(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板を、該微細貫通孔を形成した部分の少なくとも両側において、一体焼成で形成した剛性板にて支持して成り、且つ孔径の最小値が１５０μｍ以下、薄肉板の厚さが１００μｍ以下、孔間隔の最小値が１５０μｍ以下であるセラミック部材の製造方法であって、
薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度σが１０ｋｇｆ／ｃｍ２  以上、２００ｋｇｆ／ｃｍ２  以下であり、
該薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δｌ（ｍｍ）、破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）及び断面積Ｓ（ｍｍ２  ）より式、Δｌ・Ｓ／Ｔで表される伸び率が、０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下であり、かつ、
該薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃以下、焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％以下であり、
パンチングにより複数の微細貫通孔を形成した該薄肉板用グリーンシートを、該剛性板用グリーンシートに積層して一体積層物とした上で焼成することを特徴とするセラミック部材の製造方法。
【請求項２】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板を、該微細貫通孔を形成した部分の少なくとも両側において、一体焼成で形成した剛性板にて支持して成り、且つ孔径の最小値が１５０μｍ以下、薄肉板の厚さが１００μｍ以下、孔間隔の最小値が１５０μｍ以下であるセラミック部材の製造方法であって、
薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度σが１０ｋｇｆ／ｃｍ２  以上、２００ｋｇｆ／ｃｍ２  以下であり、
該薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δｌ（ｍｍ）、破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）及び断面積Ｓ（ｍｍ２  ）より式、Δｌ・Ｓ／Ｔで表される伸び率が、０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下であり、かつ、
該薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃以下、焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％以下であり、
該薄肉板用グリーンシートを該剛性板用グリーンシートに積層して一体積層物とした上で、該薄肉板用グリーンシートにパンチングにより複数の微細貫通孔を形成し、さらに焼成することを特徴とするセラミック部材の製造方法。
【請求項３】
該薄肉板の厚さが５０μｍ以下である請求項１又は２に記載のセラミック部材の製造方法。
【請求項４】
該薄肉板用グリーンシートと該剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が２０℃以下である請求項１〜３のいずれかに記載のセラミック部材の製造方法。
【請求項５】
該薄肉板用グリーンシートを構成するセラミック粉末の粒子径ＤＬ  が０．１μｍ以上、１．２μｍ以下であり、
該セラミック粉末のＢＥＴ比表面積から算出した球相当径ＤＢＥＴ  が０．０２μｍ以上、０．５μｍ以下であり、かつ、
該薄肉板用グリーンシートのセラミック粉末占有率Ａが４０％以上、５５％以下であり、
セラミック粉末占有率Ａと有機成分占有率Ｂとの和が８０％以上、９８％以下である請求項１〜４のいずれかに記載のセラミック部材の製造方法。
【請求項６】
該薄肉板が部分安定化ジルコニアを主成分とする請求項１〜５のいずれかに記載のセラミック部材の製造方法。
【請求項７】
該部分安定化ジルコニアの結晶粒子径が２μｍ以下である請求項６に記載のセラミック部材の製造方法。
【請求項８】
該部分安定化ジルコニアが、２〜６ｍｏｌ％の酸化イットリウムで部分安定化された請求項７に記載のセラミック部材の製造方法。
【請求項９】
両側において剛性板にて支持された、該微細貫通孔を形成した該薄肉板の部分の短手方向の幅の最大値ｗ（ｍｍ）と微細貫通孔の間隔ｄ（μｍ）とが、下式（イ）、
（イ）          ｗ≧１０／ｄ
で表される関係を有する請求項１〜８のいずれかに記載のセラミック部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の微細貫通孔を有するセラミック部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板を剛性板にて支持して成る部材は、イオン流制御ヘッド、高精度電界シャッター、エンコーダ、スケール等の部品として用いられ、微細貫通孔からの、気体、液体、微粒子固体、光等の吐出を制御することにより、位置の検知、記録等を行わせるものである。
【０００３】
このような部材の材質として、従来は、金属、合成樹脂等が用いられていたが、高密度化、高精度化、高信頼性の要求から、近年においてはセラミック製のものが主流となりつつある。
【０００４】
上記のセラミック部材において、剛性板による薄肉板の支持は、図１に示すように、薄肉板７の微細貫通孔１を有する部分３０の両側において異なる剛性板９にて支持してもよく、又、図２及び図３に示すように、剛性板９に窓部３を設け、薄肉板７の微細貫通孔１を有する部分３がその窓部３を覆蓋するように、薄肉板７を剛性板９に積層することにより、微細貫通孔１を有する部分３の周囲から薄肉板７を支持してもよい。又、図４は、窓部３の形状が各々相違する３層の剛性板９を微細貫通孔１を有する薄肉板７に積層一体化したセラミック部材２を示すものである。
【０００５】
薄肉板を剛性板にて支持するのは、セラミック部材としての剛性を高めることによって製造上及び使用上実用的なものとするためである。
【０００６】
