(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
該基板に設けられた外部接続電極と、
前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、前記外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、
前記外部接続電極と前記基板とが、前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、
前記外部接続配線が、前記傾斜面に沿うように配線され、
前記絶縁性部材は前記外部接続電極ごとに独立して形成され、
前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置の近傍において、前記外部接続配線が配線された方向が、前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置において前記基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、半導体装置。
【請求項２】
長方形からなる基板と、
該基板に設けられた外部接続電極と、
前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、前記外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、
前記外部接続電極と前記基板とが、前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、
前記外部接続配線が、前記傾斜面に沿うように配線され、
前記絶縁性部材は前記外部接続電極ごとに独立して形成され、
前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置の近傍において、前記外部接続配線が配線された方向が、前記長方形の対角線の交点と前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、半導体装置。
【請求項３】
少なくとも前記基板の４隅に位置する外部接続電極に接続する外部接続配線が、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記基板上に配線された前記外部接続配線の全てが、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記交差角が、４５°〜１３５°である、請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項６】
前記交差角が、６０°〜１２０°である、請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項７】
前記外部接続電極は、前記基板の外周近傍に配置された、請求項１〜６のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項８】
前記外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、
前記他の接続電極が設けられた他の基板と、
前記他の接続電極に一端が接続され、前記他の基板の前記他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とをさらに備えた、請求項１〜７のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項９】
前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置の近傍において、前記他の接続配線が配線された方向が、前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置において前記他の基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、請求項１〜８のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記他の基板は長方形に形成されており、
前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置の近傍において、前記他の接続配線が配線された方向が、前記長方形の対角線の交点と前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、請求項１〜８のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記基板が半導体基板である、請求項１〜１０のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記他の基板が半導体基板を実装する実装基板である、請求項８〜１１のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項１３】
半導体基板と、
該半導体基板に設けられた外部接続電極と、
前記半導体基板の前記外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、前記外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線と、
前記外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、
前記他の接続電極が設けられた実装基板と、
前記他の接続電極に一端が接続され、前記実装基板の前記他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とを備え、
前記外部接続電極と前記基板とが、前記基板の前記外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、
前記外部接続配線が、前記傾斜面に沿うように配線され、
前記絶縁性部材は前記外部接続電極ごとに独立して形成され、
前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置の近傍において、前記外部接続配線が配線された方向が、前記外部接続配線と前記外部接続電極とが接続される位置において前記基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有し、
前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置の近傍において、前記他の接続配線が配線された方向が、前記他の接続配線と前記他の接続電極とが接続される位置において前記実装基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有する、半導体装置。
【請求項１４】
