(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムの一主面側に搭載されたＩＣチップと、該ＩＣチップから前記ベースフィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性のリードパターンと、前記ＩＣチップの少なくとも前記リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して封止する封止部材とを備えた半導体装置において、
前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された一辺とは異なる前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
テープキャリアの一主面側に搭載された複数のＩＣチップと、該各ＩＣチップから前記ベースフィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性のリードパターンと、前記各ＩＣチップの少なくとも前記リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して封止する封止部材とを備えており前記テープキャリア上に形成された半導体装置において、
前記テープキャリアには、前記各ＩＣチップの前記リードパターンが導出された一辺に対して交差する方向の他辺に沿って穿設されたスリットであって前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接しているスリットが穿設されており、
前記スリットは、前記封止領域の輪郭線と接している部分を含んで該ＩＣチップの一辺よりも長いスリットであって、該スリットの前記封止領域の輪郭線と接している辺は、前記封止部材と接している部分よりも接していない部分の方が前記ＩＣチップの側に向かって広い幅に形成されたスリットであることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
テープキャリアの一主面側に搭載された複数のＩＣチップと、該各ＩＣチップから前記ベースフィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性のリードパターンと、前記各ＩＣチップの少なくとも前記リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して封止する封止部材とを備えており前記テープキャリア上に形成された半導体装置において、
前記テープキャリアには、前記各ＩＣチップの前記リードパターンが導出された一辺に対して交差する方向の他辺に沿って穿設されたスリットであって前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接しているスリットが穿設されており、
前記テープキャリアには、前記ＩＣチップを配置するための空所であって前記スリットと一体につながった空所であるデバイスホールが穿設されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項２記載の半導体装置において、前記テープキャリアには、前記ＩＣチップを配置するための空所であって前記スリットと一体につながった空所であるデバイスホールが穿設されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
ベースフィルムの一主面側に搭載されたＩＣチップと、該ＩＣチップから前記ベースフィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性のリードパターンと、前記ＩＣチップの少なくとも前記リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して封止する封止部材とを有する半導体装置と、該半導体装置に接続されて駆動される電子素子を有する回路基板とを備えた電子装置において、前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された一辺とは異なる前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されている半導体装置を具備することを特徴とする電子装置。
【請求項６】
ベースフィルムの一主面側に搭載され封止部材で封止されたＩＣチップと、該ＩＣチップが搭載された搭載領域を間に置いてその両側に互いに間隔を隔てて配置され前記ＩＣチップに接続された導電性の第１のリード群および第２のリード群とを備えた半導体装置において、