複数の微細貫通孔を有する薄肉板を剛性板にて支持して成るセラミック部材は、薄肉板用のグリーンシート及び剛性板用のグリーンシートを作成した後、焼成後の寸法安定性を向上させる観点より、薄肉板用グリーンシートを剛性板用グリーンシートに積層して一体積層物とした上で焼成することにより製造される。即ち、薄肉板は複数の微細貫通孔を有するため、これを単独で焼成すると、焼成収縮によって歪みを生じやすい。微細貫通孔は焼成前にパンチングにて形成されるが、薄肉板用グリーンシートを剛性板用グリーンシートに積層する前に形成してもよく、一体積層物とした後に形成してもよい。
【０００７】
このようなセラミック部材に対し、近年、気体、微粒子固体、液体等の通過抵抗を改善し、電界の均一性を向上させる観点より、薄肉板をより薄くすること、及び高密度化の観点より微細貫通孔の孔径及び間隔をより小さくすることが要求されている。具体的には、焼成後の薄肉板の厚さを１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下、焼成後の微細貫通孔の径の最小値及び間隔の最小値をともに１５０μｍ以下とすることが望まれている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般にセラミックグリーンシートは、薄くすると強度が低下するため、薄肉板をより薄くすると、パンチングにて薄肉板用のグリーンシートに微細貫通孔を形成する際に、微細貫通孔間にクラックやクラックを誘発するような欠陥が発生するという問題があった。又、薄肉板用のグリーンシートを剛性板用のグリーンシートに積層する工程や、焼成時の応力によっても、クラックが発生しやすくなり、さらに、上記の欠陥が、使用時にクラックに進展する場合も多く、製品の信頼性が損なわれるという問題もあった。又、このようなクラックや欠陥が発生すると、微細貫通孔内壁が粗い状態となり、気体、液体等の通過抵抗が大きくなる。また微細貫通孔の間隔をより小さくしても、上記と同様のクラック、欠陥が発生しやすくなる。
【０００９】
一方、一般にグリーンシートは、薄くすると伸びやすくなるという性質も有するため、薄肉板をより薄くすると、パンチングやハンドリング等の際に薄肉板用グリーンシートに伸びが生じ、微細貫通孔の位置精度が低下する問題もあった。この結果、微細孔間にクラック等の欠陥が発生しやすいという問題もあった。
【００１０】
本発明は、かかる事情を背景としてなされたものであり、その目的とするところは、薄肉板をより薄く形成し、微細貫通孔の形成間隔をより小さくしても、クラックの発生や微細貫通孔の位置精度の低下が生じないセラミック部材の製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板を、微細貫通孔を形成した部分の少なくとも両側において、一体焼成で形成した剛性板にて支持して成り、かつ孔径の最小値が１５０μｍ以下、薄肉板の厚さが１００μｍ以下、孔間隔の最小値が１５０μｍ以下であるセラミック部材の製造方法であって、薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度σが１０ｋｇｆ／ｃｍ２  以上、２００ｋｇｆ／ｃｍ２  以下であり、薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δｌ（ｍｍ）、破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）及び断面積Ｓ（ｍｍ２  ）より式、Δｌ・Ｓ／Ｔで表される伸び率が、０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下であり、かつ、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃以下、焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％以下であり、パンチングにより複数の微細貫通孔を形成した薄肉板用グリーンシートを、剛性板用グリーンシートに積層して一体積層物とした上で焼成するセラミック部材の製造方法が提供される。
【００１２】
又、本発明によれば、複数の微細貫通孔を有する薄肉板を、微細貫通孔を形成した部分の少なくとも両側において、一体焼成で形成した剛性板にて支持して成り、かつ孔径の最小値が１５０μｍ以下、薄肉板の厚さが１００μｍ以下、孔間隔の最小値が１５０μｍ以下であるセラミック部材の製造方法であって、薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度σが１０ｋｇｆ／ｃｍ２  以上、２００ｋｇｆ／ｃｍ２  以下であり、薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δｌ（ｍｍ）、破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）及び断面積Ｓ（ｍｍ２  ）より式、Δｌ・Ｓ／Ｔで表される伸び率が、０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下であり、かつ、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃以下、焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％以下であり、薄肉板用グリーンシートを剛性板用グリーンシートに積層して一体積層物とした上で、薄肉板用グリーンシートにパンチングにより複数の微細貫通孔を形成し、さらに焼成するセラミック部材の製造方法が提供される。
尚、上記セラミック部材の製造方法においては、薄肉板の厚さが５０μｍ以下であることが望ましい。
【００１３】
上記のセラミック部材の製造方法において、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値は２０℃以下であることが好ましい。
【００１４】
又、上記のセラミック部材の製造方法において、薄肉板用グリーンシートを構成するセラミック粉末の粒子径ＤＬ  が０．１μｍ以上、１．２μｍ以下であり、セラミック粉末のＢＥＴ比表面積から算出した球相当径ＤＢＥＴ  が０．０２μｍ以上、０．５μｍ以下であり、かつ、薄肉板用グリーンシートのセラミック粉末占有率Ａが４０％以上、５５％以下であり、セラミック粉末占有率Ａと有機成分占有率Ｂとの和が８０％以上、９８％以下であることが好ましい。
