(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理水に対してオゾンを注入するオゾン注入部と、このオゾン注入部にオゾンを送るオゾン発生器とを有するオゾン注入装置の制御システムにおいて、
オゾン注入部より上流側に設けられ、励起波長３４５ｎｍで蛍光スペクトルを求め、蛍光波長４２５ｎｍで励起スペクトルを求めることにより、被処理水の相対蛍光強度を測定する蛍光分析計と、
予め相対蛍光強度とトリハロメタン生成能との関係式、オゾン注入率と相対蛍光強度残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値が内蔵され、蛍光分析計からの測定値、相対蛍光強度とトリハロメタン生成能との関係式、オゾン注入率と相対蛍光強度残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値に基づいてトリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率を求める蛍光強度データ処理装置と、
被処理水の流量を測定する流量計と、
オゾン発生器への送気ガス量を測定するガス流量計と、
蛍光強度データ処理装置からの必要オゾン注入率と、流量計からの被処理水流量と、ガス流量計からの送気ガス量に基づいて発生オゾン濃度の目標値を求めるとともに、この発生オゾン濃度の目標値をオゾン発生器に出力するオゾン注入制御装置と、
を備えたことを特徴とするオゾン注入装置の制御システム。
【請求項２】
被処理水に対してオゾンを注入するオゾン注入部と、このオゾン注入部にオゾンを送るオゾン発生器とを有するオゾン注入装置の制御システムにおいて、
オゾン注入部より上流側に設けられ、測定波長３４５ｎｍにおける被処理水の吸光度を測定する分光光度計と、
予め吸光度とトリハロメタン生成能との関係式、およびオゾン注入率と吸光度の残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値が内蔵され、分光光度計からの測定値、吸光度とトリハロメタン生成能との関係式、オゾン注入率と吸光度の残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値に基づいてトリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率を求める吸光度データ処理装置と、
被処理水の流量を測定する流量計と、
オゾン発生器への送気ガス量を測定するガス流量計と、
吸光度データ処理装置からの必要オゾン注入率と、流量計からの被処理水流量と、ガス流量計からの送気ガス量に基づいて発生オゾン濃度の目標値を求めるとともに、この発生オゾン濃度の目標値をオゾン発生器に出力するオゾン注入制御装置と、
を備えたことを特徴とするオゾン注入装置の制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、下水二次処理水、産業排水、食品排水等をオゾン処理するオゾン注入装置の制御システムに係り、とりわけ被処理水中のトリハロメタン生成能を常に安定して低減することができるオゾン注入装置の制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、水環境への関心の高まりを受けて下水二次処理水等の被処理水を高度処理するため、オゾン処理が導入されている。オゾン処理はオゾンの強力な殺菌力と酸化力を利用して、被処理水中の滅菌、色度除去（脱色）、臭気成分の分解、ＣＯＤ（化学的酸素要求量）の低減等を行なうものである。
【０００３】
図１１は下水二次処理水、産業排水、食品排水等を被処理水とする代表的な処理プロセスと従来のオゾンの注入装置を示すブロック図である。
【０００４】
図１１に示すように、処理プロセスは、被処理水（原水）に対して凝集処理を行なう処理手段１を備えている。凝集処理手段１で処理された被処理水は、その後、砂ろ過処理手段２、およびオゾン注入部３に順次送られ、砂ろ過処理手段２およびオゾン注入部３において各々処理されて処理水となる。
【０００５】
凝集処理手段１における処理は、被処理水中の溶存高分子有機物を凝集フロックとして水中に懸濁せるものであり、被処理水の性状に応じて省略されることもある。
【０００６】
砂ろ過処理手段２における処理は、水中の懸濁する浮游物を除去するものであり、原性の性状に応じて前記凝集処理手段１と砂ろ過処理手段２とを組み合せる替わりに、生物膜ろ過処理手段（図示せず）を設けてもよい。またオゾン注入部３は、被処理水中の臭気成分の除去や色度除去、ＣＯＤ削減、殺菌等を行なうものである。
【０００７】
また、図１１に示す処理プロセスでは、図示していないが、オゾン注入部３の後段に生物学的酸素要求量（ＢＯＤ）成分除去のため、生物活性炭（ＢＡＣ）処理手段を設置したり、オゾン処理水の殺菌を維持するために、処理水に塩素滅菌手段を設置する場合がある。
【０００８】
一方、図１１のブロックが示すように、オゾン注入部３を有する従来のオゾン注入装置の制御方法は、排オゾン濃度を指標とするものであり、あらかじめオゾン注入制御装置４に排オゾン濃度の上限目標値Ｐｕと下限目標値Ｐｄを設定しておき、これら上限目標値Ｐｕと下限目標値Ｐｄと排オゾン濃度計５の測定値Ｐｏとの関係から以下のようなフィードバック（ＦＢ）制御が行われる。
【０００９】
すなわちオゾン発生器６にて発生させたオゾンガスは、オゾン注入部３から被処理水に注入される。被処理水との気液接触の反応後、オゾンガスは排オゾンガスとして系外に排出される。この間、排オゾン濃度計５によって排オゾンガスの濃度が常時測定されている。
【００１０】
オゾン注入制御装置４は、排オゾン濃度計５における測定値Ｐｏに基づいて、Ｐｄ≦Ｐｏ≦Ｐｕの条件を満たしている間は、現在の発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが維持されるようオゾン発生器６へ信号を出力する。一方、Ｐｏ＜ｐｄの場合は、オゾンの注入量が不足であると判断され、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓを増加させるようオゾン制御装置４からオゾン発生器６へ信号を出力する。また、Ｐｕ＜Ｐｏの場合は、オゾンの注入量が過多であると判断され、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓを減少させるようにオゾン制御装置４からオゾン発生器６へ信号を出力する。
