【手続補正書】
【提出日】平成29年10月6日(2017.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１開口部を有し、イオンビームを受ける第１電極と、
第２開口部を有し、前記第１電極の第１開口部を通過したイオンビームを受ける第２電極であって、第１および第２電極間には第１および第２電極のうちの一方の凸面と第１および第２電極のうちの他方の凹面とによって画定される上流ギャップが形成される、第２電極と、
第３開口部を有し、前記第２電極の第２開口部を通過したイオンビームを受ける第３電極であって、第２および第３電極間には第２および第３電極のうちの一方の凸面と第２および第３電極のうちの他方の凹面とによって画定される下流ギャップが形成され、第２電極は２つの凹面または２つの凸面を有する、第３電極と、
前記第１電極、第２電極、および第３電極それぞれに独立して電圧を供給し、イオンビームが前記第１、第２、および第３電極を通過する際にイオンビームを加速や減速するための電圧信号を生成するように構成される電圧源システムと
を備える、静電レンズシステム。
【請求項２】
前記電圧源システムは、静電レンズシステムを、
前記第１および第２電極が相互動作してイオンビームを加速およびコリメートする第１モード、
前記第２および第３電極が相互動作してイオンビームを減速およびコリメートする第２モード、および
前記第１、第２、および第３電極が相互動作してイオンビームを加速、減速、およびコリメートする第３モード
で動作させるための電圧信号を生成するように構成される、請求項１に記載の静電レンズシステム。
【請求項３】
前記第１モードにおいて、前記電圧源システムは、第１電圧を前記第１電極に印加し、第１電圧より大きい第２電圧を前記第２および第３電極それぞれに印加するように構成される、請求項２に記載の静電レンズシステム。
【請求項４】
前記第２モードにおいて、前記電圧源システムは、第１電圧を前記第１電極および第２電極に印加し、第１電圧より大きい第２電圧を前記第３電極に印加するように構成される、請求項２に記載の静電レンズシステム。
【請求項５】
前記第３モードにおいて、前記電圧源システムは、第１電圧を前記第１電極に印加し、第１電圧より大きい第２電圧を前記第２電極に印加し、第２電圧より小さい第３電圧を前記第３電極に印加するように構成される、請求項２に記載の静電レンズシステム。
【請求項６】
前記電圧源システムは、前記第１、第２、および第３電極にそれぞれ連結される第１、第２、および第３電圧源を備える、請求項１に記載の静電レンズシステム。
【請求項７】
前記第３モードにおいて、前記第１、第２、および第３電極は、相互動作して、イオンビームが前記第１および第２電極間を通過する際にイオンビームを部分的にコリメートし、イオンビームが前記第２および第３電極間を通過する際にイオンビームをさらにコリメートする、請求項２に記載の静電レンズシステム。
【請求項８】
前記上流ギャップは、前記第１電極の第１凹面と前記第２電極の第１凸面とによって画定され、前記下流ギャップは、前記第２電極の第２凸面と前記第３電極の第２凹面とによって画定される、請求項１に記載の静電レンズシステム。
【請求項９】
前記上流ギャップは、前記第１電極の第１凸面と前記第２電極の第１凹面とによって画定され、前記下流ギャップは、前記第２電極の第２凹面と前記第３電極の第２凸面とによって画定される、請求項１に記載の静電レンズシステム。
【請求項１０】
前記電圧源システムは、静電レンズシステムを、
前記第１および第２電極が相互動作してイオンビームを減速およびコリメートする第１モード、
前記第２および第３電極が相互動作してイオンビームを加速およびコリメートする第２モード、および
前記第１、第２、および第３電極が相互動作してイオンビームを減速、加速、およびコリメートする第３モード
で動作させるための電圧信号を生成するように構成される、請求項１に記載の静電レンズシステム。
【請求項１１】
発散イオンビームを処理する方法であって、
第１電極および第２電極の間で発散イオンビームを加速および部分的にコリメートして、加速および部分コリメートイオンビームを生成し、
第２電極および第３電極の間で前記加速および部分コリメートイオンビームを減速して、完全コリメートイオンビームを生成する、
方法。
【請求項１２】
さらに、
前記第１電極に、第１電極の出口側の第１凹面を設け、
