(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられたフィルタ膜のうち所望の特性を有する部分がほぼ円弧状の領域となるフィルタ部材から複数のフィルタチップを切り出すフィルタチップの切り出し方法であって、
前記フィルタ部材を前記円弧の弦と直角な方向に切断して複数のフィルタ部材細片を得る第１の工程と、
前記複数のフィルタ部材細片のうち前記円弧状の領域に該当する部分がほぼ直線状に整列するように前記複数のフィルタ部材細片を並べ直す第２の工程と、
前記並べ直された前記複数のフィルタ部材細片を前記第１の工程における切断方向と直角な方向に切断して複数のフィルタチップを得る第３の工程とを有したことを特徴とするフィルタチップの切り出し方法。
【請求項２】
前記第２の工程において、前記円弧状の領域における曲率とほぼ同じ曲率を有する凸又は凹状部を有する工具を用いて前記フィルタ部材細片の前記並べ直しを行うことを特徴とする請求項１記載のフィルタチップの切り出し方法。
【請求項３】
所望の特性を有するフィルタ膜が円環状に形成される成膜装置を用い、前記所望の特性を有するフィルタ膜の形成される領域全てに基板を載置してフィルタ部材を得る第１の工程と、
前記所望の特性を有するフィルタ膜である円環状の領域の少なくとも一部を含んだ前記フィルタ部材を前記円環状の領域の曲率中心を通るように切断し、前記所望の特性を有するフィルタ膜がほぼ円弧状に存在する複数のフィルタ部材に分割する第２の工程と、
前記第２の工程により得られた前記フィルタ部材を前記円弧の弦と直角な方向に切断して複数のフィルタ部材細片を得る第３の工程と、
前記複数のフィルタ部材細片のうち前記円弧状の領域に該当する部分がほぼ直線状に整列するように前記複数のフィルタ部材細片を並べ直す第４の工程と、
前記並べ直された前記複数のフィルタ部材細片を前記第３の工程における切断方向と直角な方向に切断して複数のフィルタチップを得る第５の工程とを有したことを特徴とするフィルタチップの製造方法。
【請求項４】
前記基板がほぼ円盤状であることを特徴とする請求項３記載のフィルタチップの製造方法。
【請求項５】
前記第４の工程において、前記円弧状の領域における曲率とほぼ同じ曲率を有する凸又は凹状部を有する工具を用いて前記フィルタ部材細片の前記並べ直しを行うことを特徴とする請求項３又は４記載のフィルタチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等に用いられるフィルタチップの製造方法等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日、インターネット通信等の普及により通信ラインにおける情報通信量が増大しつつあり、現在の通信ラインの主流である光ファイバに使用される光学フィルタの生産性の向上が急務である。このような光学フィルタの元となるフィルタチップはガラス基板の表面にフィルタ膜を形成したフィルタ部材をダイシングソー等により必要寸法に切断して得られる。
【０００３】
ここでガラス基板へのフィルタ膜の成膜は、スパッタリング装置等の成膜装置内において行われる。この成膜装置には各種の形態のものが知られているが、回転する基板ホルダに複数の矩形ガラス基板を取り付けて成膜するものにおいては、製造されたフィルタ部材上に存在するフィルタ膜のうち特性が良好な部分、すなわち特性が良好なフィルタ膜が図２１に示すように円弧状に形成されるものがある。そして、このようにして得られたフィルタ部材９０を上記特性の良好なフィルタ膜９１が升目状に分割されるように切断することにより、目的とするフィルタチップ９２を複数個得ることができる。
【０００４】
