(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部及び／又は透過部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭形状が屈曲部分を含み、
遮光部との境界にあってはその境界部分の近傍であってグレートーン部側に、あるいは透過部との境界にあってはその境界部分を含む領域又は境界部分の近傍に、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンを有することを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項２】
遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させてこの領域に対応する被転写基板上のフォトレジストの膜厚を他の領域に対し選択的に変えるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部及び／又は透過部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
遮光部との境界にあってはその境界部分の近傍であってグレートーン部側に、あるいは透過部との境界にあってはその境界部分を含む領域に、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンを有し、かつ、
前記グレートーン部における輪郭パターンを除く前記遮光パターンが、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭と略直交する方向にラインが延びたライン＆スペースパターンからなることを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項３】
遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させてこの領域に対応する被転写基板上のフォトレジストの膜厚を他の領域に対し選択的に変えるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部及び／又は透過部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
遮光部との境界にあってはその境界部分の近傍であってグレートーン部側に、あるいは透過部との境界にあってはその境界部分を含む領域に、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンであって、マスクを使用した際に、前記遮光部及び／又は前記透過部に対応する被転写基板上のレジストパターンのエッジが、前記グレートーン部における輪郭パターンを除く前記遮光パターンの影響で荒れることを防止するための輪郭パターンを有し、かつ、
前記グレートーン部における輪郭パターンを除く前記遮光パターンが、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭と略直交する方向にラインが延びたライン＆スペースパターンからなることを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項４】
遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させてこの領域に対応する被転写基板上のフォトレジストの膜厚を他の領域に対し選択的に変えるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
前記遮光部と隣接する前記グレートーン部における遮光パターンが、前記遮光部の輪郭形状と略平行なライン＆スペースパターンを有し、
前記遮光部と隣接する前記グレートーン部における最も遮光部との境界側の遮光パターンと前記遮光部との間隔ｂが、前記ライン＆スペースパターンのスペース間隔ａに対しａ＜ｂ≦１．６ａであることを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項５】
遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させてこの領域に対応する被転写基板上のフォトレジストの膜厚を他の領域に対し選択的に変えるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーン部は、屈曲部分を有する少なくとも２つの遮光部に挟まれており、
前記グレートーン部における遮光パターンが、前記少なくとも２つの遮光部の双方の輪郭に沿ってライン状に形成された両者に共通の１本の輪郭パターンからなることを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項６】
