(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレス装置に打ち抜かれた帯状に連続するリードフレームの表面状態を検査するリードフレームの検査装置において、
前記リードフレームを周期的に停止させて搬送又は連続搬送する搬送手段と、
前記リードフレームのＩＣ１ピースごとにほぼ同一明度レベルと観測される領域に区分された区画ごとに照明装置より光照射し、輝度の補正が必要な場合にはマスク画像を重ね合わせて周期的に画像入力を行う画像入力手段と、
前記搬送手段及び画像入力手段を駆動するための駆動手段と、
前記駆動手段の動作を制御するための制御手段とを備え、
前記制御手段は、ティーチィングにおいてリードフレームの良品を解析して記憶値との差を許容値として記憶部に記憶しており、リードフレームから画像入力手段より周期的に各区画ごとに入力された入力画像を解析指示データにしたがい輝度を解析し、得られた解析値と予め記憶部に記憶させた各区画ごとの記憶値との比較を行うことにより、各区画の解析値の何れかがティーチィングにおける解析値＋許容値を越えたときにエラー表示を行うと共に、プレス装置の動作を停止させることを特徴とするリードフレームの検査装置。
【請求項２】
前記画像入力手段により入力される各区画の画像データは、明度解析用及び暗度解析用としてそれぞれ入力されることを特徴とする請求項１記載のリードフレームの検査装置。
【請求項３】
前記照明装置として発光面に対向して半透明フィルムを設けたリング照明を用い、リードフレームの面粗度に応じて照度を調整して照明することを特徴とする請求項１記載のリードフレームの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は打ち抜き加工後のリードフレームの打痕や傷、変色等の表面状態を検出することが可能なリードフレームの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、リードフレーム材を打ち抜きリードフレームを形成するプレス工程において、例えば短冊状リードフレームであれば、プレスより搬送されたところで、大きな打痕やバリ等は作業者が肉眼で確認していた。また、搬送されるリードフレームをプレス後に任意に抜き取り、顕微鏡で検査及び測定を行っていた。
また、リールに巻き取られたリードフレームにおいては、途中で抜き取り検査を行うことができないので、作業者の肉眼に頼るしかなく、精密検査はリールの最後で打痕等の有無を検査するしかなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の半導体装置の高密度実装化に伴い、リードフレームの多ピン化が進行し、３次，４次加工等複数の金型を通さなければならず、従ってタンデムプレス，トリプルプレスといった複数のプレスをつなげて加工を行うことが多くなったため、より高速で高精度に検査する必要が生じてきた。
また、リードフレームの打痕は、塵及び抜きかすの進入等僅かな原因により発生することがあり、リールの途中から最後まで発生することもあるが、途中で打痕の原因が解消して無くなることもある。このため、リールの最後が良品でも途中に打痕がないとは限らない。
【０００４】
短冊状のリードフレームであれば、抜き取り検査を行い、不良品を発見したところでプレスを止め、金型を検査して必要ならば調整し直すことができ、また、さかのぼって良品・不良の選別をすることも可能であるが、リールに巻き取られたリードフレームにおいては上述したようなことは実現し難い。リールタイプのリードフレームにおいては、打痕等が生じたことを認識したところでプレスを止めて修正することができるが、リードフレームは不良箇所に印を付けた後、最後までプレスを行う。
【０００５】
上記不良箇所を含むリードフレームを納入する場合、ユーザーによってニーズに多少の違いがあり、リールの途中まででも良品を納入するところもあれば、不良箇所に印をしてくれれば良いというところもあり、また良品どうしのリードフレームをつなげて１本のリールにして納品を希望するところもある。
