(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素からオゾンを生成するオゾン発生機と、上記オゾンの供給を受けてオゾンを吸着するオゾン吸脱着塔と、上記オゾンの吸着時に上記オゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段と、上記オゾンの脱着時に上記オゾン吸脱着塔を加温する加温手段と、上記オゾン吸脱着塔を減圧してオゾン水を生成するエゼクタを備えた間欠オゾン供給装置において、上記冷却手段および上記加温手段を並列に配管で接続し、上記並列配管の出口側に接続して上記冷却手段からの冷却水または上記加温手段からの加温水を上記オゾン吸脱着塔へ供給する第１の共通配管と、上記並列配管の入口側に接続して上記オゾン吸脱着塔からの水を上記冷却手段または上記加温手段に送る第２の共通配管を設けたことを特徴とする間欠オゾン供給装置。
【請求項２】
上記第１の共通配管に冷却水及び加温水を循環させるためのポンプを設けたことを特徴とする請求項１記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項３】
上記冷却手段の吐出側に冷却水用タンクを設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項４】
上記冷却手段の入口側及び出口側にそれぞれ２方弁を設けると共に、上記加温手段の入口側及び出口側にもそれぞれ２方弁を設けたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項５】
上記冷却手段及び上記加温手段の並列配管の出口側と上記第１の共通配管の接続部に取り付けられコモン側を上記第１の共通配管側に接続した３方弁と、上記冷却手段及び上記加温手段の並列配管の入口側と上記第２の共通配管の接続部に取り付けられコモン側を上記第２の共通配管側に接続した３方弁を設けたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項６】
上記オゾン吸脱着塔の入口側及び出口側にそれぞれオゾン濃度計を設けると共に、上記オゾン濃度計の出力信号を差動比較する差動比較器を設けたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項７】
上記冷却手段の吐出側に当該冷却手段制御用温度検出器を設けたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項８】
上記加温手段におけるヒータと電源との間に半導体素子で構成された電力制御装置を設けたことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の間欠オゾン供給装置。
【請求項９】
上記冷却手段と上記オゾン発生機との間に冷却水用配管を設けたことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の間欠オゾン供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、間欠オゾン供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
オゾンは強力な酸化力を持ちかつ無公害なため、環境及び化学分野等で広く適用されるようになっている。このオゾンを使用する方法として、連続的に使用する方法と間欠的に使用する方法がある。以下、間欠的オゾン使用方法を採用するに至った過程について簡単に説明する。
【０００３】
発電所や化学工場などの冷却水系では、水管路内壁や熱交換器に藻類、貝類などの微生物が付着し、送水量の低下、冷却水配管の閉塞及び熱交換効率の低下を引き起こし、そのメンテナンスに多大の労力を費やすとともに、大量のエネルギー損失が生じている。
また、半導体関連の超純水製造ラインにおいても微生物が発生し、製品の不良率を高める要因の一つとなっている。
【０００４】
このような異物付着を防止するために、従来は塩素系殺菌剤を大量に投与する方法が行われてきたが、この方法は残留塩素系殺菌剤の流出による環境汚染等の副次的な問題が派生し、分解後も系内に塩素イオンが残るといった問題がある。
【０００５】
