(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの入射光を平行光にするコリメータレンズと、
前記平行光を参照光路と可変光路に分割する光分割鏡と、
前記参照光路に入射した光を反射して前記光分割鏡へ戻す参照光路側反射手段と、
前記可変光路中に入射した光を反射して前記光分割鏡へ戻す可変光路側反射手段と、
前記参照光路側反射手段からの反射光と前記可変光路側反射手段からの反射光が前記光分割鏡を通して入射される集光レンズと、
前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光を受光する受光手段とを備えたフーリエ変換分光用干渉計であって、
前記参照光路側反射手段および前記可変光路側反射手段は、それぞれ固定反射鏡と可動反射鏡とを有し、
前記参照光路側反射手段および前記可変光路側反射手段におけるそれぞれの前記可動反射鏡を並進移動させ、その移動位置に対する光の強度を測定してフーリエ変換を行うことによりスペクトルを得るに際し、
前記参照光路側反射手段および前記可変光路側反射手段におけるそれぞれの前記固定反射鏡と前記可動反射鏡として互いに平行な合わせ鏡を用いることにより光を複数回往復させ、前記並進移動した距離の複数倍の光路長走査を実現し、波数分解能を高めたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項２】
光源からの入射光を平行光にするコリメータレンズと、
前記平行光の光路を分割する光分割鏡と、
前記分割された光路のうち一方の光路中に設置され、第１の固定反射鏡と第１の可動反射鏡とを有し、前記光分割鏡からの光を受けて反射する第１の反射手段と、
前記分割された光路のうち他方の光路中に設置され、第２の固定反射鏡と第２の可動反射鏡とを有し、前記光分割鏡からの光を受けて反射する第２の反射手段と、
前記第１の反射手段および前記第２の反射手段からの反射光を前記光分割鏡を通して入射する集光レンズと、
前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光を受光する受光手段とを備え、
前記第１の可動反射鏡および前記第２の可動反射鏡を並進移動させて、その移動位置に対する光の強度を測定してそのフーリエ変換を行うことによりスペクトルを得るフーリエ変換分光用干渉計であって、
前記第１の固定反射鏡と前記第１の可動反射鏡との組み合わせ、および前記第２の固定反射鏡と前記第２の可動反射鏡との組み合わせとして、互いに平行な合わせ鏡を用いることによって光を複数回往復させ、前記第１の可動反射鏡または前記第２の可動反射鏡の並進移動距離の複数倍の光路長走査を実現し、かつ前記第１の可動反射鏡および前記第２の可動反射鏡を同時に駆動することにより、鏡移動によって生ずる光路差を前記並進移動距離の複数倍のさらに２倍に長くして高い波数分解能を実現したことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項３】
請求項１に記載のフーリエ変換分光用干渉計において、
前記参照光路側反射手段が有する固定反射鏡および前記可変光路側反射手段が有する固定反射鏡に、固体基板材料の加工によりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板の組み合わせを用いることによって、光軸調整を不要とし、大量生産可能にして安価に提供可能としたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項４】
請求項２に記載のフーリエ変換分光用干渉計において、
前記第１の固定反射鏡および前記第２の固定反射鏡に、固体基板材料の加工によりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板の組み合わせを用いることによって、光軸調整を不要とし、大量生産可能にして安価に提供可能としたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のフーリエ変換分光用干渉計において、
前記可動反射鏡の移動方向を固定するためのガイドを固体基板材料の加工によりモノリシックに形成してミラー移動の際のぶれをなくしたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項６】
