(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座部材と、複数個が並設して前記台座部材に取り付けられた帯状の金属板からなる第１の切り込み部材と、この第１の切り込み部材間に位置した状態で、複数個が並設して前記台座部材に取り付けられた帯状の金属板からなる第２の切り込み部材とを備え、前記第１の切り込み部材は、長手方向の一方の側縁部に第１刃部を有し、複数個の前記第１の切り込み部材は、前記第１刃部を上方にして、長手方向の他方の側縁部側が前記台座部材に取り付けられ、前記第２の切り込み部材は、複数個が所定の間隔をおいて一方の面から突出すると共に、幅方向に横切って設けられた第２刃部を有し、複数個の前記第２の切り込み部材は、前記第２刃部を上方にして、他方の面側が前記台座部材に取り付けられ、前記第１の切り込み部材の前記第１刃部と前記第２の切り込み部材の前記第２刃部とが互いに直角状に配置されて格子状となしたことを特徴とする格子状の切り込み付け用金型。
【請求項２】
前記第１，第２の切り込み部材が前記台座部材に交換可能に取り付けられたことを特徴とする請求項１記載の格子状の切り込み付け用金型。
【請求項３】
前記台座部材は、一方の面側に並設して設けられた複数個の溝部と、この溝部間に設けられた凹部、或いは凸部からなる位置決め部とを有し、前記第１の切り込み部材が前記溝部に嵌入して取り付けられると共に、前記第２の切り込み部材が前記位置決め部で位置決めされた状態で、前記第１の切り込み部材間に取り付けられたことを特徴とする請求項１、又は２記載の格子状の切り込み付け用金型。
【請求項４】
前記第１刃部は、刃先部と、この刃先部から漸次肉厚となったＶ字状の側部を有し、前記第２刃部は、刃先部と、この刃先部から漸次肉厚となったＶ字状の側部と、両端部において、根本部から刃先部に行くに従って幅広となった傾斜部とを有し、この傾斜部が前記第１刃部の側部に当接したことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の格子状の切り込み付け用金型。
【請求項５】
前記第１刃部の刃先部が前記第２刃部の刃先部よりも外方に突出したことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の格子状の切り込み付け用金型。
【請求項６】
前記台座部材は、上下に貫通する複数個の孔を有し、この孔から注入された接着剤により、前記第１，第２の切り込み部材が前記台座部材に接着されて取り付けられたことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の格子状の切り込み付け用金型。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ型の抵抗器、或いはコンデンサ等からなる電気部品の製造に使用される格子状の切り込み付け用金型に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の格子状の切り込み付け用金型の構成を図２３，図２４に基づいて説明すると、超鋼材の金属板からなる金型５１は、その一面側において、互いに直交して配設されて格子状をなした第１，第２刃部５２，５３と、この第１，第２刃部５２，５３に囲まれた箇所に設けられた窪み部５４とを有する。
【０００３】
また、第１，第２刃部５２，５３は、刃先部５２ａ、５３ａと、この刃先部５２ａ、５３ａから順次肉厚となったＶ字状の側部５２ｂ、５３ｂを有している。そして、第１，第２刃部５２，５３，及び窪み部５４は、放電加工により製造されている。
【０００４】
このため、その製造に長時間要し、コスト高になるばかりか、製造時、刃先部５２ａ、５３ａに欠け、或いはクラックが生じて、不良率が高いものであった。また、刃先部５２ａ、５３ａがザラザラした状態となって、面粗度が悪く、使用途上において、刃先部５２ａ、５３ａが欠けやすく、長期の使用が困難となるばかりか、一部の刃先部５２ａ、５３ａが欠けると、この金型５１を破棄して、新規な金型５１を用意するため、コスト高になるものであった。
【０００５】
また、このような従来の金型５１を使用したチップ型の電気部品の製造方法を図２４に基づいて説明すると、柔らかいセラミック材からなるグリーンシートと呼ばれるシート５５が載置台５６上に載置されると共に、この上方には、金型５１が配置される。
【０００６】
そして、金型５１をシート５５上に押し付けて、第１，第２刃部５２，５３によって、シート５５に格子状の切り込み部５５ａを設けて、互いに繋がった多数のチップ状の基板５７を形成する。
