(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エピタキシャル成長が行われる成長室とこの成長室に成長融液を供給するメルト室とを有する成長ボートと、この成長ボートが入れられて上記成長融液を加熱するエピタキシャル成長炉を備えた液相エピタキシャル成長装置において、
上記成長室とメルト室とは分離合体可能になっており、且つ、上記成長室が上記メルト室上に載置されて合体するようになっており、
上記エピタキシャル成長炉は、炉芯部と、この炉芯部および外部に選択的に連通可能なガス置換室を有しており、
上記メルト室の上部全体を覆って形成されると共に、上記メルト室上に載置された上記成長室に上記成長融液を導くスロープ通路を備えた
ことを特徴とする液相エピタキシャル成長装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液相エピタキシャル成長装置において、
上記成長室を、上記メルト室から分離して上記ガス置換室を経由して上記エピタキシャル成長炉の外部に搬送する成長室搬送手段を備えたことを特徴とする液相エピタキシャル成長装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液相エピタキシャル成長装置において、
上記成長室搬送手段は、上記成長室が搭載される台車を含むことを特徴とする液相エピタキシャル成長装置。
【請求項４】
請求項１に記載の液相エピタキシャル成長装置を用いた液相エピタキシャル成長方法であって、
上記メルト室には、エピタキシャル成長に必要な量に対して過剰な量の成長融液を入れておき、
次に、ウェハがセットされた上記成長室をエピタキシャル成長炉の炉芯部内に搬入して、成長融液が充填された上記メルト室に上記成長室を合体させ、
次に、上記メルト室内の成長融液を上記成長室内に供給してエピタキシャル成長を行い、
次に、上記成長室内の成長融液を上記メルト室に戻し、
次に、上記成長室を上記メルト室から分離させて上記ガス置換室に移動して上記ガス置換室内をガス置換し、
次に、上記成長室を上記ガス置換室から上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出し、後処理および次のエピタキシャル成長の準備を行うようにし、
上記次のエピタキシャル成長の準備は、上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出された成長室に、不足する成長融液の組成成分を追加することを含む
ことを特徴とする液相エピタキシャル成長方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、成長ボートを使用する液相エピタキシャル成長装置、および、この液相エピタキシャル成長装置を用いた液相エピタキシャル成長方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液相エピタキシャル成長は成長ボートを用いて行われている。図４に示すように、成長ボート１は、メルト室２と成長室３との２槽に仕切られており、炉芯管４に対して出し入れ可能になっている。そして、図５に示すような手順に従って液相エピタキシャル成長を行う。
【０００３】
図５(a)は、待機状態を示し、上記成長ボート１は、メルト室２に成長融液(以下、メルトと言う)５が充填され、成長室３には複数枚のウェハ６が縦に設置されて、炉芯管４の中央部(均熱領域１０：図４参照)に配置されている。尚、７はメルト室２内のピストン８を操作するピストン操作棒であり、９は成長ボート１を操作するボート操作棒である。
【０００４】
図５(b)は、液相エピタキシャル成長時の状態を示す。ピストン操作棒７が操作されて、メルト室２内のメルト５がピストン８によって成長室３内に押し出される。そして、メルト５の温度を高温(約９００℃)から徐々に冷却させて、温度降下幅に相当する過剰メルトを基板６上に析出させることによって、エピタキシャル成長が行われる。その場合、炉芯管４内は、例えば水素等の高純度ガスで置換されている。ここで、例えばガリウムやガリウム砒素多結晶ポリマ等のメルト５は、総て高純度品が使用される。
