【手続補正書】
【提出日】平成29年7月12日(2017.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラッカリングプロセスにおいて圧縮空気または圧縮ガス混合物のフロー特性を改善するための圧縮空気処理チャンバ（１；１０１；２０１；３０１；４０１）であって、
−  キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）を形成するためのハウジング（２；１０２；２０２；３０２；４０２）であって、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）の境界を定める外部シェル（４；１０４；２０４；３０４；４０４）を備えるハウジング（２；１０２；２０２；３０２；４０２）と、
−  少なくとも１つの空気入口開口（５；３０５；４０５）および少なくとも１つの空気出口開口（６；３０６；４０６）であって、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）を通って前記圧縮空気または前記圧縮ガス混合物が流れることができるように、空気入口開口（５；３０５；４０５）および空気出口開口（６；３０６；４０６）と、
−  前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）内に配置された少なくとも１つの電極（８，１９；１０８、１１９；２０８、２１９；３０８；３１９）と、
−  前記電極（８，１９；１０８、１１９；２０８、２１９；３０８；３１９；４０８、４４０）に高電圧を供給するための少なくとも１つの高電圧源（９）と、
を備え、
−  少なくとも１つの絶縁層（１０；２５；１２５；２２５；３２５；４２５）が、前記外部シェル（４；１０４；２０４；３０４；４０４）の内面（１１）上の前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）内に配置され、
−  処理のための圧縮空気の通過流に対する活性領域（１３）を備えた、電磁場を、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）の内部において、前記電極（８，１９；１０８、１１９；２０８、２１９；３０８；３１９；４０８、４４０）と対向電極（１２，２２；１１２，１２２；２１２，２２２；３１２，３２２；４１２，４２２）の間に生成可能であることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２】
請求項１記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記空気入口開口（５；３０５；４０５）および空気出口開口（６；３０６；４０６）が、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）を通って前記圧縮空気または前記圧縮ガス混合物が長手方向に流れることができるように配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電磁場として、少なくとも部分的に不均一な電磁場を生成可能であることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記絶縁層（１０；２５；１２５；２２５；３２５；４２５）が、前記外部シェル（４；１０４；２０４；３０４；４０４）の内面の少なくとも７５％を覆うことを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記ハウジング（２；１０２；２０２；３０２；４０２）が、２つの閉鎖カバー（１４，１５；３１４，３１５；４１４；４１５）を備え、少なくとも１つの閉鎖カバー（１４，１５；３１４，３１５；４１４；４１５）が、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）に対向する側に絶縁層（１６，１７）を有することを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記ハウジング（２；１０２；２０２；３０２；４０２）が、２つの閉鎖カバー（１４，１５；３１４，３１５；４１４；４１５）を備え、絶縁層（１０）が、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）と閉鎖カバー（１４，１５）との間に配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記ハウジング（２；１０２；２０２；３０２；４０２）が、２つの閉鎖カバー（１４，１５；３１４，３１５；４１４；４１５）を備え、絶縁層（１０）、および／または、ファンネル形状断面を備えた絶縁コアが、層空気流を促進するために、前記キャビティ（３；１０３；２０３；３０３；４０３）の内部に形成されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（８；１０８；２０８；３０８；４０８）が、先端電極、または多数の先端部を備えた櫛型電極（１９；１１９；２１９、２４０；３１９；４４０）の形をしていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電磁場は、多数の電極先端部（１８；３１８；４１８）から発せられる不均一電磁場の形をしていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１０】
請求項９記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記多数の電極先端部（１８；３１８；４１８）は、１ｍｍから２００ｍｍの先端間隔を有することを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（８；１０８；２０８）は、前記キャビティ（３；１０３；２０３）の中心軸（２０）に対して非対称的に配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１２】
請求項１１記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（８；１０８；２０８）は、前記外部シェル（４；１０４；２０４）と前記中心軸（２０）の間の１／３から２／３の範囲に配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（８；１０８；２０８；３０８）および前記対向電極（１２；１１２；２１２；３１２）は、互いに０．５ｃｍから２０ｃｍの間隔で配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（２１９；４１９）が、前記キャビティ（２０３；４０３）の中心の領域において星形に配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１５】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（２１９；４１９）が、前記キャビティ（２０３；４０３）の中心の領域において、２、３または４つの放射状線を有する放射状に配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（２１９；４１９）が、前記キャビティ（２０３；４０３）の中心軸に対して対称的に配置されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（８、１９）が電極シェル（２１）を備え、前記電極シェル（２１）が前記外部シェル（４）またはグランドに対して導電接続されていないことを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１８】
請求項１〜１６のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記電極（１０８、１１９；２０８、２０９；３０８、３１９；４０８）が、電極シェルまたは絶縁層なしに露出されるように形成されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記対向電極（１２；４１２）は、誘電体としての前記絶縁層（１０；４２５）が介在した状態で前記外部シェル（４；４０４）の内面（１１）によって形成されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記対向電極（１２）が、前記外部シェル（４）の内面（１１）との間に誘電体としての前記絶縁層（１０）が介在した状態のエリアル電極（２２）によって形成されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２１】
請求項２０記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記エリアル電極（２２）が、前記外部シェル（４）に接続されるように形成されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２２】
請求項２０記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記エリアル電極（２２）が、前記外部シェル（４）に導電接続されるように形成されていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２３】
請求項２０〜２２のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記エリアル電極（２２）が金属格子または金属中実面の形をしていることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２４】
請求項１〜２３のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記絶縁層（１０）が前記キャビティ（３）に挿入された中空体の形態であることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２５】
請求項２４記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記中空体は、管状または中空円筒（２４）であることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２６】
請求項１〜２３のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記絶縁層（１０）が、前記外部シェル（４）の内面（１１）に塗布されたコーティングの形態であることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２７】
請求項１〜２３のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記絶縁層（１０）が、前記外部シェル（４）の内面（１１）に化学的に塗布されたコーティングまたはラッカーコーティングまたはプラスチック溶融コーティングの形態であることを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２８】
請求項１〜請求項２７のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバであって、
前記活性領域（１３）は、キャビティ直径の少なくとも１／３を包囲することを特徴とする圧縮空気処理チャンバ。
【請求項２９】
請求項１〜請求項２８のいずれか１項に記載の圧縮空気処理チャンバ（１；１０１；２０１；３０１；４０１）をオペレーティングする方法であって、
高電圧場が、電極（８，１９；１０８，１１９；２０８，２１９；３０８；３１９；４０８）と対向電極（１２、２２；１１２、１２２；２１２、２２２；３１２、３２２；４１２、４２２）との間に印加され、そこでは、８００Ｖと１００ｋＶとの間の高電圧が印加されることを特徴とする方法。
【請求項３０】
請求項２９記載の方法であって、
前記高電圧場は、高電圧交番界であることを特徴とする方法。