(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビアホールが形成された磁性体グリーンシートの、ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極材料が充填されたコイルパターンを形成するコイルパターン形成工程と、
コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を形成する磁性材料層形成工程と、
コイルパターン及び磁性材料層が形成された磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを積層することにより内部にコイルが形成された積層体を形成する積層工程と、
積層体を圧着する圧着工程と、
圧着された積層体を熱処理して焼結させる熱処理工程と
を具備することを特徴とする積層型コイル部品の製造方法。
【請求項２】
磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターン及び磁性材料層の厚み、圧着工程におけるコイルパターン及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整することにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特徴とする請求項１記載の積層型コイル部品の製造方法。
【請求項３】
磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンの熱処理工程における収縮率と、コイルパターンの周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程における収縮率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の積層型コイル部品の製造方法。
【請求項４】
積層型コイル部品がインダクタであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の積層型コイル部品の製造方法。
【請求項５】
焼結磁性体層の表面にコイル導体が配設され、かつ、コイル導体の周囲に磁性材料焼結層が配設された導体配設磁性体層が積層され、コイル導体がビアホール内の電極材料を介して接続されることにより、焼結磁性体中に積層型のコイルが配設された構造を有する積層型コイル部品において、
ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結層の厚みの合計値よりも大きいこと
を特徴とする積層型コイル部品。
【請求項６】
積層型コイル部品がインダクタであることを特徴とする請求項５記載の積層型コイル部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、インダクタなどのコイル部品及びその製造方法に関し、詳しくは、素子中に積層型のコイルを配設してなる積層型インダクタなどの積層型コイル部品及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
代表的な積層型コイル部品の一つに積層型インダクタがある。この積層型インダクタは、例えば、図６（ａ），（ｂ）に示すように、素子（チップ状素子）５１中に、複数の内部導体（コイルパターン）５２ａ（図６（ｂ））を接続することにより形成された積層型のコイル５２（図６（ｂ））が配設されているとともに、コイル５２の両端部と接続するように外部電極５３ａ，５３ｂ（図６（ａ））が配設された構造を有している。
【０００３】
ところで、このような積層型インダクタは、例えば、印刷工法により、図６（ｂ）に示すように、コイルパターン５２ａが表面に形成された磁性体グリーンシート５４を複数枚積層するとともに、その上下両面側にコイルパターンの形成されていない磁性体グリーンシート（外層用シート）５４ａを積層した後、圧着し、各コイルパターン５２ａをビアホール５５により接続してコイル５２を形成し、積層体（未焼成の素子）を焼成した後、素子５１の両端部に導電ペーストを塗布、焼付けして、外部電極５３ａ，５３ｂ（図６（ａ））を形成する工程を経て製造されている。
【０００４】
ところで、従来の積層型インダクタにおいては、図７に示すように、製造に用いられる磁性体グリーンシート５４は、表面にコイルパターン５２ａが印刷（付与）されており、その周囲とは段差がある（すなわち、コイルパターン５２ａが印刷されている部分の厚みが大きく、印刷されていない部分の厚みが小さい）ため、この磁性体グリーンシート５４を複数枚積層し、圧着したときに、全体を均一に圧着することができず、電気特性にばらつきが生じたり、層間剥離を生じたりするという問題点がある。また、層間に空気層が形成され、各層のコイルパターン５２ａ間には空気層を介した分布容量が発生することになり、初期の電気特性と、繰返し使用後の電気特性が異なり、電気特性が安定しないという問題点がある。
【０００５】
そこで、このような問題点を解決するために、図８，９に示すように、磁性体グリーンシート５４の表面に印刷されたコイルパターン５２ａの周囲に、焼成後において、その厚みが、コイルパターン５２ａの厚みよりも大きくなるように補助磁性体層５６を配設するようにした積層型インダクタの製造方法が提案されている（特公平７−１２３０９１号）。
【０００６】
この方法により製造された積層型インダクタの場合、コイルパターン５２ａと、厚み方向に隣接する磁性体層（磁性体グリーンシートの焼結体層）５４との間には空隙５７が介在することになり、この空隙５７が磁性体層５４よりも比誘電率が小さいため、分布容量を少なくして高周波における損失を小さくすることが可能になるとともに、電気特性の繰返し使用による変動を抑制することができるとされている。
【０００７】
しかし、この積層型インダクタのように、補助磁性体層の厚みを、コイルパターンの厚みよりも大きくした場合、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンの、ビアホールを介しての接続状態が不安定になり、直流抵抗の安定性が不十分になり、信頼性が低下するという問題点がある。
