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【手続補正書】
【提出日】平成29年3月10日(2017.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それを必要とする対象における骨形成不全症（ＯＩ）を処置する方法であって、該対象に、トランスフォーミング成長因子ベータ（ＴＧＦβ）に特異的に結合する治療有効量の抗体またはその抗原結合性断片を投与することを含む前記方法。
【請求項２】
場合により、以下の１つまたはいずれかの組合せ：
抗体またはその抗原結合性断片は、配列番号４、５および６からなる群から選択されるアミノ酸配列を有する３つの相補性決定領域（ＣＤＲ）を含む重鎖可変領域と、配列番号７、８および９からなる群から選択されるアミノ酸配列を有する３つのＣＤＲを含む軽鎖可変領域とを含む；
抗体またはその抗原結合性断片は、配列番号１０のアミノ酸配列を含む重鎖可変領域と、配列番号１１のアミノ酸配列を含む軽鎖可変領域とを含む；
抗体またはその抗原結合性断片は、ヒトＩｇＧ４定常領域をさらに含む；
抗体またはその抗原結合性断片は、ヒトκ軽鎖定常領域をさらに含む；
抗体またはその抗原結合性断片は、ヒトＩｇＧ４定常領域とヒトκ軽鎖定常領域とをさらに含む；
抗体は、配列番号１４のアミノ酸配列を含む重鎖を含む；および
抗体は、配列番号１５のアミノ酸配列を含む軽鎖を含む；
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ヒトＩｇＧ４定常領域は、配列番号１２のアミノ酸配列、および／またはヒトκ軽鎖定常領域は、配列番号１３のアミノ酸配列を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
抗体またはその抗原結合性断片は、ヒトＴＧＦβ１、ＴＧＦβ２およびＴＧＦβ３に結合する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
抗体またはその抗原結合性断片は、ヒトＴＧＦβ１、ＴＧＦβ２およびＴＧＦβ３を中和する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
抗体またはその抗原結合性断片は、骨体積密度（ＢＶ／ＴＶ）、全骨表面積（ＢＳ）、
骨面密度（ＢＳ／ＢＶ）、骨梁数（Ｔｂ．Ｎ）、骨梁幅（Ｔｂ．Ｔｈ）、骨梁間隔（Ｔｂ．Ｓｐ）および全体積（Ｄｅｎｓ  ＴＶ）からなる群から選択される骨パラメータを改善させる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
抗体またはその抗原結合性断片は、骨吸収を阻害する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
抗体またはその抗原結合性断片は、尿中ヒドロキシプロリン、尿中総ピリジノリン（ＰＹＤ）、尿中遊離デオキシピリジノリン（ＤＰＤ）、尿中コラーゲンＩ型架橋Ｎ−テロペプチド（ＮＴＸ）、尿中または血清コラーゲンＩ型架橋Ｃ−テロペプチド（ＣＴＸ）、骨シアロタンパク質（ＢＳＰ）、オステオポンチン（ＯＰＮ）および酒石酸耐性酸性ホスファターゼ５ｂ（ＴＲＡＰ）からなる群から選択される骨吸収の血清バイオマーカーを低下させる、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
抗体またはその抗原結合性断片は、総アルカリホスファターゼ、骨特異的アルカリホスファターゼ、オステオカルシン、およびＩ型プロコラーゲン（Ｃ末端／Ｎ末端）からなる群から選択される骨沈着の血清バイオマーカーを増加させる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
抗体またはその抗原結合性断片は、骨吸収を阻害する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
抗体またはその抗原結合性断片は、骨沈着を促進する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
抗体またはその抗原結合性断片は、聴覚機能、肺機能および腎機能からなる群から選択される、ＯＩによって影響を受けた非骨格器官の機能を改善する、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
それを必要とする対象における骨形成不全症（ＯＩ）を処置する方法であって、該対象に、トランスフォーミング成長因子ベータ（ＴＧＦβ）に結合する治療有効量の抗体またはその抗原結合性断片を投与することを含み、該抗体が、配列番号１４のアミノ酸配列を含む重鎖と、配列番号１５のアミノ酸配列を含む軽鎖とを含む、前記方法。
【請求項１４】
それを必要とする対象における骨形成不全症（ＯＩ）を処置する方法であって、該対象に、トランスフォーミング成長因子ベータ（ＴＧＦβ）に結合する治療有効量の抗体またはその抗原結合性断片と、少なくとも１つの治療薬剤とを組み合わせて投与することを含む前記方法。
【請求項１５】
薬剤は、ビスホスホネート、副甲状腺ホルモン、副甲状腺ホルモンアナログ、カルシトニン、および選択的エストロゲン受容体調節因子（ＳＥＲＭ）からなる群から選択され；そして
場合により、該対象がＩ型骨形成不全症（ＯＩ）を有する、
請求項１４に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2016519093.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月13日(2017.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ある品目を収容するように構成され、外面を有する壁を有するレセプタクルであって、少なくとも１つの熱伝導性材料を含むレセプタクルと、
前記レセプタクルの壁の外面に固定された熱電装置と、
前記熱電装置に隣接する冷却板を有する液体ループ熱交換システムであって、前記熱電装置は、前記レセプタクルの壁と前記冷却板との間に配置され、前記レセプタクルと前記冷却板の両方に対して熱伝導性を有する液体ループ熱交換システムと、を有する温度調節式装置。
【請求項２】
飲料容器を収容する飲料ホルダを有する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
容器を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記冷却板は、入口および出口と、前記入口と前記出口との間を延びる液体流路とを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記冷却板は、単体構成または一体構成を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記冷却板は、互いに嵌り合うように構成された少なくとも２つの部分を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記液体流路は、蛇行形状または屈曲形状を有する、請求項４に記載の装置。
【請求項８】
