(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の単位画素領域内で両側に形成される複数個の第１、第２外側電極と、
該第１、第２外側電極の間に形成される複数個の第１、第２内側電極と、を含むプラズマディスプレイパネルであって、
該第１外側電極と第１内側電極とは電気的に連結されて第１の電圧が印加され、該第２外側電極と第２内側電極とは電気的に連結されて第２の電圧が印加され、
該第１内側電極の幅は該第１外側電極の幅より更に狭く、該第２内側電極の幅は該第２外側電極の幅より更に狭いことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記第１内側電極と前記第１外側電極とは非表示領域で少なくとも一側面が互いに連結され、前記第２内側電極と前記第２外側電極とは非表示領域で少なくとも一側面が互いに連結されることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記第１、第２外側電極と前記第１、第２内側電極とをカバーするように、前記基板上に２５μｍ以上の厚さに形成された誘電体層を更に含むことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記第１外側電極と前記第２外側電極の幅は同一であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記第１、第２外側電極と前記第１、第２内側電極は各々透明電極と金属電極が積層となった構造を有し、前記第１、第２外側電極の透明電極は第１幅を有し、前記第１、第２内側電極の透明電極は前記第１幅より狭い第２幅を有することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
基板上に所定の間隔で連続して形成された複数個の第１外側電極と、
前記第１外側電極のそれぞれに電気的に連結されて各第１外側電極とは一対をなし、前記第１外側電極に平行に形成された複数個の第１内側電極と、
前記第１外側電極に平行に形成された複数個の第２外側電極と、
前記第２外側電極のそれぞれに電気的に連結されて各第１外側電極とは一対をなし、前記第２外側電極に平行であって前記第１内側電極と第２外側電極との間に形成された複数個の第２内側電極と、
を含んで構成され、
該第１内側電極の幅は該第１外側電極の幅より更に狭く、該第２内側電極の幅は該第２外側電極の幅より更に狭いことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記第１内側電極、前記第２内側電極、前記第１外側電極及び前記第２外側電極の一部分を１つずつ含む格子形の放電セルを成すように形成されたバリアーを更に含むことを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記第１外側電極および前記第１内側電極はサステーン電極であり、前記第２外側電極および前記第２内側電極はスキャン電極であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板の間の気体放電現象を用いて画像を表示するプラズマディスプレイパネルに関し、特に、プラズマディスプレイパネルの放電電極の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プラズマディスプレイパネルは陰極線管（ＣＲＴ：Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）の鮮明な画質や多様な画面の大きさ、及び軽薄な液晶表示装置の長所を全て有するため、次世代表示装置として脚光を浴びている。また、プラズマディスプレイパネルは同一の画面サイズの陰極線管に比べ１／３程度の軽い重量を有し、４０乃至６０インチの大型パネルであっても１０ｃｍ以下の薄い厚さに製作できるという特徴がある。
【０００３】
また、陰極線管や液晶表示装置の大きさはデジタルデータ映像及び全体の動映像を同時に表現する時制限があるが、プラズマディスプレイパネルはこのような問題が発生しない。また、陰極線管は磁気力の影響を受けられる問題がある反面、プラズマディスプレイパネルは磁気力に影響を受けず、安定した映像を視聴者に提供することができる。しかも、各画素がデジタル的に調節されるから、画面の隅の映像が歪まないなど、陰極線管より優れた画質を提供できる。
