(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子が所定配置で形成された半導体ウエハと、
電気的絶縁性を有する絶縁基板に前記各半導体素子の配置に合わせて信号授受用のアンテナパターンが形成された大判のアンテナ基板とを、前記各々の半導体素子の電極端子と前記アンテナパターンとを各々電気的に接続して接着し、半導体ウエハとアンテナ基板との接合体を形成した後、
該接合体を半導体装置単位に切断して個片の半導体装置を得ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
半導体素子が所定配置で形成された半導体ウエハの電極端子形成面に電気的絶縁層を形成し、
該電気的絶縁層に前記電極端子が底面に露出するビア穴を形成し、
該ビア穴の内面および前記電気的絶縁層の表面に導体層を形成し、
該導体層により前記半導体素子の配置位置に合わせてアンテナパターンを形成するとともに、該アンテナパターンと前記電極端子とを前記ビア穴に形成されたビアを介して電気的に接続し、
該アンテナパターンが形成された半導体ウエハを半導体装置単位に切断して半導体装置を得ることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は非接触式ＩＣカード等に使用する半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
非接触式ＩＣカードは図１３に示すように、コイル状に形成したアンテナ１０と、アンテナ１０に接続された信号授受用の半導体素子１２をカード状に形成したフィルム１４で挟み、薄いカード状に形成したものである。
アンテナ１０は、電気的絶縁性を有するフィルムの表面に形成された導体層をエッチングして所定のコイル状に形成される。半導体素子１２とアンテナ１０とはワイヤボンディングによって電気的に接続される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の非接触式ＩＣカードでは、図１３に示すように、アンテナ１０をカードの外周近傍に沿って配置している。これは、アンテナ１０の通信特性がアンテナのループが囲む面積とアンテナの巻き線数によって決まることから、アンテナ１０が囲む面積を広く確保できるようにするためである。
カード形のＩＣカードは携帯等の利便性を考慮してその形状が考慮されている。しかし、上記のようにアンテナ１０を配置する広い面積を確保することは、電子機器の小型化を制約し、他用途への応用を制約することになる。
【０００４】
本発明はこのような通信機能を備えた電子部品の特性に鑑み、これら通信機能を備えた電子部品の小型化を容易に図ることができ、種々の電子機器への応用利用が容易に可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は次の構成を備える。
すなわち、半導体素子が所定配置で形成された半導体ウエハと、電気的絶縁性を有する絶縁基板に前記各半導体素子の配置に合わせて信号授受用のアンテナパターンが形成された大判のアンテナ基板とを、前記各々の半導体素子の電極端子と前記アンテナパターンとを各々電気的に接続して接着し、半導体ウエハとアンテナ基板との接合体を形成した後、該接合体を半導体装置単位に切断して個片の半導体装置を得ることを特徴とする。
【０００６】
また、半導体素子が所定配置で形成された半導体ウエハの電極端子形成面に電気的絶縁層を形成し、該電気的絶縁層に前記電極端子が底面に露出するビア穴を形成し、該ビア穴の内面および前記電気的絶縁層の表面に導体層を形成し、該導体層により前記半導体素子の配置位置に合わせてアンテナパターンを形成するとともに、該アンテナパターンと前記電極端子とを前記ビア穴に形成されたビアを介して電気的に接続し、該アンテナパターンが形成された半導体ウエハを半導体装置単位に切断して半導体装置を得ることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１〜３は本発明に係る半導体装置を製造する際に使用するアンテナ基板の製造方法を示す。
図１（ａ）  は電気的絶縁性を有する絶縁基板２１の片面に金属箔２２が被着された金属箔付き絶縁基板２０の断面図である。実施形態では金属箔付き絶縁基板２０の基材としてポリイミドフィルムを使用している。ポリイミドフィルムの一方の面に銅箔が被着され、他方の面にポリイミドをＢステージ化した接着層２４が形成されている。
