(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ内に、有底筒状を呈すると共にその底部が歪ゲージを設置すべき第１ダイアフラム部となっている荷重検出部、被測定物からの圧力を直接受けるために前記荷重検出部の開口部を覆う第２ダイアフラム部、及び、前記荷重検出部の空洞内において第１ダイアフラム部と第２ダイアフラム部を連結する連結部を少なくとも備えたダイアフラム部材を備え、
前記第２ダイアフラム部が、前記第１ダイアフラム部のバネ定数と比べて充分に小さな値のバネ定数を有し、被測定物の圧力以外の影響による変位を吸収し得るものであることを特徴とする隔膜型圧力センサ。
【請求項２】
前記第２ダイアフラム部のバネ定数が前記第１ダイアフラム部のバネ定数の５％以下の値であることを特徴とする請求項１記載の隔膜型圧力センサ。
【請求項３】
前記荷重検出部は金属製であり、前記第２ダイアフラム部はプラスチック製であることを特徴とする請求項１記載の隔膜型圧力センサ。
【請求項４】
被測定物である流体が通過する流路と当該流路に連通するダイアフラム部材設置部とが形成された支持体、及び、
有底筒状を呈し底部が第１ダイアフラム部となっている荷重検出部、当該荷重検出部の開口部を覆う第２ダイアフラム部、及び前記荷重検出部の空洞内において第１ダイアフラム部と第２ダイアフラム部を連結する連結部を備えていると共に、前記ダイアフラム部材設置部内に設置されたダイアフラム部材を少なくとも備えており、
前記ダイアフラム部材の第２ダイアフラム部外面が前記流路内空間に露出し、且つ、前記支持体に対する第２ダイアフラム部の圧力印加方向への変位を許容する接合層によってダイアフラム部材の外面と前記ダイアフラム部材設置部の内周の間が封止されていることを特徴とする隔膜型圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧力センサ及び圧力センサ用ダイアフラム部材に関し、詳しくは、主に液体や気体等の流体の圧力を測定するための圧力センサ及び圧力センサ用ダイアフラム部材に関するものである。本発明の圧力センサ及び圧力センサ用ダイアフラム部材は、例えば、人工透析機等の医療用機器に好適に利用される。
【０００２】
【従来の技術】
人工透析機等の医療機器には、血圧等の体液圧或いは生体内圧力を測定するために圧力センサが組み込まれている。医療機器用圧力センサのダイアフラム部材としては、２枚のステンレス製ダイアフラムを備えた２重構造型（隔膜型）のものが多用されている。これは、圧力センサのダイアフラム部分における液溜まりを少なくするためである。このタイプの圧力センサにおいては、一方のダイアフラムが測定対象である流体と直接接触して流体圧の圧力印加方向へ一次的変位を起こし、この一次的変位が何らかの手段によって他方のダイアフラムに伝達されて当該他方のダイアフラムが流体圧の圧力印加方向へ二次的変位を起こし、この二次的変位が当該他方のダイアフラムに設置された歪ゲージによって電気信号に変換される。
【０００３】
２重構造型のダイアフラム部材においてダイアフラム間の変位伝達を行うための手段としてよく行われているのは、２枚のダイアフラムの間にある空洞にシリコンオイル等の液体を封入する手段や、前記空洞内において２枚のダイアフラムをロッド等で機械的に連結する手段などである。
【０００４】
しかしながら、シリコンオイル等の封入液を使用する場合には、ダイアフラムに亀裂が生じて封入液が漏れ出す可能性があり、また、ダイアフラム部材の形成材料と封入液の熱膨張係数の相違によって圧力センサの零点の変動等の熱的な悪影響が生じる場合がある。
【０００５】
