(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＣＤパネルをテストするテストサイトと前記テストサイトの両側に位置するＬＣＤパネルの供給及び回収のための出入りサイトを備えた本体と、
前記本体内部の出入りサイトの背面側に回動可能に設置され、ＬＣＤパネルをアラインさせると共に前記ＬＣＤパネルのアライン後にアラインされたＬＣＤパネルを対応する出入りサイトに供給するプリアライナと、
前記本体の前面側を左右方向に移動し、テストされたＬＣＤパネルを第１の出入りサイトに搬送すると共に第２の出入りサイトから供給されたテストすべきＬＣＤパネルをテストサイトに搬送するキャリアと、
前記キャリアを本体の左右方向に移動させる駆動手段とを備え、
前記プリアライナが、
ベースに軸を中心として回動可能に設置されたフレームと、
前記フレームに設置され、供給手段によって供給されたＬＣＤパネルをアラインすると共に支持する位置決め機構と、
前記フレームから位置決め機構を９０°回転させてＬＣＤパネルの位置を切り替える手段と、
前記フレームと位置決め機構との間に設置され、フレームに対して位置決め機構を昇降させるシリンダと、
前記ベースとフレームとの間に設置され、フレームを回動させる回動手段とを有することを特徴とするＬＣＤテスト装置。
【請求項２】
前記プリアライナの位置決め機構は、
前記フレームに設置されたベースプレートと、
前記ベースプレートの各辺にベースプレートの半径方向に移動可能に設置され、ＬＣＤパネルの各辺を支持するアライン部材と、
前記各アライン部材が集中する部位に設置され、昇降することにより各アライン部材を前／後進させる昇降部材と、
前記ベースプレート上にアライン部材によって整列されたＬＣＤパネルを固定する固定手段とを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３】
前記昇降部材は、駆動力によって昇降動作する昇降棒と、前記アライン部材が転がり接触するように昇降棒の上端に結合されたガイドコーンとを有し、前記昇降棒が上昇したとき、各アライン部材がガイドコーンの第１の外周面に案内されながら後退し、昇降部材が下降したとき、各アライン部材がガイドコーンの前記第１の外周面より小さい第２の外周面に案内されながら前進することを特徴とする請求項２に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項４】
前記各アライン部材の内向側移動区間上に支持片と、前記支持片に螺合された調節スクリューとからなるストッパーを設置し、各アライン部材の内向に復帰する動作を制限すると共に、前記調節スクリューを回転させてアライン部材に向かって前進させるか、アライン部材から隔離するように後進させることにより、位置決め機構の停止位置を可変できることを特徴とする請求項２に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項５】
前記アライン部材は、前記ベースプレート上に設置されたガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動可能なスライダーと、前記スライダーに結合されたローラ台と、前記ローラ台の先端に設置されたローラと、前記スライダーにＬＣＤパネルの各辺を支持するように設置された支持棒とを有することを特徴とする請求項２に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項６】
前記スライダーは、前記ベースプレートの中心に向かってスライダーを付勢する力を受けるように、リターンスプリングに連結されたことを特徴とする請求項５に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項７】
前記スライダーとローラ台は調節ノブによって結合され、調節ノブを解いたり締めたりすることにより、スライダーに対するローラ台の位置が矯正できることを特徴とする請求項５に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項８】
前記支持棒は、ＬＣＤパネルを支持する際に衝撃を緩和させるための柔軟材からなることを特徴とする請求項５に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項９】
前記ＬＣＤパネルを固定させる固定手段は、ＬＣＤパネルを真空圧によって吸着する吸着器であることを特徴とする請求項２に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１０】
前記フレームにフレームから位置決め機構を昇降させるシリンダと、位置決め機構がシリンダによって昇降するときに安定的な動作が行われるようにするための複数個のガイドが設置され、前記各ガイド内側にガイド棒が設置されたことを特徴する請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１１】
前記フレームから位置決め機構を９０°回転させてＬＣＤパネルの位置を切り替える手段が、フレームに設けた昇降プレートに設置されたステップモータを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１２】
前記回動手段は、駆動ギアを回動させるギアモータと、前記駆動ギアと噛み合うようにフレームの一側に設置されたスパーギアとを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１３】
前記回動手段は、フレームの下端部にヒンジ結合されたプランジャヒンジを有し、直線運動によってフレームを回転運動に切り替えるためにベースに固定されたシリンダであることを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１４】
前記フレームの回動区間前方および後方に、位置決め機構の回動に伴ってＬＣＤパネルに作用する振動を緩和させるストッパーが設置されたことを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１５】
前記駆動手段は、前記キャリアに連結された螺施軸と、前記螺施軸上に設置されるボールスクリューブロックと、前記螺施軸を正／逆回動させるためのモータとを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１６】
前記キャリアは、固定ホールを画成する平板を有し、前記固定ホールはＬＣＤパネルよりも大きく、前記平板の前面両側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１７】
