(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板バネと、
前記板バネに直接固定された検針とを備え、
前記板バネの材質は弾性係数が７３５００Ｎ／ｍｍのステンレス鋼であり、かつ、
前記板バネのサイズは長さが２０ｍｍ、幅が２ｍｍ、厚みが０．０５ｍｍであり、
前記板バネの表面と、前記検針の延びる方向の軸との角度は１００°以上１３０°以下である、検査用プローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、検査用プローブ装置に関し、より特定的には、液晶表示装置においてプラスチックなどの材料からなる基板に形成された電極の検査に用いられる検査用プローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、回路基板やガラス基板上などに形成された導電線や電極などの電気的特性の検査を行なうための検査用プローブ装置が知られている。このような検査用プローブ装置は、検査対象である電極などに接触させるプローブ針（検針）を備える。検査用プローブ装置を用いた検査工程では、プローブ針（検針）を基板上に形成された導電線や電極などに接触させ、この検針を介して電気信号を電極などに供給し、また電極などからの電気信号を検出する。このようにして、基板上に形成された回路などの電気的特性の検査や、電極における短絡の有無の検査などを行なうことができる。このような検査用プローブ装置では、検針を基板上に形成された電極などへ一定の接触圧力で押圧することにより、検針と電極との電気的接続を確実に保つことが要求される。このように、検針と基板上に形成された電極などとの接触圧力を確保するため、検査用プローブ装置では以下に記すようないくつかの方式が採用されている。
【０００３】
すなわち、第１の方式としては、検針の形状をＬ字形として、検針そのものに弾性力を持たせる方式が挙げられる。この方式では、検針の弾性力を利用して、検針と電極との接触圧力を確保するようにしている。また、第２の方式としては、コイル状押しバネを用いて検針を電極へと圧接するものが挙げられる。また、第３の方式としては、プローブ針を含むプローブヘッド部の自重を相殺するための支点を形成し、この支点を挟んだ両側におけるプローブヘッド部のそれぞれの重さの差により、検針と電極との接触圧力を確保するものが挙げられる。また、第４の方式としては、プローブ装置のプローブヘッド部に板バネを利用し、この板バネの弾性力により検針と電極との接触圧力を確保する方式が挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような従来の検査用プローブ装置の方式においては、以下に述べるような問題があった。
【０００５】
すなわち、検針の形状をＬ字形とし、検針そのものに弾性を持たせるという上記第１の方式によっては、検査用プローブ装置を使用している間に検針が絶えず一定の応力を受けるため、検針におけるＬ字形の弾性力を発生させている部分が徐々に変形する。このため、使用している間に検針と電極との接触圧力が徐々に低下していくという問題があった。また、この検針自体は、検査対象である基板上の電極などが非常に微細なものであるため、検針自体の直径も非常に小さく、容易に変形しやすいという問題もあった。
【０００６】
検針をコイル状押しバネで電極に圧接するという上記第２の方式については、検針の可動方向がコイル状押しバネの収縮・伸張方向と一致しており、検針の電極に対する接触角度を大きく変化させることが難しいという問題があった。また、検針の電極に対する接触角度が大きく変化しないため、基板上の電極の段差に対する検針の追従性が低いという問題もあった。さらに、検針がコイル状押しバネの圧縮方向と伸び方向とのそれぞれの方向に変位する場合に、コイル状押しバネの自重の影響によって検針と電極との接触圧力が変化するという問題もあった。
【０００７】
また、支点の両側にかかるプローブヘッド部の自重の差分を利用して接触圧力を確保する上記第３の方式では、検針を電極に対して走査させる場合に、電極の段差部において検針が電極から離れる、いわゆる針飛び現象が発生しやすいという問題があった。
