(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気トランスデューサを搭載し、記録媒体面に接触するコンタクト面を設けたコンタクトスライダを、繊維強化形複合材料を介在させて支持体に連結し、前記繊維強化形複合材料は、異方性を有する複数の連続繊維複合材料を、繊維の配向度を９０度に交差するように積層した構造であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
磁気トランスデューサを搭載し、記録媒体面に接触するコンタクト面を設けたコンタクトスライダを、繊維強化形複合材料を介在させて支持体に連結し、前記繊維強化形複合材料は、異方性を有する複数の連続繊維複合材料を、繊維の配向度を９０度に交差するように積層した構造であり、前記支持体は、前記コンタクトスライダに荷重を負荷する荷重用ビーム部になりうる可撓体であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
荷重を負荷する荷重用ビーム部となりうる可橈体に取り付けられ、磁気記録媒体に信号の記録あるいは再生可能な磁気トランスデューサを搭載し、回転する磁気記録媒体面上で接触あるいは間欠接触走行しながら記録再生し、かつ前記磁気記録媒体の別の領域へ記録あるいは再生するために移動する磁気ヘッドスライダであって、前記可橈体への取付け部に、前記可橈体および磁気ヘッドスライダの材質とは異なる材質の部材を有し、その異なる材質の部材が繊維強化形複合材料部材で構成され、該繊維強化形複合材料部材は、異方性を有する連続繊維複合材料部材の複数枚を、それぞれの繊維の配向度が９０度に交差するように積層させる構造にしたことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記異方性を有する連続繊維複合材料の２枚の間に、コンタクト部を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
請求項３に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記繊維強化形複合材料部材のマトリックス材が、ポリスチレン、ポリエチレン等の熱可塑性プラスチックからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
請求項３に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記繊維強化形複合材料部材のマトリックス材が、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン等の熱硬化性プラスチックからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
請求項３に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記繊維強化形複合材料部材のマトリックス材が、天然ゴムからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
請求項３に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記繊維強化形複合材料部材のマトリックス材が、ウレタンゴム、アクリルゴム等の合成ゴムからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
請求項３に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記繊維強化形複合材料部材の繊維材料が、ガラス、ボロン、シリコン、カーバイト、アルミナ、安定化ジルコニア、グラファイト、またはカーボンからなることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダの支持体。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置。
【請求項１２】
まわりにマトリック材を付着させた繊維を、一定トルクで巻き付けて板状にし、この板状の部材を乾燥して溶剤を除去して連続繊維複合材料を製造し、この連続繊維複合材料を、１対のプレスで一定圧力で押え付けた状態で加熱炉中で半硬化させ、さらに、２枚の連続繊維複合材料を、それらの繊維の配向度が９０度に交差するように積層して、１対のプレスで一定圧力で押え付けた状態で加熱炉中で硬化させることにより、連続繊維複合材料の異方性を有する積層部材を製造し、次いで、前工程で製造した連続繊維複合材料の積層部材を所定の形状に切り出して、磁気ヘッドスライダとその支持体との連結部材に用いるとともに、前記支持体の裏面に、エッチング等により信号リードパターンを形成することを特徴とする磁気ヘッドスライダおよびその支持体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は磁気ヘッドスライダおよび磁気ディスク装置に係り、特に、高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダおよびその支持体およびその製造方法および磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の磁気ディスク装置に使用されている磁気ヘッドスライダは、従来の動圧気体軸受理論を適用したもので、回転する磁気記録媒体面上で空気軸受面になりうる２本のスライダレール面およびテーパ面から構成され、空気力学的に発生する浮上力と、磁気ヘッドスライダを支持する支持体から加えられた所定の荷重とが釣り合うように、記録媒体面との距離が微小でかつ一定に保ちながら安定浮上している。
【０００３】
走行する記録媒体面上には、ランナウトのような長波長・振幅大うねりから、スライダ長から面粗さ程度までの短波長・振幅微小うねりまでのあらゆる波長・振幅のうねりが存在する。さらに、スライダが記録媒体の別の領域に記録再生するためにシーク（半径）方向に移動する場合、スライダにローリング方向のモーメントが作用する。したがって、スライダがあらゆる波長・振幅のうねりに追従させ、かつシーク方向に対しても動的に安定になるように、スライダは平行（上下）・ピッチング（前後）・ローリング（シーク）モードの３自由度の運動に対して復元力が働くようなスライダ・支持系になっている。
【０００４】
さらに、Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｄｅｓｉｇｎ，５，Ｍａｒｃｈ，１，１９８０年，６０〜６３ページに論じられているような、磁界を印加したり、残留磁界を検出する磁気トランスデューサである従来の電磁誘導型薄膜ヘッドが最小な浮上量となりうる一方のスライダレールの流出端側面に、薄膜素子としてリソグラフィ技術で形成されている。
【０００５】
従来の磁気ヘッドスライダの支持体は、特開昭５５−２２２９６号公報に記載されたように、段状をなす低可撓性横枠によって互いに連結される２つの外側可撓性指部を形成する矩形切欠部と、前記横枠から前記矩形切欠部へ向けて延設される可撓性中央舌状部とを有する可撓体であるジンバル部と、前記ジンバル部を支持する弾性部と荷重用ビーム部を兼用した部材と、前記兼用部材と前記中央舌状部との間に設置された荷重用突起部とを具備している。このような荷重用ビーム部、ジンバル部、荷重用突起部から構成されており、荷重用ビーム部から荷重用突起部を介して加えられた荷重と浮上力との釣り合いを保持し、同時に動的に安定浮上させるために、荷重用突起部を支点として、スライダを平行、ピッチング、ローリングモードの３自由度の動きを可能にしている。
【０００６】
近年、磁気ディスク装置は、高価格の大型機種から、価格のわりに高性能な中型、小型機にユーザがシフトするダウンサイジングが進み、高記録密度化対応の数々の革新的技術の導入が加速されている。例えば、ディスクが小径化すると、従来の電磁誘導型薄膜ヘッドでは、低周速になるために十分な再生出力が得られなくなる。そのため、再生出力が周速に関係しない従来の磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）が実用化されている。
【０００７】
磁気ディスク装置のヘッド・ディスクインターフェースに対する高信頼性、極微小浮上量化の要求もますます厳しいものとなっており、この要求に対して提案されているのがコンタクト記録方式である。コンタクト記録とは、記録媒体面を安定に滑らせながら記録再生する方式であり、磁気トランスデューサと記録媒体面との磁気記録的スペーシング損失が低減でき、記録密度は飛躍的に向上する。
【０００８】
コンタクト記録方式は、動圧気体軸受理論を適用した従来技術の浮上記録方式とは異なり、荷重用ビーム部から伝達された極微小荷重でスライダを押し付け、磁気トランスデューサギャップ部を設けたコンタクト面と記録媒体面に有する多数の微小突起先端が僅かに弾・塑性変形し、その状態を保持しながら記録再生する。このコンタクト機構を振動系として見た場合、非線形バネ（ヒステリシス無）でモデル化できる。これは弾性変形量が大きくなると、接触する微小突起数が増え、復元力も大きくなるからである。しかも、そのバネ係数は空気膜剛性に比べて極めて高く、極微小押付荷重で弾性変形量が極めて微小なため、許容動変位も極微小となる。また、記録媒体面には摩擦係数を低下させ、耐摺動特性を向上させる液体潤滑剤が塗布されており、コンタクト機構はさらに複雑である。
【０００９】
コンタクト記録方式を実用化する場合の問題点として以下がある。
