(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、
ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部と、
塗液供給手段とを備えてなり、
回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、
回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることを特徴とするディスク状記録媒体の製造装置。
【請求項２】
回転軸部にコイルが配設され、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石が構成されている請求項１記載のディスク状記録媒体の製造装置。
【請求項３】
電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようになされていることを特徴とする請求項２記載のディスク状記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク状記録媒体の製造装置に関する。詳しくは、塗液を均一に塗布することを可能とするディスク状記録媒体の製造装置に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気記録方式は、磁性材料からなる記録層を部分的にキュリー点または温度補償点以上に昇温させることによってこの部分の保磁力を小さくし、この部分に外部から記録磁界を印可することによって記録層の磁化方向を部分的に変化させて情報信号の記録を行う方式である。この光磁気記録方式は、光ファイリングシステムやコンピュータの外部記録装置、あるいは音響、映像情報の記録装置において実用化が進められている。
【０００３】
上記の光磁気記録方式によって記録が行われる光磁気記録媒体としては、例えば、ポリカーボネートのようなプラスチックやガラス等からなる透明基板上に磁性膜等からなる記録層及び保護膜を形成した光磁気ディスクが挙げられる。上記記録層は、情報信号が記録される磁性膜や、誘電体膜、反射膜が積層されてなる。ここで、磁性膜としては、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有するとともに、大きな磁気光学効果を有する、例えば希土類−遷移金属合金非結晶薄膜等からなる磁性薄膜が挙げられる。
【０００４】
このような光磁気ディスクに情報信号を記録する光磁気記録方式としては、大別して光を変調させて信号を記録する光変調方式と、記録磁界を変調させて信号を記録する磁界変調方式とがある。
【０００５】
このうち磁界変調方式は、信号を記録する際、光を照射した状態で記録磁界を高速で反転させることにより磁性膜に信号を記録する方式であり、オーバーライトを容易に行うことが可能であるとともに、高記録密度化や高アクセス等が可能であるために、精力的に研究が進められている。
【０００６】
この磁界変調方式においては、磁界を発生させる磁気ヘッドによって記録層に磁界の印可を行って信号を記録するが、この磁気ヘッドとしては、信号を記録する際、高速で磁界を反転させる必要があるので、上記の光変調方式のように強磁界を発生する磁気ヘッドを使用することは不可能である。
【０００７】
また、磁気ヘッドによって光磁気ディスクに印可される磁界の強さは、光磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離に反比例する。すなわち、光磁気ディスクに印可される磁界の大きさは、光磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離が大きくなるほど小さくなる。したがって、このような磁気ヘッドにおいては、信号を記録する際、光磁気ディスクとの距離を近接させる必要がある。
【０００８】
そのため、単板構成の光磁気ディスクにおいては、光磁気ディスクの透明基板側にレーザ光を照射する光学ピックアップ装置を配置し、光磁気ディスクの保護膜形成面側に磁気ヘッドを配設して情報の記録再生を行う方法とともに、光磁気ディスクの保護膜形成面側にレーザ光を照射する光学ピックアップ装置を配するとともに磁気ヘッドを配設して情報の記録再生を行う方法の両者が検討されている。
【０００９】
ところで、記録層の最上層に積層される反射膜上には、一般的に、記録層の腐食防止や傷防止の目的で紫外線硬化型樹脂等からなる上述の保護膜が形成されており、この保護膜は、通常、紫外線硬化型樹脂をいわゆるスピンコート法により塗布して形成される。
【００１０】
