(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を搬送手段で保持し、検査対象物の外面を写し出しているミラーを検査対象物の周囲にて移動させるとともに、ミラーと同期してラインセンサカメラも回転させながら、検査対象物の複数の面をミラーを介して順次ラインセンサカメラで撮像し、撮像された検査対象物の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物の外面の良否を判定する事を特徴とする検査対象物の外観検査方法。
【請求項２】
検査対象物を搬送手段で保持し、ラインセンサカメラを検査対象物の周囲にて移動させて検査対象物の複数の面を順次ラインセンサカメラで撮像すると共にラインセンサカメラによって捕らえられなかった検査対象物の他の面を、検査対象物の周囲を移動するミラーを介してミラーと同期して回転する前記ラインセンサカメラにて撮像し、撮像された検査対象物の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物の外面の良否を判定する事を特徴とする検査対象物の外観検査方法。
【請求項３】
検査対象物の周囲を移動して検査対象物の複数の面を順次写し出すミラーと、ミラーと同期して回転し、ミラーを介して検査対象物の面を順次撮像するラインセンサカメラと、検査対象物を保持し且つ移動させる搬送手段と、撮像された検査対象物の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物の外面の良否を判定する画像処理手段と、画像処理手段によってなされた判定に従って検査対象物を良否に仕分ける仕分け手段とで構成されている事を特徴とする検査対象物の外観検査装置。
【請求項４】
検査対象物の周囲を移動して検査対象物の複数の面を直接及びミラーを介して順次撮像するラインセンサカメラと、ラインセンサカメラによって直接捕らえられなかった検査対象物の他の面を、検査対象物の周囲をラインセンサカメラの回転と同期して移動しながら写し出すミラーと、検査対象物を保持し且つ移動させる搬送手段と、撮像された検査対象物の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物の外面の良否を判定する画像処理手段と、画像処理手段によってなされた判定に従って検査対象物を良否に仕分ける仕分け手段とで構成されている事を特徴とする検査対象物の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、検査対象物である板状体の表裏両面或いは多面体の表面の外観上の欠陥を、より少ないラインセンサカメラで画像処理を行い、高速且つ自動的に検査する外観検査方法とその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
大量に生産される工業生産物の中には、その製品の用途によって外観（全外面又は必要な面のみ）上の欠陥の全数検査が必要とされるものがある。例えば、食品容器、薬品容器、電子部品等である。これらは主に樹脂成形品や金属加工部品又は非金属加工部品の組み立て等により製造され、外形が多面体の複雑な形状を有するものが多い。これらの外観検査は従来人手による目視検査によって行われている。このような多面体を画像処理技術によって自動検査することは原理的には可能であるが、従来検査方法では、例えば６面体の場合、その全表面を漏れなく撮像して全平面画像を得るためには、一般的には６台のラインセンサカメラによる６方向からの撮像が必要であり検査時間が長くなるとともに多数の画像処理回路を使用するので装置が極めて複雑で大型で高価となるため現実性に乏しかった。
【０００３】
この事は板状体（シート状物も含む）のように表裏両面を１パスで同時に検査する場合でも言え、従来では水平に流れる板状体の上下に２台のラインセンサカメラを設置し、板状体の表裏両面を検査していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、検査対象である板状体の表裏両面又は多面体の全表面或いは検査を必要とする複数の面の外観の撮像をより少ないカメラ台数で高速度で経済的に実現する事にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明の課題解決手段について説明するに当たり、本明細書を通じて言える事であるが、ある物の下位概念に属するものは、その符号にアルファベットを付して表す事とする。
