(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に形成されたホール注入用電極と、前記ホール注入用電極上に形成されたホール輸送層と、前記ホール輸送層上に形成された有機発光層と、前記有機発光層上に形成された電子注入用電極と、を有する有機発光素子において、前記ホール輸送層は、１．０×１０１９乃至１．０×１０２１（／ｃｍ３）の濃度でボロンを含有するダイヤモンド膜からなり、前記ダイヤモンド膜を構成するダイヤモンド結晶の（１１１）面が、前記ダイヤモンド膜の表面に平行な方向に配向されていることを特徴とする有機発光素子。
【請求項２】
前記ダイヤモンド膜の膜厚は、０．５乃至５μｍであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光素子。
【請求項３】
前記ダイヤモンド膜の表面に、このダイヤモンド膜のボロン濃度よりも低いボロン濃度の低ボロンドーピング層が１μｍ以下の膜厚で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の有機発光素子。
【請求項４】
前記ダイヤモンド膜は、前記有機発光層に接する表面が化学的に表面修飾されたものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項５】
前記ダイヤモンド膜は、前記有機発光層に接する表面に、水素、酸素、ハロゲン、水酸基、シアノ基、アミノ基、カルボキシル基、硫酸基、ニトロ基、アゾ基、ジアゾ基及び高分子量化合物からなる群から選択された少なくとも１種の原子又は原子団が結合されたものであることを特徴とする請求項４に記載の有機発光素子。
【請求項６】
前記基板は、シリコン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミナ、窒化アルミニウム及び耐熱性金属からなる群から選択されたいずれか１種の材料からなるものであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【請求項７】
前記基板は、耐熱性基体上に、シリコン膜、窒化シリコン膜、炭化シリコン膜、アルミナ膜、窒化アルミニウム膜及び耐熱性金属膜からなる群から選択されたいずれか１種の膜が形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の有機発光素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は表示用発光素子、液晶ディスプレイ用バックライト、平面照明光源及び平面パネルディスプレイ等に適用される有機発光素子及びその製造方法に関し、特に、安定して優れた発光効率を得ることができる有機発光素子及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイヤモンドは耐熱性が優れ、バンドギャップが５．５ｅＶと大きいことが特徴である。また、ダイヤモンドは絶縁破壊電圧及び飽和ドリフト速度が大きいと共に、誘電率が小さいという優れた電気的特性を有する。更に、ダイヤモンドは熱伝導率が室温において種々の物質中で最高値を示し、比熱が小さいことも公知である。
【０００３】
ダイヤモンド膜の気相合成法としては、例えば、マイクロ波気相化学蒸着（マイクロ波ＣＶＤ）法がある（特公昭５９−２７７５４、特公昭６１−３３２０等）。また、他にも、高周波プラズマＣＶＤ法、熱フィラメントＣＶＤ法、直流プラズマＣＶＤ法、プラズマジェット法、燃焼法及び熱ＣＶＤ法等によりダイヤモンド膜を合成することができる。これらの気相合成法によると、非ダイヤモンド材料からなる基板上に、膜状のダイヤモンドを低コスト及び大面積で得ることができる。
【０００４】
気相合成によりダイヤモンド膜を合成する場合には、原料ガスとして、メタン等の炭化水素ガスを水素で希釈したガスが使用され、これにより、電気的に絶縁性のダイヤモンド膜を合成することができる。また、原料ガス中に、ジボラン（Ｂ２Ｈ６）ガス等のボロン元素（Ｂ）を含有するガスを微量添加することにより、ｐ型半導体のダイヤモンド膜を合成することができることは公知である。
