(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、目標位置と位置検出部からの位置信号を比較し操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えた形状測定装置において、
ばねの変位に比例して発生するばね力を補償するために、前記目標位置に応じたばね力相当の操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、
前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、目標位置と位置検出部からの位置信号を比較し操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えた形状測定装置において、
ばねの変位に比例して発生するばね力とアクチュエータの動特性を補償するために、目標位置から位置への開ループ伝達関数が要求される特性となるように補償する補償器による補償値を前記目標位置に乗ずることにより操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、
前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項３】
ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、アクチュエータ上に被測定面との距離に応じたフォーカス信号を発生させるフォーカス検出部と、フォーカス信号が０となるように操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えたフォーカス制御系を応用した形状測定装置において、ばねの変位に比例して発生するばね力を補償するために、前記フォーカス検出部からのフォーカス信号と、前記位置検出部からの位置信号より目標位置を演算する目標位置演算部と、
目標位置に応じたばね力相当の操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、
前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項４】
ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、アクチュエータ上に被測定面との距離に応じたフォーカス信号を発生させるフォーカス検出部と、フォーカス信号が０となるように操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えたフォーカス制御系を応用した形状測定装置において、ばねの変位に比例して発生するばね力とアクチュエータの動特性を補償するために、前記フォーカス検出部からのフォーカス信号と、前記位置検出部からの位置信号より目標位置を演算する操作量補正値演算部と、
目標位置から位置への開ループ伝達関数が要求される特性となるように補償する補償器による補償値を前記目標位置に乗ずることにより操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、
前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、
を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項５】
目標位置に対して１型のサーボとなるように積分要素を含んだ位置決め制御コントローラを備えたことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の形状測定装置。
【請求項６】
アクチュエータ電流値と位置信号もしくはフォーカス信号からアクチュエータに加わる外乱を推定する外乱オブザーバを備え、
推定された外乱を電流値相当に変換し、操作量である電流司令値に加算することによって、アクチュエータに加わる外乱やアクチュエータのパラメータ変動に対してロバストであることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の形状測定装置。
【請求項７】
ばね特性を含んだアクチュエータのパラメータ変動等の不確かさと、要求される制御性能を考慮し、Ｈ∞制御則に基づいて設計されたロバストコントローラを位置決め制御コントローラとして備えたことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、形状測定装置に係り、特に上下方向（重力方向）に駆動するアクチュエータがばねによって吊される形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ばねによって吊され上下方向に駆動する駆動手段を有する形状測定装置に、特開平２−１３４５０６号公報に記載された形状測定装置がある。
特開平２−１３４５０６号公報に記載された形状測定装置は、アクチュエータを駆動する時に発生するばね力の影響を低減するために、アクチュエータの変位からばね力相当の力を算出し、ばね力と反対方向の力を発生させる手段によってばね力を補償している。
【０００３】
言い換えると、位置信号にばね定数相当の比例ゲインを乗算しばね力を求め、コントローラから出力される操作量へと算出したばね力を加算するマイナーフイードバックによってばね力を補償している。