グレートーンマスクがＬＣＤ用マスク又はＰＤＰ用マスクであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のグレートーンマスク。
【請求項７】
請求項６に記載のグレートーンマスクを用いたパターン転写方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、遮光部と透過部との中間の透過量を得るためのグレートーン部を有するグレートーンマスク等に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大型ＬＣＤ（液晶表示装置）用マスクの分野において、グレートーンマスクを用いてマスク枚数を削減する試みがなされている（月刊ＦＰＤ  Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｃｅ，１９９９年５月）。
ここで、グレートーンマスクは、図８（１）に示すように、遮光部１と、透過部２と、グレートーン部３とを有する。グレートーン部３は、グレートーンマスクを使用する大型ＬＣＤ用露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する微細遮光パターン３ａを配列した領域であって、この領域を透過する光の透過量すなわちこの領域による照射量を一様に低減してこの領域に対応する被転写基板上のフォトレジストの膜厚を他の領域に対し選択的かつ一様に変えることを目的として形成される。遮光部１と微細遮光パターン３ａはともにＣｒやクロム化合物等の同じ材料からなる同じ厚さの膜から通常形成されている。
グレートーンマスクを使用する大型ＬＣＤ用露光機の解像限界は、ステッパ方式の露光機で約３μｍ、ミラープロジェクション方式の露光機で約４μｍである。このため、例えば、図８（１）でグレートーン部における微細透過部３ｂのスペース幅を３μｍ未満、露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する微細遮光パターン３ａのライン幅を３μｍ未満とする。上記大型ＬＣＤ用露光機で露光した場合、グレートーン部３を通過した露光光は全体として露光量が足りなくなるため、このグレートーン部３を介して露光したポジ型フォトレジストは膜厚が薄くなるだけで基板上に残る（このような現象を、グレートーン効果と称する）。つまり、レジストは露光量の違いによって通常の遮光部１に対応する部分とグレートーン部３に対応する部分で現像液に対する溶解性に差ができるため、現像後のレジスト形状は、図８（２）に示すように、通常の遮光部１に対応する部分１１が例えば約１．３μｍ、グレートーン部３に対応する部分１３（薄いレジスト領域）が例えば約０．３μｍ、透過部２に対応する部分はレジストのない部分１２となる。そして、レジストのない部分１２で被加工基板の第１のエッチングを行い、グレートーン部３に対応する薄い部分１３のレジストをアッシング等によって除去しこの部分で第２のエッチングを行うことによって、１枚のマスクで従来のマスク２枚分の工程を行い、マスク枚数を削減する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った場合、遮光部又は透過部（以下、適宜本パターンという）と接するグレートーン部に形成された微細遮光パターンの影響で、本パターンである遮光部又は透過部に対応するレジストパターンのエッジが荒れ（ギザギザになる、あるいは輪郭がぼやける）、これにより本パターンに対応するレジストパターンの形状・寸法精度が悪化し、所望の本パターン形状・寸法精度が得られないため、実用化の障害になっていた。
このことを以下に具体的に説明する。
図９（１）は、従来のグレートーンマスクを示す部分平面図であり、本パターンである遮光部１、１’の間に、微細ライン＆スペースパターン３’（ライン３ａの幅３μｍ未満、スペース３ｂの幅３μｍ未満）で構成されたグレートーン部３が形成されている。
図９（２）は、図９（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す。
図９（２）に示すように、グレートーン部３に対応して薄いレジスト領域１３は形成されるが、本パターンに対応するレジストパターン１１、１１’については、図９（１）に示す遮光部１、１’に隣接して直交する向きで形成された微細ライン＆スペースパターン３’の影響で、レジストパターン１１（屈曲部分を含むパターン形状）、１１’（直線状のパターン形状）のエッジがいずれも荒れ、レジストパターン１１、１１’の形状・寸法精度が悪く、グレートーンマスクを用いたパターン転写プロセスの実用化の障害になっていた。
【０００４】
本発明は、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンで構成されるグレートーン部を有するグレートーンマスクを用いてレジスト上にパターン転写を行った場合、本パターンに対応するレジストパターンのエッジが荒れがなくエッジがシャープで、本パターンに対応するレジストパターンについて所望の形状・寸法精度が得られ、かつ、グレートーン部についてもその領域全体において設計規格内のレジスト膜厚が得られるグレートーンマスクの提供を第一の目的とする。
また、露光機の解像限界以下の微細遮光パターンで構成されるグレートーン部を有するグレートーンマスクを用いたパターン転写プロセスの実用化を第二の目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は以下の構成を有する。
（構成１）  遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部及び／又は透過部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭形状が屈曲部分を含み、
遮光部との境界にあってはその境界部分の近傍であってグレートーン部側に、あるいは透過部との境界にあってはその境界部分を含む領域又は境界部分の近傍に、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンを有することを特徴とするグレートーンマスク。
【０００６】
（構成２）  遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部及び／又は透過部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
遮光部との境界にあってはその境界部分の近傍であってグレートーン部側に、あるいは透過部との境界にあってはその境界部分を含む領域に、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンを有し、かつ、
前記グレートーン部における輪郭パターンを除く前記遮光パターンが、前記遮光部及び／又は前記透過部の輪郭と略直交する方向にラインが延びたライン＆スペースパターン、又はライン＆スペース以外のパターンからなることを特徴とするグレートーンマスク。
【０００７】
（構成３）  遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーンマスクは、少なくとも遮光部とグレートーン部とが隣接する境界部分を有し、
前記遮光部と隣接する前記グレートーン部における遮光パターンが、前記遮光部の輪郭形状と略平行なライン＆スペースパターンを有し、
前記遮光部と隣接する前記グレートーン部における最も遮光部との境界側の遮光パターンと前記遮光部との間隔が、前記ライン＆スペースパターンのスペース間隔よりも大きいことを特徴とするグレートーンマスク。
【０００８】
（構成４）  遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させるグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、
前記グレートーン部は、少なくとも２つの遮光部に挟まれており、
前記少なくとも２つの遮光部の双方の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンを有していることを特徴とするグレートーンマスク。
【０００９】
（構成５）  遮光部と、透過部と、マスクを使用する露光機の解像限界以下のパターン寸法を有する遮光パターンを配列した領域であってこの領域を透過する露光光の透過量を低減させるグレートーン部とを有するグレートーンマスクの製造方法であって、遮光部及び／又は透過部とグレートーン部とが隣接する境界部分を少なくとも有するグレートーンマスクの製造方法において、
前記グレートーンマスクを用いて被転写基板上のレジスト膜にパターン転写を行いレジストパターンを形成した際に、前記遮光部及び／又は前記透過部とグレートーン部との境界部分に位置するレジストパターンの形状・寸法精度を向上させると共に、グレートーン部の領域全体におけるレジスト膜厚の均一性を向上させるように、前記遮光部及び／又は透過部と隣接するグレートーン部における遮光パターンを形成することを特徴とするグレートーンマスク製造方法。
【００１０】
（構成６）  前記遮光部及び／又は透過部と隣接するグレートーン部における遮光パターンは、前記遮光部及び／又は透過部の輪郭に沿ってライン状に形成された輪郭パターンを、最も遮光部及び／又は透過部との境界側に含むパターンであることを特徴とする構成５記載のグレートーンマスク製造方法。
【００１１】
（構成７）  グレートーンマスクがＬＣＤ用マスク又はＰＤＰ用マスクであることを特徴とする構成１〜４のいずれかに記載のグレートーンマスク。
【００１２】
（構成８）  構成７に記載のグレートーンマスクを用いたパターン転写方法。
【００１３】
【作用】
