(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレート型キャリアの前表面から第二表面に向かって先細になっている少なくとも１個のコンテインメントが組み込まれているプレート型キャリアとして形成された基板と、第二表面に接続された少なくとも１つのプレートと、
前記コンテインメントの小開口部と接触している少なくとも１つのダクト型空洞とを備え、
第二表面はプレートと接続し、
前記ダクト型空洞は前記プレート型キャリアと前記プレートの境界面に位置し、
前記コンテインメントは物質認識膜材料を内部に有し、コンテインメントの小開口部の領域で物質認識膜材料が活性センサ面を形成することを特徴とするケモセンサおよび／またはバイオセンサ素子一体型小型循環測定チャンバ。
【請求項２】
前記プレート型キャリアは少なくとも１つの電気接触層を有し、絶縁層で被覆されたSiキャリアであり、
前記電気接触層は、前記物質認識膜材料が充填されたコンテインメントに引き込まれていることを特徴とする請求項１に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項３】
前記電気接触層は貴金属のフィルムからなることを特徴とする請求項２に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項４】
前記電気接触層は、蒸着、スパッタリング、写真平版、電気スプレー法のうち少なくとも１つの薄層技術によって形作られることを特徴とする請求項２または３に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項５】
前記電気接触層は、電気伝導材料からなることを特徴とする請求項２から４の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項６】
前記物質認識膜材料が前記コンテインメントに充填され、このコンテインメントはカプセル層によって閉鎖されることを特徴とする請求項１から５の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項７】
前記ダクト型空洞は前記プレート型キャリアに備えられることを特徴とする請求項１から６の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項８】
前記ダクト型空洞は前記プレートに形成されることを特徴とする請求項１から７の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項９】
光結合可能な物質認識膜材料はコンテインメントの上部または下部開口部から充填された後、UV照射によって架橋結合されることを特徴とする請求項１から８の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項１０】
酵素または抗体のような物質認識膜材料は固定化材料中に固定されることを特徴とする請求項１から９の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項１１】
センサはマイクロ構造技術によって、ポンプ、反応経路、バルブおよびマイクロシステムのその他のシステム成分とともに循環測定チャンバと統合されることを特徴とする請求項１から10の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項１２】
測定は、分析物や物質認識膜材料に応じて、電位差測定または電流測定原理に従って、FIA設備または他の循環設備内で行われることを特徴とする請求項１から11の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバ。
【請求項１３】
コンテインメント構造はウエハ内に作られ、
ダクト型くぼみはウエハの第二表面に、センサ構造を製造する前後に異方性または等方性エッチング法によって製造され、
該ダクトは陽極接着法によって閉鎖されて遮蔽されたダクトができ上がり、その中を測定媒体が通ってセンサの活性表面を通過することを特徴とする請求項１から12の少なくとも１項に記載の小型循環測定チャンバの製造法。
【請求項１４】
該ダクトはドライレジストのポリマーフィルムでラミネートすることによって覆われることを特徴とする請求項13に記載の製造法。
【請求項１５】
