(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光部品同士を接続する際に両光部品の接続面を平行に合わせる光部品接続面の平行合せ方法において、前記光部品のうち一方の光部品を球面状の内部空間に供給される流体により移動・回転自在な球面体を有するジンバル機構により保持すると共にジンバル機構の後部はスライド軸を介して弾性機構の前部に接触状態に保持し、前記両光部品を相対的に接近させて両接続面を押し付けると、前記弾性機構は復元力に抗して後方へ移動して面合せが完了したら、前記ジンバル機構の内部空間の流体圧を前記両接続面に作用する押圧力を低下させる方向に制御して球面体を前記弾性機構側へ後退させると共に、このときの球面体の後方への移動に応じた弾性機構の復元力によりジンバル機構を前方へ移動させること、を特徴とする光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項２】
前記弾性機構の復元力による移動可能量が前記ジンバル機構の前記球面体を内部空間において固定する際の移動量よりも大であること、を特徴とする請求項１記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項３】
前記弾性機構の復元力による移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、前記一方の光部品を他方の光部品側へ移動させる補助移動手段を備えてなること、を特徴とする請求項１に記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項４】
前記弾性機構が、変位量を圧力に変換する圧力計であること、を特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項５】
前記球面体を固定した後、前記両接続面間に作用する押圧力を前記圧力計により測定することを特徴とする請求項４記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項６】
前記弾性機構が、変位量を力に変換する荷重計であること、を特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項７】
前記球面体を固定した後、前記両接続面間に作用する押圧力を前記荷重計により測定することを特徴とする請求項５記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項８】
前記補助移動手段が、前記弾性機構を前記他方の光部品側へ移動させるものであること、を特徴とする請求項３に記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項９】
前記補助移動手段が、前記一方の光部品を保持すると共に前記ジンバル機構の球面体に移動可能に設けられた直動軸であること、を特徴とする請求項３に記載の光部品接続面の平行合せ方法。
【請求項１０】
光部品同士を接続する際に両光部品の接続面を平行に合わせる光部品接続面の面合せ機構であって、前記光部品のうち一方の光部品を保持すべく球面状の内部空間に供給される流体により移動・回転自在な球面体を有するジンバル機構と、このジンバル機構の後部に一体化され前後方向へ移動自在かつ回転自在なスライド軸と、このスライド軸の後部に固定して設けられた復元力ゅ有する弾性機構と、を備え、前記両光部品を相対的に接近させ両接続面を押し付けると前記弾性機構が復元力に抗して後方へ移動して面合せを行った後に前記接続面における押圧力を低下させる方向へ前記球面体を前記弾性機構側へ後退させて前記一方の光部品の移動量に応じた弾性機構の復元力により前記ジンバル機構を前方へ移動させるべく構成されていることを特徴とする光部品接続面の面合せ機構。
【請求項１１】
前記弾性機構の復元力による移動可能量が、前記ジンバル機構の前記球面体を内部空間において固定する際の移動量よりも大であること、を特徴とする請求項１０記載の光部品接続面の面合せ機構。
【請求項１２】
前記弾性機構の移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、前記一方の光部品を他方の光部品側へ移動させる補助移動手段を備えてなること、を特徴とする請求項１０に記載の光部品接続面の面合せ機構。
【請求項１３】
前記弾性機構が、変位量を圧力に変換する圧力計であること、を特徴とする請求項１０から１２のいずれかに記載の光部品接続面の面合せ機構。
【請求項１４】
前記弾性機構が、変位量を力に変換する荷重計であること、を特徴とする請求項１０から１２のいずれかに記載の光部品接続面の面合せ機構。
【請求項１５】
前記補助移動手段が、前記弾性機構を前記他方の光部品側へ移動させるものであること、を特徴とする請求項１２に記載の光部品接続面の面合せ機構。
【請求項１６】
