【手続補正書】
【提出日】平成29年11月13日(2017.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられた駆動部と、
前記駆動部に接続された少なくとも１つの搬送アームと、
を備えた搬送装置であって、
前記駆動部が、
透磁性材料の少なくとも１つの突極を有し、隔離環境に配置される、少なくとも１つのロータと、
対応するコイルユニットを備えた少なくとも１つの突極を有し、前記隔離環境外に配置される、少なくとも１つのステータであって、前記少なくとも１つのステータの前記少なくとも１つの突極、および前記少なくとも１つのロータの前記少なくとも１つの突極が、前記少なくとも１つのロータと前記少なくとも１つのステータとの間に、閉鎖磁束回路を形成する、少なくとも１つのステータと、
前記隔離環境を隔離するように構成された少なくとも１つの密閉仕切壁と、
少なくとも１つのセンサと
を備え、
前記少なくとも１つのセンサが、
前記ハウジングに接続された磁気センサ部材、および、
前記少なくとも１つのロータに接続された少なくとも１つのセンサトラック、
を含み、
前記少なくとも１つのセンサトラックが前記隔離環境に配置され、前記磁気センサ部材が前記隔離環境外に配置されるように、前記少なくとも１つの密閉仕切壁が、前記磁気センサ部材と前記少なくとも１つのセンサトラックとの間に配置され、前記磁気センサ部材および前記少なくとも１つのセンサトラックを分離させる、
搬送装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つの密閉仕切壁の少なくとも一部が、前記磁気センサ部材と一体である、請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つのセンサが、センサエアギャップを有する少なくとも１つの強磁束ループを含み、前記磁気センサ部材が、前記少なくとも１つの強磁束ループと相互作用する、請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
前記磁気センサ部材が、前記センサエアギャップの磁気抵抗における変化を検知するように構成される、請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの強磁束ループが第１および第２強磁束ループを含み、前記第１および第２強磁束ループは、前記第１および第２強磁束ループの間にセンサブリッジ部材を有し、前記エアギャップが、前記センサブリッジ部材に位置し、前記第１および第２強磁束ループのうちの１つが、前記少なくとも１つのセンサトラックの少なくとも一部が配置される、トラックエアギャップを有する、請求項３記載の搬送装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、ホイートストンブリッジを模倣する、請求項３記載の搬送装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記隔離環境に配置されるトラック相互作用部、および前記隔離環境外に配置されるセンサ部材相互作用部を含み、前記トラック相互作用部および前記センサ部材相互作用部が、前記少なくとも１つの密閉仕切壁によって分離される、請求項３記載の搬送装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記センサエアギャップに配置された、磁束コンセントレータ要素を含む、請求項３記載の搬送装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記少なくとも１つのセンサトラックの少なくとも一部が配置される、トラックエアギャップを含む、請求項３記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記少なくとも１つのセンサが、実質的に特徴部を有さないトラック相互作用部を含む、請求項１記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つのセンサトラックが、第１のピッチを有する第１のトラックと、少なくとも前記第１のピッチとは異なるそれぞれのピッチを有する、少なくとも第２のトラックとを含み、前記少なくとも１つのセンサが、前記第１のトラックに対応する第１のセンサと、前記少なくとも第２のトラックのそれぞれの１つに対応する、少なくとも第２のセンサとを含む、請求項１記載の搬送装置。
【請求項１２】
差動正弦波出力信号および差動余弦波出力信号が、前記磁気センサ部材から得られるように、前記少なくとも１つのセンサトラックのピッチと実質的に合うように配置されたセンサ要素を有する、差動センサを、前記磁気センサ部材が備えている、請求項１記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記センサ要素が、ホイートストンブリッジを形成する、請求項１２記載の搬送装置。
【請求項１４】