前記第１のリード群および第２のリード群のうち少なくとも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在するリードパターンとして形成されており、かつ該リードパターンは、外部との接続を取るための露出部を少なくとも前記搭載領域の内側の部分に備えており、かつ前記ベースフィルムの前記リードパターンが接続されて導出された一辺とは異なる前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
テープキャリア又はそれを切断してなるベースフィルムの一主面側に搭載され封止部材で封止されたＩＣチップと、該ＩＣチップが搭載された搭載領域を間に置いてその両側に互いに間隔を隔てて配置され前記ＩＣチップに接続された導電性の第１のリード群および第２のリード群とを有する半導体装置と、該半導体装置に接続されて駆動される電子素子を有する回路基板とを備えた電子装置において、
前記第１のリード群および第２のリード群のうち少なくとも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在するリードパターンとして形成されており、かつ該リードパターンは外部との接続を取るための露出部を少なくとも前記搭載領域の内側の部分に備えており、かつ前記ベースフィルムの前記リードパターンが接続されて導出された一辺とは異なる前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されていることを特徴とする電子装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は半導体装置およびそれを用いた電子装置に係り、特にＴＡＢ（Tape Automated bonding）実装技術を用いて集積回路を実装した半導体装置およびそれを用いて小型化をさらに進めた液晶表示装置のような電子装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般にテープキャリアパッケージ方式（ＴＡＢ実装パッケージ）で実装された半導体装置は、実装面積の小型化が可能な実装方式の半導体装置である。
【０００３】
例えば特開平５−２２６４１４号公報に開示されているように、幅広のテープキャリアを使用し、スプロケットホールを本来のスプロケットホールよりも内側に形成し、両方のスプロケットホールの間に形成したスリットを用いて切断することにより、薄型・小型という利点を得ることができる。
【０００４】
しかもこの場合、在来の保持キャリアを使用できるので、工程を煩雑化させることがないので製造プロセスが簡便で済むという利点もある。
【０００５】
上記のように、テープキャリアパッケージは液晶ドライバＩＣのような超多ピンのＩＣやＬＳＩを狭ピッチで接続することにより小型のパッケージを実現することができるという利点がある。
【０００６】
特に液晶表示装置においては、テープキャリアパッケージは出力端子数だけでも  ２００ピン以上といった多ピンの液晶ドライバＩＣの接続に好適な実装方式として一般的に用いられている。その他にも、例えばゲートアレイなど入出力端子数が  ２００〜  ３００ピンあるいはそれ以上もの超多ピンのＬＳＩの実装技術として用いられている。
【０００７】
また、テープキャリアパッケージは、上記のような多ピンの実装形態に好適であることの他にも、配線パターンの自由度が高いことや、ベースフィルムの柔軟性を利用してパッケージを折り曲げることが可能であることなどの特長を備えている。
【０００８】
テープキャリアパッケージは、耐熱性の高い合成樹脂からなる短冊状のベースフィルム（このテープ状のベースフィルムを以下キャリアフィルムと呼ぶ）上にＣｕなどの金属層を被着し、これをパターニングして配線パターンを形成し、多ピンの液晶ドライバＩＣなどをキャリアフィルム上に搭載し、そのキャリアフィルムに設けられた穴から突出したインナーリードに一括接続し、液晶ドライバＩＣをエポキシなどの合成樹脂で密封（封止）することで形成されている。
【０００９】
そして、キャリアフィルムには、パッケージ組立工程等で使用するための搬送用スプロケットホールが穿設されており、またテープキャリア上には検査用パットなども形成されている。そして液晶表示装置の配線基板上やプリント回路基板上に実装される際には、連続した短冊状のキャリアフィルムから必要な形状のベースフィルムが打ち抜かれて、一個ずつ独立した実装パッケージとして使用される。
【００１０】
このような従来のテープキャリアパッケージの一例を図１１の平面図および図１２の断面図に示す。なお図１１（ａ）は、図１２の断面図にａ−ｓｉｄｅとして示した側から見た平面図であり、図１１（ｂ）は、図１２の断面図にｂ−ｓｉｄｅとして示した側から見た平面図である。
【００１１】