前記実装基板が誘電体基板である、請求項１２または１３に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置に関し、特に、半導体基板を実装した後に半導体基板に加わる応力による配線の破断が防止された配線構造を有する半導体装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話ならびに携帯情報機器に代表されるように、電子機器の小型化および軽量化の要望が高まっているため、それに伴って半導体装置の小型化および高密度化が急速に進んでいる。この目的を達成するために、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）チップを直接回路基板上に搭載するベアチップ実装、あるいは、半導体装置の形状をＬＳＩチップの形状に極力近づけることによって小型化を図った、いわゆる、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）構造の半導体装置が提案されている。このＣＳＰ構造の半導体装置においては、ＬＳＩチップの電極配置において、従来から多く用いられているペリフェラル型電極配置を用いずに、再配線工程において多ピン化に有利なエリアアレイ型電極配置が採用されるようになってきている。
【０００３】
図１６には、従来のベアチップ実装に用いられる半導体装置の一例が示されている。図１６に示すように、この半導体装置１０９は、樹脂部材にモールドされていない半導体基板であるベアチップ１１９と複数の接続部１０８とによって構成されている。図１７に示すように、ベアチップ１１９は接続部１０８を介して実装基板１２１上の電極１２０に接続される。しかし、この構造においては、ベアチップ１１９と実装基板１２１との間の熱膨張係数の差によって生じる熱応力が過大であることにより、接続部１０８が損傷することがあるため、接続部１０８における信頼性が低いことが知られている。
【０００４】
そのため、一般には、図１８に示すように、半導体基板１１９の下面と実装基板１２１の上面との間の隙間に樹脂部材２２を充填（アンダーフィル）し、接続部１０８に生じる熱応力を緩和する構造が採用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記図１８を用いて説明した従来の半導体装置１１９は、ベアチップ並みの高密度化を実現し、かつ、ベアチップ１１９と実装基板１２１とを接続する接続部１０８に生じる熱応力を低減させて信頼性を向上させることを目的として提案された半導体装置であるが、以下のような問題点を有している。
【０００６】
上記の半導体装置の構造においては、ベアチップ１１９の下面と実装基板１２１の上面との間の隙間に樹脂部材１２２を充填すると、ベアチップ１１９の修繕、すなわち、リペア作業が非常に困難になる。また、図１８に示す半導体装置の構造は、樹脂の硬化工程の付加によるコストの上昇、および、ベアチップ１１９自体のハンドリング性の悪さ等の欠点も有している。そのため、図１８に示す半導体装置の実装構造は、小型化および高密度実装化が可能な構造であるにもかかわらず、その普及が妨げられている。
【０００７】
また、ベアチップ１１９を実装基板１２１に実装した後において、熱応力によって発生する歪みのために、外部接続電極となるはんだ接続部１０８と半導体基板上電極となるチップ電極とを接続する外部接続配線、および、実装基板１２１に設けられた実装基板電極１２０から引出される接続配線にクラックが生ずる不良例が報告されている。特に、半導体基板であるベアチップ１１９のはんだ接続部１０８（パッド）と外部接続配線との境界部分においてクラックが発生することに起因して半導体装置の外部接続配線が断線する頻度が高くなっている。
【０００８】
また、上記図１６に示す半導体装置１０９のような構造の場合、ベアチップ１１９上に外部接続電極をマトリックス状に配置させている。そのため、半導体基板上の電極であるチップ電極から実装基板に接続される部分である外部接続電極へ外部接続配線を引出す場合には、外部接続電極間の合間を縫って、高密度に外部接続配線を施さなければならない。したがって、外部接続配線の歪みに対する強度を確保するために、外部接続配線幅を大きくすると、回路間の信号漏れあるいはノイズが発生するというクロストーク等の問題が発生する。
【０００９】
今後、半導体基板上の電極ピッチがますます狭くなり、多ピン化ならびにチップサイズの小型化が進む傾向にあるため、外部接続配線間隔および外部接続配線幅がさらに小さくなることが予測される。そのため、はんだ接続部１０８の応力緩和だけにとどまらず、はんだ接続部１０８に接続される外部接続配線にかかる応力をも配慮した配線構造を有する半導体装置が求められている。言い換えれば、ベアチップ並みに外部接続配線の高密度化が可能であり、かつ、極力低コストで製造可能であり、さらに、パッケージ単体のみならず半導体装置を実装基板に実装した後においても信頼性の高い実装構造となる半導体装置が求められている。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、高密度な配線が可能であって、かつ、半導体装置を実装素基板に実装した後において、外部接続電極に接続する外部接続配線にクラックが発生することが防止された配線構造を有する半導体装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の１の局面による半導体装置は、基板と、この基板に設けられた外部接続電極と、基板の外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、外部接続電極と基板とが、基板の外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、外部接続配線が、傾斜面に沿うように配線され、絶縁性部材は外部接続電極ごとに独立して形成され、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置の近傍において、外部接続配線が配線された方向が、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置において基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有している。
【００１２】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。基板の熱膨張係数と、この基板が外部接続電極を介して電気的に接続されるように設置される他の基板の熱膨張係数とが異なる場合、基板が他の基板に実装された後においては、外部接続電極の近傍の外部接続配線は、基板と他の基板との熱膨張の大きさの差に相当する歪み応力を受けることになる。本発明においては、外部接続電極の近傍においては、外部接続配線が配線された方向は熱応力によって伸縮する方向と交差角を有するため、すなわち、ずれているため、外部接続配線が配線された方向と基板が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、外部接続電極の近傍の外部接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、外部接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、外部接続配線の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の半導体装置とすることができる。また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成されているため、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、１回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【００１３】