前記液体ループ熱交換システムは、二次熱交換器と、ポンプと、流体導管とをさらに有する、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記二次熱交換器は前記冷却板から分離される、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記二次熱交換器は空気式熱交換器を有する、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記熱電装置は、前記レセプタクルの壁の外面に直接固定される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
前記熱電装置は、前記レセプタクルの壁の外面に間接的に固定され、少なくとも１つの中間部材が前記熱電装置と前記レセプタクルの壁との間に配置され、前記少なくとも１つの中間部材が熱伝導性を有する、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの中間部材は、放熱グリス、伝熱箔、および伝熱パッドの少なくとも１つを有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの中間部材は、熱伝導性スペーサブロックを有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
断熱層が前記壁の外面の少なくとも一部に沿って配置される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
断熱層が前記スペーサブロックの周りに前記壁の外面の少なくとも一部に沿って配置され、前記スペーサブロックは、前記断熱層が存在するにもかかわらず前記熱電装置と前記レセプタクルの壁とが熱接触するのを可能にする、請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記冷却板は、少なくとも１つの取付け方法を使用して前記壁に直接結合され、前記熱電装置は、前記冷却板が前記壁に結合されたときに前記壁と前記冷却板との間に配置される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
空気を前記二次熱交換器の一部を横切らせるかまたは前記一部の近くを通過させるように構成された少なくとも１つの送風機をさらに有する、請求項８に記載の装置。
【請求項１９】
前記少なくとも１つの熱伝導性材料は、熱伝導性プラスチックを含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
飲料容器を収容するように構成され、側壁および底壁を有し、前記側壁および前記底壁が一体構造を形成するレセプタクルであって、少なくとも熱伝導性材料を含むレセプタクルと、
前記レセプタクルの側壁または底壁の一部内に配置されたくぼみと、
前記くぼみ内に固定された熱電装置であって、前記レセプタクルを伝導的に冷却または加熱するように構成される熱電装置と、を有する温度調節式飲料ホルダ。
【請求項２１】
前記熱電装置から熱を逃がすように構成された少なくとも１つの熱交換組立体をさらに有する、請求項２０に記載の飲料ホルダ。
【請求項２２】
前記熱交換組立体は、前記レセプタクルの前記一体構造に組み込まれる、請求項２１に記載の飲料ホルダ。
【請求項２３】
前記熱交換組立体は、空気式熱交換システムを有する、請求項２２に記載の飲料ホルダ。
【請求項２４】
前記熱交換組立体は、複数のフィンを有する、請求項２３に記載の飲料ホルダ。
【請求項２５】
前記フィンは、前記レセプタクルの前記一体構造から前記レセプタクルの前記底壁または前記側壁に沿って形成される、請求項２４に記載の飲料ホルダ。
【請求項２６】
前記熱交換組立体は、液体ループ熱交換システムを有する、請求項２１から２５のいずれか一項に記載の飲料ホルダ。
【請求項２７】
前記熱交換組立体は、少なくとも１つの液体流路を有し、
前記少なくとも１つの液体流路は、使用時に前記熱電装置から熱を奪うために液体を収容するように構成され、
前記少なくとも１つの液体流路は、前記レセプタクルの壁内に配置された開口部を有する、請求項２１から２５のいずれか一項に記載の飲料ホルダ。
【請求項２８】
前記少なくとも１つの液体流路は、蛇行状に向きが定められる、請求項２７に記載の飲料ホルダ。
【請求項２９】
前記くぼみおよび前記少なくとも１つの液体流路の各々は、前記レセプタクルの底壁内に配置される、請求項２７に記載の飲料ホルダ。
【請求項３０】
前記熱交換組立体は、前記レセプタクルの前記一体構造とは異なる部材であり、前記熱交換組立体は少なくとも部分的に前記レセプタクル内に埋め込まれる、請求項２１から２５のいずれか一項に記載の飲料ホルダ。
【請求項３１】
前記熱交換組立体は金属を含み、前記レセプタクルは熱伝導性プラスチックを含む、請求項３０に記載の飲料ホルダ。
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月8日(2017.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘルメットまたは保護衣用の連結装置（６）であって、互いに対してスライド可能に配置された前記ヘルメットまたは保護衣の第１部分（２）及び第２部分（３）を連結するように構成される連結装置（６）において、
前記連結装置（６）が、全ての方向における前記第１部分（２）及び前記第２部分（３）間の前記スライド運動を可能にするように構成され、該連結装置（６）が、
前記第１部分（２）及び第２部分（３）の間においてスライド運動中にスプリング力及び／または減衰力を作り出すデバイス（８）；及び、
所定の長さを有する非弾性の細長い連結部材（７）を含み、該連結部材（７）が一端においてスプリング力及び／または減衰力を作り出す前記デバイス（８）に連結され、かつ他端において前記第１部分（２）及び前記第２部分（３）のうちの一方に連結されるように構成される、
前記連結装置（６）。
【請求項２】
スライド促進器（４）が、前記第１または第２部分（２、３）における斜め衝突によって引き起こされる力（Ｆ）に応答して前記第１及び第２部分（２、３）の間においてスライド運動を促進するために、前記第１及び前記第２部分（２、３）の間に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の連結装置（６）。
【請求項３】
前記連結部材（７）が、細長い硬質のピンであり、該ピンが、その第１端または第２端（７ａ、７ｂ）において前記第１または前記第２部分（２、３）に連結され、並びに、その第１端及び第２端（７ａ、７ｂ）において、またはその第１端及び第２端（７ａ、７ｂ）の間において、スプリング力及び／または減衰力を作り出す前記デバイス（８）に連結されることを特徴とする、請求項１または２に記載の連結装置（６）。
【請求項４】
スプリング力及び／または減衰力を作り出す少なくとも１つの前記デバイス（８）が、ねじりばね、板ばねまたはらせんばねであり、該ねじりばね、板ばねまたはらせんばねが、前記連結部材（７）と前記第１または第２部分（２、３）のうちのいずれかとに連結され、あるいは前記連結部材（７）と前記第１または第２部分（２、３）のうちのいずれかとに抗して作用することを特徴とする、請求項３に記載の連結装置（６）。
【請求項５】
少なくとも１つの前記連結部材（７）が、曲げることのできる細長い部材であり、該細長い部材が、一端（７ａ、７ａ’、７ａ’’）において、スプリング力及び／または減衰力を作り出す前記デバイス（８）に連結され、かつ、他端（７ｂ、７ｂ’、７ｂ’’）において前記第１または第２部分（２、３）のうちのいずれかに連結されたことを特徴とする、請求項１または２に記載の連結装置（６）。