ポリイミドフィルムなどの耐熱性の高い合成樹脂製のキャリアフィルム１００１上に、Ｃｕ等の導体層をエッチング等によりパターニングして導体パターン１００２が形成されている。
【００１２】
デバイスホール１００３と呼ばれる穴は、ＩＣチップ１００４よりも少し大きめの大きさに、ＩＣチップ１００４を収容する部分のキャリアフィルム１００１に穿設されている。
【００１３】
そのデバイスホール１００３の内側には、ＩＣの入出力端子との接続をとるための電極であるインナーリード１００５が突出するように形成されている。
【００１４】
ＩＣチップ１００４の各接続パッド上には、Ａｕ等で作られた突起電極状のバンプ１００６ａが形成されている。このＩＣチップ１００４側のバンプ１００６ａとインナーリード１００５とは、一般に熱圧着によって接続される。
【００１５】
そして外部との接続を取るための電極であるアウターリード１００７は、ＩＣチップ１００４上のバンプ１００６ｂからポッティング樹脂１００８の外側のＴＡＢ実装パッケージの外周部すなわち金型打ち抜き外形線にかけて延在するパターンとして形成されている。なおＩＣチップ１００４を搭載した部分は、そのＩＣチップ１００４自体やインナーリード１００５やバンプ１００６ａ，１００６ｂ等の保護のために、前述のエポキシ樹脂などを用いて形成されたポッティング樹脂１００８で封止されている。
【００１６】
そして図１３に示すように、上記のような構造のＴＡＢ実装パッケージ１０１０は、その接続電極１０１１で液晶表示パネル１００９側の接続端子（図１３においては図示省略）と接続される。この接続は一般に異方性導電接着剤１０１２を使用して加熱・加圧することで行なわれる。
【００１７】
また一方でこのＴＡＢ実装パッケージ１０１０は、図１４に示すように、アウターリード１００７の先端部の接続電極１０１３にて駆動回路基板１０１４と接続される。この接続は一般に、ペースト状のクリームはんだと呼ばれるような印刷可能なはんだ１０１５等を用いて、例えばリフロー法などにより行なわれる。駆動回路基板１０１４は、液晶表示パネル１００９の外周部に配置されており、複数のＴＡＢ実装パッケージ１０１０に電源電圧や同期パルスなどを供給するための配線や回路系が形成されている。
【００１８】
近年、液晶表示パネル１００９の表示領域よりも外側の部分、いわゆる画面の額縁部分の寸法を、さらに小型化するための努力が試行されている。図１３、図１４に示すように、ＩＣチップ１００４が実装されたＴＡＢ実装パッケージ１０１０を、その長手方向の辺が液晶表示パネルの画面表示領域の周縁部の辺に平行となるように配置することが一般的に行なわれている。そしてこれに好適ないわゆるスリムＩＣの使用が多くおこなわれており、幅  １ｍｍ前後といった極めて狭幅で長い外形の液晶ドライバ用ＩＣなども使用されている。
【００１９】
しかしながら、このような従来の技術では、ＴＡＢ実装パッケージ１０１０と液晶表示パネル１００９との接続を、アウターリード１００７の先端の接続電極部１０１３の部分で行なっている。従って、ポッティング樹脂１００８やアウターリード１００７などでかなり大きな面積が別に必要であることに加えて、接続電極部１０１３の部分の面積も別に必要であるため、たとえ飛躍的に狭幅なスリムＩＣをＩＣチップ１００４として使用しても、液晶表示パネル１００６の周縁部から外側の領域のいわゆる液晶表示装置の額縁部分の面積の小型化ができないという問題がある。
【００２０】
このように、従来の構造では、液晶表示パネルの画面周囲の額縁部分の面積の小型化ができないという問題があった。
【００２１】
また、上記はＴＡＢ実装パッケージ１０１０の狭幅方向の小型化についての問題であったが、これに加えて、ＴＡＢ実装パッケージ１０１０の長手方向の辺の長さについても小型化が必要である。
【００２２】
即ち、液晶表示装置における小型化の要求はさらに進んでおり、テープキャリアパッケージ自体もそれに対応してさらに小型化しなければならなくなってきた。  しかしながら、従来のテープキャリアパッケージの技術では、この長手方向の小型化も困難であるという問題がある。
【００２３】
金型を用いてキャリアフィルム１００１から所要の部分を金型打ち抜き外形線１０１６に沿って打ち抜いて、一つ一つのＴＡＢ実装パッケージ１０１０を得る。その打ち抜きの際に、ポッティング樹脂１００８に金型が当たると、その部分のポッティング樹脂１００８にクラック（ひび割れや欠損）が発生して実装パッケージとして不良となる。何となれば、そのクラックの部分から空気中の水分や酸素や塵埃などが内部に侵入してしまい、封止樹脂内に密封されているはずのＩＣチップ１００４が水分や酸素に侵されてしまい動作不良等をひきおこすからである。
【００２４】
