(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークを収納するマガジンを搬送するマガジン自動搬送装置において、
マガジン供給部より処理前のワークを収納したマガジンをワーク取出し部に搬送する第１のマガジン搬送機構と、前記ワーク取出し部に位置するマガジンをマガジン収納部に搬送する第２のマガジン搬送機構とを備え、
前記第１、第２のマガジン搬送機構のうちの少なくともいずれか一方は、昇降自在でかつ往復移動自在なマガジン搬送台と、このマガジン搬送台を昇降させる昇降用シリンダと、前記マガジン搬送台を往復移動させる往復移動用シリンダとで構成され、
前記マガジン搬送台の上面に逆台形状の凹部からなり前記マガジンが位置決めされて設置される複数のマガジン設置部を設けたことを特徴とするマガジン自動搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載のマガジン自動搬送装置において、
前記ワーク取出し部には、マガジンをマガジン設置台に対して位置決めし変形を矯正する位置決め矯正機構と、前記マガジン内のワークを１枚ずつ順次排出してワーク供給部に供給するワーク供給機構が設けられ、
前記位置決め矯正機構は、昇降自在な押圧部材と、この押圧部材をマガジンに上方から押し付けてマガジンの中心を前記押圧部材の中心と一致させる駆動手段とを備えていることを特徴とするマガジン自動搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載のマガジン自動搬送装置において、
前記位置決め矯正機構は、前記押圧部材が上昇復帰する際のマガジンの浮き上がりを防止する浮き上がり防止機構を備えていることを特徴とするマガジン自動搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを収納したマガジンをマガジン供給部からワーク取出し部へ搬送し、その後ワーク取出し部からマガジン収納部へ搬送するマガジン自動搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マガジンを所定位置に自動的に搬送するこの種のマガジン搬送装置としては、特開平５−１６６８５１号公報（以下、先行技術１という）、特開平７−５３００９号公報（以下、先行技術２という）等に開示されたものが知られている。
【０００３】
先行技術１に記載されたマガジン搬送装置は、マガジンを供給するローダステージとマガジンを受け取るアンローダステージを２階建てに構成し、ローダステージよりマガジンを受け取って上昇または下降させてリードフレーム払い出し位置または収納位置に位置させ、リードフレームを払い出しまたは収納したマガジンをエレベータによってアンローダステージに載置するようにしている。エレベータの昇降および進退移動は２つのモータによって行っている。このような構造においては、マガジンを単にエレベータに載置しているだけであるためエレベータが昇降した際、装置の振動等によってマガジンが位置ずれし易く、そのためマガジンからのリードフレームの払い出しまたはマガジンへのリードフレームの収納が円滑に行えないという問題があった。
【０００４】
先行技術２に記載されたマガジン搬送装置は、上記した先行技術１に記載されたマガジン搬送装置において、エレベータにマガジンをチャックするチャック手段を設けている。このような構造においては、チャックによってマガジンを吸着保持しているので、エレベータの昇降時に装置の振動等によってマガジンが位置ずれすることがなく、マガジンからのリードフレームの払い出しまたはマガジンへのリードフレームの収納が円滑に行える。
【０００５】
この他、ローダステージとアンローダステージを同一平面上に配置したマガジン搬送装置も種々提案されているが、いずれもモータ駆動による搬送方式を採用したものが一般的である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記した通り、従来のマガジン自動搬送装置はいずれもマガジン搬送機構の駆動源としてモータを用いてマガジンを所定位置に搬送していた。しかしながら、モータ駆動方式はモータの振動を完全に取り除くことが難しいため、高精度に位置決めすることができず、また騒音が発生するという問題があった。