【０００８】
また、板バネの弾性により接触圧力を得る上記第４の方式としては、たとえば実願平６−７３２８号に示されたような検査用プローブ装置が挙げられる。図６は、従来の検査用プローブ装置を示す模式図であり、実願平６−７３２８号に開示された検査用プローブ装置を示している。図６を参照して、従来の検査用プローブ装置について説明する。
【０００９】
図６を参照して、従来の検査用プローブ装置は、検針１０３と検針取付ブロック１１０と板バネ１０２と板バネ取付ブロック１０９と基体部１１１とを含む検査ヘッド部１０１を備える。基体部１１１下には板バネ取付ブロック１０９が設置されている。板バネ取付ブロック１０９と検針取付ブロック１１０とは板バネ１０２によって接続されている。検針取付ブロック１１０の先端部には検針１０３が取付けられている。
【００１０】
検査を行なう際には、このような検査用プローブ装置の検査ヘッド部分１０１を検査対象の基板１０５上に配置する。基板１０５は、液晶表示装置を構成するガラスなどからなる基板であり、その表面には液晶分子を駆動するための電界を形成するために用いるられる電極パターン１０７がマトリックス状に形成されている。そして、検針１０３を基板１０５の表面に形成された電極パターン１０７に接触させる。この検針１０３を介して電極パターン１０７に検査用の電気信号を供給する。そして、検査ヘッド部１０１を基板１０５の表面に平行に走査しながら、順次電極パターン１０７の検査を行なう。この検針１０３と電極パターン１０７との接触圧力は、検査ヘッド部１０１と基板１０５との間の距離と板バネ１０２の弾性力とによって調整されている。
【００１１】
しかし、図６に示したような従来の検査用プローブ装置では、検査ヘッド部１０１は板バネ取付ブロック１０９、板バネ１０２、検針取付ブロック１１０というように多数の部品からなり、比較的複雑な構造となっている。このため、検査用プローブ装置のコストが上昇するという問題があった。また、このような複雑な構造の装置では、部品間の接合部などにおいて寸法の誤差などが発生しやすく、検査用プローブ装置を長時間使用している間に、電極と検針との接触圧力が最適値からずれるといった問題が発生する場合もある。
【００１２】
また、板バネ１０２の先端部には検針取付ブロック１１０が取り付けられているので、この検針取付ブロック１１０の重さを支えるために、板バネ１０２の剛性を比較的大きくしておく必要があった。このため、接触圧力を小さくする場合、接触圧力の調整が難しかった。
【００１３】
また、上述したすべての方式について共通している問題であるが、従来の検査用プローブ装置は基本的にガラス基板など、比較的硬度の高い基板上に形成された電極パターンの検査を想定した構成となっている。一方、液晶表示装置では、基板の材料として近年ガラスだけでなくプラスチックなど比較的柔らかい材料を用いた液晶表示装置の開発が進められている。そして、このようなプラスチックを用いた基板は、従来のガラス基板よりもその表面の硬度が低く、検針の接触圧力が高い場合には基板に容易に損傷が発生する。そのため、ガラス基板上に形成された電極に対する検査を想定して構成された従来の検査用プローブ装置を、そのままプラスチック基板などの比較的軟らかい材料からなる基板に対して適用した場合、基板表面において容易に損傷が発生するという問題が発生していた。
【００１４】
一方、このような基板での損傷の発生を防止するために、検針と電極との接触圧力を小さくすることが考えられる。しかし、従来のプローブ装置は、ガラス基板など比較的硬度の高い基板上に形成された電極の検査を想定しているため、検針と電極との接触圧力が比較的大きい場合に、針飛びなどの不良が発生しないように高く設定されている。そのため、プラスチック基板などにおいて傷の発生を防止できる程度に接触圧力を小さくすると、従来の装置においては電極の段差に対する検針の追従性が悪くなり、針飛びなどの現象が起きてしまう。この結果、正確な検査を行なうことが困難になっていた。