また近年、光通信技術の中でも通信容量の大容量化が容易な波長分割多重通信技術（ＷＤＭ通信方式：Ｗａｖｅ−ｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ  通信方式）が使用されるようになってきている。このＷＤＭ通信方式の分野においては、通信用に用いられる近赤外領域の光を複数の細かな波長領域に分割したり、これら複数の波長領域の光を合成したりする光学フィルタとしての光学多層膜フィルタが注目されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように、円弧状に存在する特性の良好なフィルタ膜が升目状に分割されるようにフィルタ部材を切断するのでは、特性が良好であってもフィルタチップとして切り出されない無駄部分が多くなり、得られるフィルタチップの数は少なく歩留まりが悪いという問題があった。また、ガラス基板に設けられるフィルタ膜が上記のような光学多層膜であると、この光学多層膜は従来のフィルタ膜よりも厚いものであるため、ダイシングソーで切断するとチッピングやクラック、或いは膜剥がれが起きる場合があった。従って従来は、予め所要寸法に切り出したガラス基板に光学多層膜を施すという加工法を用いざるを得ず、光学多層膜フィルタの生産性はあまり良いものではなかった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、光学多層膜フィルタを含む光学フィルタの生産性を向上させることを可能とするフィルタチップの切り出し方法及びフィルタチップの製造方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るフィルタチップの切り出し方法では、基板上に設けられたフィルタ膜のうち所望の特性を有する部分がほぼ円弧状の領域となるフィルタ部材から複数のフィルタチップを切り出すにおいて、フィルタ部材を上記円弧の弦と直角な方向に切断して複数のフィルタ部材細片を得る第１の工程と、これら複数のフィルタ部材細片のうち上記円弧状の領域に該当する部分がほぼ直線状に整列するように複数のフィルタ部材細片を並べ直す第２の工程と、これら並べ直された複数のフィルタ部材細片を第１の工程における切断方向と直角な方向に切断して複数のフィルタチップを得る第３の工程とを有する。
【０００８】
このような方法によれば、所望の特性を有するフィルタ膜（特性が良好なフィルタ膜）がほぼ円弧状に存在するフィルタ部材からより多くのフィルタチップを切り出すことができるので、従来方法よりもフィルタチップの生産性が向上する。
【０００９】
ここで、上記第２の工程において、上記円弧状の領域における曲率とほぼ同じ曲率を有する凸又は凹状部を有する工具を用いてフィルタ部材細片の前記並べ直しを行うことが好ましく、このようにすればフィルタ部材細片の並べ直しが容易になるので生産性がより向上する。
【００１０】
また、本発明に係るフィルタチップの製造方法では、所望の特性を有するフィルタ膜が円環状に形成される成膜装置を用い、所望の特性を有するフィルタ膜の形成される領域全てに基板を載置してフィルタ部材を得る第１の工程と、所望の特性を有するフィルタ膜である円環状の領域の少なくとも一部を含んだフィルタ部材を上記円環状の領域の曲率中心を通るように切断し、所望の特性を有するフィルタ膜がほぼ円弧状に存在する複数のフィルタ部材に分割する第２の工程と、第２の工程により得られたフィルタ部材を上記円弧の弦と直角な方向に切断して複数のフィルタ部材細片を得る第３の工程と、複数のフィルタ部材細片のうち上記円弧状の領域に該当する部分がほぼ直線状に整列するように複数のフィルタ部材細片を並べ直す第４の工程と、これら並べ直された複数のフィルタ部材細片を第３の工程における切断方向と直角な方向に切断して複数のフィルタチップを得る第５の工程とを有する。
【００１１】