（１）安定コンタクト状態を保持させるためには、記録媒体面に存在する微小うねりに対して、コンタクト面の少なくとも１ヶ所は接触しながら追従させる必要がある。しかし、スライダには常時、接触力（垂直）および摩擦力（面内）の外力およびそれらのモーメントが作用しているため、平行、ピッチング振動により記録媒体面から飛び離れる。さらに、再度媒体面と間欠接触すると、磁気トランスデューサギャップ部と磁性膜面との過渡的スペーシング変動△ｈｍ  が大きくなり、再生波形が変動する。これがコンタクト記録方式の固体同士のうねり追従に対する接触保持が困難な理由である。
【００１０】
さらに、コンタクトスライダを目標トラックに移動するシーク動作においても常時シーク方向に摩擦力が作用し、また、磁気トランスデューサギャップ部を目標トラックに位置決めするときにおいても、ローリング振動、スティックスリップ等の振動があり、サーボシステムに不安定を生じ、高トラック記録密度の実現を低下させる。
【００１１】
浮上記録方式の場合、空気膜には粘性減衰が内蔵されており、良好な追従特性が可能となる。過渡的スペーシング変動を低減するためには、コンタクト記録方式においても、浮上記録方式のような弾性要素と減衰要素を兼ね備えて、平行、ピッチング、ローリングモードの振動エネルギを消散させることが必要になる。
【００１２】
（２）作動中、常時作用する接触力および摩擦力、前記過渡的スペーシング変動△ｈｍ  の間欠接触により、過大な接触力および摩擦力が作用し、コンタクト部と媒体面との接触面同士が定常・過渡的に摩耗する磁気ディスク装置の信頼性が劣化するという問題が生ずる。
【００１３】
以上の問題点を解決するためには、接触力、摩擦力を微小化することである。接触力はスライダ可動部の等価質量、慣性モーメントつまりスライダ形状および押付荷重に依存しているため、それらを摩耗が無視できるほど極力微小化することである。コンタクト部は、空気軸受面になりにくいように面積を微小化し、走行方向の長さを微小化して、うねりに対する追従特性を向上させる必要があるが、逆に摩耗が進行しすぎて、寿命が短くなる。
【００１４】
特開平６−６０３２９号公報に記載されている前記の方式のひとつのコンタクトスライダは、従来の浮上記録方式の小型スライダから単一スライダレールを切り出し、空気軸受面になりうる台座のある短いレッグ部を有する、実質的にＬ字形のスライダ（１．０１６×０．５０８×０．２７９４ｍｍ）に加工する。コンタクト面になりうる摩耗パットは台座上に形成し、磁気トランスデューサの磁極先端およびギャップ部をとり囲む構造になっている。
【００１５】
特開平６−６０３２９号公報に記載されているもうひとつの前記の方式、および特開平６−１５０２８３号公報に記載されている前記の方式のコンタクトスライダは、従来の浮上記録方式の小型スライダの流入端に空気軸受面になりうる２個のレール面で浮上させ、流出端に磁気トランスデューサを有する空気軸受面になりにくい１個のコンタクト面を設けている。
【００１６】
しかし、このような超小型軽荷重のコンタクトスライダをジンバル部に組み込み、３自由度の動きを可能にする支持体および荷重を負荷する荷重用ビーム部の設計、配線技術が問題となる。
【００１７】
前記記録方式の荷重用ビーム部は、長波長うねりによる押付荷重変動を軽減するには、平行モードの剛性を微小化させる。また、安定コンタクト状態を保持させるためには、常にコンタクト部が媒体面に対して平行に接触させ、ピッチング、ローリングモードの剛性を大きくして、ピッチング、ローリング変動を抑制する必要がある。
【００１８】
現在市販されているＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ  Ｔｅｃｈｏｌｏｇｙ社製Ｔｙｐｅ１６５０の支持体は、荷重用ビーム部とジンバル部とを同一部材で一体形成し、ジンバル部は荷重用ビーム部に対して両持ちで連結され、スライダに荷重を伝達する荷重用突起部をなくし、シーク動作による荷重用突起部の滑りを解消し、スライダの位置ずれを防止している。
【００１９】
日本機械学会第７１期通常総会講演会講演論文集（ＩＶ）  １９９４  ｐ６８９〜６９１に記載されている支持体は、荷重用ビーム部とジンバル部とを一体形成し、荷重用ビーム部上に直接信号線パターンを形成し、リード線を排除した。
【００２０】
以上に示す従来の浮上記録方式の支持体を前記記録方式に使用した場合、押付荷重は数ｇｆ程度に設計されおり、平行モードの剛性を微小化させるためには、荷重用ビーム部を長くして極力薄く設計することになるが、同時にピッチング・ローリングに対する剛性も小さくなる。
【００２１】
特開平３−１７８０１７号公報に記載されている前記の方式は、無潤滑の記録媒体面上で、磁気トランスデューサ・スライダ・荷重用ビーム部・配線を一体形成した超小型軽量軽荷重のコンタクトスライダを接触走行させ、垂直磁気記録する方式である。この方式では超軽荷重（１ｍｇｆ以下）であるために摩耗量を微小化できるが、荷重用ビーム部のピッチング・ローリングモードの剛性が極めて小さいため、コンタクト部を媒体面に対して平行でかつ良好に接触させることが困難である。