【０００８】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続してコイルパターンを形成することが可能で、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明（請求項１）の積層型コイル部品の製造方法は、
ビアホールが形成された磁性体グリーンシートの、ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極材料が充填されたコイルパターンを形成するコイルパターン形成工程と、
コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を形成する磁性材料層形成工程と、
コイルパターン及び磁性材料層が形成された磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを積層することにより内部にコイルが形成された積層体を形成する積層工程と、
積層体を圧着する圧着工程と、
圧着された積層体を熱処理して焼結させる熱処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００１０】
ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極材料が充填されたコイルパターンを形成するとともに、コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を配設し、このコイルパターンと磁性材料層の形成された磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを積層し、圧着することにより、平面的にみた場合のビアホールが形成されている領域の電極材料の厚みが、その周辺部の磁性材料層よりも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成する電極材料とビアホール内の電極材料に十分な圧力が加わることになるため、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続することが可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能になる。
【００１１】
なお、本願発明において、「コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を形成する」とは、ビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンを構成する電極材料の厚みの合計値が、その周辺部の磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくなるように、磁性材料層を形成することを意味するものである。したがって、本願発明の積層型コイル部品の製造方法においては、ビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンを構成する電極材料の厚みの合計値が、その周辺部の磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成する電極材料とビアホール内の電極材料を十分に加圧することが可能になり、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続することが可能になる。
【００１２】
なお、コイルパターン及び磁性材料層は、種々の方法で形成することが可能であり、その具体的な方法に特別の制約はないが、一例としては、スクリーン印刷法やめっき法、さらにはフォトリソグラフィーなどの方法を挙げることができる。
【００１３】
また、請求項２の積層型コイル部品の製造方法は、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターン及び磁性材料層の厚み、圧着工程におけるコイルパターン及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整することにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特徴としている。
【００１４】
磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターン及び磁性材料層の厚みと、圧着工程におけるコイルパターン（ビアホール内に充填された電極材料を含む）及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整することにより、圧着後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくすることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能になる。
【００１５】
また、請求項３の積層型コイル部品の製造方法は、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンの熱処理工程における収縮率と、コイルパターンの周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程における収縮率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値が、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしたことを特徴としている。
【００１６】
磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンを構成する電極材料（ビアホール内に充填された電極材料を含む）の熱処理工程（焼結工程）における収縮率と、コイルパターン（電極材料）の周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程（焼結工程）における収縮率の少なくとも１つを調整することにより、焼結後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくすることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能になる。