具体的には、図６に示すように、まず、予め記録層が形成されるディスク基板１２０を、上記ディスク基板１２０を面内方向に支持する図示しないターンテーブル上に載置し、このターンテーブルを図示しないスピンドルモータによって低速で回転させて図中矢印ｍで示すようにディスク基板１２０を面内方向に回転させる。そして、紫外線硬化型樹脂１２１を紫外線硬化型樹脂供給手段１２２によりディスク基板１２０の記録エリアの内周部１２０ａに沿って円環状に供給する。続いて、ディスク基板１２０を高速で回転させて、遠心力により内周部１２０ａに供給された紫外線硬化型樹脂１２１を外周部にまで広げて塗布し、ディスク基板１２０全面にわたって紫外線硬化型樹脂１２１の塗膜を形成し、これに紫外線を照射して硬化させ、保護膜を形成する。なお、この塗膜の厚さは、後工程で紫外線が照射された後において十分な保護効果を得るために、約１５μｍで形成される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のようにして形成される保護膜においては、ディスク基板１２０の外周側に行くほど膜厚が厚くなってしまう傾向がある。スピンコート法によって塗膜を形成する場合、塗液（ここでは紫外線硬化型樹脂）の粘度、被塗布物（ここではディスク基板）の回転速度、回転時間等の条件によって塗膜の厚さを変更することができる。しかし、上記保護膜においては、諸条件の調整により塗膜の厚さをディスク基板１２０の全面に亘って均一とすることが困難であり、ディスク基板１２０の外周部において内周部１２０ａより膜厚が厚くなってしまう。
【００１２】
この保護膜においては、膜厚を極端に薄くすると、光磁気ディスクの記録層の腐食等を防止することができなくなるため、最低でも光磁気ディスクの全面において平均１５μｍ程度の膜厚が必要とされるが、このように保護膜の光磁気ディスクの全面における膜厚の平均を１５μｍとすると、実際には内周部と外周部とで約５μｍの膜厚差が生じてしまう。
【００１３】
このように、光磁気ディスクの内周側と外周側で保護膜の膜厚に差が生じていると、保護膜側からレーザ光を照射することによって記録再生を行う光学ピックアップ装置を用いた場合に、レーザ光の波面収差が生じてしまう。上記光学ピックアップ装置において、保護膜の膜厚差により波面収差が生じると、照射されるレーザ光が不安定になり、記録再生特性が劣化してしまう。
【００１４】
ここで波面収差をＷ４０ｄ  とし、保護膜の屈折率をｎとし、保護膜の膜厚誤差をΔｄとし、光学系のレンズの開口数をＮＡとすると、下記数１に示すような関係が成り立つ。
【００１５】
【数１】
0003557866.tif 000002
【００１６】
ここで、現行の光磁気ディスクの場合、保護膜の屈折率ｎが１．５８であり、光学系のレーザ波長λが７８０（ｎｍ）、レンズの開口数ＮＡが０．５である。このような条件において、保護膜の膜厚誤差Δｄが５（μｍ）であると、上記数１より波面収差Ｗ４０ｄ  は０．１９λ（０．１４８（μｍ））となる。
【００１７】
ところで、光磁気ディスクの光学系においては、近年の記録密度向上に伴って、光学系のレーザ波長λを短くするとともに、レンズの開口数ＮＡを大きくすることが行われている。このことは、光学レンズで集光させたレーザ光のスポット径が、レーザ波長λに比例し、レンズの開口数ＮＡに反比例することによる。ここで、現在、レーザスポット径は、約１．６（μｍ）であるが、例えばレーザ光の波長を４８０（ｎｍ）、レンズの開口数ＮＡを０．９とすると、レーザスポット径が０．５（μｍ）となり、結果として現行のレーザスポット径の約１／３のレーザスポット径とすることができる。したがって、このような光学系を使用すれば、光磁気ディスクの面記録密度を現行の９倍の面記録密度とすることが可能となる。
【００１８】
しかしながら、上述したようにして形成された保護膜に、約５（μｍ）程度の膜厚誤差が生じている場合に、上記のように短波長化及び高開口数化された光学系を使用すると、上記の数１から算出される波面収差Ｗ４０ｄ  が大きな値となってしまい、安定な記録再生を行うことが困難になる。例えば、レーザ光の波長を４８０（ｎｍ）とし、レンズの開口数ＮＡを０．９としたときには、波面収差Ｗ４０ｄ  が非常に大きくなり、安定した記録再生を行うことができない。すなわち、このような光磁気ディスクの光学系において、波面収差Ｗ４０ｄ  を少なくとも現行と同じ０．１９λ程度に抑えるためには、保護膜の内周部と外周部との膜厚差Δｄを２．９（μｍ）以下に抑える必要がある。
【００１９】
また、上述のように保護膜に膜厚差が生じると、上述した光学系によるレーザ光の照射のみならず、磁気ヘッドによる磁界の印加にも影響する。例えば上述した磁界変調方式において使用される磁気ヘッドには、光磁気ディスクの保護膜から数（μｍ）〜数十（μｍ）程度の微少な間隙を介して信号の記録を行う浮上型磁気ヘッドや、光磁気ディスクの保護膜を摺動しながら信号の記録を行う摺動型磁気ヘッドがある。このような磁気ヘッドが使用される磁界変調方式においては、保護膜に膜厚差が生じていると、記録層と磁気ヘッドとの間隔が変化することになる。すなわち、磁界変調方式において、保護膜に膜厚差があると、記録層と磁気ヘッドとの距離がこの膜厚差を反映して不均一となり、磁気ヘッドの磁界の印加に大きく影響を及ぼす。
【００２０】
そこで、保護膜の膜厚差を抑制する方法として、光磁気ディスクを１０００（ｒｐｍ）以上の回転数で回転させた状態で、紫外線を照射し、保護膜を形成するという方法が提案されている。しかし、この方法においても、ディスク基板の内周部と外周部とで保護膜に膜厚差が生じてしまい、外周部において膜厚が厚くなってしまう。