【００２３】
本発明方法の請求項１は、『検査対象物(1)を搬送手段(10)で保持し、検査対象物(1)の外面を写し出しているミラー(4)を検査対象物(1)の周囲にて移動させるとともに、ミラー(4)と同期してラインセンサカメラ(2)も回転させながら、検査対象物(1)の複数の面(A)(F)(C)(E)をミラー(4)を介して順次ラインセンサカメラ(2)で撮像し、撮像された検査対象物(1)の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物(1)の外面の良否を判定する事を特徴とする検査対象物の外観検査方法』であり、検査対象物(1)の外面(A)(F)(C)(E)の撮像及び良否判定が可能となる。
【００２４】
本発明方法の請求項２は、検査対象物(1)の更に多くの面を移動可能なラインセンサカメラ(2)及びミラー(4)で撮像するもので『検査対象物(1)を搬送手段(10)で保持し、ラインセンサカメラ(2)を検査対象物(1)の周囲にて移動させて検査対象物(1)の複数の面(A)(F)(C)(E)を順次ラインセンサカメラ(2)で撮像すると共にラインセンサカメラ(2)によって捕らえられなかった検査対象物(1)の他の面(B)(D)を、検査対象物(1)の周囲を移動するミラー(4a)(4b)を介してミラー(4)と同期して回転する前記ラインセンサカメラ(2)にて撮像し、撮像された検査対象物(1)の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物(1)の外面(A)(F)(C)(E)(B)(D)の良否を判定する事を特徴とする検査対象物の外観検査方法』であり、検査対象物(1)の略全面の撮像及び良否判定が可能となる。
【００３５】
本発明装置の請求項３は、『検査対象物(1)の周囲を移動して検査対象物(1)の複数の面(A)(F)(C)(E)を順次写し出すミラー(4)と、ミラー(4)と同期して回転し、ミラー(4)を介して検査対象物(1)の面(A)(F)(C)(E)を順次撮像するラインセンサカメラ(2)と、検査対象物(1)を保持し且つ移動させる搬送手段(10)と、撮像された検査対象物(1)の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物の外面(A)(F)(C)(E)の良否を判定する画像処理手段(20)と、画像処理手段(20)によってなされた判定に従って検査対象物(1)を良否に仕分ける仕分け手段(21)とで構成されている事を特徴とする検査対象物の外観検査装置』である。
【００３６】
本発明装置の請求項４は、『検査対象物(1)の周囲を移動して検査対象物(1)の複数の面(A)(F)(C)(E)(B)(D)を直接及びミラー(4)を介して間接的に順次撮像するラインセンサカメラ(2)と、ラインセンサカメラ(2)によって直接捕らえられなかった検査対象物(1)の他の面(B)(D)を、検査対象物(1)の周囲をラインセンサカメラ(2)の回転と同期して移動しながら写し出すミラー(4)と、検査対象物(1)を保持し且つ移動させる搬送手段(10)と、撮像された検査対象物(1)の画像を予め登録された基準画像と比較して検査対象物(1)の外面(A)(F)(C)(E)(B)(D)の良否を判定する画像処理手段(20)と、画像処理手段(20)によってなされた判定に従って検査対象物を良否に仕分ける仕分け手段(21)とで構成されている事を特徴とする検査対象物の外観検査装置』である。
【００４１】
【発明の実施の形態】
本発明が適用される検査対象物(1)には多面体や板状体が含まれ、多面体は、図１２に示す４面体(1)や、図１３に示す６面体(1)のように平面だけで構成される立体物のみならず、図１４に示すようにその一部が曲面部分を含むもの（勿論、全面が曲面で構成されていてもよい）、図１５に示すように突起、或いは図１６に示すように鍔などを有するあらゆる形状のものが含まれる。
【００４２】
