(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体が流れる流路と、前記被測定流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量を検出する流量検出手段と、前記調節弁を制御して前記流量検出手段により検出した検出流量を設定値に近づける制御手段と、外部から流量設定値変更指示を入力する入力手段と、該入力手段により入力した流量設定値変更指示により変更された設定値へ前記検出流量が近づいたことを判定する判定手段と、
該判定手段による判定結果を電気信号として外部へ出力する出力手段とを備えた流量制御装置と、
前記流量制御装置へ流量設定値変更指示を送出する指示手段と、
前記流量制御装置の出力手段による出力をインターロックに用いて制御信号を生成する外部装置制御手段と、
該外部装置制御手段により生成された制御信号をもとに、前記判定手段が前記設定値へ前記検出流量が近づいたとの判定を行なった後に、前記流量制御装置により制御される加工装置によってワークを処理する次の製造ライン工程を開始する外部装置とを備えた生産装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、流量制御装置を利用した生産装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、特開平６−３４１８８０号公報に開示された従来の流量制御装置の構成を示すブロック図である。図６において、２００は流量制御装置、１０２はセンサ、１０３はセンサ１０２と並列に設けられたガス流通路であるバイパス、１０４はバルブ、１０５はセンサ管、１０６ａおよび１０６ｂはサーモレジスタ、１０７はブリッジ回路、１０８は増幅回路、１０９はガスの流量を設定するためのコントロール信号入力端子が備えられた設定器、１１０は比較制御回路、１１１は流量の表示器、１１２は電源である。
【０００３】
次に、動作について説明する。
ガスの流量は設定器１０９により設定される。ガスの流量を設定するには、設
定器１０９を操作して出力電圧を適正値とすることにより流量を調整する。
【０００４】
ガスがセンサ管１０５を通過したとき、そのガスの比熱によりサーモレジスタ
１０６ａ，１０６ｂが冷却されてその抵抗値が変化する。この２個のサーモレジスタ１０６ａ，１０６ｂの抵抗値変化をブリッジ回路１０７より出力として取り出し、その抵抗値の変化量をガスの流量に対応させて増幅回路１０８よりセンサ信号として電気的に出力する。ガスはバイパス１０３により分流され、センサ流量との分流比から総流量が検知される。外部に設けられた切替スイッチにより制御モードに設定されたときは、前記増幅回路１０８からのセンサ信号を比較制御回路１１０で設定器１０９の設定信号と比較して、該比較制御回路１１０の出力にもとづいて流量制御用のバルブ１０４を制御して目的の流量になるように制御する。
また、このような流量制御装置は半導体製造工程や各種製品の生産工程に用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の流量制御装置は以上のように構成されていたので、流量の設定を設定器１０９の出力電圧により設定するため、このような流量制御装置を各種製品の生産工程に用いた場合、前記生産工程で流量を頻繁に切り替える必要があるときには、前記設定器１０９をいちいち操作して流量の設定変更作業を行う必要が生じ、生産現場には利用しにくい課題があった。
また、図示されていないが、設定器１０９から比較制御回路１１０への設定が電圧入力で行われているため、このような場合はノイズ除去のためのＣＲローパスフィルタを介して信号入力が行われるのが一般的である。従って、設定器１０９の設定値電圧信号を瞬時に切り替えてもＣＲローパスフィルタによる時間遅れが生じるために、比較制御回路１１０での設定値変更に遅れが生じてしまい、瞬時に設定値変更ができないという問題がある。
【０００６】
また、生産工程にこのような流量制御装置を適用した場合、通常、流量が設定値に達して安定してから次の工程が開始されるようにする必要があるが、流量が安定したことを外部から、知ることが出来ない従来の流量制御装置では表示器１１１を作業員が目視して確認してから次の工程を開始しなければならないなど、生産現場には利用しにくい課題があった。
【０００７】
