(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギー分散性部材によって幅が空間的に拡大された電子ビーム中の空間的なエネルギー拡散を減少させるに際し、
前記エネルギー分散部材を電子ビームを発生する電子源の近傍に配置し、電子ビームの幅を、前記分散部材によって電子源の直径よりも大きくなる分散度で分散方向に空間的に拡大し、局部的にエネルギー拡散した多数の画素を物体の結像面で選択することを特徴とする電子ビーム中の空間的なエネルギー拡散を減少させる方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、前記画素数の選択を物体を傾けることにより行なうことを特徴とする方法。
【請求項３】
物体を透過型で分析する請求項１に記載の方法において、エネルギー拡散をパラメータとして用いる画像処理を行なうことを特徴とする方法。
【請求項４】
物体を透過型で分析する請求項１に記載の方法において、局部的にエネルギー拡散した物体の画像部分を、物体の結像面に配置した選択部材により選択することを特徴とする方法。
【請求項５】
エネルギー分散部材により電子ビームの空間的な幅を拡大するに際し、
前記エネルギー分散部材を電子ビームを発生させる電子源の近傍に配置し、電子ビームにより撮像されるべき物体を、前記空間的に幅が拡大され当該物体上に集束する電子ビームにより前記エネルギー分散部材の分散方向とほぼ直交する方向にステップ状に走査し、当該ステップ状走査におけるステップの大きさを所望の解像度に基づいて決定することを特徴とする方法。
【請求項６】
電子源と、電子光学系と、試料ホルダと、エネルギー分散部材とを具え、請求項１に記載の方法を実施するのに好適な電子ビーム装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電子ビーム装置において、物体傾動装置を具えることを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項８】
電子ビーム装置を透過型電子顕微鏡とした請求項６又は７に記載の電子ビーム装置において、画像処理装置を具えることを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項９】
電子ビーム装置を透過型電子顕微鏡とした請求項６，７又は８において、物体の結像面に配置した絞りを具えることを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項１０】
電子源と、電子光学系と、試料ホルダと、エネルギー分散部材と、走査ユニットとを具え、請求項５に記載の方法を実施するのに好適な電子ビーム装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電子ビーム装置において、画像分析装置を具え、物体上で集束する方向とほぼ直交する方向におけるスペクトラム測定を行なうことができるように構成したことを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電子ビーム装置において、色収差を補正するための多重極素子を含む補正部材を具えることを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項１３】
請求項６から１２までのいずれか１項に記載の電子ビーム装置において、前記エネルギー分散部材を、共役な物体面と電子源との間のビーム経路中の所定の位置に配置し、この位置を２０ｋｖ以下の加速電位に対応させたことを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項１４】
請求項６から１３までのいずれか１項の電子ビーム装置において、前記エネルギー分散部材をウィーンフィルタとしたことを特徴とする電子ビーム装置。
【請求項１５】
請求項６から１４までのいずれか１項に記載の電子ビーム装置において、前記電子源を電界放射源としたことを特徴とする電子ビーム装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、エネルギー分散性部材によって幅が拡大された電子ビーム中における空間的なエネルギー拡散を減少させる方法に関するものである。
また、本発明は、この方法を実施するのに好適な電子ビーム装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
上述した形式の電子ビーム装置は、特開昭６３−２３１８５２号公報から既知である。エネルギー拡散は、放出された電子の初期エネルギー拡散及びビーム中の静的な相互作用（ボーシュ効果）に起因して電子源からのビーム中で発生する。上述した電子ビーム装置は、さらにコンデンサレンズ、及びエネルギー分散部材、特に分散部材の分散方向と直交する方向に延在するスリットと組み合わされたウィーンフィルタを具え、電子ビームのエネルギー拡散を減少させている。
【０００３】