【０００４】
前記プラズマディスプレイパネルは内部の気体放電現象を用いて画像を表示するもので、各セルごとにアクティブ素子を装着する必要がなく、製造工程が簡単である。また、画面の大型化が容易であり、応答速度が速いため、大型画面を有する画像表示装置、特に、ＨＤＴＶ（Ｈｉｇｈ  Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  Ｔｅｌｅｖｉｓｉｏｎ）時代を目指した画像表示装置としてテレビ、モニタ、屋内外の広告用表示装置などに用いられている。
【０００５】
前記プラズマディスプレイパネルは電極が被覆された二つのガラス基板からなり、密封したガラス基板の間にはガスが満たされている。各ガラス基板に形成された電極は互いに垂直方向に対向して位置し、電極の交差部ごとに画素を成しているが、駆動時、交差する電極間に１００ボルト以上の電圧を印加して、ガスをグロー放電させ、その時の発光を用いて画像を表示するようになる。
【０００６】
この種のプラズマディスプレイパネルは、各セルに割り当てられる電極の数に応じて２電極型、３電極型、４電極型などに分類され、そのうち２電極型は２つの電極でアドレシング（ａｄｄｒｅｓｓｉｎｇ）及び維持（ｓｕｓｔａｉｎ）のための電圧が共に印加されるものであり、３電極型は一般的に面放電型と称されるもので、放電セルの側面の電極に印加される電圧によってスイッチングされるか維持されるようにしたものである。
【０００７】
かかる従来の３電極面放電方式のプラズマディスプレイパネルを添付の図面に基づいて説明する。
【０００８】
図１は一般的なプラズマディスプレイパネルの上、下基板の分離斜視図である。
【０００９】
図２は従来のプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【００１０】
図３は従来のプラズマディスプレイパネルのスキャン電極とサステーン電極の平面図である。
【００１１】
図４は図３のＩ−Ｉ’線の断面図である。
【００１２】
図５は一般的なプラズマディスプレイパネルのスキャン電極とサステーン電極の配線を示すものである。
【００１３】
図６ａ乃至図６ｄは一般的なプラズマディスプレイパネルの放電原理を示すものである。
【００１４】
図７は一対の放電電極の間で発生する電場と放電が広がることを示すものである。
【００１５】
一般的な３電極面放電方式のプラズマディスプレイパネルは、図１及び図２に示すように、上部基板１０と下部基板２０が一定の空間を有して互いに合着して密封される。
【００１６】
上部基板１０は、互いに並列に形成されたスキャン電極１６，１６’とサステーン電極１７，１７’、前記スキャン電極１６，１６’とサステーン電極１７，１７’に塗布された誘電層１１、および保護膜１２から構成される。また、下部基板２０は、アドレス電極２２、そのアドレス電極２２を含む基板全面に形成された誘電体膜２１，前記アドレス電極２２の間の誘電体膜２１上に形成されたバリアー２３，そして各放電セル内のバリアー２３および誘電体膜２１の表面にコートされた蛍光体２４から構成されている。そして、上部基板１０と下部基板２０はフリットガラス（ｆｒｉｔ  ｇｌａｓｓ）によって接合され、互いに接合した上部基板１０と下部基板２０との間の空間はヘリウム（Ｈｅ）、キセノン（Ｘｅ）などの不活性の混合ガスで満たされ、４００乃至５００Ｔｏｒｒ程度の圧力で放電領域を成している。
【００１７】
一般的に直流型プラズマディスプレイパネルの放電空間に満たされる不活性ガスは、ヘリウム−キセノン（Ｈｅ−Ｘｅ）の混合気体が使用され、交流型プラズマディスプレイパネルの放電空間に満たされる不活性ガスはネオン−キセノン（Ｎｅ−Ｘｅ）の混合気体が使用される。
【００１８】
スキャン電極１６，１６’とサステーン電極１７，１７’は各放電セルの光透過率を高めるために、図３及び図４に示すように、電極１６，１７は透明電極で、電極１６’、１７’は金属から構成されている。
【００１９】
金属スキャン電極及びサステーン電極１６’、１７’は外部に設置された駆動ＩＣから放電電圧を印加され、透明スキャン電極及びサステーン電極１６，１７は金属電極１６’、１７’に印加された放電電圧の伝達を受け、隣接した透明電極１６，１７の間に放電を起こらせる。
【００２０】