一方、２枚のダイアフラムをロッド等で連結した構造の場合には、測定環境の温度変化によってセンサ特性が変動し易いので、測定時の温度管理や機器調整に手間がかかり、また、充分な測定精度を確保しにくいと言う問題がある。すなわち、ダイアフラム部材を圧力センサ内に固定する支持体が熱的に膨張又は収縮して支持体の変位が起きると、その変位が支持体から被測定物と接触する側のダイアフラムへと両者の接合部を介して伝わり、このダイアフラムを圧力が印加されたのと同等の方向へ変位させる。そして、このようにして被測定物側ダイアフラムに生じた望ましくない変位は、ロッド等を介して歪ゲージが設置された側のダイアフラムにも伝達されるので、被測定物の圧力による変位だけを純粋に歪ゲージで測定することが困難である。
【０００６】
このため、温度変化に伴うセンサ特性の変動を低減するためには、ダイアフラム部材の支持体に生じた熱的変位（特に圧力印加方向への変位）が被測定物と接触する側のダイアフラムに伝達されるのを、できるだけ阻止する必要がある。
【０００７】
ダイアフラム部材の支持体に生じた熱的変位が被測定物側ダイアフラムへ伝達するのを阻止する方法としては、被測定物側ダイアフラムの厚さを薄くするか又は被測定物側ダイアフラムの直径を大きくする等の方法がある。このような方法をとれば、被測定物側ダイアフラムが支持体に生じた望まない変位を全て吸収してしまい、２枚のダイアフラムを連結するロッド等にまで変位が到達しないからである。
【０００８】
しかしながら、ダイアフラムの厚さを薄くするには加工上の限界がある。また、被測定物側ダイアフラムの直径を大きくする場合には、圧力センサが大型化してしまうので、装置への組み込みが困難になったり、装置そのものが大型化してしまう。
【０００９】
ダイアフラム部材の支持体に生じた熱的変位が被測定物側ダイアフラムへ伝達するのを阻止するための別の方法としては、支持体と被測定物側ダイアフラムの接触部を接合せずに、互いに滑動可能なピストン構造とすることによって、支持体の変位を接触部で完全に遮断する方法がある。しかしながら、この場合には、支持体と被測定物側ダイアフラムの間が充分に封止されないので、被測定物である流体が流路から漏れ出すおそれがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の実情に鑑みて成し遂げられたものであり、その第一の目的は、測定環境の温度変化によるセンサ特性の変動が極めて少なく、温度管理や機器調整等の取扱いが簡単で精度の高い隔膜型圧力センサを提供することにある。
【００１１】
また、本発明の第二の目的は、測定環境の温度変化によるセンサ特性の変動が極めて少ないことに加えて、小型軽量化を図ることができ、封入液が流路に漏出する可能性や被測定物が流路から漏出する可能性のない隔膜型圧力センサを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明においては、先ず第１に、センサ内に、有底筒状を呈すると共にその底部が歪ゲージを設置すべき第１ダイアフラム部となっている荷重検出部、被測定物からの圧力を直接受けるために前記荷重検出部の開口部を覆う第２ダイアフラム部、及び、前記荷重検出部の空洞内において第１ダイアフラム部と第２ダイアフラム部を連結する連結部を少なくとも備えたダイアフラム部材を備え、
前記第２ダイアフラム部が、前記第１ダイアフラム部のバネ定数と比べて充分に小さな値のバネ定数を有し、被測定物の圧力以外の影響による変位を吸収し得るものであることを特徴とする隔膜型圧力センサを提供する。
【００１３】
前記第２ダイアフラム部のバネ定数は、第１ダイアフラム部のバネ定数の５％以下の値であることが好ましい。あるいは、前記荷重検出部は金属製であり、前記第２ダイアフラム部はプラスチック製であることが好ましい。
【００１４】
また、本発明においては、第２に、被測定物である流体が通過する流路と当該流路に連通するダイアフラム部材設置部とが形成された支持体、及び、
有底筒状を呈し底部が第１ダイアフラム部となっている荷重検出部、当該荷重検出部の開口部を覆う第２ダイアフラム部、及び前記荷重検出部の空洞内において第１ダイアフラム部と第２ダイアフラム部を連結する連結部を備えていると共に、前記ダイアフラム部材設置部内に設置されたダイアフラム部材を少なくとも備えており、
前記ダイアフラム部材の第２ダイアフラム部外面が前記流路内空間に露出し、且つ、前記支持体に対する第２ダイアフラム部の圧力印加方向への変位を許容する接合層によってダイアフラム部材の外面と前記ダイアフラム部材設置部の内周の間が封止されていることを特徴とする隔膜型圧力センサを提供する。
【００１５】
本発明においては、２重構造型のダイアフラム部材に備えられた２枚のダイアフラムのうち、被測定物と接触する側のダイアフラム（第２ダイアフラム部）として、前記第１ダイアフラム部のバネ定数と比べて充分に小さな値のバネ定数を有し、被測定物の圧力以外の影響による変位を吸収し得るものを使用することとした。そのため、ダイアフラム部材を固定する支持体が温度変化によって被測定物の圧力印加方向に変位したとしても、その変位は、支持体に形成されたダイアフラム設置部の内周面と第２ダイアフラム部の外面との接合部を介して第２ダイアフラム部に伝達された時点で、第２ダイアフラム部によって吸収されてしまう。その結果、支持体と連結部との間の相対的な位置関係は変動するが、連結部の絶対的位置は殆ど変化しないこととなる。そして、連結部は、第２ダイアフラム部が被測定物の圧力で押された時だけその絶対的位置を変化させ、第１ダイアフラム部を被測定物の圧力印加方向へ変位させる。従って、本発明の隔膜型圧力センサは、ダイアフラム部材の支持体に生じた被測定物の圧力印加方向への変位に殆ど影響されずに、被測定物の圧力による変位のみを第２ダイアフラム及び連結部を介して第１ダイアフラムまで伝達することができ、測定環境の温度変化によるセンサ特性の変動が極めて少ない。
【００１６】
また、本発明で用いられるダイアフラム部材は、ダイアフラム部の径を大きくしなくても温度変化に対する安定性が高いので、小型軽量化を図ることが可能であり、特に、ダイアフラム部の径を大きくすることが極めて困難な医療機器用の隔膜型圧力センサに好適である。さらに、このダイアフラム部材は封入液を使用しないので、封入液の漏出も起こらない。
【００１７】
本発明においては、測定環境の温度変化によるセンサ特性の変動が極めて少ない圧力センサを提供するために、上記とは別の手段として、支持体に形成されたダイアフラム部材設置部にダイアフラム部材を固定する際に、ダイアフラム部材の外面と支持体との接触部を、支持体に対する第２ダイアフラム部の圧力印加方向への変位を許容する接合層によって封止するという手段を採用することができる。
【００１８】
このような構成とする場合には、ダイアフラム部材を固定する支持体が温度変化によって被測定物の圧力印加方向に変位したとしても、その変位は接合層に吸収されてしまう。その結果、支持体と第２ダイアフラム部との間の相対的な位置関係は変動するが、第２ダイアフラム部及び連結部の絶対的位置は殆ど変化しないこととなる。そして、第２ダイアフラム部は、被測定物の圧力で押された時だけその絶対的位置を変化させ、連結部を介して第１ダイアフラム部を圧力印加方向へ変位させる。従って、この隔膜型圧力センサも、ダイアフラム部材の支持体に生じた被測定物の圧力印加方向への変位に殆ど影響されることなく、被測定物の圧力による変位のみを第２ダイアフラム及び連結部を介して第１ダイアフラムまで伝達することができ、測定環境の温度変化によるセンサ特性の変動が極めて少ない。
