【手続補正書】
【提出日】平成29年2月3日(2017.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも部分的に下面によって規定される内部空間と、該内部空間に光を透過可能とする光ポートとを有するチャンバと、
前記チャンバの前記内部空間の内側に配置されるターゲットホルダであって、前記チャンバの前記下面の上方にターゲットを支持可能な支持面を規定する基部と、前記ターゲットホルダを貫通する少なくとも１つの流体移送管とを有するターゲットホルダと、
前記チャンバの前記内部空間にキャリアガスを導入するように構成されたキャリアガス注入システムと、
前記支持面の下方の位置で前記チャンバの前記内部空間に流体連通するパージ管であって、流体を前記チャンバの前記内部空間から前記チャンバの外側の位置に移送するように構成されたパージ管と
を備え、
前記少なくとも１つの流体移送管は、前記チャンバの前記内部空間に流体連通する第１の端部と、前記チャンバの前記内部空間に流体連通する第２の端部とを有し、
前記第２の端部は、前記第１の端部よりも前記支持面から離れている
装置。
【請求項２】
前記キャリアガス注入システムは、実質的に第１の方向に移動する第１のキャリアガスの流れを前記チャンバの前記内部空間に導入するとともに、実質的に前記第１の方向と異なる第２の方向に移動する第２のキャリアガスの流れを前記チャンバの前記内部空間に導入するように構成されている、
請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記キャリアガス注入システムは、前記第１の方向が前記第２の方向の延びる軸と少なくとも実質的に平行な軸に沿って延びるように構成されている、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記光ポートを通して前記チャンバの前記内部空間にレーザパルスを向けるように構成されたレーザシステムをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の端部と該第１の端部と反対側の第２の端部とを有する試料移送管をさらに備え、
前記第１の端部は、前記チャンバの前記内部空間の内側で高さ方向において前記光ポートと前記ターゲットホルダの前記支持面との間の位置に配置され、
前記第２の端部は、前記チャンバの外側に配置される
請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つの流体移送管の前記第１の端部は、前記支持面に形成される、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記支持面とは反対側の前記基部の下面が前記チャンバの前記下面から離間するように、前記基部と前記チャンバの前記下面との間に介在する台座をさらに有する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つの流体移送管の前記第２の端部は、前記基部の前記下面に形成される、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記支持面の周縁に配置されるフェンスであって、前記支持面から前記光ポートに向かって延びるフェンスをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの流体移送管の前記第１の端部は、前記フェンスに形成される、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記パージ管の流入口が前記チャンバの側面に形成され、
前記側面は、少なくとも部分的に前記チャンバの前記内部空間を規定し、
前記ターゲットホルダは、前記側面から離間している、
請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
ターゲットを収容するように構成されたチャンバであって、その内部空間に試料領域を含むチャンバと、
前記ターゲットを形成する材料をアブレートするように構成されたレーザパルスを前記試料領域に向けて前記ターゲットに照射するレーザシステムと、
前記アブレートされた材料の一部を前記試料領域の内部のキャリアガスに乗せることができるように、前記チャンバの内部の第１の位置及び第２の位置から前記試料領域に前記キャリアガスを導入するように構成されたキャリアガス注入システムと、
前記キャリアガスに乗ったアブレートされた材料の少なくとも一部を前記チャンバの外側の位置に移送するように構成された試料移送管と
を備え、
前記試料領域の一部は、前記第１の位置と前記第２の位置との間に位置しており、
前記キャリアガス注入システムは、前記アブレートされた材料の少なくとも一部を前記試料領域の内部の前記キャリアガスに乗せることができるように、実質的に第１の方向に移動する第１のキャリアガスの流れを前記試料領域に導入するとともに、実質的に前記第１の方向と異なる第２の方向に移動する第２のキャリアガスの流れを前記試料領域に導入するように構成され、
前記キャリアガス注入システムは、前記第１の流れの延びる軸を横断する方向に沿って測定した前記第１の流れの幅が10mmよりも大きくなるように構成されている
装置。