前記固定ホールの少なくとも２辺に設けられたフィンガーを有し、フィンガーはＬＣＤパネルの上下辺を含む複数の辺を選択的に支持し得るように移動可能であることを特徴とする請求項１６に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１８】
前記各フィンガーは、キャリアに形成された固定ホールの上／下側或いは左／右側の少なくとも１辺に隣接して選択的に移動可能であるように設置されたことを特徴とする請求項１７に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項１９】
各フィンガーを選択的に移動させる手段を有し、前記フィンガー移動手段は、
固定ホールの両辺の上部及び下部にその上下方向に長く形成された各ガイドホールと、前記固定ホールの上側及び下側に互いに対称するように位置し前記ガイドホールに締結された支持台とを有することを特徴とする請求項１８に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２０】
キャリア及び支持台に多数のホールを穿孔し、全体部品の重さを減少させることを特徴とする請求項１９に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２１】
前記フィンガーのための駆動手段を有し、前記駆動手段が設定された距離を移動してフィンガーを移動させるシリンダを有することを特徴とする請求項１７に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２２】
前記キャリアは、２つの固定ホールの間の一部で分割され締結部材により互いに脱着可能な２つのピースを有することを特徴とする請求項１６に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２３】
前記駆動手段は、前記キャリアに設置されたリニアガイドと、前記リニアガイドに設置されて前記キャリアと結合されるリニアモータとを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２４】
前記位置決め装置は、ベースプレートの各辺に設置され、その両側に空圧が印加されるポートを有するガイドレールと、前記ガイドレールにベースプレートの半径方向に移動可能に設置され前記ガイドレールの両側のポートのいずれかを通して選択的に印加される空圧によって前後進するスライダーと、前記ベースプレート上に整列されたＬＣＤパネルを吸着する吸着器とを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２５】
前記駆動手段が、前記キャリア下部に設置された下部ガイドと、前記下部ガイド上に設置されて前記キャリアと結合されるリニアモータとを有することを特徴とする請求項１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２６】
前記駆動手段は、前記キャリア上端を支持するように前記キャリアに設置された上部ガイドを有することを特徴とする請求項２５に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項２７】
ＬＣＤパネルをテストするテストサイトと前記テストサイトの両側に位置するＬＣＤパネルの供給及び回収のための出入りサイトを備えた本体と、
前記本体の内部に設置され、ＬＣＤパネルをアラインさせると共に、ＬＣＤパネルのアライン後にアラインされたＬＣＤパネルを対応する出入りサイトに供給するプリアライナと、
前記本体の前面側を左右方向に移動し、テストされたＬＣＤパネルを第１の出入りサイトに搬送すると共に第２の出入りサイトから供給されたテストすべきＬＣＤパネルをテストサイトに搬送するキャリアと、
前記キャリアを本体の左右方向に移動させる駆動手段とを備え、
前記駆動手段が、
前記キャリアに連結された螺施軸と、
前記螺施軸上に設置されたボールスクリューブロックと、
前記螺施軸を正／逆回動させるためのモータとを有することを特徴とするＬＣＤテスト装置。
【請求項２８】
ＬＣＤパネルをテストするテストサイトと前記テストサイトの両側に位置するＬＣＤパネルの供給及び回収のための出入りサイトを備えた本体と、
前記本体の内部に設置され、ＬＣＤパネルをアラインさせると共に、前記ＬＣＤパネルのアライン後にアラインされたＬＣＤパネルを対応する出入りサイトに供給するプリアライナと、
前記本体の前面側を左右方向に移動し、テストされたＬＣＤパネルを第１の出入りサイトに搬送すると共に第２の出入りサイトから供給されたテストすべきＬＣＤパネルをテストサイトに搬送するキャリアと、
前記キャリアを本体左右方向に移動させる駆動手段とを備え、
前記キャリアが、固定ホールを画成する平板を有し、前記固定ホールはＬＣＤパネルよりも大きく、前記平板の前面両側に形成されていることを特徴とするＬＣＤテスト装置。
【請求項２９】
前記固定ホールの少なくとも２辺に設けられ、ＬＣＤパネルの上下辺を含む複数の辺を選択的に支持し得るように移動可能な複数個のフィンガーを有することを特徴とする請求項２８に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３０】
前記各フィンガーは、キャリアに形成された固定ホールの上／下側或いは左／右側の少なくとも１辺に隣接して選択的に移動可能であるように設置されたことを特徴とする請求項２９に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３１】
各フィンガーを選択的に移動させる手段を有し、前記フィンガー移動手段は、
固定ホールの両辺の上部及び下部に、その上下方向に長く形成された各ガイドホールと、前記固定ホールの上側及び下側に互いに対称するように位置し、前記ガイドホールに締結された支持台とを有することを特徴とする請求項３０に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３２】
キャリア及び支持台に多数のホールを穿孔し、全体部品の重さを減少させることを特徴とする請求項３１に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３３】
前記フィンガーのための駆動手段を有し、前記駆動手段が設定された距離を移動してフィンガーを移動させるシリンダを有することを特徴とする請求項２９に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３４】
前記キャリアは、２つの固定ホールの間の一部で分割され締結部材により互いに脱着可能な２つのピースを有することを特徴とする請求項２８に記載のＬＣＤテスト装置。
【請求項３５】
ＬＣＤパネルをテストするテストサイトと前記テストサイトの両側に位置するＬＣＤパネルの供給及び回収のための出入りサイトを備えた本体と、