一方、オゾンは塩素よりも強力な殺菌剤であり、しかも水中で比較的短時間に無害な酸素分子に分解するため、付着防止剤として優れている。しかしながら、オゾンの生成コストは塩素に比べて高価である。そこで、高濃度のオゾンを例えば１日数回（１〜２回）、短時間（各５分間）で間欠的に注入することにより微生物付着を防止できることが見い出され、この目的に沿った間欠オゾン供給装置が開発されるに至った。
【０００６】
図１５は従来のこの種の間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
図において、酸素を原料としてオゾンを発生するオゾン発生機３１と、このオゾン発生機３１により発生したオゾンを吸着剤（例：シリカゲル）により吸着し、加温により脱着するオゾン吸脱着塔３２と、このオゾン吸脱着塔３２によって吸着できなかったオゾンを循環する循環ブロワ３３により循環系が構成されており、オゾン発生機３１は冷却装置３１ａにより冷却されている。酸素供給源３４によりオゾン発生のための酸素が供給され、オゾン循環時電動弁３５ａ，３５ｂが開となり、そしてオゾン吸脱着塔３２を減圧し、オゾンを脱着するときに電動弁３５ｃが開となる。温ブラインタンク３６はオゾン吸脱着塔３２を加温するためのブラインを保有しており、ヒータ３６ａは、当該ブラインを加温するために設けられ、電磁接触器の接点３６ｂは、ブライン温度を調整するため、商用電源３６ｃを入、切している。冷凍機３７はオゾン吸着時、オゾン吸脱着塔３２を冷却するものであり、エゼクタ３８はオゾン脱着時、当該オゾン吸脱着塔３２を減圧するものである。
【０００７】
次に、上記装置の動作について説明する。
図１６は本装置の動作シーケンスを示す図である。この動作はオゾン吸着動作とオゾン脱着動作に分けられる。
まずオゾン吸着動作について説明すると、オゾン発生機３１、オゾン吸脱着塔３２、循環ブロワ３３はこの順に循環系を構成しており、電動弁３５ａ，３５ｂは開、電動弁３５ｃは閉である。オゾン発生機３１で生成したオゾンは吸脱着塔３２へ導入され、ここでオゾンのみが吸着剤で吸着される。オゾン発生機３１は、オゾンを生成している期間（オゾン発生中）、冷却装置３１ａにより冷却される。オゾン吸脱着塔３２で吸着されるオゾン量は吸着剤（例：シリカゲル）が低温であるほど大となるので、オゾン吸着期間には冷凍機３７により−３０℃以下に冷却される。
【０００８】
次にオゾン脱着動作について説明する。オゾンの脱着動作に入ると、電動弁３５ａ，３５ｂは閉となり、電動弁３５ｃが開となって、温ブラインタンク３６内のブラインが吸脱着塔３２に流れ、吸着動作時低温に冷却されていた吸着剤を予め設定された時間だけ昇温させてオゾンの脱着を促進する。該ブラインは、ヒータ３６ａによって加温され、さらに、該ブラインの温度を調整するため、商用電源３６ｃを図１６で示すように電磁接触器の接点３６ｂで入、切する。
【０００９】
オゾン脱着のための温ブラインによる加温動作が完了すると、エゼクタ３８に水が流れ、回路を減圧吸引して、電動弁３５ｃが開となってオゾンを吸脱着塔３２より脱着し、オゾン水を生成する。
なお上記のようにオゾン吸脱着塔３２を減圧吸引して、オゾンを脱着するためには、本装置の外部よりエゼクタ３８に水が流れている条件を本装置へ入力することが必要である。
脱着終了後は酸素充填動作を行ない再度吸着動作が開始する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従来の間欠オゾン供給装置は、以上のように構成されているので、冷凍機からオゾン吸脱着塔につながる冷却用配管と、温ブラインタンクからオゾン吸脱着塔につながる加温用配管の２種類の配管を設置する必要があり、構造が複雑となる等の問題点があった。
【００１１】
又、オゾン吸脱着塔は、冷凍機の冷媒（例えばフロン）で直接冷却されているので、オゾン吸脱着塔の所用冷却容量に対し、冷凍機の冷却能力が大き過ぎる場合、当該冷凍機が頻繁に運転、停止を繰り返すことになり、冷凍機の安定な動作を保つことが難しかった。
【００１２】
更に、オゾン脱着動作時間は、タイマーによって予め設定されているため、オゾン吸脱着塔の吸着剤によるオゾンの吸着状態を確認することができないので、オゾン吸脱着塔によるオゾンの吸着が、既に飽和状態であるにもかかわらず、オゾン発生機がその後も継続してオゾンを発生し続けるという無駄な動作が生じる欠点があった。
【００１３】
又、温ブラインの温度制御は、電磁接触器の接点を入、切することにより行なっていたため、ヒータの容量が大容量の場合、電磁接触器の接点開放時のアークにより、接点が摩耗するという問題点、及び電磁接触器の接点の入、切での瞬時の商用電源の加圧によるストレスのため、ヒータの断線等が生じる問題点があった。