【請求項１３】
前記キャリアガス注入システムは少なくとも１つの注入ノズルを含む、請求項１から12のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの注入ノズルは、
前記キャリアガスの導入流を受け入れるように構成された流入口と、
前記導入流の少なくとも１つの特性を修正して前記キャリアガスの修正された流れを形成するように構成された流体修正部と、
前記キャリアガスの前記修正された流れを前記チャンバの前記内部空間に放出するように構成された流出口と
を含み、
前記修正された流れは、前記導入流の特性と異なる少なくとも１つの特性を有している、請求項13に記載の装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１つの特性は、流速、流向、断面形状、及び圧力からなる群から選択される、請求項14に記載の装置。
【請求項１６】
前記チャンバは、前記ターゲットが前記チャンバの前記内部空間に入る通路と、前記ターゲットが前記チャンバの内部空間から出る通路とからなる群から選択される少なくとも１つを提供するように構成されたアクセス開口部を含む、請求項１から15のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
前記キャリアガス注入システムは、前記チャンバ内の第１の位置及び第２の位置から前記チャンバの前記内部空間にキャリアガスを導入するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
前記ターゲットホルダの一部は、前記第１の位置と前記第２の位置との間に位置している、請求項17に記載の装置。
【請求項１９】
チャンバと、
前記チャンバの内部空間の内側に配置され、前記チャンバの前記内部空間の内側に試料領域と前記試料領域の外側のパージ領域とを規定するように構成されるとともに、ターゲットの少なくとも一部が前記試料領域の内側に配置されるように、前記ターゲットを支持するように構成されたターゲットホルダと、
前記チャンバの前記内部空間と流体連通するパージ管であって、流体を前記パージ領域から前記チャンバの外側の位置に移送するように構成されたパージ管と
を備え、
前記ターゲットホルダは、
前記ターゲットと物理的に接触するように構成された支持面を有する基部と、
前記基部を貫通する少なくとも１つの流体移送管であって、前記支持面に隣接する第１の端部と、前記パージ領域と流体連通する第２の端部とを有する少なくとも１つの流体移送管と
を有する、
装置。
【請求項２０】
前記試料領域にキャリアガスを導入するように構成されたキャリアガス注入システムと、
前記パージ管の上方の位置で前記チャンバの前記内部空間と流体連通する試料移送管であって、前記キャリアガスの少なくとも一部を前記試料領域から前記チャンバの外側の位置に移送するように構成された試料移送管と
をさらに備える、請求項19に記載の装置。
【請求項２１】
前記ターゲットホルダは、前記試料移送管の流入口に対して移動可能である、請求項20に記載の装置。
【請求項２２】
前記流体の密度は前記キャリアガスの密度よりも重い、請求項20に記載の装置。
【請求項２３】
前記キャリアガスはヘリウムを含む、請求項20に記載の装置。
【請求項２４】
前記ターゲットホルダは、前記チャンバに対して移動可能である、請求項19に記載の装置。
【請求項２５】
前記ターゲットホルダは、前記ターゲットホルダが前記チャンバの前記内部空間の内部に配置された際に、パージ貯留部を前記試料領域の下方に規定し、前記パージ領域を含むように構成されている、請求項19に記載の装置。
【請求項２６】
前記ターゲットホルダは、前記パージ貯留部の外側の前記チャンバの前記内部空間の内側の位置に前記パージ貯留部の流体を移送するように構成された貯留部流出口を含む、請求項25に記載の装置。
【請求項２７】
前記パージ領域は前記試料領域の下方に位置している、請求項19に記載の装置。
【請求項２８】
前記流体は、酸素ガス及び二酸化炭素ガスからなる群から選択された少なくとも１つを含む、請求項19に記載の装置。
【請求項２９】
その内部空間に、試料領域と、前記試料領域の外側に位置するパージ領域とを含むチャンバと、
前記チャンバの前記内部空間の内側に配置され、ターゲットの少なくとも一部が前記チャンバの前記内部空間の内側に配置されるように、前記ターゲットを支持するように構成されたターゲットホルダと、
前記チャンバの前記内部空間と流体連通するパージ管であって、前記パージ領域に存在する流体を前記チャンバの外側の位置に移送するように構成されたパージ管と、
前記ターゲットの前記一部を除去又は移動するように構成された試料生成部であって、レーザパルスを前記試料領域に照射するように構成されたレーザシステムを含む試料生成部と
を備えた、装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