また、先行技術１，２に記載されたマガジン搬送装置においては、ローダステージとアンローダステージを２階建てに構成しているので、装置の高さが高くなり、大型化するという不具合があった。
【０００７】
本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、マガジンの搬送時に振動、騒音等を伴わず円滑に搬送することができ、また比較的簡単な構造でマガジンを所定位置に確実に位置決めすることができるようにしたマガジン自動搬送装置を提供することにある。
さらに、本発明は、コンパクト化と高速化が図れるマガジン自動搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために第１の発明は、複数のワークを収納するマガジンを搬送するマガジン自動搬送装置において、マガジン供給部より処理前のワークを収納したマガジンをワーク取出し部に搬送する第１のマガジン搬送機構と、前記ワーク取出し部に位置するマガジンをマガジン収納部に搬送する第２のマガジン搬送機構とを備え、前記第１、第２のマガジン搬送機構のうちの少なくともいずれか一方は、昇降自在でかつ往復移動自在なマガジン搬送台と、このマガジン搬送台を昇降させる昇降用シリンダと、前記マガジン搬送台を往復移動させる往復移動用シリンダとで構成され、前記マガジン搬送台の上面に逆台形状の凹部からなり前記マガジンが位置決めされて設置される複数のマガジン設置部を設けたことを特徴とする。
【０００９】
第２の発明は、上記第１の発明において、前記ワーク取出し部には、マガジンをマガジン設置台に対して位置決めし変形を矯正する位置決め矯正機構と、前記マガジン内のワークを１枚ずつ順次排出してワーク供給部に供給するワーク供給機構が設けられ、前記位置決め矯正機構は、昇降自在な押圧部材と、この押圧部材をマガジンに上方から押し付けてマガジンの中心を前記押圧部材の中心と一致させる駆動手段とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
第３の発明は、上記第２の発明において、前記位置決め矯正機構は、前記押圧部材が上昇復帰する際のマガジンの浮き上がりを防止する浮き上がり防止機構を備えていることを特徴とする。
【００１９】
第１の発明において、マガジン搬送台の駆動手段としてシリンダを用いているので、振動や騒音の発生が少ない。シリンダとしては、エアシリンダもしくは油圧シリンダが用いられる。マガジン搬送台はマガジン設置部によってマガジンを位置決めする。
【００２０】
第２の発明において、位置決め矯正機構は、マガジンを位置決めすると同時にマガジンの変形を矯正し、マガジンからのワークの取出しもしくはマガジンへのワークの返却を容易にする。ワーク供給機構は、マガジン内のワークを排出しワーク供給部に搬送する。位置決め矯正機構の押圧部材はマガジンを押圧して変形を矯正し、マガジンの中心を押圧部材の中心に強制的に一致させる。
第３の発明において、浮き上がり防止機構は押圧部材が上昇復帰する際のマガジンの浮き上がりを阻止する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係るマガジン自動搬送装置を備えた印刷パターン外観検査装置の正面図、図２は同検査装置の概略構成図、図３はパターン検出方法を説明するための図、図４は第１のマガジン搬送機構の斜視図、図５はマガジン供給部、ワーク取出し部およびマガジン収納部の概略構成図、図６は位置決め矯正機構を示す図、図７は位置決め矯正機構の他の実施の形態を示す要部の断面図、図８はワークの位置決め機構を示す図、図９はマガジンの搬送動作を説明するための図である。
【００２３】
図１〜図３において、先ず、印刷パターン外観検査装置１の概略構成を説明すると、この検査装置１は、マガジン自動搬送装置３から搬送されてくるグリーンシートやハイブリッドＩＣ用基板上に印刷形成した微細パターンの外観検査を自動的に高速かつ高精度に検査するためのもので、キャスター付きの筐体２を備えている。なお、グリーンシートとは、パッケージのセラミックス基板を製作するために、アルミナ粉末を液状のバインダで練り合わせてシート状に形成したもので、このグリーンシート上に高融点の金属を含むペーストをスクリーン印刷して焼成することにより形成される。ペーストはグリーンシートと同時に焼成され金属化される。
【００２４】
