(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
動作ガスを吸入／吐出するシリンダーに連通されて、該シリンダーから吸入／吐出される動作ガスの圧縮に基づいた熱を除去する予冷器と、
前記予冷器に連通されて、流入される動作ガスの顕熱を貯蔵した後、再び逆流入時に返流させる再生器と、
前記再生器の一方端に連通されて、該再生器を通過した動作ガスが圧縮／膨張されながら熱流動を行うように形成する脈動管と、
前記脈動管に連通されて、圧力脈動と質量流動間の位相差変化を発生して、脈動管から熱の流動を発生させるイナータンス管及び貯蔵槽と、
前記脈動管と前記イナータンス管間を連通して、流動された熱流動の放熱を行う温側熱交換器と、
前記再生器と該再生器の内部に挿入された脈動管とを連通するために、第１、第２及び第３連通流路がそれぞれ切削形成されて、前記再生器及び前記脈動管の上面に覆われた冷側熱交換器と、を包含して構成され、
前記冷側熱交換器は、
前記再生器の外周面上方に覆われた中空円筒状の本体と、
該本体の内部に挿入された後前記再生器の内側壁面に接して係合される中空円筒状の中間本体と、
前記本体の上側から該本体の内周面に挿合されて前記中間本体の上面に覆われた蓋部と、
前記脈動管に連通して往復する動作ガスを熱交換する熱交換部材と、
を備えて構成されることを特徴とする脈動管冷凍機。
【請求項２】
前記本体の内周面と前記中間本体の外周面間には、複数の第１連通流路が切削形成されて、それら第１連通流路は前記再生器に連結されることを特徴とする請求項１記載の脈動管冷凍機。
【請求項３】
前記中間本体の上面と前記蓋部の下面間には、複数の第２連通流路が放射状に切削形成されて、前記各第１連通流路にそれぞれ連通されることを特徴とする請求項１記載の脈動管冷凍機。
【請求項４】
前記中間本体の内周側面には、前記第２連通流路及び前記脈動管に連通される第３連通流路が形成されることを特徴とする請求項１記載の脈動管冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、脈動管冷凍機に係るもので、詳しくは、冷側熱交換器（ｃｏｌｄ  ｈｅａｔ  ｅｘｃｈａｎｇｅｒ）の可用面積を拡大しながらも、冷凍機自体の容積は小型化を図り得る脈動管冷凍機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、極低温冷凍機（Ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ  Ｒｅｆｒｉｇｅｒａｔｏｒ）は、小型電子部品または超伝導体（ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）を冷却させることに使用される低振動高信頼性の冷凍機であって、主に、スターリング冷凍機（Ｓｔｉｒｌｉｎｇ  Ｒｅｆｒｉｇｅｒａｔｏｒ）またはＧＭ冷凍機（Ｇｉｆｏｒｄ−Ｍｃｍａｈｏｎ  Ｒｅｆｒｉｇｅｒａｔｏｒ）若しくはジュール−トムソン冷凍機（Ｊｏｕｌｅ−Ｔｈｏｍｓｏｎ  Ｒｅｆｒｉｇｅｒａｔｏｒ）として広知されている。
併し、このような冷凍機は、高速運転時にその信頼性が低下することは勿論で、運転時の摩擦部位の磨耗に対備するために別途の潤滑手段が必要であるために、近来は、高速運転時にも信頼性を維持して別途の潤滑機構を必要とすることなく、長期間の間、補修せずして運転し得る極低温冷凍機が使用されており、このような極低温冷凍機中の一つが脈動管冷凍機である。
【０００３】
そして、従来の脈動管冷凍機においては、図４に示したように、動作ガスの往復運動を発生する駆動機構１０と、該駆動機構１０により吸入／吐出されながら管路の内部を往復するためにその動作ガスの熱力学的サイクルにより極低温になる冷凍機構２０と、から構成されている。