【００１１】
また、発生オゾン濃度計７は発生オゾンガスをを確認するためのものであり、発生オゾン濃度計７の測定値Ｐｉは上記のＦＢ制御の指標には用いられない。しかしながら発生オゾン濃度の目標値Ｐｓと発生オゾン濃度計の測定値Ｐｉとの差が２０％以上、すなわち｜Ｐｓ−Ｐｉ｜／Ｐｓ≧０．２の状態が長時間続く場合は、オゾン発生器６の異常として、オゾン注入制御装置４から表示装置８に警報信号が出力される。
【００１２】
以上のように、従来のオゾン注入装置の制御方法では排オゾン濃度の測定値が制御指標の例となっているが、この他、色度、Ｅ２６０（測定波長２６０ｎｍの紫外線吸光度）、ＣＯＤ、溶存オゾン濃度等を制御指標とした制御方法も用いられている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述した排オゾン濃度、色度、Ｅ２６０、ＣＯＤ、溶存オゾン濃度等を指標としたオゾン注入装置の制御方法では、トリハロメタン前駆物質（塩素との接触によりトリハロメタンに変化する物質）の低減には、かならずしも有効的に作用していないのが実情である。下水二次処理水、産業排水、食品排水等の被処理水中には、種々の夾雑物、オゾン消費物質が含まれているため、常にオゾン消費量や反応性が一定とは限らず、特に下水二次処理水は生活に対応した排水を被処理水とするため、夾雑物やオゾン消費物質の時間変動が大きい。このため、従来のオゾン注入装置の制御方法では、排オゾン濃度や色度等の制御指標値を満たしていても、トリハロメタン前駆物質低減のための必要オゾン量を注入することはできない。
【００１４】
他方、大都市部では、河川の下水の放流口に近い場所に水道原水の取水口があり、下水中のトリハロメタン前駆物質の濃度が高いまま河川等の公共用水域へ放流されると、浄水処理工程における塩素処理過において、高トリハロメタン濃度や異臭味の発生原因となることがあった。
【００１５】
こうした状況を受けて、公共用水域への排水規制を強化するため環境基準の見直しが進み、飲料水の安全性を確保するため、平成５年１２月に水道水の新水質基準が施行された。例えば厚生省では「水道原水水質保全事業の実施の促進に関する法律」（事業促進法）、環境庁では「特定水道利水障害の防止のための水道水源水域の水質の保全に関する特別措置法」（特別措置法）が水道水源関連二法として、平成６年２月にそれぞれ成立した。両法の目的は、相互協調しながら水道水源の保全浄化を目指すことにある。また、中央環境審議会では、トリハロメタンの原因物質となるフミン質など有機物の工場排水基準を決め、これを受けて環境庁は、この排水基準を平成７年５月に都道府県知事に告示した。この工場排水基準値は都道府県知事が上限値と下限値の範囲内で実際の規制値を決定することになっている。
【００１６】
このように、水道水源関連二法及び環境庁の工場排水基準などから、下排水中のトリハロメタン生成能に代表される有害有機物生成能物質の低減が強く求められるようになってきた。
【００１７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、下水二次処理水中のトリハロメタン生成能をオゾン処理にて、安定かつ効果的に低減することができるオゾン注入装置の制御システムを提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被処理水に対してオゾンを注入するオゾン注入部と、このオゾン注入部にオゾンを送るオゾン発生器とを有するオゾン注入装置の制御システムにおいて、オゾン注入部より上流側に設けられ、励起波長３４５ｎｍで蛍光スペクトルを求め、蛍光波長４２５ｎｍで励起スペクトルを求めることにより、被処理水の相対蛍光強度を測定する蛍光分析計と、予め相対蛍光強度とトリハロメタン生成能との関係式、オゾン注入率と相対蛍光強度残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値が内蔵され、蛍光分析計からの測定値、相対蛍光強度とトリハロメタン生成能との関係式、オゾン注入率と相対蛍光強度残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値に基づいてトリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率を求める蛍光強度データ処理装置と、被処理水の流量を測定する流量計と、オゾン発生器への送気ガス量を測定するガス流量計と、蛍光強度データ処理装置からの必要オゾン注入率と、流量計からの被処理水流量と、ガス流量計からの送気ガス量に基づいて発生オゾン濃度の目標値を求めるとともに、この発生オゾン濃度の目標値をオゾン発生器に出力するオゾン注入制御装置と、を備えたことを特徴とするオゾン注入装置の制御システムである。
【００１９】
本発明は、被処理水に対してオゾンを注入するオゾン注入部と、このオゾン注入部にオゾンを送るオゾン発生器とを有するオゾン注入装置の制御システムにおいて、オゾン注入部より上流側に設けられ、測定波長３４５ｎｍにおける被処理水の吸光度を測定する分光光度計と、予め吸光度とトリハロメタン生成能との関係式、およびオゾン注入率と吸光度の残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値が内蔵され、分光光度計からの測定値、吸光度とトリハロメタン生成能との関係式、オゾン注入率と吸光度の残存率との関係式、およびトリハロメタン生成能の制御目標値に基づいてトリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率を求める吸光度データ処理装置と、被処理水の流量を測定する流量計と、オゾン発生器への送気ガス量を測定するガス流量計と、吸光度データ処理装置からの必要オゾン注入率と、流量計からの被処理水流量と、ガス流量計からの送気ガス量に基づいて発生オゾン濃度の目標値を求めるとともに、この発生オゾン濃度の目標値をオゾン発生器に出力するオゾン注入制御装置と、を備えたことを特徴とするオゾン注入装置の制御システムである。