また、板状体（図示せず）の場合は、少し肉のある板状のもので、保持されて移動中にヒラヒラしたり変形しないものがよい。ただし、前記条件を満たす限りほとんど肉のない紙状或いはシート状のもの、又はこれらが曲がっているもの或いは折られているものや、形状的には単に長方形や正方形のものだけでなく、組み立て前の箱の形状のような複雑なもの、窓空きのものなどあらゆる形状のものでもよい。
【００４３】
検査対象物（１）には、その必要面（正面、背面、両側面、平面及び底面のいずれか或いはその全部）には印刷或いは刻設その他の手段にて文字や絵柄が描かれる。（逆に、シミや汚れ一つない面でシミや汚れが欠陥となる場合もある。）
本発明は、少なくとも文字や絵柄が描かれている面を機械で検査するためのものであり、以下その実施例を図面と共に詳述する。
【００４４】
図１は本発明の基本的実施形態（搬送手段（１０）が１基で検査対象物（１）を持ち替えることなく回転やスライドなどの動作を組み合わせて検査する場合）を説明するための斜視図である。ます、図１に付いて説明し、続いて図２以下を説明する。ただし、説明の重複を避けるため、原則として図１と相違する部分のみを説明するものとする。
（１）は多面体である検査対象物の１例で、ここでは６面体をその代表例として説明するが、勿論これに限られるものではない。この表面を構成する上下左右前後の６面はそれぞれ（Ａ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｂ）（Ｅ）（Ｆ）であり、それぞれ文字Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆが描かれているものとする。
【００４５】
（２）はラインセンサカメラであって支持架台（図示せず）に取り付けられており、上方向から検査対象物（１）を撮像する。撮像は、ラインセンサカメラ（２）の線状視野が検査対象面を端から端まで移動することによって行われるもので、ラインセンサカメラ（２）を移動させてもよいし、検査対象面（１）を移動させてもよいし、或いはミラー（４）を移動させてもよい。この点は本発明全体を通じて共通するものである。
図１の場合は、検査対象物（１）の平面（Ａ）の垂直上方に配設されている場合で、平面（Ａ）が直接撮像される。勿論、図示しないが、ラインセンサカメラ（２）を検査対象物（１）の平面（Ａ）に斜めに配設してもよく、この場合は平面（Ａ）及び側面（Ｂ）とが直接撮像される。ちなみに、図１の場合は側面（Ｄ）が保持面である。
【００４６】
（２０）は画像処理装置であって、ラインセンサカメラ（２）によって撮像された検査対象物（１）の表面画像を通過センサー［図示せず。検査対象物（１）の上方（勿論、側方でもよいし下方でもよい）に設置されており、検査対象物（１）の先頭の通過を検知しタイミング信号を送出するものである。］によって得られるタイミング信号に基づいて入力し、濃淡画像のパターンマッチング（或いはカラー画像のパターンマッチング）により欠陥を検出し判定する機能を有する装置である。
【００４７】
良否判定は、予め良品検査対象物（１）をパスさせてラインセンサカメラ（２）で撮像し、このデータを基準データ（良品濃淡全画面像）として画像処理装置（２０）の記憶装置（図示せず）に取り込ん登録しておき、これと同じ条件で撮像領域をパスさせて撮像した検査対象物（１）の全画面像をデータとして取り込み、前記基準データと検査対象物（１）の全画面像データとを濃淡で比較して検査し、両者が許容範囲内で一致した場合は良品とし、不一致の場合は不良品と判断する原理に基づき外観検査が実行される。
【００４８】
図１の搬送手段（１０）は、往復移動機構（１３）と、往復移動機構（１３）から突出しており、先端に吸着盤のような保持部（１１）が設けられている。往復移動機構（１３）はレール（１５）に沿って往復移動可能になっている。搬送手段（１０）が仕分け手段（２１）を兼用している場合は、良品を載置するための停止位置と、不良品を載置するための停止位置とが異なるので停止位置が異なるように形成されている。
【００４９】
逆に、別機構で仕分け手段（図示せず）が構成されている場合、或いは後述するように回転アーム（１２）が伸縮する場合には、別機構仕分け手段が良品と不良品とを区別して受け取りに行くため、或いは回転アーム（１２）が伸縮して個別位置に良品と不良品とを分けて積載出来るため、往復移動機構（１３）の停止位置は良品と不良品とで同じ位置でよい。