【００１５】
つまり、従来の検査用プローブ装置を、プラスチック基板などの軟らかい材料からなる基板上に形成された電極の検査にそのまま適用しても、正確な検査を行なうことは困難であった。
【００１６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、プラスチック基板などの軟らかい材質の基板に対しても、基板に傷をつけることなく、かつ、基板上に形成された電極の段差に対する十分な追従性を確保することが可能な検査用プローブ装置を提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明の一の局面における検査用プローブ装置は、板バネと、板バネに直接固定された検針とを備え、板バネの材質は弾性係数が７３５００Ｎ／ｍｍのステンレス鋼であり、かつ、板バネのサイズは長さが２０ｍｍ、幅が２ｍｍ、厚みが０．０５ｍｍであり、板バネの表面と、検針の延びる方向の軸との角度は１００°以上１３０°以下である。
【００１８】
このようにすれば、プローブ装置の構造を、板バネにはんだ付けなどによって直接検針を固定した単純な構成とすることができるので、検針が設置された検査ヘッド部の構造を単純化できる。
【００１９】
また、板バネに直接検針を固定するので、従来の検針取付ブロックのような部材を必要としない。そのため、板バネは検針を支えることができるだけの剛性を有していればよい。したがって、検針と電極との接触圧力を小さくするために、板バネの剛性を従来より小さくできる。この結果、板バネによる弾性力を従来より小さくできるので、電極と検針との接触圧力を従来より小さくできる。この結果、基板表面に検針による傷が発生することを防止できる。
【００２０】
また、板バネの剛性を小さくすることで、電極の段差に沿ってより滑らかに検針が移動できるようになる。このため、電極の段差に対する検針の追従性を向上させることができる。
【００２１】
また、検査ヘッド部が検針と板バネという単純な構成であるので、検針と電極との接触圧力を、板バネの弾性力によってほぼ決定できる。したがって、この板バネの長さ、幅、厚さおよび材質などを変更することにより、検針と電極との接触圧力を任意に決定することができる。
【００２２】
また、従来は検査ヘッド部が図６に示したように比較的複雑な構造であり、その重さもある程度の重さとなっていた。そのため、従来のプラスチック基板などの軟らかい材質からなる基板に適用した場合、検査ヘッド部の自重により過剰な接触圧力が発生し、基板に損傷が発生する場合があった。しかし、本発明によれば、検査ヘッド部の重さが従来よりも極めて軽くなっているので、このような検査ヘッド部の自重に起因して過剰な接触圧力が発生することはない。この結果、プラスチック基板などの軟らかい材料からなる基板上に形成された電極の検査において、基板表面に検針によって傷が発生することを防止できる。
【００２４】
また、上記のような角度範囲とすれば、検査対象である基板と検査用プローブ装置の板バネとをほぼ平行になるようにした状態において、検針を基板上の電極と接触させながら走査する場合、この検針と基板表面との摩擦抵抗を低減することができると同時に、電極に起因する段差などに対する検針の追従性を十分確保できる。
【００２５】
また、本発明による検査用プローブ装置では、検査対象となる基板の材質や電極の形状などに合せて板バネの長さ、幅、厚さおよび材質などを変更することにより、任意の接触圧力を容易に得ることができる。
【００２７】
また、比較的入手および加工が容易で、かつ十分な弾性係数を有する材料であるステンレス鋼を用いることで、本発明による検査用プローブ装置を容易に製造できる。
【００２８】
この発明の他の局面における検査方法では、基板上に形成された複数の電極に、上記一の局面における検査用プローブ装置の検針を走査しながら接触させてもよい。
【００２９】
このようにすれば、本発明による検査用プローブ装置を用いて基板上に形成された電気回路などの特性の検査を迅速に行なうことができる。
【００３０】