【００２２】
上記特開平６−６０３５２号公報に記載されている前記の方式は、磁気トランスデューサ・スライダ・荷重用ビーム部・配線を一体形成した超小型軽量軽荷重のコンタクトスライダの荷重用ビーム部になりうる可撓体に歪ゲージを貼り付け、常に押付荷重を検出して、最適な押圧力で良好な接触摺動状態になるように制御している。しかし、ディスク装置全体および製造プロセスが複雑かつ高コストとなる。
【００２３】
特開昭５９−１８０８５５号公報に記載されている従来の浮上記録方式の支持体は、荷重用ビーム部の表面に、制動素子を密着させ、拘束部材で保持している。制動素子の適切な材料は変性アクリル重合体材料（粘弾性材料）である。この構造により、制動素子中のずりエネルギ吸収制動によるシーク・ねじれ・曲げモード振動が減少される。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のコンタクト記録方式の磁気ヘッドスライダおよびその支持体では、記録媒体面から飛び離れ、再度媒体面と間欠接触すると不安定振動（ばたつき）が大きくなるが、振動エネルギを消散させる減衰要素が備わっておらず、過渡的スペーシング変動を低減させることが困難であった。
【００２５】
本発明の目的は、コンタクト記録方式の磁気ヘッドスライダおよびその支持体において、磁気トランスデューサギャップ部が、記録媒体面上で安定な接触状態を保持し、かつ記録媒体面から飛び離れた後の過渡的スペーシング変動を低減させることである。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、磁気トランスデューサ（磁気ヘッド）を搭載し、媒体面に接触走行するコンタクト面を設けたコンタクトスライダと荷重用ビーム部になりうる可撓体との間を繊維強化形複合材料で連結したことで解決できる。さらに異方性を有する２枚の繊維強化形複合材料を、それらの繊維の配向度を９０度に交差するように積層させる構造にする。さらに、荷重用ビーム部になりうる可撓体を繊維強化形複合材料で構成させる。
【００２７】
【作用】
上記構成によれば、繊維強化形複合材料に含まれるマトリックス材は振動抑制部材（ダンパー）として作用する。さらに、繊維強化形複合材料の異方性を利用することにより、特定の方向性のある接触力（垂直）、走行方向およびシーク方向の摩擦力による振動が低減するように作用する。マトリックス材である樹脂およびゴムの含有量および硬化条件をコントロールすることにより、最適なダンパ効果が得られる。また、ゴムにはヒステリシスがあり、伸縮一回ごとの振動により、振動エネルギが消散される。
【００２８】
【実施例】
以下、本発明の実施例を、図面を参照して説明する。
図１により、本発明の実施例１を説明する。図１は実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す。
【００２９】
磁気ヘッドスライダ１は、コンタクト部１ａを設け、その面で記録媒体と接触走行させる構造である。スライダ１の側面、コンタクト部１ａには、それぞれ磁気トランスデューサ１ｂおよび接続端子１ｄ、ギャップ部１ｃが設けられている。スライダ１の支持体２は、ジンバル部のない荷重用ビーム部のみで構成され、他端で片持ちばり状にヘッド位置決め機構の支持アーム（図示していない）に取り付ける。
【００３０】
本実施例は、スライダ１とその支持体２との間を繊維強化形複合材料３で連結する。繊維強化形複合材料は、エポキシ樹脂、ゴムなどをマトリックス材にして、これをガラス、カーボン、ボロンなどの無機繊維、あるいはアラミド系の有機繊維で強化したもので、繊維方向を自由に配向することにより異方性を作り出すができる。
【００３１】
繊維強化形複合材料３は、異方性を有する２枚の連続繊維複合材料３ａ、３ｂを、それらの繊維の配向度が９０度に交差するように積層させる構造である。また、荷重用ビーム部（支持体２）の裏面に、エッチング等により、信号リードパターン（図示していない）を形成し、この信号リードパターンと接続端子１ｄとを接続させ、配線可能とした。スライダ１、支持体２の材質は、従来の浮上記録用支持体で使用している材質と同様に、それぞれアルミナチタンカーバイト等のセラミック材、ステンレス鋼とした。
【００３２】
図２に、本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の作用を説明する図を示す。コンタクト部１ａに、接触力（垂直）による上下振動、シーク方向の摩擦力（面内）によるシーク振動などが作用した場合、図に示したように、連続繊維複合材料３ａ、３ｂは、その異方性により、ずり振動のみが生じ、厚さ方向には振動しない。樹脂あるいはゴム等のマトリックス材はダンパーとして作用し、そのずり振動エネルギが消散され、特定の上下振動、シーク振動が低減される。
