【手続補正書】
【提出日】平成29年2月16日(2017.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
その可撓性のコプレーナストリップ線路５０ａ〜５０ｄの反対側の端部は、前記変調器の電極配置構造１の電線路１１，１２に接続されている。これら電線路１１，１２は、図１Ａ〜図１Ｃとは異なり、導波路電極対（当該導波路電極対のそれぞれが、第１の導波路電極１１３および対向する第２の導波路電極１２３を含む）のうちの１つに割り当てられた線路セグメントとされる。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
電気光学変調器装置であって、
−第１および第２の光導波路（１１２，１２２）ならびに前記光導波路（１１２，１２２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学変調器（１００）であって、
−前記電極配置構造（１）が、前記第１の光導波路（１１２）の上に配置された複数の第１の導波路電極（１１３）および前記第２の光導波路（１２２）の上に配置された複数の第２の導波路電極（１２３）を有し、
−前記第１および第２の導波路電極（１１３，１２３）が互いに容量結合している、少なくとも１つの電気光学変調器（１００）と、
−前記電極配置構造（１）に電圧を供給する少なくとも１つのドライバユニット（３０）と、
−前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の電気接続部と、
を備え、
−前記電極配置構造（１）が、前記第１の導路波電極（１１３）に接続された第１の電線路（１１）および前記第２の導波路電極（１２３）に接続された第２の電線路（１２）を有し、前記第１および第２の電線路（１１，１２）がコプレーナストリップ線路を構成している、電気光学変調器装置において、
前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の前記電気接続部が、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）を含み、
前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）が、少なくとも２つの電線路（５１，５２）を有し、
前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記電線路のうちの第１の電線路（５１）が、前記電極配置構造（１）の前記第１の電線路（１１）に接続されており、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記電線路のうちの第２の電線路（５２）が、前記電極配置構造（１）の前記第２の電線路（１２）に接続されており、
前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）が、前記電極配置構造（１）の前記第１および第２の電線路（１１，１２）により構成される前記コプレーナストリップ線路に、差動電圧信号を、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）を介して供給することを特徴とする、電気光学変調器装置。
〔態様２〕
態様１に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の２つの前記電線路（５１，５２）が、少なくとも１つの電気絶縁層（６１）の内部に、かつ／または、前記少なくとも１つの電気絶縁層（６１）に接して、配置されている、電気光学変調器装置。
〔態様３〕
態様１または２に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）が、２つの電線路（５１，５２）を有する、電気光学変調器装置。
〔態様４〕
態様１から３のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記電線路（５１，５２）が、前記電極配置構造（１）の前記第１および第２の電線路（１１，１２）にそれぞれ接合されている、電気光学変調器装置。
〔態様５〕
態様１から４のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）間の距離が、２５μｍ未満、１０μｍ未満または５μｍ未満である、電気光学変調器装置。
〔態様６〕
態様１から５のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、当該第１および第２の電線路（５１，５２）の長手方向に垂直な方向で少なくとも部分的に互いに隣接して配置されている、電気光学変調器装置。
〔態様７〕
態様１から６のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、前記少なくとも１つの絶縁層（６１〜６３）に垂直な方向で少なくとも部分的に一方が他方の真上に配置されている、電気光学変調器装置。
〔態様８〕
態様１から７のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記第１および／または第２の電線路（５１，５２）が、第１の絶縁層（６１）に配置されて且つ第２の絶縁層（６２）により覆われている、電気光学変調器装置。
〔態様９〕
態様６に従属する態様７に記載の電気光学変調器装置において、前記第２の電線路（５２）が、第１の絶縁層（６１）に配置された第１の部位（５２１）および第２の絶縁層（６２）に配置された第２の部位（５２３）を有し、前記第２の絶縁層（６２）は、前記第１の部位（５２１）と前記第２の部位との間に延在している、電気光学変調器装置。
〔態様１０〕
態様１から９のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記電極配置構造（１）が第１の基板（７０）に配置され、前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）が第２の基板（８０）に配置され、前記第１の基板（７０）は、前記第２の基板（８０）から離れて配置されている、電気光学変調器装置。
