(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
前記ハウジング内に互いに間隔を置いて設けられた、低圧ガスを受け入れるための第１のチャンバおよび高圧ガスを受け入れるための第２のチャンバの２組であって第２の両チャンバが互いに連通しかつ一方の第２のチャンバが前記ハウジングに設けられた出口ポートに連なる２組の第１のチャンバおよび第２のチャンバと、
前記一方の第２のチャンバを含む１組の第１および第２の両チャンバと他方の第２のチャンバを含む他の１組の第１および第２の両チャンバとの間に設けられた複数のシリンダおよび各シリンダ内に往復運動可能に配置されたピストンと、
前記ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトに取り付けられ該シャフトの回転運動を前記ピストンの往復運動に変換する斜板と、
前記シリンダと前記２組の第１および第２の両チャンバとの間にそれぞれ配置された一対のバルブプレートであって各バルブプレートが各シリンダと各第１のチャンバとに連通する入口開口および各シリンダと各第２のチャンバとに連通する出口開口とを有する一対のバルブプレートと、
各バルブプレートの入口開口および出口開口をそれぞれ開閉する複数の開閉弁と、
前記ハウジング内に設けられ、前記１組の第１および第２のチャンバに隣接する一方のバルブプレートに向けて開放する凹所および該凹所内に滑動可能に受け入れられたプランジャであって前記一方のバルブプレートの出口開口用の開閉弁に取り付けられたプランジャと、
前記プランジャと前記一方のバルブプレートとの間に配置された被圧縮のばね部材と、
前記ハウジングに設けられた、前記凹所に連なる１つの通路と前記一方のバルブプレートに隣接する前記１組の第１および第２のチャンバにそれぞれ連なる２つの通路と、
前記ハウジングに取り付けられた電磁弁であって、前記１つの通路を前記２つの通路に選択的に接続するための電磁弁とを含み、
前記電磁弁の操作により、前記凹所に連なる通路が前記第２のチャンバに連なる通路に接続されるとき、前記高圧ガスが前記凹所に導入され、これにより前記プランジャが前記ばね部材のばね力に抗して前記凹所内を移動し、前記開閉弁が前記出口開口の開閉作用を行う作用位置に置かれ、また、前記凹所に連なる通路が前記第１のチャンバに連なる通路に接続されるとき、前記低圧ガスが前記凹所に導入され、これにより前記ばね部材のばね力を受ける前記プランジャが前記凹所内を反対方向へ移動し、前記開閉弁が前記出口開口の開閉作用を行わない非作用位置に置かれる、斜板式圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車用空調システムに用いられる斜板式圧縮機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
自動車用空調システムに組み込まれ、車載エンジンの回転動力を受けて冷媒（ガス）の圧縮仕事を行う圧縮機の一つに斜板式圧縮機がある。
【０００３】
斜板式圧縮機においては、そのハウジング内に設けられた複数のシリンダ内での複数のピストンの往復運動により、前記ハウジングの外部から各シリンダ内に冷媒（低圧ガス）が吸入され、次いで圧縮され、その後、圧縮された冷媒（高圧ガス）が前記ハウジングの外部に吐出される。
【０００４】
各ピストンの往復運動は、前記ハウジングに回転可能に支持されたシャフトと、該シャフトに取り付けられた斜板とを介して行われる。前記シャフトは車載エンジンの回転動力を受けて回転し、前記斜板は前記シャフトの回転運動を前記ピストンの往復運動に変換する。
【０００５】
前記低圧ガスは、各シリンダ内への導入に先立ち、前記ハウジングに設けられた２つの第１のチャンバに受け入れられ、また、前記高圧ガスは前記ハウジングの外部への吐出に先立ち、前記ハウジングに設けられた２つの第２のチャンバに吐出される。
【０００６】
前記第１のチャンバおよび前記第２のチャンバは、これらを１組として、これらの２組が前記シリンダの両端にそれぞれ相対しており、前記低圧ガスは第１の両チャンバから各シリンダ内における各ピストンの両端の側に交互に導入され、また、圧縮後の高圧ガスは第２の両チャンバに交互に吐出される。