本発明の他の局面による半導体装置は、長方形からなる基板と、この基板に設けられた外部接続電極と、基板の外部接続電極が設けられた面に沿うように配線され、外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線とを備え、外部接続電極と基板とが、基板の外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、外部接続配線が、傾斜面に沿うように配線され、絶縁性部材は外部接続電極ごとに独立して形成され、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置の近傍において、外部接続配線が配線された方向が、長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有している。
【００１４】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。１の局面の半導体装置の場合と同様に、基板の熱膨張係数と、この基板が外部接続電極を介して電気的に接続されるように設置される他の基板の熱膨張係数とが異なる場合、基板が他の基板に実装された後においては、外部接続電極の近傍の外部接続配線は、基板と他の基板との熱膨張の大きさの差に相当する歪み応力を受けることになる。本発明においては、外部接続電極の近傍においては、外部接続配線が配線された方向は、基板の外周の長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して交差角を有するため、すなわち、ずれているため、外部接続配線が配線された方向と基板の外周の長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向とが一致する場合に比較して、外部接続電極の近傍の外部接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、外部接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、外部接続配線の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の半導体装置とすることができる。また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成されているため、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、１回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【００１５】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、また、少なくとも基板の４隅に位置する外部接続電極に接続する外部接続配線が、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有していることが好ましい。このような構造にすることにより、実装後において熱応力による伸縮を最も受け易い４隅の外部接続電極と外部接続配線との間の接続の信頼性が向上する。
【００１６】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、また、基板上に配線された外部接続配線の全てが、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有していることが好ましい。このような構造にすることにより、外部接続電極と外部接続配線との接続部全てにおいて外部接続配線に生じる歪み応力が小さくなるため、外部接続配線全ての損傷の発生が低減されることにより、半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【００１７】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、また、交差角が、４５°〜１３５°であることが好ましい。このような構造にすることにより、外部接続配線の断線を防止することができるとともに、外部接続配線をできる限り短い距離で配線することも可能となる。
【００１８】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、さらに、交差角が、６０°〜１２０°であることが好ましい。このような構造にすることにより、外部接続電極をできる限り短い距離で配線することを可能にしつつ、外部接続配線が断線する可能性をさらに低減することができる。
【００１９】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、また、外部接続電極は基板の外周近傍に配置されていてもよい。このような構造にすることにより、基板が他の基板に接続された後において、基板の中心近傍に接続電極が設けられた場合に比較して、基板の主表面の中心軸周りに加えられた捩じりに対する外部接続電極部の強度が大きくなる。
【００２１】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、また、外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、他の接続電極が設けられた他の基板と、他の接続電極に一端が接続され、他の基板の他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とをさらに備えていてもよい。
【００２２】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、また、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置の近傍において、他の接続配線が配線された方向が、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置において他の基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有していてもよい。
【００２３】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。他の接続電極の近傍においては、他の接続配線が配線された方向は熱応力によって他の基板が伸縮する方向と交差角を有するため、すなわち、ずれているため、他の接続配線が配線された方向と他の基板が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、他の接続電極の近傍の他の接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、他の接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。
【００２４】
本発明の１または他の局面の半導体装置は、他の基板は長方形に形成されており、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置の近傍において、他の接続配線が配線された方向が、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置において他の基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°小さい交差角を有していてもよい。