また、このような従来の流量制御装置を利用した生産装置において各工程ごとに流量調整を行う必要がある場合、流量が設定値に達して流量が安定したことを作業員が表示器１１１により目視で確認し、その後、次の工程の開始操作を行うことになるため、人手による操作の介入の度合いの大きい生産装置となってしまう課題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、外部からの指令により迅速な流量設定切替えを可能にし、また流量調整時に流量が安定した状態へ移行したことを外部へ出力できる流量制御装置を得ることを目的とする。
【０００９】
また、この発明は、外部からの指令により迅速な流量設定切替えを可能にし、また流量調整時に流量が安定した状態へ移行したことを外部へ出力できる流量制御装置を利用した、工程ごとの流量調整について人手による操作の介入の度合いを低減できる生産装置を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る生産装置は、被測定流体が流れる流路、前記被測定流体の流量を調節する調節弁、前記被測定流体の流量を検出する流量検出手段、前記調節弁を制御して前記流量検出手段により検出した検出流量を設定値に近づける制御手段、外部から流量変更指示を入力する入力手段、該入力手段により入力した流量設定値変更指示により変更された設定値へ前記検出流量が近づいたことを判定する判定手段、該判定手段による判定結果を電気信号として外部へ出力する出力手段を備えた流量制御装置と、前記流量制御装置へ流量設定値変更指示を送出する指示手段と、前記流量制御装置の出力手段による出力をインターロックに用いて制御信号を生成する外部装置制御手段と、該外部装置制御手段により生成された制御信号をもとに、前記判定手段が前記設定値へ前記検出流量が近づいたとの判定を行なった後に、前記流量制御装置により制御される加工装置によってワークを処理する次の製造ライン工程を開始する外部装置とを備えるようにしたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態及び本願を把握する上での参考例について説明する。
参考例．
図１は、この参考例の流量制御装置を示す構成図であり、図１において２１は流量制御装置である。この流量制御装置２１はソレノイド弁（調節弁）を備え、外部から遠隔操作で前記ソレノイド弁の開度を調節するようにし、かつ、流量が設定値に達して流量が安定したことを判定し、外部へ出力できるようにしたものである。
【００１２】
２２は流量制御装置２１の流路ブロック、２３は入口配管接続用ブロック、２
５は被測定流体が流れる円形断面の流路である。また、３１は被測定流体の流れを整えるステンレス製の整流用金網、３２はステンレス製の整流用金網３１を挟持するリング状のスペーサ、３３はスペーサ３２を係止するための段部、３４は被測定流体の流量を検出するマイクロフローセンサである。
【００１３】
なお、この参考例の被測定流体としては、例えば、空気、窒素、アルゴ
ン、炭酸、酸素などの気体を対象としているが、これに限られず液体用の流量計であってもよい。
【００１４】
マイクロフローセンサ３４には、例えば、本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細書等において開示した半導体ダイアフラム構成のものを使用するとができる。すなわち、このマイクロフローセンサ３４は、図示例を省略するか、発熱部とこの発熱部の上流側および下流側に配設された２つの温度検出部を有し、これら２つの温度検出部によって検出される温度の差を一定に保つために必要な発熱部に対する供給電力から流速に対応する流量を求めたり、あるいは一定電流または一定電力で発熱部を加熱し、２つの温度検出部によって検出される温度の差から流量を求めるたりすることが出来るように形成されている．そしてこのマイクロフローセンサ３４は、熱絶縁された極めて薄いダイアフラム構造を採用しているため、高速応答、低消費電力という特長を備えている。
３５〜３７は例えば合成ゴムからなるＯリングである。
【００１５】
４１は被測定流体の流れを制御するソレノイド弁（調節弁）、４２は被測定流体が流れる流路４３と流路４４とが形成された弁座、４５は流路４３と流路４４とを連通する弁室、４６は弁室４５に収納されて流路４４を開閉する弁体、４７は弁体４６に連結された磁性体のプランジャ、４８は通電されてプランジャ４７を上下させるソレノイドコイル、４９は流路ブロック２２と弁座４２との間をシールするシールリングである。
【００１６】
５１は制御部、５２はマイクロフローセンサ３４からのセンサ信号を処理する信号処理回路、５３はソレノイド弁４１を駆動する駆動回路、５４は制御部５１に所定の指令信号を入力するための入力スイッチ、５５は現在の運転状態を表示するＬＥＤ表示灯、５６は被測定流体の流量または動作モードを文字表示する４桁の７セグメント表示器である。