上記フィルタの作用は、電界Ｅの強度と、磁界Ｂの強度及び電子の加速電位との間の関係に基いている。ウィーンフィルタにおいて、電界と磁界とは互いに直交し、電界及び磁界は電子の伝播方向と直交している。所定の速度ｖの電子が偏向されないために必要な加速電位は上記関係に基いている。速度ｖの電子のエネルギーからエネルギーが偏移したエネルギーを有するフィルタに入射する電子はスポクトラムに亘って分布する。フィルタの後段に位置するスリットは偏向されなかった電子だけを透過するので、電子ビームのエネルギー拡散が減少する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した既知の電子ビーム装置では、エネルギー拡散を減少させることができるが、スリットを用いているためビーム電流の比較的大きな量が捕獲されてしまう。すなわち、所望のエネルギー窓内に位置する電子だけしか通過しない欠点があった。さらに、スリットは高電圧の境界内に配置する必要があり、高電圧雰囲気中にスリットを配置することは極めて重大であり、構造が複雑し又製造コストも高価になってしまう。
【０００５】
従って、本発明の目的は、上述した欠点を除去すると共に全ビーム電流の大部分を用いることができる電子ビーム中の空間的なエネルギー拡散を減少させる方法及び電子ビーム装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段並びに作用】
本発明の第１の見地によれば、本発明による方法は、エネルギー分散性部材によって幅が空間的に拡大された電子ビーム中の空間的なエネルギー拡散を減少させるに際し、
前記エネルギー分散部材を電子ビームを発生する電子源の近傍に配置し、電子ビームの幅を、前記分散部材によって電子源の直径よりも大きくなる分散度で分散方向に空間的に拡大し、局部的にエネルギー拡散した多数の画素を物体の結像面で選択することを特徴とする
【０００７】
局部的なエネルギー拡散とは、物体の無限に微小な点として測定した場合の入射ビームのエネルギー拡散を意味するものと理解されるべきである。
【０００８】
放出したエネルギーの初期エネルギー拡散及びビーム中の電子の静的な相互作用に起因して電子ビーム中の全ての電子は同一のエネルギーを有していないから、電子ビームは分散部材を通過した後分散方向に幅が拡大する。この結果、電子ビームの局部的なエネルギー拡散は画素当りの電子のエネルギー拡散となり、このエネルギー拡散はオリジナルのエネルギー拡散に比較して減少する。電子源の直径に対する分散比が十分に大きい場合、この減少は極めて大きくなる。
【０００９】
エネルギー分散に起因して、物体に沿って測定した平均的な局部エネルギーは分散方向に沿って変化する。最終的なエネルギーの選択は、物体の像を構成する多数の画素を内在的に選択することによって行なわれる。すなわち、種々の画素の電子は撮像モード中に個別に検出されるので、電子ビーム経路中のスリットを省くことができる。この結果、局部的なエネルギー拡散は大幅に減少する。
【００１０】
本発明による方法の一例は、多数の画素の選択を物体を傾動させることにより行なうことを特徴とする。
物体に入射した幅が拡大した電子ビームの平均エネルギーは分散方向に変化するので、ＴＥＭ画像及びＳＴＥＳ画像において物体に沿って分散方向においてデフォーカスが生ずるおそれがある。しかしながら、物体を傾けることにより十分に集束したラインを得ることができる。また、通常では、このようなデフォーカス量は焦点深度内にあるから、このディフォーカスは無視することができる。
【００１１】
物体の透過型分析を行なう本発明による方法の一例は、エネルギー拡散をパラメータとして用いる画像処理を適用することを特徴とする。
透過型電子顕微鏡が画像処理の方法を利用して画像再生を行なう場合、ビームのエネルギー拡散及び物体に沿うエネルギーの変化を用いる伝達関数に取り込むことができる。
【００１２】
物体の透過型分析を行なう本発明による方法の別の実施例は、局部的にエネルギー拡散した物体の画像部分を物体の結像面に配置した選択部材により選択することを特徴とする。
この場合、物体の結像面において、画像の一部が結像面に配置した選択部材により選択される。この選択部材は、例えばいわゆる“選択区域絞り（Ｓｅｌｅｃｔｅｄ    Ａｒｅａ  ｄｉａｐｈｒａｇｍ）  のようなスリット又は他の形態の絞りとすることができる。この選択は、検出器自身により行なうことができ、例えば結像面の所望の位置に位置したＣＣＤ検出器により行なうことができる。この点に関して、イメージング電子エネルギー損失分光計の入射絞りを用いることもできる。このように構成すれば、画素の選択は高電圧レベルの状態で行なわれず物体の結像面で行なわれる利点が達成される。この結果、全ビーム電流を用いて物体を照射することができる。
【００１３】
本発明の第２の見地によれば、本発明による方法は、エネルギー分散部材を電子ビームを発生させる電子源の近傍に配置し、前記物体を、物体上で集束し分散方向とほぼ直交する方向に延在する方向に幅が拡大された電子ビームでステップ状に走査し、この走査ステップの大きさを所望の解像度により決定することを特徴とする。
