(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップ（１、２）と、
前記半導体チップの素子形成面（１ａ、２ａ）に電気伝導性を有する第１の接合部材（４）を介して接合された第１の導体部材（３）と、
前記半導体チップの素子形成面とは反対側の面（１ｂ、２ｂ）に電気伝導性を有する第２の接合部材（４）を介して接合された第２の導体部材（５）と、
前記第１の導体部材における前記半導体チップが接合された面（３ｂ）とは反対側の面（３ａ）に電気伝導性を有する第３の接合部材（４）を介して接合された第３の導体部材（６）と、
前記半導体チップ、前記第１の導体部材、前記第２の導体部材における前記半導体チップと接合している面（５ａ）、及び前記第３の導体部材における前記第１の導体部材と接合している面（６ｂ）を封止する封止部材（９）とを有し、
前記第１の導体部材と前記第３の導体部材との接合面積が、前記第１の導体部材と前記半導体チップとの接合面積よりも小さくなっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記第１の導体部材には、前記封止部材の外周と対向している部位に段差部（３ｃ）が設けられ、この段差部により前記部位において薄肉部（３ｄ）が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
半導体チップ（１、２）と、
前記半導体チップの素子形成面（１ａ、２ａ）に電気伝導性を有する接合部材（４）を介して接合された第１の導体部材（３）と、
前記半導体チップの素子形成面とは反対側の面（１ｂ、２ｂ）に電気的に接続された第２の導体部材（５）と、
前記第１の導体部材における前記半導体チップが接合された面（３ｂ）とは反対側の面（３ａ）に電気的に接続された第３の導体部材（６）と、
前記半導体チップ、前記第１の導体部材、前記第２の導体部材における前記半導体チップと電気的に接続している面（５ａ）、及び前記第３の導体部材における前記第１の導体部材と電気的に接続している面（６ｂ）を封止する封止部材（９）とを有し、
前記第１の導体部材のうち前記封止部材の外周と対向している部位に段差部（３ｃ）が設けられ、この段差部により前記部位において薄肉部（３ｄ）が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
半導体チップ（１、２）と、
前記半導体チップの素子形成面（１ａ、２ａ）に電気伝導性を有する第１の接合部材（４）を介して接合された第１の導体部材（３）と、
前記半導体チップの素子形成面とは反対側の面（１ｂ、２ｂ）に電気伝導性を有する第２の接合部材（４）を介して接合された第２の導体部材（５）と、
前記第１の導体部材における前記半導体チップが接合された面（３ｂ）とは反対側の面（３ａ）に電気伝導性を有する第３の接合部材（４）を介して接合された第３の導体部材（６）と、
前記半導体チップ、前記第１の導体部材、前記第２の導体部材における前記半導体チップと接合している面（５ａ）、及び前記第３の導体部材における前記第１の導体部材と接合している面（６ｂ）を封止する封止部材（９）とを有し、
前記第１の導体部材のうち前記封止部材の外周と対向している部位に段差部（３ｃ）が設けられ、この段差部により前記部位において薄肉部（３ｄ）が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
前記段差部は、前記第１の導体部材のうち前記封止部材と接触している部位に設けられていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第１の導体部材は、前記段差部によって前記第３の導体部材側に突出した形状を成しており、前記半導体チップ側に前記薄肉部が配置されるようになっていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第１の導体部材と前記半導体チップとの接合面積が、前記半導体チップの素子形成面に形成された電極と略同じ大きさであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項８】
前記第１の導体部材の外表面のうち、前記封止部材と接触している部位が酸化されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１つに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップの両面が導体部材と電気的に接続された構成を有する半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップの表裏両面から放熱して表裏両面に電流を流す構成の半導体装置として、図６に示す概略断面図のような構成が考えられる。図６に示すように、半導体チップ１０１の素子形成面（表面）１０１ａには第１の導体部材１０２が配置され、表面１０１ａとは反対の面（裏面）１０１ｂには第２の導体部材１０３が配置されている。また、第１の導体部材１０２における半導体チップ１０１が配置された面１０２ｂとは反対側の面１０２ａには第３の導体部材１０４が配置されている。この第１の導体部材１０２は四角柱形状になっている。
【０００３】
これらの第１〜第３の導体部材１０２〜１０４は、半導体チップ１０１からの放熱を行うと同時に半導体チップ１０１との電気的な経路となっている。従って、放熱性を確保し電気抵抗を小さくするために、半導体チップ１０１と第１〜第３の導体部材１０２〜１０４とは半田等の電気伝導性及び熱伝導性を有する接合部材１０５により接合されている。なお、第１の導体部材が四角柱形状であるため、半導体チップと第１の導体部材との接合面積と第１の導体部材と第３の導体部材との接合面積とはほぼ同じになっている。
【０００４】
また、半導体チップ１０１の所望の位置は制御用端子１０６とボンディングワイヤ１０７により電気的に接続されている。また、第２及び第３の導体部材１０３、１０４のうちの半導体チップ１０１又は第１の導体部材１０２と接合されている面とは反対側の面１０３ｂ、１０４ａが露出するようにして、半導体チップ１０１、第１〜第３の導体部材１０２〜１０４、制御用端子１０６及びボンディングワイヤ１０７が封止部材１０８により封止されている。そして、第２及び第３の導体部材１０３、１０４のうちの封止部材１０８から露出した部位を冷却部材などに当接させて半導体チップ１０１からの放熱を促進するようにする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、通常、半導体チップ１０１はＳｉ（シリコン）からなるものを用い、第１〜第３の導体部材１０２〜１０４としてはＣｕ（銅）を主成分とする金属等を用い、封止部材１０８としては樹脂を用いており、これらのＳｉ、Ｃｕ（Ｃｕ合金）及び樹脂は熱膨張率が異なる。そのため、半導体装置が冷熱サイクルに曝された場合、各部材１０１〜１０４、１０８の変形量が異なることから各部材１０１〜１０４、１０８の変形が部材同士で追従できない。
【０００６】
その結果、第１〜第３の導体部材１０２〜１０４と封止部材１０８との界面において第１〜第３の導体部材１０２〜１０４と封止部材１０８との密着性が劣化する。特に、半導体装置の外表面における第３の導体部材１０４と封止部材１０８との界面からクラックが入り易く、このクラックが各部材を接合している接合部材１０５にまで達してしまう。
【０００７】
接合部材１０５のうち熱膨張率の異なる部材を接合している部位においてクラックが進展し易く、また、第１の導体部材１０２は四角柱形状であり剛性が大きいため、半導体チップ１０１と第１の導体部材１０２とを接合している接合部材１０５にクラックが生じ易い。
【０００８】
そして、半導体チップ１０１と第１の導体部材１０２とを接合している接合部材１０５にクラックが生じると、半導体チップ１０１から第１〜第３の導体部材１０２〜１０４への熱伝導が阻害されて放熱性が劣化し半導体チップ１０１が熱破壊し易くなる。
【０００９】
また、クラックが電気抵抗となり電流容量が不足する。図７は、−４０℃と１２５℃の環境下に半導体装置を各６０分間曝す冷熱サイクル試験を行った結果である。横軸は冷熱サイクルのサイクル数であり、縦軸は第３の導体部材１０４と制御用端子１０６との間の電気抵抗を測定し、初期値を基準とした電気抵抗の変化率で示したものである。
【００１０】
図７に示すように、抵抗変化率は指数関数的に変化し、１０００サイクル程度で急激に大きくなっている。つまり、１０００サイクル程度で、半導体チップ１０１と第３の導体部材１０４との間の接合部材１０５にクラックが進展したことを示している。
【００１１】
そして、半導体チップ１０１のうち第１の導体部材１０２と接合している側には多数の素子が形成されているため、接合部材１０５にクラックが生じることにより以下のような不具合が生じる。
【００１２】
例えば、半導体チップ１０１としてＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）チップを用いた場合の半導体装置の部分拡大図を図８に示す。図８に示すように、半導体チップ１０１の表面１０１ａ側には多数（例えば、数万個）のセル（トランジスタ単位）１０９ａ、１０９ｂが形成され、ゲート電極１１０が形成されている。また、半導体チップ１０１の表面１０１ａのうち、セル１０９ａ、１０９ｂ及びゲート電極１１０上にはＡｌ電極１１１が形成され、Ａｌ電極１１１は接合部材１０５を介して第１の導体部材１０２と接合されている。
【００１３】
半導体チップ１０１と第１の導体部材１０２とを接続している接合部材１０５のうち周辺部に熱応力が集中し易いため、接合部材１０５の周辺部にクラック１１２が形成され中央部はクラック１１２が形成されていない状態となる。
【００１４】
その結果、半導体チップ１０１に形成されている複数のセル１０９ａ、１０９ｂのうち、周辺部に配置されているセル（以下、周辺セルという）１０９ａは、クラック１１２が形成されている部位の接合部材１０５を介して第１の導体部材１０２と電気的に接続された状態となる。
【００１５】
従って、周辺セル１０９ａを流れる電流は図８の矢印Ｉｃ１に示す経路となり、クラック１１２により膜厚５μｍ程度のアルミ電極１１１を介してクラック１１２を迂回する電流経路が形成され、その導通抵抗ＲＡｌが発生する。一方、中央部に配置されているセル（以下、中央セルという）１０９ｂを流れる電流は図８の矢印Ｉｃ２で示される経路となる。この場合の半導体装置の等価回路は図９のように示される。なお、図９では、黒丸間が周辺セルの電気経路を示し白丸間が中央セルの電気経路を示している。
【００１６】
そして、トランジスタのターンオフ時の電流と電圧が図１０に示す特性を有していることから、周辺セル（図１０中黒丸で示す）１０９ａでは図９に示した抵抗ＲＡｌにより電流が減少し、中央セル（図１０中白丸で示す）１０９ｂでは周辺セル１０９ａの分だけ電流が増大する。その結果、中央セル１０９ｂでは電流が増大するほど電圧が小さくなるため更に電流が増大し、周辺セル１０９ａでは電流が減少するほど電圧が大きくなるため更に電流が減少する。
【００１７】
従って、電流が中央セル１０９ｂに集中し、接合部材１０５にクラックが形成されていない場合と比較して半導体チップ１０１に流れる電流が少ない状態で中央セル１０９ｂが熱破壊し易くなってしまう。すなわち、クラックの進展によりＩｃの電流を数万個のセルで分担していたものが、数千個のセルで分担すると該セルの発熱密度が大きくなり、少ないＩｃの電流で熱破壊してしまうのである。
【００１８】
本発明は、上記問題点に鑑み、熱応力に起因する半導体チップと導体部材とを接合している接合部材に対する応力の集中を緩和した半導体装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、半導体チップ（１、２）と、半導体チップの素子形成面（１ａ、２ａ）に電気伝導性を有する第１の接合部材（４）を介して接合された第１の導体部材（３）と、半導体チップの素子形成面とは反対側の面（１ｂ、２ｂ）に電気伝導性を有する第２の接合部材（４）を介して接合された第２の導体部材（５）と、第１の導体部材における半導体チップが接合された面（３ｂ）とは反対側の面（３ａ）に電気伝導性を有する第３の接合部材（４）を介して接合された第３の導体部材（６）と、半導体チップ、第１の導体部材、第２の導体部材における半導体チップと接合している面（５ａ）、及び第３の導体部材における第１の導体部材と接合している面（６ｂ）を封止する封止部材（９）とを有し、第１の導体部材と第３の導体部材との接合面積が、第１の導体部材と半導体チップとの接合面積よりも小さくなっていることを特徴としている。
【００２０】
各部材を接合している第１〜第３の接合部材はその接合面積が小さいほど接合力が小さくなる。そのため、第１の導体部材が四角柱形状である場合と比較して、半導体チップと第１の導体部材とを接合している第１の接合部材よりも第１の導体部材と第３の導体部材とを接合している第３の接合部材にクラックを発生し易くすることができ、熱応力を第３の接合部材によって緩和することができる。その結果、熱応力に起因する半導体チップと導体部材（第１の導体部材）とを接合している接合部材（第１の接合部材）に対する応力の集中を緩和することができる。
【００２１】
また、請求項２〜４に記載の発明では、第１の導体部材に対して、封止部材の外周と対向している部位に段差部（３ｃ）を設け、この段差部によりこの部位において薄肉部（３ｄ）が形成されていることを特徴としている。
【００２２】
この第１の導体部材における薄肉部は剛性が低下するため、半導体装置が冷熱サイクルに曝された際に、この薄肉部が封止部材の変形に追従して熱応力を吸収することができる。そのため、熱応力に起因する半導体チップと第１の導体部材とを接合している接合部材（第１の接合部材）に対する応力の集中を緩和することができる。
【００２３】
また、請求項２〜４の発明において、請求項５に記載の発明のように、段差部を第１の導体部材のうち封止部材と接触している部位に設けても良い。
【００２４】
また、請求項２〜５の発明において、具体的には、請求項６に記載の発明のように、第１の導体部材を、段差部によって第３の導体部材側に突出した形状を成しており、半導体チップ側に薄肉部が配置されるようにすることができる。
【００２５】
また  請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の発明において、第１の導体部材と半導体チップとの接合面積が、半導体チップの素子形成面に形成された電極と略同じ大きさであることを特徴としている。
【００２６】
これにより、半導体チップの素子形成面に形成された電極の外側に第１の導体部材と接触したくない部位が存在しても、好適に半導体チップと第１の導体部材とを接合することができる。
【００２７】
また、請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の発明において、第１の導体部材の外表面のうち、封止部材と接触している部位が酸化されていることを特徴としている。
【００２８】
このように第１の導体部材を酸化させると、封止部材との密着性を向上させることができる。その結果、熱応力に起因する封止部材の変形と第１の導体部材の変形とが追従し、半導体チップと導体部材とを接合している接合部材に対する応力の集中を緩和することができる。
【００２９】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００３０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、図に示す実施形態について説明する。図１は本実施形態の半導体装置の概略断面図である。図１に示すように、本実施形態では半導体チップとしてＩＧＢＴが形成された半導体チップ（以下、ＩＧＢＴチップと略す）１とＦＷＤ（フライホイールダイオード）が形成された半導体チップ（ＦＷＤチップ）２とを用いている。これらの半導体チップ１、２は主としてＳｉからなり、厚みは０．５ｍｍ程度である。
【００３１】
以下、各半導体チップ１、２の外表面のうち、ＩＧＢＴチップ１の素子形成面側の面を表面１ａ、２ａといい、表面１ａ、２ａとは反対側の面を裏面１ｂ、２ｂという。図示しないが、ＩＧＢＴチップ１の表面１ａにはエミッタ電極が形成されており裏面１ｂにはコレクタ電極が形成されている。
【００３２】
各半導体チップ１、２の表面１ａ、２ａには、第１の導体部材としてのヒートシンク（以下、Ｅヒートシンクという）３の裏面３ｂが電気伝導性を有する接合部材（第１の接合部材）としての半田４を介して接合されている。このＥヒートシンク３のうち、ＩＧＢＴチップ１とＥヒートシンク３との接合面積は、ＩＧＢＴチップ１のエミッタ電極と略同じ大きさになっている。
【００３３】
ここで、略同じ大きさとはエミッタ電極と可能な限り大きな面積で接合し、且つＩＧＢＴチップ１のエミッタ電極の外側に形成されＥヒートシンク３とは電気的に接続したくない部位とは接合されないようにすることを示す。
【００３４】
ＩＧＢＴチップ１の表面には、ガードリング等のエミッタ電極と同電位にすると不具合を生じる部位が存在するため、この部位をＥヒートシンク３と接触するとＥヒートシンク３を介してエミッタ電極と同電位になってしまう。従って、ＩＧＢＴチップ１とＥヒートシンク３との接合面積をＩＧＢＴチップ１のエミッタ電極と略同じ大きさにすることにより、好適にＩＧＢＴチップ１とＥヒートシンク３とを接合することができる。
【００３５】
また、各半導体チップ１、２の裏面１ｂ、２ｂには、第２の接合部材としての半田４を介して第２の導体部材５の表面５ａが接合（電気的に接続）されている。また、Ｅヒートシンク３の裏面３ｂとは反対側の面である表面３ａには、第３の接合部材としての半田４を介して第３の導体部材６の裏面６ｂが接合（電気的に接続）されている。
【００３６】
Ｅヒートシンク３と第２及び第３の導体部材５、６としては電気伝導性を有する金属部材を用いることができる。本実施形態ではＥヒートシンク３としてＣｕを用いており、第２及び第３の導体部材５、６としてＣｕ合金を用いている。
【００３７】
第２及び第３の導体部材５、６は板状の部材である。Ｅヒートシンク３は板状の部材であり、後述の様に封止部材で封止した際に封止部材と接触している部位に段差部３ｃが設けられている。
【００３８】
この段差部３ｃによって、Ｅヒートシンク３は第３の導体部材６側に突出した形状を成しており、各半導体チップ１、２側に半導体チップ１の厚み方向に厚みが薄くなっている薄肉部３ｄが配置されるようになっている。また、Ｅヒートシンク３と第３の導体部材６との接合面積が各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合面積よりも小さくなっている。
【００３９】
また、Ｅヒートシンク３のうち各半導体チップ１、２及び第３の導体部材６と接合されている部分には、半田４の濡れ性を良くするためにＮｉメッキ等の表面処理が施されおり、それ以外の外表面、つまり後述の封止部材と接触している部位は酸化されている。また、第２及び第３の導体部材５、６の外表面は全面がＮｉメッキされている。なお、第２及び第３の導体部材５、６及びＥヒートシンク３の最も厚い部位の厚みは１ｍｍ程度となっている。また、薄肉部の厚みは０．４ｍｍ程度となっている。
【００４０】
また、ＩＧＢＴチップ１の表面に形成されたランド（図示せず）とリードフレームに繋がっている制御用端子７とがボンディングワイヤ８を介して電気的に接続されている。
【００４１】
そして、各半導体チップ１、２、Ｅヒートシンク３、第２の導体部材５の表面５ａ、第３の導体部材６の裏面６ｂ、ボンディングワイヤ８、及び制御用端子７の一部が一括して封止部材としての樹脂９により封止されている。この樹脂９としては、例えばエポキシ系モールド樹脂を用いることができる。これにより、第２の導体部材５の裏面５ｂと第３の導体部材６の表面６ａ、及び制御用端子７の一部が露出した状態で各部材１〜８が封止された構成となっている。
【００４２】
このようにして、本実施形態の半導体装置が構成されている。この半導体装置では、各半導体チップ１、２からの発熱を熱伝導性にも優れた半田４を介してＥヒートシンク３と第２及び第３の導体部材５、６に伝え、第２の導体部材５の裏面５ｂ及び第３の導体部材６の表面６ａから放熱を行うことができるようになっている。
【００４３】
また、第２の導体部材５の裏面５ｂ及び第３の導体部材６の表面６ａに冷却部材等を当接させて、更に放熱を促すようにすることができる。また、Ｅヒートシンク３と第２及び第３の導体部材５、６は各半導体チップ１、２との電気的な経路となっている。つまり、第２の導体部材５を介してＩＧＢＴチップ１のコレクタ電極との導通を図り、第３の導体部材６及びＥヒートシンク３を介してＩＧＢＴチップ１のエミッタ電極との導通を図るようになっている。
【００４４】
以上説明したように、本実施形態では、各半導体チップ１、２の表面１ａ、２ａと接合しているＥヒートシンク３に段差部３ｃを設け薄肉部３ｄを形成している。この薄肉部３ｄでは剛性が低くなるため、半導体装置を冷熱サイクルに曝した際に、薄肉部３ｄが周囲の樹脂９の変形に追従して熱応力を吸収することができる。従って、熱応力に起因する半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを接合している半田４に対する応力の集中を緩和することができる。
【００４５】
また、一般に、半田は接合面積が小さいほど接合力が小さくなる。そのため、Ｅヒートシンクが四角柱形状である半導体装置と比較して、本実施形態では、各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合面積よりもＥヒートシンク３と第３の導体部材６との接合面積を小さくすることにより、Ｅヒートシンク３と第３の導体部材６とを接合している半田４にクラックを発生し易くすることができる。
【００４６】
その結果、熱応力が高くなった際に、先にＥヒートシンク３と第３の導体部材６とを接合している半田４にクラックを発生させて熱応力を緩和し、各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを接合している半田４に加わる熱応力を低減することができる。
【００４７】
なお、Ｅヒートシンク３と第３の導体部材６とを接合している半田４に応力が集中してクラックが発生しても、Ｅヒートシンク３と第３の導体部材６とは共にＣｕを主成分とするため、冷熱サイクルによる変形が近似しており、この半田４にクラックが進展していく程度は低い。また、クラックが進展しても、Ｅヒートシンク３と第３の導体部材６とは接合面全体で１つの電流経路となっており、局所的又は全体的に抵抗性分が大きくならないため重大な不具合は生じない。
【００４８】
また、Ｅヒートシンク３のうち樹脂９と接触する部位が酸化されているため樹脂９との密着性を向上させることができる。その結果、熱応力に起因した樹脂９の変形とＥヒートシンク３の変形とが追従し、半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを接合している半田４に対する応力の集中を緩和することができる。
【００４９】
なお、Ｃｕ合金と樹脂９との密着性は、Ｃｕ合金の表面をＮｉメッキした方が高いため、第２及び第３の導体部材５、６の表面は酸化されておらずＮｉメッキされている。
【００５０】
以上のように、各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを接合している半田４に対する熱応力の集中を抑制することができるため、この半田４にクラックが達することを抑制することができる。従って、上記課題で述べたようなＩＧＢＴチップ１の表面（素子形成面）１ａ側に形成された複数のセルのうち、中央セルに電流集中することを抑制することができ、セルの破壊を低減することができる。
【００５１】
また、Ｅヒートシンク３に段差部３ｃを設けることにより、段差部を設けず四角柱形状のものを用いる場合よりも、半導体装置の表面における第３の導体部材６と樹脂９との界面から各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合部までの延面距離を大きくすることができる。そのため、第３の導体部材６と樹脂９との界面で発生したクラックが各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合部まで達するのを遅らせることができる。
【００５２】
実際、本発明者らが、本実施形態のような構成の半導体装置を用いて上記課題で述べ図７で結果を示した冷熱サイクル試験を行ったところ、サイクル数が２０００回程度においても抵抗変化率が急激に大きくなることはなく、図６に示す構成の半導体装置よりも回数の多い冷熱サイクルに耐え得ることを確認した。
【００５３】
次に、上記構成の半導体装置の製造方法について、本製造方法を概略断面にて示す工程図である図２を参照して述べる。まず、第２及び第３の導体部材５、６を板状のＣｕ合金部材等からパンチング等により形成する。その後、第２及び第３の導体部材５、６の外表面全面にＮｉメッキを施す。
【００５４】
また、Ｅヒートシンク３を形成するための板状のＣｕ部材を用意する。そして、このＣｕ部材の表裏両面にＮｉメッキを施す。その後、パンチング等により、Ｎｉメッキを施したＣｕ部材からＥヒートシンク３の大きさのＣｕ部材を形成する。そして、このＣｕ部材をプレスすることによりＥヒートシンク３の段差部３ｃを形成しＥヒートシンク３が完成する。
【００５５】
これにより、Ｅヒートシンク３の外表面のうち各半導体チップ１、２及び第３の導体部材６と接合する部位はＮｉメッキが施され、それ以外の部位は、パンチングによりメッキされていない部位が露出し、プレスによりメッキが剥がれた状態となる。
【００５６】
図２（ａ）に示すように、第２の導体部材５の表面５ａ上に半田４を介して各半導体チップ１、２を接合する。次に、各半導体チップ１、２の表面１ａ、２ａ上に半田４を介してＥヒートシンク３を接合する。
【００５７】
これらの各半導体チップ１、２と第２の導体部材５及びＥヒートシンク３との接合に用いられる半田４は、比較的融点の高いものを用いており、例えば、Ｓｎ（錫）１０ｗｔ％、Ｐｂ（鉛）９０ｗｔ％よりなる融点が３２０℃である半田（以下、高温半田という）４を用いることができる。これにより図２（ａ）に示す状態となり、このものをワーク１０とする。
【００５８】
次に、図２（ｂ）に示すように、第３の導体部材６の裏面６ｂを上にして治具１１上に搭載し、第３の導体部材６の裏面６ｂの所望の位置に半田４を配設し、上記図２（ａ）に示すワーク１０を裏返しにして第３の導体部材６上に搭載する。この第３の導体部材６と各半導体チップ１、２との間の半田４は、上記高温半田４よりも融点の低いものを用いている。例えば、Ｓｎが９０ｗｔ％以上含有されてなり融点が２４０℃のものを用いることができる。以下、この半田４を低温半田という。
【００５９】
さらに、第２の導体部材５の裏面５ｂ上に板状の重り１２を載せる。また、治具１１には第２及び第３の導体部材５、６間の距離を規定するために一定の高さを持ったスペーサ１３が備えられている。この状態が図２（ｂ）に示す状態である。そして、この状態で加熱炉等に入れ、低温半田４のみをリフローさせる。
【００６０】
その結果、重り１２によりワーク１０が加圧され、図２（ｃ）に示すように、低温半田４が押しつぶされ、第３の導体部材６の裏面６ｂと第２の導体部材５の表面５ａとの距離がスペーサ１３の高さになる。これにより、第２の導体部材５と第３の導体部材６の平行度が調整される。
【００６１】
また、各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを位置合わせ、つまりＩＧＢＴチップ１のエミッタ電極のみとＥヒートシンク３とが接合するようにした状態で高温半田４により接合し、Ｅヒートシンク３と第３の導体部材６とは低温半田４により接合している。そのため、第３の導体部材６を接合する際に高温半田４が溶融することはないため、好適に各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合位置を維持することができる。
【００６２】
因みに、高温半田４及び低温半田４の融点が、各々３２０℃、２４０℃である場合、低温半田４のリフロー温度を２５０℃にすると好適である。
【００６３】
その後、図示していないが、ＩＧＢＴチップ１と制御用端子７とをボンディングワイヤ８により電気的に接続し、各部材１〜８を上記図１に示すように樹脂封止する。この樹脂封止は、１８０℃程度の樹脂９を各部材間に注入するため、その際に、Ｅヒートシンク３のうち各半導体チップ１、２及び第３の導体部材６と接合されておらずＣｕが露出している部位が酸化される。このようにして半導体装置が完成する。
【００６４】
なお、一般にＥヒートシンクに対してＮｉメッキを施す場合は、半導体チップと第３の導体部材との間に配置する形状にＥヒートシンクを成形した後に、Ｅヒートシンクをメッキ装置に入れてＥヒートシンクの外表面にメッキを施すと考えられる。従って、この場合にはＥヒートシンクの外表面全面にメッキが施されることになる。そのため、Ｅヒートシンクに配設される半田は、半導体チップや第３の導体部材との接合部位以外の部位にも容易に塗れ広がることができる状態になる。
【００６５】
また、Ｅヒートシンク３の厚みは１ｍｍ程度と非常に薄いため、低温半田４と高温半田４が近接して配置されることになる。そして、ＮｉメッキがＥヒートシンク３の全面に施されていると、低温半田４と高温半田４が所望の部位以外の部位に濡れ広がり、低温半田４と高温半田４が混合する場合がある。その結果、低温半田４よりも更に融点の低い共晶半田が形成され、各部材１〜８を樹脂封止する際に樹脂９の温度（例えば１８０℃程度）により半田（共晶半田）４が溶融してしまう場合がある。
【００６６】
しかしながら、本実施形態ではＥヒートシンク３のうち各半導体チップ１、２及び第３の導体部材６と接合している部位のみＮｉメッキを施しており、低温半田４と高温半田４とがＣｕの酸化面を挟んで配置された状態となる。Ｃｕの酸化面と半田４との濡れ性は低いため、高温半田４或は低温半田４が所望の接合部以外の部位に濡れ広がり、高温半田４と低温半田４が混合することを抑制することができる。
【００６７】
なお、接合部材（第１〜第３の接合部材）としては半田を用いる例について示したが、Ａｇペースト等を用いることができる。また、各接合部材として必ずしも同一のものを用いなくても良い。
【００６８】
（第２実施形態）
本実施形態の半導体装置の概略断面図を図３に示す。本実施形態は、第１実施形態と比較して第３の導体部材６の形状が異なる。以下、主として第１実施形態と異なる部分について述べ、図３中図１と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。
【００６９】
図３に示すように、第３の導体部材６の表面６ａ側に段差部６ｃが形成されている。そして、この段差部６ｃが樹脂９で覆われて封止されている。これにより、半導体装置の表面における第３の導体部材６と樹脂９との界面から各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合部までの延面距離を、第１実施形態の半導体装置よりも更に大きくすることができる。その結果、各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを接合している半田４にクラックが生じることを更に抑制できる。
【００７０】
なお、第３の導体部材６の表面６ａのうち樹脂９により覆われている部位を大きくするほど延面距離を大きくすることができるが、第３の導体部材６の露出面積が小さくなると放熱性が劣化する。従って、放熱性を劣化しない程度に樹脂９で覆うようにする。
【００７１】
（第３実施形態）
図４に本実施形態の半導体装置の概略断面図を示す。本実施形態は、第１実施形態と比較して各半導体チップ１、２と第２の導体部材５との間に導体部材を配置している点が異なる。以下、主として第１実施形態と異なる部分について述べ、図４中図１と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。
【００７２】
図４に示すように、各半導体チップ１、２の裏面１ｂ、２ｂ側において、各半導体チップ１、２と第２の導体部材５とに挟まれて導体部材であるコレクタヒートシンク（以下、Ｃヒートシンクという）１４が配置されている。Ｃヒートシンク１４は各半導体チップ１、２の厚み方向に垂直な方向の面積が、各半導体チップ１、２の同じ方向の面積とほぼ同じになっている。
【００７３】
Ｃヒートシンク１４の各半導体チップ１、２側の面（以下、表面という）１４ａと各半導体チップ１、２の裏面１ｂ、２ｂとが半田４を介して接合されている。また、Ｃヒートシンク１４の表面１４ａとは反対側の面である裏面１４ｂが第２の導体部材５の表面５ａと半田４を介して接合されている。
【００７４】
第２の導体部材５はその厚みに対して面積が大きい場合が多く第２の導体部材５がたわむ可能性がある。また、樹脂９の封入は樹脂９の漏れを防ぐために第２の導体部材５の裏面５ｂと第３の導体部材６の表面６ａとを相当な圧力で挟んだ状態で行う。そのため、第２の導体部材５上に各半導体チップ１、２が配置されている状態で第２の導体部材５がたわんで各半導体チップ１、２と形状が合わなくなると、樹脂９を封入する際に第２の導体部材５と第３の導体部材６を挟む圧力により、各半導体チップ１、２が機械的に破壊される可能性がある。
【００７５】
本実施形態では、各半導体チップ１、２の裏面１ｂ、２ｂ側にＣヒートシンク１４を配置しており、Ｃヒートシンク１４は第２の導体部材５よりも小さいため第２の導体部材５よりもたわみを抑制できる。従って、上記第１実施形態の効果に加えて、各半導体チップ１、２が機械的に破壊されることを抑制することができる。
【００７６】
なお、第２実施形態のように第３の導体部材６の表面６ａに段差部６ｃを設けてその段差部６ｃに樹脂９を充填するようにした構成においても、Ｃヒートシンク１４を配置するようにしても良い。
【００７７】
（他の実施形態）
上記各実施形態では、Ｅヒートシンク３のうち各半導体チップ１、２側に薄肉部３ｄを設けたが、図５の半導体装置の概略断面図に示すように、第３の導体部材６側に薄肉部３ｄを設ける構成にしても良い。
【００７８】
このような構成においても、Ｅヒートシンクが四角柱形状である場合と比較して、剛性の低い薄肉部３ｄにおいて熱応力を吸収して各半導体チップ１、２とＥヒートシンク３との接合部の半田４に熱応力が集中することを緩和することができる。
【００７９】
また、上記各実施形態では、Ｅヒートシンク３に対して樹脂９と接触している部位全体に段差部３ｃを設けた。しかし、半導体チップ１、２とＥヒートシンク３とを接合している半田４に対しては、樹脂９の外周側から中心に向けてクラックが進展しようとするため、樹脂９の外周と対向している部位のみに段差部３ｃを設けるようにしても良い。
【００８０】
なお、樹脂９の外周とは第２の導体部材５と第３の導体部材６とを取り囲んでいる部位の外周であり、図１等において、樹脂９が露出している面のうち各半導体チップ１、２の厚み方向と略平行な面に相当する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の半導体装置の概略断面図である。
【図２】図１に示す半導体装置の製造方法を示す工程図である。
【図３】第２実施形態の半導体装置の概略断面図である。
【図４】第３実施形態の半導体装置の概略断面図である。
【図５】他の実施形態の半導体装置の概略断面図である。
【図６】本出願人が先に検討した半導体装置の概略断面図である。
【図７】図６に示す半導体装置の冷熱サイクル試験の結果を示す図である。
【図８】図６に示す半導体装置の部分拡大図である。
【図９】図８に示す半導体装置の等価回路を示す図である。
【図１０】トランジスタのターンオフ時の電流と電圧の特性を示す図である。
【符号の説明】
１…ＩＧＢＴチップ（半導体チップ）、２…ＦＷＤチップ（半導体チップ）、
３…Ｅヒートシンク（第１の導体部材）、３ｃ…段差部、３ｄ…薄肉部、
４…半田（接合部材）、５…第２の導体部材、６…第３の導体部材、
１ａ、２ａ、３ａ、５ａ、６ａ…各部材の表面、
１ｂ、２ｂ、３ｂ、５ｂ、６ｂ…各部材の裏面、９…封止部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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