該ダクトは前記プレート型キャリアに接着剤で接続されたプラスチックフィルムで覆われることを特徴とする請求項13に記載の製造法。
【請求項１６】
プレート内のダクト型くぼみは、エッチングによって製造され、このダクト型くぼみを施されたプレートがウエハと陽極接着によって接続されることを特徴とする請求項13から15の少なくとも１項に記載の製造法。
【請求項１７】
金属フィルムは、薄層技術によって電極としてダクト型くぼみに組み込まれることを特徴とする請求項13から16の少なくとも１項に記載の製造法。
【発明の詳細な説明】
本発明はケモセンサおよびバイオセンサ素子一体型の小型循環測定チャンバに関し、また、その製造法および利用法に関する。
ケモセンサおよびバイオセンサ素子を循環システムに統合することは知られている。最もよく知られた例として、フローインジェクション分析（FIA）（例:G.Schwedt:Taschenatlas  der  Analytik、Georg  Thieme出版  シュトゥットガルト、1992）がある。
同様の装置がマイクロ透析システムとしてヒト組織のブドウ糖濃度測定に使われている（例:F.J.Schmidtら：着用可能グルコースセンサの検定、人工臓器国際ジャーナル、Vol.15、No.1、1992、055−061ページ）。
重合体膜やゲル層を用いて物質認識をするケモセンサおよびバイオセンサ素子が、コンテインメント原理に従ってシリコン技術で製造できるということも同様に知られている（西独特許公開第4115414号明細書）。この点では重合体膜やゲル層はシリコンチップの表面ではなくチップ内部に製造される。これは、平面構造と比較すると、製造の簡易性および長期の安定性に関してかなりの利点がある。
これらのセンサはシリコン技術でプレハブ式循環測定セルにも組み込める。
記載した先行技術の欠点は、これまで、コンテインメント原理に基づいて作動すること、及び、チップ上の循環測定チャンバに組み込まれたセンサであることの記載がないことである。
従って、本発明の目的は、コンテインメント原理によるケモセンサおよびバイオセンサ素子をチップ上の循環測定チャンバに一体化することである。一体化したセンサを有する測定チャンバは、好ましくはシリコン技術で製造可能であるが、他の技術でもよい。さらに、センサは循環測定チャンバの、例えばマイクロシステムのポンプ、反応経路、バルブ等と一体化することも可能である。
この目的は、センサ自体については請求項１に記載の特徴によって、センサの製造法に関しては請求項15に記載の特徴によって、その利用法に関しては請求項14に記載の特徴によって達成される。サブクレームはさらに有利な展開について記載している。
従って、本発明によると、チップ内のダクト型空洞を、コンテインメントの小さい方の開口部と接触するように配置することが提案されている。さらに、コンテインメントに挿入された物質認識材料が、コンテインメントの小開口部領域に活性センサ面を形成する。これに液状の測定媒体がダクトを通って流れてきてセンサ面と接触できることになる。
循環測定チャンバではキャリアとしてSi基板を用いるのが好ましい。しかしながら、本発明にはその他の適切な材料すべてが含まれる。センサ装置に使用可能な物質認識膜材料やコンテインメントおよび好ましいSiキャリア自体のデザインは、西独特許第4115414号から知ることができる。そこで、本文献の開示内容については明確に言及する。
物質認識膜材料として、その変形特性のために、１つの開口部、好ましくは大開口部を介して前側表面からコンテインメントに入ることができるようなものを使用するのが好ましい。充填は例えばインクジェット原理による自動ディスペンサ装置によってなされる。または、西独特許第4115414号に記載の方法に従ってもよい。
先行技術で公知の固定材料はすべて電位差測定、特に電流測定バイオセンサ用に使用できる。それらの例としては、ゼラチン、コラーゲン、アルギナート、寒天、セルロース、トリアセテート、シリコンゴム、ポリビニルアルコール、ポリウレタン、HEMA、およびその他すべての公知の材料がある。光結合可能な材料は、コンテインメントの上部または下部の開口部から充填した後、UV照射によって架橋結合される。
酵素や抗体などの活性物質認識成分はこれらの材料中に固定化される。これは公知の方法、例えばF.Scheller、F.Schubert:バイオセンサ、Birkhauser出版、ベルリン、1989、に従って行われる。物質認識膜材料で満たされたコンテインメントに実際引き込まれている電気接触層は、好ましくは白金、金、銀などの貴金属フィルムから成る。