【００１５】
又、上記のセラミック部材の製造方法において、薄肉板は部分安定化ジルコニアを主成分とするものであることが好ましく、その結晶粒子径は２μｍ以下であることが好ましい。部分安定化ジルコニアは、２〜６ｍｏｌ％の酸化イットリウムで部分安定化されたものであることが好ましい。
【００１６】
さらに、上記のセラミック部材の製造方法において、両側において剛性板にて支持された、微細貫通孔を形成した薄肉板の部分の短手方向の幅の最大値ｗ（ｍｍ）と微細貫通孔の間隔ｄ（μｍ）とが、下式（イ）、
（イ）          ｗ≧１０／ｄ
で表される関係を有することが好ましい。
【００１７】
ここで、微細貫通孔の孔径とは、微細貫通孔の形状が円の場合は直径、矩形の場合は長辺、楕円の場合は長径、多角形の場合は最も長い対角線長さをいう。微細貫通孔の形状は上記記載形状及びそれらを組合せた形状が採用される。尚、微細貫通孔の孔径は、薄肉のセラミック板の表面の測定値と裏面の測定値との平均値とする。
また、微細貫通孔の孔間隔ｄは、図８または図１３に示すように隣接する微細貫通孔間の最短の壁の厚さである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明においては、セラミック部材の製造に用いるグリーンシートの各種の特性値を制御することにより、薄肉板をより薄く形成し、なおかつ微細貫通孔の形成間隔をより小さくしてもクラックが発生せず、また、微細貫通孔の位置精度が高く、孔内壁部の平滑性を向上させたセラミック部材を製造することができる。
【００１９】
本発明のセラミック部材の製造方法においては、微細貫通孔の孔径の最小値が１５０μｍ以下、薄肉板の厚さが１００μｍ以下、微細貫通孔の孔間隔の最小値が１５０μｍ以下のセラミック部材を対象としている。
微細貫通孔の孔径の最小値を１５０μｍ以下、および微細貫通孔の孔間隔の最小値を１５０μｍ以下とすることで、高密度化、高精度化に応えることができる。また、薄肉板の厚さを１００μｍ以下とすることで、パンチング打ち抜きの際に、孔づまりの防止、バリ発生を防止でき、さらに微細貫通孔に粉体等を通過させるときの抵抗を小さくできる。
本発明のセラミック部材の製造方法において、薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度σは１０ｋｇｆ／ｃｍ２  以上、２００ｋｇｆ／ｃｍ２  以下とされ、薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δｌ（ｍｍ）、破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）及び断面積Ｓ（ｍｍ２  ）より式、Δｌ・Ｓ／Ｔで表される伸び率の値が、０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下とされる。又、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃以下、焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％以下とされる。
【００２０】
薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量Δｌ（ｍｍ）、破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）は、２ｃｍ／分の引っ張り速度において、レオメーターで測定される。測定は、図５に示すように、幅１９ｍｍ、長さ３０ｍｍの長方形の薄肉板用グリーンシートの２つの長辺の中央部に４ｍｍＲの半円上の切り欠き部３１を設けたサンプル３２を使用して行われる。又、薄肉板用グリーンシートの断面積Ｓ（ｍｍ２  ）としては、切り欠き部３１の形成により、サンプルの幅が最小になる部分の断面積が用いられ、２つの切り欠き部３１の最短距離３３と薄肉板用グリーンシートの厚み（ｍｍ）の積で表される。引っ張り強度σ（ｋｇｆ／ｃｍ２  ）は、薄肉板用グリーンシートの断面積Ｓ（ｍｍ２  ）及び破断時のテンションＴ（ｋｇｆ）の値より、式、（Ｔ／Ｓ）×１００により算出される。
【００２１】
引っ張り強度σの値を１０ｋｇｆ／ｃｍ２  以上、２００ｋｇｆ／ｃｍ２  以下とするのは、１０ｋｇｆ／ｃｍ２  未満では、パンチングにより複数の微細貫通孔を形成する際に微細貫通孔間にクラックが生じるおそれがあり、より好ましくはσ≧２０（ｋｇｆ／ｃｍ２  ）、さらに好ましくはσ≧５０（ｋｇｆ／ｃｍ２  ）である。２００ｋｇｆ／ｃｍ２  を超える場合は、パンチングの際に金型ピンが破損するおそれがあり、又、孔内壁部の表面状態が粗くなったり、クラックを誘発する欠陥が発生しやすくなるからである。より好ましくはσ≦１００ｋｇｆ／ｃｍ２  である。
【００２２】
又、Δｌ・Ｓ／Ｔで表される薄肉板用グリーンシートの伸び率の値を０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下とするのは、０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ未満では、パンチングの際、微細貫通孔の周辺、若しくは孔間にクラックが発生しやすいからである。又、２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆを超える場合は、図６に示すように、パンチングの際に、薄肉板用グリーンシート３２が矢印で示したパンチングの方向へ曲がるため、微細貫通孔の形状が不揃いになったり、微細貫通孔周辺に凸凹が生じる。さらに、パンチングの際、薄肉板用グリーンシートがゆれやすいため、微細貫通孔間にクラックが生じたり、微細貫通孔の周辺や内壁に欠陥が生じ、焼成過程においてクラックとなるおそれがある。又、微細貫通孔の位置精度が低下するという不都合もある。
【００２３】
なお、上記の伸び率は、１３．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下であることがより好ましく、５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以下、１．０ｍｍ３  ／ｋｇｆ以上であることがさらに好ましい。