【００２１】
これは、以下に示すような理由による。スピンコート時、紫外線硬化型樹脂にはディスク基板の回転により遠心力と粘性抵抗力とが加わり、ディスク基板の内周部に供給された後、外周部に向かって移動する。しかしながら、上記の方法において、紫外線をディスク基板の外周部から内周部に向かって照射すると、紫外線硬化型樹脂は外周部では硬化するが、紫外線が照射されていない内周部では、遠心力により外周部へ移動し、徐々に薄くなってしまう。そして、紫外線が照射されて硬化した外周部には、硬化していない内周部から紫外線硬化型樹脂が供給され、当該外周部は徐々に厚くなってしまう。つまり、結果的には、光磁気ディスクを回転させないで硬化させる場合よりも、内周部と外周部の膜厚差は増加してしまうこととなる。
【００２２】
そこで本発明は、従来の実状に鑑みて提案されたものであり、ディスク状媒体に塗膜を形成する場合に内周側と外周側での膜厚の差を抑えることを可能とするディスク状媒体製造装置を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために本発明者等が鋭意検討した結果、スピンコート法により塗布を行う場合、周方向において塗液の供給開始位置が径方向にばらついていると、塗膜の膜厚の径方向におけるばらつきに大きく影響することを見出した。そして、上記のような周方向における塗液の供給開始位置の径方向でのばらつきを抑えるためには、塗液の供給開始位置の回転中心からの距離をできるだけ小さくすれば良いことを見出した。従って、光磁気ディスクのディスク基板のように中心に孔部を有する被塗布物においては、上記孔部が回転中心となることから、中心の孔部を避けずに紫外線硬化型樹脂を供給することが望ましい。
【００２４】
すなわち、本発明のディスク状記録媒体の製造装置は、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部と、塗液供給手段とを備えてなるものであり、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることを特徴とするものである。
【００２５】
なお、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部にコイルが配設され、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石が構成されていることが好ましい。
【００２６】
さらに、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようになされていることが好ましい。
【００２７】
本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部を備えている。
【００２８】
従って、上記回転軸部の凹部に回転円板部の中心軸をはめ込み、上記回転軸部の鍔部と回転円板部の円板部によりディスク状記録媒体を厚さ方向に挟み込めば、上記ディスク状記録媒体は中心穴を回転円板部の円板部により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、回転軸部を回転させることにより面内方向に回転する。すなわち、ディスク状記録媒体の中心穴が塞がれていることから、塗液供給手段によりディスク状記録媒体の略中心に塗液が供給され、言い換えれば塗液が回転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられる。
【００２９】
また、本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることから、回転軸部の凹部と回転円板部の中心軸が強固に嵌合する。
【００３０】
なお、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、回転軸部にコイルを配設し、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石を構成すれば、電磁石に発生する磁界の向きを調節することにより、発生する磁力により回転円板部の中心軸を回転軸部の凹部に対して着脱自在となされる。
【００３１】
さらに、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部の中心軸の回転軸部の凹部に対する着脱が比較的容易に行われる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用したディスク状記録媒体の製造装置について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本例においては、いわゆる磁界変調方式により再生記録が行われる光磁気ディスクを製造する例について述べることとし、一主面に記録層が形成されたディスク基板上に紫外線硬化型樹脂からなる保護膜を形成する例について述べる。