前記本体の内部に設置され、ＬＣＤパネルをアラインさせると共に、前記ＬＣＤパネルのアライン後にアラインされたＬＣＤパネルを対応する出入りサイトに供給するプリアライナと、
前記本体の前面側を左右方向に移動し、テストされたＬＣＤパネルを第１の出入りサイトに搬送すると共に第２の出入りサイトから供給されたテストすべきＬＣＤパネルをテストサイトに搬送するキャリアと、
前記キャリアを本体左右方向に移動させる駆動手段とを備え、
前記駆動手段が、前記キャリアに設置されたリニアガイドと、前記リニアガイドに設置されて前記キャリアと結合されるリニアモータとを有することを特徴とするＬＣＤテスト装置。
【請求項３６】
ＬＣＤパネルをテストするテストサイトと前記テストサイトの両側に位置するＬＣＤパネルの供給及び回収のための出入りサイトを備えた本体と、
前記本体の内部に設置され、ＬＣＤパネルをアラインさせると共に、前記ＬＣＤパネルのアライン後にアラインされたＬＣＤパネルを対応する出入りサイトに供給するプリアライナと、
前記本体の前面側を左右方向に移動し、テストされたＬＣＤパネルを第１の出入りサイトに搬送すると共に第２の出入りサイトから供給されたテストすべきＬＣＤパネルをテストサイトに搬送するキャリアと、
前記キャリアを本体左右方向に移動させる駆動手段とを備え、
前記駆動手段が、前記キャリア下部に設置された下部ガイドと、前記下部ガイド上に設置されて前記キャリアと結合されるリニアモータを有することを特徴とするＬＣＤテスト装置。
【請求項３７】
前記駆動手段は、前記キャリア上端を支持するように前記キャリアに設置された上部ガイドを有することを特徴とする請求項３６に記載のＬＣＤテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＣＤパネルテスト用ＬＣＤテスト装置に係り、特にカセットに積置されたＬＣＤパネルのテストサイトへの搬送のための装置構造及び搬送過程でのプリアラインを行う装置構造を改善したものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ＬＣＤハンドラーとはＬＣＤパネルが不良品か良品かを検査し得るようにテストサイトへＬＣＤパネルを自動に移送させ、検査が完了すると、検査結果に基づいてＬＣＤパネルを良品（ｇｏｏｄ）、修理対象（ｒｅｐａｉｒ）、廃棄対象（ｒｅｊｅｃｔ）に分類してカセット（ｃａｓｓｅｔｔｅ）に区分積置する装置をいう。
【０００３】
次に、図２２及び図２３を参照して従来のハンドラーの構成及び作用を説明する。
従来のＬＣＤハンドラーは、検査済みのＬＣＤパネルを保管すると共に、検査すべきＬＣＤパネルを区分して保管するカセット２と、前記カセットから検査すべきＬＣＤパネルを引き出したり、検査済みのＬＣＤパネルをカセット２の積置空間であるスロット内に引き込んだりする移送ロボット８と、前記カセットから移送ロボットによって引き出されて移送されてきたＬＣＤパネルの良否を検査するテストサイト３と、前記移送ロボット８とテストサイト３との間を往復しながら、テストサイトから検査済みのＬＣＤパネルを移送ロボット８に伝達するか、検査すべきＬＣＤパネルの伝達を移送ロボット８から受けてテストサイト３に伝達する移送台７とに大別される。
【０００４】
特に、前記テストサイト３はＬＣＤハンドラーの本体４の前方に向かって設置されており、その両側にはＬＣＤパネルが電気的テストの前に正確なテスト位置にロードできるようにローディング前にプリアライン（ｐｒｅ−ａｌｉｇｎ）する第１、第２アライナ５、６がそれぞれテストサイトへの横方向流動可能に設置されている。
【０００５】
このように構成された従来のＬＣＤハンドラーはカセット２の内部に積置された検査すべきＬＣＤパネルを移送ロボット８によって水平状態に移送されてくると、移送台７がＬＣＤパネルを渡されて第１アライナ６の位置した上死点まで上昇した後、傾いた第１アライナの傾斜度に合わせて回動して前記ＬＣＤパネルを第１アライナ５に安着させる。
【０００６】
以後、第１アライナ５は自体に別途に備えられたビジュアルカメラ９を用いてＬＣＤパネルの位置を矯正するアラインを実施する。
【０００７】
即ち、前記第１アライナ５は自体に設置されたビジュアルカメラ９がＬＣＤパネルに形成されたアラインマークの座標を読み込むことにより、予め設定された座標値と一致するかを比較しながらアラインを行う。
【０００８】
一方、前記第１アライナ５でＬＣＤパネルのアラインが完了すると、第１アライナ５は支持されたＬＣＤパネルと共にテストサイト３に向かって水平方向に移動する。そして、前記ＬＣＤパネルがテストサイト３の前方に達すると、前記ＬＣＤパネルがテストサイト３内に備えられた信号印加部（図示せず）に電気的に接続され、これによりＬＣＤパネルの電気的な検査が行われてＬＣＤパネルの良否が判定される。
【０００９】
このように第１アライナ５によってテストサイトにロードされたＬＣＤパネルの検査が行われる時、第２アライナ６に検査済みのＬＣＤパネルが固定されていると、前記テストサイト３から退避して図面上右側の待機位置に移動した前記第２アライナ６に固定された検査済みのＬＣＤパネルはテストサイト３上におけるテスト結果に基づいて移送ロボット８によって搬送されて所定のカセット２に積置される。
【００１０】
一方、前記第２アライナ６では移送ロボット８の搬送作用によって供給された新しいＬＣＤパネルに対するアラインが行われ、前記第２アライナ６は第１アライナ５に固定されたＬＣＤパネルの検査が行われるまで待機状態にある。
【００１１】
その後、前記第１アライナ５にロードされたＬＣＤパネルの検査が完了した後第１アライナが図面上左側に移動すると、第２アライナ６がテストサイトに移動して、第２アライナにロードされた新しいＬＣＤパネルの検査が行われ、第２アライナにロードされたＬＣＤパネルの検査がテストサイト３上で行われる間には前述と同様に検査済みのＬＣＤパネルが移送ロボットによって第１アライナからアンロードされて良否によって定められたカセットに積置される。
【００１２】
一方、ＬＣＤパネルがアンロードされた状態である前記第１アライナ５には移送ロボットの搬送作用によって再び新しいＬＣＤパネルがロードされて新しいＬＣＤパネルに対するアラインが行われ、アライン遂行後、前記第１アライナ５は第２アライナ６にロードされたＬＣＤパネルの検査が終わるまで待機状態にある。
【００１３】
従来のＬＣＤハンドラーは前記一連の動作過程を繰り返し行う。しかし、従来のＬＣＤハンドラーはその構造的な特徴上、次のような問題点があった。即ち、従来のＬＣＤハンドラーは第１、２アライナ５、６に高価のビジュアルカメラ３がそれぞれ備えられなければならないので、ＬＣＤハンドラーの価格を上昇させる要因となってきた。
【００１４】