前記筐体２の上面側にはキーボード５、検査部６（処理部）等が設けられ、さらに検査部６の後方には表示灯７、ＰＣモニター８、ＴＶモニター９等が設置される一方、筐体内部には印刷パターン外観検査装置１の各機構および装置の動作をシーケンス制御する図示しない制御部と、パターン検査のための諸回路、例えば図３に示すＡ／Ｄ変換器１０、画像メモリ１１、２値化処理回路１２等が収納されている。印刷パタンの外観検査に際しては、ＴＶカメラ１３によってワーク（例えば、グリーンシート、フィルムキャリア、オーバーコートガラス等）１４上の被測定パターン１５を撮像し、その濃淡画像をＡ／Ｄ変換器１０でデジタル化して画像メモリ１１に一旦記憶する。その後画像メモリ１１から読み出した画像データを２値化処理装置１２によって２値化処理して２値画像データに変換し、この２値画像データを図示しない判定手段によって基準となるマスターパターンデータと比較することにより、被測定パターンの良・不良を判定する。また、その結果を前記ＰＣモニタ８に色識別表示する。
【００２５】
前記検査部６には、検査前のワーク１４が載置されるワーク載置台２０と前記ＴＶカメラ１３が配設されている。ワーク載置台２０は、前後方向（Ｙ方向）に移動自在なＹ軸テーブル２１と、このＹ軸テーブル２１上に設置されたワーク位置決め台２２とを備え、前記Ｙ軸テーブル２１がボールねじ２３と駆動モータ２４によって前後方向に移動されるように構成されている。ワーク位置決め台２２には、前記マガジン自動搬送装置３より供給される検査前のワーク１４を所定の位置に位置決めするワーク位置決め機構２５が設けられている。
【００２６】
前記ワーク位置決め機構２５は、ワーク位置決め台２２の上面に突設されワーク１４のＸ，Ｙ方向を位置決めする２本の位置決めピン２６ａ，２６ｂと、ワーク１４を押圧しその直交して隣り合う２辺を前記各位置決めピン２６ａ，２６ｂに接触させるエアシリンダ等のワーク押圧手段２７とで構成されている。そして、ワーク位置決め機構２５によってワーク１４を位置決めすると、ワーク載置台２０は、駆動モータ２４によって後方へ移動され、ワーク１４をカメラ１３の下方に位置させる。なお、一方の位置決めピン２６ａはＸ方向の位置決めを行い、他方の位置決めピン２６ｂはＹ方向の位置決めを行う。
【００２７】
前記ＴＶカメラ１３は、前記筐体２上に立設された２本の支柱２８間に支架されたガイドバー２９にＸ，Ｙ方向に移動自在に設けられ、撮影時に図示しない駆動モータによって移動されるように構成されている。ＴＶカメラ１３としては１台に限らず、複数台用いてワーク１４の各領域をそれぞれ撮像するようにしてもよい。このようにＴＶカメラ１３を複数台用いると、ワーク１４のサイズが大きく１台ではワーク１４全体を撮影することができない場合であっても、ワーク載置台２０を一回往復移動させるだけで、ワーク１４の表面全体を撮像することができ、撮像時間を短縮することができる。
【００２８】
前記印刷パターン外観検査装置１に検査前のワーク１４を供給する前記マガジン自動搬送装置３は、マガジン供給部３０、ワーク取出し部３１、ワーク供給部３２およびマガジン収納部３３を備え、マガジン収納部３３がワーク取出し部３１を挟んでマガジン供給部３０の前方に設けられ、ワーク供給部３２が前記ワーク取出し部３１の右側に設けられている。また、マガジン供給部３０、ワーク取出し部３１およびマガジン収納部３３は、Ｙ方向の同一直線上に一列に配列され、検査前または検査が終了したワーク１４を収納するマガジン３６を装置の前方側に直線的に搬送するようにしている。ワーク取出し部３１とワーク供給部３２はＸ方向の同一直線上に配列され、ワーク１４をＸ方向に直線的に搬送するようにしている。ワーク供給部３２の前後方向（Ｙ方向）の中心は、前記ワーク載置台２０の初期位置における前後方向の中心よりｄ（図２）だけ後方に変位している。これは、ワーク供給部３２から検査前のワーク１４を後述するワーク搬送返却機構９０によって搬送しワーク載置台２０上に載置した際にワーク１４の下面がＹ方向の位置決めピン２６ｂに接触しないようにするためである。
【００２９】
前記未検査のワーク１４は、マガジン３６内に所定枚数収納されている。このマガジン３６は、合成樹脂または金属によって左右の両面が開放する縦長の箱型に形成されることにより、図６に示すように底板３６ａ、上板３６ｂ、前板３６ｃおよび後板３６ｄとからなり、前板３６ｃと後板３６ｄの内面にワーク１４の端部を支持する複数の溝３７が所定の間隔をおいて形成され、これによってワーク１４を高さ方向に所定の間隔をおいて水平に収納している。また、上板３６ｂの中央には上方に向かって拡径するテーパ状のマガジン矯正用穴３８が形成されている。