【０００６】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、帯状に連続するリードフレーム表面状態の異常を高速かつ高精度で検査可能なリードフレームの検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、プレス装置に打ち抜かれた帯状に連続するリードフレームの表面状態を検査するリードフレームの検査装置において、前記リードフレームを周期的に停止させて搬送又は連続搬送する搬送手段と、前記リードフレームのＩＣ１ピースごとにほぼ同一明度レベルと観測される領域に区分された区画ごとに照明装置より光照射し、輝度の補正が必要な場合にはマスク画像を重ね合わせて周期的に画像入力を行う画像入力手段と、前記搬送手段及び画像入力手段を駆動するための駆動手段と、前記駆動手段の動作を制御するための制御手段とを備え、前記制御手段は、ティーチィングにおいてリードフレームの良品を解析して記憶値との差を許容値として記憶部に記憶しており、リードフレームから画像入力手段より周期的に各区画ごとに入力された入力画像を解析指示データにしたがい輝度を解析し、得られた解析値と予め記憶部に記憶させた各区画ごとの記憶値との比較を行うことにより、各区画の解析値の何れかがティーチィングにおける解析値＋許容値を越えたときにエラー表示を行うと共に、プレス装置の動作を停止させることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るリードフレームの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明にかかるリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図、図２はリードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図、図３はリードフレームの検査装置の断面説明図、図４はリング照明装置の構成を示す説明図、図５はＣＣＤカメラからの入力された画像の明暗部の解析範囲を示すグラフ、図６は入力データのピークカット検出を示す説明図、図７は解析データの許容値を示すグラフ、図８は図７の区画Ｎ部分の暗部輝度データの拡大図、図９はリードフレームの輪郭にマスクを施した状態を示す比較説明図、図１０は１ピースＩＣの画像解析領域の区画を示す説明図、図１１は検査装置による検査動作の流れを示すフローチャートである。
【０００９】
先ず図１を参照してリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成について説明する。
１，２は帯状に連続するリードフレーム３を繰り出し，巻き取り用のリールである。本実施例では図面左側の繰り出し用リール１よりリードフレーム１を繰り出し、図面右側に配置された巻き取り用リール２に巻き取るように構成されている。
【００１０】
４はレベラーであり、繰り出し用リール１より繰り出されたリードフレーム３を一定の高さを保って搬送するものである。５は上型５ａ，下型５ｂを装備してプレスによりリードを形成するプレス装置である。
６はリードフレームの検査装置であり、プレス装置５により打ち抜かれたリードフレーム３の表面状態に打痕，傷，変色等の異常がないかどうかを検査するものである。上記検査装置６には、搬送手段としての搬送ローラ６ａ，画像入力手段としてのリング照明６ｂ，ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ６ｃを備えた可動テーブル６ｄ等を装備している。
７は層間紙であり、巻き取り用リール２に巻き取られるリードフレーム３間に介在させて巻き取らせ、リードフレーム相互間の摺擦より保護をしている。
なお、本実施例では、検査装置６はプレス装置５の後に配置されているが、リードフレーム１の洗浄装置の後やその他の処理後に配置することも可能である。
【００１１】
次に図２を参照してリードフレームの検査装置６の全体構成についてブロック図を参照して説明する。８は制御部であり、制御プログラムにしたがって装置全体の動作を制御するＣＰＵ８ａ、外部より入力されたデータの一時保存を行ったり、ＣＰＵ８ａのワーキングエリアとして使用されるＲＡＭやＣＰＵ８ａの制御プログラムを記憶したＲＯＭ等を備えた記憶部８ｂ、データの入出力を行う入出力部（Ｉ／Ｏ部）８ｃ、光源装置９の照度を制御する照度コントローラ８ｄ、ＣＣＤカメラ６ｃにより撮影した画像にマスク処理を施す画像処理ボード８ｅ等を装備している。上記画像処理ボード８ｅには、ＣＣＤカメラ６ｃより後述するモニター表示用の画像が入力される。
また１０は駆動手段としてのコントローラであり、リードフレーム３を搬送する搬送ローラ６ａを駆動させる駆動モータ（図示せず）や可動テーブル６ｄを走査させる駆動モータ（図示せず）を作動／停止させるドライバー回路を有する。また、上記ＣＰＵ８ａには、Ｉ／Ｏ部８ｃを介してリードフレーム３の搬送量を検出するためのフレーム搬送センサ１１からの検出信号が入力し、プレス装置５を作動／停止させる制御信号が出力される。
【００１２】
