(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧下で円板形の基板の所定の広がり面の上に有機色素を蒸着させることにより、光を用いて読み出すことが可能な形態で情報を記録する記録層を上記広がり面上に形成するようにした光記録媒体の製造方法であって、
輪状のベルトを、その外側広がり面が循環経路の一部で上向きとなるような形態で循環させ、
上記ベルトの外側広がり面が上向きとなっている部分において、所定の位置で上記ベルト上に、各粒子の粒径が１５０〜１０００μｍの範囲内であり、前記各粒子の粒径が基準粒径の上下３０％以内に入っている粉体状の有機色素を供給する一方、ベルトを回転させて上記有機色素を加熱部に供給して上記ベルト上の上記有機色素を加熱して気化させ、該有機色素の蒸気を上記基板の上記広がり面に蒸着させて上記記録層を形成することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
上記光記録媒体が、上記記録層に光を照射することにより一度だけ情報の書き込みが可能な追記型光記録媒体であることを特徴とする、請求項１に記載された光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
上記光記録媒体が、追記型コンパクトディスク又は追記型ＤＶＤであることを特徴とする、請求項２に記載された光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
減圧下で円板形の基板の所定の広がり面の上に有機色素を蒸着させることにより、光を用いて読み出すことが可能な形態で情報を記録する記録層を上記広がり面上に形成するようにした光記録媒体の製造装置であって、
各粒子の粒径が１５０〜１０００μｍの範囲内であり、前記各粒子の粒径が基準粒径の上下３０％以内に入っている粉体状の有機色素を搬送する搬送装置が、第１の領域と第２の領域とを巡回する輪状のベルトであって、
有機色素供給装置が、上記ベルトの外側広がり面が上向きとなっている部分において第１の領域で上記ベルト上に上記有機色素を供給するようになっており、
有機色素加熱装置が、上記ベルトの外側広がり面が上向きとなっている部分において第２の領域で上記ベルト上の上記有機色素を加熱して気化させるようになっていることを特徴とする光記録媒体の製造装置。
【請求項５】
上記光記録媒体が、上記記録層に光を照射することにより一度だけ情報の書き込みが可能な追記型光記録媒体であることを特徴とする、請求項４に記載された光記録媒体の製造装置。
【請求項６】
上記光記録媒体が、追記型コンパクトディスク又は追記型ＤＶＤであることを特徴とする、請求項５に記載された光記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録媒体の製造方法及び製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ、大型コンピュータシステム等のための外部記憶装置として、光ディスク等の光記録媒体が急速に普及しつつある。かかる光記録媒体は、従来より広く用いられている磁気ディスク等の磁気記録媒体に比べて、記憶容量が大きく、振動あるいは電磁界などの外乱に対する耐久性が高く、かつ寿命が長いなどといった種々の利点を有している。
【０００３】
そして、かかる光記録媒体としては、一般に、再生専用型光記録媒体、追記型光記録媒体及び書換型光記録媒体があげられるが、これらの中で、追記型光記録媒体、例えば追記型コンパクトディスク（ＣＤ−Ｒ）あるいは追記型ＤＶＤ（ＤＶＤ−Ｒ）は、ユーザーが一度だけ任意の情報の書き込みを行うことができる一方、該情報が書き換えられるおそれがないので、とくに重要な情報の記録・保存に適するといった利点がある。
ここで、「ＤＶＤ」は、ＭＰＥＧ２等の高能率符号化技術（データ圧縮技術）を用いて種々のデジタル信号を高密度で記録することができる光記録媒体であって、一般的には映像信号（ビデオ信号）の記録に利用されることが多いが、その用途は映像信号の記録に限られるものではなく、例えばコンピュータ用外部記憶媒体等として幅広く利用することができるものである。なお、「ＤＶＤ」は、正式には特定の言葉の略語ではないが、慣用的には「Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ（デジタル式多目的ディスク）」と呼ばれることもある。