【００１７】
請求項４の積層型コイル部品の製造方法は、前記積層型コイル部品がインダクタであることを特徴としている。
【００１８】
本願発明は、種々の積層型のコイルを備えた部品の製造方法に適用することが可能であるが、通常は、インダクタの製造方法として利用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを効率よく製造することが可能になる。
【００１９】
また、本願発明（請求項５）の積層型コイル部品は、
焼結磁性体層の表面にコイル導体が配設され、かつ、コイル導体の周囲に磁性材料焼結層が配設された導体配設磁性体層が積層され、コイル導体がビアホール内の電極材料を介して接続されることにより、焼結磁性体中に積層型のコイルが配設された構造を有する積層型コイル部品において、
ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結層の厚みの合計値よりも大きいこと
を特徴としている。
【００２０】
ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体の厚みの合計値を、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結層の厚みの合計値よりも大きくすることにより、各コイル導体をより確実に接続することが可能になり、信頼性の高い積層型コイル部品を得ることが可能になる。
なお、この積層型コイル部品は、上述の請求項１〜４の積層型コイル部品の製造方法により、効率よく製造することが可能である。
【００２１】
また、請求項６の積層型コイル部品は、積層型コイル部品がインダクタであることを特徴としている。
【００２２】
本願発明は、種々の積層型のコイルを備えた部品に適用することが可能であるが、インダクタに適用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを得ることができて有意義である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。なお、以下の実施の形態においては、磁性体セラミック中にコイルを配設してなる積層型インダクタを製造する場合を例にとって説明する。
【００２４】
［実施形態１］
（１）まず、Ｆｅ２Ｏ３：４８ｍｏｌ％、ＺｎＯ：２８ｍｏｌ％、ＮｉＯ：１６ｍｏｌ％、ＣｕＯ：８ｍｏｌ％の比率で秤量した各材料を混合し、得られた粉末を７５０℃で１時間仮焼する。
【００２５】
（２）得られた仮焼粉末をアトライタなどで３０分間湿式粉砕し、その後、バインダー樹脂を加え、１時間混合する。
【００２６】
（３）そして、このようにして得られたスラリーを用い、ドクターブレード法により膜厚８０μｍ以下のグリーンシートを作成し、これを所定の寸法に切断する。
【００２７】
（４）それから、この磁性体グリーンシートの所定の位置にビアホール用の貫通孔を形成する。
【００２８】
（５）次に、図１（ａ）に示すように、磁性体グリーンシート４の表面に、例えば、印刷工法により、ビアホール５（図２，図４）を含む領域に所定のパターンとなるようにＡｇを主成分とする電極材料を２４μｍの厚さで付与してコイルパターン２ａを形成する。このとき、ビアホール５内にも電極材料２ｂ（図４）が充填される。
【００２９】
（６）それから、コイルパターン２ａの周囲に、図１（ｂ），（ｃ）及び図２に示すように、磁性材料層６を１８μｍの厚さで形成する。なお、このとき、図１（ｃ）に示すように、磁性材料層６の厚みＴ２を、コイルパターン２ａの厚みＴ１より小さくする。
その結果、図４に示すように、ビアホール５が形成された領域においては、ビアホール５内の電極材料２ｂの厚みＴ３とコイルパターン２ａの厚みＴ１の合計値Ｔａが、磁性体グリーンシート４の厚みＴ４（＝Ｔ３）と磁性材料層６の厚みＴ２の合計値Ｔｂよりも大きくなっている。
上記コイルパターン２ａ及び磁性材料層６を形成するにあたっては、例えば、電極材料を複数回印刷した後、磁性材料を複数回付与することにより所定の厚みのコイルパターンと磁性材料層を得る方法や、あるいは電極材料を一回印刷した後、磁性材料を一回付与し、再び、電極材料の印刷と磁性材料の付与を繰り返し、所定の厚みのコイルパターンと磁性材料層を得る方法など、種々の方法でコイルパターンと磁性材料層を形成することが可能である。
【００３０】
（７）それから、図２及び図３に示すように、コイルパターン２ａ及び磁性材料層６が形成された磁性体グリーンシート４（電極配設シート１４（図１（ａ），（ｂ），図２））を積層し、図４に示すように、ビアホール５により、コイルパターン２ａを接続してコイル２（図５（ａ）など）を形成するとともに、上下両面側にコイルパターンの配設されていない磁性体グリーンシート（外層用シート）４ａを積層することにより積層体（グリーン積層体）１ａ（図３）を形成する。
【００３１】
（８）それから、この積層体（グリーン積層体）１ａを、温度：４０℃、圧力：１．２ｔ／ｃｍ２で圧着して、積層圧着体（グリーン積層圧着体）を形成する。グリーン積層体１ａにおいては、図３に示すように、コイルパターン２ａの厚みＴ１が磁性材料層６の厚みＴ２より大きく、また、図４に示すように、ビアホール５が形成された領域においては、ビアホール５内の電極材料２ｂの厚みＴ３とコイルパターン２ａの厚みＴ１の合計値Ｔａが、磁性体グリーンシート４の厚みＴ４と磁性材料層６の厚みＴ２の合計値Ｔｂよりも大きくなっているので、圧着工程において、コイルパターン２ａとビアホール５内の電極材料２ｂが確実に加圧され、各コイルパターン２ａがビアホール５内の電極材料２ｂを介して確実に接続されることになる。
なお、マザー磁性体グリーンシートを用いて、多数個の素子を同時に製造する場合においては、通常、このグリーン積層圧着体の段階で、個々の素子に分割されることになる。