エネルギー分散に基いて電子ビームを拡大することは特に有益である。電子ビームのスポットが拡大される場合、走査測定毎に物体の大部分を照射することができる。所望の解像度は、分散方向と直交する方向における走査ステップの大きさの関数として得ることができる。請求項１に記載の方法を実施するのに好適な本発明による電子ビーム装置は、電子源と、電子光学系と、試料ホルダと、エネルギー分散部材とを具える。
【００１４】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、物体傾動装置を具えることを特徴とする。
【００１５】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、画像処理装置を具えることを特徴とする。
【００１６】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、物体の結像面に配置した絞りを具えることを特徴とする。
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、請求項５に記載の方法を実施するのに好適であり、電子源と、電子光学計と、試料ホルダと、エネルギー分散部材と、走査ユニットとを具える。
【００１７】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、画像分析装置を具え、物体上で集束する方向とほぼ直交する方向におけるスペクトラム測定を行なうことができるように構成したことを特徴とする。
この場合、分散方向においてスペクトル情報が拡大されたスポット内に位置する画素毎に発生するので、拡大したスポットが移行すると、分散方向とほぼ直交する走査方向の他の画素について同様な情報が得られる。従って、スペクトラル情報は、画像列ライン状に測定される。分析すべき物体の部分は、この分析中、局部的にエネルギー拡散した電子ビームの一部によってだけ照射されるので、解像度は、エネルギー分散されない電子ビームによって照射する場合よりもはるかに一層高くなる。
【００１８】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、色収差を補正する多重極素子を含む補正部材を具えることを特徴とする。
電子ビームのスポットの長さ方向の解像度は、電子プローブによって決定される。電子ビームのスポットの幅方向、すなわち分散方向の解像度は、対物レンズの色収差によって決定される。
【００１９】
局部的なエネルギー拡散した区域の色収差に起因するエネルギー偏移した電子の発生を防止するため、対物レンズの主要面に補正素子を配置することができる。この補正素子は、分散方向における色収差を補正するための結合４重極素子で構成することが好ましい。
【００２０】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、ネルギー分散部材を、電子源と共役な物体面との間のビーム経路中の所定の位置に配置し、この位置を２０ｋｖ以下の加速電位に対応させたことを特徴とする。
共役物体面とは、物体に対して等価な面を意味するものと理解されるべきである。
分散部材は加速電位が十分に低い位置に配置されるので、電子は比較的低いエネルギーを有し比較的容易に制御することができる。電子源とエネルギー選択フィルタとの間に、所望の場合、レンズ又は他の電子光学素子を配置することができる。
【００２１】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、エネルギー分散部材をウィーンフィルタとしたことを特徴とする。
エネルギー分散部材の別の好適実施例は、Ωフィルタ又は静電フィルタで構成する。これらのフィルタは既知である。
ウィーンフィルタは、“直視”部材であるため整列性のような実際上に生ずる問題はほとんど生じない利点がある。ウィーンフィルタは英国特許明細書第１３６４９３０号から既知である。
【００２２】
本発明による電子ビーム装置の別の実施例は、電子源を電界放射源（ｆｉｅｌｄ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｓｏｕｒｃｅ）としたことを特徴とする。
電界放射源の真正電子源直径は、通常の電子源の電子源直径よりも一層小さくなる。従って、通常の電子源と電界放射源との相対的なエネルギー拡散に関し、分散後に電界放射源によって生ずるスポットは長さ対幅の比が一層大きくなる。
以下、図面に基き本発明を詳細に説明する。
【００２３】
【実施例】
図１に線図的に示す電子ビーム装置１は電子源３を具え、この電子源３は高電圧発生器５により制御されて電子ビーム７を発生する。また、この電子ビーム装置は、ビーム７を試料ホルダ１０に配置した物体１１上に入射させる電子光学系９も具える。電子光学系９はコンデンサと第１対物レンズで構成されるが、図面を明瞭にするため対物レンズ１５だけを図示する。物体１１を透過した後、電子は第２の対物レンズ系１７とレンズ系１９によって結像面２１上に結像する。レンズ系１９は回折レンズで、中間レンズ及び投影レンズ系（図示せず）を具える。これらのレンズパワー供給装置１３によって付勢する。