本フィルタチップの製造方法によれば、従来の方法よりも所望の特性を有するフィルタ膜（特性が良好なフィルタ膜）を一回の成膜工程でより多く成膜することができるとともに、このようにして得られたフィルタ部材からより多くのフィルタチップを切り出すことができ、従来の方法よりも歩留まりを格段に向上させることが可能である。更に、上記基板がほぼ円盤状であれば、切断により切り落とされる無駄な部分を初めから減らすことができ、製造コストを安くすることができる。また、上記第４の工程において、上記円弧状の領域における曲率とほぼ同じ曲率を有する凸又は凹状部を有する工具を用いてフィルタ部材細片の前記並べ直しを行うことが好ましく、このようにすればフィルタ細片の並べ直しが容易になるので生産性がより向上する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。ここではガラス基板にフィルタ膜を成膜して得られるフィルタ部材からフィルタチップを得る過程を説明しつつ、本発明に係るフィルタ部材の製造方法、フィルタ部材の切り出し方法、フィルタチップの切り出し方法及びフィルタチップの製造方法の各例を説明することにする。
【００１３】
図１はガラス基板にフィルタ膜の成膜を行ってフィルタ部材を製造するフィルタ部材製造装置（成膜装置）の一例を示すものである。この製造装置はドーム状の真空チャンバ内１に円盤状の基板ホルダ２を有しており、回転軸３を図示しないモータにより駆動して基板ホルダ２を回転軸３の中心のまわりに回転させることが可能である。基板ホルダ２の下面には図２に示すように複数（ここでは３枚）のガラス基板１０が基板ホルダ２の回転中心（すなわち回転軸３の中心軸）Ｐを中心とする同心円状に配置されて取り付けされている。真空チャンバ１の下部にはスパッタ装置４が設けられており、そこから膜成分の粒子を飛び出させることにより、ガラス基板１０の表面に成膜を施すことができるようになっている。
【００１４】
スパッタ装置４は、２つのスパッタ源５ａ，５ｂと、これらスパッタ源５ａ，５ｂのそれぞれの下部に複数の励磁部材６が設けられている。スパッタ源５ａ，５ｂの両方には約４０ｋＨｚで発振する高周波電源７が接続されており、この高周波電源７から出力される電圧をスパッタ源５ａ，５ｂに印加すると、真空チャンバ１とスパッタ源５ａ，５ｂとの間に放電が起きるようになっている。また、真空チャンバ１内にはガス導入口８からアルゴンガスと酸素とが導入されており（ガス排出口９より排気）、ガラス基板１０とスパッタ源５ａ，５ｂとの間にはアルゴンガスのプラズマが形成されるが、スパッタ源５ａ，５ｂのうちのいずれかがマイナス電位を有するときにアルゴンガスがスパッタ源５ａ，５ｂに衝突してスパッタ現象を起こし、ガラス基板１０に成膜が施される。なお、スパッタ源５ａ，５ｂから飛び出した粒子は真空チャンバ１内の酸素ガスと化合し、酸化された状態でガラス基板１０に到達する。このようにしてガラス基板１０上にフィルタ膜が成膜されたフィルタ部材が製造される。
【００１５】
ここで、基板ホルダ２に保持されたガラス基板１０のうちの一枚はモニタリングのためのモニターガラスとして使用される。このモニターガラスはガラス基板１０に形成されるフィルタ膜の膜厚をコントロールするために設けられるものであり、このモニターガラス上に形成されるフィルタ膜の膜厚を基に各ガラス基板１０に形成されるフィルタ膜の膜厚が推定される。
【００１６】
上記過程によりガラス基板１０上に形成されるフィルタ膜の膜厚分布は基板ホルダ２の中心を中心とする同心円状に分布し、各ガラス基板１０上には特性が良好なフィルタ膜２０がほぼ円弧状（弓状）に形成される（図３参照）。この特性が良好なフィルタ膜２０の位置及び形状（ほぼ円弧）は、ガラス基板１０上に形成されたフィルタ膜全域を２ｍｍ平方程度の格子ごとに分光透過率特性を測定し、同じ特性の部分を繋いだマップを作製したうえで、その中で特性が良好なフィルタ膜の部分がどの座標位置で、どのような曲率であるかを解析することにより求められる。
【００１７】
