(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された少なくとも３枚の板状体の隙間に長手方向に延びる複数のスリットを形成し、これらのスリットの一つを気体の噴出口、他のスリットを液体の噴出口とした気体−液体吹きスリットノズルにおいて、中央部の板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ばし、他方の噴出口側に向けて傾斜させた傾斜面として、流体の持つ粘性を利用して傾斜面に沿って流体を偏向させ、他方の噴出口から噴出される流体と衝突させて噴霧するようにしたことを特徴とする気体−液体吹きスリットノズル。
【請求項２】
中央部の板状体に形成された傾斜面の背面にも、同様の傾斜面を形成した請求項１に記載の気体−液体吹きスリットノズル。
【請求項３】
両外側の板状体を噴出口よりも前方に延ばし、噴霧液のガイド面とした請求項１または２に記載の気体−液体吹きスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄液や各種の薬液を所定幅にわたり均一に噴霧するに適した気体−液体吹きスリットノズルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板やプリント基板などの製造工程においては、製品の洗浄、薬剤塗布、乾燥などが行われるが、これらの工程においては、幅広のコンベヤ上を進行する製品に対して洗浄液や薬液を均一に噴霧することが必要となる。そこで従来はこのような場所には、図８に示すように製品の移動方向に対して直角あるいは斜め方向にヘッダー１を配置し、多数の噴霧ノズル２をこのヘッダー１に一定ピッチで取り付けたヘッダー付きマルチノズル３が用いられてきた。
【０００３】
ところがこのヘッダー付きマルチノズル３は、各噴霧ノズル２からそれぞれ円錐状やフラット状等に液体が噴霧されるので、ノズルと製品との間に所定の距離を設けなければ均一な噴霧を行わせることができないという問題がある。このため製品に近接させた位置から、均一な噴霧を行わせることは不可能であった。
【０００４】
そこで本発明者は、図９に示すように積層された３枚の板状体４，５，６の隙間に長手方向に延びる複数のスリット７，８を形成した気体−液体吹きスリットノズルを開発した。この図９のスリットノズルは、スリット７が液体噴出用、スリット８が気体噴出用である。そして気体噴出用ノズルを構成する外側の板状体６の先端を斜め内側に突出させてガイド面９とし、気体の向きをこのガイド面９により変えて液体噴出用のスリット７から噴出される液体に向けて衝突させて噴霧を行わせるものである。
【０００５】
この図９の構造の気体−液体吹きスリットノズルは、マルチノズルとは異なり長手方向に均一な断面を持つので、近接位置から製品に対して所定幅にわたり均一に噴霧することができるはずである。しかし実際には、スリットの長手方向の寸法が５００ｍｍ程度以上となると、先端を斜め内側に突出させてガイド面９とした板状体６を全長にわたり正確に加工することが困難となり、中央の板状体５と組み合わせる際にスリット８の幅を一定に保つことが困難となる。このため場所による噴霧の不均一が発生し、全幅にわたり均一な噴霧を行わせることはできない。しかも高精度の加工が求められるため、コスト高になるという問題もあることが判明した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記した従来の問題点を解決し、加工が容易で製作コストが安価であり、しかも製品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことができる気体−液体吹きスリットノズルを提供するためになされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためになされた本発明の気体−液体吹きスリットノズルは、積層された少なくとも３枚の板状体の隙間に長手方向に延びる複数のスリットを形成し、これらのスリットの一つを気体の噴出口、他のスリットを液体の噴出口とした気体−液体吹きスリットノズルにおいて、中央部の板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ばし、他方の噴出口側に向けて傾斜させた傾斜面として、流体の持つ粘性を利用して傾斜面に沿って流体を偏向させ、他方の噴出口から噴出される流体と衝突させて噴霧するようにしたことを特徴とするものである。なお、中央部の板状体に形成された傾斜面の背面にも、同様の傾斜面を形成した構造とすることができ、また両外側の板状体を噴出口よりも前方に延ばし、噴霧液のガイド面とした構造とすることもできる。
【０００８】
本発明の気体−液体吹きスリットノズルによれば、流体の持つ粘性を利用して傾斜面に沿って流体を偏向させ、他方の噴出口から噴出される流体と衝突させて噴霧することができる。このため各板状体の構造が単純で加工が容易となり、しかも、製品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことができることとなる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の好ましい実施形態を示す。
図１は第１の実施形態の気体−液体吹きスリットノズルの全体図、図２はその切断面の斜視図、図３はノズル先端部の断面図である。図１に示すように、この気体−液体吹きスリットノズルは３枚の板状体１１，１２，１３を積層した構造を持つ。これらの板状体の材質は、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムなどの金属のほか、セラミックや樹脂などを用途に応じて適宜選択すればよい。
