【手続補正書】
【提出日】平成29年6月21日(2017.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドラム（１７０；２７０；３７０；６７０；１２７０）によって支持された基板（１６０；２６０；３６０；４６０；５６０；６６０；７６０；８６０；９６０；１０６０；１１６０；１２６０）上に材料を堆積するための蒸発装置（１００；２００；３００；４００；５００；６００；７００；８００；９００；１０００；１１００；１２００）であって、
前記基板上に蒸発した材料を堆積させるため、第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１；１２２１）に沿って、第１のライン（１２０；２２０；３２０；４２０；５２０；６２０；７２０；８２０；９２０；１０２０；１１２０；１２２０）に整列された第１の蒸発るつぼの組（１１０；２１０；３１０；４１０；５１０；６１０；７１０；８１０；９１０；１０１０；１１１０；１２１０）と；
前記第１の方向に延在し、前記第１の蒸発るつぼの組のうちの少なくとも１つの蒸発るつぼと前記ドラムとの間に配置された第１のガス供給パイプ（１３０；２３０；３３０；４３０；５３０；６３０；７３０；８３０；９３０；１０３０；１１３０；１２３０）と；
前記第１の蒸発るつぼの組と、前記材料の前記堆積の一様性を改善するように形作られ位置付けられた開口部（１５０；２５０；３５０；４５０；５５０；６５０；７５０；８５０；９５１；９５２；９５３；１０５１；１０５２；１０５３；１１５１；１１５２）を有する前記ドラムとの間にガスを供給するため、前記第１の方向に延在する第２のガス供給パイプ（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０；１２４０）と
を備える、蒸発装置。
【請求項２】
前記第１の方向（２２１；３２１；４２１；５２１；８２１；１１２１）に沿って、第２のライン（２９０；３９０；４９０；５９０；８９０；１１９０）に整列された第２の蒸発るつぼの組（２８０；３８０；４８０；５８０；８８０；１１８０）を更に備え、前記第１の蒸発るつぼの組（１１０；２１０；３１０；４１０；５１０；６１０；７１０；８１０；９１０；１０１０；１１１０）の前記第１のライン（１２０；２２０；３２０；４２０；５２０；６２０；７２０；８２０；９２０；１０２０；１１２０）は、前記第１の蒸発るつぼの組のうちの少なくとも２つのるつぼの中心を通って画定され、前記第２の蒸発るつぼの組の前記第２のラインは、前記第２の蒸発るつぼの組のうちの少なくとも２つのるつぼの中心を通って画定され、前記第１のライン及び前記第２のラインは相互に関して、前記第１の方向に垂直な第２の方向（２２２；３２２；４２２；５２２；８２２；１１２２）に変位される、請求項１に記載の蒸発装置。
【請求項３】
前記第１のライン（１２０；２２０；３２０；４２０；５２０；６２０；７２０；８２０；９２０；１０２０；１１２０）及び前記第２のライン（２９０；３９０；４９０；５９０；８９０；１１９０）は、前記第２の方向（２２２；３２２；４２２；５２２；８２２；１１２２）に４０ｍｍを超えて、特に６０ｍｍ以上だけ互いに変位される、請求項２に記載の蒸発装置。
【請求項４】
前記第２の蒸発るつぼの組（３８０；４８０）と、前記材料の前記堆積の一様性を改善するように形作られ位置付けられた開口部（３９６；４９６）を有する前記ドラムとの間にガスを供給するため、前記第１の方向（３２１；４２１）に延在する第３のガス供給パイプ（３９５；４９５）を更に備える、請求項２又は３に記載の蒸発装置。
【請求項５】
前記第２のガス供給パイプ（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）及び前記第３のガス供給パイプ（３９５；４９５）のうちの少なくとも１つは、前記第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１）に垂直な第２の方向（１２２；２２２；３２２；４２２；５２２；６２２；７２２；８２２；９２２；１０２２；１１２２）にある前記第１のガス供給パイプ（１３０；２３０；３３０；４３０；５３０；６３０；７３０；８３０；９３０；１０３０；１１３０）まで変位される、請求項１から４のいずれか一項に記載の蒸発装置。
【請求項６】
前記第２のガス供給パイプ（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）及び前記第３のガス供給パイプ（３９５；４９５）は、前記第１のガス供給パイプ（１３０；２３０；３３０；４３０；５３０；６３０；７３０；８３０；９３０；１０３０；１１３０）の反対側に配置される、請求項４又は５に記載の蒸発装置。
【請求項７】
