(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流量を検出する流量検出素子と、流体が導入されるとともに上記流量検出素子が内部に配設される検出用通路と、この検出用通路を支持する支持部材と、上記流量検出素子を制御する電子回路部が収納された回路ケースと、流体温度を検出する流体温度検出用素子と、この流体温度検出用素子を保護するプロテクタとを備え、上記検出用通路、支持部材および回路ケースが一体に構成され、上記検出用通路が流体を流通させる主通路内に位置するように上記支持部材を該主通路に開口された穴から延出させて使用される流量センサにおいて、
上記流体温度検出用素子および上記プロテクタがユニットとして一体に構成され、該ユニットを挿入する穴が上記支持部材あるいは回路ケースに設けられていることを特徴とする流量センサ。
【請求項２】
上記ユニットを支持する構造体が上記支持部材に一体に構成されていることを特徴とする請求項１記載の流量センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流量に応じて信号を出力する流量測定装置に係り、例えば内燃機関の吸入空気流量を測定するのに適した空気流量測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２１および図２２はそれぞれ例えば特開平８−３１３３１８号公報に記載された従来の感熱式流量センサを示す正面図および縦断面図を示す。
図２１および図２２において、流量センサ１は、計測流体が流れる主通路５と、主通路５内にほぼ同軸に配設された検出用通路６と、検出用通路６内に配設された流量検出素子１２Ａと、主通路５内の検出用通路６の入口近傍に配設された温度補償用抵抗体１３と、主通路５内の入口近傍に配設された整流格子７とを有している。そして、流量検出素子１２Ａおよび温度補償用抵抗体１３に電気的に接続された回路基板８が回路ケース９内に収納されている。さらに、流量センサ１へ電源を供給したり、流量検出信号を外部へ取り出すためのコネクタ１０が回路ケース９に設けられている。
ここで、流量検出素子１２Ａはセラミック基板と、該セラミック基板上に着膜された白金膜を櫛歯状に形成してなる流量検出抵抗体１１とを備えている。同様に、温度補償用抵抗体１３はセラミック基板上に着膜された白金膜を櫛歯状に形成したものである。
【０００３】
このように構成された従来の流量センサ１においては、流量検出素子１２Ａの流量検出抵抗体１１に流れる加熱電流は、流量検出抵抗体１１の平均温度が温度補償用抵抗体１３で検出された計測流体温度から所定の温度だけ高くなるよう回路基板８に構成された回路によって制御されている。そして、計測流体の流れによる流量検出抵抗体１１の冷却効果と流量検出抵抗体１１の抵抗値が温度により変化する特性とを利用し、流量検出抵抗体１１に供給される加熱電流を検出し、該加熱電流を流量信号とすることで流体の流量を検出できる。
一般的に流量センサ１を自動車用内燃機関の吸入空気量検出センサとして適用する場合の吸気系配管を図２３に示す。多くの場合、流量センサ１はエアクリーナケース３の内部に収められたエアクリーナエレメント２の下流に配設される。このエアクリーナエレメント２は不織布、濾紙等により成るフィルタであり、内燃機関が吸入する空気中のダストを捕捉して内燃機関の内部に入らないようにするために設けられている。このエアクリーナエレメント２は自動車が走行するに従いダストが堆積し、目詰まりを起こす。これに伴い、エアクリーナエレメント２を通過した吸入空気の流れは、エアクリーナエレメント２が目詰まりを起こす以前の流れに比較し非常に偏った流れとなり、流量センサ１の上流における流速分布は大きく変化する。
流量センサ１の流量検出素子１２Ａは主通路５のごく一部の流速を検出して流量情報としているため、同一流量であっても流量センサ１の上流の流速分布が変化すると流量検出信号に誤差を生じてしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年エンジンルームの小型化に伴い流量センサにも小型化のニーズが高まり、例えば特開平８−２１９８３８号公報に記載されているように流管部（主通路５）を持たない、いわゆるプラグイン構造の流量センサが提案されている。ところがこのプラグイン構造の流量センサは流管部をもたないため前述のような整流器（整流格子７）を用いて整流することが困難であった。従って、プラグイン構造の流量センサを自動車用内燃機関の吸入空気量検出センサとして適用する場合、エアクリーナエレメント２が目詰まりを起こすと流量検出信号に誤差が生じ易かった。
