(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の表面にレーザ光をスキャニングしながら照射して、単位照射領域としての第１のセルと単位非照射領域としての第２のセルとを所望の配列パターンでマトリックス状に配置してなる二次元バーコードをマーキングする二次元バーコードのレーザマーキング方法において、
各々の前記第１のセル内で前記レーザ光のビームスポットを渦巻き状にスキャニングして単位照射領域を形成し、所定の順番で１セルずつ前記第１のセルに対する前記渦巻き状のスキャニングを行うレーザマーキング方法。
【請求項２】
スキャニング順番が相前後する２つの前記第１のセル間で前の第１のセルにおける所定のスキャニング終点から後の第１のセルにおける所定のスキャニング開始点まで前記レーザ光のビームスポットを飛び越させることを特徴とする請求項１に記載のレーザマーキング方法。
【請求項３】
前記二次元バーコードの四隅の１つをスタート点として全セルを外側から内側に渦巻き状に経由するルートに沿った配列の順番で前記第１のセルに対するスキャニングを行うことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザマーキング方法。
【発明の詳細な説明】
【００１０】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マトリックス式の二次元バーコードを作成するためのレーザマーキング方法に関する。
【００２０】
【従来の技術】
最近、二次元方向に情報を持つ二次元バーコードが普及の兆を見せている。二次元バーコードには、一次元バーコードを縦に積み重ねて縦横で情報を表示するスタック式のバーコードと、黒白の升目（セル）を縦横モザイク状（マトリックス状）に配列して情報を表示するマトリックス式のバーコードとがある。
【００３０】
図１４に、マトリックス式の代表的な規格であるデータコード（Ｄａｔａ  Ｃｏｄｅ  ）のパターン例を示す。
【００４０】
データコードは、Ｌ字状に連続的に配列された黒のセルからなるＬ型ガイドセルまたはボーダーセルと、このボーダーセルの対辺に交互に配列された白黒セルからなるタイミングセルと、これらボーダーセルおよびタイミングセルの内側で表示データに応じた任意のパターンで配置された白黒セルからなるデータ領域とで構成される。
【００５０】
この種の二次元バーコードを読み取るには、ＣＣＤカメラによってバーコード全体を画像として取り込み、画像認識技術によって解読する。この場合、画像処理では、ボーダーセルを基に当該二次元バーコードの位置および回転方向（角度）を識別し、タイミングセルを基に各セルの座標を決定する。そして、データ領域内の白黒セルの配列パターンを元のコードに組立て直す。
【００６０】
この画像認識において、各セルＣＥを認識するには、図１５に示すようにセルＣＥ内の所定の箇所（代表点）ＲＰについて黒なのか白なのかを識別し、その識別結果にしたがって黒セルか白セルかを決定するようにしており、代表点ＲＰの個数に応じて１点法（Ａ）、４点法（Ｂ）、５点法（Ｃ）等がある。
【００７０】
一方、二次元バーコードを作成するには各種の印刷方法が可能であるが、その中でもレーザマーキング法は被加工物の表面に二次元バーコードを直接印刷できるという利点があり、半導体ウエハやＩＣパッケージ等への直接マーキングに有用である。
【００８０】
二次元バーコードを作成するための従来の代表的なレーザマーキング法は、図１６に示すように、被加工物の表面でレーザ光のビームスポットＢＳを水平方向に振って１回分のスキャニング・ラインＨＳとし、この水平スキャニング・ラインＨＳを垂直方向に所定のピッチｄだけずらして所定回数繰り返すというものである。通常は、１行のセルに数本のラインが充てられる。
【００９０】
したがって、各黒セルＣＥＢ  は、水平スキャニング・ラインＨＳが縦方向に数本並べて描かれた単位領域となる。一方、白セルＣＥＷ  は、そのような水平スキャニング・ラインＨＳがそこでは欠落して（飛び越して）何も描かれない単位領域である。