このようなポッティング樹脂１００８のクラックを避けるために、従来は、ＩＣチップ１００４の封止樹脂の位置的なばらつきや、打ち抜きの際のばらつきあるいは打ち抜き用金型の刃の打ち抜きマージン等を見込んで、一つの実装パッケージとして打ち抜く領域の面積を、最低必要面積よりもかなり大きく取って設計してある。
【００２５】
例えば金型の刃が  ０．５ｍｍであれば、その刃の落とし込みの精度や部材の出来上がり精度などに対応して、少なくとも約  １ｍｍ幅以上もの余分な領域をカットラインの両側に取らなければならない。小型化がさらに厳しく要求される実装パッケージにおいては、そのベースフィルムの四辺全部に  １ｍｍ幅程度と言えども、余分に取ると、その合計の面積増大分は極めて大きく深刻な問題となる。
【００２６】
また、打ち抜き時にキャリアフィルム１００１がずれないように物理的に押える領域も必要であり、このための面積もさらに見込んでさらに大きめに設計しなければならない。
【００２７】
このようにして図１１等に示すようなカットラインと呼ばれる金型打ち抜き外形線１０１６が定められる。このような金型打ち抜き外形線１０１６にて一個ずつに打ち抜かれたベースフィルムおよびその上に設けられたＩＣチップ１００４やポッティング樹脂１００８が、一個の独立した実装パッケージとして残るのである。従って、この金型打ち抜き外形線１０１６内のベースフィルムの面積はテープキャリアパッケージの外形寸法を実質的に決定付けるので、上記のように必要な面積よりも大幅に大きなものとなり、ＴＡＢ実装パッケージ１０１０の小型化の大きな妨げとなるという問題がある。。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来のテープキャリアパッケージ方式の実装パッケージにおいては、その外形を縦方向（長手方向）にも横方向（狭幅方向）にも小型化することが困難であるという問題があった。そしてこのような実装パッケージで実装された半導体装置を用いた液晶表示装置のような電子装置の小型化も困難であるという問題があった。
【００２９】
本発明は、このような問題を解決するために成されたもので、その目的は、液晶表示装置に用いられる液晶ドライバＩＣ、あるいは入出力端子数の極めて多い例えばゲートアレイのようなＬＳＩ等を極めて小型に実装した半導体装置を提供することにある。またそのような小型の実装形態の半導体装置を用いて、電子装置全体としてのさらなる小型化を実現した液晶表示装置のような電子装置を提供することにある。
【００３０】
【課題を解決するための手段および作用】
本発明に係る半導体装置は、第１に、ベースフィルムの一主面側に搭載されたＩＣチップと、該ＩＣチップから前記ベースフィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性のリードパターンと、前記ＩＣチップの少なくとも前記リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して封止する封止部材とを備えた半導体装置において、前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された一辺とは異なる前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されていることを特徴とする。
【００３１】
そしてこの半導体装置を、テープキャリアから切断して一つ一つの実装パッケージとし得、これを電子素子を有する回路基板に接続して用いたのが、本発明に係る電子装置である。
【００３２】
即ち、一般に長方形のＩＣチップをＴＡＢ方式で実装する場合、その長手方向の辺に接続端子として上記のリードパターンの端部を列設するが、その長手方向のベースフィルムの大きさを実質的に封止部材の大きさと殆ど同じまでに小型化することができ、実装パッケージとしての外形寸法のさらなる小型化を実現できる。
【００３３】
ここで、上記の「実質的に接する」とは、封止部材（ポッティング樹脂）の表面張力などによる形成誤差の範囲内で接している、という意味である。何故なら、封止部材は一般にエポキシ樹脂のような合成樹脂材料で形成されるので、この流動的な合成樹脂材料をＩＣチップ上にポッティングし硬化させる際に、その表面張力などにより封止部材の端辺はベースフィルムの縁の一辺から若干ずれる場合もあるからである。しかしこのずれは極めて小さいものであり、また本発明の趣旨からして無視できる誤差程度のものである。したがってこのような誤差も含めるために上記のように「実質的」と記述した。これは、請求項および実施例を含む本願明細書の全体に適用するものである。
【００３４】
なお、外形線の一部となるスリットは、前記封止領域の輪郭線と接している部分を含んでこのＩＣチップの一辺よりも長いスリットであって、このスリットの前記前記封止領域の輪郭線と接している辺は、前記封止部材と接している部分よりも接していない部分の方が前記ＩＣチップの側に向かって広い幅に形成されたスリットであるようにしてもよい。これを採用することにより、スリットに対応する部分を金型で切断しなくともベースフィルムを切断することができる。