【０００５】
図５(c)は、液相エピタキシャル成長終了時の状態を示す。成長ボート１の状態としては、図５(b)に示す液相エピタキシャル成長時の状態と同じである。図５(d)は、エピタキシャル成長ウェハ取り出し時の状態を示す。先ず炉芯管４内をガス置換し、次にピストン操作棒７とピストン８との連結が解除され、ボート操作棒９が操作されて成長ボート１が炉芯管４外に引き出される。この場合、エピタキシャル成長ウェハ６'と共に、メルト５も外部(例えば大気中あるいは純度の劣る不活性ガス中)に引き出される。
【０００６】
以後、上記エピタキシャル成長ウェハ６'が成長室３から取り出され、成長ボート１が清掃される(このとき使用後のメルト５は破壊される)。そして、次回にエピタキシャル成長させるウェハが成長室３にセットされ、新たなメルトがメルト室２に充填される。そうした後、ボート操作棒９が操作されて成長ボート１が炉芯管４内に戻されて、図５(a)に示す待機状態に戻る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の液相エピタキシャル成長装置には、以下に述べるような問題がある。すなわち、上述のように、液相エピタキシャル成長に使用する材料は、成長時使用するガスを含めて、全て高純度品を使用している。したがって、液相エピタキシャル成長の際に、使用している材料以外のエピタキシャル成長に不都合な物質(以下、不用物質と言う)が周囲に存在すると、エピタキシャル成長中にその不用物質が成長層に取り込まれて目的の特性を有するエピタキシャル成長ウェハを得ることが困難になる。そのために、エピタキシャル成長においては、環境中における不用物質を低減させることが重要である。
【０００８】
ところが、従来の液相エピタキシャル成長装置における成長ボート１は、成長室３とメルト室２とがー体に構成されているために、エピタキシャル成長後に成長室３を炉芯管４外に引き出す際にメルト５も外部に引き出されてしまうことなる。したがって、例えば大気中あるいは純度の劣る不活性ガス中に引き出されたメルト５に上記不用物質が取り込まれてしまい、このメルト５を以後のエピタキシャル成長に使用することは望ましくない。
【０００９】
したがって、上記従来の液相エピタキシャル成長装置においては、成長終了後に外部に取り出された成長ボート１は、不用物質の混入を防止するために、付着したメルト５を拭き取りによって除去し、清掃する必要がある。その場合、成長ボート１はメルト室２と成長室３とが一体に構成されているために、ピストン８等の部品も多く、清掃面積も広く、清掃作業の効率が悪いという問題がある。
【００１０】
一方において、同時に多数枚のウェハをエピタキシャル成長するためには、炉芯管４内の均熱領域１０(図４参照)を効率よく使用する必要がある。そして、均熱領域１０を効率よく使用するためには、成長ボート１内における成長室３とメルト室２との位置関係は、水平方向に位置させるよりも垂直方向に位置させる方が望ましい。
【００１１】
そこで、この発明の目的は、メルトへの不用物質混入を防止して、目的の特性のエピタキシャル成長ウェハを安定して得ることができる液相エピタキシャル成長装置を提供することにある。さらに、エピタキシャル成長の準備および後処理作業を低減させ、均熱領域を高効率で使用でき、作業効率向上を含む生産効率の向上を図ることができる液相エピタキシャル成長装置、および、液相エピタキシャル成長方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、エピタキシャル成長が行われる成長室とこの成長室にメルトを供給するメルト室とを有する成長ボートと,この成長ボートが入れられて上記メルトを加熱するエピタキシャル成長炉を備えた液相エピタキシャル成長装置において、上記成長室とメルト室とは分離合体可能になっており,且つ,上記成長室が上記メルト室上に載置されて合体するようになっており、上記エピタキシャル成長炉は,炉芯部と,この炉芯部および外部に選択的に連通可能なガス置換室を有しており、上記メルト室の上部全体を覆って形成されると共に,上記メルト室上に載置された上記成長室に上記成長融液を導くスロープ通路を備えたことを特徴としている。