【０００５】
ところで、ダイヤモンド膜を使用した発光素子として、近時、真空中でダイヤモンド膜に対向した位置に蛍光剤が塗布された電極を配置した発光素子が提案されている。これは、ダイヤモンド膜と電極との間に強い電圧を印加して、ダイヤモンド膜から真空中に電子を放出させ（電界放出）、真空中で電子を加速して蛍光剤を励起させることにより蛍光剤を発光させるものである。
【０００６】
しかしながら、電界放出による発光素子においては、真空条件が必要であるので、素子構造及び素子の製造工程が複雑になるという問題点がある。更に、この発光素子を使用する場合には、電子を加速するためにダイヤモンド膜と蛍光剤との間に５乃至１０ｋＶの高電圧を印加する必要がある。従って、この発光素子を使用する装置全体を高電圧に対応できるものとする必要があり、装置のコストが高くなるという問題点もある。
【０００７】
そこで、低電圧で発光を得ることができる有機発光素子が提案されている。これを第１の従来例という。図４は従来の有機発光素子の構造を示す断面図である。図４に示すように、ガラス基板１１上にホール注入用電極１２が形成されており、その上には、ホール輸送層１３及びホール注入層１８が順次形成されている。また、ホール注入層１８の上には、有機発光層１４、電子輸送層１５が順次積層されており、更に、その上には電子注入用電極１６が形成されている。なお、ホール注入層１８及び電子輸送層１５は、必ずしも形成する必要はなく、必要に応じて省略することができる。
【０００８】
なお、有機発光層１４を構成する有機化合物としては、ジスチルアリーレン系、オキサジアゾール系、ピラゾロキノリン系、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体系及びアルミキレート系があり、その他に、ポリアルキルチオフェン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリナフタレンビニレン、ポリアルキルフルオレン、ポリフェニレン及びポリメチルフェニルシラン等の高分子系がある。
【０００９】
また、ホール注入用電極１２としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）等のような酸化物透明電極膜又はＡｕ及びＮｉ等のような仕事関数が大きい金属膜が使用される。電子注入用電極１６としては、仕事関数が小さいＭｇ、Ｌｉ若しくはＣａ系の材料膜、又はこれらとＡｇ若しくはＡｌとの合金膜が使用される。更に、ホール輸送層１３としては、アミン系材料膜が使用され、ホール注入層１８としては、アミン系又はフタロシアニン系の有機化合物膜が使用され、電子輸送層１５としては、アルミニウム・キレート系の材料膜が使用される。
【００１０】
このように構成された有機発光素子においては、ホール注入用電極１２からホールが注入されると共に、電子注入用電極１６から電子が注入されると、このホールと電子とが有機発光層１４内において再結合して、ガラス基板１１側から光１７が放射される。このように、第１の従来例に係る有機発光素子は、低電圧で発光を得ることができるという特徴を有しており、有機発光層１４を構成する有機化合物を選択することにより、所望の発光色を得ることができる。
【００１１】
しかし、第１の従来例に係る有機発光素子は、半導体、プラズマ及び電界放出等を利用した他の方式の発光素子と比較して、発光輝度が低いという問題点がある。これは、ホール輸送層１３及び電子輸送層１５の材料として、有機化合物が使用されているからであり、特に、ホール輸送層に有機化合物が使用されていると、輸送効率が低下して、発光輝度が低下する。一方、発光輝度を向上させるために、電流量を増加させると、有機発光層１４の温度が１００℃以上になり、有機発光素子を構成する有機化合物からなる層が劣化するという問題点が発生する。
【００１２】
