(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内部の空気循環のために複数個設置されるファンフィルタユニットの個別作動状態をチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムにおいて、
前記ファンフィルタユニットの空気通路のハウジングに設置されて空気の流れの方向をセンシングするセンシング手段と、
前記センシング手段で逆気流が感知されると制御信号を出力するコントロール手段と、
前記制御信号が出力されると警報動作を遂行する警報手段と、
を備えることを特徴とするクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項２】
前記センシング手段は、ファンフィルタユニット内部の正方向気流が前記クリーンルームに排出される部分に構成されるフィルタの上部のハウジングに設置されることを特徴とする請求項１記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項３】
前記警報手段は、前記逆気流を感知した制御信号が与えられると発音動作をする発音手段を備えることを特徴とする請求項１記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項４】
前記発音手段は、ブザー音を能動的に発生させるスピーカーを備えることを特徴とする請求項３記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項５】
前記警報手段は、前記逆気流を感知した制御信号が与えられると発光状態が異なる発光素子を備えることを特徴とする請求項１記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項６】
前記発光素子は、お互い異なる色を発光する第１発光ダイオードと第２発光ダイオードとを備え、前記制御信号の状態によってお互い交差点灯されることを特徴とする請求項５記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項７】
前記コントロール手段に、ネットワークを通じて接続可能である装置と、通信を遂行するローカルコントロールユニットとを連結し、前記ネットワークと通信することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項８】
前記ローカルコントロールユニットは、
所定の周波数のパルスを発振して提供する発振部と、
ネットワーク認識用特定アドレスが設定されたアドレス発生手段と、
前記ネットワークに接続されて通信する通信部と、
前記発振部から動作に必要なパルスが与えられ、前記コントロール手段から出力される制御信号を判断して前記ファンフィルタユニットの駆動状態に対する情報を前記通信部を通じて前記ネットワークに転送し、前記ネットワークに転送される情報に前記アドレスを混合させる中央処理部と、
を備えることを特徴とする請求項７記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項９】
クリーンルーム内部の空気循環のために複数個設置されるファンフィルタユニットの個別作動状態をチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムにおいて、
前記各ファンフィルタユニットの空気通路に空気の流れの方向をセンシングするセンサが設置され、前記センサで逆気流を感知したセンシング信号が発生されるとそれに対応される制御信号に変換して出力するセンシング手段と、
前記センシング手段から出力される制御信号の状態を判断し、これに対する情報を通信するローカルコントロールユニットと、
複数個の前記ローカルコントロールユニットと連結されて中継通信を遂行する中継手段と、
前記中継手段を通じて前記各ファンフィルタユニットの状態に対する情報を集め、集められた情報としてクリーンルームの内部の全体ファンフィルタユニットの状態を判断するホストコンピュータと、
を備えることを特徴とするクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１０】
前記中継手段は、
所定単位数量の前記ファンフィルタユニット別の各ローカルコントロールユニットと通信可能に連結されるマルチコントロールユニットと、
所定の単位数量の前記マルチコントロールユニット等と通信可能に連結されるリレーコントロールユニットとを備え、
前記ローカルコントロールユニットと前記ホストコンピュータ間の通信のためのネットワークを形成することを特徴とする請求項９記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１１】
前記マルチコントロールユニットは、