〔態様１１〕
態様１から１０のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記電極配置構造（１）および／または前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の、前記電線路（５１，５２，１１，１２）のいずれも接地されていない、電気光学変調器装置。
〔態様１２〕
態様１から１１のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記ドライバユニットが、前記電極配置構造（１）の前記第１の電線路（１１）に、第１の可変信号を、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１の電線路（５１）を介して、かつ、前記電極配置構造（１）の前記第２の電線路（１２）に、第２の可変信号を、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第２の電線路（５２）を介して供給する、電気光学変調器装置。
〔態様１３〕
態様１から１２のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、少なくとも部分的に、幾何学的に対称な構造として形成されている、電気光学変調器装置。
〔態様１４〕
態様１から１３のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、少なくとも本質的に互いに平行に延びる長手構造として形成されている、電気光学変調器装置。
〔態様１５〕
態様１から１４のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）から高周波モードを前記変調器に伝送する電気導波路を構成しており、当該電気導波路は、電気モードが前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）及び前記電極配置構造（１）を介して連続的に導かれるように前記電極配置構造（１）の前記第１および第２の電線路（１１，１２）とインピーダンス整合されている、電気光学変調器装置。
〔態様１６〕
態様１から１５のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）が、外部の装置を前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）の入力接点に接続するための複数の導電線路（５０２）を有する可撓性のコンタクト構造体の、一部である、電気光学変調器装置。
〔態様１７〕
電気光学変調器装置であって、
−第１および第２の光導波路（１１２，１２２）ならびに前記光導波路（１１２，１２２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学変調器（１００）であって、
−前記電極配置構造（１）が、前記第１の光導波路（１１２）の上に配置された複数の第１の導波路電極（１１３）および前記第２の光導波路（１２２）の上に配置された複数の第２の導波路電極（１２３）を有し、
−前記第１および第２の導波路電極（１１３，１２３）が互いに容量結合している、少なくとも１つの電気光学変調器（１００）と、
−前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の電気接続部と、
を備える、電気光学変調器装置において、
当該電気光学変調器装置が、複数のドライバユニット（３０ａ〜３０ｄ）を備え、
前記ドライバユニット（３０ａ〜３０ｄ）のそれぞれが、前記第１の導波路電極（１１３）のうちの１つおよび前記第２の導波路電極（１２３）のうちの１つに、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０ａ〜５０ｄ）を含む電気接続部によって接続されていることを特徴とする、電気光学変調器装置。
〔態様１８〕
電気光学変調器装置、特には、態様１から１７のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置であって、
−少なくとも１つのアクティブな光導波路（１１２）および前記アクティブな光導波路（１１２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学位相変調器であって、
−前記電極配置構造（１）が、前記光導波路（１１２）により構成される容量性セグメント（１１４）の上に配置された複数の導波路電極（１１３）を有する、少なくとも１つの電気光学位相変調器と、
−少なくとも１つの光学的に非アクティブな容量性エレメント（１２４）と、
−前記電極配置構造（１）に電圧を供給する少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と、
−前記少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の電気接続部と、
を備え、
前記導波路電極（１１３）が、前記少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）に、前記容量性セグメント（１１４）、前記少なくとも１つの容量性エレメント（１２４）および前記電気接続部を介して容量結合している、電気光学変調器装置において、
前記少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の前記電気接続部が、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）を含むことを特徴とする、電気光学変調器装置。
〔態様１９〕
電気光学変調器装置、特には、態様１から１８のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置であって、
−少なくとも１つの光導波路（１１２，１２２）および前記光導波路（１１２，１２２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学変調器（１００）であって、