【請求項６】
前記第１及び第２部分の間における運動、任意の方向において起こり得る運動が、前記第１及び第２部分の間における前記運動の前記方向にかかわらず、前記連結部材によって１の所定の軸に沿った運動に変更されることを特徴とする、請求項５に記載の連結装置（６）。
【請求項７】
スプリング力及び／または減衰力を作り出す前記デバイス（８）が、ハウジング（８ｂ）内に配置された移動可能または弾力性の隔壁（８ａ、８ａ’）であることを特徴とする、請求項５または６に記載の連結装置（６）。
【請求項８】
前記ハウジング（８ｂ）が、周囲から基本的に閉鎖され、圧縮性媒体（MP）を含むことを特徴とする、請求項７に記載の連結装置（６）。
【請求項９】
前記ハウジング（８ｂ）は、周囲から基本的に閉鎖され、非圧縮性媒体（MP）を含むことを特徴とする、請求項７に記載の連結装置（６）。
【請求項１０】
前記隔壁（８ａ、８ａ’）が、減衰力を作り出す前記隔壁（８ａ、８ａ’）において、媒体の漏出を許容するように配置されることを特徴とする、請求項８または９に記載の連結装置（６）。
【請求項１１】
少なくとも１つのばね（８ｃ）が、スプリング力を作り出す前記隔壁（８ａ、８ａ’）に作用するように配置されることを特徴とする、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の連結装置（６）。
【請求項１２】
前記ばね（８ｃ）が、線形ばね、非線形ばねまたはプログレッシブスプリングであることを特徴とする、請求項１１に記載の連結装置（６）。
【請求項１３】
前記ハウジング（８ｂ）が、前記隔壁（８ａ、８ａ’）の移動を制御するノッチ、スロットまたは摩擦増大部材（８ｄ）を含む、請求項７〜１２のいずれか１項に記載の連結装置（６）。
【請求項１４】
前記第１部分（２）が、着用者の頭部のより近くに配置される第１ヘルメット部分であり、前記第２部分（３）が、前記第１ヘルメット部分（２）の半径方向において外側に配置される第２ヘルメット部分である、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の連結装置（６）。
【請求項１５】
ヘルメット（１）であって、該ヘルメット（１）が、 
着用者の頭部のより近くに配置されるための第１ヘルメット部分（２）；
前記第１ヘルメット部分（２）の半径方向において外側に配置された第２ヘルメット部分（３）； 
前記第１ヘルメット部分（２）及び前記第２ヘルメット部分（３）を連結する少なくとも１つの連結装置（６）を含み、 
前記少なくとも１つの連結装置（６）が、前記第１ヘルメット部分（２）及び前記第２ヘルメット部分（３）の間において全方向におけるスライド運動を可能にするように構成され、該少なくとも１つの連結装置（６）が、
前記第１ヘルメット部分（２）及び第２ヘルメット部分（３）の間においてスライド運動中にスプリング力及び／または減衰力を作り出すデバイス（８）を含み、該デバイス（８）が、前記第１ヘルメット部分（２）及び前記第２ヘルメット部分（３）のうちの一方に連結され；かつ、
所定の長さを有する非弾性の細長い連結部材（７）を含み、該連結部材（７）が一端においてスプリング力及び／または減衰力を作り出す前記デバイス（８）に連結され、かつ他端において前記第１ヘルメット部分（２）及び前記第２ヘルメト部分（３）のうちの他方に連結されるように構成される、
前記ヘルメット（１）。
【請求項１６】
当該ヘルメット（１）における斜め衝突によって引き起こされた回転力に応答して前記第１及び第２ヘルメット部分（２、３）の間のスライド運動を促進するために、スライド促進器（４）が、前記第１及び前記第２ヘルメット部分（２、３）の間に配置されていることを特徴とする、請求項１５に記載のヘルメット（１）。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月17日(2017.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルロース繊維を含有する紙料を用意し、
ミクロフィブリル化セルロース（MFC）と紙力増強剤とを含有する混合物を該紙料に添加し、
前記混合物の添加の後に微小粒子を該紙料に添加し、
ワイヤー上で試料を脱水してウェブを形成し、
該ウェブを乾燥する
ことを含む、紙又は板紙を製造する方法。
【請求項２】
前記紙力増強剤が、澱粉、合成高分子、キトサン、グアーガム、カルボキシメチルセルロース（CMC）又はこれらの混合物を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記合成高分子が、カチオン性ポリアクリルアミド（C-PAM）、アニオン性ポリアクリルアミド（A-PAM）、グリコキシル化ポリアクリルアミド（G-PAM）、両性ポリアクリルアミド、塩化ポリジアリルジメチルアンモニウム（ポリDADMAC）、ポリアクリルアミド（PAAE）、ポリビニルアミン（PVAm）、ポリエチレンオキシド（PEO）、ポリエチレンイミン（PEI）又はこれらの高分子の２種以上の混合物を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記合成高分子の平均分子量が100,000〜20,000,000 g/molの範囲にあることを特徴とする、請求項２又は３に記載の方法。
【請求項５】
前記微小粒子が無機コロイド状微小粒子を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記シリカ基材の微小粒子が、紙料の乾燥固形分１トンに対して乾燥基準で0.1〜４ kgの量で添加されることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記天然又は合成のシリケート基材の微小粒子が、紙料の乾燥固形分１トンに対して乾燥基準で0.1〜10 kgの量で添加されることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記ミクロフィブリル化セルロースが、紙料の乾燥固形分１トンに対して乾燥基準で５〜100 kgの量で添加されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記紙力増強剤が、紙料の乾燥固形分１トンに対して乾燥基準で５〜100 kgの量で添加されることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記混合物が製紙機械の濃厚な紙料流に添加されることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記微小粒子が製紙機械のショートサーキュレーションに添加されることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記ミクロフィブリル化セルロースがアニオン性であることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月14日(2017.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザアブレーション手順中に支持面上の試料上の結晶粒上でレーザを位置決めするための方法であって、
