【手続補正書】
【提出日】平成29年10月18日(2017.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動モード及び発振モードでトーチ本体内の誘導結合プラズマを維持するために電力を供給するように構成されたジェネレータであって、
誘導性装置に電気的に接続して、前記駆動モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するよう前記駆動モードで前記誘導性装置に電力を供給するように構成され、かつ前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するよう前記発振モードで前記誘導性装置に電力を供給するように構成された回路と、
前記回路に電気的に接続され、前記回路の動作を前記駆動モードまたは前記発振モードに切り替えるように構成されたプロセッサと
を備える前記ジェネレータ。
【請求項２】
前記回路は、前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された信号源を備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項３】
前記信号源は、ＲＦ周波数合成器、電圧制御発振器、及び切替可能ＲＦ信号源のうち少なくとも１つを備える、請求項２に記載のジェネレータ。
【請求項４】
前記回路は、前記誘導性装置に電気的に接続して、前記発振モード時に前記誘導性装置の作動中に有効化されるように構成されたフィードバック装置を備える、請求項２に記載のジェネレータ。
【請求項５】
前記プロセッサは、前記駆動モードで作動中に前記フィードバック装置を無効化するように構成される、請求項４に記載のジェネレータ。
【請求項６】
前記プロセッサは、前記発振モードで作動中に前記フィードバック装置を有効化するように構成される、請求項４に記載のジェネレータ。
【請求項７】
前記プロセッサは、前記発振モードで作動中に前記信号源を無効化するように構成される、請求項６に記載のジェネレータ。
【請求項８】
前記回路は、前記発振モードで作動時に約３つのＲＦ周期内にインピーダンス整合を提供するように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項９】
前記回路は、前記駆動モードで作動中に前記誘導性装置に対し略実質的に一定の周波数及び振幅を提供するように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１０】
前記回路は、前記発振モードで作動中に変動周波数及び振幅を提供するように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１１】
前記回路は、前記誘導性装置に電気的に接続された駆動回路と、前記誘導性装置に電気的に接続された発振回路とを備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１２】
前記発振回路に電気的に接続され、前記発振回路のフィードバック装置と前記誘導性装置との間に存在するフィルタをさらに備える請求項１１に記載のジェネレータ。
【請求項１３】
前記プロセッサに電気的に接続され、前記プラズマの点火時を判断するように構成された検出器をさらに備える請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１４】
前記プロセッサは、プラズマが前記検出器により検出された後の任意の時点で、前記駆動モードから前記発振モードに切り替わるように構成される、請求項１３に記載のジェネレータ。
【請求項１５】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える請求項１４に記載のジェネレータ。
【請求項１６】
前記回路は、前記駆動モード及び前記発振モード時に前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された少なくとも１つのトランジスタを備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１７】
前記回路は、前記駆動モード時に前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された少なくとも１つのトランジスタを備え、かつ前記発振モード時に前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された少なくとも１つの追加トランジスタを備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１８】
前記プロセッサは、前記発振モードで作動中に前記少なくとも１つのトランジスタを無効化するように構成される、請求項１７に記載のジェネレータ。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのトランジスタと前記少なくとも１つの追加トランジスタは、ハイブリッドモード時に両方とも有効化される、請求項１７に記載のジェネレータ。
【請求項２０】
前記回路は、誘導コイルまたは平板電極を備える誘導性装置に電気的に接続するように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項２１】
誘導性装置と、
前記誘導性装置に電気的に接続され、前記誘導性装置により収容されたトーチ部内の誘導結合プラズマを維持するために電力を供給するように構成されたジェネレータと
を備えるシステムであって、前記ジェネレータは、
誘導性装置に電気的に接続して、前記駆動モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するために前記駆動モードで前記誘導性装置に電力を供給するように構成され、かつ前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するために前記発振モードで前記誘導性装置に電力を供給するように構成された回路と、
前記回路に電気的に接続され、前記回路の動作を前記駆動モードまたは前記発振モードに切り替えるように構成されたプロセッサと
を備える、前記システム。
【請求項２２】
前記回路は、前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された信号源を備える、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記信号源は、ＲＦ周波数合成器、電圧制御発振器、及び切替可能ＲＦ信号源のうち少なくとも１つを備える、請求項２２に記載のシステム。
【請求項２４】
前記回路は、前記誘導性装置に電気的に接続して、前記発振モード時に前記誘導性装置の作動中に有効化されるように構成されたフィードバック装置を備える、請求項２２に記載のシステム。
【請求項２５】
前記プロセッサは、前記駆動モードで作動中に前記フィードバック装置を無効化するように構成される、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記プロセッサは、前記発振モードで作動中に前記フィードバック装置を有効化するように構成される、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２７】
前記プロセッサは、前記発振モードで作動中に前記信号源を無効化するように構成される、請求項２６に記載のシステム。
【請求項２８】
前記回路は、前記発振モードで作動時に約３つのＲＦ周期内にインピーダンス整合を提供するように構成される、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２９】
前記回路は、前記駆動モードで作動中に前記誘導性装置に対し略一定周波数及び振幅を提供するように構成される、請求項２１に記載のシステム。
【請求項３０】
前記回路は、前記発振モードで作動中に変動周波数及び振幅を提供するように構成される、請求項２１に記載のシステム。
【請求項３１】
前記回路は、前記誘導性装置に電気的に接続された駆動回路と、前記誘導性装置に電気的に接続された発振回路とを備える、請求項２１に記載のシステム。
【請求項３２】
前記発振回路に電気的に接続され、前記発振回路のフィードバック装置と前記誘導性装置の間に存在するフィルタをさらに備える請求項３１に記載のシステム。
【請求項３３】
前記プロセッサに電気的に接続され、前記プラズマの点火時を判断するように構成された検出器をさらに備える請求項２１に記載のシステム。
【請求項３４】
前記プロセッサは、プラズマが前記検出器により検出された後の任意の時点で、前記駆動モードから前記発振モードに切り替わるように構成される、請求項３３に記載のシステム。
【請求項３５】
前記プロセッサと前記検出器の間に信号変換器をさらに備える請求項３４に記載のシステム。
【請求項３６】
前記回路は、前記駆動モード及び前記発振モード時に前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された少なくとも１つのトランジスタを備える、請求項２１に記載のシステム。
【請求項３７】
前記回路は、前記駆動モード時に前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された少なくとも１つのトランジスタを備え、かつ前記発振モード時に前記誘導性装置に電気的に接続するように構成された少なくとも１つの追加トランジスタを備える、請求項２１に記載のシステム。
【請求項３８】
前記プロセッサは、前記発振モードで作動中に前記少なくとも１つのトランジスタを無効化するように構成される、請求項２７に記載のシステム。
【請求項３９】
前記少なくとも１つのトランジスタと前記少なくとも１つの追加トランジスタは、ハイブリッドモード時に両方とも有効化される、請求項２７に記載のシステム。
【請求項４０】
前記誘導性装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項２１に記載のシステム。