【００２５】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。他の接続電極の近傍においては、他の接続配線が配線された方向は、他の基板の外周の長方形の対角線の交点と他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して交差角を有するため、すなわち、ずれているため、他の接続配線が配線された方向と他の基板の外周の長方形の対角線の交点と他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向とが一致する場合に比較して、他の接続電極の近傍の他の接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、他の接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。
【００２６】
また、本発明の１または他の局面の半導体装置は、基板が半導体基板であってもよい。
【００２７】
また、本発明の１または他の局面の半導体装置は、他の基板が半導体基板を実装する実装基板であってもよい。
【００２８】
本発明のさらに他の局面の半導体装置は、半導体基板と、この半導体基板に設けられた外部接続電極と、半導体基板の外部接電極が設けられた面に沿うように配線され、外部接続電極に電気的に接続された外部接続配線と、外部接続電極に電気的に接続された他の接続電極と、他の接続電極が設けられた実装基板と、他の接続電極に一端が接続され、実装基板の他の接続電極が設けられた面に沿うように配線された他の接続配線とを備え、外部接続電極と基板とが、基板の外部接続電極が設けられた面に対して傾斜面を有する絶縁性部材を介して設けられ、外部接続配線が、傾斜面に沿うように配線され、絶縁性部材は外部接続電極ごとに独立して形成され、外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置の近傍において、外部接続配線が配線された方向が、長方形の対角線の交点と外部接続配線と外部接続電極とが接続される位置とを結ぶ方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有し、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置の近傍において、他の接続配線が配線された方向が、他の接続配線と他の接続電極とが接続される位置において実装基板が熱応力により伸縮する方向に対して、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有している。
【００２９】
このような構造にすることにより、以下のような効果がある。他の接続電極の近傍においては、他の接続配線が配線された方向は熱応力によって実装基板が伸縮する方向と交差角を有するため、すなわち、ずれているため、他の接続配線が配線された方向と実装基板が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、他の接続電極の近傍の他の接続配線に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、他の接続配線は歪み応力による悪影響が緩和されるため、半導体基板を実装基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成されているため、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、１回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【００３０】
本発明の１の局面、他の局面またはさらに他の局面の半導体装置は、実装基板が誘電体基板であってもよい。
【００３１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
【００３２】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１の半導体装置の構造およびその製造方法を図１〜図６を用いて説明する。まず、図１に示す半導体装置の平面図および図２に示す半導体装置の断面図を用いて、本実施の形態における半導体装置の構造を説明する。
【００３３】
図１に示す個片化された半導体基板１の個片化前の断面構造を示す図２から分かるように、本実施の形態の半導体装置９は、複数の個片化される領域からなる半導体基板１と、半導体基板１上に形成された半導体基板上電極２と、半導体基板１上に形成された絶縁膜３と、外部接続電極が配置される位置に形成される樹脂部材５と、再配線パターン６と、再配線パターン６を保護する保護膜７と、外部接続電極８とから構成されている。なお、各半導体基板２の境界には、ダイシングライン４が記載されている。
【００３４】
本実施の形態の半導体装置においては、図２に示すように、それぞれ独立して形成される低弾性の樹脂部材５を外部接続電極８の直下に配置することによって、半導体装置９が実装基板に実装された後に熱履歴が生じたときに、半導体装置９と実装基板との熱膨張率の相違により発生する熱応力が外部接続電極８に加わった場合にも、樹脂部材５によってその熱応力が緩和されるため、半導体装置９の実装の信頼性が向上している。
【００３５】
次に、上記本実施の形態の半導体装置の構造をより具体的に説明する。本実施の形態の半導体装置においては、図１に示すように、長方形の半導体基板１の主表面上には半導体基板上電極２が設けられている。また、半導体基板１の上には、半導体基板上電極２に一端が接続され、かつ、半導体基板上電極２の上面から半導体基板１の主表面に沿うように形成された本発明の外部接続配線を構成する再配線パターン６が配線されている。再配線パターン６の他端は、外部接続電極８に電気的に接続されている。
【００３６】
この外部接続電極８は、半導体基板１の外周近傍に配置され、半導体装置９が実装基板に実装された後においては、図１５を用いて後述する実装基板２１の実装基板電極８８と接続されることになる。これにより、半導体装置９が実装基板２１に実装された後において、半導体基板１の中心近傍に外部接続電極８が設けられた場合に比較して、半導体基板１の主表面の中心軸周りに加えられた捩じりに対する外部接続電極８部の強度が大きくなる。
【００３７】
本実施の形態の半導体装置の配線構造においては、図１から分かるように、再配線パターン６と外部接続電極８とが接続される位置の近傍において再配線パターン６が配線された方向が、再配線パターン６と外部接続電極８とが接続される位置において半導体基板１が熱応力により伸縮する方向に対して交差角（略４５°または略９０°）を有するような構造となっている。
【００３８】
言い換えれば、本実施の形態の半導体装置の配線構造においては、再配線パターン６と外部接続電極８とが接続される位置の近傍において再配線パターン６が配線された方向が、長方形の対角線の交点１１と再配線パターン６と外部接続電極８とが接続される位置とを結ぶ方向、すなわち、図１において矢印１２で示す方向に対して交差角（略４５°または略９０°）を有するような配線構造となっている。本実施の形態においては、交差角が略４５°または略９０°の場合を示したが、４５°または９０°に限らず、０°よりも大きく１８０°よりも小さい角度であれば、どのような交差角であってもよい。