【００２４】
放射した電子の初期エネルギー拡散及びビーム中の電子の静的な相互作用に起因するエネルギー拡散（ボーシュ効果）により、電子源３から放出した電子ビームのスポット中にエネルギー拡散が生ずる。このエネルギー拡散は電子ビーム装置の解像度を制限するものとなる。
【００２５】
高解像力電子顕微鏡の場合、情報はクロマティクエンベロープ関数の幅により制限される。電子ビーム中の局部的なエネルギー拡散が減少する程、このエンベロープ関数は一層広くなるので、制限される情報のレベルが一層高くなり従って解像度が一層良好になる。
電子エネルギー損失分光法の場合、後述するように、一層高いエネルギー解像力は電子ビーム中でのエネルギー拡散をより小さくすることにより得られる。
【００２６】
電子ビームのエネルギー拡散を減少させる方法は、特開昭  ６３−２３１８５２号公報から既知である。エネルギー拡散部材特にウィーンフィルタを用いると、電子ビームは放散方向に幅が拡がる。次に、このビームは放散方向と直交するように設けたスリットに入射する。所望の局部的なエネルギー拡散が生じた電子ビームの一部だけがスリットを経て物体に入射する。この既知の方法の欠点は、電子ビームの強度の大部分が物体に入射しないことである。
【００２７】
本発明では、電子ビーム中のエネルギー拡散は、スリットを用いることなく、すなわちエネルギー強度に損失が生ずることなく電子ビーム中のエネルギー拡散を低減することができる。この目的を達成するため、エネルギー分散部材２０により、電子ビームを直交する面内の分散方向に拡大する。電子ビーム源の直径に対する分散比を一層大きくすれば、電子ビーム中の局部的なエネルギー拡散は、電子源のオリジナルのエネルギー拡散に比べて一層小さくなる。従って、物体１１は十分に幅広になった電子ビームにより照射される。所定の領域の最終的な選択は結像面２１に形成される物体の多数の画素を選択することにより行なわれる。この理由は、種々の画素の電子は撮像モードにおいて個別に検出されるからである。これによる利点は、画素の選択が結像面で行なわれ、スリットを用いる場合のように高電圧レベルでは行なわれないことである。この選択は種々の方法で行なうことができる。
【００２８】
幅が拡大されたスポット中の平均エネルギーは分散方向に局部的に偏移しているので、焦点は物体上の位置の関数としてこの方向に変位する。十分に焦束したラインを形成するため、電子ビーム装置１は物体傾動装置２３を具える。電子源は、物体１１を傾けることにより前照射領域に亘って画像の全長に亘って焦束させることができる。
【００２９】
局部的にエネルギー拡散したビームを開いて多数の画素の選択を行なうための第２の方法は、帯電粒子ビーム装置が透過型電子顕微鏡である場合この帯電粒子ビーム装置に画像再生用の画像処理を行なう画像処理装置（図示せず）を設けることである。
【００３０】
物体の位相及び振幅情報は、物体の選択した基準面における波動関数４の形態で規格化することができる。
【００３１】
物体の画像再生を行なう場合、波動関数は物体の出射面まで後方伝播される。この工程中において、波動関数４に顕微鏡の反転伝達関数が乗算され、その後２次元反転フーリエ変換を行なう。この反転伝達関数を乗算することは、球面収差及びデフォーカスに起因する位相シフトを除去することを意味する。投影される原子構造は物体面で得られた波動関数から取り出すことができる。薄い物体の場合、この投影された構造は物体の出射面における波動関数の位相により再生させる。一方、ゾーン軸に沿って照射される厚い結晶体物体の場合、チャネリング理論に基くアルゴリズムを用いる。このチャネリング理論は、電子ビームが原子配列に平行な結晶に入射した場合個々の原子配列でのチャネリング意味するものとする。電子がこれらの原子配列で捕獲されるので、これら原子配列の領域における結晶の出射面における波動関数と原子配列との間に明瞭な関係が存在する。従って、この関係は隣接する原子配列の組成に対して依存しない。この波動関数の情報によって投影原子構造の情報が得られる。
画像再生中、焦点の変化、すなわち幅が拡大されたスポット中の物体に沿うエネルギーの変化は、分散の関数として伝達関数中に含まれる。
【００３２】
しかしながら、エネルギー拡散に起因するデフォーカスは数値例で証明されるように極めて微小である。
【００３３】
電子ビームスポット中の典型的なエネルギー拡散は、ＩｅＶ程度である。分散部材を用いる場合スポットは分散方向に約５０倍増大するので、１００Åの直径のスポットは５０００Åまで拡大される。従って、局部的な拡散したエネルギーは1/50になる。例えば、拡大律が５×１０5 の場合、このスポットは１０-2mmの試料領域をしめる。この試料領域における焦点の変化は次式で与えられる。
【化１】
0003600253.tif 000002
ここで、Ｃｃは色収差定数である。数値は以下のようになる。
【化２】
