【手続補正書】
【提出日】平成28年12月5日(2016.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料の蒸発及び前記材料の基板上への堆積のための堆積アレンジメントであって、
前記材料を液化するように構成される第１のチャンバであって、前記第１のチャンバが、前記第１のチャンバ内のガスの注入のために構成されるガス注入口を備える、第１のチャンバ、
前記液化された材料を気化するように構成される蒸発ゾーン、
前記第１のチャンバと前記液化された材料のための前記蒸発ゾーンとの間に流体連通を設けるラインであって、前記ラインが、前記ラインの流れ抵抗を画定する第１の部分を含む、ライン、
前記流れ抵抗を有する前記ラインを通る前記液化された材料の流量を制御するため、前記第１のチャンバ内の前記ガスの流量を制御するように構成されるバルブ、及び
前記気化した材料を前記基板に向けて方向付けるための１つ又は複数の排出口
を備える堆積アレンジメント。
【請求項２】
前記第１の部分が、前記堆積アレンジメントの操作の間に変更することができない断面積を有する、請求項１に記載のアレンジメント。
【請求項３】
前記バルブに接続されているコントローラを更に備え、前記コントローラが、前記第１のチャンバ内の前記ガスの前記流量を調整するため、前記バルブを制御するように構成される、請求項１又は２に記載のアレンジメント。
【請求項４】
前記バルブに接続されているコントローラを更に備え、前記コントローラが、前記基板上への前記蒸気の堆積速度を制御するため、前記第１のチャンバ内の前記ガスの前記流量を調整するように構成される、請求項１又は２に記載のアレンジメント。
【請求項５】
前記コントローラが、比例‐積分‐微分コントローラである、請求項３又は４に記載のアレンジメント。
【請求項６】
前記コントローラが、堆積速度モニターシステムの信号を受信するように構成される信号入力を備える、請求項３から５のいずれか一項に記載のアレンジメント。
【請求項７】
前記第１のチャンバが、圧力ゲージを更に備える、請求項１から６のいずれか一項に記載のアレンジメント。
【請求項８】
前記第１の部分が、オリフィスを備える、請求項１から７のいずれか一項に記載のアレンジメント。
【請求項９】
前記オリフィスが、０．０１から０．５ｍｍ、又は０．０１から０．１ｍｍの最小径を有する、請求項８に記載のアレンジメント。
【請求項１０】
前記ガスがアルゴンである、請求項１から９のいずれか一項に記載のアレンジメント。
【請求項１１】
前記１つ又は複数の排出口を備える蒸気供給シャワーヘッド又は直線的な蒸気供給シャワーヘッドを更に備える、請求項１から１０のいずれか一項に記載のアレンジメント。
【請求項１２】
少なくとも前記第１のチャンバ及び前記バルブを収容するための筐体を更に備え、前記筐体が、保護雰囲気下での前記第１のチャンバの交換のために構成される、請求項１から１１のいずれか一項に記載のアレンジメント。
【請求項１３】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料の蒸発及び前記材料の基板上への堆積のための堆積装置であって、
前記材料を前記基板上に堆積するための真空チャンバ、及び
請求項１から１２のいずれか一項に記載のアレンジメント
を備える堆積装置。
【請求項１４】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料を蒸発させる方法であって、
前記材料を第１のチャンバ内で液化すること、
前記液化された材料を前記第１のチャンバからラインを通して蒸発ゾーンまで誘導することであって、前記ラインが、前記ラインの流れ抵抗を画定する第１の部分を含む、誘導すること、
前記流れ抵抗を有する前記ラインを通る前記液化された材料の流量を制御するため、前記第１のチャンバ内のガスの流量を制御すること、
前記材料を前記蒸発ゾーン内で蒸発させること、及び
前記材料の前記蒸気を基板上に方向付けること
を含む方法。
【請求項１５】
前記ラインを通る前記液化された材料の前記流量を調整するための前記バルブの制御のためのクローズドループ制御を更に含む、請求項１４に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