上記制御部８のＣＰＵ８ａは、照度コントローラ８ｄにより光源装置９の照度を制御してリング照明６ｂよりリードフレーム３のほぼ同一明度領域に区分された区画ごとに光照射する。そして、この画像をＣＣＤカメラ６ｃにより撮影して画像処理ボード８ｅを介して輝度データとして取り込み、記憶部８ｂに記憶させる（ティーチィング）。また、リードフレーム３を所定量搬送して画像を取り込む際に必要に応じて画像処理ボード８ｅによりマスク処理を施して輝度データを取り込み、取り込んだデータを前記記憶部８ｂに記憶させたデータと比較する。また、前記ＣＰＵ８ａは入出力部８ｃを介してコントローラ１０により搬送ローラ６ａの駆動を制御して搬送動作を停止させたり、可動テーブル６ｄを区画ごとに走査させる。
なお、上記制御部８は、停止モードと無停止モードの２種類の制御モードを有しており、停止モードの場合には、リードフレーム３を所定量搬送したところで周期的に停止させて画像を取り込み、無停止モードの場合にはリードフレーム３を搬送しながら周期的に瞬時に画像を取り込む。
【００１３】
次に図３を参照してリードフレームの検査装置６の具体的な装置構成について説明する。以下、プレス後のリードフレーム３の搬送経路にしたがって説明する。リードフレーム３は図面左側より下方にＵ字状に垂れ下がって検査装置６に進入し、フレームガイド１２に沿って鉛直上方に向かって搬送される。リードフレーム３は搬送中はＡの位置にあり、搬送動作を停止すると慣性により若干移動してＢ或いはＣの位置に垂れ下がって停止する。
【００１４】
また、上記リードフレーム３は、フレームガイド１２に幅方向及び高さ方向の位置決めをなされると共に、可動テーブル６ｄを図の矢印に示すＹＺ軸方向に移動させてリング照明６ｂによりリードフレーム３の所定区画に光照射してその表面画像はＣＣＤカメラ６ｃにより取り込まれる。上記可動テーブル６ｄは、リング照明６ｂ及びＣＣＤカメラ６ｃを一体に搭載して図示しない駆動モータにより図３のＹＺ軸方向に走査可能に構成されている。上記リング照明６ｂの照度は、各区画に応じて可動テーブル６ｄより下方に設けられた光源装置９により調整される。また、上記ＣＣＤカメラ６ｃの焦点は、可動テーブル６ｄの後端側にあるノブ６ｊにより手動で調整する。なお、図３において、Ｙ軸方向とは紙面に対して垂直方向をいう。
【００１５】
また上記リードフレーム３は、停止モードの場合、フレームガイド１２の下流側に設けられたフレーム搬送センサ１１により搬送量が検出され、例えば２０８ピンのリードフレーム３でプレス装置５のプレスストローク１４０ｓｐｍの時４５ＩＣ分（１９．３秒）搬送されるごとに移動が停止され、検査が行われる。搬送ローラ６ａは、図示しない駆動モータにより回転駆動され、リードフレーム３をその円弧面の一部に巻き付けて搬送する。上記フレーム搬送センサ１１の検出信号に基づいて駆動モータの動作を制御して、搬送ローラ６ａによるリードフレーム３の搬送動作が制御される。
また、無停止モードの場合には、リードフレーム３の停止動作は行わず、ＣＣＤカメラ６ｃにより一定周期ごとに検査を行う。
【００１６】
１３は搬送ガイドであり、搬送ローラ６ａを経たリードフレーム３の搬送をガイドするものである。上記搬送ガイド１３の搬送路には、リードフレーム３の上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の補助ローラ１４が設けられている。上記搬送ガイド１３を経たリードフレーム３は装置外へ導かれ、巻き取り側に搬送される。
【００１７】
また、装置下部には、制御部８や電源部等を配置した制御パネル１５が配置されている。また、装置上部には制御データコントロール用の制御用モニター１６ａ、ＣＣＤカメラ６ｃより取り込んだ画像をリアルタイムで表示するための表示用モニター１６ｂが装備されている。
【００１８】
ここで、前述した検査装置６の各部の構成及び機能について詳細に説明する。先ず、リング照明６ｂの構成について詳述すると、図４において、リング照明６ｂのリング６ｅ内には光源としての光ファイバー６ｆが装備されている。また上記リング６ｅには支持部材６ｇが設けられており、該支持部材６ｇには半透明フィルム６ｈがリング６ｅの発光面と対向するように配置されている。また上記半透明フィルム６ｈのうち高輝度部分には遮光用のマスク６ｉが設けられている。
【００１９】
上述のようにリング状の照明を用いたのは、リードフレーム３と照明装置との間隔が狭いためフレーム面に明暗が生じ易いので、リードフレーム３の区画領域をできるだけ均一に光照射するためである。また、リング６ｅの発光面に対向する位置に半透明フィルム６ｈを設けたのは、光の拡散を良くするためであり、更にはマスク６ｉを設けたのは、高輝度部分を遮光してフレーム面を均一な照度で光照射して、ＣＣＤカメラ６ｃにより打痕，傷等を鮮明に見るためである。