【０００７】
各シリンダ内への前記低圧ガスの導入および各シリンダからの前記高圧ガスの吐出の制御のため、各組の第１および第２の両チャンバと前記シリンダの各端部との間にそれぞれ一対のバルブプレートが配置されている。各バルブプレートには、各組の第１および第２の両チャンバと各シリンダとにそれぞれ連通する入口開口および出口開口が設けられ、また、各入口開口および出口開口をそれぞれ開閉するための複数の開閉弁が設けられている。
【０００８】
ところで、斜板式圧縮機にあっては、その起動の際、車載エンジンが大きな負荷を受けるという問題がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、車載エンジンに対する負荷の低減に寄与しうる斜板圧縮機を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る斜板式圧縮機は、ハウジングと、前記ハウジング内に互いに間隔を置いて設けられた、低圧ガスを受け入れるための第１のチャンバおよび高圧ガスを受け入れるための第２のチャンバの２組であって第２の両チャンバが互いに連通しかつ一方の第２のチャンバが前記ハウジングに設けられた出口ポートに連なる２組の第１のチャンバおよび第２のチャンバと、前記一方の第２のチャンバを含む１組の第１および第２の両チャンバと他方の第２のチャンバを含む他の１組の第１および第２の両チャンバとの間に設けられた複数のシリンダおよび各シリンダ内に往復運動可能に配置されたピストンと、前記ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトに取り付けられ該シャフトの回転運動を前記ピストンの往復運動に変換する斜板と、前記シリンダと前記２組の第１および第２の両チャンバとの間にそれぞれ配置された一対のバルブプレートであって各バルブプレートが各シリンダと各第１のチャンバとに連通する入口開口および各シリンダと各第２のチャンバとに連通する出口開口とを有する一対のバルブプレートと、各バルブプレートの入口開口および出口開口をそれぞれ開閉するための複数の開閉弁と、前記ハウジング内に設けられ、前記１組の第１および第２のチャンバに隣接する一方のバルブプレートに向けて開放する凹所および該凹所内に滑動可能に受け入れられたプランジャであって前記一方のバルブプレートの出口開口用の開閉弁に取り付けられたプランジャと、前記プランジャと前記一方のバルブプレートとの間に配置された被圧縮のばね部材と、前記ハウジングに設けられた、前記凹所に連なる１つの通路と前記一方のバルブプレートに隣接する前記１組の第１および第２のチャンバにそれぞれ連なる２つの通路と、前記ハウジングに取り付けられた電磁弁であって、前記１つの通路を前記２つの通路に選択的に接続するための電磁弁とを含み、前記電磁弁の操作により、前記凹所に連なる通路が前記第２のチャンバに連なる通路に接続されるとき、前記高圧ガスが前記凹所に導入され、これにより前記プランジャが前記ばね部材のばね力に抗して前記凹所内を移動し、前記開閉弁が前記出口開口の開閉作用を行う作用位置に置かれ、また、前記凹所に連なる通路が前記第１のチャンバに連なる通路に接続されるとき、前記低圧ガスが前記凹所に導入され、これにより前記ばね部材のばね力を受ける前記プランジャが前記凹所内を反対方向へ移動し、前記開閉弁が前記出口開口の開閉作用を行わない非作用位置に置かれる。
【００１１】
【発明の作用および効果】
本発明によれば、各シリンダ内における各ピストンの往復運動により、両バルブプレートにおける入口開口を開閉するための開閉弁の作動下で、低圧ガスが第１の両チャンバ内に交互に吸入され、第１の両チャンバから両バルブプレートの入口開口を経て各シリンダ内に導入され、圧縮される。
【００１２】
圧縮後の高圧ガスは、両バルブプレートの出口開口を開閉するための開閉弁の作動下において、前記出口開口を経て第２の両チャンバ内に交互に吐出される。
【００１３】