これより図１を見ると、第１のチャンバ１１０又はタンクは、堆積される材料を受け入れるために設けられる。典型的には、堆積アレンジメント１００内で蒸発する材料、すなわち、例えば、リチウムなどのアルカリ金属及びアルカリ土類金属を、非反応性雰囲気下で第１のチャンバ１１０内に供給できるように、第１のチャンバ１１０は設けられる。例えば、蒸発させる材料は一般的に反応性が高いが、非反応性雰囲気は、蒸発させる材料の反応の防止に適したアルゴン又は別の不活性ガスであってもよい。幾つかの実施形態では、第１のチャンバ１１０は、融点を例えば５℃から１００℃超える温度まで、例えば、堆積される材料の融点を２０℃から６０℃（例えば、２０℃又は４０℃）を超える温度まで、材料を加熱するように構成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、第１の部分は、毛細管を含むか、又は毛細管である。典型的な実施形態では、第１の部分、例えば、毛細管は、１から５ｍｍ、２から４ｍｍ、及び特に２ｍｍの直径を有する。一例として、ライン１２０は、１から１０ｍｍ、２から８ｍｍ、及び特に６ｍｍの直径を有し、第１の部分は、１から５ｍｍ、２から４ｍｍ、及び特に２ｍｍの最小径を有する。典型的な実装形態では、ライン１２０は、６ｍｍの直径を有し、第１の部分は、４ｍｍの直径を有する。幾つかの実施形態では、ライン１２０は、毛細管である。一例として、ライン１２０、特に第１のチャンバ１１０から蒸発ゾーン１１４へと延在するライン全体は、毛細管である。それにより、液化された材料のための流れ抵抗は、ライン１２０を通る液化された材料の流量の制御を促進するように画定されてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、ライン１２０又は導管は、加熱されるように構成されてもよく、それにより、液体のアルカリ金属又はアルカリ土類金属を、例えば、シャワーヘッド内の又はシャワーヘッドの近傍の蒸発ゾーン１１４に供給することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図１に示されるように、液体材料は、第１のチャンバ１１０からライン１２０又は導管を通り、蒸発ゾーン１１４へと、材料供給システムの中で誘導される。加熱ユニット１１８は、蒸発ゾーン１１４に液体材料を供給する前に、材料をより高い温度まで加熱するため、例えば、蒸気供給シャワーヘッド１１２に隣接するように設けてもよい。材料は、蒸発ゾーン１１４内で蒸発する。材料は、蒸気供給シャワーヘッド１１２内に供給され、基板４に向けて１つ又は複数の排出口１１６を通して方向付けられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
幾つかの実施形態によれば、堆積アレンジメント１００は、バルブ１４０に接続されているコントローラ１５０を含み、コントローラ１５０は、第１のチャンバ１１０内のガスの流量を調整するためのバルブ１４０を制御するように構成される。第１のチャンバ１１０内のガスの流量を制御することによって、第１のチャンバ１１０内のガス圧力、ひいては、ライン１２０を通る液化された材料の流量を制御することができる。典型的な実施形態では、コントローラ１５０は、基板４上の蒸気の堆積速度の制御のため、第１のチャンバ１１０内のガスの流量を調整するように構成される。これによって、第１のチャンバ１１０と蒸発ゾーン１１４との間の流体連通において設けられる機械作動バルブを必要とすることなく、基板４上の気化した材料の堆積速度の制御が可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、第１の部分は、毛細管を含むか、又は毛細管である。典型的な実施形態では、第１の部分、例えば、毛細管は、１から５ｍｍ、２から４ｍｍ、特に２ｍｍの直径を有する。一例として、ライン１２０は、１から１０ｍｍ、２から８ｍｍ、特に６ｍｍの直径を有し、第１の部分は、１から５ｍｍ、２から４ｍｍ、特に２ｍｍの直径を有する。幾つかの実施形態では、ライン１２０は毛細管である。一例として、ライン１２０、特に第１のチャンバ１１０から蒸発ゾーン１１４へと延在するライン全体は、毛細管である。それにより、液化された材料のための流れ抵抗は、ライン１２０を通る液化された材料の流量の制御を促進するように画定されてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
上述を考慮して、本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、蒸発させる材料をアレンジメント、装置又はシステムに供給するための第１のチャンバ１１０又はタンク又はそれぞれのチャンバは、交換可能及び／又は再充填可能である。典型的に、蒸発される材料が、アルゴンやその他の不活性ガスなどの保護雰囲気下及び／又は真空条件下にあるとき、交換可能及び／又は再充填可能である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
上述のように、図１及び図２は、蒸発アレンジメントの概略断面図を示し、タンクは、ライン１２０を介して蒸発シャワーヘッド又は蒸気供給シャワーヘッド１１２に接続されている。リチウムなどの材料は、タンク内で液化され、液化された材料のための流れ抵抗を画定するライン１２０を液体状態で通って誘導され、蒸発してノズルなどの排出口１１６を介して基板４に向けて誘導される。ライン１２０を通る液化された材料の流量は、第１のチャンバ１１０内へのガスのガス流を制御することによって制御され、且つ画定された流れ抵抗を有するライン１２０によって更に制御され得る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