このようにして特性が良好なフィルタ膜２０の位置及び形状が求められたら、図４に示すように、特性が良好なフィルタ膜２０の円弧部の両端を繋ぐ弦（図３において一点鎖線で示す線分Ｌ）と直角な方向にフィルタ部材３０を所要寸法に切断して必要量の複数のフィルタ部材細片４０，４０，…を得る。
【００１８】
図５は上記のようなフィルタ部材３０の切断に使用されるダイシングソー８０の一例を示している。このダイシングソー８０は極薄の円形刃であるブレード８１を有してなるブレードソーであり、図示しないモータにより回転軸８２を駆動してブレード８１を回転させる構成となっている。ブレード８１は直径が５０ｍｍから１５０ｍｍ程度、厚さが０．０３ｍｍから２ｍｍ程度であるのが一般的であり、ブロンズ系を主体とした数種類の金属粉を混合焼結したものを結合材としたいわゆるメタルボンドのダイヤモンドブレード、又はフェノールレジン、ポリミド等の樹脂成分を結合材としたいわゆるレジンボンドのダイヤモンドブレードが用いられる場合が多い。ステージ（基台）８３は切断対象であるフィルタ部材３０をその上面側に載置する円形の台であり、その上下方向に延びた中心軸ＡＸまわりに回転自在であるとともに、任意の方向に水平移動させることができるようになっている。
【００１９】
このダイシングソー８０によりフィルタ部材３０を切断するには、先ずフィルタ部材３０をホットメルトワックスにより台ガラス８４に接着し、続いて真空吸着により台ガラス８４をステージ８３上に取り付ける。そして回転軸８２を駆動してブレード８１をおよそ３００００ｒｐｍで回転させ（この回転数はブレード８１の材質やフィルタ部材３０の切断面の破断状況によって変化させる）、ステージ８３を送り速度約１〜５ｍｍ／ｓｅｃで移動させてフィルタ部材３０を切断する。なお、このとき図６に示すようにブレード８１の刃先が台ガラス８４の上面を約０．１〜０．３ｍｍ程切り込むようにし（切り込み深さを図６においてｄで示す）、ステージ８３すなわち台ガラス８４の送り方向をブレード８１の回転方向と同じにするダウンカットにより切断する。
【００２０】
なお、この切断に際し、フィルタ部材３０に形成されたフィルタ膜２０が光学多層膜である場合には、フィルタ部材３０はフィルタ膜２０（光学多層膜）が必ず上面側になるようにステージ８３上に載置する（図６参照）。ここで、フィルタ膜２０が下面側（すなわち台ガラス８４と接触する側）になるようにすると、ブレード８１を切り込ませたときにフィルタ膜２０が剥離したり比較的大きなチッピングやクラックが発生したりするが、上記のようにフィルタ部材３０をフィルタ膜２０が上面側になるようにステージ８３上に載置したうえでダウンカットするようにすれば、上記のようなチッピングや剥離を著しく減らすことができる。
【００２１】
なお、ガラス基板１０のフィルタ膜（光学多層膜）２０が設けられた面とは反対側の面に反射防止膜などが設けられている場合には、この反射防止膜が台ガラス８４と接触するようになるが、反射防止膜は一般に光学多層膜よりも膜厚が小さい。例えば、光通信に用いられるフィルタ膜は、非常に高精度に波長に対する透過（反射）特性が要求されているので、そのような要求を達成するために必要な膜総数は数十層にも及ぶ。一方、反射防止膜は数層あれば十分であるので、膜剥がれを起こす可能性は反射防止膜が俄然低い。したがって、このような状態で切断しても反射防止膜にチッピングや膜剥がれ等が生じるおそれは少ない。
【００２２】
このように、フィルタ部材３０を複数のフィルタ部材細片４０，４０，…に切断すると、もとのガラス基板１０からダイシングソー８０のブレード８１の刃厚分だけガラスが除去されることになるので各フィルタ部材細片４０，４０，…間には微小幅の隙間が生じてしまう。このため切断後のフィルタ部材３０を加熱してワックスを軟化させ、上記切断代がなくなるようにフィルタ部材細片４０，４０，…全体を両側から圧縮してこれらの隙間が生じない状態にする。そして、図７に示すようにフィルタ部材細片４０，４０，…における特性が良好なフィルタ膜２０ａ，２０ａ，…がほぼ直線状に整列するようにフィルタ部材細片４０，４０，…を並べ直し、その後これらフィルタ部材細片４０，４０，…をホットメルトワックスにより再接着する。
