(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カッターによってセラミック基板にスナップラインを形成するスナップライン形成装置において、前記セラミック基板を載置する基板テーブルと、前記基板テーブルを水平のＹ方向に移動させるＹ方向駆動手段と、前記基板テーブルを鉛直軸の周りのθ方向に回転移動させるθ方向駆動手段と、前記基板テーブルの上方でカッターを支持する支持部材と、この支持部材に支持され前記セラミック基板を撮像する撮像装置と、前記支持部材を前記Ｙ方向に直交する水平のＸ方向に移動させて前記カッター及び撮像装置をＸ方向に移動させるＸ方向駆動手段と、前記支持部材を鉛直のＺ方向に移動させて前記カッター及び撮像装置をＺ方向に移動させるＺ方向駆動手段と、前記撮像装置により撮像された像に基づいて前記Ｙ方向駆動手段、θ方向駆動手段及びＸ方向駆動手段を制御してセラミック基板及びカッターの相対位置を調整し、Ｚ方向駆動手段により前記カッターを前記セラミック基板上に降下させてその所定の位置にスナップラインを形成する制御部と、を有することを特徴とするセラミック基板のスナップライン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数個の配線パターンが形成されたセラミック基板を個別に分割するためのスナップライン形成装置に関し、特に、簡単な構造であって、装置自体の製造コストを低減することができるセラミック基板のスナップライン形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、複数個の配線パターンが形成されたセラミック基板を個別に分割する方法として、カッター等によって各モジュール間にスナップラインを形成し、このスナップラインに沿って基板を分割する方法が使用されている。近時、容易に高精度でスナップラインを形成することができるスナップライン形成装置が開示されている（特開平６−２０９１４９号公報）。
【０００３】
図２は従来のスナップライン形成装置の構造を示す斜視図である。セラミック基板２９を載置するテーブル３０は、これを鉛直軸の周りのθ方向に回転移動させるθ方向駆動装置３１に支持されており、θ方向駆動装置３１はこれを水平のＹ方向に移動させるＹ方向駆動装置３２に支持されている。
【０００４】
また、基板２９にスナップラインを形成するカッター２４は、テーブル３０の上方においてカッターヘッド２３に支持されており、カッターヘッド２３は支持部材３３に固定されている。また、支持部材３３はこれを鉛直のＺ方向に移動させるＺ方向駆動装置２２に支持されており、Ｚ方向駆動装置２２はこれを前記Ｙ方向に直交する水平のＸ方向に移動させる第１Ｘ方向駆動装置２１に支持されている。
【０００５】
更に、テーブル３０の上方には、テーブル３０上の基板２９の位置を確認する第１撮像装置２７及び第２撮像装置２８が、夫々、第２Ｘ方向駆動装置２５及び第３Ｘ方向駆動装置２６に支持されている。これらの第１、第２及び第３Ｘ方向駆動装置２１、２５及び２６によって、カッター２４、第１及び第２撮像装置２７及び２８は、互いに独立してＸ方向に水平移動する。なお、全ての駆動装置は制御部（図示せず）に接続されている。
【０００６】
このように構成された従来のスナップライン形成装置においては、先ず、テーブル３０上に基板２９を載置し、第１撮像装置２７及び第２撮像装置２８により基板２９を撮像する。次に、この映像に基づいて、基板２９におけるスナップライン形成予定位置の上方にカッター２４が配置されるように、テーブル３０のＹ方向及びθ方向への移動すべき距離が算出され、制御部がＹ方向駆動装置３２及びθ方向駆動装置３１を制御することにより基板を移動させる。
【０００７】
その後、Ｚ方向駆動装置２２によって、カッター２４が基板２９に当接する位置までカッターヘッド２３を降下させ、第１Ｘ方向駆動装置２１により支持部材３３をＸ方向に水平移動させることにより、基板２９における所望の位置にスナップラインを形成することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図２に示すスナップライン形成装置においては、以下に示すような問題点がある。即ち、撮像装置２７及び２８は水平方向にのみ移動するように構成されており、テーブル３０からの距離は変化しないので、テーブル３０上に載置された基板２９を撮像するときに、上述の駆動装置等の他に、焦点合わせをするための手段が別に必要となる。