また、前記駆動機構１０においては、中空円筒状に形成された密閉ケース１１と、該密閉ケース１１の上方に覆われて中央にシリンダー１０ａが穿孔形成された上部ハウジング１１ａと、該上部ハウジング１１ａの底面に弾性支持部材１５を介して密接するように前記密閉ケース１１の内部に挿入された後、前記上部ハウジング１１ａの外周縁に螺合された中間ハウジング１１ｂと、該中間ハウジング１１ｂの下面に弾性支持部材１６を介して螺合された下部ハウジング１１ｃと、該下部ハウジング１１ｃの下面に螺合されたカバー１１ｄと、前記シリンダー１０ａに上下方向移動自在に挿入されたピストン１４と、該ピストン１４に一方端が連結されて前記中間ハウジング１１ｂの内部に収納された後他方端が前記弾性支持部材１６の中央部に係合された駆動モータ１２の駆動軸１３と、から構成されている。
【０００４】
また、前記冷凍機構２０においては、前記駆動機構１０の上部ハウジング１１ａに螺合連結されて前記シリンダー１０ａに連通される予冷器２１と、該予冷器２１に連結された再生器２２と、該再生器２２に連結された冷側熱交換器２３Ａと、該冷側熱交換器２３Ａに連結された脈動管２３と、該脈動管２３に連結された温側熱交換器２３Ｂと、該温側熱交換器２３Ｂに連結されたイナータンス管（Ｉｎｅｒｔａｎｃｅ  Ｔｕｂｅ）２４と、該イナータンス管２４に連結された貯蔵槽２５と、前記再生器２２及び脈動管２３が収納されて下面が前記予冷器２１の上面に密着された後、上面の中央が前記脈動管２３の外周面の貫通孔に密着された密封セル２６と、を備えて構成されている。
【０００５】
ここで、前記予冷器２１は、金属材にて形成されることで、前記駆動機構１０の圧縮時に、動作ガスに発生する熱を除去させる熱交換器である。
且つ、前記再生器２２は、動作ガスが可能な限り熱を放散して大量の仕事（ｐｏｔｅｎｔｉａｌ  ｗｏｒｋ：冷力）を低温側に伝送させる熱交換器であって、単純に、システムに熱を供給または除去せずに、圧力サイクルの一部分では動作ガスから熱を吸収し、他の部分ではその吸収した熱を他の部分に返送する役割を行う。
また、前記冷側熱交換器２３Ａは、冷却すべき部材から熱を吸収して極低温に維持させ、前記脈動管２３は、その内部から圧力脈動と動作ガスの質量流動間に適切な位相関係が成立すると、冷側熱交換器２３Ａから温側熱交換器２３Ｂに熱を移動させる役割を行う。
且つ、前記温側熱交換器２３Ｂは、前記冷側熱交換器２３Ａから前記脈動管２３を経た熱を除去する。
また、前記イナータンス管２４及び貯蔵槽２５は、熱の流動を極大化させるための位相変化を与える役割を行う。
【０００６】
以下、このように構成された従来の脈動管冷凍機の動作に対し、図４に基づいて説明する。
先ず、駆動モータ１２に電源が印加されると、該駆動モータ１２の駆動軸１３は各弾性支持部材１５、１６と共に、直線状の往復運動を行って、該駆動軸１３に連結されたピストン１４の直線往復運動に基づいて冷凍機構２０の動作ガスが吸入／吐出されて、脈動管２３の冷側熱交換器２３Ａ側で極低温が形成される。即ち、前記ピストン１４の圧縮行程でシリンダー１０ａから圧縮されて押送される動作ガスは、予冷器２１を経由しながら適切な温度に冷却された後、再生器２２に流入され、該再生器２２を経た動作ガスは前記脈動管２３の冷側熱交換器２３Ａ側に流入されて、該脈動管２３に充填された動作ガスを温側熱交換器２３Ｂ側に押出し、動作ガスは該温側熱交換器２３Ｂを経由しながら熱を放出して、イナータンス管２４を通って貯蔵槽２５に流入される。
【０００７】
このとき、前記脈動管２３から流入される動作ガスの質量流量よりもイナータンス管２４から流出される動作ガスの質量流量が相対的に少ないために、前記脈動管２３の内部は高圧状態における熱的平衡状態が維持される。