【００３０】
図４、図５および図９において、前記マガジン供給部３０には、検査すべきワーク１４を収納した２個のマガジン３６が載置される載置台４０と、この載置台４０からマガジン３０を受取り前記ワーク取出し部３１に順次搬送する第１のマガジン搬送機構４１とを備えている。
【００３１】
前記載置台４０は、同一形状に形成されて左右方向に平行に対向する前後方向に長い２個のプレート４０Ａからなり、その上面にそれぞれ２つのマガジン設置部４２が長手方向に所定の間隔をおいて形成されている。マガジン設置部４２は逆台形状の凹部からなり、底面の長さがマガジン３６の底面の前後方向の長さと略等しく設定され、両端に設けた斜面４３によってマガジン３６を凹部内に案内し前後方向の位置決めを行うようにしている。２個のプレート４０Ａは図示しないフレームに固定され、外側面間の間隔Ｄ１がマガジン３６の底面の左右方向の幅と略等しく設定されている。
【００３２】
前記第１のマガジン搬送機構４１は、昇降自在でかつＹ方向に往復移動自在なマガジン搬送台４４と、このマガジン搬送台４４を昇降させる昇降用シリンダ４５と、マガジン搬送台４４をＹ方向に往復移動させる往復移動用シリンダ４６とで構成されている。
【００３３】
前記マガジン搬送台４４は、左右方向に平行に対向して配置された前後方向に長い２個のプレート４４Ａと、これらのプレート４４Ａの両端をそれぞれ連結する２個の連結板４４Ｂによって前後方向に長い矩形の枠状体に形成され、前記往復移動用シリンダ４６の可動体４６Ｂ上に固定されている。前記２個のプレート４４Ａは、前記載置台４０のプレート４０Ａと同一に形成されることにより、上面に逆台形状の凹部からなる２つのマガジン設置部４７が長手方向に所定の間隔をおいて形成されている。ただし、このプレート４４Ａの外側面間の間隔Ｄ２  は、前記プレート４０Ａの内側面間の間隔Ｄ３  より小さく設定されている。これはマガジン３６の受け渡しのためにマガジン搬送台４４を載置台４０の内部を通って昇降させるためである。
【００３４】
前記マガジン搬送台４４を昇降させる昇降用シリンダ４５としては、２ロッド方式のエアシリンダが用いられ、前記載置台４０の下方に前後方向に離間して２個設置されている。昇降用シリンダ４５のシリンダ本体４５Ａは、図示しないフレームに固定され、２本の可動ロッド４５Ｂの上面に前記マガジン搬送台４４が往復移動用シリンダ４６を介して設置されている。往復移動用シリンダ４６は、前記可動ロッド４５Ｂ上に固定された平板状のシリンダ本体４６Ａと、このシリンダ本体４６Ａ上に設けられＹ方向に往復移動される前記可動体４６Ｂとからなり、この可動体４６Ｂ上に前記マガジン搬送台４４が固定されている。このようなマガジン搬送台４４は、載置台４０と左右方向の中心が一致するように配設され載置台４０の下方に通常位置している。
【００３５】
このような第１のマガジン搬送機構４１によってマガジン３６をマガジン供給部３０からワーク取出し部３１に搬送する際には、昇降用シリンダ４５によってマガジン搬送台４４を往復移動用シリンダ４６と共に所定量上昇させる。マガジン搬送台４４は上昇すると載置台４０上のマガジン３６を下から押し上げて受取り、しかる後往復移動用シリンダ４６によってマガジン設置台４４をワーク取出し部３１まで移動させる。この場合、マガジン設置台４４は、図９に示すように１回の往復移動により載置台４０上の後端部Ｂに載置されているマガジン３６を後端側のマガジン設置部４７−１で載置台４０の前端部Ａに移動させ、前端部Ａに載置されているマガジン３６を前端側のマガジン設置部４７−２でワーク取出し部３１に搬送する。
【００３６】
図２、図５、図６および図９において、前記ワーク取出し部３１は、前記第１のマガジン搬送機構４１によって搬送されてきたマガジン３６が設置される昇降自在なマガジン設置台５０と、このマガジン３６内のワーク１４を一枚ずつ順次押し出して前記ワーク供給部３２に供給するワーク供給機構５１と、マガジン設置台５０を昇降させる図示しない昇降用シリンダとを備えている。
【００３７】