更に、オゾン吸脱着塔を冷凍機の冷媒（フロン）で直接冷却していたため、オゾン発生機を冷却するためには別に冷却装置を設ける必要があった。
【００１４】
この発明は上記のような問題点を解決するためになされたものであり、オゾン吸脱着塔だけでなく、間欠オゾン供給装置全体の構成をより簡単にし、コストの低減と装置運転時の安定性を確保することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係る間欠オゾン供給装置は、酸素からオゾンを生成するオゾン発生機と、オゾンの供給を受けてオゾンを吸着するオゾン吸脱着塔と、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段と、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段と、オゾン吸脱着塔を減圧してオゾン水を生成するエゼクタを備えた間欠オゾン供給装置において、冷却手段および加温手段を並列に配管で接続し、並列配管の出口側に接続して冷却手段からの冷却水または加温手段からの加温水をオゾン吸脱着塔へ供給する第１の共通配管と、並列配管の入口側に接続してオゾン吸脱着塔からの水を冷却手段または加温手段に送る第２の共通配管を設けたものである。
【００１６】
この発明の請求項２に係る間欠オゾン供給装置は、第１の共通配管に冷却水および加温水を循環させるためのポンプを設けたものである。
【００１７】
この発明の請求項３に係る間欠オゾン供給装置は、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段の吐出側に冷却水用タンクを設けたものである。
【００１８】
この発明の請求項４に係る間欠オゾン供給装置は、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段の入口側及び出口側にそれぞれ２方弁を設けると共に、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段の入口側及び出口側にもそれぞれ２方弁を設けたものである。
【００１９】
この発明の請求項５に係る間欠オゾン供給装置は、冷却手段及び加温手段の並列配管の出口側と第１の共通配管の接続部に取り付けられコモン側を第１の共通配管側に接続した３方弁と、冷却手段及び加温手段の並列配管の入口側と第２の共通配管の接続部に取り付けられコモン側を第２の共通配管側に接続した３方弁を設けたものである。
【００２０】
この発明の請求項６に係る間欠オゾン供給装置は、オゾン吸脱着塔の入口側及び出口側にそれぞれオゾン濃度計を設けると共に、オゾン濃度計の出力信号を差動比較する差動比較器を設けたものである。
【００２１】
この発明の請求項７に係る間欠オゾン供給装置は、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段の吐出側に冷却手段制御用温度検出器を設けたものである。
【００２２】
この発明の請求項８に係る間欠オゾン供給装置は、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段におけるヒータと電源との間に半導体素子で構成された電力制御装置を設けたものである。
【００２３】
この発明の請求項９に係る間欠オゾン供給装置は、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段とオゾン発生機との間に冷却水用配管を設けたものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による間欠オゾン供給装置の構成を示したものである。
図において、酸素を原料として無声放電等によってオゾンを生成するオゾン発生機１と、このオゾン発生機１により発生したオゾンを吸着剤（例：シリカゲル）により吸着するとともに加温によって該オゾンを脱着するオゾン吸脱着塔２と、このオゾン吸脱着塔２によって吸着出来なかったオゾンを循環する循環ブロワ３により循環系が構成されている。酸素供給源４によりオゾン発生のための酸素が供給され、オゾン循環時電動弁５ａ，５ｂが開となり、そしてオゾン吸脱着塔２を減圧し、オゾンを脱着するときに電動弁５ｃが開となる。温ブラインタンク６はオゾン吸脱着塔２を加温するためのブラインを保有しており、ヒータ６ａは、当該ブラインを加温するために設けられ、電磁接触器の接点６ｂは、ブライン温度を調整するため、商用電源６ｃを入、切している。冷却装置７はオゾン吸着時、オゾン吸脱着塔２を冷却するものであり、エゼクタ８はオゾン脱着時、当該オゾン吸脱着塔２を減圧するものである。