請求項３，４，５のいずれかに記載のフーリエ変換分光用干渉計において、
コリメータレンズ，光分割鏡，反射合わせ鏡，集光レンズ等の光学素子の方向を固定するためのガイドを固体基板材料の加工によりモノリシックに形成したことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項７】
請求項３，４，５，６のいずれかに記載のフーリエ変換分光用干渉計において、
固体基板材料の加工により平板を形成し、光分割鏡として用いることによって、光分割鏡本体をモノリシックに作製して実装の手間を省いたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【請求項８】
請求項３，４，５，６，７のいずれかに記載のフーリエ変換分光用干渉計において、
固体基板材料としてシリコン（１１０）基板を用いたことを特徴とするフーリエ変換分光用干渉計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小型にして安価なフーリエ変換分光用干渉計に関するものである。
【０００２】
更に詳述すると、本発明は、試料の分析、あるいは光通信の波長モニタリングなどに適した、フーリエ変換分光用干渉計に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、光のスペクトルを得るためにフーリエ変換分光器を用い、この検出結果より、試料分析や、光通信波長モニタリングを行ってきた。
【０００４】
図８は、「ＦＴ−ＩＲの基礎と実際    第二版」（田隅三生編著    東京化学同人ＩＳＢＮ４−８０７９−０３９１−８）に掲載されているフーリエ変換分光用干渉計の原理図面である。フーリエ変換分光法においては、一つの光源Ｓから発せられた光を半透鏡ＢＳ１によって参照光路と可変光路に分岐した後、参照光路の光は固定鏡Ｍ１で反射し、可変光路の光は可動鏡Ｍ２に反射させてそれぞれ再び半透鏡ＢＳ１に戻して干渉させてレンズＬ２によって検出器Ｄ上に集光する。
【０００５】
スペクトル測定の際は可動鏡Ｍ２の移動によって可変光路の光路長を変化させながら、検出器Ｄにおける光強度を測定する。この光路長に依存する光強度の変化をインターフェログラムと呼び、このインターフェログラムをフーリエ変換することによって、入射光のスペクトルが得られる。
【０００６】
フーリエ変換分光法においては、分解能は光路長差の最大値が大きいほど高くなり、光路長差は可動鏡Ｍ２の最大移動距離で決まる。よって、可動鏡移動距離が大きいほど高分解能が得られる。この関係をフーリエ変換分光で通常用いられる量である波数（波長の逆数）を用いて表す。
【０００７】
【数１】Δｋ＝１／ΔＬ＝１／２Δｘ・・・（１）
ここで、ｋは波数、Δｋは波数分解能、ΔＬは最大光路長差、Δｘは可動鏡の最大移動距離である。
【０００８】
よって、高分解能を得るためには可動鏡を長距離移動させる機構が必要である。
【０００９】
より具体的な干渉計の例（ＯＲＩＥＬ    ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ社    ＭＩＲ８０００    ＭＯＤＵＬＡＲ    ＩＲ    ＦＯＵＲＩＥＲ    ＳＰＥＣＴＲＯＭＥＴＥＲ（カタログ））を図９に示す。図９において、ＢＳ２は光分割鏡、ＦＩＸは固定鏡、ＭＯＶは可動鏡である。この光分割鏡ＢＳ２に関して対称に固定鏡ＦＩＸと可動鏡ＭＯＶが配置され、可動鏡ＭＯＶの直線移動によって光路長差に変化を生じさせている。また、可動鏡ＭＯＶを長距離移動させるための駆動装置ＡＣＴと光分割鏡ＢＳ２の微調整を行うＸＹ調整ノブＸＹ−ＡＤＪが備えられている。
【００１０】
このような干渉計を作製するためには固定鏡、可動鏡、半透鏡または光分割鏡等をそれぞれ個別に製作、設置する必要があり、設置後にレーザー等を光源として光学系に光を通し、光軸の微調整を行う必要がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構成の干渉計では、波数分解能を高くするためには可動鏡の移動距離を長く採らざるを得ず、大きな可動鏡駆動装置が必要であり、小型化が困難であるという欠点があった。
【００１２】
