(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、
長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、
前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、
前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構と、
を具備してなることを特徴とするレーザミラーの固定装置。
【請求項２】
ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、
長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、
前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、
前記ミラー支持部材に設けられ前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段と、
を具備してなることを特徴とするレーザミラーの固定装置。
【請求項３】
ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、
長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、
前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、
前記ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構と、
を具備してなることを特徴とするレーザミラーの固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば電子ビーム描画装置、マスク検査装置等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、電子ビーム描画装置、又はマスク検査装置等においては、試料（被処理材）を膨脹率の小さいセラミックス等の材料で作られた移動ステージ上に位置決め固定し、移動ステージを移動させながら試料に描画したり、又は検査するようになっている。
【０００３】
また、この種の装置においては、レーザ光による位置測定システムが採用されて、移動ステージの位置精度の向上が図られており、図６に示すように、移動ステージａ上には、ミラー支持部材であるミラー台ｂを介してレーザミラーｃが固定されている。
【０００４】
前記ミラー台ｂは、レーザミラーｃが熱の影響で平面度を害さないように熱膨脹率の小さい材料で製作され、その両端部を固定ネジｄを介して移動ステージａに固定されている。また、レーザミラーｃは、その両端面を前記レーザミラーｃの長さ方向に変形可能でミラー面と直角方向には変形しないようにミラー固定金具ｅ，ｆを介してミラー台ｂに接着固定されている。
一方、近ごろ大型装置の開発、実用化も進められており、これら大型装置に使用されるレーザミラーｃおよびミラー台ｂも大型化しているのが現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来は、レーザミラー平面度を害することがないように、ミラー支持部材であるミラー台が熱膨脹率の小さい材料で製作されており、これが大型化した場合、加工上の問題や、コストがかさむ、精度も出に難いといった問題がでてきた。また、熱膨脹率の小さい材料で製作されているとはいえ、運送時等において高い外気温度に晒された場合などには、熱膨脹を押さえることができず接着部が剥がれる等の虞れがあった。
【０００６】
また、従来は、レーザミラーの両端部のみを固定しており、レーザミラーが大型化した場合、移動ステージ走行時の振動加速度によるレーザミラーの変形が生じたり、レーザミラーの曲りが生じて、レーザミラーの平面度を害し、精度のよい位置測定が行えなえない等の問題があった。
【０００７】
本発明は、上記事情に基づきなされたもので、第１の目的とするところは、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供するものである。
【０００８】
また、第２の目的とするところは、大型のレーザミラーであっても、レーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するための第１の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、前記移動ステージと前記レーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したものである。
【００１０】
また、第２の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、前記移動ステージと前記レーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収するＵ字状曲成部を有する２か所のヒンジ機構部を形成したものである。
【００１１】
また、第３の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構とを具備してなる構成としたものである。
【００１２】
また、第４の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、前記ミラー支持部材に設けられ前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段とを具備してなる構成としたものである。
【００１３】
また、第５の手段として、ＸＹステージ等の移動ステージに、レーザ光による位置測定システムで用いられるレーザミラーを固定するレーザミラーの固定装置であって、長さ方向の両端に前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を有し、かつ前記移動ステージと前記レーザミラーとの間に介在されると共に前記変形吸収部より外側、および長さ方向の中間部を移動ステージに固定したミラー支持部材と、前記レーザミラーの両端部を前記変形吸収部より外側において前記ミラー支持部材の両端部に固定するミラー固定部材と、前記ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構とを具備してなる構成としたものである。
【００１４】
上記のように、本発明の上記第１の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１５】