幾つかの実施形態によれば、図１及び図２に例示的に示すように、１つ又は複数の基板は、垂直処理され、すなわち、直線的なガス供給シャワーヘッドは、チャンバ内で垂直に配置され、基板位置決め装置は、基板４を垂直処理位置に保持する。このアレンジメントの１つの利点は、処理中に生成された任意の粒子は、チャンバの底部に向かって落下し、基板４を汚染しないことである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
しかしながら、蒸気供給シャワーヘッド１１２は、任意の方向に配向してもよく、それにより、他の堆積ソースと比べて本明細書に記載されている堆積アレンジメントをより柔軟に用いることができる。例えば、半導体処理では、トップダウン蒸発（ｔｏｐ  ｄｏｗｎ  ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）が使用可能であり、例えば、フレキシブル基板に対してはボトムアップ蒸発（ｂｏｔｔｏｍ  ｕｐ  ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）が使用可能であり、或いは、他の任意の配向も使用可能である。この堆積の方向性に関する柔軟性は、独立したリザーバと堆積ゾーンを有することに起因する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図１及び図２に示されている蒸気供給シャワーヘッド１１２が直線的なシャワーヘッドであるが、他の形状のシャワーヘッドも本発明の範囲に含まれる。シャワーヘッド１１２をどのような形状にするべきかは、チャンバの種類と基板の形状の両方に依存する。例えば、ポイントソース（すなわち、単一ノズル）又は円形シャワーヘッドは、半導体ウエハの処理時などに、円形基板を処理するチャンバに対して選択されてもよい。一方、大型の矩形基板の処理に対しては矩形シャワーヘッドが選択され得るが、更にバッチ処理によって、このような種類のシャワーヘッド形状がより好ましいものとなり得る。大型の矩形又は正方形の基板の連続インライン処理では、基板がシャワーヘッドの近くを通過する際、基板へのプロセスガスの供給をよりうまく制御するため、直線的なシャワーヘッドが選択され得る。しかしながら、ポイントソースノズルに関しては、大面積基板上に一様な堆積を実現するために複数のポイントソースを管理することに課題が生じ得ることを考慮しなければならない。したがって、特に、インライン処理装置又はダイナミック処理装置では、直線的な蒸気供給シャワーヘッドを有利に使用してもよい。円形蒸気供給シャワーヘッド、矩形蒸気供給シャワーヘッド、或いは２つ以上の直線的な蒸気供給シャワーヘッドは、様々な形状及びサイズの基板の静的堆積処理に対して使用してもよい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
リチウムなどの材料が中で蒸発する第１のチャンバ１１０又はタンクは、筐体２１０内に設けられる。例えば、筐体２１０は、絶縁可能である。これによって、第１のチャンバ１１０並びにライン１２０に対して、温度制御された環境がもたらされ得る。典型的な実施形態によれば、温度は、１８５℃から２８５℃、例えば、約２３０℃又は２００℃となるように制御可能である。リチウム以外のアルカリ金属又はアルカリ土類金属については、他の温度を設定してもよく、融点に応じて、例えばカリウムであれば６３℃以上に調整可能である。本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態によれば、材料を液化する温度は、基板４上に堆積される材料の融点よりも５℃から１００℃上で、例えば５０℃上で設定可能である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
タンク及びライン１２０を含む材料供給システムを、各アルカリ金属の融点或いはそれ以上にまで加熱すると、金属が、溶解又は液化され、液体状態で、画定された流れ抵抗を有するライン１２０を通って流れる。図４では、バルブ１４０が筐体２１０の内部に設けられているが、他の実施形態では、バルブ１４０は、前記筐体２１０の外に設けられ得る。典型的な実施形態によれば、筐体２１０内の１つ又は複数の要素は、単独で加熱することができ、且つ／又は、筐体２１０の内部は、全体的に加熱することができる。典型的には、壁２１１によって示されている絶縁体は、加熱エネルギーの損失を低減するように設けられ得る。追加的に又は代替的に、筐体２１０内の個々の要素は、個別に絶縁され得る（図示せず）。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