スキャン配置プロセス中に試料に対して複数のレーザ予定位置を含むアブレーションパターンを設定し、
前記スキャン配置プロセスでは、
運動制御システムを用いてレーザスポットに対して前記試料を前記試料上の複数のレーザ予定位置に位置決めし、
前記複数のレーザ予定位置のそれぞれに対して位置座標を保存し、
前記複数のレーザ予定位置のそれぞれに対するカーネル画像を保存し、
実験を開始し、
前記実験を開始する際に、
前記複数のレーザ予定位置のうち選択されたものの前記保存された座標に基づいて保存されたカーネル画像を用いて前記試料に対して前記レーザスポットを現在の位置に位置決めし、
前記現在の位置の現在の画像を前記選択されたレーザ予定位置に対する前記保存されたカーネル画像と比較し、
前記比較に基づいて位置誤差を決定し、
前記位置誤差が許容範囲内にない場合に、前記運動制御システムを用いて前記位置誤差に基づいて前記試料に対して前記レーザスポットのオフセット移動を行って、前記位置誤差を補正し、前記比較と決定のステップを繰り返し、
前記位置誤差が前記許容範囲内にある場合に、前記選択されたレーザ予定位置上にレーザビームを照射する
方法。
【請求項２】
前記運動制御システムは開ループシステムであり、
前記現在の位置は開ループを仮定した補正位置である、
請求項１の方法。
【請求項３】
前記カーネル画像及び前記現在の画像を前記レーザに対して固定されたカメラにより撮影する、請求項１の方法。
【請求項４】
前記試料に対して前記レーザスポットを現在の位置に位置決めするステップは、基準ブランクをサンプリングした後に行われる、請求項１の方法。
【請求項５】
前記複数のレーザ予定位置のそれぞれに対するカーネル画像を保存するステップでは、さらに、前記カーネル画像をキャプチャする際に使用される照明レベル、ズームレベル、又はカメラ特性のうち少なくとも１つを保存する、請求項１の方法。
【請求項６】
前記試料上にキャリアガスを流し、
前記レーザビームの照射により前記試料の材料を前記キャリアガス中に浮遊させ、
前記キャリアガス中に浮遊した前記材料を分析する、
請求項１の方法。
【請求項７】
前記試料はジルコン結晶を含む、請求項６の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図２は、試料スライド105とスライドの表面の一部の拡大図210を示すものである。試料スライド105の表面には複数のジルコン結晶粒202がある。実施形態においては、それぞれの結晶が平坦面204を有するように加工される。
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月31日(2017.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
組成物であって、
ＭｇＺｎＣａ合金であって、ナノサイズ析出物を含有し、０．１重量％のＺｎ〜２．０重量％のＺｎの範囲のＺｎ含量、０．２重量％のＣａ〜０．５重量％のＣａの範囲のＣａ含量、０．１重量％未満の１つ又は複数の他の元素を有し、前記合金の残部がＭｇである、ＭｇＺｎＣａ合金を含み、
前記ナノサイズ析出物が、前記残部のＭｇよりも卑である、組成物。
【請求項２】
前記１つ又は複数の他の元素のうちの一部が、二次相に存在する、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
二次相に存在する前記１つ又は複数の他の元素が、前記組成物の０．０４重量％未満である、請求項２に記載の組成物。
【請求項４】
前記合金組成物が、合計した他の元素を４００ｐｐｍ未満で含有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項５】
前記他の元素が、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ａｌ、Ｚｒ、及びＰのうちの１つ又は複数を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項６】
前記合金が、マイクロガルバニ元素を実質的に含まない、請求項１〜５のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項７】
前記析出物が、（Ｍｇ，Ｚｎ）２Ｃａを含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項８】
前記残部のＭｇよりも貴である析出物を更に含み、前記析出物がＭｇ６Ｚｎ３Ｃａ２を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項９】
前記合金が、５μｍ未満の粒径を有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項１０】
前記合金が、少なくとも１８０ＭＰａの降伏強度を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項１１】
前記合金が、少なくとも２４０ＭＰａの極限引張強度を有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項１２】
前記合金が、少なくとも１０％の破断伸度を有する、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の組成物。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の合金を含む、インプラント。
【請求項１４】
前記インプラントが、擬似体液において測定されるとき、１日当たり０．５ｍｇ／ｃｍ２未満のインビトロ分解速度を有する、請求項１３に記載のインプラント。
【請求項１５】
前記インプラントが、整形外科用インプラントである、請求項１３又は１４に記載のインプラント。
【請求項１６】
前記整形外科用インプラントが、次のもの、すなわち、釘、ネジ、ステープル、プレート、ロッド、鋲、ボルト、係止用ボルト及びＩＭ釘、アンカー、合わせ釘、プラグ、ペグ、スリーブ、メッシュ、トランスコネクタ、ナット、成形体、脊椎ケージ、ワイヤ、Ｋ−ワイヤ、織物構造体、締付金具、副木、足場、発泡体、並びにハニカム構造体のうちの１つ又は複数を含む、請求項１５に記載のインプラント。
【請求項１７】
前記インプラントが、非整形外科用インプラントである、請求項１３又は１４に記載のインプラント。
【請求項１８】
前記非整形外科用インプラントが、心臓血管ステント、神経ステント、及び椎体形成ステントを含む、請求項１７に記載のインプラント。
【請求項１９】
前記インプラントが、マイクロガルバニ元素を含有するマグネシウム合金から作製されたインプラントと比較して、より低い分解速度を有する、請求項１３〜１８のいずれか１項に記載のインプラント。
【請求項２０】
（ａ）（ｉ）少なくとも９９．９６重量％の純度を有するマグネシウムと、（ｉｉ）少なくとも９９．９重量％の純度を有する０．１重量％〜２．０重量％の亜鉛と、（ｉｉｉ）少なくとも９９．９重量％の純度を有する０．２重量％〜０．５重量％のカルシウムと、を含有する混合物を鋳造して、鋳造合金を形成する工程と、
（ｂ）前記鋳造合金を２つの異なる温度で固溶化熱処理する工程であって、第１の温度はＭｇ−Ｚｎの共晶温度よりも低く、第２の温度は前記三元Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃａ系の共晶温度よりも高く、それによって、０．１重量％のＺｎ〜２重量％のＺｎ及び０．２重量％のＣａ〜０．５重量％のＣａの範囲のカルシウム含量を含有し、０．１重量％未満の１つ又は複数の他の元素を有し、残部がＭｇである、ＭｇＺｎＣａ合金を形成する、工程と、