【００２０】
本発明によれば、蛍光分析計により流水の相対蛍光強度が測定され、この相対蛍光強度に基づいて蛍光強度データ処理装置においてトリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率が求められる。オゾン注入制御装置において、蛍光強度データ処理装置からの必要オゾン注入率と、流水流量計からの流水流量と、ガス流量計からの送気ガス量に基づいて発生オゾン濃度の目標値が求められ、この発生オゾン濃度の目標値がオゾン発生器に出力される。オゾン発生器は発生オゾン濃度の目標値に基づいてオゾンを発生させ、発生したオゾンはオゾン注入部より被処理水へ注入される。
【００２１】
本発明によれば、分光光度計により流水の吸光度が測定され、この吸光度に基づいて吸光度データ処理装置においてトリハロメタン生成能を低減させる必要オンゾン注入率が求められる。オゾン注入制御装置において、吸光度データ処理装置からの必要オゾン注入率と、流水流量計からの流水流量と、ガス流量計からの送気ガス量に基づいて発生オゾン濃度の目標値が求められ、この発生オゾン濃度の目標値がオゾン発生器に出力される。オゾン発生器は発生オゾン濃度の目標値に基づいてオゾンを発生させ、発生したオゾンはオゾン注入部より被処理水へ注入される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図３は本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第１の実施の形態を示す図である。
【００２３】
まず図１により下水二次処理水等の被処理水（原水）の処理プロセスについて述べる。図１に示すように、被処理水の処理プロセスは、被処理水を凝集させて被処理水中の溶存高分子有機物を凝集フロックとして水中に懸濁させる凝集処理手段１を備えている。またこの凝集処理手段１の下流側には、水中の懸濁する浮游物を除去するための砂ろ過処理手段２、および被処理水中へオゾンを注入するオゾン注入部３が各々接続されている。
【００２４】
また、オゾン注入部３にはオゾン発生器６が接続され、これらオゾン注入部３とオゾン発生器６とによってオゾン注入装置が構成されている。またオゾン発生器６にはオゾン発生器６へ送気される送気ガス量を求めるガス流量計６ａが取付けられている。
【００２５】
さらに図１に示すように、砂ろ過処理手段２とオゾン注入部３との間には、被処理水採取口９と流量計１２とが各々配設されており、被処理水採取口９には被処理水の相対蛍光強度を測定する蛍光分析計１０が接続されている。また蛍光分析計１０には、蛍光分析計１０からの測定値に基づいてトリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率を求める蛍光強度データ処理装置１１が接続されている。さらに蛍光強度データ処理装置１１および流量計１２には、オゾン注入制御装置４が接続されている。
【００２６】
このうち蛍光強度データ処理装置１１には、相対蛍光強度とトリハロメタン生成能の関係式、オゾン注入率と相対蛍光強度の残存率（ＦＬｒ）の関係式及び上記関係式を用いたトリハロメタン生成能の制御目標値（ＴＨＭｃｏ）に対応した相対蛍光強度の制御目標値（ＦＬｃｏ）が設定されており、前記ＦＬ１，ＦＬｃｏ及びオゾン注入率と相対蛍光強度残存率の関係式を用いてＦＬ１をＦＬｃｏ以下にするのに必要なオゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４に出力するようになっている。
【００２７】
また流量計１２は、オゾン注入部３における処理水量Ｑｌ（ｍ３  ／ｈ）を計測するものである。オゾン注入制御装置４では、蛍光強度データ処理装置１１で求めた必要オゾン注入率Ｄｒｍ、流量計１２からのオゾン処理水量Ｑｌ、およびガス流量計６ａで測定されたオゾン発生器６に送気される送気ガス量Ｑｇ（ｍ３  ／ｈ）に基づいて、新たな発生オゾン濃度の目標値Ｐｓを定め、この発生オゾン濃度の目標値Ｐｓをオゾン発生器６に出力する。
【００２８】
またオゾン注入部３からの排オゾンガスライン２０には排オゾン濃度計５が設けられている。この排オゾン濃度計５は、通常は排オゾン濃度の確認用であり、オゾン発生器６に接続された発生オゾン濃度計７とともに、オゾン注入制御装置４に接続されており、制御範囲の制限、異常時の警報出力の判断に用いられる。なお、オゾン注入制御装置４には、警報信号が入力される表示装置８が接続されている。
【００２９】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。図１において被処理水中に含まれるトリハロメタン前駆物質は、凝集処理手段１や砂ろ過処理手段２では除去しきれないため、オゾン処理手段３で効率良く低減させることが重要となる。
【００３０】
本発明ではまず被処理水採取口９にてオゾン処理直前の被処理水が常時採取され、蛍光分析計１０へ送られる。
【００３１】
蛍光分析計１０では、被処理水の相対蛍光強度が常時測定され、測定値ＦＬ１として蛍光強度データ処理装置１１に常時出力される。
【００３２】
なお、本実施の形態における蛍光分析計１０では、励起波長３４５ｎｍで蛍光スペクトルを求め、蛍光波長４２５ｎｍで励起スペクトルを求め、このようにして蛍光スペクトル４２５ｎｍにおける相対蛍光強度を読み取っている。
【００３３】
蛍光強度データ処理装置１１には、図２及び以下に示すような相対蛍光強度（ＦＬ）とトリハロメタン生成能（ＴＨＭ  ＦＰ）の関係式（（１）式）が予め内蔵されている。
ＦＬ＝１．７２×（ＴＨＭ  ＦＰ）＋４．８              …（１）式
【００３４】
また蛍光強度データ処理装置１１には、図３及び以下に示すような、オゾン注入率（Ｄｒ）と相対蛍光強度残存率（ＦＬｒ）の関係式（（２）式）が内蔵されている。