【０１００】
なお、１つの黒セルを１本の太径のレーザビームスポットで形成した場合は、セル中心部が深く凹んでしまい、画像認識が難しくなるという不具合がある。
【０１１０】
図１６では、図解を容易にするため、レーザビームスポットの軌跡（スキャニング・ライン）をスポット径のピッチで断続的に示している。しかし、実際には連続直線の軌跡となるのが普通である。
【０１２０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような二次元バーコードでは、誤り訂正機能がサポートされており、データ領域の２０〜３０％が欠損していても正しく復元できるようになっている。もっとも、これはバーコード全体で実現可能な誤り訂正機能であり、個々のセルの表示内容（黒／白）が雑でもよいことを許容するわけではない。個々のセルは黒セルなのか白セルなのかを明確に表示しなくてはならない。
【０１３０】
上記のような従来のこの種レーザマーキング方法では、水平スキャニング・ラインＨＳの密度を高くすることで、そのようなセル表示品質の要求に対応することができる。
【０１４０】
しかしながら、各水平スキャニング・ラインＨＳにおいては、ビームスポットＢＳを各黒セルＣＥＢ  内でスキャニングしている時間（図１６の実線または点線の部分の時間）よりも、ビームスポットＢＳを各黒セルＣＥＢ  の終端（右端）から白セルＣＥＷ  の領域を飛び越して隣の黒セルＣＥＢ  の始端（左端）まで移動させるのに要する時間（図１６の一点鎖線の部分の時間）の方が長い。しかも、このような飛び越しは各白セルＣＥＷ  において何度も行われる。
【０１５０】
さらに、図１７に示すように、バーコード端部のマーキング品質を落とさないように、端部の外側で水平スキャニング・ラインを切り換えることも行われているが、ここでも無駄な時間が費やされている。
【０１６０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、二次元バーコードを高品質にかつ効率よくマーキングできるようにしたレーザマーキング方法を提供することを目的とする。
【０１７０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の第１のレーザマーキング方法は、被加工物の表面にレーザ光をスキャニングしながら照射して、単位照射領域としての第１のセルと単位非照射領域としての第２のセルとを所望の配列パターンでマトリックス状に配置してなる二次元バーコードをマーキングする方法において、各々の前記第１のセル内で前記レーザ光のビームスポットを渦巻き状にスキャニングして単位照射領域を形成し、所定の順番で１つずつ前記第１のセルに対する前記渦巻き状のスキャニングを行うことを特徴とする。
【０１８０】
また、本発明の第２のレーザマーキング方法は、上記第１のレーザマーキング方法において、スキャニング順番が相前後する２つの前記第１のセル間で前の第１のセルにおける所定のスキャニング終点から後の第１のセルにおける所定のスキャニング開始点まで前記レーザ光のビームスポットを飛び越しで移動させることを特徴とする。
【０１９０】
また、本発明の第３のレーザマーキング方法は、上記第１または第２のレーザマーキング方法において、前記二次元バーコードの四隅の１つをスタート点として全セルを外側から内側に渦巻き状に経由するルートに沿った配列の順番で前記第１のセルに対するスキャニングを行うことを特徴とする。
【０２００】
本発明において、渦巻き状とは、外周から中心部に向かって、またはその反対に中心部から外周に向かって、任意の形状で回りながら連続的または断続的に進行することを意味する。したがって、円形の渦巻き形状だけでなく、四角形等のような多角形状の渦巻き形状をも含み、さらには円形の渦巻き形状と多角形の渦巻き形状を合成した渦巻き形状をも含む。