前記ローカルコントロールユニットから送信される信号を受信する第１受信部と、
前記第１受信部の動作を制御し、前記ローカルコントロールユニットから送信される情報を出力する第１通信制御手段と、
前記第１通信制御手段から出力される情報を貯蔵する第１メモリ手段と、
所定の周波数のパルスを発振して提供する第１発振部と、
前記外部ネットワークとの連結で認識用第１アドレスを発生する第１アドレス発生手段と、
前記第１発振部から動作に必要なパルスが与えられ、前記第１メモリ手段に保存された情報を前記リレー通信ユニットに転送するために出力し、前記リレー通信ユニットに転送される情報に第１アドレスを含めて転送する第１制御手段と、
前記第１制御手段と前記リレー通信ユニット間の通信のためのインターフェースを遂行する第１通信手段と、
を備えることを特徴とする請求項１０記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１２】
前記第１通信制御手段に連結され前記ローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第１送信部をさらに備え、前記ローカルコントロールユニットに送信され前記第１受信部を通じて受信される信号の状態に前記第１通信制御手段でネットワーク接続状態を判断することを特徴とする請求項１１記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１３】
前記第１通信制御手段は、前記ネットワーク接続状態を判断する情報を前記ホストコンピュータに転送するように前記第１メモリ手段に保存することを特徴とする請求項１２記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１４】
前記リレー通信ユニットは、
前記マルチコントロールユニットから送信される信号を受信する第２受信部と、
前記第２受信部の動作を制御して前記マルチコントロールユニットから送信される情報を出力する第２通信制御手段と、
前記第２通信制御手段で出力される情報を保存する第２メモリ手段と、
所定周波数のパルスを発振して提供する第２発振部と、
前記外部ネットワークとの連結で認識用第２アドレスを発生する第２アドレス発生手段と、
前記第２発振部から動作に必要なパルスが与えられ、前記第２メモリ手段に保存された情報を前記ホストコンピュータに転送するために出力し、前記ホストコンピュータに転送される情報に第２アドレスを含めて転送する第２制御手段と、
前記第２制御手段と前記ホストコンピュータ間の通信のためのインターフェースを遂行する第２通信手段と、
を備えることを特徴とする請求項１０記載のクリーンルーム空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１５】
前記第２通信制御手段に連結され、前記ローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第２送信部を備え、前記マルチコントロールユニットに送信され前記第２受信部を通じて受信される信号の状態によって、前記第２通信制御手段でネットワークの接続状態を判断することを特徴とする請求項１４記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項１６】
前記第２通信制御手段は、前記ネットワーク接続状態を判断した情報を前記ホストコンピュータに転送するように前記第２メモリ手段に保存することを特徴とする請求項１４記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムに関するもので、より詳しくはクリーンルームの内部に空気の循環のために設置される多くの数のファンフィルタユニットの個別的な駆動状態を現場またはネットワーク接続状態で、正確にチェックすることができ、各ファンフィルタユニットの非正常的な駆動状態に対する警報を遂行するように改善させたクリーンルームの空調用ファンフィルタ駆動状態チェックシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体装置製造のためのクリーンルームには空気循環によって内部の清浄状態を維持することができるように空調システムが設置されている。
クリーンルームの空調システムは大型循環ファンを利用してクリーンルームの空気を循環させる中央集中方式と、多くの台数の小型ファンフィルタユニットを利用した個別方式とで区分される。個別方式は、大型循環ファンを利用した中央集中方式の問題点を補完するためのもので、特に個別方式は大型循環ファンを利用した中央集中方式に比べコンパクトな設計で、低騒音、低震動、エネルギー節約、気流制御の容易性等の長所を有している。
【０００３】