前記補助移動手段が、前記一方の光部品を保持すると共に前記ジンバル機構の球面体に移動可能に設けられた直動軸であること、を特徴とする請求項１２に記載の光部品接続面の面合せ機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光部品の接続における光部品接続面の平行合せ方法および光部品接続面の面合せ機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、光部品を接続する際の両接続面の平行合せには、接続部を拡大して取り込んだ画像を処理して分析する画像処理により自動的に接続面の平行合せを行ったり、あるいはモニタに接続部を拡大して映し出し、この像を見ながらオペレータがマニュアルで調整機構を操作して、接続面が平行になるようにすることが行われていた。
【０００３】
しかしながら、前述の画像処理による方法においては、接続面を平行に合わせるための回転制御軸３軸が必要であり、複雑且つコストが高くなるという問題があった。
【０００４】
また、前述のオペレータによるマニュアル面合せでは、作業に時間がかかるため光部品の接続の自動化ができない。あるいは、オペレータの熟練度により面合せ精度がばらつくという問題があった。
【０００５】
そこで、例えば特開平９−１３３８３２号公報に示されているような、光部品の接続面を接触させるだけで接続面を容易に平行に合わせる機構（ジンバル機構）が提案された。
【０００６】
図４を参照して、このジンバル機構１の概略を説明する。このジンバル機構１では、Ｚ軸方向に二分されて内部に球面状の内部空間３を有するハウジング５と、この内部空間３において供給される流体（ここではエアー）およびスプリング７により回転・移動自在に支持される球面体９を有している。
【０００７】
この球面体９の中心には回転軸１１が前方（図４中右方向）に水平に設けられており、この回転軸１１の先端に一方の光部品１３Ａが取り付けられるようになっている。
【０００８】
前記内部空間３の前後の内壁１５Ｆ、１５Ｒには、空気軸受けを構成するように、図示省略の空気源からの空気を球面体９に向けて吹き出す後側空気ノズル１７Ｒおよび前側空気ノズル１７Ｆが複数個づつ設けられている。
【０００９】
なお、前述のジンバル機構１の後端面１Ｒは、図示はしないがＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動自在のテーブルの上において、軸受け１９を介してＺ軸方向およびＣ軸方向へ回転自在のスライド軸２１の先端に取り付けられている。
【００１０】
上記構成により、球面体９の回転軸１１にセットされている一方の光部品１３Ａの接続面２３Ａを、固定ホルダ２５にセットされている他方の光部品１３Ｂの接続面２３Ｂに押し付けて、接続面２３Ａをほぼ中心とする球面体９の自由な移動により面合せを行う。このとき、移動抵抗を極めて小さくするように、前後のノズル１７Ｆ、１７Ｒから球面体９に向けて空気が吹き出している。
【００１１】
面合せが完了すると、一方の光部品１３Ａを固定するが、このような光部品の多くがガラスやシリコンでできていて脆いため、急激なショックや大きな荷重をかけることができない。
【００１２】
このため、過大な力が光部品１３Ａ、１３Ｂに作用しないように後側空気ノズル１７Ｒを閉めて空気を止め、前側空気ノズル１７Ｆから吹き出す空気により球面体９を内部空間３の後側の内壁１５Ｒに押し付けて固定する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したジンバル機構１では、ジンバル機構１の球面体９の後側のエア−の圧力を低下させることで球面体９を内部空間３の後側の内壁１５Ｒに接触させて一方の光部品１３Ａの固定を行っており、このエアーの圧力を変えると隙間分（約数十μｍ）だけ移動するので、両光部品１３Ａ、１３Ｂは非接触となってしまう。これに伴って、接触面２３Ａ、２３Ｂ同士の平行度が変化してしまうという問題がある。
【００１４】
この発明の目的は、以上のような従来の技術に着目してなされたものであり、光部品の接続面間に隙間をあけることなく両接続面を平行に保つことのできる光部品接続面の平行合せ方法および光部品接続面の面合せ機構を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、光部品同士を接続する際に両光部品の接続面を平行に合わせる光部品接続面の平行合せ方法において、前記光部品のうち一方の光部品を球面状の内部空間に供給される流体により移動・回転自在な球面体を有するジンバル機構により保持すると共にジンバル機構の後部はスライド軸を介して弾性機構の前部に接触状態に保持し、前記両光部品を相対的に接近させて両接続面を押し付けると、前記弾性機構は復元力に抗して後方へ移動して面合せが完了したら、前記ジンバル機構の内部空間の流体圧を前記両接続面に作用する押圧力を低下させる方向に制御して球面体を前記弾性機構側へ後退させると共に、このときの球面体の後方への移動に応じた弾性機構の復元力によりジンバル機構を前方へ移動させること、を特徴とするものである。
【００１６】