そこで、電流量を増加させることなく良好な発光輝度を得ることができる発光素子が提案されている（特開平６−１１１９３８号公報）。以下、これを第２の従来例という。この発光素子の構造は、図４に示す有機発光素子の構造と同様であるので、図４を参照して第２の従来例に係る発光素子の構造を説明する。即ち、図４に示すように、ガラス基板１１上にホール注入用電極１２が形成されており、その上にはホール輸送層１３が形成されている。また、ホール輸送層１３の上には、有機発光層１４、電子輸送層１５が順次積層されており、更に、その上には電子注入用電極１６が形成されている。なお、第２の従来例においては、ホール輸送層１３は、ボロンをドープしたダイヤモンド層により形成されている。
【００１３】
このように構成された発光素子においても、ホール注入用電極１２から注入されたホールと、電子注入用電極１６から注入された電子とが有機発光層１４内において再結合して、ガラス基板１側から光１７が放射されるが、ホール輸送層１３が高い耐熱性を有するダイヤモンド層により形成されているので、ホール輸送層１３の熱劣化を防止することができる。また、ダイヤモンド膜中においては、電子及びホール等のキャリアの移動度が大きく、例えば、ホールの場合には、移動度が５００乃至１８７０（ｃｍ２／Ｖ・ｓ）である。従って、ダイヤモンド膜からなるホール輸送層１３により有機発光層１４に多数のホールを到達させることができ、これにより、発光効率を向上させることができる。更に、ダイヤモンドはバンドギャップが大きいので、電子とホールとの再結合により励起された励起子（電子・ホール対）のエネルギーよりも、ダイヤモンドの励起状態のエネルギーの方が高くなる。従って、励起子がダイヤモンド膜側に移動して消滅することがないので、発光効率を向上させることができる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、第２の従来例に示すように、ダイヤモンド膜からなるホール輸送層が形成されていても、そのダイヤモンド膜の形成条件等により、発光効率を十分に向上させることができないことがある。また、第２の従来例においては、熱フィラメント法によりホール輸送層となるダイヤモンド薄膜が合成されているが、熱フィラメント法を使用すると、合成されたダイヤモンド膜中にフィラメント材（Ｗ及びＴａ等）が混入することがある。そして、混入したフィラメント材により結晶欠陥が発生して、発光効率が低下する。
【００１５】
更に、第２の従来例においては、ガラス基板上にホール注入電極としてのＩＴＯ膜を蒸着し、このＩＴＯ膜の上にホール輸送層としてのダイヤモンド膜が合成されている。しかし、気相合成によりダイヤモンド膜を形成する場合には、活性な水素ガス雰囲気下において、基板温度を７５０℃以上の高温として合成されるので、ＩＴＯ膜が劣化するか、又はガラス基板からＩＴＯ膜が剥離する。従って、ガラス基板上のＩＴＯ膜の上にダイヤモンド膜を気相合成することは、極めて困難である。また、ＩＴＯ膜上にダイヤモンド膜を合成することができた場合であっても、そのダイヤモンド膜は多結晶膜となり、これにより、キャリア移動度が小さくなるので、発光効率を向上させる効果を十分に得ることができない。
【００１６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、ホール輸送層の熱劣化を発生させることなく、安定して優れた発光効率を得ることができる有機発光素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る有機発光素子は、基板と、前記基板上に形成されたホール注入用電極と、前記ホール注入用電極上に形成されたホール輸送層と、前記ホール輸送層上に形成された有機発光層と、前記有機発光層上に形成された電子注入用電極と、を有する有機発光素子において、前記ホール輸送層は、１．０×１０１９乃至１．０×１０２１（／ｃｍ３）の濃度でボロンを含有するダイヤモンド膜からなり、前記ダイヤモンド膜を構成するダイヤモンド結晶の（１１１）面が、前記ダイヤモンド膜の表面に平行な方向に配向されていることを特徴とする。
【００１８】
前記ダイヤモンド膜の膜厚は、０．５乃至５μｍであることが好ましい。
【００１９】
更に、前記ダイヤモンド膜の表面に、このダイヤモンド膜のボロン濃度よりも低いボロン濃度の低ボロンドーピング層が１μｍ以下の膜厚で形成されていることが好ましい。更にまた、前記ダイヤモンド膜は、前記有機発光層に接する表面が化学的に表面修飾されたものであることが望ましく、例えば、その表面に、水素、酸素、ハロゲン、水酸基、シアノ基、アミノ基、カルボキシル基、硫酸基、ニトロ基、アゾ基、ジアゾ基及び高分子量化合物からなる群から選択された少なくとも１種の原子又は原子団が結合されたものとすることができる。