本発明のグレートーンマスクによれば、遮光部および／または光透過部（本パターン）の輪郭形状に沿って輪郭パターンを形成することによって、レジスト上にパターン転写を行った場合、本パターンに対応するレジストパターンのエッジが荒れがなくエッジがシャープで、本パターンに対応するレジストパターンについて所望の形状・寸法精度が得られ、かつ、グレートーン部についてもその領域全体において設計規格内のレジスト膜厚が得られる。
また、本発明のグレートーンマスクによれば、露光機の解像限界以下の微細パターンを形成するタイプのグレートーンマスクを用いたパターン転写を実用化できる。このタイプのグレートーンマスクは、半透過膜を使用するタイプのグレートーンマスク比べ、安価であるので、本発明のグレートーンマスク及びパターン転写方法は、ＬＣＤ（液晶表示装置）用の大型グレートーンマスク（カラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）作製用など）やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用の大型グレートーンマスク等の安価な製造方法を実用化する上で必要不可欠である。
【００１４】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の一実施の形態にかかるグレートーンマスクは、本パターン（遮光部および／または光透過部）の輪郭形状に沿って輪郭パターンを形成したことを特徴とする。
図１（１）は、本発明の一実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図であり、本パターンである遮光部１、１’間のグレートーン部３に、ライン＆スペースパターン３’（ライン３ａの幅３μｍ未満、スペース３ｂの幅３μｍ未満）が形成されている。ライン＆スペースパターン３’は、遮光部１、１’の輪郭と略直交する方向にラインが延びた向きで形成されている。この態様では、遮光部１、１’とグレートーン部３とが接する境界部分において、その境界部分の近傍であってグレートーン部３側に、遮光部１、１’の輪郭形状に沿ってライン状の輪郭パターン３０、３０’を形成している。つまり、輪郭パターン３０、３０’は遮光部１、１’の輪郭に対して所定の間隔をあけて形成されている。なお、遮光部１は屈曲部分１ａを含むパターン形状であり、遮光部１内には透過部２が形成されている。遮光部１の屈曲部分１ａの輪郭形状に沿って、輪郭パターン３０も屈曲部分を含む。
なお上述した態様には、本発明の２つの態様が含まれており、その１つは、輪郭パターンを除くグレートーン部３のパターン形状にかかわらず、屈曲部分１ａを有する遮光部１の輪郭形状に沿って、輪郭パターン３０を形成する態様（態様１）である。もう１つは、屈曲部分を有しない遮光部１’の場合であって、グレートーン部における輪郭パターンを除く遮光パターンが、遮光部又は透過部の輪郭と略直交する方向にラインが延びたライン＆スペースパターン、又はライン＆スペース以外のパターンからなる場合において、遮光部１’又は透過部の輪郭形状に沿って、輪郭パターン３０’を形成する態様（態様２）である。
図１（２）は、図１（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す。
図１（１）に示す輪郭パターン３０、３０’を形成することによって、図１（２）に示すように、本パターンに対応するレジストパターン１１、１１’（屈曲部分を含むパターン形状及び直線状のパターン形状）の双方について形状・寸法精度が良く形成できる。つまり、図９（１）に示したような、遮光部１、１’に隣接し直交して形成された微細ライン＆スペースパターン３’の影響で、レジストパターン１１、１１’のエッジが荒れ、レジストパターン１１、１１’の形状・寸法精度が悪くなることを回避できる。また、輪郭パターン３０、３０’を形成することによって、図１（２）に示すように、グレートーン部３についてもその領域全体において設計規格内の膜厚を有する薄いレジスト領域１３が得られる。
本発明において、輪郭パターンは、本パターンに対応するレジストパターンの形状・寸法精度を向上させる機能と、輪郭パターンと本パターン及び輪郭パターンとグレートーン部おけるその他のパターンとの相互作用によってグレートーン部の領域全体におけるレジスト膜厚の均一性を向上させる機能と、を有する。
【００１５】
次に、本発明の他の態様について説明する。
本態様（態様３）は、例えば図２に示すように、遮光部１と隣接するグレートーン部３における遮光パターンが、遮光部１の輪郭形状と略平行なライン＆スペースパターン３’からなる場合において、遮光部１と隣接するグレートーン部３における最も遮光部１との境界側の遮光パターン３ｃと遮光部１との間隔ｂが、ライン＆スペースパターン３’のスペース間隔ａよりも大きい（ｂ＞ａ）ことを特徴とする。