ＦＬｒ（％）＝ｅｘｐ（−０．０６０８×Ｄｒ）×１００  …（２）式
なお、上記の（１）及び（２）式は、本実施の形態による処理プロセスにおける実験式である。
【００３５】
また、蛍光強度データ処理装置１１には、トリハロメタン生成能の制御目標値（ＴＨＭｃｏ）の設定が可能であり、本実施の形態では、環境庁の工場排水基準をもとに、下水道業の下限値である２００μｇ／Ｌを参考にして、その９０％値である１８０μｇ／Ｌに設定してある。
【００３６】
このトリハロメタン生成能の制御目標値は、前記（１）式より相対蛍光強度の制御目標値（ＦＬｃｏ）として、ＦＬｃｏ＝３１４．４に変換される。
【００３７】
蛍光強度データ処理装置１１では、蛍光分析計１０の測定値ＦＬ１と相対蛍光強度の制御目標値ＦＬｃｏとを比較する。このときＦＬ１≧ＦＬｃｏの場合は、オゾン注入部３によってオゾン注入率を変動させ、オゾン処理水の相対蛍光強度をＦＬｃｏ以下に低減させる。すなわち（２）式を用いて、新たな必要オゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４へ出力する。
【００３８】
一方、ＦＬ１＜ＦＬｃｏの場合は現時点でのオゾン注入率Ｄｒを維持するように、つまり、Ｄｒｍ＝Ｄｒとしてオゾン注入制御装置４へ出力する。
【００３９】
オゾン注入制御装置４では、蛍光強度データ処理装置１１からの必要オゾン注入率Ｄｒｍ、流量計１２における計測値Ｑｌ、ガス流量計６ａで測定したオゾン発生器６への送気ガス量Ｑｇを基に、下記の（３）式のように発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓはオゾン発生器６へ出力される。
Ｐｓ（ｇ／ｍ３  ）＝Ｄｒｍ×Ｑｌ／Ｑｇ                  …（３）式
【００４０】
オゾン発生器６では、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓに基づいてオゾンを生成し、生成したオゾンをオゾン注入部３へ送り、オゾン注入部３から被処理水へオゾンを注入する。
【００４１】
このように本実施の形態によれば、オゾン注入部３の直前の被処理水の相対蛍光強度を指標とした発生オゾン濃度のＦＦ（ｆｅｅｄ  ｆｏｒｗａｒｄ）制御が実施される。
【００４２】
ところで、本実施の形態において、オゾン注入率が極端に多くなったり、少なくなったりすることを防止するため、オゾン注入制御装置４にオゾン吸収率γ（％）の上限値β及び下限値α設定され、またオゾン注入制御装置４において（４）式によりオゾン吸収率γ（％）が求められる。
γ（％）＝（１−Ｐｏ／Ｐｉ）×１００                  …（４）式
ここでＰｏは排オゾン濃度計５からの排オゾン濃度であり、Ｐｉは発生オゾン濃度計７からの発生オゾン濃度である。
【００４３】
本実施の形態では、α＝８５％、β＝９８％に設定されており、ＦＦ制御におけるオゾン吸収率γが、α≦γ≦βの範囲にある間は前記のＦＦ制御が通常通り実施されている。しかし、α＞γ又はγ＞βの場合は、前記のＦＦ制御に優先して、オゾン吸収率γがα≦γ≦βの範囲に入るように発生オゾン濃度の目標値Ｐｓの修正が実施される。この場合、上述したＦＦ制御が解除されたことを示す警報信号が表示装置８に出力され、表示装置８により「ＦＦ制御解除」が表示される。
【００４４】
また、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓと、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓと発生オゾン濃度計の測定値Ｐｉとの差が２０％以上、つまり｜Ｐｓ−Ｐｉ｜／Ｐｓ≧０．２の状態が長時間続く場合は、オゾン発生器６の異常として判断され、オゾン注入制御装置４から表示装置８に「オゾン発生器異常」の警報が出力される。
【００４５】
以上説明したように本実施の形態によれば、被オゾン処理水の相対蛍光強度を指標として注入オゾン濃度のＦＦ制御を行なうことにより、オゾン注入部３からのオゾン注入により、オゾン処理後のトリハロメタン生成能を常に１８０μｇ／Ｌ以下に低減できる。このため、公共用水域へ放流される処理水の安全性がより高まるとともに水道水源の保全浄化に貢献することができる。
【００４６】
第２の実施の形態
以下、図４を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図４に示す第２の実施の形態は、処理水採取口１３をオゾン注入部３の下流側に設けるとともに、この処理水採取口１３に蛍光分析計１０を接続したものであり、他は図１乃至図３に示す第１の実施の形態と略同一である。図４において、図１乃至図３に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４７】
すなわち、図４に示すように、オゾン注入部３の直後に処理水採取口１３が設けられ、この処理水採取口１３に蛍光分析計１０が接続され、オゾン注入装置のＦＢ（ｆｅｅｄ  ｂａｃｋ  ）制御が可能となっている。
【００４８】
図４において被処理水中に含まれるトリハロメタン前駆物質は、凝集処理手段１または砂ろ過処理手段２では除去しきれないため、オゾン注入部３において効率良くトリハロメタン生成能を低減させることが重要となる。
【００４９】
図４に示すように、オゾン注入部３によるオゾン処理直後の処理水は、常時処理水採取口１３から採取され、蛍光分析計１０へ送られる。
【００５０】
蛍光分析計１０では、処理水の相対蛍光強度が測定され、測定された相対蛍光強度に測定値ＦＬ２として蛍光強度データ処理装置１１に常時出力されている。
【００５１】
蛍光強度データ処理装置１１には、第１の実施の形態と同様に図２及び（１）式に示した相対蛍光強度ＦＬとトリハロメタン生成能（ＴＨＭ  ＦＰ）の関係式が設定されている。
【００５２】
また、蛍光強度データ処理装置１１には、トリハロメタン生成能の制御目標値（ＴＨＭｃｏ）の設定が可能であり、本実施の形態では、第１の実施の形態と同様に１８０μｇ／Ｌに設定してある。また、この制御目標値（ＴＨＭｃｏ＝１８０μｇ／Ｌ）は、前記（１）式より、相対蛍光強度の制御目標値（ＦＬｃｏ）として、ＦＬｃｏ＝３１４．４に変換される。