また、ＬＣＤパネルの電気的特性検査のためにＬＣＤパネルがテストサイトにロードされるためには体積が大きくて重い第１、２アライナ５、６自体がテストサイト３に向かってそれぞれ交番に移動してＬＣＤパネルをテストサイトの信号印加部に接続させなければ検査できないシステムなので、体積が大きくて重い第１、２アライナ５、６の移動に大きい動力がかかるという短所があった。
【００１５】
そして、前記第１、第２アライナの移動のための複雑な装置構成により、ＬＣＤハンドラーの全体構造が複雑になり、動作の正確度が低下し、故障率が頻繁であって、機器の信頼度を低下させるという問題点があった。
【００１６】
即ち、大型物の第１、２アライナ５、６を移送させるためにはこれに準ずる大きい動力を必要とするので、電力消耗が多くて移動のための装置の複雑な構成によって機器の作動精密度が低下し、故障率が高くなり、故障排除時間が長くなる等の問題点があった。
【００１７】
また、前記アライナが左・右に移動できる空間が充分確保されなければならないことにより、システムの全体的な占有空間が大きくなる等の多くの問題点があった。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来の問題点を解決するためのもので、その目的はＬＣＤハンドラーの構造を改善して高価のカメラ無しに機構的な動作のみでＬＣＤパネルに対するアラインが正確に行われるようにする一方、ＬＣＤパネルのテストサイトへのローディング及び前記ＬＣＤパネルのテストサイトからのアンローディングが小さい動力でより速くて精密に振動なく行われるようにして、信頼性の高いＬＣＤハンドラーを提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、ＬＣＤパネルをテストするテストサイトと前記テストサイトの両側に位置するＬＣＤパネルの供給及び回収のための出入りサイトを備えた本体と、前記本体の内部に設置され、ＬＣＤパネルをアラインさせると共に、前記ＬＣＤパネルのアライン後にアラインされたＬＣＤパネルを出入りサイトに供給するプリアライナと、前記プリアライナによって出入りサイトに供給されるＬＣＤパネルをテストサイトへ搬送するキャリアと、前記キャリアを本体左右方向に移動させる駆動手段とが備えられることを特徴とするＬＣＤハンドラーを提供する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
まず、図１及び図２を参照して本発明の好ましい実施例によるＬＣＤハンドラーのキャリア構造について説明する。
【００２１】
図２に示すように、本体１０の前方側の中央部にはテストサイト１０ａが備えられ、前記テストサイト１０ａの左・右両側にはＬＣＤパネル１を供給及び回収するための通路の役をする出入りサイト１０ｂがそれぞれ備えられる。
【００２２】
そして、前記テストサイト１０ａ及び出入りサイト１０ｂの前方には前記出入りサイト１０ｂを介して順次供給されるＬＣＤパネル１を固定させることのできるキャリア２０が本体１０の左／右方向に移動可能に設置される。
【００２３】
この際、前記キャリア２０は前記本体１０に設置された駆動手段によって左／右方向への移送力を与えられ、前記駆動手段はキャリア２０に連結された螺旋軸２１と、前記螺旋軸上に設置されるボールスクリューブロック２３と、前記螺旋軸２１を正／逆回動させるための駆動力発生原因モータ２２とから構成される。
【００２４】
即ち、前記モータ２２の動力によって螺旋軸２１が正／逆方向に回転されることにより前記螺旋軸２１上に沿って移動するボールスクリューブロック２３に結合されたキャリア２０が前記ボールスクリューブロックと共に螺旋軸２１に沿って直線往復運動するように構成される。
【００２５】
一方、前記キャリア２０は、側面からみては垂直面に対して一定角度傾いた状態に設置される平板状であり、前方からみては前面左右両側にＬＣＤパネル１より大きい固定ホール２００ａ、２００ｂがそれぞれ開孔してあり、前記固定ホール２００ａ、２００ｂ周辺の各辺にはＬＣＤパネル１の各辺を選択的に支持し得るように駆動手段（図示せず）により前／後進が可能な複数個のフィンガー２４が設置される。
【００２６】
この際、前記フィンガーに対する駆動手段は、油圧または空圧によって設定された距離を往復することにより、これに連結されたフィンガー２４を前／後進させる油圧または空圧シリンダを適用することが好ましい。ところが、これに限定されず、これと同様の作用が出来るとすれば、他の駆動手段も適用可能なのは勿論のことである。
【００２７】
即ち、他の一例としてステップモータに駆動ギアを連結し、各フィンガー２４には前記駆動ギアと噛み合う従動ギアを設置して、ステップモータの正／逆回転動力によって２つのギアが噛み合って回転するにつれて、フィンガー２４が前／後進するようにすることも可能である。この際、前記フィンガー２４の形状はその側面から見て、大体”⊂”状に形成され、ＬＣＤパネル１を安定的に支持するが、この形状に限定されず、真空吸着によるＬＣＤパネルのホールドを行えるように構成されることもできる。
【００２８】
一方、本発明のプリアライナ（ｐｒｅ−ａｌｉｇｎｅｒ）３０は本体１０の内部に設置され、機構的な動作によってＬＣＤパネル１に対するアラインを行う。
【００２９】
図３には一つのプリアライナ３０のみ示されているが、紙面に垂直な方向にもう一つのプリアライナが設置される。
【００３０】
一方、前記プリアライナ３０を本体１０内部の出入りサイト１０ｂにそれぞれ配置される。
【００３１】
次、図３乃至図１１を参照して本発明のＬＣＤハンドラー用プリアライナの構成についてより詳細に説明する。
【００３２】
前記プリアライナ３０はベース６（図８参照）に固定されたマウントブラケット３１を貫通した軸３２を中心として回動可能に設置されたフレーム３３と、前記フレーム３３に設置され、ＬＣＤ供給手段としてのロボット（図示せず）によってカセット（図示せず）から移送されてきたＬＣＤパネル１をアラインすると共に、アラインされたＬＣＤパネル１を支持する位置決め機構３４と、前記位置決定機構３４を水平状態で９０°回転させてＬＣＤパネル１の位置を切り換える駆動手段とを備えている。
【００３３】
この際、前記駆動手段は前記フレーム３３の上部に設置された昇降プレート３７に設置され、パルス信号によって正／逆回転するステップモータ（ｓｔｅｐ  ｍｏｔｏｒ）３５を適用することが好ましい。とろこが、これに限定されず、前記ステップモータと同様の役割を行うことができれば、他のメカニズムも適用することも出来るのは勿論のことである。
【００３４】
そして、前記フレーム３３の上部には駆動の際フレーム３３の上面から位置決め機構３４を昇降させるシリンダ３６が設置され、前記フレーム３３の上部には位置決め機構がシリンダ３６によって昇降する時に安定的な動作が行われるようにするための複数個のガイド３８が設置され、前記ガイド３８の内側にはガイド棒３８ａが設置される。