本態様３によれば、ｂ＝ａの場合に比べ、遮光部１に対応するレジストパターンを形状・寸法精度良く形成できる。つまり、ｂ＞ａとした場合の方が、ｂ＝ａの場合に比べ、遮光パターン３ｃによる、本パターンに対応するレジストパターンを形状・寸法精度良く形成する機能が高い。具体的には、ａ＜ｂ≦１．６ａとすることが好ましく、例えば、ａ＝１．２〜１．５μｍである場合、ｂは１．２〜１．５μｍより大きく２．４μｍ以下とする。
本態様３において、遮光パターン３ｃは、本パターンに対応するレジストパターンの形状・寸法精度を向上させる機能と、遮光パターン３ｃと本パターン及び遮光パターン３ｃと他のライン＆スペースパターンとの相互作用によってグレートーン部の領域全体におけるレジスト膜厚の均一性を向上させる機能と、を有する。
【００１６】
次に、本発明の他の態様について説明する。
本態様（態様４）は、例えば図３（１）に示すように、グレートーン部３が少なくとも２つの遮光部１、１に挟まれている場合において、２つの遮光部１、１の双方の輪郭に沿ってライン状の輪郭パターン３０形成した態様である。この態様４は、２つの遮光部１、１間に両者に共通の輪郭パターン３０を形成した態様でもある。
本態様４によれば、図３（２）に示すように、遮光部１、１に対応するレジストパターン１１、１１を形状・寸法精度良く形成することができると共に、遮光部１、１と輪郭パターン３０との相互作用によって薄いレジスト領域１３を形成することができる。
なお本態様では、例えば図４（１）に示すように、グレートーン部を形成する必要がある部分にだけ部分的に輪郭パターン３０を形成することができる。この場合図４（２）に示すように、遮光部１、１に対応するレジストパターン１１、１１の屈曲部分を形状・寸法精度良く形成することができると共に、遮光部１、１と輪郭パターン３０との相互作用によって屈曲部分にだけ薄いレジスト領域１３を形成することができる。
【００１７】
次に、本発明の他の態様について説明する。
本態様は、例えば図５（１）に示すように、本パターンである透過部２とグレートーン部との境界部分を含む領域又は境界部分の近傍に輪郭パターン３０を形成する態様（態様１’）に関する。この態様１’では、透過部２とグレートーン部３との双方にまたがって輪郭パターン３０を形成することができ、あるいは、グレートーン部３側もしくは透過部２側に輪郭パターン３０を形成することもできる。
また、本態様は、本パターンである遮光部１とグレートーン部３との境界線に沿って、輪郭パターンのみを形成する態様（態様６）に関する。この態様６では、間隔ａよりも、間隔ｂを大きくする（ｂ＞ａとする）ことが好ましい。ｂ＝ａの場合に比べ、遮光部１に対応するレジストパターンを形状・寸法精度良く形成できるからである。つまり、ｂ＞ａとした場合の方が、輪郭パターンによる、本パターンを形状・寸法精度良く形成する機能が高い。具体的には、ａ＜ｂ≦１．６ａとすることが好ましい。
なお、図５（１）では、輪郭パターン３０は屈曲部分を含む一重のラインであり、輪郭パターン３０’は直線状の二重ラインである。図５（１）に示す輪郭パターン３０、３０’は、本パターンに対応するレジストパターンを形状・寸法精度良く形成する機能と、本パターンとの相互作用によってグレートーン部の領域全体について設計規格内の膜厚を有する薄いレジスト領域を形成する機能と、を有している。
図５（２）は、図５（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す。図５（２）に示すように、本パターンに対応するレジストパターン１１、１１を形状・寸法精度良く形成することができると共に、本パターンと輪郭パターンとの相互作用によって薄いレジスト領域１３を形成することができる。
【００１８】
上記各態様において、輪郭パターンは、通常一定線幅のライン状（屈曲部分を含むライン状を包含する）で形成するが、これに限られず、例えば、一定線幅でないライン状や、一部に切断された箇所を有するライン状（屈曲部分を含むライン状を包含する）、などとすることもできる。
なた、上記各態様において、輪郭パターンは、境界線に沿って一重または二重、あるいはそれ以上設けてもよい。
【００１９】
本発明において、輪郭パターンの線幅、輪郭パターンと本パターンとの間隔（ギャップ）は、グレートーンマスクを使用する露光機の解像限界と同程度とすることが好ましい。かかるギャップの大きさは、使用するアライナーによって適宜選択することができるが、３μｍ未満が好ましく、１．０〜２．０μｍがさらに好ましく、１．２〜１．５μｍ程度とすることがより好ましい。
【００２０】