しなる後、このシート５５を焼成して、基板５７を硬くした後、この各基板５７上に印刷等により抵抗体（図示せず）や電極（図示せず）を設け、そして、再度、焼成した後、切り込み部５５ａを基準にして折り曲げて切断すると、基板５７が個々に切り離されて、チップ型の電気部品が製造されるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の格子状の切り込み付け用金型は、放電加工によって、第１，第２刃部５２，５３が形成されるため、その製造に長時間要し、コスト高になるという問題がある。
また、放電加工による製造時、刃先部５２ａ、５３ａに欠け、或いはクラックが生じて、不良率が高いという問題があった。
更に、刃先部５２ａ、５３ａがザラザラした状態となって、面粗度が悪く、使用途上において、刃先部５２ａ、５３ａが欠けやすく、長期の使用が困難となるという問題があった。
更に又、一部の刃先部５２ａ、５３ａが欠けると、この金型５１を破棄して、新規な金型５１を用意するため、コスト高になるものであった。
【０００８】
そこで、本発明はその製造が安価で、且つ、一部の刃先部が欠けても、交換可能となした安価な格子状の切り込み付け用金型を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための第１の解決手段として、台座部材と、複数個が並設して前記台座部材に取り付けられた帯状の金属板からなる第１の切り込み部材と、この第１の切り込み部材間に位置した状態で、複数個が並設して前記台座部材に取り付けられた帯状の金属板からなる第２の切り込み部材とを備え、前記第１の切り込み部材は、長手方向の一方の側縁部に第１刃部を有し、複数個の前記第１の切り込み部材は、前記第１刃部を上方にして、長手方向の他方の側縁部側が前記台座部材に取り付けられ、前記第２の切り込み部材は、複数個が所定の間隔をおいて一方の面から突出すると共に、幅方向に横切って設けられた第２刃部を有し、複数個の前記第２の切り込み部材は、前記第２刃部を上方にして、他方の面側が前記台座部材に取り付けられ、前記第１の切り込み部材の前記第１刃部と前記第２の切り込み部材の前記第２刃部とが互いに直角状に配置されて格子状となした構成とした。
【００１０】
また、第２の解決手段として、前記第１，第２の切り込み部材が前記台座部材に交換可能に取り付けられた構成とした。
【００１１】
また、第３の解決手段として、前記台座部材は、一方の面側に並設して設けられた複数個の溝部と、この溝部間に設けられた凹部、或いは凸部からなる位置決め部とを有し、前記第１の切り込み部材が前記溝部に嵌入して取り付けられると共に、前記第２の切り込み部材が前記位置決め部で位置決めされた状態で、前記第１の切り込み部材間に取り付けられた構成とした。
【００１２】
また、第４の解決手段として、前記第１刃部は、刃先部と、この刃先部から漸次肉厚となったＶ字状の側部を有し、前記第２刃部は、刃先部と、この刃先部から漸次肉厚となったＶ字状の側部と、両端部において、根本部から刃先部に行くに従って幅広となった傾斜部とを有し、この傾斜部が前記第１刃部の側部に当接した構成とした。
【００１３】
また、第５の解決手段として、前記第１刃部の刃先部が前記第２刃部の刃先部よりも外方に突出した構成とした。
また、第６の解決手段として、前記台座部材は、上下に貫通する複数個の孔を有し、この孔から注入された接着剤により、前記第１，第２の切り込み部材が前記台座部材に接着されて取り付けられた構成とした。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の格子状の切り込み付け用金型の図面を説明すると、図１は本発明の格子状の切り込み付け用金型の平面図、図２は本発明の格子状の切り込み付け用金型の正面図、図３は本発明の格子状の切り込み付け用金型の側面図、図４は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係り、要部を切断した斜視図である。
【００１５】
また、図５は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る台座部材の平面図、図６は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る台座部材の正面図、図７は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る台座部材の側面図、図８は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の切り込み部材の正面図、図９は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の切り込み部材の側面図である。