【００３３】
本発明を適用したディスク状記録媒体の製造装置は、図１、図２、及び図３に示すように、一端１ａ側にディスク状記録媒体を形成するためのディスク基板２を面内方向に支持する平面略円環状の鍔部３を有し、その中心に鍔部３が形成される一端１ａ側に臨んで開口する凹部４が形成される回転軸部１と、ディスク状記録媒体を形成するディスク基板２の中心穴５を面内方向に覆う円板部６と、その一端側が上記円板部６に接合され、上記回転軸部１の凹部４に嵌合する中心軸７よりなる回転円板部８を備えてなるものである。
【００３４】
上記回転軸部１は略円柱状をなし、その一端１ａ側に鍔部３を有するが、上記鍔部３は一端１ａ側の先端部に設けられるのではなく、若干後退した位置に設けられており、鍔部３の上面に突出した凸部２１が形成されることとなる。そして上記凸部２１は、中心に凹部４が形成されていることから、平面円環状をなし、図３中Ｄ２  で示す外径が図３中Ｄ３  で示すディスク基板２の中心穴５の直径と略同等となされ、この凸部２１がディスク基板２の中心穴５に嵌合するようになされている。
【００３５】
さらに、図２中に示されるように、この回転軸部１の鍔部３が設けられる一端１ａとは反対側の他端１ｂ側には、ギア９，１０，１１を介してスピンドルモータ１２が配されている。すなわち、上記スピンドルモータ１２の回転駆動力が上記ギア１１，１０，９を介して回転軸部１の他端１ｂに伝達され、この回転軸部１が回転し、中心穴５が回転軸部１の凸部２１に嵌合し、鍔部３により面内方向に支持されているディスク基板２は図１中矢印Ａで示すように面内方向に回転する。
【００３６】
そして、図２中に示されるように、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては特に、回転軸部１の凹部４の少なくとも底面側が磁性を有する金属により形成されている。なお、本例においては、凹部４の底面側にあたる底面部分１ｃを鉄により形成するようにしている。さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、特に、図２中に示すように回転軸部１の底面部分１ｃにコイル１３が配設され、底面部分１ｃとコイル１３で電磁石が構成されて、凹部４内に磁界を発生させることが可能となされている。
【００３７】
一方の回転円板部８であるが、円板部６は平面円形をなし、図３中Ｄ４  で示す円板部６の直径は、ディスク基板２の中心穴５の図中Ｄ３  で示す直径よりも大となされており、円板部６により中心穴５を面内方向に塞ぐことが可能なようになされている。さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、図３中Ｄ４  で示す円板部６の直径をディスク基板２の情報が記録されるデータ領域よりも内周側に平面円環状に形成される溝部１４の外径となる図中Ｄ５  で示す直径よりも大とし、当該溝部１４も塞ぐ大きさとなされている。
【００３８】
さらにまた、図２及び図３に示すように円板部６のディスク基板２への対向面６ａの内周側を凹面として外周部のみがディスク基板２に接するようにしており、これにより対向面６ａとディスク基板２間に塗液が入り込むことを防止するようにしている。また、円板部６のディスク基板２への接触面側を塗液の表面張力よりも、表面張力の小さい材料により形成するようにしている。さらには、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、図３中に示すように、回転円板部８の中心軸７の円板部６との接続部近傍に気体を噴出可能な噴出孔１５が形成されている。
【００３９】
そして、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、特に、回転円板部８の中心軸７の円板部６との接続端とは反対側の少なくとも先端側が永久磁石１６により形成されている。
【００４０】
すなわち、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部１の凹部４に回転円板部８の中心軸７を嵌合させると、回転軸部１の底面部分１ｃの鉄と回転円板部８の中心軸７の先端の永久磁石１６が引き合い、回転円板部８は回転軸部１に対して強固に固定される。
【００４１】
また、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部１の底面部分１ｃにコイル１３を配設しており、これらが電磁石として機能することから、コイル１３に供給する電流の向きによって電磁石に発生する磁界の向きを調節することが可能であり、発生する磁力により回転円板部８の中心軸７を回転軸部１の凹部４に対して着脱自在とすることが可能である。
【００４２】
さらに、上記本例のディスク状記録媒体の製造装置において、電磁石のコイル１３に電流を流すことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部８の中心軸７の回転軸部１の凹部４に対する着脱が比較的容易に行われる。