【０２１０】
また、本発明において、単位照射領域および単位非照射領域はレーザ光の照射の有無によって光学的に読み取り可能とされる２種類の単位領域（セル）を意味し、必ずしも黒色および白色である必要はない。
【０２２０】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１３を参照して本発明の実施例を説明する。
【０２３０】
図１に、本発明の一実施例によるレーザマーキング方法で使用するスキャニング式ＹＡＧレーザマーキング装置の外観を示す。このＹＡＧレーザマーキング装置は、制御電源ユニット１０とレーザ発振ユニット１２とスキャニング・ヘッド２０とを有する。
【０２４０】
制御電源ユニット１０において、上部室には表示部のディスプレイ１３が設けられ、中間室（前扉１４の奥）にはキーボードや制御基板が設けられ、下部室（前扉１６の奥）にはレーザ電源回路やレーザ冷却装置等が配置されている。中間室内の制御部より発生されたスキャニング制御信号は所定の信号線（図示せず）を介してスキャニング・ヘッド２０へ伝送される。スキャニング・ヘッド２０はレーザ発振ユニット１２のレーザ出射口に取り付けられ、ヘッド２０の真下に作業台１８が配置されている。この作業台１８の上で、被加工物Ｗにマーキングが施される。
【０２５０】
図２に、制御電源ユニット１０およびレーザ発振ユニット１２内の要部の構成を示す。
【０２６０】
レーザ発振ユニット１２内には、マーキング用のＹＡＧレーザ光ＬＭ  を発振出力するためのＹＡＧレーザ発振器２２と、指向性の強い可視光たとえば赤色のガイド光ＬＧ  を発生するためのＨｅ−Ｎｅレーザまたは半導体レーザ等のガイド光レーザ２４とが設けられている。ＹＡＧレーザ発振器２２より発振出力されたＹＡＧレーザ光ＬＭ  は、先ずミラー２６で光路が直角に曲げられ、次にミラー２８で光路が直角に曲げられてから直進してスキャニング・ヘッド２０へ送られる。ガイド光レーザ２４より発生されたガイド光ＬＧ  は、先ずミラー３０で光路が直角に曲げられ、次にミラー３２で光路が直角に曲げられてからミラー２８を裏側から透過し、そのまま直進してスキャニング・ヘッド２０へ送られる。
【０２７０】
制御電源ユニット１０内には、ＹＡＧレーザ電源部３４、ガイド光レーザ電源部３６、制御部３８、表示部４０、入力部４２、インタフェース回路４４等が設けられている。ＹＡＧレーザ電源部３４は、制御部３８の制御の下でＹＡＧレーザ発振器２２内のレーザ励起手段（たとえば励起ランプ）に電力を供給する。ガイド光レーザ電源部３６は、制御部３８の制御の下でガイド光レーザ２４に電力を供給する。
【０２８０】
表示部４０は、制御部３８からの画像データおよび表示制御にしたがってディスプレイ１３に画面を映し出す。入力部４２には、キーボード、マウス、イメージスキャナ等の入力装置が含まれる。インタフェース回路４４は、外部装置（図示せず）とデータや制御信号等をやりとりするために用いられる。
【０２９０】
制御部３８は、マイクロコンピュータからなり、内蔵のメモリに蓄積されている所定のソフトウェアにしたがって所要のデータ処理を行い、装置内の各部を制御する。特に、制御部３８は、後述するような設定入力モードやマーキング実行モードにおいて所要の処理を行う。マーキング実行モードでは、スキャニング・ヘッド２０におけるスキャニング動作を制御するためのスキャニング制御信号を信号線４６を介してヘッド２０内のスキャニング駆動回路に供給する。また、ＹＡＧレーザ発振器２２にはピーク出力（尖頭値）の極めて高いパルスレーザ光を得るためのＱスイッチが内蔵されており、制御部３８は図示しない制御線を介してこのＱスイッチの制御をも行う。
【０３００】
図３に、スキャニング・ヘッド２０内のスキャニング機構の構成例を示す。このスキャニング機構は、互いに直交する回転軸５２ａ，５４ａに取り付けられたＸ軸スキャニング・ミラー５２およびＹ軸スキャニング・ミラー５４と、両ミラー５２，５４をそれぞれ回転振動（首振り）させるＸ軸ガルバノメータ５６およびＹ軸ガルバノメータ５８を有している。
