(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブと、
該プローブを保持し、該プローブを対象物方向に接近及び離間させるように回動可能に装着された保持体と、
該保持体に前記プローブを対象物方向に移動させる力を加える弾性体と、
該保持体に前記プローブを対象物方向と反対方向にに移動させる力を加える弾性体と、
該弾性体の中の少なくとも１つの弾性体の力を調節するための手段と、
を備えたことを特徴とする接触センサ装置。
【請求項２】
前記プローブを対象物方向に接近させる方向への保持体の回動を制限する手段を更に備えた、
請求項１に記載の接触センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は接触センサ装置に関し、接触圧力の調整が容易で、しかも小さな接触圧力を得ることが出来る接触センサ装置を提供することを目的とする。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりセンサには各種の構成のものがしられているが、その中に対象物に直接接触させて対象物の所定の特性を検出する接触センサ装置が知られている。
このような接触センサ装置は、例えば液晶表示回路の検査等に多く用いられており、この検査においては接触センサ装置のプローブを液晶基板に接触させたまま摺動させて回路の状態を検出するように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記したようにプローブを摺動接触させて用いる場合、プローブの接触圧力の調整が重要であり、接触圧力が大きすぎると検査対象部にキズをつける上、プローブの摩耗が多くなる欠点がある。また接触圧力が小さいと接触性が悪化して検出の信頼性が低下する問題がある。
本発明は上記した従来技術の問題点を解決することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段及び作用】
上記目的を達成するために本発明の接触センサ装置は、プローブと、該プローブを保持し、該プローブを対象物方向に接近及び離間させるように回動可能に装着された保持体と、該保持体に前記プローブを対象物方向に移動させる力を加える弾性体と、該保持体に前記プローブを対象物方向と反対方向にに移動させる力を加える弾性体と、該弾性体の中の少なくとも１つの弾性体の力を調節するための手段とを備えたことを特徴とする。
回動可能な保持体をそれぞれ逆方向に回動させる力を及ぼす弾性体により保持体のバランスを保ち、プローブの対象物への安定した接触を小さな接触圧力により実現できる。また弾性体の少なくとも一方の力を調節する手段により、対象物との接触圧力を精密に調整することが可能になる。
また、前記プローブを対象物方向に接近させる方向への保持体の回動を制限する手段を更に備えるようにすることも可能であり、これによりプローブが対象物へ大きな力で接触することを防止することが可能になる。
【０００５】
【実施例】
以下本発明を液晶表示装置検査用の接触センサ装置に適用した実施例を図面に基づいて説明する。
図１はその全体正面図、図２は部分拡大図である。
プローブ１は図示するように針状に成っており、その先端が液晶表示装置の電極に摺動接触することにより、電極の導通、非導通を検出するようになっている。プローブ１は保持体２の先端に傾斜した取り付けられており、図面上左方向に移動しつつ液晶表示装置に摺動接触するようになっている。
【０００６】
保持体２はそのほぼ中央部で支持体３に回動可能に支持されており、該支持体３の両脇において、針圧調整用バネ４とバランスバネ５により押圧力を受ける構成になっている。
保持体２は図３に示すようにほぼ中央部にテーパ溝２０を備えており、このテーパ溝２０において、支持体３に装着された支軸２１上に載置され、回動可能に支持されている。
このようにテーパ溝２０と支軸２１の組み合わせにより、支持体３は図面左右方向への動きを規制されるから、支持体３及びプローブ１の左右方向のぶれを防止することが可能になる。
【０００７】
保持体２には針圧調整用バネ４の下端部を受けるスペーサ用孔６０が形成されており、ここにスペーサ６とワッシャ６１を挿入し、更に必要に応じてワッシャ６１の枚数を増加することにより針圧調整用バネ４の押圧力を調整するようになっている。
【０００８】
保持体２の後端には上方向に向けて制限ネジ７が装着されおり、ストッパ７０に当接して保持体２の回動を制限するようになっている。制限ネジ７の突出量はネジ込み量の調整により可能であり、これにより回動制限位置の調整を行えるように構成されている。この調整によりプローブ１の最下端位置を調整できる。
またストッパ７０に連続してプローブ接地信号用端子１７が設けられており、プローブ１が被検対象物に接触して、制限ネジ７とストッパ７０が離れると、該信号をプローブ接地信号用端子１７により検出してプローブ１の被検対象物への接触を知ることが出来るようになっている。
なお、プローブ接地信号用端子１７はハッチングで示す絶縁部１４を介して装着部３０側に固定されている。
【０００９】
支持体３の上部は装着部３０になっており、Ｌ字取付具９の先端に着脱可能に嵌装した構成になっている。Ｌ字取付具９は図１に示すように、測定装置本体Ｘに昇降可能に嵌装しており、昇降用てこ１０を昇降用調整ネジ１１により傾動させることによりＬ字取付具９を上下方向に昇降できるようになっている。
【００１０】
また、１５は検出端子であり、検出ケーブル１６に接続して、プローブ１からの信号を装置本体に送るようになっている。この検出端子１５もハッチングで示す絶縁部１３を介して装着部３０側に固定されている。
【００１１】
以上の構成において、最初に昇降用調整ネジ１１によりＬ字取付具９を昇降させてプローブ１の大体の上下位置を調整し、次にスペーサ用孔６０にスペーサ６或いはワッシャ６１を適宜装着して、針圧調整用バネ４の押圧力を調整する。
また、制限ネジ７を回して、制限ネジ７の突出量を調整して、プローブ１が対象物方向に下がる限界位置を調整する。
以上の調整が終了したら、昇降用調整ネジ１１を回してＬ字取付具９を下降させ、プローブ１を対象物に接触させて、装置全体を図面左方向に走行させ、プローブ１を摺動接触させつつ、検出端子１５から信号を取り出す。
プローブ１はバランスバネ５と針圧調整用バネ４の押圧力のバランスにより決定される接触圧力で対象物に接触する。該接触圧力は針圧調整用バネ４の押圧力を調整することにより高精度の調整が可能である。また、バランスバネ５と針圧調整用バネ４によりバランスさせてあるため、小さな接触圧力でも、プローブ１は対象物との良好な接触を保ち、測定ミス等が生じない。
更に、制限ネジ７によりプローブ１の下方位置は制限されているため、不測の大きな力が掛かっても対象物を傷つける等の事故が生じない。
【００１２】
なお、上記実施例ではプローブ１として針状のものを使用しているが、これに限定されるものではなく、車輪状のもの等も採用可能である。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の接触センサ装置は、小さな接触圧力でも接触状態を良好に保つことができ、しかも該接触圧力の調整も簡単に行える。更に、大きな力が加わった場合でも、対象物にキズをつける等の恐れがない等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す正面図。
【図２】図１の部分拡大図。
【図３】支持体３の回動構造を説明する拡大図。
【符号の説明】
１：プローブ、２：保持体、３：支持体、４：針圧調整用バネ、５：バランスバネ、６：スペーサ、７：制限ネジ、９：Ｌ字取付具、１０：昇降用てこ、１１：昇降用調整ネジ、１３：絶縁部、１４：絶縁部、１５：検出端子、１６：検出ケーブル、２０：テーパ溝、２１：支軸、３０：装着部、６０：スペーサ用孔、６１：ワッシャ、７０：ストッパ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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