従って、近年、半導体工場には大型循環ファンを使用した中央集中方式より小型ファンフィルタユニットを利用した個別方式の空調システムがクリーンルームに多く採用されている。そして、一般的な半導体工場のクリーンルームに空調用に利用されるファンは、アメリカ合衆国の特許５，０６９，１１３号等に開示されている。
【０００４】
クリーンルームに設置される従来の個別方式の空調システムは、図１のようなファンフィルタユニット１０が天井に所定の配置で何台か設置される。ファンフィルタユニット１０は、フィルタ空気供給ファンが一つのユニットにモジュール化されてクリーンルームの天井面に設置され、循環空気をフィルタリングしてクリーンルーム内部に供給する装置である。
【０００５】
このようなファンフィルタユニット１０は内部にファン１２が設置されており、ファン１２が駆動されることによって空気が天井上部から流入されてハウジング１４の内部通路に沿って、インシューレーター１６を経てパンチングプレートの方に強制的に送風され、強制的に送風される空気はフィルタ１８を経てクリーンルーム内部に供給される。
【０００６】
前述したファンフィルタユニットが設置される空調システムは、クリーンルーム内部の空気を天井から床の方に送風する。床の方に送風される空気は、所定の空気循環のために設計されたダクトを通じて天井に供給されて循環する。前述した空気の循環によって、クリーンルームの内部のパーティクルは空気の流れの方向に沿って床の方に沈み、工程が行われる高さにパーティクルが到達することが抑制され、クリーンルームの底からクリーンルームの外部と内部間の差圧が発生して外部のパーティクルを含む空気の内部への流入が遮断される。
【０００７】
前述したクリーンルーム内部の各ファンフィルタユニットは、天井に多くの数が設置されるので、個別的な異常チェックに難点が多く、このためにファンフィルタユニットの自己診断機能が重要視されている。通常の自己診断機能は、電流または電圧がファンに供給される状態を監視する水準で試みられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような方式の自己診断機能は、ファン駆動がダウンされる状態でも駆動電流や電圧が供給されるので正確にファンフィルタユニットの異常を直接的に感知することができない場合が発生する。
【０００９】
ファンフィルタユニットを利用する空調システムでファンが動作されないと、該当部分で逆気流が発生して清浄状態を維持しなければならない空間に汚染物が流入する場合が発生し、このような以上現象は感知されずに長時間放置される場合が多かった。
【００１０】
従って、従来のファンフィルタユニットを利用したクリーンルームの内部の個別方式による空調システムは、一部ファンフィルタユニットの異常によりクリーンルーム内部の大気環境に深刻な影響を与える結果が発生される問題点があった。
【００１１】
本発明の目的は、空気を強制送風するファンがダウンされると発生する気流の方向変化を機械的な接点を有するセンサに感知してファンフィルタユニットの異常有無をチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムを提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、空気を強制送風するファンがダウンすると発生する気流の変化を機械的に感知してファンフィルタユニットの異常有無をネットワーク上でチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、ファンフィルタユニットの空気通路のハウジングに設置されて空気の流れの方向をセンシングするセンシング手段と、センシング手段で逆気流が感知されると制御信号を出力するコントロール手段と、制御信号が出力されると警報動作を遂行する警報手段とを備える。
【００１４】
本発明の請求項２記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、センシング手段は、ファンフィルタユニット内部の正方向気流がクリーンルームに排出される部分に構成されるフィルタの上部のハウジングに設置される。
【００１５】
本発明の請求項３記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、警報手段は、逆気流を感知した制御信号が与えられると発音動作をする発音手段を備える。
【００１６】
本発明の請求項４記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、発音手段は、ブザー音を能動的に発生させるスピーカーを備える。
【００１７】
本発明の請求項５記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、警報手段は、逆気流を感知した制御信号が与えられると発光状態が異なる発光素子を備える。