透明電極１６，１７の全体幅は約３００μｍ程度であり、酸化インジウムまたは酸化錫からなる。そして、金属電極１６’、１７’はクローム（Ｃｒ）−銅（Ｃｕ）−クローム（Ｃｒ）で構成された３層の薄膜からなる。
【００２１】
この際、金属電極１６’、１７’ラインの幅は透明電極１６、１７ラインの約１／３程度に設定される。
【００２２】
図５は、上部基板に形成されたスキャン電極（Ｓｍ−１，  Ｓｍ，  Ｓｍ＋１．．．，  Ｓｎ−１，  Ｓｎ，  Ｓｎ＋１）  とサステーン電極（Ｃｍ−１，Ｃｍ，  Ｃｍ＋１，  ．．．，  Ｃｎ−１，  Ｃｎ，  Ｃｎ＋１）  の配線を示すもので、各々のスキャン電極は相互絶縁されているが、サステーン電極はすべて並列接続されている。特に、図５の点線区画は画像が表示される有効面を示し、その他の区画は、画像が表示されない無効面を示すものである。無効面に配列されたスキャン電極は、通常ダミー電極（ｄｕｍｍｙ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）２６と称するが、このようなダミー電極２６の数は特に制限されることではない。
【００２３】
上述したように構成された３電極面放電方式のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの動作は、図６ａ乃至図６ｄに示す通りである。
【００２４】
まず、アドレス電極とスキャン電極の間に駆動電圧が印加されると、図６ａのように、アドレス電極とスキャン電極の間に対向放電が起こる。この対向放電により、放電セル内に注入された不活性ガスが一時励起されてから再び基底状態に遷移してイオンが発生し、そのイオン、或いは準励起状態の原子中の一部が図６ｂに示すように保護層の表面に衝突する。このような電子の衝突によって保護層の表面で２次的に電子が放出される。
【００２５】
そして、２次的に放出された電子は、プラズマ状態のガスに衝突して放電が広がる。アドレス電極とスキャン電極の間の対向放電が終わると、図６ｃに示すように、各アドレス電極とスキャン電極上の保護層の表面にはそれぞれ反対極性の壁電荷が生成される。
【００２６】
そして、スキャン電極とサステーン電極に極性の反対の放電電圧が持続的に印加されると共に、アドレス電極に印加されていた駆動電圧が遮断されると、図６ｄに示すように、スキャン電極とサステーン電極相互間の電位差によって誘電層と保護層の表面の放電領域で面放電が起こる。
【００２７】
このような対向放電と面放電によって、放電セルの内部に存在する電子は放電セル内部の不活性ガスに衝突する。その結果、放電セルの不活性ガスが励起されつつ、放電セル内に１４７ｎｍの波長を有する紫外線を放出する。
【００２８】
このような紫外線がアドレス電極とバリアーに塗布された蛍光体と衝突して、蛍光体が励起される。励起された蛍光体は可視光線を放出し、このような可視光線によって画面に画像が現れる。
【００２９】
しかし、かかる従来のプラズマディスプレイパネルにおいては次のような問題があった。
【００３０】
一般の放電管表示装置に比べ放電領域の電極間の距離が短く、発光効率の良い陽光柱領域の紫外線を活用できない。その理由は、図７に示すように、電界集中領域（１）の透明電極１６、１７から発生する放電電流に比べて、電界集中領域から遠い位置（２）の透明電極１６、１７から発生する放電電流が顕著に低いからである。従って、従来のプラズマディスプレイパネルの放電は電界集中領域で始まって透明電極の幅方向に拡大し、透明電極の先端で終わる。
【００３１】
その結果、従来のプラズマディスプレイパネルの放電距離は透明電極１６、１７の幅以上に拡大され難い。これは長い放電距離の確保のために放電セルに形成された透明電極１６、１７の幅を広げると、放電キャパシタが比例的に増加して放電電流が増加するので、発光効率が落ち、且つ消費電力が大きくなるからである。
【００３２】
結局、従来のプラズマディスプレイパネルは放電距離と放電時間が短くて、ネガティブグロー領域の紫外線のみ発生し、陽光柱領域の紫外線は発生しないので、発光効率が良くなく、一般の放電管に比べて画面が明るくないため、画質が低下する不具合があった。
【００３３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような事情に鑑みて案出したもので、放電距離を広げて陽光柱領域の紫外線を発生させると共に放電電流量を低めることにより、消費電力を減らせるようにしたプラズマディスプレイパネルを提供することにその目的がある。