【００２３】
ここで、上記フィルタ部材細片４０，４０，…の並べ直しには図８に示すような工具１０１が用いられることが好ましい。この工具１０１は板状の部材からなっており、それぞれ一辺側に凹状部１０１ａを有している。このような工具１０１を用いてフィルタ部材細片４０，４０，…を並べ直すには、上記のように圧縮したフィルタ部材細片４０，４０，…の各細片の下端側を工具１０１の凹状部１０１ａに当接させるようにする。ここで、切断代がなくなるように圧縮した状態におけるフィルタ部材細片４０，４０，…に存在するフィルタ膜２０ａ，２０ａ，…が形成する新たな弧の曲率と、用いた工具１０１の凹状部１０１ａにおける曲率とがほぼ一致しているのであれば、並べ直した後のフィルタ膜２０ａ，２０ａ，…はほぼ直線状に整列するようになる。
【００２４】
なお、上記のように圧縮した状態におけるフィルタ部材細片４０，４０，…に存在するフィルタ膜２０ａ，２０ａ，…が形成する新たな弧は、もはや当初のような円弧ではなく楕円の弧となるが、実用上はこれを円弧とみなしても差し支えはない。そして、このような新たな弧を解析して得られる円弧の曲率とほぼ同じ曲率の凹状部１０１ａを有する工具１０１を、予め用意した凹状部１０１ａの曲率の異なる複数の工具１０１の中から選択して用いるようにすればよい。図８に示す複数の工具１０１はこのように凹状部１０１ａの曲率が異なる３種の工具１０１を示したものである。また、図中の記号「＋」は各工具１０１における凹状部１０１ａの曲率中心の位置を示したものである。
【００２５】
ここで、図９（Ａ）に示すように、もとのフィルタ部材３０の幅がＸであり、ブレード８１により切断した後、幅ｂの切断代がａ個できる場合には（すなわち切断の溝数：ａ、切断代：ｂ）、圧縮後におけるフィルタ部材細片４０，４０，…全体の幅はＹ＝Ｘ−（ａ×ｂ）となるが、工具１０１の幅を図のようにＹとなるようにしておけば、圧縮したフィルタ部材細片４０，４０，…の両端部を工具１０１の両端に合わせることにより（図９（Ｂ）参照）、並べ直し後におけるフィルタ部材細片４０，４０，…の中心位置を工具１０１の凹状部１０１ａにおける中心線上に位置させることができ、並べ直し後におけるフィルタ部材細片４０，４０，…全体のゆがみを無くして特性が良好なフィルタ膜２０ａ，２０ａ，…を確実に直線状に整列させることができる。
【００２６】
このようにしてフィルタ部材細片４０，４０，…の並べ直しが終了したら、これらフィルタ部材細片４０，４０，…を今度は上記最初の切断工程における切断方向とは直角な方向に切断する（図１０参照）。これにより特性の良好なフィルタ膜２０ａ，２０ａ，…をフィルタ部とする目的のフィルタチップ５０，５０，…が得られる（図１１参照）。
【００２７】
前述した従来方法のように、フィルタチップを得るために円弧状の特性の良好なフィルタ膜を単に升目状に切断していくのでは、特性が良好なフィルタ膜のうちフィルタチップとして切り出されない部分が多くなってしまい歩留まりが低下するが、このようなフィルタチップの切り出し方法によればそのような無駄が格段に少なくなり、フィルタチップ５０，５０，…を効率よく切り出すことができて歩留まりを向上させることができる。
【００２８】
ところで、ガラス基板１０にフィルタ膜２０を設けてフィルタ部材３０を作製するにおいて、上記のように複数の矩形のガラス基板１０を図２のように配置するのでは、本来特性が良好なフィルタ膜ができるはずの領域（図２に示す弧状の領域Ｓ１〜Ｓ３）にガラス基板がないためにその部分からはフィルタチップが得られないこととなり、無駄が多くなる。このような無駄を是正して特性が良好なフィルタ膜全てを利用できるようにするためには、図１２に示すように円環状に形成されるフィルタ膜１２０全てを一枚のガラス基板１１０上に形成させるようにすることが好ましい。このときガラス基板１１０は円環状のフィルタ膜１２０全てを包含できる大きさであれば矩形でも構わないが、図１２に示すように円盤状であることが望ましい。