概して、試料チャンバ100は、ターゲットＴが内部空間106に収容された際に、試料生成部102によってターゲットＴの一部を容易に除去できるように構成される。例えば、図示された実施形態において、試料チャンバ100はレーザアブレーションチャンバであってもよく、また、試料生成部102は、ターゲットＴが収容された試料チャンバ100内の領域を照射するために、（例えば、１以上のレーザ光パルスを含む）レーザ光線を図示する矢印108の方向に沿って試料チャンバ100の内部空間106に照射することにより、ターゲットＴの試料を生成するように構成された１以上のレーザを含んでいてもよい。そのような実施形態において、試料チャンバ100は、試料生成部102と試料チャンバ100の内部空間106との間で光を伝送できるようにする光ポート110を含んでもよい。物質（例えば、ターゲット物質の粒子）が光ポート110を通って試料チャンバ100の内部空間106から抜け出てしまうことを防止するために、透過窓112を任意に備えてもよい。典型的に、透過窓112は、試料生成部102によって生成されるレーザパルスを少なくとも実質的に透過させる材料（例えば石英）により形成される。また、透過窓112は、塵、デブリ又は他の好ましくないガス、又は他の汚染源が光ポート110を通って内部空間106に入り込むことを防止するために、試料チャンバ100を密封するものであってもよい。照射された領域の内部又は隣接部に位置するターゲットＴの物質をアブレートするために、波長（例えば、193nm、213nm、266nmなどのように、およそ157nmからおよそ11μｍの範囲にあるもの）、パルス持続時間（例えば、およそ100フェムト秒からおよそ25ナノ秒の範囲にあるもの）、スポットサイズ、パルスエネルギー、平均パワー、ピークパワー、時間的プロファイル等のような、それぞれのレーザパルスの１以上の特性を選択又は制御してもよい。また、試料生成部102は、１以上のレーザによって生成されたレーザ光を修正するように構成されたレーザ光学系（例えば、１以上のレンズ、ビーム拡大器、コリメータ、アパーチャ、ミラーなど）を含んでもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
一実施形態において、ターゲットＴが内部空間106に収容された際に、ターゲットＴの位置は、試料生成部102により出力されたレーザ光線に対して固定されてもよい。しかしながら、他の実施形態において、ターゲットＴは、ターゲットＴが内部空間106に収容された際に、試料生成部102により出力されたレーザ光線に対して移動されてもよい。例えば、試料生成部102及びビーム108の一方又は両方が、透過窓112に対して移動又は走査されてもよい。他の例において、ターゲットＴは、内部空間106において、試料チャンバ100及び試料生成部102の一方又は両方に対して移動されてもよい。さらに別の例において、試料チャンバ100は、試料生成部102に対して移動されてもよい。このように、試料領域114の横方向における広がりは、また、ターゲットＴ、試料チャンバ100、試料生成部102、及び試料生成部102により出力されるレーザ光線のうちの１つ又は複数の間で達成され得る相対的移動の程度に対応し得ることは理解できよう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
一実施形態において、キャリアガス注入システムの注入ノズルのいずれも、例示的に図４に示されるように構成されてもよい。図４を参照すると、注入ノズル400のような注入ノズルは、互いに連結するように適合された第１の本体部402及び第２の本体部404を含んでもよい。ガス（例えば、キャリアガス）の流れを受け入れるように構成された流入口を第１の本体部402に形成してもよく、また、ガスの流れを内部空間106に放出するように構成された流出口を第１の本体部402に形成してもよい。注入ノズル400と試料チャンバ100とを連結するために用いられ得る取付フランジ410を第１の本体部402に設けてもよい。第１の本体部402は、第１の流体案内部412と第２の流体案内部414とを受け入れるように構成された空洞を規定することができる。第１の流体案内部412及び第２の流体案内部414は、それぞれ、ガスの流れを方向づけ、形作り、あるいは修正するようにその空洞内に形成されたチャネル又は溝を有する材料（例えば、高分子材料、金属材料など）からなるブロックとして提供されてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図４及び図５を参照すると、第１の流体案内部412は、その内部に形成される第１の案内チャネル416であって、ガスを流入口406から第１の拡張チャネル500に移送するように構成された第１の案内チャネル416を含んでもよい。第１の拡張チャネル500は、ガスの流れを第２の案内チャネル418に向かって広げるように構成される。図４及び図６を参照すると、第２の流体案内部414は、第２の流体案内部414の内部に形成される第３の案内チャネル420であって、ガスを第２の案内チャネル418から第２の拡張チャネル422に移送するように構成された第３の案内チャネル420を含んでもよい。第２の拡張チャネル422は、ガスの流れを流出口408に向かって広げるように構成される。第１の流体案内部412及び第２の流体案内部414が第１の本体部により規定される空洞内に配置された場合、第１の案内チャネル416の端部と流入口406とが整列し、第２の案内チャネル418と第３の案内チャネル420とが整列し、第２の拡張チャネル422の端部と流出口408とが整列する。