【手続補正書】
【提出日】平成29年11月15日(2017.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
本開示の様々な特徴及び局面は、以下の請求項において述べられる。本発明の実施態様の一部を以下の項目［１］−［１９］に記載する。
［項目１］
湿度を制御する方法であって、前記方法は、
滅菌する物体を受容するように構成されたチャンバを提供する工程と、
第１の量の水を、水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程と、
前記第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力上昇及び圧力低下を決定する工程と、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算する工程と、
第１湿度値（ＲＨチャンバ）を決定するために、第１の量の水を注入した後に、前記チャンバの湿度を感知する工程と、
前記第１湿度値を、予め選択された湿度値（ＲＨ設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨエラー）を判定する工程であって、ここでＲＨエラー＝ＲＨ設定点−ＲＨチャンバである、工程と、
第２の量の水を水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程であって、前記第２の量の水は、前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて計算される工程と、を含む、方法。
［項目２］
滅菌する投入物を、前記チャンバ内に位置付け、前記チャンバを密封する工程を更に含む、項目１に記載の方法。
［項目３］
第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバ内を真空引きする工程を更に含む、項目１又は２に記載の方法。
［項目４］
第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバを所定温度まで加熱する工程を更に含む、項目１〜３のいずれか一項に記載の方法。
［項目５］
吸収係数（ＡＣ）を計算する工程を更に含み、ここでＡＣ＝１＋（Ｐゲイン，ＡＲ＊ＡＲ）であり、ここでＰゲイン，ＡＲは、比例ゲイン定数であり、前記第２の量の水は前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて計算される、項目１〜４のいずれか一項に記載の方法。
［項目６］
前記第２の量の水は、前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）と比例する、項目５に記載の方法。
［項目７］
第１の量の水、又は第２の量の水を前記チャンバ内に、水蒸気として注入する工程は、注入時間（ｔ注入）にわたって、水注入弁を開く工程を含む、項目１〜６のいずれか一項に記載の方法。
［項目８］
前記注入時間（ｔ注入）は一定値である、項目７に記載の方法。
［項目９］
注入時間（ｔ注入）＝Ｐゲイン＊ＡＣ＊ＲＨエラーであり、Ｐゲインは、湿度エラー（ＲＨエラー）を調整するために使用される比例ゲイン定数である、項目７に記載の方法。
［項目１０］
第１の量の水を注入する工程の後、かつ前記チャンバの前記湿度を感知する工程の前に、投入物吸収時間ｔａｂｓだけ待つ工程を更に含む、項目１〜９のいずれか一項に記載の方法。
［項目１１］
前記投入物吸収時間（ｔａｂｓ）は一定値である、項目１０に記載の方法。
［項目１２］
吸収係数（ＡＣ）を計算する工程であって、ＡＣ＝１＋（Ｐゲイン，ＡＲ＊ＡＲ）であり、Ｐゲイン，ＡＲは、ＡＲを調整するために使用される比例ゲイン定数である、工程と、
前記投入物吸収時間ｔａｂｓを計算する工程であって、ｔａｂｓ＝ｔａｂｓ，ｈ，ｍａｘ／ＡＣであり、ｔａｂｓ，ｈ，ｍａｘは、最大投入物吸収時間を表す定数である、工程とを更に含む、項目１０に記載の方法。
［項目１３］
前記チャンバと流体連通する圧力センサーを提供する工程と、
前記圧力センサーを使用して、第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる前記圧力上昇及び前記圧力低下を決定する工程と、を更に含む、項目１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
［項目１４］
弁によって前記チャンバと選択的に流体連通する湿度センサーを提供する工程と、
前記チャンバの前記湿度を感知する前に、前記弁を開いて前記湿度センサーと前記チャンバとの間の流体連通をもたらす工程とを更に含む、項目１〜１３のいずれか一項に記載の方法。
［項目１５］
前記湿度センサーは、湿度マニホールド内に位置し、前記弁は前記チャンバと前記湿度マニホールドとの間に位置する、項目１４に記載の方法。
［項目１６］
第２の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の第２圧力上昇及び第２圧力低下を決定する工程と、
前記第２圧力低下の前記第２圧力上昇に対する比率として、第２吸収比率（ＡＲ２）を計算する工程と、
第２湿度値（ＲＨチャンバ，２）を決定するために、第２の量の水を注入した後に、前記チャンバの前記湿度を感知する工程と、
前記第２湿度値を、予め選択された湿度値（ＲＨ設定点）と比較して、第２湿度エラー（ＲＨエラー，２）を決定する工程であって、ＲＨエラー，２＝ＲＨ設定点−ＲＨチャンバ，２である、工程と、
第３の量の水を水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程であって、前記第３の量の水は、前記第２吸収比率（ＡＲ２）、及び前記第２湿度エラー（ＲＨエラー，２）に基づいて計算される工程と、を更に含む、項目１〜１５のいずれか一項に記載の方法。
［項目１７］
前記チャンバ内に殺菌ガスを投入する工程を更に含む、項目１〜１６のいずれか一項に記載の方法。
［項目１８］
殺菌ガスで物体を滅菌するための滅菌器であって、前記滅菌器は、
滅菌する物体を受容するためのチャンバと、
前記チャンバ内への殺菌ガスの投入を制御するため、殺菌ガス源に接続され得る殺菌ガス制御システムと、
前記チャンバ内の気体環境を操作するための湿度制御システムであって、前記湿度制御システムは、
選択可能な量の水を前記チャンバ内に注入するため、水源に接続され得る水制御システム、
前記チャンバ内の圧力を測定するため、前記チャンバと流体連通する圧力センサー、
前記チャンバ内の前記気体環境の湿度値（ＲＨチャンバ）を感知するため、前記チャンバと流体連通、又は選択的流体連通する湿度センサー、及び
