【手続補正書】
【提出日】平成29年8月2日(2017.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動ステージの位置を推定するための装置であって、
複数のステータ−Ｙ向きセンサー列と複数のステータ−Ｘ向きセンサー行を提供するように、お互いに対して配置されたセンサーのアレイを含むステータであって、
各ステータ−Ｙ向きセンサー列は、ステータ−Ｙ方向においてお互いと全体的に揃えられた複数のセンサーと、ピッチＰｙでステータ−Ｙ方向においてお互いから間隔を空けられた各ステータ−Ｙ向きセンサー列中のセンサーの少なくとも１つのペアを含み、
各ステータ−Ｘ向きセンサー行は、ステータ−Ｘ方向においてお互いと全体的に揃えられた複数のセンサーと、ピッチＰｘでステータ−Ｘ方向においてお互いから間隔を空けられた各ステータ−Ｘ向きセンサー行中のセンサーの少なくとも１つのペアを含むものと、
ステージ−Ｙ方向において全体的に線形に引き延ばされた複数の第１の磁化セグメントを含んだ第１のＹ磁石アレイを含む可動ステージであって、各第１の磁化セグメントはステージ−Ｙ方向の長さＬｙｙを有し、磁化方向はステージ−Ｙ方向と全体的に直交し、複数の第１の磁化セグメントの磁化方向は、第１のＹ磁石アレイのステージ−Ｘ方向の幅Ｗｙｘに渡る第１の磁気的空間的周期λｘを顕示しているものと、
センサーの各々からの出力に基づいた情報を受け取るように接続され、可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するために情報を使うように構成されたコントローラと、を含み、
ピッチＰｘは、Ｐｘ＝ｎλｘ／Ｎ、ここでｎとＮは整数、ｎ／Ｎは非整数、と全体的に整合している、
装置。
【請求項２】
各第１の磁化セグメントのステージ−Ｙ方向の長さＬｙｙは、Ｌｙｙ＝ＮｙｙＰｙ、ここでＮｙｙは正の整数、と全体的に整合している、請求項１の装置。
【請求項３】
ステータ−Ｘ方向がステータ−Ｙ方向と直交する、請求項１−２のいずれか１つの装置。
【請求項４】
複数のステータ−Ｙ向きセンサー列が第１と第２のステータ−Ｙ向きセンサー列を含み、第１のステータ−Ｙ向きセンサー列は第２のステータ−Ｙ向きセンサー列から距離ＰＸ、ここでＰＸ＝ｎλＸ／Ｎで、ｎ、Ｎはｎ／Ｎが整数ではないように選択された正の整数、だけ間隔を空けられている、請求項１−３のいずれか１つの装置。
【請求項５】
コントローラは、第１のステータ−Ｙ向きセンサー列の出力の第１の合計または平均に基づいておよび第２のステータ−Ｙ向きセンサー列の出力の第２の合計または平均に基づいて、可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するように構成されている、請求項１−４のいずれか１つの装置。
【請求項６】
コントローラは、複数の合計または平均値に基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するように構成されており、各合計または平均値は対応するステータ−Ｙ向きセンサー列からの出力の合計または平均を含む、請求項１−５のいずれか１つの装置。
【請求項７】
コントローラは、複数の同期合計または平均値に基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するように構成されており、各同期合計または平均値は同期列値の合計または平均を含み、各同期列値は対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列からの出力の合計または平均に基づいており、各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列は他の対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔Ｎｘλｘ、ここでＮｘは正の整数、だけ離されている、請求項１−６のいずれか１つの装置。
【請求項８】
複数の同期合計または平均値は第１の同期合計または平均値Ａと第２の同期合計または平均値Ｂを含み、第１の同期合計または平均値Ａを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列は、第２の同期合計または平均値Ｂを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔（λｘ／４）＋ｓλｘ、ここでｓは整数、だけ離されており、コントローラは、第１の同期合計または平均値Ａと第２の同期合計または平均値Ｂに基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するように構成されている、請求項７の装置。
