(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶セルを構成するガラス基板に液晶駆動用ＩＣを圧着するＴＡＢ部品の圧着装置において、
前記ガラス基板のリード部に接続されるアウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着されたＴＡＢ部品を供給する部品供給機構と、
この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セルを給出するセル供給機構と、
このセル供給機構から給出された液晶セルを支持し、この液晶セルのガラス基板に設けられた端子を所定の圧着位置に位置決めするセルステ−ジと、
上記部品供給機構から上記ＴＡＢ部品を受取り、このＴＡＢ部品を圧着位置へ搬送するＴＡＢ部品搬送機構と、
このＴＡＢ部品搬送機構の搬送経路途中に配置され、上記ＴＡＢ部品の異方性導電膜から上記離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、
上記離型紙が剥離された上記ＴＡＢ部品の上記異方性導電膜部分のみを予め加熱する加熱機構と、
上記ＴＡＢ部品のアウタリ−ドと上記ガラス基板に設けられた端子とを認識し、この認識結果にもとづきこれらの位置合わせを行い、互いに位置合せされたＴＡＢ部品のアウタリ−ドと上記ガラス基板の端子とを、上記加熱機構によって加熱された上記異方性導電膜を介して押圧し圧着する仮圧着機構とを具備することを特徴とするＴＡＢ部品の圧着装置。
【請求項２】
液晶セルを構成するガラス基板に液晶駆動用ＩＣを圧着するＴＡＢ部品の圧着装置において、
前記ガラス基板のリード部に接続されるアウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着されたＴＡＢ部品を供給する部品供給機構と、
この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セルを給出するセル供給機構と、
このセル供給機構から給出された液晶セルを支持し、この液晶セルのガラス基板に設けられた端子を所定の圧着位置に位置決めするセルステ−ジと、
上記部品供給機構から上記ＴＡＢ部品を受取り、このＴＡＢ部品を圧着位置へ搬送するＴＡＢ部品搬送機構と、
このＴＡＢ部品搬送機構の搬送経路途中に配置され、上記ＴＡＢ部品の異方性導電膜から上記離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、
上記ＴＡＢ部品のアウタリ−ドと上記ガラス基板に設けられた端子とを認識し、この認識結果にもとづきこれらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、
この位置合わせ手段によって位置合わせされた上記ＴＡＢ部品を加熱する加熱機構と、
互いに位置合わせされたＴＡＢ部品のアウタリ−ドと上記ガラス基板の端子とを、上記加熱機構によって予め加熱された上記異方性導電膜を介して押圧し圧着する仮圧着機構とを具備し、
上記加熱機構は、ＴＡＢ部品に対して赤外線を照射する赤外線照射体と、この赤外線照射体から照射される赤外線の所定領域を透過させるスリットを有しＴＡＢ部品と前記赤外線照射体との間に配置されるスクリーンとを具備することを特徴とするＴＡＢ部品の圧着装置。
【請求項３】
上記スリットは、上記赤外線照射体から照射される赤外線の所定領域を透過させて、上記ＴＡＢ部品に貼着される異方性導電膜のみを照射する形状寸法を有することを特徴とする請求項２記載のＴＡＢ部品の圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶セルの互いに対向する一対のガラス基板にＴＡＢ部品である液晶駆動用ＩＣを仮圧着するＴＡＢ部品の圧着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルの製造工程では、液晶セルを構成するガラス基板の表面に形成された端子と、樹脂モールドされたＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ  ）など、回路基板に表面実装されてなる液晶ドライバＩＣのアウタリードとを接続する工程がある。