【００５３】
蛍光強度データ処理装置１１では、蛍光分析計１０の測定値ＦＬ２とトリハロメタン生成能の制御目標値ＦＬｃｏとを比較し、ＦＬ２≧ＦＬｃｏの場合は、オゾン注入部３におけるオゾン注入率が過少であると判断する。次にオゾン注入率を増加させて、０．９×ＦＬｃｏ≦ＦＬ２＜ＦＬｃｏの範囲に入るように新たな必要オゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４へ出力する。
【００５４】
一方、ＦＬ２＜０．９×ＦＬｃｏの場合は、オゾン注入率が過剰であると判断し、オゾン注入率を減少させて、０．９×ＦＬｃｏ≦ＦＬ２＜ＦＬｃｏの範囲に入るように必要オゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４へ出力する。必要オゾン注入率に至る最初のオゾンの増減量は、過去の制御実績から学習して決定され、必要オゾン注入率Ｄｒｍの増減は、オゾン処理水の相対蛍光強度ＦＬ２が０．９×ＦＬｃｏ≦ＦＬ２＜ＦＬｃｏの範囲に入るまで繰り返され、オゾン注入制御装置４へ出力される。また、ＦＬ２が、０．９×ＦＬｃｏ≦ＦＬ２＜ＦＬｃｏの範囲にある場合は、現時点でのオゾン注入率Ｄｒを維持するように、つまりＤｒｍ＝Ｄｒとして、オゾン注入制御装置４へ出力する。
【００５５】
オゾン注入制御装置４では、蛍光強度データ処理装置１１からの必要オゾン注入率Ｄｒｍ、流量計１２における計測値Ｑｌ、ガス流量計６ａで測定したオゾン発生器６に送気される送気ガス量Ｑｇをもとに、（３）式を用いて発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓがオゾン発生器６へ出力される。
【００５６】
オゾン発生器６では、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓに基づいてオゾンが発生し、発生したオゾンがオゾン注入部３から処理水へ注入され、このようにして処理が実施されている。
【００５７】
本実施の形態においてはオゾン処理直後の相対蛍光強度を指標とした発生オゾン濃度のＦＢ制御が行なわれる。
【００５８】
本実施の形態によれば、オゾン処理水の相対蛍光強度を指標とした注入オゾン濃度のＦＢ制御を行なうことにより、オゾン注入部３により、オゾン処理後のトリハロメタン生成能をオゾン注入率を過不足させることなく常に１８０μｇ／Ｌ以下に低減することができる。
【００５９】
このため、公共用水域へ放流される処理水の安全性が高まるとともに、水道水源の保全浄化に貢献することができる。
【００６０】
第３の実施の形態
以下、図５を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。図５に示す第３の実施の形態は、オゾン注入部３の直前および直後に被処理水採取口９および処理水採取口１３が設けられ、これら被処理水採取口９および処理水採取口１３に蛍光分析計１０を接続したものであり、他は図１乃至図３に示す第１の実施の形態と略同一である。図５において、図１乃至図３に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６１】
図５に示す第３の実施の形態は第１の実施の形態と第２の実施の形態とが複合され、オゾン注入制御のＦＦ制御およびＦＢ制御を行なう構成となっている。
【００６２】
図５において、被処理水中に含まれるトリハロメタン前駆物質は、凝集処理手段１または砂ろ過処理手段２では、除去しきれないため、オゾン注入部３によって効率良くトリハロメタン生成能を低減させることになる。
【００６３】
図５に示すように、被処理水採取口９よりオゾン処理直前の被処理水が採取され、また処理水採取口１３よりオゾン処理水が採取され、それぞれ蛍光分析計１０によって被処理水の相対蛍光強度ＦＬ１及び処理水の相対蛍光強度ＦＬ２が計測される。この計測値は各々蛍光強度データ処理装置１１に出力される。
【００６４】
蛍光強度データ処理装置１１には、第１の実施の形態と同様に図２及び（１）式、図３及び（２）式に示される関係式がそれぞれ設定されている。また第１の実施の形態と同様に、トリハロメタン生成能制御目標値（ＴＨＭｃｏ）として１８０μｇ／Ｌが設定されている。この制御目標値は、前記（１）式より相対蛍光強度の制御目標値（ＦＬｃｏ）として、ＦＬｃｏ＝３１４．４に変換される。
【００６５】
蛍光強度データ処理装置４では、ＦＬ１≧ＦＬｃｏの場合は第１の実施の形態と同様の動作でオゾン注入部３によりＦＬ１をＦＬｃｏ以下にするための必要オゾン注入率Ｄｒｍが演算され、オゾン注入制御装置４へ出力される。そしてオゾン注入制御装置４では、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓに基づいてオゾン発生器６においてオゾンが生成される。オゾン発生器６において発生したオゾンは、オゾン注入部３へ導入され、オゾン注入部３から被処理水へ注入されてオゾン処理が実施される。
【００６６】
このようにしてオゾンの被処理水の相対蛍光強度ＦＬ１を指標としたＦＦ制御が行なわれる。
【００６７】
一方、処理水採取口１３から採取したオゾン処理水の相対蛍光強度ＦＬ２を用いたＦＢ制御は、ＦＦ制御の補完及びＦＬ１＜ＦＬｃｏの場合の制御を行なうものである。
【００６８】
すなわち▲１▼ＦＦ制御によって求められた現時点におけるオゾン注入率Ｄｒを用いた際、オゾン処理水の相対蛍光強度ＦＬ２が、相対蛍光強度の制御目標値ＦＬｃｏ以下に低減していない状態、つまりＦＬ２＞ＦＬｃｏの場合や、
▲２▼ＦＦ制御ではＦＬ１＜ＦＬｃｏであり、オゾン注入率の更新は行なわれないため、オゾン注入率が過多となっている可能性がある状態、つまりＦＬ２＜０．９×ＦＬｃｏの場合に、
ＦＢ制御が行なわれる。
【００６９】