【０００５】
さらに、このプラグイン構造の流量センサの検出精度を向上させるために、整流器をエアクリーナケースあるいは吸気管に装着することが考えられる。この場合、十分な整流効果を得るためには整流器の目を細かくする必要がある。整流器の目を細かくすることは圧力損失の増大につながり、内燃機関が吸入できる空気量が制限されて、内燃機関の出力が低下してしまうという問題がある。また、整流器の目が細かすぎると、エアクリーナエレメントを通過した小さなダストにより目詰まりを起こすという問題がある。一方、整流器の目を荒くすると、整流効果が低下するだけでなく、整流器の下流に生じる渦により、流量検出部における境界層厚さおよび摩擦応力の不均一性を生じ、流量検出信号に乱れを生じて、正確な流量が検出できないという問題がある。
さらに、流量センサ以外に整流構造体を有するため、製造コストが高くなるという問題があった。
【０００６】
また、近年の感熱式流量センサにおいては、高速な応答を目的とした小型化された流量検出素子が用いられる。この場合、流量検出素子の上流に整流器を設置すると、流量検出素子が整流器から発生する流体的乱れの影響を受け易くなり、流量検出信号に含まれるノイズ成分がさらに大きくなることにより流量検出精度を悪化させるという問題があった。
【０００７】
さらに、プラグイン構造の流量センサは、例えば特開平８−２１９８３８号公報の図１および図２に示されるように、主通路に開口された穴に挿入されており、その検出用通路が主通路の通路断面の略中心に位置している。この流量センサを上流視（上流側から見る）すると、検出用通路を支持する支持部材が検出用通路と主通路との間に配設されており、検出用通路を中心とし、上下方向（主通路の内壁面からの支持部材の延出方向）に流体抵抗の偏りがある。また、検出用通路の下部に板状整流部材を用いた流量センサが特開平１０−３３２４５３号公報に記載されている。この場合も、検出用通路を中心とし、上下方向に流体抵抗の偏りがある。このような流量センサにおいては、流量センサの上流に流速分布の変化が生じた場合には、流量センサの上下方向における流速分布が不均一になり、検出流量の誤差が発生し易い。
【０００８】
また、サーミスタ等を用いた流体温度検出用素子を一体化した流量センサが、例えば、特開平８−２９７０４０号公報に記載されている。この流量センサにおいては、上流視した場合、サーミスタが検出用通路を支持する支持部材を中心として左右どちらかに偏って装着されている。この場合、該支持部材を中心とし左右方向に流体抵抗の偏りがあるため、流量センサの上流に流速分布の変化が生じた場合には、検出流量の誤差が発生し易い。
【０００９】
また、流体温度検出用素子にサーミスタを用いた流量センサにおいては、特開平８−２９７０４０号公報に記載されているように、流管部に流量センサを挿入する時にサーミスタを破損しないようにプロテクタが設けられている。しかしながら、流量センサ組立時、サーミスタを検出用通路に形成された穴に挿入する際にサーミスタを破損する恐れがあり、これについては考慮されていなかった。
【００１０】
またさらに、特開平１０−１４２０２０号公報に示されるように膜状の流量検出素子を用いる場合、該流量検出素子が流量センサの軸方向（検出用通路の軸方向）とほぼ平行に、かつ、検出用通路内に延出された板状部材に表面がほぼ面一になるように組み込まれ、その一端が支持部材の内部に埋没固定されている。そして、該流量検出素子と制御回路部とをワイヤーボンディング等の方法により電気的導通をはかっている。さらに、該流量検出素子は流速分布が均一化されている検出用通路の通路断面のほぼ中心に配設されている。ここで、流量センサの高速応答を目的とする場合、該流量検出素子を小型化することが効果的であるが、小型化が促進されると、流量検出素子を該検出用通路の中心に配設するためには、該制御回路部との電気的接続部を保護する保護部材を該検出用通路の中に露出させる必要が生じる。この場合、該検出用通路を上流視した場合、該保護部材により上下方向に不均一な流体抵抗が生じる。従って、この流量センサにおいては、流量センサの上流に流速分布の変化が生じた場合には、検出流量の誤差が発生し易い。
【００１１】