【００３５】
また、前記ガイド棒３８ａの上端には昇降プレート３７が結合され、前記昇降プレート３７の上部には位置決め機構３４を水平状態で９０°回転させるステップモータ３５が備えられる。
【００３６】
この際、前記ガイド３８とガイド棒３８ａとの間には適切な摩擦力が作用してガイド棒３８ａの急速な出没が防止されるように構成される。
【００３７】
また、前記ベース６とフレーム３３との間にはプリアライナ３０全体を本体の前方に向かって軸３２を中心として設定された角度（ここでは６０°）だけ回動させる回動手段が備えられる。
【００３８】
この際、前記回動手段は前記ベース６上に設置されるギアモータ３９と、前記ギアモータに直接結合された駆動ギア３９ａと、前記フレーム３３の下端部を貫通する軸３２の一端に結合され、前記駆動ギア３９ａと噛み合うスパーギア３９ｂとから構成される。
【００３９】
一方、前記プリアライナ３０が前方（一点鎖線方向）に回動する時には回動手段の自体的な制御によってその停止位置が定められるようになっているが、誤動作及び感性力によってオーバーラン（ｏｖｅｒ  ｒｕｎ）になることもある。
【００４０】
この場合、急速な停止による衝撃によってＬＣＤパネル１が破損する虞があるので、このような現象を防止するためにプリアライナ３０の前方及び後方のベース６上にフレーム３３と相接してプリアライナの回動角を制限するストッパー３１０がそれぞれ設置される。
【００４１】
一方、前記プリアライナ３０の核心部分である位置決め機構３４は、重さ減量のために不要な部分が最大限除去された平板形のベースプレート３４０が基礎面を成しており、前記ベースプレート３４０の各辺にはベースプレート３４０の中心方向に移送可能にアライン部材３４１が設置されている。
【００４２】
この際、前記アライン部材３４１を構成するスライダー３４４はベースプレート３４０の中心部に向かって復帰しようとする力が持続的に受けられるように、固定体のベースプレート３４０に対してリターンスプリング３４２によって弾力連結されている（図４参照）。
【００４３】
また、前記各アライン部材３４１は、図７に示すように、様々な部品の組合によって行われるが、これを区分すると、前記ベースプレート３４０の各上縁に固定されたガイドレール３４３と、前記ガイドレール３４３に沿って移送可能に設置されたスライダー３４４と、前記スライダー３４４に位置矯正可能に結合され、内側端にローラ３４５が備えられたローラ台３４６と、前記スライダー３４４の両側にＬＣＤパネル１の各辺を支持するように垂直方向に設置された支持棒３４７とから構成される。
【００４４】
前記スライダー３４４とローラ台３４６は調節ノブ３４８によって結合され、調節ノブ３４８を解いたり締めたりすることにより、スライダー３４４に対するローラ台３４６の位置を矯正するか或いは適正位置に固定させることができる。
【００４５】
即ち、前記ベースプレート３４０の各辺にガイドレール３４３が固定され、その上に前記ガイドレール３４３に沿って移動するようにスライダー３４が設置し、前記スライダー３４４にはその長手方向に固定溝３４４ａが形成されて、内向端にローラ３４５をもったローラ台３４６が前記固定溝３４４ａに沿って挿入される。
【００４６】
また、前記支持棒３４７はＬＣＤパネル１の各辺を直接支持するので、硬度の大きい硬い材質とする場合、ＬＣＤパネル１が損傷する虞があるので、これを防止するために柔軟剤で形成することが好ましい。
【００４７】
一方、前記各アライン部材３４１が集中する部位にはアライン部材を機構的に前／後進させるための昇降部材３５０が設置される。
【００４８】
前記昇降部材３５０は上下駆動力を与える駆動手段のシリンダ８００によって昇降動作を行う昇降棒３５１と、前記昇降棒３５１の上端に結合される円錐状のガイドコーン３５２とから構成され、前記ガイドコーン３５２の外周面と接触するアライン部材３４１にはローラ３４５が設置され、前記昇降部材３５０の下降時にローラ３４５が転がり接触しながらガイドコーン３５２の外周面勾配角度によってスライダー３４４が前進する。
【００４９】
また、前記各アライン部材３４１の内向側移動区間上にはアライン部材の停止位置をセットさせるためのストッパー３６０が設置されるが、このストッパー３６０は支持片３６１に調節スクリュー３６２を貫通させて調節スクリューを解いたり締めたりすることにより、アライン部材３４１の内側方向への移動距離をベースプレート３４０を限定させることができる。これについては再び後述したが、アライン部材３４１に整列されるＬＣＤパネル１の外郭サイズによってアライン部材３４１の支持位置を可変させることができるようにするためである。
【００５０】
そして、前記ベースプレート３４０上にはＬＣＤパネル１をアラインされた状態に固定させるための複数個の固定手段が設置されるが、特に本発明では固定手段としてＬＣＤパネル１の底面を真空力によって選択的に吸着する吸着器３４９が用いられる。
【００５１】
次に、このように構成された本発明のハンドラーの作用を図１乃至図１８を参照して説明する。
【００５２】
まず、本発明によるプリアライナーの位置決め機構で行われるＬＣＤパネルに対する位置決め過程を図４、図５、図８及び図９を参照して説明する。
【００５３】
ＬＣＤパネル１が安着する前には昇降部材３５０が上昇した状態になる。
【００５４】
即ち、前記昇降部材３５０がその駆動手段としてのシリンダ８００の動作によって上昇した状態ではガイドコーン３５２の下死点である最大外周面３５２ａにローラ３４５が接触するので、ローラ台３４６とこれに結合されたスライダー３４４は後退した状態になる。
【００５５】
これは各アライン部材３４１の間隔が最大に拡張された状態、即ちＬＣＤパネル１の安着が可能な状態である。
【００５６】
このようになった状態で、カセットに積置されていた検査対象であるＬＣＤパネルがＬＣＤパネル１の供給手段としてのロボットによって位置決め機構３４上に図５ａ及び図８のように安着すると、位置決め機構３４によって図５ｂ及び図１０ａのようにアラインが行われる。
【００５７】
即ち、各アライン部材３４１の間にＬＣＤパネル１が図５及び図８のように安着すると、ＬＣＤパネルはベースプレート３４０から突出している各吸着器３４９上に単に載置された状態になる。
【００５８】
以降、前記昇降部材３５０をシリンダ８００の動力によって下降させることにより、ローラ３４５はガイドコーン３５２の上死点である最小外周面３５２ｂに接触すると共に、ローラ３４６を始めとしたスライダー３４４はリターンスプリング３４２の弾性力によってベースプレート３４０の中心部に向かって前進する。
【００５９】
これと同時に、前記各スライダー３４４の両側に直立設置された支持棒３４７もスライダーと一緒に一律的に前進してＬＣＤパネル１の各辺を押すと、図５ｂ及び図８に示すようにＬＣＤパネルの整列位置が決定される。