また、光分割鏡、固定鏡、可動鏡等の光学素子をそれぞれ個別に製作後、光学定盤等に実装し、さらに光軸の微調整をする必要があるが、そのような方法を採ると、制作時間及びコストがかかるという問題点があった。
【００１３】
よって本発明の目的は、このような点に鑑み、平面反射鏡に至る光路中に合わせ鏡の構造を用いることによって長い光路長差を維持しながら、干渉計をコンパクトに構成し、さらにリソグラフィー技術で結晶基板を加工することによって前述の光学系を製作し、光学素子の個別製作と光軸の微調整を不要とした安価なフーリエ変換分光用干渉計を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る第１の形態は、光源からの入射光を平行光にするコリメータレンズと、前記平行光を参照光路と可変光路に分割する光分割鏡と、前記参照光路に入射した光を反射して前記光分割鏡へ戻す参照光路側反射手段と、前記可変光路中に入射した光を反射して前記光分割鏡へ戻す可変光路側反射手段と、前記参照光路側反射手段からの反射光と前記可変光路側反射手段からの反射光が前記光分割鏡を通して入射される集光レンズと、前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光を受光する受光手段とを備えたフーリエ変換分光用干渉計であって、前記参照光路側反射手段および前記可変光路側反射手段は、それぞれ固定反射鏡と可動反射鏡とを有し、前記参照光路側反射手段および前記可変光路側反射手段におけるそれぞれの前記可動反射鏡を並進移動させ、その移動位置に対する光の強度を測定してフーリエ変換を行うことによりスペクトルを得るに際し、前記参照光路側反射手段および前記可変光路側反射手段におけるそれぞれの前記固定反射鏡と前記可動反射鏡として互いに平行な合わせ鏡を用いることにより光を複数回往復させ、前記並進移動した距離の複数倍の光路長走査を実現し、波数分解能を高めたものである（請求項１）。
【００１５】
本発明の第２の形態は、光源からの入射光を平行光にするコリメータレンズと、前記平行光の光路を分割する光分割鏡と、前記分割された光路のうち一方の光路中に設置され、第１の固定反射鏡と第１の可動反射鏡とを有し、前記光分割鏡からの光を受けて反射する第１の反射手段と、前記分割された光路のうち他方の光路中に設置され、第２の固定反射鏡と第２の可動反射鏡とを有し、前記光分割鏡からの光を受けて反射する第２の反射手段と、前記第１の反射手段および前記第２の反射手段からの反射光を前記光分割鏡を通して入射する集光レンズと、前記集光レンズの焦点に置かれ、前記光分割鏡からの光を受光する受光手段とを備え、前記第１の可動反射鏡および前記第２の可動反射鏡を並進移動させて、その移動位置に対する光の強度を測定してそのフーリエ変換を行うことによりスペクトルを得るフーリエ変換分光用干渉計であって、前記第１の固定反射鏡と前記第１の可動反射鏡との組み合わせ、および前記第２の固定反射鏡と前記第２の可動反射鏡との組み合わせとして、互いに平行な合わせ鏡を用いることによって光を複数回往復させ、前記第１の可動反射鏡または前記第２の可動反射鏡の並進移動距離の複数倍の光路長走査を実現し、かつ前記第１の可動反射鏡および前記第２の可動反射鏡を同時に駆動することにより、鏡移動によって生ずる光路差を前記並進移動距離の複数倍のさらに２倍に長くして高い波数分解能を実現したものである（請求項２）。
【００１６】
本発明の第３の形態は、上記第１の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計において、前記参照光路側反射手段が有する固定反射鏡および前記可変光路側反射手段が有する固定反射鏡に、固体基板材料の加工によりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板の組み合わせを用いることによって、光軸調整を不要とし、大量生産可能にして安価に提供可能としたものである（請求項３）。
【００１７】
本発明の第４の形態は、上記第２の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計において、前記第１の固定反射鏡および前記第２の固定反射鏡に、固体基板材料の加工によりモノリシックに形成した互いに平行な２枚の板の組み合わせを用いることによって、光軸調整を不要とし、大量生産可能にして安価に提供可能としたものである（請求項４）。