【０００４】
このような追記型光記録媒体、例えばＣＤ−Ｒは、一般におよそ次のような手順で製造される。すなわち、まず透明なプラスチック材料（例えば、ポリカーボネート樹脂）等を用いて射出成型等により円板形（ドーナツ形）の基板がつくられる。なお、射出成型時にこの基板の２つの広がり面のうちの一方の面には、トラッキングガイド用のグルーブ部（溝部）が形成される。そして、基板のグルーブ部が形成された方の広がり面の上に、順次、有機色素を含む記録層と、金属材料からなる反射層とが形成され、さらにこの反射層の上に該反射層を保護する保護層が形成される。
なお、ＤＶＤ−Ｒの場合は、反射層の上に、接着剤を用いてカバー基板が接着される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、かかる追記型光記録媒体において、記録層は、非常に薄く（例えば、膜厚が０．３μｍ以下）形成する必要がある。そして、従来の追記型光記録媒体の製造においては、記録層は、有機色素をスピンコート等により、基板のグルーブ部が形成された方の広がり面に塗布するといった手法で形成されている。しかしながら、このようなスピンコート等を用いた従来の記録層の形成手法では、該記録層を十分に薄く形成するのが困難であるといった問題がある。
【０００６】
そこで、本願発明者は、他の技術分野（例えば、カラーフィルタ、半導体等の製造分野）で従来より用いられている蒸着法を利用して、十分に薄い記録層を形成するといった手法を開発した。なお、従来の蒸着法においては、例えば、真空装置内において、プラネタリ治具を用いて基板ホルダに基板を保持させる一方、該基板の下方に蒸着物質を伴った蒸着源を配置し、基板ホルダを自転及び公転させつつ蒸着物質を加熱して気化（昇華）させ、該蒸着物質の蒸気を基板の表面に蒸着させるようにしている（例えば、特公平８−１３５７２号公報参照）。
【０００７】
しかしながら、このような従来の蒸着法を、追記型光記録媒体の記録層の形成に用いた場合、粉体状の有機色素が加熱されたときに、その温度膨張あるいは局所的な急激な気化等により、比較的小寸法の有機色素粒子が飛び散るといった現象、いわゆるスプラッシュが生じることがある。そして、かかるスプラッシュにより飛び散った有機色素粒子が、記録層を形成すべき広がり面に付着すると、該有機色素粒子をくるんで記録層が形成され、この場合、完成後における光記録媒体のエラーレートが低下する（悪くなる）などといった問題が生じる。
【０００８】
そこで、かかるスプラッシュを防止するため、あらかじめ固化させた有機色素を用いるようにした記録層の形成手法が提案されている（特開昭６１−１０５５０８号公報参照）。しかしながら、このようにあらかじめ固化させた有機色素を用いた場合、有機色素加熱時における熱伝導が過度に良くなり、該有機色素が炭化しやすくなり、残渣が多く生じるといった問題がある。なお、ペレット状の有機色素を用いてスプラッシュを防止するなどといった手法も考えられるが、この場合も、前記の固化させた有機色素を用いた場合と同様に有機色素が炭化しやすくなり、残渣が多く生じるといった問題が生じる。
【０００９】
また、かかる従来の蒸着法による記録層の形成手法においては、ホッパー等に貯留された粉体状の有機色素を一定の供給量で連続的に有機色素加熱装置側に供給するといった有機色素連続供給装置を用いることがあるが、この場合ホッパー内での粉体状の有機色素の流動性が悪いと、該有機色素の供給ができない。そこで、本願発明者らは、ホッパー内の粉体状の有機色素をスクリューで撹拌するなどしてその流動性を高めて、ベルト上に連続供給を行ってきた。
【００１０】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたものであって、光記録媒体の記録層を蒸着法により減圧下で形成する際に、有機色素の残渣を増加させるなどといった不具合を招くことなく、スプラッシュによる基板への有機色素粒子の付着を防止することができ、エラーレートが良好な光記録媒体を得ることができる手段を提供することを解決すべき課題とする。さらには、簡素な構造で粉体状の有機色素を一定の供給量で有機色素加熱装置側に連続供給することができる手段を提供することを解決すべき課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決すべくなされた本発明の第１の態様は、（ａ）減圧下で円板形の基板の所定の広がり面（グルーブ部が形成された方の広がり面であり、以下これを「表側広がり面」という）の上に有機色素を蒸着させることにより、光を用いて読み出すことが可能な形態で情報を記録する記録層を表側広がり面上に形成するようにした光記録媒体の製造方法であって、（ｂ）各粒子の粒径が近似している（揃っている）粉体状の有機色素を加熱して気化させ、該有機色素の蒸気を基板の表側広がり面に蒸着させて記録層を形成することを特徴とするものである。なお、有機色素は、加熱部に連続的に供給しながら加熱する。