【００１８】
本発明の請求項６記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、発光素子は、お互い異なる色を発光する第１発光ダイオードと第２発光ダイオードとを備え、制御信号の状態によってお互い交差点灯される。
【００１９】
本発明の請求項７記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、コントロール手段に、ネットワークを通じて接続可能である装置と、通信を遂行するローカルコントロールユニットとをさらに連結し、ネットワークと通信する。
【００２０】
本発明の請求項８記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、ローカルコントロールユニットは、所定の周波数のパルスを発振して提供する発振部と、ネットワーク認識用特定アドレスが設定されたアドレス発生手段と、ネットワークに接続されて通信する通信部と、発振部から動作に必要なパルスが与えられ、コントロール手段から出力される制御信号を判断してファンフィルタユニットの駆動状態に対する情報を通信部を通じてネットワークに転送し、ネットワークに転送される情報にアドレスを混合させる中央処理部とを備える。
【００２１】
本発明の請求項９記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、各ファンフィルタユニットの空気通路に空気の流れの方向をセンシングするセンサが設置され、センサで逆気流を感知したセンシング信号が発生されるとそれに対応される制御信号に変換して出力するセンシング手段と、センシング手段から出力される制御信号の状態を判断し、これに対する情報を通信するローカルコントロールユニットと、複数個のローカルコントロールユニットと連結されて中継通信を遂行する中継手段と、中継手段を通じて各ファンフィルタユニットの状態に対する情報を集め、集められた情報としてクリーンルームの内部の全体ファンフィルタユニットの状態を判断するホストコンピュータとを備える。
【００２２】
本発明の請求項１０記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、中継手段は、所定単位数量のファンフィルタユニット別の各ローカルコントロールユニットと通信可能に連結されるマルチコントロールユニットと、所定の単位数量のマルチコントロールユニット等と通信可能に連結されるリレーコントロールユニットとを備え、ローカルコントロールユニットとホストコンピュータ間の通信のためのネットワークを形成する。
【００２３】
本発明の請求項１１記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、マルチコントロールユニットは、ローカルコントロールユニットから送信される信号を受信する第１受信部と、第１受信部の動作を制御し、ローカルコントロールユニットから送信される情報を出力する第１通信制御手段と、第１通信制御手段から出力される情報を貯蔵する第１メモリ手段と、所定の周波数のパルスを発振して提供する第１発振部と、外部ネットワークとの連結で認識用第１アドレスを発生する第１アドレス発生手段と、第１発振部から動作に必要なパルスが与えられ、第１メモリ手段に保存された情報をリレー通信ユニットに転送するために出力し、リレー通信ユニットに転送される情報に第１アドレスを含めて転送する第１制御手段と、第１制御手段とリレー通信ユニット間の通信のためのインターフェースを遂行する第１通信手段とを備える。
【００２４】
本発明の請求１２記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第１通信制御手段に連結されローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第１送信部をさらに備え、ローカルコントロールユニットに送信され第１受信部を通じて受信される信号の状態に第１通信制御手段でネットワーク接続状態を判断する。
【００２５】
本発明の請求項１３記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第１通信制御手段は、ネットワーク接続状態を判断する情報をホストコンピュータに転送するように第１メモリ手段に保存する。
【００２６】