【０００３】
従来、このガラス基板と液晶ドライバＩＣとの接続は、ゴムコネクタなどを用いて行っていた。しかし、近年の液晶パネルの小型、軽量化の要請のほか、バックライトの取付け要請があり、上述のゴムコネクタなどによる接続には限界がきている。
【０００４】
そこで、最近では、図８に示すように、液晶駆動用ＩＣとして、表面に所定の回路パタ−ン３が形成されてなる薄いシネフィルム状のフィルムキャリア４に、半導体素子５をインナ−リ−ドボンディングしてなるＴＡＢ部品（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）２が用いられている。
【０００５】
このようなＴＡＢ部品２を用いた液晶パネルの製造工程では、図７に示すように、２枚のガラス基板である第１，第２の液晶ガラス基板１ａ，１ｂを対向させて形成される液晶セル１の周囲に、上記液晶駆動用ＩＣ（ＴＡＢ部品２）が実装することが行われている。
【０００６】
そして、上記ＴＡＢ部品２を上記液晶セル１に実装するには、先に図８で示すように、異方性導電膜６が用いられる。この異方性導電膜６は、熱硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム中に着中に導電粒子を混入させたテ−プ状のものであり、上記ＴＡＢ部品２の一端側に突設された複数本のアウタリ−ド７…に、長手方向をこのアウタリ−ド７と直交させた状態で貼着されている。
【０００７】
従来、上述の接続作業は人手により、ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７と第１，第２のガラス基板１ａ，１ｂの配線パタ−ンの端子とを位置合わせし、ガラス基板１ａ，１ｂにＴＡＢ部品２を仮圧着したあと、ボンディング装置によってこれらを本圧着する。このことで、上記異方性導電膜６は軟化し、アウタリード７と第１，第２のガラス基板１ａ，１ｂの配線パターンは電気的、かつ機械的に接合されることになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、Ａ４版相当のガラス基板１ａ，１ｂにおいては、接続するＴＡＢ部品２の数は１２Ｐ〜２４Ｐと極めて多いのが現状である。このため、ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７…のピッチは０．０９〜０．７４ｍｍと非常に狭くならざるを得ない。
【０００９】
したがって、人手による位置合わせは、非常に時間がかかるとともに、装着精度に限界があるために接続不良が生じる恐れがある。また、作業中に接続部分に塵埃が付着し、接続不良が生じる恐れもある。
【００１０】
そして、離型紙６ａの剥離後にＴＡＢ部品２をガラス基板１ａ，１ｂに対して位置合わせをなし、しかる後、上記異方性導電膜６を介してＴＡＢ部品をガラス基板に圧着するのであるが、ここでは所定最小値の圧力を加えるのみの仮圧着である。
【００１１】
したがって、異方性導電膜６のタック性が十分でなく、仮圧着から本圧着工程への移動中にガラス基板１ａ，１ｂからＴＡＢ部品２が落下する現象が多々見られる。
【００１２】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ガラス基板にＴＡＢ部品をボンディングする場合において、必要な一連の作業を全て自動化し、それによって作業時間の短縮化を図るとともに、予め異方性導電膜を加熱してから仮圧着することにより、異方性導電膜のタック性低下を阻止して、ＴＡＢ部品の圧着に対する信頼性の向上を図ったＴＡＢ部品の圧着装置を提供しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を満足するため、本発明のＴＡＢ部