また、位置信号から駆動力相当を演算し、駆動信号（操作量）とを比較し、その差を操作量に加算することによって駆動部重量やばね張力の変動を補償している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の形状測定装置にあっては、位置信号の正帰還の状態フイードバックであるマイナーループを付加することによって、ばね力の影響を抑えているため、位置信号からばね力相当に変換するときの変換定数の選び方や実機のばね定数の変動などによって、制御系が不安定になる可能性がある。
【０００５】
例えば、ばね支持されたアクチュエータの力から変位への伝達関数は、下記（１）式となる。
【０００６】
【数１】
0003600025.tif 000002
【０００７】
Ｘ：位置、Ｆ：力、Ｍ：重量、Ｃ：減衰係数、ｋ：ばね定数
フイードバックゲインをｋ’とした正帰還のマイナーフイードバックを付加すると伝達関数は下記（２）式となる。
【０００８】
【数２】
0003600025.tif 000003
【０００９】
仮に、ｋ＝ｋ’であればアクチュエータは、ばね力のない系と見なすことができるが、実機では必ずしもｋ  とｋ’は一致しない。ｋ’の選択の仕方やパラメータ変動によって機械共振周波数は  ω＝（（ｋ  −ｋ’）／Ｍ）１／２  となるため、設計されたコントローラとずれが発生し低周波数領域に共振周波数が発生したり、位相が変動し制御系が不安定化する可能性がある。
【００１０】
また、位置信号から算出した力と駆動電流値から算出した力とを比較し、その差をフイードバックすることによってパラメータの変動を補償しているが、これは定常特性については問題無いが、動的な場合や信号にノイズ成分が含まれている場合、正確な補正は不可能であり誤作動や不安定化の原因となる。
そこで本発明は、目標位置に応じたばね力相当の操作量補正値を算出し、操作量に加算することによって、位置決め制御系の閉ループの制御性能と安定性に影響を及ぼすことなくばね力を補償し、目標位置に対する応答性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
【００１１】
また、上記目的に加えて、ばね力の補償だけではなくアクチュエータの周波数に依存する特性を改善し、目標位置に対する過渡特性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
また、フォーカス制御系では直接目標位置を検出できないため、フォーカス信号と位置信号から目標位置を演算し、求めた目標位置を使用してばね力相当の操作量補正値を算出し、操作量に加算することによって、位置決め制御系の閉ループの制御性能と安定性に影響を及ぼすことなくばね力を補償し、目標位置に対する応答性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
【００１２】
また、上記目的に加えて、ばね力の補償だけではなくアクチュエータの周波数に依存する特性を改善し、目標位置に対する過渡特性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
さらに、上記の目的に加えて、装置の傾き等により外乱が印加されたり、パラメータ変動による操作量補正値のずれによって発生する定常的な微小位置偏差を低減する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
【００１３】
また、外乱オブザーバを付加することによって、パラメータ変動を補償し、かつ、外乱を抑圧可能な位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
また、制御性能を横牲にすることなく、あらかじめ考えられるパラメータ変動等の不確かさに対してロバストである位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、上記目的達成のため、ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、目標位置と位置検出部からの位置信号を比較し操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えた形状測定装置において、ばねの変位に比例して発生するばね力を補償するために前記目標位置に応じたばね力相当の操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項２記載の発明は、上記目的達成のため、ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、目標位置と位置検出部からの位置信号を比較し操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えた形状測定装置において、ばねの変位に比例して発生するばね力とアクチュエータの動特性を補償するために目標位置から位置への開ループ伝達関数が要求される特性となるように補償する補償器による補償値を前記目標位置に乗ずることにより操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項３記載の発明は、上記目的達成のため、ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