【請求項９】
複数の同期合計または平均値は第１の同期合計または平均値Ａと第２の同期合計または平均値Ｂと第３の同期合計または平均値Ａ’と第４の同期合計または平均値Ｂ’を含み、第１の同期合計または平均値Ａを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列は、第２の同期合計または平均値Ｂを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔（λｘ／４）＋ｓλｘ、ここでｓは整数、だけ離されており、第３の同期合計または平均値Ａ’を生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔（λｘ／２）＋ｐλｘ、ここでｐは整数、だけ離されており、第４の同期合計または平均値Ｂ’を生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔（３λｘ／４）＋ｒλｘ、ここでｒは整数、だけ離されており、コントローラは、第１、第２、第３および第４の同期合計または平均値Ａ、Ｂ、Ａ’、Ｂ’に基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するように構成されている、請求項７の装置。
【請求項１０】
コントローラは、可動ステージのステータ−Ｚ方向の位置を決定するために情報を使うように構成されており、ステータ−Ｚ方向は、ステータ−Ｙ方向とステータ−Ｘ方向の両方と全体的に直交し、コントローラは、ステータ−Ｚ方向の位置ｚを、
【数１】
2016527518.tif 000001
ここでＣ０は構成可能な定数、に基づいて決定するように構成されている、請求項８の装置。
【請求項１１】
センサーのアレイがグリッドパターンに配列され、各ステータ−Ｙ向きセンサー列は、ステータ−Ｙ方向に向き付けられた対応するステータ−Ｙラインに沿って揃えられ、各ステータ−Ｘ向きセンサー行は、ステータ−Ｘ方向に向き付けられた対応するステータ−Ｘラインに沿って揃えられ、ステータ−Ｘおよびステータ−Ｙ方向はお互いと全体的に直交し、１つのセンサーが、各ステータ−Ｙラインと各ステータ−Ｘラインの交点に位置している、請求項１−１０のいずれか１つの装置。
【請求項１２】
コントローラは、ステータの１つ以上のコイルを通して流れる電流によって生成された磁場を補償するために、ステータ−Ｘ方向の位置を決定するための情報を使う前のセンサーからの出力に基づいて情報を調節するように構成されている、請求項１−１１のいずれか１つの装置。
【請求項１３】
可動ステージは、ステージ−Ｘ方向において全体的に線形に引き延ばされた複数の第２の磁化セグメントを含んだ第１のＸ磁石アレイを含み、各第２の磁化セグメントはステージ−Ｘ方向の長さＬｘｘを有し、磁化方向はステージ−Ｘ方向と全体的に直交し、複数の第２の磁化セグメントの磁化方向は、第１のＸ磁石アレイのステージ−Ｙ方向の幅Ｗｘｙに渡る第２の磁気的空間的周期λｙを顕示しており、コントローラは、可動ステージのステータ−Ｙ方向の位置を決定するために情報を使うように構成されている、請求項１−１２のいずれか１つの装置。
【請求項１４】
ピッチＰｙは、Ｐｙ＝ｍλｙ／Ｍ、ここでｍとＭは整数、ｍ／Ｍは非整数、と全体的に整合している、請求項１３の装置。
【請求項１５】
各第２の磁化セグメントのステージ−Ｘ方向の長さＬｘｘは、Ｌｘｘ＝ＮｘｘＰｘ、ここでＮｘｘは整数、と全体的に整合している、請求項１３−１４のいずれか１つの装置。
【請求項１６】
第１の磁石アレイのステージ−Ｘ方向の幅Ｗｙｘは、Ｗｙｘ＝Ｎｍｙλｘ、ここでＮｍｙは正の整数、と全体的に整合している、請求項１−１５のいずれか１つの装置。
【請求項１７】
複数の同期合計または平均値は第１の同期合計または平均値Ａと第２の同期合計または平均値Ｂと第３の同期合計または平均値Ｃを含み、第１の同期合計または平均値Ａを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列は、第２の同期合計または平均値Ｂを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔（λｘ／３）＋ｓλｘ、ここでｓは整数、だけ離されており、第３の同期合計または平均値Ｃを生成するのに使われた各対応する同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔（２λｘ／３）＋ｒλｘ、ここでｒは整数、だけ離されており、コントローラは、第１、第２および第３の同期合計または平均値Ａ、Ｂ、Ｃに基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するように構成されている、請求項７の装置。