本発明の請求項１４記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、リレー通信ユニットは、マルチコントロールユニットから送信される信号を受信する第２受信部と、第２受信部の動作を制御してマルチコントロールユニットから送信される情報を出力する第２通信制御手段と、第２通信制御手段で出力される情報を保存する第２メモリ手段と、所定周波数のパルスを発振して提供する第２発振部と、外部ネットワークとの連結で認識用第２アドレスを発生する第２アドレス発生手段と、第２発振部から動作に必要なパルスが与えられ、第２メモリ手段に保存された情報をホストコンピュータに転送するために出力し、ホストコンピュータに転送される情報に第２アドレスを含めて転送する第２制御手段と、第２制御手段とホストコンピュータ間の通信のためのインターフェースを遂行する第２通信手段とを備える。
【００２７】
本発明の請求項１５記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第２通信制御手段に連結され、ローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第２送信部を備え、マルチコントロールユニットに送信され第２受信部を通じて受信される信号の状態によって、第２通信制御手段でネットワークの接続状態を判断する。
【００２８】
本発明の請求項１６記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第２通信制御手段は、ネットワーク接続状態を判断した情報をホストコンピュータに転送するように第２メモリ手段に保存する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を示す実施例を図面に基づき詳細に説明する。
図２に示すように、本発明の一実施例によるクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムは、公知のファンフィルタユニット２０の内部ハウジングで空気が強制的に送風される通路中のインシューレーター２２とフィルタ２４の間のハウジング２６にセンサ２８が設置されている。センサ２８は機械的なコンタクトが気流の方向によってショートまたはオープン、即ち電気的にオン／オフが行われる構造を有する。オン／オフ状態によって、センサ２８は電気的にハイ／ローレベルの電圧を出力する。
【００３０】
ファンフィルタユニット２０の内部のセンサ２８は、センシング信号をコントローラー３０に入力するように構成されている。コントローラー３０にはスピーカー３２と発光ダイオード３４及びローカルコントロールユニット（Ｌｏｃａｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ：以下ＬＣＵとする。）３６が連結されており、コントローラー３０はハイレベルまたはローレベルに入力されるセンシング信号による制御信号をスピーカー３２と発光ダイオード３４に与えるように構成されている。
【００３１】
発光ダイオード３４は単一素子で構成され、必要によってお互い異なる色で発光される二つの素子がコントローラー３０から出力される制御信号の状態によってお互い交差点灯されるように構成される。
【００３２】
そして、ＬＣＵ３６はコントローラー３０から与えられる制御信号の状態に対する情報を外部ネットワークに転送する。
前述したように構成されることで、センサ２８はハウジング２６内部に形成された通路を通じて空気が出入する方向をセンシングする。
【００３３】
即ち、ファンフィルタユニット２０のファンが正常的に駆動されると、空気が強制送風されインシューレーター２２部分を経て、フィルタ２４を通じてクリーンルーム内部に供給される。図３に示すように、空気が前述した方向に正方向気流を形成しながら供給されるとき、センサ２８のアルミニウム材質でできた入力部２８ａと銅でできた出力部２８ｂの間の機械的な接点はショートされて電気的にターンオンされるのでハイレベル（“＋１”）の電圧がセンシング信号としてコントローラー３０に与えられる。
【００３４】
一方、ファンフィルタユニット２０のファンが駆動されないと、ファンフィルタユニット２０の間にクリーンルームの内部と外部には差圧が発生され、クリーンルーム内部が上圧そしてクリーンルームの外部が下圧状態で逆気流が形成されて空気はクリーンルーム内部から外部に流れる。このとき、図４に示すように、センサ２８のアルミニウム材質でできた入力部２８ａと銅でできた出力部２８ｂの間の機械的な接点はオープンされて電気的にターンオフされ、ローレベル（“０”）の電圧がセンシング信号とコントローラー３０に与えられる。
【００３５】
コントローラー３０は、ファンフィルタユニット２０のファン駆動によって形成される空気の気流によるセンシング信号の状態を判別して、それによる制御信号をスピーカー３２とＬＥＤ３４にそれぞれ出力する。
【００３６】
そうすると、正常的な状態でスピーカー３２は消音状態を維持し、ＬＥＤ３４は消光状態を維持する。しかし、非正常的にファンフィルタユニット２０から逆気流が発生されると、コントローラー３０から与えられる制御信号によってスピーカー３２は発音し、ＬＥＤ３４は発光する。
【００３７】