品の圧着装置は、請求項１として、液晶セルを構成するガラス基板に液晶駆動用ＩＣを圧着するＴＡＢ部品の圧着装置において、前記ガラス基板のリード部に接続されるアウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着されたＴＡＢ部品を供給する部品供給機構と、この部品供給機構と並設され、液晶セルを収容し、この液晶セルを給出するセル供給機構と、このセル供給機構から給出された液晶セルを支持し、この液晶セルのガラス基板に設けられた端子を所定の圧着位置に位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給機構から上記ＴＡＢ部品を受取り、このＴＡＢ部品を圧着位置へ搬送するＴＡＢ部品搬送機構と、このＴＡＢ部品搬送機構の搬送経路途中に配置され、ＴＡＢ部品の異方性導電膜から離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、離型紙が剥離されたＴＡＢ部品の異方性導電膜部分のみを予め加熱する加熱機構と、ＴＡＢ部品のアウタリ−ドとガラス基板に設けられた端子とを認識し、この認識結果にもとづきこれらの位置合わせを行い、互いに位置合せされたＴＡＢ部品のアウタリ−ドと上記ガラス基板の端子とを加熱機構によって予め加熱された異方性導電膜を介して押圧し圧着する仮圧着機構とを具備する。
【００１４】
上記目的を満足するため、本発明のＴＡＢ部品の圧着装置は、請求項２として、液晶セルを構成するガラス基板に液晶駆動用ＩＣを圧着するＴＡＢ部品の圧着装置において、前記ガラス基板のリード部に接続されるアウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着されたＴＡＢ部品を供給する部品供給機構と、この部品供給機構と並設され液晶セルを収容し、この液晶セルを給出するセル供給機構と、このセル供給機構から給出された液晶セルを支持し、この液晶セルのガラス基板に設けられた端子を所定の圧着位置に位置決めするセルステ−ジと、部品供給機構からＴＡＢ部品を受取りこのＴＡＢ部品を圧着位置へ搬送するＴＡＢ部品搬送機構と、ＴＡＢ部品搬送機構の搬送経路途中に配置されＴＡＢ部品の異方性導電膜から離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、ＴＡＢ部品のアウタリ−ドとガラス基板に設けられた端子とを認識し、この認識結果にもとづきこれらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、この位置合わせ手段によって位置合わせされたＴＡＢ部品を加熱する加熱機構と、互いに位置合わせされたＴＡＢ部品のアウタリ−ドとガラス基板の端子とを加熱機構によって予め加熱された異方性導電膜を介して押圧し圧着する仮圧着機構とを具備し、上記加熱機構は、ＴＡＢ部品に対して赤外線を照射する赤外線照射体と、この赤外線照射体から照射される赤外線の所定領域を透過させるスリットを有し、ＴＡＢ部品と前記赤外線照射体との間に配置されるスクリーンとを具備する。
【００１５】
請求項３として、請求項２記載の上記スリットは、上記赤外線照射体から照射される赤外線の所定領域を透過させて、上記ＴＡＢ部品に貼着される異方性導電膜のみを照射する形状寸法を有することを特徴とする。
【００１６】
上記のような請求項１ないし請求項３記載の発明にもとづく課題を解決する手段を備えることにより、異方性導電膜を貼着したＴＡＢ部品を液晶セルを構成するガラス基板に接着するのにあたって、連続的にかつ自動的に行うことができるとともに、ＴＡＢ部品のタック性の向上化を得られ、よって信頼性の高いＴＡＢ部品の圧着を行える。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、従来例で説明した構成要素と同一の構成要素には同一符号を付してその説明は省略する。
