(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスを循環させる翼車室とモータ室を有し、翼車室の圧力に比較してモータ室の圧力を低く、かつ所定の圧力差を持つようにした送風機を備え、翼車室とモータ室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定する差圧下限基準値設定部と、前記差圧検出手段の出力信号と差圧下限基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを比較する差圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧上限基準値として設定する差圧上限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定部に設定した差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧下限比較部および差圧上限比較部の出力をカウントまたは積分する積分手段と、積分手段の出力が所定値を超えた場合に警報を発生させる警報手段を有した差圧監視装置を設け、レーザガスを循環させるガス配管経路内にレーザガスを供給する供給側電磁弁およびレーザガスボンベを有するレーザガス供給手段と、ガス配管経路からレーザガスを排出するレーザガス排出手段と、供給側電磁弁の開閉周期をレーザガスの給排気周期として検出し、前記開閉周期に反比例する出力すなわち開閉周波数に比例する出力を行う給排気周波数検出手段と、前記給排気周波数の上限を基準値に設定する給排気周波数上限基準値設定部と、前記給排気周波数検出手段の出力と給排気周波数上限基準値設定部の基準値を比較する給排気周波数比較部を設け、前記差圧監視装置は給排気周波数検出手段の出力が基準値以上の場合に差圧上限比較部の機能を無効とするレーザ発振装置。
【請求項２】
レーザガスを循環させる翼車室とモータ室を有し、翼車室の圧力に比較してモータ室の圧力を低く、かつ所定の圧力差を持つようにした送風機を備え、翼車室とモータ室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定する差圧下限基準値設定部と、前記差圧検出手段の出力信号と差圧下限基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを比較する差圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧上限基準値として設定する差圧上限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定部に設定した差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧下限比較部および差圧上限比較部の出力をカウントまたは積分する積分手段と、積分手段の出力が所定値を超えた場合に装置本体の運転を停止させるインターロック動作を行うインターロック手段を有した差圧監視装置を設け、レーザガスを循環させるガス配管経路内にレーザガスを供給する供給側電磁弁およびレーザガスボンベを有するレーザガス供給手段と、ガス配管経路からレーザガスを排出するレーザガス排出手段と、供給側電磁弁の開閉周期をレーザガスの給排気周期として検出し、前記開閉周期に反比例する出力すなわち開閉周波数に比例する出力を行う給排気周波数検出手段と、前記給排気周波数の上限を基準値に設定する給排気周波数上限基準値設定部と、前記給排気周波数検出手段の出力と給排気周波数上限基準値設定部の基準値を比較する給排気周波数比較部を設け、前記差圧監視装置は給排気周波数検出手段の出力が基準値以上の場合に差圧上限比較部の機能を無効とするレーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス配管経路に送風機を具備したレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、レーザ光の特性を活用する為に、通信、エレクトロニクス、光技術若しくは精密加工等、種々の分野において、レーザ発振装置が利用されている。
【０００３】
この種のレーザ発振装置として、レーザガスをガス配管経路内で高速循環させるための送風機を具備したガス循環型レーザ発振装置が一般的に使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のレーザ発振装置では、送風機内の翼車室の圧力に比較しモータ室の圧力が高くなった場合にモータ室内の潤滑油が翼車室に流出し、さらにガス配管経路に飛散し、レーザガスの高電圧電源による放電励起の安定性低下と、光共振器を構成する全反射鏡および部分反射鏡の汚染によるレーザ光の出力低下や全反射鏡および部分反射鏡の劣化を招く可能性があった。
【０００５】
また、送風機内の翼車室の圧力に比較しモータ室の圧力が低くなり過ぎた場合にモータの潤滑油がモータ室より多量に流出し、モータの潤滑油の減少による送風機の寿命の低下を招いたり、モータ室の減圧配管経路の途中に設置されたオイルトラップではトラップしきれずにレーザガス排出用電磁弁へと流出したオイルミストがレーザガス排出用電磁弁に固着し、開閉機能を損ないガス配管経路内の圧力を調整できなくなる問題があった。
【０００６】