【００５０】
また、検査前の検査対象物（１）が取り出されたり、或いは検査が終了した良品と不良品を受け取る場合には、リフト（図示せず）により１つづつ持ち上げられたり、降ろされたりするようになっている。リフトを用いない場合には、往復移動機構（１３）が上下に伸縮して回転アーム（１２）を昇降させ、検査対象の検査対象物（１）を取り出したり、良品や不良品を所定の位置に積載する。
【００５１】
回転アーム（１２）は、往復移動機構（１３）に回転自在に取り付けられており、先端に吸着盤のような保持部（１１）が設けられている。勿論、保持方法は吸着に限られるものでなく、前述のように挟持、把持、磁着など検査対象物（１）の形状や材質その他に合わせて適当な方法が採用される。
【００５２】
また、回転アーム（１２）は、前述のように一般的には軸方向に伸縮可能になっており、取り出し位置において検査対象物（１）に向かって伸びて検査対象物（１）を取りに行くようになっている。勿論、回転アーム（１２）が伸縮する代わりに往復移動機構（１３）或いはレール（１５）が回転アーム（１２）の軸方向に移動してもよい。また、往復移動機構（１３）が垂直軸の回りに回転可能に形成してもよく、このようにする事で自由度が増加する。
【００５３】
（６）は、ラインセンサカメラ（２）による線状撮像視野を照明するための照明装置であって、例えば蛍光灯照明や光ファイバーガイドによる線状照明等によって構成される。一般的には、前記ラインセンサカメラ（２）が装着されている支持部材（図示せず）に装着されている。
【００５４】
しかして、図１の装置によれば、積載されている最上段の検査対象物（１）に向かって回転アーム（１２）を伸ばし、検査対象物（１）の一側面（Ｄ）を保持部（１１）にて吸着或いは磁着など適当な方法で保持し取り出す。
続いて、検査対象物（１）を保持した状態で往復移動機構（１３）を移動させ、ラインセンサカメラ（２）の線状視野内を通過させる。これにより検査対象物（１）の平面（Ａ）が撮像される事になる。
【００５５】
続いて、回転アーム（１２）を回転させて検査対象物（１）の前面（Ｅ）を上に向け、その状態で往復移動機構（１３）を後戻りさせて線状視野内を通過させ、前面（Ｅ）を撮像する。
【００５６】
前面（Ｅ）が線状視野を通過した処で再度回転アーム（１２）を回転させて底面（Ｃ）を上に向け、その状態で往復移動機構（１３）を前進させて線状視野内を通過させ、底面（Ｃ）を撮像する。
【００５７】
最後に、底面（Ｃ）が線状視野内を通過した処で再度回転アーム（１２）を回転させて背面（Ｆ）を上に向け、その状態で往復移動機構（１３）を前進させて線状視野内を通過させ、背面（Ｆ）を撮像する。
このようにして検査対象物（１）の４面を撮像する。この場合は両側面（Ｂ）（Ｄ）の検査は不要の場合で、搬送手段（１０）も１基で足る。
【００５８】
なお、前述のようにせず、別の方法として単に回転アーム（１２）を回転させて線状視野が検査対象物（１）の外面（Ａ）（Ｆ）（Ｃ）（Ｄ）の全周を連続的に撮像するようにしてもよい。
【００５９】
なお、ラインセンサカメラ（２）による撮像タイミングは、検査対象物（１）の上方（勿論、側方でもよいし下方でもよい）に設置された通過センサー（図示せず）による。即ち、検査対象物（１）の先頭が通過センサーを通過する時を検知してタイミング信号を送出するようになっている。
【００６０】
ラインセンサカメラ（２）は、前記によって得られるタイミング信号に基づいて撮像画面を取り込み、濃淡画像のパターンマッチング（或いはカラー画像のパターンマッチング）により欠陥を検出し判定する機能を有する装置である。
前述のように必要な検査面の撮像が終了すると、画像処理装置（２０）により撮像された画像と基準画像とが比較され、許容範囲内で一致すれば、良品と判定され、良品の載置位置に往復移動機構（１３）が移動し、良品載置位置で保持を解除して良品上に載置する。逆に不良品であれば、不良品載置位置で保持を解除して不良品上に載置する。
【００６１】