典型的な実装形態によれば、第１の部分は、蒸発ゾーンに向かって実質的に一定の流量となる、十分に小さい直径を有する毛細管である。そのため、例えば、ライン１２０は、１ｍｍ２から１０ｍｍ２の直径を有し得る。したがって、直径及び所望の流量は、大きな基板の堆積アレンジメントが小さな基板の堆積アレンジメントと比べてより大きなライン直径を有し得るように、蒸気供給シャワーヘッド１１２のサイズ及びそれぞれの処理ゾーンにも依存し得る。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
図４に示すように、且つ、本明細書に記載されている幾つかの実施形態によれば、ライン１２０が液体金属などの金属を真空チャンバ２２０内へと供給するため、真空フィードスルー２１８が設けられる。真空チャンバ２２０は、少なくとも蒸気供給シャワーヘッド１１２及び基板４を収容してもよい。真空フィードスルー２１８は、筐体２１０の低温と蒸発ゾーンの高温との間に熱絶縁を設けることができ、且つ／又は、筐体２１０と真空チャンバ２２０との間に真空分離を設けることができる。真空チャンバ２２０は、金属を基板４上に堆積させるように構成される。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
例えば、ノズルなど、蒸気供給シャワーヘッド１１２に設けられている排出口１１６は、リチウムの蒸気を基板４に向けて誘導又は方向付ける。典型的な実施形態によれば、排出口１１６又はノズルは、更に、蒸気供給シャワーヘッド１１２内の開口部として設けられてもよい。更に、直線的な蒸気供給シャワーヘッドに関しては、開口部又はノズルの構成は、例えば、開口部又はノズルの１つ又は複数のラインであってもよい。矩形の蒸気供給シャワーヘッドに関しては、開口部又はノズル１６０は、矩形形状に沿って且つ矩形形状の内側で分布されてもよい。円形の蒸気供給シャワーヘッドに関しては、開口部又はノズルは、円形形状に沿って且つ円形形状の内側で分布されてもよい。典型的には、開口部又はノズルは、基板４上への蒸気の堆積が一様になるように分布されてもよい。そのため、開口部又はノズルは、上述の形状のうちの１つに沿って、少なくとも部分的に一様に分布されてもよい。しかしながら、形状の外周におけるエッジ効果を埋め合わせるため、開口部又はノズル１６０の密集度を蒸気供給シャワーヘッド１１２の一部の領域で変化させてもよい。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
幾つかの実施形態によれば、且つ図４に示されているように、堆積速度測定デバイス２３５を真空チャンバ２２０内に設けてもよい。それによって、リチウム又は別のアルカリ金属の基板４上での堆積速度をモニタすることができる。典型的な実施形態によれば、厚みの測定に１つ又は複数の発振水晶（ｏｓｃｉｌｌａｔｉｎｇ  ｃｒｙｓｔａｌ）を利用してもよい。追加的に又は代替的に、蒸気供給シャワーヘッド１１２の内部での光学的測定方法或いは蒸気供給シャワーヘッド１１２の更なる測定部分又は開口部での光学的測定方法は、堆積速度の決定に利用可能である。更なる追加的又は代替的な選択肢によれば、堆積速度を決定するため、蒸気供給シャワーヘッド１１２の内側の圧力測定、基板４上に堆積された層の厚み測定、例えば、層の渦電流測定などの導電率測定が実行され得る。堆積速度に関連する信号は、図２を参照して以上で説明されたように、バルブ１４０の制御に利用されてもよい。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図５は、堆積アレンジメントを有する堆積装置６００の一部の概略断面図を示している。堆積アレンジメントは、図１から３で示している堆積アレンジメントに類似し得る。リチウムなどの蒸発する材料が供給される第１のチャンバ１１０又はタンクは、筐体６５０内に位置決めされ、同様に、幾つかの実施形態によれば、ハウジング６１０の内部に位置決めされる。例えば、筐体６５０は、絶縁可能である。これによって、少なくとも第１のチャンバ１１０及びライン１２０に対して、温度制御された環境がもたらされ得る。典型的な実施形態によれば、温度は、１８５℃から２５０℃、例えば、約２００℃となるように制御可能である。リチウム以外のアルカリ金属又はアルカリ土類金属については、他の温度を設定してもよく、融点に応じて、例えばカリウムであれば６３℃以上に調整可能である。本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態によれば、材料を液化する温度は、基板上に堆積される材料の融点よりも５℃から１００℃上で設定可能である。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる典型的な実施形態によれば、第１のチャンバ１１０の加熱された部分の中で材料を溶解するため、第１のチャンバ１１０には、加熱システム６１５を全体的に又は部分的に設けてもよい。第１のチャンバ１１０は、蒸気供給シャワーヘッド１１２と流体連通する。流体連通は、ライン１２０によって設けられる。ライン１２０の下流には、蒸気供給シャワーヘッド１１２が設けられる。更なる実施形態によれば、筐体６５０を加熱することによって、上述のように、第１のチャンバ１１０の加熱が更にもたらされ得る。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