本発明は、これらの課題を解決するもので、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し、高品質なレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１記載の本発明は、レーザガスを循環させる翼車室とモータ室を有し、翼車室の圧力に比較してモータ室の圧力を低く、かつ所定の圧力差を持つようにした送風機を備え、翼車室とモータ室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定する差圧下限基準値設定部と、前記差圧検出手段の出力信号と差圧下限基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを比較する差圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧上限基準値として設定する差圧上限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定部に設定した差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧下限比較部および差圧上限比較部の出力をカウントまたは積分する積分手段と、積分手段の出力が所定値を超えた場合に警報を発生させる警報手段を有した差圧監視装置を設け、レーザガスを循環させるガス配管経路内にレーザガスを供給する供給側電磁弁およびレーザガスボンベを有するレーザガス供給手段と、ガス配管経路からレーザガスを排出するレーザガス排出手段と、供給側電磁弁の開閉周期をレーザガスの給排気周期として検出し、前記開閉周期に反比例する出力すなわち開閉周波数に比例する出力を行う給排気周波数検出手段と、前記給排気周波数の上限を基準値に設定する給排気周波数上限基準値設定部と、前記給排気周波数検出手段の出力と給排気周波数上限基準値設定部の基準値を比較する給排気周波数比較部を設け、前記差圧監視装置は給排気周波数検出手段の出力が基準値以上の場合に差圧上限比較部の機能を無効とするレーザ発振装置である。
【０００８】
請求項２記載の本発明は、レーザガスを循環させる翼車室とモータ室を有し、翼車室の圧力に比較してモータ室の圧力を低く、かつ所定の圧力差を持つようにした送風機を備え、翼車室とモータ室の圧力差を検出する差圧検出手段と、翼車室とモータ室の最低圧力差を差圧下限基準値として設定する差圧下限基準値設定部と、前記差圧検出手段の出力信号と差圧下限基準値設定部に設定した差圧下限基準値とを比較する差圧下限比較部と、翼車室とモータ室の最高圧力差を差圧上限基準値として設定する差圧上限基準値設定部と、差圧検出手段の出力信号と差圧上限基準値設定部に設定した差圧上限基準値とを比較する差圧上限比較部と、差圧下限比較部および差圧上限比較部の出力をカウントまたは積分する積分手段と、積分手段の出力が所定値を超えた場合に装置本体の運転を停止させるインターロック動作を行うインターロック手段を有した差圧監視装置を設け、レーザガスを循環させるガス配管経路内にレーザガスを供給する供給側電磁弁およびレーザガスボンベを有するレーザガス供給手段と、ガス配管経路からレーザガスを排出するレーザガス排出手段と、供給側電磁弁の開閉周期をレーザガスの給排気周期として検出し、前記開閉周期に反比例する出力すなわち開閉周波数に比例する出力を行う給排気周波数検出手段と、前記給排気周波数の上限を基準値に設定する給排気周波数上限基準値設定部と、前記給排気周波数検出手段の出力と給排気周波数上限基準値設定部の基準値を比較する給排気周波数比較部を設け、前記差圧監視装置は給排気周波数検出手段の出力が基準値以上の場合に差圧上限比較部の機能を無効とするレーザ発振装置である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
第１の発明によれば、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し警報を発生することにより、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機内のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも事前に防止することができるうえ、ガス配管経路内のレーザガスの給排気周期を一定期間短くする（すなわち給排気周波数を高くする）条件下において差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防止することができる。
【００１１】
第２の発明によれば、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し装置の運転を停止することにより、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機内のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも事前に防止することができるうえ、ガス配管経路内のレーザガスの給排気周期を一定期間短くする（すなわち給排気周波数を高くする）条件下において差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防止することができる。
【００１３】
以下、本発明に係る実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】
（参考例１）