前記マガジン設置台５０は、前記載置台４０と同様に左右方向に平行に対向する前後方向に長い２個のプレート５０Ａによって構成され、前記載置台４０の前方に配置され、通常載置台４０と略同一高さに保持されている。また２つのプレート５０Ａの間隔は、前記プレート４０Ａの間隔Ｄ１  （図４）と略等しい。ただし、このプレート５０Ａは、図５に示すように上面に１つのマガジン設置部５２が設けられている点および図示しない昇降用シリンダによって昇降される点で前記載置台４０と異なっている。
【００３８】
前記マガジン搬送台４４からマガジン設置台５０にマガジン３６を受け渡すには、先ずマガジン搬送台４４をワーク取出し部３１に移動させて停止させる。この時、マガジン設置台５０はマガジン搬送台４４より下方に位置している。次に、マガジン設置台５０を上昇もしくはマガジン搬送台４４を下降させてマガジン搬送台４４上のマガジン３６をマガジン設置台５０に受け渡す。
【００３９】
前記ワーク供給機構５１としては、エアシリンダ等が用いられ、前記マガジン設置台５０を挟んでワーク供給部３２とは反対側に設けられている。このワーク供給機構５１は、マガジン３６内の最下段のワーク１４から順次排出してワーク供給部３２に供給し、ワーク１４が１枚排出される度にマガジン設置台５０を一定量下降させ、次のワークの排出を可能にする。
【００４０】
前記マガジン３６は、前記マガジン設置台５０上に設置されるとマガジン設置部５２によって位置決めされ前後方向の位置ずれが補正されるが、これだけでは不十分である。すなわち、マガジン３６が変形していると、ワーク１４の排出、再収納が円滑かつ確実に行われず、変形を矯正する必要がある。ここで、マガジン３６の変形とは、中心軸線５５（図６）の傾きや捻れによる変形を意味する。マガジン３６は左右の両面が開放する縦長の箱体に形成されているため、長期間使用していると中心軸線５５が傾いたりあるいは捻れが生じてくる。このような中心軸線５５の傾きや捻れが生じていると、図６に示すようにマガジン３６の底板３６ａをマガジン設置台５０のマガジン設置部５２によって正確に位置決めしていても、上板３６ｂは二点鎖線で示すように変位しているため、ワーク１４の出し入れ、特に検査済みのワーク１４をマガジン３６内に戻すとき、ワーク１４をマガジン３６に挿入することができなくなる。そのため、ワーク取出し部３１には、さらにマガジン３６を所定位置に位置決めすると同時にマガジン３６の変形を矯正する位置決め矯正機構５６が設けられている。
【００４１】
前記位置決め矯正機構５６は、図６に示すように前記マガジン設置台５０の上方に配設されたエアシリンダ６０を備えている。このエアシリンダ６０のシリンダ本体６１は、複数本の支柱６２の上端に水平に支架された取付プレート６３の上面中央に前記マガジン設置台５０と中心を一致させて下向きに取付けられることにより、可動ロッド６４がプレート６３の挿通孔６６を摺動自在に貫通し、その下端に截頭円錐形の押圧部材６５が一体的に設けられている。この押圧部材６５は、前記マガジン３６の上板３６ｂの中央に形成した前記マガジン矯正用穴３８と略同一の形状に形成されている。エアシリンダ６０の駆動により可動ロッド６４を下降させて押圧部材６５を前記マガジン矯正用穴３８に挿入していくと、マガジン矯正用穴３８と押圧部材６５のテーパ面どうしが接触して上板３６ｂを変位側とは反対側に移動させ、その中心線５５を可動ロッド６４の軸線と一致させる。したがって、マガジン３６の変形を確実に矯正することができる。
【００４２】
さらに、前記位置決め矯正機構５６は、マガジン３６の浮き上がりを防止する浮き上がり防止機構６７を備えている。この浮き上がり防止機構６７は、前記プレート６３に取付けられた複数個のエアシリンダ６８からなり、前記押圧部材６５が上板３６ｂを押圧してマガジン３６の変形を矯正した後に駆動して上板３６ｂの外周縁部を上方から押圧する。また、前記可動ロッド６４が上昇復帰して上板３６ｂの押圧状態を解除した後に上板３６ｂの押圧を解除する。このような浮き上がり防止機構６７によって上板３６ｂを図６に２点鎖線で示すように押圧すると、可動ロッド６４を上昇復帰させる際、前記押圧部材６５とマガジン矯正用穴３８のテーパ面どうしが互いに密着して離れ難い状態であったとしても、マガジン３６が浮き上がったりすることがなく、可動ロッド６４を上昇復帰させることができ、マガジン３６の位置ずれを防止することができる。
【００４３】