上記他の局面における検査方法では、検査用プローブ装置の板バネと基板とがほぼ平行に配置されていることが好ましい。
【００３１】
この場合、板バネの表面と検針の延びる方向の軸との角度を１００°以上１３０°以下としておけば、基板表面と検針の伸びる方向の軸との角度を５０°以上８０°以下とすることができる。このようにすれば、検針と基板表面との摩擦抵抗を低減でき、かつ電極の段差部に対する検針の追従性を向上させるという２つの効果を同時に得ることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
【００３３】
図１は、本発明による検査用プローブ装置の実施の形態の模式図である。また、図２は、図１に示した検査用プローブ装置における検査ヘッド部の拡大斜視模式図である。図１および２に示した検査用プローブ装置は、液晶表示装置の基板上に形成された透明性薄膜電極パターンの検査を行なうための走査型自動パターン検査機である。また、図３は、図１に示した検査用プローブ装置を用いた検査方法を説明するための模式図である。
【００３４】
図１および図２を参照して、検査用プローブ装置１は、検針３と板バネ２とからなる検査ヘッド部と、検査ヘッド４とマイクロダイヤルゲージ８と板バネ取付ブロック９とを備える。検針３は板バネ２の先端部にはんだ付けなどの方法で固定されている。また、この板バネ２において検針３が位置する領域と反対側の端部では、板バネ２が板バネ取付ブロック９に固定されている。固定方法としては、板バネ２の裏面から板バネ取付ブロック９にネジ止めするなどの方法を用いることができる。そして、板バネ取付ブロック９は検査ヘッド４に取付られている。
【００３５】
検査ヘッド４は検針３と電気的に接続され、図示していない電圧電流印加回路もしくは電圧電流検出回路に接続されている。そのため、基板５上に形成された電極パターン７について、検針３を介して信号の導通の有無などの必要な検査を行なうことができる。
【００３６】
また、本発明による検査用プローブ装置では、板バネ２と検針３とからなる検査ヘッド部が複数設置されていることが好ましい。また、複数の検査ヘッド部の複数の検針３は、隣接した位置に配置されていることが好ましい。この場合、微小な間隔でストライプパターン状に配置された電極について、１つの電極に２つの検針を同時に接触させることによりその電極の断線検査を容易に行なうことができる。
【００３７】
板バネ２の検査ヘッド４に対する位置はマイクロダイヤルゲージ８によって基板に対して垂直方向に移動させることが可能となっている。この結果、検査対象である基板５に対する板バネ２の距離を任意に変更することができる。この結果、検針３の基板５に対する押圧量（押込み量）を変更できる。したがって、マイクロダイヤルゲージ８によって板バネ２の基板に対する位置を変更することにより、基板５上に形成された電極パターン７へと検針３が板バネ２の弾性力によって押圧される際の接触圧力を変更することができる。
【００３８】
図１および図２に示した検査用プローブ装置１では、検査ヘッド部の構造を、板バネ２にはんだ付けなどによって直接検針３を固定した単純な構成とすることができるので、検査ヘッド部の構造を単純化できる。
【００３９】
また、板バネ２に直接検針３を固定するので、従来の検針取付ブロックのような部材を必要としない。そのため、板バネ２は検針３を支えることができるだけの剛性を有していればよい。したがって、検針３と電極パターン７との接触圧力を小さくするために、板バネ２の剛性を従来より小さくできる。この結果、板バネ２による弾性力を従来より小さくできるので、電極パターン７と検針３との接触圧力を従来より小さくできる。この結果、基板５表面に検針３による傷が発生することを防止できる。
【００４０】
また、板バネ２の剛性を小さくすることで、電極パターン７の段差に沿ってより滑らかに検針３が移動できるようになる。このため、電極パターン７の段差に対する検針３の追従性を向上させることができる。
【００４１】