【００１８】
本発明の第５の形態は、上記第１ないし第４の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計において、前記可動反射鏡の移動方向を固定するためのガイドを固体基板材料の加工によりモノリシックに形成してミラー移動の際のぶれをなくしたものである（請求項５）。
【００１９】
本発明の第６の形態は、上記第３，４，５の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計において、コリメータレンズ，光分割鏡，反射合わせ鏡，集光レンズ等の光学素子の方向を固定するためのガイドを固体基板材料の加工によりモノリシックに形成したものである（請求項６）。
【００２０】
本発明の第７の形態は、上記第３，４，５，６の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計において、固体基板材料の加工により平板を形成し、光分割鏡として用いることによって、光分割鏡本体をモノリシックに作製して実装の手間を省いたものである（請求項７）。
【００２１】
本発明の第８の形態は、上記第３，４，５，６，７の形態として記載したフーリエ変換分光用干渉計において、固体基板材料としてシリコン（１１０）基板を用いたものである（請求項８）。
【００２２】
上述した構成を有する本発明では、反射鏡として２枚の合わせ鏡を用いることによって、従来の干渉計に比較して同じ光路長差を保ちながら鏡の移動距離を短くすることができ、結果として、高い波数分解能を維持しながら、干渉計全体を小型化することが可能になる。
【００２３】
さらに本発明では、光分割鏡、反射合わせ鏡等をリソグラフィーによって半導体基板上に形成し、基板材料加工によって作製することを特徴としている。基板上には、リソグラフィー及びエッチング技術によって基板に垂直な平面構造を形成する。このとき、異方性エッチングにより平面構造を形成した場合には、面同士の平行性が非常に高いため、光軸調整が不要となる。
【００２４】
かかる本発明と従来の技術とは、光学素子を一括して作製できるので安価である点、ならびに、光学調整が不要である点が異なっている。
【００２５】
すなわち、本発明に係るフーリエ変換分光用干渉計では、入射した光は可動合わせ鏡及び固定合わせ鏡の間を複数回往復するために、一方の鏡を移動させることにより光路長の変化は鏡自体の移動距離の複数倍となる。よって、高分解能を得るための可動鏡移動距離は少なくて済む。また、可動鏡を長距離移動させるための大きな駆動装置が不要となる。
【００２６】
本発明は、かかる作用を利用して干渉計構造の高分解能化かつ小型化を可能にする。また、リソグラフィー技術でこの構造を製作した場合には、光軸調整不要かつ大量生産が可能となり、安価になる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明を適用したモノリシックフーリエ変換分光用干渉計を示す構成図である。
【００２９】
図１において、１はシリコン（１１０）基板、２はタングステンランプ等の白色光源、３は光源からの光を平行光にするためのコリメータレンズ、４は試料として用いるガスセル、５は光分割鏡、６は光分割鏡支持部、７，８は合わせ鏡用固定平面鏡、９，１０は合わせ鏡用可動平面鏡、１１，１２は垂直反射用平面鏡、１３は可動平面鏡駆動機構、１４は可動平面鏡移動ガイド、１５は集光レンズ、１６は光検出器である。
【００３０】
上記のフーリエ変換分光用干渉計を動作させるには、まず白色光源２からの光をコリメータレンズ３によって平行光としてガスセル４を通過させ、光分割鏡５に入射する。入射光は光分割鏡５で二分割され、一方は合わせ鏡用固定鏡７に向かって反射し、他方も合わせ鏡用固定鏡８に向かって反射する。光はそれぞれ合わせ鏡用固定鏡７，８と合わせ鏡用可動鏡９，１０間で複数回反射された後、垂直反射鏡１１と１２で進行方向を反転される。さらに、両方の光はそれぞれ合わせ鏡用固定鏡７，８と合わせ鏡用可動鏡９，１０間で逆方向に進行しながら複数回反射された後、光分割鏡５において再び合波される。集光レンズ１５はこの合波された光を光検出器１６上に集光する。
【００３１】