これらの場合（上記▲１▼▲２▼の場合）、第２の実施の形態と同様に蛍光強度データ処理装置１１において、０．９×ＦＬｃｏ≦ＦＬ２＜ＦＬｃｏの範囲に入るように必要オゾン注入率Ｄｒｍの増減が繰り返され、必要オゾン注入率Ｄｒｍがオゾン注入制御装置４へ出力される。また、ＦＬ２が０．９×ＦＬｃｏ≦ＦＬ２＜ＦＬｃｏの範囲にある場合は、現時点でのオゾン注入率Ｄｒを維持するように、Ｄｒｍ＝Ｄｒとしてオゾン注入制御装置４へ出力する。
【００７０】
オゾン注入制御装置４では発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓに基づいてオゾン発生器６にてオゾンが発生する。発生されたオゾンはオゾン注入部３へ導入され、オゾン処理が実施される。
【００７１】
また、被処理水の相対蛍光強度ＦＬ１が短時間の間に急激に変化した場合、再びＦＦ制御に切替り、以後、前述したＦＢ制御およびＦＦ制御が同様に繰り返される。
【００７２】
以上説明したように、本実施の形態よればオゾン注入部の直前および直後の相対蛍光強度を指標としたＦＦ制御及びＦＢ制御を組み合わせることにより、原水の負荷変動に対応したオゾン注入装置の制御システムが達成される。
【００７３】
従って、オゾン注入部３によりオゾン処理後のトリハロメタン生成能を原水の負荷変動に関係なく、常に１８０μｇ／Ｌ以下にすることができる。
【００７４】
このため、公共用水域へ放流される処理水の安全性が高まるとともに、水道水源の保全浄化に貢献することができる。
【００７５】
第４の実施の形態
次に図６乃至図８により本発明の第４の実施の形態について説明する。図６乃至図８に示す第４の実施の形態は、オゾン注入部３の直前に設けられた被処理水採取口９に分光光度計１４を接続し、この分光光度計１４に吸光度データ処理装置１５を接続したものであり、他は図１乃至図３に示す第１の実施の形態と略同一である。図６において、図１乃至図３に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７６】
図６において、被処理水採取口９に接続された分光光度計１４は被処理水採取口９により採取されたオゾン処理直前の被処理水に関し、その吸光度（測定値Ｅ１）を測定するものであり、この測定値Ｅ１は吸光度データ処理装置１５に出力される。吸光度データ処理装置１５は、予め吸光度とトリハロメタン生成能の関係式、オゾン注入率と相対蛍光強度残存率（Ｅｒ）の関係式および関係式を用いたトリハロメタン生成能に制御目標値（ＴＨＭｃｏ）に相応した吸光度の制御目標値（Ｅｃｏ）を内蔵している。
【００７７】
また吸光度データ処理装置１５は吸光度の測定値Ｅ１、制御目標値Ｅｃｏ、及びオゾン注入率と吸光度の残存率の関係式を用いて、測定値Ｅ１を制御目標値Ｅｃｏ以下にするのに必要なオゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４に出力するようになっている。
【００７８】
オゾン注入制御装置４では、必要オゾン注入率Ｄｒｍ、オゾン処理水量Ｑｌ、およびガス流量計６ａで測定されたオゾン発生器６に送気される送気ガス量Ｑｇ（ｍ３  ／ｈ）を基に、新たな発生オゾン濃度の目標値Ｐｓをオゾン発生器６に出力するフィードフォワード（ＦＦ）を制御を行なう。
【００７９】
図６において、被処理水中に含まれるトリハロメタン前駆物質は、凝集処理手段１や砂ろ過処理手段２では除去しきれないため、オゾン注入部３により効率良くトリハロメタン生成能を低減させることが重要となる。
【００８０】
本実施の形態では、まず被処理水採取口９においてオゾン処理直前の被処理水が常時採取され、分光光度計１４へ送られる。
【００８１】
分光光度計１４では、被処理水の吸光度を常時測定し、測定値Ｅ１として吸光度データ処理装置１５に常時出力する。なお、本実施の形態の分光光度計１４では、セル長５０ｎｍの石英セルを用いて、波長３４５ｎｍにおける吸光度（Ｅ３４５  ）が読み取られる。
【００８２】
吸光度データ処理装置１５には、予め図７及び以下に示すような吸光度とトリハロメタン生成能（ＴＨＭ  ＦＰ）の関係式、
Ｅ３４５  ＝０．００３９×（ＴＨＭ  ＦＰ）＋０．０４２    …（５）式
と図８及び以下に示すような、オゾン注入率（Ｄｒ）と吸光度の残存率（Ｅｒ）の関係式、
Ｅｒ（％）＝ｅｘｐ（−０．０６５×Ｄｒ）×１００      …（６）式
とが設定されている。
【００８３】
上記の（５）及び（６）式は、本処理プロセスにおける実験式である。
また、吸光度データ処理装置１５には、トリハロメタン生成能の制御目標値（ＴＨＭｃｏ）の設定が可能であり、本実施の形態では、環境庁の工場排水基準をもとに、下水道業の下限値である２００μｇ／Ｌを参考にして、その９０％値である１８０μｇ／Ｌに設定してある。
【００８４】
このトリハロメタン生成能の制御目標値は、前記（５）式より吸光度の制御目標値（Ｅｃｏ）として、Ｅｃｏ＝０．７４４に変換される。
【００８５】
吸光度処理装置１４では、分光光度計１４の測定値Ｅ１と吸光度の制御目標値Ｅｃｏとを比較して、Ｅ１≧Ｅｃｏの場合は、オゾン処理手段３によりオゾン注入率を変動させて、オゾン処理水の吸光度をＥｃｏ以下に低減させる。このために、吸光度処理装置１４では（６）式を用いて、新たな必要オゾン注入率Ｄｒｍを演算し、この必要オゾン注入率Ｄｒｍをオゾン注入制御装置４へ出力する。
【００８６】
一方、Ｅ１＜Ｅｃｏの場合は現時点でのオゾン注入率Ｄｒを維持するように、つまり、Ｄｒｍ＝Ｄｒとしてオゾン注入制御装置４へ出力する。
【００８７】
オゾン注入制御装置４では、吸光度データ処理装置１５からの必要オゾン注入率Ｄｒｍ、流量計１２における計測値Ｑｌ、ガス流量計６ａで測定されたオゾン発生器６への送気ガス量Ｑｇをもとに、第１の実施の形態で述べた（３）式により発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓがオゾン発生器６へ出力される。
【００８８】
オゾン発生器６では、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓに基づいてオゾン発生が行われ、発生したオゾンはオゾン注入部３から被処理水へ注入される。
【００８９】
