(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハ上に重ね合わせて形成された２つの大きさの異なる四角形の測定用マークを顕微鏡で観察し、前記測定用マークの顕微鏡像を撮影し、デジタル画像に変換し、画像処理を行い、前記測定用マークの各エッジの位置を決定し、前記測定用マークの重ね合わせ誤差を測定する方法において、
前記測定用マークの画像の各エッジについて、ｘｙ直交座標におけるｘ方向及びｙ方向の最大相互相関係数を算出することによって前記各エッジを自動的に認識し、各エッジに対応する測定範囲を自動的に決定することを特徴とする、重ね合わせ誤差の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路製造のフォトリソグラフィ工程において、半導体ウェハ上に形成された工程毎の回路パターンの重ね合わせ精度を検査する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体素子の高集積化に伴い、素子製造のフォトリソグラフィ工程ではその工程毎の回路パターン同士を精度良く重ね合わせる必要性が増しつつある。そのためには、回路パターンとは別に重ね合わせ誤差を測定するための測定用マークをウェハ上に設け、例えば、第１の工程で作られた四角形の測定用マーク（以下、第１ボックスマークという）と第１ボックスマークより小さめの第２の工程で作られた四角形の測定用マーク（以下、第２ボックスマークという）との２つのボックスマークの顕微鏡像の重ね合わせ誤差を測定している。重ね合わせ誤差すなわち２つのボックスマークの中心間距離の値が、許容範囲内にある場合はその半導体ウェハを良品として次工程に投入し、許容範囲を越えている場合は不良品として製造工程から除外していた。
【０００３】
従来、この重ね合わせ誤差の測定には、重ね合わせ測定機が用いられており、バーニアマークの顕微鏡像をオペレータの眼で観察し、その顕微鏡像により目視にて重ね合わせ誤差を測定するマニュアル式と、受光素子を用いて２つのボックスマークのエッジ付近の正反射光強度の差を捉え、画像処理によってエッジ位置を自動的に認識して該中心間距離を自動測定する方式とがあった。エッジ位置を決定するには、先ず各エッジの周辺に、図２の斜線部で表示するような測定範囲を決め、その測定範囲に基づいて各エッジの正確な位置を検出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来の方法において、マニュアル式の場合は、バーニアマークの顕微鏡像の目盛りの認識には、オペレータにより或いは顕微鏡像の見え方により、差異が生じ易いために、測定が不正確になっていた。一方、自動測定方式の場合は、エッジが鋭角でないときには特に正反射光のコントラストが弱く、画像処理を行ってもエッジを正確に認識し難いために、適正な測定範囲を決める際に支障があり、結果的に、２つのボックスマークの中心間距離の測定が不正確になる恐れがあった。この自動測定方式においてマニュアルで測定範囲を決めるためには、オペレータにはある程度の経験と熟練を要するが、それでも測定範囲の再現性が良くなかったり、ボックスマークの相対するエッジの測定範囲が非対称になったりする不都合が生じていた。
【０００５】
そこで本発明は、自動測定方式において、エッジからの正反射光のコントラストが弱くともボックスマーク像のエッジを認識し、測定範囲を決めるための方法を提供することを目的とする。これにより、最終的に、正確且つ再現性の良い重ね合わせ誤差の測定が可能となる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の発明は、半導体ウェハ上に重ね合わせて形成された大きさの異なる２つの四角形の測定用マークを顕微鏡で観察し、前記測定用マークの顕微鏡像を撮影し、デジタル画像に変換し、画像処理を行い、前記測定用マークの各エッジの位置を決定し、前記測定用マークの重ね合わせ誤差を測定する方法において、前記測定用マークの画像の各エッジについて、ｘｙ直交座標におけるｘ方向及びｙ方向の最大相互相関係数を算出することによって前記各エッジを自動認識し、各エッジに対応する測定範囲を自動的に決定することを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図４は、本発明の実施態様に係る重ね合わせ誤差測定に用いられる重ね合わせ測定機の主要部分の概略構成を示す図である。