【００３９】
また、本実施の形態の半導体装置においては、半導体基板１上に配線された再配線パターン６の全てが上記した交差角を有する外部接続配線構造となっている。その交差角は、４５°〜１３５°であることが好ましい。さらに、交差角は、６０°〜１２０°であればより好ましい。これは、上記交差角が９０°に近づくほど外部接続配線８が配線された方向と半導体基板１が歪む方向とがずれるためである。また、交差角に一定の範囲をもたせているのは、９０°のみに限定すると再配線パターン６をできる限り短い距離で配線することができなくなるためである。
【００４０】
また、外部接続電極８と再配線パターン６とは、外部接続電極８と再配線パターン６との間の相互拡散を抑制する導電性部材、たとえば、ニッケルからなるバリアメタル膜を介して電気的に接続されていてもよい。これにより、外部接続電極８と再配線パターン６との間の相互拡散が抑制されるため、外部接続電極８と外部接続配線を構成する再配線パターン６との間のコンタクト抵抗が小さくなることにより、外部接続電極８近傍での電気伝導性の向上が図られている。
【００４１】
また、図２に示すように、半導体基板１上面には絶縁膜３が形成されている。この絶縁膜３の上面には半導体基板１の主表面に対して傾斜面を有する台状の樹脂部材５が形成されている。これにより、外部接続電極８と半導体基板１とは、樹脂部材５を介して設けられることになる。また、再配線パターン６は、樹脂５の傾斜面に沿うように配線されている。これにより、再配線パターン６と外部接続電極８との接続部近傍の再配線パターン６が比較的なめらかな状態となっている。
【００４２】
また、この再配線パターン６の少なくとも一部においては、２種類以上の材質からなる多層構造の配線パターンとなっている。そのため、加工性が良好な配線と導電性が良好な配線とを組合わせた配線構造等とすることも可能となる。
【００４３】
さらに、半導体基板１、絶縁膜３、樹脂部材５、再配線パターン６および外部接続電極８の表面の一部を覆う保護膜７が形成されている。これにより、半導体基板１、半導体基板上電極２、絶縁膜３、樹脂５、再配線パターン６および外部接続電極８の表面の一部が損傷することが防止されている。
【００４４】
本実施の半導体装置の配線構造においては、上記のような配線構造にすることにより、以下のような効果がある。
【００４５】
半導体基板１の熱膨張係数と、実装基板２１の熱膨張係数とが異なる場合、半導体基板１が実装基板２１に実装された後においては、外部接続電極８の近傍の再配線パターン６は、半導体基板１と実装基板２１との熱膨張の大きさの差に相当する歪み応力を受けることになる。
【００４６】
本実施の形態の再配線パターン６の構造は、外部接続電極８の近傍においては、外部接続配線８が配線された方向は熱応力によって伸縮する方向と交差角を有する、すなわち、長方形の対角線の交点と再配線パターン６と外部接続電極８とが接続される位置とを結ぶ方向とがずれている。そのため、再配線パターン６が配線された方向と半導体基板１が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、外部接続電極８の近傍の再配線パターン６に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、再配線パターン６は歪み応力による悪影響が緩和されるため、半導体基板１を実装基板２１に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。
【００４７】
また、外部接続電極８と再配線パターン６との接続部全ての近傍において、上記のような配線構造となっているため、全ての再続配線パターン６に生じる歪み応力が小さくなる。そのため、再配線パターン６全ての接続部近傍における歪みに起因した損傷の発生が低減される。それにより、半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【００４８】
次に、上記の構造を有する本実施の形態の半導体装置の製造方法を説明する。図２〜図６においては、個片化前の半導体装置において、外部接続電極８を通る線で切ったときの部分断面図が示されている。本実施の半導体装置の製造方法においては、まず、図３に示すように、半導体基板１上にアルミニウムからなる半導体基板上電極２を形成する。その後、半導体基板電極２が形成されている領域以外の領域には絶縁膜３を形成する。この絶縁膜３は、いわゆる前半工程において形成されている場合と形成されていない場合とがあるが、たとえば、半導体基板１上の主表面の全面にポリイミド等の樹脂材料をスピンコート等で塗り付けて絶縁膜を半導体基板１の主表面の全面に形成した後、フォトリソグラフィなどの手段により半導体基板上電極２が形成される位置の絶縁膜に開口処理を施す方法によって形成される。
【００４９】
次に、図４に示すように、半導体基板１上に形成された絶縁膜３の上の外部接続電極８を形成すべき位置に樹脂部材５を形成する。この樹脂部材５は、絶縁膜３および再配線パターン６との密着性に優れた材料が望ましい。一例として、エポキシ樹脂、シリコン系樹脂、ゴム系樹脂などが挙げられる。特に、これらの材料には限定されないが、実装後の応力緩和の効果に優れている弾性率の低い樹脂であればより好ましい。この樹脂部材５の形成方法としては、特に限定しないが、たとえば、外部接続電極８のピッチが０．８ｍｍである場合、直径０．５ｍｍφ程度の突起を０．１ｍｍ厚程度の金属製ステンシルを用いてスクリーン印刷により形成する方法が用いられる。
【００５０】
上記の樹脂部材５は、上記スクリーン印刷法等によって、外部接続電極８が形成される位置にのみそれぞれ独立して形成されれば、半導体基板１を実施基板１０に実装した後に生じる熱応力の緩和を効果的に実現することが可能となる。
【００５１】
次に、図５に示すように、半導体基板上電極２の上面から外部接続電極８が形成される樹脂部材５の上面まで再配線パターン６を形成する。この再配線パターン６の形成方法は、めっき法が一般に用いられる。それは、再配線パターン６に、たとえば、銅（Ｃｕ）の電解めっきを施すと、配線パターン６の電気抵抗を小さくすることができ、再配線パターン６においての電圧降下、発熱または信号の遅延等を防ぐことができるという利点があるためである。
【００５２】
さらに、本実施の形態の樹脂部材５は傾斜面を有する樹脂部材であるため、傾斜面に沿うように再配線パターン６を形成することができる。したがって、一度の工程で再配線パターン６を形成することができるため、製造工程が簡略化されることにより、生産性を向上させることができる。
【００５３】
また、再配線パターン６の形成時には、半導体基板上電極２部において、銅（Ｃｕ）と外部接続電極８であるはんだ接続部との間の相互拡散を抑えるため、いわゆる、バリアメタル層を形成する。バリアメタル層を形成する材質として、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）が用いられる。ニッケルを用いた場合は、はんだとの濡れ性が問題になるため、ニッケルの上に、たとえば、金（Ａｕ）めっきが施される。めっきの方法は、無電解めっき法を用いる。それは、ニッケルおよび金のめっき工程を１つの層で行なうことができるという利点があるためである。
【００５４】