本発明の斜板圧縮機にあっては、その運転に先立ちまたは運転の間、一方のバルブプレートにおける出口開口を開閉するための前記開閉弁について開閉作用を行う作用位置から、これを行わない非作用位置へ移動させることにより、前記出口開口を常に開放状態に置くことができる。その結果、各シリンダ内での各ピストンによる冷媒の圧縮は他方のバルブプレートの側でのみ行われ、前記一方のバルブプレートの側では行われない。
【００１４】
このため、斜板式圧縮機の圧縮能力は半分以下に低下するが、これによって、斜板式圧縮機の起動または運転に必要な動力も半減する。したがって、斜板式圧縮機の始動時には前記開閉弁を前記非作用位置に移動させておき、始動後、元の作用位置に戻すことにより、斜板式圧縮機の駆動源である車載エンジンが過大な負荷を受けることを回避することができる。これは、特に、車室内の温度の高さに応じて断続的に駆動される斜板式圧縮機の運転に適する。
【００１５】
前記出口開口の開閉弁を前記作用位置および非作用位置に置くことは、前記電磁弁の操作により容易に行うことができる。すなわち、前記電磁弁の操作により、前記凹所に連なる通路を前記第２のチャンバに連なる通路に接続すると、前記凹所に高圧ガスが流入し、前記プランジャを前記ばね部材のばね力に抗して前記凹所内を移動させ、これにより前記開閉弁を前記作用位置に保持することができ、また、前記凹所に連なる通路を前記第１のチャンバに連なる通路に接続すると、前記凹所に低圧ガスが流入し、前記プランジャを前記ばね部材のばね力をもって前記凹所内を反対方向へ移動させ、これにより前記開閉弁を前記非作用位置に保持することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１および図２を参照すると、斜板式圧縮機が全体に符号１０で示されている。
【００１７】
斜板式圧縮機１０は、ハウジング１２と、該ハウジング内に設けられた複数（例えば５つ）のシリンダ１４と、ハウジング１２に回転可能に支持され該ハウジングの軸線上を伸びるシャフト１６および該シャフトに取り付けられた斜板１８と、複数のシリンダ１４内にそれぞれ往復運動可能に配置された複数のピストン２０とを備える。
【００１８】
図示の例では、複数のシリンダ１４を規定するシリンダブロック２１がハウジング１２内に収容され、ハウジング１２の軸線方向へ伸びている。複数のシリンダ１４はシャフト１６の周りに互いに間隔をおいて配置され、それぞれ、シリンダブロック２１の両端面で開放している。
【００１９】
ハウジング１２は、シリンダブロック２１を収容する筒状の本体２２と、本体２２の開放一端に固定されこれを閉鎖するキャップ２４とからなる。本体２２は、その開放他端を規定する管状部分を有する。
【００２０】
シャフト１６はシリンダブロック２１を介してハウジング１２に支持されている。より詳細には、シャフト１６はハウジング１２の前記管状部分を経て伸び、さらにシリンダブロック２１を貫通しており、シャフト１６は一対のラジアルベアリング２５を介してシリンダブロック２１に回転可能に支承されている。
【００２１】
シャフト１６は、車載エンジン（図示せず）の回転動力を受けて回転される。シャフト１６の回転運動は、斜板１８を介して、各ピストン２０の往復運動に変換される。
【００２２】
斜板１８はシリンダブロック２１に設けられた空洞２６および該空洞に連通する各ピストン２０の凹所２７に配置され、そのボス部においてシャフト１６に通されかつこれに固定されている。前記ボス部は、一対のスラストベアリング２８を介して、シリンダブロック２１に接している。
【００２３】
斜板１８は、一対の円板状のシュー２９および一対のボール３０を介して、各ピストン２０に接している。両シュー２９はピストンの凹所２７に配置され、それぞれ、斜板１８の両面に接している。また、各ボール３０は、シュー２９と各ピストン２０とに回転可能に保持されている。
【００２４】
斜板１８はシャフト１６に対して傾斜している。すなわち、斜板１８はシャフト１６に対して９０度以外の交差角度をなしている。このため、斜板１８がシャフト１６と共に回転するとき、斜板１８の周方向に関する任意の部位の位置が、シャフト１６の軸線方向に関して変化する。その結果、斜板１８が回転するとき、斜板１８に接する各ピストン２０が該斜板により各ピストンの軸線方向に強制的に変位され、往復運動をする。