また、上記第２の手段によれば、ミラー支持部材にＵ字状曲成部を有する２か所のヒンジ機構部を形成したから、レーザミラーの長さ方向の変形を吸収することができ、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１６】
また、上記第３の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構を設けたから、レーザミラーが大型化した場合であっても、移動ステージ走行時の振動加速度によるレーザミラーの変形が防止でき、レーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１７】
また、上記第４の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００１８】
また、上記第５の手段によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができると共に、容易に微調整できる構成であり、調整が容易かつ確実に行えるものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図１を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。
図中１は、ＸＹ方向に移動可能でかつ上面に試料保持部（図示しない）を有する移動ステージであり、この移動ステージ１上には、ミラー支持部材としてのミラー台２を介して位置測定用のレーザミラー３が配設されている。
【００２０】
前記ミラー台２は、長さ方向の両端を固定部材としての２本のミラー台固定ねじ４，４を介して下面側からねじ止めされている。
また、レーザミラー３は、ミラー台２の長さ方向の両端部の上面に接着固定された第１のミラー固定部材としてのＬ字状固定金具５と、変形吸収部となるＵ字状曲成部を有する第２のミラー固定部材としての固定金具６との間に介在され、これら固定金具５，６との相互対向面部が接着材によって接着固定されている。
【００２１】
また、ミラー台２の長さ方向の両端部、すなわち、前記移動ステージ１および前記レーザミラー３の固定点に近い内側に、前記レーザミラー３の長さ方向（矢印Ａ方向）の変形を吸収する変形吸収部としてのＵ字状曲成部７，７を有するヒンジ機構部８，８が形成されている。
【００２２】
そして、ミラー台２が熱膨脹で長さ変化が生じた際、移動ステージ１との固定点Ｂ，Ｃはそのままの位置でヒンジ機構部８，８のＵ字状曲成部７，７が変形することにより長さ変化を吸収できる。
【００２３】
これにより、ミラー支持部材としてのミラー台２の熱変形が大きくても、接着部Ｄ…が剥がれたり、レーザミラー３の平面度を害することがない。
このため、ミラー台２の材料として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができるものである。
【００２４】
また、特に装置を運送する場合など、温度変化が大きく熱膨脹率の大きい場合でも、ヒンジ機構部８，８のＵ字状曲成部７，７が変形することにより長さ変化を吸収できるため接着部Ｄ…が剥がれることがなく、信頼性の向上が可能なものとなる。
【００２５】
つぎに、図２ないし図３を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。
図中１は、ＸＹ方向に移動可能でかつ上面に試料保持部（図示しない）を有する移動ステージであり、この移動ステージ１上には、ミラー支持部材としてのミラー台２を介して位置測定用のレーザミラー３が配設されている。
【００２６】
前記ミラー台２は、長さ方向の両端、および長さ方向の中間部を固定部材としての３本のミラー台固定ねじ４…を介して下面側からねじ止めされている。
このミラー台２の長さ方向の両端部、すなわち、前記移動ステージ１の固定点に近い内側に、前記レーザミラー３の長さ方向（矢印Ａ方向）の変形を吸収する変形吸収部としてのＵ字状曲成部７，７を有するヒンジ機構部８，８が形成されている。
【００２７】
また、レーザミラー３は、ミラー台２の長さ方向の両端部の上面に接着固定された第１のミラー固定部材としてのＬ字状固定金具５と、変形吸収部となるＵ字状曲成部を有する第２のミラー固定部材としての固定金具６との間に介在され、これら固定金具５，６との相互対向面部が接着材によって接着固定されている。
【００２８】
さらに、前記レーザミラー３の長さ方向の中間部は、後述するミラー支持機構１０によって、その高さを微調整した状態で支持されている。
ミラー支持機構１０は、ミラー台２とレーザミラー３との間に介在されて固定される支持部材としてのサポート金具１１を有した構成となっている。サポート金具１１は、ミラー台２の中間部に形成された切欠凹所１２の底面からなる傾斜支持面１３と接する下端傾斜支持面１１ａと前記レーザミラー３の下面と接する上端水平支持面１１ｂを有する。
【００２９】
サポート金具１１は、傾斜支持面１３の傾斜方向に沿ってスライドさせることにより、上端水平支持面１１ｂの高さ調整が可能となっており、レーザミラー３の下面とサポート金具１１の上端水平支持面１１ｂとが密着する位置に調整した後、接着材を介して接着固定する。
【００３０】
サポート金具１１は、鉄道レ−ルを断面したような断面形状を呈しており、レーザミラー３の長手方向に剛性が弱くミラー面を直角方向には剛性の大きい構造となっており、レーザミラー３とミラー台２の膨脹率の差による熱変形時の伸縮を吸収するようになっている。
【００３１】
また、サポート金具１１を接着固定する際に、レーザミラー３とサポート金具１１、サポート金具１１とミラー台２の隙間をゼロとすることにより接着時の接着材の収縮等による変形も防止できるものである。
【００３２】
この第２の実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様、ヒンジ機構部８，８を設けたことによる作用効果に加え、ミラー台２の長さ方向の中間部を固定ねじ４を介して固定すると共に、ミラー支持機構１０によって、レーザミラー３の長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するようにしたから、レーザミラー３が大型化した場合であっても、移動ステージ１の走行時の振動加速度によるレーザミラー３の変形が防止でき、レーザミラー３の平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができるものである。
【００３３】