従って、ジンバル機構の球面体により保持された一方の光部品を相対的に他方の光部品に接近させて接続面を押し付けて面合せを行った後、ジンバル機構の内部空間の流体圧を制御して前記接続面における押圧力を減少させる方向へ球面体を後退させて固定すると共に、このときの球面体の後方への移動量に応じた弾性機構の復元力によりジンバル機構を前方へ移動させる。
【００１７】
請求項２による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項１記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記弾性機構の復元力による移動可能量が前記ジンバル機構の前記球面体を内部空間において固定する際の移動量よりも大であること、を特徴とするものである。
【００１８】
従って、一方の光部品を保持する球面体を内部空間において固定する際に球面体が移動しても、弾性機構の復元力により一方の光部品を他方の光部品側へ付勢するので、両接続面は常に接触している。
【００１９】
請求項３による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項１に記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記弾性機構の復元力による移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、前記一方の光部品を他方の光部品側へ移動させる補助移動手段を備えてなること、を特徴とするものである。
【００２０】
従って、弾性機構の復元力による移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、一方の光部品を保持する球面体を後退させて内部空間において固定すると前記光部品の両接続面に隙間ができるため、補助移動手段により一方の光部品を他方の光部品側へ移動させて常に両光部品を押付けるようにする。
【００２１】
請求項４による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項１から３のいずれかに記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記弾性機構が、変位量を圧力に変換する圧力計であること、を特徴とするものである。
【００２２】
従って、圧力計の弾性機構の復元力により両光部品を押し付けることができる。
【００２３】
請求項５による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項４記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記球面体を固定した後、前記両接続面間に作用する押圧力を前記圧力計により測定することを特徴とするものである。
【００２４】
請求項６による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項１から３のいずれかに記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記弾性機構が、変位量を力に変換する荷重計であること、を特徴とするものである。
【００２５】
従って、荷重計の弾性機構の復元力により両光部品を押し付けることができる。
【００２６】
請求項７による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項６記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記球面体を固定した後、前記両接続面間に作用する押圧力を前記荷重計により測定することを特徴とするものである。
【００２７】
請求項８による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項３に記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記補助移動手段が、前記弾性機構を前記他方の光部品側へ移動させるものであること、を特徴とするものである。
【００２８】
従って、補助移動手段により弾性機構を他方の光部品側へ移動させることができるので、一方の光部品は弾性機構の復元力により他方の光部品に常に押し付けられる。
【００２９】
請求項９による発明の光部品接続面の平行合せ方法は、請求項３に記載の光部品接続面の平行合せ方法において、前記補助移動手段が、前記一方の光部品を保持すると共に前記ジンバル機構の球面体に移動可能に設けられた直動軸であること、を特徴とするものである。
【００３０】
従って、直動軸が弾性機構の復元力による移動量を補うので、一方の光部品は常に他方の光部品に押付けられる。
【００３１】