【００２９】
ガラス基板１１０に上記のような円盤状のものを用いる際には、この円盤の中心が基板ホルダ２の回転軸３の中心とほぼ一致するようにする。また、図１２に示すように中央部に穴Ｈを設けて、ここに成膜状態をモニターするモニターガラス１１１を配置するようにするとよい。更に、ガラス基板１１０の厚さは最終的な仕上がり寸法よりも厚くしておくことが好ましい。これは、ガラス基板１１０上に成膜したフィルタ膜１２０の膜応力によりガラス基板１１０に反りが生じる場合があるためであり、このようにすれば成膜によりガラス基板１１０に反りが生じることを防ぐことができる。また、成膜後にガラス基板１１０を削ることにより目的の厚さに調整することが可能である。
【００３０】
このように一枚のガラス基板１１０上に特性が良好な円環状のフィルタ膜１２０全てを形成させたフィルタ部材１３０からフィルタチップを切り出す場合には、上記矩形のガラス基板１０を複数用いるよりも切り出し可能なフィルタチップの数を増大させることができることは明らかである。以下、このような一枚のガラス基板１１０にフィルタ膜１２０が形成されてなるフィルタ部材１３０からフィルタチップを切り出す手順を、フィルタ部材１３０が円盤状である場合を例に説明する。
【００３１】
これには先ず、円盤状のフィルタ部材１３０をホットメルトワックス又は半導体ウエハの切断時に使われるような市販のＵＶシート等で前述のダイシングソー８０のステージ８３に載置し、回転させたブレード８１でフィルタ部材１３０を図１３（Ａ）のように８等分に切断して新たなフィルタ部材１３０ａ，１３０ａ，…を得る（図１４参照）。或いは図１３（Ｂ）〜（Ｅ）のように６、４、１２、１０等分に切断するものであっても構わない。いずれにしても互いに合同な形状となる新たなフィルタ部材１３０ａ，１３０ａ，…が得られるようにするのがよい。これは、後述のフィルタ部材細片１４０，１４０，…の並べ直しにおいて用いる工具２０１をどのフィルタ部材細片１４０，１４０，…に対しても共通で使用できるようにするためである。また、何分割するのが最適かは、特性が良好な円環状のフィルタ膜１２０の半径やガラス基板１１０の寸法等に依存する。また、この後の切断及びフィルタ部材細片１４０，１４０，…の並べ直しを考慮して、フィルタ部材１３０の外周部又は内周部を切り落として直線状にしておいてもよい。また、図１５に示すようにフィルタ部材１３０ａの外周部を切り落とすのであれば、この切り落としを上記分割切断と同時に行うことも可能である。また、最初から切断した多角形の部材を用いてもよい。
【００３２】
次に、図１６に示すように、特性の良好なフィルタ膜１２０の円弧部の両端を繋ぐ弦と直角な方向にフィルタ部材１３０を切断して必要量の複数のフィルタ部材細片１４０，１４０，…を得る。なお、ここでは扇形形状のフィルタ部材１３０を切断しやすいようにするため、フィルタ部材１３０の左右両側部には、ほぼ三角形状（図中に示す三角形ＡＢＣ及びＡ’Ｂ’Ｃ’）の雇いガラス１８１，１８２を取り付けておくことが好ましい。
【００３３】
続いて、この切断後のフィルタ部材１３０を加熱してホットメルトワックスを軟化させ、切断によるブレード８１の切断代がなくなるようにフィルタ部材細片１４０，１４０，…全体を両側から圧縮し、これらの隙間が生じていない状態にする。そして、図１７に示すように各フィルタ部材細片１４０，１４０，…における特性が良好なフィルタ膜１２０ａ，１２０ａ，…がほぼ直線状に整列するようにフィルタ部材細片１４０，１４０，…を並べ直した後、ホットメルトワックスにより再接着する。
【００３４】