前記第２のガス供給パイプ（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）は、
前記第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１）に沿って、前記第１の蒸発るつぼの組（１１０；２１０；３１０；４１０；５１０；６１０；７１０；８１０；９１０；１０１０；１１１０）の前記蒸発るつぼの位置に前記開口部（１５０；２５０；３５０；４５０；５５０；６５０；７５０；８５０；９５０；１０５０；１１５０）を設けること、及び／又は
前記第１の方向に沿って、前記第２の蒸発るつぼの組（２８０；３８０；４８０；５８０；８８０；１１８０）の蒸発るつぼの位置で閉じられること
によって、前記材料の前記堆積の一様性を改善する、請求項１から６のいずれか一項に記載の蒸発装置。
【請求項８】
前記第３のガス供給パイプ（３９５；４９５）は、
前記第１の方向（３２１；４２１）に沿って、前記第２の蒸発るつぼの組（３８０；４８０）の蒸発るつぼの位置に前記開口部（３９６；４９６）を設けること、及び／又は
前記第１の方向に沿って、前記第１の蒸発るつぼの組（３１０；４１０）の蒸発るつぼの位置で閉じられること
によって前記材料の堆積の一様性を改善する、請求項４から７のいずれか一項に記載の蒸発装置。
【請求項９】
前記第２のガス供給パイプ（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）及び前記第３のガス供給パイプ（３９５；４９５）のうちの少なくとも１つは可変サイズの開口部を提供する、請求項１から８のいずれか一項に記載の蒸発装置。
【請求項１０】
前記第２のガス供給パイプ（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）及び前記第３のガス供給パイプ（３９５；４９５）のうちの少なくとも１つの開口部のサイズは、前記第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１）に沿った前記開口部の前記位置に応じて変化する、請求項９に記載の蒸発装置。
【請求項１１】
ドラム（１７０；２７０；３７０；６７０）によって支持された基板（１６０；２６０；３６０；４６０；５６０；６６０；７６０；８６０；９６０；１０６０；１１６０）上に材料を堆積させるための蒸発装置（１００；２００；３００；４００；５００；６００；７００；８００；９００；１０００；１１００）であって、
第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１）に延在する第１のライン（１２０；２２０；３２０；４２０；５２０；６２０；７２０；８２０；９２０；１０２０；１１２０）に沿って整列された第１の蒸発るつぼの組（１１０；２１０；３１０；４１０；５１０；６１０；７１０；８１０；９１０；１０１０；１１１０）、及び前記第１の方向に延在する第２のライン（２９０；３９０；４９０；５９０；８９０；１１９０）に沿って整列された第２の蒸発るつぼの組（２８０；３８０；４８０；５８０；８８０；１１８０）と；
前記第１の蒸発るつぼの組及び前記第２の蒸発るつぼの組にガスを供給するように構成された前記第１の方向に延在する第１のガス供給（１３０；２３０；３３０；４３０；５３０；６３０；７３０；８３０；９３０；１０３０；１１３０）と；
前記第１の蒸発るつぼの組にガスを供給するため前記第１の方向に延在し、パイプを備える第２のガス供給（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）とを備え、
前記パイプは、前記第１の方向に沿って、前記第１の蒸発るつぼの組の蒸発るつぼの位置にガス排出開口部（１５０；２５０；３５０；４５０；５５０；６５０；７５０；８５０；９５１；９５２；９５３；１０５１；１０５２；１０５３；１１５１；１１５２）を備え、前記第１の方向に沿って、前記第２の蒸発るつぼの組の蒸発るつぼの位置で閉じられる、蒸発装置。
【請求項１２】
前記第１の蒸発るつぼの組（１１０；２１０；３１０；４１０；５１０；６１０；７１０；８１０；９１０；１０１０；１１１０）の前記第１のライン（１２０；２２０；３２０；４２０；５２０；６２０；７２０；８２０；９２０；１０２０；１１２０）は、前記第１の蒸発るつぼの組の少なくとも２つのるつぼの中心を通って画定され、前記第２の蒸発るつぼの組（２８０；３８０；４８０；５８０；８８０；１１８０）の前記第２のライン（２９０；３９０；４９０；５９０；８９０；１１９０）は、前記第２の蒸発るつぼの組の少なくとも２つのるつぼの中心を通って画定され、前記第１のライン及び前記第２のラインは相互に、前記第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１）に垂直な第２の方向（２２２；３２２；４２２；５２２；６２２；７２２、８２２；９２２、１０２２；１１２２）に変位される、請求項１１に記載の蒸発装置。