【００２０】
前記基板は、シリコン、窒化シリコン、炭化シリコン、アルミナ、窒化アルミニウム及び耐熱性金属からなる群から選択されたいずれか１種の材料、又は耐熱性基体上に、シリコン膜、窒化シリコン膜、炭化シリコン膜、アルミナ膜、窒化アルミニウム膜及び耐熱性金属膜からなる群から選択されたいずれか１種の膜が形成されたものとすることができる。
【００２３】
本発明においては、ホール注入用電極から注入されたホールはホール輸送層を介して有機発光層に輸送されると共に、電子注入用電極から注入された電子も有機発光層に輸送され、これらのホールと電子とが有機発光層内において再結合して、光が放射される。このとき、本発明においては、ホール輸送層を構成するダイヤモンド膜中のボロン濃度が適切に規定されているので、膜中の結晶欠陥等が低減されて、ホールの輸送効率を向上させることができ、これにより、有機発光層からの発光効率を高めることができる。また、ホール輸送層を構成するダイヤモンド層の膜厚又は結晶の配向性が適切に規定されていると、更に一層優れた発光効率を得ることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施例に係る有機発光素子を示す断面図である。図１に示すように、基板９上にホール注入用電極２が形成されており、その上に、ボロン濃度が１．０×１０１９乃至１．０×１０２１（／ｃｍ３）であるダイヤモンド膜からなるホール輸送層３が形成されている。また、ホール輸送層３の上には、有機発光層４、電子輸送層５及び電子注入用電極６が順次積層されており、更にその上には透明板８が形成されている。
【００２５】
このように構成された有機発光素子においては、ホール注入用電極２からホールが注入されると、このホールはホール輸送層３を介して有機発光層４に輸送される。また、電子注入用電極６から電子が注入されると、この電子は電子輸送層５を介して有機発光層４に輸送される。そして、これらのホールと電子とが有機発光層４内において再結合して、透明板８側から光７が放射される。本実施例においては、ホール輸送層３を構成するダイヤモンド膜中のボロン濃度が適切に規定されているので、膜中の結晶欠陥等が低減されて、ホールの輸送効率が向上している。従って、有機発光層４からの発光効率を高めることができる。
【００２６】
本発明において規定するダイヤモンド膜中のボロン濃度と発光素子の発光効率との関係について、以下に詳細に説明する。ダイヤモンド膜中のボロン濃度が、１．０×１０１９（／ｃｍ３）未満であると、ダイヤモンド層の電気抵抗値が著しく高くなるので、有機発光層４から発光させるために高電圧を印加することが必要となって、電力損失が増加する。一方、ダイヤモンド膜中のボロン濃度が高くなると、ダイヤモンド膜（ホール輸送層３）の電気抵抗が低下するが、このボロン濃度が著しく高くなると、ダイヤモンド膜中にグラファイト及び非晶質カーボン等の非ダイヤモンド成分が増加して、結晶欠陥密度が増大する。特に、ボロン濃度が１．０×１０２１（／ｃｍ３）を超えると、ダイヤモンドの粒径が小さくなって結晶粒界が増加し、ダイヤモンド粒子中の結晶欠陥が増加する。従って、ダイヤモンドの結晶性が低下して、ダイヤモンド膜の耐熱性が低下すると共に、キャリア移動度が小さくなり、発光効率が低下する。従って、ホール輸送層３を構成するダイヤモンド膜中のボロン濃度は、１．０×１０１９乃至１．０×１０２１（／ｃｍ３）とする。
【００２７】
このように、本実施例においては、ホール輸送層３となるダイヤモンド膜中のボロン濃度を規定しているので、優れた発光効率を有する有機発光素子を得ることができる。なお、このダイヤモンド膜の最適な膜厚は、ボロンのドーピング濃度に影響されるが、本願発明者等は、ダイヤモンド膜中のボロン濃度が上述の如く規定されている場合のダイヤモンド膜の膜厚を適切に規定することにより、更に一層優れた発光効率を得ることができることを見い出した。ダイヤモンド膜の膜厚と有機発光素子の発光効率との関係について、以下に具体的に説明する。