【００３３】
図３に、本発明の実施例２の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す。スライダ１の耐摺動性および耐摩耗性を向上させるために、図に示すように、連続繊維複合材料３ａ、３ｂ間に、コンタクト部４ａを有するスライダ４を設ける。連続繊維複合材料３ｂは上下振動しないために、スライダ１、４が独立に振動した場合においても、コンタクト部１ａ、４ａとは同一平面上になり、両者１ａ、４ａは安定コンタクト可能である。また、スライダ４の材質は、スライダ１と同じにする必要はなく、単独で選定可能である。したがって、さらに、耐摺動性のあるアルミナ、ジルコニア等のセラミック材が選択できる。
【００３４】
図４に、本発明の実施例３の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す。スライダ５はＬ形になっており、スライダ５のコンタクト部５ａに、走行方向、シーク方向の摩擦力（面内）が作用した場合、図に示す連続繊維複合材料６ａ、６ｂは、それぞれ特定の走行方向の振動（ステックスリップ）、シーク振動が低減される。
【００３５】
図５に、本発明の実施例４の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す。荷重用ビーム部になりうる可撓体を、図に示すように、繊維強化形複合材料で構成させた支持体７を使用した場合、接触力および摩擦力のモーメントによる、曲げ、ねじれ振動（面外）が低減できる。さらに、支持体７および連続繊維複合材料３ａを一体化して製造可能になり、製造プロセスが簡略化できる。
【００３６】
図６に、本発明の実施例５として、上記実施例１の磁気ヘッドスライダを、コンタクト記録方式の磁気ヘッドスライダの支持体８に搭載した場合の実施例を示す。本実施例により、コンタクト部１ａを磁気記録媒体面に対して平行に接触させることが容易になる。
【００３７】
つまり、荷重用ビーム部を２枚平行に重ね、２枚の荷重用ビーム部間の端部にコンタクトスライダを挾み込み接着し固定端とした例である。それにより、ピッチングモードの剛性の方が平行モードの剛性に比べて極端に大きくなり、コンタクト部を媒体面に対して平行に接触させることが容易になる。また、シーク方向の方が走行方向に比べて長いコンタクト部にフラット部とテーパ部を設け、シーク動作時には空気軸受面になるようにして、僅かに空気浮上してスムーズにシーク移動を可能にすることができる。
【００３８】
図７に、本発明の実施例６として、上記実施例２、３の磁気ヘッドスライダを、Ｈｕｔｃｈｉｎｓｏｎ  Ｔｅｃｈｏｌｏｇｙ社製Ｔｙｐｅ１６５０の従来の浮上記録方式の支持体９に搭載した場合の実施例を示す。図に示す連続繊維複合材料６ａ、６ｂは、それぞ
れスライダ１０、１１および１２における走行方向の振動（ステックスリップ）、シーク振動が低減され、スライダ１１と連続繊維複合材料３ｂ間に設けたスライダ１２により、スライダ１１、１２は安定コンタクト可能であり、かつ耐摺動性、耐摩耗性を向上することができる。本実施例により、本発明の磁気ヘッドスライダが従来の浮上記録方式の支持体においても搭載可能となる。
【００３９】
図８に、本発明の実施例７として、本発明より成る磁気ディスク装置の実施例を示す。図８の（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。前記磁気ディスク装置は、磁気記録媒体２０とこれを回転させる駆動部２１、上述した本発明の実施例の磁気ヘッドスライダ１およびその支持体２、位置決めする支持アーム２２とこれの駆動部２３、スライダ１に搭載された磁気トランスデューサの記録再生信号を処理する回路２４などから構成されている。また、図では、磁気記録媒体２０に接触した状態で、スライダ１が走行およびシークしている状態の平面図および側面図が示されている。支持体２に加わる押付荷重は、支持体２と取付基準面２５との取付角度θで調整する。
【００４０】
図９および図１０に、本発明の実施例８として、上記実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の製造方法を示す。
（１）図９に示すように、繊維３０を、熱硬化性樹脂、液体ゴム等のマトリック材および溶剤３１（例えば酢酸セロソルブ）のある容器３２の中に、ローラ３３を介して通し、繊維のまわりに樹脂を付着させる。その付着量をマトリック材調節装置３４で適度に調節し、２本のピン３５に一定なトルクで巻き付ける。板状にするために、ガイド板３６を両側から挾み込む。その巻数および層数は製造したい繊維強化形複合材料の形状および繊維の直径で決定する。例えば、炭素繊維の直径は５〜２０μｍ、ガラス繊維は８〜１２μｍ、アルミナ繊維は３〜２０μｍである。
【００４１】
（２）次に、前工程で製造した部材を自然乾燥で溶剤を除去した後に両端部を除去して連続繊維複合材料を製造する。