冷却水および加温水は循環ポンプ９により循環されると共に、冷却水および加温水はオゾン吸着時及びオゾン脱着時に第１の共通配管１０ａ，第２の共通配管１０ｂを介して流される。
【００２５】
次に動作について説明する。
図２は本実施形態１の動作シーケンスを示す図であり、この動作はオゾン吸着動作、オゾン脱着動作とに分けられる。
まずオゾン吸着動作について説明する。
オゾン発生機１、オゾン吸脱着塔２、循環ブロワ３をそれぞれ運転させ、電動弁５ａ，５ｂを開とし、電動弁５ｃを閉とする。この時、オゾン発生機１、オゾン吸脱着塔２、循環ブロワ３はこの順に酸素の循環系を構成しており、酸素供給源４からは循環系内圧が一定（０．７kg/cm2Ｇ）になるよう酸素が供給される。
【００２６】
オゾン発生機１で生成したオゾンは、オゾン吸脱着塔２へ導入され、ここでオゾンのみが吸着剤（例：シリカゲル）により吸着される。オゾン発生機１でオゾン化されなかった酸素は、循環ブロワ３により再度、オゾン発生機１へ返還されて循環使用される。オゾン吸脱着塔２で吸着されるオゾン量は吸着剤（例：シリカゲル）が低温であるほど大となるので、オゾン吸着期間には冷却装置７による冷却水が、循環ポンプ９、第１の共通配管１０ａ、オゾン吸脱着塔２、第２の共通配管１０ｂの経路でオゾン吸脱着塔２に流れ、−３０℃以下に冷却する。
このように予め設定された時間、オゾンをオゾン吸脱着塔２に吸着させて、オゾンの吸着動作を完了する。
【００２７】
次にオゾンの脱着動作について説明する。オゾンの脱着動作に入ると、電動弁５ａ，５ｂは閉、電動弁５ｃが開となり、予めヒータ６ａで昇温（通常４０℃）された温ブラインタンク６内のブライン（加温水）が、循環ポンプ９、第１の共通配管１０ａ、オゾン吸脱着塔２、第２の共通配管１０ｂの経路でオゾン吸脱着塔２に流れ、吸着動作時低温に冷却されていた吸着剤を予め設定された時間だけ昇温させてオゾンの脱着を促進する。
オゾン脱着のための加温水による加温動作が完了すると、エゼクタ８に水が流れ、回路を減圧吸引して、オゾンをオゾン吸脱着塔２より脱着し、オゾン水を生成する。
【００２８】
オゾンの吸着動作は長時間（１１〜２３時間）かけて行なうが、オゾンの脱着は上記のようにオゾン吸脱着塔２の昇温（３０〜６０分）、減圧（約５分）により短時間で行なわれる。脱着終了後は酸素充填動作を行ない再度上記吸着動作が開始する。
【００２９】
本実施の形態１では、オゾン吸脱着塔２の冷却水用配管及び加温水用配管とを共用すると共に、冷却水および加温水を循環させるための循環ポンプ９をも共用にしたことにより、オゾン吸脱着塔２の構造だけでなく、間欠オゾン供給装置全体の構成が簡単になり、組立コストの低減が図れる効果がある。
【００３０】
実施の形態２．
上記実施の形態１では、オゾン吸脱着塔２の冷却水及び加温水用配管１０ａ，１０ｂと該冷却水及び加温水の循環ポンプ９を共用化する場合について述べたが、本実施の形態２では、上記実施の形態１の構成に加えて、冷却装置７の吐出配管側に、冷却水用タンク１１を設けた場合について述べる。
【００３１】
図３は本実施の形態２による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。図において、冷却水用タンク１１が冷却装置７の吐出側に設置されており、オゾン吸脱着塔２の所要冷却容量が大きい場合には、この冷却水用タンク１１から多量の冷却水を排出するようにし、反対に、当該オゾン吸脱着塔２の所要冷却容量が小さい場合には、この冷却水用タンク１１から少量の冷却水を排出するようにする。このように冷却水用タンク１１の水量を調整することにより、オゾン吸脱着塔２の所要冷却容量と冷却装置７の冷却能力の平衡を保つことが容易となる。
【００３２】
実施の形態３．
上記実施の形態１，２では、温ブラインタンク６と冷却装置７とを隔離するバルブが取り付けられていないため、オゾンの吸着及び脱着動作時に、加温水と冷却水が混合し、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じることがある。そこで実施の形態３においては、加温水と冷却水が混合しないようにバルブを設けた。
【００３３】