【００２８】
ダイヤモンド膜の膜厚が５μｍを超えると、電気抵抗が大きくなって、発熱による電力損失が生じる。一方、ダイヤモンド膜を気相合成した場合には、一般的に、ダイヤモンド粒子の核は基板上に１０７（／ｃｍ２）以上の密度で発生して、粒子間において競合的な成長が進み、ダイヤモンド膜の表面では粒子が大きくなる。即ち、基板の近傍においては、ダイヤモンド膜の表面と比較して粒界密度が高く、これが結晶欠陥となる。従って、ダイヤモンド膜の膜厚が０．５μｍ未満であると、粒界密度が高くなり、キャリアがトラップされたり、消滅する原因となるので、発光効率を向上させる効果を十分に得ることができない。従って、ボロン濃度を適切に規定した本発明において、ダイヤモンド膜の膜厚は、０．５乃至５μｍであることが好ましく、これにより、ダイヤモンド膜の抵抗値を所定の値以下の低抵抗に維持することができる。
【００２９】
なお、ドーピングガスとしてジボラン（Ｂ２Ｈ６）ガスを使用して、マイクロ波化学気相蒸着法（マイクロ波ＣＶＤ法）によりダイヤモンド膜を合成すると、ダイヤモンド膜中への不純物の混入を防止することができ、低抵抗のダイヤモンド膜を得ることができる。
【００３０】
更に、本実施例において、欠陥密度が低いと共に、キャリア移動度が大きい高品質で低抵抗のダイヤモンド膜からなるホール輸送層を得るためには、ダイヤモンド膜を構成する結晶の結晶方位を適切に規定することが好ましい。即ち、ホール輸送層が、結晶がランダムに配列された多結晶ダイヤモンド膜からなるものではなく、ダイヤモンド膜を構成する結晶の（１１１）、（１００）又は（１１０）面が、ダイヤモンド膜の表面に平行な方向に配向されていると、高品質で低抵抗のダイヤモンド膜を得ることができる。また、ダイヤモンド膜を構成する結晶の（１１１）、（１００）又は（１１０）面のうち、いずれか１種の面がその膜厚方向に平行な方向に配向されており、これを除く他の１種の面がダイヤモンド膜の表面に平行な方向に配向されていることが好ましい。更に、このダイヤモンド膜が単結晶膜であり、この膜を構成する結晶の（１１１）、（１００）又は（１１０）面がダイヤモンド膜の表面に平行な方向に配向されていることがより一層望ましく、これにより、キャリア移動度を向上させることができる。特に、（１１１）結晶面はボロン原子を取り込みやすいので、ダイヤモンド膜を構成する結晶の（１１１）面がその膜の表面に平行な方向に配向されていると、更に一層低抵抗のダイヤモンド膜を得ることができる。
【００３１】
更にまた、本願発明者等は、有機発光素子の発光効率を向上させるためには、電子注入用電極から注入される電子の数及びホール注入用電極から注入されるホールの数を適切に制御する必要があることを見い出した。この電子数及びホール数を制御する方法としては、ホール輸送層３を構成するダイヤモンド膜の表面に、このダイヤモンド膜のボロン濃度よりも低いボロン濃度を有する低ボロンドーピング層を形成して、ホール輸送層３と有機発光層４との間に所定の抵抗を与える方法がある。但し、低ボロンドーピング層の膜厚が１μｍを超えると、抵抗が大きくなりすぎて、電子数及びホール数を適切に制御することができない。従って、ダイヤモンド膜の表面に低ボロンドーピング層を形成する場合は、その膜厚を１μｍ以下とする。
【００３２】
更にまた、本願発明者等は、ホールが有機発光層４に注入される効率をより一層向上させるためには、ホール輸送層３となるダイヤモンド膜の表面を化学的に表面修飾することが効果的であることを見い出した。このダイヤモンド膜の表面の化学修飾は、発光素子の用途に応じて最適な方法を選択することが好ましい。ダイヤモンド膜の表面を化学修飾する方法としては、例えば、ダイヤモンド膜の表面を水素化、酸化又はハロゲン化する方法がある。また、他の方法として、水酸基、シアノ基、アミノ基、カルボキシル基、硫酸基、ニトロ基、アゾ基、ジアゾ基又は高分子量の化合物をダイヤモンド膜の表面に結合させる方法がある。
【００３３】