【００３５】
従って金型による切断マージンを見込む必要がなくなるので、その分の面積をさらに小型化できるという利点がある。
【００３６】
また、テープキャリア又はそれを切断してなるベースフィルムの一主面側に搭載されたＩＣチップと、該ＩＣチップが搭載された搭載領域を間に挟んで両側に互いに間隔を隔てて配置され前記ＩＣチップに接続された導電性の第１のリード群および第２のリード群とを備えた半導体装置において、前記第１のリード群および第２のリード群のうち少なくとも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在するリードパターンとして形成されており、かつ該リードパターンは、外部との接続を取るための露出部を少なくとも前記搭載領域の内側の部分に備えている場合にも適用できる。
【００３７】
この場合には、半導体装置の外部との接続を取るためのリードパターンの露出部を、ＩＣチップが搭載された搭載領域の内側に、ほとんどＩＣチップ重なるように配置することで、この部分の実装パッケージとしての面積を、従来よりも飛躍的に小型化することができる。つまりＩＣチップの長手方向と交差する方向の、狭幅方向における実装パッケージとしての幅を飛躍的に小型化することができるのである。一例として実際に30％以上もの面積を小型化できることを本発明者は確認した。また、本発明に係る電子装置は、この半導体装置を用いて装置全体としても小型化を実現した電子装置である。
【００３９】
【実施例】
以下、本発明に係る半導体装置とその製造方法、およびそれを用いた電子装置である液晶表示装置の実施例を、図面に基づいて詳細に説明する。
【００４０】
（実施例１）
図１（ａ）は本発明に係る第１の実施例の半導体装置の構造の概要を示す図である。キャリアテープ１０１の上には、  ２ｍｍ×１０ｍｍのＬＳＩ（樹脂封止されているので図示省略）が搭載されている。そのＬＳＩは黒色の封止用エポキシ樹脂からなるポッティング樹脂１０２で封止されており、その封止領域は最大  ６ｍｍ×１４ｍｍである。
【００４１】
キャリアテープ１０１は、前記のＬＳＩが搭載領域上に搭載され、さらにこのＬＳＩがポッティング樹脂１０２で封止された後に、図示されない金型を用いてカットライン１０３に沿って打ち抜かれて、そのカットライン１０３内の一個の独立したベースフィルム１０４に形成されたＴＡＢ実装パッケージとなる。
【００４２】
キャリアテープ１０１には、打ち抜き工程よりも以前に、ＬＳＩの短辺（狭幅方向、つまり図中縦方向）と平行な方向であってその樹脂封止領域の左右両端に沿ってスリット１０５が形成されている。そのスリット１０５大きさは  ０．６ｍｍ×１０ｍｍである。
【００４３】
上記の打ち抜きを行なう際に、ポッティング樹脂１０２で封止される封止領域の狭幅方向（図中縦方向）の左右  ２辺に接する部分のカットライン１０３は、キャリアテープ１０１に穿設されたスリット１０５によって既にカットされた状態になっているので、この部分は打ち抜く必要がない。
【００４４】
しかも、そのポッティング樹脂１０２の狭幅方向（図中縦方向）の左右  ２辺は、キャリアテープ１０１に穿設されたスリット１０５によって封止樹脂の左右方向の延進が制御されて、すでに必要にして十分な寸法の外形に形成されている。従ってこの部分には打ち抜きの際の金型の刃に対応した打ち抜きマージンやベースフィルム１０４を押さえるための従来の余分な面積のベースフィルム１０４が必要なくなる。
【００４５】
従って、本発明に係る半導体装置の実装パッケージ方式においては、少なくとも上記の余分な面積の分、実装パッケージとして小型化することができる。
【００４６】
なお、図１（ｂ）に示すように、スリット１０５をキャリアテープ１０１の出力領域まで延長した長さに穿設して、金型による打ち抜きをＴＡＢ実装パッケージの入力側のアウターリード群１０６が列設された側と、出力側のアウターリード群１０７が列設された側との  ２つの長辺（図１（ｂ）でベースフィルム１０４の上下両辺）のみとすることも可能である。
【００４７】
このようなスリット１０５を採用することにより、ＴＡＢ実装パッケージの入出力端子が列設されていない  ２辺（図１（ｂ）中で左右両辺）は金型で打ち抜く必要がなくなる。従って、図１（ａ）に示したような左右両端にも一部打ち抜きが必要な部分が存在するカットライン１０３で打ち抜く場合よりも、その金型による打ち抜きマージンやベースフィルム１０４を押さえるための面積を不要とすることができる分、ベースフィルム１０４の外形寸法をさらに小型化することができる。
【００４８】
（実施例２）