図４は本実施の形態３による間欠オゾン供給装置を示す構成図、図５は動作シーケンスを示す図である。図４においては図３の構成に加えて、冷却装置７の入口側及び出口側に２方電動弁１２ａ，１２ｂが取り付けられており、更に温ブラインタンク６の入口側及び出口側にも２方電動弁１２ｃ，１２ｄが取り付けられている。
【００３４】
本実施の形態の動作については、図５における動作タイムチャートに示すように、オゾン吸着時に、バルブ１２ａ，１２ｂを開とすると共に、バルブ１２ｃ，１２ｄを閉とし、更にオゾンの脱着時にはバルブ１２ａ，１２ｂを閉とすると共に、バルブ１２ｃ，１２ｄを開とすることにより、加温水と冷却水が混合することによる、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じることを抑制できる。
【００３５】
実施の形態４．
図６は本実施の形態４による間欠オゾン供給装置を示す構成図、図７は動作シーケンスを示す図である。図６においては、図３の構成に加えて、コモン側をオゾン吸脱着塔２を循環する冷却水及び加温水の第１及び第２の共通配管側に接続した３方電動弁１３ａ，１３ｂが設けられている。
【００３６】
本実施の形態の動作については、図７の動作タイムチャートに示すように、オゾン吸着時には、３方電動弁１３ａ及び１３ｂの冷却装置７側のみ開とし、温ブラインタンク６側を閉とすることにより、冷却水を循環ポンプ９によりオゾン吸脱着塔２に流し、更にオゾン脱着時には温ブラインタンク６側のみ開とし、冷却装置７側を閉とすることにより、加温水を循環ポンプ９によりオゾン脱着塔に流すことができる。以上のように構成することによる、加温水と冷却水が混合することにより、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じることを抑制でき、さらに実施の形態３の場合に比較して、バルブの個数を低減できる効果がある。
【００３７】
実施の形態５．
上記実施の形態１〜４または従来技術においては、オゾン吸着動作時間は、タイマーによってあらかじめ設定されているため、オゾン吸脱着塔２の吸着剤によるオゾンの吸着状態を確認することが出来なかった。このため、オゾン吸脱着塔２によるオゾンの吸着が、すでに飽和状態であるにもかかわらず、オゾン発生機１がその後も継続してオゾンを発生し続けるという無駄な動作が生じる欠点があった。
【００３８】
そこで本実施の形態５では、図８の構成図に示すように、オゾン吸脱着塔２の入口側及び出口側にオゾン濃度計１４ａ及び１４ｂを取り付け、該オゾン濃度計１４ａ及び１４ｂの出力信号（電気信号）を差動比較する差動比較器１５を取り付けることとした。
【００３９】
図９は本実施の形態５における動作シーケンスを示す図であり、図９の動作タイムチャートに示すように、オゾン濃度計１４ａ及び１４ｂの出力信号を差動比較器１５で比較し、オゾン濃度計１４ａ及び１４ｂの出力信号の差が、規定値以下になった時点で、差動比較器１５によりパルス信号を出力し、オゾン吸着動作を終了し、脱着動作を開始することとする。以上のように構成することにより、オゾン吸脱着塔２によるオゾンの吸着が、飽和状態となった時点で、オゾン発生機１によるオゾン発生を停止できる効果がある。
【００４０】
実施の形態６．
図１０は実施の形態６による間欠オゾン供給装置を示す構成図であり、図１０に示すように、冷却用タンク１１の出口側に温度検出器１６を取り付け、更に当該温度検出器１６からの信号に基づき、冷却装置７の操作を制御する制御装置１７を設置する。
上記のような構成において、冷却装置７は、常に冷却用タンク１１の出口温度が一定（通常−３０℃）となるように制御装置１７によって制御されるため、冷却装置７の安定した動作を得ることができる効果がある。
【００４１】
実施の形態７．
上記実施の形態１〜６または従来技術においては、温ブラインの温度制御は、電磁接触器の接点６ｂを入、切することにより行なっていたため、ヒータ６ａの容量が大容量の場合、該電磁接触器の接点６ｂ開放時のアークにより、接点が摩耗するという不具合、及び電磁接触器の接点６ｂの入、切によるストレスのため、ヒータの断線等が生じるという不具合が発生することがあった。
【００４２】
そこで、本実施の形態７では、図１１の構成図に示すように、ヒータ６ａと商用電源６ｃ間に、電磁接触器の接点６ｂの代わりにサイリスタレギュレータ１８等の半導体素子で構成された電力制御装置を接続すると共に、このサイリスタレギュレータ１８に温度信号を送出する温度検出器１９を温ブラインタンク６内に設ける。
【００４３】