【００１６】
また、図１０は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の切り込み部材の平面図、図１１は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の切り込み部材の正面図、図１２は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の切り込み部材の側面図、図１３は図１１のＡ部における拡大図である。
【００１７】
また、図１４は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の補助部材の平面図、図１５は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の補助部材の正面図、図１６は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の補助部材の側面図、図１７は図１５のＡ部における拡大図である。
【００１８】
また、図１８は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の補助部材の平面図、図１９は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の補助部材の正面図、図２０は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の補助部材の側面図、図２１は図１９のＡ部における拡大図、図２２は本発明の格子状の切り込み付け用金型に係り、チップ型の電気部品の製造方法を示す説明図である。
【００１９】
次に、本発明の格子状の切り込み付け用金型の構成を図１〜図２２に基づいて説明すると、金型１の一部を構成する台座部材２は、ダイス鋼等からなる金属材で形成され、特に図５〜図７に示すように、その上面である一方の面２ａ側に並設して設けられた複数個の溝部２ｂと、これ等の溝部２ｂ間に位置した状態で、この溝部２ｂと直交するように一方の面２ａから突出した凸部からなる複数個の位置決め部２ｃと、溝部２ｂと平行な状態で、一方の面２ａに設けられた２条の切り溝部２ｄと、溝部２ｂの底部に位置した状態で、上下に貫通して設けられた複数個の孔２ｅと、溝部２ｂから外れた各溝部２ｂ間に位置した状態で、上下に貫通して設けられた複数個の孔２ｆとを有する。
【００２０】
帯状の超鋼材等の金属板からなる第１の切り込み部材３は、特に図８，図９に示すように、長手方向の一方の側縁部側に設けられた第１刃部３ａと、長手方向の他方の側縁部側の角部に設けられた切り落とし部３ｄとを有する。
また、前記第１刃部３ａは、刃先部３ｂと、この刃先部３ｂから漸次肉厚となったＶ字状の側部３ｃとで構成されており、この第１刃部３ａは、研磨盤によって形成されている。
そして、複数個の第１の切り込み部材３は、図１〜図４に示すように、長手方向の一方の側縁部側に設けられた第１刃部３ａを上方にして立てた状態で、長手方向の他方の側縁部側を台座部材２の溝部２ｂに嵌入されて取り付けられる。
【００２１】
この時、切り落とし部３ｄによって、溝部２ｂへの第１の切り込み部材３の嵌入を容易にすると共に、図４に示すように、第１の切り込み部材３の他方の側縁部が溝部２ｂの底部に位置した状態となっている。
そして、ここでは図示しないが、瞬間接着剤が孔２ｅに注入されて、それぞれの第１の切り込み部材３が接着剤により台座部材２に取り付けられており、このため、この第１の切り込み部材３は、接着剤から剥がすことによって、交換可能となっている。
【００２２】
帯状の超鋼材等の金属板からなる第２の切り込み部材４は、特に図１０〜図１３に示すように、複数個が所定の間隔をおいて一方の面から突出すると共に、幅方向に横切って設けられた第２刃部４ａと、他方の面において幅方向に横切って設けられた一対の凹部からなる位置決め部４ｅとを有する。
また、前記第２刃部４ａは、刃先部４ｂと、この刃先部４ｂから漸次肉厚となったＶ字状の側部４ｃと、刃先部４ｂの両端部において、根本部から刃先部４ｂに行くに従って幅広となった傾斜部４ｄとで構成されている。