図１は本発明の実施の形態に関連するレーザ発振装置２０の構成図、図２は参考例１に係る差圧保護装置のブロック構成図である。
【００１５】
図において、レーザガスを循環させるための送風機８と、上記レーザガスを循環させるためのガス配管経路３と、上記ガス配管経路３にレーザガスを供給するレーザガス供給手段である供給側電磁弁１０および装置外部に配置されるレーザガスボンベ３０と、ガス配管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出手段である流量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁１２と急速排出側電磁弁１３および排気ポンプ１４と、上記送風機８内のモータ室８ｃの減圧を行うモータ室減圧手段である流量制限器１１および急速排出側電磁弁１３に接続する配管経路とオイルトラップ１６を有するレーザ発振装置２０において、上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を検出する差圧検出手段４５と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最低圧力差を差圧下限基準値ＶＬとして設定された差圧下限基準値設定部４４と、上記差圧検出手段４５の出力信号ＶＤＰと上記差圧下限基準値設定部４４に設定された差圧下限基準値ＶＬとを比較する差圧下限比較部４３と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最高圧力差を差圧上限基準値ＶＨとして設定された差圧上限基準値設定部４７と、上記差圧検出手段４５の出力信号ＶＤＰと上記差圧上限基準値設定部４７に設定された差圧上限基準値ＶＨとを比較する差圧上限比較部４６と、上記差圧下限比較部４３および差圧上限比較部４６の出力をカウントまたは積分する積分手段４２と、上記積分手段４２の出力が所定値を超えた場合に警報を発生させる警報手段４１を有した差圧監視装置５０を有している。
【００１６】
このように構成されるレーザ発振装置について、その動作の詳細を図１、図２、図５を参照しながら説明する。
【００１７】
図５は送風機８の内部構成を簡略して示した図である。送風機８はレーザガスを高速循環させるための翼車８ａを有した翼車室８ｂと、翼車８ａを高速回転させるためのモータを有したモータ室８ｃに大別される。上記翼車室８ｂとモータ室８ｃの間にはシール８ｄが挿入されモータ室８ｃ内の潤滑油８ｅが翼車室８ｂに漏れないように構成されている。
【００１８】
しかしながら、上記シール８ｄで潤滑油８ｅの漏れを防止するには翼車室８ｂの圧力をモータ室８ｃの圧力に比較して、シール８ｄで規定される圧力よりも高くする必要がある。
【００１９】
図１に示すように、ガス配管経路３内に新しいレーザガスを所定の割合で供給し、かつ上記ガス配管経路３内の圧力を所定の圧力に一定に保つため、上記ガス配管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出手段内の排気ポンプ１４が一定運転されている状態で流量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁１２を開となし、および急速排出側電磁弁１３を閉となし、上記ガス配管経路３内の圧力が所定の圧力になるようにレーザガスを供給するレーザガス供給手段内の供給側電磁弁１０を開閉して装置外部に配置されるレーザガスボンベ３０から新しいレーザガスを供給している。
【００２０】
上記レーザガス排出手段に送風機８のモータ室減圧口８ｆがオイルトラップ１６を通じて接続され、上記送風機８の翼車室８ｂの圧力に比較してモータ室８ｃの圧力が低く、かつ所定の圧力差を持つよう構成されている。
【００２１】
上記送風機８の翼車室８ｂの圧力を上記送風機８の吐出口８ｇの配管経路から取り出し、モータ室８ｃの圧力を上記送風機８のモータ室減圧口８ｆから取り出し、これらを差圧保護装置５０内の差圧検出手段４５へ配管している。
【００２２】
ここで上記送風機８の翼車室８ｂの圧力を送風機８の吐出口８ｇの配管経路より取っているが、これに限定するものではなく、他の場所から上記送風機８の翼車室８ｂの圧力を取る場合もある。
【００２３】
図２では上記の配管接続により送風機８の翼車室８ｂおよびモータ室８ｃの圧力が差圧監視装置５０における差圧検出手段４５に入力され、上記差圧検出手段４５は送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力の差に応じた電圧ＶＤＰを出力する。
【００２４】
予め送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃとの間のシール８ｄで規定される差圧よりも若干高めとした差圧下限基準値ＶＬが差圧下限基準値設定部４４に設定されている。
【００２５】
差圧下限比較部４３では差圧下限基準値設定部４４の基準値ＶＬと上記差圧検出手段４５からの出力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＬ＞ＶＤＰである場合に、積分手段４２に信号が出力される。
【００２６】
また、予め上記送風機８のモータ室８ｃの潤滑油８ｅの流出量が上記オイルトラップにて確保され得るか否かで規定される差圧よりも若干低めとした差圧上限基準値ＶＨが差圧上限基準値設定部４７に設定されている。
【００２７】