【００２４】
又、焼成収縮率Ｆとは、薄肉板用グリーンシート又は剛性板用グリーンシートを単独で、それらを一体的に焼成する場合と同じ温度で焼成した際の、面方向の長さの収縮率（％）を表し、焼結途上温度Ｔ５０とは、焼成過程において、上記焼成収縮率Ｆの５０％に達する温度をいい、焼結速度（焼結途中の収縮進行状態）を示す尺度である。
【００２５】
焼成収縮率Ｆは、例えば厚み方向でなく、グリーンシート主面方向に１０．０×１０．０ｍｍ（正方形）のサンプルを、本セラミック部材と同様の焼成プロファイルにて焼成し、焼成前及び焼成後のグリーンシートの４つの辺の長さの平均より、式、｛（焼成前長さ−焼成後長さ）／焼成前長さ｝×１００（％）にて算出される。尚、グリーンシートの厚み方向の収縮率データは無視する。
【００２６】
又、焼結途上温度Ｔ５０は、例えば、１０．０×１０．０ｍｍのサンプルを、図７に示す焼成収縮カーブにおいて、焼結途上温度の両側に位置すると考えられ、かつその差が５０℃以下である２種の温度Ｘ及びＹで焼成し、各温度における収縮率ＦＸ  及びＦＹ  を算出した後、下記近似式、
0003602300.tif 000002
にて算出される。
【００２７】
焼成時におけるクラックの発生を防止するためには、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼成収縮カーブが近似していることが望ましく、両グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃以下、焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％以下であることが必要とされ、それぞれ、２０℃以下、１．０％以下であることがより好ましい。
【００２８】
焼結途上温度Ｔ５０の差の絶対値が５０℃を超えるか、又は焼成収縮率Ｆの差の絶対値が１．５％を超える場合は、焼成時の応力により、微細貫通孔間にクラックが発生しやすくなり、又、薄肉板にしわやへこみが生じやすくなる。
【００２９】
微細貫通孔は薄肉板用グリーンシートを剛性板用グリーンシートに積層する前に形成してもよく、一体積層物とした後に形成してもよいが、一体積層物とした後に形成する方が、作業がしやすく、又、薄肉板用グリーンシートにしわが生じるおそれがなく、さらに微細貫通孔の位置寸法精度が同上するため好ましい。
【００３０】
パンチングによる微細貫通孔の形成は焼成基板加工とは異なり、粒内を切断することができないのはもちろんのこと、グリーンシートの凝集粒子間を切断することも困難である。従って、粉末粒子径が大きいと、加工面を精度良く形成できず、加工面の平滑度が悪くなり、バリが生じる等の問題が発生する。
従って、本発明のセラミック部材の製造方法において、薄肉板用グリーンシートを構成するセラミック粉末の粒子径ＤＬ  は０．１μｍ以上、１．２μｍ以下であることが好ましく、セラミック粉末のＢＥＴ比表面積から算出した球相当径ＤＢＥＴ  は０．０２μｍ以上、０．５μｍ以下であることが好ましい。粉末粒子径を上記の値とすることで、微細貫通孔加工等の取扱時におけるグリーンシートの伸びを効果的に小さくすることができるという利点もある。
【００３１】
粉末平均粒子径は、例えば、グリーンシート成形前のスラリーを、スラリーに用いた溶剤にて希釈した後、ホリバ製レーザ回折式粒度測定装置ＬＡ−７００を使用してその平均粒子径を測定する。
【００３２】
球相当径ＤＢＥＴ  （μｍ）は、ＢＥＴ比表面積値の測定値より、式、ＤＢＥＴ  ＝６／ρＳ（なお、ρは粉末理論密度（ｇ／ｃｍ３  ）、Ｓは粉末ＢＥＴ比表面積値（ｍ２  ／ｇ）を表す。）より算出される。又、ＢＥＴ比表面積値は、薄肉板用グリーンシート中のバインダ、可塑剤、分散剤等の有機物成分を除去するために、５００℃、２時間の熱処理を行った試料を用いて測定される。
【００３３】
粉末粒子径ＤＬ  が０．１μｍ未満、又は球相当径ＤＢＥＴ  が０．０２μｍ未満の場合は、均質なスラリーの作製が困難となり、グリーンシート内にクラックが生じる結果、グリーンシートの強度が低下する。一方、粉末粒子径ＤＬ  が１．２μｍを超えるか、又は球相当径ＤＢＥＴ  が０．５μｍを超える場合は、微細貫通孔の内壁に凸凹が生じ、貫通孔の形状が不揃いになるとともに、気体、液体、微粒子固体等の通過抵抗が大きくなる。又、微細貫通孔の内壁周辺にクラックが生じやすくなる。
【００３４】
又、薄肉板用グリーンシートのセラミック粉末占有率Ａを４０％以上、５５％以下とし、セラミック粉末占有率Ａと有機成分占有率Ｂとの和を８０％以上、９８％以下とすることが、微細貫通孔の加工精度向上、加工面の平滑度改善、ボロ発生の低減、グリーンシートの伸びの低減を図る観点より好ましい。
【００３５】
セラミック粉末占有率Ａは、式、ＧＤ×［ａ／（ａ＋ｂ）］×１／ρｃｅにより算出されるが、式中、ａはグリーンシート中のセラミック粉末重量部、ｂはグリーンシート中の有機物成分重量部（ｂ＝Σｂｉ  ）、ＧＤはグリーンシートの生密度（ｇ／ｃｍ３  ）、ρｃｅはセラミック粉末理論密度（ｇ／ｃｍ３  ）をそれぞれ表す。
【００３６】
又、有機物成分とは、バインダ、可塑剤、分散剤等をいい、有機成分占有率Ｂは、式、ＧＤ×Σ｛［ｂｉ  ／（ａ＋ｂ）］×１／ρｉ  ｝により算出されるが、式中、ｂｉ  はグリーンシート中の各有機成分重量部、ρｉ  は各有機物成分の理論密度（ｇ／ｃｍ３  ）をそれぞれ表す。
【００３７】
セラミック粉末占有率Ａが４０％未満の場合は、薄肉板用グリーンシートの焼成収縮率Ｆのばらつきが大きくなる結果、寸法精度が低下するとともに、焼成後の薄肉板の強度が低下するという不都合がある。セラミック粉末占有率Ａが５５％を超える場合は、薄肉板用グリーンシート内の粉末粒子間距離が接近するため、微細貫通孔の形成（パンチング）が困難になったり、焼成時の脱バインダ性が悪化したりして、微細孔間にクラックや欠陥が発生する場合がある。
【００３８】
一方、セラミック粉末占有率Ａと有機成分占有率Ｂとの和が８０％未満の場合は、薄肉板用グリーンシートの伸び率が大きくなるとともに、引っ張り強度が低下する。又、９８％を超える場合も、薄肉板用グリーンシートの伸び率が大きくなる他、剛性板用グリーンシートとの積層性が悪化し、一体化が困難となる。この結果、９８％を超える場合及び８０％未満の場合、微細貫通孔の形状が不揃いになったり、微細貫通孔の周辺にクラックが生じる場合がある。
【００３９】
本発明において、薄肉板にはアルミナ、ジルコニア等を用いることができるが、薄肉板に強度、靱性及び耐磨耗性を付与するとともに、焼成時の応力により微細貫通孔間にクラックが発生するのを防止する観点より、部分安定化ジルコニアを主成分とすることが好ましい。又、部分安定化ジルコニアは熱膨張係数が金属に較べて小さいため、高温環境下での孔位置精度の向上を図ることができる。さらに、部分安定化ジルコニアは耐腐食性、耐摩耗性、耐熱性に優れているため、温度、媒体の適用可能範囲を広くすることができる。
【００４０】
なお、部分安定化ジルコニアの結晶粒子径は薄肉板の表面平滑性向上及び強度向上などの点で２μｍ以下であることが好ましく、１μｍ以下であることがより好ましい。
【００４１】
さらに、部分安定化ジルコニアは、２〜６ｍｏｌ％、好ましくは２．５〜４．０ｍｏｌ％の酸化イットリウムで部分安定化されたものであることが好ましい。これは、薄肉板の強度、耐摩耗性を向上させるためである。
【００４２】
又、薄肉板に用いる部分安定化ジルコニアの結晶相は、主として正方晶、もしくは主として立方晶、正方晶、単斜晶の内、少なくとも２種以上の結晶相からなる混晶とすることで部分安定化されたジルコニアを主成分とする材料が好ましく使用される。中でも、正方晶のみ、又は正方晶と立方晶の混晶が最も望ましい。これは、強度と靱性とが優れているためである。又、助剤としてアルミナ１０重量％以下を含有するものも、強度改善のため好ましく採用される。又、アルミナ含有量を制御することで、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結進行状態を自由にコントロールすることが可能である。
【００４３】
さらに、本発明においては、図８に示すように、両側において剛性板９にて支持された、微細貫通孔１を形成した薄肉板７の部分３０の短手方向の幅の最大値ｗ（ｍｍ）と微細貫通孔１の間隔ｄ（μｍ）とが、下式（イ）、
（イ）          ｗ≧１０／ｄ
で表される関係を有することが好ましいが、ｗ≧２５／ｄであることがより好ましく、ｗ≧５０／ｄであることがさらに好ましい。Ｗ＜１０／ｄの場合、焼成時に発生する応力によって微細貫通孔間やその周辺部にクラックを生じやすくなる。短手方向の幅の最大値ｗが１０ｍｍを超える場合には、生積層体の取扱性の低下、薄肉板の強度及び平坦性の低下等の問題が発生するので好ましくない。
【００４４】
本発明の方法によって製造されるセラミック部材において、剛性板の合計厚さは５０μｍ以上であることが好ましく、８０μｍ以上であることがより好ましい。５０μｍより薄いと、セラミック部材としての剛性が不足するため好ましくない。
また、剛性板は本セラミック部材にある程度の剛性を持たせるために用いるだけでなく、機能を有していてもよい。例えば、剛性板上に電極を形成する、剛性板内にスルーホール配線等を設け立体配線を形成する、剛性板内に液体、微粒子固体等をためるチャンバーを形成する等である。さらに、剛性板は単一層であっても、複数層であってもよい。複数層の場合、全ての層が同一形状である必要はなく、また、それぞれの層が別々の機能を持っていてもよい。
【００４５】
さらに、剛性板の厚さ（合計厚さ）は薄肉板の厚さ（合計厚さ）より大きいことが好ましい。剛性板が薄肉板より薄いと、焼成後のセラミック部材の寸法安定性が低下するからである。一方、剛性板の合計厚さが薄肉板の合計厚さの１０倍を超えると、焼成時に薄肉板に対して発生する応力が大きくなり、微細孔間やその周辺部にクラックが発生しやすくなったり、薄肉板にしわやヘコミが生じやすくなる。従って、剛性板の合計厚さは薄肉板の合計厚さより厚く、薄肉板の合計厚さの５倍未満であることがより好ましい。
【００４６】
薄肉板（複数層の場合はその合計厚さ）の焼成後の厚さは、一般には１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下である。薄くすることにより、金型／ＮＣパンチングの打ち抜きの際に、グリーンシートカス抜け性向上により孔づまりを防止するほか、ピン折れ及び打ち抜き面のバリ発生を防止することができ、さらには、打ち抜き孔の形状精度を向上（シートの表／裏の孔径ばらつきの低減）させることができる。又、薄くすることで微細貫通孔に粉体、液体、微粒子固体等を通過させる場合、その通過抵抗を小さくすることができる。一方、薄肉板の厚さが１００μｍより厚いと、微細貫通孔の形成性が悪化したり、上記の通過抵抗が大きくなるので好ましくない。なお、薄肉板も単一層であっても、複数層からなっていてもよい。
剛性板は単に剛性が高ければ高いほどよいというわけではなく、セラミック部材に適度な剛性を与える必要がある。すなわち、例えばセラミック部材の薄肉板にドラム等を接触させて使用する場合においては、密着性を向上させるために剛性板と薄肉板に適度な剛性力の差を持たせることも重要である。
【００４７】
薄肉板に設けた微細貫通孔の間隔の最小値（焼成後）は、高密度化への対応という見地より、１５０μｍ以下が必要であり、１００μｍ以下であることが好ましく、さらに７０μｍ以下がより望ましい。本発明の製造方法を採用することにより、薄肉板にクラックを生じさせることなく、微細貫通孔の間隔を上記の値とすることができる。
【００４８】
また、微細貫通孔径の最小値（焼成後）は、高密度化、高精度化に応えるため、１５０μｍ以下とすることが必要であり、１００μｍ以下とすることが好ましく、７０μｍ以下とすることがより好ましい。
薄肉板の厚みｔ（ｍｍ）と、薄肉板の部分に形成した複数の微細貫通孔の孔径の最小値ｈ（μｍ）と間隔ｄ（ｍｍ）との関係（焼成後寸法）は、下式（ロ）の関係を満足することが好ましい。
【００４９】
【数１】
0003602300.tif 000003
【００５０】
なお、薄肉板の厚みｔ（ｍｍ）と、薄肉板の部分に形成した複数の微細貫通孔の孔径の最小値ｈ（μｍ）と間隔ｄ（ｍｍ）との関係（焼成後寸法）は、下式（ハ）関係を満足することがさらに好ましい。
【００５１】
【数２】
0003602300.tif 000004
【００５２】
式（ロ）を満足しない場合には、パンチングによる微細貫通孔の形成及び焼成の工程において、孔間クラックが発生しやすくなる。
【００５３】