この場合、上記フィルタ部材細片１４０，１４０，…の並べ直しには図１８に示すような工具２０１を用いるとよい。この工具２０１も板状の部材からなっており、一辺側に凸状部２０１ａを有している（図１８中の記号「＋」は工具２０１における凸状部２０１ａの曲率中心を示す）。そして、このような工具２０１を用いて例えば図１６に示すフィルタ部材細片１４０，１４０，…を並べ直すには、圧縮したフィルタ部材細片１４０，１４０，…の各細片の下端側を工具２０１の凸状部２０１ａに当接させるようにする。また、ここでも切断代がなくなるように圧縮した状態におけるフィルタ部材細片１４０，１４０，…に存在する特性が良好なフィルタ膜１２０ａ，１２０ａ，…が形成する新たな弧の曲率と、用いた工具２０１の凸状部２０１ａにおける曲率とがほぼ一致しているのであれば、並べ直した後のフィルタ膜１２０ａ，１２０ａ，…はほぼ直線状に整列するようになる。
【００３５】
また同様に、上記圧縮した状態におけるフィルタ部材細片１４０，１４０，…に存在するフィルタ膜１２０ａ，１２０ａ，…が形成する新たな弧は、もはや当初のような円弧ではなく楕円の弧となるが、実用上はこれを円弧とみなしても差し支えはない。そして、このような新たな弧を解析して得られる円弧の曲率とほぼ同じ曲率の凸状部２０１ａを有する工具２０１を，予め用意した凸状部２０１ａの曲率の異なる複数の工具２０１の中から選択して用いるようにすればよい。
【００３６】
続いて、並べ直されて再接着されたフィルタ部材細片１４０，１４０，…を、今度は上記最初の切断工程における切断方向とは直角な方向に切断し（図１９参照）、特性の良好なフィルタ膜１２０ａ，１２０ａ，…をフィルタ部とする目的のフィルタチップ１５０，１５０，…を得る（図２０参照）。このように、円環状に形成される特性の良好なフィルタ膜１２０を有効に利用して効率よくフィルタチップ１５０，１５０，…を切り出すことが可能である。
【００３７】
なお、この場合もフィルタ膜１２０が光学多層膜である場合には、フィルタ部材１３０をフィルタ膜１２０（光学多層膜）が上面側になるようにステージ８３上に載置したうえで、ダイシングソー８０によりダウンカットで切断するようにする。これにより切断に伴うチッピングや剥離の発生を著しく減らすことができるのは上記場合と同様である。そして、このようなフィルタ部材の切断方法によれば、ガラス基板１０（又は１１０）に光学多層膜を形成してフィルタ部材３０（又は１３０）を作製した後、このフィルタ部材３０（１３０）から切り出してフィルタチップ５０（１５０）を得るという生産工程を採ることができるので、従来のように、予め所要寸法に切り出したガラス基板に光学多層膜を施すという加工法を必ずしも用いる必要がなく、光学多層膜フィルタの生産性が格段に向上する。
【００３８】
また、特性が良好なフィルタ膜１２０が円環状に形成されるガラス基板１１０は必ずしも上記のような円盤状でなくてもよい（例えば矩形）が、上記のようにガラス基板１１０がほぼ円盤状であれば、切断により切り落とされる無駄なガラス部分を初めから少なくすることができるので、製造コストを安くすることができる。
【００３９】
これまで本発明の好ましい実施形態について説明してきたが、本発明の範囲は上述のものに限定されない。例えば上記実施形態ではフィルタ部材の切断にブレードソーが用いられたが、これはブレードソーに限られず、ワイヤーソーのような他の切断機を用いても良い。また、フィルタ膜が光学多層膜である場合における前述の切断方法は、上記のようにフィルタ部材からフィルタチップを得る目的を持って切断するときのみならず、ガラス基板の片面に光学多層膜からなるフィルタ膜が形成されたフィルタ部材を切断するときには常に有効であることはいうまでもない。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るフィルタチップの切り出し方法によれば、所望の特性を有するフィルタ膜（特性が良好なフィルタ膜）がほぼ円弧状に存在するフィルタ部材からより多くのフィルタチップを切り出すことができるので、従来方法よりもフィルタチップの生産性が向上する。