第１の量の水をチャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力低下及び圧力上昇を判定し、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算し、
前記湿度値（ＲＨチャンバ）と予め選択された湿度値（ＲＨ設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨエラー）を決定し（ここでＲＨエラー＝ＲＨ設定点−ＲＨチャンバ）、
前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて前記チャンバに注入される第２の量の水を判定する、ように構成されたコントローラを含む、湿度制御システムとを含む、滅菌器。
［項目１９］
チャンバ内の気体環境を操作するための湿度制御システムであって、前記システムは、
選択可能な量の水を前記チャンバ内に注入するため、水源に接続され得る水制御システムと、
前記チャンバ内の圧力を測定するため、前記チャンバと流体連通する圧力センサーと、
前記チャンバ内の前記気体環境の湿度値（ＲＨチャンバ）を感知するため、前記チャンバと流体連通、又は選択的流体連通する湿度センサーと、
第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力低下及び圧力上昇を判定し、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算し、
前記湿度値（ＲＨチャンバ）を予め選択された湿度値（ＲＨ設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨエラー）を決定し（ここでＲＨエラー＝ＲＨ設定点−ＲＨチャンバ）、
前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて前記チャンバに注入される第２の量の水を判定する、ように構成されたコントローラとを含む、システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿度を制御する方法であって、前記方法は、
滅菌する物体を受容するように構成されたチャンバを提供する工程と、
第１の量の水を、水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程と、
前記第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力上昇及び圧力低下を決定する工程と、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算する工程と、
第１湿度値（ＲＨチャンバ）を決定するために、第１の量の水を注入した後に、前記チャンバの湿度を感知する工程と、
前記第１湿度値を、予め選択された湿度値（ＲＨ設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨエラー）を判定する工程であって、ここでＲＨエラー＝ＲＨ設定点−ＲＨチャンバである、工程と、
第２の量の水を水蒸気として前記チャンバ内に注入する工程であって、前記第２の量の水は、前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて計算される工程と、を含む、方法。
【請求項２】
滅菌する投入物を、前記チャンバ内に位置付け、前記チャンバを密封する工程を更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバ内を真空引きする工程を更に含む、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
第１の量の水を前記チャンバ内に注入する前に、前記チャンバを所定温度まで加熱する工程を更に含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
吸収係数（ＡＣ）を計算する工程を更に含み、ここでＡＣ＝１＋（Ｐゲイン，ＡＲ＊ＡＲ）であり、ここでＰゲイン，ＡＲは、比例ゲイン定数であり、前記第２の量の水は前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて計算される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記第２の量の水は、前記吸収係数（ＡＣ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）と比例する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
第１の量の水、又は第２の量の水を前記チャンバ内に、水蒸気として注入する工程は、注入時間（ｔ注入）にわたって、水注入弁を開く工程を含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
第１の量の水を注入する工程の後、かつ前記チャンバの前記湿度を感知する工程の前に、投入物吸収時間ｔａｂｓだけ待つ工程を更に含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
チャンバ内の気体環境を操作するための湿度制御システムであって、前記システムは、
選択可能な量の水を前記チャンバ内に注入するため、水源に接続され得る水制御システムと、
前記チャンバ内の圧力を測定するため、前記チャンバと流体連通する圧力センサーと、
前記チャンバ内の前記気体環境の湿度値（ＲＨチャンバ）を感知するため、前記チャンバと流体連通、又は選択的流体連通する湿度センサーと、
第１の量の水を前記チャンバに注入することにより生じる、前記チャンバ内の圧力低下及び圧力上昇を判定し、
前記圧力低下の前記圧力上昇に対する比率として、吸収比率（ＡＲ）を計算し、
前記湿度値（ＲＨチャンバ）を予め選択された湿度値（ＲＨ設定点）と比較して、湿度エラー（ＲＨエラー）を決定し（ここでＲＨエラー＝ＲＨ設定点−ＲＨチャンバ）、
前記吸収比率（ＡＲ）、及び前記湿度エラー（ＲＨエラー）に基づいて前記チャンバに注入される第２の量の水を判定する、ように構成されたコントローラとを含む、システム。
【請求項１０】
殺菌ガスで物体を滅菌するための滅菌器であって、前記滅菌器は、
滅菌する物体を受容するためのチャンバと、
前記チャンバ内への殺菌ガスの投入を制御するため、殺菌ガス源に接続され得る殺菌ガス制御システムと、
請求項９に記載の湿度制御システムと、を含む、滅菌器。