【００１９】
また、上記第２発明の構造は、第２ダイアフラム部と支持体の接触部を完全に封止できる点でピストン構造と異なっており、液体や気体のような流体の漏出を完全に防止できる。さらに、この構造をとる場合にも、ダイアフラム部の径を大きくする必要がないので小型軽量化が可能であり、封入液を使用しないので封入液の漏出が起きない。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図を参照しつつ、本発明をさらに詳しく説明する。図１は、本発明によって提供されるダイアフラム部材の一例（１０１）を一部破断した斜視図である。このダイアフラム部材１０１は隔膜型圧力センサに使用されるものであり、荷重検出部１の開口部が第２ダイアフラム部２で覆われてできている。その形状は略円柱状であり、円柱の頂部と底部が互いに平行な２枚のダイアフラムとなっている。内部は空洞となっており、その空洞内において、ロッド部３とロッド部受け部４とで構成される連結部が２枚のダイアフラムを連結している。
【００２１】
荷重検出部１は有底筒状を呈し、その底部が歪ゲージ（図示せず）を設置すべき第１ダイアフラム部５となっている。また、荷重検出部の空洞内側底面の中央乃至略中央には開口部側に向かって垂直に伸びるロッド部３が形成されており、荷重検出部外周にはフランジ６が形成されている。一方、第２ダイアフラム部は深さの浅い有底筒状を呈し、その空洞内側底面の中央乃至略中央にはロッド受け部４が形成されている。そして、荷重検出部１の開口部側端部は第２ダイアフラム部２の空洞内に嵌入しており、ロッド部３の先端は第２ダイアフラム部２のロッド受け部４内に嵌入している。
【００２２】
本発明で提供されるダイアフラム部材においては、第２ダイアフラム部２のバネ定数が第１ダイアフラム部５のバネ定数と比べて充分に小さな値をとるように設計されており、それによって、第２ダイアフラム部２が被測定物の圧力以外の影響による変位（例えば、支持体の変位等）を吸収する。従って、このダイアフラム部材によって、温度変化によるセンサ特性の変動が阻止される。
【００２３】
すなわち、中央に凸部（ロッド部３）を有し、周囲を固定された第１ダイアフラム部５の中心に集中荷重Ｆが加えられる時、第１ダイアフラム部５の変位ωＦ１とバネ定数ＫＦ１の間には、次の式（１）が成立する。
【００２４】
ＫＦ１＝Ｆ／ωＦ１    …（１）
この時、第１ダイアフラム部５のロッド部３と第２ダイアフラム部２のロッド部受け部４とは連結されており、力（Ｆ）の釣り合いがとれているので、次の式（２）が成立する。
【００２５】
ＫＦ１・ωＦ１＝ＫＦ２・ωＦ２    …（２）
ここで、上式中の各記号は、
ＫＦ１：力Ｆを第１ダイアフラム部の一部が集中荷重として受けるときのバネ定数、
ＫＦ２：力Ｆを第２ダイアフラム部の一部が集中荷重として受けるときのバネ定数、
ωＦ１：第１ダイアフラム部の変位
ωＦ２：第２ダイアフラム部の変位
この式より、第２ダイアフラム部が受けた圧力以外の因子による変位（ωＦ２）に対する第１ダイアフラム部の変位（ωＦ１）が小さくなるためには、ＫＦ２／ＫＦ１が小さな値をとるほど良い。従って、第１ダイアフラム部と比べて充分に小さなバネ定数を持つ材質の第２ダイアフラム部を用いる場合には、ＫＦ２／ＫＦ１の値が小さくなり、被測定物の圧力以外の原因によって支持体に生じた変位は第２ダイアフラム部自体を変形させるが、歪ゲージを設置する第１ダイアフラム部にはその変位が伝わらず、圧力測定の精度が向上する。
【００２６】