上記された再配線パターン６は、図１に示されるように、半導体基板１の主表面上に配線される。図１において、点線１０は長方形の半導体基板１の対角線の交点１１と外部接続電極８とを結ぶ線であり、矢印１２は外部接続電極８それぞれの近傍で半導体基板１の主表面に生じる歪の方向を示している。半導体装置を実装基板に実装した後で熱サイクル履歴が加えられると、半導体基板１（熱膨張係数２ｐｐｍ／℃〜４ｐｐｍ／℃）と実装基板２１（熱膨張係数１０ｐｐｍ／℃〜２０ｐｐｍ／℃）との間には熱膨張係数に差があるため、実装基板の熱膨張に対して半導体基板の熱膨張が小さく、外部接続電極８近傍において歪が生じる。この結果、熱膨張方向つまり矢印１２で示す方向へ熱歪応力が発生する。
【００５５】
この熱歪応力のために、後述する図１３のシミュレーションモデルの結果を考慮すると、矢印１２が示す歪が生じる方向へ再配線パターン６を配線する場合、再配線パターン６が受ける熱歪応力が大きくなるため、再配線パターン６が断線するという不都合な事態が生じると考えられる。そのため、再配線パターン６を矢印１２が示す歪が生じる方向を避けて外部接続電極８から引出すように配線することが好ましいと推定される。最も効果的な配線方法は、歪方向、すなわち、図１において矢印１２が示す方法と直角をなす方向に再配線パターン６を引出す配線方法である。これによれば、熱歪応力の悪影響を最も受けにくくなる。ただし、歪方向に対して直角の方向に再配線パターン６を引出すことだけに執着して、外部接続電極８と半導体基板上電極６との間の再配線パターン６を長くすると、再配線パターン６が冗長となった分だけ無駄な電気抵抗となってしまう。そこで、再配線パターン６を設計する際には、再配線パターン６を外部接続電極８から引出す側において、熱歪が生じる方向を避けた方向、好ましくは、図１３のシュミレーションモデルの歪発生状況から考えて、歪が生じるＸ軸方向に対して４５°〜１３５°までの交差角を有する方向の範囲で再配線パターン６を引出すことが好ましいと考えられる。
【００５６】
次に、図６に示すように、再配線パターン６および半導体装置９の半導体基板上電極２がある面を保護する保護膜７を形成する。この保護膜７は、たとえば、印刷法や感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィ法によって形成される。フォトリソグラフィ法による場合には、感光性樹脂を用いてスピンコート等で保護膜を半導体基板１全面を覆うように形成した後、全面に形成された保護膜のうち外部接続電極８を形成する箇所のみに開口を形成するための処理が施される。
【００５７】
次に、図２に示すように、樹脂部材５の上に外部接続電極８を形成する。この外部接続電極８は、たとえば、錫／鉛共性合金をベースとするボールがフラックスとともに樹脂部材５上の再配線パターン６に載せられた後、リフロー法を用いることにより形成される。ボールの材質としては錫／鉛に限定されず、錫／銀／銅などの、鉛のフリーはんだによるボールであってもよい。
【００５８】
最後に、半導体基板１に設けられたダイシングライン４に沿って切断し、半導体基板１を個片化して、図２に示すような半導体装置９が完成する。なお、図２〜図６を用いて説明した製造工程においては、すべてウェハプロセスで行なうことができ、かつ、安価なプロセスである印刷法を極力用いているため、半導体装置を低いコストで製造でき、熱応力を十分に緩和する構造を提供することができる。
【００５９】
以上説明したように、本実施の形態における半導体装置によれば、外部接続電極８が形成される位置に形成された樹脂部材５によって、半導体基板１を実装基板２１に実装した後の熱応力を緩和することが可能になるだけでなく、外部接続電極８に電気的に接続される再配線パターン６を、歪が生じる方向を避けて引出すことにより、再配線パターン６にかかる応力を低減し、再配線パターン６の断線不良をなくすことが可能となる。
【００６０】
上記本実施の形態の半導体装置を実装した後に熱応力が発生したときの外部接続電極近傍に生じる歪みの状態を、図１２に示すはんだ接続部のモデルを用いて説明する。図１２には、１つのはんだ接続部の半割り構造のモデルが示されている。特願平１１−２５８４６０号に記載の半導体装置をもとに考えた、はんだ接続部１６直下に応力緩和を目的とした樹脂層１７が介在するモデルである。このモデルにおいては、特願平１１−２５８４６０号に記載の実施の形態と同様に、印刷法を用いて樹脂層１７を形成したときの状態を考慮して、樹脂層１７は「液滴形状」であると設定した。
【００６１】
上記のモデルで、はんだ接続部１６の半導体基板１５と接続される面、すなわち、樹脂層１７の最上面をＸ方向に１７．５μｍだけ強制変位させた場合に相当する弾性歪みの分布を求めた。この１７．５μｍという値は、１６ｍｍ角チップの中央、すなわち、対角線の交点から最も遠いはんだ接続部において、半導体基板１を実施基板１０に実装した後に１６５℃（＝１２５℃−（−４０℃）の温度差が生じた場合に半導体基板１と実装基板２１との間に生じる歪みの一方向の長さの差に該当する。また、−４０℃から１２５℃までの１６５℃の温度差は、実装信頼性を保証するために行なう信頼性試験の温度サイクル条件である。
【００６２】
また、図１３には、モデルを強制変位させた場合に、はんだ接続部１６の周辺の保護膜１８に生じる相当弾性歪シミュレーションの結果が示されている。これによると、モデルの中立点から変位方向に歪が発生し、逆に変位方向と直角をなす方向には、歪がほとんど発生していない。この結果より、再配線を引出す方向としては、変位方向、すなわち、図１２におけるＸ軸方向と９０°の角度をなす方向が熱応力の影響を最も受けにくい最適方向であることが分かる。このことから、再配線パターン６を引出す方向と、半導体基板１および実装基板が熱膨張による伸縮に応じて変位する方向との交差角の角度が小さくなるほど、熱応力の影響をより大きく受けるといえる。したがって、再配線パターン６を引出す方向と、半導体基板１および実施基板１０が歪む方向とがなす交差角の角度が０°〜４５°までの範囲においては、接続部１６は歪みによる大きな悪影響を受けると推定される。
【００６３】
本実施の形態の半導体装置においては、半導体装置９を実装基板２１に実装した後に熱が加えられると、実装基板２１の熱膨張係数が１０〜２０ｐｐｍ／℃であるのに対して、半導体基板１の熱膨張係数が２〜４ｐｐｍ／℃であるため、半導体基板１の熱膨張は実装基板２１の熱膨張に対して小さい。すなわち、外部接続接続電極８には外側へ向う熱応力がかかることになる。したがって、外部接続電極８近傍の再配線パターン６においては、図２に示す半導体基板１の中心１１から外部接続電極８へ向う方向に歪が発生することになる。このことから、上記したように、交差角が、４５°〜１３５°であることが好ましく、さらに、６０°〜１２０°であればより好ましいと判断される。
【００６４】
また、応力の影響を最も受ける位置である少なくとも４隅の外部接続電極８に接続する再配線パターン６を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましく、さらに、全ての外部接続電極８に接続する再配線パターン６を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましい。
【００６５】
（実施の形態２）