【００１３】
上記構成によれば、エピタキシャル成長ウェハを上記エピタキシャル成長炉から取り出す場合に、上記成長室は上記メルト室から分離されてガス置換室を経由して上記エピタキシャル成長炉外に搬出することが可能になる。したがって、上記メルト室は上記エピタキシャル成長炉内のエピタキシャル成長時と同じ雰囲気中に在り、外気接触による上記メルトへの不用物質の混入が防止される。
【００１４】
さらに、上記メルトは、外気接触による不用物質の混入が無いため再使用が可能である。したがって、各エピタキシャル成長毎に新たに補充される上記メルトの量は０又は僅かでよく、エピタキシャル成長の準備を短時間にできると共にランニングコストの低減を図ることができる。さらに、上記成長室のみがエピタキシャル成長炉外に搬出されるために、成長ボートの清掃は上記成長室に対してのみ行えばよく、上記成長ボートの清掃が容易になる。
【００１５】
さらに、エピタキシャル成長時には、上記成長室が上記メルト室上に載置されて両室が合体される。したがって、エピタキシャル成長炉における均熱領域の長さを変えることなく、両室を併設する場合よりも上記成長室を長くして収納ウェハ枚数を多くでき、上記均熱領域が効率良く使用される。
【００１６】
さらに、エピタキシャル成長時に、下側に在る上記メルト室内のメルトがスロープ通路に導かれて上側に在る上記成長室に容易に供給される。さらに、上記スロープ通路は、上記メルト室の上部全体を覆って形成されるために蓋の役目を成し、上記成長室がエピタキシャル成長炉の外に取り出されている際における上記メルトの無用な蒸発が防止される。
【００１７】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明の液相エピタキシャル成長装置において、上記成長室を、上記メルト室から分離して上記ガス置換室を経由して上記エピタキシャル成長炉の外部に搬送する成長室搬送手段を備えたことを特徴としている。
【００１８】
上記成長室を上記エピタキシャル成長炉から取り出す場合には、成長室搬送手段によって、上記メルト室から分離されて上記ガス置換室を経由して取り出される。こうして、成長室取り出し時に上記メルト室をエピタキシャル成長時と同じ雰囲気中に残すことによって、外気接触による上記メルトへの不用物質の混入が防止される。したがって、上記メルトの再使用が可能となり、メルト使用量およびランニングコストの低減が図られる。さらに、エピタキシャル成長の準備期間が短縮される。
【００１９】
また、請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明の液相エピタキシャル成長装置において、上記成長室搬送手段は、上記成長室が搭載される台車を含むことを特徴としている。
【００２０】
上記構成によれば、上記成長室の上記エピタキシャル成長炉における均熱領域からガス置換室への搬送、および、このガス置換室から外部への搬送が、台車を用いて容易に短時間に行われる。
【００２１】
また、請求項４に係る発明は、請求項１に係る発明の液相エピタキシャル成長装置を用いた液相エピタキシャル成長方法であって、上記メルト室には,エピタキシャル成長に必要な量に対して過剰な量のメルトを入れておき、次に、ウェハがセットされた上記成長室をエピタキシャル成長炉の炉芯部内に搬入して,メルトが充填された上記メルト室に上記成長室を合体させ、次に、上記メルト室内のメルトを上記成長室内に供給してエピタキシャル成長を行い、次に、上記成長室内のメルトを上記メルト室に戻し、次に、上記成長室を上記メルト室から分離させて上記ガス置換室に移動して上記ガス置換室内をガス置換し、次に、上記成長室を上記ガス置換室から上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出して,後処理および次のエピタキシャル成長の準備を行うようにし、上記次のエピタキシャル成長の準備は,上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出された成長室に,不足するメルトの組成成分を追加することを含むことを特徴としている。
【００２２】