ここで、可動鏡駆動機構１３によって合わせ鏡用可動鏡９，１０を移動させると、合わせ鏡用固定鏡７と合わせ鏡用可動鏡９間で複数回反射された光線の光路長と、合わせ鏡用固定鏡８と合わせ鏡用可動鏡１０間で複数回反射された光線の光路長の間に光路差が生じる。合わせ鏡用可動鏡９，１０の移動によって光路長を変化させながら、光検出器１６からの信号を測定し、インターフェログラムを得る。
【００３２】
入射した光のスペクトルは、このインターフェログラムをフーリエ変換することによって得られる。このとき、光分割鏡５の方向は光分割鏡支持部６の平面性により一定の方向を向いており、ぶれを生じない。また、合わせ鏡用可動鏡９，１０の移動方向は可動鏡移動ガイド１４の平面性により一定に保たれてぶれを生じない。
【００３３】
このように、光分割鏡５から入射した光は合わせ鏡用可動鏡９，１０及び合わせ鏡用固定鏡７，８の間を複数回往復することにより、光路長差が生じる。
【００３４】
図２は、光路長変化の説明図である。図２において、１７ａ，１７ｂはそれぞれ光分割鏡からの光線、１８ａ（実線），１８ｂ（実線）は可動合わせ鏡移動前の光路、１９ａ（破線），１９ｂ（破線）は可動合わせ鏡移動後の光路である。図２に示されるように、可動合わせ鏡位置が変化するにしたがって光路も変化する。
【００３５】
図２の左側には、円内に一部を拡大した図を示す。１８ａ（実線）は可動合わせ鏡が原点位置にある場合の光路を示し、１８ｂ（破線）は可動合わせ鏡がある距離移動した後の光路を示している。これは可動合わせ鏡に片道で３回反射され、往復で６回反射される場合の例である。
【００３６】
可動合わせ鏡が移動したことにより一回の反射についてＢＣ間とＣＤ間を合わせた距離に相当する光路長が新たに得られ、この長さは２Δｄ／ｃｏｓθである。３回反射すると、その３倍である３×２Δｄ／ｃｏｓθが得られる。
【００３７】
一方、可動合わせ鏡上での反射位置変化はＢＤ間の距離に相当し、これは２Δｄｔａｎθであり、３回反射した場合の可動合わせ鏡上での反射位置変化はＡＤ間の距離に相当し、これは２Δｄｔａｎθの３倍である。反射位置が移動したことにより失った距離はＡＥに相当し、これは３×２Δｄｔａｎθ・ｓｉｎθである。
【００３８】
この関係を往復で２ｎ回反射した場合に拡張すると、
【００３９】
【数２】
ΔＬＡ  ＝２ｎ（２Δｄ／ｃｏｓθ−２Δｄｔａｎθ・ｓｉｎθ）＝４ｎΔｄｃｏｓθ・・・（２）
ここで、ΔＬＡ  は光路Ａにおける光路長の変化、ｎは片道における可動合わせ鏡に反射された回数、Δｄは合わせ鏡位置変化、θは鏡面への入射角度である。
【００４０】
一方、光路Ｂ側での移動鏡では、可動鏡の移動によって光路が短くなるために符号が逆転し、
【００４１】
【数３】
ΔＬＢ  ＝−４ｎΔｄｃｏｓθ・・・（３）
となるため、全体の光路差ΔＬは光路Ａと光路Ｂの変化を合わせて、
【００４２】
【数４】
ΔＬ＝ΔＬＡ  −ΔＬＢ  ＝８ｎΔｄｃｏｓθ・・・（４）
となる。
【００４３】
また、可動合わせ鏡の面方向と可動合わせ鏡の移動方向とは、結晶の面方位で決まる一定の傾きがあるため、合わせ鏡間隔変化Δｄと可動鏡の並進移動距離Δｘの間には次の関係がある。
【００４４】
【数５】
Δｄ＝Δｘｓｉｎφ・・・（５）
ここで、φは鏡面と、並進移動方向平面間の角度である。
【００４５】
式（１），式（４），式（５）を併せて、可動鏡の最大移動距離と波数分解能の関係は次のように表される。
【００４６】
【数６】
Δｋ＝１／ΔＬＭＡＸ  ＝１／（８ｎΔｘＭＡＸ  ｃｏｓθ・ｓｉｎφ）・・・（６）
ここで、ΔＬＭＡＸ  は最大光路差、ΔｘＭＡＸ  は可動合わせ鏡の最大移動距離、ｎは可動鏡に反射された回数、θは鏡面への入射角度である。
【００４７】
本実施の形態における具体的なパラメータは、ｎ＝３、Δｘ＝１６６μｍ、θ＝４５度、φ＝７１．１度である。この場合、ΔＬＭＡＸ  は２．６ｍｍとなり、波数分解能は３．８ｃｍ−１となる。
【００４８】
図３は、本実施の形態による干渉計を用いてインターフェログラムを得た例を示す。ここで、光線は大気中を通過させている。１６６μｍのスパンを４０ｍｍステップで並進させ４０９６点のデータを得たが、ここでは、原点付近で得られた２０００点のデータのみを示す。また、図４に、このインターフェログラムをフーリエ変換して得られた大気の透過スペクトルの例を示す。
【００４９】