この発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、流量センサ上流で流速分布が変化しても正確な流量検出が可能であり、圧力損失が小さく、また、製造コストを含めた安価な流量センサを得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明による流量センサは、流体の流量を検出する流量検出素子と、流体が導入されるとともに上記流量検出素子が内部に配設される検出用通路と、この検出用通路を支持する支持部材と、上記流量検出素子を制御する電子回路部が収納された回路ケースと、流体温度を検出する流体温度検出用素子と、この流体温度検出用素子を保護するプロテクタとを備え、上記検出用通路、支持部材および回路ケースが一体に構成され、上記検出用通路が流体を流通させる主通路内に位置するように上記支持部材を該主通路に開口された穴から延出させて使用される流量センサにおいて、上記流体温度検出用素子および上記プロテクタがユニットとして一体に構成され、該ユニットを挿入する穴が上記支持部材あるいは回路ケースに設けられているものである。
【００１９】
また、上記ユニットを支持する構造体が上記支持部材に一体に構成されているものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図について説明する。
実施の形態１．
図１および図２はそれぞれこの発明の実施の形態１に係る流量センサを示す部分横断面図および縦断面図である。
図１および図２において、主通路１６は計測流体が流通する樹脂製の円筒状の管体であり、例えば自動車用内燃機関の吸気系配管のエアクリーナケースと一体に形成されている。流量センサ１００は、主通路１６に取り付けられて主通路１６内を流通する流体の流量を検出するいわゆるプラグイン構造のもので、支持部材２０と、軸心方向が支持部材２０の長手方向と直交するように該支持部材２０の一端に設けられた筒状の検出用通路１９と、主面が検出用通路１９の軸心を通るように検出用通路１９の内壁面から支持部材２０の長手方向に延設された板状の検出補助部材２２と、表面が検出補助部材２２と同じ面位置となるように検出補助部材２２に組み込まれ、その一端が支持部材２０の内部に固定されている流量検出素子１２と、検出用通路１９に関して支持部材２０と対称位置に検出用通路１９の外壁面から支持部材２０の長手方向に延設された構造体２１と、支持部材２０の他端に設けられた回路ケース１５とを有している。そして、検出用通路１９、支持部材２０および回路ケース１５が一体に樹脂成形されている、即ち一体の樹脂体に構成されている。
【００２１】
この流量センサ１００は、支持部材２０が主通路１６の内壁面から主通路１６内に延出するように、主通路１６に設けられた開口３０から挿入され、回路ケース１５を主通路１６の外壁にネジ（図示せず）により締着固定して取り付けられる。この時、支持部材２０と主通路１６の開口３０との間にＯリング２９が介装され、主通路１６の気密性が確保されている。また、検出用通路１９が主通路１５内に略同軸に配設されている。そして、検出用通路１９の軸心方向が計測流体の流れ方向４に略一致している。また、構造体２１は、支持部材２０の主通路１６への突出部分の一部と同一形状に構成されている。
【００２２】
ここで、回路ケース１５の内部には、電気的信号を制御する電子回路部としての回路基板１４が収容されている。そして、回路基板１４に接続されたターミナル２３と流量検出素子１２とが支持部材２０の内部でリード２４を介して電気的に接続されている。さらに、回路ケース１５にはコネクタ１８が設けられ、外部から流量センサ１００へ電源を供給したり、流量センサ１００の流量検出信号を外部に取り出せるようになっている。
また、流量検出素子１２は、シリコン基板上に着膜された白金膜をパターニングして櫛歯状の流量検出抵抗体１１および温度補償用抵抗体１３がシリコン基板上に複合形成されたもので、流量検出抵抗体１１の熱が温度補償用抵抗体１３に伝導しないように熱絶縁手段（図示せず）が施されている。
【００２３】
なお、以降に述べる実施の形態でも同様であるが、支持部材２０の長さ方向、即ち支持部材２０の主通路１６の内壁面からの延出方向を上下方向とし、検出用通路１９の軸心および支持部材２０の長さ方向に直交する方向を左右方向として説明する。また、本願の効果を得るには温度補償用抵抗体１３が必ずしも流量検出素子１２の上に構成されている必要はなく、流量検出素子１２には流量検出抵抗体１１のみが構成されていても良い。さらに、流量検出素子１２の基板はシリコン基板に限定されるものではなく、電気的絶縁体であればよく、例えばセラミック基板でもよい。さらにまた、流量検出抵抗体１１および温度補償用抵抗体１３の材料は白金に限定されるものではなく、感熱抵抗材料であればよく、例えば、ニッケル、パーマロイ等であっても良い。