ここで、有機色素の各粒子の粒径は、１５０〜１０００μｍの範囲内に入っている粉体状の有機色素を用い、基準粒径（平均粒径）の上下３０％以内に揃える。
【００１２】
この光記録媒体の製造方法においては、有機色素の各粒子の粒径が近似している（揃っている）ので、該有機色素が加熱された場合におけるスプラッシュの発生が防止される。すなわち、一般にスプラッシュは、有機色素の粒子が加熱されたときに、該粒子の不均一な熱膨張あるいは急激な気化に起因して生じるが、有機色素の粒径が近似しているとこのような不均一な熱膨張ないしは急激な気化が起こりにくくなるので、スプラッシュの発生が抑制ないしは防止されるからである。また、細かい粒子の混入に起因するスプラッシュを抑制することができるからである。よって、エラーレートが良好な光記録媒体を得ることができる。
【００１３】
また、このように有機色素の粒子の粒径が近似している（揃っている）と、該有機色素の流動性が高まるので、ホッパー等に貯留した有機色素に対してスクリュー等による撹拌を行わなくても、該有機色素の有機色素加熱装置への供給量を一定化（安定化）することができる。このため、有機色素の蒸着レートが安定化され、膜厚の制御が行いやすくなり、記録層の膜厚が均一化される。また、有機色素供給機構を簡素化することができる。
【００１４】
上記光記録媒体の製造方法においては、各粒子の粒径が１５０〜１０００μｍの範囲内に入っている粉体状の有機色素を用いる。粒径が１５０μｍより小さい有機色素粒子はとくにスプラッシュを惹起しやすいので、粒径を１５０μｍより小さくするのは好ましくないからである。また、粒径が１０００μｍを越えると昇華とのバランスがくずれ、加熱装置への供給量を少なくすると炭化物が発生し、加熱装置への供給量を多くすると昇華残りが発生し、どちらにしても材料効率が低下するので、粒径を１０００μｍより大きくするのは好ましくないからである。
具体的には、例えば粒径が、２００〜３００μｍの範囲内、４２５〜５００μｍ内、あるいは５００〜６００μｍの範囲内に入っている有機色素を用いるのが実用的である。
【００１５】
なお、このような粒径の揃った有機色素は、ランダムな粒径分布をもつ普通の粉体状の有機色素（例えば、粒径２〜２０００μｍ）を、目的とする粒径に応じた２つの篩を用いてふるい分けることにより容易に調製することができる。例えば、孔径が３００μｍの篩と２００μｍの篩とを用い、孔径が３００μｍの篩を通り抜けた有機色素粒子を、孔径が２００μｍの篩にかけ、該篩に残った有機色素粒子を集めれば、粒径が２００〜３００μｍの有機色素が得られる。
【００１６】
上記光記録媒体の製造方法においては、エンドレスベルト（輪状のベルト）を回転させ、材料を供給する第１の領域でベルト上に有機色素を配列させ、第２の領域で有機色素を加熱して気化させるのが好ましい。このようにすれば、有機色素の供給量ないしは気化量を一定化することができ、ひいては基板の表側広がり面に形成される記録層の膜厚を均一化することができる。また、有機色素が過剰に供給されないので、有機色素の過熱分解が起こらず、長時間にわたって連続して蒸着処理を施すことができる。
【００１７】
なお、この光記録媒体の製造方法は、とくに記録層に光を照射することにより一度だけ情報の書き込みが可能な追記型光記録媒体、例えば追記型コンパクトディスクあるいは追記型ＤＶＤ等の製造に適している。
【００１８】
また、本発明の第２の態様は、（ａ）減圧下で円板形の基板の所定の広がり面（表側広がり面）の上に有機色素を蒸着させることにより、光を用いて読み出すことが可能な形態で情報を記録する記録層を表側広がり面上に形成するようにした光記録媒体の製造装置であって、（ｂ）各粒子の粒径が近似している粉体状の有機色素を搬送する搬送装置と、（ｃ）有機色素を保持する一方、該有機色素を所定の供給量で搬送装置の所定の位置に配列する有機色素供給装置と、（ｄ）搬送装置によって搬送されている有機色素を加熱して気化させる有機色素加熱装置とが設けられていることを特徴とするものである。