前記センサ要素が、前記磁気センサ部材の共通のプリント回路基板上に配置される、請求項１２記載の搬送装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１つのセンサが、前記少なくとも１つのセンサトラックと、前記少なくとも１つの密閉仕切壁を通過して、実質的に直接相互作用する、請求項１記載の搬送装置。
【請求項１６】
ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられた、駆動部と、
前記駆動部に接続された、少なくとも１つの搬送アームと、
を備えた搬送装置であって、
前記駆動部が、
透磁性材料の少なくとも１つの突極を有し、隔離環境に配置される、少なくとも１つのロータと、
対応するコイルユニットを備えた少なくとも１つの突極を有し、前記隔離環境外に配置される、少なくとも１つのステータであって、前記少なくとも１つのステータの前記少なくとも１つの突極、および前記少なくとも１つのロータの前記少なくとも１つの突極が、前記少なくとも１つのロータと前記少なくとも１つのステータとの間に、閉鎖磁束回路を形成する、少なくとも１つのステータと、
前記隔離環境を隔離するように構成された少なくとも１つの密閉仕切壁と、
少なくとも１つのセンサと、
センサ制御装置と
を備え、
前記少なくとも１つのセンサが、
前記ハウジングに接続された磁気センサ部材、および、
前記少なくとも１つのロータに接続された少なくとも１つのセンサトラック
を含み、
前記少なくとも１つのセンサトラックが前記隔離環境に配置され、前記磁気センサ部材が前記隔離環境外に配置されるように、前記少なくとも１つの密閉仕切壁が、前記磁気センサ部材と前記少なくとも１つのセンサトラックとの間に配置され、前記磁気センサ部材および前記少なくとも１つのセンサトラックを分離させ、
前記センサ制御装置が、前記少なくとも１つのセンサから受信したセンサ信号に基づいて、前記少なくとも１つのセンサへのセンサ信号命令を生成するように構成され、前記センサ信号命令が、前記センサ信号の少なくとも所定の特性における変化をもたらす、
搬送装置。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの密閉仕切壁の少なくとも一部が、前記磁気センサ部材と一体である、請求項１６記載の搬送装置。
【請求項１８】
前記少なくとも１つのセンサが、センサエアギャップを有する少なくとも１つの強磁束ループを含み、前記磁気センサ部材が、前記強磁束ループと相互作用する、請求項１６記載の搬送装置。
【請求項１９】
前記磁気センサ部材が、前記センサエアギャップの磁気抵抗における変化を検知するように構成される、請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２０】
前記少なくとも１つの強磁束ループが第１および第２強磁束ループを含み、前記第１および第２強磁束ループは、前記第１および第２強磁束ループの間にセンサブリッジ部材を有し、前記エアギャップが、前記センサブリッジ部材に位置し、前記第１および第２強磁束ループのうちの１つが、前記少なくとも１つのセンサトラックの少なくとも一部が配置される、トラックエアギャップを有する、請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、ホイートストンブリッジを模倣する、請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２２】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記隔離環境に配置されるトラック相互作用部、および前記隔離環境外に配置されるセンサ部材相互作用部を含み、前記トラック相互作用部および前記センサ部材相互作用部が、前記少なくとも１つの密閉仕切壁によって分離される、請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２３】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記センサエアギャップに配置された、磁束コンセントレータ要素を含む、請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２４】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記少なくとも１つのセンサトラックの少なくとも一部が配置される、トラックエアギャップを含む、請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２５】
前記少なくとも１つのセンサが、実質的に特徴部を有さないトラック相互作用部を含む、請求項１６記載の搬送装置。
【請求項２６】
前記少なくとも１つのセンサトラックが、第１のピッチを有する第１のトラックと、少なくとも前記第１のピッチとは異なるそれぞれのピッチを有する、少なくとも第２のトラックとを含み、前記少なくとも１つのセンサが、前記第１のトラックに対応する第１のセンサと、前記少なくとも第２のトラックのそれぞれの１つに対応する、少なくとも第２のセンサとを含む、請求項１６記載の搬送装置。
【請求項２７】