そして、複数個の第２の切り込み部材４は研削盤によって製造され、この第２の切り込み部材４は、図１〜図４に示すように、第１の切り込み部材３間において、第２刃部４ａを上方にして、他方の面を台座部材２の一方の面に載置する。
【００２３】
この時、第２の切り込み部材４の位置決め部４ｅである凹部内には、台座部材２の位置決め部２ｃである凸部が嵌入して、それぞれ第２の切り込み部材４が位置決めされると共に、図４に示すように、第２刃部４ａの傾斜部４ｄが第１刃部３ａの側部３ｃに当接し、更には、第２の切り込み部材４の他方の面が台座部材２の上面である一方の面に載置された状態となっている。
そして、ここでは図示しないが、瞬間接着剤が孔２ｆに注入されて、それぞれの第２の切り込み部材４が接着剤により台座部材２に取り付けられており、このため、この第２の切り込み部材４は、接着剤から剥がすことによって、交換可能となっている。
【００２４】
また、第２の切り込み部材４が取り付けられた際、第１刃部３ａが第２刃部４ａよりも外方（上方）に突出した状態となると共に、複数個の第２の切り込み部材４に設けられた第２刃部４ａは、第１の切り込み部材３の各第１刃部３ａを挟んで直角状に配置されて、その結果、第１刃部３ａと第２刃部４ａとで格子状を形成している。
【００２５】
帯状の超鋼材等の金属板からなる第１の補助部材５は、特に図１４〜図１７に示すように、複数個が所定の間隔をおいて一方の面から突出すると共に、幅方向に横切って設けられた第３刃部５ａと、他方の面において幅方向に横切って設けられた一対の凹部からなる位置決め部５ｅと、他方の面の長手方向に設けられた突起部５ｆとを有する。
【００２６】
また、前記第３刃部５ａは、刃先部５ｂと、この刃先部５ｂから漸次肉厚となったＶ字状の側部５ｃと、刃先部５ｂの一端部において、根本部から刃先部５ｂに行くに従って幅広となった傾斜部５ｄとで構成されている。
そして、この第１の補助部材５は研削盤によって製造され、この第１の補助部材５は、図１〜図４に示すように、第１の切り込み部材３の右側において、第３刃部５ａを上方にして、他方の面を台座部材２の一方の面に載置する。
【００２７】
この時、突起部５ｆが台座部材２の切り溝部２ｄに嵌入されると共に、第１の補助部材５の位置決め部５ｅである凹部内には、台座部材２の位置決め部２ｃである凸部が嵌入して第１の補助部材５が位置決めされ、また、ここでは図示しないが、第３刃部５ａの傾斜部５ｄが第１刃部３ａの側部３ｃに当接すると共に、瞬間接着剤が孔２ｆに注入されて、第１の補助部材５が接着剤により台座部材２に取り付けられており、このため、この第１の補助部材５も接着剤から剥がすことによって、交換可能となっている。
【００２８】
また、第１の補助部材５が取り付けられた際、第１刃部３ａが第３刃部５ａよりも外方（上方）に突出した状態となっていると共に、それぞれの第３刃部５ａは、第２刃部４ａと一直線状に配置された状態となっている。
【００２９】
帯状の超鋼材等の金属板からなる第２の補助部材６は、特に図１８〜図２１に示すように、複数個が所定の間隔をおいて一方の面から突出すると共に、幅方向に横切って設けられた第４刃部６ａと、他方の面において幅方向に横切って設けられた一対の凹部からなる位置決め部６ｅと、他方の面の長手方向に設けられた突起部６ｆとを有する。
【００３０】
また、前記第４刃部６ａは、刃先部６ｂと、この刃先部６ｂから漸次肉厚となったＶ字状の側部６ｃと、刃先部６ｂの一端部において、根本部から刃先部６ｂに行くに従って幅広となった傾斜部６ｄとで構成されている。
そして、この第２の補助部材６は研削盤によって製造され、この第２の補助部材６は、図１〜図４に示すように、第１の切り込み部材３の左側において、第４刃部６ａを上方にして、他方の面を台座部材２の一方の面に載置する。
【００３１】
この時、突起部６ｆが台座部材２の切り溝部２ｄに嵌入されると共に、第２の補助部材６の位置決め部６ｅである凹部内には、台座部材２の位置決め部２ｃである凸部が嵌入して第２の補助部材６が位置決めされ、また、ここでは図示しないが、第４刃部６ａの傾斜部６ｄが第１刃部３ａの側部３ｃに当接すると共に、瞬間接着剤が孔２ｆに注入されて、第２の補助部材６が接着剤により台座部材２に取り付けられており、このため、この第２の補助部材６も接着剤から剥がすことによって、交換可能となっている。
【００３２】
また、第２の補助部材６が取り付けられた際、第１刃部３ａが第４刃部６ａよりも外方（上方）に突出した状態となっていると共に、それぞれの第４刃部６ａは、第２刃部４ａと一直線状に配置された状態となっている。