上記構成によれば、エピタキシャル成長ウェハ取り出し時には、上記成長室のみが上記エピタキシャル成長炉外に搬出される。その結果、外気接触による上記メルトへの不用物質の混入が防止されて、上記メルトの再使用が可能となる。したがって、各エピタキシャル成長毎に新たに補充されるメルトの量は０又は僅かでよく、エピタキシャル成長の準備時間およびランニングコストの低減が図られる。さらに、成長ボートの清掃は上記成長室に対してのみ行えばよく、上記成長ボートの清掃が容易になる。
【００２３】
さらに、上記メルト室には、エピタキシャル成長に必要なメルトに対して過剰な量のメルトが入っており、そのメルトは外気接触による不用物質の混入が無いために再使用が可能である。したがって、各エピタキシャル成長毎に新たに補充される上記メルトの量は０か又は僅かでよく、エピタキシャル成長の準備を短時間にできると共にランニングコストの低減が図られる。
【００２４】
さらに、上記メルト室から分離されて上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出された成長室に、不足するメルトの組成成分が追加されて、上記メルト室中のメルト量が不足した場合の補充、あるいは、上記メルトの組成変化の調整が容易に行われる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態の液相エピタキシャル成長装置における成長ボートの構造を示す図である。この成長ボート１１においては、成長室１２とメルト室１３とは積層構造を呈しており、且つ、成長室１２はメルト室１３上を水平方向に移動して分離合体可能になっている。また、メルト室１３の上部には、メルト１４を図中右側から左側上部に設けられた吐出口１３aに向かって導くスロープ通路１５が設けられている。そして、メルト室１３内のメルト１４を成長室１２に導入する場合には、メルト室１３内のピストン１６を図中右側に移動させる。そうすることによって、ピストン１６に押されたメルト１４は、スロープ通路１５を通って吐出口１３aから成長室１２の図中左側に設けられた追加メルト室１７に導かれるのである。このような構造の成長ボート１１を有する液相エピタキシャル成長装置は、図２および図３に示すような手順に従って液相エピタキシャル成長を行う。
【００２６】
尚、図２及び図３においては、ＧaＡs系エピタキシャル成長を例に説明する。エピタキシャル成長を行なうに際して、ｎ型ドープのＧaＡs基板ウェハ、Ｇaメルト(Ｇa,ＧaＡs多結晶ポリマ,Ｓi等)を準備する。
【００２７】
本実施の形態における成長ボート１１は、上述したように、成長室１２とメルト室１３とは積層されて分離合体可能になっている。また、成長室１２を移動する際に使用される台車１８が配置されている。エピタキシャル成長炉２１は、炉芯管２２とガス置換室２３とを有しており、炉芯管２２とガス置換室２３とはシャッタ２４の開放によって連通可能になっている。また、エピタキシャル成長炉２１には、メルト室１３を外部から操作するためのメルト室操作棒２５、メルト室１３内のピストン１６用のピストン操作棒２６、成長室１２用の成長室操作棒２７、および、台車１８用の台車操作棒２８が設けられている。尚、炉芯管２２内は水素雰囲気下である。また、上述以外のエピタキシャル成長条件は上記従来の液相エピタキシャル成長装置の動作説明時における成長条件と同じである。
【００２８】
図２(a)は、待機状態を示し、上記成長ボート１１は、メルト室１３にＧaメルト(以下、単にメルトと言う)３１が充填され、成長室１２には複数枚のｎ型ドープＧaＡs基板ウェハ(以下、単にウェハと言う)３２が縦に設置されて、炉芯管２２の中央部(均熱領域２０：図１参照)に配置されている。尚、台車１８は、メルト室１３に隣接して位置している。
【００２９】
図２(b)は、液相エピタキシャル成長時の状態を示す。上記ピストン操作棒２６が操作されて、ピストン１６によって、メルト室１３内のメルト３１がスロープ通路１５および追加メルト室１７を介して成長室１２内に押し出される。そして、メルト３１の温度を高温(約９００℃)から徐々に冷却させてエピタキシャル成長が行われる。
【００３０】