【請求項１３】
前記第２の蒸発るつぼの組（３８０；４８０）にガスを供給するため前記第１の方向（３２１；４２１）に延在し、パイプを備える第３のガス供給（３９５；４９５）を更に備え、前記パイプは、
前記第１の方向（３２１；４２１）に沿って、前記第２の蒸発るつぼの組（３８０；４８０）の蒸発るつぼの位置にガス排出開口部（３９６；４９６）を備え、前記第１の方向に沿って、前記第１の蒸発るつぼの組（３１０；４１０）の蒸発るつぼの位置で閉じられる、請求項１１又は１２に記載の蒸発装置。
【請求項１４】
前記第２のガス供給（１４０；２４０；３４０；４４０；５４０；６４０；７４０；８４０；９４０；１０４０；１１４０）及び前記第３のガス供給（３９５；４９５）のうちの少なくとも１つは、前記第１の方向（１２１；２２１；３２１；４２１；５２１；６２１；７２１；８２１；９２１；１０２１；１１２１）に垂直な第２の方向（１２２；２２２；３２２；４２２；５２２；６２２；７２２；８２２；９２２；１０２２；１１２２）にある前記第１のガス供給（１３０；２３０；３３０；４３０；５３０；６３０；７３０；８３０；９３０；１０３０；１１３０）まで変位され、特に、前記第２のガス供給及び前記第３のガス供給は、前記第１のガス供給の対向する側面に配置される、請求項１１から１３のいずれか一項に記載の蒸発装置。
【請求項１５】
前記第１のガス供給（１３０；２３０；３３０；４３０；５３０；６３０；７３０；８３０；９３０；１０３０；１１３０）は、ガス排出開口部を設けることによって、前記第１の蒸発るつぼの組（１１０；２１０；３１０；４１０；５１０；６１０；７１０；８１０；９１０；１０１０；１１１０）及び前記第２の蒸発るつぼの組（２８０；３８０；４８０；５８０；８８０；１１８０）にガスを供給するように構成されており、単位長さあたりの前記第１のガス供給のガス排出開口部の数は、前記第２のガス供給及び前記第３のガス供給のうちの少なくとも１つの単位長さあたりのガス排出開口部の数よりも多い、請求項１１から１４のいずれか一項に記載の蒸発装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
［０００６］  上記に照らして、独立請求項に記載の蒸発装置が提供される。本発明の更なる態様、利点及び特徴は、従属請求項、明細書及び添付の図面から明らかとなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［０００９］  実施形態は、開示された方法を実行する装置も対象とし、記載されたそれぞれの方法の特徴を実行する装置部分を含む。これらの方法の特徴は、ハードウェア構成要素、もしくは適当なソフトウェアによってプログラムされたコンピュータを手段として、又はこれらの２つの任意の組合せによって、或いは任意の他の方式で実行することができる。更に、実施形態は、記載された装置が動作する方法も対象とする。方法は、装置のあらゆる機能を実行するための方法の特徴を含む。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［００１２］  反応性蒸発システムなどの既知のシステムでは、基板は材料層によってコーティングされている。しかしながら、コーティング箔など、完成品の光学的な外観が満足できるものでないこともある。製品を購入するか否かについて決定するときには、光学的な外観は顧客によって考慮される要因の一つである。例えば、コーティングされた基板が画定されたバリア特性をもたらす透明な基板として使用される場合には、光学的な外観は製品にとって無視することのできない基準である。光学的な外観は改善することが望ましいが、同時に生産コストが増大しないことも望まれる。また、生産性も一定に保たれるか、向上することが望ましい。したがって、完成品の光学的な外観を改善しつつ、容易で手頃な価格のプロセスを提供しうる蒸発システムを提供することが望ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［００１８］  更に、本明細書で言及のるつぼの組とは、少なくとも２つのるつぼの組であると理解されうる。特に、るつぼの組は、ラインに整列された少なくとも２つのるつぼとして記述されうる。例えば、るつぼの組の複数のるつぼが整列されるラインは、るつぼの中心を通過しうる。一般的に、るつぼの中心は、上述の第１の方向及び第２の方向の幾何学的な中心、例えば、るつぼの長さ及び幅の中心として定義されうる。更なる実施形態によれば、るつぼの中心はるつぼの重心として定義されてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
