【手続補正書】
【提出日】平成29年3月31日(2017.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルの特徴を判定するべく動作する２つの光ビーム位置決めユニットを有する原子間力顕微鏡システムであって、
カンチレバーの一端において先端部を有し、前記カンチレバーはサンプルの保持ステージに隣接して設置されている、前記カンチレバー付きの原子間力顕微鏡プローブと、
前記カンチレバー又は前記サンプルのエリア内における光学的観察を許容し、光ビームを前記カンチレバーの表面に導き、且つ、前記カンチレバーの運動を示す前記カンチレバーからのリターンビームを取得する対物レンズと、
前記第１光ビーム位置決めユニットであって、
２つの直交軸の周りに回転可能な第１操向ミラーと、
前記第１操向ミラーに導かれる第１波長ビームを放出するレンズを有する第１光源であって、前記２つの直交軸は前記第１操向ミラーの表面に平行であり、前記２つの直交軸のうちの第１軸は、前記第１波長ビームと前記第１波長ビームの反射の両方が存在する入射プレーン内に位置している、第１光源と、
前記２つの直交軸が交差するところである物理的回動軸が前記第１波長ビームが前記第１操向ミラーから反射されるところである入射点と一致するように、前記第１操向ミラーをピッチング及びヨーイングすることにより、前記第１操向ミラーから反射された前記第１波長ビームの軸方向位置を前記カンチレバーの表面上において移動する、コントローラと、
前記第１操向ミラーから反射された前記第１波長ビームをコリメートし、且つ、コリメートされた第１波長ビームを第１位置に導くレンズグループと、
を有する第１光ビーム位置決めユニットと、
第２光ビーム位置決めユニットであって、
２つの直交軸の周りに回転可能な第２操向ミラーと、
前記第２操向ミラーに導かれる前記第１波長とは異なる第２波長における第２ビームを放出するレンズを有する第２光源であって、前記２つの直交軸は前記第２操向ミラーの表面に平行であり、前記２つの直交軸のうちの第１軸は、前記第２ビームと前記第２ビームの反射の両方が存在する入射プレーン内に位置している、第２光源と、
前記２つの直交軸が交差するところである物理的回動軸が前記第２ビームが前記第２操向ミラーから反射されるところである入射点と一致するように、前記第２操向ミラーをピッチング及びヨーイングさせることにより、前記第１操向ミラーから反射された前記第２ビームの軸方向位置を前記カンチレバーの表面上において移動する、第２コントローラと、
前記第１操向ミラーから反射された前記第１波長ビームをコリメートし、且つ、コリメートされた第２ビームを第２位置に導く第２レンズグループと、
を有する第２光ビーム位置決めユニットと、
前記第１位置にある第１ミラー、および、
前記第２位置にある第２ミラー、であって、
前記第１ミラーは、前記第１光ビーム位置決めユニットからビームを受け取って前記ビームを前記対物レンズに導き、前記第２ミラーは前記第２光ビーム位置決めユニットからビームを受け取って前記ビームを前記対物レンズに導き、前記第２ミラーは前記第１ミラーからも前記ビームを受け取って前記第１ミラーからの前記ビームを前記第２光ビーム位置決めユニットからの前記ビームと一緒に前記対物レンズへ導き、前記対物レンズからの前記ビームは前記カンチレバーへ導かれる、第１ミラーおよび第２ミラーと、
光検出器と、
を有し、
前記対物レンズは、前記カンチレバーの運動を示す前記カンチレバーからのリターンビームを受け取って前記リターンビームを前記光検出器へ導く、
システム。
【請求項２】
前記第１波長は赤外であり、前記第２波長は可視スペクトルの青色端部にある、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ビームのうちの１つは、４０５ｎｍの波長を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記カンチレバーの前記表面は、前記先端部とは反対側の前記カンチレバーの後部である、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記第１ミラーおよび前記第２ミラーはダイクロイックミラーであり、
前記第１ダイクロイックミラーは前記第１波長を反射するよう構成されており、前記第２ダイクロイックミラーは前記第２波長を反射するよう構成されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記リターンビームの径路に、前記リターンビームを前記光検出器に導く偏波回転板および偏光ビームスプリッタをさらに有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記光検出器は第１光検出器および第２光検出器を含み、
前記リターンビームにおける反射された前記第１波長の第１部分を受け取って前記第１部分を前記第１光検出器に導く第１偏波回転板および第１偏光ビームスプリッタを、前記第１光ビーム位置決めユニットの中にさらに有し、