【０３１０】
スキャニング・ヘッド２０内に入って来たレーザ発振ユニット１２からのレーザ光ＬＭ  およびガイド光ＬＧ  は、先ずＸ軸スキャニング・ミラー５２に入射し、そこで全反射してからＹ軸スキャニング・ミラー５４に入射し、このミラー５４で全反射してのちｆθレンズ６０を通って被加工物Ｗの表面に集光照射する。マーキング面上のビームスポットＢＳの位置は、Ｘ方向においてはＸ軸スキャニング・ミラー５２の振れ角によって決まり、Ｙ方向においてはＹ軸スキャニング・ミラー５４の振れ角によって決まる。
【０３２０】
Ｘ軸スキャニング・ミラー５２は、Ｘ軸ガルバノメータ５６の駆動で矢印Ａ，Ａ’方向に回転振動（首振り）する。一方、Ｙ軸スキャニング・ミラー５４は、Ｙ軸ガルバノメータ５８の駆動で矢印Ｂ，Ｂ’方向に回転振動（首振り）する。
【０３３０】
Ｘ軸ガルバノメータ５６には、Ｘ軸スキャニング・ミラー５２に結合された可動鉄片（回転子）と、この可動鉄片に接続された制御バネと、固定子に取り付けられた駆動コイルとが内蔵されている。Ｘ軸ガルバノメータ駆動回路（図示せず）よりＸ方向スキャニング制御信号に応じた駆動電流が電気ケーブル６２を介してＸ軸ガルバノメータ５６内の該駆動コイルに供給されることで、該可動鉄片（回転子）が該制御バネに抗してＸ軸スキャニング・ミラー５２と一体にＸ方向スキャニング制御信号の指定する角度に振れるようになっている。
【０３４０】
Ｙ軸ガルバノメータ５８も同様の構成を有しており、Ｙ軸ガルバノメータ駆動回路（図示せず）よりＹ方向スキャニング制御信号に応じた駆動電流が電気ケーブル６４を介してＹ軸ガルバノメータ５８内の駆動コイルに供給されることで、Ｙ軸ガルバノメータ５８内の可動鉄片（回転子）がＹ軸スキャニング・ミラー５４と一体にＹ方向スキャニング制御信号の指定する角度に振れるようになっている。
【０３５０】
したがって、レーザ発振ユニット１２からのＹＡＧレーザ光ＬＭ  およびガイド光ＬＧ  がスキャニング・ヘッド２０内に所定のタイミングで入ってくる度に、それと同期して両ガルバノメータ５６，５８がＸ方向およびＹ方向スキャニング制御信号に応じてＸ軸スキャニング・ミラー５２およびＹ軸スキャニング・ミラー５４をそれぞれ所定の角度で振ることにより、被加工物Ｗのマーキング面上でレーザ光ＬＭ  およびガイド光ＬＧ  のビームスポットＢＳがスキャニングされる。
【０３６０】
次に、本実施例における二次元バーコードの作成のための設定入力について説明する。図４に、設定入力モードにおける制御部３８の処理をフローチャートで示す。
【０３７０】
この設定入力モードでは、表示部４０のディスプレイ１３に図５に示すような設定入力画面を映し出し、入力部４２のマウスやキーボード等より入力される二次元バーコードの要素の設定値を取り込む（ステップＳ１  ）。
【０３８０】
データコードの場合、二次元バーコードの要素には、表示データのほかに、バーコードのサイズ（正方形の一辺の長さ）、誤り訂正のレベル（ＥＣＣ種類）、使用可能な文字種のフォーマット（ＦＯＲＭＡＴ  ＩＤ）等がある。
【０３９０】
図５の例では、表示データとして文字列「ＡＢＣＤ」が入力され、バーコードのサイズは２ｍｍに指定され、誤り訂正レベルはＥＣＣ−０（伸長率０％）が選択され、フォーマットはＦＯＲＭＡＴ３（アルファベット及びスペース、数字、記号等）が選択されている。
【０４００】
次に、制御部３８は、入力した表示データ（図５の例では文字列「ＡＢＣＤ」）を二次元コードにエンコードして、図６に示すようなビットマップ形式（ＢＭＰ）のデータファイルを生成する（ステップＳ２  ）。このビットマップ形式の二次元コードにおいて、「１」、「０」は目的とする二次元バーコードにおける照射セルたとえば黒セル（第１のセル）、非照射セルまたは白セル（第２のセル）にそれぞれ対応している。
【０４１０】