【００２０】
また、照度コントローラ８ｄは、リードフレーム３の面粗度の違いにより、同一照度でのフレームの明度に違いが生ずる。この場合、記憶部８ｂに記憶させたティーチデータの許容値が大きくなり、結果的に打痕検査を困難にする。このため、反射光が明るいフレームの時には照度を落とし、暗いフレームの場合には照度を上げることでできるだけ均一な明度になるように調整するものである。この調整は、リードフレーム３の１ＩＣ分（１ピース分）ごとに画像を取り込む時に照度コントロールを行う。
【００２１】
また、リードフレーム３に打痕，傷等の検出をした場合、正常なフレーム明度より大きな値或いは小さな値が検出されたとき、エラーとして検出するため、図５に示すようにＣＣＤカメラ６ｃより入力する画像の輝度データの入力レベルの変更を行っている。本実施例では、明部解析範囲と暗部解析範囲の双方行っている。
【００２２】
また、リードフレーム３の表面の明度のピーク値を観察していると、図６（ａ）に示すように、正常なフレームでも面粗度の違いによりピーク値が上昇する場合がある（相違量ａ）。そこで、図６（ｂ）に示すように、ピークレベルからある一定量だけカットしたところの輝度レベルを記憶しておき、検査時においても一定量だけカットしたところの輝度レベルで比較している（相違量ｂ）。
【００２３】
また、図７に示すように、リードフレーム３の各ピースの同じ区画領域でも、表面性状，加工油ののり、面粗度等によりピースごとに輝度が多少異なる場合があるため、輝度データに許容範囲を設ける。このため、ピースごとの画像取り込み時にリング照明６ｂの明るさのコントロールを行っている。図７において、輝度を示す折れ線グラフより外れた箇所にドットが存在する場合には、打痕と判定てきる。
また、図７の区画Ｎ部分の暗部輝度データの拡大図を図８に示す。前記ＣＣＤカメラ６ｃによる入力レベル変更は、０〜２５５の輝度を更に部分拡大して０〜２５５の輝度データに強調して各区画ごとにピークカット、例えば、１０ピクセルのノイズカットを行っている。図８において、拡大データの輝度解析範囲（０〜２５５）に設定された許容範囲より外れる部分が存在する場合には、打痕と判定できる。
【００２４】
また、図９（ａ）に示すように、プレス装置５によりプレス後のリードフレーム３の輪郭部３ａや打ち抜き部分３ｂには、ダレ，カエリ，バリ等が存在する。このダレ，カエリ，バリ等が検査区画内に存在すると、ダレ等が存在しない場合に比べて輝度データがティーチデータより大きな値となり誤って打痕と認識してしまう。このため、他のリードフレーム面と同じ輝度として認識するように、一度リードフレーム３の画像をサンプルとして取り込み、リードフレーム３の輪郭に沿ってエアブラシ，ボカシ等を使用して画像編集し、マスク画像として記憶部８ｂに記憶させる。そして、図９（ｂ）に示すように、リードフレーム３の輪郭部３ａや打ち抜き部分３ｂに画像処理ボード８ｅにおいてマスク画像Ｍを重ね合わせて輝度を補正しダレ，バリ等の影響を抑えている。
【００２５】
また、図１０に示すように、単位ＩＣ（１ピース）を明度レベルがほぼ同一と観測される例えば１／４ピースごとに区分し、１ピースの１／４を更に５０区画に分割して画像を取り込むようにしている。また、本実施例では、リードフレーム３として２０８ピンのＩＣを形成する場合でプレスストローク１４０ｓｐｍのとき、１／４５ＩＣ（１９．３秒に１回）リードフレーム３の搬送動作を停止させて表面状態の検査を行っている。このリードフレーム３の検査周期は、更に高速化をめざしており、１／２５ＩＣ（８．６秒に１回）を目標にしている。
【００２６】
次に、上述した検査装置６の検査方法について図１１に示すフローチャートに沿って説明する。本実施例では、リードフレーム３の任意の検査位置においてＩＣ１ピースの表面状態を検出する動作について説明するものとする。
【００２７】
先ず、リードフレーム全体の検査の流れについて概略説明すると、プレス装置５を経て連続的に加工され搬送されるリードフレーム３を検査装置６に進入させ、停止モードでは該検査装置６内でリードフレーム３を周期的に搬送停止させる。また、無停止モードでは停止させることなくリードフレーム３の１ピースに対し、多分割した位置へ若しくは多分割していない時は必要であれば一度ＣＣＤカメラ６ｃを移動させて画像を取り込む。画像の取り込みは明度解析用と暗部解析用としてそれぞれ取り込まれる。上記取り込んだ画像を各区画の解析指示データに従い解析し、そのデータと記憶部８ｂに記憶されているティーチングデータとを比較する。この作業は明度及び暗度両方において行われる。両者を比較した結果、記憶値より入力値のほう大きい場合には、エラーとして出力される。