一方、コントローラー３０は前述した制御信号をＬＣＵ３６に入力し、ＬＣＵ３６はネットワークを構成するために連結可能な中継機であるマルチコントロールユニット（ＭＣＵ）のような接続装置を通じて、実時間のファンフィルタユニット２０の駆動状態による情報を転送する。これを利用することでネットワークに接続された状態で遠距離からファンフィルタユニット２０の駆動状態がチェックされる。そして、クリーンルーム天井に設置される全てのファンフィルタユニットに対して、図２のようにセンサを設置し、ネットワーク接続のためのＬＣＵ３６を適用することでクリーンルームに構成される全てのファンフィルタユニットの状態を総合的にチェックすることができる。
【００３８】
このためのネットワークは図５のように構成される。
図５を参照すると、ファンフィルタユニット２０に設置される各ＬＣＵ３６は、ネットワークに接続される。ネットワークを通じて全てのＬＣＵ３６とインターフェースされる各ファンフィルタユニットは、同一ネットワーク上に連結されたホストコンピュータ４２と接続されることで、クリーンルーム天井に設置された全体のファンフィルタユニット２０の駆動状態がホストコンピュータ４２にモニタリングしてチェックできるように構成されている。
【００３９】
具体的には、クリーンルームの天井に配置された所定単位個数のファンフィルタユニット２０のコントローラー３０にインターフェースされる各ＬＣＵ３６が一つのＭＣＵ３８に接続され、再び所定単位個数のＭＣＵ３８がリレー通信ユニット（Ｒｅｌａｙ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｕｎｉｔ：以下ＲＣＵとする。）４０に接続され、また所定単位個数のＲＣＵ４０がホストコンピュータ４２に接続される。
【００４０】
ホストコンピュータ４２にはモニタ４４が連結されてホストコンピュータ４２でネットワークを通じて収集された各ＬＣＵ３６が設置されたファンフィルタユニット２０のファン駆動状態をモニタリング可能にディスプレイするように構成されている。
【００４１】
ここで、ＲＣＵ４０とＭＣＵ３８の構成は図６に示す構成と類似のものであるといえる。
ＭＣＵ３８の構成を図６に示す構成として仮定し、詳細な構成を説明する。ＭＣＵ３８にはＲＣＵ４０に通信線を通じて接続される通信部４６とＬＣＵ３６に通信線を通じて接続される通信部４８及び受信部５０が構成されている。
【００４２】
通信部４６には制御部５２が連結されている。制御部５２には作動のための所定周波数の基本的なパルスを発振して提供する発振部５４が連結され、他のＭＣＵ３８と区分される特定アドレスを設定したアドレススイッチ５６が連結されている。制御部５２と通信制御部５８はメモリ６０を通じて相互データーを交換するように構成されている。通信制御部５８は転送信号ＴＸを送信部４８に出力し、受信信号ＲＸが受信部５０から入力されるように構成されている。
【００４３】
そして、ＬＣＵ３６は、図７のような構成を有するＭＣＵ３８と接続されて通信を遂行する。
即ち、ファンフィルタユニット２０に連結されたコントローラー３０とインターフェースされて制御信号（Ｓ１）が入力される中央処理部６２に所定周波数に発振されたパルスを提供する発振部６４と他のＬＣＵと区分される特定アドレスを設定したアドレススイッチ６６が連結されている。そして、通信部６８が中央処理部６２に連結されてＭＣＵ３８と通信線を通じて通信するようになっている。
【００４４】
前述の構成による本実施例の動作を説明する。
先ず、ＬＣＵ３６の中央処理部６２は発振部６４で所定周波数に発振されて提供されるパルスによって作動される。コントローラー３０から制御信号Ｓ１が中央処理部６２に与えられると、中央処理部６２はアドレススイッチ６６に設定された他のＬＣＵと区分するための特定アドレスコードを制御信号と混合して通信部６８に入力し、通信部６８は中央処理部６２で与えられる信号をＭＣＵ３８で受信可能な信号の形態に変形させてＭＣＵ３８に転送する。
【００４５】
即ち、各ファンフィルタユニット２０の駆動状態に対する情報がＬＣＵ３６からＭＣＵ３８に転送され、ＭＣＵ３８は転送信号を受信してＲＣＵ４０に転送する中継の役割を遂行する。
【００４６】
具体的には、ＭＣＵ３８の受信部５０はＬＣＵ３６から転送された信号が受信されると、通信制御部５８で認識することができる信号に変換させた受信信号ＲＸを通信制御部５８に入力する。
【００４７】
通信制御部５８は、入力される信号を解読してメモリ６０に保存する。そして、通信制御部５８はＬＣＵ３６に点検信号を送信部４８を通じて転送した後、ＬＣＵ３６でそれに対するリターン信号が入力される状態でＬＣＵ３６とのネットワーク接続状態をチェックする。そして、チェックされた接続状態に対する情報はメモリ６０に書き込まれる。
【００４８】