ここで、第１ダイアフラム５に形成された第１ダイアフラム面のバネ定数（被測定物の圧力印加方向へのバネ定数）は、下記の式（３）で表すことができ、一方、第２ダイアフラム部２に形成された第２ダイアフラム面のバネ定数は、下記の式（４）で表すことができる。本発明においては、かかる式（４）で表される第２ダイアフラム面のバネ定数ＫＦ２を、第１ダイアフラム面のバネ定数ＫＦ１の５％以下の値にするのが好ましく、２％以下の値にするのが特に好ましい。
【００２７】
ＫＦ１＝１．６２０９（Ｅ１  ・ｈ１  ３  ／（１−ν１  ２  ））    …（３）
ＫＦ２＝１．６２０９（Ｅ２  ・ｈ２  ３  ／（１−ν２  ２  ））    …（４）
ここで、上式中の各記号は、
ＫＦ１：力Ｆを第１ダイアフラム部の一部が集中荷重として受けるときのバネ定数、
ＫＦ２：力Ｆを第２ダイアフラム部の一部が集中荷重として受けるときのバネ定数、
Ｅ１  ：第１ダイアフラム部のヤング率（材質が金属の場合、Ｅ１  は約２００００ｋｇｆ／ｍｍ２  ）
Ｅ２  ：第２ダイアフラム部のヤング率（材質がプラスチックの場合、Ｅ２  は約２５０ｋｇｆ／ｍｍ２  ）
ν１  ：第１ダイアフラム部のポアッソン比（材質が金属の場合、ν１  は約０．２７）
ν２  ：第２ダイアフラム部のポアッソン比（材質がプラスチックの場合、ν２  は約０．４）
ｈ１  ：第１ダイアフラム部の厚さ
ｈ２  ：第２ダイアフラム部の厚さ
を意味する。なお、上記の式（３）及び（４）は、次のようにして導かれる。
【００２８】
［式（３）、（４）の根拠］
中央に凸部を有し、周囲を固定されたダイアフラムの中心に集中荷重Ｆが加えられるときの変位ωＦ  とバネ定数ＫＦ  の間には、上述の通り、式（１）が成立する。
【００２９】
ＫＦ  ＝Ｆ／ωＦ      …（１）
ここで、変位の最大は凸部の半径ｂの位置で発生するので、変位ωＦ  は次の式（５）で表される。
【００３０】
【数１】
0003544602.tif 000002
［上式中、ａはダイアフラムの半径、ｂは凸部の半径、Ｄは剛性率を示す。］
そして、目的とする圧力により異なるが、ａ＝４、及びｂ＝１．７５と仮定し、この値を上式（５）に代入すると、
ωＦ  ＝２．５８４２・（ｐ／Ｄ）    …（６）
となる。この式（６）を上式（１）に代入すると、
ＫＦ  ＝Ｆ／［２．５８４２・（ｐ／Ｄ）］    …（７）
となる。さらに、剛性率Ｄは、
Ｄ＝Ｅ・ｈ３  ／１２（１−ν２  ）    …（８）
［上式中、Ｅはヤング率、ｈはダイアフラムの厚さ、νはポアッソン比を示す。］
と表され、集中荷重Ｆと全面への圧力ｐの間には、次の式（９）
Ｆ＝π・ａ２  ・ｐ      …（９）
［上式中、πは円周率、ａはダイアフラムの半径を示す。］
が成立するので、この式（８）と式（９）を式（７）に代入して整理すると、次の式（３）及び（４）が導かれる。
【００３１】
ＫＦ１＝１．６２０９（Ｅ１  ・ｈ１  ３  ／（１−ν１  ２  ））    …（３）
ＫＦ２＝１．６２０９（Ｅ２  ・ｈ２  ３  ／（１−ν２  ２  ））    …（４）
第２ダイアフラム部のバネ定数を第１ダイアフラム部のバネ定数よりも充分に小さくするためには、例えば、荷重検出部１（第１ダイアフラム部５）を金属材料で成形し、第２ダイアフラム部２をプラスチック材料で成形すればよい。荷重検出部１を成形するための金属材料は特に限定されず、例えば、圧力センサ用ダイアフラムの成形材料として公知のものを全般的に使用することができる。具体的には、ＳＵＳ６３０等の金属材料を例示できる。また、第２ダイアフラム部２を成形するためのプラスチック材料としては、所定の形状に加工することが可能であり、また隔膜としての強度を有し、第１ダイアフラム部に対して充分に小さいヤング率を有する材料を使用する。好ましくは、ポリカーボネートや塩化ビニル等のプラスチックを例示することができ、これらは、耐薬品性や耐久性にも優れている。