0003600253.tif 000003
この式は、５０００Åの距離で１００Åの焦点変化が生ずることを意味し、この焦点変化量は極めて微小であるから、このデフォーカス量は焦点深度の範囲内にあり、従って無視することができる。
【００３４】
電子ビーム装置が透過型電子顕微鏡の場合、図２に示すように、選択素子２７を結像面２１に配置して物体１１の画像の一部だけを選択することができる。この選択部材２７は、例えばいわゆるセレクティッドエリア（ＳＡ）ダイヤフラムとすることができる。このダイヤフラム２７は全画像強度の一部を通過させないが、高電圧レベルのスリットを設けない利点がある。この実施例はスペクトラム分析に特に好適である。画像の選択された部分における電子ビームは局部的なエネルギー拡散が比較的小さいので、分析されるべき放射が全スペクトラムの電子ビームによって照射された画像の一部から発生する場合よりも相当に高い解像度を得ることができる。
【００３５】
電子ビーム装置が撮像モードの走査型顕微鏡の場合、幅が拡大された電子ビームは、そのまま物体を照射するために用いる場合測定毎に物体の一層大きな部分を照射できる利点が達成される。物体は分散方向と直交する方向に走査される。走査中、ビームが物体上でステップ状に変位する場合、短い期間に物体の比較的に大きな部分が走査される。ステップの大きさによって解像度が決定されるるこの実施例はスペクトル分析に用いるのに有益である。比較的短い時間期間で比較的広い領域に関する情報を得ることができる。
【００３６】
このスペクトル分析は電子エネルギー損失型の分光計（ＥＥＬＳ）で撮像モードで用いることもできる。図２は、この点に関して好適な電子ビーム装置の実施例を示す。図１で用いた部材と対応する部材には同一符号を付して説明する。結像面２１に配置した選択部材２７は分光計２９の入射絞りで構成し、この分光計はエネルギー分析計３１及び検出器３３で構成する。本例によれば、電子ビーム中のエネルギー拡散の減少を利用して、物体の照射視野の微小部分を選択することによりエネルギーの解像度を相当増大させることができる。この解像度は、小さくすべき分散に対する視野の比により決定される。
【００３７】
一方において、零損失ピークは、局部的なエネルギー拡散が小さい電子ビームを用いて照射することにより低くなるので、情報の限界を一層高くすることができる。他方において、例えば分光計の入射絞りのような結像面に配置した絞りを用いることにより不適当な電子を濾波できるので、エネルギー損失スペクトラルのバックグランドが抑制される。
【００３８】
物体上で電子ビームが集束する方向は分散方向と一致する。スペクトラルは分散方向と直交する方向に集束する。従って、画素毎に１方向のスペクトラル情報が形成されるので、この方向と直交する方向において同一の情報が他の画素について存在する。
【００３９】
電子ビームスポットの寸法及びエネルギー拡散は解像度を決定する。スポットの長さ方向の解像度は電子プローブによって決定される。スポットの幅方向の解像度、すなわち分散方向は対物レンズのクロマティック収差によって決定される。エネルギーが偏位した電子は局部的にエネルギー拡散した状態で領域に侵入しがちである。この効果を防止する方法は、対物レンズの主要面に色収差補正を行なう補正素子を配置することである。この素子は、例えば結合性四重極磁界を構成する多重極素子とすることができ、少なくとも分散方向で補正する必要がある。この理由は、注目する画像情報が分散方向に位置するからである。
【００４０】
適切な分散を達成するため、エネルギー分散素子２０は電子源３の近傍に配置することが好ましい。この理由は、この領域において電子は比較的低い加速電位を有するので、電子を比較的容易に制御することができる。
【００４１】
分散部材２０としてウィーンフィルタを用いるのが好ましい。このウィーンフィルタは英国特許第１３６４９３０号明細書から既知である。このフィルタでは、磁界と電界は互いに直交すると共に電子の走行方向と直交する。加速電位によって決定される所定の速度ｖを有する電子だけが偏向されず、他の全ての電子は速度に依存する角度で偏向される。
【００４２】
さらに、電界放射源の形態の電子源を用いることにより、極めて有益な利点が達成される。電界放射源の真正な電子源直径は通常の電子源の電子源直径よりもはるかに小さい。従って、これらの電子源の相対的なエネルギー拡散に関し、分散した後の電界放射によって形成されるスポットは長さ対幅比が一層大きくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】エネルギー分散部材を具える本発明による電子ビーム装置を示す線図である。
【図２】電子エネルギー損失分光器を具える本発明による電子ビーム装置を示す線図である。
【符号の説明】
３  電子源
５  高電圧発生器
９  電子光学計
１０  試料ホルダ
１１  物体
１５，１７  対物レンズ
２０  エネルギー分散部材
２１  結像面
２３  傾動装置
【図１】
0003600253.tif 000004
【図２】
0003600253.tif 000005