また、検査ヘッド部が検針３と板バネ２という単純な構成であるので、検針３と電極パターン７との接触圧力を、板バネ２の弾性力によってほぼ決定できる。したがって、この板バネ２の長さ、幅、厚さおよび材質などを変更することにより、検針３と電極パターン７との接触圧力を任意に決定することができる。
【００４２】
また、従来は検査ヘッド部が図６に示したように比較的複雑な構造であり、その重さもある程度の重さとなっていた。そのため、従来のプラスチック基板などの軟らかい材質からなる基板に従来の検査用プローブ装置を適用した場合、検査ヘッド部の自重により過剰な接触圧力が発生し、基板５に損傷が発生する場合があった。しかし、本発明によれば、検査ヘッド部の重さが従来よりも極めて軽くなっているので、このような検査ヘッド部の自重に起因して過剰な接触圧力が発生することはない。この結果、プラスチックからなる基板５上に形成された電極パターン７の検査において、基板５表面に検針３によって傷が発生することを防止できる。
【００４３】
図１および図２に示した検査用プローブ装置を用いた検査方法について図３を参照して説明する。
【００４４】
図３を参照して、検査ステージ６上に検査対象である所定の回路が形成された液晶表示装置を構成するプラスチックからなる基板５を設置する。基板５の表面には透明薄膜電極パターンがストライプパターン状に形成されている。検査用プローブ装置１を矢印の方向に走査しながら、このような電極パターン７について断線あるいは短絡などの不良の発生を検査する。なお、図３に示した検査用プローブ装置１には、紙面に垂直方向に並列に並んだ状態で、それぞれ検針３と板バネ２とを有する検査ヘッド部が２つ設置されている。
【００４５】
たとえば１つの電極パターン７に対して、その両端に２つの検針３を接触させ、一方の検針から検査用の電気信号を電極パターン７に印加する。そして、この印加された検査用の電気信号をもう一方の検針３によって検出する。このようにすれば、電極パターンにおいて断線などの不良が発生しているかどうかを容易に検査することができる。
【００４６】
また、隣り合う電極パターン７に対して、それぞれ１つずつ検針３を接触させ、同様に一方の検針３から電気信号を電極パターン７へと供給する。そして、もう一方の検針３から印加した検査用の信号が検出されるかどうかによって、検針３を接触させている隣り合ったストライプパターン状の電極パターン７が短絡しているかどうかを容易に検査することができる。
【００４７】
そして、図３に示すように、電極パターン７に順次検針３を接触させながら検査用プローブ装置１を矢印の方向に走査することにより、基板５表面に形成された複数の電極パターン７についての短絡検査あるいは導通検査を、連続的にかつ短時間で行なうことができる。
【００４８】
また、板バネ２の表面と、検針３の延びる方向の軸との角度θは１００°以上１３０°以下にすることが好ましい。このようにすれば、図１および図３に示したように、基板５表面と板バネ２とをほぼ平行に配置して、検針３を電極パターン７に接触させながら検査用プローブ装置１を検針走査方向に走査する際に、電極パターン７の端部などにおける段差に検針３が追従できる。したがって、検針３と電極パターン７との接触を保つことができる。すなわち、角度θを上記のような角度範囲とすれば、図１および図３に示すように検査対象である基板５と検査用プローブ装置の板バネ２とをほぼ平行に配置した状態において、検針３を基板５上の電極パターン７と接触させながら走査する場合、この検針３と基板５および電極パターン７の表面との摩擦抵抗を低減することができると同時に、電極パターン７に起因する段差などに対する検針３の追従性を十分確保できる。したがって、正確な検査を行なうことができる。
【００４９】
また、図１〜３に示した本発明による検査用プローブ装置１では、検査対象となる基板５の材質や電極パターン７の形状などに合せて板バネ２の長さ、幅、厚さおよび材質などを変更することにより、任意の接触圧力を容易に得ることができる。また、本発明による検査用プローブ装置１は、従来より小さい接触圧力を容易に実現できるので、特に基板５の材料としてプラスチックなどの硬度の低い材料を用いた場合特に効果的である。
【００５０】
【実施例】
（実施例１）