【０００９】
図１（ｂ）  は金属箔２２をエッチングしてアンテナパターン２６を形成した状態を示す。図２はアンテナパターン２６の平面図である。この実施形態では絶縁基板２１の表面の全領域を利用してコイル状に形成している。絶縁基板２１の表面に形成するアンテナパターン２６の巻き数、パターン幅、パターン配置等は任意に選択することが可能である。
金属箔２２をエッチングしてアンテナパターン２６を形成する方法は、通常のフォトリソグラフィー法によればよい。金属箔２２の表面に感光性レジストを塗布し、露光・現像してアンテナパターン２６として残す部位を被覆したレジストパターンを形成し、レジストパターンから露出している金属箔２２の部位をエッチングして除去することによりアンテナパターン２６が得られる。
【００１０】
本発明に係る半導体装置は半導体素子の素子面と略同サイズにアンテナ基板を形成し、半導体素子の素子面にアンテナ基板を接合して半導体装置とする。このように、半導体素子と略同サイズにアンテナ基板を形成する場合は、アンテナパターン２６をきわめて微細に形成することが求められる。エッチング法によりアンテナパターン２６を形成する方法は、アンテナパターン２６をきわめて微細に形成でき、任意のパターンに容易に形成することができるという利点がある。
【００１１】
図１（ｃ）  はアンテナパターン２６を形成した基板にビア３０を形成したアンテナ基板２８を示す。ビア３０は層間でアンテナパターン２６を電気的に接続してアンテナ基板２８を積層するため、また、アンテナ基板２８を半導体素子に接合した際に半導体素子と電気的に接続する際の接続端子として形成する。
ビア３０は、パンチング加工によりアンテナ基板２８を貫通するビア穴を形成し、貫通穴に導体ぺースト等の導体材を充填することによって形成できる。また、アンテナパターン２６を設けた面と反対側の面からレーザ光を照射して底面にアンテナパターン２６が露出するビア穴を形成し、ビア穴に導体材を充填することによってビア３０を形成することができる。
図３にビア３０を形成したアンテナ基板２８の平面図を示す。ビア３０はコイル状に形成したアンテナパターン２６の両端に各々形成されている。
【００１２】
なお、ビア３０を形成する他の方法として、図１（ａ）  に示す金属箔２２が被着された金属箔付き絶縁基板２０にパンチング加工あるいはレーザ加工を施してビア３０を形成することも可能である（図１（ｄ））。この場合、ビア３０を形成した後、金属箔２２をエッチングしてアンテナパターン２６を形成する方法と、金属箔付き絶縁基板２０にビア穴を形成し、金属箔２２をエッチングしてアンテナパターン２６を形成した後、ビア穴に導体材を充填してビア３０を形成しアンテナ基板２８を得る方法がある。また、ビア３０を形成する他の方法として、接着層２４および絶縁基板２１にビア穴を形成し、金属箔２２に通電して電解めっきを施すことによりビア穴を導体材で充填する方法もある。
【００１３】
本発明に係る半導体装置は、上記のアンテナパターン２６が形成されたアンテナ基板２８を半導体素子に接合し、アンテナパターン２６と半導体素子とを電気的に接続して得られる。半導体素子としてＩＣカード等の信号授受用の機能を有する素子を使用すれば、半導体装置内にアンテナを備えた非接触式の通信用の半導体装置として得られる。
【００１４】
図４は半導体素子４０にアンテナ基板２８を接合して一体に形成した半導体装置の実施形態の斜視図、図５は断面図を示す。
図５に示すように、アンテナ基板２８の裏面、すなわちアンテナパターン２６を形成した面とは反対面を半導体素子４０の素子面に接着して半導体素子４０とアンテナパターン２６とを電気的に接続する。そのため、半導体素子４０の電極端子４２とアンテナ基板２８のビア３０とを位置合わせし、異方導電性接着フィルム４３を使用してアンテナ基板２８と半導体素子４０とを接着する。異方導電性接着フィルム４３を使用することにより、電極端子４２とビア３０とが電気的に接続されてアンテナ基板２８と半導体素子４０とが一体に接着される。
【００１５】
なお、異方導電性接着フィルム４３を使用するかわりに、バンプを介して電極端子４２とビア３０とを接続し、アンテナ基板２８と半導体素子４０との隙間に接着剤を充填して一体に接着することも可能である。