請求項１０による発明の光部品接続面の面合せ機構は、光部品同士を接続する際に両光部品の接続面を平行に合わせる光部品接続面の面合せ機構であって、前記光部品のうち一方の光部品を保持すべく球面状の内部空間に供給される流体により移動・回転自在な球面体を有するジンバル機構と、このジンバル機構の後部に一体化され前後方向へ移動自在かつ回転自在なスライド軸と、このスライド軸の後部に固定して設けられた復元力ゅ有する弾性機構と、を備え、前記両光部品を相対的に接近させ両接続面を押し付けると前記弾性機構が復元力に抗して後方へ移動して面合せを行った後に前記接続面における押圧力を低下させる方向へ前記球面体を前記弾性機構側へ後退させて前記一方の光部品の移動量に応じた弾性機構の復元力により前記ジンバル機構を前方へ移動させるべく構成されていることを特徴とするものである。
【００３２】
従って、ジンバル機構の球面体により保持された一方の光部品を相対的に他方の光部品に接近させて接続面を押し付けて面合せを行った後、ジンバル機構の内部空間の流体圧を制御して前記接続面における押圧力を減少させる方向へ球面体を後退させて固定すると共に、このときの球面体の後方への移動量に応じた弾性機構の復元力によりジンバル機構を前方へ移動させる。
【００３３】
請求項１１による発明の光部品接続面の面合せ機構は、請求項１０記載の光部品接続面の面合せ機構において、前記弾性機構の復元力による移動可能量が、前記ジンバル機構の前記球面体を内部空間において固定する際の移動量よりも大であること、を特徴とするものである。
【００３４】
従って、一方の光部品を保持する球面体を内部空間において固定する際に球面体が移動しても、弾性機構の復元力により一方の光部品を他方の光部品側へ付勢するので、両接続面は常に接触している。
【００３５】
請求項１２による発明の光部品接続面の面合せ機構は、請求項１０に記載の光部品接続面の面合せ機構において、前記弾性機構の移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、前記一方の光部品を他方の光部品側へ移動させる補助移動手段を備えてなること、を特徴とするものである。
【００３６】
従って、弾性機構の復元力による移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、一方の光部品を保持する球面体を後退させて内部空間において固定すると隙間ができるため、補助移動手段により一方の光部品を他方の光部品側へ移動させて常に両光部品を押付けるようにする。
【００３７】
請求項１３による発明の光部品接続面の面合せ機構は、請求項１０から１２のいずれかに記載の光部品接続面の面合せ機構において、前記弾性機構が、変位量を圧力に変換する圧力計であること、を特徴とするものである。
【００３８】
従って、弾性機構の復元力により両光部品を押し付けると同時に両接続面間に作用する圧力を測定する。
【００３９】
請求項１４による発明の光部品接続面の面合せ機構は、請求項１０から１２のいずれかに記載の光部品接続面の面合せ機構において、前記弾性機構が、変位量を力に変換する荷重計であること、を特徴とするものである。
【００４０】
従って、弾性機構の復元力により両光部品を押し付けると同時に両接続面間に作用する力を測定する。
【００４１】
請求項１５による発明の光部品接続面の面合せ機構は、請求項１２に記載の光部品接続面の面合せ機構において、前記補助移動手段が、前記弾性機構を前記他方の光部品側へ移動させるものであること、を特徴とするものである。
【００４２】
従って、補助移動手段により弾性機構を他方の光部品側へ移動させることができるので、一方の光部品は弾性機構の復元力により他方の光部品に常に押し付けられる。
【００４３】
請求項１６による発明の光部品接続面の面合せ機構は、請求項１２に記載の光部品接続面の面合せ機構において、前記補助移動手段が、前記一方の光部品を保持すると共に前記ジンバル機構の球面体に移動可能に設けられた直動軸であること、を特徴とするものである。
【００４４】
従って、直動軸が弾性機構の復元力による移動量を補うので、一方の光部品は常に他方の光部品に押付けられる。
【００４５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００４６】
図１（Ａ）〜（Ｃ）には、この発明に係る光部品接続面の平行合せ方法の工程が示されている。なお、この光部品接続面の平行合せ方法に用いられる面合せ機構２７は、先に図４で説明した特開平９−１３３８３２号公報に示されているものと同様のものなので、共通する部位には共通の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００４７】
ジンバル機構１は、軸受け１９によりＺ軸方向へ移動自在且つＣ軸回りに回転可能なスライド軸２１の先端（図１中右側端部）に取り付けられている。また、スライド軸２１の後端には、変位量に比例した復元力を発生させる弾性変形部２９を有する弾性機構３１がフレーム３３との間に設けられている。
【００４８】
次に、図１（Ａ）〜（Ｃ）を参照して、光部品接続面の平行合せ方法について説明する。
【００４９】
図１（Ａ）を参照するに、ジンバル機構１の回転軸１１にセットされている光ファイバ３５付きの光部品１３Ａの接続面２３Ａを、図示しないＸＹθテーブルにセットされている光ファイバ３７付きの他方の光部品１３Ｂの接続面２３Ｂに対向させる。