【００３２】
（９）そして、グリーン積層圧着体を５００℃で１時間加熱して脱バインダーを行った後、さらに温度を上げて焼結させることにより、素子（焼結体）を得る。
【００３３】
（１０）次に、素子の両端部に、コイルパターンの引出部と導通するように電極ペーストを塗布し、１５０℃で１５分間乾燥した後、焼き付けることにより、一対の外部電極を形成する。これにより、図５（ａ），（ｂ）に示すように、素子１中にコイル２が配設され、かつ、素子１の両端部に、コイル２と導通するように一対の外部電極３ａ，３ｂが配設された構造を有する積層型インダクタが得られる。
【００３４】
この実施形態の積層型インダクタの製造方法においては、ビアホール５内にも電極材料２ｂが充填されたコイルパターン２ａを磁性体グリーンシート４に形成するとともに、コイルパターン２ａの周囲に、厚みＴ２がコイルパターン２ａの厚みＴ１より小さい磁性材料層６を配設し、この磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを積層し、圧着するようにしているので、平面的にみた場合のビアホール５が形成されている領域の電極材料（コイルパターンを構成する電極材料２ａの厚みＴ１とビアホール５内の電極材料２ｂの厚みＴ３の合計値Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層６の厚みＴ２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計値Ｔｂよりも大きく、該領域においては、圧着時に電極材料２ａ，２ｂに十分な圧力が加わることになるため、各磁性体グリーンシート４に形成されたコイルパターン２ａを、ビアホール５を介して確実に接続することが可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
【００３５】
すなわち、上記実施形態の方法により製造された積層型コイル部品においては、焼結磁性体層（焼結後の磁性体グリーンシート４）と、その表面に配設されたコイル導体（焼結後のコイルパターン２ａ）と、コイル導体の周囲に配設された磁性材料焼結層（焼結後の磁性材料層６）からなる導体配設磁性体層（焼結後の電極配設シート１４）が積層されており、ビアホール５内の電極材料２ｂの厚みとコイル導体（焼結後のコイルパターン２ａ）の厚みの合計値が、焼結磁性体層（焼結後の磁性体グリーンシート４）の厚みと磁性材料焼結層（焼結後の磁性材料層６）の厚みの合計値よりも大きくなっているため、各コイル導体が確実に接続され、信頼性の高い積層型コイル部品が得られる。
【００３６】
［実施形態２］
この実施形態２では、コイルパターンを構成するとともにビアホール内にも充填される電極材料との厚みと圧化率、磁性材料層を構成する磁性材料の厚み（乾燥後の厚み）と圧化率を計算することにより、平面的にみた場合のビアホール５が形成されている領域の電極材料（コイルパターンを構成する電極材料２ａの厚みＴ１とビアホール５内の電極材料２ｂの厚みＴ３の合計値Ｔａ）が、その周辺部の磁性材料層６の厚みＴ２と磁性体グリーンシート４の厚みＴ４の合計値Ｔｂよりも大きくなるようにして、積層体を形成する。
その他の構成は、上記実施形態１の場合と同様とする。
【００３７】
この実施形態２の方法の場合、電極材料と磁性材料の厚み、及び圧化率を調整するようにしているので、平面的にみた場合のビアホールが形成されている領域の電極材料の厚み（コイルパターンを構成する電極材料とビアホール内の電極材料の厚みの合計値）を、その周辺部の磁性材料層の厚みと磁性体グリーンシートの厚みの合計値よりも大きくすることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
【００３８】
［実施形態３］
この実施形態３では、ビアホール内に充填されるとともに、コイルパターンを構成する電極材料と、磁性材料層を構成する磁性材料の厚み（乾燥後の厚み）、圧化率、及び焼結の際の収縮率を計算することにより、焼結後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくなるようにして、積層体を形成する。
その他の構成は、上記実施形態１の場合と同様とする。
【００３９】
この実施形態３の方法の場合、電極材料と磁性材料の厚み、圧化率、及び焼結の際の収縮率を調整するようにしているので、平面的にみた場合のビアホールが形成されている領域の、焼結後の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、同じく焼結後の磁性体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の厚みよりも確実に大きくすることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続することが可能になり、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することができる。
【００４０】
なお、上記実施形態においては、積層型インダクタを例にとって説明したが、本願発明は、積層型インダクタに限らず、素子中に積層型のコイルを配設してなる積層型ＬＣ複合部品その他の種々の積層型コイル部品に適用することが可能である。
【００４１】
なお、本願発明は、さらにその他の点においても上記実施形態に限定されるものではなく、コイルパターンの具体的な形状やコイルのターン数などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００４２】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）の積層型コイル部品の製造方法は、ビアホールを含む領域に所定のパターンでコイル形成用の電極材料を付与して、ビアホール内にも電極材料が充填されたコイルパターンを形成するとともに、コイルパターンの周囲に、厚みがコイルパターンの厚みより小さい磁性材料層を配設し、このコイルパターンと磁性材料層の形成された磁性体グリーンシートを含む複数の磁性体グリーンシートを積層し、圧着するようにしているので、平面的にみた場合のビアホールが形成されている領域の電極材料の厚みが、その周辺部の磁性材料層よりも大きくなり、圧着工程で、コイルパターンを構成する電極材料とビアホール内の電極材料に十分な圧力を加えることが可能になり、各磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能になる。