この装置は、先に図７に示すように、図示しない透明電極と配向膜（配線パタ−ン）が形成された第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂを対向させ、これらを所定隙間を存して張り合わせてなる液晶セル１に、第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂ（液晶駆動用ＩＣ）を仮圧着する装置である。
【００１８】
図１および図２に示すように、架台１７上に、上記液晶セル１を供給する液晶セル供給機構１８と、この液晶セル供給機構１８から供給された液晶セル１を搬送し、仮圧着位置（後述するＤ）で保持するセルステ−ジ１９とを具備する。
【００１９】
さらに、先に図８で示す半導体素子５が所定の間隔でインナ−リ−ドボンディングされているともにアウタリ−ド７となる部分にあらかじめ離型紙６ａ付きの異方性導電膜６が貼着されてなる長尺テ−プ状のフィルムキャリア４を供給するフィルムキャリア供給機構２０（部品供給機構）、
このフィルムキャリア４を打ち抜きＴＡＢ部品２を成形する打ち抜き機構２１（同じく部品供給機構）、
上記ＴＡＢ部品２を受取り離型紙６ａを剥離するとともに、このＴＡＢ部品を所定の姿勢に位置決めし、離型紙を隔離した異方性導電膜６に対する加熱作用をなし、異方性導電膜のタック性低下によるＴＡＢ部品の落下を阻止する異方性導電膜加熱機構１０を介して仮圧着位置Ｄに供給するＴＡＢ部品搬送機構２３、
ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７と液晶セル１の端子（配線パタ−ン）とを異方性導電膜６を介して仮圧着する仮圧着機構２４とを具備する。
【００２０】
次に、これらの構成をさらに詳しく説明する。
上記液晶セル供給機構１８は、エレベ−タ手段２６を具備する。このエレベ−タ手段２６は、液晶セル１を複数枚積層した状態で収容する図示しないマガジンを保持する保持テ−ブル２８と、この保持テ−ブル２８を上下駆動するＺ駆動部２９とからなる。
【００２１】
また、この液晶セル供給機構１８は、液晶セル１を上記マガジンから取り出すための供給ア−ム３０を具備する。この供給ア−ム３０は、Ｘ駆動部３１に保持され、その先端部がコの字形状に形成されている。この先端部をマガジン内に挿入し、内部から液晶セル１を取り出してセルステ−ジ１９の方向に搬送する。
【００２２】
上記セルステ−ジ１９は、Ｘ方向に沿って設けられたガイドレ−ル３３上にＸ方向移動自在に設けられたＸＹテ−ブル３４と、このＸＹテ−ブル上に立設されたθ駆動部３５と、このθ駆動部の上面設けられたＸ字形状の吸着ア−ム３６とからなる。
【００２３】
上記θ駆動部３５には、この上面から突没自在に設けられ、突出することで上端で上記液晶セル１を保持することができる、図示しない少なくとも３つのリフトピンが設けられている。
【００２４】
このセルステ−ジ１９に上記液晶セル１を受け渡す場合には、まず、このセルステ−ジ１９の上方にセル供給装置機構１８の供給ア−ム３０の上面に保持された液晶セル１が位置決めされる。ついで、セルステ−ジ１９は、上記リフトピンを上昇させることで、供給ア−ム３０の上面から液晶セル１を持ち上げる。そして、供給ア−ム３０をセルステ−ジ１９から後退させた後、リフトピンをθ駆動部３５内に収納する。このことで、液晶セル１は、Ｘ字形状の吸着ア−ム３６の上面に受け渡され、この吸着ア−ム先端部に吸着保持される。
【００２５】
上記フィルムキャリア供給機構２０は、テ−プ状のフィルムキャリア４を巻回収納する供給リ−ル３８を回転自在に保持したフィルムキャリア収納部３９を具備する。供給リ−ル３８に巻回されたフィルムキャリア４には、半導体素子５…が所定間隔でインナ−リ−ドボンディングされているとともに、アウタリ−ド７となる部位にはあらかじめ、離型紙６ａ付きの異方性導電膜６が貼着される。
【００２６】
この異方性導電膜６は、熱硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム中に導電粒子を混入させたテ−プ状のものであり、上記ＴＡＢ部品２の一端側に突設された複数本のアウタリ−ド７…に、長手方向をこのアウタリ−ドと直交させた状態で貼着されている。