次に、制御部３８は、上記ビットマップ形式の二次元コードをレーザスキャニング用のマーキングデータに変換する（ステップＳ３  ）。このマーキングデータは、目的とする二次元バーコードにおいて各セルの位置、特に黒セルＣＥＢ  の位置を表す位置データと、各黒セルＣＥＢ  内でレーザビームスポットを所定の描画パターンで渦巻き状にスキャニングさせるための単位描画データとを含む。
【０４２０】
図７に、単位描画データによって規定される単位描画パターンの例を示す。図示のような四角形の渦巻き状の描画パターンＰＡと相似な基本パターンが予め登録されており、当該二次元バーコードのサイズ（設定値）に対応したセルサイズに適合するように基本パターンを座標変換することで、単位描画パターンＰＡを表す単位描画データが得られる。
【０４３０】
図７の例の場合、単位描画パターンＰＡは、始点Ｆ０  、屈折点Ｆ１  〜Ｆ６  および終点Ｆ７  の座標またはそれらの点を結ぶ線分のベクトルによって定義される。
【０４４０】
制御部３８は、上記のようにして生成したマーキングデータを所定の記憶エリアに格納して登録しておく（ステップＳ４  ）。
【０４５０】
なお、設定入力モードでは、上記したような二次元バーコード要素の設定入力のほかに、別の画面（図示せず）でマーキング動作の条件たとえばＱスイッチ周波数、スキャニング速度、ランプ電流、ビーム最大振幅等の各種条件データが設定入力される。
【０４６０】
次に、本実施例において二次元バーコードを作成するためのマーキング動作について説明する。
【０４７０】
図８に、本実施例のマーキング実行モードにおける制御部３８の処理を示す。マーキング実行モードに入ると、先ず制御部３８は所要の初期化を行う（ステップＳ１１）。とりわけ、この初期化では、指定された起動番号を識別し、その起動番号に対応するマーキングデータおよび条件データをメモリから検索する。
【０４８０】
また、制御部３８は、ＹＡＧレーザ電源部３４およびガイド光レーザ電源部３６を通じてそれぞれＹＡＧレーザ発振器２２およびガイド光レーザ２４を作動させ、ＹＡＧレーザ光ＬＭ  およびガイド光ＬＧ  をそれぞれ点灯させる。
【０４９０】
そして、上記検索したマーキングデータおよび条件データに応じたスキャニング制御信号をスキャニング・ヘッド２０に送り、被加工物Ｗの表面上の二次元バーコード・マーキング領域において所定の１番目の黒セルＣＥＢ  内で、ＹＡＧレーザ光ＬＭ  およびガイド光ＬＧ  のビームスポットＢＳを単位描画パターンＰＡで渦巻き状にスキャニングさせる（ステップＢ１２，Ｂ１３）。
【０５００】
このスキャニング動作により、被加工物Ｗの表面上では、ＹＡＧレーザ光ＬＭ  のビームスポットＢＳの当たった被加工物表面の微小部分がレーザエネルギーで瞬間的に蒸発または変色し、ビームスポットＢＳの通った跡に単位描画パターンＰＡと同様の渦巻き状のパターンがマーキング（刻印）される。
【０５１０】
上記のようにして１番目の黒セルＣＥＢ  内での渦巻きスキャニングが終了したなら、そのスキャニング終点（Ｆ７  ）からそれに近接した２番目の黒セルＣＥＢ  のスキャニング開始点（Ｆ０  ）までビームスポットＢＳを飛び越しさせる（ステップＳ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１２）。そして、この２番目の黒セルＣＥＢ  内でも、上記と同様の単位描画パターンＰＡで渦巻き状にビームスポットＢＳをスキャニングさせる。
【０５２０】
以下、３番目以降の全ての黒セルＣＥＢ  についても上記と同様の渦巻きスキャニングを繰り返し、最後の黒セルＣＥＢ  内での渦巻きスキャニングが終了した時点で全マーキング動作が終了する（ステップＳ１２，Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１７）。
【０５３０】
図９に、本実施例によるマーキング動作で得られる二次元バーコードの全体的なパターンの一例を示す。図示のように、全ての黒セルＣＥＢ  内に同一の描画パターンＰＡで渦巻き状のマーキングが形成される。白セルＣＥＷ  内は、何のマーキングも形成されず、被加工物Ｗの表面が元のままの状態で露出している。