【０００９】
また、従来のスナップライン形成装置においては、テーブル３０の移動すべき距離を算出するために、２台の撮像装置２７、２８が必要であると共に、これらの撮像装置２７、２８を独立に移動させる２台のＸ方向駆動装置２５、２６も必要となる。また、カッターヘッド２３も撮像装置２７、２８とは異なるＸ方向駆動装置２１により支持されているので、２台の撮像装置２７、２８と、３台のＸ方向駆動装置２１、２５、２６とが必要である。従って、スナップライン形成装置自体の構造が複雑になり、これらの制御方法が複雑化されると共に、装置自体の製造コストが高くなってしまう。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、簡単な構造であって、装置自体の製造コストを低減することができるセラミック基板のスナップライン形成装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るスナップライン形成装置は、カッターによってセラミック基板にスナップラインを形成するスナップライン形成装置において、前記セラミック基板を載置する基板テーブルと、前記基板テーブルを水平のＹ方向に移動させるＹ方向駆動手段と、前記基板テーブルを鉛直軸の周りのθ方向に回転移動させるθ方向駆動手段と、前記基板テーブルの上方でカッターを支持する支持部材と、この支持部材に支持され前記セラミック基板を撮像する撮像装置と、前記支持部材を前記Ｙ方向に直交する水平のＸ方向に移動させて前記カッター及び撮像装置をＸ方向に移動させるＸ方向駆動手段と、前記支持部材を鉛直のＺ方向に移動させて前記カッター及び撮像装置をＺ方向に移動させるＺ方向駆動手段と、前記撮像装置により撮像された像に基づいて前記Ｙ方向駆動手段、θ方向駆動手段及びＸ方向駆動手段を制御してセラミック基板及びカッターの相対位置を調整し、Ｚ方向駆動手段により前記カッターを前記セラミック基板上に降下させてその所定の位置にスナップラインを形成する制御部と、を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明においては、撮像装置がＺ方向駆動手段によってＺ方向に移動するので、焦点合わせのための特別な手段を使用することなく、撮像装置による映像の焦点を合わせることができる。従って、撮像装置の構造を簡素化することができる。
【００１３】
また、本発明に係るスナップライン形成装置は、１台の撮像装置によって、セラミック基板におけるスナップラインを形成する位置とカッターの位置とを合わせるものであると共に、この撮像装置をＸ方向に移動させる専用のＸ方向駆動装置が不要であるので、従来のスナップライン形成装置と比較して、撮像装置及びＸ方向駆動装置の数を減少させることができる。従って、本発明装置においては、装置の構造が簡素となるので、その制御が容易になると共に、製造コストを低減することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の実施例に係るスナップライン形成装置の構造を示す斜視図である。セラミック基板９を載置するテーブル１０は、これを鉛直軸の周りのθ方向に回転移動させるθ方向駆動装置１１に支持されており、θ方向駆動装置１１はこれを水平のＹ方向に移動させるＹ方向駆動装置１２に支持されている。
【００１５】
また、基板９にスナップラインを形成するカッター４は、テーブル１０の上方においてカッターヘッド３に支持されており、このカッターヘッド３は支持部材１３に固定されている。また、基板９を撮像する撮像装置も支持部材１３に支持されており、この撮像装置７と前記カッター４とは、前記Ｙ方向に直交する平行のＸ方向の同一線上に位置するように配列されている。更に、支持部材１３はこれを鉛直のＺ方向に移動させるＺ方向駆動装置２に支持されており、このＺ方向駆動装置２はこれを前記Ｘ方向に移動させるＸ方向駆動装置１に支持されている。
【００１６】
