【手続補正書】
【提出日】平成29年6月2日(2017.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
照明側は、スペクトル帯ならびに入力偏光状態を選択するための任意の好適な機構も含み得る。例えば、システム１００は、異なる波長範囲を選択するための複数の色または波長フィルタ１３０、及び異なる入力偏光状態を選択するための入力偏光子１３２を含み得る。同様に、集光側は異なる偏光状態を選択するための出力偏光子１３４を含み得る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
各合成画像についての欠陥検出特性は、本明細書にさらに記載されるような最適な開口組み合わせを決定するために、分析され得る。欠陥検出特性の１つの例は、信号対雑音（Ｓ／Ｎ）比である。他の例には、信号と雑音信号との差等が挙げられる。図示される実施例では、組み合わされた開口４５２ｃについての合成画像４５４ｃは１．７７のＳ／Ｎ比を有し、一方で、開口組み合わせ４５２ｄについての合成画像４５４ｄは１．９２のＳ／Ｎ比を有する。開口組み合わせ４５４ｄが、開口組み合わせの全てまたは開口組み合わせの所定の組の全ての中で最も高いＳ／Ｎ比を有する場合、かかる開口組み合わせ４５４ｄは最適な開口構成として定義され得る。本明細書にさらに記載されるような最適な開口組み合わせを定義するために、他の測定基準が使用され得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
さらなる開口（及びモード）選択技術を説明する前に、まず開口セレクタの実施形態が説明され得る。複数の瞳（もしくはフーリエ面）位置の各々に開口を選択的に適用する、または最適な開口構成を構成するための、照明（または集光）開口セレクタは、任意の好適な形態を取り得る。図５は、本発明の一実施形態に従う、照明セレクタの斜視図である。本実施例では、照明セレクタは３つの開口ディスク５０２、５０４、及び５０６を備える。各開口ディスクは、複数の異なる開口構成（例えば、ディスク５０２についての開口構成５０８ａ及び５０８ｂ、ディスク５０４についての開口構成５１０ａ、ならびに、ディスク５０６についての開口構成５１２ａ、５１２ｂ、及び５１２ｃ）を含む。入射ビーム（または光線束）５１４を受光するための特定の開口構成は、各ディスクについて選択され得、３つのディスクからの３つの選択された開口構成は、その後、様々な数の開口設定及び結果として生じる照明瞳プロファイルをもたらすために、重ねられ得る。本明細書に記載される技術のいずれかを使用して最適な開口構成が発見された後、３つの開口ディスクは、照明（または集光）ビームについての最適な開口構成（利用可能であれば）を達成するために、互いに関して動かされ得る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
図６Ａは、本発明の実装のある具体的な実施例に従う、異なる開口構成を達成するために個々の開口を組み合わせることを図示する。示されるように、第１のディスク６０２の特定の開口構成６０２ａは、第２のディスク６０４の４つの開口構成６０４ａ、６０４ｂ、６０４ｃ、及び６０４ｄのうちの１つと組み合わされ得る。４つの異なる組み合わせは、開口構成６０６ａ〜６０６ｄをもたらし得る。例えば、ディスク６０２からの開口構成６０２ａをディスク６０４の開口構成６０４ａと組み合わせることは、開口構成６０６ｂをもたらす。同様に、ディスク６０２からの開口構成６０２ａをディスク６０４の開口構成６０４ｂと組み合わせること。照明セレクタは、開口の最適な組を達成するために、他のディスクからの他の開口構成と組み合わされ得る、各ディスク（例えば６０４ｅ及び６０４ｆ）上の他の開口構成を含み得る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
結果として生じる画像は、４つの位置全てで開けられている開口についての画像を生成するために組み合わされ得る。具体的には、開口構成６５２ａ〜６５２ｄから生じた画像６５４ａ〜６５４ｄは、４つの開口位置全て（例えば、６５２ａ〜６５２ｄの組み合わせ）で開口を有する開口構成についての合成画像６５８を得るために、合計される。つまり、画像６５８は、開口構成６５６を用いて生じ得る、再構築された画像または結果の推定である。開口構成６５６が最適な開口構成であると決定され、かかる開口構成が、例えば照明セレクタの異なる開口構成（例えば異なるディスクからの）を選択すること及び重ねることによって、検査治具上で利用可能である場合、この開口構成は、最適な結果を生成すると証明され得る、実際の画像６６０を形成するために使用され得る。そうでなければ、新しい開口構成が製作され得、証明され得る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
