【手続補正書】
【提出日】平成29年6月19日(2017.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上の欠陥を検出するためのコンピュータ実装方法であって、
ウエハパターンに基づいてウエハに対する保護領域の特性を判定することであって、前記特性を判定することが、前記保護領域を判定すること、前記保護領域の各々に対する前記ウエハパターン内の少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別すること、前記保護領域のうちのいずれかが自由形態の形状を有するのを可能にすること、前記保護領域のうちの少なくとも１つに対する２つ以上の関心対象となるパターンを選択すること、及び前記保護領域のうちのいずれかが、任意のフレーム画像よりも大きくなるのを可能にすることを含む、判定することと、
検査システムを用いて、前記ウエハに対して生成された画像内の関心対象となるパターンを検索することと、
前記画像内の前記保護領域の位置を判定し、かつ前記画像内の前記保護領域の前記位置に基づいて、１つ以上の欠陥検出方法を前記画像に適用することによって、前記ウエハ上の欠陥を検出することと、を含み、前記判定すること、前記検索すること、及び前記検出することが、１つ以上のコンピュータシステムを用いて実施される、前記方法。
【請求項２】
前記保護領域のうちの１つの前記自由形態の形状が、前記保護領域のうちの前記１つに含まれる前記ウエハパターンの形状と実質的に同じである、請求項１に記載の前記方法。
【請求項３】
前記自由形態の形状が長方形の形状ではない、請求項１に記載の前記方法。
【請求項４】
前記ウエハパターンに基づいて前記ウエハに対する前記保護領域の前記特性を判定することが、前記検査システムを用いて、前記ウエハまたは別のウエハを撮像することによって取得される前記ウエハパターンの画像に基づいて、前記保護領域の前記特性を判定することを含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項５】
前記特性を判定することが、前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々の１つ以上の画像を記憶することをさらに含み、前記ウエハに対する前記画像内の前記保護領域の前記位置を判定することが、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々の位置を判定することを含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項６】
前記特性を前記判定することが、前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々の位置を、その対応する保護領域に対して識別することをさらに含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項７】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々が、前記保護領域のうちの１つのみと関連付けられる、請求項１に記載の前記方法。
【請求項８】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別することが、前記画像のそれぞれの保護領域に対応する前記画像の一部内で固有である、１つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項９】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別することが、互いに固有である１つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別することが、非対称である１つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを前記識別することが、前記２つ以上の関心対象となるパターンの各々が互いに独立して使用されて、前記画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの前記位置を判定することができるように、前記保護領域のうちの前記少なくとも１つに対する前記２つ以上の関心対象となるパターンを選択することを含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項１２】
前記保護領域のうちの前記少なくとも１つに対して選択される前記２つ以上の関心対象となるパターンが、前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが前記ウエハに対する前記画像のうちの２つ以上にまたがるとき、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちの少なくとも１つが前記２つ以上の画像の各々内に存在するように選択される、請求項１に記載の前記方法。
【請求項１３】
前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが前記２つ以上の画像にまたがるとき、前記保護領域の前記位置を判定することが、前記２つ以上の画像のうちの第１の画像内に位置する、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちのいずれかに基づいて、前記２つ以上の画像のうちの前記第１の画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの第１の部分の位置を判定することと、前記２つ以上の画像のうちの第２の画像内に位置する、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちのいずれかに基づいて、前記２つ以上の画像のうちの前記第２の画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの第２の部分の位置を判定することと、を含む、請求項１２に記載の前記方法。
【請求項１４】
前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが前記２つ以上の画像にまたがるとき、前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが、前記２つ以上の画像にわたって、前記ウエハ上のｘ方向、前記ウエハ上のｙ方向、または前記ウエハ上のｘ及びｙ方向に分割される、請求項１２に記載の前記方法。
【請求項１５】
前記保護領域の前記位置を判定することが、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの位置を識別することと、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの前記位置に基づいて、前記ウエハに対する前記画像内の前記保護領域の前記位置を判定することと、を含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項１６】
前記保護領域の前記位置を判定することが、前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの画像を、前記ウエハに対する画像、及び前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの画像と整合させることと、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちのどれが前記整合に対して最善の結果を有するかを識別することと、最善の結果を有する前記関心対象となる前記パターンを伴う前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの前記位置を判定することと、含む、請求項１に記載の前記方法。
【請求項１７】
ウエハ上の欠陥を検出するためのコンピュータ実装方法を実施するためのコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を記憶する非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ実装方法が、