その後、前記ピストン１４の吸入行程時に、前記脈動管２３から流入された動作ガスが再び前記再生器２２を通ってシリンダー１０ａにリターンされると、前記脈動管２３からリターンされる動作ガスの質量流量よりも前記イナータンス管２４から前記脈動管２３に流入される動作流量が相対的に少ないので、前記脈動管２３における動作ガスは断熱膨張され、該動作ガスの断熱膨張は、通常、冷側熱交換器２３Ａ側で急激に発生することで、該冷側熱交換器２３Ａで極低温部が形成される。
従って、前記脈動管２３の内部は、低圧状態の熱的平衡状態を維持するが、このとき、動作ガスは持続的に前記イナータンス管２４を通って前記貯蔵槽２５から前記脈動管２３に流入されながら、該脈動管２３内部の動作ガスの圧力を高めて、初めの温度に回復される一連の過程が反復される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このように構成された従来の脈動管冷凍機の冷凍機構２０においては、実質的に冷凍すべき部材が附着される冷側熱交換器２３Ａの表面積が狭小しているため、多量の冷却部材を冷却することが難しいという不都合な点があった。即ち、脈動管冷凍機の構造が、冷側熱交換器２３Ａを基準として、その両方側に再生器２２及び脈動管２３がそれぞれ連結されているため、結局、冷凍すべき部材を附着させる可用面積は前記冷側熱交換器２３Ａの表面積に限定されるという不都合な点があった。
【０００９】
且つ、前記再生器２２及び脈動管２３と、前記イナータンス管２４及び貯蔵槽２５と、が一列に長く形成されるために、製品の占有面積及び容積が増大されるという不都合な点があった。
また、構造的に、再生器２２及び脈動管２３は真空断熱すべきであるが、温側熱交換器２３Ｂ、イナータンス管２４及び貯蔵槽２５は外部に露出すべきであるにも拘わらず、前述したように、それらが一列に連結されるため、密封セル２６を形成するときは、少なくても二つのシーリング部材が必要となることで、部品数が増大して施工仕事も煩雑であるという不都合な点があった。
【００１０】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、同様な表面積を有しながらも、冷側熱交換器の可用面積は拡大し得る脈動管冷凍機を提供することを目的とする。
且つ、本発明の他の目的は、冷凍機構の長さを短縮して、設置空間の占有容積を減少し得る脈動管冷凍機を提供しようとするものである。
また、本発明のその他の目的は、冷凍機構を真空遮断するためのシーリング部材の設置個数を減らすことで、生産原価を低廉にし得る脈動管冷凍機を提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明に係る脈動管冷凍機においては、動作ガスを吸入／吐出するシリンダーに連通されて、該シリンダーから吸入／吐出される動作ガスの圧縮に基づいた熱を除去する予冷器と、前記予冷器に連通されて、流入される動作ガスの顕熱を貯蔵した後、再び逆流入時に返流させる再生器と、前記再生器の一方端に連通されて、該再生器を通過した動作ガスが圧縮／膨張されながら熱流動を行うように形成する脈動管と、前記脈動管に連通されて、圧力脈動と質量流動間の位相差変化を発生して、脈動管から熱の流動を発生させるイナータンス管及び貯蔵槽と、前記脈動管と前記イナータンス管間を連通して、流動された熱流動の放熱を行う温側熱交換器と、前記再生器と該再生器の内部に挿入された脈動管とを連通するために、第１、第２及び第３連通流路がそれぞれ切削形成されて、前記再生器及び前記脈動管の上面に覆われた冷側熱交換器と、を包含して構成され、前記冷側熱交換器は、前記再生器の外周面上方に覆われた中空円筒状の本体と、該本体の内部に挿入された後前記再生器の内側壁面に接して係合される中空円筒状の中間本体と、前記本体の上側から該本体の内周面に挿合されて前記中間体の上面に覆われた蓋部と、前記脈動管に連通して往復する動作ガスを熱交換する熱交換部材と、を備えて構成される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に対し、図面を用いて説明する。