図４は、測定用ステージ３、顕微鏡４、画像処理部５、システム制御部６、ステージ駆動制御部７、焦点位置検出部８及び光源部９から成る。さらに、測定用ステージ３は、ウェハ１０を載置してＸ方向及びＹ方向（図中、紙面に垂直な方向）に直線移動可能なＸＹステージ３ａ、Ｚ方向に直線移動可能なＺステージ３ｂ及びＺ軸廻りに回転可能なθステージ３ｃとから成る。画像処理部５は、ボックスマークの顕微鏡像を撮影するＣＣＤカメラ５ａと、その顕微鏡像をデジタル画像に変換するＡ／Ｄ変換器５ｂと、そのデジタル画像を処理する画像処理装置５ｃとから成る。画像処理装置５ｃにより処理された画像データは、例えばＬＡＮによってシステム制御部６に転送される。ステージ駆動制御部７は、ＸＹステージ３ａの移動制御を行うＸＹ駆動制御部７ａ、Ｚステージ３ｂの移動制御を行うＺ駆動制御部７ｂ及びθステージ３ｃの回転制御を行うθ駆動制御部７ｃから成る。ＸＹ駆動制御部７ａ及びθ駆動制御部７ｃは、システム制御部６からの指令により、それぞれＸＹステージ３ａの移動制御及びθステージ３ｃの回転制御を行う。焦点位置検出部８は、検出値をＺ駆動制御部７ｂに送り、Ｚステージ３ｂのＺ方向の移動制御すなわち焦点調整を行う。又、光源部９から発する光は、半透過鏡１１、１２及び顕微鏡４を通してウェハ１０を照明し、ウェハ１０からの反射光は、顕微鏡４、半透過鏡１２、１１を順次通過して、ＣＣＤカメラ５ａにより画像として撮影される。光源部９の光源には、例えばメタルハライドランプが用いられる。
【０００８】
次に、本発明の重ね合わせ誤差測定の手順を説明する。
ウェハ１０は、不図示の非接触プリアライメント部により偏心量算出と回転補正がなされた後に測定用ステージ３の上に載置される。ウェハ１０は、顕微鏡４の視野中心にボックスマークが位置するように、測定用ステージ３のＸＹステージ３ａによりＸＹ方向に動かされ、焦点を合わせるためにＺ方向に動かされる。ウェハ１０は、ウェハ上の予め登録された２点のボックスマークを用いて、いわゆるグローバルアライメントを行い、θステージ３ｃによりウェハ１０の精密な回転補正を行う。これによりボックスマークのエッジはＸＹステージ３ａのＸ、Ｙ方向に平行となる。
【０００９】
ボックスマークの顕微鏡像はＣＣＤカメラ５ａで撮影され、Ａ／Ｄ変換機５ｂでデジタル化された後に、画像処理装置５ｃの記憶媒体に記憶される。この画像データは、画像処理装置５ｃからシステム制御部６に転送され、以下に述べるシーケンスに従って演算処理を行う。
図１は、本発明の実施態様に係る重ね合わせ誤差測定における測定範囲を自動的に決定するための手順を示すフローチャートである。
【００１０】
Ｓ０１において、図２に示すボックスマーク１及び２のデジタル化された像がシステム制御部６から読み出される。ボックスマーク１の中心がｘｙ座標の原点となるように位置合わせが行われ、ｘ、ｙ軸は各々、ＸＹステージ３ａのＸ、Ｙ方向に平行となる。
Ｓ０２において、図４に示すｘ＝０のラインプロファイルとｘ≠０のうちの１本のラインプロファイルとの相互相関係数Ｍ（τ）が次式により計算される。次式は、ｘ＝０のベクトルをＲ、ｘ≠０のベクトルをＳとすると次のように書ける。なお、添字τは、ｘ≠０のｘ＝０に対するズレ量である。
【００１１】
【数１】
0003590810.tif 000002
【００１２】
ｘ≠０の１本のラインについて、相互相関係数のうち最大値を最大相互相関係数とする。但し、相互相関係数Ｍ（τ）＜０のときは総てＭ（τ）＝０とみなす。ｘ≠０のライン毎に最大相互相関係数が算出され、各ｘラインについて最大相互相関係数値がプロットされる。
Ｓ０３において、最大相互相関係数値のヒストグラムが作成される。一般に、画像にはノイズが含まれるので、ノイズ除去のためにこの処理を行う。
【００１３】