【００３２】
図２は、上述のダイアフラム部材１０１を組み込んだ隔膜型圧力センサの一例（１０２）である。このセンサ１０２は、フロースルー型圧力センサの一種であり、医療用機器に組み込まれて体液又は体液圧を伝達する流体を圧力媒体（被測定物）とし、主として人工透析機内で透析液の圧力を測定するのに使用される。外観的には、合成樹脂製の支持体１１、支持体から突出する２つの流路口部１２、支持体にネジ１５によって固定された台座１３及び電線１４が見られる。
【００３３】
図３は、上記のセンサ１０２の横断面を模式的に示した図である。この図は流路に対して垂直に切断した断面の要部を示している。支持体１１には、ダイアフラム部材１０１を入れるダイアフラム部材設置部１６と、２つの流路口部１２同士を結ぶ圧力媒体流路１７の２つの空間が形成されている。ダイアフラム部材１０１は、ダイアフラム部材設置部１６内に配置され、台座１３によって支持体１１に固定されている。すなわち、台座１３には、溶接層２１を介して中継端子台２２とダイアフラム部材１０１が取り付けられており、その台座１３がネジ１５によって支持体１１に固定されている。また、電線１４は、ダイアフラム部材の荷重検知部１と外部とを電気的に接続している。なお、ダイアフラム部材１０１内又はその周囲には、図示されていないその他の必要な部材又は要素、例えば、第１ダイアフラム部と歪ゲージの間の絶縁層等が備えられていてもよい。
【００３４】
さらに図３について説明すると、第２ダイアフラム部２のダイアフラム面は、支持体内の連通口１８から流路１７内に露出している。第１ダイアフラム部５のダイアフラム面の外面側には歪ゲージ１９が設置されている。ロッド部とロッド受け部とは、必要に応じてエポキシ樹脂等の接着剤２０によって接着されている。また、ダイアフラム部材の外面とダイアフラム部材設置部の内面の間は、少なくともダイアフラム部材の下部側において接合層２３によって封止されており、これによって被測定物である流体の漏出が防止される。
【００３５】
第２ダイアフラム部２のダイアフラム面は、被測定物から圧力を受けて圧力印加方向（流路の中心からみて放射方向）に変位するが、この一次的変位はロッド部を介して第１ダイアフラム部５に伝達され第１ダイアフラム部の二次的変位を引き起こし、次いで、この二次的変位が歪ゲージ１９によって電気信号に変換され、この電気信号が電線１４を介して外部に取り出されて圧力変化として読み取られる。
【００３６】
温度変化によるセンサ特性の変動の大きな原因の一つとして、支持体１１が熱的に膨張又は収縮して生じた支持体の変位、とりわけ被測定物の圧力印加方向への支持体の変位が第２ダイアフラムに伝達されることが挙げられる。支持体から及ぼされるこのような望ましくない影響を阻止するために、本発明で用いられるダイアフラム部材においては、上述のように、第２ダイアフラム部として第１ダイアフラム部と比べて極めてバネ定数の小さいもの、例えばプラスチック製のものを使用している。このため図４に示すように、第２ダイアフラム部２と接合しているダイアフラム設置部内面１６ａが、基準位置Ａから被測定物の圧力印加方向に正の変位（Ｂ）又は負の変位（Ｃ）を起こしたとしても、その変位は第２ダイアフラム部２のダイアフラム面を変形させるだけであり、そこから先には変位が伝達されない。すなわち、ロッド部３の絶対的位置は変化しない。従って、ロッド部３の先にある第１ダイアフラム部（図示せず）には、支持体の望ましくない変位が伝達されることなく、被測定物の圧力による変位だけが伝達されることとなり、測定環境の温度変化の影響を受けないで済む。