、アクチュエータ上に被測定面との距離に応じたフォーカス信号を発生させるフォーカス検出部と、フォーカス信号が０となるように操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えたフォーカス制御系を応用した形状測定装置において、ばねの変位に比例して発生するばね力を補償するために前記フォーカス検出部からのフォーカス信号と前記位置検出部からの位置信号より目標位置を演算する目標位置演算部と、目標位置に応じたばね力相当の操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項４記載の発明は、上記目的達成のため、ばねで垂直方向に吊るされ上下方向に駆動されるアクチュエータと、原点からのアクチュエータの変位を検出し位置信号を出力する位置検出部と、アクチュエータ上に被測定面との距離に応じたフォーカス信号を発生させるフォーカス検出部と、フォーカス信号が０となるように操作量を出力する位置決め制御コントローラと、操作量に応じてアクチュエータ駆動電流を出力しアクチュエータを駆動するドライバと、を備えたフォーカス制御系を応用した形状測定装置において、ばねの変位に比例して発生するばね力とアクチュエータの動特性を補償するために前記フォーカス検出部からのフォーカス信号と前記位置検出部からの位置信号より目標位置を演算する操作量補正値演算部と、目標位置から位置への開ループ伝達関数が要求される特性となるように補償する補償器による補償値を前記目標位置に乗ずることにより操作量補正値を演算する操作量補正値演算部と、前記操作量補正値を前記操作量に加える操作量補正部と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項５記載の発明は、上記目的達成のため、請求項１から４のいずれか１項に記載の形状測定装置において、目標位置に対して１型のサーボとなるように積分要素を含んだ位置決め制御コントローラを備えたことを特徴とするするものである。
請求項６記載の発明は、上記目的達成のため、請求項１から４のいずれか１項に記載の形状測定装置において、アクチュエータ電流値と位置信号もしくはフォーカス信号からアクチュエータに加わる外乱を推定する外乱オブザーバを備え、推定された外乱を電流値相当に変換し、操作量である電流司令値に加算することによって、アクチュエータに加わる外乱やアクチュエータのパラメータ変動に対してロバストであることを特徴とするものである。
【００１９】
請求項７記載の発明は、上記目的達成のため、請求項１から４のいずれか１項に記載の形状測定装置において、ばね特性を含んだアクチュエータのパラメータ変動等の不確かさと、要求される制御性能を考慮し、Ｈ∞制御則に基づいて設計されたロバストコントローラを位置決め制御コントローラとして備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
本発明の形状測定装置の第１実施例を図１に示す。図１に示すように、形状測定装置は、キャリッジ１、ばね２、ボイスコイルモータ３、リニアエンコーダ４、位置決めコントローラ５、モータドライバ６、操作量補正値演算部７および操作量補正部８を備えている。
【００２１】
キャリッジ１は、重量Ｍでばね２によって吊るされている。キャリッジ１は、ボイスコイルモータ３によって上下方向（重力方向）に駆動される。キャリッジ１の原点からの変位量Ｘはキャリッジ１に取り付けられているリニアエンコーダ４によって検出される。
モータ推力定数をＫｆ  、モータ電流をＩ、モータ推力をＦ、ばね定数をｋ  、減衰係数をＣとすると、ばね２に吊るされたキャリッジ１のモデルは下記（３）、（４）式で表される。
【００２２】
【数３】
0003600025.tif 000004
【００２３】
よって、電流から位置へ伝達関数は下記（５）式で表される。
【００２４】
【数４】
0003600025.tif 000005
【００２５】
目標位置Ｘｒｅｆ  とリニアエンコーダ４によって検出された位置信号Ｘｓ  は位置決めコントローラ５で比較され偏差に応じた電流司令値ｉｃ  （操作量）が出力される。加えて、ばね力相当の力を操作量補正値演算部７においてノミナルのパラメータを使用した下記（６）式の演算をおこない電流司令補正値ｉｆ  （操作量補正値）を算出し、操作量補正部８において電流司令値ｉｃ  と電流司令補正値ｉｆ  は加算されてモータドライバ６へ入力される。モータドライバ６は入力ｉｃ’に比例したモータ電流Ｉをボイスコイルモータ３に流しキャリッジ１を駆動する。ここではｉｃ’＝Ｉとしている。
【００２６】
【数５】
0003600025.tif 000006
【００２７】
上記の構成によって、ばね力を補正し目標位置に対する応答を向上できる。
また、第２実施例として、上記第１実施例の構成の定常的なばね力相当の力を演算する操作量補正値演算部７に変えて、下記（７）式で表される目標位置Ｘｒｅｆ  から位置Ｘまでの開ループ伝達関数が、要求される応答となるように図２に示す操作量補正値演算部９の補償器Ｇｆ  を設定する。
【００２８】
【数６】
0003600025.tif 000007
【００２９】
これにより、補償器Ｇｆ  の設定によってばね力の補償だけではなくアクチュエータの周波数に依存する特性を改善し、目標位置に対する過渡特性を向上することができる。