【００２８】
次に具体的な検査方法について説明する。本実施例は制御モードが停止モードである場合の制御動作について説明する。
図１１において、ステップＳ１において、ＣＣＤカメラ６ｃによりマスク画像Ｅの入力を行う。このマスク画像の入力は、制御部８の記憶部８ｂにティーチィングにより▲１▼マスクの作成、▲２▼リードフレーム３のＩＣ１ピースの区画設定、▲３▼カメラ入力レベルの設定、▲４▼入力画像解析、▲５▼許容値の設定等が行われる。尚、上記▲１▼〜▲５▼の作業は明度及び暗部検出用双方について行われる。また、上記ティーチィングによるデータ入力は、リードフレームの品種，材質の相違などにより随時行われる。
【００２９】
以下、具体的に説明すると、▲１▼上記マスクの作成は、前述したように、リードフレーム３のダレ，バリ部分は他の面と光の反射が異なるため、この部分は検査しないようにマスクを作成する。或いは、特に検査指せない部分（例えば刻印部）があればマスクする。
また、▲２▼ＩＣ１ピース内の区画設定は、図１０に示すように、入力画像の明度レベルがほぼ同一と観測される領域ごとに例えば１／４ピースごとに区分され、更に１／４ピース内を細分化（本実施例では５０区画に区分）する。
また、▲３▼カメラ入力レベルの設定は、入力画像の輝度データのピークレベルを検出するために必要なカメラ入力の範囲設定を行う。
また、▲４▼入力画像解析は、入力画像を各区画ごとに解析し、その解析値を記憶部８ｂに記憶する。
また、▲５▼許容値の設定は、各区画ごとにフレームの面粗度の違いや加工油の付着状況によりフレームの明るさが変化することから、良品を解析して記憶値との差プラスαを許容値として記憶する。
【００３０】
次に、ステップＳ２に進行して搬送ローラ６ａを回転駆動させてリードフレーム３を所定量搬送して停止する。この搬送周期は、本実施例では、前述したように１／４５ＩＣ（１９．３秒に１回）で行われる。そして、ステップＳ３に進行して、フレーム面の照度を確認して、明るすぎたり暗すぎる場合には、照度コントローラ８ｄにより光源装置９を介してフレーム面に光照射するリング照明６ｂの照度コントロールを行う。次に、ステップＳ４に進行して、ステップＳ１でティーチングした位置と移動後のリードフレームの位置の補正を可動テーブル６ｄをＹＺ軸方向（図３参照）に移動させて修正する。
【００３１】
次に、ステップＳ５に進行して、ＣＣＤカメラ６ｃより画像処理ボード８ｅに画像Ｆを入力する。本実施例では１／４ピース分／ＩＣにおいて、５０区画分の輝度データを取り込む。画像Ｆとしては、明部，暗部，全体の３回分のデータを入力する。上記入力画像Ｆはリアルタイムで表示用モニター１６ｂに写し出され、その表面状態を視認することができる。そして、ステップＳ６に進行して全区画の輝度データを取り込むまで画像Ｆの入力を続行し、終了した場合にはステップＳ７でカウンタのカウント値ｉ＝１を記憶する。
次に、ステップＳ８に進行して、ＣＰＵ８ａは記憶部８ｂにティーチィングで記憶させたマスクデータを読み出す。次に、ステップＳ９に進行してティーチィングで作成したマスクを使用するか否かを判断し、必要であればステップＳ１０に進行して入力画像Ｆにマスク画像Ｅをマスクする。
【００３２】
次に、ステップＳ１１に進行して、ＣＰＵ８ａにより区画領域を解析指示データにしたがい解析する。このとき、区画ごとに指示データを変えながら解析することができる。例えば光源の照度が変化して取り込む画像の明るさが変動しても、取り込むべき対象物（リードフレーム）の形状が同じになるようにピータイル値（面積）を調整する。また、例えば区画内にリード部等の島（オブジェクション）が存在する場合、２値化したときに島（オブジェクション）の数と重心位置とピータイル値（面積）を変更してＩＣ１ピースの区画形状に応じた画像を取り込む。
【００３３】
ステップＳ１２において、画像Ｆの輝度データの入力値（解析値）と、ティーチィングで記憶させた記憶値（解析値＋許容値）とを比較し、ステップＳ１３において入力値が記憶値より大きな値となったとき打痕が生じたものとして、ステップＳ１４に進行して記憶部８ｂにエラー登録をする。またステップ１３において、入力値が記憶値以下の場合には、ステップＳ１５に進行して正常であると判断してカウンタのカウント値をｉ＝ｉ＋１として記憶する。
【００３４】