筐体６５０を加熱すると、少なくとも第１のチャンバ１１０又はタンク及びライン１２０が各アルカリ金属の融点まで加熱され、金属は、溶解又は液化され、液体状態でラインを通って流れる。典型的な実施形態によれば、付加的に、コントローラ６２２によって制御可能なファン６２０などのガス循環ユニットが設けられる。例えば、コントローラ６２２は、ハウジング６１０の外側に設けてもよい。ファン６２０は、筐体６５０の内部のガス循環を可能にする。これにより、筐体６５０の内部に均一な雰囲気がもたらされ得る。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
本明細書に記載されている他の実施形態と組み合わせることができる更なる実施形態によれば、第１のチャンバ１１０、流れ抵抗を有するライン１２０、及びバルブ１４０を含む材料供給システムは、パージバルブ６４０及びパージ導管６４２を更に含み得る。パージ導管６４２、ひいては、パージバルブ６４０は、例えば、第１のチャンバ１１０に対向するフランジ６８０の一部に接続される。パージ導管６４２は、追加的に又は代替的に、第１のチャンバ１１０又はライン１２０において設けてもよい。例えば、ライン１２０は、図２で示され且つ以上で説明された噴出構成に類似するパージ導管６４２に接続され得る。更なる修正によれば、パージ導管６４２は、更に、材料供給システムに接続されている複数のパージ導管を有するパージ導管アレンジメントとして設けてもよい。しかしながら、典型的には、パージ導管６４２は、材料供給システムの少なくとも上流端部に設けられる。堆積アレンジメントの操作方法によれば、パージ導管６４２又はパージバルブは、高温アルゴンのソースに接続可能である。それにより、例えば、材料供給システムの一部が閉塞しているとき、材料供給システムを高温アルゴンで洗い流してもよい。例えば、アルゴンは、液体リチウムを有するタンクの周囲に誘導されたアルゴン管によって加熱されてもよい。更に、操作の設定中、材料供給システム内にリチウム又は別のアルカリ金属が供給される前にシステム内に酸素及び／又は水分が入るのを避けるため、材料供給システムをアルゴンでパージしてもよい。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図５で示されるように、バルブ１４０は、ガス注入口１３０を介してタンクに接続される。図５に示すように、且つ、本明細書に記載されている幾つかの実施形態によれば、ライン１２０が液体金属などの金属を、蒸気供給シャワーヘッド１１２を収容するチャンバの一部分の中に供給するように、真空フィードスルー２１８が設けられる。任意選択的に提供し得る典型的な実装形態によれば、筐体６５０から蒸気供給シャワーヘッド１１２を収容するチャンバの一部分までのフィードスルーの下流の導管部分は、加熱ユニット６１８によって加熱される。そのため、筐体６５０の下流の堆積アレンジメントの一部分は、筐体６５０内に配置されている堆積アレンジメントの一部分と比較して、より高い温度まで加熱可能である。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
蒸気供給シャワーヘッド１１２を収容するチャンバの一部分は、フランジ６０４を介して真空チャンバに接続可能である。図５でも示されているが、蒸発ゾーン１１４によって示されているように、液体リチウムを蒸発させるため、蒸気供給シャワーヘッド１１２に隣接して、又は、蒸気供給シャワーヘッド１１２の中で蒸発面が加熱される。蒸発ゾーン１１４内で蒸発した材料は、蒸気供給シャワーヘッド１１２内へ誘導され、且つ／又は、蒸気供給シャワーヘッド１１２内に供給される。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
蒸気供給シャワーヘッド１１２は、内部加熱管２４０などの加熱ユニットによって加熱されるが、加熱ユニットの更なる詳細、態様、特徴、及び追加的又は代替的な実装形態は、本明細書に記載されている他の実施形態で説明される。典型的には、蒸気供給シャワーヘッド１１２の熱絶縁のため、蒸気供給シャワーヘッド１１２には絶縁体２１２が設けられる。蒸気供給シャワーヘッド１１２に設けられているノズルなどの排出口１１６は、例えば、リチウムなどの蒸気を基板に向けて誘導又は方向付けする。典型的な実施形態によれば、排出口１１６又はノズルは、本明細書で参照されている他の実施形態に関して説明されているように設けられてもよい。