【００２４】
このように構成された流量センサ１００において、構造体２１が支持部材２０の主通路１６への突出部分の一部と同一形状に構成されているので、主流路１６内の支持部材２０の一部と構造体２１が同一の流体抵抗を持つ。また、構造体２１と支持部材２０とが検出用通路１９を中心として対称に配設されているので、上下方向において流体抵抗が均一化される。
そこで、主通路１６に流入する計測流体の流速分布に偏りが生じた場合においても、少なくとも上下方向における主流軸方向の流速成分が補整され、計測流体は主流軸方向の流速分布が平均化されるため、検出流量の誤差が発生しにくく、正確な流量検出が可能となる。
【００２５】
なお、この実施の形態１では、構造体２１は支持部材２０の主通路１６内への突出部分と同一形状に形成するものとしているが、構造体２１は必ずしも支持部材２０の主通路１６内への突出部分と同一形状にする必要はなく、実質的に略同一の流体抵抗を有していればよい。
また、この実施の形態１では、構造体２１と主通路１６の内壁面との間には距離Ｌが設けてあるが、主通路１６の内壁面近傍においては、壁面摩擦応力により流体抵抗が生じるため、距離Ｌは主通路１６の内半径ｒの１／２以下とすることが望ましい。
【００２６】
実施の形態２．
図３および図４はそれぞれこの発明の実施の形態２に係る流量センサを示す部分横断面図および縦断面図である。
この実施の形態２では、図３および図４に示されるように、検出用通路１９には支持部材２０の主通路１６への突出部分と実質的に略等しい流体抵抗をもつ構造体２１Ａが検出用通路１９を中心に支持部材２０と略対称位置に例えば樹脂等にて一体に構成されている。さらに、この構造体２１Ａの内部は所定の肉抜きをして構成されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００２７】
この様に構成された流量センサ１０１においては、上記実施の形態１の効果に加えて、構造体２１Ａを構成する樹脂の所要量を減少させることが可能となり、低コストで軽量な流量センサを得ることができる。
また、構造体２１Ａを含めた検出用通路１９のモーメントが小さくなるので、検出用通路１９の支持部材２０の強度を低くすることができ、ひいては支持部材２０の幅を小さくすることができるため、圧力損失を小さくすることが可能となる。
【００２８】
実施の形態３．
図５および図６はそれぞれこの発明の実施の形態３に係る流量センサを示す部分横断面図および縦断面図である。
この実施の形態３では、図５および図６に示されるように、取付部１９ａが検出用通路１９の外周壁に支持部材２０と対称位置に突設され、さらに構造体２１Ｂが取付部１９ａに溶着にて固定されている。そして、取付部１９ａと構造体２１Ｂとからなる検出用通路１９からの突出部分が支持部材２０の主通路１６への突出部分と実質的に略等しい流体抵抗をもつ外形形状に形成されている。さらに、構造体２１Ｂと支持部材２０とが検出用通路１９を中心に対称な位置関係となっている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００２９】
この種の流量センサを、数種類の排気量をもつ自動車用内燃機関の吸入空気量検出センサとして標準化して適用する場合、流量センサが搭載される主通路１６の内径は内燃機関の排気量や出力に応じて数種類におよぶ。
このように構成された流量センサ１０２では、検出用通路１９と構造体２１Ｂとが別体で構成されているので、該構造体２１Ｂの径方向長さのバリエーションを数種類用意しておけば、適用する主通路１６の内径に応じて適当な長さの構造体２１Ｂを選択し組み合わせることができ、流量センサ１０２の該構造体２１Ｂ以外の構成部材を標準化することが可能となる。よって、この実施の形態３によれば、上記実施の形態１の効果に加えて、低コストな流量センサを得ることができる。
【００３０】
なお、上記実施の形態３では、構造体２１Ｂを検出用通路１９の取付部１９ａに溶着するものとしているが、検出用通路１９と構造体２１Ｂとの固定方法は溶着に限定されるものはなく、接着やネジ止め等でもよい。
また、上記実施の形態３では、構造体２１Ｂを検出用通路１９に設けられた取付部１９ａに固定するものとしているが、構造体２１Ｂを検出用通路１９に直接固定するようにしてもよい。