【請求項１８】
可動ステージの位置を推定するための装置であって、
複数のステータ−Ｙ向きセンサー列と複数のステータ−Ｘ向きセンサー行を提供するように、お互いに対して配置されたセンサーのアレイを含むステーターであって、
各ステータ−Ｙ向きセンサー列は、ステータ−Ｙ方向においてお互いと全体的に揃えられた複数のセンサーと、ピッチＰｙでステータ−Ｙ方向においてお互いから間隔を空けられた各ステータ−Ｙ向きセンサー列中のセンサーの少なくとも１つのペアを含むものと、
ステージ−Ｙ方向において全体的に線形に引き延ばされた複数の第１の磁化セグメントを含んだ第１のＹ磁石アレイを含む可動ステージであって、各第１の磁化セグメントはステージ−Ｙ方向の長さＬｙｙを有し、磁化方向はステージ−Ｙ方向と全体的に直交しているものと、
センサーの各々からの出力に基づいた情報を受け取るように接続され、可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するために情報を使うように構成されたコントローラと、を含み、
各第１の磁化セグメントのステージ−Ｙ方向の長さＬｙｙは、Ｌｙｙ＝ＮｙｙＰｙ、ここでＮｙｙは正の整数、と全体的に整合している、
装置。
【請求項１９】
可動ステージの位置を推定するための装置であって、
複数のステータ−Ｙ向きセンサー列と複数のステータ−Ｘ向きセンサー行を提供するように、お互いに対して配置されたセンサーのアレイを含むステーターであって、
センサーのアレイがグリッドパターンに配列され、各ステータ−Ｙ向きセンサー列は、ステータ−Ｙ方向においてお互いから間隔を空けられ、ステータ−Ｙ方向に向き付けられた対応するステーターＹラインに沿って全体的に揃えられた複数のセンサーを含み、各ステータ−Ｘ向きセンサー行は、ステータ−Ｘ方向においてお互いから間隔を空けられ、ステータ−Ｘ方向に向き付けられた対応するステーターＸラインに沿って全体的に揃えられた複数のセンサーを含み、ステータ−Ｘおよびステータ−Ｙ方向はお互いと全体的に直交し、１つのセンサーが、各ステータ−Ｙラインと各ステータ−Ｘラインの交点に位置しているものと、
複数の磁化セグメントを含んだ磁石アレイを含む可動ステージであって、少なくとも２つの磁化セグメントが異なる磁化方向を有するものと、
センサーの各々からの出力に基づいた情報を受け取るように接続されたコントローラであって、
コントローラは、
第１のステータ−Ｙ向きセンサー列中のセンサーの第１のセットからの出力の第１の合計または平均と、
第２のステータ−Ｙ向きセンサー列中のセンサーの第２のセットからの出力の第２の合計または平均と、
に基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するために情報を使うように構成され、
コントローラは、
第１のステータ−Ｘ向きセンサー行中のセンサーの第３のセットからの出力の第３の合計または平均と、
第２のステータ−Ｘ向きセンサー行中のセンサーの第４のセットからの出力の第４の合計または平均と、
に基づいて可動ステージのステータ−Ｙ方向の位置を決定するために情報を使うように構成されたものと、を含む、
装置。
【請求項２０】
コントローラは、
第１の同期列値の合計または平均を含んだ第１の同期合計または平均値であって、各第１の同期列値は対応する第１の同期ステータ−Ｙ向きセンサー列からのセンサーの第１の出力の合計または平均に基づいており、各対応する第１の同期ステータ−Ｙ向きセンサー列は他の対応する第１の同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔Ｎｘ１λｘ、ここでＮｘ１は正の整数、λｘは磁石アレイのステーターＸ方向の幅とステーターＸ方向における磁石アレイの空間的周期の１つ、だけ離されているものと、
第２の同期列値の合計または平均を含んだ第２の同期合計または平均値であって、各第２の同期列値は対応する第２の同期ステータ−Ｙ向きセンサー列からのセンサーの第２の出力の合計または平均に基づいており、各対応する第２の同期ステータ−Ｙ向きセンサー列は他の対応する第２の同期ステータ−Ｙ向きセンサー列から、ステータ−Ｘ向き間隔Ｎｘ２λｘ、ここでＮｘ２は正の整数、だけ離されているものと、
に基づいて可動ステージのステータ−Ｘ方向の位置を決定するために情報を使うように構成されている、請求項１９による装置。