なお、前記の良否判定は、予め良品検査対象物（１）をパスさせてラインセンサカメラ（２）で撮像し、このデータを基準データ（良品濃淡全画面像）として画像処理装置（２０）の記憶装置（図示せず）に取り込ん登録しておき、これと同じ条件で撮像領域をパスさせて撮像した検査対象物（１）の全画面像をデータとして取り込み、前記基準データと検査対象物（１）の全画面像データとを濃淡で比較して検査し、両者が許容範囲内で一致した場合は良品とし、不一致の場合は不良品と判断する原理に基づき外観検査が実行される。
【００６２】
図２は、ラインセンサカメラ（２）が検査対象物（１）の周囲を移動して検査対象物（１）の外面（Ａ）（Ｆ）（Ｃ）（Ｄ）を撮像する場合である。この場合検査対象物（１）は回転する必要がないので、回転アーム（１２）に保持された状態で撮像位置で停止している。撮像方法は図１の場合と同様で、▲１▼ラインセンサカメラ（２）が単に検査対象物（１）の周囲を回転して線状視野にて検査対象物（１）の外面（Ａ）（Ｆ）（Ｃ）（Ｄ）を連続的に撮像する場合と、▲２▼ラインセンサカメラ（２）を検査対象物（１）の外面（Ａ）に平行に移動させ且つ平行移動による撮像が終了するとラインセンサカメラ（２）を９０°回転させてさせて次の面（Ｆ）に平行に移動させて撮像し、これを繰り返して全周或いは必要な面を撮像する場合とがある。いずれの場合にせよ撮像が終了すると良否判定に従って仕分けられる。
【００６３】
図３はミラー（４）が検査対象物（１）の外周を移動する場合で、移動方法は前述▲１▼▲２▼と同じであり、撮像終了後には前述同様仕分けられる事になる。この場合、ラインセンサカメラ（２）がミラー（４）の移動に同期して回転するようにしてもよい。このようにすることでミラー（４）が回転したとしても常時一定の方向で検査対象物（１）の外面（Ａ）（Ｆ）（Ｃ）（Ｅ）が撮像されることになる。
また、この場合ラインセンサカメラ（２）の線状視野が検査対象物（１）の外面（Ａ）…を端から端まで移動するようにミラー（４）の角度を変える事が出来るようにしてもよいし、回転アーム（１２）を伸縮させ、ミラー（４）を介して検査対象物（１）の外面（Ａ）…を端から端まで線状視野が移動するようにしてもよい。
【００６４】
図４は、図１の搬送手段（１０）を２基対称に併設し、線状視野に合わせて両側にミラー（４ａ）（４ｂ）を設置した例であり、構造的には図１の場合と同じであるので、重複を避けるために構造の説明は省略する。
作用を説明すると、図４の手前の搬送手段（１０ａ）を作動させて検査対象物（１）を前述のように保持し、前述同様線状視野内を通過及び回転を組み合わせて面（Ａ）（Ｅ）（Ｃ）（Ｆ）をラインセンサカメラ（２）で直接撮像する。
【００６５】
この時、ミラー（４ｂ）にて検査対象物（１）の非保持面（Ｂ）が写し出されており、前記面（Ａ）（Ｅ）（Ｃ）（Ｆ）の撮像と同時に撮像される。
然る後、反対側の搬送手段（１０ｂ）の回転アーム（１２）を伸長して検査対象物（１）の前記非保持面（Ｂ）を回転アーム（１２）の保持部（１１）にて保持する。
【００６６】
保持が完了すると、手前側の搬送手段（１０ａ）の回転アーム（１２）の保持部（１１）の保持を解除して検査対象物（１）の保持を手前側の搬送手段（１０ａ）から向こう側の搬送手段（１０ｂ）に移す。
【００６７】
続いて、向こう側の搬送手段（１０ｂ）を作動させて線状視野内を通過させるとミラー（４ａ）に検査対象物（１）の手前側の非保持面（Ｄ）が写り撮像される。これにより検査対象物（１）の６面全面が撮像される事になる。
【００６８】
全面の撮像が完了すると前記同様良否判定が行われ、判定に従って選別が行われる。
【００６９】
なお、ミラー（４）は、単に検査対象物（１）の側面に対して傾けて設置し、反射光がラインセンサカメラ（２）に入射するようにしておいてもよいが、検査対象物（１）の側面形状が複雑に入り組んでいる場合は、複数枚のミラー（４）を設置してもよい。
【００７０】
図５は、搬送手段（１０）が多関節アームロボットを使用した場合で、制御部（図示せず）に多関節アームロボット（１０ａ）（１０ｂ）の動作を入力しておき、シーケンス通りに多関節アームロボット（１０ａ）（１０ｂ）を作動させるものである。
【００７１】