ウエハパターンに基づいてウエハに対する保護領域の特性を判定することであって、前記特性を判定することが、前記保護領域を判定すること、前記保護領域の各々に対する前記ウエハパターン内の少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別すること、前記保護領域のうちのいずれかが自由形態の形状を有するのを可能にすること、前記保護領域のうちの少なくとも１つに対する２つ以上の関心対象となるパターンを選択すること、及び前記保護領域のうちのいずれかが、任意のフレーム画像よりも大きくなるのを可能にすることを含む、判定することと、
検査システムを用いて、前記ウエハに対して生成された画像内の関心対象となるパターンを検索することと、
前記画像内の前記保護領域の位置を判定し、かつ前記画像内の前記保護領域の前記位置に基づいて、１つ以上の欠陥検出方法を前記画像に適用することによって、前記ウエハ上の欠陥を検出することと、を含む、前記非一時的コンピュータ可読媒体。
【請求項１８】
ウエハ上の欠陥を検出するように構成されるシステムであって、
ウエハに対する画像を生成するように構成される検査サブシステムと、
コンピュータシステムであって、
ウエハパターンに基づいて前記ウエハの保護領域の特性を判定することであって、前記特性を判定することが、前記保護領域を判定すること、前記保護領域の各々に対する前記ウエハパターン内の少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別すること、前記保護領域のうちのいずれかが自由形態の形状を有するのを可能にすること、前記保護領域のうちの少なくとも１つに対する２つ以上の関心対象となるパターンを選択すること、及び前記保護領域のうちのいずれかが、任意のフレーム画像よりも大きくなるのを可能にすることを含む、判定すること、
前記ウエハに対して生成された前記画像内の関心対象となるパターンを検索すること、ならびに
前記画像内の前記保護領域の位置を判定し、かつ前記画像内の前記保護領域の前記位置に基づいて、１つ以上の欠陥検出方法を前記画像に適用することによって、前記ウエハ上の欠陥を検出すること、を行うために構成されるコンピュータシステムと、を備える、前記システム。
【請求項１９】
前記保護領域のうちの１つの前記自由形態の形状が、前記保護領域のうちの前記１つに含まれる前記ウエハパターンの形状と実質的に同じである、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２０】
前記自由形態の形状が長方形の形状ではない、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２１】
前記ウエハパターンに基づいて前記ウエハに対する前記保護領域の前記特性を判定することが、前記検査サブシステムを用いて、前記ウエハまたは別のウエハを撮像することによって取得される前記ウエハパターンの画像に基づいて、前記保護領域の前記特性を判定することを含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２２】
前記特性を判定することが、前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々の１つ以上の画像を記憶することをさらに含み、前記ウエハに対する前記画像内の前記保護領域の前記位置を判定することが、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々の位置を判定することを含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２３】
前記特性を前記判定することが、前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々の位置を、その対応する保護領域に対して識別することをさらに含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの各々が、前記保護領域のうちの１つのみと関連付けられる、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２５】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別することが、前記画像のそれぞれの保護領域に対応する前記画像の一部内で固有である、１つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２６】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別することが、互いに固有である１つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２７】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを識別することが、非対称である１つ以上の関心対象となるパターンを識別することを含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２８】
前記少なくとも１つの関心対象となるパターンを前記識別することが、前記２つ以上の関心対象となるパターンの各々が互いに独立して使用されて、前記画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの前記位置を判定することができるように、前記保護領域のうちの前記少なくとも１つに対する前記２つ以上の関心対象となるパターンを選択することを含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項２９】
前記保護領域のうちの前記少なくとも１つに対して選択される前記２つ以上の関心対象となるパターンが、前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが前記ウエハに対する前記画像のうちの２つ以上にまたがるとき、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちの少なくとも１つが前記２つ以上の画像の各々内に存在するように選択される、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項３０】
前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが前記２つ以上の画像にまたがるとき、前記保護領域の前記位置を判定することが、前記２つ以上の画像のうちの第１の画像内に位置する、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちのいずれかに基づいて、前記２つ以上の画像のうちの前記第１の画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの第１の部分の位置を判定することと、前記２つ以上の画像のうちの第２の画像内に位置する、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちのいずれかに基づいて、前記２つ以上の画像のうちの前記第２の画像内の前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの第２の部分の位置を判定することと、を含む、請求項２９に記載の前記システム。
【請求項３１】
前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが前記２つ以上の画像にまたがるとき、前記保護領域のうちの前記少なくとも１つが、前記２つ以上の画像にわたって、前記ウエハ上のｘ方向、前記ウエハ上のｙ方向、または前記ウエハ上のｘ及びｙ方向に分割される、請求項２９に記載の前記システム。
【請求項３２】
前記保護領域の前記位置を判定することが、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの位置を識別することと、前記ウエハに対する前記画像内の前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの前記位置に基づいて、前記ウエハに対する前記画像内の前記保護領域の前記位置を判定することと、を含む、請求項１８に記載の前記システム。
【請求項３３】
前記保護領域の前記位置を判定することが、前記少なくとも１つの関心対象となるパターンの画像を、前記ウエハに対する画像、及び前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの画像と整合させることと、前記２つ以上の関心対象となるパターンのうちのどれが前記整合に対して最善の結果を有するかを識別することと、最善の結果を有する前記関心対象となる前記パターンを伴う前記保護領域のうちの前記少なくとも１つの前記位置を判定することと、含む、請求項１８に記載の前記システム。