【手続補正書】
【提出日】平成29年11月20日(2017.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィラメントが内部に配置されたカプセルと、
前記カプセルから延びるプレスシールとを備える、ランプ素子、及び、
前記プレスシールの少なくとも一部分と取外し可能に係合されるアダプタ
を備える、ランプアセンブリ。
【請求項２】
前記プレスシールは、前記プレスシールの外表面に形成された係合特徴部を有する、請求項１に記載のランプアセンブリ。
【請求項３】
前記アダプタは、前記プレスシールの前記係合特徴部と係合するか又は係合解除するよう前記レセプタクルの内表面に形成された、係合特徴部を有する、請求項２に記載のランプアセンブリ。
【請求項４】
前記レセプタクルの前記内表面は光反射材料でコーティングされる、請求項３に記載のランプアセンブリ。
【請求項５】
前記プレスシールと前記レセプタクルの前記内表面との間にガス間隙が提供される、請求項１に記載のランプアセンブリ。
【請求項６】
更に、
前記プレスシールと前記レセプタクルとの間に提供された、熱伝導性化合物の層を備える、請求項１に記載のランプアセンブリ。
【請求項７】
前記ランプ素子は更に、
第１リード及び第２リードであって、各々が前記プレスシールから延び、前記フィラメントと電気的に結合される、第１リード及び第２リードと、
前記プレスシールの外で前記第１リードに連結された絶縁スリーブと、
前記絶縁スリーブに連結された第３リードと
を備える、請求項１に記載のランプアセンブリ。
【請求項８】
前記アダプタは、それぞれ前記第１リード及び前記第２リードの通過を可能にするようサイズ調整された、第１チャネル及び第２チャネルを有する、請求項７に記載のランプアセンブリ。
【請求項９】
前記ランプ素子は更に、
前記第１リードを前記第３リードに電気的に結合するヒューズであって、前記絶縁スリーブを通って延びるワイヤを備えるヒューズを備える、請求項７に記載のランプアセンブリ。
【請求項１０】
前記アダプタは更に、
前記第１リードを前記第３リードに電気的に結合するヒューズと、
前記ヒューズへのアクセスを可能にするために、前記アダプタの側壁又は上部又は底部に形成された切り欠きと
を備える、請求項７に記載のランプアセンブリ。
【請求項１１】
熱処理チャンバ内で使用するためのランプアセンブリであって、
フィラメントが内部に配置され、プレスシールを有するカプセルと、
前記フィラメントから前記プレスシールの内部に配置された第１金属箔及び第２金属箔へとそれぞれ延びる、第１フィラメントリード及び第２フィラメントリードと、
前記第１金属箔及び前記第２金属箔を、前記ランプアセンブリの外に位置付けられた回路基板構造体に形成されたそれぞれの導電性レセプタクルに電気的に接続する、第１導電リード及び第２導電リードと、
前記第１導電リード及び前記第２導電リードのうちの少なくとも一方に電気的に結合されたヒューズとを備える、ランプ素子、及び、
第１端部及び第２端部に開口を有するアダプタであって、前記第１端部の前記開口は、前記プレスシールに取外し可能に係合するレセプタクルを有する、アダプタ
を備える、ランプアセンブリ。
【請求項１２】
前記アダプタは更に、
前記アダプタの内部で前記アダプタの長手方向軸に沿った方向に延びる、第１チャネル及び第２チャネルを備え、
前記第１チャネル及び前記第２チャネルは、通過する前記第１導電リード及び前記第２導電リードの位置付けを可能にする、請求項１１に記載のランプアセンブリ。
【請求項１３】
前記レセプタクルは、光反射材料でコーティングされた内表面を有する、請求項１２に記載のランプアセンブリ。
【請求項１４】
更に、
前記プレスシールと前記レセプタクルとの間に提供された、熱伝導性化合物の層を備える、請求項１１に記載のランプアセンブリ。
【請求項１５】
ランプ素子向けのアダプタであって、
第１端部と、前記第１端部の反対側の第２端部とを有する細長い本体を備え、前記第１端部の開口は、フィラメントが内部に配置されたカプセルのシール部分と取外し可能に係合されるレセプタクルを有し、前記シール部分は、前記カプセルの前記フィラメントに接続された金属箔を封入し、前記金属箔の周囲に気密シールを作り出す、アダプタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本開示の実施形態は概して、急速熱処理（ＲＴＰ）チャンバ内で熱放射源として使用されるランプ向けの、改良型アダプタに関する。本開示の一実施形態では、ランプアセンブリが提供される。ランプアセンブリは、フィラメントが内部に配置されたカプセルと、カプセルから延びるプレスシールと、プレスシールの少なくとも一部分を受容するよう成形されたレセプタクルを有するアダプタとを含み、プレスシールは、アダプタに取外し可能に係合される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