【００６０】
この際、前記支持棒３４７は軟質材からなっているので、アライン過程においてＬＣＤパネル１と強く接触しても、自体緩衝力によってＬＣＤパネルの損傷を予め防止することができる。
【００６１】
しかし、リターンスプリング３４２の弾性力が過度に大きい場合には、ＬＣＤパネル１が損傷する余地も充分潜在しているので、アライン部材３４１の内側移動経路上にスライダー３４４を適正地点で停止させるストッパー３６０が設置されており、ＬＣＤパネルの損傷防止を図る。
【００６２】
前記ストッパー３６０は支持片３６１に調節スクリュー３６２が貫通されるように結合し、調節スクリュー３６２を回転させることによりその長さを可変させることができるので、これにアライン部材３４１を設定しようとする位置で停止させることができる。
【００６３】
このようにアライン部材３４１によってＬＣＤパネル１のアライン作業が終わると、これを維持した状態で吸着器３４９に真空圧が誘起され、これにより前記吸着器上に安着したＬＣＤパネル１はアラインされた状態で吸着器上に硬く固定される。
【００６４】
一方、こうして位置決め機構でＬＣＤパネルに対する位置決定が行われた後プリアライナが出入りサイトへのＬＣＤパネルを供給する過程を図８乃至図１１を参照して説明すると、次の通りである。
【００６５】
まず、図８状態を経てＬＣＤパネルに対する位置決めが行われた後は、前記位置決め機構３４を水平状態で９０°に反転させる。
【００６６】
即ち、ステップモータ３５の駆動力によって位置決め機構３４を水平状態で９０°に反転させてＬＣＤパネル１の短辺側が前方に向かっていた状態で長辺側が前方を向くように方向を切り換える。
【００６７】
次に、ベース６上に設置されたキアモータ３９が駆動してこれに直接結合された駆動ギア３９ａを図９に矢印で示すように図面上時計方向に回転させると、この駆動ギアに噛み合うと共に前記フレーム３３の下端部を貫通する軸３２に結合されたストッパーギア３９ｂは反時計方向に回転し、これによりプリアライナは図１０ｃの状態になる。
【００６８】
これにより、フレーム３３は軸３２を中心として図面上反時計方向に６０°回動してその前方に位置したＬＣＤパネル運搬手段としてのキャリアと平行した状態になる。
【００６９】
この際、前記フレーム３３は前述したように、基本的にギアモータ３９によって回動角度の統制を受けるが、統制機能が喪失されるか或いはフレームの慣性力によって稍ともすればオーバーランになる虞があるので、これを防止するためにフレームが停止される地点にフレームと接触するようにストッパー３１０を設置することにより、機構的に安全性を強化した。
【００７０】
この際、前記ストッパー３１０は空気圧力によって突出した状態を維持していて、急に力が加えられる場合、圧縮されながら緩衝作用をすることにより、フレーム３３の回動過程においてＬＣＤパネル１が破損することを防止することができる。
【００７１】
即ち、プリアライナのオーバーラン時、ストッパー３１０の空気制動（ａｉｒ  ｄａｍｐｉｎｇ）作用によってフレームの慣性に起因したプリアライナの回転力が減衰することにより、位置決め機構３に支持されているＬＣＤパネル１の破損及び損傷が防止される。
【００７２】
次に、図１１に示すようにフレーム３３の回動直後には位置決め機構３４の下部に設置されたシリンダ３６が動作して位置決め機構３４をＬＣＤパネルに対する運搬手段としてのキャリア側に向かって前進させる。
【００７３】
この際、位置決め機構３４はその上部に支持されたＬＣＤパネル１を運搬手段としてのキャリア２０のフィンガー２４がホールド可能な位置まで前進し、前記フィンガー２４はＬＣＤパネル１をホールドする。
【００７４】
以後には位置決め機構３４に支持されていたＬＣＤパネル１がキャリアによって本体中央部のテストサイトに移され、これによりＬＣＤパネルの検査過程が行われる。
【００７５】
一方、前記プリアライナ３０が原位置に復帰する時には前記の逆順によって行われるので、別途の説明は省略する。
【００７６】
但し、プリアライナ３０が前方に傾いた状態で垂直状態に転換される時も基本的にギアモータ３９によって回動角度の統制を受けるが、統制機能が喪失されるか、或いはフレーム３３の慣性力によって稍とすればオーバーランになる虞があるので、フレーム３３が停止される地点にフレームと接触するようにもう一つのストッパー３１０を設置することにより、動作の正確性及びＬＣＤパネルの損傷を予め防止する安全性を強化した。
【００７７】
以下、このように整列作用が終わった状態で、キャリアの作用によってＬＣＤパネルが出入りサイトを介してテストサイトにロードされる過程、及びテストサイトでの検査後に出入りサイトを介してアンロードされる過程について図１２ａ乃至図１２ｆを参照して説明する。
【００７８】
まず、図１３に示すように、キャリア２０の２つの固定ホール２００ａ、２００ｂのうち、ＬＣＤパネル１の固定された右側の固定ホール２００ｂがテストサイト１０ａ上に位置して検査が行われている状態では、出入りサイト１０ｂに位置した左側の固定ホール２００ａを介して新しいＬＣＤパネルが供給されなければならない。
【００７９】
即ち、テストサイト１０ａで一つのＬＣＤパネルに対する検査が行われている場合、出入りサイト１０ｂを通しては新しいＬＣＤパネルが供給されて待機状態を維持するようにしなければならない。
【００８０】
このために、前記左側固定ホール２００ａの後方に位置したプリアライナ３０によって新しいＬＣＤパネルが前述した位置決め過程を経た後、左側固定ホール２００ａの内側に位置すると、左側固定ホール２００ａの各辺に設置されたフィンガー２４が後退した状態からＬＣＤパネル１の各辺に向かって前進しながら、図１４に示すようにＬＣＤパネル１をホールドする。
【００８１】
このような状態で右側固定ホール２００ｂに支持されているＬＣＤパネル１の検査が終わると、キャリア２０は本体１０に設置された駆動手段から与えられた移送力によって図上の右側に移動して図１５の状態になる。
【００８２】
この際、前記キャリア２０はボールスクリューブロック２３に結合されているので、モータ２２の動力によって螺旋軸２１が正方向に回転することにより、前記螺旋軸２１上に沿って移動する前記ボールスクリューブロック２３と共に螺旋軸２１に沿って右側に移動する。
【００８３】
一方、図１５の状態ではキャリア２０の左側固定ホール２００ａの内側にホールドされたＬＣＤパネルがテストサイト１０ａに位置してテストが行われ、このようにキャリアの左側固定ホールの内側にホールドされたＬＣＤパネルに対するテストが行われる間、本体１０の右側の出入りサイト１０ｂに位置した右側固定ホール２００ｂの内側にホールドされたテスト済みのＬＣＤパネル１は出入りサイト１０ｂを介して抜け出して図１６の状態になる。
【００８４】
