドベースの両面の相対する位置に設けられた位置決め用の突起と連結孔で、突起２５が隣接するマニホールドベース２の連結孔２６に嵌合するようになっている。
【００２９】
また、上記電気接続部２Ｂは、接続用の各種電気部品を収容するための収容室２７を有しており、この収容室２７内には、電磁弁制御用のコントローラーから導かれる導線の先端の第１ソケット（図示せず）を接続するための第１プラグ２８と、この第１プラグ２８に電気的に接続された第１プリント基板２９と、この第１プリント基板２９に接続された第２ソケット３０ａと、上記磁気センサー２１と第１プリント基板２９とを互いに導通するための導通手段３１とが設けられている。
【００３０】
上記第２ソケット３０ａは、電磁弁１のパイロット弁５ａ，５ｂに取り付けられた第２プラグ３０ｂに切り離し自在に接続されるものである。一方、上記導通手段３１は、磁気センサー２１が取り付けられた第２プリント基板３８と、この第２プリント基板３８と第１プリント基板２９とを切り離し自在に接続するコネクター３４とからなるもので、このコネクター３４は、上記第２プリント基板３８に取り付けられた第３ソケット３４ａと、第１プリント基板２９から延びる導線３５に取り付けられてこの第３ソケット３４ａに切り離し自在に接続される第３プラグ３４ｂとからなっている。
【００３１】
また、上記電気接続部２Ｂの上面には、上記電磁弁１の窪み２２にほぼぴったりと嵌合する大きさの矩形断面を有するキャップ形の突部３７が、搭載面２ａから上方に突出するように形成され、この突部３７内に上記磁気センサー２１が収容室２７側から挿入されており、この突部３７によって該磁気センサー２１が、搭載面２ａから電磁弁１側に向けて突出した状態に保持されている。そして、上記マニホールドベース２の搭載面２ａ上へ電磁弁１を搭載することにより、上記突部３７が窪み２２内に嵌合してマニホールドベース２と電磁弁１との位置決めが行われると共に、この突部３７を介して磁気センサー２１が窪み２２内に嵌合状態に取り付けられるようになっている。従って上記突部３７は、マニホールドベース２と電磁弁１とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサー２１を載置面から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねるものである。この突部３７は、マニホールドベース２と一体に形成されているが、別に形成してマニホールドベース２に固定しても良い。
【００３２】
上記マグネット２０と磁気センサー２１とは、ピストン１２ａ（従ってスプール８）が一方のストローク端にあるときに磁気センサー２１がマグネット２０の磁気を検出するような位置関係に配置することにより、スプール８の一方のストローク端での位置を検出するようにしても、あるいは、スプール８の全ストロークにおいて磁気センサー２１がマグネット２０の磁気をアナログ的に検出できるような位置関係に配置することにより、スプール８の全ストローク中での任意の位置を検出するようにしても良い。
【００３３】
上記構成を有するマニホールドバルブ１００は、マニホールドベース２上に電磁弁１を搭載するだけで磁気センサー２１を窪み２２内の所定の位置に自動的に取り付けることができるので、該磁気センサー２１の取り付けが簡単であり、磁気センサー２１からの導線を外部に引き回す必要がないため配線も容易である。さらに、メンテナンスに当たって上記マニホールドベース２と電磁弁１とを分離する際に、マニホールドベース２から磁気センサー２１を取り外したり、導線をマニホールドベース２から切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
【００３４】
図４及び図５は本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示すもので、この第２実施例のマニホールドバルブ２００が上記第１実施例のマニホールドバルブ１００と異なる点は、第１実施例では大径の第１ピストン１２ａにマグネット２０を取り付けると共に、マニホールドベース２の第１ピストン１２ａと対応する位置に磁気センサー２１を取り付けているのに対し、第２実施例では、第１ピストン１２ａの反対側にある小径の第２ピストン１２ｂにマグネット２０を取り付けると共に、マニホールドベース２の第２ピストン１２ｂ側の位置に上記磁気センサー２１を取り付けている点である。
【００３５】