ここで、図６に示す実施の形態においてはマガジン３６の位置決め矯正機構５６として、可動ロッド６４の下端に円錐形の押圧部材６５を設け、この押圧部材６５をマガジン矯正用穴３８に嵌合するようにしたが、これに限らず例えば図７に示すように可動ロッド６４の下端に台形状の凹部６９を有する矯正プレート７０を取付け、この矯正プレート７０によってマガジン３６の上板３６ｂを上方から押圧するようにしてもよい。この場合、凹部６９の底面６９ａを上板３６ｂと略同一の大きさとし、斜面６９ｂによってマガジン３６の変形を矯正する。また、前記底面６９ａと上板３６ｂとの接触面積を小さくするために底面６９ａにさらに凹部７１を形成するとよい。このような矯正プレート７０を用いると、上板３６ｂにマガジン矯正用穴３８を設けたり、上記した浮き上がり防止機構６７を設ける必要がなく、位置決め矯正機構５６を簡素化することができる。
【００４４】
前記ワーク供給部３２は、ワーク１４が設置されるテーブル７５（図２、図８）と、ワーク１４をテーブル７５に位置決めする位置決め機構７６と、検査が終了したワーク１４をワーク取出し部３１に返却するワーク返却機構７７とを備えている。
【００４５】
前記テーブル７５は、図８に示すように断面形状がＬ字形で背中合わせに対向して前後に配置された同一形状からなる２個のテーブル構成部材８０によって構成され、その上面がワーク１４の載置面８１を形成している。載置面８１の幅Ｗはワーク１４の幅Ｗ０  より若干大きく設定されている（Ｗ＞Ｗ０  ）。なお、テーブル７５の前後方向（Ｙ方向）の中心は、上記した通り前記検査部６のワーク載置台２０の初期位置における前後方向の中心よりｄ（図２）だけ後方に変位している。
【００４６】
前記位置決め機構７６は、前記各テーブル構成部材８０の水平部８０Ａの上面に対向するように設置された２個のエアシリンダ８２を備え、その可動ロッド８３の先端には上端がテーブル構成部材８０の上方に延在しワーク１４を押圧する押圧板８４の下端が取付けられている。ワーク１４が載置面８１上に載置されると、２個のエアシリンダ８２が駆動して可動ロッド８３を前進させ、プレート８４をテーブル構成部材８０の垂直部８０Ｂの外側面に接触させる。このとき、ワーク１４が一方に変位していると、変位側のプレート８４がワーク１４を押圧してテーブル７５の中央側に移動させるため、ワーク１４を所定の許容範囲内でＹ方向に位置決めすることができる。この場合、載置面８１の幅Ｗをワーク１４の幅Ｗ０  より若干大きく設定すると共にプレート８４の移動を垂直部８０Ｂによって制限しているので、ワーク１４が載置面８１から突出して載置されても２つのプレート８４でワーク１４を挟持することがなく、ワーク１４の破損を防止することができる。
【００４７】
前記ワーク返却機構７７としては、  前記ワーク供給機構５１と同様にエアシリンダ等が用いられ、前記テーブル７５を挟んでワーク取出し部３１とは反対側に設けられている。
【００４８】
図２において、さらにマガジン自動搬送装置３は、検査前のワーク１４を前記ワーク供給部３２から前記検査部６に搬送すると共に検査が終了したワーク１４を前記検査部６からワーク供給部３２に返却するワーク搬送返却機構９０を備えている。
【００４９】
前記ワーク搬送返却機構９０は、前記ワーク供給部３２と検査部６の前方でかつこれら両部間にわたって延在するように設けられた左右方向に長いレール、バー等のガイド部材９１と、このガイド部材９１に左右方向に移動自在に設けられたスライダ９２と、このスライダ９２を往復移動させる駆動モータ９３および図示しないボールねじと、前記スライダ９２に搭載された第１、第２の吸着手段９４（９４Ａ，９４Ｂ）とで構成されている。
【００５０】
第１、第２の吸着手段９４Ａ，９４Ｂは、同一構造で図示しない真空ポンプにそれぞれ接続され、ワーク１４の搬送、返却時にワーク１４を吸引保持する複数個の吸着盤９５を備えている。第１の吸着手段９４Ａは、検査が終了したワーク１４を検査部６からワーク供給部３２に返却する際に用いられ、第２の吸着手段９４Ｂは検査前のワーク１４をワーク供給部３２から検査部６に搬送する際に用いられるもので、第１の吸着手段９４Ａの右側に配置されている。
【００５１】