（３）前工程で製造した連続繊維複合材料を、面粗さの良い面を有する１対のプレスで一定圧力で押え付けた状態で加熱炉中で半硬化させる。硬化条件は２００℃、保持時間は２時間程度が良い。
【００４２】
（４）図１０に示すように、前工程で製造した異方性を有する２枚の連続繊維複合材料３７、３８を、それらの繊維の配向度が９０度に交差するように積層させ、面粗さの良い面を有する１対のプレス３９で一定圧力で押え付けた状態で加熱炉中で硬化させる。この工程で連続繊維複合材料３７、３８の硬化は同時に完了する。
【００４３】
（５）次いで、前工程で製造した連続繊維複合材料を、レーザー加工等の従来の機械加工により所定の形状に切り出す。
（６）前工程で製造した連続繊維複合材料３ａ、３ｂと、従来の製造方法で製作した支持体２および磁気ヘッドスライダ１を、図１、あるいは図２に示すように接着させる。さらに、支持体２の裏面に、エッチング等により、信号リードパターンを形成させる。
【００４４】
繊維強化形複合材料で構成させた支持体７、あるいは連続繊維複合材料３ａ、３ｂを製造する場合は、前記工程（３）で完全に硬化させ、従来の機械加工により所定の形状に切り出す。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、記録媒体面およびスライダ面の摩耗量を微小化し、かつ高速回転・高速シークしながら安定な接触状態を保持させることが可能となり、接触走行しながら記録再生する方式で、高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダおよびその支持体およびその製造方法および磁気ディスク装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す図である。
【図２】本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の作用を説明する図である。
【図３】本発明の実施例２の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す図である。
【図４】本発明の実施例３の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す図である。
【図５】本発明の実施例４の磁気ヘッドスライダおよびその支持体を示す図である。
【図６】本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダを従来のコンタクト記録方式の支持体に搭載した実施例を示す図である。
【図７】本発明の実施例２あるいは実施例３の磁気ヘッドスライダを従来の浮上記録方式の支持体に搭載した実施例を示す図である。
【図８】本発明より成る磁気ディスク装置の実施例を示す図である。
【図９】本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の製造方法を示す図である。
【図１０】本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１、４、５、１０、１１、１２  磁気ヘッドスライダ
１ａ、４ａ、５ａ  コンタクト部
１ｂ  磁気トランスデューサ
１ｃ  磁気トランスデューサのギャップ部
１ｄ  接続端子
２  磁気ヘッドスライダの支持体（荷重用ビーム部）
３  繊維の配向度を９０度に交差した繊維強化形複合材料
３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、６ａ、６ｂ  連続繊維複合材料
７  繊維強化形複合材料で構成した荷重用ビーム部（支持体）
８  コンタクト記録方式の荷重用ビーム部（支持体）
９  浮上記録方式の支持体
２０  磁気記録媒体
２１  磁気記録媒体を回転させる駆動部
２２  支持アーム
２３  支持アームの駆動部
２４  記録再生信号処理回路
２５  取付基準面
θ  取付角度
３０  繊維
３１  マトリックス材および溶剤
３２  マトリックス材および溶剤の容器
３３  ローラ
３４  マトリックス材調節装置
３５  ピン
３６  ガイド板
３７、３８  連続繊維複合材料
３９  プレス
【図１】
0003569757.tif 000002
【図２】
0003569757.tif 000003
【図３】
0003569757.tif 000004
【図４】
0003569757.tif 000005
【図５】
0003569757.tif 000006
【図６】
0003569757.tif 000007
【図７】
0003569757.tif 000008
【図８】
0003569757.tif 000009
【図９】
0003569757.tif 000010
【図１０】
0003569757.tif 000011