この制御系では、目標位置に対する応答はＧｆ  によって調整でき、外乱抑圧性能や安定性は位置決めコントローラ５によって調整できる。
【００３０】
次に、第３実施例として、上記第１実施例のキャリッジ１上にフォーカス検出部１０を備える。フォーカス検出部１０では、ワーク１１表面との距離が焦点距離と一致するジャストフォーカス位置よりずれると、位置偏差Ｘｅ  相当のフォーカス信号が出力される。フォーカス信号は位置偏差相当の出力であるため所定のゲインにより位置偏差Ｘｅ  に変換し、位置決めコントローラ５に入力され位置偏差Ｘｅ  ＝０となるように閉ループによってフォーカス制御がおこなわれる。
【００３１】
フォーカス制御の場合、目標位置Ｘｒｅｆ  は追従するワーク１１の表面形状である。しかし、直接目標位置を検出できないため下記（８）式の関係から目標位置Ｘｒｅｆ’を目標位置演算部１２によって算出し、算出された目標位置Ｘｒｅｆ’を使用して上記第１実施例と同様にばね力を補償する。
【００３２】
【数７】
0003600025.tif 000008
【００３３】
これにより、フォーカス追従時の応答性を向上できる。
次に、第４実施例を図４に示す。図４に示す図は、ばねの変位に比例して発生するばね力に加え、アクチュエータの周波数に依存する特性を改善する操作量補正値演算部９、フォーカス検出部１０を備えた形状測定装置の一実施例を示す概念図である。
【００３４】
この形状測定装置は上記第２実施例のキャリッジ１上にフォーカス検出部１０を備える。フォーカス検出部１０では、ワーク１１表面との距離がジャストフォーカス位置よりずれると、位置偏差Ｘｅ  相当のフォーカス信号が出力される。フォーカス信号は位置偏差相当の出力であるため所定のゲインにより位置偏差Ｘｅ  に変換し、位置決めコントローラ５に入力され位置偏差Ｘｅ  ＝０となるように閉ループによってフォーカス制御がおこなわれる。
【００３５】
フォーカス制御の場合、目標位置Ｘｒｅｆ  は追従するワーク１１の表面形状である。しかし、直接目標位置を検出できないため（８）式の関係から目標位置Ｘｒｅｆ’を目標位置演算部１２によって算出し、算出された目標位置Ｘｒｅｆ’を使用して上記第２実施例と同様に補償器Ｇｆ  によってばね力の補償だけではなくアクチュエータの周波数に依存する特性を改善し、ワーク１１表面への追従時の過渡特性を向上できる。
【００３６】
また、上記第１実施例の形状測定装置を基にしてアクチュエータの伝達関数をＰ、コントローラをＫ、ｋｎ  ／Ｋｆｎ＝Ｇｆ  とおいた位置決め制御系のブロック線図を図５とする。これを書き換えると図６となる。最終値の定理から、目標位置から位置への最終値を求めると下記（９）式となり、パラメータ変動によって微小な位置偏差が発生することがわかる。
【００３７】
【数８】
0003600025.tif 000009
【００３８】
よって、Ｐ（０）  とＧｆ  ＝ｋｎ  ／ｋｆｎを代入すると
【００３９】
【数９】
0003600025.tif 000010
【００４０】
そこで、コントローラに積分要素を含めてＫ／ｓ  とすると、最終値は下記（１０）式のように位置偏差は発生しない。
【００４１】
【数１０】
0003600025.tif 000011
【００４２】
これによって、外乱やパラメータ変動による操作量補正値のずれによって発生する定常的な微小位置偏差を低減できる。
次に、第１実施例の形状測定装置に外乱オブザーバを付加したブロック線図を図７に示す。
【００４３】
【外１】
0003600025.tif 000012
【００４４】
ここでは下記（１１）式の状態方程式と下記（１２）式の出力方程式で表す。
【００４５】
【数１１】
0003600025.tif 000013
【００４６】
一般的なオブザーバのブロック線図を図８に示す。
オブザーバの状態方程式は下記（１３）式、出力方程式は下記（１４）式で表される。
【００４７】
【数１２】
0003600025.tif 000014
【００４８】
プラントに印加される外乱もしくはノミナルモデルに対するパラメータ変動相当の推定加速度外乱となる。推定された加速度外乱を電流値に変換しフイードバックすることによって外乱およびパラメータ変動を抑圧する。
【００４９】
【外２】
0003600025.tif 000015
【００５０】
ことによって外乱およびパラメータ変動を抑圧する。
また、外乱オブザーバのパラメータの設計方法によって、外乱やパラメータ変動の周波数に対する応答性を設定できノイズに対して強くできる。
次に、（５）式のアクチュエータの伝達関数を下記（１５）式として書き換える。また添え字のｎｏｍ  はノミナルモデルを示す。
【００５１】
【数１３】
0003600025.tif 000016
【００５２】
ここで、以下の３つのパラメータに対してロバスト安定性を確保する場合を例とする。
減衰項                  ２ζｃｎｏｍωｃｎｏｍ
共振周波数項            ωｃｎｏｍ２
比例項                  Ｇｃｏ＿ｎｏｍ
上記３つのパラメータに以下のような加法的摂動（パラメータ変動）がある場合を考える。
【００５３】
減衰項の摂動              γ  １
共振周波数項の摂動        γ  ２
比例項の摂動              γ  ３