即ち、図５の場合はカマボコ型の検査対象物（１）を一方の多関節アームロボット（１０ａ）の保持部（１１）にて側面（Ｄ）を空気力、磁気力、粘着力などを使用した吸着手段或いは機械的な把持手段にて保持し、ラインセンサカメラ（２）の線状視野内に移動させ、回転などの動作をさせて曲面（Ａ）と底面（Ｃ）及び非保持面（Ｂ）を撮像し、次いで前述同様手前側の多関節アームロボット（１０ａ）から向こう側の多関節アームロボット（１０ｂ）に保持を切り替え、検査対象物（１）の残る側面（Ｄ）をミラー（４ａ）で写し出し撮像する。そして、前回同様良否判定を行い判定に合わせて選別する。
【００７２】
図６は、検査対象物（１）の全面（Ａ）（Ｂ）…をミラー（４ａ）（４ｂ）及び（４ｃ）を使用して撮像するものである。この場合も全面撮像のためには前述同様複数の搬送手段（１０）を使用し、持ち替えることによって行う。搬送手段（１０）は図１〜４のような往復移動機構タイプのものでもよいし、多関節アームロボットタイプのものでもよい。また、ミラー（４ａ）（４ｂ）（４ｃ）の各角度（θ１）（θ２）（θ３）の調整は検査対象物（１）に合わせて可能となっている。
【００７３】
図７は、検査対象物（１）の面（Ａ）（Ｆ）…に沿ってラインセンサカメラ（２）の線状視野をスキャンさせて撮像する場合である。この時、ラインセンサカメラ（２）に対して検査対象物（１）を相対的に移動させてもよいし、或いは検査対象物（１）に対してラインセンサカメラ（２）を相対的に移動させてもよい。
また、「相対移動」させてラインセンサカメラ（２）側に向いている面（Ｆ）をラインセンサカメラ（２）で撮像出来るようにして必要面（Ａ）（Ｆ）（Ｃ）（Ｅ）の撮像を可能にする移動手段（１０ｃ）としては、検査対象物（１）を保持し移動させる搬送手段（１０）を兼用してもよいし、別体で用意してもよい。図７は兼用の場合である。
【００７４】
次に、その作用について説明する。図１と同様、積載されている最上段の検査対象物（１）に向かって回転アーム（１２）を伸ばし、検査対象物（１）の一側面（Ｄ）を保持部（１１）にて吸着或いは磁着など適当な方法で保持し取り出す。その状態或いは検査対象物（１）を保持した状態で往復移動機構（１３）を移動させ、ラインセンサカメラ（２）の線状視野が検査対象物（１）の端に一致する位置で停止する。
【００７５】
次に、検査対象物（１）の平面（Ａ）に平行にラインセンサカメラ（２）を移動させて検査対象物（１）の平面（Ａ）の端から端まで線状視野をスキャンさせて平面（Ａ）を撮像する。
【００７６】
平面（Ａ）の撮像が終了した時点で、回転アーム（１２）を回転させて検査対象物（１）の前面（Ｅ）を上に向け、その状態でラインセンサカメラ（２）を後戻りさせて線状視野を前面（Ｅ）の端から端までスキャンさせて前面（Ｅ）を撮像する。
【００７７】
前面（Ｅ）の撮像が終了した処で再度回転アーム（１２）を回転させて底面（Ｃ）を上に向け、その状態でラインセンサカメラ（２）を前進させて線状視野を底面（Ｃ）の端から端まで通過させ、底面（Ｃ）を撮像する。
【００７８】
最後に、底面（Ｃ）を線状視野が通過した処で再度回転アーム（１２）を回転させて背面（Ｆ）を上に向け、その状態で前述同様ラインセンサカメラ（２）を前進させて線状視野を通過させ、背面（Ｆ）を撮像する。
続いて行われる撮像された検査対象物（１）の画像処理や判定、並びに仕分けなどの一連の操作は前述の通りである。
【００７９】
ここで、ラインセンサカメラ（２）に対して検査対象物（１）を「相対的」に移動させるとは、ラインセンサカメラ（２）に対して検査対象物（１）が移動する場合のみならず、ラインセンサカメラ（２）が移動する場合も含まれる事は言うまでもない。これは本明細書全体について言える事である。
【００８０】
図８は、ミラー（４）を移動（例えば、ある角度だけ回転）させて線状視野をスキャンさせる場合で、ミラー（４）の回転は例えばエンコーダ付きのステッピングモータ（図示せず）などによって正確に行われる。
その作用を説明すると、図１と同様、積載されている最上段の検査対象物（１）に向かって回転アーム（１２）を伸ばし、検査対象物（１）の一側面（Ｄ）を保持部（１１）にて吸着或いは磁着など適当な方法で保持し取り出す。その状態或いは検査対象物（１）を保持した状態で往復移動機構（１３）を移動させ、ラインセンサカメラ（２）の線状視野が検査対象物（１）の端に一致する位置で停止する。
【００８１】