【００３４】
【課題を解決するための手段】
本発明によるプラズマディスプレイパネルは、基板の単位画素領域内で両側に形成される複数個の第１、第２外側電極と、該第１、第２外側電極の間に形成される複数個の第１、第２内側電極と、を含み、該第１外側電極と第１内側電極には第１の電圧が印加され、第２外側電極と第２内側電極には第２の電圧が印加されることを特徴とすることにより上記目的が達成される。
【００３５】
プラズマディスプレイパネルは、前記第１内側電極と前記第１外側電極とは非表示領域で少なくとも一側面が互いに連結され、前記第２内側電極と前記第２外側電極とは非表示領域で少なくとも一側面が互いに連結されることを特徴としてもよい。
【００３６】
プラズマディスプレイパネルは、前記第１内側電極の幅は第１外側電極の幅より更に狭く、前記第２内側電極の幅は第２外側電極の幅より更に狭いことを特徴としてもよい。
【００３７】
プラズマディスプレイパネルは、前記第１、第２外側電極と前記第１、第２内側電極とをカバーするように、前記基板上に２５μｍ以上の厚さに形成された誘電体層を更に含むことを特徴としてもよい。
【００３８】
プラズマディスプレイパネルは、前記第１外側電極と前記第２外側電極の幅は同一であることを特徴としてもよい。
【００３９】
プラズマディスプレイパネルは、前記第１、第２外側電極と前記第１、第２内側電極は各々透明電極と金属電極が積層となった構造を有し、前記第１、第２外側電極の透明電極は第１幅を有し、前記第１、第２内側電極の透明電極は前記第１幅より狭い第２幅を有することを特徴としてもよい。
【００４０】
本発明によるプラズマディスプレイパネルは、基板上に所定の間隔で連続して形成された複数個の第１外側電極と、前記第１外側電極に１つずつ組み合われ、前記第１外側電極に平行に形成された複数個の第１内側電極と、前記第１外側電極に平行に形成された複数個の第２外側電極と、前記第２外側電極に１つずつ組み合わされ、前記第１内側電極と第２外側電極との間に形成された複数個の第２内側電極と、を含んで構成されることにより上記目的が達成される。
【００４１】
プラズマディスプレイパネルは、前記第１内側電極、前記第２内側電極、前記第１外側電極及び前記第２外側電極の一部分を１つずつ含む格字形の放電セルを成すように形成されたバリアーを更に含むことを特徴としてもよい。
【００４２】
【発明の実施の形態】
上記目的を達成するための本発明のプラズマディスプレイパネルは、基板の単位画素領域内で両側に形成される複数個の第１、第２外側電極と、第１、第２外側電極の間に形成される複数個の第１、第２内側電極とで構成され、前記第１外側電極と第１内側電極は第１の電圧が印加され、第２外側電極と第２内側電極は第２の電圧が印加されることを特徴とする。
【００４３】
上記目的を達成するための本発明のプラズマディスプレイパネルは、基板上に所定の間隔で連続して形成された複数個の第１外側電極と、第１外側電極に１つずつ組み合われ、第１外側電極に平行に形成された複数個の第１内側電極と、第１外側電極に平行に形成された複数個の第２外側電極と、そして、第２外側電極に１つずつ組み合わされ、第１内側電極と第２外側電極との間に形成された複数個の第２内側電極とを含んで構成されることに他の特徴がある。
【００４４】
上記のような本発明は透明電極の幅を従来のものより更に広げると同時に、１つの放電電圧が印加される透明電極を二股に分かれるように形成することで放電電流量を減らせることにまた他の特徴がある。
【００４５】
本発明によるプラズマディスプレイパネルは基板上に連続して形成された複数のバリアーと、バリアーに直交するように連続して形成された複数の第１外側電極及び、第２外側電極と、基板の外郭で第１外側電極に連結され、第１外側電極に平行するように形成された第１内側電極と、そして、基板の外郭で第２外側電極に連結され、第２外側電極に平行するように形成された第２内側電極とを含んで構成されている。
【００４６】
前記複数のバリアーは基板上に所定の間隔で連続して形成され、このようなバリアーによって度量衡の放電セルが成される。この際、バリアーの間にバリアーに直交するように連続して形成された副バリアーが更に設けられることができる。このような副バリアーによって、放電セルは格字状を成すように形成される。
【００４７】