【００４３】
また、本例のディスク状記録媒体の製造装置は、図１中に示すように、ディスク基板２上に紫外線硬化型樹脂１７を供給するノズル１８を有する。このノズル１８は、樹脂供給部１９に樹脂供給管２０を介して取り付けられて塗液供給手段となされている。そして、このノズル１８は、スピンコート時において、ディスク基板２及び回転円板部８が回転する略中心点である回転円板部８の円板部６の中心の直上に配設され、紫外線硬化型樹脂１７をディスク基板２及び回転円板部８の回転中心に供給するように出射する。
【００４４】
さらに、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、図４に示すように、回転円板部８を移送するためのアーム２１が設けられている。このアーム２１は、回転円板部８を保持する保持部２２と、一端が保持部２２に接続され他端が図示しない移送手段と接続される腕部２３により構成される。上記保持部２２は、図４中に示すように、先端２２ａに回転円板部８の中心軸７に嵌合する大きさの凹部２４が設けられ、その上面２２ｂ側で円板部６の対向面６ａ側を面内方向に支持する略板状の部材であり、腕部２３の移動に伴って移動する。なお、上記アーム２１は図示しない移送手段により図４中矢印Ｃ，Ｄで示すようにディスク基板２の厚さ方向及び面内方向に移動自在となされている。
【００４５】
なお、ここでは、保持部２２の形状を中心軸７に嵌合する凹部２４を有する形状としたが、単に回転円板部８を載置する形状としても良く、回転円板部８の端部に残留した樹脂が付着しない構造であることが望ましい。
【００４６】
次に、本例のディスク状記録媒体の製造装置により、ディスク基板上に保護膜を形成する方法について述べる。先ず、ディスク基板２の中心穴５を回転軸部１の凸部２１に嵌合させて鍔部３上にディスク基板２を載置する。上記ディスク基板２としては、図３中Ｔ１  で示す厚さが１．２（ｍｍ）、外径が８６（ｍｍ）、溝部１４の外径Ｄ５  が３４（ｍｍ）、中心孔５の直径Ｄ３  が１５（ｍｍ）のディスク基板が挙げられる。上記溝部１４は、ディスク基板２成形時においてスタンパー等によって形成された溝であり、情報信号が記録されるデータ領域より内周側に形成されるものである。なお、上記ディスク基板２に記録層が形成されていることは言うまでもない。
【００４７】
次に、アーム２１により回転円板部８を保持して、回転円板部８の中心軸７が回転軸部１の凹部４の真上に来るようにアーム２１を図４中矢印Ｄで示すディスク基板２の面内方向に移動する。そして、中心軸７が回転軸部１の凹部４に挿入されるようにアーム２１を図４中矢印Ｃで示すディスク基板２の厚さ方向に移動する。なお、この上記回転円板部８としては、例えば図３中Ｔ２  で示す円板部６の厚さが３．０（ｍｍ）、円板部６の直径Ｄ４  が３５（ｍｍ）のものが挙げられる。
【００４８】
そして、アーム２１により中心軸７を凹部４の途中まで挿入した状態で、コイル１３に電流を供給して電磁石により、永久磁石１６の磁界と反発する方向の磁界を凹部４内に発生させる。続いて磁界による反発力と回転円板部８の自重による力が釣り合ったところで、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すディスク基板２の面内方向に移動させ、アーム２１を回転円板部８から引き抜く。このとき、上述のように磁界による反発力と回転円板部８の自重による力が釣り合うようになされていることから、回転円板部８が急激に落下することはない。
【００４９】
続いて、コイル１３に供給する電流を徐々に減少させ、電磁石から発生する磁界を徐々に小さくしていくと、回転円板部８は下方向に徐々に降下する。そして、コイル１３に供給される電流値が零になったところで永久磁石１６が底面部分１ｃを形成する鉄に吸着し、回転円板部８が回転軸部１に対して強固に固定される。
【００５０】
このとき、回転円板部８の円板部６と回転軸部１の鍔部３によりディスク基板２は厚さ方向に挟み込まれることとなり、ディスク基板２は中心穴５を回転円板部８の円板部６により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、ディスク基板２は回転軸部１を回転させることにより図１中矢印Ａで示すように面内方向に回転することとなる。なお、本例においては、円板部６の直径Ｄ４  を３５（ｍｍ）とし、ディスク基板２の溝部１４の外径Ｄ５  を３４（ｍｍ）としていることから、上記円板部６により溝部１４まで覆われることとなり、情報信号が記録されたデータ領域より内周側全体が円板部６により覆われることとなる。
【００５１】
続いて、スピンドルモータ１２を回転駆動させ、ギア１１，１０，９を介して回転軸部１を３０（ｒｐｍ）程度の回転数で回転させる。これにより、この回転軸部１の鍔部３上に載置されたディスク基板２及び回転円板部８も回転軸部１と同速度で回転される。
【００５２】