（ｃ）１００℃〜３００℃で熟成熱処理し、分散したナノサイズ析出物を作り出す工程と、
（ｄ）前記合金を所望の形状に押出して、成形した合金を形成する工程と、を含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の組成物を生成する方法。
【請求項２１】
前記第１の温度が、約３３０℃〜約３７０℃である、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記第２の温度が、約４００℃〜約４６０℃である、請求項２０又は２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記１つ又は複数の他の元素のうちの少なくとも一部が、二次相に存在する、請求項２０〜２２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２４】
二次相に存在する前記１つ又は複数の他の元素が、前記組成物の０．０４重量％未満である、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記合金組成物が、合計した他の元素を４００ｐｐｍ未満で含有する、請求項２０〜２４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２６】
前記他の元素が、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ａｌ、Ｚｒ、及びＰのうちの１つ又は複数を含む、請求項２０〜２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２７】
前記成形した合金を第２熟成熱処理し、強度又は延性のいずれかを改善する工程を更に含む、請求項２０〜２６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２８】
前記成形した合金を約１５０℃〜約２５０℃で低温焼鈍する工程を更に含む、請求項２０〜２７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２９】
前記低温焼鈍が２００℃で行われる、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記低温焼鈍が、約１時間〜約１００時間行われる、請求項２８又は２９に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月1日(2017.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発泡体を製造する方法であって、
（１）下記を含む混合物を生成すること、
（ｉ）下記を含む重合可能な縮合ポリマー、
ヒドロキシ酸単位、
不飽和ジカルボン酸単位および不飽和ジアルコール単位の内の１種以上から選択される不飽和二官能性単位、ならびに
場合により、（ｉ）３個以上の水酸基またはエポキシド基を有する多官能性アルコールに由来する多官能性アルコール単位および（ｉｉ）３個以上のカルボキシル基を有する多官能性酸に由来する多官能性酸単位から選択される分枝単位、および
（ｉｉ）発泡剤、
（２）混合物を膨張させてフロスを生成すること、ならびに
（３）フロス中の重合可能な縮合ポリマーを反応させて発泡体を生成すること
を含む方法。
【請求項２】
混合物は開始剤を更に含み、方法はフロス中の開始剤を活性化させることを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
開始剤は放射線活性化開始剤を含み、好ましくは可視光活性化開始剤または紫外光活性化開始剤を含み、反応させる工程は、フロスを、放射線活性化開始剤を活性化させるのに十分な量および種類の放射線に曝すことを更に含む、請求項２に記載の発泡体。
【請求項４】
開始剤は熱活性化開始剤を含み、好ましくは過酸化物を含み、反応させる工程は、フロスを、熱活性化開始剤を活性化させるのに十分な温度まで加熱することを更に含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
不飽和二官能性単位は不飽和ジカルボン酸単位を含み、好ましくはイタコン酸単位、マレイン酸単位、テトラヒドロフタル酸、メチル−テトラヒドロフタル酸単位、フマル酸単位、メサコン酸単位およびシトラコン酸単位の内の１種以上から選択される不飽和ジカルボン酸単位を含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
不飽和二官能性単位は不飽和ジアルコール単位を含み、好ましくは１，４−ブテンジオール単位、１−プロペン−１，２−ジオール単位、２−ヘプテン−１，７−ジオール単位、３−ヘプテン−１，７−ジオール単位、２−ヘキセン−１，６−ジオール単位、３−ヘキセン−１，６−ジオール単位、１−ペンテン−１，５−ジオール単位、２−ペンテン−１，５−ジオール単位およびベツリン単位の内の１種以上から選択される不飽和ジアルコール単位を含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
重合可能な縮合ポリマーは、多官能性アルコールに由来する多官能性アルコール単位を含む分枝単位を含み、多官能性アルコールは３個以上の水酸基またはエポキシド基を有し、好ましくは４個以上の水酸基またはエポキシド基を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
分枝単位は、ペンタエリトリトール単位、トリメチロールプロパン単位、マンニトール単位、グリセロール単位、ポリグリセロール単位、エポキシ化トリグリセリド単位およびエポキシ化大豆油単位の内の１種以上から選択される多官能性アルコール単位を含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
重合可能な縮合ポリマーは、多官能性酸に由来する多官能性酸単位を含む分枝単位を含み、多官能性酸は３個以上のカルボキシル基を有し、好ましくは４個以上のカルボキシル基を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
重合可能な縮合ポリマーは、
３５ｍｏｌ％以上のヒドロキシ酸単位、好ましくは４０、５０、６０、７０、８０および８５ｍｏｌ％のいずれか１つ以上のヒドロキシ酸単位、ならびに８５ｍｏｌ％以下のヒドロキシ酸単位、好ましくは８０、７０、６０、５０および４０ｍｏｌ％のいずれか１つ以下のヒドロキシ酸単位、
６ｍｏｌ％以上の不飽和二官能性単位、好ましくは８、１０、１２、１４、１６、１８、２０および２２ｍｏｌ％のいずれか１つ以下の不飽和二官能性単位、ならびに２４ｍｏｌ％以下の、好ましくは２２、２０、１８、１６、１４、１２、１０および８ｍｏｌ％のいずれか１つ以下の不飽和二官能性単位、ならびに
場合により１ｍｏｌ％以上の分枝単位、好ましくは２、４、６、８、１０および１２ｍｏｌ％のいずれか１つ以上の分枝単位、ならびに１４ｍｏｌ％以下の分枝単位、好ましくは１２、１０、８、６、４および２ｍｏｌ％のいずれか１つ以下の分枝単位