更にまた、上述の如く高品質で低抵抗のダイヤモンド膜を合成するための基板９としては、シリコン基板、窒化シリコン基板、炭化シリコン基板、アルミナ基板、酸化シリコン基板、窒化アルミニウム基板及び耐熱性金属基板のうち、いずれか１種の基板を使用することができる。また、耐熱性を有する種々の基体上に、シリコン膜、窒化シリコン膜、炭化シリコン膜、酸化シリコン膜、アルミナ膜、窒化アルミニウム膜及び耐熱性金属膜のうち、少なくとも１種の膜を形成したものを基板９をして使用すると、基体上には直接ダイヤモンド膜を形成することができない場合であっても、高品質で低抵抗のダイヤモンド膜を形成することができる。
【００３４】
このように、本実施例においては、ダイヤモンド膜中のボロン濃度及びダイヤモンド膜の膜厚等を最適化することにより、優れた特性を有するホール輸送層３を形成することができ、これにより、有機発光素子の発光効率を向上させることができる。
【００３５】
なお、図１に示す本実施例においては、有機発光層４と電子注入用電極６との間に、電子輸送層５が形成されているが、本発明においては、必ずしも電子輸送層５を形成する必要はなく、必要に応じてこれを省略することができる。また、ホール輸送層３と有機発光層４との間に、ホール注入層が形成されていてもよい。また、本発明においては、ホール注入用電極２として、例えばＰｔを使用することができ、Ｍｏ等の耐熱性金属を使用することもできる。更に、有機発光層４を構成する有機化合物としては、ジスチルアリーレン系、オキサジアゾール系、ピラゾロキノリン系、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体系及びアルミキレート系があり、その他に、ポリアルキルチオフェン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリナフタレンビニレン、ポリアルキルフルオレン、ポリフェニレン及びポリメチルフェニルシラン等の高分子系がある。更にまた、電子輸送層５としては、アルミニウム・キレート系の材料膜を使用することができ、電子注入用電極６としては、ＩＴＯ等のような酸化物透明電極膜を使用することができる。
【００３６】
また、本発明においては、ダイヤモンド膜からなるホール輸送層３は、基板９上に形成されるので、透明板８は耐熱性を有するものである必要はない。例えば、透明板８としては、プラスティック板又はガラス板等を使用することができる。また、プラスティック板又はガラス板等を電子注入用電極６の上に接着する代わりに、コーティングにより、電子注入用電極６の表面にガラス膜又はプラスティック膜等を形成してもよい。
【００３７】
なお、本発明に係る有機発光素子は、表示用等の個別発光素子、液晶ディスプレイ用のバックライト又は平面照明光源等に適用される。また、この有機発光素子を集積化することにより、平面パネルディスプレイを構成することができる。
【００３８】
【実施例】
以下、本発明の実施例に係る有機発光素子を形成した結果について説明する。
【００３９】
実施例１
先ず、図１に示す基板９として、酸化シリコン膜がコーティングされたシリコン基板、又は窒化シリコン基板を使用し、この基板上にホール注入用電極２として、白金（Ｐｔ）膜を蒸着した。そして、ダイヤモンド粉末を懸濁させたアルコール溶液中において、これに３分間の超音波処理を施すことにより、ダイヤモンドの核発生密度を１０８乃至１０１０（／ｃｍ２）に増大させた。次いで、マイクロ波ＣＶＤ装置により、ホール注入用電極２上にホール輸送層３としてのｐ型ダイヤモンド膜を約１μｍの厚さで形成した。このとき、原料ガスとして０．３乃至５体積％のメタンガス、０．１乃至２体積％の酸素ガス及び１乃至２０体積ｐｐｍのジボラン（Ｂ２Ｈ６）ガスを含有する原料ガスを使用し、基板温度を８００乃至８５０℃、ガス圧を３０乃至６０Ｔｏｒｒとした。
【００４０】
その後、得られたダイヤモンド膜をＳＩＭＳ（二次イオン形質量分析法）により測定した結果、ダイヤモンド膜中のボロン原子の濃度は、１．０×１０１９乃至１．０×１０２１（／ｃｍ３）であった。その後、ホール輸送層３としてのダイヤモンド膜上に、有機発光層４として、ＭＤＤＯ−ＰＰＶ（ｐｏｌｙ（２−ｍｅｔｈｏｘｙ−５−ｄｏｄｅｃｙｌｏｘｙ−１，４−ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｖｉｎｙｌｅｎｅ））膜をスピンコートした。その後、有機発光層４上に電子注入用電極６として、アルミニウム薄膜を真空蒸着した後、この上に透明板８を形成した。なお、本実施例においては、電子輸送層５の形成を省略した。