次に、上記のような回転数でディスク基板２及び回転円板部８を回転させながら、図１中に示すように、ディスク基板２上にノズル１８から紫外線硬化型樹脂１７を供給する。このとき、本例においては、前述のように塗液供給手段であるノズル１８がディスク基板２及び回転円板部８が回転する略中心点である回転円板部８の円板部６の中心の直上に配設され、ディスク基板２の中心穴５が回転円板部８の円板部６によって塞がれていることから、ディスク基板２の略中心に紫外線硬化型樹脂１７を供給することが可能であり、言い換えれば紫外線硬化型樹脂１７を回転中心を避けることなく供給することが可能である。なお、本例においては、紫外線硬化型樹脂１７として、粘度が５００（ｃｐｓ）程度のものを使用している。
【００５３】
次に、回転軸部１の回転数を３０００（ｒｐｍ）まで上昇させ、３０００（ｒｐｍ）の回転数で８秒間保持する。このように、３０００（ｒｐｍ）の回転数で８秒間保持することにより、回転円板部８の回転中心に供給された紫外線硬化型樹脂１７を、遠心力によりディスク基板２の外周部に向かって広げ、ディスク基板２の全面、すなわち、記録層上に塗布し、ディスク基板２に紫外線硬化型樹脂１７の塗膜を形成する。
【００５４】
このとき、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、前述のように、回転円板部８の円板部６の対向面６ａの内周側を凹面として外周部のみがディスク基板２に接するようにしていることから、対向面６ａとディスク基板２間に紫外線硬化型樹脂１７が入り込むことが防止される。
【００５５】
そして、回転軸部１の回転を停止させた後、コイル１３に電流を供給し、電磁石より永久磁石１６から発生する磁界と反発する方向の磁界を凹部４内に発生させる。すると、これら磁界の反発力により、回転円板部８の中心軸７は上方向に押し上げられ、反発力と回転円板部８の自重による力が釣り合った位置に浮上した状態となる。
【００５６】
このとき、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、前述のように、回転円板部８の中心軸７の円板部６との接続部近傍に気体を噴出可能な噴出孔１５が設けられていることから、回転円板部８の上昇時に当該噴出孔１５から気体を噴出させるようにすれば、対向面６ａとディスク基板２間に紫外線硬化型樹脂１７が入り込むことが防止される。
【００５７】
そして、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すようにディスク基板２の面内方向に移動させ、保持部２２の凹部２４に中心軸７を嵌合させるとともに上面側で円板部６の対向面６ａ側を面内方向に支持した後、アーム２１を図４中矢印Ｃで示すようにディスク基板２の厚さ方向に移動させ、回転円板部８を回転軸部１から完全に引き抜く。さらに、アーム２１を図４中矢印Ｄで示すようにディスク基板２の面内方向に後退するように移動させる。
【００５８】
次いで、紫外線硬化型樹脂１７が塗布されたディスク基板２に紫外線を照射するために、ディスク基板２を回転軸部１から取り外し、図示しない紫外線照射部へと移動させる。そして、この紫外線硬化型樹脂１７に対して紫外線を照射し、硬化させ、保護膜を形成する。
【００５９】
本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、上記回転軸部１の凹部４に回転円板部８の中心軸７をはめ込み、上記回転軸部１の鍔部３と回転円板部８の円板部６によりディスク基板２を厚さ方向に挟み込めば、上記ディスク基板２は中心穴５を回転円板部８の円板部６により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、回転軸部１を回転させることにより面内方向に回転する。すなわち、ディスク基板２の中心穴５が塞がれていることから、ディスク基板２の略中心に紫外線硬化型樹脂１７が供給され、言い換えれば紫外線硬化型樹脂１７が回転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられ、内周側と外周側での膜厚の差が抑えられた保護膜を有するディスク状記録媒体が製造される。
【００６０】
また、本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部１の凹部４の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部８の中心軸７の少なくとも先端側が永久磁石１６よりなることから、回転軸部１の凹部４と回転円板部８の中心軸７が強固に嵌合する。
【００６１】
さらに、上記本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、電磁石のコイル１３に電流を流すことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにしており、回転円板部８の中心軸７の回転軸部１の凹部４に対する着脱が比較的容易に行われる。
【００６２】