ここで、有機色素の各粒子の粒径は、１５０〜１０００μｍの範囲内に入っている粉体状の有機色素を用い、基準粒径（平均粒径）の上下３０％以内に揃えたものを使用する。
【００１９】
上記搬送装置としては、例えば輪状のベルトが用いられ、この場合、有機色素供給装置が、ベルトの外側広がり面が上向きとなっている部分において第１領域でベルト上に有機色素を配列し、有機色素加熱装置へ有機色素を配列したまま供給し、第２領域で上記有機色素を加熱して気化させるようになっているのが好ましい。
【００２０】
この光記録媒体の製造装置においては、粉体状の有機色素の粒子の粒径が近似している（揃っている）ので、前記の光記録媒体の製造方法の場合と同様に、有機色素が有機色素加熱装置で加熱された場合におけるスプラッシュの発生が防止され、エラーレートが良好な光記録媒体を得ることができる。また、粉体状の有機色素の粒子の粒径が近似している（揃っている）ので、有機色素供給装置内における粉体状の有機色素の流動性が高まり、スクリュー等による撹拌を行わなくても有機色素を一定の幅と厚みで配列して有機色素加熱装置に供給することができる。このため、有機色素供給装置ひいては該光記録媒体の製造装置の構造が簡素化される。
よって、有機色素の供給量ないしは気化量を一定化することができ、ひいては基板の表側広がり面に形成される記録層の膜厚の制御が行いやすくなり、該膜厚を均一化することができる。また、有機色素が有機色素加熱装置に過剰に供給されないので、有機色素の過熱分解が起こらず、長時間にわたって連続して蒸着処理を施すことができる。
【００２１】
上記光記録媒体の製造装置においては、前記の光記録媒体の製造方法の場合と同様の理由により、各粒子の粒径が１５０〜１０００μｍの範囲内に入っている粉体状の有機色素を用いる。具体的には、例えば粒径が、２００〜３００μｍの範囲内、４２５〜５００μｍ内、あるいは５００〜６００μｍの範囲内に入っている有機色素を用いるのが実用的である。
【００２２】
なお、この光記録媒体の製造装置は、とくに記録層に光を照射することにより一度だけ情報の書き込みが可能な追記型光記録媒体、例えば追記型コンパクトディスクあるいは追記型ＤＶＤ等の製造に適している。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を具体的に説明する。まず、本発明にかかるＣＤ−Ｒ（追記型コンパクトディスク）の製造方法ないしは製造装置を説明する。
図１（ａ）に示すように、本発明にかかるＣＤ−Ｒの製造においては、まず実質的に透明なプラスチック材料、例えばポリカーボネート樹脂等を用いて、射出成型等により、円板形（ドーナツ形）の基板１（図２参照）がつくられる（ステップＳ１）。なお、基板１の形状ないしは品質（例えば、外径、内径、厚み、反り、偏芯、面振れ、複屈折特性等）は、普通のＣＤ−Ｒの場合と同様である。
【００２４】
図２及び図３に示すように、この基板成型工程（ステップＳ１）においては、基板１の表側広がり面にスパイラル状のトラッキングガイド用のグルーブ部２（溝部）が形成される。なお、基板１の反対側の広がり面すなわち裏側広がり面は平坦である。このグルーブ部２は、基板径方向に切断した断面が台形（溝底側が狭い）をなすように形成され、そのトラックピッチ（基板径方向のピッチ）はおおむね１．６μｍ程度に設定されている。なお、基板径方向にみて、隣り合う２つのグルーブ部２の間にはランド部３が形成されている。ここで、グルーブ部２の深さは、おおむね０．０３〜０．０８μｍ程度に設定され、グルーブ部２の幅（基板径方向の幅）は、深さが中位の位置でおおむね０．３〜０．６μｍ程度に設定されている。なお、基板１の厚さは、おおむね１．２ｍｍ程度に設定されている。
【００２５】
次に、基板１の表側広がり面、すなわちグルーブ部２が形成されている方の広がり面の上に、記録層が形成され（ステップＳ２）、さらにこの記録層の上に反射層が形成される（ステップＳ３）。
図４に示すように、記録層及び反射層は、それぞれ、真空処理装置４内の所定の処理室で形成される。この真空処理装置４には、前処理室５と、記録層形成室６と、反射層形成室７とが設けられている。ここで、真空処理装置４内は、おおむね１０−３Ｔｏｒｒよりも低圧（高真空側）に保持されている。なお、この圧力は、１０−４Ｔｏｒｒよりも低くするのがとくに好ましい。