−前記電極配置構造（１）が、コプレーナストリップ線路を構成している第１および第２の電線路（１１，１２）を有する、少なくとも１つの電気光学変調器（１００）と、
−前記第１および第２の電線路（１１，１２）を終端する少なくとも１つの終端抵抗体（２１，２２）と、
−前記終端抵抗体（２１，２２）と前記第１および第２の電線路（１１，１２）との間の電気接続部と、
を備える、電気光学変調器装置において、
前記終端抵抗体（２１，２２）と前記第１および第２の電線路（１１，１２）との間の前記電気接続部が、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）を含むことを特徴とする、電気光学変調器装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学変調器装置であって、
−第１および第２の光導波路（１１２，１２２）ならびに前記光導波路（１１２，１２２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学変調器（１００）であって、
−前記電極配置構造（１）が、前記第１の光導波路（１１２）の上に配置された複数の第１の導波路電極（１１３）および前記第２の光導波路（１２２）の上に配置された複数の第２の導波路電極（１２３）を有し、
−前記第１および第２の導波路電極（１１３，１２３）が互いに容量結合している、少なくとも１つの電気光学変調器（１００）と、
−前記電極配置構造（１）に電圧を供給する少なくとも１つのドライバユニット（３０）と、
−前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の電気接続部と、
を備え、
−前記電極配置構造（１）が、前記第１の導路波電極（１１３）に接続された第１の電線路（１１）および前記第２の導波路電極（１２３）に接続された第２の電線路（１２）を有し、前記第１および第２の電線路（１１，１２）がコプレーナストリップ線路を構成している、電気光学変調器装置において、
前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の前記電気接続部が、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）を含み、
前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）が、少なくとも２つの電線路（５１，５２）を有し、
前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記電線路のうちの第１の電線路（５１）が、前記電極配置構造（１）の前記第１の電線路（１１）に接続されており、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記電線路のうちの第２の電線路（５２）が、前記電極配置構造（１）の前記第２の電線路（１２）に接続されており、
前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）が、前記電極配置構造（１）の前記第１および第２の電線路（１１，１２）により構成される前記コプレーナストリップ線路に、差動電圧信号を、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）を介して供給することを特徴とする、電気光学変調器装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の２つの前記電線路（５１，５２）が、少なくとも１つの電気絶縁層（６１）の内部に、かつ／または、前記少なくとも１つの電気絶縁層（６１）に接して、配置されている、電気光学変調器装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）が、２つの電線路（５１，５２）を有する、電気光学変調器装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記電線路（５１，５２）が、前記電極配置構造（１）の前記第１および第２の電線路（１１，１２）にそれぞれ接合されている、電気光学変調器装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）間の距離が、２５μｍ未満である、電気光学変調器装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、当該第１および第２の電線路（５１，５２）の長手方向に垂直な方向で少なくとも部分的に互いに隣接して配置されている、電気光学変調器装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、前記少なくとも１つの絶縁層（６１〜６３）に垂直な方向で少なくとも部分的に一方が他方の真上に配置されている、電気光学変調器装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記第１および／または第２の電線路（５１，５２）が、第１の絶縁層（６１）に配置されて且つ第２の絶縁層（６２）により覆われている、電気光学変調器装置。
【請求項９】
請求項６に従属する請求項７に記載の電気光学変調器装置において、前記第２の電線路（５２）が、第１の絶縁層（６１）に配置された第１の部位（５２１）および第２の絶縁層（６２）に配置された第２の部位（５２３）を有し、前記第２の絶縁層（６２）は、前記第１の部位（５２１）と前記第２の部位との間に延在している、電気光学変調器装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記電極配置構造（１）が第１の基板（７０）に配置され、前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）が第２の基板（８０）に配置され、前記第１の基板（７０）は、前記第２の基板（８０）から離れて配置されている、電気光学変調器装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記電極配置構造（１）および／または前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の、前記電線路（５１，５２，１１，１２）のいずれも接地されていない、電気光学変調器装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記ドライバユニットが、前記電極配置構造（１）の前記第１の電線路（１１）に、第１の可変信号を、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１の電線路（５１）を介して、かつ、前記電極配置構造（１）の前記第２の電線路（１２）に、第２の可変信号を、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第２の電線路（５２）を介して供給する、電気光学変調器装置。