なお、上記本例のディスク状記録媒体の製造装置においては、電磁石のコイル１３に電流を流すことにより、回転円板部８の中心軸７の永久磁石１６の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにしているが、電流の向きにより電磁石に発生する磁界の向きを調節するようにしても良く、電磁石と永久磁石１６の磁界の向きを合わせれば、回転軸部１の凹部４と回転円板部８の中心軸６をさらに強固に嵌合することが可能となる。
【００６３】
さらに、上述したディスク状記録媒体の製造装置においては、塗液としてアクリル系紫外線硬化型樹脂等、光磁気ディスクの保護膜材料として使用されているものを使用することが可能である。また、上述の例においては、紫外線硬化型樹脂の粘度を約５００（ｃｐｓ）程度としたが、例えば重合度等を制御して変化させたものを使用しても良い。
【００６４】
なお、上述の例においては、保護膜が形成されるディスク基板として、基板の片面のみに記録層が形成された単板構成のものを例示し、単板構成の光磁気ディスクを製造する例を示したが、製造される光磁気ディスクはこれに限られるものではない。すなわち、上記のような単板構成のディスク基板同士を対向させて貼り合わせて一体として両板構成の光磁気ディスクを製造しても良い。この両板構成の光磁気ディスクでは、記録再生時において、両面からレーザ光が照射されるとともに、磁気ヘッドにより磁界が印可される。すなわち、保護膜が形成された記録層が両面に形成されることになる。このような両板構成の光磁気ディスクにおいても、上述したように、光磁気ディスクの保護膜が内周部と外周部との膜厚差がないように形成されることによって、レーザ光の照射及び記録磁界の印可を安定して行うことが可能である。
【００６５】
さらに、上述したディスク状記録媒体製造装置は、上述した光磁気ディスクに限らず、例えば、表面に物理的な凹凸が形成されることによって信号が記録されている、再生専用の光ディスク等の製造にも適用可能である。さらに、このディスク状記録媒体製造装置が、広く、磁気ディスクや、光ディスク、相変化型ディスク等、保護膜材料をスピンコート法によって塗布して保護膜が形成されるディスク状記録媒体の製造に適用可能であることは言うまでもない。
【００６６】
【実施例】
次に、本発明の効果を確認するべく、以下に示すような実験を行った。すなわち、上述したようなディスク状記録媒体の製造装置を使用し、上述したようなディスク基板を使用して、ディスク基板上に保護膜を形成した。この保護膜におけるディスク基板の回転中心からの距離と保護膜の膜厚の関係を図５に示す。なお、図５中横軸はディスク基板の回転中心からの距離（ｍｍ）を示し、縦軸は保護膜の膜厚（μｍ）を示す。
【００６７】
そして、この図５においては、上述のようにして成膜されたディスク基板の回転中心からの所定の距離における保護膜の膜厚を×で示し、比較のために、従来の方法でディスク基板を回転させて保護膜を形成したときの計算値を実線ｂで示す。さらに、図５においては、上述のディスク基板において記録層となる範囲を２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲Ｂとして示す。すなわち、範囲Ｂが、保護膜を形成すべき領域ということになる。
【００６８】
図５を見てわかるように、上述のようにして形成された保護膜の膜厚は、ディスク基板の回転中心からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内において、約１６（μｍ）程度となっている。このように、膜厚を１５（μｍ）以上とすることにより、記録層の腐食を十分に防止することが可能となる。また、上記保護膜の膜厚は、ディスク基板の回転中心からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内において、２．０（μｍ）以下の誤差となっている。
【００６９】
一方、図５中の実線ｂで示される比較例は、ディスク基板全域において、内周側から外周側に向かって保護膜の膜厚が厚くなる傾向にある。また、この比較例においては、ディスク基板の回転中心からの距離が２４（ｍｍ）〜４０（ｍｍ）の範囲内においても、外周部側において保護膜の膜厚が厚くなっている。
【００７０】
すなわち、上記実験の結果から、上述のようにして保護膜を形成すれば、図５中に示すように、記録層が形成されている範囲Ｂ内において、約１５（μｍ）以上の膜厚の保護膜を形成することができるとともに、ディスク基板の内周側と外周側との膜厚差を２（μｍ）以下に抑制した保護膜を形成することが可能であることが確認された。
【００７１】
また、このようにして形成された保護膜においては、ディスク基板の全面において保護膜の膜厚差が２（μｍ）以下となされているので、レーザ光を保護膜側から入射させても、ディスク基板の全面において波面収差の誤差が大きくなってしまうような部分がない。
【００７２】
すなわち、上記保護膜は、その膜厚差が、例えば、レーザ光を保護膜側から入射する光学装置を用い、レーザ光の波長λを４８０（ｎｍ）とし、ディスク基板上にレーザ光を集光させるレンズの開口数ＮＡを０．９とした場合において、波面収差が０．１９λ以下となる膜厚差の上限である２．９（μｍ）以下となるように形成されている。