【００２７】
また、上記フィルムキャリア供給機構２０は、テンションプ−リ４０および送り用スプロケット４１を具備し、上記供給リ−ル３８の上方に設けられた巻取リ−ル４２でスペーサテ−プ（フィルムキャリア４の表面に貼付されている保護テ−プ）を剥がしながら、フィルムキャリアを間欠送り駆動し、上記打ち抜き機構２１に供給する。
【００２８】
上記打ち抜き機構２１は、上型４３および下型４４を具備する。上記フィルムキャリア４は、図示しないが、この上型４３と下型４４との間に供給され、上記半導体素子５がインナ−リ−ドボンディングされた部位をこの位置に順次停止させる。
【００２９】
上記上型４３は、下型４４に対して上下駆動されるようになっていて、下型に接離する方向に駆動されることで、フィルムキャリア４を打ち抜く。このことで、ＴＡＢ部品２（第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂ）が成形される。
【００３０】
上記下型４３はＹ駆動部４５によってＹ方向移動自在に保持されていて、ＴＡＢ部品２を上面に保持した状態で、架台１７上をＹ方向手前側に移動し、このＴＡＢ部品２を上記打ち抜き機構２１から取り出すようになっている。
【００３１】
上記フィルムキャリア供給機構２０および打ち抜き機構２１は、並列に２組設けられている。これは、液晶セル１の第１、第２のガラス基板１ａ、１ｂのそれぞれに仮圧着される異なる種類の第１、第２のＴＡＢ部品２ａ、２ｂを成形するためである。
【００３２】
一方、上記架台１７上には門型のフレ−ム４６が設けられている。このフレ−ム４６の上部の水平梁部４６ａはＸ方向に沿って設けられ、この水平梁部に、水平梁部に沿ってＸ方向に位置決め駆動されるＴＡＢ部品搬送ヘッド４７が設けられている。
【００３３】
このＴＡＢ部品搬送ヘッド４７には吸着ノズル４８が設けられ、この吸着ノズルを上下方向に駆動することで、上記下型４３に保持されたＴＡＢ部品２を下型から上方に取り出すことができる。そして、このＴＡＢ部品搬送ヘッド４７は、Ｘ方向に駆動されることで、ＴＡＢ部品２をＴＡＢ部品搬送機構２３の方向に移送する。
【００３４】
上記ＴＡＢ部品搬送機構２３は、水平面内で９０°毎に間欠回転可能なロ−タリインデックステ−ブル４９を具備する。このロ−タリインデックステ−ブル４９の外周縁には、下面でＴＡＢ部品２を吸着保持可能なＴＡＢチャック５０が、一端部をこのロ−タリインデックステ−ブルから径方向外側に突出させた状態で周方向に９０°毎に設けられている。
【００３５】
そして、このＴＡＢチャック５０は、ロ−タリインデックステ−ブル４９が９０°毎に間欠回転駆動されることで、図３に示す、部品受け渡しステ−ジＡから、離型紙剥離ステ−ジＢ、ＴＡＢ仮位置決めステ−ジ兼異方性導電膜加熱ステージＣ、および仮圧着ステ−ジＤの４つのステ−ジに順次対向位置決めされる。なお、同図において上記ＴＡＢチャック５０は図示を省略した。
【００３６】
上記部品受け渡しステ−ジＡには、架台１７上にＸ方向に移動可能かつ上下動可能な部品受け渡しテ−ブル５１が設けられている。この部品受け渡しテ−ブル５１は上記ＴＡＢ部品搬送ヘッド４７からＴＡＢ部品２を受取り、これを部品受け渡しステ−ジＡに位置するＴＡＢチャック５０の下方に搬送する。
【００３７】
そして、この位置で、ＴＡＢ部品２を上昇させることで、このＴＡＢ部品をＴＡＢチャック５０の下面に当接させる。このことでＴＡＢ部品２はＴＡＢチャック５０の下面に吸着保持され、受け渡しが完了する。
【００３８】
上記離型紙剥離ステ−ジＢには、離型紙剥離機構５２が設けられている。この離型紙剥離機構５２は、一面側のみを粘着面とした長尺なる粘着テ−プ５３を、その粘着面を上方に向けた状態で間欠送り駆動する。
【００３９】
上記ロ−タリインデックステ−ブル４９は９０°回動し、ＴＡＢ部品２を受け渡しステ−ジＡから離型紙剥離ステ−ジＢに搬送する。このことで、ＴＡＢ部品２に貼着される異方性導電膜６の離型紙６ａは、粘着テ−プ５３の粘着面に対向させられる。