次に、図７〜図１１を用いて本発明の実施の形態２における半導体装置の構造および製造方法を説明する。まず、本実施の形態の半導体装置の構造を図７を用いて説明する。本実施の形態の半導体装置においては、長方形の半導体基板１の主表面上には絶縁膜３が形成され、この絶縁膜３が形成されている以外の領域には半導体基板上電極２が設けられている。半導体基板上電極２および絶縁膜３の上には、半導体基板上電極２の上面に一端が電気的に接続され、半導体基板上電極２から半導体基板１の主表面に沿うように形成された本発明の外部接続配線の一部を構成する再配線パターン６が設けられている。再配線パターン６の他端は、本発明の外部接続配線の一部を構成する導電性の埋込み部材１４に接続されることによって外部接続電極８に電気的に接続されている。また、半導体基板１の主表面、半導体基板上電極２、絶縁膜３、再配線パターン６、埋込み部材１４を覆うように樹脂層１３ｂが形成されている。
【００６６】
次に、本実施の形態の半導体装置の製造方法を図７〜図１１を用いて説明する。図７〜図１１には、本発明の実施の形態２における半導体装置の製造方法が示されている。本実施の形態の半導体装置の製造方法においては、実施の形態１において図２〜図６を用いて示した半導体装置の製造方法と比較して再配線パターン６の形成方法が異なる。
【００６７】
本実施の形態の半導体装置の製造方法においては、まず、図８に示すように、実施の形態１において図３を用いて示した製造工程と同じ方法で半導体基板１上の絶縁膜３および半導体基板上電極２を形成する。その後、半導体基板電極２の上面から外部接続電極８が形成される位置の直下の絶縁膜３上の位置まで再配線パターン６を形成する。再配線パターン６は、実施の形態１において図５を用いて示した製造工程と同様の方法を用いて形成する。再配線パターン６を引出す方向については、実施の形態１において図１を用いて示した方向と同様である。
【００６８】
次に、図９に示すように、半導体基板１上の全面に樹脂層を形成した後、再配線パターン６に接続するコンタクトホールを形成して、樹脂層１３ａを形成する。
【００６９】
次に、図９に示した工程で形成した樹脂層１３ａのコンタクトホールの表面にめっき処理を施した後、コンタクトホールを埋込むように穴埋め部材１４を形成する。穴埋め部材１４の材質としては、たとえば、銅やニッケルなどの材料を用いる。その後、図１０に示すように、樹脂層１３ａを除去する。
【００７０】
次に、図１１に示すように、半導体基板１上の再配線パターン６等の保護のための樹脂層１３ｂを形成する。次に、図７に示すように、実施の形態１で図２を用いて示した製造工程と同様の方法で外部接続電極８の形成を行なう。その後、実施の形態１の半導体装置の製造方法と同様に、半導体基板１を個片化させるために、半導体基板１をダイシングライン４に沿って切断する。これにより、本実施の形態の半導体装置が完成する。
【００７１】
本実施の形態の半導体装置の再配線パターン６の構造においても、平面構造においては、実施の形態１において図１を用いて示した配線構造と同様の配線構造であるため、半導体基板を実装基板に実装した後に生じる熱応力に起因する歪みによる再配線パターン６の断線が防止された配線構造を有する半導体装置となる。
【００７２】
なお、上記実施の形態１、２に記載した半導体装置９および実装基板２１は、半導体基板と半導体基板を実装したセラミックスなどの誘電体基板とから構成され、さらに、この誘電体基板を実装する第３の基板に設置されていてもよい。
【００７３】
（実施の形態３）
次に、図１４および図１５を用いて本発明の実施の形態３における半導体装置を実装する実装基板２１について説明する。なお、本実施の形態の半導体装置および実装基板は、図１４に示すように、長方形の対角線の交点を共通とするように重ねて設置される。
【００７４】
まず、本実施の形態の半導体装置を実装する実装基板の構造について説明する。実施の形態１および２に示した半導体装置９が実装された後においては、外部接続電極８が、図１５に示す略長方形からなる実装基板２１上に設けられた実施基板接続電極８８に接続されることになる。この実装基板２１の主表面にも、実装基板電極８８に一端が接続され、実装基板２１の主表面に沿うように形成された実装基板接続配線６６が配線されている。
【００７５】
本実施の形態の半導体装置の実装基板においては、実施の形態１および２で示した半導体装置と同様に、半導体基板１を実施基板１０に実装した後の熱履歴によってはんだ接続部に熱応力が加わった場合には、半導体基板１側だけでなく、実装基板２１側の実装基板電極部８８にも歪応力が加わる。
【００７６】
そのため、本実施の形態の実装基板接続配線６６の構造においては、上記実施の形態１および２で示した半導体装置の外部接続配線の構造と同様に、実装基板接続配線６６と実装基板接続電極８８とが接続される位置の近傍において実装基板接続配線６６が配線された方向が、実装基板接続配線６６と実装基板接続電極８８とが接続される位置において実装基板２１が熱応力により伸縮する方向に対して交差角（略４５°または略９０°）を有するような配線構造となっている。
【００７７】
言い換えれば、実装基板接続配線６６と実装基板接続電極８８とが接続される位置の近傍において実装基板接続配線６６が配線された方向が、実装基板２１の外周が形成する長方形の対角線の交点と実装基板接続配線６６と実装基板接続電極８８とが接続される位置とを結ぶ方向、すなわち、図１５において矢印１２で示す方向に対して交差角（略４５°または略９０°）を有するような配線構造となっている。
【００７８】
本実施の形態においては、交差角が略４５°または略９０°の場合を示したが、４５°または９０°に限らず、０°よりも大きく１８０°よりも小さい角度であれば、どのような交差角であってもよい。
【００７９】
このような構造にすることにより、上記半導体基板１を実装基板２１に実装した場合には以下の効果がある。本実施の形態の実装基板においては、実装接続電極８８の近傍においては、実装基板接続配線６６が配線された方向は熱応力によって伸縮する方向と交差角を有する、すなわち、ずれている。そのため、上記のような実装基板接続配線６６の構造においては、実装基板接続配線６６が配線された方向と実装基板２１が熱応力によって伸縮する方向とが一致する場合に比較して、実装基板接続電極８８の近傍の実装基板接続配線６６に生じる歪み応力は小さくなる。
【００８０】
言い換えれば、実装基板接続配線６６が配線された方向と実装基板２１の外周の長方形の対角線の交点と実装基板接続配線６６と実装基板接続電極８８とが接続される位置とを結ぶ方向とが一致する場合に比較して、実装基板接続電極８８の近傍の実装基板接続配線６６に生じる歪み応力は小さくなる。その結果、実装基板接続配線６６は歪み応力による悪影響が緩和されるため、実装基板２１を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性が向上する。また、実装基板接続配線６６の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の実装基板となる。
【００８１】
次に、半導体装置を実装する実装基板の製造方法について説明する。本発明の実装基板の接続配線としての実装基板接続配線６６の形成方法は、実施の形態１および２で示した再配線パターン６の形成方法と同様に、めっき法により、銅またはニッケル等の材料を用いる方法で形成する。たとえば、銅（Ｃｕ）の電解めっきを施すと、実装基板接続配線６６の電気抵抗を小さく抑えることかできるため、電圧降下、発熱、または、信号の遅延等を防ぐことができる。