図１２は本実施の形態７の動作シーケンスを示す図であり、図１２の動作タイムチャートに従い、動作について説明する。温ブラインタンク６のブライン温度が上昇したことを温度検出器１９が検出すれば、温度検出器１９からサイリスタレギュレータ１８に温度信号が送られ、サイリスタレギュレータ１８によって、ヒータ６ａへの印加電圧が小さくなるように制御し、逆に、温ブラインタンク６のブライン温度が下降したことを温度検出器１９が検出した場合は、サイリスタレギュレータ１８によって、ヒータ６ａへの印加電圧が大きくなるように制御し、常にブラインの温度を設定温度となるように制御することができる。
【００４４】
以上のように、本実施の形態によれば、サイリスタレギュレータ１８が半導体素子で構成されているため、電磁接触器接点の摩耗をなくし、更に、瞬時に商用電源を印加することが無くなるため、ヒータの断線等が生じる不具合を防止できる効果がある。
【００４５】
実施の形態８．
従来例においては、オゾン吸脱着塔を冷凍機の冷媒（フロン）で直接冷却していたため、オゾン発生機を冷却するためには、冷却装置を別に設ける必要があった。
そこで、本実施の形態８では、図１３の構成図に示すように、オゾン発生機１の冷却水入口側に電動弁２１ａを介して冷却水用配管２０ａを設け、当該配管２０ａをオゾン吸脱着塔２につながる冷却水配管１０ａに接続し、さらに該オゾン発生機１の冷却水出口側に電動弁２１ｂを介して冷却水用配管２０ｂを設け、当該配管２０ｂをオゾン吸脱着塔２につながる冷却水配管１０ｂに接続する。
【００４６】
図１４は本実施の形態８の動作シーケンスを示す図であり、図１４の動作タイムチャートに従い、動作について説明する。
オゾン吸着時は、オゾン発生機１がオゾンを発生しているため、電動弁２１ａ及び２１ｂを開とし、冷却装置７からオゾン発生機１へ冷却水が流れ、オゾン発生機１を冷却する。次にオゾン脱着時には、オゾン発生機１がオゾン発生を停止しているため、電動弁２１ａ及び２１ｂを閉とし、オゾン吸脱着塔２にのみ加温水を提供する。
【００４７】
以上のように、本実施の形態によれば、オゾン発生機１を冷却するための冷却水をオゾン吸脱着塔２を冷却するための冷却装置７より供給できるため、オゾン発生機専用の冷却装置が削除できる効果がある。
【００４８】
【発明の効果】
この発明の請求項１における間欠オゾン供給装置によれば、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段から供給される冷却水の配管と、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段から供給される加温水の配管とを、第１及び第２の共通配管で接続したので、オゾン吸脱着塔の構造だけでなく、間欠オゾン供給装置全体の構成が簡単になり、組立コストの低減が図れる効果がある。
【００４９】
この発明の請求項２における間欠オゾン供給装置によれば、第１の共通配管に冷却水および加温水を循環させるためのポンプを設けたので、簡単な構成で冷却水及び加温水を有効に送出することができる。
【００５０】
この発明の請求項３における間欠オゾン供給装置によれば、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段の吐出側に冷却水用タンクを設けたので、冷却水用タンクの水量を調整することにより、オゾン吸脱着塔の所要冷却容量と冷却装置の冷却能力の平衡を保つことが容易となる。
【００５１】
この発明の請求項４における間欠オゾン供給装置によれば、オゾンの吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段の入口側及び出口側にそれぞれ２方弁を設けると共に、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段の入口側及び出口側にもそれぞれ２方弁を設けたので、加温水と冷却水が混合することによる、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じることを抑制することができる。
【００５２】
この発明の請求項５における間欠オゾン供給装置によれば、冷却手段及び加温手段の並列配管の出口側と第１の共通配管の接続部に取り付けられコモン側を第１の共通配管側に接続した３方弁と、冷却手段及び加温手段の並列配管の入口側と第２の共通配管の接続部に取り付けられコモン側を第２の共通配管側に接続した３方弁を設けたので、加温水と冷却水が混合することによる、加温水の温度低下及び冷却水の温度上昇が生じることを抑制でき、さらに２方弁の場合に比べて、バルブの個数を低減できる効果がある。
