【手続補正書】
【提出日】平成29年5月26日(2017.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料（２）の高解像度スキャニング顕微鏡法のための顕微鏡であって、
試料（２）を照明するための照明装置（３）と、
試料（２）にわたって少なくとも１つの点スポットまたは線スポット（１４）をスキャンするため、および点スポットまたは線スポット（１４）を検出平面（１８）において静止した回折限界個別画像（１７）へと結像するための結像装置（４）と、
位置解像度でさまざまなスキャン位置について検出平面（１８）における個別画像（１７）を検出するための検出器装置（１９）と、
前記検出器装置（１９）のデータからスキャン位置について個別画像（１７）の回折構造を評価するため、および回折限界を超えて引き上げられた解像度を有する試料（１７）の画像を生成するための評価装置（Ｃ）とを有しており、
前記検出器装置（１９）は、
ピクセル（２５）を有する、個別画像（１７）よりも大きい検出器アレイ（２４）と、
前記検出器アレイ（２４）に前置され、検出平面（１８）からの放射を非結像式に前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）へ分配する非結像式の再分配部材（２０〜２１；３０〜３４；３０〜３５）とを有しており、
当該顕微鏡はさらに、次の実施形態のうち１つまたは複数を有しており、すなわち、
‐  少なくとも２つの再分配部材が設けられていて並列式に検出光で照射され、検出光は少なくとも部分的にそのスペクトル組成に関して相違しており、少なくとも２つの前記再分配部材からの放射が検出器アレイのピクセルへ到達し、
‐  前記再分配部材からの検出光は前記検出器アレイの相並んで位置する領域に到達し、
‐  前記検出器アレイの少なくとも１つのピクセルは少なくとも２つの再分配部材からの検出光で照射され、
‐  前記検出器アレイのピクセルはフィルタリングされたスペクトル成分の検出光およびスペクトルフィルタリングのない検出光で照射され、
‐  スペクトルフィルタリングのない検出のためにスペクトルフィルタリングされた検出よりも多くのピクセルが検出光で照射され、
‐  前記照射を受けるピクセルは相並んで配置されており、および／または前記ピクセルは少なくとも２つの再分配部材からの光で照射され、
‐  少なくとも部分的に相違するスペクトル特性をもつ少なくとも２つの部分光路を生成するために検出光路に少なくとも１つのカラースプリッタが設けられており、
‐  検出光路にはフィルタリングされていない検出光での再分配部材の照射をリリースするための切換部材が設けられており、
‐  前記再分配部材はファイバ端部が前記検出器アレイのピクセルのところで終わるファイババンドルであり、
‐  異なるファイババンドルの少なくとも２つのファイバが前記検出器アレイのピクセルで終わっており、
‐  光方向で見て光導波路の後かつ検出器アレイのピクセルの前にはダイクロイックミラーと再分配部材が、隣接する検出ピクセルが少なくとも部分的に異なる波長で照射されるように設けられている、顕微鏡。
【請求項２】
前記再分配部材は、検出平面（１８）に配置された入力部（２２）および出力部（２３）を有し、前記出力部において光ファイバ（２１）が前記入力部（２２）の幾何学配置とは相違する幾何学配置で前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）のところで終わる、前記光ファイバ（２１）からなるバンドル（２０）を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記光ファイバはマルチモード光ファイバであることを特徴とする、請求項２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記光ファイバ（２１）は、前記出力部（２３）で隣接する光ファイバ（２１）が前記入力部（２２）でも隣接し、それにより相並んで位置するピクセル（２５）の放射強度依存的なクロストークを最低限に抑えるように、前記入力部（２２）から前記出力部（２３）へ延びていることを特徴とする、請求項２または３に記載の顕微鏡。
【請求項５】
前記再分配部材は、検出平面（１８）からの放射を前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）へと導く、それぞれ別様に傾いたミラー部材（３１）を備えるミラー（３０）、特にファセットミラー、ＤＭＤ、またはアダプティブミラーを含んでおり、前記検出器アレイのピクセル（２５）は前記ミラー部材（３１）の幾何学配置とは相違する幾何学配置を有していることを特徴とする、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項６】
前記結像装置（４）は前記検出器装置（１９）に合わせて個別画像（１７）のサイズを適合化するために結像方向で見て検出平面（１８）に前置されたズーム光学系（２７）を有していることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の顕微鏡。
【請求項７】
前記照明装置（３）と前記結像装置（４）は１つのスキャン装置（１０）を分かち合っており、それにより前記照明装置（３）は前記結像装置により結像されるスポット（１４）と一致する回折限界点スポットまたは線スポットで試料（２）を照明し、前記ズーム光学系（２７）は前記照明装置（３）の構成要素でもあるように配置されることを特徴とする、請求項６に記載の顕微鏡。
【請求項８】
前記検出器アレイ（２４）は検出器ラインであることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれかに記載の顕微鏡。
【請求項９】
前記検出器ラインはＡＰＤラインまたはＰＭＴラインであることを特徴とする、請求項８に記載の顕微鏡。