このように異方導電性接着フィルムあるいは異方導電性接着剤を使用してアンテナ基板２８を半導体素子４０に接着する場合は、図１に示すアンテナ基板２８において接着層２４を形成する必要はない。また、図１に示すアンテナ基板２８において、接着性を有する導電性樹脂（導電性接着剤）を使用してビア３０を形成した場合は、接着層２４を半導体素子４０の能動面に接着し、ビア３０を電極端子４２に接着することにより図４、５に示す半導体装置を形成することができる。
【００１６】
図６は半導体装置の他の製造方法として、アンテナパターン２６を多層化した多層のアンテナ基板３２を半導体素子４０に接合して半導体装置を製造する方法を示す。図６（ａ）  は所定のアンテナパターン２６を形成したアンテナ基板２８を複数枚積層する状態を示す。各々のアンテナ基板２８には接着層２４が形成されているから、アンテナ基板２８を位置合わせして加熱・加圧することにより、アンテナパターン２６が多層に形成された多層のアンテナ基板３２が得られる。
各々のアンテナ基板３２は、積層して一体化した際に層間でアンテナパターン２６が電気的に接続されるようアンテナパターン２６およびビア３０が設計されている。
【００１７】
図７にアンテナ基板２８に設けるアンテナパターン２６の例を示す。２６ａ、２６ｂ、２６ｃが各々１層目、２層目、３層目のアンテナ基板２８に設けるアンテナパターン２６である。ビア３０はこれらのアンテナパターン２６ａ、２６ｂ、２６ｃが一筆書き状に接続されるように配置する。そして、アンテナの両端がビア３０を介して半導体素子４０に電気的に接続される。
【００１８】
図６（ｂ）  は多層のアンテナ基板３２を半導体素子４０に位置合わせして接合する状態を示す。アンテナ基板３２と半導体素子４０とは、異方導電性接着フィルムあるいはバンプ等を介してビア３０と電極端子４２とを電気的に接続して一体に接合される。多層のアンテナ基板３２を半導体素子４０に接合した形態は図４に示す半導体装置と同様である。半導体素子４０の一方の面に多層のアンテナ基板３２が接合され、チップサイズの半導体装置に形成される。
【００１９】
前述したように、アンテナパターン２６は任意のパターンで、かつきわめて微細なパターンに形成可能であるから、チップサイズの半導体装置に組み込む場合のように、アンテナパターン２６を配置する領域が微小な領域に限られている場合であっても、所要のアンテナ特性を備えた半導体装置として提供することが可能である。また、アンテナ基板２８を積層した多層のアンテナ基板３２の積層数を適宜選択したり、アンテナのパターンを適宜設計したりすることによってさらに製品に応じた特性を備えた半導体装置として提供することが可能となる。
【００２０】
上記実施形態では、単一の半導体素子４０に個片に形成した単層のアンテナ基板２８あるいは多層のアンテナ基板３２を接合して半導体装置とした。このように、単体の半導体素子４０とアンテナ基板２８、３２を取り扱うかわりに、信号授受に使用する半導体素子を形成した半導体ウエハにあらかじめ所定のアンテナパターンを形成した大判のアンテナ基板を接合し、半導体ウエハとアンテナ基板の接合体をスライシングして個片の半導体装置を得ることも可能である。
【００２１】
半導体ウエハに接合する大判のアンテナ基板には半導体ウエハに形成された個々の半導体素子に位置合わせしてアンテナパターンを形成し、半導体ウエハにアンテナ基板を接合した際に個々の半導体素子とアンテナパターンとが電気的に接続して接合されるようにする。大判のアンテナ基板であれば、エッチングによってアンテナパターン２６を形成するといった一連の作業を効率的に行うことができるという利点があり、スライシングによって図４に示したと同様なチップサイズの半導体装置を容易に得ることができる。
【００２２】
このように、半導体素子とアンテナ基板とを組み合わせて半導体素子と略同サイズの半導体装置を形成する方法としては、単一の半導体素子とアンテナ基板とを組み合わせる他に、以下のような方法が可能である。すなわち、上記例のように半導体ウエハに大判のアンテナ基板を組み合わせて製造する方法、半導体ウエハに個片に形成したアンテナ基板を組み合わせて製造する方法、個片の半導体素子に大判のアンテナ基板を組み合わせて製造する方法等である。
【００２３】
