(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に配置される軟Ｘ線管から軟Ｘ線を照射して除電を行うものにおいて、軟Ｘ線管から照射された軟Ｘ線の一部を遮るためのコリメータを装着し、
上記コリメータの前面を軟Ｘ線管に対して離接自在に設けると共に、上記コリメータの前面の取付け位置を変更することにより、軟Ｘ線の照射域を調整できるように構成したことを特徴とする、軟Ｘ線照射除電装置。
【請求項２】
上記コリメータの前面の取付け位置を持ち上げた状態と下に下げた状態とに変更することにより、軟Ｘ線の照射域を調整できるように構成したことを特徴とする、請求項１に記載の軟Ｘ線照射除電装置。
【請求項３】
上記コリメータを、本体と該本体の前方において移動する移動部材で構成し、更に、移動部材の前面の取り付け位置を変えられるように構成したことを特徴とする、請求項１または２に記載の軟Ｘ線照射除電装置。
【請求項４】
上記前面の左右に形成したＬ字型のスリットの外側から挿入した螺子を移動部材に螺入することにより、任意の位置で前面を移動部材に対して固定できる構成としたことを特徴とする、請求項３に記載の軟Ｘ線照射除電装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、大気中や大気圧ガス雰囲気中において、例えば静電気を帯びた液晶基板や大型ガラス基板などを除電するための静電気除去装置として利用される軟Ｘ線照射除電装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルの製造では、液晶を配向させるためにガラス基板をバフで摩擦するラビング処理工程があり、処理基板はサイズが大きく絶縁性であるため帯電電位が非常に高くなる。この様にガラス基板が帯電すると、静電気力によって浮遊粒子が付着したり静電気放電が生じたりして、基板上に形成される素子の断線、短絡や画像素子の視覚欠如等を招き、歩留まりを低下させてしまう。そこで、液晶パネル製造の分野ではガラス基板の帯電を防止すべく、除電装置が用いられる。
【０００３】
除電装置には、種々のものが従来より知られているが、それらの内、大気中や大気圧ガス雰囲気中において軟Ｘ線を照射して除電を行う軟Ｘ線照射除電装置が公知である。図１６、１７に示されるように、軟Ｘ線照射除電装置５０は、前面が開口５１しているケース５２の内部に軟Ｘ線管５３を配置して構成される。そして、この軟Ｘ線管５３から照射された軟Ｘ線が図示のように円錐形状の照射域５５に照射されるようになっている。また、従来の軟Ｘ線照射除電装置５０にあっては、軟Ｘ線管５３から照射された軟Ｘ線がケース５２の開口５１によって何等遮られずに、頂角５６が１１０゜の円錐形状の照射域５５に照射されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように構成される軟Ｘ線照射除電装置において、軟Ｘ線の照射域を所望の範囲に任意に調整できれば、遮蔽を最小限に抑えることが可能となる。
【０００５】
従って、本発明の目的は軟Ｘ線の照射域を所望の範囲に任意に調整できる軟Ｘ線照射除電装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、内部に配置される軟Ｘ線管から軟Ｘ線を照射して除電を行うものにおいて、軟Ｘ線管から照射された軟Ｘ線の一部を遮るためのコリメータを装着し、上記コリメータの前面を軟Ｘ線管に対して離接自在に設けると共に、上記コリメータの前面の取付け位置を変更することにより、軟Ｘ線の照射域を調整できるように構成したことを特徴とする、軟Ｘ線照射除電装置が提供される。この場合、例えば上記コリメータの前面の取付け位置を持ち上げた状態と下に下げた状態とに変更することにより、軟Ｘ線の照射域を調整できるように構成しても良い。
【０００７】
そして、本発明の軟Ｘ線照射除電装置は更に以下の構成を備えることができる。即ち、上記コリメータを、本体と該本体の前方において移動する移動部材で構成し、更に、移動部材の前面の取り付け位置を変えられるように構成しても良い。また、上記前面の左右に形成したＬ字型のスリットの外側から挿入した螺子を移動部材に螺入することにより、任意の位置で前面を移動部材に対して固定できる構成としても良い。
【０００８】
【作用】
本発明の軟Ｘ線照射除電装置にあっては、軟Ｘ線管から照射された軟Ｘ線の一部をコリメータによって遮り、軟Ｘ線の照射域を任意に調整することが可能である。このように軟Ｘ線の照射域を所望の範囲に調整することにより、最小限の遮蔽に抑えることができる。
【０００９】
【実施例】