【００２６】
かくして、基板搬入部８に置かれた基板１は、順次、前処理装置９を備えた前処理室５と、色素蒸着装置１０（蒸着源）を備えた記録層形成室６と、金属蒸着装置１１を備えた反射層形成室７とに搬送されて所定の処理が施され、この後基板搬出部１２に取り出される。
具体的には、前処理室５では、前処理装置９により、基板１の表側広がり面に、記録層の基板１への付着性を高めるための前処理が施される。そして、記録層形成室６では、色素蒸着装置１０により、前処理が施された基板１の表側広がり面に有機色素が蒸着され、これにより有機色素からなる記録層が形成される。
【００２７】
図５に示すように、記録層形成室６内において、基板１は、基板ホルダ（図示せず）によって、実質的にその表側広がり面のみが露出するように保持されている。ここで、基板１は、その両広がり面が水平となるような位置関係ないしは姿勢で保持されている。また、記録層形成室６内に配置された色素蒸着装置１０においては、後で説明するように、循環するステンレス製の輪状のベルト１３（エンドレスベルト）によって、粉体（粒子状の固体）の有機色素１４が一定の供給量で連続的に搬送され、この有機色素１４が所定の位置で電気ヒーター１５によって加熱されるようになっている。
なお、記録層形成室６内は、真空ポンプ（図示せず）によって排気ないしは減圧され、１０−３Ｔｏｒｒよりも低圧に、場合によっては１０−４Ｔｏｒｒよりも低圧に保持される。
【００２８】
そして、電気ヒーター１５によって加熱された有機色素１４は気化（昇華）して有機色素蒸気１６となる。この有機色素蒸気１６は記録層形成室６内で拡散し、その一部は、ほぼ室温に保持されている基板１の表側広がり面上で冷却されて固体化（蒸着）し、該表側広がり面に固着した記録層１７となる。
なお、ここでは有機色素１４の加熱源として電気ヒーター１５を用いているが、この加熱源は当該技術分野で用いられているものであればどのようなものでも用いることができる。例えば、光ないしは赤外線の輻射を利用した加熱源を用いることができる。
【００２９】
詳しくは図示していないが、基板ホルダによって保持された基板１は、基板自転機構（図示せず）により、基板中心部を通る鉛直線を回転中心として自転させられ、さらに基板公転機構（図示せず）により公転させられるようになっている。このように、基板１を自転させるとともに公転させるのは、記録層１７の膜厚をより効果的に均一化するためである。なお、膜厚を均一化しやすい事情があれば、自転させるだけとし、あるいは公転させるだけとしてもよい。
【００３０】
ここで、記録層１７の膜厚は、おおむね１０〜３００ｎｍ程度に設定される。このような膜厚の記録層１７を蒸着させるのに要する時間は、おおむね数秒〜数十秒程度である。なお、記録層形成室６内には、記録層１７の膜厚を監視するための膜厚モニタ１８が設けられている。かかる膜厚モニタ１８としては、例えば水晶振動子モニタ、光学モニタ等を用いることができる。
【００３１】
この記録層１７の形成工程において、有機色素１４は、一般には１００〜５００°Ｃ程度、大抵は２００〜４００°Ｃ程度に加熱されて気化ないしは昇華する。ここで、有機色素１４は、ＣＤ−Ｒの記録層材料として一般に用いられている有機色素であればよく、例えばフタロシアニン系、ナフタロシアニン系、スクアリリウム系、コロコニウム系、ピリリウム系、ナフトキノン系、アントラキノン系、キサンテン系、トリフェニルメタン系、アズレン系、テトラヒドロコリン系、フェナナスレン系、トリフェノチアゾン系、アゾ系あるいはポリメチン系の有機色素材料等を用いることができる。
【００３２】
以下、記録層形成室６内に配置された色素蒸着装置１０について、さらに具体的に説明する。
図６に示すように、この色素蒸着装置１０においては、それぞれ水平方向に伸びる軸線のまわりに回転することができる第１プーリ２６（従動プーリ）及び第２プーリ２７（駆動プーリ）が設けられ、両プーリ２６、２７間に、前記のステンレス（ＳＵＳ）製の輪状のベルト１３が巻きかけられている。ここで、ベルト１３は、両プーリ２６、２７によって駆動されて一定速度で循環している。なお、ベルト１３の移動速度は例えば５ｍｍ／分程度に設定される。
【００３３】