【００５０】
そして、弾性機構３１とスライド軸２１とを押付荷重ゼロで接触した状態とし、図示しないＸＹθテーブルにより光部品１３Ａと光部品１３Ｂを相対的に接近させる。このときの弾性機構３１本体とスライド軸２１の後端面２１Ｒとの距離をＢ１とし、ジンバル機構１の内部空間３の後側内壁１５Ｒとの隙間をＡとする。
【００５１】
次に、図１（Ｂ）に示されているように、さらに光部品１３Ａと光部品１３Ｂを接近させ、両光部品１３Ａ、１３Ｂ間の押付荷重が所定の値になるまで接続面２３Ａ、２３Ｂ同士を押し付ける。このとき、弾性機構３１の弾性変形部２９は復元力に抗して弾性機構３１本体とスライド軸２１の後端面２１Ｒとの距離をＢ２とする。
【００５２】
そして、ジンバル機構１の内部空間３における球面体９の後側の空気を徐々に減圧すると、図１（Ｃ）に示されているように、球面体９が後側の内壁１５Ｒに接触して回転軸１１が固定される。このときの弾性機構３１本体とスライド軸２１の後端面２１Ｒとの距離がＢ３になると共にジンバル機構１の内部空間３の後側内壁１５Ｒとの隙間が０（ゼロ）となる。
【００５３】
Ｂ１＞Ｂ３の場合にはスライド軸２１の後端面２１Ｒに押圧力が作用しており、Ｂ１≦Ｂ３の場合には押圧力が作用していないことがわかる。
【００５４】
そこで、Ｂ１＞Ｂ３のときには、球面体９の後方への移動に応じた弾性機構３１の弾性変形部２９の復元力により、ジンバル機構１を前方へ移動させることで、弾性機構３１からスライド軸２１を介して回転軸１１へ押圧力が伝達されるので、光部品１３Ａは光部品１３Ｂに押付けられる。なお、弾性機構３１としては、面の押圧力測定ができ且つ復元力の大きな例えば変位量を圧力に変換する圧力計や、剛性を小さくし易い例えば歪ゲージを用いた荷重計等が適する。
【００５５】
一方、Ｂ１≦Ｂ３のときには、両光部品１３Ａ、１３Ｂ間の接続面の面圧がゼロであり、隙間が明くこともある。これは弾性機構３１の変位量では不足しているためであり、補助移動手段が必要になる。
【００５６】
例えば、図２を参照するに、弾性機構３１として圧電素子のロードセルや剛性の高い荷重計を用いた場合には、ジンバル機構１の回転軸１１の上にガイド３９を設けこのガイドに沿って直動する直動軸４１を設けこの直動軸に光部品１３Ａを取り付ける。そして、直動軸４１にバネやゴム等の弾性部材４３を取付けて光部品１３Ａを光部品１３Ｂの方へ付勢するようにする。
【００５７】
あるいは、図３を参照するに、弾性機構３１とフレーム３３の間にバネやゴム等の弾性部材４５を設けるようにしてもよい。この場合でも、先に説明した図２に示されている場合と同様に復元力不足を補うことができると共に、両光部品１３Ａ、１３Ｂの接続面２３Ａ、２３Ｂ間の荷重（あるいは面圧）を測定することができる。
【００５８】
以上の結果から、弾性機構３１の復元力不足の場合には例えば直動軸４１等の補助移動手段を用いることにより、ジンバル機構１の球面体９を固定した後も両光部品１３Ａ、１３Ｂの接続面２３Ａ、２３Ｂ間に隙間を明けずに、所定の面圧を保持することができるので、接続面２３Ａ、２３Ｂの平行を保持することができる。
【００５９】
なお、この発明は前述の発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、ジンバル機構の球面体により保持された一方の光部品を相対的に他方の光部品に接近させて接続面を押し付けて面合せを行った後、ジンバル機構の内部空間の流体圧を制御して前記接続面における押圧力を減少させる方向へ球面体を後退させて固定すると共に、このときの球面体の後方への移動量に応じた弾性機構の復元力によりジンバル機構を前方へ移動させるので、常に両光部品は離れることなく所定の押圧力で接触を保つことができ、接続面の平行を保持することができる。
【００６１】
請求項２の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、一方の光部品を保持する球面体を内部空間において固定する際に球面体が移動しても、弾性機構の復元力により一方の光部品を他方の光部品側へ付勢するので、両接続面は常に接触して平行を保持することができる。
【００６２】
請求項３の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、弾性機構の復元力による移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、一方の光部品を保持する球面体を後退させて内部空間において固定すると隙間ができるが、補助移動手段により一方の光部品をさらに他方の光部品側へ移動させることができるので、常に両光部品を押付けるようにすることができ両光部品の接続面が離れずに平行を保持することができる。
【００６３】
請求項４の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、弾性機構の復元力により両光部品を押し付けると同時に両接続面間に作用する圧力を測定するので、両光部品間の押圧力から両光部品の接続面間が接触しているか、あるいは隙間が明いているかを判断することができる。