【００４３】
また、請求項２の積層型コイル部品の製造方法のように、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターン及び磁性材料層の厚みと、圧着工程におけるコイルパターン（ビアホール内に充填された電極材料を含む）及び磁性材料層の圧化率の少なくとも１つを調整するようにした場合、確実に、圧着後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、磁性体グリーンシートの厚みと磁性材料層の厚みの合計値よりも大きくすることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能になる。
【００４４】
また、請求項３の積層型コイル部品の製造方法のように、磁性体グリーンシートに形成されたコイルパターンを構成する電極材料（ビアホール内に充填された電極材料を含む）の熱処理工程（焼結工程）における収縮率と、コイルパターン（電極材料）の周囲に配設された磁性材料層の熱処理工程（焼結工程）における収縮率の少なくとも１つを調整するようにした場合、焼結後のビアホール内の電極材料の厚みとコイルパターンの厚みの合計値を、焼結後の、磁性体グリーンシート及び磁性材料層に由来する磁性体の厚みよりも大きくすることが可能になり、各コイルパターンを、ビアホールを介して確実に接続して、直流抵抗値が低く、その安定性に優れた信頼性の高い積層型コイル部品を製造することが可能になる。
【００４５】
また、本願発明は、種々の積層型のコイルを備えた部品の製造方法に適用することが可能であるが、請求項４のように、インダクタの製造方法として利用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを効率よく製造することが可能になる。
【００４６】
また、本願発明（請求項５）の積層型コイル部品は、ビアホール内の電極材料の厚みとコイル導体の厚みの合計値が、焼結磁性体層の厚みと磁性材料焼結層の厚みの合計値よりも大きくなるようにしているので、各コイル導体をより確実に接続して、信頼性の高い積層型コイル部品を得ることができる。
なお、この積層型コイル部品は、上述の請求項１〜４の積層型コイル部品の製造方法により効率よく製造することが可能である。
【００４７】
また、本願発明は、種々の積層型のコイルを備えた部品に適用することが可能であるが、請求項６のように、インダクタに適用することにより、信頼性の高い積層型インダクタを得ることができて有意義である。
なお、この積層型インダクタは、上述の本願発明の積層型コイル部品の製造方法により効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部品（積層型インダクタ）の製造方法の一工程を示す図であり、（ａ）は磁性体グリーンシートにコイルパターンを形成した状態を示す斜視図、（ｂ）はコイルパターンの周囲に磁性材料層を形成した状態を示す斜視図、（ｃ）は磁性体グリーンシートの要部断面図である。
【図２】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部品の製造方法の一工程を示す図である。
【図３】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部品の製造方法の一工程において形成した積層体（グリーン積層体）を示す断面図である。
【図４】本願発明の一実施形態にかかる積層型コイル部品の製造方法の一工程において形成した積層体（グリーン積層体）のビアホール近傍の構成を示す断面図である。
【図５】本願発明の一実施形態にかかる方法により製造した積層型インダクタを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図６】従来の積層型インダクタを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は内部構造を示す分解斜視図である。
【図７】従来の積層型インダクタの要部断面図である。
【図８】従来の他の積層型インダクタを示す分解斜視図である。
【図９】従来の他の積層型インダクタの要部断面図である。
【符号の説明】
１            積層体
１ａ          グリーン積層体
２            コイル
２ａ          コイルパターン（コイルパターンを構成する電極材料）
２ｂ          ビアホール内に充填された電極材料
３ａ，３ｂ    外部電極
４            磁性体グリーンシート
４ａ          コイルパターンが配設されていない磁性体グリーンシート
５            ビアホール
６            磁性材料層
１４          電極配設シート
Ｔ１          コイルパターンの厚み
Ｔ２          磁性材料層の厚み
Ｔａ          Ｔ１＋Ｔ３
Ｔ３          ビアホール内の電極材料の厚み
Ｔ４          磁性体グリーンシートの厚み
Ｔｂ          Ｔ２＋Ｔ４
【図１】
0003582454.tif 000002
【図２】
0003582454.tif 000003
【図３】
0003582454.tif 000004
【図４】
0003582454.tif 000005
【図５】
0003582454.tif 000006
【図６】
0003582454.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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