また、上記実施の形態３では、検出用通路１９の形状が円筒形状に形成されているものとしているが、検出用通路１９は円筒形状に限定されるものではなく、例えば図７および図８に示されるような矩形状であってもよく、さらには楕円筒形状であってもよい。
【００３１】
実施の形態４．
図９および図１０はそれぞれこの発明の実施の形態４に係る流量センサを示す部分横断面図および部分縦断面図である。
この実施の形態４では、図９および図１０に示されるように、回路ケース１５には流体温度検出用素子としてのサーミスタ２５が主通路１６内に露呈するように配設されている。また、支持部材２０にはサーミスタ２５を保護するためのプロテクタ２６が設置されている。さらに、プロテクタ２６と同一形状の構造体２１Ｃが検出用通路１９の支持部材２０を中心にプロテクタ２６と略対称位置に設置されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００３２】
この様に構成された流量センサ１０３おいては、プロテクタ２６と構造体２１Ｃとが略同一の流体抵抗を持ち、かつ、検出用通路１９を中心とし対称に配設されているので、検出用通路１９の左右において流体抵抗が均一化されている。
そこで、主通路１６に流入する計測流体の流速分布に偏りが生じても、検出用通路１９の左右において流体抵抗が均一化されているため、少なくとも左右方向における主流軸方向の流速成分が補整され、計測流体は主流軸方向の流速分布が平均化されるので、検出流量の誤差が発生しにくく、正確な流量検出が可能となる。
【００３３】
実施の形態５
図１１および図１２はそれぞれこの発明の実施の形態５に係る流量センサを示す部分横断面図および縦断面図である。
図１１および図１２において、流量センサ１０４は、計測流体が流通する樹脂製の円筒状の主通路１６Ａと、主通路１６Ａ内に略同軸的に配設された筒状の検出用通路１９と、主通路１６Ａの内壁面から延出して検出用通路１９を支持する支持部材２０と、主面が検出用通路１９の軸心を通るように検出用通路１９の内壁面から支持部材２０の延出方向に延設された板状の検出補助部材２２と、表面が検出補助部材２２と同じ面位置となるように検出補助部材２２に組み込まれ、その一端が支持部材２０の内部に固定されている流量検出素子１２と、主通路１６Ａの外壁面に設けられた回路ケース１５とを有している。
そして、流量検出素子１２とターミナル２３は支持部材２０の内部においてリード２４によって電気的に接続されている。この小型化された流量検出素子１２に構成されている流量検出抵抗体１１は検出用通路１９の略中心に位置するように配設されている。また、ターミナル２３とリード２４およびリード２４と流量検出抵抗体１１との電気的接続部は検出補助部材２２と一体にて構成される保護部材２７により計測流体から保護されている。この保護部材２７の一部が検出用通路１９の中に露呈するように配設されている。さらに、保護部材２７の検出用通路１９内への露呈部分と略同一形状を有する構造体２１Ｄが検出用通路１９の軸心を中心として保護部材２７の露呈部分と略対称位置に検出用通路１９の内壁面に配設されている。
なお、以降に述べる実施の形態でも同様であるが、本願の効果を得るには保護部材２７は検出補助部材２２と一体にて構成されている必要はなく、別体で構成されていてもよい。
【００３４】
ここで、流量センサの高速応答を目的とする場合、流量検出素子１２を小型化することが効果的である。しかしながら、流量検出素子１２の小型化が促進されると、流量検出素子１２上に構成されている流量検出抵抗体１１を流速分布が均一化された該検出用通路１９の略中心位置に配設するためには、リード２４を保護する保護部材２７を検出用通路１９の中に露呈させる必要が生じる。このままでは、検出用通路１９内の上下方向おいて流体抵抗が不均一となり、流量センサの上流に流速分布の変化が生じた場合には、検出流量の誤差が発生し易い。
【００３５】
この実施の形態５によれば、保護部材２７の検出用通路１９内への露呈部分と略同一形状を有する構造体２１Ｄが検出用通路１９の軸心を中心として保護部材２７の露呈部分と略対称位置に検出用通路１９の内壁面に配設されているので、流量検出素子１２の検出補助部材２２の上下方向において流体抵抗が均一化される。そこで、流量センサ１０４の上流に流速分布の変化が発生しても、少なくとも検出用通路１９内の上下方向における主流軸方向の流速成分が補整され、計測流体は主流軸方向の流速分布が平均化されるため、検出流量の誤差が発生しにくく、正確な流量検出が可能となる。