前記リターンビームにおける反射された前記第２波長の第２部分を受け取って前記第２部分を前記第２光検出器へ導く第２偏波回転板を、前記第２光ビーム位置決めユニットの中にさらに有する、請求項５に記載のシステム。
【請求項８】
原子間力顕微鏡システムを操作する方法であって、
カンチレバーの一端において先端部を有する前記カンチレバーを使用してサンプルの特徴を判定し、
光ビームを前記カンチレバーの表面に導き、前記カンチレバーの運動を示す前記カンチレバーからのリターンビームを取得する対物レンズを使用して、前記カンチレバー又は前記サンプルのエリア内における光学的観察を行い、
第１光ビーム位置決めユニットを使用して第１波長における第１光ビームを前記カンチレバーへ導き、
２つの直交軸の周りに回転可能な第１操向ミラーを使用して前記第１光ビームを操向し、
前記第１操向ミラーに導かれる第１波長ビームを放出し、ここで、前記２つの直交軸は前記第１操向ミラーの表面に平行であり、前記２つの直交軸のうちの第１軸は、前記第１波長ビームと前記第１波長ビームの反射の両方が存在する入射プレーン内に位置しており、
前記２つの直交軸が交差するところである物理的回動軸が前記第１波長ビームが前記第１操向ミラーから反射されるところである入射点と一致するように、前記第１操向ミラーをピッチング及びヨーイングすることにより、前記第１操向ミラーから反射された前記第１波長ビームの軸方向位置を前記カンチレバーの表面上において移動し、
前記第１操向ミラーから反射された前記第１波長ビームをコリメートし、且つ、コリメートされた第１波長ビームを第１位置に導く第１レンズグループを使用し、
第２光ビーム位置決めユニットを使用して第２波長における第２光ビームを前記カンチレバーに導き、
２つの直交軸の周りに回転可能な第２操向ミラーを使用して前記第２光ビームを操向し、
前記第２操向ミラーに導かれる第２波長ビームを放出し、ここで、前記２つの直交軸は前記第２操向ミラーの表面に平行であり、前記２つの直交軸のうちの第２軸は、前記第２波長ビームと前記第２波長ビームの反射の両方が存在する入射プレーン内に位置しており、
前記２つの直交軸が交差するところである物理的回動軸が前記第２波長ビームが前記第２操向ミラーから反射されるところである入射点と一致するように、前記第２操向ミラーをピッチング及びヨーイングさせることにより、前記第２操向ミラーから反射された前記第２波長ビームの軸方向位置を前記カンチレバーの表面上において移動し、
前記第２操向ミラーから反射された前記第２波長ビームをコリメートし、且つ、コリメートされた第２波長ビームを第２位置に導く第２レンズグループを使用し、
前記第１位置にある第１ミラーを使用し、
前記第２位置にある第２ミラーを使用し、
ここで、前記第１ミラーは、前記第１光ビーム位置決めユニットからビームを受け取って前記ビームを前記対物レンズに導き、前記第２ミラーは前記第２光ビーム位置決めユニットからビームを受け取って前記ビームを前記対物レンズに導き、前記第２ミラーは前記第１ミラーからも前記ビームを受け取って前記第１ミラーからの前記ビームを前記第２光ビーム位置決めユニットからの前記ビームと一緒に前記対物レンズへ導き、前記対物レンズからの前記ビームは前記カンチレバーへ導かれ、
前記カンチレバーの運動を示す前記カンチレバーからのリターンビームを受け取って、前記リターンビームを使用して前記サンプルの特徴を判定する、方法。
【請求項９】
前記第１波長は赤外であり、前記第２波長は可視スペクトルの青色端部にある、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記ビームのうちの１つは、４０５ｎｍの波長を有する、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記カンチレバーの前記表面は、前記先端部とは反対側の前記カンチレバーの後部である、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１ミラーおよび前記第２ミラーはダイクロイックミラーであり、
前記第１ダイクロイックミラーは前記第１波長を反射するよう構成されており、前記第２ダイクロイックミラーは前記第２波長を反射するよう構成されている、請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
前記リターンビームの径路に、前記リターンビームを前記光検出器に導く偏波回転板および偏光ビームスプリッタをさらに有する、請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
前記光検出器は第１光検出器および第２光検出器を含み、
前記リターンビームにおける反射された前記第１波長の第１部分を受け取って前記第１部分を前記第１光検出器に導く、前記第１光ビーム位置決めユニットの中の第１偏波回転板および第１偏光ビームスプリッタを使用することを、さらに含み、
前記リターンビームにおける反射された前記第２波長の第２部分を受け取って前記第２部分を前記第２光検出器へ導く、前記第２光ビーム位置決めユニットの中の第２偏波回転板を使用することをさらに含む、請求項１２に記載の方法。