【００１７】
５７は信号処理回路５２によって処理された被測定流体の流量の検出値、入力スイッチ５４からの指令信号および外部から送られてくる指令信号を入力し、これら流量の検出値と指令信号などにもとづいて駆動回路５３を制御するＣＰＵ（制御手段、入力手段、出力手段、判定手段）である。
【００１８】
なお、外部からＣＰＵ５７に与えられる被測定流体の流量設定値変更の指令信号は、例えば流量設定値を直接ＢＣＤ（２進化１０進数）データで、図示していないＰＩＯ（パラレル入出力インタフェース）を介してパラレルに、または図示してないＳＩＯ（シリアル入出力インタフェース）を介してシリアルにＣＰＵ５７へ迅速に与えることが出来る。
【００１９】
あるいはまた、流量の設定値の切替信号をＰＩＯを介してパラレルに、または図示してないＳＩＯを介してシリアルにＣＰＵ５７へ与えることで、外部から流量の設定値を間接的に設定することが出来る。この場合、あらかじめ使用する複数の設定値をＣＰＵに番号を付して送ってＲＡＭ６１に記憶させておき、この設定番号を例えばＢＣＤデータで送ることにより、より迅速にＣＰＵ５７へ流量設定変更指令を送ることが出来る。なお、使用する複数の設定値および設定番号は、前記ＰＩＯやＳＩＯを介して外部から送っておいてもよいし、後述する入力スイッチ５４による操作にて設定しておいてもよい。
【００２０】
５８はＣＰＵ５７に電源を供給するとともに外部からＣＰＵ５７へ与えられる前記指令信号を入力したり、ＣＰＵ５７と外部との間で授受される、後述する流量設定変更時に流量が設定値に達して安定した状態へ移行したときに、この安定した状態へ移行したことを外部へ報知するための流量制御状態報知信号などを入出力するコネクタ（入力手段、出力手段）、５９は設定操作や演算処理のためのアルゴリズム、入力スイッチ５４による操作により入力された設定値、または外部から入力された指令信号に応じた設定値に流量を制御する制御用プログラム（制御手段）５９ａ、外部からＣＰＵ５７へ与えられる前記指令信号を入力して流量設定の遠隔操作を可能にするための遠隔操作用制御プログラム（入力手段、出力手段）５９ｂ、また流量調整時に流量が安定した状態へ移行したことを検出し、この安定した状態へ移行したことを外部へ報知可能にするための図２に示す流量制御状態検出用プログラム（判定手段）５９ｃなどがあらかじめ書き込まれているＲＯＭである。６０はこの流量制御装置に応じたパラメータ等を記憶したＥＥＰＲＯＭ、６１は測定された流量データなどを随時保存するＲＡＭである。
【００２１】
５４−１は動作モードを切り替えるときに押すＲＵＮスイッチ、５４−２は設定値を変更する時の変更桁の桁送りを行うときに押すＳＨＩＦＴスイッチ、５４−３、５４−４は、それぞれ設定値を変更するときに押すダウンスイッチ（▽）、アップスイッチ（△）、５４−５は、アップスイッチ５４−４、ダウンスイッチ５４−３により設定値を変更したとき、変更したその設定値を確定させるときに押すＥＮＴスイッチであり、ＥＮＴスイッチ５４−５はアラーム、リセットや積算リセット等をするスイッチとしても使用される。５４−６は７セグメント表示器５６の表示内容を切り替えるときに押すＤＩＳＰスイッチであり、表示内容はＤＩＳＰスイッチ５４−６を押す毎に瞬時ＰＶ値（流量計測値）→瞬時ＳＰ値（流量設定値）→積算ＰＶ値→瞬時ＰＶ値→・・・のように循環して切り替わる。
【００２２】
５５−１は７セグメント表示器５６に表示された内容がＳＰ表示のときに点灯
するＳＰランプ、５５−２は７セグメント表示器５６に表示された内容がＰＶ表
示のときに点灯するＰＶランプ、５５−３は流量が設定値に達して安定した状態に移行したときに外部への出力と同時に点灯し、また、動作モードが全開モードのときに点滅するＯＫランプ、５５−４は異常検出時に点灯するＡＬＡＲＭランプ、５５−５は７セグメント表示器５６に表示された内容が積算流量を示すときに点灯するＬランプ、５５−６は７セグメント表示器５６に表示された内容が瞬時流量を示すときに点灯するＬ／ｍｉｎランプである。
【００２３】
次に、動作について説明する。
外部から流量制御装置のＣＰＵ５７へ被測定流体の流量設定値変更の指令信号が与えられると、ＣＰＵ５７は前記遠隔操作用制御プログラム５９ｂにより前記指令信号を受信し、受信した前記指令信号に応じた流量設定値とマイクロフローセンサ３４により検出した現在の流量とから、マイクロフローセンサ３４により検出した流量が前記指令信号により指示された流量になるように、駆動回路５３を介してソレノイド弁４１の開度を調節する。次いで、図２に示す流量制御状態検出用プログラム５９ｃにより流量が設定値に達して安定した状態へ移行したことを検出し、この安定した状態へ移行したことを外部へ報知可能にする。また、この時ＯＫランプ５５−３を点灯することにより、流量制御装置２１本体でも流量が設定値に達して安定した状態へ移行したことを知ることが出来る。