同様に、蒸着やスパッタリング、次いで写真平版（フォトリソグラフィック）ストラクチャリングといった公知の薄膜技術によって作られたその他すべてのフィルムも使用可能である。これら金属フィルム構造にシャドーマスクを通して蒸着またはスパッタすることも可能であるし、または、電気スプレー法に従って溶液によってスプレーすることもできる。しかしながら、貴金属の代わりにグラファイトその他の電気伝導材料も使用できる。西独特許第4115414号にも記載されているように、循環測定チャンバにとっては基板を絶縁層でカバーするのが都合がよい。この目的に特にふさわしいのはSiO2および／または例えばS3N4のようなその他の絶縁体である。更に好ましくは、少なくともコンテインメントの上側開口部をカプセル層で包むのがよい。
本発明によると、上述のキャリア、好ましくはSiキャリアは、挿入されたコンテインメントと、少なくとも１枚のプレートによって第二表面で接続されている。挿入された空洞はコンテインメントの小さい方の開口部と接触するように構成されている。好ましくは、ダクト型空洞はSiキャリアの側面に挿入される。コンテインメントの小さい方の開口部はその上に位置する。このようにしてコンテインメントの小さい方の開口部と接触する唯一のダクト構造ができあがる。しかしながらこの代わりに、ダクト型空洞をSiキャリアの後方ではなくSiキャリアに接続しているプレート内に組み込むことも可能である。どちらの場合でも重要なことは、ダクト型空洞とコンテインメントの小開口部が接触するということである。従って、ダクト型空洞は、Siキャリアおよびプレートの両方にくぼみを作るようにして形成することもできる。プレート自体はガラス、光構成可能なガラス、セラミック、グリーンテープ、プラスチックまたはその他の適切な材料からなる。発明を更に展開させた形では、金属フィルムは公知の薄層技術により電極としてダクト型くぼみに組み込まれる。
本発明はさらに上述の小型循環測定チャンバの製造法に関する。この製造過程は次のようである。ダクト型空洞をSiウエハの第二表面に形成し、次いでこのダクト型空洞をプレートによって閉じる。あるいは、適当な構造をプレートに形成し、このプレートをキャリアの第二表面と接続する。
コンテインメントをウエハに挿入する方法は、基本的には西独特許第4115414号のSiウエハの実施例で知られている。この点で、本発明はコンテインメント構造を製造するための従来より公知のこの方法を含む。
ダクト構造をウエハの第二表面に形成する方法は、好ましくは異方性または等方性エッチング法によって行われる。その次に行うダクトの閉鎖は陽極接着法に従って、プレート、例えばガラス蓋と接着する。その結果ダクトは完全に遮蔽され、その中を測定媒体が通ってセンサの活性表面に至る。ウエハ内に構成されたダクトは、光構成可能なドライレジストのポリマーフィルムによってラミネートして遮蔽することもできる。あるいはまた、プレート型キャリアに接着剤で接続されたプラスチックフィルムで遮蔽することもできる。
ダクト型くぼみがプレート自体に位置する場合は、プレートに例えばエッチングが施される。こうして作られたプレートは陽極接着法によってウエハに接続される。既に述べたとおり、上述の２種の方法を組み合わせることも可能である。すなわち、一方ではウエハの第二表面にくぼみを作り、他方ではプレートにくぼみを作って空洞を作るというものである。
本装置で実施される測定は、分析物や物質認識膜材料によるが、電位差測定または電流測定原理に従って公知の方法で実施される。この目的のために、ケモセンサまたはバイオセンサを備えた測定チャンバは好ましくはFIA設備に挿入される。しかしながら、測定チャンバとセンサは別の循環装置に使用することも可能である。さらに、循環測定チャンバを備えたセンサは、公知のマイクロ構造技術を使用して、ポンプ、反応経路、バルブ、およびその他のマイクロシステムのシステム成分と一体化することもできる。
本発明によって得られる利点は特に、センサと循環チャンバがキャリア（チップ）上に作られるため、ケモセンサおよびバイオセンサをマイクロシステムに一体化することが可能となるという事実にある。従って、大量生産の可能性、信頼性、小型化の可能性といったマイクロ構造技術の公知の利点を利用できることになる。
本発明に関する更なる特徴、詳細、利点については、以下の発明の実施の形態に明らかである。図面に関しては次のとおりである。