【００２５】
ハウジング１２内には、２組の第１のチャンバおよび第２のチャンバ３１，３２および３３，３４が設けられている。すなわち、本体２２の一端側（リヤ側）にあるキャップ２４に１組の第１のチャンバ３１および第２のチャンバ３２が設けられ、また、本体２２の他端側（フロント側）にもう１組の第１のチャンバ３３および第２のチャンバ３４が設けられている。２組の第１のチャンバおよび第２のチャンバ３１，３２および３３，３４は、互いに他の一方に向けて開放している。
【００２６】
第１の両チャンバ３１，３３は、それぞれ、ハウジング１２内に導入される冷媒（低圧ガス）を受け入れるための環状空間からなり、また、第２の両チャンバ３２，３４は、ピストン２０により圧縮され、ハウジング１２外に吐出される冷媒（高圧ガス）を受け入れるための環状空間からなる。
【００２７】
さらに詳細に述べれば、リヤ側の第２のチャンバ３２がハウジング１２の軸線を取り巻く全体に環状の開放面を有し、第１のチャンバ３１が第２のチャンバ３２の周囲を取り巻く全体に環状の開放面を有する。これに対し、フロント側の第１のチャンバ３３がハウジング１２の軸線を取り巻く全体に環状の開放面を有し、第２のチャンバ３４が第１のチャンバ３３の周囲を取り巻く全体に環状の開放面を有する。
【００２８】
参考のため、各第１のチャンバ３１，３３には低圧であることを示す記号「Ｌ」を付し、各第２のチャンバ３２，３４には高圧であることを示す記号「Ｈ」を付す。
【００２９】
前記低圧ガスは、キャップ２４に設けられた入口ポート３５から、ハウジング１２に設けられた通路（図示せず）を通して、各第１のチャンバ３１，３３に導かれる。両第１のチャンバ３１，３３内の前記低圧ガスは、各ピストン２０の往復運動に伴って生じる負圧を受けて、各シリンダ１４にその両端から交互に吸入される。
【００３０】
他方、各シリンダ１４内から第２の両チャンバ３２，３４内への前記高圧ガスの吐出は、各ピストン２０の往復運動に従って、各シリンダ１４の両端から交互に行われる。
【００３１】
吐出された前記高圧ガスは、リヤ側の第２のチャンバ３２から、キャップ２４に設けられられた通路（図示せず）を介して、キャップ２４に設けられた出口ポート（図示せず）に導かれる。後述するように、第２のチャンバ３２，３４同士が互いに連通しているため、フロント側の第２のチャンバ３４に吐出された高圧ガスは、リヤ側の第２のチャンバ３２を経て、前記出口ポートに導かれる。
【００３２】
シリンダブロック２１の両端面（すなわちシリンダ１４の両端面）は、２組の第１および第２の両チャンバ３１，３２および３３，３４の開放面にそれぞれ相対しており、シリンダブロック２１の両端面と、２組の第１および第２の両チャンバ３１，３２および３３，３４との間には、それぞれ、一対のバルブプレート３８，４０が配置されている。
【００３３】
両バルブプレート３８，４０のうちのリヤ側のバルブプレート３８は、その両面において、１組の第１および第２の両チャンバ３１，３２を規定するキャップ２４とシリンダブロック２１の一方の開放端面とにそれぞれ気密に接している。また、フロント側のバルブプレート４０は、その両面において、他の１組の第１および第２の両チャンバ３３，３４を規定する本体１２とシリンダブロック２１の他方の開放端面とにそれぞれ気密に接している。
【００３４】
これにより、両バルブプレート３８，４０間に複数のシリンダ１４からなる密閉空間が規定されている。また、各バルブプレート３８，４０により閉鎖された各組の第１および第２の両チャンバ３１，３２および３３，３４からなる密閉空間が規定されている。第２の両チャンバ３２，３４同士は、シリンダブロック２１を貫通する管部材３７を介して、互いに連通している。
【００３５】
なお、図示の例では、フロント側の第１のチャンバ３３がハウジング１２の前記管状部分の内部空間に連通しており、第１のチャンバ３３の密閉性を確保するため、前記管状部分内にシャフト１６の一部の周囲を取り巻くシール材３９とＯ−リング４１とが配置されている。
【００３６】