【００２４】
すなわち、図２のフローチャートに示すように、先ず、現在の流量が設定値とほぼ一致して安定した流量にある状態（以下、整定という）か否かを判定し（ステップＳＴ１）、整定状態にあれば、設定値（ＳＰ）と計測値（ＰＶ）との差の絶対値が、整定の範囲（ＯＫ＿ＲＮＧ）とヒステリシス整定範囲（ＯＫ＿ＨＹＳ）を加算した範囲（ＯＫ＿ＲＮＧ＋ＯＫ＿ＨＹＳ）内に入っているか否かを判定する（ステップＳＴ６）。
【００２５】
図３は、流量の測定値ＰＶにおける整定の範囲（ＯＫ＿ＲＮＧ）とヒステリシス整定範囲（ＯＫ＿ＨＹＳ）、および流量の設定値ＳＰを示す説明図である。
【００２６】
前記ステップＳＴ６による判定の結果、前記範囲内に入っていると整定判定を行う（ステップＳＴ５）。この判定結果は、流量制御状態報知信号として遠隔操作用制御プログラム５９ｂによりコネクタ５８から出力される。
【００２７】
一方また、前記ステップＳＴ６による判定の結果、前記範囲内に入っていない場合にはＮＧ判定を行う（ステップＳＴ７）。この判定結果は、流量制御状態報知信号として遠隔操作用制御プログラム５９ｂによりコネクタ５８から出力される。
【００２８】
ステップＳＴ１において、現在の流量が設定値により指示された流量になっていない状態であれば、整定判定用カウントアップタイマＴＭＲを起動させ（ステップＳＴ２）、次に、設定値（ＳＰ）と計測値（ＰＶ）との差の絶対値が、整定の範囲（ＯＫ＿ＲＮＧ）内に入っているか否かを判定する（ステップＳＴ３）。この判定の結果、整定の範囲（ＯＫ＿ＲＮＧ）内に入っていない場合はＮＧ判定を行う（ステップＳＴ７）。一方、前記整定の範囲内に入っていれば、ステップＳＴ２で起動させた整定判定タイマＴＭＲがタイプアップした（ＴＭＲのタイマ値がＴｏｋ）か否かを判定する（ステップＳＴ４）。この結果、タイムアップしていなければステップＳＴ３およびステップＳＴ４の処理を繰り返し、またタイムアップしていれば整定判定を行う（ステップＳＴ５）。この判定結果は、流量制御状態報知信号として遠隔操作用制御プログラム５９ｂによりコネクタ５８から出力される。
なお、この場合、出力される流量制御状態報知信号は１または０の２値信号である。
【００２９】
図４は、流量検出にマイクロフローセンサ３４を用いた流量制御装置の応答特性を示す特性図である。同図（イ）に示すような比較的応答性の遅いもの、または同図（ロ）に示す高速応答のもの、いずれであっても図２に示す流量制御状態検出用プログラムでは対応可能である。
【００３０】
以上のように、この参考例によれば、外部から与えられる流量の指令信号や切替信号により、流量制御装置における流量の設定値を迅速に切り替えることが出来るため、従来の流量制御装置のように流量設定値を変える必要が生じるたびに作業員がいちいち流量設定変更作業を行う必要がなくなり、流量変更について人手による操作の介入の度合いを低減でき、各種製造工程に用いて好適な流量制御装置が得られる効果がある。
【００３１】
また、流量設定値を変更した場合に、流量が変更後の流量で安定したこと示す流量制御状態報知信号を外部へ出力することが出来るため、設定変更時の流量の整定の把握が離れた位置から容易かつ確実にでき、各種製造工程に用いて好適な流量制御装置が得られる効果がある。
【００３２】
実施の形態１．
次に、前記参考例で説明した流量制御装置を利用した生産装置について説明する。
図５は、この実施の形態１の生産装置の構成を示すブロック図であり、以下、生産装置として蛍光灯の製造ラインを例にして説明する。
図５において、２１ａ，２１ｂ，２１ｃは流量制御装置であり、前記参考例の図１に示した流量制御装置２１と同一の構成であり、流量制御装置２１ａはガスバーナ用の燃焼ガスの流量を制御する。また流量制御装置２１ｂは前記燃焼ガスと混合する空気の流量を制御する。また流量制御装置２１ｃは前記燃焼ガスと混合する昇温用の酸素の流量を制御する。
【００３３】
７２，７４，７６は前記被測定流体の流量設定値の指令信号や切替信号、前記流量制御状態報知信号などの入出力のためのＰＩＯまたはＳＩＯなどの入出力回路（入力手段、出力手段）である。
【００３４】