即ち、右側固定ホール２００ｂの内側にホールドされていたＬＣＤパネルはフィンガー２４の後退動作によって固定力が解除されることによりプリアライナ３０に搬送された後、ロボット（図示せず）の作用によってカセット（図示せず）に移送されて積置される。
【００８５】
一方、図１６の状態において、前記本体１０の右側の出入りサイト１０ｂにはプリアライナ３０による位置整列済みの新しいＬＣＤパネル１が入って、図１７に示すようにキャリア２０の右側固定ホール２００ｂの内側にホールドされる。
【００８６】
以後、左側固定ホール２００ａの内側にホールドされたＬＣＤパネル１の検査が完了すると、キャリア２０は本体１０に設置された駆動手段から移送力を与えられて図１８に示すように図上の左側に移動する。
【００８７】
その後、プリアライナ３０とロボットの作用によって左側固定ホール２００ａの内側にホールドされた検査済みのＬＣＤパネルは、本体左側の出入りサイトを抜け出してテスト結果によって分類されて所定のカセットに積置され、次にロボットとプリアライナ３０の作用によって新しいＬＣＤパネル１が移送されてきて左側固定ホール２００ｂの内側にホールドされた状態に左側固定ホール２００ａのＬＣＤパネルの検査が終了するまで待機する。
【００８８】
このように、本発明のハンドラーでは前記図１３乃至図１８の過程を繰り返し行うことにより、ＬＣＤパネルをテストサイトにロードする一方、テスト済みのＬＣＤパネルをカセットにアンロードさせる。
【００８９】
これにより、本発明は既存のテストサイト３の両側に設置された重さが重く、複雑な構成を有するアライナ５、６を無くす代わりに、キャリア２０に移送される前にプリアライナ３０によって予めアラインを行った後、重さが軽くて単純な構造をもったキャリア２０を用いてＬＣＤパネル１をテストサイト１０ａに移送させることにより、ハンドラーの全体構成を単純化することができる。
【００９０】
一方、図１２は前記プリアライナを回動させる手段の他の実施例を示すものであり、ベース６の上面にシリンダ４０が設置され、前記シリンダ４０のプランジャ４１の終端にフレーム３３の下端部が結合され、前記プランジャ４１の前進及び後退時にマウントブラケット３１を貫通する軸３２を中心としてプリアライナ３０が時計方向及び反時計方向に回動するようになったものである。
【００９１】
そして、図１９は本発明のキャリア及びキャリア駆動手段の他の実施の形態を示す正面図である。この場合にはキャリア２０の上部にリニアガイド９００が設置され、前記リニアガイド９００上にはリニアモータ９０１が設置され、前記リニアモータ９０１はキャリア２０に結合された構造である。
【００９２】
この際、前記キャリア２０の上部にはリニアモータ９０１との結合のためのマウントブラケット９０３が備えられ、前記マウントブラケット９０３はキャリアに一体に形成してもかまわない。
【００９３】
そして、前記リニアモータ９０１には電源を供給するためのフレキシブルケーブル９０２が連結される。
【００９４】
一方、前記リニアガイド９００及びリニアモータ９０１、そしてフレキシブルケーブル９０２はキャリア２０の下部側に設置してもかまわない。
【００９５】
これと共に、前記キャリア２０は固定ホール２００ａ、２００ｂを両側に設け、分離可能な２つのピース（ｐｉｅｃｅ）から構成される。
【００９６】
これにより、このように構成されたキャリアが適用された場合にはテストサイトの保守及び点検時の締結部材９１０を解いて前記キャリアの左右側ピースを分離し、左右側ピースが両側の出入りサイトに位置するようにすることにより、テストサイトへの作業者の接近が容易になる。
【００９７】
また、リニアモータ９０１が設置されることにより、キャリア２０移動時の振動及び騒音を最小化する一方、キャリアの移動時にマイクロ単位の精密制御が可能になる。
【００９８】
一方、図２０ａ及び図２０ｂは本発明の位置決め機構の他の実施例を示す従断面図であり、位置決め機構を構成する部分のうちアライン部材３４１を空圧によって作動させる構造改善のものである。
【００９９】
即ち、ガイドレール３４３の左・右両側に空圧が印加されるポート３７０ａ、３７０ｂが備えられるようにして、前記両側ポート３７０ａ、３７０ｂのいずれかを通して選択的に印加される空圧によってスライダー３４４が前進及び後進するようにしたものである。
【０１００】
このように構成された場合には、図２０ａのようにＬＣＤパネル１が安着した状態で、外側のポート３７０ａを介して空圧が印加される場合、スライダー３４４は前進し、これにより垂直方向に設置された支持棒３４７がＬＣＤパネル１の各辺に密着されて図２０ｂのようにＬＣＤパネル１の整列が行われる。
【０１０１】
このように位置決め機構の構成を変更する場合、図３乃至図５に示した位置決め機構の構成を一層単純化することができる。即ち、ガイドレール３４３の左・右両側に空圧が印加されるポート３７０ａ、３７０ｂが備えられ、前記両側ポート３７０ａ、３７０ｂに印加される空圧の方向に従って前記ガイドレール上に設置されたスライダーが前進または後進する構造に変更される場合、図３乃至図５の前述した実施例の構成中、ローラ台３４６とローラ３４５、そしてガイドコーン３５２、昇降棒３５１、シリンダ８００、リターンスプリング３４２等の多くの部品を省略可能なので、構造を単純化して製造費用を減少させる一方、動作信頼性を向上させることができる。
【０１０２】
一方、図２１は本発明によるキャリア及びキャリア駆動手段の他の実施の形態を示している。
このような実施例ではＬＣＤパネルの大きさに関係なくキャリアが汎用的に用いられ、そのキャリアの駆動が更に円滑に行われるようにしたもので、その構成は下記の通りである。
【０１０３】
まず、前記ＬＣＤパネルの各辺を固定するためのフィンガー２４を各固定ホール２００ａ、２００ｂ内の上側及び下側に二つを一対としてそれぞれ設置する。そして、前記各フィンガー２４が各固定ホール２００ａ、２００ｂ内で上側或いは下側に移動可能であるように構成すると同時に、左側或いは右側への移動が可能であるように構成する。
【０１０４】
このために、前記各固定ホール２００ａ、２００ｂの両側のキャリア２０の縁面両側の上部及び下部にガイドホール２１０をそれぞれ形成し、その各ガイドホール２１０にはそれぞれのフィンガー２４を支持する各支持台６０の両側をボルト６１で締結する。この際、前記各ガイドホール２１０はキャリア２０の上下方向に向いて長く形成することで、各支持台６０の上下間隙の調節が可能である。
【０１０５】
そして、前記各支持台６０に結合される各フィンガー２４もまたボルト締結などの結合方法を用いて、前記各支持台に選択的に結合することにより、支持台６０に対して左側及び右側への移動が可能である。ここで、各フィンガー２４は一対であって、固定ホール２００ａ、２００ｂ内の上側及び下側にそれぞれ構成せず、一つで構成しても構わない。しかし、より安定的なＬＣＤパネル１の支持のために、前記フィンガー２４は二つを一対として構成するのが好ましい。