図８は半導体装置のさらに他の製造方法を示す。本実施形態では絶縁基板２１の両面にアンテナパターン２６を形成したアンテナ基板２８を積層してアンテナパターン２６を多層化したこと、および半導体素子４０とアンテナパターン２６とをワイヤボンディングによって電気的に接続したことを特徴とする。
図８（ａ）  は絶縁基板２１の両面にアンテナパターン２６を形成したアンテナ基板２８を接着剤シート３４により接着して多層のアンテナ基板を形成する方法を示す。アンテナ基板２８は、絶縁基板２１の両面に金属箔を被着した金属箔付き絶縁基板の両面の金属箔をエッチングして絶縁基板２１の両面にアンテナパターン２６を形成し、絶縁基板２１をパンチングしてビア穴を形成し、ビア穴に導体材を充填することによって形成できる。
【００２４】
アンテナ基板２８を接合する接着剤シート３４には隣接するアンテナパターン２６を電気的に接続する部位に貫通孔が設けられ、該貫通孔に導電性接着剤３６が充填されている。接着剤シート３４を介してアンテナ基板２８を接合することにより、隣接層のアンテナパターン２６は接着剤シート３４を形成した部位のみで電気的に接続されてアンテナ基板２８が一体に接合される。
もちろん、接着剤シート３４を使用するかわりに、前述したと同様に異方導電性接着フィルムを利用してアンテナ基板２８、２８を電気的に接続して接合することも可能である。
【００２５】
図８（ｂ）  はアンテナ基板２８を積層して多層に形成したアンテナ基板３２に半導体素子４０を搭載し、半導体素子４０とアンテナ基板３２のアンテナパターン２６とを電気的に接続した状態である。半導体素子４０とアンテナパターン２６とはワイヤボンディングによって接続する。４４はボンディングワイヤ、３８はアンテナ基板２８に設けたボンディングパッドである。ワイヤボンディングした後、ボンディングワイヤ４４、ボンディングワイヤ４４とアンテナ基板２８とのボンディング部、半導体素子４０の外面等をポッティング等によって封止する。
【００２６】
図９は図８に示す半導体装置で各層に設けたアンテナパターン２６のパターンと、半導体素子４０とアンテナパターン２６とを電気的に接続する構成を示す。アンテナパターン２６は前述した実施形態と同様に一筆書き状に接続されている。
実施形態では多層のアンテナ基板３２の外形寸法よりも半導体素子４０が小型に形成され、半導体素子４０とアンテナパターン２６に設けられたボンディングパッド３８とをワイヤボンディングしている。ワイヤボンディングした後、ボンディングワイヤ４４を含めて半導体素子４０の外面に樹脂をポッティングして封止することも可能である。
【００２７】
半導体素子４０とアンテナ基板３２とを同一の大きさとした場合には、図６に示す方法と同様に、異方導電性接着剤あるいはバンプ等により半導体素子４０とアンテナパターン２６とを電気的に接続して一体に接合することもできる。また、実施形態ではアンテナ基板３２で半導体素子４０を搭載する面にはボンディングパッド３８のみを設けているが、半導体素子４０を搭載した面にもアンテナパターン２６を引き回し、アンテナパターン２６の端部にボンディングパッド３８を設けるようにしてもよい。その場合は、積層するアンテナ基板２８、２８がともに両面にアンテナパターン２６が形成されたものとなる。
【００２８】
図１０は半導体装置のさらに他の実施形態を示す。本実施形態の半導体装置は、半導体素子４０の電極端子形成面にアンテナパターン２６を形成した面を向けてアンテナ基板２８を接合したことを特徴とする。半導体素子４０とアンテナ基板２８とをたとえば、異方導電性接着フィルムを用いて接合することにより、電極端子４２とアンテナパターン２６の端子２７のみとを電気的に接続して接合することができる。この半導体装置の場合はアンテナ基板２８に電気的接続用のビア３０を形成する必要がないという利点がある。
【００２９】
図１１は本発明に係る半導体装置のさらに他の構成を示す。図１１（ａ）  は半導体素子４０の電極端子４２を形成した面に多層のアンテナ基板３２を接合し、第１層目のアンテナ基板２８のアンテナパターン２６と電極端子４２とをワイヤボンディングにより接続した例である。層間のアンテナパターン２６の電気的接続にはビア３０を使用している。図１１（ｂ）  はアンテナ基板２８を階段状に積層し、各層ごとにワイヤボンディングしてアンテナパターン２６を層間で電気的に接続した例である。この実施形態でもボンディングワイヤ４４、ボンディングワイヤ４４とアンテナ基板２８とのボンディング部等をポッティング等によって封止するようにする。