【０５４０】
上記したように、本実施例のレーザマーキング動作では、目的とする二次元バーコードの全ての黒セルＣＥＢ  について１セルずつ順に渦巻き状のスキャニングが行われる。このスキャニング順序は、ランダムでも可能ではあるが、好ましくは全マーキング時間が最も短くなるように、一定の規則にしたがって決定されてよい。
【０５５０】
図示のようなデータコードの場合、黒セルがＬ字状に連続して配列されるボーダーセルと、その対辺で黒セルと白セルが１個ずつ交互に逆Ｌ字状に配列されるタイミングセルとが必ず含まれる。
【０５６０】
本実施例によれば、図１０および図１１に示すような進行方向に沿った配列順序にしたがってデータコード（二次元バーコード）の黒セルに対するスキャニング順序が決定される。
【０５７０】
すなわち、ボーダーセルの一端に位置する黒セルＣＥＷ  をバーコード全体におけるスキャニング開始点Ｇ０  とし、この開始点Ｇ０  からボーダーセルに沿ってＬ字状に進み、ボーダーセルの終端Ｇ１  からタイミングセルに移る。そして、タイミングセルに沿って逆Ｌ字状に進み、タイミングセルの終端Ｇ２  からボーダーセルの１つ内側のセル列に移り、以下その延長方向に中心部に向かって渦巻き状に進むというルートで、黒セルのスキャニング順番が一義的に決定される。
【０５８０】
このような渦巻き状のスキャニング順序によれば、図１０に示すように、バーコードの角部付近に白セルＣＥＷ  が連続して集まっている箇所では、一点鎖線Ｋで示すように斜めに最短距離で飛び越しを行うことができる。これによって、一層短い時間で効率よくマーキングが行える。
【０５９０】
なお、上記のようにバーコードの外周から中心部に渦巻き状に進行するのとは反対に、中心部から外周側に向かって渦巻き状に進行するルートでスキャニング順序を決めてもよい。
【０６００】
図１２に、レーザビームスポットＢＳの局所的な移動軌跡を示す。本実施例では、各黒セルＣＥＢ  内でレーザビームスポットＢＳを図７に示すような描画パターンＰＡで渦巻き状にスキャニングする。これにより、１回の連続したスキャニングで黒セルＣＥＢ  内にほぼ正方形の単位黒領域を形成することができる。
【０６１０】
また、本実施例では、１つの黒セルＣＥＢ  内のスキャニングが終了すると、そのスキャニング終端から次の黒セルＣＥＢ  のスキャニング開始点までレーザビームスポットＢＳを飛び越し（ジャンプ）させる。両黒セルＣＥＢ  の間に１個または複数個の白セルＣＥＷ  が存在する場合、それら白セルＣＥＷ  の領域上でレーザビームスポットＢＳの飛び越しが行われる回数は１回だけである。これにより、従来のこの種レーザマーキング方法（図１６）と比較して飛び越しに費やされる時間が大幅に減少し、ひいては二次元バーコードの全所要マーキング時間を大幅に短縮できる。
【０６２０】
なお、図１２でも、図解を容易にするため、レーザビームスポットＢＳの軌跡（スキャニング・ライン）をスポット径のピッチで断続的に描いている。実際には連続直線となるのが普通である。
【０６３０】
もっとも、マーキング用のレーザ光ＬＭ  を周期の長いパルスレーザ光とし、点線のようなスキャニング・ラインとすることも可能である。
【０６４０】
上記した実施例における四角形の渦巻き状の単位描画パターンＰＡは一例であり、外にも種々の渦巻き状描画パターンが可能である。
【０６５０】
図１３に単位描画パターンの幾つかの変形例を示す。パターンＰＡ１  は、上記実施例のものと同様の四角形の渦巻き状パターンであるが、渦巻き回数を少なくしたものである。これとは逆に、渦巻き回数を増やすことも可能である。パターンＰＡ２  は、前半部を四角形の渦巻き状パターンとし、後半部を円形の渦巻き状パターンとしたものである。このように、異なる渦巻き形状を任意に合成することができる。また、パターンＰＡ３  は円形の渦巻き状パターンであり、パターンＰＡ４  は五角形の渦巻き状パターンである。