以上の本発明のプラズマディスプレイパネルを添付の図面に基づいてより詳細に説明する。
【００４８】
（第１実施形態）
図８は本発明の第１実施形態のプラズマディスプレイパネルの電極を示す平面図であり、図９は図８のＩＩ−ＩＩ’線上の断面図であり、図１０は図９で壁電荷を示すものであり、図１１は本発明と従来技術との放電電流量の変化を比較したグラフである。
【００４９】
本発明の第１実施形態のプラズマディスプレイパネルは、１つの単位セルを中心にバリアーが形成される両側に第１外側電極１００、１００’と第２外側電極２００、２００’が上部のガラス基板上に形成され、その第１外側電極１００、１００’と第２外側電極２００、２００’の間に、一定の間隔を有して第１、第２外側電極と平行に第１内側電極１１０、１１０’と第２内側電極２１０、２１０’が形成される。
【００５０】
この際、第１、第２外側電極及び第１、第２内側電極は透明電極と金属電極が積層となった構造を有する。即ち、第１、第２外側電極は各々所定の第１幅からなる透明電極１００、２００と、その透明電極１００、２００上に第１幅より小さい幅からなる金属電極１００’、２００’とで構成されることが好ましい。
【００５１】
前記金属電極１００’、２００’は抵抗が低いので、外部の駆動回路から駆動電圧を印加されるし、前記透明電極１００、２００は金属電極１００’、２００’を介して駆動電圧を印加され、隣接した他の透明電極と放電を起こす。
【００５２】
そして、第１、第２内側電極は第１幅より小さい第２幅を有する透明電極１１０、１２０と、その透明電極１１０、１２０と同一の幅を有し、透明電極１１０、１２０上に形成される金蔵電極１１０’、１２０’とで構成される。
【００５３】
ここで、第１外側電極１００、１００’に隣接した電極を第１内側電極１１０、１１０’といい、第２外側電極２００、２００’に隣接した電極を第２内側電極２１０、２１０’という。従って、第１外側電極１００、１００’と第１内側電極１１０、１１０’がサステーン電極の役割を果たし、第２外側電極２００、２００’と第２内側電極２１０、２１０’がスキャン電極を役割を果たす。
【００５４】
このように構成された本発明の第１実施形態のプラズマディスプレイパネルの動作は次の通りである。
【００５５】
外部の駆動回路で駆動電圧が第１外側電極１００、１００’と第１内側電極１１０、１１０’及び、第２外側電極２００、２００’と第２内側電極２１０、２１０’に各々印加されると、第１外側電極１００、１００’と第２外側電極２００、２００’の電圧差および／または、第１内側電極１１０、１１０’と第２内側電極２１０、２１０’の電圧差によって放電が始まる。即ち、第１外側電極１００、１００’と第１内側電極１１０、１１０’には第１の電圧が印加され、第２外側電極２００、２００’と第２内側電極２１０、２１０’には第２の電圧が印加される。
【００５６】
この際、本発明の放電セルで発生したプラズマ放電は第１外側電極１００、１００’と第２外側電極２００、２００’の間にまたがって放電セルの全体で行われる。そして、図１０に示すように、第１内側電極１１０、１１０’と第２内側電極２１０、２１０’の間に壁電荷が集中的に形成され、放電セルの中央部分の輝度が向上する。
【００５７】
従って、第１内側電極１１０、１１０’と第１外側電極１００、１００’間の距離、そして、第２内側電極２１０、２１０’と第２外側電極２００、２００’間の距離が広くなるほど放電距離が長くなる。即ち、本発明のプラズマディスプレイパネルは外側電極と内側電極の距離を調節することで、陽光柱領域の紫外線を発生させることができる。そして、図１１に示すグラフのように、従来技術に比べて放電電流の量が少なく、消費電力が低減する。
【００５８】
（第２実施形態）
図１２は本発明の第２実施形態のプラズマディスプレイパネルの電極平面図である。
【００５９】
本発明の第２実施形態のプラズマディスプレイパネルは、第１実施形態と同様に配列された状態で、第１内側電極１１０、１１０’は基板の外郭（非表示領域）の一側面（Ｃ）で第１外側電極１００、１００’と連結され、第２内側電極２１０、２１０’は基板の外郭（非表示領域）の一側面（Ｄ）で第２外側電極２００、２００’と連結される。
【００６０】
このように構成された本発明の第２実施形態のプラズマディスプレイパネルの動作は、上述したように、第１外側電極と第１内側電極に第１の電圧が印加され、第２外側電極と第２内側電極に第２の電圧が印加されるので、本発明の第１実施形態と同様である。