なお、駆動装置１、２、１１及び１２は全て、制御部（図示せず）に接続されており、撮像装置７からの映像は制御部に入力されるようになっている。また、撮像装置７とカッター４とは、必ずしも同一線上に配置する必要はない。
【００１７】
このように構成された本実施例においては、先ず、テーブル１０上に基板９を載置し、撮像装置７により基板９を撮像する。このとき、基板９を鮮明に撮像して、位置合わせの精度を高めるために、Ｚ方向駆動装置２によって支持部材１３を昇降させ、撮像装置７の焦点合わせを実施する。
【００１８】
次に、撮像装置７による映像に基づいて、基板９における第１のスナップライン形成予定線９ａがＸ方向に対して平行に配置されると共に、この形成予定線９ａの上方にカッター４が配置されるように、制御部によりテーブル１０のＹ方向及びθ方向への移動すべき距離が算出され、Ｙ方向駆動装置１２及びθ方向駆動装置１１が制御されることにより基板を移動させる。
【００１９】
次いで、制御部がＺ方向駆動装置２及びＸ方向駆動装置１を制御して、カッター４が基板９に当接する位置までカッターヘッド３を降下させると共に、カッターヘッド３を支持する支持部材３をＸ方向に水平移動させることにより、基板９におけるスナップライン形成予定線９ａにスナップラインを形成することができる。
【００２０】
その後、再度、撮像装置７による映像に基づいて、基板９における第２のスナップライン形成予定線９ｂの上方にカッター４が配置されるように、テーブル１０のＹ方向への移動すべき距離が算出され、制御部がＹ方向駆動装置１２を制御することにより基板をＹ方向に移動させる。そして、同様にして、スナップライン形成予定線９ｂにスナップラインを形成する。
【００２１】
その後、同様にして、撮像装置７による映像に基づいて、基板９における第３のスナップライン形成予定線９ｃがＸ方向に対して平行に配置されるように、θ方向駆動装置１１によってテーブル１０がθ方向に９０°回転移動されると共に、この形成予定線９ｃの上方にカッター４が配置されるように、テーブル１０がＹ方向に移動され、スナップライン形成予定線９ｃにスナップラインを形成する。
【００２２】
このように、本実施例においては、撮像装置７がＺ方向駆動装置２によってＺ方向にも移動するので、焦点合わせのための特別な手段を使用することなく、容易に撮像装置７による映像の焦点を合わせることができる。従って、撮像装置の構造を簡素化することができる。
【００２３】
また、本実施例は、１台の撮像装置７によって、セラミック基板９におけるスナップラインを形成する位置とカッター４の位置とを合わせると共に、この撮像装置７をＸ方向に移動させるための専用のＸ方向駆動装置が不要であるので、従来のスナップライン形成装置と比較して、撮像装置及びＸ方向駆動装置の数を減少させることができる。従って、装置の構造が簡素となるので、その制御が容易になると共に、製造コストを低減することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、撮像装置がＺ方向駆動手段によってＺ方向に移動するので、焦点合わせのための特別な装置を使用することなく、撮像装置による映像の焦点を合わせることができる。また、１台の撮像装置によって、セラミック基板におけるスナップラインを形成する位置とカッターの位置とを合わせると共に、この撮像装置専用のＸ方向駆動手段が不要であるので、装置の構造が簡素化されて、その制御が容易になると共に、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るスナップライン形成装置の構造を示す斜視図である。
【図２】従来のスナップライン形成装置の構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，２１，２５，２６；Ｘ方向駆動装置、  ２，２２；Ｚ方向駆動装置、  ３，２３；カッターヘッド、  ４，２４；カッター、  ７，２７，２８；撮像装置、  ９，２９；基板、  １０，３０；テーブル、  １１，３１；θ方向駆動装置、  １２，３２；Ｙ方向駆動装置
【図１】
0003539105.tif 000002
【図２】
0003539105.tif 000003