即ち、電磁弁１のケーシング６における第３部材６ｃの下面に窪み２２を形成し、マニホールドベース２における流路形成部２Ａの上面に突部３７を形成し、この突部３７の内部に上記磁気センサー２１を保持させている。また、このマニホールドベース２の流路形成部２Ａの側面には配線用の挿通溝３９を形成し、この挿通溝３９内に通した導線４０で、磁気センサー２１が接続された第２プリント基板３８と第１プリント基板２９とを直接接続している。
なお、第２実施例の上記以外の構成は実質的に第１実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第１実施例と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００３６】
上記各実施例では、マニホールドベース２に中空キャップ状の突部３７を形成し、この突部３７内に磁気センサー２１を収容することにより、該磁気センサー２１をマニホールドベース２から突出した状態に取り付けているが、磁気センサー２１の取り付け方法はこのようなものに限定されない。図６に示すものは、突部３７を先端が開放する中空筒形に形成し、この突部３７内に磁気センサー２１を収容している。この場合、磁気センサー２１は突部３７から外部に突出しないように収容しても、一部を突出させた状態に収容しても良い。また、図７に示すものは、マニホールドベース２に上述しような突部３７を設けることなく、磁気センサー２１を外部に露出させた状態で取り付けている。
【００３７】
さらに図８は、磁気センサー２１と第１プリント基板２９とを接続する導通手段３１の異なる例を示すもので、上記実施例では第２プリント基板３８と第１プリント基板２９とをコネクター３４で切り離し自在に接続しているが、この例では、磁気センサー２１と第１プリント基板２９とをフレキシブルな導線４１で直接接続している。
【００３８】
また、上記実施例ではマグネット２０をピストンに取り付けているが、スプール８に取り付けることもできる。この場合、マグネット２０が圧力流体と接触するのを避けるため、スプール８の端部の端部シール部材９ａよりも呼吸室１０側に寄った位置にこのマグネット２０を取り付けることが望ましい。
【００３９】
なお、上記各実施例では、窪み２２内に１つの磁気センサー２１を取り付けるようにしているが、２つ以上の複数の磁気センサーを取り付けても良い。このように複数の磁気センサーを取り付けることにより、スプール８の両ストローク端での位置や、ストローク中の任意の位置を簡単に検出することがができる。
【００４０】
さらに、上記各実施例における電磁弁は、２つのピストンの径を大小に違えているが、同径のピストンを使用することもできる。
あるいは、上記電磁弁として、１つのパイロット弁でスプールを切り換えるシングルパイロット式の電磁弁を用いることもできる。
【００４１】
また、本発明は、スプール式以外の電磁弁を有するマニホールドバルブ、例えばポペット式の電磁弁を備えたマニホールドバルブ等にも適用できることは言うまでもないことである。
【００４２】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマニホールドバルブの第１実施例を示す断面図である。
【図２】図１のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断した斜視図である。
【図３】図１の要部拡大図である。
【図４】本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示す断面図である。
【図５】図４のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断した斜視図である。
【図６】磁気センサーの取り付け方法の他の例を示す要部断面図である。
【図７】磁気センサーの取り付け方法の更に他の例を示す要部断面図である。
【図８】磁気センサーの接続方法の他の例を示す要部斜視図である。
【符号の説明】
１００，２００    マニホールドバルブ
１    電磁弁
１ａ    取付面
２    マニホールドベース
２ａ    搭載面
５    パイロット弁
６    ケーシング
８    スプール
１０    呼吸室
１２ａ，１２ｂ    ピストン
１３ａ，１３ｂ    圧力室
１５    ピストンパッキン
２０    マグネット
２１    磁気センサー
２２    窪み
２８    第１プラグ
３１    導通手段
３７    突部
【図１】
0003590762.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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