８１は前記流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃからの燃焼ガス、空気、酸素などの混合流体が柔軟な燃料管を通して供給されるガスバーナ、８２はガスバーナ８１を支持部材で支持してガスバーナ８１を移動させるバーナ移動装置（外部装置）、８３はマウントのフレア処理、ガラス管へのマウント封止、排気管切断などの処理を受けるワークである。８４はワーク８３を回転させる回転装置（外部装置）、８５はワーク供給装置（外部装置）、８６は制御装置（外部装置制御手段）、９１はバーナ移動装置８２、回転装置８４、ワーク供給装置８５などへ制御信号を出力するための出力回路、９２はバーナ移動装置８２、回転装置８４、ワーク供給装置８５などの状態信号や流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃから出力される前記流量制御状態報知信号などを制御装置８６へ入力するための入力回路、９３は前記被測定流体の流量設定値についての指令信号または切替信号を流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃへ出力する指示手段である。
【００３５】
次に、動作について説明する。
この実施の形態では流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃにおける流量設定を加熱モード／待機モードに切り替えて制御する。すなわち、加熱モードはワークを加工するのに十分な熱量を発生する動作状態であり、待機モードはバーナの炎が消失しない程度に燃焼量を抑えた動作状態である。先ず、指示手段９３により前記加熱モードへ切り替え、前記流量設定値についての指令信号または切替信号を流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃへ出力する。流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃは前記指令信号または切替信号をそれぞれ受信し、各流量制御装置のＣＰＵ５７は受信した前記指令信号により指示された流量の設定値または前記切替信号により切り替えた流量の設定値とマイクロフローセンサ３４により検出した現在の流量とから、マイクロフローセンサ３４により検出した流量が前記指令信号により指示された流量になるように、駆動回路５３を介してソレノイド弁４１の開度を調節する。
【００３６】
次に、各流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃは、前記参考例で説明した図２に示す流量制御状態検出用プログラムにより流量が安定した状態へ移行したことを検出し、この安定した状態へ移行したことを示す流量制御状態報知信号を制御装置８６へ出力する。
制御装置８６はこの流量制御状態報知信号を受信すると、受信した流量制御状態報知信号をインターロック（流量制御信号が所定の状態にならないときはバーナ移動装置８２の動作が許可されないようにすること）に用いてバーナ移動装置８２を制御し、ワーク供給装置８５から供給され回転装置８４へクランプされているワークに対する加熱位置へガスバーナ８１を接近させ、ガスバーナ８１の炎によりワーク８３の所定の位置を加熱する処理を行う。また、制御装置８６は回転装置８４へ回転指示を与え、ワークを回転させる。このワーク８３を加熱する処理にはマウントのフレア処理、ガラス管へのマウント封止、排気管切断などの処理がある。
【００３７】
ワークが所定の角度回転すると、回転装置８４から制御装置８６へ回転完了を示す信号が出力される。この結果、制御装置８６は、各流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃへガスバーナ８１の炎を絞るための流量設定についての指令信号または切替信号を出力する。
流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃは前記指令信号または切替信号をそれぞれ受信し、各流量制御装置のＣＰＵ５７は受信した前記指令信号により指示された流量の設定値または前記切替信号により切り替えた流量の設定値とマイクロフローセンサ３４により検出した現在の流量とから、マイクロフローセンサ３４により検出した流量が前記指令信号により指示された流量になるように、駆動回路５３を介してソレノイド弁４１の開度を調節し、流量を減少させる。
【００３８】
次に、前記参考例で説明した図２に示す流量制御状態検出用プログラムにより流量が安定した状態へ移行したことを検出し、この安定した状態へ移行したことを示す流量制御状態報知信号を制御装置８６へ出力する。
制御装置８６はこの流量制御状態報知信号を受信すると、受信した流量制御状態報知信号をインターロックに用いてバーナ移動装置８２へ後退指示を出力する。
これら処理が完了すると、前記処理の完了したワーク８３は次の工程へ移動供給される一方、次のワーク８３がワーク供給装置８５から供給され回転装置８４へクランプされる。