を含む、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
混合物は、２個または１個の官能基を有する共反応物を更に含み、好ましくはスチレン、アルファ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルマレエートおよびアクリレートの内の１種以上から選択される共反応物を更に含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
混合物は、３個以上の官能基を有する高官能性反応物を更に含み、好ましくはトリアクリレートおよびテトラ−アクリレートの内の１種以上から選択される高官能性反応物を更に含み、好ましくはアクリル化エポキシ化トリグリセリドを更に含み、高官能性反応物は重合可能な縮合ポリマーではない、請求項１から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
発泡剤は、２００ｐｓｉｇ以上の圧力から膨張し、好ましくは３００ｐｓｉｇ、３５０ｐｓｉｇ、５００ｐｓｉｇおよび８００ｐｓｉｇのいずれか１つ以上の圧力から膨張する物理発泡剤を含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
フロスは反応工程中に大気圧まで膨張する、請求項１から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
重合可能な縮合ポリマーは、１ｍｏｌ％以上の分枝単位の、好ましくは２、４、６、８、１０および１２ｍｏｌ％のいずれか１つ以上の分岐単位の、ならびに１４ｍｏｌ％以下の分枝単位の、好ましくは１２、１０、８、６、４および２ｍｏｌ％のいずれか１つ以下の量で分岐単位を含む、請求項１から１４のいずれか一項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月14日(2017.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスチャンバ用のサセプタ支持シャフトであって、
支持シャフト、および
前記支持シャフトに結合される支持本体
を備え、前記支持本体が、
中実のディスクと、
前記中実のディスクから外側に延びる複数の基部と、
前記複数の基部のいくつかから延びる少なくとも３つの支持腕と、
前記複数の基部のいくつかから延びる少なくとも３つのダミー腕と
を備える、サセプタ支持シャフト。
【請求項２】
前記支持腕が互いから等間隔で離間され、前記支持腕の各々がエルボーを含む、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項３】
前記基部の各々の幅が減少するにつれて前記基部の各々の厚さが増加する、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項４】
前記支持腕の各々がそこを通してリフトピンを受け入れるための開口を含む、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項５】
前記中実のディスク上に取り外し可能に位置決めされる屈折要素をさらに備え、前記屈折要素が光透過性の材料から形成される、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項６】
前記屈折要素が第１の側に凸または凹面を、第１と反対の第２の側に凸または凹面を有する、請求項５に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項７】
前記屈折要素が一定の厚さを有する、請求項６に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項８】
前記屈折要素の前記凹面が約２００ｍｍ〜約１２００ｍｍの曲率半径を有する、請求項６に記載のサセプタ支持シャフト。
【請求項９】
基板を加熱するためのプロセスチャンバであって、
前記プロセスチャンバ内に配設される基板支持体、
前記基板支持体の下に配設される下部ドーム、
前記下部ドームに対向して配設される上部ドームであって、
中央窓部、および
前記中央窓部の周縁の周りで前記中央窓部と係合する周辺フランジ
を備え、前記中央窓部および前記周辺フランジが光透明性の材料から形成される、上部ドーム、ならびに
前記基板支持体に結合される支持シャフトであって、
シャフト、および
前記シャフトに結合される支持本体
を備え、前記支持本体が、
中実のディスクと、
前記中実のディスクから外側に延びる複数の基部と、
前記複数の基部のいくつかから延びる複数の支持腕と、
前記複数の基部のいくつかから延びる複数のダミー腕と
を備える支持シャフト
を備える、プロセスチャンバ。
【請求項１０】
前記中実のディスクが約６０ミリメートルの半径を有し、前記中実のディスクが前記基板の表面積（片側）よりも約３０％〜８０％少ない表面積（片側）を有する、請求項９に記載のプロセスチャンバ。
【請求項１１】
前記支持シャフトが、
前記中実のディスク上に取り外し可能に位置決めされる屈折要素をさらに備え、前記屈折要素が透き通った石英、ガラス、または透明なプラスチックから形成され、前記屈折要素が前記中実のディスクの外周に実質的に一致するようにサイズ決定される、請求項９に記載のプロセスチャンバ。
【請求項１２】
前記屈折要素が、前記基板支持体の裏側に面する第１の側に凸または凹面を有し、前記屈折要素が、前記基板支持体の裏側から離れる方向に面する第２の側に凸または凹面を有する、請求項１１に記載のプロセスチャンバ。
【請求項１３】
前記上部ドームの上に配設されるリフレクタをさらに備え、前記リフレクタが、前記リフレクタの外面上に１つまたは複数の筋を付けられた特徴部を有し、前記１つまたは複数の筋を付けられた特徴部が前記リフレクタの周縁の周りを延伸する、請求項９に記載のプロセスチャンバ。
【請求項１４】
プロセスチャンバのためのサセプタ支持シャフトであって、
支持シャフトと、
前記支持シャフトに結合される支持本体であって、
中実のディスクと、
前記中実のディスクの外側周縁から外側に等間隔で延びる複数の基部と、
前記複数の基部のいくつかから延びる、互いから等間隔で離間された複数の支持腕と、
前記複数の基部のいくつかから延びる、互いから等間隔で離間された複数のダミー腕と
を備える、支持本体と、
前記中実のディスクによって取り外し可能に支持され、前記中実のディスクの周縁に実質的に一致するようにサイズ決定される、屈折要素と
を備える、サセプタ支持シャフト。
【請求項１５】
前記屈折要素が、第１の側に凸または凹面を、第１の側と反対の第２の側に凸または凹面を有する、請求項１４に記載のサセプタ支持シャフト。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月1日(2017.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記保持装置（３６）が前記回転軸線（Ａ）の方向へ延在する突出部（４２）を備えており、該突出部の側面（４４，４６）が接線方向の力を受けるために用いられ、前記突出部の半径方向内側に位置する側面（４８）が半径方向の力を受けるために用いられることを特徴とする請求項２記載のブレーキキャリパ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記保持装置（３８，４０）が螺着装置（５８）を備えていることを特徴とする請求項２〜７のいずれか１項に記載のブレーキキャリパ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