図５は、本実施の形態における光分割鏡支持部を説明する図である。光分割鏡支持部はシリコン基板の異方性エッチングによりモノリシックに作製したため、光分割鏡５と合わせ鏡用固定鏡７および８の方向との違いを常に一定に保つことができ、また、光分割鏡５と合わせ鏡用固定鏡７および８の方向と一致させることができる。このことにより、光分割鏡５の方向が限定され、ぶれを無くして実装における位置合わせの手間を省くことができる。
【００５０】
図６は、本実施の形態における可動鏡移動ガイド１４を説明する図である。可動鏡移動ガイド１４は、シリコン基板の異方性エッチングによりモノリシックに作製してあるため、合わせ鏡用可動鏡の移動方向は結晶面と一致する方向に限定され、さらにガイド間のずれも無く、滑らかに合わせ鏡用可動鏡９，１０を移動することができる。
【００５１】
図７は、本実施の形態における基板材料を用いた光分割鏡２０を説明する図である。基板材料のシリコン基板の異方性エッチングによりモノリシックに作製したため、合わせ鏡用固定鏡７および８の方向との違いを常に一定に保つことができ、または、合わせ鏡用固定鏡７および８の方向と一致させることができる。結晶面方位の方向性をうまく利用することにより、方向が限定され、ぶれを無くして実装における位置合わせの手間を省くことができる。
【００５２】
なお、上述した本実施の形態の説明は、説明及び例示を目的として特定の実施例を示したに過ぎない。従って、本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは当業者には明らかである。
【００５３】
例えば、光源はファイバー付き光源に置き替えることもできる。また、可動鏡駆動機構の設置場所は、合わせ鏡用可動鏡を駆動できる場所であればどこでもよい。さらに、本実施の形態では、ガスセル中の空気を試料として用いたが、本発明の適用先は試料が流体または固体であるかを問わない。
【００５４】
また、本実施の形態では、光分割鏡に入射する角度は４５度としているが、これは任意の角度でよい。さらに本実施の形態では、２つの合わせ鏡用可動鏡は連結されているが、２つの合わせ鏡用可動鏡をそれぞれに独立に動かしてもよい。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、フーリエ変換分光用干渉計を構成するにあたり、平行な合わせ鏡を用いて波数分解能を高めると共に、小型化を達成している。また、モノリシックに構成して、光学素子の光軸調整の手間を省き、大量生産可能とし、安価なフーリエ変換分光用干渉計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる干渉計の一実施の形態を示す構成図である。
【図２】本実施の形態による干渉計の一部である合わせ鏡用可動鏡と合わせ鏡用固定鏡による光路長変化量に関する構成図である。
【図３】本実施の形態による干渉計によって得られたインターフェログラムを示す図である。
【図４】本実施の形態による干渉計によって得られた大気の透過スペクトルを示す図である。
【図５】本実施の形態による干渉計の一部である光分割鏡支持部に関する構成図である。
【図６】本実施の形態による干渉計の一部である可動鏡移動ガイドに関する構成図である。
【図７】本実施の形態による干渉計の一部である基板材料を用いた光分割鏡に関する構成図である。
【図８】従来から知られているマイケルソン干渉計の構成図である。
【図９】従来から知られているフーリエ変換分光用干渉計の一例を示す図である。
【符号の説明】
１    シリコン（１１０）基板
２    白色光源
３    コリメータレンズ
４    ガスセル
５    光分割鏡
６    光分割鏡支持部
７    合わせ鏡用固定鏡
８    合わせ鏡用固定鏡
９    合わせ鏡用可動鏡
１０    合わせ鏡用可動鏡
１１    垂直反射用鏡
１２    垂直反射用鏡
１３    可動鏡駆動機構
１４    可動鏡移動ガイド
１５    集光レンズ
１６    光検出器
１７    光分割鏡からの光線
１８    可動合わせ鏡移動前の光路
１９    可動合わせ鏡移動後の光路
２０    固体基板材料で形成した光分割鏡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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