【００４０】
ついで、上記離型紙剥離機構５２は粘着テ−プ５３を上昇させ、粘着面を離型紙６ａに接触させて粘着テ−プ５３に離型紙６ａを転写する。そして、この粘着テ−プ５３を下降させることで、離型紙６ａを異方性導電膜６から剥離する。
【００４１】
ついで、上記離型紙剥離機構５２は、粘着テ−プ５３をリ−ルに巻き取る。このことで、剥離された離型紙６ａは粘着テ−プ５３と一緒にリ−ルに巻き取られるとともに、粘着テ−プの未だ離型紙が転写されていない部位が繰り出されＴＡＢチャック５０に対向する。
【００４２】
上記ＴＡＢ仮位置決めステ−ジＣには、ＴＡＢ部品２に当接することで、この部品の姿勢を機械的に補正（粗位置決め）する粗位置決めユニット５５が設けられている。
【００４３】
上記ロ−タリインデックステ−ブル４９は、離型紙剥離ステ−ジＢからさらに９０°間欠的に回動することで、離型紙６ａが剥離されたＴＡＢ部品２を上記ＴＡＢ仮位置決めステ−ジＣに停止させ、上記粗位置決めユニット５５を用いてＴＡＢ部品の粗位置決めを行わせる。
【００４４】
このＴＡＢ仮位置決めステ−ジＣには、また、異方性導電膜加熱機構１０が配置される。そして、異方性導電膜加熱機構１０は粗位置決めされたＴＡＢ部品２を加熱する。
【００４５】
この異方性導電膜加熱機構１０は、図６に示すように、仮位置決めされたＴＡＢ部品２に対して赤外線を照射する赤外線照射体１１と、この赤外線照射体１１と仮位置決めされたＴＡＢ部品２との間に適宜な手段で介在保持されるスクリーン１２とから構成される。
【００４６】
上記スクリーン１２には、矩形状の開口部であるスリット１３が設けられている。図４に示すように、上記ＴＡＢ部品２に貼着される異方性導電膜６が縦Ｌａ寸法で、横Ｌｂ寸法の横長矩形状であるとき、図５に示すように、上記スクリーン１２に設けられるスリット１３は、縦Ｌａ寸法で、横Ｌｂ寸法の横長矩形状である。すなわち、異方性導電膜６の形状寸法とスリット１３の形状寸法とは一致する。
【００４７】
そして、スクリーン１２のスリット１３が赤外線照射体１０から照射される赤外線を透過させた状態で、この赤外線が正しく異方性導電膜６のみを照射し、この周辺からＴＡＢ部品２面にはみ出さないよう、上記スクリーン１２の位置が設定されている。
【００４８】
このことにより、ＴＡＢ仮位置決めステ−ジＣで仮位置決めされたＴＡＢ部品２に赤外線が照射される。赤外線は、ＴＡＢ部品２に貼着された異方性導電膜６のみを照射する設定であるところから、異方性導電膜のみが加熱され、周辺のＴＡＢ部品面は少しも加熱されない。
【００４９】
ＴＡＢ部品２における異方性導電膜６はある程度の温度上昇があり、極く僅かの加圧があれば接着し易い状態となる。そして、ＴＡＢ部品２は直接加熱されることがなく、したがって本来の素材がシネフィルム状でありながら、伸びによる精度低下を防止できる。
【００５０】
そして、このＴＡＢ部品仮位置決めステージＣで粗位置決めされるとともに異方性導電膜６のみ加熱されたＴＡＢ部品２は、再び図１ないし図３に示すように、上記ロータリインデックステーブル４９がさらに９０°移動することで、上記仮圧着ステ−ジＤに搬送される。
【００５１】
上記仮圧着ステ−ジＤの下側には、この仮圧着位置を視野に収め、ＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７とガラス基板１ａの端子とを認識することで、両者の位置合わせを行わせる位置合わせ手段である位置認識光学系６０が設けられている。
【００５２】
上記セルステージ１９は、上記液晶セル１を駆動し、この液晶セルの第１のガラス基板１ａに設けられた端子を上記仮圧着ステージＤに移動させ第１のＴＡＢ部品（仮圧着位置）２ａに対向させる。
【００５３】
上記位置認識光学系６０は、この仮圧着位置で互いに対向させられるＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７と第１のガラス基板１ａの端子とを同時に視野に収めて撮像し、その位置検出信号を画像処理装置を経て演算制御部（いずれも図示しない）に送る。