【００３７】
少なくともダイアフラム部材の下部側の領域においてダイアフラム部材の外面と連通口１８の内周の間を封止する接合層２３は、支持体１１に対する第２ダイアフラム部２の圧力印加方向への相対的な変位を許容できるものであることが望ましい。そのような接合層としては、例えば硬化後にゴム状弾性を有する接着剤、より具体的には室温加硫型シリコーンゴム（ＲＴＶゴム）を例示することができる。接合層２３としてＲＴＶゴム等を使用する場合には、図５に示すように、第２ダイアフラム部２と接合しているダイアフラム設置部内面１６ａが、基準位置Ａから被測定物の圧力印加方向に正の変位（Ｂ）又は負の変位（Ｃ）を起こしたとしても、その相対的変位は接合層２３に吸収されるので、第２ダイアフラム部２の絶対的位置は変化しない。従って、第１ダイアフラム部（図示せず）には、支持体の望ましくない変位が伝達されることなく、被測定物の圧力による変位だけが伝達されることとなり、測定環境の温度変化の影響を受けないで済む。支持体と第２ダイアフラム部の間の相対的変位を許容するＲＴＶゴム等の接合層は、それ単独でも温度変化によるセンサ特性の変動を充分に低減できる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の隔膜型圧力センサによれば、被測定物の圧力による変位だけを歪ゲージの設置面に到達させ、ダイアフラム部材を固定している支持体の熱的変位は到達させないので、温度変化によるセンサ特性の変動を極めて少なくすることができる。従って、測定時の温度管理や機器調整が容易で、精度の高い圧力センサが提供される。また上述のように、本発明の隔膜型圧力センサは、センサの小型軽量化、封入液の漏出防止、被測定物の漏出防止等の効果も兼ね備えている。
【００３９】
また、本発明において提供又は使用されるダイアフラム部材は、２枚のダイアフラムを備えた２重構造型であり液溜まりを極めて少なくすることができるので、被測定物の流出入方向が一方向のフロースルー型、或いは第２ダイアフラム部材が流路内に露出するフラッシュダイアフラム型の圧力センサに好適に利用できる。
【００４０】
さらに、第２ダイアフラム部をプラスチック製とする場合には、腐食性の強い被測定物の圧力を測定する圧力センサ（例えば、血液等の体液や各種薬品を被測定物とする医療機器用圧力センサ等）に好適である。プラスチック製のダイアフラム部は成形性が良いので、生産性が高いという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明で用いられるダイアフラム部材の一例（１０１）を一部破断した斜視図である。
【図２】本発明の隔膜型圧力センサの一例（１０２）の斜視図である。
【図３】本発明の隔膜型圧力センサ１０２の横断面を模式的に示す図である。
【図４】支持体の熱的変位が吸収される様子を示す説明図である。
【図５】支持体の熱的変位が吸収される様子を示す説明図である。
【符号の説明】
１０１…ダイアフラム部材
１０２…隔膜型圧力センサ
１…荷重検出部
２…第２ダイアフラム部
３…ロッド部
４…ロッド受け部
５…第１ダイアフラム部
６…フランジ
１１…支持体
１２…流路口部
１３…台座
１６…ダイアフラム部材設置部
１７…流路
１８…連通口
１９…歪ゲージ
２３…接合層
【図１】
0003544602.tif 000003
【図２】
0003544602.tif 000004
【図３】
0003544602.tif 000005
【図４】
0003544602.tif 000006
【図５】
0003544602.tif 000007