図２は本発明に係る第２の実施例の半導体装置の構造の概要を示す図である。なお、図２においては、第１の実施例で説明した部位と同様の部位については、図１と同じ符号を付して示している。
【００４９】
上記の第１の実施例においては、スリット１０５を図１中の縦方向にほぼ直線的な外形に穿設した場合について示した。この第２の実施例においては、スリット１０５はポッティング樹脂１０２の端部（コーナー部分）に対応する図２中に符号Ａで示した部分の幅が、ポッティング樹脂１０２のコーナーに沿ってベースフィルム１０４の内側向きに  ０．７ｍｍに広がった形状に穿設したことを特徴としている。
【００５０】
このキャリアテープ１０１を必要な形状に打ち抜く際に、カットライン２０１をスリット２０２ａ、ｂの狭い方の幅つまり  ０．６ｍｍ幅の延長線と一致させることにより、このテープキャリアパッケージの縦方向の外形寸法を封止領域２３の最外郭と一致させることができる。その結果、実装パッケージとしての外形寸法をさらに小型化することができる。
【００５１】
（実施例３）
図３は本発明に係る第３の実施例の半導体装置の、ＩＣチップを搭載する以前のテープキャリアの状態に置ける構造の概要を示す図である。図４（ａ）はこのテープキャリア３０２にＩＣチップ３０３を搭載し、ポッティング樹脂１０２で封止した状態を示す平面図である。
【００５２】
図４（ｂ）はそのＢ−Ｂ´断面図、図４（ｃ）はそのＣ−Ｃ´断面図である。なお図３、図４においては、第１の実施例および第２の実施例で述べた部位と同様の部位については、図１、図２と同じ符号を付して示している。
【００５３】
上記の第１の実施例および第２の実施例においては、左右  ２本のスリットを互いに連結することなく、ポッティング樹脂を間に置いてその両側に穿設した別の  ２本のスリットとした場合について示した。この第３の実施例においては、第２の実施例で示した左右  ２本のスリット２０２ａ，２０２ｂを、その間に穿設されたデバイスホール３０１を介して連結したことを特徴としている。
【００５４】
テープキャリア３０２に搭載されるＬＳＩ３０３の外形寸法は  ２ｍｍ×１０ｍｍである。このＬＳＩ３０３の外形寸法に対応して、デバイスホール３０１の大きさが設定される。そのデバイスホール３０１からＬＳＩの長手方向（図３中横方向）の  １辺までの距離は約  ０．３ｍｍである。つまりデバイスホール３０１の縦方向の幅は約  ２．６ｍｍである。
【００５５】
このような技術を採用することによっても、上記の第２の実施例の場合と同様に、実装パッケージとしての外形寸法をさらに小型化することができる。
【００５６】
（参考）図５（ａ）、（ｂ）、図６は、次に述べる実施例（実施例４）に対する参考としての態様図であり、図５（ａ）は半導体装置のＩＣチップが搭載された側、図５（ｂ）はその裏側の、構造の概要を示す平面図であり、図６はその断面図である。なお、図５、図６においては、上記の第１〜第３の実施例で説明した部位と同様の部位については、図１〜４と同じ符号を付して示している。
【００５７】
ポリイミド製のキャリアフィルム４０１には、所定の搭載領域４０２の上に搭載されるＩＣチップ３０３の接続用のバンプ４０３に対応する位置ごとに、開口４０４が穿設されている。この開口４０４は、キャリアフィルム４０１の該当部分にフォトエッチングあるいはレーザー加工を施して穿設することができる。
【００５８】
入力側のアウターリード群１０６および出力側のアウターリード群１０７は、キャリアフィルム４０１のＩＣチップ３０３が搭載される主面とは裏側の主面に形成される。
【００５９】
出力側のアウターリード群１０７のＩＣチップ３０３寄りの先端部は、搭載領域４０２の内側にまで延在して配置されている。この搭載領域４０２の内側に延在する部分のアウターリード群１０７のパターンは、外部との接続を取るために、封止樹脂やはんだレジスト層等で覆われずに露出するように形成されている。
【００６０】
このアウターリード群１０７およびアウターリード群１０６はフォトエッチングでパターニングされる。
【００６１】
そしてキャリアフィルム４０１とＩＣチップ３０３との間およびＩＣチップ３０３のバンプ４０３が形成された主面とは反対側の主面全体を覆うように、封止樹脂をポッティングしてポッティング樹脂１０２が形成されている。
【００６２】
このポッティング樹脂１０２は、ＩＣチップ３０３の外部にさらされる部分およびバンプ４０３周辺の接続部分を保護するためのものである。
【００６３】
このような半導体装置の実装パッケージの製作方法は以下の通りである。
【００６４】
キャリアフィルム４０１となるポリイミドフィルムは厚さ２５μｍのものを用いた。初めにこのポリイミドフィルムの片面にＣｕを蒸着法で  ０．２μｍ程度の厚さに被着させて、導体層を形成する。
【００６５】