前記コード化装置（６２，６４；６６，６８）及び／又は前記螺着装置（５８）がホイールリム側に位置していることを特徴とする請求項８に記載のブレーキキャリパ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
浮動キャリパであることを特徴とする請求項２〜９のいずれか１項に記載のブレーキキャリパ。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月9日(2017.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関において気密および液密封止を確立するための封止アセンブリであって、
金属で作られたプレートを含み、前記プレートは複数の開口部を有し、前記プレートは少なくとも１つの略平坦な表面を有し、
前記プレートは、前記開口部のうちの１つを周方向に包囲して前記略平坦な表面および前記開口部に開いた少なくとも１つの棚部を有し、前記封止アセンブリはさらに、
弾性的に圧縮可能な材料でできた少なくとも１つの封止ビードを含み、封止ビードは、前記少なくとも１つの棚部と係合され、棚部から外向きに、前記プレートの前記少なくとも１つの略平坦な表面を越えて延在して、前記プレートを内燃機関における別の部品と封止する、封止アセンブリ。
【請求項２】
前記封止ビードは、前記少なくとも１つの棚部と、オーバーモールド接続で係合される、請求項１に記載の封止アセンブリ。
【請求項３】
複数の前記棚部と、
前記棚部のうちの１つと係合され、前記開口部のうちの１つを周方向に包囲する燃焼シールとをさらに含む、請求項１に記載の封止アセンブリ。
【請求項４】
前記燃焼シールは、防護部品と、本体リングと、ワイヤリングとを含む、請求項３に記載の封止アセンブリ。
【請求項５】
エラストマービードが、前記燃焼シールの前記防護部品を前記プレートと相互接続する、請求項４に記載の封止アセンブリ。
【請求項６】
前記エラストマービードは、前記燃焼シールの前記防護部品および前記プレートと、オーバーモールド接続を介して相互接続される、請求項５に記載の封止アセンブリ。
【請求項７】
前記少なくとも１つの封止ビードは、エラストマー材料でできている、請求項１に記載の封止アセンブリ。
【請求項８】
前記少なくとも１つの封止ビードは、少なくとも１つのリブを有する、請求項１に記載の封止アセンブリ。
【請求項９】
前記プレートは、アルミニウムまたはアルミニウム合金でできている、請求項１に記載の封止アセンブリ。
【請求項１０】
内燃機関であって、
シリンダボアを有するエンジンブロックと、
前記シリンダボア内に位置付けられたシリンダスリーブと、
シリンダヘッドと、
前記エンジンブロックと前記シリンダヘッドとの間に挟まれたプレートとを含み、前記プレートは金属で作られ、前記プレートは複数の開口部を有し、前記プレートは少なくとも１つの略平坦な表面を有し、前記プレートは、前記開口部のうちの１つを周方向に包囲して前記略平坦な表面および前記開口部に開いた少なくとも１つの棚部を有し、前記内燃機関はさらに、
弾性的に圧縮可能な材料でできた少なくとも１つの封止ビードを含み、封止ビードは、前記プレートの前記少なくとも１つの棚部と係合され、棚部から外向きに延在して、前記エンジンブロックおよび前記シリンダスリーブおよび前記シリンダヘッドのうちの少なくとも１つに対して封止する、内燃機関。 
【請求項１１】
前記少なくとも１つの棚部はさらに、複数の棚部として規定され、
前記内燃機関はさらに、
前記棚部のうちの１つの上に位置付けられ、前記シリンダスリーブと前記シリンダヘッドとの間に封止を確立する、少なくとも１つの燃焼シールと、
前記燃焼シールを前記プレートと係合させるために、前記プレートおよび前記燃焼シールとオーバーモールドされるエラストマービードとをさらに含む、請求項１０に記載の内燃機関。
【請求項１２】
内燃機関用の封止アセンブリを作る方法であって、
金属で作られたプレートを準備するステップを含み、プレートは、複数の開口部と、少なくとも１つの略平坦な表面と、前記開口部のうちの少なくとも１つを周方向に包囲して前記少なくとも１つの略平坦な表面および前記開口部のうちの１つに開いた少なくとも１つの棚部とを有し、前記方法はさらに、
封止ビードを形成するために、弾性的に圧縮可能な材料を、少なくとも１つの棚部でプレートとオーバーモールド係合するように射出成形するステップを含む、方法。
【請求項１３】
弾性的に圧縮可能な材料は、エラストマー材料である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
プレートの少なくとも１つの棚部はさらに、複数の棚部として規定され、
前記方法はさらに、
燃焼シールを準備するステップと、
エラストマービードを、燃焼シールおよびプレートの少なくとも１つの棚部とオーバーモールド係合するように射出成形するステップとを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
燃焼シールは防護部品を含み、
エラストマービードを、燃焼シールとオーバーモールド係合するように射出成形するステップはさらに、エラストマービードを、防護部品とオーバーモールド係合するように射出成形することとして規定される、請求項１４に記載の方法。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
因数１００によって区別された同様の参照符号が上述の実施形態と一致する部分を示す図４をここで参照すると、コーナービード１２８のさらに別の実施形態が示されている。この例示的な実施形態では、コーナービード１２８は、アルミニウムプレート１２６と係合するほぼ円滑な表面と、アルミニウムプレート１２６とは反対方向に面する、間隔を空けた複数のリブ１３２とを有する。リブ１３２は、アルミニウムプレート１２６とそれが封止される他の部品、たとえばシリンダヘッド、シリンダスリーブ、またはエンジンブロックとの間に、改良された封止を提供し得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2016519261.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月10日(2017.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極アーク蒸着によって基板をコーティングする方法において、粉末冶金によって製造されるターゲットがアーク蒸着のための材料源として用いられ、ターゲットを製造するのに用いられる粉末が第１の金属間化合物と第２の金属間化合物を含有することを特徴とする方法。
【請求項２】
陰極アーク蒸着によって基板をコーティングする方法において、粉末冶金によって製造されるターゲットがアーク蒸着のための材料源として用いられ、ターゲットを製造するのに用いられる粉末が第１のセラミック化合物と、第２のセラミック化合物を含有することを特徴とする方法。
【請求項３】
前記第１のセラミック化合物がＡｌＮであることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第２のセラミック化合物がＣｒＮであることを特徴とする請求項２又は３に記載の方法。