【００３３】
また、このような本発明の金型１を使用したチップ型の電気部品の製造方法を図２２に基づいて説明すると、柔らかいセラミック材からなるグリーンシートと呼ばれるシート１１が載置台１２上に載置されると共に、この上方には、金型１が配置される。
【００３４】
そして、金型１をシート１１上に押し付けて、第１，第２の切り込み部材３，４の第１，第２刃部３ａ、４ａによって、シート１１に格子状の切り込み部１１ａを設けて、互いに繋がった多数のチップ状の基板１３を形成する。
しなる後、このシート１１を焼成して、基板１３を硬くした後、この各基板１３上に印刷等により抵抗体（図示せず）や電極（図示せず）を設け、そして、再度、焼成した後、切り込み部１１ａを基準にして折り曲げて切断すると、基板１３が個々に切り離されて、チップ型の電気部品が製造されるようになっている。
【００３５】
また、第１，第２刃部３ａ、４ａをシート１１に押し付ける際、第１刃部３ａが先に食い込んだ後、第２刃部４ａが食い込むようになっており、これによって、初期段階における金型１の押し付け力を小さくできると共に、切り込み部１１ａの形状を正確に形成できるようになる。
【００３６】
なお、上記実施例では、接着剤より第１，第２の切り込み部材３，４，及び第１，第２の補助部材５，６を交換可能に取り付けたもので説明したが、その他の構成により交換可能にしても良い。
また、台座部材２に設けた位置決め部２ｃと第２の切り込み部材４に設けた位置決め部４ｅは、その凹凸関係を逆にしても良い。
【００３７】
【発明の効果】
本発明の格子状の切り込み付け用金型において、複数個の第１の切り込み部材３は、第１刃部３ａを上方にして、長手方向の他方の側縁部側が台座部材２に取り付けられ、複数個の第２の切り込み部材４は、第２刃部４ａを上方にして、他方の面側が台座部材２に取り付けられ、第１の切り込み部材３の第１刃部３ａと第２の切り込み部材４の第２刃部４ａとが互いに直角状に配置されて格子状となしたため、第１の切り込み部材３は研磨盤で加工できると共に、第２の切り込み部材４は研削盤で加工でき、従って、従来の放電加工に比してその製造時間が少なく、安価な金型を提供できる。
【００３８】
また、本発明の金型の第１，第２刃部３ａ、４ａは、従来の放電加工によるものに比して、刃先部３ｂ、４ｂの加工精度が良く、刃先部３ｂ、４ｂの欠けやクラックが少なく、不良率の少ない金型が得られる。
更に、刃先部３ｂ、４ｂの粗面度が良く、従って、使用途上における刃先部３ｂ、４ｂの欠けが少なく、長期の使用に耐える金型が得られる。
【００３９】
また、第１，第２の切り込み部材３，４が台座部材に交換可能に取り付けられたため、刃先部３ｂ、４ｂが欠けた際、部分的な交換でよく、従って、従来に比して、安価で、効率的な金型を提供できる。
【００４０】
また、台座部材２は、一方の面１ａ側に並設して設けられた複数個の溝部２ｂと、この溝部２ｂ間に設けられた凹部、或いは凸部からなる位置決め部２ｃとを有し、第１の切り込み部材３が溝部２ｂに嵌入して取り付けられると共に、第２の切り込み部材４が位置決め部２ｃで位置決めされた状態で、第１の切り込み部材３間に取り付けられたため、その構成が簡単で、組立性が良く、且つ、第２の切り込み部材４も正確に位置決めできて、精度の良好な切り込み部１１ａを形成できる。
【００４１】
また、第１刃部３ａは、刃先部３ｂと、この刃先部３ｂから漸次肉厚となったＶ字状の側部３ｃを有し、第２刃部４ａは、刃先部４ｂと、この刃先部４ｂから漸次肉厚となったＶ字状の側部４ｃと、両端部において、根本部から刃先部４ｂに行くに従って幅広となった傾斜部４ｄとを有し、この傾斜部４ｄが第１刃部３の側部３ｃに当接したため、第１刃部３ａと第２刃部４ａとの間の隙間が無く、精度の良好な切り込み部１１ａを形成できる。
【００４２】
また、第１刃部３ａの刃先部３ｂが第２刃部４ａの刃先部４ｂよりも外方に突出したため、第１，第２刃部３ａ、４ａをシート１１に押し付ける際、第１刃部３ａが先に食い込んだ後、第２刃部４ａが食い込むようになっており、これによって、初期段階における金型１の押し付け力を小さくできると共に、切り込み部１１ａの形状を正確に形成できる。
【００４３】
また、台座部材２は、上下に貫通する複数個の孔１ｅ、１ｆを有し、この孔１ｅ、１ｆから注入された接着剤により、第１，第２の切り込み部材３，４が台座部材２に接着されて取り付けられたため、その取付が簡単で、生産性が良く、安価な金型を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の格子状の切り込み付け用金型の平面図。