【００３９】
制御装置８６は、前記処理の完了したワーク８３が次の工程へ移動供給され、次のワーク８３がワーク供給装置８５から供給され回転装置８４へクランプされる間、待機モードに移行しており、ガス、空気、酸素の各流量を減少させ、ガスバーナ８１の炎を絞った状態に制御している。
【００４０】
そして、次のワーク８３がワーク供給装置８５から供給され回転装置８４へクランプされると、制御装置８６は加熱モードに対応した指令信号または切替信号を各流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃへ出力し、ガス、空気、酸素の各流量を前記指令信号が指示する設定値または前記切替信号により切り替えた設定値に制御し、ガスバーナ８１の炎を大きくする。
各流量制御装置２１ａ，２１ｂ，２１ｃは流量制御状態検出用プログラムにより流量が前記設定値に安定したことを検出し、この安定した状態へ移行したことを示す流量制御状態報知信号を制御装置８６へ出力する。
【００４１】
制御装置８６は、前記流量制御状態報知信号を受信すると、受信した流量制御状態報知信号をインターロックに用いてバーナ移動装置８２を制御し、ガスバーナ８１の位置をワーク８３の加熱位置へ移動させ、また回転装置８４にクランプされたワークを回転させ、ワーク８３に対するマウントのフレア処理、ガラス管へのマウント封止、排気管切断などの処理を行う。
【００４２】
従って、この実施の形態１によれば、ガス元圧やバーナ背圧の変動などが発生しても安定した流量制御を実現し、ワーク８３の安定した加熱処理を行うことができ、不良品の発生率を下げ、製品の品質を安定化できる生産装置が得られる効果がある。
【００４３】
また、待機モード時にガスバーナ８１の炎を絞り込むことができるため、燃料コストを削減できる生産装置が得られる効果がある。
【００４４】
【発明の効果】
この発明によれば、外部から流量変更指示を入力する入力手段、該入力手段により入力した流量変更指示により変更された検出流量が前記設定値へ近づいたことを判定する判定手段、該判定手段による判定結果を電気信号として外部へ出力する出力手段を備えた流量制御装置と、前記流量制御装置へ流量変更指示を送出する指示手段と、前記流量制御装置の出力手段による出力をインターロックに用いて制御信号を生成する外部装置制御手段と、該外部装置制御手段により生成された制御信号をもとに、前記判定手段が前記設定値へ前記検出流量が近づいたとの判定を行なった後に、前記流量制御装置により制御される加工装置によってワークを処理する次の製造ライン工程を開始する外部装置とを備えるように構成したので、ガス元圧やバーナ背圧の変動などが発生しても安定した流量制御が実現でき、また、流量を外部から操作して流量が安定したことを確認した後に次の動作を開始することが出来るため、ワークに対する安定した処理が可能になり、不良品の発生率を下げ、製品の品質を安定化できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の参考例の流量制御装置を示す構成図である。
【図２】この発明の参考例の流量制御装置の流量制御状態検出用プログラムの構成を示すフローチャートである。
【図３】この発明の参考例の流量制御装置の流量の測定値ＰＶにおける整定の範囲とヒステリシス整定範囲、および流量の設定値ＳＰを示す説明図である。
【図４】この発明の参考例の流量制御装置の応答特性を示す特性図である。
【図５】この発明の実施の形態１の生産装置の構成を示すブロック図である。
【図６】従来の流量制御装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ  流量制御装置
５７  ＣＰＵ（制御手段、入力手段、出力手段、判定手段）
５８  コネクタ（入力手段、出力手段）
５９ａ  制御用プログラム（制御手段）
５９ｂ  遠隔操作用制御プログラム（入力手段、出力手段）
５９ｃ  流量制御状態検出用プログラム（判定手段）
７２，７４，７６  入出力回路（入力手段、出力手段）
８２  バーナ移動装置（外部装置）
８４  回転装置（外部装置）
８５  ワーク供給装置（外部装置）
８６  制御装置（外部装置制御手段）
９３  指示手段
【図１】
0003549759.tif 000002
【図２】
0003549759.tif 000003
【図３】
0003549759.tif 000004
【図４】
0003549759.tif 000005
【図５】
0003549759.tif 000006
【図６】
0003549759.tif 000007