本発明に係る脈動管冷凍機においては、図１に示したように、従来と同様に構成されて、動作ガスを吸入／吐出する駆動機構１００と、該駆動機構１００に連結されて極低温部が形成される冷凍機構２００と、から構成されている。
【００１３】
そして、前記冷凍機構２００においては、前記駆動機構１００の上部ハウジングに螺合締結されて、シリンダー１００ａから吸入／吐出される動作ガスを所定温度に冷却させる予冷器２１０と、該予冷器２１０に連結されて前記駆動機構１００の吐出行程時に動作ガスの顕熱を蓄積した後、吸入行程時には動作ガスに再び熱を伝達する中空円筒状の再生器２２０と、該再生器２２０の内部に挿入され前記予冷器２１０に連通されて前記再生器２２０内の圧力脈動と動作ガスの質量流動との位相差によって極低温部を形成する脈動管２３０と、該脈動管２３０に連結されたイナータンス管２４０及び貯蔵槽２５０と、前記予冷器２１０の上面に覆われて前記再生器２２０及び脈動管２３０をそれぞれ真空断熱させる密封セル２６０と、から構成されている。
【００１４】
且つ、前記再生器２２０は、銅線の網糸を用いて断面環状の円筒形に形成されて、該再生器２２０の中央空間に前記脈動管２３０が挿入され、それら再生器２２０及び脈動管２３０の上面には次のような冷側熱交換器２７０が溶着されている。
即ち、前記冷側熱交換器２７０においては、図２に示したように、前記再生器２２０の上方外周面に係合される中間円筒状の本体２７１と、該本体２７１の内部に挿入された後前記再生器２２０の内側壁面に接して係合される中空円筒状の中間本体２７２と、前記本体２７１の上側から該本体２７１の内周面に挿合されて前記中間本体２７２の上面に覆われた蓋部２７３と、から構成されて、それら本体２７１と中間本体２７２及び蓋部２７３間には次のような第１、第２及び第３連通流路２７１ａ、２７１ｂ、２７１ｃがそれぞれ切削形成されている。
【００１５】
以下、それら第１、第２及び第３連通流路２７１ａ、２７１ｂ、２７１ｃの構造について説明する。
前記本体２７１の内周面と、前記中間本体２７２の外周面と、前記蓋部２７３の内側面間の空間により、放射状に第１連通流路２７１ａが同一円周上に形成されて、前記再生器２２０と連結される。
そして、前記中間本体２７２の上面と蓋部２７３の下面間の空間により放射状に形成された第２連通流路２７１ｂが、前記第１連通流路２７１ａに連通する。また、前記中間本体２７２の内周壁面に、前記第２連通流路２７１ｂと脈動管２３０とを連結させる、ほぼその中間に段が形成された第３連通流路２７１ｃが形成される。且つ、前記中間本体２７２の第３連通流路２７１ｃの上側には、前記脈動管２３０内部の動作ガスが外部からの熱を容易に吸収できるように、銅細線の網状体の熱交換部材２７４が装着される。
【００１６】
また、前記中間本体２７２の内周面には前記網状熱交換部材２７４が装着されて、下方の脈動管２３０の内部の動作ガスが外部から容易に熱を吸収し得るように構成され、該網状熱交換部材２７４の上面には前記蓋部２７３の下面中央部２７３ａが当接されて、充分な熱伝達が行われるようになっている。
図中、未説明符号１１０はケーシング、１２０は駆動モータ、１３０は駆動軸、１４０はピストン、１５０及び１６０は弾性支持部材、２８０は温側熱交換器、Ｗは溶接部位をそれぞれ示したものである。
【００１７】
以下、このように構成された本発明に係る脈動管冷凍機の動作に対し図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示したように、駆動機構１００に電源が印加すると、駆動モータの駆動軸１３０及びピストン１４０が弾性支持部材１５０、１６０により往復運動して、前記ピストン１４０の吐出行程時にシリンダー１００ａの内部の動作ガスが予冷器２１０に流入されて、所定温度に冷却された後再生器２２０に流入され、該再生器２２０に流入された動作ガスは再び顕熱が貯蔵されて、冷側熱交換器２７０を経てＵ−ターンされて脈動管２３０に流入される。