【００３６】
実施の形態６．
図１３および図１４はそれぞれこの発明の実施の形態６に係る流量センサを示す部分横断面図および縦断面図である。
この実施の形態６では、図１３および図１４に示されるように、検出用通路１９内に露呈している保護部材２７の露呈部分と略同一の流体抵抗を有する構造体２１Ｅは検出補助部材２２と例えば樹脂等にて一体に構成され、検出用通路１９の軸心を中心に保護部材２７の露呈部分と略対称位置に配設されている。
なお、他の構成は上記実施の形態５と同様に構成されている。
【００３７】
この様に構成された流量センサ１０５においては、上記実施の形態５の効果に加えて、検出用通路１９内に露呈している保護部材２７の露呈部分と略同一の流体抵抗を有する構造体２１Ｅは検出補助部材２２と例えば樹脂等にて一体に構成されているため、上記実施の形態５のように構造体２１Ｄと検出補助部材２２とが別体にて構成されている場合に比べ検出補助部材２２と構造体２１Ｅとの組み付け位置のバラツキによる相対的位置ズレが生じることが無く、ひいては流量センサの流量特性のバラツキが縮小される。
【００３８】
実施の形態７．
図１５および図１６はそれぞれこの発明の実施の形態７に係る流量センサを示す部分横断面図および部分縦断面図である。
この実施の形態７では、図１５および図１６に示されるように、流体温度検出用素子としてのサーミスタ２５とプロテクタ２６とが一体のユニットとして構成され、回路ケース１５に設けられた穴３１より挿入されて主通路１６内にサーミスタ２５が露呈するように配設されている。
なお、他の構成は上記実施の形態１と同様に構成されている。
【００３９】
このように構成された流量センサ１０６においては、あらかじめサーミスタ２５がプロテクタ２６と例えば樹脂等により一体に構成されているため、流量センサ１０６を主通路１６に設けられた穴３０に組み込む際に、サーミスタ２５が主通路１６に接触、衝突することがなく、さらには流量センサ１０６の製造時、サーミスタ２５を回路ケース１５に設けられた穴３１に挿入する際にサーミスタ２５が回路ケース１５に接触、衝突することがなくなり、流量センサの製造時歩留まりを向上し、製造コストを低減することができる。
【００４０】
実施の形態８．
図１７および図１８はそれぞれこの発明の実施の形態８に係る流量センサを示す部分横断面図および部分縦断面図である。
この実施の形態８では、図１７および図１８に示されるように、流体温度検出用素子としてのサーミスタ２５とプロテクタ２６とが一体のユニットとして構成され、回路ケース１５に設けられた穴３１より挿入されて主通路１６内にサーミスタ２５が露呈するように配設されている。
なお、他の構成は上記実施の形態７と同様に構成されている。
【００４１】
この様に構成された流量センサ１０７においては、上記実施例７の効果に加えて、サーミスタ２５の上流に構造物が無いため、サーミスタ２５が計測流体に接触しやすく、流体温度を正確に計測することが可能となる。
【００４２】
実施の形態９．
図１９および図２０はそれぞれこの発明の実施の形態９に係る流量センサを示す部分横断面図および部分縦断面図である。
この実施の形態９では、図１９および図２０に示されるように、流体温度検出用素子としてのサーミスタ２５とプロテクタ２６とが一体のユニットとして構成され、回路ケース１５に設けられた穴３１より挿入されて主通路１６内に該流体温度検出用素子２５が露呈するように配設されている。さらに、検出用通路１９の支持部材２０には突起状の構造物２８が一体にて構成され、プロテクタ２６と接している。
尚、他の構成は上記実施の形態７と同様に構成されている。
【００４３】
このように構成された流量センサ１０８においては、上記実施の形態７の効果に加えて、流量センサの製造時、プロテクタ２６が一体となったサーミスタ２５を回路ケース１５に設けられた穴３１から挿入し、検出用通路１９の支持部材２０と離間して組み付けられる時、回路ケース１５に設けられた穴３１と構造物２８との２点により位置決めおよび固定されるので、本流量センサを主通路１６に組み付ける際、外力によりプロテクタ２６およびサーミスタ２５が折損、破壊されることがなく、強度的に信頼性のある流量センサを得ることができる。
また、サーミスタ２５の組み付け位置ずれが生じにくく、ひいては組み付け位置のバラツキによる流量センサの流量特性のバラツキが縮小できる。