【００８２】
また、実装基板接続配線６６を形成した後には、銅と実装基板接続電極８８であるはんだとの間の相互拡散を抑えるための、いわゆる、バリアメタル層を形成する。このバリアメタル層の材質としては、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）が用いられる。ニッケルとはんだとは濡れ性が問題になるため、ニッケルの上には、たとえば、金（Ａｕ）めっきが施される。
【００８３】
なお、本実施の形態においても上記交差角は４５°〜１３５°が望ましく、さらには、６０°〜１２０°が望ましい。また、応力の影響を最も受ける位置である少なくとも４隅の実装基板接続電極８８に接続する実装基板接続配線６６を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましく、さらに、全て実装基板接続電極８８に接続する実装基板接続配線６６を、上述のような交差角を有するように配線することが望ましい。また、本実施の形態では実装基板２１に接続する場合について説明したが、本実施の形態は実装基板２１に接続する実装基板接続電極８８の配線方向に特徴があるものであり、実装する半導体装置は実施の形態１，２に記載の半導体装置９に限るものではない。
【００８４】
また、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００８５】
【発明の効果】
本発明の半導体装置によれば、上記した交差角を有するような構造であるため、半導体装置を実装基板に実装した後に熱履歴が加えられた場合において、たとえば、はんだ接続部により形成される外部接続電極近傍の外部接続配線に熱歪が生じた場合に、外部接続電極から引出される外部接続配線にかかる応力を低減することができるため、外部接続配線の断線を防止することができる。したがって、半導体装置を実装基板に実装した後の半導体装置の信頼性を向上させることができる。また、外部接続配線の幅を大きくすることなく歪み応力による悪影響を防止することができるため、高密度な配線構造の半導体装置とすることができる。
【００８６】
また、少なくとも基板の４隅に位置する外部接続電極に接続する外部接続配線が、０°より大きく１８０°より小さい交差角を有しているため、実装後において熱応力による伸縮を最も受け易い４隅の外部接続電極と外部接続配線との間の接続の信頼性が向上する。
【００８７】
また、外部接続電極と外部接続配線との接続部全てが、上記のような構造であるため、外部接続電極と外部接続配線との接続部全てにおいて外部接続配線に生じる歪み応力が小さくなるため、外部接続配線全ての損傷の発生が低減されることにより、半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【００８８】
また、上記した交差角が４５°〜１３５°または６０°〜１２０°であるため、外部接続電極をできる限り短い距離で配線することを可能にしつつ、外部接続配線が断線する可能性をさらに低減することができる。
【００８９】
また、外部接続電極が基板の外周近傍に設けられているため、基板が他の基板に接続された後において、基板の中心近傍に接続電極が設けられた場合に比較して、基板の主表面の中心軸周りに加えられた捩じりに対する外部接続電極部の強度が大きくなる。
【００９０】
また、斜面を有する絶縁部材の斜面に沿うように外部接続配線が形成された場合、外部接続配線と外部接続電極との接続部近傍の外部接続配線が比較的なめらかな状態となる。そのため、１回の成膜工程およびエッチング工程で外部接続配線の全ての部分を形成することができる。
【００９１】
また、他の接続配線においても上記の交差角を有する配線構造となっているため、他の接続配線においても歪み応力による悪影響が緩和されるため、基板を他の基板に実装した後の半導体装置の信頼性がさらに向上する。
【００９２】
また、実装基板に設けられる他の接続電極と他の接続配線との接続位置の近傍においても、上記の交差角を有する配線構造にすれば、他の接続配線の断線の可能性が低減されるため、半導体装置の実装後の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における半導体装置の外部接続配線の構造を説明するための図である。
【図２】本発明の実施の形態１における半導体装置の断面構造を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図４】本発明の実施の形態１における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態１における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図６】本発明の実施の形態１における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図７】本発明の実施の形態２における半導体装置の断面構造を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態２における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図９】本発明の実施の形態２における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１０】本発明の実施の形態２における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１１】本発明の実施の形態２における半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１２】外部接続電極付近を半割りにしたモデル図である。
【図１３】図１２において外部接続電極が接続される面に強制変位を与えたときのはんだ接続部周辺の相当弾性歪の分布図である。
【図１４】本発明の実施の形態３の実装基板の構造を示す図である。
【図１５】本発明の実施の形態３の実装基板側の再配線パターンを示す図である。
【図１６】従来のモールドが施されていないベアチップの一例を示す図である。
【図１７】従来のモールドが施されていないベアチップが実装基板に搭載された状態を示す図である。
【図１８】従来の半導体装置の実装において、ベアチップがアンダーフィルを用いて実装された状態を示す図である。
【符号の説明】
１  半導体基板、２  半導体基板上電極、３  絶縁膜、４  ダイシングライン、５  樹脂部材、６  再配線パターン、７  保護膜、８  外部接続電極、９  半導体装置、１０  半導体基板の主表面の中心と外部接続電極を結ぶ点線、１１  半導体基板の主表面の中心、１２  歪方向を示す矢印、１３ａ  再配線パターンの形成のための樹脂層、１３ｂ  再配線パターン保護のための樹脂層、１４  穴埋め部材、１５  モデルにおける基板、１６  モデルにおけるはんだ接続部、１７  モデルにおける樹脂部、１８  モデルにおける保護膜、２１  実装基板、６６  実装基板接続配線、８８  実装基板接続電極、１０８  接続部、１１９  ベアチップ（半導体基板）、１２０  実装基板側電極、１２１  実装基板、１２２封止樹脂。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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