このように本実施の形態によれば、オゾン注入部３の直前の相対蛍光強度を指標とした、発生オゾン濃度のＦＦ制御が実施されている。
【００９０】
本実施の形態によれば、被オゾン処理水の吸光度を指標とした注入オゾン濃度のＦＦ制御を行なうことにより、オゾン注入部３によりオゾン処理後のトリハロメタン生成能を常に１８０μｇ／Ｌ以下に低減できる。
【００９１】
このため、公共用水域へ放流される処理水の安全性がより高まるとともに水道水源の保全浄化に貢献することができる。
【００９２】
第５の実施の形態
以下、図９により本発明による第５の実施の形態について説明する。図９に示す第５の実施の形態は、オゾン注入部３の直後に処理水採取口１３を設け、この処理水採取口１３に分光光度計１４を接続したものであり、他は図６乃至図８に示す第４の実施の形態と略同一である。
【００９３】
図９において、図６乃至図８に示す第４の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００９４】
本実施の形態は、第４の実施の形態のＦＦ制御に対し、処理水採取口１３をオゾン注入部３の直後に設けるとともにオゾン注入装置のＦＢ（ｆｅｅｄ  ｂａｃｋ  ）制御を行なうものである。
【００９５】
図９において、被処理水中に含まれるトリハロメタン前駆物質は、凝集処理手段１または砂ろ過処理手段２では除去しきれないため、オゾン注入部３により効率良くトリハロメタン生成能を低減させることが重要となる。
【００９６】
本実施の形態では、まず処理水採取口１３によってオゾン注入部３直後の処理水を常時採取し、処理水を分光光度計１４へ送っている。
【００９７】
分光光度計１４では、処理水の吸光度を測定し、測定値Ｅ２として吸光度データ処理装置１５に常時出力する。
【００９８】
吸光度データ処理装置１５には、第４の実施の形態と同様に図７及び（５）式に示した吸光度とトリハロメタン生成能（ＴＨＭ  ＦＰ）の関係式が内蔵されている。
【００９９】
また、吸光度データ処理装置１５には、トリハロメタン生成能の制御目標値（ＴＨＭｃｏ）の設定が可能であり、本実施の形態では、第１の実施例と同様に１８０μｇ／Ｌに設定されている。また、この制御目標値（ＴＨＭｃｏ＝１８０μｇ／Ｌ）は、前記（５）式により吸光度の制御目標値（Ｅｃｏ）として、Ｅｃｏ＝０．７７４に変換される。
【０１００】
吸光度データ処理装置１５では、分光光度計１４の測定値と吸光度の制御目標値Ｅｃｏとを比較し、Ｅ２≧Ｅｃｏの場合は、オゾン処理手段３におけるオゾン注入率が過少であると判断し、オゾン注入率を増加させて、０．９×Ｅｃｏ≦Ｅ２＜Ｅｃｏの範囲に入るように新たな必要オゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４へ出力する。
【０１０１】
一方、Ｅ２＜０．９×Ｅｃｏの場合は、オゾン注入率が過剰であると判断し、オゾン注入率を減少させて、０．９×Ｅｃｏ≦Ｅ２＜Ｅｃｏの範囲に入るように必要オゾン注入率Ｄｒｍを演算し、オゾン注入制御装置４へ出力する。必要オゾン注入率に至る最初のオゾンの増減量は、過去の制御実績から学習して決定され、必要オゾン注入率Ｄｒｍの増減は、オゾン処理水の吸光度Ｅ２が０．９×Ｅｃｏ≦Ｅ２＜Ｅｃｏの範囲に入るまで繰り返され、オゾン注入制御装置４へ出力される。また、Ｅ２が、０．９×Ｅｃｏ≦Ｅ２＜Ｅｃｏの範囲にある場合は、現時点でのオゾン注入率Ｄｒを維持するように、つまりＤｒｍ＝Ｄｒとして、オゾン注入制御装置４へ出力する。
【０１０２】
オゾン注入制御装置４では、吸光度データ処理装置１５からの必要オゾン注入率Ｄｒｍ、流量計１２における計測値Ｑｌ、ガス流量計６ａで測定されオゾン発生器６に送気される送気ガス量Ｑｇを基にして、第１の実施の形態の（３）式と同様に発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓがオゾン発生器６へ出力される。
【０１０３】
オゾン発生器６では、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓに基づいてオゾンが発生し、発生したオゾンはオゾン注入部３において被処理水へ注入される。
【０１０４】
以上、説明したように、本実施の形態によればオゾン処理直後の吸光度を指標とした発生オゾン濃度のＦＢ制御が実施されている。
【０１０５】
以上説明したように本実施の形態によれば、オゾン処理水の吸光度を指標として注入オゾン濃度のＦＢ制御を行なうことにより、オゾン注入部３によりオゾン処理した後のトリハロメタン生成能をオゾン注入率の過不足なく常に１８０μｇ／Ｌ以下に低減できる。
【０１０６】
このため、公共用水域へ放流される処理水の安全性が高まるとともに、水道水源の保全浄化に貢献することができる。
【０１０７】
第６の実施の形態
以下、図１０を参照して本発明の第６の実施の形態について説明する。図１０に示す第６の実施の形態は、オゾン注入部３の直前および直後に被処理水採取口９および処理水採取口１３が設けられ、これら被処理水採取口９および処理水採取口１３に分光光度計１４を接続したものであり、他は図６乃至図８に示す第４の実施の形態と略同一である。図１０において、図６乃至図８に示す第４の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１０８】
図１０に示す第６の実施の形態は第４の実施の形態と第５の実施の形態とが複合され、オゾン注入制御のＦＦ制御およびＦＢ制御を行なう構成となっている。
【０１０９】
図１０において、被処理水中に含まれるトリハロメタン前駆物質は、凝集処理手段１または砂ろ過処理手段２では、除去しきれないため、オゾン注入部３によって効率良くトリハロメタン生成能を低減させることになる。
【０１１０】
図５に示すように、被処理水採取口９よりオゾン処理直前の被処理水が採取され、また、処理水採取口１３よりオゾン処理水が採取され、それぞれ吸光度計１４によって被処理水の吸光度Ｅ１及び処理水の吸光度Ｅ２が計測される。この計測値は各々吸光度データ処理装置１５に出力される。
【０１１１】