図２(c)は、液相エピタキシャル成長終了時の状態を示す。ピストン操作棒２６が操作されてピストン１６が元の位置に戻されることによって、成長室１２内の使用メルト３１'がメルト室１３に戻される。このように、本実施の形態においては、メルト室１３を下方に成長室１２を上方積層して設置している。したがって、均熱領域２０の長さを換えることなく、成長室とメルト室とを併設する場合に比して成長室１２の長さを長くして、一度に収納できるウェハ枚数を増やすことができ、均熱領域２０を高効率に使用することができるのである。
【００３１】
図３(d)は、エピタキシャル成長ウェハ取り出し時の状態を示す。先ず、成長室操作棒２７が操作されて成長室１２が台車１８上まで移動されて、台車１８上に成長室１２を搭載する。次に、図３(e)に示すように、台車操作棒２８と成長室操作棒２７とが操作されて、成長室１２が台車１８と共に、ガス置換室２３内に移動されてシャッタ２４が閉じられる。そして、ガス置換室２３内がガス置換される。
【００３２】
そうした後、図３(f)に示すように、上記台車操作棒２８と成長室操作棒２７とが操作されて、成長室１２が台車１８と共にガス置換室２３外(つまり、エピタキシャル成長炉２１外)に搬出される。この場合、メルト室１３は、図２(a)の待機状態における炉芯管２２内における上記均熱領域２０の位置から移動していない。したがって、本実施の形態によれば、エピタキシャル成長ウェハ取り出し時に大気中や純度の劣る不活性ガス中等に触れるのは成長室１２を構成する部分のみとなり、メルト室１３の外部接触が防止される。したがって、外気接触による上記不用物質のエピタキシャル成長系(特に使用メルト３１')への混入を防止して、目的の特性を有するエピタキシャル成長ウェハ３２'を安定して得ることができるのである。
【００３３】
その場合、上記エピタキシャル成長炉２１には、シャッタ２４によって炉芯管２２と仕切られたガス置換室２３を設けている。したがって、炉芯管２２内は、常時、エピタキシャル成長時に使用しているガス雰囲気下に在る。すなわち、本実施の形態においては、炉芯管２２内に残されたメルト室１３は、外部との接触が完全に遮断されており、メルト室１３への不用物質の混入は完全に防止されるのである。
【００３４】
尚、上述した如く、上記エピタキシャル成長ウェハ取り出し時において、メルト室１３は移動することなく炉芯管２２内に在る。そして、炉芯管２２内はエピタキシャル成長時以外であっても約４００℃以上の高温状態に在る。そこで、使用メルト１３'の蒸発が危惧される。しかしながら、メルト室１３の上方にはメルト３１を成長室１２に導くためのスロープ通路１５が形成されている。したがって、このスロープ通路１５がメルト室１３の簡易な蓋の役割を果たし、使用メルト３１'の余分な蒸発を防止することができるのである。
【００３５】
以後、上記エピタキシャル成長ウェハ３２'が成長室１２から取り出され、成長室１２が清掃される。そうした後、次回にエピタキシャル成長させるウェハが成長室１２にセットされ、追加メルトが成長室１２の追加メルト室１７に補給される。そうした後、成長室１２が台車１８上に載置され、成長室操作棒２７および台車操作棒２８が操作されて成長室１２が台車１８と共にガス置換室２３に移動されてガス置換される。そして、シャッタ２４が開放され、成長室操作棒２７および台車操作棒２８が操作されて、成長室１２が台車１８と共に炉芯管２２内に戻される。さらに、成長室操作棒２７が操作されて成長室１２がメルト室１３上に載置されて、図２(a)に示す待機状態に戻るのである。
【００３６】
このように、本実施の形態における液相エピタキシャル成長装置においては、成長ボート１１を、成長室１２とメルト室１３とに分離合体可能にすると共に、合体時には成長室１２をメルト室１３上に載置可能にしている。したがって、成長室をメルト室と併設する場合に比して、成長室１２の長さを長くして収納ウェハ枚数を多くすることができ、均熱領域２０を効率良く使用することができる。
【００３７】