つぎに、図４ないし図５を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。
この第３の実施の形態は、前述の第１の形態のものに、前述の第２の形態と同様にミラー台２の中間部に、底面が傾斜支持面１３となる切欠凹所１２を形成し、この部分にミラー曲り修正機構２０を設けたものとなっている。
【００３４】
このミラー曲り修正機構２０は、ミラー台２に傾斜角をもって取り付けられたヒンジ部２１ａを回動支点として回動可能なアーム２１を有する調整金具２２と、前記アーム２１に固定され前記レーザミラー３の長さ方向と直交する被押圧面３ａと対向するＬ字状の押圧部材としての押付け板２３と、前記アーム２１の捩じ角度を調整して前記押付け板２３の前記被押圧面３ａ方向の変位量を変えるアーム変位部材としてのクサビ金具２４とを備えた構成となっている。
【００３５】
そして、レーザミラー３の曲りを修正する場合には、クサビ金具２４を押しねじ２５を介して傾斜支持面１３の傾斜上端方向（図４の矢印Ｅ方向）に移動させる。これにより、アーム２１の自由端側が押上げられ、アーム２１はミラー面である被押圧面３ａと直角方向に僅かな傾斜角をなすヒンジ部２１ａを回動支点として図４の矢印Ｆ方向に回動変位する。
【００３６】
これによりアーム２１に取付けられた押付け板２３が図５の矢印Ｇ方向に変位し、押付け板２３がレーザミラー３の被押圧面３ａを押すことで、レーザミラー３の微小な曲りを修正するものである。
【００３７】
なお、押しねじ２５の回転をクサビ金具２４の傾斜、ヒンジ部２１ａの傾斜部とでレーザミラー３への押し付け移動量を縮小すると同時に押し付け力を拡大している。
【００３８】
この第３の実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様、ヒンジ機構部８，８を設けたことによる作用効果に加え、ミラー曲り修正機構２０を設けたから、レーザミラー３の曲りを修正してレーザミラー３の平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができると共に、容易に微調整できる構成であり、調整が容易かつ確実に行えるものである。
なお、本発明は、上記実施の形態に限らず、要旨を変えない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【００３９】
【発明の効果】
上記したように、本発明によれば、次のような効果を奏する。
上記第１の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４０】
また、上記第２の実施の形態によれば、ミラー支持部材にＵ字状曲成部を有する２か所のヒンジ機構部を形成したから、レーザミラーの長さ方向の変形を吸収することができ、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４１】
また、上記第３の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの長さ方向には変形し易くレーザ光の入反射方向には剛性の大きい構造であって前記ミラー支持部材と前記レーザミラーとの間に介在されて固定される支持部材を有し、前記レーザミラーの長さ方向の中間部をその高さを微調整した状態で支持するミラー支持機構を設けたから、レーザミラーが大型化した場合であっても、移動ステージ走行時の振動加速度によるレーザミラーの変形が防止でき、レーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４２】
また、上記第４の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正手段を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができる。
【００４３】
また、上記第５の実施の形態によれば、移動ステージとレーザミラーとの間にミラー支持部材を介在させて該ミラー支持部材の両端を移動ステージに固定すると共に前記レーザミラーを前記ミラー支持部材の両端で固定し、かつ、前記ミラー支持部材の両端部で前記移動ステージおよび前記レーザミラーの固定点に近い内側に、前記レーザミラーの長さ方向の変形を吸収する複数の変形吸収部を形成したから、ミラー支持部材の熱変形が大きくても、接着部が剥がれたり、レーザミラーの平面度を害することがなく、ミラー支持部材として、加工が容易で、安価、高精度を出し易い材料の使用が可能となり、製造性、経済性、信頼性の向上を可能としたレーザミラーの固定装置を提供することができる。また、ミラー支持部材に傾斜角をもって回動可能に取り付けられたアーム、該アームに固定され、前記レーザミラーの長さ方向と直交する被押圧面と対向する押圧部材、および前記アームの捩じ角度を調整して前記押圧部材の前記被押圧面方向の変位量を変えるアーム変位部材を有し、前記レーザミラーの曲りを修正した状態で支持するミラー曲り修正機構を設けたから、レーザミラーの曲りを修正してレーザミラーの平面度を維持でき、精度のよい位置測定を可能とした信頼性の高いレーザミラーの固定装置を提供することができると共に、容易に微調整できる構成であり、調整が容易かつ確実に行えるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す断面図。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す断面図。
【図３】図２のＲ−Ｒ線に沿う断面図。
【図４】本発明の第３の実施形態を示す正面図。
【図５】図４のＳ−Ｓ線に沿う断面図。
【図６】従来例を示す一部断面正面図。
【符号の説明】
１…移動ステージ、２…ミラー台（ミラー支持部材）、３…レーザミラー、３ａ…被押圧面、４…ミラー台固定ねじ、５…Ｌ字状固定金具（第１のミラー固定部材）、６…固定金具（第２のミラー固定部材）、７…Ｕ字状曲成部（変形吸収部）、８…ヒンジ機構部、Ｂ，Ｃ…固定点、Ｄ…接着部、１０…ミラー支持機構、１１…サポート金具（支持部材）、１１ａ…下端傾斜支持面、１１ｂ…上端水平支持面、１２…切欠凹所、１３…傾斜支持面、２０…ミラー曲り修正機構、２１ａ…ヒンジ部、２１…アーム、２２…調整金具、２３…押付け板（押圧部材）、２４…クサビ金具（アーム変位部材）、２５…押しねじ。
【図１】
0003604465.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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