【００３０】
以上説明したように、アンテナ基板と半導体素子４０とを接合して半導体装置を得る方法には種々の方法があり、アンテナ基板またアンテナ基板に形成するアンテナパターンも任意の形状に形成することが可能である。そして、これによって、製品の特性に応じた設計が可能になる。また、上記例の半導体装置では半導体装置内に単一の半導体素子４０を搭載しているが、アンテナ基板２８、３２を中間層に挟むことによって一つの半導体装置に複数の半導体素子４０を搭載することも可能である。
【００３１】
上記実施形態の半導体装置は、いずれも半導体素子４０の電極端子形成面に半導体素子４０とは別体に形成したアンテナ基板を接合して信号授受用のアンテナを備えた半導体装置として得たものである。
図１２は信号授受用のアンテナを備えた半導体装置の他の実施形態として、半導体素子の電極端子形成面にアンテナパターン２６を直接作り込むことによって半導体装置を製造する方法を示す。この製造方法では信号授受用の半導体素子を形成した半導体ウエハ５０に所要の加工を施してアンテナパターンを組み込んだ半導体装置を得る。
【００３２】
図１２（ａ）は所定配置で半導体素子が形成された半導体ウエハ５０を示す。５２が各半導体素子でアンテナパターンと電気的に接続される電極端子である。
図１２（ｂ）は電極端子形成面にアンテナパターンを形成するため、まず、電気的絶縁層５４を形成した状態を示す。電気的絶縁層５４は半導体ウエハ５０の電極端子形成面にポリイミド樹脂等の樹脂材をコーティングし、あるいは接着性を有する樹脂フィルムを接着して形成することができる。
【００３３】
図１２（ｃ）は、電気的絶縁層５４に底面に電極端子５２が露出するビア穴５６を形成した状態である。ビア穴５６は電気的絶縁層５４にレーザ光を照射する方法、化学的エッチングを施す方法等によって形成できる。
図１２（ｄ）は、次に、ビア穴５６の内面と電気的絶縁層５４の表面全体に導体層５８を形成した状態である。導体層５８はアンテナパターンの導体部となり、また、ビア穴５６を充填して電極端子５２とアンテナパターンとを電気的に接続するビア６０となる。したがって、これらの導体部として必要な厚さに導体層５８を形成する。
【００３４】
図１２（ｅ）は、導体層５８をエッチングして電気的絶縁層５４の表面にアンテナパターン２６を形成した状態である。アンテナパターン２６は半導体ウエハ５０での半導体素子の配置位置に合わせて所定のパターンに形成する。導体層５８の表面にアンテナパターン２６として残す部位のみを被覆したレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして導体層５８をエッチングすることによってアンテナパターン２６を形成することができる。なお、セミアディティブ法による場合は、めっき給電層として薄い導体層を形成した後、アンテナパターンとして形成する部位を露出させたレジストパターンを形成し、電解めっきにより導体部を盛り上げて形成した後、レジストパターンを除去し、レジストパターンによって被覆されていた薄い導体層をエッチングして除去することにより、所定パターンのアンテナパターン２６を形成することができる。
【００３５】
半導体素子の表面に設けるアンテナパターン２６が１層のみの場合は、図１２（ｅ）の状態、もしくは、図１２（ｆ）に示すように、アンテナパターン２６の表面を保護膜６２によって被覆した後、半導体ウエハ５０を個片にスライシングする。これによって、電極端子形成面にアンテナパターン２６が形成されたチップサイズの半導体装置が得られる。図１２（ｆ）でＡ−Ａ線が半導体ウエハ５０を切断する位置である。
【００３６】
アンテナパターン２６を複数層に積層して形成する場合には、保護膜６２のかわりに、上記電気的絶縁層５４と同様な電気的絶縁層を形成し、第１層のアンテナパターン２６を形成すると同様にして次層のアンテナパターンを形成する。すなわち、第２層目の電気的絶縁層にビア穴を形成し、スパッタリング等により導体層を形成し、導体層をエッチングして第２層目のアンテナパターンを形成する。第１層と第２層のアンテナパターン２６は電気的絶縁層に形成したビアを介して電気的に接続することができる。アンテナパターン２６の形態および層間の電気的接続は図７に示した形態と同様である。