伝達関数Ｗａｄｄ＿ｃ  として表される３つの不確かさを覆う不確かさの周波数重みと、制御性能の周波数重み（ここでは、Ｗｐｅｒｆ＿ｃ１  、Ｗｐｅｒｆ＿ｃ２  とする）を図９に示す。上記周波数重みとアクチュエータのノミナル数学モデルから図１０のブロック線図で表される一般化プラントを設計する。
【００５４】
ここでは、制御性能と安定性を確保するロバスト制御性能を満足するコントローラの設計方法として、評価関数として構造化特異μを使用したμ設計を導入する。
一般化プラントにおけるＨ∞ノルムが所定値以下となるＨ∞コントローラの算出をし、次に、μ解析、Ｄスケーリング行列を用いたモデルの再構築、再びＨ∞コントローラの算出の繰り返し（Ｄ−Ｋ  ｉｔｅｒａｔｉｏｎ）  を行い、Ｈ∞ノルムが１以下で構造化特異値μが１以下となるロバストコントローラＫｃ  を設計する。
【００５５】
図１０では、計算の都合上、各周波数重みを入力出力の２つに分けて描いてある。（添え字のｌ、ｒ）
【００５６】
【外３】
0003600025.tif 000017
【００５７】
Ｈ∞制御理論に基づいたコントローラを位置決め制御コントローラに用いたことによって、制御性能を犠牲にすることなくパラメータ変動に対してロバストとなる。
【００５８】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、目標位置に応じたばね力相当の操作量補正値を算出し、操作量に加算することによって、位置決め制御系の閉ループの制御性能と安定性に影響を及ぼすことなくばね力を補償し、目標位置に対する応答性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
【００５９】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明の効果に加えて、ばね力の補償だけではなくアクチュエータの周波数に依存する特性を改善し、目標位置に対する過渡特性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
請求項３記載の発明によれば、フォーカス制御系では直接目標位置を検出できないため、フォーカス信号と位置信号から目標位置を演算し、求めた目標位置を使用してばね力相当の操作量補正値を算出し、操作量に加算することによって、位置決め制御系の閉ループの制御性能と安定性に影響を及ぼすことなくばね力を補償し、目標位置に対する応答性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
【００６０】
請求項４記載の発明によれば、請求項３記載の発明の効果に加えて、ばね力の補償だけではなくアクチュエータの周波数に依存する特性を改善し、目標位置に対する過渡特性を改善する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
請求項５記載の発明によれば、請求項１から４記載の発明の効果に加えて、装置の傾き等により外乱が印加されたり、パラメータ変動による操作量補正値のずれによって発生する定宮的な微小位置偏差を低減する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
【００６１】
請求項６記載の発明によれば、請求項１から４記載の発明の効果に加えて、パラメータ変動を補償し、かつ、外乱を抑圧可能な位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
請求項７記載の発明によれば、請求項１から４記載の発明の効果に加えて、ロバスト制御性能を満足する位置決め制御系を備えた形状測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る形状測定装置の第１実施例を示す概念図である。
【図２】本発明に係る形状測定装置の第２実施例を示す概念図である。
【図３】本発明に係る形状測定装置の第３実施例を示す概念図である。
【図４】本発明に係る形状測定装置の第４実施例を示す概念図である。
【図５】位置決め制御系のブロック線図である。
【図６】位置決め制御系のブロック線図である。
【図７】第１実施例に外乱オブザーバを付加したブロック線図である。
【図８】一般的なオブザーバのブロック線図である。
【図９】伝達関数Ｗａｄｄ＿ｃ  として表される３つの不確かさを覆う不確かさの周波数重みと、制御性能の周波数重みを示す図である。
【図１０】周波数重みとアクチュエータのノミナル数学モデルから設計した一般化プラントのブロック線図である。
【符号の説明】
１  キャリッジ
２  ばね
３  ボイスコイルモータ
４  リニアエンコーダ
５  位置決めコントローラ
６  モータドライバ
７  操作量補正値演算部
８  操作量補正部
９  操作量補正値演算部
１０  フォーカス検出部
１１  ワーク
１２  目標位置演算部
【図１】
0003600025.tif 000018
【図２】
0003600025.tif 000019
【図３】
0003600025.tif 000020
【図４】
0003600025.tif 000021
【図５】
0003600025.tif 000022
【図６】
0003600025.tif 000023
【図７】
0003600025.tif 000024
【図８】
0003600025.tif 000025
【図９】
0003600025.tif 000026
【図１０】
0003600025.tif 000027