また、上記エピタキシャル成長炉２１内をシャッタ２４によって炉芯管２２とガス置換室２３とに分割し、シャッタ２４を開放することによって連通可能にしている。したがって、エピタキシャル成長終了後の成長室１２を台車１８に乗せて一旦ガス置換室２３に入れ、シャッタ２４を閉鎖してガス置換した後に成長室１２を台車１８と共にエピタキシャル成長炉２１外に搬出することができる。こうして、エピタキシャル成長ウェハ３２'を取り出す際に、メルト室１３を炉芯管２２内に残して外気と接触しないようにできる。すなわち、本実施の形態によれば、外気接触による使用メルト３１'への上記不用物質の混入を完全に防止して、目的の特性を有するエピタキシャル成長ウェハを安定して得ることができるのである。
【００３８】
その場合に、上記成長室１２のエピタキシャル成長炉２１からの搬出及びエピタキシャル成長炉２１への搬入を、台車１８を用いて行っている。したがって、エピタキシャル成長ウェハ３２'の取り出しをスムーズに行うことができる。
【００３９】
また、上記メルト室１３の上部には、エピタキシャル成長時にメルト３１を成長室１２に導くためのスロープ通路１５を形成している。したがって、このスロープ通路１５が簡易的な蓋の役割を果たして、エピタキシャル成長ウェハ３２'の取り出し時に、上記炉芯管２２内に残されたメルト室１３における使用メルト３１'の蒸発を防止できる。
【００４０】
また、外気接触による上記不用物質の混入が無い使用メルト３１'は再使用が可能である。したがって、予めメルト室１３に過剰のメルト３１を充填しておけば、各エピタキシャル成長毎には、不足する分のメルト(又は、その組成成分)を成長室１２の追加メルト室１７に補充するだけでよい。したがって、各エピタキシャル成長毎のメルト材料準備作業を削減または低減できるのである。さらに、メルト３１の大部分を繰り返し使用することが可能であるために、メルト３１の使用量を低減してランニングコストの低減を図ることができる。
【００４１】
また、上記エピタキシャル成長ウェハ３２'を取り出す際に成長室１２のみをエピタキシャル成長炉２１外に取り出すことによって、後処理作業の一つであるメルト拭き取り作業時に拭き取るべき部品数を従来の成長ボートよりも少なくできる。したがって、ボート清掃作業を簡単にできる。
【００４２】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項１に係る発明の液相エピタキシャル成長装置は、成長ボートのメルト室と成長室とを分離合体可能にし、エピタキシャル成長炉には炉芯部とこの炉芯部および外部に選択的に連通可能なガス置換室を設けたので、エピタキシャル成長ウェハ取り出し時に、上記成長室をメルト室から分離して、ガス置換室を経由して上記エピタキシャル成長炉外に搬出することが可能になる。したがって、常時上記メルト室をエピタキシャル成長時と同じ雰囲気中に置くことができ、外気接触によるメルトへの不用物質の混入を防止できる。すなわち、この発明によれば、目的とする特性のエピタキシャル成長ウェハを安定して得ることができる。
【００４３】
さらに、上記メルトは、外気接触による不用物質の混入が無いため再使用が可能である。したがって、各エピタキシャル成長毎に新たに補充されるメルトの量は０又は僅かでよく、エピタキシャル成長の準備を短時間にできると共にランニングコストの低減を図ることができる。さらに、上記成長室のみを上記エピタキシャル成長炉外に搬出できるので、各エピタキシャル成長毎における上記成長ボートの清掃は上記成長室に対してのみ行えばよく、上記成長ボートの清掃を容易にできる。すなわち、この発明によれば、作業効率向上を含む生産効率の向上を図ることができる。
【００４４】
さらに、上記成長室とメルト室とは、上記成長室が上記メルト室上に載置されて合体するようになっているので、両室を併設する場合よりも上記成長室を長くして収納ウェハ枚数を多くできる。したがって、エピタキシャル成長炉における均熱領域を効率良く使用することができる。
【００４５】
さらに、上記メルト室の上部全体を覆って形成されて、このメルト室上に載置された上記成長室にメルトを導くスロープ通路を備えたので、エピタキシャル成長時には、下側に位置する上記メルト室から上側に位置する上記成長室にメルトを容易に供給できる。さらに、上記スロープ通路は、上記メルト室の上部全体を覆う蓋の役目を成し、上記成長室がエピタキシャル成長炉の外に取り出されている際における上記メルトの無用な蒸発を防止できる。