【００６４】
請求項５の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、前記球面体を固定した後の、前記光部品の接続面間の押圧力を、圧力計により測ることができる。
【００６５】
請求項６の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、弾性機構の復元力により両光部品を押し付けると同時に両接続面間に作用する力を測定するので、両光部品間に作用する力から両光部品の接続面間が接触しているか、あるいは隙間が明いているかを判断することができる。
【００６６】
請求項７の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、前記球面体を固定した後の、前記光部品の接続面間の押圧力を、荷重計により測ることができる。
【００６７】
請求項８の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、補助移動手段により弾性機構を他方の光部品側へ移動させることができ、一方の光部品は弾性機構の復元力により他方の光部品に常に押し付けられるので、常に両光部品の接続面が離れずに平行を保持することができる。
【００６８】
請求項９の発明による光部品接続面の平行合せ方法では、直動軸が弾性機構の復元力による移動量を補うので、一方の光部品は常に他方の光部品に押付けられて、常に両光部品の接続面が離れずに平行を保持することができる。
【００６９】
請求項１０の発明による光部品接続面の面合せ機構では、ジンバル機構の球面体により保持された一方の光部品を相対的に他方の光部品に接近させて接続面を押し付けて面合せを行った後、ジンバル機構の内部空間の流体圧を制御して前記接続面における押圧力を減少させる方向へ球面体を後退させて固定すると共に、このときの球面体の後方への移動量に応じた弾性機構の復元力によりジンバル機構を前方へ移動させるので、常に両光部品は離れることなく所定の押圧力で接触を保つことができ、接続面の平行を保持することができる。
【００７０】
請求項１１の発明による光部品接続面の面合せ機構では、一方の光部品を保持する球面体を内部空間において固定する際に球面体が移動しても、弾性機構の復元力により一方の光部品を他方の光部品側へ付勢するので、両接続面は常に接触して平行を保持することができる。
【００７１】
請求項１２の発明による光部品接続面の面合せ機構では、弾性機構の復元力による移動可能量が前記球面体を固定する際の移動量よりも小さい場合には、一方の光部品を保持する球面体を後退させて内部空間において固定すると隙間ができるが、補助移動手段により一方の光部品をさらに他方の光部品側へ移動させることができるので、常に両光部品を押付けるようにすることができ両光部品の接続面が離れずに平行を保持することができる。
【００７２】
請求項１３の発明による光部品接続面の面合せ機構では、弾性機構の復元力により両光部品を押し付けると同時に両接続面間に作用する圧力を測定するので、両光部品間の圧力から両光部品の接続面間が接触しているか、あるいは隙間が明いているかを判断することができる。
【００７３】
請求項１４の発明による光部品接続面の面合せ機構では、弾性機構の復元力により両光部品を押し付けると同時に両接続面間に作用する力を測定するので、両光部品間に作用する力から両光部品の接続面間が接触しているか、あるいは隙間が明いているかを判断することができる。
【００７４】
請求項１５の発明による光部品接続面の面合せ機構では、補助移動手段により弾性機構を他方の光部品側へ移動させることができ、一方の光部品は弾性機構の復元力により他方の光部品に常に押し付けられるので、常に両光部品の接続面が離れずに平行を保持することができる。
【００７５】
請求項１６の発明による光部品接続面の面合せ機構では、直動軸が弾性機構の復元力による移動量を補うので、一方の光部品は常に他方の光部品に押付けられて、常に両光部品の接続面が離れずに平行を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）から（Ｃ）は、この発明に係る光部品接続面の平行合せ方法の工程図である。
【図２】この発明に係る光部品接続面の面合せ機構の実施の形態を示す断面図である。
【図３】この発明に係る光部品接続面の面合せ機構の別の実施の形態を示す断面図である。
【図４】従来より知られている光部品接続面の面合せ機構を示す断面図である。
【符号の説明】
１  ジンバル機構
３  内部空間
９  球面体
１３Ａ、１３Ｂ  光部品
２３Ａ、２３Ｂ  接続面
３１  弾性機構
４１  直動軸（補助移動機構）
【図１】
0003600080.tif 000002
【図２】
0003600080.tif 000003
【図３】
0003600080.tif 000004
【図４】
0003600080.tif 000005