前記第２電極に、第１電極の出口側と対向する第１凸面と、第２電極の出口側の第２凸面とを設け、
前記第３電極に、第２電極の出口側と対向する第２凹面を設ける、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記発散イオンビームは、第１発散イオンビームを含み、
さらに、
前記第１および第２電極間で第２発散イオンビームを加速して第２コリメートイオンビームを生成し、前記第２コリメートイオンビームのイオン速度に対する前記第２発散イオンビームのイオン速度の比は、０．５未満である、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記発散イオンビームは、第１発散イオンビームを含み、
さらに、
前記第２および第３電極間で第３発散イオンビームを減速して第３コリメートイオンビームを生成し、前記第３コリメートイオンビームのイオン速度に対する前記第３発散イオンビームのイオン速度の比は、２を超える、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
さらに、
第１電圧源から前記第１電極に第１電圧を与え、第２電圧源から前記第２電極に第２電圧を与え、第３電圧源から前記第３電極に第３電圧を与える、
請求項１１に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電レンズシステム及び発散イオンビームを処理する方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図４Ｂの例において、発散イオンビーム４２０は、静電レンズ３０２に入射し、減速およびコリメーションを受け、コリメートビーム４２２として静電レンズ３０２から出射する。これを実現するために、第１電圧源３２２は、第１電極３０４に電圧ＶＥ１を供給し、第２電圧源３２４は、第２電極３０６に電圧ＶＥ２を供給する。ここで、ＶＥ１＝ＶＥ２である。ある例において、ＶＥ１およびＶＥ２を、発散イオンビーム４２０の電位に設定してもよい。したがって、発散イオンビーム４２０が第１電極３０４および第２電極３０６の間のギャップを通過する時、発散イオンビーム４２０は電界に遭遇せず、第１電極３０４や第２電極３０６を通過する際にイオン軌道は変化しない。よって、発散イオンビーム４２０は、発散ビームとして第２電極３０６を通って伝播し続ける。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図５は、さらなる実施形態にかかる他の静電レンズシステム５００の上面図である。当該静電レンズシステムは、「両凹凸」レンズの代わりに、「両凸凹」レンズとして構成される静電レンズ５０２を含む。第１電極５０４は、イオンビーム５１０に対して出口側に第１凸面５１２を有し、これは、第２電極５０６上の第１凹面５１４と対向する。また、第２電極５０６は、出口側に第２凹面５１６を有し、これは、第３電極５０８上の第２凸面５１８と対向する。動作において、第１凸面５１２および第１凹面５１４の間の第１ギャップ５２０を減速場として用いてコリメーションを与え、第２凸面５１８および第２凹面５１６の間の第２ギャップ５２２を加速場として用いて再度コリメーションを与えてもよい。特に、コントローラ５２８は、静電レンズシステム５００を、加速モード、減速モード、または組み合わせモードで動作させてもよい。図３Ａ、３Ｂの静電レンズシステム３００と同様、組み合わせモードにおいて２つの比を設定して、１に近い入射イオンエネルギー対出力イオンエネルギーの全体比であっても、良好な光学系を得ることができる。加速モードでは、第１電極５０４および第２電極５０６を第１電位に設定し、第３電極５０８を第１電位より高い第２電位に設定する。減速モードでは、第１電極５０４を第１電位に設定し、第２電極５０６および第３電極５０８を第１電位より低い第２電位に設定する。組み合わせモードでは、第１電極５０４を第１電位に設定し、第２電極５０６を第１電位より低い第２電位に設定し、第３電極５０８を第２電位より高い第３電位に設定する。図４Ｃに示す実施形態と同様、組み合わせモードで動作する時、静電レンズ５０２は、第１ギャップ５２０および第２ギャップ５２２にわたって２ステップでイオンビーム５１０をコリメートするように動作し、ここで、静電レンズ５０２は、両ギャップ５２０、５２２で収束を加える。但し、この場合、イオンビーム５１０を、まず減速しその後加速する。