【図２】本発明の格子状の切り込み付け用金型の正面図。
【図３】本発明の格子状の切り込み付け用金型の側面図。
【図４】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係り、要部を切断した斜視図。
【図５】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る台座部材の平面図。
【図６】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る台座部材の正面図。
【図７】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る台座部材の側面図。
【図８】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の切り込み部材の正面図。
【図９】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の切り込み部材の側面図。
【図１０】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の切り込み部材の平面図。
【図１１】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の切り込み部材の正面図。
【図１２】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の切り込み部材の側面図。
【図１３】図１１のＡ部における拡大図。
【図１４】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の補助部材の平面図。
【図１５】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の補助部材の正面図。
【図１６】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第１の補助部材の側面図。
【図１７】図１５のＡ部における拡大図。
【図１８】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の補助部材の平面図。
【図１９】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の補助部材の正面図。
【図２０】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係る第２の補助部材の側面図。
【図２１】図１９のＡ部における拡大図。
【図２２】本発明の格子状の切り込み付け用金型に係り、チップ型の電気部品の製造方法を示す説明図。
【図２３】従来の格子状の切り込み付け用金型に係り、要部を切断した斜視図。
【図２４】従来の格子状の切り込み付け用金型に係り、チップ型の電気部品の製造方法を示す説明図。
【符号の説明】
１  金型
２  台座部材
２ａ  一方の面
２ｂ  溝部
２ｃ  位置決め部
２ｄ  切り溝部
３  第１の切り込み部材
３ａ  第１刃部
３ｂ  刃先部
３ｃ  側部
３ｄ  切り落とし部
４  第２の切り込み部材
４ａ  第２刃部
４ｂ  刃先部
４ｃ  側部
４ｄ  傾斜部
４ｅ  位置決め部
５  第１の補助部材
５ａ  第３刃部
５ｂ  刃先部
５ｃ  側部
５ｄ  傾斜部
５ｅ  位置決め部
５ｆ  突起部
６  第２の補助部材
６ａ  第４刃部
６ｂ  刃先部
６ｃ  側部
６ｄ  傾斜部
６ｅ  位置決め部
６ｆ  突起部
１１  シート
１１ａ  切り込み部
１２  載置台
１３  基板
【図１】
0003600153.tif 000002
【図２】
0003600153.tif 000003
【図３】
0003600153.tif 000004
【図４】
0003600153.tif 000005
【図５】
0003600153.tif 000006
【図６】
0003600153.tif 000007
【図７】
0003600153.tif 000008
【図８】
0003600153.tif 000009
【図９】
0003600153.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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