図1:Siキャリアにダクト構造を備えた、コンテインメント原理によるセンサの斜視図である。
図2:図１の装置の断面図である。
図3:図１と類似の、コンテインメント原理によるセンサの斜視図であるが、コンテインメントを２個有する。
図4:コンテインメント原理によるセンサの斜視図であるが、この場合のダクト構造はプレート内に作られている。
図5:液状媒体を導入および除去するための可能な方法の簡易図である。
図１にはコンテインメント原理によるセンサを示してあるが、これはコンテインメント構造４を有するシリコンウエハ１、金属フィルム７、物質認識膜材料８からなる。その製造法は西独特許第4115414号にある。ここでは、シリコンはSiO2の絶縁コーティング14で被覆されている。必要であれば別の絶縁体（Si3N4）を追加する。コンテインメント４は前表面２から第二表面３に向かって先細構造になっている。
このセンサ構造を製造する前後に、ダクト型くぼみ６をシリコン内に公知の異方性または等方性エッチング法によって製造する。陽極接着法により、このダクト６はガラス蓋５で閉鎖される。その結果遮蔽されたダクトができ上がり、その中を測定媒体が通ってセンサの活性表面（小開口部９）を通過することができるようになる。ダクトの寸法は要件にもよるが、10から1,000μｍの範囲である。チップの全高は100から1,000μｍになる。
図２は、図１の装置を断面図で示してある。ダクト型くぼみに沿った断面図である。図１に加えて図２では、膜を充填したコンテインメント構造がカプセル層10にどの様に覆われているかを示してある。
図３には、図１に記載のコンテインメントセンサを２個有する装置を示してある。この場合、２つの活性センサ面（開口部９および9'）が、ダクト（6"）を通る測定媒体と接触することになる。
図１の例に代えてこの例ではダクト（6"）のカバーをポリマーフィルム（5"）で作っている。このフィルムは例えば光構成可能なドライレジストであり、公知の方法に従ってラミネートされる。しかしながら、このフィルムはプラスチックフィルムからなるものでもよく、プレート型キャリアに接着剤で接続される。
グルコースセンサとして用いるためには、第一のコンテインメント（４）の物質認識膜材料は例えば酵素GODを含むゼラチンからなり、第二のコンテインメント（4'）は酵素GODを含まないゼラチンからなる。この場合の測定は、電流測定原理により、約0.6ボルトの電圧をそれぞれ白金フィルム（７）と（7'）と外部すなわちダクト6"内に配置した参照電極との間にかけて電流を測定することによって行われる。
循環装置に２つ以上のコンテインメント構造が使用された場合、循環測定チャンバにおけるマルチセンサシステムということになる。
図４に示されている態様は、ダクト型くぼみ（6'）をカバープレート（5'）を例えばエッチングして製造したものである。ダクト型くぼみを施されたこのカバープレートは、シリコンウエハに陽極接着法によって接続されている。この場合のSiウエハの厚みは300μｍである。
金属フィルムも図１から４のダクト型くぼみに電極として挿入される（図示せず）。ダクトの内壁に例えば銀フィルムが用いられて電解的に塩素化された場合、Ag/AgCl−参照電極が得られ、それによって測定が１つ以上のコンテインメントセンサに対して電位差測定的または電流測定的に行われる。
図１から４の態様の代わりに、プレート型キャリアは、ガラス、セラミック、グリーンテープ、プラスチック、またはその他の材料から成るものでもよい。
液状測定媒体の導入と除去の可能な方法は図５に示されている。
簡単にするために、センサにはコンテインメント（４）、物質認識膜材料（８）、カプセル層（10）は示してあるが、絶縁層（15）と金属フィルム（７）は省いてある。
この場合、循環装置のダクト型くぼみ（６）は少なくとも２つの開口部（11）および（11'）と接続されており、この開口部がダクト型くぼみをシリコンウエハの第一表面（２）とつないでいる。
この循環装置は少なくとも２つの開口部（13）と（13'）を有するプラスチックブロック12と接続している。この開口部を通じて液状測定媒体を導入除去する。シリコンチップとプラスチックブロックのシール用にシールリング（14）と（14'）が備えてある。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0003582793.tif 000005
【図５】
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