【請求項１０】
試料（２）の高解像度のスキャニング顕微鏡法のための方法であって、
試料（２）が照明され、
試料（２）にわたってスキャンをしながら導かれる少なくとも１つの点スポットまたは線スポット（１４）が個別画像（１７）へと結像され、前記スポット（１４）は回折限界で個別画像（１７）へと結像され、個別画像（１７）は静止するように検出平面（１８）に位置しており、
位置解像度でさまざまなスキャン位置について個別画像（１７）が検出され、
各々のスキャン位置について個別画像（１７）の回折構造が評価され、回折限界を超えて引き上げられた解像度を有する試料（２）の画像が生成され、
ピクセル（２５）を有する、個別画像（１７）よりも大きい検出器アレイ（２４）が提供され、
検出平面（１８）からの個別画像の放射が非結像式に前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）へ再分配され、
当該方法はさらに、次の実施形態のうち１つまたは複数を有しており、すなわち、
‐  少なくとも２つの再分配部材が設けられていて並列式に検出光で照射され、検出光は少なくとも部分的にそのスペクトル組成に関して相違しており、少なくとも２つの前記再分配部材からの放射が検出器アレイのピクセルへ到達し、
‐  前記再分配部材からの検出光は前記検出器アレイの相並んで位置する領域に到達し、
‐  前記検出器アレイの少なくとも１つのピクセルは少なくとも２つの再分配部材からの検出光で照射され、
‐  前記検出器アレイのピクセルはフィルタリングされたスペクトル成分の検出光およびスペクトルフィルタリングのない検出光で照射され、
‐  スペクトルフィルタリングのない検出のためにスペクトルフィルタリングされた検出よりも多くのピクセルが検出光で照射され、
‐  前記照射を受けるピクセルは相並んで配置されており、および／または前記ピクセルは少なくとも２つの再分配部材からの光で照射され、
‐  少なくとも部分的に相違するスペクトル特性をもつ少なくとも２つの部分光路を生成するために検出光路に少なくとも１つのカラースプリッタが設けられており、
‐  検出光路にはフィルタリングされていない検出光での再分配部材の照射をリリースするための切換部材が設けられており、
‐  前記再分配部材はファイバ端部が前記検出器アレイのピクセルのところで終わるファイババンドルであり、
‐  異なるファイババンドルの少なくとも２つのファイバが前記検出器アレイのピクセルで終わっており、
‐  光方向で見て光導波路の後かつ検出器アレイのピクセルの前にはダイクロイックミラーと再分配部材が、隣接する検出ピクセルが少なくとも部分的に異なる波長で照射されるように設けられている、方法。
【請求項１１】
個別画像（１７）の放射は、検出平面（１８）に配置された入力部（２２）および出力部（２３）を有し、前記出力部において光ファイバ（２１）が前記入力部（２２）の幾何学配置とは相違する幾何学配置で前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）のところで終わる、前記光ファイバ（２１）からなるバンドル（２０）によって再分配されることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記光ファイバはマルチモード光ファイバであることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記光ファイバ（２１）は、前記出力部（２３）で隣接する光ファイバ（２１）が前記入力部（２２）でも隣接し、それにより相並んで位置するピクセル（２５）の放射強度依存的なクロストークを最低限に抑えるように、前記入力部（２２）から前記出力部（２３）へ導かれることを特徴とする、請求項１１または１２に記載の方法。
【請求項１４】
各々の光ファイバ（２１）が個別に放射により照射され、前記出力部（２３）で隣接する光ファイバ（２１）に付属するピクセル（２５）の妨害信号が検出され、キャリブレーションマトリクスが作製され、これを用いて試料（２）の顕微鏡法において相並んで位置するピクセル（２５）の放射強度依存的なクロストークが修正されることによって、前記光ファイバ（２１）からなるバンドル（２０）と前記検出器アレイ（２４）がキャリブレーションされることを特徴とする、請求項１０，１１または１２に記載の方法。
【請求項１５】
個別画像（１７）の放射はそれぞれ別様に傾いたミラー部材（３１）を備えるミラー（３０）、特にファセットミラー、ＤＭＤ、またはアダプティブミラーによって再分配され、前記ミラー（３０）によって検出平面（１８）からの放射が前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）へと導かれ、前記検出器アレイ（２４）のピクセル（２５）は前記ミラー部材（３１）の幾何学配置とは相違する幾何学配置を有していることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１６】
検出器アレイ（２４）として検出器ラインが使用されることを特徴とする、請求項１０乃至１５のいずれかに記載の方法。
【請求項１７】
前記検出器ラインはＡＰＤラインまたはＰＭＴラインであることを特徴とする、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記検出器アレイ（２４）の個々のピクセル（２５）の信号が相互相関により評価されることによって、点スポットまたは線スポット（１４）のスキャンの運動方向が判定されることを特徴とする、請求項１０乃至１７のいずれかに記載の方法。
【請求項１９】
試料（２）で静止している点スポットまたは線スポット（１４）で回折限界個別画像（１７）の時間的変化が判定されて評価されることによって、試料（２）における変化が検出されることを特徴とする、請求項１０乃至１８のいずれかに記載の方法。