以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。図１は、本発明実施例にかかる、例えば液晶基板や大型ガラス基板などからなる基板１の静電気を除電するための除電装置２の説明図である。基板１は搬送装置３によって搬送される。除電装置２の側方には、軟Ｘ線を照射するための軟Ｘ線管４が配設されており、この軟Ｘ線管４から、金網５によって囲まれている除電装置２内部に軟Ｘ線を照射して、基板１の静電気を除電する構成になっている。除電装置２の後方には、除電装置２内部に照射された軟Ｘ線が外部に漏れるのを防ぐための遮蔽板６が装着してある。
【００１０】
軟Ｘ線管５から照射される軟Ｘ線は、波長が数オングストロームから数百オングストロームのＸ線であり、電気分子をイオン化させる。本発明にいう軟Ｘ線は、薄い空気層によってもたやすく吸収されるような透過能の小さいＸ線領域にあり、その波長は一般に数オングストロームから数百オングストロームである。この軟Ｘ線は透過能が小く、ガス分子の光子吸収率も高くて、ガス分子をイオン化しやすい特性を有する。また、イオン化過程において中性の酸素原子（ラジカル）をほとんど生成させず、オゾンが発生しない。なお、軟Ｘ線領域よりエネルギーの低い、長波長側の紫外線は、ガスをイオン化させるが、それ以上にオゾンを大量に発生させる。一方、軟Ｘ線領域よりもエネルギーの高い、短波長側のＸ線は、イオン化エネルギーは十分だが、ガス分子に吸収されにくく、光吸収断面積が波長が短くなるに従って小さくなるため、イオン生成量が非常に少なく、除電に使用できない。また、通常のＸ線は、大がかりな遮蔽手段を設ける必要があり、実用には適さない。
【００１１】
本発明は、以上のように例えば基板１などに対して軟Ｘ線管４より軟Ｘ線を照射して除電を行うように構成された軟Ｘ線除電装置２において、コリメータ７を装着することによって、軟Ｘ線管４から照射された軟Ｘ線の一部を遮り、これにより軟Ｘ線の照射域を任意に調整できるようにしたものである。コリメータ７は、例えば例えばＦｅやＡｌ、Ｃｕ等の金属板、塩ビ、プラスチック等の樹脂板など、軟Ｘ線の照射を遮蔽できる材料で構成する。以下に、本発明の軟Ｘ線除電装置において好適に用いられるコリメータ７の具体的な構成について説明する。
【００１２】
図２、図３は、軟Ｘ線管４の周りに装着したコリメータ７の前面１０に、軟Ｘ線管４から照射された軟Ｘ線を透過させるための窓孔１１を穿設した実施例を示すものである。このように、コリメータ７を軟Ｘ線管４の周りに装着して、コリメータ７の前面１０で軟Ｘ線管４から照射された軟Ｘ線の一部を遮ることにより、窓孔１１を透過する範囲のみを軟Ｘ線の照射域とすることが可能である。なお、この実施例は、コリメータ７の前面１０のほぼ中心に略正方形の窓孔１１を穿設した場合を示しており、この実施例によれば、図示のように左右上下にほぼ等しく広がった四角錐状の照射域１２を形成することが可能である。
【００１３】
図４、図５に示す実施例は、図２、図３と同様にコリメータ７の前面１０に窓孔１３を穿設したものであるが、この実施例の窓孔１３は横に長い長方形をしており、コリメータ７の前面１０の中心部よりもやや上方に配置されている。従ってこの実施例によれば、図示のように左右に広がった四角錐状の照射域１４をコリメータ７の前方上部に形成することが可能である。このように構成することによって、軟Ｘ線管４から照射された軟Ｘ線をコリメータ７の前方上部のみに照射することができるようになる。
【００１４】
また、図６に示すコリメータ７は、本体１５と該本体１５の前方において移動する移動部材１６で構成されている。移動部材１６の前面１７には、コリメータ本体１５の内部に配置された軟Ｘ線管４から照射される軟Ｘ線を透過させるための窓孔１８が穿設される。また、移動部材１６の左右にはスリット１９が設けられ、該スリット１９の外側から挿入した螺子２０をコリメータ本体１５に螺入することにより、任意の位置で移動部材１６をコリメータ本体１５に対して固定できる構成になっている。
【００１５】
この実施例にあっては、例えば図７に示すように、移動部材１６とコリメータ本体１５を深く嵌合させた状態としてスリット１９に挿入した螺子２０で固定することにより、コリメータ７の前方上部に上下に広い四角錐状の照射域２１を形成することができる。また一方、図８に示すように、移動部材１６とコリメータ本体１５を浅く嵌合させた状態にすることにより、コリメータ７の前方上部に上下に狭い横に広がった四角錐状の照射域２２を形成することができる。
【００１６】
図９、１０に示すコリメータ７は、図７、図８のものよりも窓孔１８が縦に広く開口した実施例であり、図９は移動部材１６とコリメータ本体１５を深く嵌合させた状態、図１０は移動部材１６とコリメータ本体１５を浅く嵌合させた状態をそれぞれ示している。この実施例のように窓孔１８が縦に広く開口していることによって、図７、図８の場合に比べて更に縦に広がった四角錐状の照射域２３、２４をそれぞれ形成することが可能になる。
【００１７】