【０１０６】
従って、テストを行おうとするＬＣＤパネルの大きさが変更する場合、各支持台６０の両側に締結したボルト６１を外し、各支持台６０間の間隔を適切に調停した後、前記ボルト６１を再び締結することでその固定を行い、前記各支持台６０に結合された一対のフィンガー２４もまた前述過程と同一方法で相互間の間隔を適切に調節する。
【０１０７】
そして、前記各キャリア２０及び各支持台６０には多数のホール２２０、２３０を形成して、全体の重量を減少し、材料を節減する。
【０１０８】
また、キャリア２０を駆動するための手段として、前記キャリアの下部に下部ガイド９２０ｂを設置し、その下部ガイド９２０ｂにはリニアモータ９０１、そして、フレキシブルケーブル９０２をそれぞれ設置する。これと共に、キャリア２０の上部には上部ガイド９２０ａを設置して、前記キャリア２０の上端を支持できるようにする。これにより、キャリア２０の上部及び下部は各ガイド９２０ａ、９２０ｂによって安定的に支持した状態で移送される。
【０１０９】
また、前記キャリア２０は固定ホール２００ａ、２００ｂを両側に置いて二つのピースに構成し、各ピースは締結部材９１０を用いて互いに分離及び結合可能であるようにする。
【０１１０】
前記のような構成のキャリアが適用された場合には、テストサイトの補修及び点検が容易である。即ち、前記テストサイトの補修及び点検時、締結部材９１０を外して前記キャリア２０の左右側ピースを分離し、左右側ピースが両側の出入サイトに位置することにより、テストサイトへの作業者の接近が容易となるのである。
【０１１１】
前述した実施例のキャリア２０及びキャリア駆動手段は部品が簡素化され製造が容易となると同時に、製造単価が低減し、全体の重さが減少することで、キャリアの移送のための動力消費を低減することができる。
【０１１２】
【発明の効果】
上述した本発明の効果は次の通りである。
本発明のＬＣＤハンドラーは高価のカメラ無しに機構的な動作のみでＬＣＤパネルに対するアラインが正確に行われるようにする効果がある。一方、本発明のＬＣＤハンドラーはＬＣＤパネルのテストサイトへのローディング及び前記ＬＣＤパネルのテストサイトからのアンローディングが軽いキャリアによって行われるので、より小さい動力で速くて精密に振動なく行われるようにしてハンドラーの信頼性を高めることができる。これと共に、本発明はＬＣＤパネル検査装置の全体的な構造及び動線を単純化することにより、動作上の誤謬を大きく減らして生産性を向上させることができ、装備の外形が大きく縮小されることにより空間の効率的活用が可能になる等の様々な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＬＣＤハンドラーの構成を示す側断面図である。
【図２】図１のＩ−Ｉ線に沿った正面図である。
【図３】図１のプリアライナを示す斜視図である。
【図４】図３の位置決め機構を分離して示す拡大斜視図である。
【図５】位置決め機構の整列作用を示すもので、ａはＬＣＤパネルの整列が行われる前の状態を示す断面図、ｂはＬＣＤパネルの整列が行われた後の状態を示す断面図である。
【図６】ストッパーによってアライナ部材の停止位置を矯正する過程を示す平面図である。
【図７】図６のアライン部材の斜視図である。
【図８】ＬＣＤパネルが位置決め機構上に安着した状態を示す側面図である。
【図９】位置決め機構の作用によってＬＣＤパネルの整列が行われた状態を示す側面図である。
【図１０】プリアライナが所定の角度で回動した後の状態を示す側面図である。
【図１１】プリアライナが上昇した状態を示す側面図である。
【図１２】プリアライナを構成するプリアライナ回動手段の他の実施例を示す側面図である。
【図１３】キャリアの右側のゲートがテストサイトに位置してＬＣＤパネルのテストが行われる一方、キャリアの左側のゲートに新しいＬＣＤパネルがロードされる前の状態図である。
【図１４】キャリアの左側のゲートに新しいＬＣＤパネルがロードされた後の状態図である。
【図１５】キャリアの右側のゲートに位置したＬＣＤパネルのテストが完了されることによりキャリが本体の右側に移動した後の状態図である。
【図１６】キャリアの左側のゲートがテストサイトに位置してＬＣＤパネルのテストが行われる一方、キャリア右側のゲートの検査済みのＬＣＤパネルがアンロードされた後の状態図である。
【図１７】キャリアの右側のゲートに新しいＬＣＤパネルがロードされた後の状態図である。
【図１８】キャリアの右側のゲートに位置したＬＣＤパネルのテストが完了されることによりキャリアが本体の左側に移動した後の状態図である。
【図１９】本発明のキャリア及びキャリア駆動手段の他の実施の形態を示す正面図である。
【図２０】本発明の位置決め機構の他の実施の形態を示す従断面図である。
【図２１】本発明のキャリア及びキャリア駆動手段の他の実施の形態を示す図である。
【図２２】従来のＬＣＤハンドラーの概略的な構成図である。
【図２３】図２２の側面図である。
【符号の説明】
１  ＬＣＤパネル
１０  本体
１０ａ  テストサイト
１０ｂ  出入りサイト
２０  キャリア
２４  フィンガー
３０  プリアライナ
３３  フレーム
３４  位置決め機構
３７  昇降プレート
３８  ガイド
【図１】
0003553460.tif 000002
【図２】
0003553460.tif 000003
【図３】
0003553460.tif 000004
【図４】
0003553460.tif 000005
【図５】
0003553460.tif 000006
【図６】
0003553460.tif 000007
【図７】
0003553460.tif 000008
【図８】
0003553460.tif 000009
【図９】
0003553460.tif 000010
【図１０】
0003553460.tif 000011
【図１１】
0003553460.tif 000012
【図１２】
0003553460.tif 000013
【図１３】
0003553460.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0003553460.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
0003553460.tif 000018
【図１８】
0003553460.tif 000019
【図１９】
0003553460.tif 000020
【図２０】
0003553460.tif 000021
【図２１】
0003553460.tif 000022
【図２２】
0003553460.tif 000023
【図２３】
0003553460.tif 000024