【００４１】
その後、得られた有機発光素子において、白金膜からなるホール注入用電極２と、アルミニウム薄膜からなる電子注入用電極６との間に電圧を印加し、発光強度を測定した。図２は縦軸に発光強度をとり、横軸に波長をとって、本実施例に係る有機発光素子の発光強度を示すグラフ図である。図２に示すように、ホール注入用電極２と電子注入用電極６との間に２０Ｖ以上の電圧を印加したときに、強い発光を得ることができた。
【００４２】
実施例２
上記実施例１と同様の製造方法で、原料ガス中のジボランガス濃度を種々に変化させて有機発光素子を作製し、ホール輸送層３としてのダイヤモンド膜中のボロン濃度を測定すると共に、ホール注入用電極２と電子注入用電極６との間に２０Ｖ以上の電圧を印加したときの発光強度を測定した。図３は縦軸に発光強度をとり、横軸に波長をとって、ダイヤモンド膜中のボロン濃度と有機発光素子の発光強度との関係を示すグラフ図である。図３に示すように、ダイヤモンド膜中のボロン濃度が１．０×１０１９乃至１．０×１０２１（／ｃｍ３）であるときに、発光が観測された。
【００４３】
実施例３
先ず、（１１１）結晶面を有する単結晶チタン酸ストロンチウムからなる基板上に、スパッタ法により、ホール注入用電極２として単結晶（１１１）白金膜を形成を作製した。その後、白金膜の上にダイヤモンド膜を合成することにより、表面が（１１１）結晶面で構成され、結晶面が融合した単結晶状のダイヤモンド膜を得た。その後、実施例１と同様の方法で、有機発光素子を作製し、ホール注入用電極２と電子注入用電極６との間に電圧を印加して、発光強度を測定した。その結果、ホール注入用電極２と電子注入用電極６との間に５Ｖ以上の電圧を印加したときに、図２に示す強度と同様の強い発光を得ることができた。このように、実施例３においては、ホール輸送層３を構成するダイヤモンド結晶の（１１１）結晶面がダイヤモンド膜の表面に平行な方向に配向された単結晶であるので、実施例１と比較して発光効率を向上させることができた。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、ホール輸送層を構成するダイヤモンド膜中のボロン濃度が適切に規定されているので、発光効率が安定して向上した有機発光素子を得ることができる。また、ホール輸送層を構成するダイヤモンド層の膜厚又は結晶の配向性が適切に規定されていると、更に一層優れた発光効率を得ることができる。更に、ダイヤモンド層の表面に、適切な膜厚で低ボロンドーピング層が形成されているか、又はその表面が化学的に表面修飾されたものであると、ホール輸送層がホールを有機発光層に輸送する輸送効率をより一層向上させることができ、これにより、発光効率を向上させることができる。また、本発明方法によれば、ホール輸送層の合成時における原料ガスを適切に規定しているので、ダイヤモンド膜中への不純物の混入を防止することができ、低抵抗のダイヤモンド膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る有機発光素子を示す断面図である。
【図２】縦軸に発光強度をとり、横軸に波長をとって、本実施例に係る有機発光素子の発光強度を示すグラフ図である。
【図３】縦軸に発光強度をとり、横軸に波長をとって、ダイヤモンド膜中のボロン濃度と有機発光素子の発光強度との関係を示すグラフ図である。
【図４】従来の有機発光素子の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
２，１２；ホール注入用電極
３，１３；ホール輸送層
４，１４；有機発光層
５，１５；電子輸送層
６，１６；電子注入用電極
７，１７；光
８；透明板
９；基板
１１；ガラス基板
【図１】
0003592055.tif 000002
【図２】
0003592055.tif 000003
【図３】
0003592055.tif 000004
【図４】
0003592055.tif 000005