差圧上限比較部４６では差圧上限基準値設定部４７の基準値ＶＨと上記差圧検出手段４５からの出力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＨ＜ＶＤＰである場合に、積分手段４２に信号が出力される。
【００２８】
上記積分手段４２への信号はそれぞれ時間の関数としてカウントまたは積分し、積分手段４２の出力が所定値を超えた場合に警報手段４１において警報を発生する機能を持たせている。
【００２９】
以上のように本参考例によれば、送風機８内の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を監視し警報を発生することにより、送風機８内のモータ室８ｃの潤滑油８ｅがガス配管経路に飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機８内のモータ室８ｃよりモータの潤滑油８ｅの流出量が増加してオイルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも事前に防止することができる。
【００３０】
（参考例２）
図３は参考例２に係る差圧監視装置のブロック構成図で、参考例１と異なるのは、差圧監視装置５０の内部構成であり、この部分を以下説明する。
【００３１】
本参考例の差圧監視装置は、上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を検出する差圧検出手段５５と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最低圧力差を差圧下限基準値ＶＬとして設定された差圧下限基準値設定部５４と、上記差圧検出手段５５の出力信号ＶＤＰと上記差圧下限基準値設定部５４に設定された差圧下限基準値ＶＬとを比較する差圧下限比較部５３と、予め上記送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの最高圧力差を差圧上限基準値ＶＨとして設定した差圧上限基準値設定部５７と、上記差圧検出手段５５の出力信号ＶＤＰと上記差圧上限基準値設定部５７に設定された差圧上限基準値ＶＨとを比較する差圧上限比較部５６と、上記差圧下限比較部５３および差圧上限比較部５６の出力をカウントまたは積分する積分手段５２と、上記積分手段５２の出力が所定値を超えた場合に装置本体の運転を停止させるインターロック動作を行うインターロック手段５１を有している。
【００３２】
このように構成されるレーザ発振装置について、その動作の詳細を図３を参照しながら説明する。
【００３３】
図３では上記の配管接続により送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力が差圧監視装置６０における差圧検出手段５５に入力され、上記差圧検出手段５５は送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力の差に応じた電圧ＶＤＰを出力する。
【００３４】
予め送風機８の翼車室８ｂとモータ室８ｃとの間のシール８ｄで規定される差圧よりも若干高めとした差圧下限基準値ＶＬが差圧下限基準値設定部５４に設定されている。
【００３５】
差圧下限比較部５３では差圧下限基準値設定部５４の基準値ＶＬと上記差圧検出手段５５からの出力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＬ＞ＶＤＰである場合に、積分手段５２に信号が出力される。
【００３６】
また、予め上記送風機８のモータ室８ｃの潤滑油８ｅの流出量が上記オイルトラップにて確保され得るか否かで規定される差圧よりも若干低めとした差圧上限基準値ＶＨが差圧上限基準値設定部５７に設定されている。
【００３７】
差圧上限比較部５６では差圧上限基準値設定部５７の基準値ＶＨと上記差圧検出手段５５からの出力電圧ＶＤＰとが比較され、比較結果がＶＨ＜ＶＤＰである場合に、積分手段５２に信号が出力される。
【００３８】
上記積分手段５２への信号はそれぞれ時間の関数としてカウントまたは積分し、積分手段５２の出力が所定値を超えた場合にインターロック手段５１において、装置の運転を強制的に停止する等のインターロック機能を持たせている。
【００３９】
以上のように本参考例によれば、送風機８内の翼車室８ｂとモータ室８ｃの圧力差を監視し装置の運転を停止することにより、送風機８内のモータ室８ｃの潤滑油８ｅがガス配管経路に飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機８内のモータ室８ｃよりモータの潤滑油８ｅの流出量が増加してオイルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油８ｅが流出することも事前に防止することができる。
【００４０】
（実施の形態）
図４は本発明の実施の形態に係る差圧監視装置のブロック構成図で、参考例１と異なるのは、差圧監視装置５０の内部構成であり、この部分を以下、説明する。
【００４１】
ガス配管経路内３のレーザガスの供排気周波数を検出する給排気周波数検出手段６６と、予め給排気周波数の上限を基準値ＶＦＨに設定した給排気周波数上限基準値設定部７０と、上記給排気周波数検出手段６６の主力ＶＦと給排気周波数上限基準値設定部７０の基準値ＶＦＨを比較する給排気周波数比較部６９が設けられ、上記給排気周波数比較部６９の出力により差圧上限比較部６７の機能有効、若しくは無効とする差圧監視装置を有している。
【００４２】