【００１８】
次いで、該脈動管２３０に流入された新しい流入動作ガスにより該脈動管２３０内に充填されていた動作ガスは温側熱交換器２８０側に押し出されて、イナータンス管２４０を通って貯蔵槽２５０に流入される。
その後、前記ピストン１４０の吸入行程時に、前記貯蔵槽２５０の動作ガスはイナータンス管２４０を通って脈動管２３０に返入され、該脈動管２３０に返入された動作ガスは、既に前記脈動管２３０に充填されていた動作ガスを押し出してシリンダー１００ａに返入されながら、冷側熱交換器２７０が極低温に冷却されるという一連の過程が反復される。
【００１９】
即ち、前記予冷器２１０を経て再生器２２０に流入される動作ガスは、該再生器２２０の内部で拡散されながら再生器２２０を通過しながら本体２７１の第１連通流路２７１ａ及び第２連通流路２７１ｂを通ってＵ−ターンされて脈動管２３０に流入され、その後、冷側熱交換器２７０を通過して下方の温側熱交換器２８０側に流入されながら、再び、イナータンス管２４０及び貯蔵槽２５０に流入された後、前述したピストン１４０の吸入行程時の逆順に循環されて、駆動機構１００のシリンダー１００ａに返入される。
このとき、前述したように、動作ガスの流動に従って前記冷側熱交換器２７０から吸収された熱は、温側熱交換器２８０に移動して放熱され、冷側熱交換器２７０により冷却されることで、本体２７１及び蓋部２７３は極低温状に維持される。
【００２０】
このように、再生器２２０の内部に脈動管２３０を挿入すると、前記再生器２２０及び脈動管２３０はＵ字状に動作ガス流路を形成することで、そのＵ−ターン部位に素子を附着し得る極低温部が形成されるため、極低温部の可用面積が本体２７１及び蓋部２７３の上面まで拡大される。
且つ、前記再生器２２０の内部に脈動管２３０が挿入されることで、冷凍機構２００の容積が短く且つ小さくなる。
また、イナータンス管２４０を予冷器２１０側に貫設することで密封セル２６０を単純なキャップ状に装着し得るため、冷凍機構２００の真空断熱の施工仕事が簡便になって、生産原価が低減される。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る脈動管冷凍機においては、再生器の内部に脈動管を挿入して、それら再生器及び脈動管を、本体及び蓋部の熱交換器に連通させて構成することで、生成される極低温部の可用面積が拡大され、一層多数の素子を附着し得るという効果がある。
且つ、冷凍機構の容積及び長さが縮小されることで、製品の小型化を図り、シーリング部施工仕事を簡便化して、原価を節減し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る脈動管冷凍機の構造を示した縦断面図である。
【図２】本発明に係る冷凍機構の構造を示した縦断面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ線横断面図である。
【図４】従来の脈動管冷凍機の構造を示した縦断面図である。
【符号の説明】
１００…駆動機構
１１０…ケーシング
１２０…駆動モータ
１３０…駆動軸
１４０…ピストン
１５０、１６０…弾性支持部材
２００…冷凍機構
２１０…予冷器
２２０…再生器
２３０…脈動管
２４０…イナータンス管
２５０…貯蔵槽
２６０…密封セル
２７０…冷側熱交換器
２７１…本体
２７１ａ…第１連通流路
２７１ｂ…第２連通流路
２７１ｃ…第３連通流路
２７２…中間本体
２７３…蓋部
２７４…熱交換部材
２８０…温側熱交換器
【図１】
0003602823.tif 000002
【図２】
0003602823.tif 000003
【図３】
0003602823.tif 000004
【図４】
0003602823.tif 000005