以下の実施例は、本発明の特定の実施形態を用いて達成され得る様々な数の開口構成の、ほんの下位部分のみを図示する。図７は、開口構成の第１の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。示されるように、第１のディスク（図５の５０４）からの第１の開口構成５１０ａ、第２のディスク（５０２）の第２の開口構成５０８、及び第３のディスク（５０６）の第３の開口構成５１２ａは、例えば瞳面で、照明または入射ビーム（５１４）が通過する、最終開口構成７３０を達成するために、重ねられて組み合わされ得る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
図８は、開口構成の第２の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。図７のように、第１の開口構成５１０ａは、瞳区域全体を覆って完全に透明である。図８の第２の開口構成５０８ｂは、不透明部分８０４及び８０６によって囲まれる、垂直透明ストリップ８０２を有する。第３の開口構成５１２ｂは、不透明部分８２４及び８２０によって囲まれる、水平透明ストリップ８２２を有する。結果として生じる開口構成８３０は、不透明部分８３２によって囲まれる、正方形透明部分８３４を有する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
図９は、開口構成の第３の実施例を達成するために３つの開口構成を組み合わせることを図示する。第１の開口構成５１０ａは完全に透明であり、第２の開口構成５０８ａは図７の開口構成５０８ａと同一である。第３の開口構成５１２ｃは、透明Ｖ字部分９２４及び９２６、ならびに不透明Ｖ字部分９２０及び９２２を有する。結果として生じる開口構成９３０は、不透明部分９３２によって囲まれる透明円弧セグメント９３４及び９３６を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
入射ビームは、その後動作１００４で、生成され、選択された照明開口を通って試料に向かって方向付けられる。例えば、選択された開口位置は、１つ以上の第１の入射角度で、試料に向かって透過している光線束をもたらす。選択された開口位置は入射ビームをもたらし、単一の入射角度でまたは狭い範囲の入射角度で、試料に向かって方向付けられ得、例えば各々の選択された開口位置は、約５度未満の入射の角度に対応し得る。試料は、任意の数及び種類の関心欠陥（ＤＯＩ）、擬似欠陥、及び雑音を含み得る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
ある具体的な実施例では、異なる開口構成が照明セレクタの異なるディスクから選択され得、これらの選択された開口構成は、瞳区域内に異なる不透明及び透明部分を有する。特定の格子点の単一の開口に対応する光線束を除き、入射ビームのほとんどが瞳区域を通過するのを遮断されるように、選択された開口構成は、単一の開口を照明瞳面の特定の格子点に位置付けさせるために、互いと重ねられ得る。結果として生じる入射ビームは、瞳区域の特定の格子点に対応する入射角度を有し得る。例えば、開口が瞳区域の外側縁に配置される場合、入射ビームは比較的斜めの角度を有し得る（例えば図２を参照）。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
ＰＤＥ方程式は、瞳（またはフーリエ区域）の一部を部分的に覆う最初の円開口を表すために使用され得る。方程式はその後、この最初の円開口の周囲長上の１つ以上の点がその後最良の開口構成を発見するために発展されるように、調節される。例えば、瞳区域全体についてのグローバルな最適化がこの発展アプローチと共に位置付けられているため、どの最初の開口が選択されるかは問題でない。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
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【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１Ｂ】
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