差動正弦波出力信号および差動余弦波出力信号が、前記磁気センサ部材から得られるように、前記少なくとも１つのセンサトラックのピッチと実質的に合うように配置されたセンサ要素を有する、差動センサを、前記磁気センサ部材が備えている、請求項１６記載の搬送装置。
【請求項２８】
前記センサ要素が、ホイートストンブリッジを形成する、請求項２７記載の搬送装置。
【請求項２９】
前記センサ要素が、前記磁気センサ部材の共通のプリント回路基板上に配置される、請求項２７記載の搬送装置。
【請求項３０】
前記少なくとも１つのセンサが、前記少なくとも１つのセンサトラックと、前記少なくとも１つの密閉仕切壁を通過して、実質的に直接相互作用する、請求項１６記載の搬送装置。
【請求項３１】
ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられた、駆動部と、
前記駆動部に接続された、少なくとも１つの搬送アームと、
を備えた搬送装置であって、
前記駆動部が、
透磁性材料の少なくとも１つの突極を有し、隔離環境に配置される、少なくとも１つのロータと、
対応するコイルユニットを備えた少なくとも１つの突極を有し、前記隔離環境外に配置される、少なくとも１つのステータであって、前記少なくとも１つのステータの前記少なくとも１つの突極、および前記少なくとも１つのロータの前記少なくとも１つの突極が、前記少なくとも１つのロータと、前記少なくとも１つのステータとの間に、閉鎖磁束回路を形成する、少なくとも１つのステータと、
前記隔離環境を隔離するように構成された少なくとも１つの密閉仕切壁と、
少なくとも１つのセンサであって、
前記ハウジングに接続された磁気センサ部材、および、
前記少なくとも１つのロータに接続された少なくとも１つのセンサトラックを含み、前記少なくとも１つのセンサトラックは、前記隔離環境に配置され、前記磁気センサ部材が前記隔離環境外に配置されるように、前記少なくとも１つの密閉仕切壁が、前記磁気センサ部材と前記少なくとも１つのセンサトラックとの間に配置され、前記磁気センサ部材および前記少なくとも１つのセンサトラックを分離させる、少なくとも１つのセンサと、
前記少なくとも１つのセンサに通信可能に接続され、センサ信号命令を提供するように構成された、センサ制御装置と、
前記少なくとも１つのセンサ、および前記センサ制御装置に通信可能に接続され、前記少なくとも１つのセンサからのセンサ信号を受信するように構成された運動制御装置とを備え、
前記センサ制御装置が、前記運動制御装置からの通信に応じて、前記センサ信号の、少なくとも所定の特性における変化を制御するように構成される、
搬送装置。
【請求項３２】
前記少なくとも１つの密閉仕切壁の少なくとも一部が、前記磁気センサ部材と一体である、請求項３１記載の搬送装置。
【請求項３３】
前記少なくとも１つのセンサが、センサエアギャップを有する少なくとも１つの強磁束ループを含み、前記磁気センサ部材が、前記強磁束ループと相互作用する、請求項３１記載の搬送装置。
【請求項３４】
前記磁気センサ部材が、前記センサエアギャップの磁気抵抗における変化を検知するように構成される、請求項３３記載の搬送装置。
【請求項３５】
前記少なくとも１つの強磁束ループが第１および第２強磁束ループを含み、前記第１および第２強磁束ループは、前記第１および第２強磁束ループの間にセンサブリッジ部材を有し、前記エアギャップが、前記センサブリッジ部材に位置し、前記第１および第２強磁束ループのうちの１つが、前記少なくとも１つのセンサトラックの少なくとも一部が配置される、トラックエアギャップを有する、請求項３３記載の搬送装置。
【請求項３６】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、ホイートストンブリッジを模倣する、請求項３３記載の搬送装置。
【請求項３７】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記隔離環境に配置されるトラック相互作用部、および前記隔離環境外に配置されるセンサ部材相互作用部を含み、前記トラック相互作用部および前記センサ部材相互作用部が、前記少なくとも１つの密閉仕切壁によって分離される、請求項３３記載の搬送装置。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記センサエアギャップに配置された、磁束コンセントレータ要素を含む、請求項３３記載の搬送装置。
【請求項３９】
前記少なくとも１つの強磁束ループが、前記少なくとも１つのセンサトラックの少なくとも一部が配置される、トラックエアギャップを含む、請求項３３記載の搬送装置。
【請求項４０】
前記少なくとも１つのセンサが、実質的に特徴部を有さないトラック相互作用部を含む、請求項３１記載の搬送装置。
【請求項４１】
前記少なくとも１つのセンサトラックが、第１のピッチを有する第１のトラックと、少なくとも前記第１のピッチとは異なるそれぞれのピッチを有する、少なくとも第２のトラックとを含み、前記少なくとも１つのセンサが、前記第１のトラックに対応する第１のセンサと、前記少なくとも第２のトラックのそれぞれの１つに対応する、少なくとも第２のセンサとを含む、請求項３１記載の搬送装置。