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、少なくとも部分的に、幾何学的に対称な構造として形成されている、電気光学変調器装置。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、少なくとも本質的に互いに平行に延びる長手構造として形成されている、電気光学変調器装置。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）の前記第１および第２の電線路（５１，５２）が、前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）から高周波モードを前記変調器に伝送する電気導波路を構成しており、当該電気導波路は、電気モードが前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）及び前記電極配置構造（１）を介して連続的に導かれるように前記電極配置構造（１）の前記第１および第２の電線路（１１，１２）とインピーダンス整合されている、電気光学変調器装置。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれか一項に記載の電気光学変調器装置において、前記可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）が、外部の装置を前記ドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）の入力接点に接続するための複数の導電線路（５０２）を有する可撓性のコンタクト構造体の、一部である、電気光学変調器装置。
【請求項１７】
電気光学変調器装置であって、
−第１および第２の光導波路（１１２，１２２）ならびに前記光導波路（１１２，１２２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学変調器（１００）であって、
−前記電極配置構造（１）が、前記第１の光導波路（１１２）の上に配置された複数の第１の導波路電極（１１３）および前記第２の光導波路（１２２）の上に配置された複数の第２の導波路電極（１２３）を有し、
−前記第１および第２の導波路電極（１１３，１２３）が互いに容量結合している、少なくとも１つの電気光学変調器（１００）
を備える、電気光学変調器装置において、
当該電気光学変調器装置が、複数のドライバユニット（３０ａ〜３０ｄ）を備え、
前記ドライバユニット（３０ａ〜３０ｄ）のそれぞれが、前記第１の導波路電極（１１３）のうちの１つおよび前記第２の導波路電極（１２３）のうちの１つに、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０ａ〜５０ｄ）を含む電気接続部によって接続されていることを特徴とする、電気光学変調器装置。
【請求項１８】
電気光学変調器装置であって、
−少なくとも１つのアクティブな光導波路（１１２）および前記アクティブな光導波路（１１２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学位相変調器であって、
−前記電極配置構造（１）が、前記光導波路（１１２）により構成される容量性セグメント（１１４）の上に配置された複数の導波路電極（１１３）を有する、少なくとも１つの電気光学位相変調器と、
−少なくとも１つの光学的に非アクティブな容量性エレメント（１２４）と、
−前記電極配置構造（１）に電圧を供給する少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と、
−前記少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の電気接続部と、
を備え、
前記導波路電極（１１３）が、前記少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）に、前記容量性セグメント（１１４）、前記少なくとも１つの容量性エレメント（１２４）および前記電気接続部を介して容量結合している、電気光学変調器装置において、
前記少なくとも１つのドライバユニット（３０，３０ａ〜３０ｄ）と前記電極配置構造（１）との間の前記電気接続部が、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）を含むことを特徴とする、電気光学変調器装置。
【請求項１９】
電気光学変調器装置であって、
−少なくとも１つの光導波路（１１２，１２２）および前記光導波路（１１２，１２２）に電圧を印加する電極配置構造（１）を含む少なくとも１つの電気光学変調器（１００）であって、
−前記電極配置構造（１）が、コプレーナストリップ線路を構成している第１および第２の電線路（１１，１２）を有する、少なくとも１つの電気光学変調器（１００）と、
−前記第１および第２の電線路（１１，１２）を終端する少なくとも１つの終端抵抗体（２１，２２）と、
−前記終端抵抗体（２１，２２）と前記第１および第２の電線路（１１，１２）との間の電気接続部と、
を備える、電気光学変調器装置において、
前記終端抵抗体（２１，２２）と前記第１および第２の電線路（１１，１２）との間の前記電気接続部が、可撓性のコプレーナストリップ線路（５０）を含むことを特徴とする、電気光学変調器装置。