【請求項５】
陰極アーク蒸着によって基板をコーティングする方法において、粉末冶金によって製造されるターゲットがアーク蒸着のための材料源として用いられ、ターゲットを製造するのに用いられる粉末が金属間化合物とセラミック化合物を含有することを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月28日(2017.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明の特定の実施形態について提示及び説明してきたが、当業者には更なる変更及び改良が想起されるであろう。したがって、本発明は、提示された特定の形態に限定されるものではなく、以下の付随する請求項において本発明の趣旨及び範囲から逸脱しないすべての変更をカバーすることを意図すると解釈することが望ましい。
以下に、本発明の好ましい態様を示す。
［１］  ＣＶＤチャンバ又はＰＥＣＶＤチャンバをクリーニングするためのエッチングガス混合物であって、
ヒドロフルオロオレフィンであって、前記ヒドロフルオロオレフィンが表１から選択される、ヒドロフルオロオレフィンと、
酸素と、
を含む、エッチングガス混合物。
［２］  キャリアガスを更に含む、エッチングガス混合物。
［３］  前記キャリアガスがＨｅ、Ａｒ、又はＮ2である、エッチングガス混合物。
［４］  前記エッチングガス混合物が第２のエッチングガスを更に含み、前記第２のエッチングガスがペルフルオロカーボン、ＳＦ6、又はＮＦ3である、エッチングガス混合物。
［５］  前記ペルフルオロカーボンが、テトラフルオロメタン、ヘキサフルオロエタン、オクタフルオロプロパン、ペルフルオロテトラヒドロフラン、ヘキサフルオロブタジエン、及びオクタフルオロシクロブタンからなる群から選択される、エッチングガス混合物。
［６］  プロセスチャンバ内の表面から表面堆積物を除去するための方法であって、
ａ．）酸素及びヒドロフルオロオレフィンを含むガス混合物を活性化する工程であって、前記ガス混合物中のヒドロフルオロオレフィンのモルパーセントが約５％〜約９９％である、工程と、
ｂ．）前記活性化したガス混合物を前記表面堆積物に接触させ、それによって前記堆積物の少なくとも一部を除去する工程と、
を含み、
前記ヒドロフルオロオレフィンが表１から選択され、任意選択に、前記ガス混合物を活性化する工程がリモートチャンバ内で行われる、方法。
［７］  前記プロセスチャンバが、電子機器の製造に使用される堆積チャンバの内部である、［６］に記載の方法。
［８］  前記ヒドロフルオロオレフィンが、ＨＦＯ−１３３６ｍｚｚ、ＨＦＯ−１２３４ｙｆ、又はＨＦＯ−１２３４ｚｅである、［６］に記載の方法。
［９］  前記表面堆積物が、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、炭窒化ケイ素、窒化タングステン、窒化チタン、及び窒化タンタルからなる群から選択される、［６］に記載の方法。
［１０］  前記表面堆積物が窒化ケイ素である、［６］に記載の方法。
［１１］  前記ガス混合物が、少なくとも約１：１の酸素：ヒドロフルオロオレフィンのモル比で酸素を更に含む、［６］に記載の方法。
［１２］  前記プロセスチャンバ内の圧力が４．０キロパスカル（３０トール）以下である、［１１］に記載の方法。
［１３］  前記リモートチャンバ内の圧力が６．７キロパスカル（５０トール）以下である、［１１］に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＶＤチャンバ又はＰＥＣＶＤチャンバをクリーニングするためのエッチングガス混合物であって、前記エッチングガス混合物は、
少なくとも１種のフルオロオレフィンであって、前記フルオロオレフィンが、ＨＦＯ−１１２３、ＨＦＯ−１４３８、ＨＦＯ−１２２５ｙｅ、ＨＦＯ−１２２５ｚｃ、ＨＦＯ−１２１６、ＨＦＯ−１３３６ｍｚｚ、ＨＦＯ−１３３６ｚｅ、ＨＦＯ−１３３６ｙｆ、ＨＦＯ−１３３６ｐｙｙ、ＰＦＣ−１３１８ｍｙ、ＨＦＯＣ−１３２７ｍｙｚ、ＨＦＯ−１３２７ｙｅ、ＨＦＯ−１３２７ｃｚｅ、ＨＦＯ−１３２７ｅｔ、ＨＦＯ−１３２７、ＨＦＯ−１３４５ｃｚｆ、ＨＦＯ−１３４５ｆｙｃ、ＨＦＯ−１３４５ｃｙｅ、ＨＦＯ−１３４５ｃｙｆ、ＨＦＯ−１３４５ｅｙｅ、ＨＦＯ−１３４５ｐｙｚ、ＨＦＯ−１３４５ｐｙｙ、ＨＦＯ−１３４５ｚｙ、ＰＦＢＹ２、及びＨＦＯ−１２３３ｚｄからなる群から選択される、フルオロオレフィンと、
第２のエッチングガスであって、前記第２のエッチングガスは、第２のフルオロオレフィンまたはペルフルオロカーボンである、第２のエッチングガスと、
酸素と、
を含む、エッチングガス混合物。
【請求項２】
キャリアガスを更に含む、請求項１に記載のエッチングガス混合物。
【請求項３】
前記キャリアガスがＨｅ、Ａｒ、又はＮ2である、請求項２に記載のエッチングガス混合物。
【請求項４】
前記ペルフルオロカーボンが、テトラフルオロメタン、ヘキサフルオロエタン、オクタフルオロプロパン、ペルフルオロテトラヒドロフラン、ヘキサフルオロブタジエン、及びオクタフルオロシクロブタンからなる群から選択される、請求項１に記載のエッチングガス混合物。
【請求項５】
プロセスチャンバ内の表面から表面堆積物を除去するための方法であって、
ａ．）請求項１に記載のエッチングガス組成物を含むガス混合物を活性化する工程と、
ｂ．）前記活性化したガス混合物を前記表面堆積物に接触させ、それによって前記堆積物の少なくとも一部を除去する工程と、
を含み、
前記第２のエッチングガスは、前記第２のフルオロオレフィンであり、
任意選択に、前記ガス混合物を活性化する工程がリモートチャンバ内で行われる、方法。
【請求項６】
前記プロセスチャンバが、電子機器の製造に使用される堆積チャンバの内部である、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記フルオロオレフィンがＨＦＯ−１３３６ｍｚｚであり、前記第２のフルオロオレフィンがＨＦＯ−１２３４ｙｆ、ＨＦＯ−１２３４ｚｅまたはＰＦＢＹ２である、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記表面堆積物が、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、炭窒化ケイ素、窒化タングステン、窒化チタン、及び窒化タンタルからなる群から選択される、請求項５に記載の方法。
【請求項９】
前記表面堆積物が窒化ケイ素である、請求項５に記載の方法。
【請求項１０】
酸素が、少なくとも約１：１の酸素：ヒドロフルオロオレフィンのモル比で存在する、請求項５に記載の方法。
【請求項１１】
前記プロセスチャンバ内の圧力が４．０キロパスカル（３０トール）以下である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記リモートチャンバ内の圧力が６．７キロパスカル（５０トール）以下である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記フルオロオレフィンが、ＨＦＯ−１４３８、及びＨＦＯ−１３３６ｍｚｚからなる群から選択される、請求項１に記載のエッチングガス混合物。
【請求項１４】
前記フルオロオレフィンが、ＨＦＯ−１３３６ｍｚｚである、請求項１３に記載のエッチングガス混合物。