また、図１、２に示すように、複数の微細貫通孔を一直線上に形成するよりも、図３、４、９、１１、１２に示すように、複数の直線上に形成する方が、上記式（ロ）の左辺の値を大きくとり、孔間クラックを防止することができるとともに、本出願の目的である高密度化を達成できる点で好ましい形態である。
【００５４】
また、薄肉板の厚みｔ（μｍ）と、薄肉板の部分に形成した複数の微細貫通孔の孔径の最小値ｈ（μｍ）との関係（焼成後寸法）は、下式（ニ）
（二）          ｔ／ｈ≦１０．０
を満足することが望ましいが、下式（ホ）
（ホ）          ｔ／ｈ≦４．０
を満足することがより望ましい。
式（ニ）を満足しないときには、微細貫通孔に粒子、液体等を通過させるときの抵抗が大きくなり、該セラミック部材の機能を十分発揮できなくなる。
【００５５】
また、パンチングにより微細貫通孔を形成する際の孔形成性の点では、ｔ／ｈ≦３．０であることが好ましく、ｔ／ｈ≦１．０であることがより好ましい。ｔ／ｈ＞３．０のときには、パンチングの際に微細貫通孔の内部又はその周辺にパンチングカスが残ったり、さらには孔周りや孔間にクラックを生じやすくなり、パンチングピンが破損しやすい点で好ましくない。
一方、微細貫通孔に気体、液体、微粒子固体等を通過させる場合において、これらの通過物に方向性を持たせるためには、ｔ／ｈ≧０．１が好ましく、ｔ／ｈ≧０．４がより好ましい。
【００５６】
両側において剛性板にて支持された、該微細貫通孔を形成した該薄肉板の部分の短手方向の幅の最大値ｗ（ｍｍ）と、該薄肉板の厚みｔ（μｍ）との関係は、下式（ヘ）を満足することが望ましく、下式（ト）を満足することがより好ましい。
（ヘ）                    ｔ／ｗ≧５．０
（ト）          ｔ／ｗ≧８．０
ｔ／ｗ＜５．０の場合には、生積層体の取扱性のほか、薄肉板の強度、薄肉板の平坦性、微細貫通孔の位置精度等が低下し、好ましくない。
【００５７】
本発明において、薄肉板用グリーンシート及び剛性板用グリーンシートの作製は、具体的には、以下のように行われる。
グリーンシート作製用スラリーまたはペーストは、従来と同様に、セラミック粉末に適当なバインダー、可塑剤、分散剤、焼結助剤、有機溶媒などを配合して調製される。上記のスラリーやペーストは、ドクターブレード法、カレンダー法、印刷法、リバースロールコータ法等の従来から公知の手法に従って、所定の厚みを有するグリーンシートに成形される。このようにして得られたグリーンシートは、必要に応じて、切断、切削、打ち抜き、微細貫通孔の形成等の加工を施し、又は複数枚のグリーンシートが積層され、熱圧着等によって、一体的な積層物とされ、所定形状及び厚さの成形物とされる。なお、微細貫通孔は金型／ＮＣパンチングにより形成される。また、微細貫通孔の形成は、グリーンシート単体の状態で行っても、積層後行ってもよい。
【００５８】
薄肉板の材質に、部分安定化ジルコニアを主成分とするものを使用する場合には、部分安定化ジルコニア粉末に対して３０重量％以下の助剤、例えば、アルミナ、シリカ、遷移金属酸化物、粘土、ムライト、コージェライト、スピネル、チタニア等及びこれらの混合物を添加してもよい。
【００５９】
かかる成形物に対して焼成操作が実施され、これにより、該積層物を一体的な焼結体とする。この時の焼成温度は、一般に、１２００〜１７００℃程度、好ましくは１３００〜１６００℃程度の温度が採用されることになる。また、高精度電界シャッター、スケール等の用途においては、該セラミック部材の微細貫通孔を形成した薄肉板に、例えば紙、ドラムなどを接触させて用いる場合に、該接触物と薄肉板とを密着させることが、位置ズレ防止、気体、液体・微粒子固体等の吐出性向上、それに伴う記録の質向上等の点で有利に用いられる。
【００６０】
このような理由のため、該セラミック部材全体を単に平坦化するだけでなく、薄肉板を平坦、平滑化することをも目的とする、次に述べる反り修正工程も有利に採用されうる。
反り修正工程とは、焼結後の前記積層物に反りがある場合に、平滑なセラミック製の重し等を載せて、焼成温度近傍の温度で再焼成し、反りを修正することである。
【００６１】
同様の理由により、薄肉板の微小うねり除去及び平坦化、薄肉板や剛性板の表面突起物や付着物（同材質、異材質含む）の除去や表面粗さＲａの低減（中心線平均粗さ０．５μｍ以下、好ましくは０．２μｍ以下）及び平滑性の向上、該セラミック部材の形状修正等の目的で、焼成後若しくは反り修正後に該セラミック部材の薄肉板及び剛性板の表面を、エッチング、研磨、研削等の処理、加工を施すことも好ましく用いられる。
また、微細貫通孔の内壁及び孔まわりの前記突起物、付着物除去の目的により、微細貫通孔を形成した薄肉グリーンシートや薄肉板にレーザーやエッチング等で処理、加工することも好ましく用いられる。
【００６２】
さらに、部分安定化ジルコニア材料で形成された該セラミック部材の薄肉板、剛性板の表面に研磨・研削等の加工を施し、さらにその後必要に応じて熱処理を加えることで該表面の結晶構造を意図的に一部変化させたり、該セラミック部材の形状を修正したり、曲げたりすることも可能であり、好ましく用いられる。
【００６３】
グリーンシート間に接着補助層を設けることも有利に採用される。接着補助層を設けることにより、積層圧力を低減させることができる。積層圧力は１００Ｋｇ／ｃｍ２  以下が好ましく、４０Ｋｇ／ｃｍ２  以下がより好ましい。積層圧力が大きいと微細貫通孔間の間隔が狭いため、孔間やその周辺部にクラックが生じやすくなる。また、一体積層物が変形し、所定の形状のものが得られなかったり、微細貫通孔の位置精度が低下したりすることがある。
接着補助層の材料としては、グリーンシート作製用スラリー、ペースト、バインダー、可塑剤、溶剤、又はこれらの混合物等が用いられる。接着補助層は、塗布、印刷、噴霧等により形成することが好ましい。
【００６４】
図９に本発明の方法により製造したセラミック部材の薄肉板上面に金電極１３を形成した電界シャッターの一例を示す。
【００６５】
また、図１０に示すように、このようにして作製されたセラミック部材の上面に電界シャッター用電極１５（金電極、厚さ０．３μｍ）を形成したものと、誘電体薄板２１の表裏にライン電極１１とフィンガー電極１２を設けたイオン発生源と、誘電体ドラム１９とを組み合わせることにより、イオン流制御ヘッド１０を構成することができる。
【００６６】
