(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を減圧下で処理する処理室と、この処理室に隣接するロードロック室と、このロードロック室の外側に配置されカセットとロードロック室との間で基板の授受を行う搬送ロボットとからなり、前記ロードロック室内には搬送ロボットとの間で基板を授受するとともに、基板を処理室内に搬入し、また処理室内から搬出するハンドラーユニットが設けられ、更に前記搬送ロボット１台に対し、処理室とロードロック室とは複数対配置されることを特徴とするロードロック室を備えた基板の処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のロードロック室を備えた基板の処理装置において、前記ハンドラーユニットはアームを回転動または直線動せしめることで、基板を保持するハンド部を処理室に対し出し入れすることを特徴とするロードロック室を備えた基板の処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載のロードロック室を備えた基板の処理装置において、前記ハンドラーユニットは２本のアームを有し、これら２本のアームは独立して回転動または直線動することを特徴とするロードロック室を備えた基板の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェーハやガラス基板等の基板に減圧下でアッシング処理等を行う処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
アッシング処理等の減圧下での処理を効率良く行うため、従来から処理室にロードロック室を付設し、処理室で処理をしている間に、次に処理する基板をロードロック室に入れ、ロードロック室を処理室と同圧まで減圧して待機し、処理室での処理が終了したら、処理室内の基板をロードロック室に設けたロボットにより取り出すとともにロードロック室で待機していた未処理の基板を処理室内に搬入し、処理室とロードロック室間をシャッターで遮断し、この後、ロードロック室と外部とを遮断しているシャッターを開けてロードロック室内にある既処理の基板をロボットにより外部に搬出するとともに新たな基板をロードロック室内に取り入れるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述したようにロードロック室を備えた従来の処理装置にあっては、ロードロック室内に汎用性のあるロボットを配置し、このロボットによってカセットとの間の基板の授受及び処理室に対する基板の搬入と搬出を行うようにしている。このため、ロボットは機構が複雑且つ大掛りとなり、ロードロック室内の容積が大きくなる。
その結果、ロードロック室内を処理室と同圧にするまでに時間がかかり、またロードロック室内を減圧するために大きな動力が必要とされる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明は、処理装置を、基板を減圧下で処理する処理室と、この処理室に隣接するロードロック室と、このロードロック室の外側に配置される搬送ロボットにて構成し、前記ロードロック室内には搬送ロボットとの間で基板を授受するとともに、基板を処理室内に搬入し、また処理室内から搬出するハンドラーユニットを設けた。
【０００５】
処理装置としては、搬送ロボット１台に対し、処理室とロードロック室とを複数対配置して、効率良く処理することが可能である。
【０００６】
また、前記ハンドラーユニットの構造としては、アームを回転動または直線動せしめることで、基板を保持するハンド部を処理室に対し出し入れするものが考えられ、特にアームを２本にし、これら２本のアームを独立して回転動または直線動せしめることで処理を効率良く行うことが可能になる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る処理装置の全体斜視図、図２は同処理装置の平面図である。
【０００８】
処理装置は１台の搬送ロボット１に対し２つの処理室２，２を配置し、各処理室２にはチャンバー３を設けるとともにはロードロック室４を付設している。
ロードロック室４と処理室２との間にはシャッター５が設けられ、またロードロック室４の前記搬送ロボット１に対向する面には外部との間を遮断するシャッター６が設けられている。尚、一対のロードロック室４，４間は隔壁７で遮断されている。
【０００９】
前記搬送ロボット１は回動可能なテーブル８上に径方向に進退動自在なアーム１０を備え、このアーム１０の先端には基板Ｗの受け部１１を設け、テーブル８またはアーム１０のいずれかを昇降動可能とする。尚、図面ではアーム１０の受け部１１のみを示しているが、アームを２本とし、夫々を独立して操作可能としてもよい。
【００１０】
一方、ロードロック室４内には基板Ｗを処理室２内に搬入し、また処理室２内から基板Ｗを搬出するハンドラーユニット１２を配置している。
ハンドラーユニット１２は軸１３に上下２本の湾曲したアーム１４の基端部を水平面内で回動自在に支持し、各アーム１４の先端にはハンド部１５を設けている。
