【手続補正書】
【提出日】平成29年3月6日(2017.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［００１８］下方部分１０４は、処理ガス吸気ポート１１４及び排気ポート１１８に連結され、ベースプレートアセンブリ１２１、下部ドーム１３２、基板支持体１２４、予熱リング１２２、基板リフトアセンブリ１６０、基板支持体アセンブリ１６４、上部加熱ランプアセンブリ１５２及び下部加熱ランプアセンブリ１５４、並びに下部パイロメータ１５８を備える。「リング」という用語は予熱リング１２２などの処理チャンバ１００の特定の構成要素を説明するために使用されるが、これらの構成要素の形状は円形である必要はなく、限定はしないが、長方形、多角形、楕円形などを含む任意の形状を含んでもよいことが企図される。幾つかの実施形態では、ガス供給源１１７は、処理ガス吸気ポート１１４を介して、１つ又は複数の処理ガスを処理チャンバ１００に供給することができる。このような実施形態では、ガス供給源１１７からの処理ガスの流れを制御するためにバルブ又は質量流量コントローラ１１５をガス供給源１１７に連結してもよい。リッド１０６、クランプリング１０８、及び下部ドーム１３２は、石英で形成されるが、これらの構成要素を形成するために他の赤外的に透明（ＩＲ−ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ）な材料及び処理対応材料も使用してもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
［００２６］幾つかの実施形態では、ベース２１０は、電球２０２とは反対側でリフレクタ２０８に連結される。幾つかの実施形態では、ベース２１０は、非導電性材料、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）などのセラミックでつくられる。幾つかの実施形態では、ベース２１０は、図３に関連して以下で説明されるランプソケット３００において保持することなど、加熱ランプ２００に支えを提供することができる。幾つかの実施形態では、ベース２１０は、電球２０２から熱を放熱するために複数のフィン２４４を有する外表面２３８を備える。 
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
［００２７］柄２２４は、リフレクタ２０８とは反対側でベース２１０に連結される。柄２２４は、概して、第１端部２４０及び反対側の第２端部２４２を有する柄の本体２２６を備える。幾つかの実施形態では、柄２２４は、ベース２１０に連結される。幾つかの実施形態では、柄２２４は、柄２２４の第１端部２４０に近接して、柄２２４の内表面に沿って配置される複数のクリップ２４６を有する。幾つかの実施形態では、複数のクリップ２４６は、ベース２１０の外表面２３８に沿って配置される複数の凹部２３６を係合させることによって、柄２２４をベース２１０に連結する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
［００３３］図３は、本発明の幾つかの実施形態による加熱ランプ３００を示す。ランプソケット３００は、図４で説明される加熱ランプアセンブリ４００に連結され、加熱ランプ２００を加熱ランプアセンブリ４００の内部で保持するために使用される。幾つかの実施形態では、ランプソケット３００は、第１端部３０８と第２端部３１０とを有する細長い本体３０６を備える。幾つかの実施形態では、ランプソケットの細長い本体３０６は、加熱ランプ２００を加熱ランプアセンブリ４００の内部に設置するときに加熱ランプ２００が細長い本体３０６を通過するように、第１端部３０８において第１開口部３１８、及び第２端部３１０において第２開口部３２０を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
［００３５］幾つかの実施形態では、ランプソケット３００は、加熱ソケット３００を加熱ランプアセンブリ４００に連結するための第１端部３０８に近接する複数のファスナ３１２を備える。幾つかの実施形態では、ファスナ３１２は取付ネジである場合がある。幾つかの実施形態では、取付ネジは、第１端部３０８に近接するベース３１６の周りで不等間隔に離間される。例えば、幾つかの実施形態では、ランプソケット３００は、複数のファスナ３１２として３つの取付ネジを備え、それぞれ互いから約１３５度、約１３５度、及び約９０度離れるように離間される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
［００３７］幾つかの実施形態では、加熱ランプアセンブリ４００は、側壁４０４を有する環状体４０２を備える。幾つかの実施形態では、側壁４０４は、外表面４０６と内表面４０８とを有する。幾つかの実施形態では、内表面４０８は、環状体４０２内の中央開口部４１０を画定する。幾つかの実施形態では、複数の開口部４１２は、加熱ランプ２００の電球２０２が中央開口部４１０を通るように側壁４０４を貫通して配置される。幾つかの実施形態では、ランプソケット３００は、第１端部３０８で加熱ランプアセンブリ４００の外表面４０６に連結される。幾つかの実施形態では、ランプソケット３００は、複数のファスナ３１２によって外表面４０６に連結される。幾つかの実施形態では、ランプソケット３００は、開口部４１２で外表面４０６に連結される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
［００３８］加熱ランプ２００は、第２端部３１０に近接する開口部を介して、ランプソケット３００に挿入することができ、又はランプソケット３００から取り除くことができる。ランプソケット３００の第２端部３１０に近接する開口部を介して、加熱ランプ２００を設置することにより、有利には、処理チャンバ１００から加熱ランプアセンブリ４００全体を取り除かずに加熱ランプ２００を加熱ランプアセンブリ４００内に設置することが可能になる。第１端部３０８に近接する開口部及び加熱ランプアセンブリ４００の側壁４０４内の開口部４１２を貫通するように配置される電球２０２が加熱ランプアセンブリの中央開口部４１０の内部に配置されるまで、加熱ランプ２００は、ランプソケット３００の細長い本体３０６を貫通するように配置される。柄２２４の輪郭部２６４によって、有利には、加熱ランプ２００を加熱ランプアセンブリ４００内に設置するときに加熱ランプ２００上のグリップの改善がもたらされる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
［００４０］幾つかの実施形態では、対向するランプソケット３００のベース３１６にわたる距離が約３０９ｍｍであり、加熱ランプアセンブリ４００が２４個よりも少ない加熱ランプ２００を備える場合、加熱ランプ２００間の間隔は電球２０２によって画定される。例えば、２０個の加熱ランプ２００を使用する加熱ランプアセンブリ４００において、電球２０２の直径が約２６ｍｍであり、ランプソケット３００のベース３１６の幅が約４９ｍｍである場合、加熱ランプ２００間の角度は約９度である。幾つかの実施形態では、対向するランプソケット３００のベース３１６にわたる距離が約３０９ｍｍであり、加熱ランプアセンブリ４００が２４個以上の加熱ランプ２００を備える場合、加熱ランプ２００間の間隔はランプソケット３００によって画定される。例えば、２４個の加熱ランプ２００を使用する加熱ランプアセンブリ４００において、電球２０２の直径が２６ｍｍであり、ランプソケット３００のベース３１６の幅が４９ｍｍである場合、加熱ランプ２００間の角度は約７．５度である。