通信制御部５８によってメモリ６０に保存された情報は制御部５２に読み出される。制御部５２は、発振部５４から提供される所定の周波数のパルスで駆動され、読み出された情報によるＭＣＵと区分される特定コードを組み合わせて通信部４６に入力し、通信部４６は制御部５２から入力された信号をＲＣＵ４０に転送する。
【００４９】
各ＲＣＵ４０には所定単位数量で連結された各ＭＣＵ３８から下部に連結された各ＬＣＵに対する情報が転送される。これにより、ＲＣＵ４０は二次的な中継の役割を遂行して各情報をホストコンピュータ４２に転送して入力する。
【００５０】
ＲＣＵ４０で行われる信号の受信、変換及び送信とネットワーク接続状態チェックは、前述したＭＣＵ３８の場合と同一に行われ、ＲＣＵ４０は他のＲＣＵと区分される特定アドレスを各ＬＣＵ３６と連結された該当ファンフィルタユニット２０の動作状態に対する情報に混合してホストコンピュータ４２に転送する。
【００５１】
ホストコンピュータ４２は、複数に連結される各ＲＣＵ４０から入力される情報の転送を受けて保存し、転送された情報に含まれたＲＣＵ４０のアドレス、ＭＣＵ３８のアドレス及びＬＣＵ３６のアドレスを判読して、各信号がどのファンフィルタユニットに対するものであるかを確認する。そして、転送された情報に含まれた各ネットワーク接続状態に対する情報を判断してネットワーク自己診断機能を遂行する。
【００５２】
前述したように確認された各ファンフィルタユニットの状態はホストコンピュータ４２で統合され、各ファンフィルタユニット２０の状態はモニタリングのためのディスプレイ信号に変換され、モニタ４４に与えられる。モニタ４４にはクリーンルーム内部に設置された全てのファンフィルタユニットに対する状態が表示される。
【００５３】
従って、各ファンフィルタユニット別に駆動異常に対する警報（発音、発光）がクリーンルーム内現場で行われ、クリーンルーム内の全体ファンフィルタユニットの状態がネットワークに接続されて遠距離に位置したホストコンピュータでチェックされる。これにより、ファンフィルタユニット別の異常に対する即刻的な措置が可能となり、ファンフィルタユニットの駆動中止によって発生し得るクリーンルーム汚染の防止を迅速に行うことができる。
【００５４】
【発明の効果】
従って、本発明のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、クリーンルームの内部空気循環のために設置される数多くのファンフィルタユニットの個別的な監視が可能で、異常を実時間で監視することができる。これいにより、クリーンルーム内部の汚染を防止し、常に最適の状態に工程環境が維持され収率を向上させることができる。
【００５５】
以上で本発明は記載された実施例に対してのみ詳細に説明されたが、本発明の技術的思想の範囲内で多様な変形及び修正が可能であることは当業者にとって明白なことであり、このような変形及び修正が付加されたものは特許請求範囲に属することは当然なことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のクリーンルームに設置されるファンフィルタユニットを示す概略的な部分断面図である。
【図２】本発明の実施例によるクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムを示すブロック図である。
【図３】本発明の実施例において、ファンの正常駆動時のセンサ及びそれに該当する信号を示す図である。
【図４】本発明の実施例において、ファンのダウン時のセンサ及びそれに該当する信号を示す図である。
【図５】本発明の実施例によるクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムをネットワークに構成したブロック図である。
【図６】図５に示されたＭＣＵ／ＲＣＵの詳細なブロック図である。
【図７】図２及び図５に示されたＬＣＵの詳細なブロック図である。
【符号の説明】
１０、２０  ファンフィルタユニット
１２        ファン
１４、２６  ハウジング
１６、２２  インシューレーター
１８、２４  フィルタ
２８        センサ
３０        コントローラー
３２        スピーカー
３４        ＬＥＤ
３６        ＬＣＵ
３８        ＭＣＵ
４０        ＲＣＵ
４２        ホストコンピュータ
４４        モニタ
４６、６８  通信部
４８        送信部
５０        受信部
５２        制御部
５４、６４  発振部
５６、６６  アドレススイッチ
５８        通信制御部
６０        メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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