このように構成されるレーザ発振装置について、その動作の詳細を図１、図４を参照しながら説明する。
【００４３】
図１に示すように、ガス配管経路３内の新しいレーザガスを所定の割合で供給し、かつ上記配管経路３内の圧力を所定の圧力に一定に保っているが、レーザ発振装置が一定期間運転停止となった場合などは、運転開始後の一定期間は通常時より、新しいレーザガスの供給割合を増加させ出力レーザ光１の安定性を維持する方法がとられる場合がある。
【００４４】
この方法は、まず上記ガス配管経路３のレーザガスを排出するレーザガス排出手段内の排気ポンプ１４が一定運転されている状態で流量制限器１１に直列接続された通常排出側電磁弁１２を開となし、かつ急速排出側電磁弁１３も開として上記ガス配管経路３内のレーザガス排出量を増加させる。
【００４５】
レーザガスを供給するレーザガス供給手段内の供給側電磁弁１０を上記ガス配管経路３内の圧力の増減に基づいて開閉して装置外部に配置されるレーザガスボンベ３０から新しいレーザガスを供給している。
【００４６】
この場合は上記供給側電磁弁１０の開閉周期が短くなり、レーザガス排出量の増加を補い、結果的に新しいレーザガスの供給割合を増加させることとなる。
【００４７】
同時に、上記レーザガス排出手段に送風機８のモータ室減圧口８ｆが接続されているため、モータ室８ｃの圧力も通常時より低くなる。
【００４８】
新しいレーザガスの供給割合を増加させる期間は通常運転時間に比較して短く上記送風機８のモータ室８ｃから流出する潤環油８ｅは少量であるためオイルトラップ１６のトラップ性能を超えることはない。
【００４９】
図４の給排気周波数検出手段６６には供給側電磁弁１０の開閉信号が入力され、供給側電磁弁１０の開閉周期に反比例した、すなわち開閉周波数に比例した電圧ＶＦが出力される。
【００５０】
予め給排気周波数上限基準値設定部７０には上記の新しいレーザガスの供給割合を増加させる場合での上記供給側電磁弁１０の開閉周波数に相当する基準電圧ＶＦＨが設定されている。
【００５１】
給排気周波数上限比較部６９では給排気周波数上限基準値設定部７０基準値ＶＦＨと上記給排気周波数検出手段６６からの出力電圧ＶＦとが比較され、比較結果がＶＦＨ≦ＶＦである場合に、差圧上限比較部６７に機能無効信号が出力される。
【００５２】
以上のように本実施の形態によれば、ガス配管経路内のレーザガスの給排出周期を一定期間短くする（すなわち給排気周波数を高くする）条件下において差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防止することができる。
【００５３】
以上のように、本発明は上記各参考例と実施の形態を組み合せたものである。
【００５４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、第１の発明によれば、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し警報を発生することにより、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機内のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも事前に防止することができるうえ、ガス配管経路内のレーザガスの給排気周期を一定期間短くする（すなわち給排気周波数を高くする）条件下において差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防止することができる。
【００５５】
第２の発明によれば、送風機内の翼車室とモータ室の圧力差を監視し装置の運転を停止することにより、送風機内のモータ室の潤滑油がガス配管経路に飛散することを事前に防止する事ができ、および送風機内のモータ室よりモータの潤滑油の流出量が増加し、オイルトラップのトラップ性能を超えてオイルトラップ以降に潤滑油が流出することも事前に防止することができるうえ、ガス配管経路内のレーザガスの給排気周期を一定期間短くする（すなわち給排気周波数を高くする）条件下において差圧上限比較部の機能を無効とすることにより、新しいレーザガスの供給割合を増加させた場合の誤動作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の参考例及び実施の形態に係るレーザ発振装置の構成図
【図２】本発明の参考例１に係る差圧監視装置のブロック構成図
【図３】本発明の参考例２に係る差圧監視装置のブロック構成図
【図４】本発明の実施の形態に係る差圧監視装置のブロック構成図
【図５】送風機の内部構成簡略図
【符号の説明】
１  出力レーザ光
２  部分反射鏡
３  ガス配管経路
８  送風機
９  全反射鏡
１０  供給側電磁弁
１１  流量制限器
１２  通常排出側電磁弁
１３  急速排出側電磁弁
１４  排気ポンプ
１６  オイルトラップ
２０  レーザ発振装置
３０  レーザガスボンベ
４１  警報手段
４２  積分手段
４３  差圧下限比較部
４４  差圧下限基準値設定部
４５  差圧検出手段
４６  差圧上限比較部
４７  差圧上限基準値設定部
５０  差圧監視装置
【図１】
0003601494.tif 000002
【図２】
0003601494.tif 000003
【図３】
0003601494.tif 000004
【図５】
0003601494.tif 000005
【図４】
0003601494.tif 000006