次に、ミラー（４）を所定の角度だけ回転させて検査対象物（１）の平面（Ａ）を端かしら端まで線状視野をスキャンさせ、平面（Ａ）を撮像する。
【００８２】
平面（Ａ）の撮像が終了した時点で、回転アーム（１２）を回転させて検査対象物（１）の前面（Ｅ）を上に向け、その状態でミラー（４）をある角度だけ反転させ、線状視野を前面（Ｅ）の端から端までスキャンさせて前面（Ｅ）を撮像する。
【００８３】
前面（Ｅ）の撮像が終了した処で再度回転アーム（１２）を回転させて底面（Ｃ）を上に向け、その状態でミラー（４）をある角度だけ正転させて線状視野を底面（Ｃ）の端から端まで通過させ、底面（Ｃ）を撮像する。
【００８４】
最後に、底面（Ｃ）を線状視野が通過した処で再度回転アーム（１２）を回転させて背面（Ｆ）を上に向け、その状態で前述同様ミラー（４）をある角度だけ反転させて線状視野を通過させ、背面（Ｆ）を撮像する。以下の操作は前述と同じである。
【００８５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にあっては、少ないラインセンサカメラによって多面体や板状体など検査対象物の全表面を連続した１つの画像として撮像し、濃淡画像或いはカラー画像のパターンマッチングによって一括検査するので、簡単な装置構成で安価で高速な外観検査が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】１台のラインセンサカメラと、１台の搬送手段とで構成され、多面検査対象物を移動・回転させて検査する場合の本発明装置の概略斜視図
【図２】１台のラインセンサカメラと、１台の搬送手段とで構成され、ラインセンサカメラを回転させて検査する場合の本発明装置の概略斜視図
【図３】１台のラインセンサカメラと、１台の搬送手段と、ミラーとで構成され、ミラーを回転させて検査する場合の本発明装置の概略斜視図
【図４】１台のラインセンサカメラと、２台の搬送手段とで構成され、検査対象物を移動・回転させて検査する場合の本発明装置の概略斜視図
【図５】１台のラインセンサカメラと、２台の多関節アームロボットとで構成され、検査対象物を移動・回転させて検査する場合の本発明装置の概略斜視図
【図６】１台のラインセンサカメラと、ミラーとで多面検査対象物の全面を検査する場合の本発明装置の概略斜視図
【図７】（ａ）〜（ｄ）はラインセンサカメラをスキャンさせて撮像する場合の工程説明図
【図８】（ａ）〜（ｄ）はミラーを回転させて線状視野をスキャンさせて撮像する場合の工程説明図
【図９】図１〜３の本発明装置で得られた撮像図面
【図１０】図５の本発明装置で得られた撮像図面
【図１１】図６の本発明装置で得られた撮像図面
【図１２】本発明の検査対象物の一例である４面体の斜視図
【図１３】本発明の検査対象物の一例である６面体の斜視図
【図１４】本発明の検査対象の一つである曲面部分を有する検査対象物の斜視図
【図１５】本発明の検査対象の一つで、ピン状の脚部が多数突設している検査対象物の斜視図
【図１６】本発明の検査対象の一つで、複数の鍔を有する検査対象物の斜視図
【符号の説明】
（１）…検査対象物
（２）…ラインセンサカメラ
（４）（４ａ）（４ｂ）（４ｃ）…ミラー
（６）…照明装置
（１０）…搬送手段
（２０）…画像処理装置
（２１）…仕分け手段
【図１】
0003600010.tif 000002
【図２】
0003600010.tif 000003
【図３】
0003600010.tif 000004
【図４】
0003600010.tif 000005
【図５】
0003600010.tif 000006
【図６】
0003600010.tif 000007
【図７】
0003600010.tif 000008
【図８】
0003600010.tif 000009
【図９】
0003600010.tif 000010
【図１０】
0003600010.tif 000011
【図１１】
0003600010.tif 000012
【図１２】
0003600010.tif 000013
【図１３】
0003600010.tif 000014
【図１４】
0003600010.tif 000015
【図１５】
0003600010.tif 000016
【図１６】
0003600010.tif 000017