そして、第１領域において、ベルト１３の外側広がり面に粉体状の有機色素１４を一定の供給量で供給する有機色素供給装置２８が設けられている。なお、有機色素供給装置２８の下方において、ベルト１３の下側には、有機色素１４の流動性を高めるための超音波振動子２９が設けられている。そして、第２領域において、ベルト１３の下側に前記の電気ヒーター１５が配置されている。かくして、ベルト１３上に一定の幅と厚みで配列された有機色素１４は、ベルト１３によって連続的に搬送され、電気ヒーター１５の上側に搬送されたときに、該電気ヒーター１５によって加熱され、気化して有機色素蒸気１６となる。ここで、ベルト１３によって電気ヒーター１５の上側に搬送されてきた有機色素１４は、後で説明するようにその粒径が揃っているので、電気ヒーター１５によってほぼ完全に気化させられ、残渣ないしは炭化物はほとんど生じない。
なお、この実施の形態では、有機色素１４の加熱源をベルト１３の下側に配置しているが、これをベルト１３の上側に配置し、上側から有機色素１４を加熱するようにしてもよい。
【００３４】
さらに、この色素蒸着装置１０には、電気ヒーター１５が配置されている位置より後でベルト１３の広がり面を清掃するクリーナ３０（例えば、金属ブラシ）が設けられている。したがって、ベルト１３の広がり面に、未気化の有機色素１４ないしは有機色素残渣が付着していても、これらはクリーナ３０によって除去される。
【００３５】
以下、この色素蒸着装置１０で用いられる有機色素１４について、さらに詳しく説明する。
この色素蒸着装置１０では、各粒子の粒径が近似しているすなわち揃っている粉体の有機色素１４が用いられ、例えば粒径が、基準粒径（平均粒径）の上下３０％以内に入っているものが用いられる。ここで、該有機色素１４の各粒子の粒径は、１５０〜１０００μｍの範囲内に入っている。粒径が１５０μｍより小さい有機色素粒子はとくにスプラッシュを惹起しやすいので、粒径をこれより小さくするのは好ましくないからである。また、粒径が１５０μｍより小さいと、有機色素が圧縮凝集して詰まり、有機色素供給装置へ配列（供給）できなくなるので、撹拌等の対策が必要となるからである。他方、粒径が１０００μｍを越えると昇華とのバランスがくずれ、加熱部への供給量を少なくすると炭化物が発生し、加熱部への供給量を多くすると昇華残りが発生し、どちらにしても材料効率が低下するので、粒径を１０００μｍより大きくするのは好ましくないからである。
具体的には、例えば粒径が、２００〜３００μｍの範囲内、４２５〜５００μｍの範囲内、あるいは５００〜６００μｍの範囲内に入っている有機色素１４を用いるのが実用的である。
【００３６】
このように、有機色素１４の各粒子の粒径が揃っているので、該有機色素１４が加熱された場合におけるスプラッシュの発生が防止される。すなわち、一般にスプラッシュは、有機色素１４の粒子が加熱されたときに、該粒子の不均一な熱膨張あるいは急激な気化に起因して生じるが、有機色素１４の各粒子の粒径が揃っているとこのような不均一な熱膨張ないしは急激な気化が起こりにくくなる。このため、スプラッシュの発生が抑制ないしは防止される。
【００３７】
また、このように有機色素１４の各粒子の粒径が揃っていると、該有機色素１４の流動性が高まるので、有機色素供給装置２８内では、スクリュー等による撹拌を行わなくても、該有機色素１４を円滑に流動させることができ、有機色素供給装置２８が簡素な構造となる。
【００３８】
なお、このような粒径の揃った有機色素１４は、前記のとおり、ランダムな粒径分布をもつ普通の粉体状の有機色素（例えば、粒径２〜２０００μｍ）を、目的とする粒径に応じた２つの篩を用いてふるい分けることにより容易に調製することができる。
【００３９】
表１に、粒径が異なる種々の有機色素１４を用いてＣＤ−Ｒを製作し、そのエラーレート、連続供給性、及び再生出力を測定した結果を示す。表１から明らかなとおり、本発明にかかる範囲内の粒径の有機色素１４を用いたものでは、エラーレート、連続供給性及び再生出力がいずれも良好である。
【００４０】
【表１】
0003586551.tif 000002
【００４１】
以下、粉体の有機色素１４をベルト１３上に一定の供給量で供給する有機色素供給装置２８について、さらに具体的に説明する。