このように第１、第２の吸着手段９４Ａ，９４Ｂを設けておくと、スライダ９２の往動作と復動作の各動作においてワーク１４を搬送することができ、ワーク１４の処理時間を短縮することができる。すなわち、今図２に示すようにワーク搬送返却機構９０が検査部６側に停止している状態より動作してワーク１４の搬送、返却を行うものとすると、先ず第１の吸着手段９４Ａでワーク載置台２０上の検査が終了したワーク１４を吸着保持してスライダ９２をワーク供給部３２の位置まで移動させ、第２の吸着手段９４Ｂをテーブル７５の真上に位置させる。次に、第２の吸着手段９４Ｂを下降させてテーブル７５上に載置されている検査前のワーク１４を吸着保持し、元の上方位置に復帰させる。次いで、スライダ９２を検査部６側に少し移動させて第１の吸着手段９４Ａを前記テーブル７５の真上に位置させた後、第１の吸着手段９４Ａを下降させて保持している検査済みのワーク１４をテーブル７５上に載置する。しかる後、スライダ９２を検査部６の位置まで移動させて第２の吸着手段９４Ｂをワーク載置台２０の真上に停止させる。そして、第２の吸着手段９４Ｂを下降させて保持している未検査のワーク１４をワーク載置台２０上に載置する。このように、ワーク搬送返却機構９０の１往復動作によってワーク供給部３２から未検査のワーク１４を検査部６に搬送し、検査部６から検査済みのワーク１４をワーク供給部３２に返却することができるので、ワーク搬送返却機構９０の動作に無駄がなく、ワーク処理を高速化させることができる。
【００５２】
なお、図２においては図面が煩雑になるのを避けるために吸着盤９５を便宜上検査部６より装置の前方側に位置させて示したが、実際はスライダ９２に設けられ検査部６の上方にまで延在するアームの先端に取付けられることによりワーク載置台２０の上方に位置し、エアシリンダによって昇降されるように構成されている。また、テーブル７５上に返却された検査が終了したワーク１４は上記したワーク返却機構７７によってワーク取出し部３１のマガジン３６内に直ちに収納される。そして、この収納が終了すると、マガジン３６を所定量下降させ、ワーク供給機構５１が動作してマガジン３６内の検査前のワーク１４を押出し、前記テーブル７５に供給する。
【００５３】
図２、図５および図９において、前記マガジン収納部３３は、検査が終了したワーク１４を収納した２個のマガジン３６が載置される載置台１００と、前記ワーク取出し部３１のマガジン設置台５０からマガジン３６を受取り前記載置台１００に受け渡すマガジン搬送台１０１と、このマガジン搬送台１０１を上下方向およびＹ方向に往復移動させる第２のマガジン搬送機構１０２を備えている。
【００５４】
前記第２のマガジン搬送機構１０２は、マガジン搬送台１０１を昇降させる昇降用シリンダ１０５と、Ｙ方向に往復移動させる往復移動用シリンダ１０６とで構成されている。なお、前記載置台１００、マガジン搬送台１０１および第２のマガジン搬送機構１０２は、図４に示したマガジン供給部３０の載置台４０、マガジン搬送台４４および第１のマガジン搬送機構４１と全く同一であるため、その詳細については説明を省略する。
【００５５】
ワーク取出し部３１のマガジン３６をマガジン収納部３３に収納する際には、往復移動用シリンダ１０６によってマガジン搬送台１０１をマガジン設置台５０の下方に移動させて停止する。次に、昇降用シリンダ１０５によってマガジン搬送台１０１を往復移動用シリンダ１０６と共に所定量上昇させると、マガジン搬送台１０１がマガジン設置台５０上のマガジン３６を下から押し上げて受取る。しかる後往復移動用シリンダ１０６によってマガジン搬送台１０１を上記とは反対方向に移動させて載置台１００の真上で停止する。次いで、昇降用シリンダ１０５によってマガジン搬送台１０１を所定量下降させると、マガジン３６は載置台１００上に載置される。この場合、マガジン搬送台１０１は、図９に示すように１回の往復移動によりマガジン設置台５０上に載置されているマガジン３６を載置台１００の後端部Ｂの後端側のマガジン設置部１１０−１で受け取って載置台１００の後端部Ｃに載置し、前端側のマガジン設置部１１０−２で前記載置台１００の後端部Ｃ上に載置されているマガジン３６を前端部Ｄに移送する。なお、このようなマガジン自動搬送装置３は、パターン外観検査装置１の左側に設置される筐体１１１を備え、この筐体１１１内に上記した各種構成部材、機構等を収納している。
【００５６】
このようなマガジン自動搬送装置３にあっては、第１、第２のマガジン搬送機構４１，１０２のマガジン搬送台４４，１０１をそれぞれ昇降および往復移動させる駆動源として、エアシリンダ４５，４６，１０５，１０６を用いているので、従来の駆動モータを用いた搬送装置に較べてボールねじ、減速歯車等を必要とせず、構造が簡単でしかも振動、騒音等を発することがなく、静粛にかつ円滑にマガジン３６を搬送することができる。