発明者らは、本発明による検査用プローブ装置の効果を確認するため、まず検査対象の電極パターンが形成されている基板の材質による表面硬度について、スクラッチテスタによる測定を行なった。図４には、測定に使用したプラスチック基板とガラス基板とのそれぞれについての表面硬度の測定結果を示している。なお、スクラッチテスタによる検査とは概略以下のような試験である。すなわち、検査対象である基板に対して検針を接触させ、その検針に所定の荷重をかける。そして、その荷重を変化させながら基板上を一定の速度で検針を走査させた際に、検針にかけた荷重と、検針が受ける抵抗の値とを測定したものである。なお、このスクラッチテスタによる測定条件としては、検針（カートリッジ）の先端径を１５μｍ、最大荷重（フルスケール荷重）としては０．１９６Ｎ（２０ｇｆ）、付加速度を１μｍ／秒、検針の振幅を１００μｍ、検針の送り速度を２０μｍ／秒という条件を用いた。
【００５１】
図４は、その測定結果を示すグラフであり、ガラス基板とプラスチック基板との検針荷重と抵抗値との関係を示すグラフである。図４を参照して、横軸は検針荷重の最大荷重に対する比率（％）を示している。また、縦軸は検針を走査する際の抵抗値を示している。曲線Ａはガラス基板についての測定値を示し、曲線Ｂはプラスチック基板についての測定値を示している。図４からもわかるように、プラスチック基板（曲線Ｂ）の方が、ガラス基板（曲線Ａ）よりも検針荷重に対する抵抗値の増加率（曲線の傾き）が大きくなっている。つまり、プラスチック基板の方が荷重が大きくなるにつれて検針が基板表面により深く押込まれることにより、抵抗値が大きくなっていることがわかる。この結果、同じ荷重条件下では、プラスチック基板はガラス基板よりも傷が発生しやすいことがわかる。
【００５２】
上記の試験で用いたプラスチック基板と同じ材質のプラスチック基板の表面にストライプパターン状の透明性薄膜からなる電極パターンを形成した。そして、図５に示したような４種類の板バネを用いた検査ヘッド部を準備し、基板上に形成された電極パターンに対して、それぞれの検査ヘッド部を備える検査用プローブ装置での検査（パターン検査）を実施した。つまり、図１および図３に示したように基板５上に検査用プローブ装置１を配置し、検針を接触させながら、検査用プローブ装置を基板表面と平行な方向に走査した。そして、それぞれのパターン検査において、基板表面における傷の発生状況および電極パターンによって形成された段差部における検針の追従性について評価した。図５は、本発明の実施例１において用いた試料の板バネの形状を示す模式図であり、この測定試験に用いた４種類の板バネの寸法を示している。なお、図５に示した板バネについては、その材質として弾性係数が７３５００Ｎ／ｍｍ（７５００Ｋｇｆ／ｍｍ）のステンレス鋼を用いた。このように、比較的入手および加工が容易で、かつ十分な弾性係数を有する材料であるステンレス鋼を用いることで、本発明による検査用プローブ装置を容易に製造できる。
【００５３】
また、板バネの表面と検針の延びる方向との軸の角度θはすべて１０５°に設定した（このため、検針の伸びる方向の軸と検査対象である基板表面とのなす角度は７５°となる）。そして、板バネ２と基板５との距離を変更することにより検針の押込み量（針押込み量）を１０μｍ〜５０μｍと変えた５つの場合について、それぞれの試料についての試験を行なった。試験結果を表１に示す。
【００５４】
【表１】
0003569486.tif 000002
【００５５】
なお、表１中において、×印は基板での傷が発生した場合、あるいは針飛びが発生した場合を示しており、○印は基板での傷の発生がない場合、あるいは針飛びが発生しなかった場合を示している。表１からもわかるように、図５に示した試料番号３の板バネ（板バネ３：長さ２０ｍｍ、幅２ｍｍ、厚み０．０５ｍｍ）を検査ヘッド部に用いれば、基板表面において検針による傷が発生することなく、かつ電極パターンの段差部における針飛びなどが発生しない（追従性が良好である）ことがわかる。なお、このときの電極パターンによる段差の高さは１００ｎｍ〜３００ｎｍ（１０００Å〜３０００Å）であり、検針の走査スピードは５０ｍｍ／秒〜１００ｍｍ／秒であった。