図７に示すように、この有機色素供給装置２８には、有機色素１４を一定の幅と厚みでベルト１３の表側広がり面に配列する比較的小容量（例えば、１００ｃｃ）のメインホッパー３１と、有機色素１４を貯留して該有機色素１４を適宜メインホッパー３１に供給する比較的大容量（例えば、５００〜１０００ｃｃ）のサブホッパー３２とが設けられている。なお、サブホッパー３２に付設された開閉バルブ３３を開くと、サブホッパー３２内の有機色素１４がメインホッパー３１に流下する。
【００４２】
ここで、メインホッパー３１には、メインホッパー３１からベルト１３に供給された有機色素１４の厚さと幅、すなわちベルト１３への有機色素１４の供給量を調節するための厚み調整スリット３４と幅調整スリット（図示せず）とが付設されている。ここで、ベルト１３の広がり面上には、厚み調整スリット３４の下端部（先端部）とベルト１３の広がり面との間隙に対応する厚さで有機色素１４が供給される。したがって、厚み調整スリット３４を上下させることにより、ベルト１３上の有機色素１４の厚さ、ひいては有機色素１４の供給量を所望の値に設定することができる。
【００４３】
前記のとおり、粉体の有機色素１４の各粒子の粒径が揃っているので、該有機色素１４の流動性が高まり、メインホッパー３１内あるいはサブホッパー３２内では、スクリュー等による撹拌を行わなくても、該有機色素１４を極めて円滑に流動させることができ、有機色素１４の供給を円滑化することができる。したがって、該有機色素供給装置２８の構造ないしはメカニズムが簡素なものとなる。
【００４４】
再び図４に示すように、記録層１７が形成された後、基板１は反射膜形成室７に搬送され、金属蒸着装置１１により、記録層１７の上に金属材料が蒸着され、反射層２０が形成される（図９（ａ）参照）。なお、金属蒸着装置１１は、一般に用いられている普通の金属蒸着装置であるので、その詳しい説明は省略する。この反射層形成工程（ステップＳ３）において、金属材料としては、例えば金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）などの反射率の高い金属が用いられる。
なお、このような金属蒸着装置１１ではなく、スパッタ装置を用いて反射層２０を形成するようにしてもよい。
【００４５】
このように、基板１の表側広がり面に記録層１７と反射層２０とが形成された後、該反射層２０の上に保護層が形成される（ステップＳ４）。以下、この保護層の具体的な形成手法を説明する。
図８（ａ）に示すように、この保護層形成工程では、まず紫外線硬化樹脂塗布機２１を用いて、基板１の表側広がり面上に形成された反射層２０の上に紫外線硬化樹脂２２が塗布される（工程Ｔ１）。
【００４６】
次に、反射層２０の上に紫外線硬化樹脂２２が塗布された基板１が、その中心軸まわりに矢印Ｙ１で示すように回転（自転）させられ、余剰の紫外線硬化樹脂２２が除去されて反射層２０の上にほぼ均一な厚さの紫外線硬化樹脂層２２が形成される（工程Ｔ２）。つまり、反射層２０の上にスピンコートにより紫外線硬化樹脂層２２が形成される。紫外線硬化樹脂層２２の厚さは、おおむね２〜１０μｍ程度である。
【００４７】
そして、基板１の反射層２０の上に紫外線硬化樹脂層２２が形成された後、基板１の表側から紫外線硬化樹脂層２２に紫外線が照射される（工程Ｔ３）。かくして、図９（ａ）に示すように、該紫外線硬化樹脂層２２が硬化させられて保護層２２となる。
【００４８】
このように、保護層２２が形成された後、該ＣＤ−Ｒに対してインライン検査が行われ（ステップＳ５）、検査結果が良好であれば該ＣＤ−Ｒに、印刷、組み立て、包装等の後処理が施され（ステップＳ６）、この後出荷される。
【００４９】
以下、本発明にかかるＤＶＤ−Ｒ（追記型ＤＶＤ）の製造方法ないしは製造装置を説明する。なお、このＤＶＤ−Ｒの製造方法ないしは製造装置は、大半が前記のＣＤ−Ｒの製造方法ないしは製造装置と共通であるので、説明の重複を避けるため、以下では主として前記のＣＤ−Ｒの製造の場合と異なる点について説明する。
【００５０】
図１（ｂ）に示すように、本発明にかかるＤＶＤ−Ｒの製造においては、ＣＤ−Ｒの製造の場合とほぼ同様に、射出成型により基板１がつくられ（ステップＳ１１）、この基板１の表側広がり面の上に記録層１７が形成され（ステップＳ１２）、さらに記録層１７の上に反射層２０が形成される（ステップＳ１３）。