【００１０】
図２、図３に示すように、板状体１１，１２の内部には液体室１４が形成されており、また板状体１２，１３の内部には気体室１５が形成されている。板状体１１，１２の先端部の隙間には長手方向に延びるスリットが形成されており、このスリットは液体室１４と連通する液体の噴出口１６となっている。また板状体１２，１３の先端部の隙間にも長手方向に延びるスリットが形成されており、このスリットは気体室１５と連通する気体の噴出口１７となっている。
【００１１】
本発明の特徴は、中央部の板状体１２の先端部を噴出口１７よりも前方に延ばし、他方の噴出口１６側に向けて傾斜させたことである。このため、噴出口１７から噴出された気体はその粘性によりこの傾斜面１８に沿うように偏向し、他方の噴出口１６から噴出される液体に衝突して液体を噴霧する。気体が空気である場合には傾斜角θは好ましくは１５〜４５°程度とするが、傾斜角θは流体の種類や圧力に応じて設定されるべきものであり、これに限定されるものではない。
【００１２】
この実施形態では気体の噴出口１７の先端に傾斜面１８を形成したが、逆に液体の噴出口１６の先端に傾斜面を形成することもできる。しかし一般に液体は気体よりも比重が大きく慣性も大きいため、気体よりも偏向しにくい傾向がある。このためこの実施形態のように傾斜面１８を一方側にのみ形成する場合には、傾斜面１８は気体の噴出口１７の先端側に形成し、気体を液体側に偏向させることが好ましい。
【００１３】
上記した第１の実施形態の気体−液体吹きスリットノズルは、図１に示すように傾斜面１８に沿って斜め方向に液体を噴霧する。しかし図４に示す第２の実施形態のように、中央部の板状体１２に形成された傾斜面１８の背面にも同様の傾斜面１９を形成すれば、噴出口１６から噴出される液体の方向もその粘性によって傾斜面１９に沿うように変化する。この結果、図４に示す第２の実施形態では気体と液体とが両側から衝突し、図示のとおりほぼまっすぐに噴射される。
【００１４】
また図５に示す第３の実施形態は、中央部の板状体１２の両側に傾斜面１８，１９を形成した点では第２の実施形態と同様であるが、両外側の板状体１１，１３を噴出口１６，１７よりも前方に延ばし、噴霧液のガイド面２０，２１とした点で相違している。この構造の場合には、ノズルの内部で気体と液体との混合が行われ、また噴霧液の噴射方向も安定する。
【００１５】
何れの実施形態においても、両外側の板状体１１，１３の断面形状は特に限定されることはなく、たとえば図６に示すように先端を尖らせない形状としてもよい。また、中央部の板状体１２に形成された傾斜面１８，１９は必ずしも平面である必要はなく、湾曲面としたり、２段傾斜面としても差し支えない。また、図７に示すように、全部の板状体１１，１２、１３の先端部を同一方向に傾斜させることもできる。この図７の構造とすれば、図３の構造よりも噴霧液の噴射方向を安定させることができる。さらに、上記の各実施形態では１種類の気体と１種類の液体とを混合したが、板状体の枚数を４枚以上として気体または液体を２種類とすることも可能である。
【００１６】
何れの実施形態の気体−液体吹きスリットノズルも、流体の粘性を利用して噴出方向を変え、他の流体と衝突させて混合する方式を採用したので、板状体の先端面の形状を単純化することができる。このため、加工が容易で製作コストが安価であり、しかもノズルの長手方向の寸法が最大２０００ｍｍ程度まで大きくなっても、スリットの幅を一定に保つことが容易である。このため場所による噴霧の不均一が発生することがなく、製品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことができる利点がある。
【００１７】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の気体−液体吹きスリットノズルは加工が容易で製作コストが安価であり、しかも製品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことができるので、液晶基板やプリント基板などの製造工程において、洗浄液や各種の薬液を所定幅にわたり均一に噴霧するに適したものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の気体−液体吹きスリットノズルの全体図を示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態の気体−液体吹きスリットノズルの切断面を示す斜視図である。
【図３】第１の実施形態のノズル先端部を示す断面図である。
【図４】第２の実施形態のノズル先端部を示す断面図である。
【図５】第３の実施形態のノズル先端部を示す断面図である。
【図６】ノズル先端部の変形例を示す断面図である。
【図７】ノズル先端部の他の変形例を示す断面図である。
【図８】従来のマルチノズルを示す正面図である。
【図９】先に開発した気体−液体吹きスリットノズルのノズル先端部を示す断面図である。
【符号の説明】
１  ヘッダー
２  噴霧ノズル
３  ヘッダー付きマルチノズル
４  板状体
５  板状体
６  板状体
７  スリット
８  スリット
９  ガイド面
１１  板状体
１２  板状体
１３  板状体
１４  液体室
１５  気体室
１６  液体の噴出口
１７  気体の噴出口
１８  傾斜面
１９  傾斜面
２０  噴霧液のガイド面
２１  噴霧液のガイド面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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