【００５４】
上記演算制御部は、画像処理装置からの位置検出信号に基づき上記セルステ−ジ１９を作動させ、第１のガラス基板１ａを移動させることで、両者を精密に位置合わせ（補正）する。
【００５５】
このようにして、互いに位置合わせがなされたならば、第１のガラス基板１ａは、端子をＴＡＢ部品２のアウタリ−ド７の下側に位置させられる。このことで、アウタリ−ド７と端子とは仮圧着位置において精密に対向位置決めされる。
【００５６】
また、上記仮圧着ステ−ジＤには、上述したように第１のＴＡＢ部品２ａを第１のガラス基板１ａに仮圧着する仮圧着機構２４が設けられている。この仮圧着機構２４は、第１のガラス基板１ａ下面を保持する圧力支持機構６９を具備する。さらに仮圧着機構２４は、上記圧力支持機構６９と第１のガラス基板１ａを挟んで対向する位置に、仮圧着ブロック７０を有する。この仮圧着ブロック７０は、圧力支持機構６９が第１のガラス基板１ａの下面を保持したならば下降し、第１のＴＡＢ部品２ａのアウタリ−ド７を第１のガラス基板１ａの端子方向に押圧して、この第１のＴＡＢ部品を第１のガラス基板に仮圧着する。
【００５７】
第１のＴＡＢ部品２ａと第１のガラス基板１ａとは、上記異方性導電膜６の粘着力によりに仮圧着される。しかも、異方性導電膜６は異方性導電膜加熱機構１０の作用によって加熱され温度上昇しているから、極めて容易にかつ確実に仮圧着される。
【００５８】
このようにして、第１のガラス基板１ａの一方のＸ辺には、第１のＴＡＢ部品２ａ…が順次装着されていく。途中、セルステ−ジ１９は液晶セル１を水平方向に１８０°回動させる。仮圧着機構２４は、上述の動作を繰返し、このＸ辺にも第１のＴＡＢ部品２ａを順次仮圧着していく。
【００５９】
また、この仮圧着ステ−ジＤの側方には、液晶セル反転装置７２が設けられている。上記セルステ−ジ１９は、液晶セル１を上記反転装置７２の方向に駆動し、この液晶セルを挿入する。
【００６０】
上記反転装置７２は、液晶セル１を裏返し（反転）する。そして、この液晶セル１をセルステ−ジ１９上に再び載置する。上記セルステ−ジ１９は、液晶セル１を水平面内で９０°回動させ、第２のガラス基板１ｂのＹ辺の各仮圧着部位と第２のＴＡＢ部品２ｂ…とを位置合わせし、順次仮圧着していく。
【００６１】
第２のガラス基板１ｂに第２のＴＡＢ部品２ｂがすべて仮圧着されたならば、上記セルステ−ジ１９は、この液晶セル１を図１に矢印（イ）で示す方向に駆動し、この架台１７の端部に停止させる。
【００６２】
図３のみに示すように、この仮圧着機構２４の横側には本圧着装置１６が接続されている。架台１７の端部に位置決めされた液晶セル１は、この本圧着装置１６に受け渡される。
【００６３】
このような構成によれば、ＴＡＢ部品２や液晶セル１の搬送および反転を自動で行うため、人手によるゴミの付着、ワーク破損がなく、また作業時間も短縮することができる。
【００６４】
ＴＡＢ部品２に貼着される異方性導電膜６に対する離型紙６ａの剥離動作、ＴＡＢ部品２の仮位置決め、液晶セル１の搬送位置決め、仮圧着などをそれぞれ並行して同時に行うことができるため、大幅な作業時間の短縮となる。
【００６５】
そして、特に、仮位置決めをなしたＴＡＢ部品２を液晶セル１に仮圧着する以前に、赤外線をＴＡＢ部品２の異方性導電膜６に照射して、異方性導電膜６を予め加熱するようにしたので、ＴＡＢ部品２の仮タック性が向上し、仮圧着したあと本圧着するまでの間に液晶セル１から落下するようなことが全くなく、高い信頼性を図れる。
【００６６】
そして、加熱機構１０にスリット１３を有するスクリーン１２を備え、これをＴＡＢ部品２の直前位置に配置したので、赤外線は正しく異方性導電膜６のみを照射し、ＴＡＢ部品面を照射しない。したがって、赤外線照射によるＴＡＢ部品２の伸びがなく、位置ずれなどの不具合は全く生じない。