【００１１】
ハンド部１５は略円形をなし、その周縁には突条１６が形成され、この突条１６の一部には前記受け部１１が出入りするためのフラット部１７が形成され、更に中心部から外周部に向かって径方向の切欠部１８が形成されている。
【００１２】
以上の構成からなる処理装置による処理手順を説明する。尚、説明は一方の処理室２とロードロック室４について行い、また処理室２には未処理の基板Ｗが収納され、ロードロック室４内の上側のハンド部１５に未処理の基板Ｗが保持され、下側のハンド部１５は空の状態で、シャッター５，６はいずれも減圧下閉状態を出発点として説明する。
【００１３】
上記の状態のまま、処理室２のチャンバー３内で未処理の基板Ｗに対し、減圧下でアッシング等の所定の処理を行い、この処理が終了したならば、シャッター５を開ける。このとき処理室２とロードロック室４の内部圧力は等しくなっている。
【００１４】
次いで、ハンドラーユニット１２の下側のアーム１４を回動せしめて空のハンド部１５を処理室２内に挿入して処理済の基板Ｗを受け取り、再びアーム１４を反対方向に回動せしめて処理済の基板Ｗを保持したハンド部１５をロードロック室４内に戻す。
空のハンド部１５が処理済の基板Ｗを受け取る際、或いはハンド部１５が保持している未処理の基板Ｗを処理室２側に受け渡す際には、処理室２内の図示しないチャックがハンド部１５の切欠部１８に入り込み、この状態でチャックが相対的に上下動することで基板Ｗの移載が行われる。
【００１５】
この後、ロードロック室４の上側のアーム１４を回動せしめて未処理の基板Ｗを保持しているハンド部１５を処理室２内に挿入して処理室２内のチャックに未処理の基板Ｗを受け渡し、再び上側のアーム１４を反対方向に回動せしめて空のハンド部１５をロードロック室４内に戻す。
【００１６】
次いで、シャッター５を閉じ、処理室２のチャンバー３内でアッシング処理等を行うとともに、この間にロードロック室４を大気圧に戻し、シャッター６を開け、搬送ロボット１を操作してロードロック室４内のハンド部１５から処理済の基板Ｗを受け取り、この処理済の基板Ｗをカセット１９に戻す。またこれと並行してカセット内の未処理の基板Ｗをロードロック室４内の空のハンド部１５に受け渡す。
【００１７】
ここで、搬送ロボット１とハンドラーユニット１２との間の基板Ｗの授受は、搬送ロボット１の受け部１１をハンド部１５のフラット部１７に一致させて重ねると、突条１６側に基板Ｗが保持されるので、この状態で受け部１１をフラット部１７を介して引き抜くことで受け部１１からハンド部１５への基板Ｗの受け渡しを行い、ハンド部１５から受け部１１への基板Ｗの受け渡しは、基板Ｗが突条１６に保持されている状態で、基板Ｗ下面とハンド部１５表面との間には隙間が形成されるので、フラット部１７の部分から受け部１１を差し入れ、次いで受け部１１を上昇させることでハンド部１５から受け部１１に基板Ｗを受け取る。
【００１８】
以上の処理が終了したら、シャッター６を閉じロードロック室４内を処理室２と同圧になるまで減圧し、処理室２内での処理が終了するまで待機し、処理室２内での処理が終了したら、前記と同様の操作を繰り返す。
【００１９】
図３は別実施例に係る処理装置の平面図であり、前記実施例がアーム１４を回動せしめることでハンド部１５を処理室２内に出し入れする構成にしているのに対し、この実施例にあってはアーム２０の基端部をガイドロッド２１に摺動自在に係合し、モータ２２の駆動によってアーム２０をガイドロッド２１に沿って直線動せしめることでハンド部１５を処理室２内に出し入れする構成にしている。
【００２０】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、従来ロードロック室内に設けていたロボットをロードロック室の外に配置し、ロードロック室内には、処理室に対し基板を搬入・搬出する単純な機構のハンドラーユニットを設けたので、ロードロック室の容積を小さくすることができ、減圧に要する時間を短縮でき、また真空ポンプ等の容量も小さくて済む。
【００２１】
また、本発明の構成とすることで、ロボット１台に対しロードロック室を付設した処理室を複数配置することができ、装置全体とし占めるスペースを小さくすることができる。
【００２２】
また、ロードロック室内に配置されるハンドラーユニットとして、独立して動作する２本のアームを持たせることで、処理室内への搬入、搬出及び待機を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る処理装置の全体斜視図
【図２】同処理装置の平面図
【図３】別実施例に係る処理装置の平面図
【符号の説明】
１…搬送ロボット、２…処理室、３…チャンバー、４…ロードロック室、５，６…シャッター、１０…搬送ロボットのアーム、１１…受け部、１２…ハンドラーユニット、１４…ハンドラーユニットのアーム、１５…ハンド部、１６…突条、１７…フラット部、１８…切欠部、Ｗ…基板。
【図１】
0003549674.tif 000002
【図２】
0003549674.tif 000003
【図３】
0003549674.tif 000004