【００７３】
したがって、このような保護膜が形成された光磁気ディスクによれば、高記録密度用に設計された光学系を使用して記録再生を行っても、保護膜の膜厚差による波面収差の誤差が大きくなるようなことはなく、レーザ光を記録層に安定して照射させることが可能である。
【００７４】
また、このようにして保護膜を形成すれば、光磁気ディスク上を摺動しながら信号の記録を行う磁気ヘッドを使用しても、保護膜の膜厚差により、光磁気ディスクの表面に対して損傷を与えることなく、信号の記録を行うことが可能である。
【００７５】
さらに、このようにして保護膜を形成すれば、光磁気ディスク上の表面と微少間隔を介して浮上する磁気ヘッドを使用して信号の記録を行っても、磁気ヘッドが光磁気ディスクの表面と接触することはなく、所定の間隔を保持して信号を記録することができる。
【００７６】
従って、このようにして保護膜を形成すれば、記録層に対して安定して磁界を印可することができ、光磁気ディスクの全面において記録ピットを安定して形成することができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、一端側にディスク状記録媒体を面内方向に支持する鍔部を有し、その中心に鍔部形成端側に臨んで開口する凹部が形成される回転軸部と、ディスク状記録媒体の中心穴を面内方向に覆う円板部と、その一端が上記円板部に接合され、上記回転軸部の凹部に嵌合する中心軸よりなる回転円板部を備えている。
【００７８】
従って、上記回転軸部の凹部に回転円板部の中心軸をはめ込み、上記回転軸部の鍔部と回転円板部の円板部によりディスク状記録媒体を厚さ方向に挟み込めば、上記ディスク状記録媒体は中心穴を回転円板部の円板部により塞がれた状態で面内方向に支持されることとなり、回転軸部を回転させることにより面内方向に回転する。すなわち、ディスク状記録媒体の中心穴が塞がれていることから、塗液供給手段によりディスク状記録媒体の略中心に塗液が供給され、言い換えれば塗液が回転中心を避けることなく供給されることから、塗布開始位置における回転中心からの距離が非常に小さくなり、径方向における塗膜の膜厚のばらつきが抑えられ、内周側と外周側での膜厚の差が抑えられた保護膜等の塗膜を有するディスク状記録媒体の製造が可能となる。
【００７９】
また、本発明のディスク状記録媒体の製造装置においては、回転軸部の凹部の少なくとも底面側が磁性を有する金属よりなり、回転円板部の中心軸の少なくとも先端側が磁石よりなることから、回転軸部の凹部と回転円板部の中心軸が強固に嵌合する。
【００８０】
なお、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、回転軸部にコイルを配設し、回転軸部の磁性を有する金属よりなる部分とコイルで電磁石を構成すれば、電磁石に発生する磁界の向きを調節することにより、発生する磁力により回転円板部の中心軸を回転軸部の凹部に対して安定して着脱することが可能となる。
【００８１】
さらに、上記本発明のディスク状記録媒体の製造装置において、電磁石のコイルに電流を流すことにより、回転円板部の中心軸の磁石の磁界と反発する向きの磁界が発生するようにすれば、回転円板部の中心軸の回転軸部の凹部に対する着脱が比較的容易に行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を示す要部概略斜視図である。
【図２】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を示す要部概略断面図である。
【図３】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を分解して示す要部概略断面図である。
【図４】本発明に係るディスク状記録媒体の製造装置の構成を示す要部概略斜視図である。
【図５】ディスク基板の回転中心からの距離と保護膜の膜厚の関係を示す特性図である。
【図６】ディスク基板上に紫外線硬化型樹脂を供給する様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  回転軸部、１ａ  一端、２  ディスク基板、３  鍔部、４  凹部、５  中心穴、６  円板部、７  中心軸、８  回転円板部、１３  コイル、１６  永久磁石、１７  紫外線硬化型樹脂
【図１】
0003557866.tif 000003
【図２】
0003557866.tif 000004
【図３】
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【図４】
0003557866.tif 000006
【図５】
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【図６】
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