次に、図１１に示すコリメータ７は、先に図６で説明した実施例と同様に本体１５と該本体１５の前方において移動する移動部材１６をスリット１９の外側から挿入した螺子２０で固定することにより、移動部材１６の固定位置を可変としたものにおいて、更に、移動部材１６の前面２５の取り付け位置をも変えられるように構成した実施例を示している。前面２５の左右に形成したＬ字型のスリット２６の外側から挿入した螺子２７を移動部材１６に螺入することにより、任意の位置で前面２５を移動部材１６に対して固定できる構成になっている。
【００１８】
この実施例にあっては、例えば図１２に示すように、前面２５を持ち上げた状態にして螺子２７で移動部材１６に固定すると共に、移動部材１６とコリメータ本体１５を深く嵌合させて螺子２０で固定することにより、コリメータ７の前方上部に上下に広い四角錐状の照射域２１を形成することができ、また一方、図１３に示すように、前面２５は持ち上げた状態のままで、移動部材１６とコリメータ本体１５を浅く嵌合させることにより、コリメータ７の前方上部に上下に狭い横に広がった四角錐状の照射域２２を形成することができる。更に、図１４に示すように、前面２５を下に下げた状態にして螺子２７で移動部材１６に固定すると共に、移動部材１６とコリメータ本体１５を深く嵌合させて螺子２０で固定することにより、コリメータ７の前方に、図１２の場合よりも上下に広い四角錐状の照射域３０を形成することができ、また、図１５に示すように、前面２５は下に下げたままで、移動部材１６とコリメータ本体１５を浅く嵌合させることにより、コリメータ７の前方に図１４の場合よりも狭い四角錐状の照射域３１を形成することが可能となる。
【００１９】
このように、図６及び図１１に示した実施例のコリメータ７は、コリメータ本体１５と移動部材１６の固定位置や前面２５の取り付け位置を種々に変更することによって照射域を調整でき、必要以上に照射領域が広くならないので遮蔽処置を最小限に抑えることができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、軟Ｘ線の照射域を所望の範囲に任意に調整できるので、最小限の遮蔽を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施例にかかる除電装置の説明図
【図２】前面のほぼ中心に略正方形の窓孔が穿設されたコリメータの斜視図
【図３】同コリメータの側面図
【図４】前面の中心部よりもやや上方に窓孔が穿設されたコリメータの斜視図
【図５】同コリメータの側面図
【図６】本体と移動部材で構成されたコリメータの斜視図
【図７】移動部材とコリメータ本体を深く嵌合させた状態のコリメータの側面図
【図８】移動部材とコリメータ本体を浅く嵌合させた状態のコリメータの側面図
【図９】図７の実施例よりも窓孔が縦に広く開口したコリメータの側面図
【図１０】図８の実施例よりも窓孔が縦に広く開口したコリメータの側面図
【図１１】本体と移動部材で構成されたコリメータにおいて前面の取り付け位置をも変えられるように構成した実施例の斜視図
【図１２】前面を持ち上げた状態にし、移動部材とコリメータ本体を深く嵌合させた状態のコリメータの側面図
【図１３】前面を持ち上げた状態にし、移動部材とコリメータ本体を浅く嵌合させた状態のコリメータの側面図
【図１４】前面を下に下げた状態にし、移動部材とコリメータ本体を深く嵌合させた状態のコリメータの側面図
【図１５】前面を下に下げた状態にし、移動部材とコリメータ本体を浅く嵌合させた状態のコリメータの側面図
【図１６】従来の軟Ｘ線照射除電装置の斜視図
【図１７】同軟Ｘ線照射除電装置の側面図
【符号の説明】
２    軟Ｘ線照射除電装置
４    軟Ｘ線管
７    コリメータ
【図１】
0003590100.tif 000002
【図２】
0003590100.tif 000003
【図３】
0003590100.tif 000004
【図４】
0003590100.tif 000005
【図５】
0003590100.tif 000006
【図６】
0003590100.tif 000007
【図７】
0003590100.tif 000008
【図８】
0003590100.tif 000009
【図９】
0003590100.tif 000010
【図１０】
0003590100.tif 000011
【図１１】
0003590100.tif 000012
【図１２】
0003590100.tif 000013
【図１３】
0003590100.tif 000014
【図１４】
0003590100.tif 000015
【図１５】
0003590100.tif 000016
【図１６】
0003590100.tif 000017
【図１７】
0003590100.tif 000018