【００４４】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００５１】
また、流体の流量を検出する流量検出素子と、流体が導入されるとともに上記流量検出素子が内部に配設される検出用通路と、この検出用通路を支持する支持部材と、上記流量検出素子を制御する電子回路部が収納された回路ケースと、流体温度を検出する流体温度検出用素子と、この流体温度検出用素子を保護するプロテクタとを備え、上記検出用通路、支持部材および回路ケースが一体に構成され、上記検出用通路が流体を流通させる主通路内に位置するように上記支持部材を該主通路に開口された穴から延出させて使用される流量センサにおいて、上記流体温度検出用素子および上記プロテクタがユニットとして一体に構成され、該ユニットを挿入する穴が上記支持部材あるいは回路ケースに設けられているので、歩留まりを向上し、製造コストを低減できる流量センサが得られる。
【００５２】
また、上記ユニットを支持する構造体が上記支持部材に一体に構成されているので、部品組み付け時の位置バラツキを少なくし、流量特性のバラツキを縮小することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る流量センサを示す縦断面図である。
【図３】この発明の実施の形態２に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図４】この発明の実施の形態２に係る流量センサを示す縦断面図である。
【図５】この発明の実施の形態３に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図６】この発明の実施の形態３に係る流量センサを示す縦断面図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係る流量センサの他の実施例を示す部分横断面図である。
【図８】この発明の実施の形態３に係る流量センサの他の実施例を示す縦断面図である。
【図９】この発明の実施の形態４に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態４に係る流量センサを示す部分縦断面図である。
【図１１】この発明の実施の形態５に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態５に係る流量センサを示す縦断面図である。
【図１３】この発明の実施の形態６に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態６に係る流量センサを示す縦断面図である。
【図１５】この発明の実施の形態７に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図１６】この発明の実施の形態７に係る流量センサを示す部分縦断面図である。
【図１７】この発明の実施の形態８に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図１８】この発明の実施の形態８に係る流量センサを示す部分縦断面図である。
【図１９】この発明の実施の形態９に係る流量センサを示す部分横断面図である。
【図２０】この発明の実施の形態９に係る流量センサを示す部分縦断面図である。
【図２１】従来の流量センサを示す正面図である。
【図２２】従来の流量センサを示す縦断面図である。
【図２３】従来の流量センサを適用した自動車用内燃機関の吸気系配管図である。
【符号の説明】
１１  流量検出抵抗体、１２  流量検出素子、１４  回路基板（電子回路部）、１５  回路ケース、１６  主通路、１９  検出用通路、１９ａ  取付部、２０支持部材、２１、２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ、２１Ｅ  構造体、２２  検出補助部材、２５  サーミスタ（流体温度検出用素子）、２６  プロテクタ、２７  保護部材、２８  構造物、３０、３１  穴、１００、１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８  流量センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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