続いて、この導体層の上にレジストを塗布し、レジストの露光と現像を行なって、アウターリード群１０７およびアウターリード群１０６に対応したパターンのレジストパターンを形成する。そしてレジストの無い部分にＣｕ層を電解めっき法によって被着する。本実施例では１８μｍの厚さに形成した。
【００６６】
続いて、ＩＣチップ３０３のバンプ４０３に対応する部分に開口４０４を穿設する。この開口４０４は、アウターリード群１０７の直下に該当する部分にレジストでバンプ４０３に対応したパターンを形成し、このレジストを用いてポリイミドフィルムにエッチングを行なってバンプ４０３に対応する部分のポリイミドフィルムを除去することで穿設することができる。
【００６７】
そしてレジストを剥離した後、上記のＣｕ層等が形成されたポリイミドフィルム全体をエッチング液に浸して、はじめに蒸着したＣｕを除去することで、テープキャリアが完成する。
【００６８】
完成したテープキャリアには、必要に応じて、Ｃｕ表面には各種の金属のめっきを施し、その上にソルダーレジスト等を塗布することも可能である。
【００６９】
そして上記のように加工されたキャリアフィルム４０１の搭載領域４０２にＩＣチップ３０３を搭載する。本実施例においてはＩＣチップ３０３のバンプ４０３を高さ４０μｍのはんだバンプとし、テープキャリアとの接続は、はんだ付けによって行なった。
【００７０】
そして、キャリアフィルム４０１とＩＣチップ３０３との間およびＩＣチップ３０３のバンプ４０３が形成された主面とは反対側の主面全体を覆うように、封止樹脂をポッティングしてポッティング樹脂１０２を形成する。このポッティング樹脂１０２は、ＩＣチップ３０３の外部に晒される部分およびバンプ４０３周辺の接続部分を保護するために設けられる。
【００７１】
なお、ＩＣチップ３０３の搭載方法としては、この他にも、ＡＣＦ（異方性導電接着剤）を用いる方法や、Ａｇペーストなどの導電性接着剤を用いる方法などもある。いずれの搭載方法を採用してもよい。
【００７２】
あるいは、回路基板の配線（Ｃｕ等が用いられる）上にＳｎ又ははんだめっきを施し、ＩＣのバンプ電極をＡｕとして、これらの共晶接続を利用する方法を用いても良い。
【００７３】
（実施例４）図７は本発明に係る第４の実施例の半導体装置の構造の概要を示す平面図である。なお、図７においては、上記の第１〜第３の実施例および参考態様で説明した部位と同様の部位については、図１〜６と同じ符号を付して示している。
【００７４】
この第４の実施例においては、ＴＡＢ実装パッケージとしての縦方向および横方向を共に小型化した場合について示す。即ち、図７中でＴＡＢ実装パッケージの実質的な外形寸法を決定するベースフィルム１０４の縦横両方向に小型化を実現させた。これは、第１〜第３の実施例で示した横方向の小型化技術と上記で示した縦方向の小型化技術とを、一つの半導体装置の実装パッケージに併せ用いたもので、本発明に係る半導体装置として最良の態様の実施例である。
【００７５】
即ち、図７における横方向の小型化は、ポッティング樹脂１０２の左右両端に接してベースフィルム１０４の縦方向の辺の長さよりも長い形状に穿設されたスリット１０５´によって第１の実施例等と同様に実現される。また図７における縦方向の小型化は、出力側のアウターリード群１０７の内側の先端部が、ＩＣチップ３０３の搭載領域４０２の内側まで、つまりＩＣチップ３０３の下にまで延在するように形成されており、この部分で外部との接続を取る構造により、実現される。
【００７６】
このような構造により、縦方向にも横方向にも小型化することができ、半導体装置の実装パッケージとしての小型化を従来よりも飛躍的に小型化することができる。
【００７７】
（実施例５）この第５の実施例においては、本発明による半導体装置を液晶表示パネルに実装して小型の電子装置として液晶表示装置を形成した場合の一例を示す。
【００７８】
図８は、本発明に係る電子装置としての液晶表示装置を示す斜視図である。図９は特にその液晶表示装置における半導体装置の実装方式を中心として示す図である。
【００７９】
液晶表示パネル６０１本体は、一般的な液晶表示パネルと同様のものである。その液晶表示パネル６０１の下側の基板の周縁部６０２には、Ａｌ薄膜のような金属薄膜からなる短冊状の接続用電極端子６０３が形成されている。この接続用電極端子６０３の上に、上記の第５の実施例で示した半導体装置のアウターリード１０７の接続用に露出した部分を位置合わせした後、ＡＣＦ（異方性導電接着剤）６０４を介して接続用電極端子６０３とアウターリード群１０７とをそれぞれ電気的および機械的に接続する。
【００８０】
本実施例では、実装パッケージ６０６の入力側のアウターリード１０６は上記の各実施例と同様にＩＣチップ３０３の周辺部よりも外側に引き出して形成しておいたので、この入力側のアウターリード１０６は液晶表示パネル６０１の外側に突出する。この部分を用いて、駆動回路基板６０５との接続を行なう。