Ｓ０４において、上記ヒストグラムから最大相互相関係数が同一として扱えるレベルを取り出すと、図３に示すグラフが得られる。図３は、各ｘラインについて規格化された最大相互相関係数を示す。すなわち、ｘ＝０からｘ方向にグラフを辿ってゆくと、図２に示すボックスマーク１及び２の画像の両者の内側にある間は、最大相互相関係数は高い同一のレベルをとり、ボックスマーク２のエッジで最大相互相関係数は急激に変化し、ボックスマーク２の外側に到ると、最大相互相関係数は一段低くなり同一のレベルをとる。さらに、ボックスマーク１のエッジで最大相互相関係数は急激に変化して零となり、ボックスマーク１の外側でも零のレベルを維持する。
【００１４】
Ｓ０５において、図３のグラフからボックスマークのエッジが認識される。すなわち、最大相互相関係数が急激に変化する部分がエッジに対応する。
Ｓ０６において、図３のグラフの中心すなわちｘ＝０を基準にほぼ対称となる位置に存在するエッジの対が認識され、エッジ位置が確定される。すなわち、図２に示す第１ボックスマーク１のエッジ１ａ，１ｂに対応する値が各々Ａ１，Ｂ１、第２ボックスマーク２のエッジ２ａ，２ｂに対応する値が各々Ａ２，Ｂ２である。
【００１５】
Ｓ０７において、各エッジについて測定範囲が自動的に決定される。この測定範囲は、例えば、エッジの急峻性や直線性及びエッジ周辺の状況に応じて適切な広さに定められる。測定範囲が広い方がエッジ位置の再現性は向上するが、確率的にノイズは増加するので、適切な広さを選ぶ必要がある。
以上のＳ０１からＳ０７までの各動作はｙラインについても同様に行われ、最終的に、図２に示すように、ボックスマーク１及び２の全エッジに対応する測定範囲（図２の中、斜線部で表示）が決定される。
【００１６】
この後、上述の測定範囲に基づいてボックスマーク１及び２の全エッジの位置が正確に検出され、それにより重ね合わせ誤差量の測定が以下の手順で行われる。先ず、２つのボックスマークのエッジ位置が測定され、次に、２つのボックスマークのｘ方向の中点位置が算出され、その中点間距離がｘ方向の重ね合わせ誤差量Δｘとなる。同様に、ｙ方向についても、重ね合わせ誤差量Δｙが求められる。従って、ΔｘとΔｙから２つのボックスマークの重ね合わせ誤差量が得られる。
【００１７】
【発明の効果】
以上のとおり本発明によれば、重ね合わせ誤差量を測定するために設けられたボックスマークのエッジが正確に自動認識でき、エッジ毎の測定範囲が自動的に決定できるので、エッジのプロフィールが不鮮明であっても適正な測定範囲が得られる。又、オペレーターに熟練を必要としなくなる。その結果、ｘ方向の重ね合わせ誤差量Δｘ、ｙ方向の重ね合わせ誤差量Δｙ及び２つのボックスマークの重ね合わせ誤差量が高精度且つ再現性良く測定できる。
【００１８】
さらに、ボックスマークのエッジとＸＹステージの移動方向とが多少合致していない場合でも相関演算によりエッジ位置を認識しているので、適正な測定範囲が決定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る測定範囲を決定するための手順を示すフローチャート。
【図２】本発明の実施の形態に係る２つのボックスマークと測定範囲を示す概念図。
【図３】本発明の実施の形態に係るｘライン方向の規格化された最大相互相関係数の変化を示すグラフ。
【図４】本発明の実施の形態に係る重ね合わせ誤差測定のための重ね合わせ測定機の主要部分の概略構成図。
【符号の説明】
１    ・・・第１の工程で作られたボックスマーク
２    ・・・第２の工程で作られたボックスマーク
３    ・・・測定用ステージ
４    ・・・顕微鏡
５    ・・・画像処理部
５ａ  ・・・ＣＣＤカメラ
５ｂ  ・・・Ａ／Ｄ変換器
５ｃ  ・・・画像処理装置
６    ・・・システム制御部
７    ・・・ステージ駆動制御部
８    ・・・焦点位置検出部
９    ・・・光源部
１０    ・・・ウェハ
【図１】
0003590810.tif 000003
【図２】
0003590810.tif 000004
【図３】
0003590810.tif 000005
【図４】
0003590810.tif 000006