ただし、ＤＶＤ−Ｒの場合は、基板１の厚さは、ＣＤ−Ｒの場合（１．２ｍｍ）よりも薄く、０．６ｍｍ程度に設定される。これは、ＤＶＤ−Ｒの場合は、後記のとおり、基板１（反射層２０）の表側に厚さが０．６ｍｍ程度のカバー基板２５（図９（ｂ）参照）が接着されるので、該ＤＶＤ−Ｒ全体としての厚さを１．２ｍｍ程度に抑えるためである。また、トラックピッチは、ＣＤ−Ｒの場合（１．６μｍ）の場合よりも小さく、０．７４μｍ程度に設定される。
【００５１】
ＤＶＤ−Ｒの製造の場合は、基板１の表側広がり面の上に記録層１７と反射層２０とが形成された後、反射層２０の上に接着層が形成され（ステップＳ１４）、この接着層の上にカバー基板２５（図９（ｂ）参照）が接着される（ステップＳ１５）。以下、ＤＶＤ−Ｒの製造における接着層形成工程とカバー基板接着工程とについて具体的に説明する。
【００５２】
図８（ｂ）に示すように、この場合、まず接着剤塗布機２３を用いて、基板１の表側広がり面上に形成された反射層２０の上に、紫外線硬化樹脂からなる接着剤２４が塗布される（工程Ｔ１１）。
【００５３】
次に、基板１の表側広がり面（接着剤層２４）の上にカバー基板２５が載せられる（工程Ｔ１２）。続いて、接着剤層２４を介して互いに密着している基板１とカバー基板２５とが、その中心軸まわりに矢印Ｙ２で示すように回転（自転）させられ、余剰の接着剤２４が除去されるとともに、接着剤層２４の厚さが調整される。これにより、基板１とカバー基板２５との間に、おおむね３０〜７０μｍ程度の厚さの接着剤層２４が形成される（工程Ｔ１３）。
【００５４】
このようにして、基板１とカバー基板２５との間の接着剤層２４の厚さが調整された後、カバー基板２５側から接着剤層２４に紫外線が照射される（工程Ｔ１４）。かくして、図９（ｂ）に示すように、該接着剤層２４が硬化させられ、カバー基板２５が基板１（ＤＶＤ−Ｒ本体側）に接着される。
【００５５】
このように、カバー基板２５が基板１に接着された後、該ＤＶＤ−Ｒに対してインライン検査が行われ（ステップＳ１６）、検査結果が良好であれば、該ＤＶＤ−Ｒに、印刷、組み立て、包装等の後処理が施され（ステップＳ１７）、この後出荷される。
【００５６】
以上、本発明によれば、光記録媒体の記録層を、粉体の有機色素を用いて蒸着法により形成する際に、基板への有機色素粒子の付着を防止することができ、エラーレートが良好な光記録媒体を得ることができる。また、有機色素の供給を円滑化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明にかかるＣＤ−Ｒの製造工程を示すフローチャートであり、（ｂ）は本発明にかかるＤＶＤ−Ｒの製造工程を示すフローチャートである。
【図２】ＣＤ−ＲないしはＤＶＤ−Ｒの基板の斜視図である。
【図３】図２に示す基板を基板径方向に切断した縦断面を示す断面図である。
【図４】基板の表側広がり面に記録層及び反射層を形成する真空処理装置の模式図である。
【図５】図４に示す真空処理装置の記録層形成室を拡大して示した模式図である。
【図６】図５に示す記録層形成室に設けられる色素蒸着装置の立面図である。
【図７】図６に示す色素蒸着装置に設けられる有機色素供給装置の立面断面図である。
【図８】（ａ）はＣＤ−Ｒの製造における保護層の形成手順を示す図であり、（ｂ）はＤＶＤ−Ｒの製造における接着剤層の形成手順及びカバー基板の接着手順を示す図である。
【図９】（ａ）は保護層形成後においてＣＤ−Ｒを基板径方向に切断した縦断面を示す断面図であり、（ｂ）はカバー基板接着後においてＤＶＤ−Ｒを基板径方向に切断した縦断面を示す断面図である。
【符号の説明】
１…基板、２…グルーブ部、３…ランド部、４…真空処理装置、５…前処理室、６…記録層形成室、７…反射層形成室、８…基板搬入部、９…前処理室装置、１０…色素蒸着装置、１１…金属蒸着装置、１２…基板搬出部、１３…ベルト、１４…有機色素、１５…電気ヒーター、１６…有機色素蒸気、１７…記録層、１８…膜厚モニタ、２０…反射層、２１…紫外線硬化樹脂塗布機、２２…紫外線硬化樹脂（紫外線硬化樹脂層、保護層）、２３…接着剤塗布機、２４…接着剤（接着剤層）、２５…カバー基板、２６…第１プーリ、２７…第２プーリ、２８…有機色素供給装置、２９…超音波振動子、３０…クリーナ（金属ブラシ）、３１…メインホッパー、３２…サブホッパー、３３…開閉バルブ、３４…厚み調整スリット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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