本発明においては、輪郭パターンとグレートーン部における各種パターンとのギャップは、設けても設けなくてもよい。図６に、輪郭パターン３０、３０’とグレートーン部におけるライン＆スペースパターン３’との間にギャップを設けない例を示す。図６に示すような、輪郭パターン３０、３０’とライン＆スペースパターン３’との向きが交差する態様の場合、ギャップを設けない方が好ましい。それは、遮光部１、１’と輪郭パターン３０、３０’との間隔は、グレートーン部及び遮光部への光の回り込みの影響を考慮して所定の間隔とする必要があるが、輪郭パターン３０、３０’とグレートーン部におけるパターン３’との間にギャップを設けないと、遮光部１、１’と輪郭パターン３０、３０’との所定の間隔の選択範囲が広がるからである。
輪郭パターンとグレートーン部における各種パターンとの間にギャップを設ける場合、ギャップの間隔は、使用するアライナーによって適宜選択することができるが、０超〜２．０μｍが好ましく、０超〜１．５μｍ程度とすることが好ましい。ギャップの間隔をあまりに間隔を広くしすぎるとギャップ部分の微細透過部が解像されてしまい、ギャップ部分において設計規格内の膜厚（中間透過率）が得られなってしまう。
【００２１】
本発明において、輪郭パターンを除くグレートーン部における各種パターンは、微細ライン＆スペースパターンに限られず、矩形（例えば図７）やドット（チェック含む）が配列したパターン、あるいはメッシュや格子など任意の透過率低減効果を奏するパターンで構成することができる。
輪郭パターンを除くグレートーン部におけるグレートーンパターンは、微細ライン＆スペースパターンが好ましく、描画データ作成が容易であるという観点から輪郭パターンと直交する微細ライン＆スペースパターンが好ましい。
さらに、１つのグレートーン部又は異なるグレートーン部において、微細ライン＆スペースパターンのライン幅及びスペース幅を適宜変えて配置し、透過する光量が異なる複数のグレートーン領域を設けてもよい。
グレートーンパターンを構成する微細ライン＆スペースパターンのライン幅及びスペース幅は、アライナーの解像限界以下であれば特に限定されないが、３μｍ未満であることが好ましく、１．０〜２．０μｍであることがさらに好ましく、１．２〜１．５μｍがより好ましい。
【００２２】
本発明において、グレートーン部に対応して得られる被転写体上の薄いレジスト領域の膜厚は、透過部における膜厚を０％、遮光部における膜厚を１００％としたとき、２０〜６０％であることが好ましく、３０〜４０％であることがより好ましい。
グレートーン部に対応して得られる薄いレジスト領域の膜厚バラツキは、１０％以内が好ましく、５％以内がさらに好ましい。
【００２３】
輪郭パターンの構成材料（遮光膜構成材料）としては、酸化クロム膜、クロム膜等のクロム系膜や、モリブデンシリサイド、モリブデンシリサイド酸化膜、モリブデンシリサイド酸化窒化膜等のモリブデンシリサイド系膜、タンタルシリサイド、タングステンシリサイド等に代表される金属シリサイド系膜、その他、シリコン窒化膜等のシリコン系膜等が挙げられる。
輪郭パターン構成材料は、グレートーン部における他のパターンの構成材料と同種材料であっても、異種材料であってもよいが、同種材料で構成することが好ましい。これにより、同一リソグラフィー工程によって、輪郭パターンとグレートーン部における他のパターンとを同時に形成可能となる。
輪郭パターン及びグレートーン部における他のパターンの構成材料は、遮光部の構成材料と同種材料であっても異種材料であってもよいが、同種材料であることが好ましい。同種材料とすることにより、同一工程によって、これらを同時に形成可能となる。
【００２４】
【実施例】
以下、実施例について説明する。
精密研磨されたガラス基板上に、Ｃｒ膜を成膜し、このＣｒ膜上にレジストを塗布した。レジストに対して描画（露光）を行い、レジストを現像し、Ｃｒ膜のエッチングを行い、レジストを剥離して、ＬＣＤ用グレイトーンマスクを製造した。
上記描画工程において、グレートーン部におけるパターン描画データーを作る工程において、本パターンに沿って輪郭パターン描画データー等を作製した。具体的には、図１、３〜６に示す態様について、本パターン描画データーに対し、輪郭パターン描画データー、及びグレートーン部における他のパターン描画データーをそれぞれ作製した。また、図２に示す態様について、本パターン描画データーに対し、遮光パターン３ｃを含むグレートーン部におけるパターン描画データーを作製した。
上記で作製したグレートーンマスクを用い、レジスト付き基板上にパターン転写を実施した。具体的には、大型ＬＣＤ用露光機（キャノン製ＭＰＡ−１５００）を用いて、露光量をＪｕｓｔ±３０％内で１０％毎に変化させた７条件（Ｊｕｓｔ、Ｊｕｓｔ＋１０％、Ｊｕｓｔ−１０％、Ｊｕｓｔ＋２０％、Ｊｕｓｔ−２０％、Ｊｕｓｔ＋３０％、Ｊｕｓｔ−３０％、）で、露光テストを実施した。
この結果、遮光部に対応するレジストパターンの形状・寸法が規格内で得られること、及び、グレートーン部に対応して得られる薄いレジスト領域の膜厚が規格内で得られることを確認した。