吸光度データ処理装置１５には、第４の実施の形態と同様に図７及び（５）式、図８及び（６）式に示される関係式がそれぞれ設定されている。また第１の実施の形態と同様に、トリハロメタン生成能制御目標値（ＴＨＭｃｏ）として１８０μｇ／Ｌが設定されている。この制御目標値は、前記（５）式より吸光度の制御目標値（Ｅｃｏ）として、Ｅｃｏ＝０．７７４に変換される。
【０１１２】
吸光度データ処理装置１５では、Ｅ１≧Ｅｃｏの場合は第４の実施の形態と同様の動作でオゾン注入部３によりＥ１をＥｃｏ以下にするための必要オゾン注入率Ｄｒｍが演算され、オゾン注入制御装置４へ出力される。そしてオゾン注入制御装置４では、発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓに基づいてオゾン発生器６においてオゾンが生成される。オゾン発生器６において発生したオゾンは、オゾン注入部３へ導入され、オゾン注入部３から被処理水へオゾンが注入されてオゾン処理が実施される。
【０１１３】
このようにしてオゾンの被処理水の吸光度Ｅ１を指標とした発生オゾン濃度のＦＦ制御が行なわれる。
【０１１４】
一方、処理水採取口１３から採取したオゾン処理水の吸光度Ｅ２を用いたＦＢ制御は、前記ＦＦ制御の補完及びＥ１＜Ｅｃｏの場合の制御を行なうものである。
【０１１５】
すなわち▲１▼ＦＦ制御によって求められた現時点におけるオゾン注入率Ｄｒを用いた際、オゾン処理水の吸光度Ｅ２が、吸光度の制御目標値Ｅｃｏ以下に低減していない状態、つまりＥ２＞Ｅｃｏの場合や、
▲２▼ＦＦ制御ではＥ１＜Ｅｃｏであり、オゾン注入率の更新は行なわれないため、オゾン注入率が過多となっている可能性がある状態、つまりＥ２＜０．９×Ｅｃｏの場合に、
ＦＢ制御が行なわれる。
【０１１６】
これらの場合（上記▲１▼▲２▼の場合）、第５の実施の形態と同様に、吸光度データ処理装置１５において、０．９×Ｅｃｏ≦Ｅ２＜Ｅｃｏの範囲に入るように必要オゾン注入率Ｄｒｍの増減が繰り返され、必要オゾン注入率Ｄｒｍがオゾン注入制御装置４へ出力される。また、Ｅ２が０．９×Ｅｃｏ≦Ｅ２＜Ｅｃｏの範囲にある場合は、現時点でのオゾン注入率Ｄｒを維持するように、Ｄｒｍ＝Ｄｒとしてオゾン注入制御装置４へ出力する。
【０１１７】
オゾン注入制御装置４では発生オゾン濃度の目標値Ｐｓが計算され、この目標値Ｐｓに基づいてオゾン発生器６にてオゾンが発生する。発生されたオゾンはオゾン注入部３へ導入され、オゾン処理が実施される。
【０１１８】
また、被処理水の吸光度Ｅ１が短時間の間に急激に変化した場合、再びＦＦ制御に切替り、以後、前述したＦＢ制御およびＦＦ制御が同様に繰り返される。
【０１１９】
以上説明したように、本実施の形態よれば、オゾン注入部の直前および直後の吸光度を指標としたＦＦ制御及びＦＢ制御を組み合わせることにより、原水の負荷変動に対応したオゾン注入装置の制御システムが達成される。
【０１２０】
従って、オゾン注入部３によりオゾン処理後のトリハロメタン生成能を原水の負荷変動に関係なく、常に１８０μｇ／Ｌ以下にすることができる。
【０１２１】
このため、公共用水域へ放流される処理水の安全性が高まるとともに、水道水源の保全浄化に貢献することができる。
【０１２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、蛍光強度データ処理装置または吸光度データ処理装置において、トリハロメタン生成能を低減させる必要オゾン注入率が求められ、この必要オゾン注入率を用いて発生オゾン濃度の目標値を求めるので、トリハロメタン前駆物質をトリハロメタン前駆物質の負荷変動や被処理水のオゾン消費量の変動に関係なく、常に目標値以下に低減することができる。このためオゾン処理後の処理水の放流先である河川、湖沼等の公共用水域の保全浄化に貢献することができる。また、放流先の下流を水道水源として利用しているところでは、浄水処理におけるトリハロメタンの生成が低減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】相対蛍光強度とトリハロメタン生成能の関係を示す図。
【図３】オゾン注入率と相対蛍光強度の残存率の関係を示す図。
【図４】本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第２の実施の形態を示す構成図。
【図５】本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第３の実施の形態を示す構成図。
【図６】本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第４の実施の形態を示す構成図。
【図７】吸光度とトリハロメタン生成能の関係を示す図。
【図８】オゾン注入率と吸光度の残存率の関係を示す図。
【図９】本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第５の実施の形態を示す構成図。
【図１０】本発明によるオゾン注入装置の制御システムの第６の実施の形態を示す構成図。
【図１１】従来のオゾン注入装置の制御方法を示すブロック図。
【符号の説明】
１  凝集処理手段
２  砂ろ過処理手段
３  オゾン注入部
４  オゾン注入制御装置
５  排オゾン濃度計
６  オゾン発生器
７  発生オゾン濃度計
８  表示装置
９  被処理水採取口
１０  蛍光分析計
１１  蛍光強度データ処理装置
１２  流量計
１３  処理水採取口
１４  分光光度計
１５  吸光度データ処理装置
【図１】
0003602661.tif 000002
【図２】
0003602661.tif 000003
【図３】
0003602661.tif 000004
【図４】
0003602661.tif 000005
【図５】
0003602661.tif 000006
【図６】
0003602661.tif 000007
【図７】
0003602661.tif 000008
【図８】
0003602661.tif 000009
【図９】
0003602661.tif 000010
【図１０】
0003602661.tif 000011
【図１１】
0003602661.tif 000012