【００６１】
（第３実施形態）
図１３は本発明の第３実施形態のプラズマディスプレイパネルの電極平面図である。
【００６２】
本発明の第３実施形態のプラズマディスプレイパネルは、第１実施形態と同様に配列された状態で、第１内側電極１１０、１１０’は基板の外郭（非表示領域）の両側（Ｃ、Ｃ’）で第１外側電極１００、１００’と連結され、第２内側電極２１０、２１０’は基板の外郭（非表示領域）の両側（Ｄ、Ｄ’）で第２外側電極２００、２００’と連結される。
【００６３】
このように構成された本発明の第３実施形態のプラズマディスプレイパネルの動作は本発明の第１実施形態と同様である。
【００６４】
上記のような本発明の各実施形態におけるプラズマディスプレイパネルは、第１外側電極１００、１００’と第１内側電極１１０、１１０’、そして、第２外側電極２００、２００’と第２内側電極２１０、２１０’を塗布するように、基板上に少なくとも２５μｍ以上の厚さで形成された誘電体層（図示せず）を更に含んで形成される。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明した本発明のプラズマディスプレイパネルは次のような効果がある。
【００６６】
即ち、従来のプラズマディスプレイパネルの電極の幅は放電距離から各放電電極間の距離を引いた値に基づくものであり、本発明のプラズマディスプレイパネルの電極の幅は外側電極と内側電極間の距離を更に引いた値を有するので、従来よりその幅が更に狭くなる。従って、本発明は従来のパネルと比較して、放電距離は減らない状態で電極の幅が狭くなるので、消費電力が減少し且つ、放電効率が高くなる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般的なプラズマディスプレイパネルの上、下のガラス基板の分解斜視図。
【図２】一般的なプラズマディスプレイパネルの断面図。
【図３】一般的なプラズマディスプレイパネルのスキャン電極とサステーン電極の構造平面図。
【図４】図３の一般的なプラズマディスプレイパネルのスキャン電極とサステーン電極の構造断面図。
【図５】一般的なプラズマディスプレイパネルのスキャン電極とサステーン電極の配線を示す図。
【図６ａ】一般的なプラズマディスプレイパネルの放電原理を示す図。
【図６ｂ】一般的なプラズマディスプレイパネルの放電原理を示す図。
【図６ｃ】一般的なプラズマディスプレイパネルの放電原理を示す図。
【図６ｄ】一般的なプラズマディスプレイパネルの放電原理を示す図。
【図７】従来の一対の放電電極の間で発生する電場と放電が広がることを示す図。
【図８】本発明の第１実施形態のプラズマディスプレイパネルの電極を示す平面図。
【図９】図８のＩＩ−ＩＩ’線上の断面図。
【図１０】図９で壁電荷を示すものである。
【図１１】本発明と従来技術との放電電流量の変化を比較したグラフ。
【図１２】本発明の第２実施形態のプラズマディスプレイパネルの電極平面図。
【図１３】本発明の第３実施形態のプラズマディスプレイパネルの電極平面図。
【符号の説明】
１０  上部基板
１１  誘電層
１２  保護膜
１６、１６’  スキャン電極
１７、１７’  サステーン電極
２０  下部基板
２１  誘電体膜
２２  アドレス電極
２３  バリアー
２４  蛍光体
２６  ダミー電極
１００、１００’  第１外側電極
１１０、１１０’  第１内側電極
２００、２００’  第２外側電極
２１０、２１０’  第２内側電極
【図１】
0003554255.tif 000002
【図２】
0003554255.tif 000003
【図３】
0003554255.tif 000004
【図４】
0003554255.tif 000005
【図５】
0003554255.tif 000006
【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図６ｃ】
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【図６ｄ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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