(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプで減圧コントロールされる複数の真空チャンバー内にそれぞれ透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管路に、真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設けたことを特徴とする脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、分析装置、検査装置、実験装置等、少量の液体を扱うオンライン脱気装置に関し、複数の液体を同時に脱気する場合の各ラインの相互干渉を防止した脱気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空ポンプで減圧コントロールされた真空チャンバー内に透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に脱気したい液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する方法は分析装置、医療装置等で公知である。
【０００３】
従来、この種の脱気装置において複数の液体を同時に脱気する場合、図２または図３に示す方法が採られていた。
図２に示す方法は、真空チャンバー１００内に複数組の透過膜チューブ２００を設け、真空チャンバー１００に接続された１台の真空ポンプ３００で真空チャンバー１００内を減圧するとともにし、この真空チャンバー１００内の気圧を真空センサ４００によって検出し、この検出量に基づいてコントローラ５００によって真空ポンプ３００を作動し、真空チャンバー１００内の気圧を減圧コントロールするものである。
【０００４】
また、図３に示す方法は、１組の透過膜チューブ２０１（２０２）を収めた１つの真空チャンバー１０１（１０２）を１台の真空ポンプ３０１（３０２）で減圧し、この真空チャンバー１０１（１０２）内の気圧を真空センサ４０１（４０２）によって検出するとともにコントローラ５０１（５０２）によって真空ポンプ３０１（３０２）を作動し、真空チャンバー１０１（１０２）内の気圧を減圧コントロールする装置を複数台用いて複数の液体の脱気を行うものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、透過膜チューブは気体のみを透過するのが理想であるが、少量の液体も透過するので、図２に示したものは、透過膜チューブ２００を透過した液体のガスが別の系の透過膜チューブ２００を再透過して流入し、相互干渉を起こすことがある。
また、図３に示したものは、真空チャンバー１０１，１０２が別なので、相互干渉は発生しないが、各系ごとに真空ポンプ３０１，３０２やコントローラ５０１，５０２を持っているので、装置が大型となり、かつ、高価となる。
【０００６】
本発明は上記課題を解決し、相互干渉がなく小型で安価な脱気装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するため、真空ポンプで減圧コントロールされる複数の真空チャンバー内にそれぞれ透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管路に、真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設けたことにある。
【０００８】
【作用】
本発明の脱気装置によると、真空チャンバーの透過膜チューブ内を通過する間に、液体中に含まれる気体は、透過膜チューブ壁面を透過して真空チャンバー内に脱気されて除去される。
このとき、圧力調整室よりも真空チャンバー内の圧力が高い場合、逆止弁が開いて真空チャンバー内の圧力を圧力調整室側に抜く。そして、液体から排出された気体は真空ポンプを通して大気中に排気される。
逆止弁は圧力調整室内の圧力よりも高い真空チャンバーに接続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー内のガスが圧力の低い真空チャンバーに流入して相互干渉を起こすことがない。
【０００９】
【実施例】
以下、２台の真空チャンバーに適用した本発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１０】
図１において、１，２は真空チャンバー、３，４はこれら真空チャンバー１，２内にそれぞれ設けられた透過膜チューブであり、これら透過膜チューブ３，４は液体入り口３ａ，４ａから液体を導入し、液体出口３ｂ，４ｂから液体を排出する間に液体中の気体を壁面を通して透過し除去するものである。
【００１１】
５，６は上記真空チャンバー１，２に一端を連結され、他端を圧力調整室７に連結された管路であり、この管路５，６の途中には、それぞれ逆止弁８，９が設けられている。この逆止弁８，９は真空チャンバー１，２の圧力が圧力調整室７より高いときに弁を開放して、真空チャンバー１，２内の圧力を開放するものである。一方、圧力調整室７の圧力が真空チャンバー１，２より高いときは弁は閉じた状態を保持するものである。
【００１２】
上記圧力調整室７は上記真空チャンバー１，２内の圧力を設定値に保持するもので、真空ポンプ１０によって減圧される。この圧力調整室７の圧力は真空センサ１１によって検出され、コントローラ１２によって一定圧力になるように真空ポンプ１０が制御されるものである。
【００１３】
上記構成による脱気装置によると、装置の作動によって真空ポンプ１０がオンすると圧力調整室７は減圧される。圧力調整室７の圧力は真空センサ１１によって検出され、その検出信号がコントローラ１２に入力される。コントローラ１２では、たとえば真空センサ１１から入力された検出信号と予め設定された設定値とを比較し、その補正値に基づき真空ポンプ１０を作動する。
これによって、圧力調整室７は常時設定された真空度になるように制御される。
【００１４】
一方、上記真空チャンバー１，２の透過膜チューブ３，４には液体入り口３ａ，４ａから液体が導入され、液体出口３ｂ，４ｂから液体が排出される。この液体入り口３ａ，４ａから導入されて、液体出口３ｂ，４ｂに達する間に、液体中に含まれる気体は透過膜チューブ３，４壁面を透過して真空チャンバー１，２内に脱気されて除去される。透過膜チューブ３，４は内圧と外圧の差によって、液体中の気体を真空チャンバー１，２内に透過する。
このとき、圧力調整室７よりも真空チャンバー１，２内の圧力が高い場合、逆止弁８、９が開いて真空チャンバー１，２内の圧力を圧力調整室７側に抜く。そして、液体から脱気された気体は真空ポンプ１０を通して排気される。
【００１５】
逆止弁８，９は圧力調整室７内の圧力よりも高い真空チャンバー１，２に接続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー１，２内のガスが圧力の低い真空チャンバー１，２に流入して相互干渉を起こすことがない。
たとえば、真空チャンバー１の圧力が圧力調整室７よりも高くて、真空チャンバー２の圧力が圧力調整室７よりも低い場合、逆止弁８は開放して、逆止弁９は閉じている。こうして、真空チャンバー１の圧力は圧力調整室７側に作用するが、圧力調整室７の圧力が真空チャンバー２側に作用することはない。
【００１６】
上記実施例によると、逆止弁８、９は圧力調整室７内の圧力よりも高い真空チャンバー１，２に接続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー１，２内のガスが圧力の低い真空チャンバー１，２に流入して相互干渉を起こすことがない。また、複数の真空チャンバー１，２に各々１台の真空ポンプ１０、真空センサ１１、およびコントローラ１２を共用できるので、装置の小型化および低廉化を図ることができる。
なお、上記実施例では、２台の真空チャンバー１，２を用いた場合について説明したが３台以上の真空チャンバーに対しても適用できることは言うまでもない。
【００１７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による脱気装置によれば、以下のような効果を奏する。
【００１８】
真空ポンプで減圧コントロールされる複数の真空チャンバー内にそれぞれ透過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管路に、真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設けたので、圧力の高い真空チャンバー内のガスが圧力の低い真空チャンバーに流入して相互干渉を起こすことがない。また、複数の真空チャンバーに各々１台の真空ポンプ、真空センサ、およびコントローラを共用できるので、装置の小型化および低廉化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る脱気装置の一実施例を示す概念図である。
【図２】従来の脱気装置を示す概念図である。
【図３】従来の脱気装置を示す概念図である。
【符号の説明】
１  真空チャンバー
２  真空チャンバー
３  透過膜チューブ
４  透過膜チューブ
５  管路
６  管路
７  圧力調整室
８  逆止弁
９  逆止弁
１０  真空ポンプ
１１  真空センサ
１２  コントローラ
【図１】
0003602887.tif 000002
【図２】
0003602887.tif 000003
【図３】
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