【０６６０】
上記した実施例では、各黒セルＣＥＢ  内でレーザビームスポットＢＳを外側から内側（中心部）に向かう方向に渦巻き状にスキャニングした。しかし、これと反対に、内側（中心部）から外側に向かう方向に渦巻き状にスキャニングすることも可能である。
【０６７０】
上記した実施例は、データコードの二次元バーコードを作成するためのレーザマーキングに係るものであった。しかし、本発明は、ＱＲコード、ベリコードやＣＰコード等の他のマトリックス方式の二次元バーコードのレーザマーキングにも適用可能である。
【０６８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のレーザマーキング方法によれば、単位黒領域となるべき第１のセル内でレーザ光のビームスポットを渦巻き状にスキャニングさせて単位黒領域を形成し、所定の順番で１つずつ第１のセルに対する渦巻き状のスキャニングを行うことにより、効率のよいマーキング動作で高品質の二次元バーコードを作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例によるレーザマーキングを実施するためのスキャニング式ＹＡＧレーザマーキング装置の外観を示す斜視図である。
【図２】実施例のレーザマーキング装置における電源ユニットおよびレーザ発振ユニット内の要部の構成を示すブロック図である。
【図３】実施例のレーザマーキング装置におけるスキャニング・ヘッド内のスキャニング機構の構成例を示す斜視図である。
【図４】実施例における設定入力のための制御部の処理を示すフローチャートである。
【図５】実施例における設定入力画面を示す略正面図である。
【図６】実施例におけるビットマップ形式の二次元コードを示す図である。
【図７】実施例における単位描画データによって規定される描画パターンの例を示す図である。
【図８】実施例におけるマーキング動作のための制御部の処理を示すフローチャートである。
【図９】実施例におけるマーキング動作で得られる二次元バーコードの全体的なパターンの一例を示す図である。
【図１０】実施例における黒セルに対するスキャニング順序を示す図である。
【図１１】実施例における黒セルに対するスキャニング順序を決めるルートを示す図である。
【図１２】実施例におけるレーザビームスポットの移動軌跡を模式的に示す図である。
【図１３】実施例における単位描画パターンの幾つかの変形例を示す図である。
【図１４】マトリックス式二次元バーコードの一例としてデータコードの表示パターンを示す図である。
【図１５】マトリックス式二次元バーコードの読み取り方法を示す図である。
【図１６】従来のレーザマーキング方法におけるレーザビームスポットの移動軌跡を示す図である。
【図１７】従来のレーザマーキング方法におけるレーザビームスポットの移動軌跡を示す図である。
【符号の説明】
１３    ディスプレイ
２０    スキャニング・ヘッド
２２    ＹＡＧレーザ発振器
３８    制御部
４０    表示部
４２    入力部
Ｗ    被加工物
ＣＥＢ    黒セル
ＣＥＷ    白セル
ＬＭ      マーキング用レーザ光
ＢＳ    レーザビームスポット
ＰＡ    単位描画パターン
【図１】
0003557512.tif 000002
【図２】
0003557512.tif 000003
【図３】
0003557512.tif 000004
【図４】
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【図１３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
0003557512.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
0003557512.tif 000018