【００８１】
そして、液晶表示パネル６０１から突出しており駆動回路基板６０５に至る間のアウターリード１０６は、金属製であることから折り曲げることができる。そこで、図１０に示すように、アウターリード１０６をその先に接続された駆動回路基板６０５と共に液晶表示パネル６０１の表示側とは反対の裏側に向かって折り曲げる。このようにすれば、液晶表示パネル６０１の表示画面の表示領域の外側の額縁部分の面積を実質的にほとんど無くすことができる。何となれば、そのように折り曲げることにより、駆動回路基板６０５の面積は液晶表示パネル６０１の背面あるいはその背後のバックライト（図示省略）の厚さのなかに吸収することができるからである。
【００８２】
また、図１５に示すように、アウタリード群１０６、１０７のうち少なくとも一方は、ＩＣチップの平行して相対する  ２つの長辺のそれぞれから導出されたパターンとして、例えば図１５に示すような千鳥状配置に形成してもよい。あるいはさらに、図１６に示すように、ＩＣチップ３０３の縦方向の辺からもリード
、ＩＣチップの一辺に配列される接続バンプの密度を低く抑えることができ、接続を容易化することができる。
【００８３】
【発明の効果】
以上、詳細な説明で明示したように、本発明によれば、入出力端子数の極めて多い例えば液晶表示装置に用いられる液晶ドライバＩＣやゲートアレイのようなＬＳＩ等を極めて小型に実装することができる。また、それを用いて、電子装置全体としてのさらなる小型化を実現した液晶表示装置のような電子装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１の実施例の半導体装置の構造の概要を示す図である。
【図２】本発明に係る第２の実施例の半導体装置の構造の概要を示す図である。
【図３】本発明に係る第３の実施例の半導体装置の、ＩＣチップを搭載する以前のテープキャリアの状態に置ける構造の概要を示す図である。
【図４】テープキャリア３０２にＩＣチップ３０３を搭載し、ポッティング樹脂１０２で封止した状態を示す平面図である。
【図５】第４の実施例に対する参考としての半導体装置の構造の概要を示す平面図である。
【図６】第４の実施例に対する参考としての半導体装置の構造の概要を示す断面図である。
【図７】本発明に係る第４の実施例の半導体装置の構造の概要を示す平面図である。
【図８】本発明に係る電子装置としての液晶表示装置を示す斜視図である。
【図９】本発明に係る液晶表示装置の特に半導体装置の実装方式を中心として示す図である。
【図１０】アウターリード１０６をその先に接続された駆動回路基板６０５と共に液晶表示パネル６０１の表示側とは反対の裏側に向かって折り曲げた状態を示す図である。
【図１１】従来のＴＡＢ実装パッケージで実装された半導体装置を示す図である。
【図１２】従来のＴＡＢ実装パッケージで実装された半導体装置を示す図である。
【図１３】従来のＴＡＢ実装パッケージで実装された半導体装置を用いた液晶表示装置を示す図である。
【図１４】従来のＴＡＢ実装パッケージで実装された半導体装置を用いた液晶表示装置の特に半導体装置の実装部分を示す図である。
【図１５】ＩＣチップの  ２長辺から千鳥状にリードが導出された方式のＩＣチップに本発明を適用した場合を示す図である。
【図１６】ＩＣチップの  ２長辺から千鳥状にリードが導出され、かつ短辺側からもリードが導出された方式のＩＣチップに本発明を適用した場合を示す図である。
【符号の説明】
１０１………キャリアテープ、１０２………ポッティング樹脂、１０３………カットライン、１０４………ベースフィルム、１０５………スリット、１０６………入力側のアウターリード群、１０７………出力側のアウターリード群
【図１】
0003569025.tif 000002
【図２】
0003569025.tif 000003
【図３】
0003569025.tif 000004
【図４】
0003569025.tif 000005
【図５】
0003569025.tif 000006
【図６】
0003569025.tif 000007
【図７】
0003569025.tif 000008
【図８】
0003569025.tif 000009
【図９】
0003569025.tif 000010
【図１０】
0003569025.tif 000011
【図１１】
0003569025.tif 000012
【図１２】
0003569025.tif 000013
【図１３】
0003569025.tif 000014
【図１４】
0003569025.tif 000015
【図１５】
0003569025.tif 000016
【図１６】
0003569025.tif 000017