【００５７】
また、検査部６、マガジン供給部３０、ワーク取出し部３１、ワーク供給部３２およびマガジン収納部３３を同一平面上に設けているので、上記した先行技術１，２に較べて装置の高さを低くすることができる。さらに、ワーク１４をワーク供給部３２と検査部６との間で往復移動させるようにしているので、一方向から他方向に搬送するようにしたインライン方式に較べて装置の幅方向の寸法を小さくすることができる。したがって、装置の小型化を達成することができる。
【００５８】
また、ワーク搬送返却機構９０は第１、第２の吸着手段９４Ａ，９４Ｂを備え、ワーク供給部３２と検査部６との間で往復移動することにより、第１の吸着手段９４Ａで検査が終了したワーク１４を検査部６からワーク供給部３２に返却し、第２の吸着手段９４Ｂで検査前のワーク１４をワーク供給部３２から検査部６に搬送するようにしたので、ワーク搬送返却機構９０が空の状態で動作することがなく、ワーク１４の搬送を高速化することができる。
【００５９】
なお、上記した実施の形態においては、載置台４０，１００、マガジン搬送台４４，１０１およびマガジン設置台５０にマガジン３６を位置決めする位置決め部として、逆台形状の凹部からなるマガジン設置部４２，４７，５２をそれぞれ形成した例を示したが、これに限らず截頭円錐形の突起を設け、この突起をマガジン３６の下面に設けた円錐形の穴に嵌合するようにしてもよい。
また、本実施の形態では印刷パターン外観検査装置に適用した例を示したが、これに限らずリードフレームの検査、加工、半田付け等を行う装置にも用いることができる。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るマガジン自動搬送装置によれば、駆動源としてエアシリンダを用いているので、振動、騒音等が発生せず、マガジンを確実に搬送することができる。また、位置決め矯正機構を備えているので、マガジンの変形を矯正することができ、ワークの取出し、返却を確実に行うことができる。また、ワーク搬送返却機構は第１、第２の吸着手段を備えているので、ワークの高速搬送を可能にする。
さらに、本発明は、マガジン供給部、ワーク取出し部、ワーク供給部およびマガジン収納部を同一平面上に設けたので、装置の高さが低く、小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマガジン自動搬送装置を備えた印刷パターン外観検査装置の正面図である。
【図２】同検査装置の概略構成図である。
【図３】パターン検出方法を説明するための図である。
【図４】第１のマガジン搬送機構の斜視図である。
【図５】マガジン供給部、ワーク取出し部およびマガジン収納部の概略構成図である。
【図６】位置決め矯正機構を示す図である。
【図７】位置決め矯正機構の他の実施の形態を示す要部の断面図である。
【図８】ワークの位置決め機構を示す図である。
【図９】マガジンの搬送動作を説明するための図である。
【符号の説明】
１…パターン検査装置、２…筐体、３…マガジン搬送装置、６…検査部、１４…ワーク、３０…マガジン供給部、３１…ワーク取出し部、３２…ワーク供給部、３３…マガジン収納部、３６…マガジン、４０…載置台、４１…第１のマガジン搬送機構、４２…マガジン設置部、４４…マガジン搬送台、４５…昇降用シリンダ、４６…往復移動用シリンダ、５０…マガジン設置台、５１…ワーク供給機構、５２…マガジン設置部、５６…位置決め矯正機構、６０…エアシリンダ、６５…押圧部材、６７…浮き上がり防止機構、６８…エアシリンダ、７５…テーブル、７６…位置決め機構、７７…ワーク返却機構、９０…ワーク搬送返却機構、９１…ガイド部材、９２…スライダ、９３…駆動モータ、９４Ａ…第１の吸着手段、９４Ｂ…第２の吸着手段、１００…載置台、１０１…マガジン搬送台、１０２…マガジン搬送機構、１０５…昇降用エアシリンダ、１０６…往復移動用エアシリンダ。
【図１】
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【図８】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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