【００４１】
また、本発明に係るフィルタチップの製造方法によれば、従来の方法よりも所望の特性を有するフィルタ膜（特性が良好なフィルタ膜）を一回の成膜工程でより多く成膜することができるとともに、このようにして得られたフィルタ部材からより多くのフィルタチップを製造することができ、従来の方法よりも歩留まりを格段に向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】フィルタ部材の製造方法に用いられるフィルタ部材製造装置の一例の構成図である。
【図２】このフィルタ部材製造装置において、複数の矩形のガラス基板を配置したときの様子を示す図である。
【図３】ガラス基板上に特性が良好なフィルタ膜がほぼ円弧状（弓状）に形成されたフィルタ部材を示す図である。
【図４】特性が良好なフィルタ膜の円弧部の両端を繋ぐ弦と直角な方向にフィルタ部材を切断してフィルタ部材細片を得た様子を示す図である。
【図５】フィルタ部材の切断に使用されるダイシングソーの一例の側面図である。
【図６】このダイシングソーによりダウンカットでフィルタ部材を切断している様子を示す図である。
【図７】フィルタ部材細片における特性が良好なフィルタ膜がほぼ直線状に整列するようにフィルタ部材細片を並べ直した状態を示す図である。
【図８】フィルタ部材細片の並べ直しに用いられる工具の例を示す図である。
【図９】（Ａ）はフィルタ部材を切断して複数のフィルタ部材細片が得られた状態を示しており、（Ｂ）は圧縮したフィルタ部材細片を図８に示す工具を用いて並べ直した状態を示している。
【図１０】並べ直されたフィルタ部材細片を最初の切断工程における切断方向とは直角な方向に切断した様子を示す図である。
【図１１】特性の良好なフィルタ膜をフィルタ部とするフィルタチップを得た様子を示す図である。
【図１２】特性が良好な円環状のフィルタ膜全てを一枚のガラス基板上に形成させた様子を示す図である。
【図１３】円盤状のフィルタ部材を切断した様子を示す図であり、（Ａ）は８等分、（Ｂ）は６等分、（Ｃ）は４等分、（Ｄ）は１２等分、（Ｅ）は１０等分した場合をそれぞれ示している。
【図１４】円盤状のフィルタ部材を８等分に切断して新たなフィルタ部材を得た様子を示す図である。
【図１５】フィルタ部材の外周部を切り落とした様子を示す図である。
【図１６】特性の良好なフィルタ膜の円弧部の両端を繋ぐ弦と直角な方向にフィルタ部材を切断してフィルタ部材細片を得た様子を示す図である。
【図１７】フィルタ部材細片における特性の良好なフィルタ膜がほぼ直線状に整列するようにフィルタ部材を並べ直した状態を示す図である。
【図１８】フィルタ部材細片の並べ直しに用いられる工具の例を示す図である。
【図１９】並べ直されて再接着されたフィルタ部材細片を最初の切断工程における切断方向とは直角な方向に切断した様子を示す図である。
【図２０】特性の良好なフィルタ膜をフィルタ部とするフィルタチップを得た様子を示す図である。
【図２１】ガラス基板に形成された特性が良好なフィルタ膜が升目状に分割されるようにフィルタ部材を切り出してフィルタチップを得る従来の方法を説明する図である。
【符号の説明】
１    真空チャンバ
２    基板ホルダ
３    回転軸
４    スパッタ装置
７    高周波電源
１０，１００    ガラス基板
２０，１２０    フィルタ膜
３０，１３０    フィルタ部材
４０，１４０    フィルタ部材細片
５０，１５０    フィルタチップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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