【００５３】
この発明の請求項６における間欠オゾン供給装置によれば、オゾン吸脱着塔の入口側及び出口側にそれぞれオゾン濃度計を設けると共に、このオゾン濃度計の出力信号を差動比較する差動比較器を設けたので、オゾン吸脱着塔によるオゾンの吸着が飽和状態となった時点で、オゾン発生機によるオゾン発生を停止することができる。
【００５４】
この発明の請求項７における間欠オゾン供給装置によれば、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段の吐出側に冷却手段制御用温度検出器を設けたので、冷却手段の出口温度が一定となるように制御され、冷却装置の安定した動作を得ることができる。
【００５５】
この発明の請求項８における間欠オゾン供給装置によれば、オゾンの脱着時にオゾン吸脱着塔を加温する加温手段におけるヒータと電源との間に半導体素子で構成された電力制御装置を設けたので、電磁接触器接点が摩耗することを回避でき、更にヒータの断線等が生じる不具合を防止できる効果がある。
【００５６】
この発明の請求項９における間欠オゾン供給装置によれば、オゾン吸着時にオゾン吸脱着塔を冷却する冷却手段とオゾン発生機との間に冷却水用配管を設けたので、オゾン発生機専用の冷却装置が不要となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１による間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【図３】この発明の実施の形態２による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図４】この発明の実施の形態３による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。【図５】この発明の実施の形態３による間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【図６】この発明の実施の形態４による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図７】この発明の実施の形態４による間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【図８】この発明の実施の形態５による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図９】この発明の実施の形態５による間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【図１０】この発明の実施の形態６による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図１１】この発明の実施の形態７による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図１２】この発明の実施の形態７による間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【図１３】この発明の実施の形態８による間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図１４】この発明の実施の形態８による間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【図１５】従来の間欠オゾン供給装置を示す構成図である。
【図１６】従来の間欠オゾン供給装置の動作タイムチャート図である。
【符号の説明】
１  オゾン発生機、２  オゾン吸脱着塔、６  温ブラインタンク、７  冷却装置、
８  エゼクタ、９  ポンプ、１０ａ  第１の共通配管、１０ｂ  第２の共通配管、
１１  冷却水用タンク、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ  ２方弁、
１３ａ，１３ｂ  ３方弁、１４ａ，１４ｂ  オゾン濃度計、１５  差動比較器、
１６  温度検出器、１７  制御装置、１８  電力制御装置、
２０ａ，２０ｂ  冷却水用配管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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