【００３７】
図１２に示すように、半導体ウエハ５０の電極端子形成面に電気的絶縁層５４を介してアンテナパターン２６を作り込む方法は、アンテナパターン２６を微細なパターンに形成すること、アンテナパターン２６を複数層に積層して形成することが容易に可能であること、半導体ウエハ５０を対象として露光・現像といった操作を行うことで効率的に半導体装置を製造することが可能になる等の利点がある。
半導体ウエハ５０をスライスして得られた半導体装置は半導体素子４０の電極端子形成面に、電極端子５２と電気的に接続してアンテナパターン２６が形成されたものとなる。
【００３８】
以上のように、本発明に係る半導体装置は半導体素子４０と略同サイズに形成され、信号授受用のアンテナを備えた半導体装置としてきわめて小型に形成される。したがって、非接触式のＩＣカードとして使用するといった場合でも従来のようなカード形とする必要はなく、切手サイズもしくはさらに小型に形成して使用することが可能になる。また、アンテナを組み込んだＩＣとして形成することにより、ＩＣとＩＣとの間で非接触により信号を授受することが可能となる。これによって、ＩＣとＩＣとを接続する配線が不要になり、ＩＣを実装する実装基板を小型化することが可能になる等の種々の用途に利用可能である。
【００３９】
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、半導体ウエハとアンテナ基板との接合体を形成して個片の半導体装置を得ること、あるいは、アンテナパターンが形成された半導体ウエハを半導体装置単位に切断して半導体装置を得ることによって、通信用のアンテナを備えたきわめて小型の半導体装置を容易にかつ効率的に製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体装置に使用するアンテナ基板の製造方法を示す説明図である。
【図２】絶縁基板にアンテナパターンを形成した状態の平面図である。
【図３】アンテナ基板にビアを形成した状態の平面図である。
【図４】本発明に係る半導体装置の実施形態を示す斜視図である。
【図５】図４に示す半導体装置の断面図である。
【図６】多層のアンテナ基板を用いて半導体装置を形成する方法を示す説明図である。
【図７】アンテナパターンのパターン例を示す説明図である。
【図８】本発明に係る半導体装置の他の製造方法を示す説明図である。
【図９】アンテナパターンのパターン例を示す説明図である。
【図１０】本発明に係る半導体装置のさらに他の構成例を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る半導体装置のさらに他の構成例を示す断面図である。
【図１２】本発明に係る半導体装置のさらに他の製造方法を示す説明図である。
【図１３】従来のＩＣカードの構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１０  アンテナ
１２  半導体素子
１４  フィルム
２０  金属箔付き絶縁基板
２１  絶縁基板
２２  金属箔
２４  接着層
２６、２６ａ、２６ｂ、２６ｃ  アンテナパターン
２８、３２  アンテナ基板
３０  ビア
３４  接着剤シート
３６  導電性接着剤
３８  ボンディングパッド
４０  半導体素子
４２、５２  電極端子
４３  異方導電性接着フィルム
４４  ボンディングワイヤ
５０  半導体ウエハ
５４  電気的絶縁層
５６  ビア穴
５８  導体層
６０  ビア
６２  保護膜
【図１】
0003557130.tif 000002
【図２】
0003557130.tif 000003
【図３】
0003557130.tif 000004
【図４】
0003557130.tif 000005
【図５】
0003557130.tif 000006
【図６】
0003557130.tif 000007
【図７】
0003557130.tif 000008
【図８】
0003557130.tif 000009
【図９】
0003557130.tif 000010
【図１０】
0003557130.tif 000011
【図１１】
0003557130.tif 000012
【図１２】
0003557130.tif 000013
【図１３】
0003557130.tif 000014