リヤ側の一方のバルブプレート３８には、第１のチャンバ３１と各シリンダ１４とに連通する孔（入口開口）４２と、第２のチャンバ３２と各シリンダ１４とに連通する孔（出口開口）４４とが設けられている。また、フロント側の他方のバルブプレート４０には、第１のチャンバ３３と各シリンダ１４とに連通する孔（入口開口）４６と、第２のチャンバ３４と各シリンダ１４とに連通する孔（出口開口）４８とが設けられている。
【００３７】
入口開口４２，４６は、各第１のチャンバ３１，３３から各シリンダ１４内への前記低圧ガスの流通を許し、また、出口開口４４，４８は各シリンダ１４から各第２のチャンバ３２，３４内への前記高圧ガスの流通を許す。
【００３８】
また、各バルブプレート３８，４０には、各入口開口４２，４６を開閉するための開閉弁（図示せず）が取り付けられている。
【００３９】
前記開閉弁は、例えば、各バルブプレート３８，４０とシリンダブロック２１との間に配置されかつこれらに挟持され、各バルブプレート３８，４０に密接して各入口開口４２，４６を閉じる板ばね製の逆止弁からなる。これらの逆止弁は、それぞれ、ピストン２０の往復運動に伴って各シリンダ１４内に生じる負圧を受けるとき、弾性的に変形して各入口開口４２，４６を開く。
【００４０】
さらに、各出口開口４４，４８を開閉するための開閉弁が設けられている。このうち、フロント側の出口開口４８のための開閉弁は、第２のチャンバ３４内に配置され各出口開口４８を覆う板ばね製のバルブリーフ（図示せず）からなり、各バルブリーフはリテーナ（図示せず）を介してバルブプレート４０の表面に支持されている。
【００４１】
他方、リヤ側の出口開口４４のための開閉弁５０は、第２のチャンバ３２内に配置され全ての出口開口４４を覆う１の板ばねからなる。
【００４２】
いずれの開閉弁も、各バルブプレート３８，４０に密接する逆止弁からなる。前記逆止弁は、ピストン２０の往復運動に伴って各シリンダ１４内で圧縮された冷媒の高圧を受けるとき、弾性的に変形して前記出口開口を開く。
【００４３】
本発明の斜板式圧縮機１０にあっては、弁体５０にプランジャ５２が取り付けられている。
【００４４】
プランジャ５２は、キャップ２４に設けられた凹所５４内にその軸線方向へ滑動可能に受け入れられている。凹所５４はハウジング１２と共通の軸線を有し、リヤ側のバルブプレート３８に向けて開放している。
【００４５】
開閉弁５０は、凹所５４内でのプランジャ５２の移動により、出口開口４４の開閉作用をする作用位置（開閉弁５０がバルブプレート３８に密接する位置）と、開閉作用をしない非作用位置（開閉弁５０がバルブプレート３８から距離を置かれ、これと接触しない位置）とに選択的に配置することができる。
【００４６】
プランジャ５２はプラグ５６を介して開閉弁５０に取り付けられている。
【００４７】
プラグ５６は大径の一端部を有する筒状体からなり、その他端部が開閉弁５０およびこれを支持するための板状のリテーナ５８を順次に貫通している。他方、プランジャ５２はその端面に開放する凹部６０を有し、プラグの５６の前記他端部がプランジャの凹部６０にねじ込まれている。このため、開閉弁５０とリテーナ５８とがプラグ５６の前記大径の一端部とプランジャ５２の前記端面との間に挟み付けられ、プランジャ５２が開閉弁５０と一体にされている。
【００４８】
リテーナ５８は開閉弁５０に対してその反対の側に向けて反り返る周縁部を有する。この周縁部は、開閉弁５０が前記作用位置にあるとき、出口開口４４を開くべく弾性変形することを許す。
【００４９】
プランジャ５２と、バルブプレート３８との間に圧縮されたばね部材、すなわち被圧縮のばね部材６２が配置されている。図示のばね部材６２はコイルばねからなり、プランジャ５２に対し、これをバルブプレート３８から遠ざける方向へ押圧力を及ぼしている。
【００５０】
バルブプレート３８には、プランジャ５２に向けて開放する凹部６４が設けられている。凹部６２にはプラグ５６の前記大径の一端部が受け入れられており、これにより、バルブプレート３８に対する開閉弁５０の当接および密接が可能とされている。
【００５１】
キャップ２４には、プランジャ５２を受け入れる凹所５４に連なる１つの通路６６と、第１のチャンバ３１に連なる通路６８と、第２のチャンバ３２に連なる通路７０とが設けられている。