なお当然ながら、本発明は、イオン流制御ヘッドに限るものではなく、薄肉部に微細貫通孔を有する部材が要求される他の適当なものでも構わない。例えば、本発明によって得られるセラミック部材をフィルター、スクリーン（篩い）、濾過部材などに好ましく使用することができる。
本発明によって得られるセラミック部材をフィルター、スクリーン（篩い）、濾過部材に適用した場合の利点を以下に示す。
（１）この部材はセラミックからなるため、耐磨耗性に優れる。
（２）微細貫通孔が形成された薄肉板の厚さを１００μｍ以下と薄くしているため、濾過抵抗を小さくすることができる。
（３）剛性板によって薄肉板を支持する構造であるため、破損し難い。
（４）開口部（微細貫通孔）の密度を大きくすることができるため、濾過面積効率を高くすることができる。
【００６７】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
（実施例１）    本発明の方法にてセラミック部材を製造し、パンチングによる微細貫通孔形成の際、及び焼成過程におけるクラックの発生について調べた。
【００６８】
まず、薄肉板用グリーンシートを次のようにして作製した。
Ｙ２  Ｏ３  ３ｍｏｌ％、Ａｌ２  Ｏ３  ０．１ｍｏｌ％含有部分安定化ジルコニア粉末１００重量部、ポリビニルブチラール樹脂（ＰＶＢ）（積水化学株式会社製、ＢＭ−２）（バインダー）１２．３重量部、ＤＯＰ（可塑剤）１２．３重量部、キシレン（溶剤）５０重量部、１−ブタノール（溶剤）５０重量部をボールミルにて３０時間混合し、グリーンシート成形用スラリーを調製した。このスラリーに真空脱泡処理を施すことにより、粘度を４０００ｃｐｓに調整した後、ドクターブレード装置によって焼成後の厚さが３０μｍとなるように薄肉板用グリーンシートを形成した。
【００６９】
ＮＣパンチングマシンを用いて、上記の薄肉板用グリーンシートに、直径４０μｍの微細貫通孔を孔間隔３６．７μｍにて形成し、２３０×２０ｍｍの寸法に外形切断を行った。微細貫通孔は４列形成し、その個数は１列当たり７０８個、計２８３２個とした。
【００７０】
次に、剛性板用グリーンシートを次のようにして作製した。
グリーンシート成形用スラリーは、薄肉板用グリーンシートの場合と同様に調製したが、剛性板用グリーンシートの焼結途上温度Ｔ５０及び焼成収縮率Ｆを調整するため、部分安定化ジルコニア粉末の粉末粒子径及びＡｌ２  Ｏ３  含有率、ボールミルでの混合時間、有機分組成等を変えた。
【００７１】
上記のスラリーを用い、ドクターブレード装置によって焼成後の厚さが１００μｍとなるように剛性板用グリーンシートを形成した。
【００７２】
次に、剛性板用グリーンシート上への接着補助層の形成を次の通り行った。Ｙ２  Ｏ３  ３ｍｏｌ％、Ａｌ２  Ｏ３  ０．１ｍｏｌ％含有部分安定化ジルコニア粉末１００重量部、ＰＶＢ（積水化学株式会社製、ＢＭ−２）（バインダー）１３重量部、ＤＯＰ（可塑剤）５重量部、２−エチルヘキサノール（溶剤）適量をトリロールミルにて混練し、粘度２００００ｃｐｓの接着補助層用ペーストを調製した。このペーストをスクリーン印刷装置を用いて、剛性板用のグリーンシート上に印刷し、乾燥後の厚さが６μｍである接着補助層を形成した。
【００７３】
このようにして得られた接着補助層付き剛性板用グリーンシートに切断及び打ち抜きをし、２０１×３．０ｍｍの窓部を形成するとともに、外形切断により２３０×２０ｍｍの寸法とした。
【００７４】
次に、前記薄肉板用グリーンシートの微細孔形成部が、前記接着補助層付き剛性板用グリーンシートの前記窓部の中央部に配置されるように重ね合わせ、３０Ｋｇ／ｃｍ２  、８０℃、１分の条件下で熱圧着し、一体積層物とした。この一体積層物を１５００℃、３時間にて焼成し、更に、この焼成物を２ｍｍ厚の多孔質のアルミナ平板で挟み込み、１５００℃、５時間にて再焼成して反りを修正した。
【００７５】
表１に、薄肉板用グリーンシートのセラミック粉末粒子径（ＤＬ  ）、球相当径（ＤＢＥＴ  ）、セラミック粉末占有率（Ａ）、セラミック粉末占有率と有機成分占有率（Ｂ）との和（Ａ＋Ｂ）、焼結途上温度（Ｔ５０）、焼成収縮率（Ｆ）、引っ張り強度（σ）、破断時の伸び率（Δｌ・Ｓ／Ｔ）及び剛性板用グリーンシートの焼結途上温度（Ｔ５０）、焼成収縮率（Ｆ）の測定値あるいは算出値を示す。又、薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度の差の絶対値｜Ｔ｜、焼成収縮率の差の絶対値｜Ｆ｜も併記する。なお、セラミック粉末占有率及び有機成分占有率の算出において、ジルコニア粉末の理論密度は６．１ｇ／ｃｍ３  、有機物成分の理論密度は１．１ｇ／ｃｍ３  とした。又、パンチングの際及び焼成後のクラック発生状況を示す。
【００７６】
【表１】
0003602300.tif 000005
【００７７】
（実施例２〜１１）    セラミック粉末粒子径（ＤＬ  ）、球相当径（ＤＢＥＴ  ）、バインダーの添加量、ＤＯＰの添加量を変え、又、場合によっては分散剤としてソルビタン脂肪酸エステルを添加した以外は、実施例１と同様にしてセラミック部材を製造し、パンチングによる微細貫通孔形成の際、及び焼成過程におけるクラックの発生について調べた。なお、実施例１１においては、バインダーとして、三井東圧株式会社製のＳＡ−５４１（固形分）とＯＸＳＡ−２７２（固形分）を１２．０：１．０の重量比で混合したアクリル系樹脂を用いた。各種特性値及びクラック発生状況を表１に示す。
【００７８】
（比較例１〜９）    セラミック粉末粒子径（ＤＬ  ）、球相当径（ＤＢＥＴ  ）、バインダーの添加量、ＤＯＰの添加量を変え、又、場合によっては分散剤としてソルビタン脂肪酸エステルを添加した以外は、実施例１と同様にして薄肉板用グリーンシートを作製した。なお、比較例８においては、バインダーとして、新中村化学株式会社製のアクリル系樹脂、ＤＲ−１００１を用いた。
パンチングによる微細貫通孔形成の際にクラックを生じなかったものについては、実施例１と同様にしてセラミック部材を製造し、焼成過程におけるクラックの発生について調べた。なお、比較例１、２、５は薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度の差の絶対値が５０℃を超え、比較例３及び４は両者の焼成収縮率差の絶対値が１．５％を超える。又、比較例６及び８は引っ張り強度σが１０ｋｇｆ／ｃｍ２  未満であり、比較例７、８及び９は伸び率Δｌ・Ｓ／Ｔが０．５ｍｍ３  ／ｋｇｆ未満あるいは２５．０ｍｍ３  ／ｋｇｆを超える。各種特性値及びクラック発生状況を表２に示す。