［００３０］  幾つかの実施形態によれば、第２のガス供給パイプ２４０は、開口部２５０に画定された形状と位置を提供することによって、層の堆積の一様性を改善する。図４に示した実施形態では、第２のガス供給パイプ２４０の開口部２５０の位置は、第１及び第２のるつぼの組のるつぼの位置に対応する。また、図４の実施形態では、第２のガス供給パイプの開口部２５０の数は、第１及び第２のるつぼの組のるつぼの数に対応する。しかしながら、図４に示した実施形態は、例示であると理解されうる。本明細書に記載のガス供給パイプの開口部の数は、るつぼの数に対応してもよいが、るつぼの数から独立していてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
［００３５］  一般的に、るつぼの組（又は１つのるつぼ）と基板支持体（ドラムなど）との間にガスを「供給する」ためのガス供給パイプは、るつぼの組（又は１つのるつぼ）と基板支持体との間にガスを供給するように構成されたガス供給パイプとして理解されうる。ガス供給パイプは、それぞれの空間へガスを供給するように位置付けられること及び／又は形作られることによって、るつぼと基板支持体との間にガスを供給するように構成されうる。一実施形態では、るつぼと基板支持体との間にガスを供給するため、開口部の形状又は位置を適合することなどによって、ガス排出口又はガス供給パイプの開口部は適合されうる。幾つかの実施形態によれば、ガス供給パイプ又はガス供給パイプの開口部は、ガスが供給される空間に向かって配向されてもよい。一般的に、ガス供給によって提供されるガス量の大部分が、るつぼと基板支持体との間の空間に供給される場合には、ガス供給パイプは、るつぼの組と基板支持体との間にガスを供給するように構成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
［００４１］  図６から図８に関して記載されている特徴（例えば、第２のるつぼの組、或いは２つのるつぼの組の互いに対する配置、或いは第２及び第３のガス供給パイプを提供すること、或いは第１及び第２のるつぼの組のそれぞれのるつぼの位置に対応する位置に開口部を有する第２及び／又は第３のガス供給パイプ）は、本明細書に記載の他の実施形態と、例えば、互いに矛盾しない限り、図１から図５、又は図９から図１７に関して記載されている実施形態と組み合わされてもよいと理解されうる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
［００５４］  図９に関連して記載されている特徴は、例えば、１つのるつぼの組だけを有する蒸発装置、又は第２のるつぼの組及び第３のガス供給パイプを有する蒸発装置、又はるつぼの位置に対応する開口部を備えるガス供給パイプを有する蒸発装置などの前述の実施形態で、或いは本明細書に記載の蒸発装置の更なる実施形態で、使用されうることを理解されうる。例えば、図９に示した実施形態は、特徴が互いに矛盾しない限り、図１０から図１７に示した特徴と組み合わされてもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
［００５８］  図１０及び図１１に関して記載されている特徴は、図１０及び図１１に示した実施形態にしか適用できないわけではないことを理解されうる。むしろ、ガス供給パイプの異なる直径の特徴は、図１から図９及び図１２から図１７の実施形態など、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてもよい。例えば、異なる直径はまた、３つのガス供給パイプを有する実施形態にも適用されうる。また、第３のガス供給パイプは、第１のガス供給パイプとは異なる直径を有してもよい。更に、異なる直径の特徴は一実施形態に適用可能で、第２の及び／又は第３のガス供給パイプは、第１の方向６２１に実質的に垂直な第２の方向６２２で、第１のガス供給パイプから変位される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
［００７２］  第２のガス供給パイプに関して、様々な形状の開口部の特徴が記載されているが、第２のガス供給パイプの開口部に対して追加的に又は代替的に、異なる形状の開口部が第３のガス供給パイプに備えられてもよいことを理解されうる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
［００８０］  上記の記述は複数の実施形態を対象としているが、その他の及び更なる実施形態が、基本的な範囲を逸脱することなく、考案され、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲によって定められる。