(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブのシリンダ孔にガイド部材用保持部材背面のガイド部材保持軸部を嵌め込み、ガイド部材用保持部材の前面側の嵌め込み孔にロッドカバー背面の嵌入軸部を嵌入し、ガイド部材保持軸部にガイド部材を設け、ガイド部材とピストンロッドに設けた旋回用案内溝とを係合させてシリンダチューブ内のピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回するときには軸方向移動を伴うクランプシリンダを構成し、前記ロッドカバーは、ロッドカバーの前記嵌入軸部とガイド部材保持軸部との直径を同じに設定され、そのロッドカバーは上記クランプシリンダと同一のシリンダ孔内径、同一のピストンロッド直径においては、ピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回するときには軸方向移動を伴わない形式のクランプシリンダと、ピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回動作を伴うことなく軸方向移動のみ行う形式のクランプシリンダとの、各形式のクランプシリンダのシリンダチューブの一端部を塞ぐロッドカバーとして適用されるものであり、かつ、そのロッドカバーは自体の側面と背面に、前側、後側シリンダ室へ圧流体を給排するための一対の側面配管ポートとそれらの側面配管ポートに連通する一対の端面配管ポートとを備えていることを特徴とするクランプシリンダのロッドカバー。
【請求項２】
シリンダチューブの一端部をロッドカバーで塞ぎ、シリンダチューブの他端部をヘッドカバーで塞ぎ、ロッドカバーからピストンロッドが突出しているクランプシリンダにおいて、ロッドカバーを請求項１記載のロッドカバーとし、そのロッドカバーの側面及び端面配管ポートを埋栓で塞ぎ、ヘッドカバーに一対のヘッド側配管ポートを設け、一方のヘッド側配管ポートは後側シリンダ室と連通し、他方のヘッド側配管ポートは、シリンダチューブに形成した流体連通路と前記ロッドカバーの配管ポートと連通している連通路を介して前側シリンダ室に連通するようにしたことを特徴とするクランプシリンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、クランプシリンダのシリンダチューブの一端部を塞ぐロッドカバーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のクランプシリンダは、▲１▼シリンダチューブ前端をロッドカバーで塞ぎ、そのロッドカバーのシリンダチューブ内に嵌まり込んでいる軸部分にガイド部材を取付け、そのガイド部材とピストンロッドに設けた旋回用案内溝とを係合させ、ピストンを軸方向に移動させると、ピストンロッドが軸方向移動しつつ旋回するようになっているもの（特公昭６２−５７３９号の第１図）、あるいは、▲２▼ピストンとピストンロッドとが相対回転可能、かつ軸方向相対移動可能であり、ピストンロッドが旋回するときにはピストンロッドは軸方向へ移動しないもの（特公昭６２−５７３９号の第２図）が知られている。これらは、ピストンロッド先端にクランプアームを備えているが、一方で、▲３▼ピストンロッドが単に出没するのみで、ユーザーがそのピストンロッドに適宜クランプ部材を取り付けるようにしたクランプシリンダも知られている。一般に、クランプシリンダのメーカーでは、ユーザーの要求に応じるため、これら各動作形式のクランプシリンダを全て製造するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記では、旋回構造が異なることや、旋回構造を持たないなどの構造上の相違に起因して、従来では、同一のシリンダ孔径かつ同一のピストンロッド径であっても、ロッドカバーの形状が夫々異なっている。これに加えて、従来のものは、各動作形式のクランプシリンダにおいて、特に、ロッドカバーの背面を固定側部材に取付ける取付け面としている場合には、シリンダ室への流体供給の配管ポート位置の相違、即ち、ロッドカバーの側面にポートを設けるか、ロッドカバーの背面に設けるかの違いで、異なる形状のロッドカバーを製作していた。さらに配管ポートをヘッドカバーに設ける場合もあり、この時には、ロッド側には配管ポートが不要となる理由から、全く配管ポートが形成されていないロッドカバーを使用していた。そのため、ロッドカバー形状は配管形式と動作形式を組み合わせた数だけ存在し、部品管理、及び、加工効率の観点から好ましくない問題があった。
この発明の課題は、ロッドカバーを上記各クランプシリンダで共通に適用でき、かつ、配管形式も簡単に選択できる形態として、上記各クランプシリンダを製造する場合に、部品種類を減少させ、安価に製作できるようにすることにある。また、本願発明では、そのようなロッドカバーを使用して、他の配管形式のクランプシリンダと部品を共通としたヘッド側配管形式のクランプシリンダを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題解決のため、この発明のクランプシリンダ用のロッドカバーは、シリンダチューブのシリンダ孔にガイド部材用保持部材背面のガイド部材保持軸部を嵌め込み、ガイド部材用保持部材の前面側の嵌め込み孔にロッドカバー背面の嵌入軸部を嵌入し、ガイド部材保持軸部にガイド部材を設け、ガイド部材とピストンロッドに設けた旋回用案内溝とを係合させてシリンダチューブ内のピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回するときには軸方向移動を伴うクランプシリンダを構成し、前記ロッドカバーは、ロッドカバーの前記嵌入軸部とガイド部材保持軸部との直径を同じに設定され、そのロッドカバーは上記クランプシリンダと同一のシリンダ孔内径、同一のピストンロッド直径においては、ピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回するときには軸方向移動を伴わない形式のクランプシリンダと、ピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回動作を伴うことなく軸方向移動のみ行う形式のクランプシリンダとの、各形式のクランプシリンダのシリンダチューブの一端部を塞ぐロッドカバーとして適用されるものであり、かつ、そのロッドカバーは自体の側面と背面に、前側、後側シリンダ室へ圧流体を給排するための一対の側面配管ポートとそれらの側面配管ポートに連通する一対の端面配管ポートとを備えていることを特徴とする（請求項１）。
このロッドカバーは、上記いずれの動作形式のクランプシリンダに対しても、シリンダ孔内径とピストンロッド径が同一であれば適用でき、しかも、側面配管ポートと端面配管ポートとが設けてあるので、必要に応じていずれかの配管形式とする事が出来、従来、各動作形式毎で、配管形式毎に異なっていたロッドカバーが１種類に統一され、部品管理の点で有利となり、しかも、異なる配管形式、動作形式のクランプシリンダを作る場合でも、ロッドカバーは１種類でよいから製造効率が高く、コストダウンに寄与するところが大きい。
また、このロッドカバーの配管ポートを全て塞ぐことで、ヘッドカバーに、シリンダ室へ流体を給排するヘッド側配管ポートを設けた形式のクランプシリンダへ適用できる（請求項２）。
【０００５】
【発明の実施の形態】
先ず、ピストンの軸方向移動により、ピストンロッドが旋回するときには軸方向移動を伴う第１の動作形式であって、側面、端面配管形式を選択可能なクランプシリンダについて説明する。図１において、１はシリンダチューブでアルミ押し出し又は冷間引き抜きの型材から成り、その周壁１ａ外周には、チューブ軸線方向にセンサ取付け溝２が形成され、また、周壁１ａには、チューブ軸線方向に貫通して、複数のボルト貫通孔３が形成されていると共に流体通過孔（片側配管用の軸方向孔）４ａ，４ｂが形成された断面を有する。流体通過孔４ａは後述のヘッド側配管形式で使用され、流体通過孔４ｂは、側面、端面配管形式で使用される。シリンダチューブのシリンダ孔５は、チューブ外形がアルミ押し出しで形成されている場合でも、冷間引き抜き加工で形成されている。冷間引き抜き加工によりシリンダ孔５が形成されているため、寸法精度が大変良い。そのため、これまでのように鉄系材料（非磁性材料であればステンレス鋼等）で削り出して加工する必要がなく、また、アルミ押し出しでシリンダ孔を形成した場合と比較すると、冷間引き抜き加工したものは切削などの加工が全く不要で安価に生産できる。
【０００６】
７はガイド部材用保持部材で、シリンダチューブ１の外径と同じ外径のフランジ部８と、そのフランジ部８の背面９から軸線後方（図１では下方）へ突出し、シリンダ孔５内部へ大きく入りこむ嵌入軸部としてのガイド部材保持軸部１０と、前面側（図１では上面側）の浅い嵌め込み孔１１を備えている。ガイド部材用保持部材７には、シリンダチューブ１のボルト貫通孔３に対応してボルト貫通孔１２が設けてあり、また、組み付け状態においてロッドカバー１３の後述の第１連通路２２ａと前側シリンダ室Ｐ１とを連通する連通路１４と、シリンダチューブ１の一方の流体連通路４ｂとロッドカバー１３の第２連通路２２ｂとを連通する連絡流路１５ｂが形成してある。また、後述のヘッド側配管形式の場合に、シリンダチューブ１の他方の流体連通路４ａとロッドカバー１３の第３連通孔２２ｃとを連通する連絡流路１５ａが形成してある。
【０００７】
ロッドカバー１３は、ピストンロッドが摺動孔１６内を摺動するので、耐摩耗性の高い鉄系材料、例えばダクタイル鋳鉄でパーライト系の材質から成る。ロッドカバー１３は、外形がシリンダチューブ１の外形よりさらにチューブ半径方向の外側に広がった略矩形を成し、その背面１７から前記前記嵌め込み孔１１に嵌入される短い嵌入軸部１８が突出している（図３）。ロッドカバー１３の前記嵌入軸部１８とガイド部材用保持部材７のガイド部材保持軸部１０との直径は同一径に設定されている。背面１７において、前記ガイド部材用保持部材７のフランジ部８の前端面（上端面）と対向する部分がシール面１９となっている。背面１７のシール面１９の外側は、機械ベースなど固定側部材への取付け面２０となっている。シール面１９と取付け面２０とは同一平面を形成している。
【０００８】
ロッドカバー１３には、その側面１３ａに一対の側面配管ポート２１ａ，２１ｂが設けてある。一方の側面配管ポート２１ａは、嵌入軸部１８の後端面（図１では、下端面）に開口する第１連通路２２ａとシール面１９に開口する第３連通路２２ｃに連通している。第３連通路２２ｃは、後述のヘッド側配管形式で使用される。他方の側面配管ポート２１ｂはシール面１９に開口する第２連通路２２ｂに連通している。また、取付け面２０には、各側面配管ポート２１ａ，２１ｂに連通する端面配管ポート２３ａ，２３ｂが開口している。ロッドカバー１３の背面１７には、さらに前記シリンダチューブ１のボルト貫通孔３と対向して所定深さの有底のめねじ孔２４が形成されている。ロッドカバー１３には、機械ベースなどの固定側部材への取付けボルト１０１用のボルト孔２６が貫通して設けてある。
【０００９】
シリンダチューブ１の後端（図１では下端）はヘッドカバー２７は、前記センサ取付け溝２と対応してセンサ１１０を出し入れするためのセンサ挿通溝２８と、ボルト貫通孔３に対応するボルト孔２９が断面として形成されているアルミの引き抜き型材から構成され、その型材を必要厚さ（必要軸線方向長さ）に切断し、その切断部材を加工して、シリンダ孔５に嵌まり込む短い嵌入軸部３０と、ピストンロッドの後端部が入りこむ逃げ孔３１と、後側シリンダ室Ｐ２と前記流体通過孔４ｂとを連通させる連絡溝３２と、前記ボルト孔２９入り口の座ぐり孔３３が形成されている。ヘッドカバー２７の背面（シリンダチューブ１に対向する面）はすべてシール面３４になっており、前記連絡溝３２は嵌入軸部３０からシール面３４にかけて設けてある。
【００１０】
ロッドカバー１３の背面１７と前記ガイド部材用保持部材７との間、ガイド部材用保持部材７とシリンダチューブ１の前端面（上端面）の間、及び、ヘッドカバー２７とシリンダチューブ１の後端面（下端面）との間には、シール材として薄い板状のガスケット３５，３６，３７が夫々介在される。ガスケット３５〜３７は、弾性を有するゴム材料等から成るシール板の間に薄い金属板（アルミ、あるいは鋼板）を挟んで成る。図６に示すように、ヘッドカバー２７とシリンダチューブ１との間のガスケット３７は、前記センサ挿通溝２８、ボルト孔２９、及び連絡溝３２に対応する部分２８Ｅ，２９Ｅ，３２Ｅが切りかかれており、嵌入軸部３０の外側に嵌め込まれる。一方、ロッドカバー１３とガイド部材用保持部材７との間のガスケット３５は、図５に示すように、めねじ孔２４、第２連通路２２ｂ、端面配管ポート２３ａ，２３ｂ、及び、ボルト孔２６に対応する部分２４Ｅ，２２ｂＥ、２３ａＥ、２３ｂＥ、２６Ｅが切り欠かれており、嵌入軸部１８の外側に嵌め込まれて、シール面１９のみならず、その外側の取付け面２０全体に広がる大きさになっている。第３連通路２２ｃに対応する部分には孔が形成されていないので、この実施形態では第３連通路２２ｃは塞がれる。また、ガイド部材用保持部材７とシリンダチューブ１の前端面との間のガスケット３６は、図７に示すように、前記ボルト貫通孔１２、連絡流路１５ｂに対応する部分１２Ｅ，１５ｂＥが切り欠かれている。
ロッドカバー１３、ガイド部材用保持部材７、シリンダチューブ１、ヘッドカバー２７は、これらのガスケット３５，３６，３７を挟んでヘッドカバー２７のボルト孔２９から４本の締結ボルト３８を通し、締結ボルト３８は、シリンダチューブ１とガイド部材用保持部材７のボルト貫通孔３、１２を通って、先端のおねじ部がロッドカバー１３のめねじ孔２４にねじ込まれて一体に共締めされてシリンダ本体が構成され、共締めされる各部材１３，７，１，２７間は夫々ガスケット３５，３６，３７でシールされる。
【００１１】
ピストンロッド４０はガイド部材用保持部材７とロッドカバー１３の摺動孔１０ａ、１６を貫通して前方へ突出し、突出部にはクランプアーム４１が一体に設けてある。ピストンロッド４０の後部は細径の取付軸部４２に形成され、この取付軸部４２には、シリンダ孔５内を摺動するピストン４３の中心孔４３ａが回動可能に嵌め込んである。取付軸部４２の軸線方向後側（図では下側）には、磁石保持部材４４がピストン４３との間に環状永久磁石４５を挟んで回動可能に嵌め込まれ、その後方から締め付けボルト４６でピストン４３と磁石保持部材４４とを前記取付軸部４２の段部４７との間で挟んでいる。締め付け状態で締め付けボルト４６の座金（抜止部材）４８の前端面４８ａは取付軸部４２の後端面（下端面）に圧接していて、ピストン４３と磁石保持部材４４とを取付軸部４２の段部４７との間で挟持しておらず、ピストン４３と磁石保持部材４４は取付軸部４２に嵌められた状態で、段部４７と座金４８との間に軸方向に僅かな隙間をもっている。そのため、ピストン４３、磁石保持部材４４とピストンロッド４０とは相対回転できる。取付軸部４２とピストン中心孔４３ａとの間には、シール部材（Ｏリング）４９が介在される。
【００１２】
ピストンロッド４０の外周には、図８に展開図で示されるように、断面が半円弧で、直進溝５１と旋回溝５２とからなる旋回用案内溝５０が形成されている。前記ガイド部材用保持部材７のガイド部材保持軸部１０には半径方向にガイド部材用収容孔５３が設けてあり、その収容孔５３には、りん青銅から成り、前記旋回用案内溝５０に係合するガイド部材としての鋼球５４を回転自在に支持する球受部材５５が埋設してある。旋回用案内溝５０は、ピストン４３が後退端（図１）から前進端へ移動すると、鋼球５４との係合でクランプアーム（ピストンロッド）４１がワークＷをクランプしている状態から僅かに前進（上昇）した後、ワークＷと対峙しているクランプ角度位置Ａからアンクランプ角度位置Ｂ（図３参照）に軸線移動しつつ旋回してアンクランプ角度位置Ｂで僅かに前進（上昇）し、逆にピストン４３が前進端から後退端へ移動すると、アンクランプ角度位置Ｂで僅かに直進下降した後、アンクランプ角度位置Ｂからクランプ角度位置Ａに軸線移動しつつ旋回してクランプ角度位置Ａで僅かに直進下降するように形成されている。このクランプシリンダでは、側面配管ポート２１ａ，２１ｂと端面配管ポート２３ａ，２３ｂのいずれか一方の組に配管接続し、他方を埋栓などでふさぐことで側面配管と端面配管との２つの配管形式を選択できる。
【００１３】
次に、上記第１の動作形式でヘッド側配管形式のクランプシリンダを説明する。図９，１０において、前記実施形態と大きく異なるのは、ヘッドカバー１２７である。同一シリンダ孔内径でかつピストンロッド直径が同じである時、シリンダチューブ１の断面、ロッドカバー１３、内部のピストンロッド旋回構造などは同一形状、同一寸法である。この配管形式の場合、ロッドカバー１３側の側面、端面配管ポート２１ａ，２１ｂ，２３ａ，２３ｂは使用しないので、上述の側面、端面配管形式のクランプシリンダとの部品の共通性を持たせるためにそれらのポート２１ａ，２１ｂ，２３ａ，２３ｂの加工はするが全て埋栓ＰＧ１、ＰＧ２により塞いでおく。ヘッドカバー１２７には、一対のヘッド側配管ポート１２８ａ，１２８ｂが設けてある。一方のヘッド側配管ポート１２８ｂは、連通路１２９を介して後側シリンダ室Ｐ２に連通する。他方のヘッド側配管ポート１２８ａは、流体連通孔４ａに対応した位置に開口した斜めの連通路１３０を介して、前述の配管形式では使用していなかった流体連通孔４ａ、ガイド部材用保持部材７の連通路１５ａ、第３連通路２２ｃを介して、側面配管ポート２１ａ、第１連通路２２ａ、連通路１４を経て前側シリンダ室Ｐ１に連通している。この配管形式では、前記配管形式で使用していた流体連通孔４ｂは使用しない。クランプ角度位置Ａにあるクランプアーム４１の長手中心線ＣＬ（図３、１０）に対して、前述のセンサ取付け溝２、ボルト貫通孔３、流体連通孔４ａ，４ｂ、めねじ孔２４、ボルト孔２６、端面配管ポート２３ａ，２３ｂが対称に形成されていることから、上記連通路の連通のために、ガスケット３５，３６，３７は、表裏を反転して使用される。即ち、ガスケット３５では、孔部分２２ｂＥが、第３連通路２２ｃに対応する孔位置２２ｃＥに位置する。ガスケット３６では、孔部分１５ｂＥが、連通路１５ａに対応した孔位置１５ａＥに位置する。ガスケット３７では、切り欠き部３２Ｅが、連通路１３０（流体連通路４ａ）に対応した孔位置１３０Ｅに位置する（夫々、図５〜７において二点鎖線で示す）。
【００１４】
次に、ピストンとピストンロッドとが相対回転可能、かつ軸方向相対移動可能であり、ピストンロッドが旋回するときにはピストンロッドは軸方向へ移動しない第２の動作形式のクランプシリンダであって、ロッド側側面、端面配管形式を選択可能な場合を説明する。第１の動作形式のクランプシリンダとの違いは、内部の旋回構造であるが、このような動作形式そのものは、例えば特公昭６２−５７３９号で公知であるので、簡単に説明する。図１１において、ピストン４３Ａを前進(上昇)させると、ピストン４３Ａは旋回方向をピン７０と軸方向案内溝７１で規制されて軸方向にのみ所定量移動し、一方、ピストンロッド４０Ａはその後端部がヘッドカバー２７Ａとの間で旋回を規制されているのでピストン４３Ａと共に前進し、ワークＷから離れたアンクランプ状態となるとピストンロッド４０Ａのフランジ７２がロッドカバー１３に当接して前進を阻止されると共に、ヘッドカバー２７Ａによるピストンロッド４０Ａの旋回規制が解除され、その状態で、ピストンロッド４０Ａに対してピストン４３Ａが相対的に軸方向に前進移動することで両者間に介在されたガイド部材５４Ａと旋回用案内溝５０Ａとによりピストンロッド４０Ａを軸線方向移動を伴うこと無く所定角度旋回させ、次に、その所定角度旋回した位置から、ピストン４３Ａを後退させると、ピストンロッド４０Ａの後退がへッドカバー２７Ａで阻止された状態で、ピストンロッド４０Ａに対してピストン４３Ａが相対的に軸方向後退移動することでピストンロッド４０Ａが軸線方向移動を伴うこと無く前記と逆方向に所定角度旋回され、次いで、ヘッドカバー２７Ａによるピストンロッド４０Ａの後退阻止がなくなって、ピストンロッド４０Ａが後退して先端のクランプアーム４１でワークＷをクランプするものである。
【００１５】
この動作形式のクランプシリンダでも、前記した第１の動作形態のクランプシリンダと、シリンダ孔５の内径が同一でかつピストンロッド４０Ａの直径が同じである時、シリンダチューブ１の断面、ロッドカバー１３は前記第１の動作形態のクランプシリンダと同一寸法形状である。そのため、この第２の動作形式のクランプシリンダでも、側面と端面配管形式を選択でき、また、前記第１の動作形態のシリンダと同様に、ヘッド側配管を希望する場合には、ヘッドカバーに前記と同様な配管ポートを設けて前後シリンダ室と連通させ、ロッドカバー側の配管ポートは、すべて埋栓で塞げば良い。
【００１６】
さらに図１２には、ピストンロッド４０Ｂが前後するだけの、前述の２つの動作形態と別の第３の動作形態のクランプシリンダを示す。このシリンダでは、内部に旋回機構を持たないことが前記したシリンダと異なる。前記シリンダチューブ１と同一型材でシリンダチューブ１が構成され、シリンダ孔５の内径と、しかもピストンロッド４０Ｂの直径が同じである場合、ロッドカバー１３は、前記した第１、第２の動作形態のシリンダと同一寸法形状である。この動作形態においても、ロッドカバー１３の側面と端面の配管の２つの配管形態、及び、ヘッドカバーを前記した第１の実施形態と同じものに変更することで同一寸法形状のロッドカバーでヘッド側配管にも対応できる。
【００１７】
【発明の効果】
以上のように本願では、１種類のロッドカバーにより、動作形式の異なる３種類のクランプシリンダのシリンダチューブを塞ぐことができ、しかも、ロッドカバー側面と背面とに側面配管ポートと端面配管ポートとを備えているので、各動作形式のクランプシリンダにおいても、夫々必要に応じていずれかの配管ポートを塞ぐことで配管形式を２種類持つ事ができ、これにより、動作形式が異なり、かつ、配管形式の異なる複数のクランプシリンダに対して、１種類のロッドカバーで対応でき、このような異なる形式のクランプシリンダをシリーズ化して製造する場合に、部品種類を少なくできる利点がある。
また、本願ロッドカバーは、ヘッド側配管ポートを備えたシリンダチューブに対しても適用するようにしたので、側面、及び端面配管ポートを塞ぐことでヘッド側配管でき、各動作形式のシリンダにおいて、さらに別の配管形式を採用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の形式のクランプシリンダの縦断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線拡大断面図である。
【図３】図１の平面図である。
【図４】図１のＩＶ視図である。
【図５】ロッドカバー側のガスケットを、シール面、取付け面と共に示す図である。
【図６】ヘッドカバー側のガスケットを示す図である。
【図７】ガイド部材用保持部材のガスケットを示す図である。
【図８】旋回用案内溝を示す展開図である。
【図９】第１の動作形式のクランプシリンダであって別の配管形式のクランプシリンダの平面図である。
【図１０】図９の縦断面図である。
【図１１】本願のヘッドカバーを適用した第２の動作形式のクランプシリンダである。
【図１２】本願のヘッドカバーを適用した第３の動作形式のクランプシリンダである。
【符号の説明】
１  シリンダチューブ
１ａ  周壁
３  ボルト貫通孔
５  シリンダ孔
１３  ロッドカバー
１８  ロッドカバーの嵌入軸部
２４  めねじ孔
３８  締結ボルト
４０  ピストンロッド
５０  旋回用案内溝
５４  鋼球（ガイド部材）
１２８ａ，１２８ｂ  ヘッド側配管ポート
ＰＧ１，ＰＧ２  埋栓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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