次に、ステップＳ１６に進行してカウンタ値ｉが終了値であるか否かを判断して、終了していない場合には、ステップＳ４に戻って、可動テーブル６ｄを次の１／４ピース分／ＩＣに移動させて各区画ごとの画像Ｆの入力やデータの解析を行う。次にステップＳ１６において、カウンタ値ｉが終了値である場合には、ステップＳ１７に進行して１／４ピース分／ＩＣのいずれかの区画内にエラー登録が有るか否かを判断しエラー登録がある場合には、ステップＳ１８に進行してその旨を表示モニター１６ｂに表示させると共にプレス装置５の作動を停止させる。
【００３５】
また、ステップＳ１７において、エラー登録がない場合には、ステップＳ１９に進行して、次のリードフレーム３の検査領域が有るか否かを判断し、検査領域が有る場合には、ステップＳ２に戻ってリードフレーム３を所定量搬送して検査工程を繰り返し、検査領域がない場合には、ステップＳ２０に進行して、リードフレーム３を検査装置６より巻き取りリール２側に巻き取らせて検査を終了する。
【００３６】
なお、無停止モードの場合には、上述した制御動作のうちリードフレーム３の停止動作がなくなるだけで同様の制御動作が行われる。
【００３７】
上記構成によれば、リール間で繰り出し／巻き取られるリードフレーム３に打痕，傷，変色等の異常が生じた場合には、モニター画面上でいち早く視認することができ、またプレス装置５の動作を停止させることができるので、不良品が連続して発生することを抑えることができ、高速で高精度なリードフレームの検査装置を提供することができる。これによって、ユーザーに提供するリードフレームの品質向上を実現することができる。
【００３８】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、例えばリードフレームの１ピースＩＣの解析区画領域もリードの数等によって更に多区画化或いは小区分化しても良く、１／４ピース分割の画像取得を１／１ピース分割に変更しても良く、検査周期も１／４５ピースごとに限定されるものではなく、更に周期を長くしたり短くすることも可能であり、検査装置の設置箇所もリードフレームの洗浄後またはその他の処理後に設置しても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【００３９】
【発明の効果】
本発明は前述したように、リール間で繰り出し／巻き取られる帯状のリードフレームに打痕，傷，変色等の異常が生じた場合には、モニター画面上でいち早く視認することができ、またプレス装置の動作を停止させることができるので、不良品が連続して発生することを抑えることができ、高速で高精度なリードフレームの検査装置を提供することができる。これによって、ユーザーに提供するリードフレームの信頼性，品質向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図２】リードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図である。
【図３】リードフレームの検査装置の断面説明図である。
【図４】リング照明装置の構成を示す説明図である。
【図５】ＣＣＤカメラからの入力された画像の明暗部の解析範囲を示すグラフである。
【図６】入力データのピークカット検出を示す説明図である。
【図７】解析データの許容値を示すグラフである。
【図８】図７の区画Ｎ部分の暗部輝度データの拡大図である。
【図９】リードフレームの輪郭にマスクを施した状態を示す比較説明図である。
【図１０】１ピースＩＣの画像解析領域の区画を示す説明図である。
【図１１】検査装置による検査動作の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  繰り出し用リール
２  巻き取り用リール
３  リードフレーム
４  レベラー
５  プレス装置
６  検査装置
６ａ  搬送ローラ
６ｂ  リング照明
６ｃ  ＣＣＤカメラ
６ｄ  可動テーブル
６ｅ  リング
６ｆ  光ファイバー
６ｇ  支持部材
６ｈ  半透明フィルム
６ｉ  マスク
６ｊ  ノブ
７  層間紙
８  制御部
８ａ  ＣＰＵ
８ｂ  記憶部
８ｃ  入出力部
８ｄ  照度コントローラ
８ｅ  画像処理ボード
９  光源装置
１０  コントローラ
１１  フレーム搬送センサ
１２  フレームガイド
１３  搬送ガイド
１４  補助ローラ
１５  制御パネル
１６ａ  制御用モニター
１６ｂ  表示用モニター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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