【００４６】
また、請求項２に係る発明の液相エピタキシャル成長装置は、成長室搬送手段によって、上記成長室を、上記メルト室から分離して上記ガス置換室を経由して上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出するので、成長室搬出時に上記メルト室をエピタキシャル成長時と同じ雰囲気中に残すことができる。したがって、外気接触によるメルトへの不用物質の混入を防止でき、上記メルトを再使用できる。すなわち、この発明によれば、目的とする特性のエピタキシャル成長ウェハを安定して得ることができる。さらに、メルト使用量およびランニングコストの低減を図り、エピタキシャル成長の準備期間を短縮できる。
【００４７】
また、請求項３に係る発明の液相エピタキシャル成長装置における上記成長室搬送手段は、上記成長室が搭載される台車を含んでいるので、上記成長室の上記均熱領域からガス置換室への搬送およびこのガス置換室から外部への搬出を、上記台車を用いて容易に且つ短時間に行うことができる。
【００４８】
また、請求項４に係る発明の液相エピタキシャル成長方法は、エピタキシャル成長炉の炉芯部内において上記メルト室に上記成長室を合体させてエピタキシャル成長を行い、上記成長室内のメルトを上記メルト室に戻し、上記成長室を上記メルト室から分離して上記ガス置換室に移動してガス置換し、上記成長室をエピタキシャル成長炉の外部に搬出して後処理及び次エピタキシャル成長の準備を行うので、エピタキシャル成長ウェハ取り出し時には、上記成長室のみを上記エピタキシャル成長炉外に搬出できる。したがって、外気接触による上記メルトへの不用物質の混入を防止でき、目的とする特性のエピタキシャル成長ウェハを安定して得ることができる。
【００４９】
さらに、上記メルトの再使用を可能にでき、使用するメルトの量,ランニングコストおよび次エピタキシャル成長の準備時間の低減を図ることができる。さらに、成長ボートの清掃は上記成長室に対してのみ行えばよく、次エピタキシャル成長の準備時間の低減と併せて、生産性を向上できる。
【００５０】
さらに、エピタキシャル成長に必要な量に対して過剰な量のメルトを上記メルト室に入れておくので、各エピタキシャル成長毎に新たに補充するメルトの量は０か又は僅かでよい。したがって、次エピタキシャル成長の準備時間を短縮し、ランニングコストを低減できる。
【００５１】
さらに、上記メルト室から分離されて上記エピタキシャル成長炉の外部に搬出された成長室に、不足するメルトの組成成分を追加するので、上記メルト室中のメルト量が不足した場合の補充やメルト組成の調整を、容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の液相エピタキシャル成長装置における成長ボートの構造を示す図である。
【図２】図１に示す成長ボートを用いた液相エピタキシャル成長動作の手順を示す図である。
【図３】図２に続く手順を示す図である。
【図４】従来の液相エピタキシャル成長装置における成長ボートの構造図である。
【図５】図４に示す成長ボートを用いた液相エピタキシャル成長動作の手順を示す図である。
【符号の説明】
１１…成長ボート、                  １２…成長室、
１３…メルト室、                    １４,３１…メルト、
１５…スロープ通路、                １６…ピストン、
１７…追加メルト室、                １８…台車、
２１…エピタキシャル成長炉、        ２２…炉芯管、
２３…ガス置換室、                  ２４…シャッタ、
２５…メルト室操作棒、              ２６…ピストン操作棒、
２７…成長室操作棒、                ２８…台車操作棒、
３２…ウェハ。
【図１】
0003590724.tif 000002
【図２】
0003590724.tif 000003
【図３】
0003590724.tif 000004
【図４】
0003590724.tif 000005
【図５】
0003590724.tif 000006