【００５６】
なお、上記の例は材質としてステンレス鋼を用いた場合であり、板バネの幅、長さ、厚みはその材質によって任意に変更できる。
【００５７】
（実施例２）
次に、発明者らは板バネ２の表面と検針３の延びる方向の軸との角度θを変えた試料を用意し、その角度θと検針の段差部に対する追従性との関係を調査した。なお、ここでは板バネとして図５に示した試料番号３番の板バネを用いた。そして、板バネの表面と検針の延びる方向の軸との角度θを９５°〜１３５°という範囲で５°ずつ変化させた試料を合計６種類用意した。そして、それぞれの試料を用いて、本発明の実施例１と同様に、基板上に形成された電極パターンに対する検査を行なった。なお、このときの試験の条件は実施例１と同様である。その結果を表２に示す。
【００５８】
【表２】
0003569486.tif 000003
【００５９】
表２からもわかるように、検針の延びる方向と板バネの表面との角度θを９５°とした場合には基板表面に傷が発生した。また、角度θが１００°〜１３５°の場合には基板での傷の発生は無かった。これは、角度θが９５°の場合は、板バネの表面と検針の延びる方向との角度θが小さすぎ、基板に対する検針の接触圧力が高くなりすぎたためであると考えられる。また、針飛びについては、板バネの表面と検針の延びる方向の軸との角度θが１３５°の場合に、段差部において針飛びが発生し正確な検査を行なうことが困難であった（検針の段差部に対する追従性能が低下した）。そして、角度θが９５°〜１３０°の場合には針飛びは発生しなかった。このように、板バネの表面と検針の延びる方向の軸との角度θが１００°〜１３０°という範囲であれば、基板表面に傷を発生させることなく、かつ検査時の検針の針飛びのような不良の発生を防止できる。
【００６０】
このように、プラスチック基板に対して、図５における試料番号３に示したような板バネを用い、かつ、板バネの表面と検針の延びる方向の軸との角度θを１００°〜１３０°とすれば、基板表面に傷を発生させることなくかつ針飛びなどの不良の発生しない検査用プローブ装置を得ることができる。
【００６１】
また、基板の材質が変化した場合も、この板バネの材質および形状さらに板バネ表面と検針の延びる方向の軸との角度θとを変更することにより、傷の発生を防止できかつ検針の針飛びなどの不良の発生を防止することが可能な検査用プローブ装置を容易に得ることができる。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、検査用プローブ装置の検査ヘッド部として板バネに検針を直接固定した比較的単純な構造を採用することにより、さまざまな材質の基板に対して基板表面に傷を発生させることなくかつ電極の段差に追従することが可能な検査用プローブ装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による検査用プローブ装置の実施の形態の模式図である。
【図２】図１に示した検査用プローブ装置における検査ヘッド部の拡大斜視模式図である。
【図３】図１に示した検査用プローブ装置を用いた検査方法を説明するための模式図である。
【図４】ガラス基板とプラスチック基板との検針荷重と抵抗値との関係を示すグラフである。
【図５】本発明の実施例１において用いた試料の板バネの形状を示す模式図である。
【図６】従来の検査用プローブ装置を示す模式図である。
【符号の説明】
１  検査用プローブ装置、２  板バネ、３  検針、４  検査ヘッド、５  検査対象の基板、６  検査ステージ、７  電極パターン、８  マイクロダイヤルゲージ、９  板バネ取付ブロック。
【図１】
0003569486.tif 000004
【図２】
0003569486.tif 000005
【図３】
0003569486.tif 000006
【図４】
0003569486.tif 000007
【図５】
0003569486.tif 000008
【図６】
0003569486.tif 000009