アダプタ３０６は、ランプが正常に挿入された場合に本体の断面外周の一部がランプヘッドの断面外周に合致する、概して管状又は円筒形の本体、或いは細長い本体を有しうる。アダプタ３０６は、第１端部３０４と、第１端部３０４の反対側の第２端部３１４とを有する。アダプタ３０６の第１端部３０４は、ランプ素子３０２の下側の部分、例えばプレスシール３１２を受容するよう成形された、レセプタクル３２４を有する。ランプ素子３０２は通常、フィラメント３１０を包含する光透過性カプセル３０８と、光透過性カプセル３０８から延びるプレスシール３１２とを含む。フィラメント３１０は、フィラメントリード３１６ａ、３１６によってそれぞれ、プレスシール３１２の内部に配置された金属箔３１８ａ、３１８ｂに電気的に接続する。プレスシール３１２は、金属箔３１８ａ、３１８ｂを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。金属箔３１８ａ、３１８ｂは、プレスシール３１２の外部に延びうる。金属箔３１８ａ、３１８ｂは、アダプタ３０６を通って延びる導電性のワイヤ又はリード３２２ａ、３２２ｂを介して、オプションの電気コネクタ３２０ａ、３２０ｂと電気的につながっている。アダプタ３０６は、導電性のワイヤ又はリード３２２ａ、３２２ｂの通過を可能にするよう構成された、チャネル３３２ａ、３３２ｂを有する。チャネル３３２ａ、３３２ｂは、アダプタの長手方向軸３０３に沿った方向に、レセプタクル３２４から延びうる。導電体が十分に絶縁されており追加冷却を必要としない、一部の事例では、チャネル３３２ａ及び３３２ｂは、接続されて１つのチャネルを形成しうる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図５は、ＲＴＰチャンバ１００のようなＲＴＰチャンバ内で使用するための、本開示の実施形態による例示的なランプアセンブリ５００の概略的な前面断面図である。ランプアセンブリ５００は、図１に示すランプアセンブリ２０の代わりに使用されうる。ランプアセンブリ５００は通常、ランプ素子５０１及びアダプタ５１３を含む。ランプ素子５０１は、単純なカプセル／ヒューズ様式でありうる。すなわち、アダプタ５１３はヒューズを包含せず、ヒューズはランプ素子５０１の外に作製される。ランプ素子５０１は、フィラメント５０４を収納するカプセル５０２と、カプセル５０２に連結しているか又はカプセル５０２から延びるプレスシール５１２とを含む。カプセル５０２は、チューブ状、円錐、球形、及び複数円弧の形状を含むが、それらだけに限定されるわけではない、多種多様な形状を有しうる。プレスシール５１２は、カプセル５０２の形状に対応する形状を有しうるか、又は、フィラメント５０４から金属箔５０８ａ、５０８ｂへのフィラメントリード５０６ａ、５０６ｂの伸長を可能にする、任意の形状でありうる。一実施形態では、プレスシール５１２は、実質的に四角形の細長いものである。金属リード５１０ａ、５１０ｂは、金属箔５０８ａ、５０８ｂに取り付けられ（例えば溶接され）、金属箔５０８ａ、５０８ｂから、プレスシール５１２を通ってその外部に延びる。プレスシール５１２は、金属箔５０８ａ、５０８ｂを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図６Ａは、本開示の実施形態による、例示的なランプアセンブリ６００の概略断面図を示している。図６Ｂは、図６Ａの概略斜視図である。アダプタ６１３が、アダプタ６１３の側部又は底部から交換されうるヒューズを提供するよう構成されていることを除けば、図６Ａは概して、図３及び図５に概念的に類似している。ランプアセンブリ６００は通常、ランプ素子６０１及びアダプタ６１３を含む。ランプ素子６０１は、単純なカプセル様式でありうる。すなわち、ランプ素子６０１はヒューズを包含せず、ヒューズはアダプタ６１３によって提供される。ランプ素子６０１は、フィラメント６０４を収納するカプセル６０２と、カプセル６０２に連結しているか又はカプセル５０２から延びるプレスシール６１２とを含む。プレスシール６１２は、フィラメント６０４から金属箔６０８ａ、６０８ｂへのフィラメントリード６０６ａ、６０６ｂの伸長を可能にする、任意の形状でありうる。一実施形態では、プレスシール６１２は、実質的に四角形の細長いものである（図６Ｂでよりはっきりと視認できる）。金属リード６１０ａ、６１０ｂは、金属箔６０８ａ、６０８ｂに取り付けられ（例えば溶接され）、金属箔６０８ａ、６０８ｂから、プレスシール６１２を通ってその外部に延びる。プレスシール６１２は、金属箔６０８ａ、６０８ｂを封入し、それらの周囲に気密シールを作り出す。