【００５２】
また、キャップ２４には電磁弁７２が取り付けられている。
【００５３】
電磁弁７２は、そのケーシング７４内に配置されたソレノイド７６への通電により、ケーシング７４内を直線的に移動して、２つの位置に選択的に到達可能である弁体７８を有する。
【００５４】
電磁弁のケーシング７４には、キャップ２４の３つの通路６６，６８，７０にそれぞれ連通する３つの通路８０，８２，８４が設けられている。また、弁体７８には２つの通路８６，８８が設けられている。
【００５５】
弁体７８が前記２つの位置の一方にあるとき、弁体７８の一方の通路８６が、ケーシングの通路８０を介して、キャップの通路６６に連なり、通路７０，８４，８６，８０および６６を通して、第２のチャンバ３２内の高圧ガスが凹所５４に流入する。凹所５４に流入した前記高圧ガスは、開閉弁５０がバルブプレート３８に当接するまで、プランジャ５２をばね部材６２のばね力に抗して凹所５４内を移動させる。その結果、開閉弁５０は前記作用位置に置かれる（図１）。
【００５６】
反対に、電磁弁の弁体７８が前記２つの位置の他方にあるとき、弁体７８の他方の通路８８が、ケーシングの通路８０を介してキャップの通路６６に連なり、通路６８，８２，８８，８０および６６を通して、第１のチャンバ３１内の低圧ガスが凹所５４に流入する。凹所５４に流入した前記低圧ガスがプランジャ５２に及ぼす力は、ばね部材６２のばね力より小さい。このため、このばね力を受けるプランジャ５２は凹所５４内を該凹所の底面に突き当たるまで反対方向へ移動する。その結果、開閉弁５０がバルブプレート３８から離れ、前記非作用位置に置かれる（図２）。
【００５７】
開閉弁５０は、電磁弁７２の操作により、容易かつ迅速に、前記作用位置および非作用位置のいずれか一方に置くことができる。
【００５８】
開閉弁５０が前記作用位置にあるとき、圧縮機１０は通常の運転をする。すなわち、各ピストン２０の往復運動により吸入された冷媒が各ピストン２０の両端側においてそれぞれ圧縮され、リヤ側およびフロント側の出口開口４４，４８を通して第２の両チャンバ３２，３４に吐出される。
【００５９】
これに対し、開閉弁５０が前記非作用位置にあるときは、開閉弁５０が開閉作用をなすべきリヤ側の出口開口４４が常に開放状態におかれるため、出口開口４４の側では前記冷媒の圧縮がなされず、したがってリヤ側の第２のチャンバ３２への高圧ガスの吐出はない。
【００６０】
その結果、フロント側の第２のチャンバ３４の側においてのみ前記冷媒の圧縮が行われ、フロント側の出口開口４８に通じる第２のチャンバ３４にのみ、圧縮後の高圧ガスが吐出される。この高圧ガスは、通路３７を介して、リヤ側の第２のチャンバ３２へ移動し、前記出口ポートを経て、ハウジング１２外に吐出される。
【００６１】
このときの前記高圧ガスの吐出量は、開閉弁５０が前記作用位置にあるときの圧縮機１０の運転時における吐出量の半分以下である。したがって、圧縮機１０の駆動のために生じる前記車載エンジンに対する負荷の大きさも半分以下である。
【００６２】
なお、電気的な制御手段（図示せず）により、シャフト１６に対する前記車載エンジンの回転動力の伝達開始時期すなわち断続的に運転される圧縮機１０の作動開始時期と、電磁弁７２の作動開始時期とを合致させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】リヤ側の開閉弁が作用位置にある斜板式圧縮機の縦断面図である。
【図２】開閉弁が非作用位置にある、図１に示す斜板式圧縮機の部分縦断面図である。
【符号の説明】
１０  斜板式圧縮機
１２  ハウジング
１４  シリンダ
１６  シャフト
１８  斜板
２０  ピストン
３１，３３  第１のチャンバ
３２，３４  第２のチャンバ
３８，４０  バルブプレート
４２，４６  入口開口
４４，４８  出口開口
５０  開閉弁
５２  プランジャ
５４  凹所
６２  ばね部材
６６，６８，７０  通路
７２  電磁弁
【図１】
0003544913.tif 000002
【図２】
0003544913.tif 000003