【００７９】
【表２】
0003602300.tif 000006
【００８０】
比較例１〜５においては、パンチングにより微細貫通孔を形成する際の微細貫通孔間におけるクラックの発生は無かったものの、焼成過程において薄肉板の微細貫通孔間及び微細貫通孔の周辺にクラックが生じた。又、比較例６〜９においては、パンチングにより微細貫通孔を形成する際に微細貫通孔間にクラックが発生した。
【００８１】
一方、実施例においては、微細貫通孔の形成の際にも、焼成過程においてもクラックの発生は無かった。
【００８２】
又、上記の実施例及び比較例においては、薄肉板用グリーンシートに微細貫通孔を設けてから剛性板用グリーンシートに積層し、焼成を施しているが、実施例１〜１１及び比較例１〜９と同様に薄肉板用グリーンシート及び剛性板用グリーンシートを作製した後、一体積層物とした後にパンチングにより微細貫通孔を形成し、焼成した場合には、実施例１〜１１に相当するものにおいては、クラックの発生はなかったが、比較例１〜９に相当するものにおいてはクラックが発生した。
【００８３】
【発明の効果】
本発明においては、薄肉板用グリーンシートの引っ張り強度及び伸び率、並びに薄肉板用グリーンシートと剛性板用グリーンシートの焼結途上温度の差の絶対値及び焼成収縮率の差の絶対値を所定の値に制御してセラミック部材を製造する。これにより、薄肉板をより薄く形成してなおかつ、微細貫通孔の孔径及び孔間隔をより小さくしても、パンチングによる打ち抜きの際に微細貫通孔間及び微細貫通孔の周辺にクラックが発生することがない。又、焼成過程における剛性板用グリーンシートと薄肉板用グリーンシートの収縮特性を制御しているため、焼成過程における微細貫通孔間クラックの発生を防止できる。さらに、パンチングや一体積層品の取扱いの際に薄肉板グリーンシートに伸びや変形が生じず、さらには焼成の際の薄肉板のうねりを減少できるので、該セラミック部材の高密度化において微細貫通孔の位置精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法により製造されるセラミック部材の一例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【図２】本発明の方法により製造されるセラミック部材の他の例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図、（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明の方法により製造されるセラミック部材のさらに他の例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図、（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。
【図４】本発明の方法により製造されるセラミック部材のさらに他の例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図、（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。
【図５】薄肉板用グリーンシートの破断時の伸び量及び破断時のテンションを測定する際のサンプルの一例を示す模式図である。
【図６】従来の製造方法により製造された薄肉板用グリーンシートにパンチングにより微細貫通孔を形成する際の薄肉板用グリーンシートの状態を示す模式図である。
【図７】薄肉板用グリーンシート又は剛性板用グリーンシートの焼成収縮カーブを示すグラフである。
【図８】微細貫通孔間隔ｄの説明図である。
【図９】本発明の方法により製造したセラミック部材を用いた電界シャッターの一例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図、（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。
【図１０】本発明の方法により製造したセラミック部材を用いたイオン流制御ヘッドの一例を示す断面図である。
【図１１】本発明の方法により製造されるセラミック部材のさらに別の例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図、（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。
【図１２】本発明の方法により製造されるセラミック部材のさらに別の例を示す（ａ）平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図、（ｃ）Ｂ−Ｂ断面図である。
【図１３】微細貫通孔をチドリ配置した場合の微細貫通孔間隔ｄの説明図である。
【符号の説明】
１…微細貫通孔、２…セラミック部材、３…窓部、７…薄肉板、９…剛性板、１０…イオン流制御ヘッド、１１…ライン電極、１２…フィンガー電極、１３…金電極、１５…電界シャッター用電極、１９…誘電体ドラム、２１…誘電体薄板、３０…微細貫通孔を有する部分、３１…切り欠き部、３２…サンプル、３３…２つの切り欠き部の最短距離。
【図１】
0003602300.tif 000007
【図２】
0003602300.tif 000008
【図３】
0003602300.tif 000009
【図４】
0003602300.tif 000010
【図５】
0003602300.tif 000011
【図６】
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【図７】
0003602300.tif 000013
【図８】
0003602300.tif 000014
【図９】
0003602300.tif 000015
【図１０】
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【図１１】
0003602300.tif 000017
【図１２】
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【図１３】
0003602300.tif 000019