【００６７】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変形可能である。
たとえば、上記異方性導電膜６はＴＡＢ部品２を打ち抜く前に、既に離型紙６ａ付きの状態で上記フィルムキャリア４に貼着されていたが、これに限定されるものではない。
【００６８】
すなわち、異方性導電膜６を仮圧着ステージＤに位置決めする直前に、ＴＡＢ部品２のアウタリード７に貼着するようにしてもよい。この場合には、離型紙付きでない異方性導電膜を使用する。このため上記離型紙剥離機構５２は不要となる。
【００６９】
また、異方性導電膜６を液晶セル１を構成する第１，第２のガラス基板１ａ，１ｂ側に貼着するようにしてもよい。このようにした場合には、上記セルステージ１９の側方に離型紙剥離機構５２を設け、セルステージを回転させることで順次上記異方性導電膜から離型紙を剥離すればよい。
【００７０】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１の発明によれば、アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着されたＴＡＢ部品を順次供給し、液晶セルを給出して支持し、この液晶セルに設けられた端子を所定の圧着位置に位置決めし、ＴＡＢ部品を受取り圧着位置へ搬送し、この搬送経路途中で異方性導電膜から離型紙を剥離し、アウタリ−ドと基板端子とを認識して位置合わせを行い、ここで異方性導電膜加熱機構によって異方性導電膜を予め加熱したあと、液晶セルに仮圧着したから、液晶セルを構成する基板に複数個のＴＡＢ部品を仮圧着および本圧着する場合において、必要な一連の作業をすべて自動化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向上を図るとともに、異方性導電膜を予め加熱することにより、異方性導電膜のタック性低下を阻止して信頼性の向上を図れるなどの効果を奏する。
【００７１】
請求項２の発明によれば、上記加熱機構は、ＴＡＢ部品に対して赤外線を照射する赤外線照射体と、この赤外線照射体から照射される赤外線の所定領域を透過させるスリットを有し、ＴＡＢ部品と赤外線照射体との間に配置されるスクリーンとを具備したから、比較的簡単な構成で、異方性導電膜のタック性低下を確実に阻止して信頼性の向上を図れる。
【００７２】
請求項３の発明によれば、上記スリットは、上記赤外線照射体から照射される赤外線の所定領域を透過させて、上記ＴＡＢ部品に貼着される異方性導電膜のみを照射する形状寸法を有するようにしたから、赤外線照射によるＴＡＢ部品の伸びを確実に阻止して、位置ずれを規制する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の、ＴＡＢ部品の仮圧着装置の正面側斜視図。
【図２】同実施の形態の、ＴＡＢ部品の仮圧着装置の背面側斜視図。
【図３】同実施の形態の、ＴＡＢ部品の仮圧着装置の平面図。
【図４】ＴＡＢ部品の正面図。
【図５】同実施の形態の、スクリーンの正面図。
【図６】同実施の形態の、異方性導電膜加熱機構と、その加熱状態の斜視図。
【図７】ＴＡＢ部品が仮圧着された液晶セルの斜視図。
【図８】ＴＡＢ部品の斜視図。
【符号の説明】
１…液晶セル、
１ａ，１ｂ…第１，第２のガラス基板、
２ａ，２ｂ…第１，第２の液晶駆動用ＩＣ（ＴＡＢ部品）、
７…アウタリ−ド、
６ａ…離型紙、
６…異方性導電膜、
２０…部品供給機構（フィルムキャリア供給機構）、
１８…（液晶）セル供給機構、
１９…セルステ−ジ、
２３…液晶駆動用ＩＣ搬送機構（ＴＡＢ部品搬送機構）、
５２…離型紙剥離機構、
５５…位置合わせ手段（粗位置決めユニット）、
１０…異方性導電膜加熱機構、
２４…仮圧着機構、
１１…赤外線照射体、
１３…スリット、
１２…スクリーン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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