なお、図１（１）、図６において輪郭パターンを形成せずに図９（１）に示すようにライン＆スペースパターンを形成した場合、遮光パターンに対応するレジストパターンのエッジが荒れ、形状・寸法が規格内で得られないことを確認した。また、図１〜図６において輪郭パターン又は遮光パターン３ｃを形成せずに、グレートーン部全域にドットパターンやチェックパターン（ドットパターンを細かくしたもの）を形成した場合、遮光部に対応するレジストパターンのエッジが荒れ、形状・寸法が規格内で得られないことを確認した。さらに、図２、図５（１）において、ａ＝ｂの場合、遮光部に対応するレジストパターンのエッジが荒れ、形状・寸法が規格内で得られないことを確認した。
【００２５】
なお、本発明は上述した実施の形態等に限定されるものではない。
例えば、本パターン及びそれに対応する輪郭パターン等の態様等は、図１〜６等で示した態様に限定されない。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、露光機の解像限界以下の微細遮光パターンで構成されるグレートーン部を有するグレートーンマスクを用いてレジスト上にパターン転写を行った場合、レジストパターンのエッジが荒れがなくエッジがシャープで、所望のパターン形状・寸法精度が得られ、グレートーン部についてもその領域全体において設計規格内の膜厚が得られる。
また、本発明のグレートーンマスクによれば、露光機の解像限界以下の微細パターンを形成するタイプのグレートーンマスクを用いたパターン転写を実用化できる。このタイプのグレートーンマスクは、半透過膜を使用するタイプのグレートーンマスク比べ、安価であるので、本発明のグレートーンマスク及びパターン転写方法は、安価なＬＣＤ転写プロセス及び製造方法を実用化する上で必要不可欠である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を説明するための図であり、図１（１）は、本発明の一実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図であり、図１（２）は、図１（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す部分平面図である。
【図２】本発明の他の実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態を説明するための図であり、図３（１）は、本発明のさらに他の実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図であり、図３（２）は、図３（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す部分平面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施の形態を説明するための図であり、図４（１）は、本発明のさらに他の実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図であり、図４（２）は、図４（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す部分平面図である。
【図５】本発明のさらに他の実施の形態を説明するための図であり、図５（１）は、本発明のさらに他の実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図であり、図５（２）は、図５（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す部分平面図である。
【図６】本発明のさらに他の実施の形態にかかるグレートーンマスクを示す部分平面図である。
【図７】輪郭パターンを除くグレートーン部におけるグレートーンパターンの他の態様を説明するための部分平面図である。
【図８】グレートーンマスクを説明するための図であり、（１）は部分平面図、（２）は部分断面図である。
【図９】従来技術を説明するための図であり、図９（１）は、従来のグレートーンマスクを示す部分平面図であり、図９（２）は、図９（１）に示すグレートーンマスクを使用して実際にレジスト上にパターン転写を行った結果を示す部分平面図である。
【符号の説明】
１、１’遮光部
２      透過部
３      グレートーン部
３ａ        微細遮光パターン
３ｂ    微細透過部
３ｃ        遮光パターン
３’        ライン＆スペースパターン
１１            本パターンに